Benutzerhandbuch PZ245D - Physik Instrumente (PI)
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1. el P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 27 5 Installation P J 5 5 Last befestigen Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 21 v Der mitgelieferte Kurzschlussstecker ist am Spannungsanschluss des P 2x5 aufgesteckt siehe Auspacken S 19 oder der P 2x5 ist an der ausgeschalteten Elektronik von Pl angeschlossen Werkzeug und Zubeh r Schraube M8 von geeigneter L nge siehe Abmessungen S 50 Geeigneter Schraubendreher Gabelschl ssel zum Fixieren des St els P 225 SW 13 P 235 SW 17 Last befestigen 1 Fixieren Sie den St el Setzen Sie einen passenden Gabelschl ssel an den Schl sselfl chen des St els an 2 Befestigen Sie die Last mit einer Schraube M8 an der Montagebohrung im St el siehe Abmessungen S 50 3 Entfernen Sie den Gabelschl ssel vom St el 5 6 Optional Sp lluft anschlie en HINWEIS Zerst rung des Piezoaktors durch zu schnelles Abk hlen Bei zu schnellem Abk hlen kann die resultierende thermomechanische Belastung den Piezoaktor zerst ren gt Schlie en Sie Sp lluft nur an den Piezoaktor an wenn der Piezoaktor auf Raumtemperatur abgek hlt ist 28 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation INFORMATION Der Piezoaktor kann mit Sp lluft gek hlt werden wenn der P 2x5 mit der Option Temperatursensor PT1000 und Spulluftanschl2. Inbetriebnahme und Betrieb 6 Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb usuunsnennnnnnnnenne een 31 Betriebsparameter ermitteln ccccccssecccccceeseeeeeceeeeeeeeeseeaesceeeeeeeeeeeeesseaseeeeseeegseeesenas 34 P 2X BEILKEIDEN esse a ee ne ee ee ne ee 38 PX CHA ee ee en et nee ee ee ee 38 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb GEFAHR A Stromschlaggefahr bei fehlendem Schutzleiter Bei fehlendem oder nicht ordnungsgem angeschlossenem Schutzleiter k nnen im Falle eines Fehlers oder Defekts gef hrliche Ber hrungsspannungen am P 2x5 entstehen Wenn Ber hrungsspannungen vorhanden sind kann das Ber hren des P 2x5 zum Tod durch Stromschlag oder zu schweren Verletzungen f hren gt Schlie en Sie den P 2x5 vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an S 25 gt Entfernen Sie den Schutzleiter nicht w hrend des Betriebs gt Wenn der Schutzleiter vor bergehend entfernt werden muss z B bei Umbauten schlie en Sie den P 2x5 vor erneuter Inbetrieonahme wieder an den Schutzleiter an Verbrennung durch hei e Oberfl che Im Betrieb kann sich die Oberfl che des P 2x5 erhitzen Das Ber hren des P 2x5 kann zu leichten Verletzungen durch Verbrennung f hren gt K hlen Sie den P 2x5 z B mit Sp lluft S 28 so dass die Temperatur seiner Oberfl che 65 C nicht bersteigt gt Wenn eine ausreichende
3. K hlung nicht m glich ist Stellen Sie sicher dass der hei e P 2x5 nicht ber hrt werden kann gt Wenn eine ausreichende K hlung und ein Ber hrschutz nicht m glich sind Kennzeichnen Sie den Gefahrenbereich gem den gesetzlichen Vorschriften P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 31 6 Inbetriebnahme und Betrieb P I HINWEIS Zerst rung des Piezoaktors durch elektrische Uberschlage Der Einsatz des P 2x5 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen kann zur Zerst rung des Piezoaktors durch elektrische Uberschlage f hren Elektrische Uberschlage k nnen durch Feuchtigkeit hohe Luftfeuchtigkeit Fl ssigkeiten und leitende Materialien z B Metallstaub hervorgerufen werden Dar ber hinaus k nnen in bestimmten Luftdruckbereichen aufgrund der erh hten Leitf higkeit der Luft elektrische Uberschlage auftreten gt Vermeiden Sie den Betrieb des P 2x5 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen k nnen gt Betreiben Sie den P 2x5 nur innerhalb der zul ssigen Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen S 50 gt Bei Einsatz im Vakuum unter 0 1 hPa Betreiben Sie den P 2x5 nicht w hrend des Evakuierens HINWEIS Zerst rung des Piezoaktors durch dynamische Kr fte W hrend des dynamischen Betriebs k nnen dynamische Kr fte entstehen die die Vorspannung des Piezoaktors aufheben Durch den Betrieb ohne Vorspannung kann der Aktor zerst rt werden gt berschreit
4. PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 2 6 Vakuumdurchfuhrungen fur Sensoren Die Abmessungen der folgenden Vakuumdurchfuhrungen sind identisch LEMO SWH 0S 304 CLLSV Bestandteil der Option P 892 VA f r DMS LEMO SWH 0S 303 CLLSV Bestandteil der Option P 899 VA f r Temperatursensor fi pa aA pn S3 E max S 1 Abbildung 16 LEMO SWH 0S 30x CLLSV LEE ZUBE BE SEE ee ee P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 55 10 Technische Daten P I 10 3 Pinbelegung 10 3 1 Spannungsanschluss LEMO FGG 0B 701 CJA 1173 Stecker Vorderansicht U f Ow W Eingang Piezospannung 1000 V weiblich M GND Masse m nnlich Das Steckergeh use ist mit dem Kabelschirm verbunden 10 3 2 Anschluss des Positionssensors LEMO FFA 0S 304 CLA a ll aaa ieee 1 Engang _ Verergungsspannung fr DS Sensor Das Steckergeh use ist mit dem Kabelschirm verbunden 10 3 3 Anschluss des Temperatursensors LEMO FFA 0S 303 CLA Stecker INOIS elanSIeH o po Ten e peen es ooo Das Steckergeh use ist mit dem Kabelschirm verbunden 56 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 11 Altgerat entsorgen 11 Altgerat entsorgen Nach geltendem EU Recht d rfen Elektroger te in den Mitgliedsstaaten der EU nicht ber den kommunalen Restm ll entsorgt werden Entsorgen Sie das Altger t unter Beachtung der internationalen nationalen und regional
5. ber dem Kabelabgang 20 mm oberhalb der Unterkante des Fu st cks Position des Spulluftausgangs Im Geh userohr des Piezoaktors oberhalb des Kabelabgangs genaue Position auf Anfrage gt Kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 45 fur Details zur Position der Stecknippel 10 2 2 P 2x5 mit Option P 706 00 wassergesch tztes Geh use Die Abmessungen des P 2x5 mit wassergesch tztem Geh use werden auf Anfrage mitgeteilt gt Kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 45 10 2 3 Kugelkopfst ck P 176 B25 Abbildung 12 P 176 B25 52 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 2 4 Flachkopfstucke P 176 F25 und P 176 F35 0 16 0 10 3 0 05 Abbildung 13 P 176 F25 1 Fl che geh rtet und poliert 820 6 10 r Abbildung 14 P 176 F35 1 Fl che geh rtet und poliert P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 53 10 Technische Daten pP I 10 2 5 Vakuumdurchf hrung f r Hochvolt Piezoaktoren LEMO SJG 0B 701 CJA 1173 Bestandteil der Option P 203 VA f r Hochvolt Piezoaktoren 1 PZTw __S8W10 5 Y GND m Abbildung 15 Vakuumdurchf hrung LEMO SJG 0B 701 CJA 1173 Au enk rper O Ring 12x1 5 LEMO Apparatedose J codiert EGJ 0B 701 CJA Flanschseite Atmosphare LEMO Apparatedose G codiert EGG 0B 701 CJL Vakuumseite 54 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor
6. gt Ber hren Sie den Piezoaktor nur mit puderfreien Handschuhen gt Wenn notwendig s ubern Sie den Piezoaktor per Wischreinigung nach dem Auspacken 1 Packen Sie den P 2x5 vorsichtig aus 2 Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste 3 berpr fen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Sch den Bei Anzeichen von Besch digungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an PI 4 Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial auf f r den Fall dass das Produkt zur ckgeschickt werden muss 20 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5 Installation In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Installation cccccsescccsseeeeeseeeeeeeeeseeeseeseeesaeeeeeesaeeeesenees 21 P 2x5 an Schutzleiter anschlie en uu00ss0220000000nnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnn 25 PR DC OSI nes ee ee ee E 26 Optional Kopfst ck DefeStiggn cccccccccsssseeecceeeeeeeeeeeeeeeeeeeesseeaseeeeeeeesssaaaaeeeeeseeees 27 Last DEIESUGC TE een ee ee re es UR na EEn 28 Optional Sp lluft anschlie en uu00ss0220000nnnnnneennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nennen 28 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation HINWEIS An Zerst rung des Piezoaktors durch zu schnelles Entladen Wenn der P 2x5 nicht an der Elektronik angeschlossen ist m ssen die Leitungen am Spannungsanschluss mit einem En
