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MIDIVAC CONTROLLER DESCRIPTION

1. 5500010011 nas 8 Touche allum e indique que l afficheur 9 affiche le i courant absorb par la pompe Visualise les valeurs des tensions et des courants i s lectionn s l aide de la touche 16 La LED allum e correspond la tension maximum i pouvant tre fournie par le contr leur Touche allum e indique que le fonctionnement en mode Protect a t activ La touche clignote i pendant la phase d introduction des param tres Touche allum e indique que l afficheur 9 affiche la i tension fournie par le contr leur Affiche la valeur de la tension fournie par le contr leur ou le courant absorb par la pompe La LED allum e correspond la tension maximale i pouvant tre fournie par le contr leur i Touche allum e indique que le fonctionnement en mode Protect a t activ 12 HV ON OFF 13 HV sac Touche allum e indique que le contr leur est g r par un ordinateur distance Permet d activer le mode Protect La LED 11 clignote pend
2. CURRENT A 10 107 10 PRESSURE mbar Vaclon Plus 55 Pressure Vs Current Diagram E Z LU x De O 10 10 10 107 10 10 10 PRESSURE mbar Vaclon Plus 40 Pressure Vs Current Diagram 33 87 900 080 01 D TECHNICAL INFORMATION gt N e A CURRENT A a 10
3. 10 10 10 10 107 10 PRESSURE mbar Vaclon Plus 25 Pressure Vs Current Diagram e e e gt lt y LLI 1 De a 10 10 10 10 10 10 107 PRESSURE mbar Vaclon Plus 20 Pressure Vs Current Diagram 34 87 900 080 01 D al VARIAN gt Request for Return Ne 9001 I A Return Authorization Number RAF WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out signed and returned to Varian Customer Service 2 Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations IATA DOT UN 3 The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian a Drain any oils or other liquids b Purge or flush all gasses c Wipe off any excess residues in or on the equipment d Package the equipment to prevent shipping damage for Advance Exchanges please use packing material from
4. dy ES LINE INPUT 95 130 Vac ERIAL 60 Hz O MODE D EMPLOI Commandes et Diodes du Panneau Frontal du MidiVac La figure ci apr s pr sente le panneau frontal du contr leur MidiVac ainsi que la signification et la fonction des commandes et des diodes NOTE Certaines commandes et diodes changent en fonction de la position de l interrupteur HV ON OFF Le tableau reporte les deux significations et les deux fonctions Panneau Arri re du MidiVac La figure suivante indique les commandes et les connexions du panneau arri re du contr leur MidiVac Pour plus de d tails sur les connexions illustr es consulter l appendice Technical informations Connecteur Remote I O pour contr le distance Pr quipement pour connecteur Set Point option Pr quipement pour connecteur s riel option Vis pour connexion du c ble de s curit Pr quipement pour deuxi me entr e c ble de s curit option Pr quipement pour deuxi me connecteur HV Connecteur HV Entr e c ble de s curit Cable de s curit 10 Fusibles 11 Prise d alimentation r seau 12 Interrupteur d alimentation Panneau arri re du MidiVac 15 87 900 080 01 D REF DESCRIPTION 1 Fleche en bas mKNNnnNnNnNnNNN111111 1 A1 xII IIOO nonnina NA NA
5. f Sergio PIRAS Vice President and General Manager VARIAN Vacuum Technologies Note Fax or mail the Customer Request for Action see backside page to VARIAN Vacuum Technologies Torino Quality Assurance or to your nearest VARIAN representative for onward transmission to the same address CUSTOMER REQUEST FOR CORRECTIVE PREVENTIVE IMPROVEMENT ACTION TO VARIAN VACUUM TECHNOLOGIES TORINO QUALITY ASSURANCE FAX NO XXXX 011 9979350 ADDRESS VARIAN S p A Via F lli Varian 54 10040 Lein Torino Italy E MAIL marco marzio varianinc com COMPANY FUNCTION ADDRESS TELE E MAIL PROBLEM SUGGESTION REFERENCE INFORMATION model n serial n ordering information time to failure after installation etc by VARIAN VTT XXXX Code for dialing Italy from your country es 01139 from USA 00139 from Japan etc 4 VARIAN gt lt ISTRUZIONI FER LUSO ss A 1 GEBRAUGCHSANEEITUNG ans 7 MODE DH m KO elba 13 INSTRUC HONS FORUS E aac 19 TECANIGALINFOR MAT ON cra AAA 29 MIDIVAC CONTROLLER DESCRIPTION anne LE 25 MIDIVAC CONTROELER SPECIFICATION com lola 27 MIDIVAG CONTIROLLERQUILINE ele 27 PUMPCONNECIHON se hellas blade 28 REMOTENGGONNECTOR a_i 28 EE TIRA M E 30 SENI MOOO baia a RE Nc 30 operaung Mok oo dle aa aana 30 PRESSURE VS CURRENT DIAGRAMS alli 30 ACCESSORIES AND SPARE PAR TS lla 30 INFORMAZIONI GENERALI Questa apparecchiatura destinat
6. 33 1 69 86 38 84 Fax 33 1 69 86 29 88 From Benelux Tel 31 118 67 15 70 From Benelux Fax 31 118 67 15 69 Canada Central coordination through Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 781 861 7200 Fax 781 860 5437 Toll Free 1 800 882 7426 China Varian Technologies Beijing Rm 1648 Central Tower South Wing Beijing Junefield Plaza No 10 XuanWuMenWai Street Beijing 100052 P R China Tel 86 10 63108550 Fax 86 10 63100141 Toll Free 800 820 6556 Germany and Austria Varian Deutschland GmbH Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel 49 6151 703 353 Fax 49 6151 703 302 India Varian India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 28521171 Fax 91 11 28521173 Italy Varian Inc Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 03 06 Sales and Service Offices Japan Varian Vacuum Technologies Sumitomo Shibaura Building 8th Floor 4 16 36 Shibaura Minato ku Tokyo 108 Japan Tel 81 3 5232 1253 Fax 81 3 5232 1263 Toll Free 0120 655 040 Korea Varian Technologies Korea Ltd Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Toll Free 080 222 2452 Mexico Varian S
7. In questo caso i valori di corrente visualizzati corrispondono alla somma dei due valori di corrente relativi a ciascuna pompa Le versioni base del MidiVac sono dettagliate nella seguente tabella la polarit non configurabile DESCRIZIONE Unit base con tensione di alimentazione a 120 Vac e polarit negativa Unit base con tensione di alimentazione a 120 Vac e polarit positiva Unit base con tensione di alimentazione a 230 Vac e polarit negativa Unit base con tensione di alimentazione a 230 Vac e polarit positiva 929 5000 i singolo connettore 929 5001 singolo i connettore 929 5002 singolo connettore 929 5003 singolo 929 5004 i doppio connettore 929 5005 doppio connettore 929 5006 doppio connettore 929 5007 doppio connettore connettore IMMAGAZZINAMENTO Durante il trasporto e l immagazzinamento del controller non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali e temperatura da 20 C a 70 C e umidit relativa 0 95 non condensante 87 900 080 01 D PREPARAZIONE PER L INSTALLAZIONE Il controller viene fornito in un imballo protettivo speciale se si presentano segni di danni che potrebbero essersi verificati durante il trasporto contattare l ufficio vendite locale Durante l operazione di disimballaggio prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il controller e a
8. de R L de C V Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd 14F 6 No 77 Hsin Tai Wu Rd Sec 1 Hsi chih Taipei Hsien Taiwan R O C Tel 886 2 2698 9555 Fax 886 2 2698 9678 Toll Free 0800 051342 UK and Ireland Varian Ltd 6 Mead Road Oxford Industrial Park Yarnton Oxford OX5 1QU England Tel 44 1865 291570 Fax 44 1865 291571 United States Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 781 861 7200 Fax 781 860 5437 Other Countries Varian Inc Vacuum Technologies Via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 Customer Support amp Service North America Toll Free 1 800 882 7426 vtl technical support 9 varianinc com Europe Tel 00 800 234 234 00 vtt technical support 9 varianinc com China Toll Free 800 820 8266 vtc technical support varianinc com Japan Toll Free 0120 655 040 vtj technical support 9 varianinc com Korea Toll Free 080 222 2452 vtk technical support varianinc com Taiwan Toll Free 0 800 051 342 viw technical supportO varianinc com Worldwide Web Site Catalog and Order On line www varianinc com Representative in most countries ap ni VARIAN
9. installata alcuna scheda di comunicazione il modo Remote non disponibile Nel caso in cui sia installata una scheda seriale possibile forzare il modo Local premendo il pulsante Menu del pannello frontale il LED REMOTE lampegger Con HV ON e Local temporaneo attivato si possono effettuare tutte le operazioni previste in questo stato vedere la tabella dei comandi ed indicatori seguente al termine delle operazioni si pu tornare al modo Remote premendo nuovamente il pulsante Menu il LED REMOTE indicher il funzionamento normale Con HV OFF e Local temporaneo attivato si pu accedere alle sole funzioni di impostazione parametri al termine delle quali l unit rimane in modo Local Per tornare al modo Remote occorre accendere l alta tensione e poi premere il pulsante Menu Se l unit in modo Remote e Palta tensione accesa la reale accensione dell alta tensione dipende dall ultimo comando accensione o spegnimento dato dal computer remoto La condizione iniziale predisposta in fabbrica di spegnimento per cui per accendere l alta tensione occorre passare in modo Local premendo il tasto Menu del pannello frontale oppure inviare il comando di accensione dell alta tensione dal computer remoto Se l unit in modo Remote e Palta tensione spenta l accensione dell alta tensione possibile solo con l apposito comando
10. Auspacken vorsichtig vorgehen damit der Controller nicht f llt oder StoRen ausgesetzt wird Das Verpackungsmaterial mu korrekt entsorgt werden Es ist vollst ndig recyclebar und entspricht der EG Richtlinie 85 399 f r Umweltschutz INSTALLATION N GEFAHR Der MidiVac Controller wird mit einem Netzkabel mit 3 Leitern und mit einem den internationalen Normen entsprechenden Netzstecker geliefert Es sollte immer dieses Netzkabel benutzt werden das an eine vorschriftsm ig geerdete Steckdose anzuschlie en ist um Stromentladungen zu vermeiden Im Inneren des Controllers entstehen hohe Spannungen die schwere Sch den verursachen und lebensgef hrlich sein k nnen Vor jedem Montage bzw Wartungseingriff mu deshalb der Netzstecker gezogen werden GEBRAUCHSANLEITUNG HS ACHTUNG Der Controller kann auf einen Tisch oder ein Gestell montiert werden In beiden Fallen mu eine ungehinderte Zirkulation der K hlluft durch die im Geh use vorne und unten eingelassen Luft ffnungen gewahrleistet sein Wenn der Controller in einem Gestell montiert wird MUSS er in einer vier Rackeinheiten hohen Adapter Einheit installiert werden um zu vermeiden da der Controller nicht in das Gestell f llt Die vordere Schalttafel des MidiVac Controllers ist nicht geeignet das gesamte Gewicht der Einheit zu tragen Der Controller darf nicht in Umgebungen installiert u o benutzt werden die Witterungseinflussen Regen F
