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Instruction Manual/Betriebsanleitung/Mode d'emploi

1. 27 Nettoyage des composants internes 28 Recherche des causes de panne 29 Stockage et mise au rebut 31 STOCKAGE e ne een Gu d dead 31 Mise au rebut 31 Pieces detachees et accessoires 33 Introduction SEENEN 33 Pi ces d tach es 34 Accessoires er 35 Pour le retour d appareil veuillez remplir les formulaires HS figurant la fin de ce manuel Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited zZ e LP WA ES LP eo D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H C O m Illustrations Abbildungen Illustrations D rt Figure Page Abbildung Seite Figure Page W 1 General view of the AIM Gauge 1 Allgemeine Ansicht der AIM Me r hre 1 Vue g n rale de la j auge AIM showing the NW25 flange 4 mit Flansch NW25 4 avec la bride NW25 4 2 Dimensions MM cece eee cece eens 8 2 Abma e MM issues 8 2 Dimensions rm 8 3 Schematic diagram of typical 3 Schaltschema der typischen 3 Sch ma des raccordements electrical connections 14 elektrischen Anschl sse 14 lectriques types 14 4 Exploded view of the AIM Gauge 26 4 Explosionsdarstellung der AIM Me r hre 26 4 Vue clat e de
2. lectromagn tique FA wow Mr L Marini Responsable technique O9 O2 09 Eastbourne Date et lieu Ce produit a t r alis en respectant un systeme de qualit homologu conform ment la norme ISO9001 P200 02 603 Issue B D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H Ep WARDS Contents Inhalt Table de matieres S1U94U07 gea 0201 04 12 Section Page Abschnitt Seite Section Page l Iogge elei ge e RENNES MN Tr nisk l 1 Seite e e W 1 1 IMEFOGUCHIION zur 1 1 1 Scope and definitions 1 1 1 Ziel und Definitionen 1 1 1 Port e et d finitions 1 1 2 DESCTIPE ION zs aaa 2 1 2 Beschreibung sise sew ascserecds 2 1 2 DSSCEIDEIOLI egene 2 1 3 Gas dependency 2 5 1 3 Gasart Abh ngigkeit 5 1 3 D pendance par rapport au gaz 5 2 Technical data uses it 7 2 Technische Daten 7 2 Caracteristiques techniques 7 2 1 Mechanical data 7 2 1 Mechanische Daten 21 Caract ristiques m caniques 7 2 2 Performance operating and 2 2 Leistungs Betriebs und 2 2 Performances et conditions de storage conditions 7 Lager bedingungen 7 fonctionnement et de stockage 7 2 3 Electrical data sire eoa nua xi re
3. Eine 8 polige Anschlu buchse Abbildung 1 Pos 6 an der AIM Mefsr hre wird f r den Anschlu an Ihre Aktiv Controller Anzeigeger te f r Aktiv Me r hren oder elektrische Versorgung und Voltmeter verwendet Mit passenden Steckern versehene Kabel stehen als Zubehor zur Verf gung Auf dem elektrischen Stecker ist ein Signal zur Identifizierung von Me r hren verf gbar Mit Hilfe dieses Signals stellt der Edwards AGC den angeschlossenen Mefsr hrentyp fest Die AIM Me r hre hat eine Sollwertvorrichtung bei dem Soll wertsignal handelt es sich um einen FET Transistor ausgang der eingeschaltet wird wenn der von der Mef r hre gemessene Druck unter einen voreingestellten Wert abfallt Der Druck bei dem der Sollwertausgang eingeschaltet wird kann eingestellt werden siehe Abschnitt 4 4 Es ist zu beachten da bei Verwendung eines Edwards AGC Controllers oder AGD Anzei ge ger ts das Soll wertausgangssignal der AIM Me r hre nicht verwendet wird Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H La jauge AIM requiert une alimentation de 13 5 36 V CC Elle comporte une sortie analogique de 2 10 V CC li e la pression La j auge AIM est compatible avec tous les AGC Edwards Contr leurs pour j auges actives et avec la version correspondante des AGD de Edwards Coffrets d affichage pour j auges actives Vous pouvez galement utiliser une alimentati
4. Consultez la Figure 1 et utilisez la proc dure suivante tenez le logement de aimant 4 pour l emp cher de tourner simultan ment tournez l anneau de protection 1 dans le sens des aiguilles d une montre ou dans le sens inverse fl che B pour amener la prise de raccordement de l appareil 6 la position requise 3 3 Raccordements lectriques AVERT ISSEMENT Si la jauge AIM est d fectueuse la sortie de pression peut tre incorrecte Assurez vous que ce type de panne n est pas susceptible de provoquer des blessures ou d endommager les quipements Dans le cas contraire vous tes tenus d installer un systeme de protection adapt permettant de signaler la panne et si n cessaire de stopper le processus Pour les cables de plus de 30 m la pleine conformit a la norme EN61326 exige la pr sence d un dispositif de protection contre les surtensions se reporter la Section 7 3 Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 3 3 1 Connect to Edwards controllers or AGD display Connect the AIM Gauge to the controller or display with a cable which is terminated in suitable connectors Suitable cables are available from Edwards refer to Section 7 3 3 2 Connect to your own supply and control equipment Note Do not connect the electrical supply common pin 2 to the signal common pin 5 If you do the AIM Gauge pr
5. Diese Seite ist absichtlich leer Cette page est d lib r ment laiss e blanche Page Seite Page 32 Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 7 Spares and accessories 7 1 Introduction Edwards products spares and accessories are available from Edwards companies in Belgium Brazil Canada France Germany Hong Kong Italy J apan Korea Switzerland United Kingdom U S A and a world wide network of distributors The majority of these centres employ Service Engineers who have undergone comprehensive Edwards training courses Order spare parts and accessories from your nearest Edwards company or distributor When you order please state for each part required e Model and Item Number of your equipment e Serial number if any e Item Number and description of part Edwards Limited 2012 All rights reserved 7 Ersatzteile und Zubehor 7 1 Einleitung Produkte Ersatzteile und Zubeh r von Edwards sind von Edwards Gesellschaften in Belgien Brasilien Frankreich Deutschland Grofsbritannien Hongkong Italien J apan Kanada Korea der Schweiz und den USA sowie einem weltweiten Netz an Vertragshandlern erhaltlich Die meisten von ihnen beschaftigen Service Techniker die bei Edwards geschult wurden Bestellen Sie Ersatzteile und Zubeh r von der Ihnen nachstgel egenen Edwards Ni ederl assung oder dem Ihnen n chstgelegenen Vertragsh nd
6. EC From August 2005 Edwards will offer European customers a recycling service for the Product cables associated gauge heads at the end of the product s life Contact Edwards for advice on how to return the Product cables ion gauges for recycling Edwards Limited 2012 All rights reserved 6 Lagerung und Entsorgung 6 1 Lagerung Die AlM Me r hre wieder mit der Schutzverpackung versehen und an einem sauberen trockenen Ort bis zur Wieder verwendung auf bewahren Die in Abschnitt 2 angegebene Lagertemperatur nicht berschreiten Zur Wiederverwendung die AIM Mef sr hre gem Abschnitt 3 vorbereiten und installieren 6 2 Entsorgung Entsorgen Sie das Produkt und alle Komponenten sicher unter Einhaltung aller rtlichen und nationalen Sicherheits und Umweltschutzbesti mmungen Alternativ dazu k nnen Sie das Produkt und oder die Kabel wiederaufbereiten Wenden Sie sich zur Beratung an Edwards oder an den Fachhandler siehe auch unten Dieses Produkt und die zugeh rigen Kabel sowie die lonisations Messr hren unterliegen der Richtlinie 2002 96 EG ber Elektro und Elektronik Altgerate Ab August 2005 bietet Edwards seinen europaischen Kunden einen Wiederaufbereitungsservice f r das Produkt die Kabel und die zugeh rigen Messr hren am Ende seiner ihrer Lebensdauer an Wenden Sie sich an Edwards um zu erfahren was Sie bei der R cksendung der zur Wiederaufbereitung bestimmten Produkte Kabel und lonisati
7. Die nachstehenden Kabel sind f r die Verwendung mit Les cables pouvant tre utilis s avec la j auge AIM sont follows These cables are supplied with 8 way male der AIM Me r hre geeignet Diese Kabel sind beidseitig les suivants Ces cables sont fournis avec une prise de electrical connectors on both ends mit 8 poligen Steckern versehen raccordement male 8 voies chaque extr mit Cable length tem Number Kabell nge Bestellnummer A Num ro de Longueur du c ble u reference 0 5m 18 inches D400 01 005 0 5m D400 01 005 lm 3 feet D400 01 010 1m D400 01 010 3m 10 feet D400 01 030 3m D400 01 030 5m 15 feet D400 01 050 5m D400 01 050 10m 30 feet D400 01 100 10 m D400 01 100 15 m 50 feet D400 01 150 15 m D400 01 150 25 m 80 feet D400 01 250 25 m D400 01 250 50 m 150 feet D400 01 500 50 m D400 01 500 100 m 325 feet D400 01 999 100 m D400 01 999 0 5 m D400 01 005 1m D400 01 010 3m D400 01 030 5m D400 01 050 10m D400 01 100 15m D400 01 150 25m D400 01 250 50 m D400 01 500 100 m D400 01 999 Dispositif de protection contre les D400 06 000 surtensions Surge Suppressor D400 06 000 Uberspannungsschutz einrichtung D400 06 000 Edwards Limited 2012 All rights reserved Page Seite Page 35 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited pue saJedg S9lJO0SSoQ22 Iam D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H EDWARDS This page has been intentionally left blank Diese Seite ist absichtlich leer Cette p
8. as WARNING and CAUTION instructions you must obey these instructions The use of WARNINGS and CAUTIONS is defined below WARNING Warnings are given where failure to observe the instruction could result in injury or death to people CAUTION Cautions are given where failure to observe the instruction could result in damage to the equipment associated equipment or process The units used throughout this manual conform to the SI international system of units of measurement Edwards Limited 2012 All rights reserved 1 Einleitung 1 1 Ziel und Definitionen Diese Betriebsanleitung enth lt Installations Betriebs und Wartungsanleitungen f r die Edwards Aktiv Penning Mefsrohren AIM Verwenden Sie bitte die AIM entsprechend den Anleitungen dieser Betriebsanleitung Lesen Sie diese Betriebsanleitung vor Installation und Betrieb der AIM Me r hre Wichtige Sicherheitsangaben sind durch WARNUNGS und VORSICHTS Anweisungen hervorgehoben Bitte befolgen Sie diese Anweisungen Die Verwendung von WARNUNGS und VORSICHTS Anweisungen ist nachfolgend definiert WARNUNG Mit Warnung werden Anweisungen gekennzeichnet die unbedingt befolgt werden m ssen um Verletzungen oder Tod von Personen zu vermeiden VORSICHT Mit Vorsicht werden Anweisungen gekennzeichnet die unbedingt befolgt werden m ssen um Sch den an Ausr stungen angeschlossenen Ausr stungen oder Fehler im Gesamtproze zu vermeiden Die in dies
