Betriebsanleitung • Operating Instructions Compact Turbo
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1. Gr e TMH 261 P TMU 261 P TMH 261 YP TMU 261 YP Anschlussflansch Eingang DN 100 ISO K DN 100 CF F Anschlussflansch Ausgang DN 25 ISO KF G 1 4 DN 25 ISO KF G 1 4 Flutanschluss G 1 8 G 1 8 Drehzahl 2 60000 1 min 60000 1 min Hochlaufzeit 1 6 min 1 6 min Enddruck mit Drehschieberpumpe lt 1 107 mbar lt 5 1070 mbar Enddruck mit Membranpumpe lt 1 107 mbar lt 1 108 mbar Vorvakuum max f r N2 10 mbar 10 mbar Kompressionsverh ltnis f r N gt 1 109 gt 1 109 Kompressionsverh ltnis f r He 3 10 3 10 Kompressionsverh ltnis f r H2 1 4 10 1 3 10 Kompressionsverh ltnis f r Ar gt 1 10 gt 1 10 Gasdurchsatz bei 0 1 mbar HV Druck f r N2 7 mbar l s 7 mbar I s Gasdurchsatz bei 0 1 mbar HV Druck f r He 6 mbar l s 6 mbar l s Gasdurchsatz bei 0 1 mbar HV Druck f r H2 3 5 mbar l s 3 5 mbar l s Gasdurchsatz bei 0 1 mbar HV Druck fiir Ar 7 mbar l s 7 mbar l s Gasdurchsatz bei Enddrehzahl f r N 7 mbar l s 7 mbar I s Gasdurchsatz bei Enddrehzahl fur He 9 mbar l s 9 mbar l s Gasdurchsatz bei Enddrehzahl f r H2 43 mbar l s 43 mbar l s Gasdurchsatz bei Enddrehzahl f r Ar 4 mbar I s 4 mbar l s eee f r die angegebenen 10 m3 h 10 m3 h Saugverm gen fur N 210 I s 210 I s Saugverm gen f r He 220 l s 220 I s Saugverm gen f r H2 175 I s 175 l s Saugverm gen f r Ar 202. Installation Vernetzung ber den Anschluss RS485 TIC 001 USB RS485 converter TC TE D m RS 485 HHH 0 Gefahr eines elektrischen Schlags Die Isolationsma nahmen des Bussystems sind nur f r die Verwendung von Sicher heitskleinspannungen ausgelegt gt Nur geeignete Ger te an das Bussystem anschlie en gt Die Verbindungen sind nach Spezifikation der Schnittstelle RS485 aufzubauen gt Alle Ger te mit D pin 5 RS485 und D pin 7 RS485 am Bus anschlie en e Die Gruppenadresse der TC 600 lautet 960 e Alle am Bus angeschlossenen Ger te m ssen unterschiedliche Schnittstellena dressen haben Parameter 797 e Alle eingeschalteten Remotefunktionen haben Priorit t vor den Schnittstellen funktionen e Detaillierte Angaben zur Bedienung ber Schnittstelle RS485 und deren elektri sche Daten siehe separate Betriebsanleitung Anschluss eines externen Bussystems Die Einbindung in ein externes Bussystem z B Profibus DP DeviceNet ist durch einen Anschluss Gateway TIC 250 oder TIC 260 m glich Die gleichzeitige Nutzung der Schnittstelle RS485 an der TC 600 ist dabei nicht m glich 5 6 Fernbedienung anschlie en Fernbedienung ist ber den 15 poligen D Sub Anschluss mit der Bezeichnung RE 8 1 MOTE an der TC 600 m glich Die Eing nge 2 6 werden aktiviert wenn man sie mit 24 V an Pin 1
3. 8 2 Wiederinbetriebnahme 8 3 Entsorgung Wiederinbetriebnahme Die Gebrauchsfahigkeit des Betriebsmittels betragt ohne Betrieb max 3 Jahre Vor der Inbetriebnahme nach Stillsetzen f r 3 Jahre oder l nger folgende Arbeiten durch durchf hren gt Betriebsmittelspeicher austauschen gt Lagerwechsel vornehmen lassen gt Wartungshinweise beachten und Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen gt Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit berpr fen gt Turbopumpe au en mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen gt Ggf Turbopumpe durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen lassen gt Ggf Lagerwechsel durchf hren lassen Dabei die Gesamtlaufzeit beachten gt Betriebsmittelspeicher wechseln gt Installation und Inbetriebnahme gem Anleitung siehe S 9 Kap 5 Produkte oder Teile davon mechanische und elektrische Komponenten Betriebs mittel usw k nnen Umweltbelastungen hervorrufen gt Stoffe gem den rtlich geltenden Bestimmungen sicher entsorgen PFEIFFERE VACUUM 29 St rungen 9 St rungen Falls St rungen an der Pumpe auftreten finden Sie in der folgenden Tabelle m g liche Ursachen und Anleitungen zur St rungsbehebung 9 1 St rungsbehebung Problem M gliche Ursachen Behebung e Stromversorgung unterbrochen gt Sicherungen im Netzteil berpr fen gt Steckkontakte am Netzteil berpr fen gt Zuleitungen des Netzteils berp
4. E n C l L co 24 VDC max 50 mA Ts Flutfreigabe 19 __ T lt WW Motor TMP m Pumpstand Sela ae a o Heizung Reset opt Sperrgas REMOTE Lcu Standby 4 m PWM ein Tastenverh ltnis 25 75 4 Wo Schaltausgang 1 24 VDC max 50 mA 477 ET Schaltausgang 2 24 VDC max 50 mA GND e 42 Kontaktausgang 1 Schaltpunkt erreicht m 14 Kontaktausgang 2 Sammelfehler KE DI m Analogausgang 0 10 VDC 12 3 N Netzeingang Heizung HEAT TMS lt 115 208 230 VAC t5 lt r LTA OQ r ee HEIZUNG l VENT X Flutventil m TVF 005 Ch u ior Relaisbox Netzeingang Vorpumpe 115 208 230 VAC FV PUMP Anschluss Vorpumpe Netzeingang Netzteil 90 132 185 265 VAC TPS XXX DCU XXX PFEIFFERE VACUUM 19 Betrieb 6 Betrieb 6 1 Betriebsarten 6 2 20 Installation und Betrieb von Zubeh r Pfeiffer Vacuum Pumpen k nnen mit einer Reihe von angepasstem Zubeh r ausge stattet werden Installation Betrieb und Instandhaltung von Anschlussger ten sind detailliert in Betriebsanleitungen der Einzelkomponenten beschrieben gt Informationen zu Betriebsanleitungen von Komponenten siehe Kapitel Zubeh r gt Nur Original Zubeh rteile verwenden Wiederinbetriebnahme Die Gebrauchsfahigkeit des Betriebsmittels betragt ohne Betrieb max 3 Jahre Vor der Inbetriebnahme nach Stillsetzen f r 3 Jahre oder
5. 8 Antriebselektronik TC 600 17 Flutschraube 20a Vorvakuumflansch 98 Remotestecker Abb 2 Ansicht CompactTurbo TMH 261 Anschlusshinweise beachten Turbopumpen mit TC 600 sind ab Werk f r den Remote Betrieb ausgelegt gt Vor Betrieb mit DCU HPU oder PC muss der 15 polige D Sub Stecker Remoteste cker von der TC 600 entfernt werden K hlung e Luftk hlung e Wasserk hlung Die Antriebselektronik regelt die Rotordrehzahl bei bertemperaturen automatisch herunter Je nach Einsatzgebiet und Typ der CompactTurbo stehen verschiedene K hlvarianten zur Auswahl Rotorlager e Hochvakuumseite verschlei freies Permanentmagnetlager e Vorvakuumseite Kugellager mit Keramikkugeln 4 3 Einsatzbereich Die Pumpen TMH U 261 sind in folgenden Umgebungsbedingungen zu installieren und zu betreiben Aufstellungsort wettergesch tzt Innenr ume Zul Schutzart IP 30 Temperatur 5 C bis 40 C mit Luftk hlung bis 35 C Rel Luftfeuchte max 80 bei T lt 31 C bis max 50 bei T lt 40 C Luftdruck 77 kPa 106 kPa Aufstellungsh he max 2000 m Verschmutzungsgrad 2 Zul umgebendes Magnetfeld lt 6mT Uberspannungskategorie ll Anschlussspannung TC 48 VDC 5 8 PFEIFFER E VACUUM Installation 5 Installation Gefahr durch Abrei en der Turbopumpe Im Falle eines pl tzlichen Blockierens des Rotors k nnen Drehmomente bis 1860 Nm auftreten die bei nicht
6. 17 Kap 5 6 Fluten Freigabe Option Fluten freigegeben Automatisches Fluten Fluten gesperrt es wird nicht geflutet PFEIFFERE VACUUM 21 Betrieb 22 PFEIFFER E VACUUM e Einstellungen sind ber die RS485 der TC 600 mit DCU HPU oder PC m glich Motor Turbopumpe Bei eingeschaltetem Pumpstand und erfolgreich abgeschlossenem Selbsttest Dauer ca 10 Sekunden wird die Turbopumpe in Betrieb gesetzt W hrend des Be triebes kann die Turbopumpe bei weiterhin eingeschaltetem Pumpstand abge schaltet und wieder eingeschaltet werden Die Turbopumpe wird dabei nicht geflu tet Pumpstand Angeschlossene Pumpstandkomponenten werden angesteuert z B Vorpumpe Flutventil Luftk hlung und bei gleichzeitig bet tigtem Eingang Motor Turbopum pe wird die Turbopumpe nach erfolgreich abgeschlossenem Selbsttest Dauer ca 10 Sekunden in Betrieb gesetzt Heizung Reset Heizung Option Nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes wird die Heizung ein und nach Unter schreitung wieder abgeschaltet Optional kann hier ein Sperrgasventil gesteuert werden Reset Der Eingang Heizung ist mit einer Doppelfunktion beleg siehe S 17 Kap 5 6 Punkt 5 Reser Standby Die Turbopumpe kann mit der Einrichtung Standby wahlweise mit 66 der Nenndrehzahl Standby ein oder mit der Nenndrehzahl Standby aus betrieben werden Drehzahlstellbetrieb ber Eingang PWM Das Anlegen eines pulsweitenmodulierten PWM Signals erm g
