Fiche_technique (487.16 Ko)
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1. 386 73885249 T 34 945184100 amp 46 0 86031200 T 41 0 523963131 T 90 0 2122211512 amp 44 08001382930 www smcpneumatics nl www smc norge no www smc pl www smces es www smcromania ro www smc pneumatik ru www sme sk www smc si www smces es www smc nu www smc ch www entek com tr www smcpneumatics co uk European Marketing Centre SMC CORPORATION SMC CORPORATION _ Akihabara UDX 15F 4 14 1 Sotokanda Chiyoda ku Tokyo 101 0021 JAPAN Phone 03 5207 8249 FAX 03 5298 5362 T 34 945184100 81 0335022740 WWwWw smceu com wWww smcworlid com info smcpneumatics nl post smc norge no office smc pl postpt smc smces es smcromania smcromania ro marketing smc pneumatik ru office smc sk office smc si post smc smces es post smcpneumatics se info smc ch smc entek entek com tr sales smcpneumatics co uk 1 reimpressioKV impressioKV 30 UK Imprim en Espagne Les sp cifications sont susceptibles d tre modifi es sans pr avis ni obligations de la part du fabricant2. de fonctionnement MPa G Fuite interne 2 Pa m s pression invers e _ Temps de r ponse V4 s Mati re du joint FKM Kalrez 4079 en option M canisme de verrouillage d extr mit Volume du v rin Mod le cassette Full MESK Note 1 Pression absolue Note 2 Valeur temp rature normale Perm abilit au gaz non incluse Note 3 Si la temp rature de la porte est sup rieure 60 C la temp rature de fonctionnement de l actionneur peut tre hors plage Dans ce cas refroidir l actionneur Note 4 Cette valeur est la dur e une fois la vanne de commande activ e et l ouverture ou la fermeture de la porte effectu e Note 5 La fonction de maintien du joint n est pas garantie lorsque la porte est brid e Caract ristiques des d tecteurs Diagramme de c blage du connecteur Type de d tecteur D A93 C Connecteur multiple 6P Charge applicable Relais API es ___1 Bleu OUVERT Tension de charge 24 VCC 100 VCA 2 Marron OUVERT Plage de courant de charge et courant de charge maxi 5 40 mA 5 20 mA O i il Circuit de protection s veron FERME G Chute de tension interne 2 4 V maxi 20 mA 3 V maxi 40 mA nn Bieu FERME C Indicateur lumineux ON la LED rouge s allume Caract ristiques du connecteur sub D D signation C t corps de la vanne fente C t oppos Division de contact Broche m le Fiche femelle Couleur du c ble D tecteur OUVERT
3. 62280 T 32 0 33551464 T 359 2 9744492 T 385 1377 66 74 T 12 0541424611 amp 45 70252900 T 372 0 6593540 T 358 207 513513 amp 33 0 164761000 T 49 0 61034020 amp 30 0 13426076 T 36 13711343 amp 353 0 14039000 T 39 0 292711 T 371 0 7779474 www smc at www smcpneumatics be www smc bg www smc hr WWW SMC CZ www smceu com WWW smcpneumatics ee www smc fi www smc france fr www smc pneumatik de www smceu com www smc hu www smcpneumatics ie www smcitalia it Www smciv iv office smc at post smcpneumatics be office smc bg office smc hr office smc cz smc smc pneumatik dk smc smcpneumatics ee smcfi smc fi contact smc france fr info smc pneumatik de parianos hol gr office smc hu sales smcpneumatics ie mailbox smcitalia it info smciv lv Marder Mod le pour haute temp rature 150 C Le joint torique le guidage etc qui sont partie int grante de l actionneur sont remplac s par des produits r sistants la chaleur Fonction de maintien du joint lorsque la pression de fonctionnement est coup e L tanch it est maintenue lorsque la pression de fonctionnement est coup e Lithuania Netherlands Norway Poland Pouugal Romania Russia Slovakia Slovenia Spain Sweden Switzerland Turkey FR T 370 5 264 81 26 amp 31 0 205318888 amp 47 67129020 T 48 225485085 amp 351 226108922 T 40 213205111 T 812 1185445 T 421 244456725 T
4. FERM RC RCE es E EE __ Bleu OUVERT Bleu FERM gt 7 EC EE EE Pr parez la prise de contact femelle car le corps de la vanne fente est broche m le VAN Le produit ne doit tre mont et mis en fonctionnement qu apr s avoir lu attentivement et compris le manuel d instructions 4 SMC Vanne guillotine S rie XGT Construction al e A nt 0 o 1 A NS AL S BL AW CE XGT221 1 XGT31L1 Pour wafers de 200 mm Pour wafers de 300 mm Nomenclature XGT22L Wafers de 200 mm R f R f rence Mod le correspondant XGT0101 2 1S XGT2211 32222 L11 1 A6063 XGT0402 2 1S XGT2211 46236 L101 XGT200 9 13S XGT2211 32222 L1 1 Kalrez 4079 XGT200 9 14S F XGT200 9 7S XGT22Ll 46236 UOLI Kalrez 4079 XGT200 9 9S Racleur i O XGT0402 4 9S XGT220 00 Joint torique c t ouverture du corps F XGT200 9 12S XGT2201 O0 2 Joint torique porte Joint torique ensemble couvercle XGT300 9 11S OO Bo XGT200 2 5S XGT22Ll 00 Vis de fixation Acier inox 304 XGT31L Wafers de 300 mm K K R f D signation R f rence Mod le correspondant K K 7 A6063 XGT300 2 1S XGT300 9 9S 8 Joint torique porte O Karez 4079 XGT310 50336 LULI XGT300 9 11S XGT300 4 9S XGT300 9 10S XGT3101 50336 L 11 11 Joint torique ensemble couvercle XGT300 9 7S 12 Vis de fixation Acier ino
