Benutzerhandbuch MP134D - Physik Instrumente (PI)
Contents
1. cccccccccccceesseceeceeeeeeeeceeeseeeesseeeeceeseeaeeeeesseaeeeesesaaaass 19 3 7 Technische Ausstattung u002444400040nnnennennnn nennen nnennnnnnnnnnnnnennnnnennnnen nenn 20 3 7 1 Linearencoder Sensor ccccssssccccccseseecececeeseeeeeceeeeeeeeesseaeeeeeseaaaess 20 3 7 2 HelErEeNZScH llet nennen een ren 20 3 7 3 ID Chip E E E ceases tcoesoem eens 20 4 Auspacken 23 5 Installation 25 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation s 4s000444000 Rennen nnnnnn nennen een 25 5 2 Q 522 auf Unterlage befestigen und an Schutzleiter anschlie en 28 5 3 Mehrachssystem aufbauen ccccccseeecceeceeeeeeeeeeeaeeeeeeeeseeeseeeeesaeeeeeeessaeneeeseneas 31 5 4 Last am Q 522 befestigen 22222222uuuuneeeeeeeennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 33 5 5 Q 522 an Elektronik anschlie en cccccccccceeceeeeeeceeseeeseeeeeceeeeeeeeeseeeeesaaaaaes 37 5 5 1 Q 522 an Treiberelektronik anschlie en 222222222220222 nenn 37 5 5 2 Q 522 an Controller ANSCHIIQREN c ccccccccecceccecceccecceccecceceaceass 38 10 11 12 Inbetriebnahme und Betrieb 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb u0020n0e200o 6 2 Versteller in Betrieb nehmen 0022222000220nssennnnnnnnnennnnonnnnnnennnnnne nennen 6 2 1 Q 522 x0z mit Treiberelektronik E 870 in Betrieb nehmen 6 2 2 Q2. 9 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung Der Q 522 ist ein Laborger t im Sinne der DIN EN 61010 1 Er ist f r die Verwendung in Innenr umen und in einer Umgebung vorgesehen die frei von Schmutz l und Schmiermitteln ist Entsprechend seiner Bauform ist der Q 522 f r die Positionierung Justierung und Verschiebung von Lasten in einer Achse bei verschiedenen Geschwindigkeiten im Intervallbetrieb vorgesehen Der Q 522 verwendet als Antrieb einen PIShift Piezomotor Im Stillstand ist der Antrieb selosthemmend muss nicht bestromt werden erw rmt sich nicht und h lt die Position Der Q 522 kann in beliebiger Orientierung befestigt werden Die Spezifikationen des Q 522 gelten f r die horizontale Montage S 55 Der Q 522 ist nicht vorgesehen f r Anwendungen in Bereichen in denen ein Ausfall erhebliche Risiken f r Mensch oder Umwelt zur Folge h tte Weitere Informationen zu den Einsatzbedingungen des Q 522 siehe Technische Daten S 55 Einige Modelle des Q 522 sind mit einem Linearencoder zur direkten Positionserfassung ausger stet Die bestimmungsgem e Verwendung des Q 522 ist nur in komplett montiertem und angeschlossenem Zustand m glich Der Q 522 muss mit einer geeigneten Elektronik S 19 betrieben werden Die Elektronik ist nicht im Lieferumfang des Q 522 enthalten Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 7 2 Sicherheit PI 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise Der Q 522 ist nach dem Stand der Technik
3. Ungeeignete Betreiben Sie den Q 522 nur in sauberer Umgebung Umgebungs und bei zul ssigen Umgebungsbedingungen S 57 bedingungen Verschlei des Tauschen Sie den Q 522 aus und stellen Sie sicher Antriebs dass die Betriebsparameter der Elektronik an den Versteller angepasst sind Antrieb ist blockiert L sen Sie vorsichtig die Blockade indem Sie die bewegte Plattform per Hand hin und her bewegen Kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 53 Wenn die St rung Ihres Systems nicht in der Tabelle angef hrt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 53 52 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 9 Kundendienst 9 Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre Pl Vertretung oder schreiben Sie uns eine E Mail info pi ws Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an Produktcodes und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers sofern vorhanden Version des Treibers oder der Software sofern vorhanden PC Betriebssystem sofern vorhanden Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 4 bereit Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 53 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 Technische Daten In diesem Kapitel DOS ZIMA OME essiri ee ee
4. Version der Hardware Einstellungen f r den Sensor Interpolationsrate Hysterese Phasen und Offsetkorrekturen Verst rkungsfaktoren Beim Einschalten oder Neustart lesen Controller von PI die Daten vom ID Chip aus Weitere Informationen zur ID Chip Erkennung finden Sie im Handbuch des verwendeten Controllers Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 21 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 4 Auspacken 4 Auspacken HINWEIS Elektrostatische Gef hrdung Die Modelle Q 522 x40 Sensor vorhanden nicht f r den Einsatz im Vakuum geeignet haben einen Stecker D Sub 15 m f r den Anschluss an die Elektronik Das Ber hren der Pins des Steckers kann elektrostatisch auch ESD gef hrdete Bauteile des Q 522 besch digen Deshalb werden die Modelle Q 522 x40 mit einer ESD Schutzkappe auf dem Stecker ausgeliefert gt Entfernen Sie die ESD Schutzkappe erst vom Stecker wenn Sie den Q 522 an den Controller anschlie en INFORMATION Beim Umgang mit der Vakuumversion des Verstellers muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden Bei Pl werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt W hrend der Montage und w hrend des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet Danach wird der Versteller noch einmal per Wischreinigung ges ubert und doppelt in vakuumtaugliche Folie eingeschwei t gt Ber hren Sie den Versteller nur mit puderfreien Handschuhen gt Wenn notwendig s ubern Sie den Versteller per W
5. 4 verf gbar PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE Inhalt 1 Uber dieses Dokument 1 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs cccceecceceseeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeaees 1 1 2 Symbole und Kennzeichnungen ccccccseeeceeeccaeeseceeeeeeeeceeeeeaeeeeeeesseeeeeeessaeeeees 1 1 3 BEGTIHSELK AFUNG sn anreisen hen nee eh en Ener 3 1 4 PRC GUNS 0 ae cia cs cinate ace E doses anteiauet acaseacenes 3 1 5 Mitgeltende DOKUMENME ccccccccssseceecceeeeceecceeeeeceeseaeaeeeeseuaaseeessseaeeeessnaaass 3 1 6 Handb cher herunterladen cccccccccecessececceseeeeceeeceeceeeceeseeeeeeeseeeeeeseaeeeessaaees 4 2 Sicherheit 7 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung ccccsseeeceeeeeeeeeceeecaeeeeceeeeseeeeeeseeeaeeeeeeesaaees 7 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise uus00400400000nnennnnnnnnnnnnnnnnnennnnnn nennen 8 2 3 Organisatorische Ma nahmen ccccccssesecceecseeeceeecaeeeceeeeseeeeeeeesseaeeeeeeeaaaeeeess 8 2 4 Ma nahmen bei der Handhabung von vakuumtauglichen Produkten 9 3 Produktbeschreibung 11 3 1 Modell bersicht 0022220002202000020nnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nennen ETET 11 3 2 Produktansicht ee ee 13 3 3 Produkibeschrlifihg eu een 17 3 4 UNS TORN CANN nenn mern nern 18 3 5 Optionales Zubeh r cccccccccccseseeceecaeeeeceeecaeuseceesceeuseeeesseaeeeeessaageeesessaaeeeees 19 3 6 Geeignete Elektronik
6. Handlung mit einem Schritt oder mehreren Schritten deren Reihenfolge nicht relevant ist Aufz hlung Querverweis auf Seite 5 Bedienelement Beschriftung auf dem Produkt Beispiel Buchse der RS 232 Schnittstelle Auf dem Produkt angebrachtes Warnzeichen das auf ausf hrliche Informationen in diesem Handbuch verweist MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument 1 3 Begriffserkl rung Belastbarkeit Maximale Belastbarkeit vertikal wenn der Versteller horizontal montiert ist Der Angriffspunkt der Last liegt in der Mitte der Plattform Linearencoder Der Linearencoder ist ein inkrementeller Sensor zur Erfassung von Lage nderungen Die Signale des Sensors werden f r die R ckmeldung der Achsenposition verwendet Nach dem Einschalten des Controllers muss eine Referenzwertbestimmung durchgefuhrt werden bevor absolute Zielpositionen kommandiert und erreicht werden k nnen 1 4 Abbildungen Zugunsten eines besseren Verst ndnisses k nnen Farbgebung Gr enverh ltnisse und Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tats chlichen Gegebenheiten abweichen Auch fotografische Abbildungen k nnen abweichen und stellen keine zugesicherten Eigenschaften dar 1 5 Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erw hnten Ger te und Programme von PI sind in separaten Handb chern beschrieben Beschreibung E 870 10 E 870 11 E 870 21 E 870 41 Piezomotor Technica
