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TCP 600 - PTB Sales

1. Nr Messung Anzeige Sollwert Nr Measurement Display Set Value No Mesure Affichage Valeur consigne 1 Thermospannung TCP UT V 15V Thermal voltage TCP Tension thermo TCP 2 Thermospannung Pumpe U6 V 15V Thermal voltage pump Tension thermo pompe 3 Hallsondenversorgung U5 V 4V U5 9V Hall probe supply Alimentation des sondes de Hall 4 Programmierspannung U7 V pumpenabh ngig Programming voltage depends on pump Tension programm e d pendant pompe 5 Versorgungsspannung UV V 15V Supply voltage Tension d alimentation 6 Analogdrehzahl UF V 0 10V Analogue rotation speed Vitesse de rotation analogique T Referenzspannung UR V 5V Reference voltage Tension de r f rence 8 Stromsollwert US V abh ngig von Pumpentyp und Betriebszustand Set value current depends on type of pump and operations status Valeur de consigne de courant d pendant du type de pompe et du mode de fonctionnement 9 Drehzahlspannung UD V 0 5V Rotation speed voltage Tension de vitesse de rotation A Hilfsspannung UH V 60 lt UH lt 70 V Auxiliary voltage Tension auxiliaire B Motorspannung UM V 0 UM 70V Motor voltage Tension du moteur C Stromistwert UI A 0 10V Actual value current Valeur r elle courant D Zwischenkreisspannung UL V abh ngig von Pumpentyp Intermediate circuit votage depends on type of pump Tension du circuit interm diaire d pendant du type de pompe E Abgelaufene Verz gerungszeit min Ex
2. jenas Hold D EI BL o D LLLI TUNE peads SX I5 l 009 ddl per SOU NOLLdO peeds a MN 2 Li 71T ROC 7100 6 m 7100 6 39 PFEIFFER E VACUUM S 996 LEO Nd 022 077 lonz Jone oez As worz x x x bam Age N 022 022 622 022 022 oez eme x x x x 20905 02 002 Qm 02 022 2 AERO x x 2409 AGE 9 L 6 zZ ee Vogerozz x xl x x x mo905 Jaquieu2 ez 06 0 002 062 x X X X 7H09 A807 mau pi mpm TL ZEE CCE x fe Yafaa Jsi At 02 von 450 eDeyoA Di LL J gelt 1 US 8i S udis GE s5pug uonoeuuoo 71 d dung UC a Y n dung s300 9U9A Auejoy LXR 92492999 pe Ee 7 9 3 i oi ES 55 009 dl ix Misco must At tH gt EX LE OT 7 4 m wat FE j E 7 HI KEN Ke 8unoo3 3b __ iq 20 50 za 9469 d 22434 i X u a 1 4 d 3 si 9 x 4 F Tal i 1 E d L 4 LA r4 SI 4 t D LEE 5 E E ale ES 15 ia erun VADO
3. 5 3 2 Turbo Molecular Pump Connecting cable on both sides with plug connection maximum cable length 100 m Connection to the TCP plug connection X5 On the turbo pump plug connection X8 Fig 6 Plug X5 and socket X8 must be locked after being plugged in and unlocked after separation X5 lightly tighten screw 18 after the bayonet catch has latched Locking parts are contained in the accom panying pack Turbo Pumpe Turbo pump Pompe turbo grau gelb schwarz weif3 blau gr n rot gr n gelb braun A 5 3 2 Pompe turbomol culaire C ble de raccordement des deux c t s avec un connecteur longueur du c ble maximum 100 m Raccordement la TCP Connecteur X5 la pompe turbo Connecteur X8 Fig 6 Le connecteur X5 et le connecteur femelle X8 doivent tre verrouill s apr s l enficha ge ou d verrouill s avant la s paration X5 Apr s l encliquetage du serrage bayonnette serrer la vis 18 l g rement Les pi ces de verrouillage seront livr es en paquet s par grey gris yellow jaune black noir white blanc blue bleu green vert red rouge green vert yellow jaune brown marron Fig 6 Anschluf schema Turbomolekularpumpe Connecting diagram Turbomolecular pump Sch ma des raccordements pompe turbomol culaire 5 3 3 Luftk hlung Bei den Turbomolekularpumpen TPH TPU 180H 190 240 450H 520 und 1600 mu die Luftk hlung gem
4. X22 4 et 0 V X22 3 Emplacement des broches X22 voir chapit re 6 4 1 carte de variation de la vitesse de rotation 6 Benutzung 6 1 Betreiben des Ger tes 6 1 1 Bedienungselemente und LC Anzeige feld 6 Operation 6 1 Operating the Unit 6 1 1 Operations Elements and LC Display Field 6 Utilisation 6 1 Fonctionnement de l appareil 6 1 1 El ments de commande et tableau d affichage LCD Auf der Frontplatte sind die verschiedenen Schalter sowie das LC Anzeigefeld ange ordnet LLL The various switches and the LC display field are arranged on the front panel LE Sur la platine frontale sont plac s les dif f rents interrupteurs ainsi que le tableau d affichage LCD id Fig 12 S1 Netzschalter zum Ein und Ausschal Mains switch to switch the unit ON and Interrupteur principal pour la mise en ten des Ger tes S1 ist als Wechsel OFF 51 is designed as a two way marche et l arr t de l appareil 51 est schalter ausgelegt In Verbindung Switch The unit can be remotely swit un s lecteur En liaison avec l inter mit dem Wechselschalter 54 kann ched ON and OFF in connection with rupteur va et vient 54 l appareil peut das Ger t fernbedient ein bzw aus two way switch 54 tre command distance pour la geschaltet werden mise en marche et l arr t S2 Heizung EIN AUS die Heizung wird Push button key for heating ON OFF Chau
5. 30 PFEIFFER E VACUUM 7 Instandhaltung 7 1 Erweiterte Testm glichkeiten W hrend des normalen Betriebsprogram mes oder nach einem Selbsttest mit Feh leranzeige werden durch Einschalten des DIL Schalters S14 4 weitere Testm glichkei ten er ffnet Die angezeigten Daten werden durch die vorausgestellte Nummerierung von 0 9 und die darstellbaren Buchstaben A B C D E F H L P U gekennzeichnet Die entsprechenden Einheiten werden pas send angezeigt Folgende erweiterte Test messungen sind programmiert 7 Maintenance 7 1 Additional Testing Options During the normal operations program or after self testing involving an error display additional test options are presented by switching on DIL switch 514 4 The display ed data is identified by prefixes from 0 9 and the displayable letters A B C D E F H L P and U The following additional test measurements are programmed 7 Entretien 7 1 Possibilit s de tests suppl mentaires Pendant le programme de fonctionnement normal ou apr s un auto test avec un af fichage d faut des possibilit s de tests suppl mentaires seront disponibles par la mise en marche de l interrupteur DIL S14 4 Les donn es affich es seront signalis es par la num rotation pr c dente de 0 9 et les lettres repr sent es A B C D E E H L P U Les unit s concern es seront af fich es Les mesures de tests suppl men taires seront programm es
6. ons 3 Transport et stockage 4 Description du produit 4 1 Description en g n ral 4 2 Construction ext rieure 4 2 1 Platine frontale 4 2 2 Panneau arri re 4 3 Description du fonctionnement de la TCP 600 4 4 Accessoires 44 1 Commandes pour groupes de pom page TCS 130 TCS 1001 4 4 Commande distance 4 4 3 Interface s rielle RS 232 485 4 4 4 Carte de variation de la vitesse de rotation 4 4 5 Soupape de remise l air TSF 012 4 5 Dispositifs de protection 4 6 Fonctions de s curit et de surveil lance pompe turbo 4 6 1 Surveillance de la temp rature de la pompe turbo 4 6 2 Surveillance de la temp rature de l lectronique d entrainement de la TCP 4 6 3 Sur vitesse de rotation 4 6 4 Surveillance de la vitesse de rotati on Relais K2 4 65 Seuil de commutation de la vitesse de rotation Relais K1 4 7 Contr les effectu s 5 Installation 5 1 Mise en place Montage Fixation 5 2 Refroidissement Circulation d air 5 3 Raccordements 5 3 1 Alimentation lectrique 5 3 2 Pompe turbomol culaire 5 3 3 Refroidissement par air 5 3 4 Chauffage de la pompe turbo 5 3 5 Soupape de remise l air 5 3 6 Sorties de relais 5 3 7 Commande du groupe de pompage 5 3 8 Commande distance 5 3 9 Cartes enfichables 5 3 9 1 Interface s rielle RS 232 485 5 3 9 2 Carte de variation de la vitesse de rotation 6 1 6 1 1 6 1 1 1 6 1 2 6 1 3 6 1 4 6 1 5 6 1 6 6 1 6 1 6 1 7 6 1 8 6 1 9 6 1
7. Hierdurch ergeben sich wichtige R ck schl sse ber die korrekte Funktion des Ger tes Fehler im Bereich des Drehzahl reglers der Motorendstufen und der Hall sonden werden sofort erkannt Dadurch wird das Ger t und die Pumpe vor weiteren Sch den gesch tzt W hrend des Selbsttests ist der Relaiskon takt K2 ge ffnet 6 1 3 Switching on Open cooling water for the turbo pump and check flow Switch on backing pump Connection ac cording to the wiring diagram PM 031 955 S means that the backing pump is switched on with the turbo pump via switch S1 ofthe Pumping Station Con trol Unit TCS 130 Open safety valve This is integrated in Pfeiffer rotary vane vacuum pumps it opens automatically on switching on If air cooling is connected it will be swit ched on simultaneously with the turbo pump Operations with a cooling aggregate are possible in conjunction with a Pumping Station Control Unit TCS Venting Valve TSF 012 closes immediately on switching on If a Venting Control Unit TCF or Valve Con trol Unit TCV with Venting Valve is being operated please refer to the operating in structions for the venting control or valve control unit Switch on heating with push button key S2 6 1 4 Self Testing The Electronic Drive Unit TCP 600 is equip ped with a self testing system After the unit has been switched on a major part of the electronic control and the power semi conductors is checked by a
8. Ist die Drehzahlstellkarte Option installiert kann die Drehzahl der Turbopumpe durch externe Sollwertvorgaben variiert werden F r die externe Sollwertvorgabe gibt es zwei M glichkeiten Anschlu eines Potentiometers 1 KO an X22 Anschlu einer potentialfreien Gleich spannungsquelle an Al X22 4 und 0 V X22 3 Pinbelegung X22 siehe Kap 6 4 1 Dreh zahlstellkarte ER PFEIFFER E VACUUM 5 3 9 Slide in Modules Three plug socket positions with blind co vers are located on the rear panel of the TCP Selection of the socket positions is op tional 5 3 9 1 Serial Interface RS 232 485 Fig 10 Serielle Schnittstelle Interface serial Interface s rie This module is optional When the module is not inserted the slit is closed with a blind cover Part rack version 6 TE width In outputs are the parallel switched 9 pole sub D boxes X17 and X18 The signals are decoupled via the opto coupler on the TCP 600 mains The output voltages are sa fety low voltages in accordance with Ger man Industrial Standard DIN electro en gineering Please refer to operating in structions PM 800 279 BD E for further information 5 3 9 2 Rotation Speed Setting Module Fig 11 Drehzahlstellkarte Rotation Speed Setting Module Carte de variation de la vitesse de rotation If the rotation speed setting module optio nal is installed the turbo pump rotation speed can be varied by externally prescri bed setpoints
9. Netzspannung ausgew hlt werden Die Ventilatoren f r TPH TPU 330 510 wer den an 115 V 50 60 Hz und je nach Netz spannung nach Fig 5 Fig 7 angeschlos sen Die Zuleitung f r die Ventilatoren L N PE wird an Steckverbinder X2 ange schlossen 5 3 4 Turbopumpenheizung Anschlu an Steckverbinder X3 auf der R ckseite der TCP A A Bei 115 V Netzspannung Ay At mains voltage of 115 V TE Pour tension de r seau de 115V PELIN A 2 Bei 220 V Netzspannung At mains voltage of 220 V E Pour tension de r seau de 220 V PELIN 14 PFEIFFER E VACUUM 5 3 3 Air Cooling Selection of air cooling must comply with the mains voltage in respect of Turbo Molecular Pumps TPH U 180H 190 240 450H 520 and 1600 The fans for the TPH TPU 330 510 are de signed to operate on 115 V 50 60 Hz and depending on the mains voltage connec ted as per Fig 5 Fig 7 Fan leads L N PE are connected to plug connection X2 5 3 4 Turbo Pump Heating Connection to plug connection X3 on the rear side of the TCP Fig 7 Anschlu Luftk hlung Connection Air Cooling Raccordement Refroidissement par air 5 3 3 Refroidissement par air Pour les pompes turbomol culaires TPH TPU 180H 190 240 450H 520 et 1600 le refroidissement par air devra tre s lectionn suivant la tension du r seau Les ventilateurs pour les TPH TPU 330 510 seront raccord s 115 V 50 60 Hz et sui vant la tension
10. Schaltpunkt erreicht Switch point attained Point de commutation atteint Heizung EIN intern od extern Heater ON internally or ext Chauffage en MARCHE interne ou externe 1 Bei Enddrehzahl und erreichter Stand by Drehzahl 66 96 2 Blinkt bei Tastatursperre durch die serielle Schnitt stelle 3 Wenn Anzeige blinkt wird Heizung eingeschaltet so bald Drehzahlschaltpunkt erreicht ist 4 Leuchtet bei Stromprofil gew hlt blinkt bei SHUT DOWN 5 Nur aktiv bei Turbopumpen mit Betriebsmittelsensor Achtung Abschnitt 4 2 beachten 6 Anzeige gr n hinterleuchtet 7 im St rungsfall rot hinterleuchtet 6 Blinkt im Drehzahlstellmodus 22 PFEIFFER E VACUUM A Balken f r X der Enddrehzahl Bar for X of the ultimate rotation speed Colonnes correspondant X 6 1 2 Operations Messages Quasi analog display of the rotation speed Symbol f r Enddrehzahl erreicht 9 Symbol for Ultimate rotation speed attained 9 Symbole signalant R gime nominal atteint 9 Pumpe beschleunigt Pump accelerates Pompe acc l re Motorstrom fallend Motor current dropping Courant moteur en chute Anzeige Betr mittelmangel Displ of low operat medium lev Affichage Agent moteur puis bertemperatur TCP Excess temp TCP Surchauffe de la TCP 1 At final rotation speed and attainment of stand by rotation speed 66 2 Flashes when the keypad is locked by the s
11. 1 421 7744 Singapore APP Systems Services Pte Ltd 2 Corporation Road 06 14 Corporation Place Singapore 618494 telephone 65 268 2024 telefax 65 268 6621 Spain Tecnovac Tecnologia de Vacio S L Ronda de Poniente 6 Bajo F Centro Empresarial Euronova E 28760 Tres Cantos Madrid telephone 34 91 804 11 34 telefax 34 91 804 30 91 VACUUM Zentrale Headquarters Pfeiffer Vacuum GmbH Emmeliusstrasse 33 D 35614 Asslar Telefon 06441 802 0 Telefax 06441 802 202 Hotline 06441 802 333 Internet http www pfeiffer vacuum de Sweden Pfeiffer Vacuum Scandinavia AB Johanneslundsv gen 3 S 194 61 Upplands V sby telephone 46 590 748 10 telefax 46 590 748 88 Switzerland Pfeiffer Vacuum Schweiz S A F rrlibuckstra e 30 CH 8005 Z rich telephone 41 1 444 2255 telefax 41 1 444 2266 South Africa Labotec Pty Ltd PO Box 6553 Halfway House 1685 Midrand telephone 27 11 315 5434 telefax 27 11 315 5882 Taiwan HAKUTO Taiwan Ltd Hsinchu office No 103 Hsien Chen 11th Street Jubei City HsinChu County Taiwan R 0 C zip postal code 302 telephone 886 3 554 1020 telefax 886 3 554 0867 Thailand S amp T Enterprises Thailand Ltd 18th Floor Chokchail Int l Bldg 690 Sukhumvit Road Klongton Klongtoey Bangkok 10110 telephone 662 259 4623 telefax 662 259 6243 U S A Pfeiffer Vacuum Inc 24 Trafalgar Square Nashua NH 03063 1988 USA t
12. 7 2 1 Diagnostic des d fauts et liste des d fauts En cas d irr gularit s pendant le fonction nement qui seront reconnues par l lectro nique la pompe s arr tera Le d faut sera affich cod sur l afficheur avec E et un chiffre plac apr s voir liste de d fauts L actionnement simultan des touches de menu 12 et 13 donne la possibilit d affi cher chaque donn e de menu au moment du d faut par ex vitesse de rotation cou rant du moteur etc Par le d placement ensuite de la fl che de menu avec S12 ou 513 vers la gauche ou la droite l informati on souhait e sera affich e au moment du message du d faut Un nouvel actionne ment simultan ment des touches d intro duction redonne l affichage d fauts E La remise en marche est seulement possi ble apr s l actionnement de RAZ ou par l arr t de la tension de r seau 2 2 sec Ex ception E005 Si la cause de la panne est limin e la TCP d marre Avant d appuyer sur la touche RAZ enregistrer le message de d fauts 7 2 1 1 Liste des d fauts Erreurs affich es 01 E001 berdrehzahl f gt f X05 Excess rotation speed f gt f x 1 05 Sur vitesse f gt f x 1 05 02 E002 berspannung 448 V UL 60V Excess voltage 48 V UL gt 60 V Sur tension 48 V UL gt 60 V 05 E005 Pumpstandfehler X16 10 Pumping station error X16 10 D faut du groupe de pompage X16 10 active 06 E006 Verz gerungszeit abgelaufen Time lag
13. Ecart minimum pour le montage du rack 5 3 Connections 5 3 1 Power Supply The mains input is divided into a power and a control circuit The cable which must be ordererd separately see accessories must be wired as per PM 031 956 S It connects the two inputs with the same mains connection If required the monitoring circuit can be supplied from a separate mains voltage In such a case the display functions are retai ned in the event of a malfunction in the po wer unit For remote switching on and off contacts X4 5 X4 6 and X4 7 are connected to a changeover switch S4 as per Wiring Dia gram PM 031 936 S see section 9 Wiring Diagrams 5 Installation 5 1 Mise en place Montage Fixation L appareil est mont dans un bo tier qui est en fonction du degr de protection prescrit Le raccordement des c bles de l lectroni que d entra nement de la pompe turbo doit tre assur avec les vis pr vues employer les outils adapt s cet effet 5 2 A ration Circulation d air L lectronique d entra nement produit une dissipation de puissance de 400 W Afin de l vacuer il faut pr voir une circula tion d air suffisante autour de l appareil Pour le montage dans une baie il faut gar der les distances minimum suivant Fig 4 5 3 Raccordements 5 3 1 Alimentation lectrique L arriv e du r seau est partag e dans un circuit de puissance et un circuit de com mande Le c ble commander s par ment vo
