Betriebsanleitung
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1. 34 PFEIFFER VACUUM 13 Technische Daten und Ma bilder 13 1 Allgemeines Technische Daten und Ma bilder Grundlagen f r Technische Daten von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen Maximalwerte beziehen sich ausschlie lich auf den Eintrag als Einzelbelastung e Vorgaben nach PNEUROP Komitee PN5 e ISO 21360 2007 Vakuumtechnik Standardverfahren zur Messung der Leistungs daten von Vakuumpumpen Allgemeine Beschreibung e ISO 5302 2003 Vakuumtechnik Turbomolekularpumpen Messung der Lei stungscharakteristik Umrechnungstabelle Druckeinheiten Enddruck mit Testdom nach 48 Std Ausheizdauer Gasdurchsatz mit Wasserk hlung Vorpumpe Drehschieberpumpe 10 m h K hlwasserverbrauch bei max Gasdurchsatz K hlwassertemperatur 25 C Integrale Leckrate mit Helium Konzentration 100 Messdauer 10 s Schalldruckpegel Abstand zur Pumpe 1 m mbar bar Pa hPa kPa Torr mm Hg mar 1 10o 00 TI 01 Top bar 1 103 1 1 105 1000 100 750 Pa 0 01 1 107 1 0 01 1 103 7 5 10 hPa 1 1 1073 100 1 0 1 0 75 kPa 10 0 01 1000 10 1 7 5 Torr 1 33 1 33 103 133 32 1 33 0 133 1 mm Hg 1Pa 1N m Umrechnungstabelle Einheiten f r Gasdurchsatz mbar I s Pa mis sccm Torr I s atm cm s mbar I s 1 0 1 59 2 0 75 0 987 Pa m s 10 1 592 7 5 9 87 sccm 1 69 1072 1 69 10 1 1 27 1072 1 67 1072 Torr s 1 33 0 133 78 9 1 1 32 atm cm s 1 01 0 101 59 8 0 76 12. PFEIFFER E VACUUM 35 Technische Daten und Ma bilder 13 2 Technische Daten Parameter HiPace 300 Plus HiPace 300 Plus HiPace 300 Plus Anschlussfansch Eingang JDN100180 K JDN100CF F TDNWISOF o Anschlussflansch Ausgang DN 16 ISO KF G 1 4 DN 16 ISO KF G 1 4 DN 16 ISO KF G 1 4 Saugverm gen f r Ar 255 l s 255 l s 255 I s Saugverm gen f r H 220 Us 220 I s 220 ls Saugverm gen f r He 255 ls 255 I s 255 l s Saugverm gen f r N2 260 I s 260 I s 260 I s Kompressionsverh ltnis f r Ar gt 14 10 gt 14 10 gt 10 Kompressionsverh ltnis f r H 9 10 9 10 ga 10 Kompressionsverh ltnis f r He gt 41 108 gt 1 108 gt 1 108 Kompressionsverh ltnis f r No gt 1 10 gt 1 10 gt 1 10 Gasdurchsatz bei Enddrehzahl f r Ar 2 hPa l s 2 hPa l s 2 hPa l s Gasdurchsatz bei Enddrehzahl f r He 8 hPa l s 8 hPa l s 8 hPa l s Gasdurchsatz bei Enddrehzahl f r H gt 14 hPa l s gt 14 hPa l s gt 14 hPa l s Gasdurchsatz bei Enddrehzahl f r Na 5 hPa l s 5 hPa l s 5 hPa l s Vorvakuum max f r Ar 15 hPa 15 hPa 15 hPa Vorvakuum max f r H2 8 5 hPa 8 5 hPa 8 5 hPa Vorvakuum max f r He 15 hPa 15 hPa 15 hPa Vorvakuum max f r Na 15 hPa 15 hPa 15 hPa Hochlaufzeit 3 5 min 3 5 min 3 5 min Enddruck lt 1 10 7 hPa c 5 1079 hPa lt 1 107 hPa Drehzahl 2 60000 min 60000 min 60000 min Drehzahl variabel 35 100 35 100 35 100
3. Betrieb 6 4 berwachung des Betriebszustands Betriebsanzeige ber LED Temperatur berwa chung 6 5 Ausschalten Ausschalten Fluten LEDs an der Antriebselektronik zeigen grundlegende Betriebszust nde der Turbopumpe an Eine differenzierte Fehler und Warnungsanzeige ist nur bei Betrieb mit DCU oder HPU m glich LED Symbol Dauer Aus Blitzen Blinken Dauer Ein 1 12 s aktiv 1 2 s aktiv Gr n a keine ausreichende Pumpstand AUS Pumpstand AUS Pumpstand EIN Spannungsversor Drehzahl lt 1Hz Drehzahl gt 1 Hz gung Gelb A keine Warnung Warnung Rot k kein Fehler Fehler Bei unzul ssiger Motortemperatur oder unzul ssig hoher Geh usetemperatur wird die Antriebsleistung reduziert Dies kann zum Uhnterschreiten des eingestellten Drehzahl schaltpunktes und damit zum Abschalten der Turbomolekularpumpe f hren und Fluten Nach dem Ausschalten ist die Turbopumpe zu fluten um Verunreinigungen durch zu r ckstr mende Partikel aus dem Vorvakuumbereich zu vermeiden gt Vorvakuum schlie en Vorpumpe ausschalten oder Vorvakuumventil schlie en gt Turbopumpe am Bedienger t oder ber Fernbedienung ausschalten gt Fluten M glichkeiten s u gt Bei Wasserk hlung Wasserzufuhr absperren Fluten von Hand gt Flutschraube Lieferumfang im Flutanschluss der Turbopumpe ca eine Umdrehung ffnen Fluten mit Pfeiffer Vacuum Flutventil gt Fluten mit Flutventil b
4. gt Pumpe Ger t m glichst in der Originalverpackung versenden Einsendung von kontaminierten Pumpen oder Ger ten Mikrobiologisch explosiv oder radioaktiv kontaminierte Ger te werden grunds tzlich nicht angenommen Schadstoffe sind Stoffe und Verbindungen entsprechend der Ge fahrstoff Verordnung in der derzeit g ltigen Fassung Bei kontaminierten Pumpen oder bei Fehlen der Erkl rung zur Kontaminierung f hrt Pfeiffer Vacuum kostenpflichtig eine Dekontamination durch gt Pumpe durch Sp len mit Stickstoff oder trockener Luft neutralisieren gt Alle ffnungen luftdicht verschlie en gt Pumpe oder Ger t in geeignete Schutzfolie einschwei en gt Pumpe Ger t nur in geeigneten stabilen Transportcontainern und unter Einhaltung der g ltigen Transportbedingungen einschicken Austauschger te Bei Austauschger ten sind immer die Standard Betriebsparameter voreingestellt Falls Sie bei Ihrer Anwendung ver nderte Parameter verwenden m ssen Sie diese erneut einstellen Serviceauftr ge Alle Serviceauftr ge werden ausschlie lich entsprechend unseren Reparaturbedingun gen f r Vakuumger te und komponenten durchgef hrt 1 Formulare unter www pfeiffer vacuum de PFEIFFER E VACUUM 31 32 Ersatzteile HiPace 300 Plus 11 Ersatzteile HiPace 300 Plus Pos Benennung Bestellnummer Bemerkungen St ck Bestellmenge 7 Betriebsmittelspeicher PM 143 451 T 1 8 An
5. Modellbezeichnung keine Standardausf hrung der zugeh rigen Saugver U berkopfversion m gensklasse C Korrosivgasausf hrung P Prozess M Aktive Magnetlagerung T Temperatur Management e Die Eigenschaftsbezeichnung Plus kennzeichnet Turbopumpen mit besonders vib rationsarmem Lauf und niedrigem magnetischen Streufeld Dieses Produkt wurde gem den Anforderungen der Richtlinie CAN CSA C22 2 Nr 61010 1 zweite Ausgabe einschlie lich der nderung 1 oder einer sp teren Version der gleichen Norm mit dem gleichen Grad an Pr fanforderungen gepr ft Informationen ber weitere Zertifizierungen ggf dem Pr fsiegel auf dem Produkt ent nehmen oder unter e www tuvdotcom com e TUVdotCOM ID 0000021320 Merkmal HiPace 300 Plus HV Flansch DN 100 ISO K DN 100 ISO F DN 100 CF F Flanschmaterial Aluminium Aluminium Edelstahl Zur sicheren Produktidentifikation bei der Kommunikation mit Pfeiffer Vacuum immer alle Angaben des Typenschildes bereithalten PFEIFFER VACUUM D 35614 Asslar E Mod HiPace 300 Dk C DN 100 ISO K 3P SIN 260 l s M No PM P03 900 nf 60000 1 min 1000 Hz 7 Weight 6 7 kg Ser No III Made in Germany ce Abb 1 Beispiel f r ein Typenschild e HiPace 300 Plus mit TC 110 und 24 VDC 5 e Schutzdeckel f r den Hochvakuum und Vorvakuumflansch e Betriebsanleitung PFEIFFER E VACUUM 9 Produktbeschreibung 4 2 Funktion Die Pumpe HiPace 300 Plus
6. umgebendes Magnetfeld lt 3mT berspannungskategorie Anschlussspannung TC 24 V DC 159 Anmerkungen zu Umgebungsbedingungen Die angegebenen zul ssigen Umgebungstemperaturen gelten f r den Betrieb der Tur bopumpe bei maximal zul ssigem Vorvakuumdruck oder bei maximalem Gasdurchsatz in Abh ngigkeit der K hlungsart Die Turbopumpe ist durch eine redundante Tempera tur berwachung eigensicher e Durch Reduzierung des Vorvakuumdrucks oder des Gasdurchsatzes kann die Tur bopumpe auch unter h heren Umgebungstemperaturen betrieben werden e Bei berschreiten der maximal zul ssigen Betriebstemperatur der Turbopumpe re duziert die Antriebselektronik zuerst die Antriebsleistung und schaltet gegebenen falls anschlie end ab PFEIFFER E VACUUM 11 Installation 5 Installation Gefahr durch Abrei en der Turbopumpe Im Falle eines pl tzlichen Blockierens des Rotors k nnen Drehmomente bis 2000 Nm auftreten die bei nicht ordnungsgem er Befestigung zum Abrei en der Turbopumpe f hren k nnen Die dabei freigesetzte Energie kann die gesamte Pumpe oder Bruchst cke aus deren Inneren durch den Raum schleudern Dabei k nnen schwerste Verlet zungen evtl mit Todesfolge und gro e Sachsch den verursacht werden gt Installationsanweisungen dieser Betriebsanleitung genau befolgen gt Nur Originalbauteile von Pfeiffer Vacuum Zubeh r f r die Installation verwenden m Installation und Betrieb von Z
