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QUADSTAR 422 Einleitung
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1. 1 Starten Sie in der Programmgruppe QUADSTAR 422 das Programm Parset 2 ffnen Sie Comm QMS Comm Type 5422 Measure Sequence Calibration Manual Comm Setup Config QMS Comm Type QMS Comm Parameters Unit Identifications QUADSTAR 422 zeigt das folgende Dialogfeld amp MS Communication Type QMS Comm Type RS 232 C Normal O RS 232 C Modem O ArcNet O ArcNet Server QUADSTAR 422 w hlt bei der Installation f r die Kommunikation mit dem Massenspektrometer standardm ssig die serielle Schnittstelle RS 232 C Normal an COM 2 Falls ihre Maus auf COM 2 l uft muss die Schnittstelle zum Massenspektrometer auf COM 1 gelegt werden Hinweis Bei gleichzeitigem Betrieb von mehr als 2 seriellen Schnittstellen k nnen Probleme auftre ten Bei Verwendung einer Bus Maus wie z B beim IBM PS 2 entfallen Probleme dieser Art wenn die seriellen Leitungen nicht bereits durch andere Applikationen belegt sind Weitere Informationen zur Kommunikation z B mit ArcNet Glasfaserkabel oder mit einem Modem finden Sie in Kapitel 3 der Beschreibung des Parameter Setup Programmes unter Communication Parameters Wenn Sie ber RS 232 C Normal kommunizieren wollen gehen Sie bitte folgendermassen vor 3 W hlen Sie RS 232 C Normal falls nicht bereits angew hlt 4 W hlen Sie Comm QMS Comm Parameters QUADSTAR 422 zeigt das folgende Dialogfeld Baud Rate 1200 2400 4800 9600 19200 Conne
2. ffnen eines Quadstar Programms immer gleich eine bestimmte Datei vorfinden wollen so k nnen Sie deren Namen im Programm Manager von Windows unter den Programmeigenschaften des entsprechenden Symbols angeben in der Befehlszeile hinter dem Programmnamen Dispsav Beispiel S e wollen wenn S e das DISPSAV Programm ffnen dass umgehend die Messresultate von airdemo sac angezeigt werden e HE Dispsav Measure Parset Service Tuneup Utility Programmeigenschaften DISPSAY Beschreibung DISPSAY AIRDEMO AIRDEMO en A Befehlszeile D Q5422 dispsav airdemo sac Abbas Arbeitsverzeichnis D Q5422 C Als Symbol Anderes Symbol Selbstverst ndlich k nnen Sie die Symbole kopieren und mit verschiedenen Beschreibungen und Datei en versehen um so beispielsweise verschiedene Messungen direkt starten zu k nnen N here Angaben finden Sie in der Beschreibung des Windows Programm Managers unter Programmeigenschaften Automatischer Programmstart Um z B eine Messung Sequenz oder Datenanzeige beim Aufstarten des PC s selbst ndig zu starten kann ein so modifiziertes Symbol in die Programm Managergruppe AUTOSTART aufgenommen wer den Beispiel Sie wollen dass beim Aufstarten des PC automatisch das Dispsav Programm mit den Mess daten von airdemo sac angezeigt wird Autostart Date Manager MS DOs 6 0 MiS Yord b 0 Del Kopieren Sie das Symbol Dispsav in die Gruppe Autostar
3. ne LED gr n Kommunikation l uft dann ein Feld f r Textanzeigen und rechts davon das Symbol f r die Emission Gl hfaden grau Emis sion aus und die Abk rzung SIM f r Simulation Mode Falls Sie mit ArcNet arbeiten ist im Feld rechts aussen zus tzlich der Name des angeschlossenen Massenspektrometers angegeben gl Lem OM Prisma LED Textfeld Emission Simul Name Verlassen Sie nun Parset mittels QS422 Exit BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 QUADSTAR 422 Einleitung Luftanalyse balzers a eege BG 803221 BD A 9711 Die Messaufgabe besteht darin die Zusammensetzung von Luft zu analysieren Dazu verwenden wir nicht eine wirkliche Messung im Vakuum sondern die im QMS gespeicherten S mulations Daten die eine typische Messung von Luft mit Faraday Detektor repr sentieren Die Abl ufe werden anhand eines Prisma Massen spektrometers demonstriert funktionieren aber nat rlich bis auf kleine Abweichungen genau gleich mit den anderen Balzers Massenspektrometern Scan Analog bersichts Messung Um sich eine bersicht ber alle vorhandenen Gase zu verschaffen ist die Messart Scan Analog Ionenstrom als Funktion von m e gut geeignet Starten Sie das Programm Measure und w hlen Sie Scan Analog es erscheint folgender Open Dialog Open File Name Klicken Sie scalf sap an NICHT doppelklicken nun dr cken Sie Copy um diese Datei zu kopieren Directories
4. c gqs422 par scalc sap scalf sap sca2c sap sca f sap sca3c sap sca3f sap sca4c sap scadf sap List Files of Type Scan Ana Par Files sap Copy Files From To c qs422 par auf myairsim und best tigen keet Im Copy File Dialog ndern Sie im Feld To den Namen cA qs422 par myairsim mit OK myairsim sap Gancel Best tigen Sie dann im FARATA Ea a E A T e EE EE Open Dialog die Aus File Operation Parameters wahl von myairsim sap lon Current E 08A mit OK die Messung wird gestartet und zeigt nach einiger Zeit fol 0 6 genden Verlauf 04 0 2 S e erkennen deutlich D E Peaks auf den f r Luft 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 typischen Massenzah Mass lamu len 14 16 18 28 32 40 und 44 m e r SM BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung Izer QUADSTAR 422 Einleitung balzers Messdaten speichern Speichern Sie nun einige Messzyklen Durchl ufe ab W hlen Sie File Save Cycle Data und geben File Name Directories Sie im Feld unter File c gs422 dat Name den Dateinamen SCC rg airsiml sac ein Die n der Folge anfallen den Messdaten werden im Pfad c gqs422 dat in der Datei airsiml sac List Files of Type gespeichert Wenn Sie OK dr cken werden Sie Cycle Save nach der Anzahl zu speichernder number of cycles to save 5 Zyklen gefragt Geben Sie 5 ein und E dr cken Sie OK Das QMS f hrt nun nacheinander die gleiche Me
5. der Anzahl Messzyklen dargestellt Ausf hrlichere Informa tionen ber die Berechnungsweise von Konzentrationen erhalten Sie sp ter im Kapitel QUADSTAR 422 Measure Messart MCD Experimentieren Sie ES MI BALZERS QUADSTAR 422 Measurement MCD lt mymedmop B File Operation P t auch hier mit den Ein mn _ stellungen und beob A Concent achten Sie die Einfl s Ex se von Parameter nde AR CS o H20 rungen Ge H CxHy d N2 CO 40 1 02 20 9 10 Cycle SIE SIM Prismal Um Daten zu speichern w hlen Sie File Save Cycle Data Geben Sie als Dateinamen myconc mdc an und best tigen Sie die Eingabe mit OK Im n chsten Dialog geben Sie an dass 30 Zyklen gespeichert werden sollen und best tigen die Eingabe mit OK Darauf erscheint der File Info Dialog wo Sie Ihre Messungen kommentieren und dokumentieren k nnen Save File Info for lt myconc mdc gt Parameters Data to save Additional Information I Measurement Parameters Nbr Name Yalue Ton Source Parameters 0 L state Parameters Zero Gas Data Notes This is a simulated measurement of air to demonstrate how the Quantitative Analysis of QUADSTAR 422 works and to familiarize with it Save Measure Data Info Save Measure Data Only Geben Sie Notizen usw ein und best tigen Sie mit Save Measure Data Info Dadurch wird die Mes sung gestartet und 30 Messzyklen abgespeichert dauert ca 3 Minuten Wenn die Speicherung beendet ist also im Te
6. die sich nicht einem bestimmten Programmteil zuordnen lassen so berlegen Sie sich passende Stichworte und suchen diese im Index Kapitel 12 M glicherweise m ssen Sie mehrere ver schiedene Stichworte ausprobieren bis Sie den gesuchten Verweis finden Wenn QUADSTAR ein unverst ndliches Verhalten zeigt finden Sie eventuell Hilfe im Kapitel 10 Ab schnitt Problembehebung H ufig auftretende Probleme und m gliche L sungen sind dort aufgef hrt BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 3 balzers QUADSTAR 422 Einleitung bg ber QUADSTAR 422 Produktbeschreibung Zu QUADSTAR 422 ist eine leistungsf hige modular aufgebaute Applikations Software f r die BALZERS Quadrupol Massenspektrometer QMS 422 421 und QMS 200 Prisma QUADSTAR 422 Standard er laubt die Durchf hrung von qualitativen Analysen und kann zu einem durch den Benutzer frei program mierbaren Analysenprogramm f r die quantitative Analyse ausgebaut werden QUADSTAR 422 vereinfacht die Bedienung des Massenspektrometers erh ht die Reproduzierbarkeit der Ergebnisse und erm glicht das Ablegen aller relevanten Parameter und Daten Daneben wird auch die Kon s stenz von bestimmten Parametern berpr ft und vor allf lligen Fehlern gewarnt QUADSTAR 422 erm glicht Messdaten zu speichern und zu dokumentieren diese wieder einzulesen und in verschiedener Form Table Bargraph Intensity Concentration vs Time erneut darzustell
7. l ngere Zeitr ume extrem grosse Datenmengen Der Ausweg aus diesen Problemen ist die Messung in der MID Multiple Ion Detection und MCD Multiple Concentration Detection Messart Dabei werden nur die interessierenden Massenzahlen an gesprungen und deren Peakh hen bestimmt und ausgewertet Bei der MID Messung stellen diese Ionen str me schon das gew nschte Ergebnis dar bei der MCD Messung erfolgt innerhalb von QUADSTAR 422 eine zus tzliche Verrechnung der Ionenstr me so dass die Ergebnisse als Konzentrationen in ppm usw dargestellt werden k nnen Messtechnische Grundlagen Die MID Messung Zun chst wollen wir die MID Multiple Ion Detection Messung betrachten Bei dieser Messart geben Sie an f r welche m e Verh ltnisse die Intensit ten lIonenstr me gemessen werden sollen Jede dieser Einzelmessungen wird durch je einen separaten Kanal auf dem QMS repr sentiert in dem alle Parame ter eingestellt werden k nnen Beispiel Es sollen die m e Verh ltnisse nachfolgend Massen genannt 14 16 28 und 32 gemessen werden Starten Sie dazu das Parset Programm und w hlen Sie Measure MID Geben Sie im Dateinamen Feld des Open Dialogs airsim2 mip ein und best tigen Sie mit OK Quadstar meldet dass diese Datei noch nicht existiert und fragt ob s e erstellt werden soll Best tigen S e mit Ja der Kanalparameter Editor erscheint MID Parameters lt airsim2 mip gt File Edit Display Functions E E Fe doa 1 eh
