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Pfeiffer, TPH 062, TPU 062, TPH 055

1. Halter 12 so anschrauben da die Anschraubflache des L fters 51 parallel zur Achse Vorvakuumflansch Flutanschluf liegt Luftk hlung an Halter 12 mit vier Schrauben M5 13 und Federrin gen 14 an die Turbopumpe anschrau ben Elektrischer Anschlu Der elektrische Anschlu ist nach den Schaltpl nen in der Betriebsanleitung der entsprechenden Antriebselektronik auszuf hren 14 To avoid corrosion damages the following requirements for the cooling water must be met Water filtered mechanically clean optically clear without deposits without turbidity chemically neutral Minimum oxygen cont 4 mg kg Maximum chloride content 100 mg kg Maximum carbonate hardness 10 dH Maximum consumption of potassium permanganate 10 mg kg pH value 7 9 Supply excess pressure up to 6 bar No aggressive carbon dioxide and ammonia should be detectable Please note If the actual values are above or below the values indicated above and if trouble or damage occurs on the systems delivered by us we will assume no liability for such trouble or damage 4 4 2 Air Cooling The turbo pump can be converted to air cooling The maximum ambient temperature must not exceed 35 C if air cooling is used Connections for air cooling are provided on the TCP 121 380 and TCP 015 electronic drive unit the connections must be made in accordance with the wiring diagram in the operating instructions of the electronic drive un
2. The turbo pump must be free of harm ful substances Follow the instructions in Section 1 1 Important Information 6 1 Changing the Operating Fluid Reservoir Fig 13 Fig 14 The ball bearing lubrication system is filled with TL 011 oil at delivery of the turbo pumps The operating fluid reservoir must be changed at least once a year or at shorter intervals in the case of extreme operating con ditions or unclean processes Always change the complete operating fluid reservoir as follows Switch off the pump and vent it to atmospheric pressure If necessary remove the turbo pump from the system Unscrew the locking cover at the bottom Fig 13 Remove the operating fluid reservoir felt discs Fig 14 and dispose of itin accordance with the valid regulat ions Clean the pump and screw cap from dirt with a clean lint free cloth Insert a new reservoir see Section 7 spare parts with tweezers the requi red operating fluid quantity is already filled in Fitthe locking cover Fig 13 Verschlu amp deckel herausschrauben Remove locking cover D visser le couvercle de fermeture 22 Fig 14 Betriebsmittelspeicher entnehmen Remove operating fluid reservoir Enlever le r servoir de fluide moteur 6 Entretien Attention La pompe turbo doit tre exempte de produits nocifs Consid rer les Indications importantes dans 1 1 6 1 Changement du r servoir de fluide moteu
3. A label bearing the PE symbol must be fitted to the connection TPH 055 Electrical connection of the pump is made to the 8 pin G box The connection to the TCP 015 is made by means of the 3 m long connecting cable PM 031 178 X other lengths upon request 4 7 Operating Instructions The following operating instructions apply to the components listed 4 6 Branchement lectrique de la pompe turbo Le branchement lectrique doit tre effectu conform ment aux prescriptions valables localement Les instructions de service des lectro niques d entrainements contiennent tous les sch mas des connexions et toutes les descriptions relatives au branchement lectrique TPH U 062 Le branchement lectrique de la pompe turbo a lieu sur la contre prise G 19 p les La liaison avec TCP 121 380 est tablie avec le c ble de liaison PM 011 232 X longueur de 3m autres longueurs sur demande Si des r sistances 0 1 Q sont n ces saires pour le conducteur de protection la pompe doit tre mise la terre s par ment En cas de s paration de la pompe turbo du poste de pompage et de fonctionnement avec un c ble plus long un c ble suppl mentaire de mise la terre doit tre pos au niveau du raccord de mise la terre chez l exploitant c t de la contre prise G indiqu par un symbole de conducteur de protection L emplacement de raccordement doit tre muni d une tiquette portant le symbole du co
4. C40 413 19 Produit de nettoyage 20 R cipient 24 18 Fl ssigkeitsspiegel max 18 Niveau maxi de liquide Raccorder la pompe turbo avec les brides de vide lev obtur es la pompe primaire et vacuer jusqu env 10 1 mbar afin d aspirer les restes de produits de nettoyage Ne pas mettre la pompe turbo en marche A rer la pompe et monter le nouveau r servoir de fluide moteur Remonter la pompe dans le syst me Remarque Lors du premier processus d vacuation le temps de pompage est plus long cause des restes de produit de nettoyage 6 3 Pr fen des Antriebmotors Hinweis Der Antriebsmotor der Turbopumpe kann mit Hallsonden oder mit Hall IC s ausgestattet sein TPH U 062 Hallsonden Test des Antriebes bei 20 C 6 3 Testing the Drive Motor Please note TPH U 062 Hall probes Testing the drive at 20 C The turbo pump drive motor can be equipped with Hall probes or Hall ICs Test de l entra nement 20 C 6 3 Contr le du moteur d entra nement Remarque Le moteur d entra nement de la pompe peut tre quip des sondes de Hall ou avec des CI Hall TPH U 062 Sondes de Hall Widerstande Resistances R sistances GE Hallsondenpfad LH Hallsondenausgang 1 J K Hallsondenausgang 2 FM Temperatursensoren E A E B E C Motorspulen E D N P Rp TPH TPU 062 Hall probe path Hall probe output 1 Hall probe output 2 Temperature
5. Fermer la bride de vide lev vider la pompe Proc der une remise l air sec Fermer la pompe assurer un stockage au sec voir paragraphe 5 4 ENTRETIEN Palier sup rieur palier aimant permanent aucune maintenance n cessaire roulement billes de pr cision lubrifi avec TL 011 avec billes en c ramique remplagable Palier inf rieur REMPLACEMENT du fluide moteur pour les roulements billes Pour remplacer le fluide moteur tout le r servoir de fluide moteur doit tre remplac paragraphe 6 1 Ne pas rajouter de fluide moteur NETTOYAGE Encrassement l ger nettoyage dans l alcool pur Attention Aux prescriptions applicables la manipulation du solvant voir 6 2 Encrassement important avertir le service apr s vente Pfeiffer paragraphe 6 2 REMPLACEMENT DES PALIERS Seulement par le service apr s vente BALZERS ou du personnel form Voir 6 4 EXPEDITION POUR LA REPARATION Consid rer les indications importantes dans 1 1 et 6 5 Betriebsanleitung fur Turbomolekularpumpen TPH TPU 062 TPH 055 1 Allgemeines 1 1 Wichtige Hinweise Pr fen Sie sofort nach dem Auspacken ob die Sendung mit den Angaben auf dem Lieferschein Ubereinstimmt Lesen Sie die Betriebsanleitung bevor Sie das Gerat in Betrieb nehmen Be folgen Sie die Anweisungen in allen Punkten F r Sch den und Betriebsst rungen die aufgrund Nichtbeachtung der Be triebsanleitung entst
6. The pumps are delivered with operating fluid filling The pumps are convection cooled as standard see Section 4 4 They can easily be converted to water or air cooling The pumps have thermistor protection against excessive ambient temperatures When the bearing drive or pump case temperatures are impermissibly high the drive power is reduced to zero 1 2 1 Instructions de s curit pour le travail avec la pompe turbomol culaire Ne jamais utiliser la pompe avec la bride de vide lev ouverte Il y a danger d accident par la rotation de la turbine et par le contact avec des agents pomp s gaz de processus Il y a danger de d t rioration de la pompe par la chute d objets D monter le connecteur de l lectronique d entra nement seulement lorsque le connecteur d alimentation du r seau est enlev et la pompe est arr t Des pointes de tension 2100 V pourraient se produire sur les contacts Les raccordements de la pompe turbo la pompe primaire ne peuvent tre enlev s qu l arr t afin d viter tout contact avec des gaz de processus Avant le d montage de la pompe turbo du syst me effectuer la remise l air comme indiqu dans 4 5 Fixer la pompe dans l installation afin d viter des dangers dus des couples Les indications concernant les dangers provenant de contacts avec des agents pomp s seront communiquer par l utilisateur Par consequ nt des mesur
7. avec l lectronique d entra nement TCP 015 Remplacement du palier Service apr s vente Pi ces de rechange Pi ces de rechange pompe Pi ces de rechange refroidissement l air Pi ces de rechange refroidissement l eau Accessoires KURZANLEITUNG fur Turbomolekularpumpen TPH TPU 062 TPH 055 D d TPH 062 Diese Kurzanleitung ist nur g ltig in Zusammen hang mit der ausf hrlichen Betriebsanleitung Blatt heraustrennen und bei der Pumpe aufbewahren INSTALLATION AnschluBzubeh r Antriebselektronik TCP 121 oder 380 und AnschluB kabel bei TPH U 062 Antriebselektronik TCP 015 und AnschluBkabel bei TPH 055 Blindflansche erst unmittelbar vor Montage entfernen Auf gr Btm gliche Sauberkeit achten Betriebsmittel ist eingef llt HV Flansch Belastung drehmomentfrei max 20 kg Einbaulage vertikal bis horizontal Abschnitt 4 2 Je nach Einsatz Turbopumpe verankern und Splitterschutz verwenden Abschnitt 4 2 1 Vibrations bertragung von Vorpumpe ausschlieBen K hlungsart Standard Konvektion Umgebungstemperatur gt 30 C Luftk hlung Umgebungstemperatur gt 35 C und bei beheizten Pumpen Wasserk hlung Anschlu Fluteinrichtungen ber AnschluBgewinde G 1 8 DN 10 ISO KF Bauteile mittels Adapter PM 006 702 siehe 4 5 Elektrischer AnschluB nach den rtlich geltenden Bestimmungen besondere Anforderungen siehe Abschnitt 4 6 BETRIEB A
8. fehls ber die Schnittstelle RS 232 C 5 Operation 5 1 Switching on Procedure With water cooling start the cooling water supply and check the flow If a TZK 400 Cooling Unit is used start the TZK and turbo pump With air cooling the fan if wired in accordance with the wiring diagram starts running when the turbo pump is started Start the backing pump and turbo pump by pressing the switch S1 on the electronic drive unit Start the turbo pump heater if applicable by pressing the switch S2 TCP 121 380 only The pump accelerates automatically The run up time needed until the rotation speed switch point is reached is a function of the size of the vacuum chamber With blank flanged turbo pump the rated rotation speed is reached after 2 minutes 5 1 1 Reset TPH U 062 with TCP 121 or TCP 380 In the event of a malfunction the voltage supply of the motor is switched off via contact K2 The reset function is activated by Disconnecting the mains voltage for a time gt 2 seconds e g by pressing the mains switch S1 Operating an externally connected reset pushbutton S3 for a time gt 2 seconds Please note If the reset function is activated via an external reset pushbutton the TCP must be supplied with power TPH 055 with TCP O15 When the TCP 015 detects a fault the motor power is switched off After the fault has been corrected the pump does not accelerate automaticall
9. in den technischen Daten angege benen Werten sind geeignete Abschirmmafsnahmen vorzusehen Abschirmgeh use auf Anfrage 4 2 HochvakuumanschlufS Achtung Bei verankerter Turbopumpe d rfen keine Kr fte aus dem Rohrleitungs system auf die Pumpe einwirken Beim Anschlu der Pumpe an den Rezipienten ist zu beachten daf der Hochvakuum Flansch bis max 20 kg senkrecht belastbar ist Ein frei angeflanschter Rezipient darf kein Drehmoment auf den Flansch aus ben einseitige Belastung Alle UHV Teile m ssen bei gr fster Sauberkeit montiert werden Unsaubere Bauelemente verlangern die Auspumpzeit durch eine hohe Desorptionsrate Die Pumpe kann in horizontaler bis vertikaler Einbaulage an den Rezi pienten angeflanscht werden Weicht die Einbaulage von der Verti kalen ab mu die Pumpe mit dem Vorvakuumanschlufs 4 nach unten eingebaut werden Eine maximale Abweichung von 20 nach links oder rechts ist zulassig Fig 6 Bei der Verbindung Turbopumpe Rezipient ber einen Federungs k rper sollte die Pumpe verankert werden Zur Verankerung der Pumpe sind im Unterteil Standfl che vier Gewinde l cher M5 vorhanden Die Gewinde l cher dienen auch zur Aufnahme der Gummif fse 10 3 Backing Pumps We recommend that you use the DUO 1 5 A rotary vane vacuum pump or depending on your application a pump of series B as the backing pump from our programme These pumps are distinguished by High
10. une couche d oxyde tr s mince qui maintient un tat passif la surface Pour cela une teneur minimum en oxyg ne est n cessaire Dans les syst mes de refroidissement ferm s il faut s attendre en l absence de mesures particuli res ce que la teneur en oxyg ne n atteigne plus la quantit minimum II faudrait ici lors du refroidissement de retour de l eau assurer une absorption d oxyg ne suffisante Dans tous les cas l eau de refroidisse ment doit tre filtr e afin d emp cher la p n tration d impuret s et de mati res en suspension dans le circuit de refroidissement Ces derni res pourraient en effet tre l origine de d p ts locaux qui favorisent la formation de piq res de corrosion La pompe peut tre aliment e par le r seau d eau de refroidissement pression effective maximale 6 bars ou par le biais d un groupe de refroidissement 30 TZK Kuhl wasserversorgung aus dem Netz Der Schmutzfanger 29 ist im Vorlauf und der K hlwasserw chter 7 TCW im Rucklauf einzusetzen falls ver wendet K hlwasserversorgung mit Kuhlaggregat Keinen Schmutzfanger 29 verwenden K hlwasserw chter 7 TCW im R ck lauf einsetzen Zubeh r f r K hlwasseranschluf siehe Abschnitt 9 Zubeh r Cooling water supply from the mains The dirt trap 29 if applicable must be installed in the supply system and the TCW cooling water monitor 7 in the return system Cooling water supply with cool
11. after a delay if the following combinations are used TPH 055 La pompe turbo TPH 055 n a pas de raccord de remise l air Elle doit tre remise l air c t vide lev La vanne de remise l air TSF 012 peut tre associ e au TCP 015 pour remettre la pompe turbo TPH 055 l air La temporisation de la remise l air est une fonction commune TCP 015 et TSF 012 La vanne de remise l air TSF 012 se ferme d s que TCP 015 est connect Apr s la d connexion ou une coupure de courant la vanne de remise l air TSF 012 est aliment e en courant par le moteur d entrainement de la pompe turbo en cours de ralentissement D but de la remise l air env 30 96 de la vitesse nominale La vanne reste ouverte apr s l arr t de la pompe Si les appareils suivants sont combin s la vanne de remise l air peut tre ouverte imm diatement ou de mani re temporis e Flutventil2 Venting valve Vanne de remise l air2 Steuergerat2 Control unit Appareil de commande Antriebselektronik2 Electronic drive unit Electronique d entra nement verz gertl Ventil bleibt offen delayed Valve remains open TSF 012 TCP 121 380 015 temporis e vanne reste ouverte sofort Ventil bleibt offen unabhangig immediately valve remains open TSF 010 independent imm diate vanne reste ouverte ind pendante verz gert Ventil schlie t wieder delayed valve closes again TVF 012 TCF TCV 103 T
