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Leybold, ULTRATEST UL 100 PLUS, Helium Leak Detector Portable

1. 38 Handhabung des Pr flings bei lokaler und integraler Lecksuche eee 98 Lokale Lecksuche 38 Bestimmung der Ansprech ZOl masse du KEE sans 39 Integrale Lecksuche m 39 Besonderheiten bei gro em Volumen eines Pr flings 39 Besonderheiten bei kleinem Volumen eines Pr fingg 39 Besonderheiten bei klsinen und gro en Leckraten 40 Kleine Leckraten 40 Gro e Leckraten 40 Besondere Lecksuchabl ufe 40 Option Teilstrompumpsatz TPS UL100PLUS 40 Sonstige Pumps tze 42 Betrieb des Lecksuchmoduls ohne Pumpmodul 43 Lecksuchmodul mit anderer Vorvakuumpumpe am Vor vakuumanschtuB 43 Schn ffellecksuche 44 Lecksucha mit Standard schn ffler e 45 Lecksuche mit Helium Schn ffler QUICKTEST QT 100 45 Au erbetriebsetzung 45 Kalibrieren und Tunen 46 TUN oer er 46 Kelibrieren mit eingebauter Testleck 46 Kalibrieren mit extemem Testleck ees 47 Kalibrieren im Schn ffelbetrisb 48 Servicetunktion der Elektronik Elnhelt 49 Statusanzeige 52 Fehlermeldung Seen DS Abgleich der Massen position 55 22 13 1 Kaylock Switch 25 2 2 13 2 Multi Function Interface 27 2 2 13 3 Trigger Outputs Trigger 1 2 28 2 2 13 4 Driving of the Partial Flow 29 2 2 13 5 Remote Control of the Leak Testing Functions 30 2 2
2. 2 4 2 Vakuum Lecksuche mit Pr fling Zur quantitativen Bestimmung einer Leckrats ist das Leck eines Pr flings mit einer Helium Konzentration von 100 zu bespr hen Das hei t da solange Helium gespr ht werden mu bis die Anzeige nicht mehr gr er wird Dabei ist sicherzustellen da das Me ergeb nis nicht durch Helium verf lscht wird das durch zus tzliche Leckstellen in der N he ein dringt Gegebenenfalls ist das Pr flingsleck z B durch eine Pappr hre abzuschirmen Ein am UL 100 PLUS angeschlossener Pr f ling wird durch kurzes Bet tigen der Taste START 4 24 evakuiert Der fallende EiniaSdruck pg Pr fling wird auf der Skala 4 23 der Kombi Anzeige 4 3 an gezeigt Ein Umschalten der Kombi Anzeige 4 3 von Druckanzeige pg py auf Leckraten anzeige erfolgt unter der Bedingung in Betriebsart 1 und 2 gem Abb 20 bei Pe 0 2 mbar in Betriebsart 4 und 3 gem amp Abb 20 bei PE 100 mbar Der Lecksucher ist nun im Me betrieb Wird der Pr fling mit Helium bespr ht kann Helium infolge der Druckdifferenz zwischen au en und innen durch ein eventuell vorhan denes Leck in den Pr fling eindringen und im Massenspektrometer nachgewiesen werden 2 43 Handhabung des Pr flings bei lo kaler und Integraler Lecksuche 2 4 3 1 Lokale Lecksuche Bei der lokalen Lecksuche ist der am UL 100 PLUS angeschlossene Prifling 21 2 an ver d chtigen Stellen mit nicht zuviel Helium
3. La suppression du fond h lium est indiqu e par le clignoternent de la DEL z ro 4 21 2 4 8 1 Detection avec renifleur standard fl s utilise toujours pour obtenir la plus haute sensibilit I a d autre part l avantage de ne pas aspirer de gaz en quantit notable C est pourquoi il est particulierement appropri pour le test sous enveloppe ou pour la mesure de fuites particuli rement petites 2 4 8 2 D tection avec le renifleur rapide QUICKTEST QT 100 il n est pas contraint comme le renifleur stan dard de courfes distances Avec son effet aspirant il pr senle l avantage d indiquer des fuites relativement loign es de la pointe du re nifleur Il est donc particularement appropri la loca lisation des fuites 2 5 Arr t de l appareil Commuter l interrupteur MARCHE ARRET 8 7 sur la position ARRET D autres mesu res ne sont pas n cessaires Le mode de service est m moris L appareil reprend le m me tat quand il est remis en cir cuit Remarque Le robinet de lest d air de TRIVAC D1 6 B voir section 3 2 1 doit toujours tre ferm pour le transport 45 M 2 6 Kalibrleren und Tunen Der UL 100 PLUS ist zur quantitativen Leck ratenmessung geeignet Dazu ist ein Kalibrier faktor erforderlich der vom UL 100 PLUS beim Kalibrieren automatisch errechnet und gespeichert wird Die Kalibrierung vom UL 100 PLUS wird zudem durch die Verwendung eines internen Testlecks Einbaute
4. VENT erscheint nach Fluten des EinlaBbereiches und Verlassen des Lecksuchstatus MEAS durch langes gt 2 s Bet tigen der Taste STOP VENT 4 2 Die Ventile V2 und V3 sind ge ffnet V1 V1 2 und Va ist geschlossen CAL Cal erscheint beim kalibrieren 2 72 Fehlermeldung Die Bedeutung der Fehlermeldungen im ein zelnen ERO0 Erscheint im Servicefeld in der Statusanzeige die Anzeige EROO liegt ein Systemfehler vor In der Statusanzeige erscheint als st ndig durchlaufender Text EROO CODE xx LINE ox xx Zahlenwert von 1 bis 40 xoxx Zahlenwert von 1 bis 32 767 Durch einen Neustart kann es m glich sein daB sich der Systemfehler automatisch be seitigt Sollte der Systemfehler wiederholt auf treten ist unbedingt der Service zu SE richtigen STBY Standby this indicates that the UL 100 PLUS is ready for leak detection this occurs after successful run up or after having left the leak detection status MEAS by operating the pushbutton STOP VENT for less than 2 s and after a rectified fault Valves V1 and V3 are closed V2 is open The turbomolecular pump is running 63 000 rpm EVAC is displayed after operating the START pushbutton 4 24 after having been in the standby STBY or vent VENT mode Valves V2 and V3 are closed valve V1 is open In the case of partial flow operation with a connected partial flow valvos V1 V1 2 and V3 are closed and V2 and Vax are open
5. die LED s 4 3 sind alle aus Die rot gr ne Status LED 4 1 erlischt Die Exponenten sind weiterhin sichtbar Im Servicefeld wird auf der Status Fehler anzeige 26 1 STBY angezeigt Die LED Zero 4 21 leuchtet Nach dem Dr cken der Taste STOPAENT 4 2 erfolgt ein Selbstabgleich des UL 100 PLUS Hierbei wird der ger teintame He liumuntergrund und die elektrische Nullpunkt vorschiebung bestimmt Durch l ngeres Dr cken mindestens 2 s der Teste STOPAVENT 4 2 wird die Funktion VENT Fluten erreicht Das Flutventil V3 wird ge ffnet Der Pr fling wird h rbar geflutet Dieser Betriebszustand wird durch rotes Auf leuchten der Status LED 4 1 gemeldet Die LEDs der Kombi Anzeige 4 3 sind alle aus Das Flutventil V3 kann wieder geschlossen werden durch nochmaliges Dr cken der Taste STOP VENT Der UL 100 PLUS geht in den Standby Zustand oder Taste START 4 24 dr cken Der UL 100 PLUS geht in den Mefibetrieb zur ck 2 23 Werteingabe Tasten Nach Bet tigen einer Multifunktionstaste k n nen ber die Werteingabe Tasten 4 19 und 4 6 Parameter ins Ger t eingegeben werden Zum Beispiel kann nach vorherigem Bet tigen der Multifunktions Taste Akustisches Signal 4 16 die Lautst rko des akustischen Signals eingestalt werden Hinwels Mit den Werteingabe Tasten 4 19 und 4 5 kann nur die Funktion beeinflu t werden die jeweils auf einer der Muf funktions Tas
6. A leaky sniffer tine A faulty sniffer tip see CONT After a fault has been indicated by the status ferror display the display changes alternatingly between error message and the last indicated status display During this time the error indi cating LED 4 20 flashes CONT If after removal of the fault the status display M D tection d une pression primaire sup rieure 0 4 mbar provoqu e p ex par une entr e d air dans l objet tester L alimentation du spectrom tre de masse a t coup e automa tiquement pour prot ger la source d ions voir CONT ERO2 Signale une rupture de filament au point de mesure admission pg de Thermovac cf CONT ERO3 Signale une rupture de filament au point de mesure pr vide de Thermovac py Appeler le S AV EROS La pression primaire p 0 1 mbar n est pas atteinte pendant les 3 min suivant la mise en service et pendant la mont e en r gime ACCL Les causes peuvent tre les suivantes le module pompe manque fuite grossi re dans la zone pr vide compre nant l accouplement vide la pompe primaire ne d marre pas ou n at teint pas sa vitesse nominale la commande des robinets travaille mal voir CONT EROS La vitesse de TMP 50 est inf rieure 53 000 t mirr voir CONT ERO7 L offset de l ampli lectrom trique est inf rieur 15 mV Cf sous CONT EROS L offset de l a
7. Durch Dr cken der Taste ZERO kann nun der ger teinterne Untergrund bestimmt werden Vor der Untergrundbestimmung schlie t das Testleck Nach der Unlergrundbestimmung ffnet das Testleck Durch Dr cken der Werteingabetasten 4 19 und 4 6 wird die auf dem Testleck aufge druckte Leckrate eingestellt Der Kalibriervorgang ist nach dem Dr cken der Taste ENTER abgeschlossen Das in terne Testleck schlie t h rbar Der Faktor ULTRA ist damit bestimmt Die Faktoren GROSS und FINE werden aus dem Faktor ULTRA berechnet Bei zu geringer Empfindlichkeit kann beim Ka librieren mit der Taste HAND auf die andere Katode umgeschaltet werden Der Kalibriervorgang kann jederzeit durch Dr cken der Taste Trigger und Kalibrierung abgebrochen werden 25 3 Kalibrieren mit externem Testieck Externes Testleck ffnen UL 100 PLUS mit der Taste START in den Zustand Messen bringen Mit Multifunktionstaste Trigger und Kalibrie rung das Kalibrieren anw hlen und mit der Taste ENTER quittieren Aut der Statusanzeige 26 1 im Servicefeld erscheint CAL Das Massenspektromeler kann jetzt mit Po tentiometer M4 26 12 auf max Empfind lichkeit gebracht werden Abschnitt 2 6 1 Die Leckratenanzeige wird dann maximal Extemes Tesileck schlie en Einen vorhandenen Untergrund mit der Nullpunkt Taste 4 14 unterdr cken Externes Testleck ffnen Durch Dr cken der Werteingabelasten 4 19
8. 2 Utilisation 2 1 Installation de UL 100 PLUS 2 1 1 El ments de commande et d affi chage Les commandes et afficheges de UL 100 PLUS sont contenus dans l unit de commande reli e par un c ble UL 100 PLUS Elle peut servir directement sur l appareil ou s par ment pour commander UL 100 PLUS distance controlled The controls and the display status indicators are shown and explained in Fig 4 av UL E 24 1 Les commandes et affichages des valeurs et des tats sont pr sent s et d crits dans la fig 4 Erl uterungen zur Abb 4 Rot Gr n Status LED Taste STOP VENT Kombl Anzeige lr Druck und Leckrate Skala t r Leckrete mit Exponanten 1 Dekade Skala f r Leckrata mit Exponantan 2 Dekade Wertelngabe Taste klelner werdende Werte Hand LED MeBberalchawehl Taste Hand Muttifunktlons Taste LED f r Trigger 1 Muttifunktions Taste LED f r Trigger 2 Multifunktlons Taste Trigger und Kalibrlerung Muttifunktions Taste LED f r Kalibrlerung Taste f r Eingabe Ende ENTER Nullpunkt Taste Auto Zero LED t r Signal Einsatzpunkte Muitifunktions Taste Akustisches Signal LED ie Lautst rkeregelung Multitunktions Tasta Automatik TrIggerlogik Werteingabe Taste gr er werdende Werte Fehler indikator LED Null Indikator LED Skale Vorvakuumdruck py Skale EinlaBdruck pg Teste START Key to Fig 4 Aed grean status LED STOP VENT pushbutton Combined pre
9. MEAS is displayed after evacuation EVAC if the pressure at the inlet has dropped below 0 2 mbar or in the case of partial flow operation below 100 mbar and the leak rate is indicated on the remote contro unit Valves V1 and V2 are open V3 is closed in the case of partial flow operation with a connected partial flow valve and an inlet pres sure of 100 mbar gt pe gt 0 2 mbar V1 and V3 are closed and V2 V1 2 and Ven are open At an inlet pressure of pe lt 0 2 mbar V1 V2 and V are open V3 and V1 2 are Closed VENT is displayed after venting the inlet area and leaving the leak detection status MEAS by operating the STOP VENT pushbutton 4 2 for more than 2 s Valves V2 and V3 are open V1 V1 2 and Ver are also closed CAL Cal is displayed during calibration 272 Error Messages The different error messages have the follow ing meanings ER00 If ERQO is displayed on the status display on the service panel there is a system fault The status displays continuously the following lext EROO CODE xx LINE xox xx Value from 1 to 40 xxx Value from 1 to 32 767 By restarting it may be possible that the sys tem fault disappears automatically Should the system fauit appear repeatedly call the ser vice STBY Stand By UL 100 PLUS signale qu il est pr t d tecter des fuites Ce mode est amp tabli apr s une bonne mise en service en sortant du mode d tection MEAS en actio
10. We reserve tho right to alter the design or any data given in these Operating instructions The illustrations are not binding Placer le 2 me EPROM 31 4 de la nouvelle version du logiciel d sign e par R2 x dans la position D15 et dans le m me sens que D14 3 3 4 Montage de la carte micropro cesseur Retourner la carte microprocesseur pour que le composant soit orient vers le bas La glisser de nouveau dans les rainures du capot 30 1 Si la bande d cartement en Pertinax est tomb e il faut la remettre dans les rainures avant de glisser la carte V rifier la bonne fixation de tous les connec teurs avant de replacer le capot sur les guides fendue Repousser le capot un peu fortement en direc tion de la paroi lat rale droite jusqu ce qu il revienne en position d origine Revisser les deux vis 6 pans creux 30 2 et les bloquer avec la cl de 5 mm Remonter la paroi lat rale Mettre UL 100 PLUS en service comme d ha bitude pour v rifier si l installation de la version du logiciel donne satisfaction La nouvelle version du logiciel doit appara tre dans l affichage Lorsque l appareil atteint le mode STBY les fonctions d crites dans 2 doivent tre ex cutables Renvoyer s v p les anciens EPROM LEY BOLD AG Service APE 22 bo te postale 510 760 5000 Cologne 51 RFA 3 4 Service Le rapport d tat donne des informations im portantes pour les r parations concernant l tat
11. fente commutation SERVICE NORMAL 3 Testpunkte f r Ger tespannungen 3 Test voltege outputs 3 Points de mesure des tensions de l apparell d LED t r Fehlermeldung bet Emiaslonsausfall 4 LEO lor emission falliure d DEL pour message d erreurs arr t d mission 5 LEO t r Funktion dar Emission 5 LED for emission on 5 DEL pour mission en service 8 Funktionsschema mit Zuslandsenzelge durch LEDs 8 Funktional diagram with LED status Indicators 8 Sch ma fonctionnel avec affichage d tat par das DEL 7 LED f r Betrleb Katoda 2 7 LED for cathode 2 oparation 7 DEL pour cathode 2 en gervica 6 LED f r Anodanheizung 8 LED for anode haating B DEL pour chaulfage d anoda 8 LED f r Betrieb Katoda 1 9 LED for cathode 1 operation 9 OEL pour cathode 1 an service E 10 LED f r Fehlermeldung bel Heizungsausfall 10 LED for heater feltura 10 DEL pour message d erreur panna du chauffag 11 Umschalter f r Massa 2 3 oder 4 Ab Wark eut M4 11 Selactor for mass 2 3 or 4 faclory set to mass 4 11 S lect da masse 2 3 ou 4 r gl an usine sur massa 4 12 Polentiometar flr Abglalch Masse 2 3 und 4 12 Potentiometers for mess 2 3 or 4 alignment 12 Potentiomatre pour campensallon maases 2 3 et 4 13 Bedlenschallar l r Ventlibet tigung von Hand 13 Switches for manual valva operation 13 Commutataurs pour l actionnement manual des vannes Durch Dr cken der Taste START 4 24 Anzeige Heliumleckrate bei korrektem Va kuumdruck der TMP Durch Dr cken bestim
12. After the plug has been in serted the ent re connection is placed back in the cable retainer To do this carefully pull at the cable while slightly twisting the socket holder at the plug in the clockwise direction By lightly releasing the cable it will then slide back into its retainer Note Grasp the connector behind the knurled col lar H the knurled collar is grasped and turned the internal portion is disconnected and with drawn into the UL 100 PLUS sion pg fournit une tension entre 0 et 10 V La relation entre la tension et la pression est d crite par Fig 19 Exemple d une sortie de pression sortie analogique 1 0 V donne pression d admission pe 1 0 10 mbar 2 2 13 8 Raccordement pour casque d coute A c t du commutateur cl 11 2 situ sur le c t de l unit de commande 11 1 on trouve un raccordement pour casque d coute 11 3 imp dance gt 500 N quip d une fiche jack 3 5 mm 2 213 9 Chaine de suspension Elle permet l utilisateur de UL 100 PLUS de porter ais ment l unit de commande la cha ne se fixe en enfonant la cl fortement dans le verrou 11 4 Pour retirer la chaine enlever la cl en la tournant l g rement 2 2 13 10 Cable de connexion entre l unit de commsnde et le module d tecteur Ce c ble spiral entre le module d tecteur et l unit de commande peut amp tre s par du con necteur situ dans le boiter de c ble du module d tecteur
13. Alle Daten und Angaben k nnen der Ge brauchsanweisung GA 05 100 entnommen werden 3 2 3 Luftfilter wechseln UL 100 PLUS ausschalten Netzstecker vom Ger t abziehen Hinweis Der Luftfiltar befindet sich hinter der Seiten wand ber dem elektrischen Anschlu feld Beide Schnellverschl sse 28 1 mit einem Schraubendreher durch eine Linksdrehung entriegeln Knackger usch h rbar Seitenwand 28 2 am unteren Ende vom UL 100 PLUS abziehen und vorsichtig nach Abb Fig 27 3 Maintenance 3 1 Maintenance Schedule Maintenance of the UL 100 PLUS must be carried out when required It is confined to changing the oil in the backing pump and exchanging the ion source Note For operation of the pump at ambient tempe ratures between 10 C and 18 C the D 1 8 B rotary vane pump should be filled with Arctic oil Only the use of this oil will ensure proper easy running up of the pump at these temperatures 3 2 Maintenance Tasks 3 2 1 Backing Pump TRIVAC D 1 8 B For all maintenance work on the vacuum pump TRIVAC D 1 6 B please refer to the Operating Instructions GA 01 200 3 2 2 Turbo Molecular Pump TURBOVAC 50 The turbo molecular pump TURBOVAC 50 incorporated in the UL 100 PLUS does not need any maintenance All data of this pump are given in the Operating Instructions GA 05 100 3 2 3 Exchanging the alr fitter Switch off the UL 100 PLUS Disconnect the mains plug on the unit Note The
14. Die quantitative Messung ist nur durch f hrbar wenn 100 Helium vor das Leck gebracht werden kann H ufige Leckratenmessungen ber Werte von 10 3 mbarls sollten m glichst mit Teil Strompumpsatz durchgef hrt werden Siehe hierzu die Betriebsart 4 in Abb 20 Eine kurzzeitige Messung von Leckraten bis 10 mbarks ist jedoch auch ohne Teil strompumpsatz m glich 2 47 Besondere Lecksuchabl ufe Die im Folgenden beschriebenen Lecksuch abl ufe sind mit dem Leckauchmodul des UL 100 PLUS in Verbindung mit jeweils notwen digen Zusatzger ten m glich Sie erfordern im allgemeinen die Benutzung eines Schl ssels mit dem die entsprechenden Abl ufe aktiviert werden SS 2 4 7 1 Option Tellstrompumpsatz TPS UL 100 PLUS Bei der Lecksuche mit einer Teilstrompumpe wird eine gro e Pumpe parallel zum Leck suchereinia betrieben Diese kann gro e Gasmengen abpumpen und entlastet damit den Lecksucher bzw verschiebt seinen Me bereich zu gr eren Leckraten Die Lecksuche mit Teilstrompumpe ist dann ratsam wenn entweder gro e Volumina schnell abzupumpen sind eine kurze Ansprechzeit an gro e Volumina gew nscht wird bei hohen Dr cken bis 100 mbar Lecks gesucht werden sollen 40 248 Special Features at Low and High Leak Rates 2 4 8 1 Low Leak Rates The UL 100 PLUS is able to detect leak rates down to 2 10 10 mbarls To be able to read an indication in this range any back ground has to be sup
15. Erl uterungen zur Abb 21 UL 100 PLUS Pr lling Abschirmung Spr hpistole 100 Helium Leckstalte Anschlu flansch ey to Fig 21 UL 100 PLUS Test object Shield Spray gun 100 hellum Leak Connecting llanga gende de la fig 21 UL 100 PLUS Eprouvelte Isolation Pistolet d aspersion H lium 100 Fulle Srida de raccordement X NOURUN Saum Stabat JG G N M Erl uterungen zur Abb 22 UL 100 PLUS Pr fling H lle Hellum Pr lllngs Leck Anschlu flansch ey to Fig 22 UL 100 PLUS Test object Enclosure Hellum Leak of test object Connection flange gonde de la fig 22 UL 100 PLUS Eprouvette Sac H llum Fuite de l prouvette Bride de raccordement Qamawn fr oo on em A ob 2 4 3 2 Bestlmmung der Ansprechzelt Zur Bestimmung der Ansprechzeit wird ein Testleck an der vom TestanschluB am wei testen entfernten Stelle des Pr flings ange schlossen Die angezeigte Leckrate entspricht der Testleckrate Das Testleck wird zugedreht gleichzeitig die Zeit gemessen bis die an gezeigte Leckrate am UL 100 PLUS auf ce 37 des urspr nglichen Wertes abgefallen ist Die so gemessene Zeit ist die Ansprech zeit 2 4 3 3 Integrale Lecksucha Bei der integralen Lecksuche befindet sich der Pr fling 22 2 in einer H lle 22 3 z B eine PVC T te die mit einer bekannten Helium Konzentration 22 4 gef llt ist Nach M glich keit soll der AnschiuBflansch 22 6 nicht von der H lle u
16. PLUS to safely switch from one mode to the next Voltage at Voltage at Contact 19 Contact 18 Status DN DV Loca 220V OV STBY 0v 220V MEAS 220V 220V VENT the normal mode of the UL 100 PLUS all rd functions can be used as described so far If a voltage exceeding 20 V is applled to one or both re mate control inputs the local mode ig inhibited nd the operation of all pushbuttons is sup pressed This feature may be used to prevent any unwanted manual operations from being carried out 2 2 13 6 Analog voltage outputs The UL 100 PLUS provides two analog volt age outputs U O to 10V A 22 5 KO for registration of the measured leak rate Multi function interface 12 1 PIN No 22 Analog output leak rate signal PIN No 23 Analog output range signal PIN No 24 Analog output inlet pressure pg PIN No 25 Reference ground for analog out puts Les fonctions de a touche 2 2 13 5 T l commande de la d tection de fulte START ou STOP peuvent galement tre d clench es par l interface avec des signaux logiques env 0 et 20 35 V Ceci peut avoir lieu par com mande de contacts fig 18 ou commande pro grammable CP fig 17 Les signaux de contr le n cessaires pour les modes STBY VENT et MEAS sont appliqu s aux contacts PIN No 18 Pornper Mesuror PIN No 19 Disponibilit PIN No 21 Masse de r f p no 18 et no 19 PIN No 18 et 19 Remis l air avec actionnement simul
17. Prinzips Gegenstrom 9 13 1 31 Ventistellung 9 1 3 2 Vorvakuumpumpe 10 1 3 3 Turbo Molekularpumpe 10 1 3 4 Massenspektrometer 10 1 3 5 lonenquelle 11 1 3 6 lonenfanger und Verst rker 11 1 4 Ausstattung 12 14 1 Lieferumfang 12 1 4 2 Zubeh r 12 2 Bedlenung und Betrieb 14 EN Aufstellen des UL 100 PLUS 14 24 1 bersicht der Bedien und Anzeigeslemente s 14 2 1 2 Vorbereitung zur Inbetrieb s nahme etn 15 24 3 Betriebstemperatur 18 2 2 Beschreibung der Bedienfunktlonen 18 2 24 NetzanschliB 16 2 21 1 Elektrischer Anschlu 16 2 2 1 2 Netzschalter EIN AUS 17 2 2 1 3 Netzspannungsausgang f r Zusatzger te 17 2 2 2 Taste START und STOPAENT 17 22 3 Werteingabe Taste 18 2 24 Me bereichswahl Taste Automatik Triggerlogik 19 22 5 MeBbereichswahl Taste HAND seus CID 22 6 Nullpunkt Taste Auto Zero 19 2 2 7 Multifunktions Taste Akustisches Signal 18 2 2 8 Multifunktions Taste Trigger und Kalibrierung 20 2 2 8 1 Funktion Triggar 1 und 2 Normal 20 2 2 8 2 Funktion Trigger 1 und 2 Invers ecc 21 2 2 6 3 Sonderfunktion Trigger 1 und 2 Ger tezustand 22 2 2 8 4 Funktion Kalibrierung 22 2 2 9 Taste f r Eingabe Ende ENTER an 22 2 210 Permanente
18. active UL 100 PLUS passe automatiquement en mode d tection sous vide Remarque Le mode de d tection choisi VAC ou SNIF est conserv en m moire lorsque l ap pareil est mis hors circuit M ST8Y Stand By Lecksuch Bereitschaftsmeldung des UL 100 PLUS nach erfolgreicher inbe triebnahme nach Verlassen des Lecksuchsta tus MEAS durch kurzes 2 s Bet tigen der Taste STOP VENT und nach beheb barem Fehlerzustand Die Ventile V1 und V3 sind geschlossen V2 ist ge ffnet Die Turbo molekularpumpe l uft mit 63 000 min EVAC erscheint nach Bet tigen der Taste START 4 24 bei vorangegangenen Lecksuchstatus Stand By STBY oder Fluten VENT Die Ventile V2 und V3 sind geschlossen V1 ist ge ffnet Wird im Teilstrombetrieb mit angeschlosse nem Teilstromventil gearbeitet sind V1 V1 2 und V3 geschlossen und V2 und V ge ff net MEAS erscheint nach dem Evakuieren EVAC wenn der Druck am Einla unter 0 2 mbar oder im Teilstrombelrieb unter 100 mbar ge sunken ist und die Leckrate auf der Bedien einheit angezeigt wird Die Ventile V1 und V2 sind ge ffnet V3 ist geschlossen Wird im Teilstrombetrieb mit angeschlosse nem Teilstromventil gearbeitet sind bei einem Einla Druck von 100 mbar gt pe gt 0 2 mbar V1 und V3 geschlossen und V2 V1 2 und Vox ge ffnet Bei einem Einla Druck von Ge lt 0 2 mbar sind V1 V2 und Vay ge ffnet V3 und V1 2 sind geschlossen
19. ce sa taille r duite et A sa con struction l g re Le module d tecteur peut tre s par du module pompe Ii peut donc tre utilis s par ment par exemple pour des travaux d entretien sur des installations vide Ce module d tecteur se raccorde par l ac couplement des deux modules toute autre pompe vide primaire appropri e lorsqu un plus grand d bit et donc un temps de pom page plus court est n cessaire au raccord test Equip avec un groupe de pompage de flux partiel le d tecteur UL 100 PLUS est parti culi rement appropri la d tection d impor tants teux de fuite d objets volumineux La d tection et la mesure des taux de fuite sont alors possibles d s une pression d admission de 100 mbar 1 1 3 Signalisationa UL 100 PLUS est quip de deux plaques signal tiques Au dessus des connexions lectriques sous la poign e CF fig 8 Sur la face arri re de l unit de commande 1 14 Composition modulaire Le d tecteur UL 100 PLUS se compose de deux modules principaux Abb 1 Baugruppen beralcht Fig 1 Modules of the UL 100 PLUS Fig 1 Modulaa composant le d tecteur UL 100 PLUS Lecksuch Modul mit Bedien Einheit 1 1 Turbo Molekularpumpe TURBOVAC 50 1 2 Massenspektrometer 1 3 Elektronik Einheit 1 4 Ventilblock 1 5 Pump Modul mit Vorvakuumpumpe TRIVAC D 1 6 B 1 2 Technlsche Daten Hinwels Die angegebenen technischen Date
20. die Funktion Trigger 1 oder 2 durch ein bzw zweimaliges Dr cken der Mul tfunktions Taste TRIG CAL 4 11 vor gew hlt werden Dies wird durch de LED s 4 9 oder 4 10 angezeigt Mit Hilfe der Werteingabe Tasten 4 19 und 4 6 kann die Triggerschwelle beliebig in der Gr e ge nderi werden Der eingegebene Wert wird f r die Dauer des Einstellvorganges durch die Position einer Einzel LED auf der Kombi Anzeige 4 3 zusammen mit dem Ex ponenten dargestellt Die Eingabe mu mit der Taste f r Eingabe Ende ENTER 4 13 abgeschlossen wer den Die Triggereinstellung f r Trigger 1 kann durch 3maliges Dr cken der Taste Trigger und Kalibrierung 4 11 und f r Trigger 2 durch 2maliges Dr cken der Taste Trigger und Kalibrierung 4 11 abgebrochen werden 20 the signal starting point by entering different values with the parameter pushbuttons 4 19 or 4 6 H the acoustic eignal multi function pushbutton 4 16 is depressed once the LED for the si gnal starting point lights up 4 15 The star ting point of the acoustic signal can then be set with the aid of the parameter pushbuttons 4 19 or 4 6 to any desired displayed value The set starting point is displayed during set ting on the combined indicator 4 3 The LEDs on the combination display 4 3 indicate the range in which the acoustic signal is acti vated If the acoustic signal multi function pushbutton 4 16 is depressed twice the v
21. multifunction interface see Section 2 2 13 2 is closed Thus it is possible to externally indi cate the reedy status of the leak detector Note If only one of the special functions is utilized the other relay contact may still be used as an inverse trigger contact 2 2 8 4 Function Calibration The multi function pushbutton TRIG CAL 4 11 and LED 4 12 are used for setting the calibration factor for quantitative leak rate indi cations The effect depends on whether an in ternal or external calibrated leek is employed See Sections 2 8 2 and 2 6 3 This function is activated by briefly pressing pushbutton 4 11 followed by pressing the ENTER 4 13 pushbutton 22 9 Pushbutton for End of Entry EN TER Whenever entering values with the parameter pushbuttons 4 19 and 4 6 the ENTER pushbutton 4 13 must be depressed upon completion of the entering process Only then wil tho UL 100 PLUS be able lo process the new values This pushbutton is also used to confirm the calibration procedure M 2 2 8 3 Fonctlon sp ciale triggers 1 et 2 tat de l appareil Message d erreur Pour r gler cette fonction sp ciale des triggers 1 et 2 il faut les inverser en actionnant a touche automat trigger log 4 18 En mode inverse le trigger 1 peut assurer la signalisation des erreurs La condition pr alable est le r glage du trigger invers par la touche d entr e de valeurs 4 19
22. tats introduits par ces cl s apparaissent donc nouveau la remise en circuit b Les fonctions r gl es par les cl s 3 4 et 5 ne sont pas m moris es la mise hors circuit Les diff rentes cl s ont les fonctions suivantes Cl no 1 La cl no 1 verrouille et lib re la touche multifonction trigger et calibrage 4 11 p ex pour emp cher des modifications interdites du calibrage r gl Ci no 2 La cl no 2 verrouille et lib re les triggers le calibrage Manuelle Auto et les touches d introduction de valeurs Cl no 3 La cl no 3 ne s utilise qu en association avec le groupe de pompage flux partiel Section 2 4 7 1 La cl no 3 permet la commutation de FINE vers UtTRA en s lection automatique des gammes de mesure Le robinet ext flux partiel est ferm et le d tecteur travaille avec la sensi bilit maximale La commutation ne peut avoir lieu que si la pression d admission tombe sous p 0 2 mbar La commutation de ULTRA vers FINE n est Pas possible Cl no 4 Elle permet la d tection des fuites sur des objets ayant leur propre pompe primaire sans utiliser le module pompe de UL 100 PLUS 6 5 Equiper l accouplement du vide du mo dule d tecteur 6 3 avec une bride aveugle et raccorder l objet l un des raccords test 25 M Der Flutvorgang des UL 100 PLUS kann nicht eingeleitet werden Um in den Zustand Betrieb ohne eigene Vor pumpe zu gelangen
23. trometer are an ion source a magnetic sepa rating System and an ion collector The ion source ionizes neutral gas particles through electron impact thereby generaling an ion beam Positively charged ions are driven out of the ion source owing the positive cath ode 3 1 and thus reach the magnetic field 3 8 There they are deflected into an orbit of defined radius Only the helium ions M 4 meet the separation conditions of the arrange ment and reach the ion collector 3 5 The elimination of stray ions by means of the inter mediate screen 3 9 ensures high resolution The built in mass spectrometer is of the mag netic sector field type with 180 deflection Owing to the inhomogeneity of the magnetic field vertically in relation to the ion beam addi tional concentration is achieved in this direc tion Z axis focussing This design guarantees not only good resolution but also high sensitiv ity and long term stability Katode 1 Anode Katode 2 Verst rker lonent nger Abschirmung f r lonent nger Suppressor Magnatteld Zwischenblende 0 Extrakiorblende 1 Abschirmring ob ob Erl uterungen zur Abb 3 Key lo Fig 3 1 3 2 Pompe vide primaire La pompe vide primaire donne une pression d h lium proportionnelle au flux d h lium entrant dans le d tecteur de fuites La stabilit du d bit d h lium de cette pompe le permet La sensibilit du dispositif est d termin e par le d bit de la p
24. und invers Betrieb ver wendet siehe Abschnitt 2 2 8 2 2 2 5 MeBberelchswahl Taste Hand Durch des Bet tigen der MeBbergichswahl Taste Hand 4 8 wird das automat Aus w hlen des richtigen MeBbereiches abge schaltat Der Me bereich mu ber die Wer teingabe Taste 4 19 u 4 6 eingestellt wer den und kann an den Exponenten 4 4 bzw 4 8 abgelesen werden Durch eine in der Mefibereichswahl Taste Hand vorhandene LED 4 7 wird diese Funktion angezeigt Bei Verwendung der Option Teilstrompump satz kann mit Hilfe der Taste HAND und der Werteingabetaste 4 8 manuell in den empfindlichsten Me bereich ULTRA g schaltet werden Siehe Abschnitt 2 4 7 1 2 38 Nullpunkt Taate Auto Zero Im Me betrieb wird eine st rende konstante Untergrundanzeige durch einmaliges Betatigen der Nullpunkt Taste 4 14 unterdr ckt Ab Softwareversion V3 4 wirkt die Null punkttaste zus tzlich auf die Triggerausg nge Abschnitt 2 2 8 und auf die Analog Spannungs Ausg nge Abschnitt 2 2 13 6 Die Leckraten Anzeige wird automatisch auf Null gesetzt und die Null Indikator LED 4 21 blinkt Befindet sich der angezeigte Helium Unter grund in der unteren Dekade so wird der Mefibereich eine Dekade empfindlicher ge w hlt Ein Umschalten in empfindlichere MeB bersiche ist nun nicht mehr m glich Ein Ab sinken des Untergrundes wird durch eine glei tende Untergrundbestimrnung korrigiert Durch nochmaliges Bet
25. videment 5 4 du module pompe 5 5 Le module d tecteur 5 1 peut tre alors fix compl tement sur le module pompe 5 5 par une l g re pression Il faut verrouiller le module d tecteur 5 1 avec le module pompe 5 5 Soulever donc sur le module pompe 7 2 la plaque de protection 7 1 des verrous mag n tiques 8 6 Retirer ensuite cette plaque vers le bas Maintenant relever et fermer les deux vis oreille 6 2 et 6 4 en les tournant vers la droite La liaison ainsi r alis e entre e mo dule d tecteur et le module pompe est tanche au vide Poser de biais la plaque de protection 7 1 contre le module pompe 7 2 et l ap puyer en bas contre les verrous magn tiques 6 6 La s paration du module d tecteur du module pompe se pratique dans l ordre inverse des op rations La pompe palettes int gr e dans le module pompe est pr te au service et remplie d huile 15 Abb 7 Abdeckblech Verrlegelung Fig 7 Cover plate and locking device Fig 7 Plaqua de protection verroulllage 2 1 3 Betriebstemperatur Die einwandfreie Funktion des UL 100 PLUS ist bei Umgebungsbedingungen von 17 C bis 40 C gew hrleistet Pumpen l N 62 F r Au entemperaturen von ca 10 C bis 17 C steht ein Spezial Arctic l f r die Drehschieberpumpe D 1 6 B zur Verf gung Entsprechender lwechsel siehe GA 01 200 Das Spezial l Literflasche ist bei Leybold un ter der Bestell Nr
26. 13 8 Analog voltage outputs 30 2 2 13 7 Analog voltage output for the inlet pressure pg 31 2 2 13 8 Headset Socket 32 2 2 13 9 Camying Chain 32 2 2 13 10 Connection between Control Unit and Leak Detection Module 32 2 3 Initia Start Up and Evacuation ot a Test Object 34 2 3 1 Entering time and date 38 2 4 Operating Modes a 37 2 4 1 Overview of the operating modes 37 2 4 2 Vacuum Leak Detection with Test Object 38 24 3 Handling of the Test Object for Local or Integral Leak Detection 38 2 4 3 1 Local Leak Detection 38 2 4 3 2 Determination of Response Uu cn 39 2 4 3 3 Integral Leak Detection e 8D 2 4 4 Special Features of Large Volume Test Objects 39 2 4 5 Special Features of Small Volume Test Objects 39 24 6 Special Features of Low and High Leak Rates 40 2 4 6 1 Low Leek Rates 40 24 6 2 High Leak Rates 40 247 Special Leak Detection Procedures 40 2 4 7 1 Optional Partial Flow Pump Set TPS UL 100 PLUS 40 2 4 7 2 Other pump sets 42 2 4 7 3 Leak Detection Module without Pump Module 43 24 7 44 Leak Detection Module with another Backing Pump Connected to the Forevacuum Inlet 43 2 4 8 Sniffing Leak Test 44 248 1 Leak Testing with Standard Sniffer Se SEIN ces 45 2 4 8 8 Leak Testing with QUICKTEST QT 100 Sniffer Probe 45 25 Swit
27. 15 5 V Tension d alimentation non stabilis e 20 0 30 V CP Horloge interne pour l alimentation du spectrom tre de masse 1 66 kHz 5 5 Vo IAP Valeur effective du potentiel d anode 4 3 4 9 V x100 pour masse 4 Tension d alimentation pos stabilis e 11 5 155 V VP2 VP11 V02 Masse de r f rence pour potentiels de contr le ISP Valeur effective du potentiel de sup presseur 3 0 3 4 V x100 IKP Valeur effective du potentie de cat hode 3 5 4 1 V x100 pour masse 4 2 7 1 Indication d tsts Signification des divers messages d tat INIT INIT est indiqu pendant quelques secondes apr s la mise en circuit de UL 100 PLUS pen dant la mont e en r gime Indication courante Apr s la mise en circuit de UL 100 PLUS l indication suivante se d roule sur l affichage d tat 26 1 UL 100 PLUS VERSION 2 0 DATE xx xx xx TIME xx xx xx ACCL Accelerate apr s l initialisation la commande par microprocesseur attend que la pression pri maire tombe en dessous de 0 1 mbar et la fin de la mont e en r gime de la pompe turbomo l culaire 63 000 tmin VAC and SNIFF UL 100 PLUS dispose de deux modes prin cipaux pour la d tection de fuite le mode vide VAC CF section 2 4 et le mode renille ment SNIF CF section 2 4 8 UL 100 PLUS indique pendant la mont e en r gime le mode de d tection ventuellement choisi avec la cl no 6 Si cette cl n est pas
28. 200 28 022 Luftfitter Halskette zur Bedien Einheit Werkzeugsatz S Fl gelschraube 2 x Schnittstellenstecker 9pol Sub D Stecker 25pol Sub D Stecker 6pol Kupplungs Stecker Schlauchstutzen f r Auspuffleitung Schl sselsatz Gebrauchsanweisungen UL 100 PLUS V 24 RS 232 C Schnittstellen betrieb mit dem ULTRATEST GA 10 207 UL 100 PLUS SB 10 207 TURBOVAC 50 GA 05 100 TRIVAC D 1 8 B GA 01 200 TURBOTRONIK NT 14 GA 05 213 Ersatzteillisto ET 05 100 Ersatzteillisto ET 10 207 Ersatzteillisto ET 01 200 Staubschutzh lle Kopfh rer Best Nr 200 27 981 1 4 2 Zubeh r _ Kat Nr Best Nr Transport Koffer 155 97 Transport Boy 155 98 Verl ngerungsleitung 10 m zur Bedien Einheit 165 43 Testleck TL 7 komplett mit Elektro magnet Ventil und Einbausatz 155 93 Testleck TL 8 165 57 12 1 4 Equipment 1 4 1 Standard Specification The UL 100 PLUS is supplied ready for ope ration The standard equipment also includes Cat No Mains connection cable 2 5 m for 110 V 155 83 2 5 m for 220 V 155 82 898 38 Set of gaskets 200 28 021 Gasket 6 x DN 40 KF Gaskat 4 x DN 25 KF Gasket DN 16 KF 2 x Gasket for preamplifier 1 x Gasket for exhaust filter 2 x O ring for inlet flange 2 x O ring for preamplifier 3 x Oring for D 1 6 B 4 x O ring for vacuum coupling 2 x Gasket for Festo connection 2 x Three O rings for the vacuum coupling Supplementary flange DN 25 KF conne
29. 200 28 181 erh ltlich 2 2 Beschrelbung der Bedlen funktlonen 2 21 NetzanschluB Hinwels 3 Die im Folgenden beschriebenen Ger tefunk Donen beziehen sich auf die Softwareversion V 3 0 2 2 1 1 Elektrischer Anschlu Achtung Vor Anschlu des UL 100 PLUS pr fen ob die f r beide Module erforderliche Netz spannung mit der des vorhandenen Netzes bereinsimmt Bei falscher Netzspannung sind Besch digungen am UL 100 PLUS nicht auszuschlie en Netzspannung f r das Pump Modul pr fen Die Netzspannung kann anhand der Kat Nr der TRIVAC D 1 6 B 6 1 festgestellt werden Kat Nr 112 25 mu8 mit 220 bis 240 V und Kat Nr 112 27 mu8 mit 105 bis 120 V betrieben werden Bei falscher Netzspannungszuordnung ist das Pumpmodul bzw der UL 100 PLUS gegen die Version mit der korrekten Netzspannungs zuordnung auszutauschen Die NetzanschluBleitung 8 2 wird am UL 100 PLUS in den vorhandenen Kombi Ger te stecker 8 5 eingesteckt Hinweis Am Lecksuch Modul Oberteil des UL 100 PLUS ist die Netzspannung eingestellt die am 16 2 1 3 Operating Temperature The UL 100 PLUS will operate correctly with in an ambient temperature range of 17 C to 40 C Pump oil N 62 A special oil Arctic oil is available for opera tion of the D 1 6 B rotary vane pump within the temperature range of 10 C to 17 C The oil exchange is described in Operating Instructions GA 01 200 The special oil is available in a
