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Turbo-V 2300 TwisTorr Pumps

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1. In tal cia 202 Pou itie 205 dr ba 207 Likvid cia 208 Preklad origin lneho n vodu ste Agilent Technologies 196 195 260 14 N vod na Obsluhu Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne v vevy Turbomolekul rne v vevy ak s n sledovne popisovan obsahuj velk mno stvo kinetickej energie v aka vysokej ot avej r chlosti v kombin cii s konkretn m objemom ich rotorov V pr pade syst movej poruchy napr pri kontaktu rotora statora alebo pri zr caniu rotora sa mo e uvolni rota n energia 4 34 4H MW Pokyny k in tal cii uveden v tomto n vode musia by pr sne dodr ovan za elom prevencie zranenia obsluhy 196 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A N vod na Obsluhu 14 V eobecn inform cie Toto zariadenie je ur en pre profesion lnych pracovn kov Sk r ne za nete zariadenie pou va pre tajte si n vod na pou itie a v etky al ie pokyny spolo nosti Agilent Spolo nos Agilent nenesie iadnu zodpovednos za ak ko vek udalosti zapr inen postupom ktor nie je v s lade dokonca ani v iasto nom s lade s t mito pokynmi zapr inen nespr vnym pou van m zariadenia nepou en mi osobami neopr vnenou pravou zariadenia alebo ak mko vek postupom ktor je v rozpore so pecifick mi tandardmi danej krajiny V vevy rady Turbo V 2800 TwisTorr s turbomolekul rne v vevy pre vytvorenie vysok ho
2. Technical Information f ggel kben Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 155 260 11 Felhaszn l i K zik nyv Ez a k zik nyv a k vetkez szabv nyos protokollt haszn lja 3197383111 A figyelem zenetek olyan elj r sok el tt jelennek meg amelyeket ha nem k vetnek a berendez s k rosod s t okozhatj k 3138188 A vesz lyt zenetek felh vj k a kezel figyelm t egy konkr t elj r sra vagy gyakorlatra amit ha nem k vetnek megfelel en s lyos s r l shez vezethet A megjegyz sek a sz vegb l vett fontos inform ci t tartalmaznak 156 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Felhaszn l i K zik nyv 11 T rol s A Agilent Turbomolecular szivatty k maxim lis teljesitm nyszintj nek garant l s ra a k vetkez tmutat sokat kell k vetni szivatty k sz ll t sakor mozgat sakor s t rol sakor a k vetkez k rnyezeti param tereket nem szabad t ll pni a h m rs klettartom ny 20 C 70 C relativ p ratartalom 0 95 nem kondenz l A turbomolekularis szivatty kat mindig l gyan kell ind tani amikor a felhaszn l tveszi s el sz r zemelteti Egy turbonukle ris szivatty raktarozhatasi ideje 10 h nap a sz ll t s d tum t l FIGYELEM Ha b rmely okb l kifoly lag a t rol si id ezt meghaladja vissza kell k ldeni a szivatty t a gy rba Valamennyi inform ci el
3. o 76 Utilizac o 79 Manutenc o 81 Elimina o 82 Tradu o das instru es originais Ds Agilent Technologies 69 260 5 Manual de Istru es Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instru es t m uma alta quantidade de energia cin tica devida alta velocidade de rota o unida massa especifica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor a energia de rota o poderia ser liberada ATENCAO Para evitar danos aparelhagem e prevenir les es aos operadores necess rio seguir atentamente as instru es de instala o descritas neste manual 70 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Manual de Istru es 5 Informa es gerais Esta aparelhagem destina se a uso profissional O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instru es e todas as informa es adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem A Agilent n o se responsabiliza pela inobserv ncia total ou parcial das instru es pelo uso indevido por parte de pessoas n o treinadas por opera es n o autorizadas ou pelo uso contr rio s normas nacionais espec ficas As bombas da s rie Turbo V 2300 TwisTorr s o bombas turbomoleculares para aplica es de alto e ultra alto v cuo capazes de bombear v rios tipos
4. A Use Instructions for Use 16 All instructions for correct use of the turbopump are contained in the control unit manual Read this manual carefully before using the device for the first time While heating the vacuum chamber the temperature of the inlet flange must not exceed 80 C While operating the pump the rotor temperature must never exceed 120 C Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber or is not blanked Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high temperatures may cause burns Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump when in operation The bearings may become damaged Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 1 bar above atmospheric pressure For pumping gases containing particulate or aggressive pollutants for the bearings these pumps are fitted with a special port to allow a steady flow of inert gas like N2 He for pump bearing protection see the appendix Technical Information Never use the pump with corrosive gases or vapor to avoid damage to the internal materials of the pump Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 233 260 16 Instructions for Use WARNING When employing the pump for pumping toxic flammable or radioactive gases please follow the required procedures for eac
5. A csap gyak megs r lhetnek Haszn ljon port l s szil rd r szekt l mentes leveg t vagy k z mb s g zt a szivatty szell ztet s hez A szell z porton l v nyom snak 1 barn l kisebbnek kell lennie a l gk ri nyom s f l tt A csap gyakra szennyez vagy r szecsk ket tartalmaz gazok szivattyuzasahoz ezek a szivatty k fel vannak szerelve egy olyan k l nleges porttal amelyen kereszt l a csap gyak v delme rdek ben a szivatty hoz k z mb s g zt Nitrog n vagy H lium kell ramoltatni l sd Technical Information f ggel k gla Adhd szivatty t soha ne haszn ljuk olyan korrodal gaz vagy g z jelenl t ben haszn lni amely k ros thatja a szivatty belsej ben l v anyagokat Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 163 260 11 Felhaszn l i K zik nyv 164 260 VESZ LY Amikor a szivatty t m rgez gy l kony vagy radioakt v g zok szivatty z s ra haszn lja k rem k vesse az egyes g zok rtalmatlan t s hoz sz ks ges elj r sokat Ne haszn lja a szivatty t robban g zok jelenl t ben A szivatty t N2 Ar s k nnyebb g zok nagyteljes tm ny szivatty z s hoz tervezt k Ha az Ar n l nehezebb g zokat kell szivatty znia k rem inform ci rt forduljon a Agilent m szaki t mogat shoz Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Felhaszn l i K zik nyv 11 Karbantart s A Turbo
6. F rvaring 115 F rberedelser f r installationen 116 Installation 118 Anv ndning 121 Underh ll 123 Bortskaffning 124 Instruksjon Manual 125 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl re pumper 126 Generell informasjon127 Lagring 129 Klargjgre til installasjon 130 Installasjon 132 Bruk 135 Vedlikehold 137 Eliminering 138 Ohjek sikirja 139 Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 140 Yleisi tietoja 141 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Contents Varastointi 143 Valmistelut asennusta varten144 Asennus 146 K ytt 149 Huolto 151 H vitt minen 152 11 Felhaszn l i K zik nyv 153 Biztons gi tmutat Turb molekul ris szivatty khoz 154 ltal nos Inform ci 155 T rol s 157 El k szit s telepit sre 158 Telepit s 160 Haszn lat 163 Karbantart s 165 Megsemmisit s 166 12 Podrecznik Instrukcji 167 Wskaz wki dotyczace bezpiecze stwa dla Pomp Turbomolekularnych 168 Og lne informacje 169 Magazynowanie 171 Przygotowanie do instalacji 172 Instalacja 174 Uzytkowanie 177 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 9 260 Contents 10 260 13 14 15 Konserwacja 179 Przetworstwo odpadow 180 N vod k Pou it 181 Bezpe nostn n vod pro Turbomolekul rni vyv vy 182 V eobecn informace 183 Uskladn n 185 P prava k instalaci 186 Instalace 188 Pou it 191 dr ba 193 Likvidace 194 N vod na Obsluhu 195
7. Ltd Vacuum Products Division 8th Floor Sumitomo Shibaura Building 4 16 36 Shibaura Minato ku Tokyo 108 0023 Japan Tel 81 3 5232 1253 Fax 81 3 5232 1710 Toll Free 0120 655 040 Korea Agilent Technologies Korea Ltd Vacuum Products Division Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Toll Free 080 222 2452 Mexico Agilent Technologies Vacuum Products Division Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 Singapore Agilent Technologies Singapore Pte Ltd Vacuum Products Division Agilent Technologies Building 1 Yishun Avenue 7 Singapore 768923 Tel 65 6215 8045 Fax 65 6754 0574 Agilent Technologies Inc 2011 Printed in ITALY 04 2011 Publication Number 87 901 017 01 A Agilent Technologies Southeast Asia Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Unit 201 Level 2 uptown 2 2 Jalan SS21 37 Damansara Uptown 47400 Petaling Jaya Selangor Malaysia Tel 603 7712 6106 Fax 603 6733 8121 Taiwan Agilent Technologies Taiwan Limited Vacuum Products Division 3F 20 Kao Shuang Rd Pin Chen City 324 Taoyuan Hsien Taiwan R 0 C Tel 886 34959281 Toll Free 0800 051 342 UK and Ireland Agilent Technologies UK Ltd Vacuum Products Division 6 Mead Road Oxford Industrial Park Yarnton Oxford 0X5 1
8. inertn ho plynu dus k a h lium kv li ochrane lo sk v vevy pozri dodatok Technical Information POZOR Nikdy nepou vajte v vevu v pre koroz vne plyne alebo v pary ktor by mohli po kodi materi ly pou it vo vn tri v vevy Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 205 260 14 N vod na Obsluhu a 172419138 Ak v vevu pou vate na vy erp vanie toxick ch hor av ch alebo 206 260 r dioakt vnych plynov dodr iavajte pros m po adovan postupy pre likvid ciu jednotliv ch plynov Nepou vajte v vevu v pr tomnosti v bu n ch plynov V veva je navrhnut pre ve k prietoky dus ka arg nu a ahk ch plynov Ak potrebujete erpa plyn a ako arg n informujte sa u technickej podpory firmy Agilent Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A N vod na Obsluhu 14 dr ba Zariadenie Turbo V 2300 TwisTorr nevy aduje iadnu dr bu Ak ko vek pravy a opravy syst mu mus vykona autorizovan person l 417119138 Sk r ne za nete oko vek robi v syst me odpojte ho od zdroja nap jania vyvetrajte v vevu tak e otvor te pr slu n ventil po kajte k m sa rotor neprestane ot a a k m teplota povrchu v vevy neklesne pod 50 C V pr pade poruchy zariadenia vyh adajte kontaktn stredisko spolo nosti Agilent kde v m pokazen syst m vymenia Sk r ne syst m odo lete na opravu al
9. n descritas en el presente manual 56 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Manual de istrucciones 4 Informaci n general Este equipo es para uso profesional El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra informaci n suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones al uso impropio por parte de personal no preparado a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales espec ficas Las bombas de la serie Turbo V 2300 TwisTorr son bombas turbomoleculares para aplicaciones de alto y ultra alto vac o en grado de bombear muchos tipos de gases o de compuestos gaseosos No se pueden usar para bombear l guidos o part culas s lidas El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad 33000 r p m m x movida por un motor el ctrico trif sico de alto rendimiento El Turbo V 2300 TwisTorr no posee ning n agente contaminante y por lo tanto es adecuado para aplicaciones que requieren un vac o limpio A continuaci n se facilita toda la informaci n necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato En el anexo Technical Information se facilita informaci n m s detallada Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 57 260 4 Manual d
10. or lt 1200 N mm Naslednja tabela opisuje tevilo potrebnih jeklenih sornikov in zatezni moment za zategnitev slednjih ki ga priporo a Agilent Tab 1 PRIROBNICA NAPRAVA ZA PRITRJEVANJE N NAVOR ISO 250 F M10 vijaki 12 30 Nm SVARILO Naprave Turbo V 2300 TwisTorr ni mo pritrditi s svojo osnovo Sistem lahko pritrdite samo preko ISO 250F prirobnice Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 217 260 15 Priro nik za Navodila SVARILO e teh namestitvenih navodil ne upo tevate ob okvari rotorja rpalka lahko odstopi od sistema s posledi nim po kodovanjem stvari oziroma hudimi po kodbami oseb ali celo smrtjo Za namestitev opcijski dodatkov glej Technical Information 218 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Priro nik za Navodila 15 Uporaba Vsa navodila za pravilno delovanje turbo rpalke so na voljo v priro niku kontrolne enote Pred uporabo rpalke pozorno preberite ta priro nik Pri segrevanju vakuumskega le i a temperatura dovodne prirobnice ne sme prese i 80 C Med delovanjem rpalke rotor ne sme prese i temperature 120 C SVARILO Turbo rpalke ne uporabljajte e dovodna prirobnica ni prikljucena na vakuumsko le i e Tekom segrevanja se turbo rpalke ali njenih delov ne dotikajte Visoka temperatura lahko povzro i opekline POZOR Izogibajte se udarcem oscilacijam ali nenadnim premikom rp
11. owego zapoznania si z tematem patrz dodatek Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr musi by pod czony do g wnej pompy patrz schemat w Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr mo e by zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji Zamocowa Turbo V 2300 TwisTorr w stabilnej pozycji cz c ko nierz wej ciowy turbopompy do ko nierza sta ego wytrzyma ego na obci enie 40000 Nm wok w asnej osi Turbopompa z ko nierzem wej ciowym ISO F musi by przymocowana do komory pr niowej za pomoc rub klasa mocowania 12 9 or 1200 N mm W poni szej tabeli podano ilo rub stalowych koniecznych do zamocowania oraz zalecany przez Agilent moment z jakim nale y je dokr ci Tab 1 KO NIERZ TYP MOCOWANIA Nr MOMENT DOKR CENIA ISO 250 F ruba mocuj ca z gwintem M10 12 30 Nm Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 175 260 12 ZAGROZENIE Turbo V 2300 TwisTorr nie mo e by zamocowany poprzez wtasna podstawe System mo e by zamocowany tylko poprzez w asny ko nierz ISO 250F ZAGROZENIE Nieprzestrzeganie podanych instrukcji dotyczacych instalacji w przypadku wystapienia usterki wirnika mo e spowodowa odtaczenie pompy od uktadu co z kolei mo e by przyczyn powa nych szk d materialnych lub obra e a nawet mierci os b Aby zainstalowa opcjonalne akcesoria nale y zapozna si z Technical Information 176 26
12. p skador som kan ha uppst tt under transporten Se till att Turbo V 2300 TwisTorr inte tappas eller uts tts f r st tar vid uppackningen Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast p systemet P grund av dess vikt 55 kg anv nd fyra lyftbultar som skruvats fast p pumphuset f r att avl gsna den fr n emballaget Kasta inte packmaterialet i soporna Materialet r tervinningsbart till 100 och uppfyller EU direktiv 85 399 om milj skydd Komponenter som skall uts ttas f r vakuum f r inte hanteras med bara h nder p g kontamineringsrisken Anv nd alltid handskar eller liknande skydd Pumpen Turbo V 2300 TwisTorr skadas inte av normal luftp verkan Det rekommenderas dock att h lla pumpen st ngd och f rseglad tills den installeras i systemet Detta f r att f rebygga f rorening av systemet 116 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Bruksanvisning 8 F rberedelser f r installationen Figur 1 Turbo V 2300 TwisTorr f rpackning inneh ller 1 Pump 2 Intagsflans monterad 3 Denna bruksanvisning p CD ROM Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 117 260 8 Bruksanvisning Installation VARNING P grund av vikten m ste pumpen flyttas med hj lp av l mpliga lyft och flytthj lpmedel Anv nd lyft glorna som r fastskruvade i de g ngade h len p pumphuset Musa o Ta inte
13. ru Za provozu je tfeba dodr ovat n sledujici podm nky dan prost ed m maxim ln tlak 2 bary nad atmosf rick m tlakem teplota vzduchu od 5 C do 35 C relativni vlhkost 0 95 bez sr en V pr tomnosti magnetick ch pol se v v va mus chr nit feromagnetickym stin nim Viz podrobn informace v p loze Technical Information V v va Turbo V 2300 TwisTorr se mus pripojit k prim rn mu erpadlu viz Technical Information V v vu Turbo V 2800 TwisTorr Ize instalovat v libovoln poloze Vyv vu Turbo V 2300 TwisTorr upevn te v n jak stabiln poloze a pr vodn prirubu turbov v vy pripojte k pevn protipr rub kter snese torzn moment 40000 Nm kolem sv osy Turbo erpadlo se vstupn p rubou ISO F mus b t p ipevn no k vakuov komo e prost ednictv m roub s t dou upevn n 12 9 or 1200 N mm N sleduj c tabulka popisuje po et pot ebn ch ocelov ch roub a hodnotu utahovac ho momentu kterou doporu uje Agilent pro jejich dota en Tab 1 P RUBA P CHYTN ZA ZEN PO ET UTAHOVAC MOMENT ISO 250 F rouby M10 12 30 Nm 3 24 4H 8 Vyv vu Turbo V 2300 TwisTorr nelze p ipevnit pomoc jej podstavy Toto za zen Ize p ipevnit pouze pomoc jeho p ruby ISO 250F Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 189 260 13 N vod k Pou it Mardin Nedodr en t chto pokyn pro instalac
14. 1 Pumpe 2 Inlet Screen montiert 3 Betriebsanleitung auf CD ROM Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 33 260 2 Gebrauchsanleitung Installation WARNUNG Die Pumpe ist aufgrund ihres hohen Gewichtes mit geeigneten Hebe und F rderzeugen zu handhaben Zu diesen Zwecken sind die senschrauben zu benutzen die in die Gewindebohrungen am Pumpenkorpus eingeschraubt sind VORSICHT Die angeschraubte Abdeckung darf erst nach Anschluss der Turbopumpe an das System entfernt werden Mala Den Schutz der Steckverbinder erst entfernen wenn die Turbopumpe am System befestigt ist Abbildung 2 34 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Gebrauchsanleitung 2 Die Pumpe darf nicht in Umgebungen die ungesch tzt vor Wetter Regen Frost Schnee Staub und aggressiven Gasen sind sowie auch nicht in explosionsf higen oder erh ht brandgef hrdeten Umgebungen installiert und oder benutzt werden Beim Betrieb m ssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden Maximaler Druck 2 bar ber dem atmosph rischen Druck a Temperatur von 5 C bis 35 C siehe Diagramm im Anhang Technical Information a Relative Luftfeuchtigkeit O 95 nicht kondensierend Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen F r ausf hrliche Informationen siehe im Anhang Technical Information Modell Turbo
15. 3 Cd rom med denne manual Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 103 260 7 Istruktionsbog Installation VONN AN P grund af dens veegt skal pumpen h ndteres ved hj lp af passende l fte og transportudstyr Benyt ojeboltene der er fastsp ndt i gevindhullerne p pumpehuset is tene Fjern f rst den fastboltede afsk rmning n r turbopumpen er blevet sluttet til systemet NS leie Fjern beskyttelsen fra konnektorerne kun efter at turbopumpen er blevet fastgjort til systemet Figur 2 104 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Istruktionsbog 7 Install r og anvend ikke pumpen i milj er der uds ttes for p virkninger fra atmosf ren regn sne is damp aggressive gasser og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt milj F lgende krav til omgivelsesforholdene g lder ved drift max tryk 2 bar over det atmosf riske tryk a temperatur fra 5 C til 35 C se illustrationen i bilaget Technical Information relativ luftfugtighed 0 95 ikke kondenserende Hvis pumpen er anbragt i n rheden af elektromagnetiske felter skal den afsk rmes Se bilaget Technical Information for yderligere oplysninger Turbo V 2300 TwisTorr skal tilsluttes en hovedpumpe se skemaet Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr kan installeres i en hvilken som helst position Fastggr Turbo V 2300 TwisTorr i en sta
16. 95 non condensing In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield See the appendix Technical Information for detailed information The Turbo V 2300 TwisTorr must be connected to a primary pump see Technical Information The Turbo V 2300 TwisTorr can be installed in any position Fix the Turbo V 2300 TwisTorr in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter flange capable of withstanding a torque of 40000 Nm around its axis The turbopump with ISO F inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of bolts with a strength class of 12 9 or 1200 N mm The following table shows the necessary number of steel bolts and the relevant fixing torque as recommended by Agilent Tab 1 FLANGE FIXING DEVICE N FIXING TORQUE ISO 250 F M10 bolts 12 30 Nm WARNING The Turbo V 2300 TwisTorr cannot be fixed by means of its base The system can only be fixed through its ISO 250F flange Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 231 260 16 Instructions for Use WARNING Failure to comply with these installation instructions could result in the pump detaching from the system in the event of a rotor failure which could cause property damage or serious injury or death For installation of optional accessories see Technical Information 232 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01
17. CEE 85 399 para a protec o do meio ambiente Para evitar problemas de perdas de g s n o tocar com as m os os componentes destinados exposi o do v cuo Utilizar sempre luvas ou outra protec o adequada A normal exposi o ao ar n o pode danificar a Turbo bomba V 2k Aconselha se no entanto mant la selada e bem fechada dentro da caixa at ao momento da instala o no sistema para evitar que se suje com poeiras 74 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Manual de Istru es 5 Prepara o para a instala o Figura 1 A embalagem da Turbo V 2300 TwisTorr cont m 1 bomba 2 inlet screen montado 3 este manual em CD ROM Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 75 260 5 Manual de Istru es Instala o ATEN AO Devido ao seu peso a bomba deve ser manuseada com a ajuda de equipamentos de levantamento e desloca o especificos Para tal utilizar as respectivas cavilhas montadas nos furos roscados existentes no corpo da bomba N o remover a cobertura aparafusada antes de ligar a turbobomba ao sistema Retirar a protec o dos conectores somente depois que a turbobomba estiver fixada ao sistema 16 260 Figura 2 N o instalar e ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosf ricos chuva gelo neve poeiras gases agressivos em ambientes com possibilidade de explos o ou com elevado risc
18. FORM TO YOUR NEAREST LOCATION EUROPE NORTH AMERICA PACIFIC RIM Fax 00 39 011 9979 330 Fax Free 00 800 345 345 00 Fax 1 781 860 9252 please visit our website for individual Toll Free 00 800 234 234 00 Toll Free 800 882 7426 Option 3 office information vpt customercare agilent com vpl ra agilent com http www agilent com Pg 1 3 a sj Agilent Technologies Vacuum Products Division Request for Return Form Health and Safety Certification Please read important policy information on Page 3 that applies to all returns 1 CUSTOMER INFORMATION Cam Name Contact Name Tel Email Fax Customer Ship To Customer Bill To Europe only VAT reg Number USA Canada only LI Taxable L Non taxable 2 PRODUCT IDENTIFICATION Product Description Agilent P N Agilent S N Original Purchasing Reference 3 TYPE OF RETURN Choose one from each row and supply Purchase Order if requesting a billable service 3A LI Non Billable LI Billable mmm New PO hard copy must be submitted with this form 3B exchange Repair upgrade _IConsignment Demo calibration evaluation Return for Credit 4 HEALTH and SAFETY CERTIFICATION AGILENT TECHNOLOGIES CANNOT ACCEPT ANY PRODUCTS CONTAMINATED WITH BIOLOGICAL OR EXPLOSIVE HAZARDS RADIOACTIVE MATERIAL OR MERCURY AT ITS FACILITY Call Agilent Technologies to discuss alternatives if this requirement presents a problem The equipment listed above check one HAS NOT pumped or been expo
19. Manual 87 901 017 01 A Uso Manual de istrucciones 4 El manual de la unidad de control contiene todas las indicaciones para el correcto funcionamiento de la turbobomba Leer atentamente dicho manual antes del uso Durante el funcionamiento de la bomba la temperatura del rotor no deber superar nunca los 120 C ADVERTENCIA No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no est conectada al sistema o no est cerrada con la brida de cierre No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCI N Evitense golpes oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento Los cojinetes podr an da arse Para el env o de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o part culas La presi n de entrada a trav s de la puerta deber ser inferior a 1 bar por encima de la presi n atmosf rica Para bombear gases con part culas o contaminantes agresivos para los cojinetes estas bombas est n dotadas de una puerta espec fica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte Nitr geno o Helio para proteger los rodamientos v ase el anexo Technical Information ATENCI N Nunca usar la bomba en presencia de gases o vapores corrosivos que puedan dafiar los materiales del interior de la bomba Turbo V 2300 TwisTorr Pumps Use
