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Operating Instructions

1. Bild Typ 8626 8006 MASS FLOW INLINE Ausf hrung mit Ventil 6022 und Standard Sensorblock 2xM 4 6 deep MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Bus version 12 2 Bus version 165 Bus version Bild Typ 8710 8700 MASS FLOW CAPILLARY Typ 8711 8701 MASS FLOW CMOSens 72 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert 2 x M4 6 tief Bild Typ 8711 8701 MASS FLOW CMOSens mit Stahlblechdeckel EA M4 6 deep g 2 E E 1 M4 6 deep E 150 al ca 3 5 114 m H l HM Bild Typ 8711 mit externem Ventil MFC MFM 73 Ss o 2 g kel E MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 ca 3 3 burkert 5 H d je i S JL EE p 15 HU Bild Typ 8712 8702 MASS FLOW CMOSens 2 x M4 6 tief Bild Typ 8713 8703 MASS FLOW CMOSens 74 MFC MFM burkert yosinap th o 9 Hes o 2 B
2. burkert Connection configuration Type 8716 8706 8 x 9 pole Sub D socket bus version only RW PROFIBUS DP DeviceNet el 1 Shield FE functional earth E 2 N C not connected CAN L data line 3 RxD TxD P B line GND 4 RTS control signal for repeater N C E 5 GND data transmission potential N C D 3 5 Wed voltage P5V N C 7 N C CAN H data line 8 8 RxD TxD N A line N C 9 N C N C e z 15 pole Sub HD socket Analog drive Bus version E 1 Setpoint input d 2 Setpoint input GND 3 Process value output 2 4 Binary input 2 E 5 12 V output for factory unse only 3 6 RS232 TxD direct connection to PC 8 pole socket circular 7 Binary input 1 1 24V supply 8 DGND for binary inputs 2 Relay 1 C contact 9 For factory use only do not connect 3 Relay 2 C contact 10 12 V output for factory use only 714 Relay 1 NC contact 11 12 V output for factory use only E 5 Relay 1 NO contact 12 Binary input 3 2 6 24V supply GND 13 Process value output GND N C 7 Relay 2 NO contact 14 RS232 RxD direct connection to PC 8 Relay 2 NC contact 15 DGND for RS232 interface 36 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert d 4 Inputs outputs Overview of types Type Setpoint Process BUS Binary Relay input value output connection inputs outputs 80
3. 1114 i Figure Type 8626 8006 MASS FLOW INLINE 2xM 4 6 deep 9000 Il KA D Cal 114 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 SEHR chu Bus version p i A Bus version Power Autotune G SE J 16 5 Bus version Figure Type 8710 8700 MASS FLOW CAPILLARY Type 8711 8701 MASS FLOW CMOSens 120 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert 2 x M4 6 tief fran ais Figure Typ 8711 8701 MASS FLOW CMOSens avec couvercle de t le d acier E M4 6 deg d L M 6dep T 4 Figure Type 8711 avec vanne externe MFC MFM 121 KA On S CX MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert S H d e 48 Fu 15 Hu Figure Type 8712 8702 MASS FLOW CMOSens 2xM4 6 tief Figure Typ 8713 8703 MASS FLOW CMOSens 122 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L St
4. E M4 6 deep gt e ME 6 deep T L 150 J ca 3 5 a D x gt TT Q bes lt gt B 1 15 y Im A 170 ca 24 Fig Type 8711 with external valve MFC MFM 25 burkert 137 5 B B Fig Type 8712 8702 MASS FLOW CMOSens 2 x M4 6 deep MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Fig Type 8713 8703 MASS FLOW CMOSens 26 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert 70 5 140 4 d o amp 7 LB C 885 D Fig Type 8716 8706 MASS FLOW INLINE with standard sensor body MFC MFM 27 MAN 1000011173 ML Fa RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert General notes on installation and operation Before installation Install a suitable filter upsteam to assure cleanliness of the operating medium Observe the installation position see calibration data Provide a power supply with adequate power Observe the max residual ripple on the operating voltage Remove dirt from the piping before installation of the MFC P
5. Type Modele Gamme de valeur Capteur Remarques finale Q enn l min rapport air N 8626 MFC 25 1500 Inline pour appareils des janv 2003 8006 MFM 25 1500 Inline pour appareils des janv 2003 8716 MFC 25 500 Inline 8706 MFM 25 1500 Inline 8713 MFC 0 02 50 Bypass CMOSens 8703 MFM 0 02 50 Bypass CMOSens A 8712 MFC 0 02 50 Bypass CMOSens amp 8702 MFM 0 02 50 Bypass CMOSens 8711 MFC 0 02 50 Bypass CMOSens S 8701 MFM 0 02 50 Bypass CMOSens 8710 MFC 0 005 1 Bypass Capillary 8700 MFM 0 005 1 Bypass Capillary 1 Observer cet effet les recommandations relatives aux types 8626 8006 dans le chapitre Brochage des connecteurs type 8626 8006 2 CMOSens est une marque d pos e de la soci t Sensirion SA Suisse MFC MFM 103 o Es On S MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Fonctionnement g n ral Les MFC du type 8626 8716 8713 8712 8711 8710 sont des appareils compatibles dont la fonction et de contr ler le d bit massique de gaz Ils assurent la r gulation en fonction d une consigne de d bit pr d termin e ind pendamment des grandeurs perturbatrices telles que fluctuations de pression ou r sistance a l coulement variable dans le temps r sultant par exemple du colmatage d un filtre Les MFC contiennent les composan
6. H ATTENTION Les donn es de ce tableau n ont qu un caract re informatif et ne remplacent pas des essais sp cifiques dans les conditions r elles de service En particulier aucune garantie ne peut en tre d riv e en ce qui concerne la compatibilit aux fluides MFC MFM 113 7 G Qs S MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Type 8626 8006 MASS FLOW INLINE Valeur de pleine chelle Q em Fluides de service Pression max de service Fluide d talonnage Temp rature du fluide Temp rature ambiante Pr cision de mesure apr s mise temp rature de 15 min Lin arit Reproductibilit Rapport d echelle Temps de r glage T Tension de service Section de branchement Puissance absorb e Isolation galvanique Sp cification de valeur de consigne s lectionnable R solution Imp dance d entr e entr e tension Imp dance d entr e entr e courant 3 entr es binaires Signal de sortie s lectionnable R solution Courant max sortie tension charge max sortie courant 2 sorties relais Branchements Indice de protection Mat riau du boitier Mat riau du couvercle Position de montage 25 1500 L min fluide de r f rence N gaz neutres non conamin s autres sur demande 10 bar selon le diam tre nominal de la vanne Gaz de service ou air 10 70 C 10 45 C x 1 5
7. y is important for the control characteristics of the MFC in the system It should not be less than 0 3 0 5 Meaning of the symbols in the equations K ges flow coefficient of the system with MFC installed k flow coefficient of the system with MFC not installed to be determined by short circuiting the piping at the point of installation ky flow coefficient of the MFC with fully opened servo element in m h Py density of the medium in kg m under standard conditions 1013 mbar 273 K TT temperature of the gas in K p p absolute pressures in bar before and after the MFC Ap p P Q maximum flow rate of the valve in l min max Q maximum flow rate of the MFC in l min when correction to 100 of nenn the setpoint has been made Ap pressure drop over the entire system Ap fraction of the pressure drop occurring over the MFC with the valve fully open MFC MFM 15 NOTE MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed Br 16 MFC MFM burkert The system must not be dimensioned so closely with regard to the flow coefficient k that at the desired flow rate the major part of the available pressure drop is used up there and then the nominal valve diameter of the MFC is chosen so great k gt gt k that only the small remaining part of the pressure is dropped over the MFC In this case the valve authority would be too small and only a small
8. Autotune routine A prerequisiste for the automatic adaptation of the controller to the conditions in the system is that the typical pressure conditions pertain gt Initiate the Autotune routine by operating the binary input 1 The Autotune routine runs automatically During this operation the green POWER LED flashes ATTENTION Observe the following points while the Autotune routine runs Various changes in flow occur The power supply of the MFC must not be switched off The supply pressure should be kept constant While the Autotune routine runs the MFC does not control The control valve is driven according to an internally specified scheme This leads to flow changes whereby some of the control parameters are adapted to the conditions pertaining in the system At the end of the Autotune routine these parameters are stored in the non volatile memory of the device After completion of the Autotune routine the MFC returns to the previous operating mode MFC MFM 41 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed ME burkert NOTE Each MFC has been subjected to the Autotune routine in the factory during final testing at the operating pressure stated in the calibration report For reliable control operation in a system it is not absolutely necessary to initiate this function again after commissioning We recommend renewed initialization if the operating pressure
9. 8703 la communication via RS 485 n cessite un adaptateur pilote d interface voir les accessoires en annexe A Un adaptateur est galement disponible pour faciliter l adaptation des types 8626 8006 8712 8702 et 8716 8706 voir les accessoires en annexe A MFC MFM 145 fran ais burkert Vous trouverez une description d taill e et un mode op ratoire pr cis pour l utilisation du logiciel du MassFlowCommunicator dans la documentation du logiciel contenue dans la fonction d aide du programme T l chargement du logiciel sous www buerkert com REMARQUE La version la plus r cente du MassFlowCommunicator est toujours disponible par la fonction de t l chargement Documentation L ensemble de la documentation est disponible des fins de t l chargement sur Internet l adresse suivante www buerkert com ainsi que sur le CD contenant les consignes d utilisation 9 Wei Qa S MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben di 14 12 2009 146 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Contact addresses Kontaktadressen Germany Deutschland Allemange B rkert Fluid Control System Sales Centre Chr B rkert Str 13 17 D 74653 Ingelfingen Tel 49 0 7940 10 91 111 Fax 49 0 7940 10 91 448 E mail info de buerkert com International Contact addresses can be found on the interne
10. MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert EE ALLGEMEINE HINWEISE Darstellungsmittel In dieser Betriebsanleitung werden folgende Darstellungsmittel verwendet markiert einen Arbeitsschritt den Sie ausf hren m ssen ACHTUNG 5 5 kennzeichnet Hinweise bei deren Nichtbeachtung Ihre Gesund heit oder die Funktionsf higkeit des Ger tes gef hrdet ist HINWEIS kennzeichnet wichtige Zusatzinformationen Tipps und Empfehlungen Bestimmungsgem e Verwendung ACHTUNG Zur bestimmungsgem en Verwendung geh rt insbesondere eine ad quate Mediumsqualit t Stark verschmutzte oder par tikelhaltige Medien beeintr chtigen die Genauigkeit gelangen fl ssige Phasen in den Sensorraum kann das die Funktion des Sensors und des MFC MFM beeinflussen In diesen F llen m s sen dem MFC MFM geeignete Wartungseinheiten Filter Fl ssigkeitsabscheider vorgeschaltet werden Das Ger t darf nur mit den Werten betrieben werden die im Kapitel Technische Daten und auf dem Typschild angegeben sind Lesen Sie alle Kapitel dieser Bedienungsanleitung sorgf ltig durch Beachten Sie die Vorgaben im Kapitel Allgemeine Sicherheitshinweise Die Arbeitsanweisungen in den einzelnen Kapiteln m ssen eingehalten und die Sicherheitshinweise unter allen Umst nden beachtet werden Bei nicht beachten der Arbeitsanweisungen und deren Reihenfolge
11. Verschiedenste Bus oder Kommunikationsstati Siehe Hilfefunktion MassFlowCommunicator Assignment of In and Outputs MFC MFM 87 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Bin rausg nge Die Bin rausg nge des MFCs k nnen verwendet werden um bestimmte Zust n de die spezifisch definiert werden k nnen an eine bergeordnete Steuerung weiterzuleiten und dort zu verarbeiten Die Bin rausg nge lassen zudem Aussagen ber den Ger testatus zu und k n nen zur Diagnose und zur Behebung von Fehlfunktionen genutzt werden Ger testatus AutoTune Modus aktiv aktive Gaskalibrierung aktiven Bin reing nge Sollwertprofil des Ger tes wird ausgeregelt Steuerbetrieb aktiv Sicherheitswert wird ausgeregelt Ventil wird ganz ge ffnet Ventil wird ganz geschlossen Status des Busmoduls bzw der Buskommunikation Grenzwertschalter Die Bin rausg nge werden bei ber oder unterschreiten des einstellbaren Grenzwertes wie Totalizergrenzwert Grenzwert des Sollwertes usw bet tigt Fehler Fehlfunktionen Hier k nnen detektierte Fehler zum Beispiel am Sensor beim internen Strom verbrauch oder der Versorgungsspannung zur ckgemeldet werden Siehe Hilfefunktion MassFlowCommunicator Assignment of In and Outputs Bin reing nge Den Bin reing ngen k nnen vorgegebene Funktionen zugewiesen werden die durch das externe Setzen des entsprechen
12. a ne cierre rro peint ea e eR Ee ER P den Mode de commande sisi Modes op rationnels MFC MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 iP n ee E a e aaar a Eae eS RE Depannage Localisation des defauts sssssse 141 ANNEXE A Accessoires Electriques eseeene 143 Annexe B Accessoires fluidiques n 144 ANNEXE C MassFlowCommunicator Logiciel PC esssssss 145 100 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert E Za Ri REMARQUES GENERALES Symboles de repr sentation Les symboles de repr sentation suivants sont utilis s dans ces instructions de service d signe une tape de travail devant tre ex cut e ATTENTION zm 7 7 5 d signe une mise en garde dont l inobservation pourrait mettre en danger votre sant ou l int grit d signe des informations suppl mentaires conseils et REMARQUE recommandations importantes Utilisation conforme la destination ATTENTION SE em m Une utilisation conforme inplique en particulier une qualit ad quate du fluide de service Un fluide fortement contamin ou contenant des particules solides pouvant d grader la pr cision L introduction de phases liquides dans le compartiment du capteur peut influencer le fonctionnement du capteur ou d
13. burkert Bypass Sensor konventioneller Technologie capillary Typen 8710 8700 Die Messung erfolgt auch hier nach dem Bypass Prinzip Ein Laminar Flow Element im Hauptkanal erzeugt einen geringen Druckabfall welcher einen kleinen Teil des Gesamtdurchflusses der diesem aber proportional ist durch das eigent liche Sensorr hrchen treibt Auf das d nne Edelstahlr hrchen sind zwei Heiz widerst nde aufgewickelt welche in einer Messbr cke verschaltet sind Bei Durchfluss wird durch die Str mung W rme in Flie richtung transportiert und damit die vorher abgeglichene Br cke verstimmt Vorf ter Laminar FlowElement Funktionsschema des Bypass Messprinzip capillary Die Dynamik der Messung wird durch die als thermische Barriere wirkende Wan dung des Sensorr hrchens bestimmt und ist deshalb prinzipbedingt deutlich schlecher als bei Sensoren mit Widerst nden direkt im Mediumsstrom Durch softwaretechnische Ma nahmen werden im Regler Ausregelzeiten erreicht die f r einen gro en Teil der Anwendungen ausreichend sind im Bereich weniger Sekunden Vorgeschaltete Filterelemente sind bei verunreinigten Medien zu empfehlen um eine Ver nderung des Teilerverh ltnisses zwischen Hauptstrom und Sensor r hrchen sowie eine Ver nderung der W rme berg nge durch Ablagerung an der Wandung zu verhindern Mit diesen Sensoren k nnen z T auch aggressive Gase geregelt werden da alle wesentlichen mediumsber hrten Teile aus Edels
14. max current volt outp max burden curr outp 2 relay outputs Connections Type of protection Housing material low activated connect to GND to activate 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 10 mV or 20 pA 10 mA 600 Ohm potential free changeover 60 V 1 A 60 VA 8 pole socket 15 pole SUB HD socket 9 pole SUB D socket bus version only IP 65 with the specified plug connectors aluminium anodized or stainless steel 1 4305 Cover material Installation position PBT horizontal or vertical MFC MFM 23 burkert ASSEMBLY INSTALLATION AND COMMISSIONING Dimensional drawings 1114 945 Fig Type 8626 8006 MASS FLOW INLINE version with proportional valve 6022 and standard sensor body 2xM 4 6 deep E LE A MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 PO Bus version Bus version 165 Bus version Fig Type 8710 8700 MASS FLOW CAPILLARY Type 871 1 8701 MASS FLOW CMOSens 24 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert 2 x M4 6 deep
15. siehe Appendix C With 8711 8701 8713 8703 and 8710 8700 an external inferface driver is necessary integrated in adapter for these types see Appendix A RS485 connection via RS485 adapter excerpt types 8713 8703 BUS Profibus DP or DeviceNet connection bus devices only Seal material FKM other materials on request The compatibility of the seal material with the usual operating media can be taken from the B rkert stability tables ATTENTION The data given in this table are provided for information and cannot replace own tests under the actual operating conditions In particular no guarantee for medium compatibility can be derived thereform MFC MFM 17 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Type 8626 8006 MASS FLOW INLINE Full scale range Q 25 to 1500 I min N equivalent nom Operating media max operating pressure Calibration medium Medium temperature Ambient temperature Measurement accuracy after 15 min warm up Linearity neutral not contaminated gases others on request 10 bar depending on nom valve diameter operating gas or air 10 to 70 C 10 to 45 C x 1 5 of Rdg 0 3 of ES x 0 25 of FS Reproducibility Control range Span Settling time T Operating voltage Connection cross section Power consumption Electrical isolation Setpoint setting t
16. v E Reproductibilit 0 1 v E Rapport d echelle 1 50 Temps de r glage T 3s Tension de service Section de branchement Puissance absorb e Isolation galvanique Sp cification de valeur de consigne s lectionnable R solution Imp dance d entr e entr e tension Imp dance d entr e entr e courant 2 entr es binaires Signal de sortie s lectionnable R solution Courant max sortie tension Charge max sortie courant 1 sorties relais Branchements Indice de protection Mat riau du boitier Mat riau du couvercle Position de montage 24 V DC x 10 ondulation r siduelle 5 min 0 25 mm de pr f rence 0 5 mm max 6 5 W en fonction de la vanne max 9 W sur es ex cutions avec bus non 0 10V 0 5V 0 20 mA ou 4 20 mA 2 5 mV resp 5 HA gt 20 kOhm lt 300 Ohm actif sur bas relier a DGND pour activation 0 10V 0 5V 0 20 mA ou 4 20 mA 10 mV resp 20 uA 10 mA 600 Ohm inverseur libre de potentiel 25 V 1 A 25 VA Connecteur 15 p les SUB D Connecteur M12 5 p les uniquement avec DeviceNet Douile M12 5 p les codage B uniquement avec Profibus DP IP 50 Aluminium ou Acier inoxydable PBT horizontale ou verticale MFC MFM 115 francais 7 G Qs S burkert Type 8711 8701 MASS FLOW CMOSens Valeur de pleine chelle Q nenn Fluides de service Pression de service max pression d entr
17. 0 20 mA oder 4 20 mA Aufl sung 2 5 mV bzw 5 pA Eingangsimpedanz Spannungseingang Eingangsimpedanz Stromeingang 20 kOhm 300 Ohm 2 Bin reing nge Istwertausgabe w hlbar Aufl sung max Strom Spannungsausgang max B rde Stromausgang 1 Relaisausg nge Anschl sse Schutzart Werkstoff Geh use Werkstoff Deckel Einbaulage Low aktiv zur Aktivierung mit GND verbinden 0 10V 0 5V 0 20 mA oder 4 20 mA 10 mV bzw 20 pA 10mA 600 Ohm Potentialfreier Wechsler 25 V 1 A 25 VA 15pol SUB D Stecker 5 pol M12 Stecker nur bei DeviceNet 5 pol M12 Buchse B codiert nur bei Profibus DP IP 50 Aluminium oder Edelstahl PBT horizontal oder vertikal MFC MFM 67 burkert Typ 8711 8701 MASS FLOW CMOSens Endwertebereich CO 0 02 50 I min Bezugsmedium N neutrale nicht kontaminierte Gase Betriebsmedien andere auf Anfrage max Betriebsdruck 10 bar abh ngig von der Ventilnennweite Eingangs Vordruck it Kalibriermedium Betriebsgas oder Luft 10 70 C Umgebungstemperatur 10 50 C Messgenauigkeit 0 8 v M 0 3 v E nach 1 min Aufw rmzeit x 0 1 6 v E Reproduzierbarkeit 0 1 v E 1 50 h here Messspanne auf Anfrage Ausregelzeit T 300 ms Betriebsspannung 24 V DC x 10 Restwelligkeit lt 5 Anschlussquerschnitt min 0 25 mm besser 0 5 mm Leistungsaufnahme max 1
18. 8713 8712 8711 8710 sind Kompaktger te mit denen der Massendurchfluss von Gasen geregelt wird Sie regeln einen vorge gebenen Durchfluss Sollwert aus unabh ngig von St rgr en wie Druck Schwankungen oder zeitlich ver nderlichen Str mungswiderst nden z B infolge Filterverschmutzung Die MFC enthalten die Komponenten Durchflusssensor Q Sensor Elektronik mit den Funktionen Signalverarbeitung Regelung und Ventilansteuerung und ein Proportional Magnetventil als Stellglied Bild Komponenten eines Mass Flow Controllers Die Sollwertvorgabe w erfolgt elektrisch ber ein Normsignal oder einen Feldbus Der vom Sensor erfasste Istwert x wird im Regler mit dem Sollwert verglichen Als Stellgr e wird vom Regler ein pulsweitenmoduliertes Spannungssignal an das Stellglied gegeben Das Tastverh ltnis des Spannungssignals wird entspre chend der festgestellten Regelabweichung variiert Der Istwert wird dar ber hinaus ber eine analoge elektrische Schnittstelle oder einen Feldbus nach au en gegeben und steht dem Anwender f r Kontrollzwecke oder weitere Auswertungen z B Verbrauchsermittlung durch Integration zur Verf gung Das thermische Messprinzip garantiert dass die MFC s weitgehend unabh ngig von Druck und Temperaturschwankungen in der jeweiligen Anwendung den geforderten Massendurchfluss ausregeln In den MEM fehlt gegen ber den entsprechenden MFC jeweils die Komponente P
19. Les caract ristiques d crites ci apr s des autres composants en particulier des capteurs sont identiques celles du MFC 104 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Capteurs Principe de mesure thermique Les capteurs de d bit fonctionnent d apr s le principe de mesure thermique an mom trique La mesure a toujours lieu d apr s la densit et la vitesse d coulement et livre par cons quent un signal refl tant une quantit de mati re Par cons quent la grandeur d bit massique d terminate pour la plupart des applications est obtenue directement sans n cessiter de d finition d aucune autre grandeur auxiliaire telle que la densit et peut donc tre trait e comme la variable instantan e dans le r gulateur 1 Selon la gamme de d bit et le march cible des appareils les diff rents types de capteurs peuvent utiliser trois variantes de mesure thermique du d bit Les fonctions de celles ci et les propri t s en r sultant sont d crites de facon succincte ci apr s sont diff rentes avec les trois principle de mesure et que les facteurs de correction ventuels sp cifiques un gaz de service ne sont en aucun cas transf rables entre les variantes de capteurs Fw REMARQUE faut observer que les sensibilit s relatives aux diff rents gaz Bien que les unit s l min ou m h couramment utilis es pour la d finition
20. T Pi F 4 RTS signal de commande pour N C Q r p titeur Si GND potentiel de transmission des o 5 d N C Ka onn es VDD E 6 Tension d alimentation P5V NS a 3 7 NC CAN H ligne de donn es 8 RxD TxD N ligne A N C c f 9 N C N C Bi j UR A d H S em LE o Prise SUB HD 15 p les Qn 4 c Pilotage analogique Ex cution bus N 2 1 Entr e valeur de consigne N C 2 2 Entr e valeur de consigne GND N C A 3 Sortie valeur mesur e N C 4 Entr e binaire 2 Les 5 Sortie 12 V utilisation interne seulement 6 RS232 TxD raccordement direct au PC 3 Prise 8 p le ronde 7 Entr e binaire 1 1 Alimentation 24 V 8 DGND pour entr e binaire j 2 Relais 1 contact central 9 utilisation interne seulement ne pas connecter 3 Relais 2 contact central 10 Sortie 12 V utilisation interne seulement 4 Relais 1 contact de repos 11 Sortie 12 V utilisation interne seulement 5 Relais 1 contact de travail 12 Entr e binaire 3 6 24 V GND alimentation 13 GND sortie valeur mesur e N C 7 Relais 2 contact de repos 14 RS232 RxD raccordement direct au PC 8 Relais 2 contact de travail 15 DGND pour interface RS232 132 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Entr es sorties Aper u des types Type 8006 8626 8006 bus 8626 bus Entr e consigne Sortie variable instantan e X
21. p m 0 3 p e 0 25 p e x 0 1 p e 1 50 500 ms 24 V DC 10 ondulation r siduelle 5 96 min 0 5 mm 0 75 mm avec vanne type 2836 20 W max 50 W type 8626 selon vanne 22 5 W max 52 5 W type 8626 bus selon vanne 10 W type 8006 12 5 W type 8006 bus Oui 0 10V 0 5V 0 20mA 4 20mA 2 5 mV resp 5 uA 20 kOhm 300 Ohm Actif sur bas relier DGND pour activation 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20mA 10 mV resp 20 uA 10 mA 600 Ohm inverseur libre de potentiel 60 V 1 A 60 VA Prise 8 p les Prise 15 p les SUB HD Prise 9 p les SUB D seul ex cution bus IP 65 avec les connecteurs prescrits Aluminium lox ou acier inoxydable 1 4305 Aluminium coul sous pression peint horizontale ou verticale 114 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Type 8710 8700 MASS FLOW Valeur de pleine chelle Q Kal Fluides de service Pression max de service Pression d alimentation d entr e 0 005 1 01 min fluide de r f rence N gaz neutres non contamin s autres sur demande 10 bar selon le diam tre nominal de la vanne Fluide d talonnage Temp rature du fluide Temp rature ambiante Pr cision de mesure apr s mise temp rature de 30 gaz de service ou air 10 70 C 10 50 C 1 5 v M 0 3 v E min Lin arit 0 25
