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Manuel additif Four sous vide FRA

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1. Num ro de Ces param tres vous permettent de r gler et Contr le de table configurer les param tres pompe tels que la pompe arte temporisation Voir aussi a 3 5 Nom du Description du Valeur Niveau param tre param tre Aa Sel Jauge Src S lection de la Jauge de Sans N ant vide prise en r f rence Vide Primaire pour le contr le de la Vide Fin Secd pompe Vide Annexe Vide Enceinte Pompe On Src S lectionne la source qui Adresse ii commute la pompe on modbus on TimeOut Pomp R R glage de la y 00 00 0 0 00 0 temporisation de la pompe 0 0 Tps Restant RSR restant Ro 00 00 0 1 Lecture seulement Cons Pompe R e du niveau de vide ee du 0 000 atteindre avant de vide E 0 d clencher l alarme Status Pompe R Etat du contr le de Correct Temporisation de la Incorrect pompe a 7 7 Param tres de d tection de fuite Num ro de Ces param tres vous permettent de r gler et D tection de table configurer les crit res de s lection de fuite Voir fuite a7 7 aussi a 3 6 Nom de Description de Valeur ET param tre param tre ET acc s Select Jauge S lection de la source du Sans Gas Config vide Vide Primaire Vide Fin Secd Vide Annexe Vide Enceinte Vitesse Vide Vitesse de variation du Etendue 0 00E 0 3 Lecture vide d affichage du a vitesse de fuite Pompe Off Commutation de la pompe Off ER Lecture off durant la d tection de On seulement fuite g hre seulement eres n a IEH Modbus Tst
2. 6616001 Fax 34 1 6619093 CE Copyright Eurotherm Automation Tous droits r serv s FRANCE Eurotherm Automation SA 6 chemin des joncs 69574 Dardilly Cedex T l 33 4 78 66 45 00 Fax 33 4 78 35 24 90 GRANDE BRETAGNE Eurotherm Ltd Faraday Close Durrington WorthingWest Sussex B T l 44 1903 695888 Fax 44 1903 695666 HOLLANDE buroiherm B V Afp 4CH hen gon en Rijn PTT 752 31 1 4117 60 HONG KONG Eurotherm Limited BA Gee Erg ana foad Centre von T l 2873 3 Fax 1823 2873 1889 INDE Eurotherm India Limited 52 Developed Plots Estate IRLANDE Eurotherm Ireland Limited A Industrial Estate Monread Roa aas Co Kildare T l 353 45 879937 Fax 353 45 875123 ITALI Eral Tam Via XXIV Mag 220 T l 11 Fax 39 31 977512 EUROTHERM AUTOMATION d gage toute responsabilit en cas de dommages pouvant r sulter d une modification du pr sent document par le client Les caract ristiques techniques cit es dans ce document sont susceptibles d voluer sans pr avis Manuel Additif 2704 pour le traitement du vide JAPON Densei Lambda KK Eurotherm Product Dpt Aroma S po Box 5 3 A Kemais Ohta Ku Tokyo 144 8721 T l 41 3 57 1406 20 Fax 81 3 57 1406 21 NORVEGE Eurotherm A S Vollsvein 13 6 lysaker Postboks 227 NO 1326 Lysaker Ta D 67 592170 Fax 47 66 118301 uare Building 5F SUEDE Eurotherm AB Lundavagen 14 212 24 Malmo T
3. Fuite D part D marrage du test de fuite TE Yes Tst Fuite Dur e R glage du temps de test 0 00 00 0 z 00 00 de fuite Tps Restant Temps de fuite restant 0 00 00 0 GEN Lecture seulement R gulateur 2704 a 13 Suppl ment Traitement du vide a 7 8 Param tres d affichage du vide Num ro de table a 7 8 Ces param tres permettent de r gler l affichage g n ral du vide Voir aussi a 5 Affichage Nom du Description du param tre Valeur D faut Niveau param tre d acc s me Aff 27 Mes Configuration du 2 afficheur Valeur en cours de la 2 mesure affich e Configuration de la source de la valeur apparaissant sur le 2 afficheur Configuration d un nom d fini par l utilisateur pour le 2 afficheur Configuration de la r solution de l affichage peme Mes R solution D faut Enceinte Configuration des unit s du vide D faut de la chambre d termin par OU cabl de l tat de chaque jauge Vide Enceinte Vide actuel de la chambre Vide Graph Lo Point pour misse l chelle du graphe Vide Graph Hi Point bas pour mise l chelle du graphe Enceinte Nom Nom d fini par l utilisateur Usr 01 50 pour la chambre Non Etendue 3 d affichage Adresse Modbus Usr 01 50 XXXXX XXXX X XXX XX XX XXX X XXXX SCI 0 00E 0 Correct Incorrect Etendue d affichage du vide Etendue d affichage du vide Etendue d affichage du vide 3 Lecture seulement 3 Lec
4. SP On Les valeurs de vide sont donn es titre d exemple uniquement Sonde Off SP exemple 1x10 Sens N 2 d augmentation Sonde On SP e g 1x10 du vide i rene SP On SP Off Figure a 2 Etat de la sortie consigne quand On SP lt Off SP A chaque point de consigne est associ un texte Utilisateur Il est affich dans la bo te de message consigne de vide montr e en figure a 5 Si plus d une sortie consigne est On la bo te de messages fera d filer les messages a 4 R gulateur 2704 Suppl ment Traitement du vide a 3 2 Jauge de vide primaire Le bloc fonction accepte une entr e venant d une jauge de vide primaire typiquement utilis e pour mesurer le vide compris entre 10 et 10 mBar Une entr e logique d tat de la jauge est aussi fournie Quand la jauge est en mauvais tat ou lorsque sa mesure est erron e la sortie d faut du bloc fonction s enclenche et un message de rupture capteur est affich a 3 3 Jauge de vide secondaire Le bloc fonction accepte une entr e venant d une jauge de vide secondaire typiquement utilis e pour mesurer le vide compris entre 10 et 10 mBar Une validation de sonde est fournie sous la forme de 2 seuils et d une sortie logique qui fonctionne de la m me mani re que la consigne d crite au a 3 1 Quand la sonde est en mauvais tat ou que la mesure de la sonde est erron e la sortie d faut du bloc fonction s enclenche et un message de