20. Nevertheless it is advisable to keep it closed and sealed until it is installed in the system This will prevent the system from contamination 228 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Instructions for Use 16 tion for Installatio Figure 1 The Turbo V 2300 TwisTorr package includes 1 2 3 pump Purge Vent Device integrated Water cooling hose tail connector mounted This instruction manual on CD Rom Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 229 260 16 Instructions for Use Installation WARNING Cause its weight the pump must be handled by means of suitable moving and handling tools Use the suitable handling kit eyebolts screwed into the holes of the pump body CAUTION Do not remove the bolted cap before connecting the turbopump to the system CAUTION Remove connector protections only after fixing the turbopump to the system Figure 2 230 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Instructions for Use 16 Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents rain snow ice dust aggressive gases or in explosive environments or those with a high fire risk During operation the following environmental conditions must be respected maximum pressure 2 bar above atmospheric pressure a air temperature from 5 C to 35 C a relative humidity O
21. a ultra vysok ho v kua a s schopn erpa ve a druhov plynov alebo plynn ch zl en n Nie s vhodn pre erpanie kvapal n alebo pevn ch ast c Vy erp vanie zabezpe uje ve mi r chla turb na max 33000 ot ok min tu poh an vysokov konn m 3 f zovym elektrick m motorom Zariadenie Turbo V 2300 TwisTorr neobsahuje iadne kontamina n inidl a preto sa hod pre aplik cie vy aduj ce ist v kuum Nasleduj ce asti obsahuj v etky potrebn inform cie ktor zaru uj bezpe nos pracovn ka v priebehu pr ce so zariaden m Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 197 260 14 N vod na Obsluhu N vod na pou itie obsahuje tieto tandardn ozna enia 3 174315 3 Nebezpe ie maj s stredi pozornos pracovn ka na ur it postup alebo innos nespr vne vykonanie ktor ch m e sp sobi v ne zranenie POZOR Pozor ozna uj postupy nedodr anie ktor ch m e sp sobi po kodenie zariadenia Pozn mky upozor uj na d le it inform cie z textu 198 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A N vod na Obsluhu 14 Uchov vanie Ak chcete aby turbomolekul rne v vevy zna ky Agilent pod vali maxim lny a spo ahliv v kon dodr iavajte nasleduj ce pokyny neprekra ujte nasleduj ce pecifik cie prostred
22. anie t chto pokynov pre in tal ciu m e v pr pade po kodenia rotora sp sobi odpojenie erpadla od syst mu s n sledn mi kodami na majetku alebo ubl en m na zdrav os b i dokonca ich usmrtenie O in tal cia doplnkovej v bavy pozri pr ru ku Technical Information 204 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A N vod na Obsluhu 14 Pou itie V etky pokyny pre spr vnu innos turbov vevy s uveden v n vode riadiacej jednotky Pred pou it m si pozorne pre tajte tento n vod Teplota vstupnej pr ruby po as zahrievania v kuovej komory nesmie prekro i 80 C Po as prev dzky vyvevy teplota rotora nesmie prekro it 120 C Nikdy nepou vajte turbov vevu ak vstupn pr ruba nie je pripojen k v kuovej komore alebo nie je zablendovan V priebehu zahrievania sa nikdy nedot kajte turbov vevy ani iadneho pr slu enstva Vysok teploty m u sp sobi pop leniny Dbajte na to aby v veva po as innosti nebola vystaven n razom kmitaniu alebo prudk m pohybom Mohli by sa po kodi lo isk V vevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertn ho plynu zbaven ho prachu a ast c Tlak na preplachovacom vstupe mus by ni ne 1 bar pretlakov V vevy s vybaven peci lnym vstupom na vy erp vanie plynov s obsahom astic alebo zne i uj cich l tok agres vn ch vo i lo isk m ktor umo uj stabiln tok
23. bort skruvlocket f rr n turbopumpen ansluts till systemet ETUI Ta bort kontakternas skydd endast efter att turbopumpen har satts fast p systemet Figur 2 118 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Bruksanvisning 8 Installera och anv nd inte pumpen i milj er som uts tts for p verkan fr n atmosf ren regn sn is damm aggressiva gaser och inte heller i explosiv eller brandfarlig milj F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid drift a maximitryck 2 bar over atmosf riskt tryck a temperatur fran 5 C till 35 C se bild i Technical Information relativ luftfuktighet 0 95 utan kondens I n rvaro av magnetf lt ska pumpen skyddas med en s rskild sk rm Se bilagan Technical information f r ytterligare upplysningar Turbo V 2300 TwisTorr m ste anslutas till en huvudpump se schemat i Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr kan installeras i valfri position F st pumpen i ett stabilt l ge genom att ansluta pumpens intagsfl ns till en fast fl ns som m ste t la ett vridmoment p 40000 Nm kring sin axel Turbopumpen med inloppsfl ns ISO F ska f stas till vakuumkammaren med hj lp av bultar med l sklass 12 9 or 1200 N mm Den f ljande tabellen anger antalet n dv ndiga st lbultar och med vilket vridmoment som Agilent rekommenderar att de dras t Tab 1 FL NS TYP AV KLAMMER ANT TDRAGNINGS MOMEN
24. de g s ou de compostos gasosos N o s o aptas para a bombagem de l quidos ou de part culas s lidas O efeito da bomba obtido atrav s de uma turbina rotativa de alta velocidade 31800 r p m m x movida por um motor el ctrico trif sico de alto rendimento O Turbo V 2300 TwisTorr totalmente isentos de agentes contaminadores e portanto adequado para aplica es que requerem um v cuo limpo Nos seguintes par grafos est o descritas todas as informa es necess rias para garantir a seguran a do operador durante o uso da aparelhagem Informa es detalhadas s o fornecidas no ap ndice Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 71 260 5 Manual de Istru es Este manual utiliza as seguintes convenc es HI As mensagens de aten o chamam a aten o do operador para um procedimento ou uma pr tica espec fica que se n o efectuada correctamente pode provocar graves les es pessoais CUIDADO As mensagens de cuidado s o visualizadas antes de procedimentos que se n o observados podem causar danos aparelhagem As notas cont m informa es importantes destacadas do texto 72 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Manual de Istru es 5 Armazenagem Para garantir o n vel M ximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent devem ser observadas as seguintes prescri es durante
25. doit PAS tre mis au rebut avec les ordures m na g res ou les d chets industriels ordinaires mais passer par un syst me de collecte s lective Apr s avoir v rifi les termes et conditions du contrat de vente utilisateur final est donc pri de contacter le fournisseur du dispositif maison m re ou revendeur pour mettre en uvre le processus de collecte et mise au rebut N n h NS N J S N OY Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 4 Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 56 Informaci n general 57 Almacenamiento 59 Preparaci n para la instalaci n 60 Instalaci n 62 Uso 65 Mantenimiento 67 Eliminaci n 68 Traducci n de las instrucciones originales i a Agilent Technologies 55 260 4 Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energ a cin tica debido a la alta velocidad de rotaci n en combinaci n a la masa espec fica de sus rotores En el caso de un da o del sistema por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor la energ a de rotaci n podr a ser liberada AOE ANNP Para evitar da os a los equipos y prevenir lesiones a los operadores es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalaci
26. erityisi silmukkapultteja jotka on ruuvattu pumpun runkoon tehtyihin kierteitettyihin reikiin l poista pulteilla kiinnitetty kantta ennen turbopumpun kytkemist j rjestelm n Poista liittimien suoja ainoastaan sen j lkeen kun turbopumppu on kiinnitetty j rjestelm n Kuva 2 146 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Ohjek sikirja 10 Pumppua ei tule asentaa ja tai k ytt ymp rist ss miss se joutuu kosketuksiin s tekij iden sateen j n tai lumen p lyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa r j hdys tai tulipalovaara K yt n aikana on noudatettava seuraavia ymp rist koskevia ehtoja maksimipaine 2 baaria yli atmosf risen paineen a l mp tila 5 C 35 C ks Technical Information liitteen kaaviota suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Mik li l sn on magneettikentti tulee pumppu suojata t h n tarkoitukseen olevilla suojilla Lis tietoja l ytyy Technical Information liitteest Turbo V 2300 TwisTorr tulee kytke p pumppuun ks Technical Information liitteen kaaviota Turbo V 2300 TwisTorr voidaan asentaa mihin tahansa asentoon Kiinnitt k Turbo V 2300 TwisTorr vakaaseen asentoon liitt m ll turbopumpun sis ntulolaippa kiinte n vastalaippaan joka kest 40000 Nm n momentin akselinsa ymp ri ISO F sis ntulolaipalla
27. fuktighet 0 95 uten kondens Ved magnetfelt m pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer Se Technical Information for detaljer Turbo V 2300 TwisTorr m koples til en hovedpumpe se skjema i Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr kan monteres i en valgfri stilling Fest Turbo V 2300 TwisTorr i en stabil stilling med innganssflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment p 40000 Nm rundt aksen Turbopumpen med inngangsflense ISO F skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av muttere med festeklasse p 12 9 or 1200 N mm Tabellen som fglger beskriver antallet st lmuttere som behgves samt dreiningsmomentet som anbefales av Agilent for stramme dem Tab 1 FLENS TYPE KLEMME ANT STRAMME MOMENT ISO 250 F Bolt med M10 gjenge 12 30 Nm NN NIER Turbo V 2300 TwisTorr kan ikke festes med bruk av bunnen Systemet kan kun festes ved hjelp av sin egen ISO 250F flens Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 133 260 9 instruksjon Manual ANA Manglende respekt for disse installeringsinstruksene kan f re til feil p rotor og dermed til at pumpa losner fra systemet Dette kan fore til alvorlig skade p ting eller personer For installasjon av tilleggsutstyr vises det til Technical Information 134 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Instruksjon Manual 9 Bruk Alle anvisningene for korrekt drift av turbopumpen finne
28. grund af en kontakt mellem rotor og stator eller fordi rotoren g r i stykker kan omdrejningsenergien spredes ANUS For at undg materielle skader samt at operat rerne kommer til skade er det strengt nodvendigt neje at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning 98 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Istruktionsbog 7 Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse Brugeren bgr l se denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent for udstyret anvendes Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som f lge af tilsides ttelse af disse instruktioner fejlagtig brug af personer uden tilstr kkeligt kendskab ukorrekt anvendelse af udstyret eller h ndtering der strider imod g ldende lokale regler Pumperne fra serien Turbo V 2300 TwisTorr er molekyl re turbopumper til anvendelser med h jt eller meget h jt vakuum der er i stand til at pumpe mange forskellige gastyper eller gassammens tninger De er ikke egnet til pumpning af v sker eller faste dele Pumpningen sker ved hj lp af en hurtigroterende turbine 33000 omdr min Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med h j effekt Turbo V 2300 TwisTorr er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse der kr ver rent vakuum De f lgende afsnit indeholder oplysningerne der er n dvendige for at garantere sikkerhed for operat ren i
29. hoge doorvoercapaciteit van stikstof Argon en lichtere gassen ontworpen Indien de noodzaak bestaat om zwaardere gassen dan Argon te pompen wordt u verzocht om contact op te nemen met de Technische Service van Agilent voor informatie 94 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Bedrijfshandleiding 6 Onderhoud De Turbo V 2300 TwisTorr is onderhoudsvrij Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd WAARSCHUWING Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren de stekker verwijderen de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 C is gezakt In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent of de Agilent advanced exchange service in te schakelen zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen moet de bij deze handleiding gevoegde kaart Veiligheid en Gezondheid volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd Een kopie van deze kaart moet v r versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd Mocht het systeem gesloopt worden ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 95 260 6 Bedrijfshandleiding A
30. is a KF 40 NW flange ENTER RING F FORELINE FLANGE Figure 4 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 239 260 17 Technical Information Technical Specification Tab 2 Pumping speed without inlet screen Nz He Hz Compression ratio Nz He Base pressure with recommended forepump Foreline flange Nominal rotational speed Start up time without gas load and with the recommended forepump Minimum recommended forepump Operating position Operating ambient temperature Bakeout temperature Max rotor temperature Vibration level displacement Lubricant 240 260 Technical Specification 2050 1 s 1800 1 s 1500 I s gt 8 108 8 x 105 4 x 104 10 10 mbar 7 5 x 10 11 Torr According to standard DIN 28 428 the base pressure is that measured in a leak free test dome 48 hours after the completion of test dome bake out with a Turbopump fitted with a CFF flange and using the recommended pre vacuum pump ISO 250 F CFF 12 0 D KF 40 NW 33300 rpm lt 6 minutes TriScroll 600 Any 80 C max at inlet flange ISO flange 120 C max at inlet flange CF flange 120 C lt 0 01 um at inlet flange permanent lubrication Water Recommended flow gt 200 l h Temperature 15 C to 30 C Pressure 3 to 5 bar 45 to 75 psi Turbo V 2300 TwisTo
31. kytketty tyhji kammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla lk koskeko turbopumppuun tai sen lis osiin l mmitt misen aikana Korkea l mp tila saattaa aiheuttaa henkil iden loukkaantumisia V lt kolhuja heiluntaa tai kkiliikkeit turbopumpun toiminnan aikana sill laakerit voivat vahingoittua K yt pumpun ilmansy tt n ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkasia Erityisen aukon l pi sy tett v n paineen tulee olla alle 1 baaria yli atmosf risen paineen Pumput on varustettu laakereille hiukkasia tai niit saastuttavia aineita sis lt vien aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla jonka l pi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja Typpi tai Helium laakereiden suojaamiseksi katso Technical Information liite HUOMIO l k yt pumppua sy vytt vien kaasujen tai h yryjen l heisyydess ne saattavat vahingoittaa pumpun sis materiaaleja Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 149 260 10 Ohjek sikirja Kun pumppua k ytet n myrkyllisten paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa lk k ytt k pumppua r j hdysherkkien kaasujen l hell Pumppu on suunniteltu kuljettamaan suuria m ri typpe argonia ja kevyit kaasuja Jos joudut pumppaamaan argonia painavampia kaasuja pyyd lis tietoja Agilentin teknisest palvelusta 150 260 Turbo V
32. m te er i strid med nasjonale bestemmelser Pumpene i serien Turbo V 2300 TwisTorr er turbomolekyl re pumper for anvendelse med h y og superh y vakuum og er i stand til pumpe mange typer gasser eller gassblandinger De passer ikek for pumpe veesker eller faste partikler Pumpingen oppn s med en hgyhastighetsturbin maks 33000 opm koplet til en trefaset elektrisk motor Turbo V 2300 TwisTorr har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for rene vakuum De fglgende avsnitt inneholder all informasjon som er ngdvendig for sikre brukeren n r utstyret er i bruk For mer detaljert bruk vises det til tillegget Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 127 260 9 instruksjon Manual Denne h ndboken bruker fglgende standardprotokoll WONINGEN Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsm te eller praksis som hvis den ikke f lges kan medf re alvorlige skader Sa Denne advarselen vises foran fremgangsm ter som dersom de ikke f lges kan fore til at utstyret skades Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten 128 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Instruksjon Manual 9 Lagring For garantere optimal drift og p litelighet for Agilent turbomolekyl re pumper m f lgende anvisninger f lges Under transport flytting og lagring av pum
33. o transporte o deslocamento e a armazenagem das bombas as condi es ambientais devem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relativa de 0 a 95 n o condensante a ao acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativ las sempre em modalidade Soft Start 0 tempo m ximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular de 10 meses a contar da data da expedi o CUIDADO Se por uma raz o qualquer o per odo de armazenagem for superior ser necess rio enviar outra vez a bomba para o fabricante Para mais informa es contatar o representante local da Agilent Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 73 260 5 Manual de Istru es Prepara o para a instala o O Turbo V 2300 TwisTorr fornecido numa embalagem protectora especial se esta apresentar sinais de danos que poderiam ter ocorrido durante o transporte entrar em contacto com o escrit rio de vendas local Durante a remo o da embalagem tomar muito cuidado para n o deixar cair o controller e para n o submet lo a choques ou vibra es Retirar a protec o dos conectores somente depois que a turbobomba estiver fixada ao sistema Devido ao seu peso 55 kg para retirar a bomba da embalagem utilizar os quatro parafusos de olhal e aparafusados no corpo da bomba N o depositar a embalagem no meio ambiente O material completamente recicl vel e em conformidade com a norma
34. quando in funzione cuscinetti potrebbero danneggiarsi Per la mandata all aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attraverso l apposita porta deve essere inferiore a 1 bar oltre la pressione atmosferica Per il pompaggio di gas contenenti particolato o inquinanti aggressivi per i cuscinetti queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte Azoto o Elio per proteggere i cuscinetti vedere l appendice Technical Information fald vala Non usare mai la pompa in presenza di gas o vapori corrosivi che possano danneggiare i materiali interni alla pompa Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 23 260 1 Istruzioni per uso Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici infiammabili o radioattivi seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi La pompa progettata per avere un alto trasferimento di Azoto Argon e gas pi leggeri Nel caso in cui ci fosse la necessit di pompare gas pi pesanti dell Argon si prega di prendere contatti con l Assistenza Tecnica della Agilent per informazioni 24 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Istruzioni per uso 1 Manutenzione La Turbo V 2300 TwisTorr non richiede alcuna manutenzione Qualsiasi intervento deve esser
35. r se rdek ben k retik kapcsolatba l pni a Agilent helyi k pvisel j vel Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 157 260 11 Felhaszn l i K zik nyv El k sz t s telep t sre FIGYELEM A Turbo V 2300 TwisTorr t k l nleges v d csomagol sban sz ll tj k Ha ez s r l s jeleit mutatja ami sz ll t s k zben felmer lhet forduljon a helyi szolg ltat si irod hoz A rendszer kicsomagol sakor gyeljen arra hogy ne ejtse le s ker lje annak b rmilyen hirtelen t s t vagy r zk d s t Csak azut n vegye le a csatlakoz k v d burkolat t ha a turb szivatty m r r gz tve van a rendszerhez S lya miatt 55 kg a szivatty t a szivatty testre csavarozott n gy szemescsavar seg ts g vel vegye ki a csomagol sb l Ne rtalmatlan tsa a csomagol anyagokat nem megengedett m don Az anyag teljesen jrafeldolgozhat s megfelel az EEC 85 399 es direkt v nak G zkivon si probl m k elker l s re ne haszn ljon puszta kezeket v kuumnak kitett komponensek kezel s re Mindig haszn ljon keszty t vagy m s alkalmas v delmet A k rnyezetnek val szok sos kitetts g nem k ros thatja a Torbo V 3K G t M gis aj nlatos azt z rva s t m tve tartani am g nem telep tik a rendszerbe Ez megakad lyozza a rendszer szennyez d s t 158 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Felhaszn l i K zik nyv 11 El
36. se rotor ustavi an po akajte da povr inska temperatura rpalke pade pod 50 C V primeru okvare kontaktirajte lokalni Agilent servisni center ki vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim Preden odnesete sistem na popravilo ali zamenjavo z drugo enoto morate izpolniti Health and Safety obrazec ki je pri lo en navodilom in ga poslate lokalni prodajni pisarni Pred po iljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embala o sistema Sistem je treba uni iti v skladu z dolo enimi nacionalnimi standardi Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 221 260 15 Priro nik za Navodila Odlaganje opadkov 222 260 Pomen znamke WEEE na etiketah Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom WEEE Ta simbol ki velja samo v dr avah Evropske Skupnosti pomeni da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki temve morate poskrbeti za njihovo primerno lo evanje Zato pozivamo uporabnike da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku lo evanja in odstranitve odpadkov ele nato ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe lt X X Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual ee 16 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 224 General Information 225 Storage 227 Preparation for Installation 228 Installati
37. varustettu turbopumppu on kiinnitett v tyhji kammioon pulteilla joiden kiinnitysluokitus on 12 9 or 1200 N mm Seuraavassa taulukossa on esitetty tarvittavien ter spulttien lukum r ja momentti jolla Agilent suosittelee pultit kiristett viksi Tab 1 LAIPPA KIINNIKE M R KIRISTYS MOMENTTI ISO 250 F Pultti M10 kierteill 12 30 Nm Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 147 260 10 Ohjek sikirja VAN TI Turbo V 2300 TwisTorr pumppua ei voida kiinnitt perustasta J rjestelm voidaan kiinnitt ainoastaan ISO 250F laippaa k ytt m ll VAN nit N iden asennusohjeiden noudattamatta j tt minen saattaa mahdollisen roottorivian sattuessa johtaa pumpun irtoamiseen j rjestelm st mist voi esinevahinkojen lis ksi seurata vakavia henkil vahinkoja ja jopa kuolemanvaara Ks Technical Information liitett lis varusteiden asentamista varten 148 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A K ytt VAROITUS Ohjek sikirja 10 Kaikki turbopumpun oikeaan k ytt n liittyv t ohjeet l ytyv t ohjausyksik n k ytt ohjeesta Lue k ytt ohje huolellisesti ennen k ytt Tyhji kammion mahdollisen l mmityksen aikana sis ntulolaipan l mp tila ei saa ylitt 80 C tta Pumpun toiminnan aikana roottorin l mp tila ei saa koskaan olla yli 120 C lk k ytt k pumppua ellei sis ntulolaippaa ole
38. zabezpe i tieto vlastnosti prostredia maxim lny pretlak 2 bary nad rov ou atmosf rick ho tlaku teplota vzduchu od 5 C do 35 C a relat vna vlhkos 0 95 bez kondenz cie V pr tomnosti magnetick ho po a mus by v veva chr nen feromagnetick m t tom Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technical Information Zariadenie Turbo V 2300 TwisTorr sa mus pripoji k prim rnej v veve pozri Technical Information Zariadenie Turbo V 2300 TwisTorr m e by nain talovan v ubovo nej polohe Upevnite Turbo V 2300 TwisTorr do stabilnej polohy pripojen m vstupnej pr ruby turbov vevy k pevnej pr rube upevnenej tak aby vydr ala nam hanie kr tiacim momentom 40000 Nm okolo svojej osi Turbo erpadlo so vstupnou pr rubou ISO F mus by pripevnen k v kuovej komore prostredn ctvom skrutiek s triedou upevnenia 12 9 or gt 1200 N mm Nasleduj ca tabu ka popisuje po et potrebn ch oce ov ch skrutiek a hodnotu u ahovacieho momentu ktor odpor a Agilent pre ich dotiahnutie Tab 1 PR RUBA UPEV OVAC MECHANIZMUS PO ET U AHOVAC KR TIACI MOMENT ISO 250 F Skrutky M10 12 30 Nm Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 203 260 14 N vod na Obsluhu VIET Turbo V 2300 TwisTorr nemo no upevni pomocou jej z kladnej dosky Syst m mo no upevni len pomocou vlastnej ISO pr ruby 250F Mid72J38138 Nedodr
