Home

advarsel! - Center for Detectors

Contents

1. 120 C AN KINAYNOZ ov AN KINAYNOY H IS IS 2 aeapay TNA
2. ES OL and NOPLAV e TN TOV e 20 C 70 C e 0 95 O
3. Tov Mini TASK OFF To Mini TASK de KINAYNOS TO ATH O POTOP 50 C service Varian ZHMEIOXH EVOL
4. e 10 AT Us IIPOZOXH o pe Varian TIA Mini TASK Mini TASK 32
5. AL VI Tn 2 bar ATO 5 C 35 C 0 95 HE TO Mini TASKnpener Mini TASK To Mini TASK 50 Nm
6. TOV Varian and H Varian OGOV Mini TASK controller ano VYPOV H TOV
7. To 85 399 IS va TOV To Mini TASK Navigator va Ano OKOVI ETKATAZTAZH US TO TO
8. Soft Start Soft Start Signal Description Technical Information To LED LDI Mini TASK TN 400 ms stop Waiting for interlock 400 ms Mini TASK Technical Information Mini TASK Mini TASK va O
9. 75000 max To Mini TASK OL Mini TASK vent and computer host AEC TOV Technical Information AVTO AN KINAYNOZ TOV GE
10. va 87 900 962 01 H ISO va LO H ISO 63 22 Nm HE 4 M10 11 Nm M8 H ConFlat va Varian To Mini TASK dev OL
11. Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command SOFT START ON Source PC Destination Controller 02 80 31 30 30 31 31 03 42 32 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command SOFT START OFF Source PC Destination Controller 02 80 31 30 30 31 30 03 42 33 STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC 87 900 962 01 A TECHNICAL INFORMATION Command READ PUMP STATUS Read Data Description Admitted Source PC Write Type Values Destination Controller with address 3 Set Point default 1125 threshold 02 83 32 30 35 30 03 38 37 expressed in Hz mA or s STX ADDR WINDOW RD ETX CRC Set Point de lay time be tween the pump start and the set point check seconds 0 to 99999 default 0 Source Controller with address 3 in stop status Destination PC 02 83 32 30 35 130 30 30 30 30 30 03 38 37 Set Point 0 high level ac STX ADDR WINDOW
12. N OPOZORILO Pri amp rpanju strupenih vnetljivih ali radioaktivnih plinov sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina Crpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov 48 NAVODILA ZA UPORABO Vklop in uporaba Mini TASK a Za vklop Mini TASK a je dovolj da priklju ite napetost in premaknete zunanje stikalo v polo aj ON rde a lu ka sveti Vgrajen upravljalec samodejno prepozna prisotnost napetosti in za ene rpalko Pri prvem vklopu je priporo ljivo uporabiti na in Soft Start ki ga lahko omogo ite na upravljalcu Za naslednje vklope je priporo ljivo da na in Soft Start onemogo ite Za aktivacijo na ina Soft Start glej odstavek Opis signalov v poglavju Tehni ne informacije Zelena LED dioda ki se nahaja na sprednji plo i Mini TASK a s hitrostjo utripanja ozna uje delovne pogoje sistema e Brez utripanja rpalka je normalno vrti e Po asno utripanje perioda pribli no 400 ms Sistem je v stanju ramp breaking stop ali v stanju Waiting for interloc e Hitro utripanje perioda pribli no 200 ms Napaka Za podroben opis nadzorne plo e glej prilogo Tehni nih informacij Izklop Mini TASK a Za izklop Mini TASK a je dovolj da premaknete zunanje stikalo v polo aj OFF rde a lu ka ugasne Vgrajen kontroler takoj zaustavi rpalko Zaustavitev v sili Za takoj enj izklop Mini TASK a v sili je potrebno odstraniti dovod
13. OKOQVN NA H TNA ELENA TOAPTA ELQVOL KATW TEPN anog 2 TAAVO arog AN KINAYNOZ Mn 33 Mini TASK Mini TASK qoc O Soft Start controller
14. VA Ipopeio 87 900 962 01 A HASZNALATI UTASIT S Biztonsagi utmutato Turbomolekularis szivattyukhoz A turbomolekularis szivattyuk ahogy a k vetkez gepkonyvben le van irva nagy mozgasi energiaval rendelkeznek a nagy forg si sebesseguk s a rotorok fajlagos t mege miatt A rendszer hibas mukodese peldaul a rotor alloresz erintkezesi hib ja vagy akar a forgoresz szettorese eseten a forgasi energia felszabadulhat A A berendezes karosodasanak s a kezel szem lyzet s rul s nek megel z s re az ebben a gepk nyvben adott telepit si utasit sokat szigoruan be kell tartani 34 87 900 962 01 A ALTALANOS INFORMACI A berendez st professzionalis felhaszn l k sz m ra tervezt k A felhaszn l nak a berendez s m k dtet se el tt el kell olvasnia ezt a g pk nyvet s a Varian ltal biztositott b
15. cile nin io tr mess 61 RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION 61 Communication Format nst A ehtaa 61 Communication Protocol seen 61 Window tee eere mae Eie e 65 USE IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS nn nn eene nennen 65 ORDERABLE PARTS purre en 65 ISTRUZIONI PER L USO Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantit di energia cinetica dovuta alla alta velocit di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore l energia di rotazione potrebbe essere rilasciata A MENIJ Per evitare danni all apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale 1 87 900 962 01 A INFORMAZIONI GENERALI Questa apparecchiatura destinata ad uso professionale L utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Varian prima dell utilizzo dell apparecchiatura La Varian si ritiene sollevata da eventuali responsabilit dovute all inosservanza totale o parziale delle istruzioni ad uso improprio da parte di personale non addestrato ad interventi non autorizzati o ad uso con
16. A NOTA Il Mini TASK non pu essere danneggiato rimanendo semplicemente esposto all atmosfera Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere INSTALLAZIONE IS ATTENZIONE Staccare l adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema PREPARAZIONE PER L INSTALLAZIONE Il Mini TASK viene fornito in un imballo protettivo speciale se si presentano segni di danni che potrebbero essersi verificati durante il trasporto contattare l ufficio vendite locale Non installare e o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici pioggia gelo neve polveri gas aggressivi in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio Durante il funzionamento necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali pressione massima 2 bar oltre la pressione atmosferica temperatura da 5 C a 35 C umidit relativa 0 95 non condensante In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi Vedere appendice Technical Information per ulteriori dettagli 87 900 962 01 A II Mini TASK pu essere installato in qualsiasi posizione Fissare il Mini TASK in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di r
17. NOTA O Mini TASK n o pode ser fixado por interm dio da sua pr pria base Para a instalac o dos acess rios opcionais consultar Technical Information UTILIZAGAO Neste paragrafo s o descritos os principais procedimentos operacionais Antes de usar o sistema efectuar todas as ligac es el ctricas e pneum ticas Durante o aguecimento da c mara a v cuo a temperatura no flange de entrada n o deve ser superior a 120 C PERIGO Nunca activar a bomba se o flange de entrada n o estiver ligado c mara de v cuo ou n o estiver fechado com o flange de fecho A EEE N o tocar a turbobomba e os seus eventuais acessorios durante as operac es de aguecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas US ATEN O Evitar colis es ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando est a funcionar Os rolamentos poderiam sofrer danos 13 ATENGAO Para a saida de ar da bomba utilizar g s inerte sem poeiras particulas ou humidade p ex Azoto A press o de entrada atraves da porta especifica deve ser inferior a 2 bars alem da press o atmosf rica A PERIGO Quando a bomba utilizada para bombear gases t xicos inflam veis ou radioactivos seguir os procedimentos adeguados tipicos para cada g s N o usar a bomba na presenca de gases explosivos 15 INSTRU ES PARA O USO Acendimento e Utilizac o do Mini TASK Para ligar o Mini TASK 6 suficiente conect
18. Se bilagan Technical Information f r en detaljerad beskrivning av kontrollpanelen f r Mini TASK Att st nga av Mini TASK St ng av Mini TASK genom att placera den externa brytaren i l ge OFF den r da kontrollampan slocknar Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion N dstopp St ng av Mini TASK vid en n dsituation genom att dra ut elkabeln fr n eluttaget eller genom att placera den externa brytaren i l ge OFF UNDERH LL Mini TASK r underh llsfritt Allt servicearbete m ste utf ras av auktoriserad personal ZN AZI Innan n got arbete utf rs p systemet m ste pumpens str mf rs rjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen ppnas V nta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur r l gre n 50 C Om pumpen havererar kontakta Varian reparationsverkstad OBSERVERA Innan systemet l mnas in till tillverkaren f r reparation m ste h lso och s kerhetsbladet som medf ljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala terf rs ljaren Bifoga dessutom en kopia av bladet med systemet Skrotning av systemet ska ske enligt g llande lagstiftning 87 900 962 01 A BRUKERVEILEDNING Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl r Pumper Turbomolekyl r pumpene som er beskrevet i den f lgende Bruksanvisningen har et h yt kinetisk energiniv som skyldes den h ye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke ma
19. V ltt k turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen kkin ist liikuttamista sen ollessa k ynniss Laakerit voivat vahingoittua US Huomio P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt jalokaasua jossa ei ole p ly hiukkasia tai kosteutta esim typpi Sis njohtavan paineen siihen sopivan aukon l pi t ytyy olle alle 2 baaria paitsi atmosf rinen paine MEZNIH Kun pumppua k ytet n myrkyllisten paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa lk k ytt k pumppua r j hdysherkkien kaasujen l hell 30 K YTT OHJEET Mini TASK n k ynnistys ja k ytt K ynnist Mini TASK kytkem ll s hk p lle ja asettamalla ulkokatkaisin ON asentoon punainen valo syttyy Sis nrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti s hk virran ja k ynnist pumpun Ensimm isess k ynnistyksess on hyv k ytt Soft Start tapaa K ynnist se s timest Kytke seuraavissa k ynnistyksiss Soft Start tapa pois Soft Start k ynnistyksen aktivoimiseksi viitataan kohtaan Signal Description kappaleessa Technical Information Vihre LED LD1 joka sijaitsee Mini TASK n perustan paneelissa osoittaa vilkkumistiheydell n j rjestelm n toimintaolosuhteet palaa jatkuvasti pumppu py rii normaalisti vilkkuu hitaasti noin 400 ms n jakso systeemi on kiihdytys jarr
20. INFORMACJA System Mini TASK nie mo e by uszkodzony poprzez wystawienie go na dzia anie atmosfery Mimo to zaleca si aby pompa do momentu jej instalacji na systemie pozosta a zamkni ta w celu unikni cia zanieczyszczenia jej py em INSTALACJA IS UWAGA Usun ta m klej c i zdj korek zabezpieczaj cy tylko w momencie po czenia pompy do systemu Nie instalowa i lub u ytkowa pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne deszcz mr z nieg py y gazy chemiczne w rodowiskach wybuchowych lub z wysokim zagro eniem po aru Podczas dzia ania obowi zkowo nast puj ce warunki otoczenia nale y przestrzega 87 900 962 01 A maksymalne ci nienie 2 cisnieniem atmosferycznym temperatura od 5 C do 35 C wzgledna wilgo 0 95 bez opar bary ponad W obecnosci p l elektromagnetycznych pompa musi by odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie W celu szczeg towego zapoznania sie z tematem patrz dodatek Informacie Techniczne Mini TASK mo e by zainstalowany w jakiejkolwiek pozycii Zamocowa Mini TASK w stabilnej pozycji cz c ko nierz wej ciowy turbopompy do ko nierza sta ego wytrzyma ego na obci enie 50 Nm wok w asnej osi Turbopompa z ko nierzem wej ciowym ISO musi by zamocowana do komory pr niowej poprzez podw jne lub pojedyncze zaciski W niniejszej tabeli przedstawione zosta y dla ka dego
21. IS UPOZORNENIE Ak chcete pred s probl mom s odply ovan m nechytajte komponenty ktor bud vystaven v kuu hol mi rukami V dy pou vajte rukavice alebo in vhodn ochranu POZN MKA Be n vystavenie okolit m podmienkam nem e Mini task po kodi Napriek tomu je vhodn aby zariadenie zostalo zabalen a do in tal cie kv li prevencii kontamin cie prachom IN TAL CIA IS UPOZORNENIE Neodstra ujte lepiacu p sku a ochrann kryt sk r ne pripoj te turbov vevu k syst mu V vevu nein talujte ani nepou vajte v prostred vystavenom vonkaj m vplyvom d sneh ad prach koroz vne plyny ani vo v bu n ch prostrediach alebo tam kde existuje vysok riziko po iaru Po as innosti zariadenia je potrebn zabezpe i tieto vlastnosti prostredia maxim lny tlak 2 bary nad rov ou atmosf rick ho tlaku teplota od 5 C do 35 C relativna vlhkos 0 95 bez kondenz cie V pr tomnosti magnetick ho po a musi by v veva chr nen feromagnetick m t tom Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technick inform cie Zariadenie Mini TASK m e by nain talovan v ubovo nej polohe Upevnite Mini Task do stabilnej polohy pripojen m vstupnej pr ruby turbov vevy k pevnej pr rube upevnenej tak aby vydr ala nam hanie kr tiacim momentom 50 Nm okolo svojej osi 87 900 962 01 A Turbovyveva so vstupnou
22. pour Pompe Turbomol culaires Les pompes Turbomol culaires d crites dans le Manuel d Instructions suivant ont une nergie cin tique lev e due la grande vitesse de rotation associ e la masse sp cifique de leurs rotors En cas de panne du syst me par exemple cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupture du rotor nergie de rotation pourrait tre lib r e ZN DANGER Pour viter tout d g t aux appareillages et emp cher toute blessure aux op rateurs il faut suivre attentivement les instructions d installation decrites dans ce manuel 7 87 900 962 01 A INDICATIONS GENERALES Cet appareillage a t concu en vue d une utilisation professionnelle Avant toute utilisation de appareil il est conseill utilisateur de lire attentivement cette notice d instructions ainsi que toute autre indication suppl mentaire fournie par Varian qui d cline par cons quent toute responsabilit en cas de non respect total ou partiel des instructions donn es d utilisation impropre par un personnel non form d op rations non autoris es ou d emploi contraire aux r glementations nationales sp cifiques Le Mini TASK est un syst me int gr constitu d une pompe turbomol culaire congue pour des applications de vide pouss et ultrapouss et dotee d un contr leur et d une pompe primaire Le syst me est m me de pomper tous les types de gaz et de compos s gazeux mais il n est pas a
23. viz Technick informace POUZITI Tento odstavec popisuje podrobnosti z kladnich pracovnich postup Pied pou it m syst mu pneumatick pfipojeni P i zah v n vakuov komory teplota vstupn p ruby nesm p ekro it 120 C provedte vSechna elektrick a AN VYSTRAHA Turbovyv vu nikdy nepouzivejte nebude li vstupni priruba pripojen k vakuov komofe AN V STRAHA B hem zah v n se turbovyv vy ani jej ho p slu enstv nedot kejte Vysok teplota m e zp sobit pop leniny IS VAROVANI B hem chodu chra te vyv vu pied n razy vibracemi a prudkymi pohyby Mohly by se po kodit loziska IS VAROV N Pro odv trani vyv wy pou ivejte inertni plyn bez prachu astic a vlhkosti nap dus k Tlak p i odv tr vac m otvoru mus b t men ne 2 bary nad atmosf rick m tlakem Na Pokud pou v te v v vu pro erp n toxick ch ho lav ch nebo radioaktivn ch plyn dodr ujte pros m po adovan postupy pro likvidaci ka d ho plynu V v vu nepou vejte v p tomnosti v bu n ch plyn 42 P RU KA K POU IT Zapnut a pou v n v v vy Mini TASK V v vu Mini TASK sta zapojit do s t a pak zapnout venkovn vyp na rozsv t se erven kontrolka Vestav n regul tor automaticky rozezn p tomnost s ov ho nap t a spust v v vu P i prvn m uveden do provozu se doporu
24. RIZ When employing the pump for pumping toxic flammable or radioactive gases please follow the required procedures for each gas disposal Do not use the pump in presence of explosive gases INSTRUCTIONS FOR USE Switching on and Use of Mini TASK To switch on the Mini TASK it is sufficient to supply the mains and then move the external switch to ON position red light on The integrated controller automatically recognizes the mains presence and start up the pump At the first start up it is recommended to use the Soft Start mode by enabling it on the controller For the following start ups it is recommended to disable the Soft Start mode For the Soft Start mode activation procedure see the paragraph Signal Description in the chapter Technical Information The green LED LD1 located on the Mini TASK base front panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions e with no flashing the pump is normally rotating e slowly flashing period of about 400 ms the system is in ramp or in braking or in Stop or in Waiting for interlock status e fast flashing period of about 200 ms error condition See the appendix Technical Information for a detailed description of the Mini TASK control panel Mini TASK Switching off To switch off the Mini TASK it is sufficient to move the external switch to OFF position red light off The integrated controller immediately stops the p
25. The following figures show the three models Turbopump Description The turbopump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 10 bladed stages and 4 Macrotorr stages The turbine rotates in an anti clockwise direction when viewed from the high vacuum flange end The turbine is made of high strength light alumin ium alloy and is machined from a single block of aluminium The turbine blades have five different angles from 44 to 12 while the Macrotorr stages are in the form of discs The turbine rotor is supported by permanently lu bricated high precision ceramic ball bearings in stalled on the forevacuum side of the pump The static blades of the stator are fabricated in stainless steel These are supported and accu rately positioned by spacer rings The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs These are fabricated in aluminium al loy During normal operation the motor functions with a power feed at 54 Vac three phase at 1250 Hz To reduce losses during start up to a minimum the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage frequency ratio The external body of the pump is fitted with fins which allow the pump itself to function with natural convection air cooling A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating The pump
26. lo a rede de alimentac o e colocar o interruptor exterior na posic o de ON luz vermelha acesa O controller incorporado detecta automaticamente a corrente de alimenta o e acciona a bomba Quando ligar o aparelho pela primeira vez aconselh vel utilizar a modalidade Soft Start activando a atrav s do controller Posteriormente aconselha se a desactivar a modalidade Soft Start Para o procedimento de ativa o da modalidade Soft Start usar como refer ncia o par grafo Signal Description no cap tulo Technical Information A luz piloto verde LD1 posicionada no painel da base do Mini TASK indica atrav s da frequ ncia de intermit ncia as condi es operacionais do sistema acesa fixa a bomba funciona normalmente intermit ncia lenta per odo de aprox 400 ms o sistema est em estado de acelerac o ou de paragem ou de Stop ou de waiting for interlock intermit ncia r pida per odo de aprox 200 ms condic o de erro Para informac es mais detalhadas sobre o painel de comando do Mini TASK consultar o ap ndice Technical Information Paragem do Mini TASK Para parar o Mini TASK suficiente colocar o interruptor exterior na posic o OFF luz vermelha apagada O controller incorporado p ra imediatamente a bomba Paragem de Emerg ncia Para parar em condi es de emerg ncia o Mini TASK necess rio desligar o cabo de alimentac o da tomada da rede de alimentac o ou
27. stand ON te zetten rood lichtje brandt De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van stroom en start de pomp Bij de eerste inschakeling wordt aangeraden om de Soft Start modaliteit te gebruiken door deze op de controller te activeren Voor de volgende inschakelingen wordt aangeraden om de Soft Start modaliteit te inactiveren Voor het activeren van de Soft Start procedure zie paragraaf Signal Description uit het hoofdstuk Technical Information De groene LED LD1 op het paneel van de basis van de Mini TASKgeeft door de freguentie van zijn knipperen de werkcondities van het systeem aan brandt onafgebroken de pomp draait normaal knippert langzaam periode van circa 400 ms het systeem is in de status oploop of remmen of stop of waiting for interlock knippert snel periode van circa 200 ms fouttoestand Zie voor een gedetailleerde beschrijving van het bedieningspaneel van de Mini TASK de bijlage Technical Information Afzetten van de Mini TASK Om de Mini TASK uit te schakelen is het voldoende om de externe schakelaar in de stand OFF te zetten rode lichtje uit De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp Noodstop Om de Mini TASK onder noodomstandigheden uit te schakelen moet de voedingskabel uit de contactstop worden gehaald of de externe schakelaar in de stand OFF worden gezet ONDERHOUD De Mini TASK is onderhoudsvrij Eventuele werkzaamhed