12. and heated pumps water cooling Connection of venting devices via G 1 8 connecting thread DN 10 ISO KF components via adapter PM 006 702 see 4 5 Electrical connection in accordance with the valid local regulations special requirements see Section 4 6 OPERATION Connect all required optional accessories Section 4 3 4 6 SWITCHING on the turbo pump Press the switch S1 on the TCP see 5 2 RESET by interrupting the voltage supply for gt 2 seconds e g by pressing switch S1 Section 5 1 HEATING the turbo pump Press switch S2 Section 5 2 SWITCHING OFF the turbo pump Press the switch S1 on the TCP If Pfeiffer backing pumps are used the HV valve closes automatically see 4 3 and 5 3 INSTRUCTIONS ABREGEES pour pompes turbomol culaires TPH TPU 062 TPH 055 Ces instructions abr g es ne sont valables qu en liai son avec les instructions de service d taill es Enlever la feuille et la conserver a proximit de la pompe INSTALLATION Accessoires de raccordement commande d entra nement TCP 121 ou 380 et cable de raccordement pour TPH U 062 commande d entrainement TCP 015 et c ble de raccordement pour TPH 055 N enlever les fausses brides que juste avant le montage Veiller une propret maximum Remplissage du fluide moteur effectu Charge de la bride de vide lev sans couple de ro tation 20 kg maxi Position de montage verticale hori
13. ces travaux devra avoir suivi un stage de formation appropri Nous vous prions de consultez ce sujet nos repr sentants ou nos filiales 7 Service apr s vente Prenez notre service apr s vente en consid ration Si des d fauts se pr sentaient vous avez plusieurs possibilit s afin de tenir votre syst me en tat de marche Faire r parer votre pompe sur place por le service apr s vente PFEIFFER Exp dier votre pompe en nos usines our la r paration Remplacer votre pompe par une pompe de rechange neuve Votre repr sentant PFEIFFER vous donnera de plus amples informations Avant l exp dition Les appareils envoy s doivent tre pourvus d une tiquette bien visible exempt de mati res toxiques la m me indication est apposer sur le bon de livraison et sur toute la correspondance aff rente Les mati res toxiques sont les mati res et pr parations suivant les prescriptions concernant les produits dangereux dans la version la plus r cente En l absence des indications exempt de mati res toxiques sur l appareil ou sur les documents d accompagnement PFEIFFER proc dera automatiquement vos frais une d contamination des appareils retourn s Ce qui est galement valable si l utilisateur ne poss de aucune possibilit pour proc der lui m me la d contamination Les appareils contamin s radioactivement microbiologiquement et explosivement ne seront jamais accept
14. failure to comply with these operating instructions neither will any guarantes relating to repairs to or replacement of our products apply All units comply with the Federal German Law concerning Technical Implements The operating instructions comply with the German Industrial Standard DIN 8418 If you perform repair or maintenance work on units which have come into contact with substances which are detrimental to health please observe the relevant regulations If you return units to us for repair or maintenance work please follow the instructions below contaminated units radioactively or chemically etc must be decontaminated in accordance with the radiation protection regulations before they are returned Units returned for repair or maintenance must bear a clearly visible note Free from harmful substances This note must also be provided on the delivery note and accompanying letter Please use the attached attestation declaration Instructions de service pour pompes turbomol culaires TPH TPU 062 TPH 055 1 G n ralit s 1 1 Indications importantes A la r ception de l envoi s assurer au d ballage que le contenu du des colis corresponde bien aux articles num r s sur le bon de livraison Avant que de mettre l appareil en service lire attentivement es instructions de service et s y conformer en tous points Pour tout dommage et panne r sultant de non respect des instructions de
15. le r cipient par le biais de la pompe vide primaire voir paragraphe 9 accessoires Une soupape de s ret de vide lev est int gr e aux pompes vide primaire PFEIFFER voir paragraphe 3 pompe vide primaire 11 Fig 8 Hochvakuumflansch Vorvakuumflansch Vorvakuumpumpe Flutanschlu amp Vorvakuumleitung Sicherheitsventil OO Om Pr Hd 4 kW High vacuum flange 10 BS LT C40 a15 Fore vacuum flange Backing pump Venting connection Fore vacuum line Safety valve OO Om Pr Hd Bride de vide lev Bride de vide primaire Pompe vide primaire Conduite du vide primaire OO Om Pr Hd 4 4 K hlung Die Turbopumpe ist serienm ig konvektionsgek hlt und daher von einer Wasser oder Zwangsluft k hlung unabhangig Bei Umgebungstemperaturen bis 35 C und bei beheizten Pumpen und Systemen sind die Turbopumpen TPH TPU 062 und TPH 055 mit Luft oder Wasserk hlung zu betreiben ber 35 C nur mit Wasserk hlung Die Turbopumpe ist durch je einen PTC Widerstand in Motorwicklung und Pumpengehause thermisch ge sch tzt Wird an einem der beiden Widerstande die zul ssige Tempe ratur berschritten reduziert die Antriebselektronik die Antriebs leistung bis auf Null 4 4 1 Wasserk hlung Fig 9 Fig 10 Die Korrosionsbestandigkeit der Metalle ist im allgemeinen auf eine sehr d nne Oxidschicht zur ckzu f hren die a
16. mesure de reconna tre les dangers et d y faire face L utilisation par du personnel non au toris ou un maniement imprudent peuvent accroitre le danger potentiel Pour tous les travaux l installation la mise en service le fonctionnement et l entretien les proc dures de d con nexion indiqu es dans les instruc tions de service ci jointes doivent tre respect es faut s abstenir de travailler d une facon qui porte atteinte la s curit du conducteur et de la pompe Des transformations et modifications de votre propre chef ayant une influence la s curit ne sont pas autoris es Apr s des travaux de montage et d entretien en lectricit toutes les mesures de protection doivent tre test es par exemple le conducteur de protection Les prescriptions locales de s curit et de pr vention des accidents sont dans tous les cas valables pour le fonctionnement de l installation Les questions relatives la s curit au maniement et la maintenance peuvent tre r solues avec le repr sentant ou la filiale PFEIFFER les plus proches 1 2 1 Sicherheitshinweise zum Arbeiten mit der Turbomolekularpumpe Pumpe niemals mit offenem HV Flansch betreiben Verletzungsgefahr durch rotierende Turbine und durch Kontakt mit den gepumpten M edien Prozefs gasen Durch Hineinfallen von Gegenstanden kann die Pumpe zerst rt werden Steckerverbindung zur Antriebselek tronik nur bei gezo
17. refroidissement de la pompe turbo 29 Pi ge impuret s 30 Groupe refroidisseur TZK 31 Raccordement de l eau de refroidissement 32 Ecoulement libre 13 Um Korrosionsschaden zu vermeiden sind folgende Anforderungen an das K hlwasser einzuhalten Wasser filtriert mechanisch rein optisch klar ohne Bodensatz ohne Trubung chemisch neutral Min Sauerstoffgehalt 4 mg kg Max Chloridgehalt 100 mg kg Max Karbonat Harte 10 dH Max Kaliumpermanganat verbrauch 10 mg kg pH Wert 7 9 Vorlauf berdruck max 6 bar Aggressive Kohlens ure und Ammoniak d rfen nicht nachweisbar sein Hinweis Werden die aufgef hrten Werte ber oder unterschritten und treten deshalb St rungen oder Sch den an den von uns gelieferten Anlagen auf sind wir von jeglicher Haftung aufgrund solcher St rungen oder Sch den befreit 4 4 2 Luftk hlung Die Turbopumpe kann auf Luftk h lung umgestellt werden Die max Umgebungstemperatur darf bei Einsatz einer Luftk hlung 35 C nicht Uberschreiten An der Antriebselektronik TCP 121 380 und TCP 015 sind Anschluf m glichkeiten f r die Luftk hlung vorgesehen die An schl sse sind nach den Schaltplanen in der Betriebsanleitung der Antriebs elektronik vorzunehmen Luftk hlung siehe 9 Zubeh r 4 4 2 1 Montage der Luftk hlung Fig 11 Turbopumpe auf den Hochvakuum flansch 1 stellen Achtung Dicht fl che und Gummif fse 27 siehe Fig 21 herausschrauben
18. remove from the system and clean Change the operating fluid reservoir Close the HV flange evacuate the pump Vent the pump with dry air Close the pump store in a dry place see 5 4 MAINTENANCE Upper bearing Permanent magnetic bearing maintenance free Lower bearing Precision ball bearing lubricated with TL 011 with ceramic balls replace able CHANGING the operating fluid for ball bearings To change the operating fluid the operating fluid reservoir must be exchanged completely 6 1 Do no fill in any additional operating fluid CLEANING Light contamination Clean in pure alcohol Please note relevant regulations concerning the handling of solvents must be observed see 6 2 Severe contamination Contact the Balzers Service 6 2 BEARING REPLACEMENT Only by Balzers service or by personnel who have been specially trained see Section 6 4 RETURNING FOR REPAIR Please follow the instructions in Section 1 1 and 6 5 REMISE A L AIR TPH U 062 manuelle avec la vanne manuelle 6 voir 4 5 automatique en cas d utilisation de TCP 120 121 ou 380 et de TSF 012 d but de remise l air automatique 35 96 de la vitesse nominale REMISE A L AIR TPH 055 par le biais d un r cipient la pompe n a pas de raccord de remise l air voir 4 5 IMMOBILISATION D connecter la pompe la d monter de l installation et la nettoyer Remplacer le r servoir de fluide moteur
19. renvoy s pour l entretien ou la r paration nous vous prions absolument de respecter les prescriptions concernant l exp dition Neutraliser la pompe par le rincage avec de l azote ou de l air sec Fermer toutes les ouvertures herm tiquement l air Souder la pompe ou l appareil dans un plastique de protection appropri Exp dier l appareil dans un container de transport appropri et solide Remarque Les commandes de r paration seront exclusivement faites selon nos conditions g n rales de livraison Si une r paration est n cessaire veuillez exp dier votre pompe notre service apr s vente PFEIFFER le plus proche Adresses de contact et services Hotline Vous trouverez les adresses de contact de nos services Hotline au dos de ces instructions de service 8 Pi ces de rechange Attention Veuillez indiquer sur la demande de prix ou la commande pour pi ces de rechange le type et le num ro de fabrique 8 1 Pi ces de rechange pompe Fig 21 Pos Benennung Title D signation St ck Nr Item pieces Nr Pos pi ces No Dichtungssatz Set of seals J eu de joints TPH U 062 1 PM 043 257 T Dichtungssatz Set of seals J eu de joints TPH 055 1 PM 043 477 T 27 Gummifu Rubber leg Pied en caoutchouc 4 P 3695 700 ZD 34 Betriebsmittelspeicher Operating fluid reservoir R servoir de fluide moteur 1 PM 033 759 T 35 O Ring O ring oint torique 32x3 1 P 4070 542 PP 38 O Rin
20. sensors Motor coils Trajet de courant des sondes de Hall Sortie 1 des sondes de Hal Sortie 2 des sondes de Hal Capteurs de temp rature Bobines de moteur 100 Q lt R lt 200 Q ca 40 Q 20 Q 55 Q ca 40 Q 20 Q 55 Q 100 Q lt R lt 300 Q Hall IC s Hall ICs CI Hall Test des Testing the drive Test de l entra nement Widerstande Resistances Antriebes bei 20 C at 20 C 20 C R sistances GE Hall IC Versorgung Hall IC feed Alimentation Hall J LH Hall IC Ausgang 1 Hall IC output 1 Sortie 1 des sondes de Hall Cl ca 22Q Lk Hall IC Mitte Hall IC center Centre Hall Cl DO L J Hall IC Ausgang 2 Hall IC output 2 Sortie 2 des sondes de Hall Cl ca 22Q FM Temperatursensoren Temperature sensors Capteurs de temp rature 100 Q lt R lt 300 Q E A E B E C Motorspulen Motor coils Bobines de moteur 070 E D N P Re TPH TPU 062 DO TPH 055 TPH 055 TPH 055 Test des Testing the drive Test de l entra nement Widerst nde Resistances Antriebes bei 20 C at 20 C 20 C R sistances A B Motorspulen Motor coils Bobines de moteur 090 A C Motorspulen Motor coils Bobines de moteur 090 DE Temperatursensoren Temperature sensors Capteurs de temp rature 21500 F H Drehzahlbr cke 1500 Hz Rotation speed bridge 1500 Hz Pont de rotation 1500 Hz 00 25 6 3 1 Prufen des Motors TPH U 062 mit Antriebselektronik TCP 121 380 Achtung Hallsondenspannungen sind nicht potentialfrei 0 V V
21. service nous d clinons toute responsabilit pour les dommages corporels ou mat riels et n accordons pas la garantie en cas de r paration ou de remplacement de nos produits Tous les appareils correspondent la loi sur le mat riel technique Les instructions de service sont r dig es en concordance avec la norme DIN 8418 L utilisateur proc de t il lui m me des travaux de r paration ou d entretien sur des appareils qui auraient t en contact avec des mati res toxiques il est alors tenu de respecter les prescriptions aff rentes Pour les appareils que vous nous renvoyez pour r paration ou maintenance pri re d observer les points suivants Les appareils contamin s radioactivement chimiquement etc sont pr alablement d contaminer en vertu de la l gislation contre les missions radioactives Les appareils envoy s pour r paration ou maintenance doivent tre pourvus d une tiquette bien visible certifiant qu ils sont exempts de mati res toxiques La m me indication est apposer sur le bon de livraison et sur toute la correspondance aff rente Pri re de n utiliser cet effet que le formulaire ci joint Sie haben die M glichkeit die Ger te durch uns dekontaminieren zu lassen ausgenommen sind radioaktiv kon taminierte Ger te Der Reparatur auftrag ist dann entsprechend zu erweitern und die Prozefsgase mit denen das Ger t in Ber hrung war sind anzugeben Fehlen
