EPFL - STI - CMI Manuel d`utilisation de l`Alcatel EVA 600.
Contents
1. CMI manuel pour EV A600 23 mai 2001 derni re correction le 11 ao t 2005 EPFL STI CMI Manuel d utilisation de l Alcatel EVA 600 Responsables philippe langlet epfl ch guvy clerc epfl ch Table des mati res EPFL STI CMI 1 Manuel d utilisation de l Alcatel EVA 600 1 Introduction 1 Dangers 2 Arr t d urgence 2 Mode op ratoire 2 1 Ouverture de la chambre 2 2 Chargement du mat riau vaporer 2 3 Chargement D chargement des plaques 3 4 Fermeture et Mise sous vide de la chambre 3 5 Op rations avant les d p ts 3 6 vaporation par canon lectrons 3 7 vaporation par effet Joule 4 8 Op rations apr s les d p ts 5 9 tat normal de l installation 5 10 Mat riaux 5 11 Positions de l obturateur 5 Introduction Cette installation a les caract ristiques suivantes e Vide limite e Apr s 3 heures de pompage 1 10 mbar e Apr s 12 heures de pompage 3 107 mbar e Temp rature d vaporation temp rature ambiante e Mode d vaporation e Un canon lectrons avec carrousel pour 4 mat riaux diff rents e 2 bornes pour vaporations par effet joule e Deux balances pour la mesure en paisseur en cours de d p t une balance pour le canon lectrons et l autre pour l effet joule e Capacit 3 plan taires contenant chacun 5 plaques 100mm ou 1 plaque 150mm Les vaporations sont obtenues l aide de e Un canon lectrons de marque TFI TELEMARK de2. n responsable membre du CMI Mode op ratoire 1 Ouverture de la chambre 1 1 Se connecter sur l quipement via le PC de zone 1 2 Faire circuler l eau chaude au minimum 5 minutes bouton rouge eau chaude source chambre 1 3 Couper l eau chaude bouton rouge eau chaude source chambre 1 4 Presser sur la touche isolement fermeture des vannes de la ligne de pompage pour isoler la chambre 1 5 Tourner la cl pour la remise l atmosph re sur ON position horizontale 1 6 Attendre 3 4 minutes Une fois pression atmosph rique le flux d azote est coup automatiquement remettre la cl en position verticale OFF 2 Chargement du mat riau vaporer 2 1 Avec la canne de mise la terre toucher le canon lectrons 2 2 Les mat riaux sont dans le coffre fort dans la zone 4 2 3 Evaporation e beam 2 3 1 Mettre l obturateur shutter en position ouverte position n 1 2 3 2 S lectionner le creuset d sir n 1 Al n 2 Cr n 3 Ti n 4 Cu ou Ni en pressant sur le bouton correspondant du module CRUCIBLE INDEXER 2 3 3 Contr ler le niveau du m tal dans le creuset Le cas ch ant le compl ter 2 3 4 Dans le cas de l utilisation du creuset n 4 remplacer le creuset en place par celui du mat riau choisi Cette intervention ne n cessite aucun outillage 2 3 5 Mettre l obturateur shutter en position ferm e position n 2 24 Evaporation par effet joule 2 4 1 Mettre l obturateu
3. onner le num ro du programme 6 13 3 Valider en pressant sur la touche ENTER 6 13 4 Contr ler tous les param tres par pressions successives de la touche ENTER Densit Imp dance acoustique Z FACT 3 param tres pour la gestion d automate non utilis s Facteur de correction Tooling 6 13 5 Presser la touche PROGRAM pour revenir l cran principal 6 14 Sur la console de commande augmenter le courant progressivement avec le potentiom tre SOURCE jusqu la valeur de puissance d sir e sur l afficheur DC K loWatts du module HIGH VOLTAGE voir Table des conditions de d p t cf paragraphe 9 6 15 Attendre la stabilisation de la vitesse de d p t affich e sur l cran du module STM SYCON Le temps de stabilisation