VSM77D, VSM77DL VSM79D, VSM79DL
Contents
1. 4 6 Switchpoints The VSM provides 2 independent potential free relay switchpoints These are available as change over switches at the connector according to the pin assignmentals described in chapter 3 3 2 The switches are active below the corresponding pressure setpoints The control LEDs at the connector side of the VSM are on then The hysteresis is fixed to 30 from the setpoint value Hysteresis Actual Pressure Switchpoint switching function off Time The programming of both setpoints is done via RS485 interface Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code S for reading s for writing setpoints Data Query to read or unlock 1 Byte 1 for setpoint 1 relay A 2 for setpoint 2 relay B Read or write setpoint 6 Byte float cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Example for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Read setpoint 2 001S2V a 00184000160 a gt 4 0x10 4 mbar Unlock setpoint 2 001s2v R 001s2v R Set setpoint 2 to 0015420016q n 001s420016q a 4 2x10 4 mbar Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 VSM de 130903 4 THYRACONT 4 7 Mode Cold Cathode For certain2. GroBbuchstaben f r Lesen Kleinbuch staben f r Schreiben Data Datenfeld max 6 Bytes kann je nach Code auch fehlen cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe Uber alle Bytes der Felder Addresse Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Datenformate BOOLEAN 1 Byte STRING max 6 Bytes UNSIGNED INT 6 Bytes mit f hrenden Nullen FLOAT 6 Bytes Exponentialformat 4 Bytes Mantisse entspricht Mantissenwert x 1000 2 Bytes Exponent Offset 20 FLOAT Werte werden in hPa mbar bertragen Beispiel Der Wert 460016 in einem Float Datenfeld steht f r 4 6x1 0 mbar Schnittstellen Parameter 9 6 14 4 19 2 38 4 57 6 115 2 kBd 8 Datenbits 1 Stopbit keine Paritat Nach dem Einschalten startet der Transmitter mit 9 6 kBd Emp f ngt er Anfrage Telegramme mit einer anderen Baudrate so stellt sich der Transmitter automatisch darauf ein F r diese au tomatische Baudraten Erkennung ben tigt er maximal zwei Te legramme der Sorte Typanfrage oder Messwertanfrage 4 2 3 Befehls bersicht Der Messumformer reagiert auf Typanfragen Messwertanfragen Justierbefehle Abschnitt 4 4 und Befehle zum Setzen von Gasart Korrekturfaktoren Ab schnitt 4 5 Die Programmierung der beiden Relais Schaltpunkte des VSM ist ebenfalls via RS485 m glich Abschnitt 4 6 Dar ber hinaus lassen sich Parameter konfigurieren die das Verhalten der Sensorik bestimmen Abschnitt 4 7 und 4 8 VSM de 130
3. Normalbetrieb Normalbetrieb VSM de 130903 6 THYRACONT Nachjustieren ber RS485 Ein Nachjustieren auf Atmosph rendruck oder Nulldruck ist auch durch entsprechende Software Befehle ber die RS485 Schnittstelle m glich Um unbeabsichtigtes Justieren des Messumformers zu verhindern muss der jeweilige Justierpunkt f r Atmosph rendruck bzw Nulldruck zun chst freige schaltet werden danach kann die eigentliche Justierung erfolgen Beispiel f r Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Unlock Justierpunkt f r 001j1l g 001j1I g Atmosph rendruck Justieren auf Atmosph rendruck 001j100023a a 001j100023a a Unlock Justierpunkt f r 001j0k g 001j0k g Nulldruck Justieren auf Nulldruck 001j000000 R 001j000000 R Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 VSM de 130903 THYRACONT 77 4 5 Gasart Korrekturfaktoren Das Mess Signal des VSM ist gasartabh ngig Das Ger t ist auf N bzw trockene Luft abgeglichen F r andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0 1 mbar korrigiert werden indem Korrekturfaktoren f r beide Sensortypen via RS485 gesetzt werden Die Messwerte der Sensoren werden dann bereits im Ger t jeweils mit den entsprechenden Korrekturfaktoren multipliziert so dass am analogen und digitalen Ausgang des Messumformers ein korrigiertes Mess Signal zur Verf gung st
4. Sensorflansch 80 C nicht berschreiten H here Ausheiztemperaturen bis maximal 160 C am Flansch k nnen realisiert werden wenn Sie die Elektronikeinheit und den Magneten des Messumformers vor dem Ausheizen des Sensors abnehmen Hierzu l sen Sie wie abgebildet die beiden Madenschrauben und ziehen die Elektronik Einheit gerade und ohne Drehbewegung nach hinten ab Die Magnet Einheit inkl Dichtring ebenfalls gerade nach hinten abziehen ACHTUNG ACHTUNG ACHTUNG Messumformer vor dem Abstecken der Elektronik Einheit von der Versorgungsspannung trennen Elektroniken und Sensork pfe nicht untereinander vertauschen Es darf keinesfalls Feuchtigkeit oder Staub in die Elektronik Einheit gelangen Beim Montieren auf die Orientierung achten und nicht verdre hen Dies kann zu Sch den am Ger t f hren Positionierhilfen Stift auf Unterseite der Magnet Einheit Nut am Sensorkopf Vor dem Anstecken der Elektronik nicht vergessen die O Ring Dichtung wieder oben auf die Magneteinheit zu schieben VSM de 130903 2 THYRACONT 5 Wartung und Service WARNUNG Vorsicht bei kontaminierten Teilen Es kann zu Gesundheitssch den kommen Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle Kontami nation Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlagigen Vorschriften und SchutzmaBnahmen Das Ger t ist wartungsfrei u erliche Verschmutzungen k nnen mit einem feuchten Tuch beseitigt we
5. gt enabled Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 VSM de 130903 THYRACONT 45 4 8 Mode Sensor Transition By default the VSM performs a continuous transition between Pirani and cold cathode range whereupon an assimilation of the sensor signals is carried out In order to adapt the performance of the transducer to the requirements of the vacuum process you can configure the parameter mode sensor transition according to the following 0 no transition but direct switch over between Pirani and cold cathode at 1 0 x10 mbar 1 continuous transition in the range 1 0 2 0x1 0 mbar standard Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code W for reading w for writing the parameter Data 6 Bytes 000001 transition 000000 direct switch over cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Example for address switch in position 1 transducer from transducer Set mode sensor transition 001w000001i R 001w000001i n to continuous transition Read mode sensor transition 001Wh g 001W000001 a gt transition Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 VSM de 130903 4 THYRACONT 4 9 Bake Out Detachment of Electronics
