Bedienungsanleitung TEM Philips EM 208
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1. BLy lower beam coils x undy OBJ Objektive SOa SOb Objektiv Stigmatoren INT Intermedi re Linse PRO Projektivlinse LOAD page Gespeicherte Ger te Daten z B Justierung k nnen geladen werden START ist die zuerst gemachte Einstellung Ansonsten findet man die Dateinamen der zuvor abgespeicherten Datens tze Mit F8 kann man die Seite verlassen mit F4 kann man eine Datei l schen Nach dem 10 abgespeicherten Datensatz muss ein alter Datensatz gel scht werden Es ist zur Sicherheit m glich auch alte Datens tze auf Floppys aufzubewahren Default Werkseinstellung N heres siehe Originalbedienungsanleitung 1 25 SAVE page Auf dieser Seite k nnen die Daten der Justierung gespeichert werden Mit dem Keyboard kann ein Dateiname vergeben werden Achtung DOS Benennung max 8 Zeichen F5 Datei auf Floppy sichern RECORDS VIEW page Siehe Bedienungsanleitung 1 27 MS DOS page Diese Funktion ist nur dem Administrator zug nglich COMMENT pages General comments In benahe allen Men und Operation Seiten kann eine allgemeine Bemerkung verfasst werden Taste C dr cken Damit wird ein Fenster ge ffnet und es kann ein Text der 4 Zeilen Lang und je 24 Zeichen breit st verfasst werden Weitere Angaben 1 28 1 30 06 09 2007 11 Die digitale Kamera Die Kamera wird elektronisch gek hlt sie hat deshalb weder eine Vorlaufzeit noch eine Nachlaufzeit e DELL Computer einschalten e Wenn der rote Kippschalter an der CAMERA CO2. Justierung wird das Rotationszentrum der Objektivlinse auf die niedrige Vergr erung LM und den mittleren Bereich der Hohen Vergr erung HM abgestimmt Wird CURR CENTER gew hlt wobbelt das Bild Die Wobbel Geschwindigkeit kann mit STEPSIZE eingestellt werden Mit den Kn pfen MULTI X MULTI Y wird die Bildbewegung minimiert Dies f r die gew nschten Vergr erungen wiederholen VOLT CENTRE Normalerweise ist diese Justierung nicht notwendig Sollte dieser Schritt durchgef hrt werden dann wird die Justierung CUR CENTER wieder verstellt In niedrigerVergr erung LM und im mittleren Bereich der Hohen Vergr erung HM wird mit STEPSIZE die Amplitude gew hlt und mit den Kn pfen MULTI X MULTI Y die Bildbewegung minimiert 06 09 2007 6 ZERO GUN Normalerweise ist diese Justierung nicht notwendig Wird sie gemacht dann wird der Wert der Gun Ablenkspulen auf O gesetzt ZERO BEAM Setzt die beam Ablenkspulen auf 0 PROCEDURES Dies st eine Vollst ndige Justierung mit Unterst tzung des Computers Die Vorgehensweise wird dabei Schritt f r Schritt auf dem Bildschirm des Steuercomputers angegeben GUN COLUM OBJ STIGMATOR SPOT STIGMATOR C APERT ALIGN O APERT ALIGN GUN CONDIT Es ist jederzeit m glich die Justierung abzubrechen Dann werden die Ver nderungen wieder zur ckgesetzt Mann kann ebenfalls einzelne Schritte wieder zur cksetzen und neu beginnen Netzchen ausschleusen Die Filamentheizung ist zur
3. Verg 1 000x o Kein Pr parat im Strahlengang mit INTENSITY Knopf Cross Over einstellen mit INTENSITY Knopf Strahl im Uhrzeigersinn entspannen auf gleichm ige ffnung achten ffnet sich der Strahl unregelm ig dann mit Kondensorblenden Kn pfen justieren e Justierung der Objektivblende Verg 1 000x o Schnitt st im Strahlengang mit INTENSITY Knopf Cross Over einstellen Taste DIFFRACTION dr cken um ein Beugungsbild zu erhalten Objektivblende um den Strahl konzentrisch stellen Justierung im Detail im Men ALIGNMENT Dieses Men wir mit der Taste ALIGNMENT auf der linken Konsole eingeschalten GUN TILT Zuerst kontrollieren ob die S ttigung richtig eingestellt ist 1 000x Vergr erung w hlen Strahl auf Cross Over INTENSITY Wenn notwendig den Strahl zentrieren SHIFT X