vacuum technologies Pompa a diffusione VHS-4
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1. H 4 1 D Egassaguio irreale i tede Ue eulos facea Ca pev encase agis 4 1 Prestazioni inadeguate della pompa o dell impianto i 4 2 5 Parti di euo m 5 1 Uffici vendite e assistenza Pompa a diffusione VHS 4 Pagina lasciata intenzionalmente vuota Declaration of Conformity al Konformitatserklarung gt D claration de Conformit 2 bs Declaraci n de Conformidad Verklaring de O vereenstemming VARIAN Dichiarazione di Conformita We Wir Varian Inc Nous Vacuum Technologies Nosotros 121 Hartwell Avenue Wij Lexington MA 02421 3133 USA Noi declare under our sole responsibility that the product erkl ren in alleniniger Verantwortung da dieses Produkt d clarons sous notre seule responsabilit que le produit declaramos bajo nuestra sola responsabilidad que el producto verklaren onder onze verantwoordelijkheid dat het product dichiariamo sotto nostra unica responsabilit che il prodotto Pompa a diffusione VH S 4 to which this declaration relates is in conformity with the following standard s or other normative documents auf das sich diese Erkl rung bezieht mit der den flogenden N orm en oder Richtlinie n bereinstimmt auquel se r f re cette d claration est conforme la auz norme s ou au x document s normatif s al que se refiere esta declaraci n es conforme a la s norma s u otro s documento2. E 1 1 Specifiche della pompa VH S 4 snelle lola 1 1 Rimozione della pompa dall mballagdl soe Tasa ricche fe Rud Forsan Re ERI aa 1 5 Riempimento dell olio v sott AA eeepc eo Purpose pe Reda Td 1 5 Collegamento dell aspirazione 5p er od reete aaah picem ei dade ce beietetd epe gds 1 6 Tubi dell acqua di raffreddamento cc css rentre erro rr eed ee Axe ke tan usa 1 7 Collegamenti elettrici a dep speeds ide alain Pd RU MER 1 8 Interruttore Magneto termico sorta ect ve dara t eere Raise 1 8 2 Jirin aemee 2 1 pug 2 1 inn PRU 2 2 3 Manutenzione e assistenza ueeeeeeeeeeeeeseeseeeeeee eene en nnn n nnn n nnn nnn nn nnn nnn nnn ninh enhn nnne nn nn 3 1 Manut nzione genetal ron n rra t e on Far obere t EP varias er prota qu va Ra Fx rag bd al xa Fe gn ME 3 1 Reguisit Der Ie ISDOZIODIE Soc eddie ae Ra eei ho oa oa 3 1 Uzala MA CMM ci eo ii e eU E 3 2 Installazione rimozione del cappuccio di raffreddamento eect etter etre ete eteee tenets 3 3 Rimozione installazione del gruppo ugelli ssseeennnnn nnn 3 4 Sostituzione del riscaldatore x cato nerit E Decet ede e Por ende t ttd ete ee tives 3 6 CONG Cel TUNG Ons cect DD Mp REPE 3 6 4 Risoluzione dei problemi eeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeeen enne nennen nennen nnn nnn n nnn n nnn nnn n nnn nn nnn nnn nnt 4 1 Perdite ninni
3. Asta interna Schermo antigocciolamento della seconda fase Schermo antigocciolamento della terza fase Tubi del gruppo ugelli Base del gruppo ugelli Ugello di espulsione 00 lineare Schermo paraspruzzi Piastra della caldaia Dado di bloccaggio Figura 3 2 Gruppo ugelli della pompa a diffusione VHS 4 3 5 Pompa a diffusione VHS 4 Sostituzione del riscaldatore 1 Spegnere la pompa a diffusione e scollegarla dall alimentazione 2 Rimuovere il coperchio del riscaldatore e l isolamento dal lato inferiore della pompa a diffusione 3 Contrassegnare i fili elettrici del riscaldatore in modo da poterli rimontare nella posizione corretta Figura 1 2 a pagina 1 3 4 Scollegare i morsetti Utilizzare due chiavi una per ciascun dado per evitare di applicare una coppia eccessiva e danneggiare i morsetti del riscaldatore 5 Rimuovere il dado che fissa in posizione il fermo del riscaldatore 6 Rimuovere il riscaldatore dal lato inferiore della pompa e sostituirlo 7 Rivestire il dado della caldaia con un composto antigrippaggio come FEL PRO C5A o latte di ossido di magnesio 8 Sostenere il riscaldatore con l apposito fermo e allinearlo al foro del dado spingendolo verso la piastra della caldaia 9 Serrare manualmente il dado per fissarlo in posizione 10 Serrare il fermo del riscaldatore con una coppia di 250 pollici libbre 11 Rimontare l isolamento e il coperchio Carica del fluido 3 6 L
4. M ateriali Corpo flange vuoto schermo acciaio inox Gruppo ugelli acciaio inox Bobine di raffreddamento sul corpo pompa rame Bobina di raffreddamento rapida acciaio inox Cappuccio di raffreddamento rame rivestito in nichel 50 libbre Pompa a diffusione VHS 4 Velocita con cappuccio di raffreddamento standard Velocita con cappuccio di 71800 5 o 1200 4 8 900 35 S 600 22 3 E 3 300 15 Ks o 0 0s 3 0 8 PRESSIONE DI INGRESSO TORR 1 TORR 133 Pa Nota le curve di velocit sono state generate in conformit con le specifiche AVS 4 1 Figura 1 1 VHS 4 Curve di velocit e capacit Schema dei collegamenti elettrici Figura 1 2 Dati sui cavi Pompa a diffusione VHS 4 VHS 4 ASA ISO Conflat 7 mm mm mm Altezza 18 05 458 18 05 458 18 05 458 Distanza da mezzeria a mezzeria 10 62 270 10 62 270 10 62 270 Distanza tra due lati flangia 5 03 128 5 03 128 5 03 128 Altezza della morsettiera 8 63 219 8 63 219 8 63 219 O bl Inclinazione rispetto alla pompa a vuoto 90 in senso orario 90 in senso orario 90 in senso orario Morsettiera Inclinazione rispetto alla pompa a vuoto 30 in senso antiorario 30 in senso antiorario 30 in senso antiorario Flangia di ingresso dimensioni nominali 4 ASA ISO 160K 8 CFF Flangia di ingresso d e 9 00 229 7 09 180 7 96 202 F
5. NOTICE This document contains references to Varian Please note that Varian Inc is now part of Agilent Technologies For more information go to www agilent com chem GE Agilent Technologies CE Pompa a diffusione rnv VHS 4 Codice 699901021 Revisione D Ottobre 2000 Pompa a diffusione VHS 4 Copyright 2000 Vacuum Technologies Pompa a diffusione VHS 4 Garanzia Il Produttore garantisce l assenza di difetti di materiale e lavorazione per un periodo di dodici 12 mesi dalla data di spedizione al cliente Nell eventualit in cui la pompa o i suoi componenti risultino difettosi il Produttore si impegna a sua discrezione a riparare o sostituire le parti difettose o a rimborsare il prezzo di acquisto al Cliente componenti soggetti a normali usura non sono coperti dalla presente garanzia La sostituzione o la riparazione dei componenti in garanzia verr autorizzata solo per difetti della pompa che a discrezione del Produttore sono riconducibili a difetti di materiali e lavorazioni Il Produttore non riconosce alcun obbligo nel caso in cui i difetti riscontrati derivino da uso improprio modifiche non autorizzate uso errato o negligenza componenti sostituiti o riparati in garanzia sono coperti da garanzia per il periodo restante della garanzia originale Alla scadenza della garanzia il Cliente dovr pagare eventuali parti di ricambio manodopera e trasporto ai prezzi di listino Se la pompa viene utilizza
