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Typenbez. LDS3000

1. Bei Bedarf Parameter laden FUNKTIONEN gt DATEN gt PARAMETER gt LADEN gt PARAMETER LADEN gt Bei Bedarf Parameter speichern FUNKTIONEN gt DATEN gt PARAMETER gt SPEICHERN gt PARAMETER SPEICHERN Betriebsart w hlen VAC Vakuummodus SNIFF Schnuffelmodus Betriebsart nach Bedarf w hlen EINSTELLUNGEN gt EINRICHTEN gt BETRIEBSARTEN gt VAC SNIFF gt BETRIEBSART 30 Betrieb d INFICON 6 8 ZERO aktivieren deaktivieren Mit ZERO k nnen unerw nschte Heliumuntergr nde unterdr ckt werden Wenn ZERO aktiviert wird wird der aktuelle Messwert f r die Leckrate als Heliumuntergrund gewertet und von allen nachfolgenden Messwerten abgezogen Der Untergrundwert der durch ZERO unterdr ckt wird wird automatisch angepasst wenn sich der Untergrund im Ger t verringert Information Wenn der Signalfilter Fixed oder 2 Zone gew hlt ist dann wird der Untergrundwert automatisch in Abh ngigkeit von der eingestellten Zero Zeit angepasst ZERO nach Bedarf aktivieren oder deaktivieren EINSTELLUNGEN gt ZERO FILTER gt ZERO gt ZERO MODUS ZERO BEI START unterdr ckt den Heliumuntergrund automatisch beim Start einer Messung gt ZERO BEI START nach Bedarf aktivieren oder deaktivieren EINSTELLUNGEN gt ZERO FILTER gt ZERO gt ZERO BEI START 6 9 Signalfilter w hlen Signalfilter Die Leckraten werden abhangig vom Leckratenbereich in CAL H optimierten Zeitintervall
2. normal CAL Pin 2 Sniff Pin 3 Start Stop invertiert Pin 4 Zero Pin 5 External CAL Pin 6 Internal CAL Pin 7 Clear Pin 8 Pin 9 Pin 10 Leckrateneinheit SNIFF Leckrateneinheit VAC mbar l s mbar l s 15 Beschreibung d INFICON Parameter Werkseinstellung L ftersteuerung L fter immer an Maschinenfak in Standby Aus Maschinenfaktor Schn ffelfaktor 1 0 f r alle Massen Masse 4 Maximaldruck VAC 18 mbar Modul am UO Anschluss 101000 Nominalzustand TMP An Priifleck extern SNIF 9 9 x 102 Pr fleck extern VAC 9 9 x 1072 Pr fleck intern 9 9 x 102 Schn ffelfaktor 1 0 f r alle Massen TMP Drehzahl 1500 Triggerlevel 1 2 3 4 1 x 107 mbar l s Wartungsmeldung Aus Zero bei Start Aus Zero Modus Normal Zerotaster Schn ffler An 16 Beschreibung 5 Montage d INFICON 5 1 MSB Box drehen Bei Bedarf k nnen Sie die MSB Box r ckseitig in das Massenspektrometer Modul LDS3000 schieben gt vvvvy gt gt gt gt 5 2 Massenspektrometer Modul an Pr fanlage montieren Information Das Massenspektrometer Modul kann in allen Lagen montiert werden Verriegelung der MSB Box entfernen Verriegelung in Gewinde auf R ckseite der MSB Box schrauben Alle Leitungen von MSB Box l sen Alle Kabelklips von Rahmen l sen MSB Box herausziehen MSB Box r ckseiti
3. 49 0 221 56788 90 www inficon com E mail leakdetection inficon com 50 Anhang d INFICON 9 2 _Kontaminationserkl rung INFICON Kontaminationserkl rung Die Instandhaltung die Instandsetzung und oder die Entsorgung von Vakuumger ten und komponenten wird nur durchgef hrt wenn eine korrekt und vollst ndig ausgef llte Kontaminationserkl rung vorliegt Sonst kommt es zu Verz gerungen der Arbeiten Diese Erkl rung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef llt in Druckbuchstaben und unterschrieben werden 9 Art des Produkts e Grund fiir die Einsendung Typenbezeichnung Artikelnummer gt Seriennummer 9 Verwendete s Betriebsmittel Vor dem Transport abzulassen NA Einsatzbedingte Kontaminierung des Produkts toxisch nein U1 jal tzend nein U1 jal mikrobiologisch nein U jaQ 2 explosiv nein U jaQ 2 radioaktiv nein U jaQ 2 j sonstige Schadstoffe nein 01 jaa Das Produkt ist frei von gesundheitsgefahrdenden 2 Derart kontaminierte IMMA jaq 1 oder so gering dass von Produkte werden nur den Schadstoffr ckst nden bei Nachweis einer keine Gefahr ausgeht vorschriftsm ssigen Dekonta minierung entgegengenommen Schadstoffe und oder Reaktionsprodukte Schadstoffe oder prozessbedingte gef hrliche Reaktionsprodukte mit denen das Produkt in Kontakt kam Handels Produktname Chemische Bezeichnung Massnahmen bei Freiwerden Erst
4. 4 3 4 Umgebungsbedingungen 14 4 3 5 Werkseinstellungen cee eee 15 Montago ER 17 5 1 MSB Boxdrehen 17 5 2 Massenspektrometer Modul an Pr fanlage montieren 17 5 3 Massenspektrometer Modul an Pr fanlage anschlie en 19 5 4 Anschlussblock anschliefen LL 20 5 5 MSB Box anschlie en cncn ee 20 Betrieb ER 21 6 1 Gerateinschalten nennen rennen 21 6 2 Analoge Ausg nge des l O Moduls belegen 21 6 2 1 Werksseitige Belegung 22 Inhalt 3 d INFICON 6 2 2 M gliche Belegungen 22 6 2 3 Ausgangsspannungen im Fehlerfall 23 6 2 4 Konfiguration LDS2010 kompatibel 24 6 3 Digitale Eing nge des I O Moduls belegen 27 6 4 Digitale Ausg nge des l O Moduls belegen 28 6 5 Messung starten stoppen 30 6 6 Parameter laden und speichern 30 6 7 Betriebsart w hlen 30 6 8 Zero aktivieren deaktivieren 31 6 9 Signalfilter wahlen EN 6 10 Ger t kalibrieren 32 6 10 1 Interne Kalibrierung LL 33 6 10 2 Externe Kalibrierung 33 6 10 3 Kalibrieraufforderung aktivieren deaktivieren 34 6 10 4 Maschinen und Schn ffelfaktor einstellen 34 6 11 Messgas w hlen 0 0c cc eee 35 6 12 Vorvakuumpumpe von Pr fgas dekontaminieren 35 6 13 Einheiten f r Leckrate w hlen 00 000 e eee eee 35 6 14 Einheiten f
5. 0 01 Maschinenfaktor falsch eingestellt Kalibrierleck oder Calfac too high Maschinenfaktor falsch SEI Si calibration factor a 199 oun eingestellt Teilstromfaktor zu grok Calfac lower than last lt 50 dii oder 602 W calibration 81 153 old Teilstromfaktor hat sich calibration factor value geandert Kalibrierleck Calfac higher than last gt 200 l 603 w calibration 81 153 old 00 calibration factor value n geandert No int cal due to valve 604 W control 81 153 Pr fleck ist nicht enabled valve control by user Prufleck defekt oder Signal 605 W Testleak too small zu klein 40 Betrieb d INFICON Fehler Fehler Fehler Warning Fehleranzeige nummer nummer Grenz Ursache nummer Errror LDS3000 LDS1000 ASCII jwerte Protokoll Protokoll Machine factor too low 1 00E Abgleich Maschinenfaktor SE w machine factor al E 04 fehlerhaft i Abgleich Maschinenfaktor 611 jir eee Tacentoo mam g 153 O0E kehlerhaft Teilstromfaktor machine factor 04 zu grok H 0 612 W Na aad lower 81 153 ja Teilstromfaktor hat sich geandert machine factor value H H 0 613 w ao ZE 81 153 lod Tellstromfaktor hat sich ge ndert machine factor value 625 Int testleak not set 0 0 Leckrate int Prufleck steht int Testleak noch auf Werkseinstellung 626 Ext testleak not set 0 0 Leckrate Prufleck steht ext Testleak noch auf W
6. 3 4 Umgebungsbedingungen Zulassige Umgebungstemperatur im Betrieb 10 C 45 C Zulassige Lagertemperatur 20 C 60 C Max relative Luftfeuchte lt 31 C 80 Lea 31 C bis 40 C linear abfallend von 80 50 gt 40 C 50 Schutzart IP 40 Verschmutzungsgrad Il Max H he ber Meeresspiegel 2000 m Max Induktion 7mT 4 3 5 Werkseinstellungen d INFICON Parameter Werkseinstellung Betriebsart Vakuum Bus Modul Adresse 126 Druck Kapillar berwachung min 0 4 mbar Druck Kapillar berwachung max 2 mbar Druckeinheit mbar Emission An Exponent oberer Grenzwert 1x 10 Filter Umschaltleckrate 4x 10 Filter Zero Zeit 5s Filterart I CAL Gasballast Aus O Modul Protokoll ASCII Kalibrieraufforderung Aus Kalibrierfak xxx Mx 1 1 0 Kalibrierfaktor VAC SNIF Mx f r Vakuum Schn ffeln und alle Massen Kathodenauswahl Kompatibilitatsmodus Konfig Analog Ausgang 1 Auto Cat1 LDS3000 Leckrate Mantisse Konfig Analog Ausgang 2 Leckrate Exponent Konfig Analog Ausgang Skalierung 0 5 V Dekade Konfiguration dig Ausg nge Pin 1 Trigger 1 invertiert Pin 2 Trigger 2 invertiert Pin 3 Trigger 3 invertiert Pin 4 Trigger 4 invertiert Pin 5 Ready Pin 6 Error invertiert Pin 7 CAL request invertiert Pin 8 Open invertiert Konfiguration dig Eing nge Pin 1 Select dyn
