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IDX Damper - Agilent Technologies

1. Postava 2 Poistn skrutky 174 HIM Nikdy neodstra ujte 8 skrutiek na dvoch pr rub ch tlmi a Tieto skrutky s rozmerovo navrhnut tak aby odolali kr tiacemu momentu 1000Nm v pr pade prasknutia erpadla POZOR Pri pripevnen tlmi a o erpadlo sa uistite e 8 skrutiek sa nedot ka stredovej masy Mohlo by to vies k poklesu v konnosti tlmi a Damper IDX 120 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B N vod na Obsluhu 14 dr ba Zariadenie Damper IDX nevy aduje iadnu dr bu Ak ko vek pravy a opravy syst mu mus vykona autorizovan person l Ak je potrebn likvid cia syst mu mus prebehn v s lade so pecifick mi predpismi danej krajiny Likvid cia V znam loga WEEE nach dzaj ceho sa na t tkoch Aplikovanie doluozzna en ho symbolu dodr uje smernicu E s n zvom WEEE Tento symbol platn iba pre t ty Eur pskej Unie znamen e v robok s t mto t tkom NESMIE by odstr nen spolu s be n m dom cim alebo priemyseln m odpadom ale sa mus odstr ni ako delen odpad Vyz vame preto kone n ho u vate a aby sa skontaktoval s dod vate om pr stroja i u je to v robca alebo predajca za elom jeho likvid cie pod a zmluvn ch podmienok predaja IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 121 152 14 N vod na Obsluhu Likvidacia 122 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper 15 Priro ni
2. IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 39 152 4 Manual de istrucciones Instalaci n Figura 2 Tornillos de seguridad HOMU No retirar en ning n caso los 8 tornillos situados sobre las dos bridas del amortiguador Estos tornillos cuentan con dimensiones para resistir a un par de 1000 Nm en caso de estallido de la bomba TWIN Cuando se fija el amortiguador a la bomba asegurarse de que los 8 tornillos no toquen la masa central Esto podria provocar una disminuci n de las prestaciones del Damper IDX 40 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Manual de istrucciones 4 Mantenimiento El Damper IDX no necesita ning n mantenimiento Cualguier operaci n deber ser realizada por personal autorizado En caso de que el sistema se tenga que desguazar eliminarlorespetando las normas nacionales especificas Eliminacion Significado del logotipo WEEE presente en las etiguetas El simbolo que se indica a continuaci n es aplicado en observancia de la directiva CE denominada WEEE Este s mbolo v lido s lo para los pa ses miembros de la Comunidad Europea indica gue el producto sobre el cual ha sido aplicado NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean stos dom sticos o industriales y gue por el contrario deber ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada Por lo tanto se invita al usuario final a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo tanto si
3. 136 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Instructions for Use 16 Maintenance The IDX damper does not reguire any maintenance Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel If a system is to be scrapped it must be disposed of in accordance with the specific national standards Disposal Meaning of the WEEE logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment Directive This symbol valid only in countries of the European Community indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system The end user is therefore invited to contact the supplier of the device whether the Parent Company or a retailer to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 137 152 16 Instructions for Use Disposal 138 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper e e j e s e ete eo 0 17 0 Technical Information e e e j Description of the IDX Damper 140 o Damper Description 140 Technical Specification 142 IDX Damper Outline 143 Connection to High Vacuum Flange 145 Original Instructions GEB Agilent Technologies 139 152 17 Technical Information Des
4. Installera och anv nd inte d mparen i milj er som uts tts for paverkan fran atmosfaren regn sn is damm aggressiva gaser och inte heller i explosiv eller brandfarlig milj F ljande krav pa omgivningsf rh llanden g ller vid drift a maximitryck 2 bar over atmosf riskt tryck temperatur fr n 20 C till 80 C relativ luftfuktighet O 95 utan kondens Damper IDX ska installeras i vertikal position Fast Damper IDX i ett stabilt lage genom att ansluta ett flans till pumpens intagsflans och det andra till en fast flans Detta flans maste tala ett vridmoment som motsvarar kraven for turbopumpen i vilken d mparen kopplas Till exempel f r pumpen TV 303 ska det motsta ett vridmoment pa 1 000 Nm runt sin egen axel Flansen ISO 100 K kan till exempel fixeras med h gh llfasta stalbyglar modell Agilent IC 63250 DCMZ For att garantera en b ttre prestanda f r Damper IDX stang uttaget som kopplar den till pumpen och till systemet med ett vridmoment pa 10Nm IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 71 152 8 Bruksanvisning Installation Figur 2 S kerhetsskruvar VARNING Ta aldrig bort de 8 skruvarna p damparens tv flans Vid ett maskinfel pa pumpen har dessa skruvar har en tillracklig storlek for att motsta ett vridmoment pa 1000Nm aaa N r d mparen fasts till pumpen kontrollera att de 8 skruvarna inte vidr r den mittre massan Detta kan orsaka en l gre pres
5. Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere Brukeren bor lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent for utstyret tas i bruk Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer pa grunn av manglende oppfolging av disse instruksjonene selv delvis feilaktig bruk av utrent personell ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som pa noen mate er i strid med nasjonale bestemmelser Damper IDX er en passiv vibrasjonsisolator som reduserer vibrasjonene som overfgres fra en turbomolekyl r pumpe til et vakuumsystem Den dempende effekten oppnas ved hjelp av kombinasjonen av to elastiske elementer 0 ringer av gummi og en masse Avsnittene nedenfor inneholder all informasjon som er ngdvendig for a sikre brukeren nar utstyret er i bruk For mer detaljert bruk vises det til tillegget Technical Information Denne manualen bruker fglgende standardprotokoll SIS era Denne advarselen vises foran fremgangsm ter som kan f re til at utstyret skades dersom de ikke f lges IWUN Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell 16 152 fremgangsmate eller praksis som hvis den ikke folges kan medfore alvorlige skade Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Instruksjon Manual 9 Lagring For garantere optimal drift og p litelighet for Agilent turbo
6. bryder sammen ile Nar d mperen bliver fastgjort til pumpen skal man sikre sig at de 8 skruer ikke rorer ved den centrale masse Dette kan medfore at prestationerne fra Damper IDX nedsettes 64 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Istruktionsbog 7 Vedligeholdelse Damper IDX behover ikke nogen vedligeholdelse Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale Skrotning af systemet skal foreg i overensstemmelse med det p g ldende lands s rlige love Bortskaffelse Betydningen af WEEE logoet p m rkaterne Nedenst ende symbol anvendes i overensstemmelse med det s kaldte EU direktiv WEEE Symbolet kun g ldende for EU landene viser at produktet som det sidder p IKKE m bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres p en godkendt affaldsstation Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverand ren af anordningen enten fabrikken eller en forhandler for igangs ttelse af afhentnings og bortskaffelsesprocessen efter n je at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 65 152 7 Istruktionsbog Vedligeholdelse 66 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper 8 Bruksanvisning Allman information 68 F rvaring 69 F rberedelser f r installationen 69 Installation 71 Underh ll 73 Bortskaffning 73 vers ttning av originalinstruktionerna GEB Ag
7. ste es la casa fabricante o un distribuidor para poder proveer a la recogida y eliminaci n del producto despu s de haber efectuado una verificaci n de los t rminos y condiciones contractuales de venta IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 41 152 4 Manual de istrucciones Eliminaci n 42 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper 5 Manual de Istruc es Informa es gerais 44 Armazenagem 45 Prepara o para a instala o 45 Instala o 47 Manuten o 49 Elimina o 49 Tradu o das instru es originais WE Agilent Technologies 43 152 5 Manual de Istruc es Informac es gerais Informac es gerais Esta aparelhagem destina se a uso profissional O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instru es e todas as informa es adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem A Agilent n o se responsabiliza pela inobserv ncia total ou parcial das instru es pelo uso indevido por parte de pessoas n o treinadas por opera es n o autorizadas ou pelo uso contr rio s normas nacionais especificas O Damper IDX um isolador de vibra es passivo que reduz as vibra es transmitidas por uma bomba turbo molecular a um sistema para vacuo O efeito amortecedor obtido atrav s da combina o de dois elementos el sticos O ring de borracha e uma massa Nos seguintes par grafos est o descritas todas as informac es necess rias para garantir a segu
8. 87 901 018 01 B N vod na Obsluhu 14 In tal cia POZOR Neodstra ujte lepiacu p sku a ochrann kryt sk r ne pripoj te tlmi do syst mu Tlmi V vevu nein talujte ani nepou vajte v prostred vystavenom vonkaj m vplyvom d sneh ad prach koroz vne plyny ani vo v bu n ch prostrediach alebo tam kde existuje vysok riziko po iaru Po as innosti zariadenia je potrebn zabezpe i tieto vlastnosti prostredia maxim lny pretlak 2 bary nad rov ou atmosf rick ho tlaku teplota od 20 C do 80 C relat vna vlhkos O 95 bez kondenz cie Damper IDX mus by nain talovan vo zvislej polohe Pripevnite Damper IDX do stabilnej polohy pripojen m jednej pr ruby k vstupnej pr rube turbov vevy a druhej pr ruby k pevnej protipr rube Protipr ruba mus by schopn odol va kr tiacemu momentu ktor je v zhode s po iadavkami kr tiaceho momentu turbov vevy ku ktorej bude pripojen tlmi Napr klad v veva TV303 mus odola kr tiacemu momentu 1000 Nm okolo svojej osi Napr klad pr ruba typu ISO 100 K m e by pripevnen oce ov mi svorkami s vysokou pevnos ou napr model Agilent IC 63250 DCMZ Kv li zabezpe eniu lep ej v konnosti tlmi a Damper IDX zatvorte svorku ktor ho sp ja s v vevou a so syst mom s pou it m u ahovacieho momentu 10Nm IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 119 152 14 Navod na Obsluhu In tal cia
9. Error code on display Other SCROLL AND ROTARY VANE PUMPS DIFFUSION PUMPS Pump doesn t start Noisy pump describe Heater failure Electrical problem Doesn t reach vacuum Over temperature Doesn t reach vacuum Cooling coil damage Pump seized Other Vacuum leak Other Section 6 ADDITIONAL TERMS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division Products and Services Terms of Sale e Customer is responsible for the freight charges for the returning product Return shipments must comply with all applicable Shipping Regulations IATA DOT etc and carrier requirements e Customers receiving an Advance Exchange product agree to return the defective rebuildable part to Agilent Technologies within 15 business days Failure to do so or returning a non rebuildable part crashed will result in an invoice for the non returned non rebuildable part e Returns for credit toward the purchase of new or refurbished Products are subject to prior Agilent approval and may incur a restocking fee Please reference the original purchase order number e Units returned for evaluation will be evaluated and a quote for repair will be issued If you choose to have the unit repaired the cost of the evaluation will be deducted from the final repair pricing A Purchase Order for the final repair price should be issued within 3 weeks of quotation dat
10. IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Manual de istrucciones 4 Almacenamiento Para garantizar el nivel m ximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent deber n aplicarse las siguientes instrucciones durante el transporte desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deber n superarse las siguientes condiciones ambientales temperatura entre 50 C y 80 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante Preparaci n para la instalaci n ATENCI N El Damper IDX se suministra en un embalaje especial de protecci n si se observan da os que podr an haberse producido durante el transporte ponerse en contacto con la oficina local de ventas Durante la operaci n de desembalaje tener cuidado de que no se caiga el Damper IDX y de no someterlo a golpes o vibraciones No abandonar el embalaje en el medioambiente El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 94 62 y modificaciones siguientes para la preservaci n del medioambiente Para evitar problemas de desgasificaci n no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vac o Utilizar siempre guantes u otra protecci n adecuada IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 37 152 4 Manual de istrucciones Preparacion para la instalacion Figura 1 El Damper IDX no puede da arse permaneciendo simplemente expuesto a la atmosfera De todas formas se
11. IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 21 152 2 Gebrauchsanleitung Vor der Installation Abbildung 1 IN NWEIS Das Modell Damper IDX kann durch die Umgebung an sich keine Sch den erleiden Es sollte jedoch bis zur Installation in der Anlage geschlossen bleiben um eventuelle Verunreinigungen zu vermeiden 22 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Gebrauchsanleitung 2 Installation VORSICHT Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschluss des Damper an das System abnehmen Der Dampfer darf nicht in Umgebungen die ungesch tzt vor Wetter Regen Frost Schnee Staub und aggressiven Gasen sind sowie auch nicht in explosionsfahigen oder erh ht brandgefahrdeten Umgebungen installiert und oder benutzt werden Beim Betrieb m ssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden Maximaler Druck 2 bar ber dem atmosph rischen Druck Temperatur von 20 C bis 80 C siehe Diagramm im Anhang Technical Information a Relative Luftfeuchtigkeit 0 95 nicht kondensierend Der Damper IDX muss vertikal installiert werden Den Dam per IDX in einer stabilen Position durch Verbindung eines Flanschs an den Eingangsflansch der Turbopumpe und der andere an einen festen Gegenflansch befestigen Der Gegenflansch muss einem Moment widerstehen der den Anforderungen der Turbopumpe entspricht an die der Damper angeschlossen wird Zum Beispiel muss er bei einer Pumpe TV 303
12. Valmistelut asennusta varten Damper IDX toimitetaan erityisess suojapakkauksessa mik li siin on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Damper IDXin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai t rin it Pakkausta ei tule j tt ymp rist n Pakkausmateriaali voidaan kierr tt kokonaisuudessaan ja se vastaa EY direktiivia 94 62 ymp rist n suojelusta ja sit seuraavia muutoksia HUOMIO Jotta kaasun vuoto ongelmilta v ltytt isiin ei tyhji lle altistuviin osiin tule koskea paljain k sin K ytt k aina k sineit tai muuta sopivaa suojausta IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 85 152 10 Ohjek sikirja Valmistelut asennusta varten Kuva 1 Damper IDX ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa auki On kuitenkin suositeltavaa pit se suljettuna kunnes se asennetaan j rjestelm n Siten v ltet n laitteen mahdollinen saastuminen 86 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Ohjekasikirja 10 Asennus HUOMIO Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta kun vaimennin kytket n j rjestelm n Vaimenninta ei tule asentaa ja tai k ytt ymp rist ss miss se joutuu kosketuksiin s tekij iden sateen j n tai lumen p lyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa r j hdys tai tu
13. vorst sneeuw stof agressieve gassen of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max druk 2 bar boven de atmosferische druk temperatuur van 20 C tot 80 C a relatieve vochtigheid 0 95 niet condenserend De Damper IDX moet in verticale stand worden ge nstalleerd Bevestig de Damper IDX in een stabiele positie en verbind een flens aan de in laatflens van de turbopomp en de andere aan een vaste contraflens De contraflens moet een koppelweerstand hebben die in overeenstemming is met de vereisten van de turbopomp waarop de demper wordt aangesloten Bij de TV 303 pomp bijvoorbeeld moet hij een koppel van 1000 Nm rondom de eigen as kunnen verdragen De flens ISO 100 K kan bijvoorbeeld worden bevestigd met stalen klemmetjes met grote weerstand zoals model Agilent IC 63250 DCMZ Teneinde de beste prestaties van de Damper IDX te garanderen de clamp waarmee hij met de pomp en aan het systeem is verbonden vastzetten met een koppel van 10Nm IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 55 152 6 Bedrijfshandleiding Installatie Figuur 2 Veiligheidsbouten MN RSA TINAN De 8 bouten op de twee flenzen van de demper mogen nooit worden verwijderd Deze bouten zijn zo bemeten dat zij weerstand bieden tegen een A koppel van 1000Nm in geval van een crash van de pomp Wa vile tie Wanneer de demper aan de pomp wordt
14. AGILENT VPD XXX Code for dialing Italy from your country es 01139 from USA 00139 from Japan etc ES Agilent Technologies 4 JC Agilent Technologies Vacuum Products Division Instructions for returning products Dear Customer Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned 1 2 3 4 5 6 7 Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies see below taking particular care to identify all products that have pumped or been exposed to any toxic or hazardous materials After evaluating the information Agilent Technologies will provide you with a Return Authorization RA number via email or fax as requested Note Depending on the type of return a Purchase Order may be required at the time the Request for Return is submitted We will quote any necessary services evaluation repair special cleaning eg Important steps for the shipment of returning product e Remove all accessories from the core product e g inlet screens vent valves e Prior to shipment drain any oils or other liquids purge or flush all gasses and wipe off any excess residue e If ordering an Advance Exchange product please use the packaging from the Advance Exchange to return the defective product e Seal the product in a plastic bag and package product carefully to avoid damage in transit You are responsible for loss or damage in tra
15. B N vod na Obsluhu 14 Uchov vanie Ak chcete aby turbomolekul rne v vevy zna ky Agilent pod vali maxim lny a spo ahliv v kon dodr iavajte nasleduju ce pokyny neprekra ujte nasleduj ce pecifik cie prostredia po as prevozu pren ania a uchov vania v vev rozsah tepl t 50 C a 80 C rozsah relat vnej vlhkosti O a 95 bez kondenz cie Pr prava na in tal ciu Zariadenie Damper IDX sa dod va v peci lnom ochrannom balen Ak je balenie po koden o sa m e sta napr klad po as prepravy obr te sa na miestne zast penie spolo nosti Agilent Po as vyba ovania syst mu dbajte na to aby zariadenie nespadlo nebolo vystaven n razu alebo prudk mu otrasu alebo vibr ci m Obalov materi l zlikvidujte predp san m sp sobom Materi l je 100 recyklovate n a spl a po iadavky smernice EHS 94 62 v zmysle platn ch prav POZOR Ak chcete pred s probl mom s odply ovan m nechytajte komponenty ktor bud vystaven v kuu hol mi rukami V dy pou vajte rukavice alebo in vhodn ochranu IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 117 152 14 Navod na Obsluhu Pr prava na in tal ciu Postava 1 Be n vystavenie vplyvu prostredia nem e zariadenie Damper IDX po kodi Napriek tomu je vhodn aby zariadenie zostalo zabalen a do in tal cie kv li prevencii kontamin cie prachom 118 152 IDX Damper User Manual
16. Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedieners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausfiihrungsweise die bei unkorrekter Ausfiihrung schwere Verletzungen hervorrufen k nnten Die Hinweise enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden 20 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Lagerung Gebrauchsanleitung 2 Um ein H chstma an Effizienz und Zuverl ssigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gew hrleisten sind die folgenden Anweisungen zu beachten W hrend des Transports der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht berschritten werden Temperatur von 50 C bis 80 C a Relative Feuchtigkeit von 0 bis 95 nicht kondensierend Vor der Installation VORSICHT Modell Damper IDX wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert Eventuelle Transportschaden sind der zustandigen ortlichen Verkaufsstelle zu melden Modell Damper IDX ist vorsichtig auszupacken wobei es vor dem Herunterfallen und vor St f en und Vibrationen zu sch tzen ist Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgem fs zu entsorgen Es ist vollst ndig recyclebar und entspricht der Richtlinie EWG 94 62 und folgenden Anderungen fiir den Umweltschutz Um Entgasungen zu vermeiden d rfen die Teile die mit dem Vakuum in Ber hrung kommen nicht mit den bloRen Handen angefasst werden Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden
17. additional information supplied by Agilent before operating the eguipment Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non compliance even partial with these instructions improper use by untrained persons non authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards The IDX damper is a passive vibration insulator which reduces the vibrations transmitted by a turbo molecular pump to a vacuum system The damping effect is obtained by the combination of two elastic elements rubber O rings and a weight The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment Detailed information is supplied in the appendix Technical Information This manual uses the following standard protocol The caution messages are displayed before procedures which if not followed could cause damage to the equipment The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which if not followed correctly could lead to serious injury The notes contain important information taken from the text 132 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Storage Instructions for Use 16 In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps the following guidelines must be followed a when shippi
18. amortisseur est obtenu par la combinaison de deux l ments lastiques joints toriques en caoutchouc et une masse Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications n cessaires a garantir la s curit de l op rateur pendant l utilisation de appareillage Des renseignements plus d taill s se trouvent dans l appendice Technical Information Cette notice utilise les signes conventionnels suivants Les messages attention apparaissent avant certaines proc dures dont le non respect pourrait endommager s rieusement l appareillage AVERTISSEMENT Les messages d avertissement attirent l attention de l op rateur sur une proc dure ou une man uvre sp ciale qui effectu e de fa on impropre risque de provoquer de graves l sions Les notes contiennent des renseignements importants extra pol s du texte 28 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Stockage Mode d emploi 3 Pour garantir les performances et la fiabilit maximales des pompes turbomol culaires Agilent il est indispensable de respecter les instructions suivantes a Le transport la manutention et le stockage des pompes doivent imp rativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes temp rature de 50 C 80 C humidit relative de 0 95 non condensante Pr paration pour l installation ATTENTION Le Damper IDX est livr dans un emballage de protection sp cial en cas d endommag
19. bevestigd ervoor zorgen dat de 8 bouten de centrale massa niet raken Dit kan de prestaties van de Damper IDX nadelig beinvloeden 56 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Bedrijfshandleiding 6 Onderhoud De Damper IDX is onderhoudsvrij Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd perso neel worden uitgevoerd Mocht het systeem gesloopt worden ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk Afvalverwerking Betekenis van het logo WEEE op de etiketten Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG richtlijn WEEE Dit symbool alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap geeft aan dat het product waarop het is aangebracht NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval maar gescheiden moet worden ingezameld De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de leverancier van het apparaat zij het de fabrikant of een wederverkoper om het proces van gescheiden inzameling en verwerking in gang te zetten na de van toepassing zijnde termen en voorwaarden van het verkoopcontract te hebben gecontroleerd IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 57 152 6 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 58 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper 2 9009 00 7 0 0 o 0 Istruktionsbog e e e Generel information 60 Opbevaring 61 Forberedelse f r installation 61 Installation 63 Vedligeholdel
20. regn sng eller is stgv aggressive gasser eksplosjonsfarlige miljger eller miljger med stor brannfare Under bruk m f lgende forhold respekteres maksimalt trykk 2 bar over atmosf risk trykk temperatur fra 20 C til 80 C a relativ fuktighet 0 95 uten kondensering Damper IDX skal monteres vertikalt Fest Damper IDX i en stabil stilling Fest en flens til turbopumpens inngangsflens og den andre flensen til en fast koplingsflens Koplingsflensen skal kunne t le et dreiemoment som samsvarer med kravene til turbopumpen som demperen koples til Eksempel Med pumpen TV 303 m den t le et dreiemoment p 1000 Nm rundt aksen For eksempel kan flensen ISO 100 K estes ved bruke ekstra resistente st lklemmer som Agilent modell IC 63250 DCMZ For at Damper IDX skal fungere optimalt m du lukke klemmen som kopler den til pumpen og systemet med et dreiemoment p 10 Nm IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 79 152 9 Instruksjon Manual Installasjon Figur 2 Sikkerhetsskruer AVON SER Du skal aldri fjerne de 8 skruene p de to flensene til demperen Disse skruene er dimensjonert for a tale et dreiemoment pa 1000 Nm i tilfelle pumpen skulle havarere SST ere Kontroller at de 8 skruene ikke ber rer den sentrale massen n r demperen festes til pumpen Dette kan redusere ytelsen til Damper IDX 80 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Instruksjon Manual 9 Vedlikehold Dam
21. seguenti prescrizioni durante il trasporto lo spostamento e immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali temperatura da 50 C a 80 C umidit relativa da 0 a 95 non condensante Preparazione per l installazione ATTENZIONE Il Damper IDX viene fornito in un imballo protettivo speciale se si presentano segni di danni che potrebbero essersi verificati durante il trasporto contattare l ufficio vendite locale Durante l operazione di disimballaggio prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il Damper IDX e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni Non disperdere l imballo nell ambiente Il materiale amp completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 94 62 e successive modifiche per la tutela dell ambiente Onde evitare problemi di degasamento non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 13 152 1 Istruzioni per uso Preparazione per installazione Figura 1 II Damper IDX non pu essere danneggiato rimanendo semplicemente esposto all atmosfera Si consiglia comungue di mantenere chiuso il damper fino al momento del installazione sul sistema onde evitare eventuali contaminazioni 14 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Istruzioni per l uso 1 Installazione NYHA Staccare
