260PS-3B Power Supply Manual
Contents
1. Gefahrenstelle Achtung Dokumen tation beachten ISO 3864 No B 3 1 Aus Energie IEC 417 No 5008 y Aquipotential anschluB IEC 417 No 5021 0 Durchg ngige doppelte oder verst rkte Isolierung IEC 417 No 5172 a Warnung vor gef hrlicher elektrischer Spannung ISO 3864 No B 3 6 Bedeutung der am Ger t angebrachten Symbole Erdanschlu IEC 417 No 5017 SchutzleiteranschluB IEC 417 No 5019 Wechselstrom IEC 417 No 5032 Gleichstrom IEC 417 No 5031 37 Dreileiter Wechselstrom Drehstrom IEC 617 2 No 020206 H here Temperatur an leicht zuganglichen Teilen IEC 417 No 5041 Tabelle 2 Bedeutung der am Ger t angebrachten Symbole Chapter One Safety Information Sicherheitshinweise fir den DruckmeBumformer Sicherheitsvorschriften und VorsichtsmaBnahmen Folgende allgemeine Sicherheitsvorschriften sind w hrend allen Betriebsphasen dieses Ger tes zu befolgen Eine MiBachtung der Sicherheitsvorschriften und sonstiger Warnhinweise in dieser Betriebsanleitung verletzt die fiir dieses Ger t und seine Bedienung geltenden Sicherheitsstandards und kann die Schutzvorrichtungen an diesem Ger t wirkungslos machen MKS Instruments Inc haftet nicht f r MiBachtung dieser Sicherheitsvorschriften seitens des Kunden Niemals Teile austauschen oder Anderungen am Geriit vornehmen Ersetzen Sie keine Teile mit baugleichen oder hnlichen Teilen und nehmen Sie keine eigenm chtigen nderungen am2. 9 Symboles apparaissant sur Unit 10 Mesures de s curit et pr cautions 11 Medidas de segundad 2 eege EEN 13 S mbolos usados en este manual de instrucciones ccooonnoonccccncconononanannnnnncnonannno 13 S mbolos hallados en la unidad o nena 14 Procedimientos y precauciones ano cnnnnanccnannnnnos 15 Chapter Two Introduction ai la sl dajala ak bedel otusta da valetaan datav alett na nalen 17 How To Unpack the Type 260 PS 3B Unit nena 17 Unpackine Checklist aereo op hp ea EEA enter 17 Chapter Three Installation ss 19 COMME CLOTS s a S A eege 19 Chapter Pour O perO tan RTS REIN ENEE 21 Customer SUPDOFT a nennt ENEE 21 Chapter Five Specifications nena 23 Mechanical Specificationsa u sussa sa massa ska Lara esse lass fils ss 23 Environmental Specifications ooooss ooo a aa aan naa A enaa eaa eanet 23 Electrical Sp cifications Rs a Mn NE isn 23 Chapter One Safety Information Symbols Used in This Instruction Manual Chapter One Safety Information Symbols Used in This Instruction Manual Definitions of WARNING CAUTION and NOTE messages used throughout the manual attention to a procedure practice condition or the like which if not correctly performed or adhered to could result in injury to personnel Warning V The WARNING sign denotes a hazard to personnel It calls Caution E The CAUTION sign d
3. Betriebstemperatur einger umt wird Kalibrierungen und Nulleinstellungen sollten daher nur nach Abschlu des Anw rmvorgangs durchgef hrt werden Chapter One Safety Information Informations relatives la s curit Informations relatives la s curit Symboles utilis s dans ce manuel d utilisation D finitions des indications AVERTISSEMENT ATTENTION et REMARQUE utilis es dans ce manuel personnel Elle attire l attention sur une proc dure une pratique une condition ou toute autre situation pr sentant un risque d accident pour le personnel en cas d ex cution incorrecte ou de non respect des consignes Avertissement V L indication AVERTISSEMENT signale un danger pour le Attention W L indication ATTENTION signale un danger pour l appareil Elle attire l attention sur une procedure d exploitation une pratigue ou toute autre situation presentant un risgue d endommagement ou de destruction d une partie ou de la totalit de l appareil en cas d ex cution incorrecte ou de non respect des consignes Remargue nd L indication REMARQUE signale une information importante Elle gd attire l attention sur une proc dure une pratique une condition ou toute autre situation pr sentant un int r t particulier Informations relatives la s curit Chapter One Safety Information Symboles apparaissant sur l unit Le tableau suivant d crit les symboles pouvant appara tre sur l unit D finition des symboles app