6. Sede Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 781 861 7200 Fax 781 860 5437 Numero verde 800 882 7426 Cina Varian Technologies Beijing Room 1201 Jinyu Mansion No 129A Xuanwumen Xidajie Xicheng District Beijing 1000031 P R China Tel 86 10 6641 1530 Fax 86 10 6641 1534 Francia Varian s a 7 avenue des Tropiques Z A de Courtaboeuf B P 12 Les Ulis cedex Orsay 91941 France Tel 33 1 69 86 38 13 Fax 33 1 69 28 23 08 Germania e Austria Varian Deutschland GmbH Alsfelder Strasse 6 Postfach 11 14 35 64289 Darmstadt Germany Tel 49 6151 703 353 Fax 49 6151 703 302 07 03 Sales and Service Offices India Varian India PVT LTD 101 108 1st Floor 1010 Competent House 7 Nangal Raya Business Centre New Delhi 110 046 India Tel 91 11 5548444 Fax 91 11 5548445 Italia Varian Vacuum Technologies Via F Ili Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 Giappone Varian Vacuum Technologies Sumitomo Shibaura Building 8th Floor 4 16 36 Shibaura Minato ku Tokyo 108 Japan Tel 81 3 5232 1253 Fax 81 3 5232 1263 Corea Varian Technologies Korea Ltd Shinsa 2nd Building 2F 966 5 Daechi dong Kangnam gu Seoul Korea 135 280 Tel 82 2 3452 2452 Fax 82 2 3452 2451 Messico Varian S A Concepcion Beistegui No 109 Col Del Valle C P 03100 Mexico D F Tel 52 5 5
7. cui si sospetti che il calo di prestazioni della pompa sia dovuto alla possibile presenza di perdite sempre consigliabile ispezionare prima i seguenti elementi Tubi sul lato aspirazione e vuoto Tappi di scarico e riempimento Altri raccordi a compressione come i misuratori delle pompe ad alto vuoto Connessioni filettate come il misuratore sul lato vuot D Do oO Degassaggio Talvolta l incremento del carico del gas negli impianti ad alto vuoto dovuto al degassaggio su superfici o a processi interni si verifica anche nel caso in cui non siano presenti perdite Il valore della pressione dell impianto equivalente al carico del gas diviso per la velocit di pompaggio P Q S Se il carico del gas Q supera la capacit massima della pompa a diffusione la pompa si arresta e l operazione di pompaggio viene effettuata per lo pi dalla pompa a vuoto meccanica Stima del carico del gas D opo aver scaricato la pressione dall impianto isolarlo dalle altre pompe e misurare la velocit di innalzamento della pressione Il carico di gas generato dall impianto pu essere calcolato con la seguente equazione Q Vx P 3t Dove V il volume isolato 3P l innalzamento di pressione 3t la durata della misurazione VHS 4 Diffusion Pump Prestazioni inadeguate della pompa o dell impianto Prima di eseguire i controlli descritti nei singoli punti del programma di risoluzione dei problemi pu essere utile verificare il f
8. fare in modo che la pompa si riavvii solo nel caso in cui sia presente un flusso di acqua sulle serpentine refrigeranti principali e non su quelle rapide Tensioni elevate xvi riscaldatori delle pompe a diffusione sono alimentate da tensioni che possono provocare scosse mortali Pertanto necessario configurare il sistema in modo da proteggere tutto il personale dal contatto accidentale con parti ad alta tensione Tutti i componenti ad alta tensione devono essere adeguatamente identificati per mezzo di apposite segnalazioni Prima di effettuare operazioni sul riscaldatore o sui fili elettrici scollegare sempre il circuito principale dall alimentazione Pompa a diffusione VHS 4 1 Installazione Prima di rimuovere e installare la Pompa a diffusione VHS 4 leggere attentamente il manuale d uso e le specifiche della pompa Tabella 1 1 Pu essere utile anche consultare anche altri documenti tecnici per comprendere meglio i principi operativi i limiti le applicazioni corrette e i rischi connessi all uso di questo tipo di pompe Specifiche della pompa VHS 4 Tabella 1 1 Caratteristiche elettriche Specifiche della pompa VHS 4 1450 W Range di lavoro ottimale Torr 1x1073 a lt 5x107 0 133 Pa a lt 0 000000665 Pa Velocit di pompaggio massima l s Aria 1200 con cappuccio per aria di raffreddamento 950 con cappuccio di raffreddamento potenziato Elio 1500 con cappuccio per aria di raffreddamento 1
9. 200 con cappuccio di raffreddamento potenziato Potenzialit produttiva massima litri al secondo a 0 01 Torr 13 3 Pa 2 5 Pressione di vuoto massima Senza carico 0 65 Torr 86 45 Pa A pieno carico 0 55 Torr 73 15 Pa Velocit del controflusso sull ingresso pompa 2x10 mg cm min con cappuccio di raffreddamento Requisiti elettrici generici 120 240 208 50 60 Hz monofase Tempo di riscaldamento 8 minuti Tempo di raffreddamento con bobina di raffreddamento rapida 10 minuti Volume di fluido 300 cc Requisiti dell acqua di raffreddamento Temperatura di ingresso massima 60 80 F Temperatura di uscita massima sul lato vuoto 120 F Velocit di flusso generica 0 15 gpm Pompa a diffusione VHS 4 Tabella 1 1 Caduta di pressione sulle bobine Specifiche della pompa VHS 4 4 psi Dimensione della pompa a vuoto iniziale 10 cfm per capacita produttiva massima Gruppo ugelli consigliato A 4 fasi con allineamento automatico in acciaio inox Schermo sul lato vuoto Impilato a mezza luna Cappuccio di raffreddamento Rame rivestito in nichel Tubi di alimentazione dell acqua 11 48 FPT Interruttori magnetotermici Con reset manuale a 300 F Resistenza del circuito del riscaldatore Ohm 1450 Watt 120 V 10 208V 31 240 V 41 Spazio da lasciare intorno alla pompa per la rimozione del riscaldatore Almeno 6
10. 23 9465 Fax 52 5 523 9472 Taiwan Varian Technologies Asia Ltd 14F 16 No 77 Hsin Tai Wu Road Sec 1 Hsi Chih Taipei Hsien Taiwan R O C Tel 886 2 2698 9555 Fax 886 2 2698 9678 Regno Unito e Irlanda Varian Ltd 28 Manor Road Walton On Thames Surrey KT 12 2QF England Tel 44 1932 89 8000 Fax 44 1932 22 8769 Stati U niti Varian Vacuum Technologies 121 Hartwell Avenue Lexington MA 02421 USA Tel 781 861 7200 Fax 781 860 5437 Altri paesi Varian Vacuum Technologies Via F Ili Varian 54 10040 Leini Torino Italy Tel 39 011 997 9 111 Fax 39 011 997 9 350 Supporto e assistenza clienti Nord America Tel 1 800 882 7426 numero verde vtl technical support varianinc com Europa Tel 00 800 234 234 00 numero verde vtl technical support varianinc com Giappone Tel 81 3 5232 1253 linea dedicata vtj technical support varianinc com Corea Tel 82 2 3452 2452 linea dedicata vtk technical support varianinc com Taiwan Tel 0 800 051 342 numero verde vtw technical support varianinc com Sito Web mo catalogo e ordini in linea www varianinc com Rappresentanti in molti paesi europei ap as VARIAN CE