14. Serielle Schnittstelle Serial interface Interface s rie Schnittstellenpegel Interface level acc Niveau selon nach to ou RS 232C 9 polig 9 poles 9 p les oder wahlweise bei or optionally for au choix pour appareils mehreren Ger ten several units diff rents RS 485 9 polig 9 poles 9 p les Baudrate Baud rate Vitesse de transmission en baud 300 19200 Datenformat Data format Format ASCII Zeichenl nge Character length Longueur caract re bit 7 bzw resp ou 8 Stopbits Stop bits Bits de stop 1 bzw resp ou 2 Parit t Parity Parit keine gerade oder ungerade none even or odd sans paire ou impaire Hardware handshake Hardware handshake Handshake composant Hard nicht vorhanden not existent non existant 9 Schaltpl ne Gesamtschaltplan PM 031 962 S Drehzahlstellprint PM 031 432 S AnschluRplan TCS 130 PM 031 955 S NetzanschluRplan PM 031 956 S Legende zum Stromlaufplan TCP 600 PM 031 962 S a Netzstecker b Hilfstrafo c potentialfreie Kontakte d Heizung K hlung e Flutventil f Frequenzschaltpunktrelais K1 9 berwachungsrelais K2 h Pumpenstecker X5 i Motorendstufe j Netzspannungsumschalter S8 k Netz berwachung 1 Netzausfallerkennung m Leistungsnetzteil n Schaltnetzteiltransistorprint o Schaltnetzteilsteuerprint p Flutsteuerung q Steuerprint f r Motorstrom Motorspannung Drehzahl Pumpe Motorstrom MeRwiderstand s Rechnerpr
15. plied from the mains for two voltage ran ges switch position 115 V 90 130 V and switch position 230 V 180 265 V After switching on the turbo pump rotor is acce lerated with the maximum motor current When the rotor reaches its rated rotation speed the motor current is reduced and the rotor rotation speed is maintained at a con stant level The motor voltage 0 70 V is ge nerated direct from a primary side switched switching power supply which is isolated from the mains The components which can be directly connected to the TCP are controlled and locked from the TCP In conjunction with a pumping station control unit TCS all com ponents connected to the TCS including the TCP are controlled and locked from the TCS 29 X1 Connexion vanne de remise l air 30 X2 Connexion chauffage 31 X3 Connexion refroidissement par air 32 X4 Connexion secteur 33 X5 Connexion pompe 34 X16 Connecteur de commande distance 35 X20 Connexion contacts sans potentiel 36 S8 S lecteur de tension 37 S14 DIL interrupteur 38 F1 Fusible de secteur 39 F5 Fusible de secteur 40 F4 Fusible chauffage 41 F3 Fusible refroidissement par l air 42 F2 Fusible vanne de remise l air 43 45 Emplacement libre 46 47 Ventilateur 4 3 Description du fonctionnement de la TCP 600 L lectronique d entrainement TCP 600 est concue sp cialement pour l entrainement des pompes turbomol culaires Pfeiffer L alimentation de l lectronique d e
16. 500616 0010 PFEIFFER Greece Analytical Instruments S A 1 Mantzarou St GR 15451 Athens telephone 30 1 674 8973 telefax 30 1 674 8978 India Pfeiffer Vacuum India Ltd 25 E Nicholson Road Tarbund Secunderabad 500 009 telephone 91 40 775 0014 telefax 91 40 775 7774 Israel ODEM Scientific Applications 2 Bergman Street Science based park Rehovod telephone 972 8 9366 101 telefax 972 8 9366 102 Italy Pfeiffer Vacuum Italia S p a Via San Martino 44 1 20017 RHO Milano telephone 39 2 93 99 051 telefax 39 2 93 99 05 33 Japan Hakuto Co Ltd C P O Box 25 Vacuum amp Scientific Instruments Division Tokyo Central 100 91 telephone 81 3 32 258 910 telefax 81 3 32 259 009 Korea Pfeiffer Vacuum Korea Ltd 3F Haein Building 453 Do kok Dong Kang Nam Ku Seoul 135 270 telephone 82 2 3461 0671 5 telefax 82 2 3461 0676 Netherlands Pfeiffer Vacuum Nederland BV Veldzigt 30a NL 3454 PW De Meern telephone 31 30 6666050 telefax 31 30 6662794 Peru Ing E Brammertz s r l Jos Pardo 182 Apartado 173 PE 18 Miraflores telephone 51 1 445 8178 telefax 51 1 445 1931 Poland Softrade Sp z o o ul Malwowa 35 PL 60 175 Poznan telephone 48 61 8677 168 telefax 48 61 8677 111 Portugal Unilaser Lda Taguspark N cleo Central sala n 268 Estrada Cac m Porto Salvo P 2780 Oeiras telephone 4351 1 421 7733 telefax 351
17. There are two possibilities for the set values Connection of a 1 KO potentiometer to X22 Connection of a potential free direct volta ge source at Al X22 4 and 0 Volt X22 3 For pin arrangement X22 please refer to Section 6 4 1 Rotation Speed Setting Mo dule 5 3 9 Cartes enfichables Sur le c t arri re de la TCP se trouvent 3 emplacements ferm s avec des caches Le choix des emplacements est libre 5 3 9 1 Interface s rielle RS 232 485 Cette carte est en option Pour une carte non enfich e l ouverture est ferm e avec un cache Mod le en partie enfichable avec largeur de 6 TE Les entr es et les sorties sont les connecteurs femelles Subminiatu res X17 et X18 9 p les en parall le Les signaux sont s par s par des coupleurs op tiques sur le r seau de la TCP 600 Les ten sions de sorties sont les tensions tr s bas ses de s curit suivant DIN VDE Pour le fonctionnement voir les explications dans les instructions de service PM 800 279 5 3 9 2 Carte de variation de la vitesse de rotation Si la carte de variation de la vitesse de rota tion option est install e la vitesse de rota tion de la pompe turbo peut tre vari e par une pr s lection externe d une valeur de consigne y a deux possibilit s pour la pr s lection externe d une valeur de consi gne Raccordement un potentiom tre 1 X22 Raccordement d une source de tension li bre de potentiel
18. a trois types de commandes distance R seau MARCHE ARRET par l interrupteur va et vient S4 par l interface s rielle RS 232 485 option par le connecteur de commande di stance X16 par le carte de variation de la vitesse de rotation La fonction du connecteur de commande distance X16 est d crit dans le chapitre 5 3 8 6 3 Funktion der DIL Schalter S14 9 F2 2AT 514 Fig 18 Der DIL Schalter ist mit einer Haube abge deckt Nach Einstellung der Schalter ist die Haube wieder aufzuschrauben Durch Schalten auf ON OFF k nnen folgen de Betriebsarten eingestellt werden 6 3 Function DIL Switch S14 DIL switch S14 is covered with a hood Af ter setting the switch the hood must be screwed back on By switching it to ON OFF the following modes can be engaged 6 3 Fonction de l interrupteur DIL S14 L interrupteur DIL est couvert d un cache Apr s le r glage du connecteur le cache sera remettre Par la commutation sur ON OFF les modes de fonctionnement suivants pourront tre d termin s Vorein stellung Pre S14 Setting OFF 1 Verz gerungszeitstop eingestellte Ver Time lag stop set time lag will be Arr t de la temporisation la tempori z gerungszeit wird bei erreichtem Dreh completed at attained rotation speed sation r gl e sera termin e l atteinte zahlschaltpunkt beendet switch point du seuil de commutation de la v
19. air de s rie Fig 15 Remise l air avec l appareil de comman de de remise l air TCF 103 Fig 16 Remise l air avec la remise l air de coupure de courant TSF 012 Fig 17 Fig 16 TCF 103 The TSF 012 is only to be operated via ven ting key 516 on the 600 When the tur bo pump is switched on the venting valve closes and remains closed during the entire operation After the TCP is switched off the venting valve is kept closed by the voltage generated in the motor While the TCP is switched on venting key 16 remains inac tive If the motor voltage drops below a specific value the venting valve opens at the rotation speeds shown in the above ta ble Fig 17 TSF 012 Seulement la TSF 012 est actionner avec la touche de remise l air S16 sur la TCP 600 A l arr t de la pompe turbo la soupape de remise l air se ferme et reste ferm e pendant tout le fonctionnement Apr s l arr t de la TCP la soupape de remi se l air sera tenue ferm e avec la tension produite par le moteur Pendant que la TCP est en marche la touche de remise l air 516 est sans effet Si la tension du moteur baisse sous une certaine valeur la soupape de remise l air s ouvre dans les vitesses de rotation indiqu es sur le tableau pr sent pr c demment PFEIFFER E VACUUM 25 Das Fluten kann direkt nach dem Abschal ten durch Dr cken des Tasters S16 eingelei tet werden Betr
20. en option Pour une carte non enfich e l ouverture est ferm e avec un cache Mod le en partie enfichable avec largeur de 5 TE carte d Europe 160x100 mm Par ce connecteur femelle subminiature 9 p les X22 une valeur de consigne de vites se de rotation analogique peut tre s lec tionn e La possibilit de variation est de 20 100 96 Al 2 10 V de la vitesse de rotation no minale Dans le fonctionnement de variation de la vitesse de rotation le seuil de commutation de la vitesse de rotation est r gl fixement sur 20 de la vitesse de rotation nominale et ne peut pas tre modifi Ind pendamment de la valeur de consigne de la vitesse de rotation r gl e la pompe sera acc l r e sur 50 de la fr quence no minale d marrage des pompes huile Si Al 5 0 V de la vitesse de rotation elle sera r duite apr s l atteinte de 50 96 Le contact K1 sec ne sera pas activ Stand by ne peut pas tre s lectionn La surveillance du d marrage n est pas active Le mode de variation de la vitesse de rotati on DZRM peut tre s lectionn par le connecteur X22 broche 5 la carte de variation de la vitesse de rotation la commande distance X16 broche 3 le connecteur S14 3 l interface s rielle option L affichage valeur de consigne de la vites se de rotation valeur r elle de la vitesse de rotation 5 s effectue au moyen d u ne DEL verte sur la platine fron
21. grou pes de pompage s effectue suivant les sch mas lectriques dans le chapitre 9 aux connecteurs X4 X16 X20 de la TCP d apr s le sch ma lectrique PM 021 803 S section 9 Les commandes de groupes de pompage seront raccord es et mises en service sui vant les instructions de service con cern es Instructions de service TCS 130 PM 800 205 BD E F Instructions de service TCS 1001 PM 800 247 BD E F 5 3 8 Commande distance Pour la commande distance de l appareil chaque broche 1 14 de X16 sera reli e avec la broche 15 afin d actionner la fonc tion concern e Ces broches 1 5 sont parall les aux contacts de 514 de 1 5 Le contact ferm d termine la fonction et ne peut pas tre influenc par le contact paral l le Les fonctions qui sont actionn es par X16 et 14 neutralisent les ordres quiva lents de l interface s rielle Jede Fernsteuerung einer Funktion am Re Each remote control of a function on remo Chaque commande distance d une fonc motestecker X16 wird durch das Segment te plug X16 is displayed via the segment tion par le connecteur de commande di Fernsteuerung auf der LC Anzeige der remote control on the LC display on the stance X16 sera affich e par l adduction Frontplatte angezeigt front panel commande distance sur l affichage LCD sur la platine frontale Pinbelegung X16 und Schalterstellung S14 Pin arrangement X16 and switch setting S14 Emplacement des br
22. is used to control backing pumps to 4 KW Roots pumps to 1 5 KW Venting Control Unit TCF 103 delayed venting and heating and cooling units in pumping station opera tions Pumping Station Control Unit TCS 1001 is used for the control of complex pumping stations including vacuum measuring and high vacuum control 4 4 2 Remote Control Some functions can be activated via the re mote control plug connection X16 For this the respective pin is connected with mass to Pin 15 see section 5 3 8 The function of Pin 1 to Pin 5 can also be fi xed via DIL switch S14 at the rear of the TCP 600 All remote control functions have priority Operational conditions activated via remote control can neither be deleted by push but ton keys on the TCP nor via serial interface commands 4 4 3 Serial Interface RS 232 485 TCI 015 Slide in module TCI 015 permits status message requests and function control via a potential separated output 4 4 4 Rotation Speed Setting Module The analog rotation speed setting module is used to vary the rotation speed of the tur bo pump between 20 96 and 100 96 of the rated rotation speed The rotation speed is set via direct voltage 0 10 V or a potentio meter 4 4 Accessoires PM 031 429 T PM Z01 106 PM C01 551 PM C01 335 PM C01 347 PM 031 554 X PM 041 285 X PM 041 286 X 4 4 1 Commandes pour groupes de pompa ge TCS 130 TCS 1001 Avec la commande pour groupe de pompa ge TCS 13
23. l affichage LCD Sur le tableau d affichage LCD tous les messages d tat restent pr sents au mo ment du d rangement Pour des d rangements dans le domaine de calcul une commutation de s curit sera activ e qui arr tera le courant du mo teur et la sortie puissance du moteur et g n re une RAZ continuelle du processeur Des commandes erron es du processeur seront ainsi vit es Ce d faut ne peut pas tre affich Si un d faut se trouve au niveau du calcul l appareil doit tre chang 7 2 2 R paration Service apr s vente Dans les sch mas lectriques ci joints les circuits de puissance et les tensions de ser vice concern es sont indiqu es Pour les r parations effectu es par le client il faudra faire tr s attention aux contacts la tension dangeureuse Sur les sch mas lectriques les parties concern es sont en cadr es avec une ligne hachur e Si vous entreprenez vous m mes des tra vaux de r parations ou d entretien aux ap pareils qui pourraient avoir t en contact avec des produits nuisibles la sant veuillez prendre compre des prescriptions de s curit en vigueur Bei Ger ten die Sie an uns zu Reparatur oder Wartungsarbeiten einschicken beach ten Sie folgendes Kontaminierte Ger te radioaktiv che misch etc sind vor der Einsendung ent sprechend den Schutzvorschriften zu de kontaminieren Zur Reparatur oder Wartung eingehende Ger te m ssen m
24. off the pumping sta tion control unit Close the safety valve In Pfeiffer rotary vane vacuum pumps this valve is integra ted in the pump Shut off the cooling water flow Switch off the backing pump After stopping the TSF 012 venting valve is supplied from the drive motor of the dece lerating pump so that venting starts at de celeration speeds of between 50 and 20 depending on the motor configuration 6 1 9 Venting of the Turbo Pump Three venting possibilities are available Manual venting via the standard venting screw Fig 15 Venting via Venting Control Unit TCF 103 Fig 16 Venting with the Mains Failure Venting Unit TSF 012 Fig 17 6 1 8 Mise l arr t Mettre l arr t la pompe turbo avec l in terrupteur S1 et ou l appareil de comman de de groupes de pompage Fermer la soupape de s curit Elle est in t gr e dans les pompes rotatives vide palettes Pfeiffer Bloquer l eau de refroidissement Arr ter la pompe vide primaire Apr s l arr t la soupape de remise l air TSF 012 sera aliment e par l entrainement du moteur de la pompe encore tournant de fa on ce que la remise l air commence selon la configuration du moteur pour les vitesses de rotation en ralentissement entre 50 et 20 6 1 9 Remise l air de la pompe turbo Trois possibilit s de remises l air sont possibles Remise l air manuelle avec la vis de re mise l
25. ou de l lectroni que d entrainement seront absolument viter Les transformations ou les changements pouvant avoir une influence sur la s curit sont interdits Apr s des travaux de montage et d entre tien lectrique il est n cessaire de tester les mesures de protection install es Pour l utilisation du syst me les prescrip tions de s curit et de pr vention d acci dents locales sont valables dans tous les cas Afin de r soudre les questions relatives la s curit le maniement et l entretien veuillez vous mettre en rapport avec la re pr sentation Pfeiffer la plus proche ou avec une de nos filiales 2 2 Utilisation conforme aux dispositi ons L lectronique d entrainement TCP 600 sert au fonctionnement des pompes turbomol culaires Pfeiffer pour l vacuation de r cipi ents ou le pompage de gaz de processus sous vide L utilisation conform ment aux dispositi ons pr voit que l unit de fonctionnement Pompe turbo TCP soit utilis e avec une pompe vide primaire PFEIFFER VACUUM 5 Bei nicht bestimmungsgem em Ein satz erlischt jeglicher Haftungs und Gew hrleistungsanspruch Zur bestimmungsgem en Verwendung geh rt auch die Einhaltung der vom Her steller vorgeschriebenen Installations In betriebnahme Betriebs und Instandhal tungsvorschriften F r Sch den und Betriebsst rungen die aufgrund Nichtbeachtung der Betriebsan weisung entstehen b