28. 5 Vdc device EA 1 N Case 2 with relay utilisation 24 Vdc Customer s device A Controller PNP 5 Vdc AN 24 Vdc yd Controller Customers device er 8 Vde a d 4 NPN Case 2 with transistor utilisation 87 900 962 01 A How to connect the outputs of the controller The following figure shows a typical logic output connection relay coil but any other device may be connected e g a LED a computer etc and the related simplified circuit of the controller The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9 P1 Controller 15 O 45 08 f 9 24 V 9 01 1 Typical output connection J6 Serial This is a 9 pin D type serial input output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Mini TASK PINN SIGNAL NAME 5 V OUT TX RS232 RX RS232 A RS422 Optional GND A RS485 B RS422 Optional B RS485 O o ND GO O N RESERVED Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial connection A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available optional 61 TECHNICAL INFORMATION RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector P2 The communication protocol is the same see the structure be
29. Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energia cin tica debido a la alta velocidad de rotaci n en combinaci n a la masa especifica de sus rotores En el caso de un da o del sistema por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor la energia de rotaci n podr a ser liberada A PELIGRO Para evitar da os a los equipos y prevenir lesiones a los operadores es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalaci n descritas en el presente manual 10 87 900 962 01 A INFORMACI N GENERAL Este equipo es para uso profesional El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra informaci n suplementaria facilitada por Varian antes de usar el aparato Varian se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones al uso impropio por parte de personal no preparado a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales especificas EI Mini TASK es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacio integrada por el respectivo controlador y la bomba primaria El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de composici n gaseosa pero no es adecuado para bombear l quidos o part culas s lidas El efecto de bombeo se obtiene media
30. DATA STATUS ETX CRC signal activa tive tion type the 1 low level ac signal can be tive high level Command READ SERIAL TYPE active or default 0 Source PC low level ac Destination Controller with address 3 in 485 mode Set point 0 to 100 hysteresis in of default 2 threshold STX ADDR WINDOW RD ETX CRC Water cool 0 NO i 1 YES 02 83 35 30 34 30 03 38 31 Active Stop 0 NO Source Controller write only in 1 YES Destination PC Baud rate 600 0 1200 1 2400 2 STX ADDR WINDOW RD DATA ETX CRC 4800 3 9600 4 default 4 02 83 35 30 34 30 31 03 42 30 Pump life To reset write 1 A cycle time Window Meanings cycle number Read Data Description Admitted Write Type Values Start Stop in remote Analog out frequency mode the put type s power window is a output volt read only age signal default 0 proportional Acivalion Yes 1 ee ivati or power default 0 R t R te 1 Low Speed 250 to Maximum default r Stal 0 frequency rotational Serial con Hz frequency fiauration default 1 win 121 g default 833 zah sui eti Rotational 250 to Maximum N NOT frequency rotational tion default 1 the setting Hz frequency first time and 0 win 121 the follow
31. Fax 886 2 2698 9678 UK and Ireland Varian Ltd 28 Manor Road Walton On Thames Surrey KT 12 20F England Tel 44 1932 89 8000 Fax 44 1932 22 8769 United States Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 781 861 7200 Fax 781 860 5437 Other Countries Varian Vacuum Technologies via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 Customer Support amp Service North America Tel 1 800 882 7426 toll free vtl technical support varianinc com Europe Tel 00 800 234 234 00 toll free vit technical support varianinc com Japan Tel 81 3 5232 1253 dedicated line vtj technical support varianinc com Korea Tel 82 2 3452 2452 dedicated line vtk technical support varianinc com Taiwan Tel 0 800 051 342 toll free vtw technical support varianinc com Worldwide Web Site Catalog and Order On line www varianinc com Representative in most countries ap AS VARIAN
32. Upozornenia ozna uj postupy nedodr anie ktor ch m e sp sobi po kodenie zariadenia POZN MKA Pozn mky upozor uj na d le it inform cie z textu UCHOV VANIE Ak chcete aby turbomolekul rne v vevy zna ky Varian pod vali maxim lny a spo ahliv v kon dodr iavajte nasleduj ce pokyny neprekra ujte nasleduj ce pecifik cie prostredia po as prevozu pren ania a uchov vania vyvev rozsah tepl t 20 C az 70 C rozsah relat vnej vlhkosti O a kondenz cie e z kazn k mus pri prvom spusten turbomolekul rnej v vevy v dy postupova pomaly a postupne e skladovate nos turbomolekul rnej v vevy je 10 mesiacov odo d a dodania 95 bez IS UPOZORNENIE Ak zak hoko vek d vodu vypr as skladovatelnosti zariadenia vr te v vevu do z vodu v ktorom bola vyroben Inform cie z skate u miestneho zast penia spolo nosti Varian pre predaj a servis PR PRAVA NA IN TAL CIU Zariadenie Mini Task je dodan v peci lnom ochrannom obale Ak je balenie po koden o sa m e sta napr klad po as prepravy obr te sa na zast penie spolo nosti Varian Po as vyba ovania syst mu dbajte na to aby zariadenie nespadlo nebolo vystaven n razu alebo prudk mu otrasu alebo vibr ci m 44 N VOD K POU ITIU Obalov materi l zlikvidujte predp san m sp sobom Materi l je 100 recyklovate n a spl a po iadavky smernice EEC 85 399
33. eksempelvis kv lstof Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar over det atmosf riske tryk N ADVARSEL N r pumpen anvendes til toksiske brandfarlige eller radioaktive gasser f lges fremgangsm den for den enkelte gastype Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser 21 BRUGSANVISNING Start og anvendelse af Mini TASK T nding af Mini TASK sker ved blot at tilslutte str mmen og indstille den udvendige afbryder i position ON r d kontrollampe t ndt Den indbyggede styreenhed registrerer jeblikkeligt tilslutningen og pumpen startes Benyt Soft Start n r apparatet t ndes f rste gang Dette sker ved at aktivere funktionsm den p kontrolenheden Det anbefales at frakoble funktionsm den Soft Start i forbindelse med de efterf lgende starter Hvad ang r fremgangsm den til tilkobling af Soft Start henvises der til afsnittet Signal Description i kapitlet Technical Information Den gr nne LED LD1 der er anbragt p panelet p Mini TASK s fundament angiver systemets funktion ved blink konstant t ndt pumpen er i normal rotation langsomme blink periode p ca 400 ms systemet er i stilling for acceleration bremsning stop eller Waiting for interlock hurtige blink periode p ca 200 ms fejl Vedr rende en detaljeret beskrivelse af kontrolpanelet i Mini TASK henvises til bilaget Teknisk information Stop af Mini TASK Afbrydelse
34. entre 20 C y 70 C e humedad relativa entre O y 95 no condensante e el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez e el per odo maximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envio al cliente ES ATENCI N En caso de superarse por cualquier motivo el per odo m ximo permitido de almacenamiento ser necesario devolver la bomba al fabricante Para mayores informaciones al respecto se ruega contactar con el representante local de Varian PREPARACION PARA LA INSTALACION El Mini TASK se suministra en un embalaje especial de protecci n si se observan da os que podr an haberse producido durante el transporte ponerse en contacto con la oficina local de ventas 11 INSTRUCCIONES DE USO Durante la operaci n de desembalaje tener cuidado de que no se caiga el Mini TASK y de no someterlo a golpes o vibraciones No abandonar el embalaje en el medio ambiente El material es completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la directiva CEE 85 399 para la preservaci n del medio ambiente US ATENCI N Para evitar problemas de desgasificaci n no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vac o Utilizar siempre guantes u otra protecci n adecuada NOTA El Mini TASK no puede da arse permaneciendo simplemente
35. gz tett ellenkarim ra csatlakoztatva amely k pes ellen llni 50 Nm tengely k r li nyomat knak 87 900 962 01 A Az ISO bemeneti karimas turboszivattyut kapcsokkal vagy peckekkel kell r gziteni a v kuumkamr hoz A k vetkez t bl zat mindegyik r gzit eszk zh z megmutatja a kapcsok vagy peckek szukseges szamat s a hozz tartoz r gzit nyomatekot ROGZITO ROGZITO ESZKOZ NYOMATEK ISO 63 M10 kapcsok M8 kapcsok A ConFlat bemeneti karimas turboszivattyut a megfelel Varian hardverrel kell r gziteni a vakuumkamrahoz R szletes leirasert lasd M szaki inform ci MEGJEGYZES Amini TASK nem r gzithet az alapjan kereszt l Opcion lis tartoz kok telepit s hez v lassza a M szaki inform ci t HASZN LAT Ez a bekezd s r szletezi az alapvet Uzemeltet si elj r sokat Vegezze el az sszes elektromos s pneumatikus csatlakoztat st a rendszer haszn lata el tt A v kuumkamra melegit se k zben a bemeneti h m rs klete nem haladhatja meg a 120 C ot szelep ZN Soha ne haszn lja a turb szivattyut amikor a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a v kuumkamr hoz vagy nincs kiiktatva ZN VIGY ZAT Ne rintse meg a turboszivattyut vagy annak tartoz kait a melegitesi folyamat k zben Magas h m rs klet g st okozhat IS FIGYELEM Ker lje a szivattyu teset vagy durva mozgat s t zem k zben A csap gyak megs rtlhetnek SS FIGYELEM
36. m vliv m d sn h led prachu agresivn m plyn m ve v bu n m prost ed nebo v prost ed s vysok m nebezpe m po ru Za provozu je t eba dodr ovat n sleduj c podm nky dan prost ed m maxim ln tlak 2 bary nad atmosf rick m tlakem teplota od 5 C do 35 C relativni vlhkost 0 95 bez sr en V p tomnosti magnetick ch pol se v v va mus chr nit feromagnetick m st n n m Viz podrobn informace v p loze Technick informace V v vu Mini TASK Ize instalovat v libovoln poloze V v vu Mini TASK upevn te v n jak stabiln poloze a vstupn p rubu turbov v vy p ipojte k pevn protip rub kter snese torzn moment 50 Nm kolem sv osy 87 900 962 01 A Turbomolekularni vyv va se vstupn pr rubou ISO se mus p ipevnit k vakuov komo e pou it m p slu n ch spon a p chytek N sleduj c tabulka uv d nezbytn po et spon a p chytek pro ka d prichytn za zen a p slu n utahovaci moment PRICHYTNE UTAHOVACI PRIRUBA ZAR ZEN POCET MOMENT ISO 63 Spony M10 Pr chytky M8 Turbomolekul rni vyv va se vstupn pr rubou ConFlat se mus p ipevnit k vakuov komo e pou it m p slu n ho materi lu firmy Varian Viz podrobn popis v p loze Technick informace POZNAMKA Vyvevu Mini TASK nelze pfipevnit pomoci jej podstavy Chcete li informace o dopl kov m p slu enstv
37. pression d entr e travers la porte pr vue cet effet doit tre inf rieure 2 bars au del de la pression atmosph rique MODE D EMPLOI Mise en marche et utilisation du Mini TASK Pour allumer le Mini TASK il suffit de le brancher au r seau et de placer interrupteur ext rieur sur ON lumi re rouge allum e Le contr leur incorpor reconna t automatiguement la pr sence de l alimentation et met la pompe en marche Lors de la premi re mise en marche il est conseill d adopter le mode Soft Start en l activant sur le contr leur pour les d marrages suivants il est conseill de d sactiver le mode Soft Start Pour la proc dure d activation de la modalit Soft Start se r f rer au paragraphe SIGNAL DESCRIPTION dans le chapitre Technical Information La LED verte LD1 plac e sur le panneau de la base du Mini TASK indique par sa fr quence de clignotement les conditions op rationnelles du syst me allum e fixe la pompe est en rotation normale clignote lentement p riode d environ 400 ms le syst me est en tat de rampe de freinage de stop ou d attente interlock clignote rapidement p riode d environ 200 ms condition d erreur Pour une description d taill e du panneau de contr le du Mini TASK consulter l appendice Technical Information Arr t du Mini TASK Pour arr ter le Mini TASK il suffit de placer l interrupteur ext rieur sur OFF lumi re r
38. r m ll tavalla 87 900 962 01 A Ol ME AN Tia TNV TOU 31 87 900 962 01 A O
39. r sra vagy gyakorlatra amit ha nem k vetnek megfelel en sulyos seruleshez vezethet IS FIGYELEM A Figyelem zenetek olyan eljarasok el tt jelennek meg amelyeket ha nem k vetnek a berendez s k rosod s t okozhatj k MEGJEGYZES A megjegyz sek a sz vegb l vett fontos inform ci t tartalmaznak TAROLAS A Varian Turbomolecular szivattyuk maximalis teljesitmenyszintjenek garantalasara a k vetkez Utmutatasokat kell k vetni e szivatty k sz ll t sakor mozgat sakor s t rol sakor a k vetkez k rnyezeti param tereket nem szabad tull pni h m rs klettartom ny 20 C 70 C relat v p ratartalom 0 95 nem kondenz l e A turbomolekularis szivatty kat mindig l gyan kell ind tani amikor a felhasznal tveszi s el sz r zemelteti Egy turbonukle ris szivatty rakt rozhat si ideje 10 h nap a szallitas datumatol IS FIGYELEM Ha valamilyen okbol a raktarozhatasi id t tull pik a szivattyut vissza kell vinni a gy rba K rem inform ci rt forduljon a helyi Varian vakuumkereskedelmi es szolgaltatasi kepviselethez ELOKESZITES TELEPITESRE A Mini TASK ot k l nleges ved csomagol sban szallitjak Ha ez ser les jeleit mutatja ami szallitas k zben felmer lhet forduljon a helyi szolgaltatasi irodahoz A rendszer kicsomagolasakor Ugyeljen arra hogy ne ejtse le es ker lje annak barmilyen hirtelen Ut s t vagy r zk d s t 35 HASZNALATI UTAS
40. rskilt skyddande emballage Kontakta det lokala f rs ljningskontoret om emballaget visar tecken p skador som kan ha uppst tt under transporten Se till att Mini TASK inte tappas eller uts tts f r st tar vid uppackningen Kasta inte packmaterialet i soporna Materialet r tervinningsbart till 100 och uppfyller EU direktiv 85 399 om milj skydd BRUKSANVISNING IS VIKTIGT Komponenter som ska uts ttas f r vakuum f r inte hanteras med bara h nder p g a kontamineringsrisken Anv nd alltid handskar eller liknande skydd lt OBSERVERA Normal p verkan fr n atmosf ren kan inte skada Mini TASK Trots det r det s krast att h lla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet f r att f rhindra att det kommer in damm eller annat i den INSTALLATION IS VIKTIGT Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen f rst n r turbopumpen ska anslutas till systemet Installera och anv nd inte pumpen i milj er som uts tts f r p verkan fr n atmosf ren regn sn is damm aggressiva gaser och inte heller i explosiv eller brandfarlig milj F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid drift maximitryck 2 bar ver atmosf riskt tryck temperatur fr n 5 C till 35 C relativ luftfuktighet O 95 utan kondens I n rvaro av magnetf lt ska pumpen skyddas med en s rskild sk rm Se bilagan Technical information f r ytterligare upplysningar Mini TA
41. sleduj c technick podm nky prost ed e Teplotn rozp t 20 C a 70 C Rozp ti vihkosti 0 az 95 bez sra eni e turbomolekul rn vyv vy mus u ivatel po dod vce a poprv vzdycky spou t t pozvoln e skladovatelnost turbomolekul rni v v vy je 10 m s c ode dne doru eni IS VAROV N Pokud dojde z jak hokoli d vodu k prekro en skladovac Ih ty vyv vu mus te vr tit v robci Informujte se pros m u mistniho z stupce pro prodej a servis v v v firmy Varian POZN MKA V norm ln m prost edi se vyv va Mini TASK nem ze po kodi Presto doporu ujeme abyste ji nechali zakrytou dokud nebude nainstalov na do syst mu a tim se ochr nila p ed jak mkoli zne i t nim a prachem INSTALACE IS VAROV N P ed p ipojen m turbomolekularni vyv vy do syst mu nesund vejte adhezn a ochrann v ko EN PRIPRAVA K INSTALACI Vyv va Mini Task se dodava ve specialnim ochrann m obalu Pokud toto baleni vykazuje znamky po kozeni k n mu mohlo dojit b hem prepravy kontaktujte va i mistni prodejni pobo ku P i vybalovani d vejte pozor aby za zen nespadlo a chra te jej p ed v emi nenad l mi n razy ot esy nebo vibracemi Balic materi l nelikvidujte nedovolen m zp sobem Tento materi l Ize 100 recyklovat a spl uje po adavky sm rnice EEC 85 399 V v vu neinstalujte v prost ed kter je vystaveno atmosf rick
42. tsliga r relser av pumpen under drift annat fall kan lagren skadas IS VIKTIGT Anv nd delgas fri fr n damm partiklar och fukt t ex kv ve f r luftning av pumpen Trycket vid inloppet f r vara h gst 2 bar ver atmosf riskt tryck ITIS D pumpen anv nds f r pumpning av giftiga l ttant ndliga eller radioaktiva gaser b r man f lja de s rskilda anvisningarna f r varje enskild gas Anv nd ej pumpen i n rheten av explosiva gaser 24 BRUKSANVISNING Start och anv ndning av Mini TASK Starta Mini TASK genom att sl till str mmen och placera den externa brytaren i l ge ON den r da kontrollampan t nds Den inbyggda styrenheten k nner automatiskt av str mtillf rseln och s tter ig ng pumpen Vid den f rsta starten rekommenderas det att aktivera funktionss ttet Soft Start p kontrollenheten F r efterf ljande starter rekommenderas det att deaktivera funktionss ttet Soft Start F r att sedan aktivera detta l ge Soft Start h nvisar vi till paragrafen Signal description i kapitlet Technical Information Den gr na lysdioden LD1 p underdelen av Mini TASK anger genom frekvensen av dess blinkningar hur systemet fungerar fast sken pumpen roterar normalt l ngsamt blinkande ungef r var 400 ms systemet r i l ge f r acceleration bromsning Stop eller Waiting for interlock hastigt blinkande ungef r 200 ms feltillst nd
43. 50 60 Hz 220 VA 10W Protection fuse UNI EN 292 1 UNI EN 292 2 EN 55011 Class A Group 1 EN 61000 3 2 EN 61000 3 3 EN 61000 4 2 EN 61000 4 3 EN 61000 4 4 EN 61010 1 EN 1012 2 Power cable With European USA or UK plug 2 meters long Serial communica RS232 cable with a 9 pin D type male tion kit connector and a 9 pin D type female connector and software optional Storage temperature 20 C to 70 C Weight kg Ibs ISO and KF 7 5 16 CFF 8 3 18 Compliance with According to standard DIN 28 428 the base pressure is that measured in a leak free test dome 48 hours after the completion of test dome bake out with a Turbopump fitted with a ConFlat flange 87 900 962 01 A NOTE When the Mini TASK has been stored at a tempera ture less than 5 C wait until the Mini TASK has reached the above mentioned temperature TECHNICAL INFORMATION MINI TASK OUTLINE The following figure shows the Mini TASK outline ja 4 L VARIAN Mini TASK 54 87 900 962 01 A TECHNICAL INFORMATION Pumping speed l s 10 107 Inlet pressure mbar Graph of pumping speed vs inlet pressure Pressure mbar 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 Time sec Graph of pressure vs time with a pump down volume of 1 litre 55 87 900 962 01 A INLET SCREEN INSTALLATION The inlet screens mod 969 9300 and 969 9309 preven
44. PAR DE MORDAZA APRIETE ISO 63 rosca M10 Mordaza sencilla con 4 11 Nm rosca M8 La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la c mara de vac o mediante los accesorios mec nicos especificos Varian Para m s detalles v ase el anexo Technical Information NOTA EI Mini TASK no puede fijarse utilizando su base Para instalar los accesorios opcionales v ase Technical Information USO En este apartado se citan los procedimientos operativos principales Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones el ctricas y neum ticas Durante el posible calentamiento de la c mara de vacio la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120 C f No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no est conectada a la c mara de vacio o no est cerrada con la brida de cierre HENRI No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas IS ATENCI N Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobomba cuando est en marcha Los rodamientos se podrian dafiar ES ATENCI N Para el env o al aire de la bomba utilizar gas inerte exento de polvo part culas y humedad por ej nitr geno La presi n de entrada a trav s de la respectiva puerta debe ser inferior a 2 bares por encima de la presi n atmosf rica EEE Cuando
45. TASK basta disponer el interruptor externo en posici n OFF luz roja apagada EI controlador incorporado detiene inmediatamente la bomba Parada de Emergencia Para interrumpir inmediatamente en caso de emergencia el funcionamiento del Mini TASK se deber desenchufar el cable de alimentaci n de la toma de red o disponer el interruptor externo en posici n OFF MANTENIMIENTO EI Mini TASK no necesita ningun mantenimiento intervenci n deber ser realizada por personal autorizado Toda AN FEN Antes de realizar cualquier operaci n en el sistema desconectarlo de la alimentaci n disponer la bomba en presi n atmosf rica abriendo la v lvula respectiva y esperar hasta gue el rotor se pare completamente y gue la temperatura superficial de la bomba se reduzca a menos de 50 En caso de averia se podra utilizar el servicio de reparaci n Varian NOTA Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparaci n es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de Seguridad y Salud adjunta al presente manual de instrucciones Una copia de la misma se deber introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo En caso de gue el sistema se tenga gue desguazar eliminarlo respetando las normas nacionales especificas 87 900 962 01 A INSTRU ES PARA O USO Indicac es de Seguranga para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de I