7. f 3 Bei nicht vakuumtauglichen Modellen mit Sensor Warnzeichen Elektrostatisch gef hrdete Bauteile 4 Typenschild S 17 5 Versteller Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 15 3 Produktbeschreibung P I X Abbildung 4 Bewegungsrichtung der Plattform des Q 522 am Beispiel von Q 522 100 links und Q 522 140 mit Linearencoder rechts Der Pfeil in der Abbildung oben zeigt die positive Bewegungsrichtung 16 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 3 Produktbeschriftung Abbildung 6 Q 522 Position der Produktbeschriftung exemplarische Ansicht Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 17 3 Produktbeschreibung P I Position Beschriftung Beschreibung A 113064246 Seriennummer Beispiel individuell f r jeden Q 522 Bedeutung der Stellen Z hlung von links 1 interne Information 2 und 3 Herstellungsjahr 4 bis 9 fortlaufende Nummer A Q 522 140 Produktbezeichnung Beispiel die Stellen nach dem Punkt kennzeichnen das Modell A Warnzeichen Handbuch beachten Zo Altger teentsorgung S 69 a a B A A B A Schutzleitersymbol kennzeichnet den Schutzleiteranschluss des Q 522 3 4 Lieferumfang Der Q 522 wird mit folgenden Komponenten ausgeliefert Q 522 Linearversteller gem Bestellung S 11 Schraubensatz zum Befestigen des Q 522 bestehend aus LPS 22 5006 2 Zylinderstifte A2 1 5
8. 522 x4z mit Controller E 871 in Betrieb nehmen Wartung 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung us 4uus0444nne nennen nennen nennen nnennnnnennne nennen 7 2 Wartungsfahrt durchf hren 0s00420440000B000nnnn ee nnennnnnnnnnennnnnnnnennnnne nenn 7 3 522 UNG see ea ea ee een nee Eee een Storungsbehebung Kundendienst Technische Daten 105 SMO ZIMICAMO MO Eee ee ner 10 1 1 AL SUNOS iets tee ee ehe 10 1 2 Beiessungsd len eins een ee 10 1 3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen 10 2 BPMN AIIE a E E E 10 3 ADMES UNGE cerre E ES 10 3 1 OE 5722208 GOZ E E E ene 10 3 2 057220 07 E ne TE N eee E 10 3 3 Oo O E NE ECEE NE EONEEREENUEESEERUNEL NEE UEEIEDER 10 3 4 E TAAN SEE E E SE NEE RUE oaacetun onset A E E S 10 3 5 OD O E E EEE NEE EUHENEERUNEENIEIEGEENEECR 10 3 6 E TEA e A E E E E E E A A cs A E S 104 FDE SN ne E N ers 10 4 1 Q 522 xy0 nicht vakuumtauglich 22200000000sssennnnnnnnneeennnnnn 10 4 2 Q 522 xyU vakuumtauglich ccccccccccceeeeeeecseeeeeeseseeeeeeeeeeeeeeess Altgerat entsorgen EG Konformitatserklarung PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument 1 Uber dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs 2444004242000n0nnnn nn nnnnn nennen 1 Symbole und KeENnZeiChnuUNGeN 0cscccccccceceeesseeececeeeeeeeeeecceeeeesseeaeeeeeeeeeessaaa
9. E870T0001 bzw E870T0002 Controller E 871 von PI gt gt Laden Sie aus der Verstellerdatenbank den Parametersatz der dem Q 522 Modell entspricht Wenn n tig Stellen Sie die Parameter im PC Programm PIMikroMove am Controller so ein dass sie der Anwendung Last Ausrichtung des Q 522 Modells entsprechen siehe Benutzerhandbuch des Controllers berpr fen Sie das bzw die Verbindungskabel Verringern Sie die Last Beachten Sie die Angaben im Abschnitt Technische Daten S 55 Stellen Sie sicher dass die installierte Last bei vertikaler Montage des Verstellers geringer ist als die Selbsthemmung des Antriebs Siehe St rung Beeintr chtigung der Funktion nach Systemver nderung in dieser Tabelle Stellen Sie eine Betriebsspannung von 48 V bereit MP134D Version 1 0 0 51 8 St rungsbehebung P I St rung M gliche Ursachen Behebung Ung nstige Passen Sie die Betriebsfrequenz f r den Betriebsfrequenz f r Schrittbetrieb an Einzelheiten siehe Versteller in den Schrittbetrieb Betrieb nehmen S 44 und Handbuch der verwendeten Elektronik Verspannter Montieren Sie den Q 522 auf ebener Grundfl che Grundk rper Die empfohlene Ebenheit der Grundfl che betr gt 2 um Ung nstige Beachten Sie das maximale Drehmoment bei der Lastmontage Lastmontage S 33 Halten Sie den Abstand zwischen dem Schwerpunkt der Last und dem Zentrum der bewegten Plattform in alle Richtungen m glichst gering
10. Note E870T0002 Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 45 6 Inbetriebnahme und Betrieb Pp I 46 Q 522 x0z mit Treiberelektronik E 870 in Betrieb nehmen 1 Stellen Sie sicher dass die Parameter der Treiberelektronik E 870 korrekt eingestellt sind Werte siehe untenstehende Tabelle 2 Stellen Sie das zum Betrieb des Systems ben tigte Steuersignal bereit Einzelheiten finden Sie in der Technical Note E870T0001 oder E870T0002 3 Wenn notwendig Passen Sie die Parameter PIShift Steps per Second ID 0x1F000600 und PIShift Frequency ID 0x1F000400 an Ihre Anwendung an siehe auch Betriebsdauer S 58 Die folgende Tabelle listet die Einstellungen f r die Parameter der Treiberelektronik E 870 auf Weitere Informationen zu den Parametereinstellungen finden Sie im Abschnitt Betriebsdauer S 58 Parameter Parameter in Treiberelektronik E 870 Wert Einheit Betriebsspannung PIShift Upper Supply Voltage 48 V Obergrenze ID 0x1F000000 Betriebsspannung PIShift Lower Supply Voltage Untergrenze ID 0x1F000100 Ladestrom fur PIShift Forward Current 0 2 Vorwartsbewegung ID 0x1F000200 Ladestrom fur PIShift Backward Current 0 2 R ckw rtsbewegung ID 0x1F000300 Betriebsfrequenz im PlShift Frequency 20000 Hz Schrittbetrieb ID Ox1F000400 4 Einschaltdauer der PIShift Charge Cycle Stromquelle w hrend p 0x1F000500 der Ausgabe einer Periode des modifizierten S gezahnsignals im Schrittbetrieb Anzahl der Schri
11. Tabelle angegebenen Werte nicht berschreiten 20000 Trosme o esse 5000 e ran cw oo fw F r die entsprechenden Parameter siehe Versteller in Betrieb nehmen S 44 und Benutzerhandbuch der verwendeten Elektronik Bei 100 Einschaltdauer ohne Abf hrung von W rme 58 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 3 Abmessungen 10 3 1 Q 522 00z Abmessungen in mm Zeichen die zur Abtrennung von Dezimalstellen verwendet werden Tiefe und Durchmesser von Bohrungen Punkt Alle anderen Ma angaben Komma 4x M2 2 6 4x M1 6 W2 5 B B 1 85 Abbildung 13 Q 522 00z Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 59 10 Technische Daten Pp I 10 3 2 Q 522 04z Abmessungen in mm Zeichen die zur Abtrennung von Dezimalstellen verwendet werden Tiefe und Durchmesser von Bohrungen Punkt Alle anderen Ma angaben Komma 2x 2 1 LJ 04 2 43 4 4x M2 V2 6 4x M1 6 72 5 B B O OW e TOAN O LIO O OCO Abbildung 14 Q 522 04z 60 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 3 3 Q 522 10z Abmessungen in mm Zeichen die zur Abtrennung von Dezimalstellen verwendet werden Tiefe und Durchmesser von Bohrungen Punkt Alle anderen Ma angaben Komma 2x 82 1 L_1 84 2 93 4 4x 615 715 A A 4x M2 2 6 Abbildung 15 Q 522 1
12. und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut Bei unsachgem er Verwendung des Q 522 k nnen Benutzer gef hrdet werden und oder Sch den am Q 522 entstehen gt Benutzen Sie den Q 522 nur bestimmungsgem und in technisch einwandfreiem Zustand Lesen Sie das Benutzerhandbuch Beseitigen Sie St rungen die die Sicherheit beeintr chtigen k nnen umgehend Der Betreiber ist f r den korrekten Einbau und Betrieb des Q 522 verantwortlich 2 3 Organisatorische Ma nahmen Benutzerhandbuch gt Halten Sie dieses Benutzerhandbuch st ndig am Q 522 verf gbar Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 4 bereit F gen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informationen z B Erg nzungen und Technical Notes zum Benutzerhandbuch hinzu Wenn Sie den Q 522 an Andere weitergeben f gen Sie dieses Handbuch und alle sonstigen vom Hersteller bereitgestellten Informationen bei F hren Sie Arbeiten grunds tzlich anhand des vollst ndigen Benutzerhandbuchs durch Fehlende Informationen aufgrund eines unvollst ndigen Benutzerhandbuchs k nnen zu leichten Verletzungen und zu Sachsch den f hren Installieren und bedienen Sie den Q 522 nur nachdem Sie dieses Benutzerhandbuch gelesen und verstanden haben Personalqualifikation Nur autorisiertes und entsprechend qualifiziertes Personal darf den Q 522 installieren in Betrieb nehmen bedienen warten und re