5. rupture capteur est affich En supposant qu un emplacement de module soit disponible le module alimentation transmetteur peut tre utilis pour alimenter la jauge La jauge doit bien videmment respecter les sp cification du module donn es en annexe C des manuels Utilisateur et de Configuration du r gulateur 2704 a 3 4 Lin arisation de la jauge Elle utilise la capacit de lin arisation des entr es analogiques d crites au chapitre 11 du manuel de Configuration du r gulateur 2704 En utilisant le logiciel de configuration iTools Trois courbes de lin arisation peuvent tre charg es pour chaque type de sonde La courbe qui sera charg e doit correspondre au gaz atmosph rique utilis Si d autres courbes sp cifiques sont n cessaires contactez votre agence la plus proche pour lui donner les caract ristiques d taill es de votre jauge a 3 5 Temporisation de la pompe Root Au d part la pompe Root fonctionne pour maintenir la chambre un niveau inf rieur au niveau initial n cessaire au d marrage de la pompe secondaire Si le niveau de vide n est pas atteint en un temps pr d fini les 2 param tres sont r glables par l utilisateur le d passement du temps pr vu d clenche une alarme Ce contr le de la pompe Root peut tre configur e de telle sorte que la mesure de vide utilis e puisse provenir soit la jauge de vide primaire ou la jauge annexe Quand la pompe Root a d marr l indication PUMP TOUT Figure a 5
6. 1 333 pour le convertir en mmHg R gler Jauge Src 06158 AnOpl1 OP Ceci a pour effet de connecter la mesure PV de la jauge secondaire partir de la sortie op rateur analogique 1 R gler Jauge Src 06178 AnOp2 0P Ceci a pour effet de connecter la mesure PV de la jauge primaire partir de la sortie op rateur analogique 2 R gler Unit mmHg Ceci a pour effet de configurer les unit s donn es sur le bandeau en mmHg a 21 EUROTHERM AUTOMATION S A SI GE SOCIAL ET USINE 6 chemin des joncs BP 55 69574 Dardilly cedex France T l 04 78 66 45 00 Fax 04 78 35 24 90 Site Internet www eurotherm tm fr AGENCES BUREAUX Aix en Provence Nantes Bordeaux T l 04 42 39 70 31 T l 02 40 30 31 33 Clermont Ferrand Dijon Colmar Paris Grenoble T l 03 89 23 52 20 T l 01 69 18 50 60 Metz Normandie Lille Toulouse Orl ans T l 03 20 96 96 39 T l 05 34 60 69 40 Lyon T l 04 78 66 45 11 T l 04 78 66 45 12 UNE OFFRE GLOBALE POUR LE CONTROLE DE VOS PROCEDES En tant que sp cialiste et fabricant d quipements de contr le et de r gulation de proc d s nous vous proposons une gamme tendue de mat riels compl mentaires Capteurs Convertisseurs Indicateurs R gulateurs Programmateurs Entr es Sorties d port es Contacteurs statiques Gradateurs de puissance Superviseurs Syst mes de Contr le Commande Centrales d acquisition Enregistreurs graphiques
7. EUROTHERM 2704 R gulateur CE Manuel Additif ER Ca Traitement du vide An Invensys company Suppl ment traitement du vide A SUPPLEMENT 1 REGULATEUR TRAITEMENT DU D 4 DANS E E EE ee ER T 2 a 1 INTRODUCTION isstteiiensssissnenettie ass sianiennstuduntetetetesniounnnns 2 a 2 QU EST CE QU UN REGULATEUR DE TRAITEMENT DE VIDE 2 a 2 1 Exemple d une chambre de vide 3 a 3 FONCTIONNALITES DU REGULATEUR DE TRAITEMENT DU NIDE 2 58 rem E A A AA 4 cE o r eI E EE E EA E REAR EE RT 4 a 3 2 Jauge de vide primaire ss 5 a 3 3 Jauge de vide secondaire 5 a 3 4 Lin arisation de la jauge seeseeeneseerreserresterrrssttnrssrtrnssrrernssee 5 a 3 5 Temporisation de la pompe Root 5 a 3 6 D tection de fuite nnnosnsnnenseesentrn nt testerrrnnnrtestnertnnnnnnnntennn nnn 5 a 3 7 Commutation des jauges siitia apina aR 6 al CABLAGE 55e Midi Dana n ne rasta Camera dress see 7 a 5 MISE SOUS TENSION et 8 a 6 FONCTIONNEMENT iii 9 a 6 1 Acc s aux param tres de traitement du vide 9 a 7 TABLES DES PARAMETRES nne 10 a 7 1 Param tres vide secondaire sssssesrrensseertnrrtnnstesrtrnrrnnsnnsrrent 10 a 7 2 Param tres vide primaire 11 a 7 3 Param tres de vide annexe 11 a 7 4 Param tres de commutation des jauges s 12 a 7 5 Param tres de consigne esssesssreeesrressrsnnese