6. zu unterdr cken Hierzu ist es m glich die Kaltkathode per Softwarebefehl ber die RS485 Schnittstelle zu deaktivieren o Modus deaktiviert gt kein Einschalten der Kaltkathode as Modus aktiv gt automatisches Ein und Abschalten der Kaltkathode Bei deaktivierter Kaltkathode verh lt sich der VSM wie ein reiner Pirani Messumformer mit Messbereich 1000 1x10 mbar Entsprechend bedeutet die Ausgabe ur in diesem Fall dass der Druckwert unterhalb 1x10 mbar liegt HINWEIS Der Parameter Modus Kaltkathode wird nur tempor r im Ge r t gespeichert Nach Ausfall oder Ausschalten der Span gt nungsversorgung befindet sich der VSM immer im Modus Kaltkathode aktiv Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code I zum Lesen i zum Schreiben des Parameters Data 1 Byte 1 zum aktivieren 0 zum deaktivieren der Kaltkathode cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe Uber alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Beispiel fur Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Kaltkathode aktivieren 001i1k R 001i1k g Kaltkathode deaktivieren 00110j a 00110j Modus Kaltkathode lesen 0011Z7 amp 001H KR gt aktiv Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Absc
7. NOTE The analog output signal 0 10V is simultaneously available when RS485 VSM de 130903 3 THYRACONT 4 2 2 Communication Protocol Communication is carried out according to the Thyracont protocol The commands are sent as ASCII code in the following command frame Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code 1 Byte command parameter upper case character for read command lower case character for write command Data data field max 6 Bytes can be absent depending on code cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Data Formats BOOLEAN 1 Byte STRING max 6 Bytes UNSIGNED INT 6 Bytes with leading zeros FLOAT 6 Bytes exponential format 4 Bytes mantissa means mantissa value x 1000 2 Bytes exponent offset 20 FLOAT values are transmitted in hPa mbar Example Value 460016 in a float type data field means 4 6x10 mbar Interface Parameter 9 6 14 4 19 2 38 4 57 6 115 2 kBd 8 data bits 1 Stopbit no parity PLEASE NOTE When powered on the transducer starts with 9 6 kBd If a tele gram with different baud rate is received the transducer will au tomatically adapt to it For this automatic baud rate adaption a maximum of two telegrams of type Type Request or Measure ment Request is required 4 2 3 Survey of Comman
8. W rmeleitungssensor wird ein Wendel Filament in einer Wheatstone Br ckenschaltung auf eine konstante Temperatur aufgeheizt Die notwendige Br ckenspannung ist ein MaB f r den Absolutdruck Der Kaltkathoden Sensor erzeugt in einer Gasentladung ionisiert Gasmolek le Der gemessene lonenstrom ist ein MaB f r die Anzahl der vorhandenen Gasmolek le und somit f r den Absolutdruck Ausgangssignal Das Mess Signal 1 8 8 6 V des VSM ist ber den gesamten Messbereich von 5x10 1000 mbar logarithmisch vom Druck abhangig Die Umrechnung erfolgt gem folgendem Zusammenhang Vour V 0 6 log p mbar 6 8 10 Vout V 6 8 0 6 p mbar Serielle Schnittstelle RS485 Der gemessene Druckwert kann ber die serielle RS485 Schnittstelle des Messumformers digital ausgelesen werden Dar ber hinaus k nnen verschiede ne Parameter wie Gasart Korrekturfaktoren programmiert werden Weitere Informationen hierzu finden sie im Abschnitt 4 2 Kommunikation Stabilisierungszeit Die Ausgabe des Mess Signals erfolgt direkt nach Einschalten des Ger ts Zur Ausnutzung der vollen Genauigkeit des VSM kann es insbesondere nach extremen Druckspr ngen angebracht sein eine Stabilisierungszeit von 2min zu beachten Messgenauigkeit Das Ger t ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von 24VDC abgeglichen Verschmutzung Alterung extreme klimatische Bedingun gen oder andere Einbaulagen k nnen ein Nachjustieren erfor
9. When a bake out of the vacuum chamber is performed the temperature at the sensor flange must not exceed 80 C Higher bake out temperatures up to 160 C at the sensor flange can be realized if the electronics unit and the magnets of the transducer are detached For this purpose unlock the two grub screws as shown below and pull the electronics unit straight and without twisting off the flange Then pull off the magnets too BAUTEN The transducer must be disconnected from voltage supply before detaching the electronics unit Do not interchange electronics units and sensor heads CAUTION Make sure that no moisture or dust can intrude the electronics unit gt BEN During reassembly pay attention to correct orientation do not twist while attaching This can damage the transducer Means for positioning bolt on the bottom plate of the magnet housing notch at the sensor head gt VSM de 130903 THYRACONT 5 Maintenance and Service WARNING 47 Danger of possibly contaminated parts Contaminated parts can cause personal injuries Inform your self regarding possible contamination before you start working Be sure to follow the relevant instructions and take care of necessary protective measures The unit requires no maintenance External dirt and soiling can be removed by a damp cloth Should a defect or damage occur on your VSM please send the instrument to us for repair and enclose a d
10. bottom Other orientation operation under different climatic conditions extreme temperature changes ageing or contamination can result in the need for readjustment of the Pirani sensor Readjustment by pushbutton Readjustment on atmosphere or zero pressure can be done by means of the ADJ pushbutton of the VSM see operating scheme below The transducer will notice automatically which adjustment point is relevant PLEASE NOTE For zero adjustment actual pressure should be less than 5 0x10 mbar To achieve optimum results of the adjustment we recommend ER to consider a warm up of at least 5 minutes at the appropriate E calibration pressure before any adjustment For adjustment first remove the rubber cap above the ADJ button 1 then press the pushbutton several times by means of a screwdriver or other suitable tool 2 until the status LED starts quickly flashing orange After further 3s a slowly flashing status LED signalizes that the transducer now can be readjusted by pushing the button once again Finally insert the rubber cap again VSM de 130903 4 THYRACONT seg Status LED green Ld Normal Operation Magnetron off Status LED green Normal Operation Magnetron on Status LED BB Set S flashing quickly flashing slowly continuously on Status LED orange Initializing Adjustment 3s oO Status LED green g Status LED Normal Operation 4 orange l H r
11. combination sensor type Pirani Cold Cathode inverted magnetron and temperature compensated It can be mounted to suitable flange connectors VSM de 130903 30 THYRACONT Proper Use The VSM serves exclusively to provide absolute pressure measurements in the range 1000 5x1 0 mbar It may only be connected to components specifically provided for such purpose Improper Use The use for purposes not covered above is regarded as improper in particular the connection to components not allowed for in their operating instructions the connection to components containing touchable voltage carrying parts No liability or warranty will be accepted for claims arising from improper use The user bears the responsibility with respect to the used process media 3 Installation 3 1 Notes for Installation WARNING Strong magnetic field The gauge contains strong permanent magnets WARNING Unauthorized modifications or conversions of the instrument are not allowed Installation location Indoor For not fully air conditioned open buildings and operation rooms Temperature 5 C 60 C Rel Humidity max 80 up to 30 C max 50 at 40 C not condensing Air pressure 860 1060 hPa VSM de 130903 THYRACONT s 3 2 Vacuum Connection CAUTION Dirt and damage especially at the vacuum flange have an ad verse effect on the function of this vacuum component Please take account of the necessary i