46. colocar o interruptor exterior na posic o OFF MANUTENC O O Mini TASK n o requer qualquer manutenc o Todas as operac es devem ser efectuadas por pessoal autorizado A PERIGO Antes de executar qualquer operac o no sistema deslig lo da rede de alimentag o introduzir ar na bomba abrindo a v lvula especifica aguardar at a completa paragem do rotor e at que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 C Em caso de defeito possivel assist ncia Varian usufruir do servico de NOTA Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparac es 6 indispens vel preencher e enviar ao escrit rio de vendas local a ficha Seguranca e Saude anexa ao presente manual de instruc es A copia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedic o Caso uma bomba deva ser eliminada actue em conformidade com as normas nacionais especificas 87 900 962 01 A GEBRUIKSAANWIJZINGEN Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt kan de rotatie energie vriikomen AN GEVAAR Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen moeten de i
47. das Anliegen der Spannung und startet die Pumpe Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart Soft Start ber den Controller eingestellt werden bei darauffolgenden Ingangsetzungen wird empfohlen die Betriebsart Soft Start zu deaktivieren Um den Modus Soft Start einzustellen bitte den Absatz Signal Description im Kapitel Technical Informa tion nachschlagen Die gr ne LED LD1 an der Bodenplatte von Modell Mini TASK gibt mit der H ufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an Daueranzeige Die Pumpe befindet sich im normalen Be trieb Langsame Blinkanzeige ca 400 ms das System befindet sich entweder im Status Rampe Abbremsung Stopp oder Waiting for Interlock Schnelle Blinkanzeige ca 200 ms Fehlerstatus F r eine detaillierte Erl uterung der Bedienblende des Mini TASK siehe im Anhang Technical Information Stoppen von Modell Mini TASK Zur Stillsetzung des Mini TASK ist der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten rote Kontrollleuchte ausge schaltet Der eingebaute Controller sorgt f r den sofortigen Pumpenstopp Not Aus Zur Notstillsetzung des Mini TASK ist der Netzstecker zu zie hen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten WARTUNG Modell Mini TASK erfordert keine Wartung Eventuelle Eingriffe d rfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef hrt werden A EEE W hrend des Aufheizens d rfen weder die P
48. essere eseguito da personale autorizzato ger Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura pu causare lesioni alle persone IS ATTENZIONE Evitare urti o bruschi spostamenti della turbopompa quando in funzione cuscinetti potrebbero danneggiarsi IS ATTENZIONE Per la mandata all aria della pompa utilizzare gas inerte esente da polvere particelle o umidit es Azoto La pressione di ingresso attraverso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar oltre la pressione atmosferica ger Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall alimentazione mandare all aria la pompa aprendo l apposita valvola attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 C ger Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici infiammabili o radioattivi seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi In caso di guasto possibile usufruire del servizio di riparazione Varian NOTA Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda Sicurezza e Salute allegata al presente manuale di istruzioni Copia della stessa deve essere inserita nell imballo del sistema prima della
49. expuesto a la atm sfera De todas formas se aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la instalaci n en el sistema para evitar su posible contaminaci n por polvo INSTALACI N ES ATENCI N Despegar el adhesivo y quitar el tap n de protecci n s lo en el momento de conectar la turbobomba al sistema No instalar ni o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosf ricos lluvia hielo y nieve polvo y gases agresivos ni en ambientes sujetos a riesgo de explosi n o incendio Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes presi n m xima 2 bares por encima de la presi n atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C humedad relativa 0 95 no condensadora Cuando existan campos electromagn ticos la bomba ha de protegerse mediante pantallas adecuadas Para m s detalles v ase por favor el anexo Technical Information 87 900 962 01 A EI Mini TASK puede ser instalado en cualquier posici n Fijar el Mini TASK en posici n estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje La turbobomba con brida de entrada ISO ha de fijarse a la c mara de vacio mediante mordazas dobles o mordazas sencillas La tabla siguiente describe por cada tipo de mordaza el n mero de mordazas necesarias y con qu par de apriete apretarlas BRIDA TIPO DE
50. inneholder all informasjon som er n dvendig for sikre brukeren n r utstyret er i bruk For mer detaljert bruk vises det til tillegget Teknisk informasjon Denne manualen bruker f lgende standardprotokoll AN ADVARSEL Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsm te eller praksis som hvis den ikke f lges kan medf re alvorlige skader IS FORSIKTIG Denne advarselen vises foran fremgangsm ter som dersom de ikke f lges kan f re til at utstyret skades MERK Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten LAGRING For garantere optimal drift og p litelighet for Varian turbomolekyl re pumper m f lgende anvisninger f lges e Under transport flytting og lagring av pumpene m ikke f lgende milj forhold overstiges e Temperatur fra 20 C til 70 C e Relativ fuktighet fra O til 95 uten kondensering e Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og startes opp f rste gang e Lagringstiden for en turbomolekyl r pumpe er 10 m neder fra sendedato IS FORSIKTIG Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger m pumpen returneres til fabrikken Vennligst kontakt den lokale Varian forhandleren for informasjon KLARGJ RE TIL INSTALLASJON Mini TASK leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje Viser denne tegn p skader som kan ha oppst tt under transporten m du ta kontakt med
51. innych czastek i bez wilgoci np Azot Cisnienie wej ciowe poprzez odpowiedni wlot musi by ni sze od 2 bar w ponad cisnienie atmosferyczne 39 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA AN NIEBEZPIECZENSTWO Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gaz w toksycznych tatwo palnych lub radioaktywnych nalezy wykona odpowiednie procedury typowe dla ka dego z gazow Nie stosowa pompy w obecno ci gaz w wybuchowych W czenie i obs uga systemu Mini TASK Aby w czy Mini TASK wystarczy dostarczy napi cie zasilania i ustawi wy cznik zewn trzny w pozycji On czerwona lampka za wieci si Wbudowany sterownik tzw kontroler automatycznie rozpozna obecno zasilania i uruchomi pomp Przy pierwszym uruchomieniu nale y zastosowa tryb Soft Start uruchamiaj c go na kontrolerze dla dalszych uruchomie zaleca si wy czenie trybu Soft Start Dla procedury uruchomienia trybu Soft Start nale y zapozna si z paragrafem Opis Sygna w w rozdziale Informacje Techniczne Zielona dioda led LD1 znajduj ca si na panelu podstawy Mini TASK wskazuje z cz stotliwo ci w asnego migania stan operacyjny systemu zaswiecona na state normalnych obrot w miga powoli okres 400 ms system w stanie zbocza lub hamowania lub w stanie Stop lub w stanie Waiting for interlock miga szybko okres 200 ms stan btedu pompa znajduje sie w stanie Dla szczeg loweg
52. k yt n aikana Yksityiskohtaiset tiedot l ytyv t osasta Tekniset tiedot T m k sikirja k ytt seuraavanlaisia merkint j Vaara merkit saavat k ytt j n kiinnitt m n huomion erityiseen k ytt tai toimintatapaan jonka v r nlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkil vaurioihin I Huomio Huomio merkit varoittavat toiminnoista joiden laiminly nti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen HUOM Huomautukset sis lt v t t rke tekstiss k sitelty tietoa VARASTOINTI Noudata seuraavia ohjeita jotta Varian turbomolekyylinen pumppu toimisi eritt in tehokkaasti ja luotettavasti e Kun pumppua kuljetetaan siirret n ja varastoidaan seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt e l mp tila 20 C 70 C e suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v e Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan pumpun ja k ytt ess n sit ensimm isen kerran e Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimitusp iv st IS Huomio Jos varastointiaika on jostain syyst pidempi pumppu tulee palauttaa tehtaalle Pyyd lis tietoja paikalliselta Varian edustajalta VALMISTELUT ASENNUSTA VARTEN Mini TASK toimitetaan erityisess suojapakkauksessa mik li siin on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon Pakkauksen
53. ligar a turbobomba ao sistema N o instalar e ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosf ricos chuva gelo neve poeiras gases agressivos em ambientes com possibilidade de explos amp o ou com elevado risco de inc ndio Durante o funcionamento necess rio que sejam respeitadas as seguintes condi es ambientais press o m xima 2 bar al m da press o atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C humidade relativa 0 95 n o condensante 87 900 962 01 A Na presenga de campos electromagn ticos a bomba deve ser protegida atrav s de blindagens adequadas Para ulteriores detalhes consultar o ap ndice Technical Information Mini TASK pode ser instalado em qualquer posic o Fixar a aparelhagem em posic o est vel ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra flange fixo capaz de resistir a um torgue de 50 Nm ao redor do pr prio eixo A turbobomba com flange de entrada ISO deve ser fixada a c mara de v cuo atrav s de grampos duplos ou simples A tabela a seguir indica para todos os tipos de grampos o n mero de grampos e o torque de aperto necess rios FLANGE TIPODE GRAMPO TOROUE DE APERTO ISO 63 KE Nm Grampo duplo com rosca M10 Grampo simples Nm com rosca M8 A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada a c mara de v cuo atraves de parafusos especificos da mec nica Varian Para ulteriores detalhes consultar o ap ndice Technical Information
54. luce rossa accesa Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza del alimentazione ed avvia la pompa Alla prima accensione bene adottare la modalit Soft Start attivandola sul controller per gli avvii successivi si consiglia di disabilitare la modalit Soft Start Per la procedura di attivazione della modalit Soft Start far riferimento al paragrafo Signal Description nel capitolo Technical Information Il LED verde LD1 posto sul pannello della base del Mini TASK indica con la frequenza del suo lampeggio le condizioni operative del sistema acceso fisso la pompa in rotazione normale lampeggiante lentamente periodo di circa 400 ms il sistema in stato di rampa o di frenata o di Stop o di Waiting for interlock lampeggiante velocemente periodo di circa 200 ms condizione di errore Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del Mini TASK vedere l appendice Technical Information Arresto del Mini TASK Per arrestare il Mini TASK sufficiente mettere in posizione OFF l interruttore esterno luce rossa spenta Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa Arresto di Emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza il Mini TASK occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete o spostare l interruttore esterno in posizione OFF MANUTENZIONE Il Mini TASK non richiede alcuna manutenzione Qualsiasi intervento deve
55. napetosti ali premakniti zunanje stikalo v polo aj OFF VZDR EVANJE Mini TASK ne potrebuje vzdr evanja Kakr no koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje N OPOZORILO Pred za etkom dela na sistemu ga izklju ite iz napetosti pre istite rpalko tako da odprete primerno odprtino po akajte da se rotor ustavi an po akajte da povr inska temperatura rpalke pade pod 50 C V primeru napake kontaktirajte va lokalni Varian servisni center OPOMBA Preden vrnete sistem v popravilo morate izpolniti in dodati Health and Safety obrazec ki je prilo en tem navodilom ter ga poslati v lokalno prodajno pisarno Pred po iljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embala o sistema Sistem je treba uni iti v skladu z dolo enimi nacionalnimi standardi 87 900 962 01 A INSTRUCTIONS FOR USE Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released ZN WARNING To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed 49 87 900 962 01 A GENERAL INFORMATION This e
56. of the same form on our actions Your business is very important to us Please take the time and let us know how we can improve Sincerely v l prec Ep ir gue lt Sergio PIRAS Vice President and General Manager VARIAN Vacuum Technologies Note Fax or mail the Customer Reguest for Action see backside page to VARIAN Vacuum Technologies Torino Ouality Assurance or to your nearest VARIAN representative for onward transmission to the same address CUSTOMER REQUEST FOR CORRECTIVE PREVENTIVE IMPROVEMENT ACTION TO VARIAN VACUUM TECHNOLOGIES TORINO QUALITY ASSURANCE FAX N XXXX 011 9979350 ADDRESS VARIAN S p A Via F lli Varian 54 10040 Lein Torino Italy E MAIL marco marzio varianinc com COMPANY FUNCTION ADDRESS TEL N E MAIL PROBLEM SUGGESTION REFERENCE INFORMATION model n serial n ordering information time to failure after installation etc CORRECTIVE ACTION PLAN ACTUATION by VARIAN VTT XXXX Code for dialing Italy from your country es 01139 from USA 00139 from Japan etc Ap VARIAN gt lt ISTRUZIONI PER CUSO rea e 1 GEBRAUCHSANLEITUNG er 5 zone AR ARN Yn e tu acute edi ADA 4 MODE D EMREOl eite tti iege ett ab eh ie iiem test 7 INSTRUCCIONES DEUSO u OE 10 INSTRU ES PARAO USO toute da 13 GEBRUIKSAANWIJZINGEN ars eae ee HH 16 BRUGSANVISN
57. prirubou ISO musi byt pripojen k v kuovej komore pomocou svoriek alebo kleStin Nasledujuca tabu ka ukazuje pre ka d sp sob upevnenia potrebn po et svoriek alebo kle t n a pr slu n upev ovac kr tiaci moment UPEV OVAC KR TIACI MOMENT PR RUBA UPEV OVAC PO ET MECHANIZMUS ISO 63 svorky M10 22 Nm kle tiny M8 4 11Nm Nm Turbovyveva so vstupnou pr rubou ConFlat mus by pripojen k v kuovej komore pomocou vhodn ho hardware zna ky Varian Podrobn inform cie sa nach dzaj vdodatku Technick inform cie POZN MKA Mini TASK nemo no upevni pomocou jej z kladnej dosky O in tal cia doplnkovej v bavy pozri pr ru ku Technick Inform cie POU ITIE T to as popisuje z kladn sp soby pou itia zariadenia Sk r ne za nete syst m pou va zapojte v etky elektrick a pneumatick pripojenia Teplota vstupnej pr ruby po as zahrievania v kuovej komory nesmie prekro i 120 sC N VAROVANIE Nikdy nepouzivajte turbovyvevu ak vstupn priruba nie je pripojen k v kuovej komore alebo nie je zablendovan N VAROVANIE V priebehu zahrievania sa nikdy nedotykajte turbovyvevy ani iadneho prislu enstva Vysok teploty m zu sp sobit pop leniny IS UPOZORNENIE Dbajte na to aby wyveva po as innosti nebola vystaven n razom alebo prudkym pohybom Mohli by sa poskodit loZisk IS UPOZORNENIE Pre vyplach vyvevy pou
58. pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar over atmosf risk trykk AN ADVARSEL N r pumpen brukes for pumpe giftige brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene folges Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljoer 27 BRUKERVEILEDNING Starte og bruke Mini TASK For sl p Mini TASK er det nok kople til str mmen og dreie den utvendige bryteren til ON r dt lys tennes Den innebygde styreenheten detekterer str mforsyningen automatisk og s rger for starte pumpen Ved f rste start svarer det seg aktivere Soft Start modusen p styreenheten For f lgende starter anbefales det deaktivere Soft Start modusen Fremgangsm ten for kople inn Soft Start modus er beskrevet i kapittelet Technical Information under paragrafen Signal Description Den gr nne lysdioden LD1 p Mini TASK basepanel angir systemets funksjon ved hjelp av blink den lyser fast pumpen roterer normalt den blinker langsomt ca hver 400 ms systemet er i stilling for akselerasjon bremsing stopp eller Waiting for interlock den blinker hurtig ca hver 200 ms feiltilstand Se vedlegget Teknisk informasjon for en detaljert beskrivelse av Mini TASKs kontrollpanel Stoppe Mini TASK For stoppe Mini TASK er det nok dreie den utvendige bryteren til OFF r dt lys slukkes Den innebygde styreenheten stanser
59. purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Mini TASK n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai t rin it Pakkausta ei tule j tt ymp rist n Pakkausmateriaali voidaan kierr tt kokonaisuudessaan ja se vastaa EY direktiivi 85 399 ymp rist n suojelusta K YTT OHJEET ES Huomio Jotta kaasun vuoto ongelmilta v ltytt isiin ei tyhji lle altistuviin osiin tule koskea paljain k sin K ytt k aina k sineit tai muuta sopivaa suojausta A HUOM Mini TASK ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa auki On kuitenkin suositeltavaa pit se suljettuna kunnes se asennetaan j rjestelm n Siten v ltet n laitteen mahdollinen p lysaastuminen ASENNUS IS HUOMIO Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta kun turbopumppu kytket n j rjestelm n Pumppua ei tule asentaa ja tai k ytt ymp rist ss miss se joutuu kosketuksiin s tekij iden sateen j n tai lumen p lyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa r j hdys tai tulipalovaara K yt n aikana on noudatettava seuraavia ymp rist koskevia ehtoja maksimipaine 2 baaria yli atmosf risen paineen gt l mp tila 5 C 35 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Mik li l sn on magneettikentti tulee pumppu suojata t h n tarkoitukseen olevilla suojilla Lis tietoja l ytyy Tekniset tiedot liitteest Min
60. rmely inform ci t A Varian nem vonhat felel ss gre olyan esem nyek rt amelyek az ezen utasit soknak val ak r r szbeni meg nem felel s szakkepzetlen szem lyek altali nem megfelel haszn lat a berendez sbe val jogosulatlan beavatkoz s vagy a konkr t nemzeti szabv nyokkal ellent tes b rmely m velet miatt t rt ntek A Mini Task egy integr lt rendszer turb molekul ris szivatty val nagy s rendk v l nagy v kuumalkalmaz sokhoz a megfelel vez rl j vel A rendszer b rmely t pus g zt vagy g zkever ket k pes szivatty zni Nem alkalmas folyad kok vagy szil rd r szecsk k szivatty z s ra A szivatty z si m veletet egy nagyteljes tm ny 3 f zis elektromos motorral hajtott nagysebess g turbina max 75000 fordulat perc biztos tja A Mini TASK szennyez anyagokt l mentes s ez rt alkalmas tiszta v kuumot ig nyl alkalmaz sokra A Mini TASK fel van szerelve seg dcsatlakoz kkal a ventill tor szelep nek vez rl s hez amit t voli helyr l kell vez relni soros vonalon csatlakoztatott gazdag pen kereszt l A k vetkez bekezd sek a berendez st haszn l kezel biztons g nak garant l s hoz sz ks ges sszes inform ci t tartalmazz k R szletes inform ci t tal l a M szaki inform ci f ggel kben Ez a k zik nyv a k vetkez szabv nyos protokollt haszn lja ZN 777200 A figyelmeztet Uzenetek felhivj k a kezel figyelm t egy konkret elj
61. settable by window 117 see RS232 RS485 Communication De scription SOFT START input signal to control the Soft Start operating mode To enable the Soft Start mode it is necessary to supply a 24 Vdc signal to the SOFT START pin and to connect the SOFT START pin to ground PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL this out put signal is a voltage from 0 to 10 Vdc linearly proportional to a reference quantity frequency or power set by the user OV OW or OHz 10V 100W or 1250Hz The default setting is the fre quency FAULT this open collector output signal is closed when a controller fault condition is detected TECHNICAL INFORMATION PROGRAMMABLE SET POINT this open collec tor output signal is enabled when the reference quantity chosen frequency current or time is higher than the set threshold The signal can be high level active that is the output is normally at 0 Vdc and becomes 24 Vdc when activated or low level active that is the output is normally at 24 Vdc and becomes 0 Vdc when activated Moreover if the reference quantity is the fre quency or the current it is possible to set the hys teresis in of the threshold value to avoid bouncing For example reference quantity frequency threshold 500 Hz hysteresis 1 activation type high level mask time 10 sec N R Set point output Vdc o 495 500 595 Frequency Hz The set po