4. Ger t vor Schicken Sie das Ger t zwecks Wartung und Reparatur an den MKS Kalibrierungs und Kundendienst ein Nur so wird sichergestellt da alle Schutzvorrichtungen voll funktionsf hig bleiben Wartung nur durch qualifizierte Fachleute Das Auswechseln von Komponenten und das Vornehmen von internen Einstellungen darf nur von qualifizierten Fachleuten durchgef hrt werden niemals vom Bedienpersonal Vorsicht beim Arbeiten mit gef hrlichen Stoffen Wenn gef hrliche Stoffe verwendet werden mu der Bediener die entsprechenden Sicherheitsvorschriften genauestens einhalten das Ger t falls erforderlich vollst ndig sp len sowie sicherstellen da der Gefahrstoff die am Ger t verwendeten Materialien insbesondere Dichtungen nicht angreift Sp len des Ger tes mit Gas Nach dem Installieren oder vor dem Ausbau aus einem System mu das Ger t unter Einsatz eines reinen Trockengases vollst ndig gesp lt werden um alle R ckst nde des Vorg ngermediums zu entfernen Anweisungen zum Sp len des Ger tes Das Ger t darf nur unter einer Ablufthaube gesp lt werden Schutzhandschuhe sind zu tragen Ger t nicht zusammen mit explosiven Stoffen Gasen oder D mpfen benutzen Um der Gefahr einer Explosion vorzubeugen darf dieses Ger t niemals zusammen mit oder in der N he von explosiven Stoffen aller Art eingesetzt werden sofern es nicht ausdr cklich f r diesen Zweck zugelassen ist Sicherheitshinweise f r den Druck
5. accepts the instruments of other manufacturers for recalibration using the Primary and Transfer Standard calibration eguipment located at all of our regional service centers Should any difficulties arise in the use of your Type 260 PS 3B instrument or to obtain information about companion products MKS offers contact any authorized MKS Calibration and Service Center If it is necessary to return the instrument to MKS please obtain an ERA Number Eguipment Return Authorization Number from the MKS Calibration and Service Center before shipping The ERA Number expedites handling and ensures proper servicing of your instrument Please refer to the last page of this supplement for a list of MKS Calibration and Service Centers Warning All returns to MKS Instruments must be free of harmful corrosive radioactive or toxic materials 21 Chapter Four Operation This page intentionally left blank 22 Chapter Five Specifications Chapter Five Specifications Mechanical Specifications Package Cabinet style or rack mount 5 Ibs 2 3 kg Environmental Specifications Maximum Operating Temperature 50 C 122 F Electrical Specifications Power Consumption 175 Watts O 120V 60 Hz Input Voltage 85 264 VAC 47 440 Hz Output Voltage 15 Volts 3 4 A Output Noise and Ripple lt 150 mV P P Temperature Coefficient 0 04 C 23
6. un temps suffisant pour atteindre d une mani re stable la temp rature d exploitation Ne pas remettre z ro ou calibrer l unit tant que l chauffement n est pas termin Chapter One Safety Information Medidas de seguridad Medidas de seguridad Simbolos usados en este manual de instrucciones Definiciones de los mensajes de advertencia precauci n y de las notas usados en el manual produzcan da os personales Pone de relieve un procedimiento pr ctica estado etc que en caso de no realizarse u observarse correctamente puede causar da os personales Advertencia W EI simbolo de advertencia indica la posibilidad de gue se Precaucion Y El s mbolo de precauci n indica la posibilidad de producir da os al equipo Pone de relieve un procedimiento operativo pr ctica estado etc que en caso de no realizarse u observarse correctamente puede causar da os o la destrucci n total o parcial del equipo Nota ma El s mbolo de notas indica informaci n de importancia Este s mbolo pone de relieve un procedimiento pr ctica o condici n cuyo conocimiento es esencial destacar 13 Medidas de seguridad Chapter One Safety Information Simbolos hallados en la unidad La tabla siguiente contiene los simbolos gue puede hallar en la unidad Definici n de los simbolos hallados en la unidad Encendido Apagado alimentaci n el ctrica alimentaci n el ctrica Puesta a tierra Protecci n a tierra IEC 417 N 5007 IEC 417 N 5