varie selon les m taux 6 16 Ouvrir l obturateur et presser en m me temps la touche Z RO pour remettre z ro le chronom tre et l paisseur totale d pos e 6 17 Relever les param tres du d p t puissance positions du faisceau vitesse de d p t etc 6 18 Une fois l paisseur d sir e obtenue fermer l obturateur et relever la dur e de l vaporation 6 19 Sur la console de commande baisser lentement le courant potentiom tre SOURCE 6 20 Sur la console de commande basculer l interrupteur SOURCE sur OFF 6 21 Baisser la haute tension avec le potentiom tre VOLTAGE ADJUST module HIGH VOLTAGE 6 22 Sur la console de commande basculer l interrupteur HV sur OFF 7 va
4. our bien refroidir les bornes lectriques de la nacelle vaporation par effet Joule et le canon lectrons Sur le module MAIN POWER vaporation par canon lectrons presser le bouton OFF juste c t de la cl et tourner la cl de l alimentation du canon sur OFF Couper le refroidissement SOURCES Proc der l ouverture de la chambre cf paragraphe 1 Proc der au d chargement des plaques cf paragraphe 3 Remettre l quipement sous vide cf paragraphe 4 Se d connecter de l quipement via le PC de zone tat normal de l installation 9 1 9 2 9 3 9 4 9 5 La touche pompage est allum e c est dire que l installation est sous vide Les porte substrats sont dans la chambre sous vide avec dans une plaque de charge dans chaque logement L int rieur de la chambre est propre si des particules se d tachent des parois ou d autres parties nettoyer l aide de l aspirateur demander information aux responsables Les mat riaux dans les creusets pour l vaporation par faisceau d lectrons sont en quantit suffisante Le joint de la porte de la chambre est en bon tat Le cas ch ant le nettoyer l aide d un papier salle blanche SANS ALCOOL 10 Mat riaux Les mat riaux les plus couramment vapor s sont Mat riau Evaporation Bornes Creuset Cr E beam Creuset n 2 Au Joule Bornes n 2 Cu E beam Creuset n 4 Cu Joule Borne
5. poration par effet Joule 7 1 Remplir la feuille de route m tal aux d pos s n d vaporation op rateur date pression initiale et les param tres d vaporation Les feuilles de route pr c dentes peuvent tre consult es 7 2 S lectionner une nacelle n 1 Cu Ag n 2 Au en pressant le bouton correspondant 7 3 Enclencher le g n rateur de courant interrupteur bascule sur le module GER2000 74 Si le t moin INTERLOCK du g n rateur s allume 3 points sont contr ler 7 4 1 Les refroidissements sont bien enclench s 7 4 2 Une nacelle est bien s lectionn e 7 4 3 La porte du b ti l arri re est bien ferm e zone grise 7 5 Contr ler la position de l obturateur en position ferm e pour la nacelle choisie 7 6 S lectionner le bon programme de la balance quartz pour la mesure d paisseur voir Table des conditions de d p t cf paragraphe 9 7 6 1 Presser la touche PROGRAM du module STM SYCON 7 6 2 A l aide des curseurs haut et bas s lectionner le num ro du programme 7 6 3 Valider en pressant sur la touche ENTER 7 6 4 Contr ler tous les param tres par pressions successives de la touche ENTER Densit Imp dance acoustique Z FACT 3 param tres pour la gestion d automate non utilis s Facteur de correction Tooling 7 6 5 Presser la touche PROGRAM pour revenir l cran principal 7 1 Augmenter progressivement le courant en pratiquant des paliers de quel
