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UL1000 iina70f.book

1. Fig 2 4 Afin d viter que le c ble ne soit d branch par inadvertance il est peut tre s curis de la mani re indiqu e sur la figure Fig 2 5 Lorsque l appareil n est pas en marche le cable peut tre enroul sur les supports pr vus cet effet 2 3 2 Raccords pour accessoires et signaux de commande Il y a risque de destruction de l lectronique de l appareil Ne raccordez donc que des appareils d branch s du r seau au d tecteur de fuites Seuls les appareils dont les sp cifications sont inf rieures 25 V CA amp doivent tre raccord s 26 Installation MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 02 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 02 fm INFICON Accessoires Accessories Sortie num rique Digital Out Entr e num rique Digital In Enregistreur Recorder RS232 T l commande RC1000 metteur radio Oona A OUO N 7 Prise secteur 8 Interrupteur marche arr t 9 Raccord pour la fixation du c ble 10 Haut parleur 11 Raccord d a ration 12 Raccordement gaz de rin age UL1000 Fab lest UL1000 Fig 2 6 Conseil Sur les raccords Accessories Accessoires Digital Out sortie num rique Digital In entr e num rique et Recorder enregistreur la broche 1 se trouve en haut Les broches sont num rot es de haut en bas Les r glettes douilles 2 et 3 sont munies d un codage m canique afin d
2. D tails v chapitre 6 4 7 4 Localisation de fuites Le son du signal acoustique ne module pas sa fr quence qu l int rieur d une plage de taux de fuites Fig 6 9 qui s tend d une d cade au dessous de la valeur du seuil Trigger 1 une d cade au del de la valeur du seuil Trigger 1 Au dessous de cette plage le son est constamment bas et au del il est constamment haut rame Le seuil Trigger 1 s l ve 4x107 mbar I s La plage s tend ainsi de 4x108 mbar I s jusqu 4x10 mbar I s f 2570 Hz 491 Hz 0 1 Tr 1 Tr 4 10 TR 1 LR Fig 6 9 Localisation 6 4 7 2 Taux de fuites proportionnel La fr quence du signal acoustique est proportionnelle la barre indicatrice La plage de fr quence est comprise entre 300 et 3 300 Hz Pour la d termination du nombre de d cades v chapitre 6 2 1 Echelle lin aire logarithmique Description des menus 63 INFICON 6 4 7 3 Valeur nominale Le signal acoustique est d sactiv tant que le taux de fuites est inf rieur la valeur pour le seuil Trigger 1 Au del du seuil Trigger 1 la hauteur du son est modul e proportionnellement au taux de fuites Fig 6 10 f 3000 Hz 375 Hz Aucun son Tr 1 1000 TR 1 LR Fig 6 10 Valeur nominale 6 4 7 4 Alarme Trigger D s que le taux de fuites du seuil Trigger 1 est d pass un signal a fr quences multiples est g n r Celui ci n est pas modul
3. Description des menus 87 INFICON 7 7 1 7 2 Calibrage Introduction Le calibrage du UL1000 et UL1000 Fab peut tre effectu de deux diff rentes mani res e Calibrage interne l aide de la fuite d essai interne e Calibrage externe l aide d une fuite d essai suppl mentaire qui est raccord e sur l admission ou sur prouvette Pendant le calibrage le spectrom tre de masse est quilibr sur un signal d h lium maximal et ce signal se r f re ensuite au taux de fuites connu de la fuite d essai interne ou externe Bien que le UL1000 et UL1000 Fab soient tr s stables un cali brage est toutefois recommand de temps autres afin de garantir que les variations de la temp rature ambiante les impuret s ou d autres influences n alt rent pas la pr cision de la mesure Lorsque le d tecteur de fuites est utilis en permanence un calibrage devrait tre effectu au moins une fois par jour Le cas contraire la fr quence du calibrage d pend de la fr quence d utilisation du d tecteur de fuites Remarque Pour obtenir un calibrage optimal le d tecteur de fuites doit avoir atteint sa temp rature de service c d tre allum depuis au moins 20 minutes Lorsque des fuites d essai devraient tre calibr es la port e ne devrait pas tre inf rieure 1x109 mbar l s sein afin de garantir que le signal de calibrage soit stable Les routines de calibrage La routine de cal
4. appuyer sur la touche n 1 Annuler La couleur des valeurs pouvant tre modifi es est invers e Les touches n 8 et lt n 4 permettent de s lectionner la position modifier Pour modifier le chiffre s lectionn appuyer sur la touche comportant la paire de chiffres souhait e Un sous menu qui permet de s lectionner la valeur souhait e s affiche alors Le sous menu se ferme automatiquement et la couleur du chiffre suivant est ensuite invers e Apr s avoir saisi le dernier chiffre toutes les corrections doivent tre confirm es en appuyant sur la touche OK n 8 Exemple X A Valeur du Seuil 1 u 010788 X Fig 4 5 Saisie num rique de la Valeur du seuil 1 Pour modifier le seuil Trigger de 1 0x10 mbar I s 3x10 9 mbar I s appuyer sur la touche 2 3 n 3 Fig 4 5 Un sous menu s affiche Fig 4 5 la touche 4 permet alors de s lectionner valeur 3 souhait e 42 Description et principe de fonctionnement MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 04 fm INFICON 4 3 Modes de fonctionnement 4 3 1 Mode de vide MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 04 fm Comme voqu plus haut v chapitre 4 2 1 Syst me de vide lair contenu dans l prouvette doit tre vacu afin que I h lium ventuellement pulv ris par l ext rieur puisse le cas ch ant p n trer dans l prouvette travers les fuites sous l effet de la diff rence de pression En cas d act
5. la fiche de secteur Installation 23 INFICON Il est interdit d exploiter le UL1000 UL1000 Fab dans de l eau stagnante II ne doit pas non plus tre expos aux claboussures Ceci s applique a tous les liquides Eviter tout contact avec les bases acides et solvants Ne pas non plus exposer l appareil aux conditions climatiques extr mes Le UL1000 UL1000 Fab est uniquement con u pour une utilisation en int rieur Garantir une refroidissement suffisant de l air Les orifices d admission et d chappement d air ne doivent jamais tre encombr s Le UL1000 UL1000 Fab peut tre fix sur sa position en bloquant les roues avant Ceci permet d viter que le d tecteur de fuites ne se d place sur les surfaces l g rement inclin es Il est recommand de s assurer de l absence de fuites importantes au niveau des sources importantes d h lium dans un rayon de 10 m autour du UL1000 UL1000 Fab La pointe du renifleur convient parfaitement cette t che 24 Installation MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 02 fm MANUEL TECHNIQUE INFICON 2 3 Raccordements lectriques 2 3 1 Raccordement au r seau Remarque Syst matiquement observer les dispositions locales en vigueur pour les raccordements lectriques Avant de raccorder le UL1000 UL1000 Fab l alimentation lectrique s assurer que la tension indiqu
6. 70 Description des menus 1108 iina70f 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm INFICON Pi ces en cours de test Le num ro de la premi re pi ce test e peut tre saisi Le num ro est automati quement incr ment jusqu au prochain cycle de test En mode DESACTIVE cette fonction est d sactiv e Num ro de Parties 800090 d sactiv Fig 6 16 Mesure de r f rence Messure du reference L unit doit tre comme suit Pour cette fonction Test automatique Etat ventil SUP retirez toutes les Pi ces en test Depuis la chambre de test Fermez 13 chambre de test Fig 6 17 Ce mode peut tre utilis pour nettoyer la chambre de test des fonds d h lium ou suite l chec d une s rie de tests La chambre est vid e par pompage 3 fois de suite puis a r e La mesure de r f rence pr voie une proc dure de calibrage avec une fuite d essai interne du UL1000 Apr s le nettoyage le fond d h lium actuel est mesur puis d duit des r sultats des mesures suivantes Description des menus 71 INFICON Les nouvelles valeurs du fond mesur sont automatiquement enregistr es Annul Measure du reference FINI Ancienne valeur AutoLT offset 4 76 I0 14A Nouvelle valeur AutoLT offset 6 12 10 144 Sauver nouvelles valeurs Fig 6 18 6 6 2 Z ro et r siduel Description des menus gt R glages gt Z ro et r s
7. Fig 5 2 Ecran mode tendance Fonctionnement du UL1000 et UL1000 Fab 49 INFICON 6 Description des menus Une pression sur la touche MENU Fig 6 1 permet d afficher le menu principal ind pendamment du mode de fonctionnement actuellement s lectionn Menu Principal Affichage R glages Fig 6 1 Le Menu principal Le menu principal Fig 6 1 permet l op rateur d acc der diff rents sous menus qui sont d crits dans les chapitres suivants 6 1 Menu principal Le menu principal se compose de 7 sous menus Ces sous menus contiennent les fonctions techniques du d tecteur de fuites Ils permettent d acc der aux autres niveaux de l arborescence du menu Conseil Le chemin d acc s ligne du menu d crite est indiqu sous le titre du chapitre dans tous les chapitres ci apr s Ce chemin est indiqu par un point Touche n D signation Description 1 Retour Retour l cran pr c dent 2 Aiffichane R glages de l affichage tels que zoom contraste g fond d cran v chapitre 6 2 S lection de diff rents modes de fonctionnement 3 Mode de fonctionnement tels que vide reniflage v chapitre 6 3 4 Gilet alann R glage de l unit de mesure des seuils Trigger et des alarmes v chapitre 6 4 Calibrage du UL1000 et UL1000 Fab 5 Calibrage v chapitre 6 5 F R glage des param tres internes de l appareil 6 R glages v chapitre 6 6 Infor
8. Les modifications sont imm diatement visibles En pr sence de conditions normales une valeur de contraste d env 50 est recommand e Conseil Si le r glage de l cran est par m garde trop clair ou trop fonc et que le texte n est plus lisible proc der de la mani re suivante Eteindre puis rallumer le UL1000 UL1000 Fab Durant la phase de mont e en r gime appuyer sur la touche n 3 ou 7 jusqu ce que le texte soit nouveau lisible sur l cran Ce r glage n est enregistr durablement dans lEPROM qu apr s l avoir confirm dans le menu du contraste En l absence de confirmation les anciens r glages sont conserv s Touche n fl che vers le bas 3 R duire le contraste plus sombre La valeur minimale est 0 Touche n Inverser l cran 4 Inverser le contraste de l cran Touche n 5 Texte d aide Touche n fl che vers le haut 7 Augmenter le contraste plus clair La valeur maximale est 99 Description des menus 55 INFICON 6 2 5 R siduel en Standby e Menu principal gt Affichage gt R siduel en Standby En mode Standby le taux de fuites interne du fond peut tre affich ACTIVE ou non DESACTIVE Le r glage en usine est DESACTIVE Touche n D SACTIV 3 Le taux de fuites du fond n est pas affich Touche n 5 Texte d aide Touche n ACTIVE 7 Le taux de fuites du fond est affich Le fond interne est produit par le gaz r sidu
9. Remplacer la t te Scroll 200000021R Pompe Scroll Varian Remplacer le Tip Seal 200001671 Remplacer la t te Scroll 200001665R Remplacer la r serve de lubrifiant Il et Ill 200000577 Remplacer les paliers Bloc de vannes Nettoyer vannes remplacer les joints des vannes 200000594 D monter et nettoyer le bloc de vannes 200000593 Remplacer la conduite de gaz de ringage 200000683 Ajuster le Pirani Silencieux UL1000 Fab Remplacer 20099183 Contr ler vider 1 I Hl Remplacer la cartouche filtrante 1 Il Hl 200000694 Sous groupes des ventilateurs Nettoyer par soufflage les ventilateurs sur la paroi au fond du chassis Remplacer la cellule du filtre de rechange pour le ventilateur de la paroi du chassis 200000685 Travaux de maintenance 101 INFICON 9 5 Groupes de maintenance Pour une meilleure vue d ensemble le plan de maintenance pour le UL1000 et UL1000 Fab peut tre divis en quatre groupes de maintenance e Maintenance apr s 1 500 heures e Maintenance apr s 4 000 heures au moins une fois par an e Maintenance apr s 8 000 heures e Maintenance apr s 16 000 heures 9 5 1 Maintenance apr s 1 500 heures La maintenance apr s 1 500 heures peut tre effectu e par l op rateur ou le personnel de maintenance du client La cartouche fi
10. Saisir la valeur limite Saisie num rique de la valeur de coupure Touche n 5 Texte d aide Touche n 7 activ e Touche n 8 OK 82 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm INFICON Limites de pression pour le mode de vide e Menu principal gt R glages gt R glages param tres vide gt Fonctions de surveillance gt Limites de pression pour le mode de vide Cette fonction permet de modifier les points de commutation d finis en usine pour les modes de fonctionnement GROSS FINE ULTRA Ceci peut s av rer n cessaire lorsque le UL1000 UL1000 Fab pompe d autres gaz que l air Le signal de pression de l affichage de la pression d admission qui d pend du type de gaz Pirani peut ensuite fournir d autres valeurs de commutation a la commande des processus du UL1000 UL1000 Fab La modification des points de commutation pr d finis permet de modifier cet tat Touches n 2 6 seuil de commutation EVAC GROSS 15 3 mbar valeur par d faut 15 mbar Touches n 3 7 seuil de commutation GROSS FINE 2 0 5 mbar valeur par d faut 2 mbar En cas de modification de ces valeurs le seuil de commutation est automati quement adapt de 0 4 0 1 mbar pour FINE ULTRA Touche n 4 r glages pour l ARGON Une nouvelle pression sur la touche permet de d finir les valeurs par d faut pour lair Touche n 5 Texte d aide Limites de pression
11. prouvette Si les conditions de pression ne sont pas atteintes dans les temps a d finir ici p1 lt 100 mbar le processus de pompage est interrompu et un avertis sement s affiche sur l cran W76 Les temps que vous devez s lectionner d pendent d une part du temps de r action souhait pour l avertissement de fuite grosse et d autre part du volume de prou vette disponible ainsi que de la capacit d aspiration effective Si vous s lectionnez une dur e infinie il faut contr ler plus souvent le niveau d huile de la pompe tiroirs rotatifs Touche n 2 J R duction du temps d vacuation jusqu ce que p1 lt 100 mbar valeur minimale 1 s La pression d admission au niveau de la bride d entr e doit tre inf rieure a 100 mbar avant que la dur e ici d finie ne soit coul e La dur e peut tre librement d finie entre 1 seconde et 9 minutes Une valeur infinie peut galement tre s lec tionn e Touche n 3 J R duction du temps jusqu la disponibilit la mesure valeur minimale 5 s La disponibilit la mesure doit tre atteinte avant que cette dur e ne soit coul e Cela signifie que la pression d admission doit tre lt 15 mbar conform ment aux limites de pression d finies dans le chapitre 6 6 7 1 La dur e peut tre librement d finie entre 5 seconde et 30 minutes Une valeur infinie peut galement tre s lec tionn e Touche n 5 Aide Touchen 6 T Augmenta
12. viter toute permutation des contre fiches Pour le raccordement des contre fiches par ex jeu de connecteurs 20099024 retirer les ergots de guidage afin que les fiches s ins rent correctement dans les r glettes douilles Conseil Les raccords pr vus pour les appareils externes sont s par s du r seau et se situent dans la plage s curis e de basse tension Accessoires Accessories La conduite de reniflage SL200 ou la chambre de test TC1000 peuvent tre branch s sur ce raccord Fig 2 6 1 Les contacts 1 et 3 sont s curis s laide d un fusible 0 8 A action retard e La puissance disponible ici est limit e 10 W Les contacts sont num rot s de haut en bas Contact Signal 4 24 V tension continue alimentation lectrique pour la conduite de reniflage INFICON SL200 2 GND24 potentiel de r f rence pour la tension 24 V 8 6 Entr e 4 5 7 8 Sortie Installation 27 INFICON 2 3 2 2 Sortie num rique Digital Out Les sorties suivantes du relais sont disponibles pour le traitement ult rieur des signaux La capacit maximale des contacts du relais s l ve env 25 V CA 1 A Contact Signal Contact Signal 1 24V reli au contact 1 de la prise 9 CAL Request IN entr e num rique 10 ERROR 2 GND_24V potentiel de r f rence 11 Avertissement pour la tension 24 V 12 Purge 3 Trigger 1 13 Measure 4 Trigger 2 14 Recorder Strobe 5 Libre 15 Potentiel de r
13. 1108 iina70f 09 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 09 fm INFICON Fig 9 4 Position de montage du filtre d chappement N Description N Description 1 Bague de serrage KF 16 4 Rep re maximal du niveau d huile 2 Cartouche filtrante 5 Regard du niveau d huile 3 R serve de lubrifiant 6 Rep re maximal du niveau d huile Pour remplacer la cartouche filtrante proc dez de la mani re suivante e Desserrez la bague de serrage du filtre d chappement Fig 9 4 1 puis basculez le filtre complet vers l ext rieur dans le sens de la fl che jusqu ce que vous puissiez retirer la r serve de lubrifiant __ D visser la r serve de lubrifiant en le tournant dans le sens horaire puis le vider Eliminer l huile conform ment aux consignes locales en vigueur Nettoyer la r serve de lubrifiant l aide d un chiffon propre e Desserrer la vis de fixation du filtre Fig 9 5 3 la main retirer la cartouche filtrante puis l liminer conform ment aux prescriptions l gales Travaux de maintenance 111 INFICON 1 2 6 e 4 3 ae 5 Fig 9 5 Cartouche filtrante du filtre d chappement N Description N Description 1 Capot du filtre 4 R serve de lubrifiant 2 Cartouche filtrante 5 Vis de vidange 3 Support du filtre e Glisser la cartouche filtrante neuve sur le support puis le visser sur le capot du filtre Serrer le support a la main avec
14. INFICON Ltd T l 82 312 062 890 Isra l urimark mark tec co il Sungnam Fax 82 312 063 058 Mark Technologies Ltd T l 972 35 34 68 22 INFICON Ltd T l 82 312 062 890 Kiriat Ono Fax 972 35 34 25 89 Suwon City Fax 82 312 063 058 INFICON Ltd T l 82 312 062 890 Cheonan City Fax 82 312 063 058 G n ralit s 11 INFICON Italie reach italy inficon com Russie blanche leakdetection service inficon com INFICON GmbH T l 39 045 6 40 25 56 INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 Castelnuovo Fax 39 045 6 40 24 21 Cologne Fax 49 221 56788 9112 Japon reach japan inficon com Singapour reach singapore inficon com INFICON Co Ltd T l 81 45 471 3396 INFICON PTE LTD T l 65890 6250 Yokohama Fax 81 45 471 3387 Singapour Fax 65890 6266 Lettonie leakdetection service inficon com Slovaquie filip lisec inficon com INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 INFICON GmbH T l 420 734 331 758 Cologne Fax 49 221 56788 9112 Pilsen Fax 420 604 208 037 Lituanie leakdetection service inficon com Slov nie medivak siol net INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 Medivac T l 386 15 63 91 50 Cologne Fax 49 221 56788 9112 Ljubljana Fax 386 17 22 04 51 Mexique infogro meisa com Su de jhj agramkow dk MEISA S a de C V T l 52 442 225 42 80 Agramkow T l 45 741 236 36 Quer taro Fax 52 442 225 41 57 Sonderborg Fax 45 744 336 46 Norv ge
15. La surface blanche ou comportant la mention clean air side de la cartouche filtrante doit tre tourn e vers les ventilateurs e Ins rer la cartouche filtrante dans le guidage puis remettre en place les capots Pour refermer l appareil mettre en place puis enfoncer les capots 108 Travaux de maintenance MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 09 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 09 fm INFICON 9 8 Remplacement du silencieux de l chappement Mat riel requis Silencieux de rechange P N 200 99 183 teindre le d tecteur de fuites UL1000 Fab D visser le silencieux de l adaptateur de raccordement et remplacer puis fixer le nouveau silencieux ce propos voir Fig 9 3 1 3 ES 4 lt r 5 6 Fig 9 3 Remplacement du silencieux N D signation N D signation 1 Silencieux 4 R ducteur 2 Adaptateur pour le silencieux 5 Bague de centrage DN 25 3 Joint torique 20 x 3 6 Clip de serrage Travaux de maintenance 109 INFICON 9 9 Contr le vidage du filtre d chappement Outillage requis Cl mixte de 17 mm Le filtre d chappement filtre le brouillard d huile produit durant le pompage par l extraction de l air aspir Pour des raisons de s curit le filtre d chappement est muni d une vanne qui s ouvre en cas de blocage du filtre et vacue l air aspir direc tement vers l ext rieur Ceci permet d viter d endommager la pompe pr vide en
16. Sortie enregistreur Volume sonore Unit de taux de fuites Mode de fonctionnement Niveau 1 trigger Niveau 2 trigger Taux de fuites fuite d essai externe vide Taux de fuites fuite d essai externe renifleur Temporisation de l a ration Rin age automatique Unit de pression Volume sonore minimal Bip Temps maximal d vacuation d air Type d alarme audio Pression d admission maximale lors du reniflage Pression d admission minimale lors du reniflage Nombre de chiffres apr s la virgule pour l affichage du taux de fuites D filement sur l cran Protection contre les particules Acc s direct la routine de calibrage Protection anti contamination Seuil de coupure anti contamination Type de commande Temporisation de l alarme Filtre taux de fuites Z ro 32 Installation Activ e logarithmique 4 d cades 32 secondes ARR T Arr t Arr t 4 h lium Taux de fuites 2 mbar l s Vide 1E 9 mbar l s 1E 8 mbar l s 1E 7 mbar l s 1E 5 mbar l s 2 secondes ACTIVE mbar 0 ACTIVE 30 minutes Alarme Trigger 1 mbar 0 1 mbar r Activ D sactiv e ACTIV D sactiv e 1E 3 mbar l s Local 30 secondes lCal Valid MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 02 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 03 fm 3 1 3 2 3 2 1 INFICON Contr les avant la mise en service Ce chapitre d crit les diff rentes tapes de la p
17. Sortie num rique Digital Out Entr e num rique Digital In Enregistreur Recorder RS232 T l commande RC1000 metteur radio Raccords de vide Admission chappement Raccord d a ration 31 Raccordement gaz de rin age UL1000 Fab lest UL1000 31 tat la livraison Contr les avant la mise en service Pi ces requises Premi re mise en service 32 33 33 33 Table des mati res INFICON 3 2 1 Mont e en r gime et mesure 3 2 2 Calibrage interne 3 2 3 V rification 4 Description et principe de fonctionnement 4 1 Introduction 4 2 Structure des d tecteurs UL1000 et UL1000 Fab 4 2 1 Syst me de vide 4 2 2 Unit de commande 4 2 2 1 cran LCD 4 2 2 2 Touche START 4 2 2 3 Touche STOP 4 2 2 4 Touche ZERO 4 2 2 5 Touche MENU MENU 4 2 2 6 Touches 4 2 2 7 Saisies num riques 4 3 Modes de fonctionnement 4 3 1 Mode de vide 4 3 2 Mode renifleur 4 3 3 Mode Auto Leak Test 5 Fonctionnement du UL1000 et UL1000 Fab 5 1 cran 5 2 Ecrans de mont e en r gime 5 3 Ecrans en mode Standby 5 3 1 Op ration de rin age 5 4 L cran en mode de mesure 5 4 1 Activation de la fonction de calibrage 5 4 2 Volume sonore pour le signal acoustique 5 4 3 Ligne d tat de l cran 5 4 4 Mode d affichage num rique 5 4 5 Mode tendance 6 Description des menus 6 1 Menu principal 6 1 1 Vue d ensemble de l arborescence du menu 6 2 Affichage 6 2 1 chelle lin aire logarithmique 6 2 2
