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Interfaccia con un computer

1. 222 22 e seen eee 49 Unit of Measurement 48 Ground connection ooo 21 H Hysteresis sier a ia doni Alieni LORI Oi ii 39 I VO testi curii a a aa ed ic nel 56 81 Identifying transmitters ooooocoooocoooco eee 34 81 Intended USE Rare A ALLE A e 8 L Literature ant io pena elia o ie N NE LIA 93 Lower threshold value 1 2 2 2 0 cece eee eee ees 38 Adjustment range 40 M Mains connection Li 21 Maintenance alieni Bure EE ei 85 Measurement filter 41 69 Measurement mode 0 c eee ee eee rennen nn 29 Identifying transmitters LL 34 Selecting a Channel 31 Status r6port nr ione en Aa bru a aio deli 30 Switching a transmitter Off 33 Switching a transmitter ON 32 Switching degas function Off 33 Switching degas function ON 32 Measuring range 43 70 Mnemonics Definition fire a Fo pel Gee ea Aa aes 59 Overview re ee Ri 62 Mounting the unit in a rack LL 19 96 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Appendice O OMS a aisi pia 44 73 Operating MOdES rina een id 29 Measurement mode ce eens 29 Parameter Mode E Ee A ete ee be Pad 35 Program transfer Mode 85 P Parameter QroupS siasii aaa EA a E E cee eee 35 Parameter Mode ro iurare Ceneri e e 35 BasSiC operation ae ca sr EE rele 37 Parameter setup lock 0 54 73 Parameters General parameters 48 Sensor parameters 41 Switching function parameters sasssa cece e
2. 9 2 PTR 1 10 1 10 9 2 PTR 90 5 10 5 10 CTR FS 1000 FS 8 2 ITR 1 10 5 10 Tab 5 1 Intervallo di regolazione dei valori di soglia pi bassi Intervallo di regolazione del valore di soglia pi alto Il valore di soglia pi alto di una funzione di commutazione pu essere impostato nell intervallo di pressioni seguente Trasmettitore SP H min mbar SP H max mbar TTR 1 1 SP L 5 10 TTR 100 1 1 SP L 15 10 PTR 1 1 SP L 1 10 PTR 90 1 1 SP L 5 10 CTR SP L 0 01 FS FS ITR 1 1 SP L Di 10 Tab 5 2 Intervallo di regolazione dei valori di soglia pi alti Questo significa che l isteresi pari almeno al 10 del valore di soglia pi basso trasmettitori logaritmici o alli del valore di fondo scala trasmettitori lineari Se un trasmettitore di altro tipo connesso a un canale il rispettivo valore di soglia sar regolato automaticamente se necessario 40 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Parametri 5 2 Parametri dei sensori PArA SEn C un insieme separato di parametri dei sensori per ciascun canale Selezionate il canale richiesto prima di cambiare il menu parametri e modificare i parametri dei sensori Il numero dei parametri disponibili dipende dal tipo di trasmettitore connesso al canale selezionato Si veda la Tab 5 3 B 41 F Noe LL Trasmettitore un o To 6 ES PES lt N LL g D 4 I O LL O gt u in iL TTR Y Y TTR 100 Y Y PTR Y Y Y Y PTR 90 Y Y CTR
3. Viene visualizzato il nome del gruppo 4 Premere il tasto PARA per selezionare il parametro desiderato Vengono visualizzati il nome e il valore del parametro 5 Usare i tasti freccia e il tasto CH se necessario per modificare il valore del parametro valore del parametro cambiato 6 Ripetere i passi 4 e 5 per cambiare ulteriori parametri dello stesso gruppo di parametri L unita ritorna nella modalit misura dopo aver avuto accesso all ultimo parametro di un gruppo di parametri Le modifiche dei parametri hanno effetto immediatamente e sono salvate nella EEPROM in modo automatico GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 37 Parametri 5 Parametri 5 1 Parametri delle funzioni di commutazione PArA SP Questo gruppo di parametri vi permette di configurare le funzioni di commutazione seguenti parametri delle funzioni di commutazione sono disponibili nel CENTER TWO SPIL SP1 H SP2L SP2 H SP3L SP3 H SP4 L SP4 H Inoltre il CENTER THREE dotato dei seguenti parametri per le funzioni di commutazione SP5 L SP5 H SP6L SP6 H 5 1 1 Termini fondamentali Funzioni di commutazione Il CENTER TWO dotato di quattro rel che scattano in funzione della pressione misurata contatti dei rel non sono in tensione e possono essere usati per commutare attraverso la connessione RELAY Si veda il Capitolo 3 3 5 RELAY 23 In questo contesto ci riferiamo alle funzio
4. NC 4 Interruzione contatto SP 1 NC 17 Contatto comune SP 4 COM 5 Contatto comune SP 1 COM 18 Messa in contatto SP 4 NO 6 Messa in contatto SP 1 NO 19 Interruzione contatto SP 5 NC 7 GND Messa a terra 20 Contatto comune SP 5 COM 8 Interruzione contatto SP 2 NC 21 Messa in contatto SP 5 NO 9 Contatto comune SP 2 COM 22 Interruzione contatto SP 6 NC 10 Messa in contatto SP 2 NO 23 Contatto comune SP 6 COM 11 Interruzione contatto SP 3 NC 24 Messa in contatto SP 6 NO 12 Contatto comune SP 3 COM 25 24 VDC 200 mA Soddisfa le norme 13 Messa in contatto SP 3 NO per una tensione ultra bassa con protezione di massa SELV E secondo EN 61010 n c non connesso COM Contatto comune NC Interruzione contatto normalm chiuso NO Messa in contatto normalm aperto Nota Il pin 25 utilizzato per fornire ai rel una capacit di rottura superiore Il contatto di alimentazione protetto a 200 mA con un elemento PTC L elemento auto resettante quando si spegne l unit o si scollega il connettore RELAY GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 23 Installazione Attenzione Tensioni pericolose Tensioni superiori a 60 VDC o 30 VAC possono causare serie lesioni La connessione RELAY pu essere usata per commutare tensioni fino a 60 VDC o 30 VAC soltanto Queste tensioni devono soddisfare le norme per tensione ultra bassa con protezione di massa SELV E in accordo a EN 6
5. Nessun errore 1 Il controllo di supervisore scattato 2 Attivit non eseguita e 3 Errore della EPROM 4 Errore della RAM 5 Errore della EEPROM 6 Errore del Display 7 Errore del convertitore A D 8 Errore del UART 9 Errore generico del trasmettitore 1 10 Errore di ID del trasmettitore 1 11 Errore generico del trasmettitore 2 12 Errore di ID del trasmettitore 2 13 Errore generico del trasmettitore 3 14 Errore di ID del trasmettitore 3 76 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Interfaccia con un computer 6 3 24 SAV Salva i parametri nella EEPROM Il comando SAV 0 azzera tutti i parametri ai loro valori di default impostazioni di fabbrica Si veda il Capitolo 5 3 4 Parametri di default dEF B 49 Il comando SAV 1 salva i valori dei parametri che sono stati modificati tramite l interfaccia seriale nella EEPROM Questi valori vengono conservati anche quando l unit spenta S SAV a lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Salva i parametri 0 Salva i parametri di default 1 Salva i parametri dell utente Nota parametri che sono stati modificati manualmente tasti di controllo vengono salvati automaticamente nella EEPROM Il comando SAV non necessario in questi casi 6 3 25 SCI Controllo del sensore 1 Controllo del trasmettitore 1 Si veda il Capitolo 5 2 6 Attivazione del trasmettitore S on B 45 e il Capitol
6. Oerlikon Leybold Vacuum 17 Installazione Abb 3 1 Usare il prodotto come unit da banco 4 Girate nuovamente il Multi Channel Controller nella posizione normale e posizionatelo nel posto desiderato 3 2 2 Montaggio su pannello di controllo Per montare l unit su un pannello di controllo occorre il seguente riquadro 105 91 4 o 122 5 1 1 2 Abb 3 2 Riquadro per pannello di controllo in mm 1 Inserire il Multi Channel Controller nel riquadro 2 Fissare l unit con viti M3 Nota Per ridurre lo sforzo sul pannello frontale si raccomanda di porre un supporto per il fondo dell unit 18 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Installazione 3 2 3 Montare l unit su un rack Il Multi Channel Controller progettato per l installazione su un adattatore al telaio di un rack conforme a DIN 41 494 19 3 HE A questo scopo con l unit vengono fornite 4 viti e 4 boccole di plastica Classe di protezione inferiore del rack Attenzione Se il prodotto installato su un rack probabile che si sia abbassata la classe di protezione del rack protezione da corpi estranei e acqua per es secondo le norme EN 60204 1 per le scatole di interruttori Prendete le misure appropriate per ripristinare la classe di protezione richiesta per il rack Abb 3 3 Montare l unit su un rack Nota Per ridurre lo sforzo sul pannel
7. U 10 12 9 U 10 V equivalente a p 1000 mbar Il punto di commutazione tra i 2 trasmettitori 10 mbar PM411 Curva caratteristica non lineare dell uscita proveniente dalla scheda PM 411 5 3 6 Rel del segnale di errore Err r Il parametro Err r usato per specificare quale tipo di errore far scattare il rel del segnale di errore Visualizzazione Significato ALL Tutti gli errori no SE Errori del dispositivo CH 1 Errori del dispositivo e del sensore 1 CH 2 Errori del dispositivo e del sensore 2 CH 3 Errori del dispositivo e del sensore 3 Tab 5 10 Valori del parametro Err r 52 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 5 4 Parametri di test PArA tESt Questo gruppo di parametri pensato per scopi di test e di servizio Si usa per esaminare ulteriori dati di sistema per impostare parametri di base del sistema e per verificare singole funzioni di sistema Il gruppo di parametri tESt non richiesto durante il normale funzionamento Per questa ragione non accessibile in modo normale 5 4 1 Selezione Quando accendere Il gruppo di parametri tESt diventa disponibile se accendete il Multi Channel Controller come segue 1 Premere il tasto PARA e mantenerlo premuto 2 Accendere l alimentazione principale Si veda la Fig 3 4 20 Pos H Multi Channel Controller acceso Il gruppo di parametri tESt selezionato L indicatore PARA illuminato Durante il normale
8. 0000 11 0000 d dddd Canale ADC 4 Identificazione del trasmettitore 1 in volt 0 0000 5 0000 e eeee Canale ADC 5 Identificazione del trasmettitore 2 in volt 0 0000 5 0000 f ffff Canale ADC 6 Identificazione del trasmettitore 3 in volt 0 0000 5 0000 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 79 Interfaccia con un computer 6 3 29 TDI Test del display Esegue il test del display Si veda il Capitolo 5 4 9 Test del display di t E 56 S TDI a lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Stato del test 0 Spento 1 Acceso 6 3 30 TEE Test della EEPROM Esegue il test Si veda il Capitolo 5 4 8 Test della EEPROM EE t 55 Cautela Vita della EEPROM Un numero elevato di operazioni di scrittura riduce la vita della EEPROM Non ripetere il test della EEPROM pi volte del necessario per es in cicli di programma S TEE lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R aaaa lt CR gt lt LF gt Il carattere di controllo lt ENQ gt inizia il test Occorre circa un secondo per completare il test Parametro Significato aaaa Stato di errore Si veda il Capitolo 6 3 9 ERR B 68 6 3 31 TEP Test della EPROM Esegue il test Si veda il Capitolo 5 4 7 Test della EPROM EP t 55 S TEP lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R aaaa bbb
9. 0100 Hardware non installato 0010 Parametro non valido 0001 Errore di sintassi Lo stato di errore un numero binario Pu essere combinato con l operatore logico OR Esempio 1001 Errore dello strumento ed errore di sintassi 68 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Interfaccia con un computer 6 3 10 EUM Accende spegne l emissione Si veda il Capitolo 5 2 10 Emissione EMi B 47 S EUM a b c lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a b c lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Emissione per il canale 1 0 Manuale 1 Automatica default b Emissione per il canale 2 si veda sopra c Emissione per il canale 3 si veda sopra 6 3 11 FIL Filtro Filtro di misura Si veda il Capitolo 5 2 1 Filtro di misura FiLt B 41 S FIL a b c lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a b c lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Filtro per il canale 1 0 Veloce 1 Medio default 2 Lento b Filtro per il canale 2 si veda sopra Cc Filtro per il canale 3 si veda sopra GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 69 Interfaccia con un computer 6 3 12 FSR Intervallo di misura completo Intervallo di misura completo dei trasmettitori lineari CTR Si veda il Capitolo 5 2 3 Intervallo di misura FS B 43 S FSR a b c lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S
10. 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Appendice Appendice Parametri di default Visualizzazione Default Utente SP L 1 10 mbar SP H 9 10 mbar FiLt nor GAS n2 Cor 1 00 FS 1000 mbar oFS oFF 0 0000E 00 mbar S on HAnd 1 00E 03 mbar S oFF HAnd 1 00E 03 mbar unit bAr bAud 9600 diGit 2 Ao LoG Err r ALL dt C Auto tr L oFF LoC oFF EMi Auto FIL Auto Letteratura 1 Operating Manual THERMOVAC Transmitter TTR 90 GA 09 220 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH D 50968 K ln 2 Operating Manual THERMOVAC Transmitter TTR 211 S GA 09 216 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH D 50968 K ln GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 93 Appendice 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 Operating Manual PENNING Transmitter PTR 225 GA 09 308 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH D 50968 K ln Operating Manual CERAVAC Transmitter CTR 90 GA 09 040 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH D 50968 K ln Operating Manual CERAVAC Transmitter CTR 91 GA 09 040 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH D 50968 K ln Operating Manual IONIVAC Transmitter ITR 90 GA 09 420 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH D 50968 K ln Operating Manual THERMOVAC Transmitter TTR 100 TTR S2 GA 09 221 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH D 50968 K ln Operating Manual THERMOVAC Transmitter TTR 91 TTR S GA 09 222 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH D 50968 K ln Operating Manual THERMOVAC Transmitt
11. 1 Automatica default 84 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Manutenzione e servizi 7 Manutenzione e servizi 7 1 Manutenzione Il Multi Channel Controller non richiede alcun intervento speciale di manutenzione 7 1 1 Pulizia Per pulire l esterno dell unit sufficiente usare un panno leggermente umido Non usate alcun detergente aggressivo o abrasivo Alimentazione Pericolo Il Multi Channel Controller contiene parti che sono connesse all alimentazione di rete Accertatevi che nessun oggetto entri attraverso le feritoie dell unit Mantene asciutta l unit Non aprite l unit 7 2 Modalit di trasferimento del programma Se il vostro Multi Channel Controller richiede una versione del firmware aggiorna ta per es per usare un nuovo tipo di trasmettitore vi preghiamo di contattare il centro servizi Oerlikon Leybold Vacuum locale parametri utente da voi impostati rimangono in generale disponibili anche dopo l aggiornamento del firmware Vi consgiliamo in ogni caso di prendere nota delle impostazioni prima di aggiornare Si veda la Sezione Parametri di Default B 93 7 2 1 Preparazioni e selezione 1 Spegnere il Multi Channel Controller 2 Connettere lo spinotto della RS232C Fig 3 4 B 20 2 10 Pos F a una interfaccia seriale del PC es COM1 Si veda il Capitolo 3 3 7 RS232C E 25 3 Premere il tasto dietro l apertura Fig 3 4 B 20 Pos E con una matita ed accendere i
