Home

Mini-TASK AG81 - Uni-Export Instruments Polska

Contents

1. 4 0 14 Figure 7 216 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 a 5 o 2 vo o E a E 2 n 10 10 10 107 1 Inlet pressure mbar Figure 8 Graph of pumping speed vs inlet pressure 1000 100 10 2 E 1 2 s 10 2 a 107 107 107 107 0 20 40 60 80 100 120 140 160 180 Time sec Figure 9 Graph of pressure vs time with a pump down volume of 1 litre Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 217 258 17 Technical Information Inlet Screen Installation Figure 10 The inlet screens mod 969 9300 and 969 9309 prevent the blades of the pump from being damaged by dust greater than 0 7 mm diameter The inlet screen however does reduce the pumping speed by about 10 96 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure Figure 11 218 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 The screen can be mounted on either pump series and is supplied with a small tab for easy removal see figure Figu
2. Control Panel Description The following picture shows the Mini TASK AG81 control panel the associated table lists the available commands For a detailed description see the following paragraphs 212 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 C 00000000 gt TI Usamos a 0000000 0000 li ERIAL T Figure 6 Tab 2 CONTROL NAME DESCRIPTION J1 IN OUT Input output connector to remote control the Mini TASK AG81 J2 SERIAL Serial input output connector to control the Mini TASK AG81 via an RS 232 or RS 485 connection STATUS Blue LED to show the system operating condition P1 VENT Connector to control the optional vent valve J5 GAUGE Connector to control external EyeSys Gauge ON OFF red switch with integrated light not shown in the picture It is located on the other side of the system with respect to the illustrated control panel It is the power supply switch The integrated red light shows the power supply status it lights when the power supply is applied to the Mini TASK AG81 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 213 258 17 Technical Information Technical Specification Tab 3 Pumping speed l s With CF 4 5 or ISO 63 With KF 40 NW 60 1 5 40 1 5 55 1 5 45 1 5 Hz 40 1 5 Hz 36 1 5 Base pressure 5 x 103 mbar 3 75 x 10 Torr Inlet flange CF 4 5 0 D 15063 KF 40 NW Rotational speed 80000 RPM Start up time lt 2 min
3. ETX CRC Command SOFT START OFF Source PC Destination Controller 02 STX 80 ADDR 31 30 30 WINDOW 31 130 103 42 33 WR OFF ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Command READ PUMP STATUS Source PC Destination Controller Technical Information 17 02 83 32 30 35 30 03 38 37 STX ADDR WINDOW RD ETX CRC Source Controller with address 3 in stop status Destination PC 02 83 32 30 35 30 30 30 30 30 30 03 38 37 STX ADDR WINDOW DATA STATUS ETX CRC Command READ SERIAL TYPE Source PC Destination Controller with address 3 in 485 mode 02 83 35 30 34 30 03 38 31 STX ADDR WINDOW RD ETX CRC Source PC Destination Controller with address 3 in 485 mode 02 83 35 30 34 30 31 03 42 30 STX ADDR WINDOW RD DATA ETX CRC Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 245 258 17 Technical Information Window Meanings Tab 8 N Read Data Description Admitted Values Write Type 000 R W L Start Stop Start 1 in remote mode
4. Signal Description START STOP input signal to start or stop the pump Without the supplied cover connector the turbomolecular pump automatically starts if you want to stop the turbo pump from outside you have to connect the START STOP signal to the 24 Vdc pin and the START STOP signal to the GROUND pin this is the default configuration of the cover connector INTERLOCK input signal to control the pump rotation With the supplied cover connector the INTERLOCK signal is connected to the 24 Vdc pin and the INTERLOCK signal to the GROUND pin in this condition the pump is stopped SOFT START this input is used to provide a soft start to the pump in this condition the ramp up time could be up to 20 min SPEED SETTING PWM input signal to set the pump speed The PWM signal characteristics must be the following a frequency 100 Hz 20 amplitude 24 V max duty cycle range from 25 to 75 corresponding to a pump speed from 1100 Hz to 1350 Hz see the following diagram 228 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 1400 1350 1300 1250 1200 1150 1100 1050 Excitation Frequency Hz 20 30 40 50 60 70 80 Duty Cycle Figure 25 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL this output signal is a voltage from 0 to 10 Vdc proportional to a reference quantity frequency or power or Temperature or Pressure s
5. 95 uten kondens 116 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Instruksjon Manual 9 Ved magnetfelt m pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer Se Technical Information for detaljer Mini TASK AG81 m koples til en hovedpumpe se skjema i Technical Information Mini TASK AG81 kan monteres i en valgfri stilling Fest Mini TASK AG81 i en stabil stilling med inngangsflensen festet mot en fast koplingsflens med et dreiemoment p 50 Nm rundt aksen Turbopumpene med ISO innl psflens skal festes til vakuumkammeret med dobble eller enkle klemmer F lgende tabell angir det n dvendige antall klemmer og det relevante strammemomentet for de enkelte typer klemmer Tab 1 FLENS TYPE KLEMME ANT STRAMME MOMENT ISO 63 Dobbel klemme gjenge M10 4 22 Nm Turbopumpen med ConFlat inngangsflens skal festes til vakuumkammeret ved hjelp av de spesielle l sedelene fra Agilent For detaljer henvises det til Technical Information Mini TASK AG81 m ikke festes gjennom fundamentet For installasjon av tilleggsutstyr vises det til Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 117 258 9 Instruksjon Manual Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet Les n ye gjennom denne manualen f r systemet tas i bruk Mens oppvarmingen av kammeret p g r m temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 120 C ADVARSEL Ikke start pumpen hvis inngangsfle
6. W przypadku uszkodzenia mozliwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego firmy Agilent Przed wysylka do konstruktora systemu do naprawy nalezy obowiazkowo wype ni i przekaza do miejscowego biura sprzeda y kart Bezpiecze stwo i Zdrowie za czon do niniejszej instrukcji Jeden egzemplarz kopia karty musi by w o ony do opakowania systemu przed jego wysy k Je eli system musi by poddany rozbi rce nale y przyst pi do jego eliminacji zgodnie z obowi zuj cymi krajowymi normami w meritum sprawy Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 157 258 12 Podrecznik Instrukcji Przetworstwo odpadow 158 258 Objasnienie znajdujace sie na etykiecie napisu WEEE Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia WEEE Unii Europejskiej Symbol ten prawomocny tylko w krajach Unii Europejskiej oznacza ze wyr b nim oznaczony nie moze by przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemystowymi odpadami lecz musi by sktadowany w miejscu przeznaczonym dla odpad w do przer bki zr znicowanej Zaleca sie uzytkownikowi po uprzednim sprawdzeniu terminu i warunk w zawartych w umowie sprzeda y nawi za kontakt z dostawc lub sprzedawc w celu uruchomienia procesu zbi rki i przerobu Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual 13 N vod k Pouziti Bezpe nostn n vod pro Turbomolekul rn vyv vy 160 Vseobecn Informace 161 Usklad
7. 178 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C N vod na Obsluhu 14 POZOR Pre v plach vyvevy pou vajte inertny plyn zbaven prachu ast c a vlhkosti Ak v vevu pou vate na vy erp vanie toxick ch hor av ch alebo r dioakt vnych plynov dodr iavajte pros m po adovan postupy pre likvid ciu jednotliv ch plynov Nepou vajte v vevu v pr tomnosti v bu n ch plynov Zapnutie a pou itie zariadenia Mini TASK AG81 Pre zapnutie Mini TASK AG81u sta pripojenie k sieti a prepnutie vonkaj ieho vyp na a do polohy ON svieti erven kontrolka Zabudovan kontroln modul automaticky rozpozn pripojenie k sieti a zapne v vevu Pri prvom zapnut sa odpor a pou i re im Soft Start ktor sa d aktivova na kontrolnom module Pre al ie zapnutia sa odpor a re im Soft Start zablokova Viac o aktivovan re imu Soft Start n jdete v odstavci Popis sign lu v kapitole Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 179 258 14 N vod na Obsluhu Modr LED STATUS umiestnen na paneli zariadenia Mini TASK AG81 signalizuje frekvenciou blikania operativne podmienky v ktorych sa nach dza syst m iadne blikanie v veva norm lne rotuje pomal blikanie interval asi 400 ms syst m je v niektorom z t chto stavov st panie klesanie brzdenie Stop alebo v re ime Cakanie na spojenie r chle blikanie inter
8. Bruksanvisning S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar 98 Allman information 99 F rvaring 101 F rberedelser f r installationen 102 Installation 103 Anv ndning 105 Start och anv ndning av Mini TASK AG81 106 Att st nga av Mini TASK AG81 107 N dstopp 107 Underh ll 108 Bortskaffande 109 vers ttning av originalinstruktionerna E Agilent Technologies 97 258 8 Bruksanvisning S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar De molekyl ra turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en h g kinetisk energi beroende p den h ga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppst i systemet t ex p grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas kan det h nda att rotationsenergin frig rs VARNING F r att undvika skador p utrustningen och f rhindra att skador orsakas p operat rer m ste installationsinstruktionerna som beskrivs i den h r bruksanvisningen f ljas noga 98 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Bruksanvisning 8 Allm n information Utrustningen r avsedd f r yrkesm ssig anv ndning Anv ndaren b r l sa denna bruksanvisning samt vrig dokumentation fr n Agilent f re anv ndning av utrustningen Agilent tar inget ansvar f r skador som helt eller delvis beror p sidos ttande av instruktionerna ol mplig anv ndning av person utan tillr cklig kunskap obeh rigt bruk av utrus
9. Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 75 258 6 Bedrijfshandleiding Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik WAARSCHUWING Bij dit symbool staat tekst die de aandacht van de operator vestigt op een speciale procedure of methode die indien niet correct uitgevoerd ernstig lichamelijk letsel kan veroorzaken VOORZICHTIG Bij dit symbool staat tekst met procedures die indien niet opgevolgd schade aan apparatuur kunnen veroorzaken De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht Opslag 76 258 Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen tijdens transport verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan a temperatuur van 20 C tot 70 C a relatieve vochtigheid van O tot 95 niet condenserend de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C OORZICHTIG Bedrijfshandleiding 6 De opmerkingen bevatten belangrijke informatie die uit de tekst is gelicht Uitpakken OORZICHTIG De Mini TASK AG81 wordt in een speciale beschermende verpakki
10. a Po asno utripanje perioda pribli no 400 ms Sistem je v stanju ramp breaking stop ali v stanju Waiting for interloc Hitro utripanje perioda pribli no 200 ms Napaka Za podroben opis nadzorne plo e glej prilogo Technical Information Izklop Mini TASK AG81 a Za izklop Mini TASK AG81 a je dovolj da premaknete zunanje stikalo v poloZaj OFF rdeca lucka ugasne Vgrajen kontroler takoj zaustavi rpalko Zaustavitev v sili Za takoj enj izklop Mini TASK AG81 a v sili je potrebno odstraniti dovod napetosti ali premakniti zunanje stikalo v poloZaj OFF 192 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Priro nik za Navodila 15 Vzdrzevanje Mini TASK AG81 ne potrebuje vzdrZevanja Kakr no koli delo na sistemu mora opraviti avtorizirano osebje SVARILO Pred za etkom dela na sistemu ga izklju ite iz napetosti pre istite rpalko tako da odprete primerno odprtino po akajte da se rotor ustavi an po akajte da povr inska temperatura rpalke pade pod 50 C V primeru napake kontaktirajte vas lokalni Agilent servisni center Preden vrnete sistem v popravilo morate izpolniti in dodati Health and Safety obrazec ki je prilozen tem navodilom ter ga poslati v lokalno prodajno pisarno Pred po iljanjem morate kopijo obrazca vstaviti v embala o sistema Sistem je treba uni iti v skladu z dolo enimi nacionalnimi standardi Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 193 258
11. 80000 kierrosta min max py riv n turbiinin avulla jota k ytt korkeatehoinen kolmivaiheinen s hk moottori Mini TASK AG81 j rjestelm ss ei ole lainkaan likaavia aineita joten se soveltuu my s puhdasta tyhji t vaativiin k ytt tarpeisiin Mini TASK AGS81 j rjestelm n kuuluu lis ksi apuliittimi joiden avulla on mahdollista ohjata tuuletusventtiili ja k ytt j rjestelm kauko ohjauksella sarjakytketyn is nt tietokoneen avulla Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen k ytt j n turvallisuuden takaamiseksi laitteen k yt n aikana Yksityiskohtaiset tiedot l ytyv t osasta Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 125 258 10 Ohjek sikirja T m k sikirja k ytt seuraavanlaisia merkint j VAGT KI Vaara merkit saavat k ytt j n kiinnitt m n huomion erityiseen k ytt tai toimintatapaan jonka v r nlainen suoritus voi johtaa vakaviin henkil vaurioihin Huomio merkit varoittavat toiminnoista joiden laiminly nti voi johtaa laitteen vahingoittumiseen Huomautukset sis lt v t t rke tekstiss k sitelty tietoa Varastointi Noudata seuraavia ohjeita jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi eritt in tehokkaasti ja luotettavasti Kun pumppua kuljetetaan siirret n ja varastoidaan seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylitt a l mp tila 20 C 70 C
12. Turbomolekul rn v v va se vstupn p rubou ISO se mus p ipevnit k vakuov komo e pou it m p slu n ch spon a p chytek N sleduj c tabulka uv d nezbytn po et spon a p chytek pro ka d p chytn za zen a p slu n utahovac moment Tab 1 P RUBA P CHYTN ZA ZEN PO ET UTAHOVAC MOMENT ISO 63 Spony M10 4 22 Nm Prichytky M8 4 11 Nm Turbomolekul rn vyv va se vstupn pr rubou ConFlat se mus p ipevnit k vakuov komo e pou it m p slu n ho materi lu firmy Agilent Viz podrobn popis v p loze Technical Information V v vu Mini TASK AG81 nelze p ipevnit pomoc jej podstavy Chcete li informace o dopl kov m p slu enstv viz Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 165 258 13 N vod k Pou it Pou it Tento odstavec popisuje podrobnosti z kladn ch pracovn ch postup P ed pou it m syst mu prove te v echna elektrick a pneumatick p ipojen P i zah v n vakuov komory teplota vstupn p ruby nesm p ekro it 120 C NEBEZPE Turbov v vu nikdy nepou vejte nebude li vstupn p ruba p ipojen k vakuov komo e NEBEZPE B hem zah v n se turbov v vy ani jej ho p slu enstv nedot kejte Vysok teplota m e zp sobit pop leniny NEBEZPE gt gt PI P edch zejte n raz m i posun m turbomolek
13. Underh ll 108 Bortskaffande 109 Instruksjon Manual 111 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl r Pumper 112 Generell informasjon113 Lagring 114 Klargj re til installasjon 115 Installasjon 116 Bruk 118 Vedlikehold 121 Eliminering 122 Ohjek sikirja 123 Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 124 Yleisi tietoja 125 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Contents Varastointi 126 Valmistelut asennusta varten127 Asennus 128 K ytt 130 Huolto 133 H vitt minen 134 11 Felhaszn l i K zik nyv 135 Biztons gi tmutat Turb molekul ris szivatty khoz 136 ltal nos inform ci 137 T rol s 138 El k szit s telepit sre 139 Telep t s 140 Haszn lat 142 Karbantart s 145 Megsemmisit s 146 12 Podrecznik Instrukcji 147 Wskaz wki dotycz ce bezpiecze stwa dla Pomp Turbomolekularnych 148 Og lne informacje 149 Magazynowanie 150 Przygotowanie do instalacji 151 Instalacja 152 U ytkowanie 154 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 9 258 Contents 10 258 13 14 15 Konserwacja 157 Przetworstwo odpadow 158 N vod k Pou it 159 Bezpe nostn n vod pro Turbomolekul rn v v vy 160 V eobecn Informace 161 Uskladn n 162 P prava kinstalaci 163 Instalace 164 Pou it 166 dr ba 169 Likvidace 170 N vod na Obsluhu 171 Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne v vevy 172 V eobecn inform cie 173 Uchov vanie 174 Pr prava na
14. przestrzegane nast puj ce zasady podczas transportu przesuni cia i magazynowania pomp nie mog by przekroczone nast puj ce warunki rodowiskowe temperatura od 20 C do 70 wzgl dna wilgo od 0 do 95 2 bez opar klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych musi je zawsze uruchomi w spos b Soft Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesiecy od daty wysylki Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Podrecznik Instrukcji 12 z jakiegokolwiek powodu czas magazynowania jest dluzszy nalezy odesta pompe do fabryki W celu jakiejkolwiek informacji prosimy skontaktowa sie z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent Przygotowanie do instalacji System Mini TASK AG81 jest dostarczany w specjanym ochronnym opakowaniu w przypadku lad w uszkodze do kt rych mog oby doj podczas transportu nale y skontaktowa si z miejscowym biurem sprzeda y Podczas operacji rozpakowywania nale y zwr ci szczeg ln uwag aby nie spowodowa upadku systemu Mini TASK AG81 ani nie poddawa go uderzeniom lub wibracjom Nie porzuca opakowania w rodowisku Materia ten nadaje si ca kowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektyw UE 855 399 dotycz cej ochrony rodowiska Aby unikn problem w odgazowywania nale y nie dotyka go ymi r koma cz ci przeznaczonych do pr ni Nale y zawsze stosowa odpowiednie
15. FIGYELEM Ne t vol tsa el az ntapad s v d kupakot a turb szivatty nak a rendszerhez val csatlakoztat sa el tt 140 258 bra 2 Ne telep tse valamint ne haszn lja a szivatty t atmoszf rikus k zegeknek kitett k rnyezetben es h j g porban agressz v g zokban illetve robban vagy t zvesz lyes k rnyezetben zemeltet s k zben a k vetkez k rnyezeti felt teleket kell biztos tani maxim lis nyom s 2 bar a l gk ri nyom s felett a h m rs klet 5 C t l 35 C ig relativ p ratartalom 0 95 nem kondenz l Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Felhaszn l i K zik nyv 11 M gneses mez k jelenl t ben a szivatty t v deni kell ferrom gneses pajzs segits g vel R szletes inform ci rt l sd Technical Information A Mini TASK AG81 ot b rmely helyzetben lehet telep teni R gzitse a Mini TASK AG81 ot stabil helyzetben a turb szivatty bemeneti karim j t egy r gzitett ellenkarim ra csatlakoztatva amely k pes ellen llni 50 Nm tengely k r li nyomat knak Az ISO bemeneti karim s turb szivatty t kapcsokkal vagy peckekkel kell r gziteni a v kuumkamr hoz A k vetkez t bl zat mindegyik r gz t eszk zh z megmutatja a kapcsok vagy peckek sz ks ges sz m t s a hozz tartoz r gzit nyomat kot Tab 1 KARIMA R GZIT ESZK Z N R GZIT NYOMAT K ISO 63 M10 kapcsok 4 22 Nm M8 kapcsok
16. Zdrav a bezpe nost p ilo en k tomuto n vodu a zaslat jej m stn prodejn kancel i P ed odesl n m za zen mus te k za zen p ibalit kopii tohoto listu Pokud se m za zen vy adit mus se zlikvidovat v souladu s konkr tn mi st tn mi normami Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 169 258 13 N vod k Pou it Likvidace V znam loga WEEE nach zej c ho se na t tku N e uveden symbol odpov d sm rnic m CE pojmenovan m WEEE Tento symbol platny jen pro st ty Evropsk Unie urcuje Ze v robek kter je takto ozna en NESM b t likvidov n spole n s ostatn mi dom c mi nebo pr myslov mi odpady ale je nutno ho p edat do pat i n ch provozn ch sb ren kde mus b t t d n a likvidov n odd len od m stsk ho odpadu U ivateli kter m n v robek likvidovat doporu ujeme aby se nakontaktoval p mo s v robcem nebo prodejcem kter se po pat i n m prov en term n a smluvn ch podm nek postar o kompletn likvidaci uveden ho v robku NE 170 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual e 0 14 0 N vod na Obsluhu o e o N o i Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne v vevy 172 V eobecn inform cie 173 Uchov vanie 174 Pr prava na in tal ciu 175 In tal cia 176 Pou itie 178 Zapnutie a pou itie zariadenia Mini TASK AG81 179 Vypnutie Mini TASK AG81u 18
17. maxim ln rovn funk nosti a spolehlivosti v v vov ch syst m Agilent je t eba respektovat n sleduj c p edpisy P i p eprav p em s ov n a skladov n v v v byste nem li p ekra ovat n sleduj c technick podm nky prost ed Teplotn rozp t 20 C a 70 C a Rozp t vlhkosti 0 a 95 bez sr en turbomolekul rn vyv vy mus u ivatel po dod vce a poprv v dycky spou t t pozvoln skladovatelnost turbomolekul rni vyv vy je 10 m s c ode dne doru en 162 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C N vod k Pou it 13 POZOR Pokud dojde z jak hokoli d vodu k p ekro en skladovac lh ty v v vu mus te vr tit v robci Informujte se pros m u m stn ho z stupce pro prodej a servis v v v firmy Agilent P prava k instalaci V v va Mini Task se dod v ve speci ln m ochrann m obalu Pokud toto balen vykazuje zn mky po kozen k n mu mohlo doj t b hem p epravy kontaktujte va i m stn prodejn pobo ku P i vybalov n d vejte pozor aby za zen nespadlo a chra te jej p ed v emi nenad l mi n razy ot esy nebo vibracemi Balic materi l nelikvidujte nedovolen m zp sobem Tento materi l lze 100 recyklovat a spl uje po adavky sm rnice EEC 85 399 POZOR Aby se zamezilo probl m m s odply ov n m nepou vejte hol ruce p i manipulaci s komponenty kter budou vystaveny v
18. mpats i enlighet med CD direktivet som har betecknats som WEEE Denna symbol som endast g ller f r l nder inom Europeiska gemenskapen anger att produkten p vilken den sitter INTE kan skaffas bort tillsammans med vanligt hush lls eller industriavfall men att d remot ett differentierat uppsamlingssystem m ste uppr ttas Slutanv ndaren ska d rf r kontakta leverant ren f retaget eller en terf rs ljare f r att inleda insamlingen och bortskaffandet efter en l mplig kontroll av avtalsm ssiga f rs ljningsvillkor och best mmelser SI ZN 6 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 109 258 8 Bruksanvisning Bortskaffande 110 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual o oo eo e 00 9 0 Instruksjon Manual e e Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyler Pumper112 Generell informasjon 113 Lagring 114 Klargj re til installasjon 115 Installasjon 116 Bruk 118 Starte og bruke Mini TASK AG81 119 Stoppe Mini TASK AG81 120 N dstopp 120 Vedlikehold 121 Eliminering 122 Oversetting av den opprinnelige samsvarserkl ringen E Agilent Technologies 111 258 9 Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl r Pumper Turbomolekyl r pumpene som er beskrevet i den f lgende Bruksanvisningen har et h yt kinetisk energiniv som skyldes den h ye roteringshastigheten i tillegg til den spesifikke massen til pumpene
19. r kawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie Posta 1 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 151 258 12 Podrecznik Instrukcji System Mini TASK AG81 nie moze by uszkodzony poprzez wystawienie go na dziatanie atmosfery Mimo to zaleca sie aby pompa do momentu jej instalacji na systemie pozostala zamknieta w celu unikniecia zanieczyszczenia jej pylem Instalacja Usuna ta me klejaca i zdja korek zabezpieczajacy tylko w momencie potaczenia pompy do systemu 152 258 Posta 2 Nie instalowa i lub uzytkowa pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne deszcz mr z nieg pyly gazy chemiczne w rodowiskach wybuchowych lub z wysokim zagrozeniem pozaru Podczas dziatania obowiazkowo nalezy przestrzega nastepujace warunki otoczenia maksymalne ci nienie 2 bary ponad ci nieniem atmosferycznym temperatura od 5 C do 35 C wzgledna wilgo 0 95 bez opar Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Podrecznik Instrukcji 12 W obecno ci p l elektromagnetycznych pompa musi by odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie W celu szczeg lowego zapoznania sie z tematem patrz dodatek Technical Information Mini TASK AG81 moze by zainstalowany w jakiejkolwiek pozycji Zamocowa Mini TASK AG81 w stabilnej pozycji cz c ko nierz wej ciowy turbopompy do ko nierza sta ego wytrzyma ego na obci enie 50 Nm w
20. suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina k ynnist turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan pumpun ja k ytt ess n sit ensimm isen kerran Turbomolekyylisen pumpun varastointiaika on 10 kuukautta toimitusp iv st 126 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Ohjek sikirja 10 Jos varastointiaika on jostain syyst pidempi pumppu tulee palauttaa tehtaalle Pyyd lis tietoja paikalliselta Agilent edustajalta Valmistelut asennusta varten Mini TASK AG81 toimitetaan erityisess suojapakkauksessa mik li siin on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Mini TASK AG81 n putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai t rin it Pakkausta ei tule j tt ymp rist n Pakkausmateriaali voidaan kierr tt kokonaisuudessaan ja se vastaa EY direktiivi 85 399 ymp rist n suojelusta Jotta kaasun vuoto ongelmilta v ltytt isiin ei tyhji lle altistuviin osiin tule koskea paljain k sin K ytt k aina k sineit tai muuta sopivaa suojausta Kuva 1 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 127 258 10 Ohjek sikirja Mini TASK AG81 ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanssa auki On kuitenkin suositeltavaa pit se suljettuna kunnes se asennetaan j rjestelm n Siten v ltet n lai
21. syst m pro aplikace vy aduj c vysok a velmi vysok vakuum vybaven hlavn turbomolekul rn v v vou a p slu n m regul torem Za zen m e od erp vat libovoln plyn nebo plynnou sm s Nen vhodn na erp n tekutin nebo pevn ch stic erp n zaji uje velmi rychl turb na max 80000 ot min poh n n vysoce v konn m trojf zov m elektromotorem Mini TASK AG81 neobsahuje dn kontaminuj c l tky a proto se hod pro aplikace vy aduj c ist vakuum Mini TASK AG81 je vybaven pomocn mi konektory pro ovl d n odvzdu ovac ho ventilu kter se m ovl dat d lkov pomoc hostitelsk ho po ta e p ipojen ho s riovou linkou N sleduj c odstavce obsahuj informace pot ebn k zaji t n bezpe nosti obsluhy p i pou v n tohoto za zen Podrobn informace jsou uvedeny v p loze Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 161 258 13 N vod k Pou it Tento manu l pou v n sleduj c standardn protokol Md T 4H MW V stra n hl en jsou ur ena pro upozorn n obsluhy na ur it postup nebo innosti kter by v p pad nedodr en mohly zp sobit v n raz POZOR Varovn hl en jsou uvedena p ed postupy kter by v p pad nedodr en mohly po kodit za zen Pozn mky obsahuj d le it informace p evzat z textu Uskladn n Pro zaru en