39. 0 Nm AVVERTENZA La Turbo V 2300 TwisTorr non pu essere fissata tramite la sua base II sistema pu essere fissato solo tramite la sua flangia ISO 250F Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 21 260 1 Istruzioni per uso VAALI EU II mancato rispetto di queste istruzioni d installazione nel caso in cui si verifichi un guasto al rotore pu comportare il distacco della pompa dal sistema con danni alle cose o seri danni o morte delle persone Per l installazione degli accessori opzionali vedere Technical Information 22 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Istruzioni per l uso 1 Uso Tutte le istruzioni per il corretto funzionamento della turbopompa sono contenute nel manuale dell unita di controllo Leggere attentamente tale manuale prima del utilizzo Durante eventuale riscaldamento della camera da vuoto la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 80 C Durante il funzionamento della pompa la temperatura del rotore non deve mai superare i 120 C Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non collegata alla camera a vuoto o non chiusa con la flangia di chiusura Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura pu causare lesioni alle persone pis v4 i 3 Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa
40. 0 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Podrecznik Instrukcji 12 Uzytkowanie Wszystkie instrukcje dotyczace prowidtowego dziatania turbopompy zamieszczono w instrukcji jednostki steruj cej Przed rozpocz ciem pracy z pomp nale y uwa nie przeczyta t instrukcj Podczas ewentualnego nagrzania komory pr niowej temperatura na ko nierzu nie mo e przekroczy 80 C Podczas dzia ania pompy temperatura wirnika nie mo e nigdy przekroczy 120 C ZAGROZENIE Nigdy nie nale y uruchomi pompe w przypadku kiedy kotnierz wejsciowy nie jest podtaczony do komory lub nie jest zamkniety z kotnierzem zamkniecia Nie dotyka turbopompy i jej ewentualnych akcesori w podczas operacji nagrzewania Wysoka temperatura mo e spowodowa uszkodzenia cia a na osobach UWAGA Unika uderze waha lub gwa townych przesuni turbopompy podczas jej dzia ania Mog uszkodzi si o yska Dla wlotu do powietrza pompy zastosowa powietrze lub oboj tny gaz bez py u lub innych cz stek Ci nienie wej ciowe poprzez odpowiedni wlot musi by ni sze od 1 bara ponad ci nienie atmosferyczne A csapagyakra szennyez vagy r szecsk ket tartalmaz gazok szivatty z s hoz ezek a szivatty k fel vannak szerelve egy olyan k l nleges porttal amelyen kereszt l a csapagyak v delme rdek ben a szivatty hoz k z mb s gazt Nitrog n vagy H lium kell aramoltatni l sd Technical Informat
41. 0 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 49 260 3 Mode d emploi WTS ESA ANR La Turbo pompe V 3K G ne peut tre fix e l aide de son socle Le syst me peut tre fix uniquement l aide de sa bride ISO 250F ARIA AU Le non respect des instructions de montage peut provoquer un d crochage de la pompe du syst me en cas de panne du rotor et entra ner des dommages A aux biens et de graves pr judices voire la mort aux personnes Pour l installation des accessoires en option se reporter Technical Information 50 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Utilisation AVERTISSEMENT Mode d emploi 3 Toutes les instructions n cessaires pour un fonctionnement correct de la pompe sont fournies dans le manuel de unit de commande Veuillez lire attentivement ce manuel avant utiliser la pompe Pendant le chauffage ventuel de la chambre vide la temp rature de la bride d entr e ne doit pas d passer 80 C Pendant le fonctionnement de la pompe la temp rature du rotor ne doit jamais tre sup rieure 120 C Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d entr e n est pas reli e la chambre vide ou si elle n est pas ferm e avec la bride de fermeture Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut tre l origine de l sions graves ATTENTION Lorsqu
42. 0U UK Tel 44 0 1865 291570 Fax 44 0 1865 291571 Toll free 00 800 234 234 00 Other Countries Agilent Technologies Italia S p A Vacuum Products Division Via F Ili Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9111 Fax 39 011 997 9350 Toll Free 00 800 234 234 00 Customer Support amp Service NORTH AMERICA Toll Free 800 882 7426 Option 3 vpl ra agilent com EUROPE Toll Free 00 800 234 234 00 vpt customercare agilent com PACIFIC RIM please visit our website for individual office information http www agilent com Worldwide Web Site Catalog and Order On line www agilent com Representative in most countries 12 10
43. 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Huolto Ohjek sikirja 10 Turbo V 2300 TwisTorr ei vaadi lainkaan huoltoa Mahdolliset toimenpiteet tulee j tt valtuutetun henkil n teht v ksi VAROITUS Ennen mink n tyyppist toimenpidett j rjestelm ss kytkek se irti s hk verkosta p st k pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin t ydellist pys htymist Antakaa t m n j lkeen pumpun pintal mm n laskea alle 50 C en Laitteen vahingoittuessa on mahdollista k ytt Agilentin korjauspalvelua tai Agilent advanced exchange service vaihtopalvelua jonka kautta saatte uudistetun pumpun vahingoittuneen tilalle Ennen j rjestelm n l hett mist valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on ehdottomasti t ytett v ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon Turvallisuus ja Terveys kaavake joka on liitteen ohjekirjassa Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liitt j rjestelm n pakkaukseen ennen sen l hett mist Mik li pumppu t ytyy romuttaa toimikaa sen h vitt misess kansallisen lains d nn n m r m ll tavalla Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 151 260 10 Ohjek sikirja H vitt minen Pakkausmerkinn iss olevan WEEE logon merkitys Alla n kyv merkki on lis tty pakkaukseen EY n ns WEEE direktiivin mukaisesti Merkki koskee ainoastaan Euroopan Unionin j senmaita t
44. 300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 37 260 2 Gebrauchsanleitung WARNUNG Wenn die Pumpe zur F rderung von giftigen leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird sind die f r das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg nge und Ma nahmen zu befolgen Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsf higen Gasen verwendet werden Die Pumpe ist f r einen hohen Durchsatz an Stickstoff Argon und leichteren Gasen konzipiert Falls das Pumpen von Gasen erforderlich ist die schwerer als Argon sind ist mit dem Technischen Kundendienst von Agilent R cksprache zu halten 38 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Wartung Gebrauchsanleitung 2 Modell Turbo V 2300 TwisTorr erfordert keine Wartung Eventuelle Eingriffe d rfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef hrt werden Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen die Pumpe ber ffnung des entsprechenden Ventils bel ften und abwarten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengeh use unter 50 C abgesunken ist Bei Defekten kann der Agilent Service oder der Agilent advanced exchange service in Anspruch genommen werden der ein general berholtes System als Ersatz f r das defekte System zur Verf gung stellt Bevor Fa Agilent ein System zur Reparatur oder den Umtauschdienst eingesandt wird ist das Formular Sicherheit und Gesundheit das diesem Handbuch beil
45. 5 non condensing a the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated for the first time by the customer the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded the pump has to be returned to the factory Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 227 260 16 Instructions for Use Preparation for Installation The Turbo V 2300 TwisTorr is supplied in a special protective packing If this shows signs of damage which may have occurred during transport contact your local sales office When unpacking the system be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it Remove connector protections only after fixing the turbopump to the system Due to its weight 55 kg use the four eyebolts screwed onto the pump body to extract the pump from the packaging Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 recyclable and complies with EEC 94 62 and successive modification to protect the environment In order to prevent outgassing problems do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum Always use gloves or other appropriate protection Normal exposure to the environment cannot damage the Turbo V 2300 TwisTorr
46. 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 9 Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl re pumper 126 Generell informasjon 127 Lagring 129 Klargj re til installasjon 130 Installasjon 132 Bruk 135 Vedlikehold 137 Eliminering 138 Oversetting av den opprinnelige samsvarserkl ringen pige Agilent Technologies 125 2650 9 instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl re pumper Turbomolekyl r pumpene som er beskrevet i den fglgende Bruksanvisningen har et h yt kinetisk energiniv som skyldes den hgye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel p grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd p rotoren kan roteringsenergien bli frigitt AIP SRR For unng skader p utstyret og forebygge operatorskader ma installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen f lges noye 126 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Instruksjon Manual 9 Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere Brukeren bgr lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent for utstyret tas i bruk Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer p grunn av manglende oppfglging av disse instruksjonene selv delvis feilaktig bruk av utrent personell ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som p noen
47. 901 017 01 A 213 260 15 Priro nik za Navodila Priprava za monta o Naprava Turbo V 2300 TwisTorr je dobavljena v posebni za itni embala i e je embala a po kodovana kontaktirajte lokalno prodajno pisarno Pri odpiranju sistema pazite da vam ne pade iz rok oz ga ne stresajte Odstranite za ito spajal samo potem ko je turbo rpalka e priklju ena na sistem Zaradi te e rpalke 55 kg uporabite za dvig naprave iz embala e tiri o esne vijake privite na telesu rpalke Embala o zavrzite v skladu s pravili Material je mo no v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85 399 Komponent ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami saj boste tako prepre ili probleme pu anja Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno za ito Normalna izpostavljenost na okolje ne more po kodovati Turbo V 2300 TwisTorr naprave Vendarle je priporo ljivo da je naprava zaprta dokler je ne namestite v sistem S tem boste onemogo ili onesna enje sistema 214 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Priro nik za Navodila 15 Priprava za montaZo Slika 1 Turbo V 2300 TwisTorr paket vsebuje 1 rpalka 2 zaslon vgrajen 3 navodila za uporabo na CD ROMu Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 215 260 15 Priro nik za Navodila Monta a SVARILO Zaradi te e je treba za rokovanje s rpalko uporabit
48. Anleitungen f r einen korrekten Betrieb der Turbopumpe sind in dem Handbuch der Steuereinheit enthalten Dieses Handbuch vor der Anwendung aufmerksam durchlesen W hrend der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 80 C nicht berschreiten W hrend des Pumpenbetriebs darf die Temperatur des L ufers niemals 120 C berschreiten Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlussflansch verschlossen ist W hrend des Aufheizens d rfen weder die Pumpe noch eventuelle heif e Zubeh rteile ber hrt werden Es besteht Verbrennungsgefahr VORSICHT W hrend des Betriebs sind StoR und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden da die Lager besch digt werden k nnten F r die Bel ftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden Der Eingangsdruck am Bel ftungsanschlu soll unter 1 bar ber dem atmosph rischen Druck betragen Zum Pumpen von Gasen mit Partikeln oder aggressiven Schadstoffe f r die Lager sind die Pumpen mit einer Off nungsklappe ausgestattet ber die zum Schutz der Lager Inertgas Stickstoff oder Helium zuzuleiten ist siehe Anhang Technical Information ITU Die Pumpe niemals im Beisein von Gas oder korrosiven D mpfen benutzen weil sie das Material im Innern der Pumpe besch digen k nnten Turbo V 2
49. Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne v vevy 196 V eobecn inform cie 197 Uchov vanie 199 Pr prava na in tal ciu 200 In tal cia 202 Pou itie 205 dr ba 207 Likvid cia 208 Priro nik za Navodila 209 Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke 210 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Contents Splo ne informacije 211 Shranjevanje 213 Priprava za monta o 214 Montaza 216 Uporaba 219 Vzdrzevanje 221 Odlaganje opadkov 222 16 Instructions for Use 223 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 224 General Information 225 Storage 227 Preparation for Installation 228 Installation 230 Use 233 Maintenance 235 Disposal 236 17 Technical Information 237 Description of the Turbo V 2300 TwisTorr 238 Technical Specification 240 Turbo V 2300 TwisTorr Outline 243 Inlet Screen Installation 244 Water Cooling Connection 246 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 11 260 Contents Pump Purging and Venting 247 High Vacuum Flange Connection 250 Fore Vacuum Pump Connection 251 Connection C Electrical 251 Pump used in Presence of Magnetic Fields 252 Orderable Parts 253 12 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual o Istruzioni per uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 17 Preparazione per l installazione 18 Insta
50. ECT MALFUNCTION POSITION PARAMETERS Does nat start Noise Vertical Power Rotational Speed Does not spin freely Vibrations Horizontal Current Inlet Pressure Does not reach full speed Leak Upside down Temp 1 Fareline Pressure Mechanical Contact Overtemperature Temp 2 Purge flow Cooling defective Clogging OPERATING TIME ION PUMPS CONTROLLERS VALVES COMPONENTS Bad feedthrough Poor vacuum Main seal leak Bellows leak Vacuum leak High voltage problem Salenoid failure Damaged flange Error code on display Other Damaged sealing area Other LEAK DETECTORS INSTRUMENTS Cannot calibrate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error cade on display Other SCROLL AND ROTARY VANE PUMPS DIFFUSION PUMPS Pump doesn t start Noisy pump describe Heater failure Electrical problem Doesn t reach vacuum Over temperature Doesn t reach vacuum Cooling coil damage Pump seized Other Vacuum leak Other Section 6 ADDITIONAL TERMS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division Products and Services Terms of Sale e Customer is responsible for the freight charges for the returning product Return shipments must comply with all applica
51. Manuale di istruzioni Bedienungshandbuch Notice de mode d emploi Manual de istrucciones Manual de istru es Bedrijfshandleiding Istrukstionsbog Bruksanvisning 87 901 017 01 A 04 2011 se Agilent Technologies Turbo V 2300 TwisTorr Pumps Models 969 6000 969 6001 Instruksjon manual Ohjek sikirja Felhaszn l i k zik nyv Podrecznik instrukcji N vod k pou it N vod na obsluhu Priro nik za navodila User Manual Notices Agilent Technologies Inc 2011 No part of this manual may be reproduced in any form or by any means including electronic storage and retrieval or translation into a foreign language without prior agreement and written consent from Agilent Technologies Inc as governed by United States and international copyright laws Manual Part Number Publication Number 87 901 017 01 A Edition Edition 04 2011 Printed in ITALY Agilent Technologies Italia S p A Vacuum Products Division Via F lli Varian 54 10040 Leini TO ITALY Warranty The material contained in this document is provided as is and is subject to being changed without notice in future editions Further to the maximum extent permitted by applicable law Agilent disclaims all warranties either express or implied with regard to this manual and any information contained herein including but not limited to the implied warranties of merchantability and fitness for a particular purpose Agilent shall not
52. T ISO 250 F M10 bult 12 30 Nm VARNING Turbo V 2300 TwisTorr kan inte f stas med hj lp av sitt fundament Systemet kan endast f stas med hj lp av fl nsen ISO 250F Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 119 260 8 Bruksanvisning VARNING Om dessa installtionsinstruktioner inte iakttas om det uppst r skada p rotorn kan det medf ra att pumpen lossnar fr n systemet med f ljande materialskador eller allvarliga eller livshotande skador f r personer Installation av tillbeh rsutrustning beskrivs i Technical Information 120 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Bruksanvisning 8 Anv ndning OBSERVER Alla instruktioner f r en r tt funktion av turbopumpen finns i kontrollenhetens handbok L s noggrant igenom handboken innan den anv nds Om vakuumkammaren uppv rms f r temperaturen vid inloppet aldrig verstiga 80 C N r pumpen r i funktion f r temperaturen p rotorn aldrig verstiga 120 C S tt aldrig ig ng pumpen om intagsfl nsen varken r kopplad till vakuumkammaren eller r blockerad p plats med l sfl nsen Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador Undvik sammanst tningar sv ngningar eller pl tsliga f rflyttningar av turbopumpen n r den r ig ng Lagren kan bli skadade Pumpen ska f rses med luft eller med delgaser som rfria fr
53. U direktiv WEEE Symbolet kun g ldende for EU landene viser at produktet som det sidder p IKKE m bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres p en godkendt affaldsstation Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverand ren af anordningen enten fabrikken eller en forhandler for igangs ttelse af afhentnings og bortskaffelsesprocessen efter n je at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten gr N TI 4 NG JN AN OY Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 8 Bruksanvisning S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar 112 Allman Information 113 F rvaring 115 F rberedelser f r installationen 116 Installation 118 Anv ndning 121 Underh ll 123 Bortskaffning 124 vers ttning av originalinstruktionerna ie Agilent Technologies 111 260 8 Bruksanvisning S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar De molekyl ra turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en h g kinetisk energi beroende p den h ga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppst i systemet t ex p grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas kan det h nda att rotationsenergin frig rs VARNING F r att undvika skador p utrustningen och f rhindra att skador orsakas p operat rer m ste insta
54. V 2300 TwisTorr ist an eine Prim rpumpe anzuschlie en siehe Schema in Technical Information Modell Turbo V 2300 TwisTorr kann in jeder beliebigen Position installiert werden Modell Turbo V 2300 TwisTorr ist stabil zu befestigen indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird der mit einem Drehmoment von 40000 Nm um seine eigene Achse belastbar ist Die Turbopumpe mit Eingangsflansch ISO F muss mit der Vakuumkammer mithilfe von Bolzen Befestigungsklasse 12 9 or 1200 N mm befestigt werden Die folgende Tabelle beschriebt die Anzahl der notwendigen Stahlbolzen und den von Agilent empfohlenen Anzugsmoment Tab 1 FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ ANZUGSMOMENT ISO 250 F Mutterschraube mit Gewinde M10 12 30 Nm Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 35 260 2 Gebrauchsanleitung WARNUNG Die Turbo V 2300 TwisTorr kann nicht ber ihren Sockel befestigt werden Zur Befestigung des Systems kann nur der Flansch ISO 250F verwendet werden WARNUNG Die Nichtbeachtung dieser Anleitung sollte sich ein Schaden am Rotor ergeben kann zur Losl sung der Pumpe vom System f hren mit Sch den an Dingen oder schweren Verletzungen oder zum Tod von Personen fihren F r die Installation der Optionsteile siehe im Anhang Technical Information 36 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Gebrauch Gebrauchsanleitung 2 Alle
55. V 2300 TwisTorr nem ig nyel karbantart st A rendszeren v gzett b rmely munk t jogosult szem lyzetnek kell elv geznie A rendszeren b rmely munka v gz se el tt v lassza le azt a t pfesz lts gr l szell ztesse a szivatty t a megfelel elektromos szelep kinyit s val v rjon am g a rotor forg sa le ll s am g a szivatty fel let nek h m rs klete 50 C al esik Meghib sod s eset n l pjen kapcsolatba a helyi Agilent szervizk zponttal ahol tudnak adni egy helyre ll tott rendszert a hib s helyett Miel tt jav t sra vagy cser re visszak ldi a rendszert a gy rt hoz az ehhez a g pk nyvh z csatolt Eg szs g s biztons g lapot ki kell t lteni s el kell k ldeni a helyi kereskedelmi irod hoz A lap egy m solat t sz ll t s el tt be kell illeszteni a rendszercsomagba Ha a rendszert le kell selejtezni azt rtalmatlan tani kell a konkr t nemzeti szabv nyoknak megfelel en Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 165 260 11 Felhaszn l i K zik nyv Megsemmis t s A c mk n jelenl v WEEE logo jelent se Az al bb l that szimb lum az EK WEEE elnevez s ir nyelv vel sszhangban ker l alkalmaz sra Ez a szimb lum mely csak az Eur pai K z ss g orsz gaiban rv nyes azt jelzi hogy a term k melyen megtal lhat NEM ker lhet k z ns ges h ztart si vagy ipari hullad kkal egy tt megsemmis t sre hanem azt egy sz
56. V 2300 TwisTorr pump to the ISO F inlet flange position the integrated inlet screen centering ring as shown in the figure ENTER INLET EE s AN IN N ANI FN NN NEH Figure 13 Then fix the two flanges with the bolts as shown in the following figures 12 x M10 steel bolts for ISO F flange A HAMBE ENTER N ri INLET SCREEN LIT Hit z pk G o Sen V U NN ja j I It NU NS NNE 4 Tv 230 E A OLT SS lt N A HAMBER AN NIN ENTER RI IM OH SH SN INLET SCREEN NIIIN gt nur N 7 N J T NN u s Figure 14 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Technical Information 17 Fore Vacuum Pump Connection A flange KF 40 NW is available to connect the Turbo V 2300 TwisTorr pump to the fore vacuum pump A hose or vacuum approved pipe can be used If a rigid pipe is used any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows The Turbo V 2300 TwisTorr pump is characterized by its high compression ratio also for oil vapors When using a mechanical oil sealed pump it is ad
57. a y przedstawione w dodatku dotycz cym informacji technicznych Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 169 260 12 W tej instrukcji zastosowano nastepujace umowne znaczenia ZAGROZENIE Komunikaty zagrozenie przyciagaja uwage operatora co do danej procedury lub danego postepowania kt rego nieprawidtowe wykonanie mogtoby spowodowa powa ne uszkodzenia ciata Komunikaty zwiekszonej uwagi sa wySwietlane przed procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania mo e dojs do uszkodzenia aparatury Sa to wa ne informacje wyciagniete z tekstu 170 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Podrecznik Instrukcji 12 Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyZszego poziomu funkcjonalnego i niezawodno ci pomp turbomolekularnych Agilent musz by przestrzegane nastepujace zalecenia podczas transportu przesuni cia i magazynowania pomp nie mog by przekroczone nast puj ce warunki rodowiskowe temperatura od 20 C do 70 C wilgotnosc wzgledna od 0 do 95 bez opar a klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych musi je zawsze uruchomi w spos b Soft Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesi cy od daty wysy ki UWAGA Jezeli z jakiegokolwiek powodu czas magazynowania jest dtu szy nale y odesta pompe do fabryki W celu jakiejkolwiek informac
58. a az eszk zt a fenti kateg ri nak megfelel h l zathoz A Turbo V 2300 TwisTorr nek olyan bemeneti kimeneti s soros kommunik ci s csatl z sai vannak amelyeket gy kell k ls ramk r kh z csatlakoztatni hogy elektromos r szek ne legyenek hozz f rhet k Haszn lja a mell kelt csatlakoz kat az IP 54 v delmi fokozat fenntart s hoz Gy z dj n meg r la hogy a Turbo V 2300 TwisTorr hez csatlakoztatott eszk z megfelel egyes hiba eset n is az RN 61010 1 direktiva szerint Opcion lis tartoz kok telep t s hez v lassza a Technical Information 162 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Felhaszn l i K zik nyv 11 Haszn lat A turb szivatty helyes m k dtet s re vonatkoz sszes utas t s az ellen rz egys g haszn lati utas t s ban szerepel Haszn lat el tt olvassa el figyelmesen ezt a haszn lati utas t st A v kuumkamra meleg t se k zben a bemeneti szelep h m rs klete nem haladhatja meg a 80 C ot A szivatty m k dtet sekor a rotor h m rs klete soha nem haladhatja meg a 120 C t Soha ne haszn lja a turb szivatty t amikor a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a v kuumkamr hoz vagy nincs kiiktatva Ne rintse meg a turb szivatty t vagy annak tartoz kait a melegit si folyamat k zben Magas h m rs klet g st okozhat FIGYELEM Ker lje a szivatty t s t r z s t vagy durva mozgat s t zem k zben