7. Mit Hilfe eines korrigierenden Maschinenfaktors im Vakuumbetrieb und eines Schn ffelfaktors im Schn ffelbetrieb gibt das Ger t die tats chliche Leckrate an 6 10 4 1 Maschinen und Schn ffelfaktor manuell einstellen A 1 gt 2 gt Massenspektrometer Modul intern kalibriert Externes Pr fleck mit Pr fanlage messen Das Ger t gibt die Leckrate entsprechend des Teilstromverh ltnisses zu klein an Maschinen bzw Schn ffelfaktor einstellen EINSTELLUNGEN gt EINRICHTEN gt BETRIEBSARTEN gt VAKUUM SCHN FFELN gt MASCHINENFAK gt MASSE 2 3 4 gt MASCHINEN SCHN FFELFAKTOR M2 3 4 Das Ger t zeigt die tats chliche Leckrate an 6 10 4 2 Maschinen und Schn ffelfaktor per Maschinenkalibrierung einstellen v v 1 y omy Internes Pr fleck angeschlossen Externes Pr fleck in oder an Pr fanlage montiert und geschlossen Leckrate des internen und externen Pr flecks ber digitale Schnittstelle Bedieneinheit CU 1000 I O Modul 101000 oder Bus Modul BM1000 eingeben Maschinenkalibrierung starten Interne Kalibrierung wird automatisch durchgef hrt Aufforderung PR FLECK FFNEN Externes Pr fleck Externes Pr fleck und Ventil falls vorhanden zwischen Lecksuchger t und Anlage ffnen Eingeschwungenes und stabiles Leckratensignal best tigen Aufforderung PR FLECK SCHLIEREN Externes Pr fleck Externes Pr fleck schlie en Eingeschwungenes und stabiles Leckratensignal best tigen
8. Wrn076 411 ji EEN me 2 eo c Err117 Err118 Err119 Nr aus TMP Err143 TMP voltage too high A 420 E Nr aus TMP 49 2 TMP Err002 bei ca 30V TMP no run up 422 E Nr aus TMP 49 2 8 Min TMP Err006 TMP pressure rise 423 W Nr aus TMP 49 2 TMP Wrn168 Betrieb 39 d INFICON Fehler Fehler Fehler Warning Fehleranzeige nummer nummer Grenz sache nummer Errror LDS3000 LDS1000 ASCII werte Protokoll Protokoll 5xx Druck und Fluss Fehler mn nol Pirani P1 nicht 500 W pressure p1 voltage 58 144 UV angeschlossen IF Board VI oder MSB defekt 520 yer ressurs iga high 73 148 18 Druck p1 zu hoch pressure p1 mbar mbar Pressure rise anode lt Nom 521 W break down 73 148 Value sa noci Meldung anode voltage V 20V i lt 90 sc Nom en Pressure rise emission Value Emission war vorher stabil 522 W break down 73 148 gt 110 Druck p1 zu hoch Meldung emisson current A Nom nach 5s value Param Pressure too low eter Li 540 W sniffer blocked 63 Moter SChn ller ves Opn pressure p1 mbar flow Schn ffelventil defekt war ning Schn ffler verstopft Schn ffelventil defekt 541 E Sniffer blocked 62 146 Druck kleiner als halber eingestellter Warnwert Sniffer broken 542 W pressure p1 mbar 64 147 Schn ffler gebrochen 6xx Kalibrierfehler Calfac too low Kalibrierleck oder 600 W calibration factor 81 153
9. llung gesetzlicher Auflagen und zum Schutz unserer Mitarbeiter Ger te die ohne eine Kontaminati onserkl rung eingesandt werden schickt INFICON an den Absender zur ck 2 Formular am Ger t befestigen oder dem Ger t in der Verpackung beilegen 7 2 Allgemeine Wartungshinweise Die Wartungsarbeiten f r das Massenspektrometer Modul sind in drei Servicestufen unterteilt Servicestufe Kunde ohne technische Ausbildung Servicestufe II Kunde mit technischer Ausbildung und INFICON Training Servicestufe Ill INFICON Service Wartung 43 d INFICON Lebensgefahr durch Stromschlag Im Inneren des Ger ts liegen hohe Spannungen an Beim Ber hren von Teilen an denen elektrische Spannung anliegt besteht Lebensgefahr gt Vor allen Wartungsarbeiten Ger t von Stromversorgung trennen Sachsch den durch unsaubere Arbeitsbedingungen Durch unsaubere Arbeitsbedingungen kann das Ger t besch digt werden gt Bei allen Wartungsarbeiten auf saubere Umgebung achten und sauberes Werkzeug benutzen 7 3 Wartungsplan Wenn die Wartungsarbeiten des Wartungsplans nicht durchgef hrt werden dann verf llt die Gew hrleistung f r das Massenspektrometer Modul LDS3000 Betriebsstunden h Zeitdauer Jahre Wartungsarbeiten 24 2000 8000 16000 24000 36000 1 4al 1a 2a 3a L Il und III 200003801 Service Ersatzteil stufe Nr Betriebsmittelspei cher tauschen Lager tausch
10. nge PLC IN 1 10 des I O Moduls k nnen beliebig mit den zur Verf gung stehenden Funktionen belegt werden Aktives Signal typisch 24 V inaktives Signal typisch O V Als aktives Signal kann der 24 V Ausgang des O Moduls verwendet werden Funktion Flanke Zustand Beschreibung NO_FUNCTION keine Funktion inaktiv aktiv Externe dynamische Kalibrierung starten DYN_CAL aktiv inaktiv Wert f r den Untergrund bernehmen und Kalibrierung abschlie en inaktiv aktiv Externe Kalibrierung starten CAL_EXTERN aktiv inaktiv Wert f r den Untergrund bernehmen und Kalibrierung abschlie en CAL_INTERN inaktiv aktiv Interne Kalibrierung starten inaktiv aktiv Schn ffelmodus aktivieren STEE aktiv inaktiv Vakuummodus aktivieren inaktiv aktiv Nach Meas umschalten START ZERO ist m glich alle Trigger Ausg nge schalten abh ngig von der Leckrate Betrieb 27 d INFICON Funktion Flanke Zustand Beschreibung inaktiv aktiv Nach Standby umschalten STOP ZERO ist nicht m glich alle Trigger Ausg nge geben Fail zur ck ZERO inaktiv aktiv ZERO einschalten aktiv inaktiv ZERO ausschalten ZERO_PULS inaktiv aktiv ZERO einschalten bzw ausschalten inaktiv aktiv Warn oder Fehlermeldung l schen bzw Kalibrierung CLEAR abbrechen GASBALLAST inaktiv aktiv Gasballastventil ffnen aktiv inaktiv Gasballastventi
11. r Druck wahlen 35 6 15 Korrektur der Leckrate im Standby aktivieren deaktivieren 36 6 16 Leckratenschwellwerte einstellen 36 6 17 ZERO Taste Schn ffeltaster aktivieren deaktivieren 36 6 18 Kapillar berwachung einstellen 36 6 19 Kompatibilit t zu LDS1000 und LDSS2010 36 6 20 Warn und Fehlermeldungen 36 6 20 1 Fehlercodes der Status LED 0450 42 WAMUNG EE 43 7 1 Wartung und Service bei INFICON cei 43 7 2 Allgemeine Wartungshinweise 43 7 3 Wartungsplan 44 7 4 Wartungsarbeiten 45 7 4 1 Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe tauschen 45 Au erbetriebnahme 49 8 1 Lecksuchger tstillsetzen o 49 8 2 Massenspektrometer Modul entsorgen 49 8 3 Massenspektrometer Modul einsenden 49 Anhang WEEK 50 9 1 EG Einbauerkl rung 50 9 2 Kontaminationserkl rung 51 Inhalt 1 1 1 2 1 3 1 3 1 d INFICON Zu dieser Anleitung Zielgruppen Diese Installationsanleitung richtet sich an den Betreiber und an technisch qualifi ziertes Fachpersonal mit Erfahrung im Bereich der Dichtheitspr ftechnik und Integ ration von Dichtheitspr fger ten in Dichtheitspr fanlagen Der Einbau und die Anwendung des Ger ts erfordern au erdem Kenntnisse im Umgang mit elektroni schen Schnittstellen Mitgeltende Dokumente Betriebsanleitung Bedieneinheit jina54 Installationsanl
12. 01000 nur zusammen konfigurierbar Das Massenspektrometer Modul ist ein Nachweisgerat f r die Pr fgase Helium und Wasserstoff In Pr fanlagen integriert dient das Ger t dazu aus einem Pr fobjekt austretendes Gas nachzuweisen und Undichtigkeiten anzuzeigen Das Ger t kann sowohl zur Vakuumlecksuche als auch zur Schn ffellecksuche verwendet werden Die MSB Box gibt Daten ber digitale Schnittstellen an Bedieneinheit CU1000 O Modul 101000 oder Bus Modul BM1000 aus Technische Daten Mechanische Daten Abmessungen BxHxT 320 mm x 280 mm x 240 mm Gewicht 14 3 kg Anschluss GROSS FOREPUMP 2xDN 16 Anschluss FINE SNIFFER 2xDN 16 Anschluss ULTRA DN 16 und DN 25 Beschreibung 13 4 3 2 Elektrische Daten 4 3 3 Physikalische Daten Versorgungsspannung 24 V 10 DC Stromaufnahme max 10 A Gerauschpegel lt 60 dB A Nachweisbare Gase 4He Hp Masse 3 z B H D He oder H3 Max Einlassdruck je nach Betriebsart und Drehzahl Turbomolekularpumpe 0 2 mbar 18 mbar Betrieb im Vakuummodus Kleinste nachweisbare Leckrate je nach Betriebsart und Drehzahl Turbomolekularpumpe Helium lt 5 x 10712 mbar I s Zeit bis zur Betriebsbereitschaft 150 s Betrieb im Schn ffelmodus Kleinste nachweisbare Leckrate Helium lt 1 x 107 mbar I s Ansprechzeit Schn ffelbetrieb GROSS lt 5 s FINE ULTRA lt 1 s 4
13. 2 Pa mS s 1E 12 mbar l s Leak rate log 1 V dec 1E 2 mbar l s Pressure p2 log in Pa 1 V decade 2 5 8 5 V 2 5 V 1E 3 mbar p2 1 V dec don t care don t care 24 Betrieb d INFICON LDS2010 setting menu item 22 Analog output channel Function LDS2010 Function LDS3000 Scale for leakrate upper limit 10V Pressure p1 log in Pa 1 V decade 2 5 8 5 V 2 5 V 1E 3 mbar p1 1 V dec don t care don t care Pressure p2 log in Pa 1 V decade 2 5 8 5 V 2 5 V 1E 3 mbar p2 1 V dec don t care don t care 10 Leak rate log in mbar l s 0 8 V 2 Videcade 0 V 1E 3 mbar I s Leak rate log 2 Videc 1E 2 mbar 1 s 10 Leak rate log in mbar l s 0 10 V 3 V decade 0 V 1E 3 mbar l s Leak rate log special_1 1E 1 mbar l s 11 11 12 Leak rate log in mbar l s 0 8V 2 Videcade 0 V 1E 4 mbar l s Leak rate log in mbar l s 0 10 V 3 V decade OV 1E 4 mbar l s Leak rate log in mbar l s 0 8V 2 Videcade 0 V 1E 5 mbar l s Leak rate log Leak rate log Leak rate log 2 Videc special_ 1 2 Videc 1E 1 mbar l s 1E 0 mbar l s 1E0 mbar l s 12 Leak rate log in mbar l s 0 10 V 3 V decade 0 V 1E 5 mbar l s Leak rate log special_1 1E 1 mbar l s 13 Leak rate log in mbar l s 0 8V 2 Videcade 0 V 1E 6 mbar l s L