18. T l 1408361 1200 INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 San Jose CA Fax 1408362 1556 Cologne Fax 49 221 56788 9112 Inficon Inc T l 1512448 0488 Austin TX Fax 1512448 0398 Br sil fernandoz prestvacuo com br Finlande jhj agramkow dk PV Pest Vacuo Ltda T l 55 114 154 4888 Agramkow T l 45 741 236 36 Santa de Parnaiba Fax 55 114 154 4888 Sonderborg Fax 45 744 336 46 Bulgarie leakdetection service inficon com France Marc Rabarot inficon com INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 INFICON Sarl France T l 33 160137695 Cologne Fax 49 221 56788 9112 T l 33 4 76 72 52 15 Canada reachus vpcinc ca Grande Bretagne et Irlande reach unitedkingdom inficon com Vacuum Products Canada Fax 1 905 672 7704 INFICON Ltd T l 44 1254 678 250 Ltd Fax 1 905 672 2249 Blackburn Fax 44 1254 698 577 Chine reach china inficon com Hongrie adam lovic kon trade hu INFICON LTD T l 852 2862 8863 Kon trade KFT T l 36 23 50 38 80 Hong Kong Fax 852 2865 6883 Buda rs Fax 36 23 50 38 96 INFICON LTD T l 86 10 6590 0164 Inde asdash hotmail com P kin Fax 86 10 6590 0521 Dashpute T l 91 22 888 0324 INFICON LTD T l 86 20 8723 6889 Bombay Fax 91 22 888 0324 Guangzhou Fax 86 20 8723 6003 INFICON LTD T l 86 21 6209 3094 Irlande reach unitedkingdom inficon com Shanghai Fax 86 21 6295 2852 INFICON Ltd T l 44 1254 678 250 Cor e reach korea inficon com Blackburn Fax 44 1254 698 577
19. cas d obstruction d une conduite d chappement En cas de blocage du filtre d chappement les vapeurs d huile toxiques sont directement d vers es dans l environnement L tat du filtre d chappement doit donc r guli rement tre contr l La r serve de lubrifiant doit tre vid e lorsque le niveau d huile dans la r serve de lubrifiant se situe env 1 3 du niveau de remplissage maximal Pour vider la r serve d huile proc dez de la mani re suivante e teindre l appareil puis d monter les capots lat raux A ce sujet voir v chapitre 9 6 1 Avant de d monter les capots du d tecteur UL1000 imp rativement d brancher le d tecteur de fuites du r seau lectrique e Desserrer la vis six pans au dessous de la r serve puis vidanger l huile dans un r cipient appropri ce propos voir Fig 9 5 5 Eliminer l huile conform ment aux consignes locales en vigueur e Remettre en place puis serrer la vis six pans e Contr ler le niveau d huile de la pompe tiroirs rotatifs D16 B Le cas ch ant effectuer un appoint d huile 9 9 1 Remplacement de la cartouche filtrante Outillage requis Outil d ouverture de la paroi lat rale accessoire Mat riel requis Cartouche filtrante de rechange P N 200 000 694 10 pi ces La position de montage du filtre d chappement est indiqu e sur la Fig 9 4 ci apr s 110 Travaux de maintenance MANUEL TECHNIQUE
20. lt 0 27 V cathode d fectueuse basse Remplacer le capteur Thermovac qui mesure P E58 Pression de pr vide p2 trop U lt 0 27 V cathode d fectueuse basse Remplacer le capteur Thermovac qui mesure Po E60 p2 gt 10 mbar5 minutes apr s p2 gt 3 8 mbar t gt 5 minutes apr s la mise en marche La dur e de la la mise en marche mont e en r gime de la pompe pr vide est trop longue e Pompe pr vide d fectueuse e La vanne V2 ne s ouvre pas E61 mission d fectueuse L mission devrait tre activ e Le sous groupe MSV signale une erreur Courant d mission MENB en dehors de la plage admissible 96 Messages d erreur et avertissements MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 08 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 08 fm INFICON N Message affich Description et rem de possible W62 Flux insuffisant travers le La pression d admission de la conduite de reniflage est r gul e en mode capillaire de reniflage Lorsque la pression chute au dessous d une valeur minimale le flux travers le capillaire est insuffisant encrassement ou le capillaire est obstru corps tranger particules La valeur minimale se r gle dans le menu Le r glage en usine est de 0 1 mbar v chapitre 6 6 1 3 W63 Capillaire bris La pression d admission de la conduite de reniflage est surveill e en mode de reniflage Lorsque la pression d passe une valeur maximale d fini
21. pr vide D16 B sont fournis titre indicatif et peuvent varier selon l utilisation du d tecteur de fuites La pompe a t pr vue pour une utilisation dans le d tecteur de fuites UL1000 avec de l huile Arctic et doit donc uniquement tre remplie d huile Arctic N cat 20028181 En cas d utilisation d un autre type d huile la soci t INFICON GmbH Cologne se verra dans l obligation de rejeter toute demande de garantie concernant la pompe a pr vide 100 Travaux de maintenance MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 09 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 09 fm 9 4 Sous groupe Systeme de vide e Niveau de service Client e Niveau de service II Client avec formation technique e Niveau de service III Technicien SAV autoris par INFICON service ou la p riode d finis e X Xi X d finie 4 2 Plan de maintenance Travaux de maintenance UL1000 UL1000 Fab D pend de l environnement et de l utilisation D pend du proc d Heures de service ann es Niveau de service INFICON Effectuer la maintenance apr s le nombre d heures de Aucune limitation p riodique uniquement heures de service Effectuer les travaux de maintenance au bout de la p riode N pi ce de rechange Pompe pr vide D16 B Contr ler le niveau d huile remplacer le cas ch ant Vidanger l huile 20028181 R parer la pompe pr vide Pompe Scroll IWATA ISP 500
22. yttrium DN 25 KF lt 3 min Remarque Avant d atteindre la plage qui correspond au taux minimal de fuites d tectable plusieurs conditions pr alables doivent tre remplies e Le UL1000 et le UL1000 Fab doivent avoir atteint la temp rature de service e Les conditions ambiantes doivent tre stables temp rature sans vibrations ni chocs e Lair doit avoir t vacu de l prouvette pendant une dur e suffisante de sorte que le fond ne diminue pas davantage e La suppression du fond d h lium ZERO doit tre active 1 3 2 2 Caract ristiques lectriques Cat n 550 000A 550 100A 230 V 50 Hz Cat n 550 001A 550 101A 115 V 60 Hz Cat n 550 002A 100 V 50 60 Hz Puissance absorb e 1100 VA Protection IP20 C ble d alimentation UE USA RU 3m G n ralit s 15 INFICON 1 3 2 3 Autres caract ristiques techniques Vannes lectromagn tiques Dimensions L x x h y compris poign e mm 1068 x 525 x 850 Dimensions L x x h y compris poign e pouces 42 x 21 x 33 Poids en kg 110 Niveau sonore en dB A lt 70 Niveau de pression acoustique distance de 50 cm en lt 56 dB A Alarme audio dB A 90 Degr de contamination selon CEI 60664 1 2 Cat gorie de surtension selon CEI 60664 1 Il 1 3 2 4 Conditions ambiantes Convient uniquement pour une utilisation en int rieur Temp rature ambiante admissible en service 10 40 C Temp rature de stockage admissib
23. 31 62 16 49 15 33 64 89 89 15 37 45 55 78 38 16 13 31 30 27 29 32 68 68 78 43 56 Fuite d essai Gaz de rin age lest GROSS Haut parleur Humidit CAL Informations Installation Langue Leak Ware Masses d tectables MENU Mise en service Mode renifleur e vide Mode de vide Mode renifleur Mode tendance Mont e en r gime Niveau de pression acoustique Niveau sonore acoustique Plages de mesure Poids Pompe a pr vide Pompe turbomol culaire 118 Index INFICON 88 27 43 48 16 79 85 21 78 18 75 15 39 33 15 15 15 15 45 49 15 46 16 16 15 16 9 96 37 MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f SIX fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f SIX fm Pression Pression d admission Protection 38 15 15 Protection contre la contamination 82 Puissance absorb e Purge Gas Ballast QT 100 Raccordements lectriques RS232 Setpoint Sortie de relais Sortie num rique Sortie num rique OUT Source d ions Spectrom tre de masse Symboles de s curit Taux de fuites 15 31 45 25 27 30 63 60 28 27 15 37 15 37 Taux de fuites d h lium T l commande T l commande Hand Set Temp rature ambiante Temp rature de stockage Touche START Touche STOP Touche ZERO Transport Trigger Trigger alarm Turbopompe ULTRA uniquement FINE UNIQUEMENT ULTRA Unit de commande Unit
24. 6 3 Mode de fonctionnement le d tecteur de fuites reste toujours en mode FINE Fig 4 7 gauche ind pendamment de la pression d admission La vanne V1a est alors ferm e 44 Description et principe de fonctionnement MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 04 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 04 fm INFICON 4 3 2 Mode renifleur Pour le mode renifleur une conduite de reniflage de pr f rence la conduite de reniflage standard 14005 de INFICON doit tre raccord e a la bride d entr e D s que la Touche START est actionn e le syst me commence pomper de l air travers la conduite de reniflage En raison du flux de gaz constant qui afflue dans la conduite de reniflage le logiciel de l appareil bascule directement en mode FINE qui est ensuite conserv La pression d admission arr te alors de chuter En mesurant la pression d admission le logiciel de l appareil contr le si le d bit de gaz est correct Le cas contraire des avertissements s affichent En mode renifleur la limite de d tection s l ve lt 1x10 mbar I s Le syst me de reniflage QT100 de INFICON peut galement tre employ dans les applications de reniflage Comme le QT100 g n re une pression d admission inf rieure il est recommand d exploiter le d tecteur de fuites en mode de vide Le cas contraire de faux messages d alarme se r f rant des pressions trop basses seraient g n r s Le facteur machine 6 6 1
25. Protocole RS232 v chapitre 6 6 4 2 Touche n 7 Sortie enregistreur v chapitre 6 6 4 3 Touche n 8 chelle enregistreur v chapitre 6 6 4 4 Position de contr le e Menu principal gt R glages gt Interfaces gt Position de contr le Touchen 2 PLC Le UL1000 UL1000 Fab est command par l interm diaire de l entr e num rique v chapitre 2 3 2 3 Les boutons START STOP et ZERO sont d sactiv s sur l appareil Touche n 3 RS232 Le UL1000 UL1000 Fab est command via l interface RS232 partir d un ordi nateur externe Ce mode de fonctionnement ne permet pas de commander le UL1000 UL1000 Fab partir du clavier Touchen 4 Tous Le UL1000 et le UL1000 Fab peuvent tre command s par le biais de l entr e num rique de l interface RS232 et du clavier Touchen 5 Local et PLC Le UL1000 UL1000 Fab se commande aussi bien l aide des touches START STOP et ZERO sur l appareil que par l interm diaire des entr es num riques Touchen 6 Local et RS232 Le UL1000 UL1000 Fab se commande aussi bien l aide des touches START STOP et ZERO sur l appareil que par l interm diaire de l interface RS232 Touchen 7 Local Le UL1000 UL1000 Fab se commande l aide des touches START STOP et ZERO 74 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm INFICON 6 6 4 2 Protocole RS232 e Menu principal gt R glage
26. Touche n fl che vers le bas nombre de d cades re Une pression sur cette touche r duit le nombre de d cades affich es Le nombre minimal s l ve cependant a 2 d cades La touche og n 6 doit toutefois tre s lectionn e auparavant Touche n logarithmique 6 Une chelle logarithmique est employ e Touche n fl che vers le haut nombre de d cades 7 Une pression sur cette touche augmente le nombre de d cades affich es Le nombre maximal s l ve cependant 9 d cades La touche og n 6 doit toutefois tre s lectionn e auparavant Description des menus 53 INFICON 6 2 2 Affichage gain auto manuel e Menu principal gt Affichage gt Affichage gain auto manuel La limite sup rieure pour le taux de fuites affich peut tre r gl e manuellement ou automatiquement Ces r glages sont valables pour la barre indicatrice barre sous les chiffres en mode de mesure et pour l axe des Y en mode tendance La limite inf rieure est automatiquement d finie sur la base du nombre de d cades d fini et par la limite sup rieure ici d finie v chapitre 6 2 1 Echelle lin aire logarithmique Touche n manuel 2 La limite sup rieure de la plage d affichage peut tre d finie manuellement Touche n fl che vers le bas J Lorsque Manuel est s lectionn il est possible de r duire la limite d affichage sup rieure La valeur minimale s l ve 10 mbar I s Touche n automa
27. bas D finir la d cade de la valeur sup rieure Touche n 3 fl che vers le bas chelle de la plage pr c demment d finie par incr ment de 0 5 1 2 2 5 5 10 volts d cade la plage compl te englobe ici 10 V Uniquement pour LRIog Touche n 6 fl che vers le haut D finir la d cade de la valeur sup rieure Touche n 7 fl che vers le bas chelle de la plage pr c demment d finie par incr ment de 0 5 1 2 2 5 5 10 volts d cade la plage compl te englobe ici 10 V Uniquement pour LRIog Exemple Valeur limite sup rieure r gl e 10 10 V chelle r gl e 5 V d cade Valeur limite inf rieure correspond ainsi 10 0 V Description des menus 77 INFICON 6 6 5 Divers 6 6 5 1 Heure et date 6 6 5 2 Langue e Menu principal gt R glages gt Divers Ce sous menu permet de d finir la date actuelle et l heure actuelle la langue et la fr quence du r seau Touche n 2 Heure et date v chapitre 6 6 5 1 Touche n 3 Langue v chapitre 6 6 5 2 Touche n 4 Filtre de fuite v chapitre 6 6 5 3 Touche n 6 Menu principal gt R glages gt Divers gt Num ro de pi ces v chapitre Touche n 7 Intervalle de service filtre d chappement Touche n 8 message de service filtre d chappement e Menu principal gt R glages gt Divers gt Heure et date Les deux pages suivantes permettent de modifier les r glages pour la date et l heure Pour u
28. cr tes parasites qui ne sont pas en relation avec les signaux de taux de fuites et fournit des temps de r ponse exceptionnellement courts m me avec les signaux de taux de fuites faibles L algorithme utilis offre une sensibilit et un temps de r ponse excellents l utili sation de ce r glage est express ment recommand e 6 6 5 4 Num ro de pi ces e Menu principal gt R glages gt Divers gt Num ro de pi ces Saisir le num ro de la pi ce actuelle contr ler 6 6 5 5 Fr quence tension secteur e Menu principal gt R glages gt Divers gt Fr quence tension secteur Le r glage de la fr quence du r seau der tient compte de la capacit d aspiration en fonction de la fr quence du r seau de la pompe Scroll La fr quence de l alimentation lectrique employ e peut tre saisie ici Le r glage en usine est 50 Hz pour 230 V et 60 Hz pour 115 V Touche n 3 50 Hz Le UL1000 UL1000 Fab doit tre exploit sur un r seau 50 Hz Touche n 6 60 Hz Le UL1000 UL1000 Fab doit tre exploit sur un r seau 60 Hz Description des menus 79 INFICON 6 6 5 6 Intervalle de service filtre d chappement L intervalle de service du filtre d chappement peut tre saisi ici Touche n vers le bas 3 R duction de l intervalle de service par incr ments de 500 h heures Touche n 5 Texte d aide Touche vers le haut n 7 Augmentation de l intervalle de service par incr ment
29. d faut Il s agit du r glage standard le d roulement est conforme au chapitre v chapitre 4 3 1 6 6 1 4 Fuite talon interne e Menu principal gt R glages gt R glages param tres vide gt Fuite talon interne La valeur de la fuite d essai interne peut tre saisie ici Pour une description de cette saisie v chapitre 4 2 2 7 Saisies num riques Normalement il n est pas n cessaire de modifier les r glages pour le taux de fuites de la fuite d essai interne moins que celle ci mait t remplac e Un r glage incorrect du taux de fuites de la fuite d essai interne provoque de fausses mesures de taux de fuites 6 6 1 5 Facteur machine e Menu principal gt R glages gt R glages param tres vide gt Facteur machine Le facteur machine tient compte du fait qu un syst me de pompage externe est utilis en parall le En tel cas tous les taux de fuite mesur s partir d une calibration interne seraient trop faibles Les taux de fuite mesur s sont multipli s par le facteur machine et les r sultats sont affich s Ce facteur est uniquement utilis au mode de vide et non pas en mode renifleur Pour une description de la saisie v chapitre 4 2 2 7 Saisies num riques Le facteur machine peut tre valu en tenant compte de la capacit d aspiration He du UL1000 UL1000 Fab et de la pompe externe La mesure du taux de fuite d une fuite d essai ext rieure sur l prouvette est plus p
30. de fonctionnement le UL1000 UL1000 Fab reste dans la plage ULTRA en cas de sous d passement de 0 4 mbar sur la bride d entr e voir v chapitre 4 3 1 En cas d affichage gt 0 4 mbar de la pression sur la bride d entr e le UL1000 UL1000 Fab bascule directement en mode de fonctionnement vacu ation Touche n 3 UNIQUEMENT FINE Avec ce mode de fonctionnement le UL1000 UL1000 Fab reste dans la plage FINE en cas de sous d passement de 2 mbar sur la bride d entr e La vanne Via est ferm e En cas d augmentation gt 1 mbar de la pression sur la bride d entr e le UL 1000 UL1000 Fab bascule directement en mode de fonctionnement Evacuation La limite d affichage inf rieure de FINE ONLY s l ve 1 x 1071 mbar I s L avantage qu offre FINE ONLY est qu aucune vanne n est commut e pendant le mode de mesure avec ce r glage Description des menus 67 INFICON Touche n 4 SOFTPUMP Avec ce mode la vanne Via du UL1000 et du UL1000 Fab reste ferm e pendant que le d tecteur pompe en mode GROSS ou FINE Ceci permet de r duire la vitesse de la pompe d environ le facteur 2 Touche n 5 Texte d aide Touche n 6 HIGHPUMP uniquement UL1000 Avec ce mode la vanne Via du UL1000 reste ferm e afin d augmenter la vitesse de la pompe au niveau de l admission Ceci permet de r duire la dur e du pompage lorsque des composants de grande taille doivent tre contr l s Touche n 7 toutes les plages r glage par
31. disponibles ppm g a eq taux de fuites d h lium quivalent R134a oz gr eq taux de fuites d h lium quivalent R134a Description des menus 61 INFICON Touche n 2 fl che vers le haut Faire d filer les lignes de s lection vers le haut pour s lectionner une unit de pression Touche n 3 fl che vers le bas Faire d filer les lignes de s lection vers le bas pour s lectionner une unit de pression Touche n 6 fl che vers le haut Faire d filer les lignes de s lection vers le haut pour s lectionner une unit de taux de fuites Touche n 7 fl che vers le bas Faire d filer les lignes de s lection vers le bas pour s lectionner une unit de taux de fuites 6 4 5 Recherche t l commande Le d tecteur de fuites peut tre command l aide de la t l commande sans fil RC 1000 Lorsque la t l commande n est pas connect e la fonction Recherche t l com mande permet d activer une tonalit sur la t l commande afin de pouvoir la localiser 6 4 6 Retard alarme e Menu principal gt Seuil et alarme gt Retard alarme Dans certaines applications par exemple pendant l vacuation par pompage dans un Syst me de chambres de contr le il peut s av rer n cessaire de retarder une alarme pendant un certain temps apr s l actionnement du bouton START Le retard d alarme peut tre modifi ici Touche n 3 fl che vers le bas R duire le retard d alarme La valeur m
32. du bo tier indiquent l emplacement de ces vis i Installation 2 INFICON Fig 2 1 Les vis fix es sur le bas du chassis s curisent l appareil durant le transport Les vis doivent tre retir es avant la mise en service du UL1000 Fab Pour ce faire d abord desserrer les contre crous v mot cl Fig 2 2 22 Installation MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 02 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 02 fm INFICON Ensuite desserrer les vis d environ 10 mm puis resserrer les contre crous Ex in ia fy R NIA o Fig 2 3 Durant le transport resserrer les vis fond et les fixer l aide des contre crous 2 2 Site d implantation Positionner le UL1000 UL1000 Fab a l emplacement souhait puis bloquer les roulettes Remarque Un film de protection est coll sur les roulettes du d tecteur de fuites Les surfaces de roulement sous le film restent propres durant le transport Le film de protection doit tre retir sur le site d implantation Prudence gaz d chappement et vapeurs Les gaz d chappement et les vapeurs des pompes tanch ifi es l huile sont dangereux pour la sant Si l appareil est employ dans des locaux mal a r s un conduit d chappement doit tre raccord sur le raccord des gaz d chappement 5 selon l application et les gaz employ s Installez l appareil de mani re toujours pouvoir acc der
33. du d tecteur de fuites Il est conseill de demander la soci t INFICON GmbH de renouveler ce certificat tous les ans Pour ce faire toutes les fonctions de la fuite interne standard d h lium doivent tre contr l es et un nouveau certificat doit tre d livr pour une ann e suppl mentaire recommand tous les 3 ans sans restriction de dur e v chapitre 9 5 5 Contr le et quilibrage Travaux a effectuer Mat riel requis N de commande Remplacer la r serve de lubrifiant de la pompe e R serve de lubrifiant pour TMHO71 200000577 turbomol culaire TMH 071 Remplacer l huile de la pompe pr vide D16 e Huile Arctic 11 20028181 uniquement UL1000 Contr ler remplacer le filtre e Cartouche filtrante de rechange pour le 200000685 ventilateur 200000683 Filtre de rechange pour la conduite 20099183 d a ration et de rin age e Silencieux pour l chappement uniquement UL1000 Fab 200000694 e Cartouche filtrante pour le filtre huile 10 pi ces uniquement UL1000 Remplacement des paliers de la TMH 071 Remplacement de la turoopompe TMH 071 200000569R La dur e des travaux de maintenance s l ve a environ 2 5 heures et peut varier selon que la r serve de lubrifiant de la TMH 071 soit ou non remplac e Travaux de maintenance 103 INFICON 9 5 3 Maintenance apr s 8 000 heures La maintenance apr s 8 000 heures doit tre confi e a un technicien SAV INFICON ou un
34. e sur le UL1000 UL1000 Fab corresponde la tension d alimentation locale disponible L appareil est uniquement homologu pour le raccordement aux r seaux monophas s avec dispositifs de protection coupe circuit automatique max 16 A conform ment la norme CEI EN 60898 avec caract ristique B Les sp cifications de l alimentation lectrique pour le UL1000 UL1000 Fab sont indiqu es sur la plaque signal tique sous la prise secteur Fig 2 6 7 au dos de l appareil La tension est prescrite et ne peut pas tre modifi e Un fusible distinct est int gr dans l interrupteur marche arr t pour chaque brin du c ble d alimentation L appareil se raccorde l alimentation lectrique au moyen d un c ble d alimentation enfichable fourni avec l appareil Une prise secteur Fig 2 6 7 est pr vue cet effet au dos de l appareil Prudence alimentation lectrique En cas de dysfonctionnement les produits avec une mise la terre incorrecte ou sans protection peuvent comporter un danger de mort Seuls les c bles d alimentation 3 brins avec conducteur de protection raccord doivent tre employ s Il est interdit d exploiter le UL1000 UL1000 Fab sans conducteur de protection raccord Afin d viter que le c ble d alimentation ne soit d branch accidentellement il peut tre fix l aide de la protection fournie cet effet 1108 iina7Of 02 fm Installation 25 INFICON
