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1. C 22 0 05 0 3MPa 0 05 0 7MPa 0 05 0 5MPa 1 1 X2. 1 1 4 UJR VCR CVC 1 5 W Seal 0 05 0 3MPa 0 05 0 7MPa 0 05 0 3MPa 0 05 0 5MPa 1 5 50L min 70L min 20L min 15L min 40L min 5 40C 5 50C 500g 1 10 eS 6 1 1 0MPa 2 1 0MPa XR66 0 5MPa XR66 ae 0 700 0 6
3. XR66 Z20 XR66 Z25 15 0 1 15 0 1 1 4 9 16 18UNF 16 X 18 5 19 x 21 9 mm XR66 0J1 XR66 0L1 17 X 19 6 19 x 21 9 15 8 x 18 2 19 x 21 9 XR66 0ON1 XR66 0Q1 XR66 0W1 XR66 0Y1 No lxlxlxlxlxlxlxl_ 0 OO QO a i 1 4 VCR 1 4 VCR 1 4 UJR 1 4 UJR 1 4 CVC 1 4 CVCC 1 5 W Seal lt 0 6 SUS316L C 22 SUS316L C 22 SUS316L
4. 00 0 250 ji 0 500 0 200 Ei 0 400 0 150 CE ME ac Pbe 0 300 EE 0 100 SN 1 Io2oo 90050 a 0 000 0 100 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 0 000 L min N2 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 3 1 0MPa XR66 0 5MPa 0 500 0 3MPa 0 450 0 400 0 350 0 300 1 0 250 0 200 io 0 150 MPa 7 7 1 I I Giog 1 1 1 1 TEL _ 1 1 RD 0 050 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 55 60 65 70 L min N2 115 XR66 0 2 XM5 5 1 118 VCR VCR UJR UJR CVC CVC
5. CatNo C01 08 G 4 CO ee oge XR66 C0 act Pressure Regulator 1 5 20L min 50L min 3 1mL UC FRESSURE REeuuTO Lt uz C 22 a 1 a UC Ultra Clean SUS316L C 22 SUS316 CTFE 1x10 11 Pa m3 s 0 1um
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