7. Abb 12 TMH 261 P YP DN 100 ISO K DN 25 ISO K 82 113 5 194 5 UI 8 u 50 104 2 1 125 0138 5 0119 DN 100 CF F T 48 _ 6 oS 1 ol Abb 13 TMU 261 P YP DN 100 CF F PFEIFFER VACUUM 35 Berliner Stra e 43 a 35614 Asslar Deutschland N Cy ge Gesch ftsf hrer Konformit tserkl rung nach EG Richtlinie e Maschinen 2006 42 EG Anhang II Nr 1 A Hiermit erkl ren wir dass das unten aufgef hrte Produkt allen einschl gigen Be stimmungen der EG Maschinenrichtlinie 2006 42 EG entspricht Zus tzlich entspricht das unten aufgef hrte Produkt allen einschl gigen Bestim mungen der EG Richtlinie Elektromagnetische Vertr glichkeit 2004 108 EG Bevollm chtigter f r die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr J rg Stanzel Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Stra e 43 35614 A lar TMH 261 TMU 261 Angewendete Richtlinien harmonisierte Normen und angewendete nationale Normen und Spezifikationen DIN EN ISO 12100 1 2004 DIN EN ISO 12100 2 2004 DIN EN ISO 14121 1 2007 DIN EN 1012 2 1996 DIN EN 61010 1 2002 Pfeiffer Vacuum GmbH Dr M Wiemer CE 2010 Gesch ftsf hrer gt PFEIFFER VACUUM m e Vacuum is nothing but everything to us Tur
8. gbar TMH U 261 Betriebsanleitung Sicherheitsinformationen f r Vakuumpumpen Safety Guide PT 0300 BN Betriebsanleitung Pumpenbetrieb mit dem DCU PM 0547 BN Betriebsanleitung Pfeiffer Vacuum Protokoll PM 0488 BN Herstellererklarung Bestandteil dieser Anleitung Zubeh r Betriebsanleitung siehe Kap Zubeh r auch verf gbar ber www pfeiffer vacuum net Informationen ber weitere Zertifizierungen ggf dem Pr fsiegel auf der Pumpe entnehmen oder unter e www tuvdotcom com e TUVdotCOM ID 0000021320 Sicherheitshinweise in Pfeiffer Vacuum Betriebsanleitungen sind ein Ergebnis aus durchgef hrten Risikobewertungen und Gefahrenanalysen und orientieren sich an internationalen Zertifizierungs Standards nach UL CSA ANSI Z 535 Semi S1 ISO 3864 und DIN 4844 Im vorliegenden Dokument sind folgende Gefahrenstufen und Informationshinweise ber cksichtigt GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Tod oder schwerste Verletzungen treten ein M glicherweise bevorstehende Gefahr Tod oder Verletzungen k nnen eintreten M glicherweise bevorstehende Gefahr Mittlere bis leichte Verletzungen k nnen eintreten Gebot oder Hinweis Aufforderung zu einer T tigkeit oder Information ber Eigenschaften deren Missach tung zu Sch den am Produkt f hren kann PFEIFFERE VACUUM 3 Zu dieser Anleitung Piktogramm Definitionen Anweisung im Text Verwendete Abk rzungen Verwendete Symbole 4 PFEIFF
9. Defekt k nnen die mit dem Netzteil verbundenen Teile unter Spannung stehen gt Den Netzanschluss immer frei zug ngig halten um die Verbindung jederzeit trennen zu k nnen 8b 8c X4 8 98 Abb 7 Anschluss TC 600 an Netzteil TPS oder DCU Montagezeichnung f r abgeschirmtes Kabel 8 Antriebselektronik X Netzteil TPS oder DCU 8a Verbindungskabel TC 600 TPS DCU X1 Netzanschluss TPS DCU 8b Schraube X2 Anschluss Verbindungskabel TPS DCU 8c Schraube mit Zahnscheibe X4 Anschluss Verbindungskabel TC 98 Remotestecker S1 Schalter EIN AUS gt Die Schraube mit Zahnscheibe 8c aus der TC 600 unter Anschluss X4 heraus schrauben gt Stecker X4 am Verbindungskabel 8a in den Anschluss X4 an der TC 600 einste cken und Schraube 8b einschrauben gt Stecker X4 mit Schraube und Zahnscheibe 8c an der TC 600 befestigen gt Stecker X2 am Verbindungskabel Ga mit dem Netzteil TPS 200 DCU 200 am An schluss X2 verbinden gt Mit Schraube und Zahnscheibe 8c im Lieferumfang des Kabels enthalten den Stecker X2 am Netzteil befestigen 1Nur bei abgeschirmtem Verbindungskabel PM 051 843 T siehe S 33 Kap 12 Nach Anlegen der Betriebsspannung f hrt die TC 600 einen Selbsttest zur berpr fung der Versorgungsspannung durch Die Versorgungsspannung f r die Tur bomolekularpumpen TMH U 261 betr gt 48 VDC 5 gem Norm EN 60 742 PFEIFFER VACUUM 15 Installation 5 5 Pfeiffer Vacuum Anzeig
10. aktiv high verbindet siehe S 19 Kap 5 7 Nach Anlegen der o 0 Versorgungsspannung wird die Turbopumpe in Betrieb gesetzt 15 9 e Auslieferzustand Pin 1 Pin 2 Pin 3 und Pin 4 sind im Remotestecker gebr ckt gt Abgeschirmtes Kabel verwenden gt Die Abschirmung auf der Steckerseite der TC 600 mit dem TC Geh use verbin den PFEIFFER VACUUM 17 Installation Pinbelegung und Funktion des An schluss Remote 18 PFEIFFER E VACUUM Bezugsspannung Pin Funktion 1 24 V Bezugsspannung fur alle Remote Ein und Ausg nge 10 Masse Ground Bezugsmasse f r alle Remote Ein und Ausg nge Eing nge Pin Funktion Offen low Geschlossen high 2 Fluten Freigabe Fluten gesperrt Fluten freigegeben Motor ein Turbopumpe wird 3 Motor Turbopumpe Motor aus angetrieben es flie t Strom durch die Motorspulen Pumpstand ein Turbopumpe wird angetrieben Vorpumpe 4 Pumpstand Pumpstand aus wird ber Relaisbox gesteuert Luftk hlung l uft Heizung ein Nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes Heizung Heizung aus wird die Heizung eingeschal tet und nach Unterschreitung wieder abgeschaltet Optional Steuerun a 8 5 Sp ee Sperrgasventil aus Sperrgasventil ein Reset Durch Anlegen eines Pulses T lt 2s mit einer Ampli Reset tude von 24V kann eine Fehler quittierung vorgenommem werden Pumpe wird auf 66 der S Standby Standby aus Nenndrehzahl geregelt Drehzahl ist durch Anlegen 7 Drehza
11. den entsprechenden Pumpentyp gem der Betriebsanlei tung des Zubeh rs anschlie en Nur Pumpen mit der Pumpenbezeichnung P siehe Typenschild sind f r den An schluss von Sperrgas ausger stet Zum Schutz der Turbopumpe z B bei korrosi ven oder staubbehafteten Prozessen muss die Pumpe mit Sperrgas betrieben wer den Der Anschluss erfolgt ber ein Sperrgasventil rH l 3 Pumpenunterteil 3a Sperrgasanschluss 3b Verschlussschraube 3c O Ring 3d Sperrgasventil 3d 3e 3e O Ring SCH JO 50 TT N 3b 3c 3a 3 Abb 6 Sperrgasventil anschlie en gt Verschlussschraube mit Dichtring aus dem Sperrgasanschluss der Turbopumpe herausschrauben gt Sperrgasventil mit Dichtring in den Sperrgasanschluss einschrauben gt Details zum Einstellen der Sperrgasmenge der entsprechenden Betriebsanlei tung entnehmen Installation Antriebselektronik an Netzteil anschlie en e Bei Betrieb der Pumpe mit mehr als 50 der zul ssigen Gaslast ist zur Gew hr leistung der Rotork hlung Sperrgas zu verwenden Die Turbopumpen CompactTurbo TMH U 261 bilden mit der Antriebselektronik eine Einheit F r die Spannungsversorgung d rfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile verwendet werden z B TPS 200 oder DCU 200 Verwendung anderer Netzteile nur in Absprache mit Pfeiffer Vacuum und Abgleich mit der g ltigen Spezifikation Spe zifikation der Netzteile auf Anfrage Gefahr des elektrischem Schlags Bei
12. 0 I s 200 l s K hlart Standard Wasser Luft Wasser Luft Max K hlwassertemperatur 25 C 25 C K hlwasserverbrauch 100 l h 100 Uh Gewicht 6 1 kg 8 1 kg Standby Drehzahl 40000 1 min 40000 1 min Schalldruckpegel 50 db A 50 db A Enddruck Vorpumpe lt 5 mbar lt 5 mbar Integrale Leckrate lt 1 10 7 mbar l s lt 1 10 mbar l s Rotortemperatur max 90 C 90 C Eingestrahlte Warmeleistung max 8 W 8 W Umgebendes Magnetfeld max 6 mT 6 mT Vorvakuum max fur He 8 mbar 8 mbar Vorvakuum max f r H2 4 mbar 4 mbar Vorvakuum max f r Ar 10 mbar 10 mbar Eckpunkte Leistungskennlinie A 170 1000 W Hz 170 1000 W Hz B 170 1000 W Hz 170 1000 W Hz C 103 1000 W Hz 103 1000 W Hz D 170 760 W Hz 170 760 W Hz Schmiermittel TLO11 TLO11 Umgebungstemperatur bei Luftk hlung max 35 C 35 C Leistungsaufnahme Geh useheizung 60 W Betriebsspannung 48 5 VDC 48 5 VDC Leistungsaufnahme max Pumpe 200 W 200 W Leistungsaufnahme Dauer 170 W 170 W Stromaufnahme max Pumpe 48A 48A Stromaufnahme Dauer 41A 41A Schutzart IP 30 IP 30 Temperatur Lagerung 25 bis 55 C 25 bis 55 C Luftfeuchte rel nicht betauend 5 bis 85 5 bis 85 Technische Daten 13 1 Ma bilder Es DN 25 ISO KF 100 194 5 162 5 100 ISO K H