30. 5 1 must be attached to the pump module 5 5 as in Fig 1 The tab 5 3 on the leak detection module 5 1 must first be guided into the slot 5 4 on the pump module 5 5 The leak detection module 5 1 can now be fully mounted on the pump mod ule 5 5 by applying slight pressure Then interlock eak detection module 5 1 with pump module 5 5 For this purpose the cover plate 7 1 on the pump module 7 2 is lifted off the magnetic fasteners 5 6 pulled downwards and out Now the two wing nuts 6 2 and 6 4 can be folded upwards and closed by turning to the right The leak detection module now has a vacuum tight connection to the pump module Then mount the cover plate 7 1 on the pump module 7 2 at an angle and press it at the bottom egainst the magnetic fasteners 6 6 To separate the leak detection module from the pump module proceed in the reverse or der The rotary vane vacuum pump integrated in the pump module is filed with ail and thus ready to operate Abb 8 Verriegelung Fig 6 Interlocking the modules Fig 8 Varrouillege 2 1 2 Pr paratifs pour la premi re mise en service Le d tecteur UL 100 PLUS est pr t au service la livraison Le module pompe est d j reli au moduled tecteur Si ces deux parties sont encore s par es po ser le module d tecteur 5 1 sur le module pompe 5 5 comme le montre la fig 1 Le cliquet 5 3 du module d tecteur 5 1 est introduit dans l
31. C 430x480x250 mm 320x460x250 mm Pump module 225x460x250 mm Weight UL 100 PLUS complete approx 33 5 kg Leak detection module approx 20 0 kg Pump module approx 13 5 kg Cat No ULTRATEST UL 100 PLUS Portable Helium Leak Detector complete Euro version 220 V to 240 V 155 82 Version 100 V to 120 V 886 38 UL 100 PLUS Leak Detection Module 155 83 Pression vida 0 01 mbar 10 mbar primaire logarithmique en 15 chelons Spectrom tre de masse Champ secteur magn tique 180 Source d ions avec focalisation Z Deux cathodes en iridium Anode chauffse autonettoyante Masses d celables 2 3 et A Temps de mont e en service lt 3 min Raccord test 2 x DN 25 KF Cordon de l unit de commande 8m 1 2 2 Caract ristiques lectriques Module d tecteur Tension secteur commutable 100 V 120 V 220V 240V 5 96 50 60 Hz Puissance absorb e 80 VA Module pompe Tension secteur 210 260 V ou 100 130 V Fr quence secteur 50 60 Hz Puissance absorb e 240 VA Conson totale pendant la mont e en r gime 110 V 5A 220V 25A Consommation totale apr s 30 min de service 110V 3A 220V 15A Sortie secteur pour renifleur Courant max 1A Attentlon La sortie foumit toujours la tension sec res pectivement appli dans UL100 PLUS Entr es sorties de signaux Pres d admission pg 0 10 VR 2 2 5 k Signal taux de fuite 1 10 VR 22 5 kf Signal plage de mesure exposant Echelon de 0 5 V par d cade 1 10V RLz2 5
32. Me werte im Bereich von 1 0 V bis 9 9 V pro Dekade siehe Abb 18 Ab Softwareversion V3 4 werden bei manu eller Bereichswahl 2 Dekaden engezeigt Dann liefert die Analogspannung der Mantisse g ltige Me werte im Bereich von 0 1 V bis 9 9 V Bei eventuell auftretenden St rungen z B kurzzeitige Ubersteuerung des Verst rkers wird die Spannung auf 10 8 V begrenzt Der Exponent wird durch eine Spannungs Treppenstufe mit 0 5 V pro Dekade dargestellt beginnend mit 1 V f r 1 E 10 mbar l st 2 213 7 Analog Spsnnungs Ausgang f r den ElnleBdruck Dg Der Analogausgang f r den Einla druck pg gibt den Verlauf des Einla druckes wieder Der Ausgang liegt an PIN Nr 24 der Multi funktions Schnittstelle 12 1 und an PIN Nr A des Recorderausganges 12 2 Siehe auch Abschnitt 2 2 13 6 Der Analogausgang f r den Einla amp druck pg Abb 19 Analog Ausgang EinlaBdruck PE Fig 18 Analogue output inlet pressure pp Fig 19 Sortle analogique pression d admission pg Spannung 0 Mantisse Spannung Abb 18 Leckratansignal am Recordereusgang Fig 18 Leak rata signal at the chart recordar output Fig 18 Signal de taux de fuite le aortle enregletreur Recorder output 12 2 PIN No 5 Analog output leak rats signal PIN No 1 Analog output range signal PIN No 4 Analog output iniet pressure pe PIN No 3 Reference ground for analog out puts The leak rats signal is divided up as mantissa and exponent The analo
33. On A GM ca t o ND 2 13 Temp rature de service Le parfait fonctionnement de UL 100 PLUS est garant pour des temp ratures ambiantes de 17 C 40 C Huile de pompe N 62 Une huile sp ciale Huile Arctic est disponible pour la pompe palettes rotative D 1 6 B pour les temp ratures ext rieures d env 10 C 17 C Pour le renouvellement d huile voir GA 01 200 L huils sp ciale se commande en bouteilles d un litre chez Leybold sous la r f 200 28 181 2 2 Description des fonctions de commande 2 24 Raccordement au secteur Remarque Les fonctions d crites ci dessous tiennent compte de la version V 3 0 du logiciel 2 2 1 1 Asccordement lectrique Attention Eviter d endommager l appareil en contr lant l concordance entre la tension secteur et celle n cessaire aux deux modules avant dt raccorder UL 100 PLUS au secteur V rifier l indication de tension sur le module pompe La tension secteur affect e l unit es indiqu e par le num ro de r f rence de k pompe TRIVAC D 1 6 B 6 1 R f 112 25 peut tre aliment e avec 220 240 V et R f 112 27 avec 105 120 V Si la tension secteur ne correspond pas il fat remplacer le module pompe ou UL 100 PLU par la version travaillant avec la tension secher correcte E Le cordon de secteur 8 2 se raccorde sur fiche combin e 8 5 de UL 100 PLUS Remarque La tension secteur n cessaire au module d tecteur de
34. PLUS is a hellum leak indicator based on the mass spec trometric principle of detection The UL 100 PLUS possesses a wide detec tion range The UL 100 PLUS permits leak checks to be carried out on test objects of various sizes Small test objects with a volume of 10 or less can be evacuated by the UL 100 PLUS s own backing pump On spraying the test object with helium helium will enter it if there is a leak Even very small helium con centrations reach the mass spectrometer where they are detected Owing to the counterflow principle liquid nitro gen is not needed Because of its small lightweight design the UL 100 PLUS is highly versatile Since the leak detection module can be separated from the pump module the former can easily be used individually for example in the servicing of vacuum systems The leak detection module can be connected 1o any other sulteble backing pump at the cou pling between the two modules if a higher pumping speed at the test connection and hence a shorter pumping time is requirad When equipped with a partial flow pump set the UL 100 PLUS is particularty suited for large volume test objects with high leak rates Leak detection and measurement are then al ready possible from 100 mbar intake pressure and lower 1 1 3 Rsting Plate Two name plates ere provided on the UL 100 PLUS above the electrica connections below the carrying handle see Fig B on the rea
35. Pompe vida rotativa palettes TRIVAC D 1 8 B 12 Ligne de s paration accouplement pour vide V Robinet d vacuation V2N3 Roblnets d admission de remise l air V1 2 Robinet pour grossas fuites Robinet ext pour option groupe de pompage flux partiet 1 3 1 Description du principe de d tec tlon contre flux Pour la d tection selon le principe du contre flux la pi ce est raccord e la pompe vide primaire Ceci permet des pressions bien plus importan tes dans la pi ce qua celles n cessaires selon le principe classique flux principal L h lium se diffuse dans le sens inverse de l vacuation de la pompe turbomol culaire dans le spectro m tre de masse tandis que les gaz lourds et surtout les vapeurs d eau sont retenus com pression d pendante de ia masse Un pi ge azote liquide n est donc plus n cessaire 1 3 1 1 Positions des robinets Le tableau suivant indique les rapports entre fe mode de service et les positions des robinets Cf tig 2 galement Pression admission mbar Position robinet _ Gamme mes typiq Nom V1 2 V2 Vexr ouvert V1 ferm V1 V2 Vgxr ouvert V1 2 ferm FINE ULTRA 2 10 10 V1 V2 ouve V 1 2 form Vexr ferm avec pompe primaire externe D 25 B 1 3 2 Vorvakuumpumpe Die Vorvakuumpumpe erzeugt aus dem in den Leck Detektor flie enden Helium Strom einen proportionalen Helium Druck Dabei wird das
36. Seltenwend Fig 28 Opening the right hand sida Fig 28 Ouvariure de le parol lat rale drolte When doing so the insert 28 4 of the air tube lifts itself out of the guide which is fixed to the side panel Pull off the ground connection attached to the side panel Pull out the air filter 28 3 from its guide rall on the side panel The air fitter consists of a metal grid with glued on filtgring material Exchange the air filter Assembly Insert the new air filter into the first rail the rail closest to the side panel Reconnect the ground conductor to the side panel Attach the side panel so that the insert 28 4 with the air tubo is arrested in the remaining groove behind the air filter Carefully push the side panel in the upwards direction and fit it firmly into the frame of the housing Lock the quick couplings 3 2 4 Exchanging the lon Source Required tools Screwdriver 1 0 x 5 5mm Allan key 4 mm Switch off the UL 100 PLUS Disconnect the mains plug from the unit Remove the side panel above the electrical connection panel as described in Section 3 2 3 Abb 29 lonenquella Fig 28 lon source Fig 29 Source d lone Abb Fig 28 vers le bas La pi ce 28 4 avec tube d air glisse alors hors du rail de guidage fix e la paroi lat rale Retirer la ligne de terre de la paroi lat rale Retirer le filtre alr 28 3 du rail de guidage de la paroi lat rale Il se co
37. Spannungspegel von 220 V dann wird der Zustand Local verlassen und damit ist die Funktion aller Tasten der Ba dieneinheit unterdr ckt Durch Ausnutzen die ser Eigenschaft l t sich jegliche uner w nschte Bedienung von Hand ausschlie en 2 2 13 6 Analog Spannungs Ausg nge Zur Registrierung der gemessenen Leckrate stelt der UL 100 PLUS zwei analoge Span nungsausgange U 0 bis 10V A 22 5 kN zur Verf gung Multifunktions Schnittstelle 12 1 PIN Nr 22 Analogausgang Leckratensignal PIN Nr 23 Analogausgang Mefibereichssi gnal PIN Nr 24 Analogausgang Einla druck pe PIN Nr 25 Bezugsmasse f r Analogausg nge 30 In the local mode this bein Abb 17 Ansteuerung durch Logik oder SPS Fig 17 Remote control vla loglc or PC Fig 17 T l commande par logique ou CP 2 2 13 5 Remote Control of the Leak Te sting Functions Alternatively the functions of the pushbuttons START or STOP may also be implemen ted via the interface by applying logic signals approx 0 and 20 35V This can be done either through switches Fig 18 or by pro grammable control Fig 17 The required contro signals for the modes STBY VENT and MEAS are applied to contacts PIN No 18 Pumping measuring PIN No 19 Standby PIN No 21 Ref potential for No 18 amp No 19 PIN No 18 and 19 Vent when operated si multaneously With this remote control pulses of at least 500 ms duration are required for the UL 100
38. Stabile Helium Saugverm gen dieser Pumpe ausgenutzt Seins Gr e bestimmt zusammen mit der Kompression der Turbo Molekular pumpe dis Empfindlichkeit der Anordnung Als Vorvakuumpumpe ist im UL 100 PLUS ei ne Drehschieber Pumpe TRIVAC D 1 6 B eingebaut Alle Daten und Angaben k nnen der Gebrauchsanweisung GA 01 200 entnom men werden 1 3 3 Turbo Molekularpumpe Die Turbo Molekularpumpe erzeugt aus dem Helium Druck im Vorvakuum den Helium Druck im Massenspektrometer der dort dann nachgewiesen wird Dabei wird ihr stabiles Kompressionsvern gen f r Helium ausge nutzt Seins Gr e bestimmt zusammen mit dem Saugverm gen der Vorvakuumpumpe die Empfindlichkeit der Anordnung Die Turbo Molekularpumpe ist eine TURBO VAC 50 Alle Daten und Angaben k nnen der GA 05 100 entnommen werden 1 3 4 Massenspektrometer Das Massenspektrometer besteht im wesent lichen aus der lonenquelle dem magnetischen Trennsystem und dem lonenf nger Die lonenquelle ionisiert durch Elektronenstof neutrale Gasteilchen und erzeugt daraus einen lonenstrahl Positiv geladene fonen werden durch das negative Potential der Extraktor blends 3 10 aus der lonenquelle abgesaugt und gelangen so in das Magnetfeld 3 8 Dort werden sie auf einer Kreisbahn mit definiertem Radius abgelenkt Nur die Helium lonen M 4 erf llen die Trennbedingungen der An ordnung und erreichen den lonenf nger 3 5 Durch die Ausblendung von St rionen mit Hil f
39. ac tionner la touche ENTER 4 13 Actionner l touche START 4 24 L admission est vacu e Lorsque la pression d admission atteint pE 0 2 mbar UL 100 PLUS passe en mode renifleur L affichage d tat 26 1 du panneau de service indique SNIF Quand le mode renifleur est activ UL 100 PLUS est pr t mesurer imm diatement apr s sa mont e en r gime Le mode Stand By n a pas lieu et la touche STOP VENT est ver rouill e Remarque L affichage d tet 26 1 du panneau de service indique ER21 si la pression d admission n est pas atteinte en l espace de 2 min Pour sortir du mode renifleur Enfoncer la cl no 6 dans la fente de l unit de commanda et actionner la touche EN TER 4 13 UL 100 PLUS passe en mode Stand By 2 2 13 2 Interface multifonction On trouve trois prises femelles sur la face arri re du clapet 11 8 sous l unit de com mande 11 1 interface multifonction 25 p les 12 1 sorties enregistreurs 6 p les 12 2 sorties de relais 9 p les 12 3 Des sorties de tension analogiques sont dispo nibles pour le taux de fuite et l identification de gamme de mesure ainsi que des contacts iso l s de relais pour tes deux seuils triggers r gla bles pour signaler les limites de laux de fuite Une interface s rielle d ordinateur V 24 RS 232 C est comprise dans l quipement standard Le d tecteur UL 100 PLUS peut donc tre raccor d avec des
40. air filter is located behind the side panel above the electrical connection panet Disengage both quick couplings 28 1 using a screwdriver by turning them to the left audible click Carefully pull the side panel 28 2 at the lo wer end of the UL 100 PLUS down and out anB n x GO 5 on 3 Entretlen 3 1 Plan d entretien Le d tecteur UL 100 PLUS ne n cessite pas d entretien syst matique Son entretien se limite la vidange au plein d huile de la pompe vide primaire et au remplacement de la source d ions Remarque Pour des temp ratures ext rieures d env 10 C jusqu moins de 18 C il faut remplir le pompe palettes rotatives D 1 6 B avec l huile Arctic ces temp ratures un d marrage sans probl me facile n est possible que dans cette condition 3 2 Travaux d entretlen 3 2 1 Pompe vide primaire TRIVAC D1 6B Pour tous jes travaux d entretien sur la pompe vide rotative palettes TRIVAC D 1 6 B veuiller consultar le mode d emploi GA 01 200 3 2 2 Pompe turbomol culaire TUROBOVAC 50 La pompe turbomol culaire TURBOVAC 50 in corpore dans fe d tecteur UL 100 PLUS n exge pas d entretien Veuillez consulter le mode d emploi GA 05 100 pour les caract risti ques techniques et les informations n ces 3 2 3 Remplacement du filtre alr Mettre UL 100 PLUS hors circuit Retirer la fiche secteur Remarque Le filtre air se trouve derri re la paroi let rale aud
41. axis focussing two iridium cathodes heated anode self cleaning Detectable masses 2 3 end 4 Time until operational 3 min Test connection 2 x DN 25 KF Length of remote contro unit s lead 8m 1 2 2 Electrical Data Leak detection module j Mains voltage selectable 100 V 120 V 220 V 240 V 5 50 60 Hz Power rating 80 VA Pump module Mains voltage 210 to 260 V or 100 to 130 V Mains frequency range 50 60 Hz Power rating 240 VA Total current rating during run up 8t 110 V 5A at 220 V 2 5 Total current reting after 30 min of operation 8t 110 V 3A _ at 220 V 1 5 Mains output for sniffor Max cuurent 1A Important This output always carries the mains vollage the UL 100 PLUS is connected to Signai inputs outputs Inlet pressure pe O to 10 VR 22 5 KA Leak rate signal 110 10 VRL 22 5 kf Range signal exponent 0 5 V steps per decade 110310 V f R 22 5 kn Leak rate triggers limit switches 2 N C contacts floating _ independent of each other Switching capacity max 2 A 60 V ohmic load External activation of leak detection functions 24 to 48 V DC Interface RS 232 C V 24 1 2 3 Other Data Noise level 54 dBA Cooling air consumption ca 100 m3 tr Max ambient temperature 40 C Max humidity 85 rel non condensed Min run up temperature for the pump with N 62 oil 17 C Minimum pump runup temperature with special oil Arctic oil Dimensions HxWxD UL100 Plus complete Leak detect module 10
42. ber den Schl ssel Nr 6 gew hite Betriebsart wahrend des Ger tehochlaufes an Wird der Schl ssel Nr 6 nicht aktiv geht der Leck Sucher automatisch in den Vakuumleck suchbetrieb Hinwels Die einmal gew hlte Betriebsart VAC oder SNIFF bleibt nach dem Ausschalten des Ger tes erhalten 52 Whenever the electronics unit 25 3 is folded back in the switches 26 13 must always switched to AUTOMATIC On the alphanumeric status and error display 26 1 an error code is displayed in the event of an error in the UL 100 PLUS this consi derably simplifies repairs or servicing In addition all major voltages within the unit can be checked at the TEST OUTPUTS 26 3 Designation of the Test Sockets 26 3 and Their Function VN11 Neg supply voltage regulated 11 5 to 15 5 V VP2 Supply voltage unregulated 20 0 to 30 V CP Intemal clock for mass spectrometer Supply t 68 kHz 5 5 Vpp JAP Anode potential actual value 4 3 to 4 9 V x100 for mass 4 VP11 Pos supply voltage regulated 11 5 to 15 5 V Vo2 Reference ground for the test paten tials ISP Suppressor potential actual vaiue 3 0 to 3 4 V x100 IKP Cathode potential actual value 3 5 to 4 1 V x100 for mass 4 2 7 1 Status Indication The meanings of ihe status indications are INIT After switching on the UL 100 PLUS INIT is displayed for several seconds during the initialization phase Running display A
43. ce le plus loign possible du raccord test Le taux de fuite affich par le UL 100 PLUS correspond au taux de fuite calibr On ferme ia fuite cali br e et mesure en m me temps le temps n cessaire pour que le taux de fuite affich par le d tecteur UL 100 PLUS tombe environ 37 de la valeur d origine Le temps ainsi me sur est le temps de r ponse 2 4 3 3 D tection de fuite int grale Dans ce cas la pi ce 22 2 se trouve dans un sac 22 3 par exemple une enveloppe amp n PCV remplie d une concentration d h lium connue 22 4 Dans la mesure du possible faire en sorte que l enveloppe ne recouvre pas la bride de raccordement 22 6 L tanch it de ce raccordement pourrait laisser passer de l h lium provoquant ainsi un affichage parasite 24 4 Particularit s pour les pi ces de grand volume Le temps d vacuation du d tecteur UL 100 PLUS n augmente pas proportionnellement au volume de ia pi ce mais sa surface interne Selon la conformation de ces surfaces de grandes quantit s d humidit psuvent en effet Se fixer pF C est pourquoi le temps d vacuation peut augmenter consid rablement par exemple si la pi ce est rouill e Tester les volumes sup ri eurs 5 uniquement avec le groupe de pom page flux partiel pour obtenir de faibles temps de pompage Cf galement les modes 3 et 4 de la fig 20 245 Particularit s pour les pl ces de petit volume Pour les petites pi ces i
44. cl 6 et en actionnant la touche ENTER on annule la fonction reniflement L appareil passe en mode Stand By M Im Schn ftelbetrieb kann der Femsteuerein gang PUMPEN Pin Nr 18 der Multitunkti onsschniltstelle zur Helium Untergrundbestim mung genutzt werden Dazu muB ein Schalter im Schn ffelspitzen Halter montiert und mit dem Fernsteuereingang zwischen Pin Nr 18 und Pin Nr 18 der Multifunktionsschnittstelle verbunden werden Die Funktion dieses Fernsteuereinganges ist vergleichbar mit der Nullpunkt Taste 4 14 der Bedieneinheit Abschnitt 2 2 6 Der Schalter mu so eingebaut werden da bei Entnahme der Schn ffelspitze aus der Hal terung der Kontakt ge ffnet und somit der He liumuntergrund unterdr ckt wird Die Helium Untergrundunterdr ckung wird durch die blinkende Null Indikator LED 4 21 angezeigt 2 4 8 1 Lecksuche mit Standard schn ffler Der Standardschn ffler wird dann eingesetzt wenn h chste Empfindlichkeit verlangt wird Er hat zudem den Vorteil kein Gas in nennens werter Menge abzusaugen Deshalb ist er besonders gut f r H llentest s oder zur Messung sehr kleiner Lecks geeig net 2 4 8 2 Lecksuche mit Hellum Schn ftler QUICKTEST QT 100 Der Helium Schn tfler QUICKTEST QT 100 vermeidet die Beschr nkung des Standard schn fflers auf kurze Leitungsl ngen Durch seinen Ansaugeffekt hat er den Vorteil auch Lecks anzuzeigen die relativ weit von der Schn ff
45. d que sa commande se fait de la fagon habituelle 43 M Zu beachten sind jedoch die folgenden Ein schr nkungen bei den Spezifikationen die Nachweisgrenze des Lecksuchmoduls erh ht sich ungef hr proportional zum ange Schlossenen Saugverm gen der Vorpumpe d h bei 10 x gr erem Saugverm gen ist z B die kleinste nachweisbare Leckrate nur noch 1 10 3 mbar ls die Stabilit t der Anzeige Rauschen und Driften und damit auch wieder die Nach weisgrenze h ngt unmittelbar von der Quali tat der eingesetzten Vorpumpe ab Das beste Ergebnis kann mit dem Anschlu einer eventuell gedrosselten Hochvakuum pumpe Turbopumpe erzielt werden da diese im Vergleich zu einer Vorvakuumpumpe er heblich stabiler bzgi Enddruck und Saugver m gen f r Helium ist Bei einer solchen Pumpe mit gro em Saug verm gen ist allerdings die Nachweisgrenze erheblich h her s o 2 4 8 Schn tfellecksuche An den UL 100 PLUS k nnen folgende Schn ffeleinrichtungen angeschl werden Helium Standard Schn ffler ST 100 Helium Schn ffler QUICKTEST QT 100 In allen F llen wird der jeweilige Schn ffler an den Einla des Lecksuchers angeschlossen Der Schn ffelbetrieb kann wie im Abschnitt 2 2 13 1 beschrieben mit Schl ssel Nr 6 an gew hit werden Wurde der Lecksucher im Hochlaufen initiali siert oder war er vor dem Ausschalten im Schn ffelbetrieb gelangt er automatisch in den Mefbetrieb Sonst ist ein zu
46. den UL 100 PLUS zur ckgezogen 32 supplies an output voltage ranging between 0 and 10 V The relationship between voltage and pressure is given in Fig 19 Example of a pressure output Analog output 7 1 0 V is equivalent to an inlet pressure pg 1 0 10 mbar 2 2 13 8 Headset Socket y Next to the keylock switch 11 2 on the side of the remote contro unit 11 1 is a headset socket 11 3 Headsets impedance gt 500 HI can be connected with a 3 5 mm phone plug 2 2 13 9 Carrying Chain The carrying chain included with the acces sories can be used to wear the remote control unit The carrying chain is atlached by firmly pressing it into the lock 11 4 The carrying chain may be detached by slightly tuming the end within the lock and removing it 2 2 13 10 Connection Cable betwoen Re mote Control Unit and Leak De tection Module The coiled cord between leak detection mod ule and remote contro unit may be separated via the connector within the cable retainer for example in order to extend the length using the 10 m long extension cable Cat No 165 43 To do this first carefully pull the coiled cord out of its retainer including the spring loaded socket holder with socket and plug un til the cable is arrested Now the plug can be detached from the sock et by holding it at its outer casing in doing so the plug is automatically released For re newed plugging the two red markings must face each other
47. effectuer une fonction autorange pour des valeurs de mesure de 10 mbarls 1109 mbarls en fonction du d bil de la pompe vide primaire Pour activer enfoncer a cl no 5 dans la fente de l unit de commande et actionner la touche ENTER quand UL 100 PLUS est en mode STBY VENT ou MEAS Cette fonction peut tre supprim e ou bier r activ e par nouvel appel UL 100 PLUS passe ensuite l tat STAND BY En mettant le d tecteur UL 100 PLUS hor service l interrupteur 8 7 sur la positior ARRET cette fonction est supprim e et pa mise en m moire Pour le service dans des contr les automa tiques la cl no 5 doit seulement tre enfon c e tant automatiquement enregistr e im m diatement apr s mise en service Si un groupe de pompage flux partiel stan dard est utilis la cl no 5 ne doit pas tr activ e car le robinet de flux partiel ne sera pas command Quand la cl 5 est activ e l objet ne peut plu tre remis l atmosph re par UL 100 PLUS Cl no 5 Elle permet le service renifleur Du Der Schl ssel Nr 6 kann w hrend des Hoch laufs im Stand By Betrieb und beim Fluten gesetzt werden Beim Hochlauf mu die Schl sselfunktion nicht mit Taste ENTER best tigt werden da der Schl ssel automa tisch registriert wird Zur Aktivierung Schl ssel Nr amp in den Schl sselschlitz der Bedieneinheit 11 1 ein stecken und die Taste ENTER 4 13 dr cken Taste S
48. indicates CONT alternating with the last status indication the UL 100 PLUS can be brought back into the norma operating mode by briefy pressing the START pushbutton 4 24 once or twice The UL 100 PLUS will then revert to ihe standby mode STBY after run up if required 2 7 3 Allgnment of Mass Position In order to obtain maximum sensitivity and stability the mass spectrometer within the UL 100 PLUS must be correctly aligned The UL 100 PLUS is factory aligned to masses M2 and M4 and supplied adjusted to mass 4 Alignment for mass 3 may be neccessary For masses 2 and 4 alignment should be checked during calibration see Section 2 6 The alignment procedure can only be carried out by letting the relevant test gas into the UL 100 PLUS For masses 2 and 3 it is reqiured to connect a Hz calibrated leak for example TL 4 6 Cat No 155 80 with a pressurized hydrogen reservoir to the leak detector inlet For mass 4 use either the internal calibrated leak of the UL 100 PLUS or if available an external helium calibrated leak The alignment process is the same for all masses and is as follows Connect calibrated leak to the inlet and operate START pushbutton 4 24 so that the UL 100 PLUS is set ta the MEAS mode Set switch 26 11 on the service panel to the desired mass Use a screwdriver to operate the potentio meter 26 12 for the required mass Turn the potentiometer until a maximum indication is reac
49. inlet pg seo below CONT ERO3 A filament breakage has been detected at the Thermovac measurement point forevecuum py Call service EROS During run up ACCL the forevacuum pressure of p 0 1 mbar has not been reached within 3 min after being ready for operation Either of the following faults may be the reason for this the pump module is missing there is a coarse leak within the forevacuum area including the vacuum coupling the backing pump is not running or has not reached its nominal speed the valve control is faulty see CONT ERO6 The speed of the TMP 50 turbopump is below 63 000 rpm see CONT ERQ7 The offset of the high impedance input amplifi er is below 15 mV see CONT ERO amp The offset of the high impedance amplifier is higher than 90 mV see CONT Normally the offset is below 50 mV EROS The ion source is faulty both cathodes broken or there is a fault in the mass spec trometer supply ER10 The error message ER 10 is displayed in the event of a fault in the battery backed up memory Default settings will then be used This error message is only displayed alter natingly as ER 10 INIT during the initiali zation phase ER21 During run up SNIF the iniet pressure pg was not reached within 2 min after switching on This may be due to A leaky vacuum connection between inlet flange and snitfer
50. it is first of all required to switch off the autorang ing function by operating the MANUAL pushbutton Operation of the parameter entry pushbuttons 4 19 and 4 6 selects the re quired measurement range For this the On peut alors r gler le spectrom tre de masse sur la sensibilit maximale avec le poten tiom tre M4 26 12 Cf section 2 6 1 L indication du taux de fuite est alors maximale L actionnement de la touche ZERO permet ensuite de d finir le fond h lium interne de l appareil la fuite calibr e se ferme avant la d termina tion du fond apr s la d termination du fond la fuite cali br e s ouvre nouveau On r gle ensuite le taux de fuite inscrit sur la fuite calibr e l aide des touches d introduction de valeurs 4 19 et 4 6 Apr s l actionnement de la touche ENTER le calibrage est termin On entend la fermeture de la fuite calibr e inteme Le facteur ULTRA est ainsi d termin Les facteurs GROSS et FINE sont calcul s partir du facteur ULTRA Si la sensibilit est trop faible on peut passer pour le calibrage l autre cathode avec la touche manuelle L interruption du calibrage est possible tout moment avec la touche trigger et calibrage 26 3 Calibrage avec une fulte calibr e externe Ouvrir la fuite calibr e exteme Placer UL 100 PLUS dans l tat mesure avec la touche START S lectionner le calibrage avec la touche multifonction tri
51. kn Trigger taux de fuite commutateur seuils 2 fermeture sans potentiel ind pendants Puissance de coupure max 2 A 60 V charge ohmique Commande ext des fonctions de d taction 24 48 V DC Interface RS 232 C V 24 1 2 3 Autres caract ristiques Niveau de bruit 54 dBA Consommation en air de refroidissement env 100 m3 h Temp rature ambiante max 40 C Humidit max 85 96 rel non condens e Temp rature min au d marrage de la pompe avec l huile N 62 Temp rature min d amorgage de la pompe avec huile sp ciale HuileArctic 10 C Encombrement HxLxP UL 100 PLUS complet Module d lecteur 17 C 430x460x250 mm 320x460x250 mm Module pompe 225x460x250 mm Poids UL 100 PLUS complet env 33 5 kg Module d tecteur env 20 0 kg Module pompe env 13 5 kg R f ULTRATEST UL 100 PLUS d tecteur de fuites h lium portatif complet Version Euro 220 240 V 155 82 Version 100 V 120 V B96 38 Module d tecteur 4 UL 100 PLUS 155 83 7 M 1 3 Technische Beschreibung Der UL 100 PLUS dient zum Auffinden von Lecks und erm glicht es dia Leckrate quanti tativ zu bestimmen Die kleinste nachweisb Helium Leckrate betr gt 2 10 19 mbar t s1 Der UL 100 PLUS besteht aus dem Leck such Modul und dem Pump Modul Der UL 100 PLUS wird betriebsbereit gelis fert Dabei ist das Lecksuch Modul auf das Pump Modu abgestimmt und kalibriert Das Lecksuch Modul kann auch allein zur Auffin dung
52. la position NORMAL la position SERVICE avec un tournevis con venable En mode SERVICE la commande par microprocesseur de UL 100 PLUS est pratiquement hors fonction L affichage d tat et d erreur alphanum rique 26 1 signale le mode en indiquant SERV H est alors possible d ouvrir et fermer volont les robinets par les commutateurs 26 13 Les positions des robinets sont indiqu es par des DEL dans le sch ma fonctionnel 26 6 Attention li n y a pas de verrouillage automatique en mo de SERVICE II est donc possible d obtenir des tats qui n ont pas de sens ou qui sont m me dangereux pour des parties de l appareil Dans ce mode on peut obtenir les indications suppl mentaires suivantes sur l unit de com mande Indication de pe py en actionnant la touche STOP 4 2 49 STATUS ERROR III NORMAL TEST MASS H SERVICE OUTPUTS TUNE SEL VALVES vu v2 v3 vii CALLEAK vunn JAP 234 p so ss AUG L1 d ee e GGG Hm m drum s EM EE d 1 UT It be ui ve ep 13 Abb 26 Serviceteld 12 1110 9 8 7 Fig 26 Service panel Fig 28 Panneau de service Zeene Erl uterungen zur Abb 26 Key to Fig 26 L gende de la flg 26 1 stelllge alphanumarische Fehler und Statusanzelge 1 4 poslilon alphanumeric error and status display 1 Aflichage d erreur et d tat alphanum rique 4 digits 2 Schlitzechelter Umschaltung SERVICE NORMAL 2 Slot ewltch for SERVICE or NORMAL 2 Commutateur
53. less than 0 2 mbar Note When using the leak detection module alone with an external backing pump set the pump ing speed of this set must be taken into ac count for the quantitative laak rate indications see Section 2 4 7 If necessary the leak de tection module must be recalibrated f the partial flow pump set is used the UL 100 PLUS s calibration remains valid over the en tire extended pressure range After switch ng on the mains power automatic run up of the UL 100 PLUS starts The con tinuously monitored backing pressure py 4 22 and the once determined intake pres sure Pe 4 23 are shown on the combined in dicator 4 3 The UL 100 PLUS is ready for leak detection once the UL 100 PLUS has run up Then the combined indicator 4 3 switch es over to leak rate indication showing that the UL 100 PLUS is ready for operaton By briefly depressing the START push button 4 24 evacuation of a test object con nected to the UL 100 PLUS is started At the same lime the status LED 4 1 lights up green and the combined indicator changes back to pressure indication The falling intake pressure Ge test object is Shown on the scale 4 23 of the combined in dicator 4 3 Once the intake pressure De drops below 0 2 mbar the combined indicator 4 3 automatically changes over from intake pressure pe 4 23 to leak rate indication When the test object is sprayed with helium the helium will owing to the
54. lid further in the direction of the test connection and let the micro processor pcb slide out gently until the cov er can be completely removed Carefully tum the microprocessor pcb over in order to access the component side 3 3 3 Exchanging the Program EPROMs Required tools and materials Allan key 5mm Flat screwdriver 5mm IC puller or flat screwdriver 3mm or angled forceps Set of two EPROMs with new software re lease Procedure Open UL 100 PLUS as described in Section 3 3 2 Use either an IC puller angled torceps or a small screwdriver to carefully remove the two EPROMS 31 4 and 31 5 from their sockets Fig 25 or component layout diagram CPU BIMOT No 200 27 290 Insert tha firat EPROM 31 5 with the new software release dasignated B 4 3 R2 x in po sition D14 directly next to the microprocessor D 13 TMS 9995 with the same orientation the marking 31 8 at the top of the IC s must point in the same direction Abb Fig 31 roi lat rale 30 4 Retirer les deux vis 6 pans creux 30 2 avec une cl de 5 mm _ Repousser le capot 30 1 du module d tec teur dans le sens longitudinal c d vers le raccord test d env 20 mm Soulever le capot d env 30 mm Continuer pousser le capot dans la lon gueur et retirer prudemment la carte micro processeur en la faisant glisser dans les rainures jusqu ce que le capot puisse tre retir Retoumer pru
55. p riph riques d enregistrement comme des enregistreurs ou imprimantes Cf la leg de la fig 13 pour l affectation exacte de l interface multifonction 12 1 4 3 2 1 O3 9 9 2 5 GO 27 13 12 11 10 9 8 7 6 8 4 3 2 1 25 24 23 22 21 20 19 18 17 18 15 14 Abb 13 Multifunktlons Ausgang Fig 13 Multl function output Fig 13 Sorile multifonction Waitere Beschreibung der einzelnen Signale f r die serielle Computer Schnittstelle 12 1 sowie Beschreibung der Betriebsarten REMO TE und PRINT ONLY siehe Schnittstellen beschreibung SB 10 207 Zus tzlich zu dieser Multifunktions Schnitt stelle befindet sich parallel eine Spol Schnitt stellenbuchse 12 3 auf der nochmale die vier Relaisausgange und die Recorderausg nge geschaltet sind Entsprechende Steckerbele gung siehe Abb 14 Der separate Recorder ausgang 12 2 liegt auch parallel zu den bei den vorgenannten Schnitistellenbuchsen Ent sprechende Steckerbelegung siehe Abb 15 2 2 3 3 Trigger Ausg nge Trigger 1 2 Zur extemen Ansteuerung von Grenzwertmel dern z B GUT SCHLECHT Anzeigen sind 2 Triggerausg nge siehe Abschnitt 2 2 8 1 vorgesehen als potentialfreie Relais kontakte Zur Programmierung und Funktion der Trigger Ausg nge siehe Abschnitt 2 2 8 Die Relaiskontakte sind herausgef hrt auf der Multifunktionsbuchse und der Relais Aus gangsbuchse mit folgender Belegung Standard Loglk Funktion Normal Multifunktions S
56. pour utiliser p ex une rallonge de 10 m r f 165 43 Retirer d abord le c ble spira l compl tement et prudemment de son bo tier et le support douille ressort avec la douille et la fiche jusqu l enclenchement On peut maintenant retirer la fiche de la douille en la saisissant par son corps exteme La lib ration du connecteur fiche so fait automa tiquement Pour ficher nouveau mettre les marques rouges face face Lorsque la fiche est ins r s on peut remettre le connecteur dans le boitier du c ble en tirant prudemment sur le c ble et d verrouillant simultan ment le support douille en tournant l g rement la fiche dans le sens des aiguilles d une montre En l chant le cable il glisse dans son bo tier Remarque Saisir le connecteur derri re l crou molet H faut le saisir et le tourner pour d gager la partie interne qui est tir dans UL 100 PLUS M 2 3 Inbetriebnahme und Abpumpen eines Pr flings Hinwels Die Lfd Nr 1 3 und 4 sind nur bei der ersten Inbetriebnahme durchzuf hren Lfd Nr T tigkeit Anzeige Reaktion 1 Aufstellen des UL 100 PLUS gem Abschnitt 2 1 2 UL 100 PLUS mit der erforderlichen Netzspannung versorgen 3 Elektronikeinheit ausklappen s Abschnitt 2 7 Grundeinstellung der Schalter im Serviceteld Abb 25 pr fen 4 Ansaugstutzen mit Blindflansch schlie en 5 Netzschalter EIN AUS 8 7 auf EIN 6 Taste START 4 24 kurz dr cken 7 Taste ST
57. r im Teil strom Pumpsatz siehe Abschnitt 2 4 7 1 ent haltenen externen Teilstromventiis sind fol gende Buchsenkontakte vorgesehen Mulb funktionsschnittstelle 12 1 PIN Nr 14 Venti Steuersignal Ausgang OV ZU 24V AUF PIN Nr 15 Bezugsmasse f r Nr 14 PIN Nr 16 24V Versargung f r Nr 17 PIN Nr 17 Ventil R ckmelde Eingang Kurz schlu zwischen Nr 16 u 17 be deutet Ventil vorhanden und ge schlossen The corresponding trigger contact is closed when the UL 100 PLUS detects a higher leak rate than the one set Inverse logic Function inverse Multi function interface 12 1 PIN No 10 and 14 normally closed relay contact of trigger 1 error PIN No 12 and 13 normally closed relay contact of trigger 2 ready For relay output 12 3 PIN No 2 and 3 as well as PIN No 4 and 5 The corresponding trigger contact is closed when the UL 100 PLUS detects a lower leak rate than the one set In all other operating modes it is open Note The trigger outputs are rated for a voltage of 60 V max and a current of 1 A max 2 2 13 4 Driving of the Partlal Flow Control Vaive The following socket contacts multifunction in terface 12 1 may be used to drive the exter nal partial Row control valve which is included with the accessories for the partial flow pump set see 2 4 7 1 PIN No 14 Valve control signal output OV Closed 24V Open PIN No 15 Reference ground for No 14 PIN No 16 24 V
