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Pompes à diffusion à haut débit

1. 24000 TT 48 22000 d H UU 44 20000 Gan 18000 36 o 16000 32 d 14000 28 amp s 5 a 12000 24 E D 10000 20 2 2 8000 165 6000 8 12 9 4000 8 2000 4 0000 LUN LUN T LH LII Ga 0 1E 09 16 08 46 07 46 06 46 05 46 04 46 03 46 02 16 01 INLET PRESSURE TORR Figure 3 Courbes de vitesse et de d bit HS 20 60000 55000 50000 45000 40000 35000 30000 25000 20000 15000 10000 5000 000 60000 55000 50000 45000 40000 35000 30000 25000 20000 15000 10000 5000 KU 120 110 Hi 100 90 HH 60 44 50 j 40 30 20 10 INLET PRESSURE TORR 0 LLL 0 1 09 4E 08 46 07 4p 06 46 05 4p 04 4p 03 1 02 1 01 0000 0 1E 09 4E 08 1 07 46 06 4p 05 1E 04 46 03 4p 02 46 01 INLET PRESSURE TORR Figure 4 Courbes de vitesse et de d bit HS 32 THROUGHPUT TORR L SEC Figure 5 Courbes de vitesse et de d bit NHS 35 THROUGHPUT TORR L SEC Pompes a diffusion a haut d bit Sp cifications physiques 16 orifices deo1 12 Tableau 5 HS 16 Dimensions et poids Unit s 4 orifices ded 75 Hauteur minimale comprenant l espacement pour l acc s l l ment chauffant pouce mm diam ext 23 50 Poids livres kg 500 227 1 4 Branchements d eau typiques Branchement Corps et
2. Ne bloquez jamais une Eclatement du pi ge NL admission ou un vent du et ou des conduites pi ge nitrog ne liquide et des conduites Ne fermez pas les vannes L eau se transforme en d isolement au niveau de vapeur et fait clater les l admission et de serpentins l vacuation des principaux serpentins de refroidissement par eau quand la pompe est chaude Ne pressurisez pas le Le corps de la pompe corps de la pompe clate au dessus de 1 atm Ne percez pas un orifice Perte d int grit dans la paroi aspirante structurelle de la paroi Q Limiteurs de pression Les syst mes doivent tre con us avec des limiteurs de pression pour d charger en toute s curit la pression provenant des explosions internes Reconnaissez toujours que les dispositifs de s curit peuvent tomber en panne ou mal fonctionner pr voyez une protection redondante en installant des dispositifs pr sentant des modes des m canismes et des causes de pannes diff rents V rifiez que les mat riaux des conduits d vacuation peuvent supporter la corrosivit la temp rature et la pression des produits ject s pompes diffusion se nettoient en g n ral l ac tone ou l alcool L ac tone l alcool et la plupart des solvants sont des produits irritants narcotiques d presseurs et ou canc rig nes Toute inhalation et ingestion peuvent avoir des effets graves M me l absorption travers la peau peut e
3. 9 7 HS 20 Dimensions et poids 10 8 Dimensions des brides HS 20 10 9 HS 32 Dimensions et poids 11 10 Dimensions des brides HS 32 11 11 NHS 35 Dimensions et poids 12 12 Dimensions des brides NHS 35 12 13 Emplacements des sch mas de c blage 17 14 Temp ratures des rupteurs thermiques 18 15 Guide de d tection des pannes 47 16 Pi ces de rechange HS 16 48 17 Pi ces de rechange HS 20 49 18 Pi ces de rechange HS 32 50 19 Pi ces de rechange NHS 35 51 Pompes a diffusion haut d bit Pr face Garantie Les produits fabriqu s par le Vendeur sont garantis contre tous d fauts pi ces et main d oeuvre durant douze 12 mois compter de la date laquelle ils ont t exp di s au Client et la responsabilit du Vendeur en vertu de la garantie en vigueur est limit e au choix du Vendeur la r paration au remplacement ou au remboursement d une part quitable du prix d achat du produit Les l ments consommables dans le cadre d une utilisation normale ne sont pas couverts par la pr sente garantie Tout remplacement ou toute r paration de pi ces dans le cadre de la garantie seront limit s aux dysfonctionnements de l quipement qui du seul avis du Vendeur sont imputables ou d coulent de d fauts de pi ces ou main d ceuvre d origine Toutes obligations du Vendeur en
4. Enlevez le bouchon de purge et purgez le fluide dans un conteneur de taille correcte NOTE Jetez les fluides conform ment la r glementation en vigueur 4 Enlevez le bouchon de l orifice de remplissage de la pompe et versez le fluide jusqu au niveau FULL COLD plein froid du verre indicateur comme illustr la Figure 23 Le fluide peut galement tre vers par l admission de la pompe ou la tubulure de vide primaire Figure 23 Verre indicateur 5 Replacez le bouchon de remplissage avec un joint Viton neuf Graissez le joint torique avec du fluide de pompage installez le joint torique et remontez le syst me 6 Serrez le bouchon de remplissage un couple maximal de 8 47 Nm D s que la pompe fonctionne v rifiez que le niveau de fluide atteint le niveau FULL HOT plein chaud du verre indicateur 35 Pompes a diffusion haut d bit Fonctionnement Pendant l installation initiale le fluide de la pompe nouvellement install e peut tre soumis un d gazage Cela peut entrainer des variations de pression dans la tubulure de vide primaire qui sont consid r es comme normales AVHIESHVENIS Les situations suivantes augmentent le risque d explosion Q Fuite d air dans le syst me Q Pr vidage via une pompe diffusion chaude qui peut provoquer l allumage ou l explosion des fluides d hydrocarbures chauds quand ils sont expos s l air D gagement d air ou admission
5. contre mesures de s curit comme les rupteurs thermiques les pressostats et les verrouillages s quentiels des vannes Temp rature excessive surpression autres m langes de combustibles N usinez pas ou ne soudez as une partie quelconque de a pompe sans retirer l ensemble du liquide ou des r sidus de solvant de la pompe Source d allumage N utilisez pas un liquide de pompage inappropri Diminuez le seuil explosif du m lange gazeux Pompes a diffusion haut d bit Substances dangereuses Dangers chimiques de l ac tone et de l alcool Les Dangers de pressurisation Les grandes pompes vide et leurs composants sont con us pour fournir un vide elles ne sont pas concues pour tre pressuris es car ce ph nom ne peut entrainer leur explosion et l jection ventuelle d un shrapnel des vitesses mortelles Des accidents graves ont t provoqu s par une pressurisation intentionnelle des syst mes de vide et de leurs composants Q Ne pressurisez jamais une partie quelconque d un syst me de vide pour effectuer des tests ou autre Pr voyez toujours une d charge de pression lors de la conception d une pompe diffusion dans un syst me et v rifiez que le mouvement de d charge de la pression est limit aux enveloppes s curis es laissez jamais les dangers du Tableau 3 se d velopper Tableau3 Dangers de pressurisation Action interdite R sultat
6. crous maintenant la plaque de serrage 6 Abaissez l ensemble de l unit de chauffage l ment chauffant plaque de serrage et plaque de contact sauf pour la NHS 35 non quip e d une plaque de contact jusqu ce qu il soit sorti des goujons de montage Installation d un l ment chauffant neuf 1 Appliquez un lubrifiant antigrippage comme le lubrifiant Loctite C5 A ou FEL PRO sur les goujons Une magn sie courante peut galement servir de lubrifiant 2 Montez la nouvelle unit compos e de l l ment chauffant de la plaque de serrage et de la plaque de contact sauf pour la NHS 35 3 Soutenez l unit chauffante avec la plaque de serrage alignez les orifices avec les goujons de la chaudi re et poussez l unit contre la t le de chaudi re Utilisez deux crous serr s la main pour la maintenir en place 4 Vissez les crous restants la main puis serrez uniform ment tous les boulons un couple de 28 24 Nm 5 Etiquetez les fils de l l ment chauffant selon le diagramme sch matique 6 Faites courir les fils autour de la p riph rie de la pompe sous les clips de fixation des fils dans le conduit et jusqu la boite bornes 7 Branchez les fils la barrette de raccordement puis replacez le couvercle coud 8 Replacez l isolation et le couvercle de l l ment chauffant 47 Pompes a diffusion haut d bit ATTENTION 48 Le c blage et les cosses de l l ment
7. et mesurez le taux d augmentation de la pression La charge gazeuse peut tre estim e grace la relation suivante _ VxAP e At ou V est le volume isol AP est l augmentation de pression et At est la dur e de la mesure 49 Pompes a diffusion haut d bit Faible performance de la pompe ou du syst me Le Tableau 15 indique les pannes les causes probables et les actions correctives entreprendre en cas de probl me avec une grande pompe diffusion Mauvaise pression syst me Tableau 15 Guide de d tection des pannes Cause probable Fuites dans le syst me virtuelles ou r elles Action corrective Rep rez et r parez Charge gazeuse de process lev e Mesurez la charge gazeuse liminez la cause Syst me sale Nettoyez le syst me pour r duire le d gazage Faible pression limite Fluide de la pompe contamin Examinez et nettoyez la pompe remplacez le fluide Faible entr e de chaleur V rifiez la tension V rifiez la continuit un l ment grill un mauvais contact thermique D bit d eau de refroidissement inappropri V rifiez la pression d eau V rifiez l obstruction ou la pression de retour dans les conduites L eau de refroidissement est trop froide V rifiez la temp rature Le d bit d eau de refroidissement est trop lev R glez le d bit d eau Niveau lev du vide pr alable basse pression V rifiez les fuites da
8. l admission et la sortie du pi ge nitrogene liquide Perte d int grit de la mise lectrique la terre Int grez un disjoncteur de fuite la terre dans l alimentation de l l ment chauffant Pression positive dans le syst me de pompage Int grez un clapet de d charge dans le syst me de vide pour que la pression du syst me ne d passe pas 1 atmosph re Haute tension Emp chez toute interaction entre le personnel et une haute tension concevez et fixez des avertissements Toxicit et corrosivit Evacuez les gaz toxiques et corrosifs vers un endroit s curis assurez la dilution ou la purification ad quate des niveaux s curis s prenez toutes les mesures n cessaires pour respecter les normes de qualit de l air Explosion Int grez des clapets de d charge N utilisez pas de liquides de pompage base d hydrocarbure Pompes a diffusion haut d bit Explosion Q Lefonctionnement de la pompe diffusion sans une vacuation continue inf rieure 0 5 Torr 0 67 mbar ou sans liquide de refroidissement et en introduisant un agent d oxydation comme l air ou de vapeurs ou poudres ou mat riaux explosifs qui peuvent r agir avec les liquides de pompage dans une pompe chaude sup rieure 150 C peut provoquer une explosion Une telle explosion peut violemment jecter les vannes et autre mat riel faire claquer les portes ouvertes non concues pour d charger correctement
9. 009 Zcc 005 8 Soin SplOd ne un mod SoopueuJulo 294 S9 I LVL 00 Lt L 00 5 1 27 001 9 08 paid SN e 9p apiny 8 5 apidey JUDWASSIPIOIJaY DAV apidey 1 sues re a MA 9 6 9L SH M L 8 9L SH 5 1ueueuuonouo np p nesjqeL ap aainq uoneoyiads Pompes a diffusion haut d bit D bit et vitesse de l air de la pompe La fonction de pompage est d crite graphiquement en reliant a pression d admission la fois ala vitesse de l air et au d bit Cette relation est illustr e dans le groupe de graphiques pour les grandes pompes vide des Figure 2 Figure 5 AIR SPEED L SEC Figure 2 Courbes de vitesse et de d bit HS 16 8 1 kW8 AIR SPEED L SEC 24000 TT 48 22000 TH i 44 20000 w 40 18000 H 36 H 16000 TT m 32 2 14000 TT 128 5 5 12000 24 10000 120 gt a 8000 16 6000 112 2 4000 8 2000 14 0000 0 1E 99 1E 08 1 07 1 06 46 05 4E 04 1603 46 02 1 01 INLET PRESSURE TORR
10. 220 F 550 240 V Element Resistance 14 4 Q 1314 mann J 7 AIF 415 V Supply 1 18 H6X ie Hey HSY 24 000 W ETT goa I lt 6 By Varian Ryorlt L2 L2 L3 L3 L1 144 Q WYE Parallel 415V Figure 18 C blage 415 V HS 32 Pompes a diffusion haut d bit TORRES Thermal Switches Control Es OPEN ON TEMP RISE Magnetic TSW2 TSW1 res Upper Lower 220 F 550 Heaters 6 4000 240 V Element Resistance 14 4 Q By Customer H1 y Ip 16 7A x Delta Series 1 2 02 13 03 11 19 2 Q 480V Figure 19 C blage 480 V HS 32 29 Pompes a diffusion haut d bit 30 EN Thermal Switches To Control lan OPEN ON TEMP RISE COIL e T TSW2 TSW1 UPPER UPPER 2007 600 Magnetic Contactor ee To 3 PH 240 400 440 Supply 24 000 W By Customer By Varian Ryor L1 L2 L2 L8 L8 L1 4000 W 240V2 50 400 130 440 160 Element Resistance 10 596 240V 2140 400 V 2400 440 480 Heaters 6 4000 W 240 400 440 V u 67 8A 240V RC 1 34 6 400V r 9 x 2 31 5A 410V Fy L e 12 L3 Delta Parallel 240 400 440 V Figure 20 C blage 240 400 440 V NHS 35 Pompes a diffusion haut d bit To Contrl Thermal Sw