7. 40 C Betriebstemperatur 20 C bis 80 C Bei Modellen f r Hochtemperaturbereich und Hochvakuum P 2x5 xxV xSV 40 C bis 150 C Lagertemperatur 20 C bis 80 C Transporttemperatur 20 C bis 80 C Maximale Ausheiztemperatur Piezoaktoren f r Hochtemperaturbereich und f r vakuumtaugliche Produkte Hochvakuum P 2x5 xxV xSV 150 C Vakuumdurchfuhrungen LEMO siehe OptionalesZubeh r S 15 100 C berspannungskategorie Schutzklasse Schutzart gem IEC 60529 IP20 10 2 Abmessungen Abmessungen in mm Allgemeintoleranzen nach DIN ISO 2768 f H Rauheit Ra 1 6 50 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 2 1 Piezoaktor P 2x5 Abbildung 11 P 2x5 1 Sensor nur bei Modellen mit Positionssensor und oder mit Option P 177 50 2 Piezo L mm O A mm B mm SW P 225 1x 55 39 8 16 13 P 225 2x 68 39 8 16 13 P 225 4x 94 39 8 16 13 P 225 8x 147 39 8 16 13 P 235 1x 55 49 8 20 17 P 235 2x 68 49 8 20 17 P 235 4x 94 49 8 20 17 P 235 8x 147 49 8 20 17 P 235 9x 199 49 8 20 17 P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 51 10 Technische Daten pP I Ohne Abbildung Wenn der P 2x5 mit der Option Temperatursensor PT1000 und Sp lluftanschluss f r PICA HVPZT P 177 50 bestellt wurde S 15 sind Stecknippel M3 PK 2 f r den Sp lluftanschluss vorhanden Position des Spullufteingangs Im Fu st ck des Piezoaktors gegen
8. AL Auslenkung in der Anwendung Spitze Spitze m f Frequenz HZ Beispiel Die dynamischen Krafte bei 1000 Hz 2 um Auslenkung Spitze Spitze und 1 kg effektiver Masse betragen ungefahr 40 N 6 2 5 Strombedarf fur Sinusbetrieb berechnen gt Berechnen Sie den Dauerstrombedarf f r den Sinusbetrieb mit folgender Formel la f C Upp gt Berechnen Sie den Spitzenstrombedarf f r den Sinusbetrieb mit folgender Formel Imax f m C Up Erforderlicher Dauerstrom des Es ist entscheidend dass das Verst rkers Source Sink A Netzteil gen gend Strom liefern kann P Erforderlicher Spitzenstrom des Verst rkers Source Sink A f Betriebsfrequenz Hz Details zur Betriebsfrequenz siehe bersicht begrenzender Faktoren S 34 P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 37 6 Inbetriebnahme und Betrieb pP Kapazitat des Piezoaktors F As V Siehe Datentabelle S 47 fur die Kleinsignalkapazitat des Piezoaktors Fur GroBsignalbedingungen sollte ein Sicherheitsfaktor von 70 zur Kleinsignalkapazitat addiert werden 6 3 P 2x5 betreiben Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb gelesen und verstanden S 31 Sie haben die Betriebsparameter f r Ihre Anwendung ermittelt S 34 Sie haben den P 2x5 korrekt installiert S 21 Sie haben eine geeignete Elektronik bereitgestellt die die ben tigten Str me liefern kann S 37 v Sie haben das Ben
9. Der P 2x5 ist nicht an der Elektronik angeschlossen Werkzeug und Zubeh r Geeigneter Schutzleiter Kabelquerschnitt 20 75 mm und Schutzleiterwiderstand lt 0 1 Q bei 25 A Mitgelieferter Schraubensatz M4 Schutzerde S 14 f r den Anschluss des Schutzleiters geeigneter Schraubendreher 3 4 5 6 Abbildung 8 Montage des Schutzleiters Profilansicht Fu st ck des P 2x5 Unterlegscheibe Sicherungsscheibe Schraube Kabelschuh Schutzleiter 9 OQ AR WH DH m P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 25 5 Installation P J P 2x5 an Schutzleiter anschlie en 1 Wenn n tig befestigen Sie einen geeigneten Kabelschuh am Schutzleiter 2 Befestigen Sie den Kabelschuh des Schutzleiters mit der Schraube M4 am Schutzleiteranschluss des P 2x5 wie in der Profilansicht dargestellt 3 Ziehen Sie die Schraube M4 mit einem Drehmoment von 1 2 Nm bis 1 5 Nm fest 4 Stellen Sie sicher dass der bergangswiderstand an allen f r die Schutzleitermontage relevanten Verbindungsstellen lt 0 1 Q bei 25 A ist 5 3 P 2x5 befestigen Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 21 v Der mitgelieferte Kurzschlussstecker ist am Spannungsanschluss des P 2x5 aufgesteckt siehe Auspacken S 19 oder der P 2x5 ist an der ausgeschalteten Elektronik von Pl angeschlossen Werkzeug und Zubeh r Schraube M8 von geeigneter L nge siehe Abmessungen S 50 Geeignetes Werk
10. E User Manual 1 4 Handbucher herunterladen INFORMATION Wenn ein Handbuch auf unserer Website fehlt oder Probleme beim Herunterladen auftreten gt Wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 45 Auf unserer Website finden Sie die Handb cher in ihrer aktuellen Version F r einige Produkte z B Hexapodsysteme und Elektroniken die mit einer CD ausgeliefert werden ist der Zugang zu den Handb chern durch ein Kennwort gesch tzt Das Kennwort ist auf der CD enthalten P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 3 1 Uber dieses Dokument P I Frei zug ngliche Handb cher herunterladen 1 2 3 Offnen Sie die Website http www pi portal ws Klicken Sie auf Downloads Klicken Sie auf die entsprechende Kategorie z B P Piezo Actuators Nanopositioning amp Scanning Systems Klicken Sie auf den entsprechenden Produktcode z B P 225 Klicken Sie auf Documents Die vorhandenen Handb cher werden angezeigt Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger Kennwortgesch tzte Handb cher herunterladen i Fuhren Sie die Schritte 1 bis 5 fur das Herunterladen frei zuganglicher Handbucher aus Legen Sie die CD des Produkts in das PC Laufwerk ein Wechseln Sie auf der CD in das Verzeichnis Manuals Offnen Sie im Verzeichnis Manuals die Release News Datei mit dem Namensbestandteil Releasenews Entnehmen Sie dem Abschnitt User login for software
11. PZ245D P 2x5 Piezoaktor Benutzerhandbuch Datum 02 03 2015 Version 1 0 1 ar toni a g 2 i Dieses Dokument beschreibt die folgenden Produkte P 225 Vorgespannter Hochlast Piezoaktor P 225 10 20 40 80 ohne Sensor P 225 10V 20V 40V 80V ohne Sensor Hochtemperaturbereich und Hochvakuum P 225 1S 2S 4S 8S mit Sensor P 225 1SV 2SV 4SV 8SV mit Sensor Hochtemperaturbereich und Hochvakuum P 235 Vorgespannter Hochlast Piezoaktor P 235 10 20 40 80 90 ohne Sensor P 235 10V 20V 40V 80V 90V ohne Sensor Hochtemperaturbereich und Hochvakuum P 235 1S 2S 4S 8S 9S mit Sensor P 235 1SV 2SV 4SV 8SV 9SV mit Sensor Hochtemperaturbereich und Hochvakuum Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 76228 Karlsruhe Germany PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS Telefon 49 721 4846 0 Telefax 49 721 4846 1019 E Mail info pi ws PI Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG ist Inhaberin der nachfolgend aufgef hrten Marken PI PIC PICMA PlLine PIFOC PiezoWalk NEXACT NEXLINE NanoCube NanoAutomation Picoactuator Plnano 2015 Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Karlsruhe Deutschland Die Texte Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich gesch tzt Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG beh lt insoweit s mtliche Rechte vor Die Verwendung dieser Texte Bilder und Zeichnungen ist nur auszugsweise und n