22. volume flow rate High water vapour compatibility Integrated high vacuum safety valve 4 Installation 4 1 Notes for Installation On delivery the turbo pump is filled with operating fluid The blank flanges on the high and fore vacuum side should only be removed immediately before installation of the pump If the pump operates in a magnetic field with higher intensities than those given under Technical Data appropriate screening must be provided screening housing on request 4 2 High Vacuum Connection Attention No loads from the piping system must act on the turbo pump if it is anchored When the pump is connected to the vacuum chamber it must be taken into consideration that the high vacuum flange can be loaded in vertical direction to a maximum of 20 kg The weight of an unsupported vacuum chamber must not exert any torque on the flange asymetric loading AII UHV components should be assembled under absolutely clean conditions Unclean components increase the pumping down time as a result of the high desorption rate The pump can be flanged to the vacuum chamber in any mounting direction from horizontal to vertical If the mounting direction deviates from vertical the pump has to be installed with the fore vacuum connection 4 facing downwards A maximum deviation of 20 to the right or left is admissible Fig 6 If the turbo pump is connected to the vacuum chamber via a bellows the
23. 052 TPH 055 Trockenvorlage TTV 0013 Drier TTV 0013 Cartouche siccative TTV 0013 PM Z00 121 Flutflansch Venting flange Bride de remise l air DN 101SO KF PM 033 737 T TPH U 062 Pumpstandsteuerger te Pumping station control unit Appareil de commande de groupe de pompage TCS 303 100 240 V PM C01 502 50 60 Hz TPH U 062 TCS 304 R 100 240 V PM C01 5374 208 415 V 50 60 Hz TPH U 062 TCS 015 110 220 V PM C01 586 50 60 Hz TPH 055 32 Weiteres Zubeh r Additional accessories Accessoires additionnels Antriebselektronik Electronic drive unit Electronique d entra nement TPH U 062 TCP 121 PM C01 475 TCP 380 PM C01 490 TPH 055 TCP 015 PM C01 593 Heizmanschette Heating jacket Chemise chauffante 115 230 V PM 043 443 T Verbindungskabel Connecting cable turbo Cable de raccordement TPH 055 PM 031 178 X Turbopumpe TCP 3 m 5 pump TCP 3 m gt pompe turbo TCP 3 m 5 TPH U 062 PM 011232 X Schutzgitter Protective grid Grille de protection DN 63 PM 006 597 R Splitterschutz Splinter shield Pare clats DN 40 PM 006 375 X DN 63 PM 006 376 X D mpfungsk rper Silencer Amortisseur DN 63 PM 006 800 X TPH TPH TPH DN 40 PM 006 799 X TPU TPU TPU DN 63 PM 006 801 X CU Dichtung 10Stck CU seal 10 pieces J oint CU 10 pi ces DN 63 CF BN 845 037 T Dichtring Sealing ring Bague d tanch it DN 63 ISO BP 213 195 T berwurfflansch Collar flange Bride tournante DN 63 ISO BN 845 070 T
24. 1 Q gefordert mu die Pumpe separat geerdet werden Beim Trennen der Turbopumpe vom Pumpstand und Betrieb mit langerem Kabel ist ein zusatzliches Kabel zur bauseitigen Erde am Erdungsanschluf neben der G Dose mit Schutzleitersymbol gekennzeichnet anzubringen Die Anschlufsstelle mu mit einem Schildchen mit Schutzleitersymbol versehen werden TPH 055 Der elektrische Anschlu der Pumpe erfolgt an der 8 poligen G Dose Die Verbindung zur TCP 015 wird mit dem 3m langen Kabel PM 031 178 X herge stellt andere Langen auf Anfrage 4 7 Betriebsanleitungen Zu den aufgef hrten Komponenten geh ren folgende Betriebsanleitungen 4 6 Electrical Connection of the Turbo Pump Electrical connection must be made in accordance with the valid local regu lations All wiring diagrams and descriptions of the electrical connection are contained in the operating instructions for the electronic drive units TPH U 062 Electrical connection of the turbo pump is made to the 19 pin G box The connection to the TCP 121 380 is made by means of the 3m long connecting cable PM 011 232 X other lengths upon request If PE conductor resistances 0 1 Q are required the pump must be earthed separately When the turbo pump is installed at a distance from the pumping station and operated with a longer cable an extra cable has to be installed at the earthing connection to the customer s earth adjacent to the G box identified by a PE symbol
25. 2 secondes par ex avec l interrupteur principal S1 l actionnement d un bouton poussoir reset S3 connexion externe pour une p riode gt 2 secondes Remarque En cas d activation de reset avec un bouton poussoir reset externe la TCP doit tre aliment e en tension TPH 055 avec TCP 015 Si la TCP 015 d tecte un d faut le cou rant du moteur est d connect Apr s limination du d faut la pompe n ac c l re pas automatiquement Le reset n cessaire a cet effet peut tre effectu en d connectant durant plus de 5 secondes par le biais de S1 en reliant l entr e distance reset d fauts X5 b6 a X5 z2 OV durant plus de 5 secondes au moyen d un commutateur externe en envoyant une instruction corres pondantes par le biais de l interface RS 232 C 19 5 2 Heizen der Turbopumpe Achtung Der Enddruck richtet sich nach der Sau berkeit der Pumpe und der Apparatur Um den Enddruck in m glichst kurzer Zeit zu erreichen ist es zweckm ig Turbopumpe und Apparatur zu heizen Ist der Rezipient direkt angeflanscht mu darauf geachtet werden da die Temperatur des Hochvakuumflansches beim Heizen der Apparatur und der Pumpe 120 C nicht berschreitet Wird der Rezipient h her als 200 C ge heizt mu die W rmestrahlung vom Rezipienten auf den Pumpenrotor ver hindert werden z B mit einem Strah lungsschild Die Heizdauer f r Pumpe und Rezipient richtet sich nach d
26. CP 121 3803 4 temporis e vanne se referme DNach dem Abschalten oder nach Strom ausfall wird das Flutventil TSF 012 vom Antriebsmotor der auslaufenden Turbo pumpe mit Strom versorgt Flutbeginn bei ca 30 96 525 Hz der Nenndrehzahl 2 Zubeh r Abschnitt 9 3 mit TCS 304 4 nicht in Verbindung mit TCP 015 16 DAfter stopping of the pump or a power failure the TSF 012 Venting Valve is supplied with power from the drive motor of the slowing down turbo pump Venting starts at approx 30 96 525 Hz of the rated rotation speed 2 Accessories Section 9 3 with TCS 304 not in connection with TCP 015 Dapras la d connexion de la pompe ou une coupure de courant la vanne de remise l air TSF 012 est aliment e en courant par le moteur d entra nement de la pompe turbo en cours de ralentissement D but de la remise l air env 30 96 525 Hz de la vitesse nominale Accessoires paragraphe 9 3 avec TCS 304 Pas en liaison avec TCP 015 H 6 Flutanschluf 65 15 TCF TCV 16 PVC Schlauch 17 Trockenvorlage TTV 15 59 Flutventil TVF 65 TCP 6 Venting connection 15 TCF TCV 16 PVC hose 17 Drier TTV 59 59 Venting Valve TVF 65 TCP 6 Raccord de remise l air 15 TCF TCV 16 Tuyau en PVC uM C40 414 4 5 1 Einsatz von Flutventilen bei TPH U 062 Verschlu amp schraube aus dem Flutan schlu 6 G 1 8 der Pumpe schraube
27. Fan Ventilateur 230 V 50 60 Hz 1 PM 006 229 R 52 Schwingungsdampfer Damper Amortisseur de vibrations 8x8M3 3 P 3695 702 QE C40 832 Fig 22 8 3 Ersatzteile Wasserk hlung Ersatzteilliste Spare parts list Pi ces de rechange Wasserk hlung water cooling refroidissement l eau 8 3 Spare Parts for Water Cooling 8 3 Pi ces de rechange refroidissement Fig 23 Pos Benennung Title D signation St ck Nr Item Pieces Nr Pos Pi ces No 46 USIT Ring USIT ring J oint en USIT 12 7 18x1 5 4 P 3529 142 56 Schlaucht lle Hose nipple Olive de tuyau 2 PM 003 025 57 Hohlschraube Hollow screw Boulon creux filet femelle 2 N 4140 837A Fig 23 31 9 Zubehor 9 Accessories 9 Accessoires Bauteile zum K hlen Cooling components Composants pour le refroidissement Bausatz f r Luftk hlung Air cooling set Set de refroidissement 115 V 50 60 Hz PM Z01 120 par air 230 V 50 60 Hz PM ZO1 121 K hlaggregat TZK 400 Cooling Unit TZK 400 Syst me de refroidissement TZK 400 230V 50Hz PM ZO1 245 110 V 50 60 Hz PM ZO1 246 Kuhlwasserwachter Cooling Water Monitor Contr leur d eau de 110 V 50 60 Hz PM COO 131 TCW 002 TCW 002 refroidissement TCW 002 220 V 50 60 Hz PM C00 130 240 V 50 60 Hz PM C00 132 Anschlu amp garnitur zu Connection set for J eu de raccordement pour PM 006 802 T TCW 002 TCW 002 TCW 002 Anschluf garnitur f r Connection set for J
28. Free of harmful substances both on the unit and also on the delivery note and any accompanying letters Harmful substances are defined in the current local regula tions in the U S A as materials in accordance with the Code of Federal Regulations CFR 49 Part 173 240 Definition and Preparation We will carry out the decontamination and invoice this work to you if you have not attached this note This also applies where the operator does not have the facilities to carry out the decontamination work Units which are contaminated microbiologically explosively or radioactively cannot be accepted as a matter of principle Fill Out The Contamination Declaration n every case the Contamination Declaration must be completed diligently and truthfully A copy of the completed declaration must accompany the unit any additional copies must be sent to your local PFEIFFER Service Center Please get in touch with your local PFEIFFER representatives if there are any questions regarding contamination 5 4 Changement de paliers Un changement des roulements billes c t moteur est possible sur place par le service apr s vente PFEIFFER Pour le changement des paliers et leurs r glages pr cis des outils sp ciaux sont n cessaires Un changement de paliers doit tre effectu dans un local appropri exempt de poussi re Si le changement de paliers est effectu par le client le personnel effectuant
29. PFEIFFER VACUUM Betriebsanleitung Operating Instructions LC ESS ep PLEASE NOTE We do sell the related products within this literature but we are not connected in any way with the manufacture of your product We provide this literature for the products we sell and service They are intended to provide users with the manufactures instructions to operate the equipment in a safe manner www idealvac com Instructions de service TPH 062 TPU 062 TPH 055 Turbomolekularpumpen Turbomolecular Pumps Pompe turbomol culaire TPH 062 TPU 062 TPH 055 PM 800 260 BN E 9702 N 3717 Inhalt Kurzanleitung heraustrennbar 1 1 1 1 2 1 21 1 3 2 2 1 2 2 2 3 3 4 4 1 4 2 4 2 1 4 3 4 4 4 4 1 4 4 2 Allgemeines Wichtige Hinweise Sicherheitsinstruktionen Sicherheitshinweise zum Arbeiten mit der Turbomoleku larpumpe Sonstige Hinweise Technische Daten Enddruck Saugverm gen Mafibild Vorvakuumpumpen Installation Hinweis zur Installation Hochvakuumanschluf Splitterschutz Vorvakuumanschluf K hlung Wasserk hlung Luftk hlung 4 4 2 1 Montage der Luftk hlung 4 5 4 6 5 5 1 5 1 1 5 2 5 3 5 4 6 6 1 6 2 6 2 1 6 3 6 3 1 6 3 2 6 3 3 6 4 7 8 8 1 8 2 8 3 9 FlutanschluR Elektrischer Anschlu Betrieb Einschalten Reset Heizen der Turbopumpe Abschalten Stillsetzen der Turbopumpe Wartung Wechsel des Betriebsmittelspeichers Reinigu
30. Schraubensatz Set of screws J eu de vis DN 63 CF BN 845 012 T 1 Nurin Verbindung mit TCF 103 oderTCV 103 Einbau HV seitig 3 Mit Zeolith gef llt 4 Bei 208 415 V ist ein Thermistorprint PM 021 721 X erforderlich 5 Andere Langen auf Anfrage 1 Only in connection with TCF 103 or TCV 103 Mounting on HV side 3 Filled with zeolite 4 Thermistor print PM 021 721 X is required for 208 415 V 5 Other lengths available on request 1 Seulement en liaison avec TCF 103 ou TCV 103 Installation c t de vide lev Rempli avec z olithe 4 pour 208 415 V un circuit imprim thermistance PM 021 721 X est n cessaire pAutres longueurs sur demande 5 33
31. Venting Valve is employed the turbo pump is vented immediately after a power failure or after the pump is switched off 13 Boulon 14 Rondelle ressort 12 Support 51 Ventilateur 52 Amortisseur de vibrations 58 Boulon 4 5 Raccord de remise l air La pompe turbo TPH U 062 peut tre remise l air manuellement par le biais de la vis de fermeture standard G 1 8 situ e dans le raccord de remise l air Une vanne de remise l air manuelle sp ciale n est pas n cessaire Gr ce au filetage du raccord G 1 8 il est possible de r aliser des conduites de remise l air avec des l ments disponibles dans le commerce Les vannes de remise l air TVF et les dispositifs de remise l air pour coupures de courant TSF existants munis d un raccord DN 10 ISO KF peuvent tre utilis s sur les pompes quip es d un adaptateur PM 033 737 T Pour une remise l air temporis e et s re de la pompe turbo et du r cipient un appareil de commande de remise l air TCF un appareil de commande de soupape TCV ou le TCP 121 TCP 380 avec la vanne de remise l air TSF 012 peuvent tre utilis s Si une vanne de remise l air TSF 010 est utilis e la pompe turbo est directement remise l air apr s une coupure de courant ou une d connexion 15 TPH 055 Die Turbopumpe TPH 055 hat keinen Flutanschlu amp Sie mu HV seitig geflutet werden Das Flutventil TSF 012 kann in Verbin dung mit TCP 015 zum Fl
32. Volume flow rate for Capacit d aspiration N2 N2 l s 30 56 30 55 He He He IS A0 52 35 48 H2 H2 H2 l s 34 45 30 40 Empfohlene Vorpumpe Recommended backing Pompe primaire m in 1 5 1 5 1 5 1 5 pump recommand e Antriebselektronik Electronic drive unit Electronique d entra nement TCP 121 380 TCP 015 Kompressionsver Compression Taux de h ltnis f r ratio for compression pour N2 N2 N2 1 108 1 108 1 106 1 106 He He He 7 103 7 103 6 102 6 102 H2 H2 H2 6 102 6 102 1 102 1 102 Theor Enddruck Theoretical final Pression finale th or mbar 101 101 1010 1010 pressure Enddruck 1 Final pressure 1 Pression finale 1 mbar lt 10710 lt 1 10 10 Enddruck 1 Final pressure 1 Pression finale 1 mbar 4 109 4 109 Enddruck 1 Final pressure 1 Pression finale 1 mbar lt 108 lt 108 4 107 4 107 Nenndrehzahl Rated rotation speed Vitesse nominale l min 90000 90000 90000 90000 Stand by Drehzahl Stand by rotation Vitesse de ratation stand by l min 60000 60000 60000 60000 Hochlaufzeit2 Run up time Temps d acc l ration2 min 2 2 3 3 Betriebsmittel Operating fluid Fluide moteur3 cm3 4 4 4 4 f llung filling3 K hlart Type of cooling Mode de refroidissement Konvektion Convection Convection serienm ig standard standard Wassertemperatur Water temperature Temp rature d l eau pour KS 5 25 5 25 5 25 5 25 bei K hlwasser at cooling water raccord de refroidissement anschlu amp connection l eau K hlwasserbedarf Cooling water con Consomma