62. spedizione Qualora un sistema dovesse essere rottamato procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche 87 900 962 01 A GEBRAUCHSANLEITUNG Sicherheitshinweise fur Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfugen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren Uber eine groRe Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch k nnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden ZN GEFAHR Um Sch den am Ger t zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise 4 87 900 962 01 A ALLGEMEINE INFORMATIONEN Dieser Apparat ist f r den fachm nnischen Gebrauch bestimmt Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen An weisungen unsachgem em Gebrauch durch ungeschultes Personal nicht autorisierten Eingriffen und Mi achtung der na tionalen einschl gigen Normen bernimmt die Firma Varian keinerlei Haftung Modell Mini TASK ist ein integriertes System das aus einer Turbomolekularpumpe f r Hoch und H chstva kuum anwendungen integriert mit einem entsprechenden Co
63. transport la manutention et le stockage des pompes doivent imp rativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes e temp rature de 20 C 70 C e humidit relative de 0 95 non condensante e A la premi re utilisation les pompes turbomol culaires doivent toujours tre mises en marche en mode soft Start e Le temps de stockage d une pompe turbomol culaire est de 10 mois compter de la date d exp dition IS ATTENTION En cas de d passement du temps de stockage la pompe doit tre retourn e en usine Pour tout renseignement contacter le repr sentant Varian de zone PREPARATION POUR L INSTALLATION Le Mini TASK est livr dans un emballage de protection sp cial en cas d endommagement de l emballage pouvant s tre produit pendant le transport contacter le bureau de vente local Pendant l op ration d ouverture de l emballage veiller tout particulierement ne pas laisser tomber le Mini TASK et ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration MODE D EMPLOI Ne pas abandonner l emballage dans la nature Le mat riel est enti rement recyclable et conforme la directive CEE 85 399 en mati re de protection de l environnement IS ATTENTION Afin d viter tout probl me de d gazage ne pas toucher mains nues les l ments devant tre expos s au vide Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropri e NOTE Le Mini TASK ne peut s endomm
64. typu zacisku ilo potrzebnych zacisk w i moment dokr cenia ich TYP MOMENT KOLNIERZ ZACISKU a DOKR CENIA ISO 63 z gwintem M10 Pojedynczy zacisk 4 11 Nm z gwintem M8 Turbopompa z kotnierzem wej ciowym ConFlat musi by zamocowana do komory pr niowej poprzez odpowiednie drobne uktady mechaniczne firmy Varian W celu dodatkowych informacji nale y zapozna sie z dodatkiem Informacje Techniczne INFORMACJA System Mini TASK nie mo e by mocowany poprzez w asn podstaw Aby zainstalowa opcjonalne akcesoria nale y zapozna si z Informacje Techniczne U YTKOWANIE W tym paragrafie zosta y przedstawione g wne procedury operacyjne Przed zastosowaniem systemu nale y wykona wszystkie po czenia elektryczne i pneumatyczne Podczas ewentualnego nagrzania komory pr niowej temperatura na ko nierzu nie mo e przekroczy 120 C N NIEBEZPIECZENSTWO Nigdy nie nalezy uruchomi pompe w przypadku kiedy kotnierz wejsciowy nie jest podtaczony do komory lub nie jest zamkniety z kotnierzem zamkniecia N NIEBEZPIECZENSTWO Nie dotyka turbopompy i jej ewentualnych akcesori w podczas operacji nagrzewania Wysoka temperatura moze spowodowa uszkodzenia ciata na osobach IS UWAGA Unika uderze lub gwattownych przesunie turbopompy podczas jej dziatania Moga uszkodzi sie to yska IS UWAGA Dla wlotu do powietrza pompy zastosowa obojetny gaz bez pytu lub
65. uje nastavit na regul toru m kk start U dal ch spu t n se doporu uje m kk start zru it Chcete li informace k aktivaci m kk ho startu viz odstavec Popis signalu v kapitole Technick informace Zelena kontrolka LD1 umist na na elnim panelu z kladny vyv vy Mini TASK indikuje provozni stavy syst mu blikanim e bez blikani vyv va se ota i normaln e pomale blikani interval cca 400 ms system se pozvolna rozbiha nebo brzdi nebo stoji nebo je ve stavu ekani na blokovani e rychl blik n interval cca 200 ms poruchov stav Viz podrobny popis ovladaciho panelu vyv vy Mini TASK v priloze Technick informace Vypnuti vyv vy Mini TASK Vyv vu Mini TASK sta vypnout externim vyp na em kter prepnete do vypnut polohy ervena kontrolka zhasne Vestav ny regulator vyv vu okam it zastavi Nouzove zastaveni Pro okam ite zastaveni vyv wy Mini TASK v nouzov situaci je tfeba vyt hnout napajeci kabel ze sitov zasuvky nebo vypnout sitovy vyp na UDR BA V v va Mini TASK nevy aduje dnou dr bu Ve ker pr ce na tomto zafizeni musi prov d t opr vn n osoby N V STRAHA Ne za nete prov d t jak koli pr ce na tomto zafizeni odpojte jej od s t odvzdu n te vyv vu otev en m p slu n ho ventilu po kejte a se rotor p estane ot et a po kejte dokud povrchov teplota v v vy neklesne pod 50 C V p p
66. well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product Do not write below this line Notification RAY ee Customer ID Equipment dy Reguest for Return VARIAN i SOR FAILURE REPORT TURBO PUMPS and TURBOCONTROLLERS POSITION PARAMETERS Does not start L Noise 1 Vertical Power Rotational Speed L Does not spin freely I Vibrations Horizontal Current Inlet Pressure L Does not reach full speed Leak L Upside down Temp 1 Foreline Pressure I Mechanical Contact L Overtemperature Other Temp 2 Purge flow I Cooling defective OPERATION TIME TURBOCONTROLLER ERROR MESSAGE ION PUMPS CONTROLLERS VALVES COMPONENTS LI Bad feedthrough Poor vacuum Main seal leak Bellows leak I Vacuum leak L High voltage problem I Solenoid failure I Damaged flange LI Error code on display Other I Damaged sealing area I Other Customer application Customer application LEAK DETECTORS INSTRUMENTS Cannot calibrate No zero high backround I Gauge tube not working Display problem I Vacuum system unstable Failed to start Cannot reach test mode Other Communication failure LI Error code on display L Degas not working Other Customer application Customer application PRIMARY PUMPS DIFFUSI
67. zapr inen nespr vnym pou van m zariadenia nepou en mi osobami neopr vnenou pravou zariadenia alebo ak mko vek postupom ktor je v rozpore so pecifick mi tandardmi danej krajiny Mini TASK je integrovan syst m s turbov vevou pre ur en pre aplik cie pou vaj ce vysok alebo ve mi vysok v kuum spojen s pr slu n m kontroln m modulom a v vevou prim rneho v kua Syst m dok e vy erpa ubovo n typ plynu alebo zmesi plynov Nie je vhodn na vy erp vanie tekut n alebo pevn ch ast Vy erp vanie zabezpe uje ve mi r chla turb na max 75000 ot ok min tu poh an vysokov konn m 3 f zov m elektrick m motorom Zariadenie Mini TASK neobsahuje iadne kontamina n inidl a preto sa hod pre aplik cie vy aduj ce ist v kuum Zariadenie Mini TASK je vybaven pr davn mi konektormi pre kontrolu v pustn ventil ako aj pre dia kov ovl danie z osobn ho po ta a pripojen ho s riovou linkou Nasleduj ce asti obsahuj v etky potrebn inform cie ktor zaru uj bezpe nos pracovn ka vpriebehu pr ce so zariaden m Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technick inform cie N vod na pou itie obsahuje tieto tandardn ozna enia AN VAROVANIE Varovania maju sustredit pozornost pracovnika na ur ity postup alebo innos nespr vne vykonanie ktor ch m e sp sobi v ne zranenie IS UPOZORNENIE
68. 1 Jinyu Mansion No 129A Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 100031 P R China Tel 86 10 6641 1530 Fax 86 10 6641 1534 France and Wallonie Varian s a 7 avenue des Tropiques Z A de Courtaboeuf B P 12 Les Ulis cedex Orsay 91941 France Tel 33 1 69 86 38 13 Fax 33 1 69 28 23 08 Germany and Austria Varian Deutschland GmbH Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel 49 6151 703 353 Fax 49 6151 703 302 07 03 Sales and Service Offices India Varian India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italy Varian Vacuum Technologies via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 Japan Varian Vacuum Technologies Sumitomo Shibaura Building 8th Floor 4 16 36 Shibaura Minato ku Tokyo 108 Japan Tel 81 3 5232 1253 Fax 81 3 5232 1263 Korea Varian Technologies Korea Ltd Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Mexico Varian S de R L de C V Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd 14F 6 No 77 Hsin Tai Wu Rd Sec 1 Hsi chih Taipei Hsien Taiwan R O C Tel 886 2 2698 9555
69. 62 01 A The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of clamps or claws The following table shows for each fixing device the necessary number of clamps or claws and the relevant fixing torque FIXING FIXING GRANGE DEVICE Ku TORQUE ISO 63 M10 clamps 4 22 Nm M8 claws 4 11 Nm The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Varian hardware See the appendix Technical Information for a detailed description NOTE The Mini TASK cannot be fixed by means of its base For installation of optional accessories see Technical Information USE This paragraph details the fundamental operating procedures Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system While heating the vacuum chamber the temperature of the inlet flange must not exceed 120 C A WARNING _ Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber or is not blanked A maqa Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high temperatures may cause burns IS CAUTION Avoid impacts or harsh movements of the pump when in operation The bearings may become damaged IS CAUTION Use inert gas free from dust particles or humidity like Nitrogen for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pressure
70. A K POUZITI BezpeCnostni n vod pro Turbomolekul rni vyv vy Turbomolekul rni vyv vy jak jsou popisov ny v n sledujicim n vodu obsahuji velk mnozstvi kinetick energie diky vysok ot div rychlosti v kombinaci s konkr tnim objemem jejich rotor V p pad syst mov nefuk nosti nap kontaktu rotoru anebo statoru nebo p i zhroucen rotoru m e doj t k uvoln n rota n energie N V STRAHA Pokyny k instalaci uveden v tomto n vodu mus b t p sn dodr ov ny za elem prevence zran n obsluhy 40 87 900 962 01 A VSEOBECN INFORMACE Toto zafizeni je ur amp eno pro odborniky UZivatel by si m l pred pou it m za zen p e st tento n vod a v echny dal informace dodan firmou Varian Firma Varian neodpovid za jak koli nehody kter vzniknou n sledkem i ste n ho nedodr en t chto pokyn nespr vn m pou v n m neznal mi osobami neopr vn nym z sahem do zafizeni nebo jakoukoli innost kter je v rozporu s pokyny uveden mi v p slu n ch st tn ch norm ch Mini TASK je integrovan syst m pro aplikace vyZadujici vysok a velmi vysok vakuum vybaven hlavn turbomolekul rn vyv vou a pr slu n m regul torem Zafizeni m e od erp vat libovoln plyn nebo plynnou sm s Nen vhodn na erp n tekutin nebo pevn ch stic erp n zaji uje velmi rychl turb na max 75000 ot min poh n n vysoce v konn m tr
71. DUCT IDENTIFICATION Product Description Varian P N Varian S N Purchase Reference TYPE OF RETURN check appropriate box A Paid Exchange C Paid Repair I Warranty Exchange Warranty Repair LI Loaner Return 1 Credit Shipping Error A Evaluation Return Calibration L Other sna s HEALTH and SAFETY CERTIFICATION Varian Vacuum Technologies CAN NOT ACCEPT any eguipment which contains BIOLOGICAL HAZARDS or RADIOACTIVITY Call Varian Customer Service to discuss alternatives if this reguirement presents a problem The eguipment listed above check one LI HAS NOT been exposed to any toxic or hazardous materials OR I HAS been exposed to any toxic or hazardous materials In case of this selection check boxes for any materials that eguipment was exposed to check all categories that apply Toxic 1 Corrosive Reactive Flammable Explosive Biological Radioactive List all toxic or hazardous materials Include product name chemical name and chemical symbol or formula Print Name eei Customer Authorized Signature Print Title ea Date is ieri NOTE If a product is received at Varian which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product and is liable for any harm or injury to Varian employees as
72. Hasznaljon port l szemcs kt l vagy nedvess gt l mentes semleges g zt pl nitrog nt a szivattyu szell ztet s hez A szell z porton lev nyom snak 2 barn l kisebbnek kell lennie a l gk ri nyom s f l tt ZN MTV Amikor a szivatty t m rgez gy l kony vagy radioaktiv g zok szivattyuzasara haszn lja k rem k vesse az egyes g zok rtalmatlanit s hoz szukseges elj r sokat Ne hasznalja a szivattyut robban g zok jelenl t ben 36 HASZN LATI UTASIT S A Mini TASK bekapcsol sa s haszn lata A Mini TASK bekapcsol s hoz elegend r kapcsolni a t pfesziltseget majd a k ls kapcsol t BE ll sba kapcsolni piros l mpa g Az integr lt vezerl automatikusan felismeri a t pfesziltseg jelenl t t s elinditja a szivattyut Els indit skor aj nlatos a Soft Start m dot haszn lni ennek a vezerl n val enged lyez s vel A k vetkez indit sokhoz ajanlatos letiltani a Soft Start m dot A Soft Start m d aktiv l si elj r s hoz lasd a Jelleir s bekezdes a M szaki inform ci fejezetben A Mini TASK on elhelyezett z ld LD1 LED a villog s nak gyakoris g val jelzi a rendszer zemi k r lmenyeit e nem villog sn l a szivatty rendesen forog e lassan villog kb 400 ms peri dus a rendszer emelked ben f kez sben ll s vagy kapcsolatra v r llapotban van e gyorsan villog kb 200 ms peri dus hibafelt tel A Mini TASK v
73. ING sz seine les ct aa an ade ioni leali aaa licia 19 BRUKSANVISNING tra sub M i io oz asie 22 BRUKERVEILEDNING xn u ee Een iatale beet 25 KAYTTOOHJEET Eee 28 IIAHETIBXXPHXEQO x I nube AH Ei EHER la 31 BHASZNAUATIUTAS TAS uo ix tds AR AA GAR GAR CADA AA ibi 34 IN TRUKCIA UZYTKOWABNIJA ee tte oet ee de de IRR ai 37 PR RU KA K POU ITI sete re een ae e ets ulis do s t 40 NAVODE POU ITA ten teca eo 43 NAVODILAZA UPORAB O z sur k users 46 INSTRUCTIONS F R USE sa ene net 49 TECHNICAL INFORMATION s 222454 area ie sd dekade etes Mite adesto dater tute M diee 0 52 DESCRIPTION OF THE MINIETASK 2 nitet iaia ld 52 Turbopump Description nen Re Re d 52 Controller Description e LIL Ei 53 Diaphragm Forepump Description 53 Control Panel Description a ss 53 TECHNICAL SPECIFICATION nl rn 53 MINETASK OUTEINELL au usu 54 INLET SGREEN INSTALLATION 2 es een ech 56 VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION nennen 56 HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION rn 56 HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS 57 INTERCONNECTION S n 5 2 12 A RH ee a AIKAIN 58 Input power connector Line type ss 58 P3 Mentis torsen sri mil h bio Tee HUIKEA al Nei iran d 58 Pd External fan onser dee te n niet 58 Jo IN OUT E mn f te met m etum Sn 58 oignaldSSCHIPHON thy 58 JO Serial 3 eot
74. ITAS Ne rtalmatlan tsa a csomagol anyagokat nem megengedett m don Az anyag teljesen ujrafeldolgozhat s megfelel az EEC 85 399 es direktivanak IS FIGYELEM Gazkivonasi problemak elker l s re ne hasznaljon puszta kezeket vakuumnak kitett komponensek kezel s re Mindig hasznaljon keszty t vagy mas alkalmas vedelmet MEGJEGYZES A k rnyezetnek valo normal kitetts g nem tudja karositani a Mini TASK ot Megis ajanlatos zarva tartani a rendszerbe valo telepit sig igy megakadalyozva a por ltali szennyez d s barmely formajat TELEPITES IS FIGYELEM Ne t vol tsa el az ntapad s v d kupakot a turb szivatty nak a rendszerhez val csatlakoztat sa el tt Ne telep tse valamint ne haszn lja a szivatty t atmoszf rikus k zegeknek kitett k rnyezetben es h j g porban agressz v g zokban illetve robban vagy t zvesz lyes k rnyezetben zemeltet s k zben a k vetkez k rnyezeti felt teleket kell biztos tani maxim lis nyom s 2 bar a l gk ri nyom s felett h m rs klet 5 C t l 35 C ig relativ p ratartalom 0 95 nem kondenz l M gneses mez k jelenl t ben a szivatty t v deni kell ferrom gneses pajzs seg ts g vel R szletes inform ci rt l sd M szaki inform ci A Mini TASK ot b rmely helyzetben lehet telep teni R gz tse a Mini TASK ot stabil helyzetben a turb szivatty bemeneti karim j t egy r
75. NT OUT 12 SPARE 13 FAULT OUTPUT OUT 14 PROGRAMMABLE ANALOG OUT SIGNAL 15 GROUND 24 Vdc OUT e PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL Signal description START STOP input signal to start or stop the pump Without the supplied cover connector if you want to stop the turbo pump from outside you have to connect the START STOP signal to the 24 Vdc pin and the START STOP signal to the GROUND pin this is the default configuration of the cover connector INTERLOCK input signal to control the pump ro tation With the supplied cover connector the IN TERLOCK signal is connected to the 24 Vdc pin and the INTERLOCK signal to the GROUND pin in this condition the pump is stopped 87 900 962 01 A SPEED SETTING PWM input signal to set the pump speed The PWM signal characteristics must be the following e frequency 100 Hz 20 e ampitude 0 24 V max e duty cycle range from 25 to 75 corresponding to a pump speed from 250 Hz 25 to 1250 Hz 75 linearly 1500 1250 1000 750 500 Pump Speed Hz 250 0 0 20 25 50 75 100 125 Duty Cycle If any signal isn t applied no connection the pump speed is set to High Speed 1250 Hz max and settable by window 120 If a continuous signal is applied pin 5 fixed at 24 V and pin 6 fixed to ground the pump speed is set to Low Speed The Low Speed frequency is
76. ON PUMPS I Pump doesn t start Doesn t reach vacuum I Pump seized A Noisy pump describe L Over temperature Other Heater failure Doesn t reach vacuum Vacuum leak L Electrical problem I Cooling coil damage Other Customer application Customer application FAILURE DESCRIPTION Please describe in detail the nature of the malfunction to assist us in performing failure analysis NOTA Su richiesta questo documento disponibile anche in Tedesco Italiano e Francese REMARQUE Sur demande ce document est galement disponible en allemand italien et francais HINWEIS Auf Aufrage ist diese Unterlage auch auf Deutsch Italienisch und Franz sisch erh ltlich Argentina Varian Argentina Ltd Sucursal Argentina Av Ricardo Balbin 2316 1428 Buenos Aires Argentina Tel 54 1 783 5306 Fax 54 1 786 5172 Benelux Varian Vacuum Technologies Rijksstraatweg 269 H 3956 CP Leersum The Netherlands Tel 31 343 469910 Fax 31 343 469961 Brazil Varian Industria e Comercio Ltda Avenida Dr Cardoso de Mello 1644 Vila Olimpia Sao Paulo 04548 005 Brazil Tel 55 11 3845 0444 Fax 55 11 3845 9350 Canada Central coordination through Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 781 861 7200 Fax 781 860 5437 Toll Free 1 800 882 7426 China Varian Technologies Beijing Room 120
77. SK m ste anslutas till en huvudpump se schemat i Technical information Mini TASK kan installeras i valfri position F st pumpen i ett stabilt l ge genom att ansluta pumpens intagsfl ns till en fast fl ns som m ste t la ett vridmoment p 50 Nm kring sin axel 87 900 962 01 A Turbopumpen med ISO intagsfl ns ska f stas vid vakuumkammaren med hj lp av dubbla eller enkla klamrar Den f ljande tabellen beskriver olika typer av klamrar n dv ndigt antal klamrar och tdragningsmoment FL NS TYP AV KLAMMER ANT TDRAGNINGS MOMENT E Nm M10 e m M8 Turbopumparna med vakuumkammaren med hj lp av Varian f stdelar F r detaljer h nvisas till bilaga Technical Information intagsfl ns ConFlat ska f stas vid OBSERVERA Mini TASK systemet kan inte fastsp nnas med sin egen bas Installation av tillbeh rsutrustning beskrivs i Technical Information ANV NDNING Anvisningar f r riktig anv ndning finns i styrenhetens bruksanvisning Innan du anv nder systemet ska du utf ra alla elektriska och pneumatiska anslutningar Om vakuumkammaren uppv rms f r temperaturen vid inloppet aldrig verstiga 120 C AZI S tt aldrig ig ng pumpen om intagsfl nsen varken r kopplad til vakuumkammaren eller r blockerad p plats med l sfl nsen N VARNING Vidr r inte turbopumpen eller nagra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador I VIKTIGT Undvik st tar eller pl
78. ad poruchy kontaktujte va e m stn servisn st edisko spole nosti Varian POZN MKA Ne vr t te za zen v robci na opravu nebo v m nu za repasovan za zen mus te vyplnit list Health and Safety Zdravi a bezpe nost p ilo en k tomuto n vodu a zaslat jej m stn prodejn kancel i P ed odesl n m za zen mus te k za zen p ibalit kopii tohoto listu Pokud se m za zen vy adit mus se zlikvidovat v souladu s konkr tn mi st tn mi normami 87 900 962 01 A NAVOD K POUZITIU Bezpe nostny n vod pre Turbomolekul rne vyvevy Turbomolekul rne vyvevy ak s n sledovne popisovan obsahuj velk mnozstvo kinetickej energie vdaka vysokej ota avej rychlosti v kombinacii s konkretnym objemom ich rotorov V pr pade systemovej poruchy napr pri kontaktu rotora statora alebo pri zrucaniu rotora sa mo e uvolnit rota na energia AN VAROVANIE Pokyny k in tal cii uvedene v tomto n vode musia by pr sne dodr ovan za elom prevencie zranenia obsluhy 43 87 900 962 01 A VSEOBECN INFORMACIE Toto zariadenie je ur en pre profesion lnych pracovn kov Sk r ne za nete zariadenie pou va pre tajte si n vod na pou itie a v etky al ie pokyny spolo nosti Varian Spolo nos Varian nenesie iadnu zodpovednos za ak ko vek udalosti zapr inen postupom ktor nie je vs lade dokonca ani v iasto nom s lade stymito pokynmi