59. abrikken Yderligere oplysninger f s ved henvendelse til den lokale Agilent repr sentant Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 101 260 7 Istruktionsbog Forberedelse for installation Turbo V 2800 TwisTorr leveres i en speciel beskyttende emballage Kontakt den lokale forhandler hvis emballagen viser tegn p skader der kan v re opst et under transporten S rg for at Turbo V 2300 TwisTorr ikke tabes eller uds ttes for st d ved udpakningen Fjern beskyttelsen fra konnektorerne kun efter at turbopumpen er blevet fastgjort til systemet Pumpen er meget tung 55 kg af denne grund for at fjerne den fra indpakningen benyt de fire gjebolte der er fastspendt i pumpehuset Smid ikke emballagen ud Materialet kan genbruges 100 og opfylder EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse diste e Komponenter der skal uds ttes for vakuum m ikke ber res med bare h nder idet der er risiko for afgasning Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse Turbo V 2300 TwisTorr beskadiges ikke hvis den uds ttes for omgivelsesluften Det anbefales dog at holde pumpen lukket og forseglet indtil den skal installeres i systemet Herved undg s kontamination 102 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Istruktionsbog 7 redelse for installation Figur 1 Emballagen med Turbo V 2300 TwisTorr indeholder 1 Pumpe 2 Indsangsflange monteret
60. acuum flange Model 969 6001 with ConFlat 12 external diameter high vacuum flange Figure 3 Model 969 6000 and 969 6001 238 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Technical Information 17 Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with bladed stages The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump The static blades of the stator are made of alumin ium alloy These are supported and accurately positioned by spacer rings A first thermistor sensor is mounted near the upper bearing in order to read the bearing temperature and to prevent the pump from overheating A second thermistor sensor is mounted near the water cooling channel in order to evaluate the cooling efficiency The pump must be always water cooled For this purpose the customer must use the dedicated channel on the pump body During normal operation the motor is fed with a 60 Vac and 555 Hz three phase voltage The power provided to the motor is limited by the controller The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0 01 um The pump can operate in any position and must be supported on the high vacuum flange The connection of the forevacuum on the side of the pump
61. akaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo V 2300 TwisTorr putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai t rin it Pakkausta ei tule j tt ymp rist n Poista liittimien suoja ainoastaan sen j lkeen kun turbopumppu on kiinnitetty j rjestelm n Pumppu tulee sen painosta johtuen 55 kg ottaa pois pakkauksesta sen runkoon ruuvattuja erityisi silmukkapultteja k ytt m ll Pakkausmateriaali voidaan kierr tt kokonaisuudessaan ja se vastaa EY direktiivi 85 399 ymp rist n suojelusta HUOMIO Jotta kaasun vuoto ongelmilta v ltytt isiin ei tyhji lle altistuviin osiin tule koskea paljain k sin K ytt k aina k sineit tai muuta sopivaa suojausta Turbo V 2300 TwisTorr ei vaurioidu ilmalle altistuessaan On kuitenkin suositeltavaa s ilytt pumppu suljettuna ja sinet ityn kunnes se asennetaan j rjestelm n Siten estet n j rjestelm n likaantuminen 144 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Ohjek sikirja 10 Valmistelut asennusta varten Kuva 1 Turbo V 2300 TwisTorr pumpun pakkauksessa on 1 pumppu 2 sis ntulon laippa asennettu 3 t m ohjekirja CD ROM lla Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 145 260 10 Ohjek sikirja Asennus VAGT RAS Pumppua tulee sen painosta johtuen k sitell asianmukaisilla nosto ja siirtolaitteille K yt
62. alke tekom delovanja Nosilci se lahko po kodujejo Za prezra evanje rpalke uporabite zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev Pritisk na oddu niku mora biti manj i od 1 bara nad pritiskom atmosfere Za rpanje plinov ki vsebujejo trdne delce ali agresivnih onesna evalnikov za le aje so te rpalke opremljene s priklju kom ki omogo a stalen pretok inertnih plinov Du ik ali Helij za za ito nosilcev glej prilogo Technical Information POZOR rpalke nikoli ne uporabijajte v prisotnosti razjednih plinov ali hlapov ki bi lahko po kodovali inertne materiale rpalke Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 219 260 15 Priro nik za Navodila SVARILO Pri rpanju strupenih vnetljivih ali radioaktivnih plinov sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina rpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov rpalka je narejena za hitro rpanje Na Ar in la jih plinov e elite rpati pline ki so te ji od Ar prosimo da kontaktirate Agilent tehni no podporo za ve informacij 220 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Priro nik za Navodila 15 Vzdrzevanje Turbo V 2300 TwisTorr ne potrebuje vzdrZevanja Kakr no koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje SVARILO Pred za etkom dela na sistemu ga izklju ite iz napetosti pre istite rpalko tako da odprete primerno odprtino po akajte da
63. ands Tel 31 118 671570 Fax 31 118 671569 Toll Free 00 800 234 234 00 Canada Central coordination through Agilent Technologies Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 1 781 861 7200 Fax 1 781 860 5437 Toll Free 1 800 882 7426 China Agilent Technologies China Co Ltd Vacuum Products Division No 3 Wang Jing Bei Lu Chao Yang District Beijing 100102 China Tel 86 10 6439 7718 Toll Free 800 820 6556 France Agilent Technologies France Vacuum Products Division 7 Avenue des Tropiques Z A de Courtaboeuf B P 12 91941 Les Ulis cedex France Tel 33 0 1 69 86 38 84 Fax 33 0 1 69 86 29 88 Toll free 00 800 234 234 00 Germany and Austria Agilent Technologies Vacuum Products Division Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel 49 0 6151 703 353 Fax 49 0 6151 703 302 Toll free 00 800 234 234 00 Sales and Service Offices India Agilent Technologies India Pvt Ltd Vacuum Product Division G01 Prime corporate Park 230 231 Sahar Road Opp Blue Dart Centre Andheri East Mumbai 400 099 India Tel 91 22 30648287 8200 Fax 91 22 30648250 Toll Free 1800 113037 Italy Agilent Technologies Italia S p A Vacuum Products Division Via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9111 Fax 39 011 997 9350 Toll Free 00 800 234 234 00 Japan Agilent Technologies Japan
64. ansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving De pompen van de serie Turbo V 2300 TwisTorr zijn turbomoleculaire pompen voor hoge en ultra hoge vacu mtoepassingen en kunnen vele soorten gas of gasvormige verbindingen verpompen Zij zijn niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine max 33000 toeren min die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement De Turbo V 2300 TwisTorr is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een schoon vacu m verlangen In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 85 260 6 Bedrijfshandleiding Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik UDVISTE MING Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die indien niet correct uitgevoerd ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken nf e Bij dit symbool staat tekst met procedur
65. antoor Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo V 2300 TwisTorr niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt Verwijder de bescherming van de connectors uitsluitend nadat de turbopomp aan het systeem is bevestigd In verband met het gewicht 55 kg dienen de vier in het pomplichaam geschroefde oogbouten te worden gebruikt om de pomp uit de verpakking te verwijderen Laat de verpakking niet ergens buiten achter Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85 399 Om ontgassingsproblemen te voorkomen mogen de componenten die met het vacu m in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming De Turbo V 2300 TwisTorr kan niet beschadigd raken door normale blootstelling aan de omgeving Men adviseert echter om de pomp afgesloten en verzegeld te houden tot het moment van installatie in het systeem Dit om contaminatie van het systeem te voorkomen 88 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Bedrijfshandleiding 6 Uitpakken Figuur 1 In de verpakking van de Turbo V 2300 TwisTorr zijn aanwezig 1 pomp 2 inlet screen gemonteerd 3 deze handleiding op CD ROM Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 89 260 6 Bedrijfshandleiding Installatie WAARSCHUWING De pomp moet in verband met zijn gewicht met speciale he
66. anual de istrucciones 4 Preparaci n para la instalaci n Figura 1 El embalaje de la Turbo V 2800 TwisTorr contiene 1 bomba 2 inlet screen montado 3 el presente manual en CD ROM Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 61 260 4 Manual de istrucciones Instalacion LAINE Siempre a causa de su peso la bomba debe ser manejada utilizando medios especificos de elevaci n y desplazamiento Para ello deben utilizarse las correspondientes armellas enroscadas en los respectivos agujeros practicados en el cuerpo de la bomba misma ATENCI N No retirar la cubierta empernada antes de haber conectado la bomba de turbina al sistema ATENCION Quitar la protecci n de los conectores solamente despu s de haber fijado al sistema la turbobomba 62 260 Figura 2 No instalar ni o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosf ricos lluvia hielo y nieve polvo y gases agresivos en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Manual de istrucciones 4 Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes presi n m xima 2 bares por encima de la presi n atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C v ase gr fico en el anexo Technical Information a humedad relativa 0 95 no condensadora Cuando existan campos
67. arkoittaa ett tuotetta EI saa h vitt tavallisen kotitalous tai teollisuusj tteen mukana vaan se on toimitettava erilliseen ker yspisteeseen Loppuk ytt j kehotetaan sen vuoksi ottamaan ker ys ja h vitt misprosessia varten yhteytt laitteen toimittajaan olipa se sitten laitteen valmistaja tai j lleenmyyj tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot N AN OY A 152 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual e Go 11 0 Felhaszn l i K zik nyv e ij M Biztons gi tmutat Turb molekul ris szivatty khoz 154 ltal nos Inform ci 155 T rol s 157 El k szit s telepit sre 158 Telepit s 160 Haszn lat 163 Karbantart s 165 Megsemmisit s 166 Az eredeti utasit s fordit sa Ka Agilent Technologies 153 260 11 Felhaszn l i K zik nyv Biztons gi tmutat Turb molekul ris szivatty khoz A turb molekul ris szivatty k ahogy a k vetkez g pk nyvben le van rva nagy mozg si energi val rendelkeznek a nagy forg si sebess g k s a rotorok fajlagos t mege miatt A rendszer hib s m k d se p ld ul a rotor ll r sz rintkez si hib ja vagy ak r a forg r sz sz tt r se eset n a forg si energia felszabadulhat VESZ LY A berendez s k rosod s nak s a kezel szem lyzet s r l s nek megel z s re az ebben a g pk nyvben adott telep t si utas t so
68. at ist f r den fachm nnischen Gebrauch bestimmt Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen unsachgem fsem Gebrauch durch ungeschultes Personal nicht autorisierten Eingriffen und Mifsachtung der nationalen einschl gigen Normen bernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung Die Pumpen der Serie Turbo V 2300 TwisTorr sind Turbomolekularpumpen f r Hoch und Ultrahoch Vakuumanwendungen und sind in der Lage viele Gasearten oder gasf rmge Zusammensetzungen zu pumpen Sie sind nicht geeignet um Fl ssigkeiten oder solide Partikel zu pumpen Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine max 33000 1 min erreicht die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird Modell Turbo V 2300 TwisTorr enth lt keinerlei umweltsch dliche Substanzen und eignet sich deshalb auch f r Anwendungen die ein sauberes Vakuum erfordern In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen f r die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Ger ts aufgef hrt Detaillierte technische Informationen sind im Anhang Technical Information enthalten Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 29 260 2 Gebrauchsanleitung In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermafsen hervorgehoben WARNUNG Die Warnhinweise lenken die Aufmerk
69. avu nebo v m nu za repasovan kus mus te list Health and Safety Zdrav a bezpe nost p ilo en k tomuto n vodu vyplnit a odeslat do kancel e m stn ho prodejn ho odd len P ed odesl n m za zen mus te k za zen p ibalit kopii tohoto listu Pokud se m za zen vy adit mus se zlikvidovat v souladu s konkr tn mi st tn mi normami Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 193 260 13 N vod k Pou it Likvidace V znam loga WEEE nach zej c ho se na t tku N e uveden symbol odpov d sm rnic m CE pojmenovan m WEEE Tento symbol platn jen pro st ty Evropsk Unie ur uje e v robek kter je takto ozna en NESM b t likvidov n spole n s ostatn mi dom c mi nebo pr myslov mi odpady ale je nutno ho p edat do pat i n ch provozn ch sb ren kde mus b t t d n a likvidov n odd len od m stsk ho odpadu U ivateli kter m n v robek likvidovat doporu ujeme aby se nakontaktoval p mo s v robcem nebo prodejcem kter se po pat i n m prov en term n a smluvn ch podm nek postar o kompletn likvidaci uveden ho v robku IX A 4 o 194 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 14 N vod na Obsluhu Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne vyvevy V eobecn inform cie 197 Uchov vanie 199 Pr prava na in tal ciu 200
70. be liable for errors or for incidental or consequential damages in connection with the furnishing use or performance of this document or of any information contained herein Should Agilent and the user have a separate written agreement with warranty terms covering the material in this document that conflict with these terms the warranty terms in the separate agreement shall control Technology Licenses The hardware and or software described in this document are furnished under a license and may be used or copied only in accordance with the terms of such license Restricted Rights Legend If software is for use in the performance of a U S Government prime contract or subcontract Software is delivered and licensed as Commercial computer software as defined in DFAR 252 227 7014 June 1995 or as a commercial item as defined in FAR 2 101 a or as Restricted computer software as defined in FAR 52 227 19 June 1987 or any eguivalent agency regulation or contract clause Use duplication or disclosure of Software is subject to Agilent Technologies standard commercial license terms and non DOD Departments and Agencies of the U S Government will receive no greater than Restricted Rights as defined in FAR 52 227 19 c 1 2 June 1987 U S Government users will receive no greater than Limited Rights as defined in FAR 52 227 14 June 1987 or DFAR 252 227 7015 b 2 November 1995 as applicable in any tec
71. bil position ved at slutte turbopumpens indlgbsflange til en fast kontraflange der t ler et moment p 40000 Nm omkring akselen Turbopumpen med OSO D indgangsflange skal fastsp ndes til vakuumkammeret med bolte der er sp ndt med et drejningsmoment svarende til 12 9 or 1200 N mm F lgende tabel angiver det ngdvendige antal metalbolte og drejningsmomentet som Agilent anbefaler Tab 1 LANGE KLEMMETYPE ANT DREJNINGS MOMENT ISO 250 F Bolt med M10 gevind 12 30 Nm Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 105 260 7 Istruktionsbog ORI Turbo V 2300 TwisTorr pumpen kan ikke fastg res ved hj lp af dens sokkel Pumpen kan kun monteres ved hj lp af dens ISO 250F flange OKB Den manglende overholdelse af installationsanvisningerne hvis der opst r en fejl p rotoren kan for rsage frakobling af pumpen fra systemet og medf re beskadigelser til udstyr og alvorlige kv stelser eller dadsfald Der henvises til bilaget Technical Information for oplysninger vedrgrende installation af ekstraudstyret 106 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Istruktionsbog 7 Anvendelse Alle instruktionerne for pumpens korrekte betjening er indeholdt i kontrolenhedens brugervejledning Lees denne vejledning omhyggeligt fgr brug I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret m indlgbsflangens temperatur ikke overstige 80 C Rotorens temperatur m aldr
72. ble Shipping Regulations IATA DOT etc and carrier requirements e Customers receiving an Advance Exchange product agree to return the defective rebuildable part to Agilent Technologies within 15 business days Failure to do so or returning a non rebuildable part crashed will result in an invoice for the non returned non rebuildable part e Returns for credit toward the purchase of new or refurbished Products are subject to prior Agilent approval and may incur a restocking fee Please reference the original purchase order number e Units returned for evaluation will be evaluated and a quote for repair will be issued If you choose to have the unit repaired the cost of the evaluation will be deducted from the final repair pricing A Purchase Order for the final repair price should be issued within 3 weeks of quotation date Units without a Purchase Order for repair will be returned to the customer and the evaluation fee will be invoiced e A Special Cleaning fee will apply to all exposed products per Section 4 of this document e If requesting a calibration service units must be functionally capable of being calibrated Pg 3 3 United States Agilent Technologies Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 1 781 861 7200 Fax 1 781 860 5437 Toll Free 1 800 882 7426 Benelux Agilent Technologies Netherlands B V Vacuum Products Division Herculesweg 8 4338 PL Middelburg The Netherl
73. da atrav s da porta espec fica deve ser inferior a 1 bar acima da press o atmosf rica Para bombear gases que contenham part culas ou poluentes daninhos para os rolamentos estas bombas est o equipadas com uma porta espec fica atrav s da qual necess rio fornecer bomba um fluxo de g s inerte Azoto ou H lio para proteger os rolamentos consultar o ap ndice Technical Information CUIDADO Jamais usar a bomba na presen a de gases ou vapores corrosivos que possam danificar os materiais no interior da bomba Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 79 260 5 Manual de Istru es Quando a bomba utilizada para bombear gases t xicos inflam veis ou radioactivos seguir os procedimentos adequados tipicos para cada g s N o usar a bomba na presenca de gases explosivos A bomba foi concebida para fornecer um elevado caudal de Azoto Argon e gases mais leves Se houver a necessidade de bombear gases mais pesados que o Argon aconselha se a entrar em contacto com a Assist ncia T cnica da Agilent para obter maiores informac es 80 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Manual de Istru es 5 Manuten o O Turbo V 2300 TwisTorr n o requer qualquer manuten o Todas as opera es devem ser efectuadas por pessoal autorizado ATEN AO Antes de executar qualquer opera o no sistema deslig lo da alimenta o introduzir ar na bomba abrind
74. de verneutstyr Vanlig eksponering i milj et kan ikke skade Turbo V 2300 TwisTorr Vi anbefaler uansett oppbevare pumpen lukket og forseglet helt til den skal installeres i systemet Dette vil hindre at systemet forurenses 130 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Instruksjon Manual 9 Klargjore til installasjon Figur 1 I esken med Turbo V 2300 TwisTorr finnes fglgende 1 Pumpe 2 Inngangsflens montert 3 Denne veiledningen p CD ROM Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 131 260 9 instruksjon Manual Installasjon NZ ETES P grunn av pumpens vekt m den flyttes med egnede l fte og flytteredskaper Bruk gyeboltene som er strammet til i de gjengete hullene p pumpehuset its ere Ikke ta av det fastskrudde dekslet for turbopumpen koples til systemet os aid Fjern beskyttelsen p koplingsstykket kun etter at turbopumpa er festet til systemet Figur 2 132 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Instruksjon Manual 9 Ikke installer eller bruk systemet i miljger som utsettes for regn sng eller is st v aggressive gasser eksplosjonsfarlige milj er eller milj er med stor brannfare Under bruk m fglgende forhold respekteres maksimalt trykk 2 bar over atmosf risk trykk temperatur fra 5 C til 35 C se diagram i tillegget Technical Information relativ
75. di alto e ultra alto vuoto capaci di pompare molti tipi di gas o di composto gassoso Non sono adatte per il pompaggio di liquidi o di particelle solide L effetto pompante ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocit 33300 giri min max mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento La Turbo V 2300 TwisTorr totalmente priva di agenti contaminanti ed guindi adatta per applicazioni che richiedono un vuoto pulito Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza del operatore durante utilizzo del apparecchiatura Informazioni dettagliate sono fornite nel appendice Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 15 260 1 Istruzioni per uso Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni ANA 411172 messaggi di avvertenza attirano l attenzione dell operatore su una procedura o una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali f r yA aa messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che se non osservate potrebbero causare danni al apparecchiatura Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo 16 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Istruzioni per uso 1 Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalit ed affidabilit delle pompe Turbomolecolari Agi
76. e de protection de l environnement Afin d viter tout probl me de d gazage ne pas toucher mains nues les l ments devant tre expos s au vide Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropri e La Turbo V 2300 TwisTorr ne peut tre endommag e par une exposition environnementale normale Toutefois il est conseill de maintenir la pompe ferm e et scell e jusqu son installation dans le syst me Ceci afin de pr venir toute contamination du syst me 46 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Mode d emploi 3 Preparation pour I installatio Figure 1 La pompe Turbo V 2300 TwisTorr comprend 1 Pompe 2 Protection d entr e mont e 3 CD Rom contenant cette notice d utilisation Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 47 260 3 Mode d emploi Installation AVERTISSEMENT A ATTENTION tant donn son poids la pompe doit tre manipul e l aide des quipements de levage et de d placement appropri s Utiliser les anneaux de levage viss s dans les orifices filet s sur le corps de la pompe Ne jamais retirer la protection boulonn e avant le branchement de la turbo pompe au syst me ATTENTION Enlever la protection des connecteurs seulement apr s avoir fix e la turbopompe au syst me 48 260 Figure 2 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Mode d empl
77. e eseguito da personale autorizzato Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall alimentazione mandare all aria la pompa aprendo apposita valvola attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 C In caso di guasto possibile usufruire del servizio di riparazione Agilent o del Agilent advanced exchange service che permette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello guasto Prima di rispedire al costruttore una pompa per riparazioni o advanced exchange service 6 indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda Sicurezza e Salute allegata al presente manuale di istruzioni Copia della stessa deve essere inserita nell imballo del sistema prima della spedizione Qualora un sistema dovesse essere rottamato procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 25 260 1 Istruzioni per uso Smaltimento Significato del logo WEEE presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata WEEE Questo simbolo valido solo per i paesi della Comunit Europea indica che il prodotto sul guale applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenz
78. e istrucciones Este manual utiliza las convenciones siguientes UM HENT Los mensajes de advertencia atraen la atenci n del operador sobre un procedimiento o una operaci n especifica que al no realizarse correctamente podria provocar graves lesiones personales ATENCI N Los mensajes de atenci n se visualizan antes de los procedimientos que de no cumplirse podr an provocar da os al aparato Las notas contienen informaci n importante extra da del texto 58 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Manual de istrucciones 4 Almacenamiento Para garantizar el nivel m ximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent deber n aplicarse las siguientes instrucciones a durante el transporte desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deber n superarse las siguientes condiciones ambientales temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante a el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez el per odo m ximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de envio al cliente ATENCI N En caso de superarse por cualquier motivo el per odo m ximo permitido de almacenamiento ser necesario devolver la bomba al fabricante Para mayores informaciones al respecto se rue