12. ass der Lastschwerpunkt des bewegten Systems auf der Bewegungsachse des Piezoaktors sitzt Vermeiden Sie eine ungleichm ige Lastverteilung durch geeignete Konstruktionen bzw F hrungselemente z B Kugelkopfst cke oder Festk rpergelenksf hrungen Beachten Sie die Angaben zur Parallelit t im Abschnitt Abmessungen S 47 Verschrauben Sie den Piezoaktor nicht fest an beiden Enden Piezoaktoren d rfen nur axial belastet werden Die nachfolgenden Abbildungen sollen Ihnen helfen Montagefehler zu vermeiden Abbildung 5 Kein festes Verschrauben an beiden Enden und keine Winkel A Falsch Winkelfehler am St el B Richtig Axiale Belastung des Aktors C Falsch Feste Verschraubung beider Enden des Aktors 22 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation Flexure Abbildung 6 Kugelkopfstucke oder Flexuregelenke zum Entkoppeln von lateralen Kr ften und Biegekr ften Abbildung 7 Keine lateralen Krafte oder Drehmomente A Falsch Scherkraft durch laterale Kraft B Richtig Axiale Belastung des Aktors C Falsch Torsion durch Drehmoment P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 23 5 Installation P I HINWEIS Sch den durch ungeeignete Kabel Ungeeignete Kabel k nnen Sch den am Piezoaktor und an der Elektronik verursachen gt Verwenden Sie f r den Anschluss des P 2x5 an die Elektronik nur Kabel von PI HINWEIS Erw rmung des P 2x5 w
13. bgang f r Piezospannung Hier nicht abgebildet Kabelabg nge f r Sensoren 4 _ Schutzleiteranschluss 12 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung 3 2 2 Produktbeschriftung 1 2 3 4 ol ln ig ala PI vawe G LG p Abbildung 2 P 2x5 Typenschild exemplarische Ansicht DataMatrix Code enth lt die Seriennummer Produktbezeichnung Seriennummer Herstellerlogo Warnzeichen Handbuch beachten Altger teentsorgung Herstelleradresse Website Herkunftsland Konformitatszeichen CE oO MN DAA OD MH Abbildung 3 P 2x5 Warnzeichen DANGER auf Spannungsanschluss mit aufgestecktem Kurzschlussstecker Warnzeichen DANGER Hinweis auf Stromschlaggefahr S 6 P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 13 3 Produktbeschreibung pP J 3 3 Lieferumfang Piezoaktor gem Bestellung S 9 000036450 Schraubensatz M4 Schutzerde bestehend aus 1 Flachkopfschraube mit Kreuzschlitz M4x8 ISO 7045 2 Sicherungsscheiben 2 Unterlegscheiben P 202 01 Kurzschlussstecker f r Hochvolt Piezoaktoren mit internem Entladewiderstand von 10 kQ PZ246DK Kurzanleitung fur Hochvolt Piezoaktoren 3 4 Geeignete Elektronik F r den Betrieb eines P 2x5 ben tigen Sie eine Elektronik Die Auswahl des Ger ts h ngt von der Anwendung ab Die folgende Tabelle listet die geeigneten Ger te auf Produktcode Beschreibung E 421 00 Hochleistungs Piezoverst rker M
14. ch Stromschlag oder zu schweren Verletzungen f hren gt ffnen Sie den P 2x5 nicht Bei fehlendem oder nicht ordnungsgem angeschlossenem Schutzleiter k nnen im Falle eines Fehlers oder Defekts gef hrliche Ber hrungsspannungen am P 2x5 entstehen Wenn Ber hrungsspannungen vorhanden sind kann das Ber hren des P 2x5 zum Tod durch Stromschlag oder zu schweren Verletzungen f hren gt Schlie en Sie den P 2x5 vor Inbetriebnahme an einen Schutzleiter an S 25 gt Entfernen Sie den Schutzleiter nicht w hrend des Betriebs gt Wenn der Schutzleiter vor bergehend entfernt werden muss z B bei Umbauten schlie en Sie den P 2x5 vor erneuter Inbetriebnahme wieder an den Schutzleiter an Mechanische Kr fte k nnen den P 2x5 besch digen oder dejustieren gt Vermeiden Sie St e die auf den P 2x5 einwirken gt Lassen Sie den P 2x5 nicht fallen gt Vermeiden Sie Drehmomente Biegekr fte und Querkr fte am bewegten St el des P 2x5 gt berschreiten Sie nicht die maximal zul ssigen Belastungen gem den Spezifikationen S 47 6 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 2 Sicherheit 2 3 Organisatorische MaBnahmen Benutzerhandbuch gt Halten Sie dieses Benutzerhandbuch standig am P 2x5 verfugbar Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit F gen Sie alle vom Hersteller bereitgestellten Informa
15. ch bei Bestellungen an den Kundendienst S 45 gt Berechnen Sie vor der Auswahl einer Elektronik den Strombedarf der Anwendung S 37 3 5 Optionales Zubeh r Grau unterlegte Optionen m ssen aus fertigungstechnischen Gr nden zusammen mit dem Piezoaktor P 2x5 bestellt werden Piezoaktoren die mit diesen Optionen ausgestattet sind haben eine kundenspezifische Produktnummer beginnt mit P 2x5K Bestellnummer Beschreibung P 177 50 Temperatursensor PT1000 und Sp lluftanschluss f r PICA Hochvolt Piezoaktoren mit Controllern E 481 und E 482 P 706 00 Wassergesch tztes Geh use f r P 225 P 235 P 176 B25 Kugelkopfst ck f r P 225 und P 235 P 176 F25 Flachkopfst ck f r P 225 P 176 F35 Flachkopfst ck f r P 235 P 203 VA Vakuumdurchf hrung f r Hochvolt Piezoaktoren bis10 hPa 100 C bestehend aus akuumdurchf hrung LEMO SJG 0B 701 CJA 1173 Luftseitiges Kabel mit 2 LEMO Steckern 2 m P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 15 3 Produktbeschreibung pP J Bestellnummer Beschreibung P 892 VA Vakuumdurchf hrung DMS Sensor bis 10 hPa 100 C bestehend aus Vakuumdurchfthrung LEMO SWH 0S 304 CLLSV Luftseitiges Kabel mit 2 LEMO Steckern 2 m P 899 VA Vakuumdurchf hrung Temperatursensor bis 10 hPa 100 C bestehend aus Vakuumdurchf hrung LEMO SWH 0S 303 CLLSV Luftseitiges Kabel mit 2 LEMO Steckern 2 m P 203 05 Verlangerungskabel f r PICA HVPZT Aktoren 5 m P 203 10 Verlangeru
16. denspezifische Produktnummer beginnt mit P 2x5K Dieses Handbuch gilt auch f r alle Piezoaktoren die aufgrund integrierter Optionen eine kundenspezifische Produktnummer haben Piezoaktoren ohne Sensor ode peme OOS P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 9 3 Produktbeschreibung pP J Piezoaktoren ohne Sensor geeignet fur Hochtemperaturbereich und Hochvakuum Modell Beschreibung P 225 10V Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 15 um 1000 V 12500 N Hochtemperatur Vakuum P 225 20V Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 30 um 1000 V 12500 N Hochtemperatur Vakuum P 225 40V___ Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 60 um 1000 V 12500 N Hochtemperatur Vakuum P 225 80V Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 120 um 1000 V 12500 N Hochtemperatur Vakuum P 235 10V Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 15 um 1000 V 30000 N Hochtemperatur Vakuum P 235 20V Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 30 um 1000 V 30000 N Hochtemperatur Vakuum P 235 40V Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 60 um 1000 V 30000 N Hochtemperatur Vakuum P 235 80V Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 120 um 1000 V 30000 N Hochtemperatur Vakuum P 235 90V Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 180 um 1000 V 30000 N Hochtemperatur Vakuum Piezoaktoren mit Positionssensor Model Beschrobung OOO 10 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung Piezoaktoren mit Positionss
17. download in den Release News den Benutzernamen user name und das Kennwort password Geben Sie auf der Website im Bereich User login am linken Seitenrand den Benutzernamen und das Kennwort in die entsprechenden Felder ein Klicken Sie auf Login Die vorhandenen Handb cher werden angezeigt Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 2 Sicherheit 2 Sicherheit In diesem Kapitel Bestimmungsgem e Verwendung ccccccseeeeceeeeeeeeeeeeecaeeeeeeeeeseeeeeeseesaaeeeeseesaseeeeeeas 5 Allgemeine SicherheitShinweisSe cccccccssesescccceeeesseeeseecceeeeeeeaeeeeseeeeeeessaeeeeeeeeeeesaaas 6 Organisatorische Ma nahmen cccccccccssseseeeeceeeeeeueeseeceeeeeeseaeseeeeeesesseeeeeeeeeeeeessaas 7 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung Der P 2x5 ist ein Laborger t im Sinne der DIN EN 61010 1 Er ist f r die Verwendung in Innenr umen und in einer Umgebung vorgesehen die frei von Schmutz l und Schmiermitteln ist Entsprechend seiner Bauart ist der P 2x5 f r folgende Anwendungen vorgesehen Positionierung gro er Lasten siehe Spezifikationen S 47 Dynamische Positionierung m Schwingungsd mpfung Krafterzeugung Die Bewegung erfolgt in einer Achse Die Spezifikationen des P 2x5 gelten f r die Montage mit vertikaler Ausrichtung der B