79. af Mini TASK sker ved blot at indstille den udvendige afbryder i position OFF r d kontrollampe slukket Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen N dstop N dstop af Mini TASK sker ved at fjerne str mkablet fra stikkontakten eller indstille den udvendige afbryder i position OFF VEDLIGEHOLDELSE Mini TASK beh ver ikke nogen vedligeholdelse indgreb skal foretages af autoriseret personale Ethvert A ADVARSEL Inden der foretages noget som helst indgreb pa systemet skal strammen forst afbrydes og luften i pumpen skal fjernes ved at bne ventilen Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset og til temperaturen p pumpens overflade er under 50 C tilfeelde af skader kontaktes et Varian reparationsvaerksted p systemet BEM RK Inden systemet sendes til reparationsv rkstedet skal Sikkerheds og tilstandsdokumentet der er vedlagt denne instruktionsmanual udfyldes En kopi af dette dokument skal indseettes i systemets emballage inden afsendelse Skrotning af systemet skal foreg i overensstemmelse med det p g ldende lands s rlige love 87 900 962 01 A BRUKSANVISNING Sakerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar De molekyl ra turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en h g kinetisk energi beroende p den h ga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa det fall fel skulle uppst i systemet t ex p grund av kontakt mellan rotor och stator
80. ager en restant simplement expos l atmosph re Toutefois afin d viter toute pollution due la poussi re il est conseill de le garder dans son emballage clos jusqu au moment de l installation INSTALLATION I ATTENTION Ne d coller l adh sif et ne retirer le couvercle de protection qu au moment de brancher la turbopompe au syst me Ne pas installer et ou utiliser la pompe dans des milieux expos s aux agents atmosph riques pluie gel neige la poussi re aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou fort risque d incendie Pendant le fonctionnement il est n cessaire de respecter les conditions environnementales suivantes pression max 2 bars au del de la pression atmosph rique temp rature de 5 C 35 C humidit relative 0 9596 non condensante En pr sence de champs magn tiques la pompe doit tre prot g e a aide d crans appropri s Pour tout autre renseignement se reporter l opuscule Technical Information Le Mini TASK peut tre install e dans n importe quelle position Le fixer dans une position stable en reliant la bride d entr e de la turbopompe une contre bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 50 Nm autour de son axe 87 900 962 01 A La turbopompe bride d entr e ISO doit tre fix e la chambre vide a l aide de colliers doubles ou simples Le tableau suivant d crit pour chaque type de collier le no
81. akuumkammeret ved hj lp af dobbelte eller enkelte klemmer Den nedenst ende tabel viser det n dvendige antal af klemmer samt drejningsmoment afh ngig klemmetypen FLANGE KLEMMETYPE DREJNINGS MOMENT ISO 63 pe Nm aggro BE M10 gevind Enkelt klemme med 11 Nm M8 gevind Turbopumpen med ConFlat indl bsflange skal tilsluttes p vakuumkammeret ved hj lp af Varian monteringsudstyret bilaget Teknisk Information findes yderligere detaljer BEM RK Mini TASK kan ikke fastg res i fundamentet Der henvises til bilaget Teknisk Information for oplysninger vedr rende installation af ekstraudstyret ANVENDELSE Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer Inden anvendelse af systemet b r samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udf res forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret m indlebsflangens temperatur ikke overstige 120 C AN ADVARSEL Pumpen m aldrig aktiveres hvis indlobsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjaelp af lukkeflangen N ADVARSEL R r aldrig turbopumpen eller dens tilbeh r i forbindelse med opvarmningsprocedurerne Den h je temperatur kan resultere i skade p personer IS VIGTIGT Undg st d eller pludselige bev gelser af turbopumpen mens den er aktiveret Dette kan beskadige lejerne IS VIGTIGT Til pumpens luftafl b anvendes inaktiv luftart der er fri for st v partikler eller fugtighed
82. ap VARIAN gt lt vacuum technologies MANUALE DI ISTRUZIONI BEDIENUNGSHANDBUCH NOTICE DE MODE D EMPLOI MANUAL DE INSTRUCCIONES Mini TASK MANUAL DE INSTRUCOES BEDRIJFSHANDLEIDING Model 969 9170 Model 969 9171 Model 969 9172 87 900 962 01 A OCTOBER 2004 INSTRUKSTIONSBOG BRUKSANVISNING INSTRUKSJON MANUAL OHJEKASIKIRJA FELHASZNALOI KEZIKONYV PODRECZNIK INSTRUKCJI NAVOD K POUZITI N VOD NA OBSLUHU PRIROCNIK ZA NAVODILA INSTRUCTION MANUAL Mini TASK ap VARIAN gt lt vacuum technologies Dear Customer Thank you for purchasing a VARIAN vacuum product At VARIAN Vacuum Technologies we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and or service you have purchased As part of our Continuous Improvement effort we ask that you report to us any problem you may have had with the purchase or operation of our product On the back side you find a Corrective Action Request form that you may fill out in the first part and return to us This form is intended to supplement normal lines of communications and to resolve problems that existing systems are not addressing in an adequate or timely manner Upon receipt of your Corrective Action Request we will determine the Root Cause of the problem and take the necessary actions to eliminate it You will be contacted by one of our employees who will review the problem with you and update you with the second part
83. bo amp rpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko le i e s pomo jo primerne Varian strojne opreme Naslednja tabela prikazuje tevilo potrebnih dr al in pritrjeval ter potreben navor za pritrjevanje NAPRAVA ZA PRIROBNICA PRITRJEVANJE m NAVOR ISO 63 M10 drzala 4 M8 pritrjevalo 4 22 Nm 11 Nm Turbo amp rpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko le i e s pomo jo primerne Varian strojne opreme Za dodatne informacije glejte prilogo Tehni ne informacije OPOMBA Mini TASK a ni mo pritrditi s svojo osnovo Za namestitev opcijski dodatkov glej Tehni ne informacije UPORABA Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo Pred uporabo sistema pove ite vse elektri ne in pnevmatske povezave Pri segrevanju vakuumskega le i a temperatura dovodne prirobnice ne sme prese i 120 C N OPOZORILO Turbo rpalke ne uporabljajte e dovodna prirobnica ni priklju ena na vakuumsko le i e N OPOZORILO Tekom segrevanja se turbo amp rpalke ali njenih delov ne dotikajte Visoka temperatura lahko povzro i opekline IS POZOR Izogibajte se udarcem oscilacijam ali nenadnim premikom rpalke tekom delovanja Nosilci se lahko po kodujejo IS POZOR Za prezra evanje rpalke uporabljajte ist plin brez prahu del kov ali vla nosti kot du ik Pritisk na oddu niku mora biti manj i od 2 bara nad pritiskom atmosfere
84. ccessoires die als optie verkrijgbaar zijn GEBRUIK In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken Tijdens de eventuele verwarming van de vacu mkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120 C bedragen AN EEZ Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacu mkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is AN EEZ Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken US ATTENTIE Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de turbopomp in werking is Hierdoor kunnen de lagers namelijk schade oplopen SS ATTENTIE Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp inert gas zonder stof vaste deeltjes of vocht bijv stikstof De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder van 2 bar boven de atmosferische druk bedragen 18 GEBRUIKSAANWIJZINGEN ZN GEVAAR Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare giftige of radioactieve gassen moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas Zijn opgesteld Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen Inschakeling en gebruik van de Mini TASK Om de Mini TASK in te schakelen is het voldoende om voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de
85. dapt au pompage de liquides ou de particules solides L effet de pompage est obtenu gr ce une turbine tournant a vitesse lev e 75000 tr min max mue par un moteur lectrique triphas haut rendement Le Mini TASK est totalement exempt d agents polluants et il est par cons quent indiqu pour toutes les applications exigeant un vide propre Le Mini TASK est en outre dot de connecteurs auxiliaires permettant de commander la soupape de ventilation de le piloter a distance a l aide d un ordinateur host connect par ligne s rielle Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications n cessaires garantir la s curit de l op rateur pendant l utilisation de l appareillage Des renseignements plus d taill s se trouvent dans l appendice Technical Information Cette notice utilise les signes conventionnels suivants A NEEN Les messages de danger attirent l attention de l op rateur sur une procedure ou une manceuvre sp ciale qui effectu e de fagon impropre risque de provoquer de graves l sions LS ATTENTION Les messages d attention apparaissent avant certaines proc dures dont le non respect pourrait endommager s rieusement l appareillage NOTE Les notes contiennent des renseignements importants extrapol s du texte STOCKAGE Pour garantir les performances et la fiabilit maximales des pompes turbomol culaires Varian il est indispensable de respecter les instructions suivantes e Le
86. de agentes contaminadores e portanto 6 adequado para aplica es que requerem um vacuo limpo Al m disso o Mini TASK tem conectores auxiliares atrav s dos guais possivel alimentar uma valvula de vent accion lo por um controlo remoto atrav s de um computer host conectado por meio de linha serial Nos seguintes par grafos est o descritas todas as informac es necess rias para garantir a seguranga do operador durante o uso da aparelhagem Informac es detalhadas s o fornecidas no ap ndice Technical Information Este manual utiliza as seguintes convenc es WISIN As mensagens de perigo chamam a atenc o do operador para um procedimento ou uma pratica especifica que se n o efectuada correctamente pode provocar graves les es pessoais IS ATEN O As mensagens de atenc o s o visualizadas antes de procedimentos gue se n o efectuados correctamente podem causar danos aparelhagem NOTA As notas cont m informac es importantes destacadas do texto ARMAZENAGEM Para garantir o nivel M ximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Varian devem ser observadas as seguintes prescric es e durante o transporte o deslocamento e a armazenagem das bombas as condi es ambientais devem ser as seguintes e temperatura de 20 C a 70 C e umidade relativa de 0 a 95 n o condensante e 830 acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativ las sempr
87. der Richtlinie 85 399 EWG f r Umweltschutz EEE Die Gefahrenhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausf hrungswei se die bei unkorrekter Ausf hrung schwere Verletzungen her vorrufen k nnten IS ACHTUNG Die Warnhinweise werden vor Vorg ngen angegeben die bei Nichtbeachtung Sch den an der Anlage verursachen k nnten HINWEIS Die Hinweise enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden LAGERUNG Um ein H chstma an Effizienz und Zuverl ssigkeit der Varian Turbomolekularpumpen zu gew hrleisten sind die folgenden Anweisungen zu beachten e W hrend des Transports der Handhabung und der Einla gerung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht berschritten werden e Temperatur von 20 C bis 70 C e Relative Feuchtigkeit von O bis 95 nicht kondensie rend e Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Emp fang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft Start in gangzusetzen e Die Lagerdauer f r eine Turbomolekularpumpe betr gt 10 Monate ab dem Speditionsdatum IS ACHTUNG Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gr nden die ge nannte Frist berschreiten sollte ist die Pumpe an das Werk zur ckzusenden F r Informationen wenden Sie sich bitte an den rtlichen Varian Vertreter US ACHTUNG Um Entgasungen zu vermeiden d rfen die Teile die mit dem Vakuum in Ber hrung kommen nicht mi
88. det lokale salgskontoret N r Mini TASK pakkes ut m du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for st t Emballasjen m ikke kastes p en ulovlig m te Alle materialer er 100 resirkulerbare og er i samsvar med EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse BRUKERVEILEDNING US FORSIKTIG For unng avgassingsproblemer m ingen del som skal utsettes for vakuum h ndteres med bare hendene Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr MERK Normale milj messige belastninger kan ikke delegge Mini TASK Likevel anbefaler vi holde pumpen lukket til den er montert i systemet slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedst ving INSTALLASJON IS FORSIKTIG Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes f rst n r turbopumpen koples til systemet Ikke installer eller bruk systemet i milj er som utsettes for regn sn eller is st v aggressive gasser eksplosjonsfarlige milj er eller milj er med stor brannfare Under bruk m f lgende forhold respekteres maksimalt trykk 2 bar over atmosf risk trykk temperatur fra 5 C til 35 C relativ fuktighet 0 95 uten kondens Ved magnetfelt m pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer Se Teknisk informasjon for detaljer Mini TASK m koples til en hovedpumpe se skjema i Teknisk informasjon Mini TASK kan monteres i en valgfri stilling Fest Mini TASK i en stabil stilling med
89. e em modalidade Soft Start e o tempo m ximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular de 10 meses a contar da data da expedi o US ATEN O Se por uma raz o qualquer o per odo de armazenagem for superior ser necess rio enviar outra vez a bomba para o fabricante Para mais informa es contatar o representante local da Varian 14 INSTRU ES PARA O USO PREPARA O PARA A INSTALA O O Mini TASK fornecido numa embalagem protectora especial se esta apresentar sinais de danos que poderiam ter ocorrido durante o transporte entrar em contacto com o escrit rio de vendas local Durante a remo o da embalagem tomar muito cuidado para n o deixar cair o Mini TASK e para n o submet lo a choques ou vibra es N o depositar a embalagem no meio ambiente O material completamente recicl vel e em conformidade com a norma CEE 85 399 para a protec o do meio ambiente ES ATEN O Para evitar problemas de perdas de g s n o tocar com as m os os componentes destinados exposi o do v cuo Utilizar sempre luvas ou outra protec o adequada VA NOTA Mini TASK n o pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto atmosfera Aconselha se no entanto manter a bomba fechada at6 o momento da instalac o no sistema para evitar eventuais acumulac es de p INSTALAG O IG ATEN O Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protecc o somente no momento de
90. eller om rotorn skulle skadas kan det h nda att rotationsenergin frig rs ZN VARNING F r att undvika skador p utrustningen och f rhindra att skador orsakas p operat rer m ste installationsinstruktionerna som beskrivs i den h r bruksanvisningen f ljas noga 22 87 900 962 01 A ALLMAN INFORMATION Utrustningen r avsedd f r yrkesm ssig anv ndning Anv ndaren b r l sa denna bruksanvisning samt vrig dokumentation fr n Varian f re anv ndning av utrustningen Varian tar inget ansvar f r skador som helt eller delvis beror p sidos ttande av instruktionerna ol mplig anv ndning av person utan tillr cklig kunskap obeh rigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot g llande lokala f reskrifter Systemet Mini TASK best r av en turbomolekyl r pump f r h ga och mycket h ga vakuumtill mpningar en styrenhet och en huvudpump Systemet kan anv ndas f r pumpning av alla typer av gas eller gasf reningar Dock l mpar sig inte systemet f r pumpning av v tskor eller fasta partiklar Pumpningen stadkoms med hj lp av en h gvarvig turbin max 75000 varv minut som drivs av en elektrisk trefas h geffektmotor Inga tillsats mnen anv nds i Mini TASK som d rf r passar f r till mpningar som kr ver ett rent vakuum Mini TASK har dessutom hj lpkontakter som g r det m jligt att kontrollera avluftningsventilen och att fj rrstyra den med hj lp av en host dator som r ansluten geno
91. en Smid ikke emballagen ud Materialet kan genbruges 100 og opfylder EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse IS VIGTIGT Komponenter der skal uds ttes for vakuum m ikke ber res med bare h nder idet der er risiko for afgasning Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse BEM RK Normal atmosf risk p virkning kan ikke skade Mini TASK Det anbefales dog at opbevare pumpen i en lukket kasse indtil den skal installeres Herved forhindres at der kommer st v i pumpen INSTALLATION IS VIGTIGT Tapen og beskyttelsesproppen fjernes f rst n r turbopumpen tilsluttes systemet Install r og anvend ikke pumpen i milj er der uds ttes for p virkninger fra atmosf ren regn sne is damp aggressive gasser og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt milj F lgende krav til omgivelsesforholdene g lder ved drift max tryk 2 bar over det atmosf riske tryk temperatur fra 5 C til 35 C relativ luftfugtighed 0 95 ikke kondenserende 87 900 962 01 A Hvis pumpen er anbragt i naerheden af elektromagnetiske felter skal den afskaermes Se bilaget Teknisk Information for yderligere oplysninger Mini TASK kan installeres i en hvilken som helst position Fastgor Mini TASK i en stabil position ved at slutte turbopumpens indlobsflange til en fast kontraflange der t ler et moment p 50 Nm omkring akselen Turbopumpen med ISO indlgbsflange skal tilsluttes v
92. en moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd ZN EEZ Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren de stekker verwijderen de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 C is gezakt In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Varian OPMERKING Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd Een kopie van deze kaart moet v r versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd Mocht het systeem gesloopt worden ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk 87 900 962 01 A BRUGSANVISNING Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re turbopumper De molekyl re turbopumper der er beskrevet i n rv rende brugsanvisning har en stor kinetisk energi der skyldes den h je omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke veegt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel p grund af en kontakt mellem rotor og stator eller fordi rotoren g r i stykker kan omdrejningsenergien spredes AN FE For at undg materielle skader samt at operat rerne kommer til skade er det strengt n dvendigt n je at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning 19 87 900 962 01 A GENEREL INFORMATION Dette udstyr er bereg
93. en om at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udfores praecist efter anvisningerne modsat fald er der risiko for svaere personskader IS VIGTIGT Denne advarselsmeddelelse vises f r procedurer der skal f lges n je for ikke at risikere maskinskader BEM RK Dette g r opm rksom p vigtig information i teksten OPBEVARING Det er n dvendigt at overholde f lgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekyl re pumper fra Varian e S rg for at omgivelserne opfylder f lgende betingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne e temperatur fra 20 C til 70 C e relativ fugtighed fra O til 95 ikke kondenserende e Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumper ved hj lp af Soft Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for f rste gang e De turbomolekyl re pumper m opbevares i 10 m neder fra forsendelsesdatoen IS VIGTIGT Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er l ngere er det n dvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken Yderligere oplysninger f s ved henvendelse til den lokale Varian repr sentant BRUGSANVISNING FORBEREDELSE F R INSTALLATION Mini TASK leveres i en speciel beskyttende emballage Kontakt den lokale forhandler hvis emballagen viser tegn p skader der kan v re opst et under transporten S rg for at Mini TASK ikke tabes eller uds ttes for st d ved udpakning
94. esistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio asse La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singoli La seguente tabella descrive per ogni tipo di morsetto il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio stringerli TIPO DI COPPIA DI ES MORSETTO m SERRAGGIO ISO 63 Morsetto doppio 4 22 Nm con filettatura M10 Morsetto singolo 4 11 Nm con filettatura M8 La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell apposita minuteria meccanica Varian Per ulteriori dettagli vedere l appendice Technical Information NOTA Il Mini TASK non pu essere fissato tramite la sua base Per l installazione degli accessori opzionali vedere Technical Information USO In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici Durante l eventuale riscaldamento della camera da vuoto la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 C ger Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non collegata alla camera a vuoto o non chiusa con la flangia di chiusura ISTRUZIONI PER L USO Accensione ed Uso del Mini TASK Per accendere il Mini TASK sufficiente fornire la tensione di alimentazione e mettere in posizione ON l interruttore esterno