33. aide d un cran protecteur La dur e de chauffage de la pompe et du r cipient est une fonction du degr de salissure et de la pression finale souhait e Elle devrait tre de 4 heures minimum cause de la dur e d chauffement du rotor Chemise chauffante voir accessoires 5 3 Mise l arr t D connecter la pompe turbo sur la commande d entra nement Fermer la vanne de s ret lev de la conduite de vide primaire Chez les pompes de vide primaire PFEIFFER la vanne de s ret se ferme automatiquement lors de la d connexion de la pompe de vide primaire TPH U 062 En cas d utilisation d un TCP 121 ou 380 avec TSF 012 la remise l air a lieu automatiquement env 30 de la vitesse nominale En cas de refroidissement l eau Fermer l alimentation en eau de refroidissement pr s la d connexion Des condensats peuvent se d poser sur les surfaces refroidies surtout lorsque la pompe turbo est ouverte et l hygrom trie lev e TPH 055 Remettre la pompe l air via la bride de vide lev apr s la d connexion 5 4 Stillsetzen der Turbopumpe Zum Stillsetzen der Turbopumpe Uber langere Zeit ist folgendes zu beachten Bei der Turbopumpe ist ein Wechsel des Betriebsmittelspeichers durchzu f hren siehe 6 1 Hinweis Die Gebrauchsfahigkeit des Betriebs mittels TL 011 betragt ohne Betrieb 2 J ahre Hochvakuumflansch der Turbo pumpe verschlie en und Pumpe ber Vorvaku
34. ate for N2 as a function of the intake pressure p2 TPH TPU 062 with DN 63 ISO K CF F flange and TPH 055 with DN 63 ISO K flange 2 3 Dimensions 1015 DN40 ISO KF DN63 ISO K Fig 4 TPH U 062 Fig 5 TPH 055 Capacit d aspiration pour N2 en fonction de la pression d aspiration p2 TPH TPU 062 avec bride DN 63 ISO K CF F et TPH 055 avec bride DN 63 ISO K 2 3 Encombrements ooQgacaor oGoooz oopgoozc K hlwasseranschluf Hochvakuumanschluf Vorvakuumanschlu amp Flutanschlu amp Elektrischer Anschlu Luftk hlung Cooling water connection High vacuum connection Backing pump connection Venting connection Electrical connection Air cooling Raccord d eau de refroidissement Raccord de vide lev Raccord de vide primaire Raccord de remise l air Branchement lectrique Refroidissement par air 3 Vorvakuumpumpen Als Vorvakuumpumpe empfehlen wir die Drehschiebervakuumpumpe DUO 1 5 A oder je nach Anwendung eine Pumpe der B Reihe aus unserem Programm Sie zeichnen sich aus durch hohe Saugleistung hohe Wasserdampf Vertraglichkeit integriertes Hochvakuum Sicherheits ventil 4 Installation 4 1 Hinweise zur Installation Die Turbopumpe wird mit Betriebs mittel F llung geliefert Blindflansche an Hoch und Vorva kuumanschlu amp erst unmittelbar vor der Montage entfernen Arbeiten die Turbopumpen in einem Magnetfeld bei Feldstarken ber den
35. ator and pump All unauthorized modifications and alterations affecting the safety are prohibited All safety protection measures must be tested upon completion of electrical installation and electrical maintenance work e g earthing resistance All relevant local safety and accident prevention regulations apply for operation of the system Any unclear points with regard to safety operation and maintenance should be clarified with your nearest PFEIFFER agency or subsidiary 1 2 Instructions de s curit La pompe turbomol culaire a t construite conform ment l tat le plus r cent de la technique et fonctionne de mani re tr s fiable La pompe peut cependant tre source de dangers si elle est utilis e de mani re non conforme sa destination ou de mani re inad quate Le droit la garantie expire en cas d utilisation non conforme la desti nation Le respect des prescriptions d installa tion de mise en service de fonctionne ment et d entretien du fabricant fait partie int grante de l utilisation conforme la destination Les conducteurs et le personnel du service d entretien doivent avoir lu et compris les instructions de service du produit Les avertissements doivent tre pris en compte et les mesures de prudence respect es Le personnel de conduite et d entretien doit tre inform de tous les dangers pouvant maner de la pompe turbo Le personnel doit tre en
36. ch maintains a passive state on the surface For this purpose however it is necessary that a minimum amount of oxygen is available In closed cooling systems it must be taken in consideration that the oxygen content drops below the minimum quantity if no special measures are taken In this case it should be ensured that sufficient oxygen can be absorbed when the water is recooled The cooling water must always be filtered to keep the cooling circuit free from dirt and organic suspended matter Otherwise localized deposits may occur which may cause pitting Cooling water can be supplied to the pump either from the cooling water mains maximum excess pressure 6 bar or via a cooling unit 30 TZK Raccordement de remise l air Vanne de s ret du vide lev 4 4 Refroidissement La pompe turbo standard est refroidie par convection donc ind pendante d un refroidissement forc l eau ou l air Les pompe turbos TPH TPU 062 et TPH 055 devront tre refroidies l air ou l eau si les temp ratures ambiantes jusqu 35 C ou si les pompes et syst mes sont chauff s et l eau seulement plus de 35 C La pompe turbo dispose d une protection thermique par le biais de r sistances coefficient positif de temp rature situ es dans le bobinage du moteur et le dans corps de la pompe 4 4 1 Refroidissement l eau Fig 9 Fig 10 La r sistance la corrosion des m taux est g n ralement due
37. e contr le Le point F correspond 0 V masse Signal rectangulaire 0 V et 5 V entre les points F et G le cas ch ant tourner le rotor la main TPH U 062 avec sondes de Hall moteur biphas TPH U 062 TPH 055 avec Cl Hall moteur de monophas TPH U 062 TPH 055 avec Cl Hall moteur biphas 414 TPHUo62 HULL 1 grau grey gris 2 gelb yellow jaune r diddi Fiddi 3 schwarz black noir L b8 a8 b7 a7 a6 b6 bA bi b2 b3 b5 af a2 a3 ad a5 TD 4 weil white blanc I 7 A n 7 7 z 5 blau blue bleu 6 gr n green vert i 7 rot red rouge L TCP 380 121 E SE ee Se es gelb yellow jaune 40 339 11 9 braun brown marron Fig 19 Anschlu amp schema TPH U 062 1 Hallsensorschaltung Hallsonden oder Hall IC s mit Anpa amp schaltung Wiring diagram TPH U 062 1 Hall probe switching Hall probes or Hall ICs with interface Sch ma de branchement TPH U 062 1 Circuit pour sondes de Hall Sondes de Hall ou Cl Hall avec circuit interface 2 bei Hall IC s 2 with Hall ICs 2 avec CI Hall Hall IC 1 gelb yellow jaune UGN 2 blau blue bleu 3077 3 rosa pink rose 4 grau grey gris 5 gr n green vert Hall 6 braun brown brun A B 0 90 m SE H wei white blanc TCP 015 F D 2000 8 rot red rouge Fig 20 Anschlu amp schema TPH 055 Wiring diagram TPH 055 Sch ma de branchement TPH 055 27 6 4 La
38. e remise l air sec de la pompe turbo Fermer le raccord de vide primaire Placer la pompe verticalement sur les pieds en caoutchouc Dans les locaux l atmosph re humide ou agressive la pompe turbo doit tre mise avec un sachet de dessicateur dans un sachet en plastique qui sera soud 21 6 Wartung Achtung Die Turbopumpe mu frei von Schad stoffen sein Wichtige Hinweise unter 1 1 beachten 6 1 Wechseln des Betriebsmittel speichers Fig 13 Fig 14 Das System zur Schmierung des Kugel lagers ist bei Lieferung der Turbo pumpen mit Betriebsmittel TL 011 gef llt Ein Wechsel des Betriebsmittel speichers ist mindestens jahrlich vor zunehmen bei extremer Belastung oder unreinen Prozessen entsprechend haufiger Es muf immer der komplette Betriebsmittelspeicher gewechselt werden Pumpe abschalten und auf Atmos ph rendruck fluten Wenn n tig Turbopumpe aus der Anlage demontieren Verschlu amp sdeckel an der Unterseite herausschrauben Fig 13 Betriebsmittelspeicher Filzscheiben entnehmen Fig 14 und entsprech end den Vorschriften entsorgen Verunreinigungen an Pumpe und Verschlufsdeckel mit einem sauberen fusselfreien Tuch beseitigen Neuen Speicher siehe 7 Ersatzteile mit Pinzette einsetzen ben tigte Betriebsmittelmenge ist eingef llt Verschlufsdeckel montieren 6 Maintenance Caution
39. e turbo plusieurs fois pour rincer les disques stator et rotor R p ter ce proc d deux fois de plus en renouvelant le produit de nettoyage Sortir la pompe turbo du bain Afin de vider le reste de produit de nettoyage des paliers aimants basculer la pompe turbo de 180 doucement de la verticale par rapport la bride de vide lev sup rieure plusieurs fois Placer la pompe turbo env 30 minu tes sur une grille ou similaire avec la bride vers le bas Attention la surface tanche 23 Pumpe mit blindgeflanschtem Hoch vakuumflansch an die Vorpumpe anschlie en und bis 10 Imbar eva kuieren um Reinigungsmittelr ck stande abzusaugen Turbopumpe hierbei nicht einschal ten Pumpe bel ften und neuen Betriebs mittelspeicher einsetzen Pumpe wieder in die Anlage montieren Hinweis Beim ersten Evakuierungsvorgang ist die Pumpzeit bedingt durch Reinigungsmittelreste l nger Connect the pump with the high vacuum blank flange to a backing pump and evacuate to approx 10 1 mbar so that any cleaning agent residues are sucked away Do not switch on the turbo pump at this stage Vent the pump and fit new operating fluid reservoir Re fit pump into the system Please note Initial evacuation takes longer owing to the effect of cleaning agent residues Fig 15 19 Reinigungsmittel 20 Beh lter 18 Liquid level max 19 Cleaning agent 20 Container
40. easuring and test adapter by means of an oscilloscope Point F 20 V ground 0 V and 5 V rectangular pulse signal between points F and G if necessary turn the rotor by hand ca 300 mV ss L H und and et J K TPH U 062 with Hall probes Motor double phase Fig 17 TPH U 062 TPH 055 mit Hall IC Motor einphasig F ca 3 8 4 4 V DC Fig 18 TPH U 062 TPH 055 mit Hall IC Motor zweiphasig 26 TPH U 062 TPH 055 with Hall IC motor single phase ca 300 mV ss L H und and et L J TPH U 062 TPH 055 with Hall IC Motor double phase 6 3 1 Contr le du moteur TPH U 062 avec l lectronique d entra nement TCP 121 380 Attention Les tensions des sondes de Hall ne sont pas exemptes de potentiel Enlever la connexion de 0 V avec l oscilloscope Ne jamais mesurer la tension des deux sondes de Hall en m me temps 6 3 2 Contr le du moteur TPH U 062 sans electronique d entra nement Avec adaptateur de mesure et de contr le et unit d alimentation externe Alimenter les sondes de Hall ou les CI Hall avec du courant constant de 40 mA par l interm diaire des prises males G et F p le sur G Tourner le rotor la main Mesurer la tension de Hall avec un oscilloscope ou un appareil magn to lectrique G b5 F b6 6 3 3 Contr le du moteur TPH 055 avec l lectronique d entrainement TCP 015 Le signal de Hall peut tre mesur avec l oscilloscope sur l adaptateur de mesure et d
41. ehen ubernehmen wir weder eine Haftung fur Personen oder Materialschaden noch Gewahr leistung fur Reparatur oder Ersatz unserer Produkte Alle Ger te entsprechen dem Gesetz Uber technische Arbeitsmittel Die Betriebsanleitung ist nach DIN 8418 erstellt Wenn Sie selbst Reparatur oder Wartungsarbeiten an den Geraten vor nehmen die mit gesundheitsschad lichen Stoffen in Ber hrung gekommen sind dann beachten Sie die entsprech enden Vorschriften Bei Ger ten die Sie an uns zu Repa ratur oder Wartungsarbeiten ein schicken beachten Sie folgendes Kontaminierte Ger te radioaktiv chemisch etc sind vor der Ein sendung entsprechend den Vor schriften zu dekontaminieren Zur Reparatur oder Wartung einge hende Ger te m ssen mit deutlich sichtbarem Vermerk Frei von Schadstoffen versehen sein Der selbe Vermerk ist auch auf dem Lieferschein und dem Anschreiben anzubringen Verwenden Sie bitte beigef gte Erkl rung Operating Instructions for Turbomolecular Pumps TPH TPU 062 TPH 055 1 General 1 1 Important Information Please check immediately after unpacking that the contents of the delivery consignment conforms to the information given on the delivery note Please read the operating instructions before you operate the unit and follow them in all respects No liability will be accepted for personal injury nor material damages in the event that damage or breakdowns occur as a result of
42. em Verschmutzungsgrad und dem ge w nschten Enddruck Sie sollte wegen der Aufheizzeit des Rotors mindestens 4 Stunden betragen Heizmanschette siehe Zubeh r 5 3 Abschalten Turbopumpe an der Antriebselek tronik ausschalten Vakuum Sicherheitsventil in Vorva kuumleitung schlie en Bei PFEIFFER Vorvakuumpumpen schliefst das Sicherheitsventil beim Ausschal ten der Vorvakuumpumpe automa tisch TPH U 062 Bei Einsatz eines TCP 121 oder 380 mit TSF 012 erfolgt das Fluten auto matisch bei ca 30 96 der Nenndreh zahl Bei Wasserk hlung Nach dem Abschalten K hlwasser zufuhr absperren Besonders bei ge ffneter Turbopumpe und hoher Luftfeuchtigkeit k nnen sich Kondensate an den gek hlten Fl chen niederschlagen TPH 055 Pumpe nach Ausschalten ber den HV Flansch fluten 20 5 2 Heating the Turbo Pump Important The final pressure is a function of the cleanliness of the pump and apparatus In order to attain the final pressure as rapidly as possible it is practical to heat the turbo pump and apparatus If the vacuum chamber is directly flanged on it must be ensured that the tem perature of the high vacuum flange does not exceed 120 C when the apparatus and the pump are heated If the vacuum chamber is heated to a temperature above 200 C the heat must be prevented from radiating from the vacuum chamber to the pump rotor e g by means of a radiation screen The heating time for the pum
43. er Bestellung Typ und Ger tenummer angeben 8 1 Ersatzteile Pumpe Beware Decontaminate units before returning or possible disposal Do not return any units which are microbiologically explosively or radioactively contaminated Retuming Contaminated Units If contaminated have to be returned for maintenance repair the following instructions concerning shipping must be followed Neutralise the pump by flushing with nitrogen or dry air Seal all openings to the air Seal pump or unit in suitable protective foil Ship units only in appropriate transport containers Please Note Repair orders are carried out according to our general conditions of sale and supply If repairs are necessary please send the pump to your nearest PFEIFFER Service Center Contact Addresses And Telephone Hotline Contact addresses and telephone numbers can be found on the back cover of these operating instructions 8 Spare Parts Attention When inquiring about or ordering spare parts please indicate type and serial number 8 1 Spare Parts for the Pump Ersatzteilliste Spare parts list Pieces de rechange PM 800 260 BD E F Avertissement D contaminer les appareils contamin s avant l exp dition ou avant une vacuation ventuelle Ne pas exp dier de pompes radioactivement microbiologiquement et explosivement contamin es Exp dition des appareils contamin s Si des appareils contamin s doivent tre