14. Einheit fur den Druck w hlen ANZEIGEEINSTELLUNG gt EINHEITEN ANZEIGE gt DRUCKEINHEIT Fur I O oder Bus Modul gt Gew nschte Einheit fur den Druck w hlen EINSTELLUNGEN gt EINRICHTEN gt SCHNITTSTELLEN gt EINHEITEN SCHNITTSTELLE gt DRUCKEINHEIT Betrieb 35 d INFICON 6 15 Korrektur der Leckrate im Standby aktivieren deaktivieren Aktiviert Maschinen bzw Schn ffelfaktor wird im Standby ber cksichtigt Deaktiviert Maschinen bzw Schn ffelfaktor wird im Standby nicht ber cksichtigt Korrektur der Leckrate im Standby nach Bedarf aktivieren oder deaktivieren EINSTELLUNGEN gt EINRICHTEN gt BETRIEBSARTEN gt LR KORREKTUR gt MASCHINENFAK IN STANDBY 6 16 Leckratenschwellwerte einstellen Das Massenspektrometer Modul besitzt vier unabh ngige Leckratenschwellwerte gt Leckratenschwellwerte nach Bedarf einstellen EINSTELLUNGEN gt TRIGGER gt TRIGGER 1 2 3 4 gt TRIGGERLEVEL 1 2 3 4 6 17 ZERO Taste Schn ffeltaster aktivieren deaktivieren gt ZERO Taste an Schn ffelleitung nach Bedarf aktivieren oder deaktivieren EINSTELLUNGEN gt EINRICHTEN gt BETRIEBSARTEN gt SCHN FFELN gt SCHN FFELTAS gt ZEROTASTER SCHN FFLER 6 18 Kapillar berwachung einstellen Um verstopfte Schn ffelleitungen zu erkennen wird im Schn ffelmodus der Vorva kuumdruck berwacht Die Druckschwelle die nach Unterschreitung zu einer Warnung f hrt kann eingestellt werden gt berwachung des
15. INSTALLATIONS ANLEITUNG LDS3000 Massenspektrometer Modul Katalog Nr 560 300 ab Software Version MS Modul 1 0 Dokumenten Nr jiqa54d1 b 1212 4 INFICON d INFICON Dieses Dokument geh rt zu der Software Version die auf der Titelseite vermerkt ist Bitte wenden Sie sich wenn Sie eine andere Version ben tigen an unser Vertriebs personal Nachdruck bersetzung und Vervielf ltigung erfordern die schriftliche Genehmi gung der INFICON GmbH Inhalt d INFICON Zu dieser Anleitung 5 1 1 Zielgruppen xi oi tea we e ca id eier ran bie Sree ed 5 1 2 Mitgeltende Dokumente 5 1 3 Darstellung von Informationen 5 1 3 1 Warnhinweise 5 1 3 2 Text Auszeichnungen 6 Slichernelt pio cue 04 52 ivi ve de deal 7 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung 7 2 2 Anforderungen an den Betreiber 7 2 3 Anforderungen an den Anwender 2 2222 seen een 7 2 4 Allgemeine Sicherheitshinweise 8 Lieferumfang pr fen Transport Lagerung 9 3 1 Lieferumfang pr fen 9 3 2 Transport esisi nee ed wad gh fa ova Ie a Ba ee e 9 3 3 LAGEFUNG Acht Ban ee ee 9 Beschreibung see 10 4 1 Aufbau des Ger ts nennen nennen nn 10 4 1 1 MSB Box cec 11 4 2 Funktion se iara ee i a nn aed A 13 4 3 Technische Daten 00000 13 4 3 1 Mechanische Daten 13 4 3 2 Elektrische Daten 14 4 3 3 Physikalische Daten 14
16. Leak rate log 2 Videc 1E 6 mbar l s 0 V 1E 11 mbar l s Leak rate log in mbar l s 18 2 0 10 V 3 V decade Leak rate log special_1 1E 7 mbar l s 0 V 1E 11 mbar l s Leak rate lin In mbar I s l 20 1 0 10 V 1 V 1 mbarl s Leak rate linear don t care 1E1 mbar l s Leak rate log in mbar lI s 20 2 0 4 V 1 V decade Leak rate log 1 V dec 1E7 mbar l s 0 V 1E 3 mbar l s Leak rate lin In mbar l s 1 l 21 1 0 10V 1V 1E 1 mbarl s Leak rate linear don t care 1E0 mbar l s Leak rate log in mbar l s 21 2 0 4V 1 V decade Leak rate log 1 V dec 1E6 mbar l s O V 1E 4 mbar l s Leak rate lin In mbar l s i 22 1 0 10 V 1 V 1E 2 mbarl s Leak rate linear don t care 1E 1 mbar l s Leak rate log in mbar lI s 22 2 0 4V 1 V decade Leak rate log 1 V dec 1E5 mbar l s O V 1E 5 mbar l s Leak rate lin In mbaril s l i l 23 1 0 10 V 1 V 1E 3 mbarl s Leak rate linear don t care 1E 2 mbar I s Leak rate log in mbar l s 23 2 0 4V 1 V decade Leak rate log 1 V dec 1E4 mbar l s O V 1E 6 mbar l s Leak rate lin In mbar l s i l 24 1 0 10 V 1 V 1E 4 mbarl s Leak rate linear don t care 1E 3 mbarl s Leak rate log in mbar l s 24 2 0 4V 1 V decade Leak rate log 1 V dec 1E3 mbar l s O V 1E 7 mbar l s Leak rate lin In mbar l s i l 25 1 0 10V 1 V 1E 5 mbarl s Leak rate linear don t care 1E 4 mbar l s Leak rate log in mbar l s 25 2 0 4V 1 V decade Leak rate log 1 V
17. Maschinen bzw Schn ffelfaktor ist bestimmt 34 Betrieb d INFICON 6 11 Messgas w hlen Das Massenspektrometer Modul kann folgende Gase messen Wasserstoff H2 Masse 3 H D He oder H3 Helium He gt Gew nschte Masse w hlen EINSTELLUNGEN gt MASSE gt MASSE Maschinen Kalibrier und Schn ffelfaktor sind von der eingestellten Masse abh ngig und sind im Massenspektrometer Modul gespeichert 6 12 Vorvakuumpumpe von Pr fgas dekontaminieren Das Massenspektrometer Modul kann Uber den Anschluss OUTPUT ein elektrisches 24 V Gasballastventil der Vorvakuumpumpe steuern gt Gasballastventil ber digitale Ausg nge steuern 6 13 Einheiten f r Leckrate w hlen F r Bedieneinheit gt Gew nschte Einheit der Leckrate im Vakuumbetrieb w hlen ANZEIGEEINSTELLUNG gt EINHEITEN ANZEIGE gt LECKRATENEINHEIT VAC gt Gew nschte Einheit der Leckrate im Schn ffelbetrieb w hlen ANZEIGEEINSTELLUNG gt EINHEITEN ANZEIGE gt LECKRATENEINHEIT SNIFF Fur I O oder Bus Modul gt Gew nschte Einheit der Leckrate im Vakuumbetrieb w hlen EINSTELLUNGEN gt EINRICHTEN gt SCHNITTSTELLEN gt EINHEITEN SCHNITTSTELLE gt LECKRATENEINHEIT VAC gt Gew nschte Einheit der Leckrate im Schn ffelbetrieb w hlen EINSTELLUNGEN gt EINRICHTEN gt SCHNITTSTELLEN gt EINHEITEN SCHNITTSTELLE gt LECKRATENEINHEIT SNIFF 6 14 Einheiten f r Druck w hlen F r Bedieneinheit gt Gew nschte
18. OL UNIT haben die gleiche Funktionalit t Sie k nnen wahlweise anschlie en Bedieneinheit CU1000 I O Modul IO1000 oder Bedieneinheit CU1000 Bus Modul BM1000 oder 1 O Modul 101000 Bus Modul BM1000 oder 2 Bedieneinheiten CU1000 oder 21 O Module 101000 nur zusammen konfigurierbar 12 Beschreibung 4 2 4 3 4 3 1 Funktion d INFICON 12 STATUS Status LED Die Status LED und die Power LED zeigen den Betriebszustand des Ger ts Power LED Status LED Bedeutung Aus Rot Ger t nicht betriebsbereit Gr n Blau Turbomolekularpumpe l uft hoch Gr n Orange Emission wird eingeschaltet Gr n Gr n Emission ist stabil Drehzahl der Turbomolekularpumpe GE cia ist nicht im Normalbereich Gr n Be dai Verschiedene Aktivit ten des Ger ts Gr n blinkt langsam Versorgungsspannung lt 21 6 V Gr n blinkt schnell Versorgungsspannung gt 26 4 V Gr n blinkt schnell Aus Software wird aktualisiert Gr n Gr n blinkt schnell Software wird aktualisiert 13 CONTROL UNIT Anschluss f r Bedieneinheit oder I O oder Bus Modul Information Die Anschl sse CONTROL UNIT und I O ANVBUS haben die gleiche Funktionalit t Sie k nnen wahlweise anschlie en Bedieneinheit CU 1000 I O Modul 101000 oder Bedieneinheit CU1000 Bus Modul BM1000 oder 1 O Modul 101000 Bus Modul BM1000 oder 2 Bedieneinheiten CU1000 oder 2 1 O Module 1
19. UT Anschluss fur Gasballast und drei Ventile nicht verwendet Reserve Steckerbelegung Ventil 2 Gasballast 24 V max 1 A Ventil 3 nicht verwendet Ventil 4 nicht verwendet Ventil 6 nicht verwendet GND oO eA MD Beschreibung 11 d INFICON 2 SNIFFER Elektrischer Anschluss fur Schn ffelleitung 3 GAUGES EXT Anschluss f r optionale externe Druckmessstellen 0 10 V bzw 0 20 mA f r INFICON Service Steckerbelegung 1 24 V Output max 200 mA 2 Input fur P3 Service Druckmessstelle 0 10 V 3 GND 4 Referenz zum Input f r P3 Service Druckmessstelle 5 20 mA Input f r P3 Service Druckmessstelle 4 1 Anschluss f r PIRANI Druckmessstelle Pr fleck und Suppressor am Vorverst rker vormontiertes dreifaches Kabel 5 24VDC Anschluss f r 24 V Netzteil zur Versorgung von Massenspektrometer Modul Bedie neinheit 1 O Modul und Bus Modul 6 2 Anschluss f r Wandler Turbomolekularpumpe und L fter Turbomolekularpumpe vormontiertes zweifaches Kabel 7 ION SOURCE Anschluss f r lonenquelle 8 3 Anschluss f r Vorverst rker 9 Power LED Die Power LED und die Status LED zeigen den Betriebszustand des Ger ts siehe unter Punkt 12 STATUS 10 SERVICE RS232 Anschluss f r INFICON Service 11 YO ANYBUS Anschluss f r I O oder Bus Modul oder Bedieneinheit Information Die Anschl sse I O ANYBUS und CONTR