9. de la jauge AIM Ep WARDS Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 7 Refit the collar 2 to the body tube Locate the flat spanner on the two lugs on the collar and turn the collar clockwise until it is fully secured in the body tube 8 Refit the body tube 5 to the magnet housing 1 as described in Steps 2 and 3 of Section 5 2 2 Refit the AIM Gauge to the vacuum system as described in Section 5 2 3 5 4 Replace the electronics and magnet housing The magnet housing and end cap contain the AIM Gauge control electronics Replace the complete unit as described below 1 Remove the AIM Gauge from the vacuum system as described in Section 5 2 1 2 Remove the body tube from the AIM Gauge as described in Step 1 of Section 5 2 2 3 Dispose of the old magnet housing and end cap refer to Section 6 4 Fit the body tube to the new magnet housing and end cap as described in Steps 2 and 3 of Section 5 2 2 Refit the AIM Gauge to the vacuum system as described in Section 5 2 3 Edwards Limited 2012 All rights reserved 7 Den Kragen 2 wieder am Mefsr hrenk rper anbringen Den Flachschlussel an den beiden Nasen am Kragen ansetzen und denselben im Uhrzeigersinn drehen bis er ganz im Me r hrenk rper gesichert ist 8 Den Me r hrenk rper 5 wie in den Schritten 2 und 3 des Abschnittes 5 2 2 beschrieben wieder ins Mag
10. la jauge AIM 26 Tables Tabellen Tableaux Table Page Tabelle Seite Tableau Page 1 Pins on the AIM Gauge electrical 1 Pinbelegung an der Anschlu buchse 1 Identification des broches de la prise connector socket 15 f r die AIM Mefsr hre 15 de raccordement lectrique de 2 Pressure and voltage characteristics 2 Druck und Spannungswerte f r la jauge AIM 26 6 0e 6e 15 for nitrogen and dry air AIM S and Stickstoff und trockene Luft 20 2 Caract ristiques de pression et de tension AIM SL Gauges 4 20 pour l air sec et pour l azote 20 Edwards Limited 2012 All rights reserved Page Seite Page iii Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Iam D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H EDWARDS This page has been intentionally left blank Leerseite Cette page est d lib r ment laiss e blanche Page Seite Page iv Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 1 Introduction 1 1 Scope and definitions This manual provides installation operation and maintenance instructions for the Edwards AIM Gauge Active Inverted Magnetron Gauge You must use the AIM Gauge as specified in this manual Read this manual before you install and operate the AIM Gauge Important safety information is highlighted
11. nummer Ihres Lieferanten angeben Das Verpackungsmaterial zur Kontrolle aufbewahren Beschadigte AIM Mefsrohre nicht benutzen Soll die AIM Me r hre nicht sofort eingesetzt werden die Schutzabdeckungen wieder aufsetzen Die AIM Mefsr hre unter geeigneten Bedingungen lagern siehe Abschnitt 6 3 2 Montage der AIM Mefsrohre in das Vakuumsystem Die AlM Me r hre kann in beliebiger Lage montiert werden Um Ansammlungen von Kontaminationen und kondensierbaren Stoffen im Geh use der AIM Me r hre zu vermeiden diese bewirken wahrscheinlich Me fehler empfehlen wir senkrechten Einbau wie in Abbildung 2 dargestellt Schlie en Sie den NW25 Flansch der AIM Me r hre mit einem O Ring Zentrierring oder einer Co Seal Dichtung mit Schelle an einem entsprechenden Flansch am Vakuumsystem an Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 3 Installation 3 1 D baller et V rification Retirez tous les mat riaux d emballage et les couvercles de protection et v rifiez que la jauge AIM n est pas endommagee En cas d endommagement vous devez prevenir votre fournisseur et le transporteur par crit dans les trois jours en signalant le num ro de code de la j auge AIM ainsi que votre num ro de commande et le num ro de facture de votre fournisseur Conservez les mat riaux d emballage en vue d un examen ult rieur N utilisez pas la jauge AIM si elle e
12. switch off the AIM Gauge disconnect pin 7 from pin 2 or from ground Page Seite Page 18 4 2 Zulassiger Betriebsbereich der AIM Mefsrohre VORSICHT Bei einem Systemdruck ber 1x10 mbar die AIM Me r hre nicht ber l ngere Zeit hinweg einsetzen Sonst konnen der Anodenstift beschadigt und die AIM Me r hre stark kontaminiert werden Wir empfehlen da Sie das Me ger t nur dann aktivieren wenn der Systemdruck unter 1 x 10 mbar liegt und das Me ger t deaktivieren wenn der Systemdruck 1 x 10 mbar oder gr er ist Bei Anschlu der AIM Me r hre an einen AGC oder ein AGD lesen Sie die j eweilige Betriebs anleitung wie die AIM Me r hre freizugeben einzuschalten bzw zu sperren abzuschalten ist Ansonsten wird die AIMMefr hre durch Anschlu von Pin 7 an Pin 2 oder an Masse freigegeben eingeschaltet Zur Sperrung Abschaltung die AIM Me r hre Pin 7 von Pin 2 oder von Masse trennen Ep WARDS Activation et desactivation de la jauge AIM 4 2 ATTENTION Ne faites pas fonctionner la jauge AIM pendant des p riodes prolong es lorsque la pression du systeme est sup rieure a 1 x 107 mbar sinon la broche anodique risque d tre endommag e et la jauge AIM peut tre gravement contamin e Nous vous recommandons de n activer cette j auge que lorsque la pression du syst me est inf rieure 1 x 107 mbar et de la d sactiver lorsque cette pression est sup rieure ou gale 1 x
13. the components in the magnet housing as described in Steps 5 to 8 of Section 5 3 Page Seite Page 28 5 5 Reinigung der internen Komponenten Siehe Abbildung 4 bzgl des nachstehenden Verfahrens 1 Die internen Komponenten wie in den Schritten 1 bis 4 des Abschnittes 5 3 beschrieben aus dem Magnetgeh use ausbauen Die Anodengruppe 3 ist mit einem Tr ger versehen der nahe der Anodenscheibe angebracht ist Mit einem Streifen feinen Sandpapier den Zwischenraum zwischen Scheibe und Tr ger reinigen Mit einem d nnen Schraubendreher oder einer F hlerlehre pr fen da der Zwischenraum mindestens 0 25 mm betr ct Katodenplatte 6 Katodenrohr 7 Mefsrohrenkorper 5 und Anodengruppe 3 unter Verwendung eines geeigneten Mittels entfetten Die Komponenten in einem geeigneten Laborreinigungsmittel grundlich einweichen Die Komponenten unter sauberem Wasser abspulen um das Reinigungsmittel wieder zu entfernen Die Komponenten in Methanol ausspulen um samtliches Wasser zu entfernen dann die Komponenten grundlich trocknen Die Komponenten wie in den Schritten 5 bis 8 des Abschnittes 5 3 beschrieben ins Magnetgehause einbauen 5 5 Ep WARDS Nettoyage des composants internes Reportez vous a la Figure 4 et utilisez la proc dure suivante T D posez les composants internes du logement de l aimant comme indiqu aux op rations 1 4 de la Section 5 3 L ensemble anode 3 comporte un supp
14. 1 beschrieben ausbauen 2 Den Me r hrenk rper wie in Schritt 1 des Abschnittes 5 2 2 beschrieben ausbauen 3 Den im Elektrodengruppensatz siehe Abschnitt 7 mitgelieferten Flachschl ssel an den beiden Nasen unten am Kragen 2 ansetzen dann den Kragen gegen den Uhrzeigersinn drehen den Kragen vom Mefsrohrenkorper 5 abschrauben und die Anodengruppe 3 sowie den O Ring 4 ausbauen 4 Mit der Sprengringzange den Sprengring 8 von der Vakuumflanschseite des Gehauserohres 5 abnehmen dann das Katodenrohr 7 und die Katodenplatte 6 herausnehmen 5 Die neue Katodenplatte 6 und das neue Katodenrohr 7 in den Me r hrenk rper einsetzen und mit dem Sprengring 8 sichern 6 Den neuen O Ring 4 und die Anodengruppe 3 in den Mef r hrenk rper 5 einsetzen auf korrekte Orientierung der Anodengruppe achten Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 5 2 3 Remontage de la jauge AIM sur le systeme a vide Remontez la jauge AIM sur le systeme a vide comme indique a la Section 3 2 puis rebranchez la prise de raccordement du c ble sur la prise de raccordement de la jauge AIM Figure 1 repere 6 5 3 Remplacement de l ensemble lectrode Reportez vous la Figure 4 et utilisez la proc dure ci dessous 1 D posez la j auge AIM du systeme vide comme indiqu l alin a 5 2 1 2 D posez le tube de la j auge AIM comme indiq
15. 107 mbar Si vous avez branch la j auge AlM sur un contr leur AGC ou un coffret d affichage AGD consultez le mode d emploi correspondant qui fournit des d tails sur l activation mise en circuit et la d sactivation mise hors circuit de la jauge AIM Sinon pour activer mettre en circuit la jauge AIM raccordez la broche 7 la broche 2 ou ala masse Pour d sactiver mettre hors circuit cette jauge supprimez le raccordement entre la broche 7 et la broche 2 ou la masse Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 4 3 Pressure measurement If you connected the AIM Gauge to a Edwards AGC controller or AGD display the pressure measured by the AIM Gauge is shown on the display If you connected the signal output of the AIM Gauge to a voltmeter convert the measured voltage to the corresponding pressure value for AIMS and AIM SL gauges refer to Table 2 for AIM X and AIM XL gauges use the equation 1 10 7 P 10 8 0 75 where P is the pressure in mbar and V is the measured voltage If necessary adj ust the pressure reading to compensate for the RMM of the gas in your vacuum system refer to Section 1 3 Edwards Limited 2012 All rights reserved 4 3 Druckmessung Ist die AIM Me r hre an einen Edwards AGC Controller oder ein AGD Anzeigegerat angeschlossen erscheint der gemessene Druck auf der Anzeige Wenn das
16. 5 D146 42 000 AIM XL NW25 D146 45 000 auf das bzw die sich die vorliegende Erkl rung bezieht folgenden Normen oder sonstigen normativen Dokumenten EN61010 1 2001 Sicherheitsbestimmungen f r elektrische Mess Steuer Regel und Laborger te EN61326 1 2006 Elektrische Mess Steuer Regel und Laborger te EMV Anforderungen Emissionsklasse B entsprechend den Bestimmungen der 2004 108 EG Richtlinie zur elektromagnetischen Vertr glichkeit A J te Pies Mr L Marini Technical Manager Dieses Produkt wurde nach einem ISO9001 gerechten Qualit tssicherungssystem hergestellt 09 02 09 Eastbourne Ort und Datum P200 02 602 Issue B Ep WARDS D claration de conformit Nous la soci t Edwards Manor Royal Crawley West Sussex RH10 9LW UK d clarons sous notre enti re responsabilit que le ou les produit s suivant s AIM S NW25 D146 41 000 AIM SL NW25 D146 44 000 AIM X NW25 D146 42 000 AIM XL NW25 D146 45 000 au x quel s cette d claration se r f re est ou sont conforme s la ou aux norme s suivante s ou un ou plusieurs autre s document s normatif s EN61010 1 2001 R gles de s curit pour appareils lectriques de mesurage de r gulation et de laboratoire EN61326 1 2006 Mat riels lectriques de mesure de commande et de laboratoire Prescriptions relatives la CEM Emissions de classe B en conformit avec les clauses de 2004 108 CE Directive sur la compatibilit