12. vacuum processes it may be favoured to suppress the start of the cold cathode sensor which is automatically controlled by the transducer electronics Therefore it is possible to disable the cold cathode by software command via RS485 interface o Mode disabled gt cold cathode sensor remains switched off Iss Modus enabled gt start of cold cathode is automatically controlled by the transducer standard When the cold cathode is disabled your VSM behaves like a Pirani transducer with range 1000 1x10 mbar Correspondingly the output ur in this case means that actual pressure is below 1x1 0 mbar ENE NOTEI Parameter Mode Cold Cathode is only temporarily saved in the transducer memory After mains supply is switched off or disconnected the VSM will always be in mode cold cathode enabled Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space R8485 001 999 Code I for reading i for writing the parameter Data 1 Byte 1 to enable 0 to disable the cold cathode sensor cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Example for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Enable cold cathode 001i1k g 001i1k g Disable cold cathode 0011i0j a 001i0j R Read mode cold cathode 0011Z R 00111 K R
13. von oben d h mit nach unten gerichtetem Flansch damit sich Staub und Kondensat nicht in der Messzelle ansammeln k nnen Der Messumformer ist in dieser Lage ab Werk justiert Bei anderer Einbaulage ist ohne Nachjustierung eine erh hte Messwertabweichung im Druckbereich oberhalb 10 mbar zu erwarten ACHTUNG gt WARNUNG gt WARNUNG D VSM de 130903 Das Ger t beim Einbau nicht gewaltsam verdrehen dies kann zur mechanischen Besch digung f hren Bei berdruck im Vakuumsystem gt 1 bar Versehentliches ffnen von Spannelementen kann zu Verlet zungen durch herumfliegende Teile f hren Ungesicherte Schlauchverbindungen k nnen sich l sen und Ge sundheitssch den durch ausstr mende Prozessmedien herbei f hren Bei berdruck im Vakuumsystem 1 5 bis 4 bar Bei KF Flanschverbindungen k nnen Elastomer Dichtringe dem Druck nicht mehr standhalten Dies kann zu Gesundheitssch den durch ausstr mende Prozessmedien f hren THYRACONT 7 3 3 Elektrischer Anschluss 3 8 4 Anschluss an Thyracont Anzeigeger te Wird der Messumformer an einem Thyracont Anzeigeger t betrieben ist ein geeignetes Messkabel zu verwenden siehe Zubeh r ACHTUNG Anschluss des Messumformers niemals mit Spannung f hren dem Kabel herstellen Stecker am Messumformer einstecken und mit Schrauben sichern Gegen ber liegenden Stecker am Anzeigeger t anstecken und sichern Erst danach Spannungsv
14. 01j100023a a 001j100023a a Before writing the parameters c correction factor s setpoint and j adjustment you must activate them by sending the corresponding unlock command VSM de 130903 3 THYRACONT 4 3 Operating the VSM RS485 0 10V Relais owo J RS485 15 3 Stat Adj SP1SP2 Adr pA 7 133 Es 0 Hn ug f i l I Address Switch Pushbutton Status LED Switchpoint LEDs The VSM is equipped with a status LED which signalizes the following operational states Normal Operation Magnetron on green LED continuously on ote 32 Normal Operation Magnetron off green LED flashing slowly Error red LED continuously on 3 Ready for Adjustment orange LED flashing slowly Initializing Adjustment orange LED flashing quickly In addition models VSM77DL and VSM79DL have an LCD with yellow backlight that displays the measured actual pressure In case of an operation error or malfunction the display is illuminated by a red background color In order to change the display unit mbar Torr hPa hold the Adj key pressed while connecting power supply until the display shows Unit Then select the desired unit by pressing the Adj key After 5 seconds without further keypress the setting is saved VSM de 130903 THYRACONT 39 4 4 Readjustment The transducer is adjusted ex works with 24V voltage supply in upright position flange to the
15. 14 Relay B Common PINT Pin 15 Relay B N C PIN 13 PIN 14 o PIN 15 O PLEASE NOTE We recommend to have Shield Pin 6 and supply common Mm Pin5 grounded in the supply unit CAUTION Incorrect connection or inadmissible supply voltage can damage the transducer VSM de 130903 34 THYRACONT 4 Operation 4 4 General Measurement Principle The VSM vacuum transducer is equipped with an internal combination sensor of type Pirani Cold Cathode The Pirani principle uses the heat conduction of gases for measuring vacuum A sensor filament in a Wheatstone circuit is heated to a constant temperature so the bridge voltage is a measure for total gas pressure The cold cathode sensor creates ionized gas molecules by an electric discharge The resulting ion current is a measure for the number of gas molecules present in the sensor and proportional to the absolute pressure Output Signal The output signal 1 8 8 6 V of your VSM has a logarithmic dependence on pressure over the whole measurement range 5x10 1000 mbar Conversion of voltage signal and pressure is done according to the following formula Vour V 0 6 log p mbar 6 8 0 Vout V 6 8 0 6 p mbar z 1 Serial Interface RS485 The measured absolute pressure can be read out digitally via the transducers serial RS485 interface Additionally you can set various parameters like gas correction factors or
16. 3 2 beschriebenen Pinbelegung am Anschluss Stecker nach auBen gef hrt Die Schalter sind jeweils bei Druckwerten unterhalb der zugeh rigen Sollwerte aktiv und es leuchten die entsprechenden Kontroll LEDs auf der Steckerseite des VSM Die Schalthysterese ist fest auf 3096 vom Sollwert eingestellt Hysteresis Actual Pressure Switchpoint switching function off Time Die Programmierung der beiden Sollwerte erfolgt via RS485 Schnittstelle Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code S zum Lesen s zum Schreiben des Sollwerts Data Leseanfrage oder Unlock 1 Byte 1 f r Schaltpunkt 1 Relais A 2 f r Schaltpunkt 2 Relais B Wert lesen oder schreiben 6 Byte float cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe Uber alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Beispiel fur Adress Schalterstellung 1 Schaltpunkt 2 lesen 001S2V g 00154000160 a gt 4 0x10 4 mbar Unlock Schaltpunkt 2 001s2v R 001s2v R Schaltpunkt 2 auf 001s420016q a 0015420016q a 4 2x10 4 mbar setzen Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 VSM de 130903 THYRACONT 4 7 Modus Kaltkathode Bei bestimmten Prozess Schritten kann es gew nscht sein das von der Ger teelektronik automatisch gesteuerte Einschalten des Kaltkathodensensors
