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Pompe di diffusione ad alta capacità

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1. To 3 Ph l 200 240 400 430 440 480 V n Pei 200 240 400 430 440 480 V 8 100 W By Customer SK By Varian 8100 watts 9600 watts I 23 1 amps 240 V 11 54 amps 480 V 9600 watts Ip 13 3 amps 240 V 6 67 amps 480 V Resistenza dell elemento Rro7l1 L2 12 13 L3 L1 10 5 8100 W 9600 W 2700 3200 W Delta Circuit 200V 90 200V 99 200v 159 200V 1392 200 240 400 430 440 480 V 240 140 240V 12Q 240 210 240V 18Q 400 40 0 400V 33Q 400 590 400V 50Q 430V 460 430V 39Q 430 690 430V 58Q 440V 48Q 440V 41Q 440V 72Q 440V 61Q 480 V 550 480V 46Q 480 85 480V 72Q Figura 11 Schema elettrico delle pompe HS 16 da 200 240 400 430 440 480 V 23 Pompe di diffusione ad alta capacit 24 To Thermal Switches TO Control _ O ie OPEN ON TEMP RISE TSW2 TSWI Magnetic Upper Lower si i SSA 390 F 4 Heaters 3 To3Ph w 2700 3200 W 415V 240V Supply By Customer By Varian Y Circuit T 415V x Hi NEUTRAL Rror L1 L2 L2 L3 L3 L1 42 6 8100W 34 20 9600W I Ip 11 24 415V 8100W 13 3A 45V 9600W Figura 12 Schema elettrico delle pompe HS 16 da 415 V Pompe di diffusione ad alta capacit Therm
2. 23 12 Schema elettrico delle pompe HS 16 da 415 Vi ii 24 13 Schema elettrico delle pompe HS 20 da 200 240 400 430 480 V i 25 14 Schema elettrico delle pompe HS 20 da 415 Vi ii 26 15 Schema elettrico delle pompe HS 32 da 200 V iii 27 16 Schema elettrico delle pompe HS 32 da 240 Vi ii 28 17 Schema elettrico delle pompe HS 32 da 460 V iii 29 18 Schema elettrico delle pompe HS 32 da 415 Vi 30 19 Schema elettrico delle pompe HS 32 da 480 Vi 31 20 Schema elettrico delle pompe HHS 35 da 240 400 440 V sss eee enne 32 21 Schema elettrico delle pompe NHS 35 da 415 V i 33 22 Schema elettrico delle pompe NHS 35 da 480 V ii 34 23 37 24 Copertura di raffreddamento ss et e det pe e eo ne hee aria 42 25 Motore a getto della pompa FIS 16 rate iret ORE P REO HEN EI ERN EE LH UR 43 26 Motore pompa FIS 20 crt Re etn ioni 44 27 Dettaglio degli accoppiamenti del motore a getto sss enne 45 28 Motore a getto della pompa HS 32 ene ene eere rennen enne 46 29 Motore a getto dell pompa lNEIS 35 cromo balia nane lado 48 30 Montaggio del riscaldatore ee 49 Pompe di diffusione ad alta capacit Pagina lasciata intenzionalmente in bianco Pompe di diffusione ad alta capacit Tabellas i i i
3. 2 oett nme eee abs rn rte nee At 10 Rimozione della pompa dall imballaggio iii 17 Installazione a nia taglia ela 17 MOLE RR AR A 17 Pulizia di una nuova pompa 259 rane lione 18 Precauzioni di sicurezza da adottare durante la pulizia iii 18 Smontaggio della pompa per la pulizia iniziale iii 18 Rimontaggio della pompa dopo la pulizia iniziale essem 18 Collegamento della pomp al sistema ed i servizi 19 Collegamento della pompa all impianto a vuoto sess een emen em en enne 19 Acqua divraffreddamento caiano liana EIC EU eR IH Tu 19 Colleeamenti ele ttrick trot pee Poo ea 21 Surriscaldamento uso degli interruttori termici essen en ene en nenne 22 Test del vuoto iniziale uenire atii dida deco odds ca Rabia ira 35 Aggiunta o sostituzione del liquido di pompaggio sese ne ene nenne 36 Funzionamento azar 38 Procedura di AVVO ea 39 huj T AAO 39 Manutenzione amm 40 5 istriano ea Lella elia arpa 40 Pulizia reiecit p eatem tee A 41 Precauzioni di sicurezza da adottare durante la pulizia eene 41 Procedure per il montaggio e lo smontaggio ui 42 Gopertura di raffreddamento ninine enter eere tre
4. Far passare i fili intorno alla pompa sotto ai ferma cavi quindi inserirle nel tubetto protettivo e collegarli alla scatola di giunzione Collegare i cavi alla morsettiera quindi rimontare la piastra di copertura a gomito Rimontare l isolamento e la copertura del riscaldatore ATTENZIONE Non utilizzare cavi in rame o rivestiti in rame per i fili del riscaldatore o i capocorda poich questi materiali tendono ad ossidarsi rapidamente e possono provocare problemi a causa delle temperature elevate vicino ai riscaldatori Utilizzare un cavo in nichel n 10 con un isolamento resistente alle alte temperature Pompe di diffusione ad alta capacit Risoluzione del problemi Perdite In caso di perdite o prestazioni inadeguate del sistema controllare i seguenti elementi Connessioni di ingresso e della pompa a vuoto iniziale Tappi di scarico e riempimento Altri raccordi a compressione come vacuometri Connessioni filettate come quelli del manometro della pompa a vuoto iniziale Prima di attuare il programma dettagliato di risoluzione dei problemi controllare le prestazioni e la precisione dei vacuometri installati nel sistema Sgassamento Anche se non ci sono perdite esterne sui sistemi ad alto vuoto possono essere presenti carichi di gas elevati a causa dello sgassamento delle superfici o dei processi interni La pressione all interno del sistema pari al carico di gas diviso la velocit di pom
5. c OIXL 01 42 c OLXE L OIXZ 01 16 sequ g 0 1XS gt _01 5 g 01XS gt _01 8 g 01XS gt _01 8 g 01XS gt c OIXI g 01XS gt _01 4 012191959 Ip MI 9 6 91 SH ojueureuoizunj 1 p iffusione ad alta capacit Pompe di 0051 289 005 L 289 009 cZc 009 Zcc 8x osad 3I20 9A ejje osn Jed ajer Sisuoo IUOISUSWII x x O PIZIUI ojona e ej op ejer d1suoo eoede un SN 10 opinbi eoep 1009 PINO aunuadias uo 1000 aunuadias ezuag ip ip Jo 08 9 09 en 055 801 Ip O USwWEpaljyea ip enboe ossnjj 1 e120 9A M 9 6 9L SH M L 8 9L SH o1ueureuorzunj ip vds Pompe di diffusione ad alta capacit Velocit del pompaggio dell aria La funzione di pompaggio pu essere espressa graficamente correlando la pressione di ingresso alla velocit dell aria ed alla capacit Questa relazione per le pompe a vuoto di grandi dimensioni illustrata nei grafici compresi tra la Figura 2 e la Figura 5 24000 mm 48 22000 HH 44 20000 i 40 18000 H L _ 4 36 g 16000 1 7 m 32 J
6. scarico viene aperto quando la pompa in funzione o calda 40 Per effettuare la manutenzione generale attenersi alla seguente procedura 1 Controllare lo stato ed il livello del liquido quando la pompa fredda Prelevare un campione dallo scarico e verificare visivamente il livello del liquido tramite l obl Un lieve scolorimento del liquido non influisce sulle prestazioni della pompa Sostitituire le guarnizioni degli O ring dei tappi di riempimento e scarico Perdite di liquido possono derivare dalle seguenti condizioni Q Ingresso di una quantit eccessiva di aria o di altri gas nella pompa calda Q Flusso insufficiente dell acqua di raffreddamento Uso continuativo della pompa con carichi superiori a quelli indicati nella Tabella 4 a pagina 7 Mancato reinserimento dello schermo della pompa a vuoto iniziale nella pompa NOTA Il modello HS 32 non dispone di un diaframma sulla pompa a vuoto iniziale Appena la pompa si raffredda verificare che i riscaldatori siano fissati saldamente sulla piastra della caldaia e che tutte le connessioni dei morsetti dei riscaldatori siano state effettuate saldamente nella cassetta di giunzione Controllare la tensione in ingresso complessiva dei riscaldatori ed il bilanciamento del carico Verificare che il flusso dell acqua di raffreddamento non sia ostruito e che non sia inferiore a quello specificato nella Tabella 4 a pagina 7 Pompe di diffusione ad alta c
7. Codice Descrizione 77252801 Copertura di raffreddamento comprensiva di vite 10 32 SST Rd Hd e dado esagonale 10 32 SST 660811494 Anello di tenuta per copertura di raffreddamento F2622001 Controdado per copertura di raffreddamento ottone 75786001 Dado per copertura di raffreddamento 622445026 Accoppiamento femmina per copertura di raffreddamento tubo con D E 1 2 x 3 8 FPT Imperial Flexfitting n 66 FL 76511301 Motore a getto con copertura di raffreddamento F6097301 Kit per la manutenzione dell obl con tubo di vetro O ring e raccordi Valvole non incluse F1755301 Obl con valvola di tenuta tubo in vetro staffa rimovibile copertura per obl e raccordi per pompe costruite prima dell ottobre 1994 84347003 Spinotto filettato tappi di riempimento e scarico K9050003 Interruttore termico superiore impostazione di temperatura 220 F K9050004 Interruttore termico inferiore impostazione di temperatura 550 F 656118114 Filo in nichel a piede 14 AWG 648056329 Capocorda in nichel 14 AWG F6253001 Blocco per interruttore termico ottone 647332010 Riscaldatore con cavi N 10 AWG 4000 W 240 V 415 V 480 V 647332020 Riscaldatore con cavi N 10 AWG 4000 W 200 V K7246001 Piastra di compressione per riscaldatore da sostituire per ciascun riscaldatore K7247001 Piastra di fissaggio 75792001 Isolamento per riscaldatori Cerablanket spessore da 0 50 7
8. aan 42 Motori areazione ALII ia eee 43 Sostituzione riscaldatore nin lies irene Tie riali 49 Risoluzione dei problemi 51 Perdite eei ed 51 SPASSAMENTO sia 51 Prestazioni inadeguate della pompa o del sistema enne 52 Parti di ricambio Uia nane Deo cM BEEN IER CDU abitata 54 Pompe di diffusione ad alta capacit Pagina lasciata intenzionalmente in bianco Pompe di diffusione ad alta capacit Figuras 1 Pompa di difusione 9 20 LELLA ata 6 2 Curve della velocit e della capacit del modello HS 16 8 1 KW 9 3 Curve della velocit e della capacit del modello HS 20 sss 9 4 Curve della velocit e della capacit del modello HS 32 sss ene 9 5 Curve della velocit e della capacit del modello HS 35 sss ene 9 6 Vista della pompa HS 16 con flange ASA 10 7 Vista della pompa HS 20 con flange 11 8 Vista della pompa HS 32 con flange ASA 13 9 Vista della pompa NHS 35 con flange ASA csse eene ee en ee rennen 15 10 Collegamento della pompa all acqua di raffreddamento see 19 11 Schema elettrico delle pompe HS 16 da 200 240 400 430 440 480
9. Figura 5 Curve della velocit e della capacit del modello HS 35 Pompe di diffusione ad alta capacit Specifiche fisiche 16 291 12 fori Tabella 5 HS 16 dimensioni e peso 40 75 for Altezza minima mm pollici 1295 4 51 comprensiva dello spazio richiesto per accedere al 023 50 D E riscaldatore Peso Kg libbre 227 500 1 4 Connessioni acqua tipiche Connessioni Corpo e pompa a Pollici 1 4 FPT vuoto iniziale Pollici 1 4 FPT 24 00 Serpentine Quick 610 Cool Ila copertura di raffreddamento 3 00 1092 1 4 Connessioni acqua tipiche con porte di riempimento e scarico 1 4 Serpentine Quick Cool opzionali Figura6 Vista della pompa HS 16 con flange ASA Tabella 6 Dimensioni delle flange del modello HS 16 ISO ASA Pompa a vuoto iniziale Ingresso Ingresso 500 Pompa a vuoto iniziale 100 D E mm pollici 596 9 23 50 190 5 7 50 549 9 21 65 130 1 5 12 D I mm 457 2 18 00 90 9 3 58 457 2 18 00 90 9 3 58 pollici Spessore mm 25 4 1 00 12 7 0 50 17 0 0 67 11 9 0 47 pollici Diametro fissaggio mm 539 8 21 25 152 4 6 00 pollici Numero di fori 16 4 Dimensione dei fori mm 28 7 1 13 19 1 0 75 pollici Orientamento I fori sono distribuiti sulla linea di mezzeria della pompa a vuoto iniziale 10 Pompe di diffusione
10. in funzione della pressione in ingresso Le dimensioni della flangia di ingresso che collega la pompa all impianto da evacuare sono riportate nelle tabelle dalla Tabella 6 a pagina 10 alla Tabella 12 a pagina 15 NOTA I dati riportati nella Tabella 4 a pagina 7 si riferiscono a pompe che utilizzano liquidi di pompaggio per pompe a diffusione DC 704 iffusione ad alta capacit Pompe di ISe ZH 09 06 VI vc vc cl 9 6 1 8 MI 9uolzejusuul v 012121959 Ip UOD eduuod Ossn jo nuoo 000 0 gt 4000 0 gt 6100 0 gt S 100 0 gt UI 3I2O 9A S 0 9 0 Z 0 Z 0 requi ouaid y Or o SEO 0 0 20 99 0 99 0 99 0 ODHE 22096 SS 0 05 0 9 0 S9 0 STI OJONA 2uoissaJd e erziui e ej ep opinbi ip eyiosnuon eyuengosuoo e aJouadns QUOIZESI Ip e 09 E29EMOS Ip 1uorzipuoo o nenunuoo osn 1 3NO ZN3LLV 7_OLXL 9 O21J822 JAOS SE SE 81 S EL SZI 5 LE 61 EEL E IL 5 Sc c 0 01 8 s MO QUOA 005 29 000 0t 000 77 008 2 1 0113 5 000 0S 000 C 00S ZI 000701 eny 5 Ip EH9O IA g 01X gt 01 69 OIXZ c OIXO L 601 4 9 gt
11. Spinotto filettato tappi di riempimento e scarico K9050005 Interruttore termico superiore impostazione di temperatura 200 F K9050006 Interruttore termico inferiore impostazione di temperatura 600 F 647335010 Riscaldatore con cavi 4000 W 240 V 415 V 480 V L6383010 Riscaldatore con cavi 4000 W 400 V L6383011 Riscaldatore con cavi 4000 W 440 V F1749001 Piastra di fissaggio non prevista alcuna piastra di compressione per il modello NHS 35 L6514001 Isolamento per riscaldatori Cerablanket spessore da 0 50 L9223001 Obl per pompe costruite dopo l ottobre 1995 K0377169 O ring kit con 1 O ring per flangia di ingresso ASA in butile 78536001 1 O ring per flangia della pompa a vuoto iniziale in 2 267 8 O ring per tappi di riempimento e scarico in Viton 2 213 1 O ring per obl 2 240 1 guarnizione per obl in grafite L9228001 40 ring Viton 2 221 695472008 Liquido per pompa a diffusione DC 702 un gallone 695474008 Liquido per pompa a diffusione DC 704 un gallone 695475008 Liquido per pompa a diffusione DC 705 un gallone 78536002 O ring per la flangia di ingresso ISO 59 Pompe di diffusione ad alta capacit Pagina lasciata intenzionalmente in bianco Canada Sede coordinata centralmente da Varian Inc 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 7