35. en cas de variation du taux de fuites 6 5 Calibrage e Menu principal gt Calibrage La fuite d essai interne peut tre employ e pour le calibrage touche interne Il est sinon galement possible de raccorder une fuite d essai externe touche externe Pour une description d taill e du calibrage v chapitre 7 Calibrage SUP s lectionner le Type de calibrage d sir Fig 6 11 Le menu Calibrage 64 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm 6 6 R glages e Menu principal gt R glages INFICON Ce menu Fig 6 12 permet d afficher et de modifier les r glages de l appareil R glages param tres VIDE Zero amp R siduel Masse R glages Interfaces Divers Sauvedarde chargement param tres Fonctions de surveillance Fig 6 12 Le menu R glages oe D signation Description 1 Retour Retour au menu principal F 5 R glages sp cifiques au syst me de vide v 2 R glages param tres vide chapitre 6 6 1 3 Jira et t duel R glages sp cifiques au z ro et au fond v chapitre 6 6 2 4 kasse Commutation entre h lium et hydrog ne v chapitre 6 6 3 Il est ici possible de d finir les affectations des 5 intartaces sorties de l enregistreur sorties analogiques et de s lectionner le type de commande RS232 local PLC v chapitre 6 6 4 6 Divers Les r
36. f rence pour les 6 ZERO active signaux de sortie num riques 7 Ready 16 Libre 8 CAL active Description du principe de fonctionnement des sorties num riques Trigger 1 Est ouverte en cas de d passement du niveau Trigger 1 ou que l appareil ne se trouve pas l tat de mesure Trigger 2 Est ouverte en cas de d passement du niveau Trigger 2 ou que l appareil ne se trouve pas l tat de mesure Zero active Est ferm e lorsque la fonction Z ro est activ e Ready Est ferm e lorsque l appareil est pr t la mesure mission active aucune erreur CAL active Est ferm e lorsqu une routine de calibrage est en cours sur l appareil CAL Request Est ouverte lorsqu une requ te de calibrage est en cours Cas particulier pendant un calibrage externe une sortie CAL Request ouverte indique que la fuite d essai externe doit tre ferm e Durant le calibrage externe une sortie ouverte indique que la fuite d essai externe calibr e doit tre ferm e Error Est ouverte lorsqu une erreur est affich e Warning Est ouverte lorsqu un avertissement est affich Purge Est ferm e lorsque le rin age est actif Measure Est ferm e lorsque l appareil se trouve en tat de mesure Recorder Strobe Est ferm e lorsque la sortie Recorder est invalide Est uniquement employ e lorsque la sortie Recorder est d finie sur Taux de fuite 28 Installation MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 02 fm M
37. glages rarement requis peut tre effectu s ici date langue v chapitre 6 6 5 7 Sauvegarde et chargement v chapitre 6 6 6 param tres Les fonctions de protection du UL1000 UL1000 8 Fonctions de surveillance Fab peuvent tre s lectionn es ici Voir v chapitre 6 6 7 Description des menus 65 INFICON 6 6 1 R glages param tres vide e Menu principal gt R glages gt R glages param tres vide Ce menu permet d afficher et de modifier les r glages pour le syst me de vide Touche n 2 Rin age automatique UL1000 Fab v chapitre 6 6 1 1 Touche n 3 Temporisation a ration v chapitre 6 6 1 2 Touche n 4 Interval mode Vide v chapitre 6 6 1 3 Touche n 5 Interval mode Vide v chapitre 6 6 1 3 Touche n 6 Fuite talon interne v chapitre 6 6 1 4 Touche n 7 Facteur machine v chapitre 6 6 1 5 6 6 1 1 Rin age automatique UL1000 Fab e Menu principal gt R glages gt R glages param tres vide gt Ringage automatique UL1000 Fab Ce menu permet d activer un rin age automatique de 20 secondes v chapitre 5 3 1 Touche n 2 D sactiv Le rin age automatique est d sactiv Touche n 3 Activ Le rin age automatique est activ En cas de commutation du mode de mesure en mode STANDBY la pompe pr vide est automatiquement rinc e pendant 20 secondes 66 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 ii
38. gravement endommager les appareils ou nuire a l environnement Danger Signale les modes op ratoires et proc dures d exploitation a imp rativement respecter afin d viter des blessures personnelles Sp cialistes Signale les proc dures exclusivement r serv es au personnel sp cialis G n ralit s 7 INFICON 1 1 2 Remarques Conseil Informations propos de modes op ratoires utiles Remarque Informations relatives des exigences techniques particuli res qui doivent tre respect es par l op rateur qui utilise l appareil Les indications correspondant aux figures se composent dans l ordre du num ro du chapitre du num ro de la figure et du num ro de position Par exemple fig 2 4 7 se r f re la position 7 de la figure 4 dans le chapitre 2 1 1 3 Symboles de vide Ci apr s quelques uns des symboles les plus courants employ s dans ce manuel Pompe vide g n ralit s O Pompe turbomol culaire Appareil de mesure de pression OOO x Vanne 1 1 4 D finitions des termes R glage automatique r glage de masse Cette fonction permet de r gler le spectrom tre de masse de mani re atteindre une indication maximale de taux de fuites Le microprocesseur modifie la tension qui acc l re les ions l int rieur dans la plage de masse s lectionn e de mani re ce qu un courant ionique maximal soit d tect par le d tecteur d ions Un r g
39. iina70f 07 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 07 fm INFICON e Aucune action n est requise CALIBRAGE Attendez SUP 6 Courant ionique A ip 28 _ Fig 7 4 Calibrage externe tape 4 e Aucune action n est requise utotune Potentiel Anode 87 U Courant Ionidue 4 61 11 11A ST Il 11 Fig 7 5 Calibrage externe tape 5 e Fermer la fuite d essai externe et confirmer l aide de la touche OK n 8 Fermer fuite calibr e SUP Fig 7 6 Calibrage externe tape 6 Calibrage 91 INFICON e La barre indicatrice indique un signal qui ne doit pas diminuer davantage De petites fluctuations sont acceptables Le cas ch ant appuyer sur la touche OK n 8 CALIBRAGE SUP Presser OK si siYnal stable Fuite calibr e externe ferm e 6 Courant ionique A wii Cc Fig 7 7 Calibrage externe tape 7 e LeUL1000 et UL1000 Fab indique l ancien facteur et le nouveau facteur de calibrage calcul CALIBRAGE TERMINE Anciennes valeurs Facteur Cal 6 94 Potentiel Anode 4691 Nouvelles valeurs Facteur Cal 6 91 Potentiel Anode 476 Sauver nouvelles valeurs Fig 7 8 Calibrage externe tape 8 7 3 Plage de valeurs pour le facteur de calibrage Afin d viter les erreurs de calibrage le UL1000 et UL1000 Fab contr le la plausi bilit du facteur de calibrage a la fin de la
40. jhj agramkow dk Syrie leakdetection service inficon com Agramkow T l 45 741 236 36 INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 Sonderborg Fax 45 744 336 46 Cologne Fax 49 221 56788 9112 Pays Bas leakdetection service inficon com Ta wan reach taiwan inficon com INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 INFICON Company Limited T l 886 3 5525 828 Cologne Fax 49 221 56788 9112 Chupei City HsinChu Hsien Fax 886 3 5525 829 Pologne kamola vakpol com Tch tch nie filip lisec inficon com VAK POL amp GAZ Sp z T l 48 602 315 212 INFICON GmbH T l 420 734 331 758 Pulawy Fax 48 602 315 212 Pilsen Fax 420 604 203 037 Portugal leakdetection service inficon com Turquie jhj agramkow dk INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 Agramkow T l 45 741 236 36 Cologne Fax 49 221 56788 9112 Sonderborg Fax 45 744 336 46 R publique d Afrique du vacuquip hotmail com Tunisie leakdetection service inficon com Sud INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 Vacuquip Randburg T l 27 731 578 355 Cologne Fax 49 221 56788 9112 Russie leakdetection service inficon com Ukraine leakdetection service inficon com INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 Cologne Fax 49 221 56788 9112 Cologne Fax 49 221 56788 9112 12 G n ralit s MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 01 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 01 fm 1 3 1 3 1 INFICON Introduction Domaine d
41. la m thode logarithmique Les signaux p et p se comportent comme la courbe caract ristique du TPR265 voir r pertoire Appendix en annexe 76 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm INFICON LR lin Les tensions de sortie sont mises l chelle l aide de la m thode lin aire La tension de sortie est comprise entre 0 et 10 V par incr ments r glables de 0 5 V a 10 V par d cade Pour le r glage de l chelle v chapitre 6 6 4 4 LR log Les tensions de sortie sont mises l chelle l aide de la m thode logarithmique La tension de sortie est de 1 10 V par incr ments r glables de 0 5 V 10 V par d cade 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 V Pt tt th ttt 1010 10 10 10 107 10 10 LR in Kanal 1 Fig 6 20 Pour la cr ation de l chelle v chapitre 6 6 4 4 LR mantisse La mantisse du taux de fuite est affich e de mani re lin aire de 1 10 V Exposant LR L exposant est affich sous forme d une fonction chelonn e U 1 10 V par incr ments de 0 5 V par d cade en commen ant 1 V 1x10 12 6 6 4 4 chelle enregistreur e Menu principal gt R glages gt Interfaces gt chelle enregistreur ll est ici possible de d finir l chelle des sorties des enregistreurs Ce r glage est uniquement disponible avec la s lection des signaux LR lin ou LR log Touche n 2 fl che vers le
42. le moletage e Pour finir visser puis serrer la main la r serve de lubrifiant Basculer nouveau le filtre d chappement en position initiale puis le fixer l aide de la bague de serrage KF16 en position initiale 9 10 Surveillance appoint du niveau d huile de la pompe D16 B titre pr ventif il est recommand de contr ler une fois par mois le niveau et la colo ration de l huile de la pompe Pour ouvrir l appareil veuillez suivre les instructions v chapitre 9 6 1 Avant de d monter les capots du d tecteur UL1000 imp rativement d brancher le d tecteur de fuites du r seau lectrique Outillage requis Outil d ouverture de la paroi lat rale 112 Travaux de maintenance MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 09 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 09 fm Le du INFICON regard d huile de la pompe a pr vide D16 B permet d effectuer un contr le visuel niveau et de la coloration de l huile Le niveau de la pompe a vide doit se situer entre les rep res min et max A ce propos voir Fig 9 6 3 5 Remarque Contr ler et effectuer l appoint d huile lorsque la pompe est teinte Fig 9 6 Vidange de la pompe D16 B N 1 2 3 Description N Description Orifice de remplissage d huile 4 Regard d huile Vis de vidange 5 Rep re du niveau minimum Rep re du niveau maximum Faire l appoint de l huile lorsque
43. ration Normalement les prouvettes sont a r es l air ambiant une fois le contr le termin Le cas ch ant les prouvettes peuvent tre a r es avec un autre gaz par ex air frais air sec azote ou autres avec une pression maximal de 1 050 mbar En tel cas un flexible d a ration doit tre branch sur le raccord du flexible Fig 2 6 2 4 4 Raccordement gaz de rin age UL1000 Fab lest UL1000 Pour les modes de fonctionnement gaz de rin age nous recommandons d utiliser un gaz exempt d h lium la pression atmosph rique Suite la pulv risation ou au remplissage des r servoirs avec de grandes quantit d h lium lair ambiant peut tre contamin En tel cas une conduite d alimentation en gaz c d azote air frais ou autre doit tre branch e sur le raccord du flexible Fig 2 6 11 La pression dans cette conduite de gaz ne doit pas d passer 1 050 mbar Les raccords 11 et 12 sur la Fig 2 6 sont des raccords rapides pour flexibles avec un diam tre de 8 6 mm Installation 31 INFICON 2 5 Etat a la livraison Les param tres suivants doivent tre d finis en s lectionnant la rubrique Charger valeurs par d faut dans la rubrique R glages Charger sauvegarder param tres dans le menu du UL1000 UL1000 Fab Auto graduation Graduation Plage d affichage Axe de temps LCD invers Affichage de fond en Standby Demande de calibrage automatique Masse
44. routine de calibrage Si le nouveau facteur n est pas consid rablement sup rieur ou inf rieur lt facteur 2 l ancien facteur de calibrage le nouveau facteur de calibrage est automatiquement repris Si le nouveau facteur de calibrage diverge norm ment de l ancien facteur de calibrage l utilisateur peut alors d cider s il souhaite quand m me accepter le nouveau facteur par ex apr s une modification de la configuration de l installation ou le refuser par ex en raison d une erreur de commande Remarque Si le calibrage est lanc par la PLC ou la RS232 aucun contr le de plausibilit n est effectu Dans le cas d un calibrage interne le syst me contr le galement si le nouveau facteur calcul est sup rieur 10 ou inf rieur 0 1 En tel cas un avertissement s affiche v chapitre 8 2 W81 ou W82 et le calibrage est interrompu 92 Calibrage MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 07 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 08 fm INFICON 8 Messages d erreur et avertissements Le UL1000 UL1000 Fab est quip de nombreuses fonctions d autodiagnostic D s qu une condition d erreur ou d avertissement est d tect e un message corres pondant le signale a l utilisateur sur l cran LCD En pr sence d un message d erreur ou d un avertissement un signal sonore retentit Sa fr quence est modul e toutes les 400 ms de 500 1 200 Hz et vice versa de mani re a pouvoir faci
45. s Vannes Volume sonore INFICON 15 30 27 16 16 34 35 35 40 21 48 63 43 43 67 67 39 61 16 61 Index 119 INFICON GmbH Bonner Strasse 498 D 50968 Cologne Germany UNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KINGDOM HONG KONG Visit our website for contact information and other sales offices worldwide www inficon com Dokument iina70f1 k 1108
46. t l commande 7 Retard alarme v chapitre 8 Type alarme audio vid des diff rents types d alarme v chapitre 6 4 1 Valeur du seuil 1 e Menu principal gt Seuil et alarme gt Valeur du seuil 1 La valeur pour le seuil Trigger 1 peut tre saisie ici Pour la description de la saisie v chapitre 4 2 2 7 Saisies num riques Trigger 1 et Trigger 2 sont des seuils de commutation programmables En cas de d passement de ces seuils le UL1000 UL1000 Fab r agit de la mani re suivante cran Dans la ligne d tat de l cran les symboles pour Trigger 1 et Trigger 2 sont repr sent s invers s d s que les taux de fuites d finis sont d pass s c d lorsque le taux de fuites mesur d passe la valeur programm e Sortie de relais Le relais Trigger de la sortie num rique commute Pour de plus amples informations v chapitre 2 3 2 2 Sortie num rique Digital Out Alarme haut parleur Le seuil Trigger 1 d finit galement les seuils de d clenchement des diff rentes alarmes v chapitre 6 4 7 Type alarme audio 60 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm INFICON 6 4 2 Valeur du seuil 2 e Menu principal gt Seuil et alarme gt Valeur du seuil 2 La valeur pour le seuil Trigger 2 peut tre saisie ici Pour une description de la saisie v chapitre 4 2 2 7 Saisies num riques En cas de d passement du seuil Trigger 2
47. 1000WL Position de contr le Protocole RS232 Sortie enregistreur chelle enregistreur Divers Heure et date Langue Filtre de fuite Num ro de pi ces Fr quence tension secteur Intervalle de service filtre d chappement Message de service filtre d chappement Sauvegarde et chargement param tres Sauvegarder sous PARA SET Charger PARA SET Fonctions de surveillance Demande de calibrage Protection contre les particules Protection contre la contamination Limites de pression pour le mode renifleur Temps de pompage maximum Limites de pression pour le mode de vide Information v chapitre 6 7 Afficher r glages Afficher param tres internes Sch ma synoptique Interfaces Logged data Facteurs calibrages Service Contr le d acc s v chapitre 6 8 Acc s fonction CAL Changer PIN de l appareil Changer PIN menu Description des menus 51 INFICON 6 2 Affichage e Menu principal gt Affichage Ce menu Fig 6 2 r unit toutes les fonctions qui influencent l affichage des donn es Affichage Echelle lin aires logarithmique Affichage Nombr gain auto manuel de D cimales Limite affichage point bas Fig 6 2 Le menu Affichage yee D signation Description 1 Pr c dent Retour au menu principal R g
48. 2 2 5 Touche MENU MENU Une pression sur la touche MENU v chapitre Fig 4 2 permet d afficher le menu de s lection sur l cran Ceci fonctionne ind pendamment du mode de fonctionnement activ sauf durant les op rations de calibrage Si le menu est ouvert pendant la session en cours l utilisateur est guid jusqu au dernier affichage obtenu avant que le menu n ait t ferm Une nouvelle pression sur la touche MENU permet de retourner l affichage du mode de fonctionnement pr c dent et d afficher l cran pr c dent 4 2 2 6 Touches La fonction des huit touches gauche ou droite de l cran Fig 4 2 2 5et 8 11 d pend du menu actuellement s lectionn Fonctions sp ciales Lorsque des r glages sont disponibles dans un sous menu deux des touches ont toujours la m me fonction e Latouche n 1 Fig 4 2 2 est affect e la fonction pr c dent annuler Ceci permet de quitter un sous menu sans modifier les r glages actuels et d afficher nouveau la page pr c dente du menu e La touche n 8 Fig 4 2 11 est la touche de confirmation OK Les r glages s lectionn s ou modifi s sont sauvegard s et la page pr c dente du menu s affiche nouveau Description et principe de fonctionnement 41 INFICON 4 2 2 7 Saisies num riques Lorsqu un menu permettant d effectuer des saisies num riques est ouverte proc der de la mani re suivante Si aucun changement ne doit tre effectu
49. 5 doit tre r gl la valeur 400 4 3 3 Mode Auto Leak Test Ce mode permet d effectuer des contr les automatiques sur des composants scell s herm tiquement Lors de l utilisation de la chambre de test TC1000 optionnelle le contr le commence automatiquement la fermeture du capot Les r sultats sont obtenus tr s rapidement La fuite d essai interne de l appareil de contr le de l tanch it est utilis e pour l talonnage dynamique et pour le r glage du cycle d essai souhait Ceci permet de d tecter des taux de fuite dans la plage de 10 mbar en 5 secondes Description et principe de fonctionnement 45 INFICON 5 9 1 5 2 Fonctionnement du UL1000 et UL1000 Fab cran Le UL1000 UL1000 Fab s allume en appuyant sur l interrupteur marche arr t v chapitre 3 2 1 Mont e en r gime et mesure La mont e en r gime est achev e en moins de 3 minutes le d tecteur de fuites se trouve en mode de veille Standby et est ainsi pr t pour la mesure Raccordez prouvette contr ler sur la bride d entr e puis appuyez sur la touche START Le UL1000 et UL1000 Fab vacue alors l air contenu dans prouvette La dur e d vacuation d pend du volume de prouvette La pression d admission est constamment affich e sur l cran durant l vacuation de l air D s qu une pression de 15 mbar 11 Torr ou 1 500 Pa est atteinte le d tecteur de fuites bascule en mode de mesure Le taux de fui
50. ANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 02 fm INFICON 2 3 2 3 Entr e num rique Digital In Ces entr es peuvent uniquement tre utilis es pour exploiter le UL1000 UL1000 Fab avec une commande programmable PLC Contact Signal Contact Signal 1 24V reli au contact 1 de la prise OUT 8 Purge sortie num rique 9 Libre 2 GND_24V potentiel de r f rence pour la 10 Libre tension 24 V 11 Common 3 D marrage 12 Libre 4 Arr t 13 Libre 5 ZERO 14 Libre 6 CAL 15 Libre 7 Clear 16 Libre Description du principe de fonctionnement des entr es num riques Zero Passage Low High activer Zero Passage High Low d sactiver Zero D marrage Passage Low High ex cuter START Arr t passage Low High ex cuter STOP Si cette entr e est HIGH plus longtemps que le temps indiqu au chapitre 6 6 1 2 il faut remettre l air Purge Passage Low High activer le rin age Passage High Low d sactiver le rin age Clear Passage Low High acquitter le message d erreur CAL Passage Low High Lorsque l appareil se trouve l tat Standby d marrer un calibrage interne automa tique Lorsque l appareil se trouve en tat de mesure d marrer un calibrage externe manuel condition requise la fuite d essai externe doit tre ouverte et le signal de taux de fuites stable Passage High Low En cas de calibrage externe acquittement de la fermeture de la fui
51. Affichage gain auto manuel 6 2 3 Axe du temps 6 2 4 Contraste 6 2 5 R siduel en Standby 6 2 6 Nombre de d cimales 6 2 7 Limite d affichage inf rieure 6 3 Mode de fonctionnement 6 3 1 Test automatique 6 4 Seuil et alarme 6 4 1 Valeur du seuil 1 6 4 2 Valeur du seuil 2 4 Table des mati res MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f IVZ fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of IVZ fm INFICON 6 4 3 Volume sonore 61 6 4 4 Unit s 61 6 4 5 Recherche t l commande 62 6 4 6 Retard alarme 62 6 4 7 Type alarme audio 63 6 4 7 1 Localisation de fuites 63 6 4 7 2 Taux de fuites proportionnel 63 6 4 7 3 Valeur nominale 64 6 4 7 4 Alarme Trigger 64 6 5 Calibrage 64 6 6 R glages 65 6 6 1 R glages param tres vide 66 6 6 1 1 Rin age automatique UL1000 Fab 66 6 6 1 2 Temporisation a ration 67 6 6 1 3 Interval mode Vide 67 6 6 1 4 Fuite talon interne 68 6 6 1 5 Facteur machine 68 6 6 1 6 R glages Auto Leak Test 69 6 6 2 Z ro et r siduel 72 6 6 2 1 Suppression de fond 72 6 6 2 2 Z ro 73 6 6 3 Masse 73 6 6 4 Interfaces 74 6 6 4 1 Position de contr le 74 6 6 4 2 Protocole RS232 75 6 6 4 3 Sortie enregistreur 76 6 6 4 4 Echelle enregistreur 77 6 6 5 Divers 78 6 6 5 1 Heure et date 78 6 6 5 2 Langue 78 6 6 5 3 Filtre de fuite 79 6 6 5 4 Num ro de pi ces 79 6 6 5 5 Fr quence tension secteur 79 6 6 5 6 Intervalle de service filtre d chappement 80 6 6 5 7 Message de service filtre d chappement 80 6 6 6 Sa
52. Detector Models UL 1000 UL 1000 Fab Catalogue numbers 550 000A 550 100A 550 001A 550 101A 550 002A Cologne June 07 2011 ps r D bler Manager ul1000 07 06 201 1 engl doc The products meet the requirements of the following directives Directive on Low Voltage 2006 95 EC Directive on Electromagnetic Compatibility 2004 108 EC Directive on Machinery 2006 42 EC Applied harmonized standards EN 61010 1 2001 EN 61000 6 4 2002 Part EN 55011 Class B EN 61000 6 3 2002 Part EN 61000 3 2 EN 61000 6 2 2005 Parts EN 61000 4 2 EN 61000 4 3 EN 61000 4 4 EN 61000 4 5 EN 61000 4 6 EN 61000 4 11 DIN EN ISO 12100 1 DIN EN ISO 12100 2 Cologne June 07 2011 Finke Research and Development INFICON GmbH Bonner Strasse 498 D 50968 Cologne Tel 49 0 221 56788 0 Fax 49 0 221 56788 90 www inficon com E mail leakdetection inficon com D claration de conformit 117 C Index Accessoires Accessories Accessories A ration Alarme Alarme audio Axe du temps Bride d admission Calibrage Calibrage externe Calibration interne automatique Capacit d aspiration Conduite de reniflage Contraste date heure Diagramme de vide Dimensions Domaine d application chappement Enregistreur Enregistreur Recorder Entr e num rique tat la livraison Facteur appareil Facteur machine Filtre d chappement FINE Fond 27 27 27