7. 008 IEC 417 N 5017 IEC 417 N 5019 J Y N Corriente alterna Corriente continua IEC 417 N 5032 Caja o chasis Equipotencialidad IEC 417 N 5031 IEC 417 N 5020 IEC 417 N 5021 0 an Corriente alterna trifasica IEC 617 2 N 020206 Corriente continua y alterna Equipo de clase Il IEC 417 N 5033 a IEC 417 N 5172 a A Precauci n Consulte los documentos Precauci n Riesgo adjuntos de descarga electrica Superficie caliente ISO 3864 N B 3 1 ISO 3864 N B 3 6 IEC 417 N 5041 Precauci n Tabla 4 Definici n de los simbolos hallados en la unidad Chapter One Safety Information Medidas de seguridad Procedimientos y precauciones Las precauciones generales de seguridad descritas a continuaci n deben observarse durante todas las etapas de funcionamiento del instrumento La falta de cumplimiento de dichas precauciones o de las advertencias especificas a las gue se hace referencia en el manual constituye una violaci n de las normas de seguridad establecidas para el uso previsto del instrumento y podr a anular la protecci n proporcionada por el equipo Si el cliente no cumple dichas precauciones y advertencias MKS Instruments Inc no asume responsabilidad legal alguna NO UTILICE PIEZAS NO ORIGINALES O MODIFIQUE EL INSTRUMENTO No instale piezas que no sean originales ni modifique el instrumento sin autorizaci n Para asegurar el correcto funcionamiento de todos los dispositivos de seg
8. CY gt D 4110 108196 P1 EVER Deen INSTRUMENTS Instruction Manual MKS Type 260 PS 3B Power Supply Six Shattuck Road Fax 978 975 0093 Andover MA 01810 2449 E mail mks mksinst com 800 227 8766 or 978 975 2350 Web site http www mksinst com lt D Ee b Ss NETAS BEATA WARRANTY Type 260 PS 3B Equipment MKS Instruments Inc MKS warrants that the equipment described above the equipment manufactured by MKS shall be free from defects in materials and workmanship for a period of one year from date of shipment and when installed and used in accordance with its specifications will correctly perform all date related operations including without limitation accepting data entry sequencing sorting comparing and reporting regardless of the date the operation is performed or the date involved in the operation provided that if the equipment exchanges data or is otherwise used with equipment software or other products of others such products of others themselves correctly perform all date related operations and such products store and transmit dates and date related data in a format compatible with MKS equipment THIS WARRANTY IS MKS SOLE WARRANTY CONCERNING DATE RELATED OPERATIONS For the period commencing with the date of shipment of this eguipment and ending one year later in the case of defects in materials and workmanship but two years later in the case of failure to comply with the date related operations warr
