Manuel d`utilisation de la BAS 450 - CMI
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1. 4 1 Presser sur PUMP du module PC 101 Le vide primaire est obtenu par la pompe palettes Lorsque la pression est inf rieure au seuil d fini 6 107 mbar sur la jauge Pirani TPG 070 P2 le pompage s effectue alors par la turbo ce qui permet d atteindre la pression n cessaire au d p t Contr ler que cette op ration s effectue correctement 4 2 La dur e de pompage est au minimum de 3 heures La pression indiqu e sur la jauge Pfeiffer Vacuum doit tre gale 1 10 mbar environ Page 3 sur 9 GFC PhL EPFL CMi manuel pour BAS 450 23 mai 2001 derni re correction le 01 f vrier 2012 5 Option Chauffage des substrats 5 1 Pour effectuer un d p t en temp rature 3 conditions doivent tre remplies pour pouvoir chauffer les substrats 5 1 1 Relais de puissance actif Etre connect sur l quipement via le PC de zone 5 1 2 Refroidissement des cibles de la chambre Enclencher la circulation d eau froide en pressant le bouton COOL sur PC 101 5 1 3 Rotation des porte substrats module BSD 301 pendant toute la dur e de mise en temp rature Enclencher l alimentation BSD 301 R gler la vitesse 0 vitesse minimale Presser sur START Cette vitesse minimale de rotation est choisie dans le seul but d conomiser la dur e de vie des Joints d tanch it du passage rotatif 5 2 Enclencher le module TKU 401 Programmer la consigne en temp rature selon les valeurs de la courbe d2. talonnage cf 17 modifier le SET POINT en utilisant les fl ches haute et basse du programmateur EUROTHERM Mettre l interrupteur bascule HEATER sur ON 5 3 Une dur e d environ 90 minutes est n cessaire la stabilisation de la temp rature des substrats Six heures sont n cessaires pour refroidir des substrats chauff s 300 C Il faut donc pr voir 2 p riodes de r servation Option Pi ge azote liquide 6 1 Pour les d p ts en temp rature maxi 300 C il est pr f rable d utiliser le pi ge azote liquide Meissner trap situ l int rieur de la chambre 6 2 Le remplissage d azote liquide du r cipient adiabatique Dewar situ au niveau 2 est effectu par une personne du CMI 6 3 Retirer la canne de soutirage pour ce faire enlever la bride de serrage KF 50 Les 2 vannes manuelles fix es sur la canne de soutirage sont et doivent toujours tre ouvertes 6 4 Remplir le r cipient la citerne ext rieure 6 5 R installer la canne de soutirage en contr lant le joint d tanch it 6 6 Pour mettre en route la circulation d azote liquide il faut brancher le tuyau vert avec le raccord rapide sur la canne 6 7 La pression ne doit pas d passer 0 5 0 6 bars si besoin est effectuer le r glage avec le d tendeur 6 8 Dans les plus brefs d lais presser sur COOL sur le module BSM 104 pour enclencher la circulation d azote liquide Op rations effectuer 10 minutes avan
3. la terre fix e sur le c t droit de l installation vers la paroi de la zone Il est imp ratif de e ne pas endommager les tuyaux d eau lors du changement d une cible et d tre attentif toute ventuelle fuite d eau pr sence de haute tension e ne pas saisir le porte cible par les raccords rapides de l eau de refroidissement e ne pas endommager les tuyaux d eau de refroidissement et couper tout de suite la circulation de l eau de refroidissement en cas de fuite e ne pas chauffer les substrats une temp rature sup rieure 300 C e ne jamais commuter les interrupteurs RF Sputt et RF Etch lorsque la source RF est sur ON Le porte substrats tourne uniquement dans un seul sens ne pas forcer la rotation dans le sens oppos Apr s chaque d p t remettre 0 les potentiom tres de puissance Toute intervention dans l installation chambre baies lectriques b tis etc se fait uniquement par un membre du CMI Arr t d urgence L installation peut tre arr t e d urgence l aide d un bouton poussoir coup de poing En cas d arr t d urgence appeler un responsable membre du CMI Page 2 sur 9 GFC PhL EPFL CMi manuel pour BAS 450 23 mai 2001 derni re correction le 01 f vrier 2012 1 Mode op ratoire Ouverture de la chambre 1 1 Se connecter sur l quipement via le PC de zone Le relais de puissance est alors activ 1 2 Presser sur HEAT insc