53. EF est trop lev e sur la carte MSV XT7 1 U gt 5V E35 La tension anode cathode est La tension anode cathode est sup rieure 130 V Slav e j trop lev e e La carte MSV est d fectueuse E36 La tension anode cathode est La tension anode cathode est inf rieure 30 V trop basse e La carte MSV est d fectueuse E37 Grandeur de r f rence de Le signal MFSZH est actif sur la carte MSV Signal de r f rence du tension de suppresseur trop suppresseur trop lev grande e Tension de suppresseur court circuit e e La carte MSV est d fectueuse E38 Potentiel de suppresseur trop Le potentiel de suppresseur est sup rieur 363 V lev e La carte MSV est d fectueuse E39 Potentiel de suppresseur trop Le potentiel de suppresseur est inf rieur 297 V pas e La carte MSV est d fectueuse E40 Le potentiel de l anode La valeur r elle de la tension de l anode d passe la valeur nominale de d passe la valeur nominale 10 La valeur nominale peut tre affich e dans le menu de service sous de plus de 10 Info e La carte MSV est d fectueuse E41 Le potentiel de l anode est La valeur r elle de la tension de l anode a chut de 10 au dessous de inf rieur la valeur nominale la valeur nominale La valeur nominale peut tre affich e dans le menu de de plus de 10 service sous Info e Infiltration d air e La carte MSV est d fectueuse E42 La valeur nominale du Le signal M
54. FAZH est actif sur la carte MSV potentiel de l anode est trop lev e e Tension de l anode court circuit e e La tension nominale pour la tension de l anode est trop lev e La tension de l anode est limit e 1 200 V Messages d erreur et avertissements 95 INFICON N Message affich Description et rem de possible E43 Courant de la cathode trop e Le signal MPKZH est actif sur la carte MSV Le courant de la cathode lev MSV Cat Heater I gt gt trop lev gt 3 6 A e La carte MSV est d fectueuse E44 Le courant de la cathode est e Le signal MPKZN est actif sur la carte MSV Le courant de la cathode trop bas est trop faible lt 0 2 A e La carte MSV est d fectueuse W45 L mission de la cathode 1 ne Le signal MSIBE est inactif sur la carte MSV L mission pour la cathode peut pas tre activ e 1 ne peut pas tre activ e Le UL1000 et UL1000 Fab bascule sur la cathode 2 Commandez une source d ions neuve W46 L mission de la cathode 2 ne Le signal MSIBE est inactif sur la carte MSV L mission pour la cathode peut pas tre activ e 2 ne peut pas tre activ e Le UL1000 et UL1000 Fab bascule sur la cathode 1 Commandez une source d ions neuve E47 Impossible d activer Le signal MSIBE est inactif sur la carte MSV Impossible d activer l mission sur les deux l mission Remplacer la cathode en
55. Jeu de fusibles voir n 3 Jeu d outils voir n 4 Porte flexible 2 2 voir n 5 Documentation Manuel technique et nomenclature des pi ces de rechange du UL1000 et du UL1000 Fab Nomenclature des pi ces de rechange du UL1000 et du UL1000 Fab Crochet d enroulement du c ble d alimentation avec vis voir n 6 Fusible du c ble d alimentation Cale pour l ouverture facile de la paroi lat rale voir n 7 Joint torique avec filtre pour une utilisation en liaison avec les applications poussi reuses ou salissantes 1 LT pe bio I T Fig 1 2 Accessoires du UL1000 et du UL1000 Fab G n ralit s 17 INFICON 1 4 2 1 4 2 1 1 4 2 2 1 4 2 3 1 4 2 4 Accessoires et options Les pi ces suivantes sont disponibles en option e Conduite de reniflage SL200 14005 e Leak Ware 14090 e Renifleur a h lium QUICK TEST QT100 15594 e Bo te outils amovible 551 000 e Porte bouteille d h lium 551 001 e Natte antistatique 551 002 e T l commande RC1000 RC1000WL sans fil 551 015 RC1000C filaire 551 010 Rallonge 8m 14022 e Chambre de test TC1000 551 005 e Pistolet de pulv risation avec flexible 16555 e Jeu de connecteurs 20099024 e LeakWare logiciel 14090 Conduite de reniflage SL200 L utilisation de la conduite de reniflage permet de transformer ais ment le UL 1000 Fab et le UL1000 en d tecteurs de fuites par reniflage La conduite de reniflage a une long
56. L TECHNIQUE 1108 iina70f 02 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 02 fm 2 4 2 4 1 INFICON Raccords de vide Admission L admission se trouve sur le haut du UL1000 UL1000 Fab Il s agit ici d une bride DN 25 KF Risque de blessures dues l aspiration par la bride d entr e Si la fonction de vide du Modul1000 est activ e il y a risque d aspiration des parties des corps qui bouchent la bride d entr e Garder les parties du corps l cart de la bride d entr e Si le mode de d tection de fuites par le vide est s lectionn l prouvette ou la chambre de vide doivent tre raccord es sur cette bride v chapitre 6 3 L admission est galement employ e pour le raccordement de la conduite de reniflage SL200 2 4 2 chappement La bride d chappement Fig 2 6 12 se trouve l arri re du UL1000 UL1000 Fab Il s agit ici d une bride DN 16 KF Lors de la livraison le filtre d chappement est uniquement pr mont La cartouche filtrante est fournie avec le d tecteur de fuites et doit tre install e sur l chap pement Il est sinon galement possible de raccorder une conduite d chappement au raccord d chappement En fonction du type de r servoir auquel le UL1000 UL1000 Fab est raccord et du gaz contenu dans le r servoir des gaz nocifs peuvent tre d gag s dans l air ambiant via l chappement du d tecteur de fuites 2 4 3 Raccord d a
57. MANUEL TECHNIQUE iina7Of1 k 1108 Traduction Catalogue no UL1000 550 000A 550 001A 550 002A UL1000 Fab 550 100A 550 101A Version de logiciel V4 4 UL1000 Fab et UL1000 D tecteur de fuites a h lium dINFICON INFICON ANODINHOAL TANNVA 8014 WFZAI JOZEUI MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of IVZ fm INFICON Table des mati res i i i L i 1 4 i 13 2 1 1 3 2 2 1 3 2 3 1 3 2 4 1 4 1 4 1 1 4 2 1 4 2 1 1 4 2 2 1 4 2 3 1 4 2 4 1 4 2 5 1 4 2 6 2 2 1 2 2 2 3 2 3 1 2 3 2 2 3 2 1 2 3 2 2 2 3 2 3 2 3 2 4 2 3 2 5 2 3 2 6 2 4 2 4 1 2 4 2 2 4 3 2 4 4 2 5 3 3 1 3 2 G n ralit s Remarques propos de l utilisation de ce manuel Symboles de s curit et leur signification Remarques Symboles de vide D finitions des termes Assistance SAV INFICON Centres SAV dans le monde entier Introduction Domaine d application Caract ristiques techniques Caract ristiques physiques Caract ristiques lectriques Autres caract ristiques techniques Conditions ambiantes D ballage tendue de la livraison Accessoires et options Conduite de reniflage SL200 Bo te outils Porte bouteille d h lium Natte antistatique T l commande RC1000 Chambre de test TC1000 Installation Transport Site d implantation Raccordements lectriques Raccordement au r seau Raccords pour accessoires et signaux de commande Accessoires Accessories
58. MC68 a t remplac date et l heure E29 L alimentation en tension 24V e Fusible F1 d fectueux sur l tage de c blage des ventilateurs est trop faible lt 20V E30 L alimentation en tension 24V e Le fusible F1 sur la carte E S est d fectueux de la t l commande est trop faible lt 20V 94 Messages d erreur et avertissements MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 08 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 08 fm INFICON N Message affich Description et rem de possible W31 La tension Offset du pr amp Le pr amplificateur est d fectueux lificateur est trop lev e lt 5mV W32 La temp rature du pr amplifi La temp rature ambiante est trop lev e cateur est trop lev e Le filtre ai i e Le filtre a air est encrass lt 60 C W33 Temp rature du pr amplifi e La temp rature ambiante est trop basse cateur trop basse lt 2 C La sonde de temp rature est d fectueuse E34 Tension 24V insuffisante sur Signal MVPZN actif sur la carte MSV La tension 24 V est trop faible sur la la carte MSV carte MSV U lt 18 3 V e Le fusible F1 sur la carte MSV est grill e Absence de tension d alimentation lectrique 24 V Eteindre le UL1000 UL1000 Fab L absence de tension provoque une fermeture de la pompe a tiroirs rotatifs qui peut son tour provoquer une contamination du syst me de vide e La tension de r f rence UR
59. Si cela n est pas possible il faut alors s assurer que les masses des deux appareils ont le m me potentiel Broche Signal Broche Signal 1 Analogique 1 3 ae de r f rence 2 GND potentiel de r f rence 4 Analogique 2 Cette interface RS232 Fig 2 6 5 est con ue comme DCE Data Communications Equipment autrement dit en tant que syst me de transmission de donn es et permet le raccordement d un ordinateur pour la surveillance et l enregistrement des donn es La connexion s effectue via une prise Sub D a 9 broches et un cable d interface courant cable 1 1 Pour de plus amples informations voir la description de l interface iins70d1 a Broche Signal Broche Signal 2 RXD 7 RTS 3 TXD 8 CTS 5 GND 2 3 2 6 T l commande RC1000 metteur radio Cette interface de t l commande Fig 2 6 6 est une interface s rielle pour la commande du UL1000 UL1000 Fab l aide d une t l commande La t l com mande RC1000 se raccorde l aide d un c ble de raccordement muni d un connecteur RJ45 ou l aide de l metteur radio galement muni d un connecteur RJ25 Pour de plus amples informations voir manuel technique de la t l commande RC1000 La t l commande n est pas comprise dans l tendue de livraison standard du UL1000 UL1000 Fab Broche Signal 2 24V fusible 0 8 A action retard e 3 OV 4 RXD intern RS232 5 TXD intern RS232 30 Installation MANUE
60. Une pression sur la Touche START Fig 4 2 6 active le UL1000 UL1000 Fab afin que ce dernier d marre les mesures Une nouvelle pression sur la touche START en mode de mesure active l affichage du taux de fuites maximal fonction de maintien Le taux de fuites maximal affich correspond alors au taux de fuites enregistr depuis START Une nouvelle pression sur la touche START r initialise la fonction de maintien Description et principe de fonctionnement 39 INFICON 4 2 2 3 Touche STOP 4 2 2 4 Touche ZERO Une pression sur la Touche STOP Fig 4 2 13 interrompt les mesures En cas de pression prolong e sur cette touche l admission est a r e conform ment aux condi tions d finies dans le menu Retard mise l air Pour r gler les param tres de la dur e d a ration v chapitre 6 6 1 2 Retard mise l air Une pression sur la touche Touche ZERO Fig 4 2 14 active la suppression du fond Une pression sur la touche ZERO permet d valuer le taux de fuites actuellement mesur en tant que signal de fond et de le d duire de toutes les mesures suivantes ll en r sulte les plages d affichage suivantes 1x10 avec GROSS 1x100 avec FINE 1x102 avec ULTRA Apr s actionnement de la touche ZERO la suppression du fond est automati quement adapt e la courbe du signal d croissant du taux de fuites Ceci permet galement de d tecter les fuites en pr sence d un signal d croissance rapide Pour d sact
61. a70f 05 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 05 fm INFICON 5 4 4 Mode d affichage num rique Le taux de fuites est affich sur l cran en grands chiffres voir Fig 5 1 L unit de mesure du taux de fuites est galement affich e La pression d admission est affich e sous le taux de fuites par des chiffres de plus petite taille v chapitre 6 4 4 Unit s Le m me taux de fuites est repr sent au dessous sous forme d une barre graphique L chelle gradu e de cette barre c a d le nombre des d cades affi ch es se d finit dans le menu v chapitre 6 2 2 Affichage gain auto manuel Les seuils Trigger programm s v chapitre 6 4 1 et v chapitre 6 4 2 sont affich s sur la barre par de courtes lignes verticales une ligne continue pour le Trigger 1 et une ligne en pointill s pour le Trigger 2 La pression d admission est galement affich e au dessus de la barre indicatrice en chiffres de plus petite taille 5 4 5 Mode tendance Le mode tendance permet d afficher le taux de fuites mesur par rapport la dur e Fig 5 2 La pression d admission est galement affich e au format num rique en plus du taux de fuites actuellement mesur L axe du temps peut tre d fini dans le menu v chapitre 6 2 3 Axe du temps L axe de l intensit axe des Y se d finit de la m me mani re que la barre indicatrice v chapitre 6 2 1 chelle lin aire logarithmique FICC IN gw
62. al gt Mode de fonctionnement gt Test automatique Lorsque le mode de fonctionnement Test automatique est s lectionn l cran suivant s affiche Description des menus 57 INFICON Mode Test automatique Test de fuite automatidue Renifleur Fig 6 4 Une pression sur la touche OK permet de s lectionner le menu REGLAGES voir 6 6 1 6 Remarque En cas de changement de mode de fonctionnement le UL1000 peut exiger un calibrage En tel cas un message d information s affiche Note Pour une suPPression correcte Quelques r glages sp ciaux Uoulez vous Passer_au sous menu Auto Leak Test Fig 6 5 Apr s le test l cran affich en mode Standby propose les r glages suivants Part No 8868887 Ope 1 4 10 3 mbar l s N Parties suivant 6886888 AUTO LEAK TEST Fig 6 6 1 R sultat du test 3 Num ro du composant contr l 5 Mode 2 Taux de fuites mesur 4 Fond 6 Pause 58 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm INFICON Contr le de composants Une pression sur la touche START permet de d marrer le contr le En cas d utili sation de la chambre de test TC1000 le contr le se d roule automatiquement d s que le couvercle de la chambre de test est ferm D s que le temps de contr le d fini est coul ou en cas de sous d passement de la valeur Trigger d fi
63. ance des diff rentes pompes Scroll IWATA VARIAN est indiqu dans le plan de maintenance v chapitre 9 4 La maintenance des pompes Scroll doit uniquement tre effectu e par le service apr s vente de la soci t INFICON ou un partenaire de service apr s vente autoris de la soci t INFICON Travaux de maintenance 115 Appendix INFICON ANDINHOSL TANNVA 8011 wy XIS JOZeull AIN 005 8 oos z 005 9 005 S oos y oos e o0S z 00s i 0 20 4 0 20 1 cO 20 0 30 L Lequ d 00 20 4 4 F L0 30 E m Z0 30 t pq nents tn tr nna so L ee L e0 10 L TPR265 P1 P2 Fig 10 1 A Appendix 116 MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f SIX fm B D claration de conformit INFICON INFICON EC Declaration of Conformity We INFICON GmbH herewith declare that the products defined below meet the basic requirements regarding safety and health of the relevant EC directives by design type and the versions which are brought in to circulation by us In case of any products changes made without our approval this declaration will be void Designation of the product Helium Leak
64. ant supprim devait continuer plus tard de baisser a un point tel que seule la limite d affichage serait affich e le point z ro est alors automatiquement adapt GROSS GROSS est un mode de fonctionnement de mesure qui autorise les pressions d admission lev es 1 15 mbar La limite d affichage inf rieure s l ve ici 1x1 06 mbar s FINE FINE est le mode de fonctionnement pour les pressions d admission comprises entre 2 et 0 4 mbar La limite de d tection s l ve ici 1x10 mbar I s Pression du vide primaire La pression du vide primaire entre la pompe turbomol culaire et la pompe pr vide Fond d h lium interne La pression partielle d h lium qui r gne dans le syst me de mesure La grandeur du fond d h lium interne est mesur e en mode de fonctionnement Standby et d duite du signal mesur Voir ci dessus r glage automatique du point z ro Taux minimal de fuites d celable Taux minimal de fuites pouvant tre d cel par le UL1000 et le UL1000 Fab lt 5x10 mbar I s Menu Le menu permet l op rateur de programmer le UL1000 et le UL1000 Fab comme il le souhaite Le menu a une structure arborescente Mesure mode de fonctionnement de mesure Le UL1000 et le UL1000 Fab mesurent le taux de fuites de prouvette ULTRA ULTRA est la plage de mesure avec la plus grande sensibilit pour les pressions d admission inf rieures a 0 4 mbar Le taux minimal de fuit
65. apitre 6 2 4 Durant la mont e en r gime une pression sur la touche Menu 4 2 2 5 permet d afficher le menu de s lection 46 Fonctionnement du UL1000 et UL1000 Fab MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 05 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 05 fm INFICON 5 3 crans en mode Standby En mode Standby les tats sont affich s sur le bas de l cran Siehe Kapitel 5 4 3 Le mode Standby permet galement de s lectionner le calibrage v chapitre 7 et de d marrer l op ration de rin age Siehe Kapitel 5 3 1 5 3 1 Op ration de rin age A chaque fois que le UL1000 UL1000 Fab bascule en Standby un rin age est automatiquement effectu pendant 20 secondes Pendant ce rin age la pompe Scroll est rinc e par le raccord Purge Fig 2 6 11 En mode Standby ce rin age peut galement tre d clench manuellement touche n 7 Une nouvelle pression sur cette touche interrompt l op ration Une pression sur la touche Start permet galement d interrompre l op ration 5 4 L cran en mode de mesure En mode de mesure les taux de fuites peuvent tre affich s de deux diff rentes mani res au format num rique combin avec une barre indicatrice Fig 5 1 sous forme de tendance taux de fuites par rapport la dur e Fig 5 2 Dans le coin inf rieur droit de l cran c t de la touche n 8 un symbole permet de basculer entre les deux modes d affichage susmentionn s en appuyant
66. application Les d tecteurs UL1000 et UL1000 Fab sont des d tecteurs de fuites a h lium Ils permettent de localiser les fuites et de mesurer leur ampleur dans les objets l aide de deux diff rentes m thodes e Avec la m thode de d tection de fuites par le vide l air contenu dans prouvette est d abord vacu puis l prouvette est asperg e d h lium par l ext rieur cet effet une liaison de vide doit tre tablie entre le UL1000 ou le UL1000 Fab et l prouvette ou e Avec la m thode de d tection de fuites par reniflage une surpression d h lium est g n r e dans l prouvette puis cette derni re est balay e par l ext rieur par une sonde de reniflage reli e l entr e du d tecteur de fuites Danger d explosion Au contact de l air l hydrog ne produit un m lange de gaz hautement explosif En cas d utilisation d hydrog ne faire preuve d une grande prudence Ne pas fumer ni produire des flammes nues ou des tincelles Le UL1000 et le UL1000 Fab doivent uniquement tre utilis s afin d effectuer des contr les d tanch it Ils ne doivent pas tre utilis s comme syst mes de pompage il est notamment interdit de pomper des gaz agressifs ou humides Uniquement pour le mod le UL1000 Remarque Pompage des gaz et vapeurs condensables en cas de pompage du contenu de l prouvette la vapeur d eau contenue peut p n trer dans la pompe pr vi
67. au d huile de la pompe D16 B Vidange de la pompe D16 B Pompe turbomol culaire TMH 071 Pompes Scroll uniquement UL1000 Fab TPR265 P1 P2 D claration de conformit Index 6 Table des mati res 89 92 93 93 94 99 99 100 100 101 102 102 103 104 105 105 106 106 107 109 110 110 112 114 115 115 116 117 118 MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f IVZ fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 01 fm INFICON 1 Generalites Remarque Nous vous recommandons de lire attentivement ce manuel afin de garantir des conditions de travail optimales d s le d part Ce manuel technique contient des informations importantes propos du fonction nement de l installation de la mise en service et de l exploitation des UL1000 et UL1000 Fab G n ralit s Nous nous r servons le droit de modifier la construction et les informations fournies Figures non contractuelles 1 1 Remarques propos de l utilisation de ce manuel 1 1 1 Symboles de s curit et leur signification Les consignes importantes pour la s curit de fonctionnement et la protection des personnes sont mises en vidence de la mani re suivante Signale les modes op ratoires et proc dures d exploitation imp rativement respecter afin d viter des dysfonctionnements ou des dommages l gers des appareils Signale les modes op ratoires et proc dures d exploitation imp rativement respecter afin d viter de
68. bricant Il vous aidera alors d finir des r gles de d contamination appropri es En cas de contact de l appareil avec des gaz dangereux vous devez compl ter la d claration de conta mination et la renvoyer avec l appareil la soci t INFICON Lorsque certaines pi ces de l appareil doivent tre nettoy es vous devez contacter le fabricant En tel cas envoyez d abord une copie d ment compl t e de la d claration de contami nation 14 G n ralit s MANUEL TECHNIQUE iina7Of 01 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 01 fm INFICON 1 3 2 Caract ristiques techniques 1 3 2 1 Caract ristiques physiques Pression max d admission Taux minimal de fuites d celable en mode de vide ULTRA Limite de d tection inf rieure en mode renifleur Taux maximal de fuites d h lium affichable en mode ULTRA Plages de mesure Constante de temps du signal de taux de fuites avec bride aveugle 63 de la valeur finale Capacit d aspiration de pr vide air Capacit d aspiration max h lium l entr e en mode de vide Mode GROSS Mode FINE Mode ULTRA Masses d tectables Spectrom tre de masse Source d ions Bride d admission Mont e en r gime 15 mbar lt 5x10 2 mbar I s lt 5x108 mbar I s 0 1 mbar l s 12 d cades lt 1s 25 m h 50 Hz 30 m h 60 Hz 8 l s 7 Vs 2 5 I s 2 3 et4 Champ a secteurs magn tiques 180 2 cathodes iridium oxyde d
69. ce code PIN doit tre saisi pour le calibrage de l appareil Touche n 5 Texte d aide Touche ACTIV n 7 La fonction de calibrage est disponible dans le menu principal en mode Standby et en mode de mesure Touche OK n 8 Sauvegarder les r glages et revenir au menu pr c dent 86 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm INFICON 6 8 2 Changer PIN de l appareil e Menu principal gt Contr le d acc s gt Changer PIN de l appareil L acc s au menu peut tre prot g par saisie ou modification du num ro d identification personnel PIN Si le code PIN est 0000 le code PIN n est pas contr l Pour une description de la saisie v chapitre 4 2 2 7 Saisies num riques Remarque imp rativement retenir les codes PIN Seul le SAV de la soci t INFICON est en mesure de r initialiser les codes PIN 6 8 3 Changer PIN menu e Menu principal gt Contr le d acc s gt Changer PIN menu L acc s au UL1000 UL1000 Fab peut tre prot g par saisie ou modification du PIN de l appareil Si le PIN de l appareil n est pas 0000 le UL1000 UL1000 Fab demande le PIN imm diatement apr s la mise en marche Si vous n entrez pas le PIN d appareil vous ne pouvez pas utiliser le UL1000 UL1000 Fab Remarque imp rativement retenir les codes PIN Seul le SAV de la soci t INFICON est en mesure de r initialiser les codes PIN