44. erbindung zum Oszilloskop entfernen Nie beide Hallsondenspannungen gleichzeitig messen 6 3 2 Pr fen des Motors TPH U 062 ohne Antriebselektronik Mit MeR und Pr fadapter und externem Netzger t Hallsonden oder Hall IC s mit Kon stantstrom 40 mA an Stecker G und F speisen Pol an G Rotor von Hand drehen Hallspannung mit Oszilloskop oder Drehspulinstrument messen G5 F b6 6 3 3 Pr fen des Motors TPH 055 mit Antriebselektronik TCP 015 Am Me und Pr fadapter kann das Hall Signal mit dem Oszilloskop ge messen werden Punkt F ist 0 V Masse Rechtecksignal 0 V und 5 V zwischen den Punkten F und G ggfs Rotor von Hand drehen Fig 16 TPH U 062 mit Hall Sonden Motor zweiphasig 6 3 1 Testing the Motor of the TPH U 062 with TCP 121 380 Electronic Drive Unit Attention Hall probe voltages are not potential free Disconnect the 0 V connection to the oscilloscope Never measure the two Hall probe voltages simultane ously 6 3 2 Testing the Motor of the TPH U 062 without Electronic Drive Unit With measuring and test adapter and external power supply Supply the Hall probes or Hall ICs with a constant current of 40 mA at plugs G and F pole at G Turn the rotor by hand Measure the Hall voltage with an oscilloscope or moving coil voltmeter G b5 F 6 6 3 3 Testing the Motor of the TPH 055 with TCP 015 Electronic Drive Unit The Hall probe signal can be measured at the m
45. es de s curit seront prescrire par celui ci 1 3 Indications diverses La pompe turbo le c ble de raccordement et l lectronique d entrainement forment avec une pompe vide primaire correspondante une unit pr te fonctionner Le volume de livraison est respectivement conforme l illustration de la Fig 1 et 2 Les pompe turbos TPH et TPU ont la m me structure Seules leurs brides d aspiration sont diff rentes Pompes TPH brides ISO K ISO KF Pompes TPU brides CF F Les pompes sont livr es remplies de fluide moteur Les pompes de s rie sont refroidies par convection voir paragraphe 4 4 Quelques manipulations suffisent pour passer au refroidissement l eau ou l air Les pompes disposent d une protection thermique contre les temp ratures ambiantes trop lev es Lorsque la temp rature des paliers de l entrainement ou du corps de pompe n est pas dans les limites admissibles la puissance d entrainement est r duite z ro 2 Technische Daten 2 Technical Data 2 Fiche technique Turbomolekularpumpe Turbomolecular pump Pompe turbomol culaire TPH 062 TPH 062 TPH 055 TPH 055 TPU 062 Anschlufinennweite Nominal connection Diam tre nominal de of diameter raccordement Eingang Inlet Entr e DN 40 ISO KF DN 63ISO K DN 40ISO KF DN 631SO KF DN 63 CF F Ausgang Outlet Sortie DN 161SO KF DN 161SO KF DN 161SO KF DN 161SO KF Saugverm gen f r
46. eu de raccordement pour PM 006 802 T K hlwasser cooling water refroidissement par eau Schmutzf nger Dirt tramp Collecteur impuret s R 3 8 P 4161 300 2R Bauteile zum Fluten Venting components Composants pour la remise l air Flutsteuerger t TCF 103 Venting Control Unit TCF 103 Appareil de commande pour 110 220 240 V PM C01 356 la remise l air TCF 103 50 60 Hz TPH U 062 Flut und Ventilsteuer Venting and Valve Appareil de commande de 110 220 240 V PM C01 366 gerat TCV 103 Control Unit TCV 103 remise l air et de 50 60 Hz pilotage vanne TCV 103 TPH U 062 Flutventil1 Venting valve Vanne de remise air Nach Druckabbau offen Open after pressure reduction Apr s suppression de G 1 8 PM Z01 082 TVF 012 TVF 012 la pression ouverte TVF 012 TPH U 062 Nach Druckabbau Closed after pressure Apr s suppression de la G 1 8 PM Z01 087 geschlossen reduction pression ferm e TPH U 062 TVF 012 TVF 012 TVF 012 Stromausfallfluter Power Failure Venting Vanne de remise l air 110 V 60 Hz PM Z01 110 TSF 010 Unit TSF 010 en cas de panne de G 1 8 courant TSF 010 TPH U 062 110 V 60 Hz PM Z01 017 DN 101SO KF TPH 055 220 V 50 60 Hz PM Z01 111 G 1 8 TPH U 062 220 V 50 60 Hz PM Z01 010 DN 101SO KF TPH 055 240 V 50 60 Hz PM Z01 112 G 1 8 TPH U 062 240 V 50 60 Hz PM Z01 016 DN 101SO KF TPH 055 Flutventil TSF 012 Venting Valve TSF 012 Vanne de remise G 1 8 PM Z01 106 l air TSF 012 TPH U 062 DN 10 ISO KF PM Z01 1
47. g O ring oint torique 24 8x1 5 1 P 4070 417 PP 43 Beluftungsschraube Venting screw Vis de ventilation TPH U 062 1 PM 033 302 44 Quad Ring Quad ring oint en Quad TPH U 062 1 P 4081 630 C 47 Heizmanschette Heating jacket Chemise chauffante TPH U 062 1 PM 043 326 49 Dichtung Seal oint TPH 055 TPH 062 DN 63 ISO 1 BP 213 194 T 49 Cu Dichtung Cu seal oint Cu TPU 062 DN 63 CF F 1 BN 845 037 T 50 Dichtung Seal oint DN 16 ISO KF 1 BP 213 315 T Ersatzteilpaket Lagerwechsel TPH U 062 1 PM 428 010 T Spare parts package bearing replacement TPH U 062 Paquet de pi ces de rechange remplacement des paliers TPH U 062 Ersatzteilpaket Lagerwechsel TPH 055 1 PM 458 010 T Spare parts package bearing replacement TPH 055 Paquet de pi ces de rechange remplacement des paliers TPH 055 29 E Fig 21 30 8 2 Ersatzteile Luftk hlung Ersatzteiliste Spare parts list Pi ces de rechange 8 2 Spare Parts for Air Cooling 8 2 Pi ces de rechange refroidissement Luftkuhlung air cooling refroidissement par air Fig 22 Pos Benennung Title D signation St ck Nr Item Pieces Nr Pos Pi ces No Satz Luftk hlung Set of air cooling J eu de refroidissement par air 115 V 50 60 Hz 1 PM Z01 120 Satz Luftk hlung Set of air cooling J eu de refroidissement par air 230 V 50 60 Hz 1 PM Z01 121 51 L fter Fan Ventilateur 115 V 50 60 Hz 1 PM 006 209 R 51 L fter
48. ged rate of leak and desorption In case of slight contamination e g by pump fluid deposits the turbo pump can be cleaned with pure alcohol in assembled condition see Section 6 2 1 However if contamination has been caused by insoluble media or is severe the turbo pump must be completely dismantled For this PFEIFFER Service should always be called to ensure troublefree functioning of the pump 6 2 1 Cleaning in fully assembled Condition Fig 15 Switch off the turbo pump vent to atmospheric pressure Remove pump from the system If applicable remove heating jacket Remove operating fluid reservoir see Section 6 1 Place pump vertically high vacuum flange down in a suitable container Fill cleaning agent pure alcohol into the container until the fore vacuum flange of the pump is covered Important All regulations regarding the handling of solvents must be observed Allow the cleaning agent to work for about 5 10 minutes During this time slowly raise and lower the pump several times so that the stator and rotor discs are flushed Repeat the process with fresh cleaning agent at least once Remove pump from the bath To remove cleaning agent residues from the magnetic bearings slowly tilt the pump several times from the vertical relative to the high vacuum flange up by 180 Allow the pump to stand for about 30 minutes on a grid or the like with the high vacuum flange dow
49. genem Netzstecker und Stillstand der Pumpe l sen An den Kontakten k nnen Spannungs spitzen 2100 V auftreten Verbindungsleitungen von der Turbo molekularpumpe zur Vorpumpe nur bei Stillstand der Anlage l sen um Kontakt mit Prozef gasen auszu schlieRen Vor der Demontage der Turbomole kularpumpe aus der Anlage Flutvor gang wie unter 4 5 beschrieben durchf hren Pumpe in die Anlage fest installieren Hinweise auf Gefahren die durch Kontakt mit gefahrlichen Pumpme dien entstehen k nnen sind vom Betreiber entsprechend mitzuteilen Entsprechende Schutzma nahmen sind vorzuschreiben 1 3 Sonstige Hinweise Turbopumpe Verbindungskabel und Antriebselektronik bilden mit einer entsprechenden Vorvakuumpumpe eine betriebsfertiges System Der Lieferumfang entspricht jeweils der Abbildung in Fig 1 und 2 Turbopumpen TPH und TPU sind im Aufbau gleich Sie unterscheiden sich lediglich im Ansaugflansch Pumpen TPH ISO K ISO KF Flansche Pumpen TPU CF F Flansche Das Kugellager hat eine Umlauf schmierung Die Pumpen werden mit Betriebs mittelf llung geliefert Serienm ig sind die Pumpen kon vektionsgek hlt siehe Abschnitt 4 4 Sie k nnen mit wenigen Handgriffen auf Wasser oder Luftk hlung umge stellt werden Gegen zu hohe Umgebungstempera turen sind die Pumpen thermisch gesch tzt Bei unzul ssigen Temperaturen der Lager des Antriebs oder des Pum pengeh uses wird d
50. gerwechsel Ein Wechsel des motorseitigen Kugel lagers ist vor Ort durch den PFEIFFER Service m glich Fur das Wechseln des Lagers und dessen exakte Einstellung ist spezielles Werkzeug notwendig Ein Wechsel des Lagers mu in geeigneten staubarmen Raumen durchgefuhrt werden Bei kundenseitiger Durchf hrung des Lagerwechsels mu das beauftragte Personal eine entsprechende PFEIFFER Schulung absolviert haben Bitte wenden Sie sich an unsere Vertretungen oder Tochtergesell schaften 7 Service Nehmen Sie bitte unseren Service in Anspruch Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrer Pumpe auftreten haben Sie verschiedene M glichkeiten Ihre Anlagen Verf gbarkeit aufrecht zu erhalten Pumpe vor Ort durch den PFEIFFER Service reparieren lassen Pumpe zur Reparatur ins Stammwerk einsenden Pumpe durch neuwertige Austauschpumpe ersetzen Genauere Informationen erhalten Sie von Ihrer PFEIFFER Vetretung Vor dem Einsenden Deutlich sichtbar Vermerk anbringen Frei von Schad stoffen auf eingesandten Ger ten und zusatzlich auf Lieferschein und Anschreiben Schadstoffe sind Stoffe und Zubereitungen entsprechend der Gefahrstoff Verordnung in der derzeitigen Fassung Fehlt der Vermerk f hrt PFEIFFER kostenpflichtig eine Dekontamination durch Dies gilt auch wenn der Betreiber keine M glichkeit zur pranHhgssemsben Dekontamination at Mikrobiologisch explosiv oder radioaktiv kontaminier
51. hl FLUTEN TPH 055 ber Rezipient Pumpe hat keinen FlutanschluB siehe 4 5 STILLSETZEN Pumpe abschalten aus Anlage demontieren und reinigen Betriebsmittelspeicher wechseln HV Flansch verschlieBen Pumpe evakuieren mit trockener Luft fluten Pumpe verschlieBen f r trockene Lagerung sorgen siehe Abschnitt 5 4 INSTANDHALTUNG Oberes Lager Permanentmagnetlager wartungsfrei Unteres Lager mit TL 011 geschmiertes Pr zisions Kugellager mit Keramikkugeln aus tauschbar BETRIEBSMITTELWECHSEL f r Kugellager Zum Betriebsmittelwechsel muB der Betriebs mittelspeicher komplett ausgetauscht werden Abschnitt 6 1 Kein zus tzliches Betriebsmittel einf llen REINIGUNG leichte Verschmutzung Reinigung in reinemAlkohol Achtung Einschl gige Vor schriften im Umgang mit L sungsmitteln beachten siehe 6 2 starke Verschmutzung PFEIFFER Service ver st ndigen Abschnitt 6 2 LAGERWECHSEL Nur durch BALZERS Sevice oder daf r geschultes Personal siehe 6 4 EINSENDUNG ZUR REPARATUR Wichtige Hinweise unter 1 1 und Abschnitt 6 5 beachten VENTING the TPH U 062 Manually by means of the manual valve 6 see 4 5 Automatically If a TCP 120 121 or 380 and TSF 012 are used venting starts automatically at 35 of the rated rotation speed VENTING the TPH 055 via the vacuum chamber the pump has no venting connection see 4 5 SHUTTING DOWN Switch off the pump
52. idissement l air La pompe turbo peut tre commut e sur le refroidissement l air La temp rature ambiante maxi lors de l utilisation d un refroidissement l air ne doit pas exc der 35 C Des possibilit s de raccordement pour le refroidissement l air sont pr vues sur les commandes d entra nement TCP 121 380 et TCP 015 les raccordements doivent tre effectu s conform ment aux sch mas des connexions des instructions de service de l lectronique d entrainement Refroidissement par air voir 9 accessoires 4 4 2 1 Montage du dispositif de refroidissement l air Fig 11 Poser la pompe turbo sur la bride de vide lev 1 Attention la surface d tanch it D visser les pieds en caoutchouc 27 voir Fig 21 des al sages filet s Metre la vis sur le support 12 afin que la surface visser du ventilateur 51 soit parallel l axe de la bride de vide primaire et raccordement de remise l air Visser le refroidissement par air avec quatre vis 13 M5 au support et les rondelles ressorts 14 la pompe turbo Branchement lectrique Le branchement doit tre effectu conform ment aux sch mas lectroniques des instructions de service de l lectronique d entrainement 51 52 53 12 Fig 11 12 Halter 13 Schraube 14 Federring 51 Ventilator 52 Schwingungsdampfer 58 Schraube 4 5 Flutanschlu amp Fig 12 TPH U 062 Die Turbopumpe TPH U 062 kan
53. ie Antriebs leistung bis auf Null zur ckgeregelt 1 2 1 Working with the Turbomolecular Pump Safety Information Never operate the pump with open HV flange because this may cause injuries from the rotating turbine and contact with vacuum with the pumped media process gases Objects falling into the pump can cause damage Only uncouple the connection to the electronic drive unit after you have disconnected the mains plug and the pump is at standstill Peak voltages of 100 V may be present at the contacts Only remove the connecting lines between the turbomolecular pump and the backing pump when the system is at standstill so as to avoid any contact with process gases Before you remove the turbo molecular pump from the system the pump must be vented as described in 4 5 Install the pump firmly in the system The user must provide information on any danger that may arise from coming into contact with any hazardous media to be pumped Appropriate safety precaution instructions must be provided 1 3 Other Information The turbo pump connecting cable and electronic drive unit form an operational unit together with an appropriate backing pump The contents of the consignment is shown in Fig 1 and 2 The TPH and TPU turbo pumps are of identical design They only differ in their intake flange TPH pumps ISO K ISO KF flanges TPU pumps CF F flanges The ball bearing has an oil circulation lubrication system