13. x40 mit dem Y Adapterkabel a Entfernen Sie die ESD Schutzkappe vom Stecker D Sub 15 m des Q 522 b Verbinden Sie den Stecker D Sub 15 m des Q 522 mit der Kupplung des Y Adapterkabels D Sub 15 f 2 Verbinden Sie das Y Adapterkabel mit dem Controller E 871 a Verbinden Sie den Stecker HD D Sub 15 m f r den Motoranschluss mit der entsprechenden Buchse des Controllers siehe Benutzerhandbuch des Controllers b Verbinden Sie die Kupplung HD D Sub 15 f f r den Sensoranschluss mit dem entsprechenden Einbaustecker des Controllers siehe Benutzerhandbuch des Controllers 3 Sichern Sie die Steckverbindungen mit den integrierten Schrauben gegen unbeabsichtigtes Abziehen Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 39 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb unsenensnnnnnnenneenn 41 Versteller in Betrieb nehmen cccccccssseecececeseeceeecaeeecececeeueeeeseeeueeeeessaaeeeeessaaaes 44 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb IN Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter Bei fehlendem oder nicht ordnungsgem angeschlossenem Schutzleiter k nnen im Falle eines Fehlers oder Defekts gef hrliche Ber hrungsspannungen am Q 522 entstehen Wenn Ber hrungsspannungen vorhanden sind kann das Ber hren des Q 522 zu leichten Verletzungen d
14. 0z Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 61 10 Technische Daten Pp I 10 3 4 Q 522 14z Abmessungen in mm Zeichen die zur Abtrennung von Dezimalstellen verwendet werden Tiefe und Durchmesser von Bohrungen Punkt Alle anderen Ma angaben Komma A A 3 4 32 Po gt Abbildung 16 Q 522 14z 62 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 3 5 Q 522 20z Abmessungen in mm Zeichen die zur Abtrennung von Dezimalstellen verwendet werden Tiefe und Durchmesser von Bohrungen Punkt Alle anderen Ma angaben Komma 3x M2 25 6 9 B B 1 95 Abbildung 17 Q 522 20z Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 10 Technische Daten 63 10 Technische Daten Pp I 10 3 6 Q 522 242 Abmessungen in mm Zeichen die zur Abtrennung von Dezimalstellen verwendet werden Tiefe und Durchmesser von Bohrungen Punkt Alle anderen Ma angaben Komma 2x 2 1 L_ 64 2 73 4 3xM2 25 8x M2 2 6 6x M2 72 8 POO OIC Abbildung 18 Q 522 24z 64 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 4 Pinbelegung 10 4 1 Q 522 xy0 nicht vakuumtauglich Stecker D Sub 15 m Der Stecker D Sub 15 m bertr gt die Signale des Antriebs und f r die Modelle mit Sensor zus tzlich die Signale des Sensors und des ID Chips Referenzsigna
15. 1 F hren Sie die zwei Passstifte in die Passbohrungen an der Unterseite des oberen Q 522 oder in der bewegten Plattform des unteren Q 522 ein siehe Abbildungen oben 2 Setzen Sie den oberen Q 522 so auf den unteren Q 522 dass die Passstifte in die entsprechenden Passbohrungen auf der Gegenseite eingef gt werden 3 Befestigen Sie den oberen Q 522 mit zwei Schrauben M2 auf dem unteren Q 522 a Verschieben Sie per Hand die bewegte Plattform des oberen Q 522 bis eine der beiden Senkbohrungen im Grundk rper zug nglich ist b F hren Sie die Schraube in die Senkbohrung ein c Ziehen Sie die Schraube mit einem Drehmoment von maximal 35 Nem fest d Stellen Sie sicher dass der Schraubenkopf vollst ndig abgesenkt ist e Wiederholen Sie die Schritte a bis d f r die andere Senkbohrung im Grundk rper des Q 522 4 berpr fen Sie den spielfreien Sitz des oberen Q 522 auf dem unteren Q 522 5 4 Last am Q 522 befestigen HINWEIS Unzul ssig hohe Kr fte und Momente Unzul ssig hohe Kr fte und Momente die an der bewegten Plattform angreifen k nnen den Q 522 besch digen gt Beachten Sie hinsichtlich Masse und Befestigungsart der Last die maximal zul ssigen Kr fte gem den Spezifikationen S 55 gt Vermeiden Sie Kippmomente an der bewegten Plattform Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 33 5 Installation Pp I HINWEIS Zu lange Schrauben Zu tief eingebrachte Schrauben k
16. Beschreibung Versteller Versteller mit ohne Sensor Sensor Q 522 x00 Q 522 x40 Q 522 x0U Q 522 x4U PlShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 4 Kan le OEM Board mit Steckerleiste PIShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 4 Kan le Tischger t E 871 1A1 PlShift Controller 1 Kanal Linearencoder gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 53 3 7 Technische Ausstattung 3 7 1 Linearencoder Sensor Einige Modelle des Q 522 sind mit einem optischen Linearencoder ausgestattet Die Aufl sung entnehmen Sie der Tabelle im Abschnitt Spezifikationen S 55 Optische Linearencoder messen die Ist Position direkt Direktmetrologie Fehler im Antriebsstrang wie z B Nichtlinearit t Umkehrspiel oder elastische Deformation k nnen die Positionsmessung nicht beeinflussen 3 7 2 Referenzschalter Die Q 522 Modelle die mit einem Sensor ausgestattet sind verf gen Uber einen optischen Referenzschalter Die Befehle die das Referenzsignal verwenden sind im Benutzerhandbuch des Controllers und oder in den entsprechenden Softwarehandb chern beschrieben 3 7 3 ID Chip Q 522 Modelle mit Sensor enthalten im Anschlussstecker einen ID Chip Auf dem ID Chip sind folgende Daten als Parameter gespeichert 20 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung Informationen zum Versteller Typ Seriennummer Herstellungsdatum
17. F000702 den Wert 0 hat Schrittbetrieb und Bewegungen im ungeregelten Betrieb mit dem Befehl SMO gestartet werden Die Schrittfrequenz h ngt direkt vom mit SMO kommandierten Stellwert ab und ist durch den Wert des Parameters Maximum Motor Output ID 0x9 begrenzt Wenn notwendig reduzieren Sie den kommandierten Stellwert und den Wert des Parameters Maximum Motor Output gt Reduzieren Sie die Betriebsdauer bei hoher Betriebsfrequenz S 58 gt Halten Sie bei einer Fehlfunktion der Elektronik die Bewegung sofort an HINWEIS Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung kann Sch den am Q 522 verursachen gt Verwenden Sie nur Controller Treiber und Originalzubeh r von PI f r den Betrieb des Q 522 gt berschreiten Sie nicht den Betriebsspannungsbereich S 56 f r den der Q 522 spezifiziert ist gt Betreiben Sie den Q 522 nur wenn die Betriebsspannung ordnungsgem angeschlossen ist siehe Pinbelegung S 65 HINWEIS Verringerte Lebensdauer des Piezoaktors durch dauerhaft hohe Spannung Das dauerhafte Anlegen einer hohen statischen Spannung an Piezoaktoren f hrt zu einer erheblichen Verringerung der Lebensdauer der Piezokeramik des Verstellers gt Wenn der Q 522 nicht benutzt wird schalten Sie die Elektronik aus Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 43 6 Inbetriebnahme und Betrieb Pp I HINWEIS Zerst rung der P
18. N Druck Zugkraft Abmessungen 22 x 33 x 10 mm B x L x H piezoelektrischer Tr gheitsantrieb Q 522 240 Q Motion Miniatur Linearversteller 26 mm Stellweg Linearencoder 1 nm Aufl sung 1 N Druck Zugkraft Abmessungen 22 x 33x 10 mm B x L x H piezoelektrischer Tragheitsantrieb Q 522 00U Q Motion Miniatur Linearversteller 6 5 mm Stellweg ohne Positionssensor fur ungeregelten Betrieb 1 N Druck Zugkraft Abmessungen 22 x 33 x 10 mm B x L x H piezoelektrischer Tr gheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa Q 522 04U Q Motion Miniatur Linearversteller 6 5 mm Stellweg Linearencoder 1 nm Aufl sung 1 N Druck Zugkraft Abmessungen 22 x 33 x 10 mm B x L x H piezoelektrischer Tr gheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa Q 522 10U Q Motion Miniatur Linearversteller 13 mm Stellweg ohne Positionssensor f r ungeregelten Betrieb 1 N Druck Zugkraft Abmessungen 22 x 33 x 10 mm B x L x H piezoelektrischer Tr gheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa 12 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung Bestell Produktname nummer Q 522 14U Q Motion Miniatur Linearversteller 13 mm Stellweg Linearencoder 1 nm Aufl sung 1 N Druck Zugkraft Abmessungen 22 x 33 x 10 mm B x L x H piezoelektrischer Tr gheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa Q 522 20U Q Motion Miniatur Linearversteller 26 mm Stellweg ohne Positionssensor