26. p les pour le chauffage turbo pour le refro idissement par air et les contacts secs X2 X3 et X20 et le connecteur de pompe X5 21 p les les fusibles d arriv e de r seau F1 et F5 les fusibles pour la soupape de remi se l air F2 pour le chauffage F4 et pour le refroidissement F3 le s lecteur de tension 115 230 V deux a rateurs deux connec teurs pour commande ext rieure X16 15 p les ainsi qu un interrupteur DIL S14 En option on peut quiper les emplace ments suivants deux cartes enfichables 5 ou 6 TE de largeur pour l interface s rielle RS 232 485 connecteurs femelles submi niatures X17 et X18 2x9 p les et l entr e analogique pour la variation de la vitesse de rotation connecteur femelle subminia ture X 22 9 p les 3 emplacements en fichables PFEIFFER VACUUM 7 36 38 394041 30 en 42 33 37 43 44 45 Fig 3 R ckseite TCP 600 Rear side TCP 600 Deri re TCP 600 29 X1 Steckverbinderr Flutventil 30 X2 Steckverbinder Pumpenheizung 31 X3 Steckverbinder Luftk hlung 32 X4 Netzstecker 33 X5 SteckverbinderPumpe 34 X16 Remote Steckverbinder 35 X20 Steckverbinder potentialfreie Kontakte 36 S8 Spannungswahlschalter 37 514 DIL Schalter 38 F1 Netzsicherung 39 F5 Netzsicherung 40 F4 Sicherung Heizung 41 F3 Sicherung K hlung 42 F2 Sicherung Flutventil 43 45 Leerschacht 46 47 Ventilator 4 3 Funktionsbeschreibung TCP 600 Die Antriebselektronik T
27. rotor sera acc l r sur sa vitesse de rotation nominale En m me temps les composants du groupe de pompage seront mis sous la tension Pour un d bit de gaz lev le courant du moteur augmente jusqu la valeur maxi mum de la pompe raccord e Pour des charges de gaz encore plus lev es la vi tesse de rotation diminue et la pompe sera arr t e pour un sous d passement du seuil de commutation de la vitesse de rotation 6 1 6 Fonctionnement normal Apr s l atteinte de la vitesse de rotation no minale le courant du moteur diminue et la vitesse de rotation de la pompe restera constante 6 1 6 1 Chauffage Sera pr s lectionn par l interrupteur S2 Apr s le d passement du seuil de commu tation de la vitesse de rotation le chauffage se mettra en marche apr s le sous d pas sement du seuil de commutation de la vi tesse de rotation le chauffage s arr tera impossible dans le mode de variation de vitesse de rotation 6 1 7 Fonctionnement Stand by Le fonctionnement Stand by sera mis en marche et arr t sur la platine frontale avec l interrupteur S9 la pompe turbo marche avec une vitesse de rotation modi fi e 66 de la vitesse de rotation nomi nale Si Stand by est arr t le temps de d mar rage sera activ avec la moiti de la valeur r gl e La pompe acc l re sur la vitesse de rotation nominale Stand by peut aussi tre activ par un in terrupteur externe raccord entre X16 9
28. serial number 7 3 1 Spare Parts List 7 3 Pieces de rechange Attention Veuillez indiquer sur demande de prix ou la commande pour pi ces de rechange le type et le num ro de fabrique 7 3 1 Liste des pi ces de rechange Benennung St ck Best Nr Title Quantity Nr D signation Unit s No Steuerprint Control print Carte imprim de commande 1 PM 031 415 X IC IC IC TC 4028 BP D4 1 P 0920 476 E Schaltnetzteilsteuerprint Switching print for input unit 1 PM 031 425 X Carte imprim d alimentation IC IC IC SG 3525 AN N1 1 P 0920 190 E Rechnerprint Computer print Carte imprim ordinateur 1 PM 021 700 X IC IC IC 280 CPU 4 MHZ D1 1 P 0920 435 E Displayprint Display print Carte imprim de LCD 1 PM 021 704 X IC IC IC HEF 4046 BP D3 1 P 0920 489 E SNT Transistorprint Switching transistor print for input unit 1 PM 031 426 X Carte imprim transistor d alimentation Transistor Transistor Transistor RFP 243 V 46 1 P 0920 459 E Motorendstufe Motor final stage print Carte 1 PM 031 416 X imprim tage finale du moteur Diode Diode Diode BYW 95C V5 10 15 20 4 P 0920 361 E Doppeldiode Double diode Diode en double BYT 230 PIV 800 11 12 0920 461 E Sicherungen Fuse Fusible 0 2 AT F2 1 P 4666 422 Sicherungen Fuse Fusible 0 5 AT F4 F5 1 P 4666 430 Sicherungen Fuse Fusible 4 0 AT F3 1 P 4666 448 Sicherungen Fuse Fusible 10 0 AT F1 1 P 0920 518 E Netzschalter Mains switch Interrupteur secteur NE 18 2U EE S1 1 P 0
29. stored and normal display mode is restored Affichage variation de la vitesse de rotation L affichage DEL vert affiche l tat r el de la variation de la vitesse de rotation Il s allu me lorsque la vitesse de rotation consign e pr s lectionn e est atteinte 5 96 Seulement actif dans le mode de variation de la vitesse de rotation 6 1 1 1 Modification de la temporisation et du seuil de commutation de la vites se de rotation Avec les touches S12 et S13 il est possible de modifier la temporisation entre 1 et 120 minutes le seuil de commutation K1 entre 50 96 et 90 de la vitesse de rotation consign e 1 1 Impossible dans le mode de variation de vitesse de rotation La fl che de menu doit tre plac e pour cela sous la grandeur introduire Ensuite actionner les deux touches 512 513 en m me temps La fl che de menu clignotte pour les introductions des donn es L ac tionnement individuel de 512 ou de 513 d place la valeur des donn es vers le bas ou vers le haut En actionnant encore une fois simultan ment les touches 512 513 les donn es r gl es seront reprises et m mo ris es En m me temps le retour dans le fonctionnement normal d affichage s effec tue PFEIFFER VACUUM 21 6 1 2 Betriebsmeldungen Quasianaloganzeige der Drehzahl TCP fernbedient TCP remotely controlled TCP est t l command Stand by Betrieb Stand by mode Service en Stand by
30. test program On detection of an error further operation of the unit is blocked and an error message together with an error number appears on the LC display see Section 7 1 The test is mainly based on voltage measu rements at critical points in the unit under various preset operating conditions This allows important conclusions to be drawn concerning the correct functioning of the unit Errors in the area of rotation speed control motor end stages and Hall probes are detected immediately thereby protecting the pump against any further da mage During self testing relay contact K2 is open 6 1 3 Mise en marche Ouvrir l eau de refroidissement pour la pompe turbo et contr ler le d bit Mettre en marche la pompe vide primai re Avec le raccordement suivant le sch ma lectrique PM 031 955 S la pompe primaire et la pompe turbo seront mises en marche avec l interrupteur S1 par la commande du groupe de pompage TCS 130 Ouvrir la soupape de s curit Elle est in t gr e dans les pompes rotatives vide palettes Pfeiffer Elle s ouvre automatique ment apr s la mise en marche Si le refroidissement par air est raccord celui ci sera mis en route en m me temps que la pompe turbo L utilisation d un groupe de refroidissement est possible en utilisant l appareil de com mande de groupes de pompage TCS La soupape de remise l air TSF 012 se fer me aussit t la mise en marche Si l app
31. 0 les pompes primaires jusqu 4 KW les d presseurs Root jusqu 1 5 KW l appareil de commande de remise l air TCF 103 de remise l air retard e ainsi que les dispositifs de chauffage et de refro idissement pourront tre command s pour le fonctionnement d un groupe de pompa ge L appareil de commande pour groupe de pompage TCS 1001 permet la commande de groupes de pompage complexe ainsi que la mesure du vide et la commande du vide lev 4 4 2 Commande distance Quelques fonctions peuvent tre activ es par un connecteur de commande distance X16 Chaque broche est pour cela relier avec la terre la broche 15 voir chapitre 5 3 8 Les fonctions des broches 1 5 seront af fect es aussi par l interrupteur DIL S14 sur le panneau arri re Toutes les fonctions de commande di stance sont prioritaires Les tats de marche activ s par la comman de distance ne pourront tre d sactiv s ni par la commande des touches au TCP ni par des ordres d interface 4 4 3 Interface s rielle RS 232 485 TCI 015 La carte enfichable TCI 015 permet l interro gation de messages des tats et de com mande de fonctions par une sortie libre de potentiel 4 4 4 Carte de variation de la vitesse de ro tation Avec la carte de variation de la vitesse de rotation analogique il est possible de varier la vitesse de rotation de la pompe entre 2096 et 10096 de la vitesse nominale La consigne de vitesse de
32. 10 6 2 6 3 6 4 6 4 1 6 4 2 6 5 7 1 7 2 7 2 1 7 2 2 7 3 7 3 1 Benutzung Betreiben des Ger tes Bedienungselemente und LC Anzei gefeld ndern der Verz gerungszeit und des Drehzahlschaltpunktes Betriebsmeldungen Einschalten Selbsttest Hochlauf der Turbopumpe Normalbetrieb Ausheizen Stand by Betrieb Ausschalten Fluten der Turbopumpe Reset Fernbedienung Funktion der DIL Schalter S14 Optionen Drehzahlstellkarte Serielle Schnittstelle Gefahren Instandhaltung Erweiterte Testm glichkeiten St rungsbeseitigung Fehlerdiagnose mit Fehlerliste Reparatur Kundendienst Ersatzteile Ersatzteilliste Technische Daten Technische Daten Optionen Schaltpl ne 6 1 6 1 1 6 1 1 1 6 1 2 6 1 3 6 1 4 6 1 5 6 1 6 6 1 6 1 6 1 7 6 1 8 6 1 9 6 1 10 6 2 6 3 6 4 6 4 1 6 4 2 6 5 7 1 7 2 7 2 1 7 2 1 1 7 2 2 7 3 7 3 1 Operation Operating the Unit Operations Elements and LC Dis play Field Changing the Time Lag and the Ro tation Speed Switch Point Operations Messages Switching On Self Testing Turbo Pump Running Up Normal Operations Baking Out Stand By Operations Switching Off Venting of the turbo pump Reset Remote Control Function DIL Switch 514 Options Rotation Speed Setting Module Serial Interface Hazards Maintenance Additional Testing Options Troubleshooting Malfunctions Diagnosis Error List Repairs and Customer Service Spare Parts Spare Parts List Tec
33. 23 27 24 zm a 22 Solldrehzahl Istdrehzahl Strom Verz gerungszeit Drehzahlschaltpunkt DZP Betriebsstunden Istdrehzahl analog Fernbedienung Drehzahl erreicht Stand by Drehzahl Drehzahlschaltpunkt erreicht Heizung Pumpe beschleunigt Strom abfallend Schmiermittel o k Ubertemperatur TCP Ubertemperatur Turbopumpe Anzeige EIN Schalter Funktionsgruppenvorwahl Schalter Funktionsgruppenvorwahl Schalter Stand by Schalter Heizung EIN Pumpstand EIN Reset St rung Drehzahlsollwert Drehzahlistwert nur bei Dreh zahlstellbetrieb Taster Fluten h ch A ch EN O1 BR N CO OO NN NN NN ND O O1 B CO ND 4 2 2 R ckplatte Auf der R ckplatte befindet sich ein 13 pol Netzstecker X4 ein 3 poliger Kleinrund steckverbinder f r das Flutventil drei 7 pol Steckverbinder f r Turboheizung Luftk h lung und die potentialfreien Kontakte X2 X3 und X20 der 21 pol Pumpensteckver binder X5 die Netzsicherungen F1 und F5 die Sicherungen f r das Flutventil F2 f r die Heizung F4 und f r die K hlung F3 der Spannungswahlschalter 115 230 V zwei L fter der Remote Steckverbinder X16 15 pol sowie ein 5 pol DIL Schalter S14 Als Option k nnen zwei 5 bzw 6 TE breite Einschubkarten f r die serielle Schnittstelle RS 232 485 2x9 pol Sub D Buchsen X17 und X18 und den Analogeingang zur Dreh zahlstellung 9 pol Sub D S
34. 4 Mise en marche du test suppl mentaire voir chapitre 10 3 Pin 5 5 Einstellung der seriellen Schnittstelle OPTION ber die Fronttasten ausf hrliche Beschreibung siehe Betriebsanweisung PM 800 305 BD E F Pin 5 Setting the serial interface option via the front panel push button keys please refer to operating instructions PM 800 305 BD E F for a detailed description Broche 5 R glage de l interface serielle OPTION par les touches frontales description d taill e voir les instructions de service PM 800 305 BD E F Pin 6 Heizung EIN AUS Pin 6 Heating ON OFF Broche 6 Chauffage MARCHE ARRET Pin 7 frei free libre Broche 7 Pin 8 Drehzahl berwachung AUS Im ausgeschalteten Zustand bleibt K2 geschlossen unabh ngig von der Drehzahl Pin 8 Rotation speed monitoring OFF In the switched off status K2 remains closed independent of the rotation speed Broche 8 Surveillance de la vitesse de rotation ARRET Dans la position d arr t K2 reste ferm ind pendamment de la vitesse de rotation Pin 9 Stand by EIN Pin 9 Stand by ON Broche 9 Stand by MARCHE Pin 10 Pumpstandfehler Schaltet Ger t aus Wiedereinschalten nur nach Reset Pin 10 Pumping station error Switches the unit off Can only be switched on again after reset Broche 10 D faut de groupe de pompage Arr te l appareil Remise en route seulement apr s RAZ Pin 11 Motorstrom AUS Drehzahl berwachung wird ausgeschaltet Beim Wiedereinschalten de
35. 5 3 8 L affichage de d faut E006 sera exclu La surveillance de la vitesse de rotation re ste encore activ e 4 6 5 Seuil de commutation de la vitesse de rotation Relais K1 Le relais se ferme en cas de sur d passe ment du DZP et s ouvre en cas de sous d passement Le DZP est r glable entre 50 et 90 de la vitesse de rotation nominale Dans le mode de r glage par variateur de vitesse de rotation K1 est ouvert Le chauffage de la pompe turbo fonc tionne seulement lorsque K1 est ferm Le contact de commutation sec de K1 est raccord X20 4 7 Contr les effectu s L appareil a t soumis un contr le de pi ce avec 1500 V AC un contr le d isola tion avec 500 V DC et un contr le des rac cordements des conducteurs de terre avec 25 A L appareil poss de une autorisation de construction homologu e et certifi e par le T V Hessen DZP Seuil de commutation de la vitesse de rotation PFEIFFER VACUUM n 5 Installation 5 1 Aufstellung Montage Befestigung Das Ger t ist in ein Geh use einzubauen daf der jeweils vorgeschriebenen Schutzart entspricht Die Kabelverbindung Antriebse lektronik Turbopumpe mu mit den vorge sehenen Schrauben gesichert werden ent sprechendes Werkzeug verwenden 5 2 K hlung Luftzirkulation Die Antriebselektronik erzeugt eine Verlust leistung von 400 W Um diese abzuf hren ist f r ausreichende Luftzirkulation um das Ger t zu sorge
36. 6 verriegelt Beispiel Bei aktivierter Heizungsfernbe dienung ist der Taster S2 ohne Funktion S2 and S9 are locked via the respective re mote control inputs remote plug X16 Example With heating remote control ac tivated push button key S2 is without func tion S2 et S9 seront verrouill s par les entr es de commande distance Connecteur de commande distance X16 Par exemple Pour une commande di stance de chauffage activ e la touche S2 est sans fonction PFEIFFER VACUUM 19 Fig 13 LC Anzeigefeld LC Display Field Die LC Anzeige zeigt wichtige Betriebspara meter an Die Anzeige l t sich in folgende Teile untergliedern Menufeld mit Menuzeiger 28 Mit den Tastern S12 und 513 k nnen fol gende Parameter gew hlt werden Im Ein heitenfeld werden die dazugeh rigen Ein heiten angezeigt Solldrehzahl Set rotation speed Vitesse de rotation consign e Istdrehzahl Actual rotation speed Vitesse de rotation r elle Motorstrom Motor current Courant moteur Hertz Hz Volt V Ampere A Stunden h Minuten min und 96 20 PFEIFFER E VACUUM The LC display shows important operatio nal parameters The display can be broken down as follows Menu field with menu display 28 The following parameters can be selected with push button keys S12 and S13 The re levant units are displayed in the respective unit fie
37. 920 495 E Taster Push button Bouton poussoir SF 2U EE S3 S16 2 P 0920 496 E Spannungsregler Voltage regulator R gulateur de tension L387 1 0920 465 E Diode Diode Diode BYT 12 P 800 V39 40 2 P 0920 299 E 90 PFEIFFER E VACUUM 8 Technische Daten Antriebselektronik 8 Technical Data Electronic Drive Unit Commande lectronique 8 Fiche technique TCP 600 Anschlu spannung Frequenz Leistungsaufnahme max Pumpenheizung Ausgangsspannung max ca Hochlaufstrom max Nennfrequenz x 2 Selbsttest eingebaut Kontaktbelastung K1 und K2 induktionsfrei Verz gerungszeit einstellbar Werkseinstellung Drehzahlschaltpunkt einstellbar in der Nenndrehzahl Werkseinstellung Zul Umgebungstemperatur Kabell nge Pumpe TCP max Steckerausg nge f r Luftk hlung Heizung Flutventil 42 V DC Anschlu m glichkeiten f r Rackeinschubgr Be Gewicht Connection voltage Frequency Max power consumption pump heater Max output voltage approx Run up current max Rated frequency 2 Self testing incorporated Contact rating K1 and K2 non inductive Time lag adjustable Factory setting Rotation speed switch point adjustable in of rated rotation speed Factory setting Permissible ambient temperature Cable length pump TCP max Sockets for Air cooling Heating Venting valve 42 V DC Connection options for Rack modul size Weight Tens
38. CP 600 ist speziell zum Antrieb von Pfeiffer Turbomolekular pumpen konzipiert Die Versorgung der Antriebselektronik TCP 600 erfolgt aus dem Netz f r zwei Spannungsbereiche Schalterstellung 115V 90 130 V und Schalterstellung 230V 180 265 V Nach dem Einschalten wird der Rotor der Turbopumpe mit dem maximalen Motorstrom beschleunigt Erreicht der Ro tor seine Nenndrehzahl wird der Motor strom reduziert und die Rotordrehzahl kon stant gehalten Die Motorspannung 0 70 V wird von einem Schaltnetzteil erzeugt das vom Netz isoliert ist Die Komponenten die direkt an der TCP an geschlossen sind werden von der TCP ge steuert und verriegelt In Verbindung mit ei nem Pumpstandsteuerger t TCS werden alle am TCS angeschlossenen Komponen ten einschlieRlich TCP vom TCS gesteuert und verriegelt PFEIFFER E VACUUM 29 X1 Venting valve plug connection 30 X2 Pump heating plug connection 31 X3 Air cooling plug connection 32 X4 Mains plug 33 X5 Pump plug connection 34 X16 Remote plug connection 35 X20 Connection potential free contacts 36 S8 Voltage selection switch 37 S14 DIL switch 38 F1 Mains fuse 39 F5 Mains fuse 40 F4 Heating fuse 41 F3 Cooling fuse 42 F2 Venting valve fuse 43 45 Unused module posittions 46 47 Ventilator 4 3 Functional Description TCP 600 The Electronic Drive Unit TCP 600 has been specially designed to drive Pfeiffer turbo molecular pumps The Electronic Drive Unit TCP 600 is sup