22. part of the working range of the valve utilized That could be greatly detrimental in general to the resolution and control performance If the system has been dimensioned to closely increasing the nominal diameter of the MFC valve does not help In this case an increase either in the admission pressure or the k value should be made e g by increasing the pipe diameter to keep the valve authority within the permitted range When the device is operated within the specified pressure range the proportional valve assumes the functions of both control and tight closure MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert TECHNICAL DATA Environmental tests Temperature cycles to EN 60068 2 14 Nb and EN 60068 2 33 Head and humidity to EN 60068 2 38 Z AD Shocks to EN 60068 2 27 Vibration to EN 60068 2 6 IP protection type to EN 60529 Free fall to EN 60068 2 32 UPS fall test to DIN ISO 2248 and DIN ISO 2206 Electromagnetic compatibility EMC All devices are CE conforming for industrial use and have passed the associated EMC tests to EN 50081 2 03 94 Basic engineering standard for interference emission Part 2 Industrial domain EN 50082 2 02 96 Basic engineering standard for interference resistance Part 2 Industrial domain Communications interface RS232 direct connection to PC via RS232 adapter communication with special software MassFlowCommunicator
23. printed 14 12 2009 burkert CARACTERISTIQUES TECHNIQES Facteurs li s a l environnement Fluctuations de temp rature selon EN 60068 2 14 Nb et EN 60068 2 33 Chaleur humide selon EN 60068 2 38 Z AD Chocs selon EN 60068 2 27 Oscillations selon EN 60068 2 6 Degr e de protection IP selon EN 60529 Chute libre selon EN 60068 2 32 Essai de chute UPS selon DIN ISO 2248 et DIN ISO 2206 Compatibilit lectromagn tique EMV Tous les appareils sont conformes CE pour un usage industriel et ont par cons quent pass les contr les CEM y relatifs conform ment EN 50081 2 03 94 Norme fondamentale Emissions parasites section 2 Usage industriel EN 50082 2 02 96 Norme fondamentale Immunit aux parasites section 2 Usage industriel Interfaces de communication RS232 connexion directe au PC par adaptateur RS232 communication avec un logiciel sp cial MassFlowCommunicator voir annexe C Pour les types 8711 8701 8713 8703 et 8710 8700 un pilote d interface externe est n cessaire ce pilote est int gr dans l adaptateur pour ce type cf annexe A fran ais RS485 connexion via un adaptateur RS485 sauf types 8713 8703 BUS Connexion Profibus DP ou DeviceNet uniquement appareils bus Mat riaux des joints FKM autres mat riaux sur demande La compatibilit des mat riaux de joints avec les fluides de service courants est indiqu e dans les tableaux de r sistance B rkert
24. quence de commande n est pas ob serv e S lectionner une source de tension approprit e R duire la pression de service Ex cuter un Autotune pour adapter le r gulateur aux conditions de service actuelles Monter le MFC la position sp cifi e pour l talonnage ou ex cuter un Autotune pour adapter le r gulateur aux conditions de service actuelles Renvoyer l appareil au fabricant pour un r ta lonnage avec le gaz de service Voir le chapitre Exploi tation avec robinet d arr t supplementaire Lors de la commande d une flamme celle ci s teint apr s un saut de consigne 142 MFC MFM Une concentration trop forte du fluide soutire l oxyg ne n cessaire la flamme Activer la fonction de rampe l aide du logiciel PC MassFlowCommunicator MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert ANNEXE A ACCESSOIRES ELECTRIQUES Types 8626 8006 8712 8702 8716 8706 8710 8700 8711 8701 tous les types 8713 8703 Article N de commande Fiche ronde 8 p le connexion soud e 918299 Fiche ronde 8 p le avec 5 m de c ble confectionn d un c t TETOS Fiche ronde 8 p le avec 10 m de c ble 787734 confectionn d un c t Fiche SUB HD 15 p le avec 5 m de c ble confectionn d un c t 781199 Fiche SUB HD 15 p le avec 10 m de c ble confectionn d un c t 781796 Adaptateur RS23
25. representation cendi a 101 Utilisation conforme l destination u 101 Consignes de s curit nece cidit tee P andre 101 Protection contre des dommages dus des charges lecttostatiqU8S unse seen enc etc dd e e ade Ln d HR ish 102 Seil Lulu TE 102 7 Dispositions Ee 102 d DESCRIPTION DU SYSTEME ins 103 Description des EE 103 Ka Fonctionnement g n ral 5 prin i rat con nde tet Pe eiie 104 Capteutrs sit minis ta dealt aee re be de aient 105 Principe de mesure thermique sise 105 Capteur Inline types 8626 8006 8716 8706 106 Capteur bypass en technologie capillary conventionnelle Types 8710 KEE 107 Capteur bypass en technologie CMOSens types 8713 8703 8712 8702 8711 8701 108 Electronique de r gulation cisterna tice tete rr lange 109 Vanne proportionnelle teo occ p tr pp rea Cerea tie kae inertie 110 CARACTERISTIQUES TECHNIGES is 113 Type 8626 8006 MASS FLOW INLINE eene 114 Type 8710 8700 MASS FLOW ii 115 Type 8711 8701 MASS FLOW CMOSens ee 116 Type 8712 8702 MASS FLOW CMOSens e 117 Type 8713 8703 MASS FLOW CMOSENS me 118 Type 8716 8706 MASS FLOW INLINE enne 119 MFC MFM 99 burkert MONTAGE INSTALLATION ET MISE EN SERVICE esses 120 Dessins COLES 5 rooted n d Pur is ie der ne UR TATE SR EU DET ERE 120 Recommandations
26. we can also supply special sizes whereby the dimensioning of the fluidic system with regard to flow and pressure drop must be taken into account Fluidic connections The device can on request also be supplied with screw in joints already assembled Please select the matching fluidic connection from the table in Appen dix B Connections at MFC MFM Standard screw in thread Special screw in thread Sub Types G 1 4 G 3 e G 1 2 G 3 4 NPT 1 4 NPT 3 8 NPT1 2 NPT3 4 base 8626 8006 8716 8706 8713 8703 8712 8702 8711 8701 8710 8700 XXX X lt xXx x X Xx x x X Xx X lt x X Xx x X X X X X X X X X X X X X XX XX X lt X lt X lt X X X X X X MFC MFM 29 burkert Assembly of clamping ring screw joints ATTENTION With low flow rates and high pressures pay attention to the gastightness of the system to avoid false dosage or gas leakage In order to seal the system properly proceed as follows Mount pipe connections without stress using compensators if necessary Use piping with matching diameter and smooth surface Cut off the piping at right angles and deburr Slide coupling ring support ring if present and clamping ring onto the piping in that order Insert piping into joint as far as it will go Union firmly tighten Counter with a wrench on the screw in side do not load th
27. 0 5V 0 20 mA 4 20 mA Aufl sung 10 mV bzw 20 uA max Strom 10 mA Spannungsausgang max B rde Stromausgang 600 Ohm 2 Relaisausg nge Potentialfreie Wechsler 60 V 1 A 60 VA Anschl sse 8pol Buchse 15pol SUB HD Buchse 9pol SUB D Buchse nur bei Busausf hrung Schutzart IP 65 mit den vorgeschriebenen Steckern Werkstoff Geh use Aluminium eloxiert oder Edelstahl 1 4305 Werkstoff Deckel Aluminium Druckguss lackiert Einbaulage horizontal oder vertikal 66 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Typ 8710 8700 MASS FLOW Endwertebereich Q Kai Betriebsmedien max Betriebsdruck Eingangs Vordruck Kalibriermedium Mediumstemperatur Umgebungstemperatur Messgenauigkeit nach 30 min Aufw rmzeit Linearit t Reproduzierbarkeit Messspanne Ausregelzeit T Betriebsspannung Anschlussquerschnitt 0 005 1 0 I min Bezugsmedium N neutrale nicht kontaminierte Gase andere auf Anfrage 10 bar abh ngig von der Ventilnennweite Betriebsgas oder Luft 10 70 C 10 50 C 1 5 v M x 0 3 96 v E 0 25 v E x 0 1 6 v E 1 50 3s 24 V DC x 10 95 Restwelligkeit 5 96 min 0 25 mm besser 0 5 mm Leistungsaufnahme max 6 5 W abh ngig vom Ventil max 9 W bei Busausf hrung Galvanische Trennung nein Sollwertvorgabe 0 10V w hlbar 0 5V
28. 0 8 v M 0 3 v E x 0 1 96 v E x 0 1 96 v E 1 50 h here Messspanne auf Anfrage 300 ms 24 V DC x 10 95 Restwelligkeit 5 96 Anschlussquerschnitt Leistungsaufnahme Galvanische Trennung Sollwertvorgabe w hlbar Aufl sung Eingangsimpedanz Spannungseingang Eingangsimpedanz Stromeingang min 0 25 mm besser 0 5 mm max 6 5 W Typ 8712 max 9 W Typ 8712 Bus 2 5 W Typ 8702 5 W Typ 8702 Bus ja 0 10 V 0 5V D 20 mA 4 20 mA 2 5 mV bzw 5 uA gt 20 kOhm lt 300 Ohm 3 Bin reing nge Low aktiv zur Aktivierung mit GND verbinden Werkstoff Geh use Deckel Einbaulage Istwertausgabe 0 10 V w hlbar 0 5V D 20 mA 4 20 mA Aufl sung 10 mV bzw 20 uA max Strom 10 mA Spannungsausgang max B rde Stromausgang 600 Ohm 2 Relaisausg nge Potentialfreie Wechsler 60 V 1 A 60 VA Anschl sse 8pol Buchse 15pol SUB HD Buchse 9pol SUB D Buchse nur bei Busausf hrung Schutzart IP 65 mit den vorgeschriebenen Steckern Edelstahl 1 4305 PBT horizontal oder vertikal MFC MFM 69 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Typ 8713 8703 MASS FLOW CMOSens Endwertebereich Q De Betriebsmedien 0 02 50 I min Bezugsmedium N neutrale nicht kontaminierte Gase andere auf Anfrage max Betriebsdruck 10 bar abh ngig von der Ventilnennweite Kalib
29. 10 valve pulse duty factor 10 96 42 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Operating modes of the MFC Operating can be interrupted LED display Reaching the operating mode or ended by of default status via binary input if configured Standard Autotune routine eure Safety function operation Setpoint profile Control operation Control Autotune routine LIMIT y LED as long as activated operation Safety function flashes Setpoint profile Setpoint profile Autotune routine LIMIT y LED Initiate with activated flashes binary input 2 0 5 s Safety function if continuously Devi t configured repeated Device rese starts Autotune Safety function POWER LED lInitiate with actifated routine Device reset flashes binary input 2 0 5 s if continuously configured repeated starts Safety function LIMIT y LED as long as activated flashes MFC MFM 43 MAN 1000011173 ML Version L Status es freigegeben printed 14 12 2009 burkert MAINTENANCE The MFC and MFM are in principle maintenance free when operated according to the notes given in these Instructions so that routine recalibration is unnecessary If after prolonged operation with contaminated medium large quantities of particles were drawn in with Types 8626 8006 8710 8700 8711 8701 8712 8702 8713 8703 8716 8706 t
30. 41 Standard control operation Autotune routine risale leise Setpoint profile Control operation Operating modes of the MFC MAINTENANGE 3 tee anna 44 MALFUNCTION TROUBLESHOOTING enne 45 APPENDIX A ACCESSORIES ELECTRICAL eeeeeeennn 47 APPENDIX B ACCESSORIES FLUIDIC 48 APPENDIX C MassFlowCommunicator PC SOFTWARE 49 4 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert z zm GENERAL NOTES Symbols The following symbols are used in these operating instructions marks a work step that you must carry out ATTENTION 9 marks notes on whose non observance your health or the functioning of the device will be endangered NOTE marks important additional information tips and recommendations Use according to the instruction ATTENTION z The use according to the instructions expecially includes the media quality Contaminated media and media containing particles influences the accuracy Liquid media entering the sensor area can affect the sensor and the function of the MFC MFM In this cases you have to install applicable maintenance units like filters liquid precipators etc The device only must be used with the parameters specified in the chapter Technical Data and on the device label Read the chapter of the oper
31. 8713 8703 Verbindung mit einem Verl ngerungskabel SUB D Buchse 9 pol L tanschluss 917 623 667 530 MFC MFM 95 burkert ANHANG B ZUBEH R FLUIDISCH E 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Generell bieten wir Einschraubverschraubungen nur mit Zoll Einschraubgewinde an entsprechend werden Flanschplatten mit Zoll Einschraubgewinde verwendet Die Rohranschlussseite kann sowohl in metrischen als auch in Zoll Gr en be stellt werden Auf Wunsch liefern wir auch Messing Ausf hrungen Best Nr Best Nr nach DIN ISO 228 1 Dichtring G 1 2 3 4 VA 901558 901581 Flanschausf hrung auf Anfrage ACHTUNG Zu jeder Verschraubung muss ein Dichtring mitbestellt werden Weiteres Zubeh r f r den fluidischen Anschluss des MFC MFM finden Sie unter Typ 1013 im B rkert Zubeh r Katalog Ersatzteile Bus Joe Edelstahlgitter f r 8626 8006 8716 8706 Standardgeh use 646808 Edelstahlgitter f r 8626 8006 8716 8706 651694 Geh use f r gro e Durchfl sse Edelstahlgitter f r 8710 8700 8711 8701 8712 8702 654733 8713 8703 Edelstahlgitter f r 8710 8700 8711 8712 8713 667520 Maschenweite 250 um Maschenweite 20 um 96 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 v burkert ANHANG C MassFlowCommunicator
32. Schadens durch schlagartige elektrostati GEF HRDETE Sche Entladung zu minimieren bzw zu vermeiden Achten Sie BAUELEMENTE ebenso darauf dass Sie elektronische Bauelemente nicht bei BAUGRUPPEN anliegender Versorgungsspannung ber hren Lieferumfang berzeugen Sie sich unmittelbar nach Erhalt der Lieferung ob der Inhalt mit dem angegebenen Lieferumfang bereinstimmt Zu diesem geh ren e MFC bzw MFM Typ 8626 8006 oder 87xx eine Betriebsanleitung ggf auf Datentr ger bei Busger ten Erg nzungen zur Bedienungsanleitung ggf auf Datentr ger das Protokoll der Endpr fung Kalibrierung Die zu den elektrischen Schnittstellen des MFC passenden Stecker erhalten Sie als Zubeh r Bei Unstimmigkeiten wenden Sie sich bitte umgehend an unser Kundencenter B rkert Steuer und Regelungstechnik Kundencenter Chr B rkert Str 13 17 D 76453 Ingelfingen Tel 49 7940 10111 Fax 49 7940 10448 E mail info de buerkert com oder an Ihr B rkert Vertriebs Center Garantiebestimmungen B rkert gew hrt auf die ordnungsgem e Funktion der MFC bzw MEM eine Garantie von einem Jahr unter der Voraussetzung dass das Ger t bestimmungs gem und unter Beachtung der spezifizierten Einsatzbedingungen verwendet wird Bei nicht einwandfreier Funktion wird das betreffende Ger t innerhalb der Garantiefrist kostenlos repariert bzw ausgetauscht ACHTUNG Die Gew hrleistung erstreckt sich nur auf den
33. Ventils in I min Q Nenndurchfluss des MFC in l min der bei 100 Sollwert nenn ausgeregelt wird Ap Druckabfall ber die gesamte Anlage Ap der Anteil davon der ber den MFC bei voll ge ffnetem Ventil abf llt MFC MFM 63 ES HINWEIS MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 20 64 MFC MFM burkert Die Anlage darf von ihrem Str mungsbeiwert k her nicht so knapp ausgelegt sein dass beim gew nschten Nenndurchfluss schon der weitaus gr te Teil des verf gbaren Druckabfalles dort verbraucht und dann die Ventilnennweite des MFC so gro gew hlt wird K gt gt Kya dass ber den MFC nur noch der geringe verblei bende Rest des Druckes abf llt Dann wird die Ventilautorit t zu klein und nur ein geringer Teil des Arbeitsbereiches des Ventils genutzt Das kann die Aufl sung und die Regelg te im allgemeinen stark beeintr chtigen Bei zu knapper Auslegung der Anlage hilft nicht die Erh hung der Nennweite des MFC Ventils sondern vielmehr entweder eine Erh hung des Vordrucks bzw eine Vergr erung des k Wertes z B durch gr ere Rohrdurchmesser mit der die Ventilautorit t im zul s sigen Bereich gehalten wird Wenn das Ger t innerhalb des spezifizierten Druckbereichs betrieben wird ber nimmt das Proportionalventil gleichzeitig mit der Regelfunktion auch die Dicht schlie funktion MAN 1000011173 ML Version L Status RL release
34. X X X X 8716 X X X X X X X X 8706 X X X X X X X X 8713 X X x 8703 X X X 8712 X X X 8702 X X X 8711 X x X 87011 X X X 8710 X X X 8700 X X X MFC MFM 77 MAN 1000011173 L Status RL released freigegeben printed Ss burkert Montage von Klemmringverschraubungen ACHTUNG Achten Sie bei geringen Durchfl ssen und hohen Dr cken besonders auf die Dichtheit des Systems um Fehldosierungen bzw die Leckage von Gasen zu vermeiden Um das System einwandfrei abzudichten gehen Sie bei der Montage wie folgt vor gt Rohrverbindungen spannungsfrei montieren gegebenenfalls Kompensato ren verwenden Rohr mit passendem Durchmesser und glatter Oberfl che verwenden Rohr gerade abs gen und entgraten berwurf St tzring falls vorhanden und Klemmring in der genannten Reihenfolge auf das Rohr schieben Rohr bis zum Anschlag in die Verschraubung einf hren gt berwurf handfest anziehen Mit Schl ssel an der Einschraubseite gegenhalten nicht das Ger te geh use belasten und 1 14 Umdrehungen anziehen Elektrische Anschl sse ACHTUNG Verbinden Sie zur Gew hrleistung der elektromagnetischen Ver tr glichkeit EMV das Geh use ber ein m glichst kurzes Kabel Querschnitt so groB wie m glich mit der Funktionserde FE Die GND oder Masse Leitungen aller Signale des MFC MFM m ssen in jedem Fall einzeln an den M
35. a standard state here p 1013 mbar and T2273 K we are actually dealing with mass flow rates specific to gas types These are obtained e g in kg h by multiplication of the standard volumetric flow rate by the density of the operating gas in the standard state p MFC MFM 9 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Inline sensor Types 8626 8006 8716 8706 This sensor works as a hot film anemometer in the so called CTA Constant Temperature Anemometer mode Two resistors with exactly defined temperature coefficients in the medium flow form a resistance bridge with three resistors situated outside the flow The first resistor in the medium flow R measures the fluid temperature the second lower resistance resistor R is always heated to maintain its temperature a certain amount above that of the medium The heating current required is a measure of the heat dissipation by the flowing gas and represents the primary measurement value Suitable flow conditioning inside the MFC or MFM and calibration with high quality flow standards guarantee that the quantity of gas flowing per unit time can be derived with high precision from the primary signal sensor with electronics PID gas flow gt prefilter flow conditioning Fig Functional diagramm of the Inline se
36. bus instructions de service compl mentaires le cas ch ant sur support des donn es le proc s verbal de contr le final talonnage Les connecteurs correspondant aux interfaces lectriques du MFC sont livr s comme accessoires En cas de non concordance s adresser imm diatement notre service apr s vente B rkert Steuer und Regelungstechnik Centre clients Chr B rkert Str 13 17 D 76453 Ingelfingen Tel 07940 10111 Fax 07940 10448 E mail info de buerkert com ou votre succursale B rkert Dispositions de garantie B rkert garantit le bon fonctionnement du MFC ou du MFM pour une p riode d un an condition que l appareil soit utilis conform ment aux prescriptions et compte tenu des conditions de service sp cifi es En cas de fonctionnement d fectueux pendant la p riode de garantie l appareil concern sera remplac ou r par gratuitement ATTENTION Les prestations de garantie ne s tendent qu au MFC ou MFM et ses composants pas aux dommages cons cutifs des d faillances ou d fauts de fonctionnement de l appareil 102 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert DESCRIPTION DU SYSTEME Description des types Ces instructions de service contiennent des informations relatives aux MassFlowController MFC et MassFlowMeter MFM faisant partie du programme de produits B rkert
37. d bit est adopt e comme valeur de consigne configurable avec le logiciel MassFlowCommunicator Apr s le cycle de consignes l appareil retrouve le mode op rationnel pr c dent Mode de commande Selon la configuration de l appareil cette fonction peut tre activ e et d sactiv e via une entr e binaire ou le bus de terrain Dans ce mode de fonctionnement la valeur de consigne est utilis e comme valeur de r glage pour le facteur d utilisation de la vanne p ex valeur de consigne 10 facteur d utilisation de la vanne 10 96 138 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Modes op rationnels MFC Mode op rationnel peut tre suspendu ou arr t par Repr sentation sur affichage Obtention du mode via entr e binaire si LED par configur d faut Mode de Routine Autotune EE EES Fonction de s curit Profil de consigne Mode de commande Mode de Routine Autotune LED LIMIT y tant qu il est actif commatide Fonction de s curit clignotante Profil de consigne Profil de consigne Routine Autotune LED LIMIT y D clenchement sur entr e us Clignotante binaire active 2 0 5 s Fonction de s curit i lorsque la LED est allum e R initialisation de fixement la r initialisation a l appareil toujours lieu Routine Autotune Fonction de s curit LED POWER D clenchement sur entr
38. de la gamme de mesure soient tributaires de la dimension volume temps du fait de la r f rence un tat normalis ici p 1013 mbar et T2273 K nous sommes ici en pr sence de d bits massiques sp cifiques un type de gaz Ceux ci peuvent tre exprim s par ex en kg h en multipliant le d bit volumique normalis par la densit du gaz de service l tat normalis py MFC MFM 105 IS fran a o Es G Qs S MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Capteur Inline types 8626 8006 8716 8706 Ce capteur fonctionne selon le principe de l an mom tre film chaud dans le mode dit CTA Constant Temperature Anemometer Avec ce syst me deux r sistances avec coefficients de temp rature d finis avec pr cision sont directement expos es au flux gazeux et trois autres r sistances hors de ce flux sont branch es en forme de pont La premiere r sistance dans le flux de mesure R mesure la temp rature du fluide la seconde faible r sistance R est chauff e juste suffisamment de fa on maintenir une surtemp rature fixe et pr d finie par rapport au fluide Le courant de chauffage n cessaire cet effet est une mesure de la chaleur vacu e par le flux gazeux et repr sente la grandeur de mesure primaire Un conditionnement appropri du flux au sein du MFC ou MEM et un talonnage avec des talons de d bit de haute fid
39. der Regel eine zu geringe Druckdifferenz ber dem MFC z B infolge einer nicht ausreichenden Druckversorgung oder stark verschmutzter Filter Dies kann dazu f hren dass der vorgegebene Sollwert nicht erreicht werden kann und eine bleibende positive Regelabweichung w x entsteht Um daraufhin eine externe Reaktion zu erm glichen wird dar ber hinaus ein Relais Ausgang geschalten Autotune Routine Voraussetzung f r die automatische Anpassung des Reglers an die Verh ltnisse der Anlage ist dass die typischen Druckverh ltnisse herrschen gt L sen Sie die Autotune Routine durch Bet tigung des Bin reingangs1 aus Die Autotune Routine l uft automatisch ab W hrend der Abarbeitung der Auto tune Routine blinkt die gr ne Power LED ACHTUNG Beachten Sie w hrend des Ablaufs der Autotune Routine folgende Punkte Es treten verschiedene Durchfluss nderungen auf Die Stromversorgung des MFC darf nicht abgeschaltet werden Der Versorgungsdruck sollte konstant gehalten werden W hrend des Ablaufs der Autotune Routine regelt der MFC nicht Das Regelventil wird nach einem intern vorgegebenen Schema angesteuert Das f hrt zu Durch fluss nderungen Hierbei werden einige Regelparameter an die in der Anlage vorherrschenden Bedingungen angepasst Diese Parameter werden am Ende der Autotune Routine in den nichtfl chtigen Speicher des Ger tes bernommen Nach beendeter Autotune Routine kehrt der
40. die Rampen funktion mit der PC Software MassFlowCommunicator MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert ANHANG A ZUBEH R ELEKTRISCH Typen Artikel Best Nr Rundstecker 8pol L tanschluss 918299 Rundstecker 8pol mit 5 m Kabel 787733 einseitig konfektioniert Rundstecker 8pol mit 10 m Kabel einseitig 787734 konfektioniert SUB HD Stecker 15pol mit 5 m Kabel 787735 einseitig konfektioniert 8626 8006 HD i SUB HD Stecker 15pol mit 10 m Kabel 787736 an je einseitig konfektioniert TER RS232 Adapter zum Anschluss eines PC in Verbindung mit einem Verl ngerungskabel 654757 Best Nr 917039 Anschlussadapter DB9 m DB15HD m zum Ersatz eines Ger tes Typ 8626 8006 vor Baujahr 2003 durch ein neueres gleichen Typs 787923 ab Baujahr 2003 kein IP65 Schutz SUB D Buchse 15pol mit L tkelchanschluss 918274 SUB D Haube f r 15pol SUB D Buchse mit Schraubverriegelung ales SUB D Buchse 15pol mit 5 m Kabel 8710 8700 einseitig konfektioniert Be 8711 8701 syB D Buchse 15pol mit 10 m Kabel ACE CH 787738 einseitig konfektioniert RS232 Adapter zum Anschluss eines PC in Verbindung mit einem Verl ngerungskabel 654748 Best Nr 917039 Verl ngerungskabel f r RS232 9pol Buchse Stecker 2 m rn alle Typen Infos unter Kommunikations SW MassFlowCommunicator www buerkert com RS 232 Adapter zum Anschluss eines PC in
41. e amont 0 02 50 L min fluide de r f rence N gaz neutres non contamin s autres sur demande 10 bar selon le diam tre nominal de la vanne MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Fluide d talonnage Temp rature du fluide Temp rature ambiante Pr cision de mesure apr s mise temp rature de 1 min Lin arit Reproductibilit Rapport d chelle Temps de r glage T Tension de service Section de branchement Puissance absorb e Isolation galvanique Sp cification de valeur de consigne s lectionnable R solution Imp dance d entr e entr e tension Imp dance d entr e entr e courant 2 entr es binaires Signal de sortie selectionnable Resolution Courant max sortie tension charge max sortie courant Gaz de service ou air 10 70 C 10 50 C 0 8 p m 0 3 p e 0 1 p e 0 1 p e 1 50 plage de mesure plus importante sur demande 300 ms 24 V DC 10 ondulation r siduelle 5 min 0 25 mm 0 5 mm pr f rable max 13 W en fonction de la vanne Non 0 10V 0 5V 0 20 mA ou4 20 mA 2 5 mV resp 5 uA 20 kOhm 300 Ohm low actives connecter GND pour l activation 0 10V 0 5V 0 20 mA ou 4 20 mA 10 mV resp 20 uA 10 mA 600 Ohm 1 sorties relais Branchements Indice de protection Mat riau bo tier couvercle Position