11. 635 0 7 50 190 5 Nb d orifices 20 8 Taille des orifices pouce mm 1 25 31 8 0 75 19 1 Orientation Les orifices sont sur l axe central de la tubulure de vide primaire Diam int Largeur Profondeur Rainure pour joint 10 pouce mm pouces mm pouces mm 21 63 549 4 0 48 12 2 0 25 6 6 pompe N cessite NW 630 Rondelle non comprise avec la N cessite NW 160 Rondelle non comprise avec la pompe Pompes a diffusion haut d bit 32 ASA INLET FLANGE 38 12 O D X 32 06 1 W 16 HOLES 0 87 EQ SP ON 936 25 B C ELECTRICAL THERMOSTAT BOX 6 ASA FORELINE FLANGE 11 0 D X 6 73 10 W 8 HOLES 6 875 EQ SP ON 99 50 B C me NW 25 GAUGE PORT Hauteur minimale Ka 26 50 en comprenant l espacement Looe CAP pour l acc s l l ment chauffant pouce mm Tableau 9 HS 32 Dimensions et poids Poids livres kg 1500 680 4 Branchements pouces Corps et tubulure de vide primaire pouces Serpentins de Refroidissement Rapide 3 8 FPT 3 8 FPT 46 75 1187 3 8 F P T WATER CONN S 68 50 1740 d THERMOSTAT BOX SEE TOP VIEW ELECTRICAL T FAR SIDE SIGHT GLASS W FILL amp DRAIN 3 8
12. Foreline Flange Hauteur minimale pouce mm comprenant l espacement r 4s Thermostat 9 45 O D x 7 72 LD pour l acc s l l ment ue p e chauffant 38 E P T Cold Cap Conn s 1073 NW25 Gauge Port Poids livres kg 1500 680 4 SS Branchements x Corps et tubulure de vide pouces 3 8 FPT 3g n primaire pouces 3 8 FPT Water condis 868 Serpentins de Refroidissement Rapide 3 8 FPT Water Conn s 6 on Foreline Tubulure de vide primaire Serpentin de refroidissement Thermostat 38 ERT Quick Cool Conn s Sight Glass w Fill and Drain Figure 9 Vue g n rale de NHS 35 avec les brides ASA Tableau 12 Dimensions des brides de NHS 35 ASA Tubulure de vide primaire Admission 1000 F Tubulure 200 K Unit s Admission Diam ext pouce mm 41 75 1060 5 11 00 279 4 44 09 1119 9 9 45 240 0 Diam int pouce mm 35 00 889 0 7 72 196 1 35 00 889 0 7 72 196 1 Epaisseur pouce mm 1 12 28 5 0 75 19 1 1 12 28 5 0 47 12 0 12 Pompes a diffusion haut d bit Cercle de boulonnage Tableau 12 Dimensions des brides de NHS 35 ASA Unit s pouce mm Admission 38 50 977 9 Tubulure
13. La temp rature de l eau de refroidissement vacu e ne doit pas d passer 54 C Les connexions doivent tre branch es en parall le quand la pression d eau est faible ou si la temp rature de refoulement d passe r guli rement 54 C cold N Quick Cool Open Drain Drain Supply Figure 10 Branchements de l eau de refroidissement 17 Pompes a diffusion haut d bit Branchement du serpentin de Refroidissement Rapide Le serpentin de Refroidissement Rapide situ au niveau de la t le de chaudi re doit tre connect une purge ouverte et la conduite d alimentation doit tre contr l e par une vanne trois voies s par e ouverte ferm e et ventil e vers l atmosph re La purge doit tre situ e sous le niveau de la chaudi re afin qu elle soit purg e totalement quand l alimentation en eau du serpentin de Refroidissement Rapide est arr t e et que la pompe fonctionne 18 Obtention d un vide lev sur la NHS 35 Pendant un fonctionnement faible pression inf rieure 1 1076 Torr la pression limite peut tre abaiss e en outrepassant la partie des serpentins de refroidissement situ e au niveau de la courbure de la tubulure de vide primaire comme illustr la Figure 9 la page 12 Cette proc dure augmente la temp rature de la tubulure de vide primaire et fournit un d gazage suppl mentaire du fluide revenant vers la chaudi re permettant d obtenir des press
14. V HS 20 Pompes a diffusion haut d bit Thermal Switches Toc EUM Control _ s OPEN ON TEMP RISE Magnetic E oe LA Heaters 6 Contactor o e 4000 220 F 550 200 V Element Resistance 10 0 0 prem 24 000 W By Customer By Varian Rror L1 L2 L2 L3 L3 L1 33 Q Delta Parallel 200 V Figure 15 C blage 200 V HS 32 25 Pompes a diffusion haut d bit 26 TOL 4 Ae at Thermal Switches Control or msi OPEN ON TEMP RISE TSW2 TSW1 Heaters 6 e Upper Lower 4000 ontactor Em 220 F 550 240 V Element Resistance 1440 Jj Fr To 3 ph 240V Supply L 24 000 W By Customer By Varian L1 1212 L3 L3 L1 4 8 Q cti a Figure 16 C blage 240 V HS 32 Pompes a diffusion haut d bit Sr ic EP Thermal Switches Control H or eis EN a OPEN ON TEMP RISE TSW2 TSW1 Nos Upper Lower Rte 6 220 550 Element Resistance 52 90 4 460V To 3 ph 480 Sa ae epe Supply 44 24 000 W Customer By Varian 17 4A Ryor Lt L2 L2 L3 L3 L1 17 6 Q Delta Parallel 460V Figure 17 C blage 460 V HS 32 27 Pompes a diffusion haut d bit 28 Thermal Switches OPEN ON TEMP RISE TSW2 Mach Heaters 6 Upper Lower Contactor
15. chauffant ne doivent pas tre compos s de fils en cuivre ou plaqu s cuivre car ils pourraient s oxyder rapidement et tomber en panne cause des hautes temp ratures pr sentes c t des l ments chauffants Utilisez un fil en nickel toronn 10 avec une gaine haute temp rature Pompes a diffusion haut d bit D tection des pannes Fuite Si vous pensez qu une fuite est la cause d une faible performance v rifiez tout d abord les l ments suivants Q Connexions d admission et de la tubulure de vide primaire Bouchons de purge et de remplissage Q Autres raccords de compression comme les vacuom tres vide pouss du syst me Q Connexions filet es comme la jauge de la tubulure de vide primaire Avant de proc der une d tection des pannes pas pas v rifiez la performance et la pr cision des vacuom tres utilis s dans le syst me D gazage Les syst mes vide pouss m me sans fuite externe peuvent pr senter des charges gazeuses lev es cause des d gazages provenant des surfaces ou des proc d s internes La pression du syst me d coule de la charge gazeuse divis e par la vitesse de pompage p Q S Si la charge gazeuse Q d passe le d bit maximal de la pompe diffusion la pompe ne fonctionne pas et l action de pompage provient principalement de la pompe primaire m canique Pour estimer la charge gazeuse isolez le syst me de toutes les pompes apr s une d charge
16. concevez le syst me d eau avec des vannes de verrouillage pour que le courant ne puisse tre appliqu la pompe en l absence d un d bit d eau dans les principaux serpentins de refroidissement non les serpentins de Refroidissement Rapide fonctionnent des tensions mortellement lev es Concevez les syst mes pour viter que les hautes tensions n affectent le personnel Fixez correctement des avertissements bien visibles Le personnel doit toujours couper le circuit primaire vers l alimentation quand un acc s direct l l ment chauffant ou au cablage est n cessaire Equipement large et charges lourdes Le levage et le d placement des grandes pompes diffusion n cessitent un quipement assist et l utilisation d un personnel d installation et de d placement comp tent pour viter une chute un glissement ou un renversement de la pompe Le poids des pompes d passe 226 8 kg et leur dimension la plus importante est de 1 2 m tres Une manutention erron e peut entra ner des blessures graves V rifiez le poids de l quipement avant le levage et la capacit de l quipement assist Ne restez pas sous l quipement lev ou d plac Pompes a diffusion haut d bit Bases d une pompe diffusion Les pompes diffusion sont utilis es quand le d bit pour les charges gazeuses lev es est important Les pompes diffusion commencent fonctionner environ 10 Torr apr s qu une pompe prima
17. corps de la pompe V rifiez que l jecteur est correctement align avec la tubulure de vide primaire 9 V rifiez l tat des joints toriques Remplacez les joints s ils sont us s ou comprim s 10 Fixez la pompe au syst me 39 Pompes a diffusion haut d bit Proc dures de d montage et de remontage Chapeau refroidi Pour d monter le chapeau refroidi consultez la Figure 24 Pourremonter le chapeau refroidi et proc dez comme suit 1 Ins rez l extr mit de la conduite d eau du chapeau dans l ouverture de l orifice du chapeau situ e sur le c t de la pompe avant de placer le chapeau sur le groupe de tuy res Veillez ne pas endommager les surfaces d tanch it NOTE Le d flecteur halo se d monte de la m me mani re 2 Replacez la vis de fixation du chapeau refroidi qui fixe le chapeau au groupe de tuy res Ne serrez pas 1 Enlevez l accouplement femelle l crou le fouloir et excessivement la vis le joint situ s l extr mit de la conduite d eau du 3 Replacez le joint le fouloir l crou et RAI E SC chapeau refroidi l ext rieur de la pompe l accouplement femelle sur le c t de la pompe 2 Enlevez la vis de fixation du chapeau refroidi qui fixe le chapeau au groupe de tuy res NOTE Les conduites d eau d alimentation doivent tre branch es l accouplement du chapeau avec des filetages FPT 3 Soulevez le chapeau pour le sortir CHAPEAU REFROIDI MG
18. curit ou les dispositifs de s curit emp chent le contacteur de rester ferm V rifiez les utilitaires les contacteurs d bitm triques les verrouillages V rifiez le fonctionnement du thermostat Pompes a diffusion haut d bit Pieces de rechange Num ro de pi ce Tableau 16 Pi ces de rechange HS 16 Descriptif 79299301 Chapeau refroidi comprend une vis n 10 32 SST Rd Hd et un crou hexagonal n 10 32 SST L8839301 Groupe de joints pour chapeau refroidi L8840301 Groupe d crous et de fouloirs pour chapeau refroidi 83612401 Groupe de tuy res 80798301 Chicane de la tubulure de vide primaire 77261001 Bouchons de remplissage et de purge L8841301 Kit de rupteurs thermiques 647316025 El ment chauffant avec fils 2700 W 200 V 647316027 El ment chauffant avec fils 3200 W 200 V 647316037 El ment chauffant avec fils 2700 W 400 V 647316038 El ment chauffant avec fils 3200 W 400 V 647316039 El ment chauffant avec fils 2700 W 430 V 647316040 El ment chauffant avec fils 3200 W 430 V 647316041 647316042 El ment chauffant avec fils 3200 W 440 V 647316020 El ment chauffant avec fils 2700 W 240 V ou 415 V 647316030 El ment chauffant avec fils 2700 W 480 V 647316023 El ment chauffant avec fils 3200 W 240 V ou 415 V 64731603
19. de vide primaire 9 50 241 3 Admission 1000 F 42 90 1089 7 Tubulure 200 K Nb d orifices 28 8 32 Taille des orifices pouce mm 0 87 22 1 0 81 20 6 0 55 14 0 Orientation Les orifices sont sur l axe central de la tu bulure de vide primaire Diam int Largeur Profondeur Rainure pour joint pouce mm pouces mm pouces mm 35 37 898 4 0 56 14 2 0 25 6 4 8 20 208 3 0 17 4 3 0 09 2 3 40 75 1035 1 0 56 14 2 0 25 6 4 N cessite NW 200 Rondelle non comprise avec la pompe 13 Pompes a diffusion haut d bit D ballage AVERIBSEVENTS Avant de lever une pompe v rifiez le poids de l quipement dans le Tableau 4 la page 6 Q Utilisez un quipement assist et un personnel qualifi en d placement et en installation pour viter une chute un glissement ou un renversement de la pompe et des blessures graves du personnel Ne restez pas sous un quipement en cours de d placement Les grandes pompes diffusion de Vacuum Technologies sont exp di es dans des conteneurs robustes qui permettent un stockage prolong dans des zones correctement prot g es sans n cessiter de pr cautions particuli res Cependant des pr cautions doivent tre prises pendant le d placement de la pompe emball e avec un chariot l vateur pour viter tout choc excessif Enlevez avec soin l emballage
20. et l entretien des pompes diffusion impliquent un ou plusieurs des dangers suivants qui en l absence de pratiques s curis es et de pr cautions peuvent entra ner ventuellement des blessures graves voire un d c s Tableau 1 Dangers g n riques Danger Action corrective propos e Perte d utilitaire eau et ou lectricit Pr voyez une quantit d eau et un d bit d lectricit de secours suffisant pour r aliser un arr t s curis dans les pires sc narios Surpression dans la tubulure de vide primaire Pr voyez un verrouillage pour assurer que le courant transmis l l ment chauffant de la pompe ne peut tre activ si la pompe de refoulement primaire ne fonctionne pas et ou la pression dans la tubulure de vide primaire est sup rieure 0 5 Torr 0 67 mbar Temp rature excessive Fixez des sondes de temp rature et des d tecteurs de niveau de fluide de pompage avec un circuit de r troaction vers un verrouillage situ sur l alimentation de l l ment chauffant D bit d eau insuffisant dans les principaux serpentins de Utilisez un d tecteur de d bit d eau et un circuit de r troaction refroidissement pour verrouiller l alimentation de l l ment chauffant Eau bloqu e entre l admission et la sortie du serpentin de Pr voyez un vent ou des clapets de d charge pour le serpentin Refroidissement Rapide ou nitrog ne liquide bloqu entre de Refroidissement Rapide et le pi ge nitrog ne liquide