39. Die Betriebsmittel berwachung ist aktiv es PFEIFFER E VACUUM 6 4 Options 6 4 1 Rotation Speed Setting Module Fig 19 This module is optional If no module is ins erted the slit is closed by a blind cover Ver sion part rack 5TE width Europacard 160x100mm An analogue rotation speed set value can be prescribed via the 9 pole sub D box X22 The various rotation speed options are bet ween 20 100 AIA 2 10 V of the respec tive rated rotation speed In rotation speed setting mode the rotation speed switch point is fixed at 20 of the rated rotation speed and cannot be chan ged Independent of the set rotation speed va lue the pump is accelerated to 50 96 of the rated frequency oil pumps starting If the Al is 5 0 V the rotation speed is reduced after the attainment of 50 96 of the rated fre quency The potential free switch contact K1 is not activated Stand by cannot be selected Monitoring of the run up time is inactive The rotation speed setting mode DZSM can be selected via Plug connection X22 Pin 5 on the rotati on speed setting module Remote control X16 Pin 3 Switch S14 3 Serial interface optional The display rotation speed set value rota tion speed actual value 5 is via a green LED on the front panel and via the switch output X22 6 Oil monitoring is active 6 4 Options 6 4 1 Carte de variation de la vitesse de ro tation Cette carte est
40. E006 4 6 3 Excess Rotation Speed The pump is switched off via K4 if the pump rotation speed increases to gt 105 of the rated value error message E001 4 6 4 Rotation Speed Monitoring Relay K2 The functioning of the electronic drive unit and turbo pump is signalled via the relay K2 The floating changeover contacts of K2 are connected to X20 4 4 5 Soupape de remise l air TSF 012 La soupape de remise l air TSF 012 sera viss e la pompe Elle est ferm e pendant la mise en marche et s ouvre apr s l arr t de la TCP mais seulement apr s le sous d passement d une certaine vitesse de ro tation suivant le type de pompe 4 5 Dispositifs de protection L lectronique d entra nement TCP 600 est con u suivant le degr de protection IP20 Le degr de protection de l armoire lectri que se d termine d apr s l environnement de la surface de pose et des prescriptions de s curit de l EDF 4 6 Fonctions de s curit et de surveil lance pompe turbo Afin de garantir un fonctionnement fiable de la pompe turbomol culaire les fonc tions de surveillance suivantes sont dispo nibles dans la TCP 4 6 1 Surveillance de la temp rature de la pompe turbo En cas d une temp rature du moteur trop lev e et inadmissible le courant du mo teur sera r duit Cela peut mener un sous d passement du seuil de commutation de la vitesse de rotation consign e et par cons quence un arr t de la pompe tur
41. K1 Schaltpunktrelais X20 3 K1 Schaltpunktrelais Schlie er X20 4 K2 berwachungsrelais ffner X20 5 K2 berwachungsrelais X20 6 K2 berwachungsrelais SchlieRer X20 PE PE Schutzleiter 5 3 7 Pumpstandsteuerung Zum Betrieb der Turbopumpe mit einer Vor pumpe und anderen Komponenten k nnen die Pumpstandsteuerungen TCS 130 und TCS 1001 verwendet werden Pin arrangement X20 Function Switch point relay opener Switch point relay Switch point relay closer Monitoring relay opener Monitoring relay Monitoring relay closer Earthed protector 5 3 7 Pumping Station Control For operations with a backing pump Pum ping Station Control Unit TCS 130 and TCS 1001 can be used PUMPING UNIT CONTROL 4 44 wand 7 dreem Fig 8 TCS 130 Der Anschluf der Pumpstandsteuerungen erfolgt gem den Schaltpl nen in Kapitel 9 an die Stecker X4 X16 X20 der TCP Die Pumpstandsteuerungen werden gem den Betriebsanweisungen ange schlossen und betrieben Betriebsanweisung TCS 130 PM 800 205 BD E F Betriebsanweisung TCS 1001 PM 800 247 BD E F 5 3 8 Fernbedienung Zur Fernsteuerung des Ger tes werden je weils die Pins 1 14 von X16 mit Pin 15 ver bunden um die entsprechende Funktion zu schalten Pin 1 bis Pin 5 liegen mit den Kon takten 514 1 5 parallel Der jeweils ge schlossene Kontakt bestimmt die Funktion und kann vom parallel liegenden Kontakt
42. Lu Ven LA IEN san LE Li us 4 4 i ii 4 4 gm i VEI LLLI 4 4 jeuusixa Aqpueis OLS 41 qi En CE Free id e 0009 421 qpueis 65 n va nio E Nt n lt est Lag 1 1 0009 421 uonaajes 85 dl Baton MAACHE HH 53 XH 93 HH Sh fadt Hu 901 ous vien 25 431 HUN eng Joqweyg BABA 6 dumdotun i jo33u02 yem Jesay 95 TRE dude d keck dung gr apuq aowa qua Buneag 55 stows M NO GH ZLO PALA WUA 9 pajoeuuoo si 1001 e ji 9 Bi E stoe yun Buidung yg Jonuoo syourer qu NO HUN Sudung gH SARA non led yl DL eO 4 4 dundodunj Bunea y pareanoe si u HE us Stage e LL US Gm me vi Cat AOL Nun eme aalen L 20 iv eimi iusque z 25 NO Bunes ZH aue Aey z apuq at MOL E qup 15 NO Hun Suidwnd IH IoAnuo eutuet Lt 200 MOL JOHUOW 518M PFEIFFER E VACUUM A0 PFEIFFER VACUUM Konformit tserkl rung C C Declaration of Conformity C C im Sinne folgender EU Richtlinien pursuant to
43. Motorstrom und die Motorendstufe ab schaltet sowie einen dauernden Prozessor Reset erzeugt Fehlsteuerungen durch den Mikroprozessor werden dadurch ausge schlossen Dieser Fehler kann nicht angezeigt werden Liegt ein Defekt im Rechnerbereich vor mu das Ger t ausgetauscht werden 7 2 2 Reparatur Kundendienst Im beiliegenden Schaltplan sind die lei stungsf hrenden Strompfade und die zu geh rigen Betriebsspannungen angegeben Bei kundenseitiger Reparatur mu darauf geachtet werden da im Ger t ber hrungsgef hrliche Spannungen auftre ten k nnen Im Schaltplan sind netzspan nungsbehaftete Teile mit einer gestrichelten Linie eingerahmt Wenn Sie selbst Reparatur oder Wartungs arbeiten an den Ger ten vornehmen die mit gesundheitssch dlichen Stoffen in Ber hrung gekommen sind beachten Sie die entsprechenden Vorschriften T PFEIFFER E VACUUM During the self test SELF is displayed on the LC display After the test has been suc cessfully completed the standard operating program starts running and the display shows the rotation speed of the pump All recognised operating malfunctions lead to blocking of the motor end stage and the motor current control Basically all relays are cut out exception relay for TCP voltage supply The red collective malfunction message on the LC display illuminates All status messages at the time of the mal function are retained on the LC display field If the
44. PFEIFFER VACUUM Betriebsanleitung Operating Instructions Mode d emploi TCP 600 Antriebselektronik Electronic Drive Unit Commande lectronique PFEIFFER Ter 800 PRODUCT SERVICE PM 0234 BN D 0101 Inhalt Hinweise Allgemeine Hinweise 1 2 Hinweise zur Dokumentation 2 Sicherheit 2 1 Sicherheitsvorschriften 2 2 Bestimmungsgem e Verwendung 3 Transport und Lagerung 4 Produktbeschreibung 4 1 Allgemeine Beschreibung 4 2 u erer Aufbau 42 1 Frontplatte 4 2 2 R ckplatte 4 3 Funktionsbeschreibung TCP 600 4 4 Zubeh r 44 1 Pumpstandsteuerungen TCS 130 TCS 1001 44 2 Fernbedienung 44 3 Serielle Schnittstelle RS 232 485 4 4 4 Analoge Drehzahlstellkarte 4 4 5 Flutventil TSF 012 4 5 Schutzvorrichtungen 4 6 Sicherheits und Uberwachungs funktionen Turbopumpe 4 6 1 Temperatur berwachung Turbo pumpe 4 6 2 Temperatur berwachung Antriebs elektronik TCP 4 6 3 berdrehzahl 4 6 4 Drehzahl berwachung Relais K2 4 6 5 Drehzahlschaltpunkt Relais K1 4 7 Durchgef hrte Pr fungen 5 Installation 5 1 Aufstellung Montage Befestigung 5 2 K hlung Luftzirkulation 5 3 Anschl sse 5 3 1 Energieversorgung 5 3 2 Turbomolekularpumpe 5 3 8 Luftk hlung 5 3 4 Turbopumpenheizung 5 3 5 Flutventil 5 3 6 Relaisausg nge 5 3 Pumpstandsteuerung 5 3 8 Fernbedienung 5 3 9 Einschubkarten 5 3 9 1 Serielle Schnittstelle RS 232 485 5 3 9 2 Drehzahlstellkarte O Pfeiffer Va
45. acking that the consignment conforms to the de tails on the delivery note Technical modifications reserved 1 2 Notes concerning this Information These operating instructions have been prepared in compliance with German Indu strial Standard 8418 The description conforms with the E E C Guidelines Machines 89 392 EC of 14 06 89 Please read the operating instructions befo re you start operating the unit and follow the instructions in all points These operating instructions is a document of Pfeiffer Vacuum GmbH Copying and the use of such copies even in part requires the manufacturer s authorisation Instructions de service pour l lectronique d entrainement TCP 600 1 Indications L lectronique d entrainement TCP 600 est concue seulement pour le usage industriel le 1 1 Indications g n rales G n ralit s concernant l alimentation d coupage Le transformateur de r seau la transmissi on de puissance et la transmission de com mande sont con us en fonction de DIN VDE 0551 L lectronique d entrainement TCP 600 est anti parasit e suivant DIN VDE 0871 cour bes de valeur limite B Tous les appareils correspondent la loi sur le mat riel technique datant du 24 juin 1968 8 3 Contr ler aussit t apr s le d ballage si l en voi correspond avec les donn es indiqu es sur le bon de livraison Nous nous r servons le droit de proc der des modifications techniques 1 2 Ind
46. ards if the unit is used improperly or for other than its intended purpose Operating and service personnel must have read and understood the operating instructions for the product All warnings must be observed and all precautions taken The operating and service personnel must be informed of all hazards which might occur in connection with the turbo pump Personnel must be able to recognize dan gers and take preventive measures Any use by unauthorized personnel or ca reless handling may increase the potential danger The switch off procedures described in the attached operating instructions must be observed in all installation commissio ning operating and maintenance work No operating modes must be used which may affect the safety of the operator and the electronic drive unit All unauthorized modifications and altera tions affecting safety are prohibited All safety protection measures must be te sted on completion of electrical installati on and electrical maintenance work e g earthing resistance test All relevant local safety and accident pre vention regulations apply for operation of the system Any unclear points with regard to safety operation and maintenance should be cla rified with your nearest Pfeiffer agency or subsidiary company 2 2 Proper Use The Electronic Drive Unit TCP 600 is used in conjunction with Pfeiffer turbomolecular pumps for the evacuation of vessels or for th
47. areil de commande de remise l air TCF ou appareil de commande de vanne TCV est mont avec une soupape de remise l air veuillez consid rer les in structions de service concernant l appareil de commande de remise l air ou de commande de vanne Mettre le chauffage en route avec l inter rupteur S2 6 1 4 Auto test L lectronique d entrainement TCP 600 est quip e d un auto test Apr s la mise en marche de l appareil une grande partie de la r gulation lectronique et le semi con ducteur de puissance seront contr l s dans un programme test Si une erreur est con stat e la mise en service de l appareil sera bloqu e et sur l affichage LCD apparait un message d faut et le num ro du d faut voir 7 1 La v rification se base surtout sur les mesures de tension aux points princi paux de l appareil sous les diff rentes con ditions de fonctionnement De cette facon il en r sulte les d ductions importantes concernant la fonction correcte de l appareil Les erreurs dans le domaine de r gulation de la vitesse de rotation de sorties de puissance du moteur et des son des de Hall seront aussit t reconnues De cette facon l appareil et la pompe seront prot g s contre d autres dommages Pendant l auto test le contact de relais K2 est ouvert PFEIFFER VACUUM 23 6 1 5 Hochlauf der Turbopumpe Nach einem fehlerfreien Selbsttest wird die Turbomolekularpumpe mit Motorstrom ver sorgt und der Rotor
48. auf Nenndrehzahl be schleunigt Gleichzeitig werden die ange schlossenen Pumpstandkomponenten mit der ben tigten Betriebsspannung versorgt Bei erh htem Gasdurchsatz steigt der Mo torstrom bis zum Maximalwert der jeweils angeschlossenen Pumpe an Bei noch h heren Gaslasten sinkt die Drehzahl und die Pumpe wird bei Unterschreiten des Drehzahlschaltpunktes abgeschaltet 6 1 6 Normalbetrieb Nach Erreichen der Nenndrehzahl wird der Motorstrom reduziert und die Drehzahl der Pumpe konstant gehalten 6 1 6 1 Ausheizen Wird ber den Schalter S2 vorgew hlt Nach berschreiten des Drehzahlschalt punktes wird geheizt nach Unterschreiten des Drehzahlschaltpunktes wird die Hei zung ausgeschaltet im Drehzahlstellmodus nicht m glich 6 1 7 Stand by Betrieb Der Stand by Betrieb wird auf der Front platte mit Schalter S9 ein und ausge schaltet hierbei wird die Turbopumpe mit ver nderter Drehzahl 66 der Nenndreh zahl betrieben Wird Stand by ausgeschaltet wird die Hochlaufzeit mit dem halben eingestellten Wert neu gesetzt Die Pumpe beschleunigt auf Nenndrehzahl Stand by kann auch ber einen externen Schalter angeschlossen zwischen X16 9 und X16 15 und ber die Schnittstelle Option geschaltet werden e PFEIFFER E VACUUM 6 1 5 Turbo Pump Running Up After error free self testing has been com pleted the turbo molecular pump is sup plied with current for the motor and the ro tor is accelerated to th
49. bo mol culaire s ensuit affichage de d faut E006 4 6 2 Surveillance de la temp rature de l lectronique d entra nement de la TCP En cas d une temp rature du radiateur de refroidissement trop l v e et inadmissible dans la partie puissance le courant du mo teur sera r duit L arr t par le sous d pas sement du seuil de commutation de la vi tesse de rotation est possible comme dans 4 6 1 affichage de d faut E006 4 6 3 Sur vitesse de rotation Si la vitesse de rotation de la pompe monte gt 105 de la valeur nominale la pompe sera arr t e par K4 affichage de d faut E001 4 6 4 Surveillance de la vitesse de rotation Relais K2 La fonction de l lectronique d entraine ment et de la pompe turbo sera signal e avec le relais K2 Les contacts de commuta tion secs de K2 sont raccord s X20 K2 schlieRt beim Einschalten nach be standenem Selbsttest und bleibt w hrend der Verz gerungszeit geschlossen Wird nach Ablauf der Verz gerungszeit der DZP unterschritten so schaltet K4 die Motorspannung ab und die Pumpe kommt zum Stillstand Mit S14 1 kann die Verz gerungszeit nach Erreichen des DZP auf 0 zur ckgesetzt werden Die Verz gerungzeit ist w hlbar zwischen 1 und 120 min Verriegelung K2 In bestimmten Einsatzf llen z B bei Gas einla oder durch Zuschalten eines weite ren Volumens kann die berwachung der Hochlaufphase abgeschaltet werden An dem Remote St
50. cuum GmbH 35614 ARlar PFEIFFER E VACUUM Contents Information General Information 1 2 Notes concerning this Documenta tion 2 Safety 2 1 Safety Instructions 2 2 Proper Use 3 Transport and Storage 4 Product Description 4 1 General Description 4 2 External Design 4 2 1 Front Panel 4 2 2 Rear Panel 4 3 Functional Description TCP 600 4 4 Accessories 4 4 1 Pumping Station Control Units TCS 130 TCS 1001 44 2 Remote Control 4 4 3 Serial Interface RS 232 485 4 4 4 Rotation Speed Setting Module 4 45 Venting Valve TSF 012 4 5 Safety Arrangements 4 6 Safety and Monitoring Functions Turbo pump 4 6 1 Temperature Monitoring Turbo Pump 4 6 2 Temperature Monitoring Electronic Drive Unit TCP 4 6 3 Excess Rotation Speed 4 6 4 Rotation Speed Monitoring Relay K2 4 65 Rotation Speed Switch Point Relay K1 4 7 Certification 5 Installation 5 1 Installation Assembly Fixing 5 2 Cooling Air Circulation 5 3 Connections 5 3 1 Power Supply 5 3 2 Turbo Molecular Pump 5 3 3 Air Cooling 5 3 4 Turbo Pump Heating 5 3 5 Venting Valve 5 3 6 Relay Outputs 5 3 7 Pumping Station Control 5 3 8 Remote Control 5 3 9 Slide in Modules 5 3 9 1 Serial Interface RS 232 485 5 3 9 2 Rotation Speed Setting Module Table des Matieres Indications Indications g n rales 1 2 Indications concernant cette docu mentation 2 S curit 2 1 Prescriptions de s curit 2 2 Utilisation conforme aux dispositi
51. de r seau d apr s Fig 5 Fig 7 Les conducteurs d alimentation pour les ventilateurs L N PE seront raccorder au connecteur X2 5 3 4 Chaufferette de la pompe turbo Raccordement sur le connecteur X3 l ar ri re de la TCP Pinbelegung X2 und X3 Pin arrangement X2 and X3 Affectation des broches X2 et X3 Pin Funktion Function Fonction Anschlu an Connection to Raccordement Pin Broche 1 L K hlung ber F4 Cooling via F4 A ration par F4 Netzspannung Mains voltage Tension de r seau Hilfsnetz feeder circuit r seau auxillaire 2 L Heizung ber F3 Heating via F3 Chauffage par F3 a n 3 L Heizung ber F3 Heating via F3 Chauffage par F3 i a 4 frei h c free n c libre n c 5 N Neutralleiter Neutral conductor Conducteur neutre Hilfsnetz feeder circuit r seau auxillaire 6 frei h c free n c libre n c PE PE PE Schutzleiter PE earthed conductor PE Conducteur de terre 5 3 5 Flutventil 5 3 5 Venting Valve 5 3 5 Soupape de remise l air Anschlu an Stecker X1 auf der R ckseite der Pinbelegung X1 Connection to plug X1 on the rear side of the TCP Pin arrangement X1 Raccordement au connecteur X1 sur le c t arri re de la TCP Afectation des broches X1 Pin Anschlu an Connection to Raccordement Pin Broche X1 1 1 Flutventil 1 Venting valve 1 Soupape de remise l air X1 2 2 Flutventil 2 Vent