70. ch avec une d cimale Touche n 2 7 Le taux de taux est affich avec deux d cimales Deux d cimales ne sont g n ralement utiles qu a condition d avoir s lectionn le filtre de taux de fuites I CAL v chapitre 6 6 5 3 56 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm INFICON 6 2 7 Limite d affichage inf rieure e Menu principal gt Affichage gt Limite d affichage inf rieure En mode de mesure ce r glage limite l affichage du taux de fuite vers le bas Il est uniquement actif en mode de fonctionnement Vide Touches n 3 7 Modification de la limite d affichage inf rieure entre 1x10 et 1x10 mbar I s Touche n 5 Texte d aide 6 3 Mode de fonctionnement e Menu principal gt Mode de fonctionnement Le menu Mode de fonctionnement Fig 6 3 permet de s lectionner les diff rents modes de fonctionnement dans un sous menu Test automatique Renifleur Fig 6 3 Le menu Mode de fonctionnement Touche n D signation Description 1 Annuler Retour au menu principal sans modification 3 Renifleur Le mode renifleur est utilis v chapitre 4 Sans fonction dans ce menu 6 Test automatique Sans fonction dans ce menu 7 Vide Le mode Vide normal est utilis 8 OK Enregistrer les r glages et retourner au menu pr c dent 6 3 1 Test automatique e Menu princip
71. cipal gt R glages gt Fonctions de surveillance gt Protection contre les particules Ce mode peut tre activ ou d sactiv Lorsque ce mode est activ le UL1000 UL1000 Fab lance uniquement l vacuation par pompage lorsque la pression d admission est inf rieure 1 mbar Cela signifie que le syst me suppose que le contenu de prouvette est vacu par pompage par une autre pompe qui fonctionne en parall le Objectif Lorsque le d tecteur de fuites ne doit pas lui m me pomper les gaz sous haute pression les particules ventuellement contenues dans le flux de gaz ne peuvent pas non plus p n trer dans le d tecteur de fuites Touche n 3 d sactiv e Touche n 5 Texte d aide Touche n 7 activ e Protection contre la contamination e Menu principal gt R glages gt Fonctions de surveillance gt Protection contre la contamination Lorsque ce mode est activ le UL1000 UL1000 Fab ferme toutes les vannes d admission d s que le taux de fuites mesur d passe le taux de fuite d fini Ceci permet de r duire au minimum la quantit d h lium qui p n tre dans le spectrom tre de masse Ceci emp che une contamination l h lium du d tecteur de fuites L h lium qui atteint l prouvette peut alors tre vacu l aide d une pompe externe En l absence de pompe externe il est recommand d a rer l prouvette avant de poursuivre les mesures Touche n 3 d sactiv e Touche n 4
72. de Notamment dans les r gions humides et dans les prouvettes humides ou mouill es la vapeur d eau contenue dans l air peut d passer la compatibilit ou la capacit de vapeur d eau admissible de la pompe pr vide En cas d augmentation de la pression de vapeur au del de la valeur admissible la vapeur s vapore dans l huile de la pompe Ceci modifie les caract ristiques de l huile et il y a risque de corrosion au niveau de la pompe Durant l exploitation du d tecteur de fuites avec des gaz et vapeurs condensables l huile de la pompe vide doit r guli rement tre contr l e afin de d celer une ven tuelle condensation de la vapeur d eau dans la pompe En temps normal I huile est claire et transparente Lorsqu elle contient de la vapeur d eau l huile devient trouble et laiteuse lorsqu elle chauffe durant l exploitation Lorsque la pompe est teinte la vapeur d eau s vapore et provoque une augmen tation de la concentration d eau dans l huile G n ralit s 13 INFICON Ne rangez pas le d tecteur de fuites imm diatement apr s un cycle d vacuation par pompage de gaz ou vapeurs condensables Il doit encore rester en marche pendant minimum 20 minutes en veillant a ce que la vanne de lest reste ouverte 5 3 1 jusqu ce que l huile de la pompe ne contienne plus de vapeurs dissoutes Le non respect de cette instruction peut provoquer une formation de corrosion et ainsi endommager la p
73. ducteur de protection au fond du ch ssis ne doit pas tre desserr e L op rateur ne serait sinon pas prot g contre une lectrocution Ouverture de l appareil des fins de maintenance Outillage requis Outil d ouverture de la paroi lat rale accessoire Avant de retirer les capots du UL1000 et UL1000 Fab imp rativement d brancher le d tecteur de fuites du r seau lectrique e D brancher les composants de vide mont s sur l admission du UL1000 et UL1000 Fab du syst me d admission Enfoncer l outil d ouverture de la paroi lat rale entre le capot et le ch ssis de la mani re indiqu e sur la Fig 9 1 jusqu ce que le capot soit lib r du dispositif de fixation jecter le capot des deux c t s du dispositif de fixation Basculer l g rement le capot vers l ext rieur puis le soulever hors des tiges de guidage au fond de l appareil L emplacement pour le positionnement correct de l outil d ouverture de la paroi lat rale est marqu par un enfoncement sur les deux capots ce propos voir Fig 9 1 2 e Ouvrez les deux capots en proc dant de la m me mani re 106 Travaux de maintenance MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 09 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 09 fm INFICON Fig 9 1 Ouverture du UL1000 et UL1000 Fab N Description N Description 1 Outil d ouverture de la paroi 2 Enfoncement paroi lat rale lat rale 9 7 Contr le et remplacemen
74. e le flux de gaz est trop lev travers le capillaire non tanche rupture dans le capillaire Le d bit maximal de gaz se r gle dans le menu Le r glage en usine est de 1 0 mbar v chapitre 6 6 1 3 E73 mission d sactiv e P gt trop PV gt gt 0 2 ou 3 mbar en raison de la p n tration cela signifie que le lev e UL1000 UL1000 Fab tente de retourner en mode de mesure W76 Temps maximal d vacu e L prouvette comporte une grosse fuite ation d air d pass e R glage incorrect du temps maximal d vacuation d air W77 Le signal maximum se situe Le signal maximum s est d cal aux limites pour l quilibrage de la masse te sees ie la po d qui Le signal du taux de fuites tait instable durant l quilibrage de la Prage deca Masse masse Effectuer un nouveau calibrage e Contr ler le r glage de base pour la tension de l anode dans le menu de service e Contr ler la fuite d essai W78 Diff rence de signal trop L cart de tension de l amplificateur est inf rieur 10 mV entre la vanne basse entre une fuite de r f ouverte et la vanne ferm e La fuite d essai n a pas correctement t rence ouverte et une fuite de bouch e r f rence ferm e W79 Signaux trop bas La fuite d essai est trop petite ou n a pas t ouverte Tension du pr amp lificateur lt 10 mV W80 Effectuer un nouveau cali La demande automatique de calibrage est activ e v chapitre 7 2 1 1 et bra
75. e temp rature de la pompe turbomol culaire d fec tueuse W15 Taux de fuites trop lev e La fonction de surveillance Protection anti contamination est L appareil a bascul en mode activ e et un taux de fuites sup rieur a la valeur limite pr d finie a t Standby afin d viter une d tect contamination lt Grosse fuite e Valeur limite de mise hors tension trop basse e La temporisation d finie pour l alarme est trop courte W16 L intervalle de maintenance _ L intervalle de maintenance pour la turbopompe a expir de la turbopompe a expir W17 Lintervalle de maintenance _ L intervalle de maintenance pour la pompe pr vide a expir pour la pompe pr vide a expir W18 L intervalle de maintenance L intervalle de maintenance pour le filtre d chappement a expir pour le filtre d chappement a expir W21 D passement du temps avec EEPROM d fectueux erreurs d criture EEPROM MC 68 d fectueux W22 Saturation file d attente EEPROM d fectueux EEPROM MC 68 d fectueux E23 Tension 24V trop lev e sur La tension 24V est trop lev e sur la sortie OPTION la sortie OPTION E24 Tension 24V trop basse sur la e Le fusible F2 sur la carte E S est d fectueux sortie OPTION E25 Tension r duite de la vanne e Carte E S d fectueuse trop basse lt 7V W28 L horloge en temps r el a t e L accumulateur sur MC68 est d charg ou d fectueux reinitialisee Veuillez saisir la
76. e en marche reg ages EEPROM est probablement d fectueux au niveau du c blage W85 Param tres EEPROM e L acc s en criture a t interrompu Contr lez les r glages de lee a controler Le logiciel a t mis a jour En tel cas le message peut normalement es eee tre ignor e Si l avertissement s affiche nouveau apr s la remise en marche l EPROM est probablement d fectueux au niveau du c blage W86 Facteur CA CC trop faible Conditions de calibrage non respect es Saisie incorrecte du taux de fuites pour la fuite d essai Fuite d essai d fectueuse W87 Facteur CA CC trop lev Conditions de calibrage non respect es Saisie incorrecte du taux de fuites pour la fuite d essai Fuite d essai d fectueuse 98 Messages d erreur et avertissements MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 08 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 09 fm 9 9 1 INFICON Travaux de maintenance Remarques generales Les travaux de maintenance des niveaux II et III ne doivent tre effectu s sur le UL1000 et UL1000 Fab que par le personnel d ment autoris par la soci t INFICON GmbH implant e a Cologne Observez les niveaux de service correspondants e Niveau de service Client e Niveau de service Il Client avec formation technique e Niveau de service IIl Technicien SAV autoris par INFICON Veuillez respecter les consignes de s curit correspondantes dans le pr sent chapitre Pour les travaux
77. e l air contenu dans prouvette est vacu e lors du contr le Le vide est g n r l aide du syst me de pompage int gr Un autre mode de fonctionnement du UL1000 UL1000 Fab est le mode renifleur qui ne peut tre utilis qu en liaison avec une conduite de reniflage v chapitre 1 4 2 Accessoires et options Structure des d tecteurs UL1000 et UL1000 Fab Le UL1000 UL1000 Fab est une unit autonome install e dans un bo tier m tallique sur roulettes Ce bo tier abrite le syst me de vide complet ainsi que les alimentations lectriques correspondantes La bride d entr e et l Unit de commande se trouvent sur le haut du d tecteur de fuites Syst me de vide Le spectrom tre de masse se compose principalement d une source d ions d un dispositif de s paration magn tique et d un collecteur d ions Les mol cules de gaz qui parviennent dans le spectrom tre de masse sont ionis es par la source d ions Ces particules charge positive sont acc l r es sur une trajec toire circulaire dans le champ magn tique Le rayon de cette trajectoire circulaire d pend du rapport entre la masse et la charge lectrique des ions Seuls les ions d h lium sont en mesure de franchir ce filtre et d atteindre ainsi le coll ecteur d ions o ce flux est saisi sous forme de courant lectrique Le fonctionnement du spectrom tre de masse requiert une pression de vide de l ordre de lt 1x104 mbar ou moins Cette
78. e personne autoris e par la soci t INFICON Ind pendamment de la dur e de service de 8 000 heures le module Scroll de la pompe Scroll IWATA doit au moins tre remplac tous les 2 ans Un technicien SAV de la soci t INFICON doit remplacer le Tip Seal du module Scroll de la pompe Scroll Varian toutes les 8 000 heures de service Si le Tip Seal n est pas remplac le module Scroll complet devra tre remplac apr s 12 000 heures de service recommand tous les 3 ans sans restriction de dur e v chapitre 9 5 5 Travaux effectuer Mat riel requis N de commande Remplacer la t te Scroll IWATA ISP 500B e T te Scroll pour IWATA ISP 500B 200000217R Remplacer le Tip Seal Varian TS 620 e Tip Seal 200001671 Remplacer l huile de la pompe pr vide D16 e Huile Arctic 1 20028181 uniquement UL1000 Remplacer la r serve de lubrifiant TMH 071 e R serve de lubrifiant pour TMH 071 200000577 Remplacer les joints des vannes e Jeu de joints pour vannes 200000594 Contr ler remplacer le filtre e Cartouche filtrante de rechange pour le 200000685 ventilateur 200000683 Filtre de rechange pour la conduite 20099183 d a ration et de rin age e Silencieux pour l chappement uniquement UL1000 Fab 200000694 e Cartouche filtrante pour le filtre huile 10 pi ces uniquement UL1000 Remplacement des paliers de la TMH 071 Remplacement de la turbopompe TMH 071 200000569R Contr
79. ection service inficon com 1108 Fig 1 1 formulaire de d claration de contamination 10 G n ralit s iina70f 01 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 01 fm INFICON 1 2 1 Centres SAV dans le monde entier Alg rie jhj agramkow dk Danemark jhj agramkow dk Agramkow T l 45 741 236 36 Agramkow T l 45 741 236 36 Sonderborg Fax 45 744 336 46 Sonderborg Fax 45 744 336 46 Allemagne leakdetection service inficon com mirats Arabes Unis leakdetection service inficon com INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 Cologne Fax 49 221 56788 9112 Cologne Fax 49 221 56788 9112 Am rique Centrale infoqro meisa com Espagne jordi poza leyboldoptics com MEISA S a de C V T l 52 442 225 42 80 Leybold Optics Ib rica T l 34 93 66 60 778 Quer taro Fax 52 442 225 41 57 Barcelone Fax 34 93 66 64 612 Am rique du Sud sauf infogro meisa com Estonie leakdetection service inficon com Br sil INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 MEISA S a de C V T l 52 44 22 25 42 80 Cologne Fax 49 221 56788 9112 Mexique Fax 52 44 22 25 41 57 Bi lorussie leakdetection service inficon com Etats Unis service usa inficon com INFICON GmbH T l 49 221 56788 112 Inficon Inc T l 1315434 1167 Cologne Fax 49 221 56788 9112 East Syracuse NY Fax 1315434 2551 Belgique leakdetection service inficon com Inficon Inc
80. el par ex h lium qui n a pas encore t pomp par pompe Les sources de gaz r siduel sont l air ou les gaz absorb s partir des surfaces int rieures du d tecteur de fuites Cet arri re plan ne dispara t jamais compl tement Les syst mes tr s propres qui ont t longuement vid s par pompage indiquent un fond compris dans la plage de 1 0 mbar I s Dans des condi tions normales il faut s attendre un fond compris dans la plage 10710 mbar I s ou la plage inf rieure 10 9 mbar I s Une pression sur le bouton START permet de d duire automatiquement le fond actuellement mesur de toutes les autres mesures Ceci permet de garantir que seul le taux de fuites net de l prouvette ne soit mesur Lorsque le d tecteur de fuites bascule nouveau en mode Standby a r un nouveau fond est appliqu au plus t t apr s 25 secondes La valeur actualis e est soulign e sur l cran Ceci signifie en cas de pression sur la touche START et lorsque la valeur du fond est soulign e que le signal de fond actuel est d duit En cas de pression sur la touche Start lorsque la valeur de fond n est pas soulign e l ancien signal de fond pr c demment valable en mode Standby est d duit 6 2 6 Nombre de d cimales e Menu principal gt Affichage gt Nombre de d cimales Le nombre de d cimales peut tre s lectionn pour l affichage du taux de fuites Le r glage en usine est 1 Touche n 1 3 Le taux de taux est affi
81. ent param tres gt Charger PARA SET Une pression sur la touche 6 7 ou 8 permet de charger l un des 3 jeux de param tres enregistr s Ce jeu est d abord affich et doit ensuite tre accept touche 8 ou refus touche 1 6 6 6 2 Sauvegarder sous PARA SET e Menu principal gt R glages gt Sauvegarde et chargement param tres gt Sauvegarder sous PARA SET Une pression sur la touche 2 3 ou 4 permet d initier la sauvegarde des param tres actuels Un nom doit alors tre d fini pour le jeu de param tres Pour modifier le nom propos il suffit d appuyer sur la touche 4 Modifier d signation Sinon appuyer sur la touche 8 Sauvegarder 6 6 7 Fonctions de surveillance e Menu principal gt R glages gt Fonctions de surveillance Demande de calibrage e Menu principal gt R glages gt Divers gt Demande de calibrage Il est ici possible de d finir si le syst me doit ou non rappeler l op rateur qu il doit effectuer un calibrage Le r glage en usine est D sactiv Touche n 3 d sactiv Il n y a pas de rappel du calibrage Touche n 7 activ Un rappel de calibrage est affich Description des menus 81 INFICON Si le rappel de calibrage est activ un message s affichera syst matiquement 30 minutes apr s la mise en marche ou si la temp rature du UL1000 UL1000 Fab a chang de plus de 5 C depuis le dernier calibrage Protection contre les particules e Menu prin
82. es d h lium d celable s l ve ici 5x10 mbar V s Etat a la livraison Etat du UL1000 et du UL1000 Fab a leur sortie d usine G n ralit s 9 INFICON 1 2 Assistance SAV INFICON Pour le cas o vous retourneriez un appareil la soci t INFICON ou l un de ses repr sentants autoris s vous devrez imp rativement indiquer si l appareil est exempt de substances nocives ou s il est contamin S il devait tre contamin veuillez galement indiquer la nature du danger La soci t INFICON renverra les appareils retourn s sans D claration de la contamination l exp diteur Pour une copie du formulaire de d claration de la contamination voir Fig 1 1 Nous recommandons de conclure un contrat de maintenance et de r paration MANUEL TECHNIQUE INFICON Kontaminationserklarung Die Instandhaltung die Instandsetzung und oder die Entsorgung von Vakuumgeraten und komponenten wird nur durchgef hrt wenn eine korrekt und vollst ndig ausgef llte Kontaminationserklarung vorliegt Sonst kommt es zu Verz gerungen der Arbeiten Diese Erkl rung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef llt in Druckbuchstaben und unterschrieben werden 9 Art des Produkts Grund f r die Einsendung Typenbezeichnung Artikelnummer gt Seriennummer 6 Verwendete s Betriebsmittel Vor dem Transport abzulassen Einsatzbedingte Kontaminierung des Produkts toxisch nei
83. eur machine Touche n 8 Service v chapitre 6 7 1 e Menu principal gt Information gt Service Le menu de service permet d ex cuter des fonctions sp ciales par ex commutation manuelle des vannes L acc s au menu de service est prot g par un code PIN n d identification personnel Ce code PIN n est pas fourni lors de la livraison du d tecteur de fuites Vous devez d abord participer une formation ad quate Pour de plus amples informations propos du menu de service consultez le manuel du menu de service iipa74d1 Description des menus 85 INFICON 6 8 Contr le d acc s e Menu principal gt Contr le d acc s Ce menu permet de restreindre l acc s certaines fonctions du UL1000 UL1000 Fab Fig 6 22 Contr le d Acc s Acc s 4 fonction CAL Changer PIN de 1 appareil Changer Menu PIN Fig 6 22 Le menu pour le Contr le d acc s Touche n 4 Acc s fonction CAL v chapitre 6 8 1 Touche n 7 Changer PIN menu v chapitre 6 8 3 Touche n 8 Changer PIN de l appareil v chapitre 6 8 2 6 8 1 Acc s fonction CAL e Menu principal gt Contr le d acc s gt Acc s fonction CAL ll est possible de d finir si l acc s au menu de calibrage doit ou non tre restreint Touche d sactiv n 3 La fonction de calibrage peut uniquement tre activ e partir du menu principal Lorsque le code PIN v chapitre 6 8 2 est activ pour le menu
84. finie niveau Trigger 1 durant la mesure la mesure s ach ve avec le r sultat PASS m me lorsque la valeur maximale n a pas encore t atteinte pour le temps de mesure TemPs de mesure Maximum secondes Minimum secondes Fig 6 13 Temps de mesure valeur minimale et valeur maximale Exemples pour les r glages du temps la chambre de test INFICON est utilis e avec un volume de 430 cm Port e du taux de fuites de retour Temps de mesure 10E 5 10E 6 10E 7 10E 8 10E 9 2s 2s 2s gt 5s gt 10 s Un calibrage externe avec une fuite d essai 10E 9 par ex TL 9 est requis Remarque Lorsque le temps de mesure est modifi un nouveau calibrage doit tre effectu Description des menus 69 INFICON Valeur du seuil 1 Le taux de fuites de retour pour un composant a tester peut se situer dans la plage comprise entre 10E 1 et 10E 9 mbar l s Valeur du Seuil 1 l 0 10 508 Fig 6 14 S rie des erreurs Le nombre de pi ces rejet es durant une mesure en s rie peut tre d fini de 1 9 En mode D SACTIV cette fonction est d sactiv e S rie des erreurs Arr s Mauvais r sultats MANUEL TECHNIQUE Fig 6 15 Une pression sur la touche OK permet d effectuer une MESURE DE REFERENCE afin de nettoyer la chambre de test et de mesurer le niveau du fond d h lium Cela est d duit du r sultat lors des mesures suivantes
85. ge de l appareil au moins l une des conditions suivantes est remplie 30 minutes se sont coul es depuis la mise en marche e La temp rature du pr amplificateur a subi une variation de plus de 5 C depuis le dernier calibrage e Le r glage de la masse a t modifi W81 Facteur de calibrage trop Le facteur de calibrage calcul ne se situe pas dans la plage admissible faible lt 0 1 Le facteur initial est conserv Causes possibles e Les conditions requises pour le calibrage n ont pas t respect es e Le taux de fuites saisi pour la fuite d essai interne est beaucoup trop faible e La fuite de test interne est d fectueuse Messages d erreur et avertissements 97 INFICON N Message affich Description et rem de possible W82 Facteur de calibration trop Le facteur de calibration calcul n est pas compris dans la plage admise lev gt 10 Le facteur initial est conserv Causes possibles e Les conditions requises pour le calibrage n ont pas t respect es e Le taux de fuites saisi pour la fuite d essai interne est trop lev e La fuite d essai interne est d fectueuse ou vide W83 Tous les param tres e L EEPROM est vide au niveau du c blage et a t initialis avec les EEPROM ont t effac s valeurs par d faut Saisir ou red finir tous les param tres ages oe les e Si l avertissement s affiche nouveau apr s la remis