21. la pression ou faire exploser d autres composants du syst me de vide Des blessures graves voire un d c s peuvent tre provoqu es par des pi ces et portes expuls es un shrapnel et les ondes de choc Trois l ments sont n cessaires pour une explosion un combustible un agent d oxydation et un allumage L association de la temp rature et de la pression peut repr senter une source d allumage La plupart des fluides des pompes diffusion sont des combustibles Les hydrocarbures liquides sont plus enclins l oxydation et l explosion que les liquides base de silicone synth tique L air peut tre l agent d oxydation Il peut tre introduit par une fuite transport d lib r ment via un process ou admis par inadvertance suite une erreur de l op rateur L oxyg ne et autres agents d oxydation forts sont encore plus dangereux que l air Certaines temp ratures et pressions peuvent provoquer l explosion d un m lange combustible Plus la pompe diffusion est grande plus le risque d explosion est lev et plus les dommages et blessures peuvent tre graves Ne faites jamais fonctionner une grande pompe diffusion en utilisant des hydrocarbures liquides sans r aliser une analyse compl te de la s curit de l ensemble du syst me et de l application Explosion et incendie due l ac tone et l alcool Les pompes diffusion se nettoient en g n ral l ac tone et l alcool Associ s l a
22. nieur qualifi en pr vention des risques chimiques pour assurer la s curit de l installation et de l utilisation Remplacement et ajustement selon la garantie Toutes les demandes en vertu de la garantie doivent tre faites rapidement apr s les v nements l origine de celles ci et doivent tre recues par le Vendeur ou son repr sentant autoris pendant la p riode de garantie applicable De telles demandes devront comporter le num ro de s rie du Produit la date d exp dition ainsi u une description compl te des circonstances l origine de la demande Avant qu un quelconque Produit ne soit retourn aux fins de r paration et ou de r glage une autorisation crite du Vendeur ou de son repr sentant autoris doit tre obtenue aux fins de retour et d instruction quant la mani re et l endroit o ces Produits doivent tre retourn s Tout Produit doit tre retourn au Vendeur aux fins d analyse sous forme pr pay e l aide de moyens de transport consid r s comme acceptables par le Vendeur Le Vendeur se r serve le droit de rejeter toute demande en garantie qui n aurait pas fait l objet d une d claration imm diate ou toute demande en garantie relative un article ayant t modifi ou retourn par un moyen de transport inacceptable Lorsqu un quelconque Produit est retourn aux fins d analyse et de v rification ou pour toute autre raison le Client supporte tous les dommages d coulant d une manu
23. pompe diffusion ne fonctionne pas sauf si la pression de refoulement est inf rieure au niveau tol rable du vide pr alable basse pression 2 Ouvrez l alimentation en eau de refroidissement vers le corps de la pompe et v rifiez que le d bit appropri est obtenu en examinant la quantit d eau purg e aux points de purge visuels ATTENTION Pour viter la collecte dangereuse de condensat sur la t le de chaudi re sur l l ment chauffant et les bornes de l l ment chauffant n actionnez pas le serpentin de Refroidissement Rapide quand la pompe est froide ou hors service 3 Activez l lectricit de l l ment chauffant de la pompe diffusion 4 V rifiez la performance de l admission et du vide pr alable basse pression l aide des instruments du syst me Proc dure d arr t AVERTSSEVENT 1 La d charge ou l admission d air dans une pompe quip e d une chaudi re chaude en particulier quand elle est sous vide permet un agent d oxydation fort d entrer en contact avec le fluide de la pompe et augmente fortement le risque d explosion 2 La temp rature de la chaudi re atteint 275 C et peut provoquer des br lures graves V rifiez toujours que les surfaces ont atteint la temp rature ambiante avant de les toucher Pour arr ter la pompe 1 2 Fermez la vanne d admission du syst me si pr sente Arr tez l alimentation lectrique des l ments chauffants Pour
24. respiratoire autonome peut galement tre n cessaire V rifiez toujours que les proc dures de nettoyage sont r alis es dans des salles grandes et bien a r es Portez une protection pour les yeux des gants et autres v tements de protection Un nettoyage complet de la pompe peut tre n cessaire suite une d t rioration du fluide L enl vement de la pompe du syst me est alors n cessaire Pour nettoyer une pompe install e 1 D branchez toutes les conduites d eau de refroidissement et arr tez le circuit primaire d alimentation lectrique des l ments chauffants de la pompe 2 D vissez les connexions d admission et de la tubulure de vide primaire et enlevez la pompe du syst me 3 Purgez l ensemble du fluide de la pompe 4 Enlevez le chapeau refroidi comme d crit dans la section Chapeau refroidi la page 40 5 Enlevez le groupe de tuy res selon le mod le sp cifique de pompe comme d crit dans la section Groupe de tuy res la page 41 6 Nettoyez correctement l int rieur du corps de la pompe avec de l ac tone puis rincez avec un alcool d isopropyle Ensuite s chez la pompe l aide d un air comprim sec propre et exempt d huile 7 Nettoyez correctement le groupe de tuy res l ac tone Essuyez toutes les surfaces avec de l alcool d isopropyle et s chez l aide d un air comprim sec propre et exempt d huile 8 R installez les tuy res et le chapeau refroidi dans le
25. 0V Supply men _ By Customer By Varian Y Circuit L1 415V x Hi NEUTRAL Rror L1 L2 L2 L3 L3 L1 42 6 8100W 34 2 O 9600W I Ip 11 2A 415V 8100W 13 54 45V 9600W Figure 12 C blage 415 V HS 16 Pompes a diffusion haut d bit Magnetic Contactor 4 To 3 Ph 200 240 400 430 440 480 V Supply 4 4 EIS 12 000 W By Customer Thermal Switches OPEN ON TEMP RISE TSW2 TSW1 Upper Lower 185 F 380 F Heaters 6 2000W 200 240 400 430 440 480 V By Varian Element Resistance L1 L2 L2 L3 L3 L1 200V 2200 240V 2290 I 29A 240V 14 5 480V 400V 800 430V 930 440V 2970 480 V 21150 200V 72 240V 102 Delta Parallel 400V 2260 200 240 400 430 440 480 V 430V 2310 440V 2320 480V 2380 10 5 240V Figure 13 C blage 200 240 400 430 480 V HS 20 23 Pompes a diffusion haut d bit 24 TO Qr tO e no en Thermal Switches Control lt o eer OPEN ON TEMP RISE TSW2 TSW1 Magnetic Upper Lower Contactor D 185 F 380 TB 4 To 3 Ph 415V 9 Y Supply Y Heaters 6 LL Siu 45 2000W 240V 5 H2 x Y H5 Y 12 000 W L H d H5Y _THEY By Customer By Varian Y Parallel 415V L1 L2 L2 L3 L3 L1 28 8 Figure 14 C blage 415
26. 1000 0 gt 100 0 gt 100 0 gt jueureuuonpuo op e suep e ep uolssiwpe e xn JoJ ap au uolsua asseq e ajqejeaid Xe neaAIN eunjnqni eun jo 1nauadns 5 ap 8 np sinjdni aun mad eSieuoung ap WI ue seduiod sap e8uojoud 21 NOILNALLV GE SC 00529 000 0S Sv GE LE c 000 0r 000 7 c 8l 6l 000 C 008 ZL 0 81 S EL EEL 0 0L 00S 000 9 9 STL CU Co CL OL s Iequu S 110 s equu S 140 MOL OIX 8 5 ep eSe qd Si diy ail ap 9_OLXZ gt _OLXS 9 g_OLXS gt OLXS g_OLXZ gt c OLXO L g_OLXS gt OLX g 01XZ9 gt R OLXL _01 5 gt 01 8 g_OLXZ gt c OLXE L g_OLXS gt c OIXI MA 9 6 9L SH g_OLXZ gt 4 OIXI 6 o _01 6 gt OLXZ MA L 8 91 SH np p ne jqeL jueujeuuonouo 2945 Pompes a diffusion haut d bi c89 OOSL c89 0051
27. 3 El ment chauffant avec fils 2700 W 440 V El ment chauffant avec fils 3200 W 480 V K4919001 Plaque de contact de l l ment chauffant requise pour le remplacement de l l ment chauffant K4917001 Plaque de serrage de l l ment chauffant 79309001 Nappe isolante de l l ment chauffant 79308001 Couvercle de l l ment chauffant K0377164 Kit de joints toriques comprend joint torique d entr e Butyl ASA 48214001 joint torique de tubulure de vide primaire Buna N ASA 660890348 Q 8 joints toriques de remplissage et de purge Viton 660892213 joint torique pour verre indicateur 660892232 1 joint en graphite pour verre indicateur K8478001 695472008 Fluide de pompe diffusion DC 702 1 gallon 3 7854 litres 695474008 Fluide de pompe diffusion DC 704 1 gallon 3 7854 litres 695475008 Fluide de pompe diffusion DC 705 1 gallon 3 7854 litres El ment commercial Raccord de chapeau refroidi raccord Flex Imperial 66 FL tube de diam ext 1 2 x 3 8 FPT K8475001 Verre indicateur L6367301 Accouplement de tuy res 656118114 Fil en nickel n 14 AWG 648056329 Taquet en nickel n 14 AWG 51 Pompes a diffusion haut d bit Num ro de pi ce Tableau 17 Pieces de rechange HS 20 Descriptif 84358301 Chapeau refroidi comprend une vis n 10 32 SST
28. 89 8000 Fax 44 1932 22 8769 Etats Unis Varian Inc 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 Etats Unis T l 781 861 7200 Fax 781 860 5437 Autres pays Varian Inc Via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italie T l 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 Service et support client Am rique du Nord T l 1 800 882 7426 appel gratuit vtl technical support varianinc com Europe T l 00 800 234 234 00 appel gratuit vtl technical support varianinc com Japon T l 81 3 5232 1253 ligne d di e vtj technical support varianinc com Cor e T l 82 2 3452 2452 ligne d di e vtk technical support varianinc com Taiwan T l 0 800 051 342 appel gratuit vtw technical support varianinc com Site Internet international Demande de catalogue et Commandes en ligne www varianinc com Repr sentants dans la plupart des pays ave VARIAN
29. B Pump Customer Body NSS mp POL er SN A FPT Sleeve Seal Follower Gasket Figure 24 Chapeau refroidi 40 Pompes a diffusion haut d bit Groupe de tuyeres Les groupes de tuy res de chaque pompe sont d crits et illustr s dans les sous sections suivantes Les proc dures et les sch mas sont sp cifiques chaque mod le de pompe Groupe de tuy res HS 16 Refraction Tube 2nd Stage __ Splash Baffle Figure 25 Groupe de tuy res HS 16 Jam Nut Pour d monter le groupe de tuy res 1 Enlevez le chapeau refroidi ou le d flecteur halo comme d crit dans la section Chapeau refroidi la page 40 2 D vissez le chapeau sup rieur de son accouplement et enlevez le 3 Enlevez le bouchon sup rieur 4 Enlevez la protection de r cup ration qui repose lachement sur le 2 me tage Soulevez et enlevez le 2 me tage complet 6 Soulevez et enlevez un par un le 3 me tage le 4 me tage et la base de tuy res 7 Enlevez les deux crous fixant la chicane de barbotage puis soulevez la et enlevez la 8 Enlevez le contre crou situ en bas au centre de la pompe pour pouvoir enlever la tige de tuy res Pour remonter le groupe de tuy res Inversez les tapes de d montage ci dessus NOTE Quand le groupe de tuy res est install dans le corps de la pompe v rifiez que l e
30. F P T QUICK COOL COIL 1 OPTIONAL Figure8 Vue g n rale de HS 32 avec les brides ASA Tableau 10 Dimensions de la bride de HS 32 ASA ISO Tubulure de vide Unit s Admission primaire Admission 800 F Tubulure 200 K Diam ext pouce mm 38 12 968 3 11 00 279 4 36 22 920 0 9 45 240 0 Diam int pouce mm 32 06 814 3 6 73 170 9 32 06 814 3 6 73 170 9 Epaisseur pouce mm 1 12 28 5 0 75 19 1 1 12 28 5 0 47 11 9 Cercle de boulonnage pouce mm 36 25 920 8 9 50 241 3 35 04 890 0 Nb d orifices 16 8 24 Taille des orifices pouce mm 0 87 22 1 0 88 22 4 0 55 14 0 Orientation Les orifices sont sur l axe central de la tubulure de vide primaire 11 Pompes a diffusion haut d bit Tableau 10 Dimensions de la bride de HS 32 ASA ISO Tubulure de vide Unit s Admission primaire Admission 800 F Tubulure 200 K Rainure pour joint Diam int pouce mm 32 5 825 5 7 44 189 0 32 75 831 9 N cessite NW 200 Largeur pouces mm 0 56 14 2 0 38 9 7 0 56 14 2 Rondelle non Profondeur pouces mm 0 25 6 4 0 18 4 6 0 25 6 35 comprise avec la pompe Aid F 11080 ot e ce mange EE RECH 7 180 Version Pump Uses 5 d ons inlet flange w bolt 44 09 0 0 x95001D 1 Tableau 11 NHS 35 Dimensions et poids 32 x 6 550 holes on 642 91 B C f o 11 00 279 Iso Version Pump Uses 150 200
