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Betriebsanleitung

1. Full Scale Wert wie folgt einstellen e Betriebsmodus Sensor Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey hest Parameter AFFR CHR erkannte lineare Messr hrentypen w hlen e mit Softkey ik oder Parameterwert lt H 1 mbar 1 mbar 1A mbar 1606 mbar 16GB mbar Standard 2 bar lt 35 bar 18 bar oder SE bar einstellen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren I HINWEIS Die Familie der linearen Messr hren wird mit AFR CHR angezeigt Parameter ist nicht f r alle Messr hrentypen verf gbar gt G ltigkeitstabelle B 84 Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert Bedienung 59 7 7 3 Offsetkorrektur Nullabgleich einstellen Offset Abbildung 51 Anzeige Sensor Parameter Offsetkorrektur ein ausschalten Nullpunktabgleich 60 PFEIFFER VACUUM Die Offsetkorrektur erlaubt den Nullabgleich von linearen Messr hren auf den aktuellen Messwert nicht korri giertes Ausgangssignal der Messr hre im Bereich 5 110 des eingestellten Full Scale Wertes Sie wirkt auf M die Anzeige M die Schaltfunktionen Schwellwert Anzeige D die Analogausg nge des Ger tes M die seriellen Schnittstellen e Betriebsmodus Sensor Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter ffset w hlen e mit Softkey ik oder Parameterwert on
2. 10 www bi balzers com library Betriebsanleitung Compact FullRangeTM Gauge PKR 250 BG 803 016 BD C Balzers Instruments FL 9496 Balzers Liechtenstein 11 www pfeiffer vacuum de Betriebsanleitung Compact FullRange CC Gauge PKR 251 BG 805 155 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland 12 www bi balzers com library Anhang Betriebsanleitung Compact FullRangeTM Gauge PKR 260 BG 803 017 BD A Balzers Instruments FL 9496 Balzers Liechtenstein BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 13 www pfeiffer vacuum de Betriebsanleitung Compact FullRangeTM CC Gauge PKR 261 BG 805 157 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland 14 www pfeiffer vacuum de Betriebsanleitung Compact Process lon Gauge IMR 260 BG 805 038 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland 15 www pfeiffer vacuum de Betriebsanleitung Compact lon Gauge IMR 265 BG 805 172 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland 16 www pfeiffer vacuum de Betriebsanleitung Compact FullRange BA Gauge PBR 260 BG 805 171 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland 17 Betriebsanleitung Compact Capacitance Gauge ACR 261 ACR 262 ACR 263 ACR 274 BG 803 011 BN B Balzers Instruments FL 9496 Balzers Liechtenstein 18 www pfeiffer vacuum de Betriebsanleitung Compact Capacitance Gauge CMR 261 CMR 262 CMR 263 CMR 264 CMR 271 CMR 272 CMR 273 CMR 274 CMR 275 BG 805 161
3. Messr hren Steuer Bei der Festlegung der Steuerungsoptionen ist zu m glichkeiten beachten Nur zugelassene Messr hren Steuerm glichkeiten sind w hlbar gt Tabelle Sensor Control B 69f Die Pirani und alle linearen Messr hren sind nach dem Einschalten des Ger tes immer eingeschaltet Hot Start bedeutet dass die Messr hre beim Ein schalten des Ger tes automatisch eingeschaltet wird Danach gelten die eingestellten Ausschaltbedingun gen gt B 73 Diese Betriebsart erm glicht das automatische Weitermessen nach einem Stromausfall Eine Messr hre kann nicht durch Hot Start ausge schaltet werden Eine Messr hre kann sich nicht selbst druckabh ngig einschalten Kaltkatoden Messr hren und lineare Messr hren f r den Full Scale Druckbereich gt 1000 mbar 1 bar k nnen nicht als steuernde Quellen eingesetzt werden Die 6 Ext Ctl Eing nge sind den sechs Messr hrenanschl ssen fest zugeordnet HINWEIS Parameter ist nicht f r alle Messr hrentypen verf gbar gt G ltigkeitstabelle B 84 68 Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Abbildung 59 Tabelle Sensor Control BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Gesteuerte Steuernde Quelle Messstelle TPR PKR IMR PBR Ma on 1 165 1 128 PBR IKR 1E 2 1E 3 1E 2 1E 5 1E 2 5E 10 oft 1E 2 1E 3 1E 2 1E 5 1E 2 5E 10 Gesteuerte l Steuernde Quelle Messstell
4. BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Bedienungselemente Modi 25 26 Abbildung 16 Betriebsmodi PFEIFFER VACUUM Measurement Mode O0 0O O O 6 6 T 6 Setpoint Mode y General Parameter Mode y Sensor Parameter Mode y Sensor Control Mode y Test Mode Bedienungselemente Modi BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 5 2 Betriebsmodi bersicht Measurement Setpoint General Parameter Sensor Parameter Sensor Control Test BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Im Betriebsmodus Measurement zeigt das MaxiGauge den Messwert einer Messr hre im Grossformat oder aller Messr hren im Kleinformat an gt B 28 B 40 Im Betriebsmodus Setpoint ordnen Sie einer Messstelle eine Schaltfunktion zu und definieren die Schwellwerte gt B 30 B 42 Im Betriebsmodus General Parameter definieren Sie die Systemparameter f r alle angeschlossenen Messr hren gemeinsam gt B 31 B 48 Im Betriebsmodus Sensor Parameter definieren Sie die f r jede Messr hre relevanten Parameter gt B 32 B 58 Im Betriebsmodus Sensor Control definieren Sie wie eine Messr hre ein und oder ausgeschaltet werden kann gt B 33 B 68 Der Betriebsmodus Test ist bestimmt f r Diagnose und Servicezwecke Fehlersuche am Ger t Hierf r sind Spezialkenntnisse erforderlich
5. berwachung wie folgt ein oder ausschalten e Betriebsmodus Setpoint w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter UR Control w hlen e mit Softkey oder F Parameterwert Ur berwachung aktiviert oder ff berwachung deaktiviert Standard w hlen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren I HINWEIS Parameter ist nicht f r alle Messr hrentypen verf gbar gt G ltigkeitstabelle B 84 I HINWEIS Kann der Druck im Rezipienten den Messbereich der Messr hre unterschreiten wird vorteilhafterweise off gew hlt I Hinweis Bei Einstellung Ur wird die Auswertung der Schalt funktion nach dem Einschalten der Messr hre sowie nach einer R ckkehr von einer Messbereichsunter schreitung w hrend ca 10 Sekunden unterdr ckt Die Schaltfunktion bleibt so lange in Stellung aus Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert Bedienung 47 PFEIFFER VACUUM 7 6 Betriebsmodus Im Betriebsmodus General Parameter definieren Sie General die Systemparameter f r alle angeschlossenen Mess Parameter r hren gemeinsam gt bersicht Betriebsmodus General Parameter B 31 Abbildung 39 Anzeige General Parameter 5 L E f I doet a F Return 7 6 1 Eingabesperre Die Parameter Eingabesperre verhindert unbeabsich de aktivieren tigte Eingaben und damit auch Fehlfunktionen Bei ein
6. e mit Softkey next Parameter Ear ir ath w hlen e mit Softkey amp oder F Parameterwert t f Balkenanzeige ausgeschaltet Sen Fande Balkenbereich Messbereich oder 1 Decade Balkenbereich Messwertexponent Standard w hlen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Bedienung 51 7 6 5 Standardwerte setzen Defan lt Abbildung 43 Anzeige General Parameter 52 PFEIFFER VACUUM S mtliche vom Anwender gesetzten ver nderten Parameter k nnen auf die Standardwerte Werks einstellungen zur ckgesetzt werden Inst eto Return Defaultwerte wie folgt setzen e Betriebsmodus General Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter Default set w hlen Die Softkeys 4 und F ndern in ein Symbol das auf gleichzeitiges Dr cken hindeutet set e Gileichzeitiges Dr cken dieser zwei Softkeys setzt alle Parameter auf die Standardwerte zur ck e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren N ACHTUNG Das Setzen der Standardwerte kann nicht r ckg ngig gemacht werden Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 7 6 6 Schnittstelle fest legen Inter face Abbildung 44 Anzeige Genera
7. Control w hlen e mit Softkey Parameterwert Sensor 1 w hlen Falls die gew hlte Messr hre nicht als steuernde Messstelle eingesetzt werden kann erscheint die Fehlermeldung rno Sensor Control e mit Softkey amp Parameterwerte Extern Manual oder lt Hotstart gt w hlen Nach Festlegung der steuernden Quellen lassen sich deren Schwellenwerte f r das Aus und Einschalten der gesteuerten Quelle festlegen Siehe die nachfolgenden Abschnitte Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 7 8 3 Steuerung durch Sensor 68 einstellen 7 8 4 Steuerung durch Extern einstellen Abbildung 61 Anzeige bei Control Extern PFEIFFER VACUUM Parameter wie folgt einstellen e Als steuernde Quelle Control Sensor 1 6 w hlen gt B 70 e mit Softkey next Parameter UM Threshold w hlen e mit Softkey amp oder Parameterwert h her oder tiefer stellen e mit Softkey next Parameter OFF Threshold w hlen e mit Softkey amp oder Parameterwert h her oder tiefer stellen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Eine minimale Hysterese von 10 bei den logarithmischen und 1 bei den linearen Messr hren wird automatisch eingehalten siehe auch Hinweise B 44 45 46 Die 6 Ext Ctl Eing nge sind den sechs Messr hren anschl ssen fest zugeordnet Falls die externe Steuerquelle 1ow wird schaltet
8. Offsetkorrektur aktiviert oder off Offsetkorrektur deaktiviert Standard w hlen der zuletzt gespei cherte Offsetwert wird rechts neben dem Parameter wert arp c ff angezeigt Mit der Offsetkorrektur lassen sich zwei verschiedene Aufgaben l sen Lineare Messr hren k nnen auf zwei Arten auf den Nullpunkt abgeglichen werden dabei muss der Druck tiefer sein als der Messbereich der Messr hre Nullpunktabgleich mit dem Nullabgleich Potentiometer direkt an der Messr hre gt 17 18 19 Korrektur der aktuellen Druckanzeige mit der Offsetfunktion des Messger ts Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Nullsetzen bei belie bigem Druck BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Vorgehen bei der zweiten Variante e bei einem Druck tiefer als der Messbereich Offset korrektur auf ar setzen e mit Softkey next den zuletzt gespeicherten Offset wert rechts neben dem Parameter a r w hlen die Anzeigen der Softkeys i und wechseln in Actual und Zero e mit Softkey Actual den aktuellen Messwert Null punktabweichung als neuen Offsetwert bernehmen Mit Softkey Zera kann der gespeicherte Offsetwert auf Null gesetzt werden e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Vorteil der zweiten Variante ist dass kein direkter Zugriff auf die Messr hre ben tigt wird Die Druckanzeige kann mit dem Messger t auch bei einem be