19. PI MP134D Q 522 Miniatur Versteller Benutzerhandbuch Version 1 0 0 Datum 24 02 2015 Dieses Dokument beschreibt die folgenden Produkte Q 522 xyz Q Motion Miniatur Linearversteller piezoelektrischer Tr gheitsantrieb x Stellweg 0 6 5 mm 1 13 mm 2 26 mm y Ausstattung mit einem Sensor 0 ohne Sensor 4 mit Sensor z Eignung f r Vakuum 0 geeignet bis 0 1 hPa U geeignet bis 10 hPa Physik Instrumente PI GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 76228 Karlsruhe Germany ee ee ei A Telefon 49 721 4846 0 Fax 49 721 4846 1019 E Mail info pi de PI Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG ist Inhaberin der nachfolgend aufgef hrten Marken PI PIC PICMA PlLine PIFOC PiezoWalk NEXACT NEXLINE NanoCube NanoAutomation Picoactuator Plnano 2015 Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Karlsruhe Deutschland Die Texte Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich gesch tzt Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG beh lt insoweit s mtliche Rechte vor Die Verwendung dieser Texte Bilder und Zeichnungen ist nur auszugsweise und nur unter Angabe der Quelle erlaubt Originalbetriebsanleitung Erstdruck 24 02 2015 Dokumentnummer MP134D KSch Version 1 0 0 nderungen vorbehalten Dieses Handbuch verliert seine G ltigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision Die jeweils aktuelle Revision ist auf unserer Website zum Herunterladen S
20. Q 522 Kontakt mit der Grundfl che hat auf der der Q 522 befestigt ist 26 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation HINWEIS Ungewollte Positions nderungen bei vertikaler Montage Wenn die Last bei vertikaler Montage des Verstellers die Selbsthemmung des Antriebs berschreitet treten ungewollte Positions nderungen der bewegten Plattform auf Ungewollte Positions nderungen der bewegten Plattform k nnen den Antrieb die Last oder die Umgebung besch digen gt Stellen Sie sicher dass die installierte Last bei vertikaler Montage des Verstellers geringer ist als die Selosthemmung des Antriebs HINWEIS Schaden durch ungeeignete Kabel Ungeeignete Kabel k nnen Sch den an der Elektronik verursachen gt Verwenden Sie f r den Anschluss des Q 522 an die Elektronik nur Kabel von PI INFORMATION F r die optimale Wiederholgenauigkeit des Positionierens m ssen alle Komponenten spielfrei befestigt sein gt Stellen Sie die spielfreie Befestigung von Versteller und Last sicher INFORMATION Beim Umgang mit der Vakuumversion des Verstellers muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden gt Ber hren Sie den Versteller nur mit puderfreien Handschuhen gt Wenn notwendig s ubern Sie den Versteller per Wischreinigung INFORMATION Die positive Bewegungsrichtung der Achse ist in der Produktansicht S 13 angegeben Q 522 Miniatur Verste
21. U Recht d rfen Elektroger te in den Mitgliedsstaaten der EU nicht ber den kommunalen Restm ll entsorgt werden Entsorgen Sie das Altger t unter Beachtung der internationalen nationalen und regionalen Richtlinien Um der Produktverantwortung als Hersteller gerecht zu werden bernimmt die Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI Altger tes sofern es nach dem 13 August 2005 in Verkehr gebracht wurde Falls Sie ein solches Altgerat von PI besitzen k nnen Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 D 76228 Karlsruhe Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 69 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 12 EG Konformitatserklarung 12 EG Konformitatserklarung Fur den Q 522 wurde eine EG Konformitatserklarung gem den folgenden europ ischen Richtlinien ausgestellt 2006 95 EG Niederspannungsrichtlinie 2004 108 EG EMV Richtlinie 2011 65 EU RoHS Richtlinie Die zum Nachweis der Konformitat zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet Sicherheit Niederspannungsrichtlinie EN 61010 1 2010 EMV EN 61326 1 2013 RoHS EN 50581 2012 Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 71
22. Unterseite des Verstellers werden zum Ausrichten auf einer Unterlage verwendet 2 Der Versteller wird mit zwei Schrauben M2 auf der Unterlage befestigt Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 25 Der Q 522 ist von der Elektronik getrennt Sie haben eine geeignete Unterlage bereitgestellt f r die erforderliche Lage und Tiefe der Bohrungen zur Aufnahme der Schrauben und Passstifte siehe Abmessungen S 59 Die Unterlage muss an den Schutzleiter angeschlossen sein Zwei Passbohrungen mit 1 5 mm H7 und zwei Montagebohrungen M2 sind in der Unterlage vorhanden Die Bohrungen zur Aufnahme der Schrauben m ssen ausreichend leitf hig sein um die ordnungsgem e Funktion des Schutzleiters sicherzustellen Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Die Unterlage besitzt m glichst dieselben W rmeausdehnungseigenschaften wie der Q 522 z B Unterlage aus Aluminium Die Ebenheit der Oberfl che ist lt 2 um Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 29 5 Installation Pp I v Sie haben den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung ber cksichtigt Werkzeug und Zubeh r Schraubensatz LPS22 5006 aus dem Lieferumfang des Q 522 S 18 2 Zylinderstifte 1 5 m6 x 3 ISO 8734 2Zylinderschrauben M2x6 ISO 4762 geeignetes Werkzeug zum Befestigen der Schrauben Q 522 auf Unterlage befestigen und an Schu
23. en die Versteller besch digen gt Beziehen Sie die Masse des mitbewegten Verstellers in die Berechnung der zu bewegenden Last ein gt F r alle Versteller in einem Mehrachssystem berschreiten Sie nicht die maximal zul ssige Last gt Stellen Sie f r alle Versteller in einem Mehrachssystem sicher dass Kr fte die jeweils in Bewegungsrichtung an der bewegten Plattform angreifen die aktive Druck Zugkraft des Antriebs nicht berschreiten S 55 INFORMATION Jedes Modell des Q 522 kann als unterer oder als oberer Versteller verwendet werden Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 31 5 Installation Pp I Abbildung 9 Beispiel Q 522 04z auf Q 522 04z befestigen Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 25 Die Versteller sind von der Elektronik getrennt Sie haben den unteren Versteller ordnungsgem auf einer Unterlage befestigt und an einen Schutzleiter angeschlossen S 28 v Sie haben den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung ber cksichtigt Werkzeug und Zubeh r Schraubensatz LPS22 5006 aus dem Lieferumfang des Q 522 S 18 2 Zylinderstifte 1 5 m6 x 3 ISO 8734 32 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 2Zylinderschrauben M2x6 ISO 4762 Geeignetes Werkzeug zur Befestigung der Schrauben Mehrachssystem aufbauen
24. es Produkts in das PC Laufwerk ein 2 Wechseln Sie auf der CD in das Verzeichnis Manuals 3 ffnen Sie im Verzeichnis Manuals die Release News Datei mit dem Namensbestandteil Releasenews 4 Entnehmen Sie dem Abschnitt User login for software download in den Release News den Benutzernamen user name und das Kennwort password 5 ffnen Sie das FTP Download Verzeichnis ftp pi ftp ws 4 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument Windows Betriebssysteme ffnen Sie das FTP Download Verzeichnis im Windows Explorer 6 Melden Sie sich mit dem Benutzernamen und dem Kennwort aus den Release News an 7 Wechseln Sie im Verzeichnis des entsprechenden Produkts in das Unterverzeichnis Manuals 8 Kopieren Sie das gew nschte Handbuch auf die Festplatte Ihres PC oder auf einen Datentrager Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 5 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 2 Sicherheit 2 Sicherheit In diesem Kapitel Bestimmungsgem e Verwendung ccccccseeeeceeeeaeeeeeeeecaeeeceeeeeseeseeeeessaeeeesesaageeeeeeaas 7 Allgemeine Sicherheitshinweise ccccccccssesseccceeeeeeeeeseeeceeeeeeseeeeeseeeeeeesseeeeeeeeeeeeeseaas 8 Organisatorische Ma nahmen cccccccccssesseeeceeeeeeeaeeeeeecceeeeesaeeeeseeeeeeessaaeeeeeeeeeeeseaas 8 Ma nahmen bei der Handhabung von vakuumtauglichen Produkten