31. Pompes a diffusion a haut debit HS 16 HS 20 5 32 NHS 35 Pi ce n 699901140 R v C Janvier 2005 NOTICE This document contains references to Varian Please note that Varian Inc is now part of Agilent Technologies For more information go to www agilent com chem E Agilent Technologies MANUEL D INSTRUCTIONSH Pompes a diffusion a haut d bit Liquide pour pompe a diffusion Santovac 5 de SANTOVAC FLUIDS INC Viton estunemarque d pos e de E IduPont de Nemours and Company Copyright 2005 Vacuum Technologies Pompes a diffusion haut d bit Table des mati res Dangers des pompes diffusion 1 EXDlOSION S A 24 s 2 Dangers de pressurisation 3 Substances dangereuses 3 Hautes temp ratures 4 Hautes tensions 4 Equipement large et lourdes charges 4 Bases d une pompe diffusion 5 Fonctionnement de la pompe 5 Caract ristiques de fonctionnement 5 D bit et vitesse de l air 8 Sp cifications Physiques 9 D ballage 13 Installation re tete at 13 Montage sles t VE ba 13 Nettoyage d une pompe neuve 14 S curit pour le nettoyage 14 D montage et netto
32. Rd Hd et un crou hexagonal n 10 32 SST 660811494 Joint pour chapeau refroidi F2622001 Fouloir pour chapeau refroidi laiton 75786001 Ecrou pour chapeau refroidi 622445026 Accouplement femelle de chapeau refroidi tube de diam ext 1 2 x 3 8 FPT raccord Flex Imperial n 66 FL L6367301 Accouplement Sprint 84350301 Accouplement des tuy res 84889301 Chicane de la tubulure de vide primaire F6097301 Kit d entretien du verre indicateur pas un tube en verre des joints toriques et des raccords Valves non incluses pour les pompes fabriqu es avant octobre 1994 F1755301 Verre indicateur comprend la valve d tanch it le tube en verre le support amovible le couvercle du verre indicateur et les raccords pour les pompes fabriqu es avant octobre 1994 77261001 Bouchon filet remplissage et purge K9050001 Rupteur thermique sup rieur r glage de la temp rature 85 00 C K9050002 Rupteur thermique inf rieur r glage de la temp rature 198 89 C 656118114 Fil en nickel n 14 AWG 648056329 Taquet en nickel n 14 AWG 647320025 647320020 chauffant avec he W 200 V TE tfe n se ils 2000 W 240 V ou 415 V 647320035 El ment chauffant avec fils 2000 W 400 V 647320040 El ment chauffant avec fils 2000 W 430 V 647320045 El ment chauffant avec fils 2000 W 440 V 647320030 El
33. age 30 Figure 11 la page 21 Figure 13 la page 23 Figure 20 la page 30 Figure 12 la page 22 Figure 14 la page 24 Figure 18 la page 28 Figure 21 la page 31 Figure 13 la page 23 Figure 20 la page 30 Figure 17 la page 27 ATTENTION Ne faites pas fonctionner la pompe 596 de plus que sa tension nominale Pour c bler la pompe 1 V rifiez la tension d alimentation correcte de l l ment chauffant et trouvez le sch ma de c blage appropri La tension correcte est illustr e 2 V rifiez l quilibre de la charge en mesurant la r sistance de chaque d rivation Les r sistances de chauffage sont indiqu es sur les sch mas de cablage respectifs 3 Branchez les connexions aux bornes de la boite bornes principale au niveau de la tubulure de vide primaire comme illustr dans le sch ma d encombrement appropri Utilisez un conduit flexible pour faciliter l enl vement de la pompe pour l entretien Figure 13 la page 23 Figure 19 la page 29 Figure 22 la page 32 Cablez les rupteurs thermiques un m canisme de contr le pour que l alimentation vers la pompe soit arr t e si un des rupteurs thermiques s ouvre Les fils des rupteurs thermiques se trouvent dans le coffret de branchement Compl tez le c blage de la pompe et v rifiez deux fois que la disposition des bornes est correcte pour la tension de source du site Pompes a diffu
34. age et le tube de fractionnement en laissant les deux tiges en place D vissez et enlevez les deux tirants d assemblage D montez les tages de tuy res restants NOTE N enlevez pas les trois vis qui fixent le tube de fractionnement l tage sup rieur Pompes a diffusion haut d bit Pour remonter le groupe de tuy res 1 ATTENTION Si la tige de tuy res centrale a t enlev e ou desserr e pendant le d montage revissez la dans la t le de chaudi re Le sommet de la tige doit tre environ 2 3 mm sous la surface sup rieure de la bride d entr e le plan d admission de la pompe Une fois correctement plac e utilisez l crou pr t de la t le de chaudi re pour bloquer la tige en place Remontez les tages inf rieurs en les empilant en dehors du corps de la pompe Abaissez le 2 me tage et le tube de fractionnement dans le groupe de tuy res inf rieur en alignant les deux encoches du tube avec le cadre de la base de tuy res V rifiez que les encoches sont engag es en tentant de le faire tourner Installez la protection du 2 me tage Installez les tirants d assemblage dans les deux orifices du membre transversal et vissez les dans le cadre de la base de tuy res Vissez les deux crous sur les tirants La hauteur des tirants doit tre ajust e si n cessaire en les vissant dans le cadre de la base de tuy res de mani re ce que les tirants d passent les crous d enviro
35. boulons oeil et l quipement de levage appropri abaissez le groupe de tuy res inf rieur dans le corps de la pompe sur la tige de tuy res L jecteur doit tre align directement partir de la tubulure de vide primaire Une encoche de position situ e sur la base de tuy res engage un bloc situ dans le corps de la pompe pour assurer l alignement correct de l jecteur avec la tubulure de vide primaire ATTENTION Les tuy res ne reposeront pas correctement et la pompe ne fonctionnera pas si l encoche n est pas engag e sur le bloc de positionnement V rifiez l engagement en tentant de faire tourner le groupe de tuy res quand il est en place 4 Inversez les tapes 1 5 ci dessus pour remonter les composants du groupe de tuy res sup rieur NOTE Le bouchon orifice du groupe de tuy res sup rieur doit reposer dans le tube l encoche usin e tant dans le tube V rifiez que le bouchon n est pas install l envers NOTE L crou hexagonal est install de telle mani re ce que le petit diam tre serve centrer le chapeau refroidi ou le d flecteur halo V rifiez que l crou hexagonal n est pas install l envers Pompes a diffusion haut d bit Proc dure de remplacement de l l ment chauffant La Figure 30 montre les composants du groupe d l ments chauffants La proc dure de remplacement de l l ment chauffant est identique pour toutes les grandes pompes diffusion NOTE Pen
36. chauffants et l quilibre de la charge V rifiez que le d bit d eau de refroidissement n est pas bloqu et que le d bit ne chute pas en dessous des quantit s sp cifi es dans le Tableau 4 la page 6 Pompes a diffusion haut d bit Nettoyage S curit pendant le nettoyage x Le nettoyage d une pompe diffusion implique l utilisation d ac tone et d alcool qui sont des produits toxiques et explosifs Retenez bien les avertissements suivants avant d entamer le nettoyage Lorsqu ils sont chauff s pulv ris s ou expos s un quipement haute temp rature ces solvants deviennent inflammables et explosifs entrainant des blessures graves voire un d c s Lorsqu ils sont chauff s ou pulv ris s l ac tone ou l alcool deviennent 4 5 fois plus lourds que l air et chutent reposant dans les r servoirs les puits et les zones basses d pla ant l air et provoquant ainsi un d c s par asphyxie L ac tone l alcool et autres solvants sont des produits irritants narcotiques d presseurs et canc rig nes Toute inhalation et ingestion peuvent avoir des effets graves Un contact prolong ou continu avec la peau entra ne l absorption par la peau ainsi qu une toxicit mod r e AVERIBSEVENTS Ne les utilisez pas proximit d une source haute temp rature Ventilez la zone de travail l aide d un ventilateur et travaillez dans un espace vaste et bien ventil L utilisation d un appareil
37. d Flex Imperial n 66 76511301 Groupe de tuy res comprend le chapeau refroidi F6097301 Kit d entretien pour verre indicateur comprend un tube en verre des joints toriques et des raccords valves non incluses F1755301 Verre indicateur comprend la valve d tanch it le tube en verre le support amovible le couvercle du verre indicateur et les raccords 84347003 Bouchon filet remplissage et purge K9050003 Rupteur thermique sup rieur r glage de la temp rature 104 44 C K9050004 Rupteur thermique inf rieur r glage de la temp rature 287 78 C 656118114 Fil en nickel au pied n 14 AWG 648056329 Taquet en nickel n 14 AWG F6253001 Bloc de rupteur thermique laiton 647332010 El ment chauffant avec fils n 10 AWG 4000 W 240 V 415 V 480 V 647332020 El ment chauffant avec fils n 10 AWG 4000 W 200 V K7246001 Plaque de contact d l ment chauffant remplacer avec chaque l ment chauffant neuf K7247001 Plaque de serrage 75792001 Isolation pour l ments chauffants Cerablanket 12 7 mm d paisseur 75791001 Couvercle d l ment chauffant 670099910 Isolation pour conduit L9223001 Verre indicateur pour pompes fabriqu es apr s octobre 1995 K0377167 Kit de joints toriques comprend 1jointtorique Butyl pour bride d entr e ASA 45390001 1jointtorique Butyl pour bride de tubulure 2 443 Q 8 joints toriques Viton de remplissage et de purge 2 213 1jointtorique pour verre indicateur 2 240 1jointto
38. d air vers une pompe avec une chaudi re chaude permettant un agent d oxydation fort d entrer en contact avec le fluide chaud Q Pression sup rieure 1 milliTorr 1 3X10 2 mbar Q Fluide de pompage insuffisant ou niveau bas Q Fonctionnement d une pompe sans circulation d eau de refroidissement vers les principaux serpentins de refroidissement du corps Fonctionnement d une pompe avec une eau pi g e dans le serpentin de Refroidissement Rapide Q Substance trang re dans le fluide de pompage qui modifie sa viscosit et bloque le d bit 36 ATTENTION N actionnez pas l l ment chauffant sans fluide dans la pompe Cela peut d truire I l ment chauffant et endommager la pompe Ne purgez pas l air de la pompe quand la chaudi re est chaude La plupart des fluides des pompes diffusion se d composent dans cas N actionnez pas l l ment chauffant de la pompe si l eau de refroidissement ne circule pas Dans le cas contraire la pompe et le fluide peuvent surchauffer N actionnez pas sans une chicane de tubulure de vide primaire Cela peut entrainer une perte de fluide sup rieure a la normale La pompe HS 32 n est pas quip e d une chicane Pompes a diffusion haut d bit Proc dure de d marrage Pour d marrer la pompe 1 Videz la pompe diffusion l aide d une pompe de pr vidage m canique pour obtenir une pression inf rieure 0 5 Torr 0 67 mbar La
39. d exp dition ext rieur Inspectez visuellement les dommages de la pompe qui ont pu survenir pendant l exp dition et informez imm diatement le transporteur en cas de dommages suspect s Si un dommage est constat conservez la caisse et l emballage interne pour l inspection 14 Installation Montage Enlevez les couvercles de bride les prises vierges et les bouchons de protection des connexions d eau Ne grattez pas ou n endommagez pas de toute autre mani re la surface d tanch it la rainure du joint torique situ e au sommet de la bride d entr e V rifiez le groupe interne de tuy res Il doit tre concentrique et repos fermement la base de la pompe Utilisez une lampe torche pour v rifier que la buse de l jecteur est oppos e la tubulure de vide primaire la connexion de sortie de la pompe Le groupe de tuy res ne doit pas tourner il est maintenu par un boulon index situ la base du groupe Si le niveau de vide pr vu est inf rieur 10 7 Torr nettoyez la pompe en utilisant la proc dure pr sent e dans la section suivante Dans le cas contraire v rifiez qu aucun objet tranger n est pr sent dans la pompe Puis fixez la pompe au syst me selon les instructions de la section Branchements du syst me et des utilitaires la page 17 Pompes a diffusion haut d bit Nettoyage d une pompe neuve NOTE Une pompe neuve doit tre nettoy e uniquement si le vide souhait est inf rieu
40. dant le remplacement la plaque de contact doit tre remplac e si les l ments chauffants sont enlev s pour une inspection ou autre maintenance La NHS 35 n est pas quip e d une plaque de contact Des goujons suppl mentaires sont utilis s pour assurer un contact ad quat entre l l ment chauffant et la t le de chaudi re Heater Element Dimple HHHH RORUN High Temp Nickel Wire Washer High Temp i Sleeving Clamping Figure 30 El ment chauffant AVEHIESEVENT Les hautes tensions jusqu 480 volts peuvent tuer Coupez toujours le circuit primaire vers l alimentation lectrique avant d entamer un travail sur l l ment chauffant ou son c blage ATTENTION Un mauvais serrage entra nant un contact thermique inappropri peut diminuer la dur e de vie de l l ment chauffant et r duire la performance de la pompe Serrez les crous la main sur la plaque de serrage puis serrez les progressivement et uniform ment un couple de 28 24 Nm Pour remplacer un l ment chauffant 1 Utilisez un ohmm tre au niveau du coffret lectrique pour d terminer quel l ment chauffant est d fectueux 2 D branchez ses fils de la barrette de raccordement Sortez les fils de la boite bornes puis du couvercle coud 4 Enlevez le couvercle de l l ment chauffant de la base de la pompe diffusion D placez l isolation pour exposer les l ments d fectueux Enlevez les
