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Instruction Manual

1. Page 35 Seite 35 Page 35 pue saJedg S9lJ0SSQ25 e Ep WARDS DO21 71 885 Issue Ausgabe J Edition J Page 36 Seite 36 Page 36 TD CU 7 3 Accessories 7 3 Zubeh r 7 3 Accessoires T D The cables suitable for use with the APG are as follows Folgende Kabel sind f r die Verwendung mit dem APG Les c bles pouvant tre utilis s avec APG sont un These cables are supplied with 8 way male electrical geeignet Diese Kabel sind beidseitig mit 8 poligen les suivants Ces cables sont fournis avec une prise connectors on both ends Steckern versehen de raccordement male 8 voies chaque extr mit CD s 2 Ss CH Cable length Item Number Kabellange Bestellnummer Longueur du cable Num ro de r f rence 0 5m 18 inches D400 01 005 0 5 m D400 01 005 0 5m D400 01 005 1m 3 feet D400 01 010 1m D400 01 010 1m D400 01 010 CO 3m 10 feet D400 01 030 3m D400 01 030 3m D400 01 030 D 5m 15 feet D400 01 050 5m D400 01 050 5m D400 01 050 A 10m 30 feet D400 01 100 10m D400 01 100 10m D400 01 100 O 15m 50 feet D400 01 150 15m D400 01 150 15m D400 01 150 D 25m 80 feet D400 01 250 25m D400 01 250 25m D400 01 250 D 50m 150 feet D400 01 500 50m D400 01 500 50m D400 01 500 un 100 m 325 feet D400 01 999 100 m D400 01 999 100 m D400 01 999 Surge Suppressor D400 06 000 berspannungsschutz D400 06 000 Dispositif de protection D400 06 000 einrichtung contre les surtensions Ed
2. Filter UBWNER Kabel stecker APG Steckbuchse Sprengring fur Filter Vakuumflansch Filter UBWNER AW 1524 A Prise de raccordement du cable Prise de raccordement de l APG Circlip de fixation du filtre Bride de connexion au vide Filtre UBWNER Edwards Limited 2010 All rights reserved Page 3 Seite 3 Page 3 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited uononpoJaiu uononpoJaiu D021 71 885 Issue Ausgabe Edition J The APG vacuum connection is an NW16 NW25 or plain 15 mm outside diameter tube The gauge tube is either stainless steel or aluminium A sintered stainless steel filter is fitted to the end of the gauge tube to protect the gauge filament from contamination and from the effects of turbulence in the vacuum system when it is pumped down or vented to atmospheric pressure The APG contains two patented temperature sensing devices The APG uses these devices to compensate the output for the effects of changes in ambient temperature Three adjustment potentiometers are located behind a sliding cover panel on the APG see Figures 4 and 6 Two of the potentiometers allow you to adjust the APG at vacuum and atmospheric pressure The third potentiometer allows you to change the operating pressure of the set point device The set point device is a transistor which acts like a switch At high pressure above the set point the output of the transistor is off open or high impe
3. e Utilisez un joint torique avec anneau de centrage ou un joint co seal et un collier de serrage pour raccorder une bride NW16 ou NW25 la bride correspondante du syst me vide e Utilisez un support de joint torique ou un joint co seal pour raccorder une APG ayant une bride NW16 une bride NW10 e Utilisez un raccord compression de type Cajon Ultratorr pour connecter une APG ayant un tube de 15 mm de diam tre ext rieur votre syst me 3 3 Raccordements lectriques AVERTISSEMENT Si l APG ne fonctionne pas correcte ment la sortie de pression de I APG peut tre incorrecte Si ce type de panne est susceptible de provoquer des blessures ou des d g ts a l quipement vous tes tenu d installer un syst me de contr le permettant de signaler la panne et si n cessaire de stopper le processus Pour les c bles de plus de 30 m la pleine conformit la norme EN61326 exige la pr sence d un dispositif de protection contre les surtensions se reporter la Section 7 3 Page 15 Seite 15 Page 15 uonej e3su uonej e3su D021 71 885 Issue Ausgabe Edition J 3 3 1 Connect to Edwards controllers or AGD display Connect the APG to the controller or display with a cable which is terminated in suitable connectors Suitable cables are available from Edwards refer to Section 7 3 3 2 Connect to your own supply and control equipment Do not connect the electrical supply common pin
4. r das APG M oder APG MP bzw auf 1 x 10 mbar f r das APG L reduzieren Das Vakuumpotentiometer 4 verstellen bis der APG Ausgang 2 V 5 mV vac betr gt Das System auf atmospharischen Druck bel ften und das Ausgangssignal beobachten e Wenn das Ausgangssignal 10 V 5 mV atm lautet ist der Anpassungsvorgang beendet e Wenn das Ausgangssignal au erhalb dieses Bereichs liegt den Vorgang ab Schritt 3 wiederholen e Wenn der Arbeitsvorgang wiederholt wurde und das Ausgangssignal noch aufserhalb des erforder lichen Bereichs liegt siehe Abschnitt 5 3 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J Si vous raccordez l APG un coffret d affichage AGD Edwards r glez le potentiometre d atmosph re pour qu il indique atm et le potentiom tre de vide pour qu il indique vac Si vous connectez la sortie de l APG un volt m tre r glez la tension du potentiom tre d atmosph re 10 V et celle du potentiometre de vide 2 V 2JUEUSJUIEN Mettez en marche l alimentation de APG et laissez la fonctionner pendant 10 minutes Faites glisser le couvercle 2 afin d acc der aux potentiom tres de r glage 3 et 4 Lorsque le potentiom tre se trouve sous pression atmosph rique r glez le potentiom tre d atmos ph re 3 jusqu ce que la sortie de I APG soit de 10 V 5 mV atm R duisez la pression du sy
5. 1000 mbar avec une pr cision moindre L APG requiert une alimentation de 20 36 V CC Elle comporte une sortie analogique de 2 10 V CC li e la pression L APG est compatible avec toutes les AGC Edwards contr leurs pour j auges actives et avec la version correspondante des AGD Edwards coffrets d affichage pour j auges actives Vous pouvez galement utiliser une alimentation ind pendante pour l APG et vous pouvez lire le signal de sortie de l APG avec un voltm tre ou un convertisseur analogique num rique Une prise de raccordement lectrique 8 voies sur APG Figure 1 rep re 2 permet de raccorder l APG votre AGC votre AGD ou l alimentation et au voltim tre Des cables lectriques munis de connecteurs appropri s sont disponibles en accessoires Le connecteur dispose d un signal d identification de j auge ce signal est utilis par I AGC Edwards pour identifier le type de j auge active raccord e c est dire l un des types suivantes APG M MP e APG L Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited ED WARDS D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J Figure 1 General view of the APG Abbildung 1 Gesamtansicht des Figure 1 Vue g n rale de I APG NW16 APG shown APG abgebildet ist NW16 ici avec raccord NW16 Cable connector plug APG connector socket Filter retaining circlip Vacuum flange
6. 2 to the signal common pin 5 If you do the APG output signal will be inaccurate A schematic diagram of the recommended electrical connections to the APG is shown in Figure 3 The pins on the APG electrical connection socket are used as shown in Table 1 The specification of the electrical supply d c relay and back EMF suppression diode are given in Section 2 Page 16 Seite 16 Page 16 3 3 1 Anschluss an Edwards Controller oder AGD Anzeigegerat Zum Anschluss des APG an einen Aktiv Controller oder ein AGD Anzeigegerat ein Kabel mit geeigneten Steckern verwenden Geeignete Kabel sind von Edwards erhaltlich siehe Abschnitt 7 3 3 2 Anschluss an eigene Netzversorgung und eigenes Steuersystem Hinweis Den Masseanschluss der Stromversorgung Pin 2 nicht mit dem Signal masseanschl uss Pin 5 verbinden Wenn dies geschieht wird das Ausgangssignal des APG ungenau Abbildung 3 zeigt das Schaltschema der elektrischen Anschl sse des APG Tabelle 1 zeigt die Kontaktbelegung einer APG Steck buchse Angaben Uber die elektrische Versorgung das Gleichstromrelais und die EMK Entst rdiode sind in Abschnitt 2 erhalten pb WARDS 3 3 1 Raccordement a des contr leurs Edwards ou a un coffret d affichage AGD Connectez APG au contr leur AGC ou appareil d af fichage l aide d un c ble termin par les connecteurs appropri s Edwards peut vous fournir ces cables voir la Section 7 3 3 2 Raccordement vo
7. arr t ouvert ou imp dance lev e Lorsque la pression tombe en dessous du point de consigne la sortie du transistor se positionne sur marche ferm ou basse imp dance La limite de I hyst r sis du transistor est de 700 mV la sortie se met en position arr t lorsque la pression s l ve au dessus du point de consigne en partant de 700 mV Notez que si vous utilisez une lectronique de contr le Edwards AGC ou un affichage AGD le point de consigne de APG n est pas utilis Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 1 3 Gas dependency The rate of heat transfer through a gas is dependent upon both the pressure and the RMM relative molecular mass of the gas Therefore the output signal of the APG is also gas dependent The output signal voltage to pressure conversions in Tables 2 and 3 apply for nitrogen and dry air but can also be used when you measure the pressure of gases which have a similar RMM such as oxygen and carbon monoxide Generally e with gases which have a lower RMM than nitrogen the pressure indicated by the APG will be higher than the actual gas pressure with gases which have a higher RMM than nitrogen the pressure indicated by the APG will be lower than the actual gas pressure Graphs which show the APG pressure and voltage characteristics for argon neon krypton helium and carbon dioxide are
