raith pioneer
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1. Art N D signation Prix en 1 OROSP IL D tecteur d lectrons secondaires In Lens 25 000 00 Pour imagerie et reconnaissance de marques avanc es Les performances en stitching overlay et inspection du Pioneer peuvent tre am lior es par l int gration d un d tecteur InLens dans l optique lectronique Cela am liore le rendement de collection des lectrons secondaires particuli rement basse tension Il en r sulte une image plus brillante avec un meilleur contraste et une excellent information de surface sans effet d ombrage Ce d tecteur fonctionne pour des nergies inf rieures 20 KV 1 OROSP RT Module Write AND View 14 500 00 Porte chantillon motoris pour rotation et tilt Angle de tilt de O 90 Rotation 360 Contr le via le software Raith rappel des positions initialisation Contr le manuel par joystick 1 ELZ PRX Module de correction des effets de proximit NanoPECS 15 000 00 Logiciel pour simulation et correction des effets de proximit Post processing des donn es grow shrink frame overlap removal D termination des param tres des effets de proximit gr ce la simulation Monte Carlo Caract ristiques gt R solution spatiale 1 nm et 0 1 dose gt Mod les de calculs pour tout substrat gt Simulation en 3D de la distribution en nergie 1 ELZ 3LITH 3LITH 3D Software Package 10 500 00 Calcul d l ments optiques zoneplates hologrammes etc2. D termination de la distribution des doses pour structures 3D Conversion de fichiers TIFF ou BMP en formats lithographie Formation compl mentaire 2 jours 95 avenue des Monts Aur liens Z A Saint Charles 13710 Fuveau Tel 33 442 538 095 Fax 33 442 538 091 e mail nano orsayphysics com NP NEGO RAITHQUOTE VM V2 0 Page 5 7 Art N D signation Prix en 1 OROSP AES Master Users Advanced Exposure Software 15 000 00 Ce module vient en compl ment des fonctions d automatisation du software de base C est l outil parfait pour utilisateurs exp riment s permettant de pr parer des s quences d insolation complexes telles que le passage automatique entre faible et haute r solution strat gies de balayage rapides et lentes insolations de longue dur e etc Ces proc dures peuvent tre sp cifi es par scripting VB 1 ELZ03 Licences off line ELPHY x3 6 000 00 Trois licences soft ELPHY pour utilisation off line Trois cl s Hard 1 IT TRAIN Formation compl mentaire du Raith Pioneer 5 jours 9 000 00 Formation compl mentaire sur site incluant les frais de transport 4 0R100 EDX Spectrom tre dispersion d nergie Bruker QUANTAX 200 59 000 00 Ce syst me EDX permet d effectuer des microanalyses qualitatives et quantitatives sans utilisation de standards sur tout type d chantillons D tecteur Si drift R solution en nergie lt 129 eV Fen tre
3. Raith haio PHYSICS Offre de prix Raith PIONEER Syst me de Lithographie lectronique Haute R solution Z A Saint Charles Chemin des Michels 13710 Fuveau Tel 33 442 538 095 Fax 33 442 538 091 e mail nano orsayphysics com NP NEGO RAITHQUOTE VM V2 0 Page 1 8 NANO PHYSICS Monsieur Benjamin Lassagne IN S A Toulouse 135 avenue de Rangueil 31077 Toulouse Cedex 4 Fuveau le 2 novembre 2010 Votre contact Vincent Morin Syst me de lithographie lectronique RAITH PIONEER Offre de prix N RA 101102 VM pour un Art N Designation Price in 1 OROSP F PIONEER 440 000 00 Syst me compact de lithographie lectronique Haute R solution Le Pioneer est un syst me compact de lithographie lectronique pour nanostructuring et inspection de motifs Ce syst me est quip d un canon effet de champ TFE offrant une tr s haute r solution quelque soient les conditions de travail La colonne lectronique du Pioneer offre une trajectoire de faisceau sans cross over ce qui lui conf re une tr s forte densit de courant ainsi que de tr s faibles aberrations De plus les performances d inspection et de m trologie du Pioneer sont sans gal m me pour des tensions inf rieures 1 keV Un des principaux l ments du Pioneer est la platine contr l e par interf rom trie laser offrant d excellentes performances en stitching et overlay 95
4. Editeur GDSII int gr avec gestion de fichiers gt 1 Go Environnement soft Windows XP 32 bit Seconde licence soft pour pr paration des donn es off line Le syst me de base comprend galement Porte chantillon Universel pour petits chantillons jusqu 25x25 Cam ra CCD _ Picoamp rem tre Kit de d marrage EBL Syst me de refroidissement l eau en circuit ferm Documentation Manuel d utilisation et Aide en ligne Mesures environnementales effectu es sur site Installation et 5 jours de formation sur site 95 avenue des Monts Aur liens Z A Saint Charles 13710 Fuveau Tel 33 442 538 095 Fax 33 442 538 091 e mail nano orsayphysics com NP NEGO RAITHQUOTE VM V2 0 Page 3 7 Art N D signation Prix en 4 0R DDU Frais de livraison incluant 10 000 00 Emballage du mat riel Frais de transport Assurances durant le transport Incoterms 2000 DDU delivered duty unpaid 4 0R UPS Uninterrupted Power Supply 6 kVA 4 000 00 Alimentation de protection contre les coupures Dur e d autonomie 10 minutes 100 TOTAL FINAL en H T 454 000 00 T V A 19 6 88 984 00 TOTAL en TTC 542 984 00 95 avenue des Monts Aur liens Z A Saint Charles 13710 Fuveau Tel 33 442 538 095 Fax 33 442 538 091 e mail nano orsayphysics com NP NEGO RAITHQUOTE VM V2 0 Page 4 7 Liste des options pour le RAITH PIONEER