9. gt B 34 B 85 Bedienungselemente Modi 27 PFEIFFER VACUUM 5 2 1 Betriebsmodus Measurement Abbildung 17 Anzeige Single Anzeigen gew hlte Messstelle aus 1 6 Messstellenname 4 stellig frei definierbar gt B 67 Messwert oder Status gt B 35 Masseinheit gt B 49 Offsetkorrektur aktiviert gt B 60 Kalibrierfaktor 1 00 gt B 64 Bezeichnung der Schaltfunktion A F gt B 42 Steuernde Quelle aus 1 6 gt B 43 Balkenanzeige analoger Messwert Bargraph gt B51 Softkeys Tasten Sensor Messstellenwahl Messr hre einschalten Messr hre ausschalten I HINWEIS Parameter ist nicht f r alle Messr hrentypen verf gbar gt G ltigkeitstabelle B 84 28 Bedienungselemente Modi BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Abbildung 18 Anzeige All Anzeigen Softkeys Tasten BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 0 06 y sensor _ Senoff l Sinale alle Messstellen 1 6 Die gew hlte Messstelle ist invers dargestellt Messstellennamen 4 stellig frei definierbar gt B 67 Messwerte oder Status gt B 35 Masseinheit gt B 49 Kalibrierfaktor 1 00 gt B 64 Sensor 4 Degas aktiviert gt B 63 Sensor 5 Offsetkorrektur aktiviert gt B 60 Bezeichnung der Schaltfunktion A F gt 842 Steuernde Quelle aus 1 6 gt B 43 Sensor Messstellenwahl Sen an
10. wert wird so ge ndert dass er nachher der unteren bzw oberen Messbereichsgrenze entspricht Lagen beide Schwellwerte ausserhalb des Messbe reiches so werden sie sinngem ss unter Ber cksichti gung der minimalen Hysterese angepasst I HINWEIS Anzeigen f r logaritnmische Messr hren in Exponen tialdarstellung oder Gleitkommadarstellung und f r li neare Messr hren nur in Gleitkommadarstellung gt Anzeigeformate B 35 Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Abbildung 36 Schwellwerte einer Schaltfunktion Abbildung 37 Inverse Darstellung der eingeschalteten Schaltfunktion C3 seteoint low zetpoint hith BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Druck 7 SetPoint hish i i t R SetPoint low i T gt Zeit O2 x 5 E AM ke 6 0 Der set roint low definiert den Druck bei dem die Schaltfunktion bei fallendem Druck eingeschaltet wird Der set Foint hith definiert den Druck bei dem die Schaltfunktion bei steigendem Druck ausgeschaltet wird I HINWEIS Falls zuvor andere Messr hrentypen angeschlossen waren sind die Schwellwerte unter Umst nden automatisch angepasst worden Bedienung 45 7 5 4 Schaltfunktions 46 berwachung LF Control PFEIFFER VACUUM I HINWEIS Logarithmische Messr hren Die
11. 8 1 Personal 8 2 Reinigung ussere Reinigung Innere Reinigung BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 8 Wartung und Pflege F r die ussere Reinigung und Pflege des Ger tes sind keine besonderen Fachkenntnisse erforderlich Fachpersonal F r die innere Reinigung des Ger tes mit Druckluft ist eine Instruktion ber die Gefahren bei der Handhabung von Druckluft n tig F r die Reinigung und Handhabung der angeschlosse nen Messr hren gelten die besonderen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Besch digung gt entsprechende 1 19 Im Normalfall reicht ein leicht feuchtes Tuch Benutzen Sie auf keinen Fall aggressive oder scheuernde Reini gungsmittel Es darf kein Wasser in das Ger t gelangen Lassen Sie das Ger t vor der Wiederinbetriebnahme gut trocknen Bei stark staubiger Umgebung muss das Ger t perio disch innen entstaubt werden Blasen Sie den Staub mit trockener Druckluft durch die L ftungsschlitze vorsichtig weg A GEFAHR Unsachgem sse Handhabung von Druckluft kann ge f hrlich sein und Personen und Sachsch den bewir ken Tragen Sie eine Schutzbrille um Augenverletzun gen zu vermeiden Beachten Sie bei der Handhabung von Druckluft die einschl gigen Vorschriften Anforderungen an die Druckluft e lfrei trocken e frei von Partikeln gt 5 um e berdruck von 4 8 bar Wartung und Pflege 79 PFEIFFER VACUUM 8 3 Wartung Das Ger t
12. B 34 Anhang 85 Abbildung 70 Anzeige Test 86 Frosranm RAH EFROH EEFR M PFEIFFER VACUUM Der Testablauf ist wie folgt e Betriebsmodus Test w hlen sofern n tig gt B 39 e Mit Softkey next das gew nschte Testprogramm w hlen e Durch Antippen von Softkey Start wird das Pro gramm gestartet allenfalls mit Return beendet Bei Problemen wenden Sie sich an die Pfeiffer Vacuum Servicestelle da Eingriffe im Ger t Spezialkenntnisse erfordern und auch Gew hrleistungsanspr che aufheben k nnen Die erste Zeile Fro 1r am wird durch den Cursor nicht gew hlt Sie zeigt die aktuelle Firmware Software Version an Das letzte Zeichen stellt den Index dar oder A gt Diese Information ist immer n tzlich wenn Sie im St rungsfall mit Pfeiffer Vacuum Kontakt aufnehmen Test des Arbeitsspeichers Das Testprogramm l uft au tomatisch ab Anzeige lt busu gt Nach erfolgreichem Test erscheint Passed andernfalls error Im letzten Fall erscheint eine blinkende Fehlermeldung im mittleren Softkey Anzeigebalken Test des Programm und Parameterspeichers Das Testprogramm l uft automatisch ab Anzeige bu stu Nach erfolgreichem Test erscheint Fassed andern falls error Im letzten Fall erscheint eine blinkende Fehlermeldung im mittleren Softkey Anzeigebalken Zus tzlich wird die Checksumme angezeigt Anhang BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet D
13. e schaltet es in den Betriebsmodus Measurement auf die beim letztmaligen Ausschalten angew hlte Messstelle e passt es n tigenfalls die Parameter an falls zuvor andere Messr hren angeschlossen waren Abbildung 29 Anzeige nach Einschalten MaxiGauge Ger t ausschalten e Ger t mit dem Netzschalter oder zentral ber den geschalteten Netzverteiler bei Rackmontage ausschalten HINWEIS Warten Sie bis zum Wiedereinschalten mindestens 10 Sekunden damit das Ger t sich neu initialisieren kann 38 Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 7 3 Betriebsmodus Im bergeordneten Betriebsmodus Measurement w hlen gelangen Sie nach Bet tigung des Softkeys Mode auf eine Auswahl f r weitere Betriebsmodi W hlen Sie den gew nschten Betriebsmodus mit dem entsprechenden Softkey aus e Setpoint Betriebsmodus Setpoint e Gen Par Betriebsmodus General Parameter e Sen Par Betrieosmodus Sensor Parameter e Sen Ctri Betriebsmodus Sensor Control Abbildung 30 Betrieosmodus w hlen Den Betriebsmodus Test k nnen Sie nur w hlen wenn w hrend dem Einschalten des Ger tes ein beliebiger Softkey gedr ckt gehalten wurde e Test Betriebsmodus Test R ckkehr aus ande Wenn Sie sich in einem unteren Betriebsmodus befin ren Betriebsmodi den wechseln Sie mit dem Softkey Return wieder in den bergeordneten Betriebsmodus Measurement zur ck Falls Si
14. zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert HINWEIS Bei linearen Messr hren sind je nach Messbereich der Messr hre nicht alle Druckmasseinheiten __ w hlbar gt Tabelle B 36 Bedienung 49 7 6 3 Anzeigestellen bestimmen Di its Abbildung 41 Anzeige Betriebsmodus General Parameter 50 PFEIFFER VACUUM Um feinere Messwertschwankungen beobachten zu k nnen l sst sich die Anzeige von 2 auf 3 Anzeige stellen Digits erh hen Der Messwert wird so feiner aufgel st Nur wirksam bei logarithmischen Messr hren Anzahl Digits wie folgt bestimmen e Betriebsmodus General Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter Ti it w hlen e mit Softkey amp oder Parameterwert 3 oder 2 Standard w hlen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 7 6 4 Balkenanzeige ein Die Balkenanzeige erlaubt die rasche Einsch tzung der stellen Eardrakh Messwerte sowie die visuelle Erfassung von Druck n derungen Tendenz Abbildung 42 Anzeige General Parameter I LL mext 4 1 7 Returr Die Balkenanzeige wie folgt einstellen e Betriebsmodus General Parameter w hlen sofern n tig gt B 39
15. BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet An hang 91 92 19 PFEIFFER VACUUM www pfeiffer vacuum de Betriebsanleitung Compact Piezo Gauge APR 250 APR 260 APR 262 APR 265 APR 266 APR 267 BG 805 035 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland EU 20 www pfeiffer vacuum de Anhang Kommunikationsanleitung MaxiGauge BG 805 188 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Konformit tserkl rung Produkt Konformit tserkl rung im Sinne der aufgef hrten EU Richtlinien Unterschrift BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet TPG 256 A Totaldruck Mess und Steuerger t f r Kompakt Messr hren MaxiGauge Hiermit erkl ren wir dass das oben aufgef hrte Produkt den Bestimmungen der aufgef hrten EU Richtlinien ent spricht Angewendete Richtlinien harmonisierte Normen und angewendete nationale Normen in Sprachen und Spezifikationen 89 336 EWG 7 93 aan 73 23 EWG 7 93 anne 93 68 EWG TI ana EN 61010 1 EN 60950 1993 EN 50081 1 1992 nenn EN 50082 2 1995 Asslar 8 Juli 1999 et Wolfgang Dondorf Gesch ftsf hrer 93 94 PFEIFFER BG 805 186 BD 9907 VACUUM MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 95 PFEIFFER VACUUM Pfeiffer Vacuum GmbH Emmeliusstrasse 33 D 35614 Asslar Deutschland Tel 4
16. Plexiglas St nder gt Zubeh r B 82 l sst es sich auch als Tischger t verwenden A ACHTUNG Beachten Sie das Kapitel Technische Daten bez g lich der zugelassenen Umgebungstemperatur Schutz art und Spannungen Inbetriebnahme 17 4 3 Netzanschluss 18 PFEIFFER VACUUM Vor dem Einschalten ist sicherzustellen dass die Be triebsspannung des Ger tes mit der rtlichen Netzspan nung bereinstimmt Sie finden die Angaben auf dem Typenschild auf der Ger ter ckseite Als Netzkabel ist ausschliesslich ein dreipoliges Kabel mit Schutzleiter zul ssig Der Netzstecker darf nur in eine Steckdose mit Schutzleiter eingesteckt werden Die Schutzwirkung darf nicht durch eine Verl ngerungslei tung ohne Schutzleiter aufgehoben werden Wird das Ger t in ein Rack eingebaut so muss die Netzspannung ber einen geschalteten Netzverteiler zugef hrt werden Inbetriebnahme BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Notizen BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Inbetriebnahme 19 Abbildung 9 Anschluss Messr hre sensor Abbildung 10 Anschluss Controlstecker control 20 Steckerbelegung 1 Identifikation 2 GND 3 Messsignal 4 Messsignal 5 Schirm 6 Vcc Steckerbelegung k Analog Output Sensor 1 Analog Output Sensor 2 Analog Output Sensor 3 Analog Output Sensor 4 Analog Output Sensor 5 Analog Output Sensor 6 GND GND GND Extern Control Sensor 1 Extern Control Sensor 2 Extern C