18. e seiner Resonanzfrequenz betrieben Wenn Sie Schwingungen bemerken gt Schalten Sie im geregelten Betrieb den Servomodus sofort aus gt Stoppen Sie im ungeregelten Betrieb sofort den Piezoaktor INFORMATION Das Ausfahren des St els entspricht der positiven Bewegungsrichtung und ist proportional zur angelegten Betriebsspannung 6 2 Betriebsparameter ermitteln 6 2 1 bersicht begrenzender Faktoren Begrenzende Faktoren f r den Betrieb des Piezoaktors Resonanzfrequenz Die Betriebsfrequenz darf ein Drittel des Resonanzfrequenz des belasteten Piezoaktors nicht berschreiten Siehe Maximale Betriebsfrequenz des belasteten Piezoaktors berechnen S 36 Maximale Zug Druckbelastbarkeit S 47 Die Masse der zu bewegenden Last und die Betriebsfrequenz des Piezoaktors m ssen so gew hlt werden dass die im Betrieb auftretenden dynamischen Kr fte die maximale Zug Druckbelastbarkeit des Piezoaktors nicht berschreiten Siehe Im dynamischen Betrieb auftretende Kr fte berechnen S 37 34 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb Maximal zul ssige Betriebstemperatur des Piezoaktors S 50 Je gr er Betriebsfrequenz Betriebsspannung Spitze Spitze und Kapazit t des Piezoaktors sind umso gr er ist die im Piezoaktor erzeugte thermische Leistung Betriebsfrequenz Betriebsspannung und Betriebsdauer m ssen so gew hlt werden dass die maxi
19. emperatur des Piezoaktors liegt weit ober oder unterhalb der Kalibrationstemperat ur 21 C bis 24 C Piezoaktor ist wegen berhitzung depolarisiert gt Wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 45 P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 43 8 Storungsbehebung pP J St rung M gliche Ursachen Behebung Verringerte P 2x5 oder Controller F hren Sie eine Neukalibrierung der Genauigkeit wurde ausgetauscht Achsenauslenkung durch siehe Controller Handbuch oder wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 45 Achsen wurden beim i kalibrierten Systemen Anschlie en vertauscht Beachten Sie beim Anschlie en mehrerer Piezoaktoren an einen Mehrkanal Controller die Zuordnung der Achsen Diese Zuordnung geht aus Aufklebern auf den Ger ten hervor Piezoaktor Regelparameter falsch Schalten Sie den Servomodus der betreffenden beginnt zu eingestellt da z B die Achsen unverz glich aus schwingen oder Last ge ndert wurde Pr fen Sie die Einstellungen der Regelparameter am positioniert Controller ungenau Passen Sie die Regelparameter am Controller entsprechend der Last nderung an Betrieb mit zu hoher Betreiben Sie den Piezoaktor mit maximal einem Frequenz Drittel der Resonanzfrequenz Resonanzfrequenz des unbelasteten Piezoaktors siehe Datentabelle S 47 Resonanzfrequenz des belasteten Piezoaktors siehe Maximale Betriebsfrequenz des belasteten Piezoaktors berechnen S 36 Wenn die St rung Ih
20. en EG Konformit tserkl rung PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 1 Uber dieses Dokument 1 Uber dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs ccccseececeeeeeeeeceeeeeesaeeeeeeaeeeeeeaees 1 Symbole und KENnZeiCHNUNGEN 00esccccccceceeeeseeececeeeeeeeeseecceeeeessueaeeeeeeeseessuaageeseeeees 1 Mitgeltende DOKUMENHE cccccccccsssseceeceeeeeeeeeecuaaseeeeecaeaeeeeessaaeeeeesssaaeeeessesageeeeeeaas 3 Handb cher herunterladen ccccccssseecececeeeeeceeecaeeeeceeesaeeeeeeeeseeaeeeeeesseuseeessssageeeeeeaas 3 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enth lt die erforderlichen Informationen f r die bestimmungsgem e Verwendung des P 2x5 x steht f r die verschiedenen Modelle S 9 Grunds tzliches Wissen ber Regelungstechnik Antriebstechnologien und geeignete Sicherheitsma nahmen wird vorausgesetzt Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit 1 2 Symbole und Kennzeichnungen In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet GEFAHR A Unmittelbar drohende Gefahr Bei Nichtbeachtung drohen Tod oder schwerste Verletzungen gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 1 1 Uber dieses Dokument PI AN Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen leichte Ve
21. en Richtlinien Um der Produktverantwortung als Hersteller gerecht zu werden bernimmt die Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI Altger tes sofern es nach dem 13 August 2005 in Verkehr gebracht wurde Falls Sie ein solches Altgerat von PI besitzen k nnen Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 D 76228 Karlsruhe P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 57 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 12 EG Konformitatserklarung 12 EG Konformitatserklarung Fur den P 2x5 wurde eine EG Konformit tserkl rung gem den folgenden europ ischen Richtlinien ausgestellt 2006 95 EG Niederspannungsrichtlinie 2004 108 EG EMV Richtlinie 2011 65 EG RoHS Richtlinie Die zum Nachweis der Konformit t zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet Elektromagnetische Emission EN 61000 6 3 2007 EN 55011 2009 Elektromagnetische St rfestigkeit EN 61000 6 1 2007 Sicherheit Niederspannungsrichtlinie EN 61010 1 2010 P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 59
22. en Sie nicht die maximale Zug Druckbelastbarkeit gem den Spezifikationen S 47 gt Beachten Sie die Hinweise in Betriebsparameter ermitteln S 34 HINWEIS Zerst rung des Piezoaktors durch zu hohe Betriebsfrequenz Eine zu hohe Betriebsfrequenz kann den Piezoaktor zerst ren gt W hlen Sie die Betriebsfrequenz so dass die folgenden Bedingungen erf llt sind Die Betriebsfrequenz betr gt maximal ein Drittel der Resonanzfrequenz Resonanzfrequenz des unbelasteten Piezoaktors siehe Datentabelle S 47 Resonanzfrequenz des belasteten Piezoaktors siehe Maximale Betriebsfrequenz des belasteten Piezoaktors berechnen S 36 Die im Betrieb auftretenden dynamischen Kr fte berschreiten nicht die maximale Zug Druckbelastbarkeit des Piezoaktors siehe Im dynamischen Betrieb auftretende Kr fte berechnen S 37 32 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb HINWEIS Verringerte Lebensdauer des Piezoaktors durch dauerhaft hohe Spannung Das dauerhafte Anlegen einer hohen statischen Spannung an Piezoaktoren f hrt Zu einer erheblichen Verringerung der Lebensdauer der Piezokeramik des Aktors gt gt Wenn der P 2x5 nicht benutzt wird die Elektronik aber zur Gew hrleistung der Temperaturstabilit t eingeschaltet bleibt entladen Sie den P 2x5 S 38 Wenn m glich Begrenzen Sie im Dauerbetrieb die maximale Betriebsspann
23. ensor geeignet fur Hochtemperaturbereich und Hochvakuum Modell Beschreibung P 225 1SV Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 15 um 1000 V 12500 N DMS Hochtemperatur Vakuum P 225 25V Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 30 um 1000 V 12500 N DMS Hochtemperatur Vakuum P 225 45V Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 60 um 1000 V 12500 N DMS Hochtemperatur Vakuum P 225 85V Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 120 um 1000 V 12500 N DMS Hochtemperatur Vakuum P 235 1SV Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 15 um 1000 V 30000 N DMS Hochtemperatur Vakuum P 235 2SV___ Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 30 um 1000 V 30000 N DMS Hochtemperatur Vakuum P 235 4SV___ Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 60 um 1000 V 30000 N DMS Hochtemperatur Vakuum P 235 85V Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 120 um 1000 V 30000 N DMS Hochtemperatur Vakuum P 235 95V Vorgespannter Hochlast Piezoaktor 180 um 1000 V 30000 N DMS Hochtemperatur Vakuum P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 11 3 Produktbeschreibung 3 2 Produktansicht 3 2 1 Uberblick Die Abbildung ist exemplarisch und kann von Ihrem Modell abweichen Abbildung 1 Exemplarische Produktansicht 1 Geh use bestehend aus 1a Fu st ck mit Schl sselfl che 1b Geh userohr Hier nicht abgebildet optionale Ein und Ausg nge f r Sp lluft optionaler Wasserschutz 2 Bewegter St el mit Schl sselfl che und Innengewinde M8 3 Kabela