9. Medidas de seguridad Chapter One Safety Information USE ACCESORIOS ADECUADOS Y REALICE CORRECTAMENTE LOS PROCEDIMIENTOS DE AJUSTE Todos los accesorios del instrumento deben cumplir las especificaciones del mismo y ser compatibles con el uso gue se debe dar al instrumento Arme y ajuste los accesorios de acuerdo con las instrucciones del fabricante COMPRUEBE OUE LAS CONEXIONES SEAN A PRUEBA DE FUGAS Inspeccione cuidadosamente las conexiones de los componentes de vacio para comprobar gue hayan sido instalados a prueba de fugas HAGA FUNCIONAR EL INSTRUMENTO CON PRESIONES DE ENTRADA SEGURAS No haga funcionar nunca el instrumento con presiones superiores a la m xima presi n nominal en las especificaciones del instrumento hallar la presi n m xima permitida INSTALE UNA CAPSULA DE SEGURIDAD ADECUADA Cuando el instrumento funcione con una fuente de gas presurizado instale una c psula de seguridad adecuada en el sistema de vacio para evitar gue se produzcan explosiones cuando suba la presi n del sistema MANTENGA LA UNIDAD LIBRE DE CONTAMINANTES No permita el ingreso de contaminantes en la unidad antes o durante su uso Los productos contaminantes tales como polvo suciedad pelusa lascas de vidrio o virutas de metal pueden dafiar irreparablemente la unidad o contaminar el proceso CALIENTE ADECUADAMENTE LAS UNIDADES CONTROLADAS POR MEDIO DE TEMPERATURA Las unidades controladas por medio de temperatura funcionar n de acuerd
10. RANTY IS IN LIEU OF ALL OTHER RELEVANT WARRANTIES EXPRESSED OR IMPLIED INCLUDING THE IMPLIED WARRANTY OF MERCHANTABILITY AND THE IMPLIED WARRANTY OF FITNESS FOR A PARTICULAR PURPOSE AND ANY WARRANTY AGAINST INFRINGEMENT OF ANY PATENT 11 99 108196 P1 108196 P1 Rev C 11 99 Instruction Manual MKS Type 260 PS 3B Power Supply Copyright O 1999 by MKS Instruments Inc All rights reserved No part of this work may be reproduced or transmitted in any form or by any means electronic or mechanical including photocopying and recording or by any information storage or retrieval system except as may be expressly permitted in writing by MKS Instruments Inc Printed in the United States of America Baratron isa registered trademark of MKS Instruments Inc Andover MA Table Of Contents Table of Contents Tableof Contents ege EENS EEN i Chapter One Safety Information 1 Symbols Used in This Instruction Manual 1 Symbols Found on the Unit cers SA SA Sea ee E 2 Safety Procedures and Precautions uuooossss naa a aa aa aa aa aa a nana aa eaen 3 Sicherheitshinweise f r den Druckme umformer aa a naa a nannaa 5 In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole 5 Erkl rung der am Ger t angebrachten Symbole 6 Sicherheitsvorschriften und VorsichtsmaBnahmen 22 sans 7 Informations relatives la s curit 9 Symboles utilis s dans ce manuel d utilisation
11. Standard Equipment e Type 260 PS 3B Unit e Type 260 PS 3B Supplement this document Optional Equipment e CB260 1 xx cable where xx indicates the length to connect the 260 PS 3B to a load 17 Chapter Two Introduction This page intentionally left blank 18 Chapter Three Installation Chapter Three Installation Caution The 260 PS 3B power supply reguires adeguate air circulation to operate under full load conditions Locate the 260 PS 3B unit so that air flows above and behind the unit Connectors The 260 PS 3B unit has two 5 pin female Amphenol connectors on the rear panel The mating male connector is available from MKS part number 112 3506 or Amphenol part number 126 217 Note d The Reserved pin assignment refers to a pin that may be assigned a function in the future Connector J1 Pinout CR EC k asu O ra Table 5 Connector J1 Pinout Table 6 Connector J2 Pinout 19 Chapter Three Installation This page intentionally left blank 20 Chapter Five Specifications Chapter Four Operation 1 Connect the loads to the 260 PS 3B unit using interface cables CB260 1 xx where xx indicates the length 2 Turn the power switch on The front panel lamps indicate when the power supplies are on Customer Support Standard maintenance and repair services are available at all of our regional MKS Calibration and Service Centers listed on the last page of this supplement In addition MKS