17. e w hlen e mit Softkey 4 oder Parameterwert 36 Baud 12E16 Baud 2406 Baud 48566 Baud 3666 Baud Standard oder 19266 Baud w hlen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert Weitere Angaben gt EI 20 54 Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 7 6 8 Knotenpunkt einstellen Address Abbildung 46 Anzeige General Parameter BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Die Schnittstelle RS485 erm glicht den Aufbau eines Netzes mit maximal 32 Anzeigeeinheiten pro Schnittstelle Der Knotenpunkt die Ger teadresse l sst sich dementsprechend zwischen 0 und 31 einstellen Knotenpunkt wie folgt einstellen e Betriebsmodus General Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter Address w hlen e mit Softkey 4 oder F Parameterwert Ei 31 Knotenpunkt w hlen 0 Standard e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren I HINWEIS Parameter ist nur bei Schnittstelle RS485 verf gbar Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert Weitere Angaben II 20 Bedienung 55 7 6 9 Dunkelschaltung einstellen Scgreensaue Abbildung 47 Anzeige General Parameter 56 PFEIFFER VACUUM Zur Schonung der GFL Lampe Halbwertzeit der Leucht kraft ca 2000
18. erfordert nebst den oben beschriebenen Rei nigungsarbeiten keine speziellen Wartungsarbeiten Zur Wartung der Messr hren beachten Sie bitte die entspre chenden Dokumente gt 1 19 80 Wartung und Pflege BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 9 Zubeh r und Ersatzteile Messkabel Kabel Einzelteile Abbildung 68 Kabel Einzelteile Rack Einbauteile BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Bestellen Sie Zubeh r und Ersatzteile immer mit e allen Angaben gem ss Typenschild e Beschreibung und Bestellnummer gem ss Liste Bestellnummer Messkabel zur Messr hre 3 Meter kpl PT 448 250 T 6 Meter kpl PT 448 251 T 10 Meter kpl PT 448 252 T Weitere L ngen auf Anfrage Bestellnummer Pos 1 Kabel 5 polig plus Abschirmung 0 25 mm Leiter B 4590 198 BD Kabel 5 polig plus Abschirmung 0 34 mm Leiter B 4590 198 CD Pos 6 Leitungsdose Hirschmann GO 6 WF 6 polig abgewinkelt Buchsen B 4707 283 MA Pos 7 Stecker Amphenol C91B 6 polig Stifte B 4722 126 CC Pos 8 Crimpkontakt B 4722 841 CA 6 St ck werden ben tigt Pos 6 Pos 7 8 Pos 1 in gan gan gt Bestellnummer Rack Blindplatte 19 2 HE Ve Rack PT 441 481 Verbindungslasche MaxiGauge M Blindplatte PT 441 480 T Adapter f r 19 3 HE 63 TE Rack PT 441 248 X Zubeh r und Ersatzteile 81 PFEIFFER VACUUM Weitere Artikel Bestellnummer Plexiglas St nder f r Tischger t PT 441 483 IF
19. key lock geschalteter Parameter Eingabesperre kann nur der entsprechende Parameter Keu4 Loc k ver ndert und damit die Eingabesperre wieder aufgehoben werden Die Eingabesperre wie folgt de aktivieren e Betriebsmodus General Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter lt keu lock gt w hlen e mit Softkey 4 oder Parameterwert r Eingabesperre aktiviert oder f f Eingabesperre deaktiviert Standard w hlen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren I HINWEIS Dr cken Sie bei aktivierter Eingabesperre einen Softkey um einen anderen Parameter zu ndern erscheint anstelle der Softkeybezeichnung kurz die Anzeige lt locked Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert 48 Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 7 6 2 Druckmasseinheit w hlen Unit Abbildung 40 Anzeige General Parameter BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Das Ger t kann Messwerte in den folgenden Druck masseinheiten anzeigen millibar bar Torr und Pascal Key lock off efault seh Contrast i Oooo Insel a O FO Druckmasseinheit wie folgt w hlen e Betriebsmodus General Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter Urii t w hlen e mit Softkey ik oder Parameterwert Torr Fa oder mbar Standard w hlen e mit Softkey Return
20. 0 Stunden l sst sich die Hintergrund beleuchtung der LCD Anzeige nach einer Zeit von 1 99 Stunden automatisch ausschalten Die LCD Anzeige selbst bleibt aber eingeschaltet NT 5 I net Dunkelschaltung wie folgt einstellen e Betriebsmodus General Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter Screensave w hlen e mit Softkey ik oder Parameterwert ff oder 1 33 Anzahl Stunden wonach die Hintergrund beleuchtung nach letzten Tastendruck ausschaltet w hlen Off keine Ausschaltung Standard e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren I HINWEIS Eine ausgeschaltete Hintergrundbeleuchtung kann durch Antippen eines beliebigen Softkeys wieder aktiviert werden Die Steuer oder Wahlfunktion dieses Softkeys bleibt f r diesen Zweck unwirksam Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 7 6 10 Kontrast einstellen Contrast Abbildung 48 Anzeige General Parameter BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Mit diesem Parameter stellen Sie den Kontrast der LCD Anzeige in einem Bereich von 0 20 entsprechend den Bed rfnissen des Anwenders ein Die Einstellung h ngt von den Umgebungsbedingungen und dem vertikalen Sichtwinkel ab Tecac t Te t I Inst a T M Return Kontrast wie folgt einstellen e Betriebsmodus Genera
21. 256 A d rfen nur durch Personen die die geeignete technische Ausbildung besitzen und ber die n tigen Erfahrungen verf gen ausgef hrt werden Es werden die nebenstehenden Darstellungen mit er l uterndem Text verwendet um gezielt auf Restgefahren beim bestimmungsgem ssen Gebrauch aufmerksam zu machen und wichtige technische Erfordernisse zu beto nen e Einbau und Instandsetzungsarbeiten sind nur unter Einhaltung aller einschl gigen Sicherheitsvorschriften zul ssig Pfeiffer Vacuum bernimmt keine Verantwortung und Gew hrleistung und wird sich von Haftpflichtanspr chen entsprechend entlasten falls der Betreiber oder Drittpersonen e das Produkt nicht bestimmungsgem ss einsetzen e die Technischen Daten missachten e am Produkt Eingriffe jeglicher Art Umbauten nde rungen usw vornehmen e das Produkt mit Zubeh r betreiben welches in den zugeh rigen Produktdokumentationen nicht aufge f hrt ist Sicherheit 15 PFEIFFER VACUUM Abbildung 7 e Aufstellung als Tischger t gt Als Tischger t ist eine gute Durchl ftung sicherzustellen Dazu ist ein Plexiglas St nder als Zubeh r erh ltlich gt Zubeh r B 82 Abbildung 8 Verwenden Anschlusskabel Sie ein An schlusskabel mit Schutz leiter A ACHTUNG Wenn anzunehmen ist dass ein gefahrloser Betrieb beispielsweise aus den nachstehenden Gr nden nicht mehr m glich ist so ist das Ger t ausser Betrieb zu setzen und gegen un
22. 256 Interface RS 485 422 Nachr stsatz PT 441 240 T RI 256 Relay Interface PT 441 490 T GS 250 Compact Gauge Simulator PT 583 066 T Abbildung 69 Plexiglas St nder 4 82 Zubeh r und Ersatzteile BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 10 Entsorgung Die Entsorgung des Ger tes ist Sache des Betreibers Er muss das Ger t entweder e frankiert an eine Pfeiffer Vacuum Servicestelle zur Entsorgung einsenden e einem konzessionierten privaten oder ffentlichen Sammelunternehmen bergeben e oder dessen Bestandteile selbst fachgerecht wieder verwerten oder vorschriftsgem ss beseitigen Bei Selbstentsorgung sind die Entsorgungsvorschriften l nderspezifisch geregelt in der EU durch EG Richtlinie 75 442 EWNG und in entsprechenden Gesetzen und Verordnungen festgehalten Diese Verhaltensregeln sind bei den zust ndigen Beh rden einzuholen In diesem Sinne sind Abf lle zu verwerten oder zu be seitigen e ohne die menschliche Gesundheit zu gef hrden e ohne Verfahren oder Methoden zu verwenden die die Umwelt insbesondere Wasser Luft Boden Tier und Pflanzenwelt sch digen e ohne dass Ger usch oder Geruchsbel stigungen entstehen e ohne die Umgebung oder das Landschaftsbild zu be eintr chtigen EN N N N A GEFAHR a N Bei Selbstentsorgung beachten Die elektronischen Bauteile im Ger t f hren teilweise Netzspannung Vor dem Offnen des Ger tes den Netzstecker ziehen Elektrisierungsge
23. 2C TXD RS232C nicht belegt Signal Ground RX RS422 RX RS422 TX RS422 TX RS422 oONDUVIPRW Steckerbelegung 1 TX 2 TX RX nicht belegt nicht belegt RX nicht belegt Isolation ground oONDOIPRW Steckerbelegung 6 5 Relay A De 101 9 Relay B u II 12 Relay C 4 O 18 17 Relay D ja NG 21 TT Relay E 19 24 23 Relay F p 14 15 Error Relay a 25 24 V max 200 mA 1 7 GND Chassis Inbetriebnahme PFEIFFER VACUUM D Sub 9 polig Stifte 1 5 o nz 70 6 9 Ansicht Steckseite RJ45 8 polig mu 8 1 Ansicht Steckseite D Sub 25 polig Buchsen 13 boooo00000006 Or 25 14 Ansicht Steckseite BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 4 6 Anschluss Schnitt stelle RS 232 422 4 7 Anschluss Schnitt stelle RS 485 422 isol 4 8 Anschluss Schalt kontakte relay BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Schliessen Sie die serielle Schnittstelle mit einem abge schirmten Verbindungskabel EMV Vertr glichkeit am Anschluss RS 232 422 auf der Ger ter ckseite an Schliessen Sie die serielle Schnittstelle mit einem abge schirmten Verbindungskabel EMV Vertr glichkeit am Anschluss RS 485 422 isol auf der Ger ter ckseite an Die beiden Stecker sind 1 1 verbunden Dadurch l sst sich das Max
