Benutzerhandbuch MP130D - Physik Instrumente (PI)
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1. v Sie haben die allgemeinen Hinweise f r den Aufbau eines Mehrachssystems gelesen und verstanden S 25 v Sie haben den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung ber cksichtigt Werkzeug und Zubeh r Schraubensatz 5870500002 aus dem Lieferumfang des N 765 S 12 2 Zylinderstifte 3 m6 x 8 ISO 2338 zur Verwendung als Passstifte 4 Zylinderschrauben M3x16 ISO 4762 Geeigneter Schraubendreher N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 25 5 Installation P N 765 auf dem N 565 befestigen Abbildung 7 N 765 auf N 565 befestigen 1 F hren Sie die zwei Passstifte in die Passbohrungen mit 3 mm H7 in der bewegten Plattform des N 565 ein siehe Abbildung oben 2 Setzen Sie den N 765 so auf den N 565 dass die Passstifte in die entsprechenden Passbohrungen auf der Unterseite des N 765 eingef gt werden 3 Befestigen Sie den N 765 auf dem N 565 a Wenn die erforderlichen Montagebohrungen im Grundk rper des N 765 durch die bewegte Plattform verdeckt sind Nehmen Sie den Versteller in Betrieb S 31 und verfahren Sie die bewegte Plattform an die untere Stellwegsgrenze siehe Benutzerhandbuch des Controllers b F hren Sie die vier Schrauben durch die bewegte Plattform und den Grundk rper des N 765 in den N 565 ein c Ziehen Sie die Schrauben jeweils mit einem Drehmoment von maximal 0 5 Nm fest d Stellen Sie sicher dass alle Schraubenk pfe vollst ndig abgesenkt sind2. gt Befestigen Sie den N 765 auf ebener Grundfl che Die empfohlene Ebenheit der Grundfl che betr gt lt 3 um gt Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Befestigen Sie den N 765 nur auf Grundfl chen die dieselben oder hnliche O a ee Ll wie der N 765 besitzen HINWEIS Sch den durch ungeeignete Kabel Ungeeignete Kabel k nnen Sch den am Versteller und an der Elektronik verursachen gt Verwenden Sie f r den Anschluss des N 765 an die Elektronik nur Kabel von PI INFORMATION F r optimale Wiederholgenauigkeit m ssen alle Komponenten fest miteinander verbunden sein 18 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 2 N 765 an Schutzleiter anschlie en INFORMATION gt Beachten Sie die jeweils geltenden Normen f r die Schutzleiterbefestigung Am N 765 befindet sich neben dem Kabelabgang eine Bohrung M4 zur Schutzleiterbefestigung In der folgenden Abbildung ist diese Bohrung mit dem Schutzleitersymbol gekennzeichnet Abbildung 4 N 765 Schutzleiteranschluss im Grundk rper N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 19 5 Installation Pr Abbildung 5 Montage des Schutzleiters Profilansicht Grundk rper des N 765 Unterlegscheibe Sicherungsscheibe Schraube Kabelschuh Schutzleiter DOA O Noa Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 v D
3. 1 ber dieses Dokument 1 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs 444444s nn 1 1 2 Symbole und Kennzeichnungen ursnssssnsnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 1 1 3 Begriffserkl rung een ee nen 3 1 4 Abbildungen een oo rare 3 1 5 Mitgeltende Dokumente 2444srsnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnn 3 1 6 Handb cher herunterladen oooocccccnnnnccinonaciconnnonccnnnnornncnn nora cnn nnnnn cnn nn nnn nn nnnnnnnrnnnn 4 2 Sicherheit 7 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung ccococcccnnnonccnnnnonnnnnnnonnnnnnnnno cnn nana cnn nana rca 7 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise ccccccceecceceeeeeceeeeeeeaeeeeeeeseeeeesaeeeeaeeeeneeeaas 8 2 3 Organisatorische Ma nahmen rs44srsnsunnnnnnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnennnnnnn nn 8 3 Produktbeschreibung 9 3 1 Produkt nsicht n ne een E AET iA 9 3 2 Produktbeschriftung 44444444 HH nnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn rca 10 3 3 LUN Miri 12 3 4 Geeignete Controller oooioccnnnncininininncnnnnccnnonanncccnnnccnnnrnnn nn ncrrrnrcnnrrnann 12 3 5 Technische Ausstattung coooocccccnnoccconnnoncccnnnoncconn noc cn nano rca 13 3 5 1 Linearencoder Sensor urs42u44440nnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnn nn 13 3 5 2 Referenzschalter u u400smnnnn0nnnnnnonnnnnnnonnnnnnnonnnnnnn nenne ennnnnn 13 4 Auspacken 15 5 Installation 17 5 1 Allgemeine
4. 4 berpr fen Sie den festen Sitz des N 765 auf dem N 565 26 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACTO Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 5 Last am N 765 befestigen HINWEIS Zu lange Schrauben Zu tief eingebrachte Schrauben k nnen den N 765 besch digen gt Beachten Sie die Tiefe der Montagebohrungen S 46 gt Verwenden Sie nur Schrauben mit der richtigen L nge f r die entsprechenden Montagebohrungen Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 Sie haben den Versteller ordnungsgem befestigt Sie haben die Last so vorbereitet dass sie an den Montagebohrungen auf der bewegten Plattform befestigt werden kann Der Abstand zwischen dem Schwerpunkt der Last und dem Zentrum der bewegten Plattform ist in alle Richtungen m glichst gering Fur das Befestigen der Last auf der bewegten Plattform sind mindestens drei Punkte vorgesehen Werkzeug und Zubeh r Mindestens drei Schrauben geeigneter L nge Optionen Schrauben M2 Schrauben M2 5 Schrauben M3 Geeignetes Werkzeug zur Befestigung der Schrauben N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 27 5 Installation PI Last am N 765 befestigen 1 2 Abbildung 8 Montagebohrungen zum Befestigen der Last auf der bewegten Plattform 1 8x M2 5 Bohrungen mit Gewindetiefe 5 mm 2 12x M2 Bohrungen mit Gewindetiefe 4 mm 3 4x M3 Bohrungen mit G