86. ibrage peut tre lanc e partir de trois diff rents emplacements en appuyant sur la touche CAL n 5 e dans le menu principal en mode Standby ou en mode de mesure L acc s partir du mode Standby ou du mode de mesure peut tre verrouill dans certaines circonstances v chapitre 6 8 1 En tel cas la touche correspondante ne comporte aucune inscription Un calibrage en cours peut tre interrompu tout moment en appuyant sur la Touche STOP ou sur la touche n 1 Annulation Apr s avoir lanc le calibrage l op rateur doit s lectionner le calibrage interne ou le calibrage externe La touche correspondante doit alors tre enfonc e 88 Calibrage MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 07 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 07 fm INFICON 7 2 1 Calibrage interne Deux possibilit s sont disponibles pour le calibrage interne du UL1000 et UL1000 Fab e Si le d tecteur est quip d une bride aveugle ou s il est isol par une vanne sur l admission d une chambre vide raccord e il est alors possible de s lectionner le calibrage automatique Touche n 8 e Si le d tecteur de fuites est raccord une chambre vide ou un composant de plus grande taille un calibrage manuel doit tre effectu tant donn que les temps de r ponse l ouverture et la fermeture de la fuite d essai interne varient en fonction du volume du composant Remarque Dans la mesure du possible i
87. iduel La suppression du fond l int rieur du UL1000 UL1000 Fab ainsi que la caract ris tique des fonctions ZERO peuvent ici tre s lectionn es Touche Suppression du fond programm able 3 v chapitre 6 6 2 1 Touche ZERO programm able 7 v chapitre 6 6 2 2 6 6 2 1 Suppression de fond e Description des menus gt R glages gt Z ro et r siduel gt Suppression de fond Dans ce mode le fond d h lium interne des UL1000 UL1000 Fab est d duit de chaque mesure en appuyant sur la touche START Le UL1000 et le UL1000 Fab restent ainsi propres apr s une contamination a l h lium Touche d sactiv e programma ble 3 La suppression de fond interne est d sactiv e Touche activ e r glage par d faut programma ble 7 Le fond interne est mesur et soustrait du signal de mesure en actionnant la touche START 72 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm 6 6 2 2 Z ro 6 6 3 Masse INFICON e Menu principal gt Contr le d acc s gt Z ro et r siduel gt Z ro Ce r glage active ou d sactive la fonction de la touche ZERO sur l unit de commande Touche n ZERO en ULTRA 2 Ce r glage active automatiquement la fonction ZERO d s que la plage de mesure ULTRA est atteinte pour la premi re apr s actionnement de la touche START Dans ce mode de fonctionnement la suppression du fond peut galement t
88. inimale s l ve 0 s Touche n 5 Texte d aide Touche n 7 fl che vers le haut Augmenter le retard d alarme La valeur maximale est de 10 minutes l infini En cas de pression sur la touche START le signal acoustique est activ d s que le taux de fuites chute au dessous du seuil Trigger 1 ou apr s coulement du temps de retard d alarme Ce r glage est uniquement valable pour les types d alarme acous tique Setpoint et Triggeralarm v chapitre 6 4 7 62 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm INFICON 6 4 7 Type alarme audio e Menu principal gt Seuil et alarme gt Type alarme audio Le type d alarme optimal doit tre s lectionn en fonction de la t che accomplir Touche n 2 Pinpoint Cette fonction permet de localiser une fuite de grandeur connue D tails v chapitre 6 4 7 1 Touche n 3 Prop Taux de fuites La hauteur du son est proportionnelle au signal du taux de fuites Ce type d alarme est le plus fr quemment utilis v chapitre 6 4 7 2 Touche n 5 Texte d aide Touche n 6 Setpoint La hauteur du son est proportionnelle au taux de fuites Une tonalit est cependant uniquement mise lorsque le taux de fuites est sup rieur au seuil Trigger 1 D tails v chapitre 6 4 7 3 Touche n 7 Alarme Trigger Un signal d alarme constant retentit d s que le seuil Trigger 1 est d pass
89. ionnement de la Touche START les vannes Via et Vib s ouvrent et le contenu de l prouvette est pomp par la pompe pr vide UL1000 ou la pompe Scroll UL1000 Fab Simultan ment la vanne V2 est ferm e afin d emp cher une augmentation inadmissible de la pression dans la turbopumpe et dans le spec trom tre de masse Lorsque la vanne V2 est ferm e la turbopumpe fonctionne sans l assistance de la pompe Scroll Comme l air contenu dans le spectrom tre de masse a d j t vacu aucun gaz n y est plus pomp La pression p reste donc constante ou n augmente que lentement Si la pression P devait tout de m me augmenter par ex en raison d un pompage prolong l vacuation d air serait interrompue d s que P gt 10 mbar Via et Vib ferm es et la vanne V2 s ouvrirait bri vement afin de r tablir un pr vide ad quat Po lt 1 mbar Les diagrammes suivants repr sentent le flux de gaz durant l vacuation et les modes de fonctionnement GROSS FINE et ULTRA Fig 4 6 gauche vacuation d air aucune mesure droite mode GROSS Les conditions pour l vacuation d crite sont conserv es jusqu ce que la pression d admission p4 chute au dessous de 15 mbar La vanne V2 s ouvre maintenant Le cas ch ant l h lium pr sent peut maintenant affluer contre courant dans le spectrom tre de masse o il est alors d tect Le mode de fonction
90. ir manuel technique de la t l commande RC1000 Les valeurs mesur es pendant jusqu 24 heures peuvent tre m moris es dans la m moire interne de la t l commande RC1000 Les donn es peuvent tre facilement transf r es sur une cl USB Vous pouvez r gler un trigger interne afin qu il mette un avertissement en cas de d passement des taux de fuites limites Les avertissements s affichent sur l cran et une alarme audio est mise sur le haut parleur int gr ou le casque raccord La t l commande RC1000 est mont e dans un bo tier robuste et ergonomique Les aimants de la partie inf rieure permettent de fixer la t l commande sur les surfaces horizontales ou verticales La t l commande RC1000 permet galement de commander les d tecteurs de fuites l aide d un cable d une longueur maximale de 28 m tres INFICON Fig 1 3 T l commande RC1000 sans fil G n ralit s 19 INFICON 1 4 2 6 Chambre de test TC1000 Cette chambre de test transforme le UL1000 ou le UL1000 Fab en un poste de travail complet qui permet de tester les composants herm tiquement clos Elle permet galement de r aliser des contr les rapides et pr cis conformes au standard MIL STD 883 Les contr les d marrent automatiquement d s que le couvercle de la chambre est ferm Les param tres de test comme la dur e de la mesure et le taux intermittent se r glent dans le menu TEST AUTOMATIQUE DE FUITES v
91. it coul e L huile peut endommager l environnement Eliminez correctement l huile et respectez les prescriptions relatives la protection de l environnement e Refermez l huile de vidange Contr ler le joint et le remplacer le cas ch ant Fixer nouveau le flexible de vidange l aide d un collier de serrage e D visserla vis de remplissage d huile Fig 9 6 1 de l orifice de remplissage d huile puis effectuer l appoint en huile fra che jusqu au rep re max La quantit max de remplissage d huile s l ve 0 8 e Refermer la vis de remplissage d huile puis la serrer fond Remarque Apr s la mise en service l huile fra che doit tre d gaz e Pour ce faire laisser le d tecteur de fuites en mode STANDBY et ouvrir la vanne de lest pendant env 20 min 114 Travaux de maintenance MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 09 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 09 fm INFICON 9 12 Pompe turbomol culaire TMH 071 La pompe turbomol culaire doit tre entretenue une fois par an ou toutes les 4 000 heures de service Pour de plus amples informations voir manuels d utilisation PFEIFFER PM 800 504 BN F et PT 0017 BN B Nous recommandons de confier ces travaux de maintenance au service apr s vente de la soci t INFICON ou un parte naire de service apr s vente autoris de la soci t INFICON 9 13 Pompes Scroll uniquement UL1000 Fab L intervalle de mainten
92. iver nouveau la suppression du fond il suffit d appuyer sur la touche ZERO pendant plus de 3 secondes Voir galement figures suivantes taux de fuite Signal de mesure s Valeur m moris e fond 1 J affichage du taux de fuite t1 ZERO activ Fig 4 3 Fond d croissant Si le signal de mesure chute au dessous de la valeur de fond enregistr e cette derni re est automatiquement adapt e au signal de fond D s que le signal augmente nouveau la valeur de fond enregistr e reste constante Les augmenta tions du signal sont clairement indiqu es comme des fuites Cela facilite nor m ment la mesure des taux de fuites infimes 40 Description et principe de fonctionnement MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 04 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 04 fm INFICON taux de fuite Taux de fuite affich PA Suppression du fond Signal mesur TA Le oot lt t3 Fig 4 4 Annulation de la suppression du fond Pour que le signal de mesure soit visible la touche ZERO doit tre enfonc e pendant env 3 secondes La valeur enregistr e est remise z ro le signal de fond n est plus supprim Remarque Activez uniquement la fonction ZERO lorsque le signal de taux de fuites est stable Avec le r glage I ZERO la fonction ZERO peut uniquement tre utilis e lorsque le signal d croissant du fond est stable v chapitre 6 6 2 2 4
93. l est toujours recommand d effectuer un calibrage automatique 7 2 1 1 Calibrage interne automatique Apr s la s lection de cette m thode de calibrage le calibrage complet se d roule automatiquement Un signal acoustique retentit la fin du calibrage apr s env 25 s Le d tecteur de fuite est ensuite pr t pour l utilisation 7 2 1 2 Calibrage interne manuel Lorsque le Calibrage interne manuel est s lectionn on suppose que le UL1000 et UL1000 Fab est raccord une prouvette le cas contraire s lectionner Calibrage interne automatique Apr s le d marrage du Calibrage interne manuel le UL1000 et UL1000 Fab pompe le contenu de l prouvette condition qu il nait pas d j t vacu et ouvre la fuite d essai interne Selon le volume de l prouvette la stabilisation du signal d h lium peut durer un certain temps C est pourquoi l op rateur doit confirmer que le signal a atteint un niveau stable touche n 8 Le d tecteur de fuites effectue maintenant l quilibrage et ferme automatiquement la fuite d essai interne Le temps requis par le d tecteur de fuites pour le pompage de l h lium jusqu ce qu une valeur de fond stable soit atteinte et confirm e par l utili sateur d pend nouveau du volume de prouvette Le d tecteur de fuites est ensuite calibr 7 2 2 Calibrage externe Dans le cas d un calibrage externe une fuite d essai doit tre racco
94. lage auto matique est effectu lors de chaque calibrage S lection automatique de la plage de mesure La plage d amplification du pr amplificateur et les plages de vide sont automati quement s lectionn es La s lection automatique de la plage de mesure du UL1000 et du UL1000 Fab couvre la plage enti re ou la plage enti re de taux de fuites en fonction du mode de fonctionnement s lectionn mode de vide ou mode renifleur Le signal de taux de fuites mais aussi la pression qui r gne dans l prouvette pression d admission PE et la pression de vide primaire PV sont pris en consid ration pour la commande La commutation de la plage au sein des plages principales est effectu e par les vannes La commutation fine l int rieur des plages principales s effectue en commutant le facteur d amplification du pr amplificateur 8 G n ralit s MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 01 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 01 fm INFICON R glage automatique du point z ro Mesure et adaptation automatique au fond d h lium Cette fonction permet de d terminer le point z ro interne de l appareil qui est ensuite d duit du signal de taux de fuites actuel mesur Cette fonction est activ e en cas d actionnement de la touche de d marrage dans la mesure o le UL1000 a aupa ravant fonctionn pendant au moins 20 secondes en mode de fonctionnement Standby ou A ration Si le fond d h lium auparav
95. lages pour la barre indicatrice et le mode 2 Echelle lin aire logarithmique Tendance v chapitre 6 2 1 S lection manuelle ou automatique de la eee GA ANOMANUEI plage de mesure v chapitre 6 2 2 4 Axe du temps E E 5 C ntrast eu du contraste de l cran v chapitre an Affichage du fond en Standby ACTIVE ou Ree sue ei aay DESACTIVE v chapitre 6 2 5 7 Wembe de deciles S lection du nombre de chiffres apr s la virgule v chapitre 6 2 6 8 Limite d affichage inf rieure R glage du seuil de d tection inf rieur affich sur l cran v chapitre 6 2 7 52 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm INFICON Echelle lin aire logarithmique Menu principal gt Affichage gt Echelle lin aire logarithmique Ces r glages sont valables pour la barre indicatrice barre sous les chiffres en mode de mesure et pour l axe des Y en mode tendance L chelle gradu e pour la barre indicatrice peut soit tre lin aire soit logarithmique Les fl ches vers le haut et vers le bas permettent de d finir le nombre de d cades repr sent es par la barre indicatrice Normalement il est recommand d utiliser une chelle gradu e logarithmique puisque les taux de fuites peuvent facilement tre modifi s sur plusieurs d cades Touche n lin aire 2 Une pression sur cette touche active l chelle lin aire en commen ant a z ro
96. le 0 60 C Humidit max relative de lair 80 31 C d croissance lin aire jusqu 50 40 C Altitude max admissible au dessus du niveau de la mer 2000 m en service 1 4 D ballage D baller le UL1000 et le UL1000 Fab imm diatement apr s r ception m me si l appareil ne doit pas encore tre install S assurer que l emballage d exp dition ne soit pas endommag Retirer l int gralit du mat riel d emballage Contr ler si la livraison du UL1000 ou du UL1000 Fab est compl te puis soumettre le UL1000 et le UL1000 Fab un contr le visuel minutieux En pr sence de dommages imm diatement les signaler au transporteur et la compagnie d assurance Si une pi ce endommag e doit tre remplac e veuillez contacter notre service de ventes Remarque Avant la mise en service de l appareil imp rativement retirer les protections de transport 2 1 Conseil Conserver le mat riel d emballage pour d ventuelles r clamations Conseil Pour d baller l appareil veuillez utiliser la cale de l emballage 16 G n ralit s MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 01 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 01 fm INFICON 1 4 1 tendue de la livraison D tecteur de fuites h lium UL1000 ou UL1000 Fab Adaptateur de flexible d chappement pour le cas o le filtre d chappement pr mont ne serait pas utilis avec colliers de serrage Voir n 1 C ble d alimentation
97. le et quilibrage La dur e des travaux de maintenance s l ve environ 5 6 heures sans rempla cement du Tip Seal et peut varier selon que la r serve de lubrifiant soit ou non remplac e La dur e des travaux augmente de 2 heures en cas de remplacement d un Tip Seal 104 Travaux de maintenance MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 09 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 09 fm 9 5 4 Maintenance apr s 16 000 heures La maintenance apr s 16 000 heures doit tre confi e un technicien SAV INFICON ou une personne autoris e par la soci t INFICON L esp rance de vie des paliers de la turbopompe et des diff rents types de pompes pr vide est estim e 16 000 heures de service Les modules Scroll IWATA ISP 500 ou Varian TS 620 ainsi que la turbopompe doivent tre remplac s Une r vision g n rale est recommand e pour la D16 B dans INFICON le UL1000 Travaux a effectuer Mat riel requis N de commande Remplacer la t te Scroll IWATA ISP 500B e T te Scroll pour IWATA ISP 500B 200000217R Remplacer la t te Scroll Varian TS 620 e T te Scroll pour Varian TS 620 200001665R Effectuer une r vision g n rale de la pompe e R vision g n rale de la pompe pr vide pr vide D16 uniquement UL1000 D16 B Remplacer la TMH 071 e Turbopompe TMH 071 200000569R D monter nettoyer le bloc de vannes e Jeu de joints bloc de vannes 200000593 Remplacer les join
98. le niveau chute au dessous du rep re minimum Pour ce faire suivez les instructions v chapitre 9 11 Travaux de maintenance 113 INFICON 9 11 Vidange de la pompe D16 B L huile doit tre renouvel e lorsqu elle est encrass e ou qu elle est consomm e du point de vue chimique ou m canique Une vidange doit galement tre effectu e avant et apr s tout stockage prolong de la pompe La vidange doit toujours tre effectu e la temp rature de service de la pompe vide apr s avoir teint cette derni re Outillage requis Outil d ouverture de la paroi lat rale Cl s six pans creux de 5 mm 8 mm Cl fourche simple de 13 mm Mat riel requis Huile Arctic 1 P N 200 28 181 teindre l appareil puis d monter les capots Pour ouvrir l appareil veuillez suivre les instructions v chapitre 9 6 1 e Ouvrir le collier de serrage du flexible de vidange puis introduire le flexible de vidange dans le r cipient de collecte d huile __ D visser la vis de vidange l extr mit du flexible Fig 9 6 2 l aide d une cl six pans creux de 5 mm Employez la cl fourche simple de 13 mm pour retenir l assemblage par vis e D verser l huile usag e dans un r cipient ad quat Lorsque le d bit d huile diminue refermer la vis de vidange e Allumer bri vement la pompe max 10 s puis l teindre nouveau Ouvrir nouveau la vis de vidange et attendre que l huile restante se so
99. le relais correspondant commute Cette action s affiche sur l cran voir plus haut 6 4 3 Volume sonore 6 4 4 Unit s e Menu principal gt Seuil et alarme gt Volume sonore Le volume minimal et le volume actuel du signal acoustique peuvent tre r gl s ici Le volume minimal est le volume du signal d alarme acoustique le plus faible Ceci permet d viter que le r glage du volume ne soit r gl par m garde un niveau inf rieur celui du niveau du bruit environnant Le volume actuel peut tre r gl entre 15 maximum et la valeur d finie pour le volume minimal Touche n 2 fl che vers le bas R duire le volume minimal La valeur minimale est 0 Touche n 3 fl che vers le bas R duire le volume actuel La valeur minimale r glable est limit e par le volume minimal Touche n 4 Bip activ d sactiv Touche n 5 Texte d aide Touche n 6 fl che vers le haut Augmenter le volume minimal La valeur maximale s l ve 15 Touche n 7 fl che vers le haut Augmenter le volume actuel La valeur maximale s l ve 15 e Menu principal gt Seuil et alarme gt Unit s Les unit s de mesure pr f rentielles peuvent tre s lectionn es Il est possible de choisir parmi 4 unit s de mesure de la pression mbar Pa atm Torr et 5 unit s de mesure des taux de fuites mbar l s Pa m s Torr I s atm cc s Remarque En mode renifleur les unit s de mesure suppl mentaires suivantes sont
100. lement distinguer le signal des bruits environnants Les messages d erreur et avertissements sont enregistr s et peuvent tre affich s ult rieurement via la fonction d information du menu v chapitre 6 7 8 1 Remarques Avertissements Les avertissements s affichent dans les cas suivants lorsque le UL1000 et UL1000 Fab d tecte un tat anormal ou e lorsque le UL1000 et UL1000 Fab souhaite rappeler une op ration l utilisateur par ex qu un calibrage ou qu une op ration de maintenance doivent tre effectu s Le UL1000 et UL1000 Fab affiche un message sur l cran LCD et reste en mode Standby ou en mode de mesure Les avertissements restent affich s sur l cran jusqu ce qu ils aient t acquitt s en appuyant sur la touche OK n 8 L utilisation du UL1000 et UL1000 Fab peut ensuite tre poursuivie le cas ch ant avec quelques restrictions Tant que l tat d avertissement persiste un triangle d avertissement est affich dans la ligne d tat v chapitre 5 4 3 L avertissement peut tre affich en mode Standby en appuyant sur la touche A Il s affiche avec un message Messages d erreur Les messages d erreur sont des v nements qui contraignent le UL1000 et UL1000 Fab interrompre le mode de mesure En tel cas le UL1000 et UL1000 Fab ferme toutes les vannes mode Standby Les messages d erreur restent affich s sur l cran jusqu ce qu ils aient t acquitt s en appuyant sur la
101. ltrante en amont des ventilateurs doit tre contr l e et remplac e en pr sence d encrassement dans le cadre de la maintenance apr s 1 500 heures En cas d exploitation dans les environnements tr s poussi reux les intervalles de service peuvent tre r duits Le silencieux sur l chappement du d tecteur de fuites doit tre remplac Remarque Lorsque les silencieux sont bloqu s il y a risque d endommagement de la uniquement UL1000 Fab pompe Scroll Travaux effectuer Mat riel requis N de commande Contr ler remplacer le filtre _ Filtre de rechange pour le ventilateur 200000685 Remplacer le silencieux e Silencieux pour l chappement 20099183 102 Travaux de maintenance MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 09 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 09 fm 9 5 2 Maintenance apr s 4 000 heures INFICON La maintenance apr s 4 000 heures doit tre effectu e par un technicien SAV INFICON ou une personne autoris e par la soci t INFICON au moins une fois par an Ind pendamment de la dur e de service de 4 000 heures l huile de la pompe pr vide dans le UL1000 doit au moins tre remplac e une fois par an Ind pendamment du nombre d heures de service de la turbopompe la r serve de lubrifiant doit tre remplac e tous les 2 ans Remarque La fuite interne standard d h lium dispose d un certificat avec une validit d un an compter de la date de livraison
102. mations propos du UL1000 et UL1000 Fab 7 Information sp cifications lectriques et du vide et du menu de service v chapitre 6 7 Restrictions d acc s 8 Contr le d acc s v chapitre 6 8 6 1 1 Vue d ensemble de l arborescence du menu voir page suivante 50 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm INFICON 1 niveau 2eMe niveau 3eM niveau Menu principal Affichage v chapitre 6 2 Echelle lin aire logarithmique Affichage gain auto manuel Axe du temps Contraste R siduel en Standby Nombre de d cimales Limite d affichage inf rieure Mode de fonctionnement v chapitre 6 3 Renifleur Vide Test automatique Seuil et alarme v chapitre 6 4 Valeur du seuil 1 Valeur du seuil 2 Volume sonore Unit s Recherche t l commande Retard alarme Type alarme audio Calibrage v chapitre 6 5 Calibrage interne manuel automatique Calibrage externe Saisir taux de fuite D marrage R glages v chapitre 6 6 R glages param tres vide Rin age automatique UL1000 Fab Temporisation a ration Interval mode Vide R glages Auto Leak Test Facteur machine Fuite talon interne Z ro et r siduel Suppression de fond Z ro Masse Interfaces Fonction Paging RC