22. sleduj c podm nky dan prost ed m maxim ln tlak 2 bary nad atmosf rick m tlakem teplota od 20 C do 80 C relativn vlhkost 0 95 bez sr en Damper IDX mus b t nainstalov n ve svisl poloze P ipevn te Damper IDX do stabiln polohy p ipojen m jedn p ruby ke vstupn p rub turbov v vy a druh p ruby k pevn protip rub Protip ruba mus b t schopna odol vat kroutic mu momentu kter je ve shod s po adavky kroutic ho momentu turbov v vy ke kter bude p ipojen tlumi Nap klad v v va TV303 mus odolat kroutic mu momentu 1 000 Nm kolem sv osy Nap p rubu ISO K lze p ipevnit p chytkami z vysoce pevn oceli jako je typ IC 63250 DCMZ firmy Agilent Za elem zaji t n lep v konosti tlumi e Damper IDX zav ete svorku kter jej spojuje s v v vou a se syst mem s pou it m utahovac ho mementu 10 Nm IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 111 152 13 N vod k Pou it Instalace Postava 2 Pojistn rouby 4 174H M Nikdy neodstra ujte 8 roub na dvou p rub ch tlumi e Tyto rouby jsou rozm rov navr eny tak aby odolaly kroutic mu momentu 1 000 Nm v pripad prasknuti erpadla POZOR Pii pripevn ni tlumi e k erpadlu se ujist te e 8 roub se nedotyka st edov masy Mohlo by to vest k poklesu v konosti tlumi e Damper IDX 112 152 IDX Damper User Manual 87 90
23. t vol tsuk el a rezg scsillap t k t karim j n l v 8 csavart Ezek a csavarok gy vannak m retezve hogy ellen lljanak 1000 Nm nyomat knak a szivatty elt rl se eset n Alo aka Amikor a rezg scsillap t t a szivatty hoz r gz tj k gy z dj nk meg arr l hogy a 8 csavar nem rinti a k zponti f ldel st Ez uis a Damper IDX teljes tm ny nek cs kken s t eredm nyezhetn 96 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Felhaszn l i K zik nyv 11 Karbantartas A Damper IDX nem ig nyel karbantartast A rendszeren v gzett barmely munkat jogosult szem lyzetnek kell elv geznie Ha a rendszert le kell selejtezni azt rtalmatlanitani kell a konkr t nemzeti szabv nyoknak megfelel en Megsemmisit s A c mk n jelenl v WEEE logo jelent se Az al bb l that szimb lum az EK WEEE elnevez s ir nyelv vel sszhangban ker l alkalmaz sra Ez a szimb lum mely csak az Eur pai K z ss g orsz gaiban rv nyes azt jelzi hogy a term k melyen megtal lhat NEM ker lhet k z ns ges h ztart si vagy ipari hullad kkal egy tt megsemmisit sre hanem azt egy szelekt v hullad kgy jt rendszerbe kell tovabbitani A v gfelhaszn l nak a gy jt si s megsemmisit si elj r s beindit sa c lj b l az ad sv teli szerz d s hat rid inek s felt teleinek alapos ttanulm nyoz sa ut n fel kell vennie a kapcsolatot a berendez s sz llit j val legyen e
24. 1 B Priro nik za Navodila 15 Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni u inek in zanesljivost rpalk Agilent Turbomolecular se morate dr ati naslednjih vodil a Pri po iljanju premikanju in shranjevanju rpalk ne smete prese i naslednjih specifikacij temperaturno obmo je 50 C do 80 C obmo je relativne vla nosti 0 do 95 brez kondenza Priprava za monta o Damper IDX je dobavljen v posebni za itni embala i e je embala a po kodovana kontaktirajte lokalno prodajno pisarno Pri odpiranju sistema pazite da vam ne pade iz rok oz ga ne stresajte Embala o zavrzite v skladu s predpisi Embala ni material je mogo e v celoti reciklirati ter je skladen z dolo bami Direktive 94 62 EGS in slede ih sprememb za za ito okolja POZOR Sporo ila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do po kodbe opreme IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 125 152 15 Priro nik za Navodila Priprava za monta o Slika 1 Normalna izpostavljenost na okolje ne more po kodovati naprave Damper IDX Kljub temu je priporo ljivo da je enota zaprtim damperjem je ne namestite v sistem S tem boste prepre ili morebitno onesna enje 126 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Priro nik za Navodila 15 Monta a POZOR Lepilni trak in za itni zama ek snemite ele ob trenutku vezave bla ilnika na sistem Bla ilnika ne name ajte in ali uporablja
25. 1 018 01 B N vod k Pou it 13 r Udr ba V v va Damper IDX nevy aduje dnou dr bu Ve ker pr ce na tomto za zen mus prov d t opr vn n osoby Pokud se m za zen vy adit mus se zlikvidovat v souladu s konkr tn mi st tn mi normami Likvidace V znam loga WEEE nach zej c ho se na t tku N e uveden symbol odpov d sm rnic m CE pojmenovan m WEEE Tento symbol platn jen pro st ty Evropsk Unie ur uje e v robek kter je takto ozna en NESM b t likvidov n spole n s ostatn mi dom c mi nebo pr myslov mi odpady ale je nutno ho p edat do pat i n ch provozn ch sb ren kde mus b t t d n a likvidov n odd len od m stsk ho odpadu U ivateli kter m n v robek likvidovat doporu ujeme aby se nakontaktoval p mo s v robcem nebo prodejcem kter se po pat i n m prov en term n a smluvn ch podm nek postar o kompletn likvidaci uveden ho v robku IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 113 152 13 N vod k Pou it Likvidace 114 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper 14 N vod na Obsluhu V eobecn inform cie 116 Uchov vanie 117 Pr prava na in tal ciu 117 In tal cia 119 dr ba 121 Likvid cia 121 Preklad origin lneho n vodu GEB Agilent Technologies 115 152 14 N vod na Obsluhu V eobecne informacie V eobecne informacie POZOR Toto zariaden
26. 2 Publication Number 87 901 018 01 B Agilent Technologies Southeast Asia Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Unit 201 Level 2 uptown 2 2 Jalan SS21 37 Damansara Uptown 47400 Petaling Jaya Selangor Malaysia Tel 603 7712 6106 Fax 603 6733 8121 Taiwan Agilent Technologies Taiwan Limited Vacuum Products Division 3F 20 Kao Shuang Rd Pin Chen City 324 Taoyuan Hsien Taiwan R O C Tel 886 34959281 Toll Free 0800 051 342 UK and Ireland Agilent Technologies UK Ltd Vacuum Products Division 6 Mead Road Oxford Industrial Park Yarnton Oxford OX5 10U UK Tel 44 0 1865 291570 Fax 44 0 1865 291571 Toll free 00 800 234 234 00 Other Countries Agilent Technologies Italia S p A Vacuum Products Division Via F lli Varian 54 10040 Lein Torino Italy Tel 39 011 997 9111 Fax 39 011 997 9350 Toll Free 00 800 234 234 00 Customer Support amp Service NORTH AMERICA Toll Free 800 882 7426 Option 3 vpl ra agilent com EUROPE Toll Free 00 800 234 234 00 vpt customercare agilent com PACIFIC RIM please visit our website for individual office information http www agilent com Worldwide Web Site Catalog and Order On line www agilent com Representative in most countries 12 10
27. 8 Forvaring Respektera foljande anvisningar for att garantera optimal prestanda och drifts kerhet for Agilent turbomolekyl ra pumpar Vid transport flytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras Temperaturomr de 50 C till 80 C a Relativ fuktighet O till 95 utan kondens F rberedelser f r installationen Damper IDX levereras i ett s rskilt skyddande emballage Kontakta det lokala f rs ljningskontoret om emballaget visar tecken p skador som kan ha uppst tt under transporten Se till att Damper IDX inte tappas eller uts tts f r st tar vid uppackningen Kasta inte packmaterialet i soporna Materialet r tervinningsbart till 100 och uppfyller EU direktiv 94 62 och f ljande ndringar om milj skydd ina Komponenter som skall uts ttas f r vakuum far inte hanteras med bara h nder p g a kontamineringsrisken Anv nd alltid handskar eller liknande skydd IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 69 152 8 Bruksanvisning F rberedelser f r installationen Figur 1 Normal paverkan fran omgivningen kan inte skada Damper IDX Trots det r det s krast att h lla d mparen nerpackad tills den har installerats i systemet f r att f rhindra eventuella f roreningar 70 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Bruksanvisning 8 Installation Minaya Ta bort tejpen och skyddsproppen f rst d mparen ska anslutas till systemet
28. B IDX Damper Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen 20 Lagerung 21 Vor der Installation 21 Installation 23 Wartung 25 Entsorgung 25 Ubersetzung der Originalanleitungen GEB Agilent Technologies 19152 2 Gebrauchsanleitung Allgemeine Informationen Allgemeine Informationen VORSICHT Dieser Apparat ist fir den fachm nnischen Gebrauch bestimmt Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen unsachgem em Gebrauch durch ungeschultes Personal nicht autorisierten Eingriffen und Missachtung der nationalen einschlagigen Normen tibernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung Der Damper IDX ist ein passiver Vibrationsisolator der die von einer turbomolekularen Pumpe an ein Vakuumsystem bertragenen Vibrationen reduziert Der dampfende Effekt wird durch die Kombination von zwei Spannelementen O Ringe aus Gummi und einer Masse erhalten In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen f r die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Ger ts aufgef hrt Detaillierte technische Informationen sind im Anhang Technical Information enthalten In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermafsen hervorgehoben Die Vorsichtshinweise werden vor Vorg ngen angegeben die bei Nichtbeachtung Sch den an der Anlage verursachen k nnten Die
29. B 141 152 17 Technical Information Technical Specification Figure 5 Safety Screws and rubber covers As far as there s no metal to metal contact when the damper is under vacuum the pump is electri cally insulated from the upper flange of the damper and conseguently from the system the damper is attached to Technical Specification 142 152 Inlet flange ISO 100 Operating position vertical Damping Factor cage peak gt 1000 unbalance peak gt 1000 Operating ambient temperature 20 C to 80 C Bakeout temperature 80 C at inlet flange max Storage temperature 50 C to 80 C Pollution degree 2 Weight kg Ibs Kit 7 5 16 5 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Technical Information 17 IDX Damper Outline The following figures show the IDX Damper outline dimensions are in inches mm ISO100K 1 121 4 4 78 ISO100K 0188 7 40 Figure 6 IDX Damper outline IDX Damper 87 901 018 01 B 143 152 17 Technical Information IDX Damper Outline Pump Vibration Transmitted Vibration Figure 7 Typical pump vibration spectra and transmitted vibration spectra on the upper flange of the damper for a TV303 pump Spectra taken with pri
30. Damper IDX 32 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Mode d emploi 3 Entretien Le Damper IDX n exige aucun entretien particulier Toute intervention doit tre effectu e par un personnel agr En cas de mise au rebut de la pompe proc der son limination conform ment aux r glementations nationales concernant la gestion des d chets Mise au rebut Signification du logo WEEE figurant sur les tiquettes Le symbole ci dessous est appliqu conform ment la directive CE nomm e WEEE Ce symbole uniquement valide pour les pays de la Communaut europ enne indique que le produit sur lequel il est appliqu NE doit PAS tre mis au rebut avec les ordures m nag res ou les d chets industriels ordinaires mais passer par un syst me de collecte s lective Apr s avoir v rifi les termes et conditions du contrat de vente utilisateur final est donc pri de contacter le fournisseur du dispositif maison m re ou revendeur pour mettre en ceuvre le processus de collecte et mise au rebut IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 33 152 3 Mode d emploi Mise au rebut 34 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper 4 Manual de istrucciones Informaci n general 36 Almacenamiento 37 Preparaci n para la instalaci n 37 Instalaci n 39 Mantenimiento 41 Eliminacion 41 Traducci n de las instrucciones originales GE Agilent Technologies 35 152 4 Manual de istrucciones
31. Informacion general Informacion general ATENCI N Este equipo es para uso profesional El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra informaci n suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones al uso impropio por parte de personal no preparado a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales espec ficas El Damper IDX es un aislador de vibraciones pasivo que reduce las vibraciones transmitidas por una bomba turbo molecular a un sistema de vac o El efecto de amortiguaci n se obtiene mediante la combinaci n de dos elementos el sticos junta t rica de goma y una masa A continuaci n se facilita toda la informaci n necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato En el anexo Technical Information se facilita informaci n m s detallada Este manual utiliza las convenciones siguientes Los mensajes de atenci n se visualizan antes de los procedimientos que de no cumplirse podr an provocar da os al aparato ADVERTENCIA Los mensajes de advertencia atraen la atenci n del operador sobre un procedimiento o una ejecuci n espec fica que de no realizarse correctamente podr a provocar graves lesiones personales 36 152 Las notas contienen informaci n importante extra da del texto
32. Pendant le fonctionnement il est n cessaire de respecter les conditions environnementales suivantes pression maxi 2 bar au del de la pression atmosph rique temp rature de 20 C 80 C a humidit relative 0 95 non condensante Le Damper IDX doit tre install en position verticale Fixer le Damper IDX dans une position stable en reliant une bride la bride d entr e de la turbopompe et l autre une contre bride fixe La contre bride doit tre en mesure de supporter un couple conforme aux exigences de celui de la pompe sur laquelle l amortisseur est mont Par exemple en cas de montage sur la pompe TV 308 il doit supporter un couple de 1000 Nm autour de son axe Par exemple le flasque ISO 100 K peut tre fix l aide de brides en acier haute r sistance comme le mod le Agilent IC 63250 DCMZ Afin de garantir les meilleures prestations du Damper IDX serrer le collier de raccordement la pompe et au syst me un couple de 10Nm IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 31 152 3 Mode d emploi Installation Figure 2 Vis de s curit WE LESS AN Ne jamais d monter les 8 vis des deux brides de amortisseur Ces vis ont t dimensionn es pour r sister a un couple de 1000Nm en cas de rupture de la pompe mid arian Quand amortisseur est fix la pompe s assurer que les 8 vis ne touche pas la masse centrale Ceci pourrait provoquer une baisse de performance du
