Home

Operating Instructions

Contents

1. 10 Fig Type 8712 8702 MASS FLOW CMOSens MFC MFM 19 burkert E DU Si 3 DEEE gt SE z ur m 10 a0 Sea Fig Type 8710 8700 MASS FLOW Bypass Standard General notes on installation and operation Before installation Install a suitable filter upsteam to assure cleanliness of the operating medium gt Observe the installation position see calibration data Provide a power supply with adequate power gt Observe the max residual ripple on the operating voltage Remove dirt from the piping before installation of the MFC Proceed in the following sequence on commissioning an MFC MFM Mechanical and fluidic installation Electrical installation Pressurize with operating medium PN CS Regular working operation NOTE The specified precision will be obtained only when after switching on the thermal equilibration processes have been completed and the device has reached its operating temperature the time required depends on the device type see Technical Data W 20 MFC MFM burkert Operation with additional isolation valve The proportional valve integrated into the MFC assumes the tight closure function so that an additional isolatio
2. Die Nennweiten der Ventile ergeben sich aus dem geforderten Nenndurchfluss Qen den Druckverh ltnissen in der Anwendung und der Dichte des Betriebs gases Anhand dieser Daten wird vom Hersteller ein Proportionalventil ausgew hlt des sen Durchflussbeiwert k entsprechend der Durchflussgleichungen bei den spezi fizierten Druckverh ltnissen einen maximalen Durchfluss von mindestens dem geforderten Nenndurchfluss erm glicht a bei unterkritischer Str mung p gt p 2 ae ae o 1 max pu Ts kys gt nenn 1 bzw b bei berkritischer Str mung p lt p 2 7 Bn 5257 4 a7 EI Kus gt Am 2 Die Dr cke p und p in Gleichung GI 1 und 2 sind dabei auf Messstellen direkt vor bzw nach dem MFC zu beziehen Oftmals sind die Dr cke vor und nach dem MFC nicht bekannt sondern nur die Eingangs und Ausgangsdr cke p und p f r die gesamte Anlage Ein Teil des Druckabfalls p p erfolgt dann ber andere Str mungswiderst nde Absperr ventile D sen Rohrleitungen Filter etc deren Durchflussbeiwert in einer Gr e k zusammengefasst werden kann MFC MFM 49 burkert Aus dem gew nschten Nenndurchfluss Qe und den Dr cken p und p ist in diesem Falle analog zu Gl 1 oder 2 zun chst der minimale Durchflussbeiwert der Gesamtanlage k zu ermitteln Uber die Beziehung 2 2 2 1 1 1 3 Kyges kys Ku welche die Reihenschaltung der Widerst nde des MFC k und der Anlage k
3. beschreibt l sst sich bei bekanntem k der erforderliche k Wert des MFC bzw die Nennweite des Stellgliedes ermitteln Diese wird gr er ausfallen als wenn die brigen Str mungswiderst nde nicht vorhanden w ren Die sogenannte Ventilautorit t y AP vo ky ap k ie k 4 ist f r die Regeleigenschaften des MFC in der Anlage wichtig Sie sollte nicht unter einem Wert von 0 3 0 5 liegen Bedeutung der Formelzeichen Ke Durchflussbeiwert der Anlage mit eingebautem MFC k Durchflussbeiwert der Anlage ohne eingebauten MFC kann ermittelt werden indem man die Leitung am Einbauort des MFC kurzschlie t k Durchflussbeiwert des MFC bei voll ge ffnetem Stellglied in m h Vs D Dichte des Mediums in kg m unter Normbedingungen 1013 mbar 273 K T Temperatur des Gases in K p P Absolutdr cke in bar vor und nach dem MFC AP P P Q Maximaldurchfluss des Ventils in I min Quem Nenndurchfluss des MFC in l min der bei 100 Sollwert nenn ausgeregelt wird Ap Druckabfall ber die gesamte Anlage Ap der Anteil davon der ber den MFC bei voll ge ffnetem Ventil abf llt 50 MFC MFM burkert ES HINWEIS Die Anlage darf von ihrem Str mungsbeiwert k her nicht so er knapp ausgelegt sein dass beim gew nschten Nenndurchfluss schon der weitaus gr te Teil des verf gbaren Druckabfalles dort verbraucht und dann die Ventilnennweite des MFC so gro gew hlt
4. B rkert Steuer und Regelungstechnik Kundencenter Chr B rkert Str 13 17 D 76453 Ingelfingen Tel 07940 10111 oder an Ihr B rkert Vertriebs Center Garantiebestimmungen Burkert gew hrt auf die ordnungsgem e Funktion der MFC bzw MFM eine Garantie von einem Jahr unter der Voraussetzung dass das Ger t bestimmungs gem und unter Beachtung der spezifizierten Einsatzbedingungen verwendet wird ACHTUNG H Zur bestimmungsgem en Verwendung geh rt insbesondere eine ad quate Mediumsqualit t Stark verschmutzte oder par tikelhaltige Medien beeintr chtigen die Genauigkeit gelangen fl ssige Phasen in den Sensorraum kann das die Funktion des Sensors und des MFC MFM beeinflussen In diesen F llen m s sen dem MFC MFM geeignete Wartungseinheiten Filter Fl ssigkeitsabscheider vorgeschaltet werden Bei nicht einwandfreier Funktion wird das betreffende Ger t innerhalb der Garantiefrist kostenlos repariert bzw ausgetauscht H ACHTUNG Die Gew hrleistung erstreckt sich nur auf den MFC bzw MFM und seine Bauteile jedoch nicht auf Folgesch den irgendwelcher Art die durch Ausfall oder Fehlfunktion des Ger tes entstehen k nnten 42 MFC MFM burkert SYSTEMBESCHREIBUNG Typensystematik Diese Bedienungsanleitung beinhaltet Informationen f r folgende MassFlowCon troller MFC und MassFlowMeter MFM aus dem B rkert Produktprogramm Typ Endwer
5. Direct medium contact by the resistors R and R in the main flow assure excellent dynamics for the devices with response times of a few hundred miliseconds on sudden changes in the setpoint or process value Owing to the arrangement of the resistors on a glass support lying tangential to the flow the sensor is only slightly prone to contamination The measurement range of the Inline sensor is limited at the bottom end by instrinsic convection in the flow channel which also occurs when the control valve is closed It is hece unsuitable for devices whose working range must extend to flow rates below ca 1 min The signal from intrinsic convection in the flow channel depends on the installation position of the device In order that high precision can be obtained at low flow rates the actual installation position should be identical to that specified on ordering For the same reason the operating pressure should not differ too much from the calibration pressure 1 The device is calibrated in the installation position stated in the questionnaire to be found in the Annex to the Data Sheet MFC MFM 7 burkert Bypass sensor in CMOSens technology Types 8712 8702 In this technology the mass flow is measured in a specially shaped flow channel whose wall contains at one point a Si chip with a membrane that has been formed by etching To this membrane are applied in CMOSens technology a heating resistor and two temperature sensors
6. MFC MFM 107 9 Q On e ES burkert ENTRETIEN Exploit s conform ment aux pr sentes instructions de service les MFC et MFM se passent en principe de tout entretien rendant superflus les r talonnages de routine En cas d infiltration d une grande quantit de particules apr s une longue p riode d exploitation avec un fluide contamin il est possible sur les types 8626 8006 8716 8706 8712 et 8702 de nettoyer ou de remplacer le tamis en acier inoxydable apr s avoir d pos la bride d entr e voir annexe B Cette op ration n est pas possible sur le type 8710 8700 car le pr filtre forme un ensemble fonctionnel avec le diviseur Lorsque le capteur est encrass par le gaz de service l appareil peut produire des carts de d bit accrus apr s une longue p riode d exploitation Un nettoyage et un r talonnage en usine se r v lent alors n cessaires ATTENTION L ouverture de l appareil est prohib e L int rieur de l appareil contient d autres l ments de conditionnement de l coulement Une intervention l int rieur par exemple pour nettoyage n est pas admissible car la modification du signal du capteur rendrait n cessaire un r talonnage en usine REMARQUE Le r talonnage ne devrait tre ex cut qu en usine car il n cessite des talons de d bit de haute pr cision et des communications num riques 108 MFC MFM burkert
7. 1 Shield FE functional earth 2 N C not connected CAN_L data line 3 RxD TxD P B line GND 4 RTS control signal for repeater N C 5 GND data transmission potential N C S SS voltage P5V Es 7 N C CAN H data line 8 RxD TxD N A line N C 9 N C N C Setpoint input GND Process value input C Binary input 2 2 3 4 5 12 V output for factory unse only RS232 TxD direct connection to PC Binary input 1 DGND for binary inputs For factory use only do not connect 8 pole socket circular 24V supply Relay 1 centre contact Relay 2 centre contact 12 V output for factory use only 2 alolol Relay 1 break contact 12 V output for factory use only 24V supply GND 13 Process value output GND N C Relay 2 make contact 14 RS232 RxD direct connection to PC Relay 2 break contact 15 DGND for RS232 interface 24 MFC MFM burkert Connection configuration Type 8712 8702 24V supply Relay 1 centre contact Relay 2 centre contact Relay 1 break contact Relay 1 make contact 9 pole Sub D socket bus version only PROFIBUS DP DeviceNet Shield FE functional earth CAN L data line RxD TxD P B line GND RTS control signal for repeater N C GND data transmission potential N C VDD supply voltage P5V N C CAN_H data line N C N C 9 N C N C 15 pole Sub HD
8. 64 9 622 28 47 Nat 09 622 28 47 BC J Japan Japan Burkert Contromatic Ltd 1 8 5 Asagaya Minami Suginami ku Tokyo 166 0004 Japan Phone Int 81 3 5305 3610 Nat 03 5305 3610 Fax Int 81 3 5305 3611 Nat 03 5305 3611 Addresses of BC offices Adressliste BC Lander NAFTA C BRA Brazil Brasilien Burkert Contromatic Brasil Ltda Rua Am rico Brasiliense 2171 cj 1007 04715 005 Sao Paulo SP Brazil Phone Int 55 11 5182 0612 Nat 011 5182 0612 Fax Int 55 11 5182 8899 Nat 011 5182 8899 BC CDN Canada Kanada Burkert Contromatic Inc 760 Pacific Road Unit 3 Oakville Ontario L6L 6M5 Canada Phone Int 1 905 847 55 66 Nat 905 847 55 66 Fax Int 1 905 847 90 06 Nat 905 847 90 06 BC USA Main Office USA USA Burkert Contromatic Corp 2602 McGaw Avenue Irvine CA 92614 USA Phone Int 1 949 223 31 00 Nat 949 223 31 00 Fax Int 1949 223 31 98 Nat 949 223 31 98 Addresses of BC representatives Adressliste BC Vertretungen Egypt gypten TPM Technical Product Marketing Ottenser Strasse 130 D 22525 Hamburg Phone Int 4940 542738 Nat 040 542738 Fax Int 4940 544165 Nat 040 544165 Adressliste Burkert Fluid Control Systems Deutschland Vertriebs Center Berlin Bruno Taut StraBe 4 12524 Berlin Telefon Int 4930 6797170 Nat 030 6797170 Fax Int 4930 67971766 Nat 030 67971766 Hannover Rendsburger StraBe 12 30659 Hannover Telefon Int 49511 90276
9. gt S S e 5 Prise SUB D 15 p le avec 5 m de c ble 787737 D C confectionn d un c t oo F P a g Prise SUB D D p le avec 10 m de c ble 787738 GC confectionn d un c t Adaptateur RS232 pour raccordement d un PC avec un c ble 654748 rallonge n de commande 917039 C ble rallonge 2 m pour fiche prise RS232 9 p le 917039 infos sous www buerkert com Logiciel de communication MassFlowCommunicator tous les types MFC MFM 111 burkert ANNEXE B ACCESSOIRES FLUIDIQUES En principe nous ne livrons de raccords visser qu avec des filetages en pouces en cons quence nous utilisations des brides avec filetages de vis en pouces Du c t tube vous pouvez commander aussi bien des dimesions m triques qu anglaises Sur demande nous sommes en mesure de livrer des ex cutions en laiton Filetage de vis tube N de N commande selon commande bague d tanch it DIN ISO 228 1 G 3 4 901549 901578 G 3 8 901556 901580 G 1 2 901557 901581 G 1 2 3 4 VA 901558 901581 G 3 4 3 4 VA 901559 901582 9 o Qs S ATTENTION Une bague d tanch it doit tre command e avec chaque raccord Vous trouverez d autres accessoires pour le raccordement fluidique des MFC MEM sous le type 1013 du catalogue d accessoires B rkert Pi ces de rechange D signation N de commande Tamis acier inoxydable pour 8626 8006 et 8716 870
10. 901577 G 1 2 901577 G 3 4 901578 G 1 4 901579 G 1 4 901579 G 3 8 901580 G 3 8 901580 G 1 2 901581 G 1 2 901581 G 3 4 3 4 VA 901559 901582 ATTENTION With each joint a sealing ring must be ordered Further accessories for the fluidic connection of the MFC MFM can be found under Type 1013 in Burkert Accessory Catalog Spare parts Designation Stainless steel grid for 8626 8006 and 8716 8706 646808 standard housing Stainless steel grid for 8626 8006 and 8716 8706 AF60 housing 651694 Stainless steel grid for 8712 8702 654733 36 MFC MFM burkert APPENDIX C MassFlowCommunicator PC SOFTWARE The PC program MassFlowCommunicator is designed for communication with the devices from B rkert s MassFlowController faily It is used for configuration readout and writing of various parameters NOTE The program works on the Windows platform and requires a serial interface RS 232 for communication with the MassFlowControllers or MassFlowMeters g ATTENTION H 9 With the types 8710 and 8700 a RS232 adapter with interface driver is required see Accessories in Appendix A With the aid of this program various settings can be made e Read out of device specific information e Changing of configuration of binary inputs and outputs e Changing of LED function configuration e Activation of various functions and configuration of inputs and outpu
11. Kumcheon ku Seoul 153 811 Korea Phone Int 82 2 3462 5592 Nat 02 3462 5592 Fax Int 822 3462 5594 Nat 02 3462 5594 BC MAL Malaysia Malaysia Burkert Contromatic Singapore Pte Ltd Representative Office c o TBP 222 Jalan Baru 137000 Perai Penang Malaysia Phone Int 60 04 398 24 10 Nat 04 398 24 10 Fax Int 60 04 398 21 82 Nat 04 398 21 82 BC RC Taiwan Taiwan Burkert Contromatic Taiwan Ltd 3 F No 475 Kuang Fu South Road Taipei Taiwan R O C Phone Int 886 2 275 831 99 Nat 02 275 831 99 Fax Int 886 2 275 824 99 Nat 02 275 824 99 BC RP Philippines Philippinen Burkert Contromatic Inc 8467 West Service Rd km 14 South Superhighway Sunvalley Paranaque City Metro Manila Philippines Phone Int 63 2 776 43 84 Nat 02 776 43 84 Fax Int 632 776 43 82 Nat 02 776 43 82 BC SIN Singapore Singapur Burkert Contromatic Singapore Pte Ltd 51 Ubi Avenue 1 03 14 Paya Ubi Industrial Park Singapore 408933 Singapore Phone Int 65 6844 2233 Nat 6844 2233 Fax Int 65 6844 3532 Nat 6844 3532 BC AUS Australia Australien Burkert Contromatic Pty Ltd Unit 1 No 2 Welder Road Seven Hills NSW 2147 Australia Phone Int 61 2 9839 4800 Nat 02 9839 4800 Fax Int 61 2 9674 6167 Nat 02 9674 6167 BC NZ New Zealand Neuseeland Burkert Contromatic Ltd 2A Unit L Edinburgh Street Penrose Auckland New Zealand Phone Int 64 9 622 28 40 Nat 09 622 28 40 Fax Int
12. d s janv 2003 8006 MFM se Inline pour appareils d s janv 2003 8716 MFC m Inline 1500 Inline S 02 50 Bypass CMOSens 8700 MFM 0 05 20 Bypass Standard fran ais 1 Observer cet effet les recommandations relatives aux types 8626 8006 dans le chapitre Brochage des connecteurs type 8626 8006 2 CMOSens est une marque d pos e de la soci t Sensirion SA Suisse Fonctionnement g n ral Les MFC du type 8626 8716 8712 et 8710 sont des appareils compatibles dont la fonction et de contr ler le d bit massique de gaz Ils assurent la r gulation en fonction d une consigne de d bit pr d termin e ind pendamment des grandeurs perturbatrices telles que fluctuations de pression ou r sistance l coulement variable dans le temps r sultant par exemple du colmatage d un filtre Les MFC coniennent les composants suivants capteur de d bit Q Sensor l lectronique assurant les fonctions de traitement du signal de r gulation et de commande de la vanne et une lectrovanne proportionnelle constituant l organe de r glage EE N i gi NT _ I y 1 it 1 H 1 w h Xj W X 1 y 1 l i x R gulateur I 1 pe d I r Organe de 1 CapteurQ A i p r glage i 1 Figure Composants d un Mass Flow Controller MFC MFM 81 ID Q Qn burkert La d finition de la consige w s effectue lectriquement v
13. le coefficient k n cessaire du MFC et par cons quent le diam tre nominal de l organe de r glage Ce facteur se r v lera plus grand qu en l absence d autres r sistances l coulement Le coefficient dit autorit de vanne y AP vo ky Ap k gt k Ze S est important pour le comportement de r gulation du MFC dans l installation Il ne devrait pas tre inf rieur une valeur de 0 3 a 0 5 9 On S Importance des symboles Ke Coefficient de d bit de l installation avec MFC int gr Kia Coefficient de d bit de l installation sans MFC int gr peut tre d termin en court circuitant la conduite sur le lieu de montage du MFC Ky Coefficient de d bit du MFC avec organe de r glage compl tement ouvert en m h Py Densit du fluide en kg m dans le conditions normalis es 1013 mbar 273 K 1 Temp rature du gaz en K D D Pression absolue en bar avant et apr s le MFC AP P P Q x D bit maximum travers la vanne en l min Qem D bit nominal du MFC en l min dont la r gulation est assur e avec une valeur de consigne de 100 Ap Perte de charge de l installation compl te Ap Part de la perte de charge d volue au MFC avec vanne compl tement ouverte 88 MFC MFM burkert REMARQUE L installation ne doit pas tre dimensionn e trop chichement sur la base du coefficient de d bit k pour que la majeure partie de la perte de charge disponibl
14. one first determines from the desired nominal flow rate Q m and the pressures p and p the minimum flow coefficient of the overall system Kee Via the relationship if fa ft 3 Kyges k Vs k Va which describes series connection of the resistances of the MFC k and the system k one can determine with known k the required k value of the MFC or the nominal diameter of the servo element This will be greater than if the other flow resistances were not present The so called valve authority y AP vo ko Ap kk T ky 4 is important for the control characteristics of the MFC in the system It should not be less than 0 3 0 5 Meaning of the symbols in the equations Ke flow coefficient of the system with MFC installed k flow coefficient of the system with MFC not installed to be determined by short circuiting the piping at the point of installation ky flow coefficient of the MFC with fully opened servo element in m h Py density of the medium in kg m under standard conditions 1013 mbar 273 K Ti temperature of the gas in K D D absolute pressures in bar before and after the MFC Ap p P Q maximum flow rate of the valve in I min max Q maximum flow rate of the MFC in l min when correction to 100 of nenn the setpoint has been made Ap pressure drop over the entire system Ap fraction of the pressure drop occurring over the MFC with the valve full
15. siehe Kapitel blinkt nur bei Standard Regelbetrieb oder Betriebszust nde Defaultbelegung Autotune ERROR LED weniger schwerwiegender Wiederholen Sie die leuchtet Fehler aufgetreten Autotune oder setzen Sie Letzte Autotune nicht den Fehler durch Reset erfolgreich abgeschlossen zur ck ein Defekt an einer LED Bei Fehler an LED oder wurde nicht erkannt Bin rausgang ist ein einge schr nkter Betrieb m glich ERROR LED blinkt Restwelligkeit der Versor W hlen Sie die entsprechen gungsspannung zu hoch de Spannungsquelle keine technische Gleichspannung schwerwiegender Fehler Senden Sie das Ger t zur z B Sensorbruch oder Fehlerbehebung an den Fehler in interner Hersteller Spannungsversorgung kein Durchfluss Sollwert innerhalb der Erh hen Sie den Sollwert auf vorhanden Nullpunktabschaltung gt 2 von Qem anderer Betriebszustand Pr fen Sie den Betriebszustand Fortsetzung der Tabelle siehe n chste Seite MFC MFM 71 burkert Problem atche Ursache i Verbinden Sie FE mit dem Erdepunkt m glichst kurz Ader min 2 5 mm Schalten Sie einen geeigneten Druckregler vor Kein ordnungsgem er FE Anschluss Regler muss standig St rungen einer instabilen Druckversorgung nachregeln Restwelligkeit der Ver Wahlen Sie die passende sorgungsspannung zu hoch Spannungsquelle Betriebsdruck liegt weit ber F hren Sie eine Autotune zur dem Druck bei dem die Anpassung an die Bet
16. u ccsccscssssesssssssssssssnttttttsttnttntennnets 98 Raccordements lectriques EE Brochage des connecteurs type 8626 8006 Brochage des connecteurs type 8716 8706 Brochage des connecteurs type 8712 8702 Brochage des connecteurs type 8710 8700 uneeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeneeeeeenenennnn SE E Entr e de la valeur de consigne Sortie de la variable instantan e Branchement de bus Diodes luminescentes pour l affichage des tats op rationnels dispositions d DAS mers A Ts te 104 Entr es binaires configuration par d faut eeeeeeeeeeee 104 A Sorties binaires configuration par d faut nn 105 N Modes op rationnels du MFC EE E Mode de r gulation standard g Routine Autotune Fonction de s curit Selen E EE Mode de commande ENTRETIEN DEPANNAGE LOCALISATION DES DEFAUTS eeeeeennn 109 ANNEXE A ACCESSOIRES ELECTRIQUES eeeeeeenn 111 ANNEXE B ACCESSOIRES FLUIDIQUES AAA 112 ANNEXE C MassFlowCommunicator LOGICIEL PC 113 78 MFC MFM burkert REMARQUES GENERALES a E Symboles de repr sentation Les symboles de repr sentation suivants sont utilis s dans ces instructions de service d signe une tape de travail devant tre ex cut e ATTENTION d signe une mise en garde dont l inobservation pourrait mettre en danger votre sant ou l int grit REMARQUE d signe des informations suppl mentaires c