13. 098 582 FA 4 98 Remotestecker PM 051 793 X Pin 1 bis 4 gebr ckt 1 TMH U 261 TMH U 261Y 7a N N En N RR J N Ke 3 LASN N 5 X Bei Zubeh r oder Ersatzteilbestellungen zus tzlich Modellnummer des Typen schildes verwenden 32 PFEIFFER E VACUUM 12 Zubeh r Zubeh r Bennenung Gr e Bestellnummer Betriebs Bemerkungen Bestell anleitung menge Netzteile DCU 00 Ni mini Top nunme Manz ae 200 W PM 041 813 T PM 0521 BN Netzteil 19 Teileinschub 200 W PM 041 819 T PM 0521 BN Netzkabel Netzkabel mit Schukostecker 230 V 3m P 4564 309 ZA R Netzkabel mit UL Stecker 115 V 3 m P 4564 309 ZE Ne ahan SR Netzkabel mit UL Stecker 208 V 3m P 4564 309 ZF Verbindungskabel TC 600 TPS DCU 3m PM 051 103 T andere L ngen auf TC 600 TPS DCU geschirmt 3m PM 051 843 T Anfrage Bedienger te DCU 001 Display Control Unit PM 041 816 T i SE Ge aoe Program PM 051510 T PT 0101 BN Zubeh r f r HPU PM 061 005 T Bauteile zum Fluten TTV 001 Trockenvorlage PM Z01 121 PM 0022 BN incl Zeolithf llung TVF 005 Flutventil 24 V DC G 1 8 PM Z01 135 PM 0507 BN stromlos geschlossen Flutflansch DN 10 ISO KF PM 033 737 T Spannring Clip f r Flutflansch DN 10 15 ISO KF PF 102 016 T Bauteile zum Heizen Heizmanschette Schukostecker
14. 230 V PM 041 903 T R Heizmanschette ULStecker 208 V PM041904 T PMosa2Bn Wasserk hlung Heizmanschette UL Stecker 115 V PM 041 905 T Bauteile zum K hlen Luftk hlung 24 VDC PM Z01 252 PM 0543 BN Wasserk hlung PM 016 040 T PM 0546 BN TZK 400 Wasserr ckk hler 230 V 50 Hz PM Z01 245 PM 0369 BN Schmutzf nger G 3 8 P 4161 300 2R Ansteuerung Vorvakuum Relaisbox 1 phasig 5A PM 041 937 T PT 0030 BN Relaisbox 1 phasig 20 A PM 041 938 T TVV 001 Vorvakuumventil 230 V DN 16 ISO KF PM Z01 205 PM 0263 BN TVV 001 Vorvakuumventil 115 V DN 16 ISO KF PM Z01 206 Zubeh r allgemein Sperrgasventil M6 DN 10 ISO KF PM Z01 142 PM 0229 BN Schlauchnippel Sperrgasventil DN 16 ISO KF 10 PF 144 020 D mpfungsk rper DN 100 ISO K PM 006 459 X D mpfungsk rper DN 100 CF F PM 006 488 X PWM Box Drehzahlreglung 10 30 V DC PM 051 028 U PM 0563 BN Pfeiffer Vacuum Protokoll RS232 RS485 PM 0488 BN Schnittstellenprotokoll TIC 001 Schnittstellenkonverter RS232 in RS485 PM 051 054 T PM 0549 BN TIC 250 Profibus DP Gateway PM 051 257 T PM 0599 BN TIC 260 DeviceNet Gateway PM 061 166 T PT 0177 BN USB RS485 converter RS485 M12 in USB PM 061 207 T inkl CD ROM Verbindungskabel 3m PM 051 726 T TC 600 Abdeckung f r IP 54 PM 051 327 U PT 0024 BN Installationsmaterial Zubeh r f r die Flanschbefestigung siehe S 9 Kap 5 3 PFEIFFER E VACUUM 33 Technische Daten 13 Technische Daten 34 PFEIFFER E VACUUM
15. Betriebsanleitung Operating Instructions Original Betriebsanleitung Compact Turbo TurboDrag Pumpe TMH 261 TMU 261 PFEIFFER E VACUUM gt PM 0470 BD O 0709 Inhalt 2 PFEIFFER E VACUUM 1 1 1 2 2 1 2 2 2 3 3 1 3 2 4 1 4 2 4 3 5 1 5 2 5 3 5 4 5 5 5 6 5 7 6 1 6 2 6 3 6 4 6 5 7 1 7 2 7 3 8 1 8 2 8 3 9 1 10 11 12 13 13 1 Zu dieser Anleitung 3 G ltigkeit ssi iaeo maaa a tee 3 Konventionen 3 Sicherheit 2 ege EE a ei a Eed 5 Sicherheitsma nahmen 5 Bestimmungsgem e Verwendung 222222 rennen 5 Nicht bestimmungsgem e Verwendung sasas saaaaa nauau 6 Transport und Lagerung sssssssssnsssnnnnnrnnnnnn 6 Rue TEE 6 Lager ng ee Sy u dete entice ees EN NEE ee dane bape eee 6 Produktbeschreibung cece e eee eee eee eee 7 Produktidentifikation 000 0000 cece ees 7 Funktion a doa dee a re eR er herr 7 Emsatzberech tees 8 Installation NEE EEN neces ee een 9 Aufstelling 2 ees A usa ker Se ade a EE REE 9 Vorbereitende Arbeiten 9 Montage x 04454 eee nie eba eee ans ceded eee kee eee 9 Anschl sse an der Turbopumpe 00 e eee eee 13 Pfeiffer Vacuum Anzeige und Bediengerate oder PC anschlieBen 16 Fernbedienung anschlie en 0 000 ee 17 Anschlussplan TC 19 Betrieb 2 idee er 20 Beitebsarten 0 000 cee eee 20 Inbetriebnahme 000 cee eee 20 Funktionsbeschreibung 2222220 21
16. ER E VACUUM Verbot einer Handlung oder Tatigkeit im Zusammenhang mit einer Gefahrenquelle deren Missachtung zu schwer wiegenden Unf llen f hren kann Warnung vor der mit dem Symbol dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder T tigkeit im Umgang mit ei ner Gefahrenquelle deren Missachtung zu schwerwie genden Unf llen f hren kann gt Arbeitsanweisung Hier m ssen Sie etwas tun DCU Anzeige und Bediengerat HPU Anzeige und Bediengerat TC Antriebselektronik Turbopumpe TPS Neizteil Die folgendenen Symbole werden auf den folgenden Abbildungen einheitlich ver wendet Hochvakuumflansch Vorvakuumflansch Flutanschluss n K hlwasseranschluss Luftk hlung Elektroanschluss Sperrgasanschluss Sicherheit 2 Sicherheit 2 1 Sicherheitsma nahmen Informationspflicht Jede Person die sich mit der Installation dem Betrieb oder der Instandhaltung der Vakuumpumpe befasst muss die sicherheitsrelevanten Teile dieser Betriebsanleitung lesen und befolgen gt Sicherheitsinformationen f r Vakuumpumpen PT 0300 BN unbedingt beachten gt Der Betreiber ist verpflichtet jede Bedienperson auf Gefahren die von der Vakuum pumpe dem gepumpten Medium oder von der gesamten Anlage ausgehen auf merksam zu machen Installation und Betrieb von Zubeh r Pfeiffer Vacuum Pumpen k nnen mit einer Reihe von angepasstem Zubeh r ausge stattet werden Installation Betrieb und Instandhaltung von Anschl
17. Leistungskennlinie umgeschaltet Bei berschreiten der gasartab h ngigen Maximalleistung wird die Drehzahl der Turbopumpe reduziert bis ein Gleichgewicht zwischen zul ssiger Leistung und Gasreibung erreicht wird gt Um Drehzahlschwankungen zu vermeiden empfiehlt Pfeiffer Vacuum die Gleichgewichtsfrequenz oder eine etwas niedrigere Frequenz im Drehzahlstell betrieb einzustellen PFEIFFERE VACUUM 23 Betrieb 6 4 berwachung des Betriebszustands Betriebsanzeige ber LEDs an der TC 600 zeigen grundlegende Betriebszust nde der Turbopumpe und LED der Antriebselektronik an Eine differenzierte Fehler und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit DCU oder HPU m glich LED gr n LED rot Bedeutung isuchtet Netzteil in Ordnung Funktion Pumpstand ein ausgef hrt blitzt kurz Netzteil in Ordnung 1 12s aktiv Pumpstand aus blinkt 1 2s aktiv Spannungsabfall Netzausfall Sammelfehler z B leuchtet Hochlaufzeitfehler Ubertemperatur Pumpe Schaltausgang 2 aktiv low Warnung z B blinkt 1 2 s aktiv Erdschluss der Versorgungsspannung Netzausfall Temperatur berwa Bei unzul ssiger Motortemperatur oder unzul ssig hoher Geh usetemperatur chung wird der Motorstrom reduziert Dies kann zum Unterschreiten des eingestellten Drehzahlschaltpunktes und damit zum Abschalten der Turbomolekularpumpe f h ren 6 5 Ausschalten und Fluten Ausschalten Nach dem Ausschalten ist die Turbopumpe zu fluten u
18. R 10 kQ Dem Analog ausgang k nnen ber DCU HPU oder PC zus tzliche Funktionen wahlweise Strom Leistung zugeordnet werden Bei Gaslast und hoher Drehzahl wird der Rotor durch Reibung stark aufgeheizt Zur Vermeidung von berhitzung ist in der TC 600 eine Leistungs Drehzahl Kennlinie implementiert wobei die Pumpe bei jeder Drehzahl mit der maximal zul ssigen Gaslast ohne die Gefahr einer Sch digung betrieben werden kann Die Maximal leistung ist gasartabh ngig Um das Leistungsverm gen der Pumpe bei jeder Gas art voll auszusch pfen stehen zwei Kennlinien zur Verf gung e Gas Mode 0 Werkseinstellung f r Gase mit der Molek lmasse gt 40 z B Ar e Gas Mode 1 f r alle leichteren Gase Gefahr der Zerst rung der Pumpe Das Pumpen von Gasen mit der Molek lmasse gt 40 im falschem Gas Mode kann zur Zerst rung der Pumpe f hren gt Auf korrekt eingestellten Gas Mode achten gt Vor Einsatz von Gasen mit gr eren Molek lmassen Pfeiffer Vacuum kontaktieren gt Leistung Hochlauf D C Gas mode 0 B A Gas mode 1 Frequenz fnom Abb 10 Leistungskennlinie Gas Mode e Einstellungen sind ber die RS485 der TC 600 mit DCU HPU oder PC m glich e Eckpunkte der Leistungskennlinie siehe S 34 Kap 13 Der Hochlauf der Turbopumpe wird immer unter Maximalleistung betrieben um die Hochlaufzeit zu minimieren Mit Erreichen der Solldrehzahl wird automatisch auf die gew hlte
