MGT-Manual deutsch
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1. H 30 o fm m m eme Tenc Rss H EC fun 23 10 2014 12 59 12 6 46 ken Gem Bomen Sichems Kammer yaxis l log Masse 1 140 RW 06 10 o Masse 160 4 gt Masse 3 180 EI Speed Masse 4 San Si E E 5 amEnde Masses 320 _Ebene Nutzer STOP _MGTA__ MGTS essbereit a elalsl 2 In diesem Messmodus k nnen bis zu 5 verschiedene Massen ausgew hlt werden und ihr Auftreten als Funktion der Temperatur gemessen werden im obigen Beispiel sind dies die Massen 14 16 CH O 18 H20 28 CO N2 und 32 O Die Massen werden unten rechts ausgew hlt und in ihrer Farbkodierung belegt Die gew nschten Temperaturen k nnen unten ausgew hlt werden Das Ger t stellt die jeweiligen Temperaturen f r die jeweils angegebenen Zeiten ein Die Temperaturen und die entsprechenden Zeiten werden manuell eingegeben Es ist sinnvoll die Starttemperatur bei t0 nahe der aktuellen Temperatur zu w hlen Durch Bedienung des Buttons ON wird die Heizung wie beim MGT A gestartet Dies ist vor Beginn der MGT S Messung zu empfehlen Die Zeiten tO bis t5 in der tabellarischen Aufstellung sind jeweils die Zeiten relativ zum Messbeginn Die oben sichtbaren Einstellungen bedeuten einen Temperatur IC 500 400 300 200 100 o 20 40 60 80 100 Zeit min Temperaturverlauf wie er in der nebenstehenden Grafik dargestellt wird Dieser Messmodus ist nur selten notwend2. C im Beispiel Nach Eingabe der gew nschten Temperatur kann man den Heizvorgang starten durch Dr cken des Buttons ON obere Abbildung Die Temperatur der Probe wird dann soll sa auf den eingestellten Wert hochgeregelt Es ist zu beachten dass die e Bis N W rmekapazit t der Probe und des Probenhalters den Temperatur anstieg von max 20 C min begrenzen Der Temperaturregler ist ein PID Regler der auf Regelgenauigkeit und nicht auch gro e Temperaturanstiege optimiert ist Es ist auch zu beachten dass die Temperatur beim Heizbeginn um bis zu 20 ber die Solltemperatur berschwingen kann Dieser Wert h ngt erheblich von der Differenz zwischen Ist und Solltemperatur ab Es wird deshalb empfohlen die Temperaturerh hung in kleineren Schritten von jeweils 40 50 C max durchzuf hren W hrend der Heizphase wird das Symbol ON dargestellt untere Abbildung Ein Druck auf diesen Button stoppt den Heizvorgang Das Abk hlen der Probe erfolgt langsam weil es im Vakuum keine Konvektion gibt und der Gro teil der W rmeabgabe ber Strahlung erfolgt Typische Abk hlwerte sind zwischen 20 C und 50 C pro min Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 20 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad MGT S Hosi TECHNOLOGY ositrad Gl ttung Heizung Zeit min to 0 D g Pirani Pressure mBar 1 9e 07 M essen QMS Total Pressure mBar 7 9e 08
3. Risiko und Gefahrenquellen des Messger ts sn nnnsnnenssennnnsnnensseonnssenenssernnnssrnee 8 1 6 Kenntniserkl arune asien ene Haase bene ae E A 9 1 7 Inbetriebnahme he erde derer eK hrsg needs dern 10 P E eg el EE 11 2 1 VERWENGUNG EE 11 2 2 Ger tedaten nein hl AEA heran eher ee Keen hen ehe ende 11 2 3 Abmessungen WEE 11 2 4 Umgebungsbedingungen s ssssssssssssserrrssssssrrerrrssssssrrernrssssssrrernnssssssrrennnssssssrretnnssssenereennssnsnnnt 11 2 5 Ger tekomponenten aE EEE EAEE AEAEE ESEE 12 2 5 1 Fr ntansicht zu es nna aAA AA OEO er OE AOAO 12 2 5 2 Seitenansicht linksi as nee nenne er A 13 2 5 3 Seitenansicht dE 13 2 5 4 R ckansicht sur erahnen ern ende E Han Eee Teen rer 14 3 ZBEdIENUNg er een rennen 15 3 1 TOUCHDAMEL es ee A E E E EES 15 311 Standby SO A Deet ee ee eege eech 15 3 12 St rt p Sscreen EE 17 3 1 3 Screen Betriebsbereiter Zustand Messbetrieb nnnnnnnnnnnnsnnennsesnnssnnenssennnssnnnnssennnssennessenns 18 3 2 Einsetzen und Wechseln der Probe in der Pr fkammer 23 4 else lef 26 4 1 Vorabpr funNg eek 26 4 2 Einschalten des Messger ts a ea ie la 26 4 3 Ausschalten des Messger ts re neniennaaen ia mes han 26 5 in e ET 27 5 1 Technische D ten u uuneanaakenannnlaninensanuiianeihkihe 27 5 2 E DEE E 29 5 3 nd 31 Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 2 von 32 H VACUUM TECHNOLOG
4. erfolgt ber die bekannten Windows Funktionen bei denen Dateiname und Verzeichnis ausgew hlt werden k nnen Das Dateiformat ist in der nebenstehenden Abbildung zu sehen Der Header enth lt Informationen ber den Ger tetyp die Version der aktuell verwendeten Software die Anzahl der Messungen pro amu erste und letzte Masse Scangeschwindigkeit sowie Datum und Uhrzeit Die Daten sind im blichen x y ASCII Format gespeichert Laden Mit dieser Taste k nnen Spektren zur Ansicht wieder geladen werden Alle Vorg nge hierbei sind vollst ndig men gef hrt Mit den Spektren wird eine Reihe weiterer Systeminformationen abgespeichert Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 18 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad AUS Das Ger t wird heruntergefahren aus dem betriebsbereiten Zustand die Pumpen werden gestoppt es erfolgt eine kontrollierte Bel ftung des Systems Das Herunterfahren des Systems erfolgt erst nach Best tigung der Sicherheitsabfrage siehe Abbildung rechts E mfmapp2 A Ger t in den Standby Betrieb runterfahren Kammer Pumpen Mit dieser Taste wird die Pr fkammer evakuiert Dies erfolgt nach erfolgreichem Einsetzen der Probe und Schlie en der Kammer Die Evakuierung ben tigt ca 100 s bis zum Erreichen der notwendigen Drehzahl der Turbomolekularpumpe Das Ger t ist nun betriebsbereit Es wird aber empfohlen die Messung erst zu