12. Utilizzare un ohmetro per stabilire su quale riscaldatore si verificato il guasto Scollegare i cavi dalla morsettiera Estrarre tutti i cavi dalla cassetta di giunzione e dalla piastra di copertura a gomito Rimuovere la copertura del riscaldatore dalla parte inferiore della pompa a diffusione Spostare l isolamento per individuare il riscaldatore difettoso Rimuovere i dadi che tengono in posizione la piastra di fissaggio Abbassare il gruppo del riscaldatore riscaldatore piastra di fissaggio e piastra di compressione eccetto che per il modello NHS 35 che non dispone di una piastra di compressione e rimuoverlo dai blocchetti di montaggio Per installare un nuovo riscaldatore 1 50 Applicare un composto anti grippaggio come il composto Loctite C5 A FEL PRO ai blocchetti possibile usare come lubrificante anche una miscela neutra di magnesio Montare la nuova unit costituita dal riscaldatore dalla piastra di fissaggio e dalla piastra di compressione eccetto che per il modello NHS 35 Afferrare il riscaldatore per la piastra di fissaggio allineare i fori con i blocchetti della caldaia quindi spingere l unit verso la piastra della caldaia Serrare manualmente i due dati per fissare l unit in posizione Serrare manualmente gli altri dadi quindi serrare tutti i dadi ad una coppia di 250 pollici libbre Etichettare i cavi del riscaldatore seguendo le indicazioni riportate nello schema elettrico
13. del motore a getto in modo che la distanza delle aste dai dadi sia pari a circa 1 8 ATTENZIONE Non serrare eccessivamente i dadi sui tiranti per evitare di torcere la traversa Le aste servono a mantenere unito il gruppo durante l installazione della pompa Utilizzare la traversa e un attrezzatura di sollevamento idonea per abbassare il gruppo dei motori a getto sul corpo della pompa sopra l asta del motore a getto centrale ATTENZIONE Se la pompa dispone di un pozzetto 8 termico montato sulla parte inferiore del corpo della pompa sulla base presente un foro che consente di accedere al pozzetto termico Verificare che il pozzetto termico si inserisca perfettamente nel foro per non danneggiare il pozzetto termico e il motore a getto Effettuare le operazioni descritte nei punti da 1 a 3 in ordine inverso per smontare i componenti del motore a getto superiore NOTA La posizione del dado esagonale tale da fungere da elemento centrante per la copertura di raffreddamento o il diaframma Verificare che il dado esagonale non sia stato installato capovolto 47 Pompe di diffusione ad alta capacit Motore a getto della pompa NHS 35 Con raffreddamento ad Copertura di raffreddame Capocorda per il sollevai Motore a getto principali a a Figura 29 Motore a getto della pompa NHS 35 Per smontare il motore a getto 1 48 Allentare e rimuovere il dado esagonale e ri
14. di dimensioni adeguate NOTA Smaltire i liquidi in accordo alle leggi applicabili 4 Rimuovere il tappo dalla porta di riempimento della pompa e versare il liquido fino al livello FULL COLD Freddo completo sull obl come mostra la Figura 23 Il liquido pu anche essere rabbocato dall ingresso della pompa o dalla pompa a vuoto iniziale Figura 23 Obl 5 Installare una nuova guarnizione in Viton sul tappo di riempimento Lubrificare l O ring con liquido di pompaggio reinstallare l O ring e reinserirlo nel sistema 6 Serrare il tappo di riempimento alla coppia massima di 75 pollici libbre Appena la pompa in funzione controllare che il livello del liquido corrisponda all indicazione FULL HOT riscaldamento completo sull obl 37 Pompe di diffusione ad alta capacit Funzionamento In alcuni casi pu essere necessario degassare il liquido di pompaggio in fase di installazione iniziale Ci provoca delle oscillazioni nella pressione di vuoto iniziale che sono considerate normali AVVERTENZE Le seguenti condizioni incrementano il rischio di esplosioni Infiltrazione di aria nel sistema Q Creazione di una condizione di vuoto parziale tramite una pompa di diffusione calda che puo far si che i liquidi a base di idrocarburi caldi si infiammino o esplodano a contatto con l aria Q Rilascio di aria o ingresso di aria nella pompa quando la caldaia calda ci porta a contatto l ossi
15. e peso Unit HS 32 45 2 2m a a mm pollici 1879 6 74 T Lee 3 8 EP CDL on spazio richiesto per i I accedere al o riscaldatore Peso Kg libbre 680 4 1500 Connessioni Corpo e pompa a vuoto pollici 3 8 FPT 46 75 iniziale pollici 3 8 FPT 1187 Serpentine Quick 3 8 F P T WATER CONN S 68 50 1740 d THERMOSTAT BOX SEE SEE TOP VIEW TELE T ELECTRICAL FAR SIDE SIGHT GLASS W FILL amp DRAIN 3 8 F P T QUICK COOL COIL 1 OPTIONAL Figura8 Vista della pompa HS 32 con flange ASA Tabella 10 Dimensioni delle flange del modello HS 32 ASA ISO Pompa a vuoto Pompa a vuoto iniziale 200 Unit Ingresso iniziale Ingresso 800 F K D E mm 968 3 38 12 279 4 11 00 920 0 36 22 240 0 9 45 pollici D I mm 814 3 32 06 170 9 6 73 814 3 32 06 170 9 6 73 pollici Spessore mm 28 5 1 12 19 1 0 75 28 5 1 12 11 9 0 47 pollici Diametro fissaggio mm 920 8 36 25 241 3 9 50 890 0 35 04 pollici Numero di fori 16 8 24 Dimensione dei fori mm 22 1 0 87 22 4 0 88 14 0 0 55 pollici Pompe di diffusione ad alta capacit Orientamento Tabella 10 Dimensioni delle flange del modello HS 32 ASA ISO Pompa a vuoto iniziale Ingresso Ingresso 800 F fori sono distribuiti sulla linea di mezzeria della pompa a vuoto iniziale Pompa a vuoto iniziale 200 K Scanalatura D I
16. guarnizione Larghezza Profondit 14 in mm mm pollici mm pollici Richiede l uso dell anello di centraggio NW 200 non fornito con la pompa Pompe di diffusione ad alta capacit m 941 75 35 ASA Inlet Fl a 28x 487 holes es 9n 438 50 B C 9 50 B C ISO Version Pump Uses z 1 1000 inlet flange w bolt holes and O ring groove 44 09 O D 3600107 1 Tabella 11 NHS 35 dimensioni e peso Dex 4 590 moles o 042 91 0100 611 00 i 279 Unit NHS 35 45 in m Sight Gl D Si wFil and Dale s S KE Electrical Box ISO Version Pump Uses Altezza m nima mm pol ici 2032 80 ISO 200 K Flange comprensiva dello Thermostat 9 45 OD x 7 72 1 D n 45 L J spazio richiesto per ES 42 25 Cold Cap Conn s 1073 accedere al NW25 Gauge Port riscaldatore n X E i e 4 Peso Kg libbre 680 4 1500 me Water Conn s da Connessioni Corpo e pompa a vuoto Pollici 3 8 FPT Z iniziale Pollici 3 8 FPT zs Serpentine Quick Cool 7248 1832 Electrical Box 3g Water Conn s 5 6 on Foreline DI ne Serpentina di raffreddam
17. le guarnizioni NOTA Con il tempo possibile che si verifichino delle piccole perdite sulle guarnizioni Queste perdite possono generalmente essere rilevate solo con rivelatori di perdite spettrometrici moltosensibili Acqua di raffreddamento Per collegare la pompa all acqua di raffreddamento 1 Collegare la serpentina di raffreddamento della copertura di raffreddamento unitamente alle altre serpentine di raffreddamento del corpo e della pompa a vuoto iniziale in serie con la sola eccezione della serpetina Quick Cool vedere il paragrafo che segue seguendo le indicazioni riportate nella Figura 10 Per informazioni sulla velocit di flusso adeguata al tipo di pompa in uso vedere la Tabella 4 a pagina 7 Fluss pi alti non danneggiano la pompa 2 Collegare lo scarico dell acqua di raffreddamento ad uno scarico aperto per consentire un rapido controllo della temperatura dell acqua La temperatura dell acqua di raffreddamento scaricata non deve superare 130 F Utilizzare connessioni in parallelo se la pressione dell acqua bassa oppure se la temperatura di scarico supera regolarmente 130 F 33 Cold i Quick Cool Open Drain Drain Supply Figura 10 Collegamento della pompa all acqua di raffreddamento Pompe di diffusione ad alta capacit Collegamento delle serpentine Quick Cool La serpentina Quick Cool sulla piastra della caldaia deve essere collegata ad un scarico aperto mentre il tub
18. nelle fosse e nelle aree pi basse provocando l evacuazione dell aria con il conseguente rischio di asfissia L acetone l alcol e altri solventi possono provocare irritazioni avere un effetto narcotizzante depressivo o cancerogeno La loro inalazione ed ingestione provocare gravi effetti Il contatto prolungato o continuativo con la cute pu provocare l assorbimento di queste sostanze con il rischio di intossicazioni di media gravit AVVERTENZE Non utilizzare queste sostanze vicino a fonti a temperature elevate Utilizzare sempre queste sostanze in aree ampie e ben ventilate facendo attenzione ad areare adeguatamente l area di lavoro Indossare sempre occhiali guanti e altri indumenti di protezione In alcuni casi essere necessario usare anche respiratori Smontaggio della pompa per la pulizia iniziale Questa procedura comporta pulire i seguenti componenti Motore a getto Tappi di scarico Obl 18 Q Interno della pompa Per smontare la pompa 1 Rimuovere la copertura di protezione seguendo le istruzioni riportate nella sezione Copertura di raffreddamento a pagina 42 2 Smontare il motore a getto interno dal corpo della pompa seguendo la procedura descritta nella sezione Motori a reazione a pagina 43 3 Rimuovere i tappi di riempimento e scarico unitamente all obl l O ring e la guaranizione in grafite Collocare l O ring su un lato per evitare che venga
19. tollerabile 2 Accendere il sistema che alimenta acqua di raffreddamento al corpo della pompa e verificare che il flusso sia sufficiente esaminando la quantit di acqua scaricata dai punti di scarico visivi ATTENZIONE Non utilizzare la serpentina Quick Cool quando la pompa fredda o fuori esercizio per evitare il rischio di accumulo di consensa sulla piastra della caldaia il riscaldatore ed i morsetti del riscaldatore stesso Accendere il riscaldatore della pompa di diffusione 4 Controllare la pressione di ingresso e del vuoto iniziale utilizzando la strumentazione fornita con il sistema Arresto AVVERTENZA 1 Il rilascio o l ingresso di aria nella pompa quando il riscaldatore caldo soprattutto in condizioni di vuoto pu portare a contatto ossidanti forti con il liquido di pompaggio ad alta temperatura ed incrementare il rischio di esplosioni 2 Latemperatura della caldaia pu raggiungere 530 F 275 C e provocare gravi ustioni Verificare sempre che le superfici si siano raffreddate a temperatura ambiente prima di toccarle Per arrestare la pompa 1 Chiudere la valvola di ingresso del sistema se presente Spegnere i riscaldatori Iniettare acqua nella serpentina solo per le pompe con serpentina Quick Cool opzionale Continuare a far affluire acqua di raffreddamento alla pompa e alla serpentina Quick Cool se presente per l intervallo di tempo indicato nelle tabelle dalla Tempo di raf
20. una torcia per verificare l ugello dell estrattore sia posizionato in direzione opposta rispetto alla pompa a vuoto iniziale connessione di uscita della pompa Verificare che il gruppo a reazione non sia in grado di ruotare e che sia bloccato in posizione dal perso di spostamento sulla base del motore stesso 3 Seil livello di vuoto inferiore a 1077 Torr pulire la pompa seguendo la procedura descritta nella sezione successiva Altrimenti verificare che non ci sia materiale estraneo all interno della pompa e collegare la pompa al sistema come descritto nella sezione Collegamento della pomp al sistema ed i servizi a pagina 19 17 Pompe di diffusione ad alta capacit Pulizia di una nuova pompa NOTA Le nuove pompe devono essere pulite solo se il livello di vuoto inferiore a 1x10 7 Torr Precauzioni di sicurezza da adottare durante la pulizia Per pulire le pompe a diffusione indispensabile usare alcol o acetone che sono entrambi tossici ed esplosivi Pertanto prima di iniziare l operazione di pulizia vera e propria indispensabile prendere nota delle seguenti informazioni e avvertenze Se riscaldati spruzzati o esposti alla temperatura elevata della pompa questi solventi possono diventare infiammabili o esplosivi al punto da provocare lesioni gravi o mortali Se riscaldati o spruzzati l acetone o l alcol diventano 4 5 volte pi pesanti dell aria e tendono quindi ad accumularsi sul fondo di serbatoi
21. via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italia Tel 39 011 997 9 252 Fax 39 011 997 9 316 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd 18F 13 No 79 Hsin Tai Wu Road Sec 1 Hsi Chih Taipei Hsien Taiwan R O C Tel 886 2 2698 9555 Fax 886 2 2698 9678 Regno Unito e Irlanda Varian Ltd 28 Manor Road Walton On Thames Surrey KT 12 2QF England Tel 44 1932 89 8000 Fax 44 1932 22 8769 Stati Uniti Varian Inc 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 781 861 7200 Fax 781 860 5437 Altri paesi Varian Inc Via F lli Varian 54 10040 Leini Torino Italia Tel 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 Assistenza tecnica e clienti Nord America Tel 1 800 882 7426 numero verde vtl technical support 9 varianinc com Europa Tel 00 800 234 234 00 numero verde vtl technical support 9 varianinc com Giappone Tel 81 3 5232 1253 linea dedicata vtj technical support 9 varianinc com Corea Tel 82 2 3452 2452 linea dedicata vtk technical support Q varianinc com Taiwan Tel 0 800 051 342 numero verde vtw technical support Q varianinc com Sito Web catalogo ed ordini in linea www varianinc com Rappresentanti nella maggior parte dei paesi AV VARIAN