24. 5 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 7 8 6 Steuerung durch Die gesteuerte Messstelle wird beim Einschalten des Hatstart Ger tes automatisch eingeschaltet und beim Ausschal einstellen ten des Ger tes ausgeschaltet Sie kann sich bei Druck anstieg auch selbst ausschalten Selbst berwachung Abbildung 63 Anzeige bei Hat st art Sensor next 4 7 Return Parameter wie folgt einstellen e Als steuernde Quelle Control Hotstarto w hlen gt B 70 e mit Softkey next Parameter FF w hlen e mit Softkey ik oder Parameterwert Fower off Quelle schaltet aus beim Ausschalten des Ger tes oder e1 fcontrol Selbst berwachung einstellen Bei Selbst berwachung erscheint eine vierte Parameterzeile FF Threshold Den Schwellenwert wie folgt einstellen e mit Softkey next Parameter 0FF Threshold w hlen e mit Softkey amp oder Parameterwert h her oder tiefer stellen e mit Softkey Return zum Betrieosmodus Measurement zur ckkehren BG 805 186BD 9907 MaxiGauge bet Bedienu ng 73 PFEIFFER VACUUM 7 9 Statusmeldungen Statusmeldungen zeigen den Systemzustand an kein fehlerhafter Zustand Falls die Anzeige anstelle des Messwertes andere Meldungen Statusmeldungen anzeigt wird das Messsignal nicht richtig empfangen Abbildung 64 Statusmeldungen im Betriebs modus Measurement Statusmeldung Vorgehen bei Statusmeldungen e Ursa
25. 7 HINWEIS Parameter ist nicht f r alle Messr hrentypen verf gbar gt G ltigkeitstabelle B 84 e Mit dem Softkey Sin 1e Al1 zwischen Einzel messwertanzeige oder Gesamtanzeige alle sechs Werte gleichzeitig w hlen gt B 40 HINWEIS Anstelle des Messwertes k nnen auch Status oder Fehlermeldungen angezeigt werden Nach Behebung der Ursache zeigt das Ger t automatisch wieder den Messwert an gt Statusmeldungen B 74 Fehlermeldungen B 76 Bedienung 41 7 5 Betriebsmodus Setpoint Abbildung 33 Anzeige Setpoint 7 5 1 Schaltfunktion w hlen Fel au 42 PFEIFFER VACUUM Im Betriebsmodus Setpoint ordnen Sie einer Schaltfunktion eine steuernde Quelle zu und definieren den oberen und unteren Schwellwert Zudem w hlen Sie das Verhalten der Schaltfunktion bei Messbereichsun terschreitung gt bersicht Betriebsmodus Setpoint B 30 mbar mbar Die Schaltfunktion erscheint links auf der Anzeige als Grossbuchstabe Eine andere Schaltfunktion wie folgt w hlen e Mit Softkey Fel ati die gew nschte Schaltfunktion A F w hlen Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 7 5 2 Messstelle zu ordnen Control Sensor Abbildung 34 Anzeige Setpoint Anzeige Measurement BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Die Zuordnung der Messstelle zu der Schaltfunktion ist a
26. 9 0 6441 802 0 Fax 49 0 6441 802 202 info pfeiffer vacuum de www pfeiffer vacuum de
27. BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Der Name der Messstelle erscheint in der Anzeige standardm ssig als CH 1 CH 2 CH 6 CH Channel Es ist m glich diese 4 Zeichen frei mit Buchstaben Zahlen oder Leerzeichen zu belegen Dies kann sinnvoll sein z B in einer Anlage zur Unterscheidung von Messr hren in Baugruppen oder f r bestimmte Funktionsbezeichnungen Name wie folgt definieren e Betriebsmodus Sensor Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter Mame w hlen der Cursor springt automatisch auf das erste Zeichen e mit Softkey 4 oder Parameterwert FH Z Standard C 6 3 erstes Zeichen des Namens w hlen e mit Softkey met das n chste Zeichen w hlen e mit Softkey 4 oder Parameterwert FH Z Standard H El 3 lt Zweites Zeichen des Namens w hlen e Wie beschrieben das dritte Standard Leerzeichen und vierte Standard Zahl 1 6 Zeichen w hlen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert Bedienung 67 PFEIFFER VACUUM 7 8 Betriebsmodus Im Betriebsmodus Sensor Control definieren Sie Sensor Control wie Kaltkatoden FullRange und Heissionisations messr hren durch andere Messr hren oder Steuerquellen ein und ausgeschaltet werden gt bersicht Betriebsmodus Sensor Control B 33
28. Betriebsanleitung inkl Konformit tserkl rung P F E l F F E R TPG 256 A Totaldruck Mess und Steuerger t f r Kompakt Messr hren MaxiGauge TM VACUUM BG 805 186 BD 9907 Ce G ltigkeit Firmwareversion Warenzeichen PFEIFFER VACUUM Die vorliegende Dokumentation ist g ltig f r Produkte mit den Artikelnummern e PTG28760 mit seriellen Schnittstellen RS232C und RS422 e PTG28761 mit seriellen Schnittstellen RS232C RS422 RS485 adressierbar isoliert und RS422 isoliert Sie finden die Artikelnummer auf dem Typenschild auf der Ger ter ckseite wo auch die Anschl sse der Schnittstellen ersichtlich sind gt B 12 Diese Dokumentation basiert auf der Firmwareversion e BG 509 730 F Falls das Ger t nicht wie beschrieben funktioniert pr fen Sie ob ihr Ger t mit dieser Firmwareversion ausgestattet ist gt B 86 Tragen Sie die Firmwareversionsnummer Ihres Ger tes hier ein SBG en er MaxiGaugeTM Balzers AG FullRange Balzers AG Technische nderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Inhaltsverzeichnis G ltigkeit Firmwareversion Warenzeichen 1 Bestimmungsgem sse Verwendung 2 Technische Daten 3 Sicherheit 4 Inbetriebnahme 4 1 Personal 4 2 Aufstellen Montage 4 3 Netzanschluss 4 4 Anschluss der Messr hre sensor 4 5 Anschluss Controlstecker control 4 6 Anschlu
29. Betriebssystemfehler Quittieren Stack overflow Error gt B76 Fehler des RAM Quittieren Arbeitsspeicher gt B76 Fehler des EPROM Quittieren Programmspeicher gt B76 Fehler des EEPROM Quittieren Parameterspeicher gt B76 Fehler Anzeige RAM Quittieren Displayspeicher gt B 76 Fehler Softkey Quittieren gt 38 76 Leitungsbruch zur an gezeigten Messr hre kabel berpr fen oder betreffendes Ver Quittieren bindungskabel w hrend _ amp 76 Betrieb ausgezogen Verbindungs Falls die Ursache nicht behoben wurde erscheint die Statusmeldung no Sensor BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Bedienung 77 78 PFEIFFER VACUUM M gliche Ursache Behebun Messr hrenfehler berpr fen der Situation gem ss nachfolgenden Beispielen Quittieren gt B76 Pirani Speisung fehlt Speisung Kabel pr fen Messelement defekt Messr hre war ten austauschen FullRange Gauge Speisung fehlt Speisung Kabel pr fen Pirani Messelement Messr hre war defekt ten austauschen Kaltkatoden Messr hre Speisung fehlt Speisung Kabel r fen Lineare Messr hre Speisung fehlt Speisung Kabel r fen Heissionisations Messr hre Speisung fehlt Speisung Kabel pr fen Gleichzeitig erscheint die Statusmeldung Sensor error 1 im unteren Fehlerbereich oder Sensor error 2 im oberen Fehlerbereich gt B 74 Bedienu ng BG 805 186BD 9907 MaxiGauge bet
30. Gauge bet am 2 3 4 c 5 6 Anhang PFEIFFER VACUUM www bi balzers com library Betriebsanleitung Compact Pirani Gauge TPR 250 BG 803 005 BD D Balzers Instruments FL 9496 Balzers Liechtenstein www bi balzers com library Betriebsanleitung Compact Pirani Gauge TPR 260 261 BG 803 015 BD A Balzers Instruments FL 9496 Balzers Liechtenstein www pfeiffer vacuum de Betriebsanleitung Compact Pirani Gauge TPR 261 BG 805 175 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland www pfeiffer vacuum de Betriebsanleitung Compact Pirani Gauge TPR 265 BG 805 174 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland www bi balzers com library Betriebsanleitung Compact Cold Cathode Gauge IKR 250 BG 803 006 BD E Balzers Instruments FL 9496 Balzers Liechtenstein www pfeiffer vacuum de Betriebsanleitung Compact Cold Cathode Gauge IKR 251 BG 803 151 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland 89 7 8 9 PFEIFFER VACUUM www bi balzers com library Betriebsanleitung Compact Cold Cathode Gauge IKR 260 BG 803 007 BD E Balzers Instruments FL 9496 Balzers Liechtenstein www pfeiffer vacuum de Betriebsanleitung Compact Cold Cathode Gauge IKR 261 BG 805 153 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland www pfeiffer vacuum de Betriebsanleitung Compact Cold Cathode Gauge IKR 270 BG 805 008 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland
31. H he Frontplatte 88 mm 2 HE E Einbautiefe 228 5 mm F Einbaubreite 207 mm G Einbauh he 88 mm 2 HE Pfeiffer Vacuum D 35614 Asslar Typi ee NG ea S A FNO Goarnet maV ann VA Das Typenschild befindet sich auf der Ger ter ckseite Pr fen Sie ob die Angaben ber Spannung und Fre quenz mit den lokalen Gegebenheiten bereinstimmen Die weiteren Angaben sind wichtig f r den Verkehr mit dem Pfeiffer Vacuum Kundendienst Technische Daten BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Mechanische Daten Netzanschluss Umgebung Normen BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Abmessungen Gewicht Adapter f r Einbau in 19 Rack Spannung Leistungsaufnahme berspannungskategorie Schutzklasse Ger testecker Netzschalter Temperaturen Lagerung Betrieb Relative Feuchte Verwendung Verschmutzungsgrad Schutzart Sicherheit ce EMV Technische Daten PFEIFFER VACUUM 2 Technische Daten Abbildung 1 2 1 kg Zubeh r B 81 90 250 V 50 60 Hz 60 VA IEC 320 C14 Ger ter ckseite 20 60 C 5 40 C Max 80 bis 31 C abnehmend auf 50 bei 40 C In Innenr umen H he max 2000 m NN Abbildung 3 Messr hren PFEIFFER VACUUM Logarithmische Messr hren TPR Compact Pirani Gauge Pirani Messr hre IKR Compact Cold Cathode Gauge Kaltkatoden Messr hre PKR Compact FullRange CC Gauge Pirani Kaltkatoden Messr hre IMR Compact Pr
32. Messr hre einschalten Sen aff Messr hre ausschalten Sinale Messwert der gew hlten Messstelle anzeigen Hode Betrieosmoduswahl aktivieren L HINWEIS Parameter ist nicht f r alle Messr hrentypen verf gbar gt G ltigkeitstabelle B 84 Bedienungselemente Modi 29 PFEIFFER VACUUM 5 2 2 Betriebsmodus Setpoint Abbildung 19 Anzeige Setpoint Anzeigen C Gew hlte Schaltfunktion aus Aca F Steuernde Quelle 1 6 der Schaltfunktion C gt B 43 Oberer Schwellwert der Schalt funktion C gt B 44 Unterer Schwellwert der Schaltfunktion C gt B 44 Verhalten der Schaltfunktion C bei Messbereichsunterschrei tung underrange gt B 46 Softkeys Tasten Felag Schaltfunktionswahl aus A F next Parameterwahl kk Wert h her setzen F Wert tiefer setzen Return Zur ck zum Betriebsmodus Measurement I HINWEIS Parameter ist nicht f r alle Messr hrentypen verf gbar gt G ltigkeitstabelle B 84 30 Bedienungselemente Modi BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 5 2 3 Betriebsmodus General Para meter Abbildung 20 Anzeige General Parameter Fa ah Default 3 a neki 0 4 0 790 Return Anzeigen Key lack Parameter Eingabesperre aktiviert oder deaktiviert gt B 48 Unit Druckmasseinheit gt B 49 Disits Anzeigestellen bei logarithmischen Messr hren gt B 50 Farararh Balkenanzeige gt B 51 Default Standar
