Home

Turbo-V 81-M Models:

1. 87 900 983 01 B HASZN LATI UTASIT S Biztons gi tmutat Turb molekul ris szivatty khoz A turb molekul ris szivatty k ahogy a k vetkez gepk nyvben le van irva nagy mozgasi energi val rendelkeznek a nagy forg si sebesseguk s a rotorok fajlagos t mege miatt A rendszer hib s m k d se p ld ul a rotor ll r sz rintkez si hib ja vagy ak r a forg r sz sz tt r se eset n a forg si energia felszabadulhat ZN BETSTVIN A berendez s k rosod s nak s a kezel szem lyzet s r l s nek megel z s re az ebben a g pk nyvben adott telep t si utas t sokat szigor an be kell tartani 34 87 900 983 01 B LTAL NOS INFORM CI A berendez st professzion lis felhaszn l k sz m ra tervezt k A felhaszn l nak a berendez s m k dtet se el tt el kell olvasnia ezt a g pk nyvet s a Varian ltal biztos tott b rmely inform ci t A Varian
2. Foreline Pressure mbar 4 0 100 seem N 50 W 35 W 60 W 75sccm m N i i 65W 50 sccm 2 E 30 sccm o s 20 sccm 5 10 8 15 sccm a 10 sccm c 5 sccm 10 10 1 10 Foreline Pressure mbar Nitrogen throughput and power curves 107 100 scan 45 W TEH 35 W 40 W 75 sccm 7 m x lt N JS N T 50 sccm N TN 2 E 30 sccm N N N X N 20 N 5 10 seem 2 15 sccm 2 a 10 sccm du 1 ia U E 5scem N N 1 l NN _ N 1 5 15W 20 W 25 W 30 W 10 I 10 1 10 Helium throughput and power curves 56 87 900 983 01 B Inlet Pressure mbar TECHNICAL INFORMATION E 100 10 seem 60 W 75 sccm Lit Sa 50 sccm 30 sccm 10 20 sccm
3. HE Turbo V 81 M HNV KOL 85 399
4. H IS Anopvaryere OVYKPOVACEI NA TIN va TAABOVY 2 bar Hao
5. Tia KOL napiav e OL 20 C 70 C vypacia O 95 e o o 10 AT US o
6. HE IS TOV To Turbo V 81 TI IS 11POZOXH TIA To Turbo V 81 M
7. 1000 Nm ISO 63 Varian IC 63250 DCMZ O el 4 22 Nm M10 4 11 Nm M8 H ConFlat TOV Varian To Turbo V 81 M va TOV IS O Turbo V 81 M Sevatepn NA
8. Turbo V 81 TOV 11 Technical Information opovcij AN KINAYNOZ TOV US OL
9. HE 1 advanced exchange service eva Yyeia logo WEEE pe WEEE To
10. 33 KINAYNOZ onpas Turbo V 81 M KINAYNOZ O POTOP 50 C Service Varian Varian advanced exchange service
11. anog EN 61010 1 ovveansia YPALHNQ AVTNAV TOV Tou 120 C ConFlat 80 C ISO KINAYNOZ
12. een xp on O 25 KOL Varian H Varian dev Turbo V 81 M un H 80000 max
13. 2 bar 5 C 35 C O 95 96 Turbo V 81 M controller Varian 87 900 983 01 B controller Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 To Turbo V 81 M Turbo V 81 M
14. ZN GEFAHR Um Sch den am Ger t zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise 4 87 900 983 01 B ALLGEMEINE INFORMATIONEN Dieser Apparat ist f r den fachm nnischen Gebrauch bestimmt Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weite ren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen unsachge m Rem Gebrauch durch ungeschultes Personal nicht autorisierten Eingriffen und MiRachtung der nationalen einschl gigen Normen Ubernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung Die Pumpen der Serie Turbo V 81 M sind Molekularpumpen f r Hoch und H chstvakuumanwendungen die jede beliebige Art von Gasen oder nicht korrosiven gasf rmigen Gemischen pumpen k nnen Sie sind nicht f r das Pumpen von Fl ssigkei ten oder Festk rperpartikeln geeignet Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine max 80000 1 min erreicht die von einem Hochleistungs drehstrommotor angetrieben wird Modell Turbo V 81 M enth lt keinerlei umweltsch dliche Substanzen und eignet sich deshalb auch f r Anwendungen die ein sauberes Vakuum erfordern In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informatio nen f r die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Ger ts aufgefuhrt Detaillierte technische Informationen sind im Anhang Technical Inform
15. Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 Turbo V 81 M voidaan asentaa mihin tahansa asentoon Kiinnitt k Turbo V 81 M vakaaseen asentoon liitt m ll turbopumpun sis ntulolaippa kiinte n vastalaippaan joka kest 1000 Nm n momentin akselinsa ymp ri Esimerkiksi laippa ISO 63 voidaan kiinnitt suurta rasitusta kest vill ter spuristimilla tyyppi Varian IC 63250 DCMZ Seuraavassa taulukossa on lueteltu tarvittavat puristimet jokaista laippakokoa kohti sek vaadittava kiristysmomentti LAIPPA KIINNIKE M R KIRISTYS MOMENTTI ISO 63 Kaksoiskiinnike 4 22 Nm ere mo Yksinkertainen 4 11 Nm kiinnike kierteitys M8 Turbopumppu ConFlat sis ntulolaipalla tulee kiinnitt tyhji kammioon sopivien Varianin mekaanisten varusteiden avulla Lis tietoja l ytyy Tekniset tiedot liitteest HUOM Turbo V 81 Mia ei voida kiinnitt perustansa kautta IS Huomio Turbo V 81 M kuuluu toiseen EN 61010 1 s nn sten mukaiseen asennusluokkaan tai ylij nniteluokkaan Kytke laite t m n vuoksi s hk verkkoon joka t ytt t m n luokan vaatimukset Ks Tekniset tiedot liitett lis varusteiden asentamista varten K YTT Kaikki turbopumpun oikeaan toimintaan liittyv t ohjeet l yd t valvontayksik n k ytt oppaasta Lue t m k ytt opas huolellisesti ennen k yt n aloittamista Voit saavuttaa parhaat rajapaineet l m
16. Compliance with UNI EN 292 1 UNI EN 292 2 EN CENELEC 55011 IEC 1000 4 2 ex 801 2 IEC 1000 4 3 ex 801 3 IEC 1000 4 4 ex 801 4 EN 61010 1 IEC 1010 1 EN 1012 2 Storage temperature 20 C to 70 C 76 Vac three phase 1350 Hz max 100 W max rs CFF 4 5 2 98 6 57 Compression ratio No 3 x 10 He 8 x 10 Ha 7 x 10 Base pressure mechanical with recommended 5 x 10 mbar 3 8 x 10 Torr forepump diaphragm 5 x 10 mbar 3 8 x 10 Torr Inlet flange ISO 63 KF 40 NW CFF 4 5 O D CFF 2 75 O D Foreline flange KF16 NW Rotational speed 1350 Hz max Cooling Natural air convection requirements Forced air or water optional Recommended mechanical Varian DS 42 DS 102 forepump dry pump Varian SH 100 Operating position According to standard DIN 28 428 the base pressure is that measured in a leak free test dome 48 hours after the comple Coolant water flow 10 l h 0 05 GPM tion of test dome bake out with a Turbopump fitted with a Con temperature 15 C to 35 C N Flat flange and using the recommended pre vacuum pump pressure 2 to 4 bar 30 to 60 Psi Operating ambient 5 C to 25 C temperature with NOTE natural air convec When the Turbo V 81 M has been stored at a tem tion perature less than 5 C wait until the system has Operating ambient 5 C to 35 C reached the above mentioned temperature temperature with forced air cooling or water B
17. While heating the vacuum chamber the temperature of the inlet flange must not exceed 120 C for a ConFlat flange and 80 C for a ISO flange While heating always use the water cooling A man Never use the turbopump when the inlet flange is not con nected to the vacuum chamber or is not blanked Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high temperatures may cause burns US caution Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump when in operation The bearings may become damaged Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pressure For pumping aggressive gases these pumps are fitted with a spe cial port to allow a steady flow of inert gas like Nitrogen or Helium for pump bearing protection see the appendix Technical Informa tion 51 INSTRUCTIONS FOR USE ES When employing the pump for pumping toxic flammable or radioactive gases please follow the required procedures for each gas disposal Do not use the pump in presence of explosive gases MAINTENANCE The Turbo V 81 M series pumps does not require any mainte nance Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel N WARNING Before carrying out any work on the system disconnect it from the mains vent the pump by opening the appropriate valve wait u
18. rations Varian ou du Varian advanced exchange service qui permet d obtenir un syst me r g n r en remplacement du syst me endommag NOTE Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour r paration ou advanced exchange service remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre r gion la fiche S curit et Sant jointe au pr sent manuel d instructions Une copie de cette fiche de vra tre mise dans l emballage de la pompe avant l exp dition En cas de mise au rebut de la pompe proc der son limina tion conform ment aux r glementations nationales concernant la gestion des d chets MISE AU REBUT Signification du logo WEEE figurant sur les tiquettes Le symbole ci dessous est appliqu conform ment la direc tive CE nomm e WEEE Ce symbole uniquement valide pour les pays de la Com munaut europ enne indique que le produit sur lequel il est appliqu NE doit PAS tre mis au rebut avec les ordures m nag res ou les d chets industriels ordinaires mais passer par un syst me de collecte s lective Apr s avoir v rifi les termes et conditions du contrat de vente l utilisateur final est donc pri de contacter le fournisseur du dispositif maison m re ou revendeur pour mettre en ceuvre le processus de collecte et mise au rebut 87 900 983 01 B INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas
19. ventil po kajte k m sa rotor neprestane ot a a k m teplota povrchu v vevy neklesne pod 50 sC V pr pade poruchy zariadenia vyh adajte kontaktn stredisko spolo nosti Varian kde v m pokazen syst m vymenia POZN MKA Sk r ne syst m odo lete na opravu alebo v menu mus te vyplni dotazn k Zdravie a bezpe nos Dotazn k pripojen k n vodu na pou itie je potrebn vyplni a odosla miestnemu predajcovi K piu dotazn ka vlo te do bal ka so syst mom a odo lite spolu s n m Ak je potrebn likvid cia syst mu mus prebehn v s lade so pecifick mi predpismi danej krajiny LIKVID CIA V znam loga WEEE nach dzaj ceho sa na t tkoch Aplikovanie doluozzna en ho symbolu dodr uje smernicu E s n zvom WEEE Tento symbol platn iba pre t ty Eur pskej nie znamen e v robok s t mto t tkom NESMIE by odstr nen spolu s be n m dom cim alebo priemyseln m odpadom ale sa mus odstr ni ako delen odpad Vyz vame preto kone n ho u vate a aby sa skontaktoval s dod vate om pr stroja i u je to v robca alebo predajca za elom jeho likvid cie pod a zmluvn ch podmienok predaja N J 87 900 983 01 B NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke Turbomolekularne rpalke opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko koli ino kineti ne energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifi n
20. 15 sccm 10 seem N 1 LL N n 25W N am L I 20W 35 W 50 W 10 I I L 10 1 10 Foreline Pressure mbar Argon throughput and power curves 57 87 900 983 01 B INLET SCREEN INSTALLATION The inlet screens mod 969 9300 and 969 9309 prevent the blades of the pump from being dam aged by debris greater than 0 7 mm diameter The inlet screen however does reduce the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure 1 VACUUM TE The screen can be mounted on each pump TECHNICAL INFORMATION The screen can be removed as shown in the fol lowing figure cat The following figure shows the overall flange di mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange and pump with CFF flange dimensions are in inches mm r Alle I i 07 777 Z SA NA lt AT Z lt a i 1 Z Vi r Z I Z V A LL ZA A 4 AE N 87 900 983 01 B HEATER BAND INSTALLATION The heater band model 969 9801 and 969 9802 can be used to heat the pump casing when a bakeout is needed The heater band is applied to the upper part of the pump casing as shown in the figure and heats it to a temperature of about 80 C The heater band must be mounted such that there is perfect thermal contact with the pump wall to ob tain fast and efficient heatin
21. As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instrug es tem uma alta quantidade de energia cin tica devida alta velocidade de rotac o unida massa espec fica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor a energia de rotac o pode ser liberada Para evitar danos aparelhagem e prevenir les es aos operadores necess rio seguir atentamente as instrug es de instalac o descritas neste manual 13 87 900 983 01 B INFORMAG ES GERAIS Esta aparelhagem destina se a uso profissional O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruc es e todas as informag es adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a aparelhagem A Varian n o se responsabiliza pela inobserv ncia total ou parcial das instruc es pelo uso indevido por parte de pessoas n o treinadas por operac es n o autorizadas ou pelo uso contr rio s normas nacionais espec ficas As bombas da s rie Turbo V 81 M s o bombas turbomoleculares para aplicac es de alto e ultra alto v cuo em grau de bombear qualquer tipo de g s ou de composto gasoso n o corrosivo N o s o adequadas para aspirar l quidos ou part culas s lidas O efeito da bomba obtido atrav s de uma turbina rotativa de alta velocidade 80000 r p m m x movida por um motor el ctrico trif sico de alto rendimento O Turbo V 81 M totalmente isentos de agentes
22. Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata NOTA La pompa non pu essere danneggiata rimanendo semplice mente esposta all atmosfera Si consiglia comunque di mante nere chiusa la pompa fino al momento dell installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere INSTALLAZIONE US ATTENZIONE Staccare l adesivo e togliere il tappo di protezione solo al mo mento del collegamento della turbopompa al sistema PREPARAZIONE PER L INSTALLAZIONE La Turbo V 81 M viene fornita in un imballo protettivo speciale se si presentano segni di danni che potrebbero essersi verifi cati durante il trasporto contattare l ufficio vendite locale Durante l operazione di disimballaggio prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la pompa e a non sottoporla ad urti o vibrazioni Non disperdere l imballo nell ambiente Il materiale completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85 399 per la tutela dell ambiente Non installare e o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici pioggia gelo neve polveri gas aggressivi in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio Durante il funzionamento necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali pressione massima 2 bar oltre la pressione atmosferica temperatura da 5 C a 35 C vedere grafico nell appendice Technical Information umidit relativ
23. ho syst mu ConFlat a 80 C u obrubov ho syst mu ISO Pri vyhrievan pou vajte v dy chladenie vodou AN VAROVANIE Nikdy nepouzivajte turbovyvevu ak vstupn priruba nie je pripojen k v kuovej komore alebo nie je zablendovan V priebehu zahrievania sa nikdy nedotykajte turbovyvevy ani iadneho pr slu enstva Vysok teploty m u sp sobi pop leniny 45 N VOD K POU ITIU IS UPOZORNENIE Dbajte na to aby v veva po as innosti nebola vystaven n razom kmitaniu alebo prudk m pohybom Mohli by sa po kodi lo isk V vevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertn ho plynu zbaven ho prachu a ast c Tlak na preplachovacom vstupe V vevy s vybaven peci lnym vstupom na vy erp vanie agres vnych plynov ktor umo uj stabiln tok inertn ho plynu Dus k a h lium kv li ochrane lo sk v vevy pozri dodatok Technick inform cie VAROVANIE Ak vyvevu pouzivate na vyCerpavanie toxickych horfavych alebo r dioaktivnych plynov dodr iavajte prosim po adovane postupy pre likvid ciu jednotlivych plynov Nepouzivajte vyvevu v pritomnosti vybu nych plynov DRZBA erpadl s rie Turbo V 81 M nevy aduj iadnu dr bu Ak ko vek pravy a opravy syst mu mus vykona autorizovan person l A VAROVANIE Sk r ne za nete oko vek robi v syst me odpojte ho od zdroja nap jania vyvetrajte v vevu tak e otvor te pr slu n
24. n obsluhy na ur it postup nebo innosti kter by v p pad nedodr en mohly zp sobit v n raz IS VAROV N Varovn hl Seni jsou uvedena pred postupy kter by v pripad nedodr eni mohly po kodit zafizeni POZN MKA Pozn mky obsahuji d lezit informace prevzat z textu USKLADNENI Aby byla zaji t na maxim ln provozuschopnost a spolehlivost turbomolekularnich vyv v firmy Varian musite dodr ovat n sledujici pokyny P i p eprav p em s ov n a skladov n vyv v byste nem li p ekra ovat n sleduj c technick podm nky prost ed e Teplotn rozp t 20 C a 70 C Rozp ti vihkosti O az 95 bez sra eni e turbomolekul rn v v vy mus u ivatel po dod vce a poprv vzdycky spoust t pozvoln e skladovatelnost turbomolekul rni v v vy je 10 m s c ode dne doru eni US VAROV N Pokud dojde z jak hokoli d vodu k prekro en skladovac Ih ty vyv vu mus te vr tit v robci Informujte se pros m u mistniho z stupce pro prodej a servis v v v firmy Varian PR RU KA K POU IT 1 VAROV N Aby se zamezilo probl m m s odply ovanim nepouzivejte hole ruce pfi manipulaci s komponenty kter budou vystaveny vakuu VZdy pouzivejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu POZNAMKA V normalnim prost ed se vyv va Turbo V 81 M nem e poskodit Presto doporucujeme abyste ji nechali zakrytou dokud nebude
25. ne pas toucher mains nues les l ments devant tre expos s au vide Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropri e NOTE La pompe ne peut s endommager en restant simplement expo s l atmosph re Toutefois afin d viter toute pollution due la poussi re il est conseill de le garder dans son emballage clos jusqu au moment de l installation INSTALLATION IS ATTENTION Ne d coller l adh sif et ne retirer le couvercle de protection qu au moment de brancher la turbopompe au syst me PREPARATION POUR L INSTALLATION Le Turbo V 81 M est livr dans un emballage de protection sp cial en cas d endommagement de l emballage pouvant s tre pro duit pendant le transport contacter le bureau de vente local Pendant l op ration d ouverture de l emballage veiller tout par ticulierement ne pas laisser tomber la pompe et ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration Ne pas abandonner l emballage dans la nature Le mat riel est enti rement recyclable et conforme la directive CEE 85 399 en mati re de protection de l environnement Ne pas installer et ou utiliser la pompe dans des milieux expo S s aux agents atmosph riques pluie gel neige la pous si re aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou fort risque d incendie Pendant le fonctionnement il est n cessaire de respecter les conditions environnementales suivantes
26. necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale 1 87 900 983 01 B INFORMAZIONI GENERALI Questa apparecchiatura amp destinata ad uso professionale L utiliz Zatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell utilizzo delllapparecchiatura La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilit dovute all inosservanza totale o parziale delle istruzioni ad uso improprio da parte di personale non adde strato ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normati ve nazionali specifiche Le pompe della serie Turbo V 81 M sono pompe turbomoleco lari per applicazioni di alto e ultra alto vuoto in grado di pompa re qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso non corrosivo Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle soli de L effetto pompante ottenuto tramite una turbina rotante ad eleva ta velocit 80000 giri min max mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento Il Turbo V 81 M totalmente privo di agenti contaminanti ed quindi adatto per applicazioni che richie dono un vuoto pulito Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni ne cessarie a garantire la sicurezza dell operatore durante l utilizzo dell apparecchiatura Informazioni dettagliate sono fornite nel l appendice Technical information Questo manuale utilizza le s