22. 10 0 0 24 000 W By Customer By Varian Delta Parallel V L1 L2 L2 L3 L3 L1 330 Figura 15 Schema elettrico delle pompe HS 32 da 200 V 27 Pompe di diffusione ad alta capacit 28 TOL 4 e Thermal Switches Control o mais OPEN ON TEMP RISE TSW2 TSWI Heaters 6 Upper Lower 4000 ontactor BS 220 F 550 240 V Element Resistance 1440 Jj Fr To 3 ph 240V aeree Supply 4 LL 24 000 W By Customer By Varian Rior L1 L2 L2 L3 L3 L1 4 8 Q Figura 16 Schema elettrico delle pompe HS 32 da 240 V Pompe di diffusione ad alta capacit Sr ART Thermal Switches Control Ho cale 2 ni OPEN ON TEMP RISE i TSW2 TSW1 MEO Upper Lower A 6 220 550 Element Resistance 52 90 J Im 460V To 3 ph 480 ers epe Supply 44 24 000 W By Customer By Varian 17 4A Lt L2 L2 L3 L3 L1 17 6 Q Delta Parallel 460V Figura 17 Schema elettrico delle pompe HS 32 da 460 V 29 Pompe di diffusione ad alta capacit 30 Thermal Switches OPEN ON TEMP RISE TSW2 TSWI Magnetic Heaters 6 Upper Lower Contactor 220 F 550 240 V Element Resistance 14 4 t tospn 45 415 V Supply 341 E H H6X X N H
23. 14000 HH 28 12000 mem 24 A 10000 20 8000 16 6000 12 4000 8 2000 4 0000 0 INLET PRESSURE TORR 1609 1608 1 07 1 06 1 05 46 04 4 03 1 02 1 01 THROUGHPUT TORR L SEC Figura 2 Curve della velocit e della capacit del modello HS 16 8 1 kW 24000 TT 48 22000 te 4 44 20000 4 40 18000 7 7 36 uj 16000 32 14000 28 Q 1200 mr 24 u 9 10000 20 8000 E 16 6000 12 4000 8 2000 4 0000 E PS 0 1 09 4E 08 1 07 1 06 1 05 4p 04 4p 03 4p 02 1 01 INLET PRESSURE TORR Figura3 Curve della velocit e della capacit del modello HS 20 THROUGHPUT TORR L SEC 60000 55000 TITTI INT TTT 50000 45000 40000 35000 30000 25000 20000 15000 10000 5000 AIR SPEED L SEC 120 Hi 110 000 0 1 09 1 08 1 07 1 06 1 05 4p 04 4p 03 1 02 1 01 INLET PRESSURE TORR THROUGHPUT TORR L SEC Figura 4 Curve della velocit e della capacit del modello HS 32 60000 55000 50000 45000 40000 35000 30000 25000 20000 15000 H 10000 5000 AIR SPEED L SEC H 110 100 rM 90 80 60 50 4 30 20 10 0000 0 1 09 4E 08 1 07 4 06 1 05 1 04 4 03 4p 02 4 01 INLET PRESSURE TORR THROUGHPUT TORR L SEC
24. 5791001 Copertura per riscaldatore 670099910 Isolamento per tubo protettivo L9223001 Obl per pompe costruite dopo l ottobre 1995 K0377167 O ring kit con 1 O ring per flangia di ingresso ASA butile 45390001 1 O ring per flangia della pompa a vuoto iniziale in butile 2 443 8 O ring per tappi di riempimento e scarico in Viton 2 213 1 O ring per obl 2 240 1 O ring per obl in grafite L9228001 40 ringinViton 2 221 695472008 Liquido per pompa a diffusione DC 702 un gallone 695474008 Liquido per pompa a diffusione DC 704 un gallone 695475008 Liquido per pompa a diffusione DC 705 un gallone 58 Pompe di diffusione ad alta capacit Tabella 19 Parti di ricambio per la pompa NHS 35 Codice Descrizione 81437301 Copertura di raffreddamento comprensiva di vite 10 32 SST Rd Hd e dado esagonale 10 32 SST 660811494 Guarnizione per copertura di raffreddamento F2622001 Controdado per copertura di raffreddamento ottone 75786001 Dado per copertura di raffreddamento 622445026 Accoppiamento femmina per copertura di raffreddamento tubo con D E 1 2 x 3 8 FPT Imperial Flexfitting n 66 FL F1971302 Motore a getto F1744301 Diaframma della pompa a vuoto iniziale F6097301 Kit per la manutenzione dell obl con tubo di vetro O ring e raccordi Valvole non incluse per le pompe costruite prima dell ottobre 1995 77261001
25. 81 861 7200 Fax 781 860 5437 Numero verde 800 882 7426 Cina Varian Technologies Beijing Room 1201 Jinyu Mansion No 129A Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 1000031 P R China Tel 86 10 6608 1031 Fax 86 10 6608 1541 Francia e Benelux Varian s a 7 avenue des Tropiques Z A de Courtaboeuf B P 12 Les Ulis cedex Orsay 91941 Francia Tel 83 1 69 86 38 13 Fax 33 1 69 28 23 08 Germania e Austria Varian Deutschland GmbH Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germania Tel 49 6151 703 353 Fax 49 6151 703 302 India Varian India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italia Varian Inc Via F Ili Varian 54 10040 Leini Torino Italia Tel 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 12 04 Uffici vendita e assistenza Giappone Varian Inc Sumitomo Shibaura Building 8th Floor 4 16 36 Shibaura Minato ku Tokyo 108 Giappone Tel 81 3 5232 1253 Fax 81 3 5232 1263 Corea Varian Technologies Korea Ltd Shinsa 2nd Building 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Messico Varian S A Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 523 9465 Fax 52 5 523 9472 Russia Sede coordinata centralmente da Varian Inc
26. Contactor GOOF 600 F is To 3 Ph Sp 415V Supply s side eaen 240V Hlr By Customer 415V 28 9A Y Parallel 415V Figura 21 Schema elettrico delle pompe NHS 35 da 415 V 33 Pompe di diffusione ad alta capacit 34 Thermal Switches To Control X OPEN ON TEMP RISE Magnetic TSW2 TSW1 Contactor Upper Lower ND 200 _ 600 F pur z Heaters 6 de 4000 W 240 V To 3 Ph H6X 480 V RE pel rm Supply F Delta Series RiorL1 L2 L2 L3 L3 L1 19 2 Q 480 V Figura 22 Schema elettrico delle pompe NHS 35 da 480 V Pompe di diffusione ad alta capacit Test del vuoto iniziale Prima la pompa con liquido effettuare un test del vuoto iniziale per verificare la tenuta del sistema e dei tubi del vuoto Le pompe ed i loro componenti sono progettate per essere utilizzati in condizioni di vuoto ma non per essere pressurizzate poich questa condizione potrebbe provocare esplosioni con la conseguente espulsione di parti a velocit letali In passato la pressurizzazione accidentale dei sistemi a vuoto e dei loro componenti ha provocato gravi incidenti AVVERTENZE Non pressurizzare alcuna parte del sistema a vuoto a scopo di test o per altri motivi Q Installare sempre un dispositivo di limitazione della pressione prima di integrare le pompe di diffusione in altri sistemi e verificare che il movimento del dispositivo avvenga nell a
27. Pompe di diffusione ad alta capacit HS 16 HS 20 HS 32 NHS 35 Codice 699901140 Rev C Gennaio 2005 NOTICE This document contains references to Varian Please note that Varian Inc is now part of Agilent Technologies For more information go to www agilent com chem Agilent Technologies CE MANUALE PER L USO Pompe di diffusione ad alta capacit Liquido per pompe a diffusione Santovac 5 prodotto da SANTOVAC FLUIDS INC Viton un marchio registrato di E 1 du Pont de Nemours and Company Copyright 2005 Vacuum Technologies Pompe di diffusione ad alta capacit Sommario Rischi connessi all uso delle pompe di diffusione eese 1 dede et ae Le 2 Rischi connessi alla pressurizzazione essen nennen nennen ener nennen eren 3 505 innra dcs eter RO a 4 Temperature elevate RO Ia te e e HERREN ERR 5 Tensioni elevates TEE 5 Dimensioni e peso della pompa ue 5 Principi di funzionamento di base delle pompe di diffusione 6 Funzionamento della pompa ii 6 Caralteristich operaliVer a ei RO 6 Velocit del pompageio dellatias eb Fette ee Ree enn P e EE Do 9 Specitiche flsiChe 5
28. a o qo 4103 Rischi peneralit cgil iii be ide nieder pere eden 1 Situazioni che possono provocare esplosioni eese en eee enne enne 2 Rischi connessi alla pressurizzazione i 3 Specitiche di funzionamento 5 20 rr lean alan iaia ari 7 HS T6 dimerisioni e pe50O 10 Dimensioni delle flange del modello HS 16 sss nen enne 10 H5S 20 dimernsiofieeso eere acre nite die re pee HA eie DER tee ee Dr agre po gon 11 Dimensioni delle flange della pompa HS 20 eee een eene enne nne 12 HS 32 dimerisionie pesos usoa aa Pierre bre mter poter dd e re daret ern ere P e aou 13 Dimensioni delle flange del modello HS 32 sse ene 13 NEIS 35 dimensionli e Deso rr RR ERO I ERO OR IRR EG FR ENS dU a 15 Dimensioni delle flange del modello NHS 35 i 15 Indicazioni sugli schemi elettrici 21 Temperature di attivazione degli interruttori termici 22 Guida alla risoluzione dei problemi ii 52 Parti di ricambio della pompa HS 16 innen enne 54 Parti di ricambio pet la pompa 5 2 0 meret rente en reete a eni 56 Parti di ricambio per la pompa HS 32 ee enne en enn ementi innen enne 58 Parti di ricambio per la pompa NHS 35 eee enne ene enne eren een enn innen enne 59 vii Pompe di diffusione ad alta capacit Pagina lasciata i
29. a contatto con solventi molto forti L alcol l acetone ed altri solventi possono degradare i materiali dell O ring riducendo la loro capacit di mantenere la condizione di vuoto Per pulire gli O ring utilizzare un panno pulito privo di pelucchi e lavarli in una miscela di acqua e detergente oppure utilizzare una piccola quantit del liquido di pompaggio ATTENZIONE Non pulire gli O ring con solvente 4 Pulire attentamente tutti i componenti del motore a getto e l interno della custodia della pompa esclusi gli O ring con acetone sciacquandoli in alcol 5 Rimuovere tuttte le tracce del detergente asciugando attentamente tutti i componenti con aria compressa pulita asciutta e priva di olio Rimontaggio della pompa dopo la pulizia iniziale Per rimontare la pompa 1 Eseguire le operazioni descritte ai punti da 1 a 3 in ordine inverso quindi effettuare le operazioni descritte di seguito sulla pompa pulita e rimontata 2 Pulire accuratamente l interfaccia le flange di ingresso e le scanature degli O ring con acetone ed alcol utilizzando un panno pulito e privo di pelucchi 3 Rimuovere tutte le tracce di aceton e alcol asciugando attentamente tutti i componenti soprattutto le scanalature degli O ring con aria compressa pulita asciutta e priva di olii 4 Rimontare la guarnizione dell O ring Pompe di diffusione ad alta capacit Collegamento della pomp al sistema ed i servizi AVVERTENZA Eventuali guasti dei servi
30. a pompa HS 20 con flange ASA Pompe di diffusione ad alta capacit Tabella 8 Dimensioni delle flange della pompa HS 20 ASA ISO Unit Ingresso Pompa a vuoto iniziale Ingresso 630 Pompa a vuoto iniziale 160 D E mm 698 5 27 50 228 6 9 00 690 1 27 17 180 1 7 09 pollici D I mm 539 8 21 25 128 5 5 06 539 8 21 25 128 5 5 06 pollici Spessore mm 28 5 1 12 19 1 0 75 19 8 0 78 11 9 0 47 pollici Diametro fissaggio mm 635 0 25 00 190 5 7 50 pollici Numero di fori 20 8 Dimensione dei fori mm 31 8 1 25 19 1 0 75 pollici Orientamento fori sono distribuiti sulla linea di mezzeria della pompa a vuoto iniziale Scanalatura D I mm pollici 549 4 21 63 134 9 5 31 9 7 Richiede l uso Richiede l uso dell anello guarnizione Larghezza mm pollici 12 2 0 48 0 38 dell anello di di centraggio NW 160 Profondit mm pollici 6 6 0 25 2 3 0 09 SET d non fornito con la NW 6 pompa 12 non fornito con la pompa Pompe di diffusione ad alta capacit ELECTRICAL THERMOSTAT BOX 32 ASA INLET FLANGE 38 12 0 X 32 06 1 W 16 HOLES 0 87 EQ SP 6 ASA FORELINE FLANGE 11 X 6 73 1 0 W 8 HOLES ONE eap 9 875 EQ SP ON 99 50 B C Tabella 9 HS 32 dimensioni
31. acit di carico dell attrezzatura di sollevamento sia adeguata Non sostare sotto alla pompa durante il suo sollevamento o la sua movimentazione Pompe di diffusione ad alta capacit Principi di funzionamento di base delle pompe di diffusione Le pompe di diffusione vengono usate per pompare volumi di gas elevati ad alte velocit Queste pompe si avviano generalmente ad una pressione di 1073 Torr dopo che la pompa meccanica per il vuoto iniziale ha scaricato gran parte dell aria presente nell impianto T Figura 1 Pompa di diffusione HS 20 Le pompe di diffusione non contengono parti in movimento poich l elemento centrale costituito dal motore a getto a pi stadi da un gruppo di cilindri concentrici che si predispongono in modo da lasciare una piccola apertura che consente di convogliar il vapore verso il basso e verso le pareti della pompa La copertura installata sulla parte superiore del motore a getto evita che il vapore liquido possa penetrare all interno della camera di evacuazione Le pompe di diffusione sono raffreddate ad acqua Il riscaldatore del liquido sotto vuoto situato nella parte inferiore del corpo della pompa che munita anche di gruppi di riempimento e scarico nonch di interruttori di protezione termici L ingresso situato nella parte superiore mentre lo scarico sulla pompa a vuoto iniziale Funzionamento della pompa Le pompe di diffusione riscaldano il liquido di pomp
32. ad alta capacit Tabella 6 Dimensioni delle flange del modello HS 16 ISO Pompa a vuoto Ingresso iniziale Ingresso 500 Pompa vuoto iniziale 100 Scanalatura D I mm Richiede l uso Richiede l uso dell anello guarnizione Larghez pollici dell anello di di centraggio NW 100 mm centraggio non fornito con la pollici NW 500 non pompa mm fornito con la pollici pompa Thermal Switch Cold Enclosre Connections 20 ASA Inlet Flange 20 x 1 25 Holes TR Electrical on 25 00 B C Tabella 7 HS 20 dimensioni e peso Altezza minima mm pollici 1422 56 ASAFerelihe comprensiva dello 5 3 8x4 75 Holes spazio richiesto per on 07 50 635 accedere al Thermal Switch 25 2 Enclosre riscaldatore Cold Cap ti pa Peso Kg libbre 272 2 600 ala Connessioni Gauge Port Corpo e pompa a Pollici 1 4 FPT va EPT vuoto iniziale Pollici 3 8 FPT Water Connection 25 A Far Side 584 Serpentine Quick Electrical Cool 48 D 1219 i T i 14 Water Thermal Switch HH Connection Enclosre B Ji Sight Glass w Fill and Drain 1 Quick optional Figura 7 Vista dell
