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Turbo-V 1K-G - Agilent Technologies

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1. Apy m Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 169 315 11 A INT AN OL STAV Mn Evavon Turbo V 1K G Turbo V 1K G pe to Navigator controller 969 8978M005 oto eva 969 9454M002 Turbo V 1K G O
2. Turbo V 1K G Tov controller Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 171 315 11 H Turbo V 1K G KUNA VAN OMI TO 50 C Agilent Agilent advanced exchange service
3. advanced exchange service Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 172 315 11 tou logo WEEE VTIPEKTIBa WEEE Auto uc Ot IIPOIOV
4. Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 160 315 11 O Agilent H OGOV UN H Turbo V 1K G
5. rrapakeiuevo Turbo V 1K G oe IKAVI oe pori 8900 Nm aro ISO F o pori da ISO 160 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm F va gt 8 8 H Turbo V 1K G H Turbo V 1K G L GOU Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 167 315 Xpnoewa 11 NPOZOXH H Turbo V 1K G ue Navigator 969 8978M005 TOV
6. BOGX 28 H NPOZOXH AT TOLEG va H va 2 Bap
7. TN Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 164 315 11 Proetoimasia gia thn egkatastash 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 165 315 Xpnoewa 11 H KAIT Z bar 5 C 35 C Technical Information 0 95 9 NPOZ
8. AYLAEVT OL 20 C 70 C 0 95 OVUTVKVOCIJIN TOV 10 NPOZOXH Agilent Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 163 315
9. TOV 2 Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 161 315 Xpnoewa 11 AVTO touc KINAYNOX TOU EV Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 162 315 11
10. TOV LVTEP OXK H Soft Start OL Soft Start Soft Start TOV RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION Technical Information To AEA Turbo V 1K G 400 ms Il Stop Wait
11. EN 61010 1 Turbo V 1K G WOTE Turbo V 1K G EN 61010 1 TOV Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 168 315 11 OL
12. 11 H Turbo V 1K G n Turbo V 1K G 85 399 TOV NPOZOXH va H Turbo V 1K G
13. controller H H TOV 45660 str lept max kinoUmenh H Turbo V 1K G pe to Navigator 969 8978M005 QEVT XOLTVTEP noot RS232 RS485
14. va paci pe pe AUTO TOV TEMIKO pe TOV HE TO pe AHO vov pov Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 173 315 11 Sunthrhsh Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 174 315 Turbo V 1K G User Manual Felhasznaloi Kezik nyv Biztonsagi tmutat Turbomolekularis szivatty khoz 176 Altalanos Inform ci 177 Tarolas 179 El k sz t s telepit sre 181 A szivatty r gzitese 182 Hasznalat 184 A Turbo V 1K G bekapcsol sa es hasznalata 185 A Turbo V 1K G kikapcsol sa 185 Veszleallitas 186 Karbantart s 187 Megsemmisites 188 Az eredeti utasitas forditasa Turbo V 1K G 87 901 025 01 175 315 Felhaszn l i Kezikonyv 12 Biztons gi tmutat Turbomolekularis szivattyukhoz A turbomolekularis szivattyuk ahogy a kovetkezo sepkonyvben le van irva nagy mozgasi energlaval rendelkeznek a nagy forgasi sebess g k s a rotorok fajlagos tomese miatt A rendszer hibas mukodese peldau
15. ai Please read important policy information on Page 3 chat applies to all returns CUSTOMER INFORMATION Company Name Contact Mame Customer Skip To Customer Bill Ta 3 TYPE OF RETURN Choose one from each row and supply Purchase Order if requesting z billable service JA EJ Nan Eillable I Billable New PO hard copy must be submitted with this form 3B Exchange Repair Uporade Cansignme nt Demo L alitratian Evaluation for Credit 4 HEALTH and SAFETY CERTIFICATION AGILENT TECHNOLOGIES CANNOT ACCEPT ANY PRODUCTS CONTAMINATED WITH BIOLOGICAL OR EXPLOSIVE HAZARDS RADIOACTIVE MATERIAL OR MERCURY AT ITS FACILITY Call Agilent Technologies to discuss alternatives if this requirement presents a problem The equipment listed above check one HAS NOT pumped or been exposed to any toxic or hazardous materials OF M HAS pumped or been exposed to the following toxic or hazardous materials ff this box ts checked the following information must also be filled out Check boxes for all materials to which product s pumped ar was exposed Toxic L Corrosive LI Reactive L Flammable Explosive M Biological L Radioactive List all toxic hazardous materials Include product name chemical name and chemical symbol or formula MOTE Hs prodoct is rocamad at Agdont which m contaminated with a toc or hazardous material that was nat disclosed the customer will be held responsible for all costs cured
16. 969 9304 Inlet screen ISO 160 969 9316 _Inlet screen IS0200 969 9825 Water cooling kit hose tail G 969 9826 Water cooling kit Inox GA 969 9108 Vent flange NW 10 KF M8 l 969 9831 Vent device with adjustable delay time for standard rack controller 909 9043 1 Vent valve for standard rack controller 969 9834 Vent valve for Navigator Controller m 969 9241 Purge valve KF16 M12 20 SCCM ss 969 9242 Purge valve 7 16 M12 20 SCCM 949 9339 Rotary Vane pump DS 602 with 1 ph worldwide motor 949 9336 Rotary Vane pump DS 602 with 3 ph worldwide motor 949 9360 _Rotary Vane pump HS 452 with 1 ph worldwide motor 949 9365 Rotary Vane pump HS 652 with 1 ph worldwide motor PTS06001UNIV Dry pump TriScroll 600 with 1 ph worldwide motor PTS06003UNIV Dry pump TriScroll 600 with 3 ph worldwide motor PTS060011NV Dry pump TriScroll 600 inverter with 1 ph worldwide E motor I 969 8978M005 Turbo Controller Navigator 120V 220V for TV 1K G 969 9454M004 Turbo Controller Rack 120V 220V for TV 1K G Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 310 315 Agilent Technologies Vacuum Products Division Dear Customer Thank vou for purchasing an Agilent vacuum product At Agilent Vacuum Products Division we make every effort to ensure that you will be satisfied with the product and or service vou have purchased As part of our Continuous Improvement effort we ask that you report to us any problem you
17. an vysokovykonnym 3 fazovym elektrick m motorom Turbo V 1K G je plne zbaven zne is uj cich l tok a preto je vhodn pre aplik cie vy aduj ce iste v kuum Ke sa v veva pou va so zariaden m Navigator controller 969 8978M005 je vybaven pomocn mi konektormi na pripojenie al ieho ventil tora na ovl danie vetracieho ventilu a kv li mo nosti ovl dania zo vzdialen ho miesta pomocou hostite sk ho po ta a pripojen ho cez s riov komunika n linku RS232 alebo R535485 Nasleduj ce asti obsahuj v etky potrebn inform cie ktor zaru uj bezpe nos pracovn ka v priebehu pr ce so zariaden m Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 219 315 N vod na Obsluhu 15 N vod na pou itie obsahuje tieto tandardne ozna enia NEBEZPECI dkazy ktore upozornuju na nebezpe ie don tia pracovnika aby zachov val spravny postup a Specifik cie ktore v pripade e nebudu spr vne vykonane mo u va ne ohrozit jeho zdravie POZOR Signaly pozoru su zobrazen pred akymkolvek postupom Musia byt dodr ane aby nedo lo k poSkodeniu pristroja Poznamky wybrate z textu obsahuju velmi d lezit informacie Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 220 315 N vod na Obsluhu 15 Uchovavanie Ak chcete aby turbomolekularne vyvevy zna ky Agilent pod vali maximalny a spol ahlivy vykon dodrZiavajte
18. konstant t ndt pumpen er i normal rotation langsomme blink periode p ca 400 ms systemet er i stilling for acceleration bremsing stop eller Waiting for interlock hurtige blink periode pa ca 200 ms fejl Stop af Turbo V 1K G For at afbryde Turbo V 1K G er det tilstraekkeligt at afbryde stromtilforselen Den indbyggede styreenhed afbryder straks pumpen Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 113 315 Istruktionsbog 7 For operatgrens sikkerhed skal Turbo V controller en stromforsynes med et 3 tradet fodekabel se tabellen over de bestilbare stykker fodekablet skal veere udstyret med et stik som skal veere godkendt pa international plan Benyt dette kabel og stik sammen med en stikkontakt som pa passende made er forbundet til jorden for at undg elektriske stod og opfylde kravene ifolge CE EF normerne De hoje sp ndinger som udvikles i controller en kan forarsage alvorlige skader eller d den For der foretages vedligeholdelses operationer inde i enheden skal man koble fodekablet fra Nadstop Afbrydelse af Turbo V 1K G i ngdsituationer sker ved at koble ledningen fra styreenheden Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 114 315 Istruktionsbog 7 Vedligeholdelse Turbo V 1K G behgver ikke nogen vedligeholdelse Ethvert indgreb skal foretages af autoriseret personale Inden der foretages noget som helst indgreb p systemet skal strommen forst afbrydes og luften i pumpen skal fjern
19. s fall kan metallf rem l slungas iv g fr n pumpen eller systemet och f rorsaka allvarliga skador eller d dsfall och eller skador p apparater i n rheten F st Turbo V 1K G i ett stabilt l ge genom att ansluta turbopumpens intagsfl ns till systemets flans som m ste tala ett vridmoment pa 8900 Nm kring sin axel Tabellen som f ljer anger hur skruvar som r n dv ndiga f r varje ISO K fl ns samt motsvarande tdragningsmoment Tabellen 1 Fl ns Ant tdragnings Moment ISO 160 F 8 o Nm ISO 200 F 12 5 Nm St lskruvarna f r fl nsarna F ska vara av klass gt 8 8 Turbo V 1K G kan installeras i valfri position Turbo V 1K G kan inte fastsp nnas med sin egen bas Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 124 315 Bruksanvisning 8 OBSERVER Turbo V 1K G med Navigator controller 969 8978M005 tillh r den andra installationsklassen eller versp nningsklassen enligt standard EN 61010 1 Anslut d rf r anordningen till en elledning som uppfyller kraven f r denna klass Turbo V 1K G r utrustad med kontaktdon f r ingangarna utgangarna och f r den seriella kommunikationen som ska anslutas till de externa kretsarna sa att det inte gar att komma at nagon sp nningsf rande del Kontrollera att anordningen som r ansluten till Turbo V 1K G har en l mplig isolering ven vid ett enskilt fel enligt standard EN 61010 1 Installation av tillbehorsutrustning beskrivs i Technical Information Turbo V
20. C V primeru okvare kontaktirajte lokalni Agilent servisni center ki vam lahko zamenja pokvarjen sistem z novim Preden odnesete sistem na popravilo ali zamenjavo z drugo enoto morate izpolniti Health and Safety obrazec ki je prilo en navodilom in ga poslati lokalni prodajni pisarni Preden ga po ljete morate kopijo obrazca vstaviti v embala o sistema V kolikor je potrebno sistem odlo iti med kosovne odpadke ga je treba odstraniti v skladu z dolo enimi nacionalnimi standardi Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 243 315 Priro nik za Navodila 16 Odlaganje opadkov Pomen znamke WEEE na etiketah Spodaj navedeni simbol je v skladu z direktivo ES znan pod imenom WEEE Ta simbol ki velja samo v dr avah Evropske Skupnosti pomeni da izdelek NE SMETE ODSTRANITI skupaj z ostalimi komunalnimi ali industrijskimi odpadki temve ga morate odstraniti po sistemu za lo evanje odpadkov Zato pozivamo uporabnike da se v prodajnem centru ali pa pri prodajalcu seznanijo s postopki lo evanja in odstranitve odpadkov potem ko so se seznanili s pogoji in merili kupopordajne pogodbe Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 244 315 Instructions for Use Vzdr evanje m e e e 6 e o 000 Oe 17 0 Instructions for Use B T e Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 246 General Information 247 Storage 249 Preparation for installation 250 Installation 251 Pump Fixing 252 Use 254 Swi
21. Durante a remocao da embalagem tomar muito cuidado para nao deixar cair a Turbo V 1K G e para nao submete la a chogues ou vibrac es Nao depositar a embalagem no meio ambiente O material completamente reciclavel e em conformidade com a norma CEE 85 399 para a protec o do meio ambiente CUIDADO Para evitar problemas de perdas de gas ndo tocar com as mdos os componentes destinados exposic o do vacuo Utilizar sempre luvas ou outra protecc o adeguada A Turbo V 1K G n o pode ser danificada permanecendo simplesmente exposta atmosfera Aconselha se no entanto manter a bomba fechada ate o momento da instalacdo no sistema para evitar eventuais acumulac es de po Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 16 315 Manual delstruc es 5 Preparacao para a instalacao Cifra 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 11 315 Manual delstruc es 5 Instalac o Nao instalar e ou usar a bomba em ambientes expostos a agentes atmosf ricos chuva gelo neve poeiras gases agressivos em ambientes com possibilidade de explos o ou com elevado risco de inc ndio Durante o funcionamento necess rio que sejam respeitadas as seguintes condic es ambientais press o m xima 2 bar al m da press o atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C consultar a planilha no ap ndice Technical Information humidade relativa 0 95 n o condensante CUIDADO Remover a etiqueta autocolante e re
22. Figure 24 Model 969 9825 Figure 25 Model 969 9826 CAUTION The items of the kit 969 9826 kit must be assembled as shown in the following figure Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 293 315 Technical Information 18 Figure 26 Kit 969 9826 assembling The assembled kit must be screwed into the suitable holes of the pump body with a recommended closing torque of 5 Nm Figure 27 Kit 969 9826 mounting Two 6 mm 1 4 internal diameter rubber or plastic hoses from the water supply must be fitted to the two nozzles These hoses must be held on the respective nozzles using hose clips to avoid that the tube s gets loose or disconnected during operation Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 294 315 Technical Information 18 Cooling may be carried out either through an open circuit with eventual discharge of the water or using a closed circuit cooling system The water temperature must be between 10 C and 20 C with an inlet pressure between 3 and 5 bar This allows a flow of about 200 l h The water electrical conductance must be lt 500 us cm When the conductance is higher in closed water circuit the use of up to 20 of Ethyl Glycole is suggested Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 295 315 Technical Information 18 Vent Accessories The vent valve and vent device allow to avoid undesired venting of the pump during temporary power failure and enables an auto
23. Manuale di Istruzioni Bedienungshandbuch Notice de Mode D Emploi Manual de Instrucciones Manual de Instruc es Bedrijfshandleiding Instrukstionsbog Bruksanvisning Instruksjon Manual 87 901 025 01 June 2011 Turbo V 1K G Pump Models 869 8961R002 869 8962R001 Controller models 969 8978M005 969 9454M002 Ohjekasikirja Odnywo Felhaszn l i Kezikonyv Podrecznik Instrukcji Navod K Pou iti Navod Na Obsluhu Priro nik Za Navodila User Manual E Agilent Technologies Notices Agilent Technologies Inc 2011 No part of this manual may be reproduced in any form or by any means including electronic storage and retrieval or translation into a foreign language without prior agreement and written consent from Agilent Technologies Inc as governed by United States and international copyright laws Manual Part Number Publication Number 87 901 0257 01 Edition Edition 05 2011 Printed in ITALY Agilent Technologies Italia S p A Vacuum Products Division Via F lli Varian 54 10040 Leini TO ITALY Warranty The material contained in this document is provided as is and is subject to being changed without notice in future editions Further to the maximum extent permitted by applicable law Agilent disclaims all warranties either express or implied with regard to this manual and any information contained herein including but not limited to the implied warranties of merchantabilit
24. R gz tse a Turbo V 1K Got stabil helyen a turb szivatty bemeneti karimajat a rendszer ellenkarimajara szerelve 8900 Nm tengely koruli nyomateknak ellen llni kepes csatlakoz ssal A k vetkez tablazat mindegyik ISO F karimahoz megmutatja a csavarok sz ks ges szamat s a hozzatartozo r gz t nyomatekot Tablazat 1 Karima N Rogzito Nyomatek ISO 160 F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm Az F karima ac lcsavarjai oszt ly nak gt 8 8 nak kell lennie A Turbo V 1K G barmely helyzetben telepitheto A Turbo V 1K G nem r gzithet az alapjan kereszt l Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 182 315 Felhaszn l i Kezikonyv 12 JA TITI 969 8978M005 Navigator controlleres Turbo V 1K G a m sodik telep t si vagy t lfesz lts g kategoriahoz tartozik az EN 61010 1 direktiva szerint Csatlakoztassa az eszk zt a fenti kategorianak megfelel halozathoz A Turbo V 1K Gnak olyan bemeneti kimeneti s soros kommunik ci s csatlakoz sai vannak amelyeket gy kell k ls aramk r kh z csatlakoztatni hogy elektromos r szek ne legyenek hozz f rhet k Gy z dj n meg r la hogy a Turbo V 1K Ghoz csatlakoztatott eszk z megfelel egyes hiba eset n is az RN 61010 1 direkt va szerint Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 183 315 Felhaszn l i Kezikonyv 12 Hasznalat Ez a bekezdes reszletezi az alapveto uzemeltetesi eljarasokat V gezze el az osszes elektromos s pneumatikus csatlakoztat
25. Singapore 768923 Tel 65 6215 8045 Fax 65 6754 0574 Agilent Technologies Inc 2011 Printed in ITALY 06 2011 Publication Number 87 901 025 01 Southeast Asia Agilent Technologies Sales Sdn Bhd Vacuum Products Division Unit 201 Level 2 uptown 2 2 Jalan SS21 37 Damansara Uptown 47400 Petaling Jaya Selangor Malaysia Tel 603 7712 6106 Fax 603 6733 8121 Taiwan Agilent Technologies Taiwan Limited Vacuum Products Division 3F 20 Kao Shuang Rd Pin Chen City 324 Taoyuan Hsien Taiwan R 0 C Tel 886 34959281 Toll Free 0800 051 342 UK and Ireland Agilent Technologies UK Ltd Vacuum Products Division 6 Mead Road Oxford Industrial Park Yarnton Oxford 0X5 10U UK Tel 44 0 1865 291570 Fax 44 0 1865 291571 Toll free 00 800 234 234 00 Other Countries Agilent Technologies Italia S p A Vacuum Products Division Via F Ili Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9111 Fax 39 011 997 9350 Toll Free 00 800 234 234 00 Customer Support amp Service NORTH AMERICA Toll Free 800 882 7426 Option 3 vpl ra agilent com EUROPE Toll Free 00 800 234 234 00 vpt customercare agilent com PACIFIC RIM please visit our website for individual office information http www agilent com Worldwide Web Site Catalog and Order On line www agilent com Representative in most countries 12 10
26. rpalke uporabite zrak ali inertni plin brez prahu ali delcev Pritisk na oddu niku mora biti manj i od 2 bara nad pritiskom atmosfere Za rpanje agresivnih plinov so te rpalke opremljene z ustreznimi vratci preko katerih je potrebno dovajati rpalki pretok inertnih plinov kot Nz Ar za za ito le ajev glej prilogo Technical Information SVARILO Ko rpalko uporabljate pri rpanju strupenih vnetljivih ali radioaktivnih plinov sledite zahtevanim navodilom za odstranjevanje vsakega plina rpalke ne uporabljajte v prisotnosti eksplozivnih plinov Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 240 315 Priro nik za Navodila 16 Vklop in uporaba naprave Turbo V 1K G Slede a navodila veljajo pri uporabi Turbo V 1K G v kombinaciji z Navigator controller model 969 8978M005 Za uporabo z drugim modelom krmilnika 969 9454M002 glejte priro nik enote Prvi zagon rpalke je v na inu mehkega zaganjanja Soft Start Ko se za etni cikel zaklju i se na in Soft Start samodejno izklopi in naslednji zagoni so izvedeni brez na ina Soft Start Za ponovno aktiviranje Soft Start zagona je potreben ustrezen programski ukaz glej odstavek RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION v prilogi Technical Information Zelena LED dioda ki se nahaja na sprednji plo i Turbo V 1K G s hitrostjo utripanja ozna uje delovne pogoje sistema PriZgana brez utripanja rpalka se normalno vrti
27. w o ony do opakowania systemu przed jego wysy k Je eli system musi by poddany rozbi rce nale y przyst pi do jego eliminacji zgodnie z obowi zuj cymi krajowymi normami w meritum sprawy Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 201 315 Podrecznik Instrukcji 13 Przetworstwo odpadow Objasnienie znajdujacego sie na etykiecie znaczenia logo WEEE Uzyty ponizej symbol jest zgodny z wymogiem zarzadzenia WEEE Unii Europejskiej Symbol ten prawomoeny tylko w krajach Unii Europejskiej oznacza ze wyrob ktory nim zostal oznaczony NIE moze byc przetworzony jako odpad razem z innymi domowymi lub przemyslowymi natomiast musi byc skladowany w miejscu przeznaczonym dla odpadow do przerobki zroznicowanej Dlatego tez poleca sie uzytkownikowi po uprzedniej weryfikacji terminu 1 warunkow zawartych w kontrakcie sprzedazy nawlazac kontakt z dostawca lub sprzedawca urzadzenia w celu uruchomienia procesu zbiorki i przerobu AF J 7 a Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 202 315 Turbo V 1K G User Manual Navod k Pouziti Bezpe nostn n vod pro Turbomolekul rn vyv vy 204 VSeobecne Informace 205 Uskladn ni 207 P prava k instalaci 208 Instalace 209 Monta vyv vy 210 Pou iti 212 Zastaveni Turbo V 1K G 213 Nouzove zastaveni 214 Udr ba 215 Likvidace 216 Pfeklad originalniho navodu Turbo V 1K G 87 901 025 01 203 315 Navod k Pou iti 14 Bezpe nostni navod pro Turb
28. 163 164 166 167 Xpnon 169 IK T 170 TvpBo n IK T 171 171 172 173 Turbo V 1K G 87 901 025 01 159 315 11 OTO EYXELPI IO Eva pe TO Xe TOU POTOPA KINAYNOZ rou yia
29. Before servicing the unit disconnect the input power cable Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 255 315 Instructionsfor Use 17 Emergency Stop To immediately stop the Turbo V 1K G in an emergency condition it is necessary to remove the supply cable from the mains plug Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 256 315 Instructions for Use 17 Maintenance The Turbo V 1K G does not reguire any maintenance Any work performed on the system must be carried out by authorized personnel Before carrying out any work on the system disconnect it from the mains vent the pump by opening the appropriate valve wait until the rotor has stopped turning and wait until the surface temperature of the pump falls below 50 C In the case of breakdown contact your local Agilent service center who can supply a reconditioned system to replace that broken down Before returning the system to the constructor for repairs or replacement with a reconditioned unit the Health and Safety sheet attached to this instruction manual must be filled in and sent to the local sales office A copy of the sheet must be inserted in the system package before shipping If a system is to be scrapped it must be disposed of in accordance with the specific national standards Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 257 315 Instructions for Use 17 Disposal Meaning of the WEEE logo found in labels The following symbol is applied in accordan
30. En el anexo Technical Information se facilita informaci n m s detallada Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 59 315 Manual de istrucciones 4 Este manual utiliza las convenciones siguientes ADVERTENCIA Los mensajes de peligro senalan al operador que un determinado procedimiento o una operaci n especifica puede ocasionar graves lesiones personales sino se realizan de forma correcta equipo ATENCI N Los mensajes de atenci n aparecen cuando se est por realizar un determinado procedimiento que en caso de no ejecutarse correctamente podr a ser causa de da os en el equipo Las notas contienen informaciones importantes extrapoladas del texto Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 60 315 Manual de istrucciones 4 Almacenamiento Para garantizar el nivel m ximo de funcionalidad y fiabilidad de las bombas turbomoleculares Agilent deber n aplicarse las siguientes instrucciones durante el transporte desplazamiento y almacenamiento de las bombas no deber n superarse las siguientes condiciones ambientales temperatura entre 20 C y 70 C humedad relativa entre 0 y 95 no condensante el cliente deber activar siempre las bombas turbomoleculares en modalidad Soft Start al recibirlas y ponerlas en funcionamiento por primera vez el per odo m ximo de almacenamiento de una bomba turbomolecular es de diez meses a contar de la fecha de env o al cliente ATENCI N En caso de supe
31. RS 485 connection the Turbo V 1K G Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 219 315 Technical Information 18 Table 4 U Signal Name SPARE TX RS232 RX RS232 SPARE GND A RS485 SPARE B RS485 RESERVED CO 00 J 0 GI B O P Note that the vent valve can also be controlled by means of the serial connection A serial communication kit with a serial cable and the Navigation software is available optional Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 280 315 Technical Information 18 RS 232 RS 485 Communication Description Both the RS 232 and the RS 485 interfaces are available on the connector J2 The communication protocol is the same see the structure below but only the RS 485 manages the address field Therefore to enable the RS 485 is necessary to select the type of communication as well as the device address by means of the Navigator software Communication Format 8 data bit no parity 1 stop bit baud rate 600 1200 2400 4800 9600 programmable Communication Protocol The communication protocol is a MASTER SLAVE type where Host MASTER Controller SLAVE The communication is performed in the following way 1 the host MASTER send a message CRC to the controller SLAVE 3 the controller answer with an answer CRC to the host 4 The MESSAGE is a string with the following format b lt STX gt lt ADDR gt lt WIN gt lt COM gt lt DATA gt lt ETX
32. at hvis en s rlig procedure eller fremgangsmade ikke folges eller udfores forkert opstar der fare for alvorlige leesioner FORSIGTIG Beskederne Giv agt vises far procedurer som skal fglges da man ellers risikerer at beskadige apparaturet Bemarkningerne indeholder vigtige informationer som er taget fra teksten Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 106 315 Istruktionsbog 7 Opbevaring Det er ngdvendigt at overholde folgende forskrifter for at sikre optimal funktion og driftssikkerhed i de turbomolekyleere pumper fra Agilent S rg for at omgivelserne opfylder f lgende betingelser i forbindelse med transport flytning og opbevaring af pumperne temperatur fra 20 C til 70 C relativ fugtighed fra O til 95 ikke kondenserende Kunden skal altid starte de turbomolekyleere pumper ved hj lp af Soft Start funktionen ved modtagelse og start af pumperne for f rste gang De turbomolekyl re pumper m opbevares i 10 m neder fra forsendelsesdatoen FORSIGTIG Hvis opbevaringsperioden af en eller anden grund er leengere er det nadvendigt at sende pumpen tilbage til fabrikken Yderligere oplysninger fas ved henvendelse til den lokale Agilent representant Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 107 315 Istruktionsbog 7 Forberedelse for installation Turbo V 1K G leveres i en speciel beskyttende emballage Kontakt den lokale forhandler hvis emballagen viser tegn pa skader der kan v
33. da die Lager besch digt werden k nnten F r die Bel ftung der Pumpe trockene staub und partikelfreie Luft oder Inertgase verwenden Der Eingangsdruck am Bel ftungsanschlu soll unter 2 bar ber dem atmosph rischen Druck betragen Zum Pumpen von aggressiven Gasen sind die Pumpen mit einer ffnungsklappe ausgestattet ber die zum Schutz der Lager Inertgas Stickstoff oder Argon zuzuleiten ist siehe Anhang Technical Information EAN wenn die Pumpe zur F rderung von giftigen leicht entflammbaren oder radioaktiven Gasen benutzt wird sind die f r das jeweilige Gas vorgeschriebenen Vorg nge und Ma nahmen zu befolgen Die Pumpe darf niemals bei Vorhandensein von explosionsf higen Gasen verwendet werden Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 36 315 Gebrauchsanleitung 2 Einschaltung und Gebrauch der Turbo V 1K G Die nachfolgenden Anleitungen werden bei der Turbo V 1K G kombiniert mit dem Navigator Controller Modell 969 8978M005 angewandt Bitte beziehen Sie sich auf die Gebrauchsanleitung der Einheit f r die Anwendung mit dem anderen Controller Modell 969 9454M002 Zur Einschaltung der Turbo V 1K G ist sie mit der erforderlichen Versorgungsspannung zu versorgen Der eingebaute Controller erfafst automatisch das Vorhandensein von Interlock und Anlaufsignalen und startet die Pumpe Die Erstinbetriebnahme der Pumpe erfolgt im Modus Soft Start der sich nach dem Anlaufzyklus selbstt tig abschaltet Dahe
34. de klant moet de turbomoleculaire pompen altijd met de Soft Start opstarten wanneer ze ontvangen worden en voor de eerste keer in werking worden gesteld de opslagtijd van een turbomoleculaire pomp bedraagt 10 maanden vanaf de verzenddatum Hinr Indien om een willekeurige reden de opslagtijd langer is moet de pomp weer naar de fabriek worden gestuurd Voor meer informatie wordt verzocht contact op te nemen met de plaatselijke vertegenwoordiger van Agilent Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 91 315 Bedrijfshandleiding 6 Uitpakken De Turbo V 1K G wordt in een speciale beschermende verpakking geleverd als er schade wordt geconstateerd die tijdens het transport veroorzaakt zou kunnen zijn meteen contact opnemen met het plaatselijke verkoopkantoor Zorg er bij het uitpakken voor dat de Turbo V 1K G niet kan vallen en geen stoten of trillingen te verduren krijgt Laat de verpakking niet ergens buiten achter Het verpakkingsmateriaal is volledig recyclebaar en voldoet aan de EEG milieurichtlijn 85 399 hri Om ontgassingsproblemen te voorkomen mogen de componenten die met het vacu m in aanraking komen niet met de blote handen aangeraakt worden Gebruik altijd handschoenen of een andere geschikte bescherming De Turbo V 1K G kan niet beschadigd worden door eenvoudigweg aan de atmosfeer blootgesteld te worden Toch wordt aangeraden om de pomp gesloten te houden zolang deze niet in het systeem wordt ingebouwd zodat ev
35. es oscilac es ou deslocamentos bruscos da turbobomba quando est a funcionar Os rolamentos poderiam sofrer danos Para a sa da de ar da bomba utilizar ar ou g s inerte sem poeiras ou part culas A press o de entrada atrav s da porta espec fica deve ser inferior a 2 bar acima da press o atmosf rica Para bombear gases agressivos estas bombas est o equipadas com uma porta espec fica atrav s da qual necess rio fornecer bomba um fluxo de g s inerte Azoto ou Argon para proteger os rolamentos consultar o ap ndice Technical Information ATENCAO Quando a bomba utilizada para bombear gases toxicos inflamaveis ou radioactivos seguir os procedimentos adeguados tipicos para cada gas Nao usar a bomba na presenca de gases explosivos Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 81 315 Manual de Istru es 5 Acendimento e Utilizacao da Turbo V 1K G As seguintes instru es se aplicam a Turbo V 1K G usada em combinacao com o Navigator controller modelo 969 8978M005 Consultar o manual da unidade para o uso com o outro modelo de controller 969 9454M002 Para ligar a Turbo V 1K G suficiente fornecer a tensao de alimentacao O controller incorporado reconhece automaticamente os sinais de interlock e de activacao e acciona a bomba O primeiro accionamento da bomba faz se em Soft Star gue no fim do ciclo de arrangue se desactiva automaticamente portanto todos os sucessivos arrangues da bomba na
36. the following guidelines must be followed when shipping moving and storing pumps the following environmental specifications should not be exceeded temperature range 20 C to 70 C relative humidity range O to 95 non condensing the turbomolecular pumps must be always soft started when received and operated for the first time by the customer the shelf life of a turbomolecular pump is 10 months from the shipping date CAUTION If for any reason the shelf life time is exceeded the pump has to be returned to the factory Please contact the local Agilent Vacuum Sales and Service representative for informations Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 249 315 Instructionsfor Use 17 Preparation for installation The Turbo V 1K G is supplied in a special protective packing If this shows signs of damage which may have occurred during transport contact your local sales office When unpacking the system be sure not to drop it and avoid any kind of sudden impact or shock vibration to it Do not dispose of the packing materials in an unauthorized manner The material is 100 recyclable and complies with EEC Directive 85 399 CAUTION In order to prevent outgassing problems do not use bare hands to handle components which will be exposed to vacuum Always use gloves or other appropriate protection Normal exposure to the environment cannot damage the Turbo V 1K 6 Nevertheless it is advisable to keep it clos