24. ewegungsachse Die Montage mit horizontal ausgerichteter Bewegungsachse wird nicht empfohlen Die bestimmungsgem e Verwendung des P 2x5 ist nur in komplett montiertem und angeschlossenem Zustand und nur in Verbindung mit geeigneter Steuer oder Regelelektronik S 14 m glich die von Pl angeboten wird Die Elektronik ist nicht im Lieferumfang des P 2x5 enthalten Die Elektronik muss die ben tigten Betriebsspannungen bereitstellen Au erdem muss sie in der Lage sein die Signale der Positionssensoren auszulesen und weiterzuverarbeiten damit die Positionsregelung einwandfrei funktioniert P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 5 2 Sicherheit P I 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise Der P 2x5 ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut Bei unsachgemaBer Verwendung des P 2x5 k nnen Benutzer gef hrdet werden und oder Sch den am P 2x5 entstehen gt Benutzen Sie den P 2x5 nur bestimmungsgem und in technisch einwandfreiem Zustand Lesen Sie das Benutzerhandbuch Beseitigen Sie St rungen die die Sicherheit beeintr chtigen k nnen umgehend Der Betreiber ist f r den korrekten Einbau und Betrieb des P 2x5 verantwortlich Im Piezoaktor P 2x5 k nnen Ladungen durch Temperaturschwankungen und Druckbelastungen entstehen Nach dem Trennen von der Elektronik kann der Piezoaktor f r einige Stunden aufgeladen bleiben Das Ber hren spannungsf hrender Teile des P 2x5 kann zum Tod dur
25. hrend des Betriebs Die w hrend des Betriebs des P 2x5 abgegebene W rme kann Ihre Anwendung beeintr chtigen gt Installieren Sie den P 2x5 so dass die Anwendung nicht durch die abgegebene W rme beeintr chtigt wird INFORMATION Verl ngerte Kabel k nnen die Leistung des P 2x5 beeinflussen gt Verwenden Sie nur Verl ngerungskabel von PI S 15 INFORMATION Beim Umgang mit der Vakuumversion des Piezoaktors muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden gt Ber hren Sie den Piezoaktor nur mit puderfreien Handschuhen gt Wenn notwendig s ubern Sie den Piezoaktor per Wischreinigung INFORMATION Das Ausfahren des St els entspricht der positiven Bewegungsrichtung und ist proportional zur angelegten Betriebsspannung 24 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5 2 P 2x5 an Schutzleiter anschlieBen INFORMATION gt Beachten Sie die jeweils geltenden Normen f r die Schutzleiterbefestigung Der P 2x5 hat eine Gewindebohrung M4 f r die Befestigung des Schutzleiters Diese Bohrung befindet sich am Fu st ck des Piezoaktors und ist in der Ma zeichnung mit dem Schutzleitersymbol gekennzeichnet siehe Abmessungen S 50 Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 21 v Der mitgelieferte Kurzschlussstecker ist am Spannungsanschluss des P 2x5 aufgesteckt siehe Auspacken S 19 v
26. imaler Betriebs ohne Beruck mit Beruck mit Beruck spannungsbereich sichtigung sichtigung sichtigung thermischer thermischer thermischer Aspekte Aspekte Aspekte Piezoaktor N N N N Ein Drittel der Resonanzfrequenz des unbelasteten Piezoaktors F r weitere Beschr nkungen siehe bersicht begrenzender Faktoren S 34 Um ein berschreiten der maximal zul ssigen Betriebstemperatur zu vermeiden darf bei einer Betriebsspannung von 1000 V Spitze Spitze der unbelastete ungekuhlte Piezoaktor maximal mit dieser Betriebsfrequenz betrieben werden Bei kleineren Amplituden der Betriebsspannung und oder Einsatz von K hlungsma nahmen sind h here Betriebsfrequenzen m glich F r weitere Beschr nkungen siehe bersicht begrenzender Faktoren S 34 Leistungsaufnahme des unbelasteten ungekuhlten Piezoaktors der bei einer Betriebsspannung von 1000 V Spitze Spitze mit der Betriebsfrequenz aus Spalte B dieser Tabelle betrieben wird P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 49 10 Technische Daten P I 10 1 3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind f r den P 2x5 zu beachten Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenr umen Maximale H he 2000 m Luftdruck 1100 hPa bis 0 1 hPa entspricht etwa 825 Torr bis 0 075 Torr Relative Luftfeuchte H chste relative Luftfeuchte 80 f r Temperaturen bis 31 C Linear abnehmend bis 50 relativer Luftfeuchte bei
27. ktrische Kapazitat Dynamischer Stromkoeffizient Sonstiges Masse mit Kabel Piezokeramik PICA Power Temperaturbereich 40 bis 80 C Im Dauerbetrieb sollte die Betriebsspannung 750 V nicht berschreiten P 235 10 0 bis 1000 15 0 3 0 15 0 2 860 14 30000 3500 707 2 550 65 580 P 235 20 0 bis 1000 30 0 6 0 3 0 2 600 10 30000 3500 420 2 1100 65 690 P 235 40 0 bis 1000 60 1 2 0 6 0 2 380 7 30000 3500 232 2 2400 65 940 P 235 80 0 bis 1000 120 2 4 1 2 0 2 210 4 30000 3500 147 2 5100 65 1400 P 235 90 0 bis 1000 180 3 6 1 8 0 2 150 2 8 30000 3500 147 2 7800 65 1900 Erfordert integrierten DMS Sensor Diese Ausf hrungen werden mit Abgleichprotokoll geliefert PI Einheit V um nm nm N um kHz Nm nF UA Hz x um Interferometrisch vermessen Die Aufl sung von Piezoaktoren ist nicht durch Haft oder Gleitreibung begrenzt Dynamische Kleinsignalsteifigkeit ca 50 h her 48 Version 1 0 1 PZ245D Toleranz typ typ typ 20 20 max max max 20 20 5 P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 10 Technische Daten 10 1 2 Bemessungsdaten P 2x5 Piezoaktoren sind f r folgende Betriebsgr en ausgelegt Maximale Betriebsfrequenz ohne Last Maximale Leistungs A B aufnahme Max
28. mal zul ssige Betriebstemperatur des Piezoaktors nicht berschritten wird F r die maximal zul ssige Betriebsfrequenz ohne K hlung siehe Spalte B der Tabelle in Bemessungsdaten S 49 Bei Einsatz von K hlungsma nahmen S 28 erh hen sich die Grenzwerte f r Betriebsfrequenz Betriebsspannung und Betriebsdauer Durch Einsatz eines Temperatursensors S 15 kann das berhitzen des Piezoaktors vermieden werden Spitzen und Dauerausgangsstrom der verwendeten Elektronik S 14 Die verwendete Elektronik muss so gew hlt werden dass sie die ben tigten Str me bereitstellen kann Siehe Strombedarf f r Sinusbetrieb berechnen S 37 6 2 2 Effektive Masse berechnen S Meff T 3 Meff T 3 M Abbildung 10 Effektive Masse eines unbelasteten Piezoaktors links und eines mit einer Zusatzmasse M belasteten Piezoaktors rechts Der Piezoaktor ist jeweils an einem Ende fest montiert P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 35 6 Inbetriebnahme und Betrieb P I 1 Entnehmen Sie die Masse m Ihres Piezoaktors der Datentabelle S 47 2 Ermitteln Sie die Zusatzmasse M 3 Berechnen Sie die effektive Masse m des unbelasteten Piezoaktors und Mer des belasteten Piezoaktors mit den Formeln in der Abbildung oben 6 2 3 Maximale Betriebsfrequenz des belasteten Piezoaktors berechnen INFORMATION In der nachfolgenden Berechnung wird die maximal zul ssige Betriebstemperatur des Piezoaktors nicht ber cksichtigt Beim Bet
29. mit Kabel Piezokeramik PICA Power Temperaturbereich 40 bis 80 C P 225 10 0 bis 1000 15 0 3 0 15 0 2 480 14 12500 2000 255 iS 320 33 410 P 225 20 0 bis 1000 30 0 6 0 3 0 2 330 10 12500 2000 152 15 630 33 470 P 225 40 0 bis 1000 60 1 2 0 6 0 2 200 7 12500 2000 84 1 5 1300 33 610 Im Dauerbetrieb sollte die Betriebsspannung 750 V nicht berschreiten Erfordert integrierten DMS Sensor Diese Ausf hrungen werden mit Abgleichprotokoll geliefert P 225 80 0 bis 1000 120 2 4 1 2 0 2 110 4 12500 2000 73 13 2600 33 900 10 Technische Daten Einheit V um nm nm N um kHz Nm nF UA Hz x um Interferometrisch vermessen Die Aufl sung von Piezoaktoren ist nicht durch Haft oder Gleitreibung begrenzt Dynamische Kleinsignalsteifigkeit ca 50 h her P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 Toleranz typ typ typ 20 20 max max max 20 20 5 47 10 Technische Daten Betriebsspannungsbereich Bewegung und Positionieren Stellweg geregelt Aufl sung geregelt Aufl sung ungeregelt Linearitatsabweichung Mechanische Eigenschaften Stat GroBsignalsteifigkeit in Stellrichtung Resonanzfrequenz unbelastet Druck Zugbelastbarkeit in Stellrichtung Scherbelastung Drehmoment am Kopfstuck Antriebseigenschaften Ele