SHIFT Y Die Helligkeit maximieren MULTI X MULTI Y GUN SHIFT 1 000x Vergr erung w hlen SPOT SIZE 10 einstellen Strahl auf Cross Over INTENSITY einstellen Strahl zentrieren SHIFT X SHIFT Y Nun Schritt f r Schritt die Spotsize verringern und mit den MULTI X MULTI Y den Strahl zentrieren PIVOT POINT X Y Das Pr parat scharf stellen FOCUS den Strahl auf Cross Over INTENSITY einstellen Mit den Kn pfen MULTI X MULTI Y die dabei entstehenden hellen Flecken zur Deckung bringen Zuerst wird die x Achse korrigiert dann die y Achse CURR CENTER Zuerst kontrollieren dass die Objektivlinse zentriert ist DIFFRACTION Mit dieser
4. aber der Kamerateil durch die Rotationspumpe abgepumt damit keine Feuchtigkeit zu den Negativen gelangen kann Diese Art der Bel ftung sollte dann erfolgen wenn die S ule l nger als 30 Minuten bel ftet werden muss Ist die S ule bel ftet dann erscheint statt COLUM AIR COLUM VAC Mit diesem Befehl kann die S ule wieder evakuiert werden Das Ger t ist dann wieder Betriebsbereit wenn VAKUUM READY erscheint Camera AIR S ehe Bedienungsanleitung ALL AIR Es werden alle Teile des EMs bel ftet Diese Funktion wird dann verwendet wenn die Bel ftung nur sehr kurze Zeit dauert 10 Min Ist das Ger t bel ftet erscheint ALL VAC Damit kann dann das ganze Ger t wieder evakuiert werden CONFIGURATION PAGE Datumsanzeige Zeitanzeige Vacuumanzeige Remote Control Anzeige OBJECTIVE Die Werte der aktuell eingebauten Blenden CONDENSER Die Werte der aktuell eingebauten Blenden INFORMATION 06 09 2007 Microscope type Software configuration Product number Working hours HT hours Filament lifetime Date of filament change 10 FREE CONTROL page Auf dieser Seite k nnen die Linsenstr me eingestellt werde N heres siehe Bedienungsanleitung DAC SETTING page Auf dieser Seite kann man allgemeine Einstellungen berpr fen N heres siehe Bedienungsanleitung GUx Guy upper gun coils x und y GLx GLy lower gun coils x und y Cl Kondensor 1 C2 Kondensor 2 SCa SCb Kondensor Stigmatoren BUx BUy upper beam coils x und y BLx
5. h ren das ist normal Taste POWER OFF dr cken Eventuell Hauptschalter ausschalten ist nicht unbedingt notwendig Wasserk hlung l uft weiter 06 09 2007 Das Hauptmen Die Men f hrung erfolgt entweder ber die Tasten an der mittleren Konsole oder ber die Tastatur Mit den Pfeiltasten ist die Navigation innerhalb des Men s m glich Die aktuelle Position st dabei mit einem wei en Rahmen gekennzeichnet Mit der Taste ENTER wird die das gew nschte Untermen ge ffnet ist dann wei unterlegt Sollen Einstellungen ge ndert werden dann geschieht dies mit dem STEPSIZE Potentiometer Mit ENTER werden die Werte gespeichert und man verl sst das Untermen Operation Page INT LIMIT Verhindert dass ein sensibles Pr parat mit einer zu starken Strahlung belastet wird Den Intensit tsregler gegen den Uhrzeigersinn drehen wenn die maximal gew nschte Helligkeit erreicht ist dann INT LIMIT mit ENTER best tigen Eine h here Einstellung ist solange INT LIMIT gesetzt ist nicht mehr m glich INT ZOOM Die gew nschte Helligkeit wird bei verschiedenen Vergr erungen soweit m glich beibehalten Helligkeit einstellen INTENSITY SPOT SIZE und INT LIMIT setzen RST DEFOC Mit dieser Einstellung kann man den DEFOC Wert auf O setzen AUTOCON Wenn diese Funktion aktiv ist wird ein vorgew hlter Wert f r die Unterfokus Kontrastkontrolle eingestellt Dies kann dazu verwendet werden um den Kontrast zu erh hen DARK FIELD Z