8. f r die Filterbefestigung und 5 Filter Edwards Limited 2010 All rights reserved Ersatzteil Bestellnummer Filter Ersatzteil garnitur D021 71 810 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J 7 Pieces d tach es et accessoires 7 1 Introduction Les produits pi ces d tach es et accessoires Edwards s obtiennent en s adressant aux diff rentes compagnies Edwards implant es en Allemagne en Belgique au Br sil au Canada en Cor e aux Etats Unis en France Hong Kong en Italie au J apon au Royaume Uni en Suisse ainsi qu un r seau international de distributeurs La majorit de ces centres emploient des ing nieurs et techniciens d apr s vente qui ont suivi des cours tr s complets de formation dans les tablissements Edwards Commandez les pi ces de rechange et les accessoires en vous adressant la soci t Edwards ou au distributeur Edwards le plus proche Lors de la passation de commande veuillez indiquer pour chaque composant requis les l ments suivants e Num ro de mod le et de code de votre quipement e Num ro de s rie le cas ch ant e Num ro de code et d signation de la pi ce 7 2 Pi ces d tach es Le kit de remplacement du filtre contient 5 circlips de fixation du filtre et 5 filtres Pieces d tach es nr E r f rence Kit de remplacement du filtre DO21 71 810
9. niederohmig Der Transistor hat eine feste Hysterese von 700 mV der Ausgang schaltet aus sobald der Druck auf 700 mV ber den Druck Schaltpunkt ansteigt Es ist zu beachten dass bei Verwendung eines Edwards AGC Controllers oder AGD Anzeigegerats der APG Sollwert nicht verwendet wird pb WARDS Le raccordement au vide de APG se fait par un tube NW16 NW25 ou par un tube simple de 15 mm de diam tre ext rieur Le tube de la jauge est en acier inoxydable ou en aluminium Un filtre en acier inoxydable fritt est adapt a extr mit du tube de la j auge pour prot ger le filament de la j auge de la contamination et des effets de turbulence dans le syst me vide lors du pompage ou du retour la pression atmosph rique L APG contient deux dispositifs de d tection de temp rature brevet s Elle utilise ces dispositifs pour compenser les effets des changements de temp rature ambiante au niveau de la sortie Trois potentiom tres de r glage se trouvent derri re un couvercle coulissant sur I APG voir Figures 4 et 6 Deux de ces potentiom tres vous permettent de r gler I APG en fonction du vide et de la pression atmosph rique Le troisi me permet de changer la pression de fonction nement du dispositif de point de consigne Le dispositif de point de consigne est un transistor qui agit comme un rupteur A pression lev e sup rieure au point de consigne la sortie du transistor se positionne sur
10. s EN61010 1 2001 R gles de s curit pour appareils lectriques de mesurage de r gulation et de laboratoire Prescriptions g n rales EN 61326 2 3 2006 Mat riels lectriques de mesure de commande et de laboratoire Prescriptions relatives la CEM Exigences particuli res Configurations d essai conditions fonctionnelles et crit res d aptitude la fonction des transducteurs avec un syst me de conditionnement du signal int gr ou distance et est ou sont conforme s aux clauses pertinentes de 2004 108 CE Directive sur la compatibilit lectromagn tique CEM Remarque la pr sente d claration couvre tous les num ros de s rie partir de la date de sa signature E G Ar NM 9 December 2009 M L Marini responsable technique Dete et lieu Ce produit a t r alis en respectant un syst me de qualit homologu conform ment la norme ISO9001 P200 02 623 Issue D gea 0078 05 10 Ep WARDS Contents Section Page 1 Introduction ee 1 11 Scope and definitions 1 1 2 Description 52er te e n Ret eee es 2 1 3 Gas dependency 2 5 2 Technical data 7 2 1 Mechanical data 7 2 2 Performance operating and storage conditions 7 2 3 Electrical data 8 2 4 Materials exposed to vacuum 11 3 Installation ses se ours cac 13 3 1 Unpack and insp
11. then the APG is faulty and should be returned to Edwards for exchange or replacement Edwards Limited 2010 All rights reserved 5 3 Fehlersuche Wenn das Druckausgangssignal des APG sich nicht verstellen l sst und im Bereich 2 V Ausgang lt 10 V liegt d h im Fehlerbereich die elektrischen Anschl sse berpr fen und sicherstellen dass die Spannung der Stromversorgung im korrekten Bereich liegt siehe Abschnitt 2 Wenn das Druckausgangssi gnal des APG einen festen Wert unabhangig vom Druck annimmt die elektrischen Anschl sse pr fen und sicherstellen dass Pin 7 nicht mit Pin 2 oder Masse verbunden ist Wenn Anschl sse und Versorgungsspannung korrekt si nd liegt ein Fehler des APG vor und es sollte an Edwards zum Austausch oder Ersatz zur ckgesandt werden Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D021 71 885 Issue Ausgabe Edition J 5 3 Recherche des causes de panne Si vous ne parvenez pas r gler le signal de sortie de la pression de l APG de mani re ce qu il se trouve dans la gamme de 2 V sortie lt 10 V c est dire si le signal se trouve dans la gamme erron e v rifiez les raccorde ments lectriques et assurez vous que la tension d alimentation est dans la gamme correcte voir la Section 2 Si le signal de sortie de la pression de APG est fixe et ind pendant de la pression v rifiez les raccordements lectriques et assurez vous que la broche 7
12. 0 9C O bis 70 9C 10 bis 50 9C 10 bis 90 nicht kondensierend 2000 m Nur zur Verwendung im Innenbereich 2 2 Performances et conditions de fonctionnement et de stockage Remarque les jauges APG indiquent les pressions allant jusqu 1000 mbar 760 torr avec une pr cision moindre Temp rature ambiante Fonctionnement Stockage Pression compens e Gamme de temp rature Humidit ambiante en fonctionnement Altitude maximum de fonctionnement 10 50 C 10 90 hors condensation 2000 m Utilisation l int rieur uniquement Page 7 Seite 7 Page 7 ejep e iuu2e8 yep e2iuu2a L e N w D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J pb WARDS Maximum internal pressure Pressure range APG M APG MP APG L Filament operating temperature approximate Pollution degree 6 bar absolute 5 bar gauge 100 to 1 x 10 mbar 10 to 1 x 10 mbar 100 9C Max Innendruck Druckberei ch APG M APG MP APG L Betriebstemperatur des Heizfadens ca Verschmutzungsgrad 6 bar abs 5 bar berdruck 100 bis 1 x 10 mbar 10 bis 1 x 10 mbar 100 9C 6 bar absolute jauge 5 bars Pression interne maximum Gamme de pression APG M APG MP APG L 100 1 x 10 mbar 10 1 x 10 mbar Temp rature de fonctionnement 100 C du filament approximative Degr de pollution 2 Electrical data Note The
13. 10 3 00 2 88 x 10 1 66 7 80 1 25 5 15 x 10 3 20 3 86 x 10 1 92 8 00 1 44 6 87 x 10 3 40 5 15 x 10 2 38 8 20 1 79 1 05 x 10 3 60 7 88 x 10 2 95 8 40 2 21 1 56 x 10 3 80 1 17 x 10 3 51 8 60 2 63 2 10 x 10 4 00 1 58 x 10 4 17 8 80 3 13 2 77 x 10 4 20 2 08 x 10 5 40 9 00 4 05 3 45 x 10 4 40 2 59 x 10 7 06 9 20 5 30 4 16 x 10 4 60 3 12 x 10 9 69 9 40 7 27 5 04 x 10 4 80 3 78 x 10 1 29 x 10 9 50 9 68 5 92 x 10 5 00 4 44 x 10 1 66 x 10 9 60 1 24 x 10 8 74 x 10 5 20 6 56 x 10 2 07 x 10 9 70 1 55 x 10 1 27 x 101 5 40 9 53 x 10 3 39 x 10 9 80 2 54 x 10 1 71 x 10 5 60 1 28 x 10 6 32 x 10 9 90 4 74 x 10 2 23 x 10 5 80 1 67 x 10 1 44 x 10 9 95 1 08 x 10 2 90x 10 6 00 2 18 x 101 1 00 x 10 10 00 7 50 x 10 3 57 x101 6 20 2 68 x 10 Page 21 Seite 21 Page 21 uolje19d0 uolje19d0 D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J If you connected the signal output of the APG toa voltmeter convert the measured voltage to the corresponding pressure value refer to Table 2 for the APG M or APG MP and to Table 3 for the APG L If necessary adj ust the pressure reading to compensate for the RMM of the gas in your vacuum system refer to Section 1 3 4 2 Set point adjustment If you connected the APG to a Edwards AGC controller or AGD display use the set point adjustment procedure detailed in the instruction manual supplied with the unit If you connected the APG to your own control equipment use the proc
14. 3 x 10 9 60 2 65 x 10 4 48 x 10 9 70 3 36 x 10 6 65 x 10 9 80 4 99 x 10 1 41 x 10 9 90 1 06 x 10 6 16 x 10 9 95 4 62 x 10 1 00 x 10 10 00 7 50 x 10 Page 20 Seite 20 Page 20 Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS D021 71 885 Table 3 Pressure and voltage characteristics for nitrogen and dry air APG L Tabelle 3 Druck und Spannungswerte f r Stickstoff und trockene Luft APG L Tableau 3 Caract ristiques de pression et de tension pour l air sec et pour l azote APG L Issue J Ausgabe J Edition J Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Pressure mbar Output voltage V Pressure torr Pressure mbar Output voltage V Pressure torr Druck mbar Ausgangsspannung V Druck torr Druck mbar Ausgangsspannung V Druck torr Pression mbar Tension de sortie V Pression torr Pression mbar Tension de sortie V Pression torr lt 1x10 2 00 lt 7 5x107 4 35 x 101 6 40 3 26x10 8 26 x 10 2 05 6 20 x 10 5 33x 101 6 60 4 00 x 101 2 27 x 107 2 10 1 70 x 10 6 40 x 101 6 80 4 80 x 101 5 00 x 10 2 20 3 75 x 10 7 67 x 101 7 00 5 75 x 101 1 08 x 10 2 40 8 10 x 10 9 23 x 101 7 20 6 92 x 101 1 68 x 10 2 60 1 26 x 10 1 14 7 40 8 55 x 101 2 60 x 10 2 80 1 95 x 10 1 40 7 60 1 05 3 84 x
15. 35 Einleitung enc ee en 35 Ersatzteile 2 era AE 35 ZUPENO F NEESS RSR SEA EN a 36 am Ende dieser Betriebsanleitung zu verwenden Abbildungen Abbildung Seite 1 Gesamtansicht des APG 3 2 Abmessungen MM ssssssrersrrrsrrrrrrerrrn 9 3 Schaltschema der typischen elektrischen ANSENIUSSE au 14 4 Einstellung des Druck Schaltpunkts 23 5 Schaltpunkt Label 24 6 Anpassung des APG f r Vakuum und atmosph rischen Druck 28 Tabellen Tabelle Seite 1 Pinbelegung uncut tem mcm iR enirn 17 2 Druck und Spannungswerte f r Stickstoff und trockene Luft APG M und APG MP 20 3 Druck und Spannungswerte f r Stickstoff und trockene Luft APG L 21 6 1 6 2 7 1 7 2 7 3 pb WARDS Stockage et mise au rebut 33 SLOCKAGE M 33 Mise au rebut 33 Pi ces d tach es et accessoires 35 Introduction ur citar cbe etos rbi qe ees 35 Pi ces d tach es uuuussuu 35 ACCOSSOII GS anna RR DRE AE 36 Pour le retour d appareil veuillez remplir lesformulaires HS figurant la fin de ce manuel Illustrations Figure Page 1 Vue g n rale de APG 3 2 Dimensions mm sseseessseeeeee 9 3 Sch ma des raccordements lectriques types 14 4 R glage du point de consigne de pression 23 5