11. Produkt nicht zusammen mit Haushaltsm ll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugef hrt werden muss Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Ger ts d h die Muttergesellschaft oder den Wiederverk ufer kontaktieren um den Entsorgungsprozess zu starten nachdem er die Verkaufsbedingungen gepr ft hat 87 900 080 01 D FEHLERMELDUNGEN In einigen St rungsf llen zeigt das Selbstdiagnose system des Controllers die in der nachstehenden Tabelle zusammengefa ten Meldungen an Bei einem Durchbrennen der im Controller installierten Sicherung F1 erscheint auf der Anzeige f r einige Sekunden die Meldung Vout 0 0 gefolgt von der Fehlermeldung Err3 FEHLERMELDUNG BESCHREIBUNG GEBRAUCHSANLEITUNG ANMERKUNG Die Entfernung der Abdeckung vom MidiVac Controller bewirkt die ffnung des Sicherheitsschalters und damit die Unterbrechung der Stromversorgung wodurch der MidiVac Controler und ale seine Anzeigen ausgeschaltet werden und keine Meldung mehr am Display erscheint ST RUNGSBEHEBUNG Es wurde ein ber 3 Minuten pr senter Schalten Sie die Hochspannungsversorgung ab i Kurzschlu festgestellt Fehlermeldung SCr i und Der Betriebsdruck der Pumpe ist zu hoch ber Schutzbetrieb vergewissern Sie sich da im Hochspannungskabel kein Kurzschlu vorliegt Verbessern Sie den Grobbetriebsdruck Roughing Pressure der Pumpe i Schalten Sie
12. Zeigt bei Aufleuchten an da die Anzeige 9 die vom Controller abgegebene Spannung anzeigt Abbildung der vom Controller abgegebenen Spannung o oder i des von der Pumpe aufgenommenen Stroms Das jeweils aufleuchtende LED entspricht der maximalen Abgabespannung des Controllers Zeigt bei Aufleuchten an da die Betriebsart Schutzbetrieb i zugeschaltet ist Zeigt bei Aufleuchten an da der Controller ber die Betriebsart Fernsteuerung betrieben wird Erm glicht bei Betatigung die Zuschaltung der Betriebsart Schutzbetrieb Erm glicht i in der Betriebsart Fernsteuerung den bergang i auf die Betriebsart lokale Steuerung Erm glicht Ubergang auf die Betriebsart Fernsteuerung in der Betriebsart lokale Steuerung den 87 900 080 01 D BEDIENUNG Bedienungsarten Der MidiVac Controller kann im lokalen Modus vom Frontpaneel aus Modus Local oder im Fernmodus Uber einen Computer Modus Remote gesteuert werden Wenn keine Dialogkarte installiert ist kann der Modus Remote nicht verwendet werden Falls eine serielle Karte installiert ist kann der Modus Local mittels der Taste Men am Frontpaneel forciert werden zur Best tigung blinkt die LED REMOTE Wenn HV ON und Local aktiviert sind k nnen alle in diesem Status vorgesehenen Operationen ausgef hrt werden siehe Tabelle der Steuereinrichtungen und anzeigen Nach Abschlu der Ope
13. auf der Anzeige erscheint die Fehlermeldung Err 1 12 Verbessern Sie den Grobbetriebsdruck Roughing Pressure der Pumpe Schalten Sie den Controller aus und anschlie end i wieder ein Sollte die St rung weiterhin vorliegen i so wenden Sie sich an den Varian Kundendienst 87 900 080 01 D INDICATIONS GENERALES Cet appareillage a t congu en vue d une utilisation professionnelle Il est conseill l utilisateur de lire attentivement cette notice d instructions ainsi que toute autre indication suppl mentaire fournie par Varian avant l utilisation de l appareillage Varian d cline toute responsabilit en cas d inobservation totale ou partielle des instructions donn es d utilisation incorrecte de la part d un personnel non form d op rations non autoris es ou d un emploi contraire aux r glementations nationales sp cifiques Des renseignements plus d taill s se trouvent dans l appendice Technical Informations Cette notice utilise les signes conventionnels suivants N DANGER messaggi di pericolo attirano l attenzione dell operatore su una procedura o una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali B ATTENTION Les messages de danger attirent l attention de l op rateur sur une proc dure ou une manoeuvre sp ciale qui si elle n est pas effectu e correctement risque de provoquer de graves l sions NOTE Les
14. controller it is necessary set to position the mains switch of the rear panel see the above figure To switch on the high voltage it is necessary to set to ON position the front panel switch 12 When the high voltage is switched on the front panel LEDs 10 show the preset maximum voltage value To show on the display the output voltage you must push the front panel pushbutton 3 to show the current you must press the 4 pushbutton NOTE The output voltage value can change according to the current see the paragraph MidiVac controller description of appendix Technical information To switch off the high voltage set to OFF position the front panel switch 12 To switch off the controller set to 0 position the mains switch of the rear panel MAINTENANCE The MidVac controller does not require any maintenance Any work performed on the controller must be carried out by authorized personnel When a fault has occurred it is possible to use the Varian repair service Replacement controllers are available on an advance exchange basis through Varian To avoid injury to personnel and damage to the equipment if the controller is laying on a table make sure it is steady Before carrying out any work on the controller disconnect it from the supply If a controller is to be disposed do so in accordance with the specific national standards DISPOSAL Meaning of the WEEE logo found in labels The following symbol i
15. di visualizzare sul display i 9 il valore della corrente assorbita dalla pompa A AA A AA A A Quando acceso indica che il valore di corrente ha i raggiunto il valore impostato del Set Point 2 Quando acceso indica che il valore di corrente ha raggiunto il valore impostato del Set Point 1 pec A 5 Set2 6 Set 1 NN 8 KV nr a STE 11 PROTECT Quando acceso indica che il display 9 sta i visualizzando il valore del Set Point 1 quando i selezionato tramite il pulsante 16 Visualizza i valori delle tensioni e delle correnti selezionate tramite il pulsante 16 Il LED acceso corrisponde alla tensione massima erogabile dal controller Quando acceso indica che stato attivato il i funzionamento in modo Protect i Quando lampeggia si in fase di impostazione i Accende l alta tensione Quando acceso indica che il display 9 sta i visualizzando la corrente assorbita dalla pompa nica niia nica niieniio ezio azioni sn ecanizanicaniia nice ezio nica kk nine seneca B Quando acceso indica che il display 9 sta i visualizzando la tensione erogata dal controller Visualizza il valore della tensione erogata dal controller o la corrente assorb
16. erforderlichen Anschl sse Genauere Angaben zu den abgebildeten Anschlu arten finden Sie im Anhang Technical Information Steckverbinder Remote l O zur Fernsteuerung Vorr stung f r den Steckverbinder Set Point Optional Vorr stung f r den seriellen Steckverbinder Optional Schraube f r den Anschlu des Schutzkabels Vorr stung f r den zweiten Eingang des Schutzkabels Optional Vorr stung f r den zweiten HV Steckverbinder HV Steckverbinder Eingang des Schutzkabels Schutzkabel 10 Sicherungen 11 Buchse f r die Netzspeisung 12 Hauptschalter Hintere Schalttafel des MidiVac Controllers 9 87 900 080 01 D POS Pfeil nach oben _ Zeigt bei Aufleuchten an da die Anzeige 9 bei i Selektion i Einstellungswert 1 abbildet BEZEICHNUNG GEBRAUCHSANLEITUNG ap VARIAN Ea En Schalter 12 auf OFF Erm glicht die Reduzierung des Wertes der ber i den Schalter 16 selektionierten Funktion Befehl nicht freigegeben Befehl nicht freigegeben Zeigt bei Aufleuchten an da die Anzeige 9 bei Selektion Einstellungswert 2 abbildet Uber den Schalter 16 Uber den Schalter 16 i Spannungs und Stromwerte an Das jeweils aufleuchtende LED entspricht der i maximalen Abgabespannung des Controllers Zeigt bei A
17. inviato dal computer remoto Il controller MidiVac pu operare nei modi Start o Protect Nel modo Start dopo l accensione dell alta tensione il controller alimenta la pompa con la corrente necessaria finch non interviene una condizione di errore Nel modo Protect si hanno due possibili condizioni 1 Allaccensione la corrente erogata superiore al valore di soglia impostato in questo caso il controller eroga in uscita la corrente richiesta finch questa non scende sotto il valore di soglia impostato dopo di ch il controller entra nel vero modo Protect e spegne l alta tensione quando la corrente erogata supera il valore di soglia presentando sul display il messaggio di errore Err2 2 All accensione la corrente erogata inferiore al valore di soglia impostato in questo caso dopo un periodo di assestamento di 30 secondi durante il quale non viene controllata la corrente il controller spegne l alta tensione nel caso in cui la corrente erogata superi il valore di soglia e presenta sul display il messaggio di errore Err2 ISTRUZIONI PER L USO Accensione e Spegnimento Per accendere il controller occorre portare su l interruttore di alimentazione posto sul pannello posteriore vedi figura in alto Per accendere lalta tensione sufficiente portare su ON l interruttore 12 del pannello frontale Una volta accesa l alta tensione 1 LED 10 del pannello frontale indicano il
18. la haute tension placer l interrupteur 12 du panneau frontal sur OFF Pour teindre le contr leur porter l interrupteur d alimentation plac sur le panneau arri re sur O ENTRETIEN Le contr leur MidiVac n exige aucun entretien Toute op ration doit tre effectu e par un personnel agr En cas de panne il est possible de s adresser au Service de r paration Varian ou au Varian advance exchange service qui permet d obtenir un contr leur neuf la place du contr leur endommag Avant d effectuer toute op ration sur le contr leur d brancher le c ble d alimentation En cas de mise au rebut du contr leur proc der son limination conform ment aux r glementations nationales en la mati re MISE AU REBUT Signification du logo WEEE figurant sur les tiquettes Le symbole ci dessous est appliqu conform ment la directive CE nomm e WEEE Ce symbole uniquement valide pour les pays de la Communaut europ enne indique que le produit sur lequel il est appliqu NE doit PAS tre mis au rebut avec les ordures m nag res ou les d chets industriels ordinaires mais passer par un syst me de collecte s lective Apr s avoir v rifi les termes et conditions du contrat de vente l utilisateur final est donc pri de contacter le fournisseur du dispositif maison m re ou revendeur pour mettre en oeuvre le processus de collecte et mise au rebut 87 900 080 01 D MESSAGES D E