58. rate 9 Masse de r l rence signal tau Leckratensignal Treppenspannun oi signal staircase voltage de tuite lansion chelonn e M Ert uterungen zur Abb 15 Key to Fig 18 L gende de la flg 15 1 Leckratensignal Exponent 1 Leak rate signal exponent 1 Signal taux de fulte exposant 2 nicht belegen 2 donotuse 2 Libres 3 Bezugsmasse 3 Raterenca ground 3 Mosse da r f rence Leckratensignal halium signal signal h llum d Elnla amp druck pe d Inlet pressure pe Pression d admission pe 5 Leckratensignal Mantissa 5 Leak rata signal mantissa Signal taux de fulte mantisse 8 nicht belegen do not usa 8 Libres Der jeweilige Triggerkontakt ist geschlossen wenn der UL 100 PLUS eine gr ere als die eingestellte Leckrate feststellt Inverse Loglk Funktion Invers Multifunktions Schnittstelle 12 1 PIN Nr 10 und 11 schlieBender Reteiskon takt von Trigger 1 St r meldung PIN Nr 12 und 13 schlie ender Relaiskon takt von Trigger 2 Be reitmeldung F r Relaisausgang 12 3 PIN Nr 2 und 3 so wie PIN Nr 4 und 5 Der jeweilige Triggerkontakt ist geschlossen wenn der UL 100 PLUS eine kleinere als die eingestellte Leckrate feststellt In allen anderen Betriebszust nden ist er ge ffnet Hinwels Die Triggerausgange sind f r eine Spannung von max 60 V und einen Strom von max 1 A ausgelegt 2 213 4 Teilstromventilansteuerung Zur Ansteuerung des als Zubeh
59. reverts to default Volume 5 8 of the maximum value Loudspeaker threshold from LED 0 Trigger 1 1 1010 mbar l s 1 Trigger 2 10 103 mbar s CAL factor average sensitivity Baud rate 9600 baud Trigger logic normal AUTORANGE active Key 1 to 6 disabled A loss of parameters is indicated by the error message ER 10 2 2 11 Gas Ballast Valve The gas ballast valve of the backing pump in the UL 100 PLUS can be operated from the Outside To do so pull out the handle 9 4 and remove the cover 7 3 To open the gas ballast valve the actuating le ver 9 3 can then be pulled towards the oper ator The valve should be left open for several minutes The gas ballast valve is closed when the lever rests against the housing of the backing pump Note The gas ballast valve must always be closed during transport 22 10 M moire permanente des para m tres i La phase d initialisation de UL 100 PLUS com prend la v rification de la pr sence en m moire du dernier r glage des param tres Normale ment UL 100 PLUS reprend les valeurs pro gramm es avant la mise hors circuit Si ce r glage est perdu p ex par une panne des bat teries tampons tes param tres de base sui vants sont r gl s 5 8 de la valeur max partir de DEL 0 Intensit sonore Pt d appl du haut parleur Trigger 1 1 10 10 mbar s 1 Trigger 2 10 103 mbar s Facteur CAL flux principal sensibilit moyenne Vitesse 9600 Baud Logique trigge
60. supply for No 17 PIN No 17 Valve position indicator input a Short circuit between No 16 and 17 means valve connected and closed Extern Externa Extarne Remote cont GND Masse de r f rence pour t l commandes Abb 18 Anstauerung durch Schallkontakta Fig 16 Remote control via switches Fig 16 T l commanda par contacts RECORDER OUTPUT Abb 1 Recordarausgang Fig 15 Recorder output Fig 15 Sortla enregistreur Chaque contact trigger se ferme quand UL 100 PLUS constate un taux de fuite sup rieur la valeur r gl e Logique Inverse fonction inverse Interface muitifonction 12 1 PIN No 10 et 11 contact de travail du trigger 1 indication de perturbation contact de travail du trigger 2 pr t au service PIN No 12 at 13 Pour la sortie de relais 12 3 broches no 2 et 3 ainsi que broches no 4 et 5 Le contact de trigger correspondant se ferme quand UL 100 PLUS d tecte un taux de fuite plus petit que celui qui est r gl II reste ouvert pour tout autre tat de service Remarque Les sorties trigger sont con ues conform ment aux prescriptions VDE 0100 pour une tension de 60 V max et un courant de 1 max 2 2 13 4 Commande du robinet flux partiel Les contacts douille suivants 12 1 sont pr vus pour la commande du robinet externe du flux partiel contenu dans le groupe de pompage de flux partiel CF section 2 4 7 1 PIN No 14 Sortie signal de commande du robine
61. switch ON OFF 8 7 to ON 6 Briefly press START 4 24 7 Press STOP VENT 4 2 for more than 2 s Open the test port Connect the test object 10 Press START 4 24 briefly 11 Spray the test object with helium 12 Press Stop Vent for more than 2 s 13 Disconnect the test object close the test port or connect the next test object Note Measurements can be interrupted by briefly pressing the STOP VENT pushbutton 34 Slot switch 26 2 must be in the NORMAL position Switches 26 13 must all be in the Auto position Switch for mass 26 11 must be set to M4 Initialization of the UL 100 PLUS the status display 26 1 indicates INIT The hand unit is initialized status LED 4 1 lights green The backing pump runs up The electronics are powered up The status display 26 1 on the service panel indicates one after the other once UL 100 PLUS VERSION 3 0 DATEN TIME xXx xx xx The turbomolecular pump starts to run up automatically Status display 26 1 on the service panel alternatingly indicates ACCL VAC Display of forevacuum and inlet pressure As soon as the inlet pressure py 0 2 mbar and the nominal speed of the TMP pump are reached Ihe ready status is indicated by lighting of the exponents and ihe zero indicators 4 21 The status LED 4 1 goes out The status display on the service pane 26 1 indicates the stand by messag STBY Note If the status display
62. terminates the calibration process This completes the determination of the SNIFF factor When the sensitivity is too low during calibra tion it is possible to manually switch over to the other cathode by pressing the MANUAL pushbutton The calibration process may be terminated at any time by pressing the Trigger and Cali brate pushbutton le panneau de commande avec l unit lectronique soit bascul ULTRA V1 et V2 ouverts FINE V1 V2 et Vext ouverts GROSS V1 2 V2 Vext ouverts Vext robinet ext flux partiel de l option groupe de pompage flux partiel Les facteurs de calibrage doivent tre d termi n s dans l ordre suivant ULTRA avec TL8 FINE avec TL8 et GROSS avec TL 4 6 Pour cela on peut calibrer la fuite calibr e TL 4 6 dans FINE Un calibrage est n cessaire pour chaque facteur de calibrage Cependant le calibrage du spectrom tre de masse ne doit tre effectu qu une seule fois Si la sensibilit est trop faible on peut passer pour le calibrage l autre cathode avec la touche manuelle L interruption du calibrage est possible tout moment avec les touches STOP ou trigger et calibrage 2 8 4 Calibrage en mode renifleur Maintenir la pointe du renifleur dans l air S lectionner le calibrage avec la touche multifonction trigger et calibrage et confirmer avec la touche ENTER CAL apparait sur l indicateur d tat 26 1 du panneau de commande Corriger
63. termination di facteur de calibrage pour l affichage quantital du taux de fuite L effet de cette touche diff n selon qu il s agit d une fuite calibr e interne o externe Voir les sections 2 6 2 et 2 6 3 La fonction est activ e en actionnant trois foi bri vement la touche 4 11 et en confirmar ensuite par la touche ENTER 4 13 2 29 Touche de confirmation d entr e ENTER Toute entr e de param tre avec la touch d entr e de valeurs 4 19 ou 4 6 doit tre te min e en appuyant sur la touche de confirme tion activation ENTER 4 13 Ce n e Qu ensuite que le d tecteur UL 100 PLUS e en mesure de trailer les nouvelles valeurs La touche sert en outre de confirmation pot l ex cution d un calibrage M 2 2 10 Permanenter Parameterspeicher In der Initialisierungsphase des UL 100 PLUS wird getestet ob die letzte Parametereinstel lung noch gespeichert ist Normalerweise bemimmt der UL 100 PLUS alle Einstellun gen die vor dem Ausschalten des Netzes pro grammiert wurden Sollte ein Verlust der letz ten Parameterdaten vorliegen z B durch Versagen der Pulfer Batterie wird eine Grundeinstellung vorgenommen Lautst rke 5 8 des Maximalwertes Einsatzp des Lautspr ab LED 0 Trigger 1 1 10 10 mbar l s 1 Trigger 2 10 103 mbar s CAL Faktor mittlere Empfindlichkeit Baudrate 9600 Baud Triggerlogik Normal AUTORANGE aktiv Schl ssel 1 bis 6 inaktiv Der Parameterverlust wird durch die Fehler
64. the leak For possible correction factors because of he lium concentrations below 100 or different pressures within the test objects please refer to the Operating Instructions of the snitfer probes used The calibration factor and the selected ope rating mode SNIFF remain in the memory even atter switching off In the measurement mode the STOPAVENT pushbutton is blocked This key invoked sniffer function is disabled again by inserting key No 6 and pressing the ENTER pushbutton The unit then reverts to the standby mode ll faut cependant noter ies restrictions des sp cifications suivantes la fimite de d tection du module d tecteur augmente de fa on sensiblement propor tionnelle au d bit raccord de la pompe primaire c d qu un d bit dix foix plus im portant r duit p ex la plus petite fuite d celable une valeur de 1 108 mbar ts la stabilit de l affichage bruits et d rives et donc galement la limite de d tection d pend directement de la qualit de la pompe primaire utilis e Le meilleur r sultat peut tre obtenu avec le raccordement d une pompe vide pouss tur bopompe ventuellement trangl e car celle ci pr sente une stabilit pour la pression limite et le d bit d h lium sensiblement plus importante que dans le cas d une pompe primaire Cependant pour une telle pompe grand d bit la limite de d tection est bien plus lev e voir ci dessus 2 4 8 D tec
65. tigen der Nullpunkt Taste 4 14 wird die Funktion aufgehoben ein eventueller Untergrund wird wieder als Leckrate angezeigt 2 2 7 Multifunktions Taate Akustisches Signs Hinwels Die Bet tigung dieser Taste und ihre Funktion k nnen in allen Betriebsarten erfolgen Mit der Multifunktions Taste Akustisches Sig nal 4 18 kann die Lautst rke bzw der Ein The value of the parameter is increased by pressing pushbutton 4 19 and decreased by pressing pushbutton 4 6 The entry does not take effect until the ENTER pushbutton 4 13 has been depressed 2 2 4 Range Selector Pushbutton Automatic Trigger logic By depressing the automatic measuring renge selector 4 18 the UL 100 PLUS automat cally chooses the right measuring range and indicates it on the combined indicator 4 3 To perform testing and measurement without de lays it is advisable to set the UL 100 PLUS to automatic operation As a special function this pushbutton is used to switch between normal and inverse mode during the programming process of the trig gers see section 2 2 8 2 2 2 5 Meaauring Range Selector Man ual If the manual measuring range selector 4 8 is depressed automatic selection of the right measuring range is switched off The mea suring range must now be entered with the parameter pushbuttons 4 19 and 4 6 and can be read off directly at the exponents 4 4 and 4 5 This function is indicated by the LED 4 7 o
66. touche 4 6 L introduction n est termin s et donc activ e qu en actionnant la touche fin d entr e EN TER 4 13 2 24 Touche de s lection automat trigger log des gammes de mes L actionnement de cette touche 4 18 d clenche dans le d tecteur UL 100 PLUS le choix automatique de la gamme de mesure cor recto et son indication sur l affichage combin 4 3 Ce service automatique du d tecteur UL 100 PLUS est conseill pour ne pas perdre de temps avec les diff rentes op rations de contr le ou de mesure Pour la programmation des triggers cette touche a la fonction sp ciale de commuter entre mode normal et mode invsrse CF section 2 2 8 2 2 2 5 Touche de s lection manuelle des gammes de mesure L actionnement de cette touche manuelle 4 8 arr te la s lection automatique de la gam me de mesure correcte Celle ci doit Gre introduite au moyen d une touche d entr e 4 19 ou 4 6 Elle peut tre lue imm diate ment avec les exposants 4 4 ou 4 5 La Tonction est indiqu e par une DEL 4 7 sur la touche manuelle s lection manuelle Avec l option groupe de pompage flux partiel on utilise la touche manuelle et la touche d introduction de valeurs 4 6 pour commuter manuellement sur la gamme de mesure la plus sensible ULTRA Cf section 2 4 7 1 228 Touche de remise z ro suto z ro En mode mesure l affichage d une valeur para site constante peut tre supprim en a
67. un ventuel fond h lium avec la touche z ro 4 14 Placer la pointe du renifleur devant l ouverture de la fuite calibr e pour renifleur On r gle ensuite le taux de fuite inscrit sur la fuite calibr e l aide des touches d introduction de valeurs 4 19 et 4 6 Apr s l actionnement de la touche ENTER le calibrage est termin Le facteur SNIFF est ainsi d termin Si la sensibilit est trop faible on peut passer pour le calibrage l autre cathode avec la touche manuelle L interruption du calibrage est possible tout moment avec la touche trigger et calibrage M Abb 25 Ausklappen der Elektronlk Elnhelt mit Service fi eld Fig 25 Folding out tha electronics unit with service panal Fig 25 Basculement da l unit lectronique evac panneau de service Erl uterungen zur Abb 25 1 Lecksuch Modul 2 Verschlu f r Elekironik Elnhait 3 Elektronik Elnheit mit Servicatald 4 Schraubandreher Key to Fig 25 1 Leak detection module 2 Locking device of electronics unit 3 Electronles unit with service panel d Scrawdriver L gende de la flg 25 1 Module d tecteur 2 Verrou de l unit lectronique 3 Unit lectronique avec panneau de service 4 Tournevis 2 7 Servicefunktion der Elektronik Einhelt Die auf der R ckseite des UL 100 PLUS Lecksuch Moduls eingebaute Elektronik Ein heit 25 3 Dm sich so ausklappen da das Servicefeld far den Bediener zug nglich wird
68. und 4 6 wird die auf dem Testleck aufge druckte Leckrate eingestellt Der Kalibriervorgang ist nach dem Dr cken der Taste ENTER abgeschlossen Im Normalbetrieb ist der Faktor ULTRA damit bestimmt Die Faktoren GROSS und FINE werden aus dem Faktor ULTRA berechnet Im Teilstrombetrieb siehe die Betriebsarten 3 und 4 in Abb 20 k nnen die Kalibrier faktoren GROSS FINE und ULTRA einzelnen bestimmt werden Dazu mu vor dem Kalibrie ren durch Dr cken der Taste HAND die au tomatische Me bereichswahl ausgeschaltet werden Durch Dr cken der Werteingabeta sten 4 19 und 4 6 kann der entsprechende Me bereich angew hlt werden Hierzu mu Now the sensitivity of the mass spectrometer may be set to maximum by operating potenti ometer M4 26 12 Sec 2 6 1 The leak rate display will also show a maximum Now it is possible to determine the internal background by pressing the ZERO pushbut ton The calibrated leak closes before the back ground is determined After the background has been determined the calibrated leak opens The leak rate which is imprinted on the cali brated leak is entered via the parameter entry pushbuttons 4 19 and 4 6 Pressing the ENTER pushbutton terminates the calibration process The internal calibrated leak closes audibly In this way the ULTRA factor has been deter mined The factors for FINE and GROSS are computed based on the ULTRA factor When the sensiti
69. via switches 26 13 The respective valve position is indicated by LEDs in the functional diagram 26 6 Important There is no automatic valve interlocking in the SERVICE mode It is also possible to set up Operating modes which do not make sense or which even endanger parts of the instruments in this mode one can obtain the lollowing additional information on the hand unit Display of Gei by pressing the STOP pushbutton 4 2 2 7 Fonctlons de service de l unit lectronique L unit lectronique 25 3 incorpor e dans la face arri re du module d tecteur de UL 100 PLUS doit 6tre bascul e pour acc der au panneau de service Enfoncer le verrouillage 25 2 sur le module d tecteur 25 1 avec un tounevis 25 4 et basculer ensuite l unit lectronique 25 3 Le commutateur fente 26 2 permet de commuter UL 100 PLUS entre mode normal et mode fonctions de service Fonctions de service En position NORMAL tous les robinets ouverts par la commande peuvent tre ferm s par l actionnement du commutateur correspon dant 26 13 La pos actuelle des robinets est indiqu e par des DEL dans le sch ma fonctionnel 26 6 Apr s le contr le fonctionnel les commutateurs 26 13 doivent absolument tre replac s en position AUTOMATIQUE Pour que les robinets ferm s par la comman de puissent galement tre ouverts manuelle ment il faut auparavant tourner le commutateur fente 26 2 de
70. von Lecks an Vakuumanlagen eingesetzt werden Es mu sichergestellt sein da das Lecksuch Modul nur an einer Stelle der Anla ge angeschlossen wird wo der Druck mit Si cherheit immer kleiner als 0 2 mbar ist Hinwels Bei alleiniger Verwendung des Lecksuch Mo duls mit einem externen Vorvakuum Pumpsatz mu f r die quantitative Leckraten Anzeige das Saugverm gen dieses Pumpensatzes be r cksichtigt werden siehe Abschnitt 2 4 7 Gegebenenfalls ist das Lecksuch Modul neu zu kalibrieren Bei Verwendung des Teilstrom Pumpsatzes gift die Kalibrierung ber den ge samten erweiterten Me bereich Nach dem Einschalten der Netzspannung be ginnt der UL 100 PLUS mit dem automa schen Hochlauf Dabei wird auf der Kombi Anzeige 4 3 der fortlaufend erfaBte Vorvaku umdruck py 4 22 und der einmal ermittelte Einla druck pg 4 23 angezeigt Der UL 100 PLUS ist lecksuchbereit wenn der Hochlauf beendet ist Dann schaltet die Kombi Anzeige 4 3 aut Leckraten Anzeige um und zeigt die Betriebsbereitschaft des Ger tes an Durch kurzes Bet tigen der Taste START 4 24 wird die Evakuierung eines am UL 100 PLUS angeschlossenen Pr flings begonnen gleichzeitig leuchtet die Status LED 4 1 gr n die Kombi Anzeige schaltet wieder au Druck anzeige Der fallende Einla druck pe Pr fling wird auf der Skala 4 23 der Kombi Anzeige 4 3 an gezeigt Ist der Einla druck pe kleiner als 0 2 mbar erfolgt automatisch ein Umsc
71. werden Bevor die Abdeckhaube wieder volistandig auf die geschlitzten F hrungsbolzen aufgesetzt wird noch einmal alle Steckvorrichtungen auf korrekten Sitz pr fen Die Abdeckhaube ist mit etwas Kraft in Rich tung rechter Seitenwand in die Ursprungslage zur ckzuschieben Die zwei Innensechskantschrauben 30 2 eind wieder einzuschrauben und mit dem 5 mm Schl ssel fest anzudrahen Rechte Seitenwand wieder anbringen Zum Test der erfolgreichen Installation der neuen Software Version ist der UL100 wie gewohnt in Betrieb zu nehmen Es sollte zu n chst festgestellt werden ob in der Statusan zeige die richtige Software Version angezeigt wird Nach Erreichen des STBY Zustands m ssen die Funktionen entsprechend Ab schnitt 2 ausf hrbar sein Die alten Programm EPROMs bitte an LEY BOLD AG in 5000 K ln 51 Postfach 510 760 Abt APE 22 zur cksenden 3 4 Service Der Statusreport gibt im Servicefall wichtige Informationen ber den internen Zustand des UL 100 PLUS Der Statusreport ist jedoch nur ber die RS 232 C Schnittstelle auslesbar Siehe hierzu die Schnittstellenbeschreibung SB 10 207 Allgemeine Hinwelae Eine Anderung der Konstruktion und der an gegebenen Daten behalten wir uns vor Die Abbildungen sind unverbindlich DFS 2 0 3 93 60 Insert the second EPROM 31 4 with the new software release designated R2 x in position D 15 with the same orientation as D14 Inspect both sides of both chips t
72. 0 PLUS has fallen to about 37 of the original value The time thus recorded is the response time constant 2 4 3 3 Integrated Leak Detection For integra ieak detection the test object 22 2 is placed in an enclosure 22 3 e g a PVC bag filled with a known helium concen tration 22 4 If possible the connecting flange 22 6 should not be surrounded by the enclosure since helium might diffuse through ihe connecting gasket and cause a back ground 2 4 4 Special Features of Large Volume Test Objects The pumping time of the UL 100 PLUS does not increase in proportion to an increase in the test object s volume but in proportion to its in ner surface This is due to the fact that large quantities of moisture may be retained de pending on the surface quality The pumping time may thus be greatly pro longed by rust deposits For shortest pumping times volumes over 5 liters should be tested only with an external partial flow pump set For this refer to operating modes 4 and 3 given in Fig 20 2 4 5 Special Features of Small Volume Test Objects For small test objects a spray gun with a fine nozzle should be used if possible This pre vents helium from entering the test object through several leaks at once If necessary shield the leak as shown in Fig 21 Abb Flg 22 2 4 3 2 D termination du temps de r ponse Pour d terminer le temps de r ponse on place une fuite calibr e l endroit de la pi
73. 02 158 Huile Artic bouteille avec 1 I 200 28 181 Remarque Pour remettre UL 100 PLUS l atmosph re avec d autres gaz que l air ambiant il est possible de remplacer le filtre fritt du bloc de robinets robinet V3 contre un raccord vis quip d un tuyau Sont n cessaires Raccord vis M 5 pour Tuyau 5 x 1 Tuyau 5 x 1 au m tre 200 23 010 128 20 140 13 M 2 Bedlenung und Betrieb 2 1 Aufstellen des UL 100 PLUS 2 1 1 bersicht der Bedien und Anzelgeelemente Die Bedien und Anzsigeelemente des UL 100 PLUS befinden sich euf einer Bedienein heit die ber eine Leitung mit dem UL 100 PLUS verbunden ist Die Bedieneinheit kann entweder am Ger t eingeh ngt betrieben wer den oder erlaubt im abgenommenen Zustand die Fembedienung des UL 100 PLUS Bedienelemente und die Me wert Statusan zeigen sind in Abb 4 dargestellt und erl utert DEDIT PRTTETTITELLEIIE edy eeeeeee I r3 m r3 r3 r3 oOo e o r r3 P Pe Pe Dm oO no oO S OO oO a Abb 4 Bedlanainheil Fig 4 Remote controf unit Fig 4 Unit de commande 14 2 Operation 2 1 Setting Up the UL 100 PLUS 2 1 4 Layout ot Controls and Display The controls and displays of the UL 100 PLUS are contained on a control panel which is connected via a cable to the UL 100 PLUS The control pane may either be attached to the UL 100 PLUS or may be detached there by enabling the UL 100 PLUS to be remotely
74. 13 acknowledges the displayed value leading to the display of TIME After 1 s approx the hours H x are indicated The hours value may be changed by operating the parameter entry pushbuttons 4 6 and 4 19 or it can be reset to 00 by pressing the Zero pushbutton 4 14 Pressing ENTER 4 13 acknowledges the displayed value leading to the display of the minutes M xx The minutes valua may be changed by ope rating the parameter entry pushbuttons 4 6 and 4 19 or it can be reset to 00 by press ing the Zero pushbutton 4 14 Pressing ENTER 4 13 acknowledges the displayed value leading to the display of the DATE After 1 s approx the date D xx is indicated The date may be changed by op erating the parameter entry pushbutions 4 6 and 4 19 or it can be reset to 01 by press ing the Zero pushbutton 4 14 Pressing ENTER 4 13 acknowledges the displayed value leading to the display of the month Mon The month may be changed by operating the parameter entry pushbuttons 4 6 and 4 19 or it can be reset to Ot by pressing the Zero pushbutton 4 14 Pressing ENTER 4 13 acknowledges the displayed value leading to the display of the year Jax The year may be changed by operating the parameter entry pushbuttons 4 6 and 4 19 or it can be reset to 90 by pressing the Zero pushbutton 4 14 Pressing ENTER acknowledges the dis played value and in this case t
75. 26 1 alternierend die Anzeige ACCL SNIF war der UL 100 PLUS vor dem Ausschalten im Schn ffelbetrieb Der Einlaf wird evakuiert Anzeige EVAC Der Stand By Betrieb wird bersprungen und auf der Anzeige erscheint SNIF Die Status LED 4 1 leuchtet gr n Die Exponenten und Null Indikator LEO 4 21 verl schen Anzeige fallender Einla druck pg 4 23 Im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige 26 1 EVAC Sobald Einla druck Ge s0 2 mbar Umschalten der Kombi Anzeige 4 3 auf Leckrate Ein kurzes Signal ert nt Anzeige der Leckrato Im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige 26 1 MEAS Die Status LED 4 1 leuchtet rot Leckratenanzeige erlischt Die Exponenten und die Null Indikator LED 4 21 leuchten Flutventil ffnet h rbar Siehe Lfd Nr 6 Nach Ablauf der Ansprechzeit ggf Anzeige der Leckrate Siehe Lfd Nr 7 Die Status LED 4 1 erlischt Die Leckratenanzeige erlischt Die Exponenten und die Null Indikator LED 4 21 leuchten 2 3 Initial Start Up and Evacuatlon of a Test Object Note Steps 1 3 and 4 have to be carried out for initial start up only Step Activity Display reaction Install the UL 190 PLUS according to Section 2 1 a 2 Connect the UL 100 PLUS to the required mains voltage 3 Fold out the electronics unit see section 2 7 Check that all switsches on the service panel are set to default Fig 25 Close the test port with a blank flange 5 Set mains
76. 3 10 The anode is constantly heated to prevent polymerized hydrocarbon deposits insulating layers that may impair the sensitivity The cathodes consist of iridium tape coated with thorium oxide Owing to this thorium coat ing the indium filaments operate at a much lower temperature than tungsten ones and possess excellent resistance bumout resis tance to embrittlement by oxygen water va por and hydrocarbons Important Halogens or halogen containing substances may adversely affect the service life of the cathodes 1 3 6 lon Collector and Amplifler The positive helium ions arriving at the ion collector 3 5 produce a voltage at Ihe high impedance input of the amplifier After pos tamplification and conversion the signal ap pears on the combined indicator 4 3 as the leak rate 1 3 5 Source d lons Les lectrons sortant de la cathode 3 1 ou 3 3 sont attir s par l anode positive 3 2 Ils ne parviennent pas imm diatement l anode mais oscillent fr quemment entre la cathode et l cran cylindrique 3 11 jusqu ce qu ils at teignent enfin le filament spiral de l anode Lee lectrons ionisent de cette fa on les atomes de gaz par collision Les ions de gaz positifs sont retir s de la zone de l anode par te diaphragme extracteur 3 10 L anode est chauff e constamment afin d viter les d p ts d hydrocarbures polym ris s cou che isolante nuisant la sensibilit Les cathodes sont com
77. 32 Caract ristiques techniques 1 2 1 Caract ristiques physiques 1 2 2 Caract ristiques lectriques 7 1 2 3 Autres caract ristiques 7 1 3 Description technique 1 3 1 Description du principe de d tection contre fiux 1 9 1 1 Positions des robinets 1 3 2 Pompe vide primaire 1C 1 3 3 Pompe turbomol culaire U 1 3 4 Spectrom tre de masse 1 1 3 5 Source d ions T 1 3 8 Collecteur d ions et amplificateur 1 1 4 Equipement 1 14 1 Equipement standard 1 14 2 Accessoires 1 2 Utilisation OT 2 1 Installation de UL 100 PLUS 1 2 1 1 El ments de commande et d affichage See A T 2 1 2 Pr paratifs pour la premi re i mise en service 1 2 1 3 Temp rature de service 1 2 2 Description des fonctions de commande 1 2 21 Raccordement au secteur 1 2 2 1 1 Raccordement lectrique 1 2 2 1 2 Interrupteur MARCHE ARRET 1 2 2 1 3 Sortie de tension secteur pour appareils suppl mentaires 1 2 2 2 Touches START et STOPNENT 1 2 23 Touche d entr e de valeurs 1 2 24 Touche de s lection automa tique trigger log des gammes de mesure 1 2 2 5 Touche de s lection manuelle des gammes de mesure 1 2 2 8 Touche de remise z ro autoz ro mom o 4 2 2 7 Touche multifonction signal acoustique 2 2 8 Touche multifonction tr
78. Benutzers tragen Zur Befestigung ist der Ket tenschl ssel fest in die Schlo bohrung 11 4 einzudr cken Durch leichtes Verdrehen l t Sich der Kettenschl ssel wieder aus dem Schlo herausziehen und die Kette entfernen 2 2 13 10 Verbindung zwischen Bedlenein helt und Lecksuchmodul Die Spiralleitung zwischen Lecksuchmodul und Bedienainheit J t sich am Lecksuchmo dui mittels einer im Leitungsbeh lter vorhan denen Steckvorrichtung trennen um 2 B die 10 m Verlangerungsleitung Kat Nr 165 43 einzusstzen Dazu ist zun chst die Spirallei tung vollst ndig aus dem Leitungsbeh lter und der Buchsentr ger samt Buchse und Stecker bis zum Einrasten vorsichtig an der Leitung gegen den Federzug aus der Leitungsbox her auszuziehen Jetzt kann der Stecker durch Anfassen an der Grifh lse aus der Buchse herausgezogen werden Die Entriegelung der Steckvorrichtung geschieht dabei automatisch Zum Stecken m ssen die raten Lagemarkierungen zueinan der zeigen Mit eingestecktem Stecker kann man die Steckvorrichtung wieder in der Kabel box verschwinden lassen Dazu ist vorsichtig an der Leitung zu ziehen und gleichzeitig der Buchsentr ger mittels leichter Drehung am Stecker im Uhrzeigersinn zu entriegeln und durch Nachgeben der Leitung in die Leitungs box zur ckgleiten zu lassen Hinweis Den Steckverbinder hinter der R ndelmutter ergreilen Durch Ergreifen und Drehen der R ndelmutter l st sich der innere Teil und wird in
79. Dazu wird mit einem Schraubendreher 25 4 der Veniegelungsbolzen 25 2 am Lecksuch Modul 25 1 hereingedr ckt und die Elektro nik Einheit 25 3 ausgeklappt ber den Schlitzschalter 26 2 l t sich der UL 100 PLUS in den Normalbetrieb bzw den Servicebetrieb umschalten Servicezweck In Stellung NORMAL des Schlitzschalters 26 2 lassen sich Ventile wenn von der Steuerung ge ffnet durch Bet tigen des ent sprechenden Bedienschalters 26 13 zwangs weise schlieBen Die jeweilige Ventilstellung wird durch LEDs im Funktionsschema 26 6 angezeigt Nach der Funktionskontrolle m ssen die Schalter 26 13 unbedingt wieder in Stellung AUTO MATIK geschaltet werden Sollen von der Steuerung geschlossene Ven tile von Hand auch ge ffnet werden k nnen mu vorher der Schlitzschalter 26 2 mit einem passenden Schraubendreher von Stel lung NORMAL auf Stellung SERVICE geschaltet werden Im SERVICE Betrieb ist die Mikrocomputer Steuerung des UL 100 PLUS weitgehend au er Funktion Auf der alphanumerischen Status und Fehleranzeige 26 1 wird der Mode durch die Anzeige SERV ausgegeben ber die Be dienschalter 26 13 konnen nun die Ventile beliebig geschlossen und ge ffnet werden Die jeweilige Ventilstellung wird durch LEDs im Funktionsschema 26 6 angezeigt Achtung Keine automatischen Verriegelungen im SERVICE Mode Es k nnen auch unsinnige oder f r Teile des Ger tes gef hrlich
80. ED on the combined indicator 4 3 Finally depress the ENTER pushbutton 4 13 at the end of entry The trigger adjust ment for trigger 1 can be terminated by press ing pushbutton Trigger and Calibration 4 11 three times and twice for trigger 2 point d application du signal en modifiant la fonction choisie avec la touche entr e de va leurs 4 19 ou 4 6 En appuyant une lois sur la touche multi fonction signal acoustique 4 16 la DEL point d application s allume 4 15 Ce point peut alors amp tre d fini l aide de la touche d entr e de valeurs 4 19 ou 4 8 sur une valeur quelconque indiqu e pendant son r glage par une DEL sur l affichage combin 4 3 Les DEL allum es sur leffichage combin 4 3 indiquent la gamme d activation du signal acoustique La DEL intensit sonore 4 17 s aliume en actionnant deux fois la touche multifonction signal acoustique 4 16 L intensit sonore du signal acoustique peut alors tre d finie grace la touche d entr e de valeurs 4 19 ou 4 8 L intensit est indiqu e par l allumage des DEL 4 3 du bas vers le haut L introduction doit tre termin e avec la touche ENTER 4 18 On peut interrompre le r glage du trigger en actionnant nouveau 19 touche 4 16 ou en actionnant deux fois Is touche 4 16 22 8 Touche multifonction trigger ot calibrage Remarque Cette touche de fonction est op rante dans le mode Stand By et ie mode mesur
81. Einstellen der Uhrzelt und Datum Um bei Ausgaben des UL 100 PLUS speziell ber die V 24 RS 232 C Schnittstelle g ltige Werte f r Uhrzeit und Datum zu erhalten m ssen diese gegebenenfalls neu eingestellt werden Die Kontrolle der im Ger t pro grammierten Uhrzeit und Datum kann auf zwei Arten erfolgen nach dem Netzeinschalten l uft auf der al phanumerischan Anzeige 26 1 eine Initiali sierungsanzeige ab in der auch Uhrzeit und Datum angezeigt werden Abschnitt 2 3 1 im SERVICE Betrieb siehe Abschnitt 2 7 Service Funktionen Die Einstellung von Uhrzeit und Datum kann ebenfalls auf zwei Arten durchgef hrt werden am Ger t ber die Bedieneinheit im SERVICE Betrieb Dies ist beschrieben im Abschnitt 2 7 im Ablauf nach Bet tigung der Teste HAND ber die V 24 AS 232 O Schnittstelle Siehe hierzu SB 10 207 36 2 3 1 Entering time and date in order to obtain valid outputs for date and time from the UL 100 PLUS via the V 24 RS 232 C interface date and time have possible to be reentered Date and time programmed into the UL 400 can be checked as follows after switching on the mains initialization values are indicated on the alphanumerical display 26 1 These include time and date see Section 2 3 1 in the service mode see Section 2 7 Ser vice functions Time and date may also be entered in two ways on the unit itself via the hand unit in the ser vice mode This is described in
82. KTEST QT 100 Elle fournit la m me tension secteur que la fiche combin e 8 5 Remarque Cette prise 8 8 n est pas d connect e par Pinterrupteur secteur Elle est toujours sous tension secteur i 2 2 2 Touches START et STOP VENT Touche START Apr s a mise en circuit du d tecteur UL 100 PLUS avec l interrupteur et la mont e en 17 M endet ist erfolgt die weitere Bedienung mit der Tasto START 4 24 und der Taste STOP VENT 4 2 Durch kurzes Dr cken der Taste START wird ein angeschlossener Pr fling evakuiert gleichzeitig leuchtet die Status LED 4 1 gr n Der fallende Einia druck pg wird auf der Kom bi Anzeige 4 3 angezeigt bis der EinlaB druck von pg 0 2 mbar ist Bei diesem Ein laBdruck wird automatisch die Kombi Anzeige 4 3 so umgeschaltet da anstelle des Ein la drucks die Leckrate angezeigt wird W hrend im Mefbetrieb die Leckrate ange zeigt wird kann mit jedem weiteren Druck auf die Taste START die angezeigte Leckrate auf einen evil angeschlossenen Drucker aus gegeben werden PRINT ONLY Betrieb siehe Schnittstellenbeschreibung SB 10 207 Taste STOP VENT Ausgehend vom Mefibstieb des UL 100 PLUS wird durch einmaliges kurzes Dr cken der Taste STOPAVENT 4 2 das Evakuie ren des Pr flings unterbrochen Der UL 100 PLUS geht in den Stand By Zustand Dem Bediener wird dioser Zustand wie folgt angezeigt Die angezeigte Leckrate wird ausgeblendet
83. L 100 PLUS die Taste ENTER dr cken Diese Funktion kann durch emeutes Aufrufen wieder aufgehoben werden Danach geht der UL 100 PLUS in den STAND By Zustand Mit dem Abschalten des UL 100 PLUS Netz schalter 8 7 auf Stellung AUS wird diese Funktion aufgehoben und nicht gespeichert F r den Einsatz in automatischen Pr fsyste men braucht der Schl ssel Nr 5 nur gesteckt sein da er direkt nach dem Einschalten auto matisch registriert wird Bei Verwendung des Standard Teilstrom pumpsatzes darf der Schl ssel Nr 5 nicht ak tiviert werden da ansonsten das Teilstrom ventil nicht angesteuert wird Bei aktivem Schl ssel 5 kann der Rezipient nicht durch den UL 100 PLUS geflutet wer den Schl ssel Nr 6 Der Schl sse Nr 6 eim glicht den Schn ffel betrieb 26 The venting process of the UL 100 PLUS can not be initiated Key No 4 must be inserted before switching on the UL 100 PLUS when wanting to enter the operating mode Operation without built in backing pump For this leak detection mode it is required that during the entire process an inlet pressure pe of 0 2 mbar is maintained at the test con nection of the UL 100 PLUS After run up key No 4 may be removed when the unit has entered the STBY mode In the operating mode of the UL 100 PLUS without pump module valves V1 and V2 re main always open provided the inlet pressure is continuously below 0 4 mbar The STAND BY condi
84. La d tection avec pompe flux partielle est conseill e dans les cas suivants de grands volumes doivent tre vacu s rapidement un temps de r ponse rapide est n cessaire pour de grands volumes pour les fortes pressions jusqu 100 mbar M gro e Leckraten bis 1 marie gemes sen werden sollen Hinwels Der Teilstrompumpsatz gem der Kat Nr 165 44 ist nur f r eine Betriebsspannung von 220 V ausgelegt Um ein funktionierendes Autoranging sowie ej ne quantitativ richtige Anzeige ber den ge samten Leckratenbereich auch im Teilstrom zu erhalten mu der als Option lieferbare Teilstrompumpsatz benutzt werden siehe Be triebsart 4 in Abb 20 Er besteht im we sentlichen aus einer Pumpe TRIVAC D 25 B einem Magnetventil DN 25 KF siehe Abb 23 sowie einem Metall Wellschlauch von 1 m L nge Zum AnschluB des Teilstrompumpsatzes ist es notwendig den seitlichen Testanschlu 10 3 entsprechend Abschnitt 2 2 12 zu montieren Der Testanschlu ist im Lieferumfang enthal ten Das Magnetventil mit elektromagnetischem Antrieb DN 25 KE wird an den Testanschlu angeflanscht und ber den Metallwellschlauch mit der TRIVAC D 25 B verbunden Zur Versorgung mit Netzspannung wird die Netzanschlu leitung 23 5 die am Magnet ventil fest installiert ist mit der Ger testeck dose 8 6 des UL 100 PLUS verbunden Die Steuerleitung 23 4 wird ber den Stecker 23 3 mit der Elektronikeinhe
85. OP VENT 4 2 lange 2 s dr cken 8 Ansaugstutzen ffnen E Pr lling anschlie en 10 Taste START 4 24 kurz dr cken 11 Pr fling mit Helium bespr hen 12 Taste STOP VENT l nger als 2 s dr cken 13 Pr fling abkoppeln Ansaugstutzen mit Blindflansch schlie en oder neuen Pr fling anschlie en Hinwels Der Me betrieb kann durch kurzes Dr cken der Taste STOP VENT unterbrochen werden Schlitzschalter 26 2 auf Stellung NORMAL Bedienschalter 26 13 alle auf Stellung Auto Umschalter f r Masse 26 11 auf M4 Initialisierung des UL 100 PLUS auf der Statusanzeige 26 1 erscheint INIT Die Bedieneinheit wird initialisiert die Status LED 4 1 leuchtet gr n Anlaut der Vorpumpe Elektronik wird mit Spannung versorgt im Serviceleld erscheint in der Statusanzeige 26 1 einmal durchlaufend nachstehender Text UL 100 PLUS VERSION 3 0 DATE xx xx xx TIME xx xx xx Beginn automatischer Hochlauf der Turbo Molekularpumpe Im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige 26 1 alternierend die Anzeige ACCL VAC Anzeige Vorvakuum und Einla druck Sobald Vorvakuumdruck Py lt 0 1 mbar und die Nenndrehzahl der TMP Pumpe erreicht ist erfolgt Bereitmeldung durch Aufleuchten der Exponenten und Null Indikatoren LED 4 21 Die Status LED 4 1 erlischt Im Servicefeld erscheint in der Statusanzeige 26 1 die Bereitschaftsmeldung STBY Hinweis Erscheint im Servicefeld in der Statusanzeige
86. Section 2 7 in the sequence after operating the Man ual pushbutton through the V 24 RS 232 C interface Refer to SB 10 207 2 3 1 Introduction de l heure et de la date it faut ventuellement introduire nouveau la date et l heure pour que ces valeurs soient correctes lors des sorties de UL 100 PLUS notamment par l interface V 24 RS 232 C Le contr le de la date et de l heure programm es dans l appareil se fait de deux mani res diff rentes a apr s la mise en circuit l affichage alphanu m rique 26 1 montre une initialisation indiquant galement la date et l heure CF section 2 3 1 en mode SERVICE CF section 2 7 fonctions de service L introduction de la date et de l heure se fait galement de deux mani res diff rentes Sur l appareil par l unit de commande an mode SERVICE Vous en trouverez la description dans la section 2 7 dans la sequence apr s l actionnament de la touche manuelle par l interface V 24 RS 232 C Consulter pour cela SB 10 207 M 2 4 Betrlebsarten 2 41 bersicht der Betriebsarten Hinweis Vor jeder quantitativen Leckraten Bestimmung sdite der UL 100 PLUS mit einem Testleck nach Abschnitt 2 6 abgeglichen werden Der UL 100 PLUS verf gt grunds tzlich ber zwei Betriebsarten die Vakuumlecksuche MAC und die Schn ffellecksuche SNIF Die Betriebsart SNIFF wird ber den Schl s sel Nr 6 Abschnitt 2 2 13 1 angew hit Die Betriebsart w