16. 7 sont optionnels Faites le raccordement la broche 6 si vous souhaitez raccorder le signal de point de consigne un relais CC Vous devez raccorder une diode de suppression entre les broches 1 et 6 pour prot ger I APG des tensions transitoires g n r es lorsque le relais est mis hors service Un raccordement entre les broches 2 et 7 est n cessaire si vous souhaitez mesurer avec pr cision le point de consigne voir la Section 4 2 Si vous voulez mesurer le signal d identification dela jauge pour identifier le type d APG mesurez la r sistance entre les broches 4 et 5 Page 17 Seite 17 Page 17 uonej e3su E tek ee ds EDWARDS This page has been intentionally left blank Leerseite Cette page a t laiss e blanche intentionnellement Page 18 Seite 18 Page 18 Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 4 Operation WARNING IDo not use the APG to measure the pressure of explosive or flammable gases or mixtures The APG contains a heated filament which normally operates at 80 C above ambient temperature The temperature of the filament can be higher under fault conditions WARNING IWhen the pressure of gases of high molecular weight are measured the pressure indicated can be below the true pressure Ensure that the APG is not over pressurised when you use heavy gases CAUTION Never disconnect the APG to vent the vacu
17. DO21 71 885 Issue J Ausgabe J Edition J Instruction Manual Betriebsanleitung Mode d emploi Active Pirani Gauge Aktiv Pirani Messrohren J auge active Pirani Me PIRANI GAUGE Tini lt lt D021 71 000 D021 72 000 D021 73 000 D021 74 000 D021 75 000 H D021 77 000 D021 78 000 2 APG MP NW25 ST ST GE E APG MP NWIG ST ST E APG MP 150D ST ST D021 86 000 Ep WARDS WWW EDWARDS ACUUM COM EDwArbs Declaration of Conformity Edwards Manor Royal Crawley West Sussex RH10 9LW UK declare under our sole responsibility as manufacturer and person within the EU authorised to assemble the technical file that the product s Active Pirani Gauges APG M NW16 AL DO21 71 000 APG M NW25 ST ST D021 72 000 APG MP NW25 ST ST D021 82 000 APG L NW16 AL D021 73 000 APG L NW25 ST ST D021 74 000 APG MP NW16 ST ST D021 85 000 APG M NWI16 ST ST D021 75 000 APG M 150D ST ST D021 76 000 APG MP 150D ST ST D021 86 000 APG L NW16 ST ST D021 77 000 APG L 150D ST ST DO21 78 000 to which this declaration relates is in conformity with the following standard s or other normative document s EN61010 1 2001 Safety Requirements for Electrical Equipment for Measurement Control and Laboratory Use General Requirements EN 61326 2 3 2006 Electrical equipment for measurement control and laboratory Use EMC requirements Particular requirements Test configuration operational conditions and perform
18. Etiquette point de consigne 24 6 R glage de l atmosph re et du vide de VAP 28 Tableaux Tableau Page 1 Identification des broches de la prise de raccordement lectrique de l APG 17 2 Caract ristiques de pression et de tension pour l air sec et pour l azote APG M et APG MP 20 3 Caract ristiques de pression et de tension pour l air sec et pour l azote APG L 21 Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 1 Introduction 1 1 Scope and definitions This manual provides installation operation and maintenance instructions for the Edwards APG Active Pirani Gauge You must use the APG as specified in this manual Read this manual before you install and operate the APG Important safety information is highlighted as WARNING and CAUTION instructions you must obey these instructions The use of WARNINGS and CAUTIONS is defined below WARNING Warnings are given where failure to observe the instruction could result in injury or death to people CAUTION Cautions are given where failure to observe the instruction could result in damage to the equipment associated equipment or process The units used throughout this manual conform to the SI international system of units of measurement In accordance with the recommendations of EN61010 the following w
19. IP40 BS5490 and IP403 IEC529 Abmessungen Gewicht Aluminium Edelstahl Innenvolumen NW 16 NW 25 Rohrstutzen 15 mm a D Geh useschutzart Siehe Abbildung 2 120 g 200 g 6 cm 10 cm IP40 BS5490 und IP403 IEC529 D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J 2 Caract ristiques techniques 2 1 Caract ristiques m caniques 2 2 Performance operating and storage conditions Note The APG gauges will indicate up to 1000 mbar 760 torr at reduced accuracy Ambient temperature operation storage Compensated pressure temperature range Ambient humidity operation Maximum operating altitude 5 to 60 9C O to 70 9C 10 to 509C 10 to 90 non condensing 2000 m Indoor use only 2 2 Leistungs Betriebs und Lagerbedingungen Hinweis Die APG Flansche zeigen Werte bis zu 1000 mbar 760 torr mit geringen Abweichungen an Dimensions Masse Tube aluminium Tube acier inoxydable Volume du tube de la jauge NW16 NW25 Diam tre ext rieur 15 mm Classe de protection lectrique Voir Figure 2 120g 200g 6 cm 10 cm IP40 BS5490 et IP403 IEC529 Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Umgebungstemperatur Betrieb Lagerung Kompensationsdruck Temperaturbereich Umgebungsluftfeuchtigkeit Betrieb Max H he ber Meeresspiegel f r Betrieb 5 bis 6
20. PG L APG MP Filter Gauge tube Other Gold plated tungsten Platinuny Rhodium 90 10 Stainless steel AISI 316L Aluminium HE30TF or stainless steel AISI 316L Nickel fluoroelastomer PTFE Faden APG M APG L APG MP Filter Messrohr Sonstige Teile Goldbeschichtetes Wolfram Platin Rhodium 90 10 Edelstahl AISI 316L Aluminium HE30TF oder Edelstahl AISI 316L Nickel Fluorelastomer PTFE Filament APG M APG L APG MP Filtre Tube de la jauge Autre Tungst ne plaqu Platine rhodium 90 10 Acier inoxydable AISI 316L Aluminium HE30TF ou acier inoxydable AISI 316L Nickel fluoro lastom re PTFE Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Page 11 Seite 11 Page 11 ejep e iuu2a iA D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J ED WARDS This page has been intentionally left blank Leerseite Cette page a t laiss e blanche intentionnellement Page 12 Seite 12 Page 12 Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 3 Installation 3 1 Unpack and inspect Remove all packing materials and protective covers and check the APG If the APG is damaged notify your supplier and the carrier in writing within three days state the Item Number of the APG together with your order number and your su
21. ademarks of Edwards Limited D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J 4 Fonctionnement AVERTISSEMENT N utilisez pas I APG pour mesurer la pression de gaz ou de m langes explosifs ou inflammables L APG contient un filament chauff qui fonctionne normalement 80 C au dessus de la temp rature ambiante La temp rature du filament peut tre plus lev e en cas de panne uolje19d0 AVERTISSEMENT Lorsqu on mesure la pression de gaz poids mol culaire lev la pression indiqu e peut tre inf rieure la pression r elle V rifiez que I APG n est pas en surpression lorsque vous utilisez des gaz lourds ATTENTION Ne d connectez jamais l APG pour d charger les gaz du syst me vide La turbulence qui en r sulterait risquerait d endommager le filament de la jauge 4 1 Mesures de pression Pour assurer la meilleure pr cision possible des mesures de pression laissez APG fonctionner pendant 10 minutes environ puis utilisez la proc dure de la Section 5 1 pour r gler APG Si vous raccordez I APG une lectronique de contr le AGC ou un coffret d affichage APG Edwards la pression mesur e par APG est indiqu e sur l affichage Page 19 Seite 19 Page 19 uolje19d0 D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J pb WARDS Table 2 Pressure and voltage characteristics for nitrogen and dry air APG M and APG MP Tabelle 2 Druck und Spannungswerte f r St
22. age de l atmosph re et du vide 27 5 2 Nettoyage du filtre 22 30 5 3 Recherche des causes de panne 31 Page i Seitei Page i S U9 U07 DO21 71 885 Issue Ausgabe J Edition J 6 Storage and disposal 33 6 1 KE ele DEE 33 6 2 Disposal rere emere mess 33 7 Spares and accessories 35 7 1 Introduction iue ieri uote etie tese 35 7 2 KEE 35 7 3 ACCESSOS ANE a NES ga decals na 36 For return of equipment complete the HS Forms at the end of this manual Illustrations Figure Page 1 General view of the APG 3 2 Dimensions MM sssssssssesrssrrrnnrrrrnrn nn 9 3 Schematic diagram of typical electrical connections 4444 14 4 Adjust the set point pressure 23 5 Set point label ee 24 6 Adjust the APG for atmosphere and vacuum 28 Tables Table Page 1 Pins on the APG electrical connector socket 17 2 Pressure and voltage characteristics for nitrogen and dry air APG M and APG MP 20 3 Pressure and voltage characteristics for nitrogen and dry air APG L esses 21 Page ii Seite ii Page ii 6 1 6 2 7 1 7 2 7 3 F r die R cksendung von Geraten sind die HS Formulare Lagerung und Entsorgung 33 Lagerung RE 33 Entsorgung Ite ber Ru e eib nic Prada ud 33 Ersatzteile und Zubeh r