6. Bedienunssanleitung TEM Philips EM 208 Einschalten e Der Hauptschalter befindet sich an der rechten Seite unterhalb der Tischplatte Von O auf I schalten falls er nicht ohnehin eingeschalten ist e Taste POWER ON auf der rechten Konsole dr cken Die Pumpe l uft ganz kurz an brummen Die Wasserk hlung ist momentan permanent eingeschalten Der Steuercomputer mit kleinem Monitor startet automatisch Login eingeben momentan SUPERVIS Passwort eingeben momentan SUPERVIS Mit MENU in das Hauptmen gehen Die Taste VACUUM ON auf der rechten Konsole dr cken Die ldiffusionspumpe startet und beginnt zu heizen das dauert etwa 30 Minuten Ist das Hochvakuum erreicht steht auf der Men seite VACUUM die Anzeige VAKUUM READY ab diesem Zeitpunkt sollte noch etwa 10 Minuten gewartet werden nach einiger Zeit erscheint eine Vakuumanzeige X x 10 Netzchen einschleusen Vakuum vorhanden HT ist noch ausgeschalten die beiden Kurbeln stehen auf 10 e Der Schleusenstab besteht aus 2 Teilen o Probenhalter h lt das Netzchen und verbleibt im Ger t wenn das Netzchen eingeschleust ist o Injektor h lt den Probenhalter dient dem Ein und Ausschleusen und sollte nach dem Probenwechsel aus der Schleuse entfernt werden da es sonst zu Problemen mit dem Vakuum kommen kann e Beide Teile im Besonderen aber der Probenhalter m ssen absolut sauber sein Aus diesem Grund darf er niemals mit den Fingern ber hrt werden e Den Schleusenstab auf die Haltevorri
7. NTROL nicht leuchtet dann einschalten e Windows XP startet automatisch e Programm ITEM starten TA e Bildfenster maximieren e F r das Fotografieren stehen momentan 3 voreingestellte Kameras zur Verf gung T m E o 1 Mega View III SEARCH zum schnellen Suchen ist live Belichtungszeit betr gt 50ms Das Bild ist relativ klein reicht aber aus um die Probenstelle zu wechseln und grob scharf zu stellen o 2 Mega View II FOCUS geeignet zum Scharfstellen Reaktion etwas verz gert Belichtungszeit betr gt 100ms o 3 Mega View III SNAPSHOT geeignet zum Fotografieren Reaktion langsam Belichtungszeit betr gt 500ms Das Scharfstellen erfordert etwas Geduld Geeignete Stelle zum Fotografieren suchen e Kameral ilinschalten e Kamera in den Strahlengang fahren entweder mit der gr nen Taste an der Kamerasteuerung oder mit den Icon I m ITEM Programm N PONS E BE K345 LO LEARN I T e Gew nschten Bildausschnitt suchen e Kontrollieren ob Ausleuchtung passt eventuell Strahl zentrieren e Grob scharf stellen e Kamera ll B einschalten und Sch rfe berpr fen e Kameran I G einschalten o Histogramm mT ffnen ist eventuell schon offen 10 100 0 Min 00 Mitte 33 7 Mas 100 0 u 1378 4095 UTO Faj Fa gt o Die Helligkeit so einstellen dass die Kurve so breit wie m glich und relativ mittig ist o Mit AUTO wird eine automatische Belichtung gew hlt Diese ist aber zumeist zu kontrastreich o Besse
8. chtung legen Dabei schaut der Stift nach oben e Mit einer feinen Pinzette n das kleine Loch n der Klemmvorrichtung des Probenhalters fahren und sie sehr vorsichtig nach oben klappen 06 09 2007 e Ein Netzchen mit der matten Seite nach oben n die daf r vorgesehene Vertiefung legen e Die Klemmvorrichtung mit der Pinzette vorsichtig schlie en e Den Schleusenstab in die Schleuse einf hren Wird der O Ring erreicht st ein leichter Widerstand zu berbr cken Dann Schleusenstab weiter f hren bis neuerlich e n Widerstand zu sp ren ist Der Stift befindet sich noch au erhalb der S ule e Den Schleusenstab m Uhrzeigersinn so drehen dass der Stift ber der rechten Ausnehmung steht und an dr cken e Ein rotes L mpchen leuchtet auf und erlischt erst wieder wenn die Pumpe die mitgef hrte Luft abgepumpt hat dauert einige Sekunden e Den Schleusenstab um etwa 5 gegen den Uhrzeigersinn drehen dabei sinkt er etwas in die S ule 06 09 2007 2 e Anschlie end den Schleusenstab gegen den Uhrzeigersinn um 180 drehen dabei wird er automatisch eingesaugt e Den gro en Knopf am Injektor dr cken damit der Propenhalter vom Injektor getrennt wird e Den Injektor mit gedr ckten Knopf ein St ckchen aus der S ule herausziehen Knopf loslassen Injektor bis zum Anschlag weiter ziehen Um 180 im Uhrzeigersinn drehen In dieser Position ist der Probenhalter im Strahlengang und der Injekto