25. f r ungeregelten Betrieb 1 N Druck Zugkraft Abmessungen 22 x 33 x 10 mm B x L x H piezoelektrischer Tr gheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa Q 522 24U Q Motion Miniatur Linearversteller 26 mm Stellweg Linearencoder 1 nm Aufl sung 1 N Druck Zugkraft Abmessungen 22 x 33 x 10 mm B x L x H piezoelektrischer Tr gheitsantrieb vakuumkompatibel bis 10 hPa 3 2 Produktansicht 5 4 4 3 Abbildung 1 Beispiel fur Modell ohne Linearencoder Versteller Q 522 100 1 2 3 4 5 Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 13 Bewegte Plattform Keramikschiene des Antriebs Grundk rper Linearf hrung Kabelabgang f r Antriebsanschluss 3 Produktbeschreibung P I 8 Abbildung 2 Beispiel f r Modell mit Linearencoder Versteller Q 522 140 Geh use des Linearencoders Lineal des Linearencoders Bewegte Plattform Keramikschiene des Antriebs Grundk rper Linearf hrung Kabelabgang f r Antriebsanschluss O N DAA WD DHS Kabelabgang f r Sensoranschluss 14 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung Abbildung 3 Beispiel Versteller der nicht fur den Betrieb im Vakuum geeignet ist ausgestattet mit Sensor 1 Nur bei nicht vakuumtauglichen Modellen mit Sensor ESD Schutzkappe 2 Anschluss f r Antrieb und Sensor bei nicht vakuumtauglichen Modellen Stecker D Sub 15 m bei vakuumtauglichen Modellen Kupplung D Sub 15
26. geeeeeeees 1 BC OMMISCR Can UNG nenne asia ansehen a 3 PD MOA GG N sense se set es a a ae ne ee ee 3 Mitgeltende DOKUMENNE ccccccccseeeeceeceeeeeceeeeseeseceeeeeeaecesesuaaeeeessaaaeeeeesseaeeeeeeesaaess 3 Handb cher herunterladen ccccccccseeeceeeeeeeeeceeeeeeeeeeeeecaeeeeeeesseeeeeeeeseaseeeeesaageeeeeeaas 4 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enthalt die erforderlichen Informationen fur die bestinmungsgemaBe Verwendung des Q 522 Grundsatzliches Wissen zu geregelten Systemen zu Konzepten der Bewegungssteuerung und zu geeigneten Sicherheitsma nahmen wird vorausgesetzt Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 4 bereit 1 2 Symbole und Kennzeichnungen In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen leichte Verletzungen A gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 1 1 ber dieses Dokument PI HINWEIS Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen Sachsch den gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden INFORMATION Informationen zur leichteren Handhabung Tricks Tipps etc Symbol Kennzeichnung 1 2 gt S 5 RS 232 A 2 Version 1 0 0 Bedeutung Handlung mit mehreren Schritten deren Reihenfolge eingehalten werden muss
27. gte PC Software sind installiert Alle Anschl sse am Controller sind eingerichtet siehe Benutzerhandbuch des Controllers Q 522 x4z mit Controller E 871 in Betrieb nehmen 1 Nehmen Sie den Versteller in Betrieb siehe E 871 Benutzerhandbuch Die Inbetriebnahme umfasst folgende Schritte Auswahl des Verstellertyps Referenzwertbestimmung der Achse Kommandieren von ersten Bewegungen zum Test Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 47 6 Inbetriebnahme und Betrieb Pp I 2 Wenn notwendig Passen Sie den Parameter Maximum Motor Output ID 0x9 an Ihre Anwendung an siehe auch Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb S 41 und Betriebsdauer S 58 Im E 871 Benutzerhandbuch wird die Inbetriebnahme anhand des Programms PIMikroMove beschrieben 48 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 7 Wartung 7 Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung uusssusnssnnennnnnnennnnennnnnnn nennen nennen nennen nnennnn nennen 49 Wartungsfahrt durchf hren ee heiten 49 922 Ge IE een een ee 49 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung HINWEIS Sch den durch falsche Wartung Eine falsche Wartung kann zur Dejustage und zum Ausfall des Q 522 f hren gt L sen Sie Schrauben nur entsprechend den Anleitungen in diesem Handbuch 7 2 Wartungsfahrt durchf hren Die Wartungsfahrt muss ber den gesamten Stellweg durchgef hrt werde
28. iezoaktoren durch elektrische berschl ge Der Einsatz des Q 522 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen kann zur Zerst rung der Piezoaktoren des Antriebs durch elektrische berschl ge f hren Elektrische berschl ge k nnen durch Feuchtigkeit hohe Luftfeuchtigkeit Fl ssigkeiten und leitende Materialien z B Metallstaub hervorgerufen werden Dar ber hinaus k nnen in bestimmten Luftdruckbereichen aufgrund der erh hten Leitf higkeit der Luft elektrische berschl ge auftreten gt Vermeiden Sie den Betrieb des Q 522 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen k nnen gt Betreiben Sie den Q 522 nur innerhalb der zul ssigen Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen S 57 gt Bei Einsatz im Vakuum unter 0 1 hPa Betreiben Sie den Q 522 nicht w hrend des Evakuierens HINWEIS ah Erh hter Verschlei durch kleinen Verfahrbereich Das dauerhafte Verwenden eines kleinen Verfahrbereichs erh ht den Verschlei in diesem Bereich gt Wenn m glich W hlen Sie in regelm igen Abst nden einen anderen Teil des Stellwegs als Verfahrbereich 6 2 Versteller in Betrieb nehmen Vom Vorhandensein eines Sensors h ngt ab mit welcher Elektronik der Q 522 betrieben wird siehe auch Geeignete Elektronik S 19 Modelle ohne Sensor Q 522 x0z Treiberelektronik E 870 S 45 Modelle mit Sensor Q 522 x4z Controller E 871 S 47 44 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniat
29. inigen 8 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 2 Sicherheit 2 4 Ma nahmen bei der Handhabung von vakuumtauglichen Produkten Beim Umgang mit der Vakuumversion des Verstellers muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt W hrend der Montage und w hrend des Messens wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet Danach wird der Versteller noch einmal per Wischreinigung ges ubert und doppelt in vakuumtaugliche Folie eingeschwei t gt Ber hren Sie den Versteller nur mit puderfreien Handschuhen gt Wenn notwendig s ubern Sie den Versteller per Wischreinigung nach dem Auspacken Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung In diesem Kapitel IMOOEIUBSISIEHI crossen rne ei Er A EaP N ANTR 11 Produktansicht a esse ee ee ee nei 13 PFOQURIDSSCHRIIEUING aussen een ae ee ee ee ee 17 ENTS PUI ANG nee anregen Fear ee een 18 Optionales Zubeh r cccccseeeccccceeseeceeeceeeeeeeeceaessceeeceeueceeessaeaeeeeessaaaeeeeessaaeeeeessaaaees 19 Geeignete Elektronik ccccccccccssssecececeeeseceecceeeseceeeeaeseeeeeeceeaseeesseeaaeeeeessaageseesesaaees 19 Technische Ausstattung is cacceasantanansaiinacadsemndanniestunadtseandanatietaunddensianileansmadtasantanahtatnesddaneten 20 3 1 Modell bersicht Einteilung der Q 522 Mode
30. ischreinigung nach dem Auspacken 1 Packen Sie den Q 522 vorsichtig aus 2 Wenn vorhanden entfernen Sie nicht die ESD Schutzkappe vom Stecker des Q 522 3 Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste 4 berpr fen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Sch den Bei Anzeichen von Besch digungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an PI 5 Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial und die ESD Schutzkappe auf f r den Fall dass das Produkt zur ckgeschickt werden muss Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 23 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 Installation In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Installation u0004444000RRennnennennnn nennen nnennn nennen 25 Q 522 auf Unterlage befestigen und an Schutzleiter anschlie en 28 Mehrachssystem aufbauen ccccccssssscccccesseceeecseeseceeseeeaeeceeseeeaeeeesseaaeeeessseaeeeeeseaas 31 Last am Q 522 Delesiigeni snasseneeee ee ner ie ee tee ee 33 Q 522 an Elektronik anschlie en 37 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation Abbildung 7 Bei ausgefahrener bewegter Plattform zug nglich Keramikschiene des PIShift Antriebs und f r Modelle mit Sensor Lineal des Linearencoders Beispiel Q 522 140 HINWEIS Sch den durch mechanische Einwirkung Das Lineal des Linearencoders ist kratzempfindlich und kann durch mechanische Ei