52. e pumping off of gases under vacuum A condition for proper use is that the ope ration unit TCP turbo pump is operated together with a backing pump A TCS is re quired for controlling the turbo molecular pump backing pump and accessories 2 S curit 2 1 Prescriptions de s curit L lectronique d entra ne ment TCP 600 est construite d apr s les connaissances et d veloppements technolo giques les plus r cents et par cons quent offre une enti re s curit de service Des dangers peuvent cependant se pr senter en cas d utilisation de ce sy st me par du personnel non form ou d u ne utilisation non conforme la conception de l appareil Toute personne charg e du maniement ou de l entretien devra avoir pris connais sance c est dire avoir lu attentivement et compris les instructions de services concernant cet appareil Le personnel charg du maniement et de l entretien doit tre inform sur tous les dangers pouvant survenir par l utilisation de l lectronique d entrainement Le per sonnel doit tre en mesure de reconnaitre les dangers et d y rem dier L utilisation par du personnel non autoris ou un maniement imprudent peuvent tre la cause d un danger potentiel Pour tous travaux concernant l installati on la mise en service le fonctionnement et l entretien le syst me devra tre mis hors circuit Tous les travaux pouvant porter atteinte la s curit de l op rateur
53. e rated rotation speed At the same time any connected pumping station components are supplied with the necessary operational voltage At increased gas throughput the motor current rises up to the maximum value pre scribed by the connected pump At still hig her gas loads the rotation speed reduces and the pump is switched off when the ro tation speed switch point is fallen below 6 1 6 Normal Operations On attainment of the rated rotation speed the motor current is reduced and the rotati on speed of the pump is maintained at a constant level 6 1 6 1 Baking Out Baking out is pre selected via switch S2 Af ter the rotation speed switch point is excee ded baking out begins when the rotation speed switch point is fallen below baking out stops not possible in the rotation speed setting mode 6 1 7 Stand By Operations Stand by is switched on and off with push button key S9 on the front panel This means that the turbo pump can be opera ted at an altered rotation speed 66 96 of the rated rotation speed If stand by is switched off the run up time will be reset with half the previously set value The pump accelerates to rated rota tion speed Stand by can be switched via an external switch connected between X16 9 and X16 15 and via the serial interface optio nal 6 1 5 D marrage de la pompe turbo Apr s un auto test sans erreur le moteur de la pompe turbomol culaire sera ali ment en courant et le
54. eckverbinder X16 m ssen dazu die Pins 8 und 15 gebr ckt werden siehe Abschnitt 5 3 8 Die Fehlermeldung E006 wird ausgeschlos sen Die Drehzahl berwachung bleibt weiterhin aktiv 4 6 5 Drehzahlschaltpunkt Relais K1 Relais schlie t bei berschreiten des DZP und ffnet bei dessen Unterschreiten Der DZP ist zwischen 50 und 90 der Nenndrehzahl einstellbar Im Drehzahlstellmodus ist K1 offen Die Heizung der Turbopumpe arbeitet nur wenn K1 geschlossen ist Der ptentialfreie Umschaltkontakt von K1 ist an X20 angeschlossen 4 7 Durchgef hrte Pr fungen Das Ger t wurde einer St ckpr fung mit 1500 V AC einer Isolationspr fung mit 500 V DC und einer Pr fung der Schutzlei ter verbindungen mit 25 A unterzogen Das Ger t hat eine vom T V Hessen zertifizierte Bauartzulassung K2 closes on switching on and remains closed during the delay interval If the rotation speed switch point is not at tained during the delay interval K4 swit ches off the motor current and the pump stops When the rotation speed switch point has been attained the delay interval can be re set to 0 with S14 1 Delay interval is variable between 1 and 120 minutes Locking K2 In certain situations e g gas ingress or by switching in a new volume run up phase monitoring can be switched off To do this pins 8 and 15 on remote plug connection X16 must be bridged see Section 5 3 8 Error message E006 is now eli
55. eed 50 ofthe nominal value of the article Technical modifications reserved Veuillez consid rer les points suivants con cernant les appareils que vous nous enver rez ventuellement pour les r parations ou l entretien Les appareils contamin s radioactifs chi miques etc seront d contaminer avant l exp dition suivant les prescriptions de s curit en vigueur Pour la r paration ou l entretien des ap pareils concern s veuillez indiquer sur ces derniers d une facon visible et claire l indication Libre de produits nuisibles Cette m me indication sera galement porter sur le bon de livraison Veuillez employer l accus de r ception ci joint Veuillez vous mettre en rapport avec votre service Pfeiffer concern au cas o des dif ficult s se pr senteraient Les contrats de r paration seront affectu s seulement suivant nos conditions de livrai son en g n ral La garantie de 6 mois est valable pour les r parations Les r parati ons seront effectu es sans accord pr ala ble quand les frais de r paration ne sont pas au dessus de 50 96 de la valeur neuve de l article Nous nous r servons le droit de modificati ons techniques PFEIFFER VACUUM 35 7 3 Ersatzteile Achtung Bei Ersatzteilfragen bzw Bestel lung bitte Typ und Ger tenummer ange ben 7 3 1 Ersatzteilliste 7 3 Spare Parts Attention When inquiring or ordering spare parts please indicate type and
56. elephone 1 603 578 6500 telefax 1 603 578 6550 Venezuela Secotec S A Apartado 3452 Caracas 1010 A telephone 58 2 573 8687 telefax 58 2 573 1932 Other countries AVI Applied Vaccuum Industries GmbH Leginglenstrasse 17A CH 7320 Sargans Switzerland telephone 41 81 710 03 80 telefax 41 81 710 03 81 Scope of represented countries Armenia Azerbaijan Bangladesh Belarus Bulgaria Cambodia Estonia Georgia Hong Kong Kazakhstan Kingdom of Nepal Kirghizia Latvia Lithuania Malda via Philippines China Rumania Russia Tajikistan Turkmenistan Ukraine Uzbekistan Vietnam A E M S Advanced Equipment Materials and Systems P 0 Box 25 F hrenweg 18 FL 9496 Balzers telephone 441 75 380 0550 telefax 41 75 380 0551 Scope of represented countries Bahrain Egypt Iraq Iran Jordan Kuwait Lebanon Ly bia Oman Pakistan Saudi Arabia Sudan Syria Tur key United Arab Emirates Yemen PFEIFFER E VACUUM
57. er sind ent sprechend DIN VDE 0551 aufgebaut Die Antriebselektronik TCP 600 ist nach DIN VDE 0871 Grenzwertkurve B entst rt Alle Ger te entsprechen dem Gesetz ber technische Arbeitsmittel vom 24 Juni 1968 3 Pr fen Sie sofort nach dem Auspacken ob die Sendung mit den Angaben auf dem Lie ferschein bereinstimmt Technische nderungen behalten wir uns vor 1 2 Hinweise zur Dokumentation Die Betriebsanweisung ist nach DIN 8418 erstellt Die Beschreibung erfolgt in Anlehnung an die EG Richtlinie Maschinen 89 392 EWG vom 14 06 89 Lesen Sie die Betriebsanweisung bevor Sie das Ger t in Betrieb nehmen Befolgen Sie die Anweisungen in allen Punkten Diese Betriebsanweisung ist ein Dokument der Pfeiffer Vacuum GmbH Das Kopieren und Weiterverwenden auch auszugsweise ist nur mit Genehmigung des Herstellers er laubt PFEIFFER E VACUUM 1 Information The unit TCP 600 is only intended for indu strial use 1 1 General Information General notes regarding the switching po wer supply The mains transformer the power transfer and the control transfer all comply with German Industrial Standard Electro En gineering 0551 The Electronic Drive Unit TCP 600 is sup pressed in compliance with German Indu strial Standard Electro Engineering 0871 limit value curve B All units comply with Federal German law governing technical instruments of 24 06 68 section 3 Please check immediately after unp
58. erial inter face 3 When display flashes the heater is switched on as soon as the rotation speed switch point is attained 4 when the current profile has been selec ted flashes at SHUT DOWN 5 Only active for turbo pumps with operating medium sensor Important please observe Section 4 2 6 Green illumination of display background 7 Background red illumination in the event of a malfun ction 6 Flashes in rotation speed setting mode 6 1 2 Messages de fonctionnement Affichage pratiquement analogique du r gime bertemperatur Turbopumpe Excess temp turbo pump Surchauffe de la pompe turbo Ger t EIN9 Unit ON Appareil en MARCHES Sammelst ranzeige Collective error display Annonce de d fauts group s 3 1 Quand la vitesse de rotation finale et la vitesse de ro tation stand by sont atteintes 66 2 Clignotte pendant le blocage du clavier par interface s rielle 3 Si l ffichage clignotte le chauffage sera mis en mar che aussit t que le seuil de commutation de la vitesse de rotation sera atteint 4 S llume pour courbe de courant s lectonn clig notte quand SHUT DOWN 5 Actif seulment pour les pompes turbos avec d tec teur de fluide d xploitation Attention Prendre en compte le chapitre 4 2 6 Un affichage vert est sous pos 7 En cas de d faut un affichage rouge est sous pos 6 Clignotte dans le mode de variation de la vite
59. ernehmen wir weder eine Haftung f r Personen oder Material sch den noch Gew hrleistung f r Repara tur oder Ersatz unserer Produkte 3 Transport und Lagerung Die Antriebselektronik TCP 600 ist sto si cher und korrosionsgesch tzt f r die Anlie ferung verpackt und sollte bei Einsendung zur Reparatur in der Orginalverpackung an den Hersteller zur ckgesandt werden Transportgewicht 13 kg Bei Lagerung des Ger tes ist zu beachten Lagertemperatur 15 C 60 C Luftfeuchtigkeit lt 80 Lagerort trockener Raum 4 Produktbeschreibung 4 1 Allgemeine Beschreibung Die Antriebselektronik TCP 600 ist f r den Antrieb und die Drehzahlstellung Option verschiedener Turbomolekularpumpen ent wickelt worden Sie deckt die folgenden Drehzahl und Strombereiche ab If units are used for any other than their intended purpose all liability and warranty claims will lapse Proper use also means that the installati on commissioning operating and mainten ance instructions of the manufacturer must be complied with No liability will be accepted for personal in jury nor material damages in the event that damage or breakdowns occur as a result of failure to comply with these operating in structions neither will any guarantees rela ting to repair to or replacement of our pro ducts apply 3 Transport and Storage The Electronic Drive Unit TCP 600 is speci ally packed in shock and corrosion proof packing which shou
60. es instructions de PM 800 279 BD E F PM 800 279 BD E F for a detailed de service PM 800 279 BD E F scription PFEIFFER E VACUUM 27 6 4 Optionen 6 4 1 Drehzahlstellkarte Diese Karte ist Option Bei nicht eingescho bener Karte ist der Schacht mit einem Blinddeckel verschlossen Ausf hrung als Teileinschub mit 5 TE Breite Europakarte 160x100 mm ber die 9 polige Sub D Buchse X22 kann ein analoger Drehzahlsollwert vorgegeben werden Die Variationsm glichkeit der Drehzahl be tr gt 20 100 A AI A 2 10 V der jeweili gen Nenndrehzahl Im Drehzahlstellbetrieb ist der Drehzahl schaltpunkt fest auf 20 der Nenndrehzahl eingestellt und kann nicht ver ndert wer den Unabh ngig von dem eingestellten Dreh zahlsollwert wird die Pumpe auf 50 96 der Nennfrequenz beschleunigt Start der l pumpen Ist Al 5 0 V wird die Drehzahl nach Erreichen von 50 reduziert Der potentialfreie Schaltkontakt K1 wird nicht aktiviert Stand by kann nicht gew hlt werden Die berwachung der Hochlaufzeit ist nicht ak tiv Der Drehzahlstellmodus DZSM kann ge w hlt werden ber den Steckverbinder X22 Pin 5 an der Drehzahlstellkarte die Fernbedienung X16 Pin 3 den Schalter 514 3 die serielle Schnittstelle Option Die Anzeige Drehzahlsollwert amp Drehzah listwert 5 96 erfolgt mittels einer gr nen LED auf der Frontplatte und ber den Schaltausgang X22 6
61. et X16 15 et par l interface s rielle option 6 1 8 Ausschalten Turbopumpe mit Schalter 51 und oder Pumpstandsteuerger t ausschalten Sicherheitsventil schlief en Bei Pfeiffer Drehschieberpumpen ist dieses Ventil in der Pumpe integriert K hlwasser absperren Vorvakuumpumpe abschalten Nach dem Abschalten wird das Flutventil TSF 012 aus dem Antriebsmotor der aus laufenden Pumpe gespeist so da das Flu ten je nach Motorkonfiguration bei Aus laufdrehzahlen zwischen 5096 und 2096 be ginnt 6 1 9 Fluten der Turbopumpe Zum Fluten stehen drei Flutm glichkeiten zur Verf gung Fluten von Hand mit der serienm igen Flutschraube Fig 15 Fluten mit dem Flutsteuerger t TCF 103 Fig 16 Fluten mit dem Stromausfallfluter TSF 012 Fig 17 Fig 15 Flutschraube Venting Screw Vis de remise l air Nur das TSF 012 ist mit dem Fluttaster S16 am TCP 600 zu betreiben Beim Einschalten der Turbopumpe schlieRt das Flutventil und bleibt w hrend des gesamten Betriebs ge schlossen Nach dem Ausschalten der TCP wird das Flutventil mit der im Motor er zeugten Spannung geschlossen gehalten W hrend die TCP eingeschaltet ist bleibt Fluttaster 516 ohne Wirkung Sinkt die Mo torspannung unter einen bestimmten Wert ab ffnet das Flutventil bei den in der vor angegangenen Tabelle angegebenen Dreh zahlen 6 1 8 Switching Off Switch off the turbo pump via push button key S1 and or switch
62. expired and f switch point Temporisation termin e et f seuil de und f Schaltpunkt commutation 07 E007 Betriebsmittelmangel Low operating medium level Manque de fluide d exploitation 08 2008 Pumpenstecker abgezogen Pump plug unplugged Connecteur de pompe enlev 09 E009 Strompfad a1 unterbrochen Current path a1 interrupted UM 65 V Circuit a1 interrompu UM 65 V UM 65 V 11 E011 Hallsondenversorgung Uh 9 Volt Hall probe supply Uh 9 volts Alimentation des sondes de Hall Uh 9 volts 13 E013 Betriebsmittelmangel im Operating medium deficiency in rotation Manque de fluide pendant variation vitesse Drehzahlstellbetrieb speed setting operations rotation Diese Fehler werden nur im Betrieb des Ger tes erkannt und dargestellt Sie f hren in jedem Falle zu einer Abschaltung der Turbopumpe bzw des Pumpstandes PFEIFFER E VACUUM These errors are only detected and display ed during operation of the unit in any case they lead to the turbo pump or pumping unit being switched off Ces d fauts seront seulement reconnus dans le fonctionnement de l appareil et re pr sent s Il en r sulte dans tous les cas un arr t de la pompe turbo ou du groupe de pompage EDDB1l HDE FR BI 5 _ __ 10 Fig 20 Beispiel Fehleranzeige Example for error display Exemple d affichage de d fauts Folgende Fehlermeldungen folgen aus dem Selbsttest The following error messages result fro
63. ffage MARCHE ARRET le chauf erst nach erreichtem Drehzahlschalt heating is only switched on when the fage sera mis en marche lorsque le punkt eingeschaltet rotation speed switch point is attained seuil de commutation de la vitesse de rotation sera atteint S3 Resettaster Fehlermeldung wird Push button key for resetting error Touche RAZ acquittement de messa quittiert und das Ger t startet mit messages are acknowledged and the ge de d faut l appareil d marre avec Selbsttest vorgew hlte Funktion unit begins with self testing pre selec l auto test la fonction pr s lec Stand by oder Heizung bleibt ted functions stand by or heating are tionn e Stand by ou chauffage re bestehen retained ste actionn e S9 Stand by EIN AUS Stand by ON OFF Stand by MARCHE ARRET 512 Menupfeil nach rechts Menu cursor to the right Fl che du menu vers la droite S13 Menupfeil nach links Menu cursor to the left Fl che du menu vers la gauche S16 Fluttaster zum Bet tigen des Flutven Push button key to activate Venting Touche de remise l air pour l ac tils TSF 012 Nur aktiv wenn die TCP abgeschaltet ist oder eine St rung vorliegt Valve TSF 012 Only active if the TCP is switched off or there is a malfunc tion tionnement de la soupape de remise l air TSF 012 Seulement activ e lorsque la TCP est arr t e ou s il y a un d faut 52 und S9 werden durch die jeweiligen Fernsteuereing nge Remote Stecker X1