37. ttning av pump 124 Anvandning 126 Underh ll 129 9 Instruksjon Manual 131 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyleer Pumper 132 Generell Informasjon133 Lagring 135 Klargjore til installasjon 136 Installasjon 137 Festing av pumpen 138 Bruk 140 Vedlikehold 143 10 Ohjek sikirja 145 Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 146 Yleisia Tietoja 147 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 8 315 Contents Varastointi 149 Valmistelut asennusta varten150 Asennus 151 Pumpun kiinnitys 152 K ytt 154 Huolto 15 11 O nyieo Xpnoewo 159 160 101 163 164 166 167 109 172 12 Felhaszn l i K zik nyv 175 Biztonsagi tmutat Turb molekul ris szivatty khoz 176 ltal nos Inform ci 177 T rol s 179 El k sz t s telep t sre 180 Telepites 181 A szivattyu r gzit se 182 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 9 315 Contents Haszn lat 184 Karbantart s 187 13 Podrecznik Instrukcji 189 Wskazowki dotyczace bezpieczenstwa dla Pomp Turbomolekularnych 190 Ogolne Informacje 191 Magazynowanie 193 Przygotowanie do instalacji 194 Instalacja 195 Mocowanie pompy 196 Uzytkowanie 198 Konserwacja 201 14 N
38. zasilania Wbudowany sterownik rozpoznaje automatycznie obecno sygna w interlock u i uruchomienia i uruchamia pomp Pierwsze uruchomienie pompy odbywa si w spos b Soft Start kt ry na zako czenie cyklu uruchomienia wy cza si automatycznie i dlatego te wszystkie nast pne uruchomienia odbywaj si bez sposobu Soft Start Aby m c ponownie uruchomi z Soft Start nale y w czy w w tryb poprzez oprogramowanie patrz paragraf RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION w dodatku Technical Information Zielona dioda led znajdujaca sie na panelu podstawy sterownika typu Navigator controller wskazuje z czestotliwoScia wlasnego migania stan operacyjny systemu zaswiecona na state pompa znajduje si w stanie normalnych obrotow miga powoli okres 400 ms system w stanie zbocza lub hamowania lub w stanie Stop lub w stanie Waiting for interlock Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 199 315 Podrecznik Instrukcji 13 miga szybko okres 200 ms stan b du Zatrzymanie pompy Turbo V 1K G Aby zatrzyma pomp Turbo V 1K G wystarczy od czy napi cie zasilania Wbudowany sterownik zatrzyma natychmiast pomp ZAGROZENIE Dla zagwarantowania bezpieczenstwa operatorowi kontroler Turbo V powinien by zasilany kablem zasilajacym o 3 przewodach zobacz tabele czesci daj cych sie zam wi i zamontowan wtyczk zgodna z mi dzynarodowymi normami Kabel ten pod czy wraz z
39. 1K G User Manual 87 901 025 01 125 315 Bruksanvisning 8 Anvandning Anvisningar for riktig anvandning finns i styrenhetens bruksanvisning Innan du anv nder systemet ska du utfora alla elektriska och pneumatiska anslutningar Om vakuumkammaren uppvarms far temperaturen vid inloppet aldrig overstiga 80 C EON EN S tt aldrig ig ng pumpen om intagsfl nsen varken r kopplad till vakuumkammaren eller ir blockerad pa plats med l sfl nsen Vidr r inte turbopumpen eller nagra tillbeh r under uppv rmningen f r att undvika brannskador OBSERVER Undvik sammanst tningar sv ngningar eller pl tsliga f rflyttningar av turbopumpen nir den dr igang Lagren kan bli skadade Pumpen ska f rses med luft eller med delgaser som rfria fran damn eller andra partiklar Ing ngstrycket mot r tt d rr m steunderstiga 2 bar ut ver det atmosf riska trycket F r pumpning av fr tande gaser r dessa pumpar f rsedda med en speciell ppning igenom vilken man ska leda en str m av delgas kv ve eller argon f r att skydda lagren se bilagan Technical information VARNING D pumpen anv nds f r pumpning av giftiga l ttant ndliga eller radioaktiva gaser b r man f lja de s rskilda anvisningarna f r varje enskild gas Anv nd ej pumpen i n rheten av explosiva gaser Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 126 315 Bruksanvisning 8 Start och anvandning av Turbo V 1K G Instruktionerna n
40. 87 901 025 01 215 315 Technical Information 18 2 the customer does not supply the 24 Vdc Please note that on the connector a 24 Vde 60 mA voltage a GROUND signal and the open collector pin are available Customer s device N Controller 124 Vdc PNP Customer s device Controller Figure 13 Case1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 216 315 Technical Information 18 24 Vdc Customer s device Controller Controller Customer s 5 Vdc device o o Figure 14 Case 2 with relay utilization Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 211 315 Technical Information 18 24 Vdc Customer s vi device Controller 5 Vdc 24 Vdc Controller Customer s En 5 Vde device da Figure 15 Case 2 with transistor utilisation How to connect the outputs of the controller The following figure shows a typical logic output connection relay coil but any other device may be connected e g a LED a computer etc and the related simplified circuit of the controller The figure example refers to the programmable set point signal on pins 11 and 9 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 218 315 Technical Information 18 Controller 2 Be N ja FR Nad P Figure 16 Typical output connection J2 Serial Figure 17 9 pin D type serial input output connector This is a 9 pin D type serial input output connector to control via an RS 232 or
41. 901 025 01 17 315 Istruzioni per l uso 1 Preparazione per l installazione La Turbo V 1K G viene fornita in un imballo protettivo speciale se si presentano segni di danni che potrebbero essersi verificati durante il trasporto contattare l ufficio vendite locale Durante l operazione di disimballaggio prestare particolare attenzione a non lasciar cadere la Turbo V 1K G e a non sottoporla ad urti o vibrazioni Non disperdere l imballo nell ambiente Il materiale completamente riciclabile e risponde alla direttiva CEE 85 399 per la tutela dell ambiente aida Onde evitare problemi di degasamento non toccare con le mani nude i componenti destinati ad essere esposti al vuoto Utilizzare sempre i guanti o altra protezione adeguata La Turbo V 1K G non pu essere danneggiata rimanendo semplicemente esposta all atmosfera Si consiglia comunque di mantenere chiusa la pompa fino al momento dell installazione sul sistema onde evitare eventuale inquinamento da polvere Figura 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 18 315 Istruzioni per l uso 1 Installazione Non installare e o utilizzare la pompa in ambienti esposti ad agenti atmosferici pioggia gelo neve polveri gas aggressivi in ambienti esplosivi o con elevato rischio di incendio Durante il funzionamento necessario che siano rispettate le seguenti condizioni ambientali pressione massima 2 bar oltre la pressione atmosferica temperatura da 5 C
42. 9831 The vent device has adjustable delay time up to 36 min This value can be used only with rack controller To install the vent device unscrew and remove the threaded plug see figure below Figure 33 Vent Device installation 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 299 315 Technical Information 18 Screw the flange mod 969 9108 on the pump taking care of the o ring right position Assemble the seal ring and lock the vent device in position using the KF klamp Figure 34 Vent Device installation 2 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 300 315 Technical Information 18 Purge Valve Installation A gas purge valve is available to protect the pump bearings against particulate and corrosive gases that could move into the pump To install the gas purge valve it is necessary to unscrew the purge port cover as shown in the following figure Figure 35 Purge valve installation 1 and then screw the gas purge valve with a torque of 2 5 Nm as shown in the following figure Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 301 315 Technical Information 18 Purge Valve Installation Figure 36 Purge valve installation 2 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 302 315 Technical Information 18 Serial Cable Installation for 969 8978M005 Navigator controller only The supplied serial cable must be installed when the Turbo V 1K G or the optional vent valve have to be controlled by means of
43. Coolant water Noise level Power supply Input voltage Input freq Max input power Stand by power Max operating power Protection fuse Navigator Controller Compliance with Power cable Serial communication Navigator kit Installation category Pollution degree Storage temperature Weight kg lbs ISO 160 flange ISO 200 flange Navigator Controller Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 Technical Information 18 Minimum flow 200 h 0 89 GPM Temperature 10 C to 20 C Pressure 3 to 5 bar 45 to 75 psi lt 45 dB A at 1 meter 100 240 Vac 50 60 Hz 600 VA 30 to 35 W 400 W using Nitrogen or lighter gases WATER cooling setting 260 W using ARGON AIR cooling setting 1x6 3A UNI EN 292 1 UNI EN 292 2 EN 55011CI A EN 61000 4 2 EN 61000 4 3 EN 61000 4 4 EN 61000 4 5 EN 61010 1 EN 1012 2 With European or NEMA plug 3 meters long optional RS232 cable with a 9 pin D type male connector and a 9 pin D type female connector and Navigator software optional L 2 20 C to 70 C 26 8 59 1 26 7 58 9 5 4 12 265 315 Technical Information 18 Technical Specification NOTE When the Turbo V 1K G has been stored at a temperature less than 5 C wait until the system has reached the above mentioned temperature Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 266 315 Technical Information 18 Turbo V 1K G Outline The following figures show the Turbo V 1K G outl
44. G sufficiente fornire la tensione di alimentazione Il controller incorporato riconosce automaticamente la presenza dei segnali di interlock e di avvio ed avvia la pompa La prima partenza della pompa avviene nel modo Soft Start che al termine del ciclo di avvio si disabilita automaticamente per cui tutti i successivi avvii della pompa avvengono senza il modo Soft Start Per riavere una partenza con Soft Start attivo occorre riabilitare il modo suddetto tramite software vedere il paragrafo RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION nell appendice Technical Information Il LED verde posto sul pannello della base del Navigator controller indica con la frequenza del suo lampeggio le condizioni operative del sistema acceso fisso la pompa in rotazione normale lampeggiante lentamente periodo di circa 400 ms il sistema in stato di rampa o di frenata o di Stop o di Waiting for interlock lampeggiante velocemente periodo di circa 200 ms condizione di errore Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 23 315 Istruzioni per l uso 1 Arresto della Turbo V 1K G Per arrestare la Turbo V 1K G sufficiente togliere la tensione di alimentazione Il controller incorporato arresta immediatamente la pompa Per la sicurezza dell operatore il controller Turbo V deve essere alimentato con un cavo di alimentazione a 3 fili vedere la tabella delle parti ordinabili dotato di una spina
45. G User Manual 87 901 025 01 58 315 Manual de istrucciones 4 Informaci n General Este equipo es para uso profesional El usuario ha de leer atentamente el presente manual de instrucciones y cualquier otra informaci n suplementaria facilitada por Agilent antes de usar el aparato Agilent se considera libre de posibles responsabilidades debidas al incumplimiento total o parcial de las instrucciones al uso impropio por parte de personal no preparado a operaciones no autorizadas o a un uso contrario a las normas nacionales especificas Turbo V 1K G es una bomba turbomolecular para aplicaciones de alto y ultra alto vacio La bomba puede bombear cualquier tipo de gas o de composici n gaseosa pero no es adecuada para bombear liquidos o particulas solidas El efecto de bombeo se obtiene mediante una turbina rotativa de alta velocidad 45660 r p m max movida por un motor el ctrico trifasico de alto rendimiento Turbo V 1K G no posee ningun agente contaminante y por lo tanto es adecuada para aplicaciones que requieren un vac o limpio Asimismo cuando se utiliza con el Navigator 969 8978M005 la bomba posee conectores auxiliares con los que se puede alimentar un ventilador adicional accionar la v lvula de ventilaci n pilotarla a distancia con un ordenador host conectado mediante l nea serial RS 232 RS 485 A continuaci n se facilita toda la informaci n necesaria para garantizar la seguridad del operador al usar el aparato
46. Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 109 315 Istruktionsbog 7 Fastgorelse af pumpe Hvis rotoren beskadiges kan forbindelsen mellem pumpen og systemet blive udsat for et kraftigt drejemoment Hvis forbindelsen ikke er tilstr kkelig til at modst dette drejemoment kan pumpen rive sig los fra systemet eller motoren kan rive sig los fra pumpens bekl dning dette tilfeelde kan metalfragmenter blive slynget ud af pumpen eller systemet hvilket kan medfore alvorlige kv stelser eller dedsfald og eller materiel beskadigelse af apparaterne i n rheden Monter Turbo V 1K G i en stabil position ved at montere turbopumpens indgangsflange p systemets kontraflange Forbindelsen skal kunne tale et drejemoment pa 8 900 Nm omkring dens egen akse Nedenst ende tabel beskriver antallet af skruer som er n dvendige til hver enkelt ISO F flange samt det ngdvendige tilsp ndingsmoment Tabel 1 Lange Ant Drejnings Moment ISO 160 F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm Stalskruerne til flangerne F skal veere i klasse gt 8 8 Turbo V 1K G kan installeres i en hvilken som helst position Turbo V 1K G kan ikke fastggres ved brug af dens sokkel Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 110 315 Istruktionsbog 7 ads tenes Turbo V 1K G med Navigator controller 969 8978M005 h rer til den anden installationsklasse eller overspeendingsklasse jf normen EN 61010 1 Slut derfor anordningen til en forsyningslinie som opfy
47. Przetworstwo odpadow 202 T umaczenie instrukcji oryginalnej Turbo V 1K G 87 901 025 01 189 315 Podrecznik Instrukcji 13 Wskazowki dotyczace bezpieczenstwa dla Pomp Turbomolekularnych Pompy Turbomolekularne opisane w niniejszej Instrukcji Obstugi posiadaja duza energie kinetyczna wynikajaca z du ej pr dko ci obrotowej w po czeniu z mas w a ciw ich wirnik w W przypadku uszkodzenia systemu na przyk ad z powodu kontaktu wirnika ze stojanem lub z powodu p kni cia wirnika mo e nast pi uwolnienie energii obrotu Aby nie dopu ci do uszkodzenia aparatury i zapobiec obra eniom cielesnym operator w nale y obowi zkowo przestrzega zalece dotycz cych instalacji opisanych w niniejszej instrukcji obs ugi Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 190 315 Podrecznik Instrukcji 13 Ogolne Informacje Ta aparatura jest przeznaczona do uzytku zawodowego U ytkownik musi przeczyta bardzo uwa nie niniejsza instrukcje kazda dodatkowa informacje dostarczona przez firme Agilent przed u ytkowaniem aparatury Firma Agilent uchyla sie od jakiejkolwiek odpowiedzialnosci w przypadku czeSciowego lub calkowitego braku przestrzegania instrukcji w przypadku niew a ciwego u ytkowania przez nieprzeszkolony personel w przypadku nieupowa nionych interwencji jak i w przypadku braku zastosowania odpowiednich norm krajowych Turbo V 1K G jest pomp turbomolekularn stosowsan w przypadku wysokiej i ultra wysoki
48. a remote computer The cable is installed fixing the 9 pin D type connector into the P2 serial connector as shown in the following figure SERIAL CABLE Figure 37 Serial cable installation Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 303 315 Technical Information 18 Turbo V 1K G Navigator Controller Installation The controller can be mounted on the pump bottom To install the controller execute the following procedures Bottom mounting See the following figure 1 2 Turn the pump upside down Place the three washers on the pump bottom in correspondence of three hole at 120 Place the controller on the washers with the pump cable toward the pump body Fix the controller to the pump bottom by means of the three socket head screws M5 Turn the pump again Plug the line card and connect the pump cable to the pump Connect the mating connector with the jumper on the interlock signal to start the pump Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 304 315 Technical Information 18 Figure 38 Bottom mounting Fore Vacuum Pump Connection A flange KF 40 NW ISO 200 F inlet flange and KF 25 NW ISO 160 F inlet flange are available to connect the Turbo V 1K G pump to the fore vacuum pump A hose or vacuum approved pipe can be used If a rigid pipe is used any vibration generated by the mechanical pump must be eliminated through the use of bellows The Turbo V 1K G pump is
49. atmosfeerisk tryk forbindelse med pumpning af aggressive gasser er disse pumper udstyret med en der igennem hvilken det er nadvendigt at forsyne pumpen med delgasser kvalstof eller argon for at beskytte lejerne se bilaget Technical Information AU Uis Nar pumpen anvendes til toksiske brandfarlige eller radioaktive gasser folges fremgangsmaden for den enkelte gastype Anvend ikke pumpen til eksplosive gasser Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 112 315 Istruktionsbog 7 Start og anvendelse af Turbo V 1K G De nedenstaende instruktioner g lder for Turbo V 1K G brugt sammen med Navigator controller model 969 8978M005 Der henvises til enhedens manual for brug med en anden model controller 969 9454M002 For at starte Turbo V 1K G er det tilstr kkeligt at tilslutte et forsyningsstik Den indbyggede styreenhed genkender blokerings og startsignaler automatisk og starter pumpen Pumpen startes forste gang ved hjeelp af SOFT START metoden Nar startprocessen er afsluttet frakobles denne funktion automatisk med hensyn til alle efterfglgende aktiverinser af pumpen der vil ske uden SOFT START metoden For at aktivere SOFT START metoden pa ny skal ovenneevnte made programmeres ved hj lp af software se afsnit RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION i bilaget Technical Information Den grgnne LED LDI der er anbrast pa panelet pa Navigator Controller s fundament angiver systemets funktion ved blink
50. em modo correto poderia provocar graves les es pessoais CUIDADO As mensagens de atenc o s o visualizadas antes de procedimentos que se n o observados poderiam causar danificac es no equipamento As anotac es contem informac es importantes extra das do texto Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 14 315 Manual delstruc es 5 Armazenagem Para garantir o nivel Maximo de funcionalidade e fiabilidade das bombas Turbomoleculares Asilent devem ser observadas as seguintes prescri es durante o transporte o deslocamento e a armazenagem das bombas as condi es ambientais devem ser as seguintes temperatura de 20 C a 70 C umidade relativa de 0 a 95 n o condensante 80 acionar as bombas turbomoleculares pela primeira vez o cliente deve ativ las sempre em modalidade Soft Start 0 tempo maximo de armazenagem de uma bomba turbomolecular de 10 meses a contar da data da expedi o CUIDADO Se por uma raz o qualquer o per odo de armazenagem for superior ser necess rio enviar outra vez a bomba para o fabricante Para mais informa es contatar o representante local da Agilent Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 15 315 Manual de Istru es 5 Preparacao para a instalacao A Turbo V 1K G fornecida numa embalagem protectora especial se esta apresentar sinais de danos que poderiam ter ocorrido durante o transporte entrar em contacto com o escritorio de vendas local
51. gasser er disse pumpene utstyrt med en spesiell apning Til denne apningen skal flyt av inaktive gasser argon eller kvelstoff koples for beskytte lagrene se Technical Information ADVARSEL Nar pumpen brukes for pumpe giftige brannfarlige eller radioaktive gasser skal de relevante forskriftene for de enkelte gasstypene folges Pumpen skal ikke brukes i eksplosjonsfarlige miljger Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 140 315 Instruksjon Manual 9 Starte og bruke Turbo V 1K G Instruksjonene nedenfor gjelder Turbo V 1K G brukt sammen med Navigator controller modell 969 8978M005 Se enhetens brukerhandbok enheten hvis styreinnretningen du bruker er en annen modell 969 9454M002 Turbo V 1K G startes ved a sette stromkabelen i veggkontakten Den innebygde styreenheten kjenner automatisk igjen blokkerings og startsignaler og starter pumpen Forste igangsetting av pumpen skjer med MYK START som etter denne f rste igangsettingssyklusen deaktiveres slik at etterfolgende igangsettinser skjer uten MYK START For a oppna en MYK START igjen er det nedvendig a tilbakestille modusen via software se avsnittet RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION i tillegget Technical Information Den grgnne lysdioden LD1 pa Navigator controller basepanel angir systemets funksjon ved hjelp av blink den lyser fast pumpen roterer normalt den blinker langsomt ca hver 400 ms systemet er i stilling for akselerasjon b
52. gt lt CRC gt When a data is indicated between two quotes it means that the indicated data is the corresponding ASCII character Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 281 315 Technical Information 18 where lt STX gt Start of transmission 0x02 lt ADDR gt Unit address 0x80 for RS 232 lt ADDR gt Unit address 0x80 device number 0 to 31 for RS 485 lt WIN gt Window a string of 3 numeric character indicating the window number from 000 to 999 for the meaning of each window see the relevant paragraph COM Command 0x30 to read the window 0x81 to write into the window DATA z an alphanumeric ASCII string with the data to be written into the window In case of a reading command this field is not present The field length is variable according to the data type as per the following table Table 5 Data Type Field Length Valid Characters Logic L 1 0 OFF 1 ON N Numeric N 00 9 right justified with 0 na ZA m a lt ETX gt End of transmission 0x03 lt CRC gt XOR of all characters subsequent to lt STX gt and including the lt ETX gt terminator The value is hexadecimal coded and indicated by two ASCII character The addressed SLAVE will respond with an ANSWER whose structure depends from the MESSAGE type When the MESSAGE is a reading command the SLAVE will respond transmitting a string with the same structure of the MES
53. informasjon Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 135 315 Instruksjon Manual 9 Klargjore til installasjon Turbo V 1K G leveres i en spesiell beskyttelsesemballasje Viser denne tegn pa skader som kan ha oppstatt under transporten ma du ta kontakt med det lokale salgskontoret Nar Turbo V 1K G pakkes ut ma du se til at det ikke slippes ned eller utsettes for noen form for stet Emballasjen ma ikke kastes pa en ulovlig mate Alle materialer er 100 resirkulerbare og er 1 samsvar med EU direktiv 85 399 om miljgbeskyttelse FORSIKTIG For a unnga avgassingsproblemer ma ingen del som skal utsettes for vakuum handteres med bare hendene Bruk alltid hansker eller andre og passende verneutstyr Normale miljamessige belastninger kan ikke skade Turbo V 1K G Likevel anbefaler vi a holde pumpen lukket til den er montert i systemet slik at den ikke forurenses eller utsettes for nedstgving Figur 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 136 315 Instruksjon Manual 9 Installasjon Ikke installer eller bruk systemet i miljger som utsettes for regn sng eller is stov aggressive gasser eksplosjonsfarlige miljger eller miljger med stor brannfare Under bruk ma felgende forhold respekteres maksimalt trykk Z bar over atmosf risk trykk temperatur fra 5 C til 35 C se diagram i tillegget Technical Information relativ fuktighet 0 95 uten kondens FORSIKTIG Tapen og beskyttelsesproppe
54. jest zamkniety z kotnierzem zamkniecia Nie dotykac turbopompy i jej ewentualnych akcesori w podczas operacji nagrzewania Wysoka temperatura moze spowodowac uszkodzenia ciata na osobach UWAGA Unika uderze waha lub gwa townych przesuni turbopompy podczas jej dzia ania Mog uszkodzi si o yska Dla wlotu do powietrza pompy zastosowa powietrze lub oboj tny gaz bez py u lub innych cz stek Ci nienie wej ciowe poprzez odpowiedni wlot musi by ni sze od 2 bar ponad ci nienie atmosferyczne Dla pompowania niszcz cych gaz w pompy te s wyposa one w odpowiedi wlot poprzez kt ry nale y dostarczy pompie przep yw oboj tnego gazu Azot Argon dla zabezpieczenia o ysk Patrz dodatek Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 198 315 Podrecznik Instrukcji 13 IZAGROZENIE Kiedy pompa jest zastosowana do pompowania gaz w toksycznych tatwo palnych lub radioaktywnych nalezy wykonac odpowiednie procedury typowe dla kazdego z gaz w Nie stosowa pompy w obecnosci gaz w wybuchowych Wlaczenie i U ytkowanie pompy Turbo V 1K G Nizej podane instrukcje maja zastosowanie w przypadku pompy Turbo V 1K G stosowanej razem ze sterownikiem typu Navigator controller model 969 8978M005 W przypadku pracy z innym modelem sterownika 969 9454M002 postepowa zgiodnie z instrukcja dotyczaca jednostki Aby w czy pompe Turbo V 1K G wystarczy dostarczy napi cie
55. li p ekra ovat n sleduj c technick podm nky prost ed Teplotn rozp t 20 C a 70 C Rozp t vlhkosti O a 95 bez sr en turbomolekul rn v v vy mus u ivatel po dod vce a poprv v dycky spou t t pozvoln skladovatelnost turbomolekul rn vyv vy je 10 m s c ode dne doru en POZOR Pokud dojde z jak hokoli d vodu k p ekro en skladovac lh ty v vevu mus te vr tit v robci Informujte se pros m u m stn ho z stupce pro prodej a servis v v v firmy Agilent Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 207 315 Navod k Pou iti 14 Priprava k instalaci Turbo V 1K G je dodavanave specialnim ochrannem obalu Pokud toto baleni vykazuje znamky po kozeni k n mu mohlo dojit b hem pfepravy kontaktujte va i mistni prodejni pobo ku Pri vybalovani davejte pozor aby Turbo V 1K G nespadla a nevystavujte ji nenad lym narazum otres m ani vibrac m Balic material nelikvidujte nedovolenym zpusobem Tento material lze 100 recyklovat a spl uje po adavky sm rnice EEC 85 399 POZOR Aby se zamezilo problemum s odply ovanim nepou ivejte hole ruce pri manipulaci s komponenty ktere budou wystaveny vakuu V dy pou ivejte rukavice nebo jinou vhodnou ochranu Turbo V 1K G se nemu e po kodit tim e zustane jednodu e wystavena atmosferickym vlivum Piesto doporu ujeme abyste ji nechali zakrytou dokud nebude nainstalovana do syst mu a tim se ochr nila p
56. met de Turbo V 1K G goed ge soleerd is ook in geval van een enkele storing zoals voorzien door de norm EN 61010 1 Zie Technical Information voor installatie van accessoires die als optie verkrijgbaar zijn Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 96 315 Bedrijfshandleiding 6 Gebruik In deze paragraaf worden de belangrijkste gebruiksprocedures vermeld Breng alle elektrische en pneumatische aansluitingen tot stand alvorens het systeem te gebruiken Tijdens de eventuele verwarming van de vacuumkamer mag de temperatuur op de inlaatflens niet meer dan 80 C bedragen WAN SS ot MU A Laat de pomp nooit draaien als de inlaatflens niet op de vacu mkamer is aangesloten of als de afsluitflens niet gesloten is Raak de turbopomp en eventuele accessoires niet tijdens het verwarmen aan De hoge temperatuur kan lichamelijk letsel veroorzaken le bite Vermijd schokken trillingen of bruuske verplaatsingen van de turbopomp wanneer deze in werking is De lagers kunnen anders beschadigd raken Gebruik voor de luchttoevoer naar de pomp lucht of inert gas zonder stof of vaste deeltjes De inlaatdruk via de hiervoor bestemde poort moet minder dan 2 bar boven de atmosferische druk bedragen Deze pompen zijn voor het pompen van agressieve gassen van een speciale poort voorzien waardoor de pomp een stroom inert gas stikstof of argon ter bescherming van de lagers krijgt geleverd zie bijlage Technical Information LLT ELK ANNE W
57. nasleduj ce pokyny neprekra ujte nasleduj ce pecifik cie prostredia po as prevozu pren ania a uchov vania v vev rozsah teplot 20 C a 70 C rozsah relat vnej vlhkosti O a 95 bez kondenz cie z kazn k musi pri prvom spusten turbo v vevy v dy pou i re im soft tartu skladovate nos turbomolekul rnej v vevy je 10 mesiacov odo d a dodania POZOR Ak z ak hoko vek d vodu vypr as skladovate nosti zariadenia vr te v vevu do z vodu v ktorom bola vyroben Inform cie z skate u miestneho zast penia spolo nosti Agilent pre predaj a servis Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 221 315 N vod na Obsluhu 15 Priprava na in talaciu Turbo V 1K G je dodavana v pecialnom ochrannom baleni Ak je balenie po kodene o sa mo e stat napriklad po as prepravy obratte sa na miestne zastupenie spolo nosti Agilent Pri vybalovani davajte pozor aby Turbo V 1K G nespadla a nevystavujte ju nahlym narazom otrasom alebo vibraciam Obalovy material zlikvidujte predpisanym sposobom Material je 100 recyklovate n a spi a po iadavky smernice EEC 85 399 POZOR Ak chcete predist problemom s odply ovanim nechytajte komponenty ktor budu vystaven vakuu holymi rukami V dy pou ivajte rukavice alebo inu vhodn ochranu Turbo V 1K G se nemo e po kodit tym e zostane jednoducho wystavena atmosferickym vplyvom Napriek tomu je vhodne aby zariadenie zosta
58. negakoli razloga doba skladi enja dalj a je treba rpalko vrniti v tovarno Za dodatne informacije kontaktirajte lokalnega predstavnika prodaje in storitev za Agilent Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 235 315 Priro nik za Navodila 16 Priprava za monta o Turbo V 1K G je dobavljen v posebni za itni embala i e je embala a po kodovana zaradi transporta kontaktirajte lokalno prodajno pisarno Pri odstranjevanju embala e pazite da vam Turbo V 1K G ne pade iz rok in da ni izpostavljen tresljajem ali udarcem Ne odlagajte embala e v okolje Material je mo no v celoti reciklirati in je v skladu z okoljevarstveno direktivo ECC 85 399 POZOR Komponent ki bodo izpostavljene vakuumu se ne dotikajte z golimi rokami saj boste tako prepre ili probleme pu anja Vedno uporabite rokavice ali drugo primerno za ito Normalna izpostavljenost okolju ne more po kodovati naprave Turbo V 1K G Kljub temu je priporo ljivo da je rpalka zaprta dokler je ne namestite v sistem S tem boste prepre ili onesna enje s prahom Slika 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 236 315 Priro nik za Navodila 16 Monta a Naprave ne name ajte ali uporabljajte v okolju ki je izpostavljeno atmosferskim agentom de sneg led prahu agresivnim plinom ali v okoljih kjer obstaja nevarnost eksplozije ali po ara Med obratovanjem je treba upo tevati naslednje ambientne pogoje Maksimalen pritisk 2 b
59. por meio da sua base Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 19 315 Manual delstruc es 5 CUIDADO A Turbo V 1K G com Navigator controller 969 8978M005 pertence segunda categoria de instalac o ou sobretens o prevista pela norma NE 61010 1 Portanto ligue o dispositivo a uma linha de alimentac o apropriada para esta categoria A Turbo V 1K G tem dois conectores para as entradas sa das e para a comunicac o de s rie que devem ser ligados aos circuitos externos de modo a n o permitir o acesso s partes sob tens o Assegure se de que o isolamento do dispositivo ligado Turbo V 1K G esteja isolado correctamente mesmo em caso de avaria conforme previsto pela norma NE 61010 1 Para a instalacao dos acess rios opcionais consultar Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 80 315 Manual delstruc es 5 Utilizacao Neste paragrafo sao descritos os principais procedimentos operacionais Antes de usar o sistema efectuar todas as liga es el ctricas e pneumaticas Durante o eventual aguecimento da camara a vacuo a temperatura no flange de entrada nao deve ser superior a 80 C NAT US Nunca activar a bomba se o flange de entrada n o estiver ligado c mara de v cuo ou n o estiver fechado com o flange de fecho N o tocar a turbobomba e os seus eventuais acess rios durante as operac es de aquecimento A elevada temperatura pode causar les es s pessoas CUIDADO Evitar colis
60. product in a plastic bag and package product carefully to avoid damage in transit You ere responsible for loss or damage in transit e Agilent Technologses is not responsible for returning customer provided packaging or contemers e Clearly label package with RA number Using the shipomg label provided vall ensure the proper address end RA number are on the package Packages shipped to Agent without e RA clesely written on the outside cannot be accepted and will be retumed Return on y products far whech the AA was msued Product bemg returned under a RA must be received within 15 business days Ship to the locebon specified on the printable label w och will be sent along with the RA number ez soon es we have received all of the required information Customer is responsible for fresght charges on returning product Return shaoments must comply with all applicable Shippang Regulations IATA DOT etc and camer requirements RETURN THE COMPLETED REQUEST FOR RETURN FORM TO YOUR NEAREST LOCATION EUROPE MORTH AMERICA PACIFIC RIM Fax DO 39 011 8879 330 Fax Free 00 600 345 345 00 Fax 1 781 860 9257 please visit our website for individual Toll Free 00500 234 234 00 Toll Free 800 382 7426 Option 3 office information vet customercarsdagilent com vpl ra agilant com http www agilent com Ps 1 3 a 1 48 amp g a Agilent Technologies Vacuum Products Division Request for Return Form Health and Satety Certification