7. Austausch der Antriebselektronik bzw Wechsel auf einen ande ren Pumpentyp muss die Sollwertvorgabe der Nenndrehzahl best tigt werden Diese Ma nahme ist Bestandteil eines redundanten Sicherheitssystems zur Vermeidung von berdrehzahl HiPace Best tigung Nenndrehzahl P 777 300 1000 Hz 400 700 800 820 Hz gt Parameter P 777 dem Pumpentyp entsprechend einstellen gt Alternativ Falls kein Anzeige und Bedienger t zur Verf gung steht den Speed Configurator aus der Ersatzteillieferung verwenden 28 PFEIFFER E VACUUM AuBerbetriebnahme 8 Au erbetriebnahme 8 1 Stillsetzen f r l ngere Zeit Kontamination von Teilen und Betriebsmittel durch gepumpte Medien m glich Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitssch dlichen Stoffen gt Im Falle einer Kontamination entsprechende Sicherheitsvorkehrungen treffen um Gesundheitsgef hrdungen durch gef hrliche Substanzen zu verhindern gt Betreffende Teile vor der Ausf hrung von Wartungsarbeiten dekontaminieren Wenn die Turbopumpe f r l nger als ein Jahr stillgesetzt werden soll gt Vakuumpumpe ggf aus der Anlage ausbauen gt Betriebsmittelspeicher wechseln gt Hochvakuumflansch der Turbopumpe verschlie en gt Turbopumpe ber den Vorvakuumflansch evakuieren gt Turbopumpe ber den Flutanschluss mit lfreier trockener Luft oder Inertgas Tuten gt Flansch ffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschlie en gt We
8. HiPace 300 mit TC 110 115 V AC UL Stecker PM 061 365 T Luftk hlung f r HiPace 300 mit TC 110 PM Z01 301 PM Z01 301 PM Z01 301 Wasserk hlung f r HiPace 300 mit Steckverschraubung 8 mm PM 016 624 T PM 016 624 T PM 016 624 T Flutventil geschirmt 24 V DC G 1 8 zum Anschluss an TC 110 PM Z01 290 PM Z01 290 PM Z01 290 TTV 001 Trockenvorlage zum Fluten von Turbopumpen PM Z00 121 PM Z00 121 PM Z00 121 Sperrgasventil geschirmt f r HiPace 300 mit TC 110 PM Z01 311 PM Z01 311 PM Z01 311 Sperrgasdrossel f r HiPace 300 400 700 und 800 PM Z01 317 PM Z01 317 PM Z01 317 Zentrierring mit Multifunktions Beschichtung DN 100 ISO K F PM 016 210 U PM 016 210 U Zentrierring mit Multifunktions Beschichtung und integriertem Schutz PM 016 212 U PM 016 212 U gitter DN 100 ISO K F Zentrierring mit Multifunktions Beschichtung und integriertem Splitter PM 016 211 U PM 016 211 U schutz DN 100 ISO K F Schutzgitter f r DN 100 CF F PM 016 336 Splitterschutz f r Turbopumpen DN 100 CF F PM 016 315 Schwingungsisolator f r DN 100 ISO F DN 100 ISO K PM 016 600 U PM 016 600 U Schwingunggsisolator f r DN 100 CF F PM 016 715 U D mpfungsk rper f r HiPace 300 400 DN 100 ISO K F PM 006 459 X PM 006 459 X D mpfungsk rper f r HiPace 300 400 DN 100 CF F PM 006 488 X Befestigungssatz f r HiPace 300 DN 100 ISO K inklusive Zentrierring PM 016 367 T beschichtet Schutzgitter und Klammerschrauben Befestigungssatz f r HiPace 300
9. die Gefahr des AbreiRens der Pumpe und daraus resultierende schwerste Verletzungen und Sachsch den Zur Kompensation der m glicherweise auftretenden Drehmomente m ssen geeignete Si cherungsma nahmen ergriffen werden gt Unbedingt R cksprache mit Pfeiffer Vacuum halten gt Die max zul ssige Temperatur am D mpfungsk rper 100 C nicht berschreiten HINWEIS Besch digung der Pumpe durch falsche Einbaulage Die Turbopumpe HiPace 300 Plus ist nur mit dem Hochvakuumflansch nach oben zu installieren Andere Einbaulagen sind nicht spezifiziert und k nnen die Pumpe besch digen und zu fehlerhaften Prozessen f hren gt Pumpe nur mit vertikaler Rotorachse und Hochvakuumflansch nach oben installie ren gt Pumpe niemals ber Kopf mit dem Hochvakuumflansch nach unten betreiben gt Rohrleitungen vor der Vakuumpumpe abst tzen oder abh ngen Auf die verankerte Pumpe d rfen keine Kr fte aus dem Rohrleitungssystem einwirken Die axiale Belastbarkeit des Hochvakuumflanschs betr gt max 200 N entspr 20 kg Eine einseitige Belastung am Hochvakuumflansch ist dabei nicht zul ssig PFEIFFER E VACUUM 13 Installation Hochvakuumflansch Im Falle eines pl tzlichen Blockierens des Rotors m ssen die auftretenden Drehmomen installieren te von der Anlage und dem Hochvakuumflansch aufgenommen werden Zur Befestigung der Turbopumpen am Hochvakuumflansch d rfen ausschlie lich die im Folgenden auf gef hrten Bauteile
10. en y M Bender Gesch ftsf hrer Dr M Wiemer CE 2013 Gesch ftsf hrer Y PFEIFFER Ki VACUUM v KS AUS LEIDENSCHAFT F R PERFEKTION PFEIFFER VACUUM Vakuuml sungen aus einer Hand Komplettes Produktsortiment Kompetenz in Theorie und Praxis Pfeiffer Vacuum steht weltweit f r innovative und individuelle Vakuuml sungen f r technologische Perfektion kompetente Beratung und zuverl ssigen Service Vom einzelnen Bauteil bis hin zum komplexen System Wir verf gen als einziger Anbieter von Vakuumtechnik ber ein komplettes Produktsortiment Nutzen Sie unser Know how und unsere Schulungsangebote Wir unterst tzen Sie bei der Anlagenplanung und bieten erstklassigen Vor Ort Service weltweit
11. g ltige Befestigungssatz aus dem Pfeiffer Vacuum Zubeh rprogramm Flansch e Schutzgitter oder Splitterschutz sind optional gt Darauf achten dass die Dichtfl chen nicht besch digt sind gt Flansche gem der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes verbinden gt Erforderliche Anzahl von 6 Klammerschrauben verwenden gt Die Klammern in drei Schritten ber Kreuz anziehen gt Anziehdrehmoment 5 15 25 2 Nm Installation von ISO F Die Verbindungsarten f r die Installation ISO F mit ISO F Flansch sind Sechs Flansch mit ISO F kantschraube und Gewindebohrung Stiftschraube und Gewindebohrung sowie Stift Flansch schraube und Durchgangsbohrung Folgende Elemente werden ben tigt e der g ltige Befestigungssatz aus dem Pfeiffer Vacuum Zubeh rprogramm e Schutzgitter oder Splitterschutz sind optional 14 PFEIFFER VACUUM Installation ET ri A TH N Sai 4 E Z Ti Installation von CF Flanschen G Sechskantschraube und Gewindebohrung gt Darauf achten dass die Dichtfl chen nicht besch digt sind gt Flansche gem der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes verbinden gt Erforderliche Anzahl von 8 Sechskantschrauben mit Unterlegscheiben verwenden gt Bei Flanschmaterial mit einer Festigkeit gt 270 N mm die Sechskantschraube 1 5 d in das Sackloch einschrauben gt Sechskantschrauben in drei Schritten be
12. gr tm gliche Sauberkeit sorgen Unsau bere Bauteile verl ngern die Auspumpzeit e Alle Flanschbauteile m ssen bei Installation fettfrei staubfrei und trocken sein e Der Betriebsmittelspeicher ist bei der Turbopumpe HiPace 300 Plus bereits fertig montiert und gef llt Erdbebensicherheit W hrend Erdbeben kann es zu Fanglagerkontakt kommen Alle hierbei auftretenden Kr fte werden von den ordnungsgem installierten Flanschverbindungen aufgenom men gt Vakuumkammer kundenseitig gegen Verschieben und Kippen sichern 12 PFEIFFER VACUUM Installation Splitterschutz oder Schutzgitter verwen den D mpfungsk rper Einbaulagen Vacuum chamber RR EE Ze z Safet nnection sc SC Safety Connectio SC Abb 3 Beispiel Sicherung gegen Verschieben und Kippen durch externe Ersch tterungen Die Installation eines Pfeiffer Vacuum Zentrierrings mit Splitterschutz oder Schutzgitter im Hochvakuumflansch sch tzt die Turbopumpe vor Fremdk rpern aus dem Rezipien ten Dadurch wird das Saugverm gen der Pumpe reduziert Reduziertes Saugverm gen in H2 He N2 Ar Splitterschutz DN 63 5 7 24 24 Schutzgitter DN 63 2 2 10 8 Gefahr durch Abrei en der Turbopumpe mit D mpfungsk rper Im Falle eines pl tzlichen Blockierens des Rotors kann ein verwendeter D mpfungsk r per keine der auftretenden Kr fte kompensieren Es besteht
13. mit dem Piktogramm dargestellten Gefahr Gebot einer Handlung oder T tigkeit im Umgang mit einer Gefahren quelle deren Missachtung zu schwerwiegenden Unf llen f hren kann Wichtige Information zum Produkt oder zu diesem Dokument gt Arbeitsanweisung Hier m ssen Sie etwas tun DCU HPU TC TPS Display Control Unit Handheld Programming Unit Antriebselektronik Turbopumpe Netzteil Die folgendenen Symbole werden auf den folgenden Abbildungen einheitlich verwendet Hochvakuumflansch Vorvakuumflansch Elektroanschluss pd K hlwasseranschluss OG Flutanschluss S Sperrgasanschluss Sicherheit 2 Sicherheit 2 1 Sicherheitsma nahmen Informationspflicht Jede Person die sich mit der Installation dem Betrieb oder der Instandhaltung der Va kuumpumpe befasst muss die sicherheitsrelevanten Teile dieser Betriebsanleitung le sen und befolgen gt Der Betreiber ist verpflichtet jede Bedienperson auf Gefahren die von der Vakuum pumpe dem gepumpten Medium oder von der gesamten Anlage ausgehen auf merksam zu machen o Installation und Betrieb von Zubeh r Pfeiffer Vacuum Pumpen k nnen mit einer Reihe von angepasstem Zubeh r ausgestat tet werden Installation Betrieb und Instandhaltung von Anschlussger ten sind detail liert in Betriebsanleitungen der Einzelkomponenten beschrieben gt Informationen zu Bestellnummern von Komponenten siehe Kapitel Zubeh r gt Nur Originalzubeh r verwe