19. message d attention apparaissent avant certaines proc dures dont le non respect pourrait endommager s rieusement l appareillage MODE D EMPLOI DESCRIPTION DU CONTROLEUR Le contr leur MidiVac de la soci t Varian est un contr leur pour les pompes ioniques Cette unit peut tre pr configur e en usine selon les exigences du client qui peut galement commander les diff rentes cartes en option relatives la communication s rielle et au Set point Le contr leur peut connecteur de fa on ioniques Dans ce cas visualis es correspondent alimenter tre configur avec double deux pompes les valeurs de courant la somme des deux valeurs de courant relatives chaque pompe Les versions de base du MidiVac sont d taill es dans le tableau suivant la polarit ne peut tre configur e DESCRIPTION Unit de base avec tension d alimentation a 120 Vca et polarit negative Unite de base avec tension d alimentation 120 Vca et polarit positive Unit de base avec tension d alimentation 230 Vca et polarit n gative Unit de base avec tension d alimentation 230V ca et polarit positive EMMAGASINAGE 929 5000 connecteur simple 929 5001 connecteur simple 929 5002 connecteur Simple 929 5003 connecteur simple 929 5004 i double 2 connecteur 929 5005 i double 2 connecteur 929 5006 i double connecteu
20. must be applied between pins 13 and 14 To switch ON the HV the pins must be short circuited with the HV ON OFF switch on the front panel in ON position See the appendix Technical Information for detailed information about the above mentioned and the other connectors and about the optional cards installation 87 900 080 01 D USE This paragraph describes the fundamental operating procedures Detailed information and operating procedures that involve optional connections or options are supplied in the paragraph USE of the appendix Technical Information Make all vacuum manifold and electrical connections and refer to the connected pump instruction manual prior to operating the controller N WARNING To avoid injury to personnel and damage to the equipment if the controller is laying on a table make sure it is steady 3 4 9 6 7 9 INSTRUCTIONS FOR USE Midi Vac Front Panel Controls and Indicators The figure and the table of the following page illustrate the MidiVac front panel controls and indicators with relevant description and function NOTE Some controls and indicators change their function and meaning according to the position of HV ON OFF switch The table describes all function and me
21. replacement unit 4 Make sure the shipping documents clearly show the RA and then return the package to the Varian location nearest you North and South America Europe and Middle East Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Varian SpA Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Via Varian 54 Local Office Lexington MA 02421 10040 Leini TO ITALY Phone 1 781 8617200 Phone 39 011 9979111 Fax 1 781 8609252 Fax 39 011 9979330 CUSTOMER INFORMATION COIN NRI T UTER Contact person Name a rdiet dea jr AKG O lA OMPI A O ai Ship Method nissen Shipping Collect 0r Europe only VAT reg Number USA only L Taxable Non taxable Customer Bill sunga aaa fia PRODUCT IDENTIFICATION TYPE OF RETURN check appropriate box Paid Exchange Paid Repair C Warranty Exchange Warranty Repair Loaner Return Credit Shipping Error Evaluation Return Calibration Other HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any equipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this requirement presents a problem The equipment listed above check one LI HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR LI HAS been exposed to any toxic or hazardous materials In case of this sel
22. touche Menu la LED REMOTE indiquera le fonctionnement normal Avec HV OFF et Local temporairement activ il n est possible d acceder qu aux seules fonctions d introduction des param tres au terme desquelles l unit reste en mode Local Pour retourner au mode Remote il faut allumer la haute tension et appuyer sur la touche Menu Si l unit est en mode Remote et que la haute tension est allum e l allumage r el de la haute tension d pend de la derni re commande allumage ou coupure donn e l ordinateur distance La condition initiale pr configur e en usine est d arr t et pour allumer la haute tension il faut donc passer en mode Local en appuyant sur la touche Menu du panneau frontal ou envoyer la commande d allumage de la haute tension depuis l ordinateur distance Si l unit est en mode Remote et que la haute tension est teinte la mise en route de la haute tension n est possible qu travers la commande sp cifique envoy e par l ordinateur distance Le contr leur MidiVac peut op rer en mode Start ou Protect En mode Start apr s l allumage de la haute tension le contr leur alimente la pompe avec le courant n cessaire jusqu ce qu intervienne une condition d erreur En mode Protect il exite deux conditions possibles 1 Lors de la mise en route le courant fourni est sup rieur la valeur de seuil pr tablie dans ce cas le contr ler fourni
23. 0 INSTRUCTIONS FOR USE 3 CAUTION The controller can be used as a bench unit or as a rack module but it must be positioned so that free air can flow through the holes of the top and the side cover If the controller is used as a rack module it MUST be inserted in a 4 unit height rack adapter chassis due to the weight of the controller The MidiVac front panel is not designed to support the unit weight Do not install or use the controller in an environment exposed to atmospheric agents rain snow ice dust aggressive gases in explosive environments or those with a high fire risk NOTE If the controller is used as a bench unit extend the two front legs If the controller is installed on a rack remove the four feet and position it with at least 30 mm 1 2 inches of clearance on top and bottom During operation the environmental conditions must be met following e temperature from 0 C to 45 C e relative humidity O 95 non condensing To connect the controller to the pump use the specific cable not supplied NOTE The MidiVac is supplied with an interlock cable connected between the screw 4 and the cable input 8 see the rear panel figure do not remove this cable otherwise the high voltage cannot be switched on NOTE Without the interlock connection between pins 13 and 14 of the remote I O connector the controller cannot operate To remotely switch ON or OFF the HV a voltage free contact
24. 900 080 01 D GEBRAUCH In diesem Kapitel sind die wichtigsten Betriebsvorg nge aufgef hrt F r weitere Hinweise bez glich Anschlu und Montage des bestellbaren Zubeh rs verweisen wir auf das Kapitel Use im Anhang zu Technical Information Vor Benutzung des Controllers m ssen s mtliche elektrischen und pneumatischen Anschl sse entsprechend der Betriebsanleitung der angeschlossenen Pumpe ausgef hrt werden N GEFAHR Fals der Controller auf einem Tisch steht ist zur Vermeidung von Personen und CGer tesch den sicherzustellen da er einen stabilen Stand hat J REMQTE I O SET POINT IA W QUT PORT J6 GEBRAUCHSANLEITUNG Schalter und Anzeigen auf der vorderen Schalttafel des MidiVac Controllers In der auf der nachfolgenden Seite abgebildeten Tabelle wird die vordere Schalttafel des MidiVac Controllers gezeigt des weiteren werden die jeweilige Bedeutung und Funktion der Schalter und Anzeigen Tabelle beschrieben ANMERKUNG Die Bedeutung und Funktion der Schalter und Anzeigen ist von der jeweiligen Stellung des Hochspannungs schalters HV ON OFF abh ngig In der nachstehenden Tabelle sind die jeweils geltenden Bedeutungen und Funktionen angegeben Hintere Schalttafel des MidiVac Controllers Die nachstehende Abbildung zeigt die auf der hinteren Schalttafel des MidiVac Controllers pr senten Schalter und die jeweils
25. ENTS L Bad feedthrough Poor vacuum Main seal leak Bellows leak L Vacuum leak LC High voltage problem C Solenoid failure LC Damaged flange Error code on display L Other L Damaged sealing area L Other Customer application Customer application LEAK DETECTORS INSTRUMENTS _ Cannot calibrate L No zero high backround L Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode LI Communication failure _ Degas not working Failed to start Other Error code on display Other Customer application Customer application PRIMARY PUMPS DIFFUSION PUMPS Pump doesn t start Noisy pump describe Heater failure Electrical problem Doesn t reach vacuum Over temperature Doesn t reach vacuum L Cooling coil damage Pump seized C Other Vacuum leak Other Customer application Customer application FAILURE DESCRIPTION Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis NOTA Su richiesta questo documento disponibile anche in Tedesco Italiano e Francese REMARQUE Sur demande ce document est galement disponible en allemand italien et francais HINWEIS Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch Italienisch und Franz sisch erh ltlich France and Benelux Varian s a 7 Avenue des Tropiques Z A de Courtaboeuf B P 12 Les Ulis cedex Orsay 91941 France Tel
26. RREUR Pour certains types de panne le contr leur proc de un autodiagnostic et affiche l un des messages d erreur indiqu s dans le tableau suivant Au cas o le fusible F1 plac l int rieur du contr leur se br le l afficheur visualise pendant quelques secondes le message de Vout 0 0 puis le message Err 3 MESSAGE DESCRIPTION MODE D EMPLOI NOTE Le d montage du bo tier du MidiVac entra ne l ouverture du minirupteur de s curit donc l interruption de l alimentation De ce fait le MidiVac et tous ses indicateurs s teignent et plus aucun signal n appara t sur l afficheur ACTION DE CORRECTION Une condition de court circuit a t d tect e Eteindre la haute tension et contr ler que le i message SCr pendant plus de 3 minutes La pression dans la pompe est trop lev e cable de la haute tension ne soit pas en court i circuit Am liorer la pression de roughing dans i la pompe Eteindre et rallumer la haute tension Si l erreur i persiste contacter le service assistance Le contr ller a coup la haute tension suite Selectionner le mode de fonctionnement l intervention du Protect i Start Porter l interrupteur HV 12 sur OFF i Pour allumer la haute tension m me si le i courant est sup rieur au niveau de Protect i porter l interrupteur HV 12 sur ON Panne quelconque des circuits de contr le de Eteindre et rallumer le contr leur Si l erreur la h
27. Remote 1 0 per controllo remoto Predisposizione per connettore Set Point opzionale Predisposizione per connettore seriale opzionale Vite per collegamento del cavo di interlock Predisposizione per secondo ingresso cavo di interlock opzionale Predisposizione per secondo connettore HV opzionale Connettore HV Ingresso cavo di interlock Cavo di interlock 10 Fusibili 11 Presa di alimentazione da rete 12 Interruttore di alimentazione Pannello Posteriore del MidiVac 87 900 080 01 D RIF i DESCRIZIONE 1 Freccia in gi 2 Freccia in su ISTRUZIONI PER L USO de y VARIAN ka DESCRIZIONE con 12 su OFF i Quando premuto consente di diminuire il valore i della funzione selezionata con il pulsante 16 Quando premuto consente di aumentare il valore i della funzione selezionata con il pulsante 16 Comando non abilitato Comando non abilitato i Quando acceso indica che il display 9 sta i visualizzando il valore del Set Point 2 quando i selezionato tramite il pulsante 16 ar con 12 su ON Cambia il valore della tensione massima in uscita i dal controller da 7 kV a 5 kV e da 5 kV a 3 kV ak ann ona 4g i Cambia il valore della tensione massima in uscita i dal controller da 3 kV a 5 kV e da 5 kV a 7 kV Quando premuto consente di visualizzare sul display i 9 il valore della tensione erogata alla pompa Quando premuto consente