61. que permite obtener un sistema regenerado para sustituir el averiado Antes de enviar al fabricante un sistema para su reparaci n o advanced exchange service es imprescindible cumplimentar y remitir a la oficina local de ventas la ficha de Seguridad y Salud adjunta al presente manual de instrucciones Una copia de la misma se debera introducir en el embalaje del sistema antes de enviarlo En caso de gue el sistema se tenga gue desguazar eliminarlo respetando las normas nacionales especificas Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 69 315 Manual de istrucciones 4 Eliminacion Significado del logotipo WEEE presente en las etiquetas El s mbolo que se indica a continuaci n es aplicado en observancia de la directiva CE denominada WEEE Este s mbolo v lido s lo para los pa ses miembros de la Comunidad Europea indica que el producto sobre el cual ha sido aplicado NO debe ser eliminado junto con los residuos comunes sean stos dom sticos o industriales y que por el contrario deber ser sometido a un procedimiento de recogida diferenciada Por lo tanto se invita al usuario final a ponerse en contacto con el proveedor del dispositivo tanto si ste es la casa fabricante o un distribuidor para poder proveer a la recogida y eliminaci n del producto despu s de haber efectuado una verificaci n de los t rminos y condiciones contractuales de venta Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 10 315 Turbo V 1K G U
62. sistema con conexion capaz de resistir a un par de 8900 Nm en torno a su propio eje En la siguiente tabla se indican respecto de cada brida ISO F la cantidad de tornillos necesarlas y el par de apriete con el cual fijarlas Tabla 1 Brida N Par De Apriete ISO 160 F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm En el caso de las bridas F los tornillos de acero deben ser de clase gt 8 8 Turbo V 1K G puede instalarse en cualquier posici n Turbo V 1K G no puede fijarse utilizando su base Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 64 315 Manual de istrucciones 4 vwd Turbo V IK G con Navigator controller 969 6976M005 pertenece a la segunda categor a de instalac n o sobretensi n prevista por la normativa EN 61010 1 Por lo tanto este dispositivo debe ser conectado a una linea de alimentaci n adecuada para dicha categoria Turbo V 1K G tiene conectores para las entradas salidas y para la comunicaci n serial que deben ser conectados a los circuitos externos de manera que ninguna parte bajo tensi n guede accesible Controlar que el aislamiento del dispositivo conectado a Turbo V 1K G mantenga una acci n aisladora incluso en caso de verificarse una averia de conformidad con lo establecido por la normativa EN 61010 1 Para instalar los accesorios opcionales v ase Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 65 315 Manual de istrucciones 4 Uso En este apartado se citan los procedimientos operativos princ
63. soupape de ventilation de le piloter distance l aide d un ordinateur host connect par ligne s rielle Les paragraphes suivants fournissent toutes les indications n cessaires garantir la s curit de l op rateur pendant l utilisation de l appareillage Des renseignements plus d taill s se trouvent dans l appendice Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 43 315 Mode d emploi 3 Cette notice utilise les signes conventionnels suivants AVERTISSEMENT Les messages d avertissement attirent l attention de l op rateur sur une proc dure ou une manoeuvre sp ciale qui si elle n est pas effectu e correctement risque de provoquer de graves l sions r aron Les messages d attention apparaissent avant certaines proc dures qui si elles ne sont pas observ es pourraient endommager s rieusement l appareillage Les notes contiennent des renseignements importants extrapol s du texte Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 44 315 Mode d emploi 3 Stockage Pour garantir les performances et la fiabilit maximales des pompes turbomol culaires Agilent il est indispensable de respecter les instructions suivantes Le transport la manutention et le stockage des pompes doivent imp rativement avoir lieu dans les conditions ambiantes suivantes temp rature de 20 C 70 C humidite relative de O 95 non condensante Ala premi re utilisation les pompes
64. the Turbo V 1K G it is necessary to supply the mains The integrated controller automatically recognizes the interlock and start signals presence and start up the pump The first pump start up is in Soft Start mode When the start up cycle is finished the Soft Start mode automatically is disabled and the following start ups are without the Soft Start mode To re enable the Soft Start mode it must be activated by the suitable software command see the paragraph RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION in the appendix Technical Information The green LED located on the Navigator controller base front panel indicates with its flashing freguency the system operating conditions with no flashing the pump is normally rotating Slowly flashing period of about 400 ms the system is in ramp or in braking or in Stop or in Waiting for interlock status fast flashing period of about 200 ms error condition Turbo V 1K G Switching off To switch off the Turbo V 1K G it is necessary to remove the mains The integrated controller immediately stops the pump WARNING The Turbo V controller must be powered with 3 wire power cord see orderable parts table and plug internationally approved for user s safety Use this power cord and plug in conjunction with a properly grounded power socket to avoid electrical shock and to satisfy CE requirements High voltage developed in the controller can cause severe injury or death
65. to emsura ha safe handling of the product and is kabla for sm heem or inpry to Agilent emplayaas ss wall ma ta any thed party cccorring es a rasalt ed cposure to tmoc or hazardous matanals prosent m the product Print Name Authorized Signature vimmaa Date 51 FAILURE INFORMATION Failure Mode REQUIRED FIELD See nest e for suggestions of failure terms Detailed Descrintian of Malfunction Please provide tha error message oplicaton system and modeli I understand and agree to the terms of Section 6 Page 3 3 Print Name Authorized Signature Lene r a 1 ite Agilent Technologies Vacuum Produets Division Request for Return Form Health and Safety Certification Please use these Failure Mode to describe the concem about the product on Page 2 TURBO PUMPS and TURBO CONTROLLERS APPARENT DEFECT MALFUNCTION PARAMETERS Does net start Noise Vertical Power Aotational Speed Does not spin freely Vibrations Horznnta Current inlet Pressure Does not reach full speed Leak Upside down Temp Foreline Pressure Mechanical Contact Overtemoerature Temp 2 Purge flow Cooling defective C OPERATING TIME ION PUMPS CONTROLLERS VALVES COMPONENTS Bad feedthrough Poor vacuum Main sea leak Bellows leak Vacuum leak High voltage problem amp aleraid failure Damaged ilange Error code on display Other Damaged sea area Ozher LEAK DETECTORS INSTRUMENTS Cannot calibrate Ma zer
66. w momencie potaczenia pompy do systemu W obecnosci pol elektromagnetycznych pompa musi by odpowiednio zabezpieczona przez odpowiednie ekranowanie W celu szczeg lowego zapoznania sie z tematem patrz dodatek Technical Information Pompa Turbo V 1K G musi by podtaczona do stownej pompy patrz schemat w dodatku Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 195 315 Podrecznik Instrukcji 13 Mocowanie pompy ZAGROZENIE w przypadku uszkodzenia na wirniku potaczenie miedzy pompa a systemem mo e byc poddane odpowiednio wysokiemu momentowi Jezeli potaczenie jest niewystarczajace aby wytrzyma dany moment pompa mo e sie odczepic od systemu lub silnik mo e odczepi sie od obudowy pompy W takim przypadku fragmenty metalu moga byc wyrzucone przez pompe lub przez system i moga one spowodowa powa ne uszkodzenia lub mier os b jak i uszkodzi aparatur znajduj c si w pobli u systemu Zamocowa pomp Turbo V 1K G w pozycji stabilnej montuj c ko nierz wej cia turbopompy do ko nierza systemu dokr caj c w taki spos b aby po czenie to wytrzyma o moment 8900 Nm wok w asnej osi W niniejszej tabeli przedstawione zosta y dla ka dego ko nierza ISO F ilo potrzebnych rub i moment dokr cenia ich Tabeli 1 Ko nierz Nr Moment Dokr cenia ISO 160 F 8 b Nm ISO 200 F 12 b Nm Dla kotnierzy F ruby stalowe musza posiada klase gt 8 8 Pompa Turbo V 1K G mo e b
67. ytys 156 Huolto 157 H vitt minen 158 Alkuper isten ohjeiden k nn s Turbo V 1K G 87 901 025 01 145 315 Ohjek sikirja 10 Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet Tassa kayttoohjeessa kuvatuissa turbomolekyylipumpuissa on korkea maara kineettista energlaa joka aiheutuu korkeasta pyorimisnopeudesta yhdistettyna pumppujen roottorien massaan Jarjestelman vikatilassa esimerkiksi roottorin ja staattorin koskettaessa toisiaan tal roottorin rikkoutuessa pyorimisenergla saattaa vapautua VAROITUS T ss k ytt ohjeessa kuvattuja asennusohjeita on noudatettava tarkasti laitteiston vaurioitumisen ja k ytt jien vahingoittumisen valttamiseksi Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 146 315 Ohjek sikirja 10 Yleisi Tietoja T m laite on tarkoitettu ammattimaiseen k ytt n Ennen laitteen k ytt nottoa tulee k ytt j n lukea huolellisesti ohjekirja ja muut Agilentin toimittamat lis tiedot Agilent ei ota vastuuta seurauksista jotka johtuvat laitteen k ytt ohjeiden t ydellisest tai osittaisesta laiminly nnist ammattitaidottoman henkil n virheellisest laitteen k yt st valtuuttamattomista toimenpiteist tai kansallisen lains d nn n vastaisesta k yt st Turbo V 1K G on turbomolekyylipumppu korkean ja ultrakorkean tyhji n k ytt varten Se kykenee pumppaamaan kaiken tyyppisi kaasuja tai kaasukoostumuksia Se ei sovellu nesteiden tai kiinteiden hiukkasten pumppaamiseen Pum
68. zik nyv t a masik kontrollermodellel valo hasznalat v gett 969 945M002 A Turbo V 1K G bekapesolasahoz ra kell kapesolni a t pfesz lts get A be pitett vezerlo automatikusan felismeri a kapcsolatot s a start jel jelenletet s elinditja a szivattyut Az els szivatty ind t s l gy ind t s m dban t rt nik Amikor az ind t si ciklus befejez dik a l gy ind t s m d automatikusan tiltva van s a k vetkez ind t sok l gy ind t s m d n lk l t rt nnek A l gy ind t s m d jb li enged lyez s hez azt aktiv lni kell a megfelel szoftver paranccsal l sd RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION a Technical Information f ggel kben A Navigator controller alapj n elhelyezett z ld LED a villog s nak gyakoris g val jelzi a rendszer zemi k r lm nyeit nem villog sn l a szivatty rendesen forog lassan villog kb 400 ms peri dus a rendszer emelked ben f kez sben ll s vagy kapcsolatra v r llapotban van gyorsan villog kb 200 ms peri dus hibafelt tel A Turbo V 1K G kikapcsol sa A Turbo V 1K G kikapcsol s hoz le kell kapcsolni a t pfesz lts get A be p tett vez rl azonnal le ll tja a szivatty t Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 185 315 Felhaszn l i Kezikonyv 12 17 35 A gepkezel biztons ga rdek ben a Turbo V vez rl egys get h romeres betapkabellel kell ellatni lasd a megrendelhet alkatreszek t
69. 0 95 nem kondenz l A turbomolekularis szivatty kat mindig l gyan kell ind tani amikor a felhaszn l tveszi s el sz r zemelteti Egy turbonukle ris szivatty raktarozhatasi ideje 10 h nap a sz ll t s d tum t l FIGYELEM Ha valamilyen okb l a rakt rozhat si id t t ll pik a szivatty t vissza kell vinni a gy rba K rem inform ci rt forduljon a helyi Agilent v kuumkereskedelmi s szolg ltat si k pviselethez Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 179 315 Felhaszn l i Kezikonyv 12 Elokeszites telepitesre A Turbo V 1K Got kulonleges vedocsomagolasban szallitjak Ha ez serules jeleit mutatja ami szallitas kozben felmerulhet forduljon a helyi szolgaltatasi irodahoz A Turbo V 1K G kicsomagolasakor ugyeljen arra hogy ne ejtse le s ne tegye ki barmilyen hirtelen tesnek vagy razkodasnak Ne artalmatlanitsa a csomagol anyagokat nem megengedett m don Az anyag teljesen ujrafeldolgozhato s megfelel az EEC 85 399 es direktivanak FIGYELEM Gazkivonasi probl m k elker l s re ne hasznaljon puszta kezeket vakuumnak kitett komponensek kezelesere Mindig hasznaljon kesztyut vagy mas alkalmas vedelmet A k rnyezetnek val normal kitetts g nem tudja k ros tani a Turbo V 1K Got M gis ajanlatos zarva tartani a rendszerbe valo telepitesig igy megakadalyozva a por altali szennyez d s barmely formajat Abra 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 180 3
70. 0 800 234 234 00 Germany and Austria Agilent Technologies Vacuum Products Division Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel 49 0 6151 703 353 Fax 49 0 6151 703 302 Toll free 00 800 234 234 00 Sales and Service Offices India Agilent Technologies India Pvt Ltd Vacuum Product Division G01 Prime corporate Park 230 231 Sahar Road Opp Blue Dart Centre Andheri East Mumbai 400 099 India Tel 91 22 30648287 8200 Fax 91 22 30648250 Toll Free 1800 113037 Italy Agilent Technologies Italia S p A Vacuum Products Division Via F Ili Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9111 Fax 39 011 997 9350 Toll Free 00 800 234 234 00 Japan Agilent Technologies Japan Ltd Vacuum Products Division 8th Floor Sumitomo Shibaura Building 4 16 36 Shibaura Minato ku Tokyo 108 0023 Japan Tel 81 3 5232 1253 Fax 81 3 5232 1710 Toll Free 0120 655 040 Korea Agilent Technologies Korea Ltd Vacuum Products Division Shinsa 2nd Bldg 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Toll Free 080 222 2452 Mexico Agilent Technologies Vacuum Products Division Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 523 9465 Fax 452 5 523 9472 Singapore Agilent Technologies Singapore Pte Ltd Vacuum Products Division Agilent Technologies Building 1 Yishun Avenue 7
71. 0 ms het systeem is in de status oploop of remmen of stop of waiting for interlock knippert snel periode van circa 200 ms fouttoestand Afzetten van de Turbo V 1K G Hiervoor behoeft slechts de stroomvoorziening te worden onderbroken De ingebouwde controller stopt onmiddellijk de pomp Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 98 315 Bedrijfshandleiding 6 WAARSCHUWING voor de veiligheid van de bediener dient de controller Turbo V gevoed te worden met een driedradige voedingskabel zie de tabel met de bestanddelen die u kunt bestellen voorzien van een stekker met internationale goedkeuring Gebruik de kabel en de stekker samen met een goedgeaard stopcontact om elektrische schokken te voorkomen en om te voldoen aan de vereisten van de EG normen De in de controller ontwikkelde hoge voltage kan ernstige letsels of de dood veroorzaken Maak de voedingskabel los alvorens onderhoudswerkzaamheden aan het systeem uit te voeren Noodstop Om de Turbo V 1K G in noodomstandigheden te stoppen moet de stroomtoevoerkabel van de controller losgemaakt worden Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 99 315 Bedrijfshandleiding 6 Onderhoud De Turbo V 1K G is onderhoudsvrij Eventuele werkzaamheden moeten door bevoegd personeel worden uitgevoerd PF VER LATTES Alvorens werkzaamheden aan het systeem uit te voeren de stekker verwijderen de pomp met behulp van de hiervoor bestemde klep ontluchten en wac
72. 015 b 2 November 1995 as applicable in any technical data Trademarks Windows and MS Windows are U S registered trademarks of Microsoft Corporation Safety Notices A CAUTION notice denotes a hazard It calls attention to an operating procedure practice or the like that if not correctly performed or adhered to could result in damage to the product or loss of important data Do not proceed beyond a CAUTION notice until the indicated conditions are fully understood and met A WARNING notice denotes a hazard It calls attention to an operating procedure practice or the like that if not correctly performed or adhered to could result in personal injury or death Do not proceed beyond a WARNING notice until the indicated conditions are fully understood and met Turbo V 1K G Turbo V 1K G Turbo V 1K G Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 3 315 Turbo V 1K G Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 4 315 Contents Contents 1 Istruzioni per l uso 13 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 17 Preparazione per l installazione 18 Installazione 19 Fissaggio della pompa 20 Uso 22 Manutenzione 25 2 Gebrauchsanleitung 27 Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen 29 Lagerung 31 Vor Der Installation 32 Installation 33 Befestigung Der Pumpe 34 Gebrauch 36 Wartung 39 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 0
73. 1 Serial Cable Installation for 969 8978M005 Navigator controller only 303 Turbo V 1K G Navigator Controller Installation 304 Bottom mounting 304 Fore Vacuum Pump Connection 305 Electrical Connection 306 Pump Used With Corrosive Gases 307 Pump used in presence of magnetic fields 309 Accessories and spare parts 310 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 260 315 Technical Information 18 Pump Description The pump consists of a high frequency motor driving a turbine The turbine rotates in an anticlockwise direction when viewed from the high vacuum flange end The turbine is made of high strength aluminium alloy machined from a single block The turbine rotor is supported by permanently lubricated high precision ceramic ball bearings installed on the forevacuum side of the pump The static blades of the stators are supported and accurately positioned by spacer rings The Macrotorr stators are in the form of self positioning machined discs with pumping channels and an opening restricted by the corresponding rotor discs These are made of aluminium alloy During normal operation the motor is fed with a voltage of 56 Vrms three phase at 761 Hz To reduce losses during start up to a minimum the frequency increases according to a ramp with a higher initial voltage frequency ratio The pump must be always water cooled using the dedicated channels on the pump body Minimum required water flow is 200 l h an
74. 1 Flangia N Coppia di Serraggio ISO 160 F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm Per le flange F le viti in acciaio devono essere di classe gt 8 8 La Turbo V 1K G pu essere installata in qualsiasi posizione La Turbo V 1K G non pu essere fissata tramite la sua base Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 20 315 Istruzioni per l uso 1 apra liado La Turbo V 1K G con Navigator controller 969 8978M005 appartiene alla seconda categoria di installazione o sovratensione prevista dalla normativa EN 61010 1 Connettere quindi il dispositivo ad una linea di alimentazione che soddisfi tale categoria La Turbo V 1K G ha dei connettori per gli ingressi uscite e per la comunicazione seriale che devono essere connessi ai circuiti esterni in modo che nessuna parte sotto tensione sia accessibile Assicurarsi che l isolamento del dispositivo connesso alla Turbo V 1K G abbia un isolamento adeguato anche in condizione di guasto singolo come previsto dalla normativa EN 61010 1 Per l installazione degli accessori opzionali vedere Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 21 315 Istruzioni per l uso 1 Uso In questo paragrafo sono riportate le principali procedure operative Prima di usare il sistema effettuare tutti 1 collegamenti elettrici e pneumatici Durante l eventuale riscaldamento della camera da vuoto la temperatura sulla flangia di ingresso non deve essere superiore a 80 C NA Ja Na 4218 Non far funzi
75. 1 5 315 Contents 3 Mode d emploi 41 Normes De Securite Pour Pompe Turbomoleculaires 42 Indications Generales 43 Stockage 45 Pr paration Pour L installation 46 Installation 48 Fixation De La Pompe 49 Utilisation 51 Entretien 54 4 Manual de istrucciones 57 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 58 Informaci n General 59 Almacenamiento 61 Preparaci n Para La Instalaci n 62 Instalaci n 63 Uso 66 Mantenimiento 69 5 Manual de Istru es 71 Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares 72 Informac es Gerais 73 Armazenagem 75 Preparac o para a instalacao 76 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 6 315 Contents Instalac o 78 Fixac o da bomba 79 Utilizac o 81 Acendimento e Utilizac o da Turbo V IK G 82 Manutenc o 84 6 Bedrijfshandleiding 87 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen 88 Algemene Informatie 89 Opslag 91 Uitpakken 92 Installatie 94 Bevestiging Van De Pomp 95 Gebruik 97 Onderhoud 100 7 Istruktionsbog 103 Sikkerhedsanvisninger for Molekyleere Turbopumper 104 Generel Information 105 Opbevaring 107 Forberedelse for installation 108 Installation 109 Fastgorelse af pumpe 110 Anvendelse 112 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 1 315 Contents Vedligeholdelse 115 8 Bruksanvisning 117 S kerhetsanvisningar for Molekyl ra Turbopumpar 118 Allman Information 119 F rvaring 121 F rberedelser f r installationen 122 Installation 123 Fasts
76. 15 Felhaszn l i Kezikonyv 12 Telepites Ne telepitse valamint ne hasznalja a szivatty t atmoszferikus kozeseknek kitett k rnyezetben es h j g porban agressziv sazokban illetve robbano vagy tuzveszelyes k rnyezetben zemeltet s k zben a k vetkez k rnyezeti felt teleket kell biztos tani maxim lis nyom s 2 bar a l gk ri nyom s felett h m rs klet 5 C t l 35 C ig l sd a nyom s h m rs klet diagramot a Technical Information f ggel kben relativ p ratartalom O 95 nem kondenz l FIGYELEM Ne tavolitsa el az ntapad s ved kupakot a turboszivattyunak a rendszerhez valo csatlakoztatasa el tt Magneses mezok jelenleteben a szivattyut vedeni kell ferromagneses pajzs segits g vel R szletes inform ci rt lasd Technical Information A Turbo V 1K Got primer szivattyuhoz kell csatlakoztatni lasd Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 181 315 Felhaszn l i Kezikonyv 12 A szivattyu r gzitese 7 2743 80 Ha rotorhiba jelentkezik a szivatty nak a rendszerhez val csatlakoz sa jelentos nyomateknak lehet kiteve Ha a csatlakozas nem elegendo a nyomatek elviselesere a szivattyu levalhat a rendszerrol illetve a motorhaz levalhat a szivatty burkolatarol Ebben az esetben femreszecskek allhatnak ki a szivatty b l vagy a rendszerb l ami komoly ser lest vagy halalt es vagy k rnyezet karosodast okozhat
77. 15 Gebrauchsanleitung 2 Sicherheitshinweise fiir Turbomolekularpumpen Die in der folgenden Gebrauchsanweisung beschriebenen Turbomolekularpumpen verfugen aufgrund der hohen Rotationsgeschwindigkeit in Verbindung mit dem spezifischen Gewicht ihrer Rotoren uber eine grofse Menge kinetischer Energie Im Falle eines Systemdefekts z B durch einen Kontakt zwischen Rotor und Stator oder durch einen Rotorbruch k nnte diese Rotationsenergie freigesetzt werden Um Sch den am Ger t zu vermeiden und um Verletzungen der Bediener vorzubeugen befolgen Sie bitte aufmerksam die in diesem Handbuch beschriebenen Installationshinweise Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 28 315 Gebrauchsanleitung 2 Allgemeine Informationen Dieser Apparat ist fur den fachmannischen Gebrauch bestimmt Vor dem Gebrauch hat der Benutzer dieses Handbuch sowie alle weiteren mitgelieferten Zusatzdokumentationen genau zu lesen Bei auch teilweiser Nichtbeachtung der enthaltenen Anweisungen unsachgem fsem Gebrauch durch ungeschultes Personal nicht autorisierten Eingriffen und Mifsachtung der nationalen einschl gigen Normen ubernimmt die Firma Agilent keinerlei Haftung Die Turbo V 1K G ist eine Turbomolekularpumpe fur Hoch und H chstvakuum Anwendungen Die Pumpe eignet sich fur die Forderung aller Arten von Gasen oder gashaltigen Gemischen ist jedoch nicht f r die F rderung von Fl ssigstoffen oder Festpartikeln geeignet Die Pumpwirkung wird durc
78. 5Vychazejte z n vodu k jednotce pro pou it s jin m modelem dic ho za zen 969 9454M002 Pro uveden vyv vy Turbo V 1K G do provozu je nutn priv st s tov nap t Integrovan regulator automaticky zji uje blokov n p tomnost spou t c ch sign l a uvede v v vu do provozu Prvn spu t n v v vy je v re imu pozvoln ho rozb hu Jakmile bude rozb hov cyklus dokon en re im pozvoln ho rozb hu se automaticky vypne a dal starty ji budou prob hat bez pozvoln ho rozb hu Chcete li op t zapnout re im pozvoln ho rozb hu mus te jej aktivovat pat i n m programov m p kazem viz odstavec RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION v p loze Technical Information Zelena kontrolka umist na na elnim panelu zafizeni Navigator controller indikuje provozni stavy systemu blikanim bez blik n vyv va se ot norm ln pomal blik n interval cca 400 ms system se pozvolna rozb h nebo brzd nebo stoj nebo je ve stavu ek n na blokovani rychl blik n interval cca 200 ms poruchov stav Zastaven Turbo V 1K G Pro zastaven Turbo V 1K G je nutn p eru it s ov nap t Vestav n regul tor v v vu okam it zastav Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 213 315 Navod k Pou iti 14 Pro zaji teni bezpe nosti obsluhy musi byt controller erpadla Turbo V napajeny troj ilovym privodnim kabe
79. 87 901 025 01 46 315 Mode d emploi 3 Pr paration Pour L installation Figure 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 47 315 Mode d emploi 3 Installation Ne pas installer et ou utiliser la pompe dans des milieux expos s aux agents atmosph riques pluie gel neige a la poussi re aux gaz agressifs ainsi que dans des milieux explosifs ou a fort risque d incendie Pendant le fonctionnement il est n cessaire de respecter les conditions environnementales suivantes pression maxi 2 bar au del de la pression atmosph rique temp rature de 5 C a 35 C Cf graphique dans Technical Information humidit relative 0 95 non condensante menos voto Ne d coller l adh sif et ne retirer le couvercle de protection qu au moment de brancher la turbopompe au syst me En pr sence de champs magn tiques la pompe doit tre prot g e l aide d crans appropri s Pour tout autre renseignement se reporter l opuscule Technical Information La Turbo V 1K G doit tre raccord e a une pompe primaire Cf sch ma dans Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 48 315 Mode d emploi 3 Fixation De La Pompe En cas d endommagement du rotor la connexion pompe syst me pourrait tre soumise a un couple tr s important Si la connexion n est pas en mesure de r sister au dit couple la pompe peut se d tacher du syst me ou le moteur de l enveloppe de la p
80. Active Stop write only in stop Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 Admitted Values Start 1 Stop 0 Remote 1 Serial 0 default 1 YES lt 1 NO 0 0 Frequency 1 Current 2 Time default 0 default 582 0 to 99999 default 0 0 high level active 1 low level active default 0 0 to 100 default 2 0 NO 1 YES 0 NO 1 YES 286 315 Table 7 Window Meanings 108 109 110 111 120 121 122 123 124 125 126 130 200 201 R W N W L R W L R W L R W N R W N R W L Reserved to Agilent service R W R W Reserved to Agilent service R Technical Information 18 Baud rate Pump life cycle time cycle number reset Interlock type default lt 1 Analog output type output voltage signal proportional to freguency or power Rotational freguency setting Hz Maximum rotational freguency in Hz active only in Stop condition Set vent valve on off on lt closed L Set the vent valve operation N Vent valve opening delay expressed in 0 2 sec N Pump current in mA dc N Pump voltage in Vdc Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 600 0 1200 1 2400 2 4800 3 9600 4 default 4 To reset write 1 Impulse 0 Continuous 1 0 frequency 1 power default 0 500 to 761 default lt 761 500 to 761 default lt 761 On 1 Off 0 default 1 Automatic 0 see note 1 On co
81. EE Este s mbolo v lido apenas para os pa ses da Comunidade Europeia indica gue o produto no gual esta aplicado NAO deve ser eliminado juntamente com os residuos dom sticos ou industriais comuns mas deve ser dirigido a um sistema de recolha diferenciada Portanto convidamos o utilizador final a contactar o fornecedor do dispositivo seja este o fabricante ou um revendedor para encaminhar o processo de recolha e eliminacao apos a oportuna verificacao dos termos e condic es do contrato de venda Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 85 315 Manual delstruc es 5 Manutencao Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 86 315 Turbo V 1K G 87 901 025 01 Turbo V 1K G User Manual Bedrijfshandleiding Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen88 Algemene Informatie 89 Opslag 91 Uitpakken 92 Installatie 94 Bevestiging Van De Pomp95 Gebruik 97 Inschakeling en gebruik van de Turbo V IK G 98 Afzetten van de Turbo V 1K G98 Noodstop 99 Onderhoud 100 Afvalverwerking 101 Vertaling van de originele instructies 87 315 Bedrijfshandleiding 6 Veiligheidsinstructies voor Turbomoleculaire pompen De turbomoleculaire pompen die in deze handleiding worden besproken hebben een grote hoeveelheid kinetische energie door de hoge rotatiesnelheid samen met de specifieke massa van hun rotoren In geval van een defect van het systeem bijvoorbeeld door een contact tussen de rotor en de stator of doordat de rotor breek
82. For example reference quantity frequency threshold 500 Hz hysteresis 1 activation type high level N R O gt u gt o o O o 500 Frequency Hz Figure 11 The set point output stays at 0 Vdc until the frequency becomes higher than 505 Hz that is 500 Hz 1 of 500 Hz then the output goes at 24 Vdc and stays at 24 Vdc until the frequency becomes lower than 495 Hz that is 500 Hz 1 of 500 Hz It is possible to delay the set point checking for a programmable delay time The PROGRAMMABLE SET POINT signal has the following default settings reference quantity frequency Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 274 315 Technical Information 18 threshold 643 Hz hysteresis 2 activation type high level delay time 0 second The Navigator Software optional allows the operator to set all the programmable feature When no external input output device is available this connector must be closed with the supplied mating connector that short circuits the START and INTERLOCK inputs with the GROUND input see the following figure gt MATING CONNECTOR Figure 12 How to connect the open collector inputs of the controller Here below there are the typical connections of the open collector input of Turbo V 1K G to an external system Two cases are considered 1 thecustomer supplies the 24 Vdc Turbo V 1K G User Manual
83. ION ADDRESS PROBLEM SUGGESTION REFERENCE INFORMATION model n serial n ordering information time to failure after installation etc CORRECTIVE ACTION PLAN ACTUATION by AGILENT VPD XXX Code for dialing Italy from your country es 01139 from USA 00139 from Japan etc XE Agilent Technologies Agilent Technologies Vacuum Products Division Instructions for returning products Deer Customer Please follow these mstrucbons whenever one of our products needs to be returned oi 3 Complete the attached Request for Return form and send rt to Agilent Technologies see below taking perticular cere to identify g products that have pumped or been exposed to any toxic or hezardous materials After evaluating the information Agilent Technologies will provide you with a Return Authonzation RA number via email or fax Bs requested Note Depending on the type of return a Purchase Order may be required at the mme the Request for Return ls submitted We will quote eny necessary services evaluston repair special cleaneng eg Important steps for the shipment of retuming product a Remove all accessones from the core product 2 0 inlet screens vent velez Pror to shipment drain any ails or other liquids purge or flush all gasses end wipe off any excess residue s Hf ordering an Advance Exchange product please use the peckegng from the Advance Exchange to return the defective product e Seal the