79. e la turbopompe fonctionne viter tout choc oscillation ou d placement brusque car les paliers pourraient se d t riorer Pour le refoulement de l air de la pompe utiliser de l air ou du gaz inerte exempt de poussi re ou de particules La pression d entr e travers la porte pr vue cet effet doit tre inf rieure 1 bar au del de la pression atmosph rique Pour le pompage de gaz contenant des particules ou des polluants agressifs pour les paliers ces pompes sont dot es d une porte sp ciale travers laquelle il est n cessaire de fournir la pompe un flux de gaz inerte Azote ou H lium pour prot ger les paliers voir l appendice Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 51 260 3 Mode d emploi unfall Ne jamais utiliser la pompe en pr sence de gaz ou de vapeurs corrosives pouvant endommager les composants internes de la pompe VALSSI TAN Lorsque la pompe est utilis e pour le pompage de gaz toxiques inflammables ou radioactifs suivre les proc dures typiques de chaque gaz Ne pas utiliser la pompe en pr sence de gaz explosifs La pompe est con ue pour garantir un transfert lev de l azote de argon et des gaz plus l gers En cas de pompage de gaz plus lourds que argon contacter le service technique Agilent pour informations 52 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Entretien Mode d emploi 3 Le Turbo V 2300 Twi
80. e nem li p ekra ovat n sleduj c technick podm nky prost ed a Teplotn rozp t 20 C a 70 C Rozp t vlhkosti 0 a 95 bez sr en turbomolekul rni vyv vy mus u ivatel po dod vce a poprv v dycky spou t t pozvoln a skladovatelnost turbomolekul rni vyv vy je 10 m s c ode dne doru en POZOR Pokud dojde z jak hokoli d vodu k p ekro en skladovac lh ty v v vu mus te vr tit v robci Informujte se pros m u m stn ho z stupce pro prodej a servis v v v firmy Agilent Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 185 260 13 N vod k Pou it Pr prava k instalaci Za izeni Turbo V 2300 TwisTorr se dod v ve speci ln m ochrann m obalu Pokud toto balen vykazuje zn mky po kozen k n mu mohlo doj t b hem prepravy kontaktujte va i m stn prodejn pobo ku Pri vybalov n d vejte pozor aby zarizeni nespadlo a chra te jej p ed v emi nenad l mi n razy ot esy nebo vibracemi Odejm te zakryt konektor a pot co bude turbov v va p ipevn n k syst mu Vzhledem k jej hmotnosti 55 kg pou ijte pro vyta en v v vy z obalu yt i z v sn rouby za roubovan do t lesa v v vy Balic materi l nelikvidujte nedovolen m zp sobem Tento materi l lze 100 recyklovat a spl uje po adavky sm rnice EEC 85 399 Aby se zamezilo probl m m s odply ov n m nepou vejte hol
81. ebo v menu mus te vyplni dotazn k Zdravie a bezpe nos Dotazn k pripojen k n vodu na pou itie je potrebn vyplni a odosla miestnemu predajcovi K piu dotazn ka vlo te do bal ka so syst mom a odo lite spolu s n m Ak je potrebn likvid cia syst mu mus prebehn v s lade so pecifick mi predpismi danej krajiny Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 207 260 14 N vod na Obsluhu Likvid cia Vyznam loga WEEE nach dzaj ceho sa na St tkoch Aplikovanie doluozzna en ho symbolu dodr uje smernicu E s n zvom WEEE Tento symbol platn iba pre t ty Eur pskej nie znamen e v robok s t mto t tkom NESMIE by odstr nen spolu s be n m dom cim alebo priemyseln m odpadom ale sa mus odstr ni ako delen odpad Vyz vame preto kone n ho u vate a aby sa skontaktoval s dod vate om pr stroja i u je to v robca alebo predajca za elom jeho likvid cie pod a zmluvn ch podmienok predaja NE Sl p xt 92 A 208 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 15 Priro nik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke 210 Splo ne informacije 211 Shranjevanje 213 Priprava za monta o 214 Montaza 216 Uporaba 219 Vzdrzevanje 221 Odlaganje opadkov 222 Prevod navodil v izvirniku pige Agilent Technologies 209 250 15 Priro nik za Navodi
82. effet de pompage est obtenu gr ce une turbine tournant vitesse lev e 33000 tr min maxi mue par un moteur lectrique triphas haut rendement Le Turbo V 2300 TwisTorr est totalement exempt d agents polluants et il est par cons quent indiqu pour toutes les applications exigeant un vide propre Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications n cessaires garantir la s curit de l op rateur pendant l utilisation de l appareillage Des renseignements plus d taill s se trouvent dans l appen dice Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 43 260 3 Mode d emploi Cette notice utilise les signes conventionnels suivants WE ISSUE Les messages d avertissement attirent l attention de l op rateur sur une proc dure ou une manoeuvre sp ciale qui si elle n est pas effectu e correctement risque de provoquer de graves l sions Vasile Les messages d attention apparaissent avant certaines proc dures dont le non respect pourrait endommager s rieusement l appareillage Les notes contiennent des renseignements importants extra pol s du texte 44 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Mode d emploi 3 Stockage Pour garantir les performances et la fiabilit maximales des pompes turbomol culaires Agilent il est indispensable de respecter les instructions suivantes Le transport la manutention et le stockage de
83. ejszej instrukcji obs ugi 168 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Podrecznik Instrukcji 12 Og lne informacje Ta aparatura jest przeznaczona do uzytku zawodowego Uzytkownik musi przeczyta bardzo uwaznie niniejsza instrukcje ka da dodatkowa informacje dostarczona przez firme Agilent przed uzytkowaniem aparatury Firma Agilent uchyla sie od jakiejkolwiek odpowiedzialno ci w przypadku czesciowego lub catkowitego braku przestrzegania instrukcji w przypadku niewtasciwego u ytkowania przez nieprzeszkolony personel w przypadku nieupowaznionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych Pompy serii Turbo V 2300 TwisTorr sa pompami turbomolekularnymi do zastosowa wysokiej i bardzo wysokiej pr ni maj ce mo liwo pompowania wielu rodzaj w gaz w lub mieszanki gazowej Nie mo na ich stosowa do pompowania cieczy lub cz steczek sta ych Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotow turbin o wysokiej pr dko ci max 33000 obr min nap dzan przez elektryczny silnik tr jfazowy o wysokiej wydajno ci Turbo V 2300 TwisTorr jest ca kowicie bez czynnik w zanieczyszczaj cych i dlatego te jest odpowiedni do zastosowa gdzie jest wymagana tzw czysta pr nia W nast pnych paragrafach zosta y przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpiecze stwa operatora podczas u ytkowania aparatury Szczeg owe informacje zost
84. elandena informerar operat ren om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete maste utf ras exakt enligt anvisningarna annat fall finns risk f r svara personskador taa la Detta varningsmeddelande visas framf r procedurer som m ste f ljas exakt f r att inte risk for maskinskada skall uppsta Detta visar pa viktig information i texten 114 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Bruksanvisning 8 F rvaring Respektera f ljande anvisningar f r att garantera optimal prestanda och drifts kerhet f r Agilent turbomolekyl ra pumpar Vid transport flytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras Temperaturomrade 20 C till 70 C Relativ fuktighet O till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pumparna n r de mottas och s tts i drift f r f rsta g ngen a De turbomolekyl ra pumparna kan lagras i 10 m nader fran leveransdatumet jts aa Om lagringstiden av n gon anledning r l ngre m ste pumpen skickas tillbaka till fabriken Var god och kontakta den lokala Agilent terf rs ljaren f r ytterligare information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 115 260 8 Bruksanvisning F rberedelser f r installationen OBSERVER Turbo V 2300 TwisTorr levereras i ett s rskilt skyddande emballage Kontakta det lokala f rs ljningskontoret om emballaget visar tecken
85. electromagn ticos la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas V ase el anexo Technical Information para m s detalles El Turbo V 2300 TwisTorr ha de conectarse a una bomba primaria v ase diagrama en Technical Information El Turbo V 2300 TwisTorr puede instalarse en cualquier posici n Fijar el Turbo V 2300 TwisTorr en posici n estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija que puede resistir a un par de 40000 Nm alrededor de su eje La turbo bomba con brida de entrada ISO F debe fijarse a la c mara de vac o con bulones de fijaci n de 12 9 or 1200 N mm La siguiente tabla describe el n mero de bulones de acero necesarios y el par de apriete aconsejado por Agilent Tab 1 BRIDA TIPO DE MORDAZA N PAR DE APRIETE ISO 250 F Perno con rosca M10 12 30 Nm ADVERTENCIA La Turbo V 2300 TwisTorr no puede ser fijada por medio de su ba se El sistema puede fijarse nicamente mediante su brida ISO 250F Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 63 260 4 Manual de istrucciones LUK El incumplimiento de estas instrucciones de instalaci n en el caso de que se verifique una aver a del rotor puede provocar la separaci n de la bomba de la instalaci n con da os a las cosas o da os graves o muerte de las personas Para instalar los accesorios opcionales v ase Technical Information 64 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User
86. elekt v hullad kgy jt rendszerbe kell tov bb tani A v gfelhaszn l nak a gy jt si s megsemmis t si elj r s beind t sa c lj b l az ad sv teli szerz d s hat rid inek s felt teleinek alapos ttanulm nyoz sa ut n fel kell vennie a kapcsolatot a berendez s sz ll t j val legyen ez a gy rt vagy egy viszontelad TEZY 4 L SZ N LX i 166 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Podrecznik Instrukcji Wskaz wki dotyczace bezpieczeristwa dla Pomp Turbomolekularnych 168 Og lne informacje 169 Magazynowanie 171 Przygotowanie do instalacji 172 Instalacja 174 U ytkowanie 177 Konserwacja 179 Przetworstwo odpadow 180 T umaczenie instrukcji oryginalnej pige Agilent Technologies 157 20 12 Wskaz wki dotyczace bezpieczenstwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obs ugi posiadaj wysok ilo energii kinetycznej spowodowanej bardzo wysok pr dko ci obrotow razem z mas w a ciw wirnik w W przypadku uszkodzenia systemu na przyk ad z powodu kontaktu mi dzy wirnikiem a stojanem lub z powodu p kni cia wirnika energia obrotowa mo e by zwolniona ZAGROZENIE Aby unikn uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom cia a operator w nale y obowi zkowo przestrzega zalece dotycz cych instalacji opisanych w nini
87. ens yttemperatur r l gre n 50 C Om pumpen havererar kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice som kan ers tta systemet med ett renoverat system Innan systemet l mnas in till tillverkaren f r reparation eller utbyte mot en renoverad enhet m ste h lso och s kerhetsbladet som medf ljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala terf rs ljaren Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen Skrotning av pumpen skall ske enligt g llande lagstiftning Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 123 260 8 Bruksanvisning Bortskaffning 124 260 Betydelse av logotypen WEEE p etiketterna Symbolen som visas nedan har till mpats i enlighet med CD direktivet som har betecknats som WEEE Den h r symbolen g ller endast i de l nder som tillh r den Europeiska Unionen indikerar att produkten p vilken symbolen har applicerats INTE f r skaffas bort tillsammans med vanliga hush lls eller industriavfall men att d remot ett differentierat uppsamlingssystem m ste uppr ttas Vi rekommenderar d rf r att slutanv ndaren tar kontakt med leverant ren av anordningen oberoende om det handlar om moderf retaget eller terf rs ljaren f r att kunna starta uppsamlings och bortskaffningsprocessen detta efter l mplig kontroll av kontraktsenliga tidsgr nser och f rs ljningsvillkor NY JA x ix Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual
88. es die indien niet opgevolgd schade aan apparatuur kunnen veroorzaken De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht 86 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Bedrijfshandleiding 6 Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen a tijdens transport verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 2 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum nf ie Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is moet de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 87 260 6 Bedrijfshandleiding Uitpakken OORZICHTIG De Turbo V 2300 TwisTorr wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopk
89. f en transportwerktuigen worden gehanteerd Gebruik hiervoor de speciale oogbouten die zijn vastgeschroefd in de gaten in het pomplichaam OORZICHTIG Verwijder niet de opgeboute afdekking voordat de turbopomp met het systeem wordt verbonden OORZICHTIG Verwijder de bescherming van de connectors uitsluitend nadat de turbopomp aan het systeem is bevestigd 90 260 Figuur 2 De pomp mag niet ge nstalleerd en of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden regen vorst sneeuw stof agressieve gassen of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Bedrijfshandleiding 6 Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig Zijn a max druk 2 bar boven de atmosferische druk a temperatuur van 5 C tot 35 C zie grafiek in de bijlage Technical Information a relatieve vochtigheid 0 95 niet condenserend In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden Zie de bijlage Technical Information voor meer informatie De Turbo V 2300 TwisTorr moet op een primaire pomp aangesloten zijn zie schema in Technical Information De Turbo V 2300 TwisTorr kan in alle standen worden ge nstalleerd Bevestig de Turbo V 2300 TwisTorr in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflen
90. forbindelse med anvendelse af udstyret Bilaget Technical Information indeholder detaljerede oplysninger Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 99 260 7 Istruktionsbog I brugsanvisningen anvendes fglgende standardrubrikker ASA Advarselsmeddelelserne informerer operat ren om at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udfores preecist efter anvisningerne modsat fald er der risiko for svere personskader dose Denne advarselsmeddelelse vises for procedurer der skal f lges naje for ikke at risikere maskinskader Dette g r opm rksom p vigtig information i teksten 100 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Istruktionsbog 7 Opbevaring Det er ngdvendigt at overholde fglgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekyl re pumper fra Agilent S rg for at omgivelserne opfylder f lgende betingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra 0 til 95 ikke kondenserende a Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumper ved hj lp af Soft Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for f rste gang De turbomolekyl re pumper m opbevares i 10 m neder fra forsendelsesdatoen diste e Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er l ngere er det n dvendigt at sende pumpen tilbage til f
91. formacije ki so potrebne za varnost tistega ki uporablja to opremo Podrobne informacije lahko najdete v prilogi Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 211 260 15 Priro nik za Navodila Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu SVARILO Svarilo so za to da pritegnejo pozornost uporabnika na dolo ene postopke pri katerih lahko pride do resnih po kodb e se jih ne dr i POZOR Sporo ila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do po kodbe opreme Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila 212 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Priro nik za Navodila 15 Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni u inek in zanesljivost rpalk Agilent Turbomolecular se morate dr ati naslednjih vodil a Pri po iljanju premikanju in shranjevanju rpalk ne smete prese i naslednjih specifikacij temperaturno obmo je 20 C do 70 C obmo je relativne vla nosti 0 do 95 brez kondenza Turbomolekularne rpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko ivljenjska doba turbomolekularne rpalke je 10 mesecev od datum po iljanja POZOR e zaradi kakr nega koli razloga prese ete ivljenjsko dobo je treba rpalko vrniti v tovarno Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87
92. fvalverwerking 96 260 Betekenis van het logo WEEE op de etiketten Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG richtlijn WEEE Dit symbool alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap geeft aan dat het product waarop het is aangebracht NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval maar gescheiden moet worden ingezameld De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de leverancier van het apparaat zij het de fabrikant of een wederverkoper om het proces van gescheiden inzameling en verwerking in gang te zetten na de van toepassing zijnde termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben gecontroleerd 4 PA ES o Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 7 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re turbopumper 98 Generel Information 99 Opbevaring 101 Forberedelse for installation 102 Installation 104 Anvendelse 107 Vedligeholdelse 109 Bortskaffelse 110 Overs ttelse af originalinstruktionerne ie Agilent Technologies 97 260 7 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re turbopumper De molekyl re turbopumper der er beskrevet i neerveerende brugsanvisning har en stor kinetisk energi der skyldes den hoje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke veegt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel p
93. ga contactar con el representante local de Agilent Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 59 260 4 Manual de istrucciones Preparacion para la instalacion ATENCI N El Turbo V 2300 TwisTorr se suministra en un embalaje especial de protecci n si se observan da os que podr an haberse producido durante el transporte ponerse en contacto con la oficina local de ventas Durante la operaci n de desembalaje tener cuidado de que no se caiga el Turbo V 2300 TwisTorr y de no someterlo a golpes o vibraciones Quitar la protecci n de los conectores solamente despu s de haber fijado al sistema la turbobomba Debido a su peso 55 kg para extraer la bomba del embalaje utilizar los cuatro c ncamos enroscados en el cuerpo de la bomba No abandonar el embalaje en el medio ambiente El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85 399 para la preservaci n del medio ambiente Para evitar problemas de desgasificaci n no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vac o Utilizar siempre guantes u otra protecci n adecuada La Turbo V 2300 TwisTorr no puede sufrir da os s lo por quedar expuesta a la acci n de la atm sfera No obstante se aconseja mantener la bomba cerrada y sellada hasta el momento de instalarla en el sistema a fin de prevenir la contaminaci n del mismo 60 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A M
94. h gas disposal Do not use the pump in presence of explosive gases The pump is designed to pump high throughput of Na Ar and lighter gas Should you need to pump gases heavier than Ar please contact Agilent technical support for information 234 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Instructions for Use 16 Maintenance The Turbo V 2300 TwisTorr does not require any maintenance Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel WARNING Before carrying out any work on the system disconnect it from the mains vent the pump by opening the appropriate valve wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 C In the case of breakdown contact your local Agilent service center who can supply a reconditioned system to replace that broken down Before returning the system to the constructor for repairs or replacement with a reconditioned unit the Health and Safety sheet attached to this instruction manual must be filled in and sent to the local sales office A copy of the sheet must be inserted in the system package before shipping If a system is to be scrapped it must be disposed of in accordance with the specific national standards Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 235 260 16 Instructions for Use Disposal 236 260 Meaning of the WEEE logo found in labels The follo
95. hnical data Trademarks Windows and MS Windows are U S registered trademarks of Microsoft Corporation Safety Notices A CAUTION notice denotes a hazard It calls attention to an operating procedure practice or the like that if not correctly performed or adhered to could result in damage to the product or loss of important data Do not proceed beyond a CAUTION notice until the indicated conditions are fully understood and met A WARNING notice denotes a hazard It calls attention to an operating procedure practice or the like that if not correctly performed or adhered to could result in personal injury or death Do not proceed beyond a WARNING notice until the indicated conditions are fully understood and met Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Turbo V 2300 TwisTorr Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 3 260 Turbo V 2300 TwisTorr 4 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Contents Contents 1 Istruzioni per uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 17 Preparazione per l installazione 18 Installazione 20 Uso23 Manutenzione 25 Smaltimento 26 2 Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung 31 Vor der Installation 32 Installation 34 Gebrauch 37 Wartung 39 Entsorg
96. i m e v p pad po kozen rotoru zp sobit odpojen erpadla od syst mu s n sledn mi kodami na majetku nebo ubl en m na zdrav osob i dokonce jejich usmrcen m Chcete li informace o dopl kov m p slu enstv viz Technical Information 190 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A N vod k Pou it 13 Pou it Ve ker pokyny pro spr vnou innost turbov v vy jsou uvedeny v n vodu dic jednotky P ed pou it m si pozorn p e t te tento n vod P i zah v n vakuov komory teplota p vodn p ruby nesm p ekro it 80 C Za chodu v v vy nesm teplota rotoru nikdy p es hnout 120 C 131321408 Turbovyv vu nikdy nepou vejte nebude li vstupn p ruba p ipojen k vakuov komo e B hem zah v n se turbov v vy ani jej ho p slu enstv nedot kejte Vysok teplota m e zp sobit pop leniny B hem chodu chra te v v vu p ed n razy vibracemi a prudk mi pohyby Mohly by se po kodit lo iska Pro odplyn n v v vy pou vejte vzduch nebo inertn plyn kter je zbaven prachu a sm tek Tlak p i odv tr vac m otvoru mus b t men ne 1 bary nad atmosf rick m tlakem Pro erp n plyn s obsahem stic nebo zne i uj c ch l tek agresivn ch v i lo isk m jsou tyto v v vy vybaveny speci ln m otvorem kter umo uje plynul p tok inertn ho plynu dus k nebo helium pro ochra
97. i primerne naprave za premikanje Uporabite vijake ki se nahajajo v luknjah na telesu rpalke POZOR Lepljiv in za itni pokrov ne odstranjujte dokler ne pove ete turbo rpalko na sistem POZOR Odstranite za ito spajal samo potem ko je turbo rpalka e priklju ena na sistem Slika 2 216 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Priro nik za Navodila 15 Napravo name ajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne name ajte v okolju ki je izpostavljeno na atmosferske agente de sneg led prah agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost po ara Tekom delovanja je treba spo otvati naslednje pogoje Maksimalen pritisk 2 bara nad pritiskom atmosfere Temperatura zraka od 5 C od 35 C a Relativna vla nost 0 95 brez kondenza V prisotnosti magnetnih polje mora rpalka biti za itena s feromagnetnim itom Za dodatne informacije glejte prilogo Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr morate priklju iti na primarno rpalko glej Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr lahko namestite v poljuben polo aj Turbo V 2300 TwisTorr namestite v stabilem polo aj tako da pove ete vhodno prirobnico turbo rpalke na pritrjeno tevno prirobnico ki lahko prenese navor 40000 Nm okoli svoje osi Turbo rpalka z vhodno prirobnico ISO F mora biti pritrjena na vakuumsko komoro s pomo jo sornikov trdnostnega razreda 12 9