5. starten wenn der Druck in der Pr fkammer unter 5 10 mbar Die Ergebnisse sind um so zuverl ssiger je niedriger der Druck in der Pr fkammer ist Es wird empfohlen die Pr fkammer bei Nichtnutzung unter Vakuum zu halten Dies wird von der Software erm glicht Das Ger t bietet nach erfolgreichem Bepumpen der Pr fkammer die Messmodi MGT A Analyse und MGT S Scan an Der jeweils gew nschte Messmodus kann durch die Reiter unten links ausgew hlt werden Die Messung wird jeweils mit der Taste messen gestartet MGT A ositrad 23 10 2014 12 56 42 6 46 TO sm 0 30 070 nei 0 50 0 40 0 39 0 20 010 S EE j S nn BEE Kammer 5 10 15 20 25 30 35 40 45 amu k ftenizz yaxs I log Pirani Pressure mBar 1 8e 07 M Start Masse 1 290 amu 10 Deg vessen EE QMS Total Pressure mBar 7 9e 08 End Masse 10 300 amu 50 0 ad gt Scan Geschw amu s Bo Heizung soll Tempf C ist EH Integration KD d gt Ebene Nutzer e5 280 me MGT A MGT S essbereit a elalg Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 19 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad Start und Stop Massen k nnen in den Ir entsprechenden Feldern direkt eingetragen werden Die Empfindlichkeit und damit der un Anzeigebereich k nnen durch die ood Pfeiltasten unterhalb der Anzeige der eingestellten Empfindlichkeit im obigen Beispi
6. t startet die Betriebssoftware automatisch 6 ndern Sie das Passwort entsprechend Ihren Richtlinien 7 Starten Sie das Ger t mit dem Button AN 8 Nach erfolgreichem Erreichen des betriebsbereiten Zustands evakuieren Sie die Pr fkammer mit dem Button Kammer Pumpen 9 Lassen Sie das Ger t in diesem Zustand 7 bis 10 Tage pumpen um die idealen Vakuumbedingungen herzustellen Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 10 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad 2 Grundlagen 2 1 Verwendung Der Multigasanalysator mit Thermischer Desorption MGT dient zur Analyse der chemischen Zusammensetzung von Gasen die bei dem Erw rmen oder Heizen von Proben emittiert werden Die Proben werden entsprechend der Vorgaben durch den Bediener erhitzt und gleichzeitig werden die emittierten Gase gemessen Der MGT arbeitet im Massebereich von Masse 1u bis 300 u die max erreichbare Probentemperatur betr gt 1 500 C Das Herzst ck des Analysators ist ein Quadrupole Massenspektrometer Die zu untersuchenden Massen die Heizrampen und Wartezeiten k nnen frei gew hlt werden Alle gemessenen Spektren k nnen gedruckt und gespeichert werden Software Updates k nnen per Tastendruck durchgef hrt werden Sofern das Ger t per Ethernet mit dem Netzwerk verbunden ist k nnen diese Updates durch den MGT selbstst ndig per Netz erfolgen Ansonsten k nnen Updates vom Server geladen und per USB Sti
7. 10 2014 Seite 13 von 32 M VACUUM TECHNOLOGY ositrad 2 5 4 R ckansicht 1 Geregeltes Netzteil zur Probenheizung bis 1 500 C 2 Turbomolekularpumpe der Pr fkammer 3 Vakuumkammer des Massenspektrometers 4 Steuerelektronik 5 Anschlussleiste f r Niederspannung und Ver sorgungsspannung 6 Turbomolekularpumpe des Massenspektrometers 1 USB Anschluss f r den Steuer PC 2 230V Versorgung f r den Steuer PC 3 Netzversorgung des Ger ts 230 V AC T10A Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 14 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad 3 Bedienung 3 1 Touchpanel 3 1 1 Standby Screen Das Touchpanel erlaubt alle Bedienungen des Messger ts per Mausklick Es werden jeweils immer nur die Tasten angezeigt deren Funktion im jeweiligen Betriebszustand m glich ist So ist ein Update beispielsweise nur im Standby Zustand m glich in dem die Pumpen nicht gestartet sind VACUUM TECHNOLOGY pn ositrad 19 09 2014 15 45 01 6 30 Info i EEN Schaltuhr I 5 7e 02mbar peany Sa i Drucken I Ir I iL l I l i I DU I i i 2 I AN Vent Port J I I I I I I I Ebene Nutzer i U MGT j artebetrieb Runterfahren Der hier angezeigte Standby Zustand Wartebetrieb wird nach dem Einschalten des Ger ts automatisch erreicht Weder die Pumpen und noch die Funktionseinheiten sind gest
8. 100 45 39 27 24 29 24 3 6 Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 29 von 32 N VACUUM TECHNOLOGY ositrad O Sauerstoff 32 100 16 9 1 0 ep passers u go 55 aa Haer gt 1 5 22 sulfid pep Wasserstof ae 300 38 32 35 17 37 5 1 6 chlorid Ar Argan 40 100 20 16 36 1 38 1 1 2 CHOH Azeton 43 100 58 33 15 20 42 6 3 6 CO En 44 100 16 9 28 8 12 7 1 4 ioxid Gihon FEIER a 100 43 17 27 16 29 10 1 0 alkohol run 57 100 55 73 43 73 41 33 1 0 SO a 64 100 48 50 32 10 16 5 2 1 ioxid CH Benzol 73 100 77 19 52 16 51 35 59 Kr Krypton a 100 sel 31 82 21 83 21 1 7 Xe xenon 132 100 129 98 131 79 134 39 3 0 Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 30 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad 5 4 Literatur 1 R Rejoub B G Lindsay RE Stebbings Physical Review A 65 2002 042713 DO 10 1103 PhysRevA 65 042713 2 S Dahle W Maus Friedrichs Journal of Mass Spectrometry 47 2012 1486 1487 DOI 10 1002 jms 3082 Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 31 von 32 HM VACUUM TECHNOLOGY ositrad Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermis
9. Arbeitsplatz und das Bedienpersonal Das Bedienpersonal muss am Messger t eingewiesen sein Einstell Wartungs und Pflegearbeiten d rfen nur von ausgebildetem Fachpersonal durchgef hrt werden 1 5 8 Allgemeine Risiko und Gefahrenquellen des Messger ts Das Messger t ist nach dem neuesten Stand der Sicherheitstechnik konzipiert und gebaut Durch Schutzeinrichtungen wird der Benutzer soweit dies die Funktion des Ger ts erlaubt vor potentiellen Gefahrenstellen gesch tzt Ein Restrisiko bleibt aber immer bestehen Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 8 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad 1 6 Kenntniserkl rung ERKL RUNG Hiermit best tige ich die folgende Betriebsanleitung vollst ndig gelesen und verstanden zu haben Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 9 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad 1 7 Inbetriebnahme Bitte nehmen Sie das Ger t in der folgenden Reihenfolge in den Erst Betrieb 1 Stellen Sie sicher dass die in 1 5 beschriebenen Betriebsbedingungen vorliegen 2 Stellen Sie die Netzversorgung des Ger ts und der PCs her und verbinden Sie beide Ger te mit dem USB Kabel 3 Schalten Sie das Ger t am Schalter auf der Vorderseite ein 4 Schalten Sie den PC ein 5 Loggen Sie sich mit dem auf dem PC befindlichen Login ein das Ger
10. Desorption 23 10 2014 Seite 24 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad 10 Nach erfolgreicher Montage sitzt der Probenhalter in der angezeigten Position unter den drei Schraubenk pfen ACHTUNG Die Probe sollte wenn m glich vollst ndig unter dem Probenhalter liegen 11 Schieben Sie den Probeschlitten langsam und m glichst verwindungsfrei heraus bis zum Anschlag nach vorn Verriegeln Sie den Schlitten mit dem roten Hebel 12 Evakuieren Sie die Pr fkammer mit dem Button Kammer Pumpen siehe 3 1 3 Die Evakuierung ben tigt ca 100 s Starten Sie die Messung idealerweise erst bei Dr cken in der Pr fkammer unter 5 10 mbar ACHTUNG Betreiben Sie den MGT niemals mit aufgesetztem Probenhalter ohne Probe Wir bieten verschiedene Gr en ffnungen der Probenhalter je nach Gr e der Proben an Das sorgt daf r dass Proben verschiedener Gr en jeweils gut gehalten werden k nnen Idealerweise ersetzt man auch den Skimmer der den Vakuumbereich zum Massensprektrometer begrenzt Dazu beraten wir Sie gern Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 25 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad 4 Inbetriebnahme 4 1 Vorabpr fung Vor dem Einschalten ist ein Sichtcheck des Messger ts durchzuf hren Die einzelnen Checkpunkte sind zwingend einzuhalten um eine sichere und einwandfreie Funktion der Anlage zu gew hrleisten und Sch den zu vermeiden
11. H VACUUM TECHNOLOGY ositrad BEDIENUNGSANLEITUNG MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption Bitte lesen Sie diese Anleitung vor Inbetriebnahme des Ger tes sorgf ltig durch und bewahren Sie sie sicher auf Hositad Holland B V Tel 31 33 2537210 De Wel 44 Fax 31 33 2535274 NL 3871 MV Hoevelaken Email info hositrad com Hositad Deutschland Tel 49 941 55827 Lindnergasse 2 Fax 49 941 562296 D 93047 Regensburg Email info hositrad com Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 1 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad Inhalt 1 Sicherheitshinweise r sa nn en ra ana i ia iaaiiai eias 3 1 1 Allgemeine Hinweise u ersehen en aller ers eege 3 1 2 Abk rzungen und Symbole ssssssessssessssssssssssssrnssressssrrnsstttnsssttnnssttnsstennssttnnsstennssttnnssttnnssttnnssttentee 4 1 3 G wahrleistUNg E A 1 4 Urheberrecht ea a gehen EA 5 1 5 ll deele 5 1 5 1 Allgemeine Verhaltensma nahmen und Sicherbheitsbinwelse 5 1 5 2 Sicherheitshinweise f r den Transport 6 1 5 3 Sicherheitshinweise zum Betrieb 7 1 5 4 Sicherheitshinweise f r Wartung und Pflege 7 1 5 5 Sicherheitshinweise bei elektrischen Arbeiten 7 1 5 6 Sicherheitshinweise bei Notf llen essen 8 1 5 7 Sicherheitshinweise f r den Arbeitsplatz und das Bedienpersondl ssuusersnsensenennnnenennenn 8 1 5 8 Allgemeine