42. e en moins de 100 ms De surcroit le capteur poss de une sensibilit lev e jusqu aux d bits les plus faibles et pr sente des possibilit s suppl mentaires de diagnostic et de correction via le signal d un autre capteur de temp rature sur la puce 108 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Electronique de r gulation Le traitement des valeurs de consigne et des d bits instantan s ainsi que le pilotage de l organe de r glage sont ex cut s par une lectronique microprocesseurs Le signal du capteur est filtr par l lectronique du r gulateur puis est converti en une valeur refl tant le d bit instantan l aide de la courbe d talonage m moris e dans l appareil Afin de pouvoir galement assurer la r gulation de processus critiques ne tol rant aucune variation rapide de d bit il est possible d activer une fonction de rampe par l interm diaire du logiciel MassFlowCommunicator voir l annexe C Les param tres pour une valeur de consigne ascendante et descendante sont alors r glables s par ment Se reporter la documentation du logiciel pour de plus amples informations concernant la fonction de rampe Ecart de r glage Ecart de r glage Valeur de consigne Variable instantan e xd w x L cart de r glage est trait selon un alogrithme de r gulation PI Les param tres de r glage sont r gl s en usine en fonction de
43. est commut e fran ais Routine Autotune La condition assurer pour une adaptation automatique du r gulateur l installation est le respect de rapports de pression normaux gt D clencher la routine Autotune en activant l entr e binaire 1 La routine Autotune se d roule automatiquement Durant son ex cution la LED verte POWER clignote TERT H ATTENTION Durant l ex cution de la routine Autotune observer les points suivants Diff rentes fluctuations de pression se produisent L alimentation lectrique du MFC ne doit pas tre coup e La pression d alimentation doit tre maintenue constante Durant l ex cution de la routine Autotune le MFC n assure pas de r gulation La vanne de r gulation est pilot e en fonction du sch ma interne ce qui entra ne des fluctuations de d bit Durant ce processus plusieurs param tres de r gulation sont adapt s aux conditions r gnant dans l installation Lorsque la routine Autotune est termin e ces param tres sont ensuite enregistr s dans la m moire non volatile de l appareil Apr s l ex cution de la routine Autotune le MFC retourne dans son mode op rationnel initial MFC MFM 137 o Es On S burkert Autotune avec la pression de service sp cifi e dans le rapport E3 REMARQUE Durant le contr le final en usine chaque MFC a subi la routine MAN 1000011173 ML Version L Status RL released frei
44. fonctionnement optimal dans le circuit de r gulation ferm du MFC Le diam tre nominal des vannes est d fini partir du d bit nominal exig Qen des rapports de pression de l application et de la densit du gaz de service Sur la base de ces donn es B rkert s lectionne une vanne proportionnelle dont le coefficient de d bit K en fonction des quations d coulement pour les rapports de pression sp cifi s permet d obtenir un d bit maximum atteignant au minimum le d bit nominal exig a pour un coulement sous critique p gt p 2 Ap p _ E EE ae 1 Qu 514 p T kys gt Deen b pour un coulement supercritique p p 2 ou 1 Da 257 p T pi kys gt Qe 2 Les pressions p et p dans les quations Gl 1 et 2 doivent tre d termin es aux points de mesure situ s directement avant et apr s le MFC I arrive souvent que l on ne connaisse pas les pressions avant et apr s le MFC mais uniquement les pressions d entr e et de sortie p et p de l installation compl te Une partie de la perte de charge p p r sulte d autres r sistances l coulement robinets d arr t conduites filtres etc dont le coefficient de d bit peut tre r uni dans un facteur k 110 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert A partir du d bit nominal d sir Q nn et des pressions p et p on d terminera ensuit
45. le signal PWM est fix O de sorte que la vanne se ferme compl tement 1 Pourles types 8711 8712 87183 cart de r glage plus important sur demande MFC MFM 109 fran ais o Es On S MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Selon l ex cution de l appareil la valeur de consigne peut tre appliqu e soit via l entr e normalis e comme signal analogique soit comme signal num rique via l interface de bus de terrain Ind pendamment de l tat de la r gulation la variable de d bit actuelle mesur e par le capteur est d livr e comme signal analogique via la sortie normalis e ou comme signal num rique via l interface de bus de terrain Afin d obtenir un signal de sortie de variable instantan e plus ou moins dynamique il est possible de varier le degr de filtrage du signal de sortie au moyen du logiciel MassFlowCommunicator Vanne proportionnelle Pour toute la serie MFC on utilise comme organe de r glage une vanne proportionnelle induit mobile provenant du programme de vannes de B rkert Des mesures constructives en particulier sur les vannes des MFC pour faibles d bits type 8713 8712 8711 8710 assurent un guidage sans frottement de l induit mobile Alli au pilotage PWM celles ci assurent une caract ristique largement lin aire ainsi qu une r ponse de haute sensibilit Ces deux facteurs sont essentiels pour un
46. main flow through the actual sensor tube On this narrow tube are wound two heater resistors which are connected in measuring bridge In the zero flow state the bridge is balanced but with finite flow heat is transported in the flow direction and the bridge becomes unbalanced sensor tube prefilter Laminar FlowElement Fig Schematic diagram of bypass measurement The dynamics of the measurement are determined by the tube walls which act as a thermal barrier They are hence significantly poorer on principle than with sensors having resistor placed directly in the medium flow Through use of suitable software in the controller correction times are obtained that are adequate for a large part of the applications in the range of a few seconds With contaminated media we recommend installing filter elements upstream This avoids changes in the division ratio between main flow and sensor tube as well as changes in the head transmission chaused by deposits on the walls With these sensors even aggressive gases can be controlled since all essential parts in contact with the medium are fabricated in stainless steel With this sensor prinziple it is also possible to convert between different gases A choice of some gases are listed in the table below others on request Q gas f x Q N Gas Factor f By using the gas factors it is possible N ho that the accuracy is not within the Pu MoO datasheet specification For applica
47. malfunction of the device 6 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert SYSTEM DESCRIPTION Type systematics These Operating Instructions contain information for the following Mass Flow Controllers MFC and Mass Flow Meters MFM from the B rkert product range Type no 8626 8006 8716 8706 8713 8703 8712 8702 8711 8701 8710 8700 Type MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MFM MFC MEM MFC MFM End value range Q om l min referred to air n 25 1500 25 1500 25 500 25 1500 0 02 50 0 02 50 0 02 50 0 02 50 0 02 50 0 02 50 0 005 1 0 005 1 Configuration Type 8626 8006 2 CMOSens is a registered trademark of Sensirion AG Switzerland Sensor Inline Inline Inline Inline Bypass CMOSens Bypass CMOSens Bypass CMOSens Bypass CMOSens Bypass CMOSens Bypass CMOSens Bypass Capillary Bypass Capillary Remarks for devices from Jan 2003 for devices from Jan 2003 Please observe in this connection the note on the device types 8626 8006 in the section Connection MFC MFM 7 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert General function The MFCs of Types 8626 8716 8713 8712 8711 8710 are compact devices with which the mass flow of gases is co
48. of at least the required nominal flow rate under the specified pressure conditions according to flow equations a for subcritical flow p gt p 2 Qna 514 BP m Q 1 max p Ta kys gt nom b for supercritical flow p lt p 2 or 1 Onax 257 eT PI ke gt Orom 2 Where the pressures p and p in equations Gl 1 and 2 refer to measurement points directly before and after the MFC The pressures before and after the MFC are often unknown only the inlet and outlet pressures p and p for the overall system A part of the pressure drop p p occurs over other flow resistances isolation valves nozzles piping filters etc whose flow coefficient may be collected together in a variable k 14 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert In this case in analogy to equations 1 and 2 one first determines from the desired nominal flow rate Q m and the pressures D and p the minimum flow coefficient of the overall system Kys Via the relationship 2 2 2 DREMS Kyges kys ky which describes series connection of the resistances of the MFC k and the system k one can determine with known k the required k value of the MFC or the nominal diameter of the servo element This will be greater than if the other flow resistances were not present The so called valve authority _ Ap vo _ ku Ap ID ky
49. sont appliqu s en technologie CMOSens une r sistance de chauffage et sym triquement en amont et en aval de celle ci deux capteurs de temp rature Si la r sistance de chauffage est aliment e avec une tension constante la diff rence de tension des capteurs de temp rature est une mesure du d bit massique du gaz au contact de la puce dans le canal d coulement Flux gazeux El ment capteur Chauffage Capteurs T Figure Sch ma de principe du capteur en bypass de technologie CMOSens La section du canal d coulement est si petite que des d bits inf rieurs 1 cm min produisent d ja un signal de mesure suffisant La limite sup rieure de la gamme de mesure est atteinte lorsque l coulement laminaire initial devient turbu lent dans le canal Il est possible d obtenir des gammes de d bit sup rieures en montant un lement en d rivation dans un canal parall le pr sentant la m me caract ristique d bit pression que le canal du capteur Avec un rapport de division constant la mesure du d bit partiel apr s talonnage permet galement de d duire le d bit total La faible inertie thermique des capteurs de temp rature et leur contact direct avec l coulement jusqu une couche de protection ont pour cons quence que le signal du capteur r agit tr s rapidement aux variations instantan es du d bit Il en r sulte que le MFC est capable de corriger des variations de consigne ou de la variable instantan
50. x X lt X lt x lt AJAJAJA Iolo AJAJIA A ojojoj ovoj ov AJAJAJA e ceoj ojo j2a 2aj oj c o coj rj rnmj rnmj rnmj rj nmjr mi oj co o m rm m m 2jl2j m ro m r 2 2 2 2 2 2 2 2 DIN IR HINWEIS Optional erhalten Sie de PC Software MassFlowCommunicator Mit dieser ist das Normsignal f r den Sollwerteingang und den Istwertausgang zwischen 0 5 V 0 10 V 0 20 mA und 4 20 mA umschaltbar siehe Anhang C Sollwerteingang Der Sollwerteingang dient zur analogen Sollwertvorgabe ber ein Normsignal f r den MFC Istwertausgang Der Istwertausgang gibt den aktuellen Durchflusswert als Normsignal aus MFC MFM 85 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Busanschaltung Die Typen 8626 8006 8716 8706 8712 8702 8711 8701 8710 und 8700 sind als Bus Versionen erh ltlich Soll und Istwert werden hier in digitaler Form ber den Bus empfangen bzw r ckgemeldet Es kann zwischen einer PROFIBUS DP und einer DeviceNet Anschaltung gew hlt werden siehe auch Erg nzung zur Bedienungsanleitung f r Feldbus Ger te oder serielle Kommunikation RS 232 RS 485 Leuchtdioden zur Anzeige des Betriebszustandes Default Belegung POWER LED leuchtet Das Ger t ist mit Betriebsspannung versorgt gr n blinkt Autotune Funktion aktiv COMMUNICATION LED leuchtet Das Ger t kommuniziert ber Bus oder RS gelb Schnittstelle LIMI
51. 06 X 4 3 2 8626 X x 3 2 8006 Bus X 3 2 8626 Bus X 4 3 2 8700 X 2 1 8710 X X 2 1 8700 Bus X 2 1 8710 Bus X 2 1 8701 X 3 2 1 8711 X X 2 1 8701 Bus X 2 1 8711 Bus X 2 1 8702 X 3 2 8712 X X 3 2 8702 Bus X 3 2 8712 Bus X 3 2 8703 X 3 1 1 8713 X 1 1 8706 X 3 2 8716 X X 3 2 8706 Bus S X 3 2 8716 Bus X 3 2 NOTE As an option you can obtain the PC software Mass Flow Communicator with which you can switch over the standard signal for the setpoint input and the process value output between 0 5 V 0 10 V 0O 20 mA and 4 20 mA see Appendix C Setpoint input The setpoint input servec to enter the analog setpoint value via a standard signal for the MFC Process value output The process value output exits the current flow rate as a standard signal MFC MFM 37 burkert Bus connection Types 8626 8006 8716 8706 8712 8702 8711 8701 8710 and 8700 are available as bus versions Setpoint and process value are received or repeated in digital form via the bus One can choose between a PROFIBUS DP and a DeviceNet connection see also Supplement to Operating Instructions for fieldbus devices or serial communication RS 232 RS 485 LEDs to indicate the operating mode deault configuration POWER LED The device is supplied with operating voltage flashes Autotune function activated green COMMUNICATION LED lights The device commu
52. 10 70 C 10 45 C 1 5 v M 0 3 v E Linearit t 0 25 v E Reproduzierbarkeit 0 1 v E Messspanne 1 50 Ausregelzeit T lt 500 ms Betriebsspannung 24 V DC 10 Restwelligkeit lt 5 Anschlussquerschnitt Leistungsaufnahme Galvanische Trennung Sollwertvorgabe w hlbar Aufl sung Eingangsimpedanz Spannungseingang Eingangsimpedanz Stromeingang 3 Bin reing nge min 0 5 mm 20 W max 30 W Typ 8716 abh vom Ventil 22 5 W max 32 5 W Typ 8716 Bus abh vom Ventil 10 W Typ 8706 12 5 W Typ 8706 Bus ja 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 2 5 mV bzw 5 pA gt 20 kOhm lt 300 Ohm Low aktiv zur Aktivierung mit GND verbinden Istwertausgabe w hlbar 0 10 V 0 5 V O 20 mA 4 20 mA Aufl sung 10 mV bzw 20 pA max Strom Spannungsausgang 10 mA max B rde Stromausgang 600 Ohm 2 Relaisausg nge Potentialfreie Wechsler 60 V 1 A 60 VA Anschl sse 8pol Buchse 15pol SUB HD Buchse 9pol SUB D Buchse nur bei Busausf hrung Schutzart IP 65 mit den vorgeschriebenen Steckern Werkstoff Geh use Werkstoff Deckel Aluminium eloxiert oder Edelstahl 1 4305 PBT Einbaulage horizontal oder vertikal MFC MFM 71 burkert MONTAGE INSTALLATION UND INBETRIEBNAHME Ma zeichnungen 945
53. 11173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert MONTAGE INSTALLATION UND INBETRIEBNAHME eren 72 EIER E 72 Allgemeine Hinweise zu Installation und Betrieb AA 76 Betrieb mit zus tzlichem Absperrventil A 77 Mechanische und fluidische Installation suu40nennnennnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnn 77 ele EU 77 Montage von Klemmringverschraubungen eee 78 Elektrische Anschl sse 4 rennen rn nior nnn 78 Anschlussbelegung Typ 8626 8006 79 Anschlussbelegung Typ 8710 8700 EE 80 Anschlussbelegung Typ 8711 8701 81 Anschlussbelegung Typ 8712 8702 82 Anschlussbelegung Typ 8713 8703 83 Anschlussbelegung Typ 8716 8706 84 ET EE 85 Sollwerteingang su aaa 85 ISTWO AUS GAIN O DE 85 Busanschalturg see 86 Leuchtdioden zur Anzeige des Betriebszustandes Default Belegung 86 Bin reing nge Default Belegung Bin rausg nge Default Belegung Anwendungsspezifische Belegung der Ein und Ausg nge Betriebszust nde MFC Standard Regelbetrieb Autotune ROUNE reunien naaa etaed restes Sicherhieilsf lktofi eite esteem ai in Sollwert Profil Steuerbetrieb Betriebszust nde MFC ettet ttes nitet tttnssitcis 91 WARTUNG idet EE 92 ST RUNG FEHLERSUCHE nue 93 ANHANG A ZUBEH R ELEKTRISCH ttes 95 ANHANG B ZUBEH R FLUIDISCH nn 96 ANHANG C MASSFLOWCOMMUNICATOR PC SOFTWARE en 97 52 MFC MFM
54. 2 pour raccordement d un PC avec un 654757 c ble rallonge n de commande 917039 Adaptateur de raccordement DB9 m DB15HD m pour remplacement d un appareil type 8626 8006 avant ann e 787923 2003 par un type plus r cent d s ann e 2003 pas de protection IP 65 Prise SUB D 15 p le connexion soud e 918274 Couvercle SUB D pour prise SUB D 15 p le avec 918408 verrouillage vis Prise SUB D 15 p le avec 5 m de c ble 787737 confectionn d un c t Prise SUB D 15 p le avec 10 m de c ble 787738 confectionn d un c t Adaptateur RS232 pour raccordement d un PC avec un 654748 c ble rallonge n de commande 917039 C ble rallonge 2 m pour fiche prise RS232 9 p le 917039 12 SEN infos sous Logiciel de communication MassFlowCommunicator www buerkert com Adaptateur RS232 pour le raccordement d un PC H 667 530 associer avec un c ble prolongateur Connecteur SUB D 9 p les connecteur souder 917 623 MFC MFM 143 francais 7 G Qs S burkert ANNEXE B ACCESSOIRES FLUIDIQUES pouces laiton 901538 901575 901540 901575 901542 901576 901544 901576 901546 901577 901548 901577 901549 901578 901551 901579 901553 901579 901555 901580 901556 901580 901557 901581 901558 901581 901559 901582 Brides sur demande Mati re N de N commande commande bague d tanch it En principe nous ne livrons de raccords visser qu avec des filetages en pouces en
55. 20 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Type 8712 8702 MASS FLOW CMOSens Full scale range Q kal 0 02 to 50 min N equivalent Operating media max operating pressure Calibration medium Medium temperature neutral non contaminated gases others on request 10 bar depending on nom valve diameter operating gas or air 10 to 70 C Ambient temperature Measurement accuracy after 1 min warm up Linearity Reproducibility Control range Span Setting time T Operating voltage 10 to 50 C 0 8 of Rdg 0 3 of FS 0 1 of full scale x 0 1 of full scale 1 50 higher span on request 300 ms 24 V DC 10 6 residual ripple 5 Connection cross section Power consumption Electrical isolation Setpoint setting to be chosen Resolution Input impedance voltage input Input impedance current input 3 binary inputs Process value output to be chosen Resolution max current voltage outp max burden curr outp min 0 25 mm better 0 5 mm max 6 5 W Type 8712 max 9 W Type 8712 bus 2 5 W Type 8702 5 W Type 8702 bus yes 0 10 V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 2 5 mV or 5 pA 20 kOhm 300 Ohm low activated connect to GND to activate 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 10 mV ou 20 pA 10 mA 600 Ohm 2 relay outputs Connections Typ
56. 3 W abh ngig vom Ventil Galvanische Trennung nein Sollwertvorgabe 0 10V w hlbar 0 5V 0 20 mA oder 4 20 mA Aufl sung 2 5 mV bzw 5 uA Eingangsimpedanz 20 kOhm Spannungseingang Eingangsimpedanz 300 Ohm Stromeingang Low aktiv zur Aktivierung mit GND verbinden Istwertausgabe 0 10V w hlbar 0 5V 0 20 mA oder 4 20 mA Aufl sung 10 mV bzw 20 uA max Strom 10 mA Spannungsausgang max B rde Stromausgang 600 Ohm Potentialfreier Wechsler 25 V 1 A 25 VA Anschl sse 15pol SUB D Stecker 5 pol M12 Stecker nur bei DeviceNet 5 pol M12 Buchse B codiert nur bei Profibus MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 DP IP 50 Werkstoff Geh use Aluminium oder Edelstahl Deckel Stahlblech verchromt oder PBT Einbaulage horizontal oder vertikal 68 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Typ 8712 8702 MASS FLOW CMOSens Endwertebereich Q nenn Betriebsmedien max Betriebsdruck Kalibriermedium Mediumstemperatur Umgebungstemperatur Messgenauigkeit nach 1 min Aufw rmzeit Linearit t Reproduzierbarkeit Messspanne Ausregelzeit T Betriebsspannung 0 02 50 I min Bezugsmedium N neutrale nicht kontaminierte Gase andere auf Anfrage 10 bar abh ngig von der Ventilnennweite Betriebsgas oder Luft 10 70 C 10 50 C
57. 5 mme Schalten Sie einen geeigneten Druckregler vor W hlen Sie die passende Spannungsquelle F hren Sie eine Autotune zur Anpassung an die Betriebs bedingungen durch Passen Sie die Regeldynamik mit PC Software MassFlowCommunicator an Es wird ein anderes Medium eingesetzt als durch die Kalibrierung vorgesehen Restwelligkeit der Ver sorgungsspannung zu hoch Betriebsdruck oberhalb des dichtgehaltenen Drucks des Proportionalventils Betriebsdruck deutlich h her als der Kalibrierdruck gt erh hte Eigenkonvek tion nur bei 8716 u 8626 falsche Einbaulage gt erh hte Eigenkonvek tion nur bei 8716 u 8626 Es wird ein anderes Medium eingesetzt als durch die Kalibrierung vorgesehen Bei Verwendung eines zu s tzlichen Absperrventils wurde die Ansteuer reihenfolge nicht beachtet Durch zu hohe Konzentration des Mediums wird der Flamme Sauerstoff entzogen Senden Sie das Ger t zur Neukalibrierung f r das Betriebsmedium an den Hersteller W hlen Sie die passende Spannungsquelle Senken Sie den Betriebsdruck F hren Sie eine Autotune zur Anpassung an die Betriebs bedingungen durch Bauen Sie den MFC in der kalibrierten Einbaulage ein oder f hren Sie eine Autotune zur Anpassung an die Betriebsbedingungen durch Senden Sie das Ger t zur Neukalibrierung f r das Betriebsmedium an den Hersteller siehe Kapitel Betrieb mit zus tlichem Absperrventil Aktivieren Sie
58. FC herangef hrt werden Werden alle GND Signale direkt am MFC gebr ckt und nur eine gemeinsame Leitung zum Schaltschrank gef hrt kann es zu Signalverschiebungen sowie St rungen Impulse Schwingungen usw der analogen Signale kommen Die MFC MFM werden mit einer 24V Gleichspannungsversorgung betrieben W hlen Sie den Anschlussquerschnitt abh ngig vom verwendeten Ventil und m glichst gro siehe Technische Daten Geeignete Anschlusskabel finden Sie im Anhang A ACHTUNG Der 8 polige Rundstecker Typen 8626 8006 8712 8702 8716 8706 darf nur handfest angezogen werden gt Schlie en Sie die Funktionserde FE an der gekennzeichneten Schraube an z B mit Hilfe einer Ringzunge 78 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Anschlussbelegung Typ 8626 8006 9pol Sub D Buchse nur bei Busausf hrung PROFIBUS DP DeviceNet 1 Schirm FE Funktionserde 2 N C not connected CAN_L Datenleitung 3 RxD TxD P B Leitung GND 4 RTS Steuersignal f r Repeater N C 5 GND Daten bertragungspotential N C 5 vo P5V iind 7 N C CAN H Datenleitung 8 RxD TxD N A Leitung N C 9 N C N C 15pol Sub HD Buchse analoge Ansteuerung Busausf hrung 1 Sollwerteingang N C 2 Sollwerteingang GND N C 3 Istwertausgang N C 4 Bin reingang 2 5 12V Ausgang n
59. ISE CAUTIONON Observe the requirements of EN 100 015 1 in HANDLING order to minimize the possibility of or avoid damage ELECTROSTATICALLY from instantaneous electrostatic discharge Also SENSITIVE COMPONENTS take care not to touch components that are under MODULES supply voltage Scope of delivery Immediately after receipt of the delivery make sure the contents agree with the stated scope of delivery The latter comprises e MFC or MFM Type 8626 8006 or 87xx Operating Instructions possibly on data carrier e in the case of bus devices supplements to the Operating Instructions possibly on data carrier e Report of final testing calibration The plug connectors matching the electrical interfaces of the MFC may be obtained as accessories In case of irregularities please contact at once our Customer Center B rkert Fluid Control Systems Customer Center Chr B rkert Str 13 17 D 76453 Ingelfingen Tel 49 7940 10111 Fax 49 7940 10448 E mail info de buerkert com or your B rkert Distributor Warranty conditions B rkert grants a warranty on the proper functioning of the MFC or MFM for one year provided that the device is used as intended and that the specified conditions fo use are complied with If the device does not function perfectly it will be repaired or exchanged within the warranty term free of charge components not however to consequential damage of any kind caused by failure or
60. MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Operating Instructions Bedienungsanleitung Instructions de Service Types 8626 8710 8711 8712 8713 8716 Mass Flow Controller MFC Types 8006 8700 8701 8702 8703 8706 Mass Flow Meter MFM burkert Fluid Control Systems MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 We reserve the right to make technical changes without notice Technische Anderungen vorbehalten Sous res rve de modification techniques 2002 B rkert Werke GmbH amp Co KG Operating Instructions 00702 10_EU ml_00804577 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert MassFlowController MFC Types 8626 8710 8711 8712 8713 8716 MassFlowMeter MFM Types 8006 8700 8701 8702 8703 8706 GENERAL NOTES teste 5 SVEN EE 5 ee 5 Protection from damage by electrostatic charging s s ss irsissrirsrrssrrrserrsrrrenrsnrrenrrenrsee 6 Scope of delen seet 6 Warrant conditions ee 6 SYSTEM DESCRIPTION erdeelt 7 JEE 7 General function 2 aan lee 8 EE 9 Thermal measurement principle EENEG 9 Inline sensor Types 8626 8006 8716 8706 cccccscssssssssssssssssssststtnnntstntttestennennenees 10 Bypass sensor in conventional technology capillary Types 8710 8700 ettet en ine ttti 11 Bypass sensor in CMOSens technology