20. Vorvakuumdrucks einstellen EINSTELLUNGEN gt EINRICHTEN gt BETRIEBSARTEN gt SCHN FFELN gt KAPILLARE gt DRUCK KAPILLARE VERSTOPFT 6 19 Kompatibilit t zu LDS1000 und LDSS2010 Beim Umschalten des Kompatibilit tsmodus werden die entsprechenden Werks einstellungen von LDS1000 LDS2010 oder LDS3000 geladen 6 20 Warn und Fehlermeldungen Fehler Fehler Fehler Warning Fehleranzeige nummer nummer Grenz Ursacha nummer Errror LDS3000 LDS1000 ASCII werte Protokoll Protokoll 1xx Systemfehler RAM ROM EEPROM Uhr Timeout EEPROM EEPROM auf IF Board 102 W MSB 84 43 oder MSB defekt number of parameter One EEPROM 104 W paramater initialized 84 43 es oder EEPROM defekt number of parameter EEPROM paramaters 106 W initialized 84 43 number of parameter Nach Software Update oder EEPROM defekt 36 Betrieb d INFICON Fehler Fehler Fehler Warning Fehleranzeige nummer nummer Grenz Ursache nummer Errror LDS3000 LDS1000 ASCII werte Protokoll Protokoll Jumper zur Uhr nicht 110 W Clock is not set 16 16 gesteckt Batterie leer Uhr defekt No answer from bus Verbindung zum Bus n module 3 Modul unterbrochen 125 W I O modul disconnected 99 99 Verbinduna zdr i Modul unterbrochen 127 W Wrong bootloader 99 99 Bootloader nicht MA version komp
21. age montiert und ge ffnet v Schnuffelbetrieb Schn ffelleitung misst Schn ffelleck 1 Leckrate des externen Pr flecks ber digitale Schnittstelle Bedieneinheit CU1000 I O Modul 101000 oder Bus Modul BM1000 eingeben 2 Warten bis Leckratensignal eingeschwungen und stabil 3 Wenn nicht eingeschwungenes Leckratensignal bernommen werden soll Kalibrierung starten Dieses Leckratensignal wird zur Kalibrierung verwendet gt Aufforderung TESTLECK SCHLIEREN 4 Zur Bestimmung des Heliumuntergrunds Einlassventil der Pr fanlage schlie en gt Leckratensignal f llt ab 5 Im Wesentlichen abgefallenes Leckratensignal best tigen Betrieb 33 d INFICON 6 10 3 Kalibrieraufforderung aktivieren deaktivieren Wenn die Kalibrieraufforderung aktiviert ist dann fordert das Ger t bei Tempera tur nderungen gr er 5 C und 30 Minuten nach dem Einschalten zur Kalibrierung auf gt Kalibrieraufforderung nach Bedarf aktivieren oder deaktivieren FUNKTIONEN gt CAL gt EINSTELLUNGEN gt CAL AUFFORD gt KALIBRIERAUFFORDERUNG 6 10 4 Maschinen und Schntffelfaktor einstellen Die interne Kalibrierung kalibriert ausschlie lich das von der Pr fanlage entkoppelte Messsystem des Massenspektrometer Moduls Wenn das Gerat nach einer internen Kalibrierung parallel zu einem weiteren Pumpsystem betrieben wird nach dem Teil stromprinzip dann gibt das Gerat die Leckrate entsprechend dem Teilstromver haltnis zu klein an
22. ate mantissa don t care don t care Leak rate Exponent step function in used unit 1 10 V 0 5 V decade 1V 1E 12 Leak rate exponent don t care don t care Leak rate log in used unit 1 10 V 0 5 V decade 1 V 1E 12 Leak rate log 0 5 V dec 1E6 used unit Pressure p1 log in used unit 1 10 V 0 5 V decade 1 V 1E 3 mbar Pressure p1 don t care don t care Leak rate matissa in mbarl s 1 10V Leak rate mantissa don t care don t care Leak rate exponent step function in mbar l s 1 10 V 1 V decade O V 1E0 mbar l s LR exponent invers don t care don t care Leak rate log 0 10 V 1 V decade 0 V 1E 10 mbar l s Leak rate log 1 V dec 1 00E 00 Pressure p1 log in mbar 1 Videcade 2 5 8 5 V 2 5 V 1E 3 mbar 5 5 V 1E0 mbar p1 1 V dec don t care don t care Leak rate mantissa in used unit 1 10 V rise 0 7 10 V fall Leak rate exponent in used unit 1 10 V 0 5 V decade 0 V 1E 14 LR mantissa hyst Leak rate exponent don t care don t care don t care don t care Leak rate log in Pa m s 010 V 1 V decade 0 V 1E 12 Pa m s 1E 12 mbar l s Leak rate log 1 V dec 1E 2 mbar l s Pressure p1 log in Pa 1 V decade 2 5 8 5 V 2 5 V 1E 3 mbar p1 1 V dec don t care don t care Leak rate log in Pa m s 0 10 V 1 V decade 0 V 1E 1
23. atibel zur Applikation 130 W Sniffer not connected 99 99 2xx Betriebsspannungsfehler 201 on 24 120 21 6V 24V Netzteil voltage V 202 ER 24 120 26 4V 24V Netzteil voltage V Output voltage 24V 20V Kurzschluss am Ventil 1 203 W PWR12 out of range 24 120 30V Kalibrierleck oder Ventil 2 voltage V Gasballast Output voltage 24V 204 W PWR34outof range 24 degt jA MS A U 30V oder Ventil 4 voltage V Output voltage 24V 205 W PWR56 out of range 24 pe N eee ane 30V Schn ffeln oder Ventil 6 voltage V Internal voltage 24V 8 221 W foutotrange i voltage V gang Internal voltage 24V 9 222 W outof range 24 120 i SES voltage V gang Internal voltage 20V 223 W 24V 10 out of range 24 120 Kurzschluss 24V der TMP 30V voltage V Internal voltage 20V Kurzschluss 24V 224 W 24V 11 out of range 24 120 30V Pirani 1 2 3 voltage V Schn ffelleitung NED rite SE 15V zu klein IF Board 240 W range 24 120 oder MSB defekt voltage V Voltage 15V out of 15V zu klein Kurzschluss 241 W range 24 120 am Vorverst rker IF voltage V Board oder MSB defekt Voltage 15V or 15V Aa zu kleim 242 E shortened 24 120 R voltage V Vorverstarker IF Board 9 oder MSB defekt Betrieb 37 d INFICON Fehler Fehler Fehler Warning Fehleranzeige nummer nummer Grenz rs ch nummer Errror LDS3000 LDS1000 ASCII werte Protokoll Protokoll 15V oder 5V zu klein Internal vo
24. dec 1E2 mbar l s O V 1E 8 mbar l s 26 1 sek rals EE Leak rate linear don t care 1E 5 mbar l s 0 10 V 1 V 1E 6 mbar l s 26 Betrieb d INFICON LDS2010 settin Analag Scale for upper limit H output Function LDS2010 Function LDS3000 PP menu item leakrate 10 V channel 22 Leak rate log in mbar l s 26 2 0 4 V 1 V decade Leak rate log 1V dec 1E1 mbar l s 0 V 1E 9 mbar l s Leak rate lin In mbar l s i l 27 1 0 10 V 1 V 1E 7 mbar l s Leak rate linear don t care 1E 6 mbar l s Leak rate log in mbar l s 27 2 0 4V 1 V decade Leak rate log 1 V dec 1E0 mbar l s 0 V 1E 10 mbaril s Leak rate lin In mbar I s l i l 28 1 0 10 V 1 V 1E 8 mbar I s Leak rate linear don t care 1E 7 mbar l s Leak rate log in mbar l s 28 2 0 4 V 1 V decade Leak rate log 1 V dec 1E 1 mbar l s 0 V 1E 11 mbar l s Leak rate lin In mbar l s f l 29 1 0 10V 1V 1E 9 mbarl s Leak rate linear don t care 1E 8 mbar l s Leak rate log in mbar l s 29 2 0 4 V 1 V decade Leak rate log 1V dec 1E 2 mbar l s 0 V 1E 11 mbar l s Leak rate lin In mbar 1 s i l 30 1 0 10 V 1 V 1E 10 mbar I s Leak rate linear don t care 1E 9 mbar l s Leak rate log in mbar l s 30 2 0 4 V 1 V decade Leak rate log 1 V dec 1E 3 mbar l s 0 V 1E 11 mbar l s 6 3 Digitale Eing nge des l O Moduls belegen Die digitalen Eing
25. derungen der Richtlinie Elektromagnetische Vertr glichkeit 2004 108 EG Maschinenrichtlinie 2006 42 EG gem Anhang Grundlegende Sicherheits und Gesundheitsanforderungen Angewandte harmonisierte Normen EN 61000 6 4 2002 Teil EN 55011 Klasse A EN 61000 6 3 2002 Teil EN 61000 3 2 EN 61000 6 2 2000 Teile EN 61000 4 2 EN 61000 4 3 EN 61000 4 4 EN 61000 4 5 EN 61000 4 6 EN 61000 4 11 DIN EN ISO 12100 1 DIN EN ISO 12100 2 Die unvollst ndige Maschine wurde getestet in einer typischen Konfiguration mit Vorvakuumpumpe Netzteil Bedieneinheit und VO Modul Die unvollst ndige Maschine darf erst dann in Betrieb genommen werden wenn gegebenenfalls festgestellt wurde dass die Maschine in die die unvollst ndige Maschine eingebaut werden soll den Bestimmungen der Richtlinie Maschinen 2006 42 EG entspricht Der Hersteller verpflichtet sich die speziellen Unterlagen zur unvollst ndigen Maschine einzeistaatlichen Stellen auf Verlangen elektronisch zu bermitteln Die zur unvollst ndigen Maschine geh renden speziellen Unterlagen nach Anhang VII Teil B wurden erstellt Dokumentationsbevollm chtigter Hans Gerd Finke INFICON GmbH K ln den 19 Juli 2012 fi Kea Dr D bler Gesch ftsf hrer Ids3000 19 07 2012 dt doc K ln den 19 Juli 2012 wen RE CA Tore Finke Entwicklung INFIGON GmbH Bonner Strasse 498 Bayenthal D 50968 K ln Tel 49 0 221 56788 0 Fax
26. e Cathodes not Beide Kathoden beim 342 W 47 138 Selbsttest defekt oder connected Stecker nicht gesteckt 38 Betrieb d INFICON Fehler Fehler Fehler Warning Fehleranzeige nummer nummer Grenz Ursache nummer Errror LDS3000 LDS1000 ASCII werte Protokoll Protokoll Suppressor hol Supressorkabel beim 350 W PP 39 130 Selbsttest nicht gesteckt connected oder defekt Bee ee lt 70 mV lonenquelle schlecht oder 360 W i e e V 31 123 bei Massenspektrometer H H g 500 GQ verunreinigt gt 50 mV bei 500 GQ gt 10 mV Preamp offset too high bei 15 GQ 8 361 W Offset V 31 123 Be Vorverst rker defekt bei 470 MQ lt 9 mV bei 13 MQ Preamp range error Vorverstarker oder MSB SP W preamp voltage V 31 159 Box defekt Vorverstarker defekt 390 W Ee range 31 123 Fehler am Supressor IF Board oder MSB defekt 4xx TMP Fehler auch Temperatur Error number of TMP 400 E Nr aus TMP 49 15 No communication with Kabel zur TMEL TMP 402 E 49 15 defekt IF Board oder MSB TMP defekt lt 95 403 B Speco een 53 142 Nom Druck zu hoch TMP defekt TMP speed Hz Value 404 E TMP current too high 49 2 3A current A 405 E _ Norunup TMP 60 er san 00K nen IMP fehlerhaft TMP temperature too TMP Err044 Err045 410 E high 49 2 61 C Err117 Err118 Wrn119 Nr aus TMP Wrn143 TMP Wrn045