33. angsam Slow normal Standard schnell Fast Spannung Strom Sensor 1 bis 3 Sensor 4 bis 6 Absicherung Sensor 1 bis 3 Sensor 4 bis 6 Technische Daten El Messr hre lt 0 2 des Messsignals lt 20 mV 100 s 4 5 218 fa 0 075 Hz 320 ms fg 0 5 Hz 100 ms fg 1 6 Hz 24 V 45 200 mA pro Messr hre 600 mA pro Messr hre 300 mA pro Messr hre 1 A pro Messr hre PTC Element selbstr ckstellend nach Ausschaltung des Ger tes BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Messr hrensteuerung Ein Ausschaltung Manuell Automatisch Hot Start Extern Selbst berwachung Degas Degas nur PBR 260 BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Technische Daten PFEIFFER VACUUM Softkey Sen an sen aff durch Messr hre 1 6 Sensor a IKR IMR von TPR PKR etc einstellbare Schwellwerte freie Zuordnung Einschalten der Messr hre IKR PKR IMR und PBR beim Einschalten des Ger tes am Stecker Control f r jede Messr hre einzeln TTL high gt 2 V Messr hre aus TTL low lt 0 8 V Messr hre ein Interner pull up 3 3 KQ auf 5 V Ausschalten der Messr hre IKR durch eigenes Messergebnis Degasdauer 3 Minuten vorzeitig abschaltbar 11 PFEIFFER VACUUM MaxiGauge M Artikelnummer PT G28 760 Anschluss serielle Schnittstellen RS232C oder RS422 nicht isoliert Anschluss Relaiskontakte Netzanschluss 3 polig Hinweis auf Sicherung im Ger teinnern Auswechseln nur durch Pfeiffe
34. beabsichtigtes Wiedereinschalten zu sichern a wenn das Ger t sichtbare Besch digungen auf weist b wenn das Ger t nicht mehr arbeitet c nach l ngerer Lagerung unter ung nstigen Ver h ltnissen d nach schweren Transportbeanspruchungen e D N GEFAHR Jegliche Unterbrechung des Schutzleiters innerhalb oder ausserhalb des Ger tes oder L sen des Schutz leiteranschlusses kann dazu f hren dass das Ger t zur Gefahrenquelle wird Elektrisierung 16 Inbetriebnahme BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 4 Inbetriebnahme 4 1 Personal 4 2 Aufstellen Montage BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Fachpersonal Das Ger t darf nur durch geschultes Fachpersonal in Betrieb genommen werden Das Ger t l sst sich auf zwei Arten als 19 Rackger t in einen Schaltschrank nach DIN 41 494 einbauen a Direkt mit einem zweiten Ger t oder mit einer entsprechenden Blindplatte gt Zubeh r B 81 als 19 Rackger t 2 HE b Einbau im Rack mittels Adapter f r 19 3 HE 63 TE Rack gt Zubeh r B 81 Lasche Blindplatte PT 441 480 T PT441481 5 IT Hr T ini a Variante a b lt q Direkte Montage Maxi Gauge ji in 19 Rack s 1 Rackbreite E Adapter e PT 441 248 X a LA gt Variante b A Sl S lzi Montage mit Maxi Gauge Adapter l p 00000 g Ri 2 2 1 H Rackbreite z Mit einem
35. ch Abbildung 53 Anzeige Sensor Parameter Hame CH Sensor next Jede der sechs Messr hren l sst sich wie folgt kalibrie ren e Betriebsmodus Sensor Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey met Parameter Cal Fact or wie folgt w hlen F r logarithmische e mit Softkey 4 oder Parameterwert Messr hren 4 18 1 860 Standard 3 2 einstellen der Wert ndert um jeweils 4 51 e Bleibt der Softkey l ngere Zeit gedr ckt rollt der Wert automatisch in Schritten von BH 1 e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren F r lineare Messr hre e mit Softkey 4 oder Parameterwert 4 500 1 B66 Standard 2 566 einstellen der Wert ndert um jeweils 1 341 e Bleibt der Softkey l ngere Zeit gedr ckt rollt der Wert automatisch in Schritten von b Bli e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert 64 Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 7 7 6 Messwertfilter w hlen Filter Abbildung 54 Anzeige Sensor Parameter Filter Standard Abbildung 55 Messwerffilter Standard BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Das Messwertfilter erlaubt eine bessere Auswertung unruhiger oder gest rter Messsignale Es wirkt auf M die Anzeige M die Schaltfunktionen Schwellwert Anzeige D die Analogausg n
36. che nachgehen warum das Messsignal nicht richtig empfangen wird Nach Behebung der Ursache wird automatisch wieder der Messwert angezeigt Abbildung 65 neked Statusmeldungen bei locked Statusmeldung unterschiedlichen Messr hren Bedeutung Eingabeversuch bei aktiver Eingabesperre Im Softkey Anzeigebalken no Sensor Statusmeldung TPR IKR PKR APR IMR PBR Bedeutung CMR ACR v V Keine Messr hre an __ geschlossen Sensor off Statusmeldung TPR IKR PKR APR IMR PBR Bedeutung CMR ACR FR y v v IKP IMR PKR PBR ist ausgeschaltet 74 Bedienung BG 805 186BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Messbereich Statusmeldung I HINWEIS Die Ziffer der Statusmeldungen Sensor error 1 und Sensor error 2 spezifiziert eine bestimmte Fehlermeldung der angeschlossenen Messr hre und nicht eine Messstelle BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Bedienu ng 75 7 10 Fehlermeldungen Abbildung 66 Fehlermeldung EEPROM im Betriebsmodus Measurement Fehlermeldung quittieren 76 PFEIFFER VACUUM Fehlermeldungen werden im Softkey Anzeigebalken oberhalb des mittleren Softkeys blinkend angezeigt Es sind Unregelm ssigkeiten oder St rungen aufgetreten Das Error Relay schaltet um gt B 22 Fehlermeldung blinkend Vorgehen bei Fehlermeldungen Fehlermeldungen quittieren e Mittleren Softkey dr cken Danach wird die Fehlermeldung normalerweise gel sc
37. die gesteuerte Messstelle ein falls die externe Steuerquelle hi h wird schaltet die gesteuerte Messstelle aus Diese Modalit ten sind fest eingestellt und lassen sich nicht ver ndern Parameter wie folgt einstellen e Als steuernde Quelle Control Extern w hlen gt B70 e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Bedienung 71 BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 7 8 5 Steuerung durch Hanual einstellen Abbildung 62 Anzeige bei Control Hanual 72 PFEIFFER VACUUM Die gesteuerte Messstelle l sst sich mit dem Softkey Sen on ein oder mit Sen off ausschalten Anstelle der manuellen Ausschaltung kann sich die gesteuerte Messstelle bei Druckanstieg bei einem definierten Schwellenwert auch selbst ausschalten D T EE OFF Threshold Parameter wie folgt einstellen e Als steuernde Quelle Control Manual w hlen gt B70 e mit Softkey next Parameter FF w hlen e mit Softkey amp oder Parameterwert Key Sen caff Ausschalten mit Softkey oder Selfoonteol Selbst berwachung einstellen Bei Selbst berwachung erscheint eine vierte Parameterzeile 0FF Threshold Den Schwellenwert wie folgt einstellen e mit Softkey net Parameter 0FF Threshold w hlen e mit Softkey 4 oder Parameterwert h her oder tiefer stellen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Bedienu ng BG 80
38. dwerte der Parameter laden gt B 52 Interface Typ serielle Schnittstelle gt B 53 Faudrate Baudrate Schnittstelle gt B 54 Address Softwareadresse Schnittstelle gt B55 Screensawe Dunkelschaltung der Anzeige gt B 56 Contrast Kontrast der Anzeige gt B 57 Softkeys Tasten next Parameterwahl ik Wert h her setzen F Wert tiefer setzen Return Zur ck zum Betrieosmodus Measurement I HINWEIS Druckeinheiten sind abh ngig von den verwendeten Messr hren Tabelle B 36 Parameter nur bei Schnittstelle RS485 verf gbar BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Bedienungselemente Modi 31 5 2 4 Betriebsmodus Sensor Para meter Abbildung 21 Anzeige Sensor Parameter 32 Anzeigen Softkeys Tasten PFEIFFER VACUUM zZ Gew hlte Messstelle aus 1 6 Type Angeschlossene Messr hren familie angeschlossener Messr hrentyp gt B 59 Offset Offsetkorrekturaktivierung gt B 60 oder Degas Degasaktivierung gt B 63 Cal Factor Eingestellter Kalibrierfaktor f r Messstelle 2 gt B 64 Filter Gew hlte Messwerrtfilterung f r Messstelle 2 gt B 65 Hame Definierbarer Messtellenname f r Messstelle 2 bis 4 Zeichen gt B 67 Sensor Messstellenwahl next Parameterwahl ik Wert h her setzen k Wert tiefer setzen Return Zur ck zum Betriebsmodus Measurement I HINWEIS Je nach identif
39. e APR CMR APR CMR APR CMR ACR 100 mbar F S l mr on 1 1E3 1 1E2 1 1E 1 PBR oft 1 1E 3 1 1e2 1 1e1 IKR on 1E2 1E3 1E2 off 1E 2 1E 3 1E 2 z Gesteuerte Steuernde Quelle Messstelle Extern Manua Start PKR on cTL1 6 en CTL 1 6 IMR on CTL1 6 Yes Yes PBR off CTL 1 6 Yes IKR n CTL1 6 Yes CTL 1 6 Yes or 1E 2 1E 5 1E 2 1E 5 Fettgedruckt Standardwerte Selbst berwachung keine Steuerm glichkeit Die Wertangaben in der Tabelle wie zum Beispiel 1 1E 3 beziehen sich auf mbar und entsprechen dem einstellbaren Druck bei welchem die entsprechende Messr hre ein oder ausgeschaltet wird Bedienung 69 7 8 1 Gesteuerte Messstelle w hlen Sensor Abbildung 60 Anzeige Sensor Control 7 8 2 Steuernde Quelle w hlen Control 70 PFEIFFER VACUUM Die gesteuerte Messstelle worauf die nachfolgenden Parameter zugreifen erscheint links auf der Anzeige als eine Zahl in Grossformat Eine andere Messstelle wie folgt w hlen e Mit dem Softkey Sensor die gew nschte Messstelle w hlen aus 1 amp Die steuernde Quelle erscheint in der oberen Zeile rechts neben Parameter Control Die steuernde Quelle wie folgt bestimmen Beispiel ausgehend vom Standard Sensor 6 e Betriebsmodus Sensor Control w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter
40. e innert 1 Minute keinen Softkey bet tigen kehrt die Anzeige ebenfalls automatisch nach Measurement zur ck BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Bedienu ng 39 7 4 Betriebsmodus Measurement Abbildung 31 Anzeige Single Abbildung 32 Anzeige All 7 4 1 Messstelle w hlen Sensor 40 PFEIFFER VACUUM Im bergeordneten Betriebsmodus Measurement zeigt das Ger t die Messwerte an Wenn Sie sich in einem anderen untergeordneten Betriebsmodus befinden und innert 1 Minute keinen Softkey bet tigen kehrt die Anzeige automatisch nach Measurement zur ck gt bersicht Betriebsmodus Measurement B 28 cal mbar TIMEN aka D min Eu u Die Messstelle erscheint links auf der Anzeige als Zahl e Mit dem Softkey Sensor die n chste Messstelle w hlen im Betriebsmodus Measurement Single erh ht sich die entsprechende Zahl im Modus All verschiebt sich die inverse Darstellung als Zeichen f r die gew hlte Messstelle Von Messstelle 6 springt die Anzeige auf Messstelle 1 Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 7 4 2 Messr hre ein ausschalten Sen aorm off 7 4 3 Einzel oder Gesamtanzeige Sindale All BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM e Mit dem Softkey en o ff die gew hlte Messr hre ausschalten und mit Ser or einschalten A ACHTUNG Das Ein oder Ausschalten einer Messr hre kann den Schaltzustand der Relais ndern