30. ngefeuchtet wurde Wenn der Piezoaktor im Vakuum eingesetzt wird gt Ber hren Sie den Piezoaktor nur mit puderfreien Handschuhen gt Wenn notwendig s ubern Sie den Piezoaktor per Wischreinigung 42 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 8 Storungsbehebung 8 Storungsbehebung St rung M gliche Ursachen Behebung Keine oder Kabel nicht korrekt gt Pr fen Sie die Kabelanschl sse eingeschr nkte angeschlossen Zu hohe Last gt berschreiten Sie nicht die zul ssige Druck und Zugbelastung gem den Spezifikationen S 47 Bewegung Elektronik E 481 oder E Wenn der Piezoaktor mit der Option Temperatursensor 482 von PI hat wegen PT1000 und Sp lluftanschluss f r PICA Hochvolt berhitzung des Piezoaktoren ausgestattet ist S 15 werten die Piezoaktors den Elektroniken E 481 und E 482 das Signal des Spannungsausgang Temperatursensors aus deaktiviert Schalten Sie die Elektronik ab Warten Sie einige Minuten bis sich der Piezoaktor ausreichend abgek hlt hat Schalten Sie die Elektronik wieder ein Vorbeugende Ma nahmen Verringern Sie Betriebsspannung Betriebsfrequenz und oder Betriebsdauer K hlen Sie den Piezoaktor Nullpunktverschiebung F hren Sie einen Nullpunktabgleich des Sensors des Positionssensors durch siehe Benutzerhandbuch der verwendeten aus folgenden Gr nden Elektronik Belastung in Bewegungsrichtung Umgebungs Betriebst
31. ngskabel f r PICA HVPZT Aktoren 10 m P 203 15 Verlangerungskabel f r PICA HVPZT Aktoren 15 m Stecker FGG 0B 701 CJA 1173 Kupplung PHG 0B 701 CJL 1173 16 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 45 3 6 Technische Ausstattung 3 6 1 PICA Piezoaktoren P 2x5 sind vorgespannte H chstlast Piezoaktoren f r statische und dynamische Anwendungen Sie bieten eine Ansprechzeit im Sub Milllisekunden Bereich und Sub Nanometer Aufl sung Die Piezoaktoren bestehen aus einer reibungsfrei vorgespannten PICA Power Piezokeramik die in ein Edelstahlgeh use integriert ist Durch die hohe Belastbarkeit und die interne Vorspannung sind sie ideal f r Anwendungen wie die Pr zisionsfertigung und die aktive Schwingungsd mpfung geeignet 3 6 2 Dehnmessstreifen Sensoren DMS Sensoren Dehnmessstreifen Sensoren leiten die Positionsinformation aus ihrer Ausdehnung ab Ein DMS Sensor besteht aus einem elektrisch leitenden Film dessen Widerstand sich mit der Dehnung ndert DMS Sensoren sind auf dem Aktor aufgebracht und messen dessen Auslenkung Die Sensoren arbeiten in einer thermisch driftfreien Vollbr ckenschaltung und sorgen damit f r optimale Positionsstabilit t im Nanometerbereich P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 17 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 4 Auspacken 4 Auspacken HINWEIS Zerst r
32. nik von PI an P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 39 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 7 Wartung 7 Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung uusssessesnnennnnnnennnnennnnnnnnnennnnnnennnnnnnnnnnnnnennnn nennen 41 PEMO wasser re ne an Fest n Eiitinee ans een ee re ee 41 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung Der P 2x5 ist wartungsfrei 7 2 P 2x5 reinigen HINWEIS ah Zerst rung des Piezoaktors durch elektrische Uberschlage Das Eindringen von Fl ssigkeit in das Geh use des Piezoaktors kann zur Zerst rung des Piezoaktors durch elektrische berschl ge f hren Vor dem Reinigen des P 2x5 gt Entladen Sie den P 2x5 S 38 gt Trennen Sie den Spannungsanschluss des P 2x5 von der Elektronik gt Verbinden Sie den Spannungsanschluss des P 2x5 mit dem mitgelieferten Kurzschlussstecker S 19 Voraussetzungen v Sie haben die Piezoaktoren des P 2x5 entladen S 38 v Sie haben den P 2x5 von der Elektronik getrennt v Der mitgelieferte Kurzschlussstecker ist am Spannungsanschluss des P 2x5 aufgesteckt siehe Auspacken S 19 P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 41 7 Wartung P J P 2x5 reinigen gt F hren Sie keine Ultraschallreinigung durch Nur wenn der Piezoaktor nicht im Vakuum eingesetzt wird gt Wenn notwendig reinigen Sie die Oberfl chen des P 2x5 mit einem Tuch das leicht mit einem milden Reinigungs oder Desinfektionsmittel z B Alkohol oder Isopropanol a
33. nne ee enge nee nee ee 14 3 4 Geeignete Elektronik ccccccccccecceesseeeceeeeeeeeeeeeeecceeeeeseeeeeeeeeeeeesseeaaeeeeeeeeesaaas 14 3 5 Optionales ZUBENOr reed een ne ahnen nennen 15 3 6 Technische Ausstattung er u een anne 17 3 6 1 PICA Piezoaktoren 022220022000022nne nenne nenne nennen nennen nenne nnnnnennnnne 17 3 6 2 Dehnmessstreifen Sensoren DMS Sensoren cccccseeseeeeeeeeees 17 4 Auspacken 19 5 Installation 21 5 1 Allgemeine Hinweise Zur Installation cccccsssccccsseeeeeeeeeeeeeseeeeeeseneeeeseeeeeeeas 21 5 2 P 2x5 an Schutzleiter anschlie en 222200022020000nnnnnennnnnnnennnnnne nennen 25 5 3 PERS DIES ION ee ee ee ee ee 26 5 4 Optional Kopfst ck befestigen uuss0000000000nnneennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnne nennen 27 5 5 Last DEI WO CIN sn ee ers ee Fee T 28 5 6 Optional Sp lluft anschlie en uusss020022400000eennnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnne nennen 28 6 Inbetriebnahme und Betrieb 3l 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb u0s20rue2ni 31 6 2 Betriebsparameter ermitteln s042224000002200n0nnRnnnnnnnn nn nnennnnnnnnnennnnnn nennen 34 6 2 1 bersicht begrenzender Faktoren ccccesessessessssssessessereeseereesserees 34 10 11 12 PI 6 2 2 Effektive Masse berechnen cccccsecccceeeeeeeceeceeteeeecesseeeeeeaaeeeeeas 6 2 3 Maximale Betrieb
34. odul ohne Geh use 1100 V Spannungshub 550 W integriertes Netzteil E 470 20 Hochleistungs Piezoverst rker 1100 V Spannungshub 550 W Tischger t E 471 20 Hochleistungs Piezoverst rker 1100 V Spannungshub 550 W vorbereitet f r Servocontroller und Display PC Schnittstelle 19 E 472 20 2 Kanal Hochleistungs Piezoverst rker 1100 V Spannungshub 550 W 19 E 462 0E1 HVPZT Piezoverstarker Modul 10 bis 1000 V OEM Version E 464 00 HVPZT Piezoverstarker 3 Kanale Tischgerat E 481 00 Hochleistungs Piezoverst rker Controller mit Energier ckgewinnung 1100 V Spannungshub 2000 W 19 E 482 00 PICA Hochleistungs Piezoverst rker Controller mit Energier ckgewinnung 1050 V 6 A 19 E 462 00 HVPZT Piezoverst rker 10 bis 1000 V Tischger t 14 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung Produktcode Beschreibung E 500 Modularer Piezocontroller Konfigurationsbeispiel Hochvolt Piezoverst rker fur PICA HVPZT 3 Kan le mit Rechnerschnittstelle und Display bestehend aus 1 x E 500 00 19 Chassis fur modulares Piezocontrollersystem 1 bis 3 Kan le 3 x E 508 00 HVPZT Piezoverstarkermodul 3 bis 1100 V 1 Kanal 1 x E 517 13 Schnittstellen Displaymodul 24 Bit D A TCP IP USB RS 232 IEEE488 3 Kanale Optional als Hochvolt Verstarker Servocontroller zusatzlich mit 1 x E 509 S3 sensor Servocontrollermodul DMS Sensoren 3 Kan le gt Wenden Sie si
35. res Systems nicht in der Tabelle angef hrt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 45 44 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 9 Kundendienst 9 Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre Pl Vertretung oder schreiben Sie uns eine E Mail info pi ws Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an Produktcodes und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers sofern vorhanden Version des Treibers oder der Software sofern vorhanden PC Betriebssystem sofern vorhanden Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 45 PIEZO NANO POSITIONING 10 Technische Daten WWW PI WS In diesem Kapitel Spezifikationen Abmessungen Pinbelegung 10 1 Spezifikationen 10 1 1 Datentabelle Betriebsspannungsbereich Bewegung und Positionieren Stellweg geregelt Aufl sung geregelt Aufl sung ungeregelt Linearit tsabweichung Mechanische Eigenschaften Stat Gro signalsteifigkeit in Stellrichtung Resonanzfrequenz unbelastet Druck Zugbelastbarkeit in Stellrichtung Scherbelastung Drehmoment am Kopfst ck Antriebseigenschaften Elektrische Kapazit t Dynamischer Stromkoeffizient Anschl sse und Umgebung Masse