54. in de d contaminer nous m mes ces appareils except s les appareils qui seraient radioactivement contamin s Dans ce cas la commande est sp cifier en cons quence avec indication des gaz ou mati res toxiques avec lesquelles les appareils seraient entr s en contact En l absence de cette indication les frais r sultant des analyses reconduire vous seront factur s en sus Pri re galement de tenir compte des modalit s de transport En l absence des indications exempt de mati res toxiques sur l appareil ou sur les documents d accompagnement nous proc derons automatiquement une d contamination des appareils retourn s Les mati res toxiques sont celles num r es par l article 2 de la prescription de la CE en date du 18 Septembre 1979 Modifications techniques r serv es Fig Lund 2 1 HV Flansch 4 Vorvakuumflansch 6 Flutanschlu amp 8 K hlwasseranschluR 61 Anschlu Antriebselektronik 1 HV flange 4 Fore vacuum flange 6 Venting connection 8 Cooling water connection 1 Connection to electronic drive unit Bride de vide lev Bride de vide primaire Raccordement de remise air Raccordement de eau de refroidissement Connexion d lectronique d ntrainement ki OO Pr o 1 2 Sicherheitsinstruk tionen Die Turbomolekular pumpen sind nach dem neuesten Stand der Technik gebaut und betriebssicher Von der Pumpe k nnen aber Gefahren ausgehen wenn sie vom Benu
55. ing unit Do not use a dirt trap 29 Install the TCW cooling water monitor 7 in the return system Accessories for cooling water connection see Section 9 Accessories Alimentation en eau de refroidissement par le r seau le pi ge impuret s 29 doit tre mis en place dans la conduite aller et le contr leur de l eau de refroidisse ment 7 TCW dans la conduite retour le cas ch ant Alimentation en eau de refroidissement par le biais d un groupe de refroidissement Ne pas utiliser de pi ge impuret s 29 mettre le contr leur de l eau de refroidissement 7 TCW en place dans la conduite retour Pour les accessoires de raccordement de l eau de refroidissement consulter le paragraphe 9 accessoires C40 419 Fig 9 46 USIT Ring 56 Schlaucht lle 57 Hohlschraube 46 USIT ring 56 Hose nozzle 57 Hollow core screw 46 J oint en USIT 56 Douille de tuyau 57 Boulon creux filet femelle d 29 31 8 i 7 HA _ Hh ee 46 30 Fig 10 7 K hlwasserw chter TCW 8 Kuhlwasseranschlu amp Turbopumpe 29 Schmutzfanger 30 Kuhlaggregat TZK 31 Anschlu K hlwassernetz 32 freier Abflu amp 7 Cooling Water Monitor TCW 8 Cooling water connection turbo pump 29 Dirt trap 30 Cooling Unit TZK 31 Connection of cooling water mains 32 Open discharge 7 Contr leur de l eau de refroidissement TCW 8 Raccords pour l eau de
56. it For air cooling please se Section 9 Accessories 4 4 2 1 Installing the Air Cooling System Fig 11 Place the turbo pump on high vacuum flange 1 Take care of the sealing surface Unscrew rubber legs 21 see Fig 21 Screw on holder 12 in such a way that the screw on surface of fan 51 is positioned parallel to the axis of the fore vacuum and venting connection Screw air cooling onto the holder 12 with four M5 screws 13 and spring washers 14 onto the turbopumpe Electrical connections Eletrical connections shoud be carried out as per the wiring diagram of the operating instructions for the electronic drive unit Afin d viter des dommages dus la corrosion l eau de refroidissement doit r pondre aux exigences suivantes eau filtr e m caniquement pure optiquement claire sans d p ts non brouill e chimiquement neutre Quantit d oxyg ne min 4 mg kg Quantit de chlorures max 100 mg kg Duret de carbonate max 10 dH Consommation en perman ganate de potassium 10 mg kg Valeur pH 7 9 Surpression de l amen e d eau jusqu max 6 bar Ni gaz carbonique agressif ni ammon iaque ne doivent tre d tectables Remarque Si les valeurs mentionn es ne sont pas atteintes ou sont d pass es entra nant des d faillances ou des dommages des installations livr es par nos soins nous sommes d gag s de toute responsabilit quant ces d faillances ou dommages 4 4 2 Refro
57. lle erforderlichen Zusatzger te anschlieBen Abschnitt 4 3 4 6 EINSCHALTEN Turbopumpe Schalter S1 am TCP dr cken siehe 5 1 RESET ber Spannungsunterbrechung 2 2 Sekunden z B mit Schalter S1 siehe Abschnitt 5 1 HEIZEN der Pumpe Schalter S2 an der TCP dr cken siehe Abschnitt 5 2 ABSCHALTEN der Pumpe Schalter 1 am TCP dr cken Bei Pfeiffer Vorvakuumpumpen schlieBt HV Sicherheitsventil automatisch siehe Abschnitt 4 3 und 5 3 TPH 055 ABBREVIATED INSTRUCTIONS for Turbomolecular Pumps TPH TPU 062 TPH 055 ec wm fe These abbreviated instructions are only valid together with the detailed operating instructions Take out this page and store it near the pump INSTALLATION Connection accessories TCP 121 or 380 electronic drive unit and connecting cable for the TPH U 062 TCP 015 electronic drive unit and connecting cable for the TPH 055 Remove the blank flanges immediately before assembly Utmost cleanliness is a must The operating fluid is already filled in HV flange loading without torque max 20 kg Mounting direction from vertical to horizontal Section 4 2 Depending on your application anchor the turbo pump and use the splinter shield Section 4 2 1 Prevent vibrations from being transmitted from the backing pump Type of cooling standard convection Ambient temperature gt 30 C air cooling Ambient temperature gt 35 C
58. m Components n order to prevent the vacuum chamber from being vented via the backing pump a safety valve must be installed in the fore vacuum line see Section 9 Accessories A high vacuum safety valve is incorporated in the PFEIFFER backing pumps see Section 3 on backing pumps 4 2 1 Pare clats Un pare clat devrait tre mis en place pour prot ger la pompe turbo contre les corps trangers courbure du tamis vers le haut voir paragraphe 9 acces soires Le pare clats doit tre enfonc dans la bride de vide lev avec l anneau ext rieur jusqu la but e Il r duit la capacit d aspiration d env 15 96 Fig 7 1 Hochvakuumflansch Turbopumpe 2 Splitterschutz 3 Klemmfahne 1 High vacuum flange turbo pump 2 Splinter shield 3 Clamping lug 1 Bride de vide lev 2 Pare clats 3 Talon de serrage 4 3 Raccord de vide primaire Fig 8 Tous les raccords de la conduite de vide primaire peuvent tre fabriqu s avec des l ments de petites brides En cas de raccords tubes rigides un soufflet doit tre mont afin d amortir la transmission des vibrations de la pompe vide primaire El ments pour le raccord du vide pr alable voir paragraphe 9 accessoires D autres pi ces sont num r es dans le catalogue PFEIFFER Composants pour la technique du vide Une soupape de s ret doit tre mont e dans la conduite de vide primaire afin d emp cher l entr e d air dans
59. m bei folgenden Werten 2 1 Final Pressure According to DIN 28 428 the final pressure of turbomolecular pumps is the pressure attained in a test dome 48 hours after baking out TPH 055 The final pressure of the TPH 055 Turbo Pump is 1 10 mbar It is not possible to use metal seals in order to obtain lower final pressures because these turbo pumps are not equipped with CF F flanges TPH U 062 Depending on the backing pump system used the final pressure of the TPH U 062 Turbo Pump has the following values 2 1 Pression finale Par pression finale des pompes turbomol culaires on entend conform ment DIN 28 428 la pression atteinte dans un d me de mesure 48 heures apr s l tuvage TPH 055 La pression finale de la pompe turbo TPH 055 est 1 109 mbars II n est pas possible d utiliser des joints m talliques pour atteindre des pressions finales basses tant donn que ces pompe turbos ne sont pas dot es de brides CF F TPH U 062 Les valeurs de la pression finale de la pompe turboTPH U 062 sont les suivantes en fonction du syst me de pompes primaires utilis Enddruck Vorpumpensystem Backing pump combination Syst me de Dichtung f r Final pressure pompes primaires Ansaugflansch Pression finale Seal for TPH U 062 intake socket Joint pour bride d aspiration QD 1410710 Zweistufige Drehschieber Two stage rotary vane Pompe vide rota Metall vakuumpumpe vacuum pump and turbo tive pale
60. n Vorhandene Flutventile TVF oder Stromausfallfluter TSF mit Anschlu amp DN 10 ISO KF werden an die Turbo pumpe mit dem Flutflansch DN 10 ISO KF G 1 8 montiert Flutventile TVF oder Stromausfall fluter TSF mit Anschlu G 1 8 werden in den Flutanschluf einge schraubt Trockenvorlage TTV an eine vorher bereitgestellte Haltevorrichtung an schrauben Schlauchverbindung zwischen Flut ventil und Trockenvorlage herstellen Der elektrische Anschlu erfolgt nach den jeweils g ltigen Schaltpl nen in der entsprechenden Betriebs anleitung Bauteile zum Fluten siehe unter 9 Zubeh r 16 17 Cartouche siccative TTV 59 Vanne de remise l air TVF 65 TCP 17 4 5 1 Use of Venting Valves for the TPH U 062 Unscrew the screw plug from venting connection 6 G 1 8 of the pump If you have Venting Valves TVF or TSF Emergency Venting Valves with DN 10 ISO KF connection screw these to the turbo pump by means of the DN 10 ISO KF G 1 8 venting flange TVF Venting Valves or TSF Emergency Venting Valves with G 1 8 connection are screwed into the venting connection Screw the TTV Drier to a holder provided in advance Connect the hose between the venting valve and the drier Make the electrical connection in accordance with the applicable wiring diagrams in the respective operating instructions For venting components please refer to Section 9 accessories 4 5 1 Utilisation de vannes de
61. n Caution sealed surface 6 2 Nettoyage de la pompe turbo Le degr de salissure de la pompe turbo vous sera signal lorsque la pression de travail souhait e ne sera pas atteinte dans les temps habituelles bien que les taux de fuite et de d sorption restent inchang s Pour des salissures l g res par ex par des d p ts de fluide moteur la pompe turbo non d mont e peut tre nettoy e avec de l alcool pur voir 6 2 1 Mais s il s agit d agents difficilement solubles ou de fortes salissures la pompe turbo devra tre compl tement d mont e Dans ce cas il faudra absolument faire appel au service apr s vente PFEIFFER afin de garantir un parfait fonctionnement 6 2 1 Nettoyage sans d montage Fig 15 Mettre la pompe l arr t remettre l air sur la pression atmosph rique D monter la pompe de l installation Enlever la chemise chauffage si existante Enlever le r servoir de fluide moteur voir 6 1 Placer la pompe turbo verticalement avec la bride de vide lev vers le bas dans un r cipient appropri Remplir le r cipient avec du produit de nettoyage alcool pur jusqu ce la bride de vide primaire soit totalement recouverte Attention Les sp cifications concernant la l gislation locale en vigueur sur les produits solubles doivent tre respect es Laisser agir le produit de nettoyage env 5 10 minutes Pendant ce temps soulever et baisser doucement la pomp
62. n manuell ber die serienm fsige Ver schlu amp schraube G 1 8 im Flutan schlu amp geflutet werden Es ist kein spezielles Hand Flutventil erforderlich Durch das Anschlu amp gewinde G 1 8 ist es m glich mit handels blichen Bau teilen Flutleitungen zu realisieren Vorhandene Flutventile TVF und Stromausfallfluter TSF mit DN 10 ISO KF Anschlu k nnen an den Pumpen mit dem Adapter PM 033 737 T eingesetzt werden Zum verz gerten sicheren Fluten von Turbopumpe und Rezipient kann ein Flutsteuerger t TCF ein Ventilsteuer ger t TCV oder das TCP 121 TCP 380 mit dem Flutventil TSF 012 eingesetzt werden Beim Einsatz eines Flutventils TSF 010 wird die Turbopumpe direkt nach einem Stromausfall oder Abschalten geflutet 13 Screw 14 Spring washer 12 Holder 51 Fan 52 Damper 58 Screw 4 5 Venting Connection Fig 12 TPH U 062 The TPH U 062 turbo pump can be vented manually via the screw plug G 1 8 in the venting connection A special manual venting valve is not required The G 1 8 connecting thread allows venting lines to be built from commercially available components Existing TVF venting valves and TSF emergency venting valves with DN 10 ISO KF connection can be used for pumps with an adapter PM 033 737 T A TCF Venting Control Unit a TCV Valve Control Unit or the TCP 121 380 with TSF 012 Venting Valve can be used for delayed safety venting of the turbo pump and vacuum chamber If a TSF 010
63. n der Oberflache einen passiven Zustand aufrecht erhalt Daf r mu ein Mindestgehalt an Sauerstoff vorhanden sein In geschlossenen K hlsystemen mu damit gerechnet werden da ohne besondere Ma nahmen der Sauerstoff gehalt unter die Mindestmenge ab sinkt Hier sollte bei der R ckk hlung des Wassers f r die M glichkeit gen gender Sauerstoffaufnahme gesorgt werden In allen F llen ist das K hlwasser zu filtrieren um Schmutz und organische Schwebstoffe vom K hlkreislauf fern zuhalten Es k nnte sonst zu lokalen Ablagerungen kommen welche die Bildung von Lochfraf beg nstigen Die Pumpe kann durch das K hl wassernetz Maximal berdruck 6 bar oder ber ein K hlaggregat 30 TZK versorgt werden 12 4 4 Cooling The turbo pump is convection cooled as standard itis therefore indepen dent of a water or ducted air cooling System At ambient temperatures up to 35 C and with heated pumps and systems the TPH TPU 062 and TPH 055 turbo pumps must be operated with air or water cooling at temperatures above 35 C with water cooling only The turbo pump is thermally protected by PTC resistors in both the motor winding and pump case If the admissible temperature is exceeded on one of the two resistors the electronic drive unit reduces the drive power down to zero 4 4 1 Water Cooling Fig 9 Fig 10 The corrosion resistance of the metals can generally be attributed to a very thin oxide film whi
64. nducteur de protection TPH 55 Le branchement lectrique de la pompe est effectu sur la contre prise G octopolaire La liaison avec TCP 015 est tablie avec le c ble PM 031 178 X longueur de 3 m autres longueurs sur demande 4 7 Instuctions de service Les instructions de service suivantes sont associ es aux composants num r es ci dessus Benennung Typ Betriebsanleitung Description Type Operating Instructions D nomination Type Instructions de service Antriebselektronik Electronic drive unit Electronique d entra nement TCP 121 PM 800 166 BD E F TCP 380 PM 800 188 BD E F TCP 015 PM 800 230 BD E F K hlaggregat Cooling unit Syst me de refroidissement TZK 350 PM 800 034 BD E F K hlwasserw chter Cooling water monitor Contr leur eau de refroidissement TCW 002 PM 800 133 BD E F Flutventil Venting valve Vanne de remise l air TSF 012 PM 800 168 BD E F TSF 010 PM 800 032 BD E F TVF 012 PM 800 126 BD E F Flutsteuergerat Venting control unit Appareil de commande de remise l air TCF 103 TCV 103 PM 800 196 BD E F Trockenvorlage Drier Cartouche siccative TTV 001 PM 800 022 BD E F Vorvakuum Sicherheitsventil Fore vacuum safety valve vanne de s curit de vide primaire TVV 001 PM 800 263 BD E F 18 5 Betrieb 5 1 Einschalten Bei Wasserk hlung Kuhlwasser ein schalten und Durchflu amp kontrollieren Beim Einsatz eines K hlaggregates TZK 400 werden TZK und Turbo pumpe ei