9. ckgedreht die Hochspannung ist ausgeschalten die beiden Kurbeln stehen auf 10 e Den Injektor in die Schleuse einf hren Wird der O Ring erreicht ist ein leichter Widerstand zu berbr cken Dann Schleusenstab weiter f hren bis neuerlich ein Widerstand zu sp ren ist Der Stift befindet sich noch au erhalb der S ule e Den Injektor im Uhrzeigersinn so drehen dass der Stift ber der rechten Ausnehmung steht und an dr cken _ g e Fin rotes L mpchen leuchtet auf und erlischt erst wieder wenn die Pumpe die mitgef hrte Luft abgepumpt hat dauert einige Sekunden 06 09 2007 7 Den Injektor um etwa 5 gegen den Uhrzeigersinn drehen dabei sinkt er etwas in die S ule Anschlie end den Injektor gegen den Uhrzeigersinn um 180 drehen und festhalten Damit wird verhindert dass der Injektor ungebremst eingesaugt wird Den Knopf des Injektors gedr ckt halten und den Injektor langsam und kontrolliert in die S ule schieben Den gro en Knopf erst loslassen wenn der Injektor am Anschlag ist Damit wird der Probenhalter gegriffen Injektor bis zum Anschlag zur ckziehen Den Schleusenstab um 180 gegen den Uhrzeigersinn drehen Den Schleusenstab herausziehen und auf Haltevorrichtung legen Netzchen wechseln oder Arbeit beenden Ger t ausschalten Probenhalter ist ausgeschleust Filamentheizung ist abgedreht Hochspannung ist ausgeschalten Taste VACUMM OFF dr cken die Ventile sind sehr laut zu
10. eicher geladen und ist in der Galerie sichtbar o Von dort k nnen dann die Fotos einzeln oder alle gemeinsam auf der Festplatte gespeichert werden o Bitte die Fotos im Verzeichnis Eigene Dateien Eigene Bilder Bilder EM 208 im entsprechenden Unterverzeichnis abspeichern DEPARTMENT USER Das Entsprechende Verzeichnis liegt auch direkt am Desktop o Wird das Programm geschlossen oder st rzt der Computer ab dann sind alle noch nicht gespeicherten Fotos der Galerie verloren Fotografieren beenden Kamera ausschalten Kamera aus dem Strahlengang fahren entweder mit der gr nen Taste an der Kamerasteuerung oder mit den Icon I m ITEM Programm Nicht vergessen Bilder auf eigenen USB Stick sichern Alle die auf unser Netzwerk zugriff haben k nnen die Fotos auch direkt herunter laden Der Computer hei t EM2O08S Der Bilderordner ist freigegeben Wir bernehmen keine Garantie f r die am Computer abgespeicherten Bilder ITEM Programm beenden Windows beenden Computer schaltet s ch aus Monitor ausschalten 06 09 2007 14
11. mens werden in die Berechnung des aktuellen Histogramms einbezogen Mit der rechten Maustaste zu setzen es entsteht ein roter Rahmen bei gedr ckter linker Maustaste ver nderbar wird dann unsichtbar akt viert deaktiviert die fest skalierte Kontrastverst rkung berechnet f r die aktuellen Kameraeinstellungen die festen Grenzen f r die fest skalierte Kontrastverst rkung automatisch neu ffnet ein Dialogfenster in dem S e die festen Grenzen f r die fest skalierte Kontrastverst rkung neu festlegen k nnen Ein relatives Ma der Sch rfe wird durch einen Balken angezeigt Dabei zeigt der gr ne Markierungsstrich die maximale seit dem Start der Live Aufnahme erreichte Sch rfe an Der schwarze Strich markiert die minimale bisher erreichte Sch rfe o Sch rfe und Ausleuchtung nochmals kontrollieren 13 tl Foto ausl sen o Es erscheint das Fenster MIKROSKOPINFORMATION BEARBEITEN Mikroskopinformation bearbeiten Mikroskop perator Beschleunigungsspannung o 00000 Yergro erung 100 00000 kommentar Block 03 B Aktuelle Werte als Standardwerte benutzen Eventuell K rzel f r OPERATOR eingeben Spannung eingeben Vergr erung eingeben ACHTUNG NICHT VERGESSEN SONST STIMMT um BALKEN NICHT Kommentar eingeben Das Foto erscheint auf der linken Bildschirmseite in der Galerie Hier liegt es nur im Zwischenspeicher Es kann jederzeit abgespeichert werden o Das Foto wird in den Zwischensp