12. 5 17 Test dei rel 5 4 13 Test della RS232C rS t Test dell interfaccia RS232C In questo test il Multi Channel Controller riecheggia ogni carattere ricevuto dall interfaccia seriale verso l interfaccia stessa Il test inizia non appena il parametro rS t stato selezionato Potete usare per esempio un programma di terminale e immettere i caratteri dalla tastiera Ciascun carattere immesso reinviato al terminale dal Multi Channel Controller Il trasferimento di dati tra le due unit visibile solo sullo schermo del terminale Premere il tasto PARA per interrompere il test e ritornare alla modalit misura GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 57 Interfaccia con un computer 6 Interfaccia con un computer 6 1 Fondamentali 6 1 1 Connessione Il Multi Channel Controller pu comunicare con un computer attraverso un interfaccia seriale RS232C Lo spinotto e il cavo necessari per la connessione sono descritti nel Capitolo 3 3 7 RS232C B 25 6 1 2 Nomenclatura termini e gli stili simbolici seguenti saranno usati per la descrizione dell interfaccia con un computer Termine Significato Host Computer o terminale Sending S Trasferimento di dati dall Host al Multi Channel Con troller Receiving R Trasferimento di dati dal Multi Channel Controller al PHost ASCII Codice Standard Americano per lo Scambio di Informazioni Tab 6 1 Termini Parentesi quadre Le parentesi quadre ide
13. SP6 riguardano le funzioni di commutazione 2 6 rispettivamente Tali comandi sono analoghi al comando SP1 6 3 27 SPS Stato del setpoint Stato della funzione di commutazione Si veda il Capitolo 5 1 Parametri delle funzioni di commutazione PArA SP B 38 S SPS lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a b c d e f lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Stato della funzione di commutazione 1 0 Spento 1 Acceso 78 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Interfaccia con un computer Parametro Significato b Stato della funzione di commutazione 2 si veda sopra c Stato della funzione di commutazione 3 si veda sopra d Stato della funzione di commutazione 4 si veda sopra e Stato della funzione di commutazione 5 si veda sopra f Stato della funzione di commutazione 6 si veda sopra 6 3 28 TAD Test del convertitore A D Esegue il test Si veda il Capitolo 5 4 10 Segnale del convertitore A D Ad S B 56 e il Capitolo 5 4 11 ID del convertitore A D Ad i B 56 S TAD lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a aaaa b bbbb c cccc d dddd e eeee f ffff lt CR gt lt LF gt Parametro Significato ta aaaa Canale ADC 1 Lettura del trasmettitore 1 in volt 0 0000 11 0000 b bbbb Canale ADC 2 Lettura del trasmettitore 2 in volt 0 0000 11 0000 c cccc Canale ADC 3 Lettura del trasmettitore 3 in volt 0
14. a Baw head Bedi a dedi 8 Watchdog i eiii oil ada 54 84 98 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Dichiarazione di Conformit Declaration of Conformity CE We Oerlikon Leybold Vacuum hereby declare that the equipment mentioned below complies with the provisions of the Directive relating to electrical equip ment designed for use within certain voltage limits 2006 95 EC and the Directive relating to electromagnetic compatibility 89 336 EEC Products CENTER TWO CENTER THREE Multi Channel Controller Catalog numbers 230 003 230 004 235 003 235 004 Standards Harmonized and international national standards and specifications EN 61010 1 Safety requirements for electrical equipment for measurement and control use EN 61000 6 2 Electromagnetic compatibility generic emission standard EN 61000 6 3 Electromagnetic compatibility generic immunity standard Signatures Oerlikon Leybold Vacuum GmbH K ln 01 24 2008 01 24 2008 nes MK f J Val Dr Ulrich Jung Harald Udelhoven Vice President Senior Manager Research amp Development Quality Management GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 99 Oerlikon Leybold Vacuum USA Inc 5700 Mellon Road Export PA 15632 8900 Phone 1 724 327 5700 Fax 1 724 325 3577 info vacuum ex oerlikon com UT Oerlikon Leybold Vacuum GmbH Bonner Strasse 498 Bayenthal 50968 K ln GERMANY i Tel 49 0 221 347 1234 oerliko
15. confermare Operazione fallita Errore nel sistema operativo Premere PARA per confermare Errore nel UART Premere PARA per confermare Messaggio di errore ITR 90 0 Nessuna comunicazione con il trasmettitore x Codice di errore Byte alto Si veda la Referenza 6 Messaggio di errore ITR 200 xxH Codice di errore Si veda la Referenza 12 90 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Risoluzione dei probemi 8 3 Supporto tecnico Se il guasto persiste anche dopo che il messaggio stato confermato diverse volte e o il trasmettitore stato cambiato si prega di contattare il centro servizi Oerlikon Leybold Vacuum locale GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 91 Stoccaggio e smaltimento 9 Stoccaggio e smaltimento 9 1 Imballaggio Si prega di conservare l imballaggio originale Tale imballaggio richiesto per immagazzinare il Multi Channel Controller e per spedirlo a un centro servizi Oerlikon Leybold Vacuum 9 2 Stoccaggio Il Multi Channel Controller pu essere conservato solo in una stanza asciutta Devono essere rispettate le richieste seguenti Temperatura ambiente 20 60 C Umidit La pi bassa possibile Preferibilmente si usi una busta di plastica con un essiccante 9 3 Smaltimento Il prodotto deve essere smaltito in accordo alle relative regolamentazioni locali riguardanti lo smaltimento di componenti elettronici nel rispetto dell ambiente 92 GA
16. correnti Nota I comandi PR2 and PR3 riguardano i trasmettitori 2 e 3 rispettivamente Tali comandi sono analoghi al comando PR1 6 3 22 PRX Sensori di pressione Lettura della pressione di tutti i trasmettitori S PRX lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a tb bbbbE bb c d ddddE dd e f ffffEff lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Stato del canale 1 0 Dati della misura ok 1 Sotto l intervallo 2 Sopra l intervallo 3 Errore del trasmettitore 4 Trasmettitore spento 5 Nessun trasmettitore 6 Errore di identificazione 7 Errore ITR b bbbbE bb Lettura della pressione del trasmettitore 1 in unit di misura correnti GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 75 Interfaccia con un computer Parametro Significato c Stato del canale 2 si veda sopra d ddddE dd Lettura della pressione del trasmettitore 2 in unit di misura correnti e Stato del canale 3 si veda sopra f ffffE ff Lettura della pressione del trasmettitore 3 in unita di misura correnti 6 3 23 RES Reset Azzera l interfaccia seriale Cancella il buffer in ingresso Tutti i messaggi di errore in coda sono inviati all Host L unit ritorna in modalit misura S RES a lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R b c d lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a 1 Esegue il reset b c d Messaggi di errore in coda O
17. eee 38 5 1 Parametri delle funzioni di commutazione PArASP 38 5 1 1 Termini fondamentali 38 5 1 2 Configurazione delle funzioni di commutazione 39 5 1 3 Intervallo di regolazione LL cee 40 5 2 Parametri dei sensori PArA SEN 20 2002 e eee eee 41 5 2 1 Filtro di misura Filt 222222222 nenn 41 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 3 Sommario 5 2 2 5 2 3 5 2 4 5 2 5 5 2 6 5 2 7 5 2 8 5 2 9 5 2 10 5 2 11 5 3 5 3 1 5 3 2 5 3 3 5 3 4 5 3 5 5 3 6 5 4 5 4 1 5 4 2 5 4 3 5 4 4 5 4 5 5 4 6 5 4 7 5 4 8 5 4 9 5 4 10 5 4 11 5 4 12 5 4 13 6 6 1 6 1 1 6 1 2 6 2 6 2 1 Tipo digas GAS sl nn an na elsa ale Sex 43 Intervallo di misura FS LL 43 Compensazione OFS o 44 Funzione degassaggio dEGAS 45 Attivazione del trasmettitore S 0N LL 45 Soglia di accensione t ON LL 46 Disattivazione del trasmettitore S OFF 46 Soglia di spegnimento t 0ff o oo ooooooomooo 47 Emissione EMI LL 47 Selezione del filamento Fil 47 Parametri generali PArA GEN 48 Unit di misura unit LL 48 Baud rate DAYO reet iii bra pi 48 Formato di visualizzazione diGit L 220 49 Parametri di default AEF ooo 49 Uscita del registratore AO 49 Rel del segnale di errore Err r LL 52 Parametri di test PArAtESt LL 53 Selezione a dt id oe a 53 Versione d
18. errore di stato nel buffer d uscita Si veda il Capitolo 6 3 9 ERR 68 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 59 Interfaccia con un computer 6 2 4 Esempi Richiedere l identificazione del trasmettitore S TID lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R TTR CTR noSen lt CR gt lt LF gt Richiedere lo stato del trasmettitore S HVC lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R 0 0 0 lt CR gt lt LF gt Richiedere i parametri della funzione di commutazione 1 S SP1 lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R 0 2 0000E 01 5 0000E 00 lt CR gt lt LF gt Richiedere i parametri della funzione di commutazione 2 S SP2 0 9E 1 2 2E0 lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R 0 9 0000E 01 2 2000E 00 lt CR gt lt LF gt Impostare il filtro S FIL 1 2 1 lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R 1 2 1 lt CR gt lt LF gt Comportamento in caso di errore di sintassi S FOL 1 2 1 lt CR gt lt LF gt R lt NAK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R 0001 lt CR gt lt LF gt 60 GA 09 035 4 02 01 2008 O Oerlikon Leybold Vacuum Interfaccia con un computer 6 2 5 Formati dei numeri dati seguenti sono sempre immagazzinati in formato esponenziale nel Multi Channel Controller Valori di pressione Valori di compensazione Valori d
19. lt ENQ gt R a b c lt CR gt lt LF gt Parameter a 70 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Significato Intervallo di misura completo del trasmettitore 1 0 0 01 mbar 1 0 01 Torr 2 0 02 Torr 3 0 05 Torr 4 0 10 mbar 5 0 10 Torr 6 0 25 Torr 7 0 50 Torr 8 1 mbar 9 Torr 10 2 Torr 11 10 mbar 12 10 Torr 13 100 mbar 14 100 Torr 15 1000 mbar 16 1100 mbar 17 1000 Torr 18 2 bar 19 5 bar 20 10 bar 21 50 bar Intervallo di misura completo del trasmettitore 2 si veda sopra Intervallo di misura completo del trasmettitore 3 si veda sopra Interfaccia con un computer 6 3 13 FUM Selezione del filamento Si veda il Capitolo 5 2 11 Selezione del filamento FIL B 47 S FUM a b c lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a b c lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Filamento per il canale 1 0 Automatico default 1 Filamento 2 Filamento 2 b Filamento per il canale 2 si veda sopra c Filamento per il canale 3 si veda sopra 6 3 14 GAS Correzione tipo di gas Si veda il Capitolo 5 2 2 Tipo di gas GAS 43 S GAS a b c lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a b c lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Tipo di gas per il canale 1 0 Azoto aria default 1 Argon 2 Idrogeno 3 Altro gas b Tipo di gas per il canale 2 si veda sopra c Tipo di g
20. modalit parameter vi d accesso a diversi parametri Potete controllare o modificare le impostazioni dei parametri usando i pulsanti freccia Questo vi permette di configurare il Multi Channel Controller Si veda il Capitolo 4 5 Modalit Parameter B 35 Modalit Trasferimento di programma La modalit trasferimento di programma usata per trasferire la versione pi recente del firmware sul Multi Channel Controller Si veda il Capitolo 7 2 Modalit Trasferimento di programma p 85 4 4 Modalit Misura 4 4 1 Selezione Il Multi Channel Controller seleziona automaticamente la modalit misura dopo essere stato acceso Quando l unit impostata sulla modalit parameter si riporter automaticamente in modalit misura se non viene premuto alcun pulsante per 10 secondi GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 29 Funzionamento 4 4 2 Descrizione La modalit misura la modalit di funzionamento standard Vengono visualizzate le letture di pressione dei trasmettitori Se la pressione al di fuori dell intervallo permesso mostrato un messaggio di stato Si veda la Tab 4 1 30 Visualizzazione Er Hi Upper limit Reading Lower limit Er Lo noSEn noid oFF Hot SELF CH 1 CH2 CH3 LoC Tab 4 1 Visualizzazioni in modalit misura Pressione Molto al di sopra dell intervallo permesso L indicatore FAIL lampeggia Il rel del segnale di errore scatta AI di sopra del
21. richiesti gli strumenti ausiliari seguenti Spinotto D Sub 15 pin Strumentazione per saldature Generatore di tensione ad alta precisione da 10 volt 10 000 V Offset di taratura 1 Scollegare il trasmettitore dal rispettivo canale 2 Collegare i pin 2 Segnale e 12 Segnale GND di uno spinotto D Sub da 15 pin con un tratto di filo Si veda il Capitolo 3 3 4 SENSOR 22 3 Porre lo spinotto D Sub con il tratto di filo sulla connessione del sensore del rispettivo canale L ingresso del convertitore A D cortocircuitato 4 Usare l interfaccia seriale per inviare il comando CAO a all unit Per il parametro a si usi 0 Canale1 Canale 2 2 Canale 3 L offset di taratura del rispettivo canale fissato e salvato nella EEPROM Fattore di taratura 5 Rimuovere lo spinotto D Sub con il tratto di filo dalla connessione del sensore del rispettivo canale 6 Collegare i pin 2 Segnale e 12 Segnale GND di uno spinotto D Sub da 15 pin con un generatore di tensione ad alta precisione Si veda il Capitolo 3 3 4 SENSOR 22 Pin 2 10 000 V VPin12 GND 88 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Manutenzione e servizi 7 Porre lo spinotto D Sub con le connessioni del generatore di tensione sulla connessione del sensore del rispettivo canale 8 Usare l interfaccia seriale per inviare il comando CAF a all unit Per il parametro a si usi 0 Canale 1 1 Canale 2 2 Canale 3 Il fattore di
22. ripetutamente 5 4 8 Test della EEPROM EE t Test della memoria dei parametri Premere il tasto UP per iniziare il test Visualizzazione Significato run Il test in esecuzione PASS Test completato senza errori Err Test completato con errori rilevati Tab 5 16 Test della EEPROM Si prega di contattare il centro servizi Oerlikon Leybold Vacuum locale se il test fallisce ripetutamente GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 55 Parametri 5 4 9 Test del display di t Test dello schermo In questo test tutti i segmenti del display sono inizialmente illuminati simultaneamente Quindi i singoli segmenti del display sono attivati uno dopo l altro Premere il tasto UP per iniziare il test 5 4 10 Segnale del convertitore A D Ad S Mostra l uscita del convertitore A D in volt per ciascun canale Quando si applica una tensione di riferimento al pin del segnale di ingresso della connessione SENSOR possibile controllare i convertitori A D del rispettivo canale Si veda il Capitolo 3 3 4 SENSOR B 22 Nota Quando il segnale di ingresso non collegato viene visualizzato un valore che fluttua velocemente a causa dell alta sensibilit di misura dell unit Premere il tasto UP per iniziare il test 5 4 11 ID del convertitore A D Ad i Per ciascun canale mostra un segnale in volt causato dal un resistore all interno del trasmettitore collegato Questo segnale usato per identificare il