84. MP POWER FAIL Figure 18 Window N 206 Bit Description Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 289 315 Technical Information 18 Inlet Screen Installation Figure 19 Inlet screen mod 969 9304 Figure 20 Inlet screen mod 969 9316 The inlet screens mod 969 9304 and 969 9316 prevent the blades of the pump from being damaged by debris greater than 0 7 mm diameter The inlet screen however does reduce the pumping speed by about 10 The inlet screen is fitted in the upper part of the pump as shown in the figure Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 290 315 Technical Information 18 Figure 21 Inlet screen position The screen can be mounted on each pump The sereen can be removed as shown in the following figure Figure 22 Inlet screen removal The following figure shows the overall flange dimensions with the protection screen fitted on pump with ISO flange Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 291 315 Technical Information 18 DIMENSIONS mm inches ISO 200F nz i EN A DIMENSIONS mm inches Figure 23 Overall flange dimensions with the protection screen Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 292 315 Technical Information 18 Water Cooling Kit Installation Two types of water cooling kits are available to be mounted The Turbo V 1K G must be always water cooled The two models part numbers are 969 9825 and 969 9826
85. OXH EEKOAA OTE TO TO TN ue Technical Information yu H Turbo V 1K G Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 166 315 11 Avrhiag KINAYNOE Av OTO dev va TO 2 auT V
86. Po asno utripanje perioda pribli no 400 ms Sistem je v stanju ramp rampa breaking zaviranje stop ali v stanju Waiting for interlock Hitro utripanje perioda pribli no 200 ms Napaka Izklop naprave Turbo V 1K G Za izklop naprave Turbo V 1K G morate prekiniti dovod napetosti Vgrajeni kontroler takoj zaustavi rpalko Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 241 315 Priro nik za Navodila 16 111 Za varnost operaterja mora biti krmilnik Turbo V napajan preko triveznega napajalnega kabla glej tabelo delov ki se lahko naro ijo z vtika em potrjen na mednarodnem nivoju Uporabite ta kabel in vtika skupaj s primerno ozemljeno vti nico da se izognete elektri nemu stresljaju in da izpolnjujete EU predpise Visoka napetost ki se ustvari v krmilniku lahko povzro i hude po kodbe ali smrt Preden za nete z vzdr evalnimi postopki v notranjosti izvlecite napajalni kabel Zaustavitev v sili Za takoj en izklop naprave Turbo V 1K G je treba izklju iti napetostni kabel iz krmilnika Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 242 315 Priro nik za Navodila 16 Vzdr evanje Naprave Turbo V 1K G ni potrebno vzdr evati Kakr no koli delo na sistemu mora opraviti poobla eno osebje SVARILO Pred za etkom dela na sistemu ga izklju ite iz napetosti pre istite rpalko tako da odprete primerno odprtino po akajte da se rotor ustavi in da povr inska temperatura rpalke pade pod 50
87. SAGE Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 282 315 Technical Information 18 Using the RS 485 interface the message structure remains identical to the one used for the RS 232 interface the only difference being that the value assigned to the ADDRESS lt ADDR gt The controller can answers with the following response types The controller can reply with the following types of response Table 6 Type Length Value Description Logic After a read instruction of a logic window Numeric 6 bytes After a read instruction of a numeric MEN window Alphanumeric 10 bytes After a read instruction of a alphanumeric MEN window ACK 1 byte 0x6 Execution of the command has been a successful E N 1 byte 015 Execution of the command has failed Unknown 1 byte 0x32 The window specified in the command is not Window a valid window Data Type Error 1 byte 0x33 The data type specified in the command Logic Numeric or Alphanumeric is not in o agreement with the Window specified Out of Range The value expressed during a write command is not within the range value for the specified window Win Disabled 1 byte 0x35 The window specified is Read Only or is temporarily disabled for example you can t write the Soft Start when the Pump is running Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 283 315 Technical Information 18 Examples COMMAND START Source PC Destination Controlle
88. V 1K G User Manual 87 901 025 01 154 315 Ohjek sikirja 10 Turbo V 1K Gin k ynnistys ja k ytt Seuraavat ohjeet koskevat Turbo V 1K G pumppua kun sita k ytet n yhdess Navigator controller ohjaimen malli 969 8978M005 kanssa Viittaa toisen controllerin 969 9454M002 k ytt n liittyv n mallin kayttoohjeeseen Turbo V 1K Gin k ynnistykseen riitt ett se kytket n s hk verkkoon Sis nrakennettu valvoja tunnistaa automaattisesti lukitus ja k ynnistyssignaalit ja k ynnist pumpun Pumpun ensimm inen k ynnistys tapahtuu Soft Start menetelm ll joka inaktivoituu automaattisesti k ynnistysjakson j lkeen Siten pumpun seuraavat k ynnistykset tapahtuvat ilman Soft Start toimintoa Jotta k ynnistys voitaisiin suorittaa uudelleen Soft Start menetelm ll tulee yll mainittu tapa aktivoida uudelleen ohjelmiston kautta ks kappale RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION Technical Information liitteess Vihre LED joka sijaitsee Navigator controllerin jalustan paneelissa osoittaa vilkkumistiheydell n j rjestelm n toimintaolosuhteet palaa jatkuvasti pumppu py rii normaalisti vilkkuu hitaasti noin 400 ms n jakso systeemi on kiihdytys jarrutus pys ytys tai Waiting for interlock tilassa vilkkuu nopeasti noin 200 ms n jakso virhetila Turbo V 1K Gin pys ytt minen Turbo V 1K Gin pys ytt miseen riitt ett
89. a 35 C vedere grafico nel appendice Technical Information umidit relativa O 95 non condensante Vidla Staccare l adesivo e togliere il tappo di protezione solo al momento del collegamento della turbopompa al sistema In presenza di campi elettromagnetici la pompa deve essere protetta tramite opportuni schermi Vedere l appendice Technical Information per ulteriori dettagli La Turbo V 1K G deve essere collegata ad una pompa primaria vedere schema in Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 19 315 Istruzioni per l uso 1 Fissaggio della pompa PVA AAS Se si verifica un danno al rotore la connessione tra la pompa ed il sistema potrebbe essere sottoposta ad una coppia significativa Se la connessione non sufficiente per resistere alla suddetta coppia la pompa potrebbe staccarsi dal sistema o il motore potrebbe staccarsi dall involucro della pompa In questo caso frammenti di metallo potrebbero essere proiettati dalla pompa o dal sistema i quali potrebbero causare seri danni o la morte e o danni agli apparati adiacenti Fissare la Turbo V 1K G in posizione stabile montando la flangia di ingresso della turbopompa alla controflangia di sistema con una connessione capace di resistere ad una coppia di 8900 Nm attorno al proprio asse La seguente tabella descrive per ogni flangia ISO F il numero di viti necessarie e con quale coppia di serraggio stringerle Tabella
90. a auki On kuitenkin suositeltavaa pit se suljettuna kunnes se asennetaan j rjestelm n Siten v ltet n laitteen mahdollinen p lysaastuminen Kuva 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 150 315 Ohjek sikirja 10 Asennus Pumppua ei tule asentaa ja tai k ytt ymp rist ss miss se joutuu kosketuksiin s tekij iden sateen j n tai lumen p lyjen tai aggressiivisten kaasujen kanssa tai joissa on olemassa r j hdys tai tulipalovaara K yt n aikana on noudatettava seuraavia ymp rist koskevia ehtoja maksimipaine Z baaria yli atmosf risen paineen l mp tila 5 C 35 C ks Technical Information liitteen kaaviota suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v HUOMIO Irrottakaa teippi ja poistakaa suojakansi vasta kun turbopumppu kytket n j rjestelm n Mik li l sn on magneettikentti tulee pumppu suojata t h n tarkoitukseen olevilla suojilla Lis tietoja l ytyy Technical Information liitteest Turbo V 1K G tulee kytke p pumppuun ks Technical Information liitteen kaaviota Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 151 315 Ohjek sikirja 10 Pumpun kiinnitys VAN LENTES Jos roottori vaurioituu pumpun ja j rjestelm n v liseen liit nt n saattaa kohdistua huomattavaa v nt momenttia Ellei liit nt kest kyseist momenttia pumppu saattaa irrota j rjestelm st tai moottori pumpun kote
91. a t werden Es sind stets Schutzhandschuhe oder andere Schutzmittel zu verwenden Die Turbo V 1K G kann durch die Umgebung an sich nicht besch digt werden Es sollte jedoch bis zur Installation an der Anlage geschlossen bleiben um Verunreinigungen durch Staub zu vermeiden Abbildung 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 32 315 Gebrauchsanleitung 2 Installation Die Pumpe darf nicht in Umgebungen die ungesch tzt vor Wetter Regen Frost Schnee Staub und aggressiven Gasen sind sowie auch nicht in explosionsfahigen oder erh ht brandgef hrdeten Umgebungen installiert und oder benutzt werden Beim Betrieb m ssen folgende Umgebungsbedingungen eingehalten werden Maximaler Druck 2 bar uber dem atmosph rischen Druck Temperatur von 5 C bis 35 C siehe Diagramm im Anhang Technical Information Relative Luftfeuchtigkeit O 95 nicht kondensierend VORSICHT Das Klebeband abziehen und den Schutzdeckel erst bei Anschlu der Turbopumpe an das System abnehmen E PJ oe T RAM i Bf US SF NEON Fu SE A 7 gt Z d VJ A f f 1 A N C Ill MM AT A Bei Vorhandensein von elektromagnetischen Feldern ist die Pumpe entsprechend abzuschirmen F r ausf hrliche Informationen siehe im Anhang Technical Information Die Turbo V 1K G ist an eine Prim rpumpe anzuschliefsen siehe Schema in Tec
92. a y Podczas operacji rozpakowywania nale y zwr ci szczeg ln uwag aby nie spowodowa upadku pompy Turbo V 1K G ani nie poddawa jej uderzeniom lub wibracjom Nie porzuca opakowania w rodowisku Materia ten nadaje si ca kowicie do recyklingu zgodny jest z dyrektyw UE 855 599 dotycz cej ochrony rodowiska UWAGA Aby unikna problem w odgazowywania nale y nie dotyka gotymi rekoma cz ci przeznaczonych do pr ni Nale y zawsze stosowa odpowiednie r kawice ochronne lub odpowiednie zabezpieczenie Pompa Turbo V 1K G nie mo e by uszkodzona poprzez wystawienie jej na dzia anie atmosfery W zwi zku z tym zaleca si aby pompa do momentu jej instalacji na systemie pozosta a zamkni ta w celu unikni cia zanieczyszczenia jej py em Rysunek 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 194 315 Podrecznik Instrukcji 13 Instalacja Nie instalowa i lub u ytkowa pompy w otoczeniach wystawionych na czynniki atmosferyczne deszcz mroz Snieg pyty gazy chemiczne w Srodowiskach wybuchowych lub z wysokim zagro eniem po aru Podczas dziatania obowiazkowo nale y przestrzega nastepujace warunki otoczenia maksymalne ci nienie 2 bary ponad ci nieniem atmosferycznym temperatura od 5 C do 35 C patrz wykres graficzny w dodatku Technical Information wzgl dna wilgo 0 95 bez opar UWAGA Usuna ta me klejaca i zdja korek zabezpieczajacy tylko
93. a minimum purge gas flow rate of 20 sccm 0 33 mbar l s This value can be exceeded according to the process reguirements Please contact Agilent for specific applications The purge gas throughput with the recommended forepump allows to achieve a high vacuum pressure in the 10 mbar range The recommended gas flow maintains a pressure into the pump body higher than the forevacuum pressure The recommended procedure to vent the system and the pump avoiding the contact between the pump bearings and the corrosive gas is described in the following points 1 Close the corrosive gas flow into the system 2 Leaving the Turbo V pump and the backing pump running and the purge gas flowing wait for enough time to evacuate the corrosive gas from the system Turn off the Turbopump 4 Open the Turbo V vent port slowly until to reach atmospheric pressure in the system 5 When the Turbo V pump and the backing pump are stopped and the system is at atmospheric pressure for a better bearing protection it is advisable to leave the purge gas flowing into the Turbo V pump with the chamber or the Turbo V vent valve opened to avoid system overpressures If the vent valve can t be kept opened the backing pump should be left operating Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 307 315 Technical Information 18 Figure 40 Purge layout 1 2 3 4 5 6 1 Purge gas line Pressure regulator Gas purge valve Gas purge port Foreva
94. ablazatat ami egyik vegen nemzetkozi szabvany szerinti csatlakoz dugoval van ellatva Ezt a kabelt es csatlakozo dugot megfelel en foldelt csatlakozo aljazattal hasznalja hogy elker lje az ram t s veszelyet es eleget tegyen az EU normativaiban lefektetett biztonsagi k vetelmenyeknek A magasfesz lts g ami az ellen rz egysegben keletkezik sulyos s r l seket sot halalt okozhat Miel tt az egyseg belsejeben karbantartasi munkat vegezne kapcsolja le az egysegrol a tapfesz ltseg szolgaltato kabelt Veszleallitas A Turbo V 1K G veszhelyzetben valo azonnali leallitasahoz el kell tavolitani a tapkabelt a halozati dugaszbol Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 186 315 Felhaszn l i Kezikonyv 12 Karbantartas A Turbo V 1K G nem igenyel karbantartast A rendszeren vegzett barmely munkat jososult szemelyzetnek kell elveseznie VESZ LY A rendszeren barmely munka vegzese el tt valassza le azt a tapfesziiltsegrol szelloztesse a szivattyut a megfelel szelep kinyitasaval varjon amig a rotor forgasa leall es amig a szivattyu fel letenek h merseklete 50 C ala esik Meghibasodas eseten l pjen kapcsolatba a helyi Agilent szervizkozponttal ahol tudnak adni egy helyreallitott rendszert a hibas helyett Miel tt javitasra vagy cserere visszak ldi a rendszert a gyartohoz az ehhez a g pk nyvh z csatolt Eg szs g s biztons g lapot ki kell t lteni s el kell k ldeni a helyi k
95. acht Dieses Symbol nur in den EU Landern gultig zeist an dass das betreffende Produkt nicht zusammen mit Haushaltsm ll entsorgt werden darf sondern einem speziellen Sammelsystem zugef hrt werden muss Der Endabnehmer sollte daher den Lieferanten des Ger ts d h die Muttergesellschaft oder den Wiederverk ufer kontaktieren um den Entsorgungsprozess zu starten nachdem er die Verkaufsbedingungen gepr ft hat Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 40 315 Turbo V 1K G User Manual Go 3 Mode d emploi Normes De S curit Pour Pompe Turbomol culaires 42 Indications Generales 43 Stockage 45 Pr paration Pour L installation 46 Installation 48 Fixation De La Pompe 49 Utilisation 51 Mise en marche et utilisation de la Turbo V 1K G 52 Arr t de la Turbo V 1K G 53 Arr t d urgenceb3 Entretien 54 Mise Au Rebut 55 Traduction des instructions originales Turbo V 1K G 87 901 025 01 41 315 Mode d emploi 3 Normes De S curit Pour Pompe Turbomol culaires Les pompes Turbomol culaires d crites dans le Manuel d Instructions suivant ont une nergie cinetigue lev e due a la grande vitesse de rotation associ e a la masse sp cifique de leurs rotors En cas de panne du syst me par exemple cause d un contact entre rotor et stator ou d une rupture du rotor l nergie de rotation pourrait tre lib r e AVERTISSEMENT Pour viter tout degat aux appareillages et emp cher toute blessure aux op
96. advanced exchange service vaihtopalvelua jonka kautta saatte uudistetun pumpun vahingoittuneen tilalle Ennen j rjestelm n l hett mist valmistajalle korjausta tai vaihtopalvelua varten on ehdottomasti t ytett v ja toimitettava paikalliseen myyntitoimistoon Turvallisuus ja Terveys kaavake joka on liitteen ohjekirjassa Kyseisen kaavakkeen kopio tulee liitt j rjestelm n pakkaukseen ennen sen l hett mist Mik li pumppu t ytyy romuttaa toimikaa sen h vitt misess kansallisen lains d nn n m r m ll tavalla Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 157 315 Ohjek sikirja 10 Havittaminen Pakkausmerkinn iss olevan WEEE logon merkitys Alla nakyva merkki on lisatty pakkaukseen EY n ns WEEE direktiivin mukaisesti Merkki koskee ainoastaan Euroopan Unionin jasenmaita tarkoittaa etta tuotetta EI saa havittaa tavallisen kotitalous tal teollisuusjatteen mukana vaan se on toimitettava erilliseen kerayspisteeseen Loppukayttajaa kehotetaan sen vuoksi ottamaan kerays ja havittamisprosessla varten yhteytta laitteen toimittajaan olipa se sitten laitteen valmistaja tal jalleenmyyja tarkastettuaan ensin kaupan sopimusehdot Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 158 315 Turbo V 1K G User Manual via 160 161
97. anneer de pomp wordt gebruikt voor het pompen van brandbare giftige of radioactieve gassen moeten de procedures worden gevolgd die speciaal voor elk type gas zijn opgesteld Gebruik de pomp niet in aanwezigheid van explosieve gassen Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 97 315 Bedrijfshandleiding 6 Inschakeling en gebruik van de Turbo V 1K G De volgende instructies zijn van toepassing op de Turbo V 1K G gebruikt in combinatie met de Navigator controller model 969 8978M005 Raadpleeg de handleiding van het systeem voor gebruik met het andere controllermodel 969 9454M002 Om de Turbo V 1K G in te schakelen is het voldoende om deze van stroom te voorzien De ingebouwde controller herkent automatisch de aanwezigheid van interlock en startsignalen en start de pomp De eerste start van de pomp geschiedt op de wijze Soft Start die aan het einde van de starteyclus automatisch ontmachtigd wordt Vandaar dat alle volgende starts niet op de wijze Soft Start geschieden Om opnieuw met Soft Start te starten moet bovengenoemde wijze met behulp van de software gemachtigd worden zie paragraaf RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION in de bijlage Technical Information De groene LED op het paneel van de basis van de Navigator controller geeft door de freguentie van zijn knipperen de werkcondities van het systeem aan brandt onafgebroken de pomp draait normaal knippert langzaam periode van circa 40
98. anual 87 901 025 01 225 315 N vod na Obsluhu 15 Pouzitie Tato ast popisuje z kladn sp soby pou itia zariadenia Sk r ne za nete syst m pou va zapojte v etky elektrick a pneumatick pripojenia Teplota vstupnej pr ruby po as zahrievania v kuovej komory nesmie prekro i 80 C 4 14 4H MM Nikdy nepou vajte turbovyvevu ak vstupn pr ruba nie je pripojen k v kuovej komore V priebehu zahrievania sa nikdy nedotykajte turbovyvevy ani Ziadneho prislu enstva Vysoke teploty mo u sposobit popaleniny POZOR Dbajte na to aby vyveva po as innosti nebola vystaven narazom kmitaniu alebo prudkym pohybom Mohli by sa po kodit lo iska Vyvevu preplachujte pomocou vzduchu alebo inertneho plynu zbaveneho pretlakovy Vyvevy su wybavene pecialnym vstupom na wy erpavanie agres vnych plynov ktor umo uj stabiln tok inertn ho plynu napr klad Na Ar kv li ochrane lo sk v vevy pozri dodatok Technical Information 3 34 38 Ak v vevu pou vate na vy erp vanie toxick ch hor av ch alebo r dioakt vnych plynov dodr iavajte pros m po adovan postupy pre likvid ciu jednotliv ch plynov Nepou vajte v vevu v pr tomnosti v bu n ch plynov Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 226 315 N vod na Obsluhu 15 Zapnutie a pou itie zariadenia Turbo V 1K G Nasledujuce pokyny sa aplikuju na Turbo V 1K G pou itu v kombin cii so zariaden m Na
99. approvata a livello internazionale Utilizzare questo cavo e spina insieme ad una presa adeguatamente connessa a terra per evitare scosse elettriche e soddisfare i requisiti delle norme CE Le alte tensioni che si sviluppano nel controller possono provocare gravi lesioni o la morte Prima di eseguire delle operazioni di manutenzione all interno dell unit scollegare il cavo di alimentazione Arresto di Emergenza Per arrestare in condizioni di emergenza la Turbo V 1K G occorre staccare il cavo di alimentazione dal controller Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 24 315 Istruzioni per l uso 1 Manutenzione La Turbo V 1K G non richiede alcuna manutenzione Qualsiasi intervento deve essere eseguito da personale autorizzato 2141311131741 Prima di effettuare qualsiasi intervento sul sistema scollegarlo dall alimentazione mandare all aria la pompa aprendo l apposita valvola attendere fino al completo arresto del rotore ed attendere che la temperatura superficiale della pompa sia inferiore a 50 C In caso di guasto possibile usufruire del servizio di riparazione Agilent o del Agilent advanced exchange service che permette di ottenere un sistema rigenerato in sostituzione di quello guasto Prima di rispedire al costruttore un sistema per riparazioni o advanced exchange service indispensabile compilare e far pervenire al locale ufficio vendite la scheda Sicurezza e Salute allegata al presente manuale di istruzioni C
100. ara nad pritiskom atmosfere Temperatura od 5 C do 35 C slej diagram pritisk temperatura v prilogi Technical Information Relativna vla nost O 95 brez kondenza POZOR Snemite lepilni trak in za itni pokrov ele takrat ko pove ete turbo rpalko na sistem V prisotnosti magnetnih polj mora rpalka biti za itena s feromagnetnim itom Za dodatne informacije glejte prilogo Technical Information Turbo V 1K G mora biti priklju ena na primarno rpalko glejte shemo v Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 231 315 Priro nik za Navodila 16 Pritrjevanje rpalke SUITE Ce pride do napake na rotorju potem lahko med povezavo rpalke s sistemom pride do velikega navora Ce povezava ne more izdr ati tak nega navora se lahko rpalka izklju i iz sistema ali se ohi je motorja iztrga iz nosilca rpalke V tak nem primeru lahko priletijo kovinski delci iz rpalke ali iz sistema in povzro ijo resne po kodbe ali smrt in ali po kodujejo bli njo opremo Namestite Turbo V 1K G v stabilen polo aj tako da montirate dovodno prirobnico turbo rpalke na prirobnico na sistemu tako da povezava lahko zdr i navor 8900 Nm okoli svoje osi Naslednja tabela prikazuje za vsako ISO F prirobnico tevilo potrebnih vijakov ter potreben navor za pritrjevanje Tabela 1 Prirobnica N Navor ISO 160F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm Razred jeklenih vijakov za F p
101. arbeiten innerhalb der Einheit die Stromkabel trennen Not Aus Zur Stillsetzung der Turbo V 1K G in Notsituationen ist vom Controller das Netzkabel abzuziehen Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 38 315 Gebrauchsanleitung 2 Wartung Die Turbo V 1K G erfordert keine Wartung Eventuelle Eingriffe d rfen nur von autorisiertem Fachpersonal ausgefuhrt werden Vor jedem Eingriff am System den Netzstecker ziehen die Pumpe ber Offnung des entsprechenden Ventils bel ften und abwarten bis der Rotor vollkommen stillsteht und die Temperatur am Pumpengeh use unter 50 C abgesunken ist Bei Defekten kann der Agilent Service oder der Agilent advanced exchange service in Anspruch genommen werden der ein general berholtes System als Ersatz f r das defekte System zur Verf gung stellt Bevor Fa Agilent ein System zur Reparatur oder den Umtauschdienst eingesandt wird ist das Formular Sicherheit und Gesundheit das diesem Handbuch beiliegt ausgef llt an die rtliche Verkaufsstelle zu senden Eine Kopie ist der Verpackung des Systems vor dem Versand beizulegen Eine eventuelle Verschrottung hat unter Beachtung der einschl gigen nationalen Vorschriften zu erfolgen Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 39 315 Gebrauchsanleitung 2 Entsorgung Bedeutung des WEEE Logos auf den Etiketten Das folgende Symbol ist in Ubereinstimmung mit der EU Richtlinie WEEE Waste Electrical and Electronic Eguipment angebr
102. ast a rendszer hasznalata elott A vakuumkamra melegitese k zben a bemeneti szelep homerseklete nem haladhatja meg a 80 C ot TV 749 RR Soha ne haszn lja a turb szivatty t amikor a bemeneti karima nincs csatlakoztatva a vakuumkamrahoz Ne erintse meg a turboszivattyut vagy annak tartozekait a melegitesi folyamat kozben Magas homerseklet egest okozhat FIGYELEM Ker lje a szivatty uteset razasat vagy durva mozgatasat zem k zben A csapagyak megserulhetnek Hasznaljon port l s szilard r szekt l mentes leveg t vagy k z mb s g zt a szivatty szell ztetesehez A szell z porton l v nyomasnak 2 barn l kisebbnek kell lennie a legk r nyom s f l tt Agressziv gazok szivattyuzasahoz ezek a szivatty k fel vannak szerelve egy k l nleges porttal hogy lehet v tegy k k z mb s gaz pl N2 Ar stabil aramlasat vedelmet visel szivatty szamara lasd Technical Information fuggelek 1113215 488 Amikor a szivatty t m rgez gy l kony vagy radioaktiv g zok szivatty z s ra hasznalja k rem k vesse az egyes gazok artalmatlanitasahoz sz ks ges eljarasokat Ne hasznalja a szivattyut robbano gazok jelenleteben Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 184 315 Felhaszn l i Kezikonyv 12 A Turbo V 1K G bekapcsol sa es hasznalata Az alabbi utasitasokat a Navigator controller 969 8978M005 modell esyutt hasznalt Turbo V 1K G eseteben kell alkalmazni Kovesse az esyseg k
103. ated by a remote host computer via the serial connection A Windows based software is available optional Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 263 315 Technical Specification Table 2 Technical Specification Component Pumping speed without inlet screen Ar Nz He Hz Compression ratio Ar No He Hz Base pressure with recommended forepump Inlet flange Foreline flange Rotational speed Start up time Recommended forepump Operating position Operating ambient temperature Bakeout temperature Vibration level displacement Lubricant Cooling requirements Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 Technical Information 18 Description ISO 160 ISO 200 150 l s 1040 l s 810 l s 1080 I s 950 l s 1150 1 s 680 l s 730 l s gt 5 x 108 gt 5 x 107 gt 4 x 104 1 5 x 104 gt 1 x 10 10 mbar According to standard DIN 28 428 the base pressure is that measured in a leak free test dome 48 hours after the completion of test dome bake out with a Turbopump fitted with a ConFlat flange and using the recommended pre vacuum pump ISO 160 ISO 200 KF 25 NW ISO 160 inlet flange KF 40 NW ISO 200 inlet flange 45660 rpm lt 5 minutes ISO 160 gt 20 m3 h TriScroll 600 DS 602 HS 452 HS 652 ISO 200 gt 36 m3 h Any 5 C to 35 C 80 C at inlet flange max ISO flange lt 0 01 um at inlet flange permanent lubrication Water 264 315 Table 2 Technical Specification
104. avod k Pou iti 203 Bezpe nostni navod pro Turbomolekularni wyv wy 204 V eobecne Informace 205 Uskladn ni 207 Priprava k instalaci 208 Instalace 209 Monta vyv vy 210 PouZit 212 dr ba 215 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 10 315 Contents 15 Navod na Obsluhu 217 Bezpe nostn n vod pre Turbomolekul rne v vevy 218 V eobecne Inform cie 219 Uchovavanie 221 Pr prava na In tal ciu 222 In tal cia 225 Upevnenie vyvevy 224 Pou itie 226 dr ba 229 16 Priro nik za Navodila 231 Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke 232 Splo ne Informacije 233 Shranjevanje 235 Priprava za monta o 236 Monta a 237 Pritrjevanje rpalke 238 Uporaba 240 Vzdr evanje 243 17 Instructions for Use 245 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps 246 General Information 247 Storage 249 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 11 315 Contents Preparation for installation 250 Installation 251 Pump Fixing 252 Use 254 Maintenance 257 18 Technical Information 259 Pump Description 261 969 8978M005 Controller description 263 Technical Specification 264 Turbo V 1K G Outline 267 Interconnections controller model 969 8978M005 269 RS 232 RS 485 Communication Description 281 Inlet Screen Installation 290 Water Cooling Kit Installation 293 Vent Accessories 296 Purge Valve Installation 301 Serial Cable Installation for 969 8978M005 Navigator controller only 303 Turbo V 1K G Navigator Controller Insta
105. bavena zne i uj c ch l tek a proto je vhodn pro aplikace vy aduj c iste vakuum Kdy se v v va pou v se za zen m Navigator controller 969 8978M005 je vybavena p davn mi konektory pro p ipojen p davn ho ventil toru ovl d n odvzdu ovac ho ventilu kter je ovl d n na d lku pomoc hostitelsk ho po ta e p ipojen ho s riovou linkou RS232 nebo RS485 N sleduj c odstavce obsahuj informace pot ebn k zaji t n bezpe nosti obsluhy p i pou v n tohoto za zen Podrobn informace jsou uvedeny v p loze Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 205 315 Navod k Pou iti 14 Tento manual pou iva nasledujici standardni protokol NEBEZPECI Odkazy ktere upozornuji na nebezpe i a donuti operatora aby se ridil dle procedury nebo specifick praktiky ktera nebude li r dn vykonana mu e ohrozit va nym zpusobem jeho zdravi POZOR Tyto zpr vy b vaj vizualizovany p ed jakoukoliv procedurou je t eba se jimi dit aby nedo lo k po kozen p stroje Pozn mky vyjmut z textu obsahuj velmi d le it informace Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 206 315 Navod k Pou iti 14 Uskladneni Aby byla zaji t na maximalni provozuschopnost a spolehlivost turbomolekularnich vyv v firmy Agilent musite dodr ovat nasledujici pokyny P i p eprav p em s ov n a skladov n vyv v byste nem
106. bo de alimentacao Paragem de emergencia Para deter a Turbo V 1K G em condic es de emergencia necess rio desligar do controller o cabo de alimentacao Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 83 315 Manual delstruc es 5 Manutencao A Turbo V 1K G nao reguer gualguer manutenc o Todas as opera es devem ser efectuadas por pessoal autorizado ANA Antes de executar gualguer operacao no sistema desliga lo da alimentacao introduzir ar na bomba abrindo a valvula especifica aguardar ate a completa paragem do rotor e ate gue a temperatura superficial da bomba seja inferior a 50 C Em caso de defeito poss vel usufruir do servi o de assist ncia Agilent ou do Agilent advanced exchange service gue permite obter um sistema regenerado gue substitua a bomba com defeito Antes de reenviar ao fabricante um sistema para as reparac es ou o advanced exchange service indispensavel preencher e enviar ao escritorio de vendas local a ficha Seguranca e Sa de anexa ao presente manual de instruc es A c pia da mesma deve ser colocada na embalagem do sistema antes da expedic o Caso uma bomba deva ser destru da proceder sua eliminac o respeitando as normas nacionais espec ficas Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 84 315 Manual delstruc es 5 Eliminacao Significado do logotipo WEEE presente nos rotulos O s mbolo abaixo indicado aplicado de acordo com a directiva CE denominada WE
107. bytteservice som kan tilby overhalte system til erstatning for det gdelagte systemet For systemet returneres til produsenten for reparasjon eller som innbytte for et overhalt system ma det vedlagte skjemaet Helse og sikkerhet fylles inn og sendes til det lokale salgskontoret En kopi av dette arket ma vedlegges systemet som sendes tilbake Dersom et system skal kasseres ma dette skje i henhold til nasjonale bestemmelser Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 143 315 Instruksjon Manual 9 Eliminering Betydningen av symbolet p logo WEEE pa etikettene Symbolet nedenunder som finnes er anvendt i henhold til EC direktiv kalt WEEE Dette symbolet som bare gjelder for land i Det europeiske fellesselskap viser at produktet som det sitter pa IKKE ma behandles som vanlig hus industriavfall men ma legges i kildesortering Derfor oppfordrer man den sluttelige brukeren av anordningen a henvende seg til leveranderen av anordningen som kan v re et firma eller en forhandler som s rger for oppsamling og eliminering etter a ha kontrollert avtaler og betingelser i kjgpekontrakten Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 144 315 Turbo V 1K G User Manual Ohjek sikirja Turbomolekyylipumppujen Turvaohjeet 146 Yleisi Tietoja 147 Varastointi 149 Valmistelut asennusta varten 150 Asennus 151 Pumpun kiinnitys 152 K ytt 154 Turbo V 1K Gin k ynnistys ja k ytt 155 Turbo V 1K Gin pys ytt minen 155 H t pys
108. cas de panne individuelle conform ment la norme EN 61010 1 Pour l installation des accessoires en option se reporter Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 50 315 Mode d emploi 3 Utilisation Ce paragraphe pr sente les principales procedures op rationnelles Avant d utiliser le syst me effectuer tous les branchements lectriques et pneumatiques Pendant le chauffage ventuel de la chambre a vide la temperature de la bride d entr e ne doit pas d passer 80 C INU RAS Ne jamais faire fonctionner la pompe si la bride d entr e n est pas reli e la chambre a vide ou si elle n est pas fermee avec la bride de fermeture Eviter de toucher la turbopompe ainsi que ses accessoires ventuels pendant les operations de chauffage La temperature lev e peut tre a l origine de lesions graves auma Lorsque la turbopompe fonctionne viter tout choc oscillation ou d placement brusque car les paliers pourraient se d t riorer Pour le refoulement de l air de la pompe utiliser de l air ou du gaz inerte exempt de poussi re ou de particules La pression d entr e travers la porte pr vue cet effet doit tre inf rieure 2 bar au del de la pression atmosph rique Pour le pompage de gaz agressifs ces pompes sont dot es d une porte sp ciale travers laquelle il est n cessaire de fournir la pompe un flux de gaz inerte azote ou argon pour prot ger les paliers voir l app