14. verwendet werden Die Bauteile f r die Installation der Turbopumpen sind Spezialausf hrungen von Pfeiffer Vacuum Die Mindestfestigkeit von 170 N mm des Flanschmaterials beachten GEFAHR Lebensgefahr Unzul ssige Befestigung Bei der Befestigung von Pumpen an einen Rezipienten mit unterschiedlicher Flansch ausf hrung kann es zu einem Verdrehen oder Abriss im Falle eines pl tzlichen Blockie rens des Rotors kommen gt Die Kombination unterschiedlicher Flanschtypen ist nicht zul ssig gt F r s mtliche Sch den die aus unzul ssiger Befestigung resultieren bernimmt Pfeiffer Vacuum keine Haftung HINWEIS Formtoleranzen am Gegenflansch einhalten Unebenheiten am betreiberseitigen Gegenflansch k nnen auch bei ordnungsgem er Befestigung zu Verspannungen im Geh use der Pumpe f hren Undichtigkeiten oder negative Ver nderungen der Laufeigenschaften k nnen die Folge sein gt Abweichungen der Ebenheit von max 0 05 mm ber die gesamte Fl che nicht ber schreiten gi e Befestigung von ISO Flanschen Bei der Befestigung von Hochvakuumflanschen in ISO KF oder ISO K Ausf hrung kann e es trotz ordnungsgem er Installation zu einem Verdrehen im Falle eines pl tzlichen Blockierens des Rotors kommen e Die Dichtheit des Hochvakuumflanschs ist dabei nicht gef hrdet Installation von ISO K F r die Installation der Flanschverbindung stehen folgende Bauteile zur Verf gung Flansch mit ISO K e der
15. 9 Leistungskennlinie im Gasmodus 1 Eckpunkt A 150 60000 W mirr 150 60000 W mirr 150 60000 W min Leistungskennlinie im Gasmodus 1 Eckpunkt B 150 54000 W min 150 54000 W min 150 54000 W min Leistungskennlinie im Gasmodus 0 Eckpunkt C 150 60000 W min 150 60000 W min 150 60000 W min Leistungskennlinie im Gasmodus 0 Eckpunkt D 150 54000 W min 150 54000 W min 150 54000 Wimin Leistungskennlinie im Gasmodus 2 Eckpunkt E 150 60000 W min 150 60000 W min 150 60000 W min Leistungskennlinie im Gasmodus 2 Eckpunkt F 150 54000 W min 150 54000 W min 150 54000 W min Schalldruckpegel lt 50 dB A lt 50 dB A lt 50 dB A Relative Luftfeuchte 5 85 nicht betauend 5 85 nicht betauend 5 85 nicht betauend Schutzart IP 54 IP 54 IP 54 Anschlussdruck max f r Flut Sperrgasventil 1500 hPa 1500 hPa 1500 hPa Antriebsleistung max 150 W 150 W 150 W Betriebsspannung 24 5 V DC 24 5 V DC 24 35 V DC Betriebsspannung Netzteil 90 265 V AC 90 265 V AC 90 265 V AC Integrale Leckrate lt 1 108 Pa m s lt 1 108 Pa m s lt 1 108 Pa m ls Leistungsaufnahme max 180 W 180 W 180 W Stromaufnahme max 7 5A 7 5A 7 5A Einbaulage Vertikal Flansch nach oben Vertikal Flansch nach oben Vertikal Flansch nach oben Flutanschluss G 1 8 G 1 8 G 1 8 Gewicht 5 8 kg 7 8 kg 6 1 kg K hlart Standard Luft
16. Abb 9 Heizmanschette anschlie en 4 4a 4b 4c Pumpengeh use Ad Warnaufkleber Heizmanschette Befestigungsschraube Relaisbox Heizung gt Heizmanschette am u eren Spannband vorsichtig aufbiegen und seitlich auf den zy lindrischen Abschnitt des Pumpengeh uses schieben Heizb nder nicht verbiegen Die Heizmanschette muss komplett am Geh use anliegen gt Heizmanschette mit der Befestigungsschraube auf dem Geh use fixieren Anziehdrehmomernt f r die Befestigungsschraube beachten Anziehdrehmoment beim Aufheizen Anziehdrehmoment im kalten Zustand M5 6 Nm 7Nm Befestigungsschraube Einmaliges Nachspan nen nach dem Erkalten 7 Nm M6 11 Nm 12 Nm 12 Nm Anziehdrehmomente f r Befestigungsschrauben von Heizmanschetten Installation Sperrgasanschluss gt Steuerleitung des Zubeh rs in einen freien Anschluss am Verbindungskabel oder Ad apter der Antriebselektronik stecken und festschrauben gt Einstellungen und Ansteuerung ber die Schnittstellen der Antriebselektronik vorneh men gt Netzversorgung f r die Relaisbox gem Betriebsanleitung des Zubeh rs herstellen Zum Schutz der Turbopumpe z B bei staubbehafteten Prozessen oder hohem Gas durchsatz muss die Pumpe mit Sperrgas betrieben werden Die Versorgung erfolgt ber ein Sperrgasventil oder wahlweise ber eine Sperrgasdrossel ohne Ansteuerung Die Ansteuerung des Steuerventils f r den Sperrgasanschluss ist in de
17. Anschluss RS485 am Adapter oder Verbin dungskabel anschlie en Abb 5 Beispiel Anschl sse an der Antriebselektronik TC 110 mit Adapter TCS 12 Zubeh ranschluss an der TC 110 Der Anschluss von Pfeiffer Vacuum Zubeh rger ten an der Antriebselektronik TC 110 ist nur ber entsprechende Verbindungskabel bzw Adapter m glich gt Konfiguration des gew nschten Zubeh rausgangs ber RS 485 mittels Pfeiffer Vacuum Anzeige und Bedienger te oder PC gt Siehe Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 110 Zubeh ranschluss an Antriebelektroniken in Sonderausf hrung Abweichend zur Standardausf hrung k nnen Antriebsger te in Sonderausf hrungen z B Profibuspanel mit Zubeh ranschl ssen ausgestattet sein gt Siehe Betriebsanleitung der betreffenden Antriebselektronik gt Steuerleitung des Zubeh rs direkt an der Antriebselektronik anschlie en gt Konfiguration des gew nschten Zubeh rausgangs ber RS 485 mittels Pfeiffer Va cuum Anzeige und Bedienger te oder PC PFEIFFER E VACUUM 17 Installation Vorvakuumseite an schlie en 18 PFEIFFER VACUUM Empfehlung als Vorpumpe eine trockenverdichtende Vakuumpumpe oder Drehschie berpumpe aus dem Pfeiffer Vacuum Programm einsetzen Die Vorpumpe muss einen Vakuumdruck von lt 5 hPa erzeugen Gesundheitssch den durch giftige Gase Prozessgase k nnen gesundheitssch digend und umweltverschmutzend sein gt Gasaussto der Vorpump
18. C 110 mit Schnittstelle RS 485 4 Zubeh rports PM 061 638 U PM 061 638 U PM 061 638 U und Verschraubungsset TCS 11 Adapter f r TC 110 mit Schnittstelle RS 485 PM 061 636 U PM 061 636 U PM 061 636 U TCS 15 zur Ansteuerung von Vorpumpen PM 061 685 X PM 061 685 X PM 061 685 X Verbindungskabel f r HiPace und TC 110 mit Schnittstelle RS 485 und PM 061 351 T PM 061 351 T PM 061 351 T 2 Zubeh rports zu Netzteil TPS DCU 110 111 180 181 Verbindungskabel f r HiPace und TC 110 mit Schnittstelle RS 485 zu PM 061 350 T PM 061 350 T PM 061 350 T Netzteil TPS DCU 110 111 180 181 USB RS 485 Konverter PM 061 207 T PM 061 207 T PM 061 207 T Schnittstellenkabel M12 m gerade M12 m gerade 3 m PM 061 283 T PM 061 283 T PM 061 283 T Y Verteiler M12 f r RS 485 P 4723 010 P 4723 010 P 4723 010 Relaisbox geschirmt f r Vorpumpe 1 phasig 7A f r TC 110 und TCP PM 071 282 X PM 071 282 X PM 071 282 X 350 M8 Relaisbox f r Vorpumpe 1 phasig 20 A f r TC 110 und TCP 350 Ste PM 061 373 T PM 061 373 T PM 061 373 T cker M8 TVV 001 Vorvakuum Sicherheitsventil 115 V AC PM Z01 206 PM Z01 206 PM Z01 206 TVV 001 Vorvakuum Sicherheitsventil 230 V AC PM Z01 205 PM Z01 205 PM Z01 205 HiPace ACP Verbindungskabel PM 071 142 X PM 071 142 X PM 071 142 X Heizmanschette f r HiPace 300 mit TC 110 230 V AC Schukostecker PM 061 363 T Heizmanschette f r HiPace 300 mit TC 110 208 V AC UL Stecker PM 061 364 T Heizmanschette f r
19. Gefahr eines Masseschlusses beim vorzeitigen Trennen von Pumpe und Antriebselektronik gt Antriebselektronik niemals bei bestehender Netzverbindung oder laufendem Rotor von der Pumpe trennen Betriebsparameter der Antriebselektronik Bei Ersatzlieferungen sind immer die werkseitigen Betriebsparameter voreingestellt gt Die Verwendung eines HPU bietet die M glichkeit einen vorhandenen Parameter satz zu sichern und wiederzuverwenden 3 Individuell ver nderte Anwendungsparameter neu einstellen gt Hierzu Betriebsanleitung Antriebselektronik beachten PFEIFFER E VACUUM 27 Wartung Austausch Abb 14 Montage Demontage der TC 110 8 Antriebselektronik 57 Innensechskantschraube gt Keine mechanische Belastung auf die Antriebselektronik aus ben gt Vakuumpumpe ausschalten auf Atmosph rendruck fluten und abk hlen lassen gt Pumpe und Antriebselektronik nur nach v lligem Stillstand und unterbrochener Ver sorgungsspannung trennen gt Vakuumpumpe ggf aus der Anlage ausbauen gt Innensechskantschrauben 4x aus der Antriebselektronik schrauben gt Antriebselektronik von der Pumpe abziehen gt Elektrostatisch gef hrdete Bauelemente nicht ber hren gt Neue Antriebselektronik an die Turbopumpe anschrauben und anschlie en Anziehdrehmoment 0 6 0 8 Nm Drehzahlvorgaben Die charakteristische Nenndrehzahl einer Turbopumpe ist werkseitig in der Antriebselek tronik eingestellt Nach