12. anty MKS will at its option either repair or replace any part which is defective in materials or workmanship or with respect to the date related operations warranty without charge to the purchaser The foregoing shall constitute the exclusive and sole remedy of the purchaser for any breach by MKS of this warranty The purchaser before returning any eguipment covered by this warranty which is asserted to be defective by the purchaser shall make specific written arrangements with respect to the responsibility for shipping the eguipment and handling any other incidental charges with the MKS sales representative or distributor from which the eguipment was purchased or in the case of a direct purchase from MKS with the MKS home office in Andover Massachusetts USA This warranty does not apply to any eguipment which has not been used in accordance with the specifications recommended by MKS for the proper and normal use of the eguipment MKS shall not be liable under any circumstances for indirect special conseguential or incidental damages in connection with or arising out of the sale performance or use of the eguipment covered by this warranty MKS recommends that all MKS pressure and flow products be calibrated periodically typically every 6 to 12 months to ensure accurate readings When a product is returned to MKS for this periodic re calibration it is considered normal preventative maintenance not covered by any warranty THIS WAR
13. araissant sur l unit Marche Terre de protection sous tension Arr t hors tension Terre masse masse IEC 417 No 5007 IEC 417 No 5008 IEC 417 No 5017 IEC 417 No 5019 d y Masse Equipotentialit Courant continu Courant alternatif IEC 417 No 5020 IEC 417 No 5021 IEC 417 No 5031 IEC 417 No 5032 0 an Courant continu et Courant alternatif alternatif Mat riel de classe Il triphase IEC 417 No 5033 a IEC 417 No 5172 a IEC 617 2 No 020206 A A A Attention se reporter Attention risque de Attention surface a la documentation choc lectrique br lante ISO 3864 No B 3 1 ISO 3864 No B 3 6 IEC 417 No 5041 Tableau 3 D finition des symboles apparaissant sur l unit Chapter One Safety Information Informations relatives la s curit Mesures de s curit et pr cautions Prendre les pr cautions g n rales de s curit suivantes pendant toutes les phases d exploitation de cet appareil Le non respect des ces pr cautions ou des avertissements contenus dans ce manuel constitue une violation des normes de s curit relatives l utilisation de l appareil et peut diminuer la protection fournie par l appareil MKS Instruments Inc n assume aucune responsabilit concernant le non respect des consignes par les clients PAS DE SUBSTITUTION DE PI CES OU DE MODIFICATION DE L APPAREIL Ne pas installer des pi ces de substitution ou effectuer des modifications non autoris es sur l appareil Renvoyer
14. ements de l appareil doivent tre coh rents avec ses sp cifications et compatibles avec l utilisation pr vue de l appareil Assembler et serrer les quipements conform ment aux directives du fabricant V RIFICATION DE L TANCH IT DES CONNEXIONS V rifier attentivement toutes les connexions des composants pour le vide afin de garantir l tanch it de l installation 11 Informations relatives la s curit Chapter One Safety Information EXPLOITATION AVEC DES PRESSIONS D ENTR E NON DANGEREUSES Ne jamais utiliser des pressions sup rieures la pression nominale maximum se reporter aux sp cifications de l unit pour la pression maximum admissible INSTALLATION D UN DISQUE D CHAPPEMENT ADAPT En cas d exploitation avec une source de gaz pressuris installer un disque d chappement adapt dans le syst me vide afin d viter une explosion du syst me en cas d augmentation de la pression MAINTIEN DE L UNIT L ABRI DES CONTAMINATIONS Ne pas laisser des produits contaminants p n trer dans l unit avant ou pendant l utilisation Des produits contaminants tels que des poussi res et des fragments de tissu de glace et de m tal peuvent endommager l unit d une mani re permanente ou contaminer le processus RESPECT DU TEMPS D CHAUFFEMENT APPROPRI POUR LES UNIT S TEMP RATURE CONTR L E Les unit s temp rature contr l e atteignent leurs sp cifications uniquement quand on leur laisse