109. ce with the EC WEEE Waste Electrical and Electronic Equipment Directive This symbol valid only in countries of the European Community indicates that the product it applies to must NOT be disposed of together with ordinary domestic or industrial waste but must be sent to a differentiated waste collection system The end user is therefore invited to contact the supplier of the device whether the Parent Company or a retailer to initiate the collection and disposal process after checking the contractual terms and conditions of sale Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 258 315 Technical Information 18 Maintenance CA s N oo e Go 18 0 Technical gt M Information Pump Description 261 969 8978M005 Controller description 263 Technical Specification 264 Turbo V 1K G Outline 267 Interconnections controller model 969 8978M005 269 P3 Vent 270 P4 External fan 270 J1 In Out271 J2 Serial 279 RS 232 RS 485 Communication Description 281 Communication Format 281 Communication Protocol 281 Window Meanings 286 Original Instructions Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 259 315 Technical Information 18 Inlet Screen Installation 290 Water Cooling Kit Installation 293 Vent Accessories 296 Navigator Controller Compatible Vent Valve model 969 9834 296 Standard Rack Controller Compatible Vent Valve model 969 9843 298 Vent Device model 969 9831 299 Purge Valve Installation 30
110. characterized by its high compression ratio also for oil vapors When using a mechanical oil sealed pump it is advisable to install a suitable trap between the turbopump and the fore vacuum pump in order to prevent oil backstreaming Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 305 315 Technical Information 18 Electrical Connection a lt PUMP ON s d MOTOR q URBLI V PUMP Figure 39 Electrical Connection The turbopump is connected to the controller through an 8 pin connector Pins B and D are the 3 phase supply to the motor pins A and F are connected to the temperature sensor NTC type 30 KQ resistance at 25 C and pin E is connected to the pump sround pins G and H are not connected If the temperature sensor is disconnected the pump will not start To prevent damage to the pump when the temperature exceeds 60 C the sensor automatically cuts out the power supply Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 306 315 Technical Information 18 Pump Used With Corrosive Gases To prevent damage to the bearings an inert gas must flow into the pump body around the upper bearing towards the forevacuum line To supply the inert purge gas e g nitrogen to the pump through the purge port connect a gas purge valve between the pressure regulator and the pump Adjust the pressure regulator in order to read a gas flow rate of 0 1 to 0 8 mbar l s CAUTION To prevent bearing damage Agilent suggests
111. cuum pump Turbopump Vent valve Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 308 315 Technical Information 18 Pump used in presence of magnetic fields Magnetic fields induce eddy currents in the rotor of a turbomolecular pump that tend to oppose to its rotation The result is increased electrical power consumption by the motor most of which is dissipated in the rotor Since the rotor is not in contact with the stator the above power can leave the rotor mainly by radiation and hence the rotor may be overheated while static parts of the pump remain cool This effect is strongly dependant from the intensity time function and distribution of the magnetic field In general therefore an increase in pump current can be expected If this increase is lower than 50 of the current value drawn by the motor in high vacuum operation no particular problem should be expected However if the effect is grater than the case should be carefully reviewed by Agilent s specialist As a matter of fact in case of high magnetic fields also important forces might be generated and applied to the rotor Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 309 315 Technical Information 18 Accessories and spare parts Table 8 Accessories and spare parts Part Description 969 9958 _Mains cable NEMA Plug sm long ooo 909 9957 0 Mains cable European Plug 3m long 909 9803 1 1 Serial cable and Navigator Software
112. d the water temperature must be between 10 C and 20 C Select WATER COOLING setting Navigator Controller WIN 106 1 Rack Controller WIN 102 1 when pumping NITROGEN or lighter gases in this case the max power is 400 W Select AIR COOLING setting Navigator Controller WIN 106 0 Rack Controller WIN 102 0 when pumping ARGON gas in this case the max power is 260 W A thermistor sensor is mounted near the upper bearing to prevent the pump from overheating Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 261 315 Technical Information 18 The pump is balanced after assembly with a residual vibration amplitude less than 0 01 um The pump can operate in any position and can be supported on the high vacuum flange The connection of the forevacuum on the side of the pump is a KF 25 NW flange 869 8961 R002 model and a KF 40 NW flange 869 8962R001 model Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 262 315 Technical Information 18 969 3978M005 Controller description The dedicated controller is a solid state frequency converter which is driven by a single chip microcomputer and is composed of two PCBs which include power supply and 3 phase output analog and input output section microprocessor and digital section The power supply together with the 3 phase output converts the single phase AC mains supply into a 3 phase low voltage medium frequency output which is required to power the pump The controller can be oper
113. data seuraavia ohjeita jotta Agilent turbomolekyylinen pumppu toimisi eritt in tehokkaasti ja luotettavasti Kun pumppua kuljetetaan siirret n ja varastoidaan seuraavia ymp r ivi olosuhteita ei tule ylittaa l mp tila 20 C 70 C Suhteellinen kosteus 0 95 ei tiivist v Asiakkaan tulee aina kaynnistaa turbomolekyylinen pumppu soft start tavalla vastaanottaessaan pumpun ja kayttaessaan sita ensimm isen kerran Turbomolekyylisen pumpun varastointlaika on 10 kuukautta toimitusp iv st Varastointiaika on jostain syyst pidempi pumppu tulee palauttaa tehtaalle Pyyd lis tietoja paikalliselta Agilent edustajalta Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 149 315 Ohjek sikirja 10 Valmistelut asennusta varten Turbo V 1K G toimitetaan erityisessa suojapakkauksessa mikali siina on mahdollisesti kuljetuksen aikana tapahtuneita vaurioita ottakaa yhteys paikalliseen myyntitoimistoon Pakkauksen purkamisen aikana tulee varoa erityisesti Turbo V 1K Gin putoamista tai siihen kohdistuvia iskuja tai t rin it Pakkausta ei tule j tt ymp rist n Pakkausmateriaali voidaan kierr tt kokonaisuudessaan ja se vastaa EY direktiivi 85 399 ymp rist n suojelusta Jotta kaasun vuoto ongelmilta v ltytt isiin ei tyhji lle altistuviin osiin tule koskea paljain k sin K ytt k aina k sineit tai muuta sopivaa suojausta Turbo V 1K G ei vahingoitu ollessaan kosketuksissa ilman kanss
114. e est en rotation normale clignote lentement p riode d environ 400 ms le syst me est en tat de rampe de freinage de stop ou d attente interlock clignote rapidement p diode d environ 200 ms condition d erreur Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 52 315 Mode d emploi 3 Arr t de la Turbo V 1K G Pour arreter la Turbo V 1K G il suffit de retirer la tension d alimentation Le controleur incorpor arrete immediatement la pompe Pour la s curit de l op rateur le contr leur Turbo V doit tre aliment par un cable d alimentation a 3 fils voir le tableau des parties qui peuvent tre ordonn es dot d une fiche approuv e niveau international Utiliser ce c ble et cette fiche avec une prise connect e d une mani re ad quate terre pour viter des d charges lectriques et satisfaire les requis des normes CE Les tensions lev es qui se d veloppent dans le contr leur peuvent provoquer de graves endommagements ou la mort Avant d effectuer les op rations d entretien l int rieur de l unit d brancher le c ble d alimentation Arr t d urgence Pour arr ter la Turbo V 1K G en cas d urgence d brancher le cordon d alimentation du controleur Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 53 315 Mode d emploi 3 Entretien La Turbo V 1K G n exige aucun entretien particulier Toute intervention doit tre effectu e par un personnel agr MACD SUIS Avant toute intervention su
115. e evaluation will be deducted from the final repair pricing Purchase Order for the final repair price should be issued within 3 weeks of quotation date Units without a Purchase Order for repair will be returned to the customer and the evaluation Tee will be invoiced a A Special Cleaning fee will apply to all exposed products per Section of this document iH requestrq a calibration service units must be functionally capable of being calibrated United States Agilent Technologies Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 1 781 861 7200 Fax 1 781 860 5437 Toll Free 1 800 882 7426 Benelux Agilent Technologies Netherlands B V Vacuum Products Division Herculesweg 8 4338 PL Middelburg The Netherlands Tel 31 118 671570 Fax 31 118 671569 Toll Free 00 800 234 234 00 Canada Central coordination through Agilent Technologies Vacuum Products Division 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 1 781 861 7200 Fax 1 781 860 5437 Toll Free 1 800 882 7426 China Agilent Technologies China Co Ltd Vacuum Products Division No 3 Wang Jing Bei Lu Chao Yang District Beijing 100102 China Tel 86 10 6439 7718 Toll Free 800 820 6556 France Agilent Technologies France Vacuum Products Division 7 Avenue des Tropigues Z A de Courtaboeuf B P 12 91941 Les Ulis cedex France Tel 33 0 1 69 86 38 84 Fax 33 0 1 69 86 29 88 Toll free 0
116. echnical Information 18 J1 In Out Figure 8 This connector carries all the input and output signals to remote control the Turbo V 1K G It is a 15 pins D type connector the available signals are detailed in the table the following paragraphs describe the signal characteristics and use Table 3 PinN Signal Name Input Output 1 START STOP IN 2 START STOP IN 3 INTERLOCK IN 4 INTERLOCK IN 5 SPEED SETTING IN 6 SPEED SETTING IN 1 SOFT START IN 8 SOFT START IN 9 24 Vdc OUT 10 SPARE 11 PROGRAMMABLE SET POINT OUT 12 SPARE 13 FAULT OUTPUT OUT 14 PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL OUT Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 211 315 Technical Information 18 Table 3 15 GROUND OUT PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL Signal description START STOP input signal to start or stop the pump With the supplied cover connector the START STOP signal is connected to the 24 Vde pin and the START STOP signal to the GROUND pin in this condition the pump automatically starts as soon as the controller recognises the input supply Plug amp Pump INTERLOCK input signal to control the pump rotation With the supplied cover connector the INTERLOCK signal is connected to the 24 Vde pin and the INTERLOCK signal to the GROUND pin SPEED SETTING PWM input signal to set the pump speed The PWM signal characteristics must be the following frequency 100 Hz 20 a
117. ed until it is installed in the system thus preventing any form of pollution by dust Figure 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 250 315 Instructions for Use 17 Installation Do not install or use the pump in an environment exposed to atmospheric agents rain snow ice dust aggressive gases or in explosive environments or those with a high fire risk During operation the following environmental conditions must be respected maximum pressure 2 bar above atmospheric pressure temperature from 5 C to 35 C see the diagram pressure temperature in the appendix Technical Information relative humidity 0 95 non condensing CAUTION Do not remove the adhesive and protective cap before connecting the turbopump to the system In the presence of magnetic fields the pump must be protected using a ferromagnetic shield See the appendix Technical Information for detailed information The Turbo V 1K G must be connected to a primary pump see Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 251 315 Instructionsfor Use 17 Pump Fixing WARNING If a rotor failure occurs the connection of the pump to the system could be subjected to a significant torque If the connection is not sufficient to withstand that torgue the pump could detach from the system or the motor housing could detach from the pump envelope In this case metal fragments could be projected from
118. edan galler Turbo V 1K G som anvands i kombination med Navigator controller modell 969 8978M005 Se enhetens handbok f r anv ndning med den andra modellen av styrenhet 969 9454M002 F r att starta Turbo V 1K G beh ver du bara ansluta till ett eluttag Den inbyggda styrenheten k nner automatiskt igen f rreglings och startsignaler och startar pumpen Pumpens f rsta start sker i Mjukstart l get som i slutet av inledningscykeln sl s av automatiskt D refter sker pumpens inledningar utan funktionen Mjukstart F r att teraktivera Mjukstart m ste man terst lla ovann mnda l ge genom mjukvaran se stycket RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION i bilagan Technical information Den gr na lysdioden LD1 p underdelen av Navigator controller anger genom frekvensen av dess blinkningar hur systemet fungerar fast sken pumpen roterar normalt l ngsamt blinkande ungef r var 400 ms systemet r i lage f r acceleration bromsning Stop eller Waiting for interlock hastigt blinkande ungef r 200 ms feltillst nd Att st nga av Turbo V 1K G Om du vill st nga av Turbo V 1K G beh ver du bara dra ut elkabeln ur v gguttaget Den inbyggda styrenheten avbryter omedelbart pumpens funktion Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 127 315 Bruksanvisning 8 For operat rens s kerhet b r Turbo V systemet vara anslutet med en str mkabel med 3 stycken ledare se tabellen ver ordinerbara delar t
119. eere opstaet under transporten Sorg for at Turbo V 1K G ikke tabes eller uds ttes for stgd eller vibrationer Smid ikke emballagen ud Materialet kan genbruges 100 og opfylder EU direktiv 85 399 om miljgbeskyttelse FORSIGTIG Komponenter der skal uds ttes for vakuum ma ikke bergres med bare heender idet der er risiko for afgasning Anvend altid handsker eller anden lignende beskyttelse Normal atmosfarisk pavirkning kan ikke skade Turbo V 1K G Det anbefales dog at opbevare pumpen i en lukket kasse indtil den skal installeres Herved forhindres at der kommer stev i pumpen Figur 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 108 315 Istruktionsbog 7 Installation Install r og anvend ikke pumpen i miljger der udseettes for pavirkninger fra atmosf ren regn sne is damp aggressive gasser og ligeledes ikke i eksplosivt eller brandfarligt miljg Fglgende krav til omgivelsesforholdene geelder ved drift max tryk Z bar over det atmosf riske tryk temperatur fra 5 C til 35 C se illustrationen i bilaget Technical Information relativ luftfugtighed 0 95 ikke kondenserende TT TAN Tapen og beskyttelsesproppen fjernes f rst n r turbopumpen tilsluttes systemet Hvis pumpen er anbragt i neerheden af elektromagnetiske felter skal den afsk rmes Se bilaget Technical Information for yderligere oplysninger Turbo V 1K G skal tilsluttes en hovedpumpe se skemaet Technical
120. ej pr ni Pompa jest w stanie pompowa jakikolwiek typ gazu lub mieszanki gazowej ale nie jest przystosowana do pompowania p yn w lub sta ych cz stek Zjawisko pompowania jest uzyskane poprzez obrotow turbin o wysokiej pr dko ci max 45660 obr min nap dzan przez elektryczny silnik tr jfazowy o wysokiej wydajno ci Pompa Turbo V 1K G jest ca kowicie pozbawiona czynnik w zanieczyszczaj cych i w zwi zku z tym mo e by wykorzystywana do zastosowa gdzie jest wymagana tzw czysta pr nia Je eli pompa jest stosowana cznie ze sterownikiem typu Navigator controller 969 8978M005 posiada konektory pomocnicze poprzez kt re istnieje mo liwo zasilania dodatkowego wentylatora sterowania zaworem wentylatora zdalnego pilotowania go poprzez g wny komputer host pod czonego z szeregowym portem RS232 lub RS485 W nast pnych paragrafach zosta y przedstawione wszystkie potrzebne informacje w celu zagwarantowania bezpiecze stwa operatora podczas u ytkowania aparatury Szczeg owe informacje zosta y przedstawione w dodatku dotycz cym informacji technicznych Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 191 315 Podrecznik Instrukcji 13 W tej instrukcji zastosowano nastepujace umowne znaczenia sygnaly ostrzegajace 0 zagrozeniu powinny zwrocic uwage operatora na odpowiednia specyficzna procedure ktora jezeli nie jest przestrzegana w sposob prawidlowy
121. endice Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 51 315 Mode d emploi 3 AVERTISSEMENT Lorsque la pompe est utilis e pour le pompage de gaz toxigues inflammables ou radioactifs suivre les procedures typigues de chaque gaz Ne pas utiliser la pompe en presence de gaz explosifs Mise en marche et utilisation de la Turbo V 1K G Les instructions gui suivent concernent la Turbo V 1K G utilis e en association avec le Navigator controller modele 969 8978M005 Pour l utilisation avec l autre mod le de contr leur 969 9454M002 veuillez consulter le manuel de l unit 969 9454M002 Pour allumer la Turbo V 1K G il suffit de fournir la tension d alimentation Le contr leur incorpor reconnait automatiquement la pr sence de signaux d interlock et de d marrage et il actionne la pompe La premi re mise en marche de la pompe se fait en mode Soft Start Au terme du cycle de d marrage ce mode se d sactive automatiquement et les mises en marche suivantes se font sans le passage Soft Start Pour obtenir nouveau une mise en marche Soft Start il faut r activer ce mode op ratoire l aide du logiciel Cf paragraphe RS232 RS485 COMMUNICATION DESCRIPTION dans l appendice Technical Information La LED verte LDI situ e sur le panneau de la base du Navigator controller indique par sa fr quence de clignotement les conditions op rationnelles du syst me allum e fixe la pomp
122. entilator kan worden gevoed de luchtuitlaatkleppen kunnen worden aangestuurd en waarmee het systeem d m v een serieel aangesloten host computer op afstand kan worden bediend RS 232 RS 485 In de volgende paragrafen is alle informatie vermeld om de veiligheid van de operator tijdens het gebruik van de apparatuur te verzekeren Gedetailleerde informatie is te vinden in de bijlage Technical information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 89 315 Bedrijfshandleiding 6 Deze handleiding maakt van de volgende symbolen gebruik WAARSCHUWING Waarschuwingen bij gevaar trekken de aandacht van de operator tijdens een procedure of een specifieke handeling die zodra deze niet op de juiste manier uitgevoerd wordt kan leiden tot ernstig persoonlijk letsel e He De waarschuwingen worden voor de procedures getoond die als deze niet in acht worden genomen kunnen leiden tot beschadigingen aan de machine De aantekeningen bevatten belangrijke informatie uit de tekst Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 90 315 Bedrijfshandleiding 6 Opslag Om een zo goed mogelijke werking en betrouwbaarheid van de Turbomoleculaire pompen van Agilent te garanderen moeten de volgende voorschriften in acht worden genomen tijdens transport verplaatsing en opslag van de pompen moet aan de volgende omgevingscondities worden voldaan temperatuur van 20 C tot 70 C relatieve vochtigheid van 0 tot 95 niet condenserend
123. entuele vervuiling door stof wordt voorkomen Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 92 315 Bedrijfshandleiding 6 Uitpakken Figuur 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 93 315 Bedrijfshandleiding 6 Installatie De pomp mag niet ge nstalleerd en of gebruikt worden in ruimten die blootgesteld zijn aan de weersomstandigheden regen vorst sneeuw stof agressieve gassen of in ruimten met explosiegevaar of zeer groot brandgevaar Tijdens de werking moeten de volgende omgevingscondities aanwezig zijn max druk 2 bar boven de atmosferische druk temperatuur van 5 C tot 35 C zie grafiek in de bijlage Technical Information relatieve vochtigheid 0 95 niet condenserend ill Alleen op het moment waarop de turbopomp op het systeem wordt aangesloten mogen de sticker en de beschermdop verwijderd worden In aanwezigheid van magnetische velden moet de pomp op passende wijze afgeschermd worden Zie de bijlage Technical Information voor meer informatie De Turbo V 1K G moet op een primaire pomp aangesloten zijn zie schema in Technical information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 94 315 Bedrijfshandleiding 6 Bevestiging Van De Pomp WAARSCHUWING Als schade aan de rotor optreedt zou de verbinding tussen de pomp en het systeem aan een behoorlijk groot koppel onderhevig kunnen zijn Als de verbinding niet voldoende is om dit koppel te weerstaan zou de pom
124. ereskedelmi irodahoz lap egy masolatat szallitas el tt be kell illeszteni a rendszercsomagba Ha a rendszert le kell selejtezni azt artalmatlanitani kell a konkret nemzeti szabvanyoknak megfelel en Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 187 315 Felhaszn l i Kezikonyv 12 Megsemmisites A cimken jelenl v WEEE logo jelent se Az alabb l that szimb lum az EK WEEE elnevez s iranyelvevel sszhangban kerul alkalmaz sra Ez a szimb lum mely csak az Eur pai K z ss g orsz gaiban rv nyes azt jelzi hogy a term k melyen megtal lhat NEM ker lhet k z ns ges h ztart si vagy ipari hulladekkal egyutt megsemmisitesre hanem azt egy szelektiv hulladekgyujto rendszerbe kell tovabbitani A v gfelhaszn l nak a gy jt si s megsemmis t si elj r s beind t sa c lj b l az ad sv teli szerz d s hat rid inek s felt teleinek alapos ttanulm nyoz sa ut n fel kell vennie a kapcsolatot a berendez s szallitojaval legyen ez a gyart vagy egy viszontelad Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 188 315 Turbo V 1K G User Manual 13 Podrecznik Instrukcji Wskaz wki dotyczace bezpieczenstwa dla Pomp Turbomolekularnych 190 Og lne Informacje 191 Magazynowanie 193 Przygotowanie do instalacji 194 Instalacja 195 Mocowanie pompy 196 Uzytkowanie 198 Wlaczenie i Uzytkowanie pompy Turbo V 1K G 199 Zatrzymanie pompy Turbo V 1K G 200 Zatrzymanie Alarmowe 200 Konserwacja 201
125. es ved at abne ventilen Vent med foretagelse af indgrebet til rotoren er standset og til temperaturen pa pumpens overflade er under 50 C I tilfaelde af skader pa systemet kontaktes et Agilent reparationsveerksted eller Agilent advanced exchange service der udskifter systemet med et repareret system Inden systemet sendes til reparationsveerkstedet eller Agilent advanced axchange service skal Sikkerheds og tilstandsdokumentet der er vedlagt denne instruktionsmanual udfyldes En kopi af dette dokument skal indsattes systemets emballage inden afsendelse Skrotning af systemet skal forega i overensstemmelse med det p g ldende lands s rlige love Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 115 315 Istruktionsbog 7 Bortskaffelse Betydningen af WEEE logoet pa meerkaterne Nedenstaende symbol anvendes i overensstemmelse med det sakaldte EU direktiv WEEE Symbolet kun geeldende for EU landene viser at produktet som det sidder pa IKKE ma bortskaffes sammen med affald fra private husholdninger eller industriel affald men skal indleveres pa en godkendt affaldsstation Vi opfordrer derfor slutbrugeren til at kontakte leverandgren af anordningen enten fabrikken eller en forhandler for igangseettelse af afhentnings og bortskaffelsesprocessen efter ngje at have kontrolleret betingelserne i salgskontrakten Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 116 315 Turbo V 1K G User Manual Bruksanvisning S kerhetsa
126. fning Betydelse av logotypen WEEE pa etiketterna Symbolen som visas nedan har tillampats i enlighet med CD direktivet som har betecknats som WEEE Den har symbolen g ller endast i de l nder som tillh r den Europeiska Unionen indikerar att produkten pa vilken symbolen har applicerats INTE far skaffas bort tillsammans med vanliga hushalls eller industriavfall men att daremot ett differentierat uppsamlingssystem maste upprattas Vi rekommenderar darfor att slutanvandaren tar kontakt med leverantoren av anordninsen oberoende om det handlar om moderf retaget eller aterforsaljaren for att kunna starta uppsamlings och bortskaffningsprocessen detta efter lamplig kontroll av kontraktsenliga tidsgranser och forsaljningsvillkor N Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 130 315 Turbo V 1K G User Manual Instruksjon Manual Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyleer Pumper 132 Generell Informasjon 133 Lagring 135 Klargjere til installasjon 136 Installasjon 137 Festing av pumpen 138 Bruk 140 Starte og bruke Turbo V 1K G 141 Stoppe Turbo V 1K G 141 Nadstopp 142 Vedlikehold 143 Eliminering144 Oversettelse av den originale bruksanvisningen Turbo V 1K G 87 901 025 01 131 315 Instruksjon Manual 9 Sikkerhetsanvisninger for Turbomolekyl r Pumper Turbomolekyleer pumpene som er beskrevet i den folgende Bruksanvisningen har et hgyt kinetisk energiniv som skyldes den hgye roteringshastigheten i tillegg til den spesif
127. fundamental operating procedures Make all electrical an pneumatic connections before the use of the system While heating the vacuum chamber the temperature of the inlet flange must not exceed 80 C WARNING Never use the turbopump when the inlet flange is not connected to the vacuum chamber or is not blanked Do not touch the turbopump or any of its accessories during the heating process The high temperatures may cause burns CAUTION Avoid impacts oscillations or harsh movements of the pump when in operation The bearings may become damaged Use air or inert gas free from dust or particles for venting the pump The pressure at the vent port must be less than 2 bar above atmospheric pressure For pumping aggressive gases these pumps are fitted with a special port to allow a steady flow of inert gas like Na Ar for pump bearing protection see the appendix Technical Information ET when employing the pump for pumping toxic flammable or radioactive gases please follow the required procedures for each gas disposal Do not use the pump in presence of explosive gases Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 254 315 Instructions for Use 17 Switching on and Use of Turbo V 1K G The following instructions apply to the Turbo V 1K G used togheter with Navigator controller model 969 8978M005 Please refer to the relative control unit manual for use with other controller model 969 9454M002 To switch on
128. gilent f r udstyret anvendes Agilent tager ikke ansvar for skader helt eller delvis som folge af tilsidesattelse af disse instruktioner fejlagtig brug af personer uden tilstrsekkeligt kendskab ukorrekt anvendelse af udstyret eller handtering der strider imod geeldende lokale regler Turbo V 1K G er en turbomolekyl r pumpe til hgje eller meget hgje vakuumtilpasninger Pumpen er i stand til at pumpe en hvilken som helst form for gas eller gaslignende luftarter men den kan ikke anvendes til pumpning af vaeske eller af faste partikler Pumpningen sker ved hjeelp af en hurtigroterende turbine 45660 omdr min Turbinen drives af en elektrisk trefasemotor med hgj effekt Turbo V 1K G er helt uden skadelige stoffer og er derfor egnet til anvendelse der kreever rent vakuum Hvis Turbo V 1K G pumpen anvences med Navigator controlleren 969 8978M005 er den udstyret med hj lpestik der gar det mulist at forsyne ventilator styre ventilationsventilen og fjernstyre den ved hjeelp af en veertscomputer gennem seriel forbindelse RS 232 RS 485 De folgende afsnit indeholder oplysningerne der er nodvendige for at garantere sikkerhed for operateren i forbindelse med anvendelse af udstyret Bilaget Technical Information indeholder detaljerede oplysninger Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 105 315 Istruktionsbog 7 I brugsanvisningen anvendes fglgende standardrubrikker ADVARSEL Faremeldingerne gor operat ren opm rksom pa
129. h navodilih vsebujejo veliko koli ino kineti ne energije zaradi visoke hitrosti v povezavi s specifi nimi masami rotorjev V primeru nepravilnega delovanja sistema na primer pri dotiku rotorja statorja ali po kodbe rotorja se lahko sprosti rotacijska energija SVARILO Da bi se izognili po kodbam opreme in prepre ili po kodbe osebja morate natan no slediti navodilom za name anje opisanim v tem priro niku Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 232 315 Priro nik za Navodila 16 Splo ne Informacije Oprema je namenjena za profesionalno uporabo Pred uporabo mora uporabnik natan no prebrati navodila in vse dodatne informacije ki mu jih je posredoval Agilent Agilent ni odgovoren za dogodke ki bi nastali zaradi neupo tevanja teh navodil nepravilne uporabe s strani nepoobla enega osebja in nedovoljenega poseganja v opremo ali kakr nekoli uporabe ki ni v skladu s standardi Turbo V 1K G je turbomolekularna rpalka za visoko in ultra visoko vakuumsko uporabo rpalka lahko rpa vse tipe plinov ali plinskih zmesi vendar ni primerna za rpanje teko in ali trdnih delcev rpanje se izvaja preko vrtljive turbine z visoko hitrostjo maks 45660 rpm ki jo premika visoko u inkovit 3 fazni elektri ni motor Turbo V 1K G ne vsebuje onesna evalnih agentov in je torej primeren za isto vakuumiranje Kadar se uporablja z Navigator controller 969 8978M005 je rpalka opremljena s pomo nimi konektorji s
130. h eine hochtourige Turbine max 45660 1 min erreicht die von einem Hochleistungsdrehstrommotor angetrieben wird Die Turbo V 1K G enth lt keinerlei umweltsch dliche Substanzen und eignet sich deshalb auch fur Anwendungen die ein sauberes Vakuum erfordern Wenn sie mit dem Navigator Controller 969 8978M005 genutzt wird verf gt die Pumpe des weiteren ber Zusatzanschl sse ber die ein zus tzlicher Ventilator versorgt das Entl ftungsventil gesteuert oder die Vorrichtung von einem Host Computer ber eine serielle Leitung gesteuert werden kann RS232 RS485 In den folgenden Abschnitten sind alle erforderlichen Informationen f r die Sicherheit des Bedieners bei der Anwendung des Ger ts aufgef hrt Detaillierte technische Informationen sind im Anhang Technical Information enthalten Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 29 315 Gebrauchsanleitung 2 In dieser Gebrauchsanleitung werden Sicherheitshinweise folgenderma en hervorgehoben Die Warnhinweise deuten auf ein Verfahren oder ein besonderes Verhalten hin das bei Nichtbeachtung der Vorsichtsmassnahmen schwere pers nliche Sch den verursachen k nnte VORSICHT Die Vorsichtshinweise erscheinen vor Verfahren die bei Nichtbeachten Ger teschaden verursachen k nnten Die Hinweise enthalten wichtige Informationen aus dem Text Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 30 315 Gebrauchsanleitung 2 Lagerung Um ein H chstma an Effizienz und Zuver
131. hly zp sobit va ny raz nebo smrt a tak po kodit okoln za zen Upevn te Turbo V 1K G do stabilni polohy a pr vodn pr rubu turbomolekularni vyv vy pripevn te k protipr rub systemu pomoci p pojky kter odol to iv mu momentu 8900 Nm kolem sv osy Nasledujici tabulka uv d nezbytn po et roubu pro ka dou pr rubu ISO F a prislu ny utahovaci moment Tabulka 1 Priruba Po et Utahovaci Moment ISO 160 F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm Trida ocelovych roubu pro prirubu F musi byt gt 8 8 Turbo V 1K G mu e byt nainstalov na do libovoln polohy Turbo V 1K G nem e byt upevn na prost ednictv m sv z kladny Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 210 315 Navod k Pou iti 14 POZOR Podle sm rnice EN 61010 1 patri Turbo V 1K G se zafizenim Navigator controller 969 8978M005 do druhe elektroinstala ni nebo prep tov tridy Zarizeni p ipojte do nap jec s t kter spl uje uvedenou t du V v va Turbo V 1K G je vybavena vstupn mi a v stupn mi konektory a konektory pro s riovou komunikaci kter se mus p ipojit k extern m obvod m tak aby dn elektrick sou st nebyla p stupn Zajist te aby izolace za zen p ipojen ho k Turbo V 1K G byla p im en I v p pad jedin poruchy podle sm rnice EN 61010 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 211 315 Navod k Pou iti 14 Pouziti Tento odstavec popisuje podrobnosti zakladnich p