8. mit Quadstar 422 Messungen durchzuf hren und auszuwerten Vorbereitung Installation Stellen Sie sicher dass QUADSTAR 422 und das Massenspektrometer QMS korrekt installiert und eingerichtet sind siehe dazu Abschnitt Installation Seite 1 9 ff Simulation w hlen F r die folgenden bungen w hlen wir die Betriebsart Simulation Damit k nnen wir unabh ngig von den wirklichen Vakuum Bedingungen arbeiten da vom QMS s mulierte Messdaten geliefert werden General Setup Unit of Total Pressure ffnen Sie das Parameter Setup Parset Programm und w hlen Sie Setup Ge Disk Memory Space Warning Thres MB 110 00 neral In der nun ersche1 Execution File Path ci qs422 nenden Dialogbox stellen Auxiliary File Path ciAgqs422 auxi Sie den Simulation Mode auf Intern und best tigen indem Sie die Schaltfl che Parameter File Path cA qs422 par Data File Path c qs422 dat User Name KAS OK dr cken Alarm Sound Definition Simulation Mode Frequency 300 b off Intern Duration ms B C See Test Sound DI Error History Max Number of Errors in Error History Digits for Float Yalues P1 BALZERS QUADSTAR 422 Parameter Setup Aktivieren Sie S422 Measure Sequence Calibration Manual Comm Setup Config die Kommuni QMS Comm Type kation zum QMS Comm Parameters Massenspektro Connect meter mittels Comm Con nect Sie sehen nun in der Statuszeile von Parset ganz links die gr
9. 00 m Bezug auf die verf gbaren Analysatoren Massenbereiche HF Generatoren usw von Nutzen 3 Geben Sie ein den verwendeten Massenbereich bei MASS R den Analysatortyp unter QMA den verwendeten Auff nger unter Detector den Typ der verwendeten Ionenquelle unter IS Type die Optionen unter Option INTERN bei SEM FIL falls Sie keine externe Vakuum berwachung verwenden siehe Fila mentschutz im INDEX Kapitel 12 Best tigen Sie die Angaben mit OK so werden diese automatisch gespeichert Andern der Verzeichnisse Die Namen der von QUADSTAR 422 unter QS422 erstellten Verzeichnisse k nnen nach der Installat on ge ndert werden Wenn Sie z B das Verzeichnis f r Datenfiles ndern wollen gehen sie wie folgt vor l Starten Sie das Parameter Setup Programm 2 W hlen Sie Setup General 3 Setzen Sie den Cursor in das Eingabefeld Data File Path und ndern Sie durch eine direkte Einga be oder ber die Schaltfl che Select Path das Verzeichnis und oder das Laufwerk Hinweis Die Verzeichnisnamen d rfen nur durch Quadstar ge ndert werden wie oben beschrieben Wenn Sie diese z B mit dem Windows Datei Manager ndern so findet Quadstar seine Dateien nicht mehr und arbeitet mit Standardeinstellungen BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 15 balzers QUADSTAR 422 Einleitung a Erste Schritte In diesem Kapitel lernen Sie grunds tzliche Techniken kennen um
10. 1 eh IE SS Mass Amplifier Output Trip Display KIKO Di Sn First On 00 KI ee Zun chst schalten wir die ersten 4 Kan le 0 3 ein entsprechend den 4 Massen deren Intensit ten wir messen wollen Klicken Sie in Spalte CH OU Zeile State das mit OFF beschriftete Feld mit der rechten Maustaste an In der nun erscheinenden Liste die die m glichen Werte f r diesen Parameter enth lt Kanalstatus ENABLE SKIP OFF ent ENABLE sprechend aktiv momentan nicht aktiv aus klicken Sie mit der linken Maus SKIP taste auf ENABLE Schalten S e auf die gleiche Weise auch die SE Kan le 1 2 und 3 ein Wir haben nun 4 aktive Kan le denen wir je eine Masse zuweisen Klicken Sie mit der rechten Maustaste das Feld in Spalte CH 0 Zeile Mass an ndern Sie den i Wert von 0 00 zu 14 und klicken Sie mit der linken Maustaste auf die graue gm S Schaltfl che links von der Zahl Geben Sie in gleicher Weise in die anderen drei Kan le die Massen 16 28 und 32 ein Klicken Sie dann unten im Editor mit der linken Maustaste die Registerkarte Display an 1 20 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 Izer QUADSTAR 422 Einleitung balzers Der Editor sollte nun folgendes zeigen MID Parameters lt airsim2 mip gt a File Edit Display Functions Load Ch 03 CH 0 CH1 CH2 cH3 cHa State ENABLE ENABLE ENABLE ENABLE OFF Det Type FARADAY FARADAY FARADAY FARADAY 16 00 28 00 32 00
11. 22 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 Izer QUADSTAR 422 Einleitung balzers Setzen Sie den Mauszeiger in die linke obere Ecke des zu vergr ssernden Bereichs z B 10 amu 0 15 E 7A und dr cken Sie die linke Maustaste Ziehen Sie den Mauszeiger mit immer noch gedr ckter lin ker Maustaste in die rechte untere Ecke des Bereichs z B 35 amu 0 00 E 7A und dr cken Sie zus tz lich die rechte Maustaste Lassen Sie nun beide Maustasten los D1 Display Saved Values lt airsiml sac gt File Display Select Setup Function Special Info Scan 1 lon Current E 07A 0 14000 0 12000 0 10000 0 08000 0 06000 0 04000 0 02000 0 00000 28 30 32 34 Mass amu Die Peaks sind nun wesentlich besser sichtbar und ihre Intensit t kann genauer bestimmt werden Sie k nnen die Vergr sserungsfunktion wiederholt anwenden und damit spezielle Details der Messung sehr stark vergr ssern Der jeweils letzte Vergr sserungsschritt kann mit Special Undo Magnify wieder r ckg ngig gemacht werden Um zur urspr nglichen Darstellung wieder zur ckzugelangen w hlen Sie Special Set Default S e haben bisher nur mit dem ersten von f nf gespeicherten Messzyklen gearbeitet Um aber einen zeit lichen Verlauf der Messdaten zu bestimmen k nnen auch die weiteren Zyklen angezeigt werden W h len Sie dazu Setup 3 Dimensional Die Messzyklen werden nun hintereinander mit einer gemeinsa men Skalierung dargestellt eben 3 Dimensio
12. 44 C 13 14 26 27 etc Ausgehend von der Haupt Massenzahl z B 12 bestimmen Sie das Schl sselfragment Dann verglei chen Sie die zus tzlichen Massenzahlen mit denen Ihres Spektrums Versuchen Sie jenes Ursprungs molek l zu finden das am besten zu Ihrem Spektrum passt z B wenn es einen zus tzlichen Peak auf der Massenzahl 13 und keinen auf 28 hat ist das Molek l sehr wahrscheinlich CxHy und nicht CO oder CO2 Nat rlich gibt es viel genauere Methoden ein Spektrum zu analysieren aber in vielen F llen ge n gt die Key Fragment Ions Tabelle S e k nnen die Tabelle ber das Hauptmen jedes QUADSTAR 422 Moduls aufrufen mittels Help Key Fragment Ions oder mit der Tastenkombination Ctrl L Untenstehendes Beispiel zeigt den ent sprechenden Eintrag des Dispsav Programms a5s422 Scan Process Auxiliary Help Key Fragment lons Cirl L BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 QUADSTAR 422 Einleitung Starten der QUADSTAR 422 Programme balzers a eege Die Programme werden m Programm Manager durch einen Doppelklick auf das entsprechende Symbol oder durch ffnen im Men Datei gestartet Beachten Sie dass die unter dem Parameter Setup einge gebenen nderungen wie Kommunikation Setup Konfiguration usw in den anderen Programmen Measure Tune Up Service usw erst wirksam werden wenn diese Programme neu gestartet werden Programm mit einer bestimmten Datei ffnen Wenn Sie beim
13. C DB9 Stecker male RS 232 Kabel DB9 Stecker male DB9 Stecker male RS 232 Kabel Verl ngerungskabel DB9 Stecker male DB25 Stecker male Modem Adapter RS 232 Kabel DB9 Stecker male DB25 Stecker male Modem Adapter RS 232 Kabel Verl ngerungskabel DB9 Stecker male Verbinden Sie mit den mitgelieferten Kabeln das QMS mit ihrem Computer und merken Sie sich die gew hlte Schnittstelle COMI1 COM2 usw Bei Verwendung einer weiteren Verl ngerung beachten Sie bitte dass bei diesem Kabel Pin 2 und 3 DB 25 Buchse nicht mehr gekreuzt werden d rfen Bei Problemen mit weiteren Verl ngerungska beln muss evtl ein Reverser eingesetzt werden Beim Betrieb von mehreren Schnittstellen unter Windows k nnen Probleme auftreten beachten Sie dazu bitte das Kapitel Kommunikation ber RS 232 C in der Parameter Setup Programm Beschreibung Hinweis Weitere Informationen finden Sie in der Beschreibung des Parameter Setup Pro grammes im Abschnitt Communication Parameters BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 o balzers QUADSTAR 422 Einleitung er Einrichten von QUADSTAR 422 Wenn S e QUADSTAR 422 neu installiert haben m ssen Sie folgendes einrichten Die Kommunikation vom PC zum Massenspektrometer Die Konfiguration des Massenspektrometers Wenn das System bereits eingerichtet ist k nnen Sie diese zwei Abschnitte berspringen Kommunikation mit dem Massenspektrometer