64. hnical Data Technical Data Options Wiring Diagrams 6 1 6 1 1 6 1 1 1 6 1 2 6 1 3 6 1 4 6 1 5 6 1 6 6 1 6 1 6 1 7 6 1 8 6 1 9 6 1 10 6 2 6 3 6 4 6 4 1 6 5 7 2 721 7 2 1 1 7 2 2 7 3 7 3 1 Utilisation Fonctionnement de l appareil El ments de commande et tableau d affichage LCD Modification de la temporisation et du seuil de commutation de la vi tesse de rotation Messages de fonctionnement Mise en marche Auto test D marrage de la pompe turbo Fonctionnement normal Chauffage Fonctionnement Stand by Mise l arr t Remise l air de la pompe turbo Remise z ro RAZ Commande distance Fonction de l interrupteur DIL S14 Options Carte de variation de la vitesse de rotation Dangers Entretien Possibilit s de tests suppl mentai res D pistage des d fauts Diagnostic des d fauts et liste des d fauts Liste des d fauts R paration Service apr s vente Pi ces de rechange Liste des pi ces de rechange Fiche technique Fiche technique Options Sch mas lectriques PFEIFFER VACUUM 3 Betriebsanweisung f r Antriebselektronik TCP 600 Operating Instructions for Electronic Drive Unit TCP 600 Fig 1 TCP 600 1 Hinweise Das Ger t TCP600 ist ausschlie lich f r den Betrieb im industriellen Bereich vorgese hen 1 1 Allgemeine Hinweise Allgemeines zum Schaltnetzteil Der Netztransformator der Leistungs ber trager und die Steuer bertrag
65. ications concernant cette docu mentation Les instructions de service son tablies conform ment DIN 8418 Cette description est constitu e l appui des directives g n rales europ ennes de la conception des machines 89 392 CEE 14 6 89 Veuillez prendre connaissance de ces in structions de service avant de mettre l ap pareil en service Veuillez suivre ces instruc tions en tous points Les instructions de service sont un docu ment de l tablissement Pfeiffer Vacuum GmbH La copie ou la transmission des tiers m me seulement d extraits n est per mis que seulement avec l autorisation du constructeur 2 Sicherheit 2 1 Sicherheitsvorschriften Die Antriebselektronik TCP 600 ist nach dem neuesten Stand der Technik gebaut und betriebssicher Vom Ger t k nnen aber Gefahren ausgehen wenn es vom Benutzer unsach gem oder zu nicht bestimmungs gem em Gebrauch eingesetzt wird Bediener und Service Personal m ssen die Betriebsanweisung des Produktes ge lesen und verstanden haben Warnungen m ssen beachtet und Vor sichtsma regeln eingehalten werden Das Bedienungs und Servicepersonal mu ber alle Gefahren informiert wer den die in Zusammenhang mit der An triebselektronik auftreten k nnen Das Per sonal mu in der Lage sein Gefahren zu erkennen und ihnen entgegenzuwirken Die Anwendung durch nicht autorisiertes Personal oder eine unvorsichtige Handha bung kann zu einem erh h
66. iebsanweisungen TVF 012 PM 800 126 BD E F 103 PM 800 196 BD E F 6 1 10 Reset Bei St rungen wird der Antrieb intern aus geschaltet Mit Reset kann die Pumpe er neut gestartet werden Achtung Fehlermeldungen werden durch Reset gel scht deshalb vor Bet tigen der Reset Taste angezeigte Fehlermeldungen regi strieren Die Reset Funktion wird aktiviert durch Bet tigung des Tasters S3 Fehlerquittie rung Bet tigung eines externen Tasters am Re motestecker zwischen X16 13 und X16 15 Die Schnittstelle Option Auch durch Wegnahme der Netzspannung f r eine Zeit gt 2 Sekunden z B mit Netz schalter S1 6 2 Fernbedienung Es gibt vier Arten von Fernbedienungen Netz EIN AUS ber Wechselschalter S4 ber serielle Schnittstelle RS 232 485 Op tion ber Remotestecker X16 ber Drehzahlstellkarte Option Die Funktion des Remotesteckers X16 ist in Abschnitt 5 3 8 erl utert 26 PFEIFFER VACUUM Venting can be performed directly after switching off by depressing key S16 Operating Instructions TVF 012 PM 800 126 BD E F 103 PM 800 196 BD E F 6 1 10 Reset During malfunctions the drive is switched off internally The pump can be re started with reset Caution Error messages are deleted with reset the refore dispayed error messages should be registered before activating the reset key The reset function is ativated by Activating key S3 error ac
67. ing valve 2 Soupape de remise l air X1 3 PE 3 PE Schutzleiter 3 PE earthed conductor 3 Conducteur de terre PE 5 3 6 Relaisausg nge Auf der R ckseite der TCP stehen an dem 7 poligen Rundsteckverbinder X20 die poten tialfreien Schaltkontakte K1 und K2 zur Ver f gung Sie k nnen zur externen berwa chung der Turbomolekularpumpe genutzt werden Drehzahlschaltpunkt K1 potentialfreie Signalisierung an X20 1 2 3 Drehzahl berwachung K2 potentialfreie Signalisierung an X20 4 5 6 5 3 6 Relay Outputs On the rear panel of the TCP potential free switch contacts K1 and K2 on the seven pole round plug connection X20 are availa ble They can be used for external monitoring the turbo molecular pump Rotation Speed Switch Point K1 potential free signalling on X20 1 2 3 Rotation Speed Monitoring K2 potential free signalling on X20 4 5 6 5 3 6 Sorties de relais Sur le c t arri re de la TCP sur le connec teur rond X20 7 p les les contacts de commutation secs K1 et K2 sont disponi bles 115 peuvent tre utilis s pour la sur veillance externe de la pompe turbomol culaire Seuil de commutation de la vitesse de rotation K1 signalisation libre de potentiel X20 1 2 3 Surveillance de la vitesse de rotation K2 signalisation libre de potentiel X20 4 5 6 PFEIFFER VACUUM 15 Pinbelegung X20 Pin Broche Funktion X20 1 K1 Schaltpunktrelais ffner X20 2
68. int t Remote Stecker Steckpl tze f r Schnittstellen u Drehzahlkarte w Anzeigeprint 38 PFEIFFER VACUUM 9 Wiring Diagrams Complete wiring diagram PM 031 962 S Rotation speed setting print PM 031 432 S Connection diagram TCS 130 PM 031 955 S Mains Connection Diagram PM 031 956 S Legend to wiring diagram TCP 600 PM 031 962 S a b c d e f 9 h u v w Mains plug Auxiliary transformer Potential free contacts Heating cooling Venting valve Frequency switch point relay K1 Monitoring relay K2 Pump plug X5 Motor end stage Mains voltage change over switch Mains monitoring Mains power failure recognition Power supply unit Switching power supply transistor print Switching power supply control PCB Venting control Control PCB for motor current motor voltage rotation speed pump Motor current measuring resistor Computer PCB Remote plug Plugging positions for serial interface and rotation speed setting module Display PC 9 Sch mas lectriques Sch ma lectrique complet PM 031 962 S Circuit imprim du variateur de vitesse PM 031 432 S Plan de raccordement TCS 130 PM 031 955 S Sch ma de raccordement au r sea PM 031 956 S L gende pour le sch ma lectrique TCP 600 PM 031 962 S a Connecteur de r seau b Transformateur auxiliaire c Contacts secs d Chauffage refroidissement e Soupape de remise l air f Relais du seuil de co
69. ion de branchement nominale Fr quence Puissance consomm e maxi chauffage pompe Tension de sortie maxi env Courant de d marrage maxi Fr quence nominale x 2 Auto test int gr Charge de contact K1 et K2 sans induction Temporisation r glable R glage d usine Seuil de commutation r glable r glage en de la vitesse de rotation nominale R glage d usine Temp rature ambiante admissible Longeur de c ble maxi Pompe TCP Connecteurs de sortie pour Refroidissement par air Chauffage Vanne de remise l air 42 V DC Possibilit s de raccordement pour Encombrement du rack Poids HZ V A min min 96 96 kg 230 115 20 50 60 1 AC 70 DC 10 300 1000 250 6 A 24 6 A 1 120 10 50 90 80 0 40 100 TCS 130 1001 Fernbedienung Remote Control T l commande 3 HE 19 13 Bei Betrieb am 60 Hz Netz mit Spannung 250 V erfolgt Fehleranzeige berspannung When operating at 60 Hz mains with voltage 250 V the error message excess voltage is displayed Lors d un fonctionnement sur r seau 60 Hz avec tension 250 V l affichage de d fauts suivant apparait sur tension 45 355 130 C 40 595 H 132 5 37 7 a 571 Fig 24 Ma e Dimensions Dimensions PFEIFFER VACUUM 37 8 1 Technische Daten Optionen 8 1 Technical Data Options 8 1 Fiche technique Options
70. ir accessoires est c bl suivant le plan de connexions PM 031 956 S II relie les deux entr es avec le m me raccordement r seau Sur demande le circuit de surveillance peut tre aliment par une arriv e de tension de r seau s par e Dans ce cas la fonction d affichage peut tre conserv e en cas de d faut dans la partie puissance Pour les mises en marche et les arr ts par une commande distance les contacts X4 5 X4 6 et X 4 7 pourront tre raccord s un interrupteur va et vient S4 suivant le sch ma de c blage PM 031 936 S voir sec tion 9 sch mas lectriques Der Netzstecker X4 12 pol PE ist wie The 12 pole PE mains plug X4 is ar Le connecteur d alimentation X4 12 folgt belegt ranged as follows p les PE est affect comme ci des SOUS Pin Funktion Anschlu an Connection to Raccordement Pin Function Broche Fonction X4 1 L Netzspannung mains voltage Tension de r seau X4 2 n c frei free Libre X4 3 N Netzspannung mains voltage Tension de r seau X4 4 n c frei free Libre X4 5 Netzschalter S1 X4 6 mainsswitch S1 Wechselschalter S4 Changeover switch S4 Interrupteur va et vient S4 Inter r seau S1 X4 8 L X4 9 N Netzspannung mains voltage Tension de r seau X4 10 n c X4 11 n c X4 12 n c X4 PE PE Schutzleiter earthed conductor Conducteur de terre gleicher Spannungsbereich same voltage range m me
71. it deutlich sichtbarem Vermerk Frei von Schadstoffen versehen sein Derselbe Vermerk ist auch auf dem Lieferschein und Anschreiben anzubrin gen Verwenden Sie bitte beigef gte Best ti gung Verst ndigen Sie bitte bei auftretenden Schwierigkeiten Ihren zust ndigen Pfeiffer Service Reparaturauftr ge werden ausschlie lich aufgrund unserer allgemeinen Lieferungs bedingungen durchgef hrt F r Reparatu ren gilt eine Gew hrleistungszeit von 6 Mo naten Reparaturen werden ohne R ckfra gen ausgef hrt wenn die Reparaturkosten nicht mehr als 50 des Artikel Neuwertes betragen Technische nderungen behalten wir uns vor If you return units to us for repair or main tenance work please follow the instruc tions below contaminated units radioactively or che mically etc must be decontaminated in accordance with the radiation protection regulations before they are returned Units returned for repair or maintenance must bear a clearly visible note Free from harmful substances This note must also be provided on the delivery note and ac companying letter Please use the attached attestation decla ration We request that you contact your local Pfeiffer Service Center should problems ari se All repairs orders are carried out on the ba sis of our General Terms of Delivery only For repairs the warranty period is 6 months Repair work is performed without checkback if the repair costs do not exc
72. itesse de rotation ON 2 Stromprofil max Motorstrom wird ab Current profile maximum motor cur Courbe de courant le courant max du 50 der Endrehzahl auch Stand by rent reduced to 71 96 from 50 96 of fi moteur sera partir de 50 de la vi Drehzahl proportional zur Drehzahl auf nal rotation speed also stand by ro tesse de rotation finale galement vi 71 abgesenkt tation speed proportional to rotation tesse de rotation Stand by r duit pro speed portionnellement la vitesse de rotati on sur 71 96 OFF 3 Einschalten des Drehzahlregelmodus Switching into rotation speed control Mise en marche du mode de variation OPTION Nur bei Verwendung der mode OPTION Only possible by de la vitesse de rotation OPTION Drehzahlstellkarte PM 031 429 T m glich using rotation speed setting module Seulement disponible avec une carte PM 031 429 T de variation de la vitesse de rotation PM 031 429 T OFF 4 Einschalten der Testerweiterung siehe Switching into extended testing see Mise en marche du test suppl mentai Abschnitt 7 1 Section 7 1 re voir chapitre 7 1 OFF 5 Einstellung der seriellen Schnittstelle Setting the serial interface option R glage de l interface s rielle OPTI OPTION ber die Fronttasten N here via the front panel push button keys ON par les touches frontales descrip Erl uterungen siehe Betriebsanweisung please refer to operating instructions tion d taill e voir l
73. knowledg ment Activation of an external switch on the re mote plug between X16 13 and X16 15 The serial interface optional Also by disconnecting the mains voltage for gt seconds e g with mains switch S1 6 2 Remote Control There are three types of remote control Mains ON OFF via changeover switch S4 Via Serial Interface RS 232 485 optional Via remote plug X16 via rotation speed setting module opti on The function of remote plug X16 is explai ned in Section 5 3 8 La remise l air peut directement tre ac tiv e apr s l arr t en actionnant la touche S16 Instructions de service TVF 012 PM 800 126 BD E F 103 PM 800 196 BD E F 6 1 10 Remise z ro RAZ En cas de d rangement l entrainement est arr t par la commande interne Avec RAZ la pompe peut tre de nouveau d marr e Attention Les messages de d fauts seront effac s par RAZ pour cette raison avant l actionne ment de la touche RAZ enregistrer les mes sages de d fauts La fonction RAZ sera activ e par Actionnement de la touche S3 Aquitte ment des d fauts Actionnement d une touche externe rac cord e au connecteur de commande di stance entre X16 13 et X16 15 L interface s rielle option Egalement par la supression de la tension d alimentation pour une p riode de gt 2 se condes par ex avec l interrupteur de r seau S1 6 2 Commande distance Il y
74. ld Verz gerungszeit Time lag Temporisation Drehzahlschaltpunkt Rotation speed switch point Seuil de commutation de la vitesse de rotation Betriebsstundenz hler Operational hours counter Compteur des heures de service 5 digit numerical display Units fields with Hertz Hz Volt V Ampere A Hours h Minutes min and 96 Tableau d affichage LCD L affichage LCD affiche les param tres de fonctionnement importants L affichage se laisse subdivis dans les par ties suivantes Tableau de menu avec fl ches menu 28 Avec les touches 512 et 513 les param tres suivants pourront tre s lectionn s Dans le tableau d unit s les unit s d pendantes seront affich es Affiche num rique 5 chiffres Tableau d unit s avec Hertz Hz Volt V Amp re A Heures h Minutes min et 96 Anzeige Drehzahlstellung ee Die gr ne LED zeigt den Ist Stand der Dreh zahlstellung an Sie leuchtet auf wenn die vorgew hlte Soll Drehzahl erreicht ist x 5 96 Nur im Drehzahlstellmodus aktiv 6 1 1 1 ndern der Verz gerungszeit und des Drehzahlschaltpunktes Mit den Tastern S12 und S13 kann die Verz gerungszeit zwischen 1 und 120 Minuten der Schaltpunkt K1 zwischen 50 und 90 der Solldrehzahl ver ndert werden 1 Im Drehzahlstellmodus nicht m glich Der Menupfeil mu hierzu unter die einzu gebende Gr e gese
75. ld be re used if the unit is returned for any reason to the manufac turer Transport weight 13 kg When storing the unit please observe Storage temperature 15 C to 60 C Humidity lt 80 96 Location dry room 4 Product Description 4 1 General Description The Electronic Drive Unit TCP 600 is desi gned for the drive and for the rotation speed setting optional of various turbo molecular pumps The following rotation speed and current range is encompassed Strom A Frequenz Hz Pumpen Typ TPH U TMH U Current A Frequency Hz Pump type TPH U TMH U Courant A Fr quence Hz Type de pompes TPH U TMH U 10 300 7 833 R 10 1000 190 240 330 510 260 10 833 520 180H 520 10 715 170 450H 10 600 1600 2200 10 666 1000 10 400 6 PFEIFFER E VACUUM Pour la commande de la pompe turbomol culaire de la pompe primaire et des acces soires une commande pour groupes de pompage TCS est n cessaire En cas d utilisations non conformes les droits la responsabilit et la ga rantie du constructeur sont exclus Le respect des prescriptions concernant l u tilisation la mise en service le fonctionne ment et l entretien prescrites par le con structeur font galement partie de l utilisati on conforme aux dispositions Pour tout dommage et panne r sultant du non respect des instructions de service nous d clinons toute responsabilit pour les dommages corporels ou mat riels et n accord
76. m the self test Les messages de d fauts suivants sui vent l auto test 21 E021 Programmierspannung Programming voltage U7 0 8 V Tension de programmation U7 0 8 V U7 08 V Fehler in error in rotation d faut dans le circuit de Drehzahlprogrammierschaltung speed programming circuit programmation de la vitesse de rotation 22 E022 Programmierspannung U7 5 V Programming voltage U7 5 V Tension de programmation U7 gt 5 V Pumpenstecker abgezogen pump plug unplugged Connecteur de pompe enlev 23 E023 Stromversorgung nicht ausreichend Mains current insufficient Tension de r seau trop minime 24 E024 Stromversorgung zu hoch Mains current excessive Tension de r seau trop lev e 27 E027 UR 5 05 V UR 5 05 V UR 5 05 V 28 E028 UR 5 15 V UR gt 5 15 V UR gt 5 15 V 30 E030 U5 lt 4 V Hallsondenversorgung U5 lt 4 V Hall probe supply U5 lt 4 V Alimentation des defekt oder Kurzschlu defective or short circuit sondes de Hall d fectueuse einer Hallsonde in a Hall probe ou court circuit d une sonde de Hall 31 E031 U5 gt 9 V Unterbrechung des U5 gt 9 V interruption in U5 9 V Interruption du circuit Hallsondenpfades Hall probe path de courant des sondes de Hall 32 E032 UV 14 5 V Interne Versorgung UV 14 5 V internal supply UV 14 5 V Alimentation interne zu gering insufficient trop minime 33 E033 UV 15 5 V Interne Versorgung UV 15 5 V internal sup