23. taratura del rispettivo canale fissato e salvato nella EEPROM Ora il canale stato tarato GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 89 Risoluzione dei problemi 8 Risoluzione dei problemi 8 1 Indicazione di guasto Un guasto nel Multi Channel Controller viene indicato come segue FAIL lampeggia e il display mostra un messaggio di errore Si veda il Capitolo 8 2 Messaggi di errore E 90 l rel del segnale di errore si apre 8 2 Messaggi di errore Visualizzazione SE dt rA EP EE di Ad UA Erx Er xx Possibile causa e azione correttiva Errore del sensore Errore nella connessione del rispettivo trasmettitore Premere PARA per confermare Se la causa non sta ta rimossa verr visualizzato noSEn o noid Il controllo di supervisore stato attivato Grave guasto elettrico o errore del sistema operativo Oppure il Multi Channel Controller stato spento e ri acceso senza sufficiente tempo di attesa Premere PARA per confermare II Multi Channel Con troller confermer automaticamente dopo 2 s se il con trollo del supervisore impostato su auto Errore nella memoria principale RAM Premere PARA per confermare Errore nella memoria di programma EPROM Premere PARA per confermare Errore nella memoria dei parametri EEPROM Premere PARA per confermare Errore nel driver del display Premere PARA per confermare Errore nel convertitore A D Premere PARA per
24. trasmettitore collegato Premere il tasto UP per iniziare il test 5 4 12 Test I O io t Test di tutti i rel In questo test i rel sono accesi e spenti uno dopo l altro e lo stato dei rel visualizzato sul display Un indicatore di circuito o un ohmmetro possono essere usati per verificare lo stato del rel sulla connessione RELAY Si veda il Capitolo 3 3 5 RELAY 8 23 Premere il tasto UP per iniziare il test Cautela Test dei rel In questo test i rel scattano a prescindere dalla pressione effettiva Ci pu causare la dis attivazione non intenzionale degli strumenti Scollegate la connessione RELAY prima di effettuare un test dei rel Visualizzazione Significato off Tutti i rel sono spenti r1 H Funzione di commutazione rel amp 1 acceso r1 L Funzione di commutazione rel 1 spento r2 H Funzione di commutazione rel 2 acceso r2 L Funzione di commutazione rel 2 spento r3 H Funzione di commutazione rel 3 acceso r3 L Funzione di commutazione rel 3 spento 56 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Parametri Visualizzazione Significato r4 H Funzione di commutazione rel 4 acceso r4 L Funzione di commutazione rel 4 spento r5 H Funzione di commutazione rel 5 acceso r5 L Funzione di commutazione rel 5 spento r6 H Funzione di commutazione rel 6 acceso r6 L Funzione di commutazione rel 6 spento r7 H Segnale di errore rel acceso r7 L Segnale di errore rel spento Tab
25. veda il Capitolo 5 3 1 Unit di misura unit E 48 Visualizzazione Significato oFF L unit di misura Torr pu essere selezionata on L unit di misura Torr non pu essere selezionata Tab 5 12 Valori del parametro tr L 5 4 5 Blocco dell impostazione dei parametri LoC Questo parametro ha effetto sulla modalit parameter Quando il blocco attivo l utente pu visionare ma non modificare i valori dei parametri Visualizzazione Significato oFF parametri possono essere letti e modificati on parametri possono solo essere letti Tab 5 13 Valori del parametro LoC 54 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Parametri 5 4 6 Test della RAM rA t Test della memoria principale Premere il tasto UP per iniziare il test Visualizzazione Significato run Il test in esecuzione PASS Test completato senza errori Err Test completato con errori rilevati Tab 5 14 Test della RAM Si prega di contattare il centro servizi Oerlikon Leybold Vacuum locale se il test fallisce ripetutamente 5 4 7 Test della EPROM EP t Test della memoria di programma Premere il tasto UP per iniziare il test Visualizzazione Significato run Il test in esecuzione PASS Test completato senza errori Test completato con errori rilevati Viene Err visualizzato un checksum a quattro cifre Tab 5 15 Test della EPROM Si prega di contattare il centro servizi Oerlikon Leybold Vacuum locale se il test fallisce
26. 1 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Significato Modalit uscita analogica Curva caratteristica dell usci ta del registratore Baud rate Tasso di trasferimento interfaccia RS232C Modalit continua Trasmissione continua della misura all interfaccia seriale Fattore di correzione Visualizzazione cifre di controllo Numero di cifre mostrato sul display Degassaggio Assegnazione del rel di errore Stato di errore Interruttore dell emissione Filtro di misura Selezione del filamento Intervallo di misura completo dei trasmettitori lineari CTR Correzione tipo di gas Circuito alto vuoto acceso spento Accende spegne il circuito Lettura di una stringa di dati dal trasmettitore ITR CTR Blocco dell impostazione dei parametri Correzione di compensazione offset per i trasmettitori lineari CTR Visualizzazione compensazione Valori di compensazio ne per i trasmettitori lineari CTR Numero di programma Numero di versione firmware Sensore pressione 1 Lettura pressione trasmettitore 1 Sensore pressione 2 Lettura pressione trasmettitore 2 Sensore pressione 3 Lettura pressione trasmettitore 3 Sensori pressione Letture pressioni di tutti trasmettitori Reset Azzera l interfaccia seriale Salva i parametri nella EEPROM Interfaccia con un computer Mnemonico Significato SC1 Controllo sensore 1 Controllo del trasmettitore 1 SC2 Controllo sensore 2 Controllo del trasmettitore 2
27. 1 Collegate il connettore per apparecchi Europei del cavo di alimentazione con l apposito connettore sull unit 2 Collegate la spina del cavo di alimentazione con la presa a muro Nota Se l unit installata in una scatola di interruttori l alimentazione pu essere fornita tramite un distributore di alimentazione centrale 3 3 3 Messa a terra La vite di messa a terra Fig 3 4 8 20 Pos I pu essere usata per collegare il Multi Channel Controller con la protezione di massa delle pompe 1 Se richiesto Connettere la protezione di massa delle pompe con la vite di messa a terra Usate un conduttore di protezione GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 21 Installazione Cautela Cautela 3 3 4 SENSOR La connessione SENSOR usata per collegare i trasmettitori Per ogni canale ci sono due collegamenti disponibili connessi in parallelo Una presa per apparecchi elettrici 8 pin RJ45 e una 15 pin D Sub Si veda la Fig 3 4 20 Pos A C Designazione dei pin Abb 3 6 Presa per apparecchi SENSOR RJ45 1 24VDC 5 Signal GND Massa di segnale 2 PGND Massa di protezione 6 Status 3 Segnale 7 HVL 4 Ident 8 HV EMI 15 9 Abb 3 7 Presa per apparecchi SENSOR D Sub 15 pin DND0ANACO0N EMI Status 9 n c Segnale 10 ldent Status 11 Supply CDG HV_EMI 12 Signal GND Massa di segnale PGND Massa di protezione 13 RXD n c 14 TXD Degas 15 Involucro Alimentazione Trasmettito
28. 1010 1 Collegare i componenti periferici con la connessione RELAY Usare un cavo di connessione schermato 3 3 6 CONTROL La connessione CONTROL Fig 3 4 B 20 Pos D contiene i seguenti pin di segnale Uscite analogiche per i segnali dei singoli canali Uscita del registratore Questa un uscita analogica programmabile che pu essere assegnata a uno dei tre canali HV EMI Usata per accendere e spegnere il circuito da alto vuoto del trasmettitore PTR 225 livelli di segnale sono Acceso 24 V Spento 0 V Vedi Referenza 3 Designazione dei pin O O Abb 3 9 Presa per apparecchi CONTROL D Sub 9 pin 1 Uscita analogica 6 Uscita analogica 2 2 Uscita analogica 3 7 Uscita registratore 3 GND Messa a terra 8 GND Messa a terra 4 HV EMI3 9 HV EMI2 5 HV EMI 1 1 Collegare i componenti periferici con la connessione CONTROL Usare un cavo di connessione schermato 24 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Installazione 3 3 7 RS232C L interfaccia seriale RS232C Fig 3 4 E 20 Pos F permette il controllo remoto dell unit tramite un computer o un terminale Si veda il Capitolo 6 Interfaccia con un Computer B 58 Inoltre l interfaccia pu essere usata per aggiornamenti del firmware Si veda il Capitolo 7 2 Modalit di trasferimento del programma 85 Designazione dei pin a peer Abb 3 10 Presa per apparecchi RS232C D Sub 9 pin 1 nc SUP 6 DSR 2 TXD 7 nc 3
29. 2 5 3 Interfaccia con un computer ee 15 2 6 Oggetto della fornitura 16 2 7 ACCOSSON isti eds habe ei Aa de 16 3 Installazione eee seg ea era 17 3 1 Disimballaggio 42 net lei be ran 17 2 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Sommario 3 2 Installazione meccanica a be eee 17 3 2 1 Unit da DaNnCO vista As 17 3 2 2 Montaggio su pannello di controllo o o o 18 3 2 3 Montare l unit suunrack 22 222202 seen 19 3 3 Connessione ooo ce tees 19 3 3 1 Retro dello strumento LL 19 3 3 2 Connessione dell alimentazi0ne LL 21 3 3 3 Mossa a tease e een LE Pea Mina 21 3 3 4 SENSOR ars irn Lips Lire 22 3 3 5 RELAIS AAA 23 3 3 6 CONTROL suis aa en 24 3 3 7 AS23826 iii at ate rd 25 4 FUNZIONAMENTO Lo e eee cee eee eee 26 4 1 Pannello frontale 26 4 1 1 Displaying AR tA 27 4 1 2 Tasti di CONtrollo LL 27 4 2 Accensione e spegnimento ooo 28 4 2 1 Accension 00 00 i 28 4 2 2 Spegnimento 0 28 4 2 3 Tempo di atesa aas a a a a ees 28 4 3 Modalit di funzionamento saaa aa aaea aae 29 4 4 Modalit misura Li 29 4 4 1 SEIEZIONE at rt ae 29 4 4 2 DOSCIIZIONG ss cio ed eee ee 30 4 4 3 Tasti di controllo delle fUnzi0Ni LL 31 4 5 Modalit Parameter o 35 4 5 1 Selezione LL 35 4 5 2 Gruppi di parametri 0 2 0 00000 cee eee 35 4 5 3 Funzionamento di base 2202 cee eee eee 37 5 Parametri
30. 27 Funzionamento 4 2 Accensione e spegnimento 4 2 1 Accensione 1 Accendere l interruttore di alimentazione Si veda la Fig 3 4 B 20 Pos H Dopo averlo acceso il Multi Channel Controller eseguir le azioni seguenti Auto test Identificazione dei trasmettitori Ripristino dei parametri precedentemente impostati Attivazione della modalit misura Adattamento dei parametri se un tipo di trasmettitore cambiato nel frattempo 4 2 2 Spegnimento 1 Spegnere l interruttore di alimentazione Si veda la Fig 3 4 B 20 Pos H 4 2 3 Tempo di attesa Cautela Ritardo Dopo lo spegnimento il Multi Channel Controller richiede circa 10 secondi prima di inizializzarsi di nuovo Aspettate almento 10 secondi prima di accendere il Multi Channel Controller nuovamente Nota Se il Multi Channel Controller stato installato su un pannello di controllo o su un rack pu essere spento o acceso tramite la distribuzione centrale 28 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Funzionamento 4 3 Modalit di funzionamento Il Multi Channel Controller pu essere impostato in una delle seguentimodalit di funzionamento Modalit Misura La modalit misura la modalit di funzionamento standard Vengono visualizzate le letture di pressione dei trasmettitori In caso di errore viene invece mostrato un messaggio di stato Si veda il Capitolo 4 4 Modalit misura 29 Modalit Parameter La
31. 3 S282 er ion ee cnt bem er PN ARI 25 SENSOR HH Baba cok a an te NO rs ae 22 Continuous transmission of measurements 61 65 Control bUtIONS ey ne 8 ose e be eee ee binnen 27 CONTROL connection 24 Control panel mounted 18 Correction factor oiaren ae er BR Cees 43 66 D Declaration of Conformity 2 222222 seen nennen 99 Default parameters LOAN A a iaia i ch ad 49 77 Valesi inene er je ah ia e ee ioe ae 93 Degas function 45 67 SWitehingioff issi ae Rein ii iene ea 33 SWITCHING OM Lt eased ana ea ea ga 32 Degassing see degas function Display Formatii on ie a A ina a 49 67 Testing i ie eis weed Dia a Rea Lisi 56 80 Display Clemes osre inie 40 4 ee ne re bE eb a Oe alada 27 Disposaltia aia wane ls abi agi 92 Appendice GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 95 Appendice E EEPROM test sessed RA aa eae 55 80 EPROM TeSt ia a a a de tad 55 80 EfrOr Messages u A al 90 Err r signalirelay aan aa irren 52 68 Error Status nn sie Pre ina 68 F Factory SOMOS ii a pig oe ea tees a at 49 77 93 Faultindication ds A e dd eee 90 Flia es td Aa ge 41 69 Firmware Updatat n LR LEALI i 85 MASON ai O E une 7 53 74 Front panels nein a dali licei pid aa 26 G General parameters ooooococoocr ttt tenes 48 Baud ate so gas de testa a Lia 48 Default parameters 49 Display format 49 Err r signalitelay Au 4222 22 gene aan ne abe 52 Recorder output
32. 35 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 97 Appendice Degas function iride ideate arde dare ago 32 Transmite ae dd oe 32 72 Unid dallo haat eR at A e aa 28 T Technicalidata a viario ivi paria Gee ee eee eis 11 Test parameters 53 A D converter ID 56 79 A D converter signal LL 56 79 Display Testo ira Aria ee ee 56 80 EEPROM test cd ET A 55 80 ERROMtESt ee ee an 55 80 Firmware version LL 53 74 O testrarta role ran ana E 56 81 Keyboard test eee eens 82 Parameter setup lock 0 00 0 cece eee 54 73 RAMOS tacita ee Bh doe ended Sal old 55 83 RS282G6 TO dui tue siete tive FORO i Sapte Wepre dona 57 83 Selection copri gga EEE PP in Ei 53 o ar are ce hen Suet fiat ata sea ae Aor Mech ts 54 83 Watchdog control 54 84 Threshold valu s ss sos er ee Pe ea pia 38 78 Adjustment range Li 40 Torklock an ser eda betana 54 83 Transmitter Degassing epa a e ae ee an sun 32 Identifying 2 4 eri a a a jet 34 Selecting re E ERO i 31 SWItchiNg Olf i piangi Sad ba en nee 33 72 SWITCRING ON L Ha 2 2 seen 32 72 Transmitter control ss 2442 25 btn ite ai ne 45 46 77 Troubleshooting sisan teo Li She doer es liado de 90 TypelaDel ivi ai A ASE PES AE a 7 U Unit of m easuremeftt air Ke aed ete ea eG 48 84 Update Bst Br Her SE pena iad 85 Upper threshold value 38 Upper threshold values Adjustment range Li 40 WwW Waiting Me cocoa ri ED a 28 Warranty aeea a a dedi oh
33. 5 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 2 3 Canali Dati tecnici 2 3 1 Collegamenti dei Sensori Numero di canali Collegamenti dei sensori per canale CENTER TWO 2 CENTER THREE 3 RJ45 FCC 68 D Sub 15 pin femmina collegato in parallelo Trasmettitori compatibili THERMOVAC TTR 90 TTR 91 TTR 96 TTR 100 TTR 211 S TTR216S PENNINGVAC PTR 225 PTR 90 CERAVAC CTR 90 CTR 91 CTR 100 IONIVAC ITR 90 ITR 200 2 3 2 Alimentazione del trasmettitore Tensione 24 VDC 5 Corrente 500 mA 750 mA breve tempo Fusibili 900 mA tramite elemento PTC Auto resettante dopo lo spegnimento dell unita o dopo che il sensore stato scollegato L alimentazione rispetta le richieste per Tensione ultra bassa con protezione di massa SELV E in accordo a EN 61010 2 3 3 Tecnica di misura Intervalli di misura Errore di misura Tasso di misura Tasso di visualizzazione Costante di tempo del filtro Dipende dal transmettitore Errore di guadagno lt 0 005 FS Errore di offset lt 0 01 FS 1 50s 1 10s Lento Approssim 1 0 s fg 0 16 Hz Normale nor Approssim 0 3 s fg 0 53 Hz Veloce Approssim 0 06 s fg 2 65 Hz GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 13 Dati tecnici Unit di misura mbar Pa Torr Micron Aggiustamenti possibili Trasmettitori Linear CTR Zero adjust Trasmettitori logaritmici TTR PTR ITR Fattori di correzione fissi per No Ar H