27. powietrze lub oboj tny gaz bez py u lub innych cz stek Ci nienie wej ciowe 39 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA poprzez odpowiedni wlot musi by ni sze od 2 bar ponad ci nienie atmosferyczne Dla pompowania niszcz cych gaz w pompy te s wyposa one w odpowiedi wlot poprzez kt ry nale y dostarczy pompie przep yw oboj tnego gazu Azot i Hel dla zabezpieczenia o ysk Patrz dodatek Informacje Techniczne AN NIEBEZPIECZENSTWO Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gaz w toksycznych atwo palnych lub radioaktywnych nale y wykona odpowiednie procedury typowe dla ka dego z gaz w Nie stosowa pompy w obecno ci gaz w wybuchowych KONSERWACJA Pompy z serii Turbo V 81 M nie wymagaj adnej konserwacji Jakakolwiek interwencja musi by wykonana przez upowa niony personel AN NIEBEZPIECZENSTWO Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie nalezy odtaczy go od zasilania otworzy odpowiedni zaw r dla wlotu powietrza odczeka az do catkowitego zatrzymania wirnika i odczeka az temperatura powierzchni pompy bedzie wynosita ponizej 50 C W przypadku usterki mo liwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego Varian lub Varian advanced exchange service kt ry pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu w zast pstwie uszkodzonego systemu INFORMACJA Przed wysy k do konstruktora systemu do naprawy lub advanced exchange service nale y obowi zkowo wype ni i prz
28. 81 M nie mo e by mocowany poprzez w asn podstaw US uwaa Turbo V 81 M nale y do drugiej kategorii instalacji lub nadnapi cia przewidzianej przez norm EN 61010 1 Dlatego te pod czy urz dzenie do linii zasilania kt ra spe ni te wymogi Aby zainstalowa opcjonalne akcesoria nale y zapozna si z Informacje Techniczne U YTKOWANIE Wszystkie instrukcje dotycz ce prawid owego funkcjonowania pompy turbinowej zosta y opisane w instrukcji u ytkowania jednostki kontroli Przed u ytkowaniem uwa nie przeczyta wspomniane instrukcje By uzyska optymalne dopuszczalnie ci nienie przewidziane zosta o ewentualne nagrzanie systemu Podczas ewentualnego nagrzewania kamery pr niowej temperatura na ko nierzu z cznym nie powinna przekracza 120 C z wywinietym ko nierzem ConFlat oraz 80 C i z wywini tym ko nierzem ISO Zawsze stosowa ch odzenie nagrzewania wodne podczas fazy A NIEBEZPIECZENSTWO Nigdy nie nalezy uruchomi pompe w przypadku kiedy kotnierz wejsciowy nie jest podtaczony do komory lub nie jest zamkniety z kotnierzem zamkniecia Nie dotyka turbopompy i jej ewentualnych akcesori w podczas operacji nagrzewania Wysoka temperatura mo e spowodowa uszkodzenia ciata na osobach 1 UWAGA Unika uderze waha lub gwa townych przesuni turbopompy podczas jej dzia ania Mog uszkodzi si o yska Dla wlotu do powietrza pompy zastosowa
29. 87 900 983 01 B
30. M lahko montirate v tevilne pozicije Turbo V 81 M namestite v stabilem polo aj tako da pove ete vhodno prirobnico turbo rpalke na pritrjeno tevno prirobnico ki lahko prenese navor 1000 Nm okoli svoje osi ISO 63 prirobnico lahko na primer pritrdite s pomo jo jeklenih dr al kot pri Varian modelu IC 63250 DCMZ Naslednja tabela za vsako prirobnico prikazuje tevilo potrebnih pritrjeval ter potreben navor za pritrjevanje PRIROBNICA NAPRAVA ZA N NAVOR PRITRJEVANJE ISO 63 22 Nm 4 11 NM M10 dr ala M8 pritrjevalo Turbo rpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko le i e s pomo jo primerne Varian strojne opreme Za dodatne informacije glejte prilogo Tehni ne informacije OPOMBA Naprave Turbo V 81 M ne morete fiksirati z njegovo lastno spodnjo ploskvijo IS POZOR Po direktivi EN 61010 1 spada Turbo V 81 M v skupino za drugo name anje ali prekovolta o Napravo prilju ite na napetost ki je v vskladu z zgornjo kategorijo Za namestitev opcijski dodatkov glej Tehni ne informacije UPORABA Vsa navodila za pravilno delovanje turbo rpalke se nahajajo v priro niku kontrolne enote Pazljivo preberite ta priro nik pred uporabo Za dosego bolj ih mejnih pritiskov je mo no segreti sistem Pri morebitnem segrevanju vakuumske komore temperatura dovodne prirobnice ne sme prese i 120 stopinj C s prirobnicami ConFlat in 80
31. S IS FIGYELEM G zkivon si probl m k elker l s re ne haszn ljon puszta kezeket v kuumnak kitett komponensek kezel s re Mindig haszn ljon keszty t vagy m s alkalmas v delmet MEGJEGYZ S A k rnyezetnek val norm l kitetts g nem tudja k ros tani a Turbo V 81 Mt M gis aj nlatos z rva tartani a rendszerbe val telep t sig gy megakad lyozva a por ltali szennyez d s b rmely form j t TELEP T S 13 FIGYELEM Ne t vol tsa el az ntapad s v d kupakot a turb szivatty nak a rendszerhez val csatlakoztat sa el tt Ne telep tse valamint ne haszn lja a szivatty t atmoszf rikus k zegeknek kitett k rnyezetben es h j g porban agressz v g zokban illetve robban vagy t zvesz lyes k rnyezetben zemeltet s k zben a k vetkez k rnyezeti felt teleket kell biztos tani maxim lis nyom s 2 bar a l gk ri nyom s felett h m rs klet 5 C t l 35 C ig l sd a nyom s h m rs klet diagramot a M szaki inform ci fuggel kben relativ p ratartalom 0 95 nem kondenz l M gneses mez k jelenl t ben a szivatty t v deni kell ferrom gneses pajzs seg ts g vel R szletes inform ci rt l sd M szaki inform ci A Turbo V 81 M sz ria turb molekul ris szivatty it kiz r lag a megfelel Varian vez rl egys gek egyik vel szabad haszn lni s a szivatty kat el z leg egy els dleges szi
32. ale je nutno ho p edat do pat i n ch provozn ch sb ren kde mus b t t d n a likvidov n odd len od m stsk ho odpadu U ivateli kter m n v robek likvidovat doporu ujeme aby se nakontaktoval p mo s v robcem nebo prodejcem kter se po pat i n m prov en term n a smluvn ch podm nek postar o kompletn likvidaci uveden ho v robku 87 900 983 01 B N VOD K POUZITIU Bezpe nostny n vod pre Turbomolekul rne vyvevy Turbomolekul rne vyvevy ak su n sledovne popisovan obsahuju velke mno stvo kinetickej energie vdaka vysokej ota avej rychlosti v kombinacii s konkretnym objemom ich rotorov V pripade syst movej poruchy napr pri kontaktu rotora statora alebo pri zr caniu rotora sa mo e uvolnit rota na energia AN RZEGWNTA Pokyny k in tal cii uveden vtomto n vode musia byt pr sne dodr ovan za elom prevencie zranenia obsluhy 43 87 900 983 01 B VSEOBECN INFORM CIE Toto zariadenie je ur en pre profesion lnych pracovnikov Sk r nez za nete zariadenie pouzivat pre itajte si navod na pou itie a v etky dal ie pokyny spolo nosti Varian Spolo amp nost Varian nenesie Ziadnu zodpovednost za ak kolvek udalosti zapri inen postupom ktory nie je v sulade dokonca ani v iasto nom s lade stymito pokynmi zapr inen nespr vnym pou van m zariadenia nepou en mi osobami neopr vnenou pravou zariadenia alebo ak mko vek postupom
33. aria o gas inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attra verso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar oltre la pressione atmosferica Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte Azoto o Elio per proteggere i cu scinetti vedere l appendice Technical Information ISTRUZIONI PER L USO A PERICOLO Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tos sici infiammabili o radioattivi seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi MANUTENZIONE Le pompe della serie Turbo V 81 M non richiedono alcuna manu tenzione Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato A PERICOLO Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall alimentazione mandare all aria la pompa aprendo l apposi ta valvola attendere fino al completo arresto del rotore ed at tendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferio re a 50 C In caso di guasto possibile usufruire del servizio di riparazio ne Varian o del Varian advanced exchange service che per mette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello guasto NOTA Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o a dvanced exchange service indispensabile compilare e far per venire al loca
34. between the nuts and flange Attach the units and tighten each one in turn Re peat the sequential tightening until the flange faces meet ES caution Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock 87 900 983 01 B Connection configurations TECHNICAL INFORMATION Connection B FORE VACUUM PUMP A flange KF 16 NW is available to connect the Turbo V 81 M pump to the fore vacuum pump A hose or vacuum approved pipe can be used If a rigid pipe is used any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows NOTE The Turbo V 81 M pump is characterized by its high compression ratio also for oil vapors When using a mechanical oil sealed pump it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil backstreaming Connection C ELECTRICAL The turbopump is connected to the controller through an 6 pin connector Pins B C and D are the 3 phase supply to the motor pins A and F are connected to the temperature sensor NTC type 30 KQ resistance at 25 C and pin E is connected to the pump ground If the temperature sensor is disconnected the pump will not start To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 C the sensor automatically cuts out the power supply 87 900 983 01 B PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETI
35. chauffage La temp rature lev e peut tre l origine de l sions graves IS ATTENTION Lorsque la turbopompe fonctionne viter tout choc oscillation ou d placement brusque car les paliers pourraient se d t riorer Pour le refoulement de l air de la pompe utiliser de l air ou du gaz inerte exempt de poussi re ou de particules La pression d entr e travers la porte pr vue cet effet doit tre inf rieure 2 bar au del de la pression atmosph rique Pour le pompage de gaz agressifs ces pompes sont dot es d une porte sp ciale travers laquelle il est n cessaire de four nir la pompe un flux de gaz inerte Azote ou H lium pour prot ger les paliers voir l appendice Technical Information MODE D EMPLOI EXT Lorsque la pompe est utilis e pour le pompage de gaz toxi ques inflammables ou radioactifs suivre les proc dures typi ques de chaque gaz Ne pas utiliser la pompe en pr sence de gaz explosifs ENTRETIEN Les pompes de la s rie Turbo V 81 M ne demandent aucun entre tien Toute intervention doit tre effectu e par un personnel agr EXT Avant toute intervention sur le syst me le debrancher refouler l air de la pompe en ouvrant la soupape prevue cet effet attendre jusqu l arr t complet du rotor et jusqu ce que la temp rature superficielle de la pompe soit inf rieure 50 C En cas de panne il est possible de b n ficier du service r pa
36. de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen moet de bij deze handleiding gevoegde kaart Veiligheid en Gezondheid volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd Een kopie van deze kaart moet v r versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd Mocht het systeem gesloopt worden ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk AFVALVERWERKING Betekenis van het logo WEEE op de etiketten Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG richtlijn WEEE Dit symbool alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap geeft aan dat het product waarop het is aangebracht NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval maar gescheiden moet worden ingezameld De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de leverancier van het apparaat zij het de fabrikant of een wederverkoper om het proces van gescheiden inzameling en verwerking in gang te zetten na de van toepassing zijnde termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben gecontroleerd 87 900 983 01 B BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re turbopumper De molekyl re turbopumper der er beskrevet i n rv rende brugsanvisning har en stor kinetisk energi der skyldes den h je omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke veegt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel p grund af en ko
37. dimensjon FLENS TYPE KLEMME ANT STRAMME MOMENT ISO 63 Dobbel klemme 4 22 Nm gjenge M10 Enkel klemme 4 11 Nm gjenge M8 Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle l sedelene fra Varian For detaljer henvises det til Teknisk informasjon MERK Turbo V 81 M m ikke festes gjennom fundamentet US FORSIKTIG Turbo V 81 M h rer til installasjonsklasse eller overspenningsklasse nummer 2 i f lge EN 61010 1 standarden Kople derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller kravene for denne klassen For installasjon av vises det til Teknisk informasjon tilleggsutstyr BRUK Anvisningene for korrekt bruk av turbopumpen er beskrevet i styreenhetens bruksanvisning Les n ye denne manualen f r du bruker pumpen For forbedre grensetrykket er det mulig varme opp pumpen Mens oppvarmingen av vakumkammeret p g r m temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120 C for en ConFlat flens og 80 C for en ISO flens Man m alltid bruke vannkj ling under oppvarmingsoperasjonene A ADVARSEL Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret eller ikke er lukket med lukkeflensen Ikke ber r turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen De h ye temperaturene kan f re til brannskader US FORSIKTIG Unng st t svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpe
38. en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energ a cin tica debido a la alta velocidad de rotaci n en combinaci n a la masa espec fica de sus rotores En el caso de un da o del sistema por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor la energ a de rotaci n podr a ser liberada A EE Para evitar da os a los equipos y prevenir lesiones a los operadores es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalaci n descritas en el presente manual 10 87 900 983 01 B INFORMACI N GENERAL Este equipo es para uso profesional El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra informaci n suplementaria facilitada por Varian antes de usar el aparato Varian se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones al uso impropio por parte de personal no preparado a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales espec ficas Las bombas de la serie Turbo V 81 M son bombas turbomoleculares para aplicaciones de alto y ultra alto vac o capaces de bombear cualquier tipo de gas o compuesto gaseoso no corrosivo No son adecuadas para bombear l quidos ni part culas s lidas El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad 80000 r p m m x movida por un motor el ctrico trif sico de alto rendimiento El Turbo V 81
39. ene postopke pri katerih lahko pride do resnih poSkodb Ce se jih ne drzi IS POZOR Sporo ila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do poskodbe opreme OPOMBA Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila SHRANJEVANJE Da bi zagotovili maksimalni u inek in zanesljivost rpalk Varian Turbomolecular se morate dr ati naslednjih vodil Pri po iljanju premikanju in shranjevanju rpalk ne smete prese i naslednjih specifikacij e temperaturno obmo je 20 C do 70 C obmo je relativne vla nosti O do 95 brez kondenza e Turbomolekularne rpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko e ivljenjska doba turbomolekularne rpalke je 10 mesecev od datum po iljanja IS POZOR e zaradi kakr nega koli razloga prese ete ivljenjsko dobo je treba rpalko vrniti v tovarno Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Varian Vacuum NAVODILA ZA UPORABO IS POZOR Komponent ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami saj boste tako prepre ili probleme pu anja Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno za ito OPOMBA Normalna izpostavljenost na okolje ne more po kodovati naprave Turbo V 81 M Kljub temu je priporo ljivo da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem S tem boste prepre ili onesna enje s prahom MONTA A IS pozom Lepljiv in za itni pokrov ne odstranjujte do
40. henkil n teht v ksi ZN ENE Ennen mink n tyyppist toimenpidett j rjestelm ss kytkek se irti s hk verkosta p st k pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin t ydellist pys htymist Antakaa t m n j lkeen pumpun pintal mm n laskea alle 50 C en Laitteen vahingoittuessa on mahdollista k ytt Varianin korjauspalvelua tai Varian advanced exchange service vaihtopalvelua jonka kautta saatte uudistetun pumpun vahingoittuneen tilalle HUOM Ennen j rjestelm n l hett mist valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on ehdottomasti t ytett v ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon Turvallisuus ja Terveys kaavake joka on liitteen ohjekirjassa Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liitt j rjestelm n pakkaukseen ennen sen l hett mist Mik li pumppu t ytyy romuttaa toimikaa sen h vitt misess kansallisen lains d nn n m r m ll tavalla H VITT MINEN Pakkausmerkinn iss olevan WEEE logon merkitys Alla n kyv merkki on lis tty pakkaukseen EY n ns WEEE direktiivin mukaisesti Merkki koskee ainoastaan Euroopan Unionin j senmaita tarkoittaa ett tuotetta EI saa h vitt tavallisen kotitalous tai teollisuusj tteen mukana vaan se on toimitettava erilliseen ker yspisteeseen Loppuk ytt j kehotetaan sen vuoksi ottamaan ker ys ja h vitt misprosessia varten yhteytt laittee
41. nainstalov na do syst mu a tim se ochr nila p ed jak mkoli zne i t n m a prachem INSTALACE IS VAROV N P ed p ipojen m turbomolekul rn vyv vy do syst mu nesund vejte adhezn a ochrann v ko P PRAVA K INSTALACI V v va Turbo V 81 M se dod v ve speci ln m ochrann m obalu Pokud toto balen vykazuje zn mky po kozen k n mu mohlo doj t b hem p epravy kontaktujte va i m stn prodejn pobo ku P i vybalov n d vejte pozor aby za zen nespadlo a chra te jej p ed v emi nenad l mi n razy ot esy nebo vibracemi Balic materi l nelikvidujte nedovolen m zp sobem Tento materi l Ize 100 recyklovat a spl uje po adavky sm rnice EEC 85 399 V v vu neinstalujte v prost ed kter je vystaveno atmosf rick m vliv m d sn h led prachu agresivn m plyn m ve v bu n m prost ed nebo v prost ed s vysok m nebezpe m po ru Za provozu je t eba dodr ovat n sleduj c podm nky dan prost ed m maxim ln tlak 2 bary nad atmosf rick m tlakem teplota od 5 C do 35 C viz diagram tlak teplota v p loze Technick informace relativn vlhkost 0 95 bez sr en V p tomnosti magnetick ch pol se v v va mus chr nit feromagnetick m st n n m Viz podrobn informace v p loze Technick informace 87 900 983 01 B Turbomolekul rn amp erpadlo fady Turbo V 81 M I
42. necess rio enviar outra vez a bomba para o fabricante Para mais informac es contatar o representante local da Varian INSTRUC ES PARA O USO US ATEN O Para evitar problemas de perdas de g s n o tocar com as m os os componentes destinados exposic o do vacuo Utilizar sempre luvas ou outra protec o adequada NOTA O Turbo V 81 M n o pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto atmosfera Aconselha se no entanto manter a bomba fechada at o momento da instala o no sistema para evitar eventuais acumula es de p INSTALA O US ATEN O Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protec o somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema PREPARA O PARA A INSTALA O O Turbo V 81 M fornecido numa embalagem protectora especial se esta apresentar sinais de danos que poderiam ter ocorrido durante o transporte entrar em contacto com o escrit rio de vendas local Durante a remo o da embalagem tomar muito cuidado para n o deixar cair a bomba e para n o submet la a choques ou vibra es N o depositar a embalagem no meio ambiente O material completamente recicl vel e em conformidade com a norma CEE 85 399 para a protec o do meio ambiente N o instalar e ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosf ricos chuva gelo neve poeiras gases agressivos em ambientes com possibilidade de explos o ou com elevado r