98. ia po as prevozu pren ania a uchov vania v vev rozsah tepl t 20 C a 70 C rozsah relat vnej vlhkosti O a 95 bez kondenz cie z kazn k mus pri prvom spusten turbo v vevy v dy pou i re im soft tartu a skladovate nos turbomolekul rnej v vevy je 10 mesiacov odo d a dodania POZOR Ak z ak hoko vek d vodu vypr as skladovate nosti zariadenia vr te v vevu do z vodu v ktorom bola vyroben Inform cie z skate u miestneho zast penia spolo nosti Agilent pre predaj a servis Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 199 260 14 N vod na Obsluhu Priprava na inStal ciu Turbo V 2300 TwisTorr je dodan v peci lnom ochrannom obale Ak je balenie po koden o sa m e sta napr klad po as prepravy obr te sa na miestne zast penie spolo nosti Agilent Po as vyba ovania syst mu dbajte na to aby zariadenie nespadlo nebolo vystaven n razu alebo prudk mu otrasu alebo vibr ci m Kryty z konektorov odstr te a po pripevnen turbov vevy k s stave Vzh adom k jej hmotnosti 55 kg pou ite na vytiahnutie v vevy z obalu tyri z vesn skrutky zaskrutkovan do telesa v vevy Obalov materi l zlikvidujte predp san m sp sobom Materi l je 100 recyklovate n a sp a po iadavky smernice EEC 85 399 POZOR Ak chcete pred s probl mom s odply ovan m nechytajte komponenty ktor bud vystaven v ku
99. iata Si invita pertanto l utente finale a contattare il fornitore del dispositivo sia esso la casa madre o un rivenditore per avviare il processo di raccolta e smaltimento dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita N hav N TI Y NA N J S N OY 26 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung 31 Vor der Installation 32 Installation 34 Gebrauch 37 Wartung 39 Entsorgung 40 bersetzung der Originalanleitungen EE Agilent Technologies 27 260 2 Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verf gen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren ber eine grofse Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch k nnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden WARNUNG Um Sch den am Ger t zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise 28 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Gebrauchsanleitung 2 Allgemeine Informationen Dieser Appar
100. ic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation The result is increased electrical power consumption by the motor most of which is dissipated in the rotor Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radia tion and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool This effect is strongly dependant from the intensity time function and distribution of the magnetic field In general therefore an increase in pump current can be expected If this increase is lower than 50 of the current value drawn by the motor in high vacuum operation no particular problem should be expected However if the effect is greater than the case should be carefully reviewed by Agilent s special ist As a matter of fact in case of high magnetic fields also important forces might be generated and applied to the rotor Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Technical Information 17 Orderable Parts Tab 3 Orderable parts Description Part number Turbo V 2300 TwisTorr ISO 250 F 969 6000 n nn re nn m a e Centering ISO 250 969 9144 RO ce i set ORO de a K AOK RA OR O ZRRRENENKENOBB i Water cooling kit for 3 8 in ID flexible tube metallic model mp three phase motor Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 253 260 17 Technical Inf
101. iegt ausgef llt an die rtliche Verkaufsstelle zu senden Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschl gigen nationalen Vorschriften zu erfolgen Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 39 260 2 Gebrauchsanleitung Entsorgung 40 260 Bedeutung des WEEE Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in bereinstimmung mit der EU Richtlinie WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment angebracht Dieses Symbol nur in den EU L ndern g ltig zeigt an dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsm ll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugef hrt werden muss Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Ger ts d h die Muttergesellschaft oder den Wiederverk ufer kontaktieren um den Entsorgungsprozess zu starten nachdem er die Verkaufsbedingungen gepr ft hat b EN ES X b Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 3 Mode d emploi Normes de s curit pour Pompe Turbomol culaires 42 Indications generales 43 Stockage 45 Preparation pour l installation 46 Installation 48 Utilisation 51 Entretien 53 Mise au rebut 54 Traduction de la mode d emploi originale De Agilent Technologies 41 260 3 Mode d emploi Normes de s curit pour Pompe Turbomol culaires Les pompes Turbomol culai
102. ig overskride 120 C i forbindelse med brug af pumpen Pumpen m aldrig aktiveres hvis indlobsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret eller hvis pumpen ikke er lukket ved hjeelp af lukkeflangen Ror aldrig turbopumpen eller dens tilbehor i forbindelse med opvarmningsprocedurerne Den hoje temperatur kan resultere i skade p personer diere Undg sammenst d vibrationer eller bratte bev gelser i forbindelse med brug af turbopumpen Der er risiko for beskadigelse af lejerne Pumpen skal forsynes med luft eller delgasser der ikke indeholder stgv eller faste partikler Indgangstrykket ved den specielle d r skal v re mindre end 1 bar over atmosf risk tryk forbindelse med pumpning af gasser der indeholder partikler og andre aggressive foruredningsmidler der skader lejerne er disse pumper udstyret med en d r igennem hvilken det er n dvendigt at forsyne pumpen med delgasser kv lstof eller helium for at beskytte lejerne se bilaget Technical Information ee Pumpen m aldrig bruges hvis der er gasser eller tsende dampe der kan beskadige pumpens indvendige dele Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 107 260 7 Istruktionsbog MAGISTER N r pumpen anvendes til toksiske brandfarlige eller radioaktive gasser f lges fremgangsm den for den enkelte gastype Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser Pumpen er projekteret til at sikre en h j pumpekapacitet for kv lst
103. ii prosimy skontaktowa sie z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 171 260 12 Przygotowanie do instalacji System Turbo V 2300 TwisTorr jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu w przypadku lad w uszkodze do kt rych mog oby doj podczas transportu nale y skontaktowa si z miejscowym biurem sprzeda y Podczas operacji rozpakowywania nale y zwr ci szczeg ln uwag aby nie spowodowa upadku systemu Turbo V 2300 TwisTorr ani nie poddawa go uderzeniom lub wibracjom Zdj obudow konektor w tylko wtedy gdy turbopompa zosta a przymocowana do systemu Do wyj cia pompy z opakowania bior c pod uwag jej cie ar 55 kg nale y wykorzysta cztery ucha przykr cone do korpusu pompy Nie porzuca opakowania w rodowisku Materia ten nadaje si ca kowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektyw UE 855 399 dotycz cej ochrony rodowiska UWAGA Aby unikna problem w odgazowywania nalezy nie dotyka gotymi rekoma cz ci przeznaczonych do pr ni Nale y zawsze stosowa odpowiednie r kawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie Turbo V 2300 TwisTorr nie mo e by uszkodzony poprzez wystawienie go na dzia anie atmosfery Zaleca si aby pompa do momentu jej instalacji na systemie pozosta a dobrze zamkni ta Jest to w celu zabezpieczenia przed zanieczyszczeniem systemu 172 260 Turbo V 2300 TwisTor
104. ion f ggel k UWAGA A szivatty t soha ne haszn ljuk olyan korrod l g z vagy g z jelenl t ben haszn lni amely karosithatja a szivatty belsej ben l v anyagokat Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 177 260 12 ZAGROZENIE Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gaz w toksycznych tatwo palnych lub radioaktywnych nale y wykona odpowiednie procedury typowe dla ka dego z gaz w Nie stosowa pompy w obecno ci gaz w wybuchowych Pompa jest zaprojektowana aby posiadata wysoki przeptyw Azotu Argonu i innych lzejszych gaz w W przypadku kiedy zaistnieje potrzeba pompowania cie szych gaz w od Argonu w celu informacii nale y skontaktowa sie z Serwisem Technicznym firmy Agilent 178 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Podrecznik Instrukcji 12 Konserwacja Zesp t Turbo V 2300 TwisTorr nie wymaga adnej konserwacji Jakakolwiek interwencja musi by wykonana przez upowa niony personel Przed przystapieniem do jakiejkolwiek interwencji w systemie nalezy odlaczyc go od zrodla zasilania otworzyc odpowiedni zawor pompy odczekac az wirnik sie zatrzyma calkowicie i temperatura powierzchni obudowy pompy obnizy sie ponizej 50 C W przypadku usterki mo liwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego Agilent lub Agilent advanced exchange service kt ry pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu w zast pstwie uszkodzonego sy
105. k szit s telep acre esre bra 1 A Turbo V 2300 TwisTorr csomag a k vetkez ket tartalmazza 1 szivatty 2 bemeneti sz r felszerelve 3 a k zik nyv CD ROM on Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 159 260 11 Felhaszn l i K zik nyv Telep t s VESZ LY S lya miatt a szivatty t alkalmas mozgat s kezel eszk z kkel kell kezelni Haszn lja az alkalmas kezel k szletb l val a szivatty t rzs ben l v lyukakba csavart szemcsavarokat FIGYELEM Ne tavolitsa el a csavarozott kupakot a turb szivatty nak a rendszerhez valo csatlakoztat sa el tt FIGYELEM Csak azut n vegye le a csatlakoz k v d burkolat t ha a turb szivatty m r r gz tve van a rendszerhez AA ON bra 2 160 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Felhaszn l i K zik nyv 11 Ne telep tse valamint ne haszn lja a szivatty t atmoszf rikus k zegeknek kitett k rnyezetben es h j g porban agressz v g zokban illetve robban vagy t zvesz lyes k rnyezetben zemeltet s k zben a k vetkez k rnyezeti felt teleket kell biztos tani maxim lis nyom s 2 bar a l gk ri nyom s felett a leveg h m rs klete 5 C t l 35 C ig a relativ p ratartalom 0 95 nem kondenz l M gneses mez k jelenl t ben a szivatty t v deni kell ferrom gneses pajzs seg ts g vel R szle
106. kat szigor an be kell tartani 154 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Felhaszn l i K zik nyv 11 Altal nos Informacio A berendez st professzion lis felhaszn l k sz m ra tervezt k A felhaszn l nak a berendez s m k dtet se el tt el kell olvasnia ezt a g pk nyvet s a Agilent ltal biztos tott b rmely inform ci t A Agilent nem vonhat felel ss gre olyan esem nyek rt amelyek az ezen utas t soknak val ak r r szbeni meg nem felel s szakk pzetlen szem lyek ltali nem megfelel haszn lat a berendez sbe val jogosulatlan beavatkoz s vagy a konk r t nemzeti szabv nyokkal ellent tes b rmely m velet miatt t rt ntek A Turbo V 2300 TwisTorr sorozat szivatty i olyan magas vagy ultramagas v kuumalkalmaz shoz val turbomolekul ris szivatty k amelyek k pesek sok g zt pust vagy vagy g zszer osszetetelt szivatty zni Nem alkalmasak a szil rd vgy szil rd r szecsk s anyagok szivatty z s ra A szivatty z si m veletet egy nagyteljes tm ny 3 f zis elektromos motorral hajtott nagysebess g turbina max 33000 fordulat perc biztos tja A Turbo V 2300 TwisTorr szivatty szennyez anyagokt l mentes s ez rt alkalmas tiszta v kuumot ig nyl alkalmaz sokra A k vetkez bekezd sek a berendez st haszn l kezel biztons g nak garant l s hoz sz ks ges sszes inform ci t tartalmazz k R szletes inform ci t tal l a
107. la Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke Turbomolekularne rpalke opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko koli ino kineti ne energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifi nimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorja statorja ali po kodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija SVARILO Da bi se izognili po kodbam opreme in prepre ili po kodbe osebja morate natan no slediti navodilom za name anje iz tega priro nika 210 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Priro nik za Navodila 15 Splo ne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije ki mu jih je posredoval Agilent Agilent ni odgovoren za dogodke ki bi nastali zaradi neupo tevanja teh navodil nepravilne uporabe in nepoobla enega poseganja v opremo ali kakr nega koli dejanja ki niso v skladu s standardi Crpalke serije Turbo V 2300 TwisTorr so turbomolekularne rpalke za visoki in ultra visoki vakuum ki lahko rpajo Stevilne vrste plinov ali plinastih zmesi Niso primerne za rpanje teko in in trdnih delcev Crpanje se izvaja preko hitre turbine maks 33000 rpm ki jo vodi visoko ucinkovit 3 fazni elektri ni motor Turbo V 2800 TwisTorr ne vsebuje onesna evalnih agentov in je primeren za isto vakuumiranje Naslednji odstavki vsebujejo in
108. lent devono essere osservate le seguenti prescrizioni durante il trasporto lo spostamento e l immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali temperatura da 20 C a 70 C umidita relativa da 0 a 95 non condensante a il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare di 10 mesi dalla data di spedizione Vera 0 Se per qualsiasi ragione il tempo di immagazzinamento superiore occorre reinviare la pompa in fabbrica Per ogni informazione si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 17 260 1 Istruzioni per uso Preparazione per l installazione ATTENZIONE La Turbo V 2300 TwisTorr viene fornita in un imballo protettivo speciale se si presentano segni di danni che potrebbero essersi verificati durante il trasporto contattare l ufficio vendite locale Durante l operazione di disimballaggio prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo V 2300 TwisTorr e a non sottoporla ad urti o vibrazioni Rimuovere la protezione dei connettori solo dopo che la turbopompa stata fissata al sistema A causa del suo peso 55 kg per estrarre la pompa dall imballo utilizzare i quattro golfari avvitati sul corpo pompa Non disperdere i
109. likace vysok ho a ultra vysok ho vakua schopn erpat mnoh druhy plyn nebo plynn ch slou enin Nejsou vhodn pro erp n kapalin nebo pevn ch stic erp n zaji uje velmi rychl turb na max 33000 ot min poh n n vysoce v konn m trojf zov m elektromotorem Zafizeni Turbo V 2300 TwisTorr neobsahuje dn kontaminujici l tky a proto se hod pro aplikace vyzadujici ist vakuum N sleduj c odstavce obsahuj informace pot ebn k zaji t n bezpe nosti obsluhy p i pou v n tohoto za zen Podrobn informace jsou uvedeny v p loze Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 183 260 13 N vodk Pou it Tento manu l pou v n sledujici standardn protokol 313241818 Nebezpe hl en jsou ur ena pro upozorn n obsluhy na ur it postup nebo innosti kter by v pripad nedodr en mohly zp sobit v n raz POZOR Pozor hl en jsou uvedena pred postupy kter by v pripad nedodr en mohly po kodit za izeni Pozn mky obsahuj d le it informace prevzat z textu 184 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A N vod k Pou it 13 Uskladn ni Aby byla zajist na maxim ln provozuschopnost a spolehlivost turbomolekul rn ch v v v firmy Agilent mus te dodr ovat n sleduj c pokyny P i p eprav p em s ov n a skladov n v v v byst
110. llationsinstruktionerna som beskrivs i den h r bruksanvisningen f ljas noga 112 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Bruksanvisning 8 Allm n Information Utrustningen r avsedd f r yrkesm ssig anv ndning Anv ndaren b r l sa denna bruksanvisning samt vrig dokumentation fr n Agilent f re anv ndning av utrustningen Agilent tar inget ansvar f r skador helt eller delvis till f ljd av sidos ttande av instruktionerna ol mplig anv ndning av person utan tillr cklig kunskap obeh rigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot g llande lokala foreskrifter Pumparna i serien Turbo V 2300 TwisTorr r turbomolekyl ra pumpar f r h gvakuum och ultrah gvakuum som kan pumpa m nga olika gaser eller gasf reningar De passar inte f r en pumpning av v tskor eller fasta partiklar Pumpningen stadkoms med hj lp av en h gvarvig turbin max 33000 varv minut som drivs av en trefas h geffektsmotor Inga tillsats mnen anv nds i Turbo V 2300 TwisTorr som d rf r passar f r till mpningar som kr ver ett rent vakuum De f ljande avsnitten inneh ller all information som beh vs f r att garantera operat rens s kerhet under anv ndningen Detaljerade uppgifter finns i bilagan Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 113 260 8 Bruksanvisning I bruksanvisningen anv nds f ljande standardrubriker VARNING Varningsmedd
111. llazione 20 Uso 23 Manutenzione 25 Smaltimento 26 Traduzione delle istruzioni originali a Agilent Technologies 13 250 1 Istruzioni per uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantit di energia cinetica dovuta alla alta velocit di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore l energia di rotazione potrebbe essere rilasciata NAUEN Per evitare danni al apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale 14 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Istruzioni per l uso 1 Informazioni Generali Questa apparecchiatura destinata ad uso professionale L utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell utilizzo dell apparecchiatura La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilit dovute all inosservanza totale o parziale delle istruzioni ad uso improprio da parte di personale non addestrato ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche Le pompe della serie Turbo V 2300 TwisTorr sono pompe turbomolecolare per applicazioni
112. mballo nel ambiente Il materiale completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85 399 per la tutela dell ambiente Onde evitare problemi di degasamento non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata La Turbo V 2300 TwisTorr non pu essere danneggiata rima nendo semplicemente esposta all atmosfera Si consiglia comunque di mantenere la pompa chiusa e sigillata fino al momento dell installazione sul sistema Questo per prevenire la contaminazione del sistema 18 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Istruzioni per l uso 1 Preparazione per l installazione Figura 1 Nell imballo della Turbo V 2300 TwisTorr sono compresi 1 pompa 2 inlet screen montato 3 questo manuale su CD ROM Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 19 260 1 Istruzioni per uso Installazione VVERTENZA La pompa a causa del suo peso deve essere maneggiata tramite appositi attrezzi di sollevamento e spostamento All uopo utilizzare gli appositi golfari avvitati nei fori filettati praticati sul corpo pompa ATTENZIONE Non rimuovere la copertura imbullonata prima del collegamento della turbopompa al sistema N ATTENZIONE Rimuovere la protezione dei connettori solo dopo che la turbopompa stata fissata al sistema 20 260 Figura 2 Non ins
113. milj er Pumpen er utviklet for pumpe store mengder med nitrogen argon og lettere gasser Hvis det er n dvendig pumpe gasser som er tyngre enn argon vennligst kontakt Agilen s tekniske service for informasjon 136 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Instruksjon Manual 9 Vedlikehold Turbo V 2300 TwisTorr er vedlikeholdsfritt Alt arbeid p systemet m kun utfgres av autorisert personell OKA For noe arbeid gj res p systemet m det frakoples tilf rselen pumpen m luftes ved pne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 C Dersom systemet stanser m du ta kontakt med Agilents reparasjonservice eller med Agilents avanserte bytteservice som kan tilby overhalte system til erstatning for det delagte systemet F r systemet returneres til produsenten for reparasjon eller som innbytte for et overhalt system m det vedlagte skjemaet Helse og sikkerhet fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret En kopi av dette arket m vedlegges systemet som sendes tilbake Dersom et system skal kasseres m dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 137 260 9 instruksjon Manual Eliminering Betydelsen av symbolet p logo WEEE p etikettene Symbolet nedenunder som finnes er anvendt i henhold til EC direktiv kalt WEEE Det
114. n damn eller andra partiklar Ing ngstrycket mot r tt d rr m steunderstiga 1 bar ut ver det atmosf riska trycket F r pumpning av gaser som inneh ller partiklar eller f roreningar som r aggressiva f r lagren r dessa pumpar f rsedda med en speciell ppning igenom vilken man ska leda en str m av delgas Kv ve eller Helium f r att skydda lagren se bilagan Technical Information MATIN Anv nd aldrig pumpen om det finns fr tande gaser eller ngor som kan skada pumpens inv ndiga material Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 121 260 8 Bruksanvisning VARNING D pumpen anv nds f r pumpning av giftiga l ttant ndliga eller radioaktiva gaser b r man f lja de s rskilda anvisningarna f r varje enskild gas Anv nd ej pumpen i n rheten av explosiva gaser Pumpen r konstruerad f r att pumpa stora m ngder kv ve argon och l ttare gaser Om du skulle beh va pumpa gaser som r tyngre n argon kontakta Agilents tekniska service f r information 122 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Bruksanvisning 8 Underh ll Turbo V 2300 TwisTorr r underh llsfritt Allt servicearbete m ste utf ras av auktoriserad personal VARNING Innan n got arbete utf rs p systemet m ste pumpens str mf rs rjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen ppnas V nta sedan tills rotorn stannat samt tills pump
115. ng liquids or solid particles The pumping action is obtained through a high speed turbine max 33000 rpm driven by a high performance 3 phase electric motor The Turbo V 2300 TwisTorr is free of contaminating agents and therefore is suitable for applications requiring a clean vacuum The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment Detailed information is supplied in the appendix Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 225 260 16 Instructions for Use This manual uses the following standard protocol WARNING The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which if not followed correctly could lead to serious injury BANAN The caution messages are displayed before procedures which if not followed could cause damage to the equipment The notes contain important information taken from the text 226 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Instructions for Use 16 Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps the following guidelines must be followed when shipping moving and storing pumps the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range 0 to 9
116. ntative for onward transmission to the same address CUSTOMER REQUEST FOR CORRECTIVE PREVENTIVE IMPROVEMENT ACTION TO AGILENT VACUUM PRODUCTS DIVISION TORINO QUALITY ASSURANCE FAX N XXXX 011 9979350 ADDRESS AGILENT TECHNOLOGIES ITALIA S p A Vacuum Products Division Via F Ili Varian 54 10040 Lein TO Italy E MAIL vpd qualityassurance_pdl ext agilent com COMPANY FUNCTION ADDRESS TEL N E MAIL PROBLEM SUGGESTION REFERENCE INFORMATION model n serial n ordering information time to failure after installation etc CORRECTIVE ACTION PLAN ACTUATION by AGILENT VPD XXX Code for dialing Italy from your country es 01139 from USA 00139 from Japan etc I Agilent Technologies Agilent Technologies Vacuum Products Division Instructions for returning products Dear Customer Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned 1 2 3 4 5 6 7 Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies see below taking particular care to identify all products that have pumped or been exposed to any toxic or hazardous materials After evaluating the information Agilent Technologies will provide you with a Return Authorization RA number via email or fax as reguested Note Depending on the type of return a Purchase Order may be reguired at the time the Reguest for Return is submi
117. nte manual de instrucciones Una copia de la misma se deber introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo En caso de que el sistema se tenga que desguazar eliminarlo respetando las normas nacionales espec ficas Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 67 260 4 Manual de istrucciones Eliminaci n 68 260 Significado del logotipo WEEE presente en las etiguetas El simbolo que se indica a continuaci n es aplicado en observancia de la directiva CE denominada WEEE Este s mbolo v lido s lo para los pa ses miembros de la Comunidad Europea indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean stos dom sticos o industriales y que por el contrario deber ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada Por lo tanto se invita al usuario final a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo tanto si ste es la casa fabricante o un distribuidor para poder proveer a la recogida y eliminaci n del producto despu s de haber efectuado una verificaci n de los t rminos y condiciones contractuales de venta Nuez T S lt EN be Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual Manual de Istru es Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares 70 Informa es gerais 71 Armazenagem 73 Prepara o para a instala o 74 Instala