17. Ausgangssignal der AlM Me r hre an ein Voltmeter angeschlossen ist mu die gemessene Spannung in den entsprechenden Druckwert umgerechnet werden bei AIM S und AIM SL Me r hren siehe Tabelle 2 bei AIM X und AIM XL Mefsrohren wird die Gleichung 7 N 10 75 P 10 8 verwendet wobei P f r den Druck in mbar und V f r die gemessene Spannung steht Falls erforderlich Mu der Me wert entsprechend der Gasart korrigiert werden siehe Abschnitt 1 3 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 4 3 Mesures de pression Si vous raccordez la j auge AIM une lectronique de contr le AGC ou un coffret d affichage AGD Edwards la pression mesur e par cette j auge AIM est indiqu e sur affichage uorjeJado Apres avoir branch la sortie du signal de la j auge AIM un voltm tre convertissez la tension mesur e en une valeur de pression correspondante pour les j auges AIM S et AIM SL se reporter au Tableau 2 pour les jauges AIM X et AIM XL utiliser l quation suivante 71 N 10 75 P 10 ou P est la pression exprim e en mbar et V la tension mesur e Si n cessaire r glez affichage de la pression afin de compenser la masse mol culaire relative du gaz se trouvant dans votre systeme vide voir la Section 1 3 Page Seite Page 19 uo1 219d0 Iam D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H EDWARDS Ta
18. D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H Instruction Manual Betriebsanleitung Mode d emploi Active Inverted Magnetron Gauge Aktiv Penning Me r hren J auge active Magnetron inverse item Number Bestellnummer Numero de Reference D146 41 000 D146 44 000 D146 42 000 D146 45 000 ED WARDS WWW EOWARDSVACUUN COM We Edwards Manor Royal Crawley Gowanus Declaration of Conformity West Sussex RH10 9LW UK declare under our sole responsibility that the product s AIM S NW25 AIM SL NW25 AIM X NW25 AIM XL NW25 D146 41 000 D146 44 000 D146 42 000 D146 45 000 to which this declaration relates is in conformity with the following standard s or other normative document s EN61010 1 2001 EN61326 1 2006 Class B Emissions following the provisions of 2004 108 EC Safety Requirements for Electrical Equipment for Measurement Control and Laboratory Use Electrical Equipment for Measurement Control and Laboratory Use EMC Requirements Electromagnetic Compatibility Directive Mr L Marini Technical Manager This product has been manufactured under a quality system registered to ISO9001 4 3 T tr Lect 2 ERR Date and Place P200 02 600 Issue B Ep WARDS Konformitatserklarung Wir Edwards Manor Royal Crawley West Sussex RH10 9LW UK erkl ren in alleiniger Verantwortung dass das Produkt bzw die Produkte AIM S NW25 D146 41 000 AIM SL NW25 D146 44 000 AIM X NW2
19. G Do not use the AIM Gauge to measure the pressure of explosive or flammable gases or mixtures WARNING Never operate the AIM Gauge when it is disconnected from the vacuum system or when there are explosive or flammable gases in the surrounding atmosphere or the vacuum system High voltages up to 3 kV are generated inside the body tube of the AIM Gauge these could cause injury to people or could be a source of ignition WARNING The AIM Gauge incorporates magnets Keep away from Heart Pacemakers Computers Credit Cards and any other magnetically sensitive devices Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited WARNUNG Setzen Sie die AIM Mefsrohre nicht fur Druckmessungen von explosionsfahigen oder entflammbaren Gasen oder Gasgemischen ein WARNUNG Betreiben Sie die AIM Mefsrohre nicht wenn sie nicht an einem Vakuumsystem angeschlossen ist oder wenn explosive oder entflammbare Gase mit der Mefsrohre in Kontakt kommen konnen Im Inneren des Geh uses der AIM Me r hre werden Hochspannungen bis zu 3 kV erzeugt diese konnen zu Verletzungen von Personen f hren bzw eine Zundquelle sein WARNUNG Die AIM Me r hre enth lt Magneten Nicht in die N he von Herzschritt machern Computern Kreditkarten und anderen magnetisch empfindlichen Ger ten bringen AVERTISSEMENT N utilisez pas la jauge AIM pour mesurer la pressio
20. Jeds Electrode assembly kit S9lJOSSo22 D146 41 800 D146 44 800 D146 42 800 D146 45 800 D145 45 801 D145 45 802 The electrode assembl y kit contains one each of the following components cathode plate cathode tube circlip O ring anode assembly collar flat spanner Page Seite Page 34 7 2 Ersatzteile Bestellnummer Elektronik und Magnetgehause AIM S NW25 D146 41 800 Ep WARDS 7 2 Pieces detachees Boitier de quipement lectronique et de I aimant AIM SL NW25 AIM X NW25 AIM XL NW25 D146 44 800 D146 42 800 D146 45 800 AIM S NW25 AIM SL NW25 AIM X NW25 D146 41 800 D146 44 800 D146 42 800 D145 45 801 D145 45 802 Mefsrohrenkorper Elektrodengruppe im Satz Der El ektrodengruppensatz enth lt jeweils ein St ck der folgenden Komponenten Katodenplatte Katodenrohr Sprengring O Ring Anodengruppe Kragen Flachschlussel AIM XL NW25 D146 45 800 Tube D145 45 801 D145 45 802 Kit de l ensemble lectrode Ce kit contient un exemplaire les diff rents composants suivants plaque cathodi que tube cathodique circlip joint torique ensemble anode collier cl plate Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited zZ e LP WA ES D eo D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 7 3 Accessories 7 3 Zubehor 7 3 Accessoires The cables suitable for use with the AIM Gauge are as
21. L ont une plage de mesure tendue voir ci dessous et une caract ristique de sortie lin aire Les jauges SL et XL ont un champ magn tique externe tres faible et sont adapt es pour une instrumentation analytique sensible La plage de mesure de la jauge AIMS et AIM SL est comprise entre 1 x 109 1 x 107 mbar La plage de mesure des j auges AIM X et AIM XL s tend de 1 x 10 1x 10 mbar La liaison vide des j auges AIM s effectue par une bride NW25 Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS The AIM Gauge requires a 13 5 to 36 V d c power supply it has a 2 to 10V d c analogue output which is related to pressure The AIM Gauge is compatible with all of the Edwards AGCs Active Gauge Controllers and with the appropriate versions of the Edwards AGDs Active Gauge Displays Alternatively you can use an independent power supply for the AIM Gauge and you can read the AIM Gauge output signal with a voltmeter or an analogue to digital converter We recommend that you do not operate the AIM Gauge unless the pressure in the vacuum systemis 1 x 10 mbar or lower A gauge enable signal is used to control the operation of the AIM Gauge refer to Section 4 2 for more information An 8 way electrical connector socket on the AIM Gauge Figure 1 item 6 is used to connect the AIM Gauge to your AGC AGD or electrical supply and voltmete
22. L NW25 1 x 10 bis 1 x 10 mbar AIM X XL NW25 1 x 10 bis 1 x 10 mbar Verschmutzungsgrad 2 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 2 Caracteristiques techniques 2 1 Dimensions Masse AIM S X NW25 AIM SL XL NW25 Volume du tube de la j auge Classe de protection 2 2 Caract ristiques m caniques Voir Figure 2 810 g 860 g 26 cm IP40 BS5490 et IP403 IEC529 Performances et conditions de fonctionnement et de stockage Temp rature ambiante Fonctionnement Stockage Humidit ambiante en fonctionnement Altitude maximum de fonctionnement Pression interne maximum Gamme de mesure de pression AIM S SI NW25 AIM X XL NW25 Degr de pollution 5 60 C O 70 C 10 90 hors condensation 2000 m Utilisation l int rieur uniquement 10 bars absolus jauge 9 bars 1 x 108 1 x 10 mbar 1 x 10 1 x 102 mbar 2 Page Seite Page 7 ejep e21uu28 L ejep jedIUUudE D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 1 Clearance required for electrical cable 1 Freiraum fur elektrisches Kabel 1 Espace requis pour le passage du cable lectrique Page Seite Page 8 Figure 2 Dimensions mm Abbildung 2 Abma e mm Figure 2 Dimensions mm AW 1569 A Ep WARDS O72 116 Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards L
23. M Gauge to the vacuum system as described in Section 3 2 and refit the cable connector plug to the socket on the AIM Gauge Figure 1 item 6 5 3 Replace the electrode assembly Refer to Figure 4 in the following procedure 1 Remove the AIM Gauge from the vacuum system as described in Section 5 2 1 2 Remove the body tube from the AIM Gauge as described in Step 1 of Section 5 2 2 3 Fit the flat spanner supplied in the electrode assembly kit refer to Section 7 to the two lugs in the end of the collar 2 then turn the collar anticlockwise to unscrew the collar from the body tube 5 and remove the anode assembly 3 and the O ring 4 4 Use circlip pliers to remove the circlip 8 from the vacuum flange end of the body tube 5 then remove the cathode tube 7 and the cathode plate 6 5 Fit the new cathode plate 6 and cathode tube 7 into the body tube and secure with the circlip 8 6 Fit the new O ring 4 and anode assembly 3 into the body tube 5 ensure that the orientation of the anode assembly is correct Edwards Limited 2012 All rights reserved 5 2 3 Einbau der AIM Mefsrohre ins Vakuumsystem Die AIM Mefsr hre wie in Abschnitt 3 2 beschrieben wieder ins Vakuumsystem einbauen und den Kabelstecker wieder anschlie en Abbildung 1 Pos 6 Austausch der Elektrodengruppe 5 3 Siehe Abbildung 4 bzgl des nachstehenden Verfahrens 1 Die AIM Mef sro hre wie in Abschnitt 5 2