17. 10 bar depending on nom valve diameter operating gas or air 10 to 70 C 10 to 55 C Measurement precision 1 5 of measurement 0 5 of full scale after 1 min warm up 1 0 of full scale Reproducibility 0 5 of full scale 1 50 24 V DC 10 residual ripple lt 5 min 0 25 mm better 0 5 mm Power consumption max 7 5 W Type 8710 2 5 W Type 8700 no Setpoint setting 0 10V to be chosen 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Resolution 2 5 mV or 5 HA Input impedance gt 300 kOhm voltage input Input impedance lt 200 Ohm current input low activated connect to GND to activate Process value output 0 10V to be chosen 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Resolution 10 mV or 20 pA max current volt outp 10 mA max burden curr outp 600 Ohm potential free changeover 25 V 1 A 25 VA 15 pole SUB D socket IP 50 Housing cover material stainless steel 1 4305 sheet steel chrome plated Installation position horizontal or vertical 18 MFC MFM burkert ASSEMBLY INSTALLATION AND COMMISSIONING Dimensional drawings 94 5 1114 En T Fig Type 8626 8006 MASS FLOW INLINE
18. 852 248 012 02 Nat 248 012 02 Fax Int 852 241 819 45 Nat 241 819 45 BC CN China China Burkert Contromatic Suzhou Co Ltd 9 2 Zhu Yuan Road New District Suzhou Jiangsu 215011 Peoples Republic of China Phone Int 86 512 6808 19 16 Nat 512 6808 1916 Fax Int 86 512 6824 5106 Nat 512 6824 5106 BC CN China China Burkert Contromatic China HK Ltd Shanghai Rep Office Room 1313 No 103 Cao Bao Road Shanghai 200233 Peoples Republic of China Phone Int 86 21 6427 1946 Nat 21 6427 1946 Fax Int 86 21 6427 1945 Nat 21 6427 1945 BC CN China China Burkert Contromatic China HK Ltd Beijing Office Room 808 Jing Tai Building No 24 Jianguomen Waidajie Beijing 100022 Peoples Republic of China Phone Int 86 10 6515 65 08 Nat 10 6515 65 08 Fax Int 86 10 6515 65 07 Nat 10 6515 65 07 BC CN China China Burkert Contromatic China HK Ltd Cheng Du Rep Office Room 502 Fuji Building No 26 Shududadao Dongfeng Street Chengdu Peoples Republic of China Phone Int 86 28 443 1895 Nat 28 443 1895 Fax Int 86 28 4451341 Nat 28 445 1341 BC CN China China Burkert Contromatic China HK Ltd Guangzhou Rep Office Room 1305 Tower 2 Dong Jun Plaza 828 836 Dongfeng Road East Guangzhou Peoples Republic of China Phone Int 86 20 876 058 02 Nat 20 876 058 02 Fax Int 86 20 876 049 79 Nat 20 876 049 79 BC KOR Korea Korea Burkert Contromatic Korea Co Ltd 287 2 Doksan 4 Dong
19. 8710 8700 Measurement is also on the bypass principle A laminar flow element in the main channel generates a small pressure drop This drives a small flow proportional to the main flow through the actual sensor tube On this narrow tube are wound two heater resistors which are connected in measuring bridge In the zero flow state the bridge is balanced but with finite flow heat is transported in the flow direction and the bridge becomes unbalanced sensor tube prefilter laminar flow element Fig Schematic diagram of bypass measurement The dynamics of the measurement are determined by the tube walls which act as a thermal barrier They are hence significantly poorer on principle than with sensors having resistors placed directly in the medium flow Through use of suitable software in the controller correction times are obtained that are adequate for a large part of the applications in the range of a few seconds With contaminated media we recommend installing filter elements upstream This avoids changes in the division ratio between main flow and sensor tube as well as changes in the head transmission chaused by deposits on the walls With these sensors even aggressive gases can be controlled since all essential parts in contact with the medium are fabricated in stainless steel MFC MFM 9 burkert Control electronics Processing of the setpoint and actual flow signals and drive of the actuator are carried
20. Ces capteurs permettent aussi d assurer la r gulation de gaz corrosifs car toutes les pi ces importantes en contact avec le gaz sont en acier inoxydable MFC MFM 85 burkert Electronique de r gulation Le traitement des valeurs de consigne et des d bits instantan s ainsi que le pilotage de l organe de r glage sont ex cut s par une lectronique microprocesseurs Le signal du capteur est filtr par l lectronique du r gulateur puis est converti en une valeur refl tant le d bit instantan l aide de la courbe d talonage m moris e dans l appareil Afin de pouvoir galement assurer la r gulation de processus critiques ne tol rant aucune variation rapide de d bit il est possible d activer une fonction de rampe par l interm diaire du logiciel MassFlowCommunicator voir l annexe C Les param tres pour une valeur de consigne ascendante et descendante sont alors r glables s par ment Se reporter la documentation du logiciel pour de plus amples informations concernant la fonction de rampe Ecart de r glage Ecart de r glage u Valeur de consigne Variable instantan e xd w x L cart de r glage est trait selon un alogrithme de r gulation PI Les param tres de r glage sont r gl s en usine en fonction des types Pour tenir compte des propri t s du syst me r gl le r gulateur travaille avec des facteurs d amplification sp cifiques Ceux ci sont automatiquement d finis lors de l acti
21. MFM burkert Connection configuration Type 8626 8006 9 pole Sub D socket bus version only Shield FE functional earth DN N C not connected CAN L data line RxD TxD P B line GND RTS control signal for repeater N C D GND data transmission potential N C VDD e supply voltage P5V Feb CAN H data line 8 RxD TxD N A line N C one Ir PROFIBUS DP DeviceNet 15 pole Sub HD socket Analog drive Bus version 1 Setpoint input N C NC 3 Process value input N C 4 Binary input 2 5 12 V output for factory unse only 6 RS232 TxD direct connection to PC 7 Binary input 1 24V supply 8 DGND for binary inputs Relay 1 centre contact 9 For factory use only do not connect Relay 2 centre contact 10 12 V output for factory use only Relay 1 break contact 11 12 V output for factory use only Relay 1 make contact 12 Binary input 3 24V supply GND 13 Process value output GND N C Relay 2 make contact 14 RS232 RxD direct connection to PC Relay 2 break contact 15 DGND for RS232 interface NOTE If a device of Type 8626 8006 built before 2003 is to be replaced by a new one from 2003 on this can be done by using an adapter see Appendix A without additional cabling A MFC MFM 23 burkert Connection configuration Type 8716 8706 9 pole Sub D socket bus version only PROFIBUS DP DeviceNet
22. Prise 15 p les SUB D IP 50 Acier inoxydable 1 4305 t le d acier chrom e Position de montage horizontale ou verticale 94 MFC MFM burkert MONTAGE INSTALLATION ET MISE EN SERVICE Dessins cot s fran ais 10 Figure Type 8712 8702 MASS FLOW CMOSens MFC MFM 95 burkert E g O lee a 10 a0 Sea Figure Type 8710 8700 MASS FLOW Bypass Standard Recommandations g n rales pour l installation et la mise en sericve Avant l installation observer les points suivants Pr voir en amont des filtres appropri s afin de garantir la propret du fluide de service Observer la position de montage voir les donn es d talonnage Pr voir une unit d alimentation d une puissance suffisante Observer l ondulation r siduelle de la tension de service Avant le montage du MFC liminer toute impuret des tuyaux ID Q Qn Lors de la mise en service d un MFC MFM proc der da
23. The device is in an operating mode other than control or Autotune blue ERROR LED lights Not a serious error e g Autone not completed successfully or faulty LED flashes Serious error e g sensor breakage or faulty internal voltage supply red Binary inputs default configuration In order to initiate the event in each case the binary input must be connected for at least 0 5 s to DGND Functions Binary input 1 Autotune function not configured with MFM Binary input 2 not configured Binary input 3 not configured not present with 8710 00 28 MFC MFM burkert Binary outputs default configuration The binary outputs are executed as realy outputs potential free changeover contacts Functions Relay 1 LIMIT y Relay 2 ERROR serious error e g sensor breakage or faulty internal voltage supply not present with 8710 00 NOTE The functions of the LEDs POWER and ERROR LEDs unchangeable standard signal inputs and outputs and the binary inputs and outputs are settings as delivered Other functions may be set with the communication software MassFlowCommunicator see Appendix C Operating modes of the MFC can be interrupted LED display Reaching the operating or ended by of default status via binary input if configured Autotune routine Safety function Setpoint profile Control operation Control Autotune routine LIMIT y LED as long as activated operat
24. arranged symmetrically upstream and downstream of the heater When the heating resistor is fed with a constant voltage the voltage difference between the temperature sensors is a measure of the mass flow of the gas flowing in the channel over the chip gas flow sensor element heater T sensors Fig Schematic diagram of the bypass sensor in CMOSens technology The cross section of the flow channel is small enough that an adequate measurement signal is generated already at flow rates of less than 1 em min The upper measurement limit is reached when the originally laminar flow in the channel becomes turbulent Higher flow ranges can be obtained by placing a bypass element in a larger channel which is connected in parallel When the division ratio remains constant measurement of the partial flow after suitable calibration allows the total flow to be calculated The low thermal mass of the temperature sensors and their direct contact with the flow apart from a protective layer result in a very fast reaction of the sensor signal to spontaneous changes int he flow In this way the MFC can compensate changes in the setpoint or process value within a few 100 ms Moreover the sensor has a high sensitivity down to the smallest flow rates as well as additional correction and diagnostic possibilities via the signal from a further temperature sensor on the chip 8 MFC MFM burkert Bypass sensor in conventional technology Types
25. avec une dynamique lev e Les perturbations suite par exemple des fluctuations de pression sont corrig es rapidement par une adaptation de l ouverture de la vanne de r gulation Dans ce mode la valeur de consigne est fix e selon la variante d appareil via l entr e analogique entr e de signal normalis e ou via le bus de terrain Les param tres de r gulation sont d finis de mani re compenser aussi rapidement que possible les modifications de valeur de consigne ou les perturbations sans produire de suroscillations notables REMARQUE Lorsque le signal pilote de la vanne de r gulation s approche de la limite de 100 la LED Limit y s allume La cause provient g n ralement d une pression diff rentielle insuffisante travers le MFC suite par exemple une pression d alimentation trop faible ou du colmatage du filtre Il peut en r sulter que la valeur de consigne ne puisse pas tre atteinte ou qu il subsiste un cart de r gulation positif w x Afin de permettre une r action externe une sortie relais est commut e ID Q Qn Routine Autotune La condition a assurer pour une adaptation automatique du r gulateur a l installation est le respect de rapports de pression normaux D clencher la routine Autotune en activant l entr e binaire 1 La routine Autotune se d roule automatiquement Durant son ex cution la LED verte POWER clignote H ATTENT
26. devrait galement tre ex cut e apr s une modification notable du rapport de pression Fonction de s curit Selon la configuration de l appareil cette fonction peut tre activ e et d sactiv e via une entr e binaire ou le bus de terrain Dans ce mode l appareil se comporte g n ralement comme dans le mode de r gulation normal Toutefois une valeur de consigne appliqu e de l ext rieur est alors ignor e tandis qu une valeur de s curit par d faut 0 modifiable avec le logiciel MassFlowCommunicator est utilisable comme consigne Profil de consigne Selon la configuration de l appareil cette fonction peut tre activ e et d sactiv e via une entr e binaire ou le bus de terrain fran ais Dans ce mode l appareil se comporte comme dans le mode de r gulation normal Toutefois une valeur de consigne ext rieure est alors ignor e tandis qu une succession pr d finie de jusqu 30 valeurs de d bit est adopt e comme valeur de consigne configurable avec le logiciel MassFlowCommunicator Apr s le cycle de consignes l appareil retrouve le mode op rationnel pr c dent Mode de commande Selon la configuration de l appareil cette fonction peut tre activ e et d sactiv e via une entr e binaire ou le bus de terrain Dans ce mode la valeur de consigne est utilis e comme variable de sortie pour la commande de la vanne Exemple consigne 10 gt rapport de commande de la vanne 10
27. eine werksseitige Reinigung und Neukalibrierung erforderlich ACHTUNG z H Das Ger t darf nicht ge ffnet werden Im Inneren des Ger tes befinden sich weitere Elemente zur Str mungs konditionierung Ein Eingriff in das Ger t z B um zu reinigen ist nicht zul ssig da die daraus resultierenden nderungen des Sensorsignals eine werksseitige Neukalibrierung erforderlich machen Eine Neukalibrierung sollte nur im Werk durchgef hrt werden da sie sehr genaue Durchflussnormale sowie eine digitale Kommuni kation erfordert EN HINWEIS 70 MFC MFM burkert STORUNG FEHLERSUCHE m gliche Ursache Abhilfe POWER LED Be Sie die elektrischen leuchtet nicht Anschl sse Betreibszust nde POWER LED Spannungsversorgung bricht W hlen Sie die Spannungs erlischt periodisch periodisch zusammen versorgung mit ausreichender Ger t f hrt Reset aus Leistung zu hoher Verlust auf der Vergr ern Sie den Kabel Anschlussleitung querschnitt Verringern Sie die Kabell nge LIMIT y LED MFC Stellgr e des Ventils Erh hen Sie den Versor leuchtet nur bei hat nahezu 100 erreicht gungsdruck Sollwert kann nicht berpr fen und verringern ausgeregelt werden Sie ggf die Leitungs widerst nde berpr fen Sie die Anlagen auslegung siehe Kapitel Proportionalventil MFM Istwert hat nahezu Nenndurchfluss erreicht LIMIT y LED anderer Betriebszustand als
28. enthalten die einzelnen Typen Sensoren mit drei verschiedenen Varianten thermischer Durchfluss messung Diese werden nachfolgend in ihrer Funktion und den resultierenden Eigenschaften kurz beschrieben HINWEIS Bitte ber cksichtigen Sie dass sich die relativen Empfindlichkeiten f r verschiedene Gase bei den drei Messprinzipien unterscheiden und eventuell vorliegende Korrekturfaktoren von einem Betriebsgas auf ein anderes keinesfalls zwischen den Sensorvarianten bertragbar sind Die blicherweise zur Messbereichscharakterisierung verwendeten Einheiten Iy min oder m h sind zwar von der Dimension Volumen Zeit wegen des Bezugs auf einen Normzustand hier p 1013 mbar und T 273 K handelt es sich aber eigentlich um gasartspezifische Massenstr me Diese k nnen z B in kg h durch Multiplikation des Normvolumenstroms mit der Dichte des Betriebsgases im Normzustand p erhalten werden 44 MFC MFM burkert Inline Sensor Typen 8626 8006 8716 8706 Dieser Sensor arbeitet als Hei film Anemometer im sogenannten CTA Betriebs modus Constant Temperature Anemometer Dabei sind zwei direkt im Medien strom befindliche Widerst nde mit pr zise spezifiziertem Temperaturkoeffizienten und drei au erhalb der Str mung befindliche Widerst nde zu einer Br cke ver schaltet Der erste Widerstand im Medienstrom R misst die Fluidtemperatur der zweite niederohmigere Widerstand R wird stets gerade soweit au
29. extent independently of pressure and temperature variations in the respective application The MFMs in contrast to the corresponding MFCs do not have a proportional valve so that these devices can only be used to measure the mass flow and not to control it The characteristics of the other components described in the following in particular the sensors are identical with those of the MFCs Sensor Thermal measurement principle The flow sensors employed work on a thermal anemometer measurement principle They measure in each case the product of density an flow velocity and thus deli ver a signal related to the quantity of material flowing For most applications the relevant quantity mass flow is directly determined thereby without additional measurement of secondary quantities such as density and the signal can be further processed in the controller as the process value Depending on the flow rate range and the intended market for the devices the individual types contain sensors with three different variants of flow rate measurement In the following the functioning and associated characteristics of these sensors are briefly described NOTE Please take into account that the relative sensitivity for different gases differs for the three measurement principles and any correction factors existing for one operating gas to another are in no case transferable between sensor variants It is true that the units generallly used f
30. field bus depending on the device configuration In this operating mode the setpoint is used as the starting value for the valve pulse duty factor e g Setpoint 10 valve pulse duty factor 10 MFC MFM 31 burkert MAINTENANCE The MFC and MEM are in principle maintenance free when operated according to the notes given in these Instructions so that routine recalibration is unnecessary If after prolonged operation with contaminated medium large quantities of particles were drawn in with Types 8626 8006 8716 8706 8712 and 8702 the easily accessible stainless steel filter can be cleaned or replaced after removing the flange plate on the inlet side see Appendix B In the case of Types 8710 and 8700 this is not possible since the prefilter forms a constructional unit with the flow division insert If the sensor is contaminated by the operating gas the device may exhibit large deviations from the required flow after prolonged operation Cleaning and recalibration in the factory will then be necessary ATTENTION z The device must not be opened Inside the device there are further elements for flow conditioning Interference with the device e g for cleaning is not permitted since the resulting changes in the sensor signal would require recalibration in the factory requires very precise flow standards and a digital communication EN NOTE Recalibration should be performed
31. manufacturer for repair voltage supply Setpoint within zero point Increase setpoint to gt 2 of switch off Qom Different operating mode Check the operating mode Table continued on the next page MFC MFM 33 Problem Process value varies Controller tends to oscillate Setpoint value w 0 flow still present after a few seconds Setpoint value w 0 valve closed no flow but process value output shows a small flow Controller shows strong overswing starting after a step in the setpoint of 0 In the case of flame control the flame extinguishes after a step in the setpoint burkert Possible cause Remedy No porper FE connection Connect the FE to the earthing point as short as possible wires min 2 5 mm Controller must continuously Install a suitable pressure correct disturbances in an regulator upstream unstable pressure supply Residual ripple of supply Select a suitable voltage voltage too high source Operating pressure lies far Execute an Autotune to adapt to above that at which the last the operating conditions Autotune was executed Control parameters do not Adapt the control dynamics with correspond to the section the PC software behaviour MassFlowCommunicator A medium is being used Return the device to the other than that intended on manufacturer for recalibration calibration for the operating medium Residual ripple of supply Select a suit
32. only in the factory since it H 32 MFC MFM burkert MALFUNCTION TROUBLESHOOTING Problem Possible cause Besch POWER LED No electrical supply Check the electrical does not light connections POWER LED Autotune activated see Section flashes Operating Modes POWER LED Voltage supply collapses Select a power supply with periodically device adequate power executes reset Loss on the connecting line Increase cable cross section too high Decrease cable length LIMIT y LED MFC correcting variable of Increase the supply lights only with valve has reached almost pressure default configuration 100 cannot correct to Check and if necessary setpoint lower the piping resistance Check system dimensioning see Section Proportional Valve MFM process value has almost reached nominal flow rate LIMIT y LED Operating mode other than see Section flashes only with standard control operation or Operating Modes default configuration Autotune ERROR LED lights Less serious error has Repeat the Autotune or reset occurred the error Last Autotune was not With errors at LED or binary completed successfully output limited operation is A fault at an LED was not possible detected ERROR LED Residual ripple of supply Select a suitable voltage flashes volate too high source not industrial DC Serious error e g sensor Send the device to the breakage or faulty internal