12. Markierungen befindlich ist Zum Nachf llen oder Wechselns des ls muss die linke Geh use wand des Ger ts entfernt werden TX25 ACHTUNG Fahren Sie das Ger t herunter schalten es aus und entfernen Sie den Netzstecker vor dem ffnen des Geh uses Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 27 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad 5 2 Technische Daten Abmessungen Gewicht Betriebstemperatur Versorgung E A Schnittstellen Leistungsaufnahme Startphase Standby Messbetrieb Betriebsbereit Startup Zeit Schnell Messung Standard Messung Vorpumpe Massenspektrometer Pr fkammer Saugverm gen Benutzeroberfl che Pr fmethode Nachweisbare Gase Kleinster nachweisbarer Partialdruck Max Heiztemperatur Max Temperaturrampe Probenabmessungen Fl che Dicke 600 mm x 600 mm x 580 mm Breite x Tiefe x H he 35 kg 10 C bis 35 C 230 V 50 Hz 2 000 W max USB 400 W 150 W max 2 000 W 250 W 150 sec 60 min Zweistufige Drehschieberpumpe Turbomolekularpumpe 60 I s Turbomolekularpumpe 60 I s 10 I s in der Pr fkammer Grafische Oberfl che Quadrupole Massenspektrometer Alle Gase mit Massen zwischen 1 und 100 300 amu 10 mbar 1 500 C 10 C s 5x5 mm bis 25x25 mm 0 5 mm bis 3 mm Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 28 von 32 N VACUUM TECHNOLOGY ositr
13. Sie die Pr fkammer des Ger ts verschlossen w hrend der Lagerung des Ger ts der Inbetriebnahme dem Hochfahren des Ger ts dem Herunterfahren des Ger ts Es wird empfohlen die Pr fkammer bei Nichtnutzung unter Vakuum zu halten Dies wird von der Software erm glicht 2 5 Ger tekomponenten Das Ger t beinhaltet verschiedene Komponenten die hier beschrieben werden Zur besseren bersicht zeigen die Darstellungen das noch nicht verkabelte und nicht vollst ndig best ckte Ger t 2 5 1 Frontansicht 1 Vakuumkammer des Massenspektrometers 2 Pr fkammer mit Probentransfereinheit 3 Geregeltes Netzteil zur Probenheizung bis 1 500 C 4 Drehschieberpumpe 5 Steuerelektronik Die manuelle Beladung der Pr fkammer mit der Probe findet von der Vorderseite aus statt Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 12 von 32 M VACUUM TECHNOLOGY ositrad 2 5 2 Seitenansicht links 1 2 3 4 1 2 3 4 5 Vakuumkammer des Massenspektrometers Pr fkammer mit Probentransfereinheit Turbomolekularpumpe des Massenspektrometers Drehschieberpumpe Vakuumkammer der Pr fkammer Geregeltes Netzteil zur Probenheizung bis 1 500 C Turbomolekularpumpe der Pr fkammer Steuerelektronik Anschlussleiste f r Niederspannung und Ver sorgungsspannung Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23
14. Y ositrad 1 _Sicherheitshinweise 1 1 Allgemeine Hinweise Diese Betriebsanleitung erm glicht es das Messger t und seine Einsatzm glichkeiten vor dem ersten Betrieb kennenzulernen und bestimmungsgem zu nutzen Sie enth lt wichtige Hinweise die eine funktionsgerechte und sichere Bedienung gew hrleisten und muss st ndig am Einsatzort des Ger ts verf gbar sein Die Betriebsanleitung ist nicht nur ein unentbehrlicher Einstieg f r neu einzulernende Bediener sondern enth lt auch n tzliche Tipps Hinweise und Anregungen f r den erfahrenen Nutzer Durch das Lesen der Betriebsanleitung werden Gefahren vermieden Arbeitsabl ufe optimiert und beschleunigt Reparaturkosten und Stillstandszeiten minimiert Zuverl ssigkeit und Lebensdauer erh ht Die Betriebsanleitung sollte insbesondere auch im Hinblick auf Transport und Aufstellung sowie Gew hrleistungsfragen gr ndlich gelesen werden Es werden wichtige Sicherheits und Gefahrenhinweise gegeben W hrend des Betriebes ist es zum Nachlesen leider zu sp t Beachten Sie dar ber hinaus den Grundsatz Umsichtiges und vorsichtiges Arbeiten ist der beste Schutz vor Ger tesch den Die Arbeitsqualit t des Messger ts ist entscheidend abh ngig von Wartung und Pflege Regelm ige Wartungs und Pflegearbeiten sind hierin beschrieben Bei notwendigen Reparaturen unterst tzen wir Sie gerne und versorgen Sie mit den Original Ersatzteilen Es wird empfohlen stets einen bestimmten Umfan
15. ad 5 3 Mossen Tabelle In der anh ngenden Tabelle sind die meisten der bekannten und blichen Atome und Molek le aufgef hrt Dies soll zur Erleichterung der Interpretation dienen Als Base Peak wird der jeweilige Hauptanteil des Elements bezeichnet also zum Beispiel der Hauptpeak des CO bei Masse 28 u Neben diesem Peak zeigt CO einen zweiten bei 12 u der elementarem C zugeordnet ist als Folge der Dissoziation durch die lonisation mit einem zum Hauptpeak relativen Anteil von 5 Dar ber hinaus finden sich noch 2 Anteil aus elementarem O bei 16 u sowie 1 Anteil bei 14 u als Folge doppelt ionisierter CO Molek le Weiter f hrende Details finden sich zum Beispiel hier 1 2 Molek l Atom Base peak Minor peak 1 Minor peak 2 Minor peak 3 Relative mass contr mass contr mass contr mass contr Sensitivity H2 Wasserstoff 2 100 1 2 0 44 He Helium 4 100 0 14 CH4 Methan 16 100 15 85 14 16 13 8 1 6 NH3 Ammoniak 17 100 16 80 15 8 14 2 1 3 H20 Wasser 18 100 17 21 16 2 1 0 Ne Neon 20 100 22 9 4 21 0 3 0 22 C2H2 Acetylen 26 100 25 20 24 6 13 6 1 0 co OT 23 3o0 12 5 6 2 I ul 1 05 N2 Stickstoff 28 100 14 5 29 1 1 0 C2H4 Ethylen 28 100 27 63 26 61 25 11 1 0 C2H6 Ethan 28 100 27 33 30 26 26 23 2 6 Luft 28 100 32 27 14 6 16 3 1 0 SiH4 Silan 30 100 31 78 29 29 28 27 1 0 CH30OH Methanol 31 100 32 67 29 65 28 6 1 8 C2H50H Ethanol 31