4. augmenter la pression d argon quelques secondes pour favoriser l allumage du plasma 19 4 Basculer le commutateur AUTOMATIC du module AC 101 vers le haut pour tre en mode manuel 19 5 R gler alternativement TUNE et LOAD du module TC 101 pour obtenir le maximum de tension n gative DC affich e sur le module AM 101 Les LED rouges DEVIATION du module TC 101 allum es indiquent que le r glage est en cours et que la consigne n est pas atteinte Le temps de r action pour TUNE est bref Celui pour LOAD est plus long La recherche de la position optimale doit tre lente et progressive en veillant ce que les LED rouges DEVIATION soient teintes 19 6 Lorsque la puissance r fl chie est proche de z ro le r glage est correct Basculer le commutateur AUTOMATIC du module AC 101 vers le bas pour tre en mode automatique 20 Vitesse de rotation du porte substrats en fonction de la valeur de codage Vitesse de rotation du porte substrats vitesse de rotation tour mn 0 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 Valeur de codage Page 9 sur 9 GFC PhL
5. le coffre fort dans la zone 4 3 2 D visser les quatre crous du bo tier rouge 3 3 Retirer bien horizontalement le bo tier rouge les contacts lectriques sont fragiles 3 4 Avec la canne de mise terre toucher les 3 contacts du porte cible 3 5 Tourner d un demi tour les 4 blocages rapides 3 6 Sortir le support de la cible et le coucher c t Attention de ne pas tenir le porte cible par les connexions d eau 3 7 D visser le cadre de maintien de la cible 3 8 Changer la cible contr ler que la feuille d indium permettant un bon contact thermique et lectrique soit bien en place sous la cible la feuille ne doit pas tre pli e ou froiss e 3 9 Replacer le cadre et approcher les vis Elles doivent toutes tre viss es sans peine Serrer les vis mod r ment et progressivement en alternant le serrage sur les vis oppos es La force de serrage est suffisante avec 3 doigts 3 10 Contr ler l tat du joint d tanch it le nettoyer avec un papier salle blanche Prohiber l alcool pour le nettoyage 3 11 Remettre le support de la cible en place et le fixer l aide des 4 blocages rapides 3 12 Remettre le bo tier rouge en veillant ne pas contraindre les contacts lectriques 3 13 Les cibles non utilis es sont ranger correctement dans leur logement leur nom dans le coffre fort 3 14 Mettre jour la feuille des cibles en place op rateur type de cible date Pompage de la chambre
6. pressant une seule fois sur la fl che vers le haut sur le canal O ou N du ROD 4 et attendre environ 10 secondes pour que la pression redescende Page 4 sur 9 GFC PhL EPFL CMi manuel pour BAS 450 23 mai 2001 derni re correction le 01 f vrier 2012 9 Option Nettoyage de la surface du substrat Silicium ou Quartz RF ETCH 9 1 V rifier que RF ETCH est s lectionn module HF SWITCH CONTROL 9 2 Tourner le volet en position A 9 3 R gler la consigne de d bit d argon soit en utilisant les fl ches soit en pressant sur SET POINT quelques secondes pour obtenir un affichage clignotant puis en tapant la valeur sur le clavier num rique 9 4 Pour obtenir une pression d argon sup rieure 