11. NZIONE _ riscaldatori delle pompe a diffusione utilizzano tensioni molto alte che possono provocare scosse elettriche mortali AN Q Durante l installazione consultare sempre tutti i disegni di riferimento e verificare the vengano apposti tutti i cartelli di avvertenza e pericolo Q Prima di effettuare operazioni sul riscaldatore o sui fili elettrici scollegare sempre il circuito principale dall alimentazione Per ulteriori informazioni leggere la sezione Sicurezza in questo manuale La pompa a diffusione stata progettata per funzionare a tensioni specifiche La tensione di utilizzo specificata sull etichetta situata sul lato della pompa Verificare la potenza del riscaldatore misurando la resistenza del circuito del riscaldatore e confrontandola con i valori riportati nella Tabella 1 1 a pagina 1 1 a Collegare i cavi alla scatola di giunzione situata vicino al lato vuoto La tensione di alimentazione non deve risultare superiore del 5 rispetto alla tensione nominale O Effettuare tutti i collegamenti elettrici in conformit con le leggi i regolamenti e o le prassi locali Interruttore magnetotermico La pompa munita di un interruttore magnetotermico con reset manuale preimpostato in fabbrica Questo interruttore situato in un apposita scatola sul lato inferiore della pompa ha lo scopo di proteggere la pompa nel caso in cui si verifichi una perdita eccessiva di fluido di raffreddamento o la pressione di ingresso ri
12. Q uesti gas sono spesso tossici infiammabili esplosivi o altrimenti pericolosi Vacuum Technologies non ha alcun controllo sui tipi di gas impiegati dall utente poich la selezione dei gas da utilizzare spetta unicamente all utente e o al responsabile dell integrazione degli impianti Poich questi gas possono provocare infortuni gravi o mortali molto importante collegare lo scarico della pompa al sistema di scarico dell impianto a condizione che questo sia munito di filtri o altri componenti capaci di garantire il rispetto delle normative in materia di inquinamento delle acque e dell aria XV Pompa a diffusione VHS 4 Temperature elevate Superfici calde Il riscaldatore pu raggiungere temperature anche fino a 275 C 530 F che possono causare gravi ustioni Prima di toccare qualsiasi superficie verificare sempre che sia a temperatura ambiente Acqua o aria di raffreddamento a temperatura elevata L acqua utilizzata per raffreddare la pompa pu raggiungere temperature molto elevate Pertanto necessario sempre fare molta attenzione prima di intervenire sul flusso dell acqua di raffreddamento L acqua che resta all interno delle serpentine per la refrigerazione rapida si trasforma in vapore nel momento in cui la pompa viene nuovamente riscaldata Tale vapore deve essere scaricato a distanza di sicurezza dal personale Se possibile consigliabile installare un sistema di alimentazione munito di valvole di interblocco per
13. U so di procedure improprie per lo scarico dell aria Rivedere le procedure operative La pompa non si avvia circuiti e o i dispositivi di sicurezza impediscono al contattore di rimanere in posizione di chiusura Controllare il funzionamento delle utenze degli interruttori di flusso degli interblocchi e del termostato 4 3 VHS 4 Diffusion Pump Pagina lasciata intenzionalmente vuota Pompa a diffusione VHS 4 5 Parti di ricambio La Tabella 5 1 elenca le parti di ricambio fornite da Vacuum Technologies Tabella 5 1 Parti di ricambio Codice parte Descrizione 86488301 Cappuccio di raffreddamento standard F6898301 Cappuccio di raffreddamento maggiorato L8908301 Kit di riparazione per obl F4785301 Gruppo ugelli F4780 301 Schermo paraspruzzi 86754 301 Schermi sul lato vuoto 642906025 Interruttore 699006025 Cappuccio di separazione e isolamento in ceramica 647304205 Riscaldatore da 120 V 1450 W 647304210 Riscaldatore da 108 V 1450 W 647306250 Riscaldatore da 240 V 1450 W 656179100 Cavo n 10 con trefoli in nichel 648056680 Capicorda di ricambio in nichel 88169301 M orsetto per riscaldatore Di tipo commerciale Dado per il morsetto del riscaldatore 31 48 16 esagonale acciaio inox 694492156 Anello di fermo dello schermo K0377183 Il kit di O ring comprende 3 O r
14. a quantit di fluido consigliata per la pompa a diffusione VHS 4 300 cc La carica inizialetende ad esaurirsi durante l uso anche se la pompa continua a funzionare regolarmente Se la quantit di fluido scende a circa il 60 di quella iniziale possibile che la temperatura della piasta della caldaia inizi a surriscaldarsi Questa condizione provoca l attivazione dell interruttore magnetotermico se presente che provvede ad aprire il circuito del riscaldatore Aggiunta di fluido 1 Spegnere la pompa e lasciarla raffreddare fino quando la temperatura del corpo della pompa misurata a distanza di circa un pollice dal bordo del riscaldatore risulta pari a 130 F Spegnere la pompa a vuoto Scaricare la pompa in atmosfera Allentare e rimuovere il tappo di riempimento situato sulla parte superiore dell obl Rabboccare fluido fino al livello indicato dal contrassegno FULL CO LD Pieno Freddo sull obl Sostituire l O ring sul tappo di riempimento e lubrificarlo con il fluido della pompa Montare il tappo di riempimento e serrarlo con una coppia bassa O NOM RF WD Scaricare la pompa di diffusione e avviarla come descritto nella sezione Avvio a pagina 2 1 VHS 4 Diffusion Pump 4 Risoluzione dei problemi Perdite L esperienza operativa acquisita con le pompe a diffusione dimostra che le perdite tendono a verificarsi con maggiore frequenza in alcuni punti specifici del sistema di aspirazione Pertanto nel caso in
15. ai tubi dell acqua di raffreddamento e all alimentazione 13 Scaricare la pompa di diffusione con una pompa meccanica e accendere il sistema di alimentazione dell acqua 14 Dopo aver portato la pressione ad un valore inferiore a 0 5 Torr 66 5 Pa accendere la pompa di diffusione Pompa a diffusione VHS 4 Installazione rimozione del cappuccio di raffreddamento Rimozione 1 Rimuovere la molla 1 fissata in posizione mediante viti a testa tonda 8 32x31 416 2 2 Allentare il dado che fissa 5 la staffa del cappuccio di raffreddamento 6 sulla barra in rame A quindi rimuovere il cappuccio 7 dalla parte superiore del cappuccio ugelli 8 3 Allentare le viti a testa incassata 8 32x11 44 9 rimuovendole dalla parte superiore del supporto in ceramica 10 4 Rimuovere il supporto in ceramica 10 e il perno 8 32x11 42 11 Installazione del cappuccio 1 2 Rimontare il dado 11 e il supporto in ceramica 10 sul cappuccio del gruppo ugelli 8 Inserire la vite a testa incassata 8 32x11 44 9 nella parte superiore del supporto in ceramica 10 serrandola manualmente e facendo attenzione a non danneggiare il supporto Collocare delicatamente il cappuccio di raffreddamento 7 sulla parte superiore del cappuccio del gruppo ugelli 8 allineandolo 6 con la barra in rame A Quindi cercare di allineare il pi possibile il cappuccio di raffreddamento NOTA Durante l esecuzione dell operazione descritta al punto