33. aconseja mantener cerrada el damper hasta que se instale en el sistema para evitar su eventual contaminaci n 38 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Manual de istrucciones 4 Instalaci n ATENCI N Despegar el adhesivo y quitar el tap n de protecci n s lo al conectar el amortiguador al sistema No instalar ni o utilizar el amortiguador en lugares expuestos a agentes atmosf ricos lluvia hielo y nieve polvo y gases agresivos en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes presi n m xima 2 bares por encima de la presi n atmosf rica temperatura de 20 C a 80 C humedad relativa 0 95 no condensadora El Damper IDX se debe instalar en posici n vertical Fijar el Damper IDX en posici n estable conectando una brida a la brida de entrada de la turbobomba y la otra a una contrabrida fija La contrabrida debe ser capaz de resistir a un par que se adecue a los requisitos de la copia de la turbobomba a la cual se conecta el amortiguador Por ejemplo para la bomba TV 303 debe resistir a un par de 1000 Nm alrededor de su eje Por ejemplo la brida ISO 100 K puede ser fijada con mordazas en acero de alta resistencia tipo modelo tipo Agilent IC 63250 DCMZ A los fines de garantizar las mejores prestaciones del Damper IDX cerrar el clamp que lo conecta a la bomba y al sistema con un par de 10 Nm
34. ail Fax Customer Ship To Customer Bill To Reference 3 TYPE OF RETURN Choose one from each row and supply Purchase Order if requesting a billable service 3A O Non Billable L Billable amm New PO hard copy must be submitted with this form 3B exchange Repair upgrade Consignment Demo calibration Evaluation Return for Credit 4 HEALTH and SAFETY CERTIFICATION AGILENT TECHNOLOGIES CANNOT ACCEPT ANY PRODUCTS CONTAMINATED WITH BIOLOGICAL OR EXPLOSIVE HAZARDS RADIOACTIVE MATERIAL OR MERCURY AT ITS FACILITY Call Agilent Technologies to discuss alternatives if this reguirement presents a problem The eguipment listed above check one e HAS NOT pumped or been exposed to any toxic or hazardous materials OR HAS pumped or been exposed to the following toxic or hazardous materials If this box is checked the following information must also be filled out Check boxes for all materials to which product s pumped or was exposed toxic O Corrosive L Reactive O Flammable O Explosive O Biological L Radioactive List all toxic hazardous materials Include product name chemical name and chemical symbol or formula NOTE If a product is received at Agilent which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product and is liable for any harm or injury to Agilent emplo
35. ange de entrada da turbobomba e a outra a uma contra flange fixo capaz de resistir a um torque que esteja de acordo com os requisitos da turbobomba na qual sera conectado o amortecedor Por exemplo para a bomba TV 303 deve resistir a um torque de 1000 Nm ao redor do pr prio eixo Por exemplo a flange ISO 100 K pode ser fixada com grampos de aco de alta resist ncia como o modelo Agilent IC 63250 DCMZ Para garantir os melhores rendimentos do Damper IDX fechar a abracadeira que o conecta bomba e al sistema com um torque de 10Nm IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 47 152 5 Manual de Istruc es Instalac o Figura 2 Parafusos de seguranca Puig Nunca remover os 8 parafusos em duas flanges do amortecedor Estes parafusos s o dimensionados para resistir a um torque de 1000N m em caso de rompimento da bomba CUIDADO Quando o amortecedor fixado bomba certificar se de que os 8 parafusos n o toguem a massa central Isto poderia provocar um gueda dos rendimentos do Damper IDX 48 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Manual de Istruc es 5 Manutenc o O Damper IDX n o reguer qualquer manuten o Todas as opera es devem ser efectuadas por pessoal autorizado Caso um sistema deva ser destru da proceder sua elimina o respeitando as normas nacionais especificas Eliminacao Significado do log tipo WEEE presente nos r tulos O simbolo abaixo indicado aplicado d
36. chnical data Trademarks Windows and MS Windows are U S registered trademarks of Microsoft Corporation Safety Notices A CAUTION notice denotes a hazard It calls attention to an operating procedure practice or the like that if not correctly performed or adhered to could result in damage to the product or loss of important data Do not proceed beyond a CAUTION notice until the indicated conditions are fully understood and met A WARNING notice denotes a hazard It calls attention to an operating procedure practice or the like that if not correctly performed or adhered to could result in personal injury or death Do not proceed beyond a WARNING notice until the indicated conditions are fully understood and met IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper IDX Damper IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 3 152 IDX Damper 4 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Contents 1 Contents Istruzioni per uso 11 Informazioni Generali 12 Immagazzinamento 13 Preparazione per installazione 13 Installazione 15 Manutenzione 17 Smaltimento 17 Gebrauchsanleitung 19 Allgemeine Informationen 20 Lagerung 21 Vor der Installation 21 Installation 23 Wartung 25 Entsorgung 25 Mode emploi 27 Indications g n rales 28 Stockage 29 Pr paration pour l installation 29 Installation 31 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 5 152 Contents 6 152 En
37. chtigheid van O tot 95 niet condenserend De Damper IDX wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor Zorg er bij het uitpakken voor dat de Damper IDX niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt Laat de verpakking niet ergens buiten achter Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 94 62 en latere wijzigingen Om ontgassingsproblemen te voorkomen mogen de componenten die met het vacu m in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 53 152 6 Bedrijfshandleiding Uitpakken Figuur 1 De Damper IDX kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden Toch wordt aangeraden om de demper gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd zodat eventuele vervuiling wordt voorkomen 54 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Bedrijfshandleiding 6 Installatie uH Alleen op het moment waarop de demper op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden De demper mag niet ge nstalleerd en of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden regen
38. cription of the IDX Damper Description of the IDX Damper The IDX Damper is available in one version Model 969 9396 with ISO 100 high vacuum flange Damper Description The IDX damper consists of two aluminium flang es two O ring ad one stainless steel mass of about 6 Kg Figure 3 IDX Damper Model 969 9396 When the damper is at atmospheric pressure there is a mechanical contact between the central mass and the two flanges When the damper is placed under vacuum the compression of the O ring causes the creation of a gap between the two items So the central mass is touching only the elastomeric O ring The vibration coming through the mass is forced to pass through the O ring and is consequently damped 140 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Technical Information 17 Description of the IDX Damper a c Figure4 Damper behaviuor at atmospheric pressure and under vacuum 4 screws placed on both flanges guarantees that the mass is kept in the proper position and the safety of the IDX damper In case of a contact be tween the screws and the mass the rubber covers guarantee that the damping factor won t drop be low the specifications NOTE Before operating the turbopump be aware that the safety screws with rubber covers placed in both flanges are properly aligned as shown in the Figure 3 and Figure 4 IDX Damper 87 901 018 01
39. de specifieke nationale wetgeving De Damper IDX is een passieve trillingisolator voor het verminderen van trillingen die van een moleculaire turbopomp op een vacu msysteem worden overgebracht Het dempende effect wordt verkregen door middel van de combinatie van twee elastische elementen rubberen O ring en een massa In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage Technical information Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik Bij dit symbool staat tekst met procedures die indien niet opgevolgd schade aan apparatuur kunnen veroorzaken AARSCHUWING Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die indien niet correct uitgevoerd ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht 52 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Opslag Uitpakken VOORZICHTIG Bedrijfshandleiding 6 Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen a tijdens transport verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan temperatuur van 50 C tot 80 C a relatieve vo
40. e 099 1000 0 09 e ig e e IDX Damper Model 969 9396 Manuale di istruzioni Ohjek sikirja Bedienungshandbuch Felhasznaloi k zik nyv Notice de mode d emploi Podrecznik instrukcji Manual de istrucciones Navod k pouziti Manual de istruc es N vod na obsluhu Bedrijfshandleiding Prirocnik za navodila Istrukstionsbog User Manual Bruksanvisning Instruksjon manual 87 901 018 01 B 05 2012 E Agilent Technologies Notices Agilent Technologies Inc 2011 No part of this manual may be reproduced in any form or by any means including electronic storage and retrieval or translation into a foreign language without prior agreement and written consent from Agilent Technologies Inc as governed by United States and international copyright laws Manual Part Number Publication Number 87 901 018 01 B Edition Edition 05 2012 Printed in ITALY Agilent Technologies Italia S p A Vacuum Products Division Via F lli Varian 54 10040 Leini TO ITALY Warranty The material contained in this document is provided as is and is subject to being changed without notice in future editions Further to the maximum extent permitted by applicable law Agilent disclaims all warranties either express or implied with regard to this manual and any information contained herein including but not limited to the implied warranties of merchantability and fitness for a particular purpose Agilent shall not be
41. e Units without a Purchase Order for repair will be returned to the customer and the evaluation fee will be invoiced e A Special Cleaning fee will apply to all exposed products per Section 4 of this document e f requesting a calibration service units must be functionally capable of being calibrated Pg 3 3 United States Agilent Technologies Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 1 781 861 7200 Fax 1 781 860 5437 Toll Free 1 800 882 7426 Benelux Agilent Technologies Netherlands B V Vacuum Products Division Herculesweg 8 4338 PL Middelburg The Netherlands Tel 31 118 671570 Fax 31 118 671569 Toll Free 00 800 234 234 00 Canada Central coordination through Agilent Technologies Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 1 781 861 7200 Fax 1 781 860 5437 Toll Free 1 800 882 7426 China Agilent Technologies China Co Ltd Vacuum Products Division No 3 Wang Jing Bei Lu Chao Yang District Beijing 100102 China Tel 86 10 6439 7718 Toll Free 800 820 6556 France Agilent Technologies France Vacuum Products Division 7 Avenue des Tropiques Z A de Courtaboeuf B P 12 91941 Les Ulis cedex France Tel 33 0 1 69 86 38 84 Fax 33 0 1 69 86 29 88 Toll free 00 800 234 234 00 Germany and Austria Agilent Technologies Vacuum Products Division Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt G
42. e acordo com a directiva CE denominada WEEE Este simbolo valido apenas para os paises da Comunidade Europeia indica que o produto no qual esta aplicado NAO deve ser eliminado juntamente com os residuos dom sticos ou industriais comuns mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada Portanto convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo seja este o fabricante ou um revendedor para encaminhar o processo de recolha e elimina o ap s a oportuna verifica o dos termos e condic es do contrato de venda IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 49 152 5 Manual de Istruc es Eliminac o 50 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper 6 Bedrijfshandleiding Algemene informatie 52 Opslag 53 Uitpakken 53 Installatie 55 Onderhoud 57 Afvalverwerking 57 Vertaling van de originele instructies GEB Agilent Technologies 51 152 6 Bedrijfshandleiding Algemene informatie Algemene informatie VOORZICHTIG Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met