41. est Analog Digitalwandler gt B 87 I Relaistest gt B 87 Interface Test serielle Schnittstelle B 88 HOT Ctrl Watchdog Kontrolle gt B 88 next Parameterwahl Start Gew hlte Testsequenz starten Return Zur ck zum Betriebsmodus Measurement I HINWEIS Der Betriebsmodus Test ist nur verf gbar wenn w hrend dem Einschalten des Ger tes ein beliebiger Softkey gedr ckt wurde Bedienungselemente Modi BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 6 Anzeigeformate und Druckeinheiten 6 1 Anzeigeformate Die Anzeige erfolgt in Exponentialdarstellung oder Gleitkommadarstellung Die Umschaltung zwischen diesen zwei Darstellungsarten erfolgt automatisch Bei Masseinheit Pa erfolgt die Anzeige nur in Exponential darstellung Abbildung 24 Anzeige in Exponential A 4 IN N 1 cal darstellung I 4 be ud ho nbar LT al Mode Abbildung 25 Logarithmische Lineare Anzeigef t ll Messr hren Messr hren 50 bar 1000 mbar Gleitkommadarstellung Gleitkomma darstellung z B 3 z B d 5 1 mbar bzw 1 Torr Exponentialdarstellung 28 4 1GE E1 107 mbar BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Anzeige Druckeinheiten 35 6 2 Druckeinheiten 6 3 Cursor Abbildung 26 Cursor inverse Darstellung Parameterwert Abbildung 27 Cursor inverse Darstellung Messr hre Schaltfunktion 36 PFEIFFER VACUUM Die Verwendung der verschiedenen Druckeinheiten ist abh ngig von den verwendeten Me
42. fahr BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Entsorgu ng 83 PFEIFFER VACUUM A G ltigkeitstabelle 84 Messr hre logarithmisch an Measurement Mode Parameter Sen Un Sen aff I Ir Ir Ir Setpoint Mode control Sensor etPoint hiah ad A E etPoint low UR Control Sensor Parameter Mode Tuke Range Offset Desas Cal Factor Filter Control r IFF On Threshold ff Threshold RG 7 Nur im Heisskatoden Messbereich g ltig Anhang BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet B Umrechnung von Druckeinheiten bar mbar bar 1 10 mbar 10 1 ubar 10 10 Pa 10 10 kPa 102 10 Torr 1 33x10 1 33 mTorr 1 33x10 1 33x10 psi 6 89x10 68 9 C Ger tetest BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet ubar Pa kPa Torr 10 10 10 750 10 102 0 1 0 75 1 0 1 10 7 5x10 10 1 10 7 5x10 10 10 1 7 5 1 33x10 133 0 133 1 1 33 0 133 1 33x10 10 68 9x10 6890 6 89 51 7 mTorr micron U Fachpersonal Das Ger t darf nur durch geschultes Fachpersonal getestet werden PFEIFFER mTorr 7505102 750 0 75 7 5 7 5x10 1000 1 51 7x10 VACUUM psi 14 5 14 5x10 14 5x10 14 5x10 14 5x10 19 3x10 19 3x10 1 Der Betriebsmodus Test erscheint nur nach Dr cken des Softkeys Hode wenn w hrend dem Einschalten des Ger tes ein beliebiger Softkey gedr ckt gehalten wurde gt bersicht Betriebsmodus Test
43. ge des Ger tes M die seriellen Schnittstellen 6 mbar mbar Taa F r jede der sechs Messr hren l sst sich ein Filter wie folgt einstellen e Betriebsmodus Sensor Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey hest Parameter Filter w hlen e mit Softkey amp oder Parameterwert fast Slow oder standard Standard w hlen gt nachstehende Erkl rungen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig ge speichert Standardeinstellung mit gutem Verh ltnis zwischen Ansprechgeschwindigkeit und Empfindlichkeit von Anzeige und Schaltfunktionen gegen ber Messwert nderungen DA Bedienung 65 Filter Slow Abbildung 56 Messwertfilter Slawu Filter Fast Abbildung 57 Messwertfilter Fast 66 PFEIFFER VACUUM W hlen Sie slow wenn die Anzeige und die Schaltfunktionen nicht auf kleine Messwertschwankungen reagieren sollen Das Ger t wird dadurch entsprechend langsamer auf Messwert nderungen ansprechen DA Wahlen Sie lt fast gt wenn die Anzeige und die Schali funktionen schnell auf Messwertschwankungen reagie ren sollen Das Ger t wird dadurch entsprechend emp findlicher auf Messwertst rungen DA Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 7 7 7 Namen der Mess stelle definieren Hama Abbildung 58 Anzeige lt Sensor Parameter gt BG 805 186
44. ht oder eine weitere Fehlermeldung erscheint falls vorhanden Das Error Relay schaltet nach der Quittierung wieder in Ausgangsstellung zur ck gt B 22 e Falls die Meldung nicht erlischt Ger t aus und wieder einschalten i HINWEIS Warten Sie bis zum Wiedereinschalten mindestens 10 Sekunden damit das Ger t sich neu initialisieren kann Je nach Einstellung der System berwachung werden gewisse Fehlermeldungen z B Watchdog Error automatisch nach 2 Sekunden quittiert gt B 88 Die Bedeutung der Fehlermeldung en entnehmen Sie der folgenden Tabelle Falls das Problem nicht behoben werden kann Fehlermeldung en notieren und Pfeiffer Vacuum Servicestelle kontaktieren Bedienu ng BG 805 186BD 9907 MaxiGauge bet Abbildung 67 Tabelle Fehlermeldungen Keine Anzeige Anzeige dunkel EFRON EEFF H 111 I106 PFEIFFER M gliche Ursache Behebung Netzkabel unterbrochen Netzkabel berpr fen VACUUM Netzspannung fehlt oder zu hoch zu tief berpr fen Dunkelschaltung Softkey antippen aktiviert gt B 56 Lampe defekt Lampe Lampenlebensdauer auswechseln Betriebssystemfehler Quittieren Watchdog Error gt B 76 Sie haben nach dem Ausschalten 10 letztmaligen Ausschal Sekunden warten ten zu schnell wieder und wieder eingeschaltet einschalten Betriebssystemfehler Quittieren task fail Error gt E 76 Quittieren gt 76 Betriebssystemfehler idle Error
45. iGauge einfach in ein Netzwerk integrieren Schliessen Sie die peripheren Komponenten mit einem abgeschirmten Verbindungskabel EMV Vertr glichkeit am Anschluss relay auf der Ger ter ckseite an A ACHTUNG Beachten Sie die max Belastung der Relaiskontakte gt B 13 Eine h here Belastung kann Zerst rungen im Ger t verursachen Ein Relay Interface mit Umschaltkontakten f r 250 V 5A ist als Zubeh r erh ltlich gt B 82 Inbetriebnahme 23 Abbildung 14 Frontplatte Abbildung 15 Netzschalter 24 PFEIFFER E VACUUM 1 Netzanzeige LED gr n Ein Aus 2 Anzeige LCD Messwerte und Betriebsdaten 3 5 Softkeys Bedienungstasten mit wechselnder Bedeutung Bedienungselemente Modi BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 5 Bedienungselemente und Betriebsmodi 5 1 Bedienungs elemente Softkeys Die Bedienung des MaxiGauge erfolgt ber f nf sogenannte Softkeys auf der Frontplatte Abbildung 14 Die Funktion der Softkeys h ngt vom jeweiligen Betriebsmodus ab und ist aus der der LCD Grafikanzeige ersichtlich Netzschalter Der Netzschalter befindet sich auf der Ger ter ckseite gt Abbildung 15 Bei eingeschaltetem Ger t leuchtet die Netzanzeige gr ne Lampe auf der Frontseite gt Abbildung 14 I HINWEIS Bei aktivierter Dunkelschaltung Screensawe kann f lschlicherweise der Eindruck entstehen das Ger t sei ausgeschaltet gt B 56
46. ilien e TPR Pirani Messr hre e IKR Kaltkatoden Messr hre e PKR Kombinierte Pirani Kaltkatoden Messr hre e IMR Kombinierte Pirani High Pressure Messr hre HP e PBR Kombinierte Pirani Heissionisations Messr hre nach Bayard Alpert BA e CMR ACR Kapazitive Messr hre e APR Piezoresistive Messr hre Das Ger t eignet sich f r die Totaldruckmessung von 107 mbar bis 50 bar 5x10 mbar Mittels druckabh n giger Schaltfunktionen sowie freiprogrammierbarer Messr hren Steuerm glichkeiten kann es ausserdem eine Reihe von Aufgaben zur Steuerung und berwa chung von Vakuumeinrichtungen und prozessen erf l len GEFAHR Obwohl sich dieses Ger t durch einen hohen Qualit ts und Sicherheitsstandard auszeichnet und es nach dem derzeitigen Stand der Technik gebaut und getestet wurde k nnen bei nichtbestimmungsgem sser sach widriger Verwendung oder Missbrauch Verletzungen oder Sachbesch digungen nicht ausgeschlossen wer den Lesen Sie darum diese Betriebsanleitung sorgf ltig durch und beachten Sie speziell das Kapitel Sicher heit Bewahren Sie diese Betriebsanleitung in greif barer N he Ihres Ger tes auf I HINWEIS Die genauen Typenbezeichnungen gt B 10 Bestimmungsgem sse Verwendung 5 Abbildung 1 Abmessungen Abbildung 2 Typenschild PFEIFFER VACUUM A Breite Frontplatte 241 mm 1 19 Rackbreite B Befestigung horizontal 224 mm C Befestigung vertikal 76 2 mm D
47. iselay A I 10 automatisch BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Test des RAM Anzeigespeichers Das Testprogramm l uft automatisch ab Anzeige lt busu gt Der Kontrast schaltet 2x automatisch stufenlos nach hell und dunkel Nach erfolgreichem Test erscheint Passed andern falls error Im letzten Fall erscheint eine blinkende Fehlermeldung im mittleren Softkey Anzeigebalken Test der Analog Digitalwandler im Ger t Anzeigewech sel Die linke Spalte zeigt die Messsignale der 6 ange schlossenen Messr hren gemessen am A D Wandler Die gegen berstehenden Werte in der rechten Spalte zeigen die betreffenden Identifizierspannungen eben falls am A D Wandler gemessen I HINWEIS Falls keine Messr hren angeschlossen sind zeigt das Ger t Standardwerte an die sich wegen der hohen Empfindlichkeit der offenen Messkreise leicht ver n dern k nnen Test aller Relais im Ger t Anzeigewechsel Das Test programm I testet deren Schaltfunktion Die Relais werden zyklisch je 2x ein und ausgeschaltet F r den Anwender sind nur die mit swi tch und error be zeichneten Relais relevant Die betreffenden Kontakte sind auf den Anschlussstecker relay auf der Ger ter ck seite gef hrt gt B 22 Die Schaltvorg nge werden optisch angezeigt und sind deutlich h rbar Mit einem Ohmmeter die Schaltkontakte der Relais berpr fen N GEFAHR Die Relais schalten unabh ngig vom Dr