43. nem vonhat felel ss gre olyan esem nyek rt amelyek az ezen utas t soknak val ak r r szbeni meg nem felel s szakk pzetlen szem lyek ltali nem megfelel haszn lat a berendez sbe val jogosulatlan beavatkoz s vagy a konkr t nemzeti szabv nyokkal ellent tes b rmely m velet miatt t rt ntek A Turbo V 81 M sz ria szivatty i turb molekul ris szivatty k melyeket magas s rendk v l magas v kuumalkalmaz sokhoz terveztek hogy b rmely t pus nem korrod l g z illetve g zvegy let szivatty z s ra k pes legyen Nem alkalmas folyad kok vagy szil rd r szecsk k szivatty z s ra A szivatty z si m veletet egy nagyteljes tm ny 3 f zis elektromos motorral hajtott nagysebess g turbina max 80000 fordulat perc biztos tja A Turbo V 81 M szennyez anyagokt l mentes s ez rt alkalmas tiszta v kuumot ig nyl alkalmaz sokra A k vetkez bekezd sek a berendez st haszn l kezel biztons g nak garant l s hoz sz ks ges sszes inform ci t tartalmazz k R szletes inform ci t tal l a M szaki inform ci f ggel kben Ez a k zik nyv a k vetkez szabv nyos protokollt haszn lja A mun A figyelmeztet Uzenetek felhivj k a kezel figyelm t egy konkr t elj r sra vagy gyakorlatra amit ha nem k vetnek megfelel en sulyos serileshez vezethet US FIGYELEM A Figyelem zenetek olyan elj r sok el tt jelennek meg amelyeket ha nem k vetne
44. operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed 49 87 900 983 01 B GENERAL INFORMATION This equipment is destined for use by professionals The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment Varian will not be held responsible for any events occurring due to non compliance even partial with these instructions im proper use by untrained persons non authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards The Turbo V 81 M is a turbo molecular pump for high and ultra high vacuum applications which can pumps any type of non corrosive gas or gas compound It is not suitable for pumping liquids or solid particles The pumping action is obtained through a high speed turbine max 80000 rpm driven by a high performance 3 phase elec tric motor The Turbo V 81 M is free of contaminating agents and therefore is suitable for applications requiring a clean vacuum The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equip ment Detailed information is supplied in the appendix Techni cal Information This manual uses the following standard protocol msme The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practic
45. p slu enstv viz Technick informace POUZITI Vesker pokyny pro spr vn pou ivani turbo erpadla sou uveden v p ru ce dic jednotky Pred pou it m erpadla si tuto p ru ku pozorn p e t te Pro dosa en lep ho maxim ln ho tlaku m ete syst m erpadla zah t P i zah v n vakuov komory erpadla nesm teplota na vstupn p rub p ekro it 120 C v p pad p ruby typu ConFlat a 80 C v p pad p ruby ISO P i zah v n pou vejte v dy chlazen vodou A V STRAHA Turbov v vu nikdy nepou vejte nebude li vstupn p ruba p ipojen k vakuov komo e B hem zah v n se turbov v vy ani jej ho p slu enstv nedot kejte Vysok teplota m e zp sobit pop leniny US VAROV N B hem chodu chra te v v vu p ed n razy vibracemi a prudk mi pohyby Mohly by se po kodit lo iska Pro odplyn n v v vy pou vejte vzduch nebo inertn plyn kter je zbaven prachu a sm tek Tlak p i odv tr vac m otvoru mus b t men ne 2 bary nad atmosf rick m tlakem Pro erp n agresivn ch plyn jsou tyto v v vy vybaveny speci ln m otvorem kter umo uje plynul p tok inertn ho plynu Dus k nebo helium pro ochranu lo isek v v vy viz p lohu Technick informace 42 P RU KA K POU IT A Pokud pou ivate vyv vu pro erpani toxickych hoflavych nebo radioakti
46. ruby turbov vevy k pevnej pr rube upevnenej tak aby vydr ala nam hanie kr tiacim momentom 1000 Nm okolo svojej osi Napr klad pr ruba typu ISO 63 m e by pripevnen oce ov mi svorkami s vysokou pevnos ou napr model Varian IC 63250 DCMZ Nasleduj ca tabu ka ukazuje pre ka d typ pr ruby potrebn po et svoriek a pr slu n upev ovac kr tiaci moment PR RUBA UPEV OVAC PO ET MECHANIZMUS ISO 63 svorky M10 kle tiny M8 Turbov veva so vstupnou pr rubou ConFlat mus by pripojen k v kuovej komore pomocou vhodn ho hardware zna ky Varian Podrobn inform cie sa nach dzaj vdodatku Technick inform cie U AHOVAC KR TIACI MOMENT POZN MKA Zariadenie Turbo V 81 M sa nem e upevni pomocou vlastnej z kladne IS UPOZORNENIE Zariadenie Turbo V 81 M patr do druhej in tala nej prep ovej kateg rie pod a smernice EN 61010 1 Zariadenie je potrebn pripoji ku zdroju nap jania ktor vyhovuje uvedenej kateg rii O in tal cia doplnkovej v bavy pozri pr ru ku Technick Inform cie POU ITIE V etky in trukcie potrebn pre spr vnu prev dzku turbo erpadla s uveden v pr ru ke kontrolnej jednotky Pred pou it m si t to pr ru ku pozorne pre tudujte Aby sa dosiahli lep ie hrani n hodnoty tlaku mo no syst m vyhria Pri zahrievan v kuovej komory nesmie teplota na vstupnej pr rube prekro i hodnotu 120 C u obrubov
47. types of water cooling kits are available to be mounted when the pump is used under heavy load conditions or when air cooling is insufficient The two model part numbers are 969 9823 me tallic model and 969 9824 plastic model 1 CAUTION The items of the plastic model kit must be assem bled as shown in the following figure The assembled kit must be screwed into the suit able holes of the pump body with a recommended closing torgue of 5 Nm The water kit is assembled as shown in the figure 60 87 900 983 01 B Connect the plate to the pump bottom with four screws M3x20 peu VACUUM TER 2 61 TECHNICAL INFORMATION 2 Assemble the metal or the plastic kit as shown Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or us ing a closed circuit cooling system The water temperature must be between 15 C and 35 C with an inlet pressure between 2 and 4 bar NOTE The water electrical conductance must be lt 500 us cm When the conductance is higher in closed water circuit the use of up to 20 of Ethyl Glycole is suggested VENT ACCESSORIES The vent valve allows to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an automatic vent operation There are several vent valves available and each vent valve has to be driven by its own control unit NOTE Refer
48. AN VIGY ZAT Amikor a szivatty t m rgez gy l kony vagy radioaktiv g zok szivattyuzasara haszn lja k rem k vesse az egyes g zok rtalmatlanit s hoz sz ks ges elj r sokat Ne haszn lja a szivatty t robban g zok jelenl t ben KARBANTART S A Turbo V 81 M t pus szivatty k nem ig nyelnek karbantart st A rendszeren v gzett b rmely munk t jogosult szem lyzetnek kell elv geznie AN VIGY ZAT A rendszeren b rmely munka v gz se el tt v lassza le azt a t pfesz lts gr l szell ztesse a szivatty t a megfelel szelep kinyit s val v rjon amig a rotor forg sa le ll s amig a szivattyu fel let nek h m rs klete 50 C al esik Meghib sod s eset n l pjen kapcsolatba a helyi Varian szervizk zponttal ahol tudnak adni egy helyre llitott rendszert a hib s helyett MEGJEGYZES Miel tt jav t sra vagy cser re visszak ldi a rendszert a gy rt hoz az ehhez a g pk nyvh z csatolt Eg szs g s biztons g lapot ki kell t lteni s el kell k ldeni a helyi kereskedelmi irod hoz A lap egy m solat t sz ll t s el tt be kell illeszteni a rendszercsomagba Ha a rendszert le kell selejtezni azt rtalmatlan tani kell a konkr t nemzeti szabv nyoknak megfelel en MEGSEMMIS T S A c mk n jelenl v WEEE logo jelent se Az al bb l that szimb lum az EK WEEE elnevez s ir nyelv vel sszhangban ker l alkalmaz sra Ez a szimb lum mely csak a
49. C FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation The result is increased electrical power consump tion by the motor most of which is dissipated in the rotor Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radia tion and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool This effect is strongly dependant from the inten sity time function and distribution of the magnetic field In general therefore an increase in pump current can be expected If this increase is lower than 50 of the current value drawn by the motor in high vacuum opera tion no particular problem should be expected However if the effect is grater than the case should be carefully reviewed by Varian s specialist As a matter of fact in case of high magnetic fields also important forces might be generated and ap plied to the rotor TECHNICAL INFORMATION ACCESSORIES AND SPARE PARTS Air cooling kit 0 5 m cable Air cooling kit extension cable 5 m 969 9940 For a complete overview of Varian s extensive product lines please refer to the Varian catalog VENT VALVE MODEL SELECTION TABLE CONTROL UNIT MODEL VENT VALVE PART NUMBER Turbo V 70 Rack controller P N 969 9405 969 9505 V70 Navigator P N 969 8970 969 8971 969 9834 N O 969 9844 Rack controller 81 AG any version
50. EEE p etiketterna Symbolen som visas nedan har till mpats i enlighet med CD direktivet som har betecknats som WEEE Den h r symbolen g ller endast i de l nder som tillh r den Europeiska Unionen indikerar att produkten p vilken symbo len har applicerats INTE f r skaffas bort tillsammans med van liga hush lls eller industriavfall men att d remot ett differentie rat uppsamlingssystem m ste uppr ttas Vi rekommenderar d rf r att slutanv ndaren tar kontakt med leverant ren av anordningen oberoende om det handlar om moderf retaget eller terf rs ljaren f r att kunna starta uppsamlings och bortskaffningsprocessen detta efter l mplig kontroll av kontraktsenliga tidsgr nser och f rs ljningsvillkor 87 900 983 01 B BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl r Pumper Turbomolekyl r pumpene som er beskrevet i den f lgende Bruksanvisningen har et h yt kinetisk energiniv som skyldes den h ye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel p grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd p rotoren kan roteringsenergien bli frigitt A ADVARSEL For unng skader p utsyret og forebygge operat rskader m installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen f lges n ye 25 87 900 983 01 B GENERELL INFORMASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere Bruker
51. M no posee ning n agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vac o limpio A continuaci n se facilita toda la informaci n necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato En el anexo Technical Information se facilita informaci n m s detallada Este manual utiliza las convenciones siguientes mam Los mensajes de peligro atraen la atenci n del operador sobre un procedimiento o una ejecuci n espec fica que de no realizarse correctamente podr a provocar graves lesiones personales US ATENCI N Los mensajes de atenci n se visualizan antes de los procedimientos que de no cumplirse podr an provocar da os al aparato NOTA Las notas contienen informaci n importante extra da del texto ALMACENAMIENTO Para garantizar el nivel m ximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Varian deber n aplicarse las siguientes instrucciones e durante el transporte desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deber n superarse las siguientes condiciones ambientales e temperatura entre 20 C y 70 C e humedad relativa entre 0 y 95 no condensante e el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez e el per odo m ximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de env o a
52. O 63 Borne duplo com 4 22 Nm rosca M10 Borne simples com 4 11 Nm rosca M8 A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada na c mara de v cuo atrav s de parafusos espec ficos da mec nica Varian Para ulteriores detalhes consultar o ap ndice Technical Information NOTA O Turbo V 81 M n o pode ser fixado atrav s da sua base IS ATEN O O Turbo V 81 M pertence segunda categoria de instalac o ou sobretens o prevista pela norma NE 61010 1 Portanto ligue o dispositivo a uma linha de alimentac o apropriada para esta categoria Para a instala o dos acess rios opcionais consultar Technical Information UTILIZA O Todas as instru es para o correcto funcionamento da turbobomba est o contidas no manual da unidade de controlo Ler com muita aten o este manual antes do uso Para alcan ar melhores press es limite poss vel aquecer o sistema Durante o eventual aquecimento da c mara de v cuo a temperatura na flange de ingresso n o deve ser superior a 120 C com flange ConFlat e a 80 C com flange ISO Use sempre o arrefecimento a gua durante as opera es de aquecimento PERIGO Nunca activar a bomba se o flange de entrada n o estiver ligado c mara de v cuo ou n o estiver fechado com o flange de fecho N o tocar a turbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s
53. STALLATION ES caution Do not remove the adhesive and protective cap before connect ing the turbopump to the system PREPARATION FOR INSTALLATION The Turbo V 81 M is supplied in a special protective packing If this shows signs of damage which may have occurred during transport contact your local sales office When unpacking the pump be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 recyclable and complies with EEC Directive 85 399 Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents rain snow ice dust aggressive gases or in explosive environments or those with a high fire risk Dur ing operation the following environmental conditions must be respected maximum pressure 2 bar above atmospheric pressure temperature from 5 C to 35 C see the diagram pres sure temperature in the appendix Technical Information relative humidity 0 95 non condensing In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield See the appendix Technical In formation for detailed information 87 900 983 01 B The Turbo V 81 M pumps must be used in conjunction with one of the suitable Varian controller and they must be connected to a primary pump see Technical Information The available controllers are t
54. Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max druk 2 bar boven de atmosferische druk temperatuur van 5 C tot 35 C zie grafiek in de bijlage Technical Information relatieve vochtigheid O 95 niet condenserend In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden Zie de bijlage Technical Information voor meer informatie De turbomoleculaire pompen van de serie Turbo V 81 M moeten uitsluitend met een van de speciale controllers van Varian gebruikt worden en op een primaire pomp aangesloten worden zie schema in Technical Information 87 900 983 01 B De beschikbare controllers zijn de volgende Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 De Turbo V 81 M kan in alle standen worden geinstalleerd Bevestig de Turbo V 81 M in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kan verdragen De flens ISO 63 kan bijvoorbeeld worden bevestigd met stalen klemmetjes met grote weerstand zoals model Varian IC 63250 DCMZ De volgende tabel geeft per flensafmeting het benodigde aantal klemmetjes en het bijpehorende aandraaimoment FLENS KLEMTYPE NR AANHAAL KOPPEL ISO 63K Dubbele klem met 4 22 Nm Ic Enkelvoudige klem 4 11 Nm met M8 schroe
55. Turbo V 81 M Models 969 8901 969 8902 969 8903 969 8904 87 900 983 01 B MAY 2006 ap VARIAN gt lt vacuum technologies MANUALE DI ISTRUZIONI D BEDIENUNGSHANDBUCH F NOTICE DE MODE D EMPLOI E MANUAL DE INSTRUCCIONES P MANUAL DE INSTRUC ES NL BEDRIJFSHANDLEIDING DK INSTRUKSTIONSBOG S BRUKSANVISNING N INSTRUKSJON MANUAL FIN OHJEKASIKIRJA GR OAHTIEX H FELHASZN L I K ZIK NYV PL PODRECZNIK INSTRUKCJI CZ NAVOD K POUZIT SK NAVOD NA OBSLUHU SLO PRIROCNIK ZA NAVODILA GB INSTRUCTION MANUAL Turbo V 81 M ISTRUZIONI PER E USO ite tetti en iere t aet d crest tae VE et tt a 1 GEBRAUGHSANEEITUNG usa nce o uim tede 4 MODE D EMPLOI 5 etten IA i bona m ee TA 7 INSTRUCCIONES DE USO den edite a 10 INSTRU ES PARA BUS Osa 13 GEBRUIKSAANWIJZINGEN cria ti la asun Qasi ti 16 BRUGSANVISNING vragen Aae er 19 BRUKSANVISNING melde aha k eaten nl 22 BRUKERVEILEDNING raisen u 0 tm ENA aS 25 K YTT OHJEET aa a asso 28 ei rin Base ie rel 31 HASZNALATIUTASITAS smua ee ta cari 34 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA suicidas 37 PRIRUCKAK POU ITE arabe 40 NAVOD K POU IT una iha Saa sade beaded 43 NAVODILA ZA UPORABO nection ot eo MS 46 INSTRUCTIONS FOR USE saas n in En ne ra 49 TECHNICAL INFORMATION s bee 42 Ad IA rn 52 DESCRIPTION OF THE TURBO V 81 M n r rn renen renen renar RR aaa naene nee 52 Pump De
56. a gaser och inte heller i explosiv eller brandfarlig milj F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid drift maximitryck 2 bar ver atmosf riskt tryck temperatur fr n 5 C till 35 C se bild i Technical Information relativ luftfuktighet O 95 utan kondens I n rvaro av magnetf lt ska pumpen skyddas med en s rskild sk rm Se bilagan Technical information f r ytterligare upplysningar De molekyl ra pumparna av typen Turbo V 81 M b r endast anv ndas med en av de speciella Varian systemen och m ste anslutas till en huvudpump se schemat Technical Information 87 900 983 01 B F ljande kontrollsystem finns tillg ngliga Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 Turbo V 81 M kan installeras i valfri position F st pumpen i ett stabilt l ge genom att ansluta pumpens intagsfl ns till en fast fl ns som m ste t la ett vridmoment p 1000 Nm kring sin axel Fl nsen ISO 63 kan till exempel fixeras med h gh llfasta st lbyglar modell Varian IC 63250 DCMZ I tabellen nedan beskrivs det antal byglar som erfordras f r varje fl nsdimension och med vilket moment de ska dras t ANT TDRAGNINGS MOMENT 22 Nm FL NS TYP AV KLAMMER ISO 63 Dubbel klammer 4 med g nga M10 med g nga M8 Turbopumparna med intagsfl ns ConFlat ska f stas till vakuumkammar
57. a 0 95 non condensante In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi Vedere l appendice Techni cal Information per ulteriori dettagli Le pompe turbomolecolari della serie Turbo V 81 M devono essere utilizzate solo con uno degli appositi controller Varian e devono essere collegate ad una pompa primaria vedere lo schema in Technical Information 87 900 983 01 B I controller disponibili sono i seguenti Rack controller 81 AG base 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 La Turbo V 81 M pu essere installata in qualsiasi posizione Fis sare la Turbo V 81 M in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 250 Nm attorno al proprio asse Per esempio la flangia ISO 63 pu essere fissata con morsetti in acciaio ad alta resistenza tipo modello Varian IC 63250 DCMZ La seguente tabella descrive per ogni dimensione flangia il numero di morsetti necessari amp con quale coppia di serraggio stringerli FLANGIA TIPO DI COPPIA DI SER MORSETTO RAGGIO ISO 63 Morsetto doppio 4 con filettatura M10 Morsetto singolo 4 con filettatura M8 La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell apposita minuteria meccanica Varian Per ulteriori dettagli vedere l app