33. operation in a system it is not absolutely necessary to initiate this function again after commissioning We recommend renewed initialization if the operating pressure deviates by serveral bar from the calibration pressure or if the characteristic curve of the proportional valve is heavily influenced by a low valve authority see Proportional Valve The Autotune routine should also be executed after significant changes in the pressure conditions in the system Safety function This function can be activated or reset via a binary input or field bus depending on the device configuration In this operating mode the device behaves in general as in standard control operation However an externally applied setting is ignored and a defined safety value is used as the setpoint on default 0 this can be changed with the PC software MassFlowCommunicator Setpoint profile This function can be activated or reset via a binary input or field bus depending on the device configuration In this operating mode the device behaves in general as in standard control operation However the external setting is ignored and a previously definded temporal sequence of up to 30 flow rates is used as the setpoint configuration with the PC software MassFlowCommunicator After completion of the setpoint sequence the device returns to the previous operating mode Control operation This function can be activated or reset via a binary input or
34. or the filter is heavily contaminated This can lead to non achievement of the setpoint and an enduring positive actuating signal w x To enable an external reaction to be made to this situation a relay output is actuated in addition Autotune routine A prerequisiste for the automatic adaptation of the controller to the conditions in the system is that the typical pressure conditions pertain gt Initiate the Autotune routine by operating the binary input 1 The Autotune routine runs automatically During this operation the green POWER LED flashes H ATTENTION Observe the following points while the Autotune routine runs Various changes in flow occur The power supply of the MFC must not be switched off The supply pressure should be kept constant While the Autotune routine runs the MFC does not control The control valve is driven according to an internally specified scheme This leads to flow changes whereby some of the control parameters are adapted to the conditions pertaining in the system At the end of the Autotune routine these parameters are stored in the non volatile memory of the device After completion of the Autotune routine the MFC returns to the previous operating mode 30 MFC MFM burkert ES NOTE Each MFC has been subjected to the Autotune routine in the factory during final testing at the operating pressure stated in the calibration report For reliable control
35. out by a microprocessor The sensor signal is filtered by the control electronics and with the aid of the calibration curve stored in the device converted to a value corresponding to actual flow rate In order that critical process in which too great a flow change is not permitted can also be controlled a ramp function can be activated via the software MassFlowCommunicator see Appendix C Here the parameters for rising and sinking setpoinds can be set separately Further details on the ramp function can be taken from the software documentation Actuating signal actuating signal setpoint process value xd w x The actuating signal is processed according to a PI algorithm The control parameters are set in the factory according to type In order to take into account the characteristics of the controlled member the controller works with member dependent amplification factors During the running of the Autotune routine these are determined automatically In the device a parameter is stored with which the control dynamics can be altered with the software MassFlowCommunicator Its extreme values correspond on the one hand to very rapid correction whereby overswing is possibly accepted and on the other hand to a slow asymptotic correction to the desired flow rate The first can lead to immediate reaction of the controller to very small actuating signals whereby the control can become very unsteady With less dynamic processe
36. socket D Setpointinput Nc 2 sepontinnuenn NC 3 Process value mut NC Binary input 2 12 V output for factory unse only RS232 TxD direct connection to PC Binary input 1 DGND for binary inputs For factory use only do not connect 12 V output for factory use only 12 V output for factory use only Binary input 3 24V supply GND Relay 2 make contact Relay 2 break contact Process value output GND N C RS232 RxD direct connection to PC DGND for RS232 interface MFC MFM 25 burkert Connection configuration Type 8710 8700 15 pole Sub D plug Relay output break contact Relay output make contact Relay output centre contact 24V supply GND 24V supply 8V output for factory use only Setpoint input GND Setpoint input Process value output GND Process value output GND for binary inputs Binary input 1 Binary input 2 For connection of a PC via adapter only see accessories in Appendix A iloalocioltiolu r w n ON 14 15 26 MFC MFM burkert Inputs outputs Overview of types Type Process BUS LED Binary Relay input value output connection inputs outputs 8700 1 8710 X gt gt EC se 8 a pal 18712 x x ja THREE x 41 E se E E E ee a 8716 x x 47 Fee HE CHE BEE ee Es ae BE SIS SIS gt x Boo Bus eege LI 1 no electri
37. sont mis en danger par le contact avec des personnes ou objets charg s lectrostatiquement Au pire ATTENTION ils seront imm diatement d truits ou se r v leront PRUDENCE EN MANI defaillants au moment de la mise en service PULATION COMPOSANTSET Tenir compte des exigences selon EN 100 015 1 pour SOUS GROUPES SONT Minimiser ou viter le risque d un dommage caus par une MIS EN DANGER PAR SUbite d charge lectrostatique Veiller galement ne pas CHARGES toucher les composants lectroniques proximit LECTROSTATIQUES imm diate de la tension d alimentation MFC MFM 79 fran ais burkert Fourniture Contr ler d s r ception de l envoi que le contenu n a subi aucun dommage et qu il correspond bien la fourniture sp cifi e Celle ci comprend g n ralement e MFC ou MFM type 8626 8006 ou 87xx e les instructions de service sur papier le cas ch ant sur support de donn es e pour les appareils bus instructions de service compl mentaires le cas ch ant sur support des donn es e le proc s verbal de contr le final talonnage Les connecteurs correspondant aux interfaces lectriques du MFC sont livr s comme accessoires En cas de non concordance s adresser imm diatement notre service apr s vente B rkert Steuer und Regelungstechnik Centre clients Chr B rkert Str 13 17 D 76453 Ingelfingen Tel 07940 10111 ou votre succursale B rkert ID Q Q
38. that the specified conditions fo use are complied with I H ATTENTION Use as intended includes in particular adequate medium quality Media that are heavily contaminated or contain particulates are detrimental to precision if liquid phases enter the sensor chamber the function of the sensor and the MFC MFM may be impaired In these cases a suitable maintenance unit filter liquid separator must be installed upstream of the MFC MFM If the device does not function perfectly it will be repaired or exchanged within the warranty term free of charge H ATTENTION The warranty extends only th the MFC or MFM and its components not however to consequential damage of any kind caused by failure or malfunction of the device 4 MFC MFM burkert SYSTEM DESCRIPTION Type systematics These Operating Instructions contain information for the following Mass Flow Controllers MFC and Mass Flow Meters MFM from the B rkert product range Type Type End value range no Qom ly mMin referred to air n Remarks for devices from Jan 2003 for devices from Jan 2003 8706 8712 MFC 0 02 50 Bypass CMOSens 8710 MFC 0 05 30 Bypass standard 8700 MFM 0 05 30 Bypass standard 25 8006 25 1500 25 25 1 Please observe in this connection the note on the device types 8626 8006 in the section Connection Configuration T
39. volt inp Input impedance curr inp 3 binary inputs Process value output to be chosen Resolution max current volt outp max burden curr outp 2 relay outputs Connections Type of protection Housing material Cover material Installation position operating gas or air 10 to 70 C 10 to 45 C 1 5 v M 0 5 of full scale 1 0 of full scale 0 5 of full scale 1 50 lt 500 ms 24 V DC 10 residual ripple lt 5 min 0 5 mm 20 W max 30 W Type 8716 dep on valve 22 5 W max 32 5 W Type 8716 bus dep on valve 10 W Type 8706 12 5 W Type 8706 bus yes 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 2 5 mV or 5 pA gt 20 kOhm lt 300 Ohm low activated connect to DGND to activate 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 10 mV or 20 pA 10 mA 600 Ohm potential free changeover 60 V 1 A 60 VA 8 pole socket 15 pole SUB HD socket 9 pole SUB D socket bus version only IP 65 with the specified plug connectors aluminium anodized or stainless steel 1 4305 PPS GF horizontal or vertical 16 MFC MFM burkert Type 8712 8702 MASS FLOW CMOSens Full scale Qem 0 02 to 50 l min reference medium N Operating media max operating pressure Calibrating medium Medium temperature Ambient temperature Measurement precision after 1 min warm up Linearity Reproducibility Measurement range Floating time T Operating voltage Connection cross
40. wird k gt gt Kya dass ber den MFC nur noch der geringe verblei bende Rest des Druckes abf llt Dann wird die Ventilautorit t zu klein und nur ein geringer Teil des Arbeitsbereiches des Ventils genutzt Das kann die Aufl sung und die Regelg te im allgemeinen stark beeintr chtigen Bei zu knapper Auslegung der Anlage hilft nicht die Erh hung der Nennweite des MFC Ventils sondern vielmehr entweder eine Erh hung des Vordrucks bzw eine Vergr erung des k Wertes z B durch gr ere Rohrdurchmesser mit der die Ventilautorit t im zul s sigen Bereich gehalten wird Wenn das Ger t innerhalb des spezifizierten Druckbereichs betrieben wird ber nimmt das Proportionalventil gleichzeitig mit der Regelfunktion auch die Dicht schlie funktion MFC MFM 51 burkert TECHNISCHE DATEN Umweltpr fungen Temperaturwechsel nach EN 60068 2 14 Nb und EN 60068 2 33 Feuchte W rme nach EN 60068 2 38 Z AD Schocken nach EN 60068 2 27 Schwingen nach EN 60068 2 6 IP Schutzart nach EN 60529 Freifallen nach EN 60068 2 32 UPS Falltest nach DIN ISO 2248 und DIN ISO 2206 Elektromagnetische Vertr glichkeit EMV Alle Ger te sind CE konform f r den Bereich Industrie und haben die damit ver bundenen EMV Pr fungen nach EN 50081 2 03 94 Fachgrundnorm St raussendung Teil 2 Industriebereich EN 50082 2 02 96 Fachgrundnorm St rfestigkeit Teil 2 Industriebereich bestanden Kommunikatio
41. 0 Nat 0511 902760 Fax Int 49511 9027666 Nat 0511 9027666 Dortmund Holzener Stra e 70 58708 Menden Telefon Int 492373 96810 Nat 02373 96810 Fax Int 492373 968150 Nat 02373 968150 Frankfurt Am Flugplatz 27 63329 Egelsbach Telefon Int 496103 94140 Nat 06103 94140 Fax Int 496103 941466 Nat 06103 941466 Stuttgart Karl Benz Stra e 19 70794 Filderstadt Bernhausen Telefon Int 49711 451100 Nat 0711 451100 Fax Int 49711 4511066 Nat 0711 4511066 M nchen Paul Gerhardt Allee 24 81245 M nchen Telefon Int 4989 8292280 Nat 089 8292280 Fax Int 4989 82922850 Nat 089 82922850 Nord Holzener Stra e 70 58708 Menden Telefon Int 492373 968161 Nat 02373 968161 Fax Int 492373 968165 Nat 02373 968165 S d Christian B rkert Stra e 13 17 74653 Ingelfingen Telefon Int 497940 10586 Nat 07940 10586 Fax Int 497940 10428 Nat 07940 10428 The smart choice ET of Fluid Control Systems bu rkert ee ue Fluid Control Systems
42. 0 60 10 Nat 022 840 60 10 Fax Int 48 22 840 60 11 Nat 022 840 60 11 BC S Malm Sweden Schweden Burkert Contromatic AB Skeppsbron 13 B S 211 20 Malm Phone Int 46 40 664 51 00 Nat 040 664 51 00 Fax Int 46 40 664 51 01 Nat 040 664 51 01 BC S Farsta Sweden Schweden B rkert Contromatic AB Havs rnstorget 21 Box 1002 S 123 49 Farsta Phone Int via Malm Nat via Malm Fax Int 46 8 724 60 22 Nat 08 724 60 22 BC SA South Africa S dafrika Burkert Contromatic Pty Ltd P O Box 26260 East Rand 1462 Republic of South Africa Phone Int 27 11 397 2900 Nat 011 397 2900 Fax Int 27 11 397 44 28 Nat 011 397 44 28 BC SF B rkert Oy Atomitie 5 SF 00370 Helsinki Phone Int 358 9 549 706 00 Nat 09 549 70600 Fax Int 358 9 503 12 75 Nat 09 503 1275 BC TR Turkey T rkei Burkert Contromatic Akiskan Kontrol Sistemleri Ticaret A S 1203 8 Sok No2 E TR Yenisehir Izmir Phone Int 90 232 459 5395 Nat 0232 459 5395 Fax Int 90 232 459 7694 Nat 0232 459 7694 Triembach France Frankreich Burkert Cie S a r l Triembach au Val F 67220 Ville Phone Int 33 388 58 91 00 Nat 0388 58 91 00 Fax Int 33 388 57 09 61 Nat 0388 57 09 61 Finland Finnland Addresses of BC offices Adressliste BC L nder APAC BC HKG China Hong Kong Hongkong Burkert Contromatic China HK Ltd Unit 708 Prosperity Centre 77 81 Container Port Road Kwai Chung N T Phone Int
43. 6 20 W max 50 W Type 8626 dep on Valve 22 5 W max 52 5 W Type 8626 bus dep on valve 10 W Type 8006 12 5 W Type 8006 bus yes Setpoint setting 0 10V to be chosen 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Resolution 2 5 mV or 5 HA Input impedance gt 20 kOhm voltage input Input impedance lt 300 Ohm current input low activated connect to DGND to activate Process value output 0 10V to be chosen 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Resolution 10 mV or 20 pA max current volt outp 10 mA max burden curr outp 600 Ohm 2 relay outputs potential free changeover 60 V 1 A 60 VA Connections 8 pole socket 15 pole SUB HD socket 9 pole SUB D socket bus version only IP 65 with the specified plug connectors aluminium anodized or stainless steel 1 4305 aluminium diecasting painted horizontal or vertical Power consumption MFC MFM 15 burkert Type 8716 8706 MASS FLOW INLINE Full scale Q emn 25 to 15001 min reference medium N Operating media max operating pressure neutral non contaminated gases others on request 10 bar depending on nom valve diameter Calibrating medium Medium temperature Ambient temperature Measurement precision after 15 min warm up Linearity Reproducibility Measurement range Floating time T Operating voltage Connection cross section Power consumption Electrical isolation Setpoint setting to be chosen Resolution Input impedance
44. 6 APPENDIX C MassFlowCommunicator PC SOFTWARE 37 2 MFC MFM burkert GENERAL NOTES Symbols The following symbols are used in these operating instructions marks a work step that you must carry out ATTENTION marks notes on whose non observance your health or the functioning of the device will be endangered NOTE marks important additional information tips and recommendations ae Safety notes Please observe the notes in these operating instructions together with the conditions of use and permitted data that are specified in the data sheets of the Mass Flow Controller MFC or Mass Flow Meter MFM in order that the device will function perfectly and remain operable for a long time e Keep to standard engineering rules in planning the use of and operating the device e Installation and maintenance is only allowed by specialist personnel using suitable tools e Observe the current regulations on accident prevention and safety for electrical devices during operation and maintenance of the device e Before interfering with the system always switch off the voltage e Take suitable precautions to prevent unintended operation or damage by unauthorized action e On non observance of this note and unauthorized interference with the device we will refuse all liability and the guarantee on device and accessories will become void Protection from damage by electrostatic charging This devic
45. 6 bo tier standard 646808 Tamis acier inoxydable pour 8626 8006 et 8716 8706 bo tier AF60 651694 Tamis acier inoxydable pour 8712 8702 654733 112 MFC MFM burkert ANNEXE C MassFlowCommunicator LOGICIEL PC Le logiciel PC MassFlowCommunicator a t con u pour assurer les communications avec les appareils de la famille MassFlowController de la soci t B rkert Il est utilis pour la configuration la lecture et l criture de diff rents param tres REMARQUE Ce programme fonctionne sur une plate forme Windows et n cessite une interface s rielle RS 232 pour communiquer avec les MassFlowControllers et les MassFlowMeters 14 H ATTENTION Pour les types 8710 et 8700 un adaptateur RS232 avec pilote d interface est n cessaire voir les accessoires l annexe A Ce logiciel permet de proc der diff rents r glages e lecture d informations sp cifiques aux appareils e modification de la configuration des entr es et sorties binaires e modification de la fonction des LED e activation de diff rentes fonctions et affectation d entr es et de sorties fran ais Pour une description d taill e et des instructions pr cises d utilisation du logiciel MassFlowCommunicator se r f rer la documentation sp cifique T l chargement du logiciel sous www buerkert com Documentation D signation N de commande Instructions de service 804577 Instructions d
46. 700 REMARQUES GENERALES 0 000000 0 cccsessssssssssssssssssssesesssnsccsceceeeesesessstesnnsscssansceeeeeeeessititiensnnneet 79 Symboles de repr sentation EE 79 Consignes de S curit antennes 79 Protection contre des dommages dus a des charges lectrostatiques 79 OK non rt eg 80 Dispositions de garantie meisten 80 DESCRIPTION DU SYSTEME 81 Description des Ty POS eessen ke EN Fonctionnement g n ral neat 81 Eelere ee 82 Principe de mesure thermique EEN 82 Capteur Inline types 8626 8006 8716 8706 eeeennnnnnn 83 Capteur bypass en technologie CMOSens types 8712 8702 84 Capteur bypasse en technique classique types 8710 8700 oe 85 Electronique de r gulation EE 86 Vanne proportionnelle sosisini E EATE 87 CARACTERISTIQUES TECHNIQUES A 90 Type 8626 8006 MASS FLOW INLINE EE 91 Type 8716 8706 MASS FLOW INLINE eenenseneseeennnnnneen 92 Type 8712 8702 MASS FLOW CMOSens EE 93 Type 8710 8700 MASS FLOW Bypass Standard s 12111s11s11s11s1rstrssrssrsstrstrstrsnrersn 94 MONTAGE INSTALLATION ET MISE EN SERVICE ue 95 Dessins CONES u een 95 Recommandations g n rales pour l installation et la mise en service 96 Exploitation avec robinet d arr t suppl mentaire ueeeeeeeee 97 MFC MFM 77 fran ais burkert Installation m canique et fluidique 97 Raccords Montage de raccords bague de serrage
47. ANHANG C MassFlowCommunicator PC SOFTWARE Das PC Programm MassFlowCommunicator ist f r die Kommunikation mit den Ger ten aus der MassFlowController Familie der Firma B rkert konzipiert Es dient zur Konfiguration zum Auslesen und Schreiben diverser Parameter HINWEIS Das Programm arbeitet auf der Windows Plattform und ben tigt eine serielle Schnittstelle RS 232 f r die Kommunikation mit den MassFlowControllern bzw MassFlowMetern g ACHTUNG H CHTUNG Bei den Typen 8710 und 8700 wird ein RS232 Adapter mit Schnittstellentreiber ben tigt siehe Zubeh r im Anhang A Mit Hilfe dieses Programms k nnen verschiedene Einstellungen vorgenommen werden e Auslesen ger tespezifischer Informationen e ndern der Belegung von bin ren Ein und Ausg ngen e ndern der LED Funktionsbelegung e diverse Funktionen aktivieren und Ein bzw Ausg ngen zuordnen Eine detaillierte Beschreibung und genaue Auflistung der Vorgehensweise bei der Bedienung der Software MassFlowCommunicator entnehmen Sie der Software Dokumentation Download der Software unter www buerkert com Dokumentation Bezeichnung Best Nr Bedienungsanleitung 804577 Erg nzung zur Bedienungsanleitung f r Busger te 804553 Software Dokumentation 804559 MFC MFM 75 burkert G 2 d v 76 MFC MFM burkert MassFlowController MFC type 8626 8716 8712 8710 MassFlowMeter MFM type 8006 8706 8702 8
48. C Pr cision de mesure apr s mise 1 5 p m 0 5 p e temp rature de 15 min STEE 0 5 p e Reproductibilit Port e de mesure R gulation d un cart Ts 1 50 lt 500 ms Tension de service 24 V DC 10 ondulation r siduelle lt 5 Section de branchement min 0 5 mm 0 75 mm avec vanne type 2836 Puissance absorb e 20 W max 50 W type 8626 selon vanne 22 5 W max 52 5 W type 8626 bus selon vanne 10 W type 8006 12 5 W type 8006 bus Isolation galvanique Fixation de la valeur de consigne s lectionnable R solution Imp dance d entr e entr e en tension Imp dance d entr e entr e en courant Oui 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 2 5 mV resp 5 pA gt 20 kOhm lt 300 Ohm 3 entr es binaires Sortie de la variable instantan e s lectionnable R solution Courant max sortie en tension charge max sortie en courant Actif sur bas relier DGND pour activation 0 10V 0 5V 0 20mA 4 20mA 10 mV resp 20 pA 10 mA 600 Ohm Contacts inverseurs hors potentiel 60 V 1 A 60 VA Branchements Prise a 8 p les Prise 15 p les SUB HD Prise 9 p les SUB D seul ex cution bus Degr de protection IP 65 avec les connecteurs prescrits Mat riau du bo tier Aluminium lox ou acier inoxydable 1 4305 Mat riau du couvercle Aluminium coul sous pression peint Position de montage horizontale ou ver
49. DEPANNAGE LOCALISATION DES DEFAUTS Cause probable Correction La LED POWER Pas d alimentation lectrique Contr ler le branchement ne s allume pas lectrique La LED POWER Autotune en cours Voir le chapitre Modes clignote op rationnels La LED POWER La tension d alimentation est Adoptez une unit d alimentation s teint coup e p riodiquement d une puissance suffisante p riodiquement l appareil ex cute une r initialisation Pertes excessives du c ble Augmenter la section du c ble de branchement R duire la longueur du cable MFC La variable r glante de Augmenter la pression la vanne atteint presque 100 d alimentation la valeur de consigne ne Contr ler et si n cessaire peut pas tre atteinte r durie la r sistance des lignes Contr ler la configuration de MFM La variable instantan e est proche du d bit nominal l installation voir chapitre Vanne proportionnelle La LED LIMIT Autre mode op rationnel que Voir le chapitre Modes y clignote la r gulation normale ou op rationnels Autotune La LED LIMIT y s allume seulement avec fran ais La LED ERROR Occurrence d une erreur non Reprendre l autotune ou s allume critique annuler l erreur par une Le dernier Autotune ne r initialisation s est pas termin avec En cas de d faut de la LED SUCC S ou de la sortie binaire une Un d faut de la LED n a exploitation r duite peut tre