31. l Note E870T0001 PiezoMike Treiberelektronik OEM Board 1 bis 4 Kan le E 870 1G E 870 2G E 870 4G Piezomotor Technical Note E870T0002 PiezoMike Treiberelektronik Tischger t 1 bis 4 Kan le E 871 1A1 PIShift Controller 1 Kanal Linearencoder Benutzerhandbuch PZ241D PIMikroMove SM148E Software Manual Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 3 1 ber dieses Dokument gt I 1 6 Handb cher herunterladen INFORMATION Wenn ein Handbuch fehlt oder Probleme beim Herunterladen auftreten gt Wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 53 INFORMATION F r einige Produkte z B Hexapodsysteme und Elektroniken die mit einer CD ausgeliefert werden ist der Zugang zu den Handb chern durch ein Kennwort gesch tzt Das Kennwort ist auf der CD enthalten Verf gbarkeit der Handb cher Kennwortgesch tzte Handb cher FTP Downloadverzeichnis Frei zug ngliche Handb cher Pl Website gt Folgen Sie zum Herunterladen der entsprechenden Anleitung Frei zug ngliche Handb cher herunterladen 1 ffnen Sie die Website http www pi portal ws 2 Klicken Sie auf Downloads 3 Klicken Sie auf die entsprechende Produktkategorie 4 Gehen Sie zum entsprechenden Produktcode Die vorhandenen Handb cher werden angezeigt 5 Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger Kennwortgesch tzte Handb cher herunterladen 1 Legen Sie die CD d
32. l differentiell Motor Motorsignal differentiell Motorsignal differentiell Versorgungsspannung 5 V an Terceira t COS Encoder B Motor Motorsignal differentiell GND GND GND Motorsignal differentiell Referenzsignal differentiell SW coder A cose reader 8 Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 65 10 Technische Daten Pp I Das Zeichen zeigt an dass der entsprechende Anschluss nicht belegt ist Nur bei Modellen mit Sensor Der Kabelschirm ist mit dem Steckergeh use verbunden 10 4 2 Q 522 xyU vakuumtauglich Kupplung D Sub 15 f Die Kupplung D Sub 15 f bertr gt die Signale des Antriebs und f r die Modelle mit Sensor zus tzlich die Signale des Sensors und des ID Chips 8 C 650o000o0oo6 000009 19 9 Abbildung 20 Kupplung D Sub 15 f Pn soa Funkion hg ae aT e 6 Jene ermoceraty aang 10 REF saan aso _ Jose Jensen aang revo Jon oro 66 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten LEE SE Lu EEE EEE Motor Motorsignal differentiell Das Zeichen zeigt an dass der entsprechende Anschluss nicht belegt ist Nur bei Modellen mit Sensor Der Kabelschirm ist mit dem Steckergeh use verbunden Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 67 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 11 Altgerat entsorgen 11 Altgerat entsorgen Nach geltendem E
33. lle Zw lf Standardversionen des Verstellers Q 522 sind erh ltlich Sie unterscheiden sich bez glich folgender Merkmale Stellweg Abmessungen Ausstattung mit einem Linearencoder Eignung f r den Betrieb im Vakuum poson a 0 0AA vorhanden bis 10 hPa Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 11 3 Produktbeschreibung P I Abmessunaen Linearencoder Vakuum Eignung vorhanden bis 10 hPa Q 522 14U 13mm 82 mm x 32 mm x 10mm Detaillierte Modellbezeichnungen Bestell Produktname nummer Q 522 000 Q Motion Miniatur Linearversteller 6 5 mm Stellweg ohne Positionssensor f r ungeregelten Betrieb 1 N Druck Zugkraft Abmessungen 22 x 33 x 10 mm B x L x H piezoelektrischer Tr gheitsantrieb Q 522 040 Q Motion Miniatur Linearversteller 6 5 mm Stellweg Linearencoder 1 nm Aufl sung 1 N Druck Zugkraft Abmessungen 22 x 33 x 10 mm B x L x H piezoelektrischer Tragheitsantrieb Q 522 100 Q Motion Miniatur Linearversteller 13 mm Stellweg ohne Positionssensor fur ungeregelten Betrieb 1 N Druck Zugkraft Abmessungen 22 x 33 x 10 mm B x L x H piezoelektrischer Tr gheitsantrieb piezoelektrischer Tr gheitsantrieb Q 522 140 Q Motion Miniatur Linearversteller 13 mm Stellweg Linearencoder 1 nm Aufl sung 1 N Druck Zugkraft Abmessungen 22 x 33 x 10 mm B x L x H Q 522 200 Q Motion Miniatur Linearversteller 26 mm Stellweg ohne Positionssensor fur ungeregelten Betrieb 1
34. ller MP134D Version 1 0 0 27 5 Installation Pp I 5 2 Q 522 auf Unterlage befestigen und an Schutzleiter anschlie en HINWEIS Hervorstehende Schraubenk pfe Hervorstehende Schraubenk pfe k nnen den Q 522 besch digen gt Stellen Sie sicher dass die Schraubenk pfe in den Montagebohrungen vollst ndig abgesenkt sind und die Bewegung nicht beeintr chtigen HINWEIS Verspannen des Q 522 durch Montage auf unebenen Fl chen Die Montage des Q 522 auf unebener Grundfl che kann den Q 522 verspannen Ein Verspannen verringert die Genauigkeit gt Befestigen Sie den Q 522 auf ebener Grundfl che Die empfohlene Ebenheit der Grundfl che betr gt lt 2 um gt Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Befestigen Sie den Q 522 nur auf Grundfl chen die dieselben oder hnliche W rmeausdehnungseigenschaften wie der Q 522 besitzen INFORMATION Der Kontakt des Q 522 zum Schutzleiter wird wie folgt hergestellt gt Zwei Senkbohrungen im Grundk rper des Q 522 gt Geeignete leitf hige Schrauben S 18 gt Schutzleiter ist an Unterlage angeschlossen auf der der Q 522 befestigt wird INFORMATION gt Beachten Sie die jeweils geltenden Normen f r die Schutzleiterbefestigung 28 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Abbildung 8 Beispiel Q 522 04z links Ansicht von unten rechts Ansicht von oben 1 Zwei Passbohrungen an der
35. m Aufstellungsort HINWEIS Sch den durch Kollisionen Kollisionen k nnen den Versteller die zu bewegende Last und die Umgebung besch digen gt Stellen Sie sicher dass im Bewegungsbereich des Verstellers keine Kollisionen zwischen Versteller zu bewegender Last und Umgebung m glich sind gt Platzieren Sie keine Gegenst nde in Bereichen in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden k nnen gt Halten Sie bei einer Fehlfunktion der Elektronik die Bewegung sofort an HINWEIS Zu hohe Betriebsfrequenz Zu hohe Betriebsfrequenz kann Sch den am Q 522 verursachen gt Verwenden Sie nur Controller Treiber und Originalzubeh r von PI f r den Betrieb des Q 522 gt berschreiten Sie nicht den Betriebsfrequenzbereich S 56 f r den der Q 522 spezifiziert ist 42 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb HINWEIS Erheblicher Verschlei durch hohe Betriebsfrequenz Hohe Betriebsfrequenz im Schrittbetrieb kann erheblichen Verschlei an der Mechanik verursachen gt Bei Verwendung der Treiberelektronik E 870 Wenn notwendig reduzieren Sie an der Treiberelektronik die Werte der Parameter PIShift Steps per Second ID 0x1F000600 und PIShift Frequency ID 0x1F000400 siehe Dokumentation der Treiberelektronik gt Bei Verwendung des Controllers E 871 Wenn der Parameter PIShift Open Loop Driving Mode ID 0x1
36. m6 x 3 ISO 8734 2 Zylinderschrauben A2 M2x6 ISO 4762 MP134D Handbuch f r Q 522 Linearversteller Nur bei Modellen ohne Sensor die nicht f r den Betrieb im Vakuum geeignet sind Adapterkabel f r den Anschluss an die Treiberelektronik E 870 7202500042 0015 5 Sub 15 f auf Mini DIN 4 m 0 3 m 18 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung Nur bei Modellen mit Sensor die nicht f r den Betrieb im Vakuum geeignet sind 7202500043 0015 Y Adapterkabel f r den Anschluss an den Controller E 871 D Sub 15 f auf HD D Sub 15 m und HD D Sub 15 f 0 3 m 3 5 Optionales Zubeh r gt Wenn Sie Zubeh r ben tigen z B Vakuumdurchf hrungen wenden Sie sich an den Kundendienst S 53 3 6 Geeignete Elektronik Bestellnummer Q 522 Miniatur Versteller Beschreibung PlShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 1 Kanal OEM Board PlShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 1 Kanal OEM Board mit Steckerleiste PlShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 1 Kanal Tischger t PlShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 2 Kan le OEM Board mit Steckerleiste PIShift Piezomotor PiezoMike Treiberelektronik 2 Kan le Tischger t MP134D Versteller ohne Sensor Q 522 x00 Q 522 x0U Versteller mit Sensor Q 522 x40 Q 522 x4U Version 1 0 0 19 3 Produktbeschreibung P I Bestellnummer