5. SMC Corporation 1 16 4 Shimbashi Minato ku Tokyo 105 8659 Japon I gt URL http www smeworld com M O d 10 2005 SMC Corporation Tous droits r serv s Vanne A guillotine D KS P 120 KS S rie XGT Mod le cassette Mod le sans cassette Pour pastilles de 200 mm a Mod le cassette ration de particules Mouvement en L La porte peut tre maintenue ouverte ferm e en cas d arr t d urgence Pour wafers de 300 mm jie de deux millions de cycles m x Dans les conditions de test de la dur e de vie de SMC Chambre Ce produit peut tre utilis comme vanne de s paration entre la chambre de verrouillage de charge et celle de transfert ou bien dans le cas de semi conducteur ou d autres quipements entre la chambre de transfert et celle de traitement Vanne guillotine 9 5 S rie XGT Construction avec porte fonctionnement en deux tapes consistant en un mouvement direct Structure du mouvement en L de monte et baisse et un bridage qui permet de verrouiller herm tiquement la porte Ports brid e tanche i Structure de protection soufflets Le racleur diminue l intrusion des corps trangers dus l rosion des P wafers et ou d autres sources Racleur Vanne guillotine S rie XGT Pour passer commande XGT 22 Vanne guillotine pour vide lev D tecteur
6. et connecteur Voir le tableau ci dessous Taille de la vanne Taille de wafers compatible Mati re du joint torique de la porte Soufflets un axe _22 Soufiets deux axes 1 FKM 2 Kalrez 4079 Taille d ouverture de la fen tre Symbole Hauteur x largeur mm Taille de wafers compatible 32222 cte 32 x 222 ne 46236 46 x236 50336 50 x 336 Note Mod le casette Half MESK et Full MESK non inclus Mod le de vanne Symbole Mod le de vanne Taille de wafers compatible Mod le sans cassette D tecteur et connecteur Symbole D tecteur Sa A C ble 0 5 m sans connecteur Pour wafers de 200 mm Pour wafers de 300 mm o Avec connecteur multiple Note 1 Mod le cassette T3106 000 fabriqu par AMP 2 Avec deux 2 pcs pour l ouverture et la fermeture Avec connecteur sub D Note 2 CDE 9PF05 fabriqu par HIROSE ELECTRIC CO LTD Note 1 Le mod le T3105000 fabriqu par AMP est recommand pour le connecteur femelle Note 2 Le mod le CDE 9SF05 fabriqu par HIROSE ELECTRIC CO LTD est recommand pour le connecteur femelle Pour wafers de 200 mm Pour wafers de 300 mm SMC 3 O S rie XGT Caract ristiques Taille de wafers mm 300 Taille d ouverture de la fen tre hauteur x largeur mm 46 x 236 50 x 336 Pression de fonctionnement du milieu te 1 Pa abs Pression diff rentielle de fonctionnement kPa Plage de pression
7. x 316 XGT300 2 5S Kalrez est une marque d pos e de Dupont Dow Elastomers M M M Kalrez 4079 9 10 Joint torique c t ouverture du corps FKM XGT3111 50336 L11 S rie XGT Dimensions Mod le cassette standard XGT222 Mod le sans cassette XGT221 l ouverture Mod le cassette Half MESK XGT223 340 50 C t si ge de la vanne identique pour XGT222 223 et 224 Mod le Mod le de vanne A B C D 222 32 235 45 EN EEE Mod le sans cassette 222 32 235 XGT221 46236 59 XGT222 32222 B 222 32 XGT222 46236 Mod le cassette standard 236 46 XGT223 46236 Mod le cassette Half MESK 236 46 XGT224 46236 Mod le cassette Full MESK 236 46 9 5 Vanne guillotine S rie XG T Dimensions Mod le cassette standard XGT312 C t si ge de la vanne identique pour XGT312 313 et 311 l ouverture 50 Taille de 97 280 9 S rie XGT Ex cutions sp ciales Contactez SMC pour plus d informations Pi ces anodis es Les pi ces en contact avec les gaz alliage d aluminium pour acide oxalique acier inox etc sont remplac es Soufflets rempla ables Le client peut remplacer les soufflets SMC CORPORATION Europe Austria Belgium Bulgaria Croatia Czech Republic Denmark Estonia Finland France Germany Greece Hungary Ireland Italy Latvia T 43 2262
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