23. ance Germany Hong Kong Italy J apan Korea Switzerland United Kingdom U S A and a world wide network of distributors The majority of these centres employ Service Engineers who have undergone comprehensive Edwards training courses Order spare parts and accessories from your nearest Edwards company or distributor When you order please state for each part required e Model and Item Number of your equipment e Serial number if any Item Number and description of part 7 2 Spares The Filter Replacement Kit contains 5 filter retaining circlips and 5 filters Spare Item Number Filter Replacement Kit D021 71 810 7 Ersatzteile und Zubehor 7 1 Einleitung Produkte Ersatzteile und Zubeh r von Edwards sind von Edwards Niederlassungen in Belgien Brasilien Deutsch land Frankreich Grofsbritannien Hongkong Italien J apan Kanada Korea der Schweiz und den USA sowie einem weltweiten Netz an Vertragshandlern erhaltlich Die meisten von ihnen besch ftigen Service Techniker die bei Edwards geschult wurden Bestellen Sie Ersatzteile und Zubeh r von der nachstgelegenen Edwards Niederlassung oder dem nachstgelegenen Vertragshandler Geben Sie bei der Bestellung bitte fur jedes bendtigte Teil Folgendes an e Modell und Bestellnummer Ihrer Ausr stung Seriennummer sofern vorhanden e Bestellnummer und Bezeichnung des Teils 7 2 Ersatzteile Die Filter Ersatzteilgarnitur enth lt 5 Sprengringe
24. ance criteria for transducers with integrated or remote signal conditioning and fulfils all the relevant provisions of 2004 108 EC Electromagnetic Compatibility EMC Directive Note This declaration covers all product serial numbers from the date this Declaration was signed onwards WE P Gr LE Cs 9 December 2009 Mr L Marini Technical Manager Date and Place This product has been manufactured under a quality system registered to ISO9001 P200 02 620 Issue D EDwArbs Konformitatserklarung Edwards Manor Royal Crawley West Sussex RH10 9LW UK erkl ren in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist dass das Produkt bzw die Produkte Aktiv Pirani Mefsr hren APG M NW16 AL D021 71 000 APG M NW25 ST ST D021 72 000 APG MP NW25 ST ST D021 82 000 APG L NW16 AL D021 73 000 APG L NW25 ST ST D021 74 000 APG MP NW16 ST ST D021 85 000 APG M NW16 ST ST D021 75 000 APG M 150D ST ST D021 76 000 APG MP 15OD ST ST D021 86 000 APG L NW16 ST ST D021 77 000 APG L 150D ST ST D021 78 000 auf das bzw auf die sich die vorliegende Erklarung bezieht im Einklang steht bzw stehen mit der den folgenden Norm en oder einem anderen normativen Dokument en EN 61010 1 2001 Sicherheitsbesti mmungen f r elektrische Mess Steuer Regel und Laborger te Allgemeine Anforderungen EN 61326 2 3 2006 Elektrische Mess Steuer und Lab
25. arning symbol also appears on the product Edwards Limited 2010 All rights reserved 1 Einleitung 1 1 Umfangund Definitionen Dieses Handbuch enth lt Installations Betriebs und Wartungsanleitungen f r das Edwards APG Aktiv Pirani Messr hre Verwenden Sie bitte das APG entsprechend den Anleitungen dieses Handbuchs Lesen Sie dieses Handbuch vor Installation und Betrieb des APG Wichtige Sicherheitsangaben sind durch WARNUNGS und VORSICHTS Anweisungen hervor gehoben Bitte befolgen Sie diese Anweisungen Die Verwendung von WARNUNGS und VORSICHTS Anweisungen ist nachfolgend definiert WARNUNG Mit Warnung werden Anweisungen gekennzeichnet die unbedingt befolgt werden m ssen um Verletzungen oder Tod von Personen zu vermeiden VORSICHT Mt Vorsicht werden Anweisungen gekennzeichnet die unbedingt befolgt werden m ssen um Schaden an Ausr stungen angeschlossenen Ausr stungen oder Fehler im Gesamtprozess zu vermeiden Die in diesem Handbuch verwendeten Ma einheiten entsprechen dem internationalen SI Ma einheiten system Gem den EN61010 Empfehlungen ist an dem Produkt das folgende Warnsymbol angebracht Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J 1 Introduction 1 1 Port e et d finitions Ce manuel pr sente les consignes de montage d exploi tation et d entretien de APG Edwards J auge Active Pirani Vous dev
26. available on request contact your supplier or Edwards Edwards Limited 2010 All rights reserved 1 3 Gasart Abh ngigkeit Die W rme bertragung durch eine Gasart richtet sich sowohl nach dem Gasdruck als nach der RMM relativen Molek lmasse des Gases Deshalb ist auch das Ausgangssignal des APG gasartabhangig Die Umrechnungen der Ausgangssignalspannung in Druck in Tabellen 2 und 3 gelten f r Stickstoff und trockene Luft k nnen j edoch auch verwendet werden wenn der Druck von Gasen mit einem ahnlichen RMM gemessen wird z B Sauerstoff und Kohlenmonoxid All gemeines e Bei Gasen mit einer niedrigeren RMM als Stickstoff ist der vom APG angezeigte Druck h her als der tatsachliche Druck Bei Gasen mit einer h heren RMM als Stickstoff ist der vom APG angezeigte Druck niedriger als der tatsachliche Druck Einstellungskurven die die Druck und Spannungscharak teristika des APG f r Argon Neon Krypton Helium und Kohlendioxid darstellen stehen auf Wunsch zur Verf gung bitte setzen Sie sich mit Ihrem Handler oder direkt mit Edwards in Verbindung Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D021 71 885 Issue Ausgabe Edition J 1 3 D pendance par rapport au gaz Le taux de transfert thermique travers un gaz d pend dela pression et de la masse mol culaire relative du gaz Le signal de sortie de APG est donc lui aussi d pendant du gaz Les Tableaux 2 et 3 de co
27. cal supply Voltmeter D C relay optional Back EMF suppression diode optional Grounding switch optional Steckbuchse APG Kabelstecker Elektrische Versorgung Voltmeter Gleichstromrelais wahlweise EMK Freilaufdiode wahlweise Erdungsschalter wahlweise Prise de raccordement lectrique de l APG Prise de raccordement lectrique du c ble Alimentation Voltm tre Relais CC en option Diode de suppression EMF arri re Rupteur de mise la terre en option Page 14 Seite 14 Page 14 Figure 3 Schematic diagram of typical electrical connections AW 1527 A pb WARDS Abbildung 3 Schaltschema der Figure 3 Sch ma des typischen elektrischen Anschl sse raccordements lectriques types Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS To connect the APG to your vacuum system e Use an O ring centring ring or Co Seal and clamp to connect an NW16 or NW25 flange toa similar flange on the vacuum system e Use a stepped O ring carrier or Co Seal to connect an APG with an NW16 flange to an NW10 flange Use Cajon Ultratorr type compression couplings to connect an APG with a 15 mm OD tube connection to your system 3 3 Electrical connection WARNING If the APG malfunctions the APG pressure output may be incorrect If such a failure could cause injury to people or damage equipment you must i
28. clean water 5 Wash the filter with methanol to remove all traces of water and then thoroughly dry the filter 6 Refit the filter into the body tube and refit the circlip Page 30 Seite 30 Page 30 5 2 Filterreinigung VORSICHT Der Filter muss zum Reinigen ausgebaut werden Den Filter nicht eingebaut reinigen Zur Reinigung des Filters Abbildung 1 beachten und wie folgt vorgehen 1 Die elektrische Versorgung ausschalten Sicherstellen dass im Vakuumsystem atmospharischer Druck herrscht Das APG vom Vakuumsystem trennen 2 Den Sprengring 3 f r den Filter mit einer Sprengringzange entfernen dabei darauf achten das Innere des Gehauserohrs nicht zu beschadigen Filter 5 ausbauen 3 Den Filter pr fen Filter die beschadigt sind oder sich nicht reinigen lassen ersetzen Eine Filter Ersatzteilgarnitur ist erhaltlich siehe Abschnitt 7 4 Den Filter mit einer geeigneten Reinigungsl sung entfetten dann mehrmals in sauberem Wasser auswaschen 5 Den Filter mit Methanol auswaschen um samtliche Wasserreste zu entfernen Den Filter gr ndlich trocknen 6 Den Filter wieder in das Geh userohr einsetzen und den Sprengring aufziehen pb WARDS 5 2 Nettoyage du filtre ATTENTION Vous devez retirer le filtre pour le nettoyer Ne le nettoyez jamais s il est en place dans le corps du tube Reportez vous la Figure 1 et utilisez la proc dure ci dessous pour nettoyer le filtre 1 Coupez l alimen
29. dence When the pressure falls to the set point value the transistor output changesto on closed or low impedance The transistor has a fixed hysteresis of 700 mV the output goes off when the pressure rises to 700 mV above the set point pressure Note that if you use an Edwards AGC controller or AGD display the APG set point is not used Page 4 Seite 4 Page 4 Als Vakuumanschluss dient ein Flansch NW16 NW25 oder ein Rohrstutzen 15 mm a D entweder aus Edelstahl oder Aluminium Ein Filter aus rostfreiem Sintermetall ist am Rohrende angebracht um den Heizfaden gegen Verschmutzung und gegen die Wirkung von Turbulenz im Vakuumsystem wenn es abgepumpt oder auf atmospharischen Druck bel ftet wird zu sch tzen Das APG enthalt zwei patentierte Temperaturf hler Diese F hler werden zur Anpassung der Output Tem peratur an die Schwankungen der Umgebungstem peratur verwendet Drei Potentiometer sind hinter einer verschiebbaren Abdeckung auf dem APG angeordnet siehe Abb 4 und 6 Zwei der Potentiometer erlauben die Anpassung des APG f r Vakuum und atmospharischen Druck Das dritte Potentiometer erlaubt eine Anderung des Schaltpunktes Das Schaltpunkt Potentiometer regelt einen Transistor der wie ein Schalter wirkt Bei hohem Druck ber dem Soll wert ist der Ausgang des Transistors ausgeschaltet offen oder hochohmig Wenn der Druck auf den Soll wert abf llt wird der Transistorausgang eingeschaltet geschlossen oder
30. dwards Limited Ep WARDS A B NW16 22 120 NW25 22 124 150D 52 150 1 Clearance required for electrical cable Freiraum f r elektrisches Kabel 1 Espace requis pour le passage des cables B lectriques Edwards Limited 2010 All rights reserved Figure 2 Dimensions mm NW16 APG shown Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited AW 1528 A Lk 56 Abbildung 2 Abmessungen mm abgebildet ist NW16 APG 98 D021 71 885 Issue Ausgabe Edition J Figure 2 Dimensions mm APG repr sent e avec raccord NW16 Page 9 Seite 9 Page 9 ejep e iuu2a ejep e iuu2e8 DO21 71 885 Issue Ausgabe J Edition J pb WARDS Pressure output signal Range Error range Impedance Min load Max current source Set point Adj ustment range Fixed hysteresis Resolution External load rating Back EMF suppression diode Min surge rating Min reverse voltage rating Gauge identification resistance APG M APG MP PG L 2 lt output lt 10 V d c output lt 2 V d c or ouput gt 10 V d c 0 10 10 kQ 1uA 2 2 to 8 9 V 700 mV 200 mv 40 V d c 100 mA max 1A 100 V 27 kQ 2 33 kQ 2 Required when you use an external d c Relay connected to the set point output Druckausgangssignal Bereich Fehlerbereich Impedanz Min Belastung Max Stromquelle Druckschaltpunkt Einstel