50. Default konfiguriert Standard Autotune Routine Regelbetrieb Sicherheitsfunktion Sollwert Profil Steuerbetrieb Steuerbetrieb Autotune Routine LIMIT y LED solange aktiv Sicherheitsfunktion blinkt Sollwert Profil Sollwert Profil Autotune Routine LIMIT y LED Ausl sen bei aktivem Sicherheitsfunktion Sa Binareingang 55 bei Dauerbelegung wird Ger te Reset immer neu gestartet Autotune Sicherheitsfunktion POWER LED Ausl sen bei aktivem Routine Ger te Reset blinkt Bin reingang gt 0 5 s bei Dauerbelegung wird immer neu gestartet Sicherheits LIMIT y LED solange aktiv funktion blinkt MFC MFM 67 burkert Standard Regelbetrieb Dies ist der Betriebszustand in dem sich der MFC sofort nach dem Einschalten und einer kurzen Initialisierungsphase befindet Im LED Feld leuchtet nur die gr ne Power LED Der Durchfluss wird auf den vorgegebenen Sollwert mit einer hohen Dynamik ausgeregelt St rungen z B infolge von Druckschwankungen werden durch entsprechende Anpassung der ffnung des Regelventils schnell ausgeglichen Die Sollwertvorgabe erfolgt in diesem Betriebszustands je nach Ger teausf hrung ber den analogen Eingang Normsignaleingang oder den Feldbus Die Reglerparameter sind so eingestellt dass Sollwert nderungen oder St r gr en m glichst schnell ausgeregelt werden ohne dass dabei nennenswerte berschwinger auftreten HINWEIS Wen
51. GND RTS signal de commande pour N C r p titeur GND potentiel de transmission des N C donn es VDD N C Tension d alimentation P5V dees 7 ne CAN_H ligne de 7 S donn es 8 RxD TxD N ligne A N C 9 N C N C Prise SUB HD 15 p les 7 Piotage analogique Ex cution bus 1 Envee valeur de consigne N C 2 Ente valeur de consigne GND N C 3 Sorte variae nstanan e n c Entr e binaire 2 fran ais Sortie 12 V utilisation interne seulement RS232 TxD raccordement direct au PC Entr e binaire 1 Prise 8 p le ronde D Alimentation 24 V Relais 1 contact central DGND pour entr e binaire utilisation interne seulement ne pas connecter Relais 2 contact central Sortie 12 V utilisation interne seulement Relais 1 contact de repos Sortie 12 V utilisation interne seulement Relais 1 contact de travail 24 V GND alimentation Relais 2 contact de repos Entr e binaire 3 GND sortie variable instantan e N C RS232 RxD raccordement direct au PC DGND pour interface RS232 a 8 Relais 2 contact de travail REMARQUE Si l on doit remplacer un appareil du type 8626 8006 d avant 2003 SZ par un mod le plus r cent partir de 2003 ceci peut tre fait j l aide d un adaptateur voir l annexe A sans n cessiter de c blage suppl mentaire MFC MFM 99 Brochage des connecteurs type 8716 8706 fran ais Pri
52. ION Durant l ex cution de la routine Autotune observer les points suivants Diff rentes fluctuations de pression se produisent L alimentation lectrique du MFC ne doit pas tre coup e La pression d alimentation doit tre maintenue constante Durant l ex cution de la routine Autotune le MFC n assure pas de r gulation La vanne de r gulation est pilot e en fonction du sch ma interne ce qui entra ne des fluctuations de d bit Durant ce processus plusieurs param tres de r gulation sont adapt s aux conditions r gnant dans l installation Lorsque la routine Autotune est termin e ces param tres sont ensuite enregistr s dans la m moire non volatile de l appareil Apr s l ex cution de la routine Autotune le MFC retourne dans son mode op rationnel initial 106 MFC MFM burkert ES REMARQUE Durant le contr le final en usine chaque MFC a subi la routine Autotune avec la pression de service sp cifi e dans le rapport j d talonnage Pour assurer une r gulation s re de l installation il n est pas imp rativement n cessaire de r p ter cette fonction apr s la mise en service Nous recommandons n anmoins de l ex cuter lorsque la pression de service diverge de plusieurs bars par rapport a la pression d talonnage ou lorsque la caract ristique de la vanne proportionnelle est fortement influenc e suite a une faible autorit de la vanne voir Vanne proportionnelle La routine Autotune
53. OW Bypass Standard s 1s 1115111s11s11s1rstrssrstrssrrstrstrstrstrs arse 56 MONTAGE INSTALLATION UND INBETRIEBNAHME 00000000000 eect 57 Maenner 57 Allgemeine Hinweise zu Installation und Betrieb enene 58 Betrieb mit zus tzlichem Absperrventil eeeenenmne 59 MFC MFM 39 burkert Mechanische und fluidische Installation 59 Verschraubungeniseteeu nes ne een 59 Montage von KlemmringverschraubUngen cecsscsssssssseesssccssssssnneeseseessesssnneeesees 60 Elektrische Anschl sse an eannan 60 Anschlussbelegung Typ 8626 8006 sssssssssssssesssssessssssssssssssseeseeeeeeeeeeeeeeeeeeesee 61 Anschlussbelegung Typ 8716 8706 0 sssssssssssssssssssssssssssesssssssssssseseseseeceeceeeeeeeeseeeee 62 Anschlussbelegung Typ 8712 8702 63 Anschlussbelegung Typ 8710 8700 ssssssssssssssssssesssssssssssssssssseesseeeeeceeeeeeeeeeeeeee 64 Ein TE Ee 65 SOMWerteingang EE 65 IStWEMAUSGANG WE 65 BUuSanSChaltUNG aere 65 Leuchtdioden zur Anzeige des Betriebszustandes Default Belegung 66 Bin reing nge Default Belegung eeeeeeeeeeeenn 66 Bin rausg nge Default Belegung nn 67 Betriebszust nde MECS esta arte 67 Standard Regelbetrieb EE 68 Autotune Routine 68 Sicherheitsfunktion eeeeeeeeeeenenennnnnnnnnnnsnnnnneesssseeeneenennnn 69 el le UR 69 Steuerbetrieb WARTUNG spe 70 ST RUNG FEHLERSUCHE un 71 ANHANG A ZUBEH R ELEKT
54. Operating Instructions Bedienungsanleitung Instructions de Service Type 8626 8716 8712 8710 Mass Flow Controller MFC Type 8006 8706 8702 8700 Mass Flow Meter MFM burkert Fluid Control Systems We reserve the right to make technical changes without notice Technische Anderungen vorbehalten Sous res rve de modification techniques 2002 B rkert Werke GmbH amp Co Operating Instructions No 804 577 ind 00 dec 02 Bedienungsanleitung No 804 577 ind 00 dez 02 Instructions de service N 804 577 ind 00 d c 02 burkert MassFlowController MFC Types 8626 8716 8712 8710 MassFlowMeter MFM Types 8006 8706 8702 8700 GENERAL NOTES aani 3 EE 3 le 3 Protection from damage by electrostatic charging ueeeeeee 3 SCOPES DEENEN iernat i an 4 Warranty CONdH ONS erregt Eeer a aas 4 SYSTEM DESCRIPTION A 5 TYPOS Ee 5 General UNCON e cates cel ache al hare Ae Ee 5 SIS E tee cet a ee ae tee ate Bd 6 Thermal measurement principle ENEE 6 Inline sensor Types 8626 8006 8716 8706 EE T Bypass sensor in CMOSens technology Types 8712 8002 8 Bypass sensor in conventional technology Types 8710 89700 9 Control electronics un naia ii 10 Proportional Aaler 11 TECHNICAL DATA unennneennnentennnnnnnnnennennenenentensnnnnn 14 Type 8626 8006 MASS FLOW INLINE EE 15 Type 8716 8706 MASS FLOW INLINE EE 16 Type 8712 8702 MASS FLOW CMOSens EE 17 Type 8710 8700 MASS FLOW Byp
55. RISCH 73 ANHANG B ZUBEH R FLUIDISCH 1 11111101101111 74 ANHANG C MassFlowCommunicator PC SOETWAREI 75 40 MFC MFM burkert ALLGEMEINE HINWEISE Darstellungsmittel In dieser Betriebsanleitung werden folgende Darstellungsmittel verwendet markiert einen Arbeitsschritt den Sie ausf hren m ssen gt H SR kennzeichnet Hinweise bei deren Nichtbeachtung Ihre Ge sundheit oder die Funktionsf higkeit des Ger tes gef hrdet ist HINWEIS kennzeichnet wichtige Zusatzinformationen Tipps und Empfehlungen Sicherheitshinweise Bitte beachten Sie die Hinweise dieser Betriebsanleitung sowie die Einsatz bedingungen und zul ssigen Daten die in den Datenbl ttern der MassFlowController MFC bzw MassFlowMeter MFM spezifiziert sind damit das Ger t einwandfrei funktioniert und lange einsatzf hig bleibt e Halten Sie sich bei der Einsatzplanung und dem Betrieb des Ger tes an die allgemeinen Regeln der Technik e Installation und Wartungsarbeiten d rfen nur durch Fachpersonal und mit geeignetem Werkzeug erfolgen e Beachten Sie die geltenden Unfallverh tungs und Sicherheitsbestim mungen f r elektrische Ger te w hrend des Betriebs und der Wartung des Ger tes e Schalten Sie vor Eingriffen in das System in jedem Fall die Spannung ab e Treffen Sie geeignete Ma nahmen um unbeabsichtigtes Bet tigen oder unzul ssige Beeintr chtigung auszuschlie en e Bei Nichtbeachtung dieser Hinwei
56. abe 0 10V wahlbar 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Aufl sung 2 5 mV bzw 5 pA Eingangsimpedanz gt 20 kOhm Spannungseingang Eingangsimpedanz lt 300 Ohm Stromeingang Low aktiv zur Aktivierung mit DGND verbinden Istwertausgabe 0 10V wahlbar 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Aufl sung 10 mV bzw 20 pA max Strom 10 mA Spannungsausgang max B rde Stromausgang 600 Ohm Potentialfreie Wechsler 60 V 1 A 60 VA Anschl sse 8pol Buchse 15pol SUB HD Buchse 9pol SUB D Buchse nur bei Busausf hrung Schutzart IP 65 mit den vorgeschriebenen Steckern Werkstoff Geh use Aluminium eloxiert oder Edelstahl 1 4305 Aluminium Druckguss lackiert horizontal oder vertikal MFC MFM 53 burkert Typ 8716 8706 MASS FLOW INLINE Endwertebereich Qem Betriebsmedien 25 bis 15001 min Bezugsmedium N neutrale nicht kontaminierte Gase andere auf Anfrage max Betriebsdruck Kalibriermedium Mediumstemperatur Umgebungstemperatur Messgenauigkeit nach 15 min Aufwarmzeit 10 bar abh ngig von der Ventilnennweite Betriebsgas oder Luft 10 bis 70 C 10 bis 45 C 1 5 v M 0 5 v E Linearit t 1 0 v E Reproduzierbarkeit 0 5 v E Messspanne 1 50 Ausregelzeit T lt 500 ms Betriebsspannung 24 V DC 10 Restwelligkeit lt 5 Anschlussquerschnitt min 0 5 mm 20 W max 30 W Typ 8716 abh vom Ventil Leistungsaufnahme a GE See W Typ 8716 Bus abh vom Ventil 12 5 W T
57. able voltage voltage too high source Operating pressure above Lower the operating pressure the leak tight pressure of the proportional valve Operating pressure Execute an Autotune to adapt to significantly higher than that the operating conditions used for calibration gt increased intrinsic con vection only with 8716 and 8626 Incorrect installation Install the MFC in the position position calibrated or execute an gt increased intrinsic con Autotune to adapt to the vection only with 8716 and operating conditions 8626 A medium is being used Return the device to the other than that intended on manufacturer for recalibration calibration for the operating medium On using an aditional See Section Operation with an isolation valve the drive Additional Isolation Valve sequence was not adhered to Flame is starved of oxygen Activate the ramp function with because medium the PC software concentration too high MassFlowCommunicator 34 MFC MFM burkert APPENDIX A ACCESSORIES ELECTRICAL N CH N N gt N oo oO N Oo N oo CH N Oo oe 0 S F Type 8710 8700 all types Order no Circular plug 8 pole Tuchel company 918137 crimp connection Crimp contacts for Tuchel plug 917436 Circular plug 8 pole Binder company 918299 soldered connection Circular plug 8 pole with 5 m cable 787733 ready connected on one s
58. anische Trennung BREI BEE EEE x x EC EH A x HINWEIS Optional erhalten Sie die PC Software MassFlowCommunicator Mit dieser ist das Normsignal f r den Sollwerteingang und den Istwertausgang zwischen 0 5 V 0 10 V 0 20 mA und 4 20 mA umschaltbar siehe Anhang C Sollwerteingang Der Sollwerteingang dient zur analogen Sollwertvorgabe ber ein Normsignal f r den MFC Istwertausgang Der Istwertausgang gibt den aktuellen Durchflusswert als Normsignal aus Busanschaltung Die Typen 8626 8006 8716 8706 8712 und 8702 sind als Bus Versionen erhalt lich Soll und Istwert werden hier in digitaler Form ber den Bus empfangen bzw ruckgemeldet Es kann zwischen einer PROFIBUS DP und einer DeviceNet Anschaltung gew hlt werden siehe auch Erg nzung zur Bedienungsanleitung f r Busger te MFC MFM 65 burkert Leuchtdioden zur Anzeige des Betriebszustandes Default Belegung POWER LED leuchtet Das Ger t ist mit Betriebsspannung versorgt blinkt Autotune Funktion aktiv COMMUNICATION LED euchtet Das Ger t kommuniziert ber Bus oder bei 8710 8700 nicht vorhanden gelb LIMIT y LED leuchtet Bei MFC zeigt an dass die Stellgr e des Ventils nahezu 100 erreicht hat In der Praxis bedeutet dies meist dass der Druck am Regler nicht ausreicht um den gew nschten Durchfluss zu realisieren Bei MFM zeigt an dass der Istwert nahezu den Nenndurchfluss erreicht h
59. ass Standard ou cccccssssssssssssssssssssnntestsnnnsnennnnnneeees 18 ASSEMBLY INSTALLATION AND COMMISSIONING ee 19 Dimensional Arawi Scassa ee an 19 General notes on installation and operation on eesssssssssssssssssssssseseeeeeeeeeeeeeeceeeeesennnnnnenenten 20 Operation with additional isolation valve eeeeee nn 21 MFC MFM 1 burkert Mechanical and fluidic installation Neen 21 SCHEW JEE 21 Assembly of clamping ring screw joints eenensnsenenn 22 Electrical Connections memes antenne 22 Connection configuration Type 8626 8006 neeeennnnnnenenseneneeneennnnn 23 Connection configuration Type 8716 8706 24 Connection configuration Type 8712 8702 25 Connection configuration Type 8710 8700 nnnnnnseenseneeeeeeenenne 26 ele 27 SEIDOINL DEE eet ee en 27 Process Valle te EE 27 BUS CONNECTION eebe EE 27 LEDs to indicate the operating mode default configuration 28 Binary inputs default configuration 28 Binary outputs default configuration 29 Operating modes of the MFC EE 29 Standard Controloperation 2 4 30 Autotune routine Safety function ne ececessesssssssssssssssssseseeeeeeeeeecenesnansnsnsnnnnnssnnnnnnstnnnnmmmmmsesssstssssseseseeeeeeeeeeeeeeeeeetee Setpoint profil s Mar nn innen Control operation MAINTENANCE ccn e a E EE 32 MALFUNCTION TROUBLESHOOTING EE 33 APPENDIX A ACCESSORIES ELECTRICAL eeennee 35 APPENDIX B ACCESSORIES FLUIDIC AAA 3
60. at blinkt Das Ger t befindet sich in einem anderen Betriebszustand als Regelbetrieb oder Autotune ERROR LED leuchtet Nicht schwerwiegender Fehler z B nicht erfolgreich abgeschlossene Autotune oder defekte LED blinkt Schwerwiegender Fehler z B Sensorbruch oder fehlerhafte interne Spannungsversorgung Bin reing nge Default Belegung Um das jeweilige Ereignis auszul sen muss der Bin reingang f r mind 0 5 s mit DGND verbunden werden Funktionen Bin reingang 1 Autotune Funktion bei MFM nicht zugeordnet Bin reingang 2 nicht zugeordnet Bin reingang 3 nicht zugeordnet bei 8710 00 nicht vorhanden 66 MFC MFM burkert Bin rausg nge Default Belegung Die Bin rausg nge sind als Relaisausg nge potentialfreie Wechsler ausgef hrt Funktionen Relais 1 LIMIT y Relais 2 ERROR bei schwerwiegendem Fehler z B Sensorbruch oder Fehler bei interner Spannungsversorgung bei 8710 00 nicht vorhanden HINWEIS Die Funktionen der LED s POWER und ERROR LED nicht veran derbar Normsignalein und ausg nge und der Bin rein und ausg nge sind Einstellungen im Auslieferungszustand Andere Funktionen k nnen mit der Kommunikationssoftware MassFlowCommunicator siehe Anhang C eingestellt werden Betriebszust nde MFC Betriebs kann unterbrochen Darstellung Erreichen des zustand bzw beendet auf Anzeige Betriebszustands ber werden durch LEDs bei Bin reingang falls
61. avoid false dosage or gas leakage In order to seal the system properly proceed as follows Mount pipe connections without stress using compensators if necessary Use piping with matching diameter and smooth surface Cut off the piping at right angles and deburr Slide coupling ring support ring if present and clamping ring onto the piping in that order gt Insert piping into joint as far as it will go Union firmly tighten Counter with a wrench on the screw in side do not load the device housing and tighten by 1 turns Electrical connections ATTENTION To assure electromagnetic compatibility EMC connect the housing via as short a cable as possible with as large a cross section as possible to the functional earth FE The GND or mass conductors of all signals of the MFC MFM must be led in each case individually to the MFC If all GND signals are bridged directly at the MFC and only one conductor led to the switching cabinet signal displacements and disturbances of the analog signals may occur pulses oscillations etc The MFCs MFMs are operated with 24 V power supply Select the connector cross section according to the valve used and as large as possible see Technical Data Suitable connecting cables are to be found in Appendix A Connect the the functional earth FE to the marked screw e g using round pliers 22 MFC
62. cal isolation gt ALATA gt EN NOTE As an option you can obtain the PC software Mass Flow Communicator with wich you can switch over the standard signal j for the setpoint input and the process value output between 0 5 V 0 10 V O 20 mA and 4 20 mA see Appendix C Setpoint input The setpoint input servec to enter the analog setpoint value via a standard signal for the MFC Process value output The process value output exits the current flow rate as a standard signal Bus connection Types 8626 8006 8716 8706 8712 and 8702 are available as bus versions Setpoint and process value are received or repeated in digital form via the bus One can choose between a PROFIBUS DP and a DeviceNet connection see also Supplement to Operating Instructions for Bus Devices MFC MFM 27 burkert LEDs to indicate the operating mode deault configuration POWER LED lights The device is supplied with operating voltage flashes Autotune function activated green lights The device communicates via bus or RS232 lights With MFC indicates that the correcting variable of the valve has almost reached 100 In practice this usually means that the pressure at the controller is insufficient to realize the desired flow rate With MFM indicates that the process value has almost reached the nominal flow rate COMMUNICATION LED not present with 8710 8700 yellow LIMIT y LED flashes
63. chema des Bypass Messprinzips Die Dynamik der Messung wird durch die als thermische Barriere wirkende Wan dung des Sensorr hrchens bestimmt und ist deshalb prinzipbedingt deutlich schlechter als bei Sensoren mit Widerst nden direkt im Mediumsstrom Durch softwaretechnische Ma nahmen werden im Regler Ausregelzeiten erreicht die f r einen gro en Teil der Anwendungen ausreichend sind im Bereich weniger Sekunden Bei verunreinigten Medien empfehlen wir Filterelemente vorzuschalten Dadurch wird eine Ver nderung des Teilerverh ltnisses zwischen Hauptstrom und Sensor r hrchen sowie eine Ver nderung der W rme berg nge durch Ablagerungen an der Wandung vermieden Mit diesen Sensoren k nnen auch viele aggressive Gase geregelt werden da alle wesentlichen mediumsber hrten Teile aus Edelstahl gefertigt sind MFC MFM 47 burkert Regelelektronik Die Verarbeitung der aktuellen Soll und Ist Durchfl sse und die Ansteuerung des Stellgliedes wird von einer Mikroprozessorelektronik durchgef hrt Das Sensorsignal wird von der Regelelektronik gefiltert und mit Hilfe der im Ger t hinterlegten Kalibrierkurve in einen dem Ist Durchfluss entsprechenden Wert umgewandelt Damit auch kritische Prozesse geregelt werden k nnen in denen zu schnelle Durchfluss nderungen nicht zul ssig sind kann ber die Software MassFlowCommunicator eine Rampenfunktion aktiviert werden siehe Anhang C Hierbei sind die Parameter f r einen steigende
64. chnitt abh ngig vom verwendeten Ventil und m glichst gro siehe Technische Daten Geeignete Anschlusskabel finden Sie im Anhang A gt Schlie en Sie die Funktionserde FE an der gekennzeichneten Schraube an z B mit Hilfe einer Ringzunge 60 MFC MFM burkert Anschlussbelegung Typ 8626 8006 9pol Sub D Buchse nur bei Busausf hrung PROFIBUS DP DeviceNet Schirm FE Funktionserde DN N C not connected CAN L Datenleitung 3_ RxD TxD P B Leitung GND 4 RTS Steuersignal f r Repeater N C 5 GND Daten bertragungspotential N C VDD N C Versorgungsspannung P5V Gg 8 RxD TxD N A Leitung 9 N C 15pol Sub HD Buchse analoge Ansteuerung Busausf hrung NC 2 Sollwerteingang GND N C NC 4 Bin reingang 2 5 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung 6 RS232 TxD direkter Anschluss an PC 8pol Buchse rund 7 Bin reingang 1 11 24V Versorgung 8 DGND f r Bin reing nge nur werksinterne Verw nicht belegen 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung Relais 1 Schliesser 12 Bin reingang 3 24V Versorgung GND 13 Istwertausgang GND N C Relais 2 Schliesser 14 RS232 RxD direkter Anschluss an PC Relais 2 ffner 15 DGND f r RS232 Schnittstelle HINWEIS Soll ein Ger t des Typs 8626 8006 vor Baujahr 2003 durch ein neueres ab Baujahr 2003 ersetzt werden so kann dies mit Hilfe eines Adapte
65. e D autres fonctions peuvent tre obtenues au moyen du logiciel de communication MassFlowCommunicator voir annexe C Modes op rationnels MFC Mode peut tre suspendu Repr sentation Obtention du mode via op rationnel ou arr t par sur affichage entr e binaire si LED par d faut configur fran ais Mode de Routine Autotune regulation normali Fonction de s curit Profil de consigne Mode de commande Mode de Routine Autotune LED LIMIT y tant qu il est actif commande Fonction de s curit Seege Profil de consigne Profil de consigne Routine Autotune LED LIMIT y D clenchement sur entr e Fonction de s curit clignotante binaire active gt 0 5s lorsque la LED est allum e R initialisation de fixement la r initialisation a l appareil toujours lieu Routine Autotune Fonction de s curit LED POWER D clenchement sur entr e R initialisation de clignotante binaire active gt 0 5 s l appareil lorsque la LED est allum e fixement la r initialisation a toujours lieu Fonction de LED LIMIT y tant qu il est actif s curit clignotante MFC MFM 105 burkert Mode de r gulation standard Il s agit du mode normal d exploitation que le MFC adopte imm diatement apr s la mise sous tension et une courte phase d initialisation Dans la zone des LED seule la LED Power verte est allum e Le d bit est r gl sur la valeur de consigne sp cifi e