6. ques minutes 7 8 Attendre 2 3 minutes de stabilisation de la vitesse de d p t N B l obturateur en position ferm e masque le quartz de mesure d paisseur La mesure de la vitesse de d p t n est pas active durant ces 2 3 minutes 7 9 Ouvrir l obturateur et presser en m me temps la touche Z RO pour remettre z ro le chronom tre et l paisseur totale d pos e 7 10 R gler l intensit du courant pour obtenir une vitesse de d p t correcte Au 5 s La vitesse de d p t est fonction du niveau de m tal dans la nacelle Elle augmente fortement lorsque la nacelle est presque vide 7 11 Relever les param tres du d p t intensit vitesse de d p t etc 7 12 Une fois l paisseur d sir e obtenue fermer l obturateur et relever la dur e de l vaporation 7 13 Imm diatement baisser l intensit et couper le g n rateur de courant interrupteur bascule sur le module GER2000 7 14 D sactivez la nacelle s lectionn e en pressant le bouton correspondant Page 4 sur 5 G F Clerc Ph Langlet CMI manuel pour EV A600 23 mai 2001 derni re correction le 11 ao t 2005 8 Op rations apr s les d p ts 9 8 1 8 2 8 3 Arr ter la rotation des plan taires module ROTATION PORTE SUBSTRAT bouton CONTINU Couper les refroidissements 8 2 1 ENCEINTE CHAMBER 8 2 2 PORTE SUBSTRATS SUBST HOLDER Attendre 10 minutes 20 minutes selon la dur e du d p t p
7. r shutter en position ouverte position n 1 Cu Ag position n 2 Au 2 4 2 Le cas ch ant remplacer la nacelle Cu ou Ag 2 4 3 Compl ter la nacelle avec les grains du m tal correspondant 2 4 4 Mettre l obturateur shutter en position ferm e position n 2 Cu Ag position n 1 Au 24 5 Page 2 sur 5 G F Clerc Ph Langlet CMI manuel pour EV A600 23 mai 2001 derni re correction le 11 ao t 2005 3 4 Chargement D chargement des plaques 3 1 Avec la canne de mise la terre toucher le canon lectrons 3 2 Tourner le carrousel l aide du bouton DISCONTINU pour que le plan taire soit bien en face 3 3 Maintenir le plan taire et lib rer la goupille de maintien goupille carr e sur l axe de rotation du plan taire 3 4 Sortir le plan taire axe central vers le haut et le poser sur la table de chargement toujours axe vers le haut 3 5 Fermer la porte de l enceinte le temps du chargement d un plan taire 3 6 Lib rer d licatement les plaques en pivotant les languettes de fixation ou ressort de maintien 3 7 Retirer la plaque et la remplacer par une autre Le cas ch ant utiliser une plaque de charge 3 8 Remettre la languette de fixation de telle mani re que le point de contact sur la plaque soit au centre 3 9 Remettre en place le plan taire en ins rant son axe dans son logement jusqu au fond Tourner le plan taire jusqu ce l ergot d entra nemen
8. s n 1 Al E beam Creuset n 1 Ti E beam Creuset n 3 Ag Joule Bornes n 1 Ni E beam Creuset n 4 11 Positions de l obturateur Type d vaporation Position de l obturateur shutter N 1 N 2 Canon lectrons Givet Ferm E beam Joule Nacelle n 1 Dies Ferm Cu Ag Joule Nacelle n 2 Ferm Ouvert Au Page 5 sur 5 G F Clerc Ph Langlet
9. t s ins re dans sa rainure Fixer le plan taire en pivotant la goupille carr e de maintien Fermeture et Mise sous vide de la chambre 4 1 Fermer la porte et presser la touche ISOLEMENT tout en appuyant sur la porte V rifier que la pression chute dans la chambre jusqu 3 10 mbar Le passage de ce seuil apr s quelques minutes de pompage primaire enclenche le pompage secondaire 4 2 Attendre au minimum 3 heures pour atteindre un niveau de vide suffisant Op rations avant les d p ts 5 1 Enclencher les trois refroidissements 5 1 1 SOURCES 5 1 2 ENCEINTE CHAMBER 5 1 3 PORTE SUBSTRATS SUBST HOLDER 5 2 Mettre les plan