8. a pompe diffusion s enclenche pour retirer l air jusqu 10 mBar environ Les vannes utilis es en m me temps que les pompes sont aussi command es par le r gulateur 2704 Quand le vide atteint le niveau voulu il est alors possible de d marrer un profil de temp rature Il existe d autres variantes ce syst me par exemple une pompe cryog nique qui peut tre utilis e la place de la pompe diffusion avec les modifications appropri es en ce qui concerne les conduits de tuyauterie et les vannes Le r gulateur de traitement de vide 2704 est con u pour une installation poss dant jusqu 3 jauges de mesures Ce sont en g n ral des jauges de vide primaire telles que Pirani ou des jauges de vide secondaire telles que Penning ou Inverted Magnetron Il est en g n ral n cessaire de couper l alimentation de la jauge de niveau de vide le plus lev quand le vide se situe en dessous de sa plage de travail Vanne Isolation Vanne d isolation d extraction vide thermique Jauge primaire secondaire Enveloppe primaire D t froide y annexe Plateforme de charge Vanne d admissio d air EE El ments chauffants Pompe Pompe Root diffusion Jauge de Chambre Jauge de Vide Chambre secondaire Vide primaire Figure a 1 Repr sentation d une chambre vide R gulateur 2704 a 3 Suppl ment Traitement du vide a 3 FONCTIONNALITES DU REGULATEUR DE TRAITEMENT DU VIDE Le r gula
9. chapitre 11 du manuel de configuration 2704 r alise cette fonction La figure 3 a donne un exemple de la mani re dont les sorties jauges ont un rapport avec les r glages de commutation Les valeurs de vides sont donn es pour l exemple seulement VOOEF T 25220 mou muse non prune us gr vo tm mn pre patte gr AT Consigne de Zone de or fonctionnement de la validation de la l jauge primaire jauge ETO 1 00E 2 1 00E 3 Commutation id RUE Zone de commutation Lu Sens 1 00E 5 E Commutation d augmenta vide secondaire tion du vide Zone de fonctionnement de la jauge secondaire vy 1 00E 8 10 Figure a 3 Commutation de jauge Les zones de fonctionnement de chacune des jauges doivent tre choisies de fa on garantir la mesure de la jauge La zone de commutation doit tre s lectionn e de telle sorte que les 2 lectures soient valides en m me temps et que l erreur soit minimale La jauge secondaire doit tre valid e avant le r glage du point le plus bas de commutation La validation de la jauge consiste en une paire de valeurs seuils jauge on et jauge off Elles doivent tre choisies pour donner un hyst r sis suffisant pour que la sortie jauge ait une action d cisive on off Les deux jauges lisent en dehors de la zone de commutation bien que la sortie ait commut e sur l autre jauge La r gion de la jauge est g n rale
10. clignote et continue de clignoter jusqu ce que la temporisation soit termin e Si la fin de la temporisation le niveau de vide requis n est pas atteint le message reste en permanence a 3 6 D tection de fuite Les fuites des chambres de vides sont class es typiquement en deux cat gories fuites virtuelles et fuites r elles Une fuite virtuelle est une baisse du vide caus e par un d gazage de la pi ce de travail et du mat riel de la chambre des joints etc Aussi afin qu une fuite puisse tre d tect e la r duction du vide doit tre surveill e sur une p riode de temps durant laquelle la pompe est arr t e S il existe bien une fuite r elle le vide continuera de baisser alors qu avec une fuite virtuelle le vide semblera diminuer une vitesse constante mais ensuite se stabilisera R gulateur 2704 a 5 Suppl ment Traitement du vide La d tection de fuite fournit une mesure de la vitesse de variation de vide en unit de vide par minute elle est compar e une vitesse de fuite acceptable apr s une p riode de temporisation Si la vitesse de fuite n est pas acceptable un d faut de fuite sera indiqu en utilisant le param tre tat de fuite Quand la mesure est effectu e le message LEAK DET Figure a 5 clignote sur la page sommaire a 3 7 Commutation des jauges La commutation des jauges permet la mesure du vide de passer d une jauge l autre de mani re contr l e Le bloc de commutation d crit au
11. du vide dans d autres unit s Les unit s de vide dans la version soft couverte par ce suppl ment sont en mBar seulement Pour mettre l chelle dans d autres unit s il faut utiliser les op rateurs analogiques d crits au chapitre 14 du manuel de configuration du r gulateur 2704 Dans un syst me 2 jauges il est n cessaire de mettre l chelle les 2 jauges de mani re ind pendante Dans un syst me une seule jauge la jauge de vide primaire est prise comme r f rence L exemple suivant montre un syst me 2 jauges dont le c blage est identique celui d crit au a 9 1 La conversion des unit s se fera de mBar mmHg o ImmH g 1 333mbar Module 6A User Value 1 set to 1 333 Module 3A Valeur utilisateur 1 r gl e 14333 04948 04468 06158 Op rateur Jauge analogique 1 Vide divise secondaire Vide 09220 c chambre O PS tation l jauge 06178 Op rateur Jauge LL J analogique 2 Vide J divise primaire Se simple 09220 Les nombres en italique sont les adresses Modbus partir des quelles le c blage est effectu Les valeurs Utilisateurs s par es peuvent tre remplac es en r glant la mise l chelle de l entr e la valeur appropri e 0 75 dans l exemple Figure a 8 Mise l chelle de unit s dans un syst me 2 jauges a 20 R gulateu