14. Cancel falls Sie nderungen nicht speichern m chten Filter Wenn Sie stark verrauschte Daten haben was bei unserer Simulation nat rlich nicht der Fall ist so k nnen Sie diese nachtr glich gl tten indem Sie das Filter von Dispsav einsetzen W hlen Sie Special Filter so er scheint der Dialog rechts Bestimmen Sie Moving Median zuerst mit dem File Manager eine neue Rank 1 0 Bi Datei welche die gefilterten Daten auf S DE Output File Name nehmen soll ansonsten w rden die Origi ale naldaten berschrieben Dr cken Sie 3 Start so werden die Rohdaten gefiltert und in der neuen Datei abgespeichert Interpretationshilfe In QUADSTAR 422 gibt es eine Tabelle der Schl sselfragmente Help Key Fragment Ions die Sie bei der Interpretation von Spektren unterst tzt Siehe Seite 1 30 1 28 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 Izer QUADSTAR 422 Einleitung balzers 3 Messungen realer Gaskomponenten Sie haben nun die grunds tzlichen Abl ufe und M glichkeiten von Quadstar 422 anhand von simulier ten Daten kennengelernt Wenn Sie nun real mit dem Massenspektrometer messen m ssen Sie folgen des berpr fen Starten Sie Parset und w hlen Sie Comm Connect Simulationsmodus ausschalten Simulation Mode auf Off siehe Seite 1 16 Sie bekommen sonst nie wirkliche Messwerte sondern immer nur simulierte die nichts ber Ihr Vakuum aussagen Emission ev SE
15. Izer QUADSTAR 422 Einleitung balzers QUADSTAR 422 Einleitung Zur ck zur Startseite Inhaltsverzeichnis Zu diesem ET e nee nennee sehn een unsere EN TOENA 1 3 Miesies aul seba E 1 3 E E T aE Ketzer en ee ee E E A E A O E 1 3 ber QUADSTAR KK 1 4 EE 1 4 tee 1 5 E EE 1 5 QUADSTAR 22 T EE 1 6 QUADSTAR 422 Quantitative Analysis Module 1 7 QUADSTAR 422 Process Control e e E 1 7 EE 1 8 DOL EE 1 8 Ee 1 8 SYS NEN OL FUN E 1 8 IN TE 1 E 1 9 Verwenden des Installationsprogrammes SEIUR 1 9 EE 1 10 Verbinden des Massenspektrometers mit dem Computer l 11 K KN Ne TE 1 11 Aa S E EE 1 11 Montieren des Verbindungskabels 0 20002200020s00nnnnsnnnenennnnnnnnennnnnnnnnenennnnnnnnnnnnnnn 1 12 Einrichten von QUADSTAR A7 1 13 Kommunikation mit dem Massenspcktrometer 1 13 Konfiguration des Massenspektrometers uessseesseseenessnnessennenennnnnnnensnnnnnnnnnenennnnsnnnneensnsensenennenn 1 15 ER EE EE 1 15 Brste SCHTIE ES E EA E A AA E E E N E AES 1 16 VODE E 1 16 ee E 1 16 SIND AU OR WAND an E 1 16 EE 1 17 Scan Analog bersichts Messung uuseeneenseenseenneennennennnennnennnennnnnnnennnennnennnennnennnennnennnennnennnn 1 17 Messdaten speichert reteneneerereeee 1 18 Gespeicherte Messdaten auswerten sanieren 1 18 Messung zeitabh ngiger Prozesse nssenssensseesseesssesssrssserssersserssersserssrssersssessserssersserssereseens 1 20 Messiechasche EE 1 20 Die NIMMST een mise 1 20 Funktionsweise
16. LZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 25 QUADSTAR 422 Einleitung balzers Fahren Sie mit gedr ckter linker Maustaste mit dem Fadenkreuz ber das Messbild Die genaue x und y Position des Cursors wird in der Statuszeile Title Concentr angezeigt Fahren Sie nun bei gedr ckter linker Maustaste mit dem Cursor auf Cycle No 10 Dr k ken Sie zus tzlich zur linken Maustaste auch die Cycle rechte Maustaste Sie sehen nun die Daten des Cycle Time 5 6008 Messzyklus No 10 als Tabelle dargestellt Einzelne Date 14 06 1996 11 51 35 Messwerte k nnen Sie mittels Change von Hand ndern Value 8 2892 1 4118 EES 7795 9ppm C 5 0050 C 7270 2ppm C 42 71244 C 42 5211 E Bargraph W hlen Sie nun Bargraph SO D1 Display Saved Yalues lt myconc mdc gt werden die Messdaten des ge File Display Select Setup Function Special Info w hlten Messzyklus in Balken Concentr E 017 Cycle 1 form angezeigt 4 00000 3 50000 3 00000 2 50000 2 00000 Kehren Sie wieder zur Darstel 1 50000 lung Intensity Versus Time zu 1 00000 r ck indem Sie Display IVT 0 50000 anw hlen 0 00000 CxHv N21C0 02 SS Y 2 975255E 01 Tabellarische Anzeige zus tzlicher Daten Quadstar 422 berechnet von allen dargestellten Process Messdaten MID MCD berechnete Werte usw statistische und integrale Daten die tabellarisch angezeigt werden k nnen Wenn Sie beispiels weise mit Magnify einen Aussch
17. R 422 1 4 Installation Mehrfach Installation 1 10 Installation von QUADSTAR 422 1 9 Installieren von QUADSTAR 422 Siehe QUADSTAR 422 Installation K Konventionen 1 34 BG 803 221 BD A 9711 balzers ee ee Kopieren eines Bildes 1 32 AM Mehrfach Installation von QUADSTAR 422 1 10 Musterdateien Typen der 1 8 Q QUADSTAR 422 Update 1 9 QUADSTAR 422 Ausbaustufen 1 5 Hauptmerkmale 1 4 Process Control Module 1 7 Quantitative Analysis Module 1 7 Standard 1 6 Installation 1 9 auf der Festplatte 1 9 Lieferumfang 1 8 Produktbeschreibung 1 4 Systemanforderungen an Computer 1 8 Q Software Update Siehe QUADSTAR 422 Update Speichern von Bildern 1 33 S KE Titel Siehe Messdaten dokumentieren E Update auf neuere Version Siehe QUADSTAR 422 Update J Zwischenablage speichern von Bildern 1 32 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 37
18. V einschalten Wenn Sie sicher sind dass der Druck in der Vakuumkammer gen gend tief ist dr cken Sie die Tastenkombination CTRL S Kreuzen Sie Emission an und SEM falls Sie mit SEV messen wollen In Er der Statuszeile von Parset wechselt XI SEM I Emission nun das Emissions Symbol und ggf SEV Symbol von grau nach gelb Common SEM Voltage 1200 2 Nun sollten Sie in der Lage sein eigene Messungen durchzuf hren Detaillierte Angaben dazu sowie zu hier nicht behandelten Themen wie z B Ionenquellenoptimierung finden Sie in den folgenden Kapi teln bzw in den ger te spezifischen Betriebsanleitungen BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 29 balzers QUADSTAR 422 Einleitung a Tips zur Arbeit mit Quadstar Spektrum interpretieren Manchmal m chten Sie vielleicht wissen was ein Peak auf einer bestimmten Massenzahl bedeutet z B wenn Sie diesen nicht erwartet haben Es gibt deshalb in Quadstar eine Key Fragment Ions Tabelle die Massenzahl Schl sselfragmente m gliche Ursprungsmolek le und zus tzliche Massenzahlen enth lt Key fragment ions Mass Number Key Probable Additional Mass m e fragments Parent Molecule s Number m e H H2 2 H H20 18 17 16 H CxHy 12 13 14 26 27 etc H2 H2 1 He He 4 He He 2 C CO 12 28 29 C C02 12 28 44 C CxHy 12 13 14 26 27 etc N N2 14 28 29 O 02 16 32 34 O H20 16 17 18 C 28 29 C 28 29
19. ass Intensity 0 2 00 2 00 5 7203E 10A 1 18 00 18 00 1 2316E 09A 2 28 00 28 00 9 9791E 09A 3 32 00 32 00 8 3037E 09A 4 44 00 44 00 6 2689E 10A Mass Scale Calibration done en EI SM Verlassen Sie das Fenster mit File Close Damit die Massenskala Korrektur wirksam wird muss in der MID oder MCD Messung unter Parameters Setup die Einstellung Mass Scale Correction angekreuzt werden Zero Gas Messung Solange Sie mit simulierten Messdaten arbeiten darf die Nullgas Zero Gas Messung nicht durchge f hrt werden Die s mulierten Daten sind n mlich f r die Analyse und die Zero Gas Messung dieselben W rden Sie hier eine Zero Gas Messung durchf hren so w rden deshalb bei der sp teren Analyse nach Abzug der Untergrund Messung nur noch Ionenstr me resultieren die gleich Null sind Auch bei realen Messungen d rfen Sie Zero Gas Messungen nur dann durchf hren wenn sich das Analysenger t auf Enddruck befindet oder ein echtes Nullgas eingelassen wurde Anson sten kann es zu gravierenden Fehlmessungen kommen Ausf hrlichere Informationen ber die Bedeutung der Zero Gas Messung erhalten Sie sp ter im Kapitel OUADSTAR 422 Measure Untergrundmessung Gasspezifische Kalibrierung durchf hren W hlen Sie Calibration Gas Specific sensitivity und ffnen Sie die Datei mysense mcp Quadstar 422 f hrt anschliessend die gasspezifische Kalibrierung durch und stellt als Ergebnis die Gaskompo nenten die gemessenen Ionen
20. ation und geben Sie die dabei geforderten Parameter ein oder akzeptieren S e die jeweiligen Standardeinstellungen Das Programm erstellt Ihnen sofern diese noch nicht vorhanden ist die Gruppe QUADSTAR 422 QUADSTAR 422 BR MEASURE PARSET DISPSAY SERVICE TUNE UP a H ACCESSC PRTEXE RGA UTILITY PROGRAM Hinweis Das RGA Programm ist nur bei einer Installation f r das QMS 200 Prisma verf gbar BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 9 balzers QUADSTAR 422 Einleitung a Abweichung vom Standardpfad Setup installiert QUADSTAR 422 im gew nschten Pfad Falls dies nicht der Standard Pfad QS422 ist m ssen mitgelieferte Sequenzen f r das Process Control Module neu kompiliert werden Starten Sie das Parameter Setup Programm aus der QUADSTAR 422 Programmgruppe W hlen Sie unter Sequence Editor eine Sequenz aus und best tigen Sie mit OK ffnen Sie mit File Compile All das Sequence Compiler Dialogfeld und bersetzen Sie alle Se quenzen neu mittels Compile All Nach Abschluss der bersetzung meldet QUADSTAR 422 dass alle Sequenzen erfolgreich bersetzt wurden Dr cken Sie Close und verlassen Sie das Parameter Setup Programm mit File Close und schliess lich QS422 Exit Mehrfach Installation Bei einer Mehrfach Installation m ssen vor der zweiten Installation die Eigenschaften der Gruppendatei ge ndert werden Schliessen Sie dazu die Gruppendatei QUADSTAR 422 u