5. 46 Befestigen von oben mit Schrauben M3x16 Befestigen von unten mit Schrauben M4 N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 21 5 Installation PI HINWEIS Zu lange Schrauben Zu tief eingebrachte Schrauben k nnen den N 765 besch digen gt Beachten Sie die Tiefe der Montagebohrungen S 46 gt Verwenden Sie nur Schrauben mit der richtigen L nge f r die entsprechenden Montagebohrungen HINWEIS Hervorstehende Schraubenk pfe Hervorstehende Schraubenk pfe k nnen den N 765 besch digen gt Stellen Sie sicher dass die Schraubenk pfe in den Montagebohrungen vollst ndig abgesenkt sind und die Bewegung nicht beeintr chtigen Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 v Sie haben eine geeignete Unterlage bereitgestellt F r die erforderliche Lage der Bohrungen siehe Abmessungen S 46 F r das Befestigen von oben mit Schrauben M3x16 Vier Bohrungen M3 mit einer Tiefe von mindestens 6 4 mm sind vorhanden F r das Befestigen von unten mit Schrauben M4 Vier Durchgangsbohrungen mit 4 5 mm f r Schrauben M4 sind vorhanden Die Dicke der Unterlage und die Tiefe von Senkungen an den Durchgangsbohrungen in der Unterlage sind so angepasst dass eine maximale Einschraubtiefe von 7 mm im N 765 eingehalten wird Die Ebenheit der Oberfl che ist lt 3 um Bei Anwendungen mit gro en Temperaturschwankungen Die Unterlage besitzt
6. Hinweise zur Installation s 444444snnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 17 5 2 N 765 an Schutzleiter anschlie en 2 22004240nnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 19 5 3 N 765 auf Unterlage befestigen umsus 444a0neennnannennnnnnnennnnnnnnnnnnannennnnannn 21 5 4 Mehrachssystem aufbauen sssrin sinkanta nannan KNS ARNASAREN AAR 24 5 4 1 Allgemeine Hinweise f r den Aufbau eines Mehrachssystems 25 5 4 2 Z System aufbauen u 25 5 5 Last am N 765 befestigen ccceccciicsssceetesedsienasecuestecetevaasecdsessansseenssecensnneesacen 27 5 6 N 765 an Controller anschlie en uu nessernnersnernnnnsnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 29 10 11 12 Inbetriebnahme und Betrieb 6 1 6 2 Betriebsparameter 6 3 N 765 betreiben 6 4 Wartung 7 1 7 2 Wartungsfahrt durchf hren 7 3 N 765 reinigen St rungsbehebung 8 1 8 2 Kundendienst Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb Piezoaktoren des Antriebs entladen Allgemeine Hinweise zur Wartung Allgemeine Hinweise zur St rungsbehebung M gliche Ursachen und Behebung Technische Daten 10 1 Spezifikationen 10 1 1 Datentabelle 10 2 Bemessungsdaten 10 3 10 4 Altger t entsorgen 10 1 2 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Abmessungen uernessennnennnnnnnnnennnnnnn Pinbelegung umsursnnnsnnrennnnnnnennnnnn 10 4 1 Antriebsanschluss f r N 765 10 4 2 Sensoranschluss f r N 765 10 4 3 Pinbelegun
7. Produktbeschreibung P J 3 2 Produktbeschriftung 2 3 Abbildung 2 Position der Produktbeschriftung am Versteller Abbildung 3 Position der Produktbeschriftung an der Sensorkupplung 10 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung N 765 N 765 060 Produktbezeichnung Stellen nach dem Punkt pr zisieren die Modellangabe 414000946 Seriennummer Beispiel individuell f r jeden N 765 Bedeutung der Stellen Z hlung von links 1 interne Information 2 und 3 Herstellungsjahr 4 bis 9 fortlaufende Nummer A Warnzeichen Handbuch beachten C Country of Origin Herkunftsland Germany WWW PIMICOS COM Herstelleradresse Website Konformit tszeichen CE Schutzleitersymbol kennzeichnet den Schutzleiteranschluss des N 765 S 19 Hinweis auf Laserstrahlung S 37 hier Sensorkupplung Oberseite Beschriftung Beschreibung Warnzeichen Handbuch beachten hier Sensorkupplung Oberseite Warnzeichen und Werte f r den Laser In lt 1mW S 37 hier Sensorkupplung Unterseite A 655nm TEA N 765 NEXACTO Versteller MP130D Version 1 0 0 11 3 Produktbeschreibung P J 3 3 Lieferumfang N 765 Pr zisions Hubtisch 6 5 mm Stellweg PlOne Linearencoder 0 5 nm Aufl sung 25 N Druck Zugkraft Abmessungen 65 x 110 x 56 mm B x L x H piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACTO 5870500002 Schraubensatz zur Befestigu
8. Sie nach 500 Einsatzstunden oder sp testens nach 1 Jahr eine Fahrt ber den gesamten Stellweg durch damit sich das vorhandene Schmiermittel gleichm ig auf den F hrungen verteilt gt Falls Sie den N 765 im industriellen Dauereinsatz ber einen kleinen Verfahrbereich bewegen lt 20 des gesamten Stellwegs f hren Sie nach jeweils 5000 Bewegungszyklen eine Fahrt ber den gesamten Stellweg durch Nachschmieren Unter Laborbedingungen ist ein Nachschmieren der F hrungen des N 765 nur in Ausnahmef llen n tig Im industriellen Dauereinsatz m ssen die Intervalle f r das Nachschmieren individuell festgelegt werden gt Schmieren Sie die F hrungen des N 765 nur nach R cksprache mit unserem Kundendienst S 41 nach gt Gehen Sie beim Nachschmieren der F hrungen entsprechend der Wartungsanleitung vor die Sie von unserem Kundendienst erhalten gt Stellen Sie sicher dass Antrieb und Keramikschiene des N 765 nicht mit Schmiermitteln in Kontakt geraten 7 3 N 765 reinigen Voraussetzungen v Sie haben die Piezoaktoren des N 765 entladen v Sie haben den N 765 vom Controller getrennt N 765 reinigen gt F hren Sie keine Ultraschallreinigung durch gt Wenn notwendig reinigen Sie die Oberfl chen des N 765 per Wischreinigung mit einem Tuch das leicht mit Isopropanol oder einem Gemisch aus Isopropanol und DI Wasser angefeuchtet wurde 38 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACTO Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW P
9. m glichst dieselben W rmeausdehnungseigenschaften wie der N 765 v Sie haben den Platzbedarf f r eine knickfreie und vorschriftsm ige Kabelf hrung ber cksichtigt 22 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation Werkzeug und Zubeh r Schrauben entsprechend der gew hlten Befestigungsoption siehe oben 4 Schrauben M3x16 ISO 4762 im Lieferumfang S 12 oder 4 Schrauben M4 von geeigneter Lange nicht im Lieferumfang Geeigneter Schraubendreher N 765 auf Unterlage befestigen 1 Nur bei Befestigen von oben Wenn die erforderlichen Montagebohrungen im Grundk rper des N 765 durch die bewegte Plattform verdeckt sind Nehmen Sie den Versteller in Betrieb S 31 und verfahren Sie die bewegte Plattform an die untere Stellwegsgrenze siehe Benutzerhandbuch des Controllers 2 Richten Sie den Versteller so auf der Unterlage aus dass sich die entsprechenden Montagebohrungen in Versteller und Unterlage berdecken 3 Drehen Sie die Schrauben an den Montagebohrungen entsprechend der gew hlten Befestigungsoption S 31 ein Bei Befestigen von oben F hren Sie die Schrauben durch die bewegte Plattform und den Grundk rper des N 765 in die Unterlage ein Bei Befestigen von unten F hren Sie die Schrauben durch die Unterlage in den Grundk rper des N 765 ein Maximale Einschraubtiefe 7 mm Maximales Drehmoment 0 5 Nm 4 Stellen Sie sicher d