24. R Page Seite Page 14 Prise de raccordement lectrique de la j auge AIM Figure 3 Schematic diagram of typical electrical connections Abbildung 3 Schaltschema der typischen elektrischen Anschl sse Figure 3 Sch ma des raccordements lectriques types AW 1527 B Voltmetre niveau de d clenchement du point de consigne Ep WARDS Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS Table 1 Pins on the AIM Gauge electrical connector socket Electrical supply positive voltage Electrical supply common Pressure measurement output signal Gauge identification signal Signal common Set point output signal Gauge enable Set point trip level 1 2 3 A 5 6 7 8 The connection to pin 6 is optional Make the connection to pin 6 if you want to connect the set point output signal to a d c relay you must connect a suppression diode between pins 1 and 6 to protect the AIM Gauge fromtransient voltages generated when the d c relay is switched off You can connect a voltmeter between pins 5 and 8 to measure the set point trip level that is the voltage at which the set point output will go on see Figure 3 Connect a switch between pins 2 and 7 to enable and disable the gauge refer to Section 4 2 If you want to measure the gauge identification signal which identifies the AIM Gauge measure the resistance between pins 4 and 5 Edward
25. Steuerung 13 et quipement de contr le 13 4 OOS SCION ereignete 17 4 BEITIED c 17 4 Fonctionnement 17 4 1 SANG T 17 4 1 Leg de 17 4 1 SOUS ona dose deti aqu E ERE ntt TU RETI 17 4 2 Enable and disable the AIM Gauge 18 4 2 Zulassiger Betriebsbereich der 4 2 Activation et d sactivation de la 4 3 Pressure measurement 19 AIM Mefsr hre eese 18 jauge AIM n nnn 18 4 4 DS SAS EST 21 4 3 Dr ckmessung u a 19 4 3 Mesures de pression 19 4 4 well M 21 44 Point de consigne 21 Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Page Seite Page i S1U94U07 D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 5 5 2 5 2 1 5 2 2 5 2 9 5 3 5 4 5 9 5 6 6 1 6 2 7 1 7 2 7 3 Maintenance Introduction eek Replace the body tube Remove the AIM Gauge from the vacuum system cece cece cece eect nene Fit the new body tube Refit the AIM Gauge to the vacuum Vc S MONET T ILU Replace the electrode assembly Replace the electronics and magnet MOUIN serepet Clean the internal components Fault TINONG EE Storage and disposal For retur
26. age est d lib r ment laiss e blanche Page Seite Page 36 Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited
27. ards Limited Ep WARDS 3 Installation 3 1 Unpack and inspect Remove all packing materials and protective covers and check the AIM Gauge If the AIM Gauge is damaged notify your supplier and the Carrier in writing within three days state the Item Number of the AIM Gauge together with your order number and your supplier s invoice number Retain all packing materials for inspection Do not use the AIM Gauge if it is damaged If the AIM Gauge is not to be used immediately replace the protective covers Store the AIM Gauge in suitable conditions as described in Section 6 3 2 Fit the AIM Gauge to the vacuum system The AIM Gauge can be mounted in any orientation To avoid the build up of debris or condensable material in the body tube of the AIM Gauge which will probably Cause pressure measurement errors we recommend that you install the AIM Gauge vertically as shown in Figure 2 Use an O ring centring ring or Co Seal and clamp to connect the NW25 flange of the AIM Gauge to a similar flange on your vacuum system Edwards Limited 2012 All rights reserved 3 Einbau 3 1 Auspacken und Kontrollieren Gesamtes Verpackungsmaterial und Schutz abdeckungen entfernen und die AlM Me r hre pr fen Bei Besch digung der AIM Me r hre Lieferanten und Spediteur schriftlich innerhalb von drei Tagen benachrichtigen dabei die Bestellnummer der AIM Mef r hre zusammen mit Ihrer Auftragsnummer und der Rechnungs
28. aus gesehen drehen um den Baj onettverschlu zu schlie en wie durch Pfeil C gezeigt Ep WARDS 5 2 Remplacement du tube Reportez vous la Figure 4 et utilisez les proc dures ci dessous pour remplacer ce tube 5 2 1 D pose de la jauge AIM du syst me vide 1 Coupez l alimentation de la j auge AIM et v rifiez que le syst me vide est la pression atmosph rique 2 Debranchez la prise de raccordement du c ble Figure 1 rep re 5 de la jauge AIM puis d posez cette jauge du syst me vide 5 2 2 Mise en place d un tube neuf 1 Immobilisez le logement de I aimant 1 et simultan ment tournez le tube 5 dans le sens inverse des aiguilles d une montre lorsqu on regarde l ensemble depuis la bride de connexion au vide afin de d bloquer le raccord a baionnette D posez le tube du logement de aimant 2 Faites glisser le tube neuf pour l amener a l int rieur du logement de l aimant 1 comme indiqu par la fl che B 3 Immobilisez le logement de aimant 1 et simultan ment tournez le tube 5 dans le sens des aiguilles d une montre lorsqu on regarde l ensemble depuis la bride de connexion au vide afin de bloquer le raccord baionnette comme indiqu par la fl che C Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 5 2 3 Refit the AIM Gauge to the vacuum system Refit the AI
29. be can become electrically charged WARNING Disconnect the cable from the AIM Gauge before you remove the AIM Gauge from the vacuum system High voltages are generated inside the AIM Gauge The internal components of the AIM Gauge are shown in Figure 4 The AIM Gauge is designed so that you can easily clean these components or use the spares listed in Section 7 to replace these components Refer to the following sections for details of the maintenance procedures which you should do when necessary Edwards Limited 2012 All rights reserved gt Wartung 5 1 Einleitung WARNUNG Die Me elektronik und das Magnetgeh use nicht vom Me r hrenk rper trennen wenn die Me r hre am Vakuumsystem angeschlossen ist Bei einer Plasma Entladung im Vakuumsystem in der N he des Me r hrenk rpers kann sich dieser elektrisch aufladen WARNUNG Vor Ausbau des AIM Mefsrohre aus dem Vakuumsystem das Kabel von der AIM Me r hre trennen Im Inneren der AIM Me r hre wird Hochspannung erzeugt Die inneren Komponenten der AIM Me r hre werden in Abbildung 4 dargestellt Die AIM Mefsr hre ist so konstruiert da die Komponenten leicht gereinigt bzw unter Verwendung der in Abschnitt 7 aufgef hrten Ersatzteile ausgetauscht werden k nnen Nachstehende Abschnitte enthalten eine ausf hrliche Beschreibung der Wartungs verfahren die nur nach Bedarf auszuf hren sind Edwards and the Edwards logo are trademar
30. blank Diese Seite ist absichtlich leer Cette page est d lib r ment laiss e blanche Page Seite Page 6 Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 2 Technical data 2 1 Mechanical data Dimensions See Figure 2 Mass AIM S X NW25 810 g AIM SL XL NW25 860 g Volume of gauge tube 26 cm IPAO BS5490 and IPAO3 IEC529 Enclosure rating 2 2 Performance operating and storage conditions Ambient temperature 5 to 60 C storage Oto 70 C Ambient humidity operation 10 to 90 non condensing 2000 m Indoor use only operation Maximum operating altitude 10 bar absolute 9 bar gauge Maximum internal pressure Pressure measurement range AIM S SL NW25 1x 10 to 1 x 107 mbar AIM X XL NW25 1x 10 to 1 x 107 mbar Pollution degree 2 Edwards Limited 2012 All rights reserved 2 Technische Daten 2 1 Mechanische Daten Abma e Siehe Abbildung 2 Gewicht AIM S X NW25 810g AIM SL XL NW25 860 g Innenvolumen 26 cm Gehauseschutzart IP40 BS5490 und IP403 IEC529 2 2 Leistungs Betriebs und Lager bedingungen Umgebungstemperatur Betrieb 5 bis 60 C Lagerung O bis 70 C 10 bis 90 nicht kondensierend 2000 m Nur zur Verwendung im Innenbereich 10 Bar abs 9 Bar berdruck Umgebungsl uftf euchtigkeit Betrieb Max Hohe uber Meeresspiegel f r Betrieb Max Innendruck Druckme bereich AIM S S
31. ble 2 Pressure and voltage characteristics for nitrogen and dry air AIM S and AIM SL Gauges Tabelle 2 Druck und Spannungswerte fur Stickstoff und trockene Luft Tableau 2 Caract ristiques de pression et de tension pour l air sec et pour I azote Pressure mbar Output voltage V Pressure torr Output voltage V Pressure torr Druck mbar Ausgangsspannung V Druck torr Ausgangsspannung V Druck torr Pression mbar Tension de sortie V Pression torr Tension de sortie V Pression torr Page Seite Page 20 Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 4 4 Set point Note The set point is not used if you connect the AIM Gauge to a Edwards AGC Controller or AGD Display To adj ust the voltage at which the set point output signal goes on turn the set point potentiometer which is accessible through an access hole inthe end cap of the gauge see Figure 1 Turn the potentiometer clockwise to increase the voltage and turn it anticlockwise to decrease the voltage Refer to Section 4 3 to determine the operating voltage which corresponds to a given pressure The AIM Gauge has an error monitoring facility which ensures that the set point output signal is off When the Gauge is switched off that is not enabled e For 0 5 seconds immediately after the AIM Gauge iS switched on e When the pressure output signal is out of range perha
32. de consigne de la jauge AIM n est pas utilis Page Seite Page 3 UOIINPOANU UOIINPOANU NOoOVPWNMH D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H NOoOVPWNMH NOoOVURWNH Ep WARDS Figure 1 General view of the AIM Gauge showing the NW25 flange Abbildung 1 Allgemeine Ansicht der AIM Me r hre mit Flansch NW25 Figure 1 Vue generale de la jauge AIM avec la bride NW25 End cap Vacuum flange Body tube Magnet housing Cable connector plug Set point potentiometer on end of item 1 AIM Gauge connector socket Au enmantel Vakuumflansch Mefsrohrenkorper Magnetgehause Kabelstecker Sollwert Potentiometer an der Seite des Au enmantels AIM Anschl u buchse Anneau de protection Bride de connexion au vide Tube Logement de aimant Prise de raccordement du cable Potentiometre de point de consigne sur extr mit de l ment 1 Prise de raccordement de la j auge AIM Page Seite Page 4 A AW 1571 B Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 1 3 Gas dependency The ionisation of the gas in the vacuum system is dependent on both the pressure and the physical properties of the gas Therefore the output signal of the AIM Gauge is gas dependent The output signal voltage to pressure conversions in Table 2 apply for nitrogen and dry air Calibration graphs for use with argon neon kry