48. iziertem Messr hrentyp ist dessen Messbereich einzugeben Die Familie der linearen Messr hren wird mit AFFR CHR angezeigt Dazu geh ren auch die ACR Parameter ist nicht f r alle Messr hrentypen verf gbar gt G ltigkeitstabelle B 84 x xx kkk Bedienungselemente Modi BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 5 2 5 Betriebsmodus Sensor Control Abbildung 22 Anzeige Sensor Control pnteol FF Threshold Sensor nt Return Anzeigen Gew hlte Messstelle aus Control Steuernde Quelle der Messstelle 5 gt B 70 OH Einschalten der Messstelle 5 bei Ger te Einschaltung OFF Selfoonteol Ausschaltmodus Messstelle 5 OFF Threshold Ausschalt Schwellwert der Messstelle 5 bei Selbst berwachung Softkeys Tasten Sensor Messstellenwahl st Parameterwahl Wert h her setzen Wert tiefer setzen Return Zur ck zum Betriebsmodus Measurement HINWEIS x Parameter ist nicht f r alle Messr hrentypen verf gbar gt G ltigkeitstabelle B 84 BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Bedienungselemente Modi 33 5 2 6 Betriebsmodus Test Abbildung 23 Anzeige Test 34 Anzeigen Softkeys Tasten PFEIFFER VACUUM 4 JDT auto ooo I next d Start Returni Froaram Firmwareversion gt B 85 RAH RAM Selbsttest gt B 86 EFRO EPROM Selbsttest gt B 86 EEFFOM EEPROM Selbsttest gt B 86 Diselay Display Selbsttest gt B 87 AI T
49. l Parameter BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Die seriellen Schnittstellen erlauben es das Ger t zu steuern Messdaten zu bertragen und Parameter zu ndern gt B 13 Die gew nschte Schnittstelle wird mit diesem Parameter festgelegt Ll t IT next 0 4 0 1 7 3 1 Return Schnittstelle wie folgt festlegen e Betriebsmodus General Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter Inter face w hlen e mit Softkey ik oder Parameterwert FS 45 gt Serielle Schnittstelle RS485 isoliert RS 4221 Serielle Schnittstelle RS422 isoliert FS3 422 Serielle Schnittstelle RS422 nicht isoliert oder F S 232 Serielle Schnittstelle RS232C nicht isoliert Standard w hlen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren I HINWEIS Pr fen Sie ob das Ger t mit allen oben aufgez hlten Schnittstellen best ckt ist gt B 2 12 Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert Weitere Angaben 20 Bedienung 53 PFEIFFER VACUUM 7 6 7 Baudrate einstellen Mit diesem Parameter l sst sich die Baudrate f r die Eaudr ate unter Inter face festgelegte serielle Schnittstelle einstellen Abbildung 45 Anzeige General Parameter Baudrate wie folgt einstellen e Betriebsmodus General Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter Eaudr at
50. l Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter Contrast w hlen e mit Softkey ik oder Parameterwert Ei 26 minimaler Kontrast maximaler Kontrast w hlen 10 Standard e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert Bedienung 57 7 7 Betriebsmodus Sensor Parameter Abbildung 49 Anzeige Sensor Parameter 7 7 1 Messstelle w hlen Senzcor 58 PFEIFFER VACUUM Im Betriebsmodus Sensor Parameter definieren Sie die f r jede Messstelle relevanten Parameter gt bersicht Betriebsmodus Sensor Parameter B 32 Han or Die Messstelle worauf die nachfolgenden Parameter zu greifen erscheint links auf der Anzeige als eine Zahl in Grossformat e Betriebsmodus Sensor Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey Sensor die gew nschte Messstelle w hlen aus 1 amp Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet 7 7 2 Messr hreniden tifikation Tue Abbildung 50 Anzeige Betriebsmodus Sensor Parameter BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Das Ger t erkennt eine angeschlossene Pfeiffer Vacuum Messr hre automatisch Bei linearen Messr hren erscheint zus tzlich neben dem Messr hrentyp der Full Scale Wert als Parameterwert Dieser ist gem ss der angeschlossenen Messr hre einzustellen
51. liebigen Druck innerhalb des Messbereichs nullgesetzt werden Es zeigt dann die Abweichung von diesem Druck an und kann demzufolge auch negative Werte annehmen Somit k nnen z B Druckabweichun gen w hrend eines Prozesses beobachtet werden Das Vorgehen ist sinngem ss wie oben i HINWEIS Parameter ist nicht f r alle Messr hrentypen verf gbar gt G ltigkeitstabelle B 84 Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig gespeichert Bedienung 61 62 Beispiel PFEIFFER VACUUM Bei aktivierter Offsetkorrektur wird der gespeicherte Offsetwert vom aktuellen Messwert subtrahiert Fi Hame CH next 7 Return Aktueller Gespeicher Anzeige bei Anzeige bei Messwert ter Offset Offset Offsetwert aktiviert deaktiviert I HINWEIS Wird der Nullpunkt an der Messr hre selbst neu ab geglichen muss die Offsetkorrektur vorg ngig aus geschaltet werden Korrekturwerte bleiben nach Ausschalten des Ger tes gespeichert Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 7 7 4 Degas aktivieren Ablagerungen auf dem Elektrodensystem der Compact e335 FullRange BA Gauge PBR 260 k nnen Instabilit ten des Messwertes zur Folge haben Der Degas Vorgang bewirkt eine Erhitzung des Elektro nenauff ngergitters auf ca 700 C durch Elektronen Bombardement und damit eine Reinigung des Elektro densystems Der Degas Vorgang dauert normalerweise 3 Minuten kann aber vorzeitig deakti
52. minimale Hysterese zwischen oberem und unterem Schwellwert betr gt mindestens 10 des unteren Schwellwertes Somit wird ein instabiler Zustand verhindert Falls Sie den oberen Schwellwert unter dem unteren einstellen gilt automatisch diese minimale Hysterese Lineare Messr hren Die minimale Hysterese zwischen oberem und unterem Schwellwert betr gt mindestens 1 des eingestellten Full Scale Wertes Somit wird ein instabiler Zustand verhindert Falls Sie den oberen Schwellwert unter dem unteren einstellen gilt automatisch diese minimale Hysterese Dieser Parameter berwacht das Verhalten der Schaltfunktion bei einer angezeigten Messbereichs unterschreitung gt Statusmeldungen B 74 Eine Messbereichsunterschreitung kann unterschiedliche Ursachen haben M Druck im Vakuumsystem ist unterhalb des Messbereichs M Messr hre hat noch nicht gez ndet M Die Entladung hat ausgesetzt M Defekt Die eingeschaltete Schaltfunktions berwachung interpretiert eine Messbereichsunterschreitung als unerlaubten Messwert Die Schaltfunktion wechselt auf Stellung aus Bei ausgeschalteter berwachung bleibt die Schaltfunktion bei Unterschreitung des Messbereiches in Stellung ein Die Schaltfunktions berwachung ist standardm ssig ausgeschaltet Bedienu ng BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Abbildung 38 Anzeige Setpoint BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM Relau next 4 10 7 Return
53. n 1x10 Schaltzyklen gt B22 10 ms Umschalter potentialfrei Umax 60 VDC Imax 3 A Umax 30 VAC Imax 3 A kein Fehler Fehler oder Netz ausgeschaltet 5x107 Schaltzyklen 1x10 Schaltzyklen B22 6 1 pro Messr hre 0 10V 660 Q El Messr hre gt B 20 RS232C RS422 nicht isoliert RS485 adressierbar isoliert RS422 isoliert ACK NAK ASCII mit 3 Charakter Mnemonics Datenverkehr bidirektional nach Master Slave Prinzip weitere Angaben EI 20 Nur TXD und RXD benutzt Nur TX TX RX RX benutzt gt 22 13 PFEIFFER VACUUM Abbildung 5 Darstellungen f r Restgefahren N A GEFAHR Angaben bzw Ge und Verbote zur Verh tung von Personensch den jeglicher Art oder umfangreichen Sachsch den IN ACHTUNG Besondere Angaben bzw Ge und Verbote zur Schadenverh tung I HINWEIS Angaben zur wirtschaftlichen Verwendung Abbildung 6 Darstellung f r besondere Personalqualifikation Fachpersonal Diese Arbeiten d rfen nur durch Personen die die geeignete technische Ausbildung besitzen und ber die n tigen Erfahrungen verf gen ausgef hrt werden 14 Sicherheit BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge PFEIFFER VACUUM 3 1 Personal 3 2 Darstellung f r Gefahr Achtung und Hinweis 3 3 Grundlegende Si cherheitsvermerke 3 4 Verantwortung und Gew hrleistung BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Fachpersonal Arbeiten an und mit dem MaxiGauge TPG
54. ocess lon Gauge Pirani High Pressure Messr hre PBR Compact FullRange BA Gauge Pirani Bayard Alpert Messr hre Technische Daten BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Lineare Messr hren CMR ACR Compact Capacitance Gauge Kapazitive Messr hren APR Compact Piezo Gauge Piezoresistive Messr hre Technische Daten PFEIFFER VACUUM Messr hrenanschl sse Messwerte Messr hrenspeisung Anzahl Verwendbare Messr hren gt 1 19 Compact Pirani Gauges Compact Cold Cathode Gauges Compact FullRange CC Gauges Compact Process lon Gauges Compact FullRange BA Gauges Compact Capacitance Gauges Compact Piezo Gauges Steckertyp Pinbelegung PFEIFFER VACUUM 6 Pfeiffer Vacuum Compact Gauges TPR 250 TPR 260 TPR 261 TPR 265 IKR 250 IKR 251 IKR 260 IKR 261 IKR 270 PKR 250 PKR 251 PKR 260 PKR 261 IMR 260 IMR 265 PBR 260 CMR 261 CMR 262 CMR 263 CMR 264 CMR 271 CMR 272 CMR 273 CMR 274 CMR 275 ACR 261 ACR 262 ACR 263 ACR 274 APR 250 APR 260 APR 262 APR 265 APR 266 APR 267 gt B 20 I HINWEIS Alle Sensoranschl sse k nnen mit beliebigen verwendbaren Messr hren belegt werden ausser IMR 265 und PBR 260 welche nur an den Sensoranschl ssen 4 6 verwendet werden k nnen Messbereiche Messfehler Steuerger t Verst rkungsfehler Offsetfehler Messrate Anzeigerate Filterzeitkonstante l
55. ontrol Sensor 3 Extern Control Sensor 4 Extern Control Sensor 5 Extern Control Sensor 6 Inbetriebnahme PFEIFFER VACUUM Amphenol C91B 6 polig Buchsen Ansicht Steckseite D Sub high density 15 polig Buchsen 105 16 00000 O Nggen O 15 11 Ansicht Steckseite BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 4 4 Anschluss der E Messr hre sensor HINWEIS Schalten Sie das Ger t jeweils aus bevor Sie eine Messr hre anschliessen oder entfernen Schliessen Sie die Messr hre mit einem abgeschirmten Verbindungskabel EMV Vertr glichkeit an einem der sechs Anschl sse sensor 1 sensor 6 PBR 260 und IMR 265 nur an sensor 4 sensor 6 auf der Ger te r ckseite an Beachten Sie die zul ssigen Messr hren typen gem ss Kapitel Technische Daten Es sind sowohl komplette Verbindungskabel als auch Einzelteile zur Selbstkonfektionierung erh ltlich gt Zubeh r B 81 4 5 Anschluss Control Konfigurieren Sie den Controlstecker nach Bedarf Er stecker control wird am Anschluss control auf der Ger ter ckseite ein gesteckt I HINWEIS Es muss ein abgeschirmtes Kabel verwendet werden EMV Vertr glichkeit BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Inbetriebnahme 21 Abbildung 11 Anschluss Serielle Schnittstellen RS 232 422 Abbildung 12 Anschluss Serielle Schnittstellen RS 485 422 isol Abbildung 13 Anschluss Schaltkontakte relay 22 Steckerbelegung 1 Chassis 2 RXD RS23