66. e contains electronic components that are A sensitive to electrostatic discharge ESD Contact to electrostatically charged persons or objects will CANN endanger these components In the worst case they will be immediately destroyed or will fail after ATTENTION commissioning EXERCISE CAUTIONON Observe the requirements of EN 100 015 1 in HANDLING order to minimize the possibility of or avoid damage ELECTROSTATICALLY from instantaneous electrostatic discharge Also SENSITIVE COMPONENTS take care not to touch components that are under MODULES supply voltage MFC MFM 3 burkert Scope of delivery Immediately after receipt of the delivery make sure the contents agree with the stated scope of delivery The latter comprises e MFC or MFM Type 8626 8006 or 87xx e Operating Instructions possibly on data carrier e in the case of bus devices supplements to the Operating Instructions possibly on data carrier e Report of final testing calibration The plug connectors matching the electrical interfaces of the MFC may be obtained as accessories In case of irregularities please contact at once our Customer Center Burkert Fluid Control Systems Customer Center Chr Burkert Str 13 17 D 76453 Ingelfingen Tel 07940 10111 or your B rkert Distributor Warranty conditions Burkert grants a warranty on the proper functioning of the MFC or MFM for one year provided that the device is used as intended and
67. e ne soit pas d j absorb e au d bit nominal d sir et que la dimension nominale de la vanne du MFC ne doive pas tre choisie plus grande kvs gt gt kva en raison de la faible perte de charge restante Dans ce cas l autorit de la vanne deviendrait trop faible et seule une partie de la plage de travail de la vanne serait utilis e Ceci pourrait d grader la r solution et la qualit de la r gulation En cas de dimensionnement trop chiche de l installation ce n est pas l augmentation du diam tre nominal de la vanne MFC qui sera efficace mais plut t l augmentation de la pression primaire ou de la valeur dek par exemple en adoptant un diam tre de tuyauterie accru ce qui permettra de maintenir l autorit de vanne dans une gamme admissible W Si l appareil est exploit l int rieur de la gamme de pression sp cifi e la vanne proportionnelle pourra assurer en plus de la fonction de r gulation une fonction de fermeture herm tique fran ais MFC MFM 89 burkert CARACTERISTIQUES TECHNIQES Facteurs li s l environnement Fluctuations de temp rature selon EN 60068 2 14 Nb et EN 60068 2 33 Chaleur humide selon EN 60068 2 38 Z AD Chocs selon EN 60068 2 27 Oscillations selon EN 60068 2 6 Degr e de protection IP selon EN 60529 Chute libre selon EN 60068 2 32 Essai de chute UPS selon DIN ISO 2248 et DIN ISO 2206 Compatibilit lectromagn tique EMV Tous les appareils sont confo
68. e protection IP 65 avec les connecteurs prescrits Mat riqu du bo tier couvercle Acier inoxydable 1 4305 PPS GF Position de montage horizontale ou verticale fran ais MFC MFM 93 burkert Type 8710 8700 MASS FLOW Bypass Standard Gamme de valeur finale Qem 0 05 30 I min fluide de r f rence N Fluides de service gaz neutres non contamin s autres sur demande 10 bar selon le diam tre nominal de la vanne Gaz de service ou air 10 70 C 10 445576 Precision de mesure 1 5 p m ou 0 5 p e apr s mise temp rature de 15 min Lin arit 1 0 p e Reproductibilit 0 5 p e 1 50 R gulation d un cart Togo lt 2s 24 V DC 10 ondulation r siduelle lt 5 Section de branchement min 0 25 mm 0 5 mm pr f rable Puissance absorb e max 7 5 W Type 8710 H4 2 5 W Type 8700 Red Isolation galvanique non GE Fixation de la valeur de consigne 0 10V E s lectionnable 0 5V amp 0 20 mA Ce 4 20 mA Va R solution 2 5 mV resp 5 pA Imp dance d entr e gt 300 kOhm entr e en tension Imp dance d entr e lt 200 Ohm entr e en courant Actif sur bas relier DGND pour activation Sortie de la variable instantan e 0 10V s lectionnable 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Resolution 10 mV resp 20 pA Courant max 10 mA sortie en tension charge max sortie en courant 600 Ohm Contact inverseur hors potentiel 25 V 1 A 25 VA
69. e service compl mentaires pour appareils bus 804553 Documentation du logiciel 804559 MFC MFM 113 burkert ID Q Qn 114 MFC MFM Addresses of BC offices Adressliste BC Lander Europe Europa BC A Austria Osterreich Burkert Contromatic G m b H Diefenbachgasse 1 3 A 1150 Wien Phone Int 43 1 894 13 33 Nat 01 894 13 33 Fax Int 43 1 894 13 00 Nat 01 894 13 00 BC B Belgium Belgien Burkert Contromatic nv sa Bijkhoevelaan 3 B 2110 Wijnegem Phone Int 32 3 325 89 00 Nat 03 325 89 00 Fax Int 32 3 325 61 61 Nat 03 325 61 61 BC CH Switzerland Schweiz Burkert Contromatic AG Schweiz Bosch 71 CH 6331 H nenberg ZG Phone Int 41 41 785 66 66 Nat 041 785 66 66 Fax Int 41 41 785 66 33 Nat 041 785 66 33 BC CZ Czech Rep Tschechische Rep Burkert Contromatic spol s r o Krenova 35 CZ 602 00 Brno Phone Int 420 543 25 25 05 Nat 543 25 25 05 Fax Int 420 543 25 25 06 Nat 543 25 25 06 BC DK Denmark D nemark Burkert Contromatic A S Horkeer 24 DK 2730 Herlev Phone Int 45 44 50 75 00 Nat 44 50 75 00 Fax Int 45 44 50 75 75 Nat 44 50 75 75 BC E Spain Spanien Burkert Contromatic S A Avda Barcelona 40 E 08970 Sant Joan Despi Barcelona Phone Int 34 93 477 79 80 Nat 93 477 79 80 Fax Int 3493 477 79 81 Nat 93 477 79 81 BC F France Frankreich Burkert Contromatic S A R L 13 15 rue Eug ne H naff F 93012 Bobigny Z l Pho
70. en und hohen Dr cken besonders auf die Dichtheit des Systems um Fehldosierungen bzw die Leckage von Gasen zu vermeiden Um das System einwandfrei abzudichten gehen Sie bei der Montage wie folgt vor gt Rohrverbindungen spannungsfrei montieren gegebenenfalls Kompensato ren verwenden gt Rohr mit passendem Durchmesser und glatter Oberfl che verwenden Rohr gerade abs gen und entgraten gt berwurf St tzring falls vorhanden und Klemmring in der genannten Reihenfolge auf das Rohr schieben gt Rohr bis zum Anschlag in die Verschraubung einf hren berwurf handfest anziehen Mit Schl ssel an der Einschraubseite gegenhalten nicht das Ger te geh use belasten und 1 Umdrehungen anziehen Elektrische Anschl sse ACHTUNG z Se z Verbinden Sie zur Gew hrleistung der elektromagnetischen Ver tr glichkeit EMV das Geh use ber ein m glichst kurzes Kabel Querschnitt so gro wie m glich mit der Funktionserde FE Die GND oder Masse Leitungen aller Signale des MFC MFM m ssen in jedem Fall einzeln an den MFC herangef hrt werden Werden alle GND Signale direkt am MFC gebr ckt und nur eine gemeinsame Leitung zum Schaltschrank gef hrt kann es zu Signalverschiebungen sowie St rungen Impulse Schwingungen usw der analogen Signale kommen Die MFC MFM werden mit einer 24V Gleichspannungsversorgung betrieben W hlen Sie den Anschlussquers
71. enauigkeit bei geringen Durchfl ssen zu erreichen sollte die Einbaulage mit der bei der Bestellung spezifizierten identisch sein 1 Aus dem gleichen Grund sollte der Betriebsdruck nicht zu sehr vom Kalibrierdruck abweichen 1 Das Ger t wird in der Einbaulage kalibriert die im Fragebogen im Anhang des Datenblattes angegeben ist MFC MFM 45 burkert Bypass Sensor in CMOSens Technologie Typen 8712 8702 Der Massendurchfluss wird bei dieser Technologie in einem speziell geformten Str mungskanal gemessen dessen Wandung an einer Stelle einen Si Chip mit einer freige tzten Membran enth lt Auf dieser Membran sind in CMOSens Technologie ein Heizwiderstand sowie symmetrisch zu diesem stromaufw rts und stromabw rts zwei Temperatursensoren aufgebracht Wird der Heizwiderstand mit einer konstanten Spannung gespeist ist die Differenzspannung der Temperatursensoren ein Ma f r den Massendurchfluss des im Str mungskanal ber den Chip str menden Gases Gasstrom o Sensor Element Heizer T Sensoren Bild Prinzipdarstellung des Bypass Sensor in CMOSens Technologie Der Querschnitt des Str mungskanals ist so klein dass schon bei Durchfl ssen von weniger als 1 cm min ein ausreichendes Messsignal erzeugt wird Die obere Messgrenze ist erreicht wenn die urspr nglich laminare Str mung im Kanal turbu lent wird H here Durchflussbereiche kann man erschlie en indem man in einen parallelgeschalteten gr eren Kanal ei
72. enn gleichzeitig nachfolgende Bedingungen eintreten Sollwert lt 2 vom Nenndurchfluss und Istwert lt 2 vom Nenndurchfluss Bei aktiver Nullpunktabschaltung wird das PWM Signal auf 0 gesetzt so dass das Ventil komplett geschlossen ist Bei Typ 8712 auf Anfrage Nullpunktabschaltung bei Sollwert lt 0 2 vom Nenndurchfluss und Istwert lt 0 2 vom Nenndurchfluss 48 MFC MFM burkert Der Sollwert wird je nach Ger teausf hrung alternativ ber den Normsignalein gang als analoges Signal oder digital ber die Feldbusschnittstelle vorgegeben Unabhangig vom Regelzustand wird der aktuelle vom Sensor gemessene Durch flusswert analog Uber den Normsignalausgang bzw digital Uber die Feldbus schnittstelle ausgegeben Um ein dynamisches bzw ruhigeres Istwert Ausgangssignal zu erhalten l sst sich der Filtergrad des Ausgangssignals mit der Software MassFlowCommunicator ver ndern Proportionalventil In allen MFC Baureihen werden als Stellglieder direktwirkende Hubanker Proportional Ventile aus dem B rkert Ventilprogramm eingesetzt Konstruktive Ma nahmen insbesondere bei den Ventilen in den MFC f r geringe Durchfl sse Typ 8710 8712 sorgen f r eine reibungsarme F hrung des bewegten Ankers Diese stellt in Verbindung mit der PWM Ansteuerung eine stetige weitgehend lineare Kennlinie sowie eine hohe Ansprechempfindlichkeit sicher Beides ist f r die optimale Funktion im geschlossenen Regelkreis des MFC wichtig
73. ennoch ein zus tzliches Absperrventil vor bzw hinter dem MFC gesetzt wird sollte die Ansteuerung in folgender Reihenfolge stattfinden Start 1 Druckversorgung anschlieBen 2 Offnen des Absperrventils 3 Sollwertvorgabe MFC normaler Regelbetrieb Abschalten 1 Sollwertvorgabe MFC auf 0 setzen 2 Schlie en des Absperrventils wenn Istwert 0 erreicht ist Eine andere Reihenfolge kann dazu f hren dass es beim erneuten Offnen des Absperrventils auch bei einem Sollwert Null zu einem kurzen Durchflussimpuls kommt bzw bei der ersten Sollwertvorgabe ein deutlicher Uberschwinger auftritt Mechanische und fluidische Installation W hlen Sie die verf gbaren fluidischen Anschl sse passend zum maximalen Durchfluss Einlaufstrecken sind nicht erforderlich Falls notwendig liefern wir auch Sondergr en wobei die Auslegung der fluidischen Anlage hinsichtlich Str mung und Druckabfall ber cksichtigt werden muss Verschraubungen Die Ger te k nnen auf Wunsch auch mit montierten Einschraubverschraubungen geliefert weden Bitte w hlen Sie die entsprechende Verschraubung aus der Tabel le im Anhang B aus Anschl sse am MFC MFM Standard Einschraubgewinde Sonder Einschraubgewinde G 3 8 G 1 2 NPT 1 4 NPT 3 8 NPT1 2 NPT3 4 8626 X X X X X X X 8006 X X X X X X lt x X gt X lt X lt MFC MFM 59 burkert Montage von Klemmringverschraubungen Ea ACHTUNG Achten Sie bei geringen Durchfl ss
74. ens MFC MFM 57 burkert B 8 a E S Ei ee ee SSC 10 80 i Bild Typ 8710 8700 MASS FLOW Bypass Standard Allgemeine Hinweise zu Installation und Betrieb Beachten Sie vor der Installation gt Schalten Sie geeignete Filter vor um die Sauberkeit des Betriebsmediums zu gew hrleisten Beachten Sie die Einbaulage siehe Kalibrierdaten gt Sehen Sie ein Netzteil mit ausreichender Leistung vor Beachten Sie die max Restwelligkeit der Betriebsspannung gt Entfernen Sie vor dem Einbau des MFC Verschmutzungen aus den Rohren Gehen Sie bei der Inbetriebnahme eines MFC MFM in der beschriebenen Reihenfolge vor Mechanische und fluidische Installation Elektrische Installation Beaufschlagen mit Betriebsmedium Regul rer Arbeitsbetrieb EO D HINWEIS Die festgelegte Genauigkeit wird erst dann erreicht wenn nach dem d Einschalten die thermischen Ausgleichsvorg nge abgelaufen sind und das Ger t seine Betriebstemperatur erreicht hat die Zeit ist abh ngig vom Ger tetyp siehe Technische Daten 58 MFC MFM burkert Betrieb mit zus tzlichem Absperrventil Das im MFC integrierte Proportionalventil bernimmt die Dichtschlie funktion dadurch ist ein zusatzliches Absperrventil in dem Medienkreis nicht erforderlich Falls aus sicherheitstechnischen Gesichtspunkten d
75. er Autotune Routine in den nichtfl chtigen Speicher des Ger tes bernommen Nach beendeter Autotune Routine kehrt der MFC in den vorherigen Betriebszu stand zur ck 68 MFC MFM burkert HINWEIS Jeder MFC hat die Autotune Routine im Werk w hrend der End pr fung bei dem im Kalibrierprotokoll angegebenen Betriebsdruck durchlaufen F r einen sicheren Regelbetrieb in einer Anlage ist das erneute Ausl sen dieser Funktion nach der Inbetriebnahme nicht zwingend erforderlich Wir empfehlen sie auszul sen wenn der Betriebsdruck um mehrere bar vom Kalibrierdruck abweicht oder wenn die Kennlinie des Proportionalventils infolge einer niedrigen Ventilautoritat siehe Proportionalventil stark beeinflusst wird Die Autotune sollte auch dann durchgef hrt werden wenn sich die Druckverh ltnisse in der Anlage stark ge ndert haben Sicherheitsfunktion Diese Funktion kann je nach Ger tekonfiguration ber einen Bin reingang oder Feldbus aktiviert bzw zur ckgesetzt werden Das Ger t verh lt sich in diesem Betriebszustand im Allgemeinen wie im Stan dard Regelbetrieb Jedoch wird ein extern anliegender Vorgabewert ignoriert und ein definierter Sicherheitswert bei Default 0 mit PC Software MassFlowCommunicator ver nderbar als Sollwert verwendet Sollwert Profil Diese Funktion kann je nach Ger tekonfiguration ber einen Bin reingang oder Feldbus aktiviert bzw zur ckgesetzt werden Das Ger t verh lt sich in di
76. ertragungspotential N C VDD Versorgungsspannung P5V N C CAN_H Datenleitung RxD TxD N A Leitung N C N C N C ale ol lmwm N C ojoj o 15pol Sub HD Buchse analoge Ansteuerung Sollwerteingang N C Sollwerteingang GND N C Istwertausgang Busausf hrung o Bin reingang 2 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung RS232 TxD direkter Anschluss an PC Bin reingang 1 DGND f r Bin reing nge olsnjloloa le 9 nur werksinterne Verw nicht belegen Relais 2 Mittelkontakt 10 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung Relais 1 ffner Relais 1 Schliesser 24V Versorgung GND Relais 2 Schliesser Relais 2 ffner 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung Bin reingang 3 Istwertausgang GND N C RS232 RxD direkter Anschluss an PC DGND f r RS232 Schnittstelle MFC MFM 63 burkert Anschlussbelegung Typ 8710 8700 15pol Sub D Stecker i Relaisausgang Schliesser 2 3 4 5 24V Versorgung 7 8 Sollwerteingang GND Istwertausgang GND 0 12 Bin reingang 1 13 Bin reingang 2 14 15 zum Anschluss eines PC nur Ober Adapter siehe Zubeh r in Anhang A 64 MFC MFM burkert Ein Ausg nge Typen bersicht eingang ausgang schaltung 8712 x EE 8712 Bus a BE esse ES xX x ns Relais ausg nge Bin r eing nge 2 1 keine galv
77. esem Betriebszustand wie im Standard Regelbetrieb Hierbei wird allerdings der externe Vorgabewert ignoriert und eine vorher definierte zeitliche Abfolge von bis zu 30 Durchflusswerten als Sollwert verwendet Konfigu ration mit PC Software MassFlowCommunicator Nach Durchlaufen der Sollwertfolge f llt das Ger t in den vorherigen Betriebszu stand zur ck Steuerbetrieb Diese Funktion kann je nach Ger tekonfiguration ber einen Bin reingang oder Feldbus aktiviert bzw zur ckgesetzt werden In diesem Betriebszustand wird der Sollwert als Ausgangsgr e f r das Ventiltastverh ltnis verwendet z B Sollwert 10 gt Ventiltastverh ltnis 10 MFC MFM 69 burkert WARTUNG Die MFC und MFM sind bei Betrieb entsprechend den in dieser Anleitung gegebe nen Hinweisen im Prinzip wartungsfrei so dass sich eine routinem ige Neukalibrierung er brigt Falls nach l ngerem Betrieb mit einem verschmutzten Medium gr ere Mengen von Partikeln eingetragen wurden kann bei den Typen 8626 8006 8716 8706 8712 und 8702 nach L sen der eingangsseitigen Flanschplatte das dann zug ng liche Edelstahldrahtgitter gereinigt oder ersetzt werden siehe Anhang B Bei Typ 8710 8700 ist dies nicht m glich da der Vorfilter mit dem Stromteilereinsatz eine bauliche Einheit bildet Wenn der Sensor durch das Betriebsgas verschmutzt ist kann das Ger t nach l ngerem Betrieb st rkere Abweichungen vom Durchfluss aufweisen Dann wird
78. et de la densit du gaz de service Sur la base de ces donn es le fabricant s lectionne une vanne proportionnelle dont le coefficient de d bit bk en fonction des quations d coulement pour les rapports de pression sp cifi s permet d obtenir un d bit maximum atteignant au minimum le d bit nominal exig fran ais a pour un coulement sous critique p gt p 2 Dan 514 pu Ts kys gt Qhenn 1 ou b pour un coulement supercritique p lt p 2 1 Qu 257 zg SR S 2 Les pressions p et p dans les quations GL 1 et 2 doivent tre d termin es aux points de mesure situ s directement avant et apr s le MFC Il arrive souvent que l on ne connaisse pas les pressions avant et apr s le MFC mais uniquement les pressions d entr e et de sortie p et p de l installation compl te Une partie de la perte de charge p p r sulte d autres r sistances l coulement robinets d arr t conduites filtres etc dont le coefficient de d bit peut tre r uni dans un facteur k MFC MFM 87 burkert A partir du d bit nominal d sir Q en et des pressions p et p on d terminera ensuite de mani re analogue l quation GI 1 ou 2 le coefficient minimum de l installation complete K L quation tt AY 3 Kyges kys Ku qui d crit le branchement en serie des r sistances du MFC k et de l installation kya permet de d terminer si l on conna t k
79. fgeheizt dass er auf einer festen vorgegebenen bertemperatur zur Fluidtemperatur gehalten wird Der dazu erforderliche Heizstrom ist ein Ma f r die W rmeabfuhr durch das str mende Gas und stellt die prim re Messgr e dar Eine geeignete Str mungskonditionierung innerhalb des MFC bzw MFM und die Kalibrierung mit hochwertigen Durchflussnormalen stellen sicher dass aus dem Prim rsignal die pro Zeiteinheit durchstr mende Gasmenge mit hoher Genauigkeit abgeleitet werden kann Sensor mit Elektronik PID Gasstrom gt Vorfilter Str mungs konditionierung Bild Funktionsschema des Inline Sensors Der direkte Mediumskontakt der im Hauptstrom befindlichen Widerst nde R und R gew hrleistet eine sehr gute Dynamik der Ger te mit Ansprechzeiten von wenigen Hundert Millisekunden bei pl tzlichen Soll oder Istwert nderungen Durch die Anordnung der Widerst nde auf einem tangential zur Str mung liegen den Glastr ger ist der Sensor nur in geringem Ma e verschmutzungsanf llig Der Messbereich des Inline Sensors wird durch die Eigenkonvektion im Str mungskanal die auch bei geschlossenem Regelventil auftritt nach unten begrenzt F r Ger te deren Arbeitsbereich sich bis zu Durchfl ssen von unter ca 1 min erstrecken soll ist er deshalb nicht geeignet Das Signal der Eigenkonvektion im Str mungskanal h ngt von der Einbaulage des Ger ts ab Um eine hohe G
80. gt Serrer l crou raccord la force des doigts Avec une cl retenir le c t viss de mani re ne pas exercer de contrainte sur le bo tier de l appareil et serrer de 1 1 4 tour Raccordements lectriques ATTENTION Afin d assurer la compatibilit lectromagn tique CEM relier le bo tier la borne de terre fonctionnelle FE au moyen d un c ble aussi court que possible de section aussi grande que possible Les lignes GND ou de masse de tous les signaux du MFC MFM doivent dans tous les cas tre reli es individuellement au MFC Si tous les signaux GND taient r unis sur le MFC et qu une seule ligne est men e jusqu l armoire de commande il pourrait en r sulter des d calages de signaux ou des parasites impulsions oscillations etc sur les signaux analogiques Les MFC MFM sont aliment s en tension continue de 24 V Choisir une section de raccordement en fonction de la vanne utilis e et aussi grande que possible voir Caract ristiques techniques Des c bles de raccordement appropri s sont d crits l annexe A Raccorder la terre fonctionnelle FE une vis identifi e par ex l aide d un cosse 98 MFC MFM burkert Brochage des connecteurs type 8626 8006 Prise SUB D 9 p le ex cution bus seulement PROFIBUS DP DeviceNet Blindage FE terre fonctionnelle H N C non connect CAN_L ligne de donn es 3 RxD TxD P ligne B