33. em Handbuch durchgehend verwendeten Ma einheiten entsprechen dem internationalen Ma einheitensystem SI Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 1 Introduction 1 1 Port e et d finitions Ce manuel pr sente les consignes de montage d exploitation et d entretien de la jauge AIM Edwards jauge active Magn tron inverse Vous devez utiliser la j auge AIM comme il est indiqu dans ce manuel Lisez ce manuel avant d installer et de faire fonctionner la jauge AIM Les informations de s curit importantes sont mises en valeur par des paragraphes encadr s intitul s AVERTISSEMENT et ATTENTION Vous devez en respecter les consignes L utilisation de ces messages AVERTISSEMENT et ATTENTION est d finie ci dessous AMERT ISSEMENT Un message Avertissement est pr vu chaque fois que le non respect d une consigne risque d entrainer mort ou blessure AT TENTION Un message Attention est pr vu chaque fois que le non respect d une consigne risque d endommager l quipement le mat riel associ ou le proc d Les unit s utilis es tout au long de ce manuel sont conformes au systeme international SI d unit s de mesure Page Seite Page 1 uononpoa1ul UOIINPOANU D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H In accordance with the recommendations of EN61010 the following warning symbol also appears on the product e From August 2005 Ed
34. essure output signal will be inaccurate A schematic diagram of the recommended electrical connections to the AIM Gauge is shown in Figure 3 The pins on the AIM Gauge electrical connection socket are used as shown in Table 1 The specification of the electrical supply d c relay and back EMF suppression diode are given in Section 2 Edwards Limited 2012 All rights reserved 3 3 1 Anschlu an Edwards Controller oder AGD Anzeigegerat Zum Anschlu der AIM Me r hre an einen Aktiv Controller oder ein AGD Anzeigeger t ein Kabel mit geeigneten Steckern verwenden Geeignete Kabel liefert Edwards siehe Abschnitt 7 3 3 2 Anschlu an eigene Netzversor gung und eigene Steuerung Hinweis Den Masseanschl uf der Stromversorgung Pin 2 nicht mit dem Signal masseanschl u Pin 5 verbinden Wenn dies geschieht wird das Ausgangssignal der AIM Me r hre ungenau Abbildung 3 zeigt das Schaltschema der elektrischen Anschl sse der AIM Me r hre Tabelle 1 zeigt die Kontaktbelegung der AIM Anschlu buchse Angaben uber die elektrische Versorgung das Gleichstromrelais und die EMK Entst rdiode enth lt Abschnitt 2 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H Raccordement a des contr leurs Edwards ou a un coffret d affichage AGD 3 3 1 Connectez la j auge AIM au contr leur AGC ou a appareil d affichage l aide d un cable termine par
35. eutre Signal de sortie du point de consigne Activation de la j auge Ni veau de d clenchement du point de consigne l 2 3 4 5 6 7 8 Le raccordement a la broche 6 est optionnel Faites le raccordement a la broche 6 si vous souhaitez raccorder le signal d erreur a un relais CC Vous devez raccorder une diode de suppression entre les broches 1 et 6 pour prot ger la j auge AIM des tensions transitoires g n r es lorsque le relais est mis hors service Vous pouvez brancher un voltmetre entre les broches 5 et 8 pour mesurer le niveau de d clenchement c est a dire la tension a laquelle la sortie du point de consigne est activee voir Figure 3 Un raccordement entre les broches 2 et 7 est n cessaire si vous souhaitez activer et d sactiver la j auge voir la Section 4 2 Si vous voulez mesurer le signal d identification de la j auge pour identifier le type de jauge AIM mesurez la r sistance entre les broches 4 et 5 Page Seite Page 15 uo1Je jeIsU Iam D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H EDWARDS This page has been intentionally left blank Diese Seite ist absichtlich leer Cette page est d lib r ment laiss e blanche Page Seite Page 16 Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 4 Operation 4 Betrieb A Fonctionnement 4 1 Safety 4 1 Sicherheit 4 1 Securite WARNIN
36. gler le potentiometre afin que la tension de fonctionnement du point de consigne soit lt 1 8 V c est dire tourner la potentiometre fond dans le sens inverse des aiguilles d une montre Cela permet d avoir un signal de sortie du point de consigne d sactiv en permanence Page Seite Page 21 uo1 219d0 D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H If required you can use the set point output signal to indicate when the Gauge is operating correctly adj ust the potentiometer so that the set point operating voltage is gt 10 V that is turn the potentiometer fully clockwise If the Gauge is operating normally the set point output signal will then be switched on Note If you adjust the set point operating voltage to gt 9 5 V the hysteresis voltage will be gt 10 V and the set point output signal may not switch off when the pressure rises if so the set point output signal will only go off when the gauge is switched off that is disabled Page Seite Page 22 Falls notwendig kann das Sollwertausgangssignal zur Anzeige verwendet werden da die Me r hre korrekt arbeitet Der Potentiometer mu so eingestellt werden da die Sollwertbetriebsspannung gt 10 V ist d h der Potentiometer wird vollst ndig im Uhrzeigersinn gedreht Wenn die Me r hre normal arbeitet wird dann das Soll wertausgangssignal gesetzt Hinweis Wenn die Sollwertbetriebsspannung auf gt 9 5 V eingestellt wird betragt die Hysteresespa
37. imited Ep WARDS 2 3 Electrical data Electrical supply Voltage Max voltage ripple Max source resistance Maximum power consumption Electrical connector Pressure output signal Range Error range Impedance Min load impedance Max current source Gauge enable Control sense Active level Control impedance Set point output external load rating Set point trip level Range Minimum load impedance Hysteresis 13 5 to 436 V d c 1 V peak to peak 50 Q 2 W FCC68 RJ 45 type 8 way 2 output lt 10 V d c output lt 2 V d c or output gt 10 V d c 0 1 Q 10 kQ 1 mA Active low lt 1 3 V 12 kQ pull up to positive supply 40 V d c 100 mA max 1 8 to 10 0 V 200 kQ 500 mV Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited 2 3 Elektrische Daten Elektrische Versorgung Spannung Max Brummspannung Maximaler Quell widerstand Max Stromaufnahme Anschl u stecker Druckausgangssignal Bereich Fehlerbereich Impedanz Min Lastimpedanz Max Stromquelle Freigabe Mef r hre Regelung Aktivpegel Regelimpedanz Sollwertausgang Externe Nennlast Sollwert Ausl sepegel Bereich Minimale Lastimpedanz Hysterese 13 5 bis 36 V Gs 1 V Spitze Spitze 50 Q 2W Typ FCC68 RJ 45 8 polig 2 lt Ausgang lt 10 V Gs Ausgang lt 2 V Gs oder Ausgang gt 10 V Gs 0 1 Q 10 kQ 1mA Aktiv niedrig lt 13V 12 kQ hoch
38. item 5 from the AIM Gauge and remove the AIM Gauge from the vacuum system 5 2 2 Fit the new body tube 1 Hold the magnet housing 1 and turn the body tube 5 anticlockwise when viewed from the vacuum flange to unlock the bayonet fitting Remove the body tube from the magnet housing 2 Slide the new body tube into the magnet housing 1 as shown by arrow B 3 Hold the magnet housing 1 and turn the body tube 5 clockwise when viewed fromthe vacuum flange to lock the bayonet fitting as shown by arrow C Page Seite Page 24 Austausch des Mefsrohrenkorpers 5 2 Zum Austausch des Mefsrohrenkorpers Abbildung A beachten und wie folgt vorgehen Ausbau der AIM Mefsrohre aus dem Vakuumsystem 5 2 1 1 Die Stromversorgung der AIM Me r hre abschalten und sicherstellen da das Vakuumsystem bel ftet ist 2 Den Kabelstecker Abbildung 1 Pos 5 von der AIM Mefsrohre abziehen und die AIM Me r hre aus dem Vakuumsystem ausbauen Einbau des neuen Me r hren k rpers 5 2 2 1 Das Magnetgeh use 1 festhalten und den Mefsrohrenkorper 5 entgegen dem Uhrzeigersinn vom Vakuumflansch aus gesehen drehen um den Baj onettverschlu zu ffnen Den Me r hrenk rper aus dem Magnetgeh use herausnehmen 2 Den neuen Me r hrenk rper ins Magnetgeh use 1 einf hren wie durch Pfeil B gezeigt 3 Das Magnetgeh use 1 festhalten und den Mefsr hrenk rper 5 im Uhrzeigersinn vom Vakuumflansch
39. ks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 5 Entretien Introduction 5 1 AVERTISSEMENT JDUPUSJUIEN Ne d branchez jamais I lectronique et le logement de I aimant au niveau du tube lorsque ce dernier est raccord au systeme a vide En effet s il y a une d charge plasmatique dans ce syst me proximit du tube ce dernier risque d tre charg sur le plan lectrique AVERT ISSEMENT D branchez le cable de la jauge AIM avant de d poser cette j auge du syst me a vide Des tensions lev es sont g n r es a l int rieur de cette jauge Les composants internes de la j auge AIM sont illustr s la Figure 4 Cette j auge est congue pour un nettoyage tr s facile de ces diff rents composants Cette conception permet galement d utiliser tr s ais ment les pi ces de rechange num r es la Section 7 en vue de remplacer ces composants Consultez la Section suivante qui pr sente des d tails sur les proc dures d entretien que vous devrez r aliser aux intervalles pr vus Page Seite Page 23 JDUPUSJUIEN D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 5 2 Replace the body tube Refer to Figure 4 and use the following procedures to replace the body tube 5 2 1 Remove the AIM Gauge from the vacuum system 1 Switch off the AIM Gauge electrical supply and ensure that the vacuum system is at atmospheric pressure 2 Disconnect the cable connector plug Figure 1
40. le complet comme indiqu ci dessous 1 D posez la jauge AIM du systeme vide comme indiqu a l alin a 5 2 1 2 D posez le tube de la j auge AIM comme indiqu l op ration 1 de l alin a 5 2 2 3 Mettez au rebut l ancien logement de aimant ainsi que l anneau de protection voir la Section 6 4 Montez le tube sur le nouveau logement de l aimant et sur le nouvel anneau de protection comme indiqu aux op rations 2 et 3 de l alin a 5 2 2 Remontez la j auge AIM sur le systeme vide comme indiqu la Section 5 2 3 Page Seite Page 27 JDUPUSJUIEN D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 5 5 Clean the internal components Refer to Figure 4 in the following procedure 1 Remove the internal components from the magnet housing as described in Steps 1 to 4 of Section 5 3 2 The anode assembly 3 has a bracket mounted close to the disk on the anode Use a strip of fine emery paper to clean the gap between the disk and the bracket 3 Use a fine screwdriver or feeler gauge and ensure that the gap is a minimum of 0 25 mm 4 Degrease the cathode plate 6 cathode tube 7 body tube 5 and anode assembly 3 in a suitable degreasing agent 5 Thoroughly soak the components in a suitable laboratory detergent 6 Rinse the components in clean water to remove the detergent 7 Rinse the components in methanol to remove all of the water then thoroughly dry the components 8 Refit