15. enotes a hazard to equipment It calls attention to an operating procedure practice or the like which if not correctly performed or adhered to could result in damage to or destruction of all or part of the product Note nd The NOTE sign denotes important information It calls attention to a procedure practice condition or the like which is essential to highlight Symbols Found on the Unit Chapter One Safety Information Symbols Found on the Unit The following table describes symbols that may be found on the unit Definition of Symbols Found on the Unit Protective earth On Supply Off Supply Earth ground ground IEC 417 No 5007 IEC 417 No 5008 IEC 417 No 5017 IEC 417 No 5019 y N Frame or chassis Eguipotentiality Direct current Alternating current IEC 417 No 5020 IEC 417 No 5021 IEC 417 No 5031 IEC 417 No 5032 0 an Both direct and Three phase alternating current Class Il equipment alternating current IEC 417 No 5033 a IEC 417 No 5172 a IEC 617 2 No 020206 A A A Caution refer to accompanying Caution risk of documents electric shock Caution hot surface ISO 3864 No B 3 1 ISO 3864 No B 3 6 IEC 417 No 5041 Table 1 Definition of Symbols Found on the Unit Chapter One Safety Information Safety Procedures and Precautions Safety Procedures and Precautions Observe the following general safety precautions during all phases of operation of this instrument Failure to comply with
16. l appareil un centre de service et de calibrage MKS pour tout d pannage ou r paration afin de garantir le l int grit des dispositifs de s curit D PANNAGE UNIQUEMENT PAR DU PERSONNEL QUALIFI Le personnel d exploitation ne doit pas essayer de remplacer des composants ou de faire des r glages internes Tout d pannage doit tre uniquement effectu par du personnel qualifi PR CAUTION EN CAS D UTILISATION AVEC DES PRODUITS DANGEREUX Si des produits dangereux sont utilis s l utilisateur est responsable de la prise des mesures de pr caution appropri es de la purge compl te de l appareil quand cela est n cessaire et de la garantie que les produits utilis s sont compatibles avec les composants de cet appareil y compris les mat riaux d tanch it PURGE DE L APPAREIL Apr s l installation de l unit ou avant son enl vement d un syst me purger l unit compl tement avec un gaz propre et sec afin d liminer toute trace du produit de flux utilis pr c demment UTILISATION DES PROC DURES APPROPRI ES POUR LA PURGE Cet appareil doit tre purg sous une hotte de ventilation et il faut porter des gants de protection PAS D EXPLOITATION DANS UN ENVIRONNEMENT EXPLOSIF Pour viter toute explosion ne pas utiliser cet appareil dans un environnement explosif sauf en cas d homologation sp cifique pour une telle exploitation UTILISATION D QUIPEMENTS APPROPRI S ET PROC DURES DE SERRAGE Tous les quip
17. meBumformer Chapter One Safety Information Anweisungen zum Installieren der Armaturen Alle AnschluBstiicke und Armaturenteile miissen mit der Geriitespezifikation iibereinstimmen und mit dem geplanten Einsatz des Ger tes kompatibel sein Der Einbau insbesondere das Anziehen und Abdichten muB gem f den Anweisungen des Herstellers vorgenommen werden Verbindungen auf Undichtigkeiten priifen Uberpriifen Sie sorgf ltig alle Verbindungen der Vakuumkomponenten auf undichte Stellen Ger t nur unter zul ssigen AnschluBdriicken betreiben Betreiben Sie das Ger t niemals unter Driicken die den maximal zul ssigen Druck siehe Produktspezifikationen iibersteigen Geeignete Berstscheibe installieren Wenn mit einer unter Druck stehenden Gasguelle gearbeitet wird sollte eine geeignete Berstscheibe in das Vakuumsystem installiert werden um eine Explosionsgefahr aufgrund von steigendem Systemdruck zu vermeiden Verunreinigungen im Ger t vermeiden Stellen Sie sicher daB Verunreinigungen jeglicher Art weder vor dem Einsatz noch wiihrend des Betriebs in das Instrumenteninnere gelangen k nnen Staub und Schmutzpartikel Glassplitter oder Metallsp ne k nnen das Ger t dauerhaft besch digen oder ProzeB und MeBwerte verf lschen Bei Ger ten mit Temperaturkontrolle korrekte Anw rmzeit einhalten Temperaturkontrollierte Ger te arbeiten nur dann gem ihrer Spezifikation wenn gen gend Zeit zum Erreichen und Stabilisieren der