taires en rotation module ROTATION PORTE SUBSTRAT bouton CONTINU Contr ler que le potentiom tre r glant la vitesse de rotation est sur la bonne valeur 5 0 en g n ral Evaporation par canon lectrons 6 1 Sur le module MAIN POWER tourner la cl de l alimentation du canon sur ON et presser le bouton ON juste c t de la cl 6 2 Apr s quelques secondes presser sur OFF sur le module HIGH VOLTAGE pour allumer la premi re LED AIR CAB des interlocks Les 2 x 4 LED s sont des interlocks si l une ou l autre de ces LED s n est pas allum e il est impossible de faire fonctionner le canon lectrons 6 3 Laisser chauffer l alimentation pendant 4 5 minutes 6 4 Pendant ce temps remplir la feuille de route m tal aux d pos s n d vaporation op ra
10. teur date pression initiale et les param tres d vaporation Les feuilles de route pr c dentes peuvent tre consult es 6 5 Contr ler que l obturateur est bien ferm en position n 2 6 6 Contr ler que le creuset s lectionn est correct 6 7 Contr ler que la haute tension est bien z ro potentiom tre VOLTAGE ADJUST 0 sur le module HIGH VOLTAGE 6 8 Sur la console de commande basculer l interrupteur HV sur ON 6 9 Sur la console de commande r gler les potentiom tres Position Lat rale Amplitude Lat rale Fr quence Lat rale Position Longitudinale Amplitude Longitudinale Fr quence Longitudinale d apr s les valeurs donn es dans la Table des conditions de d p t cf paragraphe 9 ou d apr s les valeurs donn es sur la derni re feuille de d p t correspondant au m me mat riau 6 10 Augmenter la tension jusqu 10 kV avec le potentiom tre VOLTAGE ADJUST module HIGH VOLTAGE 6 11 Sur la console de commande basculer l interrupteur SOURCE sur ON 6 12 Attendre un minimum de 30 secondes pour le pr chauffage du filament Page 3 sur 5 G F Clerc Ph Langlet CMI manuel pour EV A600 23 mai 2001 derni re correction le 11 ao t 2005 6 13 S lectionner le bon programme de la balance quartz pour la mesure d paisseur voir Table des conditions de d p t cf paragraphe 9 6 13 1 Presser la touche PROGRAM du module STM SYCON 6 13 2 A l aide des curseurs haut et bas s lecti
11. type 267 E GUN avec 4 creusets n 1 Al n 2 Cr n 3 Ti n 4 Cu Ni e 2 sources effet Joule courant maximum 400 A Le vide est assur par e Une pompe primaire palettes Alcatel e Une pompe turbomol culaire Alcatel 5900 CP Le contr le du vide est r alis l aide de e Une jauge Pirani e Une jauge compacte Pirani cathode froide type PKR 250 Page 1 sur 5 G F Clerc Ph Langlet CMI manuel pour EV A600 23 mai 2001 derni re correction le 11 ao t 2005 Dangers Avertissement Cette section contient des informations que l op rateur doit conna tre et comprendre afin de minimiser les risques d accident Il est imp ratif de lire cette introduction l utilisation de l vaporatrice Alcatel et de suivre les instructions En cas de dommages occasionn s l installation l utilisateur pourra se voir exclure l acc s l quipement De la haute tension est utilis e A l ouverture de la chambre il est imp ratif de mettre la terre le corps du canon lectrons en cas de probl mes lectriques haute tension Apr s chaque d p t remettre 0 les potentiom tres Haute Tension Puissance Toute intervention dans l installation chambre baies lectriques b tis etc se fait uniquement par un membre du CMI Arr t d urgence L installation peut tre arr t e d urgence l aide d un bouton poussoir coup de poing En cas d arr t d urgence appeler u
Download Pdf Manuals
Related Search