56. r Vacuum Service Netzschalter Anschluss Messr hren Anschluss Control Funktionen MaxiGauge Artikelnummer PT G28 761 zus tzlich Anschluss serielle Schnittstelle RS485 adressierbar isoliert und RS422 isoliert Steckertypen und Pinbelegungen B 20f Abbildung 4 Ger ter ckseite 1 RS 232 422 2 relay 3 4 A 5 6 sensor 1 sensor 6 7 control 89 RS 485 422 isol 12 Technische Daten BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Schaltfunktionen Fehlersignal Error Analogausg nge Rechnerschnittstellen BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Anzahl Zuordnung zu den Messr hren Reaktionszeit Relaiskontakte Kontakt geschlossen Kontakt offen Lebensdauer mechanisch elektrisch Steckertyp Pinbelegung Reaktionszeit Relaiskontakt Kontakt geschlossen Kontakt offen Lebensdauer mechanisch elektrisch Steckertyp Pinbelegung Anzahl Spannungsbereich Innenwiderstand Beziehung Messsignal Druck Steckertyp Pinbelegung Standard Option bei PT G28 760 Protokoll RS232C RS422 RS485 Steckertyp Pinbelegung Technische Daten PFEIFFER VACUUM 6 Frei programmierbar 10 ms wenn Schwellwert nahe beim Messwert Bei gr sserer Differenz Filterzeitkonstante be r cksichtigen Umschalter potentialfrei Umax 60 VDC Imax 3 A Umax 30 VAC Imax 3 A Vakuum besser als Schwellwert Vakuum schlechter als Schwell wert oder Netz ausgeschaltet 5x107 Schaltzykle
57. ss Schnittstelle RS 232 422 4 7 Anschluss Schnittstelle RS 485 422 isol 4 8 Anschluss Schaltkontakte relay 5 Bedienungselemente und Betriebsmodi 5 1 Bedienungselemente 5 2 Betriebsmodi bersicht 5 2 1 Betriebsmodus Measurement 5 2 2 Betriebsmodus Setpoint 5 2 3 Betriebsmodus General Parameter 5 2 4 Betriebsmodus Sensor Parameter 5 2 5 Betriebsmodus Sensor Control 5 2 6 Betriebsmodus Test 6 Anzeigeformate und Druckeinheiten 6 1 Anzeigeformate 6 2 Druckeinheiten 6 3 Cursor 7 Bedienung 7 1 Personal 7 2 Ger t ein und ausschalten 7 3 Betriebsmodus w hlen 7 4 Betriebsmodus Measurement 7 4 1 Messstelle w hlen Sensor 7 4 2 Messr hre ein ausschalten Sen on off 7 4 3 Einzel oder Gesamtanzeige Single All 7 5 Betriebsmodus Setpoint 7 5 1 Schaltfunktion w hlen Relay 7 5 2 Messstelle zuordnen Control Sensor 7 5 3 Schwellwerte definieren Setpoint 7 5 4 Schaltfunktions berwachung UR Control 7 6 Betriebsmodus General Parameter 7 6 1 Eingabesperre de aktivieren Key lock 7 6 2 Druckmasseinheit w hlen Unit Inhaltsverzeichnis MPN PFEIFFER VACUUM 7 6 3 Anzeigestellen bestimmen Digits 7 6 4 Balkenanzeige einstellen Bargraph 7 6 5 Standardwerte setzen Default 7 6 6 Schnittstelle festlegen Interface 7 6 7 Baudrate einstellen Baudrate 7 6 8 Knotenpunkt einstellen Address 7 6 9 Dunkelschaltung einstellen Screensave 7 6 10 Kontrast eins
58. ssr hren Das Ger t l sst die Wahl einer Masseinheit nur zu wenn mit dieser Druckeinheit der gesamte Messbereich dargestellt werden kann Logarith misch Linear LUH F Umrechnung von Druckeinheiten gt B 85 Full Scale Wert bei linearen Messr hren Der Cursor hebt einen angew hlten Parameter wert eine Messr hre oder einen Schaltfunktionszustand ein invers hervor sfault Lont I next 0 4 T Return Anzeige Druckeinheiten BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 7 Bedienung 7 1 Personal 7 2 Ger t ein und aus schalten Ger t einschalten Abbildung 28 Netzschalter BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Fachpersonal Das Ger t darf nur durch geschultes Fachpersonal be dient werden das jederzeit in der Lage ist den Gefah renbereich des jeweiligen Ger teeinsatzes vollst ndig zu berblicken berpr fen Sie die korrekte Installation aller Verbin dungskabel und Messr hren sowie die Einhaltung der Technischen Daten Schalten Sie das Ger t mit dem Netzschalter oder zentral ber den geschalteten Netzverteiler bei Rackmontage ein Der Netzschalter befindet sich auf der Ger ter ckseite Bedienung 37 PFEIFFER VACUUM Nach dem Einschalten e f hrt das Ger t einen Selbsttest durch wobei die Anzeige MaxiGauge erscheint e identifiziert es die angeschlossenen Messr hren e aktiviert es die beim letztmaligen Ausschalten aktuellen Parameter
59. tellen Contrast 7 7 Betriebsmodus Sensor Parameter 7 7 1 Messstelle w hlen Sensor 7 7 2 Messr hrenidentifikation Type 7 7 3 Offsetkorrektur Nullabgleich einstellen Offset 7 7 4 Degas aktivieren Degas 7 7 5 Kalibrierfaktor einstellen Cal Factor 7 7 6 Messwertfilter w hlen Filter 7 7 7 Namen der Messstelle definieren Name 7 8 Betriebsmodus Sensor Control 7 8 1 Gesteuerte Messstelle w hlen Sensor 7 8 2 Steuernde Quelle w hlen Control 7 8 3 Steuerung durch Sensor 1 6 gt einstellen 7 8 4 Steuerung durch Extern einstellen 7 8 5 Steuerung durch Manual einstellen 7 8 6 Steuerung durch Hotstart einstellen 7 9 Statusmeldungen 7 10 Fehlermeldungen 8 Wartung und Pflege 8 1 Personal 8 2 Reinigung 8 3 Wartung 9 Zubeh r und Ersatzteile 10 Entsorgung Anhang A G ltigkeitstabelle B Umrechnung von Druckeinheiten C Ger tetest D Literaturverzeichnis Konformit tserkl rung 84 84 85 85 89 93 F r Seitenverweise im Text wird das Symbol gt B XY verwendet f r Verweise auf andere Dokumente das Symbol gt EI Z Inhaltsverzeichnis BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet PFEIFFER VACUUM 1 Bestimmungsgem sse Verwendung BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Das MaxiGauge M TPG 256 A ist ein 6 fach Totaldruck Mess und Steuerger t Es wird betrieben mit Pfeiffer Vacuum Kompakt Messr hren Das Ger t ist vorbereitet f r die Messr hren Fam
60. uck Verhin dern Sie die Ausl sung von falschen Steuerbefehlen oder Meldungen Stecken Sie die angeschlossenen Mess und Steuerkabel aus Anhang 87 88 1 0 manuell Inter face HOIT Ctr1 PFEIFFER VACUUM Eine Relaisfunktion siehe lt I automatisch l sst sich auch manuell testen e mit Softkey next Parameter lt I w hlen e mit Softkey Fe1 a4 den automatischen Testablauf unterbrechen und durch wiederholtes Antippen von Fel au ein Relais w hlen e mit Softkey amp dieses Relais einschalten und mit Softkey ausschalten e mit Softkey Ke1 a4 das n chste Relais w hlen und ein und ausschalten wie oben beschrieben e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Test zu r ckkehren Test des Receiver Transmitter Buffers Der Datentrans fer von der auf die ausgew hlte Schnittstelle kann beo bachtet werden Mit diesem Parameter l sst sich das Verhalten der System berwachung des Mikrocontrollers Watchdog control einstellen Im Automatikbetrieb quittiert eine Watchdog Fehlermel dung sich nach 2 Sekunden von selbst im Handbetrieb muss sie manuell durch Dr cken des entsprechenden Softkeys quittiert werden e mit Softkey amp oder F Parameterwert auf auto Standard oder hand stellen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Anhang BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet D Literaturverzeichnis BG 805 186 BD 9907 Maxi
61. us der oberen Parameterzeile Control Sensor ersichtlich Die Zuordnung der Messstelle erfolgt f r jede Schalt funktion einzeln Im Betriebsmodus Measurement werden alle Zuordnungen gleichzeitig angezeigt mbar Ba mbar 72 A4A16F 0 e r A Tf Eine andere Messstelle wie folgt zuordnen e Betriebsmodus Setpoint w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter Control Sensor w hlen e mit Softkey ik oder Parameterwert 1 6 Messstelle w hlen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren Die nderungen werden automatisch nichtfl chtig ge speichert Bedienung 43 7 5 3 Schwellwerte definieren Setecoint Abbildung 35 Anzeige Setpoint 44 PFEIFFER VACUUM Die oberen und unteren Schwellwerte werden in der zweiten und dritten Parameterzeile definiert kelay rert 40 1 Return Die Schwellwerte wie folgt definieren e Betriebsmodus Setpoint w hlen sofern n tig gt B 39 e mit Softkey next Parameter Seteoint hisk w hlen e mit Softkey amp oder Parameterwert Schwellwert oben h her oder tiefer setzen e mit Softkey next Parameter SetPoint Lou w hlen e mit Softkey amp oder Parameterwert Schwellwert unten h her oder tiefer setzen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren I HINWEIS Ein ausserhalb des Messbereiches liegender Schwell
62. viert werden Abbildung 52 Anzeige Sensor Parameter Ein Degas Vorgang l sst sich wie folgt aktivieren bzw deaktivieren e Betriebsmodus Sensor Parameter w hlen sofern n tig gt B 39 mit Softkey next Parameter Desas w hlen e mit Softkey amp oder F Parameterwert or Degas aktiviert oder uff Degas deaktiviert Standard w hlen e mit Softkey Return zum Betriebsmodus Measurement zur ckkehren HINWEIS Nach 3 Minuten Degas geht Parameter Tle43 automatisch auf a ff Standard HINWEIS Degas nur an den Anschl ssen Sensor 4 bis Sensor 6 m glich Degas aktivieren or nur m glich wenn die Messr hre eingeschaltet ist Im Betriebsmodus Measurement wird die Statusmeldung Tle43 angezeigt wenn Degas lt BG 805 186 BD 9907 MaxiGauge bet Bedienung 63 PFEIFFER VACUUM 7 7 5 Kalibrierfaktor ein Die Kalibrierfunktion erlaubt es den Messwert einer stellen Cal Messr hre abzugleichen Sie wird bei logarithmischen Factor Messr hren haupts chlich genutzt um den Messwert f r andere Gasarten als N anzupassen bei linearen Mess r hren um den Full Scale Messwert zu korrigieren Der Kalibrierfaktor wirkt auf M die Anzeige M die Schaltfunktionen Schwellwert Anzeige O die Analogausg nge des Ger tes M die seriellen Schnittstellen Bei IMR 260 IMR 265 und PBR 260 p lt 10 mbar nur im Heisskatoden Messberei

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