33. aggio portandolo alla temperatura di ebollizione Il vapore viene convogliato verso l alto all interno del motore a getto e spinto a grande velocit verso gli ugelli di propulsione e le pareti di raffreddamento esterne della pompa dove il vapore si condensa trasformandosi nuovamente in liquido Man mano che il vapore passa dall ingresso raccoglie le particelle di gas da scaricare e le trasporta verso l eiettore scaricandole all esterno della pompa tramite la pompa a vuoto iniziale La capacit della pompa di raggiungere pressioni basse dipende in parte dalle dimensioni dell ingresso Il gas si sposta in funzione delle variazioni termiche viene catturato ed espulso per consentire la riduzione della pressione nella camera di evacuazione Le pompe di diffusione di grandi dimensioni raggiungono la condizione di vuoto utilizzando un motore a getto a cinque stadi quattro stadi di diffusione e uno stadio di espulsione La copertura ed il corpo sono raffreddati ad acqua possibile installare serpentine Quick Cool in acciaio inox per ridurre rapidamente l ebollizione e raffreddare il riscaldatore Questo tipo di serpentine deve sempre essere collegato ad un alimentazione acqua con valvole indipendenti Caratteristiche operative Le caratteristiche operative delle pompe di diffusione di grandi dimensioni sono illustrate nella Tabella 4 a pagina 7 grafici dalla Figura 2 alla Figura 5 a pagina 9 mostrano la velocit dell aria e la potenzialit
34. al Switches To Control OPEN ON TEMP RISE TSW2 TSWI Upper Lower 185 F 380 F Magnetic I Contactor I To 3 Ph 200 240 400 430 440 480 V Heaters 6 Supply 2000 w 200 240 400 430 440 480 V 4 EIS 12 000 W By Customer By Varian Element Resistance 1096 5 200V 2200 240V 2290 I 29A 240V 14 54 480V 400V 2800 430V 930 440V 2970 480 V 21150 240V L1 L2 L2 L3 L3 L1 200V 70 240V 2100 Delta Parallel 400V 2260 200 240 400 430 440 480 V 430V 23810 440V 2320 480V 5380 Figura 13 Schema elettrico delle pompe HS 20 da 200 240 400 430 480 V 25 Pompe di diffusione ad alta capacit 26 To Qr enne SON Thermal Switches Control eer OPEN ON TEMP RISE TSW2 TSWI Magnetic Upper Lower Contactor D 185 F 380 TB j To 3 Ph 415V 1 Y Supply Y Heaters 6 LL Siu 45 2000W 240V H6 Hz X X Y H5 Y 12 000 W L H amp H5Y n6Y By Customer By Varian RTOT L1 L2 L2 L3 L3 L1 28 8 Y Parallel 415V Figura 14 Schema elettrico delle pompe HS 20 da 415 V Pompe di diffusione ad alta capacit Thermal Switches Tor Control _ s OPEN ON TEMP RISE Magnetic TSw2 TSWI Heaters 6 Upper Lower Contactor 4000 220 550 200 V Element Resistance
35. apacit Pulizia Precauzioni di sicurezza da adottare durante la pulizia Per pulire le pompe a diffusione indispensabile usare alcol o acetone che sono entrambi tossici ed esplosivi Pertanto prima di iniziare l operazione di pulizia vera e propria indispensabile prendere nota delle seguenti informazioni e avvertenze Se riscaldati spruzzati o esposti alla temperatura elevata della pompa questi solventi possono diventare infiammabili o esplosivi al punto da provocare lesioni gravi o mortali Se riscaldati o spruzzati l acetone o l alcol diventano 4 5 volte pi pesanti dell aria e tendono quindi ad accumularsi sul fondo di serbatoi nelle fosse e nelle aree pi basse provocando l evacuazione dell aria con il conseguente rischio di asfissia L acetone l alcol e altri solventi possono provocare irritazioni avere un effetto narcotizzante depressivo o cancerogeno La loro inalazione ed ingestione pu provocare gravi effetti Il contatto prolungato o continuativo con la cute pu provocare l assorbimento di queste sostanze con il rischio di intossicazioni di media gravit AVVERTENZE Non utilizzare queste sostanze vicino a fonti a temperature elevate Ventilare l area di lavoro con una soffiante ed utilizzare la pompa in aree spaziose e ben ventilate In alcuni casi pu essere necessario usare anche respiratori Verificare sempre che le operazioni di pulizia vengano effettuate in aree grandi e ben ven
36. cetone le pompe di diffusione vengono spesso pulite con acetone o alcol L acetone l alcol e la maggior parte degli altri solventi provocano irritazioni effetti narcotizzanti o depressivi e o sono carcinogenici L inalazione o l ingestione di queste sostanze pu provocare gravi effetti Anche l assorbimento cutaneo mediamente tossico Verificare sempre che tutte le operazioni di pulizia vengano effettuate in aree spaziose e ben ventilate In alcuni casi pu essere necessario utilizzare respiratori autonomi a seconda del tipo di solvente usato e della concentrazione dei vapori Composti velenosi e corrosivi l uso di impianti di manipolazione e rigenerazione durante il pompaggio di gas vapori o sostanze chimiche velenosi reattivi e o corrosivi non assicura sempre la completa rimozione dei materiali pericolosi Le quantit di gas vapori sostanze chimiche o miscele combustibili presenti durante l uso o rimanenti al termine della rigenerazione possono essere tali da provocare lesioni gravi o mortali Liquidi di pompaggio il surriscaldamento del liquido di pompaggio la sua esposizione all aria o a materiali reattivi o la sua pressurizzazione a livelli superiori a quelli di esercizio pari a circa 1x1073 Torr 1 3x1073 mbar possono provocare la decomposizione del liquido e renderlo tossico Questa condizione si verifica in particolare con i liquidi pompati mediante pompe meccaniche con controflusso che sono pi volatili e co
37. cit Motori a reazione motori a reazione di ciascuna pompa sono descritti ed illustrati nelle sezioni che seguono Le procedure ed i disegni sono specifici per ciascun modello Motore a getto della pompa HS 16 Jet Rod Refraction Tube 2nd Stage I Splash Bafile Jam Nut Figura 25 Motore a getto della pompa HS 16 Per smontare il motore a getto 1 Rimuovere la copertura di raffreddamento e il diaframma seguendo le istruzioni riportate nella sezione Copertura di raffreddamento a pagina 42 2 Allentare l elemento di accoppiamento della copertura superiore e rimuovere la copertura 3 Rimuovere lo spinotto superiore 4 Rimuovere la protezione anti gocciolamento montata sulla seconda fase 5 Sollevare e rimuovere tutta la seconda fase 6 Sollevare e rimuovere singolarmente la terza e quarta fase quindi la base del motore a getto 7 Rimuovere i due dadi che fissano in posizione il diaframma anti gocciolamento quindi sollevare e rimuovere il diaframma stesso 8 Rimuovere il dado di blocco situato nella parte centrale inferiore della pompa per rimuovere l asta del motore Per rimontare il motore a getto Eseguire le operazioni descritte in precedenza in ordine inverso NOTA Dopo aver installato il motore a getto nel corpo della pompa verificare che la fessura sulla base sia allineata con il perno di rifer
38. dante forte con il liquido di pompaggio a temperatura elevata Pressione superiore a 1 milliTorr 1 3X10 3 mbar Livello di liquido insufficiente Q Uso della pompa senza ricircolo di acqua di raffreddamento alle serpentine di raffreddamento del corpo principale Q Uso della pompa con acqua intrappolata nella serpentina Quick Cool Q Presenza di materiale estraneo nel liquido di pompaggio tale da modificare la viscosit o ostruire il passaggio del flusso 38 ATTENZIONE O Non accendere il riscaldatore senza liquido nella pompa per evitare di danneggiare i riscaldatori e la pompa stessa Non scaricare aria dalla pompa quando la caldaia calda La maggior parte dei liquidi di pompaggio tendono a decomporsi in queste condizioni Azionare il riscaldatore della pompa solo vi circolazione di acqua di raffreddamento per evitare di surriscaldare la pompa e il liquido Non azionare la pompa se la pompa a vuoto iniziale non dispone di un diaframma per evitare perdite di liquido superiori alla norma Il modello HS 32 non dispone di un diaframma sulla pompa a vuoto iniziale Pompe di diffusione ad alta capacit Procedura di avvio Per avviare la pompa 1 Evacuare la pompa di diffusione usando un pompa a vuoto iniziale ad una pressione inferiore a 0 5 Torr 0 67 mbar La pompa di diffusione funziona solamente se la pressione di scarico inferiore ad una pressione di vuoto iniziale
39. di inviare la pompa a Varian Inc per eventuali riparazioni e o sostituzioni Il Cliente dovr intraprendere ogni ragionevole misura per evitare possibili rischi Il Venditore non riconosce alcuna responsabilit relativamente ad eventuali perdite o danni causati dai propri prodotti nel caso in cui non vengano utilizzati conformemente alle procedure operative Ad eccezione di quanto indicato nella presente garanzia il Venditore non offre nessun altro tipo di garanzia implicita o esplicita reale o prevista dalle leggi Inoltre il Venditore dichiara esplicitamente di non riconoscere alcuna altra forma di garanzia esplicita o implicita reale prevista dalle leggi o dagli statuti Eventuali dichiarazioni di rappresentanti del Venditore che contrastino con i termini e le condizioni della presente garanzia non saranno considerate vincolanti dal Venditore se non state approvate ed autorizzate per iscritto dal Venditore stesso Limitazione della responsabilit L uso e la manutenzione di questa pompa possono comportare gravi rischi Pertanto l utente dovr sempre verificare che vengano garantire le necessarie condizioni di sicurezza Varian non riconosce alcuna responsabilit in caso di lesioni personali o danni causati dall uso o dalla manutenzione della pompa Varian non ha alcun controllo sull uso della pompa e declina pertanto ogni responsabilit relativamente ad infortuni personali o danni risultanti dal suo uso L utente dovr as
40. do esagonale non sia stato installato capovolto Sostituzione del riscaldatore La Figura 30 illustra i componenti del riscaldatore La procedura per la sostituzione del riscaldatore la stesssa per tutte le pompe a diffusione di grandi dimensioni NOTA Se si sostituisce il riscaldatore necessario anche sostituire la piastra di compressione soprattutto se i riscaldatori vengono rimossi a scopo di ispezione o manutenzione Il modello NHS 35 non dispone di una piastra di compressione ma vengono utilizzati blocchetti aggiuntivi per assicurare un contatto ottimale tra il riscaldatore e la piastra della caldaia Boiler Plate Heater Element Dimple Sy Plate IC CANTI I AE A p ERI aU High Temp Washer Nickel Wire High Temp Sleeving Figura 30 Montaggio del riscaldatore AVVERTENZA Le tensioni elevate fino a 480 V possono essere mortali Scollegare sempre il circuito principale dall alimentazione prima di effettuare interventi sul riscaldatore o sui suoi cavi ATTENZIONE Un fissaggio improprio pu rendere inadeguato il contatto termico riducendo la vita utile del riscaldatore e degradando le prestazioni della pompa Serrare manualmente i dati sulla piastra di fissaggio quindi applicare progressivamente una coppia pari a 250 pollici libbre 49 Pompe di diffusione ad alta capacit Per sostituire il riscaldatore 1
41. el MESI HFS 24 000 W II By Customer By Varian RrorL1 42 12 L3 L3 L1 144 Q WYE Parallel 415V Figura 18 Schema elettrico delle pompe HS 32 da 415 V Pompe di diffusione ad alta capacit Jocece Ez Thermal Switches Control _ Es OPEN ON TEMP RISE Magnetic TSW2 TSWI grae Upper Lower 220 F 550 Heaters 6 4000 240 V Element Resistance 14 4 0 By Customer H1 y Ip 16 7A x Delta Series RrorLtt 12 12 13 13 11 19 2 Q 480V Figura 19 Schema elettrico delle pompe HS 32 da 480 V 31 Pompe di diffusione ad alta capacit 32 m Thermal Switches To Control ZA OPEN ON TEMP RISE COIL n TSW2 TSWI UPPER UPPER 200F 600 Magnetic Contactor N To 3 PH 240 400 440 V Supply 1 24 000 W By Customer By Varian Rror L1 L2 L2 L8 L8 L1 4000 W 240V2 50 400 130 440 160 Element Resistance 10 5 240V 2140 400V 2400 440V 2480 Heaters 6 4000 W 240 400 440 V I 67 8 240V I 34 6A 400V H5 7 a 31 5A 410V io 2 12 t3 Delta Parallel 240 400 440 V Figura 20 Schema elettrico delle pompe HHS 35 da 240 400 440 V Pompe di diffusione ad alta capacit To Control ET Thermal Switches OPEN ON TEMP RISE Magnetic TSW2 TSWI Upper Lower
42. ento 1 Thermostat 38 Quick Cool Conn s Sight Glass w Fill and Drain Figura 9 Vista della pompa NHS 35 con flange ASA Tabella 12 Dimensioni delle flange del modello NHS 35 ASA ISO Pompa a vuoto Pompa a vuoto iniziale iniziale Ingresso 1000 F 200 K Ingresso 1060 5 41 75 279 4 11 00 1119 9 44 09 240 0 9 45 pollici D I mm 889 0 35 00 196 1 7 72 889 0 35 00 196 1 7 72 pollici Spessore mm 28 5 1 12 19 1 0 75 28 5 1 12 12 0 0 47 pollici Diametro fissaggio mm 977 9 38 50 241 3 9 50 1089 7 42 90 pollici Numero di fori 28 8 32 Dimensione dei mm 22 1 0 87 20 6 0 81 14 0 0 55 fori pollici Orientamento fori sono distribuiti sulla linea di mezzeria della pompa a vuoto iniziale Pompe di diffusione ad alta capacit Scanalat D l ura Larghez guarnizi za Profondi t one 16 Tabella 12 Dimensioni delle flange del modello NHS 35 ISO mm pollici mm pollici mm pollici Ingresso 898 4 35 37 14 2 0 56 6 4 0 25 Pompa a vuoto iniziale Ingresso 1000 F 1035 1 40 75 14 2 0 56 6 4 0 25 Pompa a vuoto iniziale 200 K Richiede l uso dell anello di centraggio NW 200 non fornito con la pompa Pompe di diffusione ad alta capacit Rimozione della pompa dall imballaggio AVVERTENZE Prima di sollevare la pompa c