12. e Pompe Root lt WO D 1 P2 GA analogique T Ea demande de GD peuvent tre GA Ac E faites via un Module 69 G automate CL ne 69 C DA R ul GD ei pour commuter Qy G 6A le Srta jauge de a Ai E yide seron aire Y PE aD Pe Jauge vide Jauge vide Alimen primaire secondaire Le Amen tation tation Figure a 4 Exemple de c blage R gulateur 2704 a 7 Suppl ment Traitement du vide a 5 MISE SOUS TENSION Installer et c bler le r gulateur selon les types de modules pr sents et la configuration du r gulateur puis mettre sous tension Une s quence rapide d auto tests prend place durant laquelle l identification du r gulateur est affich e en m me temps que son num ro de version soft Pour un r gulateur de traitement de vide le num ro de version soft doit tre sup rieur 3 0 Barre d tat ___ Barregraphe de vide Sens d augmen tation du vide Deuxi me afficheur si configur Bo te de message consigne lt Unit s mBAR lt SP1 SP6 montre l tat des 6 consignes ERR d faut chambre GON Jauge vide secondaire on PUMP TOUT Alarme de temporisation de la pomp
13. e LEAK DET Alarme de d tection de fuite La touche de s lection de la boucle valide l affichage des autres boucles voir manuel d installation d utilisation Figure a 5 Vue Op rateur Cet afficheur est configurable par l utilisateur Les points suivants peuvent diff rer sur votre r gulateur Vide de la chambre Texte de la chambre Deuxi me afficheur R solution Temporisation de la pompe D tection de fuite a 8 Sortie commutation ou sorties vide primaire S lectionn partir d un texte utilisateur Seulement montr si une deuxi me fonction est configur e par exemple r gulation de temp rature Le point d cimal peut tre s lectionn en fonction des besoins Seulement visible si configur e Vacuum Select None Tableau a 7 6 Seulement visible si configur e Vacuum Select None Tableau a 7 7 R gulateur 2704 1 Suppl ment Traitement du vide a 6 FONCTIONNEMENT Sur un nouvel appareil le r gulateur de vide peut seulement fonctionner au niveau 3 Pour entrer au niveau 3 voir chapitre 4 du manuel d installation et d utilisation ou de configuration du r gulateur 2704 Toutefois il est possible de mettre en niveau 1 les param tres tr s souvent utilis s Si cela a t fait le principe de l op ration au niveau 1 est le m me que celui d crit ci dessous Pour mettre les param tres en niveau 1 se r f rer au chapitre 5 du manuel de configuration du 2704 a 6 1 Acc s aux para
14. e vide primaire connect e l entr e du module 3 la source de la jauge de vide primaire R gler Jauge Src 04468 Mod3A Val Cela connecte la jauge de vide secondaire connect e l entr e du module 6 la source de de la jauge de vide secondaire R gler Jauge Src 04628 Mod4A Val Cela connecte la jauge de vide annexe connect e l entr e du module 4 la source de la jauge de vide secondaire R gler Channel Type On Off r gler Wire Src 06657 Cela configure Dig 101 en sortie digitale et la connecte la sortie consigne 1 R gler Channel Type On Off r gler Wire Src 06707 Cela configure le relais AA en sortie on off et le connecte sa sortie consigne 6 R gler Channel Type On Off r gler Wire Src 06773 Cela configure le module 5 relais en sortie on off et le connecte la sortie d sactivation de la pompe R gler Prog Setpoint PSP1 r gler Wire Sre 06773 Connecter PSP1 pour qu il devienne la consigne programme de la boucle 1 R gler Type de Voie Volts or mA r gler Wire Src 00013 L1 Ch1 0P Cela configure le module 1 de sortie analogique en sortie Volts ou mA et le connecte la sortie PID de la boucle 1 R gler WaitA Src 06677 Cela connecte la sortie de la consigne 3 l ent e Wait A du bloc programmateur a 19 Suppl ment Traitement du vide a 9 2 Mise l chelle de la lecture
15. ennaarinnnestennantennesenenne 12 a 7 6 Param tres de contr le de la pompe 13 a 7 7 Param tres de d tection de fuite snsnssnnnnnnneeeererrrn rne nereeerenee 13 a 7 8 Param tres d affichage du vide 14 a 8 NIVEAU DE CONFIGURATION ss 15 a 8 1 Configuration de la page Sommaire du vide comme page d accueil bat mr die Ra ina bits 15 a 8 2 Personnalisation de la page sommaire du vide snneeeeneneeeeeee 16 a 8 3 Bloc fonction Traitement du vide 17 a 9 EXEMPLES DE CABLAGE DE REGULATEUR DE scese TRAITEMENTDU VIDE sise 18 a 9 1 R gulation d une temp rature simple et du vide 18 a 9 2 Mise l chelle de la lecture du vide dans d autres unit s 20 Manuel suppl ment Traitement du vide HA 027186 Indice 1 0 06 01 a 1 Suppl ment Traitement du vide a Suppl ment 1 R gulateur Traitement du vide a 1 INTRODUCTION Le but de cet additif est de d crire l utilisation et la configuration du r gulateur 2704 quip du bloc fonction traitement du vide Cet additif doit tre utilis en compl ment du manuel Utilisateur HA 026502FRA et du Manuel Configuration HA026933FRA Cela suppose galement que l utilisateur est familiaris avec la mesure et la production du vide a 2 QU EST CE QU UN REGULATEUR DE TRAITEMENT DE VIDE Le r gulateur 2704 de traitement de vide est con u pour un nombre vari d applications comprenant e Fours de fonderie et de moulage e Fours de recuit et de ci