87. TART 4 24 dr cken Der Einia wird evakuiert Beim Erreichen des Einlaf druckes pg 0 2 mbar schaltet der UL 100 PLUS in den Schn ffelbetrieb Die Sta tusanzeige 26 1 im Servicefeld zeigt SNIF an Bei aktiviertem Schn ffelbetrieb ist der UL 100 PLUS nach dem Hochiauf sofort mefibe reit Der Stand By Betrieb entf llt und die Ta ste STOPAVENT ist verrriegelt Hinweis Wird der Einlafdruck nicht innerhalb von 2 min erreicht erfolgt auf der Statusanzeige 26 1 im Servicefeld die Fehlermeldung ER21 A Zum Ausstieg aus dem Schn ffelbetrieb Schl ssel Nr 6 in den Schl sselschlitz der Bedieneinheit stecken und die Taste EN TER 4 13 dr cken Der UL 100 PLUS geht in den Stand By Betrieb 223 2 Multifunktions Schnittstelle Unter der Bedien Einheit 11 1 befindet sich eine Klappe 11 8 auf deren R ckseite sich drei Buchsen befinden Multitunktionsschnittstelle 25pol 12 1 Recorderausg nge 6polig 12 2 Relaisausgange 9polig 12 3 Es stehen analoge Spannungsausgange f r Leckrate und Me bereich Identifikation sowie potentialfreie Relaiskontakte f r die beiden ein stellbaren Triggerschaltpunkte zur Grenzwert meldung von Leckraten zur Verf gung Au er dem ist eine serielle Computer Schnitistelle V 24 RS 232 C standardm eingebaut Damit ist der UL 100 PLUS f r den Anschlu von Registrierger ten z B Schreibem und Druckem ausger stet Die genaue Belegung der M
88. UL 100 PLUS est celle indiqu e M Erl uterungen zur Abb 8 Schraubendreher Netzanschlu leitung Sicherungsainschub und Spannungsw hler Marklerung am Kombi Ger testecker Kambi Ger testecker Ger testeckdose QUICKTEST Netzschalter EIN AUS ey to Fig 8 Screwdriver Power lead Silde In fuse unit and voltage selector Marking on power socket Power socket QUICKTEST sockat ONOFF power switch L gende de la fig 8 Tournevis Cordon secteur MNOURON E DER CR Porte tusible at s lecteur de tension Marque sur la fiche combin e Fiche combin s Priee pour raccorder le QUICKTEST Interrupteur secteur MARCHE ARRET OMR CN Sicherungseinschub 8 3 lesbar nach oben auf die Markierung 8 4 zeigt Zum Einstellen der Ger tespannung ist der Sicherungseinschub 8 3 neben dem Kombi Ger testecker mit einem Schraubendreher 8 1 herauszunehmen und so zu drehen da die gew nschte Spannung lesbar nach oben auf die Markierung 8 4 zeigt Den Sicher ungseinschub in dieser Stellung wieder in den Kombi Ger testecker 8 5 einschieben Netz anschlu leitung am Kombi Ger testecker 8 5 einstecken und mit dem Netz verbinden Der UL 100 PLUS kann nun am Netzschalter EIN AUS 8 7 eingeschaltet werden 2 2 1 2 Netzschalter EIN AUS Durch Bet tigen des Netzschelters 8 7 wird das gesamte Ger t in Betrieb genommen Der UL 100 PLUS beginnt mit dem automa tischen Hochlauf der T
89. Vakuum Me und Vakuumtechnik Verfahrenstechnik Analysentechnik GA 10 207 4 Gebrauchsanweisung Operating Instructions Mode d emploi An load e pown eq A d E ron IH LEYBOLD AG Ein Unternehmen der Degussa LEYBOLD ULTRATEST UL 100 PLUS Helium Leck Detektor Portable Helium Leak Detector Portable D tecteur de fuites h lium portatif Software Version Version 3 x du logiciel 155 82 155 83 896 38 PLEASE NOTE We do sell the related products within this literature but we are not connected in any way with the manufacture of your product We provide this literature for the products we sell and service They A are intended to provide users with the manufactures instructions to operate the equipment in a safe manner ACHTUNG I Vor Jeder Inenapruchnehme des Services Ist es aus Gr nden der Arbeitssicherheit und des Umweltschuiz es notwendig am oder Im Ger t bafindliche gef hrli che Stoe zB im Sinne EG Richiliinie L 380 1976 11979 oder VBG 16 anzuzeigen und zu deklarleren Inhalt 1 Beschreibung vx 1 1 Allgemeine Angaben 4 1 1 1 Bezeichnung 5 1 1 2 Verwendungszweck 5 1 1 3 Kennzeichnungsstelle 5 1 1 4 Beugruppen bersicht 5 1 2 Technische Daten 6 1 2 1 Physikalische Daten 6 1 2 2 Elektrische Daten ven T 1 2 3 Sonstige Deten 7 1 3 Technische Beschrelbung 8 1 3 1 Beschreibung des Nachweis
90. When doing so the externat partial flow valve is closed and the leak detector is operated at its maximum sensitivity Switch over is only possible provided the inlat pressure is below p 0 2 mbar ble Key No 4 Key No 4 permits leak detection on objects with a backing pump without having to use the UL 100 PLUS pump module 6 5 For this purpose the vacuum connection on the leak detection module 6 3 must be equipped with a blind flange the test object is con nected to one of the test connections Switch over from ULTRA to FINE is not possi 2 2 13 1 Commutateur cl Un commutateur cl 11 2 est dispos dans un renfoncement sur le c t de l unit de commande 11 1 du d tecteur UL 100 PLUS Six cl s diff rentes permettent de r gler des programmes de v rification et de modes de service z Activer Enfoncer la cl en question fond dans la fente du commutateur cl 11 2 de l unit de commande 11 1 Actionner la touche ENTER 4 13 La DEL indicateur de z ro 4 21 clignote 3x long Retirer la cl D sactiver Enfoncer la ci en question fond dans la tente du commutateur cl 11 2 de l unit de commande 11 1 et actionner ensuite la touche ENTER 4 13 La DEL indicataur de z ro 4 21 clignote 6x court Retirer la cl Quand UL 100 PLUS est mis hors circuit il y a m morisation des donn es introduites par les cl s 1 2 et 6 Les
91. accord test lat ral 10 3 comme indiqu dans la section 2 2 12 Le raccord test fait partie de l quipement standard Le robinet entra nement lectomagn tique DN 25 KF est brid au raccord test et reli la TRIVAC D 25 B par le raccord m tallique pour tuyau L alimentation en tension secteur s obtient en reliant le cordon 23 5 stationnaire sur le robinet lectomagn tique la prise secteur auxiliaire 8 6 de UL 100 PLUS La ligne de commande 23 4 est reli e par la fiche 23 3 l unit lectronique 23 2 du robinet lectomagn tique et de l autre c t l interface multifonction 12 1 de UL 100 PLUS L option est reconnue et command e d s que la figna est fich e dans l interface multifonction 12 1 Pour mette le syst me en route on peut met tre simultan ment en circuit UL100 et le groupe de pomp de flux partiel Lorsque la mont e en bh UL 100 PLUS 5 UL 100 PLUS Fig 23 Robinet querre entra nement lectromagn tiqua 41 M 100 PLUS den Hochlauf beendet hat erfolgt die weitere Bedienung mit der Taste START 4 24 und der Taste STOP VENT 4 2 Durch kurzes Dr cken der Taste START 4 24 wird ein angeschlossaner Pr fling vom Teilstrompumpsatz 2 7 evakuiert Hinwels Bei richtigem Anschiu und evakuiertam Pr f ling leuchtet an der Elektronik des Magnet ventils die gr ne LED 23 t Sollte st ndig die rote LED leuchten ist zu k
92. ake pressure measuring point 5 Tast conneclion DN 25 KF 8 2nd test connection DN 25 KF or connection fot partial llow pump sat 7 Partlal tlow pump sat optlon a Helium callbraled leak TL 7 option 9 Connection DN 10 KF for hallum calibratad leak 3 10 Exhaust shut off valve 41 Rolary vane vacuum pump TRIVAC D 1 8 B 12 Vacuum coupling vi Pump valve V2N3 Intal valve Vanting valve V1 2 Coarse leak valve External valve for partial flow pump set option 1 3 1 Beschreibung des Nachweis Prin zips Gegenstrom Beim Gegenstrom Prinzip wird der Pr fling an der Vorvakuumpumpe angekoppelt Dadurch sind erheblich h here Pr flingsdr cke zul ssig als beim klassischen Hauptstrom Prinzip Das Helium diffundiert entgegen der Pumprichtung der Turbo Molekularpumpe in das Massenspektrometer w hrend schwere Gase vor allem Wasserd mpfe zur ckge halten werden massenabh ngiges Kompres sionsverm gen Eine K hlfalle in Verbindung mit fl Stickstoff ist deshalb nicht mehr erforderlich 1 3 1 1 Ventilstellung Nachfolgende Tabelle zeigt den Zusammen hang zwischen der Betriebsart und den Ventil stellungen Siehe auch Abb 2 Einla Ventil stellung Bezeich nung V1 2 V2 Vexr offen V1 gsschl FINE V1 V2 p lt 0 2 Vex offen V1 2 geschl ULTRA V1 V2 offen p 0 2 V1 2 geschi Vexr geschl mit externer Vorvakuumpumpe D 25 B Pump Modul Pump modula Madule pom
93. ar Das Lecksuch Modul ist vom Pump Modul abnehmbar und dadurch auch einzeln z B zu Servicearbeiten an Vakuumanlagen einfach einzusetzen An das Lecksuch Modul ist jede andere geei gnets Vorvakuumpumpe ber die Trennstelle der beiden Ger tebaugruppen anschlie bar wenn ein gr eres Saugverm gen am Testan schlu und damit k rzere Pumpzeiten ben tigt werden Der UL 100 PLUS ist mit einem Teilstrom Pumpsatz besonders f r gro volumige Pr tob jekte mit hohen Leckraten geeignet Leck ratennachweis und messung sind dann be reits ab 100 mbar Einta druck m glich 1 1 3 Kennzelchnungsstelle Ein Typen und Leistungsschild ist beim UL 100 PLUS an zwei Stellen angebracht Oberhalb des elektrischen Anschlu feldes unter dem Tragegriff siehe Abb 8 Auf der R ckseite der Bedieneinheit 1 1 4 Baugruppen bersicht Der UL 100 PLUS besteht aus zwei Haupt baugruppen UL100PLUS Caretully examine the UL 100 PLUS visually Examine the remote contro unit and connect ing lead to ensure that no damage has oc curred in transit If any damage is discovered report it im mediately to the forwarding agent and insurer If the damaged part has to be replaced get in touch with the orders department 1 1 1 Designation Full designetion Portable Helium Leak Detector ULTRATEST UL 100 PLUS Leak detection module Pump module Short designation UL 100 PLUS 1 1 2 Purpose The Helium Leak Detector UL 100
94. at 4 1 Les DEL de l affichag combin 4 3 sont toutes teintes Le robinet de fuite V3 peut tre referm en actionnant une nouvelle fois la touch STOPAENT UL 100 PLUS passe e mode Stand By ou en actionnant la touche START 4 24 U 100 PLUS revient en mode mesure 2 2 3 Touches d entr e de valeurs Ce type de touche 4 19 et 4 6 perme apr s l actionnement d une touche programm d introduire des param tres It est par exempl possible en appuyant avant sur la touch multifonction signal acoustique 4 16 c r gler l intensit du signal sonore Remarque Les touches d entr e des valeurs 4 19 4 6 ne peuvent influencer que la fonction c la touche pr c demment choisie et indiqu par une DEL M Die Werteingabe wird durch Dr cken der Ta ste 4 19 vergr Bert und durch Dr cken der Taste 4 6 verkleinert Sie wird erst mit Dr cken der Taste Eingabe Ende ENTER 4 13 abgeschlossen und damit wirksam 2 2 4 MefBberelchswahl Taste Automatik Triggeriogik Durch Bet tigen der Taste Me bereichswahl Automatik 4 18 w hlt der UL 100 PLUS automatisch den richtigen Me bereich und zeigt diesen auf der Kombi Anzeige 4 3 an Um den jeweiligen Pr f bzw Me vorgang oh ne Verz gerungen durchf hren zu k nnen empfiehlt es sich den UL 100 PLUS auf Automatikbetrieb einzustellen Als Sonderfunktion wird die Taste bei der Pro grammierung der Trigger zur Umschaltung zwischen Normal
95. atmosph rique La touche ENTER 4 13 interrompt l indication cyclique Remarque Mettre TMP hors circuit pour quilibrer PV m Mit der Taste Automatik Triggerlogik 4 18 beginnt nun Anzeige und Anderung von Baud rate Datum und Zeit Die Taste ENTER 4 13 best tigt jeweils den angezeigten Wert und f hrt zur n chsten Darstellung Es erscheint zun chst MODIFY VALUES OF BAUD TIME AND DATE Anschlie end wird die Baudrate angezeigt BAUD xx Der angezeigte Wert xxx kann mit den Werteingabetasten 4 8 und 4 19 ver ndert oder mit der Taste Zero 4 14 auf 9600 r ckgesetzt werden Die Taste ENTER 4 13 best tigt den an gezeigten Wert und f hrt zur Anzeige der Uhr zeit TIME Nach ca 1 s erscheinen die Stunden H xx Die Stunden k nnen mit den Werteingabetasten 4 6 und 4 19 ver ndert oder mit der Taste Zero 4 14 auf Q0 r ckgesetzt werden Die Taste ENTER 4 13 best tigt den an gezeigten Wert und f hrt zur Anzeige der Mi nute M xx Die Minuten k nnen mit den Werteingabe tasten 4 6 und 4 19 ver ndert oder mit der Taste Zero 4 14 auf 00 r ckgesetzt werden Die Taste ENTER 4 13 best tigt den an gezeigten Wert und f hrt zur Anzeige des De tums DATE Nach ca 1 s erscheint der ein gestellt Tag D xx Die Tage k nnen mit den Werteingabetasten 4 6 und 4 19 ver ndert oder mit der Taste Zero 4 14 auf 01 r ckgesetz
96. ce 29 4 out of the mass spectrometer housing 29 2 Note Between the flange of the ion source 29 8 and the mass spectrometer housing 29 2 there is a plastic gasket which always must be replaced by a new one in case of damage or contamination Check that all parts are in perfect condition Raassemble in the reverse order Note When installing the ion source the four hex screws 29 3 must be tightened crosswise 3 3 Software Update for Soft ware Releases from V 2 0 3 3 1 Identification of Software Release of the UL 100 PLUS In order to identify the currently implemented software release open the electronics unit as described in Section 2 7 so that the alphanu marical status display can be seen After initial Switching on if required switch off the unit first the first status indication is that of the Currently implemented software release indi cated in the form V2 x e g V2 0 If new upgraded softwere chips are to be installed carry out the following staps 3 3 2 Removal of the Microprocessor PCB Switch off the UL 100 PLUS and disconnect it from the mains Remove any connected test objects Detach the remote control unit from the leak detector module Open the rapid fasteners 30 3 on the right M D gager l crou d accouplement 29 6 et retrer le connecteur fiches 29 5 de la source d ions 29 4 D monter les quatre vis six pans creux 29 3 et retirer fa bride
97. chdichtung die bei Besch digung oder Verschmutzung gegen eine neue Dichtung zu wechseln ist Alle Teila auf einwandfreien Zustand pr fen Der Einbau erfolgt sinngem in umgekehrter Reihenfolge Hinwela Die vier Innensechskantschrauben 29 3 m ssen beim Einbau der lonenquelle ber kreuz angezogen werden 3 3 Softwareumr stung f r Softwareversionen ab V 2 0 3 3 1 Identifikation der Software des UL 100 PLUS Zur Identifikation der im UL 100 PLUS im plementierten Software Version die Elektronik Einheit ffnen wie in der Gebrauchsanwei sung des UL 100 PLUS im Abschnitt 2 7 be schrieben um die alphanumerische Status Anzeige beobachten zu k nnen Nach dem Einschalten des UL 100 PLUS ggf vorher ausschalten erscheint als erste Statusmel dung die Versionsnummer in der Form V2 x z B V2 0 3 3 2 Ausbau der Mikrocomputerlelter karte UL100 ausschalten und von der Netz spannung trennen Evil vorhandenen Pr fling entfernen Bedieneinheit vom Lecksuchmodul abneh men Schnellverschl sse 30 3 der rechten Sei Abb Fig 30 58 Loosen union nut 29 6 and pull the connec tor 29 5 off the ion source 29 4 Screw out the four hex screws 29 3 and remove the aluminum backing ring Screw one of the hex screws 29 3 into the forcing thread 29 7 of the ion source 29 4 thus forcing the flange 29 8 of the ion source oft the mass spectrometer housing 29 2 Take the ion sour
98. ching Off 45 2 6 Callbration and Tuning 46 2 6 1 Tuning 46 2 6 2 Calibretion with the built in calibrated leak 46 2 6 3 Calibration with an extemal calibrated leak paawa AT 2 5 4 Calibration in the sniffer mode 48 2 7 Service Functlons ot the Electronics Unit 49 2 7 1 Status Indication 52 2 7 2 Error Messages 53 2 7 3 Alignment of Mass Position erres 55 2 2 13 1 Commulateur c 25 2 2 13 2 Interface multifonction 27 2 213 3 Sorties trigger 1 et trigger 2 28 2 2 13 4 Commande du robinet flux POT P 29 2 2 13 5 T l commande de la d tection de fuite 30 2 2 13 8 Sorties tension analogique 30 2 2 13 7 Sortie de tension analogique pour la pression d admission pE 31 2 2 13 8 Raccordement pour casque d coute 32 2 2 13 9 Chaine de suspension 32 2 2 13 10 C ble de connexion entre l unit de commende et le module d tecteur 32 2 3 2 3 1 2 4 2 4 1 2 4 2 2 4 3 2 4 3 1 2 4 3 2 2 4 3 3 2 4 4 245 24 6 2 4 6 1 2 4 6 2 24 7 2 4 7 1 24 7 2 2 4 7 3 24 74 2 4 8 2 4 8 1 24 8 2 2 5 2 6 2 6 1 2 6 2 263 2 64 2 7 2 7 1 2 7 2 2 7 3 Premi re mise en service et pre mi re vacuation d une pl ce 35 introduction de l heure et de la date 36 Modes de service 37 Aper u
99. chnittstelle 12 1 bzw Abb1 3 PIN Nr 10 und 11 schlie ender Relaiskon takt von Trigger 1 PIN Nr 12 und 13 schlie ender Relaiskon takt von Trigger 2 Relaisausgang 12 3 bzw Abb 14 PIN Nr 2und 3 schlieBender Relaiskon takt von Trigger 1 PIN Nr 4und5 schlieBender Relaiskon takt von Trigger 2 RELAY OUTPUT 5 4 3 2 t 00000 0000 9 8 7 8 Abb 14 Relalsausgang Fig 14 Relay autput Fig 14 Sortie de relais 0000000000000 000000000000 Erl uterungen zur Abb 13 Koy to Fig 13 rei 1 M L gende de 1a fig 13 Libre T nol used 1 bi 2 R 2 RXD 2 RXD 3 3 TXD 3 D 45 fret 4 5 notused 4 5 Libres 8 8 OSR 6 DSR 7 GNO 7 GND 7 GND 8 9 nicht belegen Dm do not use 8 3 Libres 10 Trigger 1 Relals Ausg nga 10 Trigger 1 Relay outputs 10 Triggar 1 sorties de relais 11 Trigger 1 Relals Ausg nge 11 Trigger 1 Relay outputs 11 Trigger 1 sorties de relais 12 Trigger 2 Relais Ausg nge 12 Trigger 2 Relay outputs 12 Trigger 2 sorties de relais 13 Trigger 2 Relais Ausg nge 13 Trigger 2 Relay outputs 13 Triggar 2 sorties de relais 14 Steuerung Teilstromvent 14 Controi partlal flow valve 14 Commande robinet flux partie 15 Bezugsmasse f r 14 1 Relerance ground lor 14 15 Massa de r f rance pour 14 16 24V Vers f r 17 18 24V version far 17 18 Version 24 V pour 1 17 Teilstromventii R ckmeldung 17 Partlal flow Valve status ind 17 Robinet 18 Pumpen Fluten 18 Pumping venting Ram 18 Evacu
100. contacts are provided for con nection to external limit value indicators such as for ex PASSED REJECTED For programming and operation of the trigger out puts see Section 2 2 8 The relay contacts are accessible through the multi function socket and the relay output socket whereby the fol lowing pin assignment applies Standard logic Functlon normal Multi function interface 12 1 and Fig 13 PIN No 10 and 11 normally closed relay contact of trigger 1 PIN No 12 and 13 normally closed relay contact of trigger 2 Relay output 12 3 and Fig 14 PIN No 2and3 normally closed relay contact of trigger 1 PIN No 4 and normally closed relay contact of trigger 2 signal measurement range Masse de r t rence signal taux de fuite signal gamme de mesure Voir la description d interface SB 10 207 pot plus d informations sur les diff rents signau pour l interface s rielle d ordinateur 12 1 sur les modes de service REMOTE et PRIN ONLY Outre cetle interface multifonction on trouve parall lement une prise interface 9 p le 12 3 fournissant encore une fois les quatr sorties de relais et les sorties enregistreur Poi les affectations voir la fig 14 La sortie enregis teur s par e 12 2 est galement parall l aux deux prises interfaces pr cit es Pour le affectations voir la fig 15 2 2 13 3 Sorties trigger 1 et trigger 2 Deux sorties trigger voir section 2 2 8 1 contacts isol s de relais so
101. ction for partial flow pump set Filter element for exhaust fiter D 1 8 B Set of fuses 200 28 022 Dust filter Carrying chain for remote control unit Set of tools Wing screw interface plug 9 way Sub D plug 25 way Sub D plug 6 way coupling plug Hose coupling for exhaust line Set of keys Operating instructions UL 100 PLUS GA 10 207 V 24 RS 232 C interface operation with the ULTRATEST UL 100 PLUS SB 10 207 TURBOVAC 50 GA 05 100 TRIVAC D 1 8 B GA 01 200 TURBOTRONIK NT 14 GA 05 213 Spare parts list ET 05 100 Spare parts list ET 10 207 Spare parts list ET 01 200 Dust cover Headset Order No 200 27 981 1 4 2 Accessories Cat No Order No Transport case 155 97 Transport boy 155 88 Extension lead 10 m for remote control unit 185 43 Calibrated leak TL 7 complete with solenoid valve and installation set 155 93 Calibrated leak TL 8 165 57 M 1 4 Equipement 1 41 Equipemant standard UL 100 PLUS est pr t au service la livraison Sont foumis galement R f Cordon du raccordement secteur 2 5 m pour 110 V pour 2 5 m pour 220 V pour Jeu de joints 200 28 021 Gamiture plate 8 x DN 40 KF Gamiture plate 4 x DN 25 KF Gamiture plate DN 16 KF 2x Gamiture plate pour pr amplificateur 1 x 155 B3 155 82 898 38 Gamit plate pour filtre d chappement 2 x Joint torique pour bride d admission 2 x Joint torique pour pr amplificateur 3 x Joint torique pour D 1 6 B 4
102. ctionnant ta touche de remise z ro 4 14 A partir de la version V 3 4 du logiciel l action de la touche point z ro s tend galement aux sorties trigger section 2 2 8 et aux sorties de tension analogique section 2 2 13 8 L affichage de tsux de fuite revient automa tiquement z ro et la DEL du z ro 4 21 clignote La gamme de mesure sera choisie d une d cade plus sensible si le fond h lium affich se trouve dans la d cade inf rieurs I n est alors plus possible de commuter sur des gammes plus sensibles La r duction du fond est corrig e par une d termination flottante du fond En appuyant une nouvelle fois sur la touche de remise z ro 4 14 cette fonction est annul e et un ventuel fond parasite est affich en tant que taux de fuito 22 7 Touche multifonction signs scou stique Remarque Cette touche de fonction est op rante pour tous les modes de service La touche multifonction signal acoustique 4 18 parmet de r gier l intensit sonore ou le 19 satzpunkt der Lautst rke eingestellt werden indem die jeweils gew hlte Funktion ber die Werteingabe Taste 4 19 oder 4 6 ge ndert wird Durch einmeliges Bet tigen der Multifunktions Taste Akustisches Signal 4 16 leuchtet die Einsatzpunkt LED 4 15 Der Eineatzpunkt des akust Signals kann mit Hille der Wertein gabe Taste 4 19 oder 4 6 auf jeden beliebi gen Skalenwert eingestellt werden Der einge s
103. d protection are emphesized as fol lowe Caution indicates procedures that must be stricty observed to prevent hazards to per sons Important indicates procedures that must be Strictly observed to prevent damage to or de struction of the Helium Leak Detector UL 100 PLUS Note indicates special technical requirements the user must comply with The references to diagrams e g 4 14 con sist of the Fig No and the Item No in that or der After delivery immediately unpack the helium leak detector even if it is to be put into opera tion at a later date Examine the shipping container for any exter nal damage Remove all packing material Noto The shipping container and packing material must be kept in the event of complaints about damage Check that the Helium Leak Detector UL 100 PLUS is complete Section 1 4 3 Entretien 56 3 1 Plan d entretien 56 32 Travaux d entretien 56 3 2 1 Pompe vide primaire TRIVAC D 1 6B 56 3 2 2 Pompe turbomol culaire TURBOVAC 50 56 3 2 3 Remplacement du filtre air 56 3 2 4 Remplacement dela source d ions neti a Aie a pie 57 3 3 Modification du logiciel partir de la vorelon V 2 0 58 3 3 1 Identification du logiciel de UL 100 PLUS 58 3 3 2 D montage de la carto microprocesseur 5 3 3 3 Remplacement des EPROMS programme 5c 3 3 4 Monta
104. dans le spectrom tre de masst en l espace du temps de r ponse Le spectro m tre de masse ionise les mol cules du gaz les s pare selon leur rapport masse charge capte les ions h lium masse 4 Le couran ionique proportionnel au nombre d ions h liun arrivant sur le Collecteur d ions 3 5 est am plifi et repr sent sur l affichage combin 4 3 en tant que taux de fuite La remise l air de la pi ce s effectue par un longue pression sur la touche STOP 4 2 au moins pendant 2 s L affichage d tt rouge 4 1 s allume la remise l air de pi ce se manifeste de facon audible La piec peut tre ensuite retir e d Abb 2 Funktionsschema UL 100 PLUS Fig 2 Functional diagram of tha UL 100 PLUS Fig 2 Sch ma fonctionnel du d tecteur UL 100 PLUS Erl uterungen zur Abb 2 Massenspektromater Turbo Malekularpumpe TURBOVAG 50 Totaldruck Me stelle Voryakuum Totaldruck Me stelle EinlaB TeslanschluB ON 25 KF 2 TestanschluB bzw Anschlu f r Teilstram Pumpsatz DN 25 KF 7 Option Tallstrom Pumpsatz 8 Option He Testieck TL 7 9 anaan Anschlu DN 10 KF f r He Tastlack 10 Auspuff Absparrvantli 11 Drehschiaber Vakuumpumpe TRIVAC D 1 6 B 12 Trannstellg Vakuumkupplung vi Pumpvenlt Einlafiventil Flutventll V1 2 Grobleck Ventil ext Vantil f r Option Tellstrompumpsatz Key to Fig 2 1 Mass spectrometer Turbo molecular pump TURBOVAC 50 3 Total backing pressure msseuring point 4 Total Inl
105. dans une gamme dans laquelle aucune tuite ne peut tre indiqu e p ex gt 1 109 mbars exposant positif L introduction doit tre confirm e par la touche ENTER 4 13 En pr sence d un message d erreur le contact 10 et 11 de l interface multifonction CF sec ton 2 2 13 2 est ouvert Ceci permet de Signaler les erreurs par un circuit externe Message d eptitude au service Pour r gler cette fonction sp ciale des triggers 1 et 2 il faut les inverser en actionnant la touche automat trigger log 4 18 En mode inverse le trigger 2 peut assurer la signalisation de l aptitude La condition pr alable est le r glage du trigger invers par la touche d entr e de valeurs 4 19 dans une gamme dans laquelle aucune fuite ne peut tre indiqu e p ex gt 1 109 mbarts exposant positif L introduction doit tre confirm e par la touche ENTER 4 13 Le message d aptitude est donn apr s la mon t e en r gime et la commutation r ussie de l mission Dans ce r glage le contact 12 et 13 de l interface multifonction CF section 2 2 13 2 est ferm Avec un appareillage externe il es donc possible de signaler l aptitude au service c d la mesure Remarque Si l on n utilise qu une seule fonction sp ciale l autre contact de relais peut continuer servir comme contact de trigger inverse 2 2 8 4 Fonction calibrage La touche muttifonction TRIG CAL 4 11 ou DEL 442 permet la d
106. demment la carte micro processeur pour pouvoir acc der aux compo sants 3 3 3 Remplacement des EPROM programme Outillage et mat riel Cl pour vis 6 pans creux de 5 mm Toumevis plat de 5 mm Extracteur de IC ou tournevis plat de 3 mm ou pincette coud e Jeu de deux EPROM avec nouvelle version du logiciel Proc dure Ouvrir UL 100 PLUS comme d crit dans la section 3 3 2 D gager les deux EPROM 31 4 et 31 5 pru demment de leur socle en utilisant une pincette coudes un petit tournevis ou un extracteur de IC fig 25 ou sch ma d appareillage CPU BIMO1 no 200 27 290 Placar le ter EPROM 31 5 de la nouvelle version du logiciel design o par B 4 3 R2 x dans la position D14 juste c t du micropro cesseur D13 TMS 9995 et dans le m me sens que celui ci l encoche frontale 31 8 doit tre orient e dans Jo m me sens Du Das 2 EPROM 31 4 der neuen Software Version mit der Bezeichnung R2 x ist in Positi on D15 in der gleichen Richtung wie D14 einzustecken 3 3 4 Einbau der Mikrocomputerleiter karte i Die Mikrocomputerleiterkarte ist in die Aus gangslage Bauteile nach unten zu drehen Die Mikrocomputerlaiterkarte ist wieder in die F hrungsnuten der Abdeckhaube 30 t ein zuschieben M glicherweise ist der Pertinax Abstandsstreifen herausgefallen und muB in diesem Fall zuerst vor der Mikrocompuier leiterkarte in die gleichen F hrungsschlitze eingeschoben
107. den 2 2 13 Zus tzliche Bedlenelnrichtungen Der UL 100 PLUS verf gt ber vier zus tz liche Sedieneinrichtungen Schl sselschalter Kopfh rer Anschlu Multifunktions Schnittstelle Schlof f r Umhangekette Abb Fig 11 24 Abb 10 Testanschilissa Fig 10 Test connections Fig 10 Raccords test 2 2 12 Test Connection Besides its normal test connection 10 1 the UL 100 PLUS has an additional intake port 10 3 The latter is used for connecting the partiel flow pump sat option It may also be used as test connection if it is more readily accessible because of the dimensions of the test object In this case the test connection 10 1 must be closed with a blind flange Then loosen the four socket hex screws 11 6 and oush the blind olate out 11 7 using the four winged forcing screws The intake flange 10 3 is included in the ac cassories supplied It can now be mounted with the associated gasket using the four socket hex screws 10 2 2 2 13 Additional Features The UL 100 PLUS has four additional fea tures Keylock switch Headset socket Multi function Interface Lock for carrying chain ul ananaw Waat pyoauaun Erl uterungen zur Abb 10 1 Testanschlu amp 2 Innensechskantschraube 3 Zusatztlansch 4 Lecksuch Modul Key to Fig 10 1 Test connectlon 2 Hex screw 3 Supplementary flange 4 Laak detection module L gende de la flg 10 Raccord test V
108. der invertierte Trigger in ei nen Bereich eingestellt wird in dem keine Leckrate angezeigt werden kann z B 1 108 mbarls Plus Exponent Die Ein gabe mu mit Taste ENTER 4 13 best tigt werden Die Bereitmeldung erfolgt nach Ger tehochlauf und erfolgreich eingeschalteter Emission In dieser Einstellung wird der Kontakt 12 und 13 an der Multifunktions Schnittstelle siehe Absch 2 2 13 2 geschlossen Somit ist durch externe Beschaltung eine R ckmeldung der Betriebs bzw Me bereitschaft m glich Hinweis Wird nur eine der Sonderfunktionen genutzt kann der andere Relaiskontakt weiterhin als inverser Triggerkontakt benutzt werden 2 2 8 4 Funktion Kalibrlerung Die Multifunktions Taste TRIG CAL 4 11 bzw LED 4 12 dient zum Ermitteln des Kali brierfaktors f r eine quantitative Leckraten Anzeige im einzelnen richtet sich ihre Wirkungsweise danach ob ein intemes oder externes Testleck benutzt wird Siehe Abschn 2 6 2 und 2 6 3 Die Funktion wird durch dreimaliges kurzes Dr cken der Taste 4 11 und anschlie endes Dr cken der Taste ENTER 4 13 aktiviert 22 9 Taste f r Elngabe Ende ENTER Nach jeder Eingabe bestimmter Werte ber die Werteingabe Taste 4 19 und 4 6 mu die Eingabe durch Dr cken der Taste f r Ein gabe Ende ENTER 4 13 beendet werden Erst dann ist der UL 100 PLUS in der Lage die neuen Werte zu verarbeiten Die Taste dient au erdem als Best tigung f r die A
109. des modes de service 37 D tection de fuites sur pi ce sous vide 38 Travail sur la pi ce pour les d tections de fuites locale et int grale 38 D tection de fuite locale 38 D termination du temps de r ponse 39 D tection de fuite int grale 39 Particularit s pour les pi ces de grand volume 39 Particularit s pour les pi ces de petit volume e 39 Particularit s pour les taux de fuite minimes et importants 40 Petits taux de fuite 40 Importants taux de fuite 40 Proc dures sp ciales de d tection 40 Option groupe de pompage de flux partiel TPS UL 100 PLUS 40 Autres groupes de pompage 42 Service du module d tecteur sans module pompe 43 Module d tecteur evec une autre pompe sur le reccord vide primaire 43 D tection avec renifleur 44 D tection avec renifieur standard 45 D tection avec renifleur rapide QT 100 45 Arr t de l appareil 45 Calibrage et syntonisation 46 Syntonisation 46 Calibrage avec fuite calibr e incorpor e 46 Calibrage avec une fuite calibr e exteme 47 Calibrage en mode renifleur 48 Unit lectronique avec panneau de service 49 Indication d tats 52 Messages d erreurs 53 Compensation de la positi
110. di rectly on the quality of the backing pump used The best results may be obtained by using a possibly throttled high vacuum pump turbo pump as this type of pump exhibits a much more stable volume flow rate for helium and ultimate pressure than a backing pump When using such a pump with a high volume flow rate the detection limit is Considerably in creased as mentioned above 2 4 8 Sniffing Leak Test AN LH sniffer probes can be connected to the UL 100 PLUS these being Helium Standard Sample Probe ST 100 Helium Sample Probe QUICKTEST QT 100 In all cases the corresponding sniffer is con nected to the inlet of the leak detector Key No 6 is used as described in Section 2 2 13 1 to set up the sniffer mode If the leak detector was initialized during runup or was in the sniffer mode when switching off it is automatically set to the measurement mode when switching on again Otherwise pushbutton START 4 24 must be operated in addition When the leak detector is ready the leak raie display will indicate the natural helium concen tration of the alr This value may be equivalent to a leak of 10 5 mbar ls Calibration is performed in the same way as for normal calibration with an external calibrat ed leak see Section 2 6 3 The decisive point in this is that the once per formed calibration only applies for the selected conditions of calibration distance and velocity with respect to the position of
111. dication de la DATE Le jour D xx appara t env 1 S apr s I se r gle avec les touches d entr e de valeur 4 6 et 4 19 et prend la valeur 01 avec la touche z ro 4 14 Actionner la touche ENTER 4 13 pour confirmer la valeur et passer celle du mois Mx Il se r gle avec les touches d entr e de valeur 4 6 et 4 19 et prend la valeur 01 avec la touche z ro 4 14 Actionner la touche ENTER 4 13 pour con firmer la valeur et passer celle de l ann e Jox Elle se r gle avec les touches d entr e de valeur 4 6 el 4 19 et prend la valeur 90 avec la touche z ro 4 14 Actionner la touche ENTER 4 13 pour confirmer la valeur et revoir les r glages de la vitesse de transmission de l heure et de la date UL 100 PLUS peut de nouveau ex cuter toutes les fonctions apr s le r glage du commutateur fente SERVICE NORMAL 25 2 sur NORMAL et la phase d initialisation automa tique qui suit Remarque La position de robinet OUVERTE est indi qu e chaque fois par une DEL allum e 51 M Die Bedienschalter 26 13 m ssen beim Ein klappen der Elektronik Einheit 25 3 immer in Stellung AUTOMATIK geschaltet werden Auf der alphanumerischen Status und Fehler anzeige 26 1 wird dem Servicepersonal bei einem Fehler im UL 100 PLUS ein Fehler code gemeldet der die Wartung bzw Instand setzung wesentlich vereinfacht Zus tzlich lassen sich alle wicht
112. e 2 2 8 1 Fonction trigger 1 et 2 normale Ces fonctions trigger 1 et trigger 2 com mutent chacune un contact isol de l Interfact multifonction lorsqu une certaine valeur du tau de fuite est atteinte Les sorties trigger 1 et trigger 2 de l Inter face multifonction voir section 2 2 13 2 sont la libre disposition de l utilisateur du d tecteu UL 100 PLUS La valeur du teux de fuite pour lequel le contacts isol s de l interface multifonction sor commut s est laiss e au libre chox d l utilisateur ll faut alors pr s lectionner la fonction trigge 1 ou 2 en appuyant une ou deux fois sur touche multifonction TRIG CAL 4 11 c qui provoque l allumage des DEL 4 9 o 4 10 La valeur du taux de fuite peut tre modifi e c fa on quelconque l aide de la touche d entr de valeurs 4 19 ou 4 8 La valeur introduit est repr sent e pendant le r glage par position d une DEL individuelle sur l affichar combin 4 3 avec l exposant L introduction doit tre termin e avec la touct ENTER 4 13 Pour interrompre le r glat des triggers actionner 3 fois la touche trigg et calibrage 4 11 pour le trigger 1 et 2 fc pour le trigger 2 M 2 2 8 2 Funktion Trigger t u 2 Invers Die Funktion der Trigger l t sich auch um kehren Wie aus Tabelle 1 erkennbar werden in der inversen Funktionsweise nur tats chlich als unterhalb der Leckraten Triggerschwelle lie gend gemes
113. e Abschnitt 2 6 nacheinander durchgef hrt werden 2 4 7 3 Betrieb des Lecksuchmoduls ohne Pumpmodul Die Verwendung des Leckeuchmoduls ohne Pumpmodul siehe Betriebsart 2 in Abb 20 ist insbesondere in folgenden F llen sinnvoll im Serviceeinsatz an Vakuumanlagen mit eigenen Pumpen an UHV Anlagen mit niedrigen Dr cken die nicht durch Vorpumpen l verschmutzt werden sollen wenn bereits vorhandene Drehschieberpum pen als Vorpumpen genutzt werden sollen Das Lecksuchmodul ist unter der Kat Nr 155 83 als eigenst ndige Einheit erh ltlich Bei UHV Anlagen hat dies den besonderen Vorteil da die Anlage berhaupt nicht mit einer Vorvakuumpumpe verbunden wird und damit kohlenwasserstoffrei bleibt Um das Lecksuchmodul in dieser Weise ein zusetzen ist folgenderma en vorzugehen Lecksuchmodul durch L sen der beiden Schnellverschl sse vom Pumpmodul tren nen Vorvakuumanschlu8 das Lecksuchmoduls mit Blindflansch DN 16 KF verschlie en Einla des Lecksuchmoduls mit Vakuum kammer verbinden hierzu mu an der Vakuumkammer ein Ventil vorhanden eein Ventil zur evakuierten Vakuumkammer ff nen so da Lecksuchereinla abgepumpt wird Schl ssel Nr 4 bis zum Anschlag in Schl s selschlitz der Bedieneinheit einstecken Lecksuchmodul mit Netzschalter einschalten und Hochlauf abwarten bis KE SURREY Das Ger t ist nun me bereit Die Leckratenanzeige erfolgt nach Dr cke
114. e Zu st nde eingestellt werden In diesem Mode erhalt man folgende Zusatz anzeigen auf der Bedieneinheit Durch Dr cken der Taste STOP 4 2 Anzeige pe py Abb Flg 25 2 7 Service Functions of the Electronics Unit The electron cs unit 25 3 at the back of the UL 100 PLUS s leak detection module can be folded out so that the service panel is acces Sible to the operator This is done by pushing the locking bolt 25 2 on the leak detection module 25 1 inwards using a screwdriver 25 4 and folding out the electronics unit 25 3 By operating slot switch 26 2 the UL 100 PLUS can be set from the normal operating mode to the service mode Service functions in position NORMAL of the slot switch 26 2 any open valves may be closed by operating the corresponding switch 26 13 The respective valve position is indicated by LEDs in the functional diagram 26 6 After having carried out any functional checks Switches 26 13 must under all circumstances be reset to the AUTOMATIC position If valves closed by the control are to be opened manually slot switch 26 2 must be changed from the NORMAL position to the SERVICE position In the SERVICE mode most functions controlled by the micro processor of the UL 100 PLUS will then be out af operation The alphanumerical status and error display 26 1 indicates the mode by indicating SERV Now it is possible to close and open the valves
115. e der Zwischenblende 3 9 wird eine hohe Auil sung erreicht Beim MS Spektrometer handelt es sich um ein magneti Sektorfeld MS Spektrometer mit 180 Ablenkung Durch die Inhomogenit t des Magnetfeldes senkrecht zum lonenstrahl wird in dieser Richtung eine zus tzliche B ndelung erreicht Z Fokussierung Diese Bauart ge w hrleistet neben einer guten Aufl sung eine hohe Empfindlichkeit und Langzeitstabilitat Abb Fig 3 10 1 3 2 Backing Pump The backing pump produces a proportional helium pressure from the helium flow entering the leak detector The stable helium pumping rate of the pump is exploited for this purpose Its magnitude together with the compression of the turbo molecular pump determines the sensitivity of the system A rotary vane vacuum pump TRIVAC D 1 6 B is integrated in the UL 100 PLUS as a backing pump All data on it are contained in the Operating instructions GA 01 200 1 3 3 Turbo Molecular Pump The turbo molecular pump produces from the helium backing pressure the helium pressure that is detected in the mass spectrometer The stable compression capacity of the pump is exploited for this purpose Its magnitude to gether with the pumping rate of the backing pump determines the sensitivity of the sys tem The turbo molecular pump used is a TURBO VAC 50 All data on it are contained in the Operating Instructions GA 05 100 1 3 4 Mass Spectrometer The main components of the mass spec