58. ades of the stator are made of stainless steel These are supported and accu rately positioned by spacer rings The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs These are made of aluminium alloy During normal operation the motor is fed with a voltage of 54 Vac three phase at 1350 Hz max To reduce losses during start up to a minimum the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage frequency ratio The pump can be water cooled or air cooled in the first case the customer can use a dedicated exter nal plate made of nickel plated brass in the sec ond case an external optional fan is available A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating The pump is balanced after assembly with a resid ual vibration amplitude less than 0 01 um The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange The con nection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 16 NW flange PUMP FOREPUMP CONNECTOR VACUUM TECHNOLOGIES CONTROLLER CONNECTOR 87 900 983 01 B TECHNICAL INFORMATION TECHNICAL SPECIFICATION Pumping speed With ISO 63 or With KF 40 NW CFF 4 5 or CFF 2 75 Na 77 l s Na 50 l s He 65 l s He 56 l s Hz 50 l s Hz 46 l s Vibration level lt 0 01 um at inlet flange displacement
59. ag aby nie spowodowa upadku systemu Turbo V 81 M ani 38 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA nie poddawa go uderzeniom lub wibracjom Nie porzuca opakowania w rodowisku Materia ten nadaje si ca kowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektyw UE 855 399 dotycz cej ochrony rodowiska 1 UWAGA Aby unikna problem w odgazowywania nale y nie dotyka gotymi rekoma czesci przeznaczonych do pr zni Nalezy zawsze stosowa odpowiednie r kawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie INFORMACJA Turbo V 81 M nie mo e by uszkodzony poprzez wystawienie go na dzia anie atmosfery Mimo to zaleca si aby pompa do momentu jej instalacji na systemie pozosta a zamkni ta w celu unikni cia zanieczyszczenia jej py em INSTALACJA IS UWAGA Usun ta m klej c i zdj korek zabezpieczaj cy tylko w momencie po czenia pompy do systemu Nie instalowa i lub u ytkowa pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne deszcz mr z nieg py y gazy chemiczne w rodowiskach wybuchowych lub z wysokim zagro eniem po aru Podczas dzia ania obowi zkowo nale y przestrzega nast puj ce warunki otoczenia maksymalne ci nienie 2 bary ponad ci nieniem atmosferycznym temperatura od 5 C do 35 C patrz wykres graficzny w dodatku Informacje Techniczne wzgl dna wilgo 0 95 bez opar W obecno ci p l elektromagnetycznych pompa musi by
60. aikana tulee varoa erityisesti Turbo V 81 Min putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai t rin it Pakkausta ei tule j tt ymp rist n Pakkausmateriaali voidaan kierr tt kokonaisuudessaan ja se vastaa EY direktiivi 85 399 ymp rist n suojelusta IS Huomio Jotta kaasun vuoto ongelmilta v ltytt isiin ei tyhji lle altistuviin osiin tule koskea paljain k sin K ytt k aina k sineit tai muuta sopivaa suojausta Pumppua ei tule asentaa ja tai k ytt ymp rist ss miss se joutuu kosketuksiin s tekij iden sateen j n tai lumen p lyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa r j hdys tai tulipalovaara K yt n aikana on noudatettava seuraavia ymp rist koskevia ehtoja maksimipaine 2 baaria yli atmosf risen paineen l mp tila 5 C 35 C ks Tekniset tiedot liitteen kaaviota suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Mik li l sn on magneettikentti tulee pumppu suojata t h n tarkoitukseen olevilla suojilla Lis tietoja l ytyy Tekniset tiedot liitteest 87 900 983 01 B Sarjan Turbo V 81 M turbomolekyylipumppuja saa k ytt ainoastaan yhdess tarkoitusta varten olevien Varian valvojien kanssa ja ne on kytkett v p pumppuun ks Tekniset tiedot liitteen kaaviota Saatavilla on seuraavan tyyppisi valvojia Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989
61. akeout temperature 120 C at inlet flange max CF flange 80 C at inlet flange max ISO flange 53 87 900 983 01 B TECHNICAL INFORMATION TURBO V 81 M OUTLINE The following figure shows the Turbo V 81 M outlines dimensions are in inches mm NN N N gt lt C N N 9 RA S a i vu I i i i i ka N S i i VACUUM TECHNOLOGIES VACUUM TECHNOLOGIES i i 21 Ff gt i AV ame A T yoy yo Y Y UT I Turbo V 81 M outline 54 87 900 983 01 B TECHNICAL INFORMATION a gt a n O c a E gt a 10 10 107 10 107 10 10 10 10 1 10 Inlet pressure mbar Graph of pumping speed vs inlet pressure with a 8 m h mechanical pump Nitrogen O G c 6 5 10 n Helium a g 10 6 Hydrogen 10 1 11111 Lill Jett J 11111 Li Jett 10 10 10 1 10 100 Foreline pressure mbar Graph of compression ratio vs foreline pressure 55 87 900 983 01 B TECHNICAL INFORMATION
62. al par de apriete apretarlos PAR DE APRIETE a JE MORDAZA Mordaza doble 4 con rosca M10 ISO 63 Mordaza individual 4 con rosca M8 La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la c mara de vac o mediante los accesorios mec nicos espec ficos Varian Para m s detalles v ase el anexo Technical Information NOTA El Turbo V 81 M no puede fijarse utilizando su base US ATENCI N El Turbo V 81 M pertenece a la segunda categor a de instalaci n o sobretensi n prevista por la normativa EN 61010 1 Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una l nea de alimentaci n adecuada para dicha categor a Para instalar v ase Technical Information los accesorios opcionales USO En el manual de la unidad de control se encuentran todas las instrucciones para el correcto funcionamiento de la turbo bomba Leer atentamente este manual antes de su uso Para obtener mejores presiones de m xima es posible calentar el sistema Durante el calentamiento de la c mara de vac o la temperatura en la brida de entrada no debe superar los 120 C con acoplamiento ConFlat y los 80 C con acoplamiento ISO Usar siempre refrigeraci n por agua durante las operaciones de calentamiento E No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no est conectada al sistema o no est cerrada con la brida de cierre No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operacion
63. allation af ekstraudstyret ANVENDELSE Alle instruktionerne for den korrekte funktion af turbopumpen er indeholdt i manualen for styreenheden L s omhyggeligt denne manual f r den anvendes For at opn bedre begr nsnings tryk er det muligt at opvarme systemet Under den eventuelle opvarmning af vakuumkammeret m temperaturen p indl bsflangen ikke overskride 120 C med flange ConFlat og ikke overskride 80 C med flange ISO Brug altid vandafk ling under opvarmnings operationerne AN ADVARSEL Pumpen m aldrig aktiveres hvis indl bsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret eller hvis pumpen ikke er lukket ved hj lp af lukkeflangen R r aldrig turbopumpen eller dens tilbeh r i forbindelse med opvarmningsprocedurerne Den h je temperatur kan resultere i skade p personer IS VIGTIGT Undg sammenst d vibrationer eller bratte bev gelser i forbindelse med brug af turbopumpen Der er risiko for beskadigelse af lejerne Pumpen skal forsynes med luft eller delgasser der ikke indeholder st v eller faste partikler Indgangstrykket ved den specielle d r skal v re mindre end 2 bar over atmosf risk tryk I forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse pumper udstyret med en d r igennem hvilken det er n dvendigt at forsyne pumpen med delgasser Kv lstof eller Helium for at beskytte lejerne se bilaget Teknisk Information 21 BRUGSANVISNING AN ADVARSEL N r pumpen anven
64. an servisni center ki vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim OPOMBA Preden odnesete sistem na popravilo ali zamenjavo z drugo enoto morate izpolniti Health and Safety obrazec ki je prilo en navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni Pred po iljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embala o sistema Sistem je treba uni iti v skladu z dolo enimi nacionalnimi standardi ODLAGANJE OPADKOV Pomen znamke WEEE na etiketah Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom WEEE Ta simbol ki velja samo v dr avah Evropske Skupnosti pomeni da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki temve morate poskrbeti za njihovo primerno lo evanje Zato pozivamo uporabnike da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku lo evanja in odstranitve odpadkov ele nato ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe 87 900 983 01 B INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released ZN WARNING To avoid damage to eguipment and to prevent injuries to
65. as prevozu prena ania a uchovavania wyvev rozsah tepl t 20 C az 70 C rozsah relat vnej vlhkosti O a kondenz cie e z kazn k mus pri prvom spusten turbo v vevy v dy pou i re im soft tartu e skladovate nos turbomolekul rnej v vevy je 10 mesiacov odo d a dodania 95 bez IS UPOZORNENIE Ak zak hoko vek d vodu vypr as skladovatelnosti zariadenia vr te v vevu do z vodu v ktorom bola vyroben Inform cie z skate u miestneho zast penia spolo nosti Varian pre predaj a servis PR PRAVA NA IN TAL CIU Zariadenie Turbo V 81 M sa dod va v peci lnom ochrannom balen Ak je balenie po koden o sa m e sta napr klad po as prepravy obr te sa na miestne zast penie spolo nosti Varian Po as vyba ovania syst mu dbajte na to aby zariadenie nespadlo nebolo vystaven n razu alebo prudk mu otrasu alebo vibr ci m 44 N VOD K POU ITIU Obalov materi l zlikvidujte predp san m sp sobom Materi l je 100 recyklovate n a spl a po iadavky smernice EEC 85 399 IS UPOZORNENIE Ak chcete pred s probl mom s odply ovan m nechytajte komponenty ktor bud vystaven v kuu hol mi rukami V dy pou vajte rukavice alebo in vhodn ochranu POZN MKA Be n vystavenie vplyvu prostredia nem e zariadenie Turbo V 81 M po kodi Napriek tomu je vhodn aby zariadenie zostalo zabalen a do in tal cie kv li preven
66. ation enthalten In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermafsen hervorgehoben A Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausf hrungswei se die bei unkorrekter Ausf hrung schwere Verletzungen her vorrufen k nnten IS ACHTUNG Die Warnhinweise werden vor Vorg ngen angegeben die bei Nichtbeachtung Sch den an der Anlage verursachen k nnten HINWEIS Die Hinweise enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden LAGERUNG Um ein H chstmaR an Effizienz und Zuverl ssigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gew hrleisten sind die folgenden An weisungen zu beachten e W hrend des Transports der Handhabung und der Einla gerung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht Uberschritten werden e Temperatur von 20 C bis 70 C e Relative Feuchtigkeit von 0 bis 95 nicht kondensie rend e Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft Start in gangzusetzen e Die Lagerdauer f r eine Turbomolekularpumpe betr gt 10 Monate ab dem Speditionsdatum IS ACHTUNG Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gr nden die ge nannte Frist berschreiten sollte ist die Pumpe an das Werk zur ckzusenden F r Informationen wenden Sie sich bitte an den rtlichen Varian Vertreter GEBRAUCHSANLEITUNG US ACHTUNG Um Entgasungen
67. b danego post powania kt rego nieprawid owe wykonanie mog oby spowodowa powa ne uszkodzenia cia a US UWAGA Komunikaty zwi kszonej uwagi s wy wietlane przed procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania mo e doj do uszkodzenia aparatury INFORMACJA S to wa ne informacje wyci gni te z tekstu MAGAZYNOWANIE W celu zagwarantowania najwy szego poziomu funkcjonalnego i niezawodno ci pomp turbomolekularnych Varian musz by przestrzegane nast puj ce zalecenia e podczas transportu przesuni cia i magazynowania pomp nie mog by przekroczone nast puj ce warunki rodowiskowe e temperatura od 20 C do 70 C e wzgl dna wilgo od 0 do 95 bez opar e klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych musi je zawsze uruchomi w spos b Soft Start e czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesi cy od daty wysy ki 1 UWAGA Jezeli z jakiegokolwiek powodu czas magazynowania jest d u szy nale y odes a pompe do fabryki W celu jakiejkolwiek informacji prosimy skontaktowa sie z miejscowym przedstawicielem firmy Varian PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI System Turbo V 81 M jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu w przypadku lad w uszkodze do kt rych mog oby doj podczas transportu nale y skontaktowa si z miejscowym biurem sprzeda y Podczas operacji rozpakowywania nale y zwr ci szczeg ln uw
68. bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt kan de rotatie energie vrijkomen AN EEZ Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen moeten de installatie instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd 16 87 900 983 01 B ALGEMENE INFORMATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving De pompen van de serie Turbo V 81 M zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultrahoge vacu mtoepassingen die elk soort gas en niet corrosieve gasvormige verbindingen kunnen pompen Ze zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine max 80000 toeren min die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement De Turbo V 81 M is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een schoon vacu m verlangen In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veil
69. cii kontamin cie prachom IN TAL CIA US UPOZORNENIE Neodstra ujte lepiacu p sku a ochrann kryt sk r ne pripoj te turbov vevu k syst mu V vevu nein talujte ani nepou vajte v prostred vystavenom vonkaj m vplyvom d sneh ad prach koroz vne plyny ani vo v bu n ch prostrediach alebo tam kde existuje vysok riziko po iaru Po as innosti zariadenia je potrebn zabezpe i tieto vlastnosti prostredia maxim lny pretlak 2 bary nad rov ou atmosf rick ho tlaku teplota od 5 C do 35 C pozri z vislos tlaku od teploty v dodatku Technick Inform cie relat vna vlhkos 0 95 bez kondenz cie V pr tomnosti magnetick ho po a mus by v veva chr nen feromagnetick m t tom Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technick inform cie 87 900 983 01 B Turbomolekul rne erpadl s rie Turbo V 81 M sa m u pou va len s niektor m z pr slu n ch kontroln ch zariaden Varian a musia by zapojen na prim rne erpadlo vi sch mu v materi le Technical Information K dispoz cii s nasleduj ce kontroln zariadenia Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 Zariadenie Turbo V 81 M m e by nain talovan v ubovo nej polohe Upevnite Turbo V 81 M do stabilnej polohy pripojen m vstupnej pr
70. contaminadores e portanto adequado para aplicac es que requerem um v cuo limpo Nos seguintes par grafos est o descritas todas as informac es necess rias para garantir a seguranca do operador durante o uso da aparelhagem Informac es detalhadas s o fornecidas no ap ndice Technical Information Este manual utiliza as seguintes convenc es A NENIE As mensagens de perigo chamam a atenc o do operador para um procedimento ou uma pr tica espec fica que se n o efectuada correctamente pode provocar graves les es pessoais IS ATEN O As mensagens de atenc o s o visualizadas antes de procedimentos que se n o efectuados correctamente podem causar danos aparelhagem NOTA As notas cont m informac es importantes destacadas do texto ARMAZENAGEM Para garantir o n vel M ximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Varian devem ser observadas as seguintes prescric es e durante o transporte o deslocamento e a armazenagem das bombas as condic es ambientais devem ser as seguintes e temperatura de 20 C a 70 C e umidade relativa de 0 a 95 n o condensante e 830 acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativ las sempre em modalidade Soft Start e 0 tempo m ximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular de 10 meses a contar da data da expedic o IS ATEN O Se por uma raz o qualquer o periodo de armazenagem for superior ser
71. den da die Lager besch digt werden k nnten Fur die Bel ftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden Der Eingangsdruck am Bel ftung sanschlu soll unter 2 bar ber dem atmosph rischen Druck betragen Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer ffnungsklappe ausgestattet uber die zum Schutz der Lager nertgas Stickstoff oder Helium zuzuleiten ist siehe Anhang Technical Information GEBRAUCHSANLEITUNG A Wenn die Pumpe zur F rderung von giftigen leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird sind die f r das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg nge und MaRnahmen zu befolgen Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsf higen Gasen verwendet werden WARTUNG Die Pumpen der Serie Turbo V 81 M erfordern keine Wartung Eventuelle Eingriffe d rfen nur von autorisiertem Fachpersonal aus gef hrt werden A Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen die Pumpe ber Offnung des entsprechenden Ventils bel ften und abwarten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera tur am Pumpengeh use unter 50 C abgesunken ist Bei Defekten kann der Varian Service oder der Varian advan ced exchange service in Anspruch genommen werden der ein general berholtes System als Ersatz f r das defekte System zur Verf gung stellt HINWEIS Bevor Fa Varian ein System zur Reparatur oder den Um tauschdienst eingesa
72. des til toksiske brandfarlige eller radioaktive gasser f lges fremgangsm den for den enkelte gastype Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser VEDLIGEHOLDELSE Pumperne i serien Turbo V 81 M kr ver ikke nogen form for vedligeholdelse Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale AN ADVARSEL Inden der foretages noget som helst indgreb p systemet skal strammen forst afbrydes og luften i pumpen skal fjernes ved at bne ventilen Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset og til temperaturen p pumpens overflade er under 50 C tilf lde af skader p systemet kontaktes et Varian reparationsv rksted eller Varian advanced exchange service der udskifter systemet med et repareret system BEM RK Inden systemet sendes til reparationsv rkstedet eller Varian advanced axchange service skal Sikkerheds og tilstandsdokumentet der er vedlagt denne instruktionsmanual udfyldes En kopi af dette dokument skal inds ttes i systemets emballage inden afsendelse Skrotning af systemet skal forega i overensstemmelse med det p g ldende lands s rlige love BORTSKAFFELSE Betydningen af WEEE logoet p m rkaterne Nedenst ende symbol anvendes i overensstemmelse med det s kaldte EU direktiv WEEE Symbolet kun g ldende for EU landene viser at produktet som det sidder p IKKE m bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indlev
73. e en F r ausf hrliche Informationen siehe im An hang Technical Information HINWEIS Modell Turbo V 81 M kann nicht mittels seines Sockels befes tigt werden US ACHTUNG Der Turbo V 81 M geh rt zur zweiten Installationsklasse U berdruck die von den Normen EN 61010 1 vorgesehen ist Die Vorrichtung mu daher an eine Speisungsleitung angeschlos sen werden die dieser Kategorie entspricht F r die Installation der Optionsteile siehe im Anhang Technical Information GEBRAUCH Alle Anweisungen f r den korrekten Betrieb der Turbopumpe sind im Handbuch der Kontrolleinheit enthalten Bitte lesen Sie das Handbuch aufmerksam vor dem Gebrauch F r den Erhalt besserer Grenzdruckwerte ist es m glich das Sys tem zu erhitzen Bei einer eventuellen Erhitzung der Vakuumkammer darf die Tempe ratur an dem Eintrittsflansch bei einem Flansch ConFlat nicht ber 120 C und bei einem ISO Flansch nicht ber 80 C liegen W hrend der Erhitzungsvorg nge immer die Abk hlung mit Wasser verwenden A EE Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem VerschluRflansch verschlossen ist W hrend des Aufheizens d rfen weder die Pumpe noch eventuelle hei e Zubeh rteile ber hrt werden Es besteht Verbrennungsgefahr IS ACHTUNG W hrend des Betriebs sind StoR und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermei
74. e which if not fol lowed correctly could lead to serious injury US caution The caution messages are displayed before procedures which if not followed could cause damage to the equipment NOTE The notes contain important information taken from the text STORAGE In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Varian Turbomolecular pumps the following guide lines must be followed e when shipping moving and storing pumps the following environmental specifications should not be exceeded e temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing e the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated for the first time by the cus tomer e the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date 1 CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded the pump has to be returned to the factory Please contact the local Varian Vacuum Sales and Service representative for informations INSTRUCTIONS FOR USE 1 CAUTION In order to prevent outgassing problems do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum Al ways use gloves or other appropriate protection NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the Turbo V 81 M Nevertheless it is advisable to keep it closed until it is installed in the system thus preventing any form of pollution by dust IN
75. ecting flange 8 Oil mist eliminator 9 Fore vacuum pump with internal one way valve 10 Fore vacuum pump control relay 11 Connection for water cooling 12 Roughing line with valve optional 13 Turbopump 14 Fan 15 Flexible connection 87 900 983 01 B With Standard Rack Controller MAINS TURBO V supply D Connection A CONTROLLER Connection C a Connection B 00 MAINS SUPPLY p N o RV N gt 11 12 13 14 Turbo V standard rack controller Vent valve Vacuum pump shut off valve optional System vent valve optional Vacuum chamber lonization gauge Fore vacuum pump connecting flange Oil mist eliminator Fore vacuum pump with internal one way valve Fore vacuum pump control relay Connection for water cooling Roughing line with valve optional Turbopump Flexible connection 63 TECHNICAL INFORMATION Connection A HIGH VACUUM FLANGE To connect the Turbo V 81 M pump to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure TURBO PUMP PROTECTIVE V EDGE Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure TURBO PUMP For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware To facilitate assembly and dismantling apply Fel pro C 100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and
76. eguenti convenzioni AN PERICOLO I messaggi di pericolo attirano l attenzione dell operatore su una procedura o una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali US ATTENZIONE I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che se non osservate potrebbero causare danni all apparec chiatura NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo IMMAGAZZINAMENTO Per garantire il massimo livello di funzionalit ed affidabilit delle pompe Turbomolecolari Varian devono essere osservate le se guenti prescrizioni e durante il trasporto lo spostamento e l immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti con dizioni ambientali e temperatura da 20 C a 70 C e umidit relativa da 0 a 95 non condensante e il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta e il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomoleco lare di 10 mesi dalla data di spedizione US ATTENZIONE Se per qualsiasi ragione il tempo di immagazzinamento superiore occorre reinviare la pompa in fabbrica Per ogni in formazione si prega di contattare il locale rappresentante della Varian ISTRUZIONI PER L USO 1 ATTENZIONE Onde evitare problemi di degasamento non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto
77. ekaza do miejscowego biura sprzeda y karte Bezpiecze stwo i Zdrowie za czon do niniejszej instrukcji Jeden egzemplarz kopia karty musi by w o ony do opakowania systemu przed jego wysy k Je eli system musi by poddany rozbi rce nale y przyst pi do jego eliminacji zgodnie z obowi zuj cymi krajowymi normami w meritum sprawy PRZETWORSTWO ODPADOW Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo WEEE Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia WEEE Unii Europejskiej Symbol ten prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej oznacza ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu 87 900 983 01 B PR RUCKA K POUZIT Bezpe nostni n vod pro Turbomolekul rni vyv vy Turbomolekul rn vyv vy jak jsou popisov ny v n sledujicim n vodu obsahuj velk mnozstvi kinetick energie diky vysok ot civ rychlosti v kombinaci s konkr tnim objemem jejich rotor V pr pad syst mov nefuk nosti napf kontaktu rotoru anebo statoru nebo pri zhroucen rotoru mu e doj
78. emp cher toute blessure aux op rateurs il faut suivre attentivement les instructions installation d crites dans ce manuel 7 87 900 983 01 B INDICATIONS GENERALES Cet appareillage a t concu en vue d une utilisation profession nelle Avant toute utilisation de l appareil il est conseill l utilisa teur de lire attentivement cette notice d instructions ainsi que toute autre indication suppl mentaire fournie par Varian qui d cline par cons quent toute responsabilit en cas de non respect total ou partiel des instructions donn es d utilisation impropre par un per sonnel non form d op rations non autoris es ou d emploi contrai re aux r glementations nationales sp cifiques Les pompes de la s rie Turbo V 81 M sont des pompes turbo mol culaires pour des applications de vide pouss et ultra pouss en mesure de pomper n importe quel type de gaz ou de compos non corrosif Elles ne sont pas adapt es au pompage de liquides ou de particules solides L effet de pompage est obtenu gr ce une turbine tournant vitesse lev e 80000 tr min maxi mue par un moteur lectrique triphas haut rendement Le Turbo V 81 M est totalement exempt d agents polluants et il est par cons quent indiqu pour toutes les applications exigeant un vide propre Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications n ces saires garantir la s curit de l op rateur pendant l utilisation de l appareillage De
79. en b r lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian f r utstyret tas i bruk Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer p grunn av manglende oppf lging av disse instruksjonene selv delvis feilaktig bruk av utrent personell ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som p noen m te er i strid med nasjonale bestemmelser Turbo V 81 M er en turbomolekyl r pumpe for h ye og ultrah ye vakumanlegg som kan pumpe alle typer gasser eller gassblandinger Den egner seg ikke for pumping av v sker eller faste partikler Pumpingen oppn s med en h yhastighetsturbin maks 80000 opm koplet til en trefaset elektrisk motor Turbo V 81 M har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for rene vakuum De f lgende avsnitt inneholder all informasjon som er n dvendig for sikre brukeren n r utstyret er i bruk For mer detaljert bruk vises det til tillegget Teknisk informasjon Denne manualen bruker f lgende standardprotokoll AN ADVARSEL Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsmate eller praksis som hvis den ikke f lges kan medf re alvorlige skader IS FORSIKTIG Denne advarselen vises foran fremgangsm ter som dersom de ikke f lges kan f re til at utstyret skades MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten LAGRING For garantere optimal drift og p litelighet f
80. en med hj lp av Varian f stdelar F r detaljer h nvisas till bilaga Technical Information OBSERVERA Turbo V 81 M systemet kan inte fastsp nnas med sin egen bas US VIKTIGT Turbo V 81 M tillh r den andra installationsklassen eller verspanningsklassen enligt standard EN 61010 1 Anslut dar f r anordningen till en elledning som uppfyller kraven f r denna klass Installation av Technical Information tillbeh rsutrustning beskrivs i ANV NDNING Alla instruktioner f r en optimal prestanda och drifts kerhet av turbopumparna finns i kontrollenhetens bruksanvisning Instruktionsboken b r l sas mycket noggrannt innan anv ndning F r att uppn h gre tryckniv er kan systemet v rmas upp Under en eventuell uppv rmning av vakuumkammaren b r ej temperaturen p intagningsfl nsen verstiga 120 C med ConFlat fl ns och 80 C med ISO fl ns Anv nd alltid vattenkylning under uppv rmningsf rloppen N man S tt aldrig ig ng pumpen om intagsfl nsen varken r kopplad till vakuumkammaren eller r blockerad pa plats med l sfl nsen Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador US VIKTIGT Undvik sammanst tningar sv ngningar eller pl tsliga f rflyttningar av turbopumpen n r den r ig ng Lagren kan bli skadade Pumpen ska f rses med luft eller med delgaser som rfria fr n damn eller andra partiklar Ing ngs
81. endice Technical Informa tion NOTA La Turbo V 81 M non pu essere fissata tramite la sua base 1 ATTENZIONE La Turbo V 81 M appartiene alla seconda categoria di installa zione o sovratensione prevista dalla normativa EN 61010 1 Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria Per l installazione degli accessori opzionali vedere Technical Infor mation USO Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell unit di controllo Leggere atten tamente tale manuale prima dell utilizzo Per raggiungere migliori pressioni limite possibile riscaldare il sistema Durante l eventuale riscaldamento della camera da vuoto la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 C con flangiatura ConFlat e a 80 C con flangiatura ISO Usare sempre il raffreddamento ad acqua durante le operazioni di riscaldamento A PERICOLO Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non collegata alla camera a vuoto o non chiusa con la flangia di chiu sura Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura pu causare lesioni alle persone US ATTENZIONE Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando in funzione cuscinetti potrebbero danneggiarsi Per la mandata all aria della pompa utilizzare
82. eres p en godkendt affaldsstation Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverand ren af anordningen enten fabrikken eller en forhandler for igangs ttelse af afhentnings og bortskaffelsesprocessen efter n je at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten 87 900 983 01 B BRUKSANVISNING Sakerhetsanvisningar for Molekyl ra turbopumpar De molekyl ra turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en h g kinetisk energi beroende p den h ga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppst i systemet t ex p grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas kan det h nda att rotationsenergin frig rs ZN VARNING F r att undvika skador p utrustningen och f rhindra att skador orsakas p operat rer m ste installationsinstruktionerna som beskrivs i den h r bruksanvisningen f ljas noga 22 87 900 983 01 B ALLM N INFORMATION Utrustningen r avsedd f r yrkesm ssig anv ndning Anv ndaren b r l sa denna bruksanvisning samt vrig dokumentation fr n Varian f re anv ndning av utrustningen Varian tar inget ansvar f r skador helt eller delvis till f ljd av sidos ttande av instruktionerna ol mplig anv ndning av person utan tillr cklig kunskap obeh rigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot g llande lokala f reskrifter Pumparna av serie Turbo V 81 M r molekyl ra turbopumpar f r h ga och
83. ervice que permite obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado NOTA Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparaci n o advanced exchange service es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de Seguridad y Salud adjunta al presente manual de instrucciones Una copia de la misma se deber introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo En caso de que el sistema se tenga que desguazar eliminarlo respetando las normas nacionales espec ficas ELIMINACI N Significado del logotipo WEEE presente en las etiquetas El s mbolo que se indica a continuaci n es aplicado en observancia de la directiva CE denominada WEEE Este s mbolo v lido s lo para los pa ses miembros de la Comunidad Europea indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean stos dom sticos o industriales y que por el contrario deber ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada Por lo tanto se invita al usuario final a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo tanto si ste es la casa fabricante o un distribuidor para poder proveer a la recogida y eliminaci n del producto despu s de haber efectuado una verificaci n de los t rminos y condiciones contractuales de venta 87 900 983 01 B INSTRUC ES PARA O USO Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares
84. es de calentamiento La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas US ATENCI N Ev tense golpes oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento Los cojinetes podr an da arse Para el env o de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o part culas La presi n de entrada a trav s de la puerta deber ser inferior a 2 bar por encima de la presi n atmosf rica Para bombear gases agresivos estas bombas est n dotadas de una puerta espec fica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte Nitr geno o Helio para proteger los rodamientos v ase el anexo Technical Information 12 INSTRUCCIONES DE USO A KEK Cuando la bomba se utiliza para bombear gases toxicos inflamables o radioactivos seguir los procedimientos apropiados t picos de cada gas No usar la bomba cuando haya gases explosivos MANTENIMIENTO Las bombas de la serie Turbo V 81 M no requieren mantenimiento Cualquier operaci n deber ser realizada por personal autorizado gen Antes de realizar cualquier operaci n en el sistema desconectarlo de la corriente enviar aire de la bomba abriendo la v lvula oportuna esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 C En caso de aver a se podr utilizar el servicio de reparaci n Varian o el Varian advanced exchange s
85. fdraad De turbompomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacu mpomp worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Varian Zie voor meer informatie de bijlage Technical information OPMERKING De Turbo V 81 M kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd US ATTENTIE De Turbo V 81 M behoort tot de tweede installatiecategorie of overspanningscategorie die door de norm EN 61010 1 is voorzien Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet Zie Technical Information voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn GEBRUIK Alle instructies voor de correcte werking van de turbopomp staan in de handleiding van de controle eenheid Lees de handleiding aandachtig alvorens de pomp in gebruik te nemen Om een betere limietdruk te bereiken kan het systeem verwarmd worden Tijdens de eventuele verwarming van de vacu mkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer bedragen dan 120 C met ConFlat flens en niet meer dan 80 C met ISO flens Koel tijdens de verwarming altijd met water A GEVAAR Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacu mkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken IS ATTENTIE Vermijd schokken trillingen of bruuske ver
86. g Switch on the heater while the turbopump is in op eration In the event of turbopump overheat the pump will be automatically cut out by the thermis tor sensor NOTE The turbopump must be baked only when operat ing with an inlet pressure less than 1 0 mbar and with water cooling 59 TECHNICAL INFORMATION 1 CAUTION If the chamber of the system is baked at a high temperature a shield should be installed to pre vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump The maximum temperature allowed for the inlet flange is 120 C AIR COOLING KIT INSTALLATION An air cooling kit mod 969 9290 is available for cooling the pump during heavy operational condi tions and whenever the natural air convection is not sufficient Fan specifications airflow 9 l s 10 CFM input voltage 24 Vdc dimensions 60 x 60 x 25 mm power 2 10 W The fan bracket is shaped so that it can be mounted close to the pump and in different posi tions To fix the fan to the Turbo V 81 M case execute the following procedure see the following figure 1 Fix thefan to the suitable bracket by means of the furnished screws 2 Fix the bracket to the pump body 3 Connect the fan supply to the P4 connector of the controller 87 900 983 01 B TECHNICAL INFORMATION WATER COOLING KIT INSTALLATION Two
87. ges systemet som sendes tilbake Dersom et system skal kasseres m dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser ELIMINERING Betydelsen av symbolet p logo WEEE p etikettene Symbolet nedenunder som finnes er anvendt i henhold til EC direktiv kalt WEEE Dette symbolet som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap viser at produktet som det sitter p IKKE m behandles som vanlig hus industriavfall men m legges i kildesortering Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen henvende seg til leverand ren av anordningen som kan v re et firma eller en forhandler som s rger for oppsamling og eliminering etter ha kontrollert avtal og betingelser i kj pekontrakten 87 900 983 01 B K YTT OHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet T ss k ytt ohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea m r kineettist energiaa joka aiheutuu korkeasta py rimisnopeudesta yhdistettyn pumppujen roottorien massaan J rjestelm n vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa py rimisenergia saattaa vapautua AN BETTE T ss k ytt ohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja k ytt jien vahingoittumisen v ltt miseksi 28 87 900 983 01 B YLEISI TIETOJA T m laite on tarkoitettu ammattimaiseen k ytt n Ennen laitteen k ytt nottoa tulee
88. he following Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 The Turbo V 81 M can be installed in any position Fix the Turbo V 81 M in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter flange capable of withstanding a torque of 1000 Nm around its axis For example the ISO 63 flange can be fixed using high strength steel clamps as Varian model IC 63250 DCMZ The following table shows for each flange dimension the nec essary number of clamps and the relevant fixing torque FLANGE FIXING N FIXING DEVICE TORQUE ISO 63 22 Nm M8 claws 4 11 Nm The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Varian hard ware See the appendix Technical Information for a detailed description NOTE The Turbo V 81 M cannot be fixed by means of its base TS caution The Turbo V 81 M belongs to the second installation or over voltage category as per directive EN 61010 1 Connect the device to a mains line that satisfy the above category For installation of optional accessories see Technical Informa tion USE All the instructions to correctly use the turbopump are contained in the controller manual Read carefully this manual before use the pump To obtain better limit pressures it is possible to heat the pump
89. igheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage Technical information Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik A ES Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die indien niet correct uitgevoerd ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken IS ATTENTIE Bij dit symbool staat tekst met procedures die indien niet opgevolgd schade aan apparatuur kunnen veroorzaken OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht OPSLAG Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen e tijdens transport verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan e temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend e de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld e de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum IS ATTENTIE Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is moet de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatsel
90. ijke vertegenwoordiger van Varian UITPAKKEN De Turbo V 81 M wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd als er schade wordt geconstateerd die tiidens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo V 81 M niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt Laat de verpakking niet ergens buiten achter Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85 399 17 GEBRUIKSAANWIJZINGEN US ATTENTIE Om ontgassingsproblemen te voorkomen mogen de componenten die met het vacu m in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming OPMERKING De Turbo V 81 M kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen INSTALLATIE US ATTENTIE Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden De pomp mag niet geinstalleerd en of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden regen vorst sneeuw stof agressieve gassen of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar
91. imi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja statorja ali po kodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija A nt Da bi se izognili po kodbam opreme in prepre ili po kodbe osebja morate natan no slediti navodilom za name anje iz tega priro nika 46 87 900 983 01 B SPLOSNE INFORMACIJE Oprema je namenjena za profesionalno uporabo Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije ki mu jih je posredoval Varian Varian ni odgovoren za dogodke ki bi nastali zaradi neupostevanja teh navodil nepravilne uporabe in nepoobla enega poseganja v opremo ali kakr nega koli dejanja ki niso v skladu s standardi rpalke iz serije Turbo V 81 M so turbomolekularne rpalke za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo Sistem lahko rpa vse tipe plinov ali nekorozivnih plinskih zmesi Ni primeren za rpanje teko ine ali trdnih delcev rpanje se izvaja preko hitre turbine maks 80000 rpm ki jo vodi visoko u inkovit 3 fazni elektri ni motor Turbo V 81 M ne vsebuje onesna evalnih agentov in je primeren za isto vakuumiranje Naslednji odstavki vsebujejo informacije ki so potrebne za varnost tistega ki uporablja to opremo Podrobne informacije lahko najdete v prilogi Tehni ne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu AN OPOZORILO Opozorila so za to da pritegnejo pozornost uporabnika na dolo amp
92. iminly nti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen HUOM Huomautukset sis lt v t t rke tekstiss k sitelty tietoa VARASTOINTI Noudata seuraavia ohjeita jotta Varian turbomolekyylinen pumppu toimisi eritt in tehokkaasti ja luotettavasti e Kun pumppua kuljetetaan siirret n ja varastoidaan seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt e l mp tila 20 C 70 C e suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v e Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan pumpun ja k ytt ess n sit ensimm isen kerran e Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimitusp iv st IS Huomio Jos varastointiaika on jostain syyst pidempi pumppu tulee palauttaa tehtaalle Pyyd lis tietoja paikalliselta Varian edustajalta K YTT OHJEET HUOM Turbo V 81 M ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa auki On kuitenkin suositeltavaa pit se suljettuna kunnes se asennetaan j rjestelm n Siten v ltet n laitteen mahdollinen p lysaastuminen ASENNUS IS Huomio Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta kun turbopumppu kytket n j rjestelm n VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Turbo V 81 M toimitetaan erityisess suojapakkauksessa mik li siin on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon Pakkauksen purkamisen
93. ion Relative Luftfeuchtigkeit O 95 nicht kondensierend Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pum pe entsprechend abzuschirmen F r ausf hrliche Informationen siehe im Anhang Technical Information Die Turbomolekularpumpen der Serie Turbo V 81 M d rfen nur mit einem der entsprechenden Controller Varian verwendet werden und m ssen an eine Prim rpumpe angeschlossen werden siehe Schema in der Technical Information 87 900 983 01 B Die verf gbaren Controller sind folgende Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 Modell Turbo V 81 M kann in jeder beliebigen Position installiert werden Modell Turbo V 81 M ist stabil zu befestigen indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen flansch angeschlossen wird der mit einem Drehmoment von 1000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist Der ISO 63 Flansch kann z B mit hochfesten Stahlklammern befestigt werden wie das Varian Modell IC 63250 DCMZ Die Tabelle im Anschluss zeigt die erforderliche Anzahl von Klammern und das jeweilige Anzugsmoment f r jede Flansch gr e FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ ANZUGSMOMENT ISO 63 Doppelschelle mit 4 22 Nm NM10 Gewinde Einzelklemme mit 4 11 Nm NM8 Gewinde Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem spe ziellen Varian Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschli
94. isco de inc ndio Durante o funcionamento necess rio que sejam respeitadas as seguintes condi es ambientais press o m xima 2 bar al m da press o atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C consultar a planilha no ap ndice Technical Information humidade relativa 0 95 n o condensante Na presen a de campos electromagn ticos a bomba deve ser protegida atrav s de blindagens adequadas Para ulteriores detalhes consultar o ap ndice Technical Information 87 900 983 01 B As bombas turbomoleculares da s rie Turbo V 81 M devem ser utilizadas somente com um dos adequados controller Varian e devem ser ligadas numa bomba prim ria ver o esquema em Technical Information Os controller disponiveis s o os seguintes Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 O Turbo V 81 M pode ser instalado em qualquer posic o Fixar o Turbo V 81 M em posic o est vel ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra flange fixo capaz de resistir a um torque de 1000 Nm ao redor do pr prio eixo Por exemplo a flange ISO 63 pode ser fixada com grampos de ago de alta resist ncia como o modelo Varian IC 63250 DCMZ A tabela seguinte descreve para cada dimens o de flange o n mero de grampos necess rios e o torque de aperto a utilizar FLANGE TIPO DE BORNE N TORQUE DE APERTO IS
95. it k uvoln ni rota ni energie AN BSL Pokyny k instalaci uvedene v tomto navodu musi byt pr sn dodr ovany za u elem prevence zran ni obsluhy 40 87 900 983 01 B VSEOBECN INFORMACE Toto zafizeni je ur eno pro odborniky UZivatel by si m l pred pouzitim zafizeni pfe ist tento n vod a v echny dal i informace dodan firmou Varian Firma Varian neodpovid za jak koli nehody ktere vzniknou n sledkem i aste neho nedodrzeni t chto pokynu nespravnym pou ivanim neznalymi osobami neopravn nym zasahem do zafizeni nebo jakoukoli innosti ktera je v rozporu s pokyny uveden mi v p slu n ch st tn ch normach Cerpadlo fady Turbo V 81 M je turbomolekularni erpadlo pro vysokovakuov a ultra vysokovakuov aplikace ktere je schopn erpat jakykoli typ nekorozivniho plynu nebo slou eniny plyn Nehod se pro erp n tekutin nebo pevn ch stic erp n zaji uje velmi rychl turbina max 80000 ot min poh n n vysoce v konn m trojf zov m elektromotorem Vyv va Turbo V 81 M neobsahuje dn kontaminujici l tky a proto se hod pro aplikace vyZadujici ist vakuum N sledujici odstavce obsahuj informace potfebn k zaji t n bezpe nosti obsluhy pri pou ivani tohoto zafizeni Podrobn informace jsou uvedeny v priloze Technick informace Tento manu l pou v n sledujici standardn protokol V STRAHA V stra n hl en jsou ur ena pro upozorn
96. ito NOTA Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as repara es ou o advanced exchange service indispens vel preencher e enviar ao escrit rio de vendas local a ficha Seguran a e Sa de anexa ao presente manual de instru es A c pia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedi o Caso uma bomba deva ser destru da proceder sua elimina o respeitando as normas nacionais espec ficas ELIMINA O Significado do log tipo WEEE presente nos r tulos O s mbolo abaixo indicado aplicado de acordo com a directiva CE denominada WEEE Este s mbolo v lido apenas para os pa ses da Comunidade Europeia indica que o produto no qual est aplicado N O deve ser eliminado juntamente com os res duos dom sticos ou industriais comuns mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada Portanto convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo seja este o fabricante ou um revendedor para encaminhar o processo de recolha e elimina o ap s a oportuna verifica o dos termos e condi es do contrato de venda 87 900 983 01 B GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem
97. k a berendez s k rosod s t okozhatj k MEGJEGYZ S A megjegyz sek a sz vegb l vett fontos inform ci t tartalmaznak T ROL S A Varian Turbomolecular szivatty k maxim lis teljesitm nyszintj nek garant l s ra a k vetkez tmutat sokat kell k vetni e szivatty k sz ll t sakor mozgat sakor s t rol sakor a k vetkez k rnyezeti param tereket nem szabad tull pni h m rs klettartom ny 20 C 70 C relativ p ratartalom 0 95 nem kondenz l e A turbomolekul ris szivatty kat mindig l gyan kell ind tani amikor a felhaszn l tveszi s el sz r zemelteti Egy turbonukle ris szivatty rakt rozhat si ideje 10 h nap a sz llit s d tum t l US FIGYELEM Ha valamilyen okb l a rakt rozhat si id t t ll pik a szivatty t vissza kell vinni a gy rba K rem inform ci rt forduljon a helyi Varian v kuumkereskedelmi s szolg ltat si k pviselethez EL KESZITES TELEPIT SRE A Turbo V 81 Mt k l nleges v d csomagol sban sz llitj k Ha ez s rul s jeleit mutatja ami sz llit s k zben felmer lhet forduljon a helyi szolg ltat si irod hoz A rendszer kicsomagol sakor gyeljen arra hogy ne ejtse le s ker lje annak b rmilyen hirtelen t s t vagy razkodasat Ne rtalmatlan tsa a csomagol anyagokat nem megengedett m don Az anyag teljesen jrafeldolgozhat s megfelel az EEC 85 399 es direkt v nak 35 HASZN LATI UTAS T
98. k ytt j n lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lis tiedot Varian ei ota vastuuta seurauksista jotka johtuvat laitteen k ytt ohjeiden t ydellisest tai osittaisesta laiminly nnist ammattitaidottoman henkil n virheellisest laitteen k yt st valtuuttamattomista toimenpiteist tai kansallisen lains d nn n vastaisesta k yt st Sarjan Turbo V 81 M pumput ovat turbomolekyylipumppuja korkean ja ultrakorkean tyhji n k ytt varten J rjestelm kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisi kaasuja tai sy vytt m tt mi kaasuyhdisteit mutta se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella 80000 kierrosta min max py riv n turbiinin avulla jota k ytt korkeatehoinen kolmivaiheinen s hk moottori Turbo V 81 M j rjestelm ss ei ole lainkaan likaavia aineita joten se soveltuu my s puhdasta tyhji t vaativiin k ytt tarpeisiin Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen k ytt j n turvallisuuden takaamiseksi laitteen k yt n aikana Yksityiskohtaiset tiedot l ytyv t osasta Tekniset tiedot T m k sikirja k ytt seuraavanlaisia merkint j A YT Vaara merkit saavat k ytt j n kiinnitt m n huomion erityiseen k ytt tai toimintatapaan jonka v r nlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkil vaurioihin IS Huomio Huomio merkit varoittavat toiminnoista joiden la
99. kler ne pove ete turbo rpalko na sistem PRIPRAVA ZA MONTA O Turbo V 81 M je dobavljen v posebni za itni embala i e je embala a po kodovana kontaktirajte lokalno prodajno pisarno Pri odpiranju sistema pazite da vam ne pade iz rok oz ga ne stresajte Embala o zavrzite v skladu s pravili Material je mo no v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85 399 Napravo name ajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne name ajte v okolju ki je izpostavljeno na atmosferske agente de sneg led prah agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost po ara Tekom delovanja je treba spo otvati naslednje pogoje Maksimalen pritisk 2 bara nad pritiskom atmosfere temperatura from 5 C to 35 C glejte diagram pritisk temperatura v prilogi Tehni ne informacije Relativna vla nost 0 95 brez kondenza V prisotnosti magnetnih polje mora rpalka biti za itena s feromagnetnim itom Za dodatne informacije glejte prilogo Tehni ne informacije 87 900 983 01 B Turbomolekularne amp rpalke iz serije Turbo V 81 M se lahko uporabljajo samo s primernimi krmilniki Varian in morajo biti priklju ene na primarno amp rpalko glej sliko v sekciji Technical Information Primerni krmilniki so slede i Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 Turbo V 81
100. ktor je v rozpore so pecifick mi tandardmi danej krajiny erpadl serie Turbo V 81 M s turbomolekularnymi erpadlami na vytvorenie vysok ho a ultravysok ho v kua ktor s schopn od erpa ubovo n nekoroz vny druh plynu alebo plynnej zmesi Nie s vhodn na erpanie kvapal n alebo tuh ch ast c Vy erp vanie zabezpe uje ve mi r chla turb na max 80000 ota ok minutu poh an vysokov konn m 3 f zov m elektrick m motorom Zariadenie Turbo V 81 M neobsahuje iadne kontamina n inidl a preto sa hod pre aplik cie vy aduj ce ist v kuum Nasleduj ce asti obsahuj v etky potrebn inform cie ktor zaru uj bezpe nos pracovn ka vpriebehu pr ce so zariaden m Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technick inform cie N vod na pou itie obsahuje tieto tandardn ozna enia VAROVANIE Varovania maju s stredit pozornost pracovnika na ur ity postup alebo innost nespr vne vykonanie ktorych m ze sp sobit v Zne zranenie US UPOZORNENIE Upozornenia ozna uju postupy nedodr anie ktorych m e sp sobit po kodenie zariadenia POZN MKA Pozn mky upozor uj na d le it inform cie z textu UCHOV VANIE Ak chcete aby turbomolekul rne v vevy zna ky Varian pod vali maxim lny a spo ahliv v kon dodr iavajte nasleduj ce pokyny neprekra ujte nasledujuce pecifikacie prostredia po
101. l cliente US ATENCI N En caso de superarse por cualquier motivo el per odo m ximo permitido de almacenamiento ser necesario devolver la bomba al fabricante Para mayores informaciones al respecto se ruega contactar con el representante local de Varian INSTRUCCIONES DE USO US ATENCI N Para evitar problemas de desgasificaci n no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vac o Utilizar siempre guantes u otra protecci n adecuada NOTA El Turbo V 81 M no puede dafiarse permaneciendo simplemente expuesto a la atm sfera De todas formas se aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el sistema para evitar su posible contaminaci n por polvo INSTALACI N US ATENCI N Despegar el adhesivo y quitar el tap n de protecci n s lo al conectar la bomba al sistema PREPARACION PARA LA INSTALACI N El Turbo V 81 M se suministta en un embalaje especial de protecci n si se observan da os que podr an haberse producido durante el transporte ponerse en contacto con la oficina local de ventas Durante la operaci n de desembalaje tener cuidado de que no se caiga la bomba y de no someterla a golpes o vibraciones No abandonar el embalaje en el medio ambiente El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85 399 para la preservaci n del medio ambiente No instalar ni o utilizar la bomba en lugares expuesto
102. lder detaljerede oplysninger I brugsanvisningen anvendes f lgende standardrubrikker ZN ADVARSEL Advarselsmeddelelserne informerer operat ren om at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udf res preecist efter anvisningerne modsat fald er der risiko for sv re personskader US VIGTIGT Denne advarselsmeddelelse vises for procedurer der skal folges noje for ikke at risikere maskinskader BEM RK Dette g r opmeerksom p vigtig information i teksten OPBEVARING Det er n dvendigt at overholde f lgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekyl re pumper fra Varian e S rg for at omgivelserne opfylder f lgende betingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne e temperatur fra 20 C til 70 C e relativ fugtighed fra O til 95 ikke kondenserende e Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumper ved hj lp af Soft Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for f rste gang e De turbomolekyl re pumper m opbevares i 10 m neder fra forsendelsesdatoen IS VIGTIGT Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er l ngere er det n dvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken Yderligere oplysninger f s ved henvendelse til den lokale Varian repr sentant FORBEREDELSE F R INSTALLATION Turbo V 81 M leveres i en speciel beskyttende emballage Kontakt den lokale forhandler hvis emballagen vise
103. le file 4 11 Nm tage M8 La turbopompe bride d entr e ConFlat doit tre fix e la chambre vide l aide des l ments m caniques Varian pr vus cet effet Pour tout autre d tail se reporter l appendice Technical Information NOTE Le Turbo V 81 M ne peut tre fix par sa base IS ATTENTION Le Turbo V 81 M appartient la deuxi me cat gorie d installa tions ou surtension pr vue par la norme EN 61010 1 De ce fait brancher le dispositif une ligne d alimentation compatible avec cette cat gorie Pour l installation des accessoires en option se reporter Technical Information UTILIZATION Toutes les instructions pour le fonctionnement correct de la turbo pompe sont contenues dans le manuel de l unit de contr le Lire attentivement ce manuel avant l emploi Pour atteindre des pressions limites meilleures on peut chauffer le Syst me Pendant le chauffage ventuel de la chambre vide la temp rature sur la collerette d entr e ne doit pas tre sup rieure 120 C avec collerette ConFlat et 80 C avec collerette ISO Utiliser toujours le refroidissement eau pendant les op rations de chauffage A EXT Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d entr e n est pas reli e la chambre vide ou si elle n est pas ferm e avec la bride de fermeture Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les op rations de