61. MFC bzw MFM und seine Bauteile jedoch nicht auf Folgesch den irgendwelcher Art die durch Ausfall oder Fehlfunktion des Ger tes entstehen k nnten 54 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert SYSTEMBESCHREIBUNG Typensystematik Diese Bedienungsanleitung beinhaltet Informationen f r folgende MassFlowCon troller MFC und MassFlowMeter MFM aus dem B rkert Produktprogramm Typ Art Endwertebereiche Sensor Bemerkungen Q ss l min bezogen auf Luft Np 8626 MFC 25 1500 Inline f r Gerate ab Jan 2003 8006 MFM 25 1500 Inline f r Ger te ab Jan 2003 8716 MFC 25 500 Inline 8706 MFM 25 1500 Inline 8713 MFC 0 02 50 Bypass CMOSens 8703 MFM 0 02 50 Bypass CMOSens 8712 MFC 0 02 50 Bypass CMOSens 8702 MFM 0 02 50 Bypass CMOSens 8711 MFC 0 02 50 Bypass CMOSens 8701 MFM 0 02 50 Bypass CMOSens 8710 MFC 0 005 1 Bypass Capillary 8700 MFM 0 005 1 Bypass Capillary 1 Bitte beachten Sie hierzu den Hinweis zu den Ger tetypen 8626 8006 im Abschnitt Anschlussbelegung Typ 8626 8006 CMOSens ist ein eingetragenes Warenzeichen der Firma Sensirion AG Schweiz MFC MFM 55 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Allgemeine Funktion Die MFC der Typen 8626 8716
62. MFC in den vorherigen Betriebszu stand zur ck MFC MFM 89 burkert pr fung bei dem im Kalibrierprotokoll angegebenen Betriebsdruck A HINWEIS Jeder MFC hat die Autotune Routine im Werk w hrend der End MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 20 durchlaufen F r einen sicheren Regelbetrieb in einer Anlage ist das erneute Ausl sen dieser Funktion nach der Inbetriebnahme nicht zwingend erforderlich Wir empfehlen sie auszul sen wenn der Betriebsdruck um mehrere bar vom Kalibrierdruck abweicht oder wenn die Kennlinie des Proportionalventils infolge einer niedrigen Ventilautorit t siehe Proportionalventil stark beeinflusst wird Die Autotune sollte auch dann durchgef hrt werden wenn sich die Druckverh ltnisse in der Anlage stark ge ndert haben Sicherheitsfunktion Diese Funktion kann je nach Ger tekonfiguration ber einen Bin reingang oder Feldbus aktiviert bzw zur ckgesetzt werden Das Ger t verh lt sich in diesem Betriebszustand im Allgemeinen wie im Stan dard Regelbetrieb Jedoch wird ein extern anliegender Vorgabewert ignoriert und ein im Ger t definierter Sicherheitswert bei Default 0 mit PC Software MassFlowCommunicator ver nderbar als Sollwert verwendet Sollwert Profil Diese Funktion kann je nach Ger tekonfiguration ber einen Bin reingang oder Feldbus aktiviert bzw zur ckgesetzt werden Das Ger t verh lt sich in diesem Betriebszusta
63. MassFlowCommunicator au point de menu Assignment of In and Outputs affectation des entr es et sorties Diodes lectroluminescentes dans l appareil Les diodes lectroluminescentes int gr es dans l appareil signalent les tats de fonctions affect es pr c demment p ex Signalisation de l talonnage au gaz utilis dans le fonctionnement actuel Signalisation des entr es binaires actives Ouverture ou fermeture compl te de la vanne Ajustement de la valeur de s curit Le profil de la valeur de consigne de l appareil est ajust Mode pilotage actif inactif Communication actif inactif Origine de la valeur de consigne bus communication s rie Etats divers du bus de terrain ou de la communication serie Voir la fonction d aide du MassFlowCommunicator Assignment of In and Outputs MFC MFM 135 o Es On S burkert Sorties binaires Les sorties binaires du MFC peuvent tre utilis es pour transmettre certains tats sp ci Sfiquement d finis un dispositif de commande de niveau sup rieur o ils seront trait s Les sorties binaires donnent en outre des informations sur l tat de l appareil et peuvent etre utilis es pour le diagnostic et l limination de dysfonctionnements o Etat de l appareil mode Auto Tune actif talonnage au gaz actif entr es binaires actives le profil de valeur de consigne de l appareil est en cours d ajustement
64. Operating media neutral non contaminated gases others on request max operating pressure 10 bar 145 psi depends on valve orifice inlet Calibration medium operating gas or air with conversion factor Medium temperature 10 to 70 C Ambient temperature 10 to 50 C Measurement accuracy 0 8 of Rdg 0 3 ES after 1 min warm up Linearity x 0 1 6 ES Reproducibility x 0 196 ES Control range Span 1 50 higher span on request Settling time T 300 ms 24 V DC 10 96 residual ripple lt 5 min 0 25 mm better 0 5 mm max 13 W dep on valve no Setpoint setting 0 10V to be chosen 0 5V 0 20 mA or 4 20 mA Resolution 2 5 mV or 5 pA Input impedance 20 kOhm voltage input Input impedance 300 Ohm current input Low activated connected to GND to activate Process value output 0 10V to be chosen 0 5V 0 20 mA or 4 20 mA MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Resolution 10 mV or 20 uA Max voltage 10 mA voltage output max Burden 600 Ohm current output 1 Relay output Potential free changeover 25 V 1 A 25 VA Connection 15 pole Sub D Socket 5 pole M12 plug only with DeviceNet 5 pole M12 socket only with Profibus DP Type of protection IP 50 Housing material Aluminium or stainless steel sheet steel chrome Cover material plated or PBT Installation position horizontal or vertical
65. PC SOFTWARE Das PC Programm MassFlowComminucator ist f r die Kommunikation mit den Ger ten aus der MassFlowController Familie der Firma B rkert konzipiert Es dient zur Konfiguration und Parametrierung Desweiteren stehen Diagnosefunktion zur Verf gung Diagnostic Data Die Funktion zeigt z B Werte der ger teinternen Spannungs und Temperatur berwachung an Device Settings Erm glicht die Anzeige bzw Konfiguration des aktuellen Ger te Status Monitoring Kurz bersicht ber alle angeschlossenen Ger te hier lassen sich zudem auch die Sollwerte ber den angeschlossenen PC vorgeben Datalogger Der Datalogger dient zur Aufzeichnung der Prozesse ber l ngere Zeitr ume Tage Wochen Dynamic Reading Zeichnet die Parameter Sollwert w Istwert x und Stellgr e y in Echtzeit auf und stellt diese graphisch dar Die aufgezeichneten Daten lassen R ckschl sse ber das System und dessen Komponenten zu Aufgrund dieser Aufzeichnungen lassen sich systembedingte Mi st nde analysieren Die Aufzeichnung der Parameter kann dann als Windows Datei gespeichert werden und per E Mail an die B rkert Servicetechniker versandt werden Der MassFlowCommunicator erm glicht das Einspielen von Flash Updates in die MassFlowController MassFlowMeter HINWEIS Das Programm arbeitet unter dem Windows Betriebssystem ab Windows 98 und ben tigt eine serielle Schnittstelle RS 232 bzw RS 485 f r die Kommunikation mi
66. Sortie valeur mesur e 11 DGND pour RS 232 12 Entr e binaire 1 13 Entr e binaire 2 14 RS 232 RxD sans pilote 15 RS 232 TxD sans pilote Uniquement en ex cution avec bus de camp fran ais Douille M12 Profibus DP codage B DPV1 max 12 Mbaud Broche Affectation 1 VDD 2 RxD TxD N ligne A 3 DGND 4 RxD TxD P ligne B 5 Ecran 2 Connecteur M12 DeviceNet Broche Affectation 1 Blindage 2 VDD 3 DGND 4 CAN_H 5 CAN_L MFC MFM 129 burkert Affectation des broches pour les types 8712 8702 Entr e valeur de consigne Entr e valeur de consigne GND Sortie valeur mesur e Entr e binaire 2 7 G Qs S N KE Sortie 12 V utilisation interne seulement RS232 TxD raccordement direct au PC o bei S Prise SUB D 9 p le ex cution bus seulement S PROFIBUS DP DeviceNet 1 Blindage FE terre fonctionnelle 3 CAN L ligne de m E 2 N C not connect donn es a 3 RxD TxD P ligne B GND A 4 RTS signal de commande pour N C Ki repetiteur GND potentiel de transmission Oo 5 N C Ko des donn es VDD T 6 Tension d alimentation P5V SS a ES 7 INc CAN H ligne de 3 donn es et 8 RxD TxD N ligne A N C c 9 Nc N C a a S e Prise SUB HD 15 p les Pilotage analogique 9 o gt til e N o Prise 8 p le ronde Entr e binair
67. T y LED leuchtet Bei MFC zeigt an dass die Stellgr e des Ventils nahezu 100 erreicht hat In der Praxis bedeutet dies meist dass der Druck am Regler nicht ausreicht um den gew nschten Durchfluss zu realisieren Bei MFM zeigt an dass der Istwert nahezu den Nenndurchfluss erreicht hat blinkt Das Ger t befindet sich in einem anderen Betriebszustand als Regelbetrieb oder blau Autotune ERROR LED leuchtet Nicht schwerwiegender Fehler z B nicht erfolgreich abgeschlossene Autotune oder defekte LED blinkt Schwerwiegender Fehler z B Sensorbruch oder fehlerhafte interne rot Spannungsversorgung Bin reing nge Default Belegung Um das jeweilige Ereignis auszul sen muss der Bin reingang f r mindestens 0 5 s mit DGND verbunden werden Funktionen Bin reingang 1 Autotune Funktion bei MFM nicht zugeordnet Bin reingang 2 nicht zugeordnet bei den Typen 8713 8703 nicht vorhanden bei zweiter Gaskalibrierung Umschaltung Gas 1 Gas 2 Bin reingang 3 nicht zugeordnet bei den Typen 8710 8700 8711 8701 8713 8703 nicht vorhanden 86 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Bin rausg nge Default Belegung Die Bin rausg nge sind als Relaisausg nge potentialfreie Wechsler ausgef hrt Funktionen Relais 1 LIMIT y Relais 2 ERROR bei schwerwiegendem Fehler z B Sensorbruch oder Fehler bei inter
68. Types 8713 8703 8712 8702 8711 8701 e 12 Obtrett 13 Proportional XalV8 s anceoaen citet ient TEE 14 TECHNICAL DATA 17 Type 8626 8006 MASS FLOW INLINE ennt 18 Type 8710 8700 MASS FLOW CMOSENS stes 19 Type 8711 8701 MASS FLOW CMOSENS sees 20 Type 8712 8702 MASS FLOW CMOSENS sees 21 Type 8713 8703 MASS FLOW CMOSENS sees 22 Type 8716 8706 MASS FLOW INLINE ennt 23 MFC MFM 3 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert ASSEMBLY INSTALLATION AND COMMISSIONING Dimensional draWinNgS 58 EE 24 General notes on installation and operation Operation with additional isolation valve Mechanical and fluidic installation Fluidic connections Assembly of clamping ring screw joints es 30 Electrical Connections iere eter pi Redeem ao Connection configuration Type 8626 8006 Connection configuration Type 8710 8700 Connection configuration Type 8711 8701 Connection configuration Type 8712 8702 Connection configuration Type 8713 8703 Connection configuration Type 8716 8706 Inputs outputs Setpoint input Process value output BUS CONNECTION E LEDs to indicate the operating mode default configuration Binary inputs default configuration Binary outputs default configuration Applicationspecific settings of binary inputs and outputs eee Operating modes of the ME
69. Ventilprogramm eingesetzt Konstruktive Ma nahmen insbesondere bei den Ventilen in den MFC f r geringe Durchfl sse Typen 8713 8712 8711 8710 sorgen f r eine reibungsarme F hrung des bewegten Ankers Diese stellt in Verbindung mit der PWM Ansteuerung eine stetige weitgehend lineare Kennlinie sowie eine hohe Ansprechempfindlichkeit sicher Beides ist f r die optimale Funktion im geschlossenen Regelkreis des MFC wichtig Die Nennweiten der Ventile ergeben sich aus dem geforderten Nenndurchfluss On den Druckverh ltnissen in der Anwendung und der Dichte des Betriebs gases Anhand dieser Daten wird vom Hersteller ein Proportionalventil ausgew hlt des sen Durchflussbeiwert k entsprechend der Durchflussgleichungen bei den spezi fizierten Druckverh ltnissen einen maximalen Durchfluss von mindestens dem geforderten Nenndurchfluss erm glicht a bei unterkritischer Str mung p gt p 2 Ap p k gt Q 1 514 Da 5 p T s nenn bzw b bei berkritischer Str mung p p 2 1 Da 257 p Ta pi kys gt Q renn 2 Die Dr cke p und p in Gleichung GL 1 und 2 sind dabei auf Messstellen direkt vor bzw nach dem MFC zu beziehen Oftmals sind die Dr cke vor und nach dem MFC nicht bekannt sondern nur die Eingangs und Ausgangsdr cke p und p f r die gesamte Anlage Ein Teil des Druckabfalls p p erfolgt dann ber andere Str mungswiderst nde Absperr ventile D sen R
70. Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Etats de fonctionnement du MFC Mode de r gulation standard Il s agit du mode normal d exploitation que le MFC adopte imm diatement apr s la mise sous tension et une courte phase d initialisation Dans la zone des LED seule la LED Power verte est allum e Le d bit est r gl sur la valeur de consigne sp cifi e avec une dynamique lev e Les perturbations suite par exemple des fluctuations de pression sont corrig es rapidement par une adaptation de l ouverture de la vanne de r gulation Dans ce mode la valeur de consigne est fix e selon la variante d appareil via l entr e analogique entr e de signal normalis e ou via le bus de terrain Les param tres de r gulation sont d finis de mani re compenser aussi rapidement que possible les modifications de valeur de consigne ou les perturbations sans produire de suroscillations notables REMARQUE Lorsque le signal pilote de la vanne de r gulation s approche de la limite de 100 la LED Limit y s allume La cause provient Se g n ralement d une pression diff rentielle insuffisante travers le MFC suite par exemple une pression d alimentation trop faible ou du colmatage du filtre Il peut en r sulter que la valeur de consigne ne puisse pas tre atteinte ou qu il subsiste un cart de r gulation positif w x Afin de permettre une r action externe une sortie relais
71. X Branche ment bus x X LED Entr es binaires Sortie relais 8700 8710 8700 bus 8710 bus 8701 8711 8701 bus 8711 bus 8702 8712 x X lt X gt lt X X x x X X 8702 bus 8712 bus 8703 8713 8706 8716 8706 bus 8716 bus XX XJ gt lt X X x lt AJA AJA olov PIPPI joejojojojo o o o 5 SIEIE OOo 00 ww ID III III ICO W W DINDIDID m aM MP PP schlech D DIN IR REMARQUE Entr e de la valeur de consigne Le logiciel PC MassFlowCommunicator peut tre obtenu en option Celui ci permet de commuter le signal normalis pour l entr e de la valeur de consigne ou la sortie de la variable instantan e entre 0 5 V 0 10 V 0 20 mA et 4 20 mA voir l annexe C L entr e de la valeur de consigne sert fixer la consigne via un signal normalis pour le MFC Sortie de la variable instantan e La sortie de la variable instantan e d livre la valeur du d bit actuel sous forme de signal normalis MFC MFM 1338 francais 7 G Qs S MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Branchement de bus Les types 8626 8006 8716 8706 8712 8702 8711 8701 8710 et 8700 sont disponibles en version bus Les valeurs de consigne et mesur es sont re ues ou transmises en retour sous forme num rique via le bus Il est possible de c
72. actory use only Setpoint input GND Setpoint input OSoOI Inti _ oa al sr wo n Process value output GND Process value output o 11 DGND for RS232 12 Binary input 1 13 Binary input 2 44 RS232 RxD without driver 45 RS232 TxD without driver Only with fieldbus Profibus DP socket B encoded M12 DPV1 max 12 Mbaud DeviceNet plug M12 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Connection configuration Type 8711 8701 1 2 3 4 5 6 7 8 15 pole Sub D plug Relay output NC contact 2 Relay output NO contact 3 Relay output C contact 4 GND 24 V supply and binary inputs 5 24 V supply 6 8 V output For factory use only 7 Setpoint input GND 8 Setpoint input 9 Process value output GND 10 Process value output 11 DGND for RS232 12 Binary input 1 13 Binary input 2 14 RS232 RxD without driver 15 RS232 TxD without driver Only with fieldbus Profibus DP socket B encoded M12 DPV1 max 12 Mbaud VDD RxD TxD N A line ao ND DeviceNet plug M12 DGND RxD TxD P B line Shield Shield VDD ao ND DGND CAN H CAN L MFC MFM 33 burkert Connection configuration Type 8712 8702 9 pole Sub D socket bus version only PROFIBUS DP DeviceNet Shield FE functional earth N C not connected CAN_L d
73. ant 24 V DC 10 ondulation r siduelle lt 5 96 min 0 25 mm 0 5 mm pr f rable max 6 5 W Type 8712 max 9 W Type 8712 bus 2 5 W Type 8702 5 W Type 8702 bus Oui 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 2 5 mV resp 5 uA 20 kOhm 300 Ohm Actif sur bas relier GND pour activation 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 10 mV resp 20 pA 10 mA 600 Ohm 2 sorties relais Branchements Indice de protection inverseur libre de potentiel 60 V 1 A 60 VA Prise 8 p les Prise 15 p les SUB HD Prise 9 p les SUB D seul ex cution bus IP 65 avec les connecteurs prescrits Mat riqu du boitier couvercle Position de montage Acier inoxydable 1 4305 PBT horizontale ou verticale MFC MFM 117 francais 7 G Qs S MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Type 8713 8703 MASS FLOW CMOSens Valeur de pleine chelle Q Fluides de service Pression max de service Fluide d talonnage Temp rature du fluide Temp rature ambiante Pr cision de mesure apr s 1 min d chauffement Lin arit Reproductibilit Rapport d chelle enn 0 02 50 L min fluide de r f rence N gaz neutres non contamin s autres sur demande 10 bar selon le diam tre nominal de la vanne Gaz de servie ou air 10 70 C 10 50 C 0 8 de la valeur moyenne 0 3 de
74. apt to the operating conditions Install the MFC in the position calibrated or execute an Autotune to adapt to the operating conditions Return the device to the manufacturer for recalibration for the operating medium See Section Operation with an Additional Isolation Valve Activate the ramp function with the PC software MassFlowCommunicator MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert APPENDIX A ACCESSORIES ELECTRICAL Types 8626 8006 8712 8702 8716 8706 8711 8701 8710 8700 all types 8713 8703 Article Circular plug 8 pole soldered connection Circular plug 8 pole with 5 m cable ready connected on one side Circular plug 8 pole with 10 m cable ready connected on one side SUB HD plug 15 pole with 5 m cable ready connected on one side SUB HD plug 15 pole with 10 m cable ready connected on one side RS232 adapter for connecting a PC with an extension cable Order no 917039 Connecion adapter DB9 m DB15HD m to replace a device Type 8626 8006 built before 2003 by a new one of the same type built from 2003 on no IP65 protection SUB D socket 15 pole with bell shaped solder connection SUB D hood for SUB D socket 15 pole with screw locking SUB D socket 15 pole with 5 m cable ready connected on one side SUB D socket 15 pole with 10 m cable ready connected on one side RS232 adapter for connecting a PC
75. at which the last Autotune was executed Controller tends to oscillate Control parameters do not correspond to the section behaviour A medium is being used other than that intended on calibration Residual ripple of supply voltage too high Setpoint value w 0 Operating pressure above flow still present after the leak tight pressure of a few seconds the proportional valve Select a suitable voltage source Execute an Autotune to adapt to the operating conditions Adapt the control dynamics with the PC software MassFlowCommunicator Return the device to the manufacturer for recalibration for the operating medium Select a suitable voltage source Lower the operating pressure Setpoint value w 0 Operating pressure valve closed no flow significantly higher than but process value that used for calibration output shows a small increased intrinsic con flow vection only with 8716 and 8626 Incorrect installation position gt increased intrinsic con vection only with 8716 and 8626 A medium is being used other than that intended on calibration On using an aditional strong overswing isolation valve the drive starting after a step sequence was not adhered in the setpoint of 0 to Flame is starved of oxygen because medium concentration too high Controller shows control the flame extinguishes after a step in the setpoint 46 MFC MFM Execute an Autotune to ad
76. ata line RTS control signal for repeater GND data transmission potential VDD N C supply voltage P5V R 15 pole Sub HD socket Analog drive Bus version Setpoint input N C 12 Setpoint input GND N C 3 Process value output N C Binary input 2 12 V output for factory unse only RS232 TxD direct connection to PC Binary input 1 DGND for binary inputs For factory use only do not connect 12 V output for factory use only 173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 8 pole socket circular 1 24V supply 2 Relay 1 C contact ay 1 NC contact 12 V output for factory use only Binary input 3 NG RS232 RxD direct connection to PC DGND for RS232 interface Relay 1 NO contact 24V supply GND Relay 2 NO contact Re ON ola jay 2 NC contact 34 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Connection configuration Type 8713 8703 1 9 pin sub D plug Binary input related to GND PIN 2 GND o o 5 o w Power supply 24 V DC Relay C contact Relay NC contact TX RS485 Y bridge with pin 9 at Half Dublex N TX RS485 Z bridge with pin 8 at Half Dublex RX RS485 B RX RS485 A MFC MFM 35
77. ating instructions very carefully an pay attention to the requirements in the safety notes Follow the instructions in the single chapters and observe the safety notes Not following the instructions and the safety notes causes a lapse of liability claim Safety notes Keep to standard engineering rules in planning the use of and operating the device Installation and maintenance is only allowed by specialist personnel using suitable tools Observe the current regulations on accident prevention and safety for electrical devices during operation and maintenance of the device Before interfering with the system always switch off the voltage Take suitable precautions to prevent unintended operation or damage by unauthorized action On non observance of this note and unauthorized interference with the device we will refuse all liability and the guarantee on device and accessories will become void MFC MFM 5 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 ATTENTION H S The warranty extends only th the MFC or MEM and its burkert Protection from damage by electrostatic charging This device contains electronic components that are A sensitive to electrostatic discharge ESD Contact to electrostatically charged persons or objects will Aa endanger these components In the worst case they will be immediately destroyed or will fail after ATTENTION commissioning EXERC
78. atus RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert 70 5 140 4 gt n gi dr LE ell Figure Type 8716 8706 MASS FLOW INLINE avec corps de capteur standard MFC MFM 123 francais 9 On S L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 d MAN 1000011173 ML Ve burkert Recommandations g n rales pour l installation et la mise en sericve Avant l installation observer les points suivants Pr voir en amont des filtres appropri s afin de garantir la propret du fluide de service Observer la position de montage voir les donn es d talonnage Pr voir une unit d alimentation d une puissance suffisante Observer l ondulation r siduelle de la tension de service Avant le montage du MFC liminer toute impuret des tuyaux Lors de la mise en service d un MFC MFM proc der dans l ordre suivant Installation m canique et fluidique Installation lectrique Application du fluide de service Exploitation normale Bog m ot REMARQUE La pr cision sp cifi e ne peut tre obtenue apr s la mise sous tension qu une fois que le processus d galisation thermique est achev et que l appareil a atteint sa temp rature de service cette dur e est tributaire du type de l appareil
79. cons quence nous utilisations des brides avec filetages de vis en Du c t tube vous pouvez commander aussi bien des dimesions m triques qu anglaises Sur demande nous sommes en mesure de livrer des ex cutions en ATTENTION 2 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 raccord Une bague d tanch it doit tre command e avec chaque Vous trouverez d autres accessoires pour le raccordement fluidique des MFC MFM sous le type 1013 du catalogue d accessoires B rkert Pi ces de rechange Mailles 250 um Mailles 20 um 144 MFC MFM D signation N de commande Grille en acier inoxydable pour 8626 8606 8716 8706 boitier standard 646808 Grille en acier inoxydable pour 8626 8006 8716 8700 651694 boitier pour gros d bits Grille en acier inoxydable pour 8710 8700 8711 8701 8712 8702 654733 8713 8703 Grille en acier inoxydable pour 8710 8700 8711 8712 8713 667520 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert ANNEXE C MassFlowCommunicator LOGICIEL PC Le programme PC MassFlowCommunicator est con u pour la communication avec des appareils de la famille MassFlowCommunicator de la soci t B rkert Il sert la configuration et au param trage Une fonction de diagnostic est en outre disponible Diagnostic Data Cette fonction indiq
80. ction Housing material Cover material Installation position 22 MFC MFM 9 pole Sub D plug IP 50 Aluminium or stainless steel 1 4305 sheet steel chrome plated horizontal or vertical MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Type 8716 8706 MASS FLOW INLINE Operating media max operating pressure Calibration medium Medium temperature Ambient temperature Measurement accuracy after 15 min warm up Linearity Reproducibility Control range Span Settling time T Operating voltage Connection cross section 55 Power consumption Electrical isolation Setpoint setting to be chosen Resolution Input impedance volt inp Input impedance curr inp Full scale range Q om 8706 25 to 1500 l min N equivalent 8716 25 to 500 l min N equivalent neutral non contaminated gases others on request 10 bar depending on nom valve diameter operating gas or air with conversion factor 10 to 70 C 10 to 45 C 1 5 96 of Rdg 0 3 FS 0 25 ES t 0 1 96 ES 1 50 500 ms 24 V DC x 10 residual ripple 5 96 min 0 5 mm 20 W max 30 W Type 8716 dep on valve 22 5 W max 32 5 W Type 8716 bus dep on valve 10 W Type 8706 12 5 W Type 8706 bus yes 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 2 5 mV or 5 pA 20 kOhm 300 Ohm 3 binary inputs Process value output to be chosen Resolution