36. rieb ohne K hlung wird die maximale Betriebstemperatur m glicherweise bereits berschritten wenn die Betriebsfrequenz noch unterhalb des nachfolgend berechneten Grenzwerts liegt gt F r die maximal zul ssige Betriebsfrequenz ohne K hlung siehe Spalte B der Tabelle in Bemessungsdaten S 49 1 Berechnen Sie die Resonanzfrequenz des belasteten Piezoaktors mit folgender Formel lb Mer fo fo m eff fo Resonanzfrequenz des belasteten Piezoaktors Hz fo Resonanzfrequenz des unbelasteten Piezoaktors Hz siehe Datentabelle S 47 Mer effektive Masse ca 1 3 der Masse des Piezoaktors kg Met effektive Masse Me Zusatzmasse M kg Siehe auch Effektive Masse berechnen S 35 2 Berechnen Sie die maximale Betriebsfrequenz des belasteten Piezoaktors mit folgender Formel fmax fo 3 fmax maximale Betriebsfrequenz des belasteten Piezoaktors Hz fo Resonanzfrequenz des belasteten Piezoaktors Hz 36 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 2 4 Im dynamischen Betrieb auftretende Kr fte berechnen gt Berechnen Sie die dynamischen Kr fte die bei Sinusbetrieb mit der Frequenz f auf den Piezoaktor wirken mit folgender Formel AL tAn m f Fayn dynamische Kraft N F dyn Met effektive Masse mex ca 1 3 der Masse des Piezoaktors Zusatzmasse M kg siehe auch Effektive Masse berechnen S 35
37. rletzungen gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden HINWEIS Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen Sachsch den gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden INFORMATION Informationen zur leichteren Handhabung Tricks Tipps etc Symbol Kennzeichnung 1 2 gt So RS 232 A 2 Version 1 0 1 Bedeutung Handlung mit mehreren Schritten deren Reihenfolge eingehalten werden muss Handlung mit einem Schritt oder mehreren Schritten deren Reihenfolge nicht relevant ist Aufz hlung Querverweis auf Seite 5 Bedienelement Beschriftung auf dem Produkt Beispiel Buchse der RS 232 Schnittstelle Auf dem Produkt angebrachte Warnzeichen die auf ausf hrliche Informationen in diesem Handbuch verweisen PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 1 Uber dieses Dokument 1 3 Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erw hnten Ger te und Programme von PI sind in separaten Handb chern beschrieben Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 3 bereit Prom kamen E 462 0E1 HVPZT Piezoverstarker Modul 10 bis PZ210E User Manual 1000 V OEM Version E 464 00 HVPZT Piezoverstarker 3 Kan le PZ176D Benutzerhandbuch E 481 00 Hochleistungs Piezoverst rker Controller PZ170E User Manual E 482 00 PICA Hochleistungs Piezoverst rker PZ236E User Manual Controller E 500 Modularer Piezocontroller PZ62
38. sfrequenz des belasteten Piezoaktors Dere N ee ee ee ee ee 6 2 4 Im dynamischen Betrieb auftretende Kr fte berechnen 6 2 5 Strombedarf f r Sinusbetrieb berechnen 4us0444420BRe nenn 6 3 P 2X5 betreiben an see ie ee een 6 4 PZS SPM ACSI aan A EEN setae a Wartung 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartunnd ccccsssccccssseecccsseecceeseeccsaeseeesegseeeseseesens 7 2 EP 2X LEINIGEN see ee een een een Storungsbehebung Kundendienst Technische Daten 101 SpezikationeM ee ee euere 10 1 1 ANC abe S nee ee mern 10 1 2 Bemessungsd len in ninnienie ie een 10 1 3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen u 0 102 PIMC SSN CN esse ee ee een 10 2 1 PIEZOAKIOL TE END ee ee ee rei 10 2 2 P 2x5 mit Option P 706 00 wassergesch tztes Geh use 10 2 3 Kugelkopfst ck P 176 B25 22222002220000000000000nnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 10 2 4 Flachkopfst cke P 176 F25 und P 176 F35 2u002220002enneennnno 10 2 5 Vakuumdurchf hrung f r Hochvolt Piezoaktoren 10 2 6 Vakuumdurchf hrungen f r Sensoren cccccceeeeeeeeeeeeeaeeeeeeeeees 109 5 PIHDEIEQUNG aE E E E AE E E 10 3 1 SPANMUNGSANSCHIUSS suis ein ee ae 10 3 2 Anschluss des PositionssensorsS cccccseecceceeeeceeeeeeeeesaeeeeesaaeees 10 3 3 Anschluss des Temperatursensors c ccccccccseeeceeeeeeeeecaeeeeesseeeees Altger t entsorg
39. tionen z B Erg nzungen und Technical Notes zum Benutzerhandbuch hinzu Wenn Sie den P 2x5 an Andere weitergeben f gen Sie dieses Handbuch und alle sonstigen vom Hersteller bereitgestellten Informationen bei F hren Sie Arbeiten grunds tzlich anhand des vollst ndigen Benutzerhandbuchs durch Fehlende Informationen aufgrund eines unvollst ndigen Benutzerhandbuchs k nnen zu schweren oder t dlichen Verletzungen sowie zu Sachsch den f hren Installieren und bedienen Sie den P 2x5 nur nachdem Sie dieses Benutzerhandbuch gelesen und verstanden haben Personalqualifikation Nur autorisiertes und entsprechend qualifiziertes Personal darf den P 2x5 installieren in Betrieb nehmen bedienen warten und reinigen P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 7 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 3 Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung In diesem Kapitel MOOC IUDET SICA Ense nee Renee 9 PIOJUK AN SIC IN een ee ae een green Bann Dee ee nr 12 LISTE HIN AN Oasen ES 14 Geeignete Elektronik arte een nee ee 14 OBli nales Zubeh r sessar EE EEA A lt 15 Technische Ausstattung cccccccccccssececeeececeeeeeseeceseaecessaeeeseueeesageeeseeeessaeeesseeessageeees 17 3 1 Modell bersicht INFORMATION F r die Piezoaktoren P 2x5 sind optionale Ausstattungen erh ltlich die bereits bei der Fertigung des P 2x5 integriert werden m ssen S 15 Wenn ein Piezoaktor P 2x5 mit diesen Optionen bestellt wird erh lt er eine kun
40. tladewiderstand von 10 kQ kurzgeschlossen sein um ein Aufladen des Piezoaktors bei Temperaturschwankungen und Druckbelastungen zu vermeiden Ungeeignetes Kurzschlie en f hrt durch zu schnelles Entladen zu einer abrupten Kontraktion des Piezoaktors Abrupte Kontraktion kann den Piezoaktor zerst ren gt Entfernen Sie den mitgelieferten Kurzschlussstecker nur vom Spannungsanschluss des Piezoaktors wenn dies f r Installation oder Betrieb erforderlich ist gt Bewahren Sie den Kurzschlussstecker nach dem Entfernen in der N he des Piezoaktors auf gt Verwenden Sie zum Kurzschlie en der Leitungen am Spannungsanschluss des Piezoaktors nur den mitgelieferten Kurzschlussstecker HINWEIS Zerst rung des Piezoaktors durch zu hohe Lasten Zu hohe Lasten k nnen den P 2x5 zerst ren gt berschreiten Sie nicht die maximale Zug Druckbelastbarkeit gem den Spezifikationen S 47 P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 21 5 Installation PI HINWEIS Zerst rung des Piezoaktors durch mechanische berlastung Drehmomente Biegekr fte Scherkr fte und Querkr fte k nnen den Piezoaktor zerst ren gt gt Vermeiden Sie Biegekrafte und Querkr fte am St el des P 2x5 berschreiten Sie nicht das maximale Drehmoment und die maximale Scherbelastung am St el gem den Spezifikationen S 47 Vermeiden Sie Drehmomente am Fu st ck wenn der St el fest eingespannt ist Stellen Sie sicher d