16. artet In der Mitte des Displays sind das Ventilschema das Quadrupole Massenspektrometer QMS die Pr fkammer mit dem jeweils aktuellen Druck die Turbomolekularpumpe TPU QMS des QMS die Turbomolekularpumpe der Pr fkammer TPU TP und die Drehschieberpumpe VP TPU dargestellt W hrend der Start Phase siehe 3 1 2 und der sp teren Stop Phase beim Herunterfahren des Systems werden die jeweiligen Dr cke Drehzahlen und Ventilstellungen dargestellt Dies dient zur Kontrolle der Systemkomponenten durch den Benutzer Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 15 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad Die rechts befindlichen Tasten haben die folgenden Bedeutungen Info Aktuelle Informationen ber den Betriebszustand des Ger ts Schaltuhr Mit Hilfe des Timers kann der Start des Ger ts vorprogrammiert werden Dazu k nnen entweder die Uhrzeit des Starts innerhalb der hour E34 gt min pP a n chsten 24 h oder ein Zeitraum angegeben werden Nach Erreichen e Delay CC der so festgelegten Zeit startet das System automatisch und erreicht C Time of day nach ca 150s seinen betriebsbereiten Zustand Die Verwendung dieser Funktion ist sinnvoll weil das Ger t vor Beginn der Messungen im Idealfall 2h in Betrieb sein sollte Verbleibende Zeit bis START 08 00 00 co i Clean Mit dieser Taste wird eine selbstst ndige automatisierte Reinigungspr
17. cher Desorption 23 10 2014 Seite 32 von 32
18. ck auf das Ger t bertragen werden 2 2 Ger tedaten Spannung 1x 240 AC Leistungsaufnahmen Standby 150 W Startup 400 W Betriebsbereit 250 W Messung max 2 000 W Steuerspannung 24 VDC Gewicht 35 kg 2 3 Abmessungen 600 mm x 600 mm x 580 mm Breite x Tiefe x H he 2 4 Umgebungsbedingungen Um einen ordnungsgem en Betrieb zu gew hrleisten muss eine Luftfeuchte von 30 80 und ein Temperaturbereich von 15 30 C w hrend des Einsatzes der Anlage eingehalten werden Optimale Ergebnisse werden bei ca 40 Luftfeuchte und 22 C Umgebungstemperatur zu erreichen sein Um eine optimale Funktion des Messger ts zu gew hrleisten empfehlen wir eine Vorlaufphase von mindestens 2 h Das Messger t ist aber bei dringendem Bedarf innerhalb von weniger als 10 min messfertig Die erzielten Ergebnisse sind jedoch durch den dann noch vorhandenen hohen Restgas Unterdruck im Vakuumsystem quantitativ nicht belastbar Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 11 von 32 na VACUUM TECHNOLOGY ositrad Eine Kalibrierung des Messger ts ist nicht notwendig Weiter ist auf den Verschmutzungsgrad des Messger ts le Partikel Staub im speziellen im Bereich des Eingangsstutzens zu achten da Verschmutzung zu erh htem Untergrund und somit zu ungenauerer Messung f hren und das Ger t besch digen k nnen Bitte gehen Sie diesbez glich laut Wartungsanleitung vor Halten
19. der durch Missachtung der Betriebsvorschriften entstanden sind bernimmt die Firma Hositrad GmbH keine Haftung Unsere Haftung erstreckt sich auf Sch den die trotz normaler Benutzung nach der Betriebsvorschrift entstanden sind amp Tritt innerhalb der Gew hrleistungsfrist ein Ger teschaden ein dessen Ursache zweifelhaft ist und f r den ggf Anspr che geltend gemacht werden sollen ist sofort unser Kundendienst zu benachrichtigen und unsere weiteren Instruktionen abzuwarten Bis zur Kl rung der Schadensursache und ausdr cklichen Freigabe durch uns ist die Anlage in dem Zustand zu belassen in welchen sie durch den Schaden versetzt worden ist E Bei Personensch den ist au erdem die zust ndige Berufsgenossenschaft in Kenntnis zu setzen Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 4 von 32 N VACUUM TECHNOLOGY ositrad amp Das ffnen des Ger ts ist unzul ssig In diesem Fall erlischt die Garantie 1 4 Urheberrecht Das Urheberrecht an dieser Bedienungsanleitung sowie dem gesamten Messsystem verbleibt ausschlie lich bei der Firma Hositrad GmbH Diese Bedienungsanleitung ist f r das Bedienungspersonal bestimmt Die enthaltenen Vorschriften und Zeichnungen technischer Art d rfen weder vollst ndig noch teilweise vervielf ltigt verbreitet oder zu Zwecken des Wettbewerbs unbefugt verwertet oder anderen mitgeteilt werden 1 5 Siche
20. e Keine sichtbaren Sch den am Messger t e Keine sichtbaren Sch den an Pr faufbau e Die Vakuumverbindungen sind vorhanden 4 2 Einschalten des Messger ts 1 Hauptschalter am Messger t einschalten Dieser befindet sich auf der Ger tevorderseite Starten des Messger ts ber den Button AN siehe 3 1 2 3 berwachung des Startvorgangs mittels der Startup Anzeige siehe 3 1 2 ei 4 3 Ausschalten des Messger ts 1 Stoppen des Messger ts ber den Button AUS siehe 3 1 2 Der gesamte Vorgang bis zum Erreichen des Standby dauert rd 20 sec 2 berwachung des Stopvorgangs mittels der Anzeige Das Ger t zeigt w hrend dieses Vorgangs die Restlaufzeit unten links die jeweils aktuellen Ventilstellungen sowie die Drehzahl der Turbopumpe kontinuierlich an 3 Herunterfahren des Ger ts durch die Taste Runterfahren die im Standby Modus zur Verf gung steht 4 Hauptschalter ausschalten am Ger t Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 26 von 32 na VACUUM TECHNOLOGY ositrad 5 Anhang 5 1 Wartung Alle Komponenten des MGT sind wartungsfrei mit Ausnahme der Drehschieber Vorpumpe Die Abbildung zeigt einen Blick auf die linke Seite des Geh uses Dort ist unten rechts eine Fr sung zu erkennen die den Blick auf den F llstandsanzeiger der Drehschieberpumpe erm glicht Bitte achten Sie darauf dass der F llstand des Betrieb ls immer zwischen den beiden