43. e due flange dello smorzatore Queste viti sono dimensionate per resistere ad una coppia di 1000Nm in caso di crash della pompa Pat Quando lo smorzatore viene fissato alla pompa assicurarsi che le 8 viti non tocchino la massa centrale Ouesto potrebbe provocare un decadimento delle prestazioni del Damper IDX 16 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Istruzioni per l uso 1 Manutenzione Il Damper IDX non richiede alcuna manutenzione Qual siasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato Qualora un sistema dovesse essere rottamato procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche Smaltimento Significato del logo WEEE presente sulle etichette I simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata WEEE Questo simbolo valido solo per i paesi della Comunita Europea indica che il prodotto sul quale amp applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata Si invita pertanto l utente finale a contattare il fornitore del dispositivo sia esso la casa madre o un rivenditore per avviare il processo di raccolta e smaltimento dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 17 152 1 Istruzioni per uso Smaltimento 18 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01
44. e na etykiecie znaczenia logo WEEE Uzyty ponizej symbol jest zgodny Z wymogiem zarzadzenia WEEE Unii Europejskiej Symbol ten prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej oznacza ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi po uprzedniej weryfikacji terminu i warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy nawiazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 105 152 12 Podrecznik Instrukcji Przetwortswo odpadow 106 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper 13 N vod k Pou it V eobecn informace 108 Uskladn n 109 Pr prava k instalaci 109 Instalace 111 dr ba 113 Likvidace 113 Preklad origin ln ho n vodu GEB Agilent Technologies 107 152 13 N vod k Pou it V eobecn informace V eobecn informace Toto zarizeni je ur eno pro odborn ky U ivatel by si m l pred pou it m zarizeni prec st tento n vod a v echny dal informace dodan firmou Agilent Firma Agilent neodpov d za jak koli nehody kter vzniknou n sledkem i ste n ho nedodr en t chto pokyn nespr vn m pou v n m neznal mi osobami neopr vn n m z sahem do za zen nebo jakoukoli in
45. edi ne mase To bi lahko zmanj alo zmogljivosti bla ilnika Damper IDX 128 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Priro nik za Navodila 15 Vzdr evanje Naprave Damper IDX ni potrebno vzdr evati Kakr no koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje Sistem je treba uni iti v skladu z dolo enimi nacionalnimi standardi Odlaganje opadkov Pomen znamke WEEE na etiketah Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom WEEE Ta simbol ki velja samo v dr avah Evropske Skupnosti pomeni da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki temve morate poskrbeti za njihovo primerno lo evanje Zato pozivamo uporabnike da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku lo evanja in odstranitve odpadkov ele nato ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 129 152 15 Priro nik za Navodila Odlaganje opadkov 130 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B E Agilent Technologies IDX Damper 16 Instructions for Use General Information 132 Storage 133 Preparation for Installation 133 Installation 135 Maintenance 137 Disposal 137 Original Instructions 131 152 16 Instructions for Use General Information General Information This eguipment is destined for use by professionals The user should read this instruction manual and any other
46. einem Moment von 1000 Nm um seine Achse widerstehen Der ISO 100 K Flansch kann z B mit hochfesten Stahlklammern befestigt werden wie das Agilent Modell IC 63250 DCMZ Um h chste Leistungen des Damper IDX zu gewahrleisten den Clamp der ihn mit der Pumpe und dem System verbindet mit einem Anzugsmoment von 10 Nm schlief en IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 23 152 2 Gebrauchsanleitung Installation Abbildung 2 Sicherheitsschrauben WARNUNG Nie die 8 Schrauben an den beiden Flanschen des Dampers entfernen Dieses Schrauben sind so dimensioniert dass sie einem Moment von 1000 Nm im Falle eines Crashs der Pumpe widerstehen se EN Wenn der Dampfer an die Pumpe befestigt wird sicherstellen dass die 8 Schrauben nicht die mittlere Masse beriihren Das k nnte einen Verfall der Leistungen des Dampfer IDX hervorrufen 24 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Wartung Gebrauchsanleitung 2 Modell Damper IDX erfordert keine Wartung Eventuelle Eingriffe d rfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef hrt werden Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschlagigen nationalen Vorschriften zu erfolgen Entsorgung Bedeutung des WEEE Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in Ubereinstimmung mit der EU Richtlinie WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment angebracht Dieses Symbol nur in den EU Landern giiltig zeigt an dass das betreffende Produkt n
47. ement de l emballage pouvant s tre produit pendant le transport contacter le bureau de vente local Pendant l op ration d ouverture de l emballage veiller tout particuli rement ne pas laisser tomber le Damper IDX et ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration Ne pas abandonner l emballage dans la nature Le mat riel est enti rement recyclable et conforme la directive CEE 94 62 et modifications successives en mati re de protection de l environnement Afin d viter tout probl me de d gazage ne pas toucher mains nues les l ments devant tre expos s au vide Mettre toujours des gants ou toute autre protection appro pri e IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 29 152 3 Mode d emploi Pr paration pour installation Figure 1 NOTE Le Damper IDX ne peut s endommager en restant simplement expos l atmosph re Toutefois afin d viter toute pollution il est conseill de le garder dans son emballage clos jusqu au moment de l installation 30 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Mode d emploi 3 Installation Nain Ne d coller l adh sif et ne retirer le couvercle de protection qu au moment de brancher l amortisseur au syst me Ne pas installer et ou utiliser l amortisseur dans des milieux expos s aux agents atmosph riques pluie gel neige la poussi re aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou fort risque d incendie
48. ermany Tel 49 0 6151 703 353 Fax 49 0 6151 703 302 Toll free 00 800 234 234 00 Sales and Service Offices India Agilent Technologies India Pvt Ltd Vacuum Product Division G01 Prime corporate Park 230 231 Sahar Road Opp Blue Dart Centre Andheri East Mumbai 400 099 India Tel 91 22 30648287 8200 Fax 91 22 30648250 Toll Free 1800 113037 Italy Agilent Technologies Italia S p A Vacuum Products Division Via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9111 Fax 39 011 997 9350 Toll Free 00 800 234 234 00 Japan Agilent Technologies Japan Ltd Vacuum Products Division 8th Floor Sumitomo Shibaura Building 4 16 36 Shibaura Minato ku Tokyo 108 0023 Japan Tel 81 3 5232 1253 Fax 81 3 5232 1710 Toll Free 0120 655 040 Korea Agilent Technologies Korea Ltd Vacuum Products Division Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Toll Free 080 222 2452 Mexico Agilent Technologies Vacuum Products Division Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 Singapore Agilent Technologies Singapore Pte Ltd Vacuum Products Division Agilent Technologies Building 1 Yishun Avenue 7 Singapore 768923 Tel 65 6215 8045 Fax 65 6754 0574 Agilent Technologies Inc 2011 Printed in ITALY 05 201
49. i osittaisesta laiminly nnist ammattitaidottoman henkil n virheellisesta laitteen kaytosta valtuuttamattomista toimenpiteist tai kansallisen lains d nn n vastaisesta k yt st Damper IDX on passiivinen t rin n eristin joka v hent turbomolekylaaripumpun tyhji j rjestelm lle v litt m t rin Vaimennusvaikutus saadaan aikaan kahden joustavan elementin kuminen O rengas ja massan yhdistymisest Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen k ytt j n turvallisuuden takaamiseksi laitteen k yt n aikana Yksityiskohtaiset tiedot l ytyv t osasta Technical Information Tama k sikirja k ytt seuraavanlaisia merkint j HUOMIO Huomio merkit varoittavat toiminnoista joiden laiminly nti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen VAROITUS Vaara merkit saavat k ytt j n kiinnitt m n huomion erityiseen k ytt tai toimintatapaan jonka v r nlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkil vaurioihin Huomautukset sis lt v t t rke tekstiss k sitelty tietoa 84 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Ohjekasikirja 10 Varastointi Noudata seuraavia ohjeita jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi erittain tehokkaasti ja luotettavasti Kun pumppua kuljetetaan siirret n ja varastoidaan seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylittaa l mp tila 50 C 80 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v
50. icht zusammen mit Haushaltsm ll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugef hrt werden muss Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Ger ts d h die Muttergesellschaft oder den Wiederverkaufer kontaktieren um den Entsorgungsprozess zu starten nachdem er die Verkaufsbedingungen gepr ft hat IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 25 152 2 Gebrauchsanleitung Entsorgung 26 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper 3 Mode d emploi Indications g n rales 28 Stockage 29 Pr paration pour l installation 29 Installation 31 Entretien 33 Mise au rebut 33 Traduction de la mode d emploi originale GEB Agilent Technologies 27 132 3 Mode d emploi Indications g n rales Indications g n rales ATTENTION Cet appareillage a t con u en vue d une utilisation professionnelle Avant toute utilisation de l appareil il est conseill a l utilisateur de lire attentivement cette notice d instructions ainsi que toute autre indication suppl mentaire fournie par Agilent qui d cline par cons quent toute responsabilit en cas de non respect total ou partiel des instructions donn es d utilisation impropre par un personnel non form d op rations non autoris es ou d emploi contraire aux r glementations nationales sp cifiques Le Damper IDX est un isolateur de vibrations qui r duit les vibrations transmises par une pompe turbo mol culaire a un systeme de vide Leffet
51. ie je ur en pre profesionalnych pracovnikov Skor ne za nete zariadenie pou ivat pre itajte si navod na pou itie a v etky dal ie pokyny spolo nosti Agilent Spolo nost Agilent nenesie iadnu zodpovednos za ak ko vek udalosti zapr inen postupom ktor nie je v s lade dokonca ani v iasto nom s lade s t mito pokynmi zapr inen nespr vnym pou van m zariadenia nepou en mi osobami neopr vnenou pravou zariadenia alebo ak mko vek postupom ktor je v rozpore so pecifick mi tandardmi danej krajiny Damper IDX je pas vny izol tor vibr ci ktor obmedzuje vibr cie pren an turbomolekul rnou v vevou na v kuov syst m Tlmiaci inok je dosiahnut prostredn ctvom kombin cie dvoch pru n ch prvkov gumov O kr ky a masy Nasleduj ce asti obsahuj v etky potrebn inform cie ktor zaru uj bezpe nos pracovn ka v priebehu pr ce so zariaden m Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technical Information N vod na pou itie obsahuje tieto tandardn ozna enia Upozornenia ozna uj postupy nedodr anie ktor ch m e sp sobi po kodenie zariadenia NEBEZPE Varovania maj s stredi pozornos pracovn ka na ur it postup alebo innos nespr vne vykonanie ktor ch m e sp sobi v ne zranenie Pozn mky upozor uj na d le it inform cie z textu 116 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01
52. ilent Technologies 67 152 8 Bruksanvisning Allman information Allman information OBSERVER Utrustningen r avsedd f r yrkesm ssig anv ndning Anv ndaren b r l sa denna bruksanvisning samt vrig dokumentation fr n Agilent f re anv ndning av utrustningen Agilent tar inget ansvar f r skador helt eller delvis till f ljd av sidos ttande av instruktionerna ol mplig anv ndning av person utan tillr cklig kunskap obeh rigt bruk av utrustningen eller hantering som strider mot g llande lokala f reskrifter Damper IDX r en passiv vibrationsisolator som minskar vibrationerna som verf rs av en molekyl r turbopump till ett vakuumsystem Den d mpande effekten uppn s med hj lp av tv elastiska delar O ring av gummi och en massa De f ljande avsnitten inneh ller all information som beh vs f r att garantera operat rens s kerhet under anv ndningen Detaljerade uppgifter finns i bilagan Technical information I bruksanvisningen anv nds f ljande standardrubriker Detta varningsmeddelande visas framf r procedurer som m ste f ljas exakt f r att inte risk f r maskinskada skall uppst Varningsmeddelandena informerar operat ren om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete m ste utf ras exakt enligt anvisningarna I annat fall finns risk f r sv ra personskador Detta visar p viktig information i texten 68 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Bruksanvisning
53. informacii technicznych Technical Information W tej instrukcji zastosowano nastepujace umowne znaczenia Komunikaty zwiekszonej uwagi sa wyswietlane przed procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania mo e dojs do uszkodzenia aparatury Komunikaty niebezpiecze stwa przyciagaja uwage operatora co do danej procedury lub danego postepowania kt rego nieprawidtowe wykonanie mogtoby spowodowa powa ne uszkodzenia ciata Sa to wa ne informacie wyciagniete z tekstu 100 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Podrecznik Instrukcji 12 Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyzszego poziomu funkcjonalnego i niezawodnosci pomp turbomolekularnych Agilent musza by przestrzegane nastepujace zalecenia podczas transportu przesuni cia i magazynowania pomp nie moga by przekroczone nastepujace warunki srodowiskowe temperatura od 50 C do 80 C wzgledna wilgo od 0 do 95 bez opar Przygotowanie do instalacji System Damper IDX jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu w przypadku sladow uszkodzen do kt rych mogtoby doj podczas transportu nale y skontaktowa sie z miejscowym biurem sprzeda y Podczas operacji rozpakowywania nale y zwroci szezeg lna uwage aby nie spowodowa upadku systemu Damper IDX ani nie poddawa go uderzeniom lub wibracjom Nie porzuca opakowania w rodowisku Material ten nadaje sie catkowicie do recyklingu i jest zgodny dyre