28. a ad uso professionale L utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell utilizzo dell apparecchiatura La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilit dovute all inosservanza totale o parziale delle istruzioni ad uso improprio da parte di personale non addestrato ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche Informazioni dettagliate sono fornite nell appendice Technical information Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni N PERICOLO messaggi di pericolo attirano l attenzione dell operatore su una procedura o una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali B ATTENZIONE messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che se non osservate potrebbero causare danni all apparecchiatura NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo ISTRUZIONI PER L USO DESCRIZIONE DEL CONTROLLER Il controller MidiVac della Varian un controller per le pompe ioniche L unit pu essere preconfigurata in fabbrica a seconda delle necessit del cliente o possono essere ordinate separatamente dall utente le schede opzionali relative alla comunicazione seriale e al Set point Il controller pu essere configurato con due connettori in modo da alimentare due pompe ioniche
29. a vis 4 et la bague 8 consulter la figure du panneau arri re ce c ble ne doit pas tre retir sinon il ne sera pas possible d allumer la haute tension NOTE Sans la connexion de s curit entre le plot 13 et 14 du connecteur entr e sortie le contr leur ne peut pas fonctionner Pour allumer ou teindre la haute tension il est n cessaire d installer un contact voltage flottant entre le plot 13 et 14 Pour allumer la haute tension les plots doivent tre courtcircuit s avec la haute tension allum e teinte placer l interrupteur du panneau frontal en position ON Consulter l appendice Technical Information pour toute information d taill e sur les connexions possibles ainsi que sur l installation des cartes en option 87 900 080 01 D UTILISATION Ce paragraphe reporte les principales proc dures op rationnelles Pour tout autre d tail et pour les proc dures concernant des connexions ou des l ments en option se reporter au paragraphe USE de l appendice Technical Informations Avant d utiliser le contr leur effectuer toutes les connexions lectriques et pneumatiques et se reporter la notice de la pompe connect e N DANGER Pour viter tout dommage aux personnes et l appareil si la pompe est plac e sur une table s assurer que celle ci est parfaitement stable HV OUTPUT HV CABLE HV CABLE INTERLOCK INTERLOCK i T2 5A 9 F3 2 5A VARIAN MODEL
30. age Should the error still be present call the Varian offices The controller has switched off the High Select the Start operating mode Sg RS Set to OFF position the HV 12 switch If you want to switch on the high voltage even when the current is higher than the Protect level set i to the ON position the HV 12 switch Controller generic fault of the High Voltage Switch the controller off and on again Should control circuitry the error still be present call the Varian offices The interlock cable is not installed When an High Voltage cable with the interlock cable is available check that the pump connector is correctly inserted When the above mentioned cable is not i available check that the interlock cable i supplied with the controller is connected between ground and the jack connector under the High Voltage connector Switch off and on again the controller Should 2 the error still be present call the Varian offices The high voltage output is short circuited Switch off the controller and check the high voltage output status and remove the short _ circuit condition This condition can be present for a maximum of 3 minutes then the controller switches off Improve the pump roughing pressure the high voltage and the message Err 1 is Switch off and on again the controller Should displayed _ the error still be present call the Vari
31. an offices The pump pressure is too high 24 87 900 080 01 D MIDIVAC CONTROLLER DESCRIPTION The MidiVac Controller base is available in eight versions which differ in the factory set input voltage the polarity and the number of High Voltage output connectors e Model 929 5000 set for 120 Vac negative polarity and single HV output connector e Model 929 5001 set for 120 Vac positive polarity and single HV output connector e Model 929 5002 set for 230 Vac negative polarity and single HV output connector TECHNICAL INFORMA TION Model 929 5003 set for 230 Vac positive polarity and single HV output connector Model 929 5004 set for 120 Vac negative polarity and double HV output connector Model 929 5005 set for 120 Vac positive polarity and double HV output connector Model 929 5006 set for 230 Vac negative polarity and double HV output connector Model 929 5007 set for 230 Vac positive polarity and double HV output connector dy VARIAN lt Amp Set 2 mE H H IG C O g Tan 4 i PROTECT ON MidiVac Pump Controller cc OFF i MidiVac Controller 25 87 900 080 01 D It consist of vario
32. aning MidiVac Rear Panel The MidiVac controller rear panel controls and connections are shown in the following figure For detailed information about the connections see the appendix Technical Information Remote I O connector for remote control Port available for Set Point connector optional Port available for serial connector optional Screw for interlock cable connection Port available for second interlock cable input optional Port available for second HV connector optional HV connector Interlock cable input Interlock cable 10 Fuses 11 Mains plug 12 Mains switch Controller Rear Panel 21 87 900 080 01 D REF DESCRIPTION Downwards arrow 15 Display START PROT MENU INSTRUCTIONS FOR USE p VARIAN ka DESCRIPTION with 12 set to OFF When pressed it decreases the value of the function selected by means of the 16 pushbutton When pressed it increases the value of the function selected by means of the 16 pushbutton Control disabled Control disabled When it lights up the display 9 shows the Set i Point 2 value when selected by means of the 16 i pushbutton When it lights up the display 9 shows the Set i Point 1 value when selected by means of the 16 i pushbutton It shows the voltage or current value selected by means of the pushbutton 16 The LED on correspond
33. ant l introduction des i param tres i Si le MidiVac est en mode Remote cette touche i permet de passer en mode Local Si le MidiVac est en mode Local cette touche permet d acc der aux fonctions d introduction des i param tres 16 i Touche allum e indique la pr sence de la haute i tension 5 1 nn nn nee nnn un nenn nn nn nun En nun nn nn nene een mener eme n meme nen een mme Touche allum e indique que le contr leur est g r par un ordinateur distance Si le MidiVac est en mode Remote cette touche i permet de passer en mode Local Si le MidiVac est en mode Local cette touche permet de passer en mode Remote 87 900 080 01 D UTILISATION Modes de Fonctionnement Le contr leur MidiVac peut tre command en local par le panneau frontal mode Local ou distance travers un ordinateur mode Remote Si aucune carte de communication n est install e le mode Remote n est pas disponible Au cas o une carte s rielle est install e il est possible de forcer le mode Local en appuyant sur la touche Menu du panneau frontal la LED REMOTE clignotera Avec HV ON et Local temporairement activ il est possible d effectuer toutes les op rations pr vues pour cette condition Consulter le tableau des commandes et indicateurs suivants au terme des op rations il est possible de retourner au mode Remote en appuyant nouveau sur la
34. ap VARIAN gt lt vacuum technologies MidiVac Controller I MANUALE DI ISTRUZIONI D BEDIENUNGSHANDBUCH F NOTICE DE MODE D EMPLOI Model 929 5000 GB INSTRUCTION MANUAL Model 929 5001 Model 929 5002 Model 929 5003 Model 929 5004 Model 929 5005 Model 929 5006 Model 929 5007 87 900 080 01 D APRIL 2006 MidiVac Controller ap VARIAN gt lt vacuum technologies Dear Customer Thank you for purchasing a VARIAN vacuum product At VARIAN Vacuum Technologies we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and or service you have purchased As part of our Continuous Improvement effort we ask that you report to us any problem you may have had with the purchase or operation of our product On the back side you find a Corrective Action Request form that you may fill out in the first part and return 0 us This form is intended to supplement normal lines of communications and to resolve problems that existing systems are not addressing in an adequate or timely manner Upon receipt of your Corrective Action Request we will determine the Root Cause of the problem and take the necessary actions to eliminate it You will be contacted by one of our employees who will review the problem with you and update you with the second part of the same form on our actions Your business is very important to us Please take the time and let us know how we can improve m r u A nn
35. aute tension i persiste contacter le service assistance i Varian Linterlock du c ble de la haute tension est Si on dispose d un c ble haute tension avec le i ouvert _ fil d interlock contr ler que le connecteur c t i pompe soit correctement branch i Au cas ou on ne dispose pas de cable de haute i tension contr ler que le cordon fourni avec i l unit soit branch entre la masse et la douille i plac e sous le connecteur de haute tension Eteindre et rallumer le contr ler Si l erreur i persiste contacter le service assistance i Varian La sortie de la haute tension est en court Eteindre le contr leur contr ler l tat de la i Circuit La pression de la pompe est trop lev e si cette condition dure pendant plus de 3 i minutes le contr leur coupe la haute tension et affiche le message Err 1 i sortie de la haute tension et supprimer la cause i du court circuit Am liorer la pression de i roughing de la pompe Eteindre et rallumer le contr leur Si l erreur i persiste contacter le service assistance i Varian 87 900 080 01 D GENERAL INFORMATION This equipment should only be used by trained professionals The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment Varian will not be responsible for an events caused by non compliance to operational procedures non authorised modificati