41. de d tection des fuites utilis s NOTE Consultez votre repr sentant Vacuum Technologies pour obtenir des informations sur la gamme tendue de d tecteurs de fuite d h lium de Vacuum Technologies 33 Pompes a diffusion haut d bit Ajout ou remplacement du fluide de la pompe 5 Le risque d explosion sur les grandes 34 pompes diffusion vide est augment par les facteurs suivants Q Utilisation d un hydrocarbure comme fluide de pompage Les hydrocarbures sont plus enclins exploser que les liquides base de silicone synth tique Si un hydrocarbure est utilis v rifiez l ensemble du syst me sous vide avant d actionner la pompe Q Faibles niveaux de fluide dans la pompe susceptibles de provoquer une surchauffe Un faible niveau de fluide provient de la diminution graduelle de la charge pendant l utilisation La pompe continue cependant fonctionner normalement et quand la charge chute 6096 du niveau initial la temp rature de la chaudi re peut commencer augmenter Dans ce cas les rupteurs thermiques ouvrent les circuits de l l ment chauffant Pour de plus amples informations consultez la section Surchauffe D tection par des rupteurs thermiques la page 20 Q Fluide de pompe surchauff qui se d compose et devient toxique Des r sidus de fluide toxique peuvent tre pr sents sur la jauge utilis e pour v rifier le niveau de fluide Vous devez donc v
42. e serrage aucune plaque de contact dans NHS 35 L6514001 Isolation pour l ments chauffants Cerablanket 12 7 mm d paisseur L9223001 Verre indicateur pour pompes fabriqu es apr s octobre 1995 K0377169 Kit de joints toriques comprend 1 joint torique Butyl pour bride d entr e ASA 78536001 1jointtorique Butyl pour bride de tubulure 2 267 Q 8 joints toriques Viton de remplissage et de purge 2 213 1jointtorique pour verre indicateur 2 240 1 joint en graphite pour verre indicateur L9228001 Q 4 joints toriques Viton 2 221 695472008 Fluide de pompe a diffusion DC 702 1 gallon 3 7854 litres 695474008 Fluide de pompe a diffusion DC 704 1 gallon 3 7854 litres 695475008 Fluide de pompe a diffusion DC 705 1 gallon 3 7854 litres 78536002 Joint torique pour bride d admission ISO 54 Canada Coordination centrale par le biais de Varian Inc 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 Etats Unis T l 781 861 7200 Fax 781 860 5437 Num ro d appel gratuit 800 882 7426 Chine Varian Technologies Beijing Room 1201 Jinyu Mansion No 129A Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 1000031 Chine T l 86 10 6608 1031 Fax 86 10 6608 1541 France et Benelux Varian s a 7 avenue des tropiques Z A de Courtaboeuf B P 12 Les Ulis cedex Orsay 91941 France T l 33 1 69 86 38 13 Fax 33 1 69 28 23 08 Allemagne et Aut
43. entra ner des blessures graves ATTENTION Les messages de pr caution Attention sont affich s avant les proc dures S ils ne sont pas suivis l quipement peut tre endommag NOTE Les notes contiennent des informations importantes reprises du texte vi Declaration of Conformity Konformitatserklarung D claration de Conformit Declaraci n de Conformidad Verklaring de Overeenstemming Dichiarazione di Conformit We Wir Nous Nosotros Wij Noi Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 3133 USA declare under our sole responsibility that the product erkl ren in alleniniger Verantwortung da dieses Produkt d clarons sous notre seule responsabilit que le produit declaramos bajo nuestra sola responsabilidad que el producto verklaren onder onze verantwoordelijkheid dat het product dichiariamo sotto nostra unica responsabilit che il prodotto Pompes diffusion haut d bit to which this declaration relates is in conformity with the following standard s or other normative documents auf das sich diese Erkl rung bezieht mit der den flogenden Norm en oder Richtlinie n bereinstimmt auquel se r f re cette d claration est conforme la aux norme s ou au x document s normatif s al que se refiere esta declaraci n es conforme a la s norma s otro s documento s normativo s waamaar deze verklaring verwijst aan de volende norm en of richtlijn en beantw
44. fs explosifs ou autrement r actifs Vacuum Technologies n a aucun contr le sur les types de gaz traversant la pompe diffusion d un client car ces gaz sont sous le contr le total du client et ou de l int grateur des syst mes mat riels Puisque ces gaz peuvent provoquer des blessures graves voire un d c s il est extr mement important de raccorder l vacuation de la pompe au syst me d vacuation des gaz dangereux de l installation qui comprend les filtres les purificateurs et composants similaires appropri s pour que l vacuation respecte la r glementation sur le contr le de la pollution de l eau et de l air Pompes a diffusion haut d bit Hautes tensions Q Les l ments chauffants d une pompe diffusion Temp ratures lev es Q Surfaces chaudes Les temp ratures de la chaudi re atteignent 275 C ce qui peut provoquer des br lures graves V rifiez toujours que les surfaces ont atteint la temp rature ambiante avant de les toucher Vapeur et eau de refroidissement chaudes L eau utilis e pour refroidir la pompe peut atteindre des temp ratures d chaudage Un contact ou une rupture de la surface de refroidissement peut entrainer des br lures graves L eau r siduelle dans les serpentins de Refroidissement Rapide provenant d une utilisation pr c dente se transforme en vapeur quand la pompe chauffe nouveau Cette vapeur doit pouvoir s chapper sans affecter le personnel D s que possible
45. ions inf rieures NOTE Cette configuration diminue la capacit de d bit maximale de la pompe Utilisez cette configuration de refroidissement uniquement si la pompe n est pas destin e fonctionner la pression la plus lev e de sa plage de fonctionnement Pompes a diffusion haut d bit Branchements lectriques Les raccordements des bornes de chaque pompe sont diff rents selon la tension de source disponible la principale diff rence tant une connexion en Y ou en A des l ments chauffants Le Tableau 13 fournit le num ro des figures et la page des sch mas de c blage pr sents dans ce manuel Les sch mas de c blage sp cifiques chaque pompe indiquent les connexions en Y et en A et la tension de source de chaque branchement Un fonctionnement incorrect des dommages graves de l l ment chauffant et un danger potentiel pour le personnel peuvent d couler d un branchement incorrect de la pompe diffusion Tension de source AEHIEENENI Les hautes tensions jusqu 480 volts peuvent tuer Coupez toujours le circuit primaire vers la pompe avant d entamer un travail sur l l ment chauffant ou son c blage Tableau 13 Emplacements des sch mas de c blage C blage HS 16 C blage HS 20 Figure 13 la page 23 Cablage HS 32 Figure 15 la page 25 C blage NHS 35 Figure 11 la page 21 Figure 13 la page 23 Figure 16 la page 26 Figure 20 la p
46. ir l oxyg ne et autres oxydes l alcool et la plupart des solvants deviennent tr s inflammables et explosifs Ne laissez jamais une trace de ces nettoyants dans ou sur la pompe Nettoyez toujours toutes les traces d alcool et d ac tone et autres nettoyants l aide d un air comprim sec propre et exempt d huile Ne faites jamais fonctionner une grande pompe diffusion dans les situations stipul es dans le Tableau 2 Une de ces situations augmente les risques d explosion Tableau 2 Situations explosives Action interdite Ne faites pas fonctionner la pompe sans eau de refroidissement Situation source de l explosion Temp rature excessive Ne faites pas fonctionner la ompe quand le niveau de fluide est faible Temp rature excessive Ne faites pas fonctionner la pompe sans une pompe primaire ou de maintien correcte Surpression Ne faites pas fonctionner la pompe sans une vacuation inf rieure 0 5 Torr 0 67 mbar Surpression N admettez pas d air dans ou travers une e quip e d une chaudi re chaude Surpression plus agent d oxydation fort N ouvrez pas un bouchon de purge ou de remplissage quand la pompe est sous vide en particulier quand elle est chaude Surpression plus agent d oxydation fort Ne contaminez pas la pompe avec des vapeurs explosives Diminuez le seuil explosif des m langes gazeux N enlevez pas n annulez pas ou n outrepassez pas les
47. ire m canique a vacu la majeure partie de l air du syst me gt b Figure 1 Pompe a diffusion HS 20 n existe aucune pi ce mobile dans une pompe diffusion dont le coeur est le groupe de tuy res tages multiples un groupe de cylindres concentriques qui sont couverts pour laisser de petites ouvertures par lesquelles la vapeur peut tre renvoy e vers le bas et expuls e vers les parois de la pompe Un chapeau refroidi mont au sommet du groupe de tuy res permet de maintenir la vapeur de liquide hors de la chambre d vacuation Les pompes sont refroidies par eau L l ment chauffant du liquide de vide est mont la base du corps de la pompe Les pompes sont galement quip es d un groupe de remplissage et de purge et de rupteurs thermiques de protection L admission est situ e au sommet et la purge se fait par la tubulure de vide primaire Fonctionnement de la pompe La pompe diffusion fonctionne en chauffant le fluide de pompage jusqu son point d bullition Les vapeurs montent jusqu au groupe de tuy res sont expuls es vers le bas en acc l rant par les buses vers les parois externes refroidies de la pompe o la vapeur se condense et redevient liquide Alors que la vapeur passe l admission elle capte des l ments du gaz vacuer et les transporte vers l jecteur et en dehors de la pompe via la tubulure de vide primaire La capacit de la pompe atteindre des pressions basses es
48. itches OPEN ON TEMP RISE Magnetic TSW2 TSW1 Upper Lower Contactor 200 F 600 F is To 3 Ph ZER 415V Supply ae E eaen 240 Hlr By Customer 415V 28 9A Y Parallel 415V Figure 21 C blage 415 V NHS 35 31 Pompes a diffusion haut d bit 32 Thermal Switches To Control res OPEN ON TEMP RISE Magnetic TSW2 TSW1 Contactor Upper Lower 200 600 Heaters 6 1i E 4000 W 240 V To 3 Ph HEX 480 V CE pel rm Supply F Delta Series L12L2 L2 L3 L3 L1 19 2 Q 480 V Figure 22 C blage 480 V NHS 35 Pompes a diffusion haut d bit Essai de vide initial Avant de charger le fluide dans la pompe effectuez cet essai de vide initial pour tablir l tanch it du syst me et de ses connexions de vide Les pompes et leurs composants sont con us pour fournir un vide ils ne sont pas concus pour tre pressuris s ce qui peut entra ner leur explosion ventuelle en jectant un shrapnel des vitesses mortelles Des accidents graves ont t provoqu s par une pressurisation intentionnelle des syst mes de vide et de leurs composants AVERTESEVENIS Ne pressurisez jamais une partie quelconque d un syst me de vide pour effectuer des tests ou autre Q Pr voyez toujours une d charge de pression lors de l int gration d une pompe diffusion dans un syst me et v
49. itesse et de d bit de HS 32 8 Courbes de vitesse et de d bit de NHS 35 8 Vue g n rale de HS 16 avec les brides ASA 9 Vue g n rale de HS 20 avec les brides ASA 10 Vue g n rale de HS 32 avec les brides ASA 11 Vue g n rale de NHS 35 avec les brides ASA 12 Branchement de l eau de refroidissement 15 Cablage HS 16 200 240 400 430 440 480 19 Cablage HS 16 415 V 20 Cablage HS 20 200 240 400 430 480 V 21 Cablage HS 20 415 V 22 Cablage HS 32 200 V 23 Cablage 5 32 240 V 24 Cablage HS 32 460 V 25 Cablage HS 32 415 V 26 Cablage HS 32 480 V 27 Cablage NHS 35 240 400 440 28 Cablage NHS 35 415 V 29 Cablage NHS 35 480 V 30 Verre indicateur 33 Chapeau refroidi 38 Groupe de tuy res HS 16 39 Groupe de tuy res HS 20 40 D tails de l accouplement des tuy res 41 Groupe de tuy res HS 32 42 Groupe de tuy res NHS 35 44 El ment chauffant 45 Liste des tableaux TableauTitre Page 1 Dangers g n riques 1 2 Situations explosives 2 3 Dangers de pressurisation 3 4 Sp cifications du fonctionnement 6 5 HS 16 Dimensions et poids 9 6 Dimensions des brides HS 16