81. d freigegeben printed 14 12 2009 burkert TECHNISCHE DATEN Umweltpr fungen Temperaturwechsel nach EN 60068 2 14 Nb und EN 60068 2 33 Feuchte W rme nach EN 60068 2 38 Z AD Schocken nach EN 60068 2 27 Schwingen nach EN 60068 2 6 IP Schutzart nach EN 60529 Freifallen nach EN 60068 2 32 UPS Falltest nach DIN ISO 2248 und DIN ISO 2206 Elektromagnetische Vertr glichkeit EMV Alle Ger te sind CE konform f r den Bereich Industrie und haben die damit ver bundenen EMV Pr fungen nach EN 50081 2 03 94 Fachgrundnorm St raussendung Teil 2 Industriebereich EN 50082 2 02 96 Fachgrundnorm St rfestigkeit Teil 2 Industriebereich bestanden Kommunikations Schnittstelle RS232 Direkter Anschluss an PC ber RS232 Adapter Kommunikation mit spezieller Software MassFlowCommunicator siehe Anhang C F r die Typen 8711 8701 8713 8703 und 8710 8700 ist ein externer Schnittstellentreiber notwendig im Adapter f r diese Typen ist dieser Treiber integriert siehe Anhang A RS485 Anschluss ber RS485 Adapter au er Typen 8713 8703 BUS Profibus DP oder DeviceNet Anschaltung nur Bus Ger te Dichtwerkstoffe FKM andere Dichtmaterialien auf Anfrage Die Vertr glichkeit des Dichtwerkstoffes mit den g ngigen Betriebsmedien entneh men Sie den B rkert Best ndigkeitstabellen ACHTUNG Die Angaben in dieser Tabelle haben orientierenden Charakter und ersetzen nicht eigen
82. de la perte de charge d volue au MFC avec vanne compl tement ouverte MFC MFM 111 fran ais 9 r On S ES REMARQUE MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 20 112 MFC MFM burkert L installation ne doit pas tre dimensionn e trop chichement sur la base du coefficient de d bit k pour que la majeure partie de la perte de charge disponible ne soit pas d j absorb e au d bit nominal d sir et que la dimension nominale de la vanne du MFC ne doive pas tre choisie plus grande kvs gt gt kva en raison de la faible perte de charge restante Dans ce cas l autorit de la vanne deviendrait trop faible et seule une partie de la plage de travail de la vanne serait utilis e Ceci pourrait d grader la r solution et la qualit de la r gulation En cas de dimensionnement trop chiche de l installation ce n est pas l augmentation du diam tre nominal de la vanne MFC qui sera efficace mais plut t l augmentation de la pression primaire ou de la valeur de k par exemple en adoptant un diam tre de tuyauterie accru ce qui permettra de maintenir l autorit de vanne dans une gamme admissible Si l appareil est exploit l int rieur de la gamme de pression sp cifi e la vanne proportionnelle pourra assurer en plus de la fonction de r gulation une fonction de fermeture herm tique MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben
83. de montage 116 MFC MFM inverseur libre de potentiel 25 V 1 25 VA Prise 15 p les SUB HD Connecteur M12 5 p les uniquement avec DeviceNet Connecteur M12 5 p les codage B uniquement avec Porifbus DP IP 50 aluminium ou acier inoxydable Acier chrom ou PBT horizontale ou verticale MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Type 8712 8702 MASS FLOW CMOSens Valeur de pleine chelle Q nemn Fluides de service Pression max de service 0 02 50 L min fluide de r f rence N gaz neutres non contamin s autres sur demande 10 bar selon le diam tre nominal de la vanne Fluide d talonnage Temp rature du fluide Temp rature ambiante Gaz de service ou air 10 70 C 10 50 C Pr cision de mesure apr s mise temp rature de 1 min Lin arit Reproductibilit Rapport d chelle Temps de r glage T 95 0 8 p m 0 3 p e 0 1 p e 0 1 p e 1 50 plage de mesure plus importante sur demande 300 ms Tension de service Section de branchement Puissance absorb e Isolation galvanique Sp cification de valeur de consigne s lectionnable R solution Imp dance d entr e entr e tension Imp dance d entr e entr e courant 3 entr es binaires Signal di sortie s lectionnable R solution Courant max sortie tension charge max sortie cour
84. den Bin reinganges ausgef hrt wer den AutoTune Modus aktivieren Umschalten auf andere Gaskalibrierung Sicherheitswert aktiv inaktiv Ausregeln des Sicherheitswertes in Abh ngigkeit des Bin reinganges Sollwertprofil abfahren Umschalten in Steuerbetrieb Zur cksetzten des Totalizers Ventil ganz schlie en Ventil ganz ffnen Siehe Hilfefunktion MassFlowCommunicator Assignment of In and Outputs 88 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Betriebszust nde MFC Standard Regelbetrieb Dies ist der Betriebszustand in dem sich der MFC sofort nach dem Einschalten und einer kurzen Initialisierungsphase befindet Im LED Feld leuchtet nur die gr ne Power LED Der Durchfluss wird auf den vorgegebenen Sollwert mit einer hohen Dynamik ausgeregelt St rungen z B infolge von Druckschwankungen werden durch entsprechende Anpassung der ffnung des Regelventils schnell ausgeglichen Die Sollwertvorgabe erfolgt in diesem Betriebszustands je nach Ger teausf hrung ber den analogen Eingang Normsignaleingang oder den Feldbus Die Reglerparameter sind so eingestellt dass Sollwert nderungen oder St r gr en m glichst schnell ausgeregelt werden ohne dass dabei nennenswerte Uberschwinger auftreten HINWEIS Wenn das Ansteuersignal des Regelventils sich der 100 Grenze n hert leuchtet die Limit y LED auf Die Ursache ist in
85. dered Further accessories for the fluidic connection of the MFC MFM can be found under Type 1013 in B rkert Accessory Catalog Spare parts Designation Order no Stainless steel grid for 8626 8006 8716 8706 standard 646808 housing Stainless steel grid for 8626 8006 8716 8706 651694 housing for high flow rates Stainless steel grid for 8710 8700 8711 8701 8712 8702 654733 8713 8703 Stainless steel grid for 8710 8700 8711 8712 8713 667520 mesh size 250 um mesh size 20 um 48 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 v burkert APPENDIX C MassFlowCommunicator PC SOFTWARE The PC program MassFlowComminucator is designed for communication with the devices from B rkert s MassFlowController family It is used for configuration and passing parameters Further more diagnostic functions are available Diagnostic Data This function displays for example the internal current and temperature monitoring system Device Settings Enables to display configuration the current device status Monitoring Short overview of all connected devices with this function to force set points via the connected PC Datalogger The Datalogger enables the record of the process over a longer period of time days weeks Dynamic Reading Records the parameters setpoint w process value x and
86. deviates by serveral bar from the calibration pressure or if the characteristic curve of the proportional valve is heavily influenced by a low valve authority see Proportional Valve The Autotune routine should also be executed after significant changes in the pressure conditions in the system Safety function This function can be activated or reset via a binary input or field bus depending on the device configuration In this operating mode the device behaves in general as in standard control operation However an externally applied setting is ignored and a defined safety value is used as the setpoint on default O this can be changed with the PC software MassFlowCommunicator Setpoint profile This function can be activated or reset via a binary input or field bus depending on the device configuration In this operating mode the device behaves in general as in standard control operation However the external setting is ignored and a previously definded temporal sequence of up to 30 flow rates is used as the setpoint configuration with the PC software MassFlowCommunicator After completion of the setpoint sequence the device returns to the previous operating mode Control operation This function can be activated or reset via a binary input or field bus depending on the device configuration In this operating mode the setpoint is used as the starting value for the valve pulse duty factor e g Setpoint
87. e R initialisation de clignotante binaire active 2 0 5 s l appareil lorsque la LED est allum e fixement la r initialisation a toujours lieu Fonction de LED LIMIT y tant qu il est actif s curit clignotante MFC MFM 139 fran ais 9 n On S MAN 1000011173 ML Version L Status LB freigegeben printed 14 12 2009 burkert ENTRETIEN Exploit s conform ment aux pr sentes instructions de service les MFC et MFM se passent en principe de tout entretien rendant superflus les r talonnages de routine Sur les types 8626 8006 8710 8700 8711 8701 8712 8702 8713 8703 8716 8706 si de grandes quantit s de particules ont t introduites apr s une longue utilisation avec un fluide pollu la grille en fil d acier inoxydable peut tre nettoy e ou remplac e Elle est accessible apr s avoir retir la plaque situ e c t arriv e du gaz voir annexe B Lorsque le capteur est encrass par le gaz de service l appareil peut produire des carts de d bit accrus apr s une longue p riode d exploitation Un nettoyage et un r talonnage en usine se r v lent alors n cessaires ATTENTION L ouverture de l appareil est prohib e L int rieur de l appareil contient d autres l ments de conditionnement de l coulement Une intervention l int rieur par exemple pour nettoyage n est pas admissible car la modification du signal du capteur rendrait n ces
88. e calibration allows the total flow to be calculated The low thermal mass of the temperature sensors and their direct contact with the flow apart from a protective layer result in a very fast reaction of the sensor signal to spontaneous changes in the flow In this way the MFC can compensate changes in the setpoint or process value within a few 100 ms Moreover the sensor has a high sensitivity down to the smallest flow rates as well as additional correction and diagnostic possibilities via the signal from a further temperature sensor on the chip 12 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Control electronics Processing of the setpoint and actual flow signals and drive of the actuator are carried out by a microprocessor The sensor signal is filtered by the control electronics and with the aid of the calibration curve stored in the device converted to a value corresponding to actual flow rate In order that critical process in which a too great flow change is not permitted can also be controlled a ramp function can be activated via the software MassFlowCommunicator see Appendix C Here the parameters for rising and sinking setpoinds can be set separately Further details on the ramp function can be taken from the software documentation Actuating signal actuating signal setpoint process value xd w x The actuating signal is processed accordin
89. e de mani re analogue l quation Gl 1 ou 2 le coefficient minimum de l installation complete K L quation Vges 2 2 2 ters i Kyges kys Kya qui d crit le branchement en s rie des r sistances du MFC k et de l installation kya permet de d terminer si l on connait k le coefficient k n cessaire du MFC et par cons quent le diam tre nominal de l organe de r glage Ce facteur se r v lera plus grand qu en l absence d autres r sistances l coulement Le coefficient dit autorit de vanne Ap vo ky y Ap ku ky g est important pour le comportement de r gulation du MFC dans l installation Il ne devrait pas tre inf rieur une valeur de 0 3 0 5 Importance des symboles ke Coefficient de d bit de l installation avec MFC int gr Kya Coefficient de d bit de l installation sans MFC int gr peut tre d termin en court circuitant la conduite sur le lieu de montage du MFC Kus Coefficient de d bit du MFC avec organe de r glage compl tement ouvert en m h Py Densit du fluide en kg m dans le conditions normalis es 1013 mbar 273 K T Temp rature du gaz en K p p Pression absolue en bar avant et apr s le MFC Ap P P Q D bit maximum travers la vanne en l min Quem D bit nominal du MFC en l min dont la r gulation est assur e avec une valeur de consigne de 100 Ap Perte de charge de l installation compl te Ap Part
90. e 1 Alimentation 24 V DGND pour entr e binaire 4 Relais 1 contact central 9 utilisation interne seulement ne pas connecter Relais 2 contact central Sortie 12 V utilisation interne seulement Relais 1 contact de repos Sortie 12 V utilisation interne seulement jN SIN Relais 1 contact de travail 1 Entr e binaire 3 2 24 V GND alimentation 13 GND sortie valeur mesur e 14 Relais 2 contact de repos RS232 RxD raccordement direct au PC Relais 2 contact de travail 15 DGND pour interface RS232 oIlsnjojlal 130 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Affectation des broches pour les types 8713 8703 il Prise SUB D 9 p les 1 Entr e binaire rapport e GND broche 2 GND Alimentation 24 V DC Relais contact C Relais contact NC TX RS 485 Y TX RS 485 Z RX RS 485 B RX RS 485 A O OINI IO a oo rp Pour un fonctionnement en semi duplex connecter la broche 6 la broche 9 et la broche 7 la broche 8 MFC MFM 131 fran ais burkert Brochage des connecteurs type 8716 8706 Prise SUB D 9 p le ex cution bus seulement o bei N S PROFIBUS DP DeviceNet 1 Blindage FE terre fonctionnelle 3 CAN L ligne de M E 2 N C non connect donn es e 3 RxD TxD P ligne B GND
91. e Tests unter den jeweiligen Betriebs bedingungen Insbesondere kann aus ihnen keine Gew hrleis tung f r die Medienvertr glichkeit abgeleitet werden MFC MFM 65 burkert Typ 8626 8006 MASS FLOW INLINE MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Endwertebereich Q L on Betriebsmedien max Betriebsdruck Kalibriermedium Mediumstemperatur Umgebungstemperatur Messgenauigkeit nach 15 min Aufw rmzeit Linearit t Reproduzierbarkeit Messspanne Ausregelzeit T Betriebsspannung 25 1500 l min Bezugsmedium N neutrale nicht kontaminierte Gase andere auf Anfrage 10 bar abh ngig von der Ventilnennweite Betriebsgas oder Luft 10 70 C 10 45 C x 1 5 v M 0 3 v E 0 25 v E x 0 195 v E 1 50 500 ms 24 V DC x 10 Restwelligkeit 5 Anschlussquerschnitt min 0 5 mme 0 75 mm bei Ventil Typ 2836 Leistungsaufnahme Galvanische Trennung Sollwertvorgabe w hlbar Aufl sung Eingangsimpedanz Spannungseingang Eingangsimpedanz Stromeingang 3 Bin reing nge 20 W max 50 W Typ 8626 abh vom Ventil 22 5 W max 52 5 W Typ 8626 Bus abh vom Ventil 10 W Typ 8006 12 5 W Typ 8006 Bus ja 0 10V 0 5V D 20 mA 4 20 mA 2 5 mV bzw 5 uA 20 kOhm 300 Ohm Low aktiv zur Aktivierung mit GND verbinden Istwertausgabe 0 10V w hlbar
92. e device housing and tighten by 1 turns Electrical connections ATTENTION To assure electromagnetic compatibility EMC connect the housing via as short a cable as possible with as large a cross section as possible to the functional earth FE The GND or mass conductors of all signals of the MFC MFM must be led in each case individually to the MFC If all GND signals are bridged directly at the MFC and only one conductor led to the switching cabinet signal displacements and disturbances of the analog signals may occur pulses oscillations etc MAN 1000011173 L Status RL released freigegeben printed Ss The MFCs MFMs are operated with 24 V power supply Select the connector cross section according to the valve used and as large as possible see Technical Data Suitable connecting cables are to be found in Appendix A ATTENTION The 8 pole socket types 8626 8006 8712 8702 8716 8706 only has to be tightened hand screwed Connect the the functional earth FE to the marked screw e g using round pliers 30 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Connection configuration Type 8626 8006 9 pole Sub D socket bus version only PROFIBUS DP DeviceNet 1 Shield FE functional earth 2 N C not connected CAN L data line 3 RxD TxD P B line GND 4 RTS control sig
93. e of protection Housing material Cover material Installation position potential free changeover 60 V 1 A 60 VA 8 pole socket 15 pole SUB HD socket 9 pole SUB D socket bus version only IP 65 with the specified plug connectors stainless steel 1 4305 PBT horizontal or vertical MFC MFM 21 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Type 8713 8703 MASS FLOW CMOSens Full scale range Q Operating media Max operating pressure inlet Calibration medium Medium temperature Ambient temperature Measurement accuracy after 1 min warm up Linearity Repeatability Control range Span Settling time T Power Supply Connection cross section Power consumption Electrical isolation Setpoint setting 1 binary input Process value output ioni m 0 02 to 50 min N equivalent neutral non contaminated gases others on request 10 bar 145 psi depends on valve orifice Operating gas or air with conversion factor 10 to 70 C 10 to 50 C 0 8 of Rdg 0 3 6 F S t 0 196 ES t 0 1 96 ES 1 50 higher span on request 300 ms 24 V DC x 10 95 residual ripple 5 96 min 0 25 mm better 0 5 mm max 6 5 W yes Digital communication via RS 485 Low activated connected to GND to activate Digital communication via RS 485 1 relay output Potential free changeover 25 V 1 A 25 VA Connections Type of prote
94. e r gulateur doit conitnuellement corriger une pression d alimentation instable burkert Correction Connecter la borne FE un point de terre liaison courte section min 2 5 mm Brancher un manod tendeur appropri en amont L ondulation r siduelle de la tension d alimentation est trop lev e La pression de service est largement sup rieure celle avec laquelle le dernier Autotune a t ex cut Les param tres de r gulation ne correspondent pas au comportement du syst me r gl S lectionner une source de tension appropri e Ex cuter un Autotune pour adapter le r gulateur aux conditions de service actuelles Adapter la dynamique de r gulation l aide du logiciel PC MassFlowCommunicator Un autre fluide que celui utilis pour l talonnage est adopt Renvoyer l appareil auf fabricant pour un r talonnage avec le gaz de service L ondulation r siduelle de la tension d alimentation est trop lev e Pression de service sup rieure la pression d tanch it de la vanne proportionnelle Pression de service sensi blement plus lev e que la pression d talonnage gt Convexion propre accrue seulement sur 8716 et 8626 Position de montage erron es gt Convexion propre accrue seulement sur 8716 et 8626 Utilisation d un autre fluide que celui sp cifi pour l talonnage Lors du montage d un robinet d arr t suppl mentaire la s
95. eingang GND Istwertausgang Bin reingang 2 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung RS232 TxD direkter Anschluss an PC Bin reingang 1 DGND f r Bin reing nge nur werksinterne Verw nicht belegen e Jo o 25 o N lo o 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung D Bin reingang 3 Istwertausgang GND 14 RS232 RxD direkter Anschluss an PC 15 DGND f r RS232 Schnittstelle MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Ki 24V Versorgung GND Relais 2 Schliesser Relais 2 ffner 1 2 3 4 5 6 7 8 82 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Anschlussbelegung Typ 8713 8703 9pol Sub D Stecker Bin rteingang bezogen auf GND PIN 2 GND Stromversorgung 24 V DC Relais C contact Relais NC contact TX RS 485 Y TX RS 485 Z RX RS 485 B RX RS 485 A ce oj oj o 5 o mwm F r Halb Duplex Betrieb Pin 6 mit Pin 9 und Pin 7 mit Pin 8 verbinden MFC MFM 83 burkert Anschlussbelegung Typ 8716 8706 o S 9pol Sub D Buchse nur bei Busausf hrung eM PROFIBUS DP DeviceNet 1 Schirm FE Funktionserde E 2 N C not connected CAN L Datenleitung 3 RxD TxD P B Leitung GND 4 RTS Ste
96. erpr fen Sie die Anlagen auslegung siehe Kapitel Proportionalventil siehe Kapitel Betriebszust nde Wiederholen Sie die Autotune oder setzen Sie den Fehler durch Reset zur ck Bei Fehler an LED oder Bin rausgang ist ein einge schr nkter Betrieb m glich W hlen Sie die entsprechen de Spannungsquelle keine technische Gleichspannung Senden Sie das Ger t zur Fehlerbehebung an den Hersteller Erh hen Sie den Sollwert auf gt 2 VON Qian Pr fen Sie den Betriebszustand MFC MFM 93 Problem Istwert schwankt Regler neigt zu Schwingungen Sollwert w 0 Durchfluss nach einigen Sekunden trotzdem vorhanden Sollwert w 0 Ventil geschlossen kein Durchfluss Istwertausgang zeigt aber geringen Durchfluss an MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Regler hat starke Uberschwinger bei einem Sollwertsprung von 0 ausgehend bei einer Flammen steuerung erlischt die Flamme nach einem Sollwertsprung 94 MFC MFM m gliche Ursache Kein ordnungsgem er FE Anschluss Regler muss st ndig St rungen einer instabilen Druckversorgung nachregeln Restwelligkeit der Ver sorgungsspannung zu hoch Betriebsdruck liegt weit ber dem Druck bei dem die letzte Autotune ausgef hrt wurde Regelparameter entsprechen nicht dem Streckenverhalten burkert Abhilfe Verbinden Sie FE mit dem Erdepunkt m glichst kurz Ader min 2
97. ert und mit Hilfe der im Ger t hinterlegten Kalibrierkurve in einen dem Ist Durchfluss entsprechenden Wert umgewandelt Damit auch kritische Prozesse geregelt werden k nnen in denen zu schnelle Durchfluss nderungen nicht zul ssig sind kann ber die Software MassFlowCommunicator eine Rampenfunktion aktiviert werden siehe Anhang C Hierbei sind die Parameter f r einen steigenden und einen fallenden Sollwert getrennt einstellbar N heres zur Rampenfunktion entnehmen Sie der Software dokumentation Regelabweichung Regelabweichung Sollwert Istwert xd w x Die Regelabweichung wird nach einem Pl Regelalgorithmus verarbeitet Die Regelparameter werden typenspezifisch im Werk eingestellt Um die Eigen schaften der Regelstrecke zu ber cksichtigen arbeitet der Regler mit strecken abh ngigen Verst rkungsfaktoren Beim Ablauf der Autotune Routine werden diese automatisch ermittelt Im Ger t ist ein Parameter hinterlegt mit dem die Regeldynamik mit Hilfe der Software MassFlowCommunicator ver ndert werden kann Seine Extremwerte sind ein sehr schnelles Ausregeln wobei ggf berschwinger in Kauf genommen werden bzw ein langsameres asymptotisches Ausregeln auf den gew nschten Durchfluss Ersteres kann dazu f hren dass der Regler schon auf sehr geringe Regelabweichungen sofort reagiert wodurch die Regelung sehr unruhig werden kann Bei weniger dynamischen Prozessen kann das Verhalten des Reglers ge d mpft werde
98. g n rales pour l installation et la mise en sericve 124 Exploitation avec robinet d arr t suppl mentaie ssssssss 125 Installation m canique et fluidique Raccords fluidiques rerit reno erret Montage de raccords bague de serrage sss 126 R ccordements lectriques nire rire rea Ee 126 Brochage des connecteurs type 8626 8006 127 Affectation broches pour les types 8710 800 128 Affectation des raccords type 8711 8701 sssssseee 129 Brochage des connecteurs type 8712 8702 130 Affectation des raccords type 8713 80 Brochage des connecteurs type 8716 8706 Entr es sorties rmm rm e FAR beine Entr e de la valeur de consigne eene Sortie de la variable instantan e ccccccescceeeeeceeeceeeseeeeeeeseeeeeeeeeeeeneeeeaes Branchement de DUS u Aasra de oi er eerte e e Hr E Lak eae Diodes luminescentes pour l affichage des modes op rationnels dispositions de base u une Entr es binaires configuration par d faut sse Sorties binaires configuration par d faut sss Affectation des entr es et sorties sp cifique l application o Es On S Etats de fonctionnement du MEG aeter err ert elements Mode de r gulation Standard sene Routine Autotune iii Fonction de Ti Profil d CONSIQNE
99. g to a PI algorithm The control parameters are set in the factory according to type In order to take into account the characteristics of the controlled member the controller works with member dependent amplification factors During the running of the Autotune routine these are determined automatically In the device a parameter is stored with which the control dynamics can be altered with the software MassFlowCommunicator Its extreme values correspond on the one hand to very rapid correction whereby overswing is possibly accepted and on the other hand to a slow asymptotic correction to the desired flow rate The first can lead to immediate reaction of the controller to very small actuating signals whereby the control can become very unsteady With less dynamic processes the controller behaviour can be damped so that small variations in the process value or setpoint are corrected only slowly As the correcting variable a pulse width modulated PWM signal is sent to the proportional valve The frequency of this signal is adapted to the respective valve To assure the tight closing function of the valve zero point switch off is built in This becomes active if the following conditions simultaneously occur setpoint 2 of nominal flow and process value lt 2 of nominal flow With the zero point switch off activated the PWM signal is set to O so that the valve closes completely 1 With types 8711 8712 8713 higher contr
100. gang gt 0 5 s bei Dauerbelegung wird immer neu gestartet Sicherheits LIMIT y LED solange aktiv funktion blinkt MFC MFM 91 burkert WARTUNG Die MFC und MFM sind bei Betrieb entsprechend den in dieser Anleitung gegebe nen Hinweisen im Prinzip wartungsfrei so dass sich eine routinem ige Neukalibrierung er brigt Falls nach l ngerem Betrieb mit einem verschmutzten Medium gr ere Mengen von Partikeln eingetragen wurden kann bei den Typen 8626 8006 8710 8700 8711 8701 8712 8702 8713 8703 8716 8706 nach L sen der eingangs seitigen Flanschplatte das dann zug ngliche Edelstahldrahtgitter gereinigt oder ersetzt werden siehe Anhang B Wenn der Sensor durch das Betriebsgas verschmutzt ist kann das Ger t nach l ngerem Betrieb st rkere Abweichungen vom Durchfluss aufweisen Dann wird eine werksseitige Reinigung und Neukalibrierung erforderlich ACHTUNG Das Ger t darf nicht ge ffnet werden Im Inneren des Ger tes befinden sich weitere Elemente zur Str mungs konditionierung Ein Eingriff in das Ger t z B um zu reinigen ist nicht zul ssig da die daraus resultierenden nderungen des Sensorsignals eine werksseitige Neukalibrierung erforderlich machen MAN 1000011173 ML Version L E freigegeben printed 14 12 2009 92 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Abhi