132. hnical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 33 315 Gebrauchsanleitung 2 Befestigung Der Pumpe ETAT wenn ein L uferschaden auftritt k nnte die Verbindung zwischen der Pumpe und dem System mit einem erheblichen Drehmoment belastet werden Setzt die Verbindung diesem Drehmoment keinen ausreichenden Widerstand entgegen besteht die M glichkeit dass sich die Pumpe vom System oder der Motor vom Pumpengeh use lost In diesem Fall konnten Metallsplitter von der Pumpe oder vom System geschleudert werden die schwere Sch den oder den Tod und oder Schaden an benachbarten Ger ten zur Folge haben k nnten Die Turbo V 1K G in einer stabilen Position befestigen Den Eintrittsflansch der Turbopumpe am Gegenflansch des Systems montieren Diese Verbindung soll einem Drehmoment von 8 900 Nm um die eigene Achse standhalten Die nachstehende Tabelle gibt an wieviel Schrauben fur jeden ISO F Flansch erforderlich sind und mit welchem Anzugsmoment sie festzuziehen sind Tabelle 1 Flansch Anz Anzugsmoment ISO 160 F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm F r die Flansche F m ssen die Stahlschrauben von der Klasse gt 8 8 sein Die Turbo V 1K G kann in jeder beliebigen Position installiert werden Die Turbo V 1K G kann nicht mittels ihres Sockels befestigt werden Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 34 315 Gebrauchsanleitung 2 VORSICHT Die Turbo V 1K G mit Navigator Controller 969 8978M005 geh rt zur zweiten Insta
133. hten totdat de rotor volledig stil staat en de oppervlaktetemperatuur van de pomp onder een temperatuur van 50 C is gezakt In geval van storing is het mogelijk om de reparatiedienst van Agilent of de Agilent advanced exchange service in te schakelen zo krijgt men een ruilpomp ter vervanging van de defecte pomp Alvorens de pomp ter reparatie of ruil naar de fabrikant op te sturen moet de bij deze handleiding gevoegde kaart Veiligheid en Gezondheid volledig ingevuld naar het plaatselijke verkoopkantoor worden gestuurd Een kopie van deze kaart moet v r versturing bij de pomp in de verpakking worden gevoegd Mocht het systeem gesloopt worden ga dan overeenkomstig de specifieke nationale wetgeving te werk Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 100 315 Bedrijfshandleiding 6 Afvalverwerking Betekenis van het logo WEEE op de etiketten Het onderstaande symbool wordt aangebracht in overeenstemming met de EG richtlijn WEEE Dit symbool alleen geldig voor de landen van de Europese Gemeenschap geeft aan dat het product waarop het is aangebracht NIET mag worden afgevoerd samen met mormaal huisvuil of industrieel afval maar gescheiden moet worden ingezameld De eindgebruiker wordt dus verzocht contact op te nemen met de leverancier van het apparaat zij het de fabrikant of een wederverkoper om het proces van gescheiden inzameling en verwerking in gang te zetten na de van toepassing zijnde termen en voorwaarden van he
134. ikke massen til pumpenes rotor I tilfelle feil ved systemet for eksempel pa grunn av en kontakt mellom rotor og stator eller brudd pa rotoren kan roteringsenergien bli frigitt ADVARSEL For a unnga skader pa utstyret og forebygge operatorskader ma A installasjonsanvisningene beskrevet i denne manualen folges noye Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 132 315 Instruksjon Manual 9 Generell Informasjon Dette utstyret er beregnet til bruk av profesjonelle brukere Brukeren bor lese denne brukerveiledningen og all annen informasjon fra Agilent for utstyret tas i bruk Agilent kan ikke holdes ansvarlig for hendelser som skjer pa grunn av manglende oppfglging av disse instruksjonene selv delvis feilaktig bruk av utrent personell ikke autoriserte endringer av utstyret eller handlinger som pa noen mate er 1 strid med nasjonale bestemmelser Turbo V 1K G er en turbo molekul r pumpe for bruk i hgy eller ultrahgye vakuum Pumpen kan pumpe nesten alle typer gass eller sassforening Det er ikke egnet for a pumpe veesker eller faste partikler Pumpingen oppn s med en h yhastighetsturbin maks 45660 opm koplet til en trefaset elektrisk motor Turbo V 1K G har ingen forurensende stoffer og er derfor egnet for anlegg med behov for rene vakuum Nar pumpen brukes sammen med Navigator controller 969 8978M005 har den dessuten hjelpekontakter som gir muligheter for forsyning av en ekstra vifte styring av utluftingsventilen og fjern
135. illsammans med kontakt godk nd pa internationell niva Anv nd sladden och kontakten tillsammans med en jordad anslutning for att undvika stotar och enligt kr vande EU normer Den h ga sp nningen som framkallas av controller enheten kan orsaka personskador eller till och med d da Dra d rf r alltid ur str mkabeln innan eventuella underhallsarbeten utfors inuti enheten Nodstopp Dra ut elsladden fran styrenheten for att utfora ett nodstopp av Turbo V 1K G Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 128 315 Bruksanvisning 8 Underh ll Turbo V 1K G r underh llsfritt Allt servicearbete m ste utf ras av auktoriserad personal VARNING Innan nagot arbete utf rs pa systemet maste pumpens str mf rs rjning avbrytas och pumpen luftas genom att den aktuella ventilen ppnas V nta sedan tills rotorn stannat samt tills pumpens yttemperatur r l gre n 50 C Om pumpen havererar kontakta Agilent reparationsverkstad eller Agilent utbytesservice som kan ers tta systemet med ett renoverat system Innan systemet l mnas in till tillverkaren f r reparation eller utbyte mot en renoverad enhet m ste h lso och s kerhetsbladet som medf ljer bruksanvisningen fyllas i och skickas in till den lokala terf rs ljaren Bifoga dessutom en kopia av bladet med pumpen Skrotning av pumpen skall ske enligt g llande lagstiftning Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 129 315 Bruksanvisning 8 Bortskaf
136. ines dimensions are in inches mm GAS PURGI ELECTRICAL CONNECTOR Figure 2 869 8961R002 ISO 160 F inlet flange KF25 foreline flange and 868 8962R001 ISO 200 F inlet flange KF40 foreline flange Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 267 315 Technical Information 18 Argon Mitrogen Helium Hydrogen w H w m U iz a E 3 a d 1 E 05 1 E 04 Inlet Pressure mbar Figure 3 Pumping speed diagram for 869 8962R001 ISO 200F flange turbopump model with a 36 m3 h foreline pump Argon Nitrogen Helium Hydrogen Compression Ratio 1EHO 1E 01 Foreline Pressure mbar Figure 4 Graph of compression ratio vs foreline pressure Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 268 315 Technical Information 18 Interconnections controller model 969 8978M005 The following figure shows the Turbo V 1K G interconnections with Navigator controller 969 8978M005 For Rack Controller models see the specific controller manuals Figure 5 Interconnections Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 269 315 Technical Information 18 P3 Vent Figure 6 This is a dedicated 24 Vde connector to control the optional vent valve P4 External fan Figure 7 This is a dedicated 24 Vde connector to supply an optional external fan Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 270 315 T
137. ing for interlock 200 ms Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 170 315 11 Turbo V 1K G Turbo V 1K G O To controller Turbo V eykekpip vo TOV va controller va
138. ingarna innehaller viktig information som tagits ur texten Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 120 315 Bruksanvisning 8 Forvaring Respektera foljande anvisningar for att garantera optimal prestanda och driftsakerhet for Agilent turbomolekylara pumpar Vid transport flytt och lagring av pumparna ska f ljande omgivningsf rh llanden respekteras Temperaturomr de 20 C till 70 C Relativ fuktighet O till 95 utan kondens Kunden ska alltid mjukstarta de turbomolekylara pumparna n r de mottas och s tts i drift for f rsta g ngen De turbomolekylara pumparna kan lagras i 10 m nader fran leveransdatumet missa Om lagringstiden av nagon anledning r l ngre m ste pumpen skickas tillbaka till fabriken Var god och kontakta den lokala Agilent terf rs ljaren f r ytterligare information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 121 315 Bruksanvisning 8 F rberedelser for installationen Turbo V 1K G levereras i ett s rskilt skyddande emballage Kontakta det lokala f rs ljningskontoret om emballaget visar tecken p skador som kan ha uppst tt under transporten Se till att Turbo V IK G inte tappas eller uts tts f r st tar eller vibrationer vid uppackningen Kasta inte packmaterialet i soporna Materialet r tervinningsbart till 100 och uppfyller EU direktiv 85 399 om milj skydd IUT Komponenter som skall uts ttas f r vakuum far inte hanteras med bara hander p g a kontamineringsr
139. ions du contrat de vente l utilisateur final est donc pri de contacter le fournisseur du dispositif maison m re ou revendeur pour mettre en uvre le processus de collecte et mise au rebut Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 55 315 Mode d emploi 3 Entretien Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 56 315 Turbo V 1K G User Manual 0069 4 Manual de istrucciones Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares 58 Informaci n General 59 Almacenamiento61 Preparaci n Para La Instalaci n 62 Instalaci n 63 Fijaci n de la bomba 64 Uso 66 Encendido y uso de Turbo V 1K G 67 Parada de Turbo V 1K G 67 Parada de emergencia 68 Mantenimiento 69 Eliminaci n 70 Traducci n de las instrucciones originales Turbo V 1K G 87 901 025 01 57 315 Manual de istrucciones 4 Indicaciones de Seguridad para Bombas Turbomoleculares Las bombas Turbomoleculares descritas en el siguiente manual de instrucciones tienen una elevada cantidad de energ a cin tica debido a la alta velocidad de rotaci n en combinaci n a la masa especifica de sus rotores En el caso de un dano del sistema por ejemplo por un contacto entre el rotor y el estator o por una rotura del rotor la energia de rotaci n podr a ser liberada ADVERTENCIA a Para evitar danos a los equipos y prevenir lesiones a los operadores es necesario seguir atentamente las instrucciones de instalaci n descritas en el presente manual Turbo V 1K
140. ipales Antes de usar el sistema realizar todas las conexiones el ctricas y neum ticas Durante el posible calentamiento de la c mara de vac o la temperatura de la brida de entrada no ha de ser superior a 80 C PAYD A RA No hacer funcionar nunca la bomba si la brida de entrada no est conectada al Sistema o no est cerrada con la brida de cierre No tocar la turbobomba y sus posibles accesorios durante las operaciones de calentamiento La alta temperatura puede provocar lesiones a las personas ATENCI N Evitense golpes oscilaciones o bruscos desplazamientos de la turbobomba durante su funcionamiento Los cojinetes podr an da arse Para el env o de aire de la bomba utilizar aire o gas inerte sin polvo o part culas La presi n de entrada a trav s de la puerta deber ser inferior a 2 bar por encima de la presi n atmosf rica Para bombear gases agresivos estas bombas est n dotadas de una puerta espec fica mediante la cual es necesario suministrar a la bomba un caudal de gas inerte Nitr geno o Arg n para proteger los rodamientos v ase el anexo Technical Information ADVERTENCIA Cuando la bomba se utiliza para bombear gases t xicos inflamables o radioactivos seguir los procedimientos apropiados t picos de cada gas No usar la bomba cuando haya gases explosivos Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 66 315 Manual de istrucciones 4 Encendido y uso de Turbo V 1K G Las siguientes instruccione
141. isken Anv nd alltid handskar eller liknande skydd Normal p verkan fr n omgivningen kan inte skada Turbo V 1K G Trots det r det s krast att h lla pumpen nerpackad tills den har installerats i systemet f r att f rhindra att det kommer in damm eller annat i den Figur 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 122 315 Bruksanvisning 8 Installation Installera och anvand inte pumpen i milj er som uts tts for paverkan fran atmosfaren regn sno is damm aggressiva gaser och inte heller i explosiv eller brandfarlig miljo F ljande krav p omgivningsf rh llanden g ller vid drift maximitryck 2 bar ver atmosf riskt tryck temperatur fran 5 C till 35 C se bild i Technical Information relativ luftfuktighet 0 95 utan kondens OBSERVER Ta bort tejpen och skyddsproppen f rst n r turbopumpen ska anslutas till systemet I n rvaro av magnetf lt ska pumpen skyddas med en s rskild sk rm Se bilagan Technical information f r ytterligare upplysningar Turbo V 1K G m ste anslutas till en huvudpump se schemat i Technical information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 123 315 Bruksanvisning 8 Fastsattning av pump VARNING h ndelse av rotorfel kan anslutningen mellan pumpen och systemet uts ttas f r ett h gt vridmoment Om anslutningen inte t l ovann mnda vridmoment kan pumpen lossna fr n systemet eller motorn kan lossna fr n pumpens h lje
142. l ssigkeit der Agilent Turbomolekularpumpen zu gew hrleisten sind die folgenden Anweisungen zu beachten W hrend des Transports der Handhabung und der Einlagerung der Pumpen d rfen die folgenden Grenzwerte nicht berschritten werden Temperatur von 20 C bis 70 C Relative Feuchtigkeit von O bis 95 nicht kondensierend Der Kunde hat die Turbomolekularpumpen nach dem Empfang bei Erstinbetriebnahme stets im Modus Soft Start ingangzusetzen Die Lagerdauer fur eine Turbomolekularpumpe betr gt 10 Monate ab dem Speditionsdatum Falls die Lagerdauer aus verschiedentlichen Griinden die genannte Frist berschreiten sollte ist die Pumpe an das Werk zur ckzusenden F r Informationen wenden Sie sich bitte an den rtlichen Agilent Vertreter Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 31 315 Gebrauchsanleitung 2 Vor Der Installation Die Turbo V 1K G wird in einer speziellen Schutzverpackung geliefert Eventuelle Transportsch den sind der zustandisen ortlichen Verkaufsstelle zu melden Die Turbo V 1K G ist vorsichtig auszupacken wobei sie vor dem Herunterfallen zu sch tzen ist und nicht St en und Vibrationen ausgesetzt werden darf Das Verpackungsmaterial ist vorschriftsgemafs zu entsorgen Es ist vollst ndig recyclebar und entspricht der Richtlinie 85 399 EWG f r Umweltschutz Um Entgasungen zu vermeiden d rfen die Teile die mit dem Vakuum in Ber hrung kommen nicht mit den blo en H nden angef
143. l a rotor alloresz erintkezesi hibaja vagy akar a forgoresz szettorese eset n a forgasi energia felszabadulhat VESZ LY A berendezes karosodasanak s a kezel szemelyzet ser lesenek megel zesere az ebben a gepk nyvben adott telepitesi utasitasokat szigoruan be kell tartani Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 176 315 Felhaszn l i Kezikonyv 12 Altalanos Inform ci A berendezest professzion lis felhaszn l k szamara tervezt k A felhaszn l nak a berendezes mukodtetese el tt el kell olvasnia ezt a sepkonyvet s a Agilent altal biztositott barmely informaciot A Agilent nem vonhat felel ss gre olyan esemenyekert amelyek az ezen utasitasoknak valo akar r szbeni meg nem felel s szakk pzetlen szemelyek ltali nem megfelelo hasznalat a berendez sbe val jogosulatlan beavatkozas vagy a konkret nemzeti szabvanyokkal ellentetes barmely muvelet miatt tortentek A Turbo V 1K G egy turbo molekularis szivattyu nagy s rendkivul nagy vakuumalkalmazasokhoz A szivattyu barmely tipusu gazt vagy sazkevereket kepes szivattyuzni Nem alkalmas folyadekok vagy szilard reszecskek szivattyuzasara A szivattyuzasi muveletet egy nagyteljesitmenyu 3 fazisu elektromos motorral hajtott nagysebessegu turbina max 45660 fordulat perc biztositja A Turbo V 1K G szennyez anyagokt l mentes s ez rt alkalmas tiszta vakuumot ig nyl alkalmazasokra Ha 969 8978M005 Navigator controllerrel hasznaljuk a szivattyu re
144. lder kravene i denne klasse Turbo V 1K G er forsynet med konnektorer til ind udgange og til seriel kommunikation Konnektorerne skal tilsluttes de eksterne kredslgb saledes at det ikke er muligt at opna adgang til de speendingsfgrende dele Kontroller at anordningen der er tilsluttet Turbo V 1K G har en passende isolering Dette g lder ogs i tilf lde af enkeltfejl som angivet i normen EN 61010 1 Der henvises til bilaget Technical Information for oplysninger vedrerende installation af ekstraudstyret Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 111 315 Istruktionsbog 7 Anvendelse Dette afsnit beskriver de vigtigste driftsprocedurer Inden anvendelse af systemet ber samtlige elektriske og pneumatiske tilslutninger udfgres I forbindelse med opvarmning af vakuumkammeret m indlebsflangens temperatur ikke overstige 80 C ODB Pumpen m aldrig aktiveres hvis indlebsflangen ikke er tilsluttet vakuumkammeret eller hvis pumpen ikke er lukket ved hj lp af lukkeflangen R r aldrig turbopumpen eller dens tilbeh r i forbindelse med opvarmningsprocedurerne Den h je temperatur kan resultere i skade p personer FORSIGTIG Undga sammenstgd vibrationer eller bratte bevagelser i forbindelse med brug af turbopumpen Der er risiko for beskadigelse af lejerne Pumpen skal forsynes med luft eller edelgasser der ikke indeholder st v eller faste partikler Indgangstrykket ved den specielle dar skal v re mindre end 2 bar over
145. lem viz tabulka dilu ktere Ize doobjednat se zastr kou mezin rodn schv lenou Pou ivejte tento kabel se zastr kou a pat i n uzemn nou z suvku abyste p ede li razu elektrick m proudem a aby byly zaru ene po adavky norem ES Vysok nap t kter vznika v controlleru m e zp sobit va ne zran n i smrteln P ed prov d n m z sah dr by uvnit jednotky p vodn kabel odpojte Nouzov zastaven Pro okam it zastaven Turbo V 1K G v nouzov situaci je t eba odpojit nap jec kabel ze s ov z suvky Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 214 315 Navod k Pou iti 14 Udr ba Turbo V 1K G nevy aduje adnou udr bu Vesker prace na tomto za izeni musi provad t opravn ne osoby NEBEZPECI Nez za nete prov d t jakekoli prace na tomto zarizeni odpojte jej od site odvzdu nete vyv vu otevrenim prislu neho ventilu poCkejte az se rotor prestane ota et a po kejte dokud povrchova teplota vyv vy neklesne pod 50 C V p pad poruchy kontaktujte m stn servisn st edisko firmy Agilent kter m e dodat n hradn repasovan za zen v m nou za porouchan P ed odesl n m v v vy v robci na opravu nebo v m nu za repasovan kus mus te list Health and Safety Zdrav a bezpe nost p ilo en k tomuto n vodu vyplnit a odeslat do kancel e m stn ho prodejn ho odd len P ed odesl n m za zen mus te k za
146. lla Ks Technical Information liitett lis varusteiden asentamista varten Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 153 315 Ohjek sikirja 10 Kaytto Tahan kappaleeseen on kirjattu t rkeimm t kayttotoimenpiteet Suorittakaa ennen jarjestelman kayttoa kaikki sahko ja paineilmakytkenn t Tyhji kammion mahdollisen lammityksen aikana sis ntulolaipan l mp tila ei saa ylitt 80 C tta AT TT TES lk k ytt k pumppua ellei sis ntulolaippaa ole kytketty tyhji kammioon tai pumppua suljettu sulkulaipalla lk koskeko turbopumppuun tai sen lis osiin l mmitt misen aikana Korkea l mp tila saattaa aiheuttaa henkil iden loukkaantumisia HUOMIO V lt kolhuja heiluntaa tai kkiliikkeit turbopumpun toiminnan aikana sill laakerit voivat vahingoittua K yt pumpun ilmansy tt n ilmaa tai jalokaasua joissa ei ole p ly tai hiukkasia Erityisen aukon l pi sy tett v n paineen tulee olla alle 2 baaria yli atmosf risen paineen Pumput on varustettu aggressiivisten kaasujen pumppausta varten aukolla jonka l pi pumppuun kuljetetaan jalokaasuja typpi tai argon laakereiden suojaamiseksi katso Technical Information liite VAN TONEN Kun pumppua k ytet n myrkyllisten paloherkkien tai radioaktiivisten kaasujen pumppaamiseen noudattakaa jokaiselle kaasulle sopivaa menettelytapaa lk k ytt k pumppua r j hdysherkkien kaasujen l hell Turbo
147. llation 304 Pump Used With Corrosive Gases 307 Pump used in presence of magnetic fields 309 Accessories and spare parts 310 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 12 315 Go 1 Istruzioni per l uso Turbo V 1K G User Manual Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari 14 Informazioni Generali 15 Immagazzinamento 17 Preparazione per l installazione 18 Installazione 19 Fissaggio della pompa 20 Uso 22 Accensione ed Uso della Turbo V 1K G 29 Arresto della Turbo V 1K G 24 Arresto di Emergenza 24 Manutenzione 25 Smaltimento 26 Traduzione delle istruzioni originali Turbo V 1K G 87 901 025 01 13 315 Istruzioni per l uso 1 Indicazioni di Sicurezza per Pompe Turbomolecolari Le pompe Turbomolecolari descritte nel seguente Manuale di Istruzioni hanno una elevata quantit di energia cinetica dovuta alla alta velocit di rotazione in unione alla massa specifica dei loro rotori Nel caso di un guasto del sistema ad esempio per un contatto tra rotore e statore o per una rottura del rotore l energia di rotazione potrebbe essere rilasciata AVVERTENZA Per evitare danni all apparecchiatura e prevenire lesioni agli operatori necessario seguire attentamente le istruzioni di installazione descritte nel presente manuale Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 14 315 Istruzioni per l uso 1 Informazioni Generali Questa apparecchiatura destinata ad uso professionale L utilizzatore deve leggere attentamen
148. llationsklasse Uberdruck die von den Normen EN 61010 1 vorgesehen ist Die Vorrichtung mu daher an eine Speisungsleitung angeschlossen werden die dieser Kategorie entspricht Die Turbo V 1K G hat Verbinder f r den Ein und Ausgang und die Schnittstellenkommunikation die an die Au enkreise angeschlossen werden m ssen soda kein Teil unter Spannung zug nglich ist Sicherstellen da die Isolierung der an die Turbo V 1K G angeschlossenen Vorrichtung auch bei einer Einzelst rung ausreichend isoliert wie es von der Richtlinie EN 61010 1 vorgesehen wird F r die Installation der Optionsteile siehe im Anhang Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 35 315 Gebrauchsanleitung 2 Gebrauch In diesem Abschnitt werden die wichtigsten Betriebsvorg nge erlautert Vor Benutzung des Systems sind alle elektrischen und pneumatischen Anschl sse auszufuhren W hrend der eventuellen Aufheizung der Vakuumkammer darf die Temperatur am Eingangsflansch 80 C nicht berschreiten WARNUNG Die Pumpe darf nicht in Betrieb genommen werden wenn der Eingangsflansch nicht an die Vakuumkammer angeschlossen oder nicht mit dem Verschlu flansch verschlossen ist W hrend des Aufheizens d rfen weder die Pumpe noch eventuelle hei e Zubeh rteile ber hrt werden Es besteht Verbrennungsgefahr VORSICHT W hrend des Betriebs sind Sto und Vibrationseinwirkungen sowie Ruckbewegungen an der Turbopumpe zu vermeiden
149. lo zabalen az do in talacie kv li prevencii kontaminacie prachom Obrazok 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 222 315 N vod na Obsluhu 15 Instal cia Vyvevu nein talujte ani nepou ivajte v prostredi vystavenom vonkaj m vplyvom d sneh ad prach koroz vne plyny ani vo v bu n ch prostrediach alebo tam kde existuje vysok riziko po iaru Po as innosti zariadenia je potrebn zabezpe i tieto vlastnosti prostredia maxim lny pretlak 2 bary nad rov ou atmosf rick ho tlaku teplota od 5 C do 35 C pozri z vislos tlaku od teploty v dodatku Technical Information relativna vlhkos 0 95 bez kondenz cie POZOR Neodstra ujte leplacu p sku a ochrann kryt sk r ne pripoj te turbov vevu k syst mu V pr tomnosti magnetick ho po a mus by v veva chr nen feromagnetickym t tom Podrobn inform cie sa nach dzaj v dodatku Technical Information Turbo V 1K G mus by pripojen k prim rnemu erpadlu vi sch ma v asti Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 223 315 N vod na Obsluhu 15 Upevnenie vyvevy NEBEZPECI Ak sa objavi chyba rotora pripojenie vyvevy k systemu bude wystavene silnemu to ivemu momentu Ak pripojenie nie je dostato ne pevne aby to ivemu momentu odolalo m e sa odpoji v veva od systemu alebo kryt motora od pl sta vyvevy V takom pripade sa mo u z v
150. losta T ll in metallikappaleita saattaa sinkoutua pumpusta tai j rjestelm st ja aiheuttaa vakavia vahinkoja tai kuoleman ja tai l hell olevien laitteiden vaurioita Kiinnitt k Turbo V 1K G vakaaseen asentoon asentamalla turbopumpun sis ntulolaippa j rjestelm n vastalaippaan liitoksella joka kest 8900 Nm n momentin akselinsa ymp ri Seuraavassa taulukossa ilmoitetaan jokaiselle ISO F laipalle sruuvien kiinnitinm r ja niiden kiristysmomentit Taulukko 1 Laippa M R Kiristys Momentti ISO 160 F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm Laippojen F ter sruuvien tulee olla luokkaa gt 8 8 Turbo V 1K G voidaan asentaa mihin tahansa asentoon Turbo V 1K Gia ei voida kiinnitt perustansa kautta Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 152 315 Ohjek sikirja 10 HUOMIO Navigator controller 969 8978M005 ohjaimella varustettu Turbo V 1K G kuuluu toiseen EN 61010 1 s nn sten mukaiseen asennusluokkaan tai ylij nniteluokkaan Kytke laite t m n vuoksi s hk verkkoon joka t ytt t m n luokan vaatimukset Turbo V 1K G laitteissa on liittimet sis ntuloille ulostuloille sek sarjakytkenn lle jotka on kytkett v ulkoisiin j rjestelmiin siten ettei mihink n j nnitteen alaisena olevaan osaan p st k siksi Varmista ett Turbo V 1K G laitteeseen kytketyn laitteen eristys riitt my s yksitt isen toimintah iri n yhteydess EN 61010 1 s nn sten edellytt m ll tava
151. matic vent operation Navigator Controller Compatible Vent Valve model 969 9834 Figure 28 Vent Valve model 969 9834 This vent valve waits before opening a minimum time of about 5 sec This time can be increased up to about 220 min by means of a setting of the Navigator software optional To install the vent valve unscrew the threaded plug see figure below Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 296 315 Technical Information 18 Figure 29 Vent Valve installation 1 Then screw the vent valve into the pump and tighten it using a 16 mm hexagonal spanner with a torque of 2 5 Nm Figure 30 Vent Valve installation 2 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 297 315 Technical Information 18 CAUTION Do not overtighten the valve as this may damage the thread on the pump Then connect the cable from the valve to the suitable connector on the controller see the preceding paragraph INTERCONNECTIONS Standard Rack Controller Compatible Vent Valve model 969 9843 Figure 31 Vent Valve model 969 9843 This vent valve has a fixed delay time of about 5 sec This value can be used only with rack controller To install the vent valve execute the same steps as the vent valve model 969 9834 see the above paragraph Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 298 315 Technical Information 18 Vent Device model 969 9831 Figure 32 Vent Device model 969
152. may have had with the purchase or operation of our products On the hack side you find a Corrective Actian request form that you may fill aut in the first part and return to us This form is intended ro supplement normal lines of communications and to resolve problems that existing systems are nat addressing in an adequate ar timely manner Upon receipt of your Corrective Action Request we will determine the Root Cause of rhe problem and take the necessary actions to eliminate it You wil be contacted by one of our employees who will review the problem with you and update you with the second part of rhe same form on our actions Four business 15 very important ta us Please take the time and let us know how we can improve Sincerely asi lt T x i mu N k mi m Giampaolo LEVI Vice President and General Manager Agilent Vacuum Products Division Note Fax ar mail the Customer Request for Action see barksde page to Agilent Vacuum Products Division Torino Quality Assurance or to your nearest Solent representative for onward transmission to tbe same address CUSTOMER REQUEST FOR CORRECTIVE PREVENTIVE IMPROVEMENT ACTION TO AGILENT VACUUM PRODUCTS DIVISION TORINO QUALITY ASSURANCE FAX N XXXX 011 9979350 ADDRESS AGILENT TECHNOLOGIES ITALIA S p A Vacuum Products Division Via F lli Varian 54 10040 Lein TO Italy E MAIL vpd qualityassurance pdl ext 2agilent com COMPANY FUNCT
153. mmand 1 see note 2 0 to 65535 corresponding to 0 to 13107 sec 287 315 Table 7 Window Meanings 202 203 204 205 206 300 301 302 320 to 399 400 402 500 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 R Reserved to Agilent service Reserved to Agilent service Technical Information 18 Pump power in W pump current x pump voltage duty cycle Driving freguency in Hz Pump temperature in 6 Pump status Error code Cycle time in minutes zeroed by the reset command Cycle number zeroed by the reset command Pump life in hours zeroed by the reset command CRC EPROM OE CRC Param PA 0 to 70 Stop 0 Waiting intlk 1 Starting 2 Auto tuning 3 Braking 4 Normal 5 Fail 6 Bit description see the following figure 0 to 999999 0 to 9999 0 to 999999 QE5XXXX where XXXX are variable PA5XXXX where XXXX are variable 288 315 Technical Information 18 Table 7 Window Meanings 503 504 R W R W N RS 485 address 0 to 31 default lt 0 L Serial type select 0 lt RS 232 1 lt RS 485 default lt 0 Automatic means that when the controller stops the vent valve is opened with a delay defined by window n 126 when the controller starts the vent valve is immediately closed On command means that the vent valve is opened or closed by means of window n 122 NO CONNECTION PUMP OVERTEMP CONTROLL OVERTE
154. moze przyczynic sie do powaznych obrazen osoby obslugujacej UWAGA Sygnaly wzrokowe ukazujace sie przed procedura jezeli zostana zlekcewazone moga spowodowac uszkodzenia urzadzenia Przypisy zawieraja najwazniejsze informacje wyciagniete z tekstu Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 192 315 Podrecznik Instrukcji 13 Magazynowanie W celu zagwarantowania najwyZszego poziomu funkcjonalnego i niezawodno ci pomp turbomolekularnych Agilent musz by przestrzegane nastepujace zalecenia podczas transportu przesuni cia i magazynowania pomp nie mog by przekroczone nast puj ce warunki rodowiskowe temperatura od 20 C do 70 C wzgl dna wilgo od O do 95 bez opar klient po otrzymaniu i przygotowaniu po raz pierwszy pomp turbomolekularnych musi je zawsze uruchomi w spos b Soft Start czas magazynowania danej pompy turbomolekularnej wynosi 10 miesi cy od daty wysy ki Je eli z jakiegokolwiek powodu czas magazynowania jest d u szy nale y odes a pomp do fabryki W celu jakiejkolwiek informacji prosimy skontaktowa si z miejscowym przedstawicielem firmy Agilent Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 193 315 Podrecznik Instrukcji 13 Przygotowanie do instalacji Pompa Turbo V 1K G jest dostarczana w specjanym ochronnym opakowaniu w przypadku lad w uszkodze do kt rych mog oby doj podczas transportu nale y skontaktowa si z miejscowym biurem sprzed
155. mplitude 24 V max duty cycle range from 25 to 75 a corresponding to a pump speed from 500 Hz to 761 Hz see the following diagram Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 212 315 Technical Information 18 o o o a o R o o N I gt o c 3 o gt LL c o o x e e N e e Figure 9 The duty cycle percentage is referred to the low level portion of the PWM signal PROGRAMMABLE ANALOG SIGNAL this output signal is a voltage from 0 to 10 Vde proportional to a reference quantity frequency or power set by the user The default setting is the frequency see the following example diagram Output V Frequency Hz Figure 10 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 213 315 Technical Information 18 FAULT this open collector output signal is ON when a system fault condition is detected PROGRAMMABLE SET POINT this open collector output signal is enabled when the reference quantity chosen frequency current or time is higher than the set threshold The signal can be high level active that is the output is normally at 0 Vde and becomes 24 Vde when activated or low level active that is the output is normally at 24 Vde and becomes 0 Vde when activated Moreover if the reference quantity is the frequency or the current drawn it is possible to set the hysteresis in of the threshold value to avoid bouncing
156. n skal fjernes fgrst nar turbopumpen koples til systemet Ved magnetfelt ma pumpen beskyttes av dertil egnede skjermer Se Technical Information for detaljer Turbo V 1K G ma koples til en hovedpumpe se skjema i Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 137 315 Instruksjon Manual 9 Festing av pumpen n Wis Dersom rotoren delegges kan tilkoplingen mellom pumpen og systemet utsettes for et betydelig dreiemoment Dersom tilkoplingen ikke er sterk nok til a tale dette dreiemomentet kan pumpen l sne fra systemet eller motoren kan l sne fra pumpens hylster dette tilfellet kan metallsplinter kastes ut fra pumpen eller fra systemet Dette kan fore til alvorlige skader eller dod og eller skader pa annet utstyr i neerheten Fest Turbo V 1K G i en stabil posisjon monter turbopumpens innl psflens til systemets motflens med en tilkopling som er i stand til a tale et dreiemoment pa 8900 Nm rundt sin egen akse Den folgende tabellen beskriver antall skruer som er ngdvendige for hver ISO F flens og tilhgrende strammemoment Tabellen 1 Flens Ant Stramme Moment ISO 160 F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm Til flensene F ma stalskruene v re av klasse gt 8 8 Turbo V 1K G kan installeres i en valgfri stilling Turbo V 1K G ma ikke festes gjennom fundamentet Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 138 315 Instruksjon Manual 9 FORSIKTIG Turbo V 1K G med Navigator controller 969 8978M005 h