34. 69 63 12 FSRa teat teh ivo ea ie ai wade As a 70 6 37 39 FUM A alano alle ia ae ron 71 6 38 14 GAS braille debiti ole de 71 623315 A ara ri e EN 72 03107 TR odres Rap habeas oe Looe adie otha DI 72 6 317 LOG a A a ALI 73 63118 SOFO roll eo A 73 6 39 19 ORD 22464 De edd exc Skee 74 63 20 PNR a cea oaa deri as a 74 6 3 21 PR A kann sr 75 03 22 PRX da et ena 75 03 29 RES a ae EBENE dea ee 76 6 9 24 SAVI nth pd Laion da da oP eed eet tod ced eta 77 0 93 25 SC Te ect ed ete a AE heh u ae ae 77 628 262 Pik he a Seon ar Sine 78 6 3 27 SPS ea tara tape dee ew er ee 78 6 38 28 TAD Lister ae ni OED Heat 79 6 39 29 TDI acne EA a ae e eri 80 6 3 30 TEE ses a sia A ne Dre Pe 80 6 39 MEP eee er ced eds 80 6 3 92 MD lv ae e a ea 81 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 5 Sommario 6 93 39 MO baltico 00 34 KB inc tea anca datada 6 3 35 TEG ai tal el RR i 6 3 36 TRA Soe shes a a is e aio a 6337 TRS eea pig hile ri Heeb dhe de the SSL 6 3382 UNI ass mE 0 3397 WDI sioni Aia e ag aac edad ny a 7 1 Manutenziones iii ori 22 2 0 ae eu 7 1 1 PU a a eo a ee 7 2 3 RIAVVIO Sa es re i E AA lS 7 3 Taralura 33 2er rs it Arlo Pe ia 7 3 1 Fondamentali meee ar ae nl 7 3 2 GAO onna EnA clelia ela 7 3 3 GARE A be OE AEE EPET a TOTEE 7 3 4 Taratura dell Unit 8 2 Messaggi di errore 8 3 SUpportolecnic marire ns a a ea a 9 1 Imballaggio seraa r e E a eae 9 2 Stoccaggio o ru Dyn ei eek Pir
35. LoG 0 5 Logaritmica LoG 6 Logaritmica LoGC1 7 Logaritmica LoGC2 8 Logaritmica LoGC3 9 Lineare Lin 10 10 Lineare Lin 9 11 Lineare Lin 8 12 Lineare Lin 7 13 Lineare Lin 6 14 Lineare Lin 5 15 Lineare Lin 4 16 Lineare Lin 3 17 Lineare Lin 2 18 Lineare Lin 1 19 Lineare Lin 0 20 Lineare Lin 1 21 Lineare Lin 2 22 Lineare Lin 3 23 IM221 24 Logaritmica LoGC4 25 PM411 64 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Interfaccia con un computer 6 3 3 BAU Baud rate Tasso di trasferimento dell interfaccia RS232C Si veda il Capitolo 5 3 2 Baud rate bAud B 48 S BAU a lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Tasso di trasferimento O 9600 baud default 1 19200 Baud 2 38400 Baud Nota La conferma del comando BAU sar gi inviato con il tasso di trasferimento modificato 6 3 4 COM Modalit continua Trasmissione continua delle misure all interfaccia seriale S COM a lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt La conferma seguita immediatamente dalla trasmissione continua della misura Le misure sono sempre fornite in formato esponenziale R b c ccccE cc d e eeeeE tee f tg ggggE gg lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Periodo 0 100millisecondi 1 secondo default 2 1 minuto b Stato del canale 1 0 Dati della mi
36. PTR p 10 U 10 7 9 PTR 90 p 10 U 10 12 9 CTR p 10 U 10 4 4 FS ITR p 10 U 10 12 9 LoGA Rappresentazione logaritmica dell intero intervallo di misura compatibile con la serie A Trasmettitore Pressione in mbar TTR p 10 U 10 6 3 TTR 100 p 10 U 10 7 4 PTR p 10 U 9 7 9 7 9 PTR 90 p 10 U 10 11 8 CTR p 10 U 10 4 4 FS ITR 90 p 10 U 7 75 0 75 ITR 200 p 10 U 8 LoG 6 Rappresentazione logaritmica di una parte dell intervallo di misura 2 5 V decade Trasmettitore Pressione in mbar Tutti i tipi p 10 U 10 4 10 LoG 3 Rappresentazione logaritmica di una parte dell intervallo di misura 2 5 V decade Trasmettitore Pressione in mbar Tutti i tipi p 10 U 10 4 7 50 GA 09 035 4 02 01 2008 O Oerlikon Leybold Vacuum Parametri LoG 0 Rappresentazione logaritmica di una parte dell intervallo di misura 2 5 V decade Trasmettitore Pressione in mbar Tutti i tipi p 10 U 10 4 4 LoG 3 Rappresentazione logaritmica di una parte dell intervallo di misura 2 5 V decade Trasmettitore Pressione in mbar Tutti i tipi p 10 U 10 4 1 LoGC1 Rappresentazione logaritmica adatta alla seguente combinazione di sensori TR sul canale 1 PTR 225 sul canale 2 Trasmettitore Pressione in mbar TTR PTR 225 p 10 U 10 12 9 LoGC2 Rappresentazione logaritmica adatta alla seguente combinazione
37. RXD 8 CTS 4 ne 9 GND Messa a terra 5 GND Messa a terra 1 Cllegare l interfaccia seriale del computer con la connessione RS232C Usare un cavo schermato Nota Usare una prolunga seriale con una spina a 9 pin e una presa a 9 pin Il cavo non deve contenere fili incrociati GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 25 Funzionamento 4 Funzionamento 4 1 Pannello frontale La Fig 4 1 26 mostra il pannello frontale del CENTER THREE Il CENTER TWO non dotato degli indicatori SP5 e SP6 Pos A n della visualizzazione del canale 3 Pos F Abb 4 1 Pannello frontale del CENTER THREE Indicatore di passaggio tra funzioni Modalit Parameter Unit di misura della pressione Area di visualizzazione canale 1 Area di visualizzazione canale 2 Area di visualizzazione canale 3 Tasti di controllo Qnm 26 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Funzionamento 4 1 1 Display Indicatori delle funzioni L angolo in alto a sinistra del pannello Pos A indica lo stato di passaggio tra le funzioni Un triangolo illuminato sopra un numero in dica che la pressione superiore al valore di soglia pi basso Un triangolo illuminato sopra un numero indica che la pressione inferiore al valore di soglia pi alto See Fig 5 1 B 39 Modalit Parameter L indicatore PARA Pos B iluminato quando l unit impostata nella modalit parameter Unit di misura
38. SC3 Controllo sensore 3 Controllo del trasmettitore 3 sP1 Setpoint 1 Funzione di commutazione 1 SP2 Setpoint 2 Funzione di commutazione 2 SP3 Setpoint 3 Funzione di commutazione 3 SP4 Setpoint 4 Funzione di commutazione 4 SP5 Setpoint 5 Funzione di commutazione 5 SP6 Setpoint 6 Funzione di commutazione 6 SPS Stato setpoint Stato della funzione di commutazione TAD Test del convertitore A D Esegue il test TDI Test del display Esegue il test TEE Test della EEPROM Esegue il test TEP Test della EPROM Esegue il test TID Identificazione del trasmettitore TIO Test I O Esegue il test dei rel TKB Test della tastiera Esegue il test TLC Blocco di Torr TRA Test della RAM Esegue il test TRS Test dell interfaccia RS232C Esegue il test UNI Unit di misura WDT Watchdog control Controllo di supervisore Tab 6 3 Simboli mnemonici GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 63 Interfaccia con un computer 6 3 2 AOM Modalit uscita analogica Curva caratteristica dell uscita del registratore Si veda il Capitolo 5 3 5 Uscita del registratore Ao B 49 S AOM a b lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a o lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Numero di canale 0 Canale 1 1 Canale 2 2 Canale 3 b Curva caratteristica 0 Logaritmica LoG 1 Logaritmica LoG A 2 Logaritmica LoG 6 3 Logaritmica LoG 4 Logaritmica
39. Y CTR 100 Y ITR ITR 200 Y Y v Y Tab 5 3 Parametri di sensore disponibili 5 2 1 Filtro di misura FiLt Il filtro di misura migliora le misurazioni quando il segnale rumoroso o disturbato II filtro influenza le misure sul display l uscita RS232C l uscita del registratore e le funzioni di commutazione Le uscite analogiche tuttavia non sono influenzate Il filtro pu essere impostato su uno dei seguenti valori GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 41 Parametri FASI Veloce Il Multi Channel Controller risponde rapidamente a variazioni del segnale Questo lo rende piuttosto sensibile al rumore del segnale Ap Abb 5 2 Misura con filtro impostato su FASt esempio nor Normale Questa l impostazione di default Essa offre un buon compromesso tra il tempo di risposta e la sensibilit al rumore Ap Abb 5 3 Misura con filtro impostato su nor esempio SLo Lento Il Multi Channel Controller risponde lentamente a variazioni del segnale Questo lo rende meno sensibile al rumore del segnale Questa impostazione consigliata per misure di confronto precise Ap Abb 5 4 Misura con filtro impostato su SLo esempio 42 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Parametri 5 2 2 Tipo di gas GAS trasmettitori sono tarati normalmente per una misura in azoto o in aria Il parametro GAS ustao per configurare il canale per altri tipi di gas Visualizzazione Si
40. a aa aa aa aa Stringa di dati del trasmettitore 1 bb bb bb bb bb bb bb bb Stringa di dati del trasmettitore 2 CC CC CC CC CC CC CC CC Stringa di dati del trasmettitore 2 72 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Interfaccia con un computer 6 3 17 LOC Blocco dell impostazione dei parametri Si veda il Capitolo 5 4 5 Blocco dell impostazione dei parametri LoC 54 S LOC a lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Blocco dell impostazione dei parametri 0 Spento default 1 Acceso 6 3 18 OFC Correzione di compensazione Correzione di compensazione per i trasmettitori lineari CTR Si veda il Capitolo 5 2 4 Compensazione oFS B 44 S OFC a b c lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a b c lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Correzione di compensazione del canale 1 0 Spento default 1 Acceso 2 Determina il valore della compensazione e attiva la funzione di correzione della compensazione 3 Regola il punto zero di un CTR 100 b Correzione di compensazione del canale 2 si veda sopra c Correzione di compensazione del canale 3 si veda sopra GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 73 Interfaccia con un computer 6 3 19 OFD Visualizzazione compensazione Valori di compensazione per i trasmettitori lineari CTR Si veda il Capitolo 5 2 4 Com
41. ametro Significato a Blocco di Torr 0 Spento default 1 Acceso 6 3 36 TRA Test della RAM Esegue il test Si veda il Capitolo 5 4 6 Test della RAM rA t B 55 S TRA lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R aaaa lt CR gt lt LF gt Il carattere di controllo lt ENQ gt inizia il test Occorre circa un secondo per completare il test Parametro Significato aaaa Stato di errore Si veda il Capitolo 6 3 9 ERR amp 68 6 3 37 TRS Test dell interfaccia RS232C Esegue il test Si veda il Capitolo 5 4 13 Test della RS232C rS t B 57 S TRS lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt Il carattere di controllo lt ENQ gt inizia il test Il test pu essere interrotto premendo Ctrl C GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 83 Interfaccia con un computer 6 3 38 UNI Unit di misura Si veda il Capitolo 5 3 1 Unit di misura unit B 48 S UNI a lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Unit di misura 0 mbar bar default 1 Torr 2 Pascal 3 Micron 6 3 39 WDT Watchdog control Controllo di supervisore Si veda il Capitolo 5 4 3 Controllo di supervisore dt C B 54 S WDT a lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Conferma di errore 0 Manuale
42. anali funzioni di commutazione dipendenti dalla pressione punti di commutazione 5 e 6 sono disponibili solo nel CENTER THREE Si veda il Capitolo 5 1 Parametri della funzioni di commutazione PArA SP 38 Parametri del sensore PArA SEn Questi parametri riguardano solo il trasmettitore sul canale correntemente selezionato C un singolo insieme di parametri per ogni canale Si veda Capitolo 5 2 Parametri dei sensori PArA SEn B 41 Parametri generali PArA GEn Questi parametri sono usati per la configurazione generale dell unit parametri influenzano tutti i canali Si veda il Capitolo 5 3 Parametri generali PArA GEN 48 Parametri di test PArA tESt Questo gruppo di parametri usato per verificare singole funzioni di sistema Il gruppo di parametri non richiesto durante il normale funzionamento Per questo motivo vi si accede tramite una modalit particolare Si veda il Capitolo 5 4 Parametri di test PArA tESt B 53 36 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Funzionamento 4 5 3 Funzionamento di base Partendo dal menu misura potete scegliere e modificare un parametro specifico come segue 1 Premere il tasto CH per selezionare il canale desiderato Questo necessario solo se volete modificare il parametro di un sensore 2 Premere il tasto PARA ll menu parameter viene selezionato L indicatore PARA si illumina 3 Usare i tasti freccia per selezionare il gruppo di parametri desiderato
43. ar 0 01 Torr 0 02 Torr 0 05 Torr 0 10 mbar 0 10 Torr 0 25 Torr 0 50 Torr 1 mbar 1 Torr 2 Torr 10 mbar 10 Torr GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 43 Parametri 100 mbar 100 Torr 1000 mbar 1100 mbar 1000 Torr 2bar 5 bar 10 bar 50 bar 5 2 4 Compensazione oFS Quando la correzione di compensazione offset attivata un valore di compensazione specificato precedentemente sar sottratto da ogni lettura di pressione Questo permetto di misurare comodamente la pressione relativa rispetto a una di riferimento La correzione di compensazione influenza le letture sul display l uscita RS232C l uscita del registratore e le funzioni di commutazione Le uscite analogiche tuttavia non sono influenzate Stabilire un valore di compensazione e attivare la correzione 1 Selezionare il parametro oFS 2 Mantenere premuto il tasto UP per circa 2 secondi La lettura di pressione corrente diventa il nuovo valore di compensazione La correzione di compensazione attivata L indicatore OFS illuminato Disattivare la correzione di compensazione 1 Selezionare il parametro oFS 2 Premere il tasto DOWN La correzione di compensazione disattivata Il display mostra oFF L indicatore OFS non illuminato Attivare la correzione di compensazione 1 Selezionare il parametro oFS 2 Premere il tasto UP La correzione di compensazione attivata Liindicatore OFS illu
44. as per il canale 3 si veda sopra Nota Quando selezionato Altro gas la dipendenza delle misure dal tipo di gas sar corretta da un fattore di correzione variabile Si veda il Capitolo 6 3 5 COR B 66 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 71 Interfaccia con un computer 6 3 15 HVC Circuito alto vuoto acceso spento Accende spegne il circuito da alto vuoto dei trasmettitori Si veda il Capitolo 4 4 3 Funzioni dei tasti di controllo 8 31 S HVC a b c lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a b c lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Trasmettitore 1 0 Spento 1 Acceso b Trasmettitore 2 si veda sopra b Trasmettitore 3 si veda sopra Nota Per accendere o spegnere un trasmettitore il controllo trasmettitore deve essere impostato su Hand Si veda il Capitolo 6 3 25 SC1 77 6 3 16 ITR Lettura di una stringa di dati dal trasmettitore ITR CTR Le misurazioni del ITR CTR 100 sono trasferite in digitale Una stringa di dati consiste di 8 byte numeri esadecimali separati l uno dall altro con una virgola Si veda la Referenza 6 Le stringhe di dati del trasmettitore sono separate luna dall altra con un doppio carattere spazio S ITR lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R aa aa aa aa aa aa aa aa bb bb bb bb bb bb bb bb cc cc cc cc cc cc cc lt CR gt lt LF gt Parametro Significato aa aa aa a