21. bung des Parameter Setup Pro gramms unter Communication Parameters Anschlussbuchsen Am Computer sind im Normalfall f r den Anschluss des seriellen Kommunikationskabels zum Massen spektrometer je nach verwendetem Interface zwei Arten von Anschluss Buchsen m glich F r diese beiden Stecker gelten folgende Pinbelegungen DB9 Stecker male DB25 Stecker male Carrier Detect Chassis ground Receive Data Transmit Data Transmit Data Receive Data Data Terminal Ready Request To Send S gnal Ground Clear To Send Data Set Ready Data Set Ready Request To Send S gnal Ground Clear To Send Carrier Detect Ring Indicator 20 Data Terminal Ready 22 Ring indicator VD Gi co Qt SOA ra GO AJ 9 S Go A ra Schaltung des RS 232 Nullmodem Kabels DB9 Buchse zu DB9 Buchse _DB9 Buchse female 7 2 13 a 5 9 DB9 Buchse female 7 3 Ten a 5 9 Schaltung des Verl ngerungskabels DB9 Stecker zu DB9 Buchse DB9 Buchse female I 2 31a s 6o 7 8 9 DB9 Stecker male III Te 71 8 09 Schaltung des Modem Adapters DB9 Stecker zu DB25 Buchse DB9 Stecker male 2 1 3 14 5 6 7 ES ESES DB25 Buchse female 8 3 2 20 7 BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 11 balzers QUADSTAR 422 Einleitung NER Montieren des Verbindungskabels Grunds tzlich s nd folgende Kombinationen m glich Stecker am Computer Verbindung Stecker am Q
22. cess Control Module erh ltliche Sequenzer erm glicht die Programmierung von Messab l ufen und die Steuerung von Gaseinlass Systemen Ein Editor erlaubt die einfache Erstellung von an spruchsvollen applikationsspezifischen Messprogrammen Mittels DDE Dynamic Data Exchange k nnen Daten online mit anderen Programmen ausgetauscht werden Der Sequenzer unterst tzt ferner online Berechnungen Mittels Eingabe mathematischer Formeln k n nen Ionenstromverh ltnisse Standardabweichungen usw aus Messdaten berechnet werden die w hrend des Ablaufs einer Sequenz zwischengespeichert wurden Neben den Grundrechenarten sind auch spezi elle Funktionen og ExpO Sqr Abs usw erlaubt Bei einer Erweiterung von QUADSTAR 422 Standard um das Process Control Module sind folgende Hauptfunktionen in beliebiger Reihenfolge programmierbar MID Multiple Ion Detection Scan Bargraph und Scan Analog Messungen Speicherung von Messdaten und deren Dokumentation Programmierbare Berechnungen mit Messdaten Individuelle Steuerung eines Prozessablaufes durch programmierbare Dialogfelder Integrierte Steuerung des Gaseinlasses Verschachtelte Operationsschleifen mit bedingten Verzweigungen Warteschleifen Nullgasmessung f r Untergrundanalyse Zero Gas Wahl des Anzeige Modus Tabelle Bargraph vs Time Messprotokollausgabe auf Drucker Wird zus tzlich zum Process Control Module auch noch das Quantitative Analysis Module ein
23. ch den tats chlichen Anteil des Messgases angibt Messungen vorbereiten Zun chst wollen wir alle Messungen vorbereiten d h die notwendigen Parameterdateien erstellen ff nen S e dazu das Parset Programm Massenskala kalibrieren W hlen Sie Calibration Mass Scale Kopieren Sie die Datei adjustms msp mittels Copy nach myadjust msp und ffnen Sie diese Diese Datei ist bereits f r Messungen im Simulationsmodus vorbe reitet F r reale Messungen m ssen die Massenzahlen den tats chlich im Messgas vorhandenen Massen angepasst werden Gasspezifische Kalibrierung W hlen Sie Calibration Gas Specific Sensitivity Kopieren Sie die Datei airdemo gcp mittels Copy nach mysense gcp und ffnen Sie diese Diese Datei ist bereits f r die Messung von Luft vorbereitet und bedarf keiner weiteren nderung F r reale Messungen m ssen die in den Kalibriergasflaschen vorhandenen Gase ihre Konzen trationen sowie die auftretenden Massenzahlen angepasst werden F r jedes Kalibriergasge misch muss eine neue Datei angelegt werden Analyse Dateien W hlen Sie Measure MCD Kopieren Sie die Datei mcdmedf mcp mittels Copy nach mymcd mcp und ffnen S e dese Diese Datei ist bereits f r die Messung von Luft vorbereitet und bedarf keiner weiteren nderung F r reale Messungen m ssen die im zu analysierenden Gas vorhandenen Komponenten sowie die Massenzahlen auf denen die Ionenstr me bestimmt werden sollen angepass
24. ction Line Transmit protocol timeout T2 Reply timeout T3 Inter character timeout T1 Retries for handshake Retries for datablock transmit BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 13 balzers QUADSTAR 422 Einleitung re 5 W hlen Sie die gew nschte Baud Rate Standard 9600 6 W hlen Sie im Listenfeld Connection Line die gew nschte Schnittstelle und dr cken Sie OK 7 Starten Sie das Massenspektrometer und warten Sie ca 5 Sek bis es betriebsbereit ist 8 W hlen Sie Comm Connect Die Anpassung des QMS an die gew hlte Baudrate erfolgt automatisch Wenn die Verbindung funktioniert wechselt die in der unteren linken Ecke symbolisch angedeutete LED auf Gr n Weitere Informationen finden Sie in der Beschreibung des Parameter Setup Programmes unter Kommunikation ber RS 232 C Fehlermeldune OMS off not available or wrong node ID configured Wenn die Verbindung nicht aufgenommen werden kann wird dies mit der Fehlermeldung QMS off not available or wrong node ID configured quittiert Kontrollieren Sie bitte folgende m gli chen Fehlerquellen Ist das Massenspektrometer eingeschaltet und war es bei der Bet tigung von Connect initialisiert Ist das Verbindungskabel am Massenspektrometer und am Computer korrekt eingesteckt Bei Verwendung anderer Kabel als der mitgelieferten Sind die Leitungen TXD und RXD Pin 2 und 3 der DB 25 Buchse gekreuzt Beachten Sie bitte da
25. der TR E 1 21 Vorbereitende Messungen sssessseesseesssesseesssessserssersssesssrssserssesssersseesseesseesseesssersserssereseens 1 22 Messan eny o ee een 1 22 EG NET 1 22 EE RI RE E Ee ee een 1 22 PU RL SE DE 1151151 E 1 22 Me E E 1 23 Massenskala Kal brierung durchf hren eseneseneseessonsssesssesssesssersserssersseesssesssersserssersserns 1 23 LE NIE O ee rer 1 23 Gasspezifische Kalibrierung durchf hren ss nsenssennseensseesserssersssesssesssessseesserssersseessersseeo 1 23 BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 1 Izer QUADSTAR 422 Einleitung balzers Konzentrationen messen und Speicher grira a a a A 1 24 RE E nee ae ee ee ee 1 25 Regent DEE 1 25 Tabellarische Anzeige zus tzlicher Daten sa ann ee 1 26 Date mUro EE 1 26 Pe a Lee et seen 1 28 Messungen realer Gaskomponenen nass Alle ee en au 1 29 Tips Zur Arbeit mit EEN 1 30 SDEKLTUMIIMIELPrelIer en ea 1 30 Starten dee QUADSTAR422 ProsraMine csias a a i aaia a aaa 1 31 Programm mit einer bestimmten Datei ffnen ssensseesssesssersserssersseesssessserssrrsserssersseesserssees 1 31 Autornalischer Progtam msart seen anne 1 31 bertragen von Bildern ber die Zwischenablage eseeseeseesesseereeesesresresresresresresresresresresrssresr 1 32 Kopieren lt ines ganzen Bildsch E 1 32 Kopieren desakt ven Fensters ana re 1 32 Speichern oder drucken von QUADSTAR 422 Bilder 1 33 Abk rzungen und Konv
26. dr cken Sie die linke Maustaste Ziehen Sie den Mauszeiger mit immer noch ge dr ckter linker Maustaste in die rechte untere Ecke des gew nschten Bereichs z B Cycle 25 0 5S E 01 und dr cken Sie zus tzlich die rechte Maustaste Lassen Sie nun beide Maustasten los S e interessieren sich auch bei den gespeicherten Daten ausschliesslich f r Konzentrationen und blenden deshalb die Ionenstr me aus W hlen Sie Select Blocks so erscheint folgender Dialog Sie sehen unter Available Blocks die D1 Select Blocks lt myconc mdc gt vorhandenen Datenbl cke n mlich Konzentrationen und Ionenstr me Un i r Selected Blocks schen Se deans Available Blocks Selected Blocks gew hlten Datenbl cke das sind mo LANGER a BEER f lon Current lon Current mentan alle erh ltlichen Markieren Sie unter Selected Blocks den Eintrag Ion Current und dr cken Sie Remove Nun ist nur noch der Datenblock Konzentra tionen ausgew hlt Best tigen Sie die Auswahl mit OK Es werden nun nur Title Concentr noch die Konzentrationen dargestellt Comment Filename myconc mdc Select Data Neben der oben gezeigten graphischen Darstellung n Funktion der Zeit Intensity Concentration Ver sus Time IVT gibt es auch die tabellar sche und die Balken Bargraph Darstellung Zuerst schalten Sie die Funtion des Cursors von der Vergr sserungsfunktion auf die Selektionsfunktion um W hlen Sie hierzu Function Cursor BG 803 221 BD A 9711 BA
27. egeben welche Masse mit welcher Farbe dargestellt wird Klicken Sie nun die Massen zahl 74 00 mit der linken Maustaste an und lesen Sie in der Statuszeile die zugeh rige Intensit t ab Lesen Sie ebenfalls die Intensit t der Masse 32 00 ab Die Intensit ten sind nahezu gleich darum fallen die beiden Linien zusammen Die angegebenen Intensit ten entsprechen denen des letzten Messdurch laufes Experimentieren Sie ein wenig mit den Einstellungen von Parameters Setup und Parameters Channel z B k nnen Sie unter Parameters Channel die Kanalparameter nachtr glich ver ndern und schlies sen Sie dann das Messprogramm mittels File Close und schliesslich QS422 Exit Funktionsweise der MCD Messung Die Konzentrationen der Gase werden bestimmt indem jede auf einer Masse gemessene Intensit t mit einem Kalibrierfaktor bezogen auf das nachzuweisende Gas multipliziert und das daraus resultierende Gleichungssystem aufgel st wird In anderen Worten man f hrt eine MID Messung durch und berech net daraus mittels vorher bestimmter Gewichtungen die Anteile der einzelnen Gase Diese Gewichte Kal brierfaktoren k nnen nicht allgemein angegeben werden sondern m ssen mit Hilfe eines Kali briergases in einer separaten Messung Gas Specific Calibration GSC ermittelt und in einer Bibliothek gespeichert werden Das in QUADSTAR 422 integrierte L sungsverfahren erlaubt auch die Konzentra tionsbestimmung von Gasen die im Massenspektrum auf identische