95. est uzyskane poprzez obrotowa turbine o wysokiej predko ci max 75000 obr min napedzana przez elektryczny silnik tr jfazowy o wysokiej wydajnosci System Mini TASK jest catkowicie bez czynnik w zanieczyszczajacych i dlatego te jest to system odpowiedni do zastosowan gdzie jest wymagana tzw czysta pro nia Poza tym Mini TASK posiada pomocnicze konektory poprzez kt re mo na sterowa wentylator vent pilotowa go zdalnie poprzez gt wny komputer podtaczony przez port szeregowy W nastepnych paragrafach zostaty przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczeristwa operatora podczas uzytkowania aparatury Szczeg lowe informacje zostaty przedstawione w dodatku dotyczacym informacji technicznych Informacje Techniczne W tej instrukcji zastosowano nastepujace umowne znaczenia N NIEBEZPIECZENSTWO Komunikaty niebezpiecze stwa przyciagaja uwage operatora co do danej procedury lub danego postepowania kt rego nieprawidtowe wykonanie mogtoby spowodowa powazne uszkodzenia ciata IS UWAGA Komunikaty zwi kszonej uwagi s wy wietlane przed procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania mo e doj do uszkodzenia aparatury INFORMACJA S to wa ne informacje wyci gni te z tekstu MAGAZYNOWANIE W celu zagwarantowania najwy szego poziomu funkcjonalnego i niezawodno ci pomp turbomolekularnych Varian musz by przestrzegane nast puj ce zalecenia e podczas
96. ez rl panel r szletes leir s rt l sd M szaki inform ci fuggel k A Mini TASK kikapcsol sa A Mini TASK kikapcsol s hoz elegend a kils kapcsol t KI ll sba kapcsolni piros f ny kialszik A be p tett vez rl azonnal le ll tja a szivatty t V szle ll t s A Mini TASK v szhelyzetben val azonnali le ll t s hoz el kell t vol tani a t pk belt a h l zati dugaszb l vagy a k ls kapcsol t KI ll sba kell kapcsolni KARBANTART S A Mini TASK nem ig nyel karbantart st A rendszeren v gzett b rmely munk t jogosult szem lyzetnek kell elv geznie NETTI A rendszeren b rmely munka v gz se el tt v lassza le azt a t pfesz lts gr l szell ztesse a szivatty t a megfelel szelep kinyit s val v rjon am g a rotor forg sa le ll s am g a szivatty fel let nek h m rs klete 50 C al esik Meghib sod s eset n forduljon a Varian szervizk zponthoz MEGJEGYZ S Miel tt jav t sra visszak ldi a rendszert a gy rt hoz az ehhez a g pk nyvh z csatolt Eg szs g s biztons g lapot ki kell t lteni s el kell k ldeni a helyi kereskedelmi irod hoz A lap egy m solat t sz ll t s el tt be kell illeszteni a rendszercsomagba Ha a rendszert le kell selejtezni azt rtalmatlan tani kell a konkr t nemzeti szabv nyoknak megfelel en 87 900 962 01 A INSTRUKCJA UZYTKOWANIA Wskaz wki dotyczace bezpieczenstwa dla Pomp Turbomolek
97. field is not present 87 900 962 01 A The field length is variable according to the data type as per the following table FIELD VALID DATA TYPE LENGTH CHARACTERS N 0 OFF 1 ON Numeric SO Y right justified with 0 Alphanumeric A from blank to ASCII lt ETX gt End of transmission 0x03 lt CRC gt XOR of all characters subsequent to lt STX gt and including the lt ETX gt terminator The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character The addressed SLAVE will respond with an AN SWER whose structure depends from the MESSAGE type When the MESSAGE is a reading command the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE NOTE Using the RS 485 interface the message structure remains identical to the one used for the RS 232 interface the only difference being that the value assigned to the ADDRESS lt ADDR gt Examples Command START Source PC Destination Controller 02 80 30 30 30 31 31 03 42 33 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC 62 TECHNICAL INFORMATION Command STOP Source PC Destination Controller 02 80 30 30 30 31 30 03 42 32 STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC
98. i nimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja statorja ali po kodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija N OPOZORILO Da bi se izognili po kodbam opreme in prepre ili po kodbe osebja morate natan no slediti navodilom za name anje iz tega priro nika 46 87 900 962 01 A SPLOSNE INFORMACIJE Oprema je namenjena za profesionalno uporabo Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije ki mu jih je posredoval Varian Varian ni odgovoren za dogodke ki bi nastali zaradi neupoStevanja teh navodil nepravilne uporabe in nepoobla enega poseganja v opremo ali kakr nega koli dejanja ki niso v skladu s standardi Mini TASK je integriran sistem s turbomolekularno rpalko za visoko in ultravisoko vakuumsko uporabo ki je povezana s pripadajo im upravljalcem in primarno rpalko Sistem lahko rpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi Ni primeren za rpanje teko ine ali trdnih delcev rpanje se izvaja preko hitre turbine maks 75000 rpm ki jo vodi visoko u inkovit 3 fazni elektri ni motor Mini TASK ne vsebuje onesna evalnih agentov in je primeren za isto vakuumiranje Mini TASK je opremlje z auksiliarnimi priklju ki za nadzor na odprtino ki jo lahko nadzorujete iz oddaljene lokacije s pomo jo gostiteljskega ra unalnika povezanega preko serijske povezave Naslednji odstavki vsebujejo informacije ki so potrebne za varnos
99. i TASK voidaan asentaa mihin tahansa asentoon Kiinnit Mini TASK tukevaan asentoon kytkem ll turbopumpun kiinte sis ntulolaippa kiinte n vastalaippaan joka kest 50 Nm n momentin oman akselinsa ymp ri 87 900 962 01 A kiinnitt kiinnikkeill Turbopumppu tyhji kammioon ISO sis ntulolaipalla tulee kaksois tai yksinkertaisilla Seuraavassa taulukossa ovat kaikki kiinnikemallit kiinnikkeiden vaadittava m r ja kiristysmomentti E EE MOMENTTI kierteitys M10 LAIPPA Yksinkertainen 4 11 Nm kiinnike kierteitys M8 Turbopumppu ConFlat sis ntulolaipalla tulee kiinnitt tyhji kammioon sopivien Varianin mekaanisten varusteiden avulla Lis tietoja l ytyy Tekniset tiedot liitteest HUOM Mini TASK ei voida kiinnitt perustansa kautta Ks Tekniset tiedot liitett lis varusteiden asentamista varten K YTT T h n kappaleeseen on kirjattu t rkeimm t k ytt toimenpiteet Suorittakaa ennen j rjestelm n k ytt kaikki s hk ja paineilmakytkenn t Tyhji kammion mahdollisen l mmityksen aikana sis ntulolaipan l mp tila ei saa ylitt 120 C tta AN MEZNIH lk k ytt k pumppua ellei sis ntulolaippaa ole kytketty tyhji kammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla AN VAARA lk koskeko turbopumppuun tai sen lis osiin l mmitt misen aikana Korkea l mp tila saattaa aiheuttaa henkil iden loukkaantumisia IS Huomio
100. ie Mini TASKu Pre vypnutie Mini TASKu sta prepnutie vonkaj ieho vyp na a do polohy OFF erven kontrolka zhasne Zabudovan kontroln modul v vevu okam ite zastav N dzov zastavenie Ak chcete zariadenie Mini TASK okam ite vypn vstave n dze mus te alebo vytiahnu k bel nap jania zo z str ky zdroja nap jania alebo prepn vonkaj vyp na do polohy OFF DR BA Zariadenie Mini TASK nevy aduje iadnu dr bu Ak ko vek pravy a opravy syst mu mus vykona autorizovan person l N VAROVANIE Sk r nez za nete okolvek robit v systeme odpojte ho od zdroja napajania vyvetrajte vyvevu tak Ze otvorite prislu ny ventil po kajte kym sa rotor neprestane ota at a kym teplota povrchu vyvevy neklesne pod 50 sC V pripade poruchy zariadenia vyhladajte servisne stredisko spolo nosti Varian POZNAMKA Pred odoslanim zariadenia vyrobcovi treba vyplnit dotaznik Zdravie a Bezpe nos pripojen k n vodu na pou itie a odosla miestnemu predajcovi K piu dotazn ka vlo te do bal ka so syst mom a odo lite spolu s n m Ak je potrebn likvid cia syst mu mus prebehn v s lade so pecifick mi predpismi danej krajiny 87 900 962 01 A NAVODILA ZA UPORABO Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke Turbomolekularne rpalke opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko koli ino kineti ne energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specif
101. ijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max druk 2 bar boven de atmosferische druk temperatuur van 5 C tot 35 C relatieve vochtigheid 0 95 niet condenserend 87 900 962 01 A In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden Zie de bijlage Technical Information voor meer informatie De Mini TASK moet op een primaire pomp aangesloten zijn zie schema in Technical information De Mini TASK kan in alle standen worden geinstalleerd Bevestig de Mini TASK in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 50 Nm rondom de eigen as kan verdragen De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacuimkamer worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige klemmen De volgende tabel beschrijft voor elke of klemtype het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden FLENS KLEMTYPE AANHAAL KOPPEL ISO 63 Dubbele klem met 4 22 Nm M10 schroefdraad Enkelvoudige klem 4 11 Nm met M8 schroefdraad De turbopomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacu mpomp worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Varian Zie voor meer informatie de bijlage Technical information OPMERKING De Mini TASK kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd Zie Technical Information voor installatie van a
102. ing default 1250 Set Point 0 Frequency ann 250 to 1250 type 1 Current rotationa 2 Time frequency in default 1250 Hz active default 0 only in Stop condition 008 100 101 63 87 900 962 01 A TECHNICAL INFORMATION Read Data Description Admitted Read Data Description Admitted Write Type Values Write Type Values 320 122 R W L Set vent On 1 Reserved to Varian service valve on off Off 0 to on closed 399 default 1 400 A CRC QE8XXXX EPROM where XXXX CE are variable Set the vent Automatic 0 A CRC Param PA8XXXX valve see note 1 PA where XXXX operation On command E are variable see note 2 A CRCPa XXXX Vent valve 0 to 65535 rameter opening structure dela corresponding to i GA in Oto 13107 sec Reserved to Varian service R W N RS 485 ad 0 to 31 dress default 0 R W L Serial type 0 RS 232 select 1 RS 485 default lt 0 Pump power NOTES in W pump ZEN 1 Automatic means that when the controller pump voltage stops the vent valve is opened with a delay duty cycle defined by window n 126 when the controller Driving fre starts the vent valve is immediately closed quency in Hz 2 On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n 122 Pump tem 3 These commands remove the pump motor perature in supply for a short time If they are used con tinuously they can cause the pum
103. ini TASK control panel the associated table lists the available commands For a detailed description see the fol lowing paragraphs 00000 0000 00000000 0000000 CONTROL NAME DESCRIPTION P3 VENT Connector to control the optional vent valve P5 FAN Connector to supply the optional fan LD1 STATUS Green LED to show the system operat ing condition J6 SERIAL Serial input output connector to control the Mini TASK via an RS 232 or RS 485 connection J5 IN OUT Input output connector to remote control the Mini TASK 53 TECHNICAL INFORMATION CONTROL NAME DESCRIPTION ON OFF red It is located on the other side of the sys switch with inte tem with respect to the illustrated control grated light panel It is the power supply switch The not shown in the integrated red light shows the power picture supply status it lights when the power supply is applied to the Mini TASK TECHNICAL SPECIFICATION With CF 4 5 or ISO 63 No 60 l s He 55 l s He 45 l s Ho 40 l s Ho 36 l s Inlet flange CF 4 5 O D ISO63 KF 40 NW ET a temperature Bakeout 120 C at inlet flange max CF flange temperature 80 C at inlet flange max ISO flange Lubricant permanent lubrication With KF 40 NW Na 40 l s Pumping speed I s Power supply Line type Input voltage Input frequency Max input power Stand by power 100 240 Vac
104. inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment p 50 Nm rundt aksen 87 900 962 01 A Turbopumpene med ISO innl psflens skal festes til vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer F lgende tabell angir det n dvendige antall klemmer og det relevante strammemomentet for de enkelte typer klemmer TYPE KLEMME ANT STRAMME MOMENT FLENS ISO 63 gjenge M10 Enkel klemme 4 11 Nm gjenge M8 Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle l sedelene fra Varian For detaljer henvises det til Teknisk informasjon MERK Mini TASK m ikke festes gjennom fundamentet For installasjon av tilleggsutstyr vises det til Teknisk informasjon BRUK Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet Les n ye gjennom denne manualen f r systemet tas i bruk Mens oppvarmingen av kammeret p g r m temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120 C AN ADVARSEL Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret eller ikke er lukket med lukkeflensen AN ADVARSEL Ikke beror turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen De hoye temperaturene kan fore til brannskader IS FORSIKTIG Unng st t eller br bevegelser av turbopumpen n r den er i bruk Dette kan f re til at lagrene skades IS FORSIKTIG Bruk fukt st v og partikkelfri inaktiv gass f eks kvelstoff ved forsyning av
105. int output stays at 0 Vdc until the fre quency becomes higher than 505 Hz that is 500 Hz 1 of 500 Hz then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency be comes lower than 495 Hz that is 500 Hz 1 of 500 Hz It is possible to mask the set point check ing for a programmable mask time The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings reference quantity frequency thereshold 1125 Hz hysteresis 2 activation type high level mask time 0 second NOTE The Software optional allows the operator to set all the programmable feature When no external input output device is available this connector must be opened So you don t have to connect the supplied mating connector 87 900 962 01 A How to connect the open collector to the controller s input Here below there are the typical connections of the input of Mini TASK to an external device Two cases are considered 1 the customer supplies the 24 Vdc 2 the customer does not supply the 24 Vdc Please note that on the connector a 24 Vdc 60 mA voltage a GROUND signal and the open col lector pin are available 24 Vdc 5 Vdc Customer s device Controller A 4 A NPN er PNP 5 Vdc Customer s device Controller SK Case 1 60 TECHNICAL INFORMATION 24 Vdc Customer s device Controller A 5 Vdc a x A 24 Vdc Controller Customer s i
106. is balanced after assembly with a resid ual vibration amplitude less than 0 01 um 52 TECHNICAL INFORMATION Model 969 9170 Model 969 9172 TURBOPUMP FOREPUMP CONTROL PANEL AND INTEGRATED CONTROLLER 87 900 962 01 A Controller Description The integrated controller is a solid state frequency converter which is driven by a single chip micro computer and is composed of a PCB which in cludes a power supply with a 3 phase AC output analog and input output section microprocessor and digital section The controller recognizes the mains presence and converts the single phase AC mains supply into a 3 phase medium frequency output which is required to power the pump The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection Diaphragm Forepump Description The pump consists of an electric DC motor driving an eccentric which moves an elastic diaphragm The pump has four heads The compression chamber is hermetically sepa rated from the drive mechanism by means of the diaphragm The pump transfers evacuates and compresses completely oil free The motor is supplied with a voltage of 24 Vdc NOTE A diaphragm pump cleaning from the humidity is recommended to improve the system performance using dry air or nitrogen It is recommended to open manually the vent valve after every start command for about 30 seconds Control Panel Description The following picture shows the M
107. ization Number RA WILL NOT be issued until this Request for Return is completely filled out signed and returned to Varian Customer Service 2 Return shipments shall be made in compliance with local and international Shipping Regulations IATA DOT UN 3 The customer is expected to take the following actions to ensure the Safety of workers at Varian a Drain any oils or other liquids b Purge or flush all gasses c Wipe off any excess residues in or on the equipment d Package the equipment to prevent shipping damage for Advance Exchanges please use packing material from replacement unit 4 Make sure the shipping documents clearly show the RA and then return the package to the Varian location nearest you North and South America Europe and Middle East Asia and ROW Varian Vacuum Technologies Varian SpA Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Ave Via Flli Varian 54 Local Office Lexington MA 02421 10040 Leini TO ITALY Phone 1 781 8617200 Phone 39 011 9979111 Fax 1 781 8609252 Fax 39 011 9979330 CUSTOMER INFORMATION Company name Salsa seen nee Ria Contact person Name nennen nes era A E lg OR a EV Ship Method ees Shipping Collect PO Europe only VAT reg Number USA only Taxable Non taxable Customer Ship To Customer Bill To PRO
108. la bomba se utiliza para bombear gases t xicos inflamables o radioactivos seguir los procedimientos apropiados tipicos de cada gas No usar la bomba cuando haya gases explosivos 12 INSTRUCCIONES DE USO Encendido y Uso del Mini TASK Para encender el Mini TASK basta conectar la tensi n de alimentaci n y disponer el interruptor externo en posici n ON luz roja encendida EI controlador incorporado reconoce autom ticamente la presencia de la alimentaci n y pone en marcha la bomba Al efectuar el primer encendido conviene adoptar la modalidad Soft Start activ ndola en el controller mientras gue para las sucesivas activaciones se aconseja inhabilitar dicha modalidad Soft Start Para el procedimiento de activaci n de la modalidad Soft Start consultar el punto Signal Description del capitulo Technical Information EI LED verde LD1 situado en el panel de la base del Mini TASK indica con la frecuencia de su parpadeo las condiciones operativas del sistema encendido fijo la bomba est en rotaci n normal parpadea lentamente per odo de 400 ms aproximadamente el sistema est en estado de rampa o de frenado o de stop o de waiting for iterlock parpadea r pidamente per odo de aproximadamente situaci n de error 200 ms Una descripci n detallada del panel de control del Mini TASK aparece en el ap ndice Technical Information Parada del Mini TASK Para detener el Mini
109. led in the system thus preventing any form of pollution by dust INSTALLATION IS CAUTION Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system een PREPARATION FOR INSTALLATION The Mini TASK is supplied in a special protective packing If this shows signs of damage which may have occurred during transport contact your local sales office When unpacking the system be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 recyclable and complies with EEC Directive 85 399 Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents rain snow ice dust aggressive gases or in explosive environments or those with a high fire risk During operation the following environmental conditions must be respected maximum pressure 2 bar above atmospheric pressure temperature from 5 C to 35 C relative humidity 0 95 non condensing In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield See the appendix Technical Information for detailed information The Mini TASK can be installed in any position Fix the Mini TASK in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter flange capable of withstanding a torque of 50 Nm around its axis 87 900 9
110. low but only the RS 485 manages the address field Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the software Communication Format e 8 data bit e no parity e 1 stop bit baud rate 600 1200 2400 4800 9600 pro grammable Communication Protocol The communication protocol is a MASTER SLAVE type where e Host MASTER e Controller SLAVE The communication is performed in the following way 1 the host MASTER send a MESSAGE CRC to the controller SLAVE 2 the controller answer with an ANSWER CRC to the host The MESSAGE is a string with the following format lt STX gt lt ADDR gt lt WIN gt lt COM gt lt DATA gt lt ETX gt lt CRC gt where NOTE When a data is indicated between two quotes it means that the indicated data is the correspond ing ASCII character lt STX gt Start of transmission 0x02 lt ADDR gt Unit address 0x80 for RS 232 lt ADDR gt Unit address 0x80 device num ber 0 to 31 for RS 485 lt WIN gt Window a string of 3 numeric char acter indicating the window number from 000 to 999 for the meaning of each window see the relevant paragraph COM Command 0x30 to read the window 0x31 to write into the window lt DATA gt an alphanumeric ASCII string with the data to be written into the window In case of a reading command this