101. ge au gaz commutation gaz 1 gaz 2 Entr e binaire 3 non affect e pas disponible sur les types 8710 8700 8711 8701 8713 8703 134 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Sorties binaires configuration par d faut Les entr es binaires sont r alis es sous forme de sortie relais contacts inverseurs hors potentiel Fonctions Relais 1 LIMIT y Relais 2 ERROR en cas d erreur critique par ex rupture de capteur ou d faut interne d alimentation pas disponible sur les types 8710 8700 8711 8701 8713 8703 sous forme de contact de repos sur les types 8713 8703 tre modifi es Les fonctions des entr es et sorties des signaux normalis s d crites ici et des entr es et sorties binaires sont des r glages par d faut EN REMARQUE Les fonctions des voyants POWER et ERROR ne peuvent pas Affectation des entr es et sorties sp cifique l application Les MFC offrent en outre l utilisateur la possibilit d affecter d autres fonctions aux entr es et sorties binaires Les appareils peuvent tre ainsi adapt s des conditions particuli res d installation ou des exigences sp cifiques de l application fran ais Les fonctions peuvent tre r gl es avec le logiciel de communication MassFlowCommunicator voir annexe C Le r glage des fonctions est expliqu en d tail dans la fonction d aide du
102. gegeben printed 14 12 20 d talonnage Pour assurer une r gulation s re de l installation il n est pas imp rativement n cessaire de r p ter cette fonction apr s la mise en service Nous recommandons n anmoins de l ex cuter lorsque la pression de service diverge de plusieurs bars par rapport la pression d talonnage ou lorsque la caract ristique de la vanne proportionnelle est fortement influenc e suite une faible autorit de la vanne voir Vanne proportionnelle La routine Autotune devrait galement tre ex cut e apr s une modification notable du rapport de pression Fonction de s curit Selon la configuration de l appareil cette fonction peut tre activ e et d sactiv e via une entr e binaire ou le bus de terrain Dans ce mode l appareil se comporte g n ralement comme dans le mode de r gulation normal Toutefois une valeur de consigne ext rieure est ignor e et une valeur de s curit d finie dans l appareil par d faut O peut tre modifi e l aide du logiciel PC MassFlowCommunicator est utilis e comme valeur de consigne Profil de consigne Selon la configuration de l appareil cette fonction peut tre activ e et d sactiv e via une entr e binaire ou le bus de terrain Dans ce mode l appareil se comporte comme dans le mode de r gulation normal Toutefois une valeur de consigne ext rieure est alors ignor e tandis qu une succession pr d finie de jusqu 30 valeurs de
103. he easily accessible stainless steel filter can be cleaned or replaced after removing the flange plate on the inlet side see Appendix B If the sensor is contaminated by the operating gas the device may exhibit large deviations from the required flow after prolonged operation Cleaning and recalibration in the factory will then be necessary ATTENTION The device must not be opened Inside the device there are further elements for flow conditioning Interference with the device e g for cleaning is not permitted since the resulting changes in the sensor signal would require recalibration in the factory 44 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert MALFUNCTION TROUBLESHOOTING Table continued on the next page Problem Possible cause Remedy POWER LED No electrical supply Check the electrical does not light connections POWER LED Autotune activated see Section flashes Operating Modes POWER LED Voltage supply collapses Select a power supply with extinguishes periodically device adequate power periodically executes reset Loss on the connecting line Increase cable cross section too high Decrease cable length LIMIT y LED MFC correcting variable of Increase the supply lights only with valve has reached almost pressure default 100 cannot correct to Check and if necessary configuration setpoint
104. hoisir entre une connexion PROFIBUS DP ou DeviceNet voir galement Compl ment a la notice de l utilisateur des appareils bus de terrain ou communication s rie RS 232 RS 485 Diodes luminescentes pour l affichage des modes op rationnels dispositions de base LED POWER allum e L appareil se trouve sous tension de Service verte clignote Fonction Autotune active LED COMMUNICATION allum e L appareil communique via le bus ou jaune RS232 LED LIMIT y allum e Sur MFC indique que la variable r glante de la vanne a atteint une valeur proche de 100 En pratique cela signifie principalement que la pression du r gulateur ne suffit pas pour r aliser le d bit exig Sur MFM indique que la variable instantan e a pratiquement atteint le d bit maximum clignote L appareil se trouve dans un mode diff rent bleu de la r gulation ou Autotune LED ERROR allum e Erreur non critique par exemple op ration Autotune pas termin e avec succ s ou LED d fectueuse clignote Erreur critique par ex rupture du capteur rouge ou d faut interne d alimentation Entr es binaires configuration par d faut Pour d clencher l v nement d sir l entr e binaire doit tre reli e DGND durant au minimum 0 5 s Fonctions Entr e binaire 1 fonction Autotune non pr vue sur MFM Entr e binaire 2 non affect e pas disponible sur les types 8713 8703 en cas de deuxi me talonna
105. ierung verwendeten Einheiten l min oder m h sind zwar von der Dimension Volumen Zeit wegen des Bezugs auf einen Normzustand hier p 1013 mbar und T 273 K handelt es sich aber eigentlich um gasartspezifische Massenstr me Diese k nnen z B in kg h durch Multiplikation des Normvolumenstroms mit der Dichte des Betriebsgases im Normzustand p erhalten werden MFC MFM 57 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Inline Sensor Typen 8626 8006 8716 8706 Dieser Sensor arbeitet als Hei film Anemometer im sogenannten CTA Betriebs modus Constant Temperature Anemometer Dabei sind zwei direkt im Medien strom befindliche Widerst nde mit pr zise spezifiziertem Temperaturkoeffizienten und drei au erhalb der Str mung befindliche Widerst nde zu einer Br cke ver schaltet Der erste Widerstand im Medienstrom R misst die Fluidtemperatur der zweite niederohmigere Widerstand R wird stets gerade soweit aufgeheizt dass er auf einer festen vorgegebenen bertemperatur zur Fluidtemperatur gehalten wird Der dazu erforderliche Heizstrom ist ein Ma f r die W rmeabfuhr durch das str mende Gas und stellt die prim re Messgr e dar Eine geeignete Str mungskonditionierung innerhalb des MFC bzw MFM und die Kalibrierung mit hochwertigen Durchflussnormalen stellen sicher dass aus dem Prim rsignal die pro Zeiteinheit durchstr mende Gasmenge m
106. ild Typ 8716 8706 MASS FLOW INLINE mit Standard Sensorblock 600221 v peruund ueqebeble peseejeJ TH snyeIs 7 UOISI8A TIN ZLLLOOOOL NVIN MFC MFM 75 MAN 1000011173 ML Fa RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Allgemeine Hinweise zu Installation und Betrieb Beachten Sie vor der Installation gt Schalten Sie geeignete Filter vor um die Sauberkeit des Betriebsmediums zu gew hrleisten gt Beachten Sie die Einbaulage siehe Kalibrierdaten gt Sehen Sie ein Netzteil mit ausreichender Leistung vor gt Beachten Sie die max Restwelligkeit der Betriebsspannung gt Entfernen Sie vor dem Einbau des MFC Verschmutzungen aus den Rohren Gehen Sie bei der Inbetriebnahme eines MFC MFM in der beschriebenen Reihenfolge vor Mechanische und fluidische Installation Elektrische Installation Beaufschlagen mit Betriebsmedium Regul rer Arbeitsbetrieb Bop HINWEIS Die festgelegte Genauigkeit wird erst dann erreicht wenn nach dem Einschalten die thermischen Ausgleichsvorg nge abgelaufen sind und das Ger t seine Betriebstemperatur erreicht hat die Zeit ist abh ngig vom Ger tetyp siehe Technische Daten 76 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Betrieb mit zus tzlichem Absperrventil Das im MFC integrierte Proportionalventil bernimmt die Dichtschlie funktion dadurch ist ein zus tzliches Absperrve
107. it hoher Genauigkeit abgeleitet werden kann Sensor mit Elektronik PID Gasstrom gt Vorfilter Str mungs konditionierung Bild Funktionsschema des Inline Sensors Der direkte Mediumskontakt der im Hauptstrom befindlichen Widerst nde R und R gew hrleistet eine sehr gute Dynamik der Ger te mit Ansprechzeiten von wenigen Hundert Millisekunden bei pl tzlichen Soll oder Istwert nderungen Durch die Anordnung der Widerst nde auf einem tangential zur Str mung liegen den Glastr ger ist der Sensor nur in geringem Ma e verschmutzungsanf llig Der Messbereich des Inline Sensors wird durch die Eigenkonvektion im Str mungskanal die auch bei geschlossenem Regelventil auftritt nach unten begrenzt F r Ger te deren Arbeitsbereich sich bis zu Durchfl ssen von unter ca 1 min erstrecken soll ist er deshalb nicht geeignet Das Signal der Eigenkonvektion im Str mungskanal h ngt von der Einbaulage des Ger ts ab Um eine hohe Genauigkeit bei geringen Durchfl ssen zu erreichen sollte die Einbaulage mit der bei der Bestellung spezifizierten identisch sein Aus dem gleichen Grund sollte der Betriebsdruck nicht zu sehr vom Kalibrierdruck abweichen Das Ger t wird in der Einbaulage kalibriert die im Fragebogen im Anhang des Datenblattes angegeben ist 58 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009
108. izers open or close valve completely see help function of the MassFlowCommunicator Assignment of In and Outputs 40 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert SS Operating modes of the MFC Standard control operation This is the operating mode in which the MFC finds itself after being switched on and after a short initialization phase In the LED group only the green Power LED lights The flow rate is controlled to the setpoint with high sensitivity Disturbances such as those resulting from pressure variations are rapidly corrected by suitable adjustment to the aperture of the control valve In this mode the setpoint is set via the analog input standard signal input or the field bus depending on the version of the device The controller parameters are set such that changes in the process value or distrubances are corrected as fast as possible without significant overswing being caused NOTE When the driving signal of the control valve approaches the 100 limit the LIMIT y LED lights The cause is usually that the pressure difference over the MFC is too small e g because the pressure supply is insufficient or the filter is heavily contaminated This can lead to non achievement of the setpoint and an enduring positive actuating signal w x To enable an external reaction to be made to this situation a relay output is actuated in addition
109. la valeur finale 0 1 p e 0 1 p e 1 50 plage de mesure plus importante sur demande Temps de r glage T 95 Tension de service Section de branchement Puissance absorb e Isolation galvanique Sp cification des valeur de consigne lt 300 ms 24 V DC 10 ondulation r siduelle lt 5 min 0 25 mm mieux 0 5 mm max 6 5 W Oui communication num rique via RS 485 1 entr e binaire Signal de sortie 1 sorties relais low active connecter GND pour l activation communication num rique via RS 485 inverseur libre de potentiel 25 V 1 25 VA Branchements Indice de protection Mat riau bo tier couvercle Position de montage 118 MFC MFM Prise 9 p les SUB D IP 50 aluminium ou acier inoxydable1 4305 Acier chrom horizontale ou verticale MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Type 8716 8706 MASS FLOW INLINE Valeur pleine chelle Q renn Fluides de service 8716 25 500 L min fluide de r f rence N 8706 25 1500 L min fluide de r f rence N gaz neutres non contamin s autres sur demande Pression max de service Fluide d talonnage Temp rature du fluide Temp rature ambiante Pr cision de mesure apr s mise temp rature de15 min 10 bar selon le diam tre nominal de la vanne Gaz de service ou air 10 70 C 10 45 C 1 5 p m
110. les fluides encras s afin d emp cher toute modification des rapports entre le flux principal et le tube du capteur et toute modification de la transmission thermique en raison d un d p t sur la paroi Gr ce ces capteurs des gaz agressifs peuvent galement tre r gl s en partie tant donn que toutes les pi ces importantes entrant en contact avec le fluide sont compos es d acier inoxydable En outre avec ce principe de capteur une conversion entre plusieurs az est possible Consulter le tableau pour une s lection de facteurs merci de nous contacter pour tout facteur suppl mentaire Q gaz f x Q N2 fran ais Gaz Facteur f En cas d utilisation des facteurs gazeux des erreurs N To de mesure d passant les sp cifications figurant sur la pe 1 fiche technique peuvent tre constat es Pour les Luft 1 00 applications exigeant une grande precision un O 0 99 talonnage dans les conditions d utilisation concr tes est conseill H 1 01 Ar 1 4 He 1 41 CO 0 76 MFC MFM 107 9 Wei Qa S MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Capteur bypass en technologie CMOSens types 8713 8703 8712 8702 8711 8701 Avec cette technologie le d bit massique est mesur dans un canal d coulement de forme sp ciale dont la paroi contient une puce Si sur une membrane d cap e en un point Sur cette membrane
111. lfe ST RUNG FEHLERSUCHE Problem m gliche Ursache POWER LED keine elektrische leuchtet nicht Versorgung POWER LED Autotune aktiv blinkt POWER LED Spannungsversorgung erlischt periodisch LIMIT y LED leuchtet nur bei Defaultbelegung LIMIT y LED blinkt nur bei Defaultbelegung ERROR LED leuchtet ERROR LED blinkt kein Durchfluss vorhanden bricht periodisch zusammen Ger t f hrt Reset aus zu hoher Verlust auf der Anschlussleitung MFC Stellgr e des Ventils hat nahezu 100 erreicht Sollwert kann nicht ausgeregelt werden MFM Istwert hat nahezu Nenndurchfluss erreicht anderer Betriebszustand als Standard Regelbetrieb oder Autotune weniger schwerwiegender Fehler aufgetreten Letzte Autotune nicht erfolgreich abgeschlossen ein Defekt an einer LED wurde erkannt Restwelligkeit der Versor gungsspannung zu hoch schwerwiegender Fehler z B Sensorbruch oder Fehler in interner Spannungsversorgung Sollwert innerhalb der Nullpunktabschaltung anderer Betriebszustand Fortsetzung der Tabelle siehe n chste Seite Pr fen Sie die elektrischen Anschl sse siehe Kapitel Betriebszust nde W hlen Sie die Spannungs versorgung mit ausreichender Leistung Vergr ern Sie den Kabel querschnitt Verringern Sie die Kabell nge Erh hen Sie den Versor gungsdruck berpr fen und verringern Sie ggf die Leitungs widerst nde b
112. lit garantissent une d termination pr cise de la quantit de gaz s coulant par unit de temps d riv e du signal primaire Capteur avec lectronique Flux gazeux gt Prefiltre Organe laminant Figure Schema de principe du capteur Inline Les r sistances R et R en contact direct avec le fluide du flux principal garantissent une dynamique tr s lev e des appareils avec des temps de r ponse de l ordre de quelques millisecondes lors de variation subite des valeurs de consigne et instantan e Gr ce la disposition des r sistances sur un support de verre tangentiel l coulement le capteur n est que peu sensible l encrassement La plage de mesure du capteur Inline est limit e vers le bas par la convexion propre dans le canal d coulement qui se manifeste galement lorsque la vanne de r glage est ferm e Par cons quent un tel capteur ne convient pas pour la mesure de d bits inf rieurs environ 1 l min Le signal de convexion propre dans le canal d coulement est tributaire de la position de montage de l appareil Pour atteindre une pr cision lev e de faibles d bits la position de montage devrait tre identique celle sp cifi e dans la commande Pour la m me raison la pression de service ne devrait pas trop diverger de la pression d talonnage 1 L appareil est talonn dans la position de m
113. lower the piping resistance Check system dimensioning see Section Proportional Valve MFM process value has almost reached nominal flow rate LIMIT y LED Operating mode other than see Section flashes only with standard control operation Operating Modes default or Autotune configuration ERROR LED lights Less serious error has Repeat the Autotune or reset occurred the error Last Autotune was not With errors at LED or binary completed successfully output limited operation is A fault at an LED was possible detected ERROR LED Residual ripple of supply Select a suitable voltage flashes volate too high source not industrial DC Serious error e g sensor Send the device to the breakage or faulty internal manufacturer for repair voltage supply No flow present Setpoint within zero point X Increase setpoint to gt 2 of switch off nominal flow Different operating mode Check the operating mode MFC MFM 45 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Problem Possible cause Process value varies No porper FE connection Controller must continuously correct disturbances in an unstable pressure supply burkert Remedy Connect the FE to the earthing point as short as possible wires min 2 5 mm Install a suitable pressure regulator upstream Residual ripple of supply voltage too high Operating pressure lies far above that
114. luidiques Les appareils peuvent galement tre livr s demande avec des raccords fluidiques mont s S lectionnez les raccords fluidiques correspondants dans le tableau de l annexe B Raccords sur MFC MFM Filetages standard Filetages sp ciaux Type G 1 4 G 3 8 G 1 2 G 3 4 NPT 1 4 NPT 3 8 NPT1 2 NPT3 4 8626 X X 8006 8716 8706 8713 8703 8712 8702 8711 8701 8710 8700 Brides x X Xx x x lt X X X lt x lt X X lt x x lt X X lt x X X X X X X x X lt x x OK OK lz XI OO X XIX x KOK KOK OK X Xx x XXX xXx X XK X MFC MFM 125 o Es G On S MAN 1000011173 ML ei L Status RL released freigegeben printed Ss burkert Montage de raccords a bague de serrage ATTENTION En cas de faible d bit et de pression lev e accorder son attention l tanch it du circuit afin d viter les erreurs de dosage ou de fuites de gaz Pour assurer une bonne tanch it du syst me proc der au montage comme suit Monter les raccords de tuyauterie sans tension le cas ch ant utiliser des compensateurs Utiliser des tubes de diam tre assorti et surface lisse Scier les tubes droits et les bavurer gt Monter dans l ordre l crou raccord la bague d assise si pr vue et la bague de serrage sur le tube Introduire le tube jusqu au fond dans le raccord gt Serrer l cro
115. manipulated variable y in real time and graphs them The recorded data enables to draw conclusions on the system and its components Based on the recorded data internal malfunctions can be analysed The records can be stored as a Windows file and send by e maill to B rkert The MassFlowCommunicator enables to update the firmware of the device Flash NOTE The program uses the Windows operating system ex Windows 98 and requires a serial interface RS 232 or RS 485 to com municate with the MassFlowControllers or MassFlowMeters TENTION AT S With the types 8710 8700 8711 8701 a RS 232 adapter with interface driver is required With the types 8713 8703 the interface driver is integrared in the the RS 485 Interface the use of the RS 232 Interface requires a RS 232 adapter with interface driver see ASSECOIRES in APPENDIX A For a more easy and comfortable connection of the types 8626 8006 8712 8702 8716 8706 an adapter is also available see ASSECOIRES in APPENDIX A MFC MFM 49 burkert A detailled description of the procedure using the software is available in the help function of software documentation encolsed in the program itself The software may be downloaded from www buerkert com NOTE The downloadfunction always provides the latest version of the MassFlowCommunicator Printed documentation The whole documentation is available on internet under www buerke
116. mode commande actif la valeur de s curit est en cours d ajustement la vanne est en cours d ouverture totale la vanne est en cours de fermeture totale tat du module de bus ou de la communication par bus released freigegeben pr Commutateur de valeur limite Les sorties binaires sont activ es en cas de d passement ou de sous d passement de la valeur limite r glable telles que valeur limite du totalisateur valeur limite de la valeur de consigne etc D fauts dysfonctionnements Des d fauts d tect s par exemple sur le capteur dans la consommation de courant interne ou dans la tension d alimentation peuvent tre signal s Voir la fonction d aide du MassFlowCommunicator Assignment of In and Outputs MAN 1000011173 ML Version L Status RL Entr es binaires Des fonctions pr d finies peuvent tre affect es des entr es binaires elles sont ex cut es par l activation externe de l entr e binaire correspondante activation du mode Auto Tune commutation sur un autre talonnage au gaz valeur de s curit active inactive ajustement de la valeur de s curit en fonction de l entr e binaire ex cution du profil de valeur de consigne passage en mode de commande remise z ro du totalisateur fermer compl tement la vanne ouvrir compl tement la vanne Voir la fonction d aide du MassFlowCommunicator Assignment of In and Outputs 136 MFC MFM MAN 1000011173 ML
117. n so dass kleine Schwankungen beim Istwert oder Sollwert nur langsam ausgeregelt werden Als Stellgr e wird an das Proportionalventil ein pulsweitenmoduliertes PWM Signal ausgegeben Die Frequenz dieses Signals ist auf das jeweils verwendete Ventil abgestimmt Um die DichtschlieBfunktion des Ventils zu gew hrleisten ist eine Nullpunktab schaltung integriert Diese wird aktiv wenn gleichzeitig nachfolgende Bedingungen eintreten Sollwert lt 2 vom Nenndurchfluss und Istwert lt 2 vom Nenndurchfluss Bei aktiver Nullpunktabschaltung wird das PWM Signal auf 0 gesetzt so dass das Ventil komplett geschlossen ist Bei den Typen 8711 8712 8713 gr ere Regelspanne auf Anfrage MFC MFM 61 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Der Sollwert wird je nach Ger teausf hrung alternativ ber den Normsignalein gang als analoges Signal oder digital ber die Feldbusschnittstelle vorgegeben Unabh ngig vom Regelzustand wird der aktuelle vom Sensor gemessene Durch flusswert analog ber den Normsignalausgang bzw digital ber die Feldbus schnittstelle ausgegeben Um ein dynamisches bzw ruhigeres Istwert Ausgangssignal zu erhalten l sst sich der Filtergrad des Ausgangssignals mit der Software MassFlowCommunicator ver ndern Proportionalventil In allen MFC Baureihen werden als Stellglieder direktwirkende Hubanker Proportional Ventile aus dem B rkert
118. nal voltage supply not present with 8710 8700 8711 8701 8713 8703 with 8713 8703 as normally closed contact NOTE The functions of the POWER and ERROR LED are unchangable The described functions of the standard signal inputs and outputs and the binary inputs and outputs are settings as delivered Applicationspecific settings of binary inputs and outputs The MFCs additionally enables the user to set other or further functions to the binary inputs and outputs This option provides the opportunity to adapt the MFC to special conditions in the facility or specific requirements of the application The functions can be set with the communication software MassFlowCommunicator see Apendix C The setting of the functions is detailled explained in the help function of the MassFlowCommunicator in the menu item Assignment of In and Outputs LEDs of the device The LEDs which are integrated in the device display the staus of the setted functions Following functions can be setted to the LEDs Display of the active used gascalibration Display of active binary inputs valve completely opened or closed control of safety value setpoint profile of the device is controlled Control operation active inactive communication active inactive source of setpoint bus serial communication several bus or communicationstatus see help function of the MassFlowCommunicator Assignment of In and Ou
119. nal for repeater N C 5 GND data transmission potential N C i Men voltage P5V nom 7 N C CAN H data line 8 RxD TxD N A line N C 9 N C N C 15 pole Sub HD socket Analog drive Bus version 1 Setpoint input N C 2 Setpoint input GND N C 3 Process value output N C 4 Binary input 2 5 12 V output for factory unse only 6 RS232 TxD direct connection to PC 7 Binary input 1 24V supply 8 DGND for binary inputs Relay 1 C contact 9 For factory use only do not connect Relay 2 C contact 10 12 V output for factory use only Relay 1 NC contact 11 12 V output for factory use only Relay 1 NO contact 12 Binary input 3 24V supply GND 13 Process value output GND N C Relay 2 NO contact 14 RS232 RxD direct connection to PC Relay 2 NC contact 15 DGND for RS232 interface EN NOTE If a device of Type 8626 8006 built before 2003 is to be replaced by a new one from 2003 on this can be done by using an adapter see Appendix A without additional cabling MFC MFM 31 burkert Connection configuration Type 8710 8700 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 32 MFC MFM 1 2 3 4 5 6 T 8 15 pole Sub D plug Relay output NC contact Relay output NO contact Relay output C contact GND 24 V supply and binary inputs 24 V supply 8 V output For f