37. n gt F hren Sie die Wartungsfahrt nach jeweils 10 Millionen Schritten aus 7 3 Q 522 reinigen Voraussetzungen v Sie haben den Versteller von der Elektronik getrennt Versteller reinigen Nur wenn der Versteller nicht im Vakuum eingesetzt wird gt Wenn notwendig reinigen Sie die Oberfl chen des Verstellers mit einem Tuch das leicht mit einem milden Reinigungs oder Desinfektionsmittel angefeuchtet wurde Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 49 7 Wartung E I Wenn der Versteller im Vakuum eingesetzt wird gt Ber hren Sie den Versteller nur mit puderfreien Handschuhen gt Wenn notwendig s ubern Sie den Versteller per Wischreinigung 50 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 8 Storungsbehebung 8 Storungsbehebung St rung M gliche Ursachen Behebung Treiberelektronik E 870 von PI Beeintr chtigung der Funktion nach Systemver n derung Keine oder eingeschr nkte Bewegung Treiberelektronik oder Controller wurde ausgetauscht Versteller wurde ausgetauscht Kabel nicht korrekt angeschlossen oder defekt Zu hohe Last Parameter der verwendeten Elektronik falsch eingestellt Betriebsspannung zu gering Q 522 Miniatur Versteller gt Passen Sie die Parameter der Treiberelektronik im PC Programm E 870 Control an den Q 522 an siehe Q 522 x0z mit Treiberelektronik E 870 in Betrieb nehmen S 45 und Technical Note
38. n ausgelegt Maximale Maximale Maximale Betriebsspannung Betriebsfrequenz Leistungsaufnahme 56 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 1 3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind fur den Q 522 zu beachten Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenraumen Maximale Hohe 2000 m Luftdruck Q 522 xy0 1100 hPa bis 0 1 hPa Q 522 xyU 1100 hPa bis 10 hPa Relative Luftfeuchte H chste relative Luftfeuchte 80 fur Temperaturen bis 31 C nichtkondensierend Linear abnehmend bis 50 relativer Luftfeuchte bei 40 C nichtkondensierend Betriebstemperatur 0 C bis 40 C Transporttemperatur 20 C bis 70 C Q 522 xyU Maximale Ausheiztemperatur P 120 C f r 12 Stunden nur im ausgeschalteten f r vakuumtaugliche Produkte berspannungskategorie gem EN 60664 1 2007 VDE 0110 1 Schutzklasse gem EN 61140 VDE 0140 1 Verschmutzungsgrad gem EN 60664 1 2007 VDE 0110 1 Schutzart gem IEC 60529 Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 57 PI 10 Technische Daten 10 2 Betriebsdauer Die Betriebsdauer und die Betriebsfrequenz im Schrittbetrieb beeinflussen die Lebensdauer des Verstellers Um berhitzung und hohen Verschlei zu vermeiden darf die Betriebsdauer bei gegebener Betriebsfrequenz und 100 Einschaltdauer die in der folgenden
39. nik S 19 Modelle ohne Sensor Q 522 x0z Treiberelektronik E 870 S 37 Modelle mit Sensor Q 522 x4z Controller E 871 S 38 INFORMATION Q 522 und Elektronik k nnen als vorkonfiguriertes System ausgeliefert werden gt Wenn auf den Etiketten von Q 522 und oder Elektronik eine Zuordnung der Anschl sse angegeben ist halten Sie diese Zuordnung beim Anschlie en des Q 522 ein 5 5 1 Q 522 an Treiberelektronik anschlie en INFORMATION gt Fur Informationen zum Anschlie en eines vakuumtauglichen Q 522 wenden Sie sich an den Kundendienst S 53 Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden v Sie haben die Treiberelektronik E 870 S 19 installiert v Sie haben das Benutzerhandbuch der Treiberelektronik gelesen und verstanden v Die Treiberelektronik ist ausgeschaltet d h nicht an der Stromversorgung angeschlossen Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 37 5 Installation Pp I Werkzeug und Zubeh r Wenn die Treiberelektronik eine Buchse Mini DIN 4 hat Modelle E 870 x1 E 870 xG Adapterkabel 7202500042 0015 im Lieferumfang S 18 Wenn die Treiberelektronik eine Stiftleiste hat Modell E 870 10 Geeigneter Adapter von D Sub 15 f auf die Stiftleiste Entnehmen Sie die Pinbelegung der Stiftleiste J10 2x4 pol der Technical Note E870T0001 Wenn Sie einen geeigneten Adapter ben tigen wenden Sie sich an unseren Kundendien
40. nnen den Q 522 besch digen gt Beachten Sie die Tiefe der Montagebohrungen in der bewegten Plattform S 59 gt Verwenden Sie nur Schrauben mit der richtigen L nge f r die entsprechenden Montagebohrungen 34 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Abbildung 12 Q 522 20z Die Pfeile bezeichnen folgende Montagebohrungen in der bewegten Plattform des Q 522 Zum Ausrichten der Last Schwarze Pfeile Passbohrungen amp 1 5 mm H7 Tiefe 2 mm Zum Befestigen der Last Wei e Pfeile Gewindebohrungen M1 6 Tiefe 2 5 mm Hellgraue Pfeile Gewindebohrungen M2 Tiefe 2 6 mm Dunkelgraue Pfeile Gewindebohrungen M2 Tiefe 2 8 mm Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 35 5 Installation PI Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 25 Sie haben den Versteller ordnungsgem auf einer Unterlage S 28 oder auf einem Q 522 befestigt S 31 Der Versteller ist von der Elektronik getrennt Sie haben die Last so vorbereitet dass sie auf der bewegten Plattform befestigt werden kann fur die erforderliche Lage und Tiefe der Bohrungen zur Aufnahme von Schrauben und Passstiften siehe Abmessungen S 59 Der Abstand zwischen dem Schwerpunkt der Last und dem Zentrum der bewegten Plattform ist in alle Richtungen m glichst gering F r das Befestigen der Last auf der bewegten Plattform
41. nwirkung z B durch spitze Gegenst nde besch digt werden gt Behandeln Sie das Lineal mit u erster Vorsicht Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 25 5 Installation Pp I HINWEIS Fehlfunktion durch Verschmutzung Verschmutzungen jeglicher Art z B durch Staub l Schmiermittel oder Kondenswasser machen den Q 522 funktionsunf hig gt Halten Sie den Q 522 frei von Schmutz und Kondenswasser gt Vermeiden Sie das Ber hren der Keramikschiene des Antriebs und des Lineals des Linearencoders HINWEIS Elektrostatische Gef hrdung Die Modelle Q 522 x40 Sensor vorhanden nicht f r den Einsatz im Vakuum geeignet haben einen Stecker D Sub 15 m f r den Anschluss an die Elektronik Das Ber hren der Pins des Steckers kann elektrostatisch auch ESD gef hrdete Bauteile des Q 522 besch digen Deshalb werden die Modelle Q 522 x40 mit einer ESD Schutzkappe auf dem Stecker ausgeliefert gt Entfernen Sie die ESD Schutzkappe erst vom Stecker wenn Sie den Q 522 an den Controller anschlie en HINWEIS Erw rmung des Q 522 w hrend des Betriebs Die w hrend des Betriebs des Q 522 abgegebene W rme kann Ihre Anwendung beeintr chtigen gt Installieren Sie den Q 522 so dass die Anwendung nicht durch die abgegebene W rme beeintr chtigt wird gt Sorgen Sie f r ausreichende Bel ftung am Aufstellungsort gt Stellen Sie sicher dass m glichst die komplette Unterseite des
42. one nee 55 BEIN SC Ui car castes eect nee ee ee nee ee ee ee 58 ABMES UNGO essen reinste E 59 POCEO a2 02a see see Eee se see ee ee ee ee 65 10 1 Spezifikationen 10 1 1 Datentabelle Vorl ufige Daten Q 522 040 Q 522 140 Q 522 240 Q x00 Q 522 04U Q 522 14U Q 522 24U Q 522 x0U Bewegung und 6 5 mm Stellweg 13 mm Stellweg 26 mm Stellweg 6 5 mm bis 26 Positionieren Aufl sung 1 nm Aufl sung 1 nm Aufl sung 1 nm mm Stellweg UHV Version UHV Version UHV Version ungeregelt Q 522 04U Q 522 14U Q 522 24U UHV Versionen Q 522 x0U aaee a Geschwindigkeit Mechanische Eigenschaften Belastbarkeit Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 55 10 Technische Daten Pp I me Vorlaufige Daten Q 522 040 Q 522 140 Q 522 240 Q x00 Q 522 04U Q 522 14U Q 522 24U Q 522 x0U 9 mm Antriebseigenschaf ten Motortyp Piezoelektrischer Piezoelektrischer Piezoelektrischer Piezoelektrischer Tragheitsantrieb Tragheitsantrieb Tragheitsantrieb Tragheitsantrieb Anschlusse und Umgebung Betriebstemperatur O bis 40 O bis 40 O bis 40 O bis 40 C bereich Wert Amirim Ati Aluminum Ammm Kabell nge Empfohlener E 871 E 871 E 871 E 870 Controller Sonderausf hrungen auf Anfrage Die Verstellerserie Q 522 ersetzt die Serie LPS 22 Die Spezifikationen wurden auf einer Unterlage mit einer Ebenheit von 2 um ermittelt 10 1 2 Bemessungsdaten Der Versteller Q 522 ist f r folgende Betriebsgr e