21. ebsanleitung vorgeschriebene Einstell Wartungs und Inspektionsarbeiten und Termine einschlie lich den Angaben zum Austausch von Bauteilen unbedingt einhalten Alle diese T tigkeiten nur von ausgebildetem Fachpersonal durchf hren lassen 1 5 5 Sicherheitshinweise bei elektrischen Arbeiten Bei Arbeiten an der elektrischen Ausr stung des Messger ts besteht Gefahr durch elektrische Spannung deshalb e Arbeiten an der elektrischen Ausr stung d rfen nur von entsprechend ausgebildetem Fachpersonal den Regeln entsprechend durchgef hrt werden e Bei St rungen an der elektrischen Ausr stung des Ger ts ist diese sofort abzuschalten und die St rung zu beseitigen Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 7 von 32 N VACUUM TECHNOLOGY ositrad 1 5 6 Sicherheitshinweise bei Notf llen Treten im Betrieb Situationen ein die zu einer Gef hrdung des Bedieners Dritter oder des Messger ts f hren k nnen ist das Messger t sofort ber den Schalter auf der Geh user ckseite zu stoppen Ist sich der Bediener ber den Zustand des Ger ts unklar ist diese sofort ber den Schalter auf der Geh user ckseite zu stoppen Im Brandfall zuerst sofern dies noch m glich ist die Stromversorgung unterbrechen Den Brand am Ger t mit einem geeigneten L schmittel l schen 1 5 7 Sicherheitshinweise f r den
22. el 1 0x10 w hrend der Messung nach Bedarf ge ndert werden Die on In Scangeschwindigkeit 0 01 100 u s kann at ZE E 7 ul 2 Ce E AER E Maar vor Beginn der Messung eingestellt werden im obigen Beispiel 2 u s Angegeben wird die Anzahl der pro Sekunde zu durchfahrenden Massen Vor der Messung kann durch Auswahl des entsprechenden Feldes die Integration aktiviert werden im obigen Beispiel ist das aktiviert In diesem Fall werden die Spektren kontinuierlich aufintegriert die Anzahl der Integrationen wird im entsprechenden Feld angezeigt Integration empfiehlt sich wenn eine hohe Genauigkeit gefordert ist Sollen dagegen Massenver nderungen detektiert werden sollte auf die Integration verzichtet werden Ein typisches Massenspektrum ist in der Abbildung dargestellt Der Modus MGT A ist der wichtigste Messmodus Die Temperatur erh hung der Probe folgt der des Heizelements mit einer Verz gerung im Bereich von Minuten Nimmt man w hrend der Messen Temperaturerh hung MGA Spektren auf so erh lt man zu jeder Temperatur Informationen ber alle desorbierten Gasspezies Es ist m glich und bei vielen Anwendungen sinnvoll die Probe auf SH Tompr C EX ON verschiedene Temperaturen zu bringen Die gew nschte Temperatur kann im Feld Heizung als Soll eingegeben werden siehe nebenstehende Abbildung 65 C im Beispiel Die aktuelle Temperatur der Probe wird jeweils rechts daneben angegeben Messen 28 0 C bzw 31 8
23. g an Verschlei teilen vorr tig zu halten Beachten Sie bitte auch unbedingt den Anhang dieser Betriebsanleitung Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 3 von 32 N VACUUM TECHNOLOGY ositrad 1 2 Abk rzungen und Symbole GEFAHRENSTELLE Dieses Zeichen bedeutet Warnung vor einer Gefahrenstelle Es steht bei allen Sicherheitshinweisen bei denen Gefahr f r Leib und Leben des Bedieners oder seiner Mitmenschen besteht Beachten Sie unbedingt diese Hinweise und verhalten Sie sich in diesen F llen besonders vorsichtig Geben Sie alle Sicherheitshinweise auch an andere Benutzer weiter ACHTUNG Dieses Zeichen steht f r Hinweise bei deren Nichtbeachtung Gefahr f r das Messger t besteht ACHTUNG ELEKTRISCHE SPANNUNG Dieses Zeichen warnt vor elektrischer Spannung Es steht bei allen Arbeits und Betriebsverfahren die genau einzuhalten sind um einer Gef hrdung von Personen und des Ger ts durch elektrische Spannung vorzubeugen amp HINWEIS Dieses Zeichen steht f r Hinweise die eine effektivere und wirtschaftlichere Nutzung des Ger ts erm glichen 1 3 Gew hrleistung L Gew hrleistungsanspr che k nnen nur dann geltend gemacht werden wenn die Gew hrleistungsbedingungen beachtet werden Diese sind in den Allgemeinen Gesch ftsbedingungen enthalten E F r Sch den die durch unsachgem e Behandlung des Messger ts o
24. hnische Daten d rfen nicht berschritten werden Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 5 von 32 VACUUM TECHNOLOGY ositrad Schutz und Sicherheitseinrichtungen Abdeckungen etc d rfen w hrend des Betriebs des Ger ts nicht entfernt werden Die Betriebsanleitung muss stets am Aufstellort des Messger ts verf gbar sein Eine unvollst ndige oder unleserliche Betriebsanleitung ist umgehend zu ersetzen Die Herstellerfirma Hositrad GmbH ist Ihnen hierbei gerne behilflich Erg nzend zur Betriebsanleitung sind gesetzliche allgemeing ltige und sonstige verbindliche Richtlinien zur Unfallverh tung und zum Umweltschutz zu beachten Das mit T tigkeiten am Messeger t beauftragte Personal muss vor Arbeitsbeginn die Betriebsanleitung gelesen und verstanden haben Dies gilt insbesondere f r nur gelegentlich an dem Messger t eingesetztes Personal Durch Kontrollen muss der Betriebsverantwortliche das sicherheits und gefahrenbewusste Arbeiten des Bedienungs und Wartungspersonals unter Beachtung der Hinweise der Betriebsanleitung berpr fen Der Betriebsverantwortliche ist verpflichtet das Messger t immer nur in einwandfreiem Zustand zu betreiben Eigenm chtige konstruktive Ver nderungen und die Ver nderung von Parametern ber die Anweisung der Betriebsanleitung hinaus sind aus sicherheitstechnischen Gr nden nicht e