12. r die Einstellung FESTE SKALIERUNG verwenden da hat man die M glichkeit die blaue und die rote Linie an die Kurve anzupassen 06 09 2007 12 o Man kann auch die Taste FESTE SKALIERUNG AUTOMATISCH EINSTELLEN dann werden die Begrenzungen automatisch an die jeweilige Kurve angepasst e Die Kamerakontrolle Kolsfrnen ist eventuell schon ge ffnet Kamerakontrolle In der Kamerakontrolle k nnen zus tzlich folgende Parameter eingestellt werden ee Em Aula 06 09 2007 Belichtungszeit Auto Verst rkungs ausgleich verwenden Histogramm Berechnung auf sanzem Bild auf Fadenkreuz aufROI ROI f r Histogramm setzen Feste Skalierung verwenden Feste Skalierung automatisch einstellen manuell Einstellen Sch rfeanzeige ein aus legt fest wie lange der CCD Chip der Kamera belichtet werden soll ndert den Wert Bei einem Live Bild setzt Auto den Wert nach Auswertung des aktuellen Histogramms automatisch akt viert deaktiviert die automatische Kontrastverst rkung Das Bild wird unabh ngig von den tats chlichen Beleuchtungsbedingungen immer kontrastoptimiert auf dem Bildschirm dargestellt Alle Bildpunkte werden in die Berechnung des aktuellen Histogramms einbezogen Nur die Bildpunkte eines horizontalen und eines vertikalen Streifens jeweils wenige Pixel breit n der Bildmitte werden n die Berechnung des Histogramms einbezogen Nur die Bildpunkte innerhalb eines gesetzten Rah
13. r in einer Zwischenposition innerhalb der S ule im Vakuum In dieser Stellung kann der Injektor f r kurze Zeit im Ger t verbleiben z B f r manche Justierschritte die mit ohne Netzchen erfolgen Auf keinen Fall f r l ngere Zeit in dieser Position belassen da es sonst zu einem Vakuumeinbruch kommen kann e Injektor ganz herausziehen und auf Haltevorrichtung legen 06 09 2007 Kathode einschalten e Kontrolle ob Vakuum nach dem Probenwechsel wieder bereit ist VAKUUM READY e Bei Bedarf Seite OPERATION GUN w hlen und die H he der Spannung 40 50 60 70 80 oderlO0OKV und die Emission BIAS w hlen e High Tension einschalten rechte Konsole 2 Sekunden lang dr cken e Filamentheizung hochdrehen Es ist dabei eine Tonfolge zu h ren bleiben die T ne gleich hoch dann ist die voreingestellte S ttigung erreicht Das Ger t f hrt die Kathode schonend hoch egal wie schnell man dreht Die Elemente an den 3 Bedienkonsolen Linke Konsole EXPOSURE Zur Aufnahme von Negativen nicht im Betrieb ALIGN W hlt das Men f r d e Justierung aus FINE Schaltet zwischen Grober und Feiner Intensit tskontrolle um SPOT wenn gedr ckt dann haben die Kn pfe Multi X und Multi Y die Funktion des Kondensorstigmators IMAGE wenn gedr ckt dann haben die Kn pfe Multi X und Multi Y die Funktion des Objektivstigmators INTENSITY Helligkeit SPOTSIZE Strahlstrom es gibt die Stufen von 1 12um 10 0 5um MULTI X hat un