43. enze hanno lo scopo di mettere in rilievo procedure o prassi che possono provocare gravi infortuni se non vengono seguite correttamente ATTENZIONE Le indicazioni di attenzione sono generalmente riportate all inizio delle singole procedure e segnalano condizioni che possono provocare danni alle attrezzature NOTA Le note contengono informazioni importanti acquisite dal testo Declaration of Conformity Konformit tserkl rung D claration de Conformit D claration de Conformit Verklaring de Overeenstemming Dichiarazione di Conformit We Wir Nous Nosotros Wij Noi Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 3133 USA declare under our sole responsibility that the product erkl ren in alleniniger Verantwortung da dieses Produkt d clarons sous notre seule responsabilit que le produit declaramos bajo nuestra sola responsabilidad que el producto verklaren onder onze verantwoordelijkheid dat het product dichiariamo sotto nostra unica responsabilit che il prodotto Pompe di diffusione ad alta capacit to which this declaration relates is in conformity with the following standard s or other normative documents auf das sich diese Erkl rung bezieht mit der den flogenden Norm en oder Richtlinie n bereinstimmt auquel se r f re cette d claration est conforme la auz norme s ou au x document s normatif s al que se refiere esta declaraci n es conforme a la s norma s otro
44. erificare che non ci siano perdite nella pompa a vuoto iniziale che non ci siano problemi meccanici che il liquido di pompaggio non sia degradato e che la valvola funzioni correttamente Uso prolungato della pompa in condizioni di sovraccarico Seguire le procedure operative Intervento anticipato della pompa a vuoto iniziale durante la fase di svuotamento Verificare che il trasferimento si verifichi ad una pressione inferiore della camera Funzionamento improprio del sistema e procedure di rilascio dell aria inadeguate Attenersi alle procedure operative Pompe di diffusione ad alta capacit Tabella 15 Guida alla risoluzione dei problemi Mancato avvio della circuiti di sicurezza o i dispositivi di Controllare i servizi gli interruttori di flusso e gli pompa protezione impediscono al contattore di interblocchi Controllare il funzionamento del termostato rimanere in posizione chiusa 53 Pompe di diffusione ad alta capacit Parti di ricambio Tabella 16 Parti di ricambio della pompa HS 16 Codice Descrizione 79299301 Copertura di raffreddamento comprensiva di vite 10 32 SST Rd Hd e dado esagonale 10 32 SST L8839301 Set guarnizioni per copertura di raffreddamento L8840301 Dado e controdado per copertura di raffreddamento 83612401 Motore a getto 80798301 Diaframma della pompa a vuoto iniziale 77261001 Tap
45. erruttori termici Interruttore termico dell acqua Interruttore termico della caldaia 22 Effettuare i collegamenti elettrici della pompa in modo che la pompa si arresti quando i contatti dell interruttore termico dell acqua o della caldaia si aprono Se questa condizione si verifica quando la pompa in funzione effettuare i controlli descritti di seguito L interruttore si reimposta automaticamente dopo che il problema stato corretto e la temperatura si abbassata L innalzamento della temperatura della pompa pu essere dovuto a Problemi con in flusso dell acqua di raffreddamento Pressione di ingresso alta Livello del liquido della caldaia basso Se la segnalazione della condizione di surriscaldamento dovuta ad un guasto o da un problema di calibrazione dell interruttore termico sostituire l interruttore utilizzando il dispositivo consigliato per il tipo di pompa elencato nelle tabelle delle parti di ricambio riportate dalla pagina 54 alla pagina 59 ATTENZIONE Gli interruttori termici utilizzati per misurare la temperatura del liquido delle pompe di diffusione non sono progettate per progettate per proteggere la pompa dal surriscaldamento o da controflussi Pompe di diffusione ad alta capacit T 7 Thermal Switches Control 6 ui p OPEN ON TEMP RISE Magnetic TSW2 TSWI Upper Lower Contactor Pd 1859 890 F
46. esso e allo scarico della pompa Installare valvole di scarico o limitatrici della pressione per entrambe le serpentine Quick Cool e per il sifone di intercettazione dell azoto liquido Perdita di integrit del circuito di messa a terra Dotare l alimentatore del riscaldatore di un circuito di disconnessione per guasti di terra Pressione positiva nell impianto di pompaggio Installare una valvola limitatrice della pressione nell impianto per verificare che la pressione non superi 1 atmosfera Tensione elevata Evitare che il personale possa venire a contatto con parti ad alta tensione installare cartelli di avvertenza Tossicit e corrosivit Scaricare i gas tossici e corrosivi in un area sicura diluirli o rimuoverli in condizioni di sicurezza e prendere tutte le misure necessarie per rispettare i requisiti di qualit dell aria richiesti Pompe di diffusione ad alta capacit Tabella 1 Rischi generali Esplosione Installare valvole limitatrici della pressione Non utilizzare liquidi di pompaggio contenenti idrocarburi Esplosione Tabella 2 Situazioni che possono provocare esplosioni L uso della pompa a pressioni superiori a 0 5 Torr 0 67 mbar senza refrigerante o con ossidanti forti oppure con vapori polveri o materiali esplosivi che potrebbero reagire con i liquidi pompati in presenza di alte temperature superiori a 150 C o 300 F pu causare esplosioni Queste esplo
47. freddamento possono provocare gravi ustioni L acqua che rimane all interno delle serpentine Quick Cool si converte in vapore quando la pompa viene nuovamente riscaldata Questo vapore deve essere scaricato senza alcun rischio per il personale Se possibile consigliabile sempre installare valvole di blocco per accertarsi che la pompa possa essere avviata solo nel caso se il flusso di liquido raggiunge le serpentine dell impianto di raffreddamento principale non le serpentine Quick Cool potenzialmente mortali Pertanto importante progettare gli impianti in modo da evitare ogni possibile contatto del personale con le tensioni elevate Tutti i cartelli di avvertenza devono essere installati in posizioni in cui siano chiaramente visibili Prima di accedere al riscaldatore o ai cablaggi il personale dovr sempre disconnettere il circuito di alimentazione principale Dimensioni e peso della pompa Q Le pompe di diffusione di grandi dimensioni devono sempre essere sollevate e movimentate mediante apparecchiature elettriche Verificare sempre che questa operazione venga effettuata da personale esperto in modo da evitare che la pompa possa cadere scivolare o capovolgersi Le pompe hanno un peso superiore a 500 libbre 226 8 kg e dimensioni da 3 a 6 piedi 1 2 metri nel caso dei modelli pi grandi Una movimentazione impropria pu provocare gravi infortuni Controllare il peso della pompa prima di sollevarla e verificare che la cap
48. freddamento Senza serpentine Quick Cool Con serpentine Quick Cool alla Tabella 4 a pagina 8 Appena la pompa si raffreddata arrestare la pompa a vuoto iniziale Scaricare aria dalla pompa Continuare a far affluire l acqua di raffreddamento finoa raggiungere la temperatura ambiente quindi spegnere il sistema di alimentazione 39 Pompe di diffusione ad alta capacit Manutenzione Per un funzionamento ottimale molto importante effettuare controlli regolari Una manutenzione ed una pulizia regolari evitano costosi interventi di manutenzione Annotare in un registro le prestazioni giornaliere della pompa e del sistema per invididuare possibili scostamenti che indichino la necessit di effettuare interventi di manutenzione Ispezioni periodiche L intevallo massimo tra le ispezioni della pompa deve essere stabilito in base all esperienza AVVERTENZE 0 Le tensioni elvate fino a 480 V possono provocare lesioni mortali Scollegare sempre il circuito principale prima di effettuare interventi sul riscaldatore o sui suoi cavi Per evitare il rischio di ustioni gravi sempre importante verificare che la pompa sia a temperatura ambiente prima di effettuare interventi di manutenzione Indossare sempre guanti indumenti protettivi e un respiratore tappi di riempimento o scarico possono contenere composti velenosi corrosivi Q Il rischio di esplosione pu diventare elevato se il tappo di riempimento
49. hnologies per informazioni sulla linea completa di rivelatori di perdite di elio di Vacuum Technologies 35 Pompe di diffusione ad alta capacit Aggiunta o sostituzione del liquido di pompaggio AVVERTENZE rischio di esplosione nelle pompe di diffusione aumenta in presenza dei seguenti fattori 36 Uso di un liquido base di idrocarburi come liquido di pompaggio I liquidi a base di idrocarburi sono pi propensi ad esplodere rispetto a quelli sintetici a base di silicone Se si utilizza un fluido a base di idrocarburi necessario testare l intero sistema in condizioni di vuoto prima di azionare la pompa Surriscaldamento provocato dall abbassamento del livello del liquido Il livello del liquido tende ad abbassarsi perch la carica tende ad esaurirsi durante l usoe Sebbene la pompa continui a funzionare normalmente se la carica si abbassa al di sotto del 60 del livello iniziale la temperatura della caldaia pu innalzarsi Se ci si verifica gli interruttori termici aprono i circuiti del riscaldatore ulteriori dettagli vedere la sezione Surriscaldamento uso degli interruttori termici a pagina 22 AVVERTENZE liquido di pompaggio si decompone diventando tossico Residui di liquido tossico possono rimanere sull asticella usata per controllare il livello del liquido quindi importante verificare che il personale non venga a contatto ingerisca il liquido Ar
50. i si fa riferimento in questo manuale Gli schemi elettrici di ciascuna pompa mostrano i valori sia per la connessione a Y e A nonch le tensioni di alimentazione per ciascuna connessione AVVERTENZA Un collegamento improprio della pompa di diffusione al sistema pu provocare problemi di funzionamento gravi danni e lesioni al personale Tensione di alimentazione Tabella 13 Schema elettrico della pompa HS 16 Schema elettrico della pomp HS 20 Figura 13 a pagina 25 AVVERTENZA Le tensioni elevate fino a 480 V possono essere mortali Scollegare sempre il circuito principale della pompa primi di effettuare interventi sul riscaldatore o sui relativi cavi Indicazioni sugli schemi elettrici Schema elettrico della pompa HS 32 Figura 15 a pagina 27 Schema elettrico della pompa NHS 35 Figura 11 a pagina 23 Figura 13 a pagina 25 Figura 16 a pagina 28 Figura 20 a pagina 32 Figura 11 a pagina 23 Figura 13 a pagina 25 Figura 20 a pagina 32 Figura 12 a pagina 24 Figura 14 a pagina 26 Figura 18 a pagina 30 Figura 21 a pagina 33 Figura 13 a pagina 25 Figura 20 a pagina 32 Figura 17 a pagina 29 Figura 13 a pagina 25 ATTENZIONE Non utilizzare la pompa a tensioni superiori al 5 di quella nominale Per collegare la pompa alla rete di alimentazione 1 Controllare che la tensione di alimentazione del 4 riscaldatore sia corretta ed inviduare lo schema elettr
51. ia a pressione atmosferica penetra all interno della pompa mentre questa in funzione L ingresso di aria nel sistema provoca l iniezione di ossigeno nel vapore del liquido aumentando il rischio di esplosione Se mantenere la condizione la condizione di vuoto complesso effettuare un test delle perdite Utilizzare la pompa solo dopo aver individuato e riparato la perdita La carica di liquido consigliata per ciascuna pompa riportata nella Tabella 4 a pagina 7 liquidi devono essere conservati in contenitori puliti e chiusi Ciascun contenitore dovr indicare chiaramente il tipo di liquido che contiene Non miscelare liquidi di pompaggio di tipi ed origini diversi Generalmente non una buona idea miscelare liquido nuovo con liquido vecchio ATTENZIONE Con questo tipo di pompe non consigliabile usare liquido Santovac 5 o liquidi a base di idrocarburi Pompe di diffusione ad alta capacit Per aggiungere o sostituire liquido di pompaggio 1 2 Individuare il tappio di riempimento e scarico sul disegno Per ulteriori informazioni vedere le figure dalla Figura 6 a pagina 10 alla Figura 9 a pagina 15 1 raccordi sono muniti di speciali tappi chiusi in elastromero di Viton Verificare che il riscaldatore sia spento ATTENZIONE Attendere che la pompa si sia 3 raffreddata quindi scaricare la pressione residua in atmosfera Rimuovere il tappo di scarico e scaricare il liquido in un contenitore