54. iteet tulee jattaa valtuutetun henkil n tehtavaksi Mik li pumppu taytyy romuttaa toimikaa sen h vitt misess kansallisen lains d nn n m r m ll tavalla H vitt minen Pakkausmerkinn iss olevan WEEE logon merkitys Alla n kyv merkki on lis tty pakkaukseen EY n ns WEEE direktiivin mukaisesti Merkki koskee ainoastaan Euroopan Unionin j senmaita tarkoittaa etta tuotetta EI saa havittaa tavallisen kotitalous tai teollisuusj tteen mukana vaan se on toimitettava erilliseen kerayspisteeseen Loppukayttajaa kehotetaan sen vuoksi ottamaan ker ys ja havittamisprosessia varten yhteytta laitteen toimittajaan olipa se sitten laitteen valmistaja tai jalleenmyyja tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 89 152 10 Ohjekasikirja H vitt minen 90 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper Felhasznaloi K zik nyv ltal nos inform ci 92 T rol s93 El k sz t s telep t sre 93 Telep t s 95 Karbantart s 97 Megsemmis t s 97 Az eredeti utas t s ford t sa GEB Agilent Technologies 91 152 11 Felhaszn l i K zik nyv ltal nos inform ci Altal nos inform ci A berendez st professzion lis felhaszn l k sz m ra tervezt k A felhaszn l nak a berendez s m k dtet se el tt el kell olvasnia ezt a g pk nyvet s a Agilent ltal biztos tott b rmely inform ci t A Agilent nem vonhat felel ss gre
55. jte v prostorih ki so izpostavljeni vremenskim dejavnikom de zmrzal sneg prahu agresivnim plinom kot tudi ne v prostorih z eksplozivnim ozra jem ali takih z visokim tveganjem po ara Tekom delovanja je treba spo otvati naslednje pogoje Maksimalen pritisk 2 bara nad pritiskom atmosfere temperatura from 20 C to 80 C a Relativna vla nost 0 95 brez kondenza Damper IDX je treba namestiti v vertikalno lego Blazilnik stabilno pritrdite tako da eno prirobnico pove ete z vhodno prirobnico turbomolekularne rpalke drugo pa s fiksno protiprirobnico Protiprirobnica mora biti taka da lahko prenaSa navor skladen z navorom turbomolekularne rpalke na katero je bla ilnik name en Na primer pri rpalki TV 303 mora biti taka da lahko prena a navor 1000 Nm okrog lastne osi ISO 100 K prirobnico lahko na primer pritrdite s pomo jo jeklenih dr al kot pri Agilent modelu IC 63250 DCMZ Za zagotoviti bolj o u inkovitost naprave Damper IDX zaprite jeklena dr ala ki povezujejo rpalko na sistem z navorom 10Nm IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 127 152 15 Priro nik za Navodila Monta a Slika 2 Varnostni vijak SVARILO 8 vijakov na dveh prirobnicah bla ilnika nikoli ne odstranjujte Vi vijaki so dimenzionirani tako da lahko prena ajo navor 1000 Nm v primeru zloma rpalke POZOR Pri pritrjevanju bla ilnika na rpalko pazite da se 8 vijakov ne bi dotikalo sr
56. k za Navodila Splo ne informacije 124 Shranjevanje 125 Priprava za monta o 125 Monta a 127 Vzdr evanje 129 Odlaganje opadkov 129 Prevod navodil v izvirniku GEB Agilent Technologies 123 152 15 Priro nik za Navodila Splo ne informacije Splo ne informacije POZOR Oprema je namenjena za profesionalno uporabo Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije ki mu jih je posredoval Agilent Agilent ni odgovoren za dogodke ki bi nastali zaradi neupo tevanja teh navodil nepravilne uporabe in nepoobla enega poseganja v opremo ali kakr nega koli dejanja ki niso v skladu s standardi Damper IDX je pasivni bla ilnik vibracij ki zmanj uje vibracije ki turbomolekularna rpalka prena a na vakuumski sistem Bla ilni u inek se dosega s kombinacijo dveh pro nih elementov gumijasto o tesnilo in mase Naslednji odstavki vsebujejo informacije ki so potrebne za varnost tistega ki uporablja to opremo Podrobne informacije lahko najdete v prilogi Technical Information Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu Sporo ila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do po kodbe opreme SVARILO 124 152 Opozorila so za to da pritegnejo pozornost uporabnika na dolo ene postopke pri katerih lahko pride do resnih po kodb e se jih ne dr i Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila IDX Damper User Manual 87 901 018 0
57. ktywa EWG 94 62 dotyczaca ochrony Srodowiska i p Zniejszymi zmianami UWAGA Aby unikna problem w odgazowywania nalezy nie dotyka gotymi rekoma cz ci przeznaczonych do pr ni Nale y zawsze stosowa odpowiednie r kawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 101 152 12 Podrecznik Instrukcji Przygotowanie do instalacji Posta 61 System Damper IDX nie mo e by uszkodzony poprzez wystawienie go na dziatanie atmosfery Mimo to zaleca sie aby Damper do momentu zainstalowania pozostat zamkniety w celu unikniecia ewentualnego zanieczyszczenia 102 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Podrecznik Instrukcji 12 Instalacja UWAGA Usuna ta me klejaca i zdja korek zabezpieczajacy tylko w momencie potaczenia tlumika drga do systemu Nie instalowa i lub u ytkowa ttumika drga w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne deszcz mr z Snieg pyty gazy chemiczne w rodowiskach wybuchowych lub z wysokim zagro eniem po aru Podczas dziatania obowiazkowo nale y przestrzega nastepujace warunki otoczenia maksymalne ci nienie 2 bary ponad ci nieniem atmosferycznym temperatura od 20 C do 80 C wzgl dna wilgo 0 95 bez opar Damper IDX nale y zainstalowa w pozycji pionowej Zamocowa Damper IDX w pozycji stabilnej taczac jeden kotnierz z kotnierzem wejsciowym turbopompy a d
58. l s ra a k vetkez tmutat sokat kell k vetni szivatty k sz ll t sakor mozgat sakor s t rol sakor a k vetkez k rnyezeti param tereket nem szabad t ll pni h m rs klettartom ny 50 C 80 C relativ p ratartalom 0 95 nem kondenz l El k szit s telepit sre FIGYELEM A Damper IDXt k l nleges v d csomagol sban sz llitj k Ha ez s r l s jeleit mutatja ami sz ll t s k zben felmer lhet forduljon a helyi szolg ltat si irod hoz A rendszer kicsomagol sakor gyeljen arra hogy ne ejtse le s ker lje annak b rmilyen hirtelen t s t vagy r zk d s t Ne rtalmatlan tsa a csomagol anyagokat nem megengedett m don Az anyag teljesen jrafeldolgozhat s k rnyezetv delmi szempontb l megfelel az 94 62 EK ir nyelvnek s m dos t sainak G zkivon si probl m k elker l s re ne hasznaljon puszta kezeket vakuumnak kitett komponensek kezel s re Mindig hasznaljon keszty t vagy mas alkalmas v delmet IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 93 152 11 Felhaszn l i K zik nyv El k szit s telepit sre bra 1 A k rnyezetnek val norm l kitetts g nem tudja k rositani a Damper IDXt M gis ajanlatos z rva tartani a rendszerbe valo telepitesig a szennyez d sek elker l se v gett 94 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Felhaszn l i K zik nyv 11 Telepit s FIGYELEM Ne t voli
59. l adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento dello smorzatore al sistema Non installare e o utilizzare lo smorzatore in ambienti e sposti ad agenti atmosferici pioggia gelo neve polveri gas aggressivi in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio Durante il funzionamento necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali pressione massima 2 bar oltre la pressione atmosferica temperatura da 20 C a 80 C umidit relativa 0 95 non condensante Il Damper IDX deve essere installato in posizione verticale Fissare il Damper IDX in posizione stabile collegando una flangia alla flangia di ingresso della turbopompa e l altro ad una controflangia fissa La contro flangia deve essere capace di resistere ad una coppia che sia in accordo ai requisiti di quella della turbopompa a cui il viene collegato lo smorzatore Ad esempio per la pompa TV 303 deve resistere ad una coppia di 1000 Nm attorno al proprio asse Per esempio la flangia ISO 100 K pu essere fissata con morsetti in acciaio ad alta resistenza tipo modello Agilent IC 63250 DCMZ AJ fine di garantire le migliori prestazioni del Damper IDX chiudere la clamp che lo collega alla pompa ed al sistema con una coppia di 10Nm IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 15 152 1 Istruzioni per l uso Installazione Figura 2 Viti di sicurezza WAYS TIA Non rimuovere mai le 8 viti sull
60. letamente recicl vel e em conformidade com a norma CEE 94 62 e posteriores modifica es para a protec o do meio ambiente Para evitar problemas de perdas de g s n o tocar com as m os os componentes destinados exposic o do v cuo Utilizar sempre luvas ou outra proteccdo adeguada IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 45 152 5 Manual de Istruc es Preparac o para a instalac o Figura 1 NOT O Damper IDX n o pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto NOTA atmosfera Aconselha se no entanto manter o damper fechado at o momento da instala o no sistema para evitar eventuais contaminac es 46 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Manual de Istruc es 5 Instalacao CUIDADO Remover a etigueta autocolante e retirar a tampa de protecc o somente no momento de ligar o amortecedor ao sistema N o instalar e ou usar o amortecedor em ambientes expostos a agentes atmosf ricos chuva gelo neve poeiras gases agressivos em ambientes com possibilidade de explos o ou com elevado risco de inc ndio Durante o funcionamento necess rio que sejam respeitadas as seguintes condi es ambientais press o m xima 2 bar al m da press o atmosf rica temperatura de 20 C a 80 C humidade relativa 0 95 n o condensante O Damper IDX deve ser instalado na posi o vertical Fixar o Damper IDX em posi o est vel ligando uma flange a fl
61. liable for errors or for incidental or consequential damages in connection with the furnishing use or performance of this document or of any information contained herein Should Agilent and the user have a separate written agreement with warranty terms covering the material in this document that conflict with these terms the warranty terms in the separate agreement shall control Technology Licenses The hardware and or software described in this document are furnished under a license and may be used or copied only in accordance with the terms of such license Restricted Rights Legend If software is for use in the performance of a U S Government prime contract or subcontract Software is delivered and licensed as Commercial computer software as defined in DFAR 252 227 7014 June 1995 or as a commercial item as defined in FAR 2 101 a or as Restricted computer software as defined in FAR 52 227 19 June 1987 or any equivalent agency regulation or contract clause Use duplication or disclosure of Software is subject to Agilent Technologies standard commercial license terms and non DOD Departments and Agencies of the U S Government will receive no greater than Restricted Rights as defined in FAR 52 227 19 c 1 2 June 1987 U S Government users will receive no greater than Limited Rights as defined in FAR 52 227 14 June 1987 or DFAR 252 227 7015 b 2 November 1995 as applicable in any te
62. lipalovaara K yt n aikana on noudatettava seuraavia ymp rist koskevia ehtoja maksimipaine Z baaria yli atmosf risen paineen a l mp tila 20 C 80 C suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Damper IDX tulee asentaa pystysuoraan asentoon Kiinnitt k Damper IDX vakaaseen asentoon liitt m ll laippa turbopumpun sis ntulolaippaan ja toinen kiinte n vastalaippaan Vastalaipan tulee kest turbopumpun vaatiman momentin johon vaimennin liitet n Esimerkiksi pumpun TV 303 tulee kest 1000 Nm n momentin akselinsa ymp ri Esimerkiksi laippa ISO 100 K voidaan kiinnitt suurta rasitusta kest vill ter spuristimilla tyyppi Agilent IC 63250 DCMZ Damper IDX n parhaan suorituskyvyn takaamiseksi sulkekaa kiinnike joka liitt sen pumppuun ja j rjestelm n 10Nm n momentilla IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 87 152 10 Ohjek sikirja Asennus Kuva 2 Varmistusruuvit UTILE lk koskaan irrottako vaimentimen kahdessa laipassa olevaa 8 ruuvia N m ruuvit on mitoitettu kest m n 1000Nm n momentin pumpussa syntyv n crashin varalta HUOMIO Kun vaimennin kiinnitet n pumppuun varmistakaa etteiv t 8 ruuvia kosketa keskell olevaa massaa T m voi heikent Damper IDX n suosituskyky 88 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Ohjek sikirja 10 Huolto Damper IDX ei vaadi lainkaan huoltoa Mahdolliset toimenp
63. mary pump off 144 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Technical Information 17 Connection to High Vacuum Flange To connect the IDX damper to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure O RING REMOVE OUTER RING TURBO PUMP LA PROTECTIVE ES EDGE Figure 8 Then fix the two flanges with the clamps as shown in the figure Use a torque of 10Nm in order to guarantee the damping performances CLAMPING CLAMPING SCREW SCREW O RING AS VE TURBO PUMP Figure 9 IDX Damper 87 901 018 01 B 145 152 17 Technical Information IDX Damper Outline 146 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B E Agilent Technologies Vacuum Products Division Dear Customer Thank you for purchasing an Agilent vacuum product At Agilent Vacuum Products Division we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and or service you have purchased As part of our Continuous Improvement effort we ask that you report to us any problem you may have had with the purchase or operation of our products On the back side you find a Corrective Action request form that you may fill out in the first part and return to us This form is intended to suppleme