116. e leak detector is now in the meaurement mode When the test object is sprayed with helium helium can enter the test object through any existing leak owing to the pressure difference between inside and outside and is detected by the mass spectrometer S 2 43 Handling of the Test Object for Local or Integral Leak Detection 2 4 3 1 Local Leak Detection For local leak detection the test object 21 2 connected to the UL 100 PLUS must be sprayed with not too much helium at the points where leaks are suspected It possible use a spray gun with a fine nozzle 21 4 In order to detect very smali teaks in addition to leaks already discovered on the test object the latter must be closed temporarily e g by applying alcohol When spraying the test object with helium it is absolutely essential to spray helium as long as the ascertained system s response time Oth erwise a leak in the test object may be missed or be incorrectly localized Abh 21 Lokale Lecksuche Flg 21 Local leak detection Fig 21 D tectlon de fuite locale 2 42 D tectlon de fuites sur pl ce sous vide Pour la d termination quantitative d un taux de fuite il faut asperger la fuite d une pi ce par une concentration d h lium 100 et ceci jusqu ce que l affichage n augmente plus Le r sultat de la mesure peut tre fauss par de l h lium p n trant par d autres fuites voisines Isoler la fuite contr l e par exemple avec un cylindre
117. e side of the UL 100 PLUS s remote control unit 11 1 is a recessed keylock switch 11 2 Six different keys can be used to enter tesl modes and operating modes Actlvating Insert the required key into the slit of the key operated switch 11 2 on the hand unit 11 1 right up to the stop Operate ENTER 4 13 Zero indicator LED 4 21 flashes three times long Remove the key Deactivation Insert the required key into the slit of the key operated switch 11 2 on the hand unit 11 1 right up to the stop and then operate the ENTER pushbutton 4 13 Zero indicator LED 4 21 flashes six times briefly Remove the key When switching off the UL 100 PLUS all en tries entersd through keys 1 2 and 6 are stored i e when switching on again the same conditions are set up Functions entered through keys 3 4 and 5 are not stored when switching off The effect of the keys is as follows Key No 1 Key No 1 locks and unlocks the operation of the multi function pushbutton Trigger and Calibration 4 11 for example to prevent un qualified changes in the calibration or trigger values Key No 2 Key No 2 locks and unlocks Trigger Calibra tion Manual Auto and the parameter entry pushbuttons Key No 3 i Key No 3 is only used in connection with the partial flow pump set see Section 2 4 7 1 Key No 3 permits switch over from FINE to ULTRA when the autoranging process is on
118. eht aus einem Metaligitter mit aufgeklebter Filterwatte Luftfilter wechseln Einbau Der neue Luftfilter In die erste F hrungs schiene die der Seitenwand am n chsten ist einschieben Erdleitung an den Stecker der Seitenwand autstecken Seitenwand so ansetzen daB der Ansatz 28 4 mit Luftrohr in die verbleibende F hrungsnut hinter dem Luftfilter einrastet Seitenwand vorsichtig nach oben schieben und in den Gehauserahmen einlegen Schnellverschl sse schlie en 3 2 4 Wechsel der lonenquelle Ben tigtes Werkzeug Schraubendreher 1 0 x 5 5mm Innensechskantschl ssel SW4 UL 100 PLUS ausschalten Netzstecker vom Ger t abziehen Seitenwand ber dem elektrischen Anschlu feld wie im Abschnitt 3 2 3 beschrieben ab nehmen Erl uterungen zur Abb 29 1 Sicherung f r 24 V Mikro rozessorversorgung 2 Massenspektrometergehau 3 Vier Innensechskantschrauben d lonenquelle 5 Steckverbindung 8 7 8 rimutt Gewinde f r Abdr ckschraube Flansch Key to Fig 29 1 Fuse for 24 V microprocessor supply 2 Mass spectrometer housing 3 Four hex screws 4 lon source 5 Connector 6 Union nut 7 Thread for forcing screw 9 Flange L gende de la fig 28 1 Fusiblea pour l alimentation 24 V du microprosseur 2 Bo tier du spektrom tre de masse 3 4 vis six pans creux d Source d ions 5 Connectaur fiches 6 Ecrou d accouplement D gagement e la bride vis e Abb 28 ffnen der rechten
119. ei 220 V 25A Gesamtstromaufnahme nach 30 min Betrieb bei 110 V 3A bei 220 V 1 5 Netzausgang f r Schn ffler Max Strombelastbarkeit 1A Achtung Der Ausgang f hrt immer die jeweils am UL 100 PLUS anliegende Netzspannung Signaleingange Signalausg nge EinlaBdruck p O bis 10 V R 22 5 KR Leckraten Signal 1 bis 10 VR 22 5 kQ Me bsreich Signai Exponent 0 5 V Stufen pro Dekade 1 bis 10 V RLz2 5 kQ Leckraten Trigger Grenz wertschatter 2 Schlie er potentiattrei voneinander unabh ngig max 2 A 60 V Ohmsche Last Ext Ansteuerung Lecksuch funktionen Schnittstelle 1 2 3 Sonstige Daten Gerausch Pegel K hlluftbedarf ca 100 m3 h Maximale Umgebungstemperatur 40 C Maximale Feuchte 85 95 rel nicht kondensierend Minimale Pumpenanlaufternperatur Schaltverm gen 24 bis 48 V DC RS 232 C V 24 54 dBA mit N 62 17 C Minimale Pumpenanlauftemperatur mit Spezial l Arctic l 10 C Abmessungen HxBxT UL 100 PLUS komplett 430x460x250 mm Lecksuch Modul 320x460x250 mm Pump Modul 225x460x250 mm Gewicht UL 100 PLUS komplett ca 33 5 kg Lecksuch Modul ca 20 0 kg Pump Modul ca 13 5 kg Kat Nr ULTRATEST UL 100 PLUS Helium Leck Detektor Portable komplett Euro Version 220 V bis 240 V 155 82 Version 100 V bis 120 V 896 38 UL 100 PLUS Lecksuch Modul 155 83 0 01 mbar to 10 mbar logarithmic in 15 steps 180 magnetic sector Backing pressure indication Mass spectrometer lon source with Z
120. elspitze entfernt sind Er ist deshalb besonders out f r die Leckloka lisierung einzusetzen 2 5 AuBerbetriebsetzung Zur Au erbetriebsetzung ist der Netzschalter EINIAUS 8 7 auf Stellung AUS zu schalten erforderlich Die Betriebsart wird gespeichert Das Ger t nimmt nach Wiederinbetriebnahme den glei chen Zustand wieder ein Hinweis Das Gasballastventil der TRIVAC D 1 6 B siehe Abschnitt 3 2 1 mu zum Transport immer geschlossen werden Weitere Ma nahmen sind nicht In the snitfor mode it is possible to utilize the remote control input PUMPING pin No 18 on the multifunction interface to determine the helium background For this it is required to mount switch in the holder for the sniffer probe which is connected to the remote con trol input between pin No 16 and pin No 18 of the multifunction interface The function of this remote control input is comparable to that of the autozero pushbutton 4 14 on the hand unit see Section 2 2 6 The switch must be installed in such a way that the contact opens when the sniffer probe is taken out so that the helium background is suppressed at that time This is indicated by a flashing zero indication LED 4 21 2 4 8 1 Leak Testing with Standard Sniffer The standard sniffer probe is always used when the highest sensitivity is required It also has the advantage that gas intake is very low It is therefore especially well suited for hood tes
121. en aluminium Visser une vis six pans creux 29 3 dans le filet de d ga gement 29 7 de la source d ions 29 4 et chasser ainsi la bride 29 8 de la source d ions du boitier du spectrom tre de masse 29 2 Relirer la source d ions 29 14 du bo tier du spectrom tre de masse 29 2 Remarque i La gamiture plate en mati re plastique situ s entre la bride de la source d ions 29 8 et le boitier du spectromatre de masse 29 2 doit absolument tre remplac e en cas d endom magement ou d encrassage Contr ler l tat de toutes les pi ces Le montage se pratique en suivant l ordre inverse des op rations Remarque Les quatres vis six pans creux 29 3 doivent tre serr es r guli rement lors du montage de la source d ions 3 3 Modification du logiciel partir de la verslon V 2 0 3 3 1 Identification du logiciel de UL 100 PLUS Pour identifier la version du logiciel impl ment dans UL 100 PLUS il faut ouvrir l unit lectro nique comme d crit dans le mode d emploi de UL 100 PLUS dans la section 2 7 et observer l affichage d tat alphanum rique apr s la mise en route de UL 100 PLUS car le premier message d tat qui apparait est justemsnt ie num ro de la version sous la forme V2 x p ex V2 0 3 3 2 D montage de la carte micro processeur Arr ter UL 100 PLUS et le d connecter de l alimentation secteur Retirer l objet tester Retirer l unit de commande du m
122. en carton Une pi ce raccord e UL 100 PLUS est vacu e en actionnant bri vement la touche START 4 24 La pression d admission d croissante pg pi ce est indiqu e sur l chelle 4 23 de l at fichage combin 4 3 L affichage combin 4 3 commute de l indication de pression pe py l indication de taux de fuite pg 0 2 mbar dans les modes 1 et 2 de la fig 20 amp pg 100 mbar dans les modes 4 et 3 de la fig 20 Le d tecteur est alors en service mesure L h lium avec lequel la pi ce t asperg e peut p n trer gr ce la diff rence de pression entre l int rieur et l ext rieur si cette pi ce pr sente une fuite L h lium ayant p n tr la pi ce est d tect ensuite dans le spectrom tre de masse 2 43 Trsvall sur la pi ce pour les d tec tions de fultes tocale et int grale 2 4 3 1 D tection de fuite locale Dans ce cas la pi ce raccord e 21 2 ne doit pas tre trop asperg e d h lium aux endroits douteux Il est alors conseill d utiliser un pistolet d aspersion buse fine 21 4 H est n cessaire de boucher les fuites d j d lect es en appliquant de l alcool si l on veut d tecter des fuites tr s fines proximit de celles d j d tect es L aspersion de la pi ce doit durer au moins autant que le temps de r ponse de l appareil d termin avec une fuite calibr e autrement la tuite peut tre ignor e ou mal localis e
123. er ramettre l air Fernsteuarung control t l commande 19 StandBy FlutenFernsteuerung 19 Standby ventIng Rem control 19 Stand by remattre 20 frei 20 not used l air t t commande 21 Bezugsmassa Pumpen Fly 21 Reference ground pumping 20 Libra gt ten Stand By venting Standby 21 Masse de r f rence vacuer 22 Leckratensignal 22 Helium signal remettre l air Stand by 23 Mehbereich Si nal Exponent 23 Measurement range signal 22 Signal h lium QV 2100 mbarts OY 100 mpar ls 23 Signal gamme de mesure gx 9V 10 TU mbar s BV 10710 mbarls posant 7100 mbar 24 EinlaBdruck pa 24 Inlet pressure Pe V 19 mbarls 25 Bezugsmasse fLeckratensignal 25 Reference ground leak rale 24 Pression d admission pe Me bereich Signal i signal Further description of the single signals for the serial computer interface 12 1 as well as the description of the operating modes REMOTE and PRINT ONLY see instructions for the in terface SB 10 207 in addition to this multifunction interface there is a parallel S way interface socket which du plicates the four relay outputs and the record er outputs The pin out of this socket is given in Fig 14 The separate recorder 12 2 out put is in parallel to the aforementioned inter face sockets The pin out of this socket is giv en in Fig 15 2 2 13 3 Trigger Outputs Trigger 1 2 Two trigger outputs see section 2 2 8 1 with floating relay
124. erden 48 electronics unit with the service panel must be folded out ULTRA V1 and V2 Open FINE V1 V2 and Ve open GROSS V1 2 V2 and Vext open Vext external partial flow valve of the optional partial flow pump set The calibration factors should be determined in the following order ULTRA with TL 8 FINE with TL 8 and GROSS with TL 4 8 For this the calibrated leak TL 4 6 may be calibrated in the FINE range Each calibration factor requires its own cali bration run However tho mass spectrometer may only be aligned once When the sensitivity is too low during calibra tion it is possible to manually switch over to the other cathode by pressing the MANUAL pushbutton The calibration process may be terminated at any time by pressing the pushbuttons STOP or Trigger and Calibrate 2 6 4 Calibration in the sniffer mode Hold the tip of the sniffer up into the air H Use the multifunction pushbutton Trigger and Calibrate to select the calibrate mode and acknowledge this by pressing the ENTER pushbutton The status display 26 1 on tha service panel will read CAL Suppress any existing background by operat ing the autozero pushbutton 4 14 Hold the tip of the sniffer in front of the open ing of the sniffer calibrated leak The leak rate which is imprinted on the cali brated leak is entered via the parameter entry pushbuttons 4 19 and 4 6 Pressing the ENTER pushbutton
125. ersten Ziffer die Abbildungsnummer an und mit der zweiten Ziffer die Position in dieser Abbildung Helium Leck Detektor unmittelbar nach Emp fang auspacken auch wenn die Inbetriebnah me zu einem spateren Zaitpunkt erfolgt Transportverpackungsbeh lter auf u ere Sch den untersuchen Verpackungsmaterial vollst ndig entfernen Hinweis Bei eventuellen Schadensersetzforderungen ist der Transportbsh lter und das Verpak kungsmaterial aufzubewahren Helium Leck Detektor UL 100 PLUS auf Voll st ndigkeit pr fen siehe Abschnitt 1 4 4 3 Maintenance 56 3 1 Maintenance Schedule 56 3 2 Maintenance Taaks ve 58 3 2 1 Backing Pump TRIVAC D 1 8B 56 3 2 2 Turbo Molecular Pump TURBOVAC 50 56 3 2 3 Exchanging the air filter 56 3 24 Exchanging the lon Source 57 3 3 Software Update for Software Releases from V 2 0 58 3 3 1 Identification of Software of the UL 100 PLUS 58 3 3 2 Removal of the Microprocessor PCB 58 3 3 3 Exchanging the Program EPROMS 59 3 3 4 Reassembly of the Micropro cessor POB 60 34 Service dE ere 60 1 Description 1 1 General These Operating Instructions contain important information on the functions installation start up operation troubleshooting and mainte nance of the Helium Leak Detector UL 100 PLUS Important remarks conceming operational safety an
126. essus du panneau des connexions lectriques D verrouiller les deux fermetures rapides 28 1 en toumant vers la gauche avec un toumevis on entend un clic Retirer la paroi lat rale 28 2 au bord in f rieur de UL 100 PLUS et tirer prudemment Erl uterungen zur Abb 27 labla amp schreube Olstendsmarke minimum lstand lstandsmerke maximum Abdeckung lalnia amp schreubs Tragegritt ay to Fig 27 DI drain plug Minimum oli level mark Oll level Maxdmum oll level mark Cover oli filling plug Handle gende de la fig 27 Vis ds purge d hulie Marque niveau d huile minimum Niveau d hulle Marqus niveau d hulla maximum Couvarture vis d admission d hulla Polgn a Omaan r Abb 27 lablaBschraube und lstandsschauglas Fig 27 Oil drain plug end oll level glass Fig 27 Vis de purge d huila ei regard du niveau d hulle M Erl uterungen zur Abb 28 1 Schnallverschilisse 2 Seltenwand 3 Luftfliter 4 Ansatz ilir Luftrohr Key to Fig 28 1 Rapld fasteners _ 2 Side 3 Dust filter 4 Insert of Ihe alr tube egen de la tig 28 Verrous rapides Parol lat rale Filtre elr Pl ce du tube air LECN unten ziehen Hierbei schiebt sich gleich zeitig der Ansatz 28 4 mit Luftrohr aus der F hrungsschiene die fest an der Seiten wand montiert ist Erdverbindung an der Seitenwand abziehen Luftfilter 28 3 aus der F hrungsschiene der Seitenwand herausziehen Der Luftfilter be st
127. et voir la section 1 4 M Helium Leck Detektor UL 100 PLUS einer sorgf ltigen Sichtpr fung unterziehen Fembedienungseinheit und Anschiu leitung pr fen um sicherzustellen da auf dem Tran sportweg keine Sch den entstanden sind Werden Besch digungen festgestellt ist um gehend eine Schadensmeldung an den Spe diteur und an den Versicherer zu leiten Falls es notwendig ist das besch digte Teil zu ersetzen bitte mit der Auftragsabteilung in Verbindung setzen 1 11 Bezeichnung Gebrauchsname Helium Leck Detektor Portable ULTRATEST UL 100 PLUS Lecksuch Modul Pump Modul Kurzbezeichnung 1 1 2 Verwendungszweck Der Helium Leck Detektor UL 100 PLUS ist ein Heliumlecksucher mit massenspektrometri schem Nachweisprinzip Der UL 100 PLUS zeichnet sich durch einen groBen Nachweisbereich aus Mit dem UL 100 PLUS k nnen Dichtheitspr fungen an verschieden gro en Pr flingen durchgef hrt werden Kleinere Pr flinge Vol s10 D k nnen durch die im UL 100 PLUS vorhandene Vorvakuumpumpe evaku iert werden Bei Bespr hen des Pr flings mit Helium kann durch ein vorhandenes Leck He lium in den Pr fling eindringen Schon gering ste Helium Konzentrationen gelangen zum Massenspektrometer und werden dort nachge wiesen Durch das Gegenstromprinzip ist die Verwen dung von fl ssigem Stickstoff nicht arforder lich Durch die besonders kleine und leichte Beu weise ist der UL 100 PLUS universell einsetz b
128. eugle DN 16 KF Raccorder l admission du module d tecteur avec l enceinte sous vide il faut disposer d un robinet sur l enceinte sous videl Ouvrir le robinet vers l enceinte vacu e de sorte que l admission du d tecteur soit vacu e Enfoncer la cl no 4 jusqu la but e dans la fente de l unit de commande Mettre en service le module d tecteur et ettendre la mont e par l interrupteur secteur jusqu l allumage de l exposant L appareil est pr t mesurer Actionner la touche START pour obtenir l indication de taux de fuite En actionnant la touche STOP l affichage d tat du panneau de service indique STBY la remise l air est devenue impossible Actionner la touche CAL 4 11 3x bri ve ment Actionner la touche ENTER n 3 pour confirmer l op ration 2 4 7 4 Module d tecteur avec une autre pompe sur le raccord vide primaire Une fois que le module d tecteur est s par du module pompe on dispose d une petite bride DN 16 KF sur la face inf rieurs du module d tecteur pour te raccordement de pompes primaires quelconques Cf mode de service 1 dans la fig 20 H faut seulement noter que le raccordement de pompes d un d bit sup rieur 16 m h n est pas int ressant car ca d bit ne peut tre effectif l admission du d tecteur vu l tranglement par la bride DN 16 KF Dans ce mode de service toutes les fonctions du d tecteur restent inchang es c
129. eure r solution que l affichage combin de l unit de comman de Avec l interface V 24 on peut sortir le taux de fuite sur un terminal ou une imprimante en actionnant la touche START It est pr f rable d effectuer une syntonisation avant chaque calibrage 2 6 1 Syntonisatlon La syntonisation sert quilibrer le spectro m tre de masse sur la sensibilit maximale On fait varier la tension d acc l ration des ions dans la gamme de masse choisie jusqu l enregistrement d un courant ionique maximal sur le collecteur d ions Pour la syntonisation il faut que l unit lectro nique avec le panneau de commande soit bas cul e et que la fuite calibr e soit ouverte Le spectrom tre de masse peut maintenant tre regl par le potentiom tre M4 26 12 sur sensibilit maximale L affichage du taux de fuite sort galement un maximum 2 6 2 Calibrage avec fuite callbr e incorpor e Mettre UL 100 PLUS dans l tat Stand By ou remis l atmosph re avec la touche STOPNENT S lectionner le calibrage avec la touche multifonction trigger et calibrage et confirmer avec la touche ENTER CAL appara t sur l indicateur d tat 26 1 du panneau de commande On entend distincte ment l ouverture de la fuite calibr e inteme M Das Massenspektrometer kann jetzt mit Po tentiometer M4 26 12 auf max Empfind lichkeit gebracht werden Abschnitt 2 6 1 Die Leckratenanzeige wird dann maximal
130. fter switching on the UL 100 PLUS the status display 26 1 displays once the following one after the other UL 100 PLUS VERSION 2 0 DATE xx xx xx TIME xx xx xx ACCL Accelerate after initialization the micropro cessor control waite for the forevacuum pres sure to drop below 0 1 mbar and for the turbo pump to finish running up 63 000 rpm VAC and SNIFF The UL 100 PLUS has been provided with two basic operating modes vacuum leak detection VAC see section 2 4 and sniffer leak detection SNIF see section 2 4 8 During rup up the UL 100 PLUS displays any possibly selected operating mode entered with key No 6 If key No 6 is not used the leak detector automatically enters the vacuum leak detection mode Note The once selected operating mode VAC or SNIFF remains stored in the memory even after switching off Les commutateurs 26 13 doivent toujours tre r gl s sur AUTOMATIQUE lors de la fer meture de l unite lectronique 25 3 Un affichage d erreur alphanum rique 26 1 facilite norm ment les travaux de maintenance ou de remise en tat en signalant les erreurs du d tecteur UL 100 PLUS au moyen d un code Il est galement possible de contr ler toutes les tensions importantes de l appareil sur les points de mesure TEST OUTPUTS 26 3 D signation et signification des diverses fiches 26 3 femelles de contr le VN11 Tension d alimentation n g stabilis e 11 5
131. function With key No 5 aclive the vacuum chamber cannot be vented by the UL 100 PLUS Key No 6 Key No 6 enables the sniffer mode Il n est pas possible de pratiquer une remise l air dans UL 100 PLUS Pour obtenir l tat service sans module pompe primaire il faut enfoncer la cl no 4 avant de mettre UL 100 PLUS en circuit Ce mode de d tection n cessite une pression de pe lt 0 2 mbar au raccord test pendant toute la dur e du service de UL 100 PLUS Apr s la mont e en r gime la cl no 4 peut tre retir e quand l unit est dans le mode STBY Dans le mode de service de UL 100 PLUS sans module pompe les robinets V1 et V2 sont toujours ouverts condition que la pression d admission soit 0 4 mbar L tat STAND BY se distingue de l tat MEAS par la d commutation de l affichage de taux de fuite Lorsque la pression d admis Sion d passe la valeur 0 4 mbar V1 est ferm automatiquement la source d ions d connect e et le message d erreur EROT pression primaire max d pass e est indiqu dans l affichage d tat Pour revenir en mode d tection sans module pompe il faut arr ter dans ce cas le module d tecteur de UL 100 PLUS et e remettre en service apr s avoir enfonc la cl no 4 Cl no 5 Elle permet la mesure de fuites pour une pression d admission de pg lt 100 mbar avec une pompe primaire externe quelconque Le d tecteur UL 100 PLUS est ainsi en me sure d
132. ge de la carte microprocesseur ec 4 Service GC 1 Description 1 1 G n ralit s E Ce mode d emploi donne des informations im portantes pour comprendre installer mettre ei service utiliser et entretenir le d tecteur d fuites helium UL 100 PLUS ainsi que sur I recherche des d fauts Les remarques importantes concemant S curit technique et fonctionnelle sont mise en vidence de la facon suivante Prudence signale des travaux ou op rations respecter scrupuleusement pour ne pas mettr des personnes en danger Attention signale des travaux et op rations respecter scrupuleusement afin d viter le endommagements ou destructions du d tecter de fuites helium UL 100 PLUS Remarque signale des contraintes technique auxquelles l utilisateur devra faire partici li rement attention Les chiffres entre parenth ses dans le text comme p ex 4 14 se rapportent pour le pre mier au num ro de la figure et pour deuxi me au num ro concem dans la l genc de cette figure D balier imm diatemant le d tecteur da fuit h lium d s la livraison m me si la mise service doit avoir lieu ult rieurement Contr ler d abord si la boite de transp pr sente des signes exi rieurs d avarie Remarque Conserver la boite de transport et le mat ri d emballage pour ies ventuelles pr tentions des dommages int r ts V rifier si le d tecteur de fuites h lium UL 100 PLUS est compl
133. gger et calibrage et confirmer avec la touche ENTER CAL apparait sur l indicateur d tet 26 1 du panneau de commande On peut alors r gler le spectrom tre de masse Sur la sensibilit maximale avec le poten tiom tre M4 26 12 Cf section 2 6 1 L indication du taux de fuite est alors maximale Raccorder la fuite calibr e externe Corriger ensuite un ventuel fond h lium en actionnant la touche ZERO 4 14 Ouvrir la fuite calibr e externe On r gle ensuite le taux de fuite inscrit sur la fuite calibr e l aide des touches d introduction de valeurs 4 19 et 4 5 Apr s l actionnement de la touche ENTER le calibrage est termin En service normal le facteur ULTRA est ainsi d termin Les facteurs GROSS et FINE sont calcul s partir du facteur ULTRA En service flux partiel Cf les modes 3 et 4 dans la fig 20 les facteurs de calibrage GROSS FINE et ULTRA peuvent tre d ter min s s par ment Il faut pour cela couper la s lection automatique des gammes de mesure en actionnant la touche manuelle avant le calibrage La gamme de mesure d sir e se choisit alors par les touches d introduction de valeurs 4 19 et 4 6 I faut pour cela que 47 M das Servicefeld mit Elektronik Einheit ausge klappt werden s ULTRA V1 und V2 ge ffnet FINE Vi V2 und Vext ge ffnet GROSS V1 2 V2 und Vext ge ffnet Vext externes Teilstromventil von der Option Teilstro
134. gue voltage for the mantissa supplies valid values in the range between 1 0 and 9 9 V per decade Fig 18 As of software release V 3 4 two decades are indicated when selecting tha range manually The analogue voltage for the mantissa will supply a valid output in the range between 0 1 V and 9 9 V In the event of possibly occurring disturbances for example when the amplifier is briefty over driven the voltage is limited to 10 6 V The exponent is represented by a step voltage with increments of 0 5 V per decade starting at 1 V equivalent to 1 E 10 mbar Lei 2 243 7 Analog voltage output for the Inlet pressure Pe The analog output for the inlat pressure pr reflects the varying inlet pressure ts output is pin No 24 ot the multi function interface 12 1 and pin No 4 of the recorder output 12 2 See also section 2 2 13 6 The analog output for the inlet pressure pe AbbJFlg 19 Spannung tension Manilsse mantissa mentisse Exponent exponant exposant Sortie enregistreur 12 2 PIN No 5 Sortie analogique signal taux de fuite PIN No 1 Sortia analogique signal gamme de mesure PIN No 4 Sortie analogique pression d admis sion pe PIN No 3 Masse de r f rences pour les sor ties analogiques Le signal de taux de fuite se compose de la mantisse et de l exposant La tension analogi que de la mantisso foumit des mesures va lables de 1 0 V 8 9 V par d cede fig 18 A parti
135. halten der Kombi Anzeige 4 3 von Einla druck pg 4 23 auf Leckraten Anzeige Wird der Pr fling mit Helium bespr ht kann Helium durch die Druckdifferenz durch ein eventuell vorhandenes Leck in den Prifling eindringen Helium gelangt innerhalb der An Sprechzeit in das Massenspektrometer Das Massenspektrometer ionisiert die Gas Molek le trennt sie nach ihrem Masse zu Ladungs verh ltnis und f ngt die Helium lonen Mas senzahl 4 auf Der Strom proportional zur Anzahl der Helium lonen die aut den lonen T nger 3 5 treffen wird verst rkt und auf der Kombi Anzeige 4 3 als Leckrate sichtbar ge macht Zum Bel ften des Pr flings mu die Taste STOP 4 2 lange gedr ckt werden minde stens 2 s Die Status LED 4 1 leuchtet rot Der Pr tling wird h rbar geflutet und kann abgenommen werden 1 3 Technical Description The UL 100 PLUS is used for detecting leaks and for quantitative determinations of leak rates The smallest detectable helium leak rate is 2710719 mbar l s The UL 100 PLUS consists of the leak de tection module and the pump module The UL 100 PLUS is supplied ready for ope ration with the laak detection module matched to the pump module and Calibrated The leak detection module may be used individually for detecting leaks in vacuum systems In this case make sure that the leak detection modu le is connected to a point in the system where the pressure will certainly always be
136. he selected en tries of baud rate time and date are displayed once more After setting the SERVICE NORMAL slot led switch 25 2 back to the NORMAL po sition of the UL 100 PLUS regains all its func tions again after a brief initialization phase which is run automatically Note The valve position OPEN is indicated by an illuminated LED La touche autom Aog trigger 4 18 permet alors l indication et le r glage de la vitesse de transmission de la date et de l heure Actionner la touche ENTER 4 13 pour confirmer chaque valeur et passer la suivante On obtient d abord MODIFY VALUES OF BAUD TIME AND DATE ensuite la vitesse de transmission est indi qu e BAUD xx La valeur indiqu e xxxx peut tre modifi e avec les touchas d entr e de valeur 4 6 et 4 19 ou initialis e sur 9600 avec la touche z ro 4 14 Actionner la touche ENTER 4 13 pour confirmer la valeur et passer celle de l heure TIME Les heures apparaissent env 1 s apr s Hax Elles se r glent avec les touches d entr e de valeur 4 6 et 4 19 et sont remises 00 avec la touche z ro 4 14 Actionner la touche ENTER 4 13 pour confirmer la valeur et passer aux minutes M xx Elles se r gient avec les touches d entr e de valeur 4 6 et 4 19 et sont remises 00 avec la touche z ro 4 14 Actionner la touche ENTER 4 13 pour confirmer la veleur et passer l in
137. hed Le the indication will drop in both directions of the potentiometer Then close the calibrated leak and make sure that the indication drops In the case of masses 2 and 3 a small residual indication may remain due to the relatively high natural background resp parlial pressure in the case of mass 4 Zero indicating LED 4 21 must come on d tat indique alternativement CONT et le dernier message d erreur c est qu il est pos sible de continuer le travail avec UL 100 PLUS en appuyant une ou deux fois bri vement sur la touche START 4 24 UL 100 PLUS se retrouve ensuite apres une ventuelle mont e en r gime dans le mode d tection Stand By STBY 2 7 3 Compensation de la position de masse Pour obtenir la sensibilit et la stabilit maxi males le spectrom tre de masse de UL 100 PLUS doit tre compens sur la position de masse correcte UL 100 PLUS est quilibr en usine sur M2 et M4 et r gl sur masse 4 Une compensation n est n cessaire que pour la masse 3 celle des masses 2 et 4 devrait tre v rifi e lors du calibrage cf section 2 6 La compensation ne peut tre ex cut e que lorsque le gaz correspondant p n tre dans UL 100 PLUS Pour les masses 2 et 3 il faut rac corder une fuite calibr e Hz p ex TL 4 6 r f 155 80 l admission du d tecteur Pour la masse 4 on peut utiliser soit une fuite helium calibr e externe ou si disponible la fuite calibr e interne La c
138. igen Ger te Spannungen an den Me stellen TEST OUT PUTS 26 3 pr fen Die Bezelchnung der Pr fbuchsen 26 3 und Ihre Bedeutung im Elnzelnen VN11 neg Versorgungsspannung stabilisiert 11 5 bis 15 5 V Versorgungsspannung unstabilisiert 20 0 bis 30 V CP intemer Takt f r MS Versorgung f 68 kHz 5 5 Val VP2 IAP Istwert Anoden Potential 4 3 bis 4 9 V x100 r Masse 4 pas Versorgungsspannung stabilisiert 11 5 bis 15 5 V Bezugsmasse f r Pr fpotentiale VP11 v02 ISP Istwert Suppressor Potential 3 0 bis 3 4 V x100 IKP Istwert Katoden Potential 3 5 bis 4 1 V x100 fur Masse 4 2 7 1 Statusanzelge Die Bedeutung der Statusmeldungen INIT Die Anzeige INIT erscheint nach dem Ein schalten des UL 100 PLUS w hrend der Ini tialisierungsphase f r einige Sekunden Laufschrift Nach dem Einschalten des UL 100 PLUS er scheint in der Statusanzeige 26 1 einmal durchlaufend UL 100 PLUS VERSION 2 0 DATE xx xxxx TIME xx xx xx ACCL Accelerate die Mikroprozessorsteuerung war tet nach der Initialisierung auf das Unter Schreiten des Vorvakuumdrucks unter 0 1 mbar sowie auf das Ende des Hochlaufs der Turbomolekularpumpe 63 000 min VAC und SNIFF Der UL 100 PLUS verf gt grunds tzlich ber zwei Betriebsarten die Vakuumlecksuche VAC siehe Abschnitt 2 4 und die Schn f fellecksuche SNIF siehe Abschnitt 2 4 6 Der UL 100 PLUS zeigt die gegebenenfalls
139. igger et calibrage i 2 2 8 1 Fonction triggers l et 27 nomale 2 2 8 2 Fonction triggers 1 et 2 inverse 2 2 8 3 Fonction sp ciale triggers 1 et 2 tat de l appareil H 2 2 8 4 Fonction calibrage 2 29 Touche de confirmation d entr e ENTER 2 2 10 M moire perm des param tres 2 2 11 Robinet de lest d air 2 212 Raccord test n 2 2 13 Dispositifs suppl mentaires M 2 2 13 1 2 2 13 2 2 2 13 3 2 2 13 4 2 2 13 5 2 2 13 6 2 2 13 7 2 2 13 8 2 2 13 9 Schl sselschalter 25 Multifunktions Schnittstelle 27 Trigger Ausg nge Trigger 1 2 28 Teilstromventilansteuerung 29 Fernsteuerung der Lecksuch funktionen 30 Analog Spannungs Ausg nge 30 Analog Spannungs Ausgang f r den Einla druck pg 31 Kopfn rer Anschu 32 Halskette Wear 32 2 2 13 10 Verbindung zwischen Bedien 23 2 3 1 2 4 2 4 1 2 4 2 243 2 4 3 1 2 4 3 2 2 4 3 3 2 4 4 2 4 5 2 4 6 2 4 6 1 2 4 6 2 2 4 7 2 4 7 1 2 4 7 2 2 4 7 3 24 7 4 2 4 8 24 8 1 2 4 8 2 2 5 2 6 2 6 1 2 6 2 2 6 3 2 6 4 2 7 27 1 27 2 2 7 3 einheit und Lecksuchmodul 32 Inbetriebnahme und Ab pumpen eines Pr flings 33 Einstellen der Uhrzeit und Datum enne 36 Betrlebsarten 37 bersicht der Betiebsaten 37 Vakuum Lecksuche mit Pr fling
140. indlichkeit und Stabilit t zu erreichen mu das Massenspektrometer des UL 100 PLUS auf die richtige Massen position abgeglichen werden Der UL 100 PLUS wird werksseitig auf M2 und M4 abgeglichen und eingestellt auf Masse 4 ausgelieiert Ein Abgleich ist nur fir Masse 3 notwendig f r Masse 2 und 4 sollte der Abgleich bei der Kalibrierung berpr ft werden Abschnitt 2 6 Der Abgleich kann nur durchgef hrt werden wenn das entsprechende Gas eingelassen wird F r Masse 2 und 3 ist es notwendig ein H Testieck zum Beispiel TL 4 6 Kat Nr 155 80 mit Wasserstoff Druckgasflasche am Einla des Lecksuchers anzuschlie en F r Masse 4 kann ein externes Heliumtestlock oder falls vorhanden das interne Testleck verwendet werden Der Abgleich erfolgt f r alle Massen wie folgt Testleck am Einla anschlie en und Taste START 4 24 dr cken um in den MEAS Zustand zu gelangen Umschalter 26 11 am Servicefeld auf gew nschte Masse stellen Potentiometer 26 12 f r die gew nschte Masse mil Schraubendreher so einstellen da maximale Anzeige erscheint die An zeige mu dann bei Verstellung des Potis in beiden Richtungen kleiner werdenl Anschlie end Testieck schlie en und ber pr fen da die Anzeige zur ckgeht es darf bei Masse 2 und 3 eine Restanzeige aufgrund des relativ hohen nat rlichen Untergrundes bzw Parlialdruckes bleiben bei Masse 4 mu die Null indikator LED 4 21 leuchten
141. interne de UL 100 PLUS Toutefois le rapport d tat n est lisible que par l interface RS 232 C Voir pour cela la description de l interface SB 10 207 Remarques g n rales f Nous nous r servons le droit de modifier la construction et les indications donn es Les figures sont sans engagement LEYBOLD AG Bonner Stra e 498 Postfach 510760 D 5000 K ln 51 Telefon 0221 347 0 Telefax 0221 347 12 50 Telex 888481 20 Ih d Printed in Germany
142. ion UV sections 2 2 13 1 2 4 73 Rezipient 5 aum HV Schn ffellecksuche Sniffer leak detection D tection de fuites par renifleur 2 4 Modes de service 2 4 1 Aper u des modes de service Remarque Il est conseill d quilibrer le d tecteur UL 100 PLUS avec une fuite calibr e comme indiqu dans la section 2 6 avant toute d termination quantitative d un taux de fuite UL 100 PLUS dispose de deux modes de d tection de fuites la d tection par le vide VAC et la d tection par reniflement SNIF Le mode SNIFF est choisi par la cl no 6 Cf section 2 2 13 1 Le mode de service est indiqu par l affichage d tat 26 1 du panneau de service pendant la mont e en r gime da l appareil ce qui permet de le contr ler i 5 Abschn 2 4 8 SNIFF Schl ssel 8 Section 2 4 8 SNIFF Kay No EI Sectlon 2 4 8 SNIFF cl 8 3 Anlagenlecksucher Abschn 2 2 13 f GROSS FINE Schl ssal 5 Syslams leak detectar Section 2 2 13 1 GROSS FINE Kay No 5 O tecteur d installation sectlon 2 2 14 1 GROSS FINE cl 5 Rezipient P 100 mbar WW Vorvakuum WW Foravacuum W vide primalre mit Option Tellstrompumpsatz Abschn 2 4 7 1 GROSS FINE ULTRA Schl ssel 3 with partlel flow pump set optlon Section 2 4 7 1 GROSS FINE ULTRA Kay No 3 avec l option groupe de pompage flux partiet saction 2 4 7 1 GROSS FINE ULTRA cl 3 je w 7 Rezipient Vac chamber Enceinte 37 M
143. ion in the ULTRA range the factors GROSS and FINE are computed based on the ULTRA factor This computation applies only for operation with the option par tial flow pump set with D 25 B For operation with any other type of system or other partial flow pump it is essential to calibrate the ranges FINE and GROSS in addition The analogue signa output Section 2 2 13 6 or the V 24 interface offer a higher resolution compared to the combined indicator on the hand unit When using the V 24 interface it is possible to output the leak rate once to a ter minal or a computer by pressing the START pushbutton The TUNE process should be run before each calibration 2 6 1 Tuning The tuning process helps to align the mass spectrometer so that its maximum sensitivity is obtained For this the accelerating voltage for the ions in the mass spectrometer is varied in the selected mass range until a maximum ion current is registered at the ion collector For tuning it is required to fold out the elec tronics unit with the service panel and to open the calibrated leak Now the sensitivity of the mass spectrometer may be set to maximum by operating potenti Ometer M4 26 12 The leak rate display will also show a maximum 2 6 2 Cailbration with the bullt In cali brated leak Set up the UL 100 PLUS to standby or vent ing by pressing the STOPAVENT button Use the multifunction pushbutton Trigger and Calibrate to select the ca
144. ird an der Statusanzeige im Servicefeld 26 1 w hrend des Hochlaufes des Ger tes angezeigt und kann so kontrolliert werden 24 Operating Modes 2 4 1 Overview of the operating modes Note Prior to a quantitative leak rate determination the UL 100 PLUS should be calibrated using a calibrated leak as described in Section 2 6 The UL 100 PLUS has two main operating fnodes vacuum leak detection VAC and Sniffer leak detection SNIF The operating mode SNIFF is selected via key No 6 see Section 2 2 13 1 During run up the operating mode is indicated on the status display for checking purposes and can be inspected at this time UL 100 PLUS Betriebsarten Operating modes of the UL 100 PLUS UL 100 PLUS Modes de service p Vakuumlecksuche Vacuum leak detection D tection de fuites sous vide 1 Normelbetrleb Abschnitt 2 4 2 ULTRA Normal operation Section 2 4 2 ULTRA Sarvica normal section 2 4 2 ULTRA a L ULTRA Schilssel 4 ULTRA Kay No 4 ULTRA cl 4 ga ngo aa mit anderer Vorpumpe Abschnilt 2 4 7 4 with e diftarant backing pump Section 2 4 7 4 avec autre pompe primaira section 2 4 7 4 HV Hochvakuum HV High vacuum HV vide pouss Abb 20 bersicht der Batriebsarten Fig 20 Overview of the operating modas Flg 20 Tableau des modes de service 2 UHV Anlagenlecksucher Abschn 2 2 13 1 2 4 7 3 UHV systems laak detector Section 2 2 13 1 2 4 7 3 D tecteur d installat