20. Luft Luft K hlart optional Wasser Wasser Wasser K hlwassertemperatur 15 35 C 15 35 C 15 35 C K hlwasserverbrauch 50 I h 50 I h 50 I h Zul ssige eingestrahlte W rmeleistung max 2 4 W 2 4 W 2 4 W Zul ssiges Magnetfeld max 5 5 mT 5 5 mT 5 5 mT Schnittstellen RS 485 Remote RS 485 Remote RS 485 Remote 36 PFEIFFER VACUUM Technische Daten und Ma bilder 13 3 Ma e HV Zn 100 ISO K 18 3 7 ES VV DN 16 ISO KF 163 100 56 HV DN 100 CF F VV DN 16 ISO KF Ai 144 100 HV DN 100 ISO F Abb 17 HiPace 300 Plus DN 100 ISO F PFEIFFER VACUUM 37 Unterschriften Konformit tserkl rung Hiermit erkl ren wir dass das unten aufgef hrte Produkt allen einschl gigen Bestim mungen folgender EG Richtlinien entspricht e Maschinen 2006 42 EG Anhang II Nr 1 A e Elektromagnetische Vertr glichkeit 2004 108 EG Bevollm chtigter f r die Zusammenstellung der technischen Unterlagen ist Herr Helmut Bernhardt Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Stra e 43 35614 AB lar HiPace 300 Plus Harmonisierte Normen und angewendete nationale Normen und Spezifikationen DIN EN ISO 12100 2011 03 DIN EN 1012 2 1996 DIN EN 61010 1 2011 Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Stra e 43 8 35614 Asslar Deutschland l N
21. Original PT 0224 BDE E 1307 AUS LEIDENSCHAFT F R PERFEKTION E HiPace 300 Plus gt d Turbopumpe m VACUUM Inhaltsverzeichnis Inhaltsverzeichnis 1 Zu dieser Anleitung HH 3 1 1 G ltigkeit 22H Home een nennen nen ernennen een 3 1 2 Konventionen 22 2 2oeeeen seen 3 2 Sicherheit NEE NS ahnen 5 2 1 Sicherheitsma nahmen 2 22 nsnenreen een een en 5 2 2 Schutzausr stung sensensa ll 6 2 3 Bestimmungsgem e Verwendung 7 2 4 Nicht bestimmungsgem e Verwendung 7 3 Transport und Lagerung 2222 nennen nenn nennen 8 3 1 Transport user ON ae ie Seege De ed ng re me he 8 3 2 Legermung soi un aaa une aa ee EE een ee nn 8 4 Broduktbeschreibung nennen nennen 9 4 1 Produktidentifikation naaa 9 4 2 F nktion aa ara area aaa ee dba 10 4 3 Einsatzbereich 11 5 Installation ne ea 12 5 1 Aufstellung 12 5 2 Vorbereitende Arbeiten 12 5 3 Montage 22Hn nee anne nennen een nen 12 5 4 Anschl sse an der Turbopumpe 2 222 n seen rene rennen 16 6 Betrieb 2 2 a a EELER EE 8 23 6 1 Inbetriebnahme sonne nen 23 6 2 B tebeatien Sieg Eege te azok barna RT anna ea 23 6 3 Funktionsbeschreibung zzz ll 23 6 4 berwachung des Betriebszustands 25 6 5 Ausschalten und Fluten 25 7 Wartung Austausch 26 7 1 Wartungsintervalle und zust ndigkeiten 22 222220r 2 26 7 2 Betrie
22. akuumerzeugung eingesetzt werden e Turbopumpe nur in Verbindung mit geeigneter Vorpumpe betreiben 2 4 Nicht bestimmungsgem e Verwendung Bei nicht bestimmungsgem em Einsatz erlischt jeglicher Haftungs und Gew hrleis tungsanspruch Als nicht bestimmungsgem e Verwendung gilt jeder Einsatz zu Zwe cken die von den oben genannten abweichen insbesondere e der Transport die Installation oder der Betrieb der Pumpe in ung ltiger Raumlage e das Pumpen von korrosiven oder explosiven Medien e das Pumpen von kondensierenden D mpfen e das Pumpen von Fl ssigkeiten e das Pumpen von St uben e der Betrieb mit unzul ssig hohem Gasdurchsatz e der Betrieb mit unzul ssig hohem Vorvakuumdruck e der Betrieb mit einer zu hohen eingestrahlten W rmeleistung e der Betrieb in unzul ssig hohen Magnetfeldern e der Betrieb im falschen Gasmodus e das Fluten mit unzul ssig hohen Flutraten e der Einsatz der Vakuumpumpe zur Druckerzeugung e der Einsatz der Ger te in Bereichen mit ionisierender Strahlung e der Betrieb in explosionsgef hrdeten Bereichen e der Einsatz der Ger te in Anlagen in denen sto artige Belastungen und Vibrationen oder periodische Kr fte auf die Ger te einwirken e die Verwendung von Zubeh r oder Ersatzteilen die nicht in dieser Anleitung genannt wurden warranty seal Verschlusssiegel Das Produkt ist ab Werk versiegelt Besch digung oder Entfernen eines Verschluss siegels f hrt zum Verlust der Gew hrlei
23. bei Wartungs und Instandsetzungsarbeiten oder bei Wiederinstallation der Pumpen tragen Verletzungsgefahr durch herabfallende Gegenst nde Beim Transport der Vakuumpumpen von Hand besteht Verletzungsgefahr durch ent gleitende und herabfallende Gewichte gt Kleine und mittlere Vakuumpumpen mit beiden H nden transportieren gt Vakuumpumpen gt 20 kg mit geeignetem Hebewerkzeug transportieren gt Sicherheitsschuhe mit Zehenschutz gem EN 347 tragen Verletzungsgefahr an hei en Oberfl chen Vakuumpumpen werden beim Betrieb hei gt Vor Wartungs und Instandhaltungsarbeiten Pumpe abk hlen lassen gt Ggf Schutzhandschuhe gem EN 420 tragen Verletzungsgefahr an scharfen Kanten Rotor und Statorscheiben von Turbopumpen besitzen sehr scharfe Kanten gt Vor allen Arbeiten v lligen Stillstand der Pumpe abwarten gt Nicht in den Hochvakuumflansch greifen gt Ggf Schutzhandschuhe gem EN 420 tragen 6 PFEIFFER E VACUUM Sicherheit 2 3 Bestimmungsgem e Verwendung T HINWEIS CE Konformit t Die Konformit tserkl rung des Herstellers erlischt wenn das Originalprodukt vom Be treiber ver ndert oder Zusatzeinrichtungen installiert werden gt Nach Einbau in eine Anlage ist der Betreiber verpflichtet vor der Inbetriebnahme die Konformit t des Gesamtsystems im Sinne der geltenden EU Richtlinien zu berpr fen und entsprechend neu zu bewerten e Die Vakuumpumpe darf nur zur V
24. bildet mit der Antriebselektronik TC 110 eine Einheit Zur Spannungsversorgung d rfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile verwendet werden z B TPS oder DCU K hlung Rotorlager Antrieb 10 PFEIFFER VACUUM Abb 2 Ansicht HiPace 300 Plus mit TC 110 4 8 Flutanschluss Vorvakuumflansch K hlwasseranschluss 17 Pumpengeh use Hochvakuum 14 Sperrgasanschluss 20 flansch 16 Antriebselektronik TC 110 e Konvektionsk hlung e Luftk hlung optional e Wasserk hlung optional Die Antriebselektronik regelt die Antriebsleistung bei bertemperaturen automatisch he runter Je nach Einsatzgebiet und Typ der HiPace stehen verschiedene K hlvarianten zur Auswahl Hybridgelagerte TurboDrag Pumpe e Hochvakuumseite verschlei freies Permanentmagnetlager e Vorvakuumseite Kugellager mit Keramikkugeln Antriebselektronik TC 110 4 3 Einsatzbereich Produktbeschreibung Die Pumpen HiPace 300 Plus sind unter folgenden Umgebungsbedingungen zu instal lieren und zu betreiben Aufstellungsort wettergesch tzt Innenr ume Zul Schutzart IP 54 Schutzklasse Umgebungstemperatur 5 C bis 30 C bei Konvektionsk hlung ohne Gasdurchsatz 5 C bis 35 C bei Luftk hlung 5 C bis 40 C bei Wasserk hlung Rel Luftfeuchte max 80 bei T lt 31 C bis max 50 bei T lt 40 C Luftdruck 750 hPa 1060 hPa Aufstellungsh he max 2000 m Verschmutzungsgrad 2 Zul
25. bsmittelspeicher ersetzen 26 7 3 Antriebselektronik austauschen 27 8 Aufberbetriebnahme nennen nn nn 29 8 1 Stillsetzen f r l ngere Zeit 29 8 2 Wiederinbetriebnahme 22uns seen eeee rennen een nen 29 8 3 ENISOTGUNG EE 29 9 St rungen SEENEN an a a anne 30 9 1 St rungsbehebung 22222 nseeneeen rennen nennen 30 10 Service ee SE a an a aaa 31 11 Ersatzteile HiPace 300 Plus 222snnnnnnnnnn nenn nn nn nn 32 12 Zubeh r u u 4 u u4s u E ANER ea aaa 33 13 Technische Daten und Ma bilder nn unnnennnnnn nenn 35 13 1 Me Gul 35 13 2 Technische Daten 36 13 3 Ma e zu da aan a aa aan 37 Konformit tserkl rung z22 nn onen anne 38 2 PFEIFFER VACUUM Zu deser Anleitung 1 Zu dieser Anleitung 1 1 G ltigkeit Mitgeltende Doku mente Diese Betriebsanleitung ist ein Kundendokument der Firma Pfeiffer Vacuum Die Be triebsanleitung beschreibt das benannte Produkt in seiner Funktion und vermittelt die wichtigsten Informationen f r den sicheren Gebrauch des Ger tes Die Beschreibung er folgt nach den geltenden EU Richtlinien Alle Angaben in dieser Betriebsanleitung be ziehen sich auf den aktuellen Entwicklungsstand des Produktes Die Dokumentation be h lt ihre G ltigkeit sofern kundenseitig keine Ver nderungen am Produkt vorgenommen werden Aktuelle Betriebsanleitungen sind auch ber www pfeiffer vacuum de verf gbar HiPace 300 Plus Betriebsan
26. e sicher ableiten gt Alle Sicherheitsempfehlungen des Gasherstellers beachten Abb 6 Vorpumpe anschlie en 20 Vorvakuumanschluss 20b Relaisbox 20 2 Spannring 20a Vorvakuumpumpe 20 1 Zentrierring HINWEIS Gestaltung des Vorvakuumanschlusses im Hinblick auf pl tzliches Verdrehen der Pumpe Bei der Befestigung von Hochvakuumflanschen in ISO KF oder ISO K Ausf hrung kann es trotz ordnungsgem er Installation zu einem Verdrehen im Falle eines pl tzlichen Blockierens des Rotors kommen gt Direkt an der Pumpe zu installierende Massen gering halten gt Ggf flexible Leitungselemente direkt an die Turbopumpe anschlie en gt Bei starren Rohrverbindungen Federungsk rper zur D mpfung von Vibrationen in die Verbindunggsleitung einbauen gt Vorvakuumleitung mit Kleinflansch Bauteilen oder Schlauchverschraubungen an schlie en Freien Querschnitt des Vorvakuumflansches nicht einengen gt Der elektrische Anschluss der Vorpumpe erfolgt ber eine Relaisbox gt Steuerleitung des Zubeh rs in einen freien Anschluss am Verbindungskabel oder Ad apter der Antriebselektronik stecken und festschrauben gt Einstellungen und Ansteuerung ber die Schnittstellen der Antriebselektronik vorneh men gt Netzversorgung f r die Relaisbox gem Betriebsanleitung des Zubeh rs herstellen Auf g ltige Versorgungsspannung der Vorpumpe achten Installation Luftk hlung Flutventil Turbopumpen mit Antriebselekt