111. m seriell f rbindelse De f ljande avsnitten inneh ller all information som beh vs f r att garantera operat rens s kerhet under anv ndningen Detaljerade uppgifter finns i bilagan Technical information I bruksanvisningen anv nds f ljande standardrubriker TIS Varningsmeddelandena informerar operat ren om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete m ste utf ras exakt enligt anvisningarna annat fall finns risk f r sv ra personskador IS VIKTIGT Detta varningsmeddelande visas framf r procedurer som m ste f ljas exakt f r att inte risk f r maskinskada ska uppst OBSERVERA Detta visar p viktig information i texten FORVARING Respektera f ljande anvisningar f r att garantera optimal prestanda och drifts kerhet f r Varian turbomolekyl ra pumpar e Vid transport flytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras e Temperaturomrade 20 C till 70 C e Relativ fuktighet O till 95 utan kondens e Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pumparna n r de mottas och s tts i drift f r f rsta g ngen e De turbomolekyl ra pumparna kan lagras i 10 m nader fr n leveransdatumet US VIKTIGT Om lagringstiden av n gon anledning r l ngre m ste pumpen skickas tillbaka till fabriken Var god och kontakta den lokala Varian terf rs ljaren f r ytterligare information FORBEREDELSER FOR INSTALLATIONEN Mini TASK levereras i ett s
112. mbre de colliers n cessaires ainsi gue le couple de serrage prescrit L a COLLIER SERRAGE afilet M10 Collier simple 4 11 Nm a filet M8 La turbopompe bride d entr e ConFlat doit tre fix e la chambre vide a l aide des l ments m caniques Varian pr vus cet effet Pour tout autre d tail se reporter l appendice Technical Information NOTE Le Mini TASK ne peut tre fix6 par sa base Pour l installation des accessoires en option se reporter a Technical Information UTILISATION Ce paragraphe pr sente les principales procedures op rationnelles Avant d utiliser le syst me effectuer tous les branchements lectriques et pneumatigues Pendant le chauffage ventuel de la chambre a vide la temperature de la bride d entr e ne doit pas d passer 120 C EXT Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d entr e n est pas reli e la chambre vide ou si elle n est pas ferm e avec la bride de fermeture A NEEN viter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut tre l origine de l sions graves I amp ATTENTION Eviter tout choc ou d placement brusgues de la turbopompe lorsgu elle est en marche Cela pourrait endommager les paliers IS ATTENTION Pour le refoulement a l air de la pompe utiliser un gaz inerte d pourvu de poussi re particules ou humidit Ex azote La
113. mpen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld e de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum US ATTENTIE Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is moet de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Varian UITPAKKEN De Mini TASK wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd als er schade wordt geconstateerd die tijdens het US ATTENTIE Om ontgassingsproblemen te voorkomen mogen de componenten die met het vacu m in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming OPMERKING De Mini TASK kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen INSTALLATIE US ATTENTIE Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden De pomp mag niet geinstalleerd en of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden regen vorst sneeuw stof agressieve gassen of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar T
114. nde evitare problemi di degasamento non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata PERICOLO I messaggi di pericolo attirano l attenzione dell operatore su una procedura o una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali I amp ATTENZIONE I messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che se non osservate potrebbero causare danni all apparec chiatura NOTA Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo IMMAGAZZINAMENTO Per garantire il massimo livello di funzionalit ed affidabilit delle pompe Turbomolecolari Varian devono essere osservate le seguenti prescrizioni e durante il trasporto lo spostamento e l immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali e temperatura da 20 C a 70 C e umidit relativa da 0 a 95 non condensante e il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta e il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare di 10 mesi dalla data di spedizione IS ATTENZIONE Se per qualsiasi ragione il tempo di immagazzinamento superiore occorre reinviare la pompa in fabbrica Per ogni informazione si prega di contattare il locale rappresentante della Varian
115. net til professionel anvendelse Brugeren bor lese denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Varian for udstyret anvendes Varian tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som f lge af tilsides ttelse af disse instruktioner fejlagtig brug af personer uden tilstr kkeligt kendskab ukorrekt anvendelse af udstyret eller h ndtering der strider imod g ldende lokale regler Mini TASK systemet omfatter en turbomolekyl r pumpe til h je eller meget h je vakuumtilpasninger og aktuel styreenhed og hovedpumpe Systemet er i stand til at pumpe en hvilken som helst form for gas eller gaslignende luftarter men systemet kan ikke anvendes til pumpning af v ske eller af faste partikler Pumpningen sker ved hj lp af en hurtigroterende turbine 75000 omdr min Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med h j effekt Mini TASK er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse der kr ver rent vakuum Mini TASK har endvidere hj lpestik der g r det muligt at styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hj lp af en v rtscomputer gennem seriel forbindelse De folgende afsnit indeholder oplysningerne der er n dvendige for at garantere sikkerhed for operat ren i forbindelse med anvendelse af udstyret Bilaget Teknisk Information indeholder detaljerede oplysninger I brugsanvisningen anvendes f lgende standardrubrikker AN ADVARSEL Advarselsmeddelelserne informerer operat r
116. nstallatie instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd 16 87 900 962 01 A ALGEMENE INFORMATIE Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Varian verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen Varian acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving De Mini TASK is een geintegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacu mtoepassingen en een primaire pomp bestaat Het systeem is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine max 75 000 toeren min die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement De Mini TASK is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een schoon vacu m verlangen De Mini TASK is bovendien van hulpconnectors voorzien waarmee de ontluchtingsklep kan worden aangestuurd en waarmee het systeem d m v een serieel aangesloten host computer op afstand kan worden bediend In de volgende paragrafen is alle informatie
117. nstru es t m uma alta quantidade de energia cin tica devida a alta velocidade de rota o unida massa especifica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor a energia de rotag o pode ser liberada Para evitar danos aparelhagem e prevenir les es aos operadores necess rio seguir atentamente as instru es de instala o descritas neste manual 13 87 900 962 01 A INFORMAG ES GERAIS Esta aparelhagem destina se a uso profissional O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instruc es e todas as informac es adicionais fornecidas pela Varian antes de utilizar a aparelhagem A Varian n o se responsabiliza pela inobserv ncia total ou parcial das instruc es pelo uso indevido por parte de pessoas n o treinadas por operac es n o autorizadas ou pelo uso contr rio s normas nacionais especificas O Mini TASK um sistema integrado constituido por uma bomba turbomolecular para aplica es de alto e ultra alto v cuo equipado com os respectivos controller e bomba primaria O sistema capaz de bombear qualquer tipo de g s ou de composto gasoso mas n o apropriado para bombear liquidos ou particulas s lidas O efeito da bomba obtido atrav s de uma turbina rotativa de alta velocidade 75000 r p m max movida por um motor el ctrico trif sico de alto rendimento O Mini TASK totalmente isento
118. nte una turbina rotativa de alta velocidad 75000 r p m m x movida por un motor el ctrico trif sico de alto rendimiento EI Mini TASK no posee absolutamente ningun agente contaminante por lo gue es adecuado para aplicaciones que requieren un vacio limpio Asimismo el Mini TASK posee conectores auxiliares con los gue se puede gobernar la v lvula de ventilaci n y pilotearlo a distancia mediante un ordenador host conectado a trav s de linea serial A continuaci n se facilita toda la informaci n necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato En el anexo Technical Information se facilita informaci n m s detallada Este manual utiliza las convenciones siguientes EEE Los mensajes de peligro atraen la atenci n del operador sobre un procedimiento o una ejecuci n especifica que de no realizarse correctamente podria provocar graves lesiones personales ES ATENCI N Los mensajes de atenci n se visualizan antes de los procedimientos que de no cumplirse podr an provocar da os al aparato NOTA Las notas contienen informaci n importante extra da del texto ALMACENAMIENTO Para garantizar el nivel m ximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Varian deber n aplicarse las siguientes instrucciones e durante el transporte desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deber n superarse las siguientes condiciones ambientales e temperatura
119. ntroller und der Prim rpumpe besteht Das System eignet sich f r die F rderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen nicht jedoch f r die F rderung von Fl ssigstoffen oder Festpartikeln Die Pumpwirkung wird durch eine hochtou rige Turbine max 75 000 1 min erreicht die von einem Hoch leistungs drehstrommotor angetrieben wird Modell Mini TASK enth lt keinerlei umweltsch dliche Substanzen und eignet sich deshalb auch f r Anwendungen die ein sauberes Vakuum erfordern Modell Mini TASK verf gt des weiteren ber Zusatz anschl sse ber die das Entl ftungsventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer ber eine serielle Lei tung gesteuert werden kann In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen f r die Sicherheit des Bedie ners bei der Anwendung des Ger ts aufgef hrt Detaillierte technische Informationen sind im Anhang Technical Informati on enthalten In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermafsen hervorgehoben GEBRAUCHSANLEITUNG VOR DER INSTALLATION Modell Mini TASK wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert Eventuelle Transportsch den sind der zust ndigen rtlichen Verkaufsstelle zu melden Modell Mini TASK ist vorsichtig auszupacken wobei es vor dem Herunterfallen und vor St en und Vibrationen zu sch tzen ist Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgem zu entsorgen Es ist vollst ndig recyclebar und entspricht
120. o opisu panelu sterowniczego Mini TASK nalezy zapozna sie z dodatkiem Informacje Techniczne Zatrzymanie Mini TASK Aby zatrzyma Mini TASK wystarczy ustawi wylacznik zewnetrzny na pozycji OFF czerwona lampka wytaczona Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompe Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzyma w stanie alarmowym system Mini TASK nalezy wytaczy kabel zasilania z gniazda sieciowego lub ustawi zewnetrzny wytacznik na pozycje OFF KONSERWACJA System Mini TASK nie wymaga adnej konserwacji Jakakolwiek interwencja musi by wykonana przez upowa niony personel N NIEBEZPIECZENSTWO Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie nale y odtaczy go od zasilania otworzy odpowiedni zaw r dla wlotu powietrza odczeka a do catkowitego zatrzymania wirnika i odczeka az temperatura powierzchni pompy bedzie wynosita ponizej 50 C W przypadku uszkodzenia mozliwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego firmy Varian INFORMACJA Przed wysytka do konstruktora systemu do naprawy nalezy obowiazkowo wypetni i przekaza do miejscowego biura sprzeda y karte Bezpieczeristwo i Zdrowie zataczona do niniejszej instrukcji Jeden egzemplarz kopia karty musi by wto ony do opakowania systemu przed jego wysytka Jezeli system musi by poddany rozbi rce nale y przystapi do jego eliminacji zgodnie z obowiazujacymi krajowymi normami w meritum sprawy 87 900 962 01 A PRIRUCK
121. ojf zov m elektromotorem Mini TASK neobsahuje dn kontaminujici l tky a proto se hod pro aplikace vyZadujici ist vakuum Mini TASK je vybaven pomocn mi konektory pro ovl d n odvzdu ovac ho ventilu kter se m ovl dat d lkov pomoc hostitelsk ho po ta e pripojen ho s riovou linkou N sleduj c odstavce obsahuj informace pot ebn k zaji t n bezpe nosti obsluhy p i pou v n tohoto za zen Podrobn informace jsou uvedeny v p loze Technick informace Tento manu l pou v n sleduj c standardn protokol P RU KA K POU IT IS VAROVANI Aby se zamezilo probl m m s odply ov n m nepou vejte hol ruce p i manipulaci s komponenty kter budou vystaveny vakuu V dy pou vejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu N V STRAHA V stra n hl en jsou ur ena pro upozorn n obsluhy na ur it postup nebo innosti kter by v p pad nedodr en mohly zp sobit v n raz IS VAROVANI Varovna hl en jsou uvedena pred postupy kter by v pripad nedodr en mohly po kodit zarizeni POZN MKA Pozn mky obsahuj d le it informace p evzat z textu USKLADN N Aby byla zaji t na maxim ln provozuschopnost a spolehlivost turbomolekul rn ch v v v firmy Varian mus te dodr ovat n sleduj c pokyny P i p eprav p em s ov n a skladov n wyv v byste nem li p ekra ovat n
122. oppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkam mer anzuschliefsen In der nachstehenden Tabelle sind die An zahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment f r die Schel lenarten san FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ ANZUGSMOMENT ISO 63 Doppelschelle mit 4 22Nm Gewinde M10 Einzelschelle mit 4 11 Nm Gewinde M8 Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem spe ziellen Varian Befestigungsmaterial an die Vakuum kammer anzuschlieRen F r ausf hrliche Informationen siehe im An hang Technical Information HINWEIS Modell Mini TASK kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden F r die Installation der Optionsteile siehe im Anhang Technical Information GEBRAUCH In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorg nge erl utert Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschl sse auszuf hren W hrend der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Tempera tur am Eingangsflansch 120 C nicht berschreiten EE Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschluf flansch verschlossen ist GEBRAUCHSANLEITUNG Einschaltung und Gebrauch von Modell Mini TASK Zur Einschaltung des Mini TASK ist der Netzstecker anzuschlie Ren und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu stellen rote Kontrollleuchte eingeschaltet Der eingebaute Controller erfaRt automatisch
123. ouge teinte Le contr leur incorpor arr te imm diatement la pompe Arr t d urgence Pour arr ter le Mini TASK en condition d urgence d brancher le cordon d alimentation de la prise ou placer l interrupteur ext rieur sur OFF ENTRETIEN Le Mini TASK n exige aucun entretien particulier Toute intervention doit tre effectu e par un personnel agr NEEN Lorsgue la pompe est utilis e pour le pompage de gaz toxiques inflammables ou radioactifs suivre les proc dures typigues de chaque gaz Ne pas utiliser la pompe en presence de gaz explosifs EXT Avant toute intervention sur le syst me le debrancher refouler l air de la pompe en ouvrant la soupape prevue a cet effet attendre jusqu l arr t complet du rotor et jusqu ce que la temp rature superficielle de la pompe soit inf rieure 50 C En cas de panne il est possible de b n ficier du service r parations Varian NOTE Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour r paration remplir et faire parvenir au bureau Varian de votre r gion la fiche S curit et Sant jointe au present manuel d instructions Une copie de cette fiche devra tre mise dans l emballage de la pompe avant l exp dition En cas de mise au rebut de la pompe proc der son elimination conform ment aux r glementations nationales concernant la gestion des dechets 87 900 962 01 A INSTRUCCIONES DE USO Indicaciones de Seguridad para
124. p stopping Pump status Waiting intlk 1 Starting 2 Auto tuning 3 Braking 4 Normal 5 Fail 6 TOO HIGH LOAD NO CONNECTION Bit description SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP see the following figure OVERVOLTAGE CONTROLL OVERTEMP Actual rota 250 to 1250 AUX FAIL POWER FAIL tion speed in Window N 206 Bit Description Cycle time in Oto 4x10 minutes ze roed by the reset com Cycle num 0 to 4x10 ber zeroed by the reset command Pump life in 0 to 4x10 hours ze roed by the reset com mand 64 87 900 962 01 A USE IN PRESENCE OF MAGNETIC FIELDS Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation The result is increased electrical power consump tion by the motor most of which is dissipated in the rotor In general therefore an increase in pump current can be expected TECHNICAL INFORMATION ORDERABLE PARTS DESCRIPTION PART NUMBER European plug power cable 2 m 969 9396 long USA plug power cable 2 m long 969 9397 UK plug power cable 2 m long 969 9398 Serial cable and Navigator 969 9883 Software Inlet screen DN40 969 9309 Inlet screen DN63 969 9300 Vibration damper DN 63 ISO 969 9340 For a complete overview of Varian s extensive product lines please refer to the Varian catalog 65 87 900 962 01 A a VARIAN SK Request for Return Ne 9001 1 A Return Author
125. pumpen umiddelbart N dstopp For stoppe Mini TASK i en n dsituasjon er det n dvendig trekke str mkabelen ut av stikkontakten eller dreie den utvendige bryteren til OFF VEDLIKEHOLD Mini TASK er vedlikeholdsfritt Alt arbeid p systemet m kun utf res av autorisert personell AN ADVARSEL For noe arbeid gjores p systemet m det frakoples tilforselen pumpen m luftes ved pne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 C Dersom systemet stanser m du ta kontakt med Varians MERK For systemet returneres til produsenten for reparasjon m det vedlagte skjemaet Helse og sikkerhet fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret En kopi av dette arket m vedlegges systemet som sendes tilbake Dersom et system skal kasseres m dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser 87 900 962 01 A KAYTTOOHJEET Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet T ss k ytt ohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea m r kineettist energiaa joka aiheutuu korkeasta py rimisnopeudesta yhdistettyn pumppujen roottorien massaan J rjestelm n vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa py rimisenergia saattaa vapautua A VAARA T ss k ytt ohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja k ytt jien vahingoittumisen
126. quipment is destined for use by professionals The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Varian before operating the equipment Varian will not be held responsible for any events occurring due to non compliance even partial with these instructions improper use by untrained persons non authorized interference with the eguipment or any action contrary to that provided for by specific national standards The Mini TASK is an integrated system with a turbo molecular pump for high and ultra high vacuum applications associated with its relevant controller and its primary pump The system can pumps any type of gas or gas compound It is not suitable for pumping liguids or solid particles The pumping action is obtained through a high speed turbine max 75000 rpm driven by a high performance 3 phase electric motor The Mini TASK is free of contaminating agents and therefore is suitable for applications reguiring a clean vacuum The Mini TASK is eguipped with auxiliary connectors to control the vent valve to be controlled from a remote site by means of an host computer connected through a serial line The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the eguipment Detailed information is supplied in the appendix Technical Information This manual uses the following standard protocol INSTRUCTIONS FOR USE IS CAUTION In o