16. are le condizioni e il livello del fluido Prelevare un campione di fluido dallo scarico e controllare visivamente il livello del fluido attraverso l obl La presenza di un leggero scolorimento non causa alcuna variazione a livello di prestazioni NOTA Installare sempre O ring nuovi dopo la sostituzione dei cappucci di riempimento o dell obl La perdita di fluido pu essere provocata da una delle seguenti cause Q Q Uso di procedure di scarico improprie e o alimentazione di una quantit eccessiva di aria o gas caldo nella pompa a Raffreddamento insufficiente a Presenza di una pressione di ingresso superiore a 10 Torr 0 133 Pa per lunghi periodi di tempo M ancata installazione dello schermo sul lato vuoto della pompa v Misurare la tensione di alimentazione complessiva del riscaldatore Q Lasciare raffreddare la pompa spegnerla quindi verificare che il riscaldatore sia saldamente fissato alla piastra della caldaia Verificare l integrit di tutti i collegamenti dei morsetti del riscaldatore e all interno della scatola di giunzione e controllare che siano fissati saldamente Verificare che il fluido possa circolare liberamente senza ostruzioni Nel caso in cui l acqua contenga un elevata percentuale di minerali e possa provocare l accumulo di scorie pu essere consigliabile installare filtri per l acqua 3 1 Pompa a diffusione VHS 4 Pulizia La pulizia completa della pompa deve essere effettua
17. astra della caldaia deve essere collocata in posizione orizzontale per prevenire oscillazioni nel livello del fluido Il mancato rispetto di queste istruzioni pu surriscaldare la piastra della caldaia della pompa a diffusione Preparare gli O ring del lato ingresso e vuoto pulendoli con un panno pulito e privo di pelucchi Per pulire gli O ring E possibile usare anche una piccola quantita di olio della pompa a diffusione Montare gli O ring nelle apposite scanalature facendo attenzione a non danneggiare o graffiare la superficie di tenuta Ispezionare i cappucci di riempimento e scarico e verificare che siano a tenuta Q uindi applicare una coppia medio bassa per comprimere gli O ring Sollevare la pompa con un attrezzatura adeguata per allineare i fori sulla flangia di ingresso con i fori dei bulloni sulla flangia corrispondente Utilizzare gli utensili forniti per serrare uniformemente i bulloni fino a comprimere gli O ring e a portare a contatto le parti metalliche delle flange Per verificare l integrit dei collegamenti controllare le connessioni sul lato vuoto utilizzando un rilevatore di perdite spettrometrico ad elio prima di avviare il sistema di aspirazione Pompa a diffusione VHS 4 Tubi dell acqua di raffreddamento 1 Collegare il raccordo dell acqua di ingresso situato vicino alla flangia di ingresso sul lato superiore della pompa ad un sistema in grado di alimentare costantemente acqua ad una velocit di 0 15 gp
18. ato di ingresso Questa operazione provoca la e scarico delle serpentine refrigeranti principali durante il trasformazione dell acqua in vapore e successivo riscaldamento della pompa pu far scoppiare le serpentine Non pressurizzare il corpo della pompa Questa operazione pu far scoppiare il corpo della pompa Non forare la parete del lato vuoto Questa operazione pu ridurre l integrit della parete Dispositivi di limitazione della pressione sistemi con dimensioni superiori a 10 come la presente pompa devono essere muniti di dispositivi di limitazione della pressione capaci di scaricare la pressione in eccesso all esterno ed evitare possibili esplosioni interne Tuttavia poich anche i dispositivi di sicurezza sono soggetti a malfunzionamenti o guasti sempre utile prevedere un sistema di protezione ridondante costituito da dispositivi di sicurezza con modalit operative e caratteristiche diverse Nel selezionare i dispositivi necessario anche valutare se i materiali di cui sono costituiti sono in grado di resistere al grado di corrosione alla temperatura e alla pressione dei prodotti scaricati dalla pompa xiv Pompa a diffusione VHS 4 Sostanze pericolose Pericoli derivanti dall uso di acetone o alcol L acetone e l alcol vengono comunemente usati per pulire la pompa a diffusione L acetone l alcol e la maggior parte dei solventi possono provocare irritazioni avere un effetto narcotizzante pro
19. dell utenza acqua e o elettricita Installare un sistema di alimentazione di acqua o un alimentatore di backup per poter arrestare la pompa in condizioni di sicurezza in caso di pericolo Sovrapressione della pompa a vuoto Installare un sistema di interblocco per impedire che il riscaldatore della pompa possa avviarsi se la pompa a vuoto non in funzione e o se la pressione della pompa a vuoto superiore a 0 5 Torr 0 38 mbar Sovratemperatura Installare sensori per la misurazione della temperatura o del livello del fluido pompato e collegarli al sistema di interblocco dell alimentatore del riscaldatore Flusso di acqua insufficiente sulle serpentine refrigeranti principali Installare un sensore per il flusso dell acqua e collegarlo al sistema di interblocco dell alimentatore del riscaldatore Presenza di acqua intrappolata tra l ingresso e l uscita della serpentina per la refrigerazione rapida oppure presenza di azoto intrappolato tra l ingresso e l uscita del sifone dell azoto liquido Installare valvole limitatrici della pressione sia sulla serpentina per la refrigerazione rapida che Sul sifone dell azoto liquido Riduzione dell integrit della messa a terra Installare un circuito di sezionamento per guasti di terra sull alimentatore del riscaldatore Pressione positiva nel gruppo di pompaggio Installare una valvola limitatrice della pressione nel sistema di aspirazione Tensione ele
20. ell impianto e dell applicazione prima di utilizzare oli a base di idrocarburi sulle pompe a diffusione di grandi dimensioni Non utilizzare mai le pompe a diffusione di grandi dimensioni nelle condizioni elencate nella tabella poich tali condizioni possono incrementare notevolmente il rischio di esplosione Pompa a diffusione VHS 4 Situazioni che possono provocare esplosioni Operazione non consentita Non avviare la pompa in assenza di acqua di raffreddamento Situazione che pu provocare possibili esplosioni Sovratemperatura Non avviare la pompa se il livello del fluido basso Sovratemperatura Non avviare la pompa se non presente una pompa a vuoto o di supporto Sovrapressione Non avviare la pompa se la pressione non inferiore a 0 5 Torr 0 38 mbar Sovrapressione Non consentire l ingresso di aria nella pompa se la temperatura del riscaldatore elevata Sovrapressione e presenza di forti ossidanti Non aprire i tappi di scarico o riempimento se la pompa in condizioni di vuoto ed in particolare se la sua temperatura elevata Sovrapressione e presenza di forti ossidanti Non contaminare la pompa con l uso di vapori esplosivi Incremento dei rischi di esplosione delle miscele gassose Non rimuovere disattivare o rendere inutilizzabili i dispositivi di sicurezza come gli interruttori di pressione e termici e gli interblocchi delle valvole Sovratemperatura so