157. ndelkezik k ls csatlakoz kkal hogy tovabbi ventillatort t pl ljon vez relje a ventill tor szelepet amit t voli helyr l ir ny t egy soros vonalon RS 232 vagy RS 485 kereszt l csatlakoztatott gazdag p seg ts g vel A k vetkez bekezd sek a berendez st haszn l kezel biztons g nak garant l s hoz sz ks ges sszes inform ci t tartalmazz k R szletes inform ci t tal l a Technical Information f ggel kben Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 177 315 Felhaszn l i Kezikonyv 12 Ez a k zik nyv a k vetkez szabvanyos protokollt hasznalja VESZ LY A veszelyt jelzo zenetek olyan eljarasra vagy specifikus tev kenys gre hivjak fel a kezel figyelmet melyek ha nem megfelel modon ker lnek vegrehajtasra s lyos szemelyi s r l seket okozhatnak FIGYELEM A figyelmezteto uzenetek azon eljarasok el tt ker lnek megjelenitesre melyek figyelmen kiv l hagy sa a berendezes karosodasahoz vezethet A megjegyzesek fontos a sz vegb l kivonatolt inform ci kat tartalmaznak Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 178 315 Felhaszn l i Kezikonyv 12 Tarolas A Agilent Turbomolecular szivattyuk maximalis teljesitm nyszintj nek sarantalasara a kovetkezo utmutatasokat kell kovetni szivatty k sz ll t sakor mozgat sakor s t rol sakor a k vetkez kornyezeti parametereket nem szabad tullepni homerseklettartomany 20 C 70 C relativ paratartalom
158. nvisningar f r Molekyl ra Turbopumpar 118 Allm n Information 119 F rvaring 121 F rberedelser f r installationen 122 Installation 123 Fasts ttning av pump 124 Anv ndning 126 Start och anv ndning av Turbo V 1K G 127 Att st nga av Turbo V 1K G 127 N dstopp 128 Underh ll 129 Bortskaffning 130 vers ttning av originalinstruktionerna Turbo V 1K G 87 901 025 01 117 315 Bruksanvisning 8 S kerhetsanvisningar for Molekyl ra Turbopumpar De molekyl ra turbopumparna som beskrivs i bruksanvisningen har en h g kinetisk energi beroende pa den hoga rotationshastigheten och rotorernas specifika massa I det fall fel skulle uppst i systemet t ex pa grund av kontakt mellan rotor och stator eller om rotorn skulle skadas kan det handa att rotationsenergin frigors VARNING For att undvika skador pa utrustningen och forhindra att skador orsakas pa operat rer maste installationsinstruktionerna som beskrivs i den har bruksanvisningen f ljas noga Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 118 315 Bruksanvisning 8 Allman Information Utrustningen ar avsedd for yrkesmassig anvandning Anvandaren bor l sa denna bruksanvisning samt vrig dokumentation fran Agilent f re anv ndning av utrustningen Agilent tar inget ansvar f r skador helt eller delvis till f ljd av sidos ttande av instruktionerna ol mplig anv ndning av person utan tillr cklig kunskap obeh rigt bruk av utrustningen eller hantering som st
159. o high backround Gauge tube not working Display problem Vacuum system unstable Cannot reach test mode Communication failure Degas not working Faded to start Other Error code on display Other SCROLL AND ROTARY VANE PUMPS DIFFUSION FUMPS Pump doesn t start Noisy pump describe Heater failure Electrical problem Doesn t reach vacuum Over temperature Doesn t reach vacuum Cooling coil damage Pump seized Other Vacuum leak Other section 6 AOD T ONAL TERMS Please read the terms and conditions below as they apply to all returns and are in addition to the Agilent Technologies Vacuum Product Division Products and Services Terms of Sale e Customer is responsible for the freight charges for the returning product Return shipments must comply with all applicable Shipping Regulations H TA DOT ste and carrier requirements Customers receming an Advance Exchange product agree to return the defective rebuildable part to Agilent Technologies within 15 business days Failure ta do so or returning a mon rebuildable part crashed will result in an invoice for the s Retums for credit toward the purchase of new or refurbished Products are subject to prior Agilent approval and may incur a restocking fee Please reference the original purchase order number Units returned for evaluavon will be evaluated and a quote tor repair will be issued lf you choose to have the unit repaired the cast of th
160. o pracovn ka musi by kontroln zariadenie nap jan pomocou 3 ilovej n ry vi tabu ku dielov ktor mo no objedna so z str kou medzin rodne schv lenou T to n ru so z str kou pou vajte spolu s vhodne uzemnenou z suvkou aby nedo lo k z sahu elektrick m pr dom a aby boli splnen po iadavky noriem ES Vysok nap tie v kontrolnom zariaden m e sp sobi v ne kody alebo smr Prv ne za nete prev dza dr b rske pr ce v tejto jednotke odpojte nap jaciu n ru N dzov zastavenie Ak chcete zariadenie Turbo V 1K G okam ite vypn v stave n dze mus te vytiahnu k bel nap jania Zo z suvky zdroja nap jania Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 228 315 Navod na Obsluhu 15 Udr ba Zariadenie Turbo V 1K G nevy aduje iadnu dr bu Ak ko vek pravy a opravy syst mu mus vykona autorizovan person l NEBEZPE Sk r ne za nete oko vek robi v syst me odpojte ho od zdroja nap jania vyvetrajte v vevu tak e otvorite pr slu n ventil po kajte k m sa rotor neprestane ot a a k m teplota povrchu v vevy neklesne pod 50 sC V pr pade poruchy zariadenia vyh adajte kontaktn stredisko spolo nosti Agilent kde v m pokazen syst m vymenia Sk r ne syst m odo lete na opravu alebo v menu mus te vyplni dotazn k Zdravie a bezpe nos Dotazn k pripojen k n vodu na pou itie je potrebn vyplni a
161. o serao em Soft Start Para poder arrancar a bomba em Soft Start sera preciso reactivar o modo acima referido utilizando o software consultar o paragrafo RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION no apendice Technical Information A luz piloto verde LD1 posicionada no painel da base do Navigator controller indica atrav s da frequ ncia de intermit ncia as condic es operacionais do sistema acesa fixa a bomba funciona normalmente intermitencia lenta per odo de aprox 400 ms o sistema est em estado de acelerac o ou de paragem ou de Stop ou de waiting for interlock intermit ncia r pida per odo de aprox 200 ms condi o de erro Paragem da Turbo V 1K G Para deter a Turbo V 1K G suficiente desligar a tensao de alimentacao O controller incorporado para imediatamente a bomba Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 82 315 Manual delstruc es 5 Para a seguranca do operador o controller Turbo V deve ser alimentado com um cabo de alimentacao com 3 fios ver a tabela das partes que podem ser encomendadas eguipado de uma tomada aprovada a nivel internacional Utilize este cabo e tomada juntos com uma tomada adeguadamente conectada a terra para evitar chogues electricos e satisfazer os requisitos das normas CE As altas tens es que se desenvolvem no controller podem provocar graves danos ou ate morte Antes de realizar operac es de manutencao no interno da unidade desligar o ca
162. odosla miestnemu predajcovi K piu dotazn ka vlo te do bal ka so syst mom a odo lite spolu s n m Ak je potrebn likvid cia syst mu mus prebehn v s lade so pecifick mi predpismi danej krajiny Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 229 315 N vod na Obsluhu 15 Likvidacia Vyznam loga WEEE nachadzajuceho sa na titkoch Aplikovanie doluozznaten ho symbolu dodr uje smernicu EU s n zvom WEEE Tento symbol platny iba pre taty Eur pskej Unie znamena e vyrobok s tymto titkom NESMIE byt odstraneny spolu s be nym domacim alebo priemyselnym odpadom ale sa musi odstranit ako deleny odpad Vyzyvame preto kone neho uz vatel a aby sa skontaktoval s dod vate om pr stroja i u je to v robca alebo predajca za u elom jeho likvidacie podla zmluvnych podmienok predaja Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 230 315 e 696 16 Priro nik za Navodila Turbo V 1K G User Manual Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke232 Splo ne Informacije 233 Shranjevanje 235 Priprava za monta o 236 Monta a 237 Pritrjevanje rpalke 238 Uporaba 240 Vklop in uporaba naprave Turbo V1K G 241 Izklop naprave Turbo V 1K G 241 Zaustavitev v sili 242 Vzdr evanje 243 Odlaganje opadkov 244 Prevod navodil v izvirniku Turbo V 1K G 87 901 025 01 231 315 Priro nik za Navodila 16 Varnostna navodila za Turbomolekularne rpalke Turbomolekularne rpalke opisane v naslednji
163. omolekularni vyvewy Turbomolekularni vyv vy jak jsou popisovany v nasledujicim navodu obsahuji velke mno stvi kinetick energie diky vysok ot iv rychlosti v kombinaci s konkr tn m objemem jejich rotoru V p pad syst mov nefuk nosti nap kontaktu rotoru anebo statoru nebo pri zhroucen rotoru m e dojit k uvoln ni rota n enersie NEBEZPE Pokyny k instalaci uveden v tomto n vodu mus b t pr sn dodr ov ny za elem prevence zran ni obsluhy Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 204 315 Navod k Pou iti 14 V eobecne Informace Toto za zen je ur eno pro odborn ky U ivatel by si m l p ed pou it m za zen p e st tento n vod a v echny dal informace dodan firmou Agilent Firma Agilent neodpov d za jak koli nehody kter vzniknou n sledkem i ste n ho nedodr en t chto pokyn nespr vn m pou v n m neznal mi osobami neopr vn n m z sahem do za zen nebo jakoukoli innost kter je v rozporu s pokyny uveden mi v p slu n ch st tn ch norm ch Turbo V 1K G je turbomolekul rn v v va ur en pro aplikace s vysok m a velmi vysok m vakuem V v va m e od erp vat libovoln plyn nebo plynnou sm s ale nen vhodn na erp n tekutin nebo pevn ch stic erp n zaji uje velmi rychl turb na max 45660 ot min poh n n vysoce v konn m trojf zov m elektromotorem Turbo V 1K G je zcela z
164. ompe Dans ce cas des morceaux de metal peuvent tre expuls s par la pompe ou le syst me et entrainer des blessures graves voire la mort et ou endommager s rieusement les eguipements environnants Fixer la Turbo V 1K G de facon stable en assurant la collerette d entr e de la turbopompe a la contre collerette du systeme au moyen d une connexion en mesure de resister a un couple de 8900 Nm autour de son axe Le tableau suivant indigue pour chaque bride d entr e ISO F le nombre de vis n cessaires et le couple de serrage a appliguer Table 1 BRIDE N COUPLE DE SERRAGE ISO 160 F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm Pour les brides F les vis en acier doivent tre de classe gt 8 8 La Turbo V 1K G peut tre install e dans n importe quelle position La Turbo V 1K G ne peut tre fix e par sa base Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 49 315 Mode d emploi 3 Gees uran La Turbo V 1K G Navigator controller 969 8978M005 appartient la deuxi me cat gorie d installations ou surtension pr vue par la norme EN 61010 1 De ce fait brancher le dispositif a une ligne d alimentation compatible avec cette cat gorie La Turbo V 1K G dispose de connecteurs pour les entr es sorties et pour la communication en s rie qui doivent tre branch s aux circuits exterieurs de facon gu aucune partie sous tension ne soit accessible S assurer que l isolation du dispositif branch la Turbo V 1K G a une isolation appropri e m me en
165. onare mai la pompa se la flangia di ingresso non collegata alla camera a vuoto o non chiusa con la flangia di chiusura Non toccare la turbopompa e i suoi eventuali accessori durante le operazioni di riscaldamento L elevata temperatura pu causare lesioni alle persone spoz mla Evitare urti oscillazioni o bruschi spostamenti della turbopompa quando in funzione cuscinetti potrebbero danneggiarsi Per la mandata all aria della pompa utilizzare aria o gas inerte esente da polvere o particelle La pressione di ingresso attraverso l apposita porta deve essere inferiore a 2 bar oltre la pressione atmosferica Per il pompaggio di gas aggressivi queste pompe sono dotate di una apposita porta attraverso la quale necessario fornire alla pompa un flusso di gas inerte Azoto o Argon per proteggere i cuscinetti vedere l appendice Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 22 315 Istruzioni per l uso 1 ALLA Quando la pompa viene utilizzata per il pompaggio di gas tossici infiammabili o radioattivi seguire le appropriate procedure tipiche di ciascun gas Non usare la pompa in presenza di gas esplosivi Accensione ed Uso della Turbo V 1K G Le istruzioni seguenti si applicano alla Turbo V 1K G usata in combinazione con il Navigator controller modello 969 8978M005 Riferirsi al manuale dell unit per l uso con l altro modello di controller 969 9454M002 Per accendere la Turbo V 1K
166. opia della stessa deve essere inserita nell imballo del sistema prima della spedizione Qualora un sistema dovesse essere rottamato procedere alla sua eliminazione nel rispetto delle normative nazionali specifiche Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 25 315 Istruzioni per l uso 1 Smaltimento Significato del logo WEEE presente sulle etichette Il simbolo qui sotto riportato applicato in ottemperanza alla direttiva CE denominata WEEE Questo simbolo valido solo per i paesi della Comunita Europea indica che il prodotto sul quale applicato NON deve essere smaltito insieme ai comuni rifiuti domestici o industriali ma deve essere avviato ad un sistema di raccolta differenziata Si invita pertanto l utente finale a contattare il fornitore del dispositivo sia esso la casa madre o un rivenditore per avviare il processo di raccolta e smaltimento dopo opportuna verifica dei termini e condizioni contrattuali di vendita Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 26 315 Turbo V 1K G User Manual e z 9 e oo e 00 060 7 0 Gebrauchsanleitung e e a E Sicherheitshinweise f r Turbomolekularpumpen 28 Allgemeine Informationen29 Lagerung 31 Vor Der Installation 32 Installation 33 Befestigung Der Pumpe 34 Gebrauch 36 Einschaltung und Gebrauch der Turbo V 1K G 37 Stoppen der Turbo V IK G 37 Not Aus 38 Wartung 39 Entsorgung 40 Ubersetzung der originalanleitungen Turbo V 1K G 87 901 025 01 21 3
167. orer til installasjonsklasse eller overspenningsklasse nummer 2 i felge EN 61010 1 standarden Kople derfor anordningen til en hovedledning som tilfredsstiller kravene for denne klassen Turbo V 1K G er utstyrt med koplingsstykker for inn utgangene og seriekommunikasjonen som ma koples til de ytre stramkretsene slik at ingen deler under spenning er tilgjengelige Forsikre deg om at isoleringen av anordningen koplet til Turbo V 1K G har en egnet isolering ogsa under forhold med en enkel feil i f lge EN 61010 1 standarden For installasjon av tilleggsutstyr vises det til Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 139 315 Instruksjon Manual 9 Bruk Alle instruksjoner for korrekt bruk finnes i dette avsnittet Les ngye gjennom denne manualen for systemet tas i bruk Mens oppvarmingen av kammeret p g r ma temperaturen ved inngangsflensen ikke overskride 80 C ENGK BRA Ikke start pumpen hvis inngangsflensen ikke er koplet til vakuumkammeret eller ikke er lukket med lukkeflensen Ikke beror turbopumpen eller noe av tilleggsutstyret under oppvarmingen De hoye temperaturene kan fere til brannskader FORSIKTIG Unnga stet svingninger eller plutselige bevegelser av turbinpumpen nar den er i funksjon Lagrene kan skades Bruk stov og partikkelfri luft eller inaktiv gass ved forsyning av pumpen Trykket ved inngangen m ikke vare mindre enn 2 bar over atmosf risk trykk Ved pumping av etsende
168. p van het systeem of de motor van het pomplichaam los kunnen raken In dit geval kunnen metaalfragmenten door de pomp of het systeem in het rond worden geschoten welke ernstig letsel de dood en of schade aan omliggende apparaten kunnen veroorzaken Bevestig de Turbo V 1K G in een stabiele positie door de inlaatflens van de turbopomp op de contraflens van het systeem te monteren met een verbinding die in staat is om een koppel van 8900 Nm rondom de eigen as te weerstaan De volgende tabel beschrijft voor elke ISO F flens het aantal benodigde schroeven en met welk koppel ze aangetrokken moeten worden Tabel 1 Flens Nr Aanhaalkoppel ISO 160 F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm De klasse van de stalen schroeven voor de F flenzen moet gt 8 8 zijn De Turbo V 1K G kan in alle standen worden ge nstalleerd De Turbo V 1K G kan niet met behulp van zijn eigen basis worden bevestigd Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 95 315 Bedrijfshandleiding 6 4 ee De Turbo V 1K G met Navigator controller 969 8978M005 behoort tot de tweede installatiecategorie of overspanningscategorie die door de norm EN 61010 1 is voorzien Sluit deze inrichting dus aan op een voedingslijn die aan deze categorie voldoet De Turbo V 1K G bezit connectoren voor de ingangen uitgangen en voor de seri le communicatie die aangesloten moeten worden op de externe circuits zodat geen enkel deel onder spanning toegankelijk is Controleer of de inrichting verbonden
169. pomo jo katerih se napaja dodatni ventilator se upravlja zra ni ventil ter se ra unalni ko upravlja ventilator preko serijske povezave RS232 ali RS485 Naslednji odstavki vsebujejo informacije ki so potrebne za varnost tistega ki uporablja to opremo Podrobne informacije lahko najdete v prilogi Technical Information Tehni ne informacije Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 233 315 Priro nik za Navodila 16 Navodila so napisana po naslednjem standardnem protokolu SVARILO Znak svarila opozarja uporabnika da mora pri dolo enem postopku ali pri posebnem delovanju paziti Kr itev svarila lahko privede do la jih ali hudih telesnih po kodb POZOR Znak pozor se pojavi pred postopke ki e jih uporabnik zanemari lahko napravo po koduje Opombe vsebujejo vse najbolj pomembne informacije iz besedila Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 234 315 Priro nik za Navodila 16 Shranjevanje Da bi zagotovili maksimalni u inek in zanesljivost rpalk Agilent Turbomolecular se morate dr ati naslednjih vodil Pri po iljanju premikanju in shranjevanju rpalk ne smete prese i naslednjih specifikacij temperaturno obmo je 20 C do 70 C obmo je relativne vla nosti 0 do 95 brez kondenza Turbomolekularne rpalke mora uporabnik pri prvi uporabo vedno zagnati mehko ivljenjska doba turbomolekularne rpalke je 10 mesecev od datuma odpreme POZOR e je zaradi kakr
170. por parte de pessoas n o treinadas por opera es n o autorizadas ou pelo uso contr rio s normas nacionais espec ficas A Turbo V 1K G uma bomba turbomolecular para aplicac es de alto e ultra alto v cuo A bomba capaz de bombear qualquer tipo de g s ou de composto gasoso mas n o adequada para bombear l quidos ou part culas s lidas O efeito da bomba obtido atrav s de uma turbina rotativa de alta velocidade 45660 r p m m x movida por um motor el ctrico trif sico de alto rendimento A Turbo V 1K G totalmente isenta de agentes contaminadores e portanto adequada para aplicac es que requerem um v cuo limpo Quando usada com o Navigator controller 969 8978M005 a bomba disp e al m disso dos conectores auxiliares atrav s dos quais poss vel alimentar um ventilador adicional comandar a v lvula de vent accion lo por um controlo remoto atrav s de um computer host conectado por meio de linhas seriais RS 232 RS 485 Nos seguintes par grafos estao descritas todas as informa es necess rias para garantir a seguranca do operador durante o uso da aparelhagem Informac es detalhadas s o fornecidas no ap ndice Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 13 315 Manual delstruc es 5 Este manual utiliza as seguintes convenc es ATENCAO As mensagens de perigo chamam a atencao do operador sobre um procedimento ou um processo espec fico que se n o executado
171. ppaus saadaan aikaan korkealla nopeudella 45660 kierrosta min max py riv n turbiinin avulla jota k ytt korkeatehoinen kolmivaiheinen s hk moottori Turbo V 1K G pumpussa ei ole lainkaan likaavia aineita joten se soveltuu my s puhdasta tyhji t vaativiin k ytt tarpeisiin Kun Turbo V 1K G pumppua k ytet n Navigator controller 969 8978M005 ohjaimen kanssa siihen kuuluu lis ksi apuliittimi joiden avulla on mahdollista k ytt lis tuuletinta ohjata tuuletusventtiili ja k ytt j rjestelm kauko ohjauksella sarjakytketyn is nt tietokoneen avulla RS 232 RS 485 Seuraavissa kappaleissa on kaikki tarpeelliset tiedot laitteen k ytt j n turvallisuuden takaamiseksi laitteen k yt n aikana Yksityiskohtaiset tiedot l ytyv t osasta Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 147 315 Ohjek sikirja 10 Tama k sikirja k ytt seuraavanlaisia merkintoja VAROITUS Vaaraa osoittavat viestit kehottavat koneenhoitajaa kiinnitt m n huomiota johonkin menettelytapaan tai erityistoimintoon jotka suoritettuina ohjeiden vastaisesti voivat aiheuttaa vakavia henkil kohtaisia vaurioita Varoitusviestit visualisoituvat ennen toimintoja jotka laiminly tyin voivat aiheuttaa vahinkoja itse laitteistolle Huomautukset sis lt v t t rke tekstist valittua informaatiota Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 148 315 Varastointi Ohjek sikirja 10 Nou
172. r zb bo b bo br b bo le ja Source Controller Destination PC bh bm Command STOP Source PC Destination Controller p fo bo fo Bo fi po pi lo Ba Sm hoor window ws pe Source Controller Destination PC bh po bm Command SOFT START ON Source PC Destination Controller p Ro b bo b b bi bo je ja Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 284 315 Technical Information 18 Source Controller Destination PC 02 80 06 03 18 135 Sm hoon EMC CRO Command SOFT START OFF Source PC Destination Controller p p bm bo fo pi ko ps fe po Source Controller Destination PC b b m be fs Sm hoor hoc EDC bro Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 285 315 Table 7 Window Meanings N 000 008 100 101 102 103 104 105 106 107 Read Write R W R W R W R W R W R W R W R W R W R W Data Type L Technical Information 18 Window Meanings Description Start Stop in remote mode the window is a read only Remote default or Serial configuration Soft Start write only in Stop condition Set Point type Set Point threshold expressed in Hz mA or s Set Point delay time between the pump start and the set point check seconds Set Point signal activation type the signal can be high level active or low level active Set point hysteresis in of threshold Intercooling
173. r Manual 87 901 025 01 15 315 Istruzioni per l uso 1 Questo manuale utilizza le seguenti convenzioni AVVERTENZA messaggi di avvertenza attirano l attenzione dell operatore su una procedura o una pratica specifica che se non eseguita in modo corretto potrebbe provocare gravi lesioni personali spodi dna messaggi di attenzione sono visualizzati prima di procedure che se non osservate potrebbero causare danni all apparecchiatura Le note contengono informazioni importanti estrapolate dal testo Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 16 315 Istruzioni per l uso 1 immagazzinamento Per garantire il massimo livello di funzionalit ed affidabilit delle pompe Turbomolecolari Agilent devono essere osservate le seguenti prescrizioni durante il trasporto lo spostamento e l immagazzinamento delle pompe non devono essere superate le seguenti condizioni ambientali temperatura da 20 C a 70 C umidit relativa da 0 a 95 non condensante il cliente deve sempre avviare le pompe turbomolecolari nel modo Soft Start quando ricevute e messe in funzione per la prima volta il tempo di immagazzinamento di una pompa turbomolecolare di 10 mesi dalla data di spedizione spra Se per qualsiasi ragione il tempo di immagazzinamento superiore occorre reinviare la pompa in fabbrica Per ogni informazione si prega di contattare il locale rappresentante della Agilent Turbo V 1K G User Manual 87
174. r erfolgen alle nachfolgenden Pumpenanlaufe ohne den Modus Soft Start Um die Pumpe erneut im Modus Soft Start zu starten ist dieser Modus mittels der Software wieder freizugeben siehe Abschnitt RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION im Anhang Technical Information Die gr ne LED LDI an der Bodenplatte vom Navigator Controller gibt mit der H ufigkeit ihres Blinkens die Betriebsbedingungen des System an Daueranzeige Die Pumpe befindet sich im normalen Betrieb Langsame Blinkanzeige ca 400 ms das System befindet sich entweder im Status Rampe Abbremsung Stopp oder Waiting for Interlock Schnelle Blinkanzeige ca 200 ms Fehlerstatus Stoppen der Turbo V 1K G Zum Stoppen der Turbo V 1K G ist die Versorgungsspannung abzuschalten Der eingebaute Controller sorgt fur den sofortigen Pumpenstopp Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 37 315 Gebrauchsanleitung 2 WARNUNG Fiir die Sicherheit des Bedieners muss der Controller Turbo V mit einem dreidrahtigen Stromkabel siehe Tabelle der Bestellteile versorgt werden das mit einem auf internationaler Ebene genehmigten Stecker ausgestattet ist Verwenden Sie dieses Kabel und den Stecker zusammen mit einer entsprechend geerdeten Steckdose um Stromschl ge zu vermeiden und den Anforderungen der EG Richtlinien zu entsprechen Die Hochspannungen die sich im Controller entwickeln k nnen zu schweren Sch den oder zum Tod f hren Vor den Wartungs
175. r le syst me le d brancher refouler l air de la pompe en ouvrant la soupape pr vue cet effet attendre jusqu l arr t complet du rotor et jusqu ce que la temp rature superficielle de la pompe soit inf rieure a 50 C En cas de panne il est possible de b n ficier du service r parations Agilent ou du Agilent advanced exchange service qui permet d obtenir un syst me r g n r en remplacement du syst me endommag Avant de renvoyer une pompe au constructeur pour r paration ou advanced exchange service remplir et faire parvenir au bureau Agilent de votre r gion la fiche S curit et Sant Jointe au pr sent manuel d instructions Une copie de cette fiche devra tre mise dans l emballage de la pompe avant l exp dition En cas de mise au rebut de la pompe proc der son limination conform ment aux r glementations nationales concernant la gestion des d chets Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 54 315 Mode d emploi 3 Mise Au Rebut Signification du logo WEEE figurant sur les tiquettes Le symbole ci dessous est appliqu conform ment la directive CE nomm e WEEE Ce symbole uniquement valide pour les pays de la Communaut europ enne indique que le produit sur lequel il est appliqu NE doit PAS tre mis au rebut avec les ordures m nag res ou les d chets industriels ordinaires mais passer par un syst me de collecte s lective Apr s avoir v rifi les termes et condit
176. racovnich postupu P ed pou it m syst mu prove te v echna elektrick a pneumatick pfipojen Pri zahfivani vakuov komory teplota pr vodn pr ruby nesmi prekrocit 80 C 4 1 4 188 Turbomolekul rni v v vu nikdy nepou vejte nebude li p vodn p ruba p ipojen k vakuov komo e B hem zah v n se turbov v vy ani jej ho p islu enstv nedot kejte Vysok teplota m e zp sobit pop leniny POZOR B hem chodu chra te v v vu p ed n razy vibracemi a prudk mi pohyby Mohly by se po kodit lo iska Pro odplyn n v v vy pou vejte vzduch nebo inertn plyn kter je zbaven prachu a sm tek Tlak p i odv tr vac m otvoru mus b t men ne 2 bary nad atmosferickym tlakem Pro erp n agresivn ch plyn jsou tyto v v vy vybaveny speci ln m otvorem kter umo uje plynul p tok inertn ho plynu napi N2 Ar pro ochranu lo isek v v vy viz p lohu Technical Information NEBEZPE Pokud pou v te vyv vu pro erp n toxick ch ho lav ch nebo radioaktivn ch plyn dodr ujte pros m po adovan postupy pro likvidaci ka d ho plynu V v vu nepou vejte v p tomnosti v bu n ch plyn Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 212 315 Navod k Pou iti 14 Zapnuti a pou ivani vyvevy Turbo V 1K G Nasledujici pokyny se aplikuji na Turbo V 1K G pou itou v kombinaci se zar zen m Navigator controller model 969 8978M00
177. rarse por cualquier motivo el periodo m ximo permitido de almacenamiento ser necesario devolver la bomba al fabricante Para mayores informaciones al respecto se ruega contactar con el representante local de Agilent Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 61 315 Manual de istrucciones 4 Preparacion Para La Instalacion Turbo V 1K G se suministra en un embalaje especial de protecci n si se observan dafios que podrian haberse producido durante el transporte ponerse en contacto con la oficina local de ventas Durante la operaci n de desembalaje tener cuidado de que Turbo V 1K G no se caiga y de no someterla a golpes o vibraciones No abandonar el embalaje en el medio ambiente El material es completamente reciclable y cumple con la directiva CEE 85 399 para la preservacion del medio ambiente ATENCI N Para evitar problemas de desgasificaci n no tocar con las manos desnudas los componentes destinados a exponerse al vac o Utilizar siempre guantes u otra protecci n adecuada Turbo V 1K G no puede da arse permaneciendo simplemente expuesto a la atmosfera De todas formas se aconseja mantener cerrada la bomba hasta que se instale en el sistema para evitar su posible contaminaci n por polvo Figura 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 62 315 Manual de istrucciones 4 Instalaci n No instalar ni o utilizar la bomba en lugares expuestos a agentes atmosf ricos lluvia hielo y nieve polvo y gase
178. rateurs il faut suivre attentivement les instructions d installation d crites dans ce manuel Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 42 315 Mode d emploi 3 Indications Generales Cet appareillage a t concu en vue d une utilisation professionnelle Avant toute utilisation de l appareil il est conseill l utilisateur de lire attentivement cette notice d instructions ainsi que toute autre indication suppl mentaire fournie par Agilent qui d cline par cons quent toute responsabilit en cas de non respect total ou partiel des instructions donn es d utilisation impropre par un personnel non form d op rations non autoris es ou d emploi contraire aux r glementations nationales sp cifiques La pompe Turbo V 1K G est une pompe turbomol culaire pour applications haut vide et ultra haut vide La pompe est en mesure de pomper tous les types de gaz et de compos s gazeux mais elle n est pas adapt e au pompage de liquides ou de particules solides L effet de pompage est obtenu gr ce une turbine tournant vitesse lev e 45660 tr min maxi mue par un moteur lectrique triphas haut rendement La Turbo V 1K G est totalement exempte d agents polluants et elle est par cons quent indiqu e pour toutes les applications exigeant un vide propre Utilis e avec le Navigator controller 969 8978M005 la pompe est dot de connecteurs auxiliaires permettant d alimenter un ventilateur suppl mentaire de commander la
179. re Turbomolekul rne vyvevy Turbomolekul rne vyvevy ak s n sledovne popisovan obsahuj velk mno stvo kinetickej energie vd aka vysokej ota avej rychlosti v kombinacii s konkretnym objemom ich rotorov V pripade systemovej poruchy napr pri kontaktu rotora statora alebo pri zrucaniu rotora sa mo e uvolnit rota na energia NEBEZPECI Pokyny k instal cii uvedene v tomto navode musia byt prisne dodr ovane za u elom prevencie zranenia obsluhy Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 218 315 N vod na Obsluhu 15 V eobecne Informacie Toto zariadenie je ur en pre profesion lnych pracovnikov Skor nez za nete zariadenie pou ivat pre itajte si navod na pou itie a v etky dal ie pokyny spolo nosti Agilent Spolo nost Agilent nenesie Ziadnu zodpovednos za ak ko vek udalosti zapr inen postupom ktory nie je v s lade dokonca ani v iasto nom s lade s t mito pokynmi zapr inen nespr vnym pou van m zariadenia nepou en mi osobami neopr vnenou pravou zariadenia alebo ak mko vek postupom ktor je v rozpore so pecifick mi tandardmi danej krajiny La Turbo V 1K G je turbomolekul rna v veva ur en pre aplik cie s vysok m a ve mi vysok m v kuom V veva dok e vy erpa ubovo n typ plynu alebo zmesi plynov Nie je v ak vhodn na vy erp vanie tekut n alebo pevn ch ast Vy erp vanie zabezpe uje ve mi r chla turbina max 45660 ot ok min tu poh
180. red jakymkoli zne i t n m a prachem Obrazek 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 208 315 Navod k Pou iti 14 Instalace Vyv vu neinstalujte v prostred kter je vystaveno atmosf rickym vlivum d st snih led prachu agresivnim plynum ve vybusn m prostredi nebo v prostredi s vysokym nebezpe im po aru Za provozu je treba dodrZovat nasledujici podminky dan prostfed m maxim ln tlak Z bary nad atmosf rick m tlakem teplota od 5 C do 35 C viz diagram tlak teplota v p loze Technical Information relativn vlhkost 0 95 bez sr en POZOR P ed p ipojen m turbomolekul rn v v vy do syst mu nesund vejte adhezn a ochrann v ko V p tomnosti magnetick ch pol se v v va mus chr nit feromagnetickym st n n m Viz podrobn informace v p loze Technical Information Turbo V 1K G se mus p ipojit k prim rn mu erpadlu viz sch ma v sti Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 209 315 Navod k Pou iti 14 Monta vyvewy 4 1 7444 I Pokud dojde k poru e rotoru propojen v v vy se syst mem by mohlo b t vystaveno velkemu to ivemu momentu Pokud toto propojeni nebude schopno vydrzet tento to ivy moment vyv va by se mohla odpojit od systemu nebo kryt elektromotoru by se mohl odpojit od pla te vyv vy V tomto pripada by z vyv vy nebo systemu mohly vylet t kovov lomky kter by mo