22. 003 01 C 239 258 17 Technical Information Communication Protocol The communication protocol is a MASTER SLAVE type where Host MASTER a Controller SLAVE The communication is performed in the following way 1 the host MASTER send a MESSAGE CRC to the controller SLAVE 2 the controller answer with an ANSWER CRC to the host The MESSAGE is a string with the following format lt STX gt lt ADDR gt lt WIN gt lt COM gt lt DATA gt lt ETX gt lt CRC gt where When a data is indicated between two quotes it means that the indicated data is the corresponding ASCII character 240 258 a STX Start of transmission 0x02 lt ADDR gt Unit address 0x80 for RS 232 lt ADDR gt Unit address 0x80 device number 0 to 31 for RS 485 lt WIN gt Window a string of 3 numeric character indicating the window number from 000 to 999 for the meaning of each window see the relevant paragraph COM Command 0x30 to read the window 0x31 to write into the window DATA an alphanumeric ASCII string with the data to be written into the window In case of a reading command this field is not present The field length is variable according to the data type as per the following table Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 Tab 6 Data Type Field Length Valid Characters Logic L 1
23. 22 Manutenzione 23 Smaltimento 24 Traduzione delle istruzioni originali Ee Agilent Technologies 13 258 1 Istruzioni per l uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantit di energia cinetica dovuta alla alta velocit di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore l energia di rotazione potrebbe essere rilasciata NANSEN Per evitare danni all apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale 14 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Istruzioni per l uso 1 Informazioni generali Questa apparecchiatura destinata ad uso professionale L utilizzatore deve leggere attentamente il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell utilizzo dell apparecchiatura La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilit dovute all inosservanza totale o parziale delle istruzioni ad uso improprio da parte di personale non addestrato ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche Il Mini TASK AG81 un sistema integrato costituito da una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra
24. 4 11 Nm A ConFlat bemeneti karim s turb szivatty t a megfelel Agilent hardverrel kell r gziteni a v kuumkamr hoz R szletes leir s rt l sd Technical Information AMini TASK AG81 nem r gzithet az alapj n kereszt l Opcion lis tartoz kok telep t s hez v lassza a Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 141 258 11 Felhaszn l i K zik nyv Haszn lat Ez a bekezd s r szletezi az alapvet zemeltet si elj r sokat V gezze el az sszes elektromos s pneumatikus csatlakoztat st a rendszer haszn lata el tt A v kuumkamra meleg t se k zben a bemeneti szelep h m rs klete nem haladhatja meg a 120 C ot VESZELY Soha ne haszn lja a turb szivatty t amikor a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a v kuumkamr hoz vagy nincs kiiktatva VESZELY Ne rintse meg a turb szivatty t vagy annak tartoz kait a melegit si folyamat k zben Magas h m rs klet g st okozhat VESZELY Ne mozd tsa el s vigy zzon ne tk zz n semmi a turb szivatty hoz m k d s k zben A csap gyak megs r lhetnek s anyagi k r vagy szem lyi A seriiles t rt nhet 142 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Felhaszn l i K zik nyv 11 Haszn ljon port l szemcs kt l vagy nedvess gt l mentes semleges g zt pl nitrog nt a szivatty szell ztet s hez A szell z porton l v nyom snak 2 barn l
25. Bedrijfshandleiding 6 Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig Zijn max druk 2 bar boven de atmosferische druk temperatuur van 5 C tot 35 C relatieve vochtigheid 0 95 niet condenserend In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden Zie de bijlage Technical Information voor meer informative De Mini TASK AG81 moet op een primaire pomp aangesloten zijn zie schema in Technical Information De Mini TASK AG81 kan in alle standen worden ge nstalleerd Bevestig de Mini TASK AG81 in een stabiele positie en verbind de inlaatflens van de turbopomp met een vaste contraflens die een koppel van 50 Nm rondom de eigen as kan verdragen De turbopomp met ISO inlaatflens moet aan de vacu mkamer worden verbonden met behulp van dubbele of enkelvoudige klemmen De volgende tabel beschrijft voor elke of klemtype het aantal benodigde klemmen en het aanhaalkoppel waarmee ze vastgezet moeten worden Tab 1 FLENS KLEMTYPE NR AANHAAL KOPPEL ISO 63 Dubbele klem met M10 schroefdraad 4 22 Nm Enkelvoudige klem met M8 schroefdraad 4 11 Nm De turbopomp met ConFlat inlaatflens moet aan de vacu mpomp worden bevestigd met behulp van de speciale mechanische bevestigingselementen van Agilent Zie voor meer informatie de bijlage Technical Information De Mini TASK AG81 kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd Zie Technical Informatio
26. Onde evitare problemi di degasamento non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata Figura 1 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 17 258 1 Istruzioni per l uso II Mini TASK AG81 non pu essere danneggiato rimanendo semplicemente esposto all atmosfera Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere Installazione werd Staccare l adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema Figura 2 Non installare e o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici pioggia gelo neve polveri gas aggressivi in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio Durante il funzionamento necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali pressione massima 2 bar oltre la pressione atmosferica temperatura da 5 C a 35 umidit relativa 0 95 non condensante 18 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Istruzioni per l uso 1 In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi Vedere l appendice Technical Information per ulteriori dettagli Il Mini TASK AG81 pu essere installato in qualsiasi posizione Fissare il Mini TASK AG81 in pos
27. TASK AG81 User Manual 2 Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise fir Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Informationen 27 Lagerung 28 Vor der Installation 29 Installation 30 Gebrauch 32 Einschaltung und Gebrauch von Modell Mini TASK AG81 33 Stoppen von Modell Mini TASK AG81 34 Not Aus 34 Wartung 35 Entsorgung 36 bersetzung der Originalanleitunge Ee Agilent Technologies 25 258 2 Gebrauchsanleitung Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verf gen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren ber eine gro e Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch k nnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden WARNUNG Um Sch den am Ger t zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise 26 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Gebrauchsanleitung 2 Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist f r den fachm nnischen Gebrauch bestimmt Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen unsachgem em Gebrauch durch ungeschultes Pers
28. TASK AG81 asettamalla ulkokatkaisin OFF asentoon punainen valo syttyy Sis nrakennettu valvoja pys ytt pumpun v litt m sti H t pys ytys H t tilassa pys yt Mini TASK AG81 irrottamalla s hk johto pistorasiasta tai asettamalla ulkokatkaisin OFF asentoon 132 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Huolto Ohjek sikirja 10 Mini TASK AG81 ei vaadi lainkaan huoltoa Mahdolliset toimenpiteet tulee j tt valtuutetun henkil n teht v ksi VAROITUS Ennen mink n tyyppist toimenpidett j rjestelm ss kytkek se irti s hk verkosta p st k pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin t ydellist pys htymist Antakaa t m n j lkeen pumpun pintal mm n laskea alle 50 C en Laitteen vahingoittuessa on mahdollista k ytt Agilentin korjauspalvelua Ennen j rjestelm n l hett mist valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on ehdottomasti t ytett v ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon Turvallisuus ja Terveys kaavake joka on liitteen ohjekirjassa Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liitt j rjestelm n pakkaukseen ennen sen l hett mist Mik li pumppu t ytyy romuttaa toimikaa sen h vitt misess kansallisen lains d nn n m r m ll tavalla Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 133 258 10 Ohjek sikirja H vitt minen Pakkausmerkinn iss olevan WEEE logon merk
29. Technical Information Le Mini TASK AG81 ne peut tre fix par sa base Pour l installation des accessoires en option se reporter Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 43 258 3 Mode d emploi Utilisation Ce paragraphe pr sente les principales proc dures op rationnelles Avant d utiliser le syst me effectuer tous les branchements lectriques et pneumatiques Pendant le chauffage ventuel de la chambre vide la temp rature de la bride d entr e ne doit pas d passer 120 C ARIA EN Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d entr e n est pas reli e la chambre vide ou si elle n est pas ferm e avec la bride de fermeture viter de toucher turbopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les op rations de chauffage La temp rature lev e peut tre l origine de l sions graves viter tout choc ou d placement de turbopompe lorsqu elle est en marche Cela pourrait endommager les paliers et provoquer de graves dommages aux personnes et aux choses gt PJ PI 44 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C ATTENTION Mode d emploi 3 Pour le refoulement l air de la pompe utiliser un gaz inerte d pourvu de poussi re particules ou humidit Ex azote La pression d entr e travers la porte pr vue cet effet doit tre inf rieure 2 bars au del de la pression a
30. To avoid damage to equipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed 196 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Instructions for Use 16 General Information This equipment is destined for use by professionals The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the equipment Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non compliance even partial with these instructions improper use by untrained persons non authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards The Mini TASK AG81 is an integrated system with a turbo molecular pump for high and ultra high vacuum applications associated with its relevant controller and its primary pump The system can pump any type of gas or gas compound It is not suitable for pumping liquids or solid particles The pumping action is obtained through a high speed turbine max 80000 rpm driven by a high performance 3 phase electric motor The Mini TASK AG81 is free of contaminating agents and therefore is suitable for applications requiring a clean vacuum The Mini TASK AG81 is equipped with auxiliary connectors to control the vent valve to be controlled from a remote site by means of an host computer connected through a serial line The
31. Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 1 781 861 7200 Fax 1 781 860 5437 Toll Free 1 800 882 7426 China Agilent Technologies China Co Ltd Vacuum Products Division No 3 Wang Jing Bei Lu Chao Yang District Beijing 100102 China Tel 86 10 6439 7718 Toll Free 800 820 6556 France Agilent Technologies France Vacuum Products Division 7 Avenue des Tropiques Z A de Courtaboeuf B P 12 91941 Les Ulis cedex France Tel 33 0 1 69 86 38 84 Fax 33 0 1 69 86 29 88 Toll free 00 800 234 234 00 Germany and Austria Agilent Technologies Vacuum Products Division Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel 49 0 6151 703 353 Fax 49 0 6151 703 302 Toll free 00 800 234 234 00 Sales and Service Offices India Agilent Technologies India Pvt Ltd Vacuum Product Division 601 Prime corporate Park 230 231 Sahar Road Opp Blue Dart Centre Andheri East Mumbai 400 099 India Tel 91 22 30648287 8200 Fax 91 22 30648250 Toll Free 1800 113037 Italy Agilent Technologies Italia S p A Vacuum Products Division Via F Ili Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9111 Fax 39 011 997 9350 Toll Free 00 800 234 234 00 Japan Agilent Technologies Japan Ltd Vacuum Products Division 8th Floor Sumitomo Shibaura Building 4 16 36 Shibaura Minato ku Tokyo 108 0023 Japan Tel 81 3 5232 1
32. alto vuoto integrata dal relativo controller e dalla pompa primaria Il sistema capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso ma non adatto per il pompaggio di liquidi o di particelle solide L effetto pompante ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocit 80000 giri min max mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento Il Mini TASK AG81 totalmente privo di agenti contaminanti ed quindi adatto per applicazioni che richiedono un vuoto pulito Il Mini TASK AG81 ha inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali possibile comandare la valvola di vent pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato tramite linea seriale Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell operatore durante l utilizzo dell apparecchiatura Informazioni dettagliate sono fornite nell appendice Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 15 258 1 Istruzioni per l uso Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni AWAY ANNA I messaggi di avvertenza attirano l attenzione dell operatore su una procedura o una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che se non osservate potrebbero causare danni all apparecchiatura Le note contengono informazioni importanti estrapolat
33. de externe schakelaar in de stand OFF te zetten rode lichtje uit De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp Noodstop Om de Mini TASK AG81 onder noodomstandigheden uit te schakelen moet de voedingskabel uit de contactstop worden gehaald of de externe schakelaar in de stand OFF worden gezet 82 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Bedrijfshandleiding 6 Onderhoud De Mini TASK AG81 is onderhoudsvrij Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren de stekker verwijderen de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wachten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 C is gezakt In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd Een kopie van deze kaart moet v r versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd Mocht het systeem gesloopt worden ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 83 258 6 Bedrijfshandleiding Afvalverwerking 84 258 Betekenis van het logo WEEE op de etiketten Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG richtlijn WEEE Dit symbo
34. defective rebuildable part to Agilent Technologies within 15 business days Failure to do so or returning a non rebuildable part crashed will result in an invoice for the non retumed non rebuildable part e Returns for credit toward the purchase of new or refurbished Products are subject to prior Agilent approval and may incur a restocking fee Please reference the original purchase order number Units returned for evaluation will be evaluated and a quote for repair will be issued If you choose to have the unit repaired the cost of the evaluation will be deducted from the final repair pricing A Purchase Order for the final repair price should be issued within 3 weeks of quotation date Units without a Purchase Order for repair will be returned ta the customer and the evaluation fee will be invoiced e A Special Cleaning fee will apply to all exposed products per Section 4 of this document e If requesting a calibration service units must be functionally capable of being calibrated Pg 3 3 United States Agilent Technologies Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 1 781 861 7200 Fax 1 781 860 5437 Toll Free 1 800 882 7426 Benelux Agilent Technologies Netherlands B V Vacuum Products Division Herculesweg 8 4338 PL Middelburg The Netherlands Tel 31 118 671570 Fax 31 118 671569 Toll Free 00 800 234 234 00 Canada Central coordination through Agilent Technologies
35. dvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken Yderligere oplysninger f s ved henvendelse til den lokale Agilent repr sentant Forberedelse f r installation Mini TASK AG81 leveres i en speciel beskyttende emballage Kontakt den lokale forhandler hvis emballagen viser tegn p skader der kan v re opst et under transporten S rg for at Mini TASK AG81 ikke tabes eller uds ttes for st d ved udpakningen Smid ikke emballagen ud Materialet kan genbruges 100 og opfylder EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse E Komponenter der skal uds ttes for vakuum m ikke ber res med bare h nder idet der er risiko for afgasning Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse Figur 1 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 89 258 7 Istruktionsbog Normal atmosf risk p virkning kan ikke skade Mini TASK AG81 Det anbefales dog at opbevare pumpen i en lukket kasse indtil den skal installeres Herved forhindres at der kommer st v i pumpen Installation utimur Tapen og beskyttelsesproppen fjernes f rst n r turbopumpen tilsluttes systemet Figur 2 Install r og anvend ikke pumpen i milj er der uds ttes for p virkninger fra atmosf ren regn sne is damp aggressive gasser og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt milj F lgende krav til omgivelsesforholdene g lder ved drift tryk 2 bar over det atmosf riske tryk temperatur
36. for errors or for incidental or consequential damages in connection with the furnishing use or performance of this document or of any information contained herein Should Agilent and the user have a separate written agreement with warranty terms covering the material in this document that conflict with these terms the warranty terms in the separate agreement shall control Technology Licenses The hardware and or software described in this document are furnished under a license and may be used or copied only in accordance with the terms of such license Restricted Rights Legend If software is for use in the performance of a U S Government prime contract or subcontract Software is delivered and licensed as Commercial computer software as defined in DFAR 252 227 7014 June 1995 or as a commercial item as defined in FAR 2 101 a or as Restricted computer software as defined in FAR 52 227 19 June 1987 or any equivalent agency regulation or contract clause Use duplication or disclosure of Software is subject to Agilent Technologies standard commercial license terms and non DOD Departments and Agencies of the U S Government will receive no greater than Restricted Rights as defined in FAR 52 227 19 c 1 2 June 1987 U S Government users will receive no greater than Limited Rights as defined in FAR 52 227 14 June 1987 or DFAR 252 227 7015 b 2 November 1995 as applicable in any technica
37. gel neige la poussi re aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou fort risque d incendie Pendant le fonctionnement il est n cessaire de respecter les conditions environnementales suivantes pression max 2 bars au del de la pression atmosph rique temp rature de 5 C 35 C humidit relative O 95 non condensante Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mode d emploi 3 En pr sence de champs magn tiques la pompe doit tre prot g e l aide d crans appropri s Pour tout autre renseignement se reporter l opuscule Technical Information Le Mini TASK AG81 peut tre install e dans n importe quelle position Le fixer dans une position stable en reliant la bride d entr e de la turbopompe une contre bride fixe pouvant supporter un couple de serrage de 50 Nm autour de son axe La turbopompe bride d entr e ISO doit tre fix e la chambre vide l aide de colliers doubles ou simples Le tableau suivant d crit pour chaque type de collier le nombre de colliers n cessaires ainsi que le couple de serrage prescrit Tab 1 BRIDE TYPE DE COLLIER N COUPLE DE SERRAGE ISO 63 Collier double filet M10 4 22 Nm Collier simple filet M8 4 11 Nm La turbopompe bride d entr e ConFlat doit tre fix e la chambre vide l aide des l ments m caniques Agilent pr vus cet effet Pour tout autre d tail se reporter l appendice
38. in tal ciu 175 In tal cia 176 Pou itie 178 dr ba 181 Likvid cia 182 Priro nik za Navodila 183 Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke 184 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Contents Splo ne informacije 185 Shranjevanje 186 Priprava za monta o 187 Montaza 188 Uporaba 190 Vzdrzevanje 193 Odlaganje opadkov 194 16 Instructions for Use 195 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 196 General Information 197 Storage 198 Preparation for installation 199 Installation 200 Use 202 Maintenance 205 Disposal 206 17 Technical Information 207 Description of the Mini Task AG81 209 Turbopump Description 209 Technical Specification 214 Mini Task AG81 Outline 216 Inlet Screen Installation 218 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 11 258 Contents Vibration Isolator Installation 220 High Vacuum Flange Connection 220 High Vacuum Flange Connection Configurations 222 Interconnections 223 P1 Vent 223 JI IN OUT227 RS 232 RS 485 Communication Description 237 Window Protocol 239 Window Meanings 246 Orderable Parts 251 12 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual Istruzioni per l uso Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni generali 15 Immagazzinamento 16 Preparazione per l installazione 17 Installazione 18 Uso 20 Accensione ed Uso del Mini TASK AG81 21 Arresto del Mini TASK AG8122 Arresto di Emergenza
39. kontaktirajte lokalno prodajno pisarno Pri odpiranju sistema pazite da vam ne pade iz rok oz ga ne stresajte Embalazo zavrzite v skladu s pravili Material je moZno v celoti reciklirati in je v skladu z ECC direktivo 85 399 POZOR Komponent ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami saj boste tako prepre ili probleme pu anja Zmeraj uporabite rokavice ali drugo primerno za ito Slika 1 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 187 258 15 Priro nik za Navodila Normalna izpostavljenost na okolje ne more po kodovati Mini TASK AG81 a Kljub temu je priporo ljivo da je enota zaprta dokler je ne namestite v sistem S tem boste prepre ili onesna enje s prahom Monta a POZOR Lepljiv in za itni pokrov ne odstranjujte dokler ne pove ete turbo rpalko na sistem 188 258 Slika 2 Napravo name ajte samo odznotraj in v nobenem primeru je ne name ajte v okolju ki je izpostavljeno na atmosferske agente de sneg led prah agresivni plini ali v okoljih kjer obstaja nevarnost po ara Tekom delovanja je treba spo otvati naslednje pogoje Maksimalen pritisk 2 bara nad pritiskom atmosfere temperatura od 5 C od 35 C Relativna vla nost 0 95 brez kondenza Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Priro nik za Navodila 15 V prisotnosti magnetnih polje mora rpalka biti za itena s feromagnetnim itom Za do
40. med bara hander p g kontamineringsrisken Anv nd alltid handskar eller liknande skydd Figur 1 102 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Bruksanvisning 8 Normal p verkan fr n atmosf ren kan inte skada Mini TASK AG81 Trots det r det s krast att h lla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet f r att f rhindra att det kommer in damm eller annat i den Installation 34434 Ta bort tejpen och dra ut skyddsproppen f rst n r turbopumpen ska anslutas till systemet Figur 2 Installera och anv nd inte pumpen i milj er som uts tts f r p verkan fr n atmosf ren regn sn is damm aggressiva gaser och inte heller i explosiv eller brandfarlig milj F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid drift maximitryck 2 bar ver atmosf riskt tryck temperatur fran 5 C till 35 C relativ luftfuktighet 0 95 utan kondens Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 103 258 8 Bruksanvisning I n rvaro av magnetf lt ska pumpen skyddas med en s rskild sk rm Se bilagan Technical information f r ytterligare upplysningar Mini TASK AG81 m ste anslutas till en huvudpump se schemat i Technical information Mini TASK AG81 kan installeras i valfri position F st pumpen i ett stabilt l ge genom att ansluta pumpens intagsfl ns till en fast fl ns som m ste t la ett vridmoment p 50 Nm kring sin axel Tu
41. s stav Agilent je potrebn dodr iava nasleduj ce pokyny neprekra ujte nasleduj ce pecifik cie prostredia po as prevozu pren ania a uchov vania v vev rozsah tepl t 20 C a 70 C rozsah relat vnej vlhkosti 0 a 95 bez kondenz cie z kazn k mus pri prvom spusten turbo v vevy v dy pou i re im soft tartu skladovate nos turbomolekul rnej v vevy je 10 mesiacov odo d a dodania 174 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C N vod na Obsluhu 14 POZOR Ak z ak hokolvek d vodu vypr as skladovatelnosti zariadenia vr tte v vevu do z vodu v ktorom bola vyroben Inform cie ziskate u miestneho zast penia spolo nosti Agilent pre predaj a servis Pr prava na instal ciu Zariadenie Mini TASK AG81 je dodan v Speci lnom ochrannom obale Ak je balenie poskoden o sa m e sta napr klad pocas prepravy obr te sa na zast penie spolo nosti Agilent Po as vybalovania syst mu dbajte na to aby zariadenie nespadlo nebolo vystaven n razu alebo prudk mu otrasu alebo vibr ci m Obalov materi l zlikvidujte predp san m sp sobom Materi l je 100 recyklovateln a spl a po iadavky smernice EEC 85 399 POZOR Ak chcete predist probl mom s odply ovan m nechytajte komponenty ktor bud vystaven v kuu hol mi rukami V dy pou vajte rukavice alebo in vhodn ochranu Postava 1 Mini TASK AG81 User
42. system Two cases are considered 1 the customer supplies the 24 Vdc 2 the customer does not supply the 24 Vde Please note that on the connector a 24 Vdc 30 mA voltage a GROUND signal and the open collector pin are available 24 Vdc 5 Vdc Customer s device PE SK NPN cs 24 Vdc PNP 5 Vdc Customer s device TASK Controller Controller Figure 31 Case Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 0 1 C 233 258 17 Technical Information 234 258 24 Vdc Customer s i device i Controller Na N i i 5 Vdc SK 24 Vdc 41 Controller Customer s i 5 Vdc device TSK S Figure 32 Case 2 with relay utilisation Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 24 Vdc Customer s i device i Controller PNP 5 Vdc 24 Controller Customer s i 5 Vdc device p NPN 44 Figure 33 Case 2 with transistor utilisation How to Connect the Outputs of the Controller The following figure shows a typical logic output connection relay coil but any other device may be connected e g a LED a computer etc and the related simplified circuit of t