21. essione elevata pu provocare la formazione di controflussi Prima di accendere il riscaldatore della pompa verificare sempre che l acqua di raffreddamento circoli regolarmente per evitare che possa surriscaldarsi Durante la fase di avvio iniziale possibile che una parte di olio venga degassato Ci pu provocare oscillazioni nella pressione di ingresso e vuoto Queste oscillazioni sono tuttavia normali 1 Ispezionare visivamente l obl per verificare che la pompa a diffusione contenga la quantit di fluido corretta Se l operazione di caricamento stata effettuata correttamente il livello del fluido con pompa fredda deve essere all altezza del contrassegno FULL CO LD Pieno Freddo sull indicatore di livello dell olio Scaricare la pompa a diffusione con una pompa a vuoto iniziale fornita dal cliente La pressione deve essere ridotta ad un valore inferiore a 0 5 Torr 66 5 Pa La pompa a vuoto iniziale deve rimanere collegata al lato vuoto della pompa 2 1 Pompa a diffusione VHS 4 Arresto 1 Accendere il sistema di alimentazione dell acqua di raffreddamento e verificare che l acqua venga alimentata alla bobina di raffreddamento rapida Accendere il riscaldatore della pompa a diffusione Misurare la pressione di ingresso e di vuoto M entre la pompa in funzione a Il carico di gas sul lato aspirazione non deve superare la capacit massima della pompa O La pressione di vuoto non deve superare
22. il limite stabilito Spegnere la pompa a diffusione e continuare a scaricarla con una pompaa vuoto meccanica adeguata Far circolare l acqua di raffreddamento all interno della pompa fino a quando la temperatura del corpo della pompa situata sopra alla piastra della caldaia non scende ad una temperatura di 130 F Dopo il collegamento della pompa a vuoto possibile scaricare la pompa a diffusione direttamente in atmosfera Per accelerare il raffreddamento possibile anche utilizzare la bobina di raffreddamento rapida nella parte inferiore della pompa a diffusione Pompa a diffusione VHS 4 3 Manutenzione e assistenza Manutenzione generale Le pompe a diffusione richiedono generalmente una manutenzione molto limitata se utilizzate in modo corretto Tuttavia sempre consigliabile ispezionarle regolarmente per verificare che non ci siano problemi di funzionamento Una buona manutenzione preventivaevita guasti ed arresti indesiderati E consigliabile annotare su un registro giornaliero le condizioni della pompa e le eventuali riparazioni da eseguire Requisiti per le ispezioni La frequenza delle ispezioni varia a seconda del tipo di pompa delle sue caratteristiche di funzionamento e del suo uso E preferibile tuttavia non superare l intervallo massimo previsto per le ispezioni Vacuum Technologies consiglia di ispezionare regolarmente i componenti descritti di seguito w Lasciare raffreddare la pompa quindi verific
23. ing per flange di ingresso in butile Parker Codice 2 258 10 O ring per tubi di riempimento e scarico in Viton vecchio modello Parker Codice 2 112 10 O ring per tubi di riempimento e scarico in Viton nuovo modello Parker Codice 2 113 1 O ring per obl Parker Codice 2 226 1 O ring per obl Parker Codice 2 035 5 1 Pompa a diffusione VHS 4 Tabella 5 1 Parti di ricambio Continua Codice parte Descrizione K6948301 Fluido per pompe a diffusione NEO VAC SY 1000 cc 695474005 Fluido per pompe a diffusione DC 704 500 cc 695475005 Fluido per pompe a diffusione DC 70S 500 cc 695405005 Fluido per pompe a diffusione Santovac 5 500 cc 86715001 M olla cappuccio di raffreddamento Di tipo commerciale Vite macchine con testata a destra Codice 8 32 x 31 416 acciaio inox Di tipo commerciale Perno Codice 8 32 x 1 2 acciaio inox Di tipo commerciale Vite a testa incassata Codice 8 32x11 44 acciaio inox 5 2 Argentina Varian Argentina Ltd Sucursal Argentina Av Ricardo Balbin 2316 1428 Buenos Aires Argentina Tel 54 1 783 5306 Fax 54 1 786 5172 Benelux Varian Vacuum Technologies Rijksstraatweg 269 H 3956 CP Leersum The Netherlands Tel 31 343 469910 Fax 31 343 469961 Brasile Varian Industria e Comercio Ltda Avenida Dr Cardoso de Mello 1644 Vila Olimpia Sao Paulo 04548 005 Brazil Tel 55 11 3845 0444 Fax 55 11 3845 9350 Canada
24. l Produttore Il Produttore si riserva il diritto di respingere la richiesta di sostituzione o riparazione in garanzia nel caso in cui il difetto non sia stato prontamente segnalato il prodotto in questione sia stato modificato senza autorizzazione o inviato con un mezzo di trasporto non idoneo Il Produttore non riconosce alcuna responsabilit o nel caso in cui il prodotto restituito per ispezioni o controlli venga danneggiato o perso durante il trasporto a causa di un imballaggio improprio anche nel caso in cui tale Prodotto risulti difettoso o non conforme Il Produttore l unico soggetto a determinare la causa e la natura dei difetti Qualora rilevi nel corso dell ispezione che il prodotto restituito ancora funzionante e utilizzabile il Produttore potr richiedere al cliente di pagare il costo dell ispezione e delle verifiche 3 1 00 Pompa a diffusione VHS 4 Pagina lasciata intenzionalmente vuota Pompa a diffusione VHS 4 Indice Dichiarazione di conformita Prefazione EE ix lstr zioni per EU retail ala uer nS E Let tats ix DICUTOXZq de Ls E tL ah M e ii ie ila de ita e neds ix Pericoli specifici delle pompe a dITfUSIOTie c2 oret aa elia X ESpiosionii rbt laden xii Pericoli dovuti alla pressurizzazione seres cerei tern aa xiv sez r nrA Wer i ato o Mr aise XV Temperature elevate ila e re set reda DEED rx ege Edu xvi TensioniLelevate rici licia il aaa xvi JU ACUE PAo alaa
25. langia di ingresso d i 5 91 150 5 78 147 5 91 150 Flangia di ingresso spessore 0 50 13 0 47 12 0 93 24 Flangia di ingresso circonferenza di serraggio 7 50 191 N D N D 7 12 181 Flangia di ingresso numero di fori 8 N D 20 Range ingresso dimensione dei fori 0 69 18 N D N D 0 33 8 Scanalatura O ring d i 6 06 154 N D N D N D N A Scanalatura O ring larghezza 0 18 4 N D N D N D N D ducc KF40 KF 40 2 44 44 CFF d e 2 16 55 2 16 55 2 73 69 d i 1 38 35 1 38 35 1 38 35 Spessore 0 20 5 0 20 5 1 38 35 Circonferenza N D N D N D N D 2 31 59 Numero di fori N D N D N D N D 6 Dimensione dei fori N D N D N D N D 0 27 7 Scanalatura O ring d i N D N D N D N D N D N D Scanalatura O ring larghezza N D N D N D N D N D N D Pompa a diffusione VHS 4 Rimozione della pompa dall imballaggio O perazioni da eseguire durante la rimozione della pompa dall imballaggio 1 Ispezionare la pompa per verificare che non abbia subito danni durante il trasporto Segnalare immediatamente tutti i danni visibili al corriere e a Vacuum Technologies Le pompe a diffusione vengono imballate in fabbrica e possono pertanto essere immagazzinate in aree protette per lunghi periodi di tempo senza speciali precauzioni Rimuovere le coperture delle flange e i cappucci di protezione dai tubi dell acqua facendo attenzione a non graffiare la superficie degli O ring sul lato ingresso e vuoto Ispezionare il gruppo ugelli interno e verificare che siano c