31. ect 13 3 2 Fit the APG to the vacuum system 13 3 3 Electrical connection sss 15 3 3 1 Connect to Edwards controllers or AGD display siennes rer m rem 16 3 3 2 Connect to your own supply and control EAUIPMENE riens rrt hr ERRARE 16 4 Operation ge ee eg ge 19 4 1 Pressure measurement ssss 19 4 2 Set point adjustment 22 5 Maintenance 27 5 1 Atmosphere and vacuum adjustment 27 5 2 Clean the Filter 2 tr erem 30 5 3 Fault finding re 31 Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Inhalt Abschnitt Seite al Einleitung a ann aaa 1 11 Umfang und Definitionen ssse 1 1 2 Beschreibung u rh 2 1 3 Gasart Abh ngigkeit 5 2 Technische Daten 7 2 1 Mechanische Doten 7 2 2 Leistungs Betriebs und Lagerbedingungen 7 2 3 Elektrische Daten sseeesess 8 2 4 Werkstoffe im Vakuum suus 11 3 Installation ass 13 3 1 Auspacken und Kontrollieren 13 3 2 Montage des APG in das Vakuumsystem 13 3 3 Elektrische Anschl sse 15 3 3 1 Anschluss an Edwards Controller oder AGD Anzeigeger t 16 3 3 2 Anschluss an eigene Netzversorgung und eig
32. edure below to change the APG set point refer to Figure 4 1 Slide the cover panel 2 away from the vacuum connection 2 Use a small screwdriver to adjust the set point potentiometer 4 3 To estimate the set point pressure read the scale on the set point label Figure 4 item 1 and Figure 5 Page 22 Seite 22 Page 22 Wenn das Ausgangssignal des APG an ein Voltmeter angeschlossen ist muss der Spannungsmesswert in den entsprechenden Druckwert umgerechnet werden siehe Tabelle 2 fur Modell APG M oder APG MP und Tabelle 3 f r Modell APG L Falls erforderlich den Druckwert zur Kompensation der RRM der Gase im Vakuumsystem gem Abschnitt 1 3 korrigieren 4 2 Schaltpunkt Einstellung Wenn das APG an einen Edwards AGC Controller oder an ein AGD Anzeigegerat angeschlossen ist den Schaltpunkt gem den Anweisungen f r diese Ger te einstellen Wenn das APG mit Ihrem eigenen Steuersystem betrieben wird den Schaltpunkt wie folgt einstellen siehe Abbildung 4 Abdeckung 2 vom Vakuumanschluss wegschieben 2 Mit Hilfe eines kleinen Schraubenziehers den Schalt punkt Potentiometer 4 verstellen 3 Um den Druck Schaltpunkt zu berechnen den Wert von der Skala auf dem Schaltpunkt Label ablesen Abbildung 4 Pos 1 und Abbildung 5 pb WARDS Si vous connectez le signal de sortie de l APG un voltm tre convertissez la tension mesur e en la valeur correspondante de la pression en vous servant du Tab
33. eige auf 10 V einstellen bei J ustierung des Vakuum potentiometers die Anzeige auf 2 V einstellen Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J 5 Entretien ATTENTION Ne nettoyez pas l int rieur du tube de la jauge vous risqueriez d endommager le filament Si l APG est contamin e retournez la Edwards pour change ou remplacement 2JUEUSJUIEN Vous pouvez seulement remplacer le filtre et son circlip de fixation voir la Section 5 2 Si l APG est d fectueuse vous devez la retourner votre fournisseur ou au centre d entretien Edwards le plus proche pour change ou remplacement 5 1 R glage de l atmosph re et du vide Utilisez les potentiom tres pour I atmosph re A et le vide V Figure 6 rep res 3 et 4 pour r gler APG La proc dure de r glage ci dessous d pend de l unit de lecture que vous utilisez pour le signal de sortie de l APG Si vous raccordez l APG une lectronique de contr le AGC Edwards r f rez vous au mode d emploi de l AGC et modifiez affichage pour qu il indique la tension de la t te de jauge R glez le potentiometre d atmosph re pour que l affichage indique 10 V R glez le potentiom tre du vide pour que affichage indique 2 V Page 27 Seite 27 Page 27 a2ueua1ule y P WHn DO21 71 885 Issue Ausgabe J Edition J P WHn P WHn Screwdriver Cover panel A
34. electrical power consumption of the APGis reduced when the system is at vacuum The relationship between output signal voltage and pressure is shown in Tables 2 and 3 2 3 Elektrische Daten Hinweis Die Stromaufnahme des APG wird reduziert wenn im System ein Vakuum herrscht Das Verh ltnis zwischen Ausgangssi gnal spannung und Druck zeigen Tabelle 2 und 3 Electrical supply Voltage Max voltage ripple Max source resistance Maximum power consumption Electrical connector 420 to 436 V d c 1 V peak to peak 100 Q 1 W APG M 1 5 W APG L FCC68 RJ 45 type 8 way Elektrische Versorgung Spannung Max Brummspannung Max Quellwiderstand Max Stromaufnahme Anschlussstecker 420 bis 436 V DC 1 V Spitze Spitze 100 Q 1 W APG M 1 5 W APG L Typ FCC68 RJ 45 8 polig 2 3 Caract ristiques lectriques la consommation lectrique de l APG est r duite lorsque le syst me est vide Remarque La relation entre la tension du signal de sortie et la pression est montr e sur les Tableaux 2 et 3 Page 8 Seite 8 Page 8 Alimentation Tension 420 436 V CC Ondulation de tension 1Vcr te cr te maximum R sistance maximum de 100 Q la source Consommation maximum de 1 W APG M courant 1 5 W APG L Connecteur lectrique Type FCC68 RJ 45 8 voies Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of E
35. enes Steuersystem 16 4 Betrieb EE 19 4 1 Druckmessurng siti conde ert ER RER SERA 19 4 2 Schaltpunkt Einstellung 22 5 Wart UNG sandra nues 27 5 1 Anpassung f r Vakuum und atmospharischen DRUCK iei ee 27 5 2 Filterreinigung eee 30 5 3 Fehlersuche ores er end 31 D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J Table des matieres Section Page 1 Introduction ss 1 1 1 Port e et d finitions 1 1 2 Description ur nh nh 2 13 D pendance par rapport au gaz 5 2 Caract ristiques techniques 7 2 1 Caract ristiques m caniques 7 2 2 Performances et conditions de fonctionnement et de stockage 7 2 3 Caract ristiques lectriques 8 2 4 Mat riaux expos s au vide 11 3 Installation essen 13 3 1 D ballage et v rification 13 3 2 Montage de la j auge APG sur le syst me CI IOS soe RE 13 3 3 Raccordements lectriques 15 3 3 1 Raccordement des contr leurs Edwards ou un coffret d affichage AGD 16 3 3 2 Raccordement votre propre mat riel et quipement de contr le 16 4 Fonctionnement 19 4 1 Mesures de pression 2 19 4 2 R glage du point de consigne 22 5 Entretien censere REPRE 27 5 1 R gl
36. ez utiliser l APG comme il est indiqu dans ce manuel Lisez ce manuel avant d installer et de faire fonctionner l APG Les informations de s curit importantes sont mises en valeur par des paragraphes encadr s intitul s AVERTISSEMENT et ATTENTION Vous devez en respecter les consignes L utilisation de ces messages AVERTISSEMENT et ATTENTION est d finie ci dessous AVERTISSEMENT Un message Avertissement est pr vu chaque fois que le non respect d une consigne risque d entra ner mort ou blessure ATTENTION Un message Attention est pr vu chaque fois que le non respect d une consigne risque d endommager l quipement le mat riel associ ou le proc d Les unit s utilis es tout au long de ce manuel sont conformes au syst me international SI d unit s de mesure Conform ment aux recommandations de la norme EN61010 le symbole d avertissement suivant figure galement sur le produit Page 1 Seite 1 Page 1 uononpoaiu uononpoaiu DO21 71 885 Issue Ausgabe J Edition J From August 2005 Edwards will offer European customers a recycling service 1 2 Description The APG shownin Figure 1 isa Pirani vacuum gauge and gauge controller in a single compact unit The measurement range of the APG M and of the corrosion resistant APG MP is 100 to 1 x 10 mbar the range of the APG L is 10 to 1 x 10 mbar All of the gauges will indicate pressures up to 1000 mbar at reduced accuracy The APG req
37. ickstoff und trockene Luft APG M und APG MP Tableau 2 Caract ristiques de pression et de tension pour l air sec et pour l azote APG M et APG IVP Pressure mbar Output voltage V Pressure torr Druck mbar Ausgangsspannung V Druck torr Pression mbar Tension de sortie V Pression torr 1x10 2 00 7 5 x 10 8 2 31x 10 2 05 1 73x 10 6 21 x 10 2 10 4 66 x 10 1 36 x 10 2 20 1 02 x 10 2 97 x 10 2 40 2 23 x 10 4 61 x 10 2 60 3 46 x 10 6 51 x 10 2 80 4 88 x 10 1 02 x 10 3 00 7 65 x 10 1 47 x 10 3 20 1 10 x 10 1 91 x 10 3 40 1 43 x 10 2 95 x 10 3 60 2 21 x 10 4 16 x 10 3 80 3 12 x 10 5 61 x 10 4 00 4 21 x 10 7 20 x 10 4 20 5 40 x 10 2 8 94 x 10 4 40 6 71 x 10 1 13 x 10 4 60 8 48 x 10 145x101 4 80 1 09x101 1 76 x 101 5 00 1 32 x 10 2 22 x 10 5 20 1 67 x 101 3 16 x 10 5 40 2 37 x 10 4 13 x 101 5 60 3 10 x 101 5 40 x 101 5 80 4 05 x 101 6 82 x 10 6 00 5 12 x 10 1 8 41 x 10 6 20 6 31 x 10 Pressure mbar Output voltage V Pressure torr Druck mbar Ausgangsspannung V Druck torr Pression mbar Tension de sortie V Pression torr 1 06 6 40 7 95 x 10 1 33 6 60 9 98 x 101 1 60 6 80 1 20 1 87 7 00 1 40 2 26 7 20 1 70 2 75 7 40 2 06 3 24 7 60 2 43 3 73 7 80 2 80 4 39 8 00 3 29 5 29 8 20 3 97 6 27 8 40 4 70 7 63 8 60 5 72 9 39 8 80 7 04 1 27 x 10 9 00 9 53 1 67 x 10 9 20 1 25 x 10 2 24 x 10 9 40 1 68 x 10 2 88 x 10 9 50 2 16 x 10 3 5