17. 51 95986 40 email info thyracont de Internet http Awww thyracont com VSM de 130903 28 VVV VV v VN THYRACONT Safety Instructions Read and follow the instructions of this manual Inform yourself regarding hazards which can be caused by the product or arise in your system Comply with all safety instructions and regulations for accident prevention Check regularly that all safety requirements are being complied with Take account of the ambient conditions when installing your VSM The protection class is IP 40 which means the unit is protected against penetration of foreign bodies Adhere to the applicable regulations and take the necessary precautions for the process media used Consider possible reactions between materials and process media Consider possible reactions of the process media due to the heat generated by the product Do not carry out any unauthorized conversions or modifications on the unit Before you start working find out whether any of the vacuum components are contaminated Adhere to the relevant regulations and take the necessary precautions when handling contaminated parts When returning the unit to us please enclose a declaration of contamination Communicate the safety instructions to other users Pictogram Definition WARNING Danger of personal injury WARNING Strong magnetic field Danger of personal injury caution Danger of damage to the unit or syste
18. 903 12 THYRACONT Befehls bersicht Typ T STRING lesen VSM VSM207 Messwert M FLOAT lesen Schaltpunkt S s FLOAT lesen S schreiben s VSM SP1 und SP2 Gasart Korrekturfaktor C c UNSIGNED INT lesen C schreiben c VSM C1 f r Pirani C2 f r Kaltkathode Modus Kaltkathode Li BOOLEAN lesen I schreiben i Modus W w UNSIGNED INT lesen W schreiben w Wertangleichung Druckjustierwert j FLOAT schreiben Beispiele f r Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Typ lesen 001Te g 001TVSM207t amp Messwert lesen 001M g 001M260014K R gt 2 6x10 6 mbar Schaltpunkt 2 lesen 001S2V R 001S4000160 R gt 4 0x10 4 mbar Unlock Schaltpunkt 2 001s2v R 001S2V R Schaltpunkt 2 auf 001s420016q R 0015420016q r 4 2x10 4 mbar setzen Unlock Gasart Korrekturfaktor 1 001cle rR 00icle R Gasart Korrekturfaktor 1 001c0001 20W 001c0001 20W g auf 1 20 setzen Unlock Justierpunkt f r 001j1l9g 001j1I R Atmospharendruck Justieren auf Atmospharendruck 001j100023a a 001j100023a a Vor dem Schreiben der Parameter c Korrekturfaktor s Schaltpunkt und J Justierpunkt m ssen diese zun chst mit einem Unlock Befehl freigeschaltet werden VSM de 130903 THYRACONT 23 4 3 Bedienung des VSM RS485 0 10V Relais 00000000 0000000 J RS485 15 73 Stat
19. Adj SP1SP2 Adr 432j z Jw 11 9 7 R Status LED Schaltpunkt LEDs Das VSM besitzt eine Status LED die folgende Betriebszust nde signalisiert Normalbetrieb Magnetron on gr n Dauerleuchten O Normalbetrieb Magnetron off gr n langsames Blinken Fehler rot Dauerleuchten i9 Bereit zum Nachjustieren orange langsames Blinken I Initialisiere Nachjustieren orange schnelles Blinken vr Die Modelle VSM77DL und VSM79DL verf gen zudem ber eine gelb hinterleuchtete LCD Anzeige Diese zeigt den aktuell gemessenen Ist Druck Liegt ein Fehler im Betrieb des Messumformers vor wird dies durch ein rot hinterleuchtetes Display signalisiert Zum Andern der Anzeigeeinheit mbar Torr hPa w hrend die Spannungsversorgung angeschlossen wird die Adj Taste gedr ckt halten bis die Anzeige Unit erscheint Dann die gew nschte Einheit durch Dr cken der Adj Taste ausw hlen Nach 5 s ohne weiteren Tastendruck wird die Einstellung gespeichert VSM de 130903 144 THYRACONT 4 4 Nachjustieren Das Ger t ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24V stehend d h mit dem Flansch nach unten abgeglichen Andere Einbaulagen Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen extreme Temperaturschwankungen Alterung oder Verschmutzung k nnen ein Nachjus tieren des Piranisensors erforderlich machen Nachjustieren am Ger t Ein Nachjustieren auf Atmospharendruck oder Nulldruck ist digital ber den Tas
20. Harmful Contamination of the Product microbiological explosive radioactive other substances 6 Legally Binding Declaration guarantee that all statements in this form are are correct and complete The dispatch of the contaminated products will be arranged according to legal regulations Company Name Street ZIP City Phone Telefax Email Company stamp legally binding signature VSM de 130903 THYRACONT 49 6 Technical Data 5 2 Oo 1 40 Measurement Principle Heat conduction Pirani Cold Cathode inverted magnetron Measuring Range 1000 5x10 mbar 750 5x10 Torr Accuracy 1000 10mbar ca 30 f r from reading 10 0 002mbar 10 f r 0 002 10 mbar 25 f r Materials with vacuum stainl steel 1 4301 tungsten nickel glass contact molybdenium Anode Material molybdenium Anode Voltage lt 2 5 kV VSM de 130903 5 THYRACONT Power Consumption max 3 W additionally 0 8 W for relays and LCD Output Signal 0 10 VDC min 10 kO measuring range 1 8 8 6 VDC logarithmic Serial Interface RS485 9 6 115 kBd 8 databit 1 stopbit no parity Switchpoints 2x relay potential free 50 VAC 2 A or 30 VDC 2 A max 60 VA Electrical Connection Sub D 15 pole male lockable Vacuum Connection VSM77 small flange DN25 ISO KF VSM79 conflat flange DN40 CF Dimensions 139 x 69 x 48 mm VSM77 VS
21. M de 130903 THYRACONT s5 Declaration of Conformity CE EC Erkl rung ber die Konformit t Adresse Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel Stra e 10 94036 Passau Germany Produkt Vakuum Messumformer Pirani Kaltkathode Typenbezeichnung VSM77D VSM77DL VSM79D VSM79DL Die Produkte entsprechen den Anforderungen der folgenden europ ischen Richtlinie 2004 108 EC Elektromagnetische Vertr glichkeit EMV Zur berpr fung der Konformit t wurden dabei folgende Normen herangezogen DIN EN 61326 1 2006 10 DIN EN 61010 1 2010 Passau 02 05 2013 ee 1 i ot c Z Frank P Salzberger Technischer Leiter VSM de 130903 VSM de 130903
22. THYRACONT Vacuum Instruments VSM77D VSM77DL VSM79D VSM79DL Vakuum Messumformer Vacuum Transducer Betriebsanleitung Operating Instructions 2 THYRACONT Inhalt 1 Hinweise f r Ihre Sicherheit essere 3 2 Vakuum Messumformer VSM cessere 4 2 4 ZurOQOrientierung 2 eaten ette distal 4 2 2 Lieferumfang nnd rennen 4 2 3 Produktbeschreibung eee 4 3 Installation 5 uere 5 3 1 Hinweise zur Installation 5 3 2 Vakuumanschluss sssssssssssesseeeeeeereren eene 6 3 3 Elektrischer Anschluss ssssssssssseeee 7 3 3 1 Anschluss an Thyracont Anzeigeger te 7 3 3 2 Kundeneigene Spannungsversorgung 8 4 rugtlpme e 9 44 Allgemelnesu eterne rendue een 9 4 2 KonmfnunikatlOn s oett hne xen nee Rees YER yeu nee ren 10 4 2 1 Die serielle Schnittstelle des VSM een 10 4 2 2 Kommunikationsprotokoll eeeeeeeeeeee 11 4 2 3 Befehls bersicht sssssssssesee 11 4 3 Bedienung des VSM uersssnnsssnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 13 44 Nachjustleren cete reete rh xt e pete oen 14 4 5 Gasart Korrekturfaktoren usensnsesennesnneennennnennnnnnennennnnnn 17 4 6 Schaltpunkte ensnnnnnnnnnnnnenn