16. es niveaux niveau configuration inclus Ils sont accessibles en utilisant la proc dure d crite dans le paragraphe pr c dent a 7 1 Param tres vide secondaire Num ro de Ces param tres permettent de r gler et de High Vacuum table configurer les param tres de la jauge de vide ou utiliser secondaire Voir aussi a 3 3 une a 7 1 gt PEE d nomination personnalis e Nom du Description du Valeur Niveau param tre param tre d acces Jauge Src Source partir de laquelle la Adresse Config jauge de vide secondaire Modbus est c bl e Jauge Val Valeur lue par la jauge de Etendue 3 vide secondaire d affichage du Lecture vide seule Status Src Source partir de laquelle Adresse N ant Config l tat de la jauge est c bl e Modbus Status Val Condition de l tat Correct Incorrect 3 Lecture seule ment Valid Vide Src Choix de la Jauge servant Adresse N ant de r f rence pour autoriser Modbus la mise en service de la jauge secondaire D valid Jauge Valeur partir de laquelle la Etendue Off jauge de vide secondaire d chelle du est vide commut e l tat off Valid Valeur partir de laquelle la Etendue Jauge On jauge de vide secondaire d chelle du est vide commut e l tat on Etat Jauge Sortie consigne de la jauge Valid e 3 de vide secondaire Invalid e Lecture seule ment Jauge Nom Nom d fini par l utilisateur Usr 01 to 50 Texte Config pour la jauge de vide par seco
17. ichage Appuyer sur O entrer la liste des param tres affichage Appareil INSTRUMENT Affichage pour Appuyer sur 4 ou Y pour atteindre la page d accueil Home Page ou Page de Repos Appuyer sur pour souligner le param tre Appuyer sur oul Y pour s lectionner Vacuum Manuel suppl ment Traitement du vide HA 027186 Indice 1 0 06 01 a 15 Suppl ment Traitement du vide a 8 2 Personnalisation de la page sommaire du vide La page sommaire du vide peut tre personnalis e en utilisant les param tres list s au tableau a 7 8 Action Affichage qui doit Remarques appara tre 1 S lectionnez la page affichage du vide PROGRAM RUN VIDE Affichage comme PROGRAM EDIT d crit au a 6 1 2 Appuyer sur pour S lection de la 2 Mesure entrer dans la liste des param tres Si Yes est s lectionn la vue Op rateur affichera le second affichage comme mont en figura 3 App al pour _ S RRti nner LAff 2 Mes 4 Appuyer sur ou Y pour choisir Oui ou Non 5 Appuyer sur pour S lection de la source La valeur qui sera du 2 affichage affich e sur la page sommaire du vide provient de l entr e PV Dans les exemples donn s dans ce manuel il s agit de la temp rature de la chambre afficher 2 Mes Src 6 Appuyer sur ou Y pour choisir la source de la seconde valeur 7 Appuyer sur A ou pou
18. l 46 40 384500 Fax 46 40 384545 SUISSE Eurotherm Produkte AG Sghwerzistrasse 20 807 Frei T l 41 85 4154400 Fax 41 55 4154415 U S A Eurotherm Controls Inc 74 Le Miller DriveSE leesburg V VA 20175 8993 l 3 443 0000 Fax 1703 669 1300 FRA HA 027186 FRA
19. m tres de traitement du vide Les param tres de traitement du vide sont regroup s sur une page principale exactement de la m me mani re que les autres param tres Action Depuis n importe quel 7 affichage appuyer sur autant de fois que n cessaire pour afficher le menu des t tes de chapitres Appuyer sur ou Y pour s lectionner VIDE Appuyer sur pour afficher les sous pages Appuyer sur A ou Y pour scruter la liste des sous pages et s lectionner celle d sir e Appuyer sur L _ pour afficher la liste des param tres Appuyer sur lou pour scruter la liste des param tres associ s au th me choisi Appuyer sur A ou Y pour aller au param tre voulu Appuyer sur pour souligner le param tre voulu Appuyer sur ou pour changer sa valeur Affichage qui doit appara tre Remarques PROGRAM EDIT LACUUM La AL Les param tres sont regroup s par th me RAM EDIT s hia dans des sous listes Jauge vide secondaire Jauge vide primaire Jauge annexe Commutation jauge Consigne Contr le de pompe D tection de fuite Affichage VACUUM High Vacuum mmHg Ces param tres sont list s en paragraphe a 7 Modification d une valeur de param tre VACUUM High Vacuum mmHg R gulateur 2704 Suppl ment Traitement du vide a 7 TABLES DES PARAMETRES Les tables suivantes listent tous les param tres qui sont disponibles tous l