45. ate RA he ieri ea 9 3 Smaltime Mlo Sen sana filet i Ae doen ee en Appendics iarann lari ae in Letteratura ta a bee ee ei AICA cess at oa ceva N Es 7 Manutenzione e servizio 7 2 Modalita di trasferimento del programma 7 2 1 Preparazioni e selezione 7 2 2 Trasferimento del programma 8 Risoluzione dei problemi 8 1 Indicazione di guasto 9 Stoccaggio e smaltimento Parametri di default Dichiarazione di Conformita 6 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Introduzione 1 Introduzione 1 1 Validit 1 1 1 Numero di Catalogo Questo documento vale per i prodotti seguenti Numero di Catalogo Prodotto 230 003 CENTER THREE con cavo alimentazione versione EUR 230 004 CENTER TWO con cavo alimentazione versione EUR 235 003 CENTER THREE con cavo alimentazione versione US 235 004 CENTER TWO con cavo alimentazione versione US Il numero di catalogo si trova sull etichetta tipologia che attaccata a un lato dell unit 1 1 2 Versione Firmware Queste Istruzioni d Uso sono basate sul firmware versione 302 533 D Se l unit non funziona come descritto si prega di verificare che sia equipaggiata con questa versione di firmware Si veda il Capitolo 5 4 2 Firmware version Pnr 53 1 1 3 Etichetta tipologia Type C una etichetta tipologia attaccata a un lato dell unit In ogni comunica zione con Oerlikon Leybold Vacuum dichiarate per favore le informazioni sull etichetta A questo scop
46. b lt CR gt lt LF gt Il carattere di controllo lt ENQ inizia il test Occorrono circa 5 secondi per completare il test 80 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Interfaccia con un computer Parametro Significato aaaa Stato di errore Si veda il Capitolo 6 3 9 ERR B 68 bbbb Somma di controllo esadecimale 6 3 32 TID Identificazione del trasmettitore Si veda il Capitolo 4 4 3 7 Identificare un trasmettitore B 34 S TID lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a b c lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Identificazione del trasmettitore1 TTR TTR100 PTR PTR 90 CTR ITR ITR200 noSen noid b Identificazione del trasmettitore 2 si veda sopra c Identificazione del trasmettitore 3 si veda sopra 6 3 33 TIO Test I O Esegue il test dei rel Questo comando permette di far scattare un singolo rel o pi rel allo stesso tempo Test dei rel Cautela In questo test i rel scattano a prescindere dalla pressione effettiva Ci pu causare la dis attivazione non intenzionale degli strumenti Scollegate la connessione RELAY prima di effettuare un test dei rel S TIO a bb lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a bb lt CR gt lt LF gt GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 81 Interfaccia con un computer Parametro Significato a Stato del test 0 Spento 1 Acceso bb Stato de
47. della pressione L angolo in alto a destra del pannello Pos C indica l unit di misura della pressione mbar Torr Pa o Micron Canali C un area di visualizzazione separata per ciascuno dei canali disponibili Pos D E F Da sinistra a destra tale area mostra le seguenti informazioni Visualizzazione Significato 1 2 3 Numero del canale FAIL lampeggiante Errore DEG illuminato Funzione Degas attivata HV illuminato Circuito alto vuoto attivato 8 Mei Messaggio di misura o di stato OFS illuminato Correzione di offset attivata COR illuminato Correzione tipo di gas attivata 4 1 2 Tasti di controllo CH Il pulsante CH usato per selezionare un canale Questo pu essere necessario per esempio se volete accendere o spegnere un particolare trasmettitore o o se volete modificare i parametri del sensore Il numero del canale attualmente selezionato lampeggia per alcuni secondi PARA Il pulsante PARA usato per selezionare la modalit parameter L indicatore PARA Pos B illuminato e potete modificare diversi parametri Si veda il Capitolo 4 5 Modalit Parameter 35 Tasti freccia Gi Su DOWN UP pulsanti freccia servono per inserire i dati nella modalit parameter La pressione di uno di questi pulsanti diminuir o aumenter la grandezza attualmente visualizzata Nel seguito questi pulsanti verranno indicati rispettivamente con DOWN e UP GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum
48. di almeno 75 byte 6 2 2 Trasmissione Host gt Unit messaggi dell Host sono composti da simboli mnemonici e parametri Gli mnemonici sono abbreviazioni di comandi e consistono sempre di tre caratteri ASCII Si veda il Capitolo 6 3 Simboli mnemonici 62 caratteri di controllo lt CR gt o lt CR gt lt LF gt segnalano la fine del messaggio Il Multi Channel Controller controlla ogni messaggio che riceve Di seguito invia una conferma positiva o negativa all Host In una rappresentazione simbolica questo processo pu essere illustrato come segue S Mnemonico parametri lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt 0 lt NAK gt lt CR gt lt LF gt 6 2 3 Ricezione Unit gt Host L Host pu richiedere dati all unit Per questo scopo l Host manda prima un messaggio che descrive il tipo di dati richiesto Il Multi Channel Controller quindi inserisce i dati richiesti nel buffer di uscita dell interfaccia Quindi l Host invia il carattere di controllo lt ENQ gt all unit Ci induce l unit ad inviare il contenuto del buffer d uscita all Host In una rappresentazione simbolica questo processo pu essere illustrato come segue S Mnemonico parametri lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R Dati lt CR gt lt LF gt Se il Multi Channel Controller riceve un messaggio che non pu essere interpretato errore di sintassi inserisce il corrispondente
49. di sensori CTR sul canale 1 CTR sul canale 2 Questa curva caratteristica utile solo se i trasmettitori hanno differenti intervalli di misura L intervallo di misura totale della combinazione di sensori rappresentato logaritmicamente nell intervallo 0 10 V LoGC3 Rappresentazione logaritmica adatta alla seguente combinazione di sensori CTR sul canale 1 CTR sul canale 2 CTR sul canale 3 Questa curva caratteristica utile solo se i trasmettitori hanno differenti intervalli di misura L intervallo di misura totale della combinazione di sensori rappresentato logaritmicamente nell intervallo 0 10 V Nota tre trasmettitori devono essere messi in ordine secondo il proprio intervallo di misura FS L ordine pu essere crescente o decrescente Linn n Rappresentazione lineare U 10 V equivalenteap mbar L esponente n pu essere ogni valore intero nell intervallo 10 3 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 51 Parametri Trasmettitore Pressione in mbar n Tutti i tipi p U 10 iM221 Rappresentazione logaritmica del controller IM 221 1 V decade U 8 V 2 equivalente ap 10 mbar Controller Pressione in mbar IM 221 p 10 U 10 LoGC4 Rappresentazione logaritmica di 12 decades 0 83 V decade adatta alla seguente combinazione di sensori TTR 100 sul canale 1 TR 200 sul canale 2 Trasmettitore Pressione in mbar TTR 100 ITR 200 p 10
50. ee eee eee 38 Test parameters 440 usi elia RATA PER oer ete 53 Pin assignment CONTROL amp 4 2 Lots I dt whee bowed ai Deo Lia 24 RELAY vete Dt na nds aa ied te aiy 23 RS2326 u E ea E an thi RAI 25 SENSO Rota ee ne risalenti 22 Product versions ia A Gen he Se a 8 R RAMIHeSE u ann er ren a 55 83 Recorder Output iii ce taa ORE RA aa 49 64 RELAY connections 0 ccc ee cee eee eens 23 Residual LANDS idea ti eae AAA al daa RER 9 RS232C connection ooooooooo ee cee eee eens 25 S Safety NOLES i arid eae Bere a are A ade 9 SENSOR connection LL 22 Sensor Parameter S i deeds nen an et ad tech Von de bade 41 Sensor parameters Degas function o 45 67 Filament selection LL 47 Gastype uscar os stot duh a ba RESERO 43 71 Measurement filter o o o oo oo o ooooo oo 41 69 Measurement range ooo ocococcc een 43 70 Offset rasati ala aa Ga 44 73 Switching emmision LL 69 71 Switching the emission ON 47 Transmitter activation s saaa aaee a 45 77 Transmitter deactivation o ooooo ce eee 46 77 Standards Thin aea aA ra too EE ale dla 12 SIOLAGE nru a care o Ea 92 Switching function parameters a n saaa aaaea eee eee 38 Switching functions LL 38 78 CONfQUIING 2 2 224 442324 2 lede ee ba ds ee 39 Switching off Degas function 1 a ar eten 33 Transmitter a f hie andar dii as aida dl da 33 72 Unito ari Lana aaa ASI is e 28 Switching on GA 09 0
51. el firmware Pnr LL 53 Controllo di supervisore dt C LL 54 Blocco di Tort tims sachet ee hohe Seeded a La 54 Blocco dell impostazine dei parametri LOC 54 Test della RAM rA t LL 55 Test della EPROM EP t 0 55 Test della EEPROM EE t LL 55 Test del display di t Li 56 Segnale del convertitore A D Ad S eae 56 ID del convertitore A D Ad i LL 56 TESTO IOT cdot linee Pia pen ate ret 56 Test della RS232C rS t 0 57 Interfaccia con un computer 58 Fondamentali r 4 a e i ran na 58 CONNESSIONE 58 Nomenclatura sca shiek is vars aoe a fe et es lan a 58 Comunicazione 0 c tees 59 Protocolo os cit Rental 59 4 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Sommario 6 2 2 Trasmissione Host gt Unit 0 LL 59 6 2 3 Ricezione Unit gt Host 222200 cece eee ee eee 59 6 2 4 ESP tive eae See eg 60 6 2 5 Fromati dei numeri 61 6 2 6 Trasmissione continua della misura aaa 61 6 3 Simboli mnemonici LL 62 6 3 1 Visione d insieme LL 62 6 3 2 AO Mos VO PT 64 6 39 BAU teat er BE aaa ei 65 6 3 4 COM ren een Raiano 65 6 9 5 COR a RA TATE e a a aerea 66 03 00 DENIA li be eCards rai dea leale aaa 67 6 37 DOS capri ela ee Ria 67 0 38 MERA nie Nat ZL AS Di ahha eee tier ed ab 68 6 397 TERRA ie bll ay deat a eal et 68 6 3 1 0 EUM sartoria feet ee en Pata ra 69 6 311 El Lia e ara
52. ento t off Questo parametro disponibile solo se il parametro di attivazione del trasmettitore impostato su CH 1 CH 2 or CH 3 Si veda il Capitolo 5 2 8 Disattivazione del trasmettitore S oFF B 46 Il parametro t off usato per specificare una soglia di spegnimento Il trasmettitore viene spento quando la pressione sul rispettivo canale supera la soglia di spegnimento 5 2 10 Emissione EMi Questo parametro definisce le regole per l accensione dell emissione Visualizzazione Significato Auto L emissione accesa o spenta dall elettronica del trasmettitore MAn L emissione accesa o spenta manualmente Tab 5 5 Valori del parametro EMi 5 2 11 Selezione del filamento FiL Questo parametro definisce le regole per selezionare il filamento attivo Visualizzazione Significato Auto Il trasmettitore seleziona alternativamente uno dei due filamenti Fil 1 Il filamento 1 attivo Fil 2 Il filamento 2 attivo Tab 5 6 Valori del parametro FiL GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 47 Parametri 5 3 Parametri generali PArA GEn Questi parametri sono usati per la configurazione generale dell unit parametri hanno effetto su tutti i canali 5 3 1 Unit di misura unit Unita di misura per i valori della pressione L unita si riferisce ai valori di pressione visualizzati ai valori di soglia ecc Visualizzazione Significato bAr Unit di pressione mbar o bar torr Unit di pressione T
53. er TTR 96 S GA 09 223 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH D 50968 K ln Operating Manual PENNINGVAC Transmitter PTR 90 GA 09 313 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH D 50968 K ln Operating Manual CERAVAC Transmitter CTR 100 17200257_001_00 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH D 50968 K ln Operating Manual IONIVAC ITR 200 S ITR SP ITR SD 17200137_001_00 Oerlikon Leybold Vacuum GmbH D 50968 K ln 94 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Indice A A D converter calibration LL 87 A D convertertest cli ae oa an 56 79 ACCESSOMES 1 ic at Years 16 B BackisIde vta ticas A a a end ae 19 B udirate gt 2h 92 2a arta Bate 48 65 C Galibrationi a e et aca dto 87 Calibration factor 04 0024 244 bain odes aa e 87 Calibration offset 0 eee eee eens 87 Catalog number rest fan Sel a rag 7 Characteristic curve of recorder output 000 e eee eee 49 CE Re ds a da e Peta Meow E 85 GoOmmMUunications sented stove tees dae Da Laion ea 59 Continuous measurement transmission o oo o 61 65 Number format e a da an en ec ae 61 Protocol es er ee PE Da bed pA e s ache he ge 59 O 59 A O Lo ERE a 59 Computer interface 2 2222 nennen eee 25 58 Resettingi iran nase Bi phyla eine Ate nee gene 76 TOSUNG sita a ie Ai 57 83 Connections CONTROL Piece ela earn a alate 24 Ground Listas a dada daras 21 Mains connection o ooooooooo eens 21 RELAY FRE neo ihe e aie ot PEN ate Ean ete 2
54. funzionamento Durante il normale funzionamento anche possibile attivare il gruppo di parametri tESt dalla modalit misura 1 Premere il tasto PARA Il menu parametri selezionato L indicatore PARA illuminato 2 Mantenere premuti i tasti UP e DOWN per circa 5 secondi Viene visualizzata la versione del firmware Il gruppo di parametri tESt selezionato Nota Quando selezionato il gruppo di parametri tESt il Multi Channel Controller non ritorner automaticamente nella modalit misura Per poter ritornare nella modalit misura premere il tasto PARA ripetutamente finch tutti i parametri di test sono stati passati 5 4 2 Versione del firmware Pnr Mostra il numero di versione del firmware L ultimo carattere rappresenta l indice di modifica Esempio 302 533 D Parametri GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 53 Parametri 5 4 3 Controllo di supervisore dt C Comportamento del monitoraggio di sistema controllo di supervisore nel caso di un errore Visualizzazione Significato Auto Un messaggio di errore dal controllo di superviso re accettato automaticamente dopo 2 secondi oFF Un messaggio di errore dal controllo di superviso re deve essere accettato dall utente Tab 5 11 Valori del parametro dt C 5 4 4 Blocco di Torr tr L Questo parametro ha effetto sul parametro generale unit Quando il blocco attivo l unit di misura Torr non pu essee selezionata Si