43. the vacuum chamber the temperature of the inlet flange must not exceed 120 C Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber or is not blanked Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high temperatures may cause burns Avoid impacts or harsh movements of the pump when in operation The bearings may become damaged and damages to the persons or the things could be taken place Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Instructions for Use 16 MP Use inert gas free from dust particles or humidity like Nitrogen for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pressure WARNING When employing the pump for pumping toxic flammable or radioactive gases please follow the required procedures for each gas disposal Do not use the pump in presence of explosive gases Switching on and Use of Mini TASK AG81 To switch on the Mini TASK AGSI it is sufficient to supply the mains and then move the external switch to ON position red light on The integrated controller automatically recognizes the mains presence and start up the pump At the first start up it is recommended to use the Soft Start mode by enabling it on the controller For the following start ups it is recommended to disable the Soft Start mode For the Soft Start mode activation procedure see the parag
44. this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen frequency power or time or pressure or normal is higher than the set threshold The signal can be high level active that is the output is normally OFF and becomes ON when activated or low level active that is the output is normally ON and becomes OFF when activated Moreover if the reference quantity is the frequency or the power or pressure drawn it is possible to set the hysteresis in of the threshold value to avoid bouncing For example reference quantity frequency threshold 867 Hz hysteresis 2 activation type high level Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 231 258 17 Technical Information _ 24 O o 5 a 5 o E o 73 0 850 867 884 Frequency Hz Figure 30 It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings reference quantity frequency thereshold 867 Hz hysteresis 2 a activation type high level delay time 0 second The Navigator Software optional allows the operator to set all the programmable feature 232 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 How to Connect the Open Collector Input of the Controller Here below there are the typical connections of the open collector input of Mini TASK AG81 to an external
45. total ou parcial das instru es pelo uso indevido por parte de pessoas n o treinadas por opera es n o autorizadas ou pelo uso contr rio s normas nacionais espec ficas O Mini TASK AG81 um sistema integrado constitu do por uma bomba turbomolecular para aplica es de alto e ultra alto v cuo equipado com os respectivos controller e bomba prim ria O sistema capaz de bombear qualquer tipo de g s ou de composto gasoso mas n o apropriado para bombear l quidos ou part culas s lidas O efeito da bomba obtido atrav s de uma turbina rotativa de alta velocidade 80000 r p m m x movida por um motor el ctrico trif sico de alto rendimento O Mini TASK AG81 totalmente isento de agentes contaminadores e portanto adequado para aplica es que requerem um v cuo limpo Al m disso o Mini TASK AG81 tem conectores auxiliares atrav s dos quais poss vel alimentar uma v lvula de vent accion lo por um controlo remoto atrav s de um computer host conectado por meio de linha serial Nos seguintes par grafos est o descritas todas as informa es necess rias para garantir a seguran a do operador durante o uso da aparelhagem Informa es detalhadas s o fornecidas no ap ndice Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 63 258 5 Manual de Istru es Este manual utiliza as seguintes conven es Dua e As mensagens de aten o chamam a aten o do operador para u
46. tout renseignement contacter le repr sentant Agilent de zone Pr paration pour l installation Le Mini TASK AG81 est livr dans un emballage de protection sp cial en cas d endommagement de l emballage pouvant s tre produit pendant le transport contacter le bureau de vente local Pendant l op ration d ouverture de l emballage veiller tout particuli rement ne pas laisser tomber le Mini TASK AG81 et ne lui faire subir aucun choc et aucune vibration Ne pas abandonner l emballage dans la nature Le mat riel est enti rement recyclable et conforme la directive CEE 85 399 en mati re de protection de l environnement aaa Afin d viter tout probl me de d gazage ne pas toucher mains nues les l ments devant tre expos s au vide Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropri e Figure 1 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 41 258 3 Mode d emploi Le Mini TASK AG81 ne peut s endommager en restant simplement expos l atmosph re Toutefois afin d viter toute pollution due la poussi re il est conseill de le garder dans son emballage clos jusqu au moment de l installation Installation werde Ne d coller l adh sif et ne retirer le couvercle de protection qu au moment de brancher la turbopompe au syst me 42 258 Figure 2 Ne pas installer et ou utiliser la pompe dans des milieux expos s aux agents atmosph riques pluie
47. window in the command is not a valid window The data type specified in the command Logic Numeric or Alphanumeric is not accorded with the specified Window The value expressed during a write command is out of range value of the specified window The specified window is Read Only or temporarily disabled for example you can t write the Soft Start when the Pump is running Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Examples Command START Source PC Destination Controller Technical Information 17 02 80 30 30 30 31 31 03 42 33 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Command STOP Source PC Destination Controller 02 80 30 30 30 31 30 03 42 32 STX ADDR WINDOW WR OFF ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK ETX CRC Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 243 258 17 Technical Information 244 258 Command SOFT START ON Source PC Destination Controller 02 80 31 30 30 31 31 103 142132 STX ADDR WINDOW WR ON ETX CRC Source Controller Destination PC 02 80 06 03 38 35 STX ADDR ACK
48. zemelteti Egy turbonukle ris szivatty rakt rozhat si ideje 10 h nap a sz ll t s d tum t l 138 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Felhaszn l i K zik nyv 11 FIGYELEM Ha valamilyen okb l a rakt rozhat si id t t ll pik a szivatty t vissza kell vinni a gy rba K rem inform ci rt forduljon a helyi Agilent v kuumkereskedelmi s szolg ltat si k pviselethez El k szit s telepit sre FIGYELEM A Mini TASK AG81 ot k l nleges v d csomagol sban sz ll tj k Ha ez s r l s jeleit mutatja ami sz ll t s k zben felmer lhet forduljon a helyi szolg ltat si irod hoz A rendszer kicsomagol sakor gyeljen arra hogy ne ejtse le s ker lje annak b rmilyen hirtelen t s t vagy r zk d s t Ne rtalmatlan tsa a csomagol anyagokat nem megengedett m don Az anyag teljesen jrafeldolgozhat s megfelel az EEC 85 399 es direkt v nak G zkivon si probl m k elker l s re ne haszn ljon puszta kezeket v kuumnak kitett komponensek kezel s re Mindig haszn ljon keszty t vagy m s alkalmas v delmet bra 1 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 139 258 11 Felhaszn l i K zik nyv A k rnyezetnek val norm l kitetts g nem tudja k ros tani a Mini TASK AG81 ot M gis aj nlatos z rva tartani a rendszerbe val telep t sig gy megakad lyozva a por ltali szennyez d s b rmely form j t Telep t s
49. 0 Model 969 9181 210 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 Turbopump Description Figure 4 Model 969 9182 TURBOPUMP FOREPUMP CONTROL PANEL AND INTEGRATED CONTROLLER Figure 5 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 211 258 17 Technical Information Controller Description The integrated controller is a solid state frequency converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of a PCB which includes a power supply with a 3 phase AC output analog and input output section microprocessor and digital section The controller recognizes the mains presence and converts the single phase AC mains supply into a 3 phase medium frequency output which is required to power the pump The controller can be operated by a remote host computer via the serial connection Diaphragm Forepump Description The pump consists of an electric DC motor driving an eccentric which moves an elastic diaphragm The pump has four heads The compression chamber is hermetically separated from the drive mechanism by means of the diaphragm The pump transfers evacuates and compresses completely oil free The motor is supplied with a voltage of 24 Vdc A diaphragm pump cleaning from the humidity is recommended to improve the system performance using dry air or nitrogen It is recommended to open manually the vent valve after every start command for about 30 seconds
50. 0 N dzov zastavenie 180 dr ba 181 Likvid cia 182 Preklad origin lneho n vodu E Agilent Technologies 171 258 14 N vod na Obsluhu Bezpecnostny n vod pre Turbomolekul rne vyvevy Turbomolekul rne vyvevy ak s n sledovne popisovan obsahuj velk mnoZstvo kinetickej energie vd aka vysokej ot cavej rychlosti v kombin cii s konkretnym objemom ich rotorov V pr pade syst movej poruchy napr pri kontaktu rotora statora alebo pri zr caniu rotora sa moZe uvolnit rota amp n energia 317419138 Pokyny k in tal cii uveden v tomto n vode musia by pr sne dodr ovan za elom prevencie zranenia obsluhy 172 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C N vod na Obsluhu 14 VSeobecn inform cie Toto zariadenie je ur en pre profesion lnych pracovn kov Sk r nez za nete zariadenie pouZ vat prec tajte si n vod na pou itie a v etky al ie pokyny spolo nosti Agilent Spolo nos Agilent nenesie iadnu zodpovednos za ak ko vek udalosti zapr inen postupom ktor nie je v s lade dokonca ani v iasto nom s lade s t mito pokynmi zapr inen nespr vnym pou van m zariadenia nepou en mi osobami neopr vnenou pravou zariadenia alebo ak mko vek postupom ktor je v rozpore so pecifick mi tandardmi danej krajiny Mini TASK AG81 je integrovan syst m s turbov vevou pre ur en pre aplik cie pou vaj ce vysok alebo ve mi vysok v kuu
51. 03 01 C 155 258 12 Podrecznik Instrukcji Niebieska LAMPKA STATUS umieszczona na panelu podstawy urz dzenia Mini TASK AG81 cz stotliwo ci swego migania okre la operatywne warunki systemu Za wiecona na sta e pompa znajduje si w stanie normalnych obrot w miga powoli okres 400 ms system w stanie zbocza lub hamowania lub w stanie Stop lub w stanie Waiting for interlock miga szybko okres 200 ms stan b du Dla szczeg owego opisu panelu sterowniczego Mini TASK AG81 nalezy zapozna sie z dodatkiem Technical Information Zatrzymanie Mini TASK AG81 Aby zatrzyma Mini TASK AG81 wystarczy ustawi wylacznik zewnetrzny na pozycji OFF czerwona lampka wylaczona Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pompe Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzyma w stanie alarmowym system Mini TASK AG81 nale y wy czy kabel zasilania z gniazda sieciowego lub ustawi zewn trzny wy cznik na pozycj OFF 156 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Podrecznik Instrukcji 12 Konserwacja System Mini TASK AG81 nie wymaga zadnej konserwacji Jakakolwiek interwencja musi by wykonana przez upowazniony personel ZAGROZENIE Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie nalezy odtaczy go od zasilania otworzy odpowiedni zaw r dla wlotu powietrza odczeka az do catkowitego zatrzymania wirnika i odczekac az temperatura powierzchni pompy bedzie wynosila ponizej 50 C
52. 1 3 Figure 36 RS 232 Connection 1200 2 W A PC HOST B FAN 0007 0 V 717 mm 6 Mini TASK AG81 p 1 Gnd B T 6 2 k TM A Mini TASK 8 AG81 2 2 Gnd gt 1200 Lan W Figure 37 RS 485 Connection 238 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 The communication port mating connector is supplied with the RS232 PCB AMP Cannon or equivalent 15 pin D type male connector For example the Transmit data signal from controller pin 2 must be connected to the host computer s receive data line pin 2 and vice versa Consult the host computer s instruction manual for its serial port connections Agilent cannot guarantee compliance with FCC regulations for radiated emissions unless all external wiring is shielded with the shield being terminated to the metal shround on the 0 subconnector The cable should be secured to the connector with screws Serial Communication Descriptions This unit can communicate by two different protocol protocol old system etter Window protocol new system These two protocols can be used as well with 232 or 485 media Please use Window protocol for new development Window Protocol Description Communication Format 8 data bit no parity 1 stop bit baud rate 600 1200 2400 4800 9600 programmable Mini TASK AG81 User Manual 87 901
53. 1 C 5 258 Contents 6 258 Mode d emploi 37 Normes de s curit pour Pompe Turbomol culaires 38 Indications Generales 39 Stockage 40 Pr paration pour l installation 41 Installation 42 Utilisation 44 Entretien 47 Mise au rebut 48 Manual de istrucciones 49 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50 Informaci n general 51 Almacenamiento 52 Preparaci n para la instalaci n 53 Instalaci n 54 Uso 56 Mantenimiento 59 Eliminaci n 60 Manual de Istruc es 61 Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares 62 Informac es gerais 63 Armazenagem 64 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Contents Prepara o para a instala o 65 Instala o 66 Utiliza o 68 Manuten o 71 Eliminac o 72 6 Bedrijfshandleiding 73 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie 75 Opslag 76 Uitpakken 77 Installatie 78 Gebruik 80 Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 7 Istruktionsbog 85 Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re turbopumper 86 Generel Information 87 Opbevaring 88 Forberedelse f r installation 89 Installation 90 Anvendelse 92 Vedligeholdelse 95 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 7 258 Contents 8 258 10 Bortskaffelse 96 Bruksanvisning 97 S kerhetsanvisningar f r Molekyl ra turbopumpar98 Allm n information 99 F rvaring 101 F rberedelser f r installationen 102 Installation 103 Anv ndning 105
54. 15 Priro nik za Navodila Odlaganje opadkov 194 258 Pomen znamke WEEE na etiketah Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znano pod imenom WEEE Ta simbol ki velja samo v dr avah Evropske Skupnosti pomeni da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali pa industrijskimi odpadki temve morate poskrbeti za njihovo primerno lo evanje Zato pozivamo uporabnike da se ali pri prodajalnem centru ali pa pri prodajalcu seznani o postopku lo evanja in odstranitve odpadkov ele nato ko se je seznanil s pogoji in z merili kupopordajne pogodbe NER Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual 16 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 196 General Information 197 Storage 198 Preparation for installation 199 Installation 200 Use 202 Switching on and Use of Mini TASK AG81203 Mini TASK AG81 Switching off 204 Emergency Stop 204 Maintenance 205 Disposal 206 Original Instructions ii Agilent Technologies 195 258 16 Instructions for Use Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released WARNING
55. 17 RW N Low Speed frequency Hz 1100 to Maximum rotational frequency win 120 default 1100 120 R W N Rotational frequency setting 1100 to 1350 default 1350 Hz 122 R W L Set vent valve on off 0 Closed 1 Open default 1 125 R W L Set the vent valve operation Automatic 0 see note 1 On command 1 see note 2 126 R W N Vent valve opening delay 0 to 65535 expressed in 0 2 sec Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C corresponding to 0 to 13107 sec default 15 247 258 17 Technical Information N Read Data Description Admitted Values Write Type 147 R W N Vent open time 0 infinite See vent connector 1 bit 0 2 sec paragraph 1 to 65535 155 R N Power limit applied watt Read the maximum allowable power 157 R W N Gas load type 0 N2 Select the gas load to the 1 Ar pump 161 R W N Pressure Reading Connection 0 to 10 Factor 0 0 Table A1 Appendix A EyeSys 10 1 Manual 162 R W A R1 Set Point Pressure Valve Valid if Win 101 2 4 Format X X E XX Where X 0 to 9 s tor 163 RW N Pressure unit of measure 0 mBar 1 Pa 2 Torr 167 RW A Stop speed reading 0 disable Activates deactivates the 1 enable pump speed reading after Stop command default 0 200 R Pump current in mA de 201 R Pump voltage in Vdc 202 R N Pump power in W pump current x pump voltage 203 R Driving frequency in Hz 204 R Pump temperature in C 0 to 110 60 Threshold Pump Overtemper
56. 253 Fax 81 3 5232 1710 Toll Free 0120 655 040 Korea Agilent Technologies Korea Ltd Vacuum Products Division Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Toll Free 080 222 2452 Mexico Agilent Technologies Vacuum Products Division Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 Singapore Agilent Technologies Singapore Pte Ltd Vacuum Products Division Agilent Technologies Building 1 Yishun Avenue 7 Singapore 768923 Tel 65 6215 8045 Fax 65 6754 0574 O Agilent Technologies Inc 2011 Printed in ITALY 05 2011 Publication Number 87 901 003 01 C Agilent Technologies Southeast Asia Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Unit 201 Level 2 uptown 2 2 Jalan SS21 37 Damansara Uptown 47400 Petaling Jaya Selangor Malaysia Tel 603 7712 6106 Fax 603 6733 8121 Taiwan Agilent Technologies Taiwan Limited Vacuum Products Division 3F 20 Kao Shuang Rd Pin Chen City 324 Taoyuan Hsien Taiwan R O C Tel 886 34959281 Toll Free 0800 051 342 UK and Ireland Agilent Technologies UK Ltd Vacuum Products Division 6 Mead Road Oxford Industrial Park Yarnton Oxford OX5 1QU UK Tel 44 0 1865 291570 Fax 44 0 1865 291571 Toll free 00 800 234 234 00 Other Countries Agilent Technologies Italia S
57. 781 860 9252 please visit our website for individual Toll Free 00 800 234 234 00 Toll Free 800 882 7426 Option 3 office information vpt customercare agilent com vpl ra agilent com http www agilent com Pg 1 3 a sj Agilent Technologies Vacuum Products Division Request for Return Form Health and Safety Certification Please read important policy information on Page 3 that applies to all returns 1 CUSTOMER INFORMATION Com Name Contact Name Tel Email Fax Customer Ship To Customer Bill To Europe only VAT reg Number USA Canada only Taxable O Non taxable 2 PRODUCT IDENTIFICATION Product Description Agilent P N Agilent S N Original Purchasing Reference 3 TYPE OF RETURN Choose one from each row and supply Purchase Order if reguesting a billable service LI Non Billable LI Billable mmm New PO hard copy must be submitted with this form 3B JExchange Repair upgrade _IConsignment Demo calibration evaluation Return for Credit 4 HEALTH and SAFETY CERTIFICATION AGILENT TECHNOLOGIES CANNOT ACCEPT ANY PRODUCTS CONTAMINATED WITH BIOLOGICAL OR EXPLOSIVE HAZARDS RADIOACTIVE MATERIAL OR MERCURY AT ITS FACILITY Call Agilent Technologies to discuss alternatives if this requirement presents a problem The equipment listed above check one HAS NOT pumped or been exposed to any toxic or hazardous materials OR L HAS pumped or been exposed ta the following toxic or hazardous materials If
58. 8 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Manual de Istruc es 5 Na presen a de campos electromagn ticos a bomba deve ser protegida atrav s de blindagens adequadas Para ulteriores detalhes consultar o ap ndice Technical Information Mini TASK AG81 pode ser instalado em qualquer posi o Fixar a aparelhagem em posi o est vel ligando o flange de entrada da turbobomba a um contra flange fixo capaz de resistir a um torque de 50 Nm ao redor do pr prio eixo A turbobomba com flange de entrada ISO deve ser fixada c mara de v cuo atrav s de grampos duplos ou simples A tabela a seguir indica para todos os tipos de grampos o n mero de grampos e o torque de aperto necess rios Tab 1 FLANGE TIPO DE GRAMPO N TORQUE DE APERTO ISO 63 Grampo duplo com rosca M10 4 22 Nm Grampo simples com rosca M8 4 11 Nm A turbobomba com flange de entrada ConFlat deve ser fixada c mara de v cuo atrav s de parafusos espec ficos da mec nica Agilent Para ulteriores detalhes consultar o ap ndice Technical Information O Mini TASK AG81 n o pode ser fixado por interm dio da sua pr pria base Para a instala o dos acess rios opcionais consultar Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 67 258 5 Manual de Istru es Utilizac o Neste par grafo s o descritos os principais procedimentos operacionais Antes de usar o sistema efectuar todas as liga es el ctricas e p
59. ACUUM PRODUCTS DIVISION TORINO QUALITY ASSURANCE FAX N XXXX 011 9979350 ADDRESS AGILENT TECHNOLOGIES ITALIA S p A Vacuum Products Division Via F Ili Varlan 54 10040 Lein TO Italy E MAIL vpd qualityassurance_pdl ext agilent com COMPANY FUNCTION ADDRESS TEL N E MAIL PROBLEM SUGGESTION REFERENCE INFORMATION model n serial n ordering information time to failure after installation etc CORRECTIVE ACTION PLAN ACTUATION by AGILENT VPD XXX Code for dialing Italy from your country es 01139 from USA 00139 from Japan etc o Agilent Technologies i Agilent Technologies Vacuum Products Division Instructions for returning products Dear Customer Please follow these instructions whenever one of our products needs to be returned 1 2 3 4 5 7 Complete the attached Request for Return form and send it to Agilent Technologies see below taking particular care to identify all products that have pumped or been exposed to any toxic or hazardous materials After evaluating the information Agilent Technologies will provide you with a Return Authorization RA number via email or fax as requested Note Depending on the type of return a Purchase Order may be required at the time the Request for Return is submitted We will quote any necessary services evaluation repair special cleaning eg Important steps for the shipment of returni
60. CF flange has six blind holes Attach the units and tighten each one in turn Repeat the sequential tightening until the flange faces meet Exercise care when tightening nuts and bolts to avoid creating dents in the envelope as this may cause the pump rotor to lock Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 221 258 17 Technical Information High Vacuum Flange Connection Configurations HH CL L HH BOLT I FF 4 SE SE ze al ji S TA V AR gz I pe V imm gt ROT FLANGE V VVS 755 ar TT MTH ISO CLAM TN BASEPLATE spo WITH TAPPED HOLE X TO V MT a PG l c 83 A J sos SZ PE X Z A Figure 16 222 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Interconnections Input Power Connector Technical Information 17 The following figure show the input power connector s J ST HEART Figure 17 P1 Vent ENABLE I ALVE ra ENABLE N ALVE ra 24VDC MA Figure 18 Vent Connector This is a dedicated 24 Vdc connector to control the optional vent valve available on request The vent valve can be driven by controller automatically or by serial line Mini TASK AG81 Use
61. FF 70 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Manual de Istruc es 5 Manutenc o O Mini TASK AG81 n o requer qualquer manuten o Todas as opera es devem ser efectuadas por pessoal autorizado ATENCAO Antes de executar qualquer operac o no sistema deslig lo da rede de alimentac o introduzir ar na bomba abrindo a v lvula espec fica aguardar at a completa paragem do rotor e at que a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 C Em caso de defeito poss vel usufruir do servico de assist ncia Agilent Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparac es indispens vel preencher e enviar ao escrit rio de vendas local a ficha Seguranca e Sa de anexa ao presente manual de instruc es A c pia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedic o Caso uma bomba deva ser eliminada actue em conformidade com as normas nacionais espec ficas Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 71 258 5 Manual de Istru es Elimina o 72 258 Significado do log tipo WEEE presente nos r tulos O s mbolo abaixo indicado aplicado de acordo com a directiva CE denominada WEEE Este s mbolo v lido apenas para os pa ses da Comunidade Europeia indica que o produto no qual est aplicado N O deve ser eliminado juntamente com os res duos dom sticos ou industriais comuns mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada Po
62. G81 consulter appendice Technical Information Arr t du Mini TASK AG81 Pour arr ter le Mini TASK AG81 il suffit de placer l interrupteur ext rieur sur OFF lumi re rouge teinte Le contr leur incorpor arr te imm diatement la pompe Arr t d urgence Pour arr ter le Mini TASK AG81 en condition d urgence d brancher le cordon d alimentation de la prise ou placer l interrupteur ext rieur sur OFF 46 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Entretien Mode d emploi 3 Le Mini TASK AG81 n exige aucun entretien particulier Toute intervention doit tre effectu e par un personnel agr AVERTISSEMENT Avant toute intervention sur le syst me le d brancher refouler l air de la pompe en ouvrant la soupape pr vue cet effet attendre jusqu l arr t complet du rotor et jusqu ce que la temp rature superficielle de la pompe soit inf rieure 50 C En cas de panne il est possible de b n ficier du service r parations Agilent Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour r paration remplir et faire parvenir au bureau Agilent de votre r gion la fiche S curit et Sant jointe au pr sent manuel d instructions Une copie de cette fiche devra tre mise dans l emballage de la pompe avant l exp dition En cas de mise au rebut de la pompe proc der son limination conform ment aux r glementations nationales concernant la gestion des d chets Mini TASK AG81 User
63. K AG81 ist der Netzstecker anzuschlie en und der externe Schalter auf die Schaltstellung ON zu stellen rote Kontrollleuchte eingeschaltet Der eingebaute Controller erfa t automatisch das Anliegen der Spannung und startet die Pumpe Bei der Erstinbetriebnahme sollte die Betriebsart Soft Start ber den Controller eingestellt werden bei darauffolgenden Ingangsetzungen wird empfohlen die Betriebsart Soft Start zu deaktivieren Um den Modus Soft Start einzustellen bitte den Absatz Signal Description im Kapitel Technical Information nachschlagen Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 33 258 2 Gebrauchsanleitung Die blauen LEDs STATUS an der Bodenplatte von Modell Mini TASK AG81 gibt mit der H ufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an Daueranzeige Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb Langsame Blinkanzeige ca 400 ms das System befindet sich entweder im Status Rampe Abbremsung Stopp oder Waiting for Interlock Schnelle Blinkanzeige ca 200 ms Fehlerstatus F r eine detaillierte Erl uterung der Bedienblende des Mini TASK AG81 siehe im Anhang Technical Information Stoppen von Modell Mini TASK AG81 Zur Stillsetzung des Mini TASK AG81 ist der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten rote Kontrollleuchte ausgeschaltet Der eingebaute Controller sorgt f r den sofortigen Pumpenstopp Not Aus Zur Notstillsetzung des Mini TASK AG81 ist de