20. ment tr s non lin aire et a un fort degr d erreur Cette zone de fonctionnement est s lectionn e seulement si la jauge en cours passe en rupture capteur Les valeurs de vide minimum et maximum sont d finies sur l tendue totale de fonctionnement des 2 jauges et d terminent l tendue totale de la chambre de vide a 6 R gulateur 2704 Suppl ment Traitement du vide a 4 CABLAGE Le c blage du r gulateur de traitement de vide d pend du nombre et du type des modules install s La figure a 4 montre le c blage d un r gulateur ayant la configuration suivante Entr e Mesure fixe affect e une entr e thermocouple Module Entr e mesure l emplacement 3 affect l entr e vide secondaire Module Entr e mesure l emplacement 4 affect l entr e jauge vide annexe Module Entr e mesure l emplacement 6 affect l entr e vide primaire La consigne SP 1 enclenche la pompe Root par l interm diaire de la sortie logique 1 Le relais AA contr le l alimentation externe de la jauge secondaire Le module 1 est utilis comme une sortie analogique pour piloter un gradateur de puissance pour la r gulation de temp rature Avant d aller plus loin veuillez lire l annexe B information sur la s curit et la compatibilit lectromagn tique que l on trouve dans les manuels utilisateur et de configuration du r gulateur 2704 Pompe Jauge diffusion annexe A di m ph Gradateur de ES mb puissanc
21. ndaire d faut a 10 R gulateur 2704 Suppl ment Traitement du vide a 7 2 Param tres vide primaire Num ro de Ces param tres vous permettent de r gler Vide Primaire table et configurer les param tres de la jauge de ou utiliser vide primaire Voir aussi a 3 2 une a 7 2 A O d nomination LE Nom du Description du peg peg param tre param tre a acc s Jauge Src Source partir de laquelle la En Config jauge de vide primaire est Modbus c bl e Jauge Val Valeur lue par la jauge de Etendue vide primaire d chelle du aiie vide primaire seule ment l tat de la jauge est c bl Modbus Status Val Condition de l tat Correct Incorrect op seule ment Jauge Nom Un nom d fini par l utilisateur Usr 01 to 50 Texte 3 pour la jauge de vide par secondaire d faut a 7 3 Param tres de vide annexe Num ro de Ces param tres permettent de r gler et Vide Annexe table configurer ou utiliser une d nomination personnalis e Nom du Description du Valeur Niveau param tre parametre HSE SSSR SU jauge annexe est c bl e Modbus Jauge Val Valeur lue par la jauge Etendue annexe d chelle du OT vide seule ment l tat de la jauge est c bl Modbus Status Val Condition de l tat Correct Incorrect De seule ment Jauge Name Un nom d fini par l utilisateur Usr 01 to 50 Texte 3 pour la jauge annexe par d faut R gulateur 2704 a 11 a 7 3 les param tres de la jauge annexe Suppl ment Trai
22. ntrage e Fours de brasage CVD e _ S choir par cong lation e Fours de diffusion MBE e Autoclaves Il peut tre utilis pour le contr le du vide seulement et peut tre fourni pour utilisation avec une jauge de vide ou avec 3 jauges Le bloc fonction Vide peut tre utilis en m me temps qu une autre boucle de r gulation une boucle de temp rature par exemple au sein d un m me appareil Les entr es et sorties analogiques et logiques sont disponibles dans le r gulateur en tant qu entr es et sorties fixes et sur les modules embrochables comme d crits dans les manuels cit s ci dessus Note e Pour la mesure de temp rature utiliser l entr e standard PV Bornes V VH ou le module d entr e mesure PV HA 026359 e Pour la mesure du vide utiliser l entr e standard PV le module d entr e mesure PV ou le module d entr e analogique HA026686 e Les entr es sorties analogiques et logiques peuvent tre r alis es en utilisant d autres modules embrochables ou une unit d extension d entr es sortie 2000 1 0 a 2 R gulateur 2704 Suppl ment Traitement du vide a 2 1 Exemple d une chambre de vide La figure a 1 montre la repr sentation sch matique d un four sous vide ou d un s cheur par le gel utilisant une pompe Root et une pompe diffusion pour r aliser les diff rents niveaux de vide requis La pompe Root est utilis e pour r aliser le premier niveau de vide aux alentours de 10 mBar A ce point l
23. onction du vide peut tre c bl de mani re interne par soft pour contr ler des applications sp cifiques Le c blage soft est d crit en chap 3 du manuel de configuration a 9 1 R gulation d une temp rature simple et du vide L exemple suivant est donn pour montrer le principe de c blage entre les blocs fonction Il n est pas n cessairement con u pour tre une solution compl te une application Le bloc fonction du vide a des entr es reli es 3 jauges de vide Le nombre de sorties disponibles est tel que d fini dans les tables de param tres Cet exemple montre le c blage partir de 3 des sorties consignes et d une sortie logique destin e d sactiver la pompe Cet exemple correspond au sch ma de c blage physique figure a 4 Le principe de c blage des autres sorties est le m me Un bloc de r gulation PID est utilis pour le contr le de la temp rature il re oit une consigne venant d un bloc fonction programme La sortie du bloc PID contr le en g n ral une sortie analogique qui pilote une unit de puissance thyristors D autres exemples de c blage de blocs PID sont donn es dans le manuel de configuration Module 6A Bloc Vide Sorties logiques Jge Prim Src Consigne 1 Out Wire Src DO1 Mod6A Val T Status Src Consigne 2 Out 06657 Valid Vide Src Consigne 3 Out s 06677 Module 3A Jge Secnd Src Consigne 4 Out Status Src Consigne 5 O