27. einschalten gt Reset ber Pin 6 am Anschluss X3 gt Differenzierte Fehleranzeige ber DCU oder HPU m glich 5 Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen pr digen 30 PFEIFFER VACUUM Steht kein Pfeiffer Vacuum Bedienger t zur Verf gung bitte den Pfeiffer Vacuum Service verst n Service 10 Service Pfeiffer Vacuum bietet erstklassigen Service e Betriebsmittel und Lagerwechsel vor Ort durch unseren FieldService e Wartung Reparatur im nahegelegenen ServiceCenter oder ServicePoint e Schneller Ersatz durch neuwertige Austauschprodukte e Beratung ber die kosteng nstigste und schnellste L sung Ausf hrliche Informationen Adressen und Formulare unter www pfeiffer vacuum de Service Wartung und Reparatur im Pfeiffer Vacuum ServiceCenter F r eine schnelle und reibungslose Abwicklung sind folgende Schritte notwendig gt Service Anforderung und Erkl rung zur Kontaminierung herunterladen gt Service Anforderung ausf llen und per Fax oder Email an Ihre Pfeiffer Vacuum Service Adresse senden gt Best tigung der Service Anforderung von Pfeiffer Vacuum der Sendung beilegen gt Erkl rung zur Kontaminierung ausf llen und der Sendung beilegen Pflicht gt Alle Zubeh rteile demontieren gt Betriebsmittel ablassen gilt f r Turboumpen mit Saugleistung gt 800 l s gt Antriebselektronik an der Pumpe belassen gt Flansch ffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschlie en
28. er die Funktionen der Antriebselektronik freigeben gt Einstellungen sind ber den Anschluss RS 485 mit DCU HPU oder PC m glich Flutdrehzahl Abschalten des Pumpstands Netzausfall 50 der Nenndrehzahl Flutventil ffnet f r 3600 s 1 h Flutventil ffnet f r 3600 s 1 h Werkseinstellung Bei Netzwiederkehr wird der Flutvorgang abgebrochen Werkseinstellung Grunds tzliche Hinweise f r das schnelle Fluten Fluten eines Rezipienten in zwei Schritten Details zu individuellen L sungen bei Pfeiffer Vacuum erfragen gt Fluten mit einer Druckanstiegsgeschwindigkeit von max 15 hPa s f r 20 s Der Ventilquerschnitt f r die Flutrate von 15 hPa s muss auf die Gr e des Rezipi enten abgestimmt werden Bei kleinen Rezipienten das Pfeiffer Vacuum Flutventil verwenden gt Anschlie end mit einem zus tzlichen beliebig gro en Flutventil fluten PFEIFFER VACUUM 25 Wartung Austausch 7 Wartung Austausch Kontamination von Teilen und Betriebsmittel durch gepumpte Medien m glich Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitssch dlichen Stoffen gt Im Falle einer Kontamination entsprechende Sicherheitsvorkehrungen treffen um Gesundheitsgef hrdungen durch gef hrliche Substanzen zu verhindern gt Betreffende Teile vor der Ausf hrung von Wartungsarbeiten dekontaminieren HINWEIS Haftungsausschluss Pfeiffer Vacuum bernimmt keine Haftung f r Personen oder Sachsch den die auf grund u
29. g ausge stattet werden e Bei erh htem Vorvakuumdruck gt 0 1 hPa und oder Betrieb mit hohem Gasdurchsatz muss wahlweise Luft oder Wasserk hlung verwendet werden e Bei Umgebungstemperaturen gt 35 C generell Wasserk hlung verwenden K hlwasseranschluss Schwenkverschraubung mit Stecksystem Schlauchleitungen 8 mm Au endurchmesser 6 mm Innendurchmesser K hlwasserqualit t filtriert mechanisch rein optisch klar ohne Tr bung ohne Bodensatz chemisch neutral Gehalt Sauerstoff max 4 mg kg Gehalt Chlorid max 100 mg kg Wasserh rte max 10 dH 12 53 e 17 8 fH 178 ppm CaCOz Verbrauch Kaliumpermanganat max 10 mg kg Gehalt Kohlens ure max nicht nachweisbar Gehalt Ammoniak max nicht nachweisbar pH Wert 7 9 berdruck Vorlauf max 6000 hPa K hlwassertemperatur siehe Technische Daten K hlwasserverbrauch bei max Gasdurchsatz siehe Technische Daten 14c 14a 1 La gt 3 25 Abb 12 K hlwasser anschlie en 3 Pumpenurterteil 14 _Schwenkverschraubung 14c Schmutzf nger 3 25 Kunststoffblende 14a Vorlaufleitung 14e K hlwasserblock 3 28 Innensechskantschraube 14b R cklaufleitung 14f Innensechskantschraube gt Kunststoffblende mit Innensechskantschrauben aus dem Pumpenunterteil heraus schrauben und abnehmen gt K hlwasserblock von unten in die Aussparung des Pumpenunterteils einf gen und mit dem zu
30. geh rigen Befestigungsmaterial fixieren Anziehdrehmoment 2 5 Nm gt Schl uche f r K hlwasservor und r cklauf bis zum Anschlag in je einen der K hl wasseranschl sse stecken gt Empfehlung Schmutzf nger in die Vorlaufleitung einbauen gt Anziehdrehmoment der Schwenkverschraubung 3 3 5 Nm m 22 PFEIFFER VACUUM Betrieb 6 Betrieb 6 1 Inbetriebnahme Folgende wichtige Einstellungen sind werkseitig in der Antriebselektronik programmiert Parameter P 027 Gasmodus 0 schwere Gase Parameter P 700 berwachung max Hochlaufzeit 8 min Parameter P 701 Drehzahlschaltpunkt 80 der Nenndrehzahl Parameter P 707 Vorgabe Drehzahlstellbetrieb 65 der Nenndrehzahl Parameter P 708 Vorgabe Leistungsaufnahme 100 Parameter P 720 Flutdrehzahl verz gertes Fluten 50 der Nenndrehzahl Parameter P 721 Flutzeit 3600 s gt Bei Wasserk hlung K hlwasserzufluss ffnen und Durchfluss kontrollieren gt Bei Sperrgasversorgung Sperrgaszufuhr ffnen und Durchfluss kontrollieren gt Stromversorgung f r das Netzteil herstellen HINWEIS Gefahr der Zerst rung der Pumpe durch zu hohen Energieeintrag Die gleichzeitige Belastung durch hohe Antriebsleistung Gasdurchsatz Vorvakuum druck hohe W rmeeinstrahlung oder hohe magnetische Felder f hrt zu einer unkon trollierten Aufheizung des Rotors und m glicherweise zur Zerst rung der Pumpe gt Bei Kombination dieser Belastungen gelten reduzie
31. ieb ohne Bedieneinheit muss sich das entsprechende Verbindungskabel mit Br cken auf dem Anschluss X3 an der TC 110 befinden gt Stromversorgung mit Schalter S1 am Netzteil einschalten Nach Anlegen der Betriebsspannung f hrt die TC 110 einen Selbsttest zur berpr fung der Versorgungsspannung durch Nach erfolgreich abgeschlossenem Selbsttest der TC 110 wird die Turbopumpe und falls angeschlossen die Vorpumpe in Betrieb gesetzt Fernbedienung ist ber den 15 poligen D Sub Anschluss mit der Bezeichnung X3 an der Antriebselektronik m glich gt F r den Betrieb mit Fernbedienung folgende Dokumente beachten e Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 110 gt F r den Betrieb mit einem Pfeiffer Vacuum Anzeige und Bedienger t folgende Doku mente beachten e Betriebsanleitung DCU e Betriebsanleitung HPU e Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 110 gt Anzeige und Bedienger t mit dem Anschluss RS485 am Adapter oder Verbin dungskabel anschlie en gt Stromversorgung mit Schalter S1 am Netzteil oder am DCU 110 einschalten gt Einstellungen sind ber den Anschluss RS 485 mit DCU HPU oder PC m glich Einbindung und Betrieb von Pfeiffer Vacuum Turbopumpen in ein kundenseitiges Feld bussystem ist bei Antriebselektroniken mit entsprechendem Feldbuspanel m glich gt F r den Betrieb mit Feldbus folgende Dokumente beachten e Betriebsanleitung f r die Antriebselektronik mit entsprechendem Anschlusspanel
32. ient ausge heizt werden Das Verwenden einer Heizmanschette ist nur bei Pumpen mit Hochvaku umflansch in Edelstahlausf hrung zul ssig Die Heizdauer ist abh ngig vom Verschmut zungsgrad des Prozesses sowie dem zu erreichenden Enddruck und sollte mindestens 4 Stunden betragen HINWEIS Gef hrliche bertemperaturen Prozessbedingte hohe Temperaturen k nnen zu unzul ssigen bertemperaturen und somit zu Sch den an der Turbopumpe f hren gt Bei Einsatz einer Geh useheizung oder Betrieb mit beheizten Vakuumkammern ist unbedingt Wasserk hlung einzusetzen gt Keine zus tzliche Energie in die Pumpe einbringen siehe S 23 Kap 6 1 Verbrennungsgefahr Beim Ausheizen von Turbopumpe oder Rezipient entstehen hohe Temperaturen Da durch besteht Verbrennungsgefahr beim Ber hren hei er Teile auch noch nach dem Abschalten der Geh useheizung gt Heizmanschette Pumpengeh use und Rezipient m glichst bei der Installation ther misch isolieren gt Heizmanschette Pumpengeh use und Rezipient beim Ausheizen nicht ber hren e Bei Verwendung von Geh useheizung und Wasserk hlung darf die Temperatur am Anschlussflansch der Vakuumkammer 120 C nicht berschreiten e Die maximal zul ssige Rotortemperatur f r die Turbopumpe ist 90 C Bei prozessbe dingt auftretenden hohen Temperaturen darf die eingestrahlte W rmeleistung 3 W nicht berschreiten Ggf geeignete Abschirmbleche installieren Informationen auf Anfrage