28. en QUADSTAR 422 kann auf 3 Arten mit dem Massenspektrometer kommunizieren seriell RS 232 C standardm ssig bei jedem PC vorhanden Kabel wird mitgeliefert Es kann nur ein QMS angeschlossen werden mittlere bertragungsgeschwindigkeit mit Lichtleiter und ArcNet muss separat bestellt werden Es k nnen mehrere Massenspektrometer par allel betrieben werden sehr hohe bertragungsgeschwindigkeit mit Hayes kompatiblem Modem f r Service Zwecke Nur ein QMS anschliessbar langsame bertra gung den Hauptmerkmalen des QUADSTAR 422 Paketes z hlen Einfache Bedienung durch graphische Benutzeroberfl che Leistungsf hige Messprogramme f r Qualitative Analyse Multiple Ion Detection MID Scan Analog Scan Bargraph Quantitative Analyse Multiple Concentration Detection MCD nur mit Quantitative Analysis Mo dule Optimierte Analyse gespeicherter Messdaten 2 oder 3 d mensionale Darstellung von Scan Analog Spektren Darstellung von Mehrkanalmessungen als Tabelle Bargraph oder Zeitfunktion Messungen k nnen dokumentiert werden Gleichzeitig mit mehreren Steuerger ten messen nur mit ArcNet m glich Frei programmierbare automatische Mess Sequenzen nur mit Process Control Module Online Datenaustausch mit anderen Programmen per DDE nur mit Process Control Module Umfangreiche Service Funktionen Online Parameterisierung des Massenspektrometers Nachtr gliches speichern gemessener Daten Tempor
29. entionen au aaa LI R 1 34 1 2 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 BE balzers QUADSTAR 422 Einleitung en Zu diesem Handbuch Wie ist es aufgebaut Ganz zuvorderst finden Sie ein Gesamt Inhaltsverzeichnis In Kapitel 1 finden Sie eine Produktbeschreibung Installationshinweise und eine Einf hrung wie mit QUADSTAR 422 gearbeitet wird Kapitel 2 bis 7 beschreiben die einzelnen Programme Measure Service etc von QUADSTAR im Detail Kapitel 8 ist die Referenz zur Sequenz Programmierung Kapitel 9 zeigt Ihnen wie Sie Zugriffsrechte f r QUADSTAR vergeben Kapitel 10 beschreibt Dateien Fehlermeldungen und Problembehebung in QUADSTAR Kapitel 11 erkl rt das Rest Gas Analyse Programm f r das QMS200 Prisma Kapitel 12 ist ein Stichwortregister Index das Ihnen hilft eine bestimmte Information zu finden Wie arbeite ich damit Benutzen Sie es haupts chlich als Nachschlagewerk Da es lexikonartig aufgebaut ist ist es nicht sinnvoll das Handbuch von vorne bis hinten durchzulesen Wenn Sie gar nicht mit QUADSTAR 422 vertraut sind sollten Sie den Abschnitt Erste Schritte in Kapitel 1 durcharbeiten Sie erfahren dort in aller K rze die wesentlichsten Abl ufe in Quadstar Wenn Sie w hrend der Arbeit Fragen zu einem bestimmten Teil des Programms haben so suchen Sie diesen Teil im Inhaltsverzeichnis des betreffenden Programms und schlagen Sie dort nach Wenn Sie Fragen haben
30. eschwindigkeit in Bits sek mit der Daten bermittelt werden Full Scale Range der h chste darstellbare Wert einer Skala Physikalische Ger te Einheiten wie QMS 422 QME 125 usw Local Area Network Abk rzung f r Light Emitting Diode Leuchtdiode Modulator Demodulator f r die bertragung digitaler Signale ber analoge Tele fonleitungen Jedes Ger t im Netzwerk das eine eigene Adresse hat Knoten Schreib Lese Speicher Nur Lesespeicher Serielle Standard Schnittstelle Systems Application Architecture von IBM Semi Equipment Communications Standards Microsoft Windows graphische Benutzeroberfl che W hlen Sie XXX YYY ZZZ W hlen Sie im Hauptmen den Eintrag XXX im darauf er BG 803221 BD A 9711 scheinenden Feld YYY und darin den Eintrag ZZZ BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 35 Izer QUADSTAR 422 Einleitung balzers 1 36 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 QUADSTAR 422 Einleitung Indexreeister A Abk rzungen 1 34 Aktives Fenster kopieren des 1 32 _B Bilder Kopieren ber Zwischenablage 1 32 Bildschirmausdrucke 1 33 C Computer Systemanforderungen Siehe QUADSTAR 422 Systemanforderungen EES p a Datei Titel Siehe Messdaten dokumentieren Drucken von Bildern 1 33 EE Einrichten von QUADSTAR 422 Siehe QUADSTAR 422 Installation Erste Schritte 1 16 H Hauptmerkmale von QUADSTA
31. etup General SETUP sucht bei einer Update Installation auf allen Platten nach dem Standardver zeichnis QS422 oder QS421 beim Update von lteren Versionen Wenn dieses gefunden werden kann wird es zusammen mit den Unterverzeichnissen in den entsprechenden Dia logfeldern angezeigt und muss nicht mehr eingegeben werden SETUP erm glicht eine Neu Installation von QUADSTAR 422 eine Update Installation einer alten Version auf eine neuere Version von QUADSTAR 422 Installation Update auf einer Festplatte Installieren Sie QUADSTAR 422 mit den folgenden Schritten 1 Starten Sie Windows und schliessen Sie alle anderen Anwendungen 2 Legen Sie die erste QUADSTAR 422 Installationsdiskette Disk 1 Setup in das Laufwerk A ein so dass sie h rbar einrastet W hlen Sie im Programm Manager von Windows Datei Ausf hren Geben Sie a setup ein und dr cken Sie die EINGABETASTE W hlen Sie nun die gew nschte Sprache z B Deutsch mit der entsprechenden Schaltfl che ie 2 Geben S e das Hauptverzeichnis f r Quadstar an Wenn im angegebenen Verzeichnis bereits eine Quadstar Installation gefunden wurde so k nnen Sie nun die gew nschte Installationsart w hlen Neu oder Update Hinweis Wenn Sie bereits eine ltere Installation von Quadstar haben und diese unver ndert lassen wol len so beachten Sie bitte den Abschnitt Mehrfach Installation auf Seite 1 10 7 Folgen Sie dem weiteren Verlauf der Install
32. ge setzt erweitert sich das Angebot von QUADSTAR 422 um folgende Funktionen Konzentrationsmessungen an Gasgemischen Programmierbare Berechnungen mit Konzentrationen Gasspezifische Eichung BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 7 balzers QUADSTAR 422 Einleitung en Lieferumfang Software QUADSTAR 422 wird in komprimierter Form auf mehreren HD Disketten geliefert Bei der Installation mittels dem mitgelieferten Installations Programm werden die ben tigten Verzeichnisse erstellt und die verschiedenen Dateien dar n abgelegt Bei einer Installation mit den vorgegebenen Standardeinstellungen werden auf dem Laufwerk C folgen de Verzeichnisse erstellt C QS422 Verzeichnis f r Programme und Einstellungen C QS422 AUXTN Verzeichnis f r Hilfs Dateien C QS422 DAT Verzeichnis f r Messdaten Dateien C QS422 PAR Verzeichnis f r Messparameter Dateien F r alle Messarten werden Parameter und Messdaten Dateien mitgeliefert Diese dienen als Musterda teien f r die Mess und Auswertungsprogramme und unterscheiden sich wie folgt AIRDEMO XXX Parameter Messdaten Dateien f r den Simulationsmodus AIRFAR XXX Parameter Messdaten Dateien f r Detector Faraday AIRSEM XXX Parameter Messdaten Dateien f r Detector SEM Channeltron QUADSTAR 422 unterscheidet die verschiedenen Datei Typen ber die Datei Erweiterung Eine ber sicht der Dateien finden Sie in Kapitel 10 Kabel S
33. ge des Steuerger ts Graphik Editor zum Bearbeiten von Messbildern Editor f r Farbeinstellungen 1 6 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 BE balzers QUADSTAR 422 Einleitung en QUADSTAR 422 Quantitative Analysis Module Das Quantitative Analysis Module erweitert das Grundmodul um die M glichkeit der quantitativen Analyse mittels Multiple Concentration Detection MCD Messung Die Konzentrationen werden mittels einer Matrix mit max mal 64 x 64 Elementen bestimmt Die daraus resultierenden Gleichungssysteme werden mit dem El minationsverfahren nach Givens gel st das auch berbestimmte Gleichungssysteme zul sst Die Kal brierfaktoren sind in einer Bibliothek gespeichert und k nnen mittels Tastatur eingegeben oder mit einer speziellen Messmethode bestimmt werden Die Matrizen der einzelnen Applikationen greifen auf die Elemente der Kalibrierfaktoren Bibliothek zu Eine Nachkal brierung einer Komponente aktuali s ert also alle Matrizen welche diese Komponente enthalten Zu den Hauptmerkmalen des Quantitative Analysis Module von QUADSTAR 422 z hlen Analyse eines Gasgemisches durch Multiple Concentration Detection MCD Messung mit simultaner Darstellung von Konzentrationen Ionenstr men und externen Analogs gnalen Dazu Schwell wert berwachung Integration Auto Ranging usw Kalibrierung mit interner und externer Normierung QUADSTAR 422 Process Control Module Der als Pro