27. e Hilfe bei Unf llen Hersteller evtl auch Formel der Schadstoffe o Rechtsverbindliche Erkl rung Hiermit versichere n ich wir dass die Angaben korrekt und vollst ndig sind und ich wir allf llige Folgekosten akzeptieren Der Versand des kontaminierten Produkts erf llt die gesetzlichen Bestimmungen Firma Institut Strasse PLZ Ort Telefon Telefax E Mail Name Datum und rechtsverbindliche Unterschrift Firmenstempel Dieses Formular kann von unserer Verteiler Webseite heruntergeladen werden Original an den Adressaten 1 Kopie zu den Begleitpapieren 1 Kopie fur den Absender INFICON GmbH Bonner Str 498 50968 K ln Deutschland zisa01d1 a Tel 49 0 221 3474 2222 Fax 49 0 221 3474 2221 www inficon com leakdetection service inficon com Anhang 51 4 INFICON INFICON GmbH Bonner Strasse 498 D 50968 Cologne Germany UNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KINGDOM HONG KONG Visit our website for contact information and other sales offices worldwide www inficon com Dokument jiqa54d1 b 1212
28. eak rate log 2 V dec 1E 1 mbar l s 13 Leak rate log in mbar l s 0 10 V 3 V decade 0 V 1E 6 mbar l s Leak rate log special_1 1E 2 mbar l s 14 Leak rate log in mbar l s 0 8V 2 Videcade 0 V 1E 7 mbar l s Leak rate log 2 Videc 1E 2 mbar l s 14 Leak rate log in mbar l s 0 10 V 3 V decade 0 V 1E 7 mbar l s Leak rate log special_1 1E 3 mbar l s 15 Leak rate log in mbar l s 0 8V 2 Videcade 0 V 1E 8 mbar l s Leak rate log 2 V dec 1E 3 mbar l s 15 Leak rate log in mbar l s 0 10 V 3 V decade 0 V 1E 8 mbar l s Leak rate log special_1 1E 4 mbar l s 16 Leak rate log in mbar l s 0 8 V 2 Videcade 0 V 1E 9 mbar l s Leak rate log 2 Videc 1E 4 mbar 1 s 16 Leak rate log in mbar l s 0 10 V 3 V decade 0 V 1E 9 mbar l s Leak rate log special_1 1E 5 mbar l s Betrieb 25 d INFICON LDS2010 settin Analog Scale for upper limit H output Function LDS2010 Function LDS3000 PP menu item leakrate 10 V channel 22 Leak rate log in mbar lI s 17 1 0 8V 2 V decade Leak rate log 2 Videc 1E 5 mbar l s 0 V 1E 10 mbar l s Leak rate log in mbar lI s 17 2 0 10 V 3 V decade Leak rate log special_1 1E 6 mbar l s 0 V 1E 10 mbar l s Leak rate log in mbar l s 18 1 0 8V 2 V decade
29. eitung Bus Modul jiqb10 Installationsanleitung 1 O Modul jiqc10 Interface Protocols jira54 Darstellung von Informationen Warnhinweise GEFAHR Unmittelbar drohende Gefahr mit Tod oder schweren Verletzungen als Folge Gef hrliche Situation mit m glichem Tod oder schweren Verletzungen als Folge Gef hrliche Situation mit leichten Verletzungen als Folge Gef hrliche Situation mit Sach oder Umweltsch den als Folge Zu dieser Anleitung 5 d INFICON 1 3 2 Text Auszeichnungen Auszeichnung Bedeutung v x gt 1 2 3 gt KAPITALCHEN Information Voraussetzung f r die Durchf hrung einer Handlung Werkzeug oder Hilfsmittel f r eine Handlung Handlungsanweisung Mehrere Handlungsanweisungen in festgelegter Reihenfolge Ergebnis einer Handlung Bezeichnung des Ger ts oder Befehl Begriff aus Men N tzlicher Hinweis und Informationen 6 Zu dieser Anleitung d INFICON 2 Sicherheit 2 1 BestimmungsgemaBe Verwendung Das Ger t ist ein modulares Dichtheitspr fger t zum Einbau in industrielle Dicht heitspr fanlagen Die Pr fgase mit denen das Ger t messen kann sind Helium und Wasserstoff Formiergas Das Ger t ist f r die ber und die Unterdruckpr fung geeignet Das Ger t wird zur integralen Pr fung im Vakuum und zur lokalen Pr fung mit Schn ffelleitung verwendet gt Ger t ausschlie lich gem dieser Anleitung in
30. en Turbomolekularpumpe empfohlen X2 II Lufter reinigen und auf Funktion 1 I und II kontrollieren Schntffelventil Gr x Ill reinigen Zubeh r Internes Pr fleck kalibrieren X2 L Interne Kalibrierung Interne Kalibrierung Mi ausfuhren Externe Externe Kalibrierung Kalibrierung L I ausf hren He Lecksuche am Lecksuche MS Modul MS Modul X Ill ausfuhren X nach Betriebsstunden oder Zeitdauer A4 nach Betriebsstunden X2 nach Zeitdauer 1 von Umwelt und Einsatz abh ngig 44 Wartung d INFICON 7 4 Wartungsarbeiten 7 4 1 Betriebsmittelspeicher Turbomolekularpumpe tauschen 1 Massenspektrometer Modul au er Betrieb nehmen siehe Kapitel 8 Seite 49 2 Turbomolekularpumpe ausbauen Abb 5 Turbomolekularpumpe SplitFlow 80 1 Verschlussdeckel 3 Betriebmittelspeicher 2 O Ring 4 Beliftungschraube Massenspektrometer und Turbomolekularpumpe fluten Nur in geflutetem Zustand l sst sich der Verschlussdeckel des Betriebsmittelspei chers herausschrauben 1 24 V Netzteil von MSB Box trennen 2 Auslauf Turbomolekularpumpe abwarten mindestens 1 min 3 Gegebenenfalls Turbomolekularpumpe ausk hlen lassen 4 Bel ftungsschraube langsam ffnen Turbomolekularpumpe flutet auf Atmosph rendruck an Wartung 45 d INFICON Alten Betriebsmittelspeicher entnehmen x Stirnlochschl ssel P N 551 200 x Zwei Schraubendreher x Pin
31. en gemittelt Die Leckraten werden mit einer festen Zeit von 0 2 Sekunden Fixed gemittelt Filter kompatibel zu LDS1000 und LDS2000 2 Zone Die Mittelungszeit wird abh ngig von der Umschaltleckrate Leak rate threshold umgeschaltet Inder Regel Signalfilter ICAL verwenden gt Wenn Signalfilter Zeitverhalten der Altger te nachbilden soll dann Filter Fixed oder 2 Zone verwenden gt Gew nschten Signalfilter w hlen EINSTELLUNGEN gt ZERO FILTER gt FILTER gt FILTERART Betrieb 31 d INFICON 6 10 Ger t kalibrieren gt Um Messgenauigkeit zu gew hrleisten Ger t regelm ig kalibrieren Information Eine Kalibrierung zu Beginn jeder Schicht ist empfehlenswert Falsche Mess Ergebnisse durch vorzeitige Kalibrierung Wenn das Ger t vorzeitig kalibriert wird dann liefert es falsche Mess Ergebnisse gt Ger t vor Kalibrierung mindestens 20 Minuten laufenlassen Kalibrierung Besonderheiten e mit internem Pr fleck e Autotune Massenabgleich Bestimmung des Kalibrierfaktors bei eingeschwungenem Signal inter des Pr flecks Bestimmung des Untergrunds Bei Bedarf nach dem Kalibrieren den Maschinen bzw Schnuffelfaktor einstellen siehe Kapitel 6 10 4 Seite 34 Vakuumbetrieb mit externem Autotune Massenabgleich Pr fleck in Pr fanlage Bestimmung des Schn ffelbetrieb mit externem Kalibrierfaktors nachdem das extern Schn ffelleck Signal des Pr flecks B
32. er cksichtigung der SSES Charakteristika der Pr fanlage Bestimmung des Untergrunds Druck Teilstromverh ltnis mit externem Pr fleck in Bestimmung des Pr fanlage Kalibrierfaktors bevor das Ber cksichtigung der Signal m pn extern Charakteristika der Pr fanlage STEE dynamisch Druck Teilstromverh ltnis Bestimmung des Untergrunds Messzeit Messzeit entsprechend des dynamischen Signalverlaufs 32 Betrieb d INFICON 6 10 1 Interne Kalibrierung v Internes Pr fleck angeschlossen 1 Leckrate des Pr flecks ber digitale Schnittstelle Bedieneinheit CU1000 O Modul 101000 oder Bus Modul BM1000 eingeben 2 Kalibrierung starten gt Kalibrierung wird automatisch durchgef hrt 6 10 2 Externe Kalibrierung v Vakuumbetrieb Externes Pr fleck in oder an Pr fanlage montiert und ge ffnet v Schnuffelbetrieb Schn ffelleitung misst Schn ffelleck 1 Leckrate des externen Pr flecks ber digitale Schnittstelle Bedieneinheit CU1000 I O Modul 101000 oder Bus Modul BM1000 eingeben 2 Warten bis Leckratensignal eingeschwungen und stabil 3 Kalibrierung starten Aufforderung TESTLECK SCHLIEREN 4 Vakuumbetrieb Pr fleck in Pr fanlage schlie en 5 Schn ffelbetrieb Schn ffelleitung von Schn ffelleck entfernen gt Leckratensignal f llt ab 6 Stabilen Untergrundmesswert best tigen 6 10 2 1 Externe dynamische Kalibrierung v Vakuumbetrieb Externes Pr fleck in oder an Pr fanl