5. sommes pas responsables du retard d installation Validit de l offre Cette offre a une dur e de validit de 3 mois compter de sa date d mission Responsabilit La responsabilit de Nano Physics se limite exclusivement aux dispositions des pr sentes conditions g n rales de vente N B Raith effectuera des mesures sur site et recommandera si n cessaire des quipements de compensation de champ magn tique d anti vibrations de protection contre le bruit acoustique etc afin de s assurer que le syst me atteindra ses sp cifications Vincent Morin due 95 avenue des Monts Aur liens Z A Saint Charles 13710 Fuveau Tel 33 442 538 095 Fax 33 442 538 091 e mail nano orsayphysics com NP NEGO RAITHQUOTE VM V2 0 Page 7 7
6. avenue des Monts Aur liens Z A Saint Charles 13710 Fuveau Tel 33 442 538 095 Fax 33 442 538 091 e mail nano orsayphysics com NP NEGO RAITHQUOTE VM V2 0 Page 2 7 Art N Designation Price in L int gration du software est un atout primordial du Raith Pioneer Outre la flexibilit et la simplicit d utilisation il offre une s curit gr ce l environnement multi utilisateurs Le Raith Pioneer est enti rement assembl et test dans les locaux de Raith Deux acceptations techniques sont effectu es la premi re en usine avant exp dition la seconde sur site apr s installation Configuration du syst me Pioneer Canon mission de champ assist thermiquement Trajectoire de faisceau sans cross over avec forte densit de courant Colonne lectronique 100 eV 30 keV Effaceur de faisceau lectrostatique rapide Platine contr l e par interf rom trie laser avec des d placements de 50 x 50mm Contr le piezo du positionnement fin Closed loop R solution en positionnement de 2 nm tout grandissement ou WD Champs d criture librement d finissables de 0 5 um 2 mm avec calibration automatique 30 mm de variation en WD sous contr le interf rom trique Utilisation d chantillons de quelques mm jusqu 2 Pattern Generator 2 5 MHz Caract ristiques du software Interface Multi utilisateurs Software d imagerie et de m trologie
7. permettant la d tection du Beryllium Z 4 Quantification en temps r el durant l acquisition M canisme de r tractation automatique avec moteur pas pas 1 0OROSP FPG Upgrade du Pattern Generator 10 MHz 40 000 00 Pour les process n cessitant une vitesse d criture plus rapide il est possible d impl menter une lectronique de pilotage en technologie DSP Unit DSP 400 MHz Vitesse d criture max 10 MHz avec contr le du dwelltime lt 2ns Remplace le pattern generator de 2 5 MHz Peut s int grer ult rieurement 95 avenue des Monts Aur liens Z A Saint Charles 13710 Fuveau Tel 33 442 538 095 Fax 33 442 538 091 e mail nano orsayphysics com NP NEGO RAITHQUOTE VM V2 0 Page 6 7 Conditions g n rales de vente Fournitures Les commandes et engagements pris au nom de notre soci t ne sont valables qu apr s confirmation crite de nos services Toute commande entra ne de plein droit l adh sion enti re et sans r serve de l acheteur aux pr sentes conditions D lai de livraison 6 mois apr s confirmation de commande D lai d installation L installation et l acceptation s effectueront dans les locaux du client dans un d lai maximum de 8 semaines apr s la livraison Prix Les prix sont mentionn s en Euros selon l Incoterm DDU Paiement Le paiement se fera 45 jours nets de la date de facture de la fa on suivante 50 la confi
8. rmation de commande 40 la livraison 10 l acceptation technique Dans la mesure o les tests d acceptation seront diff r s de plus de 30 jours pour des raisons qui incombent l acheteur le paiement l acceptation sera automatiquement d Conditions d annulation En cas d annulation de la commande par le client tout acompte per u est non remboursable Une indemnit sera exig e de convention expresse proportionnellement la valeur de la commande annulation dans les 2 mois apr s la commande 15 annulation 6 mois avant la livraison 40 annulation 2 mois avant la livraison 75 Droits de propri t Conform ment la loi n 80 335 du 12 mai 1980 les marchandises restent la propri t du vendeur jusqu complet paiement du prix Cette disposition ne fait pas obstacle au transfert l acheteur d s la livraison des risques de perte et de d t rioration des biens vendus ainsi que des dommages qu ils pourraient occasionner Modifications Etant donn e la politique de d veloppement de Raith GmbH les sp cifications techniques techniques peuvent tre modifi es sans notice pr alable Nous nous engageons informer le client dans le cas de modifications majeures Garantie La p riode de garantie est de 12 mois compter de la date d acceptation technique du syst me retour du mat riel chez Raith mais au maximum de 15 mois compter de la date de livraison si nous ne
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