55. gnificato n2 Azoto o aria Non richiesto alcun tipo di correzione Ar Argon La lettura di pressione determinata tramite un fattore di correzione per l argon COR illuminato H2 Idrogeno La lettura di pressione determinata tramite un fattore di correzione per l idrogeno COR illuminato Cor Altri gas La lettura di pressione determinata tramite un fattore di correzione variabile COR illuminato Tab 5 4 Impostazioni del parametro GAS Cor Se volete effettuare misure di pressione in un tipo di gas senza un fattore di correzione fissato potete moltiplicare la lettura di pressione con un fattore di correzione variabile A questo scopo procedete come segue 1 Impostare il parametro GAS su Cor 2 Premere il tasto PARA m Il fattore di correzione visualizzato 3 Usare i tasti freccia per modificare il fattore di correzione Il valore del parametro modificato L indicatore COR illuminato Potete aggiustare il fattore di correzione di un trasmettitore nell intervallo 0 10 9 99 L impostazione 1 00 restituisce la lettura di pressione non corretta Nota La correzione del tipo di gas effettiva solo per le seguenti pressioni 2 p lt 10 mbar ITR PTR 90 p lt mbar TTR 100 5 2 3 Intervallo di misura FS trasmettitori lineari CTR richiedono la specifica del valore di fondo scala Potete impostare questo valore usando i tasti del cursore Sono disponibili seguenti valori 0 01 mb
56. i di taratura dell unit 7 3 2 CAO Offset di taratura del convertitore A D Il comando destinato solo ai tecnici di servizio della Oerlikon Leybold Vacuum S CAO ta aaaaE aa b bbbbE bb c ccccE cc lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R ta aaaaE aa b bbbbE bb c ccccEtcc lt CR gt lt LF gt Parametro Significato ta aaaaEtaa Offset di taratura del canale 1 b bbbbE bb Offset di taratura del canale 2 c ccccE cc Offset di taratura del canale 3 Nota Il comando CAO pu essere usato anche insieme ad altri parametri Si veda il Capitolo 7 3 4 Taratura dell unit 8 88 7 3 3 CAF Fattore di taratura del convertitore A D Il comando destinato solo ai tecnici di servizio della Oerlikon Leybold Vacuum GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 87 Manutenzione e servizi S CAF a aaaaE aa b bbbbE bb c ccccE cc lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a aaaaE aa b bbbbE bb c ccccE cc lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a aaaaEtaa Fattore di taratura del canale 1 b bbbbE bb Fattore di taratura del canale 2 c ccccE cc Fattore di taratura del canale 3 Nota Il comando CAF pu essere usato anche insieme ad altri parametri Si veda il Capitolo 7 3 4 Taratura dell unit 88 7 3 4 Taratura dell unit Il Multi Channel Controller pu essere tarato automaticamente con i comandi di interfaccia CAF e CAO Sono
57. i soglia Uscita dati di cui sopra escono sempre in formato esponenziale Vengono usati una mantissa a cinque cifre e un esponente a due cifre Entrambe le parti del numero devono contenere il segno Rappresentazione simbolica ta aaaaEtaa Esempio 1 2500E 01 Nel caso di trasmettitori logaritmici TTR PTR ITR le ultime due cifre della mantissa sono sempre zero trasmettitori lineari CTR usano tutte le cifre della mantissa Ingresso dati di cui sopra possono essere inseriti sia in formato esponenziale o nel formato fissato con il punto dati in ingresso sono convertiti automaticamente al formato esponenziale dall unit Esempio 1 25E 1 e 0 125 sono entrambi validi come dati in ingresso 6 2 6 Trasmissione continua della misura Dopo che l unit stata accesa essa inizia a inviare misure con continuit all interfaccia seriale Per default viene inviato un insieme di misure ogni secondo La trasmissione continua della misura si interrompe quando l Host invia un carattere all interfaccia seriale La trasmissione pu essere ripristinata con il comando COM Si veda il Capitolo 6 3 4 COM amp 65 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 61 Interfaccia con un computer 6 3 Simboli mnemonici 6 3 1 Visione d insieme Mnemonico AOM BAU COM COR DCD DGS ERA ERR EUM FIL FUM FSR GAS HVC ITR LOC OFC OFD PNR PRI PR2 PR3 PRX RES SAV 62 GA 09 035 4 02 0
58. ione p Pressione t Tempo NO Messa in contatto normalmente aperto COM Contatto comune NC interruzione di contatto normalmente chiuso La regione tra i valori di soglia genera un isteresi lag tra l attivazione e la disattivazione del rel L isteresi impedisce che la funzione di commutazione si accenda e si spenga rapidamente quando la pressione vicina a uno dei valori di soglia 5 1 2 Configurazione delle funzioni di commutazione Prerequisito Il gruppo di parametri SP P stato selezionato 1 Premere il tasto PARA per selezionare il parametro desiderato l nome e il valore del parametro sono visualizzati 2 Usare il tasto CH per assegnare la funzione di commutazione a un canale Le funzioni commutazione possono essere assegnate ai canali in qualsiasi modo due valori di soglia della funzione di commutazione sono sempre assegnati allo stesso canale 3 Usare i tasti freccia per modificare il valore di soglia Il valore del parametro risulta modificato 4 Ripetere i passaggi da 1 a 3 per cambiare altri parametri dello stesso gruppo GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 39 Parametri 5 1 3 Intervallo di regolazione Intervallo di regolazione del valore di soglia pi basso Il valore di soglia pi basso di una funzione di commutazione pu essere impostato nell intervallo di pressioni seguente Trasmettitore SP L min mbar SP L max mbar 3 2 TTR 2 10 5 10 3 3 TTR 100 2 10 15 10
59. k 106 3 91 4 103 23 5 Fa gt i e _ _ _ T S qa a o o N O o m N 00 Cc CI 0 0 DD e get a o E 285 7 204 5 2 5 if DI 1 VA 11 A gt Abb 2 1 Dimensioni in mm GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 11 Dati tecnici 2 1 2 Ambiente Temperatura Stoccaggio 20 60 C Funzionamento 5 50 C Umidit relativa Max 80 sotto 31 C decrescente fino a max 50 sopra 40 C Uso Solo al chiuso Altitudine max 2000 m slm Grado d inquinamento Il Tipo di protezione IP20 2 1 3 Funzionamento Controllo a 4 pulsanti sul pannello Manuale frontale Controllo remoto Via interfaccia RS232C 2 1 4 Standard Conforme con la Direttiva relativa alle basse tensioni 2006 95 EC Conforme con la Direttiva relativa alla compatibilita elettromagnetica 89 336 EG In accordo con gli standard e le specifiche internazionali nazionali EN 61010 1 Prescrizioni di sicurezza per apparecchi elettrici di misura controllo e per utilizzo in laboratorio EN 61000 6 2 Compatibilit elettromagnetica Norme generiche emissione EN 61000 6 3 Compatibilit elettromagnetica Norme generiche immunit 2 2 Connessione dell alimentazione Tensione 90 250 VAC Frequenza 50 60 Hz Consumo CENTER TWO Max 45 W CENTER THREE Max 65 W Categoria di sovratensione Il Classe di protezione 1 Connessione Connettore per apparecchi Europei IEC 320 C14 12 GA 09 03
60. l intervallo permesso Viene mostrato il limite superiore dell intervallo di misura Entro l intervallo permesso AI di sotto dell intervallo permesso Viene mostrato il limite inferiore dell intervallo di misura Molto al di sotto dell intervallo permesso L indicatore FAIL lampeggia Il rel del segnale di errore scatta Si veda la Tab 4 2 B 34 Si veda la Tab 4 2 B 34 Si veda la Tab 5 13 54 Si veda il Capitolo 5 2 6 B 45 Si veda il Capitolo 5 2 8 B 46 Si veda il Capitolo 5 2 8 B 46 Si veda il Capitolo 5 2 8 B 46 Si veda il Capitolo 5 2 8 B 46 Si veda il Capitolo 5 4 5 B 54 I canali che non sono connessi ad alcun trasmettitore mostrano noSEn Questo messaggio di stato scompare dopo circa due minuti 30 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 4 4 3 Funzioni dei tasti di controllo 4 4 3 1 Selezionare un canale 1 Premere il tasto CH Abb 4 2 Premere il tasto CH L unit seleziona il canale successivo Il numero del canale selezionato lampaeggia per alcuni secondi 4 4 3 2 Selezionare la modalit parameter 1 Premere il tasto PARA i Es Abb 4 3 Premere il tasto PARA L unita passa alla modalit parameter Si veda il Capitolo 4 5 Modalit Parameter 35 Se non viene premuto alcun tasto per 10 secondi essa tornar automaticamente alla modalit misura Funzionamento GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 31 Funzionamen
61. l Multi Channel Controller Nota Il display rimane scuro Il Multi Channel Controller impostato nella modalit trasferimento di programma 7 2 2 Trasferimento del programma Il firmware per il Multi Channel Controller distribuito come file exe auto estrente o come un file zip compresso 1 Copiare il file exe o il zip in una directory vuota 2 Decomprimere il file Uno dei file estratti di tipo batch bat 3 Di default si assume che il trasferimento di programma avvenga tramite l interfaccia seriale COM1 Procedere come segue se volete usare un altra interfaccia seriale 3 1 Cliccare sul file batch con il tasto destro del mouse Compare un menu 3 2 Dal menu scegliere l opzione Edit GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 85 Manutenzione e servizi Il file batch si apre in un editore di testo 3 3 Modificare la voce COMI con l interfaccia che volete usare es COM2 3 4 Salvare e chiudere il file batch modificato 4 Eseguire il file batch tramite un doppio click con il mouse Il nuovo firmware viene trasferito al Multi Channel Controller Potete seguire ciascuna fase sullo schermo del PC Dopo circa 1 minuto il trasferimento sar completato 7 2 3 Riavvio Procedere come segue dopo che il firmware stato completamente trasferito 1 Spegnere il Multi Channel Controller 2 Attendere almeno 10 secondi per essere sicuri che il Multi Channel Controller si possa inizializzare Accendere nuo
62. l numero di versione del software del sensore es 1 20 34 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Funzionamento 4 5 Modalit Parameter 4 5 1 Selezione La pressione del tasto PARA permette di passare dalla modalit misura alla modalit parameter L indicatore PARA illuminato Quando l unit impostata nella modalit parameter se non viene premuto alcun tasto per 10 secondi essa torner nella modalit misura automaticamente L indicatore PARA non illuminato 4 5 2 Gruppi di parametri La modalit parameter vi consente di accedere a vari parametri Potete verificare o modificare le impostazioni dei parametri usando i tasti freccia Questo vi permette di configurare il Multi Channel Controller La Tab 4 3 36 mostra tutti i parametri disponibili Gruppo di parametri Parametro PArA SP1 L SP1 H SE SP2 L SP2 H SP3 L SP3 H SP4 L SP4 H SP5 L SP5 H SP6 L SP6 H PArA FiLt GAS SEn FS oFS dEGAS S on S oFF EMi FiL PArA unit bAud E apn diGit dEF Ao Err r GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 35 Funzionamento Gruppo di parametri Parametro PArA Pnr dt C tESt CL LoC rA t EP t EE t di t Ad S Ad i CALib io t rS t Tab 4 3 Gruppi di parametri e relativi parametri parametri disponibili sono suddivisi nei seguenti gruppi di parametri Parametri di funzioni di commutazione PArA SP Questi parametri sono usati per assegnare ai c
63. l rel 00 Tutti i rel spenti 01 Rel funzione di commutazione 1 acceso 02 Rel funzione di commutazione 2 acceso 04 Rel funzione di commutazione 3 acceso 08 Rel funzione di commutazione 4 acceso 10 Rel funzione di commutazione 5 acceso 20 Rel funzione di commutazione 6 acceso 40 Rel del segnale di errore acceso 7F Tutti i rel accesi Nota Lo stato del rel un numero esadecimale Pu essere combinato tramite l operatore logico OR Esempio 24 Rel delle funzioni di commutazione 3 e 6 accesi 6 3 34 TKB Test della tastiera Esegue il test S TKB lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R aaaa lt CR gt lt LF gt Il carattere di controllo lt ENQ gt inizia il test II The Multi Channel Controller interroga la tastiera e manda un messaggio al computer Parametro Significato aaaa Stato della tastiera 0000 Nessun tasto premuto 1000 CH premuto 0100 PARA premuto 0010 DOWN premuto 0001 UP premuto Note Lo stato della tastiera un numero binario Pu essere combinato tramite l operatore logico OR Esempio 0011 DOWN e UP premuti contemporaneamente 82 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Interfaccia con un computer 6 3 35 TLC Blocco di Torr Si veda Capitolo 5 4 4 Blocco di Torr tr L B 54 S TLC a lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a lt CR gt lt LF gt Par
64. lo frontale si raccomanda di dotare l adattatore al telaio del rack con delle guide a binario Nota Per sicurezza e comodit di installazione degli adattatori pesanti al telaio si raccomanda di dotare la struttura del rack di slitte a binario 1 Fissate l adattatore al telaio del rack 2 Inserite il Multi Channel Controller nell adattatore al telaio del rack 3 Fissate il Multi Channel Controller all adattatore al telaio del rack con le viti e le boccole di plastica in dotazione 3 3 Connessione 3 3 1 Retro dello strumento La Fig 3 4 20 mostra il retro del CENTER THREE La connessione per il canale 3 Pos C non disponibile nel CENTER TWO GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 19 Installazione L A gt O 00000000 10 cha B C CONTROL Ls D H G K F E Abb 3 4 Retro del CENTER THREE Connessione al trasmettitore canale 1 Connessione al trasmettitore canale 2 Connessione al trasmettitore canale 3 Connessione CONTROL Interruttore per modalit trasferimento di programma Connessione RS232C Connessione alimentazione Interruttore alimentazione Vite per messa a terra Connessione RELAY Vite per conduttore protettivo interno Non allentate questa vite XACTIONMOUOODWO gt Attenzione Conduttore protettivo interno Il conduttore prote
65. lo originale 3 Esaminate il Multi Channel Controller per verificarne la completezza 4 Ispezionate visivamente il Multi Channel Controller per evidenziare segni di danni Prodotto danneggiato Mettere in funzione un prodotto danneggiato pu essere estremamente pericoloso Attenzione Non provate mai a mettere in funzione un prodotto danneggiato Mettete al sicuro il prodotto danneggiato da un uso non intenzionale Inviate un reso conto dei danni alla societ di trasporti o all assicurazione 3 2 Installazione meccanica Il Multi Channel Controller pu essere usato come segue unit da banco montato in un pannello di controllo o montato in un rack da 19 In ciascuno di questi casi prestate attenzione alla seguente nota di sicurezza Temperatura ambiente troppo alta Cautela Il superamento della temperatura ambiente massima permessa pu danneggiare l unit Accertatevi che la temperatura ambiente massima permessa non sia supe rata e che l aria possa fluire liberamente attraverso le feritoie Non lasciate l unit esposta alla luce solare diretta 3 2 1 Unit da banco Per utilizzare il Multi Channel Controller come unit da banco procedere come segue 1 Girate il Multi Channel Controller sottosopra come mostrato in Fig 3 1 18 2 Premete la striscia di gomma in dotazione sul bordo inferiore del pannello frontale 3 Incollate i piedini di gomma in dotazione al fondo dell involucro GA 09 035 4 02 01 2008