25. ig W hlt man eine hohe Heizrate so folgt die Ist Temperatur bei den meisten Proben der Solltemperatur so langsam dass die Messungen nicht sinnvoll sind Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 21 von 32 ne VACUUM TECHNOLOGY ositrad Kammer L ften Mit dieser Taste wird die Pr fkammer nach erfolgter Messung geflutet Dies erfolgt v llig automatisch und ben tigt ca 20 s ffnen Sie die Pr fkammer nur nach erfolgter Flutung und wenden Sie keine Gewalt an Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 22 von 32 na VACUUM TECHNOLOGY ositrad 3 2 Einsetzen und Wechseln der Probe in der Pr fkammer Das Wechseln bzw Einsetzen von Proben muss mit gro er Vorsicht erfolgen Besch digungen am Heiz system k nnen gravierende Folgen haben Bitte gehen Sie unbedingt in der nachfolgend beschriebenen Reihenfolge vor 1 Reinigen Sie die neue Probe gr ndlich mit Aceton Ethanol oder Isopropanol Die Proben m ssen fettfrei und frei von Partikeln sein Setzen Sie nur festen Proben ein keine Pulver 2 Benutzen Sie zum Einsetzen der Proben Handschuhe um die Vakuumkomponenten in der Pr fkammer sauber zu halten 3 Bel ften Sie die Pr fkammer mit dem Button Kammer L ften siehe 3 1 3 Die Bel ftung ben tigt ca 20 s Warten Sie bis die Turbopumpe der Pr fkammer zum Stillstand gekommen is
26. ozedur der Pr fkammer ausgel st Dies dient zur Beseitigung von m glichen Resten der eingesetzten Gase aus vorangegangenen Messungen Das System informiert w hrend des Vorgangs ber den jeweils aktuellen Zustand und die Restlaufzeit Die Laufzeit betr gt ca 12 h Hinweise auf die Notwendigkeit der Reinigung sind z B hohe Wasseranteile Massen 16 18 im Massenspektrum oder zu hohe Dr cke in der Pr fkammer Alle vom Benutzer durchzuf hrenden T tigkeiten werden vom System angezeigt ffnen Sie die bel ftete Pr fkammer entnehmen Sie Probe und Probenhalter und schlie en Sie die Pr fkammer wieder Drucken Die aktuelle Messung wird auf einem Drucker ausgegeben Die Auswahl des Druckers und dessen Parameter erfolgt men gesteuert AN Mit dieser Taste wird das Ger t gestartet die Pumpen werden in Betrieb genommen und der betriebsbereite Zustand wird hergestellt Die Details werden im n chsten Abschnitt in 3 12 beschrieben Runterfahren Mit dieser Taste wird das System inklusive aller Ventile der Pumpen und des Steuercomputers herunter gefahren Bitte schalten Sie das Ger t am vorderseitigen Schalter nur dann aus wenn der Shutdown erfolgreich durchgef hrt wurde Zu erkennen ist dies am Monitor des PCs der dann schwarz wird Diese Funktion steht nur im Standby Zustand zur Verf gung Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 16 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY o
27. rheitshinweise Lesen Sie vor der ersten Inbetriebnahme diese Betriebsanleitung vollst ndig und machen Sie sich mit allen Funktionen des Messger ts vertraut Sie d rfen erst dann am Messger t arbeiten wenn Sie die gesamte Betriebsanleitung gelesen und verstanden haben Scheuen sie sich nicht bei offenen Fragen Ihren Vorgesetzten Ihren Betriebsverantwortlichen oder die Herstellerfirma Hositrad GmbH anzusprechen 1 5 1 Allgemeine Verhaltensma nahmen und Sicherheitshinweise Jede sicherheitsbedenkliche Arbeitsweise unterlassen Das Messger t ist nach dem aktuellen Stand der Technik gebaut Es ist entwickelt und konstruiert worden unter strikter Beachtung der ma geblichen Unfallverh tungsvorschriften allgemein anerkannter sicherheitstechnischer Regeln und der g ltigen Arbeitsschutzvorschriften Dennoch k nnen bei nicht bestimmungsgem er Nutzung des Ger ts Gefahren f r Leib und Leben des Benutzers oder Dritter bzw Beeintr chtigungen am Ger t oder an anderen Sachwerten entstehen Das Messger t darf nur in technisch einwandfreiem Zustand sowie bestimmungsgem sicherheits und gefahrenbewusst unter Beachtung der Betriebsanleitung eingesetzt werden Insbesondere St rungen welche die Sicherheit beeintr chtigen k nnen umgehend beseitigen oder ggf beseitigen lassen Beim Betrieb des Messger ts sind die Sicherheitsvorschriften unbedingt einzuhalten zul ssige Belastungswerte des Ger ts siehe Tec