36. chio di infiammabilit NOTA Se il controller utilizzato come unit da tavolo estrarre i due piedini frontali Se il controller installato in un rack rimuovere i quattro piedini e posizionarlo con almeno 30 mm 1 2 pollici di spazio sopra e sotto Durante il funzionamento occorre che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali e temperatura da 0 C a 45 C e umidit relativa O 95 senza condensa Per collegare il controller alla pompa utilizzare il cavo specifico non fornito NOTA II MidiVac viene fornito con un cavo di interlock collegato tra la vite 4 e la boccola 8 vedere la figura del pannello posteriore questo cavo non deve essere rimosso altrimenti non sar possibile accendere l alta tensione NOTA Senza la connessione di interlock tra i pin 13 e 14 del connettore I O remoto non possibile mettere in funzione il controller Per attivare o disattivare l alta tensione necessario inserire un contatto a tensione flottante tra i pin 13 e 14 Per attivare l alta tensione i pin devono essere cortocircuitati con l alta tensione attivata disattivata portare l interruttore del pannello frontale in posizione ON Vedere lappendice Technical Information per informazioni dettagliate su questi ed altri collegamenti e sull installazione delle schede opzionali 87 900 080 01 D USO In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative Per ulteriori dettagli e
37. dc 5000 Vdc selectable 5 5 3000 Vdc 3000 Vdc 5 5 Current max 120 mA 120 mA short circuit Power max 180W 180W 3kV at 5OmA Radio interference suppression MIDIVAC CONTROLLER OUTLINE Oto 45 C 90 maximum non i condensing 0 to 5 Vdc logarithmic corresponding to 1x10 to 1x10 A 0 to 0 1 Vdc logarithmic corresponding to 1x10 to 1x10 A 0 to 7 V linear proportional to 0 to 7 kV High Voltage output Conforms to EN 61000 4 3 Conforms to i EN 61010 1 _ 6 Kg 13 2 lbs The outline dimensions for the MidiVac Controller base unit are shown in the following figure 395 85 15 581l 390 00 15 351 J RON VIE n ET Y FA a far C ES cx ANT 177 900 LG 970 164 30 6 470 IT 35 10 1 381 240 50 9 47 79 62 13 130 141 20 5 560 6 00 0 241 011 40 8320 5 00 10 20 ca e D o Li CU QU ID 147 09 ES 790 Dimensions mm inches La 200 40 7 971 MidiVac Controller Outline 27 87 900 080 01 D PUMP CONNECTION The pump is conn
38. dica che il prodotto sul quale applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata Si invita pertanto l utente finale a contattare il fornitore del dispositivo sia esso la casa madre o un rivenditore per avviare il processo di raccolta e smaltimento dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita 87 900 080 01 D ISTRUZIONI PER L USO MESSAGGI DI ERRORE Per certi tipi di guasti il controller esegue una auto diagnostica e visualizza uno dei messaggi mostrati nella tabella seguente NOTA La rimozione della copertura del MidiVac comporta l apertura del microiunterruttore di sicurezza e quindi l interruzione dell alimentazione per cui il MidiVac e Nel caso in cui si dovesse bruciare il fusibile F1 interno hf eter P a tutti i suoi indicatori si spengono e non vi alcuna al controller il display presenta per alcuni secondi l indicazione di Vout 0 0 e poi il messaggio Err 3 MESSAGGIO Guasto generico dei i dell alta tensione DESCRIZIONE E stata rilevata una condizione di corto circuito messaggio SCr per pi di 3 minuti La pressione nella pompa troppo alta controller ha spento l alta tensione per l intervento del Protect circuiti di controllo L interlock del cavo dell alta tensione aperto L uscita dell alta tensione i
39. die Hochspannungsversorgung ab i und anschlie end wieder ein Sollte die St rung i weiterhin vorliegen so wenden Sie sich an den i Varian Kundendienst W hlen Sie die Betriebsart Start Stellen Sie den HV Schalter 12 auf OFF Wenn die Hochspannungsversorgung auch bei i berschreitung des f r den Schutzbetrieb eingestellten Grenzwertes zugeschaltet werden i soll mu der HV Schalter 12 auf ON gestellt i werden Allgemeine St rung im Hochspannungssteuer Schalten Sie den Controller aus und anschlie end kreis aa pr senten Sperrleiters i Betriebsdruck der Pumpe zu hoch wieder ein Sollte die St rung weiterhin vorliegen so wenden Sie sich an den Varian Kundendienst i Sperrleiters im Hochspannungskabel vom i vorschriftsm igen Anschlu des pumpenseitigen Steckverbinders i Sollte dieses Kabel nicht vorhanden sein so kontrollieren Sie ob der mit dem Controller i mitgelieferte Leiter zwischen dem Massepol und i der unterhalb des Hochspannungssteckverbinders befindlichen Buchse angeschlossen ist Schalten Sie den Controller aus und anschlie end i wieder ein Sollte die St rung weiterhin vorliegen so wenden Sie sich an den Varian Kundendienst i den Hochspannungsausgang auf Kurzschlu und Sollte diese St rung l nger als 3 Minuten i beheben Sie die Ursache der St rung i vorliegen so wir die Hochspannungsversorgung i automatisch abgeschaltet und
40. ected to the controller rear panel via HV connector by a coaxial high voltage cable assembly cable to be separately ordered N WARNING High voltage can cause severe injury or death When installing the high power cable Turn the power oft Plugthecable on the pump side Plug the cable on the controller side and secure it When removing the cable make sure that the power is off The controller is able to accommodate cables which contain an interlock circuit Such an interlock will disable the High Voltage if the cable is not connected to the pump or switch off if the High Voltage is already on This interlock cable must be connected to the provided connector under the HV connector of the MidiVac rear panel If there is no interlock circuit in the ion pump cable there is an interlock short attached to the MidiVac The cable is connected to the back of the rear chassis and must be inserted into the corresponding jack Otherwise there will be an interlock fault on the control unit REMOTE I O CONNECTOR The Remote I O connector layout is shown in the following figure unit Interlock jumper cQ uu c5 cr ES Remote 1 0 Connector TECHNICAL INFORMATION The signals available on the connector pins are detailed in the following table DESCRIPTION ON OFF status normally open Recorder output 0 to 5 Vdc logarithmic see diagram Recorder output 0 to 0 1 Vdc logarithmic
41. ection check boxes for any materials that equipment was exposed to check all categories that apply C Toxic Corrosive Reacive Flammable Explosive _ Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials Include product name chemical name and chemical symbol or formula Print Name anne Customer Authorized Signature Dott Ile sea Date sico RE NOTE If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product and is liable for any harm or injury to Varian employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product Do not write below this line Notification RA co Customer ID Equipment Hu AL Request for Return VARIAN gt lt OE FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS L Does not start Noise Vertical Power Rotational Speed L Does not spin freely Vibrations Horizontal Current Inlet Pressure Does not reach full speed Leak Upside down Temp 1 Foreline Pressure L Mechanical Contact Overtemperature Other Temp 2 Purge flow Cooling defective OPERATION TIME TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE ION PUMPS CONTROLLERS VALVES COMPON
42. ert werden so da der Kunde den Controller durch Einsetzen bzw den Austausch zus tzlicher Karten individuell konfigurieren kann Der Controller kann mit zwei Steckverbindern zur Stromversorgung von zwei lonenpumpen konfiguriert werden In diesem Fall entsprechen die angezeigten Stromwerte der Summe der zwei Stromwerte der beiden Pumpen In der nachstehenden Tabelle sind die lieferbaren Karten zur Konfigurationserweiterung aufgef hrt die Polarit t ist nicht konfigurierbar BESCHREIBUNG Grundeinheit mit 120 V 929 5000 929 5004 Ws Speisespannung Einzelstecker i Doppelstecker und negativer Polarit t Grundeinheit mit 120 V 929 5001 929 5005 Ws Speisespannung Einzelstecker Doppelstecker und positiver Polarit t Grundeinheit mit 230 V 929 5002 929 5006 Ws Speisespannung Einzelstecker i Doppelstecker und negativer Polarit t i Grundeinheit mit 230 V 929 5003 929 5007 Ws Speisespannung Einzelstecker i Doppelstecker und positiver Polarit t LAGERUNG Beim Transport und bei der Lagerung der Controller m ssen folgende klimatischen Verh ltnisse eingehalten werden e Temperatur von 20 C bis 70 C e Relative Luftfeuchtigkeit 0 95 96 nicht kondensierend 87 900 080 01 D VOR DER INSTALLATION Der Controller wird mit einer speziellen Schutzverpackung geliefert Eventuelle Transportsch den m ssen der zust ndigen rtlichen Verkaufsstelle gemeldet werden Beim
43. eyboard it contains the functional push buttons the LEDs indicating active operating mode and the LCD display The high voltage circuitry receives the ac voltage from the mains and converts it into an high voltage to drive the pump The output voltage and current are continuously measured and displayed on the front panel display The controller automatically limits the output voltage according to the following voltage versus current diagram An analog signals output connector allows the user to control the MidiVac operation see the following paragraph for more information about the signals available on this connector NOTE Leave at least 30 mm 1 2 inches of free air circulation on top and bottom of the unit for an efficient cooling of the unit Blind the unused slots on rear panel with the provided covers Current A 87 900 080 01 D TECHNICAL INFORMATION MIDIVAC CONTROLLER SPECIFICATION Operating Input Voltage 90 to 130 Vac 1 phase en factory preset 180 to 265 Vac 1 phase Humidity Frequency 47 to 63 Hz Temperature Recorder outputs Power 310W analog signals Fuses 2x 1 6 A external minimum recorder i 1x1 6A internal impedance 1 MQ for 230 Vac models i 2x2 5 A external i 1x2 5 A internal for 120 Vac models Pos Output Neg Output 7000Vdc 7000 Vdc selectable i 2 10 2 10 polarity not i 5000 V
44. from the host computer The initial condition from the factory is an off signal To turn ON the HV it is necessary to switch to Local mode by pressing the Menu push button and engaging the HV or to send the appropriate signal from the host computer If the controller is set to Remote mode and the HV is off the high voltage signal can only be switched on by an appropriate serial command from the host computer The MidiVac controller can operate in Start or Protect modes In the Start mode when the high voltage is switched on the controller feeds the pump with the required current until a fault condition is detected In the Protect mode two different conditions are possible 1 When the High Voltage is switched on the current value exceeds the set trip current while the controller feeds the pump with the required current until its value falls under the set threshold value at this time the controller operates with a real Protect mode and it switches off the High Voltage when the current exceeds its set threshold value and displays the Err2 message 2 When the controller is switched on the current value is less than the threshold value in this case after a settling time of about 30 seconds when the current is not controlled the controller switches off when the current value exceeds the set threshold value and displays the Err2 message INSTRUCTIONS FOR USE Switching On and Off To switch on the