33. eren Lagerung gt Ger t unter Beachtung der technischen Daten lagern siehe Kapitel 4 3 Seite 13 Lieferumfang pr fen Transport Lagerung 9 d INFICON 4 Beschreibung Das Massenspektrometer Modul ist ein Teil des Dichtheitsprufsystems LDS3000 Das Massenspektrometer Modul kann ohne INFICON Zubeh r in einer Pr fanlage betrieben werden 4 1 Aufbau des Ger ts Abb 1 Massenspektrometer Modul LDS3000 1 Anschlussblock Anschl sse f r Pr fanlage Vorvakuumpumpe PIRANI Druckmessstelle internes Kalibrierleck und Schn ffelleitung 1 Anschluss ULTRA 2 Anschluss FINE SNIFFER 3 Anschluss GROSS FOREPUMP O Forepump Abb 2 Anschlussblock 10 Beschreibung 4 1 1 MSB Box d INFICON 2 Turbomolekularpumpe Turbomolekularpumpe mit K hleinheit 3 Vorverst rker Vorverst rker des Massenspektrometer Moduls 4 MSB Box Schnittstellen des Massenspektrometer Moduls siehe Kapitel 4 1 1 Seite 11 5 Wandler Turbomolekularpumpe Elektronische Steuerung der Turbomolekularpumpe 6 Typenschild Typenschild mit Kenndaten des Massenspektrometer Moduls 7 Befestigungselemente Befestigungselemente zur Montage des Massenspektrometer Moduls in einer Prufanlage 8 PIRANI Druckmessstelle PIRANI Druckmessstelle zur Messung des Drucks der Vorvakuumpumpe A LN EI IA eo 4 Frs Q Oleg Abb 3 Anschl sse MSB Box 1 OUTP
34. erkseinstellung Temperaturanderung von 5 C Drehzahl seit letzter Kalibrierung wurde 630 W Calibration request 0 0 geandert 30 Minuten Einschaltzeit und noch keine Kalibrierung durchgef hrt 7xx Temperaturfehler Vorverst rker Elektronik Preamplifier temp too 700 W low 33 60 2 C Temperatur zu klein temperature C Preamplifier temp too 702 W high 32 124 60 C Temperatur zu gro temperature C Preamplifier not Vorverst rker defekt gt E connected si a Kabel nicht gesteckt Max MSB temperature 710 W exceeded 54 44 55 C Temperatur zu gro temperature C MSB temperature far 711 E too high 54 44 65 C Temperatur zu gro temperature C 8xx unbenutzt 9xx Wartungsmeldungen z B TMP 901 jj jjmalmenenge bearing 99 99 13 Jahre Wartung TMP erforderlich lubricant Kompatib LDS1000 LDS2010 bzw Bin r Protokoll Betrieb 41 d INFICON 6 20 1 Fehlercodes der Status LED Ein Fehler oder eine Warnung in der MSB Box wird sowohl als Fehlercode von der Bedieneinheit als auch als Blinkcode durch die Status LED angezeigt Der Blinkcode startet mit einem langen wei en Signal Es folgt die Fehler bzw Warnungsnummer Eine Fehlernummer wird mit roten Signalen eine Warnungs nummer mit orangenen Signalen angezeigt die orangenen Signale haben einen starken Gr nstich Start Blinkcode langes wei es Signal e Hunderterstelle 0 9 rote Signale f r Fehler bzw 0 9 o
35. g V Dekaden werden ber die Para meter Exponent oberer Grenzwert und Skalierung bei Leckrate eingestellt Beispiel Obere Grenze eingestellt auf 1077 mbar I s 10 V Skalierung eingestellt auf 5 V Dekade Untere Grenze liegt bei 10 mbar I s 0V 22 Betrieb d INFICON ber Interface Die Ausgangsspannung kann ber den LD Protokoll Befehl 221 festgelegt werden Leckrate Ma Hys 0 7 10 V linear in gew hlter Einheit Information Nur sinnvoll wenn der andere Analog Ausgang mit Leckrate Exponent belegt ist Diese Belegung verhindert ein permanentes Springen des Exponenten zwischen zwei Dekaden 0 7 V entspricht einer Leckrate von 0 7 x 10 9 9 V entspricht einer Leckrate von 9 9 x 10 Druck p1 1 V Dek Druck p2 1 V Dek 1 10 V 1 V Dekade 2 5 V 1 x 10 mbar 8 5 V 1000 mbar Leckrate log H Leckrate Exp Inv Diese Belegung sichert die Ruckwartskompatibilitat zu Altger ten 6 2 3 Ausgangsspannungen im Fehlerfall Bei einem Fehler liegen folgende Spannungen an den analogen Ausg ngen Kompatibilit tsmodus Spannung LDS1000 OV LDS2010 10V LDS3000 10 237 V Betrieb 23 d INFICON 6 2 4 Konfiguration LDS2010 kompatibel LDS2010 setting menu item 22 Analog output channel Function LDS2010 Function LDS3000 Scale for leakrate upper limit 10V Leak rate Mantissa in used unit 1 10V Leak r
36. g halten um Z ndung zu vermeiden Permanentmagnete Permanentmagnete im Ger t gef hrden die Gesundheit Ausreichend Abstand vom Ger t einhalten Kinetische Energie Eine hohe Kraft die durch das pl tzliche Blockieren der Turbomolekularpumpe ausgel st wird kann zu Sch den am Ger t f hren gt Sicherstellen dass die Befestigung des Massenspektrometer Moduls ein Bremsmoment von 620 Nm aufnehmen kann 8 Sicherheit 3 1 3 2 3 3 d INFICON Lieferumfang pr fen Transport Lagerung Beeintr chtigung von Herzschrittmachern Durch die Magnete im Massenspektrometer Modul k nnen Herzschrittmacher in ihrer Funktion beeinflusst werden gt Vom Hersteller des Herzschrittmachers angegebenen Abst nde einhalten Lieferumfang pr fen Lieferumfang Artikel Anzahl Massenspektrometer Modul 1 Stecker f r 24 V Anschluss PIRANI Druckmessstelle Selbstsichernde Muttern Stecker f r OUTPUT Stecker f r GAUGES EXIT Installationsanleitung gt BY A ao USB Stick Transport gt Lieferumfang auf Vollst ndigkeit pr fen Besch digung durch ungeeignete Verpackung Das Ger t kann beim Transport in einer ungeeigneten Verpackung besch digt werden gt Ger t nur in Originalverpackung transportieren gt Originalverpackung aufbewahren Besch digung durch fehlende F e gt Befestigungsschrauben an F e monti
37. g und gedreht Steckerbezeichnungen auf dem Kopf stehend in Massenspektrometer Modul LDS3000 schieben Alle Leitungen an MSB Box anschlie en Alle Kabelklips an Rahmen befestigen Verriegelung schlie en Massenspektrometer Modul LDS3000 ist einsatzbereit Abb 4 Komponenten eines Befestigungselements ROM Befestigungsschraube M8 x 50 5 Mutter M8 selbstsichernd Unterlegscheibe 6 Grundrahmen MO Lager 7 Distanzgummi Pr fanlage 8 F hrung MSB Box Montage 17 d INFICON x Selbstsichernde Muttern M8 Maulschl ssel SW13 Innen Sechskant Schl ssel SW6 L cher zur Montage in Pr fanlage x x lt Das Massenspektrometer Modul wird mit montierten Befestigungsschrauben und Transportmuttern geliefert 1 Transportmuttern demontieren 2 Durchgangsbohrungen bohren X Abstand 283 mm Y Abstand 121 5 mm Durchgangsbohrung in Blech 9 mm Befestigungsschrauben M8 x 50 Sachschaden durch fehlende Unterlegscheiben Wenn die Unterlegscheiben nicht montiert werden dann k nnen die MO Lager ausrei en gt Unterlegscheiben immer zwischen Pr fanlage und MO Lager montieren 3 F r Montage des Massenspektrometer Moduls selbstsichernde Muttern aber NICHT Transportmuttern verwenden Schwere Verletzungen durch Ausbruch des Massenspektrometer Moduls Wenn das Massenspektrometer Modul nicht ausreichend festgeschraubt ist dann kann ein pl tzlich blockierender Rotor der Turbomolek
38. hten und befolgen insbesondere die Sicherheits und Warnhinweise Alle Arbeiten anhand der vollst ndigen Anleitung durchf hren Sicherheit 7 d INFICON 2 4 Allgemeine Sicherheitshinweise Das Ger t ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechni schen Regeln gebaut Dennoch sind bei unsachgem er Verwendung Gefahren f r Leib und Leben des Benutzers oder Dritter bzw Sch den am Ger t und weitere Sachsch den m glich Elektrische Energie Das Ger t wird mit elektrischen Spannungen bis zu 24 V betrieben Im Inneren des Ger ts liegen deutlich h here Spannungen an Beim Ber hren von Teilen an denen elektrische Spannung anliegt besteht Lebensgefahr gt Vor allen Installations und Wartungsarbeiten das Ger t von der Stromversorgung trennen Beim Ber hren von spannungsf hrenden Teilen mit der Schn ffelspitze besteht Lebensgefahr gt Vor Beginn der Leckpr fung elektrisch betriebene Pr fobjekte von der Stromversorgung trennen Das Ger t enth lt elektrische Bauteile die durch hohe elektrische Spannung besch digt werden k nnen gt Vor dem Anschluss an die Stromversorgung sicherstellen dass die Versorgungs spannung 24V 10 betr gt Fl ssigkeiten und chemische Stoffe Fl ssigkeiten und chemische Stoffe k nnen das Ger t besch digen Anwendungsgrenzen einhalten siehe Kapitel 4 3 Seite 13 gt Keine Fl ssigkeiten einsaugen gt Wasserstoffkonzentration gerin
39. i Entsorgung Umwelt und Sicherheitsbestimmungen des Landes beachten Massenspektrometer Modul einsenden Gef hrdung der Gesundheit Kontaminierte Ger te k nnen die Gesundheit des INFICON Service gef hrden gt Kontaminationserkl rung verwenden 1 Formular Kontaminationserkl rung ausf llen Information Das Formular Kontaminationserkl rung senden wir Ihnen auf Anfrage zu Kopien des Formulars sind zul ssig Die Kontaminationserkl rung ist zwingend erforderlich zur Erf llung gesetzlicher Auflagen und zum Schutz unserer Mitarbeiter Ger te die ohne eine Kontaminati onserkl rung eingesandt werden schickt INFICON an den Absender zur ck 2 Formular am Ger t befestigen oder dem Ger t in der Verpackung beilegen Au erbetriebnahme 49 9 9 1 d INFICON Anhang EG Einbauerkl rung g INFICON EG Einbauerklarung Hiermit erkl ren wir INFICON GmbH dass die nachfolgend bezeichneten Produkte aufgrund ihrer Konzipierung und Bauart sowie in der von uns in Verkehr gebrachten Ausf hrung den einschl gigen grundlegenden Sicherheits und Gesundheits anforderungen der EG Richtlinien f r unvollst ndige Maschinen entsprechen Bei einer nicht mit uns abgestimmten nderung eines Produkts verliert diese Erkl rung ihre G ltigkeit Bezeichnung des Produktes Massenspektrometer Modul Typ LDS3000 Katalog Nummer 560 300 Die Produkte entsprechen den grundiegenden Anfor