66. mettitore La relazione tra la pressione e la tensione detta curva caratteristica dell uscita Essa pu essere selezionata Modifica dei parametri 1 Selezionare il parametro Ao 2 Usare il tasto CH per assegnare l uscita del registratore a un canale 3 Usare i tasti freccia per selezionare la curva caratteristica dell uscita valore del parametro modificato Curve caratteristiche Fondamentalmente dobbiamo distinguere tra curve caratteristiche logaritmiche e lineari Una curva caratteristica logaritmica utile se l intervallo di pressione copre diversi ordini di grandezza durante la misura In tal caso opportuno prendere il logaritmo della pressione e quindi scalare il risultato in maniera adatta Una curva caratteristica lineare utile se l intervallo di pressione copre solo pochi ordini di grandezza durante la misura In tal caso la tensione d uscita del registratore proporzionale al valore della pressione Potete specificare quale valore di pressione dar la massima tensione d uscita GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 49 Parametri Nel seguito saranno descritte in dettaglio le curve caratteristiche a disposizione Per ogni caso mostrato come calcolare la pressione p in mbar dalla tensione d uscita del registratore U in volt LoG Rappresentazione logaritmica dell intero intervallo di misura Trasmettitore Pressione in mbar TTR p 10 U 10 7 4 TTR 100 p 10 U 10 7 4
67. minato E sempre la correzione di compensazione prima di modificare la compensazione di un trasmettitore Modificare il punto zero di un CTR digitale 1 Selezionare il parametro oFS 2 Mantenere premuto il tasto DOWN per circa 2 secondi punto zero del trasmettitore fissato Nota Modificare prima il trasmettitore poi il Multi Channel Controller 44 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Parametri 5 2 5 Funzione degassaggio dEGAS trasmettitori a ionizzazione con un catodo caldo sono sensibili rispetto a deposizioni sugli elettrodi Tali deposizioni possono causare fluttuazioni del segnale La funzione di dEGAS quella di riscaldare e quindi pulire il sistema di elettrodi del trasmettitore Si veda la Referenza 6 ITR 200 transmitter La funzione dEGAS agisce solo sul filamento attivo in quel momento Si veda la Referenza 12 Attivare la funzione degas 1 Selezionare il parametro dEGAS 2 Premere il tasto UP La funzione degas attivata Il display mostra on Liindicatore DEG illuminato Il processo di pulizia impiega circa 3 minuti Quindi la funzione degas si spegne automaticamente Potete anche disattivare la funzione manualmente Disattivare la funzione degas 1 Selezionare il parametro dEGAS 2 Premere il tasto DOWN La funzione degas disattivata Il display mostra oFF L indicatore DEG non illuminato 5 2 6 Attivazione del trasmettitore S on Questo parametro de
68. n Fax 49 0 221 347 1245 leybold vacuum sales vacuum oerlikon com www oerlikon com
69. ni di commutazione 1 4 Il CENTER THREE contiene in tutto sei rel per le funzioni di commutazione cio in questa unit sono disponibili le funzioni 1 6 Valori di soglia Il comportamento di attuazione di ciascun rel determinato da due parametri Il valore di soglia pi basso e il valore di soglia pi alto della funzione di commutazione Valore di soglia pi basso SP L Il valore di soglia pi basso responsabile dell attivazione della funzione di commutazione assegnata Il rel si accende non appena la pressione scende sotto il valore di soglia pi basso Questo vuol dire che il contatto commune del rel connesso alla messa in contatto Valore di soglia pi alto SP H Il valore di soglia pi alto responsabile della disattivazione della funzione di commutazione assegnata Il rel si spegne non appena la pressione sale sopra il valore di soglia pi alto Questo vuol dire che il contatto commune del rel connesso alla messa in contatto 38 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Parametri Isteresi Nell intervallo di pressione tra i due valori di soglia viene mantenuto lo stato precedente del rel Il rel non scatta in questo intervallo e lo stato del rel dipende dalla storia della curva di pressione Si veda la Fig 5 1 8 39 NO NO NO I COM i COM o 7 COM a nc nc nc Abb 5 1 Comportamento di una funzione di commutazione al variare della press
70. ntificano parametri opzionali Le voci tra parentesi possono apparire ma non sono essenziali Le parentesi non sono realmente usate nei comandi Parentesi angolate lt gt Le abbreviazioni racchiuse tra parentesi angolate identificano caratteri di controllo L intera espressione incluse le parentesi sostituita da un valore numerico Si veda la Tab 6 2 B 58 Termine Valore Significato lt EXT gt 03h Fine del testo Ctrl C Azzera l interfaccia Cancella il buffer in ingresso lt ENQ gt 05h Richiesta Ctrl E Richiede trasmissione di dati lt ACK gt 06h Conferma Confermato positivamente lt LF gt OAh Inserimento della linea di comando lt CR gt oDh Ritorno carrello lt NAK gt 15h Conferma Confermato negativamente Tab 6 2 Caratteri di controllo 58 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Interfaccia con un computer 6 2 Comunicazione 6 2 1 Protocollo Il protocollo seguente usato nella comunicazione 8 bit di dati Nessun bit di parit 1 bit di stop Il baud rate pu essere selezionato Si veda il Capitolo 5 3 2 Baud rate bAud B 48 Non utilizzato handshaking dell hardware messaggi sono trasferiti come stringhe ASCII vuoti spazi nella stringa vengono ignorati L informazione scambiata in modo bidirezionale cio i comandi dei dati e di controllo possono essere scambiati in entrambe le direzioni Il buffer in ingresso dell Host deve avere una capacit
71. o o fattore di correzione variabile nell inter vallo 0 10 9 99 Convertitore A D Risoluzione gt 16 bit Nota Le misurazioni del ITR CTR 100 sono trasferite in digitale 2 4 Funzioni di commutazione Numero di funzioni di commutazione CENTER TWO 4 CENTER THREE 6 Designazione Pu essere configurata in qualsiasi modo Tempo di ritardo Dipende dalla costante di tempo del filtro Intervallo di aggiustamento Dipende dal trasmettitore Isteresi Trasmettitori lineari CTR 2 1 FS Trasmettitori Logaritmici TTR PTR ITR 10 della misura 2 4 1 Rel delle funzioni di commutazione Tipo di contatto Contatto a commutatore flottante Carico ohmico Max 60 VDC 0 5 A Max 30 VAC 1 A Tempo di vita Meccanico 7 10 cicli Elettrico 5 10 cicli a carico massimo Connessione D Sub 25 pin femmina Vedi Fig 3 8 B 23 2 4 2 Rel del segnale di errore Numero 1 Tempo di ritardo lt 20 ms Tipo di contatto Contatto a commutatore flottante Carico ohmico Max 60 VDC 0 5A Max 30 VAC 1A 14 GA 09 035 4 02 01 2008 O Oerlikon Leybold Vacuum Dati tecnici Tempo di vita Meccanico 7 10 cicli Elettrico 5 10 cicli a carico massimo Connessione D Sub 25 pin femmina Vedi Fig 3 8 23 2 5 Uscite 2 5 1 Uscita analogica Numero Intervallo di tensione Deviazione dal valore visualizzato Resistenza interna Relazione tra tensione e pres sione Connessione 2 5 2 Uscita del registrat
72. o potreste ritenere utile di copiare le informa zioni nello spazio qui sotto Oerlikon Leybald Vacuum D 50968 K ln Abb 1 1 Etichetta Tipologia esempio GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 7 Introduzione 1 2 Destinazione d uso Multi Channel Controller CENTER TWO e CENTER THREE sono unit di visualizzazione e controllo per i trasmettitori della Oerlikon Leybold Vacuum Esso sono usati con i trasmettitori delle serie THERMOVAC PENNINGVAC CERAVAC e IONIVAC per la misura di pressioni totali trasmettitori devono essere fatti funzionare in accordo alle rispettive istruzioni d uso Nel testo che segue il Multi Channel Controller CENTER TWO o CENTER THREE sar indicato semplicemente come Multi Channel Controller 1 2 1 Responsabilit e garanzia La Oerlikon Leybold Vacuum non si assume responsabilit e la garanzia diventa nulla e priva di valore legale se l utente o terzi Non osservano le informazioni contenute in questo documento Usano il prodotto in maniera non conforme Alterano il prodotto in qualsiasi modo modifiche riparazioni ecc Usano il prodotto con accessori non elencati o nella corrispondente documentazione di prodotto Ci riserviamo il diritto di eseguire modifiche tecniche senza preavviso Le figure non sono vincolanti 1 3 Versioni di Prodotto Il Multi Channel Controller disponibile in due diverse versioni CENTER TWO e CENTER THREE due prodotti differi
73. o 5 2 8 Disattivazione del trasmettitore S oFF B 46 S SC1 a b c ccE cc d ddE dd lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a b c ccE cc d ddE dd lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Attivazione del trasmettitore 0 Manuale default 1 Accensione a caldo 2 Tramite il canale 1 3 Tramite il canale 2 4 Tramite il canale 3 b Disattivazione del trasmettitore 0 Manuale default 1 Autocontrollata 2 Tramite il canale 1 3 Tramite il canale 2 4 Tramite il canale 3 c ccE cc Valore di attivazione in unita di misura correnti GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 77 Interfaccia con un computer Parametro Significato d ddE dd Valore di disattivazione in unit di misura correnti Nota I comandi SC2 ed SC3 riguardano i trasmettitori 2 e 3 rispettivamente Tali comandi sono analoghi al comando SC1 6 3 26 SP1 Setpoint 1 Funzione di commutazione 1 Si veda il Capitolo 5 1 Parametri delle funzioni di commutazione PArA SP B 38 S SP1 a b bbbbE bb c ccccE cc lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a b bbbbE bb c ccccE cc lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Assegnazione della funzione di commutazione 0 Canale 1 1 Canale 2 2 Canale 3 b bbbbE bb Valore di soglia inferiore in unit di misura correnti c ccccE cc Valore di soglia superiore in unita di misura correnti Nota I comandi SP2
74. oerlikon leybold vacuum CENTER TWO CENTER THREE Multi Channel Controller Istruzioni d Uso in Italiano GA 09 035 4 02 Copia tradotta dalla versione originale inglese Cat N 230 003 230 004 235 003 235 004 Sommario Sommario 1 Introduzione iii 7 1 1 Validit f fall Sato ae helios eaten ts 7 1 1 1 Numero di catalogo 7 1 1 2 Version del firmware 7 1 1 3 Etichetta tipologia Type 7 1 2 Destinazione PUSO es 8 1 2 1 Responsabilit e garanzia 8 1 3 Versioni di prodotto 8 1 4 SICUTOZZA cas rd daa A 9 1 4 1 Qualifiche del personale LL 9 1 4 2 Illustrazione dei pericoli residui 9 1 4 3 Istruzioni generali di sicurezza 10 2 Datlitechici ori vai paia lei a 11 2 1 Dati generali 11 2 1 1 Dat meccanici ariana 11 2 1 2 Ambiente LL 12 2 1 3 FUNZIONAMENTO 00 eet eee 12 2 1 4 Standard its ela ke eddie Eier el 12 2 2 Connessione dell alimentazione eee 12 2 3 Canali ru tati a tei ia BY eek ee nad sa 13 2 3 1 Collegamenti dei sensori 13 2 3 2 Alimentazione del trasmettitore LL 13 2 3 3 Tecnicad misura sorrisi Popper a 13 2 4 Funzioni di commutazione ooo 14 2 4 1 Rel delle funzioni di commutazione 14 2 4 2 Rel del segnale di errore 14 2 5 USCHe Mur Ri N ee Pas a 15 2 5 1 Uscita analogica ucraini eco ee et 15 2 5 2 Uscita del registratore ce 15
75. ore Numero Intervallo di tensione Risoluzione Accuratezza Resistenza interna Relazione tra tensione e pres sione Connessione 1 per canale 0 10 VDC 50 mV 470 Dipende dal trasmettitore D Sub 9 pin maschio Vedi Fig 3 9 B 24 4 0 10 VDC 1mV 20 mV 3300 Q Programmabile D Sub 9 pin maschio Vedi Fig 3 9 B 24 2 5 3 Interfaccia con un computer Default RS232C Protocollo ACK NAK Segnali Baud rate ASCII con mnemonica a 3 caratteri Flusso dati bidirezionale Usati solo TXD e RXD 9600 19200 38400 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 15 Dati tecnici Connessione D Sub 9 pin femmina Vedi Fig 3 10 8 25 2 6 Oggetto della fornitura Designazione Numero Multi Channel Controller 1 Cavo di alimentazione Striscia di gomma Piedini di gomma Viti del collare Boccole di plastica AA N 2 7 Accessori Designazione Numero di Prodotto Presa D Sub per la connessione 230 006 CONTROL del tipo serrata a vite 16 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Installazione 3 Installazione 3 1 Disimballaggio 1 Ispezionate visivamente l imballo di trasporto per evidenziare segni di danni 2 Disimballate il Multi Channel Controller e mettete da parte il materiale dell imballo Nota Conservate il materiale dell imballo per un uso futuro Il Multi Channel Controller deve essere immagazzinato e trasportato solo nel materiale d imbal
76. orr PASC Unit di pressione Pascal uC Unita di pressione Micron Tab 5 7 Valori del parametro unit L unit di misura indicata sul display Si veda la Fig 4 1 8 26 Pos C Nota L unit di pressione Torr pu essere bloccata In tal caso torr non disponibile per la selzione Si veda il Capitolo 5 4 4 Blocco di Torr tr L 8 54 5 3 2 Baud rate bAud Velocit di trasferimento dell interfaccia RS232C Visualizzazione Significato 9600 9600 Baud 19200 19200 Baud 38400 38400 Baud Tab 5 8 Valori del parametro bAud 48 GA 09 035 4 02 01 2008 O Oerlikon Leybold Vacuum Parametri 5 3 3 Formato di visualizzazione diGit Numero di cifre mostrate sul display Visualizzazione Significato 2 Due cifre es 2 5 o 370 3 Tre cifre es 2 47 0 373 Tab 5 9 Valori del parametro diGit Nota Il parametro diGit non ha effetto sul trasmettitore CTR 5 3 4 Parametri di default dEF Inizializza tutti i parametri sui valori di default impostazioni di fabbrica Si noti che questa azione non pu essere recuperata Procedere come segue per inizializzare i parametri 1 Selezionare il parametro dEF 2 Premere tasti UP e DOWN contemporaneamente Il display mostra SEt Tutti parametri sono reimpostati ai valori di default 5 3 5 Uscita del registratore Ao L uscita del registratore un uscita analogica programmabile La tensione d uscita del registratore una funzione della pressione del tra
77. pensazione oFS B 44 S OFD ta aaaaEtaa tb bbbbE tbb tc ccccE cc lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R ta aaaaEtaa b bbbbE bb tc ccccE cc lt CR gt lt LF gt Parametro Significato Valore di compensazione del trasmettitore 1 in ta aaaaEtaa unit di misura correnti Default 0 0000E 00 b bbbbE bb Valore di compensazione del trasmettitore 2 in unita di misura correnti si veda sopra c ccccE cc Valore di compensazione del trasmettitore 3 in unita di misura correnti si veda sopra 6 3 20 PNR Numero di programma Numero di versione del firmware Si veda il Capitolo 5 4 2 Versione del firmware Pnr 53 S PNR lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Versione del firmware Esempio 302 533 D 74 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Interfaccia con un computer 6 3 21 PRI Sensore di pressione 1 Lettura della pressione del trasmettitore 1 S PR1 lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a tb bbbbE bb lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Stato del canale 1 0 Dati della misura ok 1 Sotto l intervallo 2 Sopra l intervallo 3 Errore del trasmettitore 4 Trasmettitore spento 5 Nessun trasmettitore 6 Errore di identificazione 7 Errore ITR b bbbbE bb Lettura della pressione del trasmettitore 1 in unit di misura