19. age des Flutventils gt Flutschraube aus dem Flutanschluss der Turbopumpe herausschrauben gt Flutventil mit Dichtring einschrauben PFEIFFERE VACUUM 13 Installation Geh useheizung Sperrgasanschluss PFEIFFER E VACUUM Elektrischer Anschluss gt Steuerleitung des Flutventils gem der Betriebsanleitung des Zubeh rs an schlie en gt Den Flutmodus des Flutventils ber DCU HPU oder Schnittstelle RS485 auswah len Um den Enddruck schneller zu erreichen k nnen Turbopumpe und Rezipient aus geheizt werden Das Verwenden einer Geh useheizung ist nur bei Pumpen mit Hochvakuumflansch in Edelstahlausf hrung zul ssig Die Heizdauer ist abh ngig vom Verschmutzungsgrad des Prozesses sowie dem zu erreichenden Enddruck und sollte mindestens 4 Stunden betragen Gef hrliche bertemperaturen Prozessbedingte hohe Temperaturen k nnen zu unzul ssigen bertemperaturen und somit zu Sch den an der Turbopumpe f hren gt Bei Einsatz einer Geh useheizung ist unbedingt Wasserk hlung einzusetzen Verbrennungsgefahr Beim Ausheizen von Turbopumpe oder Rezipient entstehen hohe Temperaturen Dadurch besteht Verbrennungsgefahr beim Ber hren hei er Teile auch noch nach dem Abschalten der Geh useheizung gt Heizmanschette Pumpengeh use und Rezipient m glichst bei der Installation ther misch isolieren gt Heizmanschette Pumpengeh use und Rezipient beim Ausheizen nicht ber hren gt Geh useheizung f r
20. berwachung des Betriebszustands 2 22222 2222222 24 Ausschalten und Eluten 2 222220 s nennen nenn 24 Wartung Austausch 0 000 e eee eee nn nn nen 25 Wartungsintervalle und zust ndigkeiten 2222222200 25 Betriebsmittelspeicher ersetzen 25 Antriebselektronik austauschen 28 Au erbetriebnahme 29 Stillsetzen f r l ngere Zeit 29 Wiederinbetriebnahme 29 Entsorgung ae an a Bu au ha 29 St rungen naar ea 30 St rungsbehebung 020 eee en nn 30 E sie ua an a a a ee nenn 31 Ersatzteile TMH U 261 00 00 e eee eee 32 Zubeh r u 2 0 2 ete eee ee ede ie nn 33 Technische Daten 34 Ma bilder 35 Herstellererkl rung 000 e cess eee eee 36 Zu dieser Anleitung 1 Zu dieser Anleitung 1 1 G ltigkeit Mitgeltende Doku mente 1 2 Konventionen Sicherheitshinweise Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum Die Betriebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermit telt die wichtigsten Informationen f r den sicheren Gebrauch des Ger tes Die Be schreibung erfolgt nach den geltenden EU Richtlinien Alle Angaben in dieser Be triebsanleitung beziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes Die Dokumentation beh lt ihre G ltigkeit sofern kundenseitig keine Ver nderun gen am Produkt vorgenommen werden Aktuelle Betriebsanleitungen sind auch ber www pfeiffer vacuum net verf
21. bopumpe mit TC nur mit zugelassenem Pfeiffer Vacuum Netzteil betreiben Die Verwendung von anderen als den bestimmungsgem zugelassenen Netz teilen ist nur nach Absprache mit Pfeiffer Vacuum gestattet e Turbopumpe mit TC 600 nur in Umgebungen bis Schutzart IP 30 einsetzen e Betrieb mit Wasserk hlung oder Einsatz in Umgebungen bis Schutzart IP 54 nur nach Montage einer speziellen TC Abdeckung PFEIFFERE VACUUM 5 Transport und Lagerung 2 3 Nicht bestimmungsgem e Verwendung Bei nicht bestimmungsgem em Einsatz erlischt jeglicher Haftungs und Gew hr leistungsanspruch Als nicht bestimmungsgem e Verwendung gilt jeder Einsatz zu Zwecken die von den oben genannten abweichen insbesondere e Das Pumpen von korrosiven oder explosiven Medien e Das Pumpen von kondensierenden D mpfen e Der Betrieb mit unzul ssig hohen Gaslasten e Der Betrieb mit unzul ssig hohem Vorvakuumdruck e Der Betrieb im falschen Gas Mode e Der Betrieb mit einer zu hohen eingestrahlten Warmeleistung e Fluten mit unzul ssig hohen Flutraten e Einsetzen der Pumpen in radioaktiven Bereichen e Einsetzen der Pumpen in Anlagen von denen sto artige Belastungen und Vib rationen oder periodische Kr fte auf die Pumpe einwirken e Anschluss an Netzteile mit Erdung eines Pols der Gleichspannung e Die Verwendung von Zubeh r oder Ersatzteilen die nicht in dieser Anleitung genannt oder durch Pfeiffer Vacuum autorisiert wurde 3 Transport und Lageru
22. bopumps Rotary vane pumps Roots pumps Dry compressing pumps Leak detectors Valves Components and feedthroughs IH QABE Vacuum measurement e e o Gas analysis System engineering Service ai OA PFEIFFER E VACUUM Pfeiffer Vacuum Technology AG Headquarters Germany Tel 49 0 64 41 8 02 0 Fax 49 0 64 41 8 02 2 02 info pfeiffer vacuum de www pfeiffer vacuum net
23. cker gebr ckt e F r den Betrieb ohne Bedieneinheit muss sich der 15 polige Gegenstecker auf dem Anschluss REMOTE an der TC 600 befinden gt Stromversorgung mit Schalter S1 am Netzteil einschalten Bei Luftk hlung schaltet sich automatisch der K hlventilator ein Nach erfolgreich abgeschlossenem Selbsttest der TC 600 Dauer ca 10 Sekunden wird die Turbo pumpe und falls angeschlossen die Vorpumpe in Betrieb gesetzt gt Stromversorgung mit Schalter S1 am Netzteil oder am DCU 200 einschalten gt Einstellungen sind ber die RS485 der TC 600 mit DCU HPU oder PC m glich gt F r den Betrieb mit einem Pfeiffer Vacuum Anzeige und Bedienger t folgende Dokumente beachten e Betriebsanleitung DCU e Betriebsanleitung HPU 001 e Pumpenbetrieb mit DCU Anschlusshinweise beachten Turbopumpen mit TC 600 sind ab Werk f r den Remote Betrieb ausgelegt gt Vor Betrieb mit DCU HPU oder PC muss der 15 polige D Sub Stecker Remoteste cker von der TC 600 entfernt werden Fernbedienung ist ber den 15 poligen D Sub Anschluss mit der Bezeichnung RE MOTE an der TC 600 m glich Die Eing nge 2 6 werden aktiviert wenn man sie mit 24 V an Pin 1 aktiv high verbindet siehe S 19 Kap 5 7 Nach Anlegen der Versorgungsspannung wird die Turbopumpe in Betrieb gesetzt gt Den Remotestecker von der TC 600 entfernen und eine Fernbedienung anschlie en Pinbelegung des Anschlusssteckers gem Tabelle siehe S
24. e und Bedienger te oder PC anschlie en Verbindungen 16 PFEIFFER E VACUUM Anschlusshinweise beachten Turbopumpen mit TC 600 sind ab Werk f r den Remote Betrieb ausgelegt gt Vor Betrieb mit DCU HPU oder PC muss der 15 polige D Sub Stecker Remoteste cker von der TC 600 entfernt werden USB RS485 converter E ii ul RS 232 A DCU 100 600 EM d F RS 485 S al ass sl DCU 001 TC 600 Abb 8 Serielle Schnittstelle RS485 anschlie en TIC 001 HPU 001 Uber den Anschluss mit der Bezeichnung RS485 an der Antriebselektronik ist die Anbindung eines externen Bedienger tes DCU oder HPU 001 oder eines exter nen Rechners m glich Die Schnittstelle ist galvanisch sicher von der maximal auf tretenden Versorgungsspannung der TC 600 getrennt Die elektrischen Verbindun gen sind intern optisch entkoppelt Der Anschluss einer RS232 oder USB Schnittstelle ist ber ein TIC 001 bzw den USB RS485 converter m glich Bezeichnung Wert Serielle Schnittstelle RS485 Baudrate 9600 Baud Datenwortl nge 8 bit Parit t keine no parity Startbits 1 Stopbits 1 2 Pin Belegung m fnichtangeschosen 2 24 V Ausgang lt 210 mA belastbar 3 nicht angeschlossen 4 nicht angeschlossen 5 RS485 D 6 Gnd 7 RS485 D 8 nicht angeschlossen