10. 30D N 765 NEXACTO Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 3 Pinbelegung 10 3 1 Antriebsanschluss f r N 765 Der Stecker HD D Sub 15 m bertr gt die Signale zur Ansteuerung des Antriebs C COIE CTN C ION ICON CAS II ECON CONS IO ECON CIS IO Das Zeichen zeigt an dass der entsprechende Pin nicht belegt ist 2 Dieser Pin ist im Steckergeh use mit GND verbunden Im Controller E 861 1A1 wird dieser Pin zur Aktivierung der Verst rker verwendet N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 47 10 Technische Daten i 10 3 2 Sensoranschluss f r N 765 Die Kupplung D Sub 15 f bertr gt die Signale von und zu dem integrierten Linearencoder und dem Referenzschalter 8 1 ts ee www u ww y 15 9 Abbildung 12 Kupplung D Sub 15 w f r Sensor Verbindungsseite in Sarah ron RR Vop Versorgungsspannung 5V Eingang GND COS Encodersignal 1 Cosinus Ausgang COS Encodersignal 1 Cosinus invertiert Ausgang SIN Encodersignal 2 Sinus Ausgang SIN Encodersignal 2 Sinus invertiert Ausgang Referenzschalter Ausgang Das Zeichen zeigt an dass der entsprechende Anschluss nicht belegt ist 48 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACTO Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 3 3 Pinbelegung des Adapters N664B0001 F r den Adapter N664B0001 der im Lieferumfang des N 765 enthalten i
11. EZO NANO POSITIONING WWW PI DE 7 Wartung 7 Wartung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Wartung ooooccccnnnoccconnnocccnnononccnnn noc cnn non cn anna 37 Wartungsfahrt durchf hren 2 s 22 2 een 38 N 765 reinigen u el 38 7 1 Allgemeine Hinweise zur Wartung Gefahr von Blendung und Irritation Der Linearencoder des N 765 verwendet einen Laser der Klasse 2 nach DIN EN60825 1 2007 Technische Daten des Lasers Lmax 1 mW 655 nm Im Auslieferzustand und im bestimmungsgem en Betrieb des N 765 ist der Laser vollst ndig abgeschirmt Laserstrahlen k nnen nur austreten wenn der N 765 ge ffnet wird Der Lichtstrahl des Lasers kann die Augen blenden und Irritationen ausl sen gt ffnen oder zerlegen Sie den N 765 nicht gt Wenden Sie sich bei Fehlfunktionen des N 765 an den Kundendienst HINWEIS Sch den durch falsche Wartung Der Versteller kann durch falsche Wartung dejustiert werden Dadurch k nnen sich die Spezifikationen ndern S 43 gt L sen Sie Schrauben nur entsprechend den Anleitungen in diesem Handbuch N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 37 7 Wartung i I 7 2 Wartungsfahrt durchf hren In Abh ngigkeit von den Einsatzbedingungen und der Einsatzdauer des N 765 sind die folgenden Wartungsma nahmen erforderlich Wartungsfahrt Die Wartungsfahrt dient zum Verteilen des vorhandenen Schmiermittels auf den F hrungen des N 765 gt F hren
12. I DE 8 Storungsbehebung 8 Storungsbehebung In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur St6rungsbehebung ccceccceceeeceeeeeeeeeeeseeeeeseaeeeeaaeeeenees 39 M gliche Ursachen und Behebung ccccooocccccnnoccncnanoccncnanoncncnanonnnnnnno cnn nnnnn cnn rnnnn rca nnnnnno 40 8 1 Allgemeine Hinweise zur St rungsbehebung Gefahr von Blendung und Irritation Der Linearencoder des N 765 verwendet einen Laser der Klasse 2 nach DIN EN60825 1 2007 Technische Daten des Lasers Lmax 1 MW 1 655 nm Im Auslieferzustand und im bestimmungsgem en Betrieb des N 765 ist der Laser vollst ndig abgeschirmt Laserstrahlen k nnen nur austreten wenn der N 765 ge ffnet wird Der Lichtstrahl des Lasers kann die Augen blenden und Irritationen ausl sen gt ffnen oder zerlegen Sie den N 765 nicht gt Wenden Sie sich bei Fehlfunktionen des N 765 an den Kundendienst N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 39 8 St rungsbehebung P I 8 2 M gliche Ursachen und Behebung Zielposition wird zu langsam oder Regelparameter sind nicht 1 Schalten Sie die mit berschwingen angefahren optimal eingestellt Servoregelung unverz glich Zielposition wird nicht stabil Gro e nderungen der aus gehalten Belastung Pr fen Sie die Einstellungen der Regelparameter Unkontrollierte Schwingungen gep des N 765 Wenn n tig korrigieren Sie die Einstellungen der Regelparameter Verringerte Haltekraft und Ker
13. INFORMATION Informationen zur leichteren Handhabung Tricks Tipps etc Symbol Kennzeichnung 1 2 gt S 5 RS 232 AA A 2 Version 1 0 0 Bedeutung Handlung mit mehreren Schritten deren Reihenfolge eingehalten werden muss Handlung mit einem Schritt oder mehreren Schritten deren Reihenfolge nicht relevant ist Aufzahlung Querverweis auf Seite 5 Bedienelement Beschriftung auf dem Produkt Beispiel Buchse der RS 232 Schnittstelle Auf dem Produkt angebrachtes Warnzeichen das auf ausf hrliche Informationen in diesem Handbuch verweist MP130D N 765 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument 1 3 Begriffserkl rung Belastbarkeit Maximale Belastbarkeit vertikal wenn der Versteller horizontal montiert ist Der Angriffspunkt der Last liegt in der Mitte der Plattform Linearencoder Der Linearencoder ist ein inkrementeller Sensor zur Erfassung von Lage nderungen Die Signale des Sensors werden f r die R ckmeldung der Achsenposition verwendet Nach dem Einschalten des Controllers muss eine Referenzwertbestimmung durchgef hrt werden bevor absolute Zielpositionen kommandiert und erreicht werden k nnen 1 4 Abbildungen Zugunsten eines besseren Verst ndnisses k nnen Farbgebung Gr enverh ltnisse und Detaillierungsgrad in Illustrationen von den tats chlichen Gegebenheiten abweichen Auch fotografische Abbildungen k nnen abweichen und stellen keine