18. o con las especificaciones solo cuando se las caliente durante el tiempo suficiente para permitir gue lleguen y se estabilicen a la temperatura de operaci n indicada No calibre la unidad y no la ponga en cero hasta gue finalice el procedimiento de calentamiento Chapter Two Introduction Chapter Two Introduction This documents the features of the Type 260 PS 3B power supply How To Unpack the Type 260 PS 3B Unit MKS has carefully packed the Type 260 PS 3B unit so that it will reach you in perfect operating order Upon receiving the unit however you should check for defects cracks broken connectors etc to be certain that damage has not occurred during shipment Note ud Do not discard any packing materials until you have completed your inspection and are sure the unit arrived safely If you find any damage notify your carrier and MKS immediately If it is necessary to return the unit to MKS obtain an ERA Number Equipment Return Authorization Number from the MKS Service Center before shipping Please refer to the last page of this supplement for a list of MKS Calibration and Service Centers Caution W Only qualified individuals should perform the installation and any user adjustments They must comply with all the necessary ESD and handling precautions while installing and adjusting the instrument Proper handling is essential when working with all highly sensitive precision electronic instruments Unpacking Checklist
19. sion do not operate this product in an explosive environment unless it has been specifically certified for such operation USE PROPER FITTINGS AND TIGHTENING PROCEDURES All instrument fittings must be consistent with instrument specifications and compatible with the intended use of the instrument Assemble and tighten fittings according to manufacturer s directions Safety Procedures and Precautions Chapter One Safety Information CHECK FOR LEAK TIGHT FITTINGS Carefully check all vacuum component connections to ensure leak tight installation OPERATE AT SAFE INLET PRESSURES Never operate at pressures higher than the rated maximum pressure refer to the product specifications for the maximum allowable pressure INSTALL A SUITABLE BURST DISC When operating from a pressurized gas source install a suitable burst disc in the vacuum system to prevent system explosion should the system pressure rise KEEP THE UNIT FREE OF CONTAMINANTS Do not allow contaminants to enter the unit before or during use Contamination such as dust dirt lint glass chips and metal chips may permanently damage the unit or contaminate the process ALLOW PROPER WARM UP TIME FOR TEMPERATURE CONTROLLED UNITS Temperature controlled units will only meet specifications when sufficient time is allowed for the unit to meet and stabilize at the designed operating temperature Do not zero or calibrate the unit until the warm up is complete Chapter One Safe