118. nu lo isek v v vy viz Technical Information POZOR Nikdy nepou vejte v v vu v p tomnosti korozivn ch plyn nebo v par kter by mohly po kodit materi ly pou it uvnit v v vy Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 191 260 13 N vod k Pou it Pokud pouzivate vyv vu pro erp ni toxick ch ho lav ch nebo radioaktivnich plyn dodr ujte pros m po adovan postupy pro likvidaci ka d ho plynu Vyv vu nepou vejte v p tomnosti v bu n ch plyn Vyv va je ur ena pro vysoce v konn od erp v n Na Ar a leh ho plynu Pokud byste pot ebovali od erp vat plyny t ne Ar kontaktujte technickou podporu firmy Agilent a dejte informace 192 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A dr ba N vod k Pou it 13 Za izeni Turbo V 2300 TwisTorr nevy aduje dnou dr bu Ve ker pr ce na tomto zafizeni mus prov d t opr vn n osoby NEBEZPE Ne za nete provadet jak koli pr ce na tomto za izeni odpojte jej od site odvzdu n te v v vu otev en m p slu n ho ventilu po kejte a se rotor p estane ot et a po kejte dokud povrchov teplota v v vy neklesne pod 50 C V p pad poruchy kontaktujte m stn servisn st edisko firmy Agilent kter m e dodat n hradn repasovan za zen v m nou za porouchan P ed odesl n m v v vy v robci na opr
119. o a v lvula espec fica aguardar at a completa paragem do rotor e at que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 C Em caso de defeito possivel usufruir do servi o de assist ncia Agilent ou do Agilent advanced exchange service que permite obter um sistema regenerado que substitua a bomba com defeito Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as repara es ou o advanced exchange service indispens vel preencher e enviar ao escrit rio de vendas local a ficha Seguranca e Sa de anexa ao presente manual de instruc es A c pia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedi o Caso uma bomba deva ser destru da proceder sua elimina o respeitando as normas nacionais espec ficas Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 81 260 5 Manual de Istru es Eliminac o Significado do log tipo WEEE presente nos r tulos O s mbolo abaixo indicado aplicado de acordo com a directiva CE denominada WEEE Este s mbolo v lido apenas para os pa ses da Comunidade Europeia indica que o produto no qual est aplicado N O deve ser eliminado juntamente com os res duos dom sticos ou industriais comuns mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada Portanto convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo seja este o fabricante ou um revendedor para encaminhar o processo de recolha e elimina o ap s a
120. o de inc ndio Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Manual de Istru es 5 Durante o funcionamento necess rio que sejam respeitadas as seguintes condi es ambientais press o m xima 2 bar al m da press o atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C consultar a planilha no ap ndice Technical Information a humidade relativa 0 95 n o condensante Na presen a de campos electromagn ticos a bomba deve ser protegida atrav s de blindagens adequadas Para ulteriores detalhes consultar o ap ndice Technical Information O Turbo V 2300 TwisTorr deve ser ligado a uma bomba prim ria consultar esquema em Technical Information O Turbo V 2300 TwisTorr pode ser instalado em qualquer posi o Fixar o Turbo V 2300 TwisTorr em posi o est vel ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra flange fixo capaz de resistir a um torque de 40000 Nm ao redor do pr prio eixo A turbobomba com flange de entrada ISO F deve ser fixada na c mara de v cuo por meio de parafusos com um tipo de fixa o de 12 9 or 1200 N mm A tabela seguinte descreve o n mero de parafusos de a o necess rios e o torque de aperto a aplicar recomendado por Agilent Tab 1 FLANGE TIPO DE BORNE N TOROUE DE APERTO ISO 250 F Parafuso com rosca M10 12 30 Nm NAS A Turbo V 2300 TwisTorr n o pode ser fixada por meio da sua base O sistema pode ser segurado s por interm dio da
121. of argon og lettere gasarter Kontakt Agilents tekniske servicecenter vedr rende yderligere oplysninger hvis det er n dvendigt at pumpe gasarter som er tungere end argon 108 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Istruktionsbog 7 Vedligeholdelse Turbo V 2300 TwisTorr behgver ikke nogen vedligeholdelse Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale ONIN KIN Inden der foretages noget som helst indgreb p systemet skal str mmen f rst afbrydes og luften i pumpen skal fjernes ved at bne ventilen Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset og til temperaturen p pumpens overflade er under 50 C I tilf lde af skader p systemet kontaktes et Agilent reparationsv rksted eller Agilent advanced exchange service der udskifter systemet med et repareret system Inden systemet sendes til reparationsv rkstedet eller Agilent advanced axchange service skal Sikkerheds og tilstandsdokumentet der er vedlagt denne instruktionsmanual udfyldes En kopi af dette dokument skal indsettes i systemets emballage inden afsendelse Skrotning af systemet skal foreg i overensstemmelse med det p g ldende lands s rlige love Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 109 260 7 Istruktionsbog Bortskaffelse 110 260 Betydningen af WEEE logoet p m rkaterne Nedenst ende symbol anvendes i overensstemmelse med det s kaldte E
122. oi 3 Ne pas installer et ou utiliser la pompe dans des milieux expos s aux agents atmosph riques pluie gel neige la poussi re aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou fort risque d incendie Pendant le fonctionnement il est n cessaire de respecter les conditions environnementales suivantes pression maxi 2 bar au del de la pression atmosph rique temp rature de 5 C 35 C Cf graphique dans Technical Information humidit relative 0 95 non condensante En pr sence de champs magn tiques la pompe doit tre prot g e l aide d crans appropri s Pour tout autre renseignement se reporter l opuscule Technical Information Le Turbo V 2300 TwisTorr doit tre connect une pompe primaire Cf sch ma dans Technical Information Le Turbo V 2300 TwisTorr peut tre install e dans n importe quelle position Le fixer dans une position stable en reliant la bride d entr e de la turbopompe une contre bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 40000 Nm autour de son axe La turbopompe bride d entr e ISO F doit tre fix e la chambre vide par des boulons d une classe de fixation de 12 9 or 1200 N mm Le tableau ci dessous indique le nombre de boulons en acier n cessaires et le couple de serrage pr conis par Agilent Tab 1 BRIDE TYPE DE COLLIER N COUPLE DE SERRAGE ISO 250 F Boulon filet M10 12 30 Nm Turbo V 230
123. on 230 Use 233 Maintenance 235 Disposal 236 Original Instructions E Agilent Technologies 223 260 16 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released WARNING To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed 224 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Instructions for Use 16 General Information This equipment is destined for use by professionals The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non compliance even partial with these instructions improper use by untrained persons non authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards The Turbo V 2300 TwisTorr series molecular turbopumps are suitable for high and ultra high vacuum and pumping various types of gases and gaseous compounds They are not suitable for pumpi
124. oportuna verifica o dos termos e condi es do contrato de venda N ana NTT 4 NA N J S N OY 82 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 6 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie 85 Opslag 87 Uitpakken 88 Installatie 90 Gebruik 93 Onderhoud 95 Afvalverwerking 96 Vertaling van de originele instructies ste Agilent Technologies 33 250 6 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt kan de rotatie energie vrijkomen N TS e TIN Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen moeten de installatie instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd 84 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Bedrijfshandleiding 6 Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen Agilent acht zich niet a
125. ormace 183 Uskladn n 185 P prava k instalaci 186 Instalace 188 Pou it 191 dr ba 193 Likvidace 194 Preklad origin ln ho n vodu pige Agilent Technologies 181 260 13 N vod k Pou it Bezpe nostn n vod pro Turbomolekul rn v v vy Turbomolekul rn v v vy jak jsou popisov ny v n sleduj c m n vodu obsahuj velk mno stv kinetick energie d ky vysok ot iv rychlosti v kombinaci s konkr tn m objemem jejich rotor V p pad syst mov nefunk nosti nap kontaktu rotoru anebo statoru nebo p i zhroucen rotoru m e doj t k uvoln n rota n energie NA 174234180 Pokyny k instalaci uveden v tomto n vodu musi b t p sn dodr ov ny za elem prevence po kozen za zen a zran n obsluhy 182 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A N vod k Pou it 13 V eobecn informace Toto zafizeni je ur eno pro odborn ky U ivatel by si m l pred pou it m zarizen precist tento n vod a v echny dal informace dodan firmou Agilent Firma Agilent neodpov d za jak koli nehody kter vzniknou n sledkem i ste n ho nedodr en t chto pokyn nespr vn m pou v n m neznal mi osobami neopr vn n m z sahem do zafizeni nebo jakoukoli innost kter je v rozporu s pokyny uveden mi v pr slu n ch st tn ch norm ch V v vy ady Turbo V 2300 TwisTorr jsou turbomolekul rn vyv vy pro ap
126. ormation Orderable Parts 254 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Agilent Technologies Vacuum Products Division Dear Customer Thank you for purchasing an Agilent vacuum product At Agilent Vacuum Products Division we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and or service you have purchased As part of our Continuous Improvement effort we ask that you report to us any problem you may have had with the purchase or operation of our products On the back side you find a Corrective Action request form that you may fill out in the first part and return to us This form is intended to supplement normal lines of communications and to resolve problems that existing systems are not addressing in an adequate or timely manner Upon receipt of your Corrective Action Request we will determine the Root Cause of the problem and take the necessary actions to eliminate it You will be contacted by one of our employees who will review the problem with you and update you with the second part of the same form on our actions Your business is very important to us Please take the time and let us know how we can improve Sincerely Giampaolo LEVI Vice President and General Manager Agilent Vacuum Products Division Note Fax or mail the Customer Request for Action see backside page to Agilent Vacuum Products Division Torino Quality Assurance or to your nearest Agilent represe
127. owards the forevacuum line This will keep the pressure in the bearings area higher than in the foreline and will prevent pollution or powder from flowing back mainly into the bearings area CAUTION Disrespect of these simple basic rules may cause seriously damage the pump bearings and void pump warranty How to Purge the Turbo V 2300 TwisTorr Pump To supply the inert purge gas e g nitrogen to the pump through the purge port connect a gas purge line to the pump The purging device automatically provides about 20 scem when fed with 1 bar 14 psi absolute atmospheric pressure CAUTION To prevent bearing damage Agilent suggests a minimum purge gas flow rate of 20 sccm 0 33 mbar l s This value can be exceeded according to the process reguirements Please contact Agilent for specific applications Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 247 260 17 Technical Information How to Vent the Turbo V 2300 TwisTorr Pump The recommended procedure to vent the system is described in the following points 1 2 Close the process gases flowing into the system Leaving the Turbo V 2300 TwisTorr pump and the backing pump running and the purge gas flowing wait for enough time to evacuate the process gases from the system e g to reach the typical basic process pressure Then close the gate valve connecting the Turbo pump to the chamber if present and the valve connecting the Turbo pump to the ro
128. pene m ikke f lgende milj forhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra O til 95 uten kondensering Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og startes opp f rste gang a Lagringstiden for en turbomolekyl r pumpe er 10 m neder fra sendedato 10131 ei el Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger m pumpen returneres til fabrikken Vennligst kontakt den lokale Agilent forhandleren for informasjon Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 129 260 9 instruksjon Manual Klargjore til installasjon FORSIKTIG Turbo V 2300 TwisTorr leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje Viser denne tegn p skader som kan ha oppst tt under transporten m du ta kontakt med det lokale salgskontoret N r Turbo V 2300 TwisTorr pakkes ut m du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for stgt Fjern beskyttelsen p koplingsstykket kun etter at turbopumpa er festet til systemet Grunnet dens vekt 55 kg skal de fire gyeboltenesome r skrudd p pumpehuset brukes for trekke ut pumpen ut av innpakningen Emballasjen m ikke kastes p en ulovlig m te Alle materialer er 100 resirkulerbare og er i samsvar med EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse For unng avgassingsproblemer m ingen del som skal utsettes for vakuum h ndteres med bare hendene Bruk alltid hansker eller andre og passen
129. ps User Manual 87 901 017 01 A Ohjek sikirja 10 Yleisi tietoja T m laite on tarkoitettu ammattimaiseen k ytt n Ennen laitteen k ytt nottoa tulee k ytt j n lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lis tiedot Agilent ei ota vastuuta seurauksista jotka johtuvat laitteen k ytt ohjeiden t ydellisest tai osittaisesta laiminly nnist ammattitaidottoman henkil n virheellisest laitteen k yt st valtuuttamattomista toimenpiteist tai kansallisen lains d nn n vastaisesta k yt st Turbo V 2300 TwisTorr sarjan pumput ovat turbomolekyylipumppuja jotka soveltuvat korkeaa ja eritt in korkeaa tyhji t vaativiin k ytt tarkoituksiin Ne pumppaavat useita kaasutyyppej tai yhdisteit Ne eiv t sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella 33000 kierrosta min max py riv n turbiinin avulla jota k ytt korkeatehoinen kolmivaiheinen s hk moottori Turbo V 2300 TwisTorr j rjestelm ss ei ole lainkaan likaavia aineita joten se soveltuu my s puhdasta tyhji t vaativiin k ytt tarpeisiin Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen k ytt j n turvallisuuden takaamiseksi laitteen k yt n aikana Yksityiskohtaiset tiedot l ytyv t osasta Technical Information Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 141 260 10 Ohjek sikirja T m k sikirja k ytt
130. r Cooling Connection The pumping system is supplied with a metallic model water cooling kit I 1 Ne NO d R KR A A ai N Tao 2500 a a o A vacuum TROMAOGE E Figure 11 Two 9 10 mm internal diameter rubber or plastic tubes from the water supply must be fitted to the two dedicated nozzles These tubes must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid that the tube s gets loose or disconnected during operation Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or us ing a closed circuit cooling system The water temperature must be between 15 C and 30 C with an inlet pressure between 3 and 5 bar The customer can alternatively order the 90 bend water cooling kit plastic model 969 9348 or me tallic model 969 9338 The water electrical conductance must be lt 500 us cm When the conductance is higher in closed water circuit the use of up to 20 of Ethyl Glycole is suggested 246 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Technical Information 17 Pump Purging and Venting The Turbo V 2300 TwisTorr is equipped with an integrated purging and venting valve device Both valves are fed through a single gas port with 1 8 NPT thread or Swagelok connector Pump used with Corrosive Gases To prevent damage to the bearings an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing t
131. r Manual 87 901 017 01 A 65 260 4 Manual de istrucciones Cuando la bomba se utiliza para bombear gases t xicos inflamables o radioactivos seguir los procedimientos apropiados tipicos de cada gas No usar la bomba cuando haya gases explosivos La bomba ha sido proyectada para una elevada transferencia de nitr geno arg n y gases m s ligeros En caso de que deban bombearse gases m s pesados que el arg n se ruega tomar contacto con la Asistencia T cnica de Agilent a fin de recibir mayores informaciones 66 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Manual de istrucciones 4 Mantenimiento El Turbo V 2300 TwisTorr no necesita ning n mantenimiento Cualquier operaci n deber ser realizada por personal autorizado ADVERTENCIA Antes de realizar cualquier operaci n en el sistema desconectarlo de la corriente enviar aire de la bomba abriendo la v lvula oportuna esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 C En caso de aver a se podr utilizar el servicio de reparaci n Agilent o el Agilent advanced exchange service que permite obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparaci n o advanced exchange service es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de Seguridad y Salud adjunta al prese
132. r Pumps User Manual 87 901 017 01 A Podrecznik Instrukcji 12 Przygotowanie do instalacji Posta 1 W opakowaniu zespotu Turbo V 2300 TwisTorr znajduja sie 1 pompa 2 inlet screen zamontowany 3 instrukcja na CD ROM Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 173 260 12 Instalacja ZAGROZENIE Pompa z powodu wtasnego cie aru musi by przemieszczana poprzez odpowiedni sprzet do tego celu Do tego celu nale y zastosowa odpowiednie zawiesia wkrecone w gwintowane otwory znajdujace sie na korpusie pompy Nie zdejmowa zamocowanej rubami pokrywy przed podtaczeniem turbopompy do systemu UWAGA Zdja obudowe konektor w tylko wtedy gdy turbopompa zostata przymocowana do systemu Posta 2 174 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Podrecznik Instrukcji 12 Nie instalowa i lub uzytkowa pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne deszcz mr z nieg pyty gazy chemiczne w rodowiskach wybuchowych lub z wysokim zagro eniem po aru Podczas dziatania obowiazkowo nale y przestrzega nastepujace warunki otoczenia maksymalne ci nienie 2 bary ponad ci nieniem atmosferycznym temperatura powietrza od 5 C do 35 C wzgl dna wilgo 0 95 bez opar W obecno ci p l elektromagnetycznych pompa musi by odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie W celu szczeg
133. ratuur van de rotor nooit 120 C overschrijden WAARSCHUWING Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacu mkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken OORZICHTIG Vermijd schokken trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is De lagers kunnen anders beschadigd raken Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 1 bar boven de atmosferische druk bedragen Deze pompen zijn voor het pompen van gassen met roetdeeltjes of vervuilende stoffen die de lagers aantasten van een speciale poort voorzien waardoor de pomp een stroom inert gas stikstof of helium ter bescherming van de lagers krijgt geleverd zie bijlage Technical Information OORZICHTIG Gebruik de pomp nooit bij corrosieve gassen of dampen die het materiaal aan de binnenkant van de pomp kunnen beschadigen Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 93 260 6 Bedrijfshandleiding Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare giftige of radioactieve gassen moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen De pomp is voor een
134. res d crites dans le Manuel d Instructions suivant ont une nergie cin tique lev e due la grande vitesse de rotation associ e la masse sp cifique de leurs rotors En cas de panne du syst me par exemple cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupture du rotor l nergie de rotation pourrait tre lib r e ARIA AU Pour viter tout d g t aux appareillages et emp cher toute blessure aux op rateurs il faut suivre attentivement les instructions d installation d crites dans ce manuel 42 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Mode d emploi 3 Indications generales Cet appareillage a t con u en vue d une utilisation professionnelle Avant toute utilisation de l appareil il est conseill l utilisateur de lire attentivement cette notice d instructions ainsi que toute autre indication suppl mentaire fournie par Agilent qui d cline par cons quent toute responsabilit en cas de non respect total ou partiel des instructions donn es d utilisation impropre par un personnel non form d op rations non autoris es ou d emploi contraire aux r glementations nationales sp cifiques Les pompes de la s rie Turbo V 2300 TwisTorr sont des pompes turbomol culaires destin es des applications en haut vide ou ultra haut vide en mesure de pomper de nombreux types de gaz ou de compos s gazeux Elles ne conviennent pas au pompage de liquides ou de particules solides L
135. rr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Technical Information 17 Technical Specification Noise level lt 60 dB A at 1 meter Storage temperature 20 C to 70 C Environment protection IP54 Weight kg lbs ISO 250 54 2 119 5 CF 12 55 3 121 9 5 C wait until the system has reached the above mentioned temperature before starting the pump Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 241 260 17 Technical Information Technical Specification Nitrogen Helium Hydrogen Figureb Typical Pumping Speed curves Tested using TriScroll 600 as roughing pump Nitrogen Helium Hydrogen Do nd L EEEEEE Figure 6 Compression Ratio Vs Foreline Pressure 242 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Technical Information 17 Turbo V 2300 TwisTorr Outline The following figure shows the Turbo V 2300 TwisTorr outlines dimensions are in mm inches IS0250F AND CFF FORELINE KF 40 RGE VENT VALVE OR a Turbo 2300 TwleTor E VACUUM TECHNOLOGIES 3 3 SHO Eh 5 M OD NS 8 V NIC i N me 9229 00 1245 NATER COOLING ASTI FOR RUBBE TUBE 9 9 0 Figure 7 Turbo V 2300 TwisTorr outline Turbo V 2300 TwisTorr Pumps U
136. rr wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert Eventuelle Transportsch den sind der zust ndigen rtlichen Verkaufsstelle zu melden Modell Turbo V 2800 TwisTorr ist vorsichtig auszupacken wobei es vor dem Herunterfallen und vor St f en und Vibrationen zu sch tzen ist Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgem zu entsorgen Den Schutz der Steckverbinder erst entfernen wenn die Turbopumpe am System befestigt ist Den Schutz der Stecker erst entfernen nachdem die Turbopumpe an das System befestigt wurde Aufgrund des Gewichts 55 kg m ssen zum Herausziehen der Pumpe aus der Verpackung die vier Osen am Pumpenk rper gen tzt werden Es ist vollst ndig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85 399 EWG f r Umweltschutz VORSICHT Um Entgasungen zu vermeiden d rfen die Teile die mit dem Vakuum in Ber hrung kommen nicht mit den blo en H nden angefasst werden Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden Die Turbo V 2300 TwisTorr kann durch ledigliche Einwirkung von atmosph rischen Bedingungen nicht besch digt werden Es wird indes empfohlen die Pumpe bis zur Installation am System geschlossen und versiegelt zu halten Auf diese Weise kann der Verunreinigung des Systems vorgebeugt werden 32 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Gebrauchsanleitung 2 Vor der Installation Abbildung 1 Verpackungsinhalt der Turbo V 2300 TwisTorr
137. ruce p i manipulaci s komponenty kter budou vystaveny vakuu V dy pou vejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu V norm ln m prost ed se v v va Turbo V 2300 TwisTorr nem e po kodit P esto doporu ujeme abyste ji nechali zakrytou dokud nebude nainstalov na do syst mu T m se zamez zne i t n tohoto za zen 186 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A N vod k Pou it 13 fiprava k instalaci Postava 1 Balen Turbo V 2300 TwisTorr obsahuje 1 v v vu 2 vstupn sito namontov no 3 tento n vod k pou it na CD ROM Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 187 260 13 N vod k Pou it Instalace 13 72 19 MW Kv li sv hmotnosti je t eba p i manipulaci s v v vou pou vat odpov daj c n stroje a n ad Pou vejte p slu n rouby s okem na roubovan do otvor v t lese vyv vy POZOR Pred pripojenim turbomolekularni vyv vy do syst mu nesundavejte Sroubovaci viko POZOR Odejm te zakryti konektor a pot co bude turbov v va pripevn n k syst mu Postava 2 188 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A N vod k Pou it 13 Vyv vu neinstalujte v prost ed kter je vystaveno atmosf rick m vliv m d sn h led prachu agresivn m plyn m ve v bu n m prost ed nebo v prost ed s vysok m nebezpe m po