14. PI MP130D N 765 NEXACT Versteller Benutzerhandbuch Version 1 0 0 Datum 20 07 2015 Dieses Dokument beschreibt das folgende Produkt N 765 060 Pr zisions Hubtisch 6 5 mm Stellweg PlOne Linearencoder 0 5 nm Aufl sung 25 N Druck Zugkraft Abmessungen 65 x 110 x 56 mm B x L x H piezoelektrischer Schreitantrieb NEXACT Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Auf der R merstr 1 76228 Karlsruhe Germany Telefon 49 721 4846 0 Fax 49 721 4846 1019 E Mail info pi de PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE PI Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG ist Inhaberin der nachfolgend aufgef hrten Marken PIO PICO PICMA PlLine PIFOC PIMag PiezoWalk NEXACT NEXLINE NanoCube NanoAutomation 2015 Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG Karlsruhe Deutschland Die Texte Bilder und Zeichnungen dieses Handbuchs sind urheberrechtlich gesch tzt Physik Instrumente Pl GmbH amp Co KG beh lt insoweit s mtliche Rechte vor Die Verwendung dieser Texte Bilder und Zeichnungen ist nur auszugsweise und nur unter Angabe der Quelle erlaubt Originalbetriebsanleitung Erstdruck 20 07 2015 Dokumentnummer MP130D LMo Version 1 0 0 nderungen vorbehalten Dieses Handbuch verliert seine G ltigkeit mit Erscheinen einer neuen Revision Die jeweils aktuelle Revision ist auf unserer Website zum Herunterladen S 4 verf gbar PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE Inhalt
15. PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 12 EG Konformit tserkl rung 12 EG Konformitatserklarung F r den N 765 wurde eine EG Konformit tserkl rung gem den folgenden europaischen Richtlinien ausgestellt 2004 108 EG EMV Richtlinie 2011 65 EU RoHS Richtlinie Die zum Nachweis der Konformitat zugrunde gelegten Normen sind nachfolgend aufgelistet Elektromagnetische Emission EN 61000 6 3 2007 EN 55011 2009 Elektromagnetische St rfestigkeit EN 61000 6 1 2007 est N N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 53
16. amikschiene des Kontaktieren Sie unseren Vorschubkraft NEXACT Antriebs ist Kundendienst S 41 verschmutzt Keine oder eingeschr nkte Zu hohe Last Verringern Sie die Last Bewegung siehe Datentabelle S 43 Lineal des Encoders ist Kontaktieren Sie unseren verschmutzt z B durch Kundendienst S 41 Ber hren Fehlfunktion des Encoders gt F hren Sie eine durch sto artige Referenzfahrt durch siehe Krafteinwirkung Benutzerhandbuch des Controllers Wenn die St rung Ihres Systems nicht in der Tabelle angef hrt ist oder wenn sie nicht wie beschrieben behoben werden kann kontaktieren Sie unseren Kundendienst S 41 40 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACTO Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 9 Kundendienst 9 Kundendienst Wenden Sie sich bei Fragen und Bestellungen an Ihre PI Vertretung oder schreiben Sie uns eine E Mail info pi ws gt Geben Sie bei Fragen zu Ihrem System folgende Systeminformationen an Produktcodes und Seriennummern von allen Produkten im System Firmwareversion des Controllers sofern vorhanden Version des Treibers oder der Software sofern vorhanden PC Betriebssystem sofern vorhanden gt Wenn m glich Fertigen Sie Fotografien oder Videoaufnahmen Ihres Systems an die Sie unserem Kundendienst auf Anfrage senden k nnen Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 4 bereit N 765 NEXACT Verste
17. ass alle Schraubenk pfe vollst ndig abgesenkt sind 5 berpr fen Sie den festen Sitz des N 765 auf der Unterlage N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 23 5 Installation gt 5 4 Mehrachssystem aufbauen Der N 765 kann als Z Versteller in Mehrachssystemen XZ oder XYZ Kombinationen verwendet werden S 25 Abbildung 6 Beispiel f r ein XYZ System zwei N 565 260 und ein N 765 1 Oberer Versteller hier N 765 2 Mittlerer Versteller hier N 565 260 3 Unterer Versteller hier N 565 260 24 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 4 1 Allgemeine Hinweise f r den Aufbau eines Mehrachssystems HINWEIS 4 Unzul ssig hohe Last an den Verstellern y In einem Mehrachssystem muss der Versteller f r die Y und oder Z Achse o mitbewegt werden Unzul ssige hohe Lasten beeintr chtigen die Bewegung und k nnen die Versteller besch digen gt Beziehen Sie die Massen der mitbewegten Versteller in die Berechnung der zu bewegenden Last ein gt Fir alle Versteller in einem Mehrachssystem berschreiten Sie nicht die maximal zul ssige Last gt Installieren und bedienen Sie das Mehrachssystem nur nachdem Sie die Benutzerhandb cher aller Komponenten des Mehrachssystems gelesen und verstanden haben 5 4 2 Z System aufbauen Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17
18. ch den durch Kollisionen i i Kollisionen k nnen den Versteller die zu bewegende Last und die Umgebung besch digen gt Stellen Sie sicher dass im Bewegungsbereich des Verstellers keine Kollisionen zwischen Versteller zu bewegender Last und Umgebung m glich sind gt Platzieren Sie keine Gegenst nde in Bereichen in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden k nnen gt Halten Sie bei einer Fehlfunktion des Controllers die Bewegung sofort an gt Wenn m glich passen Sie die Stellwegsgrenzen in der zur Bewegungskommandierung verwendeten Software an Ihr mechanisches System an N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 31 6 Inbetriebnahme und Betrieb pP I HINWEIS Sch den durch Positions nderungen aufgrund externer Kr fte Das Verschieben der bewegten Plattform des Verstellers durch extern angreifende Kr fte kann den Antrieb besch digen Positions nderungen der bewegten Plattform die durch extern angreifende Kr fte ausgel st werden k nnen auch die Last oder die Umgebung besch digen gt Stellen Sie sicher dass Kr fte die in Bewegungsrichtung an der bewegten Plattform angreifen die Belastbarkeit des Verstellers S 43 nicht berschreiten gt L sen Sie Bewegungen ausschlie lich durch Senden von Bewegungsbefehlen an den Controller aus Verschieben Sie die bewegte Plattform nicht manuell HINWEIS Unkontrollierte Schwingungen Ihre Anwendung und der N 765 k nnen durch