40. kratenschwellwert Trigger 1 berschritten ge ffnet Leckratenschwellwert Trigger 1 unterschritten TRIG2 geschlossen Leckratenschwellwert Trigger 2 berschritten ge ffnet Leckratenschwellwert Trigger 2 unterschritten TRIG3 geschlossen Leckratenschwellwert Trigger 3 berschritten ge ffnet Leckratenschwellwert Trigger 3 unterschritten TRIGA geschlossen Leckratenschwellwert Trigger 4 Uberschritten ge ffnet Leckratenschwellwert Trigger 4 unterschritten READY geschlossen Emission eingeschaltet Kalibriervorgang inaktiv kein Fehler ge ffnet Emission ausgeschaltet Kalibriervorgang aktiv oder Fehler 28 Betrieb d INFICON Funktion Zustand Beschreibung WARNING ma ons Wei ERROR ma D CAL_ACTIVE ge ffnet Ger twird nicht kalbrier CAL_REQUEST geschlossen geschlossen und keine externe Kalibrierung Kalibrieraufforderung z B bei Temperatur nderung von 5 C und externe Kalibrierung Aufforderung Externes Kalibrierleck ffnen ge ffnet keine Aufforderung geschlossen Hochlauf PUNE ge ffnet kein Hochlauf geschlossen ZERO eingeschaltet ZEROS CINE ge ffnet ZERO ausgeschaltet geschlossen Emission eingeschaltet EMISSIONCON ge ffnet Emission ausgeschaltet geschlossen Meas ZERO ist m glich alle Trigger Ausg nge schalten abh ngig von der Leckrate MERSORE ge ffnet Standby oder Emission ausgeschaltet ZERO ist nicht m glich alle Trigger Au
41. l schlie en falls nicht dauerhaft ge ffnet SELECT_DYN_NORMAL inaktiv aktiv aktiv inaktiv Externer Kalibriermodus f r die Funktion CAL Externe dynamische Kalibrierung ohne Autotune unter Ber cksichtigung der ber die digitalen Eing nge vorgegebenen Mess und Pumpzyklenzeiten Externe normale Kalibrierung mit Autotune ohne Ber cksichtigung der anlagenspezifischen Mess und Pumpzyklenzeiten inaktiv aktiv Nach Meas umschalten ZERO ist m glich alle Trigger Ausg nge schalten abh ngig von der Leckrate STARI SIOP aktiv inaktiv Nach Standby umschalten ZERO ist nicht m glich alle Trigger Ausg nge geben Fail zur ck KEY_1 aktiv Benutzer Operator KEY_2 aktiv Benutzer Supervisor KEY_3 aktiv Benutzer Integrator CAL inaktiv aktiv In Standby wird eine interne Kalibrierung gestartet In Meas wird eine externe Kalibrierung gestartet Information Jede Funktion kann invertiert werden Digitale Eing nge des I O Moduls nach Bedarf belegen EINSTELLUNGEN gt EINRICHTEN gt SCHNITTSTELLEN gt I O MODUL gt DIGITAL EING gt KONFIGURATION DIG EINGANG 6 4 Digitale Ausg nge des I O Moduls belegen Die digitalen Ausg nge PLC OUT 1 8 des I O Moduls k nnen beliebig mit den zur Verf gung stehenden Funktionen belegt werden Funktion Zustand Beschreibung OPEN ge ffnet immer ge ffnet TRIG1 geschlossen Lec
42. ltage 5V out AEN Kurzschluss am 250 W of range 24 120 i voltage V 5 5V Vorverst rker IF Board oder MSB defekt Voltage REF5V a au Mela 252 E shortened 24 120 voltage V Vorverstarker IF Board oder MSB defekt 3xx Nachweissystem Offset Vorverstarker Vorv erstarkertest Emission Katodentest Kurzschluss Anodenspannung zu 7V lt 300 W Anode voltage too low 41 132 Nom hoher Druck im anode voltage V Valve Massenspektrometer IF Board MSB oder lonenquelle defekt Anode voltage too high fu 301 W 9 9 Ap 131 Nom MSB defekt anode voltage V V alue Suppressor voltage too 302 W uv 39 130 297V Kurzschluss Supressor IF Board oder MSB defekt supressor voltage V Suppressor voltage too 303 W high 38 129 363V MSB defekt supressor voltage V es vollage Kurzschluss Anode 304 W anode cathode 36 127 40V Kathode IF Board oder MSB defekt voltage Anode catode voltage 305 w__ too high 35 126 140V MSB defekt anode cathode voltage Kathode defekt Leitung 310 W ii 45 136 zur Kathode unterbrochen IF Board oder MSB defekt Kathode defekt Leitung 311 W i 46 137 zur Kathode unterbrochen IF Board oder MSB defekt Kathode defekt Leitung 312 E iii 47 138 zur Kathode unterbrochen IF Board oder MSB defekt lt 90 Emission ewok ni Emission war vorher stabil 340 E di 44 135 vermutlich hoher Druck emission current AJ 911096 Meldung nach 15s Nom Valu
43. mpe einschalten 2 Spannungsversorgung zum Massenspektrometer Modul herstellen System l uft automatisch hoch Analoge Ausg nge des l O Moduls belegen Die analogen Ausg nge des I O Moduls 101000 k nnen ber die Bedieneinheit CU1000 oder das I O Modul 101000 mit unterschiedlichen Messwertdarstellungen belegt werden Analoge Ausg nge des I O Moduls nach Bedarf belegen EINSTELLUNGEN gt EINRICHTEN gt SCHNITTSTELLEN gt I O MODUL gt ANALOG AUSG gt KONFIG ANALOG AUSGANG 1 2 Betrieb 21 d INFICON 6 2 1 Werksseitige Belegung Analog Ausgang 1 Leckrate Mantisse Analog Ausgang 2 Leckrate Exponent 6 2 2 M gliche Belegungen Aus Die analogen Ausg nge sind abgeschaltet Ausgangsspannung 0 V Druck p1 Druck p2 1 10 V 0 5 V Dekade 1 V 1 x 103 mbar Leckrate Mantisse 1 10 V linear in gew hlter Einheit Information Nur sinnvoll wenn der andere Analog Ausgang mit Leckrate Exponent belegt ist Leckrate Exponent 1 10 V 0 5 V Dekade Treppenfunktion 1 V 1 x 10 12 in gew hlter Einheit Information Nur sinnvoll wenn der andere Analog Ausgang mit Leckrate Mantisse oder oder Leckrate Ma Hvs belegt ist Leckrate linear x 10 V linear in gew hlter Einheit Die obere Grenze 10 V wird ber den Parameter Exponent oberer Grenzwert eingestellt Leckrate log x 10 V logarithmisch in gew hlter Einheit Die obere Grenze 10 V und die Skalierun
44. nsetzen Wartung 47 d INFICON Neuen Betriebsmittelspeicher einsetzen Der neue Betriebsmittelspeicher wird durch das Eindrehen des Verschlussdeckels korrekt positioniert 1 Neuen Betriebsmittelspeicher nicht komplett sondern nur bis zum O Ring in die Pumpe schieben 2 Verschlussdeckel mit Stirnlochschl ssel einschrauben Sachsch den durch falsch montierten O Ring Ein falsch montierter O Ring kann Undichtigkeiten verursachen Das Ger t hat Fehlfunktionen und wird besch digt O Ring sorgf ltig einlegen Neuen O Ring einlegen Verschlussdeckel einschrauben Anzugsdrehmoment 13 Nm 10 Bel ftungsschraube handfest anziehen Turbomolekularpumpe einbauen NO on P OW Massenspektrometer Modul in Betrieb nehmen Wartungsarbeit bestatigen v Bedieneinheit installiert v Berechtigung Integrator gt Wartungsarbeit in Bedieneinheit best tigen BERECHTIGUNG gt INTEGRATOR gt WARTUNG gt WARTUNGSARBEIT 48 Wartung 8 1 8 2 8 3 d INFICON Au erbetriebnahme Lecksuchger t stillsetzen 1 Lecksuchger t am Netzteil ausschalten 2 Warten bis Turbomolekularpumpe nicht mehr l uft Massenspektrometer Modul entsorgen Das Ger t kann vom Betreiber entsorgt oder zu INFICON gesendet werden Information Das Ger t besteht aus Materialien die wieder verwendet werden k nnen Wenn Sie die Materialien wieder verwerten verringern Sie den Abfall und schonen die Umwelt Be
45. rangene Signale f r Warnungen e Trennung blaues Signal Zehnerstelle 0 9 rote Signale f r Fehler bzw 0 9 orangene Signale f r Warnungen e Trennung blaues Signal e Einerstelle 0 9 rote Signale f r Fehler bzw 0 9 orangene Signale f r Warnungen Der Blinkcode wird zyklisch wiederholt Beispiel Der Druck ist zu hoch gt Fehlercode Warnung 520 gt Blinkcode der Status LED Wei lang 5 Orange Blau 2 Orange Blau 42 Betrieb d INFICON 7 Wartung Das Massenspektrometer Modul ist ein Dichtheitspr fger t f r den industriellen Einsatz Die verwendeten Bauteile und Baugruppen sind weitgehend wartungsarm Die Wartung des Massenspektrometer Moduls beschr nkt sich auf den Tausch des Betriebsmittelspeichers der Turbomolekularpumpe und die berpr fung des L fters an der Turbomolekularpumpe Information Wir empfehlen den Abschluss eines Wartungsvertrags mit INFICON oder einem von INFICON autorisierten Servicepartner 7 1 Wartung und Service bei INFICON Gef hrdung der Gesundheit Kontaminierte Ger te k nnen die Gesundheit des INFICON Service gef hrden gt Kontaminationserkl rung verwenden 1 Formular Kontaminationserkl rung ausf llen siehe Kapitel 9 2 Seite 51 Information Das Formular Kontaminationserkl rung senden wir Ihnen auf Anfrage zu Kopien des Formulars sind zul ssig Die Kontaminationserkl rung ist zwingend erforderlich zur Erf