52. ico pertinente che riporta la tensione corretta 2 Controllare il bilanciamento del carico misurando la resistenza di ciascuna diramazione valori di resistenza del riscaldatore sono riportati sui rispettivi 5 schemi elettrici 3 Collegare i terminali alla cassetta dei collegamenti elettrici principale sulla pompa a vuoto iniziale Figura 19 a pagina 31 34 Figura 22 a pagina Collegare gli interruttori termici ad un sistema di controllo per essere certi che la pompa venga disconnessa dalla rete di alimentazione appena l interruttore si apre I fili elettrici degli interruttori termici si trovano all interno della scatola elettrica Completare i collegamenti elettrici della pompa e verificare che i morsetti siano stati configurati mostrata nel disegno pertinente Utilizzare cavi flessibili per facilitare l eventuale rimozione della pompa in caso di manutenzione correttamente in base alla tensione di alimentazione della rete 21 Pompe di diffusione ad alta capacit Surriscaldamento uso degli interruttori termici Le condizioni di surriscaldamento vengono rilevate da due disgiuntori termici normalmente chiusi che controllano rispettivamente la temperatura della caldaia e dell acqua Questi interruttori sono preimpostati in fabbrica e non richiedono ulteriori regolazioni Le temperature limite per l acqua e le caldaie sono riportate nella Tabella 14 Tabella 14 Temperature di attivazione degli int
53. imento della caldaia per evitare possibili problemi durante il funzionamento NOTA Se l accoppiamento del motore a getto si allenta dall asta durante lo smontaggio reinstallarlo verificando che la parte superiore dell accoppiamento del motore a getto sia allineato allo spinotto del foro inferiore come mostra la Figura 27 43 Pompe di diffusione ad alta capacit Motore a getto della pompa HS 20 Cold Cap Securing Screw Cold Cap Assembly Orifice Plug Coupling Assembly 2nd Stage Jet Shield 2nd Stage Central Tube Stage Lower Jet Assembly 3rd Stage Jet Shield 4th Stage Jet Base Lower Anchor Nut Welded to Boiler Figura 26 Motore a getto della pompa HS 20 44 Per smontare il motore a getto 1 Rimuovere la copertura di raffreddamento e il diaframma seguendo le istruzioni riportate nella sezione Copertura di raffreddamento a pagina 42 2 Allentare il cappuccio del motore dall accoppiamento 3 Rimuovere lo spinotto dal foro 4 Rimuovere il tubo centrale con il motore della seconda fase e il carter 5 Rimuovere il motore a getto inferiore dalla pompa Questo gruppo comprende il motore a getto della terza fase il diaframma del motore a getto il motore a getto della quarta fase e la base del motore a getto 6 Rimuovere il diaframma della terza fase dal motore a getto inferiore NOTA Prima di rimuovere le viti di fissaggio effettuando le operaz
54. ioni descritte al punto successivo apporre un segno di riferimento sull interfaccia per essere certi che le viti vengano reinserite nei fori originali 7 Rimuovere le viti di fissaggio tra i motori a getto della terza e quarta fase Conservare le viti con cura Fare attenzione a non danneggiare i distanziali dei motori a getto durante la movimentazione 8 Rimuovere il motore a getto della quarta fase dalla base 9 Pulire accuratamente tutte le parti Pompe di diffusione ad alta capacit Per rimontare il motore a getto NOTA 1 Rimontare il motore a getto della quarta fase sulla 7 base 2 Rimontare e serrare le viti di fissaggio tra la quarte fase e la base del motore a getto seguendo un ordine ciclico NOTA Le distanze sono preimpostate in 8 fabbrica e vengono mantenute dai distanziali fissati ai singoli stadi 3 Rimontare il motore a getto della terza fase su quello della quarta fase 4 Rimontare e serrare le viti di fissaggio tra la terza fase e la quarta seguendo uno schema uniforme e ciclico 5 Rimontare il carte del motore a getto della terza fase Copertura di raffreddamento Vite di fissaggio Spinotto del foro ura di raffreddamento Montaggio Dado di blocco Asta del motore a getto Installare il motore a getto inferiore nella pompa Controllare che il motore a getto inferiore sia saldamente fissato sulla pompa e che l eiettore sia posizionato correttamente Per un allineamento ottimale u
55. itare i dispositivi di sicurezza come gli interruttori di pressione e termperatura ed i dispositivi di blocco della sequenza di azionamento delle valvole Sovratemperatura sovrapressione e pi miscele infiammabili Pompe di diffusione ad alta capacit Tabella 2 Situazioni che possono provocare Rischi connessi alla pressurizzazione esplosioni mE Le pompe a vuoto di grandi dimensioni ed i loro componenti sono appositamente progettati per essere usati in condizioni di vuoto ma non per essere pressurizzate La loro pressurizzazione pu infatti provocare esplosioni e la conseguente espulsione di parti a velocit potenzialmente letali La pressurizzazione intenzionale delle pompe a vuoto dei loro componenti ha provocato in passato gravi incidenti Condizione che pu provocare Azione non consentita l esplosione Non lavorare o saldare i Fonti di ignizione componenti della pompa senza aver prima scaricato tutti i liquidi o solventi dal Non pressurizzare mai alcuna parte suo interno pe i ES dell impianto a vuoto a scopo di test o per altri Non usare la pompa con Soglia di esplosione motivi liquidi inadatti minima della miscela di Installare sempre una valvola limitatrice della pressione se si prevede di usare la pompa di diffusione con altri impianti e verificare che il movimento di tale valvola rientri negli inviluppi previsti gas Evitare sempre che pos
56. lla pompa Appena la posizione corretta utilizzare il dado vicino alla piastra della caldaia per bloccare l asta in posizione Effettuare le operazioni descritte nei punti da 7 a 10 in ordine inverso per smontare i componenti del motore a getto inferiore Utilizzare i due golfari e un attrezzatura di sollevamento idonea per abbassare il motore a getto inferiore sul corpo della pompa sopra l asta del motore a getto centrale L eiettore deve essere allineato direttamente dalla pompa a vuoto iniziale Il foro di riferimento sulla base del motore a getto permette di inserire un blocco nel corpo della pompa e verificare che l eiettore sia perfettamente allineato alla pompa a vuoto iniziale ATTENZIONE motore a getto inserito e la pompa 4 funziona correttamente solo se il blocco di riferimento inserito nel foro Verificare che il blocco sia saldamente fissato tentando di ruotare il motore a getto Effettuare le operazioni descritte dai punti 1 a 5 in ordine inverso per rimontare i componenti del motore a getto superiore NOTA Lo spinotto del foro del motore a getto superiore deve essere collocato nel tubo con il rilievo lavorato inserito nel tubo Verificare che lo spinotto sia stato installato correttamente non capovolto Pompe di diffusione ad alta capacit NOTA La posizione del dado esagonale tale da fungere da elemento centrante per la copertura di raffreddamento o il diaframma Verificare che il da
57. mbito di limiti sicuri Per effettuare un test del vuoto iniziale 1 Verificare la pressione a vuoto limite della pompa a vuoto iniziale Questo valore deve corrispondere a quello indicato nelle specifiche del produttore se la pompa meccanica stata correttamente installata regolata e riempita di liquido pulito 2 Misurare la pressione con un manometro che visualizzi la pressione totale ad esempio con un manometro capacitativo o a termocoppia 3 Collegare l uscita o la pompa a vuoto iniziale della pompa di diffusione all ingresso della pompa usando connessioni completamente a vuoto 4 La procedura varia a seconda del fattoche il sistema abbia o meno valvole Q Peri sistemi con valvole chiudere la valvola di vuoto parziale e la valvola di isolamento principale a monte della pompa di diffusione Peri sistemi senza valvole effettuare il test anche su tutto il volume della camera 5 Svuotare il sistema utilizzando solo la pompa a vuoto iniziale Portare la pompa alla pressione massima del sistema Il valore letto deve essere equivalente al valore ottenuto nel punto 2 precedente generalmente 10 50 micron 0 013 0 067 mbar 6 Sela pompa non raggiunge questo livello verificare che non ci siano perdite utilizzando la procedura di test standard Le procedure variano a seconda del tipo di gas a vuoto e delle attrezzature di misurazione del vuoto disponibili NOTA Rivolgersi ad un rappresentante di Vacuum Tec
58. mperiali 66 FL tubo con D E da 1 2 x 3 8 FPT K8475001 Obl L6367301 Accoppiamento per motore a getto 656118114 Filo in nichel 14 AWG 54 Pompe di diffusione ad alta capacit Codice Tabella 16 Parti di ricambio della pompa HS 16 Continua Descrizione 648056329 Capocorda in nichel 14 AWG 55 Pompe di diffusione ad alta capacit Tabella 17 Parti di ricambio per la pompa HS 20 Codice Descrizione 84358301 di raffreddamento comprensiva di vite 10 32 SST Rd Hd e dado esagonale 10 32 660811494 Guarnizione per copertura di raffreddamento F2622001 Controdado per copertura di raffreddamento ottone 75786001 Dado per copertura di raffreddamento 622445026 Accoppiamento femmina per copertura di raffreddamento tubo con D E 1 2 x 3 8 FPT Imperial Flexfitting n 66 FL L6367301 Accoppiamento sprint 84350301 Accoppiamento per motore a getto 84889301 Diaframma della pompa a vuoto iniziale F6097301 Kit per la manutenzione dell obl con tubo di vetro O ring e raccordi Le valvole non sono incluse per le pompe costruite prima dell ottobre 1994 F1755301 Obl con valvola di tenuta tubo in vetro staffa di rimozione copertura per obl e raccordi per le pompe costruite prima dell ottobre 1994 77261001 Spinotto filettato tappi di riempimento e scarico K9050001 Interruttore termico superiore impostazione di temperat
59. muovere il dado che fissa in posizione la copertura di raffreddamento Prendere nota dell orientamento prima della rimozione Rimuovere la copertura di raffreddamento o diaframma seguendo le operazioni descritte nella sezione Copertura di raffreddamento a pagina 42 Allentare la copertura del motore a getto superiore e rimuoverla Rimuovere il distanziale e lo spinotto del foro del motore a getto superiore Sollevare il secondo stadio e il carter del motore a getto rimuovendoli dall asta filettata centrale Utilizzare i bulloni di ancoraggio scoperti e un attrezzatura di sollevamento idonea per sollevare il motore a getto inferiore ed estrarlo dal corpo della pompa lasciando l asta in posizione Rimuovere il carter del motore a getto del terzo stadio 10 11 Rimuovere i dadi di fissaggio quindi sollevare e rimuovere il terzo stadio e la camera di frazionamento dal quarto stadio Rimuovere il carter del motore a getto del quarto stadio Rimuovere i dadi di fissaggio e rimuovere il quarto stadio dalla base del motore a getto Effettuare le operazioni di pulizia e manutenzione necessarie Per rimuovere il motore a getto 1 Se l asta centrale del motore a getto stata rimossa o allentata durante lo smontaggio reinserirla nella piastra della caldaia La parte superiore dell asta deve essere ad una distanza di circa 1 16 1 8 dalla superficie superiore della flangia di ingresso piano di ingresso de
60. nseguentemente anche pi instabili In questo caso il surriscaldamento non pu essere evitato con l installazione degli interruttori termici normalmente usati per i liquidi delle pompe di diffusione Gasdi processo i gas di processo sono generalmente tossici infiammabili corrosivi esplosivi o comunque reattivi Vacuum Technologies non ha alcun controllo sui tipi di gas utilizzati con le pompe di diffusone poich questi vengono scelti dall utilizzatore della pompa di diffusione e o dell integratore dei sistemi Poich questi cas possono provocare lesioni gravi o mortali sempre molto importante collegare lo scarico della pompa al sistema di scarico dei gas dello stabilimento che solitamente munito di filtri gorgogliatori e altri componenti che assicurano uno scarico conforme ai requisiti per il contenimento dell inquinamento dell aria e dell acqua Pompe di diffusione ad alta capacit Temperature elevate Superfici calde la caldaia pu raggiungere Tensioni elevate Q Le pompe di diffusione lavorano a tensioni temperature massime di 530 F 275 che possono provocare gravi ustioni Verificare sempre che le superfici esposte a temperature elevate siano state portate a temperatura ambiente prima di toccarle Acqua di raffreddamento e vapore a temperatura elevata l acqua usata per raffreddare la pompa pu raggiungere temperature tali da provocare ustioni Il contatto o la rottura dell impianto di raf
61. ntenzionalmente in bianco Pompe di diffusione ad alta capacit Prefazione Garanzia Il Venditore garantisce che i propri prodotti sono privi di difetti di materiali e lavorazione per un periodo di dodici 12 mesi a partire dalla data di spedizione al Cliente La sola responsabilit del Venditore consister nel riparare sostituire o rimborsare parzialmente il prezzo di acquisto del prodotto difettoso componenti soggetti a normale usura non sono coperti dalla presente garanzia Tutti gli interventi di riparazione e sostituzione saranno effettuati solo se a discrezione dell utente derivano da problemi riconducibili a difetti di materiali e lavorazioni Gli obblighi previsti dalla presente garanzia non si applicheranno in caso di uso improprio incidenti modifiche non autorizzate uso errato o negligenza componenti sostituiti o riparati in garanzia saranno coperti solo per la parte restante della garanzia applicabile Alla scadenza del periodo di garanzia il Cliente dovr pagare tutte le spese di riparazione e sostituzione ai prezzi delle parti di manodopera e trasporto applicabili al momento della sostituzione o riparazione Se il prodotto viene utilizzato con sostanze chimiche tossiche o in atmosfere che potrebbero essere pericolose per la salute dell uomo o provocare danni all ambiente il Cliente dovr sempre far pulire la pompa da una societ specializzata nella movimentazione e pulizia di materiali contaminati prima