145. is six pans creux Raccord test lat rat additionnel Module d tecteur A ona 2 2 12 Raccord test Outre le raccord test normal 10 1 le d tecteur UL 100 PLUS dispose d une tubulure d aspi ration suppl mentaire 10 3 Elie permet le raccordement du groupe de pompage de flux partiel option II est galement possible d utiliser cette tubulure pour raccorder des pi ces lorsque leur g om trie interdit l emploi du raccord test normal Il faut alors fermer ce dernier 10 1 avec une bride aveugle Retirer ensuite les quatre vis six pans creux 11 6 de la tubulure sur le c t et d gager l obturateur 11 7 avec vis oreilles La bride d aspiration 10 3 fait partie de l quipement standard ele peut tre alors re mont e avec les garnitures correspondantes e les quatre vis six pans creux 10 2 22 13 Dispositifs suppl mentaires Le d tecteur UL 100 PLUS dispose de quatre dispositifs suppl mentaires Commutateur cl Raccordement pour casque d coute interface multifonction Verrou pour cha ne de suspension Erl uterungen zur Abb 11 Bedlen Elnhelt Schl sseischalter zur Varrlegelung von Pr tprogrammen Kopth rer AnschluB E Schlo f r Umhangeketla Austritt akustisches Signal Innansechskantschrauben Bilndplatta f r Testanschlu Multifunktions Schnittstatla hinter der Klappe Gd DOG N A ey to Fig 11 Remote control unit Keylock switch for locking In tast progra
146. it 23 2 des Magnetventils verbunden und auf der an dern Seite mit der Multitunktions Schnittstelle 12 1 des UL 100 PLUS Nach Einstecken an der Multifunktions Schnittstelle 12 1 wird die Option erkannt und gesteuert Zur Inbetriebnahme des Systems kann der UL 100 PLUS und der Teilstrompumpsatz gleich zeitig eingeschaltet werden Nachdem der UL Ert uterungen zur Abb 23 LED Elektronikelnhelt des Magnetventils Stecker Steuarleltung Steuerleltung Netzanschlu leitung naon Key 1o Fig 23 1 LEO Electronics unit of the solenoid valve Plug control cable Control cable Mains cable MAUN L gende de la fig 23 OEL Unit lectronique du robinet lectremegn tique Fiche ligne de commande Ligne de commande Cordon secteur AOUN measuring high leak rates up to 1 mbar ls Note The partial flow pump set Cat No 165 44 is desigend for use with 220 V mains In order to maintain a correct autoranging function as well as a quantitatively correct in dication over the entire range of leak rates the optional partial flow pump set must be used see operating mode 4 in Fig 20 This basically consists of vacuum pump TRIVAC D 25 B solenoid vaive DN 25 KF see Fig 23 and 1m flexible metal tubing Before connecting the partial flow pump set it is required to mount the supplementary flange 10 3 as described in Section 2 2 12 The supplementary flange is included in the acces sories
147. it under Cat No 155 83 In the case of UHV systems this has the special advantage that a backing pump is not required and the UHV system is therefore not contaminated with hydrocarbons To use the leak detection module in this way proceed as follows Separate the leak detection module from the pump by loosening the two quick release locks Close the forevacuum connection on the leak detection module using a DN 16 KF blind flange Connect the inlet of the leak detection module to the vacuum chamber this re quires a valve at the vacuum chamber Open the velve to the vacuum chamber so that the leak detector inlet is pumped out Insert key No 4 into the hand unit and activate it right up to the stop Switch on the leak detection module via its meins switch and wait until the run up phase has been completed This is indiceted by the exponent lighting up The unit is now ready for taking mea surements The leak rate is indicated after operating the START pushbutton pressing the push button STOP will cause the display to indicate STBY venting is not possible Briefly press CAL 4 11 three limes Press ENTER 4 13 to acknowledge the process 2 4 7 4 Leak Detection Module with an other BackIng Pump Connected to the Forevacuum Inlet Alter the leak detection module has been separated from the pump module access is gained to the small flange DN 16 KF at the bottom of the unit for connecti
148. k tight test ob jects H pushbutton Automatic Trigger logic 4 18 is pressed the trigger logic is inverted Combination display 4 3 and the outputs for trigger 1 and 2 at the multifunction interface see section 2 2 13 2 aro inverted This operating mode is indicated by an invert ed display of LED display 4 3 In this mode the LED for the trigger value does not light up The ouiputs then operate as n c contacts The status of the relays is given in Table 1 Funktion Normal Relais 1x EIN Kontakt offen ACCEPT Relais abgefallen Kontakt offen ACCEPT Kontakt offen ACCEPT Relais abgefallen Kontakt offen ACCEPT Relais abgefallen Kontakt offen ACCEPT Function Normal Relay 1 n o contact Contact open ACCEPT Relay de energized Contact open ACCEPT Relay de energized Contact open re Relay de energized Relay energized Contact open ACCEPT Contact closed ACCEPT Relay energized Relay de energized Contact closed REJECT Contact open REJECT Fonction normale Relais 1x MARCHE Contact ouvert ACCEPT Relais d sexcit Contact ouvert ACCEPT Function Inverted Relay 1 n o contact Contact cpen REJECT Relay de energized Contact open REJECT 2 Cable breakage Contact open ACCEPT Contact open REJECT Relay de energized Contact open REJECT 2 2 8 2 Fonction trigger 1 et 2 Inverse l est possible d inverser la fonction des trig gers C
149. l and the parame ter entry pushbutton to is possible to reach the maximum sensitivity of 2 10 9 mbar lst ULTRA 2 4 7 2 Other pump sets Basically any type of rotary vane pump may be used in the partial fow pump set as well as other types o valve and tubing see operating mode 4 in Fig 20 But it should be noted that the UL 100 PLUS software will only func tion properly with solenoid valves Cat No 287 42 287 52 288 42 288 52 depending on voltage and casing material Moreover when using other pumps or different tubing the calibration process should be run for r gime de UL 100 PLUS est termin e les op rations ult rieures sont command es uni quement par la touche START START 4 24 et la touche STOP VENT 4 2 Pour vacuer une pi ce par le groupe flux partiel 2 7 actionner bri vement la touche START 4 24 Remarque La DEL verte 23 1 s allume sur l lectronique du robinet lectomagn tique si le raccordement est correct et a pi amp ce vacu e Lorsque la DEL rouge s allume constamment il faut contr ler si le microcommutateur de l unit lectronique du robinet lectromagn tique est plac sur Remote position S Voir galement GA 06 202 Le microcommutateur doit tre sur la position S Pour une pression d admission de 100 mbar le robinet vide grossier V 1 2 s ouvre automa tiquement GROSS Cf fig 2 UL 100 PLUS est pr t d tecter Cet tat se manifeste par la co
150. l est conseill de travailler si possible avec un pistolet d asper Sion buse fine On vite ainei que l h lium p n tre en m me temps par plusieurs fuites dans la pi ce Si n cessaire isoler la tuite comme dans la fig 21 39 M 2 46 Besonderheiten bel kleinen und groBen Leckraten 2 4 6 1 Klelne Leckraten Der UL 100 PLUS ist in der Lage Leckraten bis 2 1010 mbar s nachzuweisen Um ei ne Anzeige in diesem Bereich ablesen zu k n nen ist eine eventuell vorhandene Unter grundanzeige mit Hilfe der Nullpunkttaste zu unterdr cken Eine h here Me wertaufl sung erreicht man durch Anschlie en eines Schreibers Ab schnitt 2 2 13 6 oder durch Ausgabe der Leckrate ber eine V 24 Schnittstolle 2 4 6 2 Gro e Leckraten Bei der Messung von gro en Leckraten be steht die Gefahr der Verseuchung des Pr f lings und des UL 100 PLUS Daher die Me zeit so kurz wie m glich halten Eine Verseu chung des Pr flings u ert sich durch einen Untergrund der auf der Kombi Anzeige 4 3 abgelesen und ggf mit der Nullpunkt Taste 4 14 unterdr ckt werden kann siehe auch Abschnitt 2 2 6 Hinweis Durch ffnen der Gasballasteinrichtung 9 3 f r mehrere Minuten kann eine Verseuchung der Vorvakuumpumpe behoben werden Eine Lokalisierung ist bei gro en Leckraten schwierig da das Leck Helium schon aus ei ner gewissen Entfernung ansaugt Daher nur wenig Helium mit einer Feinspr hspitze spr hen
151. lectrical Connections 16 2 2 1 2 ON OFF Power Switch 17 2 2 1 3 Mains Outlet for Auxiliary Equipment 17 2 2 2 Pushbutton START and STOPNVENT 17 2 2 3 Parameter Pushbutton 16 2 24 Range Selector Pushbutton Automatic Trigger logic 19 2 2 5 Measuring Range Selector Manual TOPPED so 18 2 2 8 Pushbutton Auto Zero sas 18 2 2 7 Multi Function Pushbutton Acoustic Signal 19 2 2 6 Multi Function Pushbutton Trigger and Calibration 20 2 2 8 1 Function Trigger 1 and 2 Normal 20 2 2 8 2 Function Trigger 1 and 2 Invers 21 2 2 8 3 Special function Trigger 1 and 2 equipment status 22 22 84 Function Calibration 22 2 2 9 ENTER Pushbutton 23 2 210 Permanent Parameter Memory 23 2 2 11 Gas Ballast Vaive 23 2 2 12 Test Connection 24 2213 Additional Features 24 M Pour des raisons fl as la s curit et l environnement pri re d indiquer chaque demande d intervention du service apr s vente les produlls dangereux p ex su terme des directivas de la CE L 360 1976 1879 ou VBG 16 38 trouvent sur ou dans l appareil nm Sommaire Description rada 14 jd G n ralit s ae d 4 1 1 1 D signation ets LS 112 Emploi Sea Sas e B 1 1 3 Signalisations ise 5 1 1 4 Composition modulalre 5 1
152. librale mode and acknowledge this by pressing the ENTER pushbutton The status display 26 1 on the service panel will read CAL The internal calibrated leak opens audibly 2 6 Calibrage et syntonisation Le d tecteur UL 100 PLUS permet la mesure quantitative des taux de fuite Ceci n cessite un facteur de calibrage calcul automatiquement et m moris par le d tecteur lors du calibrage Cette op ration est tr s simplifi e par l emploi d une fuite calibr interne Si aucune fuite calibr e n est int gr e dans le d tecteur UL 100 PLUS ce calibrage doit alors tre ex cut au moyen d une fuite calibr e externe Remarque Ne pratiquer le calibrage que 15 minutes apr s la fin de la mont e en r gime Le r p ter apr s environ 2 heures Les facteurs d termin s par le calibrage sont conserv s m me apr s la mise hors circuit de l appareil Quatre facteurs de calibrage sont m moris s facteur GROSS facteur FINE facteur ULTRA facteur SNIFF Pour le calibrage en ULTRA les facteurs GROSS et FINE sont calcul s partir du fac teur ULTRA Cette conversion n est valable que pour un service avec l option groupe de pompage flux partiel avec D 25 B Avec d autres installations ou pompes flux partiel il faut galement calibrer dans les gammes GROSS et FINE Pour obtenir le taux de fuite calibr ia sortie de Signal analogique section 2 2 13 6 ou l interface V 24 offrent une meill
153. litre bottle from Leybold under Ref No 200 28 181 2 2 Description of Controls 2 2 1 Noto The operation of the UL 100 PLUS as des cribed in the following is related to software version V 3 0 Meins Connections 2 2 1 1 Electrical Connections Noto l Before connecting the UL 100 PLUS to the mains make sure that the mains voltage of both modules corresponds to the existing mains voltage If the unit is connected to the wrong mains voltage the UL 100 PLUS may be damaged Check the mains voltage on the pump module The mains voltage to which the unit has been set is indicated by the Cat No of the TRI VAC D 1 6 B 6 1 Cat No 112 25 must be operated with 220 to 240 V and Cat No 112 27 must be operated with 105 io 120 V In casa of an incorrect mains voltage corre spondence the pump module or the UL 100 PLUS must be exchanged for a unit with the correct mains voltage The mains cable 8 2 is plugged into the Socket 8 5 on the UL 100 PLUS Note c The leak detection module upper part is set to the voltage as indicated on slide in fuse unit Erl uterungen zur Abb 7 Abdackblech Varrlegalung Pump Modul Abdeckung Gesballast Lacksuch Modul Tregegritt Key to Fig 7 Cover plete locking device Pump module Cover gas ballast unit Laak datectlon modula Hendle L gende de la fig 7 1 Plaqua de protection verroulllage Module pomps Couverlure lest d elr Module d tecteur Polgnde Qawn
154. m pumpsatz Die Kalibrierfaktoren sollten in folgender Rei henfolga bestimmt werden ULTRA mit TL 8 FINE mit TL 8 und GROSS mit TL 4 6 Das Testleck TL 4 6 kann dazu in FINE kali briert werden F r jeden Kalibrierfaktor ist eine Kalibrierung notwendig Der Abgleich des Massenspektrometers darf dabei aber nur einmal erfolgen Bei zu geringer Emptindlichkeit kann beim Ka librieren mit der Taste HAND auf die andere Katode umgeschaltet werden Der Kalibriervorgang kann jederzeit durch Dr cken der Tasten STOP oder Trigger und Kalibrierung abgebrochen werden 2 6 4 Kalibrieren Im Schn tfelbetrieb Schn ffelspitze in die Luft halten Mit Multifunktionstaste Trigger und Kalibrie rung das Kalibrieren anw hlen und mit der Taste ENTER quittieren Auf der Statusanzeige 26 1 im Servicefeld erscheint CAL Einen vorhandenen Untergrund mit der Null punkt Taste 4 14 unterdr cken Schn ffelspitze vor die ffnung des Schn ffel Testlecks halten Durch Dr cken der Werteingabetasten 4 19 und 4 6 wird die auf dem Testieck aufge druckte Leckrate eingestellt Der Kalibriervorgang ist nach dem Dr cken der Taste ENTER abgeschlossen Der Faktor SNIFF ist damit bestimmt Bei zu geringer Empfindlichkeit kann beim Ka librieren mit der Taste HAND aut die andere Katode umgeschaltet werden Der Kalibriervorgang kann jederzeit durch Dr cken der Taste Trigger und Kalibrierung abgebrochen w
155. meldung ER10 angezeigt 22 11 Gasballastventil Das Gasballastventi der im UL 100 PLUS eingebauten Vorvakuumpumpe ist von au en zu bedienen Dazu Tragegriff 9 4 heraus ziehen und die Abdeckung 7 3 abnenmen Der Bet tigungshebel 9 3 kann dann zum ffnen des Gasballastventis zum Bediener hin geschoben werden Das Ventil sollte meh rere Minuten ge ffnet bleiben Das Gasbal lastventil ist geschlossen wenn der Bet ti gungshebel 9 3 an der Vorvakuumpumpe anliegt Hinwels Das Gasballastventil mu zum Transport im mer geschlossen werden Erl uterungen zur Abb 9 1 Lecksuch Modut 2 lelnlaBschraube 3 Bet ligungshebel Gasballastventll geschlossen d Tragegrllt Key to Flg 9 1 Leak detection module 2 Olkn at screw 3 Actuating laver for gas ballast vatve closed 4 Handle L gende de la fig 9 1 Modula d tecteur 2 Vis d Introductlon d huile 3 Levler de commande du robinet de lest d alr larm 4 Poign a Abb 9 Bet ligungshebel Gasbalastvenill Fig 9 Actuating lever for ges ballast valve Fig 9 Levier de commande du robinel de last d air 2 2 10 Permanent Parameter Memory During the initialization phase of the UL100 PLUS it checks whether or not the last para meter sat is still stored Normally the UL 100 PLUS reverts to those settings which were programmed before switching off if the last parameter set has been lost for example due to exhausted memory buffer batteries the unit
156. mmutation de l unit de commande fig 4 de l indicatio de pression a l indication de taux de fuite Gr ce au flux partiel on peut d tecter maintenant des luites jusqu 1 109 mbar s Si la pression d admission diminue il y a alors une commutation automatique Le robinet V 1 2 se ferme et V 1 s ouvre pour De 0 2 mbar FINE Ct fig 2 La gamme des fuites jusqu 10 mbarls est alors disponible grace au flux partie plus petit On obtient la sensibilit maximale de 2 10 10 mbarks ULTRA en activant la cl 3 Cf section 2 2 13 1 ou en actionnant la touche manuelle et fa touche d introduction de valeur 2 4 7 2 Autres groupes de pompage tt est possible d utiliser des pompes palettes rotetives quelconques dans le groupe de pom page fiux partiel ainsi que d autres robinels et tuyaux Cf mode de service 4 dans fig 20 li faut bien noter que le logiciel ne travaille qu avec les robinets lectromagn tiques r f 287 42 287 52 288 42 288 52 selon la ten sion et le mat riau du corps D autre part pour d autres pompes et tuyaux il faut recalibrer successivement pour les gammes ULTRA Abb 24 UL 100 PLUS Lacksuch Modul an Vakuumanlage mil elgenem Pumpsatz Fig 24 UL 100 PLUS leak detection module connected to a vacuum system K equipped with its own pump set Fig 24 UL 100 PLUS module d tecteur sur Installation vide quip e da son propre groupe de pompage M ULTRA FINE und GROSS sieh
157. mpage primaire externe il faut tenir compte du d bit volume de ce groupe pour l affichage quantitatif du taux de fuite voir section 2 4 7 ll est ventuellement n cessaire de recalibrer le module d tecleur Si l on utilise cependant le groupe de pompage de flux partiel le calibrage reste valable pour toute la gamme tendue des pressions La Premi re op ration de UL 100 PLUS apr s sa mise en circuit est la mont e en r gime automatique La pression du v de primaire py 4 22 et la pression d admission pg 4 23 sont indiqu es sur Faffichage combin 4 3 La d tection peut commencer quand la mont e en r gime est termin e L affichage combin 4 3 commute alors sur affichage de taux de fuite et montre ainsi la disponibilit de l appareil L vacuation d une pi ce raccord e au d tecteur UL 100 PLUS est amorc e en ap puyamt bri vement sur la touche START 4 24 L affichage d tat vert 4 1 s allume simultan ment l affichage combin revient sur affichage de pression La pression d admission d croissante pg pi ce est indiqu e sur l chelle 4 23 de l at fichage combin 4 3 Lorsqu cette pression d admission pg devient inf rieure 0 2 mbar l affichage combin 4 3 revient auto matiquement sur affichage de taux de fuite La pi ce est ensuite asperg e avec de l h lium Si la pi ce pr sente une fuite l h lium peut y p n trer gr ce la diff rence des pressions Ce gaz arrive
158. mpen oder Schl uche die Kalibrierung im Bereich p 0 2 mbar Pumpsatz Pump set Groupe de pompage Abb Fig 24 42 has fully run up further operation is carried out only via the START 4 2 and STOP VENT 4 2 pushbuttons A connected test object is evacuated by the partial flow pump set 2 7 by briefly pressing the START pushbutton 4 24 Note When the test object has been connected cor rectly and evacuated the green LED 23 1 on the electronics unit of the solenoid valve will come on If the red LED is on check that the changeover switch within the electronics unit of the solenoid valve is set to remote po siion S Details are given in Operating Instructions GA 06 202 The changeover Switch must be in position S At an inlet pressure of 100 mbar the gross leak valve V 1 2 is opened automatically GROSS ses Fig 2 The UL 100 PLUS is then ready for leak detection This is also indicated by the change from pressure indica tion to leak rate indication on the remote con trol unit Fig 4 Due to the partial flow ratio it is now possible to detect leak rates down to 1 10 mbar ls Automatic switch over occurs when the pres sure drops Valve V 1 2 closes and valve V 1 opens when pe lt 0 2 mbar FINE see Fig 2 Due to the smaller partial flow ratio the leak rate range down to 10 mbarl s is now available By activating key No 3 see Section 2 2 13 1 or by operating the Manua
159. mpli lectrom trique ast sup rieur 90 mV Cf sous CONT Normalement l ofiset est d env 50 mV ERO9 La source d ions est d feclueuse rupture des deux cathodes ou d faut dans l alimentation du Spectrom tre de masse ER10 Signale une erreur dans la m moire tampon aliment e par pile Le r glage par d faut est alors adopt Ce message d erreur n est indiqu que pendant la phase d initalisation dans l alternance ER 10 INIT ER21 Pendant la mont e en r gime SNIF la pression d admission pg n est pas atteinte pendant les 2 min apr s la mise en circuit Causes probables Fuite au raccord vide entre la bride d admis sion et le renifleur Fuite de la conduite du neu Buse du renifleur d fectueuse voir CONT Apr s l indication d un d faut dans l affichage d tavd erreur l affichage commute p riodi quement entre message d erreur et la derni re indication d tat La DEL d indication d erreur 4 20 clignote en m me temps CONT Apr s la correclion d une erreur si l affichage M Status Display die Meldung CONT im Wechsel mit der letzten Fehlermeldung 80 kann der UL 100 PLUS durch ein oder zwei maliges kurzes Bet tigen der Taste START 4 24 zum Weiterarbeiten gebracht werden Anschlie end befindet sich der UL 100 PLUS nach ol n tigem Hochlauf im Stand By Lecksuchmadus STBY 2 7 3 Abgleich der Massenpositlon Um die maximale Empf
160. mpose d un crible m tallique et d une ouate filtrante coll e Remplacer le filtro Montage Engager le nouveau filtre dans le premier rall de guidage le rail le plus proche de la paroi lat rale Fixer la ligne de terre la prise de la paroi lat rale Poser la paroi lat rale de telle sorto que la pi ce 28 4 avec tube d air s enclenche dans la rainure qui reste derri re le filtre air Pousser prudemment la paroi lat rale vers le haut et l installer dans le b ti Fermer les fermetures rapides 3 2 4 Remplacement de la source d ions Outils n cessaires tournevis 1 0 x 5 5 mm cl pour vis six pans creux No 4 Mettre UL 100 PLUS hors circuit Retirer la fiche secteur de l appareil Retirer la paroi lat rale au dessus du panneau des connexions lectriquea comme indiqu dans la section 3 2 3 Abb Fig 28 berwurfmutter 29 6 l sen und die Steck verbindung 29 5 von der lonenquelle 29 4 abziehen Vier Innensechskantschrauben 29 3 aus schrauben und den Aluminiumflansch abneh men Eine Innensechskantschraube 29 3 in das Abdr ckgewinde 29 7 der tonenquelle 29 4 einschrauben und so den Flansch 29 8 der lonenquelle vom Massenspektro metergeh use 29 2 abdr cken lonenquelle 29 4 aus dem Massenspektro metergeh use 29 2 herausnehmen Hinweis Zwischen dem Flansch der lonenquelle 29 8 und dem Massenspektrometergehause 29 2 befindet sich eine Kunststoff Fla
161. ms Headset socket Lock for carrying chain Exit acoustic signal Hex scraws Blind plata far lest connection Multl function Interface behind tha flap gende de la fig 11 Unit de commande Commutateur cl pour le verraulllage de programmes test Raccordement pour casque d coute Verrou pour cha ne de suspanslon Sortle signal acoustique Vis six pans creux Obturateur pour raccard test Interface mutiifanction derri ra le clapet Abb 1T Fig 11 Fig 11 Bedienainheit und Testanschlu Remote control unit and test connactlon Unit de commande et raccords test M 2 213 1 Schl sselschalter An der Bedieneinheit 11 1 vom UL 100 PLUS ist seitlich ein Schl sselschalter 11 2 angebracht Mit sechs verschiedenen Schl sseln lassen sich Pr fprogramme und Betriebsarten ein Stellen Aktivieren Entsprechenden Schl ssel in den Schlitz des Schl sselschalters 11 2 der Bedieneinheit 11 1 bis zum Anschlag einschieben Taste ENTER 4 13 bet tigen _ Zero Indikator LED 4 21 blinkt 3x lang Schl ssel abziehen L schen Entsprechenden Schl ssel in den Schlitz des Schl sselschalters 11 2 der Bedieneinheit 11 1 bis zum Anschlag einschieben und anschlie end Taste ENTER 4 13 bet tigen Null Indikator LED 4 21 blinkt 6x kurz Schl ssel abziehen Beim Ausschalten des UL 100 PLUS werden die Eingaben die ber die Schl sselfunktionen 1 2 und 6 eingegeben
162. mschlossen werden da durch die Anschlu Dichtung Helium diffundieren und zu einer Untergrundanzeige f hren k nnte 2 4 4 Besonderheiten bei gro em Volu men eines Pr flings Die Pumpzeit des UL 100 PLUS vergr ert sich nicht proportional zum Pr flingsvolumen sondern proportional zur inneren Oberfl che Dies liegt daran da je nach Oberilachenbe schaffenheit gro e Mengen Feuchtigkeit ge bunden sein k nnen Daher kann die Pumpzeit z B durch Rostan satz erheblich verl ngert sein Um geringe Pumpzeiten zu erhalten sollen Volumen ber 5 Liter nur mit ext Teilstrompumpsatz gepr ft werden Siehe hierzu auch die Beiriebsart 4 und die Betriebsart 3 in Abb 20 2 45 Besonderheiten bei kleinem Volu men elnes Pr flings Bei kleinen Pr flingen soll m glichst mit einer Spr hpistole mit feiner Spitze gearbeitet wer den Damit wird vermieden da Helium gleichzeitig durch mehrere Lecks in den Pr f fing eindringen kann Gegebenenfalls Leck ge m Abb 21 abschirmen Abb 22 Integrale Lecksuche Fig 22 Integral leak detecilon Fig 22 Recherche de lulie int grale 2 4 3 2 Determinetlon of Response Time To determine the response time a calibrated leak is connected to the test object at the point furthest away from the test connection The leak rate indicated is that of the calibrated leak The calibrated leak is closed and simul taneously the time is measured until the leak rete indicated on the UL 10
163. mter Tasten der Bedieneinheit siehe Abb 4 erh lt man auf der alphanumerischen Status und Fehleren zeige 26 1 folgende Zusatzanzeigen Taste Autoamatik Triggerlogik 4 18 zyklische Anzeige der Betriebsstunden und Kennung des Servicemodes OPERA TION TIME xxxxHOURS and xMINUTES und SERV Der Abbruch der zykl An zeige erfolgt mit einer beliebigen Taste Taste ENTER 4 13 zyklische Anzeige von Offset Vorverst rker Kalibriertaktor Turbopumpendrehzahl und Kennung des Servicemodes VARIABLES OFA ox CAL xxxx TMP xxx RPM und SERV Der Abbruch der zykl Anzeige ertolgt mit einer beliebigen Taste Taste Zero 4 14 zyklische Anzeige Ger tenummer und Ken nung des Servicemodes IDENT NUMBER D oooocoox und SERV Der Abbruch der zyk Anzeige erfolgt mit einer beliebigen Taste Taste Hand 4 8 f r zur Anzeige und Einstellung von PE PV Baudrate Zeit und Datum Zyklische An zeige einer Zahl 0 255 die dem Einla druck entspricht PE af Mit der Taste Hand 4 8 kann die Anzei ge zwischen Vorvakuumdruck PN Ay und EinlaBdruck PE xxx hin und hergeschaltet werden Nach Austausch einer R hre PE oder PV ist bei Atmosph rendruck der Sollwert aut 246 abzugleichen Taste ENTER 4 13 bedingt den Abbruch der zykl Anzeige Hinwels Bei Abgleich von PV TMP ausschalten 50 Display of the helium leak rate provided the vacuum pressure of the TMP is correct by p
164. mu vor dem Einschal ten des UL 100 PLUS der Schl ssel Nr 4 ge steckt sein Diese Lecksuchbetriebsart setzt voraus dafi am TestanschluA w hrend der gesamten Betriebsdauer des UL 100 PLUS ein Druck von pg lt 0 2 mbar herrscht Nach dem Hochlauf kann im Zustand STBY der Schl ssel Nr 4 wieder entfemt werden In der Betriebsart des UL 100 PLUS ohne Pumpmodul sind die Ventile V1 und V2 immer ge ffnet vorausgesetzt der Einla druck ist lt 0 4 mbar Der Zustand STAND BY unterscheidet sich vom Zustand MEAS dadurch da die Leck ratenanzeige ausgeschaltet ist berschreitet der Einla druck den Wert 0 4 mbar wird V1 automatisch geschlossen die lonenquelle abgeschaltet und auf dem Statusdisplay die Fehlermeldung ERO1 max Vorvakuum druck berschritten angezeigt Zur Wiederaufnahme des Lecksuchbetriebes ohne Pumpmodul ist in diesem Fall das UL 100 PLUS Lecksuchmodul auszuschalten und dann erneut mit eingestecktem Schl ssel Nr 4 in Betrieb zu nehmen Schl ssel Nr 5 Schl ssel Nr 5 erm glicht das Messen von Lecks bei einem Einla druck von pg 100 mbar mit einer beliebigen extemen Vorpumpe Der UL 100 PLUS ist somit in der Lage ein Autoranging f r Me werte von 10 mbarls bis 1 109 mbarts durchzuf hren in Ab h ngigkeit vom Saugverm gen der Vorvaku umpumpe Zur Aktivierung den Schl ssel Nr 5 in den Schl sselschlitz der Bedieneinheit stecken und im STBY VENT oder MEAS Mode des U
165. n der Taste START Durch Dr cken der Taste STOP erfolgt in der Statusanzeige im Servicefeld die Anzeige STBY es kann nicht geflutet werden Taste CAL 4 11 3x kurz dr cken Taste ENTER 4 13 dr cken und somit den Vorgang best tigen 2 4 7 4 Lecksuchmodul mit anderer Vorvakuumpumpe am Vorvaku umanschlu Nachdem das Lecksuchmodul vom Pumpmo dul gel st wurde steht an der Unterseite des Lecksuchmoduls ein Kleinflansch DN 16 KF zum Anschlu beliebiger Vorpumpen zur Verf gung siehe Betriebsart 1 in Abb 20 Dabei ist lediglich zu beachten da der Anschlu von Pumpen mit einem Saugverm gen von mehr als 16 m h nicht sinnvoll ist da durch die Drosselwirkung des DN 16 KF Flansches dieses Saugverm gen nicht am Einla3 des Lecksuchers wirksam werden kann Die Abiaufsteuerung des Lecksuchers bleibt in dieser Betriebsweise erhalten d h die Be dienung erfolgt in der blichen Weise ULTRA FINE and GROSS see Section 2 6 in that order 2 4 7 3 Leak Detection Module without Pump Module The use of the leak detection module without the pump module see operating mode 2 in Fig 20 is useful in the following cases Servicing in vacuum systems having their own pumps On UHV systems at low pressures which are not to be contaminated by the oil of the backing pump H already installed pumps can be used as backing pumps The leak detection module is available as a selt conatined un
166. n beziehen sich auf das Lecksuch Modul In Verbindung mit dem Pump Modul Sicherheiteangaben Das Ger t erf llt Schutzkiasse nach VDE 0411 IEC 348 1 2 1 Physikalische Daten Kleinste nachweisbare Leckrate 240 mbar Lei Zeitkpnstante blindgeflanscht 1 58 Gr te anzeigbare Leckrate ohne Teilstrom Pumps 10 mbar s mit Teilstrom Pumpsatz 10 mbar s Max Einta druck 0 2 mbar Max Einla druck mit Teilstrompumpsatz 100 mbar Anzeigebereiche Me bereichsumfang ohne Teilstrom Pumpsatz 8 Dekaden Mefibereichsumfang mit Teilstrom Pumpsatz 11 Dekaden Leckraten Anzeige logarithmisch 2 Dekaden mit 15 Schritten je Dekade separate Exponenten Anzeige 0 1 mbar bis 100 mbar logarithmisch in 15 Schritten Einla druck Leak detection module with Remote control unit 1 1 Turbo molecular pump TURBOVAC 50 1 2 Mass spectrometer 1 3 Electronics unit 1 4 Valve block 1 5 Pump module with Backing pump TRIVAC D 1 6 B 1 2 Technical Data Note The technical data below relate to the leak detection module used in conjunction with the pump module Satety The instrument meets the specifications of protection class 1 according to VDE 0411 IEC 348 12 1 Physical Data Minimum detectable leak rate 23079 mbar Lei Time constant with blind flange 15s Maximum indicatable leak rate without partial flow pump set 10 mbar st with partial flow pump set 10 mbar i s Max inle
167. n the measuring range selector When the optional partial flow pump set is used the MANUAL pushbutton and the pa rameter pushbutton 4 6 may be used to ma nually switch over to the most sensitive UL TRA range see also Section 2 4 7 1 2 26 Pushbutton Auto Zero In the measurement mode an unwanted con stant background reading is supppressed by pressing the autozero pushbutton 4 14 once As of software release V 3 4 the Zero push button additionally affects the trigger outputs Section 2 2 8 and the analogue voltage out puts Section 2 2 13 6 The leak rate indication is automatically set to zero and the zero indicating LED 4 21 flas hes If the displayed helium background is in the lo wer part of a decade the next more sensitive range is selected Further switch aver to an even more sensitive range is then no longer possible A possible further reduction of the background will now be automatically accoun ted for by the adaptive background determina tion process H the auto zero pushbutton 4 14 is de pressed again the function is cancelled and any background is again displayed as leak rate 2 2 7 Multi Function Pushbutton Acou stic Signal Note Operation of this pushbutton is possible in all operating modes With the acoustic signal multi tunction push button 4 18 one can adjust the loudness or La valeur ost augment e en actionnant la touche 4 19 et diminu e par la
168. nderzubeh r Auspuffschlauch 5 5 x 2 75 PVC 128 02 158 Arctic l Flasche mit 1 I 200 28 181 Hinwels Zum Bel ften des UL 100 PLUS mit anderen Gasen als Umgebungsluft kann das Sinterfil ter am Ventilblock Bel ftungsventil V3 gegen eine Schlauchverschraubung mit Schlauch ausgetauscht werden Ben tigt wird Schlauchverschraubung M 5 f r Schlauch 5 x 1 Schlauch 5 x 1 Meterware 200 23 010 128 20 140 Calibrated leak TL 4 6 155 80 Helium Sample Probe QUICKTEST QT 100 155 94 Helium Standard Sample Probe ST 100 155 90 Sniffer line for QUICKTEST 5 m 155 77 Sniffer line for QUICKTEST 20 m 155 76 Partial flow pump set 165 44 Spare ion source 165 04 Special accessories Exhaust tubing 5 5 x 2 75 PVC 128 02 158 Arctic oil bottle with 1 200 28 181 Note For venting of the UL 100 PLUS with gases other than air the sinter filter in the valve block venting valve V3 may be exchanged for a Screw on hose coupling with hose For this the following parts are required Screw on hose coupling M 5 for hose 5 x 1 Hose 5 x 1 specify length 200 23 010 128 20 140 155 80 Fuite calibr e TL 4 6 Renifleur h lium QUICKTEST QT 100 155 94 Renifleur h lium standard ST 100 155 90 Conduite du renifleur QUICKTEST 5 m 155 77 Conduite du renifleur QUICKTEST 20 m 155 76 Jeu de pompes en r gime flux partiel 165 44 Source d ions de rechange 155 04 Accessoire sp cial Tuyau d chappement 5 5 x 2 75 PCV 128
169. nnant bri vement lt 2 s la touche STOP VENT et apr s la correction d un tat d erreur Les robinets V1 et V3 sont ferm s V2 est ouvert La pompe turbomol culaire toume 83 000 T min EVAC Apparait apr s l actionnement de la touche START 4 24 si l appareil tait pr c de ment en mode Stand By STBY ou remise l air VENT Les robinets V2 et vs sont ferm s V1 est ouvert En r gime flux partiel avec robinet flux partiel raccord V1 V1 2 et V3 sont ferm s et V2 et Va Sont ouverts MEAS Appra t apr s l vacuation EVAC lorsque la pression tombe en dessous de 0 2 mbar l admission ou en r gime flux partie sous 100 mbar et que le taux de fuite est affich sur l unit de commande Les robinets V1 et V2 sont ouverts V3 est ferm Lorsqu on travaille en flux partie avec robinet flux partiel raccord pour une pression d admission de 100 mbar gt pg gt 0 2 mbar V1 et V3 sont ferm s et V2 V1 2 et V sont ouverts Pour une pression d admission de Pe lt 0 2 mbar V1 V2 et Von sont ouverts V3 et V1 2 sont ferm s VENT Apparait apr s a remise l air de la zone d admission et apr s avoir quitt l tat de d tection MEAS en actionnant longtemps gt 2 s la touche STOP VENT 4 2 Les robinets V2 et V3 sont ouverts V1 V1 2 et Vex sont ferm s CAL CAL apparait pendant le calibrage 2 7 2 Messages d erreurs Les divers messages d erreurs o
170. nswelse UL 100 PLUS wie in Abschnitt 3 3 2 be schrieben ffnen Mit Hilfe eines speziallen IC Auszieher oder einer abgewinkelten Pinzette sind nun die bei den EPROM Bauateine 31 4 und 31 5 vor sichtig aus der Fassung herauszuhebeln Abb 25 bzw Best ckungszeichnung CPU BIMO1 Nr 200 27 290 Das 1 EPROM 31 5 der neuen Software Version mit der Bezeichnung B 4 3 R2 x ist in Position D14 unmittelbar neben dem Mikro prozessor D13 TMS 9995 in der gleichen Richtung wie dieser die stimseitige Kerbe 31 8 muB in die gleiche Richtung zeigen einzustecken Erl uterungen zur Abb 31 Mikrocomputartelterkarte Stecker X4 Stecker X3 D15 Vx xx D14 B4 Vx xx Stecker X1 Stecker X1 1 Austeusch EPROM s X c ucoaogNM a ey to Fig 31 Microprocessor pcb Plug X4 Plug X3 D15 Ne wn 014 84 vx Plug X1 Plug X1 1 EPROM s gende de la fig 31 Carte microprocesseur Ficha X4 Fiche X3 D15 cxx D14 Bd cxx Flche X1 Fiche X1 1 EPROM da ramplacemant cMOUCO AQ qri r coc uOoAa0N Abb 31 Lage der EPROMS auf dar Mikrocomputer Platina Position of the EPROMS on tha micropro cessor pcb Position des EPROMS sur a carte mlcro processeur Flg 31 Fig 31 hand side cover 30 4 and remove it Remove two hex screws 30 2 using the 5 mm Allan key Move the cover lid 30 1 20 mm in the di rection of the test connection Lift the cover lid 30 mm Move the cover
171. nt la significa tion suivante EROO Ce message appara t sur l affichage d tat du panneau de service en cas d erreur du Syst me Le message suivant se d roule continuellement sur l affichage EROO CODE xx LINE xx Value from 1 to 40 xxx Value from 1 to 32 767 L erreur du systeme peut ventuellement dis para tre automatiquement avec una nouvelle mise en circuit Si elle recommence il faut absolument consulter le S A V 53 ERO1 Es wurde ein h herer Vorvakuumdruck als 0 4 mbar festgestellt 2 B verursacht durch einen Lufteinbruch am Pr fling Zum Schutz der lonenquelle hat sich die Massenspektrometer Versorgung selbstt ig abgeschaltet siehe unter CONT ERO2 Es wurde ein Fadenbruch an der Thermovac Me stelle Einta pg festgestellt Service rufen ERO3 Es wurde ein Fadenbruch an der Thermovac Me stelle Vorvakuum py festgestellt Service rufen ERO5 W hrend des Hochlaufes ACCL wird der Vorvakuumdruck von py lt 0 1 mbar inner halb 3 min nach Inbetriebnahme nicht erreicht Fehierursachen k nnen sein das Pumpmodul fehlt der Vorvakuumbereich einschlie lich Vaku umkupplung enth lt ein grobes Leck die Vorvakuumpumpe l uft nicht an oder erreicht die Nenndrehzahl nicht die Ventilsteuerung arbeitet fehlerhaft siehe unter CONT ERO6 Die Drehzahl der TMP 50 liegt unterhalb 63 000 min siehe unter CONT ERQ7 Der Offse
172. nt pr vues pour connexion avec des indicateurs de valeur limit p ex BON REJETE Voir la sectio 2 2 8 pour la programmation et la fonction de sorties triggers Les contacts de relais sont soi tis sur le connecteur multifonction et la prise d sortie de relais avec les affectations suivantes Logique standard fonctlon normale Interface multifonction 12 1 ou fig 13 PIN No 10 et 11 contact de travail du trigger 1 PIN No 12 et 13 contact de travail du trigger 2 Sortie relais 12 3 ou fig 14 PIN No 2 et 3 contact de travail du trigger 1 PIN No 4 et 5 contact de travail du trigger 2 Erl uterungen zur Abb 14 Key to Flg 14 L gende de la fig 14 1 nicht belegen 1 donot use 1 Libres 2 Trigger 1 Refals Ausgange 2 Trigger 1 Relay outputs 2 Trigger 1 sortles de releis 3 Trigger 1 Relals Ausg nge 3 Trigger t Relay outputs 3 Trigger 1 sorties de relais 4 Trigger 2 Relais Ausg nge 4 Trigger 2 Relay outputs 4 Trigger 2 sortles de relais 5 Trigger 2 Relals Ausg nge 5 Trigger 2 Relay outputs 5 Trigger 2 sortles de relais 8 Leckralensignal 8 Leak rale signal 6 Signal taux de fuite 7 MeBbereich Signal Expanent 7 Measurement range exponen 7 Signal gamme de mesure exposant OV 100 mbar ts 0V 100 mbar OV 100 mbar s 8V 10 19 marie 9v 10 10 mbar4s 1 av 10710 mbars 8 ElnlaBdruck pg 8 Inlet pressure pe 8 Pression d admission pg 8 Bezugsmasse 9 Reference ground Leak
173. o ensure that every pin is properly inserted in the socket 3 3 4 Reassembly of the Microprocessor PCB Bring the microprocessor pcb back to tho ini tial position with the components facing down wards insert the microprocessor pcb into the guide grooves of the cover lid 30 1 Possibly the Pertinax spacer has fallen out and if so it must be inserted into the same guide grooves before inserting the microprocessor pcb Before placing the cover lid on the slotted guides it is advisable to check the seating of all the connectors Push tha cover lid in the direction of the side cover using a little pressure so that the cover is pushed back into the initial position Screw in two hex screws 30 2 and tighten them with the 5 mm Allan key Again attach the side cover For testing of the new software release switch on the UL 100 PLUS es usual First look at the status display to see if the right software release is indicated Then after reaching the STBY status tho new functions as describ ed in Section 2 must be executable Please return the old EPROMS to your local LEYBOLD sales or service office 8 4 Service The status report provides important informa tion on the internal status of tho UL 100 PLUS in the case of servicing However the status report can only be output via the RS 232 C interface For this refer to the interface de scription given in the Service Manual SB 10 207 General Remarks