45. g0 g1 g0 NT NA NNHN l0 0 l san 0 i Touche allum e indique que l afficheur 9 visualise i la valeur du Set Point 1 lorsqu il est s lectionn i l aide de la touche 16 3 v EN ee 5 Set2 6 Seti Ma i Amp ud 9 Afficheur Touche allum e indique que l afficheur 9 visualise la valeur du Set Point 2 lorsqu il est s lectionn i l aide de la touche 16 Permet de diminuer i s lectionn e l aide de la touche 16 Permet d augmenter la valeur de i s lectionn e l aide de la touche 16 MODE D EMPLOI p VARIAN ka Avec 12 sur OFF la valeur de la fonction la fonction i Commande hors service Commande hors service Avec 12 sur ON Modifie la valeur de la tension maximum la sortie i du contr leur de 7 kV 5 kV et de 5 kV 3 kV Modifie la valeur de la tension maximum la sortie i du contr leur de 3 kV 5 kV et de 5 kV 7 kV de i Permet de visualiser sur l afficheur 9 la valeur de la i tension fournie la pompe Permet de visualiser sur l afficheur 9 la valeur du courant absorb par la pompe Touche allum e indique que la valeur de courant a atteint la valeur pr tablie du Set Point 2 i Touche allum e indique que la valeur de courant a i atteint la valeur pr tablie du Set Point 1
46. ion resistant 4 m 13 ft long with interlock HV bakeable cable radiation resistant 7 m 23 ft long with interlock HV bakeable cable radiation resistant 10 m 33 ft long with interlock HV bakeable cable radiation 929 0709 resistant 20 m 66 ft long with interlock 87 900 080 01 D TECHNICAL INFORMATION gt Z iu YK YK 10 10 10 PRESSURE mbar Vaclon Plus 500 Pressure Vs Current Diagram Z LL 4 YK 5 O 0 107 10 PRESSURE mbar Vaclon P
47. ita dalla pompa Il LED acceso corrisponde alla tensione massima erogabile dal controller Quando acceso indica che stato attivato il i funzionamento in modo Protect gt us NENNEN 13 HV i Quando acceso indica che il controller gestito da i un computer remoto Quando premuto permette di attivare il modo Protect Il LED 11 lampeggia durante le operazioni di i impostazione Quando acceso indica che il controller gestito da i un computer remoto A heen hehe heh hth t tht hte ht ht hth tt ht ht Stt ht htt htt ht htt tht ht ite ht htt ht hte tent ht tt tint ett nt ntitt nth ite ht itt ite ntti tt ntti hte ntti teenie ten tt itt i tert trite tree treet iret reetraty H Quando premuto permette di attivare il modo i Protect ee Se il MidiVac in modo Remote quando premuto i permette di passare in modo Local i Se il MidiVac in modo Local quando premuto i permette di passare in modo Remote 15 START PROT 16 MENU Se il MidiVac in modo Remote quando premuto i permette di passare in modo Local i Se il MidiVac in modo Local quando premuto i permette di accedere alle funzioni di impostazione 87 900 080 01 D PROCEDURE DI USO Modi di Funzionamento Il controller MidiVac pu essere comandato in locale dal pannello frontale modo Local o da remoto tramite un computer modo Remote Se non
48. lus 300 Pressure Vs Current Diagram 31 87 900 080 01 D TECHNICAL INFORMATION E Lu x De 10 107 10 10 10 10 10 PRESSURE mbar Vaclon Plus 150 Pressure vs Current Diagram LU aa 14 gt O 10 10 107 10 10 10 107 10 PRESSURE mbar Vaclon Plus 75 Pressure vs Current Diagram 32 87 900 080 01 D TECHNICAL INFORMATION
49. n Speisestrom solang keine Fehlerbedingung eintritt Die Betriebsart Sicherheitsbetrieb bietet zwei M glichkeiten den Betriebs 1 Bei Einschaltung liegt der abgegebene Strom berhalb des eingestellten Schwellenwertes auf diese Art wird der ausgehende Strom solange abgegeben bis da der Ausgangsstrom nicht unter den eingestellten Grenzwert abf llt danach schaltet sich der Controller automatisch in die Betriebsart Sicherheitsbetrieb so da die Hochspannung bei einer berschreitung des Grenzwertes abgeschaltet wird und auf dem Display die Fehlermeldung Err2 erscheint 2 Bei Einschaltung liegt der abgegebene Strom unterhalb des eingestellten Schwellenwertes auf diese Art wird die Hochspannung nach einem Stabilisierungszyklus von 30 Sekunden in dem keine Kontrolle des abgegebenen Stroms stattfindet abgeschaltet wenn der Ausgangsstrom den eingestellten Grenzwert berschreitet und auf dem Display die Fehlermeldung Err2 erscheint GEBRAUCHSANLEITUNG Ein und Abschaltung des Controllers Stellen Sie zur Einschaltung des Controllers den auf der hinteren Schalttafel pr senten Hauptschalter auf 1 siehe vorstehende Abb Stellen Sie zur Zuschaltung der Hochspannungs versorgung den auf der vorderen Schalttafel pr senten Schalter 12 auf ON Nach Zuschaltung der Hochspannungs versorgung zeigen die auf der vorderen Schalttafel pr senten LEDs 10 den jeweils eingestellten H chstspannungswert an Zu
50. n corto circuito La pressione della pompa troppo alta Se questa condizione permane per pi di 3 minuti il controller spegne l alta tensione e diroughing della pompa presenta il messaggio Err 1 segnalazione sul display AZIONE CORRETTIVA Spegnere l alta tensione e verificare che il cavo dell alta tensione non sia in corto circuito Migliorare la pressione di roughing nella pompa i Spegnere e quindi riaccendere l alta tensione Se l errore si ripresenta chiamare l assistenza Varian Selezionare il modo di funzionamento Start i Portare su OFF Pinterruttore HV 12 Se si i vuole accendere l alta tensione anche se la corrente superiore al livello di Protect i portare su ON l interruttore HV 12 Spegnere e riaccendere il controller Se l errore i si ripresenta chiamare l assistenza Varian Se si dispone di un cavo alta tensione con il filo i di interlock verificare che il connettore dal lato i della pompa sia inserito correttamente Nel caso in cui non si disponesse di tale cavo verificare che il cavetto fornito con l unit sia i collegato tra la massa e la boccola posta sotto il connettore dell alta tensione Spegnere e riaccendere il controller Se l errore Si ripresenta chiamare l assistenza Varian Spegnere il controller verificare lo stato dell uscita dell alta tensione e rimuovere la causa del corto circuito Migliorare la pres
51. n it lights up the MidiVac is controlled by an host i Computer When pressed it activates the Protect operating If the MidiVac is in Remote mode when pressed it switches the operating mode to Local If the MidiVac is in Local mode when pressed it allows to switch to Remote 87 900 080 01 D USE PROCEDURE Operating Modes The MidiVac controller can be set to operate in front panel mode Local mode or by host computer Remote mode If no optional serial card is installed in the controller the Remote mode is unavailable If the serial card is installed the Local mode can be forced by pressing the Menu push button on the front panel the REMOTE LED will blink If the HV is on and the temporary Local mode is activated all the operations in the normal Local mode can be executed see the following table regarding controls and indicators Remote mode can be restored by pressing the Menu push button The REMOTE LED should indicate normal operation When the HV is OFF and the temporary Local mode is activated only the setting operations can be accessed At the end of the settings menu the unit will default to true Local mode To restore the Remote mode switch the HV on and press the Menu push button If the controller is set to Remote mode and the HV is on the high voltage signal will depend on the last command on or off
52. ncher de la prise d alimentation 14 MODE D EMPLOI 2 ATTENTION Le contr leur peut tre utilis aussi bien comme unit de table que comme module rack Il doit quoi qu il en soit tre plac de facon ce que l air puisse circuler librement travers les trous d a ration m nag s sur la partie sup rieure et inf rieure du boitier Si le contr leur est utilis comme module rack il DOIT tre ins r dans un adaptateur d une hauteur de quatre unit s de rack pour viter qu il ne tombe l int rieur du rack lui m me Le panneau frontal du MidiVac n est pas concu pour supporter le poids de l unit Ne pas installer ni utiliser le contr leur dans des milieux expos s aux agents atmosph riques pluie gel neige aux poussi res aux gaz corrosifs ni dans des milieux explosifs ou risque d incendie lev NOTE Si le contr leur est utilis comme unit de table extraire les deux pieds avant Si le contr leur est install dans un rack enlever les quatre pieds et le placer de mani re avoir un espace libre d au moins 30 mm 1 2 pouces au dessus et au dessous Pendant le fonctionnement toujours respecter les conditions environnementales suivantes e temp rature de 0 C 45 C e humidit relative O 95 non condensante Pour brancher le contr leur la pompe utiliser le c ble sp cifique non fourni NOTE Le MidiVac est livr avec un c ble de s curit reli entre l
53. non sottoporlo ad urti Non disperdere l imballo nell ambiente Il materiale completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85 399 per la tutela dell ambiente INSTALLAZIONE PERICOLO Il controller munito di un cavo di alimentazione a 3 fili con una spina di sicurezza approvata a livello internazionale Utilizzare questo cavo di alimentazione e la spina insieme ad una presa munita di collegamento di terra onde evitare folgorazioni Verificare che il collegamento di terra sia collegato in modo corretto All interno del controller si sviluppano alte tensioni che possono recare gravi danni o la morte Prima di eseguire qualsiasi operazione di installazione manutenzione del controller scollegarlo dalla alimentazione ISTRUZIONI PER L USO I ATTENZIONE Il controller pu essere usato sia come unit da tavolo sia come modulo a rack in ogni caso deve essere posizionato in modo tale che l aria possa circolare liberamente attraverso i fori di areazione presenti sulla copertura superiore e laterale Se il controller viene utilizzato come modulo a rack DEVE essere inserito in un adattatore alto quattro unit rack a causa del suo peso Il pannello frontale del MidiVac non previsto per reggere il peso dell unit Non installare o utilizzare il controller in un ambiente esposto ad agenti atmosferici pioggia neve ghiaccio polvere gas corrosivi o in un ambiente esplosivo o ad alto ris