103. n O11 jaQ tzend nein O11 jaQ mikrobiologisch nein D jan 2 explosiv nein D jaQ 2 radioaktiv nein D jaQ2 sonstige Schadstoffe nein O11 jaQ Das Produkt ist frei von L gesundheitsgef hrdenden pr 2 Derart kontaminierte Stoffen jaQ 1 oder so gering dass von Produkte werden nur den Schadstoffr ckst nden bei Nachweis einer keine Gefahr ausgeht vorschriftsmassigen Dekonta minierung entgegengenommen Schadstoffe und oder Reaktionsprodukte Schadstoffe oder prozessbedingte gef hrliche Reaktionsprodukte mit denen das Produkt in Kontakt kam Handels Produktname Chemische Bezeichnung Massnahmen bei Freiwerden Erste Hilfe bei Unf llen Hersteller evtl auch Formel der Schadstoffe 6 lt b Rechtsverbindliche Erkl rung Hiermit versichere n ich wir dass die Angaben korrekt und vollstandig sind und ich wir allfallige Folgekosten akzeptieren Der Versand des kontaminierten Produkts erf llt die gesetzlichen Bestimmungen Firma Institut Strasse PLZ Ort Telefon Telefax E Mail Name Datum und rechtsverbindliche Unterschrift Firmenstempel Dieses Formular kann von unserer Verteiler Webseite heruntergeladen werden Original an den Adressaten 1 Kopie zu den Begleitpapieren 1 Kopie far den Absender INFICON GmbH Bonner Str 498 50968 K ln Deutschland zisa01d1 a Tel 49 0 221 3474 2222 Fax 49 0 221 3474 2221 www inficon com leakdet
104. na7Of 06 fm INFICON 6 6 1 2 Temporisation a ration e Menu principal gt R glages gt R glages param tres vide gt Temporisation a ration Ce menu permet de d finir la temporisation avant l a ration de l admission lorsque la touche STOP est enfonc e Lorsque la touche STOP est enfonc e pendant une dur e inf rieure la temporisation d a ration d finie le UL1000 UL1000 Fab bascule uniquement en mode Standby Lorsque la touche STOP est enfonc e pendant une dur e sup rieure la tempori sation d a ration d finie l admission est a r e Touche n 2 imm diatement L admission est imm diatement a r e en cas d actionnement de la touche STOP Touche n 3 apr s 1 seconde L admission est a r e apr s une temporisation de 1 seconde Touche n 4 apr s 1 5 secondes L admission est a r e apr s une temporisation de 1 5 secondes Touche n 5 Texte d aide Touche n 6 apr s 2 secondes L admission est a r e apr s une temporisation de 2 secondes Touche n 7 aucune a ration L admission ne peut pas tre a r e en appuyant sur la touche STOP Interval mode Vide e Menu principal gt R glages gt R glages param tres vide gt Interval mode Vide Ce menu permet de d finir diff rents modes de fonctionnement pour la d tection de fuites Le r glage est uniquement valable en mode de fonctionnement VIDE v chapitre 6 3 Touche n 2 UNIQUEMENT ULTRA Avec ce mode
105. ne description de la saisie v chapitre 4 2 2 7 Saisies num riques e Menu principal gt R glages gt Divers gt Langue Il est possible de s lectionner la langue de votre choix l aide des touches 3 et 7 Le r glage en usine est l anglais Langues disponibles allemand anglais italien espagnol polonais chinois mandarin japonais katakana cor en Remarque Une pression simultan e sur les touches 2 et 6 durant la phase de mont e en r gime permet de r initialiser le r glage de la langue au r glage en usine anglais 78 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm 6 6 5 3 Filtre de fuite INFICON e Menu principal gt R glages gt Divers gt Filtre de fuite Il est ici possible de s lectionner le type de filtre de taux de fuites Le r glage usine est leCAL Touche Fixed n 3 Un filtre avec une constante de temps fixe est employ Touche n 5 Texte d aide Touche ICAL n 7 CAL garantit l adaptation optimale du temps de calcul de la moyenne au taux de fuites respectif L abr viation l CAL signifie Intelligent Calculation Algorithm for Leakrates algo rithme de calcul intelligent pour taux de fuites Cet algorithme garantit que le calcul de la moyenne des signaux soit r alis avec des intervalles de temps optimis s et ce sur la base de la plage de taux de fuites respective l CAL limine galement les
106. nement s appelle GROSS la limite d affichage inf rieure s l ve 1x10 mbar l s Description et principe de fonctionnement 43 INFICON Comme la pompe Scroll continue d vacuer l air contenu dans prouvette la pression d admission p4 continue de chuter A moins de 2 mbar le UL1000 UL1000 Fab bascule en mode FINE cela signifie que la vanne V4a s ouvre et que la vanne V1b se ferme Le flux de gaz parvient maintenant a un niveau interm diaire dans la pompe turbo mol culaire La sensibilit du syst me est maintenant plus lev e la limite d affi chage inf rieure s l ve 1x10 10 mbar l s Fig 4 7 gauche mode FINE droite mode ULTRA La partie inf rieure de la pompe turbomol culaire continue d vacuer l air contenu dans l prouvette et apr s que la pression p4 ait chut au dessous de 0 4 mbar le UL1000 UL1000 Fab bascule en mode ULTRA cela signifie que les vannes V1a et Vaa se ferment et que la vanne V4b s ouvre L admission de gaz dans la pompe turbomol culaire se d roule maintenant plus haut La capacit d aspiration au niveau de l admission s l ve maintenant 2 5 l s et la limite de d tection s l ve 5x10 mbar I s Remarque Un r glage sp cial du UL1000 UL1000 Fab emp che la commutation automatique de la plage de mesure d crite plus haut En cas de s lection du mode FINE only v chapitre
107. nie le test est interrompu et la chambre est automatiquement a r e Le test peut tre termin tout moment en appuyant sur la touche STOP Apr s le d marrage le contr le se d roule de la mani re pr d finie dans les pr r glages Pays 5 0 10 mbar l s is bein i 325 AUTO LEAK TEST Fig 6 7 1 Temps de mesure restant Lorsque la chambre de test doit rester sous vide apr s l arr t de l appareil vous z devez appuyer sur la touche Pause tasse de caf Suivez les instructions sur l cran puis teignez le d tecteur de fuites Cette fonction peut galement tre utilis e pour interrompre un contr le La mesure peut tre poursuivie en appuyant sur la touche RESTART Description des menus 59 INFICON 6 4 Seuil et alarme e Menu principal gt Seuil et alarme Les seuils Trigger le volume sonore du signal acoustique et l unit pour les taux de fuites et pressions peuvent tre d finis dans ce menu Fig 6 8 Fig 6 8 Le menu Seuil et alarme Touche n D signation Description 1 Retour Retour au menu principal 2 Valeur du seuil 1 D finition du seuil Trigger 1 v chapitre 6 4 1 3 Valeur du seuil 2 D finition du seuil Trigger 2 v chapitre 6 4 2 4 Volume sonore v chapitre 6 4 3 Le S lection des unit s de mesure pour les taux de fuites 5 Unit s et les pressions v chapitre 6 4 4 6 PE shialaohas v chapitre 6 4 5
108. oir 6 6 1 6 Le d roulement du contr le est automatique le r sultat est affich au moyen de la DEL rouge ou verte sur la chambre de test ER l MAIN ciara UL1000 Fab Fig 1 4 Chambre de test TC1000 20 G n ralit s MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 01 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 02 fm 2 2 1 INFICON Installation Transport Le UL1000 et UL1000 Fab ne sont pas quip s d anneaux vis et ne doivent donc pas tre transport s l aide de dispositifs de levage Le UL1000 UL1000 Fab doit uniquement tre pouss ou tir par la poign e pr vue cet effet Ne pas soulever l appareil par la poign e Risque d crasement des pieds Garder les pieds l cart des rouleaux Risque d crasement des pieds Ne tirez pas l appareil poussez le En cas de transport de l appareil sur une grande distance imp rativement utiliser l emballage d origine Les roulettes ne doit pas tre bloqu es lorsque le UL1000 UL1000 Fab est exp di dans son emballage d origine UL1000 Fab avec Triscroll TS 620 Lors du transport de l appareil le chassis sur lequel la pompe est mont e doit tre fix l aide d une protection de transport La protection de transport se compose de 2 vis Retirer les capots du UL1000 Fab pour acc der la protection de transport Les tiquettes orange sur le bas
109. ompe En tel cas nous d clinons toute responsabilit Le niveau d huile de la pompe doit alors r guli rement tre contr l Observer les intervalles standard indiqu s par le fabricant pour la vidange ce propos observer galement le manuel d utilisation de la pompe tiroirs rotatifs Les gaz dont les mol cules contiennent des halog nes par ex fluor chlore comme les r frig rants et le SFg ne doivent pas tre pomp s durant une dur e prolong e et avec une concentration lev e l aide du d tecteur de fuites Le rev tement cathodique de la source d ions risquerait d tre attaqu La cathode risquerait alors de se consumer Uniquement pour le mod le UL1000 Fab Les gaz et vapeurs condensables peuvent p n trer l int rieur du d tecteur de fuites et d truire la pompe pr vide Faire preuve de prudence lors du pompage dans l prouvette notamment dans les r gions tr s humides L humidit contenue dans l air suffit d j pour saturer la pompe Il en va de m me pour les prouvettes mouill es 1108 Danger Les gaz dangereux contaminent l appareil Il est donc interdit d utiliser l appareil pour la d tection de gaz toxiques corrosifs microbiologiques explosifs radioactifs ou d autres substances nocives Si une telle utilisation est pr vue contactez le fabricant Si un reniflage de substances toxiques est pr vu contactez le fa
110. pour le mode renifleur e Menu principal gt R glages gt R glages param tres vide gt Fonctions de surveillance gt Limites de pression pour le mode renifleur Cette fonction est automatiquement activ e en mode renifleur Les limites de pression d finissent une pression d admission maximale et une pression d admission minimale Si la pression n est pas comprise dans cette plage des messages d erreur s affichent Pression d admission gt Limite sup rieure Capillaire d fectueux Pression d admission lt Limite inf rieure Le flux de gaz travers le capillaire est trop faible capillaire bloqu Touches n 3 et 6 R glage de la pression maximale Limite sup rieure 2 mbar Touches n 4et7 R glage de la pression minimale Limite inf rieure 0 02 mbar Touche N 5 Texte d aide Description des menus 83 INFICON Temps de pompage maximum e Menu principal gt R glages gt R glages param tres vide gt Fonctions de surveillance gt Temps de pompage maximum Cette option du menu permet de d terminer si un message de fuite grosse doit tre affich La surveillance de fuite grosse fonctionne sur deux phases et il est possible si n cessaire d adapter la valeur limite r glage usine 30 min Cette option du menu est particuli rement utile en cas de contr les en s rie dans des conditions toujours identiques Une nouvelle pression sur la touche Start permet d vacuer l air contenu dans l
111. pression est g n r e par la pompe turbomol culaire elle m me assist e par une pompe Scroll Le diagramme de vide suivant montre les principaux composants l int rieur du UL1000 UL1000 Fab Description et principe de fonctionnement 37 INFICON Fig 4 1 Diagramme de vide UL1000 et UL1000 Fab N Description 1 MS spectrom tre de masse capteur d h lium spectrom tre de masse a secteurs magn tiques 180 2 Pompe turbomol culaire TMP g n re le vide pouss requis par le spec trom tre de masse 3 Via V8 lectrovannes pour la commande des flux de gaz 4 Pompe Scroll g n re la pression de pr vide pour la TMP et vide galement les prouvettes par pompage 5 Bride d entr e Le syst me de pompage sert non seulement g n rer et maintenir le vide dans le spectrom tre de masse mais sert galement vacuer l air contenu dans les prou vettes Ceci garantit en permanence que la pression qui r gne l int rieur du spec trom tre de masse soit suffisamment basse Les vannes V1a V1b V2 V4a et V4b commandent le flux de gaz durant la mesure Les vannes V5 uniquement UL1000 V6 et V8 servent a rer le syst me et la turbopompe La vanne V7 ouvre et ferme la fuite d essai interne durant l op ration de calibrage Lorsque la pression dans l prouvette est inf rieure la pression ambiante I h lium employ pour pulv riser l prouvette peu
112. r cise lorsqu elle est ex cut e une fois avec et une fois sans pompe externe activ e La diff rence entre les r sultats permet de d terminer le facteur machine Lorsque le renifleur l h lium QUICK TEST est utilis le facteur machine doit tre r gl 400 Le facteur machine peut galement tre utilis pour corriger l affichage du taux de fuite en relation un quivalent d air Le facteur machine pour cette correction est 3 7 x 10 Lorsque ces r glages sont utilis s l tat affich sur l cran est COR 68 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm 6 6 1 6 R glages Auto Leak Test INFICON e Menu gt R glages gt R glages param tres vide gt R glages test Auto Leak Tous les param tres pour les contr les sur les composants herm tiquement clos peuvent tre d finis ici Temps de mesure Le temps de mesure se r gle entre la une valeur minimale et une valeur maximale voir Fig 6 13 R glages Temps 1 20 secondes 20 30 secondes 30 60 secondes 1 30 minutes 3 10 minutes 10 30 minutes Intervalle Par pas de 1 s Par pas de 2 s Par pas de 5 s Par pas de 10 s Par pas de 30 s Par pas de 1 s Le temps de mesure valeur maximale d pend du volume de la chambre de test du volume de l objet a tester et du taux de fuites du retour En cas de sous d passement de la valeur Trigger d
113. rd e sur prou vette ou directement sur l admission du d tecteur de fuites Remarque Apr s un calibrage interne le taux de fuites indiqu peut diverger de la valeur de la fuite d essai externe imprim e en raison d incertitudes et de coefficients de temp rature de la fuite d essai Apr s la s lection de Calibrage externe touche n 8 les messages suivants sont affich s et les actions d crites doivent tre effectu es Calibrage 89 INFICON e S assurer que la fuite d essai soit raccord e et ouverte e Relever le taux de fuites sur la fuite d essai et le comparer avec le taux de fuites affich Appuyer sur la touche Saisir taux de fuites n 4 et corriger la valeur le cas ch ant e Si les taux de fuites sont identiques appuyer sur la touche START n 8 Annul CALIBRATION EXTERNE Connecter et la fuite talon externe Fuite talon externe 7 540706 mbar 17s Fig 7 1 Calibrage externe tape 1 e Aucune action n est requise POMPAGE Press d entr e Pi 0 05 mbar Fig 7 2 Calibrage externe tape 2 e La barre indicatrice indique un signal qui ne doit que l g rement fluctuer En tel cas appuyer sur la touche OK n 8 CAL I BRAGE SUP Presser OK si si nal stable Fuite calibr e externe ouverte 8 Courant ionique A i725 Fig 7 8 Calibrage externe tape 3 90 Calibrage MANUEL TECHNIQUE 1108
114. re d sactiv e manuellement en appuyant sur la touche ZERO Touche n verrouill e 3 La touche ZERO est verrouill e sur l unit de commande Touche n aide 5 Touche n I ZERO 6 Ce r glage permet de mesurer le gradient du signal de fond d croissant Le signal du taux de fuites doit tre suffisamment stable afin de pouvoir d celer une fuite de l ordre de grandeur du trigger 1 d fini La fonction l Zero est verrouill e tant que le signal du taux de fuites n est pas suffisamment stable Le gradient du signal du fond d croissant est gt 0 5 x la valeur Trigger 1 d finie Touche n activ e 7 La fonction ZERO peut tre activ e l aide de la touche ZERO sur l unit de commande e Menu principal gt R glages gt Masse La masse du gaz t moin respectivement employ peut tre saisie Le UL1000 UL1000 Fab doit alors se trouver en mode Standby Touche n 2 Hp 2 amu L hydrog ne avec une masse de 2 amu est mesur Touche n 3 He 3 amu L isotope d h lium avec une masse de 3 amu est mesur Touche n 7 He 4 amu L h lium avec une masse de 4 amu est mesur Description des menus 73 INFICON 6 6 4 6 6 4 1 Interfaces e Menu principal gt R glages gt Interfaces Les param tres des interfaces peuvent tre d finis ici La sortie de l enregistreur Fig 2 6 4 comporte 2 canaux Touche n 3 Position de contr le v chapitre 6 6 4 1 Touche n 4
115. remi re mise en service II explique comment le UL1000 et UL1000 Fab doivent tre mis en marche comment effectuer les mesures et comment se d roule un calibrage interne Remarque Si le UL1000 UL1000 Fab ne se comportent pas de la mani re attendue lors de la premi re mise en service ou s il se comporte bizarrement le d tecteur de fuites peut tre teint tout moment en actionnant l interrupteur marche arr t Pi ces requises Les pi ces suivantes sont requises e bride aveugle DN 25 KF sauf si elle est d j sur la bride d entr e e une fuite d essai I h lium avec adaptateur DN 25 KF en option Premi re mise en service Pri re d effectuer les diff rentes tapes d crites ci apr s lors de la premi re mise en service Pour une description plus d taill e v chapitre 5 Mont e en r gime et mesure 1 D baller le UL1000 UL1000 Fab et s assurer qu il ne pr sente aucun dommage visible v chapitre 1 4 2 Raccorder l appareil l alimentation lectrique v chapitre 2 3 1 3 Allumer le d tecteur de fuites en appuyant sur son interrupteur marche arr t voir Fig 2 6 8 Prudence vitez les mouvements brusques Des mouvements brusques peuvent endommager la turbopompe en cours de fonctionnement vitez les mouvements brusques et ne soumettez pas l appareil des secousses par ex en marchant sur les c bles seuils de porte pendant l exploitation et jusqu 4 minutes apr s la mise hors
116. rempla ant la source d ions Apr s cathodes remplacement de la source d ions les 2 cathodes doivent pouvoir tre activ es manuellement dans le menu de service E48 Chauffage de l anode Le signal MSAFD est actif sur la carte MSV Le fusible pour le chauffage d fectueux de l anode est grill Remplacer le fusible F2 sur la carte MSV E50 Aucune communication avec La cadence du convertisseur de fr quence a t interrompue Aucune la turbopompe communication avec le convertisseur de fr quence E52 Fr quence des turbopompes La vitesse de rotation de la pompe turbomol culaire est trop basse F op panse e Le convertisseur de fr quence est d fectueux e La pompe turbomol culaire est d fectueuse W53 La temp rature du sous e La temp rature ambiante est trop lev e groupe lectronique est trop Le ventilateur est en panne lev e gt 55 C ee e Le filtre air est encrass E54 La temp rature du sous e La temp rature ambiante est trop lev e groupe lectronique est trop L a ration interne est en panne lev e gt 60 C es e Les filtres air sont encrass s et doivent tre remplac s W55 La temp rature du sous e La sonde de temp rature au niveau du c blage indique T lt 2 C Dur e groupe lectronique est trop de mont e en r gime prolong e pour la pompe pr vide basse lt 2 C e La sonde de temp rature est d fectueuse E56 Pression d admission p1 trop U
117. ription 1 cran LCD 8 Touche n 5 2 Touche n 1 9 Touche n 6 3 Touche n 2 10 Touchen 7 4 Touche n 3 11 Touche n 8 5 Touche n 4 12 Touche MENU MENU 6 Touche START 13 Touche STOP 7 Unit de commande 14 Touche ZERO 6 Une pression sur la Touche ZERO Fig 3 2 14 permet de corriger d ventuels signaux de fond fond d h lium dans prouvette Pour annuler la suppression de fond il suffit d appuyer sur la touche Touche ZERO pendant 2 3 secondes 7 Appuyer sur la Touche STOP Fig 3 2 13 le UL1000 et UL1000 Fab bascule en mode de veille Standby Une pression prolong e sur la touche STOP permet d a rer l admission du UL1000 UL1000 Fab 8 Pour arr ter la mont e en r gime poursuivre l tape Nr 16 Pour effectuer un calibrage poursuivre l tape Nr 9 Contr les avant la mise en service 35 INFICON 3 2 2 Calibrage interne 3 2 3 V rification 9 10 11 12 13 14 15 16 Poursuivre maintenant avec le calibrage interne v chapitre 7 2 1 Calibrage interne Pour obtenir des r sultats de meilleure qualit il est recommand d attendre 15 20 minutes jusqu ce que l appareil ait atteint sa temp rature de service e Appuyer sur la touche CAL Calibration n 5 Fig 3 2 8 pour ouvrir le menu de calibrage e Appuyer sur la touche interne n 4 Fig 3 2 5 pour s lectionner le calibrage interne Touche automatique n 8 Fig 3 2 11 Le calibrage a
118. rque La fonction de calibrage de Leak Ware ne convient pas pour une utilisation avec le UL1000 UL1000 Fab Veuillez ex cuter la fonction STORE DATA en mode Single Part Measurement afin de d marrer l enregistrement des valeurs mesur es Touche n 7 ASCII Permet l exploitation du UL1000 UL1000 Fab via un terminal RS232 D tails voir la description de l interface iins72d1 a Description des menus 75 INFICON 6 6 4 3 Sortie enregistreur e Menu principal gt R glages gt Interfaces gt Sortie enregistreur Ce sous menu permet d attribuer les signaux enregistr s par l enregistreur aux deux sorties d enregistreur Touche n 1 Annuler Revenir au menu pr c dent sans modifier les valeurs actuelles Touche n 2 vers le haut S lectionner l op ration enregistreur 1 ou 2 Touche n 3 vers le bas S lectionner l op ration enregistreur 1 ou 2 Touche n 5 Aide Touche n 6 vers le haut S lectionner le signal d affichage de la sortie d criture Touche n 7 vers le bas S lectionner le signal d affichage de la sortie d criture Touche n 8 ok Enregistrement des param tres d finis Sortie enregistreur Off pi 2 marae exPonen LR linear LR log Fig 6 19 OFF La sortie d enregistreur est d sactiv e 0 V P1 P2 La pression d admission p4 ou la pression de pr vide pp sont enregistr es Les tensions de sortie sont mises l chelle l aide de
119. s gt Interfaces gt Protocole RS232 Touche n 3 Diagnostic Permet de lire les param tres de l appareil par ex lors de la maintenance Touche n 4 Printer manual Ce r glage permet d envoyer les taux de fuites une imprimante avec une entr e RS232 ou des ordinateurs par l interm diaire de l interface RS232 Les valeurs mesur es peuvent tre interrog es l aide de programmes Hyperterminal courants La vitesse de transmission des donn es de la fonction d imprimante a t fix e 9 600 Baud 8N1 Les appareils raccord s doivent tre r gl s avec ces param tres Le taux de fuites est fourni au format LR 1 00E 10 09 Apr 07 08 25 MEAS LR Taux de fuites La valeur mesur e est identique a la valeur num rique suivante En cas de d passement ou sous d passement le symbole lt taux de fuites est sup rieur la valeur d finie s affiche 1 00E 10 Affichage du taux de fuites avec l unit de mesure d finie suivie de la date et de l heure MEAS Le UL1000 UL1000 Fab est en mode de mesure En mode de fonctionnement de mesure il suffit d appuyer sur la touche START ou d activer l entr e START sur le raccord DIGITAL IN pour afficher les informations Touche n 5 Texte d aide Touche n 6 UL2xxLeak Ware Permet de raccorder un ordinateur et de commander et lire les valeurs de mesure l aide du logiciel Leak Ware fonctionnement de Leak Ware voir manuel d utilisation correspondant Rema