120. nd wie im Standard Regelbetrieb Hierbei wird allerdings der externe Vorgabewert ignoriert und eine vorher definierte zeitliche Abfolge von bis zu 30 Durchflusswerten als Sollwert verwendet Konfigu ration mit PC Software MassFlowCommunicator Nach Durchlaufen der Sollwertfolge f llt das Ger t in den vorherigen Betriebszu stand zur ck Steuerbetrieb Diese Funktion kann je nach Ger tekonfiguration ber einen Bin reingang oder Feldbus aktiviert bzw zur ckgesetzt werden In diesem Betriebszustand wird der Sollwert als Stellgr e f r das Ventil Tastver h ltnis verwendet z B Sollwert 10 gt Ventil Tastverh ltnis 10 96 90 MFC MFM burkert Betriebszust nde MFC MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Betriebs kann Darstellung Erreichen des zustand unterbrochen bzw auf Anzeige Betriebszustands ber beendet werden LEDs bei Bin reingang falls durch Default konfiguriert Standard Autotune Routine Regelbetrieb Sicherheitsfunktion Sollwert Profil Steuerbetrieb Steuerbetrieb Autotune Routine LIMIT y LED solange aktiv Sicherheitsfunktion blinkt Sollwert Profil Sollwert Profil Autotune Routine LIMIT y LED Ausl sen bei aktivem Sicherheitsfunktion blinkt Bin reingang gt 0 5 s Ger te Reset bei Dauerbelegung wird immer neu gestartet Autotune Sicherheitsfunktion POWER LED Ausl sen bei aktivem Routine Ger te Reset blinkt Bin rein
121. ner Spannungsversorgung beiden Typen 8710 8700 8711 8701 8713 8703 nicht vorhanden bei den Typen 8713 8703 als Offner ausgef hrt HINWEIS Die Funktionen der POWER und ERROR LED sind nicht ver nder bar Die hier beschriebenen Funktionen der Normsignalein und ausg nge und der Bin rein und ausg ngen sind Einstellungen im Auslieferungszustand Anwendungsspezifische Belegung der Ein und Ausg nge Die MFCs geben dem Anwender zus tzlich die M glichkeit den Bin rein und ausg ngen andere oder weitere Funktionen zuzuweisen Dadurch k nnen die Ger te auf besondere Bedingungen in der Anlage oder auf spezifische Anforde rungen der Anwendung eingestellt werden Diese Funktionen k nnen mit der Kommunikationssoftware MassFlow Communicator siehe Anhang C eingestellt werden Die Einstellung der Funktio nen wird in der Hilfefunktion des MassFlowCommunicators im Men punkt Assignment of In and Outputs detailliert erkl rt Leuchtdioden im Ger t Die im Ger t integrierten Leuchtdioden zeigen die Stati von zuvor zugewiese nen Funktionen an z B Anzeige der im aktuellen Betrieb genutzten Gaskalibrierung Anzeige der aktiven Bin reing nge Ventil wird ganz ge ffnet oder geschlossen Ausregeln des Sicherheitswertes Sollwertprofil des Ger tes wird ausgeregelt Steuerbetrieb aktiv inaktiv Kommunikation aktiv inaktiv Herkunft des Sollwertes Bus serielle Kommunikation
122. ng time T Power supply Lin ax 0 005 to 1 0 l min N equivalent neutral not contaminated gases others on request 10 bar 145 psi depends on valve orifice operating gas or air with conversion factor 10 to 70 C 10 to 50 C x 1 5 of Rdg 0 3 of ES 0 25 FS x 0 1 96 ES 1 50 3 sec 24 V DC x 10 95 residual ripple 5 96 Connection cross section Power consumption Electrical isolation Setpoint setting to be chosen Resolution Input impedance voltage input Input impedance current input 2 binary inputs Process value output to be chosen Resolution max voltage voltage output max burden current output 2 Relay output min 0 25 mm better 0 5 mm max 6 5 W dep on value max 9 W fieldbus version no 0 10V 0 5V 0 20 mA or 4 20 mA 2 5 mV or 5 pA 20 kOhm 300 Ohm low activated connected to GND to activate 0 10V 0 5V 0 20 mA or 4 20 mA 10 mV or 20 pA 10 mA 600 Ohm potential free changeover 25 V 1 A 25 VA Connection Type of protection Housing material Cover material Installation position 15 pole Sub D plug 5 pole M12 plug only with DeviceNet 5 pole M12 socket only with Profibus DP IP 50 Aluminium or stainless steel PBT horizontal or vertical MFC MFM 19 burkert Type 8711 8701 MASS FLOW CMOSens Full scale range Q 0 02 to 50 min N equivalent nom
123. nicates via bus or RS interface yellow LIMIT y LED With MFC indicates that the correcting variable of the valve has almost reached 100 In practice this usually means that the pressure at the controller is insufficient to realize the desired flow rate With MFM indicates that the process value has almost reached the nominal flow rate flashes The device is in an operating mode other than control or Autotune ERROR LED Not a serious error e g Autone not completed successfully or faulty LED MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 flashes Serious error e g sensor breakage or faulty internal voltage supply Binary inputs default configuration In order to initiate the event in each case the binary input must be connected for at least 0 5 s to DGND Functions Binary input 1 Autotune function not configured with MFM Binary input 2 not configured not present with 8713 8703 with second gas calibration change gas Binary input 3 not configured not present with 8710 8700 8711 8701 8713 8703 38 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Binary outputs default configuration The binary outputs are executed as realy outputs potential free changeover contacts Functions Relay 1 LIMIT y Relay 2 ERROR serious error e g sensor breakage or faulty inter
124. nsor Direct medium contact by the resistors R and R in the main flow assure excellent dynamics for the devices with response times of a few hundred miliseconds on sudden changes in the setpoint or process value Owing to the arrangement of the resistors on a glass support Iying tangential to the flow the sensor is only slightly prone to contamination The measurement range of the Inline sensor is limited at the bottom end by instrinsic convection in the flow channel which also occurs when the control valve is closed It is hece unsuitable for devices whose working range must extend to flow rates below ca 1 min The signal from intrinsic convection in the flow channel depends on the installation position of the device In order that high precision can be obtained at low flow rates the actual installation position should be identical to that specified on ordering For the same reason the operating pressure should not differ too much from the calibration pressure 1 The device is calibrated in the installation position stated in the questionnaire to be found in the Annex to the Data Sheet 10 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Bypass sensor in conventional technology capillary Types 8710 8700 Measurement is also on the bypass principle A laminar flow element in the main channel generates a small pressure drop This drives a small flow proportional to the
125. ntil in dem Medienkreis nicht erforderlich Falls aus sicherheitstechnischen Gesichtspunkten dennoch ein zus tzliches Absperrventil vor bzw hinter dem MFC gesetzt wird sollte die Ansteuerung in folgender Reihenfolge stattfinden Start 1 Druckversorgung anschlie en 2 ffnen des Absperrventils 3 Sollwertvorgabe MFC normaler Regelbetrieb Abschalten 1 Sollwertvorgabe MFC auf 0 setzen 2 Schlie en des Absperrventils wenn Istwert 0 erreicht ist Eine andere Reihenfolge kann dazu f hren dass es beim erneuten ffnen des Absperrventils auch bei einem Sollwert Null zu einem kurzen Durchflussimpuls kommt bzw bei der ersten Sollwertvorgabe ein deutlicher Uberschwinger auftritt Mechanische und fluidische Installation W hlen Sie die verf gbaren fluidischen Anschl sse passend zum maximalen Durchfluss Einlaufstrecken sind nicht erforderlich Falls notwendig liefern wir auch Sondergr en wobei die Auslegung der fluidischen Anlage hinsichtlich Str mung und Druckabfall ber cksichtigt werden muss Fluidische Anschl sse Die Ger te k nnen auf Wunsch auch mit montierten fluidischen Anschl ssen geliefert weden Bitte w hlen Sie die entsprechenden fluidischen Anschl sse aus der Tabelle im Anhang B aus Anschl sse am MFC MFM Standard Einschraubgewinde Sonder Einschraubgewinde Flansch aus Typ G 1 4 G 3 8 G 1 2 G 3 4 NPT 1 4 NPT 3 8 NPT1 2 NPT3 4 f hrung 8626 X X X X X X X X 8000 X X X X
126. ntrolled They control to a preset setpoint value independent of disturbances such as pressure variations or flow resistances that vary with time e g as a result of filter contamination The MFCs contain the components flow rate sensor Q sensor electronics with the functions signal processing control and valve drive and a proportional solenoid valve as the servo component controller servo I component l I Fig Components of a Mass Flow Controller The setpoint value w is set electrically via a standard signal or a field bus The process value x measured by the sensor is compared in the controller with the setpoint value The correcting variable is sent as a plus width modulated voltage signal to the servo component The pulse duty factor of the voltage signal is varied according to the control deviation determined The process value in addition is sent out via an analog electrical interface or a field bus and is available to the user for monitoring purposes or further evaluation e g calculation of consumption by integration The thermal measurement principle guarantees that the MFCs control to the required mass flow to a large extent independently of pressure and temperature variations in the respective application The MFMs in contrast to the corresponding MFCs do not have a proportional valve so that these devices can only be used to measure the mass flow and not to contr
127. o be chosen Resolution Input impedance voltage input Input impedance current input 3 binary inputs Process value output to be chosen Resolution max current volt outp max burden curr outp x 0 1 of ES 1 50 500 ms 24 V DC 10 95 residual ripple lt 5 96 min 0 5 mm 0 75 mm for valve Type 2836 20 W max 50 W Type 8626 dep on Valve 22 5 W max 52 5 W Type 8626 bus dep on valve 10 W Type 8006 12 5 W Type 8006 bus yes 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 2 5 mV or 5 pA gt 20 kOhm lt 300 Ohm low activated connect to GND to activate 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 10 mV or 20 pA 10 mA 600 Ohm 2 relay outputs Connections Type of protection Housing material Cover material Installation position 18 MFC MFM potential free changeover 60 V 1 A 60 VA 8 pole socket 15 pole SUB HD socket 9 pole SUB D socket bus version only IP 65 with the specified plug connectors aluminium anodized or stainless steel 1 4305 aluminium diecasting painted horizontal or vertical burkert Type 8710 8700 MASS FLOW CMOSens MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Full scale range Q Operating media max operating pressure inlet Calibration medium Medium temperature Ambient temperature Measurement accuracy after 30 min warm up Linearity Reproducibility Control range Span Settli
128. oches pour les types 8626 8006 Prise SUB D 9 p le ex cution bus seulement PROFIBUS DP DeviceNet 1 Blindage FE terre fonctionnelle 4 CAN L ligne de 2 N C non connect donn es 3 RxD TxD P ligne B GND 4 RTS signal de commande pour N C r p titeur GND potentiel de transmission des 5 h N C donn es VDD S Tension d alimentation P5V i ZINC CAN H ligne de donn es 8 RxD TxD N ligne A N C 9 N C N C 2 Prise SUB HD 15 p les G Pilotage analogique Ex cution bus Qa 1 Entr e valeur de consigne N C c 2 Entr e valeur de consigne GND N C 3 Sortie valeur mesur e N C 4 Entr e binaire 2 5 Sortie 12 V utilisation interne seulement 6 RS232 TxD raccordement direct au PC Prise 8 p le ronde 7 Entr e binaire 1 1 Alimentation 24 V 8 DGND pour entr e binaire 2 Relais 1 contact central 9 utilisation interne seulement ne pas connecter 3 Relais 2 contact central 10 Sortie 12 V utilisation interne seulement 4 Relais 1 contact de repos 11 Sortie 12 V utilisation interne seulement 5 Relais 1 contact de travail 12 Entr e binaire 3 6 24 V GND alimentation 13 GND sortie valeur mesur e N C 7 Relais 2 contact de repos 14 RS232 RxD raccordement direct au PC 8 Relais 2 contact de travail 15 DGND pour interface RS232 REMARQUE Si l on doit remplacer un appareil du type 8626 8006 d avant 2003 par
129. ohrleitungen Filter etc deren Durchflussbeiwert in einer Gr e k zusammengefasst werden kann 62 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Aus dem gew nschten Nenndurchfluss Q und den Dr cken p und p ist in diesem Falle analog zu Gl 1 oder 2 zun chst der minimale Durchflussbeiwert der Gesamtanlage Kio zu ermitteln ber die Beziehung 2 2 2 EE Kyges kys ky welche die Reihenschaltung der Widerst nde des MFC k und der Anlage k beschreibt l sst sich bei bekanntem k der erforderliche k Wert des MFC bzw die Nennweite des Stellgliedes ermitteln Diese wird gr er ausfallen als wenn die brigen Str mungswiderst nde nicht vorhanden w ren Die sogenannte Ventilautorit t y Ap vo _ ky Ap ku Ku g ist f r die Regeleigenschaften des MFC in der Anlage wichtig Sie sollte nicht unter einem Wert von 0 3 0 5 liegen Bedeutung der Formelzeichen ky Durchflussbeiwert der Anlage mit eingebautem MFC k Durchflussbeiwert der Anlage ohne eingebauten MFC kann ermittelt werden indem man die Leitung am Einbauort des MFC kurzschlie t k Durchflussbeiwert des MFC bei voll ge ffnetem Stellglied in m h Vs D Dichte des Mediums in kg m unter Normbedingungen 1013 mbar 273 K T Temperatur des Gases in K p p Absolutdr cke in bar vor und nach dem MFC Ap p p Q Maximaldurchfluss des
130. ol it The characteristics of the other components described in the following in particular the sensors are identical with those of the MFCs 8 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Sensors Thermal measurement principle The flow sensors employed work on a thermal anemometer measurement principle They measure in each case the product of density an flow velocity and thus deli ver a signal related to the quantity of material flowing For most applications the relevant quantity mass flow is directly determined thereby without additional measurement of secondary quantities such as density and the signal can be further processed in the controller as the process value Depending on the flow rate range and the intended market for the devices the individual types contain sensors with three different variants of flow rate measurement In the following the functioning and associated characteristics of these sensors are briefly described NOTE Please take into account that the relative sensitivity for different gases differs for the three measurement principles and any correction factors existing for one operating gas to another are in no case transferable between sensor variants 1 Itis true that the units generallly used for characterizing the measurement range I min or m h havethe dimensions volume time but because of the reference to
131. ol ranges on request MFC MFM 13 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Depending on the version of the device the setpoint is set either via the standard signal input as an analog signal or digitally via the field bus interface Independent of the control status the flow rate measured by the sensor is sent as an analog signal via the standard signal input or digitally via the field bus interface In order to obtain a dynamic or a more sluggish process value output signal the degree of filtering of the output signal can be adjusted with the software MassFlowCommunicator Proportional valve In all MFC series the servo elements used are linear armature proportional valves from the B rkert valve range Design measures especially with the valves in the MFC for low flow rate Types 8710 8711 8712 8713 assure low friction guidance of the moving armature In combination with the PWM drive this assures a continuous largely linear characteristic curve as well as high response sensitivity Both are important for optimal functioning in the closed control loop of the MFC The nominal diameters of the valves are determined from the required nominal flow rate Q o the pressure conditions in the application and the density of the operating gas The manufacturer selects a proportional valve on the basis of these data whose flow coefficient k enables a maximum flow rate
132. ontage sp cifi e dans le questionnaire annex la fiche technique 106 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Capteur bypass en technologie capillary conventionnelle Types 8710 8700 La mesure est galement r alis e ici selon le principe de bypass Un l ment de d bit laminaire plac dans le canal principal produit une l g re baisse de pression qui entra ne une petite portion du flux total proportionnelle ce dernier dans le petit tube capillaire du capteur Deux r sistances de chauffage sont plac es sur le tube fin en acier inoxydable qui sont branch es sous forme de pont de mesure Le flux transporte de la chaleur dans le sens d coulement et les ponts pr c demment r alis s sont alors d cal s Flux gazeux N Vv Pr filtre Organe laminat Figure Sch ma de fonctionnement du principe de mesure de bypass capillary La dynamique de la mesure est d termin e par la paroi du tube du capteur qui sert de barri re thermique et est par principe nettement moins pertinente que celle des capteurs dont les r sistances sont install es directement dans le fluide Grace a des mesures techniques et logicielles des dur es de r glage suffisantes pour la plupart des applications peuvent tre atteintes sur le r gulateur g n ralement quelques secondes La mise en place d l ments de filtration en amont est conseill e pour
133. ou 0 3 p e Lin arit 0 25 p e Reproductibilit x 0 1 6 p e Rapport d echelle 1 50 Temps de r glage T 500 ms Tension de service Section de branchement Puissance absorb e Isolation galvanique Specification de valeur de consigne s lectionnable R solution Imp dance d entr e entr e tension Imp dance d entr e entr e courant 3 entr es binaires 24 V DC 10 96 ondulation r siduelle 5 96 min 0 5 mm 20 W max 30 W type 8716 selon vanne 22 5 W max 32 5 W type 8716 bus selon vanne 10 W type 8706 12 5 W type 8706 bus Oui 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 MA 2 5 mV resp 5 pA gt 20 kOhm lt 300 Ohm Actif sur bas relier GND pour activation Signal de sortie s lectionnable R solution Courant max sortie tension charge max sortie courant 2 sorties relais Branchements Indice de protection Mat riau du boitier Mat riau du couvercle Position de montage 0 10V 0 5V 0 20 mA 4 20 mA 10 mV resp 20 pA 10 mA 600 Ohm inverseur libre de potentiel 60 V 1 A 60 VA Prise 8 p les Prise 15 p les SUB HD Prise 9 p les SUB D seul ex cution bus IP 65 avec les connecteurs prescrits Aluminium lox ou acier inoxydable 1 4305 PBT horizontale ou verticale MFC MFM 119 fran ais KA r On S burkert MONTAGE INSTALLATION ET MISE EN SERVICE Dessins cot s
134. oute responsabilit en cas d inobservation de ces consignes et d interventions non autoris es dans l appareil Il en r sulterait par ailleurs l annulation de la garantie sur l appareil et les pi ces accessoires MFC MFM 101 fran ais o Es G Qs S MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Protection contre des dommages dus a des charges lectrostatiques A L appareil comporte des composants lectroniques sen sibles aux d charges lectrostatiques ESD Ces ki 4 composants sont mis en danger par le contact avec des personnes ou objets charg s lectrostatiquement Au pire ATTENTION ils seront imm diatement d truits ou se r v leront PRUDENCE EN d faillants au moment de la mise en service MANIPULATION COMPOSANTS ET Tenir compte des exigences selon EN 100 015 1 pour SOUS GROUPES SONT minimiser ou viter le risque d un dommage caus par une MIS SECH PAR subite d charge lectrostatique Veiller galement ne pas LECTROSTATIQUES toucher les composants lectroniques proximit imm diate de la tension d alimentation Fourniture Contr ler d s r ception de l envoi que le contenu n a subi aucun dommage et qu il correspond bien la fourniture sp cifi e Celle ci comprend g n ralement e MFC ou MFM type 8626 8006 ou 87xx e les instructions de service sur papier le cas ch ant sur support de donn es pour les appareils
135. riermedium Mediumstemperatur Betriebsgas oder Luft 10 70 C Umgebungstemperatur Messgenauigkeit nach 1 min Aufw rmzeit 10 50 C 0 8 v M 0 3 v E Linearit t Reproduzierbarkeit 0 1 v E 0 1 6 v E Messspanne Ausregelzeit T 1 50 h here Messspanne auf Anfrage 300 ms Betriebsspannung 24 V DC 10 Restwelligkeit 5 Anschlussquerschnitt min 0 25 mm besser 0 5 mm Leistungsaufnahme max 6 5 W Galvanische Trennung ja Sollwertvorgabe Digitale Kommunikation ber RS 485 1 Bin reingang Istwertausgabe Low aktiv zur Aktivierung mit GND verbinden Digitale Kommunikation ber RS 485 1 Relaisausgang Potentialfreie Wechsler 25 V 1 A 25 VA Anschl sse 9pol SUB D Stecker Schutzart IP 50 Werkstoff Geh use Deckel Einbaulage Aluminium oder Edelstahl 1 4305 Stahlblech verchromt horizontal oder vertikal 70 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Typ 8716 8706 MASS FLOW INLINE Endwertebereich Q nou Betriebsmedien max Betriebsdruck Kalibriermedium Mediumstemperatur Umgebungstemperatur Messgenauigkeit nach 15 min Aufwarmzeit 8716 25 500 min Bezugsmedium N 8706 25 1500 min Bezugsmedium N neutrale nicht kontaminierte Gase andere auf Anfrage 10 bar abh ngig von der Ventilnennweite Betriebsgas oder Luft
136. roceed in the following sequence on commissioning an MFC MFM Mechanical and fluidic installation Electrical installation Pressurize with operating medium Regular working operation fog omm y NOTE The specified precision will be obtained only when after switching on the thermal equilibration processes have been completed and the device has reached its operating temperature the time required depends on the device type see Technical Data 28 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Operation with additional isolation valve The proportional valve integrated into the MFC assumes the tight closure function so that an additional isolation valve is not required in the medium circuit H for safety reasons however an additional isolation valve is placed before or after the MFC the drive sequence should be as follows Start 1 Connect pressure supply 2 Open isolation valve 3 Set MFC setpoint normal control operation Shut down 1 Set MFC setpoint to 0 96 2 Close isolation valve when process value of 0 is reached Any other sequence could result on renewed opening of the isolation valve even with setpoint zero in a short flow pulse or on first setting of the setpoint significant overswing Mechanical and fluidic installation Select the available fluidic connections to match the maximum flow rate Intake sections are not required If necessary
137. roportionalventil so dass diese Ger te nur zum Messen des Massendurch flusses nicht aber zu dessen Regelung eingesetzt werden k nnen Die im Fol genden beschriebenen Eigenschaften der anderen Komponenten insbesondere der Sensoren sind identisch mit denen der MFC 56 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Sensor Thermisches Messprinzip Die verwendeten Durchflusssensoren arbeiten nach einem thermischen anemometrischen Messverfahren Sie messen jeweils das Produkt aus Dichte und Str mungsgeschwindigkeit und liefern damit ein stoffmengenbezogenes Signal Dadurch wird die f r die meisten Applikationen relevante Gr e Massendurchfluss direkt und ohne zus tzliche Erfassung von Hilfsgr en wie der Dichte bestimmt und kann im Regler als Istwert weiterverarbeitet werden Je nach Durchflussbereich und Zielmarkt der Ger te enthalten die einzelnen Typen Sensoren mit drei verschiedenen Varianten thermischer Durchfluss messung Diese werden nachfolgend in ihrer Funktion und den resultierenden Eigenschaften kurz beschrieben HINWEIS Bitte ber cksichtigen Sie dass sich die relativen Empfindlichkeiten f r verschiedene Gase bei den drei Messprinzipien unterscheiden und eventuell vorliegende Korrekturfaktoren von einem Betriebsgas auf ein anderes keinesfalls zwischen den Sensorvarianten bertragbar sind Die blicherweise zur Messbereichscharakteris
138. rt com as well as on the B rkert Manual CD MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben Ee 50 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert MassFlowController MFC Typen 8626 8710 8711 8712 8713 8716 MassFlowMeter MFM Typen 8006 8700 8701 8702 8703 8706 ALLGEMEINE HINWEISE ann 53 B rstellungsmittel e sera ee ee 53 Bestimmungsgem e Verwendung ttes 53 Sicherheitshinweise EE 53 Schutz gegen Besch digung durch elektrostatische Aufladung 54 EI e BEE 54 Garantiebestimmungen EE 54 SYSTEMBESCHREIBUNG EE 55 Typensystematik mens 55 Allgemeine Funktion nement 56 Sensor nn Thermisches Messprinzip Inline Sensor Typen 8626 8006 8716 8706 58 Bypass Sensor konventioneller Technologie capillary Typen 8710 7 8700 cists cau saosin ea 59 Bypass Sensor in CMOSens Technologie Typen 8713 8703 8712 8702 8711 8701 oiececceccscssesssesessestsessnssnstntsnetnte 60 Regelelektronik 25d eoe ees 61 Proportionalventil tee ML 62 TECHNISCHE DATEN eebe nine mnt 65 Typ 8626 8006 MASS FLOW INLINE stt 66 Typ 8710 8700 MASS FLOW 67 Typ 8711 8701 MASS FLOW CMOSens s 68 Typ 8712 8702 MASS FLOW CMOSEnSs s 69 Typ 8713 8703 MASS FLOW CMOSens ss 70 Typ 8716 8706 MASS FLOW INLINE sn 71 MFC MFM 51 MAN 10000