54. nt panel At this time the START PROT pushbutton can be pressed to select the Protect mode at the switching ON 1 The first selection of the MENU push button to sets the Set point 1 value The display shows the stored value and the flashing exponent can be changed by the Arrow push button Pressing the P pushbutton you can select another figure to be modified The default value is 1 0 x 10 and the setting value are from 0 0 x 107 to 9 9 x 107 Note that values equal to 0 are meaningless 2 Pushing the MENU push button a second time shows the Set point 2 value The display shows the stored value and the flashing exponent can be changed by the Arrow push button Pressing the I pushbutton you can select another figure to be modified The default value is 1 0 x 10 and the setting value are from 0 0 x 107 to 9 9 x 10 Note that values equal to 0 are meaningless 3 Pushing the MENU push button a third time shows the Protect value The display shows the stored value and the flashing figures can be changed by the Arrow push button The only figures that can be changed are the units and the tens while the exponent is fixed to 10 By pressing the I pushbutton you can select the figure to be modified The default value is 1 0 x 10 4 Pushing the MENU push button a fourth time stores the set values NOTE The MENU push button must be always pressed until the last step to store the new val
55. ons of the equipment or any action not sanctioned by national standards Detailed information Technical Information is supplied in the appendix This manual uses the following standard protocol N WARNING The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which if not followed correctly could lead to serious injury B CAUTION The caution messages are displayed before procedures which if not followed could cause damage to the equipment NOTE The notes contain important information taken from the text INSTRUCTIONS FOR USE CONTROLLER DESCRIPTION Varian s MidiVac controller is a ion pump controller The unit can be factory configured according to the customer s needs or the user can order separately the option cards relevant to the serial communication and the Set Point function The controller can be configured with two connectors in order to power two ion pumps In this case the displayed current values are the sum of the currents relevant to the two pumps The base versions of the MidiVac are detailed in the following table the polarity of the voltage is not user configurable DESCRIPTION Base unit with 120 Vac power supply and negative polarity Base unit with 120 Vac power supply and positive i connector polarity Base unit with 230 Vac supply and connector power negative polarity Base unit with 230 Vac p
56. ower supply and positive connector polarity STORAGE 929 5000 i single connector 929 5001 single 929 5002 single 929 5003 single 929 5004 i double connector 929 5005 double connector 929 5006 double connector 929 5007 i double connector When transporting and storing the controllers the following environmental requirements should not be exceeded e Temperature from 20 C to 70 C e Relative humidity O to 95 without condensing 19 87 900 080 01 D PREPARATION FOR INSTALLATION The controller is supplied in a special protective packing If this shows signs of damage which may have occurred during transport contact your local sales office When unpacking the controller be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 recyclable and complies with EEC Directive 85 399 INSTALLATION N WARNING The controller is equipped with a 3 wire power cord and plug internationally approved for user s safety Use this power cord and plug in conjunction with a properly grounded power socket to avoid electrical shock Verify that the ground connections are properly connected High voltage developed in the controller can cause severe injury or death Before servicing the unit disconnect the power cable 2
57. per procedure che coinvolgono collegamenti o particolari opzionali fare riferimento al paragrafo USE dell appendice Technical Information Prima di usare il controller effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici e fare riferimento al manuale della pompa collegata N PERICOLO Per evitare danni alle persone ed all apparato nel caso in cui il controller sia appoggiato su di un tavolo assicurarsi che sia stabile HV OUTPUT HV CABLE HV CABLE INTERLOCK INTERLOCK p a Ne o dy VARIAN MODEL SERIAL ISTRUZIONI PER L USO Controlli ed Indicatori del Pannello Frontale del MidiVac La figura e la tabella della pagina seguente illustrano il pannello frontale del controller MidiVac con il significato e la funzione dei relativi controlli e degli indicatori NOTA Alcuni controlli ed indicatori variano la loro funzione ed il loro significato in funzione della posizione dell interruttore HV ON OFF La tabella riporta entrambi i significati ed entrambe le funzioni Pannello Posteriore del MidiVac La figura seguente mostra i controlli e le connessioni del pannello posteriore del controller MidiVac Informazioni dettagliate sulle connessioni illustrate sono contenute nell appendice Technical Information Connettore
58. r 929 5007 i double connecteur Pendant le transport et l emmagasinage du contr leur il faudra veiller respecter environnementales suivantes e temp rature de 20 C 70 C les conditions e humidit relative O 95 non condensante 87 900 080 01 D PREPARATION POUR L INSTALLATION Le contr leur est livr dans un emballage de protection sp cial si l on constate des marques de dommages pouvant s tre produits pendant le transport contacter aussit t le bureau de vente local Pendant l op ration d ouverture de l emballage veiller tout particuli rement ne pas laisser tomber le contr leur et ne lui faire subir aucun choc Ne pas jeter l emballage dans la nature Le mat riel est enti rement recyclable et il est conforme aux directives CEE 83 399 en mati re de protection de l environnement INSTALLATION N DANGER Le contr leur est pourvu d un c ble d alimentation 3 fils avec fiche de s curit approuv e l chelle internationale Utiliser ce c ble d alimentation ainsi que la fiche avec une prise munie de connexion la terre pour viter tout risque d lectrocution S assurer que la connexion la terre est correctement effectu e A l int rieur du contr leur se d veloppent de hautes tensions qui peuvent causer de graves dommages voire la mort Avant d effectuer toute op ration d installation ou d entretien du contr leur le d bra
59. r Abbildung des Wertes der Ausgangsspannung mu der auf der vorderen Schalttafel pr sente Schalter 3 gedr ckt werden zur Abbildung des Stromwertes muf3 der Schalter 4 bet tigt werden ANMERKUNG Der Wert der Ausgangsspannung kann in Abh ngigkeit zum Strom variieren in diesem Zusammenhang wird auf das Kapitel MidiVac Controller Description des Anhangs Technical Information verwiesen Wenn lediglich die Hochspannungsversorgung unterbrochen werden soll muB der auf der vorderen Schalttafel pr sente Schalter 12 auf OFF gestellt werden Zur Abschaltung des Controllers mu der auf der hinteren Schalttafel pr sente Hauptschalter auf 0 gestellt werden WARTUNG Die MidiVac Controller sind wartungsfrei Eventuell erforderliche Eingriffe m ssen von dazu befugtem Fachpersonal ausgef hrt werden Bei St rungen kann der Varian Reparaturdienst bzw der Varian advanced exchange service in Anspruch genommen werden der f r den Austausch defekter Controller sorgt re Vor jedem Eingriff am Controller mu der Netzstecker gezogen werden Eine eventuelle Verschrottung muf3 unter Einhaltung der einschl gigen landes blichen Vorschriften erfolgen ENTSORGUNG Bedeutung des WEEE Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in Ubereinstimmung mit der EU Richtlinie WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment angebracht Dieses Symbol nur in den EU Landern g ltig zeigt an dass das betreffende
60. rationen kann durch erneutes Bet tigen der Taste Men zum Modus Remote zur ckgekehrt werden Die LED REMOTE zeigt daraufhin die normale Funktionsweise an Wenn HV OFF und Local aktiviert sind erh lt man nur X Zugriff auf die Funktionen f r die Parametereinstellung nach deren Abschlu die Einheit im Modus Local bleibt Um zum Modus Remote zur ckzukehren ist die Hochspannung einzuschalten und anschlieBend Taste Men zu bet tigen Wenn sich die Einheit im Modus Remote befindet und die Hochspannung eingeschaltet ist ist die reale Einschaltung der Hochspannung von dem letzten ber den angeschlossenen Computer zur Fernsteuerung gegebenen Steuerbefehl Zuschaltung Abschaltung abh ngig Die werkseitige Einstellung erfolgt auf die Abschaltung so da zur Zuschaltung der Hochspannung die Umschaltung auf den Modus Local mittels der Taste Men am Frontpaneel erforderlich ist oder der Steuerbefehl zur Zuschaltung der Hochspannung per Fernsteuerung ber den angeschlossenen Computer zu geben ist Wenn sich die Einheit im Modus Remote befindet und die Hochspannung ausgeschaltet ist ist die Zuschaltung der Hochspannung nur ber den daf r vorgesehenen Steuerbefehl vom Computer zur Fernsteuerung m glich Der MidiVac Controller kann in den Betriebsarten Start und Sicherheitsbetrieb arbeiten In der Betriebsart Start versorgt der Controller nach der Zuschaltung der Hochspannung die Pumpe mit dem erforderliche
61. rost Schnee Staub und aggressiven Gasen ausgesetzt sind und in denen Explosions und erh hte Brandgefahr besteht ANMERKUNG If the controller is used as a bench unit extend the two front legs If the controller is installed on a rack remove the four feet and position it with at least 30 mm 1 2 inches of clearance on top and bottom Wahrend des Betriebs m ssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden e Temperatur von 0 C bis 45 C e Relative Luftfeuchtigkeit 0 95 nicht kondensierend Zum Anschlu des Controllers an die Pumpe ist das spezielle Kabel zu verwenden das nicht mitgeliefert wird ANMERKUNG Der MidiVac Controller wird mit einem Schutzkabel geliefert das zwischen der Schraube 4 und der Buchse 8 angeschlossen ist siehe Abbildung der Ger ter ckseite Dieses Kabel darf nicht entfernt werden da andernfalls die Einschaltung der Hochspannung nicht m glich ist ANMERKUNG Ohne die Verriegelungsverbindung zwischen den Stiften 13 und 14 des Fern E A Steckers kann der Kontroller nicht arbeiten Um die HV remote AUS oder ElNzuschalten muss ein spannungsfreier Kontakt zwischen den Stiften 13 und 14 hergestellt werden Zum Einschalten der HV m ssen die Stifte kurzgeschlossen werden mit dem EIN AUS Schalter auf der Frontseite in der EIN Stellung Detailliertere Hinweise zu weiteren Anschlu arten sowie zum Einsatz von Zusatzkarten finden Sie im Anhang Technical Information 87