64. molekyl re pumper ma fglgende anvisninger fglges Under transport flytting og lagring av pumpene m ikke f lgende milj forhold overstiges temperatur fra 50 C til 80 C relativ fuktighet fra O til 95 uten kondensering Klargj ring f r installasjon Damper IDX leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje Viser den tegn p skader som kan ha oppst tt under transporten m du ta kontakt med det lokale salgskontoret N r Damper IDX pakkes ut m du se til at den ikke slippes ned eller utsettes for noen form for st t Emballasjen m ikke kastes p en ulovlig m te Alt materiale er 100 resirkulerbart og er i samsvar med EU direktiv 94 62 om milj beskyttelse og etterf lgende endringer isa eo For unng avgassingsproblemer m ingen del som skal utsettes for vakuum h ndteres med bare hendene Bruk alltid hansker eller annet passende verneutstyr IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 77 152 9 Instruksjon Manual Klargj ring for installasjon Figur 1 Normale milj messige belastninger kan ikke delegge Damper IDX Likevel anbefaler vi at du holder demperen lukket til den er montert i systemet slik at den ikke kontamineres 78 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Instruksjon Manual 9 Installasjon Sa Tapen og beskyttelsesproppen skal f rst fjernes n r demperen koples til systemet Ikke installer eller bruk demperen i miljger som utsettes for
65. ng moving and storing pumps the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 50 C to 80 C relative humidity range 0 to 95 non condensing Preparation for Installation The IDX damper is supplied in a special protective packing If this shows signs of damage which may have occurred during transport contact your local sales office When unpacking the system be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 recyclable and complies with EEC Directive 94 62 and amendments to protect the environment In order to prevent outgassing problems do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum Always use gloves or other appropriate protec tion IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 133 152 16 Instructions for Use Preparation for Installation Figure 1 NOTE Normal exposure to the environment cannot damage the IDX damper Nevertheless it is advisable to keep the damper closed until it is installed in the system to prevent contamina tion 134 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Instructions for Use 16 Installation CAUTION Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the damper to the system Do not install or use the damper in an environment exposed to atmospheric agent
66. nost kter je v rozporu s pokyny uveden mi v pr slu n ch st tn ch norm ch Damper IDX je pasivn izol tor vibrac kter omezuje vibrace pren sen turbomolekul rn vyv vou na vakuov syst m Tlumici inek je dosa en prostrednictv m kombinace dvou pru n ch prvk gumov O krouzky a masy N sledujici odstavce obsahuj informace pot ebn k zaji t n bezpe nosti obsluhy p i pou v n tohoto za zen Podrobn informace jsou uvedeny v p loze Technical Information Tento manu l pou v n sleduj c standardn protokol POZOR Varovn hl en jsou uvedena p ed postupy kter by v p pad nedodr en mohly po kodit za zen NA 174234180 V stra n hl en jsou ur ena pro upozorn n obsluhy na ur it postup nebo innosti kter by v p pad nedodr en mohly zp sobit v n raz Pozn mky obsahuj d le it informace p evzat z textu 108 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B N vod k Pou it 13 Uskladn ni Aby byla zajist na maxim ln provozuschopnost a spolehlivost turbomolekul rn ch vyv v firmy Agilent mus te dodrzovat nasledujici pokyny a P i p eprav p em s ov n a skladov n v v v byste nem li p ekra ovat n sleduj c technick podm nky prost ed Teplotn rozp t 50 C a 80 C Rozp t vlhkosti O a 95 bez sr en P prava k instalaci V v va Dam
67. nsit e Agilent Technologies is not responsible for returning customer provided packaging or containers e Clearly label package with RA number Using the shipping label provided will ensure the proper address and RA number are on the package Packages shipped to Agilent without a RA clearly written on the outside cannot be accepted and will be returned Return only products for which the RA was issued Product being returned under a RA must be received within 15 business days Ship to the location specified on the printable label which will be sent along with the RA number as soon as we have received all of the required information Customer is responsible for freight charges on returning product Return shipments must comply with all applicable Shipping Regulations IATA DOT etc and carrier requirements RETURN THE COMPLETED REQUEST FOR RETURN FORM TO YOUR NEAREST LOCATION EUROPE NORTH AMERICA PACIFIC RIM Fax 00 39 011 9979 330 Fax Free 00 800 345 345 00 Fax 1 781 860 9252 please visit our website for individual Toll Free 00 800 234 234 00 Toll Free 800 882 7426 Option 3 office information vpt customercare agilent com vpl ra agilent com http www agilent com Pg 1 3 A Agilent Technologies Vacuum Products Division Request for Return Form Health and Safety Certification Please read important policy information on Page 3 that applies to all returns 1 CUSTOMER INFORMATION Company Name Contact Name Tel Em
68. nt normal lines of communications and to resolve problems that existing systems are not addressing in an adequate or timely manner Upon receipt of your Corrective Action Request we will determine the Root Cause of the problem and take the necessary actions to eliminate it You will be contacted by one of our employees who will review the problem with you and update you with the second part of the same form on our actions Your business is very important to us Please take the time and let us know how we can improve Sincerely Giampaolo LEVI Vice President and General Manager Agilent Vacuum Products Division Note Fax or mail the Customer Request for Action see backside page to Agilent Vacuum Products Division Torino Quality Assurance or to your nearest Agilent representative for onward transmission to the same address CUSTOMER REOUEST FOR CORRECTIVE PREVENTIVE IMPROVEMENT ACTION TO AGILENT VACUUM PRODUCTS DIVISION TORINO OUALITY ASSURANCE FAX N XXXX 011 9979350 ADDRESS AGILENT TECHNOLOGIES ITALIA S p A Vacuum Products Division Via F lli Varian 54 10040 Lein TO Italy E MAIL vpd qualityassurance_pdl ext agilent com NAME COMPANY FUNCTION ADDRESS TEL N FAX N E MAIL PROBLEM SUGGESTION REFERENCE INFORMATION model n serial n ordering information time to failure after installation etc DATE CORRECTIVE ACTION PLAN ACTUATION LOG N by
69. olyan esem nyek rt amelyek az ezen utas t soknak val ak r r szbeni meg nem felel s szakk pzetlen szem lyek ltali nem megfelel haszn lat a berendez sbe val jogosulatlan beavatkoz s vagy a konkr t nemzeti szabv nyokkal ellent tes b rmely m velet miatt t rt ntek A Damper IDX olyan passz v rezg scsillap t amely cs kkenti a molekul ris turb szivatty ltal a v kuum alatti rendszernek tadott rezg seket A csillap t hat st k t rugalmas elem gumi O gy r s egy f ldel s kombin ci ja biztos tja A k vetkez bekezd sek a berendez st haszn l kezel biztons g nak garant l s hoz sz ks ges sszes inform ci t tartalmazz k R szletes inform ci t tal l a Technical Information f ggel kben Ez a k zik nyv a k vetkez szabv nyos protokollt haszn lja FIGYELEM A figyelmeztet zenetek felh vj k a kezel figyelm t egy konkr t elj r sra vagy gyakorlatra amit ha nem k vetnek megfelel en s lyos s r l shez vezethet VESZ LY A figyelmeztet zenetek felh vj k a kezel figyelm t egy konkr t elj r sra vagy gyakorlatra amit ha nem k vetnek megfelel en s lyos s r l shez vezethet A megjegyz sek a sz vegb l vett fontos inform ci t tartalmaznak 92 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B T rol s Felhaszn l i K zik nyv 11 A Agilent Turbomolecular szivatty k maxim lis teljes tm nyszintj nek garant
70. per IDX er vedlikeholdsfri Alt arbeid pa systemet skal kun utfgres av autorisert personell Dersom et system skal kasseres ma dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser Eliminering Betydelsen av symbolet pa logo WEEE pa etikettene Symbolet nedenunder som finnes er anvendt i henhold til EC direktiv kalt WEEE Dette symbolet som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap viser at produktet som det sitter pa IKKE ma behandles som vanlig hus industriavfall men ma legges i kildesortering Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen henvende seg til leverandgren av anordningen som kan vere et firma eller en forhandler som sorger for oppsamling og eliminering etter 4 ha kontrollert avtal og betingelser i kj pekontrakten IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 81 152 9 Instruksjon Manual Eliminering 82 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper 10 Ohjekasikirja Yleisia tietoja 84 Varastointi 85 Valmistelut asennusta varten 85 Asennus 87 Huolto 89 Havittaminen 89 Alkuper isen ohjeiden k nn s GEB Agilent Technologies 83 152 10 Ohjek sikirja Yleisia tietoja Yleisia tietoja Tama laite on tarkoitettu ammattimaiseen k ytt n Ennen laitteen k ytt nottoa tulee k ytt j n lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lis tiedot Agilent ei ota vastuuta seurauksista jotka johtuvat laitteen k ytt ohjeiden taydellisesta ta
71. per IDX se dod v ve speci ln m ochrann m obalu Pokud toto balen vykazuje zn mky po kozen k n mu mohlo doj t b hem p epravy kontaktujte va i m stn prodejn pobo ku P i vybalov n d vejte pozor aby za zen nespadlo a chra te jej p ed v emi nenad l mi n razy ot esy nebo vibracemi Balic materi l nelikvidujte nedovolen m zp sobem Tento materi l lze 100 recyklovat a spl uje po adavky sm rnice EHS 94 62 ve smyslu n sledn ch prav POZOR Aby se zamezilo probl m m s odply ov n m nepou vejte hol ruce p i manipulaci s komponenty kter budou vystaveny vakuu V dy pou vejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 109 152 13 N vod k Pou it Pr prava k instalaci Postava 1 V normalnim prost ed se v v va Damper IDX nem e po kodit P esto doporu ujeme abyste ji nechali zakrytou dokud nebude nainstalov na do syst mu a t m se ochr nila p ed jak mkoli zne i t n m a prachem 110 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B N vod k Pou it 13 Instalace POZOR Pred pripojenim tlumi e do syst mu nesund vejte adhezn a ochrann v ko Neinstalujte tlumi v prostredi kter je vystaveno atmosf rick m vliv m d sn h led prachu agresivn m plyn m ve v bu n m prost ed nebo v prost ed s vysok m nebezpe m po ru Za provozu je t eba dodr ovat n
72. ranca do operador durante o uso da aparelhagem Informac es detalhadas sao fornecidas no ap ndice Technical Information Este manual utiliza as seguintes convenc es As mensagens de cuidado s o visualizadas antes de procedimentos que se nao efectuados correctamente podem causar danos aparelhagem ATENCAO As mensagens de atenc o chamam a atenc o do operador para um procedimento ou uma pr tica especifica que se n o efectuada correctamente pode provocar graves les es pessoais 44 152 As notas cont m informac es importantes destacadas do texto IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Manual de Istruc es 5 Armazenagem Para garantir o n vel M ximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent devem ser observadas as seguintes prescri es durante o transporte o deslocamento e a armazenagem das bombas as condi es ambientais devem ser as seguintes temperatura de 50 C a 80 C umidade relativa de 0 a 95 2 n o condensante Preparacao para a instalacao O Damper IDX fornecido numa embalagem protectora especial se esta apresentar sinais de danos que poderiam ter ocorrido durante o transporte entrar em contacto com o escrit rio de vendas local Durante a remo o da embalagem tomar muito cuidado para nao deixar cair o controller e para n o submet lo a choques ou vibra es N o depositar a embalagem no meio ambiente O material comp
73. rugi z przeciwkotnierzem statym Przeciwkotnierz musi wytrzyma moment zgodny z wymaganiami dla turbopompy z kt ra taczony jest ttumik drgan Na przyktad w przypadku pompy TV 303 musi mie wytrzymatos umo liwiajaca zastosowanie momentu 1000 Nm wok t jego wtasnej osi Na przyktad kotnierz ISO 100 K mo e by zamocowany z zaciskami stalowymi o wysokiej wytrzymalno ci typ modelu Agilent IC 63250 DCMZ W celu zagwarantowania jak najlepszych charakterystyk Damper IDX nale y zacisna zacisk kt ry go taczy z pompa i z ukladem momentem 10Nm IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 103 152 12 Podrecznik Instrukcji Instalacja Posta 62 Sruby zabezpieczajace Nigdy nie usuwa 8 rub znajdujacych sie na dw ch kotnierzach ttumika drga Parametry tych rub umo liwiaja zastosowanie momentu 1000Nm w przypadku uszkodzenia pompy Kiedy ttumik drgan jest przymocowany do pompy sprawdzi czy 8 rub nie styka sie z masa centralna Mo e to spowodowa pogorszenie osiag w urzadzenia Damper IDX 104 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Podrecznik Instrukcji 12 Konserwacja System Damper IDX nie wymaga zadnej konserwacji Jakakolwiek interwencja musi by wykonana przez upowazniony personel Je eli system musi by poddany rozbi rce nale y przystapi do jego eliminacji zgodnie z obowiazujacymi krajowymi normami w meritum sprawy Przetwortswo odpadow Objasnienie znajdujacego si
74. s rain snow ice dust aggressive gases or in explosive environments or those with a high fire risk During operation the following environmental conditions must be respected maximum pressure 2 bar above atmospheric pressure temperature from 20 C to 80 C a relative humidity 0 95 non condensing The IDX damper must be installed in vertical position Fix the IDX damper in stable position connecting one flange to the inlet flange of the turbopump and the other to a fixed counter flange The counter flange must be capable of withstanding the torque of the turbopump to which the damper is attached For example for a TV303 it must be capable of withstanding a torque of 1000 Nm about its axis For example the ISO 100 K flange can be fixed using high strength steel clamps as Agilent model IC 63250 DCMZ In order to guarantee optimal performance of the IDX damper close the clamp connecting it to the pump and to the system at a torque of 10Nm IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 135 152 16 Instructions for Use Installation Figure 2 Safety screws Never remove the 8 screws from the two flanges of the damper These screws WARNING are dimensioned to withstand a torgue of 1000Nm in the event of a pump crash CAUTION Make sure that the 8 screws do not touch the central weight when fixing the damper to the pump This could cause a loss of damping performances of the IDX damper