33. itere Anschl sse mit entsprechenden Schutzdeckeln verschlie en gt Pumpe aufrecht auf den Gummif en abstellen gt Pumpe nur in Innenr umen bei Temperaturen von 25 C bis 55 C lagern gt In R umen mit feuchter oder aggressiver Atmosph re Pumpe zusammen mit einem Trockenmittel in einen Kunststoffbeutel luftdicht einschwei en 8 2 Wiederinbetriebnahme HINWEIS Wiederinbetriebnahme Die Gebrauchsf higkeit des Betriebsmittels der Turbopumpe betr gt ohne Betrieb max 4 Jahre Vor der Inbetriebnahme nach Stillsetzen f r 4 Jahre oder l nger folgende Ar beiten durchf hren gt Betriebsmittelspeicher austauschen gt Lagerwechsel vornehmen lassen gt Wartungshinweise beachten und Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen 8 3 Entsorgung gt Turbopumpe auf Verschmutzungen und Feuchtigkeit berpr fen gt Turbopumpe au en mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen gt Ggf Turbopumpe durch den Pfeiffer Vacuum Service komplett reinigen lassen gt Ggf Lagerwechsel durchf hren lassen Dabei die Gesamtlaufzeit beachten gt Betriebsmittelspeicher wechseln gt Installation und Inbetriebnahme gem Anleitung Produkte oder Teile davon mechanische und elektrische Komponenten Betriebsmittel usw k nnen Umweltbelastungen hervorrufen gt Stoffe gem den rtlich geltenden Bestimmungen sicher entsorgen PFEIFFERE VACUUM 29 St rungen 9 St rungen Falls St rungen an der Pum
34. legscheiben und Muttern verbin den und mit einem Drehmoment von 22 2 Nm umlaufend anziehen Im Anschluss das Drehmoment kontrollieren da durch das Flie en des Dichtungsmaterials ein Nachziehen der Schrauben erforderlich sein kann 5 4 Anschl sse an der Turbopumpe Antriebselektronik Netzteil anschlie en 16 PFEIFFER VACUUM Turbopumpen mit integrierter Antriebselektronik sind f r verschiedene Anwendungsbe reiche konzipert Daf r stehen verschiedene Anschlusspanel zur Auswahl e TC 110 in Standardausf hrung TC 110 PB f r Profibus Anbindung TC 110 E74 in Anlehnung an Semi E74 TC 110 DN f r DeviceNet Anbindung TC 110 RS mit Schnittstelle RS 485 Ausf hrliche Hinweise ber Funktion Konfiguration und Betrieb mit den Anschlusspanel befinden sich in der spezifischen Betriebsanleitung f r die betreffende Antriebselektro nik F r die Spannungsversorgung der Antriebselektronik TC 110 nur Original Netzteile ver wenden z B TPS 110 oder DCU 110 Verwendung anderer Netzteile nur in Absprache mit Pfeiffer Vacuum Verbindungskabel stehen aus dem Pfeiffer Vacuum Zubeh rpro gramm zur Verf gung Verbindungskabel Funktionen TC 110 TPS DCU 110 180 mit Br cken RS 485 Spannungsversorgung ber Netzteil Automatischer Hochlauf durch Br cken an Pin 2 5 7 Anschluss an Anzeige und Bedienger t ber RS 485 TC 110 TPS DCU 110 180 mit Zubeh rports RS 485 Spannungsversorgung ber Netzteil Anschluss vo
35. leitung Betriebsanleitung Antriebselektronik TC 110 PT 0204 BN Konformit tserkl rung Bestandteil dieser Anleitung auch verf gbar ber www pfeiffer vacuum de 1 2 Konventionen Sicherheitshinweise Sicherheitshinweise in Pfeiffer Vacuum Betriebsanleitungen sind ein Ergebnis aus durchgef hrten Risikobewertungen und Gefahrenanalysen und orientieren sich an inter nationalen Zertifizierungs Standards nach UL CSA ANSI Z 535 SEMI S1 ISO 3864 und DIN 4844 Im vorliegenden Dokument sind folgende Gefahrenstufen und Informati onshinweise ber cksichtigt GEFAHR Unmittelbar bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine unmittelbar bevorstehende Gefahr die zum Tod oder zu schweren Verletzungen f hrt M glicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr die zum Tod oder zu schweren Verletzungen f hren kann M glicherweise bevorstehende Gefahr Kennzeichnet eine bevorstehende Gefahr die zu leichten Verletzungen f hren kann HINWEIS Gebot oder Hinweis Aufforderung zu einer T tigkeit oder Information ber Eigenschaften deren Missach tung zu Sachsch den f hren kann PFEIFFER E VACUUM 3 A Zu deser Anleitung Piktogramme Anweisung im Text Verwendete Abk rzungen Verwendete Symbole PFEIFFER E VACUUM J Verbot einer Handlung oder T tigkeit im Zusammenhang mit einer Ge fahrenquelle deren Missachtung zu schwerwiegenden Unf llen f hren kann Warnung vor der
36. mit DN 100 ISO K inklusive Zentrier PM 016 366 T ring beschichtet Splitterschutz und Klammerschrauben Befestigungssatz f r HiPace 300 DN 100 ISO K inklusive Zentrierring PM 016 365 T beschichtet und Klammerschrauben Stiftschraubensatz f r Flansche mit Durchgangsbohrung DN 100 CF PM 016 734 T F Sechskantschraubensatz f r Flansche mit Durchgangsbohrung DN PM 016 690 T 100 CF F Stiftschraubensatz f r Flansche mit Gewindebohrung DN 100 CF F PMO16866 T PFEIFFER Zubeh r Benennung HiPace 300 Plus HiPace 300 Plus HiPace 300 Plus DN 100 ISO K DN 100 CF F DN 100 ISO F Befestigungssatz f r HiPace 300 und HiPace 400 DN 100 ISO F in PM 016 450 T klusive Zentrierring beschichtet Sechskantschrauben Befestigungssatz f r HiPace 300 400 DN 100 ISO F inklusive Zent PM 016 451 T rierring beschichtet Splitterschutz Sechskantschrauben Befestigungssatz f r HiPace 300 400 DN 100 ISO F inklusive Zent PM 016 452 T rierring beschichtet Schutzgitter Sechskantschrauben Befestigungssatz f r HiPace 300 und HiPace 400 DN 100 ISO F in PM 016 455 T klusive Zentrierring beschichtet Stiftschrauben Befestigungssatz f r HiPace 300 400 DN 100 ISO F inklusive Zent PM 016 456 T rierring beschichtet Splitterschutz Stiftschrauben Befestigungssatz f r HiPace 300 und HiPace 400 DN 100 ISO F in PM 016 457 T klusive Zentrierring beschichtet Schutzgitter Stiftschrauben
37. n Zubeh rger ten mit M8 Stecker Anschluss an Anzeige und Bedienger t ber RS 485 TC 110 TPS 110 180 Spannungsversorgung ber Netzteil mit Br cken Automatischer Hochlauf durch Br cken an Pin 2 5 7 TC 110 TPS 110 180 Spannungsversorgung ber Netzteil mit Br cken mit Zubeh rports e Automatischer Hochlauf durch Br cken an Pin 2 5 7 e Anschluss von Zubeh rger ten mit M8 Stecker Gefahr des elektrischen Schlags Bei Defekt k nnen die mit dem Netz verbundenen Teile unter Spannung stehen gt Den Netzanschluss immer frei zug ngig halten um die Verbindung jederzeit trennen zu k nnen Installation Zubeh ranschluss gt Auf die g ltige Versorgungsspannung der Turbopumpe achten es RS485 accessory optional optional ul a 9 Bau 1 DC out TPS DCU Te 110 Abb 4 Anschluss TC 110 an ein Netzteil mit Pfeiffer Vacuum Verbindungskabel gt Schalter ST am Netzteil ausschalten Stellung 0 gt Verbindungskabel mit dem 15 poligen Stecker in den Anschluss X3 an der Antrieb selektronik stecken und festschrauben gt Verbindungskabel mit dem Stecker in den Anschluss DC ouf am Netzteil stecken und Bajonettverriegelung schlie en Bei Verwendung eines Pfeiffer Vacuum Anzeige und Bedienger tes gt Anzeige und Bedienger t mit dem
38. nden o HINWEIS berpr fung des Sicherheitssystems gegen berdrehzahl Um die Funktion des integrierten Sicherheitssystems gegen berdrehzahl zu gew hr leisten muss die Pumpe mindestens einmal j hrlich aus dem Stillstand hochfahren gt Pumpe ausschalten und v lligen Stillstand Drehzahl 0 Hz abwarten gt Pumpe gem Anweisungen dieser Betriebsanleitung hochfahren Gefahr durch unsichere Elektroinstallation Der sichere Betrieb nach der Installation liegt in der Verantwortung des Betreibers gt Keine eigenm chtigen Umbauten oder Ver nderungen am Ger t vornehmen gt F r sichere Integration in einen Not Aus Sicherheitskreis sorgen gt Pfeiffer Vacuum f r spezielle Anforderungen konsultieren Gefahr durch fehlende Netztrenneinrichtung im Sinne SEMI S2 Pumpe und Antriebselektronik sind nicht mit einer Netztrenneinrichtung ausgestattet Installation einer betreiberseitigen Netztrenneinrichtung gem SEMI S2 gt Leistungsschalter mit einem Ausschaltverm gen von min 10 000 A vorsehen gt E E G Gefahr des elektrischen Schlags Bei Defekt k nnen die mit dem Netz verbundenen Teile unter Spannung stehen gt Den Netzanschluss immer frei zug ngig halten um die Verbindung jederzeit trennen zu k nnen e Kein K rperteil dem Vakuum aussetzen e Alle Sicherheits und Unfallverh tungsvorschriften beachten e Einhaltung aller Schutzma nahmen regelm ig berpr fen e Stromversorgung Die Strom