41. ler Geben Sie bei der Bestellung bitte f r jedes bentigte Teil an e Modell und Bestellnummer Ihrer Ausr stung e Seriennummer sofern vorhanden e Bestellnummer und Bezeichnung des Teiles Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 7 Pieces detachees et accessoires 7 1 Introduction Les produits pieces d tach es et accessoires Edwards s obtiennent en s adressant aux diff rentes compagnies Edwards implant es en Belgique au Br sil au Canada en Allemagne en France a Hongkong en Italie au J apon en Cor e au Royaume Uni en Suisse aux Etats Unis ainsi qu a un r seau international de distributeurs La majorit de ces centres emploient des ing nieurs et techniciens apr s vente qui ont suivi des cours tres complets de formation dans les tablissements Edwards Commandez les pieces de rechange et les accessoires en vous adressant a la soci t Edwards ou au distributeur Edwards le plus proche Lors de la passation de commande veuillez indiquer pour chaque composant requis les l ments suivants e le num ro de mod le et de code de votre quipement e le num ro de s rie le cas ch ant e le num ro de code et d signation de la pi ce Page Seite Page 33 pue saJedg SOlJ0SSOIIE D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H Electronics and magnet housing AIM S NW25 AIM SL NW25 AIM X NW25 AIM XL NW25 Body tube pue Sa
42. les connecteurs appropries Edwards peut vous fournir ces cables voir la Section 7 3 3 2 Raccordement a votre propre materiel et equipement de contr le Remarque Ne connectez pas l alimentation lectrique neutre broche 2 au signal neutre broche 5 Si vous le faites le signal de sortie de pression de la j auge AIM ne sera pas correct Un sch ma des raccordements lectriques conseill s pour la jauge AIM est montr a la Figure 3 Les broches de la prise de raccordement lectrique de la jauge AIM sont utilis es comme indiqu au Tableau 1 Les caract ristiques de l alimentation lectrique du relais CC et de la diode de suppression de contre FEM sont donn es la Section 2 Page Seite Page 13 UOIe e3su uo1Je jeIsU onaupwNH D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H AIM Gauge electrical connector socket Cable electrical connector plug Electrical supply Voltmeter pressure signal D C relay optional Back EMF suppression diode optional Gauge enable switch Voltmeter set point trip level AIM Anschl u buchse Kabelstecker 3 Elektrische Versorgung Voltmeter Gleichstromrelais wahlweise EMK Freilaufdiode wahlweise Freigabeschalter der Me r hre Voltmeter Sollwertausl sepegel ONAUMBWN ER Prise de raccordement lectrique du cable Alimentation Voltmetre Relais CC en option Diode de suppression de contre FEM enoption Contacteur d activation de la j auge ONAURWNE
43. n de gaz ou de melanges explosifs ou inflammables AVERT ISSEMENT Ne faites j amais fonctionner la j auge AIM si elle n est pas branchee sur le systeme vide ou lorsque I atmosphere avoisinante ou le systeme a vide contient des gaz explosifs ou inflammables Des tensions lev es pouvant atteindre 3 kV sont cr es l int rieur du tube de la j auge AlMet risquent de provoquer des blessures ou de constituer une source de mise feu AVERTISSEMENT La jauge AIM comprend des aimants La tenir loin des stimulateurs cardiaques Pacemakers ordinateurs cartes de cr dit et autres dispositifs sensibles aux interf rences lectromagn tiques Page Seite Page 17 uorjeJado uorjeJado D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 4 2 Enable and disable the AIM Gauge CAUTION Do not operate the AIM Gauge for long periods when the system pressure is above 1 x10 mbar If you do the anode pin can be damaged and the AIM Gauge can be severely contaminated We recommend that you only enable the gauge when the System pressure is lower than 1 x 10 mbar and that you disable the gauge when the system pressure is 1 x 10 mbar or higher If you have connected the AIM Gauge to an AGC or AGD refer to the corresponding instruction manual for details of how to enable switch on and disable switch off the AIM Gauge Otherwise to enable switch on the AIM Gauge connect pin 7 to pin 2 or to ground To disable
44. n of equipment complete the HS Forms at the end of this manual Page Seite Page ii 5 1 5 2 5 2 1 5 2 2 5 2 3 5 3 5 4 5 5 5 6 6 1 6 2 Z4 7 2 7 3 UV eg Da e EEN 25 BEING LUNG en een TT TT 23 Austausch des Me r hrenk rpers 24 Ausbau der AIM Me r hre aus dem Vakuumsystem ENEE 24 Einbau des neuen Me r hren k rpers 24 Einbau der AIM Mefsr hre ins Vakuumsystem 9 SNE xxt RERRDAR E RR 25 Austausch der Elektrodengruppe 25 Ausbau der Me elektronik und des Magnetgeh uses esee 27 Reinigung der internen Komponenten 28 Fehlersuche sans 29 Lagerung und Entsorgung 31 Ee e EE 31 EDESOFOLDIIIO Ente aaron ipe Lips 31 Ersatzteile und Zubehor 33 Einleitung susce chr RES RORERE RR RRIRERER EIAS 33 EK EE T 34 PAWle ped T TT TS 35 F r die R cksendung von Geraten sind die HS Formulare am Ende dieser Betriebsanleitung zu verwenden 5 1 Diz 5 2 1 5 5 2 3 5 9 5 4 5 5 5 6 6 1 6 2 7 1 1 2 1 3 Ep WARDS Entretien nee 23 Introduction 4225429249 92 REDE REO REGAT bbR EE 23 Remplacement du tube 24 D pose de la j auge AIM du syst me Ke E E E E E E E E 24 Mise en place d un tube neuf 24 Remontage de la j auge AIM sur le syst me vide su 25 Remplacement de l ensemble lectrode 25 Remplacement de lectronique et du logement de l aimant
45. netgeh use einsetzen AIM Me r hre wie in Abschnitt 5 2 3 wieder ins Vakuumsystem einbauen Ausbau der Me elektronik und des Magnetgeh uses 5 4 Magnetgeh use und Au enmantel enthalten die Mefselektronik f r den AIM Anzeiger Die komplette Einheit wie folgt austauschen 1 Die AlMMefsrohre wie in Abschnitt 5 2 1 ausbauen 2 Den Me r hrenk rper wie in Schritt 1 Abschnitt 5 2 2 beschrieben ausbauen 3 Das alte Magnetgeh use mitsamt dem Au enmantel entsorgen siehe Abschnitt 6 4 Den Me r hrenk rper in das neue Magnetgeh use mitsamt Au enmantel einsetzen siehe hierzu die Schritte 2 und 3 des Abschnittes 5 2 2 Die AIM Me r hre wie in Abschnitt 5 2 3 beschrieben wieder ins Vakuumsystem einbauen Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 7 Remontez le collier 2 sur le tube Amenez la cl plate sur les deux ergots du collier puis tournez ce dernier dans le sens des aiguilles d une montre pour bien le bloquer dans le tube 8 Remontez le tube 5 sur le logement de aimant 1 comme indiqu aux op rations 2 et 3 de l alin a 5 2 2 Remontez la j auge AIM sur le syst me a vide comme indiqu l alin a 5 2 3 32UPU9 UIP A 5 4 Remplacement de l lectronique et du logement de Il aimant Le logement de l aimant et l anneau de protection contiennent l lectronique de commande de la j auge AIM Remplacez cet ensemb
46. nnung gt 10 V und das Soll wertausgangssignal wird m glicherweise nicht ausgeschaltet wenn der Druck anstei gt ist dies der Fall wird das Soll wertausgangssi gnal nur ausgeschaltet wenn die Mefsr hre abgeschaltet d h gesperrt wird Ep WARDS Si n cessaire vous pouvez utiliser le signal de sortie du point de consigne pour signaler que la sonde fonctionne correctement r gler le potentiometre afin que la tension de fonctionnement du point de consigne soit gt a 10 V tourner le potentiometre a fond dans le sens des aiguilles d une montre Si la jauge fonctionne normalement le signal de sortie du point de consigne sera alors active Si vous r glez la tension de fonctionnement du point de consigne a une valeur gt 9 5 V la tension d hysteresis sera gt a 10 Vet le signal de sortie du point de consigne peut ne pas amp tre d sactive lorsque la pression augmente Si c est le cas le signal de sortie du point de consigne sera d sactiv uniquement lorsque la jauge est mise sur arr t c est a dire invalid e Remarque Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 5 Maintenance 5 1 Introduction WANNG Do not disconnect the electronics and magnet housingfromthe body tube when the body tube is connected to the vacuum system If there is a plasma discharge in the vacuum system near the body tube the body tu
47. ogo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 5 6 Recherche des causes de panne Si la jauge AIM ne fonctionne pas correctement verifiez que les raccordements electriques sont corrects voir Section 3 et assurez vous que votre tension d alimentation convient bien a la jauge AIM voir la Section 2 Page Seite Page 29 JDUPUSJUIEN Iam D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H EDWARDS This page has been intentionally left blank Diese Seite ist absichtlich leer Cette page est d lib r ment laiss e blanche Page Seite Page 30 Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 6 Storage and disposal 6 1 Storage Return the AIM Gauge to its protective packaging and store the AIM Gauge in clean dry conditions until required for use Do not exceed the storage temperature conditions specified in Section 2 When required for use prepare and install the AIM Gauge as described in Section 3 6 2 Disposal Dispose of the Product and any components safely in accordance with all local and national safety and environmental requirements Alternatively you may be able to recycle the Product and or cables contact Edwards or your supplier for advice also see below The Product and associated cables and ion gauges are within the scope of the European Directive on Waste Electrical and Electronic Equipment 2002 96
48. on ind pendante pour la j auge AIM et vous pouvez lire le signal de sortie de la j auge AIM avec un voltm tre ou un convertisseur analogique num rique Nous vous recommandons de ne pas faire fonctionner la jauge AIM tant que la pression du syst me vide n est pas inf rieure ou gale 1 x10 mbar Un signal de validation de la j auge permet d en contr ler le fonctionnement Pour de plus amples renseignements consultez la Section 4 2 Une prise de raccordement lectrique 8 voies sur la jauge AIM Figure 1 rep re 6 permet de raccorder la jauge AIM votre AGC votre ACD ou l alimentation et au voltm tre Des cables lectriques munis de connecteurs appropri s sont disponibles en accessoires Le connecteur dispose d un signal d identification de jauge ce signal est utilis par AGC Edwards pour identifier le type de jauge active raccord e Les j auges AIM ont un dispositif de point de consigne le signal du point de consigne correspond la sortie d un transistor drain ouvert FET Transistor effet de champ activ lorsque la pression mesur e par la j auge est inf rieure la pression pr r gl e Vous pouvez r gler la pression laquelle la sortie du point de consigne est activ e se reporter la Section A A Noter que lorsque vous utilisez un Contr leur commande automatique de gain CAG ou un Afficheur commande automatique d affichage CAA de Edwards le signal de sortie du point