26. lvolta gli incendi possono essere provocati dall incremento simultaneo della temperatura e della pressione La maggior parte dei fluidi per pompe a diffusione combustibile con la sola eccezione del mercurio Gli oli a base di idrocarburi tendono ad ossidarsi e a causare esplosioni con maggiore frequenza rispetto agli oli sintetici a base di silicone L elemento ossidante puo essere costituito dall aria che penetra da una fessura che viene alimentata nella pompa dal processo in corso o che viene inavvertitamente iniettata nella pompa per un errore dell operatore o del controllore Rischi di esplosioni e incendi causati dall acetone e dall alcol Xii L acetone e l alcol vengono solitamente utilizzati per pulire la pompa A contatto con l aria l ossigeno e altri tipi di ossidi l alcol ela maggior parte dei solventi diventano molto infiammabili ed esplosivi Per questo importante verificare che non rimanga alcuna traccia di queste sostanze all interno della pompa ed eliminare gli eventuali residui di alcol e acetone o altri detergenti con aria compressa pulita e asciutta L ossigeno e altri ossidanti potenti sono ancora pi pericolosi dell aria e in presenza di alcune condizioni di temperatura e pressione specifiche possono provocare l esplosione delle miscele combustibili Maggiore la dimensione della pompa e pi elevato il rischio di esplosioni danni e incidenti Per questo motivo necessario valutare attentamente la sicurezza d
27. m e ad una temperatura compresa tra 60 e 80 F ATTENZIONE tubi di scarico descritti nella sezione che segue devono essere collegati in accordo alle norme e alle leggi locali AN applicabili O La temperatura dell acqua in uscita non deve superare 120 F a L uscita o lo scarico pi vicini alla pompa a vuoto devono essere collegati ad un scarico aperto Se la pompa a diffusione viene raffreddata tramite il ricircolo di acqua necessario verificare che il sistema di raffreddamento impiegato sia in grado di garantire un raffreddamento e uno scambio di calore tali da assicurare una temperatura continua compresa tra 60 e 80 F Il sistema di ricircolo deve essere in grado di mantenere un flusso adeguato per far s che la temperatura dell acqua in uscita non superi 120 F Il sistema deve avere una potenza pari all 85 di quella massima della pompa a diffusione Q La linea di alimentazione della bobina di raffreddamento rapida situata sulla piastra della caldaia deve essere controllata mediante una valvola a tre vie apertura chiusura e scarico nell atmosfera 2 Per essere certi che la bobina di scarico rapida venga completamente scaricata dopo l arresto del sistema di alimentazione dell acqua e che la pompa scarichi in atmosfera necessario collegare la linea di scarico della bobina di raffreddamento rapida allo scarico situato sotto al tubo di ingresso Pompa a diffusione VHS 4 Collegamenti elettrici ATTE
28. oncentrici e saldamente fissati sul lato inferiore della pompa a diffusione Verificare anche che l ugello di espulsione sia allineato con il lato vuoto La posizione dell ugello viene controllata mediante un perno di posizionamento situato sul lato inferiore della pompa Non generalmente necessario effettuare alcuna operazione di pulizia se il livello di vuoto richiesto superiore a 10 Torr 0 000133 Pa Se la pressione e inferiore a 10 Torr 0 000133 Pa seguire la procedura di pulizia indicata nella sezione M anutenzione Riempire la pompa a diffusione con l olio fornito in dotazione Riempimento dell olio La quantit di olio consigliata per la pompa a diffusione VH S 4 300 cc L olio pu essere generalmente immesso dal lato aspirazione o vuoto oppure versato direttamente nel gruppo di riempimento e scarico dopo la rimozione del cappuccio Pompa a diffusione VHS 4 Collegamento dell aspirazione ATTENZIONE Problemi di funzionamento possono danneggiare la pompa nonch surriscaldarla e provocare esplosioni Pertanto gli utenti devono adottare le necessarie precauzioni per proteggere le attrezzature e le persone da tutti i possibili rischi Ulteriori informazioni sono riportate nella sezione Sicurezza di questo manuale Installare la pompa a diffusione in modo che il corpo risulti verticale e allineato Verificare che la flangia del lato ingresso della pompa sia orizzontale entro un intervallo di 1 La pi
29. ono utilizzati per richiamare l attenzione dell operatore su procedure o prassi specifiche che possono provocare gravi infortuni se non vengono eseguite correttamente AVVERTENZA Le avvertenze vengono utilizzate per mettere in evidenza procedure che possono causare danni alle apparecchiature se non vengono eseguite correttamente NOTA Le note contengono informazioni importanti Pompa a diffusione VHS 4 Pericoli specifici delle pompe a diffusione progettisti degli impianti muniti di pompe a diffusione devono cercare di identificare tutti i possibili pericoli predisponendo avvertenze procedure e istruzioni specifiche per l uso e la manutenzione nel caso in cui non sia possibile prevenire il pericolo Gli impianti devono essere muniti di tutti i carter dispositivi di sicurezza e interblocchi prescritti La sezione che segue fornisce un elenco dei pericoli generici con le relative azioni consigliate un elenco delle operazioni non consentite e che possono provocare esplosioni nonch un elenco dei pericoli causati dalla pressurizzazione che possono danneggiare la pompa e le altre attrezzature L INSTALLAZIONE L USO E LA MANUTENZIONE DELLE POMPE A DIFFUSIONE POSSONO ESPORRE IL PERSO NALE Al PERICOLI ELENCATI IN QUESTA SEZIONE E PROVOCARE INFORTUNI GRAVI O MORTALI NEL CASO IN CUI NON VENGANO ADOTTATE LE NECESSARIE PRECAUZIONI Pompa a diffusione VHS 4 Pericoli generici Pericolo Azione correttiva consigliata Interruzione
30. refrigerazione rapida Ispezionare la serpentina e rimuovere eventualmente l acqua Rallentamento della pompa durata eccessiva del ciclo di pompaggio dopo un controllo del carico del gas Calore alimentato insufficiente Ispezionare i riscaldatori Livello dell olio basso Rabboccare olio Problemi di funzionamento della pompa Disposizione impropria degli ugelli Gruppo ugelli danneggiato Ispezionare e sostituire i componenti difettosi VHS 4 Diffusion Pump Tabella 4 1 Problema Presenza di picchi nella pressione di ingresso Causa probabile Tensione impropria sul riscaldatore Risoluzione dei problemi Continued Azione correttiva Misurare la tensione e correggerla D egassaggio del fluido Pulire il fluido lasciando la pompa in funzione per qualche ora Perdite nell impianto a monte dell ingresso della pompa Ispezionare l impianto e correggere il problema Presenza di un elevata quantit di sostanze contaminanti nella camera Pressione della pompa a vuoto troppo elevata Verificare che non ci siano perdite sulla pompa a vuoto controllare il funzionamento della pompa meccanica verificare che il fluido della pompa sia in buono stato e controllare che le valvole funzionino correttamente Funzionamento alla massima capacit per periodi di tempo prolungati a pressioni inferiori a 10 Torr 0 133 Pa Rivedere le procedure operative