25. eistung 8 W nicht berschreiten Ggf geeignete Abschirmbleche installieren Informationen auf Anfrage 5 3 Montage e Beim Montieren aller Hochvakuumteile f r gr tm gliche Sauberkeit sorgen Unsaubere Bauteile verl ngern die Auspumpzeit e Alle Flanschbauteile m ssen bei Installation fettfrei staubfrei und trocken sein e Der Betriebsmittelspeicher ist bei den Turbopumpen TMH U 261 bereits fertig montiert und gef llt PFEIFFERE VACUUM 9 Installation Splitterschutz oder Die Installation eines Pfeiffer Vacuum Zentrierrings mit Splitterschutz oder Schutz Schutzgitter verwen gitter im Hochvakuumflansch sch tzt die Turbopumpe vor Fremdk rpern aus dem den Rezipienten Dadurch wird das Saugverm gen der Pumpe reduziert Reduziertes Saugverm gen in H He N3 Splitterschutz DN 100 5 7 17 Schutzgitter DN 100 1 2 5 D mpfungsk rper D Gefahr durch Abrei en der Pumpe Bei Einsatz eines Pfeiffer Vacuum D mpfungsk rpers m ssen zur Kompensation der Drehmomente im Falle eines pl tzlichen Blockierens geeignete Sicherungsma nah men ergriffen werden gt Unbedingt R cksprache mit Pfeiffer Vacuum halten gt Die max zul ssige Temperatur am D mpfungsk rper 100 C nicht berschreiten Oh Typenspezifische Einbaulagen beachten gt A Pfeiffer Vacuum CompactTurbo Pumpen d rfen nur in spezifischen Einbaulagen installiert werden Unzul ssige Einbaulagen k nnen zu Verschmutzungen des Proz
26. ess vakuums oder zu Sch den an der Pumpe f hren gt Eigenschaftenk rzel hinter der Modellbezeichnung auf dem Typenschild beachten Einbaulagen Abb 3 Zul ssige Einbaulagen f r Abb 4 Einbaulagen f r Turbopumpen mit Standard Versionen dem Eigenschaftenk rzel Y Waagerechte Einbaulage o gt Bei waagerechter Montage muss der Vorvakuumflansch senkrecht nach unten weisen 20 da sonst die Turbopumpe verunreinigt werden kann 10 PFEIFFER E VACUUM Installation gt Rohrleitungen vor der Pumpe abst tzen oder abh ngen Auf die verankerte Tur bopumpe d rfen keine Kr fte aus dem Rohrleitungssystem einwirken Die axiale Belastbarkeit des Hochvakuumflanschs betr gt max 500 N entspr 50 kg Eine einseitige Belastung am Hochvakuumflansch ist dabei nicht zul ssig Hochvakuumflansch Im Falle eines pl tzlichen Blockierens des Rotors m ssen die auftretenden Dreh installieren momente von der Anlage und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden Zur Befestigung der Turbopumpen am Hochvakuumflansch d rfen ausschlie lich die im Folgenden aufgef hrten Bauteile verwendet werden Die Bauteile f r die In stallation der Turbopumpen sind Spezialausf hrungen von Pfeiffer Vacuum Die Mindestfestigkeit von 170 N mm des Flanschmaterials beachten M gliche Besch digung der Pumpe Bei einer Befestigung der Pumpen mit ISO K Flansch an einen Rezipienten mit ISO F Flansc
27. h Kontamination von Teilen und Betriebsmittel durch gepumpte Medien m glich Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitssch dlichen Stoffen gt Im Falle einer Kontamination entsprechende Sicherheitsvorkehrungen treffen um Gesundheitsgef hrdungen durch gef hrliche Substanzen zu verhindern gt Betreffende Teile vor der Ausf hrung von Wartungsarbeiten dekontaminieren Haftungsausschluss F r Sch den und Betriebsst rungen die aufgrund unsachgem ausgef hrter War tung entstehen bernimmt Pfeiffer Vacuum keine Haftung f r Personen oder Materi alsch den Der Haftungs und Gew hrleistungsanspruch erlischt 7 1 Wartungsintervalle und zust ndigkeiten e Turbopumpe au en mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen e Betriebsmittelspeicher und Antriebselektronik k nnen Sie selbst austauschen e Betriebsmittelspeicher mindestens alle 3 Jahre wechseln e Das Lager der Turbopumpe mindestens alle 3 Jahre wechseln Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen e K rzere Wechselintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen Mit Pfeiffer Vacuum Service abkl ren e Fur alle anderen Reinigungs Wartungs oder Instandsetzungsarbeiten wenden Sie sich bitte an Ihre zust ndige Pfeiffer Vacuum Servicestelle 7 2 Betriebsmittelspeicher ersetzen Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitssch dlichen Stoffen Der Betriebsmittelspeicher und Teile der Pumpe k nnen giftige Substanzen aus den gepum
28. h oder bei der Befestigung von ISO KF Flanschen kann es trotz ordnungsgem er Installation zu einem Verdrehen im Falle eines pl tzlichen Blockierens des Rotors kommen Installation vonISO K F r die Installation der Flanschverbindung stehen folgende Bauteile zur Verf gung Flansch mit ISO K m _ Anschluss Nennweite Benennung Anzahl Bestell Nr Flansch Zentrierring beschichtet 1 PM 016 210 U Zentrierring beschichtet DN 100 ISO K ne 1 PM 016 211 U entrierring escnicnte mit Schutzgitter 1 PM 016 212 U Klammerschraube 6 PF 300 110 T gt Darauf achten dass die Dichtfl chen nicht besch digt sind gt Turbopumpe gem der Zeichnung und den Bauteilen des Befestigungssatzes anflanschen gt Erforderliche Anzahl von Klammerschrauben verwenden gt Die Klammern in drei Schritten ber Kreuz anziehen gt Anzugsdrehmoment 5 15 25 2 Nm Installation vonISO K F r die Installation der Flanschverbindung stehen folgende Bauteile zur Verf gung Flansch mit ISO F m EE T S T a Anschluss Nennweite Benennung Anzahl Bestell Nr Flansch Zentrierring beschichtet 1 PM 016 210 U Zentrierring beschichtet DN 100 ISO K mit Splitterschutz 1 PMG 20 DN 100 ISO F Zentrierring beschichtet mit Schutzgitter 1 Ben N Pratze 8 PF 301 110 T gt Darauf achten dass die Dichtfl chen nicht besch digt sind gt Turbopumpe gem der Zeichnung und den Bauteilen des Befest
29. hlstellbetrieb Drehzahlstellbetrieb aus eines PWM Signals oder ber Schnittstelle regelbar Option ber die Schnittstelle RS485 einstellen siehe Betriebsanleitung PM 0547 BN Pumpenbe trieb mit DCU Ausg nge Pin Funktion Offen low Geschlossen high Drehzahlschaltpunkt erreicht 8 Schaltausgang 1 Drehzahlschaltpunkt nicht Ausgang kann mit 24 V 50 mA erreicht belastet werden St rungsfreier Betrieb Aus 9 Schaltausgang 2 Sammelfehlermeldung gang kann mit 24 V 50 mA belastet werden 11 Kontaktausgang 1 Kontakt zwischen Pin 11 und Drehzahlschaltpunkt nicht Pin 12 ist geschlossen wenn erreicht Drehzahlschaltpunkt ber 12 Kontaktausgang 1 schritten 13 Kontaktausgang 2 Kontakt zwischen Pin 13 und Sammelfehlermeldung Pin 14 ist geschlossen bei st 14 Kontaktausgang 2 rungsfreiem Betrieb Drehzahlproportionale Ausgangsspannung 0 10 VDC 0 15 Analogausgang 100 lut Belastung R gt 10 KQ wahlweise Strom Leistung Option ber die Schnittstelle RS485 einstellen siehe Betriebsanleitung PM 0547 BN Pumpenbe trieb mit DCU 2 F r die Kontakte gelten folgende technische Daten Umax 50 VDC Imax 1A Installation 5 7 Anschlussplan TC TC 600 TC 750 LA yt gt mi Tu n c 3 24 VDC max 200 mA Versorgungsspannung DCU gt erg hc C n c RS 485 RS 485 DO RI 7 GND Masseanschluss DCU cb Te RS 485 DO RI l8
30. iftige Gase Prozessgase k nnen gesundheitssch digend und umweltverschmutzend sein gt Gasaussto der Vorpumpe sicher ableiten gt Alle Sicherheitsempfehlungen des Gasherstellers beachten gt Bei starren Rohrverbindungen Federungsk rper zur D mpfung von Vibrationen in die Verbindungsleitung einbauen gt Vorvakuumleitung mit Kleinflansch Bauteilen oder Schlauchverschraubungen anschlie en Freien Querschnitt des Vorvakuumflansches nicht einengen gt Der elektrische Anschluss der Vorvakuumpumpe erfolgt ber eine Relaisbox Die Steuerleitung der Relaisbox in den Anschluss FV PUMP der TC 600 einste cken Pfeiffer Vacuum Turbopumpen m ssen durch Luft oder Wasserk hlung gek hlt werden e Bei Betrieb der Pumpe mit mehr als 50 der zul ssigen Gaslast ist zur Gew hr leistung der Rotork hlung Sperrgas zu verwenden e Bei erh htem Vorvakuumdruck gt 0 1 mbar und oder Betrieb mit Gaslasten muss wahlweise Luft oder Wasserk hlung verwendet werden e Bei Umgebungstemperaturen gt 35 C generell Wasserk hlung verwenden gt Luftk hlung f r den entsprechenden Pumpentyp gem der Betriebsanleitung des Zubeh rs anschlie en gt Wasserk hlung f r den entsprechenden Pumpentyp gem der Betriebsanlei tung des Zubeh rs anschlie en Das Flutventil TVF 005 dient dem automatischen Fluten bei Abschaltung oder Stromausfall Der maximal zul ssige Druck am Flutventil betr gt 1 5 bar absolut Mont
