メカニカルステージ Z軸ステージ［ブラケット型］ ［取扱説明書］ 1 使用上の
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1.2.
3. 2 4 is 1 1 lh a 1
4. ca LZ 326 LZ 335 LZ 347 ws LZ 626 LZ 635 LZ 645 LZ 647 LZ 926 LZ 935 LZ 945 LZ 947 LZ 126 LZ 135 LZ 145 LZ 147 ES 101 0063 1 9 TEL 03 3257 1911 FAX 03 3257 1915 2 Z LZ 947 R1 2006 04 03 ADV A002 B015
5. 2 Z LZ 347 S1 LZ 347 R1 LZ 447 S1 LS 447 R1 LZ 447 S8 LZ 447 R8 LZ 647 S1 LZ 647 R1 LZ 647 S8 LZ 647 R8 LZ 947 S1 LZ 947 R1 LZ 147 S1 LZ 147 R1 Z 1 30mm x 30mm 40mm Xx 40mm 60mm x 60mm 90mm x 90mm 125mm x 125mm CMH 6 5F CMH 13R CMH 13R CMH 15F MHN1 25T 3mm 3mm 6 5mm 6 5mm 3mm 3mm 6 5mm 6 5mm 3mm 3mm 7 5mm 12 5mm 0 01mm 0 002mm 0 01mm 0 002mm 0 01mm V 0 003mm 14 7N 1 5kgf 19 6N 2kgf 29 4N 3kgf 0 1kg 0 21kg 0 52kg 0 91kg 1 9kg 0 05mm Z Z LZ 326 S1 LZ 626 S1 LZ 926 S1 LZ 126 S1 LZ 335 S1 LZ 335 S5 LZ 635 S1 LZ 635 S2 LZ 645 C1 LZ 645 C2 LZ 935 S1 LZ 935 S2 LZ 945 C1 LZ 945 C2 LZ 135 S1 LZ 135 S2 LZ 145 C1 LZ 145 C2 Z 1 30mmX30mm 60mm x 60mm 90mm x 90m 123m x 125m 30mm x
6. 30mm 60mm x 60mm 90mm x 90mm 125mm x 125mm CMH 6 5F CMH 15F CMH 15F MHNL25T CMH6 5F CMH 12S CMH 15F MHF2 13 CMH 15F MHF2 13 CMH 15F MHF2 13 CMH 15F MHF2 13 MHN1 25T MHF2 13 MHN1 25T MHF2 13 25mm 5mm 7 5mm 12 5mm 25mm 0 5mm 5mm 7 5mm 5mm 7 5mm 5mm 125mm 5mm 12 5mm 5mm 001m 001mm 001Imm 001mm 001Im 001m 001mm 001mm 001mm 001mm 001mm 001mm 001mm 001mm 001mm 001mm 001mm 001mm 0 0005mm 0 0005mm 0 0005mm 0 0005mm 0 0005mm 0 0005mm V V V V V V 0 002mm 0 002mm 0 003mm 001mm 0 02mm 0 003mm 25 0 003mm 15 0 004mm 15 98N 1kg 196N 2kgf 29 4N 3kgf 9 8N 1kgf 19 6N 2kgf 29 4N 3kgf 0 065kg 0 47kg 0 79kg 1 29kg 0 175kg 0 9kg 1 9kg 4kg 0 05mm Z
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