64. Manual 87 901 003 01 C 175 258 14 N vod na Obsluhu Be n vystavenie okolitym podmienkam nem e Mini TASK AG81 po kodit Napriek tomu je vhodn aby zariadenie zostalo zabalen az do in tal cie kv li prevencii kontamin cie prachom Instal cia POZOR Neodstranujte lepiacu p sku a ochranny kryt sk r nez pripojite turbovyvevu k syst mu 176 258 Postava 2 Vyvevu neinstalujte ani nepouZ vajte v prostred vystavenom vonkajsim vplyvom d sneh Tad prach korozivne plyny ani vo vybusnych prostrediach alebo tam kde existuje vysok riziko poZiaru Po as Cinnosti zariadenia je potrebn zabezpecit tieto vlastnosti prostredia maxim lny tlak 2 bary nad rov ou atmosf rick ho tlaku teplota od 5 C do 35 C relat vna vlhkost 0 95 bez kondenz cie Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C N vod na Obsluhu 14 V pritomnosti magnetick ho pola musi byt vyveva chr nen feromagnetickym Stitom Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technical Information Zariadenie Mini TASK AG81 m e by nain talovan v ubovo nej polohe Upevnite Mini TASK AG81 do stabilnej polohy pripojen m vstupnej pr ruby turbov vevy k pevnej pr rube upevnenej tak aby vydr ala nam hanie kr tiacim momentom 50 Nm okolo svojej osi Turbov veva so vstupnou pr rubou ISO mus by pripojen k v kuovej komore pomocou svoriek alebo kle t n Nasleduj ca t
65. Manual 87 901 003 01 C 47 258 3 Mode d emploi Mise au rebut Signification du logo WEEE figurant sur les tiquettes Le symbole ci dessous est appliqu conform ment la directive CE nomm e WEEE Ce symbole unique ment valide pour les pays de la Communaut euro p enne indique que le produit sur lequel il est appliqu NE doit PAS tre mis au rebut avec les ordures m na g res ou les d chets industriels ordinaires mais passer par un syst me de collecte s lective Apr s avoir v rifi les termes et conditions du contrat de vente l utilisateur final est donc pri de contacter le fournisseur du dispositif maison m re ou revendeur pour mettre en oeuvre le processus de collecte E mise au rebut SZ A x j 48 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 50 Informaci n general 51 Almacenamiento 52 Preparaci n para la instalaci n 53 Instalaci n 54 Uso 56 Encendido y Uso del Mini TASK AG81 57 Parada del Mini TASK AG81 58 Parada de Emergencia 58 Mantenimiento 59 Eliminaci n 60 Traducci n de las instrucciones originales 5 Agilent Technologies 49 258 4 Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energia cin tica debido a l
66. Manuale di istruzioni Bedienungshandbuch Notice de mode d emploi Manual de istrucciones Manual de istruc es Bedrijfshandleiding Istrukstionsbog Bruksanvisning 87 901 003 01 C 05 2011 Mini TASK AG81 Models 969 9180 969 9181 969 9182 Instruksjon manual Ohjek sikirja Felhaszn l i k zik nyv Podrecznik instrukcji N vod k pou it N vod na obsluhu Priro nik za navodila User Manual E Agilent Technologies Notices O Agilent Technologies Inc 2011 No part of this manual may be reproduced in any form or by any means including electronic storage and retrieval or translation into a foreign language without prior agreement and written consent from Agilent Technologies Inc as governed by United States and international copyright laws Manual Part Number Publication Number 87 901 003 01 C Edition Edition 05 2011 Printed in ITALY Agilent Technologies Italia S p A Vacuum Products Division Via F Ili Varian 54 10040 Leini TO ITALY Warranty The material contained in this document is provided as is and is subject to being changed without notice in future editions Further to the maximum extent permitted by applicable law Agilent disclaims all warranties either express or implied with regard to this manual and any information contained herein including but not limited to the implied warranties of merchantability and fitness for a particular purpose Agilent shall not be liable
67. Mini TASK AGS81 fel van szerelve seg dcsatlakoz kkal a ventill tor szelep nek vez rl s hez amit t voli helyr l kell vez relni soros vonalon csatlakoztatott gazdag pen kereszt l A k vetkez bekezd sek a berendez st haszn l kezel biztons g nak garant l s hoz sz ks ges sszes inform ci t tartalmazz k R szletes inform ci t tal l a Technical Information f ggel kben Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 137 258 11 Felhaszn l i K zik nyv Ez a k zik nyv a k vetkez szabv nyos protokollt haszn lja VESZ LY A figyelmeztet zenetek felh vj k a kezel figyelm t egy konkr t elj r sra vagy gyakorlatra amit ha nem k vetnek megfelel en s lyos s r l shez vezethet alada ba A Figyelem zenetek olyan elj r sok el tt jelennek meg amelyeket ha nem k vetnek a berendez s k rosod s t okozhatj k A megjegyz sek a sz vegb l vett fontos inform ci t tartalmaznak T rol s A Agilent Turbomolecular szivatty k maxim lis teljes tm nyszintj nek garant l s ra a k vetkez tmutat sokat kell k vetni szivatty k sz ll t sakor mozgat sakor s t rol sakor a k vetkez k rnyezeti param tereket nem szabad t ll pni a h m rs klettartom ny 20 C 70 C relativ p ratartalom 0 95 nem kondenzal6 Aturbomolekul ris szivatty kat mindig l gyan kell ind tani amikor a felhaszn l tveszi s el sz r
68. OFF 1 0 Numeric 6 II 0 9 right justified with Alphanumeric A 10 from blank to ASCII lt ETX gt End of transmission 0x03 lt CRC gt XOR of all characters subsequent to lt STX gt and including the lt ETx gt terminator The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type When the MESSAGE is a reading command the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MESSAGE Using the RS 485 interface the message structure remains identical to the one used for the RS 232 interface the only difference being that the value assigned to the ADDRESS lt ADDR gt Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 241 258 17 Technical Information The controller can answers with the following response types Tab 7 Type Response Length Response Value Description Logic Numeric Alphanumeric Unknown Window Data Type Error Win Disabled 242 258 1 byte 10 bytes 1 byte 1 byte 1 byte 1 byte 1 byte 1 byte 6 bytes After a read instruction of a logic window After a read instruction of a numeric window After a read instruction of an alphanumeric window The command execution has been successfully completed The command execution has been failed The specified
69. a o e acciona a bomba Quando ligar o aparelho pela primeira vez aconselh vel utilizar a modalidade Soft Start activando a atrav s do controller Posteriormente aconselha se a desactivar a modalidade Soft Start Para o procedimento de ativa o da modalidade Soft Start usar como refer ncia o par grafo Signal Description no cap tulo Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 69 258 5 Manual de Istru es A luz piloto azul STATUS posicionada no painel da base do Mini TASK AG81 indica atrav s da frequ ncia de intermit ncia as condi es operacionais do sistema acesa fixa a bomba funciona normalmente a jintermit ncia lenta per odo de aprox 400 ms o sistema est em estado de acelerac o ou de paragem ou de Stop ou de waiting for interlock jintermit ncia r pida per odo de aprox 200 ms condi o de erro Para informa es mais detalhadas sobre o painel de comando do Mini TASK AG81 consultar o ap ndice Technical Information Paragem do Mini TASK AG81 Para parar o Mini TASK AG81 suficiente colocar o interruptor exterior na posic o OFF luz vermelha apagada O controller incorporado p ra imediatamente a bomba Paragem de Emerg ncia Para parar em condi es de emerg ncia o Mini TASK AG81 necess rio desligar o cabo de alimenta o da tomada da rede de alimenta o ou colocar o interruptor exterior na posi o O
70. a alta velocidad de rotaci n en combinaci n a la masa espec fica de sus rotores En el caso de un dafio del sistema por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor la energ a de rotaci n podria ser liberada tus PN Para evitar da os a los equipos y prevenir lesiones a los operadores es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalaci n descritas en el presente manual 50 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Manual de istrucciones 4 Informaci n general Este equipo es para uso profesional El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra informaci n suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones al uso impropio por parte de personal no preparado a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales espec ficas El Mini TASK AG81 es un sistema integrado compuesto por una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacio integrada por el respectivo controlador y la bomba primaria El sistema puede bombear cualquier tipo de gas o de composici n gaseosa pero no es adecuado para bombear l quidos o part culas s lidas El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad 80000 r p m m x movida por un motor el ctrico trif sic
71. a forg si energia felszabadulhat VESZ LY A berendez s k rosod s nak s a kezel szem lyzet s r l s nek megel z s re az ebben a g pk nyvben adott telep t si utas t sokat szigor an be kell tartani 136 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Felhaszn l i K zik nyv 11 Altal nos inform ci A berendez st professzion lis felhaszn l k sz m ra tervezt k A felhaszn l nak a berendez s m k dtet se el tt el olvasnia ezt a g pk nyvet s a Agilent ltal biztos tott b rmely inform ci t A Agilent nem vonhat felel ss gre olyan esem nyek rt amelyek az ezen utas t soknak val ak r r szbeni meg nem felel s szakk pzetlen szem lyek ltali nem megfelel haszn lat a berendez sbe val jogosulatlan beavatkoz s vagy a konkr t nemzeti szabv nyokkal ellent tes b rmely m velet miatt t rt ntek A Mini TASK AG81 egy integr lt rendszer turb molekul ris szivatty val nagy s rendk v l nagy v kuumalkalmaz sokhoz a megfelel vez rl j vel A rendszer b rmely t pus g zt vagy g zkever ket k pes szivatty zni Nem alkalmas folyad kok vagy szil rd r szecsk k szivatty z s ra A szivatty z si m veletet egy nagyteljes tm ny 3 f zis elektromos motorral hajtott nagysebess g turbina max 80000 fordulat perc biztos tja A Mini TASK AG81 szennyez anyagokt l mentes s ez rt alkalmas tiszta v kuumot ig nyl alkalmaz sokra A
72. a lahko povzro i opekline A Prepreciti udarce ali premike turbo rpalke ko le ta deluje LeZaji se namre lahko po kodujejo kar lahko povzro i Skodo loveku in predmetom 190 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Priro amp nik za Navodila 15 POZOR Za prezra evanje rpalke uporabljajte Cist plin brez prahu del kov ali vlaznosti kot du ik Pritisk na oddu niku mora biti manj i od 2 bara nad pritiskom atmosfere SVARILO Pri rpanju strupenih vnetljivih ali radioaktivnih plinov sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina rpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov Vklop in uporaba Mini TASK AG81 a Za vklop Mini TASK AG81 a je dovolj da prikljucite napetost in premaknete zunanje stikalo v poloZaj ON rdeca lucka sveti Vgrajen upravljalec samodejno prepozna prisotnost napetosti in zaZene rpalko Pri prvem vklopu je priporocljivo uporabiti nacin Soft Start ki ga lahko omogocite na upravljalcu Za naslednje vklope je priporo ljivo da nacin Soft Start onemogocite Za aktivacijo nacina Soft Start glej odstavek Opis signalov v poglavju Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 191 258 15 Priro nik za Navodila Plava lu ka STATUS ki se nahaja na osnovni plo i Mini TASK AG81 ka e preko frekvence lastnega utripa operativne pogoje sistema a Brez utripanja Crpalka je normalno vrti
73. a statorja ali po kodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija SVARILO Da bi se izognili po kodbam opreme in prepre ili po kodbe osebja morate natan no slediti navodilom za name anje iz tega priro nika 184 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Priro nik za Navodila 15 SploSne informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo Pred uporabo mora uporabnik prebrati navodila za uporabo in vse dodatne informacije ki mu jih je posredoval Agilent Agilent ni odgovoren za dogodke ki bi nastali zaradi neupostevanja teh navodil nepravilne uporabe in nepoobla enega poseganja v opremo ali kakr nega koli dejanja ki niso v skladu s standardi Mini TASK AG81 je integriran sistem s turbomolekularno rpalko za visoko in ultravisoko vakuumsko uporabo ki je povezana s pripadajotim upravljalcem in primarno rpalko Sistem lahko rpa vse tipe plinova ali plinskih zmesi Ni primeren za rpanje teko ine ali trdnih delcev Crpanje se izvaja preko hitre turbine maks 80000 rpm ki jo vodi visoko u inkovit 3 fazni elektri ni motor Mini TASK AG81 ne vsebuje onesnaZevalnih agentov in je primeren za isto vakuumiranje Mini TASK AGS81 je opremlje z auksiliarnimi prikljucki za nadzor na odprtino ki jo lahko nadzorujete iz oddaljene lokacije s pomocjo gostiteljskega ra unalnika povezanega preko serijske povezave Naslednji odstavki vsebujejo informacije ki so potrebne za varnost tistega ki upo
74. abu ka ukazuje pre ka d sp sob upevnenia potrebn po et svoriek alebo kle t n a pr slu n upev ovac kr tiaci moment Tab 1 PR RUBA UPEV OVAC PO ET UPEV OVAC KR TIACI MOMENT MECHANIZMUS ISO 63 svorky M10 4 22 Nm kle tiny M8 4 11 Nm Turbovyveva so vstupnou prirubou ConFlat musi byt pripojen v kuovej komore pomocou vhodn ho hardware zna ky Agilent Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technical Information Mini TASK AG81 nemozno upevnit pomocou jej z kladnej dosky O instal cia doplnkovej vybavy pozri pr rucku Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 177 258 14 N vod na Obsluhu Pou itie T to as popisuje z kladn sp soby pou itia zariadenia Sk r ne za nete syst m pou va zapojte v etky elektrick a pneumatick pripojenia Teplota vstupnej pr ruby po as zahrievania v kuovej komory nesmie prekro i 120 C NEBEZPE E Nikdy nepou vajte turbovyvevu ak vstupn priruba nie je pripojen k v kuovej komore alebo nie je zablendovan NEBEZPE E V priebehu zahrievania sa nikdy nedot kajte turbov vevy ani iadneho prislusenstva Vysok teploty m u sp sobi pop leniny NEBEZPE E gt gt PI Nepremiestfiujte turbovyvevu ak je v Cinnosti a chr nte ju pred n razmi aby nedoslo k poskodeniu loZisk Co my mohlo viest k razom alebo k majetkovym Skod m
75. acuum Sales and Service representative for informations Preparation for installation The Mini TASK AG81 is supplied in a special protective packing If this shows signs of damage which may have occurred during transport contact your local sales office When unpacking the system be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 6 recyclable and complies with EEC Directive 85 399 CAUTION In order to prevent outgassing problems do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum Always use gloves or other appropriate protection Figure 1 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 199 258 16 Instructions for Use Normal exposure to the environment cannot damage the Mini TASK AG81 Nevertheless it is advisable to keep it closed until it is installed in the system thus preventing any form of pollution by dust Installation CAUTION Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system 200 258 Figure 2 Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents rain snow ice dust aggressive gases or in explosive environments or those with a high fire risk During operation the following environmental conditions must be respected maximum pressure 2 bar above atmo
76. agrzewania Wysoka temperatura mo e spowodowa uszkodzenia cia a na osobach Podczas funkcjonowania turbopompy nalezy unika uderzen i jej przemieszczania o yska mog ulec uszkodzeniu i mo e doj do uszkodzenia Os b lub rzeczy 154 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Podrecznik Instrukcji 12 UWAGA Dla wlotu do powietrza pompy zastosowa oboj tny gaz bez py u lub innych cz stek i bez wilgoci np Azot Ci nienie wej ciowe poprzez odpowiedni wlot musi by ni sze od 2 bar w ponad ci nienie atmosferyczne IZAGROZENIE Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gazow toksycznych tatwo palnych lub radioaktywnych nalezy wykona odpowiednie procedury typowe dla kazdego z gazow Nie stosowa pompy w obecnosci gazow wybuchowych W czenie i obs uga systemu Mini TASK AG81 Aby wtaczy Mini TASK AG81 wystarczy dostarczy napiecie zasilania i ustawi wylacznik zewnetrzny w pozycji On czerwona lampka za wieci sie Wbudowany sterownik tzw kontroler automatycznie rozpozna obecno zasilania i uruchomi pompe Przy pierwszym uruchomieniu nale y zastosowa tryb Soft Start uruchamiaj c go na kontrolerze dla dalszych uruchomie zaleca si wy czenie trybu Soft Start Dla procedury uruchomienia trybu Soft Start nale y zapozna si z paragrafem Opis Sygna w w rozdziale Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 0
77. aja wysoka energie kinetyczna spowodowana bardzo wysoka pr dko ci obrot w razem z mas w a ciw wirnik w W przypadku uszkodzenia systemu na przyk ad z powodu kontaktu mi dzy wirnikiem a stojanem lub z powodu p kni cia wirnika energia obrotowa mo e by zwolniona aN eaa 48 Aby unikn uszkodzenia aparatury i zapobiec uszkodzeniom cia a operator w nale y obowi zkowo przestrzega zalecenia dotycz ce instalacji opisane w niniejszej instrukcji obs ugi 148 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Podrecznik Instrukcji 12 Og lne informacje Ta aparatura jest przeznaczona do uzytku zawodowego Uzytkownik musi przeczyta bardzo uwaznie niniejsza instrukcje kazda dodatkowa informacje dostarczona przez firme Agilent przed uzytkowaniem aparatury Firma Agilent uchyla sie od jakiejkolwiek odpowiedzialno ci w przypadku czesciowego lub catkowitego braku przestrzegania instrukcji w przypadku niewtasciwego uzytkowania przez nieprzeszkolony personel w przypadku nieupowaznionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych Mini TASK AGS81 jest zintegrowanym systemem sk adaj cym sie z pompy turbomolekularnej dla zastosowania wysokich i ultra wysokich pr zni odpowiedniego sterownika i z gl wnej pompy System jest w stanie pompowa jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej ale nie jest przystosowany do pompowania plyn w lub stalych czastek Zjawisko pompowania jest uzys
78. akuu V dy pou vejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu Postava 1 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 163 258 13 N vod k Pou it V norm ln m prost ed se v v va Mini TASK AG81 nem e po kodit P esto doporu ujeme abyste ji nechali zakrytou dokud nebude nainstalov na do syst mu a t m se ochr nila p ed jak mkoli zne i t n m a prachem Instalace POZOR P ed p ipojen m turbomolekul rn v v vy do syst mu nesund vejte adhezn a ochrann v ko 164 258 Postava 2 V v vu neinstalujte v prost ed kter je vystaveno atmosf rick m vliv m d sn h led prachu agresivn m plyn m ve v bu n m prost ed nebo v prost ed s vysok m nebezpe m po ru Za provozu je t eba dodr ovat n sleduj c podm nky dan prost ed m maxim ln tlak 2 bary nad atmosf rick m tlakem teplota od 5 C do 35 C relativn vlhkost 0 95 bez sr en Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C N vod k Pou it 13 V p tomnosti magnetick ch pol se v v va mus chr nit feromagnetick m st n n m Viz podrobn informace v p loze Technical Information V v vu Mini TASK AG81 Ize instalovat v libovoln poloze Vyv vu Mini TASK AG81 upevn te v n jak stabiln poloze a vstupn p rubu turbov v vy p ipojte k pevn protip rub kter snese torzn moment 50 Nm kolem sv osy
79. ature 248 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 17 Technical Information N Read Data Description Admitted Values Write Type 205 R N Pump status Stop 0 Waiting intlk 1 Starting 2 Auto tuning 3 Braking 4 Normal 5 Fail 6 206 R N Error code Bit description see the following figure 211 R N Controller Heatsink 0 to 110 Temperature C 216 R N Controller Air Temperature 0 to 70 oe C 224 R A Pressure reading Format X X E XX 226 R Rotation Frequency rpm 300 N Cycle time in minutes 0 to 999999 zeroed by the reset command 301 R N Cycle number zeroed by the to 9999 reset command 302 R N Pump life in hours zeroed 0 to 999999 by the reset command 310 Reserved to Agilent service to 347 400 R A CRC EPROM QE8XXXX where XXXX are variable 401 R A Boot CRC BL BL2XXXX where XXXX are variable 402 R A CRC Param PA PA8XXXX where XXXX are variable 404 R A CRC Parameter structure XXXX 406 A Program Listing Code 407 R A Parameter Listing Code Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 249 258 17 Technical Information N Read Data Description Admitted Values Write Type 500 Reserved to Agilent service 503 R W N RS 485 address 0 to 31 default 0 504 R W L Serial type select 0 RS 232 1 RS 485 default 0 1 Automatic means that when the controller stops the vent valve is opened with a
80. ba cuando est en marcha Los rodamientos se podrian da ar y se podrian verificar da os a las personas o a las cosas Bl gt gt ATENCI N Para el env o al aire de la bomba utilizar gas inerte exento de polvo particulas y humedad por ej nitr geno La presi n de entrada a trav s de la respectiva puerta debe ser inferior a 2 bares por encima de la presi n atmosf rica 56 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Manual de istrucciones 4 mud IHT Cuando la bomba se utiliza para bombear gases t xicos inflamables o radioactivos seguir los procedimientos apropiados t picos de cada gas No usar la bomba cuando haya gases explosivos Encendido y Uso del Mini TASK AG81 Para encender el Mini TASK AG81 basta conectar la tensi n de alimentaci n y disponer el interruptor externo en posici n ON luz roja encendida El controlador incorporado reconoce autom ticamente la presencia de la alimentaci n y pone en marcha la bomba Al efectuar el primer encendido conviene adoptar la modalidad Soft Start activ ndola en el controller mientras que para las sucesivas activaciones se aconseja inhabilitar dicha modalidad Soft Start Para el procedimiento de activaci n de la modalidad Soft Start consultar el punto Signal Description del cap tulo Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 57 258 4 58 258 Manual de istrucciones EI LED azu
81. d en serietilkoplet vertsmaskin De f lgende avsnitt inneholder all informasjon som er n dvendig for sikre brukeren n r utstyret er i bruk For mer detaljert bruk vises det til tillegget Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 113 258 9 Instruksjon Manual Denne manualen bruker f lgende standardprotokoll ADVARSEL Disse meldingene skal tiltrekke seg brukerens oppmerksomhet til en spesiell fremgangsm te eller praksis som hvis den ikke f lges kan medf re alvorlige skader FORSIKTIG Denne advarselen vises foran fremgangsm ter som dersom de ikke f lges kan f re til at utstyret skades Merknadene inneholder viktig informasjon som er hentet fra teksten Lagring 114 258 For garantere optimal drift og p litelighet for Agilent turbomolekyl re pumper m f lgende anvisninger f lges Under transport flytting og lagring av pumpene m ikke f lgende milj forhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C a Relativ fuktighet fra O til 95 uten kondensering Kunden m alltid soft starte de turbomolekyl re pumpene n r de mottas og startes opp f rste gang a Lagringstiden for en turbomolekyl r pumpe 10 m neder fra sendedato Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Instruksjon Manual 9 IS ere Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger m pumpen returneres til fabrikken Vennligst kontakt den lokale Agile
82. danej krajiny Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 181 258 14 N vod na Obsluhu Likvid cia Vyznam loga WEEE nach dzajuceho sa na Stitkoch Aplikovanie doluozznacen ho symbolu dodrZuje smernicu EU s n zvom WEEE Tento symbol platny iba pre St ty Eur pskej Unie znamen Ze v robok s t mto t tkom NESMIE by odstr nen spolu s be n m dom cim alebo priemyseln m odpadom ale sa mus odstr ni ako delen odpad Vyz vame preto kone n ho u vatela aby sa skontaktoval s dod vatel om pr stroja i u je to v robca alebo predajca za elom jeho likvid cie pod a zmluvn ch podmienok predaja NY L JTN z OY 2 182 258 AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual 15 Priro nik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke 184 SploSne informacije 185 Shranjevanje 186 Priprava za montazo 187 Monta a 188 Uporaba 190 Vklop in uporaba Mini TASK AG81 a 191 Izklop Mini TASK AG81 a 192 Zaustavitev v sili 192 Vzdr evanje 193 Odlaganje opadkov 194 Prevod navodil v izvirniku 5 Agilent Technologies 183 258 15 Priro nik za Navodila Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke Turbomolekularne rpalke opisane v naslednjih navodilih vsebujejo veliko koli ino kineti ne energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifi nimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanje sistema na primer pri dotiku rotorj
83. datne informacije glejte prilogo Technical Information Mini TASK AG81 lahko namestite v poljuben poloZaj Mini TASK AG81 namestite v stabilem poloZaj tako da poveZete vhodno prirobnico turbo rpalke na pritrjeno Stevno prirobnico ki lahko prenese navor 50 Nm okoli svoje osi Turbo rpaklo z dovodno ISO prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko le i e s pomo jo primerne Agilent strojne opreme Naslednja tabela prikazuje Stevilo potrebnih drZal in pritrjeval ter potreben navor za pritrjevanje Tab 1 PRIROBNICA NAPRAVA ZA PRITRJEVANJE N NAVOR ISO 63 M10 dr ala 4 22 Nm M8 pritrjevalo 4 11 Nm Turbo rpaklo z dovodno ConFlat prirobnico je treba fiksirati na vakuumsko le i e s pomo jo primerne Agilent strojne opreme Za dodatne informacije glejte prilogo Technical Information Mini TASK AG81 a ni mo pritrditi s svojo osnovo Za namestitev opcijski dodatkov glej Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 189 258 15 Priro nik za Navodila Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo Pred uporabo sistema pove ite vse elektri ne in pnevmatske povezave Pri segrevanju vakuumskega le i a temperatura dovodne prirobnice ne sme prese i 120 C SVARILO Turbo rpalke ne uporabljajte e dovodna prirobnica ni priklju ena na vakuumsko le i e SVARILO Tekom segrevanja se turbo rpalke ali njenih delov ne dotikajte Visoka temperatur