31. igungssatzes anflanschen gt 8 Pratzen verwenden gt Die Pratzen in drei Schritten ber Kreuz anziehen gt Anzugsdrehmoment 3 10 16 1 Nm PFEIFFERE VACUUM 11 Installation Installation von CF Flanschen 12 Erhaltung der Dichtf higkeit Folgende Hinweise beachten um die Dichtf higkeit zu erhalten gt Die Dichtung nur mit Handschuhen anfassen gt Auf unbesch digte Dichtlippen achten PFEIFFER E VACUUM Die Verbindungsarten fur die Installation CF mit CF Flansch sind Stiftschraube und Sackloch sowie 6kt Schraube und Durchsteckbohrung Folgende Elemente werden ben tigt e Ein Befestigungssatz f r die jeweilige Verbindungsart e Eine Kupfer Dichtung e Optional kann ein Schutzgitter oder Splitterschutz eingesetzt werden Anschluss Nennweite Benennung Bestell Nr 6kt Schraubensatz M8 mit Unterlegscheibe und Mutter PF 505 003 T 25 St ck Stiftschraubensatz M8 mit Unterlegscheibe und Mutter PF 507 003 T D 1 DN 100 CF F 25 St ck Kupfer Dichtung 10 St ck PE 501 410 T Kupfer Dichtung versilbert 10 A PF 501 510 T Splitterschutz PM 016 315 Schutzgitter PM 016 336 TSt ckzahlen in Klammern sind Lieferst ckzahl 2 Mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch einsetzen Stiftschraube und Sackloch gt Sofern verwendet Schutzgitter oder Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumfla
32. it g ltigen Fassung Bei kontaminierten Pumpen oder bei Fehlen der Unbedenklichkeitserkl rung f hrt Pfeiffer Vacuum kostenpflichtig eine Dekontamination durch Einsendung kontaminierter Pumpen oder Ger te gt Pumpe durch Sp len mit Stickstoff oder trockener Luft neutralisieren gt Alle ffnungen luftdicht verschlie en gt Pumpe oder Ger t in geeignete Schutzfolie einschwei en gt Pumpe Gerat nur in geeigneten stabilen Transportcontainern und unter Einhal tung der g ltigen Transportbedingungen einschicken Austauschger te Bei Austauschger ten sind immer die Standard Betriebsparameter voreingestellt Falls Sie bei Ihrer Anwendung ver nderte Parameter verwenden m ssen Sie diese erneut einstellen Serviceauftr ge Alle Serviceauftr ge werden ausschlie lich entsprechend unseren Reparaturbe dingungen f r Vakuumger te und komponenten durchgef hrt 1 Return Material Authorization unter www pfeiffer vacuum net PFEIFFERE VACUUM 31 Ersatzteile TMH U 261 11 Ersatzteile TMH U 261 Pos Benennung Gr e Bestellnummer Bemerkungen St ck Bestellmenge 6 Verschlussdeckel M40 x 1 PM 003 619 A 1 7 Schmiermittelspeicher PM 063 265 T incl O Ring 1 7 Schmiermittelspeicher Y PM 063 266 T incl 8 x Porexstab 7a O 1 Ring Filzscheibe 8 Antriebselektronik TC 600 PM C01 720 1 48 O Ring 38 x3 P 4070 621 PV 1 53 Verschlussstopfen P 4
33. l nger folgende Arbeiten durch durchf hren gt Betriebsmittelspeicher austauschen gt Lagerwechsel vornehmen lassen gt Wartungshinweise beachten und Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen Gefahr durch offenen Hochvakuumflansch Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit hoher Geschwindigkeit Bei offenem Hochva kuumflansch besteht die Gefahr von Schnittverletzungen und durch hineinfallende Gegenst nde die Gefahr dass die Pumpe zerst rt wird gt Pumpe niemals mit offenem Hochvakuumflansch in Betrieb nehmen Folgende Betriebsarten sind m glich e Betrieb ohne Bedieneinheit e Betrieb ber Fernbedienung e Betrieb ber RS485 mit Pfeiffer Vacuum Anzeige und Bediengerat oder PC Inbetriebnahme Folgende Einstellungen sind werkseitig fest in der TC 600 programmiert e Anlaufzeit 15 min e Drehzahlschaltpunkt 80 e Automatisches Fluten 50 gt Einstellungen sind ber die RS485 der TC 600 mit DCU HPU oder PC m glich gt Bei Wasserk hlung K hlwasserzufluss ffnen und Durchfluss kontrollieren gt Verbindungskabel zwischen der TC 600 und dem Netzteil einstecken PFEIFFER E VACUUM Betrieb S1 Schalter EIN AUS X1 Netzanschluss X2 Anschluss TC 600 F1 Sicherung F2 Sicherung Abb 9 R ckseite des Netzteils TPS 6 3 Funktionsbeschreibung Betrieb ohne Bedie neinheit Betrieb mit DCU oder HPU Betrieb mit Fernbe dienung e Auslieferzustand Pin 1 Pin 2 Pin 3 und Pin 4 sind im Remoteste
34. licht die Einstel lung der Drehzahl im Bereich von 20 100 der Nenndrehzahl U Zoe Grundfrequenz 100 Hz 20 20 fond 100 fend Amplitude 24 V max i Tastenverh ltnis 25 75 max 33V min 13V max 7V min 33V Town 25 Towa 75 f T pwm 10ms 1 20 Tom 100Hz 1420 Liegt kein Signal an l uft die Pumpe bis zur Enddrehzahl hoch Optional ist der An schluss einer PWM Adapterbox f r Turbopumpen m glich Schaltausg nge Die Schaltausg nge 1 und 2 k nnen mit maximal 24 V 50 mA pro Ausgang belas tet werden Folgende Funktionen sind den Schaltausg ngen zugeordnet e Schaltausgang 1 Aktiv high nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes Der Schaltpunkt f r die Turbopumpe ist auf 80 der Nenndrehzahl eingestellt Er kann z B f r eine Meldung Pumpe betriebsbereit genutzt werden Betrieb Gasartabh ngiger Be trieb e Schaltausgang 2 Aktiv low bei Fehler Sammelfehlermeldung Der Anschluss eines Relais erfolgt zwischen Pin 10 Masse und dem jeweiligen Schaltausgang Pin 8 oder Pin 9 Kontaktausg nge e Relaiskontakt 1 Der Kontakt zwischen Pin 11 und Pin 12 ist geschlossen wenn der Drehzahlschaltpunkt berschritten ist e Relaiskontakt 2 Der Kontakt zwischen Pin 13 und Pin 14 ist geschlossen bei st rungsfreiem Betrieb Analogausgang ber den Analogausgang kann eine drehzahlproportionale Spannung 0 10 VDC entspricht 0 100 fena abgeriffen werden Belastung
35. m Verunreinigungen durch zur ckstr mende Partikel aus dem Vorvakuumbereich zu vermeiden gt Vorvakuum schlie en Vorvakuumpumpe ausschalten oder Vorvakuumventil schlie en gt Turbopumpe am Bedienger t oder ber Fernbedienung ausschalten gt Fluten M glichkeiten s u gt Bei Wasserk hlung Wasserzufuhr absperren Fluten Fluten von Hand gt Flutschraube Lieferumfang im Flutanschluss der Pumpe ca eine Umdrehung ffnen Fluten mit Flutventil TVF 005 gt Fluten mit Flutventil ber die Funktionen der Antriebselektronik freigeben gt Einstellungen sind ber die RS485 der TC 600 mit DCU HPU oder PC m glich Flutfrequenz Abschalten des Pumpstands Flutventil ffnet f r 3600 s 1 h Flutventil ffnet f r 3600 s 1 h 50 der Enddrehzahl Werkseinstellung Werkseinstellung Bei Netzwiederkehr wird der Flutvorgang abgebrochen Grunds tzliche Hinweise f r das schnelle Fluten Fluten eines Rezipienten in zwei Schritten Details zu individuellen L sungen bei Pfeiffer Vacuum erfragen gt Fluten mit einer Druckanstiegsgeschwindigkeit von max 15 mbar s f r 20 s Der Ventilquerschnitt f r die Flutrate von 15 mbar s muss auf die Gr e des Rezipienten abgestimmt werden 24 PFEIFFER E VACUUM Wartung Austausch Bei kleinen Rezipienten das Pfeiffer Vacuum Flutventil TVF 005 verwenden gt Anschlie end mit einem zus tzlichen beliebig gro en Flutventil fluten 7 Wartung Austausc
36. ng 3 1 Transport 3 2 Lagerung 6 PFEIFFER E VACUUM gt Transportbeh ltnis der Vakuumpumpen wiederverwenden Vakuumpumpen sollten in der Originalverpackung transportiert oder versendet werden gt Schutzdeckel von Hoch und Vorvakuumseite erst unmittelbar vor dem An schluss entfernen gt Original Schutzdeckel aufbewahren gt Turbopumpe immer aufrecht transportieren gt Flansch ffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschlie en gt Weitere Anschl sse mit entsprechenden Schutzdeckeln verschlie en gt Pumpe nur in Innenr umen bei Temperaturen von 25 C bis 55 C lagern gt In R umen mit feuchter oder aggressiver Atmosph re Pumpe zusammen mit ei nem Trockenmittel in einen Kunststoffbeutel luftdicht einschwei en Produktbeschreibung 4 Produktbeschreibung 4 1 Produktidentifikation Pumpentypen TMH 261 2 pls Pumpenmerkmale Lieferumfang 4 2 Funktion Die Produktbezeichnung von Pfeiffer Vacuum Turbomolekularpumpen ist selbster kl rend und l sst R ckschl sse auf die Ausfuhrungsvariante zu Die Produktbe zeichnung besteht aus einer Familienbezeichnung 1 der Gr e 2 die sich am Saugverm gen der Pumpe orientiert und den Eigenschaften 3 der Pumpe 1 Familienbezeichnung 2 Modellbezeichnung 3 Eigenschaften T Turb ai lao U Uberkopfversion P reine Turbopumpe P Sperrgassystem M Turbo mit Holweckstufe M Aktive Magnetlagerung H ISO Flanschvarianten f