38. inbau des APG wie in Abbildung 2 dargestellt Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J 3 Installation 3 1 D ballage et v rification Retirez tous les mat riaux d emballage et les couvercles de protection et v rifiez que APG n est pas endommag e En cas d endommagement vous devez pr venir votre fournisseur et le transporteur par crit dans les trois jours en signalant le num ro de code de APG ainsi que votre num ro de commande et le num ro de facture de votre fournisseur Conservez les mat riaux d emballage en vue d un examen ult rieur Ne pas utiliser APG si elle est endommag e Si l APG ne doit pas tre utilis e imm diatement remettez les couvercles de protection Stockez l APG dans des conditions ad quates comme indiqu la Section 6 3 2 Montage de la jauge APG sur le syst me vide L APG peut tre mont e dans n importe quelle position Pour viter l accumulation de d bris ou de mati res condensables dans le corps du tube de APG ce qui provoquerait vraisemblablement des erreurs de mesure de pression nous vous conseillons d installer APG verticalement comme indiqu la Figure 2 Page 13 Seite 13 Page 13 uonej e3su uonej e3su nau wNh DO21 71 885 Issue Ausgabe J Edition J nau wNh naou RP wNh APG electrical connector socket Cable electrical connector plug Electri
39. lbereich Feste Hysterese Aufl sung Externe Belastung EMK Freilaufdiode Min Stof amp spannung Min Gegenspannung Identifikationscode APG M APG MP PG L 2 lt Ausgang lt 10V DC Ausgang lt 2 V DC oder Ausgang gt 10 V DC 0 1Q 10 kQ 1 WA 2 2 bis 8 9 V 700 mV 200 mV 40 V DC Max 100 mA 1A 100 V 27 kQ 2 96 33 kQ 2 96 Gamme de signal de pression de sortie Gamme d erreur Imp dance Charge minimum Source de courant maximum Point de consigne Gamme de r glage Limite de I hyst r sis R solution Charge externe nominale Diode de suppression EMF arri re Surcharge minimum Tension indirecte minimum R sistance d identification de lajauge APG M APG MP PG L 2 lt sortie x 10 V CC Sortie lt 2 V CC ou Sortie gt 10 V CC 0 10 10 kQ 1 pA 2 2a8 9V 700 mV 200 mv 40 V CC 100 mA max 1A 100 V 27 kQ 2 96 33 kQ 2 96 Page 10 Seite 10 Page 10 Bei Verwendung eines an den Schaltpunkt Ausgang angeschl ossenen externen Geichstromrelais N cessaire si vous utilisez un relais externe CC raccord la sortie du point de consigne Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 2 4 Materials exposed to vacuum 2 4 Werkstoffe im Vakuum D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J 2 4 Mat riaux expos s au vide Filament APG M A
40. leau 2 pour I APG M ou l APG MP et du Tableau 3 pour I APG L Si n cessaire r glez l affichage de la pression afin de compenser la masse mol culaire relative du gaz se trouvant dans votre syst me de vide voir la Section 1 3 4 2 R glage du point de consigne Si vous raccordez APG un contr leur AGC Edwards ou un affichage AGD Edwards utilisez la proc dure de r glage du point de consigne d taill e dans le mode d emploi fourni avec l unit Si vous raccordez l APG votre propre quipement de contr le utilisez la proc dure ci dessous afin de changer le point de consigne de l APG voir la Figure 4 l Faites glisser le couvercle 2 R glez le potentiom tre du point de consigne 4 avec un petit tournevis 3 Pour estimer la pression du point de consigne utilisez l chelle gradu e sur l tiquette point de consigne situ e sur la jauge Figure 4 rep re 1 et Figure 5 Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited ED WARDS D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J Figure 4 Adjust the set point Abbildung 4 Einstellung des Druck Figure 4 R glage du point de D pressure Schaltpunkts consigne de pression CD ct 1 Set point label 2 Cover panel 3 Screwdriver 4 Set point potentiometer 1 Schaltpunkt Label 1 2 Abdeckung 3 Schraubenzieher 4 Schaltpunkt Potentiomete
41. ltages generated when the d c relay is Switched off A connection between pins 2 and 7 is necessary if you want to accurately measure the set point refer to Section 4 2 If you want to measure the gauge identification signal to identify the type of APG measure the resistance between pins 4 and 5 Edwards Limited 2010 All rights reserved Die Anschl sse an Pin 6 und 7 sind optional Schliefsen Sie Pin 6 an wenn Sie das Schaltpunktsignal an ein Gleichstromrelais anschlieRen wollen Sie m ssen eine Entst rdiode zwischen Pins 1 und 6 anschlie en um das APG gegen berspannungen zu sch tzen die beim Abschalten des Gleichstromrelais erzeugt werden Eine Br cke zwischen Pin 2 und 7 ist erforderlich wenn Sie den Schaltpunkt genau messen wollen siehe Abschnitt 4 2 Urn den Identifikations Code zu lesen um den Typ des APG zu bestimmen messen Sie den Widerstand zwischen Pin 4 und 5 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J Tableau 1 Identification des broches de la prise de raccordement lectrique de I APG gebe Utilisation 1 Tension positive de l alimentation 2 Neutre de l alimentation 3 Signal de sortie de la mesure de pression 4 Signal d identification de la jauge 5 Signal neutre 6 Signal de sortie du point de consigne 7 Lecture du point de consigne 8 Pas de raccordement Les raccordements aux broches 6 et
42. n Gleichspannungs Analogausgang von 2 bis 10 V ist proportional zum Druck Das APG ist mit allen Edwards AGC Ger ten Aktiv Controller und den entsprechenden Versionen der Edwards AGD Anzeigegerate f r Aktiv Messr hren kompatibel Es ist jedoch auch m glich eine unabhangige Stromversorgung f r das APG zu verwenden und das APG Ausgangs signal mit einem Voltmeter oder ber einen Analog Digital Wandler abzulesen Eine 8 polige Steckbuchse Abbildung 1 Pos 2 wird f r den Anschluss an Ihre Aktiv Controller Anzeigegerate f r Aktiv Messr hren oder elektrische Versorgung und Voltmeter verwendet Mit passenden Steckern versehene elektrische Kabel stehen als Zubeh r zur Verf gung Auf dem elektrischen Stecker ist ein Signal zur Identi fizierung von Messr hren verf gbar Mit Hilfe dieses Signals stellt der Edwards AGC den angeschlossenen Messr hrentyp fest Folgende Messr hrentypen k nnen angeschlossen werden APG W MP e APG L pb WARDS A partir d ao t 2005 Edwards proposera un service de recyclage ses clients europ ens 1 2 Description L APG illustr e sur la Figure 1 est compos e d une jauge vide Pirani et d un contr leur de j auge combin s dans une seule unit compacte La gamme de mesure de l APG M et de APG MP qui r siste la corrosion est de 100 1 x 10 mbar la gamme de mesure de APG L est 10 1 x 10 mbar Toutes ces j auges indiquent des pressions allant jusqu
43. n est pas raccord e la broche 2 ou la terre Si les raccordements lectriques et I alimentation sont corrects l APG est d fectueuse et doit tre retourn e Edwards pour change ou remplacement Page 31 Seite 31 Page 31 2JUEUSJUIEN iA D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J ED WARDS This page has been intentionally left blank Leerseite Cette page a t laiss e blanche intentionnellement Page 32 Seite 32 Page 32 Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 6 Storage and disposal 6 1 Storage Return the APG to its protective packaging and store the APG in clean dry conditions until required for use Do not exceed the storage temperature conditions specified in Section 2 When required for use prepare and install the APG as described in Section 3 6 2 Disposal Dispose of the product and any components safely in accordance with all local and national safety and environmental requirements Alternatively you may be able to recycle the Product and or cables contact Edwards or your supplier for advice also see below The Product and associated cables are within the scope of the European Directive on Waste Electrical and Electronic Equipment 2002 96 EC From August 2005 Edwards will offer European customers a recycling service for the Product cables at the end of the product s life Contact Edwards f
44. nstall a suitable control system to indicate the failure and if necessary to close down your process system If the APG malfuncWhen using a cable longer than 30 m full compliance with the EN61326 requires an in line surge suppressor please refer to Section 7 3 Edwards Limited 2010 All rights reserved Anschluss des APG an Ihr Vakuumsystem e Flansch NW16 oder NW25 an den entsprechenden Flansch im Vakuumsystem mit Hilfe eines O Rings Zentrierrings oder einer Co Seal Dichtung anschlie en e Ubergangs Zentrierring mit O Ring oder Co Seal Dichtung zum Anschluss des APG mit Flansch NWI16 an einen Flansch NW10 verwenden Cajon Ultratorr Druckanschluss Quetsch verschraubung zum Anschluss eines APG mit 15 mm Rohr a D an Ihr System verwenden 3 3 Elektrische Anschl sse WARNUNG Bei St rungen des APG kann es zu Fehlanzeigen kommen Wenn daraus eine Verletzung von Personen oder eine Beschadigung von Anlagen resultieren kann m ssen Sie eine geeignete Sicherheitsabschaltung integrieren die den Fehler anzeigt und falls erforderlich den Prozess abschaltet Wird ein Kabel von mehr als 30 m L nge verwendet ist zur uneingeschrankten Einhaltung der Norm EN61326 eine berspannungsschutzeinrichtung zwischenzuschalten siehe Abschnitt 7 3 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J Pour connecter l APG votre syst me vide
45. ntiometers Figure 6 items 3 and 4 to adjust the APG The adj ustment procedure below depends on the read out unit you use for the APG output signal f you connected the APG to a Edwards AGC controller refer to the AGC instruction manual and change the display to show gauge head voltage When you adj ust the atmosphere potentiometer set the display to read 10 V when you adj ust the vacuum potentiometer adj ust the display to 2 V Edwards Limited 2010 All rights reserved 5 Wartung VORSICHT Das Innere des Messrohrs nicht reinigen da hierdurch der Heizfaden beschadigt werden kann Ein ver schmutzes APG zwecks Austausch oder Ersatz an Edwards zur ckzusenden Nur der Filter und der zur Befestigung verwendete Sprengring k nnen ersetzt werden siehe Abschnitt 5 2 Ein fehlerhaftes APG ist an Ihren Lieferanten oder das nachste Service Zentrum von Edwards zum Umtausch oder Ersatz zur ckzusenden 5 1 Anpassung f r Vakuum und atmospharischen Druck Das APG mit Hilfe der Potentiometer f r atmospha rischen Druck A und Vakuum V Abbildung 6 Pos 3 und 4 anpassen Der Anpassungsvorgang unten richtet sich nach dem f r das Ausgangssignal des APG verwen deten Anzeigegerat e Wurde das APG an einen Edwards AGC Conroller angeschlossen die Anzeige auf die Messr hren spannung einstellen wie in der AGC Betriebsan leitung beschrieben Bei J ustierung des Potentio meters f r atmospharischen Druck die Anz