78. re il canale desiderato 2 Mantenere premuto il tasto DOWN per circa 1 secondo a MOL Abb 4 5 Premere il tasto DOWN per circa 1 secondo Il trasmettitore sul canale selezionato viene spento L indicatore HV non illuminato Il display mostra lo stato oFF 4 4 3 6 Spegnere la funzione degassaggio La funzione degassaggio dei seguenti trasmettitori pu essere spenta manualmente ITR 1 Premere il tasto CH per selezionare il canale desiderato 2 Mantenere premuto il tasto DOWN per circa 1 secondo Si veda la Fig 4 5 33 La funzione degassaggio del trasmettitore sul canale selezionato viene spenta L indicatore DEG non illuminato GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 33 Funzionamento 4 4 3 7 Identificare un trasmettitore 1 Mantenere premuti i tasti UP e DOWN per circa 1 secondo e 1 Eos CH PARA Abb 4 6 Premere i tasti UP e DOWN per circa 1 secondo L area di visualizzazione dei singoli canali mostra i trasmettitori collegati Si veda la Tab 4 2 B 34 Visualizzazione ttr ttr1 Ptr Ptr90 Ctr Ctr1 itr itr2 noSEn noid Tab 4 2 Identificazione del trasmettitore Nota Significato THERMOVAC TTR THERMOVAC TTR 100 PENNINGVAC PTR 225 PENNINGVAC PTR 90 CERAVAC CTR 90 CTR 91 CERAVAC CTR 100 IONIVAC ITR 90 IONIVAC ITR 200 Nessun trasmettitore trovato Nessuna indicazione di trasmettitore trovata Nel caso dei trasmettitori ITR visualizzato anche i
79. re una soglia di accensione Il trasmettitore viene acceso quando la pressione sul rispettivo canale scende sotto la soglia di accensione 5 2 8 Disattivazione del trasmettitore S oFF Questo parametro determina come si spegne il trasmettitore Esso pu essere impostato su uno dei seguenti valori HAnd Manualmente Il trasmettitore pu essere spento premendo il tasto DOWN Si veda il Capitolo 4 4 3 5 Spengimento di un circuito da alto vuoto B 33 SELF Autocontrollato Il parametro seguente t off usato per specificare una soglia di spegnimento Il trasmettitore viene spento quando la pressione sul rispettivo canale supera la soglia di spegnimento CHI Attraverso il canale 1 Il parametro seguente t off usato per specificare una soglia di spegnimento Il trasmettitore viene spento quando la pressione sul canale 1 supera la soglia di spegnimento CH2 Attraverso il canale 2 Il parametro seguente t off usato per specificare una soglia di spegnimento Il trasmettitore viene spento quando la pressione sul canale 2 supera la soglia di spegnimento CH 3 Attraverso il canale 3 Questa impostazione disponibilie solo se unit dotata di tre canali Il parametro seguente t off usato per specificare una soglia di spegnimento Il trasmettitore viene spento quando la pressione sul canale 3 supera la soglia di spegnimento 46 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Parametri 5 2 9 Soglia di spegnim
80. ri non adatti trasmettitori che non sono stati progettati per l uso con il Multi Channel Controller possono danneggiare l unit Usate il Multi Channel Controller solo con i trasmettitori compatibili Si veda il Capitolo 2 3 1 Connessioni dei sensori B 13 Connessioni multiple Un solo trasmettitore pu essere collegato a ciascun canale Altrimenti i trasmettitori collegati potrebbero danneggiarsi Non collegate mai pi di un trasmettitore per canale 22 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Installazione Connessioni 1 Canale 1 Collegare il sensore con il connettore CH1 A o CH1 B Usate un cavo schermato 1 1 2 Canale 2 Collegare il sensore con il connettore CH2 A o CH2 B Usate un cavo schermato 1 1 3 Canale 3 Collegare il sensore con il connettore CH3 A o CH3 B Usate un cavo schermato 1 1 3 3 5 RELAY Le funzioni di commutazione e il sistema di monitoraggio degli errori influenzano lo stato di diversi rel all interno del Multi Channel Controller Il connettore RELAY Fig 3 4 20 Pos J permette di utilizzare i contatti dei rel per scopi di commutazione contatti dei rel sono flottanti Desigazione dei pin 13 1 00000000000 aE 0000000000 glo 25 14 Abb 3 8 Presa per apparecchi RELAY D Sub 25 pin 1 GND Messa a terra 14 Messa in contatto per errore NO 2 ne 15 Contatto comune per errore COM 3 Interruzione contatto per errore NC 16 Interruzione contatto SP 4
81. rtune regole di sicurezza Osservate inoltre tutte le note di sicurezza date in questo documento e passate tali informazioni a tutti gli altri utenti del prodotto In particolare fate attenzione alle seguenti note di sicurezza Alimentazione Il Multi Channel Controller contiene parti che sono collegate alla sorgente di alimentazione Assicuratevi che nessun oggetto entri nelle feritoie dell unit Mantenete asciutta l unit Non aprite l unit Abb 1 2 Non inserite oggetti nelle feritoie e mantenete asciutta unit Uso improprio Un uso improprio pu danneggiare il Multi Channel Controller Usate il Multi Channel Controller solo come previsto dal produttore Si veda il Capitolo 1 2 Destinazione d uso 8 Installazione e dati di funzionamento non appropriati Un installazione e dei dati di funzionamento non appropriati possono danneggiare il Multi Channel Controller Attenetevi rigorosamente alla installazione e ai dati di funzionamento previsti 10 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Dati tecnici 2 Dati tecnici 2 1 Dati generali 2 1 1 Dati meccanici Dimensioni Larghezza 106 3 mm Altezza 128 5 mm 3 HE Profondit 207 mm Vedi Fig 2 1 8 11 Peso CENTER TWO 1 04 kg CENTER THREE 1 16 kg Uso Unit da banco Montato su un pannello di controllo Montato in un rac
82. scono l uno dall altro rispetto a Numero di canali Numero di funzioni di commutazione Consumo di energia Peso Si veda il Capitolo 2 Dati tecnici 8 11 Queste Istruzioni d Uso descrivono sia il CENTER TWO che il CENTER THREE 8 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Introduzione 1 4 Sicurezza 1 4 1 Qualifiche del personale Tutto il lavoro descritto in questo documento pu essere effettuato da persone che abbiano una preparazione tecnica adeguata e l esperienza necessaria o che siano state istruite dall utente finale del prodotto 1 4 2 Illustrazione dei pericoli residui Queste istruzioni d uso illustrano le note di sicurezza che riguardano i pericoli residui come segue Pericolo indica una situazione di rischio imminente che se non evitato Pericolo provocher la morte o gravi lesioni Attenzione indica una situazione di rischio potenziale che se non evitato Attenzione potrebbe provocare la morte o gravi lesioni Cautela indica una situazione di rischio potenziale che se non evitato Cautela potrebbe provocare lesioni moderate o minime e danni alla propriet Nota Una nota come questa indica un informazione particolarmente importante ma non rilevante per la sicurezza GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 9 Introduzione Pericolo Cautela 1 4 3 Istruzioni generali di sicurezza Per tutto il lavoro che vi accingete a fare seguite le oppo
83. sura ok 1 Sotto l intervallo 2 Sopra l intervallo 3 Errore del trasmettitore 4 Trasmettitore spento 5 Nessun trasmettitore 6 Errore di identificazione 7 Errore ITR c ccccE cc Lettura del trasmettitore 1 nell unit di misura corrente GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 65 Interfaccia con un computer Parametro d t e eeeeE ee g ggggE gg 6 3 5 COR Significato Stato del canale 2 si veda sopra Lettura del trasmettitore 2 nell unit di misura corrente Stato del canale 3 si veda sopra Lettura del trasmettitore 3 nell unit di misura corrente Fattore di correzione Si veda il Capitolo 5 2 2 Tipo di gas GAS 43 S COR a aa b bb c cc lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a aa b bb c cc lt CR gt lt LF gt Parametro a aa b bb C CC Nota Significato Fattore di correzione del canale 1 0 10 9 99 default 1 00 Fattore di correzione del canale 2 si veda sopra Fattore di correzione del canale 3 si veda sopra Il fattore di correzione usato solo quando il tipo di gas fissato su Altro gas Si veda il Capitolo 6 3 14 GAS B 71 66 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Interfaccia con un computer 6 3 6 DCD Visualizzazione delle cifre di controllo Numero di cifre mostrato sul display Si veda il Capitolo 5 3 3 Formato di visualizzazione diGit B 49 S DCD a l
84. t CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Numero di cifre 2 cifre default 3 3 cifre 6 3 7 DGS Degassaggio Si veda il Capitolo 5 2 5 Funzione degassaggio dEGAS B 45 S DGST a b c lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a b c lt CR gt lt LF gt Parametro Significato a Trasmettitore 1 0 Degassaggio spento default 1 Degassaggio acceso b Trasmettitore 2 si veda sopra Nota La funzione degassaggio si spegne automaticamente dopo 3 minuti Si pu anche interromperla prima GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 67 Interfaccia con un computer 6 3 8 ERA Assegnazione del rel di errore Si veda il Capitolo 5 3 6 Rel del segnale di errore Err r 8 52 S ERA a lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R a lt CR gt lt LF gt Parametro a 6 3 9 ERR Stato di errore S ERR lt CR gt lt LF gt R lt ACK gt lt CR gt lt LF gt S lt ENQ gt R aaaa lt CR gt lt LF gt Parametro aaaa Nota Significato Assegnazione del rel di errore 0 Tutti gli errori 1 Errori dello strumento 2 Errori del sensore 1 e dello strumento 3 Errori del sensore 2 e dello strumento 4 Errori del sensore 3 e dello strumento Significato Stato di errore 0000 Nessun errore 1000 Errore dello strumento FAIL illum
85. termina come si accende il trasmettitore Pu essere impostato su uno dei valori seguenti HAnd Manualmente Il trasmettitore pu essere acceso premendo il tasto UP Si veda il Capitolo 4 4 3 3 Accensione dei circuiti da alto vuoto B 32 Hot Partenza a caldo Il trasmettitore si accende automaticamente quando viene accesa l unit Dopo una mancanza di corrente la misura verr ripresa automaticamente CH 1 Attraverso il canale 1 Il parametro seguente t on usato per specificare la soglia di accensione Il trasmettitore viene acceso quando la pressione sul canale 1 scende sotto la soglia di accensione CH 2 Attraverso il canale 2 Il parametro seguente t on usato per specificare la soglia di accensione Il trasmettitore viene acceso quando la pressione sul canale 2 scende sotto la soglia di accensione CH3 Attraverso il canale 3 Questa impostazione disponibilie solo se unit dotata di tre canali Il parametro seguente t on usato per specificare la soglia di accensione GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum 45 Parametri Il trasmettitore viene acceso quando la pressione sul canale 3 scende sotto la soglia di accensione 5 2 7 Soglia di accensione t on Questo parametro disponibile solo se il parametro di attivazione del trasmettitore impostato su CH 1 CH 2 or CH 3 Si veda il Capitolo 5 2 6 Attivazione del trasmettitore S on B 45 Il parametro t on usato per specifica
86. to 4 4 3 3 Accendere il circuito di alto vuoto Il circuito di alto vuoto dei seguenti dei seguenti trasmettitori pu essere acceso manualmente PTR 225 A questo scopo il controllo del trasmettitore deve essere impostato su HAnd Si veda il Capitolo 5 2 6 Attivazione del trasmettitore S on B 45 1 Premere il tasto CH per selezionare il canale desiderato 2 Mantenere premuto il tasto UP per circa 1 secondo II IM Si CH PARA Abb 4 4 Premere il tasto UP per circa 1 secondo Il trasmettitore sul canale selezionato viene acceso L indicatore HV illuminato Il display mostra la lettura di pressione o un messaggio di stato Si veda la Tab 4 1 8 30 4 4 3 4 Accendere la funzione degassaggio La funzione degassaggio dei seguenti trasmettitori pu essere accesa manualmente ITR 1 Premere il tasto CH per selezionare il canale desiderato 2 Mantenere premuto il tasto UP per circa 1 secondo Si veda la Fig 4 4 32 La funzione degassaggio del trasmettitore sul canale selezionato viene accesa L indicatore DEG illuminato 32 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Funzionamento 4 4 3 5 Spegnere il circuito di alto vuoto Il circuito di alto vuoto dei seguenti trasmettitori pu essere spento manualmente PTR 225 A questo scopo il controllo del trasmettitore deve essere impostato su HAnd Si veda il Capitolo 5 2 8 Disattivazione del trasmettitore S oFF B 46 1 Premere il tasto CH per seleziona
87. ttivo interno collegato all involucro con una vite Pos K Se il conduttore protettivo interno non fissato l unit pu essere estremamente pericolosa in caso di guasto Non girate n allentate la vite che fissa il conduttore protettivo interno La configurazione delle connessioni disponibili descritta nelle sezioni che seguono 20 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Installazione 3 3 2 Connessione dell alimentazione La connessione dell alimentazione Fig 3 4 8 20 Pos G progettata per un cavo di alimentazione che dal lato dello strumento abbia un connettore per apparecchi Europei Un cavo di alimentazione fornito con l unit Se la spina non compatibile con la vostra presa dovete procurarvi un cavo di alimentazione adatto Cavo a tre conduttori con protezione di massa 2 Sezione trasversale del conduttore 3 1 5 mm o pi Abb 3 5 Cavo a tre conduttori con protezione di massa esempio Alimentazione Attenzione Strumenti messi terra in modo improprio posso essere estremamente pericolosi in caso di guasto Usate solo cavi di alimentazione a tre fili o prolunghe dotati di protezione di massa Inserite il cavo di alimentazione solo in prese dotate di protezione di massa Attenzione Nessun fusibile sull alimentazione Il Multi Channel Controller non dotato di un fusibile sull alimentazione La presa a muro deve essere protetta con un fusibile max 10 A
88. vamente il Multi Channel Controller Verificare se le impostazioni correnti dei parametri sono ancora in accordo con le precedenti Si veda la Sezione Parametri di default 93 Il Multi Channel Controller di nuovo pronto per il funzionamento 86 GA 09 035 4 02 01 2008 Oerlikon Leybold Vacuum Manutenzione e servizi 7 3 Taratura 7 3 1 Fondamentali Il Multi Channel Controller pu misurare con accuratezza elevata solo quando tarato con precisione Il Multi Channel Controller viene tarato dalla Oerlikon Leybold Vacuum prima di essere consegnato Normalmente non necessario modificare i dati di taratura Taratura Cautela Se inserite dati di taratura non corretti il Multi Channel Controller non potr pi eseguire misurazioni accurate comandi di interfaccia per tarare l unit sono destinati solo ai tecnici di servizio della Oerlikon Leybold Vacuum La taratura influenza i convertitori A D dei sinngoli canali La curva di misura di di un convertitore A D ideale una linea retta con pendenza unitaria e che passa per l origine cio Factor 1 pendenza della linea Offset 0 intersezione con l asse y La curva dei convertitori A D reali differisce di poco da tali valori ideali Tarare l unit significa determinare i fattori di guadagno e le tensioni di offset dei singoli convertitori A D e salvare questi valori di taratura comandi di interfaccia CAF e CAO sono usati per accedere ai dat

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