84. de fijarse a la c mara de vacio mediante mordazas dobles o mordazas sencillas La tabla siguiente describe por cada tipo de mordaza el n mero de mordazas necesarias y con qu par de apriete apretarlas Tab 1 BRIDA TIPO DE MORDAZA N PAR DE APRIETE ISO 63 Mordaza doble con rosca M10 4 22 Nm Mordaza sencilla conrosca M8 4 11 Nm La turbobomba con brida de entrada ConFlat ha de fijarse a la c mara de vacio mediante los accesorios mec nicos espec ficos Agilent Para m s detalles v ase el anexo Technical Information EI Mini TASK AG81 no puede fijarse utilizando su base Para instalar los accesorios opcionales v ase Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 55 258 4 Manual de istrucciones Uso En este apartado se citan los procedimientos operativos principales Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones el ctricas y neum ticas Durante el posible calentamiento de la c mara de vacio la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 120 C iADVERTENCIA No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no est conectada a la c mara de vacio o no est cerrada con la brida de cierre iADVERTENCIA No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas iADVERTENCIA Evitar los golpes o bruscos desplazamientos de la turbobom
85. de l appareil il est conseill l utilisateur de lire attentivement cette notice d instructions ainsi que toute autre indication suppl mentaire fournie par Agilent qui d cline par cons quent toute responsabilit en cas de non respect total ou partiel des instructions donn es d utilisation impropre par un personnel non form d op rations non autoris es ou d emploi contraire aux r glementations nationales sp cifiques Le Mini TASK AG81 est un syst me int gr constitu d une pompe turbomol culaire con ue pour des applications de vide pouss et ultrapouss et dot e d un contr leur et d une pompe primaire Le syst me est m me de pomper tous les types de gaz et de compos s gazeux mais il n est pas adapt au pompage de liquides ou de particules solides L effet de pompage est obtenu gr ce une turbine tournant vitesse lev e 80000 tr min max mue par un moteur lectrique triphas haut rendement Le Mini TASK AG81 est totalement exempt d agents polluants et il est par cons quent indiqu pour toutes les applications exigeant un vide propre Le Mini TASK AG81 est en outre dot de connecteurs auxiliaires permettant de commander la soupape de ventilation de le piloter distance l aide d un ordinateur host connect par ligne s rielle Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications n cessaires garantir la s curit de l op rateur pendant l utilisation de l appareillage Des renseignement
86. delay defined by window n 126 when the controller starts the vent valve is immediately closed 2 On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n 122 3 These commands remove the pump motor supply for a short time If they are used continuously they can cause the pump stopping TOO HIGH LOAD NO CONNECTION SHORT CIRCUIT PUMP OVERTEMP OVERVOLTAGE CONTROLL OVERTEMP Figure 38 Window N 206 Bit Description 250 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 Orderable Parts Tab 9 Description Part number European plug power cable 2 m long 949 9396 USA plug power cable 2 m long 949 9397 m 7 A Serial cable and Navigator Software 969 9883 EyeSys Mini IMG Gauge special R1400301 EyeSys Mini IMG ext cable 5 m 969 9944 EE EE Inlet screen DN63 969 9300 MT Vibration damper CFF 4 5 969 9376 Connection kit gauge KF40 969 9185 Connection kit gauge ISO 63 969 9186 Connection kit gauge CFF 4 5 969 9187 For EyeSys Convector Gauge ext cable please contact the local Sales and Service representative For a complete overview of Agilent s extensive product lines please refer to the Agilent catalog Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 251 258 17 Technical Information Orderable Parts 252 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Agilent Technologies Vacuum Pro
87. do l apposita valvola attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 In caso di guasto possibile usufruire del servizio di riparazione Agilent Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda Sicurezza e Salute allegata al presente manuale di istruzioni Copia della stessa deve essere inserita nell imballo del sistema prima della spedizione Qualora un sistema dovesse essere rottamato procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 23 258 1 Istruzioni per l uso Smaltimento 24 258 Significato del logo WEEE presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata WEEE Questo simbolo valido solo per i paesi della Comunit Europea indica che il prodotto sul quale applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata Si invita pertanto l utente finale a contattare il fornitore del dispositivo sia esso la casa madre o un rivenditore per avviare il processo di raccolta e smaltimento dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini
88. ducts Division Dear Customer Thank you for purchasing an Agilent vacuum product At Agilent Vacuum Products Division we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and or service you have purchased As part of our Continuous Improvement effort we ask that you report to us any problem you may have had with the purchase or operation of our products On the back side you find a Corrective Action request form that you may fill out in the first part and return to us This form is intended to supplement normal lines of communications and to resolve problems that existing systems are not addressing in an adequate or timely manner Upon receipt of your Corrective Action Request we will determine the Root Cause of the problem and take the necessary actions to eliminate it You will be contacted by one of our employees who will review the problem with you and update you with the second part of the same form on our actions Your business is very important to us Please take the time and let us know how we can improve Sincerely Giampaolo LEVI Vice President and General Manager Agilent Vacuum Products Division Note Fax or mail the Customer Request for Action see backside page to Agilent Vacuum Products Division Torino Quality Assurance or to your nearest Agilent representative for onward transmission to the same address CUSTOMER REQUEST FOR CORRECTIVE PREVENTIVE IMPROVEMENT ACTION TO AGILENT V
89. e dal testo Immagazzinamento 16 258 Per garantire il massimo livello di funzionalit ed affidabilit delle pompe Turbomolecolari Agilent devono essere osservate le seguenti prescrizioni durante il trasporto lo spostamento e l immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali temperatura da 20 C a 70 C umidit relativa da 0 a 95 non condensante il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare di 10 mesi dalla data di spedizione Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Istruzioni per l uso 1 Fait Se per qualsiasi ragione il tempo di immagazzinamento superiore occorre reinviare la pompa in fabbrica Per ogni informazione si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent Preparazione per l installazione Il Mini TASK AG81 viene fornito in un imballo protettivo speciale se si presentano segni di danni che potrebbero essersi verificati durante il trasporto contattare l ufficio vendite locale Durante l operazione di disimballaggio prestare particolare attenzione a non lasciar cadere il Mini TASK AG81 e a non sottoporlo ad urti o vibrazioni Non disperdere l imballo nell ambiente Il materiale completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85 399 per la tutela dell ambiente 7
90. e ot norm ln pomal blik n interval cca 400 ms syst m se pozvolna rozb h nebo brzd nebo stoj nebo je ve stavu ek n na blokov n rychl blik n interval cca 200 ms poruchov stav Viz podrobn popis ovl dac ho panelu v v vy Mini TASK AG81 v p loze Technical Information Vypnut v v vy Mini TASK AG81 V v vu Mini TASK AGS81 sta vypnout extern m vyp na em kter p epnete do vypnut polohy erven kontrolka zhasne Vestav n regul tor v v vu okam it zastav Nouzov zastaven Pro okam it zastaven v v vy Mini TASK AG81 v nouzov situaci je t eba vyt hnout nap jec kabel ze s ov z suvky nebo vypnout s ov vyp na 168 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Udriba N vod k Pou it 13 V v va Mini TASK AG81 nevy aduje dnou dr bu Ve ker pr ce na tomto za zen mus prov d t opr vn n osoby NEBEZPE Ne za nete prov d t jak koli pr ce na tomto za zen odpojte jej od s t odvzdu n te v v vu otev en m p slu n ho ventilu po kejte a se rotor p estane ot et a po kejte dokud povrchov teplota v v vy neklesne pod 50 C V poruchy kontaktujte vase m stn servisn stredisko spole nosti Agilent Ne vr t te za zen v robci na opravu nebo v m nu za repasovan za zen mus te vyplnit list Health and Safety
91. eduzca a menos de 50 C En caso de aver a se podr utilizar el servicio de reparaci n Agilent Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparaci n es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de Seguridad y Salud adjunta al presente manual de instrucciones Una copia de la misma se deber introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo En caso de que el sistema se tenga que desguazar eliminarlo respetando las normas nacionales espec ficas Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 59 258 4 Manual de istrucciones Eliminaci n 60 258 Significado del logotipo WEEE presente en las etiquetas El s mbolo que se indica a continuaci n es aplicado en observancia de la directiva CE denominada WEEE Este s mbolo v lido s lo para los pa ses miembros de la Comunidad Europea indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean stos dom sticos o industriales y que por el contrario deber ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada Por lo tanto se invita al usuario final a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo tanto si ste es la casa fabricante o un distribuidor para poder proveer a la recogida y eliminaci n del producto despu s de haber efectuado una verificaci n de los t rminos y condiciones contractuales de venta NY b LN V JA M
92. eitys M8 4 11 Nm Turbopumppu ConFlat sis ntulolaipalla tulee kiinnitt tyhji kammioon sopivien Agilentin mekaanisten varusteiden avulla Lis tietoja l ytyy Technical Information liitteest Mini TASK AG81 ei voida kiinnitt perustansa kautta Ks Technical Information liitett lis varusteiden asentamista varten Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 129 258 10 Ohjek sikirja K ytt T h n kappaleeseen on kirjattu t rkeimm t k ytt toimenpiteet Suorittakaa ennen j rjestelm n k ytt kaikki s hk ja paineilmakytkenn t Tyhji kammion mahdollisen l mmityksen aikana sis ntulolaipan l mp tila ei saa ylitt 120 Citta VAROITUS lk k ytt k pumppua ellei sis ntulolaippaa ole kytketty tyhji kammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla VAROITUS lk koskeko turbopumppuun tai sen lis osiin l mmitt misen aikana Korkea l mp tila saattaa aiheuttaa henkil iden loukkaantumisia VAROITUS gt gt PI V ltt k turbopumppuun kohdistuvia iskuja tai sen kkin ist liikuttamista sen ollessa k ynniss Laakerit voisivat vahingoittua joka saattaisi johtaa henkil tai omaisuusvahinkoihin 130 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Ohjek sikirja 10 P stett ess pumppuun ilmaa tulee k ytt jalokaasua jossa ei ole p ly hiukkasia tai kosteutta esim typpi Sis njohtavan paineen siihen s
93. en for reparasjon m det vedlagte skjemaet Helse og sikkerhet fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret En kopi av dette arket m vedlegges systemet som sendes tilbake Dersom et system skal kasseres m dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 121 258 9 Instruksjon Manual Eliminering Betydelsen av symbolet p logo WEEE p etikettene Symbolet nedenunder som finnes er anvendt i henhold til EC direktiv kalt WEEE Dette symbolet som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap viser at produktet som det sitter p IKKE m behandles som vanlig hus industriavfall men m legges i kildesortering Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen henvende seg til leverand ren av anordningen som kan v re et firma eller en forhandler som s rger for oppsamling og eliminering etter ha kontrollert avtal og betingelser i kj pekontrakten 122 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual 10 Ohjek sikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 124 Yleisi tietoja 125 Varastointi 126 Valmistelut asennusta varten 127 Asennus 128 K ytt 130 Mini TASK AG81 n k ynnistys ja k ytt 131 Mini TASK AG81 n pys ytt minen 132 H t pys ytys 132 Huolto 133 H vitt minen 134 Alkuper isen ohjeiden k nn s a Agilent Technologies 123 258 10 Ohjek sikirja Turbomoleky
94. eratura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez el per odo m ximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de env o al cliente Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Manual de istrucciones 4 En caso de superarse por cualquier motivo el periodo m ximo permitido de almacenamiento ser necesario devolver la bomba al fabricante Para mayores informaciones al respecto se ruega contactar con el representante local de Agilent Preparaci n para la instalaci n El Mini TASK AG81 se suministra en un embalaje especial de protecci n si se observan dafios que podr an haberse producido durante el transporte ponerse en contacto con la oficina local de ventas Durante la operaci n de desembalaje tener cuidado de que no se caiga el Mini TASK AG81 y de no someterlo a golpes o vibraciones No abandonar el embalaje en el medio ambiente El material es completamente reciclable y cumple con lo dispuesto por la directiva CEE 85 399 para la preservaci n del medio ambiente ATENCI N Para evitar problemas de desgasificaci n no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vac o Utilizar siempre guantes u otra protecci n adecuada Figura 1 Mini TASK AG81 Use
95. ergesellschaft oder den Wiederverk ufer kontaktieren um den Entsorgungsprozess zu starten nachdem er die Verkaufsbedingungen gepr ft hat as JA 4 D Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual Mode d emploi Normes de s curit pour Pompe Turbomol culaires 38 Indications Generales 39 Stockage 40 Pr paration pour l installation 41 Installation 42 Utilisation 44 Mise en marche et utilisation du Mini TASK AG81 45 Arr t du Mini TASK AG81 46 Arr t d urgence 46 Entretien 47 Mise au rebut 48 Traduction de la mode d emploi originale E Agilent Technologies 37 258 3 Mode d emploi Normes de s curit pour Pompe Turbomol culaires Les pompes Turbomol culaires d crites dans le Manuel d Instructions suivant ont une nergie cin tique lev e due la grande vitesse de rotation associ e la masse sp cifique de leurs rotors En cas de panne du syst me par exemple cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupture du rotor l nergie de rotation pourrait tre lib r e AHSA EN Pour viter tout d g t aux appareillages et emp cher toute blessure aux op rateurs il faut suivre attentivement les instructions d installation d crites dans ce manuel 38 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mode d emploi 3 Indications Generales Cet appareillage a t con u en vue d une utilisation professionnelle Avant toute utilisation
96. escription The turbopump consists of a high frequency motor driving a turbine fitted with 10 bladed stages and 3 Macrotorr stages The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end The turbine is made of high strength light aluminium alloy and is machined from a single block of aluminium The turbine blades have five different angles from 44 to 12 while the Macrotorr stages are in the form of discs The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump The static blades of the stator are fabricated in stainless steel These are supported and accurately positioned by spacer rings The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs These are fabricated in aluminium alloy During normal operation the motor functions with a power feed at 54 Vac three phase at 1330 Hz To reduce losses during start up to a minimum the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage frequency ratio Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 209 258 17 Technical Information A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0 01 um Figure 3 Model 969 918
97. et by the user The default setting is the frequency see the following example diagram Output Frequency setting 1350 SEE r3 1200 4 1050 900 750 600 Frequency Hz 300 150 Voltage V Figure 26 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 229 258 17 Technical Information 230 258 Power W 100 90 80 70 60 50 40 30 20 Output Power setting o 3 4 5 6 7 8 9 10 Voltage V Figure 27 Temperature C 100 90 80 70 60 50 40 Output Temperature setting o Voltage V Figure 28 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 Output Pressure setting 1 0E 01 LIE 7 1 0E 02 1 0E 03 1 0E 04 1 0E 05 Pressure Torr 1 0E 06 1 0E 07 1 0E 08 1 0E 09 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Voltage V Figure 29 FAULT this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected PROGRAMMABLE SET POINT
98. euchtigkeit 0 95 nicht kondensierend 30 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Gebrauchsanleitung 2 Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen F r ausf hrliche Informationen siehe im Anhang Technical Information Modell Mini TASK AG81 kann in jeder beliebigen Position installiert werden Modell Mini TASK AG81 ist stabil zu befestigen indem der Flansch am Eingang der Turbopumpe an einen festen Gegenflansch angeschlossen wird der mit einem Drehmoment von 50 Nm um seine eigene Achse belastbar ist Turbopumpen mit einem ISO Eingangsflansch sind mittels doppelter oder einfacher Klemmschellen an die Vakuumkammer anzuschlief3en In der nachstehenden Tabelle sind die Anzahl der Klemmschellen und das Anzugsmoment f r die Schellenarten angegeben Tab 1 FLANSCH KLEMMSCHELLE ANZ ANZUGSMOMENT ISO 63 Doppelschelle mit Gewinde M10 4 22 Nm Einzelschelle mit Gewinde M8 4 11 Nm Turbopumpen mit ConFlat Eingangsflansch sind mit dem speziellen Agilent Befestigungsmaterial an die Vakuumkammer anzuschlief3en F r ausf hrliche Informationen siehe im Anhang Technical Information Modell Mini TASK AG81 kann nicht mittels seines Sockels befestigt werden F r die Installation der Optionsteile siehe im Anhang Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 31 258 2 Gebrauchsanleitung Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtig
99. following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment Detailed information is supplied in the appendix Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 197 258 16 Instructions for Use This manual uses the following conventions Warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which if not followed correctly could lead to serious injury The caution messages are displayed before procedures which if not followed could cause damage to the equipment Notes contain important information taken from the text Storage 198 258 In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps the following guidelines must be followed when shipping moving and storing pumps the following environmental specifications should not be exceeded a temperature range 20 C to 70 C a relative humidity range 0 to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated for the first time by the customer a the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Instructions for Use 16 wr for any reason the shelf life time is exceeded the pump has to be returned to the factory Please contact the local Agilent V
100. fra 5 C til 35 C a relativ luftfugtighed 0 95 ikke kondenserende 90 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Istruktionsbog 7 Hvis pumpen er anbragt i n rheden af elektromagnetiske felter skal den afsk rmes Se bilaget Technical Information for yderligere oplysninger Mini TASK AG81 kan installeres i en hvilken som helst position Fastg r Mini TASK AG81 i en stabil position ved at slutte turbopumpens indl bsflange til en fast kontraflange der t ler et moment p 50 Nm omkring akselen Turbopumpen med ISO indl bsflange skal tilsluttes vakuumkammeret ved hj lp af dobbelte eller enkelte klemmer Den nedenst ende tabel viser det n dvendige antal af klemmer samt drejningsmoment afh ngig klemmetypen Tab 1 FLANGE KLEMMETYPE ANT DREJNINGS MOMENT ISO 63 Dobbelt klemme med M10 gevind 4 22 Nm Enkelt klemme med M8 gevind 4 11 Nm Turbopumpen med ConFlat indl bsflange skal tilsluttes p vakuumkammeret ved hj lp af Agilent monteringsudstyret I bilaget Technical Information findes yderligere detaljer Mini TASK AG81 kan ikke fastg res i fundamentet Der henvises til bilaget Technical Information for oplysninger vedr rende installation af ekstraudstyret Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 91 258 7 Istruktionsbog Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer Inden anvendelse af systemet b r samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninge
101. he controller The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 235 258 17 Technical Information P1 Controller 45 08 45 08 y Y OWN 9 24 V 9 4 1 Figure 34 Typical output connection 1 J2 Serial Figure 35 This is a 9 pin D type serial input output connector to control via an RS 232 or RS 485 connection the Mini TASK AG81 236 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 Tab 5 PIN N SIGNAL NAME 1 5 V OUT 2 TX RS23 E ti E MM IE C 5 GD 6 A RS485 H 8 B RS485 9 Not used A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available optional RS 232 RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J2 The communication protocol is the same see the structure below but only the RS 485 manages the address field Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the software Communication Format 8 data bit no parity I stop bit baud rate 600 1200 2400 4800 9600 programmable Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 231 258 17 Technical Information Connector examples 5 CNT BEE MINI TASK AG8
102. iaal voor elk type gas zijn opgesteld Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen Inschakeling en gebruik van de Mini TASK AG81 Om de Mini TASK AG81 in te schakelen is het voldoende om voedingsspanning te verschaffen en de externe schakelaar in de stand ON te zetten rood lichtje brandt De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van stroom en start de pomp Bij de eerste inschakeling wordt aangeraden om de Soft Start modaliteit te gebruiken door deze op de controller te activeren Voor de volgende inschakelingen wordt aangeraden om de Soft Start modaliteit te inactiveren Voor het activeren van de Soft Start procedure zie paragraaf Signal Description uit het hoofdstuk Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 81 258 6 Bedrijfshandleiding De blauwe STATUS LED op het paneel van de basis van de Mini TASK AG81geeft door de frequentie van zijn knipperen de werkcondities van het systeem aan brandt onafgebroken de pomp draait normaal knippert langzaam periode van circa 400 ms het systeem is in de status oploop of remmen of stop of waiting for interlock knippert snel periode van circa 200 ms fouttoestand Zie voor een gedetailleerde beschrijving van het bedieningspaneel van de Mini TASK AG81 de bijlage Technical Information Afzetten van de Mini TASK AG81 Om de Mini TASK AG81 uit te schakelen is het voldoende om
103. imento al paragrafo Signal Description nel capitolo Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 21 258 1 Istruzioni per l uso II LED blu STATUS posto sul pannello della base del Mini TASK AG81 indica con la frequenza del suo lampeggio le condizioni operative del sistema acceso fisso la pompa in rotazione normale lampeggiante lentamente periodo di circa 400 ms il sistema in stato di rampa o di frenata o di Stop o di Waiting for interlock lampeggiante velocemente periodo di circa 200 ms condizione di errore Per una descrizione dettagliata del pannello di controllo del Mini TASK AG81 vedere l appendice Technical Information Arresto del Mini TASK AG81 Per arrestare il Mini TASK AG81 sufficiente mettere in posizione OFF l interruttore esterno luce rossa spenta Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa Arresto di Emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza il Mini TASK AG81 occorre staccare il cavo di alimentazione dalla presa di rete o spostare l interruttore esterno in posizione OFF 22 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Istruzioni per l uso 1 Manutenzione Il Mini TASK AG81 non richiede alcuna manutenzione Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato AVVERTENZA Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall alimentazione mandare all aria la pompa apren
104. ini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual Manual de Istruc es Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares 62 Informa es gerais 63 Armazenagem 64 Prepara o para a instala o 65 Instala o 66 Utiliza o 68 Acendimento e Utiliza o do Mini TASK AG81 69 Paragem do Mini TASK AG81 70 Paragem de Emerg ncia 70 Manutenc o 71 Elimina o 72 Traduc o das instruc es originais 5 Agilent Technologies 61 258 5 Manual de Istru es Indica es de Seguran a para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instru es t m uma alta quantidade de energia cin tica devida alta velocidade de rota o unida massa espec fica de seus rotores Em caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor a energia de rota o pode ser liberada ATEN AO Para evitar danos aparelhagem e prevenir les es aos operadores necess rio seguir atentamente as instru es de instala o descritas neste manual 62 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Manual de Istruc es 5 Informac es gerais Esta aparelhagem destina se a uso profissional O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instru es e todas as informa es adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem A Agilent n o se responsabiliza pela inobserv ncia