31. s normativo s w aamaar deze verklaring verwijst aan de volende norm en of richtlijn en beantwoodt a cui se rifersce questa dichiarazione conforme alla e sequente l norma o documento l normativo i VMF 11 M 2 VHS 6 HS 16 AX 65 M 4 VHS 250 HS 20 AX 150 VHS 4 VHS 10 HS 32 M 6 VHS 400 NHS 35 73 023 CEE Direttiva sulle apparecchiature a bassa tensione EN 61010 1 Requisiti di sicurezza per le apparecchiature elettriche di misurazione controllo e analisi comprese le modifiche riportate ai numeri 1 e 2 Fit L Ly boll Frederick C Campbell O perations M anager Vacuum Technologies Varian Inc Lexington Massachusetts USA Ottobre 2000 Pompa a diffusione VHS 4 Pagina lasciata intenzionalmente vuota Pompa a diffusione VHS 4 Prefazione Istruzioni per l uso Questa pompa progettata per essere utilizzata da personale qualificato Prima di utilizzare la pompa indispensabile leggere integralmente il manuale nonch tutti i documenti forniti da Vacuum Technologies Vacuum Technologies declina ogni responsabilit per eventuali danni derivanti dal mancato rispetto delle istruzioni da un uso improprio da parte di personale non autorizzato da modifiche non autorizzate o dal mancato rispetto delle normative di sicurezza applicabili Sicurezza Nel presente manuale vengono utilizzati i seguenti simboli per richiamare l attenzione su argomenti specifici connessi alla sicurezza ATTENZIONE Gli avvisi veng
32. successivo fare attenzione a non applicare una pressione eccessiva sulla base in ceramica durante il serraggio del dado 5 sulla barra in rame A Serrare il dado 5 sulla barra in rame A Montare la molla 1 fissata alla vite 2 e serrarla ad una coppia di 10 12 pollici libbre Figura 3 1 Rimozione installazione del cappuccio di raffreddamento 3 3 Pompa a diffusione VHS 4 Rimozione installazione del gruppo ugelli Rimozione del gruppo ugelli 1 2 3 4 Rimuovere il cappuccio di raffreddamento dalla pompa Allentare e rimuovere il cappuccio di raffreddamento dal gruppo ugelli Sollevare ciascuna sezione del gruppo ugelli facendo attenzione a non urtarle o danneggiarle durante la rimozione o la pulizia Rimuovere lo schermo paraspruzzi dalla pompa Installazione del gruppo ugelli Ty Collocare lo schermo paraspruzzi nella parte inferiore della pompa e verificare che sia posizionato sulla scanalatura esterna della caldaia Inserire la base del gruppo verificando che sia allineata con il lato vuoto e che la fessura sulla base sia collegata al perno di allineamento Rimontare le sezioni restanti del gruppo Q Verificare che tutte le sezioni siano saldamente fissate in posizione Q Verificare che siano stati montati tutti gli schermi antigocciolamento Montare il cappuccio di raffreddamento Pompa a diffusione VHS 4 Cappuccio del gruppo ugelli Tappo del gruppo ugelli A HT fi
33. sulti particolarmente elevata ATTENZIONE La mancata installazione di un interruttore magnetotermico pu provocare infortuni gravi o danneggiare seriamente la pompa o AN il sistema di aspirazione L interruttore magnetotermico collegato in serie con il riscaldatore Se la temperatura supera il limite consentito l interruttore si apre arrestando la pompa L interruttore magnetotermico pu essere reimpostato premendo il tasto situato al centro dell interruttore stesso Q uesta operazione deve essere effettuata solo dopo aver individuato la causa del surriscaldamento e aver corretto il problema Pompa a diffusione VHS 4 2 Funzionamento Avvio AVVERTENZA O Prima di accendere il riscaldatore verificare che la pompa contenga fluido L uso della pompa a secco pu provocare danni al riscaldatore e alla pompa Non scaricare aria dalla pompa se la caldaia calda La maggior parte dei fluidi per pompe a diffusione sensibile al calore e pu non funzionare correttamente in presenza di temperature elevate Prima di avviare la pompa verificare sempre che siano stati installati gli schermi paraspruzzo o del lato vuoto L assenza di questi elementi pu rendere la pompa instabile e ridurre la velocit Inoltre l assenza dello schermo sul lato del vuoto pu provocare una perdita eccessiva di fluido Non utilizzare la pompa con pressioni di ingresso superiori a 1 micron 0 033 Pa per lunghi periodi di tempo L uso di una pr
34. ta con prodotti tossici dannosi per la salute o l ambiente il Cliente dovr far pulire la pompa da una societ specializzata nella pulizia di apparecchiature esposte a materiali contaminanti prima di restituirla a Vacuum Technologies per eventuali sostituzioni o riparazioni Il Cliente tenuto ad adottare tutte le necessarie misure per evitare possibili rischi Il Produttore declina esplicitamente ogni responsabilit per eventuali danni o perdite causate da un uso della pompa non conforme a quello prescritto Il Produttore non riconosce alcuna altra forma di garanzia implicita o esplicita sia che essa derivi dagli obblighi contrattuali che di legge in aggiunta a quelli indicati nella presente garanzia e declina ogni responsabilit per eventuali obblighi derivanti dalle stesse Il Produttore non riconosce alcun obbligo derivante da dichiarazioni di terzi compresi i propri rappresentanti diverse da quanto contenuto nella presente Garanzia salvo nei casi in cui queste siano state approvate per iscritto da un funzionario del Produttore Declinazione di responsabilit L uso e la manutenzione della pompa pu esporre l utente a seri pericoli Pertanto il Cliente dovr sempre verificare che la pompa sia in grado di funzionare in condizioni di assoluta sicurezza Vacuum Technologies declina ogni responsabilit per eventuali infortuni o danni alle attrezzature derivanti dall uso o dalla manutenzione della pompa Vacuum Technologies non ha alcun con
35. ta solo nel caso di un progressivo deterioramento del fluido Per effettuare una pulizia completa necessario rimuovere la pompa dall impianto Procedura 1 Spegnere la pompa e scollegare la spina dalla presa a muro 2 Attendere che la pompa si raffreddi quindi spegnere il sistema di alimentazione dell acqua e scollegare i tubi dell acqua di raffreddamento Rimuovere la flangia di ingresso e i tubi sul lato vuoto Rimuovere la pompa dall impianto Rimuovere tutto il fluido all interno della pompa di diffusione Quo S a I Rimuovere tutti gli O ring il cappuccio di raffreddamento il gruppo ugelli e lo schermo sul lato vuoto della pompa 7 Pulire accuratamente l interno della pompa di diffusione e il gruppo ugelli con acetone sciacquandoli con alcol isopropilico 8 Asciugare la pompa e il gruppo ugelli con aria compressa pulita e priva di oli 9 Rimontare lo schermo sul lato vuoto il gruppo ugelli e il cappuccio di raffreddamento sul corpo della pompa Q Verificare che l ugello di espulsione sia correttamente allineato con il lato vuoto a Verificare che il cappuccio di raffreddamento sia installato correttamente sul gruppo ugelli Verificare che il lato inferiore del cappuccio di protezione sia collocato alla stessa distanza del lato esterno del cappuccio del gruppo ugelli 10 Rimontare la pompa nell impianto sostituendo gli O ring 11 Versare la quantit corretta di fluido nella pompa 12 Ricollegare la pompa