46. nversion tension pression du signal de sortie s appliquent l azote et l air sec mais peuvent gal ement tre utilis s pour mesurer la pression de gaz ayant une masse mol culaire relative identique comme I oxyg ne et le monoxyde de carbone G n ralement e Pour les gaz ayant une masse mol culaire relative inf rieure celle de l azote la pression indiqu e par l APG sera plus lev e que la pression r elle e Pour les gaz ayant une masse mol culaire relative sup rieure celle de l azote la pression indiqu e par l APG sera plus basse que la pression r elle Vous pouvez vous adresser votre fournisseur ou la soci t Edwards pour obtenir des courbes qui indiquent les crit res de pression et de tension de l APG pour une utilisation avec l argon le n on le krypton l h lium et le dioxyde de carbone Page 5 Seite 5 Page 5 uononpoJaiul E tek ee ds EDWARDS This page has been intentionally left blank Leerseite Cette page a t laiss e blanche intentionnellement Page 6 Seite 6 Page 6 Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 2 Technical data 2 1 Mechanical data 2 Technische Daten 2 1 Mechanische Daten Dimensions Mass aluminium tube stainless steel tube Volume of gauge tube NW16 NW25 15 mm OD Enclosure rating See Figure 2 120 g 200 g 6 cm 10 cm
47. or advice on how to return the Product cables for recycling Edwards Limited 2010 All rights reserved 6 Lagerung und Entsorgung 6 1 Lagerung Das APG wieder mit der Schutzverpackung versehen und an einem sauberen trockenen Ort bis zur Wiederver wendung aufbewahren Die in Abschnitt 2 angegebene Lagertemperatur nicht berschreiten Zur Wiederverwendung das APG gem Abschnitt 3 vorbereiten und installieren 6 2 Entsorgung Entsorgen Sie das Produkt und alle Komponenten auf sicherem Weg und unter Einhaltung aller rtlichen und nationalen Sicherheits und Umweltschutzbesti mmungen Alternativ dazu k nnen Sie das Produkt und oder die Kabel wiederaufbereiten Wenden Sie sich zur Beratung an Edwards oder an den Fachhandler siehe auch unten Dieses Produkt und die zugeh rigen Kabel unterliegen der Richtlinie 2002 96 EG ber Elektro und Elektronik Altgerate Ab August 2005 bietet Edwards seinen europaischen Kunden einen Wiederaufbereitungsservice f r das Produkt und die Kabel am Ende der Lebensdauer an Wenden Sie sich an Edwards umzu erfahren was Sie bei der R cksendung der zur Wiederaufbereitung bestimmten Produkte und Kabel beachten m ssen Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J 6 Stockage et mise au rebut 6 1 Stockage Remettez l APG dans son emballage protecteur et conservez la dans un lieu sec et propre j usqu ce que vo
48. orgerate EMV Anforderungen Besondere Anforderungen Pr fanordnung Betriebsbedingungen und Leistungsmerkmale f r Messgr enumformer mit integrierter oder abgesetzter Signalaufbereitung und alle einschlagigen Vorschriften erf llt aus 2004 108 EG Richtlinie zur elektromagnetischen Vertraglichkeit EMV Richtlinie Hinweis Diese Erkl rung gilt f r alle Produktseriennummern ab dem Unterzeichnungsdatum dieser Erkl rung E la Ar 16 December 2009 Mr L Marini Technical Manager Datum und Ort Dieses Produkt wurde gem einem nach 1S09001 zertifizierten Qualitatsmanagementsystem gefertigt P200 02 622 Issue D Ep WARDS D claration de conformit Nous la soci t Edwards Manor Royal Crawley West Sussex RH10 9LW R U d clarons sous notre enti re responsabilit en tant que fabricant et personne tablie dans l UE et autoris e constituer le dossier technique que le ou les produit s suivant s J auges actives Pirani APG M NW16 AL D021 71 000 APG M NW25 ST ST D021 72 000 APG MP NW25 ST ST D021 82 000 APG L NW16 AL D021 73 000 APG L NW25 ST ST D021 74 000 APG MP NW16 ST ST D021 85 000 APG M NW16 ST ST D021 75 000 APG M 15OD ST ST D021 76 000 APG MP 15OD ST ST D021 86 000 APG L NW16 ST ST D021 77 000 APG L 150D ST ST D021 78 000 au x quel s cette d claration se r f re est ou sont conforme s la ou aux norme s suivante s ou un ou plusieurs autre s document s normatif
49. pplier s invoice number Retain all packing materials for inspection Do not use the APG if it is damaged If the APG is not to be used immediately replace the protective covers Store the APG in suitable conditions as described in Section 6 3 2 Fit the APG to the vacuum system The APG can be mounted in any orientation To avoid the build up of debris or condensable material in the body tube of the APG which will probably cause pressure measurement errors we recommend that you install the APG vertically as shown in Figure 2 Edwards Limited 2010 All rights reserved 3 Installation 3 1 Auspacken und Kontrollieren Das gesamte Verpackungsmaterial und die Schutzabdeckungen entfernen und das APG pr fen Bei Besch digung des APG Lieferanten und Spediteur schriftlich innerhalb von drei Tagen benachrichtigen dabei die Bestellnummer des APG zusammen mit Ihrer Auftragsnummer und der Rechnungsnummer Ihres Lieferanten angeben Das Verpackungsmaterial zur Kontrolle aufbewahren Beschadigtes APG nicht benutzen Soll das APG nicht sofort eingesetzt werden die Schutz abdeckungen wieder aufsetzen Das APG unter geeigneten Bedingungen lagern siehe Abschnitt 6 3 2 Montage des APG in das Vakuum system Das APG kann in beliebiger Lage montiert werden Um Ansammlungen von Kontaminationen und kondensier baren Stoffen im Gehauserohr des APG zu vermeiden diese bewirken wahrscheinlich Messfehler empfehlen wir senkrechten E
50. r v 1 Etiquette R glage du point de consigne I D 2 Couvercle 3 Tournevis NI S x 4 Potentiometre du point de consigne Y MX RM A lt pe a J Edwards Limited 2010 All rights reserved Page 23 Seite 23 Page 23 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited uolje19d0 D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J Figure 5 Set point label AG 0408 A Page 24 Seite 24 Page 24 Abbildung 5 Schaltpunkt Label pb WARDS Figure 5 Etiquette point de consigne SET TRIP Refer To Instructions Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 4 To measure the set point pressure accurately Connect pin 7 to pin 2 or to ground Use a voltmeter to measure the voltage between pins 3 and 5 Use the data in Tables 2 and 3 to convert the voltage to an equivalent pressure If necessary turn the set point potentiometer to change the set point pressure Disconnect pin 7 from pin 2 or from ground Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Genaues Messen des Druck Schaltpunkts Pin 7 an Pin 2 oder Masse anschlie en Mit einem Voltmeter die Spannung zwischen Pin 3 und 5 messen Mit Hilfe von Tabellen 2 und 3 die Spannung in den entsprechenden Druck umrechnen N tigenfalls das Schalt punkt Potentiomete
51. r drehen um den Druck Schaltpunkt zu andern Pin 7 von Pin 2 oder Masse trennen D021 71 885 Issue J Ausgabe Edition J Pour mesurer la pression du point de consigne avec pr cision Raccordez la broche 7 la broche 2 ou la terre Utilisez un voltm tre pour mesurer la tension entre les broches 3 et 5 Servez vous des donn es des Tableaux 2 et 3 pour convertir la tension en son quivalent en pression Si n cessaire tournez le potentiom tre du point de consigne afin de modifier la pression du point de consigne D connectez la broche 7 de la broche 2 ou de la terre Page 25 Seite 25 Page 25 uolje19d0 iA D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J ED WARDS This page has been intentionally left blank Leerseite Cette page a t laiss e blanche intentionnellement Page 26 Seite 26 Page 26 Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 5 Maintenance CAUTION Do not clean the interior of the gauge tube as you can damage the filament If the APG is contaminated return it to Edwards for exchange or replacement You can only replace the filter and its retaining circlip refer to Section 5 2 If the APG is faulty you must return it to your supplier or your nearest Edwards service centre for exchange or replacement 5 1 Atmosphere and vacuum adj ustment Use the atmosphere A and vacuum V pote
52. st me 1 x 10 mbar ou moins pour la jauge APG M ou APG MP ou un 1 x 10 mbar pour la jauge APG L R glez le potentiometre de vide 4 jusqu ce que la sortie de I APG indique 2 V 5 mV vac Remettez le syst me sous pression atmosph rique et v rifiez le signal de sortie e Si le signal de sortie est 10 V 5 mV atm la proc dure de r glage est termin e e Sile signal de sortie est hors de cette gamme recommencez la proc dure partir de tape 3 Si vous avez recommenc la proc dure et que le signal de sortie est touj ours hors de la gamme requise r f rez vous la Section 5 3 Page 29 Seite 29 Page 29 9JUEUSJUIEN D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J 5 2 Clean the Filter CAUTION You must remove the filter to clean it Do not clean the filter in position in the body tube Refer to Figure 1 and use the following procedure to clean the filter 1 Switch off the electrical supply ensure that the vacuum system is at atmospheric pressure and remove the APG from the vacuum system 2 Use circlip pliers to remove the filter retaining circlip 3 ensure that you do not damage the inside of the body tube Remove the filter 5 3 Inspect the filter If the filter is damaged or cannot be cleaned replace the filter a filter replacement kit is available as a spare refer to Section 7 4 Use a suitable cleaning solution to degrease the filter then wash the filter repeatedly in