34. m Bildschirm angezeigt wird 2 Dr cken Sie die ALT DRUCK TASTE Print Screen Eine Momentaufnahme des aktiven Fensters wird in die Zwischenablage bertragen Einf gen aus der Zwischenablage Die Bilder aus der Zwischenablage k nnen jederzeit mittels SHIFT INSERT in Zielprogramme wie Word f r Windows Paintbrush usw eingef gt werden Hinweis Weitere Informationen k nnen dem Handbuch von Windows entnommen werden Siehe Kapitel Grundkenntnisse bertragen von Daten zwischen Anwendungsprogrammen ber die Zwischenablage BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 o balzers QUADSTAR 422 Einleitung a Speichern oder drucken von QUADSTAR 422 Bildern In QUADSTAR 422 k nnen Sie das aktive Fenster oder den gesamten Bildschirminhalt als Bild druk ken oder speichern Dr cken Sie dazu in einem QUADSTAR Programm die Tastenkombination CTRL SHIFT F12 oder CTRL SHIFT ALT F2 Folgendes Dialogfeld erscheint Clipboard Use keys Alt PrintScrn GJ Printer L File BMP Printer Option Zoom Factor E Region Bereich ausw hlen Active Window Es wird nur das aktive Fenster erfasst Entire Screen Es wird der Inhalt des gesamten Bildschirms erfasst Bitmap to Ger t welches das Bild speichert oder druckt Printer Bild auf dem aktuellen Drucker ausdrucken File BMP Bild als Datei im Windows Bitmap Format speichern Printer Option Zoom Factor Vergr sserungs Verkleineru
35. mmm En 2 m gt mmm Disp FSR AUTO AUTO AUTO AUTO AUTO AUTO AUTO AUTO ANE Deg ooo H lait Detector Mass Amplifier Output Trip LE BESSE First Ch 00 Jl Die restlichen bereits vorhandenen Parameter weisen f r die vorgesehene Messaufgabe schon in der Grundeinstellung sinnvolle Eintr ge auf die wir nicht zu ndern brauchen Schliessen Sie die MID Parameter Datei airsim2 mip Speichern Sie die vorgenommenen nderungen hierbei mit OK ab Schliessen Sie nun auch das Parset Programm so dass Sie wieder in den Windows Programm Manager gelangen E ON ON ON Starten Sie das Measure Programm und w hlen Sie MID Versus Time F hren Sie die Messung mit der Parameterdatei airsim2 mip aus Sie sollten nun noch die wichtigsten Einstellungen unter Parame ter Setup vornehmen stellen Sie Y Scale auf log damit auch kleine Signale gut sichtbar werden ge ben Sie unter Cycles 10 ein um rasch sichtbare Resultate zu erhalten Belassen Sie die restlichen Ein stellungen vorerst bei den Standardwerten Best tigen Sie dann die nderungen mit OK Sie bekommen nach einigen Sekunden folgendes Bild angezeigt M3 BALZERS QUADSTAR 422 Measurement MID lt airsim2 mip gt DIE File Operation Parameters E lon Current A E 05 lon Current A E 07 8 d 10 Cycle fem SM QMS20 Sie erkennen den Intensit tsverlauf der Massen gegen die Anzahl der Messzyklen Am rechten Bildrand ist jeweils ang
36. n oder teilweise identischen Massen auftreten BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 21 balzers QUADSTAR 422 Einleitung en Vorbereitende Messungen Da die Gas Komponenten immer durch ganzzahlige Massen repr sentiert werden k nnte man der Ein fachheit halber auf ganzzahligen Massen die Intensit ten messen Weil aber blicherweise bedingt durch die Messapparatur geringf gige Abweichungen zwischen der nominellen Masse und dem tat s chlichen Peakmaximum auftreten liegen die korrekten Maxima der Peaks meist etwas neben der theoretischen Zahl also z B bei 13 95 statt bei 14 00 Um die Messung mit h chstm glicher Genauig keit durchf hren zu k nnen benutzen wir die Messart MSC Mass Scale Calibration mit dessen Hilfe die exakte Lage der Peakmax ma bestimmt wird Eine m gliche Quelle f r Falschmessungen ist der sogenannte Massenspektrometer Untergrund Dieser besteht aus Gasen die im Vakuumsystem enthalten sind und nicht von der Messprobe stammen Da die Untergrundanteile bei einer gut konditionierten Messapparatur weitestgehend konstant sind lassen sie sich leicht mit einer weiteren Messung der Zero Gas oder Nullgas Messung erfassen und bei der ei gentlichen Analyse eliminieren Die w hrend der Zero Gas Messung erfassten Ionenstr me K nnen bei allen folgenden MID MCD Messungen subtrahiert werden einstellbar unter Parameters Setup Zero Gas Subtraction so dass das Ergebnis nur no
37. nal D1 Display Saved Yalues lt airsiml sac gt File Display Select Setup Function Special Info Scan 1 E 07A 0 14000 0 12000 0 10000 0 08000 0 06000 0 04000 0 02000 0 00000 Bei unserer simulierten Messung ver ndern sich die Messwerte nat rlich nicht mit der Zeit in einer realen Messung w ren solche Effekte in dieser Darstellungsart erkennbar Experimentieren Sie nun mit den Einstellungen und Funktionen von Dispsav u a auch Setup Graphic um ein Gef hl f r die M glichkeiten der Auswertung zu bekommen Falls Sie an einen Punkt gelangen wo die Darstellung nicht mehr sinnvoll ist erreichen Sie die Ausgangslage wieder mit Special Set Default Beenden Sie das Programm mit File Close und schliesslich QS422 Exit BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 19 Izer QUADSTAR 422 Einleitung balzers Messungen zeitabh ngigser Prozesse Mit der Scan Analog Messung lassen sich leicht qualitative Aussagen gewinnen wie Das Gas besteht AUS e wovon der gr sste Teil ist Der Anteil von ist sehr klein bzw nicht messbar Diese Messart hat aber einige Nachteile So kann die quantitative Zusammensetzung des Gases in und ppm nur m hsam durch viel manuelle Rechenarbeit bestimmt werden die Information ber zeitliche nde rungen der Gaszusammensetzung ist selbst aus der 3 dimensionalen Darstellung nur schwierig zu extra hieren und letztlich resultieren bei Messungen ber
38. nd selektieren Sie danach mit einem Klick das Icon von QUADSTAR 422 OUADSTAR 422 ndern Sie im Windows Programm Manager unter Datei Eigenschaften die Beschreibung QUAD STAR 422 z B in QUADSTAR 422 1 und den Namen der Gruppendatei QUADSTAR GRP z B in Q_STAR_1 GRP Programmgruppeneigenschaften Beschreibung Gruppendatei Abbrechen Software Schl ssel key QUADSTAR 422 wird mit einem Schl ssel der Ihre pers nliche Kundennummer enth lt vor uner laubtem Gebrauch gesch tzt Bei den Ger ten QMS422 und QMS200 Prisma ist dieser Schl ssel in der Software gespeichert beim QMS421 muss zus tzlich ein Schl ssel im Steckplatz KEY des QC ein gesteckt werden nur bei ausgeschaltetem Ger t ein und ausstecken Um Zusatzmodule oder Software Updates zu bestellen benutzen Sie bitte die Bestellkarte zuvorderst in diesem Ordner und vergessen Sie nicht Ihre auf den Disketten aufgedruckte Key Nummer anzugeben BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 BE balzers QUADSTAR 422 Einleitung en Verbinden des Massenspektrometers mit dem Computer Verbindungskabel QUADSTAR 422 wird mit einem Satz Verbindungskabel f r den seriellen Betrieb RS 232 geliefert Die Verwendung der verschiedenen Kabel h ngt vom Typ des Steckers am Computer ab Hinweis Falls Sie mit ArcNet Lichtleiter arbeiten k nnen S e diesen Abschnitt berspringen Installationshinweise dazu finden Sie in der Beschrei
39. ngsfaktor f r das gedruckte Bild BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 33 QUADSTAR 422 Einleitung balzers ERS et Abk rzungen und Konventionen In dieser Betriebsanleitung werden folgende Abk rzungen und Begriffe verwendet AI 421 AO 421 CD SEM CH TRON CLA 400 CP 400 CS 421 DI 420 DO 420 EP 422 EP 112 FIR HV 420 421 HV 200 IC 421 IS 420 OH 421 PE 420 PI 420 PKR 250 QC 421 QC QMA 4XX QMA 200 QMA 125 QME 125 QMH 400 410 QMS 422 QMS 421 QMS 200 QMS QMU 112 RF 20x SEM TPR 250 GSC IVT MCD MID MSC PCM QAM SIM TIC Balzers spezifisch Analog Input Modul 16 Kan le f r QMS 422 421 Analog Output Modul 12 Kan le f r QMS 422 421 Sekund relektronen Vervielfacher mit Hochspannungs Konversionsdynode Channeltron Detektor mit integriertem SEV Chopper Lock In Verst rker f r QMS 421 Ionenz hler V orverst rker f r QMS 422 421 Frontplatte des QMS 421 Digital Input Modul 32 Kan le f r QMS 422 421 Digital Output Modul 32 Kan le f r QMS 422 421 Elektrometer Vorverst rker f r QMS 422 Elektrometer Vorverst rker f r QMS 421 Finite Impulse Response Filter Hochspannungs Versorgungen f r SEV des QMS422 421 Hochspannungs Versorgung f r CH TRON des QMS 200 Ion Counter inkl 12 Analog Output Kan le f r QMS 422 421 Speisung der Ionenquelle f r QMS 422 421 Optischer HUB Zentralverteiler f r Multiplexbetrieb mit ArcNe
40. nitt gew hlt haben so werden die statistischen Daten nur f r den Aus schnitt berechnet a Display Statistic bietet Ihnen eine statistische Auswertung der Zyklen Von jeder Messgr sse wer den Minimum Maximum Mittelwert absolute und relative Standardabweichung angezeigt b Display Integral zeigt die Integrale aller Messgr ssen ber die Zeit Daten drucken Um die gemessenen Daten zu Papier zu bringen gibt es zwei M glichkeiten a File Print druckt die dargestellten Messdaten als Tabelle aus In unserem Fall ist es nicht sinnvoll alle Daten zu drucken wir beschr nken uns deshalb auf die Konzentrationswerte der Komponenten Ar N2 O2 und CO2 innerhalb der Mess Zyklen 1 5 1 26 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 Izer QUADSTAR 422 Einleitung balzers W hlen Sie Setup X Axis Geben Sie bei Start Cycle 1 und bei End Cycle 5 ein Stellen Sie den Axis Type auf Time Ab l Display Range solute um die X Achse mit der Zeit zu beschriften Dr cken Sie dann OK L x Raster Axis Type Cycle O Time Relative Data Time Absolute W hlen Sie nun Select Data und pr fen Sie ob die angekreuzten Komponenten denjenigen ent sprechen die Sie effektiv drucken wollen Ist dies der Fall dann schliessen Sie den Select Data Dialog wieder und w hlen Sie File Print Wenn der Drucker betriebsbereit ist wird die Tabelle ge druckt b Die Tastenkombination CTRL SHIFT F12 dr