81. ia un signal normalis ou un bus de terrain La valeur instantan e x d tect e par le systeme est compar e l int rieur du r gulateur avec la valeur de consigne Le r gulateur d livre comme valeur r glante un signal en tension modul largeur d impulsion variable l organe de r glage Le facteur d impulsion du signal en tension est modifi en fonction de l cart de r glage constat Par ailleurs la valeur instantan e est transmise vers l ext rieur via une interface lectrique analogique ou un bus de terrain Elle est disponible des fins de contr le ou pour tout autre mise en valeur par l utilisateur par ex d termination de la consommation par int gration Le principe de mesure thermique garantit que le MFC est largement insensible aux fluctuations de pression et de temp rature dans toute application de r gulation du d bit massique Comparativement au MFC le MFM n est pas quip de la vanne proportionnelle de sorte que cet appareil est uniquement utilisable pour la mesure du d bit massique et non pas pour la r gulation Les caract ristiques d crites ci apr s des autres composants en particulier des capteurs sont identiques celles du MFC Capteurs Principe de mesure thermique Les capteurs de d bit fonctionnent d apr s le principe de mesure thermique an mom trique La mesure a toujours lieu d apr s la densit et la vitesse d coulement et livre par cons quent un signal refl tan
82. ide Circular plug 8 pole with 10 m cable ready connected 787734 on one side SUB HD plug 15 pole with 5m cable 787735 ready connected on one side SUB HD plug 15 pole with 10 m cable 787736 ready connected on one side RS232 adapter for connecting a PC with an extension 654757 cable Order no 917039 Connecion adapter DB9 m DB15HD m to replace a device Type 8626 8006 built before 2003 by a new 787923 one of the same type built from 2003 on no IP65 protection SUB D socket 15 pole with bell shaped solder 918274 connection SUB D hood for SUB D socket 15 pole with screw 918408 locking SUB D socket 15 pole with 5 m cable ready 787737 connected on one side SUB D socket 15 pole with 10 m cable ready 787738 connected on one side RS232 adapter for connecting a PC with an extension 654748 cable Order no 917039 Extension cable 2 m for RS232 9 pole socket plug 917039 Communication software MassFlowCommunicator into at SE www buerkert com MFC MFM 35 burkert APPENDIX B ACCESSORIES FLUIDIC As a general rule we offer screw in joints with inch system threads only Flange plates with inch system screw in threads are hence used The pipe connection side may be ordered either in metric or inch sizes Brass versions are available on request Screw in thread Pipe diam 9 Order no Order no for to DIN ISO 228 1 sealing ring G 1 4 901538 901575 G 1 4 901540 901575 G 3 8 901576 G 3 8 901576 G 1 2
83. ifi e pour l talonnage ou ex cuter un Autotune pour adapter le r gulateur aux conditions de service actuelles Renvoyer l appareil au fabricant pour un r ta lonnage avec le gaz de service Voir le chapitre Exploi tation avec robinet d arr t supplementaire Activer la fonction de rampe l aide du logiciel PC MassFlowCommunicator 110 MFC MFM burkert ANNEXE A ACCESSOIRES ELECTRIQUES Fiche ronde 8 p le marque Tuchel connexion par sertissage 918137 Contact sertir pour fiche Tuchel 917436 Fiche ronde 8 p le marque Binder connexion soud e 918299 Fiche ronde 8 p le avec 5 m de c ble confectionn d un c t 787733 Fiche ronde 8 p le avec 10 m de c ble confectionn d un c t 787734 Fiche SUB HD 15 p le avec 5 m de c ble confectionn d un c t 787735 Fiche SUB HD 15 p le avec 10 m de c ble confectionn d un c t 787736 Adaptateur RS232 pour raccordement d un PC avec un c ble 654757 rallonge n de commande 917039 Adaptateur de raccordement DB9 m DB15HD m pour remplacement d un appareil type 8626 8006 avant ann e 2003 par un type plus r cent d s ann e 2003 pas de protection IP 65 N N Le N r N D Kal E Le gt Kei rr N D Kei Q O oo Kei N oo n o a F 787923 Kal Prise SUB D 15 p le connexion soud e 918274 e Couvercle SUB D pour prise SUB D 15 p le avec verrouillage 918408 Qn a VIS Le
84. igkeit lt 5 min 0 25 mm besser 0 5 mm max 7 5 W Typ 8712 max 10 W Typ 8712 Bus 2 5 W Typ 8702 5 W Typ 8702 Bus Galvanische Trennung ja Sollwertvorgabe 0 10V wahlbar 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Aufl sung 2 5 mV bzw 5 pA Eingangsimpedanz gt 20 kOhm Spannungseingang Eingangsimpedanz lt 300 Ohm Stromeingang 3 Bin reing nge Low aktiv zur Aktivierung mit DGND verbinden Istwertausgabe 0 10V wahlbar 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Aufl sung 10 mV bzw 20 pA max Strom 10 mA Spannungsausgang max B rde Stromausgang 600 Ohm 2 Relaisausgange Potentialfreie Wechsler 60 V 1 A 60 VA Anschl sse 8pol Buchse 15pol SUB HD Buchse 9pol SUB D Buchse nur bei Busausf hrung Schutzart IP 65 mit den vorgeschriebenen Steckern Werkstoff Geh use Deckel Einbaulage Edelstahl 1 4305 PPS GF horizontal oder vertikal MFC MFM 55 burkert Typ 8710 8700 MASS FLOW Bypass Standard Endwertebereich Q im Betriebsmedien max Betriebsdruck Kalibriermedium Mediumstemperatur Umgebungstemperatur Messgenauigkeit nach 15 min Aufw rmzeit Linearit t Reproduzierbarkeit Messspanne Ausregelzeit T Betriebsspannung Anschlussquerschnitt Leistungsaufnahme Galvanische Trennung Sollwertvorgabe w hlbar Aufl sung Eingangsimpedanz Spannungseingang Eingangsimpedanz Stromeingang 2 Bin reing nge 0 05 bis 30 I min Bezugsmedium N neutrale nicht kontam
85. inierte Gase andere auf Anfrage 10 bar abh ngig von der Ventilnennweite Betriebsgas oder Luft 10 bis 70 C 10 bis 55 C 1 5 v M 0 5 v E 1 0 v E 0 5 v E 1 50 lt 2s 24 V DC 10 Restwelligkeit lt 5 min 0 25 mm besser 0 5 mm max 7 5 W Typ 8710 2 5 W Typ 8700 nein 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 2 5 mV bzw 5 pA gt 300 kOhm lt 200 Ohm Low aktiv zur Aktivierung mit GND verbinden Werkstoff Gehause Deckel Einbaulage 56 MFC MFM Istwertausgabe 0 10V wahlbar 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Aufl sung 10 mV bzw 20 pA max Strom 10 mA Spannungsausgang max B rde Stromausgang 600 Ohm Relaisausgang Potentialfreier Wechsler 25 V 1 A 25 VA Anschl sse 15pol SUB D Stecker Schutzart IP 50 Edelstahl 1 4305 Stahlblech verchromt horizontal oder vertikal burkert MONTAGE INSTALLATION UND INBETRIEBNAHME MaBzeichnungen 94 5 111 4 Il Bild Typ 8626 8006 MASS FLOW INLINE 10 Bild Typ 8712 8702 MASS FLOW CMOS
86. ion Safety function flashes Setpoint profile Setpoint profile Autotune routine LIMIT y LED Initiate with activated flashes binary input gt 0 5 s Safety function if continuously configured repeated starts Autotune Safety function POWER LED Initiate with actifated routine Device reset flashes binary input gt 0 5 s if continuously configured repeated starts Device reset Safety function LIMIT y LED Jas long as activated flashes MFC MFM 29 burkert Standard control operation This is the operating mode in which the MFC finds itself after being switched on and after a short initialization phase In the LED group only the green Power LED lights The flow rate is controlled to the setpoint with high sensitivity Disturbances such as those resulting from pressure variations are rapidly corrected by suitable adjustment to the aperture of the control valve In this mode the setpoint is set via the analog input standard signal input or the field bus depending on the version of the device The controller parameters are set such that changes in the process value or distrubances are corrected as fast as possible without significant overswing being caused NOTE When the driving signal of the control valve approaches the 100 limit the LIMIT y LED lights The cause is usually that the pressure difference over the MFC is too small e g because the pressure supply is insufficient
87. ion des N C donn es VDD u Tension d alimentation P5V Ne N C CAN_H ligne de donn es 8 RxD TxD N ligne A N C 9 N C N C Prise SUB HD 15 p les Pilotage analogique Ex cution bus 1 Envee valeur de consigne NC 2 entre valeur de consigne GND W C 3 Sore variable nstatan e JS Entr e binaire 2 Sortie 12 V utilisation interne seulement RS232 TxD raccordement direct au PC Entr e binaire 1 DGND pour entr e binaire utilisation interne seulement ne pas connecter Sortie 12 V utilisation interne seulement Sortie 12 V utilisation interne seulement Entr e binaire 3 GND sortie variable instantan e N C RS232 RxD raccordement direct au PC DGND pour interface RS232 MFC MFM 101 fran ais ID Q On burkert Brochage des connecteurs type 8710 8700 Prise SUB D 15 p les Sortie a relais contact de repos Sortie a relais contact de travail Sortie a relais contact central Alimentation 24 V GND Alimentation 24 V Sortie 8 V utilisation interne seulement Entr e valeur de consigne GND Entr e valeur de consigne Sortie variable instantan e GND 102 MFC MFM lolocioltiolun r w in olmw 14 15 Sortie variable instantan e GND pour entr e binaire Entr e binaire 1 Entr e binaire 2 Raccordement d un PC seulement via adaptateur voir accessoires l annexe A burkert E
88. it einem Verlangerungskabel 654748 Best Nr 917039 N CH N a N Ke N ke CH N a N ke CH be ee CN GO S F 787923 Typ 8710 8700 c Verl ngerungskabel amp mr RS232 9pol Buchse Stecker 2 m 917039 H ikati i Infos unter 2 Kommunikations SW MassFlowCommunicator Aa Bleken com MFC MFM 73 burkert ANHANG B ZUBEH R FLUIDISCH Generell bieten wir Einschraubverschraubungen nur mit Zoll Einschraubgewinde an entsprechend werden Flanschplatten mit Zoll Einschraubgewinde verwendet Die Rohranschlussseite kann sowohl in metrischen als auch in Zoll Gr en be stellt werden Auf Wunsch liefern wir auch Messing Ausf hrungen Einschraubgewinde Rohr Material Best Nr Nr nach DIN ISO 228 1 ichtri G 1 4 6 mm 901538 901575 G 1 4 8 mm 901540 901575 VA VA VA VA vA vA vA VA VA 901553 901579 VA VA VA VA A 901555 901580 901556 901580 CE CEE CEE vo vo VA Je bes wm wm ACHTUNG Zu jeder Verschraubung muss ein Dichtring mitbestellt werden Weiteres Zubeh r f r den Fluidischen Anschluss des MFC MFM finden Sie unter Typ 1013 im B rkert Zubeh r Katalog Ersatzteile Edelstahlgitter f r 8626 8006 und 8716 8706 Standardgeh use 646808 Edelstahlgitter f r 8626 8006 und 8716 8706 AF60 Geh use 651694 Edelstahlgitter f r 8712 8702 654733 74 MFC MFM burkert
89. n Dispositions de garantie B rkert garantit le bon fonctionnement du MFC ou du MFM pour une p riode d un an a condition que l appareil soit utilis conform ment aux prescriptions et compte tenu des conditions de service sp cifi es ATTENTION TR zur SCHER ae H Une utilisation conforme inplique en particulier une qualite ad quate du fluide de service Un fluide fortement conamin ou contenant des particules solides peut d grader la pr cision L introduction de phases liquides dans le compartiment du capteur peut influencer le fonctionnement du capteur ou du MFC MFM Dans de tels cas une unit de traitement appropri e filtre purgeur de liquide devra tre install e en amont du MFC MFM En cas de fonctionnement d fectueux pendant la p riode de garantie l appareil concern sera remplac ou r par gratuitement ATTENTION z 5 n H Les prestations de garantie ne s tendent qu au MFC ou MFM et ses composants amis pas aux dommages consecutifs de toute nature susceptibles de survenir par suite de defaillance ou d faut de fonctionnement de l appareil 80 MFC MFM burkert DESCRIPTION DU SYSTEME Description des types Ces istructions de service contiennent des informations relatives aux MassFlowController MFC et MassFlowMeter MFM faisant partie du programme de produits B rkert Gamme de valeur Capteur Remarques finale Q enn min pour appareils
90. n Bypass Element einbringt das die gleiche Durchfluss Druck Charakteristik aufweist wie der Sensorkanal Bei konstantem Teilerverh ltnis kann dann aus der Messung der Teilmenge nach entsprechender Kalibrierung auf den Gesamtdurchfluss r ckgeschlossen werden Die geringe thermische Masse der Temperatursensoren und deren direkter Kon takt mit der Str mung bis auf eine Schutzschicht haben zur Folge dass das Sensorsignal auf spontan auftretende Durchfluss nderungen sehr schnell rea giert Dadurch kann der MFC Sollwert oder Istwert nderungen innerhalb von wenigen 100 ms ausregeln Dar ber hinaus hat der Sensor eine hohe Empfindlich keit bis hin zu kleinsten Durchfl ssen sowie zus tzliche Korrektur und Diagnose m glichkeiten ber das Signal eines weiteren Temperatursensors auf dem Chip 46 MFC MFM burkert Bypass Sensor in konventioneller Technik Typen 8710 8700 Gemessen wird ebenfalls nach dem Bypass Prinzip Ein Laminar Flow Element im Hauptkanal erzeugt einen geringen Druckabfall Dieser treibt einen zum Gesamt durchfluss proportionalen kleinen Fluss durch das eigentliche Sensorr hrchen Auf das d nne Edelstahlr hrchen sind zwei Heizwiderst nde aufgewickelt die in einer Messbr cke verschaltet sind Bei Durchfluss wird durch die Str mung W r me in Flie richtung transportiert und damit die im Ruhezustand abgeglichene Br cke verstimmt Sensorr hrchen Vorfilter Laminar Flow Element Bild Funktionss
91. n das Ansteuersignal des Regelventils sich der 100 Grenze 2 n hert leuchtet die Limit y LED auf Die Ursache ist in der Regel eine zu geringe Druckdifferenz ber dem MFC z B infolge einer nicht ausreichenden Druckversorgung oder stark verschmutzter Filter Dies kann dazu f hren dass der vorgegebene Sollwert nicht erreicht werden kann und eine bleibende positive Regelabweichung w x entsteht Um daraufhin eine externe Reaktion zu erm glichen wird dar ber hinaus ein Relais Ausgang geschalten Autotune Routine Voraussetzung f r die automatische Anpassung des Reglers an die Verh ltnisse der Anlage ist dass die typischen Druckverh ltnisse herrschen gt L sen Sie die Autotune Routine durch Bet tigung des Bin reingangs1 aus Die Autotune Routine l uft automatisch ab W hrend der Abarbeitung der Auto tune Routine blinkt die gr ne Power LED H ACHTUNG Beachten Sie w hrend des Ablaufs der Autotune Routine folgende Punkte Es treten verschiedene Durchfluss nderungen auf Die Stromversorgung des MFC darf nicht abgeschaltet werden Der Versorgungsdruck sollte konstant gehalten werden W hrend des Ablaufs der Autotune Routine regelt der MFC nicht Das Regelventil wird nach einem intern vorgegebenen Schema angesteuert Das f hrt zu Durch fluss nderungen Hierbei werden einige Regelparameter an die in der Anlage vorherrschenden Bedingungen angepasst Diese Parameter werden am Ende d
92. n und einen fallenden Sollwert getrennt einstellbar N heres zur Rampenfunktion entnehmen Sie der Software dokumentation Regelabweichung Regelabweichung Sollwert Istwert xd w x Die Regelabweichung wird nach einem Pl Regelalgorithmus verarbeitet Die Regelparameter werden typenspezifisch im Werk eingestellt Um die Eigen schaften der Regelstrecke zu ber cksichtigen arbeitet der Regler mit strecken abhangigen Verstarkungsfaktoren Beim Ablauf der Autotune Routine werden diese automatisch ermittelt Im Ger t ist ein Parameter hinterlegt mit dem die Regeldynamik mit Hilfe der Software MassFlowCommunicator verandert werden kann Seine Extremwerte sind ein sehr schnelles Ausregeln wobei ggf berschwinger in Kauf genommen werden bzw ein langsameres asymptotisches Ausregeln auf den gew nschten Durchfluss Ersteres kann dazu f hren dass der Regler schon auf sehr geringe Regelabweichungen sofort reagiert wodurch die Regelung sehr unruhig werden kann Bei weniger dynamischen Prozessen kann das Verhalten des Reglers ge d mpft werden so dass kleine Schwankungen beim Istwert oder Sollwert nur langsam ausgeregelt werden Als Stellgr e wird an das Proportionalventil ein pulsweitenmoduliertes PWM Signal ausgegeben Die Frequenz dieses Signals ist auf das jeweils verwendete Ventil abgestimmt Um die Dichtschlie funktion des Ventils zu gew hrleisten ist eine Nullpunktab schaltung integriert Diese wird aktiv w
93. n valve is not required in the medium circuit H for safety reasons however an additional isolation valve is placed before or after the MFC the drive sequence should be as follows Start 1 Connect pressure supply 2 Open isolation valve 3 Set MFC setpoint normal control operation Shut down 1 Set MFC setpoint to 0 2 Close isolation valve when process value of 0 is reached Any other sequence could result on renewed opening of the isolation valve even with setpoint zero in a short flow pulse or on first setting of the setpoint significant overswing Mechanical and fluidic installation Select the available fluidic connections to match the maximum flow rate Intake sections are not required If necessary we can also supply special sizes whereby the dimensioning of the fluidic system with regard to flow and pressure drop must be taken into account Screw joints The device can on request also be supplied with screw in joints already assembled Please select the matching joint from the table in Appendix B Connections at MFC MFM Standard screw in thread Special screw in thread G 3 8 G 1 2 G 3 4 NPT 1 4 NPT 3 8 NPT1 2 NPT3 4 X X X X X X X X X X X X X X X X X X X X X X X x x 8710 X 8700 X MFC MFM 21 burkert Assembly of clamping ring screw joints ATTENTION With low flow rates and high pressures pay attention to the gastightness of the system to
94. ne Int 331 48 10 31 10 Nat 01 48 10 31 10 Fax Int 331 48 43 61 04 Nat 01 48 43 61 04 BC GB Great Britain GroBbritannien Burkert Contromatic Ltd Brimscombe Port Business Park Brimscombe Stroud Glos GL5 2QF Great Britain Phone Int 44 1453 73 13 53 Nat 01453 731 353 Fax Int 44 1453 73 13 43 Nat 01453 731 343 BC I Italy Italien Burkert Contromatic Italiana S p A Centro Direzionale Colombirolo Via Roma 74 I 20060 Cassina De Pecchi MI Phone Int 39 02 959 071 Nat 02 959 071 Fax Int 39 02 959 07251 Nat 02 959 07 251 BC IRE Ireland Irland Burkert Contromatic Ireland Ltd Penrose Wharf Centre Penrose Wharf IRE Cork Phone Int 353 21 486 13 36 Nat 021 486 13 36 Fax Int 353 21 733 23 65 Nat 021 733 23 65 BC N Norway Norwegen B rkert Contromatic A S Hvamstubben 17 Box 243 N 2026 Skjetten Phone Int 47 63 84 44 10 Nat 63 84 44 10 Fax Int 47 63 84 44 55 Nat 63 84 44 55 BC NL Netherlands Niederlande B rkert Contromatic BV Postbus 12 48 NL 3600 BE Maarssen Phone Int 31 346 58 10 10 Nat 0346 58 10 10 Fax Int 31 346 56 37 17 Nat 0346 56 37 17 BC P Portugal Portugal Burkert Contromatic Rua Ferreira Chaves 8 P 1070 127 Lisboa Phone Int 351 21 382 8000 Nat 21 382 8000 Fax Int 351 21 387 3679 Nat 21 387 3679 BC PL Poland Polen Burkert Contromatic Sp z 0 0 Bernardynska street 14 a PL 02 904 Warszawa Phone Int 48 22 84
95. ne correspondent pas au comportement du syst me r gl Un autre fluide que celui utilis pour l talonnage est adopt L ondulation r siduelle de la tension d alimentation est trop lev e Pression de service sup rieure la pression d tanch it de la vanne proportionnelle Pression de service sensi blement plus lev e que la pression d talonnage gt Convexion propre accrue seulement sur 8716 et 8626 Position de montage erron es Convexion propre accrue seulement sur 8716 et 8626 Utilisation d un autre fluide que celui sp cifi pour l talonnage Lors du montage d un robinet d arr t suppl mentaire la s quence de commande n est pas ob serv e Une concentration trop forte du fluide soutire l oxyg ne n cessaire la flamme Connecter la borne FE un point de terre liaison courte section min 2 5 mm Brancher un manod tendeur appropri en amont S lectionner une source de tension appropri e Ex cuter un Autotune pour adapter le r gulateur aux conditions de service actuelles Adapter la dynamique de r gulation l aide du logiciel PC MassFlowCommunicator Renvoyer l appareil auf fabricant pour un r talonnage avec le gaz de service S lectionner une source de tension approprit e R duire la pression de service Ex cuter un Autotune pour adapter le r gulateur aux conditions de service actuelles Monter le MFC la position sp c
96. ns Schnittstelle RS232 Direkter Anschluss an PC ber RS232 Adapter Kommunikation mit spezieller Software MassFlowCommunicator siehe Anhang C Bei 8700 8710 ist ein externer Schnittstellentreiber notwendig im Adapter f r 8700 8710 integriert siehe Anhang A BUS Profibus DP oder DeviceNet Anschaltung nur Bus Ger te Dichtwerkstoffe FPM andere Dichtmaterialien auf Anfrage Die Vertr glichkeit des Dichtwerkstoffes mit den g ngigen Betriebsmedien entneh men Sie den B rkert Best ndigkeitstabellen H ACHTUNG Die Angaben in dieser Tabelle haben orientierenden Charakter und ersetzen nicht eigene Tests unter den jeweiligen Betriebs bedingungen Insbesondere kann aus ihnen keine Gew hrleis tung f r die Medienvertr glichkeit abgeleitet werden 52 MFC MFM burkert Typ 8626 8006 MASS FLOW INLINE 25 bis 1500 min Bezugsmedium N neutrale nicht kontaminierte Gase Betriebsmedien andere auf Anfrage 10 bar abh ngig von der Ventilnennweite Betriebsgas oder Luft 10 bis 70 C 10 bis 45 C Messgenauigkeit a 5 UE teen ES UM 05 VE 10 VE 0 5 VE 1 50 lt 500 ms Betriebsspannung 24 V DC 10 Restwelligkeit lt 5 min 0 5 mm 0 75 mm bei Ventil Typ 2836 20 W max 50 W Typ 8626 abh vom Ventil 22 5 W max 52 5 W Typ 8626 Bus abh vom Leistungsaufnahme Ventil 10 W Typ 8006 12 5 W Typ 8006 Bus ja Sollwertvorg
97. ns l ordre suivant Installation m canique et fluidique Installation lectrique Application du fluide de service Exploitation normale PQ IN REMARQUE La pr cision sp cifi e ne peut tre obtenue apr s la mise sous tension qu une fois que le processus d galisation thermique est achev et que l appareil a atteint sa temp rature de service cette dur e est tributaire du type de l appareil voir les Caract ristiques Techniques KI 96 MFC MFM burkert Exploitation avec robinet d arr t suppl mentaie La vanne proportionnelle int gr e dans le MFC assure la fonction de fermeture herm tique de sorte ou aucun robinet d arr t suppl mentaire n est requis dans le circuit du fluide Si cependant pour des raisons de s curit on d sire placer un robinet en amont ou en aval du MFC la s quence de commande devrait tre la suivante D marrage 1 Application de la pression 2 Ouverture du robinet d arr t 3 Fixation de la valeur de consigne du MFC mode de r gulation normal Arr t 1 Fixation de la valeur de consigne du MFC 0 2 Fermeture du robinet d arr t lorsque la variable instantan e atteint 0 Tout ordre diff rent pourrait entra ner lors de l ouverture suivante du robinet d arr t m me avec une valeur de consigne nulle une courte impulsion de flux et une nette suroscillation lors de la premi re fixation de consigne Installation m canique et fluidique S lectionner les racc