24. ou papier DES STAGES DE FORMATION POUR OPTIMISER L UTILISATION DE VOS EQUIPEMENTS EUROTHERM AUTOMATION est enregistr organisme de formation Des stages th oriques sur la r gulation et l lectronique de puissance ainsi que d autres plus sp cifiques sur notre mat riel vous sont propos s tout au long de l ann e Des formations sur site et la carte peuvent tre r alis es sur demande Pour conna tre notre calendrier des stages veuillez consulter notre site Internet ou contacter votre agence EUROTHERM MATERIEL FABRIQUE PAR EUROTHERM CONTROLS USINE CERTIFIEE ISO 9001 R gulateur 2704 a 22 SOCI T S EUROTHERM DANS LE MONDE ADRESSES R GIONALES EN FRANCE VOIR LA PAGE PR C DENTE ALLEMAGNE Eurotherm Regler GmbH Le 5549 mbura gd a d aonn a 49 Fax 49 6431 5081 19 AUSTRALIE Lena Pty Ltd t1 26 Brookhollow Avenue Baul Hills Fax 8 5 9834 8555 AUTRICHE Eurotherm GmbH eiere kstrasse H 10 Wie Tal 43 i 798 7601 Fax 43 1 798 7605 BELGIQUE Eurotherm B V Herentalsebaan 71 75 B 2100 Deurne Antwerpen T l 42 3 322 3870 Fax 32 3 321 7363 COR E At Korea Limited Suite 03 Daejoo Building ungdam Don 32 19 Chungdam Dong Kangnam Ku SeoUL EEA 100 T l 21 243 8507 Fax 83 2 545 9758 DANEMARK Eurotherm A S Finsensvej 86 K 2000 frederiksberg PAS 45 31 Fax 45 31 872 124 ESPAGNE Eurotherm Espa a SA Gale a Granja 74 28100 Alcobendas Madr o T l 434
25. r S lection des unit s du vide atteindre Unit Note Dans la version soft actuelle de l appareil il n y a pas de mise l chelle des unit s Voir a 9 2 pour une explication de la proc dure suivre pour r aliser cela Les unit s qui peuvent tre s lectionn es sont mmHg psi bar mbar 8 Appuyer sur Aou Y pour s lectionner les unit s qui seront affich es sur le barregraphe d tat D autres param tres peuvent tre personnalis s dans l affichage du sommaire Un nom pour le 2 affichage choisi par l utilisateur L affichage de la r solution des valeurs Un nom de l enceinte personnalis par l utilisateur a 16 R gulateur 2704 Suppl ment Traitement du vide a 8 3 Bloc fonction Traitement du vide Une description des blocs fonction est donn e au chapitre 2 du manuel de configuration du r gulateur 2704 Le bloc fonction du traitement du vide est donn ci dessous en figure a 6 et permet l utilisateur d effectuer le c blage soft vers d autres dispositifs l int rieur du r gulateur afin de r aliser une strat gie de contr le ind pendante Bloc Vide Jge Secnd Src Status Src Valid Vide Src Jge Prim Src Status Src Pomp OFF Consigne 1 Out Status Src 2 me Mes Sro Enceinte D faut OP Status Figure a 6 Bloc fonction Vide R gulateur 2704 a 17 Suppl ment Traitement du vide a 9 EXEMPLES DE CABLAGE DE REGULATEUR DE TRAITEMENTDU VIDE Le bloc f
26. r 2704 a 9 2 1 Mise en oeuvre 1 A la page VAR INTERNES Val Var 1 Chapitre 13 du manuel de configuration 2704 ou bien utiliser n importe quelle valeur utilisateur non utilis e 2 A la page OPER ANALOGIQUES An 1 Chapitre 13 du manuel de configuration 2704 Ou bien utiliser n importe quelle valeur analogique op rateur non utilis e 3 A la page OPER ANALOGIQUES An 2 Chapitre 13 du manuel de configuration 2704 Ou bien utiliser n importe quelle valeur analogique op rateur non utilis e 4 A la page VIDE VIDE Secondaire Tableau a 7 1 5 A la pageVIDE VIDE Primaire Tableau a 7 2 6 A la page VIDE Affichage Tableau a 7 8 Le texte crit en italique peut tre personnalis par l op rateur R gulateur 2704 Suppl ment Traitement du vide R gler R solution X XXXX r gler Valeur 1 333 Il peut tre gt 1 333 Copier l adresse Modbus de ce param tre en appuyant sur MAN R gler Input 2 Sre 09220 UVall Val La touche LOOP copiera cette valeur partir de la proc dure de copie pr c dente R gler Input 1 Sre 04948 Mod6A Val R gler Op ration Divide Ceci a pour effet de diviser le signal de la jauge haut naive par 1 333 pour le convertir en mmHg R gler Op ration Divide r gler Input 1 Sre 04468 Mod3A Val set Input 2 Sre 09220 Uvall Val Ceci a pour effet de diviser le signal de la jauge bas niveau par