41. programme Multiple Ion Detection MID Simultane Darstellung von Ionenstr men und externen Analogsi snalen Dazu Schwellwert berwachung Integration Auto Range usw Scan Analog Kontinuierliche Messung und Darstellung des Ionenstroms ber einen Massenbe reich Online Nullgas und Referenz Subtraktion wahlweise Mittelwertbildung ber mehrere Zy klen Scan Bargraph Schnelle Suche und Darstellung der Peaks eines Massenbereichs Speicherfunktionen Online Speicherung mit unbegrenzter Anzahl Datenfiles Nachtr gliche Speicherung von Messdaten durch Temporary Save option Messungen dokumentieren durch Mitspeichern von Messbedingungen und Notizen Optimierte Analyse gespeicherter Messdaten Lupenfunktion zur Darstellung ausgew hlter Messdaten Library Unterst tzung f r Scan Bargraph Messungen Erleichterte Interpretation anhand der mitgespeicherten Dokumentation Integral und Statistikfunktionen Erstellen von ASCIH Dateien f r den Datenexport z B zu EXCEL usw Hilfsfunktionen f r Service Leck Test mit akustischem Signal Totaldruck berwachung Digital Ein und Ausg nge manuell bedienen Passwortschutz mit Zugriffsrechten Kalibrierung der Massenskala bersichtliche Parameterisierung Einheitliche Parametereditoren f r die verschiedenen Messarten Editor f r Eingabe nderung von Spektren in der Spektrenbibliothek Editor f r Kennlinien der analogen Ein und Ausg n
42. re Speicherung Schwellwert berwachung mit Alarmfunktionen Automatische Elektrometer Bereichsumschaltung Programmierbare analoge und digitale Ein und Ausg nge Unterst tzung der Spezialfunktionen wie Chopper Lock In Ionenz hler etc BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 balzers QUADSTAR 422 Einleitung ee Die einzelnen Programme QUADSTAR 422 besteht in jeder Ausbaustufe aus folgenden Hauptprogrammen Measure ist das eigentliche Messprogramm Damit k nnen alle Arten von Messungen durchgef hrt und die Ergebnisse abgespeichert werden Von hier aus werden auch Sequenzen gestartet Dispsav Display Saved Values ist das Auswertungsprogramm Damit lassen sich gespeicherte Messresul tate auf verschiedene Arten darstellen vergr ssern und bearbeiten Parset Parameter Setup ist das Einstell Programm Hier k nnen Sie alle Arten von Einstellungen f r Messungen QMS Kommunikation und die Arbeitsumgebung vornehmen Hier k nnen Sie auch Sequenzen programmieren falls Sie das Process Control Module besitzen Tune Up ist das Abstimm Programm Hiermit stimmen Sie die Ionenquelle ab gleichen den HF Generator ab und optimieren die S gnalform oder entgasen das Filament Service ist das Service Programm Damit k nnen Sie Lecks suchen den Totaldruck messen und analoge und digitale Ein und Ausg nge manuell bedienen Utility ist ein Zusatz Programm Es enth lt Funktionen f r die Spektrenbiblio
43. ss bei Verwendung eines Verl ngerungskabels diese Leitungen nicht doppelt gekreuzt sein d rfen Stimmt die unter QMS Comm Parameters gew hlte Schnittstelle mit der effektiv verwendeten Schnittstelle berein BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 Izer QUADSTAR 422 Einleitung balzers Konfiguration des Massenspektrometers Geben Sie an mit welcher Hardware Analysator Ionenquelle Erweiterungen usw Sie arbeiten 1 Starten Sie das Parameter Setup Programm und w hlen Sie Comm Connect 2 W hlen Sie Config QMS QUADSTAR 422 zeigt je nach Massenspektrometer eines der folgenden Dialogfelder QMS 422 421 QMS 200 Hardware Boards QMS EPROM Version Hardware Boards QMS EPROM Version HY 420 available BG509733 5 HY 200 available BG509726 G DSP EPROM Version DSP EPROM Version IS 420 available BG509732 1 PKR 250 available BG509725 H AO 421 available RF 202 available IC 421 available QMS DMA MASS R Option SEM EIL SEM EIL INTERN O HY External Supply C Emission External C Emission External Cancel_ Es empfiehlt sich das Massenspektrometer anzuschliessen und die Schnittstelle zu aktivieren Comm Connect obwohl es auch ohne geht QUADSTAR erh lt dadurch die M glichkeit einen Teil der Konfiguration aus dem Massenspektrometer zur ckzulesen Dies ist f r das QMS 422 421 im Bezug auf die als Optionen installierten Hardware Boards AI 421 DO 420 DI 420 usw und beim QMS 2
44. ssung f nfmal aus und speichert die Ergebnisse Dauer ca 4 Minuten Im Textfeld der Statuszeile wird laufend angezeigt wie weit die Messung Speicherung fortgeschritten ist Saving Cycle of Wenn kein Text mehr angezeigt wird ist die Speicherung beendet die Messung wird aber fortgesetzt Nun k nnen Sie die Messung mittels File Close beenden und Measure mit QS422 Exit verlassen Gespeicherte Messdaten auswerten Gespeicherte Messdaten k nnen Sie mit Dispsav Display saved values sehr gr ndlich und komfortabel auswerten ffnen Sie das Dispsav Programm und w hlen Sie Scan Analog Data Im darauf erschei nenden Open Dialog w hlen Sie die Datei airsimI sac und best tigen mit OK Nun sehen Sie folgende Darstellung der Messdaten D1 Display Saved Values lt airsiml sac gt File Display Select Setup Function Special Info Scan 1 1 00000 lon Current E 07A 0 90000 0 80000 0 70000 0 60000 0 50000 0 40000 0 30000 0 20000 0 10000 0 00000 0 45 50 Mass amu Wenn Sie mit dem Mauszeiger Cursor einen Messpunkt in der Grafik anfahren sehen Sie unten in der Statuszeile die zugeh rigen X und Y Werte und die Angabe C 1 angezeigter Zyklus 1 Nun ist diese Darstellung nicht gerade optimal weil die Peaks klein sind und sich ihre Intensit t nur ungef hr be stimmen l sst Wir vergr ssern deshalb den Ausschnitt der uns interessiert w hlen Sie Function Magnify 1 18 BALZERS QUADSTAR 4
45. str me und die berechneten Kal brierfaktoren dar Ausf hrlichere Infor mationen ber die Bedeutung der Kalibrierfaktoren erhalten Sie sp ter im Kapitel QUADSTAR 422 Measure Kalibrierung des Massenpektrometers ES M1 BALZERS QUADSTAR 422 Measurement Gas Specific Calibration lt mysense g BA File Operation Parameters Mass Component Concentration Intensity Galib Factor 14 00 N2 78 1400 8 3030E 09A 9 7857E 01 28 00 N2 78 1400 9 9790E 099A 1 1761E 00 29 00 N2 78 1400 3 9268E 10A 4 62B0E 02 32 00 02 20 9000 8 3023E 09A 3 6583E 00 40 00 Ar 9300 0ppm 1 6528E 09A 1 636 7E 01 C02 300 00ppm 6 1092E 10A 1 8754E 02 Gas Specific Calibration done ep RE SM BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 23 QUADSTAR 422 Einleitung balzers Konzentrationen messen und speichern Messen Sie nun die Zusammensetzung des Gases Damit zus tzlich zu den Messdaten auch die Messbe dingungen und evtl Kommentare festgehalten werden schalten Sie die Option File Info ein W hlen Sie Setup File Info und kreuzen Parameters Data to save Additional Information Sie Measurement Pa J Measurement Parameters Nbr Name C lon Source Parameters rameters und Save CI State Parameters File Info an Best ti Cl Zero Gas Data gen Sie die Auswahl mit OK l W hlen Sie MCD Versus Time und ffnen Sie mymcd mcp Die aus den Messdaten ermittelten Kon zentrationen werden in Abh ngigkeit von
46. t ndern Sie Beschreibung und Befehlszeile unter Programmeigenschaften wie im vorherigen Beispiel gezeigt Wenn Sie nun den PC einschalten und Windows starten startet automatisch auch das Dispsav Programm und zeigt die Messdaten von airdemo sac an N here Angaben finden Sie in der Beschreibung des Programm Managers unter Anwendungspro gramm beim Start von Windows starten BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 31 QUADSTAR 422 Einleitung balzers NER bertragen von Bildern ber die Zwischenablage Windows unterst tzt auf einfache Weise die bertragung von Bildern ber die Zwischenablage Die Zwischenablage ist ein tempor rer Speicherplatz der st ndig verf gbar st solange Windows akt v ist Die Bilder Messfenster Dialogboxen u k nnen dabei aus QUADSTAR 422 in die Zwischenablage kopiert und dann aus dieser n andere Anwendungsprogramme bertragen werden Kopieren eines ganzen Bildschirms Der Inhalt eines ganzen Bildschirms kann jederzeit n die Zwischenablage kopiert werden 1 Stellen Sie sicher dass die gew nschten Informationen auf dem Bildschirm angezeigt werden 2 Dr cken Sie die DRUCK TASTE Print Screen Eine Momentaufnahme des Bildschirminhaltes wird in die Zwischenablage bertragen Kopieren des aktiven Fensters S e k nnen aber auch nur das aktuelle Fenster n die Zwischenablage kopieren 1 Stellen Sie sicher dass die gew nschte Information auf de