19. en entlang der Z Achse bei verschiedenen Geschwindigkeiten vorgesehen Der N 765 ist nur f r die horizontale Montage vorgesehen Der N 765 ist ein Versteller f r die Nanostelltechnik Der Vorschub wird durch NEXACT Piezoaktoren erzeugt die an einer Keramikschiene ankoppeln PiezoWalk Prinzip Der N 765 ist mit einem Linearencoder zur direkten Positionserfassung ausger stet Die bestimmungsgem e Verwendung des N 765 ist nur im eingebauten Zustand und in Verbindung mit einem geeigneten Controller m glich S 12 Der Controller ist nicht im Lieferumfang des N 765 enthalten N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 7 2 Sicherheit PI 2 2 Allgemeine Sicherheitshinweise Der N 765 ist nach dem Stand der Technik und den anerkannten sicherheitstechnischen Regeln gebaut Bei unsachgem er Verwendung des N 765 k nnen Benutzer gef hrdet werden und oder Sch den am N 765 entstehen gt Benutzen Sie den N 765 nur bestimmungsgem und in technisch einwandfreiem Zustand Lesen Sie das Benutzerhandbuch Beseitigen Sie St rungen die die Sicherheit beeintr chtigen k nnen umgehend Der Betreiber ist f r den korrekten Einbau und Betrieb des N 765 verantwortlich 2 3 Organisatorische Ma nahmen Benutzerhandbuch gt Halten Sie dieses Benutzerhandbuch st ndig am N 765 verf gbar Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 4 bereit F gen Sie a
20. enutzerhandbuch des Controllers und oder in den entsprechenden Softwarehandb chern beschrieben N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 13 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 4 Auspacken 4 Auspacken 1 Packen Sie den N 765 vorsichtig aus 2 Vergleichen Sie die erhaltene Lieferung mit dem Inhalt laut Vertrag und mit der Packliste 3 berpr fen Sie den Inhalt auf Anzeichen von Sch den Bei Anzeichen von Besch digungen oder fehlenden Teilen wenden Sie sich sofort an Pl 4 Bewahren Sie das komplette Verpackungsmaterial auf f r den Fall dass das Produkt zur ckgeschickt werden muss N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 15 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 Installation In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zur Installation 44444n4nnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 17 N 765 an Schutzleiter anschlie en 20s4424440nnennnennennneennnnnnnennnnnnnennennnennennnnenn 19 N 765 auf Unterlage befestigen 0 424004s440nnnnonnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnannnnnnnannnnen 21 EIC CESA A 24 Last am N 765 befestigen u een nee 27 N 765 an Controller anschlie en 240rs44usnnnonnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnen 29 5 1 Allgemeine Hinweise zur Installation HINWEIS Sch den durch Positions nderungen aufgrund externer Kr fte Das Verschieben der bewegten Plattform des Verstellers durch extern an
21. er N 765 ist nicht mit dem Controller verbunden Werkzeug und Zubeh r Geeigneter Schutzleiter Kabelquerschnitt 20 75 mm Mitgelieferter Schraubensatz M4 Schutzerde S 12 f r die Montage eines Schutzleiters Geeigneter Schraubendreher N 765 an Schutzleiter anschlie en 1 Wenn n tig befestigen Sie einen geeigneten Kabelschuh am Schutzleiter 2 Befestigen Sie den Kabelschuh des Schutzleiters mit der Schraube M4 am Schutzleiteranschluss des N 765 wie in der Profilansicht dargestellt 3 Ziehen Sie die Schraube M4 mit einem Drehmoment von 1 2 Nm bis 1 5 Nm fest 4 Stellen Sie sicher dass der bergangswiderstand an allen f r die Schutzleitermontage relevanten Verbindungsstellen lt 0 1 Q bei 25 A ist 20 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACTO Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 3 N 765 auf Unterlage befestigen INFORMATION Die Montagebohrungen im Grundk rper des Verstellers sind von oben nur zug nglich wenn sich die bewegte Plattform an der unteren Stellwegsgrenze befindet Auslieferzustand Wenn n tig gt Nehmen Sie den Versteller in Betrieb S 31 und verfahren Sie die bewegte Plattform an die untere Stellwegsgrenze siehe Benutzerhandbuch des Controllers Optionen f r das Befestigen des N 765 auf einer Unterlage Die Montagebohrungen des N 765 sind f r folgende Befestigungsoptionen vorgesehen Befestigungsoption Montagebohrungen Details siehe Abmessungen S
22. ernamen und dem Kennwort an Klicken Sie auf gt gt Produkt Download Klicken Sie im Bereich Produktdateien auf die entsprechende Produktkategorie Klicken Sie am rechten Seitenrand auf die entsprechende Unterkategorie Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACTO Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument 7 Navigieren Sie auf der Seite zum Produktcode Folgende Handb cher werden angezeigt Frei zug ngliche Handb cher Handb cher die durch das eingegebene Kennwort gesch tzt sind 8 Klicken Sie auf das gew nschte Handbuch und speichern Sie es auf der Festplatte Ihres PC oder auf einem Datentr ger N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 5 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 2 Sicherheit 2 Sicherheit In diesem Kapitel Bestimmungsgem e Verwendung ssssessssesssrresssrneseenneennnnnstenneetnnnnneenneennnnnntenneennnnnnne 7 Allgemeine Sicherheitshinweise 0u44400nnn0nnnnannnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnenannnnnnnnnn nen 8 Organisatorische Ma nahmen 44u4240444200nnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnn nenn 8 2 1 Bestimmungsgem e Verwendung Der N 765 ist ein Laborger t im Sinne der DIN EN 61010 1 Er ist f r die Verwendung in Innenr umen und in einer Umgebung vorgesehen die frei von Schmutz l und Schmiermitteln ist Entsprechend seiner Bauform ist der N 765 f r die Positionierung Justierung und Verschiebung von Last