104. le ufficio vendite la scheda Sicurezza e Salute allegata al presente manuale di istruzioni Copia della stessa deve essere inserita nell imballo del sistema prima della spedizio ne Qualora un sistema dovesse essere rottamato procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifi che SMALTIMENTO Significato del logo WEEE presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata WEEE Questo simbolo valido solo per i paesi della Comunit Eu ropea indica che il prodotto sul quale applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata Si invita pertanto l utente finale a contattare il fornitore del di spositivo sia esso la casa madre o un rivenditore per avviare il processo di raccolta e smaltimento dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita 87 900 983 01 B GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise fur Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verf gen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren ber eine groRe Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch k nnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden
105. mitt m ll j rjestelm n Tyhji kammion mahdollisen l mmitt misen yhteydess imulaipan l mp tilan ei tule nousta 120 C yl puolelle ConFlat laipoituksella ja 80 C yl puolelle ISO laipoituksella K yt vesij hdytyst aina l mmitystoimenpiteiden aikana ZA VAARA lk k ytt k pumppua ellei sis ntulolaippaa ole kytketty tyhji kammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla lk koskeko turbopumppuun tai sen lis osiin l mmitt misen aikana Korkea l mp tila saattaa aiheuttaa henkil iden loukkaantumisia IS Huomio V lt kolhuja heiluntaa tai kkiliikkeit turbopumpun toiminnan aikana sill laakerit voivat vahingoittua K yt pumpun ilmansy tt n ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkasia Erityisen aukon l pi sy tett v n paineen tulee olla alle 2 baaria yli atmosf risen paineen Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla jonka l pi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja Typpi tai Helium laakereiden suojaamiseksi katso Tekniset tiedot liite 30 K YTT OHJEET A VAARA Kun pumppua k ytet n myrkyllisten radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa paloherkkien tai noudattakaa lk k ytt k pumppua r j hdysherkkien kaasujen l hell HUOLTO Sarjan Turbo V 81 M pumput eiv t vaadi mit n huoltoa Mahdolliset toimenpiteet tulee j tt valtuutetun
106. mycket h ga vakuumtill mpningar Systemet kan pumpa alla typer av gaser och ej fr tande gasblandningar men kan dock inte anv ndas f r att pumpa v tskor eller fasta partiklar Pumpningen stadkoms med hj lp av en h gvarvig turbin max 80000 varv minut som drivs av en trefas h geffektsmotor Inga tillsats mnen anv nds i Turbo V 81 M som d rf r passar f r till mpningar som kr ver ett rent vakuum De f ljande avsnitten inneh ller all information som beh vs f r att garantera operat rens s kerhet under anv ndningen Detaljerade uppgifter finns i bilagan Technical information I bruksanvisningen anv nds f ljande standardrubriker N KEEN Varningsmeddelandena informerar operat ren om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete m ste utf ras exakt enligt anvisningarna annat fall finns risk f r sv ra personskador 55 VIKTIGT Detta varningsmeddelande visas framf r procedurer som m ste f ljas exakt f r att inte risk f r maskinskada skall uppst OBSERVERA Detta visar p viktig information i texten F RVARING Respektera f ljande anvisningar f r att garantera optimal pre standa och drifts kerhet f r Varian turbomolekyl ra pumpar e Vid transport flytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras e Temperaturomr de 20 C till 70 C e Relativ fuktighet O till 95 utan kondens e Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pumpar
107. n n r den er i funksjon Lagrene kan skades Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar over atmosf risk trykk Ved pumping av etsende gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell pning Til denne pningen skal flyt av inaktive gasser Nitrogen eller lettere gasser koples for beskytte lagrene se Teknisk informasjon 27 BRUKERVEILEDNING A ADVARSEL N r pumpen brukes for pumpe giftige brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene f lges Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige milj er VEDLIKEHOLD Turbo V 81 M pumpeseriene er vedlikeholdsfrie Alt arbeid p systemet m kun utf res av autorisert personell A ADVARSEL F r noe arbeid gj res p systemet m det frakoples tilf rselen pumpen m luftes ved pne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 C Dersom systemet stanser m du ta kontakt med Varians reparasjonservice eller med Varians avanserte bytteservice som kan tilby overhalte system til erstatning for det delagte systemet MERK F r systemet returneres til produsenten for reparasjon eller som innbytte for et overhalt system m det vedlagte skjemaet Helse og sikkerhet fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret En kopi av dette arket m vedleg
108. n toimittajaan olipa se sitten laitteen valmistaja tai j lleenmyyj tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot A 87 900 983 01 B Ol TO p ropa A 31 87 900 983 01 B TENIKEZ
109. na n r de mottas och s tts i drift f r f rsta g ngen e De turbomolekyl ra pumparna kan lagras i 10 m nader fran leveransdatumet ES VIKTIGT Om lagringstiden av n gon anledning r l ngre m ste pumpen skickas tillbaka till fabriken Var god och kontakta den lokala Varian terf rs ljaren f r ytterligare information F RBEREDELSER F R INSTALLATIONEN Turbo V 81 M levereras i ett s rskilt skyddande emballage Kontakta det lokala f rs ljningskontoret om emballaget visar tecken p skador som kan ha uppst tt under transporten Se till att Turbo V 81 M inte tappas eller uts tts f r st tar vid uppackningen Kasta inte packmaterialet i soporna Materialet r tervinningsbart till 100 och uppfyller EU direktiv 85 399 om milj skydd 23 BRUKSANVISNING IS VIKTIGT Komponenter som skall uts ttas f r vakuum f r inte hanteras med bara h nder p g a kontamineringsrisken Anv nd alltid handskar eller liknande skydd OBSERVERA Normal p verkan fr n omgivningen kan inte skada Turbo V 81 M Trots det r det s krast att h lla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet f r att f rhindra att det kommer in damm eller annat i den INSTALLATION US VIKTIGT Ta bort tejpen och skyddsproppen f rst n r turbopumpen ska anslutas till systemet Installera och anv nd inte pumpen i milj er som uts tts f r p verkan fr n atmosf ren regn sn is damm aggressiv
110. ndt wird ist das Formular Sicherheit und Gesundheit das diesem Handbuch beiliegt ausgef llt an die rtliche Verkaufsstelle zu senden Eine Kopie ist der Verpa ckung des Systems vor dem Versand beizulegen Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein schl gigen nationalen Vorschriften zu erfolgen ENTSORGUNG Bedeutung des WEEE Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in Ubereinstimmung mit der EU Richtlinie WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment angebracht Dieses Symbol nur in den EU L ndern giiltig zeigt an dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsm ll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugef hrt werden muss Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Ger ts d h die Muttergesellschaft oder den Wiederverk ufer kontak tieren um den Entsorgungsprozess zu starten nachdem er die Verkaufsbedingungen gepruft hat 87 900 983 01 B MODE D EMPLOI Normes de s curit pour Pompe Turbomol culaires Les pompes Turbomol culaires d crites dans le Manuel d Instructions suivant ont une nergie cin tique lev e due la grande vitesse de rotation associ e la masse sp cifique de leurs rotors En cas de panne du syst me par exemple cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupture du rotor l nergie de rotation pourrait tre lib r e ZN DANGER Pour viter tout d g t aux appareillages et
111. ntakt mellem rotor og stator eller fordi rotoren g r i stykker kan omdrejningsenergien spredes AN FOIE For at undg materielle skader samt at operatorerne kommer til skade er det strengt n dvendigt n je at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning 19 87 900 983 01 B GENEREL INFORMATION Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse Brugeren bor lese denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Varian f r udstyret anvendes Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som f lge af tilsides ttelse af disse instruktioner fejlagtig brug af personer uden tilstr kkeligt kendskab ukorrekt anvendelse af udstyret eller h ndtering der strider imod g ldende lokale regler Pumperne i serien Turbo V 81 M er turbomolekyl re pumper til anvendelse for h j og ultrah j vakuumtilpasning i stand til at pumpe en hvilken som helst type gas eller ikke tsende gasholdige blandinger De er ikke egnede til pumpning af v sker eller faste partikler Pumpningen sker ved hj lp af en hurtigroterende turbine 80000 omdr min Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med h j effekt Turbo V 81 M er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse der kr ver rent vakuum De f lgende afsnit indeholder oplysningerne der er n dvendige for at garantere sikkerhed for operat ren i forbindelse med anvendelse af udstyret Bilaget Teknisk Information indeho
112. ntil the rotor has stopped turning and wait until the sur face temperature of the pump falls below 50 C In the case of breakdown contact your local Varian service center who can supply a reconditioned system to replace that broken down NOTE Before returning the system to the constructor for repairs or replacement with a reconditioned unit the Health and Safety sheet attached to this instruction manual must be filled in and sent to the local sales office A copy of the sheet must be in serted in the system package before shipping If a system is to be scrapped it must be disposed of in accor dance with the specific national standards DISPOSAL Meaning of the WEEE logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment Directive This symbol valid only in countries of the European Com munity indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system The end user is therefore invited to contact the supplier of the device whether the Parent Company or a retailer to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale 87 900 983 01 B DESCRIPTION OF THE TURBO V 81 M The Turbo V 81 M pump is available in four ver sions The difference among the four versions lies pu
113. odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie W celu szczeg owego zapoznania si z tematem patrz dodatek Informacje Techniczne 87 900 983 01 B Pomp turbomolekularnych z serii Turbo V 81 M nalezy u ywa wytacznie wraz ze specjalnym kontrolerem Varian i musza by one pod czone do pompy g wnej zobacz schemat w Informacje Techniczne Kontrolery b d ce w dyspozycji s nast puj ce Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 Turbo V 81 M mo e by zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji Zamocowa Turbo V 81 M w stabilnej pozycji cz c ko nierz wej ciowy turbopompy do ko nierza sta ego wytrzyma ego na obci enie 1000 Nm wok w asnej osi Na przyk ad ko nierz ISO 63 mo e by zamocowany z zaciskami stalowymi o wysokiej wytrzymalno ci typ modelu Varian IC 63250 DCMZ Niniejsza tabela przedstawia dla ka dego wymiaru ko nierza ilo potrzebnych zacisk w i moment na jaki trzeba je dokr ci KO NIERZ TYP ZACISKU ISO 63 MOMENT DOKR CENIA Podw jny zacisk 4 z gwintem M10 Pojedynczy zacisk 4 z gwintem M8 Turbopompa z ko nierzem wej ciowym ConFlat musi by zamocowana do komory pr niowej poprzez odpowiednie drobne uk ady mechaniczne firmy Varian W celu dodatkowych informacji nale y zapozna si z dodatkiem Informacje Techniczne INFORMACJA Turbo V
114. or Varian turbomolekyl re pumper m f lgende anvisninger f lges e Under transport flytting og lagring av pumpene m ikke f lgende milj forhold overstiges e Temperatur fra 20 C til 70 C e Relativ fuktighet fra O til 95 uten kondensering e Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og startes opp f rste gang e Lagringstiden for en turbomolekyl r pumpe er 10 m neder fra sendedato US FORSIKTIG Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger m pumpen returneres til fabrikken Vennligst kontakt den lokale Varian forhandleren for informasjon BRUKERVEILEDNING US FORSIKTIG For unng avgassingsproblemer m ingen del som skal utsettes for vakuum h ndteres med bare hendene Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr MERK Normale milj messige belastninger kan ikke delegge Turbo V 81 M Likevel anbefaler vi holde pumpen lukket til den er montert i systemet slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedst ving INSTALLASJON US FORSIKTIG Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes f rst n r turbopumpen koples til systemet KLARGJ RE TIL INSTALLASJON Turbo V 81 M leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje Viser denne tegn p skader som kan ha oppst tt under transporten m du ta kontakt med det lokale salgskontoret N r Turbo V 81 M pakkes ut m du se til at det ikke slippes ned eller utset
115. pessoas US ATEN O Evitar colis es oscila es ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando est a funcionar Os rolamentos poderiam sofrer danos Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras ou part culas A press o de entrada atrav s da porta espec fica deve ser inferior a 2 bar acima da press o atmosf rica 15 INSTRU ES PARA O USO Para bombear gases agressivos estas bombas est o equipadas com uma porta espec fica atrav s da qual necess rio fornecer bomba um fluxo de g s inerte Azoto ou H lio para proteger os rolamentos consultar o ap ndice Technical Information A EEE Quando a bomba utilizada para bombear gases t xicos inflam veis ou radioactivos seguir os procedimentos adequados t picos para cada g s N o usar a bomba na presen a de gases explosivos MANUTEN O As bombas da s rie Turbo V 81 M n o necessitam de qualquer manuten o Todas as opera es devem ser efectuadas por pessoal autorizado A EEE Antes de executar qualquer opera o no sistema deslig lo da alimenta o introduzir ar na bomba abrindo a v lvula espec fica aguardar at a completa paragem do rotor e at que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 C Em caso de defeito poss vel usufruir do servi o de assist ncia Varian ou do Varian advanced exchange service que permite obter um sistema regenerado que substitua a bomba com defe
116. plaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is De lagers kunnen an ders beschadigd raken Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar boven de atmosferische druk bedragen Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien waardoor de pomp een stroom inert gas Stikstof of helium ter bescherming van de lagers krijgt geleverd zie bijlage Technical Information 18 GEBRUIKSAANWIJZINGEN ZN B TE Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare giftige of radioactieve gassen moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen ONDERHOUD De pompen van de serie Turbo V 81 M zijn onderhoudsvrij Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd AN GEVAAR Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren de stekker verwijderen de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 C is gezakt In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian of de Varian advanced exchange service in te schakelen zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp OPMERKING Alvorens
117. pression maxi 2 bar au del de la pression atmosph rique temp rature de 5 C 35 C Cf graphique dans Technical Information humidit relative 0 95 non condensante En pr sence de champs magn tiques la pompe doit tre pro t g e l aide d crans appropri s Pour tout autre renseigne ment se reporter l opuscule Technical Information Les pompes turbomol culaires de la s rie Turbo V 81 M doi vent tre utilis es uniquement avec un des contr leurs pr vus Varian et doivent tre reli es une pompe primaire voir le schema sur Technical Information 87 900 983 01 B Les contr leurs disponibles sont les suivants Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 Le Turbo V 81 M peut tre install e dans n importe quelle posi tion Le fixer dans une position stable en reliant la bride d entr e de la turbopompe une contre bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 1000 Nm autour de son axe Par exemple le flasque ISO 63 peut tre fix l aide de brides en acier haute r sistance comme le mod le Varian IC 63250 DCMZ Le tableau suivant indique pour chaque dimension de flasque le nombre de brides n cessaires et le couple de fixation correspondant BRIDE TYPE DE N COUPLE DE COLLIER SERRAGE ISO 63 Collier double file 4 22 Nm tage M10 Collier simp
118. r tegn p skader der kan v re opst et under transporten S rg for at Turbo V 81 M ikke tabes eller uds ttes for st d ved udpakningen 20 BRUGSANVISNING Smid ikke emballagen ud Materialet kan genbruges 100 og opfylder EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse IS VIGTIGT Komponenter der skal uds ttes for vakuum m ikke ber res med bare h nder idet der er risiko for afgasning Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse BEM RK Normal atmosf risk p virkning kan ikke skade Turbo V 81 M Det anbefales dog at opbevare pumpen i en lukket kasse indtil den skal installeres Herved forhindres at der kommer st v i pumpen INSTALLATION IS VIGTIGT Tapen og beskyttelsesproppen fjernes f rst n r turbopumpen tilsluttes systemet Install r og anvend ikke pumpen i milj er der uds ttes for p virkninger fra atmosf ren regn sne is damp aggressive gasser og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt milj F lgende krav til omgivelsesforholdene g lder ved drift max tryk 2 bar over det atmosf riske tryk temperatur fra 5 C til 35 C se illustrationen i bilaget Teknisk Information relativ luftfugtighed 0 95 ikke kondenserende Hvis pumpen er anbragt i n rheden af elektromagnetiske felter skal den afsk rmes Se bilaget Teknisk Information for yderligere oplysninger De turbomolekyl re pumper i serien Turbo V 81 M m kun beny
119. rely in the high vacuum connection The four versions are Model 969 8901 with ISO 63 high vacuum flange Model 969 8902 with KF 40 NW high vacuum flange Model 969 8903 with ConFlat 4 5 external di ameter high vacuum flange Model 969 8904 with ConFlat 2 75 external diameter high vacuum flange Pump Description The pump consists of a high freguency motor driv ing a turbine fitted with 9 bladed stages and 3 Macrotorr stages The turbine rotates in an anti clockwise direction when viewed from the high vacuum flange end The turbine is made of high strength aluminium alloy machined from a single block VACUUM TECHNOLOGIES VACUUM TECHNOLOGIES GEL Model 969 8901 Model 969 8902 VACUUM TECHNOLOGIES VACUUM TECHNOLOGIES ESA A Model 969 8903 Model 969 8904 52 TECHNICAL INFORMATION Proceeding from the high vacuum to the forevac uum region the turbine stages sequence is e lststage with a blade angle of 40 e 2nd stage with a blade angle of 30 e 3rd stage with a blade angle of 24 e 4th and 5th stages with a blade angle of 18 e 6th stage with a blade angle of 14 7th 8th and 9th stages with a blade angle of 12 The Macrotorr stages are in the form of three discs The turbine rotor is supported by permanently lu bricated high precision ceramic ball bearings in stalled on the forevacuum side of the pump The static bl