50. l de levage ayant une capacit suffisante Les poids des pompes sont indiqu s dans le Tableau 4 la page 6 Alignez les orifices des boulons des brides et installez les boulons Serrez les boulons de mani re uniforme et comprimez le joint torique jusqu obtenir un l ger contact entre les brides m talliques V rifiez le serrage des bouchons de remplissage et de purge ainsi que du verre indicateur Consultez les sch mas d encombrement appropri s Figure 6a la page 9 Figure 9 la page 12 Appliquez un couple faible moyen suffisant pour comprimer visuellement les joints NOTE Au fil du temps des fuites peuvent appara tre au niveau des joints Ces fuites peuvent tre d tect es uniquement avec des d tecteurs de fuite munis de spectrom tres de masse extr mement sensibles Eau de refroidissement Pour brancher l eau de refroidissement 1 Branchez en s rie le serpentin de refroidissement du chapeau refroidi et l ensemble des conduites de refroidissement du corps et de la tubulure de vide primaire sauf le serpentin de Refroidissement Rapide voir le paragraphe suivant comme illustr la Figure 10 Consultez le Tableau 4 la page 6 pour conna tre le d bit d eau de refroidissement adapt au type de pompe Un d bit sup rieur n endommage pas la pompe 2 Branchez l vacuation d eau de refroidissement vers une purge ouverte Ainsi la temp rature de l eau peut tre facilement contr l e
51. les pompes quip es du Serpentin de Refroidissement Rapide laissez l eau p n trer dans le serpentin Poursuivez l coulement d eau de refroidissement dans la pompe et dans le Serpentin de Refroidissement Rapide si pr sent pendant la p riode mentionn e dans la section D lai de refroidissement Sans Refroidissement Rapide Avec Refroidissement Rapide du Tableau 4 la page 7 D s que la pompe est froide arr tez la pompe primaire m canique D gagement d air de la pompe Laissez l eau de refroidissement s couler jusqu ce que la pompe soit temp rature ambiante puis arr tez l alimentation en eau 37 Pompes a diffusion haut d bit Maintenance Effectuez ces v rifications p riodiques pour assurer un fonctionnement sans probl me Cette maintenance vite des proc dures d arr t et de nettoyage co teuses Conservez un journal quotidien sur la performance de la pompe et du syst me pour identifier les variations importantes qui n cessitent une action corrective Inspections p riodiques L intervalle maximum entre les inspections de la pompe est bas sur l exp rience 5 Les hautes tensions jusqu 480 38 volts peuvent tuer Coupez toujours le circuit primaire vers l alimentation lectrique avant d entamer un travail sur l l ment chauffant ou son c blage Evitez les br lures graves en v rifiant que la pompe est temp rature ambiante avant d entreprend
52. ment chauffant avec fils 2000 W 480 V K7108001 Plaque de contact remplacer avec chaque l ment chauffant K7107001 Plaque de serrage L6514001 Isolation pour l ments chauffants Cerablanket 12 7 mm d paisseur 84497001 Couvercle de l l ment chauffant L9223001 Verre indicateur pour pompes fabriqu es apr s octobre 1994 K0377165 Kit de joints toriques comprend 1jointtorique Butyl pour bride d entr e ASA 84349002 1jointtorique Butyl pour bride de tubulure 660893432 8 joints toriques de remplissage et de purge Viton 660892213 1jointtorique pour verre indicateur 660892240 1 joint en graphite pour verre indicateur L9228001 695472008 Fluide de pompe diffusion DC 702 1 gallon 3 7854 litres 695474008 Fluide de pompe diffusion DC 704 1 gallon 3 7854 litres 695475008 Fluide de pompe diffusion DC 705 1 gallon 3 7854 litres Pompes a diffusion haut d bit Tableau 18 Pi ces de rechange HS 32 Num ro de pi ce Descriptif 77252801 Chapeau refroidi comprend une vis n 10 32 SST Rd Hd et un crou hexagonal n 10 32 SST 660811494 Guide de chapeau refroidi F2622001 Fouloir pour chapeau refroidi laiton 75786001 Ecrou pour chapeau refroidi 622445026 Pe UP TRUE femelle de chapeau refroidi tube de diam ext 1 2 x 3 8 FPT raccor
53. n s mesurer la temp rature du fluide d une pompe diffusion ne sont pas concus pour prot ger d une surchauffe ou d un reflux des fluides de pompes m caniques Pompes a diffusion haut d bit T 7 Thermal Switches Control 6 E p OPEN ON TEMP RISE Le Magnetic TSW2 TSWi Upper Lower Contactor Sach 1859 390 F SS SS eebe To 3 Ph l 200 240 400 430 440 480 V n E 8 200 240 400 430 440 480 V 8 100 W By Customer SK By Varian 8100 watts 9600 watts 23 1 amps 240 V 11 54 amps 480 V 9600 watts Ip 13 3 amps 240 V 6 67 amps 480 V R sistance RrorL1 L2 L2 L3 L3 L1 10 5 8100 W 9600 W 2700 3200 W Delta Circuit 200 90 200 909 200 150 200V 13Q 200 240 400 430 440 480 V 240V 14Q 240V 12Q 240V 21Q 240V 180 400 V 40Q 400V 33Q 400V 59Q 400V 50Q 430 V 46Q 430V 39Q 430 690 430V 58Q 440 V 48Q 440V 41Q 440V 72Q 440V 610 480 V 55Q 480V 46Q 480V 85Q 480V 720 Figure 11 Cablage 200 240 400 430 440 480 V HS 16 21 Pompes a diffusion haut d bit 22 To Thermal Switches TOt Control _ O ie OPEN ON TEMP RISE Tsw2 TSW1 Magnetic Upper ower 185 F 890 F 4 4 Heaters 3 TOR m um 2700 3200 W Ha 24
54. n 3 mm Ne serrez pas excessivement les crous sur les tirants Dans le cas contraire le membre transversal peut tre d form Les tirants sont destin s fixer le groupe pendant l installation dans la pompe En utilisant le membre transversal et l quipement de levage appropri abaissez l ensemble du groupe de tuy res dans le corps de la pompe sur la tige centrale de tuy res ATTENTION Sila pompe est quip e d une gaine thermom trique pr s du fond de la pompe une encoche correspondante est pr sente dans la base de tuy res pour l espacement autour de la gaine V rifiez que l encoche s engage dans la gaine pour viter d endommager la gaine et les tuy res Inversez les tapes 1 3 ci dessus pour remonter les composants du groupe de tuy res sup rieur NOTE L crou hexagonal est install de telle mani re ce que le petit diam tre serve centrer le chapeau refroidi ou le d flecteur halo V rifiez que l crou hexagonal n est pas install l envers 45 Pompes a diffusion haut d bit Groupe de tuy res NHS 35 Eau refroidie Chapeau refroidi Taquets pour lever Groupe de tuy res princi bel SS SU SS E Figure 29 Groupe de tuy res NHS 35 Pour d monter le groupe de tuy res 1 46 D vissez et enlevez l crou hexagonal maintenant en place le chapeau refroidi Notez son orientation avant l enl vement Enlevez le chapeau refroidi ou le d flec
55. ncoche dans la base de tuy res est engag e dans la goupille de position de la chaudi re Dans le cas contraire la pompe ne fonctionnera pas correctement NOTE Si l accouplement des tuy res se d tache de la tige de tuy res pendant le d montage placez le de mani re ce que le sommet de l accouplement des tuy res soit align avec le bouchon orifice inf rieur comme illustr la Figure 27 41 Pompes a diffusion haut d bit Groupe de tuyeres HS 20 Cold Cap Top Jet Securing Screw Seal Sleeve Cap Cold Cap Assembly Orifice Plug Coupling Assembly 2nd Stage Jet Shield 2nd Stage Central Tube 3rd Stage Lower Jet Assembly 3rd Stage Jet Shield 4th Stage Jet Base Lower Anchor Nut Welded to Boiler Figure 26 Groupe de tuy res HS 20 42 Pour d monter le groupe de tuy res 1 Enlevez le chapeau refroidi ou le d flecteur halo comme d crit dans la section Chapeau refroidi la page 40 2 D vissez le chapeau des tuy res de l accouplement Enlevez le bouchon orifice 4 Enlevez le tube central complet avec les tuy res du 2 me tage et la protection de tuy res 5 Enlevez de la pompe le groupe de tuy res inf rieur qui est compos des tuy res du 3 me tage de la protection de tuy res des tuy res du 4 me tage et de la base de tuy res 6 Enlevez la protection du 3 me tage du groupe de tuy res inf rieur NOTE Avant d e
56. ne broche est pr vue la base de la pompe la grande encoche dans la base de tuy res doit co ncider exactement sur cette broche Suivez les tapes 1 5 en ordre inverse NOTE Si l accouplement des tuy res se d tache de la tige de tuy res pendant le d montage placez le de mani re ce que le sommet de l accouplement des tuy res soit align avec le bouchon orifice inf rieur Figure 27 D tail A Emplacement de l accouplement des tuy res avant le montage du chapeau de tuy res Figure 27 D tail de l accouplement des tuy res 43 Pompes a diffusion haut d bit Groupe de tuy res HS 32 Membre transversal Tige de tuy res 44 Figure 28 Groupe de tuy res HS 32 Pour d monter le groupe de tuy res 1 a cs Le D vissez et enlevez l crou hexagonal maintenant en place le chapeau refroidi Notez son orientation avant l enl vement Enlevez le chapeau refroidi ou le d flecteur halo comme d crit dans la section Chapeau refroidi la page 40 Enlevez l crou la rondelle et le chapeau de tuy res sup rieur de la tige centrale de tuy res A l aide du membre transversal maintenant expos et de l quipement de levage appropri soulevez l ensemble du groupe de tuy res pour le sortir du corps de la pompe en laissant la tige de tuy res en place Enlevez la protection du 2 me tage Enlevez les deux crous du membre transversal et soulevez le 2 me t
57. nlever les vis de fixation de l tape suivante inscrivez une marque de r f rence au niveau de l interface pour assurer la correspondance avec les orifices d origine lors du remontage 7 Enlevez les vis de fixation situ es entre les tuy res des 3 me et 4 me tages Conservez bien les vis Veillez ce que les entretoises des tuy res ne soient pas endommag es 8 Enlevez les tuy res du 4 me tage de la base de tuy res 9 Nettoyez correctement toutes les pi ces Pompes a diffusion haut d bit Pour remonter le groupe de tuy res 1 Replacez les tuy res du 4 me tage sur la base de tuy res 2 Replacez et serrez uniform ment les vis de fixation situ es entre le 4 me tage et la base de tuy res et selon un mod le cyclique NOTE Les espacements entre les jets sont pr d finis en usine et contr l s par des entretoises fix s aux tages respectifs 3 Replacez les tuy res du 3 me tage sur le 4 me tage 4 Replacez et serrez uniform ment les vis de fixation situ es entre le 3 me tage et le 4 me tage et selon un mod le cyclique 5 Replacez la protection du tage Chapeau refroidi Vis de fixation Chapeau refroidi Montage Tige de tuy res Contre crou Installez le groupe de tuy res inf rieur dans la pompe V rifiez que le groupe inf rieur repose fermement sur la pompe l jecteur tant correctement positionn Pour un alignement correct u
58. ns la tubulure de vide primaire la faible dela pompe m canique la d composition du iquide de la pompe m canique Eau dans le serpentin de Refroidissement Rapide V rifiez et annulez la cause Aspiration lente Faible entr e de chaleur V rifiez les l ments chauffants Niveau de fluide bas Ajoutez du fluide Disfonctionnement du groupe de pompage Tuy res mal positionn es Syst me de tuy res endommag V rifiez et r parez ou remplacez A coups de la pression d admission Admission incorrecte de l l ment chauffant V rifiez et corrigez D gazage de fluide Conditionnez le fluide en actionnant la pompe pendant quelques heures Fuite dans le syst me avant l admission de la pompe V rifiez et corrigez Forte contamination du fluide dans la chambre Niveau lev du vide pr alable basse pression V rifiez les fuites dans la tubulure la faible performance de la pompe m canique la d composition du fluide et le fonctionnement incorrect des vannes Fonctionnement prolong dans la plage de surcharge Suivez les proc dures de fonctionnement Coupure de la pompe primaire trop t t pendant le cycle d aspiration Coupure au niveau d une pression de chambre inf rieure Fonctionnement incorrect du syst me et proc dure de d gagement d air Suivez les proc dures de fonctionnement La pompe ne d marre pas 50 Les circuits de s