4 10 mbar il faut entre fermer la vanne se situant entre la chambre et la pompe turbo Il faut pour cela presser sur le bouton THROTTLE VALVE sur le module BRS 201 9 5 V rifier le bon fonctionnement de la jauge Pfeiffer Vacuum Pression d argon environ gale 5 3 10 mbar pour 36 0 sccm d argon 9 6 Presser sur ON SOURCE sur le module Radio Frequency Power Supply RFS 102 9 7 Augmenter la puissance incidente INCIDENT POWER 500W sur le module RFS 102 250 sur l encodeur m canique 9 8 Pour tre dans les conditions d allumage du plasma se r f rer aux anciens r glages de TUNE et LOAD pour le module TC 101 RF ETCHING voir fiches de proc d ant rieures 9 9 V rifier que la puissanc
7. t sur la feuille de proc d 10 12 Remettre le P I LEVEL z ro sur le module MCU 105 Page 5 sur 9 GFC PhL EPFL CMi manuel pour BAS 450 23 mai 2001 derni re correction le 01 f vrier 2012 11 Option D p t RF Nettoyage de la cible et d p t 11 1 Presser le bouton RF SPUTT module adjacent au module RTA 101 11 2 Option d p t r actif oxyg ne R gler la consigne de d bit d oxyg ne soit en utilisant les fl ches soit en pressant sur SET POINT quelques secondes pour obtenir un affichage clignotant puis en tapant la valeur sur le clavier num rique 11 3 R gler la consigne de d bit d argon sur le canal Ar du ROD 4 de la m me mani re 11 4 Pour obtenir une pression d argon sup rieure 4 10 mbar il faut entre fermer la vanne se situant entre la chambre et la pompe turbo V rifier que THROTTLE VALVE est actif module BRS 201 sinon presser sur le bouton 11 5 Contr ler la pression de la jauge Pfeiffer Vacuum Pour obtenir une pression de d p t donn e ajuster le d bit d argon et relever le flux sur la feuille de proc d sous la rubrique Ar 11 6 Mettre le volet en position de nettoyage de cible C cible ferm e cf position de l obturateur 16 11 7 Presser sur ON SOURCE du module Radio Frequency Power Supply RES 102 11 8 Augmenter progressivement la puissance incidente sur le module RFS 102 encodeur m canique la valeur de la puissance en Watt 2 1
8. uniformit verticale de 3 est obtenue sur des plaques 100mm La pression d argon peut varier de 5 x 10 2 10 mbar Les d bits d argon d oxyg ne et d azote peuvent atteindre 100 sccm Le substrat peut tre chauff jusqu 300 C maximum La puissance DC maximum est de 5 kW La puissance nominale RF 50 Ohms est de 2 kW avec une fr quence de 13 56 Mhz Page 1 sur 9 GFC PhL EPFL CMi manuel pour BAS 450 23 mai 2001 derni re correction le 01 f vrier 2012 Le vide est assur par e Une pompe primaire palettes Alcatel SD 2063 63m h e Une pompe turbo mol culaire Pfeiffer TMH 1600 1600m h e Une trappe Meissner pi ge azote liquide pour pi ger l eau Le contr le du vide est r alis l aide de e Jauges Pirani 10 mbar Pirani TPG 070 contr le du vide primaire e Jauge Pfeiffer Vacuum Dangers Avertissement Cette section contient des informations que l op rateur doit conna tre et comprendre afin de minimiser les risques d accident Il est imp ratif de lire cette introduction l utilisation de la BAS 450 et de suivre les instructions En cas de dommages occasionn s l installation l utilisateur pourra se voir exclure l acc s l quipement De la haute tension DC et RF est utilis e A l ouverture de la chambre avant le changement de cibles ou de plaques il est imp ratif de mettre la terre les diff rents composants avec la canne de mise