139. s types Pour tenir compte des propri t s du syst me r gl le r gulateur travaille avec des facteurs d amplification sp cifiques Ceux ci sont automatiquement d finis lors de l activation de la fonction Autotune Un param tre de l appareil permet de modifier la dynamique de r gulation l aide du logiciel MassFlowCommunicator Ses valeurs extr mes correspondent une r gulation tr s rapide tenant compte des suroscillations et une r gulation asymptotique plus lente vers la valeur de consigne d sir e Le premier peut entrainer une r action imm diate aux carts de r glage m me tr s faibles d o une r gulation tr s instable Pour les processus moins dynamiques il est possible d att nuer le comportement du r gulateur de sorte que les fluctuations de la vari able instantan e ou de la valeur de consigne ne soient corrig es que lentement Le r gulateur d livre comme valeur r glante un signal en tension modul largeur d impulsion variable PWM la vanne proportionnelle La fr quence de ce signal est adapt e la vanne mise en oeuvre Afin de r aliser la fonction de fermeture herm tique de la vanne un d clenchement au point z ro est int gr Cette fonction est activ e lorsque les deux conditions ci dessous sont satisfaites simultan ment Valeur de consigne lt 2 du d bit nominal et Variable instantan e lt 2 du d bit nominal Lorsque le d clenchement au point z ro est activ
140. saire un r talonnage en usine 140 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert DEPANNAGE LOCALISATION DES DEFAUTS Probl me La LED POWER ne s allume pas La LED POWER clignote La LED POWER s teint p riodiquement La LED LIMIT y s allume seulement avec configuration par d faut La LED LIMIT y clignote seulement avec configuration par d faut La LED ERROR s allume La LED ERROR clignote Pas de d bit Cause probable Pas d alimentation lectrique Autotune en cours La tension d alimentation est coup e p riodiquement l appareil ex cute une r initialisation Pertes excessives du c ble de branchement MFC La variable r glante de la vanne atteint presque 100 96 la valeur de consigne ne peut pas tre atteinte MFM La variable instantan e est proche du d bit nominal Autre mode op rationnel que la r gulation normale ou Autotune Apparition d un d faut moins grave Dernier Autotune achev sans succ s D tection d un d faut sur une DEL L ondulation r siduelle de la tension d alimentation est trop lev e Correction Contr ler le branchement lectrique Voir le chapitre Modes op rationnels Adoptez une unit d alimentation d une puissance suffisante Augmenter la section du c ble R duire la longueur du c ble Augmenter la pre
141. sausf hrung Profibus DP Buchse B codiert M12 DPV1 max 12 Mbaud Belegung Schirm VDD DGND CAN_H CAN_L MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Anschlussbelegung Typ 8711 8701 1 2 3 4 5 6 7 8 1 e oj ojo n2 o m ml sl sl 2 o m o _ Ku 15pol Sub D Stecker Relais ffner Relais Schlie er Relais Mittelkontakt GND f r 24 V Versorgung und Bin reing nge 24 V Versorgung 8 V Ausgang nur werksinterne Verwendung Sollewerteingang GND Sollwerteingang Istwertausgang GND Istwertausgang DGND f r RS 232 Bin reingang 1 Bin reingang 2 RS 232 RxD ohne Treiber RS 232 TxD ohne Treiber Nur bei Feldbusausf hrung Profibus DP Buchse B codiert M12 DPV1 max 12 Mbaud DeviceNet Stecker M12 PIN Belegung 1 Schirm 2 VDD 3 DGND 4 CAN_H 5 CAN_L MFC MFM 81 burkert Anschlussbelegung Typ 8712 8702 9pol Sub D Buchse nur bei Busausf hrung PROFIBUS DP DeviceNet Schirm FE Funktionserde N C not connected CAN_L Datenleitung RxD TxD P B Leitung GND RTS Steuersignal f r Repeater N C a l2 oln GND Daten bertragungspotential N C VDD Versorgungsspannung P5V N C CAN_H Datenleitung RxD TxD N A Leitung N C N C N C N C ojoj o 15pol Sub HD Buchse analoge Ansteuerung Sollwerteingang Sollwert
142. sowie der Sicherheitshinweise oder der Sicherheitskennzeichnung erlischt der Haftungsanspruch Sicherheitshinweise Halten Sie sich bei der Einsatzplanung und dem Betrieb des Ger tes an die allgemeinen Regeln der Technik Installation und Wartungsarbeiten d rfen nur durch Fachpersonal und mit geeignetem Werkzeug erfolgen e Beachten Sie die geltenden Unfallverh tungs und Sicherheitsbestim mungen f r elektrische Ger te w hrend des Betriebs und der Wartung des Ger tes Schalten Sie vor Eingriffen in das System in jedem Fall die Spannung ab Treffen Sie geeignete Ma nahmen um unbeabsichtigtes Bet tigen oder unzul ssige Beeintr chtigung auszuschlie en Bei Nichtbeachtung dieser Hinweise und unzul ssigen Eingriffen in das Ger t entf llt jegliche Haftung unsererseits ebenso erlischt die Garantie auf Ger te und Zubeh rteile MFC MFM 53 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Schutz gegen Besch digung durch elektrostatische Aufladung Das Ger t enth lt elektronische Bauelemente die gegen elek A trostatische Entladung ESD empfindlich reagieren Ber hrung ki A mit elektrostatisch aufgeladenen Personen oder Gegenst n den gef hrdet diese Bauelemente Im schlimmsten Fall werden ACHTUNG sie sofort zerst rt oder fallen nach der Inbetriebnahme aus ee Beachten Sie die Anforderungen nach EN 100 015 1 um die ELEKTROSTATISCH M glichkeit eines
143. ssion d alimentation Contr ler et si n cessaire r durie la r sistance des lignes Contr ler la configuration de l installation voir chapitre Vanne proportionnelle Voir le chapitre Modes op rationnels Reprendre l autotune ou annuler l erreur par une r initialisation En cas de d faut de la LED ou de la sortie binaire une exploitation r duite peut tre poursuivie S lectionner une source de tension appropri e pas de tension continue technique Erreur critique par ex d faillance du capteur ou d faut interne de l alimentation Valeur de consigne inf rieure au d clenchement de point z ro Autre mode op rationnel La suite du tableau voir une page suivante Renvoyer l appareil au fabricant pour r vision Augmenter la valeur de consigne gt 2 de Q nenn V rifier le mode op rationnel MFC MFM 141 francais 7 G Qs S MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Probleme Fluctuation de la variable instantan e Le r gulateur tend a osciller Valeur de consigne w 0 mais d bit pr sent apr s quelques secondes Valeur de consigne w 0 vanne ferm e aucun d bit mais sortie de variable instantan e repr sentant un faible d bit Forte suroscillation du r gulateur en cas de saut de consigne a partir de 0 Cause probable Pas de connexion a la terre FE satisfaisante L
144. st so klein dass schon bei Durchfl ssen von weniger als 1 cm min ein ausreichendes Messsignal erzeugt wird Die obere Messgrenze ist erreicht wenn die urspr nglich laminare Str mung im Kanal turbu lent wird H here Durchflussbereiche kann man erschlie en indem man in einen parallelgeschalteten gr eren Kanal ein Bypass Element einbringt das die gleiche Durchfluss Druck Charakteristik aufweist wie der Sensorkanal Bei konstantem Teilerverh ltnis kann dann aus der Messung der Teilmenge nach entsprechender Kalibrierung auf den Gesamtdurchfluss r ckgeschlossen werden Die geringe thermische Masse der Temperatursensoren und deren direkter Kon takt mit der Str mung bis auf eine Schutzschicht haben zur Folge dass das Sensorsignal auf spontan auftretende Durchfluss nderungen sehr schnell rea giert Dadurch kann der MFC Sollwert oder Istwert nderungen innerhalb von wenigen 100 ms ausregeln Dar ber hinaus hat der Sensor eine hohe Empfindlich keit bis hin zu kleinsten Durchfl ssen sowie zus tzliche Korrektur und Diagnose m glichkeiten ber das Signal eines weiteren Temperatursensors auf dem Chip 60 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Regelelektronik Die Verarbeitung der aktuellen Soll und Ist Durchfl sse und die Ansteuerung des Stellgliedes wird von einer Mikroprozessorelektronik durchgef hrt Das Sensorsignal wird von der Regelelektronik gefilt
145. t at Die Kontaktadressen finden Sie im Internet unter Les adresses se trouvent sur internet sous www burkert com gt B rkert gt Company Locations MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 The smart choice 9 E of Fluid Control Systems pu rkert www buerkert com Fluid Control Systems
146. t den MassFlowControllern bzw MassFlowMetern ACHTUNG CHTUNG Bei den Typen 8710 8700 und 8711 8701 wird ein Adapter mit Schnittstellentreiber ben tigt Bei den Typen 8713 8703 ist der Schnittstellentreiber in der RS 485 Schnittstelle integriert bei Kommunikation ber RS 232 wird ein Adapter mit Schnittstellen treiber ben tigt siehe Zubeh r in Anhang A Zur leichteren Adap tion der Typen 8626 8006 8712 8702 und 8716 8706 ist ebenfalls ein Adapter erh ltlich siehe Zubeh r in Anhang A MFC MFM 97 burkert Eine detaillierte Beschreibung und genaue Auflistung der Vorgehensweise bei der Bedienung der Software MassFlowCommunicator entnehmen Sie bitte der in der Hilfefunktion des Programmes enthaltenen Software Dokumentation Download der Software unter www buerkert com HINWEIS Unter der Downloadfunktion steht immer die aktuellste Version des MassFlowCommunicators zur Verf gung Dokumentation Die gesamte Dokumentation steht im Internet unter www buerkert com sowie auf der Bedienungsanleitungs CD zum Download zur Verf gung MAN 1000011173 ML Version L Status RL released TEM 14 12 2009 98 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert MassFlowController MFC type 8626 8710 8711 8712 8713 8716 MassFlowMeter MFM type 8006 8700 8701 8702 8703 8706 REMARQUES GENERALES sisi 101 Symboles d
147. tahl gefertigt sind Au erdem ist bei diesem Sensorprinzip die Umrechnung zwischen verschiedenen Gasen m glich Eine Auswahl von Faktoren finden Sie in der Tabelle weitere auf Anfrage Q Gas f x Q N2 Gas Faktor f Bei Anwendung der Gasfaktoren kann es zu Mess N Hoo fehlern kommen die au erhalb der Datenblatt 2 spezifikation liegen Bei Anwendungen die eine hohe Luft 1 00 Genauigkeit erfordern wird eine Kalibrierung unter O 0 99 Einsatzbedingungen empfohlen H 1 01 Ar 1 4 He 1 41 CO 0 76 MFC MFM 59 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Bypass Sensor in CMOSens Technologie Typen 8713 8703 8712 8702 8711 8701 Der Massendurchfluss wird bei dieser Technologie in einem speziell geformten Str mungskanal gemessen dessen Wandung an einer Stelle einen Si Chip mit einer freige tzten Membran enth lt Auf dieser Membran sind in CMOSens Technologie ein Heizwiderstand sowie symmetrisch zu diesem stromaufw rts und stromabw rts zwei Temperatursensoren aufgebracht Wird der Heizwiderstand mit einer konstanten Spannung gespeist ist die Differenzspannung der Temperatursensoren ein Ma f r den Massendurchfluss des im Str mungskanal ber den Chip str menden Gases Gasstrom Sensor Element Heizer T Sensoren Bild Prinzipdarstellung des Bypass Sensor in CMOSens Technologie Der Querschnitt des Str mungskanals i
148. tions Air 1 00 which need high accuracy it is O 0 99 recommended to calibrate under H 1 01 application conditions 5 d Ar 1 4 He 1 41 CO 0 76 MFC MFM 11 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Bypass sensor in CMOSens technology Types 8713 8703 8712 8702 8711 8701 In this technology the mass flow is measured in a specially shaped flow channel whose wall contains at one point a Si chip with a membrane that has been formed by etching To this membrane are applied in CMOSens technology a heating resistor and two temperature sensors arranged symmetrically upstream and downstream of the heater When the heating resistor is fed with a constant voltage the voltage difference between the temperature sensors is a measure of the mass flow of the gas flowing in the channel over the chip gas flow sensor element heater T sensors Fig Schematic diagram of the bypass sensor in CMOSens technology The cross section of the flow channel is small enough that an adequate measurement signal is generated already at flow rates of less than 1 cm min The upper measurement limit is reached when the originally laminar flow in the channel becomes turbulent Higher flow ranges can be obtained by placing a bypass element in a larger channel which is connected in parallel When the division ratio remains constant measurement of the partial flow after suitabl
149. tputs MFC MFM 39 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Binary outputs The binary outputs of the MFC which can be defined specificly can be used to transfer information to a higher level controller under certain circumstances The binary outputs enable to make predication of the device or can be used for diagnostics and fixing malfunctions Status of the device autotune routine active active used gascalibration active binary inputs status of bus module or bus communication setpoint profile of the device is controlled control operation active control of safety value valve completely opened or closed limit switches Binary outputs are setted when the limit value eg totalizer limit value set point limit value etc is under or overstepped faults malfunctions Serveral faults and malfunctions can be reported for example sensor damages or faults with current or supply voltage see help function of the MassFlowCommunicator Assignment of In and Outputs Binary intputs Defined functions can be set to the binary inputs If the binary input is externally activated the function is processed activate autotune routine Switch to another gascalibration safety value active inactive control of safety value depending on the binary input setpoint profile of the device is controlled Switch to control operation reset the total
150. ts suivants capteur de d bit Q Sensor l lectronique assurant les fonctions de traitement du signal de r gulation et de commande de la vanne et une lectrovanne proportionnelle constituant l organe de r glage R gulateur 1 r glage 1 Figure Composants d un Mass Flow Controller La d finition de la consige w s effectue lectriquement via un signal normalis ou un bus de terrain La valeur instantan e x d tect e par le syst me est compar e l int rieur du r gulateur avec la valeur de consigne Le r gulateur d livre comme valeur r glante un signal en tension modul largeur d impulsion variable l organe de r glage Le facteur d impulsion du signal en tension est modifi en fonction de l cart de r glage constat Par ailleurs la valeur instantan e est transmise vers l ext rieur via une interface lectrique analogique ou un bus de terrain Elle est disponible des fins de contr le ou pour tout autre mise en valeur par l utilisateur par ex d termination de la consommation par int gration Le principe de mesure thermique garantit que le MFC est insensible aux fluctuations de pression et de temp rature dans toute application de r gulation du d bit massique Comparativement au MFC le MFM n est pas quip de la vanne proportionnelle de sorte que cet appareil est uniquement utilisable pour la mesure du d bit massique et non pas pour la r gulation
151. u MFC MFM Dans de tels cas une unit de traitement appropri e filtre purgeur de liquide devra tre install e en amont du MFC MFM L appareil doit uniquement tre utilis en respectant les valeurs indiqu es au chapitre Caract ristiques techniques et sur l tiquette du produit Lisez attentivement tous les chapitres de cette notice Respectez les instructions du chapitre Consignes g n rales de s curit Les instructions des diff rents chapitres doivent tre appliqu es et les consignes de s curit respect es Aucune responsabilit n est assum e en cas de non respect des instructions de l ordre dans lequel elles sont execut es ainsi que des consignes et des symboles de s curit Consignes de s curit e S en tenir aux r gles techniques g n ralement reconnues lors du projet de mise en ceuvre et du service de l appareil L installation et les interventions n cessit es par la maintenance ne doivent tre effectu es que par un personnel qualifi quip des outils ad quats e Respecter les dispositions en vigueur de pr vention des accidents et de s curit pour appareils lectriques pendant le service et la maintenance de l appareil Toujours couper la tension d alimentation avant toute intervention dans le syst me e Pendre les mesures qui s imposent pour viter un actionnement intempestif de l appareil ou une mise en cause inadmissible de son fonctionnement Nous d clinons t
152. u raccord la force des doigts gt Avec une cl retenir le c t viss de mani re ne pas exercer de contrainte sur le boitier de l appareil et serrer de 1 1 4 tour Raccordements lectriques ATTENTION Afin d assurer la compatibilit lectromagn tique CEM relier le boitier la borne de terre fonctionnelle FE au moyen d un c ble aussi court que possible de section aussi grande que possible Les lignes GND ou de masse de tous les signaux du MFC MFM doivent dans tous les cas tre reli es individuellement au MFC Si tous les signaux GND taient r unis sur le MFC et qu une seule ligne est men e jusqu l armoire de commande il pourrait en r sulter des d calages de signaux ou des parasites impulsions oscillations etc sur les signaux analogiques Les MFC MFM sont aliment s en tension continue de 24 V Choisir une section de raccordement en fonction de la vanne utilis e et aussi grande que possible voir Caract ristiques techniques Des c bles de raccordement appropri s sont d crits l annexe A ATTENTION Le connecteur rond 8 p les types 8626 8006 8712 8702 8716 8706 doit tre serr la main Raccorder la terre fonctionnelle FE une vis identifi e par ex l aide d une cosse 126 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Affectation des br
153. ue par exemple la valeurs de la tension ou de la temp rature internes l appareil Device Settings Permet l affichage ou la configuration de l tat actuel de l appareil Monitoring Apercu de tous les appareils raccord s les valeurs de consigne peuvent tre galement pr d finies ici via le PC raccord Datalogger Il enregistre les process sur de longues p riodes jours semaines Dynamic Reading Enregistre en temps r el les param tres valeur de consigne w valeur mesur e x et grandeur de r glage y et les repr sente graphiquement Les donn es enregistr es donnent des informations sur le syst me et ses composants Ces enregistrements permettent d analyser des anomalies dues au syst me L enregistrement des param tres peut alors tre m moris sous forme de fichier Windows et envoy par e mail au technicien de service apr s vente de B rkert Le MassFlowCommunicator permet la r alisation de mise jour flash dans le MassFlowController MassFlowMeter EN REMARQUE Le programme fonctionne sous le systeme d exploitation Windows a partir de Windows 98 et n cessite une interface s rie RS 232 ou RS 485 pour la communication avec les contr leurs de d bit massique ou les d bitm tres massiques H ATTENTION Les types 8710 8700 8711 8701 n cessitent un adaptateur a pilote d interface Le pilote d interface est int gr dans l interface RS 485sur les types 8713
154. uersignal fur Repeater N C E 5 GND Daten bertragungspotential N C o 6 DD N C g Versorgungsspannung P5V ZS 7 N C CAN H Datenleitung E 8 RxD TxD N A Leitung N C 8 9 N C N C e d 15pol Sub HD Buchse analoge Ansteuerung Uu 1 Sollwerteingang 2 Sollwerteingang GND 3 Istwertausgang 2 4 Bin reingang 2 2 5 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung u 6 RS232 TxD direkter Anschluss an PC 7 Bin reingang 1 Dn 8 DGND f r Bin reing nge 5 9 nur werksinterne Verw nicht belegen S 10 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung m 11 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung Z 12 Bin reingang 3 13 Istwertausgang GND 14 RS232 RxD direkter Anschluss an PC 15 DGND f r RS232 Schnittstelle 1 AV Versorgungs 2 Reis 1 Mirelonak 3 Relais 2 Mitekontat a Relais 1 Orner ET amp 24V Versorgung GND 7 Rolais 2 Schiesser P Relais 2 mer 84 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Ein Ausg nge Typen bersicht Typ Sollwert Istwert BUS An LED Bin r Relais eingang ausgang schaltung eing nge ausg nge 8006 x 3 2 8626 x x 8006 Bus 8626 Bus 8700 8710 x 8700 Bus X 8710 Bus x 8701 8711 X 8701 Bus 8711 Bus 8702 8712 X 8702 Bus 8712 Bus 8703 8713 8706 8716 X 8706 Bus X 8716 Bus X x lt x lt
155. un mod le plus r cent a partir de 2003 ceci peut tre fait a u l aide d un adaptateur voir l annexe A sans n cessiter de c blage suppl mentaire MFC MFM 127 burkert Affectation des broches pour les types 8710 8700 Prise SUB D 15 p les Relais contact de repos Relais contact de travail Relais contact central GND pour alimentation 24 V et entr es binaires Alimentation 24 V Sortie 8 V utilisation interne seulement 7 Entr e valeur de consigne GND Entr e valeur de consigne Sortie valeur mesur e GND Sortie valeur mesur e DGND pour RS 232 Entr e binaire 1 Entr e binaire 2 RS 232 RxD sans pilote RS 232 TxD sans pilote 7 G Qs S MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 Broche Affectation 1 VDD 2 RxD TxD N ligne A 3 DGND 4 RxD TxD P ligne B 5 Ecran Connecteur M12 DeviceNet 128 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Affectation des broches pour les types 8711 8701 Prise SUB D 15 p les 1 Relais contact de repos 2 Relais contact de travail 3 Relais contact central 4 GND pour alimentation 24 V et entr es binaires 5 Alimentation 24 V 6 Sortie 8 V utilisation interne seulement 7 Entr e valeur de consigne GND 8 Entr e valeur de consigne 9 Sortie valeur mesur e GND 10
156. ur werksinterne Verwendung 6 RS232 TxD direkter Anschluss an PC 7 Bin reingang 1 24V Versorgung 8 DGND f r Bin reing nge Relais 1 Mittelkontakt 9 nur werksinterne Verw nicht belegen Relais 2 Mittelkontakt 10 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung Relais 1 ffner 11 12V Ausgang nur werksinterne Verwendung Relais 1 Schliesser 12 Bin reingang 3 24V Versorgung GND 13 Istwertausgang GND N C Relais 2 Schliesser 14 RS232 RxD direkter Anschluss an PC Relais 2 ffner 15 DGND f r RS232 Schnittstelle HINWEIS Soll ein Ger t des Typs 8626 8006 vor Baujahr 2003 durch ein neueres ab Baujahr 2003 ersetzt werden so kann dies mit Hilfe eines Adapters siehe Anhang A ohne zus tzlichen Verkabelungs aufwand geschehen HI MFC MFM 79 burkert Anschlussbelegung Typ 8710 8700 MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 80 MFC MFM d 2 3 4 5 6 7 8 15pol Sub D Stecker Relais ffner Relais SchlieBer Relais Mittelkontakt GND f r 24 V Versorgung und Bin reing nge 24 V Versorgung 8 V Ausgang nur werksinterne Verwendung Sollewerteingang GND Sollwerteingang Istwertausgang GND m i la8a e e o ov 25 o w AJOJN a Istwertausgang DGND f r RS 232 Bin reingang 1 Bin reingang 2 RS 232 RxD ohne Treiber RS 232 TxD ohne Treiber Nur bei Feldbu
157. voir les Caract ristiques Techniques 124 MFC MFM MAN 1000011173 ML Version L Status RL released freigegeben printed 14 12 2009 burkert Exploitation avec robinet d arr t suppl mentaie La vanne proportionnelle int gr e dans le MFC assure la fonction de fermeture herm tique de sorte qu aucun robinet d arr t suppl mentaire n est requis dans le circuit du fluide Si cependant pour des raisons de s curit on d sire placer un robinet en amont ou en aval du MFC la s quence de commande devrait tre la suivante D marrage 1 Application de la pression 2 Ouverture du robinet d arr t 3 Fixation de la valeur de consigne du MFC mode de r gulation normal Arr t 1 Fixation de la valeur de consigne du MFC 0 2 Fermeture du robinet d arr t lorsque la variable instantan e atteint O Tout ordre diff rent pourrait entra ner lors de l ouverture suivante du robinet d arr t m me avec une valeur de consigne nulle une courte impulsion de flux et une nette suroscillation lors de la premi re fixation de consigne Installation m canique et fluidique S lectionner les raccordements fluidiques disponibles en fonction du d bit maxi mum Aucune section d entr e n est n cessaire Au besoin nous sommes en me sure de livrer des dimensions sp ciales qui devront alors tre prises en compte lors de la conception du circuit en ce qui concerne le d bit et la perte de charge fran ais Raccords f
158. with an extension cable Order no 917039 Extension cable 2 m for RS 232 9 pole socket plug Communication software MassFlowCommunicator RS 232 adapter for connecting a PC with an extension cable SUB D Socket 9 pole soldered connection Order no 918299 787733 787734 787735 787736 654757 787923 918274 918408 787737 787738 654748 917039 Info at www buerkert com 667 530 917 623 MFC MFM 47 burkert APPENDIX B ACCESSORIES FLUIDIC S As a general rule we offer screw in joints with inch system threads only Flange a plates with inch system screw in threads are hence used The pipe connection side may be ordered either in metric or inch sizes Brass 5 versions are available on request o t Screw in thread Pipe diam Material Order no Order no for E to DIN ISO 228 1 O sealing ring E G 1 4 6 mm VA 901538 901575 3 G 1 4 8mm VA 901540 901575 2 G 3 8 8 mm VA 901542 901576 g G 3 8 10 mm VA 901544 901576 E G 1 2 10 mm VA 901546 901577 E G 1 2 12 mm VA 901548 901577 PE G 3 4 12 mm VA 901549 901578 E G 1 4 1 4 VA 901551 901579 T G 1 4 3 8 VA 901553 901579 G 3 8 3 8 VA 901555 901580 5 G 3 8 1 2 VA 901556 901580 G 1 2 1 2 VA 901557 901581 e G 1 2 3 4 VA 901558 901581 G 3 4 3 4 VA 901559 901582 Sub base version on request zi ATTENTION EY With each joint a sealing ring must be or

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