23. ewindetiefe 6 mm Genaue Lage siehe Abmessungen S 46 1 Richten Sie die Last so aus dass die ausgew hlten Montagebohrungen in der bewegten Plattform f r die Befestigung verwendet werden k nnen Befestigen Sie die Last mit den Schrauben an den ausgew hlten Montagebohrungen in der bewegten Plattform Maximale Einschraubtiefe in der bewegten Plattform des N 765 Schrauben M3 6 mm Schrauben M2 5 5 mm Schrauben M2 4 mm Maximales Drehmoment Schrauben M3 1 2 Nm Schrauben M2 5 0 7 Nm Schrauben M2 0 35 Nm berpr fen Sie den festen Sitz der Last auf der bewegten Plattform des Verstellers 28 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACTO Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 5 Installation 5 6 N 765 an Controller anschlie en Abbildung 9 N 765 Anschl sse 1 Antriebsstecker HD D Sub 15 m 2 Sensorkupplung D Sub 15 f 3 Adapter D Sub 15 m auf HD D Sub 15 f Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zur Installation gelesen und verstanden S 17 Sie haben einen geeigneten Controller S 12 installiert Sie haben das Benutzerhandbuch des Controllers gelesen und verstanden Der Controller ist ausgeschaltet Werkzeug und Zubeh r Adapter N664B0001 im Lieferumfang S 12 Schraubendreher f r Schlitzschrauben SL N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 29 5 Installation P N 765 am Controller E 861 1A1 anschlieBen 1 Verbinden Sie den An
24. g des Adapters N664B0001 EG Konformitatserklarung PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 1 ber dieses Dokument 1 ber dieses Dokument In diesem Kapitel Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs cccooocccccnnocccccononccconnncnnnnnancnnnnnancncinnns 1 Symbole und KennZeichnungen ccccccceecceeeeeeeeeaeeeeaeeseeeeesaeeeeaaeseeneeseeeeseaeeseneeeeaes 1 Begriffserkl rung u A A 3 Abbildungen Rei 3 Mitgeltende Dokumente ae nates 3 Handb cher herunterladen 222404444440HRnnnnHnnnnnnnannnnnnnannnnnnnannnnnnnannnnnnnannennnannen 4 1 1 Ziel und Zielgruppe dieses Benutzerhandbuchs Dieses Benutzerhandbuch enth lt die erforderlichen Informationen f r die bestimmungsgem e Verwendung des N 765 Grunds tzliches Wissen zu geregelten Systemen zu Konzepten der Bewegungssteuerung und zu geeigneten Sicherheitsma nahmen wird vorausgesetzt Die aktuellen Versionen der Benutzerhandb cher stehen auf unserer Website zum Herunterladen S 4 bereit 1 2 Symbole und Kennzeichnungen In diesem Benutzerhandbuch werden folgende Symbole und Kennzeichnungen verwendet Gef hrliche Situation Bei Nichtbeachtung drohen leichte Verletzungen A gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 1 1 ber dieses Dokument Gef hrliche Situation PI HINWEIS Bei Nichtbeachtung drohen Sachsch den gt Ma nahmen um die Gefahr zu vermeiden
25. ge Krafteinwirkungen auf den Versteller gt F hren Sie eine Referenzfahrt durch siehe Benutzerhandbuch des Controllers INFORMATION Die positive Bewegungsrichtung zeigt nach oben INFORMATION Die Wiederholbarkeit des Positionierens ist nur gew hrleistet wenn der Referenzschalter immer von derselben Seite angefahren wird Diese Anforderung erf llen empfohlene Controller von PI durch die automatische Richtungserkennung f r Referenzfahrten zum Referenzschalter 6 2 Betriebsparameter Bei Verwendung der im Lieferumfang des Controllers E 861 1A1 enthaltenen Software k nnen die Betriebsparameter aus der Verstellerdatenbank PIMicosStages2 dat geladen werden gt Laden Sie sich den Pl Update Finder von der PI Website http update pi portal ws herunter und aktualisieren Sie damit die Verstellerdatenbank PIMicosStages2 dat auf Ihrem PC Weitere Informationen zu Verstellerdatenbanken finden Sie im Benutzerhandbuch des Controllers E 861 1A1 N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 33 6 Inbetriebnahme und Betrieb P I 6 3 N 765 betreiben Voraussetzungen v Sie haben die allgemeinen Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb gelesen und verstanden S 31 Sie haben das Benutzerhandbuch des Controllers gelesen und verstanden Sie haben das Benutzerhandbuch der PC Software gelesen und verstanden Sie haben den Versteller ordnungsgem befestigt S 17 XX S SS Der Controller und die ben tigte PC Software wurden
26. greifende Kr fte kann den Antrieb besch digen Positions nderungen der bewegten Plattform die durch extern angreifende Kr fte ausgel st werden k nnen auch die Last oder die Umgebung besch digen gt Stellen Sie sicher dass Kr fte die in Bewegungsrichtung an der bewegten Plattform angreifen die Belastbarkeit des Verstellers S 43 nicht berschreiten gt L sen Sie Bewegungen ausschlie lich durch Senden von Bewegungsbefehlen an den Controller aus Verschieben Sie die bewegte Plattform nicht manuell HINWEIS Fehlfunktion durch Verschmutzung Verschmutzungen jeglicher Art z B durch Staub l Schmiermittel oder Kondenswasser machen den N 765 funktionsunf hig gt Halten Sie den N 765 frei von Schmutz und Kondenswasser N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 17 5 Installation pP HINWEIS Fehlfunktion durch Strahlung Strahlung z B R ntgenstrahlung macht den N 765 funktionsunf hig gt Sch tzen Sie den N 765 vor Neen ig eI OO VES HINWEIS Schaden durch fehlerhafte Montage Eine fehlerhafte Montage des N 765 oder falsch befestigte Teile k nnen den N 765 besch digen gt Befestigen Sie den N 765 sowie Lasten nur an den daf r vorgesehenen I AM Bonong CCC Bohrungen HINWEIS Verspannen des N 765 durch Montage auf unebenen Fl chen Die Montage des N 765 auf unebener Grundfl che kann den N 765 verspannen Ein Verspannen verringert die Genauigkeit