105. itys Alla n kyv merkki on lis tty pakkaukseen EY n ns WEEE direktiivin mukaisesti Merkki koskee ainoastaan Euroopan Unionin j senmaita tarkoittaa ett tuotetta saa h vitt tavallisen kotitalous tai teollisuusj tteen mukana vaan se on toimitettava erilliseen ker yspisteeseen Loppuk ytt j kehotetaan sen vuoksi ottamaan ker ys ja h vitt misprosessia varten yhteytt laitteen toimittajaan olipa se sitten laitteen valmistaja tai j lleenmyyj tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot New PA DL 134 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual 11 Felhaszn l i K zik nyv Biztons gi tmutat Turb molekul ris szivatty khoz 136 ltal nos inform ci 137 T rol s 138 El k szit s telepit sre 139 Telepit s 140 Haszn lat 142 A Mini TASK AG81 bekapcsol sa s haszn lata 143 A Mini TASK AG81 kikapcsol sa 144 V szleallitas 144 Karbantartas 145 Megsemmisit s 146 Az eredeti utasitas forditasa E Agilent Technologies 135 258 11 Felhaszn l i K zik nyv Biztons gi tmutat Turb molekul ris szivatty khoz A turb molekul ris szivatty k ahogy a k vetkez g pk nyvben le van rva nagy mozg si energi val rendelkeznek a nagy forg si sebess g k s a rotorok fajlagos t mege miatt A rendszer hib s m k d se p ld ul a rotor ll r sz rintkez si hib ja vagy ak r a forg r sz sz tt r se eset n
106. izione stabile collegando la flangia di ingresso della turbopompa ad una controflangia fissa capace di resistere ad una coppia di 50 Nm attorno al proprio asse La turbopompa con flangia di ingresso ISO deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo di morsetti doppi o morsetti singoli La seguente tabella descrive per ogni tipo di morsetto il numero di morsetti necessari e con quale coppia di serraggio stringerli Tab 1 FLANGIA TIPO DI MORSETTO N COPPIA DI SERRAGGIO ISO 63 Morsetto doppio con filettatura M10 4 22 Nm Morsetto singolo con filettatura M8 4 11 Nm La turbopompa con flangia di ingresso ConFlat deve essere fissata alla camera da vuoto per mezzo dell apposita minuteria meccanica Agilent Per ulteriori dettagli vedere l appendice Technical Information Il Mini TASK AG81 non pu essere fissato tramite la sua base Per l installazione degli accessori opzionali vedere Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 19 258 1 Istruzioni per l uso Uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative Prima di usare il sistema effettuare tutti i collegamenti elettrici e pneumatici Durante l eventuale riscaldamento della camera da vuoto la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 120 C AVVERTENZA Non far funzionare mai la pompa se la flangia di ingresso non collegata alla camera a vuoto o non chiusa con la flangia di chiusu
107. kane poprzez obrotowa turbine o wysokiej predko ci max 80000 obr min napedzana przez elektryczny silnik tr jfazowy o wysokiej wydajno ci System Mini TASK ag81 jest calkowicie bez czynnik w zanieczyszczajacych i dlatego te jest to system odpowiedni do zastosowa gdzie jest wymagana tzw czysta pr znia Poza tym Mini TASK AG81 posiada pomocnicze konektory poprzez kt re mozna sterowa wentylator vent pilotowa go zdalnie poprzez gl wny komputer podtaczony przez port szeregowy W nastepnych paragrafach zostaly przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpiecze stwa operatora podczas uzytkowania aparatury Szczeg lowe informacje zostaly przedstawione w dodatku dotyczacym informacji technicznych Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 149 258 12 Podrecznik Instrukcji W tej instrukcji zastosowano nastepujace umowne znaczenia Yd Komunikaty niebezpiecze stwa przyci gaj uwag operatora co do danej procedury lub danego post powania kt rego nieprawid owe wykonanie mog oby spowodowa powa ne uszkodzenia cia a Komunikaty zwi kszonej uwagi s wy wietlane przed procedurami i w przypadku ich braku przestrzegania mo e doj do uszkodzenia aparatury S to wa ne informacje wyci gni te z tekstu Magazynowanie 150 258 By zagwarantowa maksymalny poziom funkcjonalno ci i dzia ania system w pompuj cych Agilent powinny by
108. ker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving De Mini TASK AG81 is een geintegreerd systeem dat uit een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacu mtoepassingen en een primaire pomp bestaat Het systeem is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine max 80000 toeren min die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement De Mini TASK AG81 is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een schoon vacu m verlangen De Mini TASK AG81 is bovendien van hulpconnectors voorzien waarmee de ontluchtingsklep kan worden aangestuurd en waarmee het systeem d m v een serieel aangesloten host computer op afstand kan worden bediend In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage Technical Information
109. kisebbnek kell lennie a l gk ri nyom s f l tt VESZ LY Amikor a szivatty t m rgez gy l kony vagy radioaktiv g zok szivatty z s ra haszn lja k rem k vesse az egyes g zok rtalmatlanit s hoz sz ks ges elj r sokat Ne haszn lja a szivatty t robban g zok jelenl t ben A Mini TASK AG81 bekapcsol sa s haszn lata A Mini TASK AG81 bekapcsol s hoz elegend r kapcsolni a t pfesz lts get majd a k ls kapcsol t BE ll sba kapcsolni piros l mpa g Az integr lt vez rl automatikusan felismeri a t pfesz lts g jelenl t t s elind tja a szivatty t Els ind t skor aj nlatos a Soft Start m dot haszn lni ennek a vez rl n val enged lyez s vel A k vetkez ind t sokhoz aj nlatos letiltani a Soft Start m dot A Soft Start m d aktiv l si elj r s hoz l sd a Jelle r s bekezd s a Technical Information fejezetben Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 143 258 11 Felhaszn l i K zik nyv k k STATUS kijelz a Mini TASK AG81 alj n a villog s s r s g vel jelzi a rendszer m k d si llapot t nem villog sn l a szivatty rendesen forog lassan villog kb 400 ms peri dus a rendszer emelked ben f kez sben ll s vagy kapcsolatra v r llapotban van gyorsan villog kb 200 ms peri dus hibafelt tel A Mini TASK AG81 vez rl panel r szletes le r s rt l sd Technical Inf
110. l STATUS situado en el panel de la base del Mini TASK AG81 indica con la frecuencia de su parpadeo las condiciones operativas del sistema encendido fijo la bomba est en rotaci n normal parpadea lentamente per odo de 400 ms aproximadamente el sistema est en estado de rampa o de frenado o de stop o de waiting for iterlock parpadea r pidamente per odo de 200 ms aproximadamente situaci n de error Una descripci n detallada del panel de control del Mini TASK AG81 aparece en el ap ndice Technical Information Parada del Mini TASK AG81 Para detener el Mini TASK AG81 basta disponer el interruptor externo en posici n OFF luz roja apagada El controlador incorporado detiene inmediatamente la bomba Parada de Emergencia Para interrumpir inmediatamente en caso de emergencia el funcionamiento del Mini TASK AG81 se deber desenchufar el cable de alimentaci n de la toma de red o disponer el interruptor externo en posici n OFF Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Manual de istrucciones 4 Mantenimiento El Mini TASK AG81 no necesita ning n mantenimiento Toda intervenci n deber ser realizada por personal autorizado Antes de realizar cualquier operaci n en el sistema desconectarlo de la alimentaci n disponer la bomba en presi n atmosf rica abriendo la v lvula respectiva y esperar hasta que el rotor se pare completamente y que la temperatura superficial de la bomba se r
111. l data Trademarks Windows and MS Windows are U S registered trademarks of Microsoft Corporation Safety Notices A CAUTION notice denotes a hazard It calls attention to an operating procedure practice or the like that if not correctly performed or adhered to could result in damage to the product or loss of important data Do not proceed beyond a CAUTION notice until the indicated conditions are fully understood and met A WARNING notice denotes a hazard It calls attention to an operating procedure practice or the like that if not correctly performed or adhered to could result in personal injury or death Do not proceed beyond a WARNING notice until the indicated conditions are fully understood and met Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 Mini TASK AG81 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 3 258 Mini TASK AG81 4 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Contents 1 Contents Istruzioni per l uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni generali 15 Immagazzinamento 16 Preparazione per l installazione 17 Installazione 18 Uso20 Manutenzione 23 Smaltimento 24 Gebrauchsanleitung 25 Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen 26 Allgemeine Informationen 27 Lagerung 28 Vor der Installation 29 Installation 30 Gebrauch 32 Wartung 35 Entsorgung 36 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 0
112. llst nd Se bilagan Technical Information f r en detaljerad beskrivning av kontrollpanelen f r Mini TASK AG81 Att st nga av Mini TASK AG81 St ng av Mini TASK AG81 genom att placera den externa brytaren i l ge OFF den r da kontrollampan slocknar Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion N dstopp St ng av Mini TASK AG81 vid en n dsituation genom att dra ut elkabeln fr n eluttaget eller genom att placera den externa brytaren i l ge OFF Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 107 258 8 Bruksanvisning Underh ll Mini TASK AG81 r underh llsfritt Allt servicearbete m ste utf ras av auktoriserad personal VARNING Innan n got arbete utf rs p systemet m ste pumpens str mf rs rjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen ppnas V nta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur r l gre n 50 C Om pumpen havererar kontakta Agilent reparationsverkstad Innan systemet l mnas in till tillverkaren f r reparation m ste h lso och s kerhetsbladet som medf ljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala terf rs ljaren Bifoga dessutom en kopia av bladet med systemet Skrotning av systemet ska ske enligt g llande lagstiftning 108 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Bruksanvisning 8 Bortskaffande Betydelse av logotypen WEEE p etiketterna Symbolen som visas nedan har till
113. m spojen s pr slu n m kontroln m modulom a v vevou prim rneho v kua Syst m dok e vy erpa ubovo n typ plynu alebo zmesi plynov Nie je vhodn na vy erp vanie tekut n alebo pevn ch ast Vy erp vanie zabezpe uje ve mi r chla turb na max 80000 ot ok min tu poh an vysokov konn m 3 f zovym elektrick m motorom Zariadenie Mini TASK AG81 neobsahuje iadne kontamina n inidl a preto sa hod pre aplik cie vy aduj ce ist v kuum Zariadenie Mini TASK AG81 je vybaven pr davn mi konektormi pre kontrolu v pustn ventil ako aj pre dia kov ovl danie z osobn ho po ta a pripojen ho s riovou linkou Nasleduj ce asti obsahuj v etky potrebn inform cie ktor zaru uj bezpe nos pracovn ka v priebehu pr ce so zariaden m Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 173 258 14 N vod na Obsluhu N vod na pouZitie obsahuje tieto Standardn oznacenia 317119138 Varovania maj s stredi pozornos pracovn ka na ur it postup alebo innos nespr vne vykonanie ktor ch m e sp sobi v ne zranenie POZOR Upozornenia ozna uj postupy nedodr anie ktor ch m e sp sobi po kodenie zariadenia Pozn mky upozor uj na d le it inform cie z textu Uchov vanie Aby sa zaistila maxim lna funk nos a spo ahlivos erpac ch
114. m procedimento ou uma pr tica espec fica que se n o efectuada correctamente pode provocar graves les es pessoais CUIDADO As mensagens de cuidado s o visualizadas antes de procedimentos que se n o efectuados correctamente podem causar danos aparelhagem As notas cont m informa es importantes destacadas do texto Armazenagem Para garantir o n vel M ximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Agilent devem ser observadas as seguintes prescri es durante o transporte o deslocamento e a armazenagem das bombas as condi es ambientais devem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relativa de 0 a 95 n o condensante acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativ las sempre em modalidade Soft Start 0 tempo m ximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular de 10 meses a contar da data da expedi o 64 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Manual de Istruc es 5 mlyn Se por uma raz o qualquer o periodo de armazenagem for superior ser necess rio enviar outra vez a bomba para o fabricante Para mais informa es contatar o representante local da Agilent Prepara o para a instala o O Mini TASK AG81 fornecido numa embalagem protectora especial se esta apresentar sinais de danos que poderiam ter ocorrido durante o transporte entrar em contacto com o escrit rio de ve
115. n Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 119 258 9 Instruksjon Manual Det bl LED STATUS som befinner seg p basen til Mini TASK AG81 indikerer ved hjelp av frekvensen p blinkingen den operative situasjonen til systemet den lyser fast pumpen roterer normalt den blinker langsomt ca hver 400 ms systemet er i stilling for akselerasjon bremsing stopp eller Waiting for interlock den blinker hurtig ca hver 200 ms feiltilstand Se vedlegget Technical Information for en detaljert beskrivelse av Mini TASK AG81s kontrollpanel Stoppe Mini TASK AG81 For stoppe Mini TASK AG81 er det nok dreie den utvendige bryteren til OFF r dt lys slukkes Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart N dstopp For stoppe Mini TASK AG81 i en n dsituasjon er det n dvendig trekke str mkabelen ut av stikkontakten eller dreie den utvendige bryteren til OFF 120 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Instruksjon Manual 9 Vedlikehold Mini TASK AGS81 er vedlikeholdsfritt Alt arbeid p systemet m kun utf res av autorisert personell For noe arbeid gj res p systemet m det frakoples tilf rselen pumpen m luftes ved pne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 C Dersom systemet stanser m du ta kontakt med Agilents F r systemet returneres til produsent
116. n voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 79 258 6 Bedrijfshandleiding Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken Tijdens de eventuele verwarming van de vacu mkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 120 C bedragen WAARSCHUWING Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacu mkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is WAARSCHUWING Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken WAARSCHUWING gt gt gt Vermijd stoten of bruuske verplaatsingen wanneer de turbopomp in werking is De lagers kunnen beschadigen en er kunnen letsels aan personen of schade aan voorwerpen worden veroorzaakt 80 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C VOORZICHTIG Bedrijfshandleiding 6 Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp inert gas zonder stof vaste deeltjes of vocht bijv stikstof De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder van 2 bar boven de atmosferische druk bedragen WAARSCHUWING Wanneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare giftige of radioactieve gassen moeten de procedures worden gevolgd die spec
117. n l i K zik nyv Megsemmis t s 146 258 A cimken jelenl v WEEE logo jelent se Az al bb l that szimb lum az EK WEEE elnevez s ir nyelv vel sszhangban ker l alkalmaz sra Ez a szimb lum mely csak az Eur pai K z ss g orsz gaiban rv nyes azt jelzi hogy a term k melyen megtal lhat NEM ker lhet k z ns ges h ztart si vagy ipari hullad kkal egy tt megsemmis t sre hanem azt egy szelekt v hullad kgy jt rendszerbe kell tov bb tani A v gfelhaszn l nak a gy jt si s megsemmis t si elj r s beind t sa c lj b l az ad sv teli szerz d s hat rid inek s felt teleinek alapos ttanulm nyoz sa ut n fel kell vennie a kapcsolatot a berendez s sz ll t j val legyen ez a se vagy egy viszontelado Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual 12 Podrecznik Instrukcji Wskaz wki dotyczace bezpieczeristwa dla Pomp Turbomolekularnych 148 Og lne informacje 149 Magazynowanie 150 Przygotowanie do instalacji 151 Instalacja 152 Uzytkowanie 154 Wtaczenie i obstuga systemu Mini TASK AG81 155 Zatrzymanie Mini TASK AG81 156 Zatrzymanie Alarmowe 156 Konserwacja 157 Przetworstwo odpadow 158 T umaczenie instrukcji oryginalnej Agilent Technologies 147 258 12 Podrecznik Instrukcji Wskaz wki dotyczace bezpieczenstwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obstugi posiad
118. n ni 162 P prava kinstalaci 163 Instalace 164 Pou iti 166 Zapnuti a pouziv ni vyv vy Mini TASK AG81 167 Vypnuti vyv vy Mini TASK AG81 168 Nouzov zastaveni 168 Udrzba 169 Likvidace 170 Preklad origin lniho n vodu ve P Agilent Technologies 159 258 13 N vod k Pou it Bezpe nostn n vod pro Turbomolekul rn v v vy Turbomolekul rn v v vy jak jsou popisov ny v n sleduj c m n vodu obsahuj velk mno stv kinetick energie d ky vysok ot iv rychlosti v kombinaci s konkr tn m objemem jejich rotor V p pad syst mov nefuk nosti nap kontaktu rotoru anebo statoru nebo p i zhroucen rotoru m e doj t k uvoln n rota n energie A 174234180 Pokyny k instalaci uveden v tomto n vodu musi b t p sn dodr ov ny za elem prevence zran n obsluhy 160 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C N vod k Pou it 13 V eobecn Informace Toto za zen je ur eno pro odborn ky U ivatel by si m l p ed pou it m za zen p e st tento n vod a v echny dal informace dodan firmou Agilent Firma Agilent neodpov d za jak koli nehody kter vzniknou n sledkem i ste n ho nedodr en t chto pokyn nespr vn m pou v n m neznal mi osobami neopr vn n m z sahem do za zen nebo jakoukoli innost kter je v rozporu s pokyny uveden mi v p slu n ch st tn ch norm ch Mini TASK AG81 je integrovan
119. ndas local Durante a remo o da embalagem tomar muito cuidado para n o deixar cair o Mini TASK AG81 e para n o submet lo a choques ou vibra es N o depositar a embalagem no meio ambiente O material completamente recicl vel e em conformidade com a norma CEE 85 399 para a protec o do meio ambiente CUIDADO Para evitar problemas de perdas de g s n o tocar com as m os os componentes destinados exposi o do v cuo Utilizar sempre luvas ou outra protec o adequada Figura 1 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 65 258 5 Manual de Istru es Mini TASK AG81 n o pode ser danificado permanecendo simplesmente exposto atmosfera Aconselha se no entanto manter a bomba fechada at o momento da instala o no sistema para evitar eventuais acumula es de p Instala o CUIDADO Remover a etiqueta autocolante e retirar a tampa de protec o somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema Figura 2 N o instalar e ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosf ricos chuva gelo neve poeiras gases agressivos em ambientes com possibilidade de explos o ou com elevado risco de inc ndio Durante o funcionamento necess rio que sejam respeitadas as seguintes condi es ambientais press o m xima 2 bar al m da press o atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C humidade relativa 0 95 n o condensante 66 25
120. ndige for at garantere sikkerhed for operat ren i forbindelse med anvendelse af udstyret Bilaget Technical Information indeholder detaljerede oplysninger Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 87 258 7 Istruktionsbog I brugsanvisningen anvendes f lgende standardrubrikker Advarselsmeddelelserne informerer operat ren om at en speciel procedure eller en vis type arbejde skal udf res pr cist efter anvisningerne modsat fald er der risiko for sv re personskader Sister Denne advarselsmeddelelse vises f r procedurer der skal f lges n je for ikke at risikere maskinskader Dette g r opm rksom p vigtig information i teksten Opbevaring Det er n dvendigt at overholde f lgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekyl re pumper fra Agilent S rg for at omgivelserne opfylder f lgende betingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra O til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekyl re pumper ved hj lp af Soft Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for f rste gang De turbomolekyl re pumper m opbevares i 10 m neder fra forsendelsesdatoen 88 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Istruktionsbog 7 ii ee Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er l ngere er det n
121. ners auf einen Vorgang oder eine bestimmte Ausf hrungsweise die bei unkorrekter Ausf hrung schwere Verletzungen hervorrufen k nnten VORSICHT Die Vorsichtshinweise werden vor Vorg ngen angegeben die bei Nichtbeachtung Sch den an der Anlage verursachen k nnten Die Hinweise enthalten wichtige Informationen die aus dem Text hervorgehoben werden Lagerung 28 258 Zur Garantie der h chsten Funktionst chtigkeit und Zuverl ssigkeit der Agilent Pumpsysteme m ssen die folgenden Vorschriften eingehalten werden W hrend des Transports der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht berschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feuchtigkeit von 0 bis 95 nicht kondensierend Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft Start in Gang zu setzen Die Lagerdauer f r eine Turbomolekularpumpe betr gt 10 Monate ab dem Speditionsdatum Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Gebrauchsanleitung 2 TT 7 Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Gr nden die genannte Frist berschreiten sollte ist die Pumpe an das Werk zur ckzusenden F r Informationen wenden Sie sich bitte an den rtlichen Agilent Vertreter Vor der Installation Modell Mini TASK AG81 wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert Eventuelle Transportsch den sind der zust ndigen rtlichen Verkaufs
122. neum ticas Durante o aquecimento da c mara a v cuo a temperatura no flange de entrada n o deve ser superior a 120 ATEN O A Nunca activar a bomba se o flange de entrada n o estiver ligado c mara de v cuo ou n o estiver fechado com o flange de fecho A N o tocar a turbobomba e os seus eventuais acess rios durante as operac es de aguecimento A elevada temperatura pode causar les es as pessoas ATENCAO ATENCAO A Evitar colis es ou deslocamentos bruscos da turbobomba guando est a funcionar Os rolamentos poderiam sofrer danos e poderia verificar se les es s pessoas ou as coisas 68 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Manual de Istruc es 5 Allah Para a sa da de ar da bomba utilizar g s inerte sem poeiras part culas ou humidade p ex Azoto A press o de entrada atrav s da porta espec fica deve ser inferior a 2 bars al m da press o atmosf rica Dua e LE Quando a bomba utilizada para bombear gases t xicos inflam veis ou radioactivos seguir os procedimentos adequados t picos para cada g s N o usar a bomba na presen a de gases explosivos Acendimento e Utiliza o do Mini TASK AG81 Para ligar o Mini TASK AG81 suficiente conect lo rede de alimenta o e colocar o interruptor exterior na posi o de ON luz vermelha acesa O controller incorporado detecta automaticamente a corrente de aliment
123. ng geleverd als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor Zorg er bij het uitpakken voor dat de Mini TASK AG81 niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt Laat de verpakking niet ergens buiten achter Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85 399 Om ontgassingsproblemen te voorkomen mogen de componenten die met het vacuiim in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming Figuur 1 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 71 258 6 Bedrijfshandleiding De Mini TASK AG81 kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd zodat eventuele vervuiling door stof wordt voorkomen Installatie UGE tyre Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden 78 258 Figuur 2 De pomp mag niet geinstalleerd en of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden regen vorst sneeuw stof agressieve gassen of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C
124. ng praduct e Remove all accessories from the core product e g inlet screens vent valves e Prior to shipment drain any oils or other liquids purge or flush all gasses and wipe off any excess residue e If ordering an Advance Exchange product please use the packaging from the Advance Exchange to return the defective product e Seal the product in a plastic bag and package product carefully to avoid damage in transit You are responsible for loss or damage in transit e Agilent Technologies is not responsible for returning customer provided packaging or containers e Clearly label package with RA number Using the shipping label provided will ensure the proper address and RA number are on the package Packages shipped to Agilent without a RA clearly written on the outside cannot be accepted and will be returned Retum only products for which the RA was issued Praduct being retumed under a R must be received within 15 business days Ship to the location specified on the printable label which will be sent along with the RA number as soon as we have received all of the required information Customer is responsible for freight charges on returning product Return shipments must comply with all applicable Shipping Regulatians IATA DOT etc and carrier requirements RETURN THE COMPLETED REQUEST FOR RETURN FORM TO YOUR NEAREST LOCATION EUROPE NORTH AMERICA PACIFIC RIM Fax 00 39 011 9979 330 Fax Free 00 800 345 345 00 Fax 1
125. nsen ikke er koplet til vakuumkammeret eller ikke er lukket med lukkeflensen ADVARSEL Ikke ber r turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen De h ye temperaturene kan f re til brannskader ADVARSEL Unng st t eller br bevegelser av turbopumpen n r den er i bruk Lagrene kan kunne skades og det kan kunne oppst skade p personer eller gjenstander bl bi Bl FORSIKTIG Bruk fukt st v og partikkelfri inaktiv gass f eks kvelstoff ved forsyning av pumpen Trykket ved inngangen m ikke v re mindre enn 2 bar over atmosf risk trykk 118 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Instruksjon Manual 9 POL N r pumpen brukes for pumpe giftige brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene f lges Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige milj er Starte og bruke Mini TASK AG81 For sl p Mini TASK AG81 er det nok kople til str mmen og dreie den utvendige bryteren til ON r dt lys tennes Den innebygde styreenheten detekterer str mforsyningen automatisk og s rger for starte pumpen Ved f rste start svarer det seg aktivere Soft Start modusen p styreenheten For f lgende starter anbefales det deaktivere Soft Start modusen Fremgangsm ten for kople inn Soft Start modus er beskrevet i kapittelet Technical Information under paragrafen Signal Descriptio