9. 1 9 Pour tre dans les conditions d allumage du plasma se r f rer aux anciens r glages de TUNE et LOAD pour le module TC 101 RF SPUTTERING voir fiches de proc d ant rieures 11 10 V rifier que la puissance r fl chie est proche de z ro Si la puissance r fl chie est importante augmenter la pression d argon quelques secondes pour favoriser l allumage du plasma Le cas ch ant r gler TUNE et LOAD module TC 101 RF SPUTTERING cf 19 11 11 Attendre le temps n cessaire pour un nettoyage de la cible environ 600 secondes Ceci permet en outre une stabilisation du proc d en temp rature 11 12 Ouvrir le volet en position D cible ouverte sur substrats et attendre la dur e n cessaire afin d obtenir l paisseur voulue cf Conditions de d p t 21 Utiliser un chronom tre 11 13 En fin de d p t presser sur OFF SOURCE du module Radio Frequency Power Supply RFS 102 11 14 Mettre z ro la puissance incidente sur le module RFS 102 12 Op rations effectuer apr s le d p t 12 1 R gler le s d bit s de gaz de travail 0 sur le module ROD 4 et presser sur le bouton THROTTLE VALVE du module BRS 201 ouverture compl te de la vanne 12 2 Arr ter la rotation du porte substrats baisser la vitesse 0 presser sur le bouton poussoir STOP et basculer sur OFF l interrupteur de la commande BSD 301 12 3 Relever la temp rature affich e sur le module TKU 401 12 4 Option Chauffage d
10. EPFL CMi manuel pour BAS 450 23 mai 2001 derni re correction le 01 f vrier 2012 Manuel d utilisation de la BAS 450 Table des mati res IRTOUCUON RE RM A titi abs 1 DANSrSE nine E AAE AE EE OAE EEEE E EEEE E 2 INKAA ATE ale eE E STE ENET SE nn E A AE E E anta lRde ee mia 2 Mode Opera O E bin a a A nt A ma te N R asi 3 I Ouverture d laCh mbr s sum qe n a a E O S 3 2 Chargement D chargement des plaques ss 3 32 Changement des cibles rite ndlr mentir Attendre ere n tree Mestre des 3 4 Pompage de l C E e Martn lines ten tien te dr etats dla rte 3 5 Option Chauffage des substrats men ed an seat s ries ent EVER irese ben 4 6 Option Pi ge 470te liquides Ne RM E EE etre td eve ados ets d ein E td ee trees 4 7 Op rations effectuer 10 20 minutes avant le d p t Pr chauffage du spectrom tre de masse Mise en fonction du circuit de refroidissement 4 8 Op rations effectuer juste avant le d p t Relev s des pressions et pressions partielles Purges des lignes d r VAA EEE AE ten ne te ON en E et ne Ne Rte 4 9 Option Nettoyage de la surface du substrat Silicium ou Quartz RF ETCH 5 10 Option D p t DC Nettoyage de la cible et d p t 5 11 Option D p t RF Nettoyage de la cible et d p t ss 6 12 Op rations effectuer apr s le d p t ss 6 13 D chargement des plaques see 7 J4 Etanoa de msia a OT nus te Te ne a d
11. PhL EPFL CMi manuel pour BAS 450 23 mai 2001 derni re correction le 01 f vrier 2012 13 D chargement des plaques 13 1 Proc der l ouverture de la chambre en se r f rant aux paragraphes 1 2 2 3 13 2 Retirer les plaques et remettre les plaques d appui en aluminium 13 3 Proc der la fermeture de la chambre en se r f rant aux paragraphes 2 5 2 8 13 4 Proc der la mise sous vide de la chambre en se r f rant au paragraphe 4 13 5 Se d connecter de l quipement via le PC de zone 14 tat normal de l installation 14 1 La touche PUMP du module module PC 101 doit tre allum e 14 2 Vanne d argon ferm e contr l e par le module ROD 4 d bit sur 0 14 3 Module de la rotation du porte substrats BSD 301 teint 14 4 Commande des lampes de chauffage TKU 401 teinte 14 5 Porte substrats et plaques d appui dans la chambre sous vide 14 6 Aucune connexion sur l quipement via le PC de zone 15 Cibles disposition Consulter le site du CMi Available PVD Targets 16 Positions de l obturateur Shutter entre les plaques et la cible ou lectrode RF Coffrets A B C D Cible n 1 DC Cible RF B A Cible n 3 DC AI A O BI B CI Ouvert Ferm C DI D Page 7 sur 9 GFC PhL EPFL CMi manuel pour BAS 450 23 mai 2001 derni re correction le 01 f vrier 2012 17 talonnage