27. gsaufnahme 44 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACTO Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 1 3 Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen Folgende Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen sind f r den N 765 zu beachten Einsatzbereich Nur zur Verwendung in Innenr umen Maximale H he 2000 m Luftdruck 1100 hPa bis 0 1 hPa Relative Luftfeuchte H chste relative Luftfeuchte 80 f r Temperaturen bis 31 C nichtkondensierend Linear abnehmend bis 50 relativer Luftfeuchte bei 40 C nichtkondensierend Betriebstemperatur 10 C bis 50 C Lagertemperatur 20 C bis 60 C Transporttemperatur 20 C bis 60 C berspannungskategorie gem EN 60664 1 2007 VDE 0110 1 Schutzklasse gem EN 61140 VDE 0140 1 Verschmutzungsgrad gem EN 60664 1 2007 VDE 0110 1 Schutzart gem IEC 60529 N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 45 10 Technische Daten 10 2 Abmessungen 46 Abmessungen in mm PI Zeichen die zur Abtrennung von Dezimalstellen verwendet werden Tiefe und Durchmesser von Bohrungen Punkt Alle anderen Ma angaben Komma 20 2x 03 H7 U6 110 2x 3 H7 V6 4x 02 5 H7 V5 4 x M2 5x5 7 25 4 x M2 5x5 7 25 6 x M2x4 6 6 x M2x4 6 4 x M3x6 8 5 4x 2 H7 V5 2x 03 H7 V6 77 NS UN y 100 Abbildung 10 Abmessungen des N 765 Version 1 0 0 MP1
28. installiert Alle Anschl sse am Controller wurden eingerichtet siehe Benutzerhandbuch des Controllers N 765 betreiben gt Folgen Sie f r die Inbetriebnahme und den Betrieb des N 765 den Anweisungen im Handbuch des verwendeten Controllers 6 4 Piezoaktoren des Antriebs entladen INFORMATION Der N 765 wird von NEXACT Piezoaktoren angetrieben Durch Temperaturschwankungen und Druckbelastungen k nnen Ladungen in Piezoaktoren entstehen Nach dem Trennen von der Elektronik k nnen Piezoaktoren f r einige Stunden aufgeladen bleiben Das Ber hren oder Kurzschlie en der Kontakte im Antriebsstecker des N 765 kann unangenehme Stromschl ge ausl sen Wenn Sie die unangenehme Stromschl ge vermeiden wollen gt Entladen Sie den Versteller bevor Sie den Antriebsstecker vom Controller abziehen 34 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACTO Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb Piezoaktoren des Antriebs entladen Wenn Sie den Stecker des Antriebs vom Controller abziehen m chten 1 Wenn Sie im geregelten Betrieb arbeiten Schalten Sie am Controller den Servomodus aus 2 Stellen Sie am Controller durch Senden eines RNP Befehls die Piezospannung auf 0 V ein siehe Benutzerhandbuch des Controllers 3 Wenn m glich Schalten Sie den Controller aus 4 Warten Sie vor dem Abziehen des Steckers vom Controller mindestens 10 Sekunden N 765 NEXACTO Versteller MP130D Version 1 0 0 35 PI
29. lle vom Hersteller bereitgestellten Informationen z B Erg nzungen und Technical Notes zum Benutzerhandbuch hinzu Wenn Sie den N 765 an Andere weitergeben f gen Sie dieses Handbuch und alle sonstigen vom Hersteller bereitgestellten Informationen bei F hren Sie Arbeiten grunds tzlich anhand des vollst ndigen Benutzerhandbuchs durch Fehlende Informationen aufgrund eines unvollst ndigen Benutzerhandbuchs k nnen zu leichten Verletzungen und zu Sachsch den f hren Installieren und bedienen Sie den N 765 nur nachdem Sie dieses Benutzerhandbuch gelesen und verstanden haben Personalqualifikation Nur autorisiertes und entsprechend qualifiziertes Personal darf den N 765 installieren in Betrieb nehmen bedienen warten und reinigen 8 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACTO Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 Produktbeschreibung In diesem Kapitel Produktansicht ee a 9 ProdguktDeSChriftu ne sececvcdess sectcsedeccesest ein 10 Lieferumfang Pr ioaea iaee O anaa iaa aE A aa Aa aeRO 12 Geeignete G ntr ller u0u0 seen 12 Technische Ausstattung 222222 en 13 3 1 Produktansicht 2 3 4 Abbildung 1 N 765 Produktansicht Bewegte Plattform Kabel f r Sensor und Antriebsanschluss an den Controller Grundk rper KR HB gt Seitenabdeckung Der Pfeil in der Abbildung zeigt die positive Bewegungsrichtung N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 9 3
30. ller MP130D Version 1 0 0 41 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 10 Technische Daten 10 Technische Daten In diesem Kapitel Spezifikationen ke 43 Beriessungsd ten un anne een 44 Abmessungen 22 Heide 46 PINDGIS qUe 47 10 1 Spezifikationen 10 1 1 Datentabelle Vorl ufige Daten N 765 060 Einheiten Toleranz Aktive Achsen Z Bewegung und Positionieren Stellweg 6 5 mm Integrierter Sensor Optischer Linearencoder PlOne Sensoraufl sung 0 5 nm Kleinste Schrittweite 1 nm typ Geschwindigkeit geregelt 2 5 mm s max Unidirektionale Wiederholgenauigkeit 20 nm typ Ubersprechen Winkelfehler 75 urad typ bei vollem Stellweg Mechanische Eigenschaften Belastbarkeit 20 N max Vorschubkraft aktiv 25 N max Haltekraft passiv 25 N max Antriebseigenschaften Motortyp NEXACT Piezoschreitantrieb Betriebsspannung 10 bis 45 V N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 43 10 Technische Daten i Anschl sse und Umgebung Betriebstemperaturbereich 10 bis 50 C Masse 0 8 kg 15 Material Aluminium schwarz eloxiert Abmessungen 65 x 80 x 20 mm Kabell nge 3 m 10 mm Stecker HD D Sub m 15 pol Motor HD D Sub f 15 pol Sensor Empfohlene Controller Treiber E 861 1A1 einachsige Motion Controller E 712 modulares System mit bis zu 6 Achsen 10 1 2 Bemessungsdaten Der Versteller ist f r folgende Betriebsgr Ben ausgelegt Maximale Maximale Maximale Betriebsspannung Betriebsfrequenz Leistun
31. ng des N 765 4 Zylinderschrauben M3x16 ISO 4762 2 Zylinderstifte 3 m6 x 8 ISO 2338 000036450 Zubeh r zum Anschluss an das Erdungssystem 1 Flachkopfschraube mit Kreuzschlitz M4x8 ISO 7045 2 Sicherungsscheiben 2 Unterlegscheiben N664B000 1 Adapter D Sub 15 m auf HD D Sub 15 f f r den Sensoranschluss MP137EK Kurzanleitung f r NEXACT Versteller 3 4 Geeignete Controller Controller Beschreibung E 861 1A1 Digitaler NEXACT Controller gt Wenden Sie sich bei Bestellungen an den Kundendienst S 41 12 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACTO Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 3 Produktbeschreibung 3 5 Technische Ausstattung 3 5 1 Linearencoder Sensor Der Versteller ist mit einem optischen Linearencoder ausgestattet Die Aufl sung entnehmen Sie der Tabelle im Abschnitt Spezifikationen S 43 Optische Linearencoder messen die Ist Position direkt Direktmetrologie Fehler im Antriebsstrang wie z B Nichtlinearit t Umkehrspiel oder elastische Deformation k nnen die Positionsmessung nicht beeinflussen 3 5 2 Referenzschalter Der Versteller ist mit einem richtungserkennenden Referenzschalter ausgestattet der ungef hr 1 mm vor der unteren Stellwegsgrenze angebracht ist Dieser Sensor sendet ein TTL Signal das anzeigt ob sich der Versteller auf der positiven oder negativen Seite des Referenzschalters befindet Die Befehle die das Referenzsignal verwenden sind im B