49. ons Messr hren beachten m ssen Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 6 Stockage et mise au rebut 6 1 Stockage Remettez la j auge AIM dans son emballage protecteur et conservez la dans un lieu sec et propre jusqu ce que vous en ayez besoin Ne d passez pas les temp ratures de stockage sp cifi es la Section 2 Lorsque vous avez besoin de la j auge AIM pr parez la et installez la comme indiqu a la Section 3 6 2 Mise au rebut D barrassez vous du produit et de tous ses composants en toute s curit et en respectant toutes les r glementations locales et nationales en mati re de s curit et d environnement Vous pouvez galement recycler le produit et ou les cables Consultez Edwards ou votre fournisseur voir galement ci dessous La directive europ enne 2002 96 CE relative aux d chets d quipements lectriques et lectroniques sapplique au produit aux cables associ s et aux j auges ioniques A partir d ao t 2005 Edwards proposera ses clients europ ens un service de recyclage du produit des cables des t tes de j auge associ es en fin de vie Consultez Edwards pour plus d informations sur le retour du produit des cables des j auges ioniques des fins de recyclage Page Seite Page 31 jesodsip pue ebeJ01g Iam D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H EDWARDS This page has been intentionally left blank
50. ort qui vient se fixer proximit du disque sur l anode Utilisez de la toile meri fine pour nettoyer l espace entre ce disque et ce support Utilisez un tournevis lame fine ou un calibre d paisseur pour v rifier que cartement mesure au moins O 25 mm Nettoyez avec un produit de d graissage appropri la plaque cathodique 6 le tube cathodique 7 le tube 5 et l ensemble anode 3 Laissez tremper les composants dans un d tergent de laboratoire appropri Rincez les composants l eau froide pour vacuer ce d tergent Rincez les composants au m thanol pour enlever toute trace d eau puis faites soigneusement s cher les composants Remontez les composants dans le logement de l aimant comme indiqu aux op rations 5 8 de la Section 5 3 Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 5 6 Fault finding If the AIM Gauge does not operate correctly ensure that the electrical connections are correct refer to Section 3 and ensure that your electrical supply is suitable for the AIM Gauge refer to Section 2 Edwards Limited 2012 All rights reserved 5 6 Fehlersuche Wenn die AlM Mefsrohre nicht korrekt arbeitet alle elektrischen Anschl sse berpr fen siehe Abschnitt 3 Sicherstellen da die Stromversorgung fur die AIM Me r hre geeignet ist siehe Abschnitt 2 Edwards and the Edwards l
51. ps because the gauge has failed to strike ignite If required you can adj ust the potentiometer so that the set point operating voltage is lt 1 8 V that is turn the potentiometer fully anticlockwise This ensures that the set point output signal is permanently off Edwards Limited 2012 All rights reserved 4 4 Sollwert Hinweis Der Sollwert wird nicht verwendet wenn die AIM Me r hre an einen Edwards AGC Controller oder AGD Anzeigeger t angeschlossen ist Zur Einstellung der Spannung bei der das Sollwertausgangssignal gesetzt wird mu der Sollwert Potentiometer der durch eine Zugangs ffnung im Au enmantel der Me r hre erreichbar ist gedreht werden siehe Abbildung 1 Der Potentiometer mu im Uhrzeigersinn gedreht werden damit sich die Spannung erh ht und gegen den Uhrzeigersinn damit sich die Spannung verringert Siehe Abschnitt 4 3 f r die Bestimmung der Betriebsspannung die dem angegebenen Druck entspricht Die AIM Mefsr hre ist mit einer Fehler ber wachungsvorrichtung ausgestattet die gew hrleistet da das Sollwertausgangssignal in folgenden F llen ausgeschaltet wird e Wenn die Me r hre abgeschaltet d h nicht freigegeben ist e 0 5 Sekunden lang unmittelbar nachdem die AIM Me r hre eingeschaltet wird e Wenn sich das Druckausgangssignal au erhalb des Bereichs befindet weil die Me r hre sich m glicherweise nicht z nden l t Falls notwendig kann der Potentiomete
52. pton helium and carbon dioxide are available on request contact your supplier or Edwards Edwards Limited 2012 All rights reserved 1 3 Gasart Abhangigkeit Die lonisierung des Gases im Vakuumsystem richtet si ch sowohl nach dem Gasdruck als auch nach den physikalischen Eigenschaften des Gases Deshalb ist auch das Ausgangssignal der AIM Mefsr hre gasartabhangig Die Umrechnung der Ausgangssi gnal spannung in Druck in Tabelle 2 gilt f r Stickstoff und trockene Luft Kalibrierungskurven zur Verwendung mit Argon Neon Krypton Helium und Kohlendioxid stehen auf Wunsch zur Verf gung bitte setzen Sie sich mit Ihrem Handler oder Edwards direkt in Verbi ndung Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 1 3 D pendance par rapport au gaz L ionisation du gaz dans le syst me vide d pend de la pression et des caract ristiques physiques du gaz Le signal de sortie de la j auge AIM est donc lui aussi d pendant du gaz Le Tableau 2 de conversion tension pression du signal de sortie s applique l azote et l air sec Des courbes d talonnage sont disponibles sur demande pour utilisation avec l argon le n on le krypton l h lium et le gaz carbonique veuillez contacter votre fournisseur ou la soci t Edwards Page Seite Page 5 uononpoa1ul Iam D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H EDWARDS This page has been intentionally left
53. r Electrical cables fitted with suitable connector plugs are available as accessories A gauge identification signal is available on the electrical connector this signal is used by Edwards AGCs to identify which type of Active Gauge is connected The AIM Gauge has a set point facility the set point signal is an open drain transistor FET output which is on when the pressure measured by the Gauge is below a preset pressure You can adjust the pressure at which the set point output goes on refer to Section 4 4 Note that if you use a Edwards AGC Controller or AGD Display the AIM Gauge set point output signal is not used Edwards Limited 2012 All rights reserved Die AIM Me sr hre erfordert eine Gleich spannungs versorgung von 13 5 bis 36 V die Me r hre hat einen druckabh ngi gen Gleich spannungs Anal ogausgang von 2 bis 10 V De AIM Mef sr hre ist mit allen Edwards AGC Akti v Controller Geraten und den entsprechenden Versionen der Edwards AGD Anzeigegerate f r Aktiv Mefsr hren kompatibel Es ist jedoch auch m glich eine unabh ngige Stromversorgung f r die Me r hre zu verwenden und das AIM Ausgangssignal mit einem Voltmeter oder ber einen Analog Digital Wandler abzulesen Wir empfehlen da Sie die AlM Me r hre nur dann einsetzen wenn der Druck im Vakuum system 1 x 107 mbar ist Der Betrieb der AIM Me r hre wird ber ein Freigabesignal gesteuert siehe Abschnitt 4 2 f r weitere Informationen
54. r so eingestellt werden da die Sollwertbetriebs spannung lt 1 8 V ist d h der Potentiometer wird vollst ndig gegen den Uhrzeigersinn gedreht Dadurch wird gew hrleistet da das Sollwertausgangssignal st ndig ausgeschaltet ist Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 4 4 Point de consigne Le point de consigne n est pas utilis lorsque vous branchez la jauge AIM a un Contr leur CAG ou a un Afficheur CAA Remarque uo1 219d0 Pour r gler la tension laquelle le signal de sortie du point de consigne est activ agir sur le potentiometre du point de consigne accessible travers un trou d acc s sur la t te de la jauge voir Figure 1 Tourner le potentiometre dans le sens des aiguilles d une montre pour augmenter la tension et dans le sens inverse des aiguilles d une montre pour diminuer la tension Se reporter la Section 4 3 pour d terminer la tension de fonctionnement correspondant une pression donn e Les jauges AIM ont un dispositif de d tection d erreurs permettant au signal de sortie du point de consigne d tre d sactiv lorsque e La jauge est mise sur arr t c est dire non valid e e Pendant 0 5 secondes imm diatement apr s que la jauge ait t activ e e Lorsque le signal de sortie de la pression est hors plage peut tre parce que la jauge n a pas fonctionn allumage Si n cessaire vous pouvez r
55. s Limited 2012 All rights reserved Tabelle 1 Pinbelegung an der Anschlu buchse fur die AIM Me r hre Plusanschl u der elektrischen Versorgungsspannung Masseanschl u Versorgungsspannung Druckme wert Ausgangssignal Identifikations Code Signal masseanschl u Sollwertausgangssi gnal Freigabe Mef ger t Sollwertausl sepegel Der Anschlu an Pin 6 ist optional Pin 6 anschlie en wenn Sie das Fehlersignal an ein Gleichstromrelais anschlie en wollen Sie m ssen eine Entst rdiode zwischen Pin 1 und 6 anschlie en um die AlM Me r hre vor berspannungen zu sch tzen die beim Abschalten des Gleichstromrelais erzeugt werden Sie k nnen ein Voltmeter zwischen Pin 5 und 8 anschlie en um den Sollwertausl sepegel d h die Spannung bei der der Sollwertausgang eingeschaltet wird zu messen siehe Abbildung 3 Einen Schalter zwischen Pin 2 und 7 anschlie en um die Me r hre freigeben und sperren zu k nnen siehe Abschnitt 4 2 Um den Identifikations Code zu lesen um den Typ der AIM Me r hre zu bestimmen messen Sie den Widerstand zwischen Pin 4 und 5 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H Tableau 1 Identification des broches de la prise de raccordement lectrique de la jauge AIM Tension positive de l alimentation Neutre de l alimentation Signal de sortie de la mesure de pression Signal d identification de la j auge Signal n