75. se 65 Bortskaffning 65 Overs ttelse af originalinstruktionerne GEB Agilent Technologies 59 152 7 Istruktionsbog Generel information Generel information FORSIGTIG Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse Brugeren b r leese denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent for udstyret anvendes Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som folge af tilsides ttelse af disse instruktioner fejlagtig brug af personer uden tilstr kkeligt kendskab ukorrekt anvendelse af udstyret eller handtering der strider imod gzeldende lokale regler Damper IDX er en passiv vibrationsisolator der reducerer vibrationerne overfgrt af en molekyl r turbopumpe til et vakuumsystem Den dempende effekt opnas ved hj lp af to elastiske elementer O ringe i gummi og en masse De fglgende afsnit indeholder oplysningerne der er n dvendige for at garantere sikkerhed for operatgren i forbindelse med anvendelse af udstyret Bilaget Technical Information indeholder detaljerede oplysninger I brugsanvisningen anvendes fglgende standardrubrikker Denne advarselsmeddelelse vises f r procedurer der skal f lges neje for ikke at risikere maskinskader ADVARSEL Advarselsmeddelelserne informerer operatoren om at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udfores preecist efter anvisningerne modsat fald er der risiko for sv re personskader Dette gor opmerksom pa vigtig information i
76. tanda pa Damper IDX 72 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Bruksanvisning 8 Underhall Damper IDX r underhallsfritt Allt servicearbete maste utf ras av auktoriserad personal Skrotning av pumpen skall ske enligt g llande lagstiftning Bortskaffning Betydelse av logotypen WEEE p etiketterna Symbolen som visas nedan har till mpats i enlighet med CD direktivet som har betecknats som WEEE Den h r symbolen g ller endast i de l nder som tillh r den Europeiska Unionen indikerar att produkten p vilken symbolen har applicerats INTE f r skaffas bort tillsammans med vanliga hush lls eller industriavfall men att d remot ett differentierat uppsamlingssystem m ste uppr ttas Vi rekommenderar d rf r att slutanv ndaren tar kontakt med leverant ren av anordningen oberoende om det handlar om moderf retaget eller terf rs ljaren f r att kunna starta uppsamlings och bortskaffningsprocessen detta efter l mplig kontroll av kontraktsenliga tidsgr nser och f rs ljningsvillkor IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 73 152 8 Bruksanvisning Bortskaffning 74 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B E Agilent Technologies IDX Damper 9 Instruksjon Manual Generell informasjon 76 Lagring77 Klargjgring for installasjon 77 Installasjon 79 Vedlikehold 81 Eliminering 81 Oversetting av den opprinnelige samsvarserklaringen 75 152 Instruksjon Manual Generell informasjon
77. teksten 60 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Istruktionsbog 7 Opbevaring Det er ngdvendigt at overholde fglgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekyl re pumper fra Agilent a S rg for at omgivelserne opfylder f lgende betingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 50 C til 80 C relativ fugtighed fra O til 95 ikke kondenserende Forberedelse for installation Damper IDX leveres i en speciel beskyttende emballage Kontakt den lokale forhandler hvis emballagen viser tegn p skader der kan v re opst et under transporten S rg for at Damper IDX ikke tabes eller uds ttes for st d ved udpakningen Smid ikke emballagen ud Materialet kan genbruges 100 og opfylder EU direktiv 94 62 om milj beskyttelse samt efterf lgende ndringer intimi Komponenter der skal uds ttes for vakuum m ikke ber res med bare h nder idet der er risiko for afgasning Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 61 152 7 Istruktionsbog Forberedelse for installation Figur 1 BEMARK Normal atmosferisk pavirkning kan ikke skade Damper IDX Det anbefales dog at opbevare demperen i en lukket kasse indtil den skal installeres Herved forhindres en eventuel forurening af systemet 62 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Istr
78. tretien 33 Mise au rebut 33 Manual de istrucciones 35 Informaci n general 36 Almacenamiento 37 Preparaci n para la instalaci n 37 Instalaci n 39 Mantenimiento 41 Eliminacion 41 Manual de Istruc es 43 Informac es gerais 44 Armazenagem 45 Preparac o para a instalac o45 Instalac o 47 Manutenc o 49 Eliminac o 49 Bedrijfshandleiding 51 Algemene informatie 52 Opslag 53 Uitpakken 53 Installatie 55 Onderhoud 57 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Contents Afvalverwerking 57 7 Istruktionsbog 59 Generel information 60 Opbevaring 61 Forberedelse for installation 61 Installation 63 Vedligeholdelse 65 8 Bruksanvisning 67 Allm n information 68 F rvaring 69 F rberedelser f r installationen 69 Installation 71 Underh ll 73 Bortskaffning 73 9 Instruksjon Manual 75 Generell informasjon76 Lagring TI Klargjgring f r installasjon 77 Installasjon 79 Vedlikehold 81 Eliminering 81 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 1 152 Contents 8 152 10 Ohjek sikirja 83 11 Yleisi tietoja 84 Varastointi 85 Valmistelut asennusta varten85 Asennus 87 Huolto 89 H vitt minen 89 Felhaszn l i K zikonyv 91 ltal nos inform ci 92 T rol s 93 El k szit s telepit sre 93 Telepit s 95 Karbantartas 97 Megsemmisit s 97 12 Podrecznik Instrukcji 99 Og lne informacje 100 Magazynowanie 101 Przygotowanie do instalacii 101 Instalacja 103 Konserwacja 105 Pr
79. tsa el az ntapad s v d kupakot a rezg scsillap t nak a rendszerhez val csatlakoztat sa el tt Ne telepitse valamint ne haszn lja a rezg scsillapit t atmoszf rikus k zegeknek kitett k rnyezetben es h j g porban agressz v g zokban illetve robban vagy t zvesz lyes k rnyezetben zemeltet s k zben a k vetkez k rnyezeti felt teleket kell biztos tani maxim lis nyom s 2 bar a l gk ri nyom s felett a h m rs klet 20 C t l 80 C ig relativ p ratartalom 0 95 nem kondenz l A Damper IDX et fiiggoleges helyzetben kell telep teni R gz tse a Damper IDX et stabil helyzetben gy hogy egy karim t a turb szivatty bemeneti karim j hoz s egy m sikat egy r gz tett ellenkarim ra csatlakoztassa Az ellenkarima legyen k pes ellen llni olyan nyomat knak amely megfelel a csatlakoztatni k v nt turb szivatty sz m ra el irtaknak P ld ul a TV 303 szivatty nak ellen kell llnia 1000 Nm tengely k r li nyomat knak P ld ul az ISO 100 K karima r gz thet nagy teherb r s ac lkapcsokkal mint az IC 63250 DCMZ Agilent t pus Ahhoz hogy a Damper IDX a lehet legjobban m k dj k z rni kell a szor t t amely azt a szivatty hoz s a rendszerhez 10 Nm nyomat kkal k ti ssze IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 95 152 11 Felhaszn l i K zik nyv Telep t s bra2 Biztons gi csavarok VESZ LY Soha ne
80. uktionsbog 7 Installation diste e Tapen og beskyttelsesproppen fjernes f rst n r demperen tilsluttes systemet Install r og anvend ikke d mperen i milj er der uds ttes for p virkninger fra atmosf ren regn sne is damp aggressive gasser og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt milj F lgende krav til omgivelsesforholdene g lder ved drift a max tryk 2 bar over det atmosf riske tryk temperatur fra 20 C til 80 C relativ luftfugtighed 0 95 ikke kondenserende Damper IDX skal installeres i lodret position Fastg r Damper IDX i en stabil position ved at slutte en flange til turbopumpens indlgbsflange og den anden til en fast kontraflange Kontraflangen skal kunne modsta et moment der er i overensstemmelse med kravene fra den turbopumpe som demperen tilsluttes For eksempel skal den for pumpen TV 303 kunne modsta et moment pa 1000 Nm omkring egen aksel Flangen ISO 100 K kan for eksempel fastggres med klemmer af hgjstyrkestal type Agilent model IC 63250 DCMZ For at garantere den bedst mulige ydelse fra Damper IDX skal klemmen der forbinder den til pumpen og til systemet lukkes med et moment pa 10Nm IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 63 152 7 Istruktionsbog Installation Figur 2 Sikkerhedsskruer OKI Fjern aldrig de 8 skruer p demperens flange Disse skruer har en st rrelse der gor at de kan modst et moment p 1000Nm i tilf lde af at pumpen
81. utilizzo del apparecchiatura La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilita dovute al inosservanza totale o parziale delle istruzioni ad uso improprio da parte di personale non addestrato ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche Il Damper IDX un isolatore di vibrazioni passivo che riduce le vibrazioni trasmesse da una pompa turbo molecolare ad un sistema per vuoto L effetto smorzante e ottenuto mediante la combinazione di due elementi elastici O ring in gomma ed una massa Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza del operatore durante utilizzo del apparecchiatura Informazioni dettagliate sono fornite nel appendice Technical information Guesto manuale utilizza le seguenti convenzioni messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che se non osservate potrebbero causare danni all apparecchiatura AVVERTENZA I messaggi di avvertenza attirano attenzione del operatore su una procedura 0 una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo 12 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Istruzioni per l uso 1 Immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalita ed affidabilita delle pompe Turbomolecolari Agilent devono essere osservate le
82. yees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product Print Name Authorized Signature Date 5 FAILURE INFORMATION I understand and agree to the terms of Section 6 Page 3 3 Print Name Authorized Signature Date Pg 2 3 1 Agilent Technologies Vacuum Products Division Reguest for Return Form Health and Safety Certification Please use these Failure Mode to describe the concern about the product on Page 2 TURBO PUMPS and TURBO CONTROLLERS APPARENT DEFECT MALFUNCTION Does not start Noise Vertical Power Rotational Speed Does not spin freely Vibrations Horizontal Current Inlet Pressure Does not reach full speed Leak Upside down Temp 1 Foreline Pressure Mechanical Contact Overtemperature Temp 2 Purge flow Cooling defective Clogging ll sss OPERATING TIME ION PUMPS CONTROLLERS VALVES COMPONENTS Bad feedthrough Poor vacuum Main seal leak Bellows leak Vacuum leak High voltage problem Solenoid failure Damaged flange Error code on display Other Damaged sealing area Other LEAK DETECTORS INSTRUMENTS Cannot calibrate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other
83. z a gy rt vagy egy viszontelad IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 97 152 11 Felhaszn l i K zik nyv Megsemmisit s 98 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper 12 Podrecznik Instrukcji Og lne informacje 100 Magazynowanie 101 Przygotowanie do instalacji 101 Instalacja 103 Konserwacja 105 Przetwortswo odpadow 105 Ttumaczenie instrukcji oryginalnej GEB Agilent Technologies 99 152 12 Podrecznik Instrukcji Og lne informacje Og lne informacje Ta aparatura jest przeznaczona do uzytku zawodowego Uzytkownik musi przeczyta bardzo uwa nie niniejsza instrukcje ka da dodatkowa informacje dostarczona przez firme Agilent przed u ytkowaniem aparatury Firma Agilent uchyla sie od jakiejkolwiek odpowiedzialnosci w przypadku czesciowego lub catkowitego braku przestrzegania instrukcji w przypadku niewtasciwego uzytkowania przez nieprzeszkolony personel w przypadku nieupowaznionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych Damper IDX jest pasywnym izolatorem drgan kt ry redukuje drgania przenoszone z pompy turbomolekularnej na uktad pr ni Efekt ttumienia uzyskano poprzez potaczenie dw ch element w elastycznych O ring z gumy i masy W nastepnych paragrafach zostaly przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpieczenstwa operatora podczas uzytkowania aparatury Szezegotowe informacje zostaly przedstawione w dodatku dotyczacym
84. zetwortswo odpadow 105 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B Contents 13 N vod k Pou it 107 V eobecn informace 108 Uskladn ni 109 Pr prava k instalaci 109 Instalace 111 dr ba 113 Likvidace 113 14 N vod na Obsluhu 115 V eobecn inform cie 116 Uchov vanie 117 Pr prava na in tal ciu 117 In tal cia 119 dr ba 121 Likvid cia 121 15 Priro nik za Navodila 123 Splo ne informacije 124 Shranjevanje 125 Priprava za monta o 125 Montaza 127 Vzdr evanje 129 Odlaganje opadkov 129 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B 9 152 Contents 16 Instructions for Use 131 General Information 132 Storage 133 Preparation for Installation 133 Installation 135 Maintenance 137 Disposal 137 17 Technical Information 139 Description of the IDX Damper 140 Technical Specification 142 IDX Damper Outline 143 10 152 IDX Damper User Manual 87 901 018 01 B IDX Damper 1 Istruzioni per uso Informazioni Generali 12 13 Preparazione per l installazione 13 15 17 17 Immagazzinamento Installazione Manutenzione Smaltimento Traduzione delle istruzioni originali GEB Agilent Technologies 11 152 1 Istruzioni per uso Informazioni Generali Informazioni Generali ATTENZIONE Questa apparecchiatura destinata ad uso professionale utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima del

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