62. o di alimentazione deve essere controllato mediante una valvola a 3 vie indipendente predisposta per l apertura la chiusura e lo scarico in atmosfera Lo scarico deve essere ad installato ad un livello inferiore della caldaia in modo da consentire uno scarico completo quando la serpentina Quick Cool viene arrestata ma la pompa ancora in funzione 20 Come ottenere livelli di alto vuoto con la pompa NHS 35 Quando si utilizzano pressioni di lavoro basse inferiori a 1x10 Torr possibile ridurre ulteriormente la pressione escludendo la parte delle serpentine di raffreddamento situate all altezza del gomito della pompa a vuoto iniziale come mostra la Figura 9 a pagina 15 Questa procedura incrementa la temperatura della pompa a vuoto iniziale consentendo un ulteriore sgassamento del liquido riconvogliato verso la caldaia permettendo di conseguenza un ulteriore riduzione della pressione NOTA Questa configurazione riduce la portata massima della pompa Questa configurazione di raffreddamento deve essere usata solo se la pompa non verr utilizzata a pressioni vicine al limite d esercizio Pompe di diffusione ad alta capacit Collegamenti elettrici I collegamenti terminali di ciascuna pompa variano a seconda della tensione di alimentazione disponibile ossia a seconda del fatto che venga utilizzata una connessione a Y o A per i riscaldatori La Tabella 13 riporta i valori ed in numeri di pagina degli schemi elettrici a cu
63. ontrollare il peso dell apparecchiatura nella Tabella 4 a pagina 7 Q Utilizzare sempre attrezzature elettriche e fare movimentare installare la pompa da personale esperto e qualificato per evitare che possa cadere scivolare capovolgere provocando gravi infortuni al personale Non sostare sotto alla pompa mentre viene movimentata Le pompe di diffusione di grandi dimensioni di Vacuum Technologies vengono spedite in solide casse che possono essere immagazzinate per lunghi periodi di tempo in aree adeguatamente protette senza particolari precauzioni Tuttavia comunque necessario fare attenzione a movimentare la pompa quando ancora racchiusa nella cassa per evitare il carrello a forche possa provocare sollecitazioni eccessive Rimuovere delicamente l involucro esterno che avvolge la cassa Ispezionare visivamente la pompa per verificare che non abbia subito danni durante la spedizione segnalando immediatamente tutti gli eventuali danni al trasportatore In caso di danni conservare la cassa e l involucro interno per l ispezione Installazione Montaggio 1 Rimuovere le coperture della flange ed i cappucci di chiusura protezione dai tubi dell acqua Non graffiare o danneggiare la superficie di isolamento ossia la scanalatura dell O ring sulla parte superiore della flangia di ingresso 2 Controllare il motore a getto e verificare che sia concentrico e saldamente fissato alla parte inferiore della pompa Utilizzare
64. paggio p Q S Se il carico del gas Q supera la capacit massima della pompa di diffusione quest ultima non si attiva e l operazione di pompaggio verr prevalentemente effettuata dalla pompa a vuoto iniziale meccanica Per stimare il carico di gas isolare il sistema da tutte le pompe dopo l evacuazione quindi misurare la velocit con cui incrementa la pressione Il carico di gas pu essere misurato con la seguente relazione _ Dove V il volume isolato AP l incremento di pressione e At l intervallo di misurazione Q 51 Pompe di diffusione ad alta capacit Prestazioni inadeguate della pompa o del sistema La Tabella 15 elenca i possibili problemi le cause probabili e le azioni correttive che devono essere intraprese se si verifica un problema sulle pompe di diffusione di grandi dimensioni Problema Tabella 15 Guida alla risoluzione dei problemi Causa probabile Azione correttiva Pressione insufficiente all interno del sistema Perdite reali o virtuali nel sistema Individuare la perdita e ripararla Carico del gas di processo elevato Misurare il carico del gas ed eliminare la causa del problema Sistema sporco Pulire il sistema per ridurre lo sgassamento Pressione finale inadeguata Liquido di pompaggio contaminato Ispezionare e pulire la pompa sostituire il fluido di pompaggio Calore in ingresso insufficiente Controllare la tensione Misura
65. pi di riempimento e scarico L8841301 Kit interruttori termici 647316025 Riscaldatore con cavi 2700 W 200 V 647316027 Riscaldatore con cavi 3200 W 200 V 647316037 Riscaldatore con cavi 2700 W 400 V 647316038 Riscaldatore con cavi 3200 W 400 V 647316039 Riscaldatore con cavi 2700 W 430 V 647316040 Riscaldatore con cavi 3200 W 430 V 647316041 Riscaldatore con cavi 2700 W 440 V 647316042 Riscaldatore con cavi 3200 W 440 V 647316020 Riscaldatore con cavi 2700 W 240 or 415 V 647316030 Riscaldatore con cavi 2700 W 480 V 647316023 Riscaldatore con cavi 3200 W 240 o 415 V 647316033 Riscaldatore con cavi 3200 W 480 V K4919001 Piastra di compressione riscaldatore necessaria per la sostituzione del riscaldatore K4917001 Piastra di fissaggio riscaldatore 79309001 Camicia di isolamento del riscaldatore 79308001 Piastra di copertura del riscaldatore K0377164 O ring kit con Q 1 O ring di ingresso ASA in butile 48214001 1 O ring per pompa a vuoto iniziale ASA in Buna N 660890348 Q 8 O ring per tappi di riempimento e scarico in Viton 660892213 Q 1 O ring per obl 660892232 1 guarnizione per obl in grafite K8478001 695472008 Liquido per pompa a diffusione DC 702 un gallone 695474008 Liquido per pompa a diffusione DC 704 un gallone 695475008 Liquido per pompa a diffusione DC 705 un gallone Parti d uso comune Raccordo per copertura di raffreddamento raccordo flessibile in unit i
66. re la continuit verificare che non ci siano elementi bruciati e controllare che il contatto termico sia adeguato Flusso di acqua di raffreddamento basso Misurare la pressione dell acqua Verificare che non ci siano ostruzioni o controflussi nei tubi Temperatura dell acqua di raffreddamento troppo bassa Misurare la temperatura Flusso dell acqua di raffreddamento troppo alto Regolare il flusso dell acqua Pressione sulla pompa a vuoto iniziale troppo alta Verificare che non ci siano perdite nella pompa a vuoto iniziale che non ci siano problemi meccanici o che il liquido di pompaggio non sia degradato Acqua all interno della serpentina Quick Cool Individuare e correggere il problema Pompaggio lento Quantit di calore alimentata insufficiente Ispezionare i riscaldatori Livello del liquido di pompaggio basso Aggiungere liquido Pompa non funzionante Getti configurati in modo improprio Motore a getto danneggiato Ispezionare la pompa ripararla o sostituirla Sovrapressione in ingresso Ingresso del riscaldatore errato Individuare il problema e correggerlo Sgassamento del liquido Pulire il liquido mettendo la pompa in funzione per qualche ora Perdite a valle dell ingresso della pompa Individuare e correggere il problema Camera contaminata dal liquido di pompaggio 52 Pressione della pompa a vuoto iniziale troppo alta V
67. re la pompa al sistema 41 Pompe di diffusione ad alta capacit Procedure per il montaggio e lo smontaggio Copertura di raffreddamento Per smontare la copertura di raffreddamento fare riferimento alla Figura 24 ed effettuare le operazioni descritte di seguito 42 NOTA Il diaframma per la condensa pu essere smontato nello stesso modo Rimuovere l accoppiamento femmina il dado il controdado e la guarnizione situati all estremit della linea acqua sulla copertura di raffreddamento all esterno della pompa Rimuovere la vite che fissa la copertura di raffreddamento al motore a getto Sollevare la copertura di raffreddamento AD Customer Per rimontare la copertura di raffreddamento 1 Inserire l estremit della linea acqua della copertura di raffreddamento nell apposita apertura sul lato della pompa prima di montare la copertura sul motore a getto Fare attenzione a non danneggiare le superfici di tenuta Rimontare la vite che fissa la copertura di protezione al motore a getto facendo atttenzione a non serrare eccessivamente la vite Rimontare la guarnizione il controdado il dato e l accoppiamento femmina sul lato della pompa NOTA I tubi di alimentazione dell acqua devono essere collegati all accoppiamento della copertura di raffreddamento con le filettature FTP COPERTURA DI RAFFREDDAMENTO Pum Body ANS Figura 24 Copertura di raffreddamento Pompe di diffusione ad alta capa
68. s documento s normativo s waamaar deze verklaring verwijst aan de volende norm en of richtlijn en beantwoodt a cui se rifersce questa dichiarazione conforme alla e sequente I norma o documento l normativo i VMF 11 M 2 VHS 6 HS 16 AX 65 M 4 VHS 250 HS 20 AX 150 VHS 4 VHS 10 HS 32 HS 2 M 6 VHS 400 NHS 35 Direttiva sulle apparecchiature a basso voltaggio 73 023 CEE EN 61010 1 Requisiti per la sicurezza applicabili ad apparecchiature elettriche impiegate per la misurazione il controllo e le procedure di laboratorio con relative modifiche numeri 1 e 2 Frederick Campbell Operations Manager Vacuum Technologies Lexington Massachusetts USA Marzo 2003 Pompe di diffusione ad alta capacit Pagina lasciata intenzionalmente in bianco Pompe di diffusione ad alta capacit Rischi connessi all uso delle pompe di diffusione progettisti di impianti che comprendono pompe di diffusione dovranno cercare di limitare al minimo tutti i possibili rischi Per i rischi residui vengono fornite avvertenze procedure ed istruzioni per l uso e la manutenzione Utilizzare sempre i carter i dispositivi di sicurezza e gli interblocchi consigliati Consultare la Tabella 1 per un elenco dei rischi generali e delle azioni correttive consigliate la Tabella 2 a pagina 2 per un elenco delle operazioni vietate che possono provocare esplosioni e la Tabella 3 a pagina 3 per un elenco dei rischi connessi alla pressurizza
69. sano verificarsi le condizioni descritte nella Tabella 3 Tabella 3 Rischi connessi alla pressurizzazione Azione non consentita Risultato Non ostruire l ingresso Scoppio del sifone e o lo scarico del sifone delle linee di N di intercettazione e liquido delle linee dell azoto liquido Non chiudere la L acqua si converte in valvola di vapore facendo isolamento intallate scoppiare le all ingresso e allo serpentine scarico delle serpentine Quick Cool se la temperatura della pompa alta Non pressurizzare il Scoppio del corpo corpo della pompa della pompa con una pressione superiore a 1 atm Non forare la parete Perdita di integrit dell impianto a vuoto strutturale della parete Pompe di diffusione ad alta capacit Dispositivi di limitazione della pressione tutti gli impianti devono essere muniti di dispositivi per la limitazione della pressione capaci di scaricare la pressione in eccesso in condizioni di sicurezza e prevenire il rischio di esplosioni interne sempre consigliabile installare dispositivi di protezione ridondanti con modalit meccanismi e cause di guasto diversi poich i dispositivi di sicurezza possono guastarsi o funzionare in modo improprio Verificare sempre che i materiali dei condotti di scarico possano tollerare il grado di corrosione la temperatura e la pressione dei prodotti scaricati Sostanze pericolose Q Rischi chimici derivanti dall uso di alcol a
70. sare il perno di riferimento sulla base della pompa La fessura pi grande sulla base del motore a getto deve combaciare con questo perno Eseguire le operazioni descritte nei punti da 1 a 5 in ordine inverso Se l accoppiamento del motore a getto si allenta dall asta durante lo smontaggio reinstallarlo verificando che la parte superiore dell accoppiamento del getto sia allineata con lo spinotto del for inferiore Figura 27 Dettaglio A Posizione degli accoppiamenti de prima del montaggio della copert Figura 27 Dettaglio degli accoppiamenti del motore a getto 45 Pompe di diffusione ad alta capacit Motore a getto della pompa HS 32 Copertura di raffreddan Traverse Asta del motore a getto Figura 28 Motore a getto della pompa HS 32 46 Per smontare il motore a getto 1 Allentare e rimuovere il dado esagonale e rimuovere il dado che fissa in posizione la copertura di raffreddamento Prendere nota dell orientamento prima della rimozione Rimuovere la copertura di raffreddamento diaframma seguendo le operazioni descritte nella sezione Copertura di raffreddamento a pagina 42 Rimuovere il dado la rondella e la copertura del motore a getto superiore dall asta centrale Utilizzare la traversa scoperta e un attrezzatura di sollevamento idonea per sollevare il motore a getto ed estrarlo dal corpo della pompa lasciando l asta in posizione Rimuovere il carter del motore a getto della