53. tation v rifiez que le syst me a vide est sous pression atmosph rique et retirez l APG du syst me vide 2 Utilisez des pinces pour circlip pour retirer le circlip de fixation du filtre 3 Assurez vous de ne pas endommager l int rieur du tube Retirez le filtre 5 3 V rifiez le filtre Si celui ci est endommag ou est impossible nettoyer remplacez le Un kit de rem placement du filtre est disponible dans les pi ces d tach es voir la Section 7 4 Utilisez une solution de nettoyage appropri e pour d graisser le filtre puis lavez le plusieurs fois l eau claire 5 Lavez le filtre avec du m thanol afin de retirer toute trace d humidit puis s chez le soigneusement 6 R installez le filtre dans le corps du tube et r in stallez le circlip Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 5 3 Fault finding If you cannot adj ust the pressure output signal from the APG so that the signal is in the range 2 V lt output lt 10 V that is the signal is in the fault range check the electrical connections and ensure that the electrical supply voltage is in the correct range see Section 2 If the pressure output signal from the APG is fixed and independent of pressure check the electrical connections and ensure that pin 7 is not connected to pin 2 or to ground If the connections and the electrical supply are correct
54. tmospheric pressure potentiometer Vacuum pressure potentiometer Schraubenzieher Abdeckung Potentiometer f r atmospharischen Druck Potentiometer fur Vakuum Tournevis Couvercle Potentiom tre de pression atmosph rique Potentiom tre de pression sous vide Page 28 Seite 28 Page 28 Figure 6 Adjust the APG for atmosphere and vacuum AWI1526 A pb WARDS Abbildung 6 Anpassung des APG f r Figure 6 R glage de I atmosphere Vakuum und atmospharischen Druck et du vide de I AP Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS f you connected the APG to a Edwards AGD display when you adj ust the atmosphere potentiometer set the display to read atm when you adj ust the vacuum potentiometer adj ust the display to vac f you connected the APG output to a voltmeter when you adj ust the atmosphere potentiometer set the voltage to 10 V when you adj ust the vacuum potentiometer adj ust the voltage to 2 V 1 Switch on the power supply to the APG and allow it to operate for 10 minutes 2 Slide the cover panel 2 towards the vacuum connector to access the adj ustment potentiometers 3 and 4 3 With the vacuum system at atmospheric pressure adj ust the atmosphere potentiometer 3 until the APG output is 10 V 5 mV atm 4 Reduce the system pressure to 1 x 107 mbar or below for the APG M or APG MP ga
55. tre propre mat riel et quipement de contr le Remarque ne connectez pas l alimentation lectrique neutre broche 2 au signal neutre broche 5 Si vous le faites le signal de sortie de APG ne sera pas correct Un sch ma des raccordements lectriques conseill s est montr la Figure 3 Les broches de la prise de raccordement lectrique de l APG sont utilis es comme indiqu au Tableau 1 Les caract ristiques de l alimentation lectrique du relais CC et de la diode de suppression EMF arri re sont donn es la Section 2 Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS Table 1 Pins on the APG electrical connector socket Tabelle 1 Pinbelegung Pin Number Use Nummer Belegung 1 Electrical supply positive voltage 1 Plusspannung der elektrischen 2 Electrical supply common Versorgung 3 Pressure measurement output signal 2 Masseanschluss 4 Gauge identification signal 3 Druckmesswert Ausgangssi gnal 5 Signal common 4 Identifikati ons Code 6 Set point output signal 5 Signalmasseanschluss 7 Read set point level 6 Sollwert Ausgangssi gnal 8 No connection 7 Druck Schaltpunkt Abfrage The connections to pins 6 and 7 are optional Make the B Ee connection to pin 6if you want to connect the set point signal to a d c relay you must connect a suppression diode between pins 1 and 6 to protect the APG from transient vo
56. uge or to 1 x 10 mbar for the APG L gauge 5 Adjust the vacuum potentiometer 4 until the APG output is 2 V x 5mv vac 6 Vent the system to atmospheric pressure and look at the output signal e If the output signal is 10 V 5 mV atm the adjustment procedure is complete e If the output signal is outside this range repeat this procedure from step 3 f you have repeated the procedure and the output signal is outside the required range refer to Section 5 3 Edwards Limited 2010 All rights reserved e Wurde das APG an ein Edwards AGD Anzeigeger t angeschlossen Bei J ustierung des Potentiometers f r atmosph rischen Druck die Anzeige auf atm einstellen bei J ustierung des Vakuumpotentio meters die Anzeige auf vac einstellen e Wenn der Ausgang des APG an ein Voltmeter angeschlossen wurde Bei einer Verstellung des Potentiometers f r atmospharischen Druck die Spannung auf 10 V einstellen bei einer Verstellung des Vakuumpotentiometers die Spanung auf 2 V einstellen Die Stromversorgung des APG einschalten und das Ger t 10 Minuten lang auf warmen lassen Die Abdeckung 2 zum Vakuumanschluss ver schieben um Zugang zu den Anpassungspotenti ome tern 3 und 4 zu schaffen Wenn im Vakuumsystem atmospharischer Druck herrscht das Potentiometer f r atmospharischen Druck 3 verstellen bis der Ausgang des APG 10 V 5 mV atm betr gt Den Druck im System auf 1 x 10 mbar oder darunter f
57. uires a 20 to 36 V d c power supply it has a2to 10 V d c analogue output which is related to pressure The APG is compatible with all of the Edwards AGC s Active Gauge Controllers and with the appropriate versions of the Edwards AGD s Active Gauge Displays Alternatively you can use an independent power supply for the APG and you can read the APG output signal with a voltmeter or an analogue to digital converter An 8 way electrical connector socket on the APG Figure 1 item 2 is used to connect the APG to your AGC AGD or electrical supply and voltmeter Electrical cables fitted with suitable connector plugs are available as accessories A gauge identification signal is available on the electrical connector this signal is used by Edwards AGC sto identify which type of Active gauge is connected that is one of the following types APG M MP e APG L Page 2 Seite 2 Page 2 Ab August 2005 bietet Edwards seinen europaischen Kunden einen Wiederauf bereitungsservice an 1 2 Beschreibung Das in Abbildung 1 dargestellte APG ist eine Pirani Messr hre mit Steuerelektronik in einem einzigen kompakten Gerat Der Messbereich des APG M und der rostfreien Ausf hrung APG MP betragt 100 bis 1 x 10 mbar der Messbereich des Ger ts APG L betragt 10 bis 1x 10 mbar Alle Messr hren k nnen einen Druck bis zu 1000 mbar mit geringen Abweichungen anzeigen Das APG erfordert eine Gleichspannungsversorgung von 20 bis 36 V sei
58. um system The resulting turbulence may damage the gauge filament 4 1 Pressure measurement For most accurate pressure measurement allow the APG to warm up for about 10 minutes and then use the procedure in Section 5 1 to adjust the APG If you connected the APG to an Edwards AGC controller or AGD display the pressure measured by the APG is shown on the display Edwards Limited 2010 All rights reserved 4 Betrieb WARNUNG Das APG nicht f r Druckmessungen von explosionsfahigen oder entflammbaren Gasen oder Gasgemischen einsetzen Das APG enth lt einen Heizfaden der normalerweise bei einer Temperatur von 80 C ber der Umgebungstempe ratur arbeitet Bei Fehlerzustanden kann die Temperatur des Fadens noch h her liegen WARNUNG Bei Druckmessungen von Gasen mit hohem Molekulargewicht kann der ange zeigte Druck unter dem tatsachlichen Druck liegen Bei schweren Gasen darauf achten dass im APG kein berdruck herrscht VORSICHT Niemals das APG zum Bel ften des Vakuumsystems abnehmen Die dadurch entstehende Turbulenz kann den Heizfaden beschadigen 4 1 Druckmessung Um die genauesten Druckmessungen zu erreichen das APG etwa 10 Minuten lang aufwarmen lassen und dann gem Abschnitt 5 1 vorgehen um das APG anzupassen Wenn das APG an einen Edwards AGC Controller oder an ein AGD Anzeigeger t angeschlossen wurde erscheint der vom APG gemessene Druck auf der Anzeige Edwards and the Edwards logo are tr
59. us en ayez besoin Ne d passez pas les temp ratures de stockage sp cifi es la Section 2 Lorsque vous avez besoin de APG pr parez la et installez la comme indiqu la Section 3 6 2 Mise au rebut D barrassez vous du produit et de tous ses composants en toute s curit et en respectant toutes les r glementations locales et nationales en mati re de s curit et d environnement Vous pouvez galement recycler le produit et ou les cables Consultez Edwards ou votre fournisseur voir galement ci dessous La directive europ enne 2002 96 CE relative aux d chets d quipements lectriques et lectroniques s applique au produit et aux c bles associ s A partir d ao t 2005 Edwards proposera ses clients europ ens un service de recyclage du produit des c bles en fin de vie Consultez Edwards pour plus d informations sur le retour du produit des cables des fins de recyclage Page 33 Seite 33 Page 33 jesods p pue ebeJ03S iA D021 71 885 Issue Ausgabe J Edition J ED WARDS This page has been intentionally left blank Leerseite Cette page a t laiss e blanche intentionnellement Page 34 Seite 34 Page 34 Edwards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 7 Spares and accessories 7 1 Introduction Edwards products spares and accessories are available from Edwards companies in Belgium Brazil Canada Fr
60. wards Limited 2010 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited

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