59. ntra ner une toxicit mod r e V rifiez toujours que les proc dures de nettoyage sont r alis es dans des salles grandes et bien a r es L utilisation d un appareil respiratoire autonome peut tre n cessaire selon le type de solvant et la concentration de vapeur dans l air ambiant Compos s nocifs et corrosifs Pendant le pompage de produits chimiques de vapeurs ou de gaz nocifs r actifs et ou corrosifs le fonctionnement et la r g n ration corrects n assurent pas toujours l limination totale de toutes les substances dangereuses Si des gaz vapeurs produits chimiques ou m langes combustibles dangereux sont pomp s le volume restant pendant le fonctionnement ou apr s la r g n ration peut tre suffisant pour provoquer des blessures graves voire un d c s Fluides de pompage La surchauffe d un fluide de pompage son exposition l air ou des substances r actives ou sa pressurisation excessive au del de la plage de fonctionnement normale environ 1x10 Torr 1 3x10 mbar d composent le liquide et peuvent le rendre toxique Ce fait est particuli rement vrai pour les fluides reflu s des pompes m caniques qui sont plus volatils instables La surchauffe de fluides de pompe m canique reflu s ou introduits accidentellement ne peut tre vit e par des rupteurs thermiques concus pour le fluide d une pompe diffusion Gaz de process Les gaz de process sont souvent toxiques inflammables corrosi
60. nverse puis proc dez comme suit pour obtenir une pompe propre et remont e 2 Nettoyez correctement les brides d interface et d entr e et les rainures de joints toriques avec de l ac tone ou de l alcool en utilisant des chiffons propres et non pelucheux 3 Enlevez toutes les traces d ac tone et d alcool en s chant correctement tous les composants en 15 Pompes a diffusion haut d bit particulier les rainures de joints toriques l air comprim propre sec et exempt d huile 4 R installez la bague ronde d tanch it 16 Pompes a diffusion haut d bit Branchements du syst me et des utilitaires AVEHIBSEVENT La panne d un utilitaire peut provoquer une surchauffe endommager l quipement ou le faire exploser Concevez votre syst me de mani re prot ger le personnel et le mat riel de ces dangers Branchements du vide Le corps de la pompe doit tre install d aplomb la verticale V rifiez que la bride de raccordement du syst me est horizontale 1 Dans le cas contraire corrigez le montage du syst me avant d installer la pompe Pour brancher la connexion de vide 14 Essuyez les joints toriques avec un chiffon propre l g rement imbib de fluide de pompe diffusion N utilisez aucun solvant Installez le joint dans sa rainure Veillez ne pas endommager la surface d tanch it par des coupures d chirures ou raflures Soulevez la pompe l aide d un apparei
61. oodt a cui se rifersce questa dichiarazione conforme alla e sequente Il norma o documento l normativo i VMF 11 M 2 VHS 6 HS 16 AX 65 M 4 VHS 250 HS 20 AX 150 VHS 4 VHS 10 HS 32 HS 2 M 6 VHS 400 NHS 35 Directive sur la basse tension 73 023 CEE EN 61010 1 Dispositions sur la s curit de l quipement lectrique de mesure de contr le et d utilisation en laboratoire y compris les amendements num ros 1 et 2 Frederick Campbell Directeur de l exploitation Varian Vacuum Technologies Lexington Massachusetts USA Mars 2003 Pompes a diffusion haut d bit Cette page a t laiss e intentionnellement vierge Pompes a diffusion haut d bit Dangers des pompes diffusion Les concepteurs de syst mes avec pompes diffusion doivent liminer autant que possible les dangers Pour les dangers qui ne peuvent tre limin s des avertissements des proc dures et des instructions sur l utilisation et l entretien corrects sont fournis Veuillez utilisez les protections les fonctions de s curit et les verrouillages recommand s Consultez le Tableau 1 pour conna tre la liste des dangers g n riques et des mesures recommand es le Tableau 2 la page 2 pour connaitre la liste des actions interdites qui peuvent provoquer des explosions et le Tableau 3 la page 3 pour connaitre la liste des dangers de pressurisation qui peuvent endommager l quipement L installation le fonctionnement
62. ous assurer que le personnel n entrera pas en contact ou n ing rera pas le fluide Q Admission d air atmosph rique pendant le fonctionnement de la pompe Une fuite d air dans le syst me permet l oxyg ne de p n trer dans la vapeur de fluide et augmente les risques d explosion Si le maintien du vide est difficile r alisez un essai de fuite N utilisez pas la pompe avant que la fuite ne soit d tect e et r par e La charge de fluide recommand e pour chaque pompe est indiqu e dans le Tableau 4 la page 6 Les fluides peuvent tre stock s dans des conteneurs propres et tanches et doivent tre clairement identifi s selon leurs types Ne m langez pas les fluides d origines et de types diff rents En g n ral il est mal venu de m langer un fluide us et neuf pour une charge de pompe ATTENTION L utilisation du fluide de pompe diffusion Santovac 5 n est pas conseill e dans ces pompes ni l emploi d hydrocarbures Pompes a diffusion haut d bit Pour ajouter ou remplacer le fluide de pompage 1 3 Rep rez les raccords de remplissage et de purge sur le sch ma d encombrement appropri Reportez vous aux Figure 6 la page 9 Figure 9 la page 12 Les raccords sont quip s de bouchons joint en lastom re Viton V rifiez que l alimentation vers les l ments chauffants est coup e ATTENTION Attendez que la pompe refroidisse puis d chargez la dans l atmosph re
63. r 1x10 Torr S curit pendant le nettoyage Le nettoyage d une pompe diffusion implique l utilisation d ac tone et d alcool qui sont des produits toxiques et explosifs Retenez bien les informations et avertissements suivants avant d entamer le nettoyage Lorsqu ils sont chauff s pulv ris s ou expos s un quipement haute temp rature ces solvants deviennent inflammables et explosifs entrainant des blessures graves voire un d c s Lorsqu ils sont chauff s ou pulv ris s l ac tone ou l alcool deviennent 4 5 fois plus lourds que l air et chutent se d posant dans les r servoirs les puits et les zones basses d pla ant l air provoquant ainsi un d c s par asphyxie L ac tone l alcool et autres solvants sont des produits irritants narcotiques d presseurs et canc rig nes Toute inhalation et ingestion peuvent avoir des effets graves Un contact prolong ou continu avec la peau entra ne l absorption par la peau ainsi qu une toxicit mod r e AVERIBSEVENTS Ne les utilisez pas proximit d une source haute temp rature Q Utilisez toujours une grande salle bien a r e et ventilez la zone de travail avec un ventilateur Q Portez une protection pour les yeux des gants et autres v tements de protection L utilisation d un appareil respiratoire autonome peut galement tre n cessaire D montage pour le nettoyage initial Cette proc dure implique le nettoyage de
64. re un entretien Portez toujours des gants et des v tements appropri s et utilisez un appareil respiratoire autonome Des compos s nocifs ou corrosifs peuvent tre pr sents lors de l ouverture du remplissage ou de la purge Le risque d explosion est lev si la purge ou le remplissage est ouvert quand la pompe fonctionne ou qu elle est chaude Pour r aliser la maintenance g n rale proc dez comme suit 1 V rifiez l tat et le niveau du fluide quand la pompe est froide Pr levez un chantillon par la purge et inspectez visuellement le niveau de fluide via le verre indicateur Une l g re d coloration du fluide n affecte par la performance de la pompe Utilisez des joints toriques neufs quand vous replacez les bouchons de remplissage et de purge Une perte de fluide peut d couler de Q une admission excessive d air ou autre gaz dans une pompe chaude un refroidissement par eau inadapt un fonctionnement continu dans la plage de surcharge comme indiqu dans le Tableau 4 la page 6 Q une incapacit r ins rer la chicane de la tubulure de vide primaire NOTE La pompe H5 32 n est pas quip e d une chicane Quand la pompe est froide v rifiez que les l ments chauffants sont bien boulonn s la t le de chaudi re et que toutes les connexions des bornes des l ments chauffants sont bien serr es dans la boite bornes V rifiez l entr e totale de puissance des l ments
65. rical Thermal Switch Enclosre 635 25 3e EPT Cold Cap Connections Far Side NW25 Gauge Port 14 Water Connection Far Side Electrical 48 1219 Thermal Switch Enclosre oe CR 38 Quick optional Diam ext Sight Glass w Fill and Drain Flange 4 ASA Foreline 8 x 6 75 Holes on 67 50 B C Tableau 7 HS 20 Dimensions et poids Hauteur minimale comprenant l espacement pour l acc s l l ment chauffant Unit s pouce mm Poids livres kg 600 272 2 Branchements Corps et tubulure de vide primaire Serpentins de Refroidissement Rapide 14 Water Connection Figure 7 Vue g n rale de HS 20 avec les brides ASA Tableau 8 Dimensions des brides de HS 20 ASA pouces pouces 1 4 FPT 3 8 FPT Unit s pouce mm Admission 27 50 698 5 Tubulure de vide primaire 9 00 228 6 27 17 690 1 Admission 630 K Tubulure 160 K 7 09 180 1 Diam int pouce mm 21 25 539 8 5 06 128 5 21 25 539 8 5 06 128 5 Epaisseur pouce mm 1 12 28 5 0 75 19 1 0 78 19 8 0 47 11 9 Cercle de boulonnage pouce mm 25 00
66. riche Varian Deutschland GmbH Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Allemagne T l 49 6151 703 353 Fax 49 6151 703 302 Inde Varian India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 Inde T l 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italie Varian Inc Via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italie T l 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 12 04 Bureaux de ventes et de services Japon Varian Inc Sumitomo Shibaura Building 8th Floor 4 16 36 Shibaura Minato ku Tokyo 108 Japon T l 81 3 5232 1253 Fax 81 3 5232 1263 Cor e Varian Technologies Korea Ltd Shinsa 2nd Building 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Cor e 135 280 T l 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Mexique Varian S A Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F T l 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 Russie Coordination centrale par le biais de Varian Inc via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italie T l 39 011 997 9 252 Fax 89 011 997 9 316 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd 18F 13 No 79 Hsin Tai Wu Road Sec 1 Hsi Chih Taipei Hsien Taiwan R publique de Chine T l 886 2 2698 9555 Fax 886 2 2698 9678 Royaume Uni et Irlande Varian Ltd 28 Manor Road Walton On Thames Surrey KT 12 2QF Royaume Uni T l 44 1932
67. rifiez que le mouvement de d charge de pression est limit aux enveloppes s curis es Pour r aliser l essai de vide initial 1 Confirmez les caract ristiques de la pression de vide limite de la pompe primaire Elle doit tre proche de la valeur indiqu e sur la fiche technique du fabricant si la pompe m canique est correctement install e r gl e et remplie de fluide propre Mesurez la pression avec un manom tre indiquant constamment la pression totale comme un capacim tre ou un appareil thermocouple Branchez la sortie ou tubulure de vide primaire de la pompe diffusion l admission de la pompe primaire l aide de connexions tanches sous vide La proc dure diff re pour les syst mes valve et sans valve Q Pour un syst me valve Fermez la vanne de pr vidage et la vanne d isolement principale situ es avant la pompe diffusion Q Pour les syst mes sans valve Int grez l ensemble de la chambre de travail dans l essai D chargez le syst me uniquement l aide de la pompe primaire Laissez la pompe atteindre la pression limite du syst me Cette lecture doit indiquer peu pr s la valeur obtenue l tape 2 ci dessus en g n ral 10 50 microns 0 013 mbar 0 067 mbar Si la pompe n atteint pas ce niveau recherchez les fuites du syst me en suivant les proc dures standards de d tection des fuites Ces proc dures d pendent du type de vacuom tre et d quipement
68. rique en graphite pour verre indicateur L9228001 4 joints toriques Viton 2 221 695472008 Fluide de pompe a diffusion DC 702 1 gallon 3 7854 litres 695474008 Fluide de pompe a diffusion DC 704 1 gallon 3 7854 litres 695475008 Fluide de pompe a diffusion DC 705 1 gallon 3 7854 litres 53 Pompes a diffusion haut d bit Tableau 19 Pi ces de rechange NHS 35 Num ro de pi ce Descriptif 81437301 Chapeau refroidi comprend une vis n 10 32 SST Rd Hd et un crou hexagonal n 10 32 SST 660811494 Joint pour chapeau refroidi F2622001 Fouloir pour chapeau refroidi laiton 75786001 Ecrou pour chapeau refroidi 622445026 Accouplement femelle de chapeau refroidi tube de diam ext 1 2 x 3 8 FPT raccord Flex Imperial n 66 FL F1971302 Groupe de tuy res F1744301 Chicane de la tubulure de vide primaire F6097301 Kit d entretien pour verre indicateur comprend un tube en verre des joints toriques et des raccords valves non incluses Pour pompes fabriqu es avant octobre 1995 77261001 Bouchon filet remplissage et purge K9050005 Rupteur thermique sup rieur r glage de la temp rature 93 33 C K9050006 Rupteur thermique inf rieur r glage de la temp rature 315 56 C 647335010 El ment chauffant avec fils 4000 W 240 V 415 V 480 V L6383010 El ment chauffant avec fils 4000 W 400 V L6383011 El ment chauffant avec fils 4000 W 440 V F1749001 Plaque d