77. minated Rotation speed monitoring remains active 4 6 5 Rotation Speed Switch Point Relay K1 The relay closes and opens when the rota tion speed switch point is exceeded or fal len below respectively The rotation speed switch point is adjusta ble between 50 and 90 96 of the rated rotation speed n rotation speed setting mode K1 is open Turbo pump heating only functions when K1 is closed The floating changeover contact of K1 is connected to X20 4 7 Certification The TCP 600 has been subjected to a routi ne 1500 V AC test an isolation check at 500 V DC and an earthed conductor test at 25 A and has a model permit issued by the certifying authority in the State of Hessen Federal Republic of Germany K2 se ferme pendant la mise en marche apr s un auto test ok et reste ferm pen dant le temporisation D apr s le d roulement de la temporisati on si le seuil de DZP est sous d pass K4 arr te la tension du moteur et la pompe s arr te Avec S14 1 la temporisation peut tre re mise 0 apr s avoir atteint le DZP La temporisation s lectionnable entre 1 et 120 min Verrouillage K2 Dans des cas pr cis d utilisation par exem ple admission de gaz ou la mise en s rie d un volume suppl mentaire la surveillan ce de la phase d acc l ration peut tre arr t e Les broches 8 et 15 doivent tre pont es cet effet au connecteur de la commande distance X16 voir chapitre
78. mmutation de fr quence K1 g Relais de surveillance K2 h Connecteur de pompe X5 i Sortie puissance moteur j Commutation de tension du r seau S8 k Surveillance du r seau 1 Reconnaissance de coupure du r seau m Alimentation de puissance n Circuit imprim des transisteurs de l alimentation d coupage Circuit imprim de l alimentation d coupage p Commande de la remise l air q Circuit imprim de commande pour courant mo teur tension moteur vitesse de rotation de la pompe r Courant moteur shunt de mesure s Circuit imprim calculateur t Connecteur de commande distance Emplacements pour les interfaces s rielles et les cartes de vitesse de rotation w Circuit imprim de l afficheur S 966 LEO INd id Suiyoyms 1910 ofuey9 id 119 5 DS EC x JeMOd x A ddns JomMod sule AOLL amp Alddns SUIEW 3 Ajddns oje1edog Er 7191 5 GG B 1U9A Buioo5 duing z A022 7 E 7 1 Lu gw e ejqeo Aes N 5 kaf d 26746 ha 8x EN Ajddns 16m od 811U910d uoululo A A A AAA II il sjod d desine ee 1 el e ox io i ST soui VL SUN 19594 19270 ivy LY 150 i em umop 1nus im gH e 440 NO qpueis tf 3490 Bulue s is se 330 Bunesh m
79. n Bei Einbau in einen Rack schrank sind Mindestabst nde nach Fig 4 einzuhalten 21 HE 44 16 mm TCP 600 5 3 Anschl sse 5 3 1 Energieversorgung Der Netzeingang ist in einen Leistungs und einen Steuerkreis aufgeteilt Das separat zu bestellende Kabel siehe Zubeh r ist ge m Schaltplan PM 031 956 S zu verdrah ten Es verbindet beide Eing nge mit dem gleichen Netzanschlu Falls gew nscht kann der berwachungs kreis aus einer getrennten Netzspannung versorgt werden In diesem Falle bleiben bei einem St rungsfall im Leistungsteil die Anzeigefunktionen erhalten F r fernbedientes Ein und Ausschalten k nnen die Kontakte X4 5 X4 6 und X4 7 an einen Wechselschalter S4 gem Schalt plan PM 031 956 S angeschlossen werden siehe 9 Schaltpl ne 12 PFEIFFER VACUUM 5 Installation 5 1 Installation Assembly Fixing The unit must be fitted into a housing which complies with the prescribed safety regulations Cable connections electronic drive unit turbo pump must be secured with the screws provided please use ap propriate tools 5 2 Cooling Air Circulation Electronic Drive Unit TCP 600 generates a power loss of 400 W and sufficient air circu lation around the unit is necessary so that this is conducted away If fitting in a rack is involved the minimum clearances shown in Fig 4 must be observed Fig 4 Mindestabstand bei Rackeinbau Minimum clearance for rack installation
80. nicht beeinfluRt werden Funktionen die von X16 und S14 eingeschaltet werden he ben die quivalenten Befehle der seriellen Schnittstelle auf 16 PFEIFFER E VACUUM Affection des broches X20 Fonction Relais du seuil de commutation ouvert Relais du seuil de commutation Relais du seuil de commutation ferm Relais de surveillance ouvert Relais de surveillance Relais de surveillance ferm Conducteur de terre 5 3 7 Commande du groupe de pompage Pour le fonctionnement de la pompe turbo avec une pompe primaire et d autres com posants les commandes de groupes de pompage TCS 130 et TCS 1001 peuvent tre utiliser Fig 9 TCS 1001 Pumping Station Control connection is via plug X4 X16 and X20 of the TCP accor ding to Wiring Diagram PM 021 803 S Section 9 Pumping Station Control is connected and operated according to its operating in structions Operating Instructions TCS 130 PM 800 205 BD E F Operating Instructions TCS 1001 PM 800 247 BD E F 5 3 8 Remote Control For remote control of the unit pins 1 14 from X16 are connected to pin 15 in order to switch the necessary functions Pin 1 to Pin 5 lie parallel with the contacts S14 1 5 The closed contact determines the function and cannot be influenced by the contact ly ing in parallel Functions which are swit ched from X16 and 514 cancel the equiva lent commands from the serial interface Le raccordement des commandes de
81. ntraine ment s effectue du r seau pour deux plages de tensions diff rentes position de l inter rupteur sur 115V 90 130 V et dans la po sition 230V 180 265 V Apr s la mise en marche le rotor de la pompe turbo sera acc l r avec le courant du moteur maximum Si le rotor atteint la vitesse nominale le courant du moteur di minue et la vitesse de rotation du rotor re stera constante La tension du moteur 0 70 V sera produite d une alimentation d cou page isol e du r seau Les composants qui sont raccord s directe ment la TCP seront command s et ver rouill s par la TCP En liaison avec un ap pareil de commande pour groupe de pom page TCS les composants qui sont raccord s au TCS la TCP inclus seront command s et verrouill s par le TCS 4 4 Zubeh r 4 4 Accessories Analoge Drehzahlstellkarte Analogue Rotation Speed Setting Module Carte analogique de variation de la vitesse Flutventil TSF 012 Venting Valve TSF 012 Soupape de remise l air TSF 012 Pumpstandsteuerung TCS 130 Pumping Station Control Unit TCS 130 Commande pour groupe de pompage TCS 130 Pumpstandsteuerung TCS 1001 Pumping Station Control UnitTCS 1001 Commande pour groupe de pompage TCS 1001 Serielle Schnittstelle TCI 015 Serial Interface TCI 015 Interface s rielle TCI 015 Netzkabel Mains cable c ble de r seau Schuko Netzkabel Mains cable c ble de r seau 115V Netzkabel Mains cable c ble de r seau 208V 4 4 1 Pumpstands
82. oches X16 et S14 S14 Pin 1 1 Verz gerungszeitstop eingestellte Verz gerungszeit wird bei erreichtem Drehzahlschaltpunkt beendet Pin 1 Time lag stop set time lag will be completed at attained rotation speed switch point Broche 1 Arr t de la temporisation temporisation r gl sera termin e l atteinte du seuil de commutation de la vitesse de rotation Pin 2 2 Stromprofil max Motorstrom wird ab 50 der Endrehzahl auch Stand by Drehzahl proportional zur Drehzahl auf 71 abgesenkt Pin 2 Current profile maximum motor current reduced to 71 from 50 of final rotation speed also stand by rotation speed proportional to rotation speed Broche 2 Courbe de courant le courant max du moteur sera partir de 50 de la vitesse de rotation finale galement vitesse de rotation Stand by r duit propor tionnellement la vitesse de rotation sur 71 Pin 3 3 Einschalten des Drehzahlregelmodus OPTION Nur bei Verwendung der Drehzahlstellkarte PM 031 429 T m glich Pin 3 Switching into rotation speed control mode OPTION Only possible by using rotation speed setting module PM 031 429 T Broche 3 Mise en marche du mode de variation de la vitesse de rotation OPTION Seulement disponible avec une carte de variation de la vitesse de rotation PM 031 429 T Pin 4 4 Einschalten der Testerweiterung siehe Abschnitt 10 3 Pin 4 Switching into extended testing see Section 10 3 Broche
83. oger Motorstrom Analogue motor current Courant de moteur analogique 0 10 A amp 0 10 V 0 10 A 20 10 V 0 10 A 20 10 V PFEIFFER E VACUUM 29 6 5 Gefahren Die TCP 600 ist nach Schutzart IP 020 ge baut Dies entspricht geringen Anspr chen der Ber hrungssicherheit Bei unzul ssigen Einbaubedingungen k nnen ber hrungsge f hrliche Spannungen auftreten Gefahren k nnen entstehen durch mangelhafte Pumpenbefestigung Fluten L sen des Verbindungskabels TCP Pumpe w hrend des Betriebs Notizen Notes 6 5 Hazards The TCP 600 is built to protection type IP 020 With regard to contact safety the requirements of IP 020 are minimal Imper missible installation conditions can cause dangerous contact voltages Dangers can arise from Inadequate pump fixing Improper venting Disconnecting the TCP pump cable during operations 6 5 Dangers La TCP 600 est construite suivant le degr de protection IP 020 qui correspond tr s peu de demandes de s curit de contact di rect En cas de conditions de montage non autoris es des tensions de contact dangeu reuses pourraient se produire Des dangers pourraient provenir cause d une fixation de la pompe insuffisante d une mise vide non appropri e d un d tachement des c bles de liaison de la pompe TCP pendant le fonctionnment
84. ons pas la garantie en cas de r pa ration ou de remplacement de nos pro duits 3 Transport et stockage L lectronique d entrainement TCP 600 est emball e pour la livraison prot g e contre les chocs et la corrosion et sera en cas de r paration renvoyer au contructeur dans son emballage d origine Poids de transport 13 kg A prendre en consid ration lors du stocka ge de l appareil Temp rature de stockage 15 C 60 C Humidit de l air 80 96 Lieu de stockage Pi ce s che 4 Description du produit 4 1 Description en g n ral L lectronique d entrainement TCP 600 est concue pour l entrainement et la variation de la vitesse de rotation option de dif f rentes pompes turbomol culaires Elle couvre les plages de vitesses de rotation et de courants suivantes Drehzahl und Strombereiche TCP 600 Rotation speed and current range TCP 600 Plages de vitesse de rotation et de courants TCP 600 4 2 uBerer Aufbau Als Geh use f r das komplette Ger t wird ein DIN 19 3HE Rack Einschub verwen det 4 2 1 Frontplatte Auf der Frontplatte befinden sich die erfor derlichen Bedien und Anzeigenelemente 4 2 External Design The housing for the complete control unit is a German Industrial Standard DIN 19 3HE rack module 4 2 1 Front Panel The necessary operations and display ele ments are arranged on the front panel PFEIFFER 609 19 20 21 22 o E f
85. pired delay time Temporisation termin e FH Restliche Verz gerungszeit min Remaining delay time Temporisation restante L Motorstromsollwert UI Soll A 7 bzw 10A Set value motor current Val de consigne courant moteur UI Cons A 70u 10A P Motorspannungssollwert UM Soll U abh ngig von Pumpentyp und Betriebszustand Set value motor voltage depends on type of pump and operations status Val de consigne tension moteur UM Cons U d pendant du type de pompe et du mode de fonctionnement U Drehzahlsollwert AI V 0 10 V Drehzahlstellkarte Set value rotation speed 0 10V rotation speed setting module Val consigne de vitesse rotat AI V 0 10V Carte de vitesse de rotation H Software Version Versions Nr Software version Version ersion logiciel Version PFEIFFER VACUUM 31 7 2 St rungsbeseitigung 7 2 1 Fehlerdiagnose mit Fehlerliste Bei Unregelm igkeiten w hrend des Be triebes die von der Elektronik erkannt wer den wird der Pumpenantrieb ausgeschal tet Auf dem Display wird der Fehler ver schl sselt mit E und einer nachgestell ten Zahl angezeigt siehe Fehlerliste Ge meinsames Bet tigen der Menutasten 512 und 513 ergibt die M glichkeit die einzel nen Menudaten zum Zeitpunkt der St rung anzuzeigen z B Drehzahl Motorstrom usw Durch anschlieRendes Verschieben des Menupfeils mit 512 oder 513 nach links oder rechts wird die gew nschte Informati on zum Zeitpunkt der St rungsmeld
86. plage de tension n c nicht belegt not connected pas occup 9 pol 9 pol 5 09 Dy x22 e RE I ET E e D Serial Rotation Speed OPTION Interface jpontrotler Rotation speed mode Prog serial interface Heating ON OFF Starting time lock Standby ON OFF Shut down Reset Remote venting Si T RTI Ti iter filter 15 t Ik WAT je o 13 1 5 j 7 X5 power supply Safety mains plug 2 with cable 3 m 3x1 5 mm Separate power supply Change over switching eme d Cable box 13 pole Y Y L Mains power supply Control voltage Mains power supply X Power dM contacts Pump plug m YYYYYYY Potential free Heating 2 220V l Cooling Vent valve Heating 110V TCP 600 1 Mr aff 1 PM 031 956 S Fig 5 Anschlu plan PM 031 956 S Connection diagram PM 031 956 S Sch ma de raccordement PM 031 956 S PFEIFFER VACUUM 18 5 3 2 Turbomolekularpumpe Anschlu kabel beidseitig mit Steckverbin dung maximale Kabell nge 100 m Anschlu an der TCP Steckverbindung X5 An der Turbopumpe Steckverbindung X8 Fig 6 Stecker X5 und Steckdose X8 m ssen nach dem Einstecken verriegelt bzw vor dem Trennen entriegelt werden X5 Nach dem Einrasten des Bajonettverschlusses Schraube 18 leicht anziehen Die Verriegelungsteile werden als Beipack mitgeliefert
87. ply UV 15 5 V Alimentation interne zu hoch SNT Fehler excessive SNT error trop lev e d faut SNT 34 E034 UM 30 V Ansteuerung UM 30 V control defective UM 30 V Commande defekt oder Ubertemperatur Pumpe or excess temperature of pump d fectueuse ou sur temp rature de la pompe 35 E035 Drehzahlsteller defekt Rotation Speed Controller Variateur de la vitesse de defective rotation d fectueux 36 E036 Drehzahlsteller defekt Rotation Speed Controller Variateur de la vitesse de defective rotation d fectueux 38 E038 Drehzahlsteller defekt Rotation Speed Controller Variateur de la vitesse de defective rotation d fectueux PFEIFFER VACUUM 33 W hrend des Selbsttests erscheint auf der LC Anzeige SELF Nach erfolgreichem Test arbeitet das normale Betriebspro gramm und auf der Anzeige wird die Dreh zahl der Pumpe dargestellt Jede erkannte Betriebsst rung f hrt zum Sperren der Motorendstufe und der Motor stromregelung Es werden generell alle Re lais ausgeschaltet Ausnahme Relais f r die Spannungsversorgung der TCP Zur Anzeige des gest rten Betriebes leuch tet die rote Sammelst rungsmeldung auf der LC Anzeige Fig 21 Sammelst rungsmeldung Collective malfunction message Signal de d faut collectif Auf dem LC Anzeigefeld bleiben alle Sta tusmeldungen zum Zeitpunkt der St rung erhalten Bei St rungen im Rechnerbereich wird eine Sicherheitsabschaltung aktiv welche den
88. ranch Office Czech Republic Pfeiffer Vacuum Austria GmbH Branch Prague Zvonarska 885 CZ 156 00 Praha 5 telephone 420 2 900 42981 telefax 420 2 579 23014 Belgium Luxemburg Pfeiffer Vacuum Belgium N V S A Luxemburgstraat 5 B 1940 Temse telephone 32 3 710 5920 telefax 32 3 710 5929 Service Hotline 32 3 710 5922 Brazil Elmi Tec Assistencia T cnica e Representa o S C Ltda Rua Bernadino de Compos 551 CEP 04620 002 S o Paulo SP Brasil telephone 55 11 532 0740 telefax 455 11 535 3598 Chile BERMAT S A Coyancura 2283 piso 6 Providencia Box 9781 Santiago telephone 56 2 231 8877 telefax 56 2 231 4294 Colombia Arotec Colombiana S A Carrera 15 No 38 17 P 0 Box 050 862 Santafe de Bogota D C telephone 57 1 288 7799 telefax 57 1 285 3604 Denmark Pfeiffer Vacuum Scandinavia AB Vesterengen 2 DK 2630 Taastrup telephone 45 43 52 38 00 telefax 45 43 52 38 50 France Pfeiffer Vacuum France SAS 45 rue Senouque BP 139 F 78531 BUC Cedex telephone 33 0 1 30 83 04 00 telefax 33 0 1 30 83 04 04 Germany Pfeiffer Vacuum GmbH Emmeliusstrasse 33 D 35614 Asslar telephone 49 6441 802 400 telefax 49 6441 802 399 Service Hotline 49 6441 802 333 Great Britain Pfeiffer Vacuum Ltd 2 4 Cromwell Business Centre Howard Way Interchange Park Newport Pagnell MK16 90S United Kingdom telephone 44 1 908 500615 telefax 44 1 908
89. re is a malfunction in the computer area a safety cut out is activated which cuts off the motor current and the motor end stage and generates a permanent pro cessor reset In this way possible erroneous control from the microprocessor is avoided This error cannot be displayed If there is a malfunction in the computer area the instrument must be replaced 7 2 2 Repairs and Customer Service The enclosed wiring diagram shows the po wer conducting current paths with the per tinent operating voltages If the customer carries out repairs it must be taken into account that dangerous volta ges can be present in the set In the wiring diagram parts bearing mains voltage are framed with a broken line If you perform repair or maintenance work on units which have come into contact with substances which are detrimental to health please observe the relevant regulations Pendant l auto test l affichage SELF appa rait sur l affichage LCD Apr s un test r us si le programme de fonctionnement nor mal travaille et la vitesse de rotation de la pompe sera repr sent e sur l affichage Tout d faut de fonctionnement reconnu conduit au blocage de la sortie puissance pompe et de la r gulation du courant du moteur En g n ral tous les relais seront mis hors circuit exception relais pour l ali mentation en tension de la TCP Pour afficher un fonctionnement d fectu eux l affichage d faut collectif rouge s allu me sur