98. ntr es sorties Aper u des types Branche LED Entr es Sortie binaires relais 3 Co X x 8626 bus x 4 8 N Pas d isolation galvanique R fo Q oO EN wo REMARQUE Le logiciel PC MassFlowCommunicator peut tre obtenu en option Celui ci permet de commuter le signal normalis pour l entr e de la valeur de consigne ou la sortie de la variable instantan e entre 0 5 V O 10 V O 20 mA et 4 20 mA voir l annexe C Entr e de la valeur de consigne L entr e de la valeur de consigne sert a fixer la consigne via un signal normalis pour le MFC Sortie de la variable instantan e La sortie de la variable instantan e d livre la valeur du d bit actuel sous forme de signal normalis Branchement de bus Les types 8626 8006 8716 8706 8712 et 8702 sont disponibles en version bus La valeur de consigne et la variable instantan e sont mises et re ues via le bus sous forme de signaux num riques On a le choix entre le branchement PROFI BUS DP ou DeviceNet voir le compl ment aux instructions de service pour appareils a bus MFC MFM 103 fran ais burkert Diodes luminescentes pour l affichage des modes op rationnels dispositions de base LED POWER L appareil se trouve sous tension de service Fonction Autotune active LED COMMUNICATION allumee L appareil communique via le bus ou RS232 non pr vue sur 8710 8700 jaune LED LIMIT y S
99. nungssignal an das Stellglied gegeben Das Tastverh ltnis des Spannungssignals wird entspre chend der festgestellten Regelabweichung variiert Der Istwert wird dar ber hinaus ber eine analoge elektrische Schnittstelle oder einen Feldbus nach au en gegeben und steht dem Anwender f r Kontrollzwecke oder weitere Auswertungen z B Verbrauchsermittlung durch Integration zur Verf gung Das thermische Messprinzip garantiert dass die MFC s weitgehend unabh ngig von Druck und Temperaturschwankungen in der jeweiligen Anwendung den geforderten Massendurchfluss ausregeln In den MFM fehlt gegen ber den entsprechenden MFC jeweils die Komponente Proportionalventil so dass diese Ger te nur zum Messen des Massendurch flusses nicht aber zu dessen Regelung eingesetzt werden k nnen Die im Fol genden beschriebenen Eigenschaften der anderen Komponenten insbesondere der Sensoren sind identisch mit denen der MFC Sensor Thermisches Messprinzip Die verwendeten Durchflusssensoren arbeiten nach einem thermischen anemometrischen Messverfahren Sie messen jeweils das Produkt aus Dichte und Str mungsgeschwindigkeit und liefern damit ein stoffmengenbezogenes Signal Dadurch wird die f r die meisten Applikationen relevante Gr e Massendurchfluss direkt und ohne zus tzliche Erfassung von Hilfsgr en wie der Dichte bestimmt und kann im Regler als Istwert weiterverarbeitet werden Je nach Durchflussbereich und Zielmarkt der Ger te
100. onseils et recommandations importantes Consignes de s curit Veuillez tenir compte des consignes de cette notice de service de m me que des conditions d emploi et donn es admissibles sp cifi es dans les fiches techniques du MassFlowController MFC ou du MassFlowMeter MFM afin que l appareil fonctionne parfaitement et reste longtemps op rationnel S en tenir aux r gles techniques g n ralement reconnues lors du projet de mise en uvre et du service de l appareil L installation et les interventions n cessit es par la maintenance ne doivent tre effectu es que par un personnel qualifi quip des outils ad quats Respecter les dispositions en vigueur de pr vention des accidents et de s curit pour appareils lectriques pendant le service et la maintenance de l appareil Toujours couper la tension d alimentation avant toute intervention dans le syst me Pendre les mesures qui s imposent pour viter un actionnement intempestif de l appareil ou une mise en cause inadmissible de son fonctionnement Nous d clinons toute responsabilit en cas d inobservation de ces consignes et d interventions non autoris es dans l appareil Il en r sulterait par ailleurs l annulation de la garantie sur l appareil et les pi ces accessoires Protection contre des dommages dus des charges lectrostatiques L appareil comporte des composants lectroniques sensib A les aux d charges lectrostatiques ESD Ces A composants
101. or characterizing the measurement range Iy min or m h have the dimensions volume time but because of the reference to a standard state here p 1013 mbar and T 273 K we are actually dealing with mass flow rates specific to gas types These are obtained e g in kg h by multiplication of the standard volumetric flow rate by the density of the operating gas in the standard state py 6 MFC MFM burkert Inline sensor Types 8626 8006 8716 8706 This sensor works as a hot film anemometer in the so called CTA Constant Temperature Anemometer mode Two resistors with exactly defined temperature coefficients in the medium flow form a resistance bridge with three resistors situated outside the flow The first resistor in the medium flow R measures the fluid temperature the second lower resistance resistor R is always heated to maintain its temperature a certain amount above that of the medium The heating current required is a measure of the heat dissipation by the flowing gas and represents the primary measurement value Suitable flow conditioning inside the MFC or MFM and calibration with high quality flow standards guarantee that the quantity of gas flowing per unit time can be derived with high precision from the primary signal sensor with electronics gas flow gt prefilter flow conditioning Fig Functional diagramm of the Inline sensor
102. ordements fluidiques disponibles en fonction du d bit maximum Aucune section d entr e n est n cessaire Au besoin nous sommes en mesure de livrer des dimensions sp ciales qui devront alors tre prises en compte lors de la conception du circuit en ce qui concerne le d bit et la perte de charge Raccords fran ais Sur demande les appareils peuvent galement tre livr s avec des raccords filetage mont s Pri re de s lectionner le raccord correspondant dans le tableau de l annexe B Raccords sur MFC MFM Filetages standard Filetages sp ciaux G 3 8 G 1 2 NPT 1 4 NPT 3 8 NPT1 2 NPT3 4 8626 X X X X X X X 8006 X X X X X X lt x XI gt X lt X lt MFC MFM 97 9 o Qs S burkert Montage de raccords a bague de serrage ATTENTION En cas de faible d bit et de pression lev e accorder son attention l tanch it du circuit afin d viter les erreurs de dosage ou de fuites de gaz Pour assurer une bonne tanch it du syst me proc der au montage comme suit Monter les raccords de tuyauterie sans tension le cas ch ant utiliser des compensateurs Utiliser des tubes de diam tre assorti et surface lisse Scier les tubes droits et les bavurer Monter dans l ordre l crou raccord la bague d assise si pr vue et la bague de serrage sur le tube gt introduire le tube jusqu au fond dans le raccord
103. pas t d tect poursuivie La LED ERROR L ondulation r siduelle de la Selectionner une source de clignote tension d alimentation est trop tension appropri e pas de lev e tension continue technique Erreur critique par ex Renvoyer l appareil au fabricant d faillance du capteur ou pour r vision d faut interne de l alimentation Pas de d bit Valeur de consigne inf rieure Augmenter la valeur de consigne au d clenchement de point j gt 2 de Qem z ro Autre mode op rationnel V rifier le mode op rationnel La suite du tableau voir une page suivante MFC MFM 109 KA be o Qs S Probl me Fluctuation de la variable instantan e Le r gulateur tend osciller Valeur de consigne w 0 mais d bit pr sent apr s quelques secondes Valeur de consigne w 0 vanne ferm e aucun d bit mais sortie de variable instantan e repr sentant un faible d bit Forte suroscillation du r gulateur en cas de saut de consigne partir de 0 Lors de la commande d une flamme celle ci s teint apr s un saut de consigne burkert Pas de connexion la terre FE satisfaisante Le r gulateur doit conitnuellement corriger une pression d alimentation instable L ondulation r siduelle de la tension d alimentation est trop lev e La pression de service est largement sup rieure celle avec laquelle le dernier Autotune a t ex cut Les param tres de r gulation
104. pe de l an mom tre film chaud dans le mode dit CTA Constant Temperature Anemometer Avec ce syst me deux r sistances avec coefficients de temp rature d finis avec pr cision sont directement expos es au flux gazeux et trois autres r sistances hors de ce flux sont branch es en forme de pont La premi re r sistance dans le flux de mesure R mesure la temp rature du fluide la seconde faible r sistance R est chauff e juste suffisamment de fa on maintenir une surtemp rature fixe et pr d finie par rapport au fluide Le courant de chauffage n cessaire cet effet est une mesure de la chaleur vacu e par le flux gazeux et repr sente la grandeur de mesure primaire Un conditionnement appropri du flux au sein du MFC ou MFM et un talonnage avec des talons de d bit de haute fid lit garantissent une d termination pr cise de la quantit de gaz s coulant par unit de temps d riv e du signal primaire Capteur avec lectronique fran ais Flux gazeux gt Pr filtre Conditionnement de l lectronique Figure Sch ma de principe du capteur Inline Les r sistances R et R en contact direct avec le fluide du flux principal garantissent une dynamique tr s lev e des appareils avec des temps de r ponse de l ordre de quelques millisecondes lors de variation subite des valeurs de consigne et instantan e Gr ce la disposition des r si
105. puce 84 MFC MFM burkert Capteur bypasse en technique classique types 8710 8700 La mesure repose galement sur le principe de bypass d rivation Un lement d coulement laminaire dans le canal principal cr e une faible perte de charge Celle ci entra ne un faible d bit proportionnel au d bit total dans le tube du capteur proprement dit Sur le mince tube en acier inoxydable sont enroul es deux r sistances de chauffage branch es sous forme de pont Durant sa travers e le flux vacue de la chaleur dans le sens de l coulement rompant l quilibre du pont Tube du capteur fran ais Pr filtre El ment de flux laminaire Figure Sch ma du principe de mesure en bypass La dynamique de la mesure est d termin e par la paroi du tube du capteur agissant en tant que barri re thermique qui de par son principe est largement inf rieure celle des capteurs dont les r sistances sont directement au contact du flux Gr ce des dispositions prises au niveau du logiciel il est possible d atteindre des temps de correction des perturbations par le r gulateur suffisants pour la plupart des applications de l ordre de quelques secondes Avec des fluides contamin s nous recommandons de pr voir un l ment filtrant en amont de l appareil On vite ainsi une variation du rapport de division entre le flux principal et le tube du capteur ainsi que du transfert thermique dus aux d p ts sur la paroi
106. riebs letzte Autotune ausgef hrt bedingungen durch wurde Regelparameter entsprechen nicht dem Streckenverhalten Es wird ein anderes Medium eingesetzt als durch die Kalibrierung vorgesehen Restwelligkeit der Ver Sorgungsspannung zu hoch Passen Sie die Regeldynamik mit PC Software MassFlowCommunicator an Senden Sie das Ger t zur Neukalibrierung f r das Betriebsmedium an den Hersteller W hlen Sie die passende Spannungsquelle Sollwert w 0 Durchfluss nach einigen Sekunden trotzdem vorhanden Sollwert w 0 Ventil geschlossen kein Durchfluss Istwertausgang zeigt aber geringen Durchfluss an Regler hat starke Uberschwinger bei einem Sollwertsprung von 0 ausgehend bei einer Flammen steuerung erlischt die Flamme nach einem Sollwertsprung Betriebsdruck oberhalb des Senken Sie den Betriebsdruck dichtgehaltenen Drucks des Proportionalventils F hren Sie eine Autotune zur Anpassung an die Betriebs bedingungen durch Betriebsdruck deutlich h her als der Kalibrierdruck erh hteEigenkonvektion nur bei 8716 und 8626 falsche Einbaulage gt erh hte Eigenkonvektion nur bei 8716 und 8626 Bauen Sie den MFC in der kalibrierten Einbaulage ein oder f hren Sie eine Autotune zur Anpassung an die Betriebsbedingungen durch Es wird ein anderes Medium eingesetzt als durch die Kalibrierung Senden Sie das Ger t zur Neukalibrierung f r das Betriebsmedium an den Her
107. rmes CE pour un usage industriel et ont par cons quent pass les contr les CEM y relatifs conform ment EN 50081 2 03 94 Norme fondamentale Emissions parasites section 2 Usage industriel EN 50082 2 02 96 Norme fondamentale Immunit aux parasites section 2 Usage industriel Interfaces de communication RS232 Raccordement direct au PC via adaptateur RS232 communication via logiciel sp cial MassFlowCommunicator voir annexe C ID Q Qn Sur le type 8700 8710 un pilote d interface externe est n cessaire int gr dans l adaptateur pour 8700 8710 voir annexe A BUS Connexion Profibus DP ou DeviceNet uniquement appareils a bus Mat riaux des joints FPM autres mat riaux sur demande La compatibilit des mat riaux de joints avec les fluides de service courants est indiqu e dans les tableaux de r sistance Burkert H ATTENTION Les donn es de ce tableau n ont qu un caract re informatif et ne remplacent pas des essais sp cifiques dans les conditions r elles de service En particulier aucune garantie ne peut en tre d riv e en ce qui concerne la compatibilit aux fluides 90 MFC MFM burkert Type 8626 8006 MASS FLOW INLINE Gamme de valeur finale Qem 25 1500 I min fluide de r f rence N gaz neutres non conamin s autres sur demande 10 bar selon le diam tre nominal de la vanne Gaz de service ou air 08 70 C 08 45
108. rs siehe Anhang A ohne zus tzlichen Verkabelungs aufwand geschehen A MFC MFM 61 burkert Anschlussbelegung Typ 8716 8706 8pol Buchse rund 24V Versorgung Relais 1 Mittelkontakt Relais 2 Mittelkontakt Relais 1 Offner Relais 1 Schliesser 24V Versorgung GND Relais 2 Schliesser Relais 2 Offner 62 MFC MFM 9pol Sub D Buchse nur bei Busausf hrung PROFIBUS DP DeviceNet a Schirm FE Funktionserde DN N C not connected CAN L Datenleitung 8 RDMO P B Leitung RTS Steuersignal fur Repeater N C GND Daten bertragungspotential N C VDD Be P5V CAN H Datenleitung 7 DE PROTON Lehing 15pol Sub HD Buchse analoge Ansteuerung Busausf hrung NC 2 NC 3 NO 4 Bin reingang 2 5 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung 6 RS232 TxD direkter Anschluss an PC 7 Bin reingang 1 8 DGND f r Bin reing nge 9 nur werksinterne Verw nicht belegen 10 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung 11 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung 12 Binareingang 3 13 Istwertausgang GND N C 14 RS232 RxD direkter Anschluss an PC 15 DGND f r RS232 Schnittstelle burkert Anschlussbelegung Typ 8712 8702 9pol Sub D Buchse nur bei Busausf hrung PROFIBUS DP DeviceNet Schirm FE Funktionserde N C not connected CAN_L Datenleitung RxD TxD P B Leitung GND RTS Steuersignal fur Repeater N C GND Daten b
109. s the controller behaviour can be damped so that small variations in the process value or setpoint are corrected only slowly As the correcting variable a pulse width modulated PWM signal is sent to the proportional valve The frequency of this signal is adapted to the respective valve To assure the tight closing function of the valve zero point switch off is built in This becomes active if the following conditions simultaneously occur setpoint lt 2 of nominal flow and process value lt 2 of nominal flow With the zero point switch off activated the PWM signal is set to 0 so that the valve closes completely 1 With type 8712 on request zero point switch off at setpoint lt 0 2 of nominal flow and process value lt 0 2 of nominal flow 10 MFC MFM burkert Depending on the version of the device the setpoint is set either via the standard signal input as an analog signal or digitally via the fild bus interface Independent of the control status the flow rate measured by the sensor is sent as an analog signal via the standard signal input or digitally via the field bus interface In order to obtain a dynamic or a more sluggish process value output signal the degree of filtering of the output signal can be adjusted with the software MassFlowCommunicator Proportional valve In all MFC series the servo elements used are linear armature proportional valves from the B rkert valve range Design mea
110. s prescrits Aluminium lox ou acier inoxydable 1 4305 PPS GF Position de montage horizontale ou verticale 92 MFC MFM burkert Type 8712 8702 MASS FLOW CMOSens Gamme de valeur Qrem 0 02 50 I min fluide de r f rence N Fluides de service gaz neutres non contamin s autres sur demande 10 bar selon le diam tre nominal de la vanne Gaz de service ou air Temp rature du fluide 10a 70 C 108 50 C 1 0 p m 0 5 p e temp rature de 1 min SET SE 1 50 sur demande 1 500 Tension de service 24 V DC 10 ondulation r siduelle lt 5 Section de branchement min 0 25 mm 0 5 mm pr f rable Puissance absorb e max 7 5 W Type 8712 max 10 W Type 8712 bus 2 5 W Type 8702 5 W Type 8702 bus Isolation galvanique Oui Fixation de la valeur de consigne 10 10 V s lectionnable 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Resolution 2 5 mV resp 5 pA Imp dance d entr e gt 20 kOhm entr e en tension Imp dance d entr e lt 300 Ohm entr e en courant Actif sur bas relier DGND pour activation Sortie de la variable instantan e 0 10V s lectionnable 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Resolution 10 mV resp 20 pA Courant max 10 mA sortie en tension charge max sortie en courant 600 Ohm 2 sorties relais Contacts inverseurs hors potentiel 60 V 1 A 60 VA Branchements Prise 8 p les Prise 15 p les SUB HD Prise 9 p les SUB D seul ex cution bus Degr d
111. se 8 p le ronde D Alimentation 24 V Relais 1 contact central Relais 2 contact central Relais 1 contact de repos Relais 1 contact de travail 24 V GND alimentation Relais 2 contact de repos Relais 2 contact de travail 100 MFC MFM burkert Prise SUB D 9 p le ex cution bus seulement PROFIBUS DP DeviceNet 1 Blindage FE terre fonctionnelle P CAN_L ligne de 2 N C non connect donn es 3 RxD TxD P ligne B GND 4 RTS signal de commande pour N C r p titeur 5 GND potentiel de transmission des N C donn es VDD 6 Tension d alimentation P5V NG 7 N C CAN_H ligne de donn es 8 RxD TxD N ligne A N C 9 N C N C Prise SUB HD 15 p les Ex cution a bus Entr e binaire 3 GND sortie variable instantan e N RS232 RxD raccordement direct au PC DGND pour interface RS232 burkert Rel Rel Rel Rel 24 Brochage des connecteurs type 8712 8702 Prise 8 p le ronde ER Alimentation 24 V ais 1 contact central ais 2 contact central ais 1 contact de repos ais 1 contact de travail V GND alimentation Rel ais 2 contact de repos Re ais 2 contact de travail Prise SUB D 9 p le ex cution bus seulement PROFIBUS DP DeviceNet 1 Blindage FE terre fonctionnelle S CAN _L ligne de 2 N C not connect donn es 3 RxD TxD P ligne B GND 4 RTS signal de commande pour N C r p titeur 5 GND potentiel de transmiss
112. se und unzul ssigen Eingriffen in das Ger t entf llt jegliche Haftung unsererseits ebenso erlischt die Garantie auf Ger te und Zubeh rteile Schutz gegen Besch digung durch elektrostatische Aufladung A Das Ger t enth lt elektronische Bauelemente die gegen elektrostatische Entladung ESD empfindlich reagieren Be ki A r hrung mit elektrostatisch aufgeladenen Personen oder Ge genst nden gef hrdet diese Bauelemente Im schlimmsten Fall werden sie sofort zerst rt oder fallen nach der Inbetriebnahme ACHTUNG aus VORSICHT BEI HANDHABUNG Beachten Sie die Anforderungen nach EN 100 015 1 um die ELEKTROSTATISCH M glichkeit eines Schadens durch schlagartige elektrostati GEF HRDETE sche Entladung zu minimieren bzw zu vermeiden Achten Sie BAUELEMENTE ebenso darauf dass Sie elektronische Bauelemente nicht bei BAUGRUPPEN anliegender Versorgungsspannung ber hren MFC MFM 41 burkert Lieferumfang berzeugen Sie sich unmittelbar nach Erhalt der Lieferung ob der Inhalt mit dem angegebenen Lieferumfang bereinstimmt Zu diesem geh ren e MFC bzw MFM Typ 8626 8006 oder 87xx e eine Betriebsanleitung ggf auf Datentr ger e bei Busger ten Erg nzungen zur Bedienungsanleitung ggf auf Datentr ger e das Protokoll der Endpr fung Kalibrierung Die zu den elektrischen Schnittstellen des MFC passenden Stecker erhalten Sie als Zubeh r Bei Unstimmigkeiten wenden Sie sich bitte umgehend an unser Kundencenter