41. ung auf 750 V HINWEIS Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung Zu hohe oder falsch angeschlossene Betriebsspannung kann Sch den am P 2x5 verursachen gt gt gt Verwenden Sie nur Controller Treiber und Originalzubeh r von PI f r den Betrieb des P 2x5 berschreiten Sie nicht den Betriebsspannungsbereich S 49 f r den der P 2x5 spezifiziert ist Betreiben Sie den P 2x5 nur wenn die Betriebsspannung ordnungsgem angeschlossen ist siehe Pinbelegung S 56 HINWEIS dh Zerst rung des Piezoaktors durch berhitzen gt gt gt P 2x5 Piezoaktor berhitzen kann den Piezoaktor zerst ren K hlen Sie den Piezoaktor z B mit Sp lluft S 28 berwachen Sie die Temperatur des Piezoaktors mit einem Temperatursensor S 15 Passen Sie Betriebsspannung Betriebsfrequenz und oder Betriebsdauer so an dass die maximale Betriebstemperatur des Piezoaktors nicht berschritten wird siehe Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen S 50 Bemessungsdaten S 49 und Betriebsparameter ermitteln S 34 PZ245D Version 1 0 1 33 6 Inbetriebnahme und Betrieb gt I HINWEIS Unkontrollierte Schwingungen Schwingungen k nnen den Piezoaktor irreparabel besch digen Schwingungen machen sich durch ein Summen bemerkbar und k nnen folgende Ursachen haben Wechselnde Last und oder Dynamik erfordert die Anpassung der Regelparameter Der Piezoaktor wird nah
42. ung des Piezoaktors durch zu schnelles Entladen Wenn der P 2x5 nicht an der Elektronik angeschlossen ist m ssen die Leitungen am Spannungsanschluss mit einem Entladewiderstand von 10 kQ kurzgeschlossen sein um ein Aufladen des Piezoaktors bei Temperaturschwankungen und Druckbelastungen zu vermeiden Ungeeignetes Kurzschlie en f hrt durch zu schnelles Entladen zu einer abrupten Kontraktion des Piezoaktors Abrupte Kontraktion kann den Piezoaktor zerst ren gt Entfernen Sie den mitgelieferten Kurzschlussstecker nur vom Spannungsanschluss des Piezoaktors wenn dies f r Installation oder Betrieb erforderlich ist gt Bewahren Sie den Kurzschlussstecker nach dem Entfernen in der N he des Piezoaktors auf gt Verwenden Sie zum Kurzschlie en der Leitungen am Spannungsanschluss des Piezoaktors nur den mitgelieferten Kurzschlussstecker Abbildung 4 Spannungsanschluss des P 2x5 mit aufgestecktem Kurzschlussstecker 1 Spannungsanschluss des P 2x5 2 Kurzschlussstecker P 202 01 im Lieferumfang P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 19 4 Auspacken P I INFORMATION Beim Umgang mit der Vakuumversion des Piezoaktors muss auf entsprechende Sauberkeit geachtet werden Bei PI werden alle Teile vor dem Zusammenbau gereinigt W hrend der Montage und Kalibration wird mit puderfreien Handschuhen gearbeitet Danach wird der Piezoaktor noch einmal per Wischreinigung ges ubert und doppelt in vakuumtaugliche Folie eingeschwei t
43. ur unter Angabe der Quelle erlaubt Originalbetriebsanleitung Erstdruck 02 03 2015 Dokumentnummer PZ245D CBo Version 1 0 1 nderungen vorbehalten Dieses Handbuch verliert seine G ltigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision Die jeweils aktuelle Revision ist auf unserer Website zum Herunterladen S 3 verf gbar PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS Inhalt 1 Uber dieses Dokument 1 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs cccseeeceeeseeeeeeeeeeeesseeeeeenaees 1 1 2 Symbole und Kennzeichnungen ccccccseeseceeeceeeseeceeseeeceeeeeeeseeeesseeeeeeeeesaeeeees 1 1 3 Mitgeltende DOKUMENE ccccccccsssseceecceeeseceeccaeeeeeeeseeeaeeeeeesseaseeesssaaeeeessaaaaes 3 1 4 Handb cher herunterladen ccccceccccceesccccceseceeceeceeceeeeceseeeeceeseeeeeeseeeeesaaeees 3 2 Sicherheit 5 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung cccccseeccceeceeeeeeeeecaeeeeeeeeeueueeeeeessaeeeeeesaaees 5 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise 20000202200020020000nnnnnn nennen ennnnnnn nennen 6 2 3 Organisatorische Ma nahmen ccccccccccssecceceeccecceeceeceeeceeceeeeeesseeeesseaeeeesaees 7 3 Produktbeschreibung 9 3 1 POC MC SIG Fo u ee ee ee 9 3 2 Poduri AIM SIG ses een ee E ee 12 3 2 1 berblick sec nciccsdesisaheetdceededtassvinenudecedenshtvasendiavededdatincoeathacadeedsissoeadcanedeed 12 3 2 2 Produktbeschriftung e rnssueiesenisee ie 13 3 3 EISTSFUNM AG ne
44. uss fur PICA Hochvolt Piezoaktoren P 177 50 bestellt wurde S 15 Abbildung 9 P 2x5 Sp lluftanschluss bei Option P 177 50 1 Eingang f r Sp lluft Stecknippel M3 PK 2 2 Ausgang f r Sp lluft Stecknippel M3 PK 2 Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 21 v Der mitgelieferte Kurzschlussstecker ist am Spannungsanschluss des P 2x5 aufgesteckt siehe Auspacken S 19 oder der P 2x5 ist an der ausgeschalteten Elektronik von Pl angeschlossen P 2x5 Piezoaktor PZ245D Version 1 0 1 29 5 Installation P J Werkzeug und Zubehor Schl uche f r Zuf hren und Abf hren der Sp lluft geeignet fur Stecknippel M3 PK 2 Geeignete Sp lluft Druckluft der Qualit tsklasse 4 nach ISO 8573 1 die durch einen Trockner und einen Mikrofilter mit einer Effektivit t von 99 9999 geleitet wird Der maximale Luftdruck im Piezoaktor darf nicht mehr als 0 5 bar 7 3 psi betragen Sp lluft anschlie en 1 Stellen Sie sicher dass der Piezoaktor auf Raumtemperatur abgek hlt ist 2 Schlie en Sie die Sp lluft an Stecken Sie den Schlauch f r das Zuf hren der Sp lluft auf den entsprechenden Stecknippel am P 2x5 auf siehe Abbildung oben Stecken Sie den Schlauch f r das Abf hren der Sp lluft auf den entsprechenden Stecknippel am P 2x5 auf siehe Abbildung oben 30 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6
45. utzerhandbuch der verwendeten Elektronik gelesen und verstanden P 2x5 betreiben gt Folgen Sie f r das Anschlie en die Inbetriebnahme und den Betrieb des P 2x5 den Anleitungen im Handbuch der verwendeten Elektronik S 14 6 4 P 2x5 entladen Der P 2x5 muss in folgenden F llen entladen werden Wenn der P 2x5 nicht benutzt wird die Elektronik aber zur Gew hrleistung der Temperaturstabilit t eingeschaltet bleibt Vor Demontage z B vor Reinigung und Transport des P 2x5 sowie bei Umbauten 38 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 6 Inbetriebnahme und Betrieb Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 21 Werkzeug und Zubeh r Wenn der P 2x5 nicht an der Elektronik angeschlossen ist Mitgelieferter Kurzschlussstecker S 14 Alternativ Elektronik von PI An der Elektronik angeschlossenen P 2x5 entladen Im geregelten Betrieb 1 Schalten Sie an der Elektronik den Servomodus aus 2 Stellen Sie an der Elektronik die Piezospannung auf 0 V ein Im ungeregelten Betrieb gt Stellen Sie an der Elektronik die Piezospannung auf 0 V ein P 2x5 entladen der nicht an der Elektronik angeschlossenen ist gt Verbinden Sie den Spannungsanschluss des Piezoaktors mit dem Kurzschlussstecker siehe Auspacken S 19 gt Alternativ Schlie en Sie den Spannungsanschluss des Piezoaktors an die ausgeschaltete Elektro
46. zeug zur Befestigung der Schraube Gabelschl ssel SW 27 P 2x5 befestigen 1 Fixieren Sie das Fu st ck des P 2x5 Setzen Sie einen Gabelschl ssel SW 27 an den Schl sselfl chen des Fu st cks an 2 Befestigen Sie den P 2x5 mit einer Schraube M8 auf einer geeigneten Unterlage Verwenden Sie hierf r die Montagebohrung M8 an der Unterseite des Fu st cks siehe Abmessungen S 50 3 Entfernen Sie den Gabelschl ssel vom Fu st ck 26 Version 1 0 1 PZ245D P 2x5 Piezoaktor PIEZO NANO POSITIONING WWW PI WS 5 Installation 5 4 Optional Kopfst ck befestigen INFORMATION Mit den optional erh ltlichen Kopfst cken S 15 lassen sich unterschiedliche mechanische Ankoppelungen an eine Last realisieren Voraussetzung v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 21 v Der mitgelieferte Kurzschlussstecker ist am Spannungsanschluss des P 2x5 aufgesteckt siehe Auspacken S 19 oder der P 2x5 ist an der ausgeschalteten Elektronik von Pl angeschlossen Werkzeug und Zubeh r Optional erhaltliches Kopfst ck S 15 Sabelschl ssel zum Fixieren des St els P 225 SW 13 P 235 SW 17 Kopfst ck befestigen 1 Fixieren Sie den St el Setzen Sie einen passenden Gabelschl ssel an den Schl sselfl chen des St els an 2 Schrauben Sie das Kopfst ck mit der Hand in die Montagebohrung im St el des P 2x5 ein 3 Entfernen Sie den Gabelschl ssel vom St
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