127. rder to prevent outgassing problems do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum Always use gloves or other appropriate protection WARNING The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which if not followed correctly could lead to serious injury IS CAUTION The caution messages are displayed before procedures which if not followed could cause damage to the equipment NOTE The notes contain important information taken from the text STORAGE In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Varian Turbomolecular pumps the following guidelines must be followed e when shipping moving and storing pumps the following environmental specifications should not be exceeded e temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 95 non condensing e the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated for the first time by the customer e the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date US CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded the pump has to be returned to the factory Please contact the local Varian Vacuum Sales and Service representative for informations NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the Mini TASK Nevertheless it is advisable to keep it closed until it is instal
128. ssen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel p grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd p rotoren kan roteringsenergien bli frigitt N ADVARSEL For unng skader p utsyret og forebygge operat rskader m installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen f lges n ye 25 87 900 962 01 A GENERELL INFORMASJON Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere Brukeren bor lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Varian for utstyret tas i bruk Varian kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer p grunn av manglende oppf lging av disse instruksjonene selv delvis feilaktig bruk av utrent personell ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som p noen m te er i strid med nasjonale bestemmelser Mini TASK systemet best r av en turbo molekul r pumpe for bruk i h y eller ultrah ye vakuumanlegg en styreenhet og en hovedpumpe Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening Det er ikke beregnet for pumpe v sker eller faste partikler Pumpingen oppn s med en h yhastighetsturbin maks 75000 opm koplet til en trefaset elektrisk motor Mini TASK har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for rene vakuum Mini TASK har dessuten hjelpekontakter som gir muligheter for styring av utluftingsventilen og fjernstyring av systemet med en serietilkoplet vertsmaskin De f lgende avsnitt
129. st na okolje ne more po kodovati Mini TASK a Kljub temu je priporo ljivo da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem S tem boste prepre ili onesna enje s prahom MONTA A IS POZOR Lepljiv in za itni pokrov ne odstranjujte dokler ne pove ete turbo rpalko na sistem PRIPRAVA ZA MONTA O Mini TASK je dobavljen v posebni za itni embala i e je embala a po kodovana kontaktirajte lokalno prodajno pisarno Pri odpiranju sistema pazite da vam ne pade iz rok oz ga ne stresajte Embala o zavrzite v skladu s pravili Material je mo no v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85 399 Napravo name ajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne name ajte v okolju ki je izpostavljeno na atmosferske agente de sneg led prah agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost po ara Tekom delovanja je treba spo otvati naslednje pogoje Maksimalen pritisk 2 bara nad pritiskom atmosfere temperatura od 5 C od 35 C Relativna vla nost 0 95 brez kondenza V prisotnosti magnetnih polje mora rpalka biti za itena s feromagnetnim itom Za dodatne informacije glejte prilogo Tehni ne informacije Mini TASK lahko namestite v poljuben polo aj Mini TASK namestite v stabilem polo aj tako da pove ete vhodno prirobnico turbo rpalke na pritrjeno tevno prirobnico ki lahko prenese navor 50 Nm okoli svoje osi 87 900 962 01 A Tur
130. t den blo en H nden angefa t werden Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden HINWEIS Modell Mini TASK kann durch die Umgebung an sich keine Sch den erleiden Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden INSTALLATION IS ACHTUNG Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschlu der Turbopumpe an das System abnehmen Die Pumpe darf nicht in Umgebungen die ungesch tzt vor Wetter Regen Frost Schnee Staub und aggressiven Gasen sind sowie auch nicht in explosionsf higen oder erh ht brand gef hrdeten Umgebungen installiert und oder benutzt werden Beim Betrieb m ssen folgende Umgebungsbedingungen ein gehalten werden Maximaler Druck 2 bar ber dem atmosph rischen Druck Temperatur von 5 C bis 35 C Relative Luftfeuchtigkeit 0 95 nicht kondensierend 87 900 962 01 A Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen F r ausf hrliche Informa tionen siehe im Anhang Technical Information Modell Mini TASK kann in jeder beliebigen Position installiert werden Modell Mini TASK ist stabil zu befestigen indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegen flansch angeschlossen wird der mit einem Drehmoment von 50 Nm um seine eigene Achse belastbar ist Turbopumpen mit einem ISO Eingangsflansch sind mittels d
131. t the blades of the pump from being dam aged by debris greater than 0 7 mm diameter The inlet screen however does reduce the pump ing speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure The screen can be mounted on either pump series and is supplied with a small tab for easy removal see figure 56 TECHNICAL INFORMATION The following figure shows the overall flange di mensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange on the left side and pump with 4 5 CFF flange on the right side VIBRATION ISOLATOR INSTALLATION A vibration damper model 969 9340 for ISO 63 inlet flange version pump is available as accesso ries It typically reduces the vibration transmitted from the Turbo pump to the system by a factor of 20 Please refer to the relevant instruction manual HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure REMOVE OUTER RING lt S JUAN PROTECTIVE O RING Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure 87 900 962 01 A ZE M I AN 4 V m L 3 30 UM NY AN N SSN K For ConFlat flange connections we recommend using Varian hardware TECHNICAL INFORMATION To facilitate assembly and disman
132. t tistega ki uporablja to opremo Podrobne informacije lahko najdete v prilogi Tehni ne informacije Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu NAVODILA ZA UPORABO POZOR Komponent ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami saj boste tako prepre ili probleme pu anja Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno za ito N OPOZORILO Opozorila so za to da pritegnejo pozornost uporabnika na dolo amp ene postopke pri katerih lahko pride do resnih poSkodb Ce se jih ne drzi POZOR Sporo ila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do po kodbe opreme OPOMBA Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila SHRANJEVANJE Da bi zagotovili maksimalni u inek in zanesljivost rpalk Varian Turbomolecular se morate dr ati naslednjih vodil Pri po iljanju premikanju in shranjevanju rpalk ne smete prese i naslednjih specifikacij e temperaturno obmo je 20 C do 70 C obmo je relativne vla nosti O do 95 brez kondenza e Turbomolekularne rpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko e ivljenjska doba turbomolekularne rpalke je 10 mesecev od datum po iljanja IS POZOR e zaradi kakr nega koli razloga prese ete ivljenjsko dobo je treba rpalko vrniti v tovarno Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Varian Vacuum OPOMBA Normalna izpostavljeno
133. tling apply Fel pro C 100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Note that the 2 75 CF flange has six blind holes Attach the units and tighten each one in turn Re peat the seguential tightening until the flange faces meet ES CAUTION Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock HIGH VACUUM FLANGE CONNECTION CONFIGURATIONS 57 87 900 962 01 A INTERCONNECTIONS Input power connector Line type The following figure show the input power connec tor P3 Vent This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve P5 External fan This is a dedicated 24 Vdc connector to supply an external fan 58 TECHNICAL INFORMATION J5 IN OUT This connector carries all the input and output sig nals to remote control the Mini TASK It is a 15 pins D type connector the available sig nals are detailed in the table the following para graphs describe the signal characteristics and use PIN N SIGNAL NAME 1 START STOP IN 2 START STOP IN 3 INTERLOCK IN 4 INTERLOCK IN 5 SPEED SETTING IN 6 SPEED SETTING IN 7 SOFT START IN 8 SOFT START IN 9 24 Vdc OUT 10 SPARE 11 PROGRAMMABLE SET POI
134. transportu przesuni cia i magazynowania pomp nie mog by przekroczone nast puj ce warunki rodowiskowe e temperatura od 20 C do 70 C e wzgl dna wilgo od 0 do 95 bez opar e klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych musi je zawsze uruchomi w spos b Soft Start e czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesi cy od daty wysy ki UWAGA Je eli z jakiegokolwiek powodu czas magazynowania jest d u szy nale y odes a pomp do fabryki W celu jakiejkolwiek informacji prosimy skontaktowa sie z miejscowym przedstawicielem firmy Varian 38 INSTRUKCJA UZYTKOWANIA PRZYGOTOWANIE DO INSTALACJI System Mini TASK jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu w przypadku lad w uszkodze do kt rych mog oby doj podczas transportu nale y skontaktowa si z miejscowym biurem sprzeda y Podczas operacji rozpakowywania nale y zwr ci szczeg ln uwag aby nie spowodowa upadku systemu Mini TASK ani nie poddawa go uderzeniom lub wibracjom Nie porzuca opakowania w rodowisku Materia ten nadaje si ca kowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektyw UE 855 399 dotycz cej ochrony rodowiska IS UWAGA Aby unikn problem w odgazowywania nale y nie dotyka go ymi r koma cz ci przeznaczonych do pr ni Nale y zawsze stosowa odpowiednie r kawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie
135. trario alle normative nazionali specifiche Il Mini TASK un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria Il sistema capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso ma non adatto per il pompaggio di liquidi o di particelle solide L effetto pompante ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocit 75000 giri min max mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento II Mini TASK totalmente privo di agenti contaminanti ed quindi adatto per applicazioni che richiedono un vuoto pulito Il Mini TASK ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali possibile comandare la valvola di vent pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato tramite linea seriale Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell operatore durante l utilizzo dell apparecchiatura Informazioni dettagliate sono fornite nell appendice Technical information Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni ISTRUZIONI PER L USO Durante l operazione di disimballaggio prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il Mini TASK e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni Non disperdere l imballo nell ambiente Il materiale completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85 399 per la tutela dell ambiente IS ATTENZIONE O
136. ularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obstugi posiadaja wysoka energie kinetyczna spowodowana bardzo wysoka predko cia obrot w razem z masa wta ciwa wirnik w W przypadku uszkodzenia systemu na przyktad z powodu kontaktu miedzy wirnikiem a stojanem lub z powodu pekniecia wirnika energia obrotowa mo e by zwolniona NIEBEZPIECZENSTWO Aby unikna uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom ciala operator w nalezy obowiazkowo przestrzegac zalecenia dotyczace instalacji opisane w niniejszej instrukcji obstugi 37 87 900 962 01 A OG LNE INFORMACJE Ta aparatura jest przeznaczona do uzytku zawodowego Uzytkownik musi przeczyta bardzo uwaznie niniejsza instrukcje kazda dodatkowa informacje dostarczona przez firme Varian przed u ytkowaniem aparatury Firma Varian uchyla sie od jakiejkolwiek odpowiedzialno ci w przypadku czesciowego lub ca kowitego braku przestrzegania instrukcji w przypadku niewta ciwego uzytkowania przez nieprzeszkolony personel w przypadku nieupowaznionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych Mini TASK jest zintegrowanym systemem sktadajacym sie z pompy turbomolekularnej dla zastosowania wysokich i ultra wysokich pro ni odpowiedniego sterownika i z gt wnej pompy System jest w stanie pompowa jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej ale nie jest przystosowany do pompowania ptyn w lub statych czastek Zjawisko pompowania j
137. ump Emergency Stop To immediately stop the Mini TASK in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug or moving the external switch to OFF position MAINTENANCE The Mini TASK does not require any maintenance Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel ZN Waru Before carrying out any work on the system disconnect it from the mains vent the pump by opening the appropriate valve wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 C In the case of breakdown contact your local Varian service center NOTE Before returning the system to the constructor for repairs the Health and Safety sheet attached to this instruction manual must be filled in and sent to the local sales office A copy of the sheet must be inserted in the system package before shipping If a system is to be scrapped it must be disposed of in accordance with the specific national standards 87 900 962 01 A DESCRIPTION OF THE MINI TASK The Mini TASK pumping system consists of a pump with an integrated controller and a forepump and is available in three models which differ only in the high vacuum flange The four models are Model 969 9170 with KF 40 high vacuum flange Model 969 9171 with ISO 63 high vacuum flange Model 969 9172 with ConFlat 4 5 external di ameter high vacuum flange
138. umpe noch even tuelle hei e Zubeh rteile ber hrt werden Es besteht Verbren nungsgefahr IS ACHTUNG Die Turbopumpe darf w hrend des Betriebes keinen St Ren oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden da die Lager besch digt werden k nnten I ACHTUNG F r die Bel ftung der Pumpe staub partikel und feuchtigkeits freies Inertgas z B Stickstoff verwenden Der Eingangsdruck am Bel ftungsanschluf soll unter 2 bar ber dem atmosph ri schen Druck betragen A GEFAHR Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen die Pumpe ber ffnung des entsprechenden Ventils bel ften und abwarten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Tempera tur am Pumpengeh use unter 50 C abgesunken ist Bei Defekten kann der Varian Service EE Wenn die Pumpe zur F rderung von giftigen leicht entflamm baren oder radioaktiven Gasen benutzt wird sind die f r das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg nge und MaRnahmen zu befolgen Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsf higen Gasen verwendet werden HINWEIS Bevor Fa Varian ein System zur Reparatur das diesem Hand buch beiliegt ausgef llt an die rtliche Verkaufsstelle zu sen den Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Ver sand beizulegen Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der ein schl gigen nationalen Vorschriften zu erfolgen 87 900 962 01 A MODE D EMPLOI Normes de s curit
139. utus pys ytys tai Waiting for interlock tilassa vilkkuu nopeasti noin 200 ms n jakso virhetila Ks Mini TASKin ohjaustaulun liitteest Tekniset tiedot yksityiskohtainen kuvaus Mini TASK n pys ytt minen Pys yt Mini TASK asettamalla ulkokatkaisin OFF asentoon punainen valo syttyy Sis nrakennettu valvoja pys ytt pumpun v litt m sti H t pys ytys H t tilassa pys yt Mini TASK irrottamalla s hk johto pistorasiasta tai asettamalla ulkokatkaisin OFF asentoon HUOLTO Mini TASK ei vaadi lainkaan huoltoa Mahdolliset toimenpiteet tulee j tt valtuutetun henkil n teht v ksi MEZNIH Ennen mink n tyyppist toimenpidett j rjestelm ss kytkek se irti s hk verkosta p st k pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin t ydellist pys htymist Antakaa t m n j lkeen pumpun pintal mm n laskea alle 50 C en Laitteen vahingoittuessa on mahdollista k ytt Varianin korjauspalvelua HUOM Ennen j rjestelm n l hett mist valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on ehdottomasti t ytett v ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon Turvallisuus ja Terveys kaavake joka on liitteen ohjekirjassa Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liitt j rjestelm n pakkaukseen ennen sen l hett mist Mik li pumppu t ytyy romuttaa toimikaa sen h vitt misess kansallisen lains d nn n m
140. v ltt miseksi 28 87 900 962 01 A YLEISIA TIETOJA T m laite on tarkoitettu ammattimaiseen k ytt n Ennen laitteen k ytt nottoa tulee k ytt j n lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Varianin toimittamat lis tiedot Varian ei ota vastuuta seurauksista jotka johtuvat laitteen k ytt ohjeiden t ydellisest tai osittaisesta laiminly nnist ammattitaidottoman henkil n virheellisest laitteen k yt st valtuuttamattomista toimenpiteist tai kansallisen lains d nn n vastaisesta k yt st Mini TASK on kokonaisj rjestelm joka muodostuu valvojalla ja p pumpulla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean tyhji n k ytt varten J rjestelm kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisi kaasuja tai kaasukoostumuksia Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella 75000 kierrosta min max py riv n turbiinin avulla jota k ytt korkeatehoinen kolmivaiheinen s hk moottori Mini TASK j rjestelm ss ei ole lainkaan likaavia aineita joten se soveltuu my s puhdasta tyhji t vaativiin k ytt tarpeisiin Mini TASK j rjestelm n kuuluu lis ksi apuliittimi joiden avulla on mahdollista ohjata tuuletusventtiili ja k ytt j rjestelm kauko ohjauksella sarjakytketyn is nt tietokoneen avulla Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen k ytt j n turvallisuuden takaamiseksi laitteen
141. vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage Technical information Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik GEBRUIKSAANWIJZINGEN transport veroorzaakt zou kunnen zijn meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor Zorg er bij het uitpakken voor dat de Mini TASK niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt Laat de verpakking niet ergens buiten achter Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85 399 ZN EEZ Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die indien niet correct uitgevoerd ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken IS ATTENTIE Bij dit symbool staat tekst met procedures die indien niet opgevolgd schade aan apparatuur kunnen veroorzaken OPMERKING De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht OPSLAG Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Varian te garanderen moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen e tijdens transport verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan e temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van O tot 95 niet condenserend e de klant moet de turbomoleculaire po
142. zivajte inertny plyn zbaveny prachu Castic a vihkosti napr dusik Tlak na ventila nom vstupe musi N VAROVANIE Ak v vevu pou vate na vy erp vanie toxick ch hor av ch alebo r dioakt vnych plynov dodr iavajte pros m po adovan postupy pre likvid ciu jednotliv ch plynov Nepou vajte v vevu v pr tomnosti v bu n ch plynov 45 N VOD K POU ITIU Zapnutie a pou itie zariadenia Mini TASK Pre zapnutie Mini TASKu sta pripojenie k sieti a prepnutie vonkaj ieho vyp na a do polohy ON svieti erven kontrolka Zabudovan kontroln modul automaticky rozpozn pripojenie k sieti a zapne v vevu Pri prvom zapnut sa odpor a pou i re im Soft Start ktor sa d aktivova na kontrolnom module Pre al ie zapnutia sa odpor a re im Soft Star zablokova Viac o aktivovan re imu Soft Star n jdete v odstavci Popis sign lu v kapitole Technick inform cie Zelen LED di da LD 1 na z kladnom elnom paneli zariadenia Mini TASK ukazuje frekvenciou blikania sp sob innosti syst mu e iadne blikanie v veva norm lne rotuje e pomal blikanie interval asi 400 ms system je v niektorom z t chto stavov st panie klesanie brzdenie Stop alebo v re ime akanie na spojenie e r chle blikanie interval asi 200 ms chybov stav Podrobn inform cie okontrolnom paneli Mini TASKU sa nach dzaj v dodatku Technick inform cie Vypnut

Download Pdf Manuals

Related Search

Related Contents

Philips N RI7448 1.3L 1000W Coffeemaker  Concepts In Wood MI3072-E Instructions / Assembly  FP Lock User Manual  SNAP Protocol Encoder/Decoder DLL  Datalog Educational System V3.3 User`s Manual  ADS512101 - Silicon Turnkey Express  First Alert Smartbridge 16 Channel User's Manual  Omega FH3930W mobile headset  español - Amberg Technologies AG  BalanceTM Carrier  

Copyright © All rights reserved. Failed to retrieve file