14. ren werden Wird er nicht mehr gebraucht dann wieder zur ckziehen und mit der Schraube 45 gegen den Uhrzeigersinn drehen fixieren Die Blenden Die Blendenhalter der Kondensor und Objektivblenden k nnen jeweils 3 Blenden aufnehmen Sie werden jeweils mittels 2 Kn pfen zentriert wobei der gr ere der beiden Kn pfe f r die Blendenstufen zust ndig ist Achtung die Kn pfe sind in jeder Richtung nur begrenzt verstellbar nicht mit Gewalt berdrehen 7 Objektiv u blende Die Probenkippung Seitlich an der S ule gibt es einen Knopf mit dessen Hilfe man das Pr parat zwischen 6 und 6 kippen kann Arbeiten mit der bersichtsvergr rung e Helligkeit komplett zur ckdrehen nur wenn die Helligkeit am Anschlag ist hat man bei den kleinsten Vergr erungen den vollen Bildausschnitt e Objektivblende herausnehmen und gew nschte kleine Vergr erung einstellen R ckkehr zur 1 100x Vergr erung Auf 1 100x Vergr erung gehen Objektivblende ns Ger t Cross over Taste DIFFRACTION dr cken Blende um den Strahl konzentrisch stellen 06 09 2007 Justierung im Normalbetrieb F r das normale Arbeiten Anderung der Vergr erung Probenwechsel sind nur sehr wenige Justierschritte notwendig e Justierung des Strahls Verg 1 000x o Kein Pr parat m Strahlengang mit INTENSITY Knopf Cross Over einstellen Strahl mit Kn pfen SHIFT X und SHIFT Y zentrieren e Justierung der Kondensorblende
15. terschiedliche Funktionen w hrend der Justierung WOBBLER STIG DARK FIELD ALIGNMENT und PROCEDURES SHIFT X X Achse bei der Strahljustierung Mittlere Konsole MULTY Y hat unterschiedliche Funktionen w hrend der Justierung WOBBLER STIG DARK FIELD ALIGNMENT und PROCEDURES SHIFT Y Y Achse bei der Strahljustierung WOBBLER schaltet den Wobbler ein und aus FOCUS Scharfstellung es gibt die Stufen 1 Snm 9 30um STEPSIZE Schrittweite des Focus unterschiedliche Funktionen im Men zur Verstellung von Werten DIFFRACTION Beugungsbild MAGNIFICATION Vergr erung LM Low Masnification Stufen 1 10 25 200x SM Shadow Magnification Stufen 11 16 250 800x HM High Magnification Stufen 17 40 1 000 200 000x PFEILTASTEN Funktionen im Men Aufw rts Abw rts ENTER Best tigung im Men Rechte Konsole HIG TENSION Hochspannung EIN AUS FILAMENT Kathodenheizung VACUUM ON schaltet Vakuum ein VACCUM OFF schaltet Vakuum aus DIMMER Helligkeit der diversen L mpchen POWER ON schaltet die Elektronik ein POWER OFF schaltet die Elektronik aus Zeiger zum Scharfstellen am Hilfsbildschirm 06 09 2007 4 Um den Augenfehler mithilfe der Okulare zu korrigieren gibt es die M glichkeit einen Zeiger einzublenden auf dem man unabh ngig vom Objekt auf dem Hilfsbildschirm scharf stellen kann Zuerst die Schraube im Uhrzeigersinn um 45 drehen dann kann der Stift n die S ule gefah
16. ur Darstellung eines Dunkelfeldes n heres siehe Bedienungsanleitung PARAMETERS Siehe Bedienungsanleitung GUN In diesem Fenster k nnen die Hochspannung HT die BIAS Emission und die Filamentheizung eingestellt werden Ist eine Limitierung der Kathodenheizung eingestellt dann ist FIL LIMIT wei unterlegt Um die Hochspannung und oder die BIAS einzustellen mit den Pfeiltasten die entsprechende Zeile anw hlen mit ENTER best tigen und mit dem STEPSIZE Potentiometer den Wert einstellen danach mit ENTER best tigen Um die FIL LIM zu ndern zuerst die entsprechende Zeile ausw hlen dann mit ENTER den bestehenden Wert l schen Das Filament zur S ttigung einstellen FILAMENT und die FIL LIM mit ENTER wieder setzen CAMERA S ehe Bedienungsanleitung 06 09 2007 9 VACUUM Auf dieser Seite ist ein Schema der ganzen Vakuumeinheit zu sehen Au erdem ist auf der ersten Zeile oben abzulesen VACUUM READY dass das Ger t betriebsbereit 1st STAND BY Ist Stand by eingeschalten dann bleibt nur der Computer und das Vakuum im Betrieb Je nach Betriebszustand schaltet die Zeile zwischen STAND BY und RUN um SOFT OFF Nur die Diffusionspumpe l uft weiter Alle Ventile werden geschlossen Sollte ein Vakuumeinbruch sein dann sollte man SOFT OFF verwenden Mit der Taste VACUUM ON auf der rechten Konsole kann das Vakuum wieder eingeschaltet werden COLUM AIR Bel ftet die S ule Dabei wird das ganze System bel ftet danach wird
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