20. these precautions or with specific warnings elsewhere in this manual violates safety standards of intended use of the instrument and may impair the protection provided by the eguipment MKS Instruments Inc assumes no liability for the customers failure to comply with these requirements DO NOT SUBSTITUTE PARTS OR MODIFY INSTRUMENT Do not install substitute parts or perform any unauthorized modification to the instrument Return the instrument to an MKS Calibration and Service Center for service and repair to ensure that all safety features are maintained SERVICE BY OUALIFIED PERSONNEL ONLY Operating personnel must not attempt component replacement and internal adjustments Any service must be made by gualified service personnel only USE CAUTION WHEN OPERATING WITH HAZARDOUS MATERIALS If hazardous materials are used users must take responsibility to observe the proper safety precautions completely purge the instrument when necessary and ensure that the material used is compatible with the materials in this product including any sealing materials PURGE THE INSTRUMENT After installing the unit or before removing it from a system purge the unit completely with a clean dry gas to eliminate all traces of the previously used flow material USE PROPER PROCEDURES WHEN PURGING This instrument must be purged under a ventilation hood and gloves must be worn for protection DO NOT OPERATE IN AN EXPLOSIVE ENVIRONMENT To avoid explo
21. ty Information Sicherheitshinweise fir den DruckmeBumformer Sicherheitshinweise fur den DruckmeBumformer In dieser Betriebsanleitung vorkommende Symbole Bedeutung der mit WARNUNG VORSICHT und HINWEIS gekennzeichneten Abs tze in dieser Betriebsanleitung Warnung Vorsicht L Hinweis lg Das Symbol WARNUNG weist auf eine Gefahr f r das Bedienpersonal hin Es macht auf einen Arbeitsablauf eine Arbeitsweise einen Zustand oder eine sonstige Gegebenheit aufmerksam deren unsachgemaBe Ausfuhrung bzw ungenugende Berucksichtigung zu Verletzungen fuhren kann Das Symbol VORSICHT weist auf eine Gefahr fir das Ger t hin Es macht auf einen Bedienungsablauf eine Arbeitsweise oder eine sonstige Gegebenheit aufmerksam deren unsachgem e Ausf hrung bzw ungen gende Ber cksichtigung zu einer Besch digung oder Zerst rung des Ger tes oder von Teilen des Ger tes f hren kann Das Symbol HINWEIS macht auf wichtige Informationen bez glich eines Arbeitsablaufs einer Arbeitsweise eines Zustands oder einer sonstige Gegebenheit aufmerksam Sicherheitshinweise f r den DruckmeBumformer Chapter One Safety Information Erkl rung der am Ger t angebrachten Symbole Nachstehender Tabelle sind die Bedeutungen der Symbole zu entnehmen die am Ger t angebracht sein k nnen Ein Energie IEC 417 No 5007 A Masseanschlu IEC 417 No 5020 N Gleich oder Wechselstrom IEC 417 No 5033 a Warnung vor einer
22. uridad env e el instrumento al Centro de servicio y calibraci n de MKS toda vez que sea necesario repararlo o efectuar tareas de mantenimiento LAS REPARACIONES DEBEN SER EFECTUADAS NICAMENTE POR T CNICOS AUTORIZADOS Los operarios no deben intentar reemplazar los componentes o realizar tareas de ajuste en el interior del instrumento Las tareas de mantenimiento o reparaci n deben ser realizadas nicamente por personal autorizado TENGA CUIDADO CUANDO TRABAJE CON MATERIALES T XICOS Cuando se utilicen materiales t xicos es responsabilidad de los operarios tomar las medidas de seguridad correspondientes purgar totalmente el instrumento cuando sea necesario y comprobar que el material utilizado sea compatible con los materiales del instrumento e inclusive con todos los materiales de sellado PURGUE EL INSTRUMENTO Una vez instalada la unidad o antes de retirarla del sistema purgue completamente la unidad con gas limpio y seco para eliminar todo resto de la sustancia l quida empleada anteriormente USE PROCEDIMIENTOS ADECUADOS PARA REALIZAR LA PURGA El instrumento debe purgarse debajo de una campana de ventilaci n y deben utilizarse guantes protectores NO HAGA FUNCIONAR EL INSTRUMENTO EN AMBIENTES CON RIESGO DE EXPLOSION Para evitar que se produzcan explosiones no haga funcionar este instrumento en un ambiente con riesgo de explosiones excepto cuando el mismo haya sido certificado espec ficamente para tal uso 15
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