120. rzez firm Varian przed u ytkowaniem aparatury Firma Varian uchyla si od jakiejkolwiek odpowiedzialno ci w przypadku cz ciowego lub ca kowitego braku przestrzegania instrukcji w przypadku niew a ciwego u ytkowania przez nieprzeszkolony personel w przypadku nieupowa nionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych Pompy z serii Turbo V 81 M to pompy turbomolekularne przeznaczone s do wywo ywania wysokiej i ultra wysokiej pr ni s wstanie pompowa jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej nie korozyjnej Nie znajduj one zastosowania do pompowania p yn w lub cz stek cia sta ych Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotow turbin o wysokiej pr dko ci max 80000 obr min nap dzan przez elektryczny silnik tr jfazowy o wysokiej wydajno ci System Turbo V 81 M jest ca kowicie bez czynnik w zanieczyszczaj cych i dlatego te jest to system odpowiedni do zastosowa gdzie jest wymagana tzw czysta pr nia W nast pnych paragrafach zosta y przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpiecze stwa operatora podczas u ytkowania aparatury Szczeg owe informacje zosta y przedstawione w dodatku dotycz cym informacji technicznych Informacje Techniczne W tej instrukcji zastosowano nast puj ce umowne znaczenia AN NIEBEZPIECZENSTWO Komunikaty niebezpiecze stwa przyci gaj uwag operatora co do danej procedury lu
121. s ra vonatkoz minden utas t st megtal l a vez rl egys g k zik nyv ben Miel tt a berendez st haszn ln figyelmesen olvassa el az eml tett k zik nyvet A jobb nyom s hat r rt kek el r se rdek ben a rendszert fel lehet meleg teni A v kuumkamra esetleges felmeleg t se sor n a bemeneti nyjl sn l m rt h m rs klet nem lehet magasabb mint 120 C ConFlat t pus illeszt perem eset n illetve a 80 C h m rs kletet ISO illeszt perem eset n Mindig alkalmazzon v zh t st a meleg t s sor n US MEM Soha ne haszn lja a turb szivatty t amikor a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a v kuumkamr hoz vagy nincs kiiktatva Ne rintse meg a turb szivatty t vagy annak tartoz kait a melegitesi folyamat k zben Magas h m rs klet g st okozhat US FIGYELEM Ker lje a szivatty t s t r z s t vagy durva mozgat s t zem k zben A csap gyak megs r lhetnek Haszn ljon port l s szil rd r szekt l mentes leveg t vagy k z mb s g zt a szivatty szell ztet s hez A szell z porton l v nyom snak 2 barn l kisebbnek kell lennie a l gk ri nyom s f l tt Agressz v g zok szivatty z s hoz ezek a szivatty k fel vannak szerelve egy k l nleges porttal hogy lehet v tegy k k z mb s g z Nitrog n vagy H lium stabil raml s t v delmet visel szivatty sz m ra l sd M szaki inform ci f ggel k 36 HASZN LATI UTAS T S
122. s a agentes atmosf ricos lluvia hielo y nieve polvo y gases agresivos en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes presi n m xima 2 bares por encima de la presi n atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C v ase gr fico en el anexo Technical Information humedad relativa 0 95 no condensadora Cuando existan campos electromagn ticos la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas V ase el anexo Technical Information para m s detalles Las bombas turbomoleculares de la serie Turbo V 81 M deben usarse exclusivamente con uno de los controladores Varian y deben conectarse a una bomba primaria v ase esquema en Technical Information 87 900 983 01 B Los controladores disponibles son los siguientes Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 El Turbo V 81 M puede instalarse en cualquier posici n Fijar el Turbo V 81 M en posici n estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede resistir a un par de 1000 Nm alrededor de su eje Por ejemplo la brida ISO 63 puede ser fijada con mordazas en acero de alta resistencia tipo modelo tipo Varian IC 63250 DCMZ La tabla siguiente describe para cada dimensi n de brida el n mero de mordazas necesarios y con cu
123. s renseignements plus d taill s se trouvent dans l appendice Technical Information Cette notice utilise les signes conventionnels suivants DANGER Les messages de danger attirent l attention de l op rateur sur une proc dure ou une manoeuvre sp ciale qui effectu e de fagon impropre risque de provoquer de graves l sions IS ATTENTION Les messages d attention apparaissent avant certaines proc dures dont le non respect pourrait endommager s rieusement l appareillage NOTE Les notes contiennent des renseignements importants extrapo l s du texte STOCKAGE Pour garantir les performances et la fiabilit maximales des pompes turbomol culaires Varian il est indispensable de res pecter les instructions suivantes e Le transport la manutention et le stockage des pompes doivent imp rativement avoir lieu dans les conditions am biantes suivantes e temp rature de 20 C 70 C e humidit relative de 0 95 non condensante e A la premi re utilisation les pompes turbomol culaires doivent toujours tre mises en marche en mode soft Start e Le temps de stockage d une pompe turbomol culaire est de 10 mois compter de la date d exp dition US ATTENTION En cas de d passement du temps de stockage la pompe doit tre retourn e en usine Pour tout renseignement contacter le repr sentant Varian de zone MODE D EMPLOI US ATTENTION Afin d viter tout probl me de d gazage
124. scription ui il RI eee 52 TURBO V 81 M OUTEINE i eret a ala 54 INLET SCREEN INSTALLATION eee een ia KK E F ol ran K PaA Aa t 58 HEATER BAND INST EEATION Lena iaia geat nl 59 AIR COOLING KIT INSTALLATION nennen 59 WATER COOLING KIT INSTALLATION mann Ra sn ann 60 VENI ACCESSORIES ur ent eta zia edt ra H n 61 VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION nnne nennen rennen nnne nnns 62 TYPIGAL LAY OUT DIAGRAM iiir eneen ede aoe te 62 With Navigator Controller prate au va 62 With Standard Rack Controller ss 63 Connection A HIGH VACUUM FLANGE nn rr sr rr en eo nn 63 Connection configurations sis 64 Connection B FORE VACUUM PUMP 64 Connection C ELECTRICAL uu u A RO alu rere eg 64 PUMP USED IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS eee eee 65 ACCESSORIES AND SPARE PARTS iii 65 VENT VALVE MODEL SELECTION TABLE ui 65 ISTRUZIONI PER L USO Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantit di energia cinetica dovuta alla alta velocit di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore l energia di rotazione potrebbe essere rilasciata A EEN Per evitare danni all apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori e
125. stopinj C s prirobnicami ISO Vedno morate uporabiti vodno hlajenje med segrevanjem AN OPOZORILO Turbo rpalke ne uporabljajte e dovodna prirobnica ni priklju ena na vakuumsko le i e Tekom segrevanja se turbo rpalke ali njenih delov ne dotikajte Visoka temperatura lahko povzro i opekline 48 NAVODILA ZA UPORABO IS POZOR Izogibajte se udarcem oscilacijam ali nenadnim premikom rpalke tekom delovanja Nosilci se lahko po kodujejo Za prezra evanje rpalke uporabite zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev Pritisk na oddu niku mora biti manj i od 2 bara nad pritiskom atmosfere Za rpanje agresivnih plinov so te rpalke opremljene s priklju kom ki omogo a stalen pretok inertnih plinov Du ik ali Helij za za ito nosilcev glej prilogo Tehni ne informacije AN OPOZORILO Pri amp rpanju strupenih vnetljivih ali radioaktivnih plinov sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina Crpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov VZDRZEVANJE Crpalke iz serije Turbo V 81 M ne potrebujejo nikakr nega vzdrZevanja Kakr no koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje AN OPOZORILO Pred za etkom dela na sistemu ga izklju ite iz napetosti pre istite rpalko tako da odprete primerno odprtino po akajte da se rotor ustavi an po akajte da povr inska temperatura rpalke pade pod 50 C V primeru okvare kontaktirajte lokalni Vari
126. tes for noen form for st t Emballasjen m ikke kastes p en ulovlig m te Alle materialer er 100 resirkulerbare og er i samsvar med EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse Ikke installer eller bruk systemet i milj er som utsettes for regn sn eller is st v aggressive gasser eksplosjonsfarlige milj er eller milj er med stor brannfare Under bruk m f lgende forhold respekteres maksimalt trykk 2 bar over atmosf risk trykk temperatur fra 5 C til 35 C se diagram i tillegget Teknisk informasjon relativ fuktighet 0 95 uten kondens Ved magnetfelt m pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer Se Teknisk informasjon for detaljer 87 900 983 01 B Turbo V 81 M pumpen skal kun brukes sammen med en av de egnede Varian styreenhetene og den m koples til en hovedpumpe se skjema i Technical Information F lgende styreenheter kan brukes Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 Turbo V 81 M kan monteres i en valgfri stilling Fest Turbo V 81 M i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment p 1000 Nm rundt aksen For eksempel ISO 63 flensen kan festes ved bruke ekstra resistente st l klemmer som Varian modell IC 63250 DCMZ F lgende tabell viser det n dvendige antall klemmer og den tilsvarende festeanordning for hver enkelt flens
127. to the Vent Valve Model Selection table to choose the valve and the related control unit NOTE Refer to the control unit manual for the pump valve controller interconnections Refer to the vent valve manual and follow the in structions to properly vent the turbomolecular pump To install the vent valve unscrew the threaded plug see figure below 87 900 983 01 B Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2 5 Nm p Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump CAUTION Then connect the cable from the valve to the suit able connector on the controller VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION Two vibration isolators for ISO and CFF inlet flange version pumps are available as accesso ries The two model part numbers are the following model 969 9375 for ISO 63 flange model 969 9376 for CFF 4 5 flange They typically reduce the vibration transmitted from the Turbo V 81 M to the system by a factor of 20 Please refer to the relevant instruction manual 62 TECHNICAL INFORMATION TYPICAL LAYOUT DIAGRAM With Navigator Controller Connection A MA be er Connection B 9 suppiy P 1 Turbo V Navigator controller 2 Vent valve 3 Vacuum pump shut off valve optional 4 System vent valve optional 5 Vacuum chamber 6 lonization gauge 7 Fore vacuum pump conn
128. trycket mot r tt d rr m steunderstiga 2 bar ut ver det atmosf riska trycket F r pumpning av fr tande gaser r dessa pumpar f rsedda med en speciell ppning igenom vilken man ska leda en str m av delgas Kv ve eller Helium f r att skydda lagren se bilagan Technical information 24 BRUKSANVISNING A VARNING D pumpen anv nds f r pumpning av giftiga l ttant ndliga eller radioaktiva gaser b r man f lja de s rskilda anvisningarna f r varje enskild gas Anv nd ej pumpen i n rheten av explosiva gaser UNDERH LL Turbo V 81 M pumparna kr ver inget som helst underh ll Allt servicearbete m ste utf ras av auktoriserad personal man Innan n got arbete utf rs p systemet m ste pumpens str mf rs rjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen ppnas V nta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur r l gre n 50 C Om pumpen havererar kontakta Varian reparationsverkstad eller Varian utbytesservice som kan ers tta systemet med ett renoverat system OBSERVERA Innan systemet l mnas in till tillverkaren f r reparation eller utbyte mot en renoverad enhet m ste h lso och s kerhetsbladet som medf ljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala terf rs ljaren Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen Skrotning av pumpen skall ske enligt g llande lagstiftning BORTSKAFFNING Betydelse av logotypen W
129. ttes med en af de specielle Varian controller og de skal tilsluttes med en prim r pumpe se skemaet under Technical Information 87 900 983 01 B De controller som st r til r dighed er f lgende Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 Turbo V 81 M kan installeres i en hvilken som helst position Fastg r Turbo V 81 M i en stabil position ved at slutte turbopumpens indl bsflange til en fast kontraflange der t ler et moment p 250 Nm omkring akselen Flangen ISO 63 kan for eksempel fastg res med klemmer af hojstyrkest l type Varian model IC 63250 DCMZ Nedenst ende tabel viser hvor mange klemmer der kr ves alt efter flangens st rrelse samt med hvilket sp ndingsmoment de skal strammes LANGE KLEMMETYPE ANT DREJNINGS MOMENT gevind M10 Enkelt klemme 4 11 Nm gevind M8 Turbopumpen med ConFlat indl bsflange skal tilsluttes p vakuumkammeret ved hj lp af Varian monteringsudstyret bilaget Teknisk Information findes yderligere detaljer BEM RK Turbo V 81 M kan ikke fastg res i fundamentet IS VIGTIGT Turbo V 81 M h rer til den anden installationsklasse eller oversp ndingsklasse jf normen EN 61010 1 Slut derfor anordningen til en forsyningslinie som opfylder kravene i denne klasse Der henvises til bilaget Teknisk Information for oplysninger vedr rende inst
130. vatty ra kell k tni l sd a M szaki Inform ci k Technical Information r szben megadott rajzot 87 900 983 01 B Az alkalmazhat vez rl egys gek a k vetkez k Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 A Turbo V 81 M b rmely helyzetben telepithet R gzitse a Turbo V 81 Mt stabil helyzetben a turb szivatty bemeneti karim j t egy r gzitett ellenkarim ra csatlakoztatva amely k pes ellen llni 1000 Nm tengely k r li nyomat knak P ld ul az ISO 63 karima r gzithet nagy teherbir su ac lkapcsokkal mint az IC 63250 DCMZ Varian tipus A k vetkez t bl zat mindegyik karimam rethez megmutatja az kapcsok szukseges sz m t s a hozz tartoz r gzit nyomat kot R GZIT EET A ISO 63 A ConFlat bemeneti karim s turb szivatty t a megfelel Varian hardverrel kell r gziteni a vakuumkamrahoz R szletes leirasert l sd Miszaki inform ci MEGJEGYZ S A Turbo V 81 M nem r gz thet az alapj n kereszt l R GZ T NYOMAT K US FIGYELEM A Turbo V 81 M a m sodik telep t si vagy t lfesz lts g kateg ri hoz tartozik az EN 61010 1 direkt va szerint Csatlakoztassa az eszk zt a fenti kateg ri nak megfelel h l zathoz Opcion lis tartoz kok telep t s hez v lassza a M szaki inform ci t HASZN LAT A turb szivatty helyes alkalmaz
131. vnich plyn dodr ujte prosim pozadovan postupy pro likvidaci kaZd ho plynu Vyv vu nepouzivejte v pfitomnosti vybu nych plynu UDRZBA erpadla Fady Turbo V 81 M nevy aduj Z dnou dr bu Ve ker prace na tomto zatizeni musi provad t opravn ne osoby ZN VYSTRAHA Ne za nete prov d t jak koli pr ce na tomto zafizeni odpojte jej od s t odvzdu n te v v vu otev en m p slu n ho ventilu po kejte a se rotor p estane ot et a po kejte dokud povrchov teplota v v vy neklesne pod 50 C V p pad poruchy kontaktujte m stn servisn st edisko firmy Varian kter m e dodat n hradn repasovan za zen v m nou za porouchan POZN MKA P ed odesl n m v v vy v robci na opravu nebo v m nu za repasovan kus mus te list Health and Safety Zdrav a bezpe nost p ilo en k tomuto n vodu vyplnit a odeslat do kancel e m stn ho prodejn ho odd len P ed odesl n m za zen mus te k za zen p ibalit kopii tohoto listu Pokud se m za zen vy adit mus se zlikvidovat v souladu s konkr tn mi st tn mi normami LIKVIDACE V znam loga WEEE nach zej c ho se na t tku N e uveden symbol odpov d sm rnic m CE pojmenovan m WEEE Tento symbol platn jen pro st ty Evropsk Unie ur uje e v robek kter je takto ozna en NESM b t likvidov n spole n s ostatn mi dom c mi nebo pr myslov mi odpady
132. z Eur pai K z ss g orsz gaiban rv nyes azt jelzi hogy a term k melyen megtal lhat NEM ker lhet k z ns ges h ztart si vagy ipari hullad kkal egy tt megsemmis t sre hanem azt egy szelekt v hullad kgy jt rendszerbe kell tov bb tani A v gfelhaszn l nak a gy jt si s megsemmis t si elj r s beind t sa c lj b l az ad sv teli szerz d s hat rid inek s felt teleinek alapos ttanulm nyoz sa ut n fel kell vennie a kapcsolatot a berendez s sz ll t j val legyen ez a gy rt vagy egy viszontelad AN 87 900 983 01 B INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskaz wki dotyczace bezpieczenstwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obstugi posiadaja wysoka energie kinetyczn spowodowan bardzo wysok pr dko ci obrot w razem z masa w a ciw wirnik w W przypadku uszkodzenia systemu na przyk ad z powodu kontaktu mi dzy wirnikiem a stojanem lub z powodu p kni cia wirnika energia obrotowa mo e by zwolniona AN NIEBEZPIECZE STWO Aby unikna uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciata operator w nalezy obowiazkowo przestrzegac zalecenia dotyczace instalacji opisane w niniejszej instrukcji obstugi 37 87 900 983 01 B OG LNE INFORMACJE Ta aparatura jest przeznaczona do uzytku zawodowego U ytkownik musi przeczyta bardzo uwa nie niniejsz instrukcj ka d dodatkow informacj dostarczon p
133. ze pouzivat jen ve spojen s n kterym ze speci lnich controller Varian a mus byt p ipojeno k prim rn mu erpadlu viz sch ma v bodu Technick informace Jsou k dispozici n sledujici controllery Rack controller 81 AG 969 8988 Rack controller 81 AG RS232 485 969 8989 Rack controller 81 AG Profibus 969 8990 PCB 24 V 969 9538 Vyv vu Turbo V 81 M Ize instalovat v libovoln poloze Vyv vu Turbo V 81 M upevn te v n jake stabilni poloze a privodni prirubu turbovyv vy pripojte k pevn protiprirub kter snese torzn moment 1000 Nm kolem sv osy Nap p rubu ISO 63 Ize p ipevnit p chytkami z vysoce pevn oceli jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Varian Nasledujici tabulka uvadi nezbytny po et prichytek pro ka dou prirubu a p slu n utahovaci moment P RUBA P CHYTN PO ET UTAHOVACI ZA ZEN MOMENT ISO 63 22 Nm P chytky M8 4 11 Nm Turbomolekul rni vyv va se vstupni pfirubou ConFlat se musi pfipevnit k vakuov komo e pou it m p slu n ho materi lu firmy Varian Viz podrobn popis v p loze Technick informace POZN MKA V v vu Turbo V 81 M nelze pfipevnit pomoc jej podstavy 1 VAROV N Podle sm rnice EN 61010 1 patri vyv va Turbo V 81 M do druh elektroinstala n nebo p ep ov t dy Za zen p ipojte do nap jec s t kter spl uje uvedenou t du Chcete li informace o dopl kov m
134. zu vermeiden d rfen die Teile die mit dem Vakuum in Ber hrung kommen nicht mit den blo en H nden angefa t werden Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden HINWEIS Die Pumpe kann durch die Umgebung an sich keine Sch den erleiden Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden INSTALLATION US ACHTUNG Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschlu der Turbopumpe an das System abnehmen VOR DER INSTALLATION Turbo V 81 M wird in einer speziellen Schutzverpackung gelie fert Eventuelle Transportsch den sind der zust ndigen rtli chen Verkaufsstelle zu melden Die Pumpe ist vorsichtig aus zupacken wobei es vor dem Herunterfallen und vor St Ren und Vibrationen zu sch tzen ist Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgem zu entsorgen Es ist vollst ndig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85 399 EWG f r Umweltschutz Die Pumpe darf nicht in Umgebungen die ungesch tzt vor Wetter Regen Frost Schnee Staub und aggressiven Gasen sind sowie auch nicht in explosionsf higen oder erh ht brand gef hrdeten Umgebungen installiert und oder benutzt werden Beim Betrieb m ssen folgende Umgebungsbedingungen eingehal ten werden Maximaler Druck 2 bar ber dem atmosph rischen Druck Temperatur von 5 C bis 35 C siehe Diagramm im An hang Technical Informat

Turbo-V 81-M Models:

Contents

Download Pdf Manuals

Related Search

Related Contents