43. sind mindestens vier Punkte vorgesehen Wenn Sie Passstifte verwenden um die Last auszurichten Sie haben in die Last zwei Passbohrungen mit 1 5 mm H7 f r die Aufnahme von Passstiften eingebracht Werkzeug und Zubeh r Schrauben von geeigneter L nge S 59 Optionen Schrauben M2 Nur Q 522 0yz und Q 522 2yz Schrauben M1 6 Geeignetes Werkzeug zur Befestigung der Schrauben Optional 2 Passstifte von geeigneter Lange fur Passbohrungen mit 1 5 mm H7 Last am Q 522 befestigen 1 2 Richten Sie die Last so auf dem Q 522 aus dass sich die Montagebohrungen in Last und bewegter Plattform berdecken Wenn Sie Passstifte verwenden um die Last auszurichten a F hren Sie die Passstifte in die Passbohrungen in der bewegten Plattform oder in der Last ein b Setzen Sie die Last so auf die bewegte Plattform dass die Passstifte in die entsprechenden Passbohrungen auf der Gegenseite eingef gt werden Befestigen Sie die Last mit den Schrauben 36 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Maximales Drehmoment f r Schrauben M1 6 17 Necm Maximales Drehmoment f r Schrauben M2 35 Necm 3 berpr fen Sie den spielfreien Sitz der Last auf der bewegten Plattform des Verstellers 5 5 Q 522 an Elektronik anschlie en Vom Vorhandensein eines Sensors h ngt ab mit welcher Elektronik der Q 522 betrieben wird siehe auch Geeignete Elektro
44. st S 53 Q 522 x00 an Treiberelektronik E 870 mit Buchse Mini DIN 4 anschlie en 1 Verbinden Sie den Q 522 x00 mit dem Adapterkabel Verbinden Sie den Stecker D Sub 15 m des Q 522 mit der Kupplung des Adapterkabels D Sub 15 f 2 Verbinden Sie das Adapterkabel mit der Treiberelektronik a Verbinden Sie den Stecker Mini DIN 4 des Adapterkabels mit der Buchse Mini DIN 4 der Treiberelektronik b Verhindern Sie durch geeignete Ma nahmen das unbeabsichtigte Abziehen des Adapterkabels Q 522 x00 an Treiberelektronik E 870 mit Stiftleiste anschlie en gt Schlie en Sie den Q 522 x00 ber einen geeigneten Adapter an die Stiftleiste der Treiberelektronik an 5 5 2 Q 522 an Controller anschlie en INFORMATION gt Fur Informationen zum Anschlie en eines vakuumtauglichen Q 522 wenden Sie sich an den Kundendienst S 53 Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden v Sie haben den Controller E 871 S 19 installiert v Sie haben das Benutzerhandbuch des Controllers gelesen und verstanden 38 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation v Der Controller ist ausgeschaltet d h das Netzteil ist nicht ber das Netzkabel an der Steckdose angeschlossen Werkzeug und Zubeh r Y Adapterkabel 7202500043 0015 im Lieferumfang S 18 Q 522 x40 am Controller E 871 anschlie en 1 Verbinden Sie den Q 522
45. tte PlShift Steps per Second die der Versteller pro ID 0x1F000600 Sekunde mit der eingestellten Betriebsfrequenz f hrt Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 2 2 Q 522 x4z mit Controller E 871 in Betrieb nehmen INFORMATION Bei Verwendung der im Lieferumfang des Controllers E 871 enthaltenen Software k nnen die Betriebsparameter aus der Verstellerdatenbank P MicosStages2 dat geladen werden Die Eintr ge in der Verstellerdatenbank werden regelm ig aktualisiert gt Laden Sie sich den PI Update Finder von der PI Website http www update pi portal ws herunter und aktualisieren Sie damit die Verstellerdatenbank PIMicosStages2 dat auf Ihrem PC Weitere Informationen siehe Benutzerhandbuch des Controllers E 871 INFORMATION F r optimale Antriebsleistung im Schrittbetrieb hat der Parameter Maximum Motor Output ID 0x9 in der Verstellerdatenbank P MicosStages2 dat den Wert 15 kHz Weitere Informationen siehe Betriebsdauer S 58 und Benutzerhandbuch des Controllers E 871 Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb gelesen und verstanden S 41 Sie haben den Versteller ordnungsgem installiert S 25 Sie haben das Benutzerhandbuch des Controllers gelesen und verstanden Sie haben das Handbuch der PC Software gelesen und verstanden xX N N Der Controller und die ben ti
46. tzleiter anschlie en 1 Richten Sie den Q 522 mit Hilfe der Passstifte auf der Unterlage aus a F hren Sie die zwei Passstifte in die Passbohrungen an der Unterseite des Q 522 siehe Abbildung oben oder in der Unterlage ein b Setzen Sie den Q 522 so auf die Unterlage dass die Passstifte in die entsprechenden Passbohrungen auf der Gegenseite eingef gt werden 2 Befestigen Sie den Q 522 mit zwei Schrauben M2 auf der Unterlage a Verschieben Sie per Hand die bewegte Plattform des Q 522 bis eine der beiden Senkbohrungen im Grundk rper zug nglich ist b F hren Sie die Schraube in die Senkbohrung ein c Ziehen Sie die Schraube mit einem Drehmoment von maximal 35 Nem fest d Stellen Sie sicher dass der Schraubenkopf vollst ndig abgesenkt ist e Wiederholen Sie die Schritte a bis d f r die andere Senkbohrung im Grundk rper des Q 522 3 Stellen Sie sicher dass der bergangswiderstand an allen f r die Schutzleitermontage relevanten Verbindungsstellen lt 0 1 Q bei 25 A ist 4 berpr fen Sie den spielfreien Sitz des Q 522 auf der Unterlage 30 Version 1 0 0 MP134D Q 522 Miniatur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 3 Mehrachssystem aufbauen Der Q 522 kann in XY Systemen verwendet werden HINWEIS Unzul ssig hohe Last an den Verstellern In einem XY System muss der Versteller f r die Y Achse mitbewegt werden Unzul ssige hohe Lasten beeintr chtigen die Bewegung und k nn
47. ur Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb INFORMATION Wenn die Parameter der Elektronik nicht an den Q 522 und die Anwendung Last Ausrichtung des Q 522 angepasst sind bewegt sich der Q 522 nicht oder nicht zufriedenstellend gt Betreiben Sie den Q 522 nur wenn die Parameter der Elektronik korrekt eingestellt sind gt Achten Sie besonders auf die Parametereinstellungen fur Betriebsspannung und Betriebsfrequenz INFORMATION Im Schrittbetrieb entwickelt der PIShift Antrieb Ger usche Die Ger uschentwicklung h ngt von der aktuellen Schrittfrequenz ab 6 2 1 Q 522 x0z mit Treiberelektronik E 870 in Betrieb nehmen INFORMATION Die Werte f r die Parameter der Treiberelektronik E 870 sind in einer Tabelle in diesem Abschnitt aufgelistet F r optimale Antriebsleistung sollten die Werte der folgenden Parameter identisch sein PiIShift Steps per Second ID 0x1F000600 PIShift Frequency ID 0x1F000400 Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb gelesen und verstanden S 41 v Sie haben die Dokumentation der Treiberelektronik E 870 Technical Note E870T0001 oder Technical Note E870T0002 gelesen und verstanden Sie haben den Versteller ordnungsgem installiert S 25 Die Treiberelektronik E 870 wurde ordnungsgem installiert und alle Anschl sse am E 870 wurden eingerichtet siehe Technical Note E870T0001 oder Technical
48. urch Stromschlag f hren gt Schlie en Sie den Q 522 vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an S 28 gt Entfernen Sie den Schutzleiter nicht w hrend des Betriebs gt Wenn der Schutzleiter vor bergehend entfernt werden muss z B bei Umbauten schlie en Sie den Q 522 vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schutzleiter an Verbrennung durch hei e Oberfl che Im Betrieb kann sich die Oberfl che des Q 522 und seine Umgebung erhitzen Das Ber hren des Q 522 und der Teile in seiner Umgebung kann zu leichten Verletzungen durch Verbrennung f hren gt K hlen Sie den Q 522 so dass die Temperatur seiner Oberfl che und der Teile in seiner Umgebung 65 C nicht bersteigt gt Wenn eine ausreichende K hlung nicht m glich ist Stellen Sie sicher dass der hei e Q 522 und die Teile in seiner Umgebung nicht ber hrt werden k nnen gt Wenn eine ausreichende K hlung und ein Ber hrschutz nicht m glich sind Kennzeichnen Sie den Gefahrenbereich gem den gesetzlichen Vorschriften Q 522 Miniatur Versteller MP134D Version 1 0 0 41 6 Inbetriebnahme und Betrieb Pp I HINWEIS berhitzung bei Dauerbetrieb H chste Geschwindigkeit wird bei maximaler Betriebsfrequenz erreicht allerdings kann der Q 522 damit im Dauerbetrieb berhitzen gt Beachten Sie die empfohlene Betriebsdauer in Abh ngigkeit von der Betriebsfrequenz im Schrittbetrieb S 58 gt Sorgen Sie f r ausreichende Bel ftung a
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