174. odule d tecteur Ouvrir les fermetures rapides 30 3 de la pa Erl uterungen zur Abb 30 1 Abdackhaube 2 Innansechskantschraube 3 SchnellverschtuB 4 Rechte Seltenwand Key to Fig 30 1 Gover lid 2 Hex screws 3 Rapid lastener d Right hand cover L gende de la fig 30 1 Cepot 2 Vis six pans creux 3 Fermeture rapide 4 Parol lat rala Abb 30 Otinen des UL 100 PLUS zum Ausbau der Mikrocampulerplatine Fig 30 Opening the UL 100 PLUS for accessing the microprocessor pcb Flg 30 Ouverte de la paroi lat rale pour d monter la carta microprocesseur M tenwand 30 4 ffnen und Seitenwand ent temen 2 innensechskantschrauben 30 2 mit 5 mm Schl ssel entfernen Abdeckhaube 30 1 des Lecksuchmoduls in L ngs Testanschlu richtung ca 20 mm ver schieben Abdeckhaube ca 30 mm anheben Abdeckhaube weiter in L ngsrichtung ver schieben und in den Nuten eingeschobene Mikrocomputerleiterkarte vorsichtig heraus gleiten lassen bis die Abdeckhaube entfernt werden kann Die Mikrocomputerleiterkarte vorsichtig um drehen um die Bauteilessite erreichen zu k nnen 3 3 3 Austausch der Programm EPROMS Ben tigtes Werkzeug und Material Innensechskant Schl ssel 5 mm Flachschraubendreher mit 5 mm Klingen breite IC Auszieher oder Flachschraubendreher mit 3 mm Klingenbreite o abgewinkelte Pinzette Satz bestehend aus zwei EPROMs mit neuer Softwareversion Vorgehe
175. olume LED 4 17 lights up The volume of the acoustic signal can then be eltered with the parameter pushbuttons 4 19 or 4 6 The volume is in diceted by successive lighting of the LEDs 4 3 from bottom to top Finally depress the ENTER pushbutton 4 13 at the end of entry This adjustment can be terminated by pressing pushbutton 4 18 once or twice 2 2 8 Multi Function Pushbutton Trig ger and Calibration Note Operation of this pushbutton is only possible in the stand by or the measurement mode 2 2 8 1 Trigger 1 and Trigger 2 Normal With the aid of the functions Trigger 1 and Trigger 2 a floating contact is switched at the multi function Interface in each case upon reaching a specific leak rate The outputs Trigger 1 and Trigger 2 at the multifunction Interface see Section 2 2 13 2 can be used by the UL 100 PLUS operator as desired The leak rate velue at which the floating con tacts at the multi function Interface operate can be selected freely by the operator For this purpose tho Trigger 1 or 2 function must be selected by depressing the mutt function pushbutton TRIG CAL 4 11 once or twice respectively This is indicated by the LED 4 9 or 4 10 Using the parameter pushbuttons 4 19 and 4 6 the trigger threshold can then be altered as desired The value entered is indicated dur ing this setting procedure together with the exponent by the relevent individual L
176. omme indiqu dans le tableau 1 lors que la fonction est invers e les seules pi ces signal es comme acceptables sont celles dont la mesure est effectivement sous le seuil trigger du taux de fuite Les erreurs de l appareil ne peuvent plus tre interpr t os comme des pi ces apparemment tanches Pour inverser la logique trigger il faut actionner la touche automat trigger log 4 18 pen dant le r glage des triggers L affichage com bin 4 3 et les sorties pour trigger 1 et 2 de l interface multifonction CF sec 2 2 13 2 sont alors invers es l On reconna t ce mode par la repr sentation invers e de la ligne DEL 4 3 La DEL de la valeur du trigger n est plus allum e Les sorties ne travaillent plus comme contacts de travail mais comme contacts de repos Le tableau 1 indique les tats de commutation des relais _ Funktion Invers Relais 1x EIN Kontakt offen REJECT Relais abgefallen Kontakt offen REJECT Kontakt offen REJECT Relais abgefallen Kontakt offen REJECT Relais angezogen Kontakt geschlossen ACCEPT Leckrate gt Triggerschwelle Relais angezogen Relais abgefallen Kontakt geschlossen REJECT Kontakt offen REJECT Fonction inverse Relais 1x MARCHE Contact ouvert REJECT Relais d sexcit Contact ouvert REJECT 2 Rupture de c ble Contact ouvert ACCEPT Contact ouvert REJECT 3 Appareil en circuit Mont e en r gime 4 Appareil en ci
177. ompe primaire et par la compression de la pompe turbomol culaire Une pompe vide rotative palettes TRIVAC D 1 6 B sert de pompe vide primaire pour le d tecteur UL 100 PLUS Toutes les caract ris tiques et indications n cessaires sont donn es dans le mode d emploi GA 01 200 1 33 Pompe turbomol culaire A partir de la pression h lium fournie par la pompe primaire la pompe turbomol culaire tablit dans le spectrom tre de masse la pression h lium qui y sera d tect e La stabi lit de la compression pour ce gaz de la pompe mol culaire le permet Sa valeur d termine avec le d bit de la pompe vide primaire la sensibilit du dispositif La pompe turbomol culaire est uno TURBO VAC 50 Le mode d emploi GA 05 100 con tient toutes les caract ristiques techniques et informations n cessaires 1 3 4 Spectrom tre de masse Cet appareil se compose principalement d une source d ions d un syst me de s paration magn tique et d un collecteur d ions La source d ions ionise les particules de gaz neutres par bombardement lectronique en cr ant un faisceau ionique Les ions de charge positive sont attir s par le potentie n gatif du diaphragme d extraction 3 10 ls sortent donc de la source d ions et arrivent dans le champs magn tique 3 8 o ils sont d vi s selon une trejectoire circulaire au rayon d fini Seuls les ions h lium M 4 parviennent passer le syst me de s paration et a
178. ompensation se fait de la fa on suivante pour toutes les masses Raccorder la fuite calibr e l admission et enfoncer la touche START 4 24 pour parvenir dans l tat MEAS Placer le s lecteur 26 11 du panneau de service sur la masse d sir s R gler le potentiom tre 26 12 corres pondant la masse choisie avec un tournevis sur l affichage maximal tout der glage du potentiom tre diminue alors la valeur affich e Fermer ensuite la fuite calibr e et v rifier que l affichage diminue pour les masses 2 et 3 un affichage r siduel peut rester en raison d un fond naturel du d une pression partielle relativement importants pour la masse 4 la DEL 0 4 21 doit s allumer 55 M 3 Wartung 3 1 Wartungsplan Die Wartung am UL 100 PLUS ist bei Bedarf durchzuf hren Sie beschr nkt sich im allge meinen auf das Wechseln des Ols in der Vor vakuumpumpe sowie euf das Wechseln der lonenquelle Hinweis F r AuBentemperaturen von ca 10 C bis kleiner 18 C solite die Drehschieberpumpe D 1 6 B mit Arctic l get llt werden Nur dann ist bei desen Temperaturen ein problemloser leichter Anlauf m glich 3 2 Wartungsarbelten 3 2 1 Vorpumpe TRIVAC D 1 6 B F r alle Wartungsarbeiten der Drehschieber Vakuumpumpe TRIVAC D 1 6 B wird auf die GA 01 200 verwiesen 3 2 2 Turbo Molekularpumpe TURBOVAC 50 Die im UL 100 PLUS eingebaute Turbo Mole kularpumpe TURBOVAC 50 ist wartungsfrei
179. on de masse 55 3 Wartung ene ewe 56 3 1 Wartungsplan 2 56 3 2 Wartungsarbeiten 56 3 2 1 Vorpumpe TRIVAC D 1 6B 56 3 2 2 Turbo Molekularpumps TURBOVAC 50 56 3 2 3 Luftfilter wechseln 3 2 4 Wechsel der lonenquelle 9 3 Softwareumr atung f r Softwareversionen sb V 2 0 56 3 3 1 Identifikation der Software des UL 100 PLUS 58 3 3 2 Ausbau der Mikrocomputer le terkarts Haies de 58 3 3 3 Austausch der Programm _ EPROMS 59 3 3 4 Einbau der Mikrocomputer leiterkarte 60 3 44 Service 60 1 Beschrelbung 1 1 Allgemeine Angaben Diese Gebrauchsanweisung enth lt wichtige Informationen zum Verst ndnis zur Aufstel lung Inbetriebnahme und Betrieb Fehlersu che und zur Wartung des Helium Leck Detek tors UL 100 PLUS Wichtige Anweisungen die die technische Si cherheit und den Betriebsschutz betreffen sind durch Kennzeichnungen hervorgehoben Vorsicht steht bei Arbeits und Betriebsver fahren die genau einzuhalten sind um eine Gef hrdung von Personen auszuschlie en Achtung bezieht sich auf Arbeits und Be triebsverfahren die genau einzuhalten sind um Besch digungen oder Zerst rungen des Helium Leck D tektors UL 100 PLUS zu ver meiden Hinwels gilt f r technische Erfordemisse die der Benutzer besonders beachten muB Abbildungshinweise z B 4 14 geben mit der
180. on Plug the power lead into the power socket 8 5 and connect it to the mains The UL 100 PLUS can now be switched on by oparating ON OFF power switch B 7 2 2 1 2 ON OFF Power Switch By oparating tho power switch 8 7 the UL 100 PLUS is switched on The UL 100 PLUS starts with the automatic run up of the turbo pump After approx 3 min the UL 100 PLUS is ready for operation Note During initial operation or after a prolonged standstill period the run up time may be ex ceeded The error LED will start to flash This is simply acknowledged by pressing the START pushbutton If the power switch is depressed again the UL 100 PLUS is switched off see sect 2 5 After running up the UL 100 PLUS reverts to the same operational status it had when switched off seo section 2 2 10 2 2 1 3 Mains Outlet for Auxiliary Equip ment Auxiliary equipment with a low power rating max 1 A i e the QT 100 Helium sample probe may be connected to the mains outlet socket 8 6 which carries the same voltage as supplied through power socket 8 5 Note The socket 8 6 is not disconnected from the Mains when switching off It always carries the mains voltage 2 2 2 Pushbuttons START STOP VENT Pushbutton START Once the UL 100 PLUS has been switched on via the power switch and the run up has nit ULI UEL sur la fiche combin e 8 3 en haut en face de la marque 8 4 Pour r gler la ten
181. on den Magnetverschl ssen 6 6 abgehoben und nach unten herausgenommen Jetzt k nnen beide Fl gelschrauben 6 2 und 6 4 hochgeklappt und durch eine Rechts drehung geschlossen werden Das Lecksuch Modul ist nun vakuumdicht mit dem Pump Modul verbunden Abdeckblech 7 1 schr g an das Pump Modul 7 2 ansetzen und unten gegen die Magnetverschl sse 6 6 andr k ken Beim Trennen des Lecksuch Moduls vom Pump Modul ist entsprechend in umgekehrter Reihenfolge vorzugehen Die im Pump Modul eingebaute Drehschieber Vakuumpumpe ist betriebsbereit mit l gef llt Erl uterungen zur Abb 8 Typenschild TRIVAC D 1 8 8 Verriegelung f r Vakuum Kupplung gedifnet Lecksuch Modul Verriagalung f r Vakuum Kupplung geschlossen Pump Modul Magneiverschlu X on SA d AM A ey to Fig 6 Name plate TRIVAC D 1 8 B Locking device lor vacuum coupling open Leak detactlon module Locking device lor vacuum coupling closed Pump module Magnetic fastenar gende de la fig 8 Plaque Signal tique de TRIVAC D 1 68 Verrouillage de l accouplement sous vide ouvert Module d tecteur Verrouillage de l accouplement sous vide lerne Module pompe Verrou magn tique AM AWK OO A aM Abb Fig 5 2 1 2 Preparations for Initial Start Up The UL 100 PLUS is supplied in ready to operate condition The pump module is al ready connected to the leak detection module If these two modules are still separate the leak detection module
182. on of any type of suitable backing pump see operating mode 1 in Fig 20 It should be noted that the connection of backing pumps with volume flow rates exceeding 16 m tr1 is not of additional advantage as higher volume flow rates cannot be effective at the inlet due to the throttling effect of the DN 16 KF flange In this operating mode all funtions of the leak detector remain unchanged so that the unit can be operaled as usual FINE et GROSS Cf section 2 6 2 4 7 3 Service du module d tecteur sans module pompe L utifisetion du module d tecteur sans module pompe CF mode de service 2 dans la fig 20 est int ressante surtout dans les cas suivants intervention dans des installations vide ayant leurs propres pompes installations UV avec basses pressions qui ne doivent pas tre contamin es avec l huile de la pompe primaire lorsque les pompes palettes rotatives d j install es peuvent tre utilis es comme pompes primaires Le module d tecteur est disponible en tant qu unit ind pendante sous la r f 155 83 Dans le cas des installations UV elles ne sont pas du tout raccord es une pompe primaire et restent donc exemptes d hydrocarbures Proc der de la fa on suivante pour utiliser le module d tecteur de cette mani re S parer le module d tecteur du module pompe en rel chant les deux fermetures rapides Equiper le raccord pr vide du module d tecteur avec une bride av
183. on the service panel 26 1 displays alternatingly ACCL SNIF the UL 100 PLUS was in the sniffer mode before switching off The inlet is evacuated display EVAC the standby mode is skipped and SNIF is displayed Status LED 4 1 lights green Exponent and zero indicator LED 4 21 go out Display of dropping inlet press De 4 23 The status display on the service panel 26 1 indicates EVAC As soon as the inlet pressure De has dropped below 0 2 mbar the combination display 4 3 Switches to leak rate A short pip s sounded Display of the leak rate The status display on the serv ce panel 26 1 indicates MEAS The status LED 4 1 lights red The leak rate display goes out Exponent and zero indicator LED 4 21 light up Venting valve opens audibly See No 6 After the response time has elapsed the leak rate if any is displayed See No 7 d Status LED 4 1 goes out The leak rate display goes out Exponent and zero LED 4 21 are on OU 2 3 Mise en service et vacuation d une pl ce Remarque Les positions num ro 1 3 et 4 sont ex cuter pour la premi re mise en service Etape Activit Indication R action 1 Installation de UL 100 PLUS comme dans la section 2 1 2 Alimenter UL 100 PLUS avec la tension secteur n cessaire ms 3 Basculer l unit lectronique CF section 2 7 Commutateur fente 26 2 sur NORMAL V rifier la position de base des interrupteurs Tous les commu
184. onen Gasatome durch Sto Die positiven Gasionen werden durch die Ex traktorblende 3 10 aus dem Anodenraum ge zogen Zur Vermeidung von polymerisierten Kohlen wasserstoffablagerungen isolierende Schich len die die Empfindlichkeit beeintr chtigen k nnen wird die Anode st ndig geheizt Die Katoden bestehen aus lridiumband das mit Thoriumoxid beschichtet ist Wegen ihres Thoriumbelages arbeiten diese lridium Gl h f den mit einer viel niedrigeren Temperatur als Woifram Gl hf den und haben eine ausge zeichnete Widerstandsf higkeit Durchbrennsi cherheil gegen Verspr dung O2 H20 Dampt und KW Stoffe Achtung Halogene oder halogenhaltige Substanzen k nnen unter Umst nden die Lebensdauer der Katoden ung nstig beeinflussen 1 3 8 lonenf nger und Verst rker Die positiven Helium lonen die auf den tonen f nger 3 5 treffen erzeugen im hochohmigen Eingang des Verst rkers einen Strom Nach Verst rkung und Wandlung erscheint das Si te gnal auf der Kombi Anzeige 4 3 als Leckra 13 5 lon Source The electrons emerging from the cathode 3 1 or 3 3 are attracted by the positive an ode 3 2 However they do not immediately reach the anode but travel to and fro between the cathode and the shield 3 11 until finally reaching the wire spiral of the anode In this path the electrons ionize gas atoms through impact The positive gas ions are extracted from the anode space by the extractor screen
185. ontrollieren ob der Mikro Umschaiter in der Elektronikeinheit des Magnetventils auf Remote Stellung S geschaltet ist Siehe hierzu die GA 06 202 Der Mikro Umschalter mu auf Stellung S stehen Bei einem EinlaBdruck von 100 mbar wird das Grobleck Ventil V 1 2 automatisch ge ffnet GROSS siehe Abb 2 Der UL 100 PLUS ist Lecksuchbereit Dies ist erkennbar durch den Wechsel von Druckanzeige zur Leckraten anzeige der Bedieneinheit Abb 4 Aufgrund des Teilstromverh ltnisses k nnen nun Leckraten bis 1 108 mbar s1 nachge wiesen werden Bei fallendem Einla druck erfolgt dann eine automatische Umschaltung Das Ventil V 1 2 schlie t und das Ventil V 1 ffnet bei pg 0 2 mbar FINE siehe Abb 2 Der Leckraten bereich bis 10 9 mbar steht nun infolge des kleineren Teilstromverh ltnisses zur Ver f gung Durch Aktivieren des Schl ssels 3 siehe Ab schnitt 2 2 13 1 oder durch Dr cken der Ta ste Hand und der Werteingabetaste kann die maximale Empfindlichkeit von 210 10 mbar l s erreicht werden ULTRA 2 4 7 2 Sonstige Pumps tze Grunds tzlich k nnen im Teilstrompumpsatz beliebige Drehschieberpumpen sowie auch andere Ventile und Schl uche verwendet wer dan siehe Betriebsart 4 in Abb 20 Dabei ist jedoch zu beachten da die Software nur mit den Magnetventilen Kat Nr 287 42 287 52 288 42 288 52 je nach Spannung und Geh usematerial zusammenarbeitet und au erdem bei Verwendung anderer Pu
186. panel will indicate ER21 To disable the snifter mode Insert key No amp into the slit of the key operated switch and press ENTER 4 13 The UL 100 PLUS goes to standby 2 2 13 2 Muiti Function Interface Below the remote control unit 11 1 there is a flap 11 8 which carries three sockets on its rear Multifunction interface 25 way 12 1 Recorder outputs 6 way 12 2 Relay outputs 9 way 12 3 Analog voltage outputs are provided for leak rate and measuring range identification as well as floating relay contacts for the two adjusta bie triggers for leak rate limit indication Mo reover a serial V 24 RS 232 C computer in terface is provided as standard The UL 100 PLUS is thus equipped for the connection of logging devices e g recorders and printers Details of the pin out of the multi function in terface 12 1 are given in the kay to Fig 13 13 12 11 10 9 8 7 RELAY OUTPUT 5 4 3 2 1 9 87 6 Abb Fig 12 MULTIFUNCTION 6 5 0000000000000 000000000000 1 25 24 23 22 21 20 19 18 17 18 15 14 RECORDER O Os La cl no 6 peut tre plac e pendant la mon t e en r gime en mode Stand By et pendant la remise l atmosph re Pendant la mont e en r gime il n est pas n cessaire de confirmer sa fonction avec la touche ENTER car la cl est automatiquement enregistr e Pour activer introduire la cl no 6 dans la fente de l unit de commande 11 1 et
187. pe Abb Flg 2 L gende de la tig 2 1 Spectrom tra de masse 2 Pompeturbomol cutelre TURBOVAC 50 3 Paint de mesure presston totale vide primaira d Polni da mesure pression totele admission 5 Raccord d edmisslon DN 25 KF 6 2e raccord test ou raccord du groupe de pompage de lux partiel DN 25 KF 7 Option Jeu de pompes en r gime flux partial 6 Option fulta catibr s i h llum TL 7 1 3 1 Description of the Leak Detection Principle Counterflow With the counterflow principle the test object is linked to the backing pump This permits considerably higher test object pressures compared to the conventional full flow principle The helium diffuses against the turbo molecular pump s pumping direction into the mass spectrometer while heavy gas s especially water vapors are restrained mass dependent compression capacity A cold trap in conjunction with liquid nitrogen is thus no longer needed 1 3 1 1 Valve positions The following table provides information in which way valve position and operating mode are related See also Fig 2 Mode Inlet pressure mbar Typ meas Valve GROSS p lt 100 FINE p lt 0 2 V1 2 closed ULTRA 2 10 10 V1 V2 open p lt 0 2 V1 2 closed Vgxr closed with extemal backing pump D 25 B Lecksuch Modul Leak detection module Module d tactaur 9 Raccord ON 25 KF pour la callbr e l h lium 10 Robinat d isolement chappement 11
188. pos es de bandes d iridium recouvertes d une couche de thorine qui autorise une temp rature nettement int rieure celle des filaments en tungst ne et les rend tr s r sistants imbr lables la porosit l oxyg ne la vapeur d eau et aux hydrocar bures Attention Les halog nes ou substances en contenant peuvent r duire dans certains cas la dur e de vie des cathodes 1 3 6 Collecteur d ions et amplificateur Les ions h lium positifs arrivant au collecteur 3 5 cr ent une tension sur l entr e fortement ohmique de l amplificateur Le signal converti et amplifi apparait sur l affichage combin 4 3 en indiquant le taux de fuite 11 1 4 Ausstattung 1 4 1 Lieferumfang Der UL 100 PLUS wird betriebsbereit ausge lietert Zum Lieferumfang geh ren zus tzlich Kat Nr Netzanschlu Leitung 2 5 m f r 110 V bei 2 5 m f r 220 V bei Dichtungs Set 200 28 021 Flach Dichtung 6 x DN 40 KF Flach Dichtung 4 x DN 25 KF Flachdichtung DN 16 KF 2 x Flachdichtung f r Vorverst rker 1 x Flachdichtung f r Auspuffilter 2 x O Ring f r Einla flansch 2 x O Ring f r Vorverst rker 3 x O Ring f r D 1 6 B 4 x O Ring f r Vakuumkupplung 2 x Dichtring f r Festo Verschraubung 2 x 155 B3 155 B2 896 38 drei O Ringe f r die Vakuumkupplung Zusatzflansch DN 25 KF Anschlu f r Teilstrom Pumpsatz Filterelement zum Auspuff Filter D 1 6 B Satz Sicherungsn
189. pressed with the auto zero pushbutton Resolution may be increased by connecting a chart recorder Section 2 2 13 6 or by output ting the leak rate through the V 24 interface 2 4 6 2 High Leak Rates When measuring high leak rates there is a danger of the test object and UL 100 PLUS becoming contaminated The measuring time should therefore be kept as short as possible A contamination of the test object makes itself felt through a background reading which may be read off on the combination display 4 3 and which may be suppressed by operating autozero pushbutton 4 14 if required See also Section 2 2 6 Note Contamination of the backing pump can be eliminated by opening the gas ballast valve 9 3 for severa minutes With high leak rates it is difficult to localize a leak because the leak sucks in helium from quite a distance It is therefore necessary to spray only a little helium with a fine nozzie A quantitative measurement is only possible if 10096 helium is brought in front of the leak Frequent leak rate measurements over values of 103 mbart s1 should best be carried out with a partial fiow pump set For this see oper ating mode 4 given in Fig 20 However brief measurement of leak rates up to 10 2 mbar s is possible without the par tial flow pump set 2 47 Special Leak Detection Proce dures The leak detection processes described below can be carried out with the leak detection mo dule in connec
190. pressure diffe rence enter the test object through any leak The hel um reaches the mass spectrometer within the response time The mass spectro meter ionizes the gas molecules separates them according to their mass to charge ratio and collects the helium ions mass number 4 The current which is proportional to the num ber of helium ions arriving at the ion collector 3 5 is amplified and shown on the combined indicator 4 3 as the leek rate To vent the test object the STOP push button 4 2 must be depressed for at least 2 s The status LED 4 1 then turns red and the test object is audibly vented whereupon it can be disconnected 1 3 Description technique Le d tecteur UL 100 PLUS permet non seule ment la d tection de fuites mais galement la d termination quantitative de leurs taux Le plus petit taux de fuite d h lium d celable se monte 271071 mbar s Le d tecteur UL 100 PLUS se compose de deux modules le module d tecteur et le mo dule pompe Il est pr t fonctionner la livraison et le mo dule d tecteur est adapt au module pompe et calibr I est possible d utiliser s par ment le module d tecteur pour d tecter des fuites sur des installations vide H faut alors s assurer que ce module soit raccord un endroit de l installation o la pression resta absolument inf rieure 0 2 mbar Remarque Lorsque le module d tecteur est employ seul avec un groupe de po
191. r Parameterspeicher 23 2 2 11 Gasballastventil 23 2 212 TestanschluB 24 2 213 Zus tzliche Bedieneinrichtungen 24 IMPORTANTI Before coneufting the Service Dept pleese declare for the sake of operational safety end environmental protection any toxic or other hezardous products e g as defined in EEC directive L 360 1976 1878 or VBG 16 existing in or around tha apparatus to be serviced conten Description 4 Le General PEE 13 1 Designation 5 1 1 2 Purpose 5 13 8 Rating Plate E 1 1 4 Modules sas ZS 12 Technical Data 8 1 2 1 Physical Data 6 1 2 2 Electrical Data vu 1 2 3 Other Data 7 13 Technical Description 8 1 3 1 Description of Leak Detection Principle Counterflow 9 13 1 1 Valve positions 4 9 1 3 2 Backing Pump 10 1 3 3 Turbo Molecular Pump 10 1 3 4 Mass Spectrometar 10 1 3 5 lon Source s 11 1 3 6 lon Collector and Amplifier 11 1 4 Equipment 12 1 4 1 Standard Specification 12 14 2 Accessories 12 2 Operation 14 2 1 Setting Up the UL 100 A PLUS 14 2 1 1 Layout of Controls and Displays 14 2 1 2 Preparations for Initial Start Up 15 2 1 3 Operating Temperature 18 22 Description of Controls 16 2 2 1 Mains Connections 16 2 2 1 1 E
192. r de la version V 3 4 du logiciel 2 d cades sont indiqu es en s lection de game ma nuelle La tension analogique de la mantisse fournit alors des mesures valides dans la gamme de 0 1 9 9 V La tension est limit e 10 8 V pour les ven tuelles perturbations p ex br ve saturation de l amplificateur L exposant est repr sent par une tension chelonn e en pas de 0 5 V par d cade en commen ant par 1 V pour 1 E 10 mbar l 51 2 23 7 Sortie de tension analogique pour la press d admission PE La sortie analogique de la pression d admission Pe fournit l volution de la pression d admis sion Cette tenaion est appliqu e la broche PIN no 24 de l inter ace multifonction 12 1 et la broche no 4 de a sortie enregistreur 12 2 Voir section 2 2 13 6 La sortie analogique pour la pression d admis Du liefert eine Ausgangsspannung von 0 bis 10V Der Zusammenhang zwischen Spannung und Druck ist aus Abb 19 ersichtlich Beispiel f r Druck Ausgabe Analog Ausgang 1 0 V ergibt Einta druck pe 1 0 10 1 mbar 2 2 13 8 Kopfh rer Anschlu Neben dem eeitich an der Bedien Einheit 11 1 eingebauten Schl sselschalter 11 2 befindet sich ein Kopfh rer AnschluB 11 3 Hier lassen sich Kopfh rer Impedanz gt 500 f1 mit einem 3 5 mm Klinkenstecker anschlie Ben 2 2 13 9 Halskette Die Bedieneinhelt at sich mit Hilfe einer Halskette leicht am K rper des UL 100 PLUS
193. r normale AUTORANGE actif Cl s 1 6 inactives La perte des param tres est indiqu e par le message ER10 22 11 Robinet de lest d alr Le robinet de lest d air de la pompe vide pri maire incorpor e dans le d tecteur UL 100 PLUS se manipule par l ext rieur II faut pour cela retirer la poign e 9 4 et d monter la cou verture 7 3 On peut alors pousser le levier de commande 9 3 vers l utilisateur pour ouvrir le robinet de lest d air devrait rester ouvert pendant quel ques minutes Le robinet est ferm quand le levier de commande 9 3 est positionn contre la pompe vide primaire Remarque Le robinet de lest d air doit tre toujours ferm pendant le transport TEN Abb Fig 9 23 Abb Flg 10 22 12 Teatanschlun Der UL 100 PLUS verf gt neben dem nor malen Testanschlu 10 1 ber einen Zusalz flansch 10 3 Er dient zum Anschlu des Teilstrom Pumpsatzes Option Ferner be steht die M glichkeit ihn ebenfalls als Testan schlu zu benutzen wenn er aus Gr nden der Pr flingsgeometrie besser zug nglich ist Dazu mu der Tastanschluf 10 1 mit einem Blind flansch verschlossen werden Dann vier Innensechskantschrauben 11 6 ausschrauben und Blindolatte 11 7 mit den Fl gelschrauben herausdr cken Der Zusatzflansch 10 3 ist im Lieferumfang enthalten er kann nun einschlie lich der zuge h rigen Dichtung mit vier Innensechskant Schrauben 10 2 angeschraubt wer
194. r of the remote control unit 1 1 4 Modules The UL 100 PLUS comprises two modules Soumettre epprofondi l appareil un contr le visuel Contr ler l unit de commande distance et le cordon de raccordement afin de s assurer qu aucun dommage n est apparu pendant le transport Les ventuelles constatations de dommage doivent tre imm diatement signal es l ex p diteur et l assureur Prendre contact avec le service commandes lorsque des pi ces endommag es doivent tra remplac es 1 1 1 D signation Appelletion D tecteur de fuites h lium portatif ULTRATEST UL 100 PLUS Module d tecteur Module pompe Abr viation 1 12 Emplol Le d tecteur de fuites h lium UL 100 PLUS travaille selon le principe de d tection par spectrom trie de masse Le d tecteur UL 100 PLUS se distingue par sa grande plage de d tection Cet appareil permet d effectuer des preuves d tanch it sur des pi ces de diff rentes tailles Les petites pi ces vol s 10 peuvent tre vacu es par la pompe vide primaire de UL 100 PLUS De l h lium peut p n trer par la fuite dans la pi ce lorsqu on la vaporise avec ce gaz M me de tr s faibles concentrations d h lium peuvent arriver au spectrom tre de masse pour y tre d tect es UL 100 PLUS L utilisation d azote liquide n est pas n cessaire grace au principe de travail par contre flux Le d tecteur UL 100 PLUS est d un emploi universel gr
195. rcuit Service normal taux de fuite seuil trigger taux de fuite gt seuil trigger Relais d sexcit Contact ouvert ACCEPT Relais d sexcit Contact ouvert ACCEPT Relais excit Relais excit Contact ferm REJECT Relais d sexcit Contact ouvert REJECT Contact ferm ACCEPT Relais d sexcit Contact ouvert REJECT 21 2 2 8 3 Sonderfunktion Trigger 1 und 2 Ger tezustand St rmeldung Zum Einstellen dieser Sonderfunktion der Trig ger 1 und 2 m ssen die Trigger durch Dr cken der Taste Automatik Triggerlogik 4 18 invers geschaltet werden Im Inversmodus kann Trigger 1 die Funktion als St rmeldung bernehmen Bedingung hierf r ist da mit der Werteinga be Taste 4 19 der invertierte Trigger in einen Bereich eingestellt wird in dem keine Leckrate angezeigt werden kann z B gt 1 108 mbars Plus Exponent Die Eingabe mu mit Taste ENTER 4 13 best tigt werden Bei einer Fehlermeldung wird der Kontakt 10 und 11 an der Multifunktions Schnittstelle sie he Absch 2 2 13 2 ge ffnet Somit ist durch externe Beschaltung eine Fehlermeldung m g lich Bereltmetdung Zum Einstellen dieser Sonderfunktion der Trig ger 1 und 2 m ssen die Trigger durch Dr cken der Taste Automatik Triggertogik 4 18 invers geschaltet werden Im Inversmodus kann Trigger 2 die Funktion als Bereitmetdung bernehmen Bedingung hierf r ist daB mit der Wertein gabe Taste 4 19
196. ressing the START pushbutton 4 24 By pressing certain pushbuttons on the hand unit see Fig 4 one may obtain the following additional information on the alphanumerical status and error display 26 1 Pushbutton Automatic Trigger logic 4 18 cyclic display of the elapsed operating hours and indication of the service mode OPE RATION TIME xxxHOURS and xx MINUTES and SERV Pressing any key terminates the cyclic display Pushbuttan ENTER 413 cyclic display of preamplifier offset calibra tion factor speed of the turbomolecular pump and indication of the service mode VARIABLES OFA xx CAL xxx TMP xxx RPM and SERV Pressing any koy terminates the cyclic display Pushbutton Zero 414 cyclic display of serial No and indication of the service mode IDENT NUMBER Dxooocooox and SERV Pressing any key terminates the cyclic display Pushbutton Hand 4 8 for display and adjustment of PE PV baud rate time and date Cyclic display of a number 0 255 which corresponds to the inlet pressure PE an By pressing the Manual pushbutton 4 8 one may switch between the display of fore vacuum pressure PV xxx and inlet pressu re PE After exchanging a gauge head PE or PV a realignment has to be carried Out at atmospheric pressure The value has to be 246 at atmospheric pressure Pressing the ENTER pushbutton 4 13 terminates the cycl c display Note When aligning PV switch off
197. rom am lo nenf nger registriert wird Zum Tunen mu die Elektronikeinheit mit dem Servicefeld ausgekiappt werden und das Test leck ge ffnet sein Das Massenspektrometer kann jetzt mit Po tentiometer M4 26 12 auf max Empfind lichkeit gebracht werden Die Leckratenanzei ge wird dann maximal 2 6 2 Kallbrleren mit eingebautem Test lack UL 100 PLUS mit der Taste STOPAVENT in den Zustand Standby oder Fluten bringen Mit Multifunktionstaste Trigger und Kali brierung das Kalibrieren anw hlen und mit der Taste ENTER quittieren Auf der Statusanzeige 26 1 im Serviceteid erscheint CAL Das interne Testleck ffnet h rbar 46 2 6 Calibration and tuning The UL 100 PLUS is suitable for quantitative leak rate measurements This requires a Cali bration factor which is automatically calcula ted and stored by the UL 100 PLUS during calibration Calibration of the UL 100 PLUS is greatly simplified by the use of an internal calibrated leak If the UL 100 PLUS is not e quipped with a calibrated leak calibration must be carried out with an external calibrated leak Note Calibration should not take place until 15 min afier run up and should be repeated once after approx 2 hours The factors determined during the calibration process remain stored even after switching off Four calibration factors are stored factor GROSS factor FINE factor ULTRA factor SNIFF During calibrat
198. s tzliches Dr cken der Taste START 4 24 erforderlich Wenn der Lecksucher betriebsbereit ist er scheint aut der Leckratenanzeige der Wert f r das nat rliche Lufthelium Dieser Wert kann bei einigen 10 mbar ls liegen Die Kalibrierung erfolgt genauso wie beim normalen Kalibrieren mit externem Testleck siehe Abschnitt 2 6 3 Entscheidend ist aber nun da die einmal durchgef hrte Kalibrierung nur f r die gew hl ten Schn ffelbedingungen Abstand und Ge schwindigkeit bez glich der Leckposition gilt F r eventuelle Korrekturfaktoren in Bezug der Heliumkonzentrationen unter 100 oder un terschiediicher Pr flingsdr cke siehe die Ge brauchsanweisung des verwendeten Schn ff ler i Der Kalibriertaktor und die gew hlte Betriebs artt SNIFF bleiben auch nach dem Aus Schalten des Ger tes erhalten im Mefibetrieb ist die Taste STOP VENT verriegett Durch emeutes Stecken von Schl ssel Nr 6 und Dr cken der Taste EN TER wird die Schn ffelfunktion aufgehoben Das Ger t geht dann in den Stand By zustand 44 However the following restrictions in the speci fications should be noted the detection limit of the leak detection mod ule increases approximately in proportion to the volume flow rate of the pump connected ie for ten times the volume flow rate the detection limit is only 1 10 9 mbarls the stability of the readings noise and drifts and thereby the detection limit depend
199. sene Pr flinge als akzeptabel gemeldet Ger tefehler k nnen nicht als schein bar dichte Pr flinge interpratiert werden Wird bei der Triggereinstellung die Taste Au tomatik Triggerlogik 4 18 gedr ckt erfolgt ei ne Umkehrung der Triggerlogik Die Kombi Anzeige 4 3 und die Ausg nge f r Trigger 1 und 2 an der Multifunktions Schnittstelle siehe Absch 2 2 13 2 werden invertiert Diese Betriebsart erkennt man durch inverse Darstellung in der LED Zeile 4 3 In dieser Darstellung leuchtet die LED des Triggerwertes nicht Die Ausg ngs arbeiten dann nicht als Schlie er sondern als ffner Die Relais Schaltzust nde siehe Tabelle 1 Tabelle 1 Triggerrelais Geratezustand 1 Ger t ausgeschaltet ausgefallen 3 Ger t eingeschaltet Hochlauf 4 Ger t eingeschaltet Normalbetrieb Leckrate Triggerschwelle Table 1 Trigger relay Equipment status 1 Unit switched aff failure 3 Unit switched on running up 4 Unit switched on normal operation Leak rate trigger level Leak rate gt trigger level Tableau 1 relais triggers Etat de l appareil 1 Appareil arr t en panne 2 2 8 2 Trigger 1 amp Trigger 2 inversion The function of the triggers may also be inver ted As shown in table 1 only those measured test objects whose leak rate is really below the leak rate trigger are indicated as acceptable in the inverse mode Equipment errors can not be interpreted as seemingly lea
200. sion n cessaire l appareil retirer le porte fusible 8 3 dispos c t de la fiche combin a avec un tounevis 8 1 Toumer le porte fusible jusqu ce que la tension d sir e apparalsse en haut sur la marque B 4 Enfoncer le porte fusible dans cette position dans la fiche combin e 8 5 Raccorder le cordon secteur avec la prise B 5 et relier le cordon au secteur Le d tecteur UL 100 PLUS peut tre Connect maintenant avec linter rupteur MARCHE ARRET 8 7 2 2 1 2 Interrupteur MARCHE ARRET L appareil complet est mis en service par l actionnement de l interrupteur secteur B 7 La mont e en r gime automatique de la turbo pompe est la premi re op ration du d tecteur UL 100 PLUS Environ 3 minutes apr s il est pr t fonctionner Remarque Lors de la premi re mise en service ou apr s une longue p riode d arr t cette mont e en r gime peut tre d pass s La LED indicatrice d erreur clignote L tat d erreur peut tre annul en actionnant nouveau la touche START Un nouvel actionnement de l interrupteur met l appareil hors circuit voir la section 2 5 Apr s la mont e en r gime il reprend l tat qu i avait la mise hors circuit CF section 2 2 10 2 2 1 3 Sortie de tension secteur pour spparelis auppl mentalres La prise secteur auxiliaire 8 6 permet de rac corder des consommateurs de faible puissance absorb e max 1 A tels qua le renifleur h lium QUIC
201. ssura and leek rata indicator Leak rate acele with exponanl 1st decade Leak rate scale with exponent 2nd decada Parameter puehbutton decreasing values Manuel LED Manual maasuring range selector Multi function pushbutton LED for trigger 1 Multl funetion puahbutton LED for trigger 2 Multi function puahbuttan trigger end callbratlan Multi function pushbutton LEO for calibration ENTER pushbutton Auto zero pushbutton LED for signal starting points Multi function pushbutton acoustic signal LED for loudness control Multi funetlon pushbutton autoranging trigger loglc Perameter pushbutton increasing values Errar indicating LED Zero Indicator LED py backing pressure scala pg Intake pressure scala START pushbutton L gende de la fig 4 DEL d lat rouga vert Altichage combin pression at taux de fuite Echalle pour taux de tuite avec exposant 1 ra d cada Echelle pour taux de luite avac exposent Ze d cade Touche d entr e des valeurs d crolssantea Touche s lection Manuelle des gammes da mesure Toucha multifonction trigger et calibrage Touche multifonction DEL pour points d application du signal Touche multifonction DEL pour r glage du son Touche multifonction automatique trigger logique 2 Touche STOP VENT 3 4 5 8 DEL de Manuelle 8 9 Touche multifonction DEL pour trigger 1 10 Touche mullilonclion DEL pour trigger 2 11 12 Touche multifonc
202. stleck TL 7 wesentlich vereinfacht Ist im UL 100 PLUS kein Testleck eingebaut mu die Kalibrierung mit einem externen Testleck erfolgen Hinwels Die Kalibrierung sollte erst 15 min nach Be endigung des Hochlaufs erfolgen u nach ca 2 Stunden einmal wiederholt werden Die durch die Kalibrierung ermittelten Kali brierfaktoren bleiben auch nach dem Aus schalten des Ger tes erhalten Es werden vier Kalibrierfaktoren gespeichert Faktor GROSS Faktor FINE Faktor ULTRA Faktor SNIFF Beim Kalibrieren in ULTRA werden die Fakto ren GROSS und FINE aus dem Faktor ULTRA berechnet Diese Umrechnung ist nur f r einen Betrieb mit der Option Teilstrom pumpsatz mit D 25 B g ltig Beim Betrieb mit beliebigen Anlagen oder Teilstrompumpen mu zus tzlich in den Bereichen GROSS und FINE kalibriert werden Der analoge Signalausgang Abschnitt 2 2 13 6 bzw die V 24 Schnittstelle bieten zur Erstellung der Kalibrierteckrate eine besse re Aufl sung als die Kombi Anzeige der Be dieneinheit Die Leckrate kann bei Benutzung der V 24 Schnittstelle durch Dr cken der Ta ste START an ein Terminal oder Drucker ausgegeben werden Vor jedem Kalibriervorgang sollte ein TUNE Vorgang durchgef hrt werden 2 6 1 Tunen Der Tune Vorgang dient zum Abgleich des Massenspektrometers auf maximele Empfind lichkeit Dazu wird die Beschleunigungsspan nung der lonen im gew hlten Massebereich varien bis ein maximaler lonenst