65. ng der Turbopumpe Reinigung im unzerlegten Zustand Pr fen des Antriebmotors Pr fen des Motors TPH U 062 mit Antriebselektronik TCP121 380 Pr fen des Motors TPH U 062 ohne Antriebselektronik TCP Pr fen des Motors TPH 055 mit Antriebselektronik TCP 015 Lagerwechsel Service Ersatzteile Ersatzteile Pumpe Ersatzteile Luftk hlung Ersatzteile Wasserk hlung Zubeh r Contents Abbreviated Instructions detachable 1 1 1 1 2 1 2 1 1 3 2 2 1 2 2 2 3 3 4 4 1 4 2 4 2 1 4 3 4 4 4 4 1 4 4 2 General Important Information Safety Instructions Working with the Turbomole cular Pump Safety Information Other Information Technical Data Final Pressure Volume Flow Rate Dimensions Backing Pumps Installation Notes on Installation High Vacuum Connection Splinter Shield Fore Vacuum Connection Cooling Water Cooling Air Cooling 4 4 2 1 Fitting the Air Cooling Fan 4 5 4 6 5 5 1 5 1 1 5 2 5 3 5 4 6 6 1 6 2 6 2 1 6 3 6 3 1 6 3 2 6 3 3 6 4 8 1 8 2 8 3 Venting Connection Electrical Connection Operation Switching on Procedure Resetting Heating the Turbo Pump Switching off Procedure Shutting down the Turbo Pump Maintenance Changing the Operating Fluid Reservoir Cleaning the Turbo Pump Cleaning the Pump in fully assembled Condition Testing the Drive Motor Testing the Motor TPH U 062 with TCP 121 380 Electronic Drive Unit Testing the Moto
66. ngeschaltet Bei Luftk hlung l uft der Ventilator bei Verdrahtung gem Schaltplan mit dem Einschalten der Turbopum pean Vorvakuumpumpe und Turbopumpe an der Antriebselektronik mit Taster S1 einschalten Heizung der Turbopumpe falls instal liert mit Taster S2 einschalten nur TCP 121 380 Der Hochlauf der Turbopumpe erfolgt automatisch Die Hochlaufzeit bis zum Drehzahl schaltpunkt ist abh ngig von der Rezipientengr e Bei blindgeflanschter Turbopumpe wird die Nenndrehzahl nach zwei Minuten erreicht 5 1 1 Reset TPH U 062 mit TCP 121 oder TCP 380 Bei St rung wird die Spannungsver sorgung des Motors ber Kontakt K2 ausgeschaltet Die Reset Funktion wird aktiviert durch Wegnahme der Netzspannung f r eine Zeit gt 2 Sekunden z B mit Netzschalter S1 Betatigung eines extern angeschlos senen Reset Tasters S3 f r eine Zeit gt 2 Sekunden Hinweis Bei Aktivierung von Reset mit externem Reset Taster mufs die TCP mit Spannung versorgt sein TPH 055 mit TCP 015 Erkennt die TCP 015 einen Fehler so wird der Motorstrom ausgeschaltet Nach Beseitigung des Fehlers lauft die Pumpe nicht selbststandig hoch Der dazu notwendige Reset kann ausge f hrt werden durch Ausschalten ber S1 f r eine Zeit 5 Sekunden Remote Eingang Fehler Reset X5 b6 f r eine Zeit gt 5 Sekunden mittels externem Schalter mit X5 z2 OV verbinden Senden eines entsprechenden Be
67. oivent tre mont es un endroit le plus propre possible Des l ments souill s entrainent une augmentation du temps de pompage due un taux de d sorption lev La pompe peut tre brid e au r cipient en position horizontale verticale Si la position de montage diverge de la verticale la pompe doit tre mont e avec le raccord de vide primaire 4 dirig vers le bas Une divergence maximale de 20 vers la gauche ou la droite est admissible Fig 6 Lorsque la turbopompe et le r cipient sont reli s par un soufflet la pompe devrait tre ancr e Pour ancrer la pompe quatre trous filet s M5 sont situ s dans la partie inf rieure surface d appui Les trous filet s servent galement accueillir les pieds en caoutchouc C40 416 Fig 6 1 Hochvakuumflansch 4 Vorvakuumflansch 6 Flutanschluf 1 High vacuum flange 4 Fore vacuum flange 6 Venting connection 1 Bride de vide lev 4 Bride de vide primaire 6 Raccord de remise l air 4 2 1 Splitterschutz Zum Schutz der Turbopumpe gegen Fremdk rper sollte ein Splitterschutz eingesetzt werden Siebw lbung nach oben siehe Abschnitt 9 Zubeh r Der Splitterschutz mu mit dem AuRenring bis zum Anschlag in den Hochvakuum flansch eingedr ckt werden Er verrin gert das Saugverm gen um ca 15 96 4 2 1 Splinter Shield A splinter shield should be installed to protec
68. p and vacuum chamber depends on the degree of contamination and the final pressure desired Due to the heating up time of the rotor it should be at least 4 hours Heating jacket see accessories 5 3 Switching off Procedure Switch off the turbo pump on the electronic drive unit Close the vacuum safety valve in the fore vacuum line When PFEIFFER backing pumps are used the safety valve closes automatically when the backing pump is switched off TPH U 062 If a TCP 121 or 380 is used together with a TSF 012 venting is performed automatically at approx 30 96 of the rated rotation speed With water cooling Shut off the cooling water supply after switching off Condensate may settle on the cooled surfaces particularly with open turbo pump and a high humidity TPH 055 Vent the pump after switching off via the HV flange 5 2 Chauffage de la pompe turbo Attention La pression finale est une fonction de la propret de la pompe et de l appareillage Pour atteindre la pression finale le plus rapidement possible il est utile de chauffer la pompe turbo et l appa reillage Si le r cipient est brid directement il faut veiller ce que la temp rature de la bride de vide lev ne d passe pas 120 C lors du chauf fage de l appareillage et de la pompe Si le r cipient est chauff plus de 200 C le rayonnement thermique du r cipient sur le rotor de la pompe doit tre emp ch par ex l
69. pump should be anchored The bottom part base of the pump has four threaded holes size M5 for anchoring These holes can also be used for the rubber legs 3 Pompes vide primaire Comme pompe vide primaire nous recommandons la pompe vide rotative palettes tournantes DUO 1 5 A ou selon l application une pompe de la s rie B de notre programme Elles sont caract ris es par une grande puissance d aspiration une grande r sistance la vapeur d eau une vanne de s ret de vide lev int gr e 4 Installation 4 1 Indications relatives l installation La pompe turbo est livr e remplie de fluide moteur N enlever les fausses brides des raccords de vide lev et primaire que juste avant le montage Si les pompe turbos fonctionnent dans un champ magn tique dont les puissances sont sup rieures aux valeurs indiqu es dans les caract ri stiques techniques des mesures de blindage adapt es doivent tre pr vues corps de blindage sur demande 4 2 Raccord de vide lev Attention Si la pompe turbo est ancr e aucune force manant du syst me de conduites ne doit agir sur la pompe Lors du raccordement de la pompe au r cipient il faut veiller ce que la bride de vide lev puisse subir une charge verticale de 20 kg maxi Un r cipient brid librement ne doit pas exercer de couple de rotation sur la bride charge unilat ral Toutes les pi ces d ultravide d
70. r Fig 13 Fig 14 Le syst me de lubrification du roulement billes est livr rempli de fluide moteur TL 011 Le r servoir de fluide moteur doit tre remplac au moins une fois par an plus souvent en cas de sollicitation extr me ou de processus contenant des impuret s I faut toujours remplacer le r servoir complet de fluide moteur D connecter la pompe et remettre l air la pression atmosph rique Si n cessaire d monter la pompe turbo du syst me D visser le couvercle de fermeture situ e sur le c t inf rieur Fig 13 Enlever le r servoir de fluide moteur rondelles en feutre Fig 14 et le mettre au rebut conform ment aux prescriptions Oter les impuret s de la pompe et du couvercle de fermeture l aide d un chiffon propre et non pelucheux Ins rer le nouveau r servoir voir pi ces de rechange 7 rempli de la quantit de fluide moteur n cessaire l aide d une pincette Monter le couvercle de fermeture 6 2 Reinigung der Turbopumpe Ein Zeichen fur die Verschmutzung der Pumpe ist wenn der gew nschte Arbeitsdruck nicht mehr in der bli chen Zeit erreicht wird obwohl sich die Leck und Desorptionsrate nicht ver andert hat Bei leichter Verschmutzung z B durch Betriebsmittelniederschl ge kann die Pumpe in unzerlegtem Zustand mit reinem Alkohol gereinigt werden siehe 6 2 1 Handelt es sich jedoch um schwerl sliche Medien oder liegt eine extreme Verschm
71. r TPH U 062 without TCP Electronic Drive Unit Testing the Motor of the TPH 055 with TCP 015 Electronic Drive Unit Bearing Replacement Service Spare Parts Spare Parts for the Pump Spare Parts for Air Cooling Spare Parts for Water Cooling Accessories Table des mati res Instructions abr g es d tachable Pee Ne G n ralit s Indications importantes Instructions relatives la s curit Instructions de s curit pour le travail avec la pompe turbo mol culaire Indications diverses Fiche techniques Pression finale Capacit d aspiration Encomprements Pompes vide primaire Installation Indications relatives l installation Raccord de vide lev Pare clats Raccord de vide primaire Refroidissement Refroidissement l eau Refroidissement l air 44 21 Montage du dispositif de Hm BWNER n NN DAD oo uuuuuu Hn w 6 3 1 6 3 2 6 3 3 o ooo N o Ne w refroidissement l air Raccord de remise l air Branchement lectrique Fonctionnement Mise en marche Reset Chauffage de la pompe turbo D connexion Mise l arr t Entretien Changement du r servoir de fluide moteur Nettoyage de la pompe turbo Nettoyage sans d monter la pompe Contr le du moteur d entra nement Contr le du moteur TPH U 062 avec l lectronique d entra nement TCP 121 380 Contr le du moteur TPH U 062 sans lectronique d entraine ment TCP Contr le du moteur TPH 055
72. remise l air pour TPH U 052 D visser la vis de fermeture du raccord de remise l air 6 G 1 8 de la pompe Les vannes de remise l air TVF existantes ou les dispositifs de remise l air TSF utilis s en cas de coupure de courant raccord DN 10 ISO KF sont mont s sur la pompe turbo avec la bride de remise l air DN 10 ISO KF G 1 8 Les vannes de remise l air TVF ou les dispositifs de remise l air pour coupures de courant TSF raccord G 1 8 sont viss s au raccord de remise l air Visser la cartouche siccative TTV sur un support pr alablement mis en place Etablir la connexion entre la vanne de remise l air etla cartouche siccative l aide d un tuyau Le branchement lectrique est effectu conform ment aux sch mas des connexions respectivement valables des instructions de service correspondantes Composants pour la remise l air voir paragraphe 9 accessoires 17 4 6 Elektrischer Anschlu Turbopumpe Der elektrische Anschlu ist nach den rtlich geltenden Bestimmungen durchzuf hren In den Betriebsan leitungen der Antriebselektroniken sind alle Schaltplane und Beschreibungen zum elektrischen Anschlu enthalten TPH U 062 Der elektrische Anschlu der Turbo pumpe erfolgt an der 19 poligen G Dose Die Verbindung zur TCP 121 380 wird mit dem 3m langen Verbindungskabel PM 011 232 X hergestellt andere Langen auf Anfrage Werden Schutzleiter Widerstande 0
73. s Remplir le formulaire concemant la contamination Dans tous les cas remplir soigneusement et scrupuleusement une copie du Formulaire de contamination Joindre la copie remplie correctement l appareil envoyer un exemplaire suppl mentaire directement au service apr s vente PFEIFFER concern Pour toutes les informations compl mentaires concernant la d contamination nous vous prions de vous adresser votre repr sentant PFEIFFER le plus proche Warnung Kontaminierte Gerate vor der Einsen dung oder vor einer eventuellen Entsorgung dekontaminieren Mikrobiologisch explosiv oder radioaktiv kontaminierte Pumpen nicht versenden Kontaminierte Gerate versenden M ssen kontaminierte Ger te zur Wartung Reparatur eingesandt werden bitte folgende Versandvorschriften einhalten Pumpe neutralisieren durch Sp len mit Stickstoff oder trockener Luft Alle Offnungen luftdicht verschlieRen Pumpe oder Gerat in geeignete Schutzfolie einschweifen Ger t nur in geeigneten stabilen Transportbehaltern einschicken Hinweis Reparaturauftrage werden nur entsprechend unseren allgemeinen Lieferbedingungen durchgef hrt Ist eine Reparatur notwendig senden Sie bitte die Pumpe an Ihre nachste PFEIFFER Servicestelle Kontaktadressen und Service Hotline Kontaktadressen und Ihre Service Hotline finden Sie auf der R ckseite dieser Anleitung 8 Ersatzteile Achtung Bei Ersatzteilanfragen od
74. sie so werden sie von uns kostenpflichtig ermittelt Besondere Transportvor schriften sind zu beachten Wir werden eine Dekontamination durchf hren und Ihnen berech nen wenn Sie den Vermerk Frei von Schadstoffen am Ger t oder in den Begleitpapieren nicht angebracht haben Schadstoffe sind Stoffe und Zubereitungen gem EG Richtlinie vom 18 09 1979 Artikel 2 Technische nderungen behalten wir uns vor Fig 1 TPH 062 You can have the units decontaminated by us excepted are units with radioactive contamination In this case the repair order must be extended accordingly and the process gases with which the unit has come into contact must be stated If this information is missing it will be determined by us at extra cost Any special haulage regulations must be observed We will carry out the decontamination and invoice this work to you if you have not attached the note Free from harmful substances to the unit or in the accompanying papers Harmful substances are defined in European Community Countries as materials and preparations in accordance with the EEC Specification dated 18 September 1979 Article 2 and in the U S A as materials in accordance with the Code of Federal Regulations CFR 49 Part 173 240 Definition and Preparation Technical modifications reserved Fig 2 TPH 055 vous est galement loisible de nous laisser le so
75. t the pump against solid foreign matter with the screen bulge facing downward see Section 9 Accessories The splinter shield has to be pressed into the high vacuum flange up to the stop on its outer ring It decreases the volume flow rate of the pump by approximately 15 96 13 1 K acm rre 4 3 VorvakuumanschlufS Fig 8 Alle Verbindungen der Vorvakuum leitung k nnen mit Kleinflansch Bau elementen hergestellt werden Bei starren Rohrverbindungen ist ein Federungsk rper einzubauen um die Ubertragung der Vibration von der Vorvakuumpumpe zu dampfen Bauelemente zum Vorvakuuman schluf siehe Abschnitt 9 Zubeh r Weitere Bauteile sind im PFEIFFER Katalog Komponenten f r die Vakuumtechnik aufgef hrt Um die Bel ftung des Rezipienten ber die Vorvakuumpumpe zu ver hindern mu ein Sicherheitsventil in die Vorvakuumleitung eingebaut werden siehe Abschnitt 9 Zubeh r In PFEIFFER Vorvakuumpumpen ist ein Hochvakuum Sicherheits ventil integriert siehe Abschnitt 3 Vorvakuumpumpe 4 3 Fore vacuum Connection Fig 8 All connections of the fore vacuum line can be made using small flange components n the case of rigid pipe connections a bellows must be installed to reduce the transmission of vibrations from the backing pump Components for the fore vacuum connection see Section 9 Accessories Further components are listed in the PFEIFFER catalog Vacuu