39. nsachgem ausgef hrter Wartung entstehen Der Haftungs und Gew hrleis tungsanspruch erlischt 7 1 Wartungsintervalle und zust ndigkeiten gt Turbopumpe au en mit fusselfreiem Tuch und wenig Industriealkohol reinigen 3 Betriebsmittelspeicher und Antriebselektronik selbst austauschen gt Betriebsmittelspeicher mindestens alle 4 Jahre wechseln gt Das Lager der Turbopumpe mindestens alle 4 Jahre wechseln Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen gt K rzere Wartungsintervalle bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen Mit Pfeiffer Vacuum Service abkl ren gt F r alle anderen Reinigungs Wartungs oder Instandsetzungsarbeiten an die zu st ndige Pfeiffer Vacuum Servicestelle wenden 7 2 Betriebsmittelspeicher ersetzen Beim Betriebsmittelspeicherwechsel der Turbopumpe m ssen keine Poroplast St be verwendet werden Vergiftungsgefahr durch Kontakt mit gesundheitssch dlichen Stoffen Der Betriebsmittelspeicher und Teile der Pumpe k nnen giftige Substanzen aus den ge pumpten Medien enthalten gt Betriebsmittelspeicher nach den geltenden Vorschriften entsorgen Sicherheitsda tenblatt auf Anfrage oder unter www pfeiffer vacuum de gt Gesundheitsgef hrdungen oder Umweltbelastungen bei Kontamination durch ent sprechende Sicherheitsvorkehrungen verhindern gt Betreffende Teile vor der Ausf hrung von Wartungsarbeiten dekontaminieren Betriebsmittelf llung Der Betriebsmittelspeicher ist au
40. pe auftreten finden Sie in der folgenden Tabelle m gliche Ursachen und Anleitungen zur St rungsbehebung 9 1 Problem Pumpe l uft nicht an keine der eingebau ten LEDs an der TC 110 leuchtet St rungsbehebung M gliche Ursachen Stromversorgung unterbrochen Behebung 5 Steckkontakte am Netzteil berpr fen 5 Zuleitungen des Netzteils berpr fen 5 Ausgangsspannung 24 V DC am Anschluss DC out des Netzteils berpr fen 5 Steckkontakte am Netzteil berpr fen Betriebsspannung inkorrekt 5 Korrekte Betriebsspannung anlegen 5 Typenschild beachten e Keine Betriebsspannung angelegt 5 Betriebsspannung anlegen e TC 110 defekt gt TC 110 austauschen gt Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen Pumpe l uft nicht an gr ne LED an der TC 110 blinkt Bei Betrieb ohne Bedieneinheit Pin 2 7 und 5 7 am Anschluss X3 nicht verbunden 5 Pin 2 7 und 5 7 am Anschluss X3 verbinden Bei Betrieb ber RS 485 Br cke an Pin 5 7 verhindert Stellbefehle 5 Br cke am Anschluss X3 entfernen Bei Betrieb ber RS 485 Parameter der Antriebselektronik nicht gesetzt gt Parameter P 010 und P 023 ber die Schnittstelle RS 485 auf ON setzen 5 Siehe hierzu Betriebsanleitung der Antriebse lektronik e Spannungsabfall im Kabel zu hoch 5 Geeignetes Kabel verwenden Pumpe erreicht nicht die Nenndrehzahl in nerhalb der vorgegebenen Anlaufzeit Vorvakuumdruck zu hoch g
41. r Antriebselektronik nicht vorkonfiguriert und muss ber deren Schnittstellen eingestellt werden Der zul ssige Anschlussdruck betr gt max 1500 hPa absolut e Bei Betrieb der Pumpe mit mehr als 50 des maximalen Gasdurchsatzes ist zur Ge w hrleistung der Rotork hlung Sperrgas zu verwenden e Die Durchflussmenge f r Sperrgas betr gt 12 5 15 0 sccm f r die HiPace 300 Plus Sperrgasversorgung ohne Steuerventil Abb 10 Sperrgasdrossel anschlie en 18 Dichtring 16 _Verschlussschraube 16b Sperrgasdrossel gt Schraube mit Dichtring aus dem Sperrgasanschluss herausschrauben gt Sperrgasdrossel mit Dichtring in den Sperrgasanschluss einschrauben Sperrgasversorgung mit Steuerventil Abb 11 Sperrgasventil anschlie en 18 Dichtring 16 _Verschlussschraube 16a Sperrgasventil gt Schraube mit Dichtring aus dem Sperrgasanschluss herausschrauben gt Sperrgasventil mit Dichtring in den Sperrgasanschluss einschrauben gt Steuerleitung des Zubeh rs in einen freien Anschluss am Verbindungskabel oder Ad apter der Antriebselektronik stecken und festschrauben PFEIFFER E VACUUM 21 Wasserk hlung gt Einstellungen und Ansteuerung ber die Schnittstellen der Antriebselektronik vorneh men gt Sperrgasversorgung z B Inertgas ber einen Anschlussadapter oder an der Ein lassseite G 1 8 des Steuerventils installieren Turbopumpen HiPace 300 Plus mit TC 110 k nnen optional mit Wasserk hlun
42. r Kreuz anziehen gt Anziehdrehmoment DN 100 5 12 22 2 Nm Stiftschraube und Gewindebohrung gt Darauf achten dass die Dichtfl chen nicht besch digt sind gt Flansche gem der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes verbinden gt Erforderliche Anzahl von 8 Stiftschrauben und Muttern verwenden gt Bei Flanschmaterial mit einer Festigkeit von 170 270 N mm die Stiftschraube 2 5 d in das Sackloch einschrauben gt Muttern in drei Schritten ber Kreuz anziehen gt Anziehdrehmoment DN 100 5 12 22 2 Nm Stiftschraube und Durchgangsbohrung gt Darauf achten dass die Dichtfl chen nicht besch digt sind gt Flansche gem der Abbildung mit den Bauteilen des Befestigungssatzes verbinden gt Erforderliche Anzahl von 8 Stiftschrauben und Muttern verwenden gt Muttern in drei Schritten ber Kreuz anziehen gt Anziehdrehmoment DN 100 5 12 22 2 Nm HINWEIS Erhaltung der Dichtf higkeit Folgende Hinweise beachten um die Dichtf higkeit zu erhalten gt Die Dichtung nur mit Handschuhen anfassen gt Auf unbesch digte Dichtlippen achten Die Verbindungsarten f r die Installation CF mit CF Flansch sind Sechskantschraube und Durchgangsbohrung Stiftschraube und Gewindebohrung sowie Stiftschraube und Durchgangsbohrung Folgende Elemente werden ben tigt e der g ltige Befestigungssatz aus dem Pfeiffer Vacuum Zubeh rprogramm e Eine Kupfer Dichtung e Schutzgitter oder Spli
43. ronik TC 110 24 VDC d rfen bis zu einer Umgebungs temperatur von 35 C mit Luftk hlung betrieben werden Abb 7 Luftk hlung anschlie en 3 Pumpenurterteil 3b Innensechskantschraube 3a Luftk hlung 3c Senkkopfschraube gt Pfeiffer Vacuum Luftk hlung mit zwei Schrauben an den vorgesehenen Bohrungen der Turbopumpe befestigen gt Steuerleitung des Zubeh rs in einen freien Anschluss am Verbindungskabel oder Ad apter der Antriebselektronik stecken und festschrauben gt Einstellungen und Ansteuerung ber die Schnittstellen der Antriebselektronik vorneh men Das Pfeiffer Vacuum Flutventil dient dem automatischen Fluten bei Abschaltung oder Stromausfall Der zul ssige Anschlussdruck betr gt max 1500 hPa absolut Abb 8 Flutventil anschlie en 18 Dichtring 17 Flutschraube 17a Flutventil gt Flutschraube mit Dichtring aus dem Flutanschluss herausdrehen gt Flutventil mit Dichtring einschrauben gt Steuerleitung des Zubeh rs in einen freien Anschluss am Verbindungskabel oder Ad apter der Antriebselektronik stecken und festschrauben gt Einstellungen und Ansteuerung ber die Schnittstellen der Antriebselektronik vorneh men gt Ggf Flutgasversorgung z B Inertgas an der Einlassseite G 1 8 des Magnetventils installieren PFEIFFERE VACUUM 19 Installation Heizmanschette 20 mm PFEIFFER VACUUM Um den Enddruck schneller zu erreichen k nnen Turbopumpe und Rezip
44. rte Grenzwerte gt Ggf R cksprache mit Pfeiffer Vacuum halten Gefahr der Zerst rung der Pumpe Das Pumpen von Gasen mit h heren Molek lmassen im falschen Gasmodus kann zur Zerst rung der Pumpe f hren gt Auf korrekt eingestellten Gasmodus achten gt Vor Einsatz von Gasen mit gr eren Molek lmassen gt 80 Pfeiffer Vacuum verst ndigen Q hod 6 2 Betriebsarten Folgende Betriebsarten sind m glich e Betrieb ohne Bedienger t e Betrieb ber Anschluss X3 e Betrieb ber RS 485 und Pfeiffer Vacuum Anzeige und Bedienger te oder PC e Betrieb ber Feldbus 6 3 Funktionsbeschreibung Gefahr durch offenen Hochvakuumflansch Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit hoher Geschwindigkeit Bei offenem Hochva kuumflansch besteht die Gefahr von Schnittverletzungen und durch hineinfallende Ge genst nde die Gefahr dass die Pumpe zerst rt wird gt Pumpe niemals mit offenem Hochvakuumflansch in Betrieb nehmen PFEIFFER E VACUUM 23 Betrieb Betrieb ohne Bedien ger t Automatischer Anlauf Nach berbr cken der Kontake Pin 2 5 7 am Anschluss X3 oder bei Verwendung eines Verbindungskabels mit Br cken und Anlegen der Versorgungsspannung l uft die Turbopumpe sofort hoch gt Netzversorgung an der Turbopumpe erst unmittelbar vor dem Betrieb einschalten Betrieb ber An schluss X3 Betrieb mit DCU oder HPU Betrieb mit Feldbus 24 PFEIFFER VACUUM gt F r den Betr
45. sreichend mit Betriebsmittel bef llt gt Kein zus tzliches Betriebsmittel einf llen gt Vakuumpumpe ausschalten auf Atmosph rendruck fluten und abk hlen lassen gt Vakuumpumpe ggf aus der Anlage ausbauen gt Flansch ffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschlie en gt Turbopumpe auf den verschlossenen Hochvakuumflansch stellen 26 PFEIFFER VACUUM Wartung Austausch Abb 13 Montage Demontage Betriebsmittelspeicher 6 Verschlussdeckel 15 Spritzmutter 73 O Ring 7 Betriebsmittelspeicher 55 Innensechskantschraube gt Innensechskantschrauben 3x aus dem Verschlussdeckel an der Unterseite der Tur bopumpe herausschrauben 3 Verschlussdeckel abnehmen Auf O Ring achten gt Remove the operating fluid reservoir out of the bearing cartridge gt Verunreinigungen von Turbopumpe und Verschlussdeckel mit einem sauberen fus selfreien Tuch entfernen Keine Reinigungsfl ssigkeiten verwenden gt Neuen Betriebsmittelspeicher mit der Filzseite in Richtung Spritzmutter in die Lager fassung der Turbopumpe einsetzen gt Der Betriebsmittelspeicher kann bei HiPace Turbopumpen bis zum Anschlag in die Lagerfassung eingesetzt werden gt Verschlussdeckel mit neuem O Ring einschrauben Anziehdrehmoment 2 5 Nm 7 3 Antriebselektronik austauschen HINWEIS Sch den an Pumpe und Antrieb Auch nach Abschalten der Netzversorgung liefert die nachlaufende Pumpe elektrische Energie Es besteht die