113. section Power consumption Electrical isolation Setpoint setting to be chosen Resolution Input impedance voltage input Input impedance current input 3 binary inputs Process value output to be chosen Resolution max current volt outp max burden curr outp neutral non contaminated gases others on request 10 bar depending on nom valve diameter operating gas or air 10 to 70 C 10 to 50 C 1 0 v M 0 5 of full scale 1 0 of full scale 0 5 of full scale 1 50 1 500 on request lt 300 ms 24 V DC 10 residual ripple lt 5 min 0 25 mm better 0 5 mm max 7 5 W Type 8712 max 10 W Type 8712 bus 2 5 W Type 8702 5 W Type 8702 bus yes 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 2 5 mV or 5 pA gt 20 kOhm lt 300 Ohm low activated connect to DGND to activate 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 10 mV or 20 pA 10 mA 600 Ohm 2 relay outputs Connections Type of protection Housing material Cover material potential free changeover 60 V 1 A 60 VA 8 pole socket 15 pole SUB HD socket 9 pole SUB D socket bus version only IP 65 with the specified plug connectors stainless steel 1 4305 PPS GF Installation position horizontal or vertical MFC MFM 17 burkert Type 8710 8700 MASS FLOW Bypass Standard Full scale Qen 0 05 to 30 min reference medium N neutral non contaminated gases others on request
114. stances sur un support de verre tangentiel l coulement le capteur n est que peu sensible l encrassement La plage de mesure du capteur Inline est limit e vers le bas par la convexion propre dans le canal d coulement qui se manifeste galement lorsque la vanne de r glage est ferm e Par cons quent un tel capteur ne convient pas pour la mesure de d bits inf rieurs environ 1 min Le signal de convexion propre dans le canal d coulement est tributaire de la position de montage de l appareil Pour atteindre une pr cision lev e de faibles d bits la position de montage devrait tre identique celle sp cifi e dans la commande 1 Pour la m me raison la pression de service ne devrait pas trop diverger de la pression d talonnage 1 L appareil est talonn dans la position de montage sp cifi e dans le questionnaire annex la fiche technique MFC MFM 83 burkert Capteur bypass en technologie CMOSens types 8712 8702 Avec cette technologie le d bit massique est mesur dans un canal d coulement de forme sp ciale dont la paroi contient une puce Si sur une membrane d cap e en un point Sur cette membrane sont appliqu s en technologie CMOSens une r sistance de chauffage et sym triquement en amont et en aval de celle ci deux capteurs de temp rature Si la r sistance de chaffage est aliment e avec une tension constante la diff rence de tension des capteurs de temp rature est une me
115. steller siehe Kapitel Betrieb mit zus tlichem Absperrventil vorgesehen Bei Verwendung eines zu s tzlichen Absperrventils wurde die Ansteuer reihenfolge nicht beachtet Durch zu hohe Aktivieren Sie die Rampen Konzentration des Mediums funktion mit der PC Software wird der Flamme Sauerstoff MassFlowCommunicator entzogen 72 MFC MFM burkert ANHANG A ZUBEH R ELEKTRISCH Typen artikei Best Nr Rundstecker 8pol Fa Tuchel Crimpanschluss 918137 Crimpkontakte f r Tuchelstecker 917436 Rundstecker 8pol Fa Binder L tanschluss 918299 Rundstecker 8pol mit 5 m Kabel 787733 einseitig konfektioniert Rundstecker 8pol mit 10 m Kabel einseitig 787734 konfektioniert SUB HD Stecker 15pol mit 5 m Kabel 787735 einseitig konfektioniert SUB HD Stecker 15pol mit 10 m Kabel 787736 einseitig konfektioniert RS232 Adapter zum Anschluss eines PC in Verbindung mit einem Verlangerungskabel 654757 Best Nr 917039 Anschlussadapter DB9 m DB15HD m zum Ersatz eines Gerates Typ 8626 8006 vor Baujahr 2003 durch ein neueres gleichen Typs ab Baujahr 2003 kein IP65 Schutz SUB D Buchse 15pol mit L tkelchanschluss 918274 SUB D Haube f r 15pol SUB D Buchse mit 918408 Schraubverriegelung SUB D Buchse 15pol mit 5 m Kabel 787737 einseitig konfektioniert SUB D Buchse 15pol mit 10 m Kabel 787738 einseitig konfektioniert RS232 Adapter zum Anschluss eines PC in Verbindung m
116. sure du d bit massique du gaz contactant la puce dans le canal d coulement i i i Flux gazeux El ment capteur Chauffage Capteurs T 9 On S Figure Sch ma de principe du capteur en bypass de technologie CMOSens La section du canal d coulement est si petite que des d bits inf rieurs 1 cm min produisent d ja un signal de mesure suffisant La limite sup rieure de la gamme de mesure est atteinte lorsque l coulement laminaire initial devient turbu lent dans le canal Il est possible d obtenir des gammes de d bit sup rieures en montant un lement en d rivation dans un canal parall le pr sentant la m me caract ristique d bit pression que le canal du capteur Avec un rapport de division constant la mesure du d bit partiel apr s talonnage permet galement de d duire le d bit total La faible inertie thermique des capteurs de temp rature et leur contact direct avec l coulement jusqu une couche de protection ont pour cons quence que le signal du capteur r agit tr s rapidement aux variations instantan es du d bit Il en r sulte que le MFC est capable de corriger des variations de consigne ou de la variable instantan e en moins de 100 ms De surcro t le capteur poss de une sensibilit lev e jusqu aux d bits les plus faibles et pr sente des possibilit s suppl mentaires de diagnostic et de correction via le signal d un autre capteur de temp rature sur la
117. sures especially with the valves in the MFC for low flow rate Types 8710 8712 assure low friction guidance of the moving armature In combination with the PWM drive this assures a continuous largely linear characteristic curve as well as high response sensitivity Both are important for optimal functioning in the closed control loop of the MFC The nominal diameters of the valves are determined from the required nominal flow rate Qom the pressure conditions in the application and the density of the operating gas The manufacturer selects a proportional valve on the basis of these data whose flow coefficient k enables a maximum flow rate of at least the required nominal flow rate under the specified pressure conditions according to flow equations a for subcritical flow p gt p 2 Ap p2 Qnar 514 pu Ts ky gt Q om 1 or b for supercritical flow p lt p 2 1 Ba 257 87 PI Kus gt Orom 2 Where the pressures p and p in equations Gl 1 and 2 refer to measurement points directly before and after the MFC The pressures before and after the MFC are often unknown only the inlet and outlet pressures p and p for the overall system A part of the pressure dropp p occurs over other flow resistances isolation valves nozzles piping filters etc whose flow coefficient may be collected together in a variable k MFC MFM 11 burkert In this case in analogy to equations 1 and 2
118. t une quantit de mati re Par cons quent la grandeur d bit massique d terminate pour la plupart des applications est obtenue directement sans n cessiter de d finition d aucune autre grandeur auxiliaire telle que la densit et peut donc tre trait e comme la variable instantan e dans le r gulateur 1 Selon la gamme de d bit et le march cible des appareils les diff rents types de capteurs peuvent utiliser trois variantes de mesure thermique du d bit Les fonctions de celles ci et les propri t s en r sultant sont d crites de fa on succincte ci apr s REMARQUE II faut observer que les sensibilit s relatives aux diff rents gaz sont diff rentes avec les trois principle de mesure et que les facteurs de correction ventuels sp cifiques un gaz de service ne sont en aucun cas transf rables entre les variantes de capteurs 1 Bien que les unit s l min ou m h couramment utilis es pour la d finition de la gamme de mesure soient tributaires de la dimension volume temps du fait de la r f rence un tat normalis ici p 1013 mbar et T 273 K nous sommes ici en pr sence de d bits massiques sp cifiques un type de gaz Ceux ci peuvent tre exprim s par ex en kg h en multipliant le d bit volumique normalis par la densit du gaz de service l tat normalis Sp 82 MFC MFM burkert Capteur Inline types 8626 8006 8716 8706 Ce capteur fonctionne selon le princi
119. tebereiche Bemerkungen Qen Ix min bezogen auf Luft N 8626 MFC 25 1500 Inline f r Ger te ab Jan 2003 8006 MFM 25 1500 Inline f r Ger te ab Jan 2003 8716 MFC 25 1500 Inline 25 1500 0 02 50 Bypass CMOSens 3 0 02 50 Bypass CMOSens 3 0 05 30 Bypass Standard 8700 MFM 0 05 30 Bypass Standard 1 Bitte beachten Sie hierzu den Hinweis zu den Ger tetypen 8626 8006 im Abschnitt Anschlussbelegung Typ 8626 8006 2 CMOSens ist ein eingetragenes Warenzeichen der Firma Sensirion AG Schweiz Allgemeine Funktion Die MFC der Typen 8626 8716 8712 und 8710 sind Kompaktger te mit denen der Massendurchfluss von Gasen geregelt wird Sie regeln einen vorgegebenen Durchfluss Sollwert aus unabh ngig von St rgr en wie Druckschwankungen oder zeitlich ver nderlichen Str mungswiderst nden z B infolge Filterver schmutzung Die MFC enthalten die Komponenten Durchflusssensor Q Sensor Elektronik mit den Funktionen Signalverarbeitung Regelung und Ventilansteuerung und ein Proportional Magnetventil als Stellglied Regler Stellglied Q Sensor Bild Komponenten eines Mass Flow Controllers MFC MFM 43 burkert Die Sollwertvorgabe w erfolgt elektrisch ber ein Normsignal oder einen Feldbus Der vom Sensor erfasste Istwert x wird im Regler mit dem Sollwert verglichen Als Stellgr e wird vom Regler ein pulsweitenmoduliertes Span
120. ticale MFC MFM 91 fran ais burkert Type 8716 8706 MASS FLOW INLINE Gamme de valeur finale Qem 25 15001 min fluide de r f rence N Fluides de service gaz neutres non contamin s autres sur demande 10 bar selon le diam tre nominal de la vanne Gaz de servie ou air 10 70 C 0A 45 C 1 5 p m ou 0 5 p e temp rature de15 min 31 0 pe 0 5 pe Port e de mesure 1 50 R gulation d un cart To lt 500 ms Tension de service 24 V DC 10 ondulation r siduelle lt 5 Section de branchement min 0 5 mm Puissance absorb e 20 W max 30 W type 8716 selon vanne 22 5 W max 32 5 W type 8716 bus selon vanne 10 W type 8706 12 5 W type 8706 bus KA Oui D Fixation de la valeur de consigne 0 10 V Qn s lectionnable 0 5V E 0 20 mA amp 4 20 mA R solution 2 5 mV resp 5 pA Imp dance d entr e gt 20 kOhm entr e en tension Imp dance d entr e lt 300 Ohm entr e en courant Actif sur bas relier DGND pour activation Sortie de la variable instantan e 0 10V s lectionnable 0 5V 0 20 mA 4 20 mA R solution 10 mV resp 20 pA Courant max 10 mA sortie en tension charge max 600 Ohm sortie en courant 2 sorties a relais Contacts inverseurs hors potentiel 60 V 1 A 60 VA Branchements Prise 8 p les Prise 15 p les SUB HD Prise 9 p les SUB D seul ex cution bus IP 65 avec les connecteur
121. ts A detailled description and exact listing of the procedure to be followed on operating the MassFlowCommunicator software can be taken from the software documentation The software may be downloaded from www buerkert com Documentation Designation Order no Operating Instructions 804577 Supplement to Operating Instructions for bus devices 804553 Software documentation 804559 MFC MFM 37 burkert 38 MFC MFM burkert MassFlowController MFC Type 8626 8716 8712 8710 MassFlowMeter MFM Type 8006 8706 8702 8700 ALLGEMEINE HINWEISE A 41 IR l ine Dina 41 sicherheitshinWeise 2s4 nasa0 0400 Eeer 41 Schutz gegen Besch digung durch elektrostatische Aufladung 41 Lieferumfang esse nine 42 Gatrantlebestimmungen EE 42 SYSTEMBESCHREIBUNG EE 43 HK Ee ss Re ennemi des 43 Allgemeine F unkKtignis s2sss nn ee nee 43 EE EE a on doi 44 Thermisches Messprinzip EEN 44 Inline Sensor Typen 8626 8006 8716 8706 ccccccscssssssssssssssssssstsstnnntstntntnetetnnnenenees 45 Bypass Sensor in CMOSens Technologie Typen 8712 8702 46 Bypass Sensor in konventioneller Technik Typen 8710 8700 47 Regelelektr nik suun eensee EE ENEE Ee 48 Eropotrppeentl geet aeeeeteetee ee 49 TECHNISCHE DATEN E 52 Typ 8626 8006 MASS FLOW INLINE EE 53 Typ 8716 8706 MASS FLOW INLINE eneeneennen 54 Typ 8712 8702 MASS FLOW CMOSENS EE 55 Typ 8710 8700 MASS FL
122. ur MFC indique que la variable r glante de la vanne a atteint une valeur proche de 100 En pratique cela signifie principalement que la pression du r gulateur ne suffit pas pour r aliser le d bit exig Sur MFM indique que la variable instantan e a pratiquement atteint le d bit maximum L appareil se trouve dans un mode diff rent de la r gulation ou Autotune 9 o Qs S LED ERROR Erreur non critique par exemple op ration Autotune pas termin e avec succ s ou LED d fectueuse Erreur critique par ex rupture du capteur ou d faut interne d alimentation Entr es binaires configuration par d faut Pour d clencher l v nement d sir l entr e binaire doit tre reli e DGND durant au minimum 0 5 s Fonctions Entr e binaire 1 fonction Autotune non pr vue sur MFM Entr e binaire 2 non attribu e Entr e binaire 3 non attribu e non disponible sur 8710 00 104 MFC MFM burkert Sorties binaires configuration par d faut Les entr es binaires sont r alis es sous forme de sortie relais contacts inverseurs hors potentiel Fonctions Relais 1 LIMIT y Relais 2 ERROR en cas d erreur critique par ex rupture de capteur ou d faut interne d alimentation non disponible sur 8710 00 REMARQUE Les fonctions des LED LED POWER et ERROR non s modifiables entr es et sorties normalis es et entr es et sorties binaires sont des r glages d origin
123. use and have passed the associated EMC tests to EN 50081 2 03 94 Basic engineering standard for interference emission Part 2 Industrial domain EN 50082 2 02 96 Basic engineering standard for interference resistance Part 2 Industrial domain Communications interface RS232 direct connection to PC via RS232 adapter communication with special software MassFlowCommunicator siehe Appendix C With 8700 8710 an external inferface drivr is necessary integrated in adapter for 8700 8710 see Appendix A BUS Profibus DP or DeviceNet connection bus devices only Seal material FPM other materials on request The compatibility of the seal material with the usual operating media can be taken from the Burkert stability tables BE ATTENTION The data given in this table are provided for information and cannot replace own tests under the actual operating conditions In particular no guarantee for medium compatibility can be derived thereform 14 MFC MFM burkert Type 8626 8006 MASS FLOW INLINE End value range Q om 25 to 1500 I min reference medium N neutral not contaminated gases others on request 10 bar depending on nom valve diameter operating gas or air 10 to 70 C 010 45 C 1 5 of mean 0 5 of end value after 15 min warm up 10 VE 0 5 v E 1 50 lt 500 ms 24 V DC 10 residual ripple lt 5 min 0 5 mm 0 75 mm for valve Type 283
124. valeur de consigne lt 0 2 du d bit nominal et variable instantan e lt 0 2 du d bit nominal 86 MFC MFM burkert Selon l ex cution de l appareil la valeur de consigne peut tre appliqu e soit via l entr e normalis e comme signal analogique soit comme signal num rique via l interface de bus de terrain Ind pendamment de l tat de la r gulation la variable de d bit actuelle mesur e par le capteur est d livr e comme signal analogique via la sortie normalis e ou comme signal num rique via l interface de bus de terrain Afin d obtenir un signal de sortie de variable instantan e plus ou moins dynamique il est possible de varier le degr de filtrage du signal de sortie au moyen du logiciel MassFlowCommunicator Vanne proportionnelle Pour toute la serie MFC on utilise comme organe de r glage une vanne proportionnelle induit mobile provenant du programme de vannes de B rkert Des mesures constructives en particulier sur les vannes des MFC pour faibles d bits type 8710 8712 assurent un guidage sans frottement de l induit mobile Alli au pilotage PWM celles ci assurent une caract ristique largement lin aire ainsi qu une r ponse de haute sensibilit Ces deux facteurs sont essentiels pour un fonctionnement optimal dans le circuit de r gulation ferm du MFC Le diam tre nominal des vannes est d fini partir du d bit nominal exig Q enn des rapports de pression de l application
125. vation de la fonction Autotune ID Q Qn Un param tre de l appareil permet de modifier la dynamique de r gulation l aide du logiciel MassFlowCommunicator Ses valeurs extr mes correspondent a une r gulation tr s rapide tenant compte des suroscillations et une r gulation asymptotique plus lente vers la valeur de consigne d sir e Le premier peut entra ner une r action imm diate aux carts de r glage m me tr s faibles d o une r gulation tr s instable Pour les processus moins dynamiques il est possible d att nuer le comportement du r gulateur de sorte que les fluctuations de la vari able instantan e ou de la valeur de consigne ne soient corrig es que lentement Le r gulateur d livre comme valeur r glante un signal en tension modul largeur d impulsion variable PWM la vanne proportionnelle La fr quence de ce signal est adapt e la vanne mise en oeuvre Afin de r aliser la fonction de fermeture herm tique de la vanne un d clenchement au point z ro est int gr Cette fonction est activ e lorsque les deux conditions ci dessous sont satisfaites simultan ment Valeur de consigne lt 2 du d bit nominal et Variable instantan e lt 2 du d bit nominal Lorsque le d clenchement au point z ro est activ le signal PWM est fix 0 de sorte que la vanne se ferme compl tement 1 Pourle type 8712 sur demande avec d clenchement au point z ro sur
126. y open 12 MFC MFM burkert NOTE a The system must not be dimensioned so closely with regard to the flow coefficient k that at the desired flow rate the major part of the available pressure drop is used up there and then the nominal valve diameter of the MFC is chosen so great k gt gt k that only the small remaining part of the pressure is dropped over the MFC In this case the valve authority would be too small and only a small part of the working range of the valve utilized That could be greatly detrimental in general to the resolution and control performance If the system has been dimensioned to closely increasing the nominal diameter of the MFC valve does not help In this case an increase either in the admission pressure or the k value should be made e g by increasing the pipe diameter to keep the valve authority within the permitted range When the device is operated within the specified pressure range the proportional valve assumes the functions of both control and tight closure MFC MFM 13 burkert TECHNICAL DATA Environmental tests Temperature cycles to EN 60068 2 14 Nb and EN 60068 2 33 Head and humidity to EN 60068 2 38 Z AD Shocks to EN 60068 2 27 Vibration to EN 60068 2 6 IP protection type to EN 60529 Free fall to EN 60068 2 32 UPS fall test to DIN ISO 2248 and DIN ISO 2206 Electromagnetic compatibility EMC All devices are CE conforming for industrial
127. yp 8706 Bus Galvanische Trennung ja Sollwertvorgabe 0 10V wahlbar 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Aufl sung 2 5 mV bzw 5 pA Eingangsimpedanz gt 20 kOhm Spannungseingang Eingangsimpedanz lt 300 Ohm Stromeingang 3 Bin reing nge Low aktiv zur Aktivierung mit DGND verbinden Istwertausgabe 0 10V wahlbar 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Aufl sung 10 mV bzw 20 pA max Strom 10 mA Spannungsausgang max B rde Stromausgang 600 Ohm 2 Relaisausg nge Potentialfreie Wechsler 60 V 1 A 60 VA Anschl sse 8pol Buchse 15pol SUB HD Buchse 9pol SUB D Buchse nur bei Busausf hrung Schutzart IP 65 mit den vorgeschriebenen Steckern Werkstoff Geh use Werkstoff Deckel Einbaulage 54 MFC MFM Aluminium eloxiert oder Edelstahl 1 4305 PPS GF horizontal oder vertikal burkert Typ 8712 8702 MASS FLOW CMOSens Endwertebereich Q atin 0 02 bis 50 l min Bezugsmedium N Betriebsmedien max Betriebsdruck Kalibriermedium Mediumstemperatur Umgebungstemperatur Messgenauigkeit nach 1 min Aufw rmzeit Linearitat Reproduzierbarkeit Messspanne Ausregelzeit Te Betriebsspannung Anschlussquerschnitt Leistungsaufnahme neutrale nicht kontaminierte Gase andere auf Anfrage 10 bar abh ngig von der Ventilnennweite Betriebsgas oder Luft 10 bis 70 C 10 bis 50 C 1 0 v M 0 5 v E 1 0 v E 0 5 v E 1 50 auf Anfrage 1 500 lt 300 ms 24 V DC 10 Restwell
128. ype 8626 8006 2 CMOSens is a registered trademark of Sensirion AG Switzerland General function The MFCs of Types 8626 8716 8712 and 8710 are compact devices with which the mass flow of gases is controlled They control to a preset setpoint value independent of disturbances such as pressure variations or flow resistances that vary with time e g as a result of filter contamination The MFCs contain the components flow rate sensor Q sensor electronics with the functions signal processing control and valve drive and a proportional solenoid valve as the servo component U controller servo Qsensor 1 i component l Fig Components of a Mass Flow Controller MFC MFM 5 burkert The setpoint value w is set electrically via a standard signal or a field bus The process value x measured by the sensor is compared in the controller with the setpoint value The correcting variable is sent as a plus width modulated voltage signal to the servo component The pulse duty factor of the voltage signal is varied according to the control deviation determined The process value in addition is sent out via an analog electrical interface or a field bus and is available to the user for monitoring purposes or further evaluation e g calculation of consumption by integration The thermal measurement principle guarantees that the MFCs control to the required mass flow to a large

Download Pdf Manuals

Related Search

Related Contents

  ASRock A75 Pro4/MVP Quick Start Manual  VM-312 324 348 仕様 取説 H1905  IT - Hilti  Samsung SGH-Z240 User Manual  PLUS WEB3  1. Aperçu de l`appareil et matériel fourni  

Copyright © All rights reserved. Failed to retrieve file