23. ally multiplied with the corresponding correction factors by the units microcontroller The VSM can thereby provide a corrected pressure signal as analog and digital output Correction factor 1 Pirani Ar 1 6 CO 0 89 He 1 0 Ne 1 4 CO 1 0 He 0 57 Na 1 0 Kr 2 4 Correction factor 2 Cold Cathode Ar 0 80 H2 2 4 N2 1 0 Kr 0 6 CO2 0 74 He 5 9 Ne 3 5 Xe 0 41 Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space R8485 001 999 Code C for reading c for writing a correction factor Data Query to read or unlock 1 Byte 1 for correction factor Pirani 2 for correction factor cold cathode read or write 6 Byte unsigned int cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 Carriage Return 0Dh 13d g D The value in the data field when reading or writing correction factors contains leading zeros and is equal to the 100fold of the factor Range 000020 for 0 20 to 000800 for 8 00 Example for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Read gas correction factor 2 001C2F amp 001C000240z 2 c2 2 40 Unlock gas correction factor 1 001cle n 001cle g Set gas correction factor 1 001c000057 R 0016000057 a to 0 57 Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 VSM de 130903 THYRACONT 43
24. derlich machen Im Bereich oberhalb 10mbar ist die Messgenauigkeit reduziert VSM de 130903 10 THYRACONT Gasartabhangigkeit Das Mess Signal ist gasartabhangig Das Ger t ist auf N2 bzw trockene Luft abgeglichen F r andere Gase k nnen via RS485 Korrekturfaktoren f r beide Sensortypen gesetzt werden so dass unterhalb 0 1 mbar eine korrekte Druckausgabe resultiert siehe Abschnitt 4 2 bzw 4 5 4 2 Kommunikation 4 2 1 Die serielle Schnittstelle des VSM Der Messumformer VSM verf gt ber eine serielle Schnittstelle RS485 Um die Kommunikation ber RS485 zu aktivieren ist zunachst der Gummistopfen ber dem Adress Schalter zu entfernen 1 und anschlieBend der Adress Schalter mit einem d nnen Schraubendreher oder hnlichem Hilfsmittel auf einen Wert zwischen 1 und 16 einzustellen 2 Danach den Gummistopfen wieder einsetzen 1 2 Die Kommunikation erfolgt gem Thyracont Protokoll ausf hrliche Detailinfor mationen hierzu finden Sie in einer gesonderten Beschreibung HINWEIS E g Der analoge Signalausgang 0 10V steht gleichzeitig zur RS485 zur Verf gung VSM de 130903 THYRACONT 11 4 2 2 Kommunikationsprotokoll Die Kommunikation erfolgt gem Thyracont Protokoll Die Befehle werden in folgendem Rahmen als Zeichenfolge im ASCII Code bertragen Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code 1 Byte Befehlsparameter
25. ds The transducer responds to type queries measurement queries commands for adjustment chapter 4 4 and for setting gas correction factors chapter 4 5 Programming of the two relay switchpoints is also done via RS485 chapter 4 6 Further special parameters can be configured which determine the general behaviour of the sensors chapter 4 7 and 4 8 VSM de 130903 Survey of Commands THYRACONT s Type T STRING read VSM VSM207 Measurement Value M FLOAT read Setpoint S s FLOAT read S write s VSM SP1 and SP2 Gas Correction Factor C c UNSIGNED INT read C write c VSM C1 for Pirani C2 for cold cathode Mode Cold Cathode Li BOOLEAN read I write i Mode W w UNSIGNED INT read W write w Sensor Transition Pressure Adjustment j FLOAT write Examples for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Read type 001Te R 001TVSM207t R Read pressure measurement 001M4 R 001M260014K R gt 2 6x10 6 mbar Read setpoint 2 001S2V 4 001S4000160 r gt 4 0x10 4 mbar Unlock setpoint 2 001s2v R 001s2v R Set setpoint 2 to 4 2x10 4 mbar 001s420016q a 001s420016q n Unlock gas correction factor 1 001cle n 001cle g Set gas correction factor 1 001c000120W 001c000120W to 1 20 Unlock adjustment for 001j1I g 001j1I9a atmosphere pressure Adjust on atmosphere pressure 0
26. e zur Installation WARNUNG Starkes Magnetfeld Das Ger t enth lt starke Permanentmagnete WARNUNG Keine eigenm chtigen Umbauten oder Veranderungen am Ger t vornehmen Aufstellungsort Innenr ume F r nicht vollklimatisierte Betriebsr ume gilt Temperatur 4 5 C 60 C Rel Luftfeuchte max 80 bis 30 C max 50 bei 40 C nicht betauend Luftdruck 860 1060 hPa VSM de 130903 6 THYRACONT 3 2 Vakuumanschluss ACHTUNG Schmutz und Besch digungen insbesondere am Flansch be eintr chtigen die Funktion dieses Ger tes Beachten Sie bitte die beim Umgang mit Vakuumkomponenten erforderlichen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Besch digung Staubschutzkappe entfernen wird bei Instandhaltungsarbeiten wieder ben tigt Vakuumanschluss ber Kleinflansch DN25 ISO KF VSM77 oder DN40CF Flansch VSM79 herstellen Bei Verbindung ber Kleinflansch Metall Spannelemente verwenden die sich nur mit einem Werkzeug ffnen und schlie en lassen z B Spannband Spannring Dichtringe mit Zentrierring verwenden Sicherstellen dass der Sensorflansch mit dem Schutzleiter verbunden ist beispielsweise durch metallischen Kontakt zur geerdeten Vakuumkammer metallische Spannelemente Die Einbaulage ist frei w hlbar jedoch kann eine Montage von unten d h mit nach oben gerichtetem Flansch zu vorzeitiger Verschmutzung und Ausfall des Ger ts f hren Zu bevorzugen ist der Einbau
27. econtamination declaration CAUTION A PLEASE NOTE Error messages and malfunction The unit is not prepared for customer repair Defective sensor heads can be exchanged on site spare parts B_VSM77 or B VSM79 Malfunction of the unit which is caused by contamination or wear and tear is not covered by warranty Problem Possible Cause Correction high measurement error contamination ageing extreme temperature maladjustment readjustment 0 5V lt output signal lt 1 3V 000000 via RS485 pressure under range pressure lt 1x10 mbar output signal lt 0 5V 1 via RS485 Status LED continuously red defective unit or sensor send unit for repair 5 via RS485 Code unknown check sent telegram code 7 via RS485 logic error command cannot be executed at the moment zero adjustment not possible measurement error exceeds possible range of readjustment send unit for repair VSM de 130903 4 THYRACONT Declaration of Contamination THYRACON T ATTENTION This declaration about contamination has to be filled out correctly and must be attached to all vacuum gauges and components which are sent back to us for repair or service Otherwise delays will be the consequence This declaration must be filled out and signed by authorized and qualified staff only 1 Type of Product 2 Reason for Return 3 Used Machinery Materials 4