32. st gelten folgende Pinbelegungen Stecker D Sub 15 m siehe Sensoranschluss f r N 765 S 48 Kupplung HD D Sub 15 w siehe nachfolgende Tabelle 5 1 fe m QQ SS 3 Hoop A oo Ag ooo 15 11 Abbildung 13 Kupplung HD D Sub 15 w f r Sensor Verbindungsseite pn JSiomer O 1 REF Referenzschalter Vop Versorgungsspannung 5V COS Encodersignal 2 Cosinus SIN Encodersignal 1 Sinus Encodersignal 2 Cosinus invertiert Encodersignal 1 Sinus invertiert Das Zeichen zeigt an dass der entsprechende Pin nicht belegt ist k Q Z U EN CAN pol EA N 765 NEXACTO Versteller MP130D Version 1 0 0 49 PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 11 Altger t entsorgen 11 Altger t entsorgen Nach geltendem EU Recht d rfen Elektroger te in den Mitgliedsstaaten der EU nicht ber den kommunalen Restm ll entsorgt werden Entsorgen Sie das Altger t unter Beachtung der internationalen nationalen und regionalen Richtlinien Um der Produktverantwortung als Hersteller gerecht zu werden bernimmt die PI miCos GmbH kostenfrei die umweltgerechte Entsorgung eines PI miCos Altger tes sofern es nach dem 13 August 2005 in Verkehr gebracht wurde Falls Sie ein solches Altger t von PI miCos besitzen k nnen Sie es versandkostenfrei an folgende Adresse senden PI miCos GmbH Freiburger Stra e 30 D 79427 Eschbach N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 51
33. triebsstecker des Verstellers mit der entsprechenden Buchse des Controllers siehe Benutzerhandbuch des Controllers 2 Verbinden Sie die Sensorkupplung des Verstellers mit dem Controller a Verbinden Sie die Sensorkupplung des Verstellers mit der Steckerseite des Adapters D Sub 15 m b Sichern Sie die Steckverbindung mit den integrierten Schrauben gegen unbeabsichtigtes Abziehen c Verbinden Sie die Kupplungsseite des Adapters HD D Sub 15 f mit dem Einbaustecker des Controllers siehe Benutzerhandbuch des Controllers 3 Sichern Sie die Steckverbindungen am Controller mit den integrierten Schrauben gegen unbeabsichtigtes Abziehen 30 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb 6 Inbetriebnahme und Betrieb In diesem Kapitel Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb uenneennnneeennnnenn nenn 31 Betriebsparameter u u n nen een 33 IN2765 betreiben ik 34 Piezoaktoren des Antriebs entladen 44ssrnnnnennnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn nn 34 6 1 Allgemeine Hinweise zu Inbetriebnahme und Betrieb A Quetschgefahr durch bewegte Teile Zwischen den bewegten Teilen des Verstellers und einem feststehenden Teil oder Hindernis besteht die Gefahr von leichten Verletzungen durch Quetschung gt Halten Sie Ihre Finger von Bereichen fern in denen sie von bewegten Teilen erfasst werden k nnen HINWEIS n S
34. unkontrollierte Schwingungen besch digt werden Unkontrollierte Schwingungen sind dadurch erkennbar dass der Versteller die Zielposition zu langsam bzw zu schnell anf hrt oder sie nicht stabil h lt Servozittern Falls w hrend des Betriebs des N 765 unkontrollierte Schwingungen auftreten gt Schalten Sie unverz glich die Servoregelung der betreffenden Achse aus gt Pr fen Sie die Einstellungen der Regelparameter HINWEIS Zerst rung der Piezoaktoren durch elektrische berschl ge Der Einsatz des N 765 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen kann zur Zerst rung der Piezoaktoren des NEXACTO Antriebs durch elektrische berschl ge f hren Elektrische berschl ge k nnen durch Feuchtigkeit hohe Luftfeuchtigkeit Fl ssigkeiten und leitende Materialien z B Metallstaub hervorgerufen werden Dar ber hinaus k nnen in bestimmten Luftdruckbereichen aufgrund der erh hten Leitf higkeit der Luft elektrische berschl ge auftreten gt Vermeiden Sie den Betrieb des N 765 in Umgebungen die die elektrische Leitf higkeit erh hen k nnen gt Betreiben Sie den N 765 nur innerhalb der zul ssigen Umgebungsbedingungen und Klassifizierungen S 45 32 Version 1 0 0 MP130D N 765 NEXACT Versteller PIEZO NANO POSITIONING WWW PI DE 6 Inbetriebnahme und Betrieb INFORMATION Sto artige Krafteinwirkungen k nnen eine Fehlfunktion des Encoders verursachen gt Vermeiden Sie stoBarti
35. zugesicherten Eigenschaften dar 1 5 Mitgeltende Dokumente Alle in dieser Dokumentation erw hnten Ger te und Programme von PI sind in separaten Handb chern beschrieben E 861 NEXACT Servocontroller PZ205E User Manual PIMikroMove SM148E Software Manual N 765 NEXACT Versteller MP130D Version 1 0 0 3 1 ber dieses Dokument E 1 6 Handbucher herunterladen INFORMATION Wenn ein Handbuch fehlt oder Probleme beim Herunterladen auftreten gt Wenden Sie sich an unseren Kundendienst S 41 INFORMATION F r Produkte die mit Software ausgeliefert werden CD im Lieferumfang ist der Zugang zu den Handb chern durch ein Kennwort gesch tzt Gesch tzte Handb cher werden auf der Website erst nach Eingabe des Kennworts angezeigt Das Kennwort ist auf der CD des Produkts enthalten F r Produkte mit CD Kennwort identifizieren 1 2 3 Legen Sie die CD des Produkts in das PC Laufwerk ein Wechseln Sie auf der CD in das Verzeichnis Manuals ffnen Sie im Verzeichnis Manuals die Release News Datei mit dem Namensbestandteil Releasenews Entnehmen Sie dem Abschnitt User login for software download in den Release News den Benutzernamen user name und das Kennwort password Handb cher herunterladen 1 2 3 ffnen Sie die Website http www pi de Klicken Sie auf Infothek Wenn Sie Benutzername und Kennwort f r Ihr Produkt parat haben a Klicken Sie auf Login b Melden Sie sich mit dem Benutz
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