90. rotation est s lec tionner par une tension de 0 10V ou un po tentiom tre 9 4 4 5 Flutventil TSF 012 Das Flutventil TSF 012 wird an die Pumpe angeschraubt Es schlieRt beim Einschalten und ffnet nach dem Ausschalten oder dem str mungsbedingten Abschalten der TCP allerdings erst nach Unterschreiten einer bestimmten pumpentypabh ngigen Dreh zahl 4 5 Schutzvorrichtungen Die Antriebselektronik TCP 600 ist nach Schutzart IP 20 gebaut Die Schutzart des Schaltschrankes richtet sich nach der Aufstellungsumgebung und nach den Vorschriften des zust ndigen Energieversorgungsunternehmens 4 6 Sicherheits und berwachungs funktionen Turbopumpe Um einen sicheren Betrieb der Turbomole kularpumpe zu gew hrleisten sind in der TCP folgende berwachungsfunktionen eingebaut 4 6 1 Temperatur berwachung Turbopumpe Bei unzul ssig hoher Motortemperatur wird der Motorstrom reduziert Dies kann zum Unterschreiten des eingestellten Drehzahl schaltpunktes und damit zum Abschalten der Turbomolekularpumpe f hren Fehler meldung E006 4 6 2 Temperatur berwachung Antriebs elektronik TCP Bei unzul ssig hoher K hlk rpertemperatur im Leistungsteil wird der Motorstrom redu ziert Abschalten durch Unterschreiten des Drehzahlschaltpunktes ist m glich wie un ter 4 6 1 Fehlermeldung E006 4 6 3 berdrehzahl Steigt die Drehzahl der Pumpe auf 10596 des Nennwertes an so wird die Pumpe durch K4 abgeschal
91. s Motors wird die Verz gerungszeit neu gesetzt Pin 11 Motor current OFF rotation speed monitoring is switched off When the motor is switched on again the time lag is reset Broche 11 Courant du moteur ARRET surveillance de la vitesse de rotation sera arr t e Pour la remise en marche la temporisation sera de nouveau lanc e Pin 12 frei free Libre Broche 12 Pin 13 Quittierung eines Fehlers Reset Pin 13 Error acknowledgment reset Broche 13 Acquittement d un d faut RAZ Pin 14 Fluten gem 6 1 10 Pin 14 Venting as per Section 6 1 10 Broche 14 Remise l air suivant 6 1 10 Pin 15 Ger temasse 0 Volt Pin 15 Unit mass 0 Volt Broche 15 Masse de l appareil 0 Volt PFEIFFER VACUUM 17 5 3 9 Einschubkarten Auf der R ckseite der TCP befinden sich 3 mit Blinddeckeln verschlossene Steckpl t ze Die Wahl der Steckpl tze ist beliebig 5 3 9 1 Serielle Schnittstelle RS 232 485 Diese Karte ist Option Bei nicht eingescho bener Karte ist der Schacht mit einem Blinddeckel verschlossen Ausf hrung als Teileinschub mit 6 TE Breite Ein Ausg nge sind die parallelgeschalteten 9 pol Sub D Buchsen X17 und X18 Die Signale sind ber Optokoppler vom TCP 600 Netz entkoppelt Die Ausgangsspan nungen sind Sicherheitskleinspannungen gem DIN VDE F r den Betrieb siehe Er l uterungen in der Betriebsanweisung PM 800 279 BD EF 5 3 9 2 Drehzahlstellkarte
92. sse de rotation 6 1 3 Einschalten K hlwasser f r Turbopumpe ffnen und Durchflu kontrollieren Vorvakuumpumpe einschalten Beim An schluf nach Schaltplan PM 031 955 S wird die Vorpumpe und die Turbopumpe mit dem Schalter S1 der Pumpstandsteue rung TCS 130 eingeschaltet Sicherheitsventil ffnen In Pfeiffer Dreh schiebervakuumpumpen ist dieses inte griert Es ffnet nach dem Einschalten au tomatisch Ist eine Luftk hlung angeschlossen wird diese gleichzeitig mit der Turbopumpe eingeschaltet Der Betrieb eines K hlaggregates ist bei Einsatz eines Pumpstandsteuerger tes TCS m glich Das Flutventil TSF 012 schlie t beim Ein schalten sofort Ist ein Flutsteuerger t TCF oder Ventilsteu erger t mit Flutventil eingesetzt beachten Sie bitte die Betriebsanweisung zum Flut bzw Ventilsteuerger t Heizung mit Schalter S2 einschalten 6 1 4 Selbsttest Die Antriebselektronik TCP 600 ist mit ei nem Selbsttest ausger stet Nach dem Ein schalten des Ger tes wird ein gro er Teil der elektronischen Regelung und der Lei stungshalbleiter in einem Testprogramm berpr ft Wird ein Fehler erkannt ist die weitere Inbetriebnahme des Ger tes blockiert und auf der LC Anzeige erscheint eine Fehlermeldung und eine Fehlernum mer siehe 7 1 Die berpr fung basiert im wesentlichen auf Spannungsmessungen an wichtigen Punkten des Ger tes unter ver schieden eingestellten Betriebsbedingun gen
93. tale et par la sortie X22 6 La surveillance du fluide d exploitation est active Pinbelegung X22 Pin arrangement X22 Affectation des broches X22 Pin Name Funktion Anschlu Pin Name Function Connection Broche Nom Fonction Raccordement X22 1 15V Versorgungsspannung Supply voltage Tension d alimentation X22 2 10V Versorgungsspannung f r Poti Potentiometer bmA max Supply voltage for Poti Potentiometer bmA max Tension d alimentation pour Poti Potentiom tre bmA max X22 3 GND Masse OV Potentiometer Ground 0 V Potentiometer Masse OV Potentiom tre X22 4 Al Eingang Input Entr e Potentiometer 0 15 V fmin 2V 220 f max 410 V 100 95 f Potentiometer Potentiom tre Nenn X22 5 DZRM Eingang Input Entr e X 22 5 extern verbunden mit 0 V A Drehzahlstellmodus EIN 15 V A Drehzahlstellmodus AUS X22 6 DE Ausgang Output Sortie Solldrehzahl Istdrehzahl 5 96 A 0 V Solldrehzahl Istdrehzahl 5 4 15 V X22 7 BM Ausgang Output Sortie Bremsbetrieb EIN A 0 V Bremsbetrieb AUS amp 15 V braking operations ON 40 V braking operations OFF 4 15 V fonction de freinage marche 0 V fonction de freinage arret 15 V X22 8 UF Ausgang Output Sortie analoge Drehzahl Analogue rotation speed Vitesse de rotation analog 0 100 f 0 100 f 0 100 96 f 50 10 V 40 10 V 0 10V Nen Nen Nenn X22 9 UI Ausgang Output Sortie anal
94. teckverbinder X22 eingesteckt werden 3 Steckpl tze Set rotation speed Actual rotation speed Current Time lag Rotation speed switch point DZP Operating hours Actual rotation speed analogue Remote control Rotation speed attained 10 Stand by rotation speed 11 Rotation speed switch point attained 12 Heating 13 Pump accelerates 14 Current reducing 15 Lubricating medium OK 16 Excess temperature TCP 17 Excess temperature turbo pump 18 Display ON 19 Switch funtion group pre selection 20 Switch funtion group pre selection 21 Switch stand by 22 Switch heating ON 23 Pumping station ON 24 Reset 25 Malfunction 26 Rotation speed set point rotation speed actual va lue only in rotation speed set operations 27 Venting key 4 2 2 Rear Panel A 13 pole mains plug X4 a small round plug connection 3 pole for the venting val ve three 7 pole plug connections for the turbo heating air cooling and the potential free contacts X2 X3 and X20 the 21 pole pump plug connection X5 mains fuses for the power mains F1 and F5 fuses for ven ting valve F2 heating F4 and the cooling F3 voltage selection switch 115 230 V two fans remote plug connection X16 15 pole and the 5 pole DIL 514 switch are all loca ted on the rear panel Optionally two 5 or 6 TE wide rack modules for the serial interface RS 232 485 2x9 pole Sub D boxes X17 and X18 and the analogue input for rota
95. ten Gefahren potential f hren Bei allen Arbeiten die Installation Inbe triebnahme Betrieb und Instandhaltung betreffen sind die angegebenen Aus schaltprozeduren zu beachten Es ist jede Arbeitsweise zu unterlassen die die Sicherheit des Bedieners und der Antriebselektronik beeintr chtigt Eigenm chtige Umbauten und Ver nde rungen die die Sicherheit beeinflussen sind nicht gestattet Nach Elektromontage und Elektroinstand haltungsarbeiten sind alle Schutzma nah men zu testen F r den Betrieb der Anlage gelten in je dem Fall die rtlichen Sicherheits und Unfallverh tungsvorschriften Unklarheiten bzgl Sicherheit Bedienung und Wartung k nnen mit der n chsten Pfeiffer Vertretung oder Tochtergesell schaft abgekl rt werden 2 2 Bestimmungsgem e Verwendung Die Antriebselektronik TCP 600 dient dem Betrieb von Pfeiffer Turbomolekular pumpen zur Evakuierung von Beh ltern oder zum Abpumpen von Proze gasen un ter Vakuum Die bestimmungsgem e Verwendung sieht vor da die Betriebseinheit TCP Tur bopumpe zusammen mit einer Vorvaku umpumpe betrieben wird Zur Steuerung der Turbomolekularpumpe der Vorpumpe und des Zubeh rs ist eine Pumpstand steuerung TCS erforderlich 2 Safety 2 1 Safety Instructions The Electronic Drive Unit TCP 600 represents state of the art technology and is designed to provide opti mum operational reliability The user may however be exposed to ha z
96. tet Fehlermeldg E001 4 6 4 Drehzahl berwachung Relais K2 Die Funktion der Antriebselektronik und der Turbopumpe wird mit Relais K2 signalisiert Die potentialfreien Umschaltkontakte von K2 sind an X20 angeschlossen 1 D PFEIFFER VACUUM 4 4 5 Venting Valve TSF 012 Venting Valve TSF 012 is screwed onto the pump It closes on switching on and opens on switching off the TCP only when a parti cular rotation speed depending on the type of pump has been fallen below 4 5 Safety Arrangements Electronic Drive Unit TCP 600 meets the re quirements of safety protection type IP 20 The safety arrangements in respect of the light barrier are determined by the location and by the regulations specified by the per tinent energy supplier 4 6 Safety and Monitoring Functions Turbo Pump The following monitoring functions have been built into the TCP to ensure sound tur bo molecular pump operations 4 6 1 Temperature Monitoring Turbo Pump At impermissibly high motor temperatures the motor current is reduced This can lead to the set rotation speed switch point being fallen below followed by the turbo pump being switched off error message E006 4 6 2 Temperature Monitoring Electronic Drive Unit TCP At impermissibly high cooling unit tempe ratures in the power unit the motor current is reduced Switching off caused by the ro tation speed switch point being fallen be low is possible as in 4 6 1 error message
97. teuerungen TCS 130 TCS 1001 Mit der Pumpstandsteuerung TCS 130 k n nen Vorpumpen bis 4 KW Rootspumpen bis 1 5 KW Flutsteuerger t TCF 103 verz gertes Fluten sowie Heizungs und K h lungseinrichtungen zum Betrieb eines Pumpstandes gesteuert werden Das Pumpstandsteuerger t TCS 1001 ge stattet die Steuerung komplexer Pumpst n de einschlie lich Vakuummessung und Hochvakuumsteuerung 4 4 2 Fernbedienung Einige Funktionen k nnen ber den Fernbe dienungssteckverbinder X16 aktiviert wer den Der jeweilige Pin ist daf r mit der Mas se an Pin 15 zu verbinden siehe Kap 5 3 8 Die Funktionen von Pin 1 bis Pin 5 lassen sich auch ber den DIL Schalter S14 auf der R ckplatte fest einstellen Alle Fernbedienungsfunktionen haben Prio rit t ber die Fernbedienung aktivierte Betriebs zust nde k nnen weder durch Tastenbedie nung an der TCP noch durch Schnittstellen befehle aufgehoben werden 4 4 3 Serielle Schnittstelle RS 232 485 TCI 015 Die Einschubkarte TCI 015 erlaubt Abfragen von Statusmeldungen und Steuerung von Funktionen ber einen potentialgetrennten Ausgang 4 4 4 Analoge Drehzahlstellkarte Mit der analogen Drehzahlstellkarte kann die Drehzahl der Turbopumpe zwischen 20 und 100 der Nenndrehzahl variiert werden Die Drehzahlvorgabe erfolgt mit Gleichspannung 0 10V oder einem Poten tiometer 4 4 1 Pumping Station Control Units TCS 130 TCS 1001 Pumping Station Control Unit TCS 130
98. the following EU directives Elektromagnetische Vertr glichkeit Electromagnetic Compatibility 89 336 EWG Niederspannung Low Voltage 73 23 EWG Hiermit erkl ren wir da das unten aufgef hrte Produkt den Bestimmungen der EU Richtlinie ber elek tromagnetische Vertr glichkeit 89 336 EWG und der EU Niederspannungsrichtlinie 73 23 EWG ent spricht We hereby certify that the product specified below is in accordance with the provision of EU Electroma gentic Compatibility Directive 89 336 EEC and EU Low Voltage Directive 73 23 EEC Produkt Product Antriebselektronik Electronic drive unit TCP 600 Angewendete Richtlinien harmonisierte Normen und angewendete nationale Normen Guidelines harmonised standards national standards which have been applied EN 61010 EN 55011 EN 50081 1 EN 50082 2 IEC 801 1 4 VDE 0843 6 Unterschrift Signature Pfeiffer Vacuum GmbH Emmeliusstrasse 33 F3 m 35614 Asslar Germany W Dondorf Gesch ftsf hrer Managing Director Konf 11 2000 Argentina ARO S A Casilla de Correo 4890 1000 Buenos Aires telephone 54 1 331 3918 telefax 54 1 331 3572 Australia Balzers Australia Pty Ltd Level 1 3 Northcliff Street Milsons Point NSW 2061 telephone 61 2 9954 1925 telefax 61 2 9954 1939 Austria Pfeiffer Vacuum Austria GmbH Diefenbachgasse 35 A 1150 Wien telephone 43 1 8941 704 telefax 43 1 8941 707 Service Hotline 43 1 8941704 B
99. tion speed setting 9 pole Sub D connection X22 can also be plugged in three plug positions available 4 2 Construction ext rieure Un tiroir Rack DIN 19 3U sera utilis com me bo tier pour l appareil complet 4 2 1 Platine frontale Sur la platine frontale se trouvent les l ments de commande et d affichage utiles Vitesse de rotation consign e Vitesse de rotation r elle Courant Temporisation Seuil de commutation de la vitesse de rotation DZP Heures de service Vitesse de rotation r elle analogique Commande distance Vitesse de rotation atteinte 10 Vitesse de rotation Stand by 11 Seuil de commutation de la vit de rotation atteinte 12 Chauffage 13 Pompe acc l re 14 Courant en baisse 15 Lubrifiant o k 16 Sur temp rature TCP 17 Sur temp rature pompe turbo 18 Affichage MARCHE 19 Pr s lecteur de groupe de fonctions 20 Pr s lecteur de groupe de fonctions 21 Interrupteur Stand by 22 Interrupteur chauffage MARCHE 23 Groupe de pompage MARCHE 24 RAZ 25 D faut 26 Valeur de consigne de la vitesse de rotation va leur r elle de la vitesse de rotation fonctionnement seulement avec un variateur de vitesse de rotation 27 Touche remise l air CO N 4 2 2 Panneau arri re Sur le panneau arri re se trouvent un connecteur de r seau X4 13 p les un pe tit connecteur rond 3 p les pour la soupa pe de remise l air trois connecteurs 7
100. tzt werden Ansch lie end beide Tasten S12 S13 gleichzei tig dr cken Der Menupfeil blinkt zur Da teneingabe Einzelbet tigung von S12 oder S13 verschiebt den Datenwert nach unten oder oben Durch nochmaliges gemeinsa mes Dr cken der Eingabetasten S12 S13 werden die eingestellten Daten bernom men und abgespeichert Gleichzeitig erfolgt die R ckkehr in den normalen Anzeigebe trieb Rotation speed setting display Fig 14 Anzeige Drehzahlstellung Rotation Speed Setting Display Affichage variation de la vitesse de rotation The green LED displays the actual condition of the rotation speed setting It illuminates if the pre selected set rotation speed is at tained 5 96 Only active in the rotation speed setting mode 6 1 1 1 Changing the LC Display and the Ro tation Speed Switch Point The following values can be changed with push button keys S12 and S13 Time lag between 1 and 120 minutes Switch point K1 between 50 and 90 96 of the set rotation speed 1 not possible in the rotation speed setting mode For this the menu cursor must be positio ned beneath the value to be input Then both push button keys 512 and 513 must be depressed simultaneously The menu cursor flashes to indicate the data entry Se parate activation of 512 and 513 increases or reduces the data value By again activa ting the two input push button keys S12 and 513 simultaneously the set data is ac cepted and
101. ung an gezeigt Erneutes gemeinsames Bet tigen der Eingabetasten ergibt wieder die Feh leranzeige E Wiedereinschalten ist nur nach Bet tigen von Reset oder durch Abschalten der Netz spannung gt 2 sec m glich Ausnahme E005 Wird die Fehlerursache behoben startet die TCP Vor dem Dr cken der Reset Taste angegebene Fehlermeldung registrie ren 7 2 1 1 Fehlerliste Folgende Fehler werden angezeigt 7 2 Troubleshooting 7 2 1 Malfunctions Diagnosis If irregularities which are recognised by the electronics occur during operations the pump drive is switched off An error which is coded with an E plus suffix is dis played please refer to the error list Simul taneous activation of the menu switches 512 and 513 provides the possibilility of displaying the individual menu data at the time of the malfunction e g rotation speed motor current etc By then moving the menu cursor with 12 and 513 to the left or right the required information at the time of the error message can be displayed Further simultaneous activation of the input keys causes reversion to the error display Restarting is only possible after a reset or by disconnecting the mains voltage for gt 2 seconds Exception E005 If the cause of the error is corrected the TCP starts again Record the error message displayed before you press the Reset button 7 2 1 1 Error List The following errors are displayed 7 2 D pistage des d fauts

TCP 600 - PTB Sales

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