203. supplied The DN 25 KF solenoid valve is attached to the test port and connected via flexible metal tubing to the TRIVAC D 25 B pump The mains cable 23 5 fixed to the so enoid valve is connected to the power socket 8 6 on the UL 100 PLUS The contro cable 23 4 is connected via plug 23 3 to the electronics unit 23 2 of the so lenoid valve and the other end is connected to the multifunction interface output 12 1 on the UL 100 PLUS Upon plugging in at the multitunction interface 12 1 the option is sensed and controlled When starting the system the UL 100 PLUS and the partial flow pump set may be switched on simultaneously After the UL 100 PLUS TRIVAC D 25B Abb 23 Eckventil mit alektromagnetischem Antrleb Fig 23 Solenoid velve pour les grands taux de fuite jusqu 1 mbar ls1 Remarque Le groupe de pompage de flux partiel de la r f 165 44 n est pr vu que pour une tension de service de 220 V Pour obtenir une lonction autorange correcte ainsi qu un bon affichage quantitatif sur toute la gamme des taux de fuites m me en flux partiel it est n cessaire d utiliser ls groupe de pom page de flux partiel fourni en option voir mode de service 4 dans la fig 20 II comprend essentiellement une pompe TRIVAC D 25 B un robinet lectromagn tique DN 25 KF voir fig 23 ainsi qu un tuyau onduleux fiexible de 1 m de long Pour raccorder le groupe de pompage de flux partiel il faut monter le r
204. t L appareil correspond la classe de s curit selon VDE 0411 IEC 348 1 2 1 Caract ristiques physiques Plus petit taux de fuite d celable 2108 mbar Le Constante de temps bride aveugle 15 Plus grand taux de fuite affichable Sans groupe de pompage de flux partiel 10 mbar Le Avec groupe de pompage de flux partiel 10 mbar Le Pression d admission max 0 2 mbe Pression d admission max avec groupe de pompage de flux partiel 100 mb Plages d affichage Gamme de mesure sans groupe de pompage de flux parilel 8 d cade Gamme de mesure avec groupe de pompage de flux partiel 11 d cade Affichage taux de fuite logarithmiqut 2 d cade avec chacune 15 chelons par d cac et affichage d exposant s par Pression d admission 0 1 mbar 100 mb logarithmique en 15 chelor M 0 01 mbar bis 10 mbar logarithmisch in 15 Schritten Massenspektrometer 180 magnetisches Sektorfeld lonenquelle mit Z Fokussierung Zwei Iridium Katoden geheizte Anode selbstreinigend Nachweisbare Massen 2 3 und 4 Zeit bis zur Betriebsbersitschaft 3 min Testanschlu 2 x DN 25 KF Leitungsl nge der Bedien Einheit 8m Vorvakuumdruck 1 2 2 Elektrische Daten Lecksuch Modul Netzspannung umschaltbar 100 V 120 V 220 V 240V 5 50 60 Hz Leistungsaufnahme 80 VA Pump Modul Netzspannung 210 bis 260 V oder 100 bis 130 V Netzfrequenzbereich 50 60 Hz Leistungsaufnahme 240 VA Gesamtstromaufnahme w hrend Hochlauf bei 110 V 5A b
205. t 0V ferm 24V ouvert PIN No 15 Massa de r f rence pour no 14 PIN No 16 Alimentation 24 V pour no 17 PIN No 17 Entr e position du robinet un court circuit entre no 16 et 17 Signifie robinet connect et ferm 21 Remote cont GND U L 1 0 0 P L U S 24 V GND 15 Abb Fig 16 29 ext GND U L 1 0 0 P L U S Abb Fig 17 2 2 13 5 Fernsteuerung der Lecksuch funktionen Die Bedienungsfunktionen der Tasten START oder STOP k nnen alternativ auch ber die Schnittstelle durch Logiksignale ca 0 und 20 35V ausgel st werden Dies geschieht durch Kontaktsteuerung Abb 18 oder Steuerung ber SPS Abb 17 Die Zustandssteuersignale f r die Stat STBY VENT und MEAS werden zugef hrt ber die Kontakte PIN Nr 16 Pumpen Messen PIN Nr 19 Stand By PIN Nr 21 Bezugsmasse f r Nr 18 u Nr 19 PIN Nr 18 und 19 Fluten bei gleichzeitiger Bet tigung Damit der UL 100 PLUS ber diese Fernbe dienung sicher von einem Zustand in den an deren wechselt ist eine Impulsdauer von mindestens 500 ms zu gew hrleisten Spannung an Spannung an Kontakt 19 Kontakt 18 Stetus ov 0v Local gt 20 V 0v STBY DN gt 20 V MEAS 220 V 220 V VENT Bei Local dem Normalzustand des UL 100 PLUS lassen sich alle Tastaturfunktionen ber die Bedieneinheit wie bisher beschrieben be nutzen Befindet sich an einem oder beiden Fernsteuereing ngen ein
206. t atteinte l affichage combin 4 3 est commut automatiquement de telle sorte que ce soit le taux de fuite et non la pression d admission qui soit affich Pendant l affichage de taux de fuita en mode mesure chaque pression sur la touche START provoque une sortie du taux actuel sur l imprimante ventuellement raccord e mode PRINT ONLY voir description d inter face SB 10 207 Touche STOP VENT Lorsque UL 100 PLUS est en mode de me sure On peut interrompre l vacuation de ia pi ce raccord s en actionnant une seule fois et bri vement la touche STOP VENT 4 2 UL 100 PLUS passe alors en mode Stand By Cet tat est indiqu l op rateur de la fa or suivante Le taux de fuite indiqu dispara t les DEL 4 3 sont toutes teintes La DEL rouge verte 4 1 s teint Les exposants restent visibles L affichage d taUd erreur 26 1 du panneat de service indique STBY La DEL du z ro 4 21 s allume L quilibrage automatique de UL 100 PLUS lieu apr s lactionnement de la touch STOP VENT 4 2 Le fond h lium de lap pareil et le d rive lectrique du z ro sont alor d termin s On obtient la fonction VENT remise l atmos ph re sn actionnant plus longtemps au moin 2 s la touche STOPAVENT 4 2 Le robine de fuite V3 est cuvert On entend distinctemer la remise l atmosph re de la pi ce raccord e Cet tat de service est signal par l allumag de la DEL d t
207. t des Elektrometerverstarkers ist kleiner 15 mV siehe unter CONT EROS Der Offset des Elektrometerverst rkers ist gr er 90 mV siehe unter CONT Normalerweise betr gt der Offset ca 50 mV ERO9 Die lonenquelle ist defekt Bruch beider Katoden oder Fehler in der Massenspektro meter Versorgung ER10 Die Fehlermeldung ER 10 erscheint bei ei nem Fehler im batteriegeputferten Speicher Die Grundeinstellung wird durchgef hrt Diese Fehlermeldung wird nur in der Initialisie rungsphase abwechselnd durch ER 10 INIT angezeigt ER21 W hrend des Hochiaufes SNIF wird der Einla druck pg innerhalb von 2 min nach Inbetriebnahme nicht erreicht Fehlerursachen k nnen sein Vakuumanschlu zwischen und Schn fller undicht Schn ffelleitung undicht Schn ffelspitze defekt siehe unter CONT Nach Auftreten eines im Status Fehler Display angezeigten Fehlers wechselt die Anzeige periodisch zwischen der Fehlermeldung und letzter Statusanzeige Dabei blinkt dis Fehler Indikator LED 4 20 CONT Erscheint nach Beseitigung des Fehlers im EinlaBtlansch 54 EROI A vacuum pressure of more than 0 4 mbar has been detected for example caused by an air inrush into the test object For protection of the ion source the mass spectrometer supply has been automatically switched off see CONT ERO2 A filament breakage has been detected at the Thermovac measurement point
208. t la touche START 4 24 La DEL d tat 4 1 s allume en vert Les exposants et la DEL indicateur de z ro 4 21 s teignent Indication de pression d admission De 4 23 d croissante L affichage d tat 26 1 du panneau de service indique EVAC D s que la pression d admission est pe gt 0 2 mbar il y a commutation de l affichage combin 4 3 sur taux de fuite On entend un bref signal Indication du taux de fuite L affichage d tat 26 1 du panneau de service indique MEAS 7 Actionner longuement gt 2 s la touche La DEL d tat 4 1 s allume en rouge STOP VENT 4 2 Vindication de taux de fuite s teint Les exposants et la DEL indicateur de z ro 4 21 s allument On entend distinctement l ouverture du robinet de remis l air Ouvrir le raccord d admission Raccorder la pi amp ce 10 Actionner brievement la touche START 4 24 CF no 6 11 Asperger la pi ce l h lium Indication vent du taux de fuite au bout du temps de r ponse 12 Actionner longuement gt 2 s la touche voir la position du no 7 STOP VENT 4 2 CF no 7 13 D gager la pi ce Fermer le raccord d admission avec une bride aveugle ou raccorder une nouvelle pi ce Remarque On peut interrompre la mesure en actionnant La DEL d tat 4 1 s teint bri vement la touche STOP VENT L affichage de taux de fuite s teint Les exposants et la DEL indicateur de z ro 4 21 s allument 35 ft 2 3 1
209. t pressure 0 2 mbar Max inlet pressure with partial flow pump set 100 mbar Indicating ranges Measuring range without partial flow pump set 8 decades with partial flow pump set 11 decades Leak rate indication logarithmic 2 decades with 15 steps per decade separate exponent display 0 1 mbar to 100 mbar logarithmic in 15 steps Intake pressure indication M Erl uterungen zur Abb 1 1 Bedlaen Elnhelt 2 2 Turbo Molekularpumpe TURBOVAC 50 3 Maasanspektromater mit Vorverst rker d Elektronik Elnheit amp Ventliblock 5 H Vorvakuumpumpe TRIVAC O 1 8 B mit Kopplungselnrichtung Key to Flg 1 1 Remote control unit Turbo molecular pump TURBOVAC 50 Mass spectrometer with preamplitiar Electronics unit Valve block Backing pump TRIVAC D 1 6 with coupling gende de la fig 1 Unit de commande Pompe lurbomol culalre TURBOVAC 50 Spectromatre da masse avec pr ampll Unit dlectroniqua Gloc de robinete Pompe vide primaira TRIVAC D 1 8 B avec accouplement A ou Cc OU Ru N 7 mctu Module d tecteur avec Unit de commande 1 1 Pompe turbomol culaire TURBOVAC 50 1 2 Spectrom tre de masse 1 3 Unit lectronique 1 4 Bloc de robinets 1 5 Module pompe avec Pompe vide primalre TRIVAC D 1 6 B 1 2 Caract ristiques techniques Remarque Les caract ristiques techniques indiqu es st rapporient au module d tecteur associ au module pompe S curi
210. t werden Die Taste ENTER 4 13 best tigt den an gezeigten Wert und f hrt zur Anzeige des Mo nats Me Die Monate k nnen mit den Wertein gabetasten 4 6 und 4 19 ver ndert oder mit der Taste Zero 4 14 auf 01 r ckgesetzt werden Die Taste ENTER 4 13 best tigt den an gezeigten Wert und f hrt zur Anzeige des Jahres Jaxx Die Jahre konnen mit den Werteingabetasten 4 6 und 4 19 ver ndert oder mit der Taste Zero 4 14 auf 90 r ckgesetzt werden Die Taste ENTER 4 13 best tigt den an gezeigten Wert und zeigt nochmals die ge w hlten Einstellungen von Baudrate Zeit und Datum Der UL 100 PLUS kann nach Einstellung des SERVICE NORMAL Schlitzschalters 25 2 in Stellung NORMAL und einer an schlie enden autom Initialisierungsphase alle Funktionen wieder ausf hren Hinweis Die Ventilstellung OFFEN wird jeweils durch eine leuchtende LED angezeigt Pressing the Automatic trigger logic push button 4 18 starts the display and modi fication process for baud rate date and time Pressing ENTER 4 13 acknowledges the displayed value and leads to the next display Displayed first is MODIFY VALUES OF BAUD TIME AND DATE Next the baud rate is displayed BAUD xxx 3 The displayed value xxxx may be changed by operating the parameter entry pushbuttons 4 6 and 4 19 or it can be reset to 9600 by pressing the Zero button 4 14 Pressing ENTER 4
211. tan Une dur e d impulsion d au moins 500 ms est n cessaire pour que UL 100 PLUS passe par cette t l commande effectivement d un tat dans un autre Tension sur Tension sur Contact 19 Contact 18 Etat DV 0v Loca z 20V ov STBY 0v 220V MEAS 220V 220V VENT n mode local l tat normal de UL 100 PLUS toutes les fonctions du clavier sont utilisables comme d crit pr c demment sur l unit de commande Lorsqu un niveau da tension gt 20 V est appliqu une ou deux sorties de t l commande l tat local est annul ce qui interdit les fonctions de toutes les touches de l unit de commande Cette propri t permet d interdire toute manipulation erron e 2 2 13 5 Sorties tension analogique UL 100 PLUS dispose de deux sorties de tension analogique U O 10V A 22 5 kN pour l enregistrement du taux de fuite mesur Interface multifonction 12 1 y PIN No 22 Sortie analogique signal taux de fuite PIN No 23 Sortie analogique signal gamme de mesure PIN No 24 Sortie analogique pression d admis sion pg PIN No 25 Masse de r f rence pour les sor lies analogiques Recorderausgang 12 2 PIN Nr 5 Analogausgang Leckratensignal PIN Nr 1 Analogausgang Me bereichssi gnal PIN Nr d Analogausgang Einla druck pe PIN Nr 3 Bezugsmasse f r Analogausg nge Das Leckratensignal teilt sich auf in Mantisse und Exponent Die Analogspannung der Man tisse liefert g ltige
212. tateurs 26 13 en position auto du panneau de service fig 25 S lecteur de masse 26 11 sur M4 4 Fermer la tubulure d admission avec une bride aveugle 5 Placer l interrupteur secteur MARCHE ARRET 8 7 Initialisation de UL 100 PLUS INIT est indiqu par l affichage d tat 26 1 sur MARCHE L unit de service est initialis e les DEL d tat 4 1 s allument en vert D marrage de la pompe primaire Alimentation en tension de la partie lectronique Sur le panneau de service l affichage d tat 26 1 indique successivement le texte suivanL UL 100 PLUS VERSION 3 0 DATE TIME eo La mont e en r gime de la pompe turbomol culaire ou TMP commence automatiquement Sur le panneau de service l affichage d tat 26 1 indique en allemance ACCL VAC indication pression primaire et pression d admission D s que la pression du vide primaire atteint py 0 1 mbar et la pompe TMP sa vitesse nominale il y a message d aptitude au service par l allumage des exposants et des DEL indicateurs 4 21 La DEL d tat 4 1 s teint Dans le panneau de service l affichage d tat 26 1 indique STBY Remarque Si l affichage d tat 26 1 du panneau de service indique en alternance ACCL SNIF c est que UL 100 PLUS tait en mode renifleur avant la mise hors circuit L admission est vacu e indication EVAC Le mode Stand By est saut et l affichage indique SNIF 6 Actionner bri vemen
213. tellte Einsatzpunkt wird w hrend der Einstel lung auf der Kombi Anzeige 4 3 angezeigL Die leuchtenden LED e auf der Kombi An zeige 4 3 geben den Bereich an in dem das akustische Signal aktiviert ist Durch zweimaliges Bet tigen der Multifunk tions Taste Akustisches Signal 4 16 leuch tet die Lautst rke LED 4 17 ber Wertein gabe Taste 4 19 oder 4 6 kann in diesem Fall die Lautst rke des akustischen Signals ge ndert werden Die Intensit t wird durch Aufleuchten der LED s 4 3 von unten nach oben angezeigt Die Eingabe mu mit der Taste f r Eingabe Ende ENTER 4 13 abgeschlossen wer den Die Einstellung kann durch nochmaliges Dr cken oder zweimaliges Dr cken der Taste 4 16 abgebrochen werden 2 28 Multifunktions Taste Trigger und Kelibriorung Hinwels Die Bet tigung der Taste kann aus dem Stand By und dem Me betrieb erfolgen 2 2 8 1 Funktion Trigger 1 und 2 Nor mal Mit Hilfe der Funktionen Trigger 1 und 2 wird bei Erreichen einer bestimmten Leck raten H he je ein potentialfreier Kontakt an der Multitunktions Schnittstelle geschaltet Die Ausg nge Trigger 1 und Trigger 2 an der Multifunktions Schnittstelle siehe Ab schnitt 2 2 13 2 stehen dem Benutzer des UL 100 PLUS zur freien Verf gung Die H he des Leckraten Wertes bei der die potentialfreien Kontakte am Multifunktions Schnittstelle geschaltet werden ist vom Be nutzer frei vorw hlbar Dazu mu
214. ten vorgew hlt und ber eine LED angezeigt wird 18 been completed further operetion is carried out with the START 4 24 and STOP VENT 4 2 pushbuttons By briefly depressing the START pushbut ton 4 24 the test object is evacuated during which time the status LED 4 1 is green The dropping intake pressure pg is shown on the combined indicator 4 3 until pressure pe is 0 2 mbar At this value of the intake pressure the combined indicator 4 3 auto matically changes over to leak rate indication instead of inlet pressure indication During indication of a leak rate in the mea suring mode each depressing of the START pushbutton will output the displayed leak rate on a printer if connected PRINT ONLY mode see instructions for the interface SB 10 207 Pushbutton STOP VENT When the UL 100 PLUS is in the measure ment mode evacuation of the test object can be interrupted by briefly pressing the STOP VENT 4 2 pushbutton once The UL 100 PLUS then sets itself to standby This condition is indicated to the operator as follows The displayed leak rate disappears LED s 4 3 are all off The red green status LED 4 1 is off The exponents are still visible The status error diplay 26 1 on the service panel indicates STBY The zero LED 4 21 is on After pressing STOPAVENT 4 2 the sell alignment process of the UL 100 PLUS is started Both interna heli
215. the TMP indication du taux de fuite h lium si le vide de la TMP est correct en actionnant la touche START 424 En act onnant certaines touches de l unit de commande CF fig 4 on obtient les ndica tions suppl mentaires suivantes sur l affichage d tat et d erreur alphanum rique 26 1 Touche automat log trigger 4 18 Indication cyclique pour heures de service et mode de service OPERATION TIME xoxHOURS and xMINUTES et SERV Actionner une touche quelconque pour interrompre l indication cyclique Touche ENTER 413 Indication cyclique pour offset pr ampli facteur de calibrage vitesse rot de la turbo pompe et mode de service VARIABLES OFA 0 CAL xxx TMP xox RPM Act onner une touche quelconque pour interrompre l indication cyclique Touche z ro 414 Indication cyclique pour num ro de l appareil et mode de service IDEN NUMBER dxxoooox et SERV Actionner une touche quelconque pour interrompre l indica tion cyclique Touche manuelle 4 8 Indication et r glage de PE PV vitasse de transmission heure et date Indication cyclique d un nombre 0 255 correspondant la pression d admission PE xx La touche manuelle 4 8 permet de com muter entre l indication de la pression vide primaire PV xxx et l indication de la pres sion d admission PE xxx Apr s le rempla cement d un capleur PV ou PE it faut quilibrer la consigne sur 246 la pression
216. tion DEL pour calibrage 13 Touche pour fin d entr e ENTER 14 Touche Auto Z ro 15 16 Touche multifonction signal acaustique 17 18 19 Touche d entr e valeurs croissantes 20 DEL d indication d erreur 21 DEL d indicelion du z ro 22 Echelle pression vide primaire py 23 Echelle pression d admission pe 24 Touche START Abb 5 Anselzen des Lecksuch Maduls Fig Attaching the eak detection module Fig Pose du module d tecteur Erl uterungen zur Abb 5 1 Lecksuch Modul 2 Tragagrifl herausgezogen 3 Klinke 4 Aussparung Klinke 5 Pump Modul Key to Fig 5 Leak detection module Handle in pulled out position Tab Slot for tab Pump module Uaua L gende de la flg 5 1 Module d tecteur Poign e retir e Cliquet Evidament cliquet Module pompe Hann 2 1 2 Vorbereitung zur Inbetriebnahme Der UL 100 PLUS wird im betriebsbereiten Zustand ausgeliefert Das Pump Modul ist be reits mit dem Lecksuch Modul verbunden Sind beide Teile noch voneinander getrennt ist das Lecksuch Modul 5 1 auf das Pump Modul 5 5 gem Abb 1 aufzusetzen Dabei mu die Klinke 5 3 am Lecksuch Modul in die Aussparung 5 4 vom Pump Modul 5 5 gef hrt werden Das Lecksuch Modul 5 1 kann nun durch leichten Druck vollst ndig auf das Pump Modul 5 5 aufgesetzt werden Das Lecksuch Modul 5 1 mit dem Pump Modul 5 5 verriegeln Dazu wird am Pump Modul 7 2 das Abdeck blech 7 1 v
217. tion avec renlfleurs On peut raccorder les renifleurs suivants S UL 100 PLUS Renifleur h lium standard ST 100 Renifleur h lium rapide QUICKTEST QT 100 Dans tous les cas le renifleur en question est raccord l admission du d tecteur Utiliser la cl no 6 comme d crit dans la section 2 2 13 1 pour s lectionner le mode renifleur Le d tecteur passe automatiquement au mode mesure s il a t initialis pendant la mont e en r gime ou s il tait en mode renifleur avant la mise hors circuit Sinon il est n cessaire d actionner encore une fois la touche START 4 24 Lorsque le d tecteur est en ordre de marche Faffichage des taux de fuite indique fa concentration normale d h lium dans l air Cette valeur est de l ordre de quelque 109 mbar l s Le calibrage se fait exactement comme le calibrage normal avec fuite calibr e externe CF section 2 6 3 Le point capital est que ce calibrage une fois ex cut il ne vaut que pour les conditions pr cises du reniflement distance et vitesse par rapport la position de la fuite Pour les facteurs de correction ventuels pour les concentrations d h lium lt 100 96 ou pour diff rentes pressions des pi ces voir le mode d emploi correspondant au renifleur Le facteur de calibrege et le mode SNIF per sistent m me apr s la mise hors circuit de l appareil En mode mesure la touche STOP VENT est verrouill e En enfongant nouveau la
218. tion differs from the MEAS condition in that the leak rate display is switched off Should the inlet pressure ex ceed the value 0 4 mbar V1 is automatically Closed and the ion source is switched off the status display wili then indicate ERO1 max forevacuum pressure exceeded In order to retum to the operating mode with out the pump module the leak detection mo duie must be switched off in this case and again put into operation using key No 4 Key No 5 Key No 5 allows the measurement af leaks at an inlet pressure of pg 100 mbar in connec _ tion with any backing pump The UL 100 PLUS is thus placed in a position for autoranging in the 10 mbar ls to 13103 mbar s range depending on the volume flow rate of the backing pump For activation key No 5 is inserted into key slot on the operating unit Then the ENTER pushbutton is operated while the UL 100 PLUS is in the STBY VENT or MEAS mode This function can be cancelled by celling up this function again After having done so the UL 100PLUS reverts to the STANDBY mode When switiching off the UL 100 PLUS mains switch 8 7 in position OFF this function is cancelled and not stored For applications in automatic testing systems it is only required to insert key No 5 as its presence is automatically detected upon switching on When using the standard partial flow pump set key No 5 must not be activated as otherwise the partial flow valve will not
219. tion with the stated additional components Generally these leak detection processes require the use of a key to activate the corresponding functions 2 4 7 1 Optional Partlal Flow Pump Set TPS UL 100 PLUS For leak detection in connection with a partial flow pump set a large pump is connected in parallel to the inlet of the leak detector It can pump out large quantities of gas thereby relie ving the leak detector of this duty and also ex panding its measurement range Leak detection with a partial flow pump is re commended when either large volumes have to be pumped out quick ly a short response time is required in the Case of large volumes detecting leaks at high pressures up to 100 mbar 2 48 Partlculirit s pour les taux de fuite minimes et Importants 2 46 1 Petits taux de fuite UL 100 PLUS peut d tecter des fuites jusqu 2 109 mbarls Pour obtenir cette pr ci sion il faut interdire une ventuelle indication parasite avec la touche de remise z ro Une plus forte r solution des mesures s obtient en raccordant un enregistreur sec 2 2 13 6 ou par la sortie des taux de fuite par une interface V 24 2 4 6 2 Importants taux de fuite La mesure de grands taux de fuite pr sente le risque d une contamination de la pi ce et du d tecteur UL 100 PLUS Le temps de mesure doit tre donc aussi court que possible La contamination de la pi ce se manifeste par un fond parasite qui peut tre l
220. ts or for the measurement of very fine leaks 2 4 8 2 Leak Detection wlth the QUICK TEST QT 100 Sniffer Probe The QUICKTEST QT 100 avoids the limita tions of the standard sniffer conceming the length of the sniffer line Due to its sucking et fect it has the additional advantage of being able to indicate any leaks fairly far apart from ihe probe tip Therefore it is especially well suited for the lo calization of leaks 2 5 Switching Off To switch oif the UL 100 PLUS set the QN OFF power swich 8 7 to the OFF position No other action is necessary The operating mode is stored The instrument reverts to the same operating mode when it is Switched on again Note The gas ballast valve of the TRIVAC D 1 6 B see Section 3 2 1 must always be closed during transport En mode renifleur fentr e de t l commande POMPER broche no 18 de l interface mutti fonction peut servir d terminer le fond h lium Il faut pour cela monter un commutateur sur le support de la pointe du renifleur et ie relier avec l entr e de t l commande entre broche no 16 et broche no 18 de l interface multi fonction Cette fonction de l entr e de t l commande est comparable celle de la touche de remise z ro 4 14 de l unit de commande section 2 2 6 Le commutateur doit tre mont de telle mani re que le contact s ouvre en annulant le fond h lium lorsqu on retire de son support la pointe du renifleur
221. tteignent le collec teur d ions 3 5 te diaphragme interm diaire 3 8 permet d obtenir une haute pr cision er liminant les ions parasites L appareil utilis est un spectrom tre magn tique champ secteur et d viation de 180 L inhomog n it du champ magn tique perpen diculaire au faisceau ionique permet d obtenir dans cette direction une focalisation suppl mentaire focalisation Z Ce type de construc tion garantit outre une bonne r solution unt haute sensibilit et une stabilit long terme L gende de la fig 3 Cathode 1 1 Cathode 1 2 Anode 2 Anode 3 Cathode 2 3 Cathode 2 4 Amplitler 4 Amplificateur 5 lon collector 5 Cepteur d ions 8 Shield for ion 8 Ecran pour le capteur collector d ions 7 Suppressor 7 Dlaphregme 8 Magnetic fleld 8 Champs magn tiqua 9 Intermediate screen 9 Diaphragme interm diain 10 Dlaphragme d extraction 11 Ecran cylindriqua 10 Extractor screen 11 Shield r ng Abb 3 Schemetische Oarstellung des Massenspektrometers Fig 3 Schematic representation ol the mass spectrometer Fig 3 Sch ma du spectrom tre de masse 1 3 5 tonenquelie Die aus der Katode 3 1 oder 3 3 austreten den Elektronen werden von der positiven Ano de 3 2 angezogen Sie treffen aber nicht so fort auf die Anode sondern pendeln oft zwi schen der Katode und dem Abschirmring 3 11 bis sie schlieBlich an die Drahtwendel der Anode gelangen Auf diesem Wage ioni sieren die Elektr
222. u sur l affichage combin 4 3 et supprim le cas ch ant avec la touche ZERO 4 14 CF section 2 2 6 Remarque La pompe vide primaire peut tre d con tamin e en ouvrant le dispositif de lest d air 9 3 pendant quelques minutes Une localisation des fuites importantes est difficile car elles attirent l h lium d assez loin H faut donc une buse fine pour n asperger que peu d h lium La mesure quantitative ne peut tre ex cut e que si l on peut obtenir de h li um 100 sur la fuite Utiliser de pr f rence un groupe de pompage flux partiel pour les fr quentes d tections au dessus de 10 3 mbarl s Cf mode de ser vice 4 de la fig 20 Une br ve mesure de taux de fuite jusqu 10 mbarts est cependant possible sans ce groupe de pompage 2 47 Proc dures sp ciales de d tection Les proc dures de d tection d crites par la Suite sont possibles avec le module d tecteur de UL 100 PLUS associ diff rents eppareils suppl mentaires Ces proc dures n cessitent en g n ral l utilisation d une cl pour activer les proc d s 2 4 7 1 Optlon groupe de pompage de flux partlel TPS UL 100 PLUS Pour la d tection des fuites avec une pompe flux partiel on fait travailler une grosse pompe parall lement l admission du d tecteur Elle permet de pomper de grandes quantit s de gaz et soulage ainsi le d tecteur ou d cale sa gam me de mesure vers les taux de fuite plus forts
223. ultifunktions Schnittstelle 12 1 ist den Erl uterungen der Abb 13 zu entnehmen Erl uterungen zur Abb 12 Multifunktions Schniltstalla 2 Recorderausgang 3 Relalsausgang Key to Flg 12 1 Multl Function Interface 2 Recorder output 3 Relay output L gende de la tig 12 1 Interface multifonction 2 Sortie enregistreur 3 Sortie de Relais Abb 12 Anordnung der Multifunktions Schnitistalla hinter der Klappe 11 8 Fig 12 Location of be muttl tunction behind the flap 11 8 Fig 12 Positlon de interlace multifunction derrl re ta clapet 11 8 Interfaces Key No 8 can be used during runup in the standby mode and when venting During run up the key function does not have to be ac knowledged by pressing the ENTER push button as the presence of the key is automati cally registered For activation insert key No 6 into the slit of the key operated switch on the hand unit 11 1 and operate the ENTER pushbutton 4 13 Operate START 4 24 The inlet is evacuatad When reaching a pres sure of pe 0 2 mbar the UL 100 PLUS Switches itself to the sniffer mode The status display 26 1 on the service panel indicates SNIF With the sniffer mode activated the UL 100 PLUS is immediately ready to measure after running up The STANDBY mode is skipped and the STOP VENT pushbutton is locked Note If the inlet pressure is not reached within 2 min the status indicator 26 1 on the service
224. um background and electrical zero shift are determined By pressing the pushbutton STOPAVENT 4 2 for a longer period of time for at least 2 s the venting process can be started Venting valve V3 is opened The test object is audibly vented This operating condition is indicated by the status LED 4 1 The LEDs on the combination display 4 3 are all off Venting valve V3 can be closed again by agaln operating the STOPAVENT push button The UL 100 PLUS returns to standby or operating the START 4 24 pushbutton The UL 100 PLUS retums to the measure ment mode 2 2 3 Parameter Pushbuttons After operating a program pushbutton para meters can be entered with the parameter pushbuttons 4 19 and 4 6 For example after previously operating the acoustic signal mutti function pushbutton 4 16 the volume of the acoustic signal can be adjusted Note With the parameter ie 4 19 and 4 6 one can only influence a function pre viously selected with a multi function push button and indicated by the relevant LED r gime de la pompe la commande est pour suivie avec la touche START 4 24 et la touche STOPAVENT 4 2 La pi ce raccord s est vacu e en tapant bri vement la touche START 4 24 simulta n ment la DEL d tat verte 4 1 s allume La pression d admission d croissante pg est in diqu e sur l affichage combin 4 3 jusqu la valeur pe lt 0 2 mbar Quand cette valeur es
225. urbopumpe Nach ca 3 min ist der UL 100 PLUS betriebsbereit Hinweis Bei der Erstinbetriebnahme bzw nach l nge rer Stillstandszeit kann es zu einer berschrei tung dieser Hochlaufzeit kommen Die Fehler Indikator LED blinkt Durch emeutes Dr cken der Taste START kann der Fehler quittiert werdon Durch nochmalige Bet tigung wird das Ger t abgeschaltet siehe Abschnitt 2 5 Es nimmt nach dem Hochlauf den gleichen Zustand ein den es beim Ausschalten hatte siehe Ab schnitt 2 2 10 2 2 1 3 Netzspannungsausgang f r Zu satzger te An der Ger testeckdose 8 6 kann f r Ver braucher niedriger Leistungsaufnahme max 1 A die am Kombistecker 8 5 zugef hrte Netzspannung entnommen werden z B f r den QUICKTEST QT 100 Heliumschn ffler Hinweis Die Ger testeckdose 8 8 wird nicht ber den Netzschalter vom Netz getrennt Sie f hrt stets die Netzspannung 2 2 2 Tasten START und STOP VENT Taste START Nachdem der UL 100 PLUS mit dem Netz Schalter eingeschaltet und der Hochlauf be Abb 8 NetzenschluB Fig 8 Mains connection Fig 8 Raccordement secteur 8 3 whereby the number facing tho marking B 4 at the top applies To set the mains voltage remove the slide in fuse unit 8 3 next to the power socket with a screwdriver 8 1 and tum it so that the de sired voltage can be read at the top of the marking 8 4 Push the slide in fuse unit back into the socket 8 5 in this positi
226. us bung des Kalibriervorgangs 22 2 2 8 3 Special function Trigger 1 and 2 equipment status Error monitoring For setting this special mode of the triggers 1 and 2 the triggers must be inverted by press ing the Automatic Trigger logic pushbutton 48 In the inverted mode trigger 1 can be used for error monitoring The precondition for this is that the parameter entry pushbutton 4 19 has been used to set the inverted trigger ta such a range where no leak rate can occur e g 1 109 mbartei pos exponent The entry must be acknow ledged by the ENTER pushbutton 4 13 In the event of an error message the contact 10 and 11 on the multifunction interface see Section 2 2 13 2 is opened Thus it is possi ble to extemally indicate the occurrence of er rors Ready indication For setting this special mode of the triggers 1 and 2 the triggers must be inverted by press ing the Automatic Trigger logic pushbutton 4 18 In the inverted mode trigger 2 can be used for monitoring the operating condition The precondition for this is that the parameter entry pushbutton 4 19 has been used to set the inverted trigger to such a range where no leak rate can occur for example gt 1 109 mbarl s 1 positive exponent The entry must be acknowleged by the ENTER pushbutton The ready indication occurs after running up and successfully switched on emission In this setting the contact 12 and 13 on the
227. vity is too low during calibra tion it is possible to manually switch over to the other cathode by pressing the MANUAL pushbutton The calibration process may be terminated at any time by pressing the Trigger and Cali brate pushbutton 2 6 3 Calibration with an external cali brated leak Open the external calibrated leak Set up the UL 100 PLUS to the measure mode by pressing the START pushbutton Use the multifunction pushbutton Trigger and Calibrate to select the calibrate mode and acknowledge this by pressing the ENTER pushbutton The status display 26 1 on the service panel will read CAL Now the sensitivity of the mass spectrometer may be set to maximum by operating potenti ometer M4 26 12 see Section 2 6 1 The leak rate display will also show a maximum Now close the external calibrated leak Suppress any existing background by operat ing the autozero pushbutton 4 14 Open the external calibrated leak The leak rate which is imprinted on the cali brated leak is entered via the parameter entry pushbuttons 4 19 and 4 6 Pressing the ENTER pushbutton terminates the calibration process In this way the ULTRA lactor has been deter mined The factors for FINE and GROSS are computed based on the ULTRA factor In the partial flow mode see operating modes 3 and 4 in Fig 20 it is possible to sepa rately determine the calibration factors GROSS FINE and ULTRA To do this
228. wurden abgespeichert d h beim Wiedereinschalten erscheinen wie der die Zust nde die mit diesen Schi sseln eingegeben wurden Die Funktionen die mit Schl ssel 3 4 und 5 eingestellt waren werden beim Ausschalten nicht abgespeichert Die Funktionen der Schl ssel im einzelnen Schl ssel Nr 1 Schl ssel Nr 1 verriegelt und entriegelt die Benutzung der Multifunktionstaste Trigger und Kalibrierung 4 11 um z B unbefugte nderungen der eingestellten Kalibrierung und Triggerwerte zu verhindern Schl ssel Nr 2 Schl ssel Nr 2 verriegelt und entriegelt Trig ger Kalibrierung Hand Auto und die Wer teingabetasten Schl ssel Nr 3 Schl ssel Nr 3 wird nur in Verbindung mit dem Teilstrompumpsatz Abschnitt 2 4 7 1 verwendet Schl ssel 3 erm glicht bei automatischer Mefibereichswahl die Umschaltung von FINE nach ULTRA Hierbei wird das ext Teilstrom ventil geschlossen und der Lecksucher arbei tet mit der maximalen Empfindlichkeit Die Umschaltung kann nur erfolgen wenn der Einla druck p 0 2 mbar unterschreitet Das Umschalten von ULTRA nach FINE ist nicht m glich Schl ssel Nr 4 Schl ssel 4 erm glicht die Lecksuche am Re zipienten mit eigener Vorvakuumpumpe ohne Verwendung des UL 100 PLUS Pumpmoduls 6 5 Dazu ist die Vakuumkupplung des Leck suchmoduls 6 3 mit einem Blindflansch zu versehen und der Rezipient mit einem der Testanschl sse zu verbinden 2 2 13 1 Keylock Switch On th
229. x Joint torique pour raccordem sous vide 2 x Bague d tanch it pour raccord filet Festo 2 x 3 joints toriquos p raccordement sous vide Bride suppl mentaire DN 25 KF raccord du groupe de pompage de flux partiel El ment du fitr d chappement D 1 8 B Jeu de fusibles 200 28 022 Filtre alr Cha ne p suspendre l unit de commande Jeu d outils Vis oreilles 2x Connecteur m le de l interface Connecteur subminiature 9 p les Connecteur subminiature 25 p les Connecteur subminiature 6 p les Raccord du tuyau d chappement Jeu de cl s Modes d emploi UL 100 PLUS GA 10 20 Service de l interface V 24 RS 232 C avec ULTRATEST UL 100 PLUS SB 10 20 TURBOVAC 50 GA 05 10 TRIVAC D 1 6 B GA 01 20 TURBOTRONIK NT 14 GA 05 21 Liste de pi ces de rechange ET 05 10 Liste de pi ces de rechange ET 10 20 Liste de pi ces de rechange ET 01 20 Cache poussi re Casque d coute R f 200 27 98 1 4 2 Accessoires A R Coftre de transport 1559 Chariot de transport 155 8 Rallonge de 10 m pour l unit de commanda 185 4 Fuite callibr e TL 7 compl te avec robinet lectromagn tique et pi ces de montage 155 8 Fuite calibr e TL 8 165 M Testleck TL 4 6 155 80 Helium Schn ffler QUICKTEST QT 100 155 94 Helium Standard Schn ftler ST 100 155 90 Schn ffelleitung zum QUICKTEST 5m 155 77 Schn ffelleitung zum QUICKTEST 20m 155 76 Teilstrom Pumpsatz 165 44 Ersatz lonenquelle 165 04 So
230. zu bespr hen Dabei sollte nach M glichkeit eine Spr hpistole mit feiner Spitze 21 4 benutzt werden Um auch sehr kleine Lecks neben schon ge fundenen Lecks am Pr fling auffinden zu k n nen sind bereits bekannte Lecks durch Auf tragen von Alkohol zu verschlie en Beim Bespr hen des Pr flings mit Helium ist mind solange zu spr hen wie die mit einem Testleck am Pr fling ermittelte Ansprechzeit betr gt Sonst wird das Leck lalsch lokalisiert oder nicht gefunden Abb Flg 21 38 2 4 2 Vacuum Leak Detection with Test Object For quantitative leak rate determinations the leak of a test object must be sprayed with a 100 helium concentration This means that helium must be sprayed until the indicated leak rate no longer changes Make sure that the measuring result is not falsified by helium entering other leaks nearby H necessary the leak of the test object should be shielded e g with a cardboard tube A test object connected to the UL 100 PLUS is evacuated by briefly depressing the push button START 4 24 The falling intake pressure pg test object is shown on the scale 4 23 of combined indi cator 4 3 Switch over of the combined indi cator 4 3 from pressure indication pe py to leak rates occurs under the following condi tions d in operating modes 1 and 2 according to Fig 20 at pg 0 2 mbar in operating modes 4 and 3 according to Fig 20 at pe 100 mbar Th

Leybold, ULTRATEST UL 100 PLUS, Helium Leak Detector Portable

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