71. seconda fase Rimuovere le due viti sulla traversa quindi sollevare e rimuovere la seconda fase e la camera di frazionamento mantenendo le due aste in posizione Allentare e rimuovere i due tiranti Smontare i restanti stadi NOTA Non rimuovere le tre viti che fissano in posizione la vasca di frazionamento sullo stadio superiore Pompe di diffusione ad alta capacit Per rimontare il motore a getto 1 Se l asta centrale del motore a getto stata rimossa allentata durante lo smontaggio reinserirla nella piastra della caldaia La parte superiore dell asta deve essere ad una distanza di circa 1 16 1 8 dalla superficie superiore della flangia di ingresso piano di ingresso della pompa Appena la posizione corretta utilizzare il dado vicino alla piastra della caldaia per bloccare l asta in posizione Rimontare gli stadi inferiori impilandosi all esterno del corpo della pompa Abbassare il secondo stadio e la camera di frazionamento sul motore a getto inferiore allineando le due fessure sulla camera con quelli sulla struttura della base del motore a getto Verificare che il gruppo sia saldamente fissato tentando di ruotarlo Installare il carter del motore a getto del secondo stadio Installare i tiranti inserendoli nei due fori sulle traverse e spingerli nella cornice della base del motore a getto Inserire i due dadi nei tiranti Regolare l altezza dei tiranti spingendoli nella struttura della base
72. sioni possono provocare l espulsione di valvole o altri componenti la chiusura di sportelli non adeguatamente protetti da dispositivi di limitazione della pressione o far scoppiare alcuni componenti dell impianto a vuoto L espulsione di componenti la chiusura di porte e le onde d urto possono provocare gravi infortuni Leesplosioni si verificano in presenza di tre elementi un combustibile un ossidante e una fonte di ignizione L ignizione pu essere provocata dalla presenza di pressioni o temperature elevate liquidi a base di idrocarburi tendono ad ossidarsi ed esplodere molto pi facilmente rispetto ai liquidi sintetici a base di silicone L ossidante pu essere costituito dall aria che pu introdursi all interno della pompa per una perdita essere immessa da un processo ed essere accidentalmente introdotta nella pompa dall operatore L ossigeno ed altri ossidanti molto forti sono addirittura pi pericolosi dell ossigeno poich in presenza di alcune condizioni di temperatura e pressione possono provocare una miscela esplosiva Pi grande la pompa di diffusione e maggiore il rischio di esplosione danni e lesioni Non utilizzare mai le pompe di diffusione di grandi dimensioni con oli a base di idrocarburi senza aver prima verificato che non costituiscano alcun pericolo per l impianto e l applicazione Esplosioni ed incendi causati da acetone e alcol le pompe di diffusione vengono generalmente pulite con detergen
73. sumersi ogni responsabilit relativamente all uso e allo smaltimento sicuro della pompa nonch alla movimentazione di materiali pericolosi L utente dovr altres rispettare tutte le AVVERTENZE ed i MESSAGGI DI ATTENZIONE forniti per ridurre al minimo i rischi L utente dovr altres rispettare tutte le norme leggi e regolamenti sulla sicurezza locali statali e federali applicabili al sistema consigliabile richiedere l assistenza di un chimico qualificato durante l installazione e l uso Sostituzioni e riparazioni in garanzia Tutte le richieste di riparazione o sostituzione devono essere presentate al momento in cui si verifica il problema e devono pervenire la Venditore o ad un suo rappresentante autorizzato entro la data di validit della garanzia Tutte le richieste devono riportare il numero di matricola la data di spedizione e una descrizione dettagliata delle condizioni che hanno provocato il problema Prima di restituire eventuali prodotti per la riparazione e o sostituzione necessario richiedere l autorizzazione scritta del Venditore o del suo rappresentante autorizzato nonch istruzioni su dove inviare il prodotto Il prodotto deve essere inviato al Venditore con spese di trasporto prepagate utilizzando un mezzo di trasporto approvato dal Venditore Il Venditore si riserva il diritto di non accettare eventuali richieste di riparazione e o sostituzione in garanzia qualora queste non siano state segnalate tempestivamen
74. te se il prodotto stato sottoposto a modifiche non autorizzate o se il Cliente ha utilizzato un mezzo di trasporto non approvato In caso di restituzione del prodotto il Cliente dovr farsi carico di tutti gli eventuali danni causati da un imballaggio o da una movimentazione impropri dall eventuale smarrimento durante il trasporto e di eventuali difetti o non conformit del prodotto In ogni caso il Venditore responsabile unicamente dell identificazione della causa e della natura del guasto Il giudizio del Venditore sar considerato definitivo Se il Venditore rileva che il prodotto stato restituito senza motivo e risulta perfettamente funzionante il Cliente dovr pagare tutte le spese di trasporto nonch quelle di verifica ed ispezione prima della restituzione del prodotto 3 1 00 Pompe di diffusione ad alta capacit Istruzioni per l uso La pompa progettata per essere utilizzata da personale altamente qualificato Prima di usare la pompa tutti gli utenti dovranno leggere le istruzioni per l uso fornite da Vacuum Technologies Vacuum Technologies non riconosce alcuna responsabilit per problemi derivanti dal mancato rispetto delle istruzioni dall uso della pompa da parte di personale non qualificato dall esecuzione di modifiche non autorizzate o da operazioni contrarie a quanto indicato negli standard di settore Nel presente manuale sono state usate notazioni relativamente alla sicurezza AVVERTENZA Le avvert
75. ti a base di acetone ed alcol Se si combinano con l aria l ossigeno ed altri ossidi l alcol e la maggior parte dei solventi possono diventare molto infiammabili ed esplosivi Verificare sempre che non rimangano residui di queste sostanze al termine della pulizia Rimuovere tutte le tracce di alcol acetone e altri detergenti con aria compressa pulita asciutta e priva di oli Non azionare mai le pompe di diffusione di grandi dimensioni nelle condizioni elencate nella Tabella 2 Una qualsiasi delle condizioni elencate di seguito pu rendere probabile il rischio di esplosione Azione non consentita Non utilizzare la pompa senza acqua di raffreddamento Condizione che pu provocare l esplosione Sovratemperatura Non utilizzare la pompa con un livello di liquido basso Sovratemperatura Non utilizzare la pompa senza un adeguata pompa a vuoto iniziale o di mantenimento Sovrapressione Non utilizzare la pompa a pressioni superiori a 0 5 Torr 0 67 mbar Sovrapressione Prevenire l ingresso di aria e non utilizzare un bruciatore caldo per spurgare la pompa Sovrapressione pi ossidante forte Non aprire lo scarico o rabboccare la pompa in condizioni di vuoto soprattutto se la temperatura molto alta Sovrapressione pi ossidante forte Non contaminare la pompa con vapori esplosivi Soglia di esplosione minima di miscele di gas Non rimuovere manomettere o disabil
76. tilate Indossare sempre occhiali guanti ed indumenti protettivi In alcuni casi pu essere necessario effettuare una pulizia completa della pompa a causa del progressivo deterioramento del liquido In questo caso necessario rimuovere la pompa dal sistema Per pulire una pompa installata 1 Scollegare tutte le linee dell acqua di raffreddamento ed il circuito principale dei riscaldatori della pompa 2 Allentare le connessioni sul lato ingresso e della pompa a vuoto iniziale quindi rimuovere la pompa dal sistema Scaricare tutto il liquido dalla pompa 4 Rimuovere la copertura di raffreddamento seguendo le istruzioni riportate nella sezione Copertura di raffreddamento a pagina 42 5 Rimuovere il motore a getto seguendo le istruzioni specifiche per modello riportate nella sezione Motori a reazione a pagina 43 6 Pulire accuratamente l interno della pompa utilizzando acetone sciacquarlo con alcol isopropilico ed asciugarlo con aria compressa pulita asciutta e priva di olii 7 Pulire il motore a getto con acetone Sciacquare tutte le superfici con alcol isopropilico ed asciugare con aria compressa asciutta e priva di olii 8 Rimontare il motore a getto e la copertura di raffreddamento sul corpo della pompa verificando che gli eiettori siano perfettamente allineati con la pompa a vuoto iniziale 9 Controllare lo stato degli O ring Sostituire gli O ring che presentano segni di compressione 10 Collega
77. ura 185 F K9050002 Interruttore termico inferiore impostazione di temperatura 390 F 656118114 Filo in nichel 14 AWG 648056329 Capocorda in nichel 14 AWG 647320025 Riscaldatore con cavi 2 000 W 200 V 647320020 Riscaldatore con cavi 2 000 W 240 V o 415 V 647320035 Riscaldatore con cavi 2 000 W 400 V 647320040 Riscaldatore con cavi 2 000 W 430 V 647320045 Riscaldatore con cavi 2 000 W 440 V 647320030 Riscaldatore con cavi 2 000 W 480 V K7108001 Piastra di compressione da sostituire per ciascun riscaldatore K7107001 Piastra di fissaggio L6514001 Isolamento per riscaldatori Cerablanket spessore da 0 50 84497001 Piastra di copertura del riscaldatore L9223001 Obl per pompe costruite dopo l ottobre 1994 K0377165 O ring kit con 1 O ring per flangia di ingresso ASA butile 84349002 1 O ring per flangia della pompa a vuoto iniziale in 660893432 8 O ring per tappi di riempimento e scarico in Viton 660892213 10 ring per obl 660892240 1 guarnizione per obl in grafite L9228001 695472008 Liquido per pompa a diffusione DC 702 un gallone 695474008 Liquido per pompa a diffusione DC 704 un gallone 56 Pompe di diffusione ad alta capacit Tabella 17 Parti di ricambio per la pompa HS 20 Continua Codice Descrizione 695475008 Liquido per pompa a diffusione DC 705 un gallone 57 Pompe di diffusione ad alta capacit Tabella 18 Parti di ricambio per la pompa HS 32
78. zi possono provocare surriscaldamento danneggiare le attrezzaure e causare esplosioni Pertanto sempre opportuno progettare il sistema in modo da limitare al minimo eventuali danni alle attrezzature ed al personale Collegamento della pompa all impianto a vuoto Verificare che il corpo della pompa sia verticale ed allineato Verificare che la flangia di accoppiamento sul sistema sia orizzontale a circa 19 In caso contrario correggere la posizione del sistema prima di installare la pompa Per collegare la pompa al sistema a vuoto 1 Pulire le guarnizioni degli O ring con un panno pulito leggermente inumidito con il liquido di pompaggio della pompa a diffusione Non usare solventi 2 Installare l O ring nella scanalatura Fare attenzione a non danneggiare la superficie di tenuta con tagli intaccatture o graffi 3 Sollevare la pompa con un attrezzatura di sollevamento adeguata al carico da sollevare Il peso delle pompe riportato nella Tabella 4 a pagina 7 4 Allineare i fori dei bulloni con le flange e montare i bulloni 5 Serrare i bulloni uniformemente e comprimere la guarnizione dell O ring fino a stabilire un leggero contatto con le flange di metallo 6 Controllare il serraggio dei tappi di riempimento e scarico e dell obl Consultare il disegno di insieme applicabile dalla Figura 6 a pagina 10 alla Figura 9 a pagina 15 Applicare una coppia medio bassa comunque sufficiente per comprimere visivamente
79. zione che pu provocare danni alle attrezzature L INSTALLAZIONE L USO E LA MANUTENZIONE DELLE POMPE A DIFFUSIONE POSSONO PROVOCARE UNO O PI DEI SEGUENTI PERICOLI CHE IN ASSENZA DELL ADOZIONE DI PRASSI DI LAVORO SICURE E DI ADEGUATE PRECAUZIONI POSSONO CAUSARE LESIONI GRAVI O MORTALI AL PERSONALE Tabella 1 Rischio Assenza di servizi acqua e o elettricit Rischi generali Azione correttiva consigliata Verificare di avere a disposizione una fonte di alimentazione d acqua e di elettricit di backup per poter arrestare la pompa in condizioni di sicurezza nel peggiore dei casi Sovrapressione nella pompa a vuoto iniziale Installare un dispositivo di blocco per evitare che il riscaldatore della pompa possa essere alimentato se la pompa a vuoto iniziale non in funzione e o la sua pressione superiore a 0 5 Torr 0 67 mbar Sovratemperatura Installare sensori per la misurazione della temperatura e del livello del liquido verificando che siano collegati al dispositivo di blocco dell alimentatore del riscaldatore Il flusso di acqua convogliato alle serpentine principali insufficiente Installare un sensore per la misurazione del flusso di acqua e collegarlo all alimentatore del riscaldatore Acqua intrappolata tra le serpentine Quick Cool installate all ingresso e allo scarico della pompa oppure azoto liquido intrappolato tra i sifoni per l intercettazione di azoto liquido installati all ingr

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