126. nt forhandleren for informasjon Klargj re til installasjon Mini TASK AG81 leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje Viser denne tegn p skader som kan ha oppst tt under transporten m du ta kontakt med det lokale salgskontoret N r Mini TASK AG81 pakkes ut m du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for st t Emballasjen m ikke kastes p en ulovlig m te Alle materialer er 100 resirkulerbare og er i samsvar med EU direktiv 85 399 om milj beskyttelse sere For unng avgassingsproblemer m ingen del som skal utsettes for vakuum h ndteres med bare hendene Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr Figur 1 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 115 258 9 Instruksjon Manual Normale milj messige belastninger kan ikke delegge Mini TASK AG81 Likevel anbefaler vi holde pumpen lukket til den er montert i systemet slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedst ving Installasjon da ere Tapen og beskyttelsesproppen skal fjernes f rst n r turbopumpen koples til systemet Figur 2 Ikke installer eller bruk systemet i milj er som utsettes for regn sn eller is st v aggressive gasser eksplosjonsfarlige milj er eller milj er med stor brannfare Under bruk m f lgende forhold respekteres maksimalt trykk 2 bar over atmosf risk trykk temperatur fra 5 C til 35 C relativ fuktighet 0
127. o de alto rendimiento El Mini TASK AG81 no posee absolutamente ning n agente contaminante por lo que es adecuado para aplicaciones que requieren un vac o limpio Asimismo el Mini TASK AG81 posee conectores auxiliares con los que se puede gobernar la v lvula de ventilaci n y pilotearlo a distancia mediante un ordenador host conectado a trav s de l nea serial A continuaci n se facilita toda la informaci n necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato En el anexo Technical Information se facilita informaci n m s detallada Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 51 258 4 Manual de istrucciones Este manual utiliza las convenciones siguientes jADVERTENCIA Los mensajes de advertencia atraen la atenci n del operador sobre un procedimiento o una operaci n espec fica que al no realizarse correctamente podr a provocar graves lesiones personales ATENCI N Los mensajes de atenci n se visualizan antes de los procedimientos que de no cumplirse podr an provocar da os al aparato Las notas contienen informaci n importante extra da del texto Almacenamiento 52 258 Para garantizar el nivel m ximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent deber n aplicarse las siguientes instrucciones durante el transporte desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deber n superarse las siguientes condiciones ambientales temp
128. ok w asnej osi Turbopompa z ko nierzem wej ciowym ISO musi by zamocowana do komory pr niowej poprzez podw jne lub pojedyncze zaciski W niniejszej tabeli przedstawione zosta y dla ka dego typu zacisku ilo potrzebnych zacisk w i moment dokr cenia ich Tab 1 KO NIERZ TYP ZACISKU Nr MOMENT DOKR CENIA ISO 63 Podw jny zacisk z gwintem M10 4 22 Nm Pojedynczy zacisk z gwintem M8 4 11 Nm Turbopompa z ko nierzem wej ciowym ConFlat musi by zamocowana do komory pr niowej poprzez odpowiednie drobne uk ady mechaniczne firmy Agilent W celu dodatkowych informacji nale y zapozna si z dodatkiem Technical Information System Mini TASK AG81 nie mo e by mocowany poprzez w asn podstaw Aby zainstalowa opcjonalne akcesoria nale y zapozna si z Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 153 258 12 Podrecznik Instrukcji Uzytkowanie W tym paragrafie zostaky przedstawione gl wne procedury operacyjne Przed zastosowaniem systemu nalezy wykona wszystkie polaczenia elektryczne i pneumatyczne Podczas ewentualnego nagrzania komory pr zniowej temperatura na kolnierzu nie moze przekroczy 120 C Nigdy nie nale y uruchomi pompe w przypadku kiedy ko nierz wej ciowy nie jest pod czony do komory lub nie jest zamkni ty z ko nierzem zamkni cia ZAGRO ENIE Nie dotykac turbopompy i jej ewentualnych akcesori w podczas operacji n
129. ol alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap geeft aan dat het product waarop het is aangebracht NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval maar gescheiden moet worden ingezameld De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de leverancier van het apparaat zij het de fabrikant of een wederverkoper om het proces van gescheiden inzameling en verwerking in gang te zetten na de van toepassing zijnde termen en voorwaarden van het te hebben gecontroleerd Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re turbopumper 86 Generel Information 87 Opbevaring 88 Forberedelse f r installation 89 Installation 90 Anvendelse 92 Start og anvendelse af Mini TASK AG81 93 Stop af Mini TASK AG81 94 N dstop 94 Vedligeholdelse 95 Bortskaffelse 96 Overs ttelse af originalinstruktionerne E Agilent Technologies 85 258 7 Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re turbopumper De molekyl re turbopumper der er beskrevet i n rv rende brugsanvisning har en stor kinetisk energi der skyldes den h je omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke v gt Hvis der er en fejl i systemet for eksempel p grund af en kontakt mellem rotor og stator eller fordi rotoren g r i stykker kan omdrejningsenergien spredes For at undg materielle skader
130. onal nicht autorisierten Eingriffen und Mifsachtung der nationalen einschl gigen Normen bernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung Modell Mini TASK AG81 ist ein integriertes System das aus einer Turbomolekularpumpe f r Hoch und H chstvakuum anwendungen integriert mit einem entsprechenden Controller und der Prim rpumpe besteht Das System eignet sich f r die F rderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen nicht jedoch f r die F rderung von Fl ssigstoffen oder Festpartikeln Die Pumpwirkung wird durch eine hochtourige Turbine max 80000 1 min erreicht die von einem Hochleistungs drehstrommotor angetrieben wird Modell Mini TASK AG81 enth lt keinerlei umweltsch dliche Substanzen und eignet sich deshalb auch f r Anwendungen die ein sauberes Vakuum erfordern Modell Mini TASK AG81 verf gt des weiteren ber Zusatzanschl sse ber die das Entl ftungsventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer ber eine serielle Leitung gesteuert werden kann In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen f r die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Ger ts aufgef hrt Detaillierte technische Informationen sind im Anhang Technical Information enthalten Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 27 258 2 Gebrauchsanleitung In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgendermafsen hervorgehoben Die Warnhinweise lenken die Aufmerksamkeit des Bedie
131. opivan aukon l pi t ytyy olle alle 2 baaria paitsi atmosf rinen paine ZN DNI Kun pumppua k ytet n myrkyllisten paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa lk k ytt k pumppua r j hdysherkkien kaasujen l hell Mini TASK AG81 n k ynnistys ja k ytt K ynnist Mini TASK AG81 kytkem ll s hk p lle ja asettamalla ulkokatkaisin ON asentoon punainen valo syttyy Sis nrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti s hk virran ja k ynnist pumpun Ensimm isess k ynnistyksess on hyv k ytt Soft Start tapaa K ynnist se s timest Kytke seuraavissa k ynnistyksiss Soft Start tapa pois Soft Start k ynnistyksen aktivoimiseksi viitataan kohtaan Signal Description kappaleessa Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 131 258 10 Ohjek sikirja Mini TASK AG81 perustan paneeliin sijoitettu sininen STATUS led ilmoittaa vilkkumistiheydell n j rjestelm n toimintaolosuhteet palaa jatkuvasti pumppu py rii normaalisti vilkkuu hitaasti noin 400 ms n jakso systeemi on kiihdytys jarrutus pys ytys tai Waiting for interlock tilassa vilkkuu nopeasti noin 200 ms n jakso virhetila Ks Mini TASK AG81in ohjaustaulun yksityiskohtainen kuvaus liitteest Technical Information Mini TASK AG81 n pys ytt minen Pys yt Mini
132. orepump Description 212 Control Panel Description 212 Technical Specification 214 Mini Task AG81 Outline 216 Inlet Screen Installation 218 Vibration Isolator Installation 220 High Vacuum Flange Connection 220 High Vacuum Flange Connection Configurations 222 Interconnections 223 Input Power Connector 223 P1 Vent 223 J5 Gauge Connector 224 Pressure Display Module 225 J1 IN OUT 227 Signal Description 228 Original Instructions X Agilent Technologies 27 2 17 Technical Information How to Connect the Open Collector Input of the Controller 233 How to Connect the Outputs of the Controller 235 J2 Serial 236 RS 232 RS 485 Communication Description 237 Communication Format237 Serial Communication Descriptions 239 Window Protocol 239 Description 239 Communication Format239 Communication Protocol 240 Examples 243 Window Meanings 246 Orderable Parts 251 208 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 Description of the Mini Task AG81 The Mini TASK AG81 pumping system consists of pump with an integrated controller and a forepump and is available in three models which differ only in the high vacuum flange The four models are Model 969 9180 with KF 40 high vacuum flange Model 969 9181 with ISO 63 high vacuum flange Model 969 9182 with ConFlat 4 5 external diameter high vacuum flange The following figures show the three models Turbopump D
133. ormation f ggel k A Mini TASK AG81 kikapcsol sa A Mini TASK AG81 kikapcsol s hoz elegend a k ls kapcsol t KI ll sba kapcsolni piros f ny kialszik A be p tett vez rl azonnal le ll tja a szivatty t V szle ll t s A Mini TASK AG81 v szhelyzetben val azonnali le ll t s hoz el kell t vol tani a t pk belt a h l zati dugaszb l vagy a k ls kapcsol t KI ll sba kell kapcsolni 144 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Felhaszn l i K zik nyv 11 Karbantart s A Mini TASK AG81 nem ig nyel karbantart st A rendszeren v gzett b rmely munk t jogosult szem lyzetnek kell elv geznie VESZ LY A rendszeren b rmely munka v gz se el tt v lassza le azt a t pfesz lts gr l szell ztesse a szivatty t a megfelel szelep kinyit s val v rjon amig a rotor forg sa le ll s am g a szivatty fel let nek h m rs klete 50 al esik Meghib sod s eset n forduljon a Agilent szervizk zponthoz Miel tt javit sra visszak ldi a rendszert a gy rt hoz az ehhez a g pk nyvh z csatolt Eg szs g s biztons g lapot ki kell t lteni s el kell k ldeni a helyi kereskedelmi irod hoz A lap egy m solat t sz ll t s el tt be kell illeszteni a rendszercsomagba Ha a rendszert le kell selejtezni azt rtalmatlan tani kell a konkr t nemzeti szabv nyoknak megfelel en Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 145 258 11 Felhasz
134. p A Vacuum Products Division Via F Ili Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9111 Fax 39 011 997 9350 Toll Free 00 800 234 234 00 Customer Support amp Service NORTH AMERICA Toll Free 800 882 7426 Option 3 vpl ra agilent com EUROPE Toll Free 00 800 234 234 00 vpt customercare agilent com PACIFIC RIM please visit our website for individual office information http www agilent com Worldwide Web Site Catalog and Order On line www agilent com Representative in most countries 12 10
135. r Manual 87 901 003 01 C 223 258 17 Technical Information Vent Valve CLOSED OPEN pa 4 pa gt lt b STOP RAMP NORMAL Vent Valve Delay Vent Valve Open Win 126 Time Win 147 START STOP COMMAND Figure 19 Vent Valve Diagram in Auto mode J5 Gauge Connector Mini TASK AG81 is equipped with new generation gauge reading card able to drive read a Agilent EyeSys Mini IMG gauge The EyeSys Mini IMG is a vacuum measurement instrument based on the inverted magnetron ion gauge design see orderable parts table The gauge pressure operation range goes from 6 6x10 mbar 5x10 Torr to 6 6x10 mbar 5x10 Torr and its operation temperature range goes from 0 C to 50 32 122 F Pressure data is available on three independent reading channels 1 On board display data expressed in mbar Torr or Pa see Pressure Display Module picture 2 Serial communication line Win 224 3 Analogical output 224 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 Pressure gauge can be connected disconnected from the Mini TASK AG81 during normal operation IDENTIFICATION i k AL OG ON 25VD AX 2 OMMON I L SIGNAL Figure 20 Gauge Connector The Mini IMG gauge is intended for high vacuum use so with pressure above 50 mTorr the signal is misinterpreted and a false pressure is displayed Use a t
136. r Manual 87 901 003 01 C 53 258 4 Manual de istrucciones EI Mini TASK AG81 no puede dafiarse permaneciendo simplemente expuesto a la atm sfera De todas formas se aconseja mantener cerrada la bomba hasta el momento de la instalaci n en el sistema para evitar su posible contaminaci n por polvo Instalaci n ATENCI N Despegar el adhesivo y quitar el tap n de protecci n s lo en el momento de conectar la turbobomba al sistema 54 258 Figura 2 No instalar ni o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosf ricos lluvia hielo y nieve polvo y gases agresivos ni en ambientes sujetos a riesgo de explosi n o incendio Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes presi n m xima 2 bares por encima de la presi n atmosf rica temperatura de 5 C a 35 humedad relativa 0 95 no condensadora Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Manual de istrucciones 4 Cuando existan campos electromagn ticos la bomba ha de protegerse mediante pantallas adecuadas Para m s detalles v ase por favor el anexo Technical Information El Mini TASK AG81 puede ser instalado en cualquier posici n Fijar el Mini TASK AG81 en posici n estable conectando la brida de entrada de la turbobomba a una contrabrida fija capaz de resistir ha un par de 50 Nm en torno a su propio eje La turbobomba con brida de entrada ISO ha
137. r Netzstecker zu ziehen oder der externe Schalter auf die Schaltstellung OFF zu schalten 34 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Wartung Gebrauchsanleitung 2 Modell Mini TASK AG81 erfordert keine Wartung Eventuelle Eingriffe d rfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef hrt werden WARNUNG Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen die Pumpe iiber ffnung des entsprechenden Ventils beliiften und abwarten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengeh use unter 50 C abgesunken ist Bei Defekten kann der Agilent Service Bevor Fa Agilent ein System zur Reparatur das diesem Handbuch beiliegt ausgef llt an die rtliche Verkaufsstelle zu senden Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschl gigen nationalen Vorschriften zu erfolgen Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 35 258 2 Gebrauchsanleitung Entsorgung 36 258 Bedeutung des WEEE Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in bereinstimmung mit der EU Richtlinie WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment angebracht Dieses Symbol nur in den EU L ndern g ltig zeigt an dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsm ll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugef hrt werden muss Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Ger ts d h die Mutt
138. r maskinskada ska uppst Detta visar p viktig information i texten 100 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Bruksanvisning 8 F rvaring Respektera f ljande anvisningar f r att garantera optimal prestanda och drifts kerhet f r Agilent turbomolekyl ra pumpar Vid transport flytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras Temperaturomrade 20 C till 70 C a Relativ fuktighet O till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekyl ra pumparna n r de mottas och s tts i drift f r f rsta g ngen De turbomolekyl ra pumparna kan lagras i 10 m nader fran leveransdatumet 3323 Om lagringstiden av n gon anledning r l ngre m ste pumpen skickas tillbaka till fabriken Var god och kontakta den lokala Agilent terf rs ljaren f r ytterligare information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 101 258 8 Bruksanvisning F rberedelser f r installationen Mini TASK AG81 levereras i ett s rskilt skyddande emballage Kontakta det lokala f rs ljningskontoret om emballaget visar tecken p skador som kan ha uppst tt under transporten Se till att Mini TASK AG81 inte tappas eller uts tts f r st tar vid uppackningen Kasta inte packmaterialet i soporna Materialet r tervinningsbart till 100 och uppfyller EU direktiv 85 399 om milj skydd 330757 Komponenter som ska uts ttas f r vakuum f r inte hanteras
139. r udf res I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret m indl bsflangens temperatur ikke overstige 120 C ADVARSEL Pumpen m aldrig aktiveres hvis indl bsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret eller hvis pumpen ikke er lukket ved hj lp af lukkeflangen ADVARSEL R r aldrig turbopumpen eller dens tilbeh r i forbindelse med opvarmningsprocedurerne Den h je temperatur kan resultere i skade p personer ADVARSEL gt gt PI Undg stod eller pludselige bev gelser af turbopumpen mens den er aktiveret Der er risiko for beskadigelse af lejerne og det kan medf re skader p personer eller ting 92 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Istruktionsbog 7 duin Til pumpens luftafl b anvendes inaktiv luftart der er fri for st v partikler eller fugtighed eksempelvis kv lstof Indgangstrykket gennem den s rlige bning skal v re under 2 bar over det atmosf riske tryk N r pumpen anvendes til toksiske brandfarlige eller radioaktive gasser f lges fremgangsm den for den enkelte gastype Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser Start og anvendelse af Mini TASK AG81 T nding af Mini TASK AG81 sker ved blot at tilslutte str mmen og indstille den udvendige afbryder i position ON r d kontrollampe t ndt Den indbyggede styreenhed registrerer jeblikkeligt tilslutningen og pumpen startes Benyt Soft Start n r apparatet t ndes f
140. ra AVVERTENZA A Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura puo causare lesioni alle persone AVVERTENZA A Evitare urti o spostamenti della turbopompa quando in funzione I cuscinetti potrebbero danneggiarsi e potrebbero verificarsi danni alle persone o alle cose 20 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C ATTENZIONE Istruzioni per l uso 1 Per la mandata all aria della pompa utilizzare gas inerte esente da polvere particelle o umidit es Azoto La pressione di ingresso attraverso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar oltre la pressione atmosferica AVVERTENZA Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici infiammabili o radioattivi seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi Accensione ed Uso del Mini TASK AG81 Per accendere il Mini TASK AG81 sufficiente fornire la tensione di alimentazione e mettere in posizione ON l interruttore esterno luce rossa accesa Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dell alimentazione ed avvia la pompa Alla prima accensione bene adottare la modalit Soft Start attivandola sul controller per gli avvii successivi si consiglia di disabilitare la modalit Soft Start Per la procedura di attivazione della modalit Soft Start far rifer
141. rablja to opremo Podrobne informacije lahko najdete v prilogi Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 185 258 15 Priro nik za Navodila Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu SVARILO Opozorila so za to da pritegnejo pozornost uporabnika na dolo ene postopke pri katerih lahko pride do resnih po kodb e se jih ne dr i POZOR Sporo ila so prikazana pred postopki pri katerih lahko pride do po kodbe opreme Opombe vsebujejo pomebne informacije iz besedila Shranjevanje Da bi jam ili najve ji mo ni nivo uporabnosti in zanesljivosti rpalnih sistemov Agilent je potrebno upo tevati slede a pravila Pri po iljanju premikanju in shranjevanju rpalk ne smete prese i naslednjih specifikacij temperaturno obmo je 20 C do 70 C a obmo je relativne vla nosti 0 do 95 brez kondenza Turbomolekularne rpalke morate pred prvo uporabo zmerja zagnati mehko ivljenjska doba turbomolekularne rpalke je 10 mesecev od datum po iljanja 186 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Priro nik za Navodila 15 POZOR zaradi kakr nega koli razloga presezete Zivljenjsko dobo je treba rpalko vrniti v tovarno Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Vacuum Priprava za montazo Mini TASK AG81 je dobavljen v posebni zaSCitni embalazi Ce je embalaZa poskodovana
142. ransition gauge to understand if the reading is really under 50 mTorr or not Pressure Display Module PRESSURE mBar BBHB Figure 21 Pressure display module Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 225 258 17 Technical Information OWU SAS 9A9 T Figure 22 EyeSys Mini IMG gauge 9 male pin D Sub Connector S NW 25 and NW 40 KF fittings Figure 23 EyeSys Mini IMG gauge dimensions 226 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 J1 IN OUT Figure 24 EyeSys Mini IMG gauge dimensions This connector carries all the input and output signals to remote control the Mini TASK AG81 Itis a 15 pins D type connector the available signals are detailed in the table the following paragraphs describe the signal characteristics and use Tab 4 PIN N SIGNAL NAME INPUT OUTPUT 1 START STOP 2 START STOP 3 INTERLOCK IN 4 INTERLOCK IN 5 SPEED SETTING IN vi RED s a 7 SOFT START 4 IN 8 SOFT START IN v hu 10 NORMAL OUTPUT relay Vmax 125V Imax 200 mA PROGRAMMABLE SET POINT 13 FAULT OUTPUT Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 227 258 17 Technical Information PINN SIGNAL NAME INPUT OUTPUT 14 PROGRAMMABLE ANALOG OUT SIGNAL 15 GROUND OUT PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL
143. raph Signal Description in the chapter Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 203 258 16 Instructions for Use The blue LED STATUS located on the Mini TASK AG81 base front panel indicates with its flashing frequency the system operating conditions with no flashing the pump is normally rotating slowly flashing period of about 400 ms the system is in ramp or in braking or in Stop or in Waiting for interlock status fast flashing period of about 200 ms error condition See the appendix Technical Information for a detailed description of the Mini TASK AG81 control panel Mini TASK AG81 Switching off To switch off the Mini TASK AG81 it is sufficient to move the external switch to OFF position red light off The integrated controller immediately stops the pump Emergency Stop To immediately stop the Mini TASK AG81 in an emergency condition itis necessary to remove the supply cable from the mains plug or moving the external switch to OFF position 204 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Instructions for Use 16 Maintenance The Mini TASK AG81 does not require any maintenance Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel WARNING Before carrying out any work on the system disconnect it from the mains vent the pump by opening the appropriate valve wait until the rotor has stopped turning and wait until the su
144. rbopumpen med ISO intagsfl ns ska f stas vid vakuumkammaren med hj lp av dubbla eller enkla klamrar Den f ljande tabellen beskriver olika typer av klamrar n dv ndigt antal klamrar och tdragningsmoment Tab 1 FL NS TYP AV KLAMMER ANT ATDRAGNINGS MOMENT ISO 63 Dubbel klammer g nga M10 4 22 Nm Enkel klammer g nga M8 4 11 Nm Turbopumparna med intagsfl ns ConFlat ska f stas vid vakuumkammaren med hj lp av Agilent f stdelar F r detaljer h nvisas till bilaga Technical Information Mini TASK AG81 systemet kan inte fastsp nnas med sin egen bas Installation av tillbeh rsutrustning beskrivs i Technical Information 104 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Bruksanvisning 8 Anv ndning Anvisningar f r riktig anv ndning finns i styrenhetens bruksanvisning Innan du anv nder systemet ska du utf ra alla elektriska och pneumatiska anslutningar Om vakuumkammaren uppv rms f r temperaturen vid inloppet aldrig verstiga 120 C S tt aldrig ig ng pumpen om intagsfl nsen varken r kopplad till vakuumkammaren eller r blockerad p plats med l sfl nsen Vidr r inte turbopumpen eller n gra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika br nnskador Undvik st tar eller pl tsliga r relser av pumpen under drift Lagren skulle kunna f rst ras och skador p personer eller p f rem l kan intr ffa maga Anvand delgas fri fr n damm partiklar och fukt
145. re 12 The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange on the left side and pump with 4 5 CFF flange on the right side Figure 13 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 219 258 17 Technical Information Vibration Isolator Installation A vibration damper model 969 9375 for ISO 63 and 969 9376 for CFF 4 5 is available as accessory It typically reduces the vibration transmitted from the Turbo pump to the system by a factor of 20 Please refer to the relevant instruction manual High Vacuum Flange Connection To connect the Turbo pump to the ISO inlet flange remove the outer ring and position the centering ring as shown in the figure REMOVE OUTER RING O RING ROTECTIVE Figure 14 Then fix the two flanges with the clamps or claws as shown in the figure 220 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 REMOVE OUTER RING O RING PROTECTIVE N EDGE Figure 15 For ConFlat flange connections we recommend using Agilent hardware To facilitate assembly and dismantling apply Fel pro C 100 high temperature lubricant to the screw threads protruding from the flange and between the nuts and flange Note that the 2 75
146. rface temperature of the pump falls below 50 In the case of breakdown contact your local Agilent service center Before returning the system to the constructor for repairs the Health and Safety sheet attached to this instruction manual must be filled in and sent to the local sales office A copy of the sheet must be inserted in the system package before shipping If a system is to be scrapped it must be disposed of in accordance with the specific national standards Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 205 258 16 Instructions for Use Disposal Meaning of the WEEE logo found in labels The following symbol is applied in accordance with the EC WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment Directive This symbol valid only in countries of the European Community indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system The end user is therefore invited to contact the supplier of the device whether the Parent Company or a retailer to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale NY NA f DO N SN 206 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual 17 Technical Information Description of the Mini Task AG81 209 Turbopump Description209 Controller Description 212 Diaphragm F