181. remsing stopp eller Waiting for interlock den blinker hurtig ca hver 200 ms feiltilstand Stoppe Turbo V 1K G Turbo V 1K G stoppes ved a kople det fra stromforsyningen Den innebygde styreenheten stanser pumpen umiddelbart Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 141 315 Instruksjon Manual 9 OB Turbo V styreenheten ma forsynes med en 3 trads str mkabel se tabellen for deler som kan bestilles og utstyrt med et stopsel som er internasjonalt godkjent for brukerens sikkerhet Bruk denne kabelen og stopselet sammen med en egnet jordet kontakt for a unnga elektrisk stot og for a overholde EU forskriftene Hoyspenningene som utvikler seg inne i styreenheten kan fore til alvorlige skader eller dedsulykker For man utforer vedlikeholdsoperasjoner inne i enheten er det nodvendig kople fra stromkabelen Nodstopp Trekk ut nettkabelen fra styreenheten for stoppe Turbo V 1K G i en ngdsituasjon Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 142 315 Instruksjon Manual 9 Vedlikehold Turbo V 1K G er vedlikeholdsfritt Alt arbeid pa systemet ma kun utfgres av autorisert personell ADVARSEL SANE For noe arbeid gjores pa systemet ma det frakoples tilforselen pumpen ma luftes ved a apne den aktuelle ventilen og deretter vente til rotoren har stanset og pumpens overflatetemperatur er lavere enn 50 C Dersom systemet stanser ma du ta kontakt med Agilents reparasjonservice eller med Agilents avanserte
182. rider mot g llande lokala f reskrifter Systemet Turbo V 1K G ar en turbomolekylar pump f r h ga och mycket h ga vakuumtill mpningar Pumpen kan anv ndas f r pumpning av alla typer av gas eller gasf reningar Dock l mpar sig inte pumpen f r pumpning av v tskor eller fasta partiklar Pumpningen stadkoms med hj lp av en h gvarvig turbin max 45660 varv minut som drivs av en trefas h geffektsmotor Inga f rorenande mnen anv nds i Turbo V 1K G som d rf r passar f r till mpningar som kr ver ett rent vakuum Da den anv nds med Navigator controller 969 8978M005 har pumpen dessutom hj lpkontakter som g r det m jlig att f rse str m till en extra ventilator att kontrollera avluftningsventilen och att fj rrstyra den med hj lp av en host dator som r ansluten genom seriell f rbindelse RS 232 RS 485 De f ljande avsnitten inneh ller all information som beh vs f r att garantera operat rens s kerhet under anv ndningen Detaljerade uppgifter finns i bilagan Technical information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 119 315 Bruksanvisning 8 I bruksanvisningen anvands foljande standardrubriker VARNING Meddelanden om fara f r operat rens upm rksamhet pa en viss procedur eller atgard som om den inte utf rs pa r tt s tt kan orsaka allvarliga personskador OBSERVER Varningsmeddelanden visas f re vissa procedurer som kan orsaka skada p maskinen om de inte lakttas Anmirkn
183. rirobnico mora biti gt 8 8 Turbo V 1K G lahko namestite v poljuben polo aj Turbo V 1K G ne morete pritrditi z njegovo lastno spodnjo ploskvijo Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 238 315 Priro nik za Navodila 16 POZOR Po direktivi EN 61010 1 spada Turbo V 1K G z Navigator controller 969 8978M005 v drugo kategorijo za name anje ali prekovolta o Napravo priklju ite na napetost ki je v skladu z zgornjo kategorijo Naprava Turbo V 1K G ima vhodne izhodne in serijske priklju ke ki jih je treba povezati na zunanja vezja tako da noben elektri ni del ni dosegljiv Prepri ajte se da je izolacija naprave priklju ene na Turbo V 1K G primerna tudi v primeru ene napake kot je opisano v direktivi EN 61010 1 Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 239 315 Priro nik za Navodila 16 Uporaba Ta odstavek opisuje osnovne postopke za uporabo Pred uporabo sistema pove ite vse elektri ne in pnevmatske povezave Pri segrevanju vakuumskega le i a temperatura dovodne prirobnice ne sme prese i 80 C ZN Turbo rpalke ne uporabljajte e dovodna prirobnica ni priklju ena na vakuumsko le i e ali e ni zaprta z zaporno prirobnico Med segrevanjem se turbo rpalke ali njenih delov ne dotikajte Visoka temperatura lahko povzro i opekline POZOR Izogibajte se udarcem nihanju ali nenadnim premikom turbo rpalke med njenim delovanjem Le aji bi se lahko po kodovali Za prezra evanje
184. s agresivos en lugares explosivos o con alto riesgo de incendio Durante el funcionamiento es necesario que se respeten las condiciones ambientales siguientes presi n m xima Z bares por encima de la presi n atmosf rica temperatura de 5 C a 35 C v ase gr fico en el anexo Technical Information humedad relativa 0 95 no condensadora ATENCI N Despegar el adhesivo y quitar el tap n de protecci n s lo al conectar la bomba al sistema Cuando existan campos electromagn ticos la bomba ha de protegerse mediante pantallas oportunas V ase el anexo Technical Information para m s detalles Turbo V 1K G ha de conectarse a una bomba primaria v ase diagrama en Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 63 315 Manual de istrucciones 4 Fijacion de la bomba NAAN IE JN En caso de danarse el rotor la conexi n entre la bomba y el sistema puede ser sometida a un par de fuerza excesivo En estas circunstancias la conexi n podria no resistir a dicho par de fuerza y como consecuencia la bomba podria separarse del sistema o el motor podria separarse respecto del contenedor de la bomba En este caso fragmentos de metal pueden ser proyectados por la bomba o por el sistema con consiguiente grave riesgo de lesiones o muerte y o danos a los aparatos adyacentes Fijar Turbo V 1K G en posicion estable montando la brida de entrada de la turbo bomba en la contrabrida del
185. s se aplican a Turbo V 1K G utilizada conjuntamente con el Navigator controller modelo 969 8978M005 Consultar el manual de la unidad para el uso con el otro modelo de controller 969 9454M002 Para encender Turbo V 1K G basta con suministrar la tensi n de alimentaci n El controlador incorporado reconoce autom ticamente la presencia de las sefiales de interbloqueo y de arranque y activa la bomba La primera salida de la bomba se realiza en el modo Soft Start que al final del ciclo de puesta en marcha se deshabilita autom ticamente por lo tanto cuando la bomba se ponga en marcha posteriormente se har sin Soft Start Para volver a utilizar una puesta en marcha Soft Start activa es necesario rehabilitar la forma anteriormente indicada mediante software v ase el apartado RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION en el anexo Technical Information El LED verde situado en el panel de la base del Navigator controller indica con la frecuencia de su parpadeo las condiciones operativas del sistema encendido fijo la bomba est en rotaci n normal parpadea lentamente periodo de 400 ms aproximadamente el sistema esta en estado de rampa o de frenado o de stop o de waiting for iterlock parpadea r pidamente periodo de 200 ms aproximadamente condicion de error Parada de Turbo V 1K G Para parar Turbo V 1K G basta con desenchufarla de la corriente El controller incorporado detiene inmedia
186. se kytket n irti s hk verkosta Sis nrakennettu valvoja pys ytt pumpun v litt m sti Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 155 315 Ohjek sikirja 10 Kayttajan turvallisuuden takaamiseksi Turbo V valvojan virran sy t n on tapahduttava pistokkeella kansainv lisesti hyv ksytty tyyppi ja 3 lla johtimella varustettua s hk kaapelia k ytt m ll katso tilattavien osien taulukkoa K yt t t kaapelia ja pistoketta yhdess oikein maadoitetun pistorasian kanssa jotta s hk iskuilta v ltyt n ja CE normien vaatimukset t yttyv t Valvojassa kehittyv t korkeaj nnitteet voivat aiheuttaa vakavia onnettomuuksia tai jopa kuoleman Irrota s hk kaapeli ennen yksik n sis lle suoritettavien huoltotoimenpiteiden aloittamista H t pys ytys Turbo V 1K G on pys ytett v h t tilassa irrottamalla s hk kaapeli ohjausyksik st Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 156 315 Ohjek sikirja 10 Huolto Turbo V 1K G ei vaadi lainkaan huoltoa Mahdolliset toimenpiteet tulee jattaa valtuutetun henkilon tehtavaksi Ennen mink n tyyppist toimenpidett j rjestelm ss kytkekaa se irti s hk verkosta p st k pumppuun ilmaa avaamalla siihen tarkoitettu venttiili ja odottakaa roottorin t ydellist pys htymist Antakaa t m n j lkeen pumpun pintal mm n laskea alle 50 C en Laitteen vahingoittuessa on mahdollista k ytt Agilentin korjauspalvelua tai Agilent
187. ser Manual Go 5 Manual de Istru es Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares 72 Informac es Gerais 73 Armazenagem 75 Preparac o para a instalac o 76 Instalac o 78 Fixac o da bomba 79 Utiliza o 81 Acendimento e Utiliza o da Turbo V 1K G 82 Paragem da Turbo V IK G 82 Paragem de emerg ncia 83 Manuten o 84 Elimina o 85 Tradu o das instru es originais Turbo V 1K G 87 901 025 01 11 315 Manual de Istru es 5 Indicac es de Seguranca para Bombas Turbomoleculares As bombas turbomoleculares descritas no seguinte Manual de Instruc es tem uma alta quantidade de energia cinetica devida alta velocidade de rota o unida massa espec fica de seus rotores Emm caso de avaria do sistema causada por exemplo por um contacto entre o rotor e o estator ou uma ruptura do rotor a energia de rotac o pode ser liberada ATENCAO Para evitar danos aparelhagem e prevenir les es aos operadores necess rio seguir atentamente as instruc es de instalacao descritas neste manual Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 12 315 Manual delstruc es 5 Informac es Gerais Esta aparelhagem destina se a uso profissional O utilizador deve ler atentamente o presente manual de instru es e todas as informa es adicionais fornecidas pela Agilent antes de utilizar a aparelhagem A Agilent n o se responsabiliza pela inobserv ncia total ou parcial das instru es pelo uso indevido
188. styring av systemet med en serietilkoplet vertsmaskin De fglgende avsnitt inneholder all informasjon som er ngdvendig for a sikre brukeren nar utstyret er i bruk For mer detaljert bruk vises det til tillegget Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 133 315 Instruksjon Manual 9 Denne manualen bruker fglgende standardprotokoll ADVARSEL Faretegnene varsler operatgren om at en spesiell mangver eller operasjon kan for rsake alvorlige personskader dersom den de ikke utfores korrekt FORSIKTIG Advarslene vises fgr man starter en mangver som dersom den ikke blir korrekt utfort kan forarsake skader pa apparatet Merknadene inneholder viktige opplysninger som er tatt ut av teksten Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 134 315 Instruksjon Manual 9 Lagring For A garantere optimal drift og palitelighet for Agilent turbomolekyl re pumper ma folgende anvisninger fglges Under transport flytting og lagring av pumpene m ikke folgende miljgforhold overstiges Temperatur fra 20 C til 70 C Relativ fuktighet fra 0 til 95 uten kondensering Kunden ma alltid soft starte de turbomolekyleere pumpene n r de mottas og startes opp fgrste gang Lagrinsstiden for en turbomolekyl r pumpe er 10 m neder fra sendedato FORSIKTIC Hvis lagringstiden av en hvilken som helst grunn er lenger ma pumpen returneres til fabrikken Vennligst kontakt den lokale Agilent forhandleren for
189. t kan de rotatie energie vrijkomen WAARSCHUWING Om schade aan de apparatuur en letsel bij de bedieners te voorkomen moeten A de installatie instructies in deze handleiding nauwgezet worden opgevolgd Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 88 315 Bedrijfshandleiding 6 Algemene Informatie Deze apparatuur is bestemd voor beroepsmatig gebruik De gebruiker wordt verzocht aandachtig deze handleiding en alle overige door Agilent verstrekte informatie door te lezen alvorens het apparaat in gebruik te nemen Agilent acht zich niet aansprakelijk voor de gevolgen van het niet of gedeeltelijk in acht nemen van de aanwijzingen onoordeelkundig gebruik door niet hiervoor opgeleid personeel reparaties waarvoor geen toestemming is verkregen of gebruik in strijd met de specifieke nationale wetgeving De Turbo V 1K G is een turbomoleculaire pomp voor hoge en ultrahoge vacu mtoepassingen De pomp is in staat om elk type gas of gasverbinding te pompen maar is niet geschikt voor het pompen van vloeistoffen of vaste deeltjes Het pompeffect wordt verkregen door een zeer snel draaiende turbine max 45660 toeren min die aangedreven wordt door een elektrische draaistroommotor met hoog rendement De Turbo V 1K G is volledig vrij van verontreinigingen en is dus ook geschikt voor toepassingen die een schoon vacu m verlangen Indien gebruikt met de Navigator controller 969 8978M005 is de pomp bovendien van hulpconnectors voorzien waarmee een extra v
190. t verkoopcontract te hebben gecontroleerd Ne X Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 101 315 Bedrijfshandleiding 6 Onderhoud Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 102 315 Turbo V 1K G User Manual Istruktionsbog Sikkerhedsanvisninger for Molekyl re Turbopumper 104 Generel Information 105 Opbevaring 107 Forberedelse fer installation 108 Installation 109 Fastggrelse af pumpe110 Anvendelse 112 Start og anvendelse af Turbo V 1K G 113 Stop af Turbo V 1K G 113 Nodstop 114 Vedligeholdelse 115 Bortskaffelse 116 Overs ttelse af originalinstruktionerne Turbo V 1K G 87 901 025 01 103 315 Istruktionsbog 7 Sikkerhedsanvisninger for Molekyleere Turbopumper De molekyleere turbopumper der er beskrevet 1 n rv rende brugsanvisning har en stor kinetisk energi der skyldes den hgje omdrejningshastighed kombineret med deres rotorers specifikke veegt Hvis der er en fejl 1 systemet for eksempel pa grund af en kontakt mellem rotor og stator eller fordi rotoren gar 1 stykker kan omdrejningsenergien spredes ADVARSEL For at undga materielle skader samt at operatorerne kommer til skade er det strengt n dvendigt n je at overholde installeringsvejledningen i denne brugsanvisning Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 104 315 Istruktionsbog 7 Generel Information Dette udstyr er beregnet til professionel anvendelse Brugeren bor l se denne brugsanvisning og anden yderligere information fra A
191. tamente la bomba Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 67 315 Manual de istrucciones 4 Para seguridad del operador el controlador Turbo V debe ser alimentado con cable de alimentaci n de 3 hilos v ase tabla de partes disponibles para pedido provisto de un enchufe aprobado internacionalmente Utilizar el cable y el enchufe junto con un tomacorriente adecuadamente conectado a tierra para evitar descargas el ctricas y cumplir con los requerimientos de las normas CE Las altas tensiones que se desarrollan en el controlador pueden provocar graves danos o incluso resultar fatales Desconectar el cable de alimentacion antes de ejecutar las operaciones de mantenimiento en el interior de la unidad Parada de emergencia Para detener en condiciones de emergencia Turbo V 1K G es necesario desconectar del controlador el cable de alimentaci n Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 68 315 Manual de istrucciones 4 Mantenimiento Turbo V 1K G no necesita ningun mantenimiento Cualquier operaci n deber ser realizada por personal autorizado UVALA Antes de realizar cualquier operaci n en el sistema desconectarlo de la corriente enviar aire de la bomba abriendo la valvula oportuna esperar hasta que el rotor se pare completamente y esperar a que la temperatura superficial de la bomba sea inferior a 50 C En caso de averia se podra utilizar el servicio de reparaci n Agilent o el Agilent advanced exchange service
192. tching on and Use of Turbo V 1K G 255 Turbo V 1K G Switching off 255 Emergency Stop 256 Maintenance 257 Disposal 258 Original instructions Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 17 245 315 Instructionsfor Use 17 Safety Guideline for Turbomolecular Pumps Turbomolecular pumps as described in the following operating manual contain a large amount of kinetic energy due to the high rotational speed in combination with the specific mass of their rotors In case of a malfunction of the system for example rotor stator contact or even a rotor crash the rotational energy may be released To avoid damage to eguipment and to prevent injuries to operating personnel the installation instructions as given in this manual should be strictly followed Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 246 315 Instructions for Use 17 General Information This eguipment is destined for use by professionals The user should read this instruction manual and any other additional information supplied by Agilent before operating the eguipment Agilent will not be held responsible for any events occurring due to non compliance even partial with these instructions improper use by untrained persons non authorized interference with the equipment or any action contrary to that provided for by specific national standards The Turbo V 1K G is turbo molecular pump for high and ultra high vacuum applications It can pump any type of gas or gas compo
193. te il presente manuale di istruzioni ed ogni altra informazione addizionale fornita dalla Agilent prima dell utilizzo dell apparecchiatura La Agilent si ritiene sollevata da eventuali responsabilit dovute all inosservanza totale o parziale delle istruzioni ad uso improprio da parte di personale non addestrato ad interventi non autorizzati o ad uso contrario alle normative nazionali specifiche La Turbo V 1K G una pompa turbomolecolare per applicazioni di alto e ultra alto vuoto La pompa capace di pompare qualsiasi tipo di gas o di composto gassoso ma non adatto per il pompaggio di liquidi o di particelle solide L effetto pompante ottenuto tramite una turbina rotante ad elevata velocit 45660 giri min max mossa da un motore elettrico trifase ad alto rendimento La Turbo V 1K G totalmente priva di agenti contaminanti ed quindi adatta per applicazioni che richiedono un vuoto pulito Quando usata con il Navigator controller 969 8978M005 la pompa dispone inoltre dei connettori ausiliari tramite i quali possibile alimentare un ventilatore aggiuntivo comandare la valvola di vent pilotarlo da remoto tramite un computer host collegato con linea seriale RS232 o RS485 Nei paragrafi seguenti sono riportate tutte le informazioni necessarie a garantire la sicurezza dell operatore durante l utilizzo dell apparecchiatura Informazioni dettagliate sono fornite nell appendice Technical information Turbo V 1K G Use
194. the pump or system which could cause serious injury or death and or damage to surrounding eguipment Fix the Turbo V 1K G in a stable position mounting the inlet flange of the turbopump to the system counter flange with a connection capable of withstanding a torgue of 8900 Nm around its axis The following table shows for each ISO F flange the necessary number of screws and the relevant fixing torgue Table 1 Flange N Fixing Torgue ISO 160 F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm The class of the steel screws for F flange must be gt 8 8 The Turbo V 1K G can be installed in any position The Turbo V 1K G cannot be fixed by means of its base Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 252 315 Instructions for Use 17 CAUTION The Turbo V 1K G with Navigator controller 969 8978M005 belongs to the second installation or overvoltage category as per directive EN 61010 1 Connect the device to a mains line that satisfies the above category The Turbo V 1K G has Input Output and serial communication connectors that must be connected to external circuits in such a way that no electrical part is accessible Be sure that the insulation of the device connected to the Turbo V 1K G is adequate even in the case of single fault as per directive EN 61010 1 For installation of optional accessories see Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 253 315 Instructionsfor Use 17 Use This paragraph details the
195. tirar a tampa de protec o somente no momento de ligar a turbobomba ao sistema Na presen a de campos electromagn ticos a bomba deve ser protegida atrav s de blindagens adequadas Para ulteriores detalhes consultar o ap ndice Technical Information A Turbo V 1K G deve ser ligada a uma bomba prim ria consultar esquema em Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 18 315 Manual delstruc es 5 Fixacao da bomba NAT Em caso de dano no rotor a liga o entre a bomba e o sistema corre o risco de sofrer um torque muito grande Se a ligacao nao resistir de maneira suficiente ao referido torgue a bomba pode soltar se do sistema ou o motor pode soltar se do involucro da bomba Nesse caso fragmentos de metal podem ser projectados da bomba ou do sistema que podem provocar les es graves ou a morte e ou danificar os eguipamentos adjacentes Colocar a Turbo V 1K G em posic o est vel fixando o flange de entrada da turbobomba ao contra flange do sistema com uma ligacao que resista a um torque de 8900 Nm volta do seu eixo A tabela a seguir contem por cada flange ISO F o numero dos parafusos necessarios e o respectivo torgue de aperto Tabela 1 Flange N Torgue De Aperto ISO 160 F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm A classe de resist ncia dos parafusos de aco para as flanges F deve ser gt 8 8 A Turbo V 1K G pode ser instalada em gualguer posicao A Turbo V 1K G n o pode ser fixada
196. turbomol culaires doivent toujours tre mises en marche en mode soft Start Le temps de stockage d une pompe turbomol culaire est de 10 mois compter de la date d exp dition ATTENTION En cas de d passement du temps de stockage la pompe doit tre retourn e en usine Pour tout renseignement contacter le repr sentant Agilent de zone Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 45 315 Mode d emploi 3 Preparation Pour L installation La Turbo V 1K G est livr e dans un emballage de protection sp cial en cas d endommagement de l emballage pouvant s tre produit pendant le transport contacter le bureau de vente local Pendant l op ration d ouverture de l emballage veiller tout particuli rement a ne pas laisser tomber la Turbo V 1K G et ne pas l exposer des choces ou des vibrations Ne pas abandonner l emballage dans la nature Le mat riel est enti rement recyclable et conforme la directive CEE 85 399 en mati re de protection de l environnement werden Afin d viter tout probl me de d gazage ne pas toucher mains nues les l ments devant tre expos s au vide Mettre toujours des gants ou toute autre protection appropri e La Turbo V 1K G ne peut s endommager en restant simplement expos e l atmosph re Toutefois afin d viter toute pollution due la poussi re il est conseill de la garder dans son emballage clos jusqu au moment de l installation Turbo V 1K G User Manual
197. und It is not suitable for pumping liquids or solid particles The pumping action is obtained through a high speed turbine max 45660 rpm driven by a high performance 3 phase electric motor The Turbo V 1K G is free of contaminating agents and therefore is suitable for applications requiring a clean vacuum When used with Navigator controller 969 8978M005 the pump is equipped with auxiliary connectors to supply an additional fan to control the vent valve to be controlled from a remote site by means of an host computer connected through a serial line RS232 or RS485 The following paragraphs contain all the information necessary to guarantee the safety of the operator when using the equipment Detailed information is supplied in the appendix Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 241 315 Instructionsfor Use 17 This manual uses the following standard protocol The warning messages are for attracting the attention of the operator to a particular procedure or practice which if not followed correctly could lead to serious injury CAUTION The caution messages are displayed before procedures which if not followed could cause damage to the equipment The notes contain important information taken from the text Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 248 315 Instructions for Use 17 Storage In order to guarantee the maximum level of performance and reliability of Agilent Turbomolecular pumps
198. vigator controller model 969 8978M005 Vych dzajte z navodu k jednotke pre pou itie s inym modelom riadiaceho zariadenia 969 9454M002 Ak chcete zapnut zariadenie Turbo V 1K G musite ho pripojit ku zdroju napajania Integrovany kontrolny modul automaticky rozpozna pritomnost signalov spojenia a spustenia a zapne vyvevu Prv spustenie vyvevy prebehne v re ime Soft Start Jemny tart Po dokon eni spu tacieho cyklu sa re im Soft Start automaticky zablokuje a v etky nasledujuce spustenia zariadenia prebehnu bez re imu Soft Start Ak chcete re im Soft Start odblokovat musite ho aktivovat vhodnym softwarovym prikazom pozri ast RS 232 RS 485 COMMUNICATION DESCRIPTION Popis komunikacie v dodatku Technical Information Zelena dioda LED na zakladnom elnom paneli zariadenia Navigator controller Turbo V 1K G indikuje frekvenciou blikania sposob innosti systemu iadne blikanie v veva norm lne rotuje pomal blikanie interval asi 400 ms syst m je v niektorom Z t chto stavov st panie klesanie brzdenie Stop alebo v re ime Cakanie na spojenie r chle blikanie interval asi 200 ms chybov stav Zastavenie Turbo V 1K G Ak chcete zastavi Turbo V 1K G mus te ho odpoji od zdroja nap jania Zabudovan kontroln modul v vevu okam ite zastav Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 221 31b N vod na Obsluhu 15 4 1 74441 Z d vodu bezpe nosti obsluhuj ceh
199. wtyczk do kontaktu uziemionego celem unikni cia pora e pr dem elektrycznym oraz spe nienia wymog w norm CE Du e si y wewn trzne wytwarzaj ce si w kontrolerze mog spowodowa powa ne uszkodzenia cia a lub mier Przed przeprowadzeniem czynno ci konserwacyjnych wewn trz tego urz dzenia od czy kabel zasilaj cy Zatrzymanie Alarmowe Aby zatrzyma w stanie awaryjno alarmowym pomp Turbo V 1K G nale y od czy kabel zasilania ze sterownika Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 200 315 Podrecznik Instrukcji 13 Konserwacja Pompa Turbo V 1K G nie wymaga zadnej konserwacji Jakakolwiek interwencja musi by wykonana przez upowa niony personel ZAGROZENIE Przed wykonaniem jakiejkolwiek interwencji na systemie nale y od czy go od zasilania otworzy odpowiedni zaw r dla wlotu powietrza odczeka a do ca kowitego zatrzymania wirnika i odczeka a temperatura powierzchni pompy b dzie wynosi a poni ej 50 C W przypadku usterki mo liwe jest skorzystanie z serwisu naprawczego Agilent lub Agilent advanced exchange service ktory pozwoli na uzyskanie zregenerowanego systemu w zast pstwie uszkodzonego systemu Przed wysy k do konstruktora systemu do naprawy lub advanced exchange service nale y obowi zkowo wype ni I przekaza do miejscowego biura sprzeda y kart Bezpiecze stwo i Zdrowie za czon do niniejszej instrukcji Jeden egzemplarz kopia karty musi by
200. y zainstalowana w jakiejkolwiek pozycji Pompa Turbo V 1K G nie mo e by mocowana poprzez wtasna podstawe Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 196 315 Podrecznik Instrukcji 13 UWAGA Pompa Turbo V 1K G Ze sterownikiem typu Navigator controller 969 8978M005 nalezy do drugiej kategorii instalacji lub nadnapiecia przewidzianej przez norme EN 61010 1 Dlatego te pod czy urz dzenie do linii zasilania kt ra spe ni te wymogi Pompa Turbo V 1K G posiada konektory wej ciowe wyj ciowe i dla komunikacji szeregowej kt re musz by pod czone do obwod w zewn trznych w spos b aby adna cz znajduj ca si pod napi ciem nie mog a by dost pna Nale y upewni si czy izolacja pod czonego urz dzenia do pompy Turbo V 1K G posiada odpowiednie odizolowanie nawet w stanie pojedynczej usterki zgodnie z wymaganiami normy EN 61010 1 Aby zainstalowa opcjonalne akcesoria nale y zapozna si z Technical Information Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 197 315 Podrecznik Instrukcji 13 Uzytkowanie W tym paragrafie zostaty przedstawione gl wne procedury operacyjne Przed zastosowaniem systemu nalezy wykona wszystkie potaczenia elektryczne i pneumatyczne Podczas ewentualnego nagrzania komory pr niowej temperatura na ko nierzu nie mo e przekroczy 80 C ZAGROZENIE Nigdy nie nale y uruchomic pompe w przypadku kiedy kotnierz wejsciowy nie jest podtaczony do komory lub nie
201. y and fitness for a particular purpose Agilent shall not be liable for errors or for incidental or conseguential damages in connection with the furnishing use or performance of this document or of any information contained herein Should Agilent and the user have a separate written agreement with warranty terms covering the material in this document that conflict with these terms the warranty terms in the separate agreement shall control Technology Licenses The hardware and or software described in this document are furnished under a license and may be used or copied only in accordance with the terms of such license Restricted Rights Legend If software is for use in the performance of a U S Government prime contract or subcontract Software is delivered and licensed as Commercial computer software as defined in DFAR 252 227 7014 June 1995 or as a commercial item as defined in FAR 2 101 a or as Restricted computer software as defined in FAR 52 227 19 June 1987 or any equivalent agency regulation or contract clause Use duplication or disclosure of Software is subject to Agilent Technologies standard commercial license terms and non DOD Departments and Agencies of the U S Government will receive no greater than Restricted Rights as defined in FAR 52 227 19 c 1 2 June 1987 U S Government users will receive no greater than Limited Rights as defined in FAR 52 227 14 June 1987 or DFAR 252 227 7
202. yvevy alebo systemu prudko vymrstit kovove asti a sposobit va ne zranenie alebo smrt a alebo po kodit dal ie zariadenia Upevnite Turbo V 1K G do stabilnej polohy tak Ze pripevnite vstupn prirubu turbovyvevy k prirube syst mu Pripojenie musi byt schopn vydr at to ivy moment 8900 Nm okolo vlastnej osi Nasledujuca tabulka ukazuje pre ka du ISO F prirubu potrebny po et svoriek a prislu ny upevnovaci krutiaci moment Tabulka 1 Priruba Po et Utahovaci Krutiaci Moment ISO 160 F 8 5 Nm ISO 200 F 12 5 Nm Trieda oce ov ch skrutiek pre pr rubu typu F musi by vy ia ako 8 8 Turbo V 1K G m e by nain talovan do ubovo nej polohy Turbo V 1K G nem e by upevnen prostredn ctvom jej podstavca Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 224 315 N vod na Obsluhu 15 POZOR Podla smernice EN 61010 1 patri Turbo V 1K G so zariadenim Navigator controller 969 8978M005 do druhej in tala nej prep ovej kateg rie podla smernice EN 61010 1 Zariadenie je potrebn pripoji ku zdroju nap jania ktor vyhovuje uvedenej kateg rii V v va Turbo V 1K G m konektory pre vstup v stup a konektory s riovej komunik cie ktor je potrebn pripoji k vonkaj iemu okruhu tak aby nebola dostupn iadna elektrick s as Presved ite sa Ci zariadenie pripojen k k Turbo V 1K G m adekv tnu izol ciu aj pre pr pad samostatnej chyby pod a smernice EN 61010 1 Turbo V 1K G User M
203. zen p ibalit kopii tohoto listu Pokud se m za zen vy adit mus se zlikvidovat v souladu s konkr tn mi st tn mi normami Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 215 315 Navod k Pou iti 14 Likvidace Vyznam loga WEEEY nachazejiciho se na titku Ni e uvedeny symbol odpovida sm rnicim CE pojmenovanym WEEE Tento symbol platny jen pro staty Evropske Unie ur uje e vyrobek ktery je takto ozna en NESMI byt likvidovan spole n s ostatnimi domacimi nebo prumyslovymi odpady ale je nutno ho pfedat do pat i n ch provozn ch sb ren kde musi b t t d n a likvidov n odd len od m stsk ho odpadu U ivateli kter m n v robek likvidovat doporu ujeme aby se nakontaktoval p mo s v robcem nebo prodejcem kter se po pat i n m prov en term n a smluvn ch podm nek postar o kompletn likvidaci uveden ho v robku N a FAN e N Turbo V 1K G User Manual 87 901 025 01 216 315 Turbo V 1K G User Manual 15 Navod na Obsluhu Bezpe nostny navod pre Turbomolekularne vyvevy 218 V eobecne Inform cie 219 Uchovavanie 221 Priprava na in talaciu222 In tal cia 223 Upevnenie v vevy 224 Pou itie 226 Zapnutie a pou itie zariadenia Turbo V 1K G 227 Zastavenie Turbo V 1K G227 N dzov zastavenie 228 dr ba 229 Likvid cia 230 Preklad origin lneho n vodu Turbo V 1K G 87 901 025 01 217 315 N vod na Obsluhu 15 Bezpe nostny navod p

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