36. trollo sull uso della pompa e non si assume pertanto alcuna responsabilit per eventuali infortuni o danni derivanti dal suo uso La responsabilit dell uso e dello smaltimento di materiali pericolosi o potenzialmente pericolosi spetta unicamente al cliente Per ridurre al minimo i rischi sempre consigliabile rispettare le indicazioni di AVVERTENZA o PERICOLO Il Cliente ha altres la responsabilit di verificare che il sistema soddisfi tutti i requisiti di sicurezza stabiliti nelle norme o nei regolamenti locali applicabili Per essere certi di utilizzare la pompa in assoluta sicurezza pu essere utile rivolgersi ad un esperto in materia di sicurezza aziendale Sostituzioni e riparazioni in garanzia Tutte le richieste di sostituzione o riparazione in garanzia devono essere effettuate al momento in cui si verifica il problema entro il periodo di validit della garanzia e inviate direttamente al Produttore o ad un suo rappresentante Le richieste di sostituzione o riparazione devono contenere il numero di serie del prodotto la data di spedizione e una descrizione completa delle circostanze che hanno provocato il problema Prima di restituire un prodotto in riparazione e o sostituzione necessario rivolgersi al Produttore o ad un suo rappresentante autorizzato per istruzioni su come e dove inviare i prodotti Tutti i prodotti difettosi devono essere restituiti al Produttore con spese di trasporto prepagate e con il mezzo di trasporto indicato da
37. unzionamento dei misuratori di vuoto installati nell impianto La Tabella 4 1 elenca i problemi pi comuni le cause probabili e le azioni correttive specifiche Problema Pressione inadeguata nell impianto Tabella 4 1 Causa probabile Perdite virtuali o reali nell impianto Risoluzione dei problemi Azione correttiva Individuare la perdita e correggere il problema Carico del gas di processo elevato Misurare il carico del gas Impianto sporco Pulire l impianto per ridurre il degassaggio Pressione di mandata insufficiente Presenza di sostanze contaminanti nel fluido della pompa Ispezionare e pulire la pompa sostituire il fluido Calore alimentato insufficiente Controllare la tensione Misurare la continuit controllare che non ci siano componenti bruciati e verificare che il contatto tra gli interruttori termici sia adeguato Flusso dell acqua di raffreddamento insufficiente Misurare la pressione dell acqua Ispezionare i tubi e verificare che non ci siano ostruzioni o contropressioni Temperatura dell acqua di raffreddamento troppo alta o troppo bassa M isurare la temperatura e regolare il flusso Pressione alta sulla pompa a vuoto Verificare che non ci siano perdite nella pompa a vuoto controllare il funzionamento della pompa meccanica e verificare che il fluido della pompa meccanica sia in buono stato Presenza di acqua sulla serpentina di
38. vata Evitare che il personale possa venire accidentalmente a contatto con parti ad alta tensione installare appositi cartelli di pericolo Tossicit e corrosivit gas tossici e o corrosivi devono essere scaricati in un luogo sicuro oppure diluiti o neutralizzati in modo appropriato verificando che siano state adottate tutte le misure necessarie per garantire la conformit alle norme di sicurezza applicabili Esplosione Installare sempre valvole limitatrici della pressione su impianti che utilizzano pompe con diametri superiori a 10 Non utilizzare oli a base di idrocarburi Xi Pompa a diffusione VHS 4 Esplosioni L uso della pompa in modalita continua senza riduzione della pressione a 0 5 Torr 0 67 mbar o senza refrigerante e la successiva introduzione di ossidanti come l aria di vapori esplosivi polveri o altri materiali che possono reagire con il fluido pompato possono provocare il rischio di esplosioni se la temperatura della pompa alta superiore a 300 F o 150 C Tali esplosioni possono provocare l espulsione di valvole o altri componenti l apertura di porte non protette da dispositivi di sicurezza o l esplosione di altri componenti del sistema di aspirazione Queste condizioni possono provocare incidenti gravi o mortali Per evitare il rischio di esplosione non alimentare mai nella pompa materiali con le seguenti caratteristiche a Combustibili a Ossidanti a Infiammabili Ta
39. vocare stati depressivi e o tumori Se inalate o ingerite accidentalmente queste sostanze possono provocare seri danni alla salute Anche il loro assorbimento cutaneo pu provocare danni mediamente gravi Pertanto sempre importante verificare che le operazioni di pulizia vengano effettuate in aree spaziose e ben ventilate In presenza di alcuni tipi di solventi o di concentrazioni specifiche pu essere necessario usare un respiratore Composti velenosi e corrosivi Se la pompa viene utilizzata per gas vapori o sostanze chimiche velenose reattive e o corrosive necessario verificare anche che le operazioni di pulizia e condizionamento successive rimuovano integralmente tutti gli eventuali residui di queste sostanze Se queste sostanze permangono nella pompa e si mescolano al fluido possono provocare infortuni gravi o mortali Fluidi impiegati nella pompa Il surriscaldamento del fluido della pompa la sua esposizione all aria o a sostanze reattive o l uso del fluido ad una pressione superiore a quella nominale di lavoro pari a circa 1 x 10 Torr 1 3 x 10 mbar possono provocare la decomposizione del fluido al punto da renderlo tossico Ci tende a verificarsi soprattutto con gli oli delle pompe a vuote meccaniche che sono molto pi volatili instabili La presenza di interruttori termici sulla pompa a diffusione non evita l introduzione o il riflusso accidentale di olio proveniente dalla pompa meccanica Gas di processo
40. vrapressione e incremento della percentuale di miscele combustibili Non lavorare o saldare componenti della pompa senza prima aver rimosso tutti i residui di olio o solvente pompe di grandi dimensioni Possibili incendi Non utilizzare fluidi inadatti ed in particolare olio a base di idrocarburi Incremento dei rischi di esplosione delle miscele gassose xiii Pompa a diffusione VHS 4 Pericoli dovuti alla pressurizzazione Le pompe a vuoto di grandi dimensioni e i loro componenti sono appositamente progettati per tollerare condizioni di vuoto ma non per essere pressurizzate La loro pressurizzazione pu provocare scoppi o l incremento della velocit a valori potenzialmente pericolosi La pressurizzazione intenzionale dei sistemi a vuoto o dei loro componenti pu provocare gravi pericoli O Non pressurizzare mai nessuna parte o componente del sistema a vuoto a scopo di prova o per altri motivi a Installare sempre una valvola limitatrice della pressione se la pompa a diffusione viene installata su un impianto e verificare sempre che questi dispositivi possano muoversi entro un area sicura Q Verificare sempre che non possano presentarsi i seguenti problemi Pericoli dovuti alla pressione Operazione non consentita Risultato Non bloccare l ingresso o lo scarico dei sifoni o delle LN gt Scoppi dei sifoni e o delle tubazioni tubazioni di azoto liquido Non chiudere le valvole di isolamento sul l
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