12. al en sortie du diviseur de fr quence commande le d comptage de pulses Lorsque le nombre de pulses est z ro la puissance DC est coup e et le d p t est termin Il faut choisir la bonne valeur du range correspondant la puissance de travail et au nombre total de pulses n cessaires J maximum 99999 soit environ 1h23 pour F 20 Hz Page 8 sur 9 GFC PhL EPFL CMi manuel pour BAS 450 23 mai 2001 derni re correction le 01 f vrier 2012 Range Pulses Volt sec Tension d entr e Ug Puissance P fi maximale pour Fax Maximale pour F max 1 12 5 1 6 V 1140 W 2 6 25 32 V 2280 W 3 3 125 TV 5000 W 4 1 5625 10 V 5000 W 5 0 078125 10 V 5000 W Le range 5 est normalement pr vu pour estimer la dur e de vie des cibles Il n est pas utilis car au CMI une ou deux cibles sont install es quasiment avant chaque d p t Le nombre d impulsions est calcul l aide de la formule suivante J f U pT avec J affichage du Rate Time Adder Ur tension d entr e V T dur e du d p t sec fi fr quence de comptage Pulses V sec 19 R glage des capacit s d accord et d adaptation d imp dance des sources RF ETCHING ou RF SPUTTERING 19 1 V rifier que le plasma est allum luminescence au travers du hublot 19 2 Pour la source RF ETCHING bouger l g rement le volet autour de la position A pour favoriser l allumage du plasma 19 3 Pour la source RF SPUTTERING
13. du chauffage Etalonnage du chauffage 350 300 250 200 150 100 Temp rature du substrat 50 0 100 150 200 250 300 350 400 450 500 Temp rature de consigne 18 D termination du Range du Rate Time Adder La quantit d nergie sur la cible d finie comme tant l int grale de la puissance sur la dur e du d p t est utilis e pour d terminer l paisseur du film Le produit Puissance x Temps est d termin par e un convertisseur Puissance Tension e un convertisseur Tension Fr quence suivi d un diviseur de fr quence Range e un compteur de pulses Le convertisseur Puissance Tension fournit une tension Ug en Volt partir de la puissance P de la source exprim e en Watt selon la formule suivante MPS 105 713 W V U P 713 Le coefficient de conversion Tension Fr quence est de 25 Hz Volt La fr quence est ensuite divis e par le facteur 2 1 lt range lt 4 La fr quence F du signal en Hz ou encore en pulses seconde s exprime donc par la formule 25 E 2 range F f U U 1 lt range lt 4 Pour obtenir la plus grande r solution possible dans l paisseur du film la fr quence de comptage doit tre aussi haute que possible range aussi faible que possible Toutefois la fr quence maximum du comptage du Rate Time Adder ne doit pas exc der la valeur de 20 impulsions par seconde Fmax 20 Hz Le sign
14. e aN 7 15 Cibles disposition sara i ririri E E E ER A E EEE a e SiE 7 16 Positions de l obturateur Shutter entre les plaques et la cible ou lectrode RF 7 17 talonnage du chauffage ur es Le moe te A nn Po ua 8 18 D termination du Range du Rate Time Adder ss 8 19 R glage des capacit s d accord et d adaptation d imp dance des sources RF ETCHING ou RF SPUTTERING enice ieiet ien Een eiS Ei E m re etes S e 9 20 Vitesse de rotation du porte substrats en fonction de la valeur de codage 9 Introduction Cette installation a les caract ristiques suivantes Vide limite dans la chambre 8 107 mbar jauge Pfeiffer Temp rature de d p t maximum de 300 C Le d p t de couches conductrices d p t par pulv risation DC DC sputtering Le d p t de couches non conductrices d p t par pulv risation RF RF sputtering Le d p t de couches d oxyde avec pression partielle d O d p t r actif reactive sputtering Le d p t de couches de nitrure avec pression partielle de N2 d p t r actif reactive sputtering Le nettoyage de surface des plaques oxydes natifs par bombardement RF etching Nombre maximum de plaques 100mm 9 plaques Nombre maximum de plaques 3 pouces ou 2 pouces 24 plaques Nombre maximum de plaques 150mm 3 plaques La pulv risation est obtenue l aide de e Un magn tron plan de dimension 5 x10 127x254 mm refroidi l eau une