37. nsch einsetzen gt Die Dichtung genau in die Ausdrehung legen gt Die Flansche durch 16 Stiftschrauben M8 mit Unterlegscheiben und Muttern verbinden und mit einem Anzugsdrehmoment von 22 2 Nm umlaufend anzie hen Im Anschluss das Drehmoment kontrollieren da durch das Flie en des Dichtungsmaterials ein Nachziehen der Schrauben erforderlich sein kann 6kt Schraube und Durchsteckbohrung gt Sofern verwendet Schutzgitter oder Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch einsetzen gt Die Dichtung genau in die Ausdrehung legen gt Die Flansche durch 16 6kt Schrauben M8 mit Unterlegscheiben und Muttern verbinden und mit einem Anzugsdrehmoment von 22 2 Nm umlaufend anzie hen Im Anschluss das Drehmoment kontrollieren da durch das Flie en des Dichtungsmaterials ein Nachziehen der Schrauben erforderlich sein kann Installation 5 4 Anschl sse an der Turbopumpe Vorvakuumseite an schlie en K hlung Flutventil RS 485 REMOTE HEAT TMS VENT FV PUMP FAN Abb 5 Anschlussbezeichnungen an Turbopumpen mit Antriebselektronik TC 600 Empfehlung Als Vorvakuumpumpe eine trockenverdichtende Membranpumpe oder Drehschieberpumpen aus dem Pfeiffer Vacuum Programm einsetzen Die Vor vakuumpumpe muss einen Vakuumdruck von lt 5 mbar erzeugen Gesundheitsschaden durch g
38. nzette einsetzen gt Neuen Betriebsmittelspeicher bis zum O Ring in die Turbopumpe einschieben gt Verschlussdeckel mit O Ring einschrauben Mit dem Verschlussdeckel wird der Betriebsmittelspeicher in die richtige axiale Position gebracht gt PFEIFFER VACUUM 27 Wartung Austausch 73 Antriebselektronik austauschen 28 PFEIFFER E VACUUM Gefahr des elektrischen Schlags Auch nach Abschalten der Netzversorgung liefert die nachlaufende Turbopumpe Span nungen gt 50 Vers Es besteht die Gefahr eines elektrischen Schlags beim Ber hren offener Kontakte an stromf hrenden Teilen gt Antriebselektronik niemals bei bestehender Netzverbindung oder laufendem Rotor von der Pumpe trennen gt Volligen Stillstand der Turbopumpe abwarten gt Antriebselektronik vom Netz trennen Betriebsparameter der Antriebselektronik Bei Ersatzlieferungen sind immer die werkseitigen Betriebsparameter voreingestellt gt Die Verwendung eines HPU bietet die M glichkeit einen vorhandenen Parameter satz zu sichern und wiederzuverwenden gt Individuell ver nderte Anwendungsparameter neu einstellen gt Hierzu Betriebsanleitung Pumpenbetrieb beachten 8 Antriebselektronik 9 Innensechskantschraube Abb 11 Montage Demontage der TC 600 gt Keine mechanische Belastung auf die Antriebselektronik aus ben gt Vakuumpumpe ausschalten auf Atmosph rendruck fluten und abk hlen lassen gt Vakuumpumpe ggf aus de
39. ordnungsgem er Befestigung zum Abrei en der Turbopumpe f hren k nnen gt Installationsanweisungen genau befolgen gt Nur Originalbauteile f r die Installation verwenden Installation und Betrieb von Zubeh r Pfeiffer Vacuum Pumpen k nnen mit einer Reihe von angepasstem Zubeh r ausge stattet werden Installation Betrieb und Instandhaltung von Anschlussger ten sind detailliert in Betriebsanleitungen der Einzelkomponenten beschrieben gt Informationen zu Betriebsanleitungen von Komponenten siehe Kapitel Zubeh r gt Nur Original Zubeh rteile verwenden 5 1 Aufstellung Beim Aufstellen der Pumpe sind folgende Bedingungen zu beachten e Die f r den Einsatzbereich genannten Umgebungsbedingungen e Die Temperatur des Hochvakuumflanschs darf 120 C nicht berschreiten e Die Bodenbefestigung der Pumpe ist nur nach R cksprache mit Pfeiffer Vacuum zul ssig e Das Einsetzen der Pumpen in Anlagen von denen sto artige Belastungen und Vibrationen oder periodische Kr fte auf die Pumpe einwirken ist nicht zul ssig 5 2 Vorbereitende Arbeiten gt Ausreichende K hlung f r die Turbopumpe sicherstellen gt Bei Magnetfeldern gt 6 mT eine geeignete Abschirmung verwenden Aufstel lungsort berpr fen und ggf R cksprache mit Pfeiffer Vacuum halten gt Die maximal zul ssige Rotortemperatur f r die Turbopumpe ist 90 C Bei pro zessbedingt auftretenden hohen Temperaturen darf die eingestrahlte W rme l
40. pten Medien enthalten gt Betriebsmittelspeicher nach den geltenden Vorschriften entsorgen Sicherheitsda tenblatt auf Anfrage oder unter www pfeiffer vacuum net gt Gesundheitsgef hrdungen oder Umweltbelastungen bei Kontamination durch ent sprechende Sicherheitsvorkehrungen verhindern gt Betreffende Teile vor der Ausf hrung von Wartungsarbeiten dekontaminieren Pumpentypen beachten Die Vorgehensweise beim Wechsel des Betriebsmittelspeichers ist abh ngig vom Pumpentyp Die fehlerhafte Durchf hrung kann zur Zerst rung der Pumpe f hren gt Eigenschaftenk rzel hinter der Modellbezeichnung auf dem Typenschild beachten PFEIFFERE VACUUM 25 Wartung Austausch Betriebsmittelf llung Der Betriebsmittelspeicher ist ausreichend mit Betriebsmittel TL 011 bef llt gt Kein zus tzliches Betriebsmittel einf llen Standardvariante gt Vakuumpumpe ausschalten auf Atmosph rendruck fluten und abk hlen lassen gt Vakuumpumpe ggf aus der Anlage ausbauen gt Flansch ffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschlie en gt Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch stellen gt Verschlussdeckel an der Unterseite der Turbopumpe mit Spezialwerkzeug E he rausschrauben Auf O Ring achten gt Schmiermittelspeicher mit Hilfe einer Pinzette herausheben 6 Verschlussdeckel 7 Betriebsmittelspei cher 48 O Ring E Spezialwerkzeug PV M40 569 gt Verunreinigungen von Turbopumpe und Verschlu
41. r fen gt Ausgangsspannung 48 VDC am Anschluss X2 des Netzteils berpr fen Pumpe l uft nicht an Keine der einge gt Steckkontakte am Netzteil berpr fen bauten LEDs an der TC 600 leuchtet e Betriebsspannung inkorrekt gt Korrekte Betriebsspannung anlegen gt Typenschild beachten e Keine Betriebsspannung angelegt gt Betriebsspannung anlegen e TC 600 defekt gt TC 600 austauschen gt Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen e Remotestecker fehlt gt Bei Betrieb ohne Bedienger t muss der Re Pumpe l uft nicht an gr ne LED an der 7 motestecker an der TC 600 eingesteckt sein Pin 1 3 und 1 4 am Remotestecker gt Pin 1 3 und 1 4 am Remotestecker verbin TC 600 blinkt nicht verbunden den e Spannungsabfall im Kabel gt Geeignetes Kabel verwenden e Vorvakuumdruck zu hoch gt Funktion und Eignung der Vorvakuumpum pe sicherstellen e Leck gt Lecksuche durchf hren Dichtungen und Flanschbefestigungen berpr fen gt Undichtigkeiten beseitigen e Gaslast zu hoch gt Prozessgaszufuhr reduzieren Pumpe erreicht nicht die Nenndrehzahl e Rotor schwergangig Lager defekt gt Lager auf Ger uschentwicklung pr fen innerhalb der vorgegebenen Anlaufzeit gt Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen e Anlaufzeit zu niedrig eingestellt gt Anlaufzeit ber DCU HPU oder PC verl n gern e Thermische berlastung gt Thermische Belastung reduzieren mangelnde Bel ftung Luftz