147. rste gang Dette sker ved at aktivere funktionsm den p kontrolenheden Det anbefales at frakoble funktionsm den Soft Start i forbindelse med de efterf lgende starter Hvad ang r fremgangsm den til tilkobling af Soft Start henvises der til afsnittet Signal Description i kapitlet Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 93 258 7 Istruktionsbog Den blu STATUS LED der er anbragt p panelet p Mini TASK AG81 s fundament angiver systemets funktion ved blink a konstant t ndt pumpen er i normal rotation a langsomme blink periode p ca 400 ms systemet er i stilling for acceleration bremsning stop eller Waiting for interlock a hurtige blink periode p ca 200 ms fejl Vedr rende en detaljeret beskrivelse af kontrolpanelet i Mini TASK AG81 henvises til bilaget Technical Information Stop af Mini TASK AG81 Afbrydelse af Mini TASK AG81 sker ved blot at indstille den udvendige afbryder i position OFF r d kontrollampe slukket Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen N dstop N dstop af Mini TASK AG81 sker ved at fjerne str mkablet fra stikkontakten eller indstille den udvendige afbryder i position OFF 94 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Istruktionsbog 7 Vedligeholdelse Mini TASK AG81 beh ver ikke nogen vedligeholdelse Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale ADVARSEL Inden der foretages noget
148. rtanto convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo seja este o fabricante ou um revendedor para encaminhar o processo de recolha e elimina o ap s a oportuna verifica o dos termos e condi es do contrato de venda NY Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 74 Algemene informatie 75 Opslag 76 Uitpakken 77 Installatie 78 Gebruik 80 Inschakeling en gebruik van de Mini TASK AG81 81 Afzetten van de Mini TASK AG81 82 Noodstop 82 Onderhoud 83 Afvalverwerking 84 Vertaling van de originele instructies E Agilent Technologies 73 258 6 Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breekt kan de rotatie energie vrijkomen vue AN Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen moeten de installatie instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd 74 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Bedrijfshandleiding 6 Algemene informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik De gebrui
149. s plus d taill s se trouvent dans l appendice Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 39 258 3 Mode d emploi Cette notice utilise les signes conventionnels suivants VALSSIA Les messages d avertissement attirent l attention de l op rateur sur une proc dure ou une man uvre sp ciale qui si elle n est pas effectu e correctement risque de provoquer de graves l sions aani o Les messages d attention apparaissent avant certaines proc dures qui si elles ne sont pas observ es pourraient endommager s rieusement l appareillage Les notes contiennent des renseignements importants extrapol s du texte Stockage Pour garantir les performances et la fiabilit maximales des pompes turbomol culaires Agilent il est indispensable de respecter les instructions suivantes Le transport la manutention et le stockage des pompes doivent imp rativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes temp rature de 20 C 70 C a humidit relative de 0 95 non condensante a Ala premi re utilisation les pompes turbomol culaires doivent toujours tre mises en marche en mode soft Start Le temps de stockage d une pompe turbomol culaire est de 10 mois compter de la date d exp dition 40 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mode d emploi 3 En cas de d passement du temps de stockage la pompe doit tre retourn e en usine Pour
150. s rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel p grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd p rotoren kan roteringsenergien bli frigitt POL For unng skader p utsyret og forebygge operat rskader ma installasjonsanvisningene beskrevet i denne manaulen f lges n ye 112 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Instruksjon Manual 9 Generell informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere Brukeren bgr lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent fgr utstyret tas i bruk Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer p grunn av manglende oppf lging av disse instruksjonene selv delvis feilaktig bruk av utrent personell ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som p noen m te er i strid med nasjonale bestemmelser Mini TASK AG81 systemet best r av en turbo molekul r pumpe for bruk i h y eller ultrah ye vakuumanlegg en styreenhet og en hovedpumpe Systemet kan pumpe nesten alle typer gass eller gassforening Det er ikke beregnet for pumpe v sker eller faste partikler Pumpingen oppn s med en h yhastighetsturbin maks 80000 opm koplet til en trefaset elektrisk motor Mini TASK AG81 har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for rene vakuum Mini TASK AG81 har dessuten hjelpekontakter som gir muligheter for styring av utluftingsventilen og fjernstyring av systemet me
151. samt at operat rerne kommer til skade er det strengt n dvendigt n je at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning 86 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Istruktionsbog 7 Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse Brugeren b r l se denne brugsanvisning og anden yderligere information fra Agilent f r udstyret anvendes Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som f lge af tilsides ttelse af disse instruktioner fejlagtig brug af personer uden tilstr kkeligt kendskab ukorrekt anvendelse af udstyret eller h ndtering der strider imod g ldende lokale regler Mini TASK AG81 systemet omfatter en turbomolekyl r pumpe til h je eller meget h je vakuumtilpasninger og aktuel styreenhed og hovedpumpe Systemet er i stand til at pumpe en hvilken som helst form for gas eller gaslignende luftarter men systemet kan ikke anvendes til pumpning af v ske eller af faste partikler Pumpningen sker ved hj lp af en hurtigroterende turbine 80000 omdr min Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med h j effekt Mini TASK AG81 er ikke fremstillet af skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse der kr ver rent vakuum Mini TASK AG81 har endvidere hj lpestik der g r det muligt at styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hj lp af en v rtscomputer gennem seriel forbindelse De f lgende afsnit indeholder oplysningerne der er n dve
152. som helst indgreb p systemet skal str mmen f rst afbrydes og luften i pumpen skal fjernes ved at bne ventilen Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset og til temperaturen p pumpens overflade er under 50 C I tilf lde af skader p systemet kontaktes et Agilent reparationsv rksted Inden systemet sendes til reparationsv rkstedet skal Sikkerheds og tilstandsdokumentet der er vedlagt denne instruktionsmanual udfyldes En kopi af dette dokument skal inds ttes i systemets emballage inden afsendelse Skrotning af systemet skal foreg i overensstemmelse med det p g ldende lands s rlige love Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 95 258 7 Istruktionsbog Bortskaffelse 96 258 Betydningen af WEEE logoet p mzerkaterne Nedenst ende symbol anvendes i overensstemmelse med det s kaldte EU direktiv WEEE Symbolet kun g ldende for EU landene viser at produktet som det sidder p IKKE m bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres p en godkendt affaldsstation Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverand ren af anordningen enten fabrikken eller en forhandler for igangs ttelse af afhentnings og bortskaffelsesprocessen efter n je at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten NE N J IX di ZAJ JRR Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Mini TASK AG81 User Manual
153. spheric pressure temperature from 5 C to 35 C relative humidity 0 95 non condensing In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield See the appendix Technical Information for detailed information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Instructions for Use 16 The Mini TASK AG81 can be installed in any position Fix the Mini TASK AG81 in a stable position connecting the inlet flange of the turbopump to a fixed counter flange capable of withstanding a torque of 50 Nm around its axis The turbopump with ISO inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of clamps or claws The following table shows for each fixing device the necessary number of clamps or claws and the relevant fixing torque Tab 1 FLANGE FIXING DEVICE N FIXING TORQUE ISO 63 M10 clamps 4 22 Nm M8 claws 4 11 Nm The turbopump with ConFlat inlet flange must be fixed to the vacuum chamber by means of the appropriate Agilent hardware See the appendix Technical Information for a detailed description The Mini TASK AG81 cannot be fixed by means of its base For installation of optional accessories see Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 201 258 16 Instructions for Use Use 202 258 This paragraph details the fundamental operating procedures Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system While heating
154. stelle zu melden Modell Mini TASK AG81 ist vorsichtig auszupacken wobei es vor dem Herunterfallen und vor St fsen und Vibrationen zu sch tzen ist Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgem fs zu entsorgen Es ist vollst ndig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85 399 EWG f r Umweltschutz VORSICHT Um Entgasungen zu vermeiden d rfen die Teile die mit dem Vakuum in Ber hrung kommen nicht mit den bloRen H nden angefaRt werden Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden Abbildung 1 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 29 258 2 Gebrauchsanleitung Modell Mini TASK AG81 kann durch die Umgebung an sich keine Sch den erleiden Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden Installation VORSICHT Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei AnschluB der Turbopumpe an das System abnehmen Abbildung 2 Die Pumpe darf nicht in Umgebungen die ungesch tzt vor Wetter Regen Frost Schnee Staub und aggressiven Gasen sind sowie auch nicht in explosionsf higen oder erh ht brandgef hrdeten Umgebungen installiert und oder benutzt werden Beim Betrieb m ssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden Maximaler Druck 2 bar ber dem atmosph rischen Druck Temperatur von 5 C bis 35 C siehe Diagramm im Anhang Technical Information Relative Luftf
155. sten Betriebsvorg nge erl utert Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschl sse auszuf hren W hrend der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 120 C nicht berschreiten Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlu flansch verschlossen ist W hrend des Aufheizens d rfen weder die Pumpe noch eventuelle hei e Zubeh rteile ber hrt werden Es besteht Verbrennungsgefahr Die Turbopumpe darf w hrend des Betriebes keinen St en oder ruckartigen Bewegungen ausgesetzt werden Die Lager k nnten besch digt werden und Personen oder Gegenst nden Schaden zugef gt werden 32 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Gebrauchsanleitung 2 UT TT bo F r die Bel ftung der Pumpe staub partikel und feuchtigkeitsfreies Inertgas z B Stickstoff verwenden Der Eingangsdruck am Bel ftungsanschlu soll unter 2 bar ber dem atmosph rischen Druck betragen WARNUNG Wenn die Pumpe zur F rderung von giftigen leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird sind die fiir das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg nge und Ma nahmen zu befolgen Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsf higen Gasen verwendet werden Einschaltung und Gebrauch von Modell Mini TASK AG81 Zur Einschaltung des Mini TAS
156. t ex kv ve f r luftning av pumpen Trycket vid inloppet f r vara h gst 2 bar ver atmosf riskt tryck Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 105 258 8 Bruksanvisning VARNING D pumpen anv nds f r pumpning av giftiga l ttant ndliga eller radioaktiva gaser b r man f lja de s rskilda anvisningarna f r varje enskild gas Anv nd ej pumpen i n rheten av explosiva gaser Start och anv ndning av Mini TASK AG81 Starta Mini TASK AG81 genom att sl till str mmen och placera den externa brytaren i l ge ON den r da kontrollampan t nds Den inbyggda styrenheten k nner automatiskt av str mtillf rseln och s tter ig ng pumpen Vid den f rsta starten rekommenderas det att aktivera funktionss ttet Soft Start p kontrollenheten F r efterf ljande starter rekommenderas det att deaktivera funktionss ttet Soft Start F r att sedan aktivera detta l ge Soft Start h nvisar vi till paragrafen Signal description i kapitlet Technical Information 106 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Bruksanvisning 8 Den bl lysdioden STATUS p underdelen av Mini TASK AG81 anger genom frekvensen av dess blinkningar hur systemet fungerar fast sken pumpen roterar normalt l ngsamt blinkande ungef r var 400 ms systemet r i l ge f r acceleration bromsning Stop eller Waiting for interlock hastigt blinkande ungef r 200 ms felti
157. the Stop 0 window is a read only 001 R W L Low Speed Activation No 0 in remote mode the Yes 1 window is a read only default 0 008 R W L Remote or Serial Remote 1 configuration Serial 0 default 1 100 R W L Soft Start YES write only in Stop condition NO 0 101 RW N R1 Set Point type 0 Frequency 1 Power 2 Time 3 Normal 4 Pressure default 0 102 R W N R1 Set Point valve default 867 expressed in Hz W or s 103 R W N Set Point delay time 0 to 999999 between the pump start and default 0 the set point check seconds 104 R W L Set Point signal activation 0 high level active type the signal can be high 1 low level active level active or low level default 0 active 105 RW N Set point hysteresis 0 to 100 in of value default 2 106 R W L Water cooling 0 NO write only in stop 1 YES 246 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 17 Technical Information N Read Data Description Admitted Values Write Type 107 R W L Active Stop 0 NO write only in stop 1 YES default 0 108 R W N Baud rate 600 0 1200 1 2400 2 4800 3 9600 4 default 4 109 W L Pump life cycle time cycle To reset write 1 number reset 110 R W L Interlock type Impulse 0 default 1 Continuous 1 111 RW L Analog output type output 0 frequency voltage signal proportional 1 power to frequency or power default 1 2 Pump temperature 3 Pressure 1
158. this box is checked the following information must also be filled out Check boxes for all materials to which product s pumped or was exposed Toxic Gorrosive Reactive 1 Flammable El Explosive L1 Biological Radioactive List all toxic hazardous materials Include product name chemical name and chemical symbol or formula NOTE If product is received at Agilent which is contaminated with a toxic or hazardous material that was not disclosed the customer will be held responsible for all costs incurred to ensure the safe handling of the product and is liable for any harm or injury to Agilent employees as well as to any third party occurring as a result of exposure to toxic or hazardous materials present in the product Print Name Authorized Signature Date 5 FAILURE INFORMATION Failure Mode REQUIRED FIELD See next Detailed Description of Malfunction Please provide the error message Application system and model I understand and agree to the terms of Section 6 Page 3 3 Print Name Authorized Signature Pg 2 3 Agilent Technologies Vacuum Products Division Request for Return Form Health and Safety Certification Please use these Failure Mode io describe the concern about the product on Page 2 TURBO PUMPS and TURBO CONTROLLERS Does not start Noise Vertical Power Rotational Speed Does not spin freely Vibrations Hori
159. tmosph rique AVERTISSEMENT Lorsque la pompe est utilis e pour le pompage de gaz toxiques inflammables ou radioactifs suivre les proc dures typiques de chaque gaz Ne pas utiliser la pompe en pr sence de gaz explosifs Mise en marche et utilisation du Mini TASK AG81 Pour allumer le Mini TASK AG81 il suffit de le brancher au r seau et de placer l interrupteur ext rieur sur ON lumi re rouge allum e Le contr leur incorpor reconnait automatiquement la pr sence de l alimentation et met la pompe en marche Lors de la premi re mise en marche il est conseill d adopter le mode Soft Start en l activant sur le contr leur pour les d marrages suivants il est conseill de d sactiver le mode Soft Start Pour la proc dure d activation de la modalit Soft Start se r f rer au paragraphe SIGNAL DESCRIPTION dans le chapitre Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 45 258 3 Mode d emploi La LED bleu STATUS plac e sur le panneau de la base du Mini TASK AG81 indique par sa fr quence de clignotement les conditions op rationnelles du syst me allum e fixe la pompe est en rotation normale a clignote lentement p riode d environ 400 ms le syst me est en tat de rampe de freinage de stop ou d attente interlock clignote rapidement p riode d environ 200 ms condition d erreur Pour une description d taill e du panneau de contr le du Mini TASK A
160. tningen eller hantering som strider mot g llande lokala f reskrifter Systemet Mini TASK AG81 best r av en turbomolekyl r pump f r h ga och mycket h ga vakuumtill mpningar en styrenhet och en huvudpump Systemet kan anv ndas f r pumpning av alla typer av gas eller gasf reningar Dock l mpar sig inte systemet f r pumpning av v tskor eller fasta partiklar Pumpningen stadkoms med hj lp av en h gvarvig turbin max 80000 varv minut som drivs av en elektrisk trefas h geffektmotor Inga tillsats mnen anv nds i Mini TASK AG81 som d rf r passar f r till mpningar som kr ver ett rent vakuum Mini TASK AG81 har dessutom hj lpkontakter som g r det m jligt att kontrollera avluftningsventilen och att fj rrstyra den med hj lp av en host dator som r ansluten genom seriell f rbindelse De f ljande avsnitten inneh ller all information som beh vs f r att garantera operat rens s kerhet under anv ndningen Detaljerade uppgifter finns i bilagan Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 99 258 8 Bruksanvisning I bruksanvisningen anv nds f ljande standardrubriker VARNING Varningsmeddelandena informerar operat ren om att en speciell procedur eller en viss typ av arbete m ste utf ras exakt enligt anvisningarna I annat fall finns risk f r sv ra personskador sais Detta varningsmeddelande visas framf r procedurer som m ste f ljas exakt f r att inte risk f
161. tteen mahdollinen p lysaastuminen Asennus Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta kun turbopumppu kytket n j rjestelm n 128 258 Kuva 2 Pumppua ei tule asentaa ja tai k ytt ymp rist ss miss se joutuu kosketuksiin s tekij iden sateen j n tai lumen p lyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa r j hdys tai tulipalovaara K yt n aikana on noudatettava seuraavia ymp rist koskevia ehtoja maksimipaine Z baaria yli atmosf risen paineen l mp tila 5 C 35 suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Ohjek sikirja 10 Mik li l sn on magneettikentti tulee pumppu suojata t h n tarkoitukseen olevilla suojilla Lis tietoja l ytyy Technical Information liitteest Mini TASK AG81 voidaan asentaa mihin tahansa asentoon Kiinnit Mini TASK AG81 tukevaan asentoon kytkem ll turbopumpun kiinte sis ntulolaippa kiinte n vastalaippaan joka kest 50 Nm n momentin oman akselinsa ymp ri Turbopumppu ISO sis ntulolaipalla tulee kiinnitt tyhji kammioon kaksois tai yksinkertaisilla kiinnikkeill Seuraavassa taulukossa ovat kaikki kiinnikemallit kiinnikkeiden vaadittava m r ja kiristysmomentti Tab 1 LAIPPA KIINNIKE M R KIRISTYS MOMENTTI ISO 63 Kaksoiskiinnike kierteitys M10 4 22 Nm Yksinkertainen kiinnike kiert
162. ul rni v v vy b hem jej ho chodu Mohlo by doj t k po kozen lo isek a tak ke zran n osob i kod m na v cech 166 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C N vod k Pouzit 13 POZOR Pro odv tr n vyv vy pouzivejte inertni plyn bez prachu C stic a vlhkosti napr dus k Tlak p i odv tr vac m otvoru mus b t men ne 2 bary nad atmosf rickym tlakem 4 34 4H MW Pokud pou v te v v vu pro erp n toxick ch ho lav ch nebo radioaktivn ch plyn dodr ujte pros m po adovan postupy pro likvidaci ka d ho plynu V v vu nepou vejte v p tomnosti v bu n ch plyn Zapnut a pou v n v v vy Mini TASK AG81 Vyv vu Mini TASK AG81 sta zapojit do s t a pak zapnout venkovn vyp na rozsv t se erven kontrolka Vestav n regul tor automaticky rozezn p tomnost s ov ho nap t a spust v v vu P i prvn m uveden do provozu se doporu uje nastavit na regul toru m kk start U dal ch spu t n se doporu uje m kk start zru it Chcete li informace k aktivaci m kk ho startu viz odstavec Popis sign lu v kapitole Technical Information Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 167 258 13 N vod k Pou it Modr LED kontrolka STATUS na panelu z kladny modelu Mini TASK AG81 ukazuje prost ednictv m rychlosti sv ho blik n opera n stav syst mu bez blik n v v va s
163. utes Operating position any Operating ambient b C to 35 C temperature Bakeout 120 at inlet flange max CF flange temperature 80 C at inlet flange max ISO flange Noise level 55 dB A at 1 meter Lubricant permanent lubrication Power supply Line type Input voltage 100 240 Vac Input frequency 50 60 Hz Max input power 220 VA Stand by power 10 W UNI EN 292 1 UNI EN 292 2 EN 55011 Class A Group 1 EN 61000 3 2 EN 61000 3 3 EN 61000 4 2 EN 61000 4 3 EN 61000 4 4 Compliance with EN 61010 1 EN 1012 2 Installation category II Pollution degree 2 214 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Technical Information 17 Serial communication kit RS232 cable with a 9 pin D type male connector and a 9 pin D type female connector and software optional Storage temperature 20 C to 70 C Weight kg Ibs ISO and KF 7 5 16 CFF 8 3 18 According to standard DIN 28 428 the base pressure is that measured in a leak free test dome 48 hours after the completion of test dome bake out with a Turbopump fitted with a ConFlat flange When the Mini TASK AG81 has been stored at a temperature less than 5 wait until the Mini TASK AG81 has reached the above mentioned temperature Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C 215 258 17 Technical Information Mini Task AG81 Outline The following figure shows the Mini TASK AG81 outline
164. val asi 200 ms chybov stav Podrobn inform cie o kontrolnom paneli Mini TASK AG81u sa nach dzaj v dodatku Technical Information Vypnutie Mini TASK AG81u Pre vypnutie Mini TASK AG81u sta prepnutie vonkaj ieho vyp na a do polohy OFF erven kontrolka zhasne Zabudovan kontroln modul v vevu okam ite zastav N dzov zastavenie Ak chcete zariadenie Mini TASK AG81 okam ite vypn v stave n dze mus te alebo vytiahnu k bel nap jania zo z str ky zdroja nap jania alebo prepn vonkaj vyp na do polohy OFF 180 258 Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Udriba N vod na Obsluhu 14 Zariadenie Mini TASK AG81 nevyZaduje Ziadnu drZbu Ak kolvek pravy a opravy syst mu musi vykonat autorizovany person l NEBEZPE E Sk r ne za nete oko vek robi v syst me odpojte ho od zdroja nap jania vyvetrajte v vevu tak e otvor te pr slu n ventil po kajte k m sa rotor neprestane ot a a k m teplota povrchu v vevy neklesne pod 50 C V pr pade poruchy zariadenia vyh adajte servisn stredisko spolo nosti Agilent Pred odoslan m zariadenia v robcovi treba vyplni dotazn k Zdravie a Bezpe nos pripojen k n vodu na pou itie a odosla miestnemu predajcovi K piu dotazn ka vlo te do bal ka so syst mom a odo lite spolu s n m Ak je potrebn likvid cia syst mu mus prebehn v s lade so pecifick mi predpismi
165. ylipumppujen Turvaohjeet T ss k ytt ohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea m r kineettist energiaa joka aiheutuu korkeasta py rimisnopeudesta yhdistettyn pumppujen roottorien massaan J rjestelm n vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tai roottorin rikkoutuessa py rimisenergia saattaa vapautua AVION Tassa k ytt ohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti 124 258 laitteiston vaurioitumisen ja k ytt jien vahingoittumisen v ltt miseksi Mini TASK AG81 User Manual 87 901 003 01 C Ohjek sikirja 10 Yleisi tietoja T m laite on tarkoitettu ammattimaiseen k ytt n Ennen laitteen k ytt nottoa tulee k ytt j n lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lis tiedot Agilent ei ota vastuuta seurauksista jotka johtuvat laitteen k ytt ohjeiden t ydellisest tai osittaisesta laiminly nnist ammattitaidottoman henkil n virheellisest laitteen k yt st valtuuttamattomista toimenpiteist tai kansallisen lains d nn n vastaisesta k yt st Mini TASK AG81 on kokonaisj rjestelm joka muodostuu valvojalla ja p pumpulla varustetusta turbomolekyylipumpusta korkean ja ultrakorkean tyhji n k ytt varten J rjestelm kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisi kaasuja tai kaasukoostumuksia Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen Pumppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella
166. zontal Current Inlet Pressure Does not reach full speed Leak Upside down Temp 1 Foreline Pressure Mechanical Cantact Overtemperature Other Temp 2 Purge flow Cooling defective Clagging EEG OPERATING TIME ION PUMPS CONTROLLERS VALVES COMPONENTS Bad feedthrough Poor vacuum Main seal leak Bellows leak Vacuum leak High voltage prablem Solenoid failure Damaged flange Error code on display Other Damaged sealing area Other LEAK DETECTORS INSTRUMENTS Gannot calibrate No zero high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Failed to start Other Error code on display Other SCROLL AND ROTARY VANE PUMPS DIFFUSION PUMPS Pump doesn t start Noisy pump describe Heater failure Electrical problem Doesn t reach vacuum Over temperature Doesn t reach vacuum Cooling coil damage Pump seized Other Vacuum leak Other Section 6 ADDITIONAL TERMS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division Products and Services Terms of Sale e Customer is responsible for the freight charges for the returning product Return shipments must comply with all applicable Shipping Regulations IATA DOT etc and carrier requirements e Customers receiving an Advance Exchange product agree to return the

Download Pdf Manuals

Related Search

Related Contents

Contenant de préparation pour sandwich petit déjeuner  2．サービス付き高齢者向け住宅等の生活相談員マニュアル  Handbuch Firmware 2.5.x  Visibilité et sécurité  Operating Instructions  Design House 755421 Instructions / Assembly  Garland Broiler User's Manual  Scarica le istruzioni di montaggio  SRT 5392 Users Manual  Versão traduzida  

Copyright © All rights reserved. Failed to retrieve file