15. e r fl chie est proche de z ro Si la puissance r fl chie est importante bouger l g rement le volet autour de la position A pour favoriser l allumage du plasma Le cas ch ant r gler TUNE et LOAD module TC 101 RF ETCHING cf 19 9 10 Un nettoyage standard dure environ 5 minutes pour 20 30 Angstr m d oxyde natif Utiliser un chronom tre 9 11 Presser sur OFF SOURCE sur le module Radio Frequency Power Supply RES 102 9 12 Mettre z ro la puissance incidente INCIDENT POWER sur le module RES 102 D p t 10 Option D p t DC Nettoyage de la cible et d p t 10 1 Pour chaque type de d p t programmer un module Rate Time Adder RTA 101 ou RA 101 10 1 1 Programmer le nombre d impulsions Pulses n cessaires aux nettoyages de cibles et aux d p ts somme des deux valeurs en s aidant du tableau Conditions de d p t cf 21 10 1 2 Programmer le commutateur RANGE en s aidant du tableau Conditions de d p t cf 21 10 1 3 Positionner le commutateur CHANNEL sur le num ro de cible correspondant R p ter cette s quence pour chaque type de d p t 10 2 Option d p t r actif oxyg ne R gler la consigne de d bit d oxyg ne soit en utilisant les fl ches soit en pressant sur SET POINT quelques secondes pour obtenir un affichage clignotant puis en tapant la valeur sur le clavier num rique 10 3 R gler la consigne de d bit d argon sur le canal Ar du ROD 4 de la m me
16. es substrats e couper le chauffage des substrats basculer l interrupteur sur OFF de HEATER module TKU 401 Une dur e d environ 6 heures est n cessaire pour refroidir les substrats chauff 300 C pr voir 2 p riodes de r servation 12 5 Option Pi ge azote liquide e Si l on a fait circuler de l azote liquide dans le pi ge Messner aller au niveau 2 pour enlever le raccord rapide du tuyau de mise en pression du r cipient adiabatique Dewar RAPPEL NE FERMER AUCUNE VANNE SUR LA CANNE DE SOUTIRAGE V rifier qu un flux d azote sort par le raccord et que la pression chute dans le r cipient Si a n est pas le cas ouvrir compl tement le manom tre et en informer un membre du CMI e Sile d p t a t effectu sans chauffage des substrats presser sur le bouton HEAT module BSM 104 pour enclencher la circulation d air chaud dans le pi ge Messner Attendre 30 minutes que tous les l ments soient temp rature ambiante pour viter la condensation de l humidit de l air dans l quipement lors de l ouverture de la chambre e Presser sur le bouton poussoir COOL de la commande BSM 104 pour couper la circulation d azote liquide 12 6 Relever la pression de la jauge Pfeiffer Vacuum 2mn apr s la fin du d p t 12 7 Noter la valeur RTA 3 12 8 Apr s environ 10 minutes couper la circulation de l eau de refroidissement en pressant sur le bouton PUMP du module PC 101 Page 6 sur 9 GFC