27. tement du vide a 7 4 Param tres de commutation des jauges Num ro de Ces param tres vous permettent de r gler Changt Jauges table et configurer les param tres de la jauge de ou utiliser une a 7 4 vide primaire Voir aussi a 3 7 d nomination ire personnalis e Nom du Description du Valeur Niveau param tre param tre d acc s Active Jauge Indique active s lectionn e High Vac 3 Both seulement Ce fs Affichage haut Etendue Max Vide Affichage bas D affichage 3 Commut Vide Bas Commutation Voir Figure Du vide 3 au de la du a3 point haut aut au de la du a3 point bas ion de la jauge On chambre d affichage du seulement vide ose mee e O aa Incorrect seulement a 7 5 Param tres de consigne Num ro de Ces param tres vous permettent de r gler Consigne ou table et configurer les 6 consignes Voir aussi utiliser une a 7 5 a 3 1 d nomination EA personnalis e Nom du Description du Valeur Niveau param tre param tre d acc s Sel Consigne 1 S lectionne la source de la None N ant 3 valeur du vide pour la Low Vac consigne SP1 High Vac Backing Vac Chamber Vac sortie off d affichage sortie on nr ul SR 3 consigne 1 On seulement Consigne 1 Str Nom de la consigne 1 Usr 01 to 50 Texte par d faut Les param tres ci dessus sont r p t s pour les consignes 2 6 a 12 R gulateur 2704 Suppl ment Traitement du vide a 7 6 Param tres de contr le de la pompe
28. teur 2704 de traitement du vide fournit des sorties tout ou rien au syst me de traitement du vide mais utilis en m me temps avec la boucle de r gulation PID existante il offre la possibilit de r guler la temp rature au sein d une chambre ou d un four Il dispose des caract ristiques suivantes 1 Commutation de la jauge de vide 2 Jauge de vide secondaire mise sous tension que lorsqu un niveau de vide ad quate est atteint Mesure de pression de la chambre de vide primaire et sortie de la consigne Entr es de l tat des jauges D tection de fuite Temporisation pour la pompe Root PA ON ON Re 0 Calibration de la jauge a 3 1 Consignes Six sorties de consignes sont fournies Elles peuvent tre utilis es pour commuter des jauges de vide ou des dispositifs externes ou pour r initialiser des conditions internes telles que le signal d attente du programme de temp rature Chaque point de consigne peut tre configur avec une valeur on et off Les 2 valeurs sont utilis es pour cr er un hyst r sis de commutation sur la sortie consigne Exemple 1 SiOnSP lt OffSP 2 SiOnSP gt Off SP Sortie Vraie si entr e lt On SP Sortie Vraie si entr e gt On SP Sortie Fausse si entr e gt Off SP Sortie Fausse si entr e lt Off SP La figure a 2 montre le premier cas La consigne On SP est un vide plus pouss que Off SP ou en d autres termes la sortie est On quand le vide est plus lev que la consigne
29. ture seulement 3 Lecture seulement 3 Lecture seulement Texte par d faut Texte par d faut Note le texte en italique est le texte par d faut qui peut tre chang par l utilisateur a 14 R gulateur 2704 Suppl ment traitement du vide a 8 NIVEAU DE CONFIGURATION En mode configuration vous pouvez choisir la mani re dont vous voulez que votre r gulateur fonctionne le format d affichage op rateur le nom de l enceinte de vide en utilisation et les noms des jauges Les param tres disponibles ont d j t donn es dans les tables pr c dentes Ce paragraphe inclut quelques exemples de configuration d un r gulateur de traitement du vide a 8 1 Configuration de la page Sommaire du vide comme page d accueil La page sommaire du vide montr e en figure a 5 peut tre configur e pour tre la premi re page la mise sous tension du r gulateur ou lorsque l on entre un nouveau niveau d acc s partir du mode configuration Action Affichage qui doit Remarques appara tre Depuis cette vue appuyer sur autant de fois que RAM RUN PR n cessaire pour acc der au menu des t tes de chapitres Appuyer sur ou Y pour s lectionner INSTRUMENT Appuyer sur pour Note s lectionner les sous Le bloc vide peut tre chapitres valid ou invalid dans le menu INSTRUMENT Options lol ae Appuyer sur ou Y S il est invalid aucun des pour atteindre Aff
30. ut Sortie relais AA Mod3A Val ozea Jge Annxe Src Consigne 6 Out Wire Src Status Src Pomp R Status me A 06707 Module 4A 2 MesSrc Enceinte D faut Sortie P Stat 04628 SRE CRE Module 5A Mod4A Val Tst Fuite Src Pompe OFF Wire Sre 06773 PV1 Src WaitA Src Bloc programmateur PSP1 Reset Src PSP1 Les nombres en italiques sont les adresses Modbus partir desquelles le c blage est effectu 06773 Bloc contr le boucle 1 Prog Setpoint PSP1 Reset Src CH2 OP CH1 OP ortie Module 1A H Wire Src 00013 Figure a 7 Exemple de c blage de contr le vide temp rature a 18 R gulateur 2704 a 9 1 1 Mise en oeuvre 1 Dans la page VIDE VIDE Primaire Tableau a 7 2 Dans la page VIDE VIDE Secondaire Tableau a 7 1 Dans la page VIDE VIDE Annexe Table a 7 3 Dans la page E E STANDARD Dig IO 1 Voir manuel de configuration Tableau 17 5 1 Dans la page STANDARD IO AA Relais Voir manuel de configuration Tableau 17 4 1 Dans la page MODULE I10 Module 5A Voir manuel de configuration Tableau 18 4 2 Dans la page LP1 Config Options Voir manuel de configuration Tableau 9 9 1 Dans la page MODULE E S Module 1A Voir manuel de configuration Tableau 18 4 1 Dans la page PROGRAM EDIT Cablage Page Tableau a 7 2 R gulateur 2704 Suppl ment Traitement du vide R gler Jauge Src 04948 Mod6A Val Cela connecte la jauge d

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