42. r 261 Modellbezeichnung _ F r Korrosivgas Hochvakuumanwendungen der zugeh rigen Saugver H F r hohe Gasdurchs tze U CF Flanschvarianten f r Ultra M gensklasse T Temperatur Management Hochvakuumanwendungen D Drag Pumpe f r den Feinva kuumbereich Y Beliebige Einbaulage N Integriertes Netzteil Zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum im mer alle Angaben des Typenschildes bereithalten mr D 35614 Asslar Mod TMH 261 P Oil PM 063 265 T DN 100 ISO K 3P S N3 210 l s Mod No PM P02 821 H Mass 6 kg PFEIFFER VACUUM Ser No Made in C III UI Germany 2006703 Abb 1 Beispiel f r ein Typenschild Standardvariante Turbopumpen ohne Eigenschaftsk rzel die sich auf die Einbaulage beziehen wer den nachfolgend als Standardvariante bezeichnet z B TMH 261 P Merkmal TMH 261 TMU 261 HV Flansch DN 100 ISO K DN 100 CF F e Turbopumpe e Schutzdeckel f r den Hochvakuum und Vorvakuumflansch e Betriebsanleitung Die Pumpen TMH U 261 bilden mit der Antriebselektronik TC 600 eine Einheit Zur Spannungsversorgung d rfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile verwendet werden z B TPS oder DCU Die Verwendung von anderen als den bestimmungsgem zugelassenen Netzteilen ist nur nach Absprache mit Pfeiffer Vacuum gestattet Spe zifikation der Netzteile auf Anfrage PFEIFFERE VACUUM 7 Produktbeschreibung 4 Hochvakuumflansch
43. r Anlage ausbauen gt Innensechskantschrauben 2x aus der Antriebselektronik herausschrauben gt Antriebselektronik von der Pumpe abziehen gt Neue Antriebselektronik an die Turbopumpe anschrauben und anschlie en Au erbetriebnahme 8 Au erbetriebnahme 8 1 Stillsetzen f r l ngere Zeit Kontamination von Teilen und Betriebsmittel durch gepumpte Medien m glich Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitssch dlichen Stoffen gt Im Falle einer Kontamination entsprechende Sicherheitsvorkehrungen treffen um Gesundheitsgef hrdungen durch gef hrliche Substanzen zu verhindern gt Betreffende Teile vor der Ausf hrung von Wartungsarbeiten dekontaminieren Wenn die Turbopumpe f r l nger als ein Jahr stillgesetzt werden soll gt Vakuumpumpe ggf aus der Anlage ausbauen gt Betriebsmittelspeicher wechseln gt Hochvakuumflansch der Turbopumpe verschlie en gt Turbopumpe ber den Vorvakuumflansch evakuieren gt Turbopumpe ber den Flutanschluss mit trockener Luft oder Inertgas fluten gt Flansch ffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschlie en gt Weitere Anschl sse mit entsprechenden Schutzdeckeln verschlie en gt Pumpe aufrecht auf den Gummif en abstellen gt Pumpe nur in Innenr umen bei Temperaturen von 25 C bis 55 C lagern gt In R umen mit feuchter oder aggressiver Atmosph re Pumpe zusammen mit ei nem Trockenmittel in einen Kunststoffbeutel luftdicht einschwei en
44. ssdeckel mit einem sauberen fusselfreien Tuch entfernen Keine Reinigungsfliissigkeiten verwenden gt Neuen Betriebsmittelspeicher bis zum O Ring in die Turbopumpe einschieben gt Verschlussdeckel mit O Ring einschrauben Mit dem Verschlussdeckel wird der Betriebsmittelspeicher in die richtige axiale Position gebracht 26 PFEIFFER E VACUUM Wartung Austausch Y Version gt Vakuumpumpe ausschalten auf Atmosph rendruck fluten und abk hlen lassen gt Vakuumpumpe ggf aus der Anlage ausbauen gt Flansch ffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschlie en gt Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch stellen NN ANN gt Verschlussdeckel an der Unterseite der Turbopumpe mit Spezialwerkzeug E he rausschrauben Auf O Ring achten gt Schmiermittelspeicher mit Hilfe einer Pinzette herausheben gt Porexst be 8 St ck mit Hilfe einer Pinzette herausnehmen 6 Verschlussdeckel 7 Schmiermittelspeicher 7a Porexstab 7b Filzscheibe nur f r Ser vice 48 O Ring E Spezialwerkzeug PV M40 569 Filzscheibe im Schmiermittelspeicher Paket Die Filzscheibe im Betriebsmittelspeicher Paket ist nur f r besondere Servicearbeiten notwendig und durch den Pfeiffer Vacuum Service auszutauschen gt Verunreinigungen von Turbopumpe und Verschlussdeckel mit einem sauberen fusselfreien Tuch entfernen Keine Reinigungsfliissigkeiten verwenden gt Neue Porexst be 8 St ck mit Hilfe einer Pi
45. ufuhr ausreichend gew hrleisten Wasserdurchfluss zu niedrig K hlwasserzufluss sicherstellen Vorvakuumdruck zu hoch Vorvakuumdruck senken zu hohe Umgebungstemperatur Umgebungsbedingungen anpassen e Pumpe ist verschmutzt gt Pumpe ausheizen gt Reinigung bei st rkerer Verschmutzung Pumpe erreicht nicht den Enddruck Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen e Rezipient Leitungen oder Pumpe sind gt Lecksuche vom Rezipient ausgehend undicht gt Undichtigkeiten beseitigen e Lagerschaden gt Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen e Rotor besch digt gt Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen Ungew hnliche Betriebsgerausche e Splitterschutz oder Schutzgitter lose Sitz des Splitterschutzes oder Schutzgitters korrigieren gt Installationshinweise beachten e Sammelfehler gt Reset durch Netz aus einschalten gt Reset ber Pin 5 am Anschluss REMOTE Rote LED an der TC 600 leuchtet gt Differenzierte Fehleranzeige ber DCU oder HPU m glich gt Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen e Warnung gt Differenzierte Fehleranzeige uber DCU oder Erdschluss der Versorgungsspan HPU m glich S Rote LED an der TC 600 blinkt nung gt Netzteilspannung berpr fen Netzausfall gt Netzteilspannung auf Erdschluss berpr fen gt Netzanschluss des Netzteils berpr fen T standigen 30 PFEIFFER E VACUUM Steht kein Pfeiffer Vacuum Bediengerat zur Verf gung bitte den Pfeiffer Vacuum Service
46. ussger ten sind detailliert in Betriebsanleitungen der Einzelkomponenten beschrieben gt Informationen zu Betriebsanleitungen von Komponenten siehe Kapitel Zubeh r gt Nur Original Zubeh rteile verwenden e W hrend des Betriebs Steckerverbindungen nicht l sen e Vor Arbeiten am Hochvakuumflansch Stillstand des Rotors abwarten e Bei Verwendung von Sperrgas den Druck in der Schlauchverbindung durch ein berdruckventil auf 2 bar begrenzen e Leitungen und Kabel von hei en Oberfl chen gt 70 C fernhalten e Immer sichere Verbindung zum Schutzleiter PE gew hrleisten Schutzklasse e Turbopumpe und Antriebselektronik nur nach Autorisierierung durch Pfeiffer Va cuum getrennt voneinander betreiben In diesem Fall die Turbopumpe mit dem Schutzleiter PE verbinden e Gefahr des elektrischen Schlages bei Erdschluss der Betriebsspannung rote LED blinkt sofort beseitigen e Turbopumpe niemals mit Reinigungsmittel f llen oder betreiben 2 2 Bestimmungsgem e Verwendung CE Konformit t Die Herstellererkl rung erlischt wenn das Originalprodukt vom Betreiber ver ndert wird oder Zusatzeinrichtungen installiert werden gt Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet vor der Inbetriebnahme die Konformit t des Gesamtsystems im Sinne der geltenden EU Richtlinien zu berpr fen und entsprechend neu zu bewerten e Turbopumpe nur in Verbindung mit geeigneter Vorvakuumpumpe betreiben e Tur
47. ver 10 Service Service Pfeiffer Vacuum bietet erstklassigen Service e Betriebsmittel und Lagerwechsel vor Ort durch unseren FieldService e Wartung Reparatur im nahegelegenen ServiceCenter oder ServicePoint e Schneller Ersatz durch neuwertige Austauschprodukte e Beratung ber die kosteng nstigste und schnellste L sung Ausf hrliche Informationen Adressen und Formulare unter www pfeiffer vacu um net Service Wartung und Reparatur im Pfeiffer Vacuum ServiceCenter F r eine schnelle und reibungslose Abwicklung sind folgende Schritte notwendig gt RMA Formular und Unbedenklichkeitserkl rung herunterladen gt RMA Formular ausf llen und per Fax oder Email an Ihre Service Adresse sen den gt RMA R ckbest tigung von Pfeiffer Vacuum der Sendung beilegen gt Unbedenklichkeitserkl rung Kontaminationserkl rung ausf llen und der Sen dung beilegen Pflicht gt Alle Zubeh rteile demontieren gt Betriebsmittel ablassen gilt f r Turboumpen in Korrosivgasausf hrung oder mit Saugleistung gt 550 I s gt Antriebselektronik an der Pumpe belassen gt Flansch ffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschlie en gt Pumpe m glichst in der Originalverpackung versenden Kontaminierte Vakuumpumpen Mikrobiologisch explosiv oder radioaktiv kontaminierte Gerate werden grundsatz lich nicht angenommen Schadstoffe sind Stoffe und Verbindungen entsprechend der Gefahrstoff Verordnung in der derze
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