56. st endommag e Si la j auge AIM ne doit pas tre utilis e imm diatement remettez les couvercles de protection Stockez cette jauge dans des conditions ad quates comme indiqu la Section 6 3 2 Montage de la jauge AIM sur le systeme a vide La jauge AIM peut tre mont e dans n importe quelle position Pour viter l accumulation de d bris ou de matieres condensables dans le corps du tube de la j auge ce qui provoquerait vraisemblablement des erreurs de mesure de pression nous vous conseillons d installer cette j auge verticalement comme indiqu la Figure 2 Utilisez un joint torique avec anneau de centrage ou un joint Co Seal et un collier de serrage pour raccorder la bride NW25 de la j auge AIM une bride correspondante de votre syst me vide Page Seite Page 11 UOIe e3su uo1Je jeIsU D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H If required you can turn the end cap relative to the magnet housing so that the electrical connection socket isin a convenient position on your system refer to Figure 1 and use the following procedure hold the magnet housing 4 and turn the end cap 1 ina clockwise or anticlockwise direction arrow B until the electrical connection socket 6 is in the required position Electrical connections 3 3 WARNING If the AIM Gauge malfunctions the AIM Gauge pressure output may be incorrect If such a failure could cause injury to people or damage equipment you m
57. switch on e When pressure output signal voltage lt 1 8 V 2 5 Materials exposed to vacuum e Stainless steel AISI 304 and 306 e Fluoroelastomer e Soda lime glass Page Seite Page 10 EMK Freilaufdiode Min Sto spannung 1A 100 V Mef r hren Identifikationswiderstand AIM S SL NW25 100 kQ 2 AIM X XL NW25 110 kQ 2 Min Gegenspannung Bei Benutzung eines an den Sollwertausgang angeschlossenen externen Gleichstromrelais 2 4 Fehleruberwachung Der Sollwertausgang wird abgeschaltet e 0 5 Sekunden lang wenn die Me r hre eingeschaltet wird e Wenn die Druckausgangssignal spannung lt 1 8 V betr gt 2 5 Werkstoffe im Vakuum e Rostfreier Stahl AISI 304 and 306 e Fluoroelastomer e Kalknatronglas Ep WARDS Diode de suppression de contre FEM Surcharge minimum 1A Tenison indirecte minimum 100 V R sistance de la jauge AIM S SL NW25 100 kQ 2 AIM X XL NW25 110 kQ 4 296 N cessaire si vous utilisez un relais externe CC raccord la sortie d erreur 2 4 D tection des erreurs La sortie du point de consigne est d sactiv e e Pendant O 5 seconde lors de l activation de la jauge e Lorsque la tension du signal de sortie de la pression est lt 1 8 V 2 5 Mat riaux expos au vide e Acier inoxydable AISI 304 and 306 e Fluoro lastom re e Verre de chaux sodique Edwards Limited 2012 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edw
58. u a l op ration 1 de l alin a 5 2 2 3 Inserez la cl plate fournie avec la trousse de l ensemble lectrode voir la Section 7 entre les deux ergots qui se trouvent l extr mit du collier 2 puis faites tourner ce collier dans le sens inverse des aiguilles d une montre pour le d visser du tube 5 et d posez l ensemble anode 3 et le joint torique 4 4 Utilisez une pince sp ciale pour retirer le circlip 8 de l extr mit bride de connexion au vide du tube 5 puis d posez ce tube 7 et la plaque cathodique 6 5 Mettez en place une plaque cathodique 6 et un tube cathodique 7 neuf dans le tube et immobilisez les avec le circlip 8 6 Mettez en place le joint torique 4 neuf et l ensemble anode 3 neuf dans le tube 5 Assurez vous que l orientation de l ensemble anode est correcte Page Seite Page 25 32UPU9 UIP A D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H Magnet housing Collar Anode assembly O ring Body tube Cathode plate Cathode tube Circlip JDUPUSJUIEN D Job WH Magnetgehause Kragen Anodengruppe O Ring Mefsrohrenkorper Katodenplatte Katodenrohr Sprengring D Job WH Logement de aimant Collier Ensemble anode J oint torique Tube Plaque cathodique Tube cathodique Circlip D Job WH Page Seite Page 26 AW 1572 C Figure 4 Exploded view of the AIM Gauge Abbildung 4 Explosionsdarstellung der AIM Mefsrohre Figure 4 Wue clat e
59. ufrechterhaltenen Townsend Entladung flie t Die AIM Me r hre ist in vier Ausf hrungen erh ltlich den Modellen S SL X und XL Die Me r hren X und XL haben einen erweiterten Me bereich siehe unten und eine lineare Ausgangskennlinie Die Mefsr hren S und SL haben ein sehr niedriges externes Magnetfeld und eignen sich f r den Einsatz mit empfindlichen Analyseinstrumenten Der Me bereich der Me r hren AIM S und AIM SL betr gt 1x10 bis 1x10 mbar Der Me bereich der Me r hren AIM X und AIM XL betr gt 1x10 bis 1x10 mbar Die AIM Me r hre hat einen NW25 Vakuumanschl ufsfl ansch Ep WARDS Conformement aux recommandations de la norme EN61010 le symbole d avertissement suivant figure galement sur le produit A partir d ao t 2005 Edwards proposera un service de recyclage a ses clients europ ens 1 2 Description La jauge AIM qui est illustr e la Figure 1 est une t te de j auge Magn tron invers e associ e un contr leur de jauge et le tout est implant dans un groupe compact Cette j auge fonctionne suivant le principe de ionisation cathodique a froid c est dire que la pression est mesuree indirectement en fonction du courant qui circule dans une d charge Townsend maintenue a l int rieur du tube du corps Quatre versions de la j auge AIM sont disponibles Les versions S SL X et XL Les versions X et X
60. ust install a suitable control system to indicate the failure and if necessary to close down your process system When using a cable longer than 30 m full compliance with the EN61326 requires an in line surge suppressor please refer to Section 7 3 Page Seite Page 12 Wenn erforderlich kann der Au enmantel relativ zum Magnetgeh use so gedreht werden da der Steckeranschlu in eine Ihrem System entsprechende g nstige Stellung kommt siehe Abbildung 1 und gehen Sie wie folgt vor Magnetgeh use 4 festhalten und den Au enmantel 1 entweder im Uhrzeigersinn oder gegen den Uhrzeigersinn Pfeil B drehen bis der Steckeranschlu 6 in der gew nschten Stellung ist Elektrische Anschl sse 3 3 WARNUNG Bei St rungen der AIM Me r hre kann es zu Fehlanzeigen kommen Wenn daraus eine Verletzung von Personen oder eine Besch digung von Anlagen resultieren kann m ssen Sie eine geeignete Sicherheitsabschaltung integrieren die den Fehler anzeigt und falls erforderlich den Proze abschaltet Wird ein Kabel von mehr als 30 m L nge verwendet ist zur uneingeschr nkten Einhaltung der EN61326 eine berspannungsschutzeinrichtung zwischenzuschalten siehe Abschnitt 7 3 Ep WARDS Le cas ch ant vous pouvez tourner anneau de protection par rapport au logement de aimant afin d amener la prise de raccordement de appareil la position la plus commode pour la brancher sur votre systeme
61. wards will offer European customers a recycling service 1 2 Description The AIM Gauge shown in Figure 1 is an inverted magnetron gauge head and gauge controller in a single compact unit The gauge operates as a cold cathode ionisation gauge in which the pressure is measured indirectly as a function of the current which flows in a Townsend discharge maintained in the body tube Four versions of AIM Gauge are available the S SL X and XL gauges The X and XL gauges have an extended measurement range see below and a linear output characteristic The SL and XL gauges have a very low external magnetic field and are suitable for use with sensitive analytical instrumentation The measurement range of the AIMS and AIM SL gauges is 1x 10 8 to 1 x 10 mbar The measurement range of the AIM X and AIM XL gauges is 1 x 10 to 1 x 10 mbar The AIM gauge vacuum connection is an NW25 flange Page Seite Page 2 Gem den EN61010 Empfehlungen ist an dem Produkt das folgende Warnsymbol angebracht Ab August 2005 bietet Edwards seinen europaischen Kunden einen Wiederaufbereitungsservice an 1 2 Beschreibung Die in Abbildung 1 dargestellte AIM Mefsr hre ist ein invertierter Magnetronmefskopf und integrierte Mefselektronik in einem einzigen kompakten Gerat Sie arbeitet als Kaltkathoden lonisierungsmefsgerat mit indirekter Druckmessung als Funktion des Stromes der in einer im R hrenk rper a
62. x ERR 9 2 3 Elektrische Daten 9 2 3 Caract ristiques lectriques 9 2 4 Error monitoring 4 10 2 4 Fehler berwachung 10 2 4 D tection des erreurs 10 2 5 Materials exposed to vacuum 10 2 5 Werkstoffe im Vakuum lO 2 5 Mat riaux expos au vide 10 3 Stan SEO eR TT 11 3 EIND Il urn ee 11 3 ATS lat ON rin 11 3 1 Unpack and inspect 11 3 1 Auspacken und Kontrollieren 11 3 1 D baller et V rification 11 3 2 Fit the AIM Gauge to the vacuum 3 2 Montage der AIM Mefsr hre in das 3 2 Montage de la j auge AIM sur le E a a E PC AUS FE dont d 11 Vakuumsystem 1 0 cece cece cece e eee nene 11 syst me vice 11 3 3 Electrical connections 12 3 3 Elektrische Anschl sse 12 3 3 Raccordements lectriques 12 3 3 1 Connect to Edwards controllers 3 3 1 Anschlu an Edwards Controller oder 3 3 1 Raccordement des contr leurs Edwards or AGD display crore ea 13 AGD Anzeigeger t 1 13 ou a un coffret d affichage AGD 13 3 3 2 Connect to your own supply and 332 Anschlu an eigene Netzversorgung und 3 3 2 Raccordement votre propre mat riel control equipment cece cece 13 eigene
63. ziehend zur positiven Versorgung 40 V Gs 100 mA max 1 8 bis 10 0 V 200 KQ 500 mV D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H 2 3 Caracteristiques lectriques Alimentation Tension Ondulation de tension maximum R sistance de source max Consommation maximum de courant Connecteur lectrique Sortie mesure de pression Gamme du signal Gamme d erreur Impedance Imp dance de charge minimum 13 5 436 V CC 1 V cr te cr te 50 Q 2 W Type FCC68 RJ 45 8 voies 2 sorties lt 10 V CC Sortie 2 V CC ou Sortie gt 10 V CC 0 1 Q 10 kQ Source de courant maximum1 mA Activation de j auge D tection de commande Ni veau actif Imp dance de Commande Charge externe de sortie du point de consigne Ni veau actif faible lt 13V Mont e de 12 kQ a l alimentation positive 40 V CC 100 mA maxi Ni veau de d clenchement du point de consigne Plage Charge minimum imp dance Hyst r sis 1 8 10 0 V 200 kQ 500 mV Page Seite Page 9 e ep e21uu28 ejep e21uu28 D146 41 885 Issue H Ausgabe H Version H Back EMF suppression diode j Min surge rating lA Min reverse voltage rating 100 V Gauge identification resistance AIM S SL NW25 100 kQ 2 AIM X XL NW25 110 kQ 4 296 Required when you use an external d c Relay connected to the set point output 2 4 Error monitoring The set point output is switched off e For 0 5 seconds during gauge

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