47. t Kaltkathoden Messmodul f r QMS 422 421 Pirani Messmodul f r QMS 422 421 Compact Full Range Gauge f r QMS 200 Quadrupol Controller des QMS QMI 421 Sammelbegriff f r Quadrupol Controller gilt f r alle QMS Analysator der 400er Familie Analysator der 200er Familie Analysator der 125er Familie Quadrupol Elektronik f r 125 er Familie HF Generator der 400er Familie Quadrupol Massenspektrometer Steuerger t 422 Quadrupol Massenspektrometer Steuerger t 421 Quadrupol Massenspektrometer 200 Prisma Sammelbesriff f r Quadrupol Massenspektrometer gilt f r QMS 422 QMS 421 QMI 421 QMS 421C QMS 200 usw Messstellen Umschalter HF Generator des QMS 200 Massenbereich x00 Sekund relektronen Vervielfacher Compact Piran Gauge f r QMS 200 QUADSTAR spezifisch Gas specific calibration Intensity versus time Multiple Concentration Detection Multiple Ion Detection Mass scale calibration Process Control Module Control Option Sequenzer Quantitative Analysis Module Calculation Option Simulation Mode Total Ion Current BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 QUADSTAR 422 Einleitung Allgemein ArcNet ASCII Baud Rate F S R Hardware LAN LED Modem Node RAM ROM RS 232 C SAA SECS Windows Konventionen Es bedeuten balzers eer LAN mit Token Passing Protokoll Abk rzung f r American Standard Code for Information Interchange G
48. t werden W hlen Sie nun Edit Channel Par Stellen Sie sicher dass hier die Anzeige aller Messkan le auf OFF steht in der Registerkarte Display Zeile Disp Mode wir wollen n mlich keine Ionenstr me darstellen sondern ausschliesslich die aus den Ionenstr men mit Hilfe der Kalibrierfaktoren berechneten Konzentrationen Schliesslich k nnen Sie mit Edit Concentration Par den f r die Darstellung ge w nschten Konzentrationsbereich definieren W hlen Sie f r Disp F S R 100 und f r DispDeca des 4 Schliessen Sie dann alle Dateien und best tigen Sie mit OK dass diese gespeichert werden sollen Ver lassen Sie schliesslich Parset BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 Izer QUADSTAR 422 Einleitung balzers Messungen Nun f hren Sie die eigentlichen Messungen durch Starten Sie dazu das Measure Programm Zun chst beginnen Sie mit den Hilfsmessungen Massenskala Kalibrierung durchf hren W hlen Sie Calibration Mass Scale und ffnen Sie die Datei myadjust msp QUADSTAR 422 f hrt anschliessend die Massenskala Kalibrierung durch und stellt als Ergebnis die neu gefundenen Peak Maxima dar Falls bei sp teren Messungen Massenzahlen vorkommen deren Peak Maximum nicht ka l briert wurde so wird deren Position aus den kal brierten Werten interpoliert E M1 BALZERS QUADSTAR 422 Measurement Mass Scale Calibration lt myadjust BA File Operation Parameters Nbr OldMass New M
49. tecker RS 232 Verbindungskabel f r den Datenaustausch zwischen Massenspektrometer und Computer Weiteres Zubeh r ArcNet Karte Lichtleiter etc auf Bestellung Nur f r QMS 421 Schl ssel Key f r den Quadrupole Controller QC Systemanforderungen QUADSTAR 422 kann auf jedem System auf dem Windows 3 1 oder h her eingesetzt ist betrieben werden Es gelten folgende Mindest Anforderungen CPU 386 im Protected Mode arbeitend 25 MHz oder besser Festplatte ca 50 MByte freier Platten Speicher f r viele und grosse Messdatenfiles entspre chend mehr Bildschirm VGA oder besser Arbeitsspeicher 4 MByte oder mehr Betriebssystem Windows 3 1 oder h her BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 o balzers QUADSTAR 422 Einleitung E h Installation Verwenden des Installationsprogrammes SETUP QUADSTAR 422 wird in komprimierter Form auf HD Disketten 3 5 Zoll geliefert und ben tigt ca 10 MByte auf Ihrer Festplatte SETUP kopiert und dekomprimiert die QUADSTAR 422 Programmdateien und erstellt auf dem gew hlten Laufwerk die ben tigten Verzeichnisse Das Hauptverzeichnis Vorschlag QS422 enth lt alle QUADSTAR 422 Programmdateien F r die Messdaten Parameter und Hilfsdateien werden spezielle Unterverzeichnisse erstellt Hinweis Die Namen der Unterverzeichnisse k nnen sp ter ge ndert werden Die Verzeichnisse werden im Parameter Setup Programm eingegeben unter S
50. thek und eine Routine f r die Installation von Erweiterungen Accessc ist das Verwaltungs Programm Sie k nnen damit Zugriff auf QUADSTAR Komponenten f r ein zelne Benutzer gew hren oder sperren Ausbaustufen QUADSTAR 422 besteht aus einem Grundmodul das mit Erweiterungsbausteinen den Anforderungen einer Applikation angepasst werden kann Process Control Module PCM Control Module i uantitative Analysis Module AM Option 1 K ATEETAN Modulo Q QUADSTAR 422 Standard Module QUADSTAR Qualitative Analysis 422 Multiple Ion Detection Scan Analog Standard Scan Bargraph Standard Erm glicht als QUADSTAR 422 Grundmodul die qualitative Ana lyse mit den Mess Arten MID Multiple Ion Detection Scan Analog und Scan Bargraph Quantitative Analysis Module Erweitert das Grundmodul um die quantitative Analyse Konzen trationsmessungen mit der Messart MCD Multiple Concentrati on Detection Process Control Module Erm glicht die Programmierung von Mess Sequenzen und Steue rungen z B des Gaseinlass Systems BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 5 ER balzers QUADSTAR 422 Einleitung en QUADSTAR 422 Standard QUADSTAR 422 erm glicht die qualitative Analyse von Messdaten Es bietet daneben aber auch di verse Hilfs und Serviceprogramme wie Lecktest Service Scan Totaldruckmessung usw Zu den Hauptmerkmalen von QUADSTAR 422 Standard z hlen Leistungsf hige Mess
51. uckt das momentan dargestellte Fenster von Quad star oder den ganzen Bildschirm Somit k nnen S e bequem Momentaufnahmen von Messungen Einstellungen usw machen Um solche Bildschirm Ausdrucke noch aussagekr ftiger zu gestalten gibt es in Dispsav einen Grafik Editor W hlen Sie Function Graphic Editor so erscheint nebenstehen des Fenster Klicken Sie auf T um einen Text einzuf gen Klicken Sie dann auf die Stelle im Messbild wo der Text beginnen soll Ge ben Sie im Text Editor Dialog den Text z B Simulated Air Mea surement ein und best tigen Sie mit OK Nun versehen wir den Titel D1 Display Saved Yalues lt myconc mdc gt noch mit einem Rahmen E Klicken Sie auf GG und Concentr E 01 setzen Sie das Fadenkreuz 4 00000 in die linke obere Ecke des 3 50000 zu zeichnenden Rahmens 3 00000 Simulated Air Measurement Ziehen Sie mit gedr ckter 2 50000 linker Maustaste den Zeiger 2 00000 nach rechts unten und lassen 120200 Sie dann die Maustaste los 10200 Ihr Messbild sollte nun etwa 0 50000 Hen 0 00000 so aussenen 11 51 40 11 51 50 14 06 1996 14 06 1996 Verlassen S e nun den Graphik Editor mit der Taste und best tigen Sie dass die nderungen gespeichert werden sollen Sie sollten die Fenstergr sse des zu druckenden Bildes nun nicht mehr ndern weil Gr sse und Position des Titels nicht mitver ndert werden Mit Display Graphic Data k nnen Sie die Anzeige der eben erstellten graphischen Z
52. usatzdaten ein oder ausschalten Vergewissern Sie sich dass der Drucker bereit ist Dr cken Sie dann die Tasten kombination CTRL SHIFT F12 so er scheint der Print Screen Dialog W hlen Sie als Druckbereich das aktuelle Fenster nn Eye le Active Window und als Vergr sserungs C File BMP faktor Zoom Factor 1 0 Best tigen Sie 3 Printer Option die Angaben mit OK Zoom Factor 1 0 PR BG 803 221 BD A 9711 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung 1 27 Izer QUADSTAR 422 Einleitung balzers Das Messbild wird nun so gedruckt wie Sie es auf dem Bildschirm sehen Hilfsmittel Dokumentation Mit den Messdaten haben Sie eine Dokumentation abgespeichert die aus Messparametern und Notizen besteht Diese Dokumentation k nnen Sie mit Info File wieder abrufen View File Info of lt myconc mdc gt Additional Information Measurement Parameters Nbr Name Yalue Co ey See EE ion Source Paramelers 0 Total Pressure State Parameters 1 2 Zero Gas Data z Delete All Names About File Notes This is a simulated measurement of air to demonstrate how the Quantitative Analysis of QUADSTAR 422 works and to familiarize with it Dr cken Sie Measurement Parameters um die Messparameter einzusehen oder About File um die all gemeinen Datei Informationen zu erhalten Die Eintr ge von Additional Information und Notes k n nen Sie nachtr glich ver ndern Verlassen Sie den File Info Dialog mit OK oder mit
53. xtfeld der Statuszeile nichts mehr angezeigt wird k nnen S e die Messung schliessen und Measure verlassen 1 24 BALZERS QUADSTAR 422 V6 0 Bedienungsanleitung BG 803 221 BD A 9711 Izer QUADSTAR 422 Einleitung balzers Auswertung Darstellungsarten Starten Sie Dispsav und w hlen Sie Process Cycles Laden Sie die Datei myconc mdc so wird sich et wa folgendes Bild pr sentieren D1 Display Saved Yalues lt myconc mdc gt File Display Select Setup Function Special Info Concentr Concentr E 01 4 00000 3 50000 3 00000 2 90000 2 00000 1 50000 18 03 28 06 0 50000 32 06 40 06 1 00000 0 00000 8 10 12 14 16 18 20 22 24 26 28 30 Cyc S e sehen alle gemessenen Ionenstr me und Konzentrationen Links oben unterhalb der Men leiste se hen Sie ein Auswahlfeld mit dem Sie die Skala umschalten k nnen Momentan gilt die Skala f r Kon zentrationen in Concentr entsprechend sind auch die Bezeichnungen der Konzentrationen rechts vom Messbild jeweils mit einer senkrechten Markierung als g ltig gekennzeichnet Schalten Sie die Skala versuchsweise auf Ionenstr me um Ion Current A so ndert die Skala und die Massen werden als g ltig markiert Auch diese gespeicherten Daten k nnen Sie vergr ssern W hlen Sie hierzu Function Magnify Set zen Sie den Mauszeiger in die linke obere Ecke des zu vergr ssernden Bereichs z B Cycle 10 4 0 E 01 und
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