120. s de 500 h heures Limite sup rieure 4 000 h 6 6 5 7 Message de service filtre d chappement Le filtre d chappement doit r guli rement tre entretenu afin de garantir le fonction nement irr prochable du UL1000 UL1000 Fab Lorsque ce message est activ le UL1000 UL1000 Fab rappelle l op rateur qu une op ration de maintenance doit tre effectu e Touche n d sactiv 3 Touche n Texte d aide 5 Touche n activ 7 Si vous ignorez le message de service et que vous ne remplacez pas le filtre d chappement le moteur de la pompe risque de surchauffer 80 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm INFICON 6 6 6 Sauvegarde et chargement param tres e Menu principal gt R glages gt Sauvegarde et chargement param tres gt Chargement Permet de sauvegarder et charger les r glages personnalis s ou de r tablir les r glages en usine Touches n 2 4 Les r glages actuels peuvent tre sauvegard s avec un nom librement d finissable Il est possible de sauvegarder 3 diff rents jeux de param tres v chapitre 6 6 6 2 Touche n 5 charger les valeurs par d faut Les r glages en usine sont recharg s Touches n 6 8 Permet de charger l un des 3 jeux de param tres sauve gard s v chapitre 6 6 1 3 6 6 6 1 Charger PARA SET e Menu principal gt R glages gt Sauvegarde et chargem
121. sur la touche n 8 Pour une explication des diff rents modes d affichage v chapitre 5 4 5 Mode d affichage num rique et v chapitre 5 4 5 L acc s la fonction de calibrage touche n 5 et l intensit sonore des signaux acoustiques touches n 2 et 3 sont identiques dans tous les modes de fonction nement Les symboles d tat dans la ligne du bas sont galement identiques avec tous les modes d affichage t Bmin 9s 33 AUTO LEAK TEST Fig 5 1 Ecran mode de mesure 5 4 1 Activation de la fonction de calibrage La touche n 5 permet d activer la routine de calibrage dans tous les modes de fonc tionnement Pour de plus amples informations propos de la proc dure de cali brage v chapitre 7 Calibrage Fonctionnement du UL1000 et UL1000 Fab 47 INFICON 5 4 2 Volume sonore pour le signal acoustique Le signal d alarme peut endommager l ou e Le niveau de l alarme du SmartTest peut d passer 85 dB A Eviter toute exposition prolong e aux signaux d alarme ou porter une protection auditive Deux symboles de haut parleur sont affich s sur la gauche en combinaison avec les signes et Une pression sur les touches correspondantes n 2 et 3 permet de r gler le volume sonore a une valeur ad quate Un autre symbole de haut parleur accompagn d un chiffre est affich dans la ligne inf rieure de l cran Ce chiffre indique le volume sonore actuel dans la plage de 0 15 Po
122. sur le syst me de vide veillez ce que l environnement soit propre et utilisez des outils propres Danger Pour tous les travaux de maintenance effectu s sur le UL1000 et UL1000 Fab d branchez imp rativement le d tecteur de fuites du r seau lectrique Dommages de l appareil dus des contr les insuffisants Afin d viter des dommages cons cutifs contr lez r guli rement si le d tecteur de fuites pr sente des dommages visibles de l ext rieur et ex cutez la maintenance conform ment aux prescriptions Remarque Le plan de maintenance ci apr s doit imp rativement tre observ pour le UL1000 et UL1000 Fab En cas de non respect des intervalles d entretien d finis la garantie de l appareil expire Nous conseillons de souscrire un contrat de maintenance pour cet appareil Lorsque les diff rents intervalles de maintenance sont atteints 1 500 4 000 8 000 heures un avertissement s affiche sur l cran du d tecteur de fuites UL1000 et UL1000 Fab lors de sa mise en marche Le message reste affich jusqu a ce que l intervalle de maintenance soit acquitt Les travaux de maintenance apr s 1 500 heures peuvent varier en fonction de l application de l appareil Travaux de maintenance 99 INFICON 9 2 Maintenance ou SAV chez INFICON Si vous renvoyez un appareil a INFICON en vue de sa r paration ou maintenance indiquez si l appareil est exempt de substances nocives po
123. t de la cartouche filtrante Le degr d encrassement de la cartouche filtrante du ventilateur doit tre contr l tous les 3 mois en pr sence de conditions extr mes une fois par mois Les cartouches filtrantes encrass es doivent tre remplac es tant donn que cela r du irait sinon la capacit frigorifique pour la turbopompe et l appareil Outillage requis Outil d ouverture de la paroi lat rale accessoire Mat riel requis Cartouche filtrante de rechange P N 200 000 685 Avant de retirer les capots du UL1000 et UL1000 Fab imp rativement d brancher le d tecteur de fuites du r seau lectrique e Pour l ouverture du d tecteur de fuites v chapitre 9 6 1 Travaux de maintenance 107 INFICON e Saisissez la cartouche filtrante avec deux doigts au niveau des videments indiqu s sur la Fig 9 2 a puis retirez la cartouche filtrante du guidage Si cela n est pas possible jectez le filtre vers l avant l aide d un outil a travers l orifice l arri re Fig 9 2 3 amp Fig 9 2 Remplacement du filtre air dans la paroi du ch ssis N Description N Description a Evidement filtre air 2 Guidage filtre air 1 Cartouche filtrante 3 Orifice d jection l arri re e Lors de la mise en place de la cartouche filtrante observez le sens de ventilation Il est indiqu par une fl che noire sur la Fig 9 2 ci dessus Remarque
124. t y p n trer en pr sence d une fuite dans l prouvette D s que les conditions de pression le permettent l une des vannes s ouvre en direction de la TMP L h lium peut alors p n trer dans le spectrom tre de masse dans le sens inverse du pompe de la TMP donc contre courant Pour de plus amples informations v chapitre 4 3 Modes de fonctionnement 38 Description et principe de fonctionnement MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 04 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 04 fm INFICON 4 2 2 Unit de commande 4 2 2 1 Ecran LCD L Unit de commande Fig 4 2 7 se compose d un cran a cristaux liquides cran LCD les touches START STOP ZERO suppression du fond et MENU menu ainsi que huit autres touches pour les diff rents menus et saisies L unit de commande en soi est orientable 6 INFICON O amp ND Fig 4 2 Unit de commande N Description N Description 1 cran LCD 8 Touche N 5 2 Touche N 1 9 Touche N 6 3 Touche N 2 10 Touche N 7 4 Touche N 3 11 Touche N 8 5 Touche N 4 12 Touche MENU MENU 6 Touche START 13 Touche STOP 7 Unit de commande 14 Touche ZERO L Ecran LCD Fig 4 2 1 constitue l interface de communication avec l op rateur de l appareil L unit de commande affiche les taux de fuites les messages d tat du d tecteur de fuites les messages les avertissements et les messages d erreur 4 2 2 2 Touche START
125. te d essai externe et de la stabilit du signal du taux de fuites Remarque Les signaux sur ces entr es sont uniquement accept s lorsque le site de commande PLC ou Local et PLC sont s lectionn s v chapitre 6 6 4 1 Installation 29 INFICON 2 3 2 4 Enregistreur Recorder Les sorties d enregistreur Fig 2 6 4 peuvent tre utilis es pour enregistrer le taux de fuites la pression d admission et la pression de pr vide Les deux sorties d enregis treur peuvent tre r gl e individuellement pour la sortie de taux de fuite et de pres sions Les valeurs mesur es sont indiqu es via un signal analogique dans la plage 0 V 10 V La r solution est limit e 10 mV L appareil raccord la sortie d enregistreur par ex un enregistreur X t doit poss der une r sistance d entr e d au moins 2 5 kQ La tension de mesure est tablie sur les contacts 1 et 4 le potentiel de r f rence GND sur les contacts 2 et 3 Les contacts sont num rot s de haut en bas Conseil Un diagramme indiquant le rapport entre la tension de sortie d une part et la pression et le taux de fuites d autre part est disponible dans l annexe 1 Remarque Les sorties d enregistreur sont isol es lectriquement des autres raccords Si 2 3 2 5 RS232 des parasitages devaient toutefois tre constat s il est recommand d exploiter le UL1000 UL1000 Fab et l enregistreur sur la m me phase du r seau
126. tension Le cas contraire la turbopompe risquerait d tre endommag e Ne pas allumer le UL1000 UL1000 Fab lorsque la temp rature ambiante est inf rieure 10 C Contr les avant la mise en service 33 INFICON 4 Lors de la mise en marche du d tecteur un cran d accueil s affiche sur l cran de l unit de commande Fig 3 1 1 La vitesse de la turbopompe la pression de pr vide l mission et la cathode active s affichent ensuite sur l cran La proc dure de d marrage dure env 3 minutes et une br ve tonalit retentit d s qu elle est achev e Le UL1000 UL1000 Fab se trouve alors en mode Standby veille Fig 3 1 Vue du UL1000 et UL1000 Fab N Description 1 Unit de commande 2 Admission S assurer que l admission Fig 3 1 2 soit quip e d une bride aveugle Le cas contraire fixer une bride aveugle avec un joint torique sur l admission 5 Appuyer sur la Touche START Fig 3 2 6 L air contenu dans l admission est ensuite vacu et le taux de fuites mesur s affiche Il s agit ici du mode de mesure Si une prouvette tait maintenant raccord e il serait possible de d marrer la pulv risation d h lium par l ext rieur 34 Contr les avant la mise en service MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 03 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 03 fm INFICON AUN Fig 3 2 Unit de commande N Description N Desc
127. tes mesur est alors affich Pour en savoir propos des informations affich es voir Fig 5 1 Le taux de fuites affich correspond la concentration du fond d h lium dans prou vette Comme le UL1000 UL1000 Fab poursuit le pompage dans l prouvette le taux de fuites du fond continue de chuter D s que le taux de fuites affich est suffi samment bas pour satisfaire aux exigences respectives l ext rieur de l prouvette peut tre asperg d h lium pour d tecter des fuites Une fois le contr le achev appuyer sur la touche STOP et la maintenir enfonc e pendant quelques secondes pour a rer prouvette L cran permet d afficher soit les signaux des taux de fuites soit les r glages sp ci fiques au programme et permet d obtenir des informations par le biais des menus du logiciel v chapitre 6 Description des menus Les messages et instructions de maintenance sont galement affich s sur l cran v chapitre 8 Messages d erreur et avertisse ments crans de mont e en r gime Durant la mont e en r gime env lt 3 min les informations suivantes sont affich es sur l cran e Vitesse de rotation de la turbopompe e Pression de pr vide Etat de l mission e Cathode active e Une barre indicatrice qui indique le degr d avancement de la mont e en r gime Remarque Lorsque l cran est trop clair ou trop fonc il est possible de modifier le r glage du contraste v ch
128. tion du temps d vacuation jusqu ce que p1 lt 100 mbar valeur maximale 1 s Touche n 7 T Augmentation du temps jusqu la disponibilit la mesure valeur minimale infinie 84 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm 6 7 6 7 1 INFICON Information Service e Menu principal gt Information Le menu Information Fig 6 21 permet d acc der aux sous menus qui contiennent les diff rentes informations sp cifiques au UL1000 UL1000 Fab Inter faces Information Afficher Donn es r glages protocoles Afficher Facteurs param tres internes calibrages Sch ma synoptique Fig 6 21 Le menu Information Touche n 2 Afficher r glages Les r glages actuels sont affich s sur 4 pages par ex seuils Trigger masse de fuite d essai date et heure Touche n 3 Afficher param tres internes Les informations propos des donn es internes sont affich es sur 4 pages Touche n 4 Sch ma synoptique Le sch ma du vide du UL1000 UL1000 Fab est affich Ce diagramme indique entre autres les vannes actuellement ouvertes ou ferm es Touche n 5 Interfaces La configuration des interfaces est affich e Touche n 6 Logged data Une liste des calibrages r alis s s affiche Touche n 7 Facteurs calibrages Les facteurs de calibrage s affichent pour les diff rentes masses ou modes et le fact
129. tique 6 La limite sup rieure de la plage d affichage est automatiquement d finie Touche n fl che vers le haut 7 Lorsque Manuel est s lectionn il est possible d augmenter la limite d affichage sup rieure La valeur maximale s l ve 10 mbar l s Touche n 8 sauvegarder les r glages et revenir au menu pr c dent Lorsqu une chelle lin aire est s lectionn e la limite inf rieure est toujours z ro La limite sup rieure n est qu une valeur par d faut Lorsque la s lection manuelle de la plage est s lectionn e elle peut tre modifi e sur l cran des touches l aide des touches n 6 et 7 54 Description des menus MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 06 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 06 fm INFICON 6 2 3 Axe du temps 6 2 4 Contraste e Menu principal gt Affichage gt Axe du temps La longueur de l axe du temps en mode Tendance peut tre modifi e en plusieurs tapes de 16 960 s Touche n fl che vers le bas 3 R duction de l axe du temps La valeur minimale s l ve a 16 secondes Avec le r glage AUTO l intervalle de temps est automatiquement prolong durant le mode de mesure Jusqu a max 960 secondes Touche n 5 Texte d aide Touche n fl che vers le haut 7 Prolongement de l axe du temps La valeur maximale s l ve 960 secondes e Menu principal gt Affichage gt Contraste Le contraste de l cran peut tre modifi
130. touche Red marrage n 8 Le UL1000 et UL1000 Fab red marre ensuite Dans certains cas il peut s av rer utile de contr ler certains r glages ou valeurs mesur es avant de red marrer le UL1000 et UL1000 Fab Il est donc galement possible d appuyer sur la touche Menu n 4 ou MENU pour ouvrir le menu du UL1000 et UL1000 Fab Le message d erreur s affiche nouveau lorsque vous quittez le menu Remarque En pr sence de conditions extr mes erreur inconnue du logiciel parasitage lectromagn tique excessif la fonction de surveillance int gr e Watchdog emp che le fonctionnement incontr l du UL1000 et UL1000 Fab Cette fonction de surveillance contraint le UL1000 et UL1000 Fab red marrer Le d tecteur de fuites bascule ensuite en mode Standby Aucun message d erreur ne s affiche Messages d erreur et avertissements 93 INFICON 8 2 Liste des messages d erreur et avertissements Les pages suivantes contiennent une liste de tous les messages d erreur et avertis sements Les avertissements commencent par la lettre W suivie d un num ro Les messages d erreur commencent par la lettre E suivie d un num ro N Message affich Description et rem de possible E04 Surveillance de la Court circuit dans la sonde de temp rature temp rature de la pompe turbomol culaire d fec tueuse E05 Surveillance de la Sonde de temp rature coup
131. ts des vannes e Jeu de joints pour vannes 200000594 Contr ler remplacer le filtre e Cartouche filtrante de rechange pour le 200000685 ventilateur 200000683 Filtre de rechange pour la conduite 20099183 d a ration et de rin age e Silencieux pour l chappement uniquement UL1000 Fab 200000694 e Cartouche filtrante pour le filtre huile 10 pi ces uniquement UL 1000 Remplacement des paliers de la TMH 071 Remplacement de la turbopompe TMH 071 200000569R recommand tous les 3 ans sans restriction de dur e v chapitre 9 5 5 Contr le et quilibrage La dur e des travaux de maintenance s l ve a environ 10 0 heures lorsque la TMH 071 est remplac e 9 5 5 Remarques propos de la maintenance de la TMH 071 La pompe turbomol culaire TMH 071 est remplie d un lubrifiant pour la lubrification des roulements billes Ind pendamment du nombre d heures de service de la turbopompe la r serve de lubrifiant doit tre remplac e tous les 2 ans Le rempla cement de la r serve de lubrifiant doit tre confi un technicien SAV INFICON ou a une personne autoris e par la soci t INFICON Travaux de maintenance 105 INFICON 9 6 9 6 1 Description des travaux de maintenance Les transformations du UL1000 et UL1000 Fab qui d passent l tendue des mesures de maintenance normales sont exclusivement r serv es au personnel sp cialis d ment form La vis de distribution du con
132. ueur de 4 m Bo te outils La bo te outils se compose d un compartiment amovible couvercle verrouillable Les raccords et petits accessoires peuvent y tre rang s avec la t l commande 1 4 2 5 Le volume utile est d env 5 litres La bo te outils se positionne sur le plan de travail et fixe l aide de la poign e Porte bouteille d h lium Le porte bouteille d h lium permet de transporter une r serve d h lium pourvue d un pistolet de pulv risation avec le UL1000 UL1000 Fab II permet d accueillir les petites bouteilles et bouteilles de taille moyenne max 10 200 bar sans r duire la stabilit du UL1000 UL1000 Fab Natte antistatique Ce natte se positionne sur le plan de travail du UL1000 UL1000 Fab et se fixe et se met la terre au moyen de l anneau de la bride d admission La natte permet d viter les d charges lectriques entre le plan de travail et les prouvettes sensibles 18 G n ralit s MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 01 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 01 fm INFICON 1 4 2 5 T l commande RC1000 La t l commande sans fil RC1000 permet d utiliser l UL1000 UL1000 Fab depuis une distance de jusqu 100 m La t l commande permet de commander les fonc tions START STOP VENT STOP a ration ZERO fond elle affiche les taux de fuites mesur s sur l cran sous forme de graphique barres de valeurs num riques ou de diagramme vo
133. ur de plus amples informations propos du volume sonore des alarmes et des tonalit s de signalisation v chapitre 6 4 3 Volume sonore 5 4 3 Ligne d tat de l cran La ligne d tat au bas de l cran fournit l op rateur les informations suivantes de la gauche vers la droite Symboles Signification Explication sur l cran dE v chapitre 5 4 2 Volume sonore pour le signal Volume sonore i 5 acoustique S1 Trigger 1 En cas de d passement des seuils Trigger la couleur de ces symboles est invers e S2 Trigger 2 Voir Trigger 1 se Le nombre de points indique le nombre de masse 4 ee Masse saisie ef x points h lium 2 points hydrog ne A Triangle d avertissement v chapitre 8 1 VAC ou SNIFF affichent le mode de fonctionnement VAC Mode de fonctionnement s lectionn v chapitre 6 3 Mode de fonctionnement En fonction de la pression d admission le UL1000 UL1000 Fab se trouve en mode GROSS FINE ou ULTRA Plages de vide ULTRA qui est affich ici v chapitre 4 3 Modes de fonctionnement ZERO ZERO Affichage si la fonction de suppression du fond est active COR Taux de fuites corrig Affiche si le taux de fuites comporte un facteur de correction v chapitre 6 6 1 5 Test de fuites De A z F Auto Leak Test Affiche si ce mode a t s lectionn automatiqu e 48 Fonctionnement du UL1000 et UL1000 Fab MANUEL TECHNIQUE 1108 iin
134. ur la sant ou s il a t contamin S il a t contamin indiquez la nature du danger Utilisez cet effet le formulaire de D claration de contamination Nous vous l enverrons sur simple demande Un mod le photocopier du formulaire est disponible dans la section Fig 1 1 Fixez le formulaire sur l appareil ou joignez le dans l emballage La D claration de contamination est une obligation l gale et est indispensable afin de garantir la s curit de nos collaborateurs La soci t INFICON renverra syst matiquement tout appareil sans D claration de contamination d ment compl t e l exp diteur Risque pr sum Lorsque l on pr sume que le fonctionnement de la machine n est plus sans danger il faut mettre l appareil hors service et le s curiser contre toute remise en service involontaire Remarque Ceci peut notamment survenir dans les cas suivants e lorsque l appareil pr sente des dommages visibles e lorsque du liquide s est infiltr dans l appareil e lorsque l appareil ne fonctionne plus e apr s un stockage prolong dans des conditions d favorables apr s de lourdes contraintes de transport 9 3 L gende du plan de maintenance Uniquement UL1000 Comme mesure pr ventive nous conseillons de contr ler une fois par mois le niveau d huile ainsi que la coloration de l huile de la pompe tiroirs rotatifs du UL1000 Les intervalles de vidange de la pompe
135. utomatique interne d marre et dure env 30 secondes Appuyer sur la Touche STOP Fig 3 2 13 jusqu ce que le message STANDBY AERE s affiche sur l cran Afin de contr ler la pr cision de mesure l aide d une fuite d essai externe effectuer les tapes ci dessous Retirer la bride aveugle de l admission puis raccorder une fuite d essai I h lium ouverte sur l admission Appuyer encore une fois sur la Touche START Fig 3 2 6 L admission est vacu e et le taux de fuites de la fuite d essai est mesur puis affich Appuyer sur la Touche STOP Fig 3 2 13 pour interrompre la mesure Le d tecteur de fuites bascule en mode veille Standby Appuyer encore une fois sur la Touche STOP Fig 3 2 13 jusqu ce que le message STANDBY AERE s affiche sur l cran L admission se trouve d sormais en mode a r D brancher la fuite d essai a l h lium de l admission puis remettre en place la bride aveugle teindre le d tecteur de fuites en appuyant sur son interrupteur marche arr t Fig 2 6 8 La premi re op ration de travail est ainsi termin e 36 Contr les avant la mise en service MANUEL TECHNIQUE 1108 iina70f 03 fm MANUEL TECHNIQUE 1108 iina7Of 04 fm 4 1 4 2 4 2 1 INFICON Description et principe de fonctionnement Introduction Les d tecteurs UL1000 Fab et UL1000 sont des d tecteurs de fuites a h lium d di s aux applications sous vide cela signifie qu
136. uvegarde et chargement param tres 81 6 6 6 1 Charger PARA SET 81 6 6 6 2 Sauvegarder sous PARA SET 81 6 6 7 Fonctions de surveillance 81 6 7 Information 85 6 7 1 Service 85 6 8 Contr le d acc s 86 6 8 1 Acc s fonction CAL 86 6 8 2 Changer PIN de l appareil 87 6 8 3 Changer PIN menu 87 7 Calibrage 88 7 1 Introduction 88 7 2 Les routines de calibrage 88 7 2 1 Calibrage interne 89 7 2 1 1 Calibrage interne automatique 89 7 2 1 2 Calibrage interne manuel 89 Table des mati res 5 INFICON 7 2 2 7 3 8 8 1 8 2 9 9 1 9 2 9 3 9 4 9 5 9 5 1 9 5 2 9 5 3 9 5 4 9 5 5 9 6 9 6 1 9 7 9 8 9 9 9 9 1 9 10 9 11 9 12 9 13 Calibrage externe Plage de valeurs pour le facteur de calibrage Messages d erreur et avertissements Remarques Liste des messages d erreur et avertissements Travaux de maintenance Remarques g n rales Maintenance ou SAV chez INFICON L gende du plan de maintenance Plan de maintenance Groupes de maintenance Maintenance apr s 1 500 heures Maintenance apr s 4 000 heures Maintenance apr s 8 000 heures Maintenance apr s 16 000 heures Remarques propos de la maintenance de la TMH 071 Description des travaux de maintenance Ouverture de l appareil a des fins de maintenance Contr le et remplacement de la cartouche filtrante Remplacement du silencieux de l chappement Contr le vidage du filtre d chappement Remplacement de la cartouche filtrante Surveillance appoint du nive

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