28. eht Korrekturfaktor 1 Pirani Ar 1 6 CO 0 89 He 1 0 Ne 1 4 co 1 0 H2 0 57 N2 1 0 Kr 2 4 Korrekturfaktor 2 Kaltkathode Ar 0 80 H2 2 4 N2 1 0 Kr 0 6 CO2 0 74 He 5 9 Ne 3 5 Xe 0 41 Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code C zum Lesen c zum Schreiben des Korrekturfaktors Data Leseanfrage oder Unlock 1 Byte 1 f r Korrekturfaktor Pirani 2 f r Korrekturfaktor Kaltkathode Wert lesen oder schreiben 6 Byte unsigned int cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe Uber alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Der Wert des Datenfeldes beim Lesen oder Schreiben des Korrekturfaktors beinhaltet f hrende Nullen und entspricht dem 100fachen des Korrekturfaktors Wertebereich 000020 f r 0 20 bis 000800 f r 8 00 Beispiel f r Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Gasart Korrekturfaktor 2 lesen 001C2F a 001C000240z g 2 c2 2 40 Unlock Gasart Korrekturfaktor 1 001cle g 001c1e a Gasart Korrekturfaktor 1 001c000057 g 001c000057 g auf 0 57 setzen Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 VSM de 130903 8 THYRACONT 4 6 Schaltpunkte Das VSM besitzt 2 unabhangige potentialfreie Relais Schaltpunkte Diese sind als Umschalter gemaB der in Abschnitt 3
29. ersorgung am Anzeigeger t herstellen bzw einschalten VSM de 130903 8 THYRACONT 3 3 3 Kundeneigene Spannungsversorgung Der Messumformer kann auch mit anderen Anzeigeger ten oder kundeneigener Spannungsversorgung betrieben werden Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV gerecht gemaB untenstehender Pinbelegung herzustellen a Stecker Typ SubD 15polig m nnlich Pin 1 Identifikation 33 KQ Pin2 Signal Output 0 10 VDC PIN 4 gt 0 20 30VDC PIN 5 Pin 3 AGND 2 0O GND Pin4 Voltage Supply 24 VDC PIN 12 Pin5 Supply GND T m T Pin6 Relay A N O Pin 7 Relay A Common PIN 6 Pin8 Relay A N C f nl Pin9 es Pin 10 RS485 PIN 8 Pin 11 RS485 9 Pin 12 Shield uno Pin 13 Relay B N O PIN 10 Pin 14 Relay B Common RS485 Pin 15 Relay B N C UI d PIN 13 PIN 14 O PIN 15 O HINWEIS Wir empfehlen Abschirmung Pin 12 und Speisungserde Pin5 beim Speiseger t mit Erdung zu verbinden ACHTUNG Falscher Anschluss oder unzul ssige Versorgungsspannung k nnen zu Sch den am Messumformer f hren VSM de 130903 THYRACONT 9 4 Betrieb 4 1 Allgemeines Messprinzip Der Vakuum Messumformer VSM besitzt eine interne Kombination aus Piranisensor der die Warmeleitfahigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt und einem Kaltkathoden lonisationssensor invertiertes Magnetron Beim
30. former VSM dient zur Absolutdruck Messung im Bereich 1000 5x10 mbar Das Ger t kann an ein Thyracont Anzeigeger t angeschlos sen oder gemaB Anschlussbelegung mit einer kundeneigenen Spannungsver sorgung betrieben werden Das analoge Mess Signal 1 8V 8 6V ist dabei ber den gesamten Messbereich logarithmisch vom Druck abhangig Zus tzlich besitzt das Ger t eine RS485 Schnittstelle zur digitalen Daten bertra gung siehe Kapitel 4 2 Das Ger t ist mit einem metallgedichteten Kombinationssensor des Typs Pirani Kaltkathode invertiertes Magnetron ausger stet und temperaturkompensiert Es kann an geeignete Flanschverbindungen angeschlossen werden VSM de 130903 THYRACONT 5 Bestimmungsgem e Verwendung Das VSM dient ausschlieBlich der Absolutdruckmessung im Bereich 1000 5x10 mbar Es darf nur an geeignete und hierf r vorgesehene Komponenten angeschlossen werden Nicht bestimmungsgemaBe Verwendung Als nicht bestimmungsgem gilt der Einsatz zu Zwecken die von oben genannten abweichen insbesondere A der Anschluss an Ger te oder Komponenten die laut ihrer Betriebs anleitung hierf r nicht vorgesehen sind der Anschluss an Ger te die ber hrbare Spannung f hrende Teile aufweisen Bei nicht bestimmungsgem Bem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs und Gew hrleistungsanspruch Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber 3 Installation 3 1 Hinweis
31. hnitt 4 2 VSM de 130903 20 THYRACONT 4 8 Modus Wertangleichung Im VSM erfolgt standardm ig ein kontinuierlicher bergang zwischen Pirani und Kaltkathodenbereich Dabei findet eine Wertangleichung statt Um das Verhalten des Messumformers den Prozessanforderungen optimal anzupassen k nnen mit dem Parameter Modus Wertangleichung per RS485 folgende Optionen konfiguriert werden 0 keine Wertangleichung d h hartes Umschalten zwischen Pirani und Kaltkathode bei 1 0 x10 mbar Wertangleichung im Bereich 1 0 2 0x10 mbar Standard Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code W zum Lesen w zum Schreiben des Parameters Data 6 Bytes 000001 Wertangleichung 000000 harte Umschaltung cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe Uber alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Beispiel fur Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Modus Wertangleichung setzen 001w000001i R 001w000001i a auf Wertangleichung Modus Wertangleichung lesen 001Wh g 001W000001 I g gt Wertangleichung Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 VSM de 130903 THYRACONT a 4 9 Ausheizen Elektronik abnehmen Soll die Vakuumkammer ausgeheizt werden so darf die Temperatur am
32. ie zur Reparatur oder Wartung an uns zur cksenden Ansonsten kommt es zu einer Verz gerung der Arbeiten Diese Erkl rung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef llt und unterschrieben werden 1 Art des Produkts 2 Grund f r die Einsendung Artikelnr Seriennr 3 Verwendete s Betriebsmittel 4 Einsatzbedingte gesundheitsgefahrdende Kontaminierung des Produkts toxisch atzend mikrobiologisch explosiv radioaktiv sonst Schadstoffe 6 Rechtsverbindliche Erklarung Hiermit versichere n ich wir dass die Angaben in diesem Vordruck korrekt und vollstandig sind Der Versand des kontaminierten Produkts erfolgt gem f den gesetzlichen Bestimmungen Firma Institut Name Strafe PLZ Ort Telefon Telefax Email Firmenstempel rechtsverbindliche Unterschrift VSM de 130903 24 THYRACONT 6 Technische Daten m Messprinzip W rmeleitf higkeit Pirani Kaltkathode invertiertes Magnetron 1000 5x10 mbar 750 5x10 Torr Genauigkeit 1000 10 mbar ca 30 f r v Messwert 10 0 002 mbar 10 f r 0 002 10 mbar 25 f r Materialien mit Edelstahl 1 4301 Wolfram Nickel Glas Molybd n Vakuumkontakt Anodenmaterial Molybdan Anodenspannung lt 2 5kV VSM de 130903 THYRACONT 25 Leistungsaufnahme max 3 W zus tzlich0 8 W f r Relais und LCD Ausgangssignal 0 10 VDC min 10 KQ Messbereich 1 8 8 6 VDC logarithmisch Serielle Schn
33. ig umbauen oder ver ndern Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle Kontamination Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschl gigen Vorschriften und SchutzmaBnahmen Legen Sie beim Einsenden des Ger tes eine Kontaminationsbescheinigung bei Geben Sie die Sicherheitsvermerke an andere Benutzer weiter Piktogramm Definitionen WARNUNG Gefahr von Personensch den WARNUNG Starkes Magnetfeld Gefahr von Personensch den ACHTUNG Gefahr von Sch den an Ger t oder Anlage HINWEIS Wichtige Information ber das Produkt dessen Handhabung oder den jeweiligen Teil der Betriebsanleitung auf den beson ders aufmerksam gemacht werden soll VSM de 130903 4 THYRACONT 2 Vakuum Messumformer VSM 2 1 Zur Orientierung Diese Betriebsanleitung ist g ltig f r Produkte mit den Artikelnummern VSM77D VSM77DL VSM79D und VSM79DL Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild Technische Anderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten 2 2 Lieferumfang Zum Lieferumfang geh ren Messumformer VSM Staubschutzkappe Betriebsanleitung Lieferbares Zubeh r Messkabel 2m f r Anzeigegerat VD9 W1506002 Messkabel 6m f r Anzeigeger t VD9 W1506006 Messkabel 2m f r Anzeigegerat VD10 VD12 W1515002 Messkabel 6m f r Anzeigeger t VD10 VD12 W1515006 Gegenstecker SubD 15polig XB1500002 2 3 Produktbeschreibung Der Vakuum Messum