17. mani re 10 4 Pour obtenir une pression d argon sup rieure 4 10 mbar il faut entre fermer la vanne se situant entre la chambre et la pompe turbo V rifier que THROTTLE VALVE est actif module BRS 201 sinon presser sur le bouton 10 5 Contr ler la pression de la jauge Pfeiffer Vacuum Pour obtenir une pression de d p t donn e ajuster le d bit d argon et relever le flux sur la feuille de proc d sous la rubrique Ar 10 6 S lectionner le num ro de cible sur le commutateur de codage CHANNEL SELECT sur le module MCU 105 La LED verte RTA ON du module RTA 101 ou RA 101 programm pour le d p t consid r s allume V rifier que les deux autres LED verte RTA ON sont teintes 10 7 Mettre le volet en position de nettoyage de cible cf position de l obturateur 16 10 8 Sur le module Magn tron Control Unit MCU 105 presser ON et augmenter le P I LEVEL la puissance voulue cf Conditions de d p t 21 pour tablir le plasma La puissance est affich e sur le vum tre P I unit kW Le module RTA 101 effectue le d compte des impulsions 10 9 Lorsque le nombre d impulsions pr vues pour le nettoyage de la cible est coul basculer le volet en position de d p t cf position de l obturateur 16 d clencher le chronom tre au m me moment 10 10 Le compteur RTA 101 une fois z ro coupe l alimentation DC Le d p t est termin Arr ter le chronom tre 10 11 Inscrire la dur e du d p
18. ription en jaune situ sous PUMP du module PC 101 La circulation d eau chaude dans les parois de la chambre et cibles vite la condensation de l humidit de l air dans l quipement 1 3 Attendre environ 10 minutes 1 4 Presser sur VENT sur le module PC 101 1 5 Attendre environ 5 minutes pour ne pas endommager le v rin lors de l ouverture de la chambre Le couvercle se soul ve d un deux millim tres lorsque la chambre est pression atmosph rique 1 6 Presser sur le bouton poussoir LIFT BELL JAR baie de droite en bas gauche module EAU 301 Chargement D chargement des plaques 2 1 Avec la canne de mise la terre toucher les porte substrats 2 2 D crocher les porte substrats avec les outils adapt s manche noir disposition sur la table de chargement Proc der d licatement Attention Le porte substrats tourne uniquement dans un seul sens ne pas forcer la rotation dans le sens oppos 2 3 Lib rer les plaques d appui en pivotant les languettes de fixation ou ressort de maintien 2 4 Installer la plaque et par dessus la plaque d appui en aluminium 2 5 Remettre la languette de fixation 2 6 Bien replacer les porte substrats au fond de leur logement 2 7 V rifier que le couvercle de la chambre est bien positionn par rapport au guide du v rin 2 8 Presser en m me temps les deux boutons poussoirs CLOSE BELL JAR module EAU 301 Changement des cibles 3 1 Les cibles sont dans
19. t le d p t Circuit de refroidissement et rotation du porte substrat 7 1 Presser sur COOL du module PC 101 pour la circulation de l eau de refroidissement 7 2 Enclencher l alimentation BSD 301 R gler la vitesse 0 vitesse minimale Presser sur START Contr ler l tanch it du passage rotatif du porte substrats la valeur de pression sur la jauge Pfeiffer Vacuum doivent rester stable durant 1 minute 7 3 Augmenter progressivement la vitesse de rotation du porte substrats module BSD 301 de 0 la valeur souhait e 5 0 en g n ral cf 20 Op rations effectuer juste avant le d p t Relev s avant d p t R glage z ro jauge de pression et purges des lignes de gaz 8 1 Remplir la feuille de proc d avec votre nom date type de d p t pressions initiales et le maximum d indications concernant le d p t 8 1 1 Contr ler que le vide est de l ordre de 1 107 1 10 mbar sur la jauge Pfeiffer Vacuum et noter la valeur 8 1 2 Relever la temp rature initiale Le cas ch ant enclencher le module de chauffage TKU 401 8 1 3 Relever la valeur du RTA 3 8 2 Purge de la ligne d argon Ouvrir la vanne d argon en pressant une seule fois sur la fl che vers le haut sur le canal Ar du ROD 4 et attendre environ 10 secondes pour que la pression redescende 8 3 Option d p t r actif oxyg ne ou azote Purge de la ligne d oxyg ne ou d azote ouvrir la vanne d oxyg ne ou d azote en
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