62. s applied in accordance with the EC WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment Directive This symbol valid only in countries of the European Community indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system The end user is therefore invited to contact the supplier of the device whether the Parent Company or a retailer to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale 87 900 080 01 D INSTRUCTIONS FOR USE ERROR MESSAGES For a certain type of failure the controller will self NOTE diagnose the error and the messages described in the When the MidiVac cover is removed the internal following table are displayed security microswitch is open and the supply to the controller is interrupted the controller and all its indicators are switched off and no message is displayed on the display When the internal F1 fuse is broken the display shows the message Vout 0 0 from a few seconds and the shows the message Err 3 MESSAGE DESCRIPTION REPAIR ACTION A short circuit condition message SCr has Turn off the high voltage and check the HV _ been detected for more than 3 minutes cable against short circuits The pump pressure is too high Improve the pump roughing pressure Switch off and on again the high volt
63. s to the maximum controller i output voltage When it lights up the Protect operating mode is activated When it flashes the controller is in setting mode When it lights up the MidiVac is controlled by an i host computer When pressed it activates the Protect operating mode o LED 11 flashes during the setting operations If the MidiVac is in Remote mode when pressed it switches the operating mode to Local If the MidiVac is in Local mode when pressed it allows to access to the setting functions 22 with 12 set to ON When pressed it changes the maximum output voltage from 7 kV to 5 kV and from 5 KV to 3 kV When pressed it changes the maximum output voltage from 3 kV to 5 kV and from 5 kV to 7 kV When pressed the display 9 shows the value of the i output voltage to the pump When pressed the display 9 shows the pump i absorbed current When it lights up the current value has reached the Set Point 2 value When it lights up the current value has reached the Set Point 1 value When it lights up the display 9 shows the pump i absorbed current When it lights up the display 9 shows controller output voltage It shows the controller output voltage or the pump i absorbed current The LED on corresponds to the maximum controller output voltage When it lights up the Protect operating mode is activated Whe
64. see diagram Interlock input Remote HV ON OFF command NOTE Without the interlock connection between pins 13 and 14 of the remote I O connector the controller cannot operate To remotely switch ON or OFF the HV a voltage free contact must be applied between pins 13 and 14 To switch ON the HV the pins must be short circuited with the HV ON OFF switch on the front panel in ON position 87 900 080 01 D gt 5 YK Rec Out V TECHNICAL INFORMATION 10 10 Current A Recorder Output Diagram from 0 to 5 V 10 10 Current A Recorder Output Diagram from 0 to 0 1 V 29 87 900 080 01 D USE The controller can be used in two different modes e setting mode e operating mode The first mode enables the user to set some operating parameters the second one is the normal operating condition Setting Mode To access the setting mode the HV ON OFF switch must be set to the OFF position The parameters that can be set are accessed by repeatedly pressing the MENU pushbutton of the fro
65. sione i Spegnere e riaccendere il controller Se l errore i Si ripresenta chiamare l assistenza Varian 87 900 080 01 D ALLGEMEINES Dieser Apparat ist f r Fachbetriebe bestimmt Vor Gebrauch sollte der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau lesen Bei Nichtbeachtung auch teilweise der enthaltenen Hinweise unsachgem em Gebrauch durch ungeschultes Personal nicht autorisierten Eingriffen und Mi achtung der einheimischen hier zur Geltung kommenden Bestimmungen bernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung Detaillierte technische Informationen sind im Anhang Technical Information enthalten In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheits hinweise folgenderma en hervorgehoben GEFAHR Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf bestimmte Vorgange oder Praktiken die bei unkorrekter Ausfuhrung schwere Verletzungen hervorrufen k nnen B ACHTUNG Die Warnhinweise vor bestimmten Prozeduren machen den Bediener darauf aufmerksam da bei Nichteinhaltung Sch den an der Anlage entstehen k nnen ANMERKUNG Die Anmerkungen enthalten wichtige Informationen die im Text hervorgehoben werden GEBRAUCHSANLEITUNG BESCHREIBUNG DES CONTROLLERS Der MidiVac Controller der Firma Varian ist ein Ger t zur Steuerung von lonenpumpen Das Ger t kann im Werk nach den Angaben des Kunden voreingestellt werden oder in Einzelkomponenten gelief
66. t en sortie le courant demand jusqu ce que celui ci ne descende en dessous la valeur de seuil pr tablie ensuite le contr leur entre v ritablement en mode Protect et coupe la haute tension lorsque le courant fourni d passe la valeur de seuil et visualise sur l afficheur le message d erreur Err2 2 Lors de la mise en route le courant fourni est inf rieur la valeur de seuil pr tablie dans ce cas apr s une p riode de pose de 30 secondes au cours de laquelle le courant n est pas contr l le contr leur coupe la haute tension dans le cas o le courant fourni d passe la valeur de seuil et visualise sur l afficheur le message d erreur Err2 17 MODE D EMPLOI Allumage et Coupure Pour allumer le contr ler porter l interrupteur d alimentation plac sur le panneau arri re sur 1 Cf figure ci avant Pour allumer la haute tension il suffit de porter sur ON l interrupteur 12 du panneau frontal Une fois la haute tension allum e les LED 10 du panneau frontal indiquent la valeur de tension maximum introduite Pour visualiser la valeur de la tension en sortie sur l afficheur appuyer sur la touche 3 du panneau frontal Pour visualiser le courant appuyer sur la touche 4 NOTE La valeur de la tension en sortie peut varier en fonction du courant se reporter au diagramme tension courant du paragraphe MidiVac controller description de l appendice Technical Information Pour couper uniquement
67. ues The settings remain stored even when the controller is switched off 30 TECHNICAL INFORMATION Operating Mode During the normal operating condition the only available operations are 1 Switching on off of the high voltage 2 Selection of the value voltage or current to be displayed 3 Selection of the maximum output voltage value To switch on the high voltage the front panel switch HV ON OFF must be set in ON position When the high voltage is switched on the front panel LEDs 3Kv 5Kv 7Kv show the preset maximum voltage value To change the maximum output voltage value press the Arrow push buttons in the front panel the Upwards arrow push button increases the value the Downwards arrow push button decreases it To display the output voltage press the V push button in the front panel to show the current the I push button must be pressed To switch off the high voltage the HV ON OFF switch must be set to OFF position PRESSURE VS CURRENT DIAGRAMS In the following pages are shown the pressure vs current diagrams of MidiVac for all Vaclon pumps If two ion pumps are connected to the MidiVac the displayed current will be a sum of the two currents drawn by the pumps ACCESSORIES AND SPARE PARTS The MidiVac accessories and spare parts are detailed in the following table DESCRIPTION MD RS232 serial communication 929 5010 MD RS422 serial communication HV bakeable cable radiat
68. ufleuchten an da die Betriebsart i Schutzbetrieb zugeschaltet ist Zeigt bei Aufleuchten an da der Controller ber i die Betriebsart Fernsteuerung betrieben wird Erm glicht bei Bet tigung die Zuschaltung der i Betriebsart Schutzbetrieb Das Led blinkt w hrend der Vorg nge zur Einstellung der Betriebsparameter Erm glicht in der Betriebsart Fernsteuerung iden bergang auf die Betriebsart Steuerung Erm glicht in der Betriebsart lokale Steuerung i die Einstellung der Betriebsparameter lokale 10 Zeigt den den i Schalter 12 auf ON Reduzierung des Wertes der maximalen i Ausgangsspannung des Controllers von 7 kV auf 5 kV bzw i von 5 kV auf 3 kV Erm glicht die Steigerung des Wertes der ber den Schalter 16 selektionierten Funktion Steigerung des Wertes der maximalen Ausgangsspannung des Controllers von 3kV auf 5 kV bzw von 5 kV auf 7 KV Bewirkt bei Betatigung die Abbildung des Wertes des an die Pumpe abgegebenen Stroms ber die Anzeige 9 Bewirkt bei Bet tigung die Abbildung des Wertes des von i der Pumpe aufgenommenen Stroms ber die Anzeige 9 bei Aufleuchten an da der Strom den Einstellungswert Set Point 2 berschritten hat bei Aufleuchten an da der Strom den Di Set Point 1 berschritten hat Zeigt bei Aufleuchten an daf die Anzeige 9 die von der Pumpe aufgenommene Spannung anzeigt
69. us boards The following figure shows the minimum configuration Di mq c NN D Ter E LUIj h d ha BS ER ree ae oe a C MidiVac Controller Boards Top view 1 Dc power supply board it contains the EMI filter The ac input voltage is rectified and the needed DC output voltages are generated Voltage V w e e e e e e e e e TECHNICAL INFORMA TION 2 Microprocessor board located on front panel it is based on a single chip microprocessor with a large input output capability lt manages commands coming from the front panel keyboard and drives the front panel display and the high voltage output 3 Voltage multiplier board it multiplies four times the voltage from the transformer 4 Display and front panel k
70. valore di tensione massima impostato Per visualizzare sul display il valore della tensione in uscita occorre premere il pulsante 3 del pannello frontale per visualizzare la corrente occorre invece premere il pulsante 4 NOTA Il valore della tensione in uscita puo variare in funzione della corrente vedere il diagramma tensione corrente riportato nel paragrafo MidiVac controller description dell appendice Technical Information Per spegnere la sola alta tensione portare su OFF l interruttore 12 del pannello frontale Per spegnere il controller portare su O l interruttore di alimentazione posto sul pannello posteriore MANUTENZIONE Il controller MidiVac non richiede alcuna manutenzione Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato In caso di guasto possibile usufruire del servizio di riparazione Varian o del Varian advance exchange service che permette di ottenere un controller nuovo in sostituzione di quello guasto PERICOLO Prima di effettuare qualsiasi intervento sul controller scollegare il cavo di alimentazione Qualora un controller dovesse essere rottamato procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche SMALTIMENTO Significato del logo WEEE presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata WEEE Questo simbolo valido solo per i paesi della Comunit Europea in

MIDIVAC CONTROLLER DESCRIPTION

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