34. ith elastomer sealings cannot withstand such pressures Process media thus can leak and possibly damage your health VSM de 130903 3 THYRACONT 3 3 Electrical Connection 3 3 4 Operation With Thyracont Display Unit For operation of the transducer with a Thyracont display and control unit a suitable measurement cable must be used see accessories CAUTION Do not connect or disconnect the transducer when the cable is on circuit Connect the cables plug to the transducer and secure it with the screw Connect the other end of the cable to the display unit and secure the plug Only now connect your display unit to mains power or switch it on respectively VSM de 130903 THYRACONT 3 3 3 2 Operation With Other Supply And Evaluation Units The transducer can be operated with other customer related display units or voltage supplies The electrical connection is to be made by means of suitable cables considering EMI demands and according to the pin description shown below PIN 1 Socket Type SubD 15pole male Pin 1 ldentification 33 kO Pin 2 Signal Output 0 10vDO Pin3 AGND Pin 4 Voltage Supply 24VDC Pin5 Supply GND Pin 6 Relay A N O Pin 7 Relay A Common PIN 6 Pin 8 rely A N C aids Pin 9 acm 2 0 Pin 10 RS485 FIN S a j Pin 11 RS485 Pin 12 Shield PIN 4 m O 20 30VDC PIN 5 2 O GND PIN 9 Pin 13 Relay B N O PIN 10 Pin
35. ittstelle RS485 9 6 115 kBd 8 databit 1 stopbit no parity Schaltausgange 2x Relais potentialfrei 50 VAC 2 A bzw 30 VDC 2 A max 60 VA Elektrischer Anschluss Sub D 15 polig m nnl verschraubbar Vakuumanschluss VSM77 Kleinflansch DN25 ISO KF VSM79 Conflat Flansch DN40 CF Reaktionszeit 200 ms Abmessungen 139 x 69 x 48 mm VSM77 Schutzart IP 40 mn VSM de 130903 2 THYRACONT Konformitatserklarung CE EC Erkl rung ber die Konformit t Adresse Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel Stra e 10 94036 Passau Germany Produkt Vakuum Messumformer Pirani Kaltkathode Typenbezeichnung VSM77D VSM77DL VSM79D VSM79DL Die Produkte entsprechen den Anforderungen der folgenden europ ischen Richtlinie 2004 108 EC Elektromagnetische Vertr glichkeit EMV Zur berpr fung der Konformit t wurden dabei folgende Normen herangezogen DIN EN 61326 1 2006 10 DIN EN 61010 1 2010 Passau 02 05 2013 kr sem E E e Frank P Salzberger Technischer Leiter VSM de 130903 THYRACONT 2 Content 1 Safety Instructions eese eene nnn 28 2 Vacuum Transducer VSM cesses eene nennen nnns 29 2 1 For OrlentallOn oot en eue eee ci de eue ere itu eee etn s 29 2 2 Delivery Content nennen 29 2 3 Product Description eeseeeeeee enm 29 3 Installation ui iaceo aan cd ua ce va audae 30 3 1 Notes for Installatio
36. m PLEASE NOTE Important information about the product it s handling or about a particular part of the documentation which requires special attention VSM de 130903 THYRACONT 2 Vacuum Transducer VSM 2 1 For Orientation This operating instructions describe installation and operation of products with article numbers VSM77D VSM77DL VSM79D and VSM79DL The article number can be found on the product s type label Technical modifications are reserved without prior notification 22 Delivery Content Included in the delivery consignment are Transducer VSM Protective flange cover Operating instructions Available Accessories Measurement cable 2m for VD9 display unit W1506002 Measurement cable 6m for VD9 display unit W1506006 Measurement cable 2m for VD10 VD12 display unit W1515002 Measurement cable 6m for VD10 VD12 display unit W1515006 Counterplug 15pole XB1500002 2 3 Product Description The VSM vacuum transducer is measuring total pressure in the range of 1000 5x10 mbar The transducer can be connected to Thyracont display and control units or to customer related power supply and evaluation units in compliance with pin assignment The analog output signal 1 8V 8 6V has a logarithmic dependence on pressure over the whole range In addition the device has a serial RS485 interface for digital data transfer see chapter 4 2 The transducer is equipped with a metal sealed
37. n eesseeeee nn 30 3 2 Vacuum Connection eese enne enne 31 3 3 Electrical Connection eese 32 3 3 4 Operation With Thyracont Display Unit 32 3 3 2 Operation With Other Supply And Evaluation Units 33 A Operation unie enges a eied sentia eei aHa taaa 34 4 1 CTIE t ene ntehet sess nnne st ss sr sess nnde nna 34 4 2 Communication oo cece cece ee ee eeceeeceeeeeeeeeeesseauaaeeeeeeeees 35 4 2 1 The Serial Interface Of The VSM 35 4 2 2 Communication Protocol seeeeeeenne 36 4 2 3 Survey of Commands sss 36 4 3 Operating the VSM uessssenssennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nenn 38 44 Readjustment 000 ceecccceeesecceeeeeeceeeeeeeceeeeneeeeeesneeeeeesneeeeenenees 39 4 5 Gas OCorrection Factors eseseeeR ne 42 4 6 Switchpoints ssessssssseseeneenenneeeen nnne 43 4 7 Mode Cold Cathode essere 44 4 8 Mode Sensor Transition eeecessesseee 45 4 9 Bake Out Detachment of Electronics s 46 5 Maintenance and Service eeeeeeeeeeeen enne 47 6 Technical PEL Ae 49 Declaration of Conformity ursnuerseennnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 51 Manufacturer Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel StraBe 10 D 94036 Passau Tel 49 851 95986 0 Fax 49 8
38. nnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnn nn 18 4 7 Modus Kaltkathode sss 19 4 8 Modus Wertangleichung eee 20 4 9 Ausheizen Elektronik abnehmen sss 21 5 Wartung und Service essere nennen tnnt 22 6 Technische Daten eese 24 Konformit tserkl rung eseeeeneene enne 26 Hersteller Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel StraBe 10 D 94036 Passau Tel 49 851 95986 0 Fax 49 851 95986 40 email info thyracont de Internet http www thyracont com VSM de 130903 VVV VV v VV YYY vv THYRACONT 5 Hinweise fur Ihre Sicherheit Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung Informieren Sie sich Uber Gefahren die vom Gerat ausgehen und Gefahren die von Ihrer Anlage ausgehen Beachten Sie die Sicherheits und Unfall Verh tungsvorschriften Pr fen Sie regelmaBig die Einhaltung aller SchutzmaBnahmen Installieren Sie das VSM unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedingun gen die Schutzart ist IP40 d h die Gerate sind gesch tzt gegen Eindringen von Fremdk rpern Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschl gigen Vorschriften und SchutzmaBnahmen Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen der Prozessmedien infolge der Eigener w rmung des Produkts Ger t nicht eigenm cht