138. s die een koppel van 40000 Nm rondom de eigen as kan verdragen De turbopomp met ISO F inlaatflens moet aan de vacu mkamer worden bevestigd met behulp van bouten met een klasse van 12 9 or 1200 N mm De volgende tabel beschrijft het aantal benodigde stalen bouten en het door Agilent aanbevolen aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden Tab 1 FLENS KLEMTYPE NR AANHAAL KOPPEL ISO 250 F Bout met M10 schroefdraad 12 30 Nm WAARSCHUWING De Turbo V 2300 TwisTorr kan niet bevestigd worden via zijn basis Het systeem mag uitsluitend bevestigd worden via zijn ISO 250F flens Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 91 260 6 Bedrijfshandleiding MALER UNN Indien deze installatie instructies niet worden opgevolgd kan bij optreden van een defect aan de rotor de pomp van het systeem losraken met als gevolg schade aan voorwerpen of ernstig letsel of levensgevaar voor personen Zie Technical Information voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn 92 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Gebruik Bedrijfshandleiding 6 Alle instructies voor de correcte werking van de turbopomp vindt u in de handleiding van de regelunit Lees deze handleiding aandachtig voor gebruik Tijdens de eventuele verwarming van de vacu mkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 80 C bedragen Tijdens de werking van de pomp mag de tempe
139. s i kontrollenhetens h ndbok Les denne h ndboken ngye f r bruk Mens oppvarmingen av kammeret p g r m temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 80 C Mens pumpen er i funksjon m rotorens temperatur aldri overstige 120 C Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret eller ikke er lukket med lukkeflensen Ikke beror turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen De hoye temperaturene kan f re til brannskader nere Unng st t svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen n r den er i funksjon Lagrene kan skades Bruk st v og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 1 bar over atmosf risk trykk Ved pumping av gasser som inneholder partikler eller stoffer som er forurensende for lagrene er disse pumpene utstyrt med en spesiell d r som det er n dvendig bruke for mate pumpen med en str mning av uvirksom gass nitrogen eller helium for beskytte lagrene se vedlegget Technical Information HT ET Bruk aldri pumpen med etsende gasser eller damp som kan skade materiale inne i pumpen Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 135 260 9 instruksjon Manual IWUN N r pumpen brukes for pumpe giftige brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene folges Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige
140. s pompes doivent imp rativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes temp rature de 20 C 70 C humidit relative de 0 95 non condensante Ala premi re utilisation les pompes turbomol culaires doivent toujours tre mises en marche en mode soft Start a Le temps de stockage d une pompe turbomol culaire est de 10 mois compter de la date d exp dition f r iD En cas de d passement du temps de stockage la pompe doit tre retourn e en usine Pour tout renseignement contacter le repr sentant Agilent de zone Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 45 260 3 Mode d emploi Preparation pour l installation ATTENTION Le Turbo V 2300 TwisTorr est livr dans un emballage de protection sp cial en cas d endommagement de l emballage pouvant s tre produit pendant le transport contacter le bureau de vente local Pendant l op ration d ouverture de l emballage veiller tout particuli rement ne pas laisser tomber le Turbo V 2300 TwisTorr et ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration Enlever la protection des connecteurs seulement apr s avoir fix e la turbopompe au syst me En raison de son poids 55 kg extrayez la pompe de l emballage en utilisant les quatre crochets viss s dans le corps de la pompe Ne pas abandonner l emballage dans la nature Le mat riel est enti rement recyclable et conforme la directive CEE 85 399 en mati r
141. sTorr n exige aucun entretien particulier Toute intervention doit tre effectu e par un personnel agr AVERTISSEMENT Avant toute intervention sur le syst me le d brancher refouler air de la pompe en ouvrant la soupape pr vue cet effet attendre jusqu arr t complet du rotor et jusqu ce que la temp rature superficielle de la pompe soit inf rieure 50 C En cas de panne il est possible de b n ficier du service r parations Agilent ou du Agilent advanced exchange service qui permet d obtenir un syst me r g n r en remplacement du syst me endommag Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour r paration ou advanced exchange service remplir et faire parvenir au bureau Agilent de votre r gion la fiche S curit et Sant jointe au pr sent manuel d instructions Une copie de cette fiche devra tre mise dans l emballage de la pompe avant l exp dition En cas de mise au rebut de la pompe proc der son limination conform ment aux r glementations nationales concernant la gestion des d chets Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 53 260 3 Mode d emploi Mise au rebut 54 260 Signification du logo WEEE figurant sur les tiquettes Le symbole ci dessous est appliqu conform ment la directive CE nomm e WEEE Ce symbole unique ment valide pour les pays de la Communaut euro p enne indique que le produit sur lequel il est appliqu NE
142. samkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausf hrungsweise die bei unkorrekter Ausf hrung schwere Verletzungen hervorrufen k nnten VORSICHT Die Vorsichtshinweise werden vor Vorg ngen angegeben die bei Nichtbeachtung Sch den an der Anlage verursachen k nnten Die Hinweise enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden 30 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Gebrauchsanleitung 2 Lagerung Um ein H chstma an Effizienz und Zuverl ssigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gew hrleisten sind die folgenden Anweisungen zu beachten W hrend des Transports der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht berschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feuchtigkeit von 0 bis 95 2 nicht kondensierend Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft Start in Gang zu setzen Die Lagerdauer f r eine Turbomolekularpumpe betr gt 10 Monate ab dem Speditionsdatum VORSICHT Falls die Lagerdauer aus verschiedenen Gr nden die genannte Frist berschreiten sollte ist die Pumpe an das Werk zur ckzusenden F r Informationen wenden Sie sich bitte an den rtlichen Agilent Vertreter Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 31 260 2 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Modell Turbo V 2300 TwisTo
143. sed to any toxic or hazardous materials OR U HAS pumped or been exposed ta the following toxic or hazardous materials If this box is checked the following information must also be filled out Check boxes for all materials to which product s pumped or was exposed C Toxic Corrosive Reactive 1 Flammable El Explosive 1 Biological Radioactive List all toxic hazardous materials Include product name chemical name and chemical symbol or formula NOTE If a product is received at Agilent which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product and is liable for any harm or injury to Agilent employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product Print Name Authorized Signature Date 5 FAILURE INFORMATION Failure Mode REQUIRED FIELD See next Detailed Description of Malfunction Please provide the error message Application system and model I understand and agree to the terms of Section 6 Page 3 3 Print Name Authorized Signature eme Pg 2 3 s Agilent Technologies Vacuum Products Division Request for Return Form Health and Safety Certification Please use these Failure Mode to describe the concern about the product on Page 2 TURBO PUMPS and TURBO CONTROLLERS APPARENT DEF
144. ser Manual 87 901 017 01 A 243 260 17 Technical Information Inlet Screen Installation 244 260 The inlet screen prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 5 2 mm diameter The inlet sereen does reduce the pumping speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure Figure 8 The following figure shows the ISO 250 F pump flange section with the protection screen fitted on it As you can see the overall dimensions do not change as the inlet screen remains inside the pump profile Figure 9 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Technical Information 17 Inlet Screen Installation NOTE The system is shipped with the inlet screen mounted Before using the system please check that the inlet screen in the correct position The center ring can be installed as shown in the following figure Figure 10 If the chamber of the system is baked at a high temperature a shield should be installed to pre vent thermal radiation heating the high vacuum flange on the pump The maximum temperature allowed for the ISO 250 inlet flange is 80 C and for the CF 12 is 120 C Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 245 260 17 Technical Information Wate
145. seuraavanlaisia merkint j AVION Varoitus merkit saavat k ytt j n kiinnitt m n huomion erityiseen k ytt tai toimintatapaan jonka v r nlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkil vaurioihin Huomio merkit varoittavat toiminnoista joiden laiminly nti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen Huomautukset sis lt v t t rke tekstiss k sitelty tietoa 142 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Ohjek sikirja 10 Varastointi Noudata seuraavia ohjeita jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi eritt in tehokkaasti ja luotettavasti Kun pumppua kuljetetaan siirret n ja varastoidaan seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt l mp tila 20 C 70 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan pumpun ja k ytt ess n sit ensimm isen kerran Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimitusp iv st Jos varastointiaika on jostain syyst pidempi pumppu tulee palauttaa tehtaalle Pyyd lis tietoja paikalliselta Agilent edustajalta Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 143 260 10 Ohjek sikirja Valmistelut asennusta varten Turbo V 2300 TwisTorr toimitetaan erityisess suojapakkauksessa mik li siin on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita ott
146. stemu Przed wysy k do konstruktora systemu do naprawy lub advanced exchange service nale y obowi zkowo wype ni i przekaza do miejscowego biura sprzeda y kart Bezpiecze stwo i Zdrowie za czon do niniejszej instrukcji Jeden egzemplarz kopia karty musi by w o ony do opakowania systemu przed jego wysy k Je eli system musi by poddany rozbi rce nale y przyst pi do jego eliminacji zgodnie z obowi zuj cymi krajowymi normami w meritum sprawy Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 179 260 12 Przetworstwo odpadow 180 260 Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo WEEE Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia WEEE Unii Europejskiej Symbol ten prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej oznacza ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu NES NT Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 13 Navod k Pouziti Bezpe nostn n vod pro Turbomolekul rn v vevy 182 V eobecn inf
147. sua flange ISO 250F Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 77 260 5 Manual de Istru es yua HUJE O desrespeito a estas instru es de instala o no caso em que se verifique um defeito no rotor pode implicar no desengate da bomba do sistema com danos s coisas ou s rios danos ou a morte das pessoas Para a instala o dos acess rios opcionais consultar Technical Information 78 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Manual de Istru es 5 Utiliza o Todas as instru es para o funcionamento correcto da turbobomba est o contidas no manual da unidade de controlo Ler atentamente este manual antes da utiliza o Durante o eventual aquecimento da c mara a v cuo a temperatura no flange de entrada n o deve ser superior a 80 C Durante o funcionamento da bomba a temperatura do rotor deve ser sempre inferior a 120 C Nunca activar a bomba se o flange de entrada n o estiver ligado c mara de v cuo ou n o estiver fechado com o flange de fecho N o tocar a turbobomba e os seus eventuais acess rios durante as opera es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas CUIDADO Evitar colis es oscila es ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando est a funcionar Os rolamentos poderiam sofrer danos Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras ou part culas A press o de entra
148. tallare e o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici pioggia gelo neve polveri gas aggressivi in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Istruzioni per l uso 1 Durante il funzionamento necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali pressione massima 2 bar oltre la pressione atmosferica temperatura da 5 C a 35 C a umidit relativa 0 95 non condensante In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi Vedere l appendice Technical Information per ulteriori dettagli La Turbo V 2300 TwisTorr deve essere collegata ad una pompa primaria vedere schema in Technical Information La Turbo V 2300 TwisTorr pu essere installata in qualsiasi posizione Fissare la Turbo V 2300 TwisTorr in posizione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 40000 Nm attorno al proprio asse La turbopompa con flangia di ingresso ISO F deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di bulloni con una classe di fissaggio di 12 9 or 1200 N mm La seguente tabella descrive il numero di bulloni d acciaio necessari e con quale coppia di serraggio consigliata da Agilent stringerli Tab 1 FLANGIA TIPO DI FISSAGGIO N COPPIA DI SERRAGGIO ISO 250 F Bullone con filettatura M10 12 3
149. te symbolet som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap viser at produktet som det sitter p IKKE m behandles som vanlig hus industriavfall men m legges i kildesortering Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen henvende seg til leverand ren av anordningen som kan v re et firma eller en forhandler som s rger for oppsamling og eliminering etter ha kontrollert avtal og betingelser i kj pekontrakten F R 138 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 10 Ohjek sikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 140 Yleisi tietoja 141 Varastointi 143 Valmistelut asennusta varten 144 Asennus 146 K ytt 149 Huolto 151 H vitt minen 152 Alkuper isen ohjeiden k nn s pige Agilent Technologies 139 260 10 Ohjek sikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet T ss k ytt ohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea m r kineettist energiaa joka aiheutuu korkeasta py rimisnopeudesta yhdistettyn pumppujen roottorien massaan J rjestelm n vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa py rimisenergia saattaa vapautua VAROITUS T ss k ytt ohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti 140 260 laitteiston vaurioitumisen ja k ytt jien vahingoittumisen v ltt miseksi Turbo V 2300 TwisTorr Pum
150. tes inform ci rt l sd Technical Information A Turbo V 2300 TwisTorr t els dleges szivatty hoz kell csatlakoztatni l sd Technical Information A Turbo V 2300 TwisTorr t b rmely helyzetben lehet telep teni R gz tse a Turbo V 2800 TwisTorr t stabil helyzetben a turb szivatty bemeneti karim j t egy r gz tett ellenkarim ra csatlakoztatva amely k pes ellen llni 33000 Nm tengely k r li nyomat knak Az ISO F bemenetes peremes turb szivatty t a v kuumkamr hoz csavarokkal kell r gz teni 12 9 or 1200 N mm r gz t si oszt llyal Az al bbi t bl zat megmutatja a sz ks ges ac lcsavar sz mokat s a Agilent ltal aj nlott r gz t si nyomat kot amellyel meg kell h zni azokat Tab 1 KARIMA R GZIT ESZK Z N R GZ TO NYOMAT K ISO 250 F M10 csavarok 12 30 Nm Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 161 260 11 Felhaszn l i K zik nyv VESZ LY A Turbo V 2300 TwisTorr nem r gz tehet az alapj val A rendszer csak ISO 250F karim val r gz thet VESZELY Ezen install ci s utas t sok figyelmen kiv l hagy sa a rotor meghib sod sa eset n a rendszerb l a szivatty lev l s t eredm nyezheti ami dologi k rt vagy komoly szem lyi s r l st vagy hal lt okozhat 197383 A Turbo V 2300 TwisTorr a m sodik telep t si vagy t lfesz lts g kateg ri hoz tartozik az EN 61010 1 direktiva szerint Csatlakoztass
151. tted We will guote any necessary services evaluation repair special cleaning eg Important steps for the shipment of returning product e Remove all accessories from the core product e g inlet screens vent valves e Prior to shipment drain any oils or other liguids purge or flush all gasses and wipe off any excess residue e If ordering an Advance Exchange product please use the packaging from the Advance Exchange to return the defective product e Sealthe product in a plastic bag and package product carefully to avoid damage in transit You are responsible for loss or damage in transit e Agilent Technologies is not responsible for returning customer provided packaging or containers e Clearly label package with RA number Using the shipping label provided will ensure the proper address and RA number are on the package Packages shipped to Agilent without a RA clearly written on the outside cannot be accepted and will be returned Return only products for which the RA was issued Product being returned under a RA must be received within 15 business days Ship to the location specified on the printable label which will be sent along with the RA number as soon as we have received all of the reguired information Customer is responsible for freight charges on returning product Return shipments must comply with all applicable Shipping Regulations IATA DOT etc and carrier requirements RETURN THE COMPLETED REOUEST FOR RETURN
152. u hol mi rukami V dy pou vajte rukavice alebo in vhodn ochranu Be n vystavenie okolit m podmienkam nem e Turbo V 2300 TwisTorr po kodi Napriek tomu je eln aby zariadenie pred mont ou zostalo hermeticky uzavret To zabr ni jeho kontamin cii 200 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A N vod na Obsluhu 14 Priprava na instal ciu lt M SOLO N A 4 A A X i k NE Z V e La a A JB B N Postava 1 S prava Turbo V 2300 TwisTorr zahr uje 1 v vevu 2 vstupn mrie ka 3 tento n vod na pou itie na CD Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 201 260 14 N vod na Obsluhu In tal cia 4 94 40 40 Kv li jej v he s v vevou manipulujte s pomocou vhodn ch pom cok a n strojov Pou ite z vesn o k zaskrutkovan do otvorov v telese v vevy NES POZOR Neodstra ujte priskrutkovan ochrann kryt sk r ne pripoj te turbov vevu k syst mu POZOR Kryty z konektorov odstr te a po pripevnen turbov vevy k s stave Postava 2 202 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A N vod na Obsluhu 14 V vevu nein talujte ani nepou vajte v prostred vystavenom vonkaj m vplyvom d sneh ad prach koroz vne plyny ani vo v bu n ch prostrediach alebo tam kde existuje vysok riziko po iaru Po as innosti zariadenia je potrebn
153. ugh pump if present Turn off the Turbo pump Open the vent port until you reach atmospheric pressure When the Turbo V 2300 TwisTorr pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo V pump with the chamber or the Turbo V vent valve opened to avoid system overpressures If the vent valve can t be kept opened the backing pump should be left operating Additionally the vent port on the envelope can be used to connect an external vent valve unscrew the threaded plug and screw the vent valve into the pump to vent pump and system The last described venting modalities should be avoided because they may cause uncontrolled venting Please contact Agilent if you cannot oper ate in the instructed manner CAUTION Uncontrolled venting may seriously damage the pump and void the pump warranty Use the Agilent Controlled Vent Procedure or contact Agilent 248 260 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Technical Information 17 Purge gas line Pressure regulator Purge and vent port Forevacuum pump Turbopump o 0 B O ND gt Water line VACUUM TECHNOLOGIES Figure 12 Purge and vent layout Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 249 260 17 Technical Information High Vacuum Flange Connection 250 260 To connect the Turbo
154. ung 40 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 5 260 Contents 6 260 Mode d emploi 41 Normes de s curit pour Pompe Turbomol culaires 42 Indications generales 43 Stockage 45 Preparation pour l installation 46 Installation 48 Utilisation 51 Entretien 53 Mise au rebut 54 Manual de istrucciones 55 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 56 Informaci n general 57 Almacenamiento 59 Preparaci n para la instalaci n 60 Instalaci n 62 Uso 65 Mantenimiento 67 Eliminaci n 68 Manual de Istru es 69 Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares 70 Informac es gerais 71 Armazenagem 73 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Contents Prepara o para a instala o 74 Instalac o 76 Utilizac o 79 Manutenc o 81 Elimina o 82 6 Bedrijfshandleiding 83 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 84 Algemene informatie 85 Opslag 87 Uitpakken 88 Installatie 90 Gebruik 93 Onderhoud 95 Afvalverwerking 96 7 Istruktionsbog 97 Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re turbopumper 98 Generel Information 99 Opbevaring 101 Forberedelse for installation 102 Installation 104 Anvendelse 107 Vedligeholdelse 109 Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 7 260 Contents 8 260 10 Bortskaffelse 110 Bruksanvisning 111 S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar 112 Allm n Information 113
155. visable to install a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil backstreaming Connection C Electrical Figure 15 The turbopump is connected to the controller through an 8 pin connector and a 6 pin connector 8 pin connector Pins B C and D are the 3 phase supply to the mo tor pins A and F are connected to the bearing temperature sensor and pin E is connected to the pump ground pin G and H are not connected Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A 251 260 17 Technical Information 6 pin connector Pins A and F are connected to the body temperature sensor pins B D are connected to the purge valve and pins C D are connected to the vent valve pin E is not connected If one temperature sensor is disconnected the pump will not start To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 C the sensor automatically cuts out the power supply We recommend that you fit a separate earth ground conductor to the TV 2300 TwisTorr pump Use a separate insulated green yellow conductor and use a M5 x 10 screw and shake proof washer fitted to the earth hole on the pump to secure the earth conductor to the pump The screw must be fixed with a Z Nm torque The impedance between the pump body and the earth connection point must be lt 0 1 Q Pump used in Presence of Magnetic Fields 252 260 Magnet
156. wing symbol is applied in accordance with the EC WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment Directive This symbol valid only in countries of the European Community indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system The end user is therefore invited to contact the supplier of the device whether the Parent Company or a retailer to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual 87 901 017 01 A Turbo V 2300 TwisTorr Pumps User Manual eo 17 Technical Information Description of the Turbo V 2300 TwisTorr 238 Pump Description 239 Technical Specification 240 Turbo V 2300 TwisTorr Outline 242 Inlet Screen Installation 244 Water Cooling Connection 246 Pump Purging and Venting 247 Pump used with Corrosive Gases 247 How to Purge the Turbo V 2300 TwisTorr Pump 247 How to Vent the Turbo V 2300 TwisTorr Pump 248 High Vacuum Flange Connection 250 Fore Vacuum Pump Connection 251 Connection C Electrical 251 Pump used in Presence of Magnetic Fields 252 Orderable Parts 253 Original Instructions Agilent Technologies 237 260 17 Technical Information Description of the Turbo V 2300 TwisTorr The Turbo V 2300 TwisTorr pump is available in two versions They are Model 969 6000 with ISO 250 F high v

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