46. riebsart Vakuumanschluss und Drehzahl Turbomolekularpumpe nach vakuumphysikalischen Gegebenheiten der Pr fanlage bestimmen 2 Massenspektrometer Modul ber ULTRA FINE oder GROSS an Vakuumsystem der Pr fanlage anschlie en 3 Drehzahl der Turbomolekularpumpe einstellen Montage 19 5 4 5 5 d INFICON Anschlussblock anschlie en 1 PIRANI Druckmessstelle und Vorvakuumpumpe an GROSS FOREPUMP anschlie en 2 Pr fleck an zweiten freien Flansch des Vakuumanschlusses anschlie en Damit das Ger t beim ffnen des Schn ffelventils fehlerfrei arbeitet darf zwischen Anschlussblock und Schn ffelventil sowie Schn ffelventil und Schn ffelleitung keine weitere Leitung angeschlossen sein 3 Schn ffelleitung an Fine anschlie en MSB Box anschlie en Information Die Anschl sse sitzen dicht nebeneinander Um Schwierigkeiten bei der Montage zu vermeiden zuerst die inneren dann die u eren Anschl sse verbinden Sachsch den durch falsch dimensioniertes oder falsch angeschlossenes Netzteil Ein falsch dimensioniertes oder falsch angeschlossenes Netzteil kann das Ger t zerst ren gt Geeignetes Netzteil verwenden Netzteil verwenden das eine elektrisch sicher getrennte Ausgangsspannung liefert Ausgangsspannung 24 V 10 Strombelastbarkeit min 8 A gt Wenn Kurzschluss Strom des Netzteils gt 10 A Sicherung zwischen Netzteil und Massenspektrometer Modul schalten gt Spannungsver
47. sg nge geben Fail zur ck geschlossen Standby ZERO ist nicht m glich alle Trigger Ausg nge geben Fail zur ck STANDEN ge ffnet Meas ZERO ist m glich alle Trigger Ausg nge schalten abh ngig von der Leckrate geschlossen SNIFF SNIFE ge ffnet VAC Information Jede Funktion kann invertiert werden Digitale Ausg nge des I O Moduls nach Bedarf belegen EINSTELLUNGEN gt EINRICHTEN gt SCHNITTSTELLEN gt I O MODUL gt DIGITAL AUSG gt KONFIGURATION DIG AUSGANG Betrieb 29 6 5 6 6 6 7 d INFICON Messung starten stoppen W hrend der Messung W hrend des Standby ZERO ist m glich ZERO ist nicht m glich Die Triggerausg nge schalten abh ngig von der Leckrate und der Triggerschwelle Die Triggerausg nge geben aus Leckratenschwellwert berschritten Schn ffeln ist m glich Schn ffeln ist nicht m glich Beim Kalibrieren ber SPS Ein oder Ausgang wird eine externe Kalibrierung gestartet Beim Kalibrieren ber SPS Ein und Ausgang wird eine interne Kalibrierung gestartet Starten v Ger t in STANDBY gt Messung starten gt Ger t wechselt in Zustand MEASURE Stoppen v Ger t misst gt Messung stoppen Ger t wechselt in Zustand STANDBY Parameter laden und speichern Um die Parameter der Bedieneinheit und des Massenspektrometer Moduls zu sichern und wieder herzustellen kann ein USB Stick verwendet werden
48. sorgungskabel mit ausreichendem Querschnitt verwenden 1 24 V Spannungsversorgungskabel an beigelegten Stecker montieren Anschl sse 24 V an 1 und GND an 1 Montierten Stecker des 24 V Spannungsversorgungskabel in 24VDC stecken Bei Bedarf Bedieneinheit mit Datenkabel an CONTROL UNIT anschlie en Bei Bedarf I O oder Bus Modul mit Datenkabel an I O anschlie en PIRANI Druckmessstelle und Pr fleck am Kabel von Buchse 1 anschlie en Bei Bedarf Schn ffelleitung an SNIFFER anschlie en NO o P W N Bei Bedarf Gasballastventil an OUTPUT anschlie en 20 Montage Betrieb d INFICON Sie k nnen das Massenspektrometer Modul ber folgendes Zubeh r betreiben e CU1000 Bedieneinheit e BM1000 Bus Modul e 101000 I O Modul Fur Funktionen und Einstellungen in diesem Kapitel gilt Zubehor Informationen zu Finden Sie in Bedieneinheit Men Betriebsanleitung Bedieneinheit CU1000 Bus Modul Kommandos Interface Protocols LDS3000 Kommandos Interface Protocols LDS3000 Digitale Ein und VO Modul usg nge Analoge Installationsanleitung I O Modul 101000 Ausgange Lebensgefahr und Sachschaden durch ungeeignete Betriebsbedingungen Durch ungeeignete Betriebsbedingungen besteht Lebensgefahr Das Gerat kann beschadigt werden Pl tzliche Lage nderungen des Ger ts vermeiden Extreme Fremdschwingungen und St e vermeiden Ger t einschalten 1 Vorvakuumpu
49. stallieren betreiben und warten Anwendungsgrenzen einhalten siehe Kapitel 4 3 Seite 13 2 2 Anforderungen an den Betreiber Sicherheitsbewusstes Arbeiten gt Ger t nur in technisch einwandfreiem Zustand sowie bestimmungsgem sicherheits und gefahrenbewusst unter Beachtung dieser Anleitung betreiben und einbauen Folgende Vorschriften erf llen und deren Einhaltung berwachen Bestimmungsgem e Verwendung Allgemein g ltige Sicherheits und Unfallverh tungsvorschriften International national und lokal geltende Normen und Richtlinien Zus tzliche ger tebezogene Bestimmungen und Vorschriften Ausschlie lich Originalteile oder vom Hersteller genehmigte Teile verwenden Diese Anleitung am Einsatzort verf gbar halten Personalqualifikation Alle Arbeiten nur von technischem Fachpersonal ausf hren lassen das eine Schulung am Ger t erhalten hat gt Zu schulendes Personal nur unter Aufsicht von technischem Fachpersonal Arbeiten mit dem Ger t durchf hren lassen Sicherstellen dass beauftragtes Personal vor Arbeitsbeginn diese Anleitung und alle mitgeltenden Dokumente siehe Kapitel 1 2 Seite 5 gelesen und verstanden hat insbesondere Sicherheits Wartungs und Instandsetzungsinformationen gt Verantwortungen Zust ndigkeiten und berwachung des Personals regeln 2 3 Anforderungen an den Anwender Diese Anleitung und vom Betreiber erstellte Arbeitsanweisungen lesen beac
50. ularpumpe bewirken dass das Massenspektrometer Modul ausbricht Schwerste Verletzungen k nnen die Folge sein gt Massenspektrometer Modul ausbruchsicher montieren 4 Massenspektrometer Modul auf Durchgangsbohrungen setzen und mit Befestigungselementen festschrauben 18 Montage d INFICON 5 3 Massenspektrometer Modul an Pr fanlage anschlie en Die Betriebsart des Vakuumanschlusses und die Drehzahl der Turbomolekular pumpe legen fest e Kleinste nachweisbare Leckrate KnL Maximaler Einlassdruck P max e Saugverm gen S Anschluss Drehzahl Turbomolekularpumpe 1000 Hz 1500 Hz KnL lt 5 x 10 72 mbarl s lt 1x 1077 mbarl s ULTRA Pmax 0 2 mbar 0 2 mbar S 5 l s 6 I s KnL lt 1x 1017 mbar I s lt 5 x 1017 mbar l s FINE Pmax 0 9 mbar 0 4 mbar S 1 8 I s 2 5 l s KnL lt 1 x 1077 mbar I s lt 2 x 108 mbarl s GROSS Pmax 18 mbar 15 mbar S abh ngig von der Vorvakuumpumpe dauerhaft zulassiger Einlassdruck Kurzfristige Uberschreitung lt 3 s Einlassdruck darf 0 4 mbar in ULTRA und 0 7 mbar in FINE betragen Langfristige berschreitung gt 3 s Warnmeldung TMP berhitzung und m gliche Sch digung des Filaments Sachsch den durch Druckst e Druckst e die den maximalen Einlassdruck berschreiten besch digen das Massenspektrometer Modul Maximalen Einlassdruck nicht berschreiten 1 Bet
51. zette x O Ring x Betriebsmittelspeicher P N 200 003 801 v Massenspektrometer und Turbomolekularpumpe geflutet 1 Auf Verfallsdatum des neuen Betriebsmittelspeichers achten Vergiftungsgefahr durch gesundheitssch dliche Stoffe Der Betriebsmittelspeicher und Teile der Turbomolekularpumpe k nnen mit giftigen Substanzen aus den gepumpten Medien kontaminiert sein gt Geeignete Sicherheitsvorkehrungen treffen gt Kontaminierte Teile vor Ausf hrung von Wartungsarbeiten dekontaminieren gt Alte Betriebmittelspeicher nach geltenden Vorschriften entsorgen Der neue Betriebsmittelspeicher ist ausreichend mit Betriebsmittel gef llt 2 Kein zus tzliches Betriebsmittel einf llen 3 Verschlussdeckel mit Stirnlochschl ssel herausschrauben 4 Alten O Ring entnehmen 5 Betriebsmittelspeicher mit zwei Schraubendrehern herausheben 46 Wartung d INFICON Abb 6 Betriebsmittelspeicher tauschen 1 O Ring 3 Porex St be 2 Betriebmittelspeicher 4 Bel ftungschraube Porexst be tauschen 1 Alte Porexst be 8 St ck mit Pinzette herausziehen Sachsch den durch Reinigungsfl ssigkeiten Reinigungsfl ssigkeiten k nnen das Ger t besch digen p Keine Reinigungsfl ssigkeiten verwenden gt Sauberes fusselfreies Tuch verwenden 2 Verunreinigungen an Turbomolekularpumpe und Verschlussdeckel mit sauberem fusselfreien Tuch entfernen 3 Neue Porexst be 8 St ck mit Pinzette ei

Typenbez. LDS3000

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