39. nstructions with regard to cleanliness and damage prevention when using vacuum compo nents Remove the protective cover is required again during maintenance work Make vacuum connection via small flange DN25 ISO KF VSM77 or conflat flange DN40CF VSM79 Use clamps that can be opened and closed with appropriate tools only e g strap retainer tension ring use sealing rings with a centering ring Make sure that the sensor flange is connected to ground e g by having electrical contact to the grounded vacuum chamber use metallic clamps The transducer may be mounted in any orientation Mounting with the flange to the top however can lead to early contamination An upright orientation with flange to the bottom is to be preferred in order to keep particles and condensates out of the sensor cell Further the transducer is adjusted in the upright position ex works Different orientation without readjustment will lead to reduced accuracy at pressures above 10 mbar CAUTION When mounting the transducer avoid forced twisting or violent opening This can damage the VSM WARNING Overpressure in the vacuum system 1 bar Accidental or unintended opening of clamp elements under stress can lead to injuries due to parts flying around Unsecured hose connections can release process media thus can leak and possibly damage your health inia Overpressure in the vacuum system 1 5 to 4 bar KF flange connections w
40. rden Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrem VSM auftreten senden Sie das Ger t bitte mit einer ausgef llten Kontaminationserkl rung siehe n chste Seite zur Reparatur an uns ACHTUNG Das Ger t ist nicht zur kundenseitigen Reparatur vorgesehen Defekte Sensork pfe k nnen vor Ort ausgetauscht werden Ersatzteile B_VSM77 bzw B_VSM79 HINWEIS u Fehlfunktionen des Ger tes die auf Verschmutzung oder Ver E E schlei zur ckzuf hren sind fallen nicht unter die Gew hrleis N tung Fehlersignal und St rungen Problem M gliche Ursache Behebung Messwertabweichung zu Alterung Verschmutzung Nachjustieren gro extreme Temperaturen falsche Justierung 0 5V lt Mess Signal lt 1 3V 9 000000 via RS485 Messbereich unterschritten Druck lt 5x10 mbar Mess Signal 0 5V Ger t oder Sensor defekt Ger t einschicken 1 via RS485 Status LED dauerrot 5 via RS485 Code unbekannt gesendeten Telegramm Code pr fen 7 via RS485 logischer Fehler Bearbeitung des gesendeten Befehls ist momentan nicht m glich Nachjustieren des Pirani Messwertabweichung ber Ger t einschicken Nullpunkts nicht m glich steigt den Justierbereich VSM de 130903 THYRACONT 23 Kontaminierungserklarung THYRACON T ACHTUNG Diese Kontaminierungserkl rung muss korrekt und vollst ndig ausgef llt allen Vakuumger ten und komponenten beigelegt werden die S
41. s Adjustment am Set 9 10s orange Automatic n Adjustment of zero or atmosphere Status LED green pressure Pirani Normal Operation x Status LED red 7 1s green 3s Adjustment Error Status LED green Status LED green Normal Operation Q Normal Operation VSM de 130903 THYRACONT d Readjustment via RS485 Readjustment on atmosphere or zero pressure is also possible by means of software commands via RS485 interface To avoid unintended adjustment the corresponding adjustment point for atmosphere or zero pressure must be unlocked before the actual adjustment can be performed Example for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Unlock adjustment point for 001j1l g 001j1I g atmosphere pressure Adjustment on atmosphere 001j100023a 8 001j100023a 8 Unlock adjustment point for 001j0k g 001j0k g zero pressure Adjustment on zero 001j000000 amp 001j000000 n Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 VSM de 130903 42 THYRACONT 4 5 Gas Correction Factors The output signal of the VSM depends on type and composition of the gas being measured The unit is adjusted for N and dry air For other gases the pressure display can be corrected below 0 1 mbar by setting correction factors for both sensor types via RS485 The measurement results of both sensors are then individu
42. setpoints For further information see chapter 4 2 communi cation Warm Up Time The signal output of VSM is available immediately after the unit is switched on To take advantage of the maximum accuracy of the unit it is appropriate to allow for stabilization time of 2 minutes especially when extreme pressure changes have occurred Accuracy The unit is adjusted ex works in upright position and at 24V voltage supply Through contamination ageing extreme climatic conditions or different mounting orientation the need for readjustment may arise Accuracy is reduced in the range above 10mbar VSM de 130903 THYRACONT 255 Dependence On Gas Type The output signal depends on composition and type of the gas being measured The unit is adjusted for N2 and dry air For other gases correction factors for both sensor types can be set via RS485 see chapter 4 2 and 4 5 This results in a correct pressure display below 0 1 mbar 4 2 Communication 4 2 1 The Serial Interface Of The VSM The VSM transducer is equipped with a serial RS485 interface To enable communication via RS485 please remove the rubber cap over the address Switch 1 and then set the address switch to a value between 1 and 15 using a small screw driver or a similar tool 2 Afterwards insert the rubber cap again gt 1 2 Communication is carried out according to the Thyracont protocol detailed information hereto is provided in a separate description PLEASE
43. ter ADJ m glich siehe Bedienschema unten Der Messumformer erkennt automatisch um welchen Justierpunkt es sich handelt HINWEIS Beim Nullabgleich sollte der Ist Druck kleiner 5 0x10 mbar E sein HINWEIS Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen emp E ER fehlen wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von min oS destens 5 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beachten Zum Justieren den Gummistopfen ber dem Taster ADJ entfernen 1 dann mit einem d nnen Schraubendreher oder hnlichem Hilfsmittel kurz auf den Taster dr cken 2 bis die Status LED schnell orange zu blinken beginnt Nach 3s ohne weiteren Tastendruck signalisiert langsames Blinken dass der Transmitter nun nachjustiert werden kann Hierzu nochmals kurz die Taste dr cken Gummistopfen nun wieder einsetzen VSM de 130903 HIC H e 1 J K THYRACONT 15 Status LED gr n Normalbetrieb Magnetron aus Status LED gr n Normalbetrieb Magnetron ein Automatische Justierung von Nulldruck oder Atmospharendruck Pirani d Status LED Set schnell blinkend xt langsam blinkend Dauerleuchten Status LED orange Initialisiere Nachjustieren Set 3s Status LED gr n moe Status LED Normalbetrieb Ts orange Justieren E se e 10s gr n Status LED gr n Normalbetrieb Status LED gr n Status LED rot e 3s Justierfehler l Status LED gr n Q
Download Pdf Manuals
Related Search