28. rlaubt und f hre unmissverst ndlich zu jedweden Haftungsverlust seitens des Herstellers 1 5 2 Sicherheitshinweise f r den Transport Der Transport des Ger ts nach erfolgter Erstinbetriebnahme kann die Kathoden des integrierten Massenspektrometers besch digen Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 6 von 32 N VACUUM TECHNOLOGY ositrad 1 5 3 Sicherheitshinweise zum Betrieb Jede sicherheitsbedenkliche Arbeitsweise ist zu unterlassen Vor Arbeitsbeginn muss der Benutzer sich mit der Arbeitsumgebung des Messger ts vertraut machen Mindestens einmal pro Arbeitstag Schicht muss das Messger t auf u erlich erkennbare Sch den und M ngel gepr ft werden Eingetretene Ver nderungen oder Besch digungen sind sofort der zust ndigen Person bzw Stelle zu melden Bei Funktionsst rungen die Einheit sofort still setzen und gegen Wiederinbetriebnahme auch durch Dritte sichern Funktionsst rung sofort dem Betriebsverantwortlichen melden und umgehend beseitigen oder ggf beseitigen lassen Ein und Ausschaltvorg nge nur gem der Betriebsanleitung durchf hren Jedes Eindringen von Wasser Staub oder anderen Fremdstoffen in das Vakuumsystem muss unbedingt vermieden werden 1 5 4 Sicherheitshinweise f r Wartung und Pflege Jede sicherheitsbedenkliche Arbeitsweise unterlassen In der Betri
29. sitrad 3 1 2 Startup Screen Nach Bet tigung der Taste AN startet das System automatisch alle seine Komponenten und erreicht nach max 150s den messfertigen Zustand der als betriebsbereiter Zustand bezeichnet wird Obwohl das Ger t nach 150 s schon messfertig ist empfehlen wir f r quantitative Messungen dringend das Ger t mind 2h vor Beginn der Messungen in diesen Zustand zu versetzen Das kann auch mittels der beschriebenen Schaltuhr Funktion erfolgen EI ositrad 19 09 2014 15 47 01 6 30 Info nn I I I I j l I Iig I j I I l I signal vs time plot 1361Hz TPU QMS Abgas TPU HOCHFAHREN Turbopumpe l uft hoch 90 no e O ee Auf dem Display kann man anhand der farblichen Markierungen den jeweiligen Schaltzustand der Ventile verfolgen Hierbei ist ein rot markiertes Ventil geschlossen und ein gr n markiertes Ventil ist ge ffnet Die gr ne Hinterlegung der Komponenten QMS VP TPU bedeutet dass sie gestartet sind Das gleiche gilt f r die aktuelle Drehzahl der Turbopumpe W hrend der Startphase erscheint das im Display unten links zu sehende Fenster das im Diagramm die aktuelle Drehzahl der Turbomolekularpumpe gegen die abgelaufene Zeit darstellt Auch zu sehen ist der Sollwert bei dem die Pumpe 100 erreicht Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Sei
30. t das ist zu erkennen an der Drehzahl der TPU TP 4 ffnen Sie die Pr fkammer durch ffnen der Verriegelung am roten Hebel 5 Ziehen Sie den Probeschlitten langsam und m glichst verwindungsfrei heraus bis zum Anschlag Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer Desorption 23 10 2014 Seite 23 von 32 VACUUM TECHNOLOGY 6 Sie blicken auf den Probenhalter der die Probe durch einen Federmechanismus nach unten fixiert und auf die Heizplatte dr ckt Dr cken Sie die Platte vorsichtig nach unten und drehen Sie sie dabei um ca 5 im Uhrzeigersinn bis die L cher der Schlitze unter den Schraubenk pfen liegen Die Platte l sst sich dann leicht herausnehmen Lagern Sie die Platte auf einer sauberen Unterlage 7 Sie blicken auf die Heizplatte Achten Sie beim Einsetzen der Probe darauf keine der Leitungen oder Abschirmungen zu ber hren Achten Sie bitte auf u erste Reinheit und verwenden Sie geeignete Pinzetten 8 Legen Sie die Probe ein Achten Sie darauf dass die Probe mittig liegt und dass sie weder die Muttern der Haltestangen noch die u eren Abschirmrahmen ber hrt 9 Legen Sie die den Probenhalter vorsichtig so auf dass die L cher im Probenhalter ber den Schraubenk pfen liegen Dr cken Sie den Probenhalten vorsichtig nach unten und drehen Sie ihn um ca 5 gegen den Uhrzeigersinn Hositrad Holland B V 2014 MGT Multigas Analyse mit Thermischer
31. te 17 von 32 H VACUUM TECHNOLOGY ositrad 3 1 3 Screen Betriebsbereiter Zustand Messbetrieb Nach erfolgreichem Hochfahren der Pumpen und aller Komponenten ist das Ger t innerhalb von weniger als 150 s messbereit Wir empfehlen das Ger t vor Beginn jeder quantitativen Messung mindestens 2 h in diesem Zustand zu belassen damit ein akzeptabler Druck erreicht werden kann und sich alle Komponenten im thermischen Gleichgewicht befinden Schnelle Messungen bei denen die Zusammensetzung des Pr fgases schnell und qualitativ gepr ft werden sollen k nnen allerdings in diesem Zustand bereits durchgef hrt werden VACUUM TECHNOLOGY REM ositrad 19 09 2014 15 47 21 6 30 mo S E EE I l i 5 9e 02mbar i Ge l jaPruckens ia no oMS Ip v10 Sichem l ple l l IE I l l I l N I N I I l I i I i 000082 150082 l I TPU TPU Kammer v6 TP QMS Vent Port He i AUS l l l l l I l l I l l Ebene Nutzer l VP l en ec ran Abgas TPU das l MOT triebsbereit IOS o e E Nach erfolgreichem Start zeigt das Ger t diesen Bildschirminhalt das zu sehende QMS Spektrum ist nur beispielhaft dieser Teil des Bildschirminhalts h ngt von den voran gegangenen Messungen ab Links werden die Dr cke des Testports Pirani Pressure und des Massenspektrometers QMS Total Pressure angezeigt zur Information und Kontrolle durch den Benutzer Sichern Die aktuelle Messung wird gespeichert Das
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