46. stung gt Produkt w hrend der Gew hrleistungszeit nicht ffnen gt Bei prozessbedingt k rzeren Wartungsintervallen Pfeiffer Vacuum Service verst n digen PFEIFFER E VACUUM PFEIFFER E VACUUM 7 Transport und Lagerung 3 Transport und Lagerung 3 1 Transport gt Transportbeh ltnis der Vakuumpumpen wiederverwenden Vakuumpumpen sollten in der Originalverpackung transportiert oder versendet werden gt Schutzdeckel von Hoch und Vorvakuumseite erst unmittelbar vor dem Anschluss ent fernen gt Original Schutzdeckel aufbewahren gt Turbopumpe immer aufrecht transportieren 3 2 Lagerung gt Flansch ffnungen mit den Original Schutzdeckeln verschlie en gt Weitere Anschl sse mit entsprechenden Schutzdeckeln verschlie en gt Pumpe nur in Innenr umen bei Temperaturen von 25 C bis 55 C lagern gt In R umen mit feuchter oder aggressiver Atmosph re Pumpe zusammen mit einem Trockenmittel in einen Kunststoffbeutel luftdicht einschwei en 8 PFEIFFER VACUUM Produktbeschreibung 4 Produktbeschreibung 4 1 Produktidentifikation Pumpentypen HiPace 3002 Plus Pumpenmerkmale Lieferumfang l Die Produktbezeichnung besteht aus einer Familienbezeichnung 1 der Gr e 2 die sich am Saugverm gen der Pumpe orientiert und gegebenenfalls aus zus tzlichen Ei genschaften 3 der Pumpe 1 Familienbezeichnung 2 Modellbezeichnung 3 Eigenschaftsbezeichnung HiPace 300
47. t Funktion und Eignung der Vorvakuumpumpe si cherstellen Leck 5 Lecksuche durchf hren gt Dichtungen und Flanschbefestigungen berpr fen 5 Undichtigkeiten beseitigen e Gasdurchsatz zu hoch 5 Prozessgaszufuhr reduzieren e Rotor schwerg ngig Lager defekt gt Lager auf Ger uschentwicklung pr fen gt Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen e Anlaufzeit zu niedrig eingestellt 5 Anlaufzeit ber DCU HPU oder PC verl ngern e Thermische berlastung mangelnde Bel ftung Wasserdurchfluss zu niedrig Vorvakuumdruck zu hoch zu hohe Umgebungstemperatur 5 Thermische Belastung reduzieren Luftzufuhr ausreichend gew hrleisten K hlwasserzufluss sicherstellen Vorvakuumdruck senken Umgebungsbedingungen anpassen Pumpe erreicht nicht den Enddruck Pumpe ist verschmutzt 5 Pumpe ausheizen gt Reinigung bei st rkerer Verschmutzung Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen Rezipient Leitungen oder Pumpe sind un dicht 5 Lecksuche vom Rezipient ausgehend 5 Undichtigkeiten beseitigen Ungew hnliche Betriebsger usche e Lagerschaden 5 Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen e Rotor besch digt gt Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen Splitterschutz oder Schutzgitter lose 5 Sitz des Splitterschutzes oder Schutzgitters kor rigieren gt Installationshinweise beachten Rote LED an der TC 110 leuchtet Sammelfehler gt Reset durch Netz aus
48. triebselektronik TC 110 siehe Typenschild abh ngig von der Ausf hrung 1 Beim Betriebsmittelspeicherwechsel der Turbopumpe m ssen keine Poroplast St be verwendet werden gt Die im Ersatzteilpaket vorhandenen Poroplastst be nicht verwenden Bei Zubeh r oder Ersatzteilbestellungen zus tzlich Modellnummer des Typenschildes verwenden PFEIFFER VACUUM Zubeh r 12 Zubeh r Benennung HiPace 300 Plus HiPace 300 Plus HiPace 300 Plus DN 100 ISO K DN 100 CF F DN 100 ISO F TPS 180 Netzteil f r Wand Normschienenmontage PM 061 341 T PM 061 341 T PM 061 341 T TPS 181 Netzteil 19 Teileinschub 3HE PM 061 345 T PM 061 345 T PM 061 345 T DCU 180 Display Control Unit mit Netzteil PM C01 821 PM C01 821 PM C01 821 DCU 002 Display Control Unit PM 061 348 T PM 061 348 T PM 061 348 T HPU 001 Handheld Programming Unit PM 051 510 T PM 051 510 T PM 051 510 T Zubeh rpaket f r HPU Netzteil Software und PC Kabel PM 061 005 T PM 061 005 T PM 061 005 T Netzkabel 230 V AC mit Schukostecker Euro Dose C13 gerade 3 m P 4564 309 ZA P 4564 309 ZA P 4564 309 ZA Netzkabel 115 V AC mit UL Stecker Euro Dose C13 gerade 3 m P 4564 309 ZE P 4564 309 ZE P 4564 309 ZE Netzkabel 208 V AC mit UL Stecker Euro Dose C13 gerade 3m P 4564 309 ZF P 4564 309 ZF P 4564 309 ZF TCS 12 Adapter f r T
49. tterschutz sind optional Sechskantschraube und Durchgangsbohrung gt Sofern verwendet Schutzgitter oder Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe einsetzen gt Die Dichtung genau in die Ausdrehung legen gt Die Flansche durch 16 Sechskantschrauben M8 mit Unterlegscheiben und Muttern verbinden und mit einem Drehmoment von 22 2 Nm umlaufend anziehen Im An schluss das Drehmoment kontrollieren da durch das Flie en des Dichtungsmaterials ein Nachziehen der Schrauben erforderlich sein kann PFEIFFER E VACUUM 15 Installation sA TE 8 Si N H N N DER Stiftschraube und Gewindebohrung gt Sofern verwendet Schutzgitter oder Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe einsetzen gt Die Dichtung genau in die Ausdrehung legen gt Die Flansche durch 16 Stiftschrauben M8 mit Unterlegscheiben und Muttern verbin den und mit einem Drehmoment von 22 2 Nm umlaufend anziehen Im Anschluss das Drehmoment kontrollieren da durch das Flie en des Dichtungsmaterials ein Nachziehen der Schrauben erforderlich sein kann Stiftschraube und Durchgangsbohrung gt Sofern verwendet Schutzgitter oder Splitterschutz mit den Klemmfahnen nach unten in den Hochvakuumflansch der Turbopumpe einsetzen gt Die Dichtung genau in die Ausdrehung legen gt Die Flansche durch 16 Stiftschrauben M8 mit Unter
50. ubeh r Pfeiffer Vacuum Pumpen k nnen mit einer Reihe von angepasstem Zubeh r ausgestat e p tet werden Installation Betrieb und Instandhaltung von Anschlussger ten sind detail u liert in Betriebsanleitungen der Einzelkomponenten beschrieben gt Informationen zu Bestellnummern von Komponenten siehe Kapitel Zubeh r gt Nur Originalzubeh r verwenden 5 1 Aufstellung Beim Aufstellen der Pumpe sind folgende Bedingungen zu beachten e die f r den Einsatzbereich genannten Umgebungsbedingungen e Bei Verwendung von Geh useheizung und Wasserk hlung darf die Temperatur am Anschlussflansch der Vakuumkammer 120 C nicht berschreiten e Die Bodenbefestigung der Pumpe ist nur nach R cksprache mit Pfeiffer Vacuum zu l ssig e Der Einsatz in Anlagen von denen sto artige Belastungen und Vibrationen oder pe riodische Kr fte auf die Ger te einwirken ist nicht zul ssig 5 2 Vorbereitende Arbeiten gt Ausreichende K hlung f r die Turbopumpe sicherstellen gt Bei Magnetfeldern gt 3 mT eine geeignete Abschirmung verwenden Aufstellungsort berpr fen und ggf R cksprache mit Pfeiffer Vacuum halten gt Die maximal zul ssige Rotortemperatur f r die Turbopumpe ist 90 C Bei prozessbe dingt auftretenden hohen Temperaturen darf die eingestrahlte W rmeleistung 3 W nicht berschreiten Ggf geeignete Abschirmbleche installieren Informationen auf Anfrage 5 3 Montage e Beim Montieren aller Hochvakuumteile f r
51. versorgung der Turbopumpe muss den Anforderungen f r doppelte Isolierung zwischen Netzeingangsspannung und Betriebsspannung nach IEC 61010 und IEC 60950 entsprechen Pfeiffer Vacuum empfiehlt hierf r aus schlie lich Original Netzteile und Zubeh r zu verwenden Nur in diesem Fall kann Pfeiffer Vacuum die Einhaltung der Vorgaben aus europ ischen und nordamerikani schen Richtlinien gew hrleisten PFEIFFER VACUUM 5 Sicherheit e Verbindung zum Schutzleiter PE wird empfohlen Schutzklasse III e W hrend des Betriebs Steckerverbindungen nicht l sen e Vor Arbeiten am Hochvakuumflansch Stillstand des Rotors abwarten e Leitungen und Kabel von hei en Oberfl chen gt 70 C fernhalten e Turbopumpe niemals mit Reinigungsmittel f llen oder betreiben e Turbopumpe nicht mit offenem Hochvakuumflansch betreiben e Pumpe nicht eigenm chtig umbauen oder ver ndern e Beim Einsenden der Turbopumpe Versandhinweise beachten 2 2 Schutzausr stung In bestimmten Situationen erfordert der Umgang mit Vakuumpumpen das Tragen von pers nlicher Schutzausr stung Betreiber bzw Arbeitgeber sind verpflichtet bedienen den Personen entsprechende Ausr stung zur Verf gung zu stellen Gesundheitsgefahr durch sch dliche Stoffe bei Wartung oder Installation Vakuumpumpen Komponenten und Betriebsmittel k nnen prozessbedingt durch toxi sche reaktive oder radioaktive Substanzen kontaminiert sein gt Geeignete Schutzausr stung
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