76. te Ger te werden grundsatzlich nicht angenommen Erklarung zur Kontamination ausf llen n jedem Fall eine Kopie der Erkl rung zur Kontaminierung sorgf ltig und wahrheitsgemals ausf llen Vollstandig ausgef llte Kopie dem Ger t beif gen zusatzliches Exemplar direkt an den zust ndigen PFEIFFER Service schicken Bei allen Fragen oder Unklarheiten bez glich Kontaminierung wenden Sie sich bitte an die nachste PFEIFFER Vertretung 28 6 4 Bearing Change On the spot motor side ball bearing changes can be carried out by PFEIFFER service technicians Bearing changes and the related meticulous settings require special tools Bearings may only be changed in appropriate dust free rooms Customers may only carry out their own bearing changes providing their technicians have completed the necessary PFEIFFER training course Our local representatives or sales subsidiary company would be pleased to help you if you need any advice 7 Service Information Do Make Use Of Our Service Facilities In the event that repairs are necessary a number of options are available to you to ensure any system down time is kept to a minimum Have the pump repaired on the spot by our PFEIFFER Service Engineers Return the pump to the manufacturer for repairs Replace with a new value pump Local PFEIFFER representatives can provide full details Before returning Please attach a clearly visible notice
77. tion d eau In 15 15 15 15 bei Wasserkuhlung sumption with water de refroidissement pour cooling refroidissement eau Zul Umgebungs Permissible ambient Temp rature ambiante C 0 35 0 35 0 35 0 35 temperatur bei temperature for admissible pour Luftk hlung air cooling refroidissement air Zul ssiges Magnet Permissible magnetic Champ magn tique mT 7 7 7 7 feld max 4 field max 4 admissible maxi Gewicht Weight Poids kg 3 6 3 6 3 8 3 6 3 6 DErl uterungen unter 2 1 2 bis 90 der Nenndrehzal 3 im Betriebsmittelspeicher enthalten Bei st rkeren Magnetfeldern Abschirmung auf Anfrage Dror explanations see 2 1 2 Up to 90 of the rated rotation speed 3 included in the operating fluid reservoir For higher magnetic fields screening is available on request Dexplications au paragraphe 2 1 J usqu 90 de la vitesse nominale Dans le r servoir de fluide moteur En cas de champs magn tiques plus puissants bouclier sur demande 2 1 Enddruck Unter dem Enddruck von Turbomole kularpumpen wird nach DIN 28 428 der Druck verstanden der in einem Me dom 48 Stunden nach dem Ausheizen erreicht wird TPH 055 Der Enddruck f r die Turbopumpe TPH 055 liegt bei lt 1 10 mbar Metall dichtungen sind zum Erreichen nied rigerer Enddr cke nicht einsetzbar da diese Turbopumpen nicht mit CF F Flanschen versehen sind TPH U 062 Der Enddruck f r die Turbopumpe TPH U 062 liegt je nach verwendetem Vorpumpensyste
78. trieb der Anlage gelten die rtlichen Sicherheits und Unfall verh tungsvorschriften Unklarheiten bzgl Sicherheit Bedie nung und Wartung k nnen mit der nachsten PFEIFFER Vertretung oder Tochtergesellschaft abgeklart werden 1 2 Safety Instructions The turbomolecular pump represents state of the art technology and optimum operationally reliable The user may however be exposed to hazards if it is used improperly or for other than its intended purpose If the pump is used for any other than its intended purpose all liability and warranty claims will lapse Use for the intended purpose shall also mean that the installation commissioning operating and maintenance instructions of the manufacturer are to be complied with Operating and service personnel must have read and understood the operating instructions for the product All warnings must be observed and all precautions taken The operating and service personnel must be informed of all hazards which might occur in connection with the turbo pump Personnel must be able to recognize dangers and take preventive measures Any use by unauthorized personnel or careless handling may increase the potential danger The switch off procedures described in the attached operating instructions must be observed in all installation commissioning operating and maintenance work No operating modes must be used which may affect the safety of the oper
79. ttes Metal und Turbopumpe molecular pump deux tages et pompe M tallique turbomol culaire Q 1409 Zweistufige Drehschieber Two stage rotary vane Pompe vide rota Metall vakuumpumpe vacuum pump tive palettes Metal deux tages Metalique 1108 Zweistufige Drehschieber Two stage rotary vane Pompe vide rota vakuumpumpe vacuum pump tive palettes Viton deux tages J ede TPH U 062 unterschreitet w hrend der Endabnahme die Enddruckwerte 2 und 3 wobei der Enddruck 3 ohne Ausheizen der Pumpe erreicht wird At final acceptance the final pressure of each TPH U 062 is better than the above values 2 and 3 with the final pressure 3 being attained without baking out of the pump Chaque TPH U 062 descend au del des valeurs de pression finale 2 et 3 pendant la r ception finale la pression finale 3 tant atteinte sans tuvage de pompe 2 2 Saugverm gen 2 2 Volume Flow Rate 2 2 Capacit d aspiration S I s A 103 102 101 LATEST EEE TE T EEC TE E SS AS A D D E RS ES D A E E CID CN DU 1071 10 7 po mbar Fig 3 Saugverm gen f r N2 in Abhangigkeit vom Ansaugdruck p2 TPH TPU 062 mit DN 631SO K CF F und TPH 055 mit DN 63 ISO K Flansch 2 3 Mafbild DN63CF DN63ISO K DN40 ISO KE LO Volume flow r
80. tzer unsachgem fs oder zu nicht bestimmungsgem fi em Gebrauch eingesetzt wird Bei nichtbestimmungsgemafsem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs und Gew hreistungsanspruch Zur bestimmungsgem ken Verwen dung geh rt auch die Einhaltung der vom Hersteller vorgeschriebenen Installations Inbetriebnahme Betriebs und Instandhaltungsvor schriften Bediener und Service Personal m ssen die Betriebsanleitung des Produktes gelesen und verstanden haben Warnungen m ssen beachtet und VorsichtsmaBregeln eingehalten werden Das Bedienungs und Service Personal mu ber alle Gefahren informiert werden die in Zusammen hang mit der Turbopumpe auftreten k nnen Das Personal mu in der Lage sein Gefahren zu erkennen und ihnen entgegenzuwirken Die Anwendung durch nichtautori siertes Personal oder eine unvor sichtige Handhabung kann zu einem erh hten Gefahrenpotential f hren Bei allen Arbeiten die Installation Inbetriebnahme Betrieb und Instand haltung betreffen sind die in den beigef gten Betriebsanleitungen angegebenen Hinweise zu beachten Es ist jede Arbeitsweise zu unter lassen die die Sicherheit des Bedieners und der Pumpe beein trachtigt Eigenmachtige Umbauten und Veran derungen die die Sicherheit beein flussen sind nicht gestattet Nach Elektromontage und Elektroin standhaltungsarbeiten sind alle Schutzma nahmen zu testen Beispiel Schutzleitertest F r den Be
81. umflansch evakuieren Turbopumpe mit trockener Luft fluten VorvakuumanschluB amp verschlie en Pumpe senkrecht auf den Gummi f fsen lagern In R umen mit feuchter oder aggres siver Atmosphare ist die Turbopum pe zusammen mit einem Beutel Trockenmittel z B Silicagel in einen Plastikbeutel einzuschweifen Notizen Notes 5 4 Shutting down the Turbo Pump For extended shutdowns of the turbo pump the following must be observed The operating fluid reservoir must be changed on the turbo pump see 6 1 Please note The usability of the TL 011 oil is 2 years if the pump is not operated Close the high vacuum flange of the turbo pump and evacuate the pump via the fore vacuum flange Ventthe turbo pump with dry air Close the fore vacuum connection Store the pump in vertical position on its rubber legs n rooms with a moist or aggressive atmosphere the turbo pump must be sealed in a plastic bag together with a bag of desiccant e g silicagel 5 4 Arr t de la pompe turbo Lorsque la pompe turbo doit tre arr t e pour une p riode prolong e il faut veiller ce qui suit Le r servoir de fluide moteur de la pompe turbo doit tre remplac voir 6 1 Remarque le fluide moteur TL 011 est utilisable durant 2 ans lorsque la pompe n est pas en fonctionnement Fermer la bride de vide lev de la pompe turbo et vider la pompe via la bride de vide primaire Effectuer un
82. uten der Turbopumpe TPH 055 eingesetzt werden Die Flutverz gerung ist eine gemein same Funktion von TCP 015 und TSF 012 Beim Einschalten der TCP 015 schlie t das Flutventil TSF 012 sofort Nach dem Abschalten oder nach Stromausfall wird das Flutventil TSF 012 vom Antriebsmotor der auslaufenden Pumpe mit Strom versorgt Flutbeginn bei ca 30 96 der Nenndrehzahl Das Ventil bleibt nach Stillstand der Pumpe offen Bei Einsatz folgender Ger tekombina tionen kann nach dem Abschalten oder nach Stromausfall das Flutventil sofort oder verz gert ge ffnet werden Funktion Ger tekombination Function Unit combination Fonction Combinaison d appareil Fluten sofort verz gert Venting immediately delayed Remise l air imm diate temporis e TPH 055 The TPH 055 turbo pump has no venting connection and must be ven ted on the HV side The TSF 012 Venting Valve can be used in connection with the TCP 015 for venting of the TPH 055 turbo pump Delayed venting is a common function of the TCP 015 and TSF 012 The TSF 012 Venting Valve closes immediately after the TCP 015 has been switched on After stopping of the pump or after a power failure the TSF 012 Venting Valve is supplied with power from the drive motor of the slowing down turbo pump Venting starts at approx 30 96 of the rated rotation speed The valve remains open when the pump has come to a standstill The venting valve can be opened immediately or
83. utzung vor mu die Pumpe vollkommen demontiert werden Hierzu sollte grundsatzlich der PFEIFFER Service herangezogen werden damit die Gew hr f r einwandfreie Funktion gegeben ist 6 2 1 Reinigung in unzerlegtem Zustand Fig 15 Pumpe abschalten und auf Atmo sph rendruck fluten Pumpe aus der Anlage demontieren Wenn vorhanden Heizmanschette abnehmen Betriebsmittelspeicher entnehmen siehe 6 1 Pumpe senkrecht mit Hochvakuum flansch nach unten in passenden Beh lter stellen Reinigungsmittel reiner Alkohol in den Beh lter f llen bis Vorvakuum flansch der Pumpe eingetaucht ist Achtung Die gesetzlichen und lokalen Bestimmungen im Umgang mit L sungsmitteln sind einzuhalten Reinigungsmittel ca 5 10 Minuten einwirken lassen Pumpe in dieser Zeit mehrmals lang sam heben und senken so da an den Stator und Rotorscheiben eine Sp lung stattfindet Vorgang mit neuem Reinigungsmittel mindestens einmal wiederholen Pumpe aus dem Bad herausnehmen Zur Entleerung der Reinigungsmittel reste aus dem Magnetlager Pumpe mehrmals langsam von senkrechter Position bezogen auf den Hochva kuumflansch oben um 180 kippen Pumpe ca 30 Minuten mit Hochva kuumflansch nach unten auf einen Rost oder ahnliches stellen Achtung Dichtfl che 6 2 Cleaning the Turbo Pump It is a sign of contamination if the pump does not attain its working pressure in the usual time despite unchan
84. y The reset command required for this may be executed by Switching off via S1 for a time gt 5 seconds Connecting the remote Fault reset input X5 b6 to X5 z2 0 volt for a time gt 5 seconds via an external switch Transmitting a corresponding command via the RS 232 C Interface 5 Fonctionnement 5 1 Mise en marche En cas de refroidissement l eau connecter l eau de refroidissement et contr ler le d bit En cas d utilisation d un groupe de refroidissement TZK 400 TZK et la pompe turbo sont connect s En cas de refroidissement l air le ventilateur d marre lorsque la pompe turbo est connect e si le c blage est conforme au sch ma des connexions Connecter la pompe de vide primaire et la pompe turbo sur la commande d entrainement l aide du bouton poussoir S1 Si le chauffage de la pompe turbo est install le connecter avec le bouton poussoir S2 TCP 121 380 seulement L acc l ration de la pompe turbo est automatique Le temps d acc l ration jusqu au point de commutation de la vitesse est fonction de la taille du r cipient Chezla pompe turbo fausse bride la vitesse nominale est atteinte au bout de 2 minutes 5 1 1 Reset TPH U 062 avec TCP 121 ou TCP 380 En cas de d faillance l alimentation en tension du moteur est d connect e par le biais du contact K2 La fonction reset est activ e par la suppression de la tension de r seau durant plus de
85. zontale para graphe 4 2 Selon l utilisation ancrer la pompe turbo et utiliser un pare clats paragraphe 4 2 1 Exclure toute transmission de vibrations par la pompe primaire Mode de refroidissement standard convection Temp rature ambiante gt 30 C refroidissement l air Temp rature ambiante gt 35 C et pompes chauff es refroidissement l eau Raccordement d quipements de remise l air par le biais du filetage de raccordement G 1 8 composants DN 10 ISO KF avec adaptateur PM 006 702 voir 4 5 Branchement lectrique conform ment aux prescriptions valables localement exigences particuli res voir paragraphe 4 6 FONCTIONNEMENT Raccorder tous les appareils suppl mentaires n cessaires paragraphes 4 3 4 6 MISE EN MARCHE de la pompe turbomol culaire Appuyer sur le commutateur S1 de TCP voir 5 1 RESET par coupure de la tension 2 2 secondes par ex avec le commutateur S1 voir paragraphe 5 1 CHAUFFAGE de la pompe Appuyer sur le commutateur SP2 de TCP voir paragraphe 5 2 Mise l arr t de la pompe Appuyer sur le commutateur S1 de TCP Chez les pompes vide primaire Pfeiffer la vanne de s ret de vide lev se ferme automatiquement voir paragraphes 4 3 et 5 3 FLUTEN TPH U 062 manuell mit Handventil 6 siehe 4 5 automatisch Bei Einsatz von TCP 120 121 oder 380 und TSF 012 automatischer Flutbeginn bei 35 der Nenndrehza

Pfeiffer, TPH 062, TPU 062, TPH 055

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