69. s l ments suivants Q Groupe de tuy res Q Bouchons de purge Q Verre indicateur Q Int rieur de la pompe Pour d monter la pompe 1 Enlevez le chapeau refroidi comme d crit dans la section Chapeau refroidi la page 40 2 D montez du corps de la pompe le syst me de tuy res interne en suivant la proc dure correcte Groupe de tuy res la page 41 3 Enlevez les bouchons de remplissage et de purge et le verre indicateur avec son joint torique et son joint en graphite Mettez le joint torique de c t car il ne doit pas tre nettoy avec un solvant fort L alcool l ac tone et autres solvants endommagent les mat riaux des joints toriques r duisant leur capacit maintenir un vide Si un joint torique doit tre nettoy essuyez le avec un tissu propre et non pelucheux nettoyez le dans un m lange d eau et de d tergent ou utilisez une petite quantit de fluide de pompage ATTENTION N utilisez pas un solvant sur les joints toriques 4 Nettoyez correctement tous les composants du groupe de tuy res et de l int rieur du corps de la pompe mais pas les joints toriques avec de l ac tone suivi d un rin age l alcool 5 Enlevez toutes les traces de liquide de nettoyage en s chant correctement tous les composants l air comprim propre sec et exempt d huile Remontage apr s le nettoyage initial Pour remonter la pompe 1 Suivez la proc dure de d montage des tapes 1 3 en sens i
70. sabilit de quelque nature ce soit en vertu d une quelconque garantie expresse ou implicite de fait ou de droit l gale ou autre Aucune d claration quel qu en soit l auteur y compris les repr sentants du Vendeur qui est non conforme ou en contradiction avec les dispositions de la pr sente garantie ne lie le Vendeur moins qu elle n ait t faite par crit et approuv e par un directeur du Vendeur Mise en garde Le fonctionnement et la maintenance de cet quipement impliquent des risques s rieux L utilisateur est responsable de pr server un environnement de fonctionnement s curis tout instant Varian n accepte aucune responsabilit pour des blessures ou dommages d coulant du fonctionnement ou de l entretien de cet quipement Varian ne peut contr ler l utilisation de cet quipement et n est donc pas responsable des blessures ou dommages d coulant de son utilisation L utilisateur est seul responsable de la s curit en mati re d utilisation et d vacuation des substances dangereuses ou potentiellement dangereuses de quelque nature que ce soit Respectez tous les AVERTISSEMENTS et PRECAUTIONS pour minimiser les dangers graves Les utilisateurs de l quipement Varian sont seuls responsables du respect des obligations locales nationales et f d rales applicables leur syst me en mati re de s curit lois et r glementations Utilisez les services d un hygi niste industriel et ou d un ing
71. sion haut d bit Surchauffe D tection par des rupteurs thermiques Une surchauffe est d tect e par deux rupteurs thermiques normalement ferm s l un contr lant la temp rature de la chaudi re et l autre la temp rature de l eau Ces rupteurs thermiques sont r gl s en usine et ne n cessitent aucun r glage Les temp ratures d arr t pour les rupteurs thermiques de l eau et de la chaudi re sont indiqu es dans le Tableau 14 Tableau 14 Temp ratures des rupteurs thermiques Rupteur de l eau Rupteur de la chaudi re 20 Cablez la pompe pour que si les contacts s ouvrent sur le rupteur de la chaudi re ou de l eau l alimentation vers la pompe s arr te Si cela se produit pendant le fonctionnement v rifiez une des pannes mentionn es ci dessous Quand le probl me est corrig et que la temp rature a baiss le rupteur thermique est automatiquement r initialis Une augmentation de la temp rature de la pompe peut provenir de Q une panne du d bit d eau de refroidissement Q une pression d admission lev e Q un niveau de fluide faible dans la chaudi re Si vous d terminez que la pompe n a pas surchauff que le rupteur thermique est tomb en panne ou qu il n est plus correctement talonn remplacez le par le composant sp cifique votre pompe indiqu dans le tableau appropri des Pi ces de Rechange page 51 page 54 ATTENTION Les rupteurs thermiques desti
72. t r gie en partie par la taille de l admission Le gaz migre par un mouvement thermique et il est captur et ject abaissant ainsi la pression dans la cuve d vacuation Les grandes pompes diffusion atteignent un vide en utilisant un groupe de tuy res cinq tages compos de quatre tages de diffusion et d un tage d jection Le chapeau refroidi et le corps sont refroidis par eau Les serpentins de Refroidissement Rapide en acier inoxydables option suppriment rapidement l bullition en refroidissant l l ment chauffant ils n cessitent une alimentation en eau munie de vannes ind pendantes Caract ristiques de fonctionnement Les Caract ristiques de Fonctionnement des grandes pompes diffusion sont sp cifi es dans le Tableau 4 la page 6 Les graphiques des Figure 2 Figure 5 la page 8 indiquent la vitesse et le d bit de l air en tant que fonction de la pression d admission Les dimensions de la bride d entr e qui est reli e au systeme purger sont indiqu es dans les Tableau 6 la page 9 Tableau 12 la page 12 NOTE Les donn es du Tableau 4 la page 6 font r f rence aux pompes charg es avec le fluide de pompe diffusion DC 704 Pompes a diffusion haut d bi Do 9 9c OS SL uoissiulpe p oun e juoeulessipIoJJ9J nea p dW1 ojnuiu uo je gseydin ZH 09 05 VD enbug e e eouessing 000 0 gt
73. tention ou d un emballage incorrect ou d une freinte de route nonobstant tout vice ou d faut de conformit du Produit Dans tous les cas l unique responsabilit incombant au Vendeur consiste d terminer la cause et la nature du d faut et la d cision du Vendeur cet gard est d finitive S il apparait que le Produit du Vendeur a t retourn sans cause et qu il est toujours utilisable le Client recoit une notification et le Produit est retourn ses frais en outre des frais de test et d examen peuvent tre factur s au titre des Produits ainsi retourn s 3 1 00 Pompes a diffusion haut d bit Instructions d utilisation Cet quipement est concu uniquement pour les professionnels L utilisateur doit lire ce manuel d instructions et toute autre information suppl mentaire fournie par Vacuum Technologies avant d utiliser cet quipement Vacuum Technologies ne peut tre tenu responsable d un v nement d coulant du non respect de ces instructions d une utilisation incorrecte par des personnes non qualifi es d interf rence non autoris e avec l quipement ou de toute action contraire aux mesures approuv es par des normes nationales sp cifiques Ce manuel utilise le protocole de s curit standard ci apr s AVEHIBSEVENT Les messages d avertissement sont destin s attirer l attention de l op rateur sur une proc dure ou une pratique particuli re qui si elle n est pas suivie correctement peut
74. teur halo comme d crit dans la section Chapeau refroidi la page 40 D vissez le chapeau de tuy res sup rieur et enlevez le Enlevez l entretoise et le bouchon orifice du groupe de tuy res sup rieur Soulevez le 2 me tage et la protection de tuy res au dessus de la tige filet e centrale des tuy res A l aide des deux boulons oeil maintenant accessibles et de l quipement de levage appropri soulevez l ensemble du groupe de tuy res inf rieur pour le sortir du corps de la pompe en laissant la tige de tuy res en place Enlevez la protection du 3 me tage 9 10 11 Enlevez les crous de fixation et soulevez le 3 me tage et le tube de fractionnement pour les d tacher du 4 me tage Enlevez la protection du 4 me tage Enlevez les crous de fixation et s parez le 4 me tage de la base de tuy res Nettoyez et effectuez la maintenance n cessaire Pour remonter le groupe de tuy res 1 Si la tige de tuy res centrale a t enlev e ou desserr e pendant le d montage revissez la dans la t le de chaudi re Le sommet de la tige doit tre environ 2 3 mm sous la surface sup rieure de la bride d entr e le plan d admission de la pompe Une fois correctement plac e utilisez l crou pr t de la t le de chaudi re pour bloquer la tige en place 2 Inversez les tapes 7 10 ci dessus pour remonter le groupe de tuy res inf rieur 3 En utilisant les deux
75. tubulure de vide primaire Serpentins de Refroidissement Rapide 1 4 FPT 1 4 FPT pouces pouces nchements du chapeau refroidi 43 00 1092 KEE typiques serpentin de refroidissement de la tubulure de vide primaire Verre indicateur avec remplissage et purge 1 4 EP T Serpentins de Refroidissement Rapide option Figure 6 Vue g n rale de HS 16 avec les brides ASA Tableau 6 Dimensions des brides de HS 16 ASA ISO Tubulure de Unit s Admission vide primaire Admission 500 K Tubulure 100 K Diam ext pouce mm 23 50 596 9 7 50 190 5 21 65 549 9 5 12 130 1 Diam int pouce mm 18 00 457 2 3 58 90 9 18 00 457 2 3 58 90 9 Epaisseur pouce mm 1 00 25 4 0 50 12 7 0 67 17 0 0 47 11 9 Cercle de boulonnage pouce mm 21 25 539 8 6 00 152 4 Nb d orifices 16 4 Taille des orifices pouce mm 1 13 28 7 0 75 19 1 Orientation Les orifices sont sur l axe central de la tubulure de vide primaire Rainure pour Diam int pouce mm 18 69 474 7 4 31 109 5 N cessite une Rondelle N cessite une Rondelle joint Largeur pouces mm 0 37 9 4 0 30 7 6 NW 500 non comprise NW 100 non comprise Profondeur pouces mm 0 18 4 6 0 14 3 6 avec la pompe avec la pompe Pompes a diffusion haut d bit Thermal Switch Enclosre 20 ASA Inlet Flange 20 x 61 25 Holes on 625 00 B C 38 Cold Cap Connections Elect
76. vertu de la pr sente garantie cesseront en cas d abus d accident de modification ou d une utilisation impropre ou n gligente de l quipement Les pi ces sous garantie r par es ou remplac es sont garanties uniquement pendant la dur e r siduelle non expir e de la p riode de garantie d origine applicable aux pi ces r par es ou remplac es Apr s expiration de la p riode de garantie applicable le Client est factur aux prix alors en vigueur pour les pi ces la main d ceuvre et le transport Quand les produits sont utilis s avec des substances chimiques toxiques ou dans une atmosph re dangereuse la sant ou qu ils sont n fastes pour environnement le Client est responsable de faire nettoyer ces produits par une agence ind pendante comp tente et approuv e pour la manutention et le nettoyage de mat riaux contamin s avant que les produits ne soient accept s par Varian Inc pour r paration et ou remplacement Pour viter les risques il faut faire preuve de pr cautions raisonnables Le Vendeur rejette express ment toute responsabilit en cas de perte ou de dommages caus s par une utilisation de ses Produits qui n est pas conforme aux proc dures d exploitation correctes Sauf comme stipul dans les pr sentes le Vendeur n accorde aucune garantie expresse ou implicite de fait ou de droit l gale ou autre et sauf sp cification dans les pr sentes le Vendeur n encourt aucune respon
77. yage initial 14 Remontage apr s le nettoyage initial 14 Branchements du syst me et des utilitaires 15 Branchements du vide 15 Eau de refroidissement 15 Branchements lectriques 17 Surchauffe d tection par des rupteurs thermiques 18 Essai de vide initial 31 Ajout ou remplacement du fluide de pompage 32 34 Proc dure de d marrage 35 Proc dure d arr t 35 Maintenanee ees wee date du dia onda he Sim UR 36 Inspections p riodiques 36 c x Led tesco ides vire em eir bem ds 37 S curit pour le nettoyage 37 Proc dures de d montage et de remontage 38 Chapeau refroidi 38 Groupes de tuy res 39 Proc dure de remplacement de l l ment chauffant 45 D tection des pannes 46 FUNES soc e dde debent PE ERU oS ed 46 D gazage dus 46 Faible performance de la pompe ou du syst me 47 Pi ces de rechange 48 Pompes a diffusion haut d bit Liste des figures Figure L gende ND Pompe diffusion HS 20 Courbes de vitesse et de d bit de HS 16 8 1 kW 8 Courbes de vitesse et de d bit de HS 20 8 Courbes de v

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