Instruction Manual / Betriebsanleitung / Mode d`emploi
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1. Diffstak est une marque d pos e d Edwards sa1a1jew sap ajqel HEUuL sSJUSJU0J C321 03 885 Issue G ED WARDS This page has been intentionally left blank Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est d lib r ment laiss e vierge iv Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 1 Introduction 1 1 Scope and definitions This manual provides installation operation and maintenance instructions for the Edwards BRV Mk IV Backing Roughing Valves You must use the valves as specified in this manual Read this manual before you install and operate the valve Important safety information is highlighted as WARNING and CAUTION instructions you must obey these instructions The use of WARNINGS and CAUTIONS is defined below WARNING Warnings are given where failure to observe the instruction could result in injury or death to people CAUTION Cautions are given where failure to observe the instruction could result in damage to the equipment associated equipment and process The units used throughout this manual conformto the SI international system of units of measurement Edwards Limited 2009 All rights reserved 1 Einleitung 1 1 Umfang und Definitionen Dieses Handbuch enthalt Installations Betriebs und Wartungsanleitungen fur die Edwards BRV Mk IV Dreiwegeventile Verwenden Sie bitte diese Ventile nur entspreche2. Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 3 Installation 3 1 Unpack and inspect Remove all the packing materials and check the BRV valve If the valve is damaged notify your supplier and the carrier in writing within three days state the Item Number of the valve together with your order number and your suppliers invoice number Retain the packing materials for inspection Do not use the valve if it is damaged If the valve is not to be used immediately store the valve in suitable conditions as described in Section 6 3 2 Fit the valve WARNING Take appropriate precautions when you install the valve in a system in which dangerous process substances have been pumped Edwards Limited 2009 All rights reserved 3 Installation 3 1 Auspacken und Kontrollieren S mtliches Verpackungsmaterial entfernen dann das BRV Ventil pr fen Wenn eine Besch digung des Ventils festgestellt wird so m ssen Lieferant und Spediteur hiervon innerhalb von drei Tagen schriftlich in Kenntnis gesetzt werden dabei zusammen mit Ihrer Auftragsnummer und der Rechnungsnummer des Lieferanten die Bestellnummer des Ventils angeben Die Verpackungsmaterialien zwecks sp terer Begutachtung aufbewahren Ein besch digtes Ventil darf nicht eingesetzt werden Wenn das Ventil nicht f r den sofortigen Einsatz bestimmt ist das Ventil wieder verpacken Das Vent
3. R ckschlagventil ffnung Nur BRV25P mit In Line Anschl ssen WP MNAUARWNP He h A N Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G Figure 5 Vue en coupe partielle de la vanne BRV venou PwnNh 10 11 12 Legende Boulons de fixation nombre 4 Orifice d amor age Corps de l orifice d amor age Orifice de pompage primaire Corps de l orifice de pr vidage Orifice de pr vidage Si ge de vanne J oint torique de plaquette de vanne Plaquette de vanne J oint torique de vanne Bride de I orifice d amorcage BRV25P avec orifice d amorcage a bride uniquement Orifice d amorcage BRV25P avec orifices droits uniquement 29 nq Ne asi 39 35eY90JS SuUNS1OS U pun Sunsase Jesodsip pue a pioe C321 03 885 Issue G ED WARDS This page has been intentionally left blank Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est d lib r ment laiss e vierge 30 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 7 Service spares and accessories 7 1 Introduction Edwards products spares and accessories are available from Edwards companies in Belgium Brazil China France Germany Israel Italy J apan Korea Singapore United Kingdom U S A and a world wide network of distributors The maj ority of these centres employ Service Engineers who have undergone comprehen
4. C321 03 885 Issue G If you use a BRV valve with an electropneumatic control valve and an oil sealed rotary pump which does not have an inlet check valve ensure that you install the valves so that failure of the electrical supply results in closure of the correct BRV valve port Alternatively ensure that both of the pneumatic lines will vent to atmosphere this will cause the BRV backing and roughing ports to close and be isolated from the pumping port 14 Falls erforderlich bauen Sie ein als Zubeh r erhaltliches elektropneumatisches Steuerventil siehe Abschnitt 7 ein um optimale Offnungs und Schlie zeiten f r das BRV Ventil zu gew hrleisten Der Einbau des elektropneumatischen Steuerventils mu entsprechend den Anweisungen in der Betriebsanleitung zum Steuerventil erfolgen Wenn Sie ein BRV Ventil mit einem elektropneumatischen Steuerventil und einer lgedichteten Drehschieberpumpe einsetzen die ansaugseitig ber kein R ckschlagventil verf gt mu das Ventil so installiert werden da ein Ausfall der Netzversorgung zum Schlie en der richtigen BRV Ventil ffnung f hrt Alternativ kann auch daf r gesorgt werden da beide Druckluftleitungen an Atmosph re entl ften hierdurch schlie en sich die BRV R ckschlagventil und Vorventil ffnungen und werden von der Pumpen ffnung isoliert Ep WARDS Le cas ch ant pour optimiser les temps d ouverture et de fermeture de la vanne BRV vous pouvez installer une van
5. Figure 3 Circuit pneumatique type D ie M N N x lt Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G 15 Uo e e SU UOIJE EJSUI uolejjejsu C321 03 885 Issue G 3 4 Electrical connections BRVP valves only WARNING Do not use the position indicators if their failure could result in injury damage to equipment associated equipment or process The position indicators are microswitches The configuration of these microswitches is shown in Figure 4 Each valve has two microswitches 3 6 and the outputs of the microswitches identify the position of the valve as shown in Table 1 or Table 2 Note that your valve can have one of two types of microswitch fitted the microswitches are either black as shown in detail C or white as shown in detail D Undo the screw 2 remove the top cap 1 pass your wires through the cable gland 5 and connect your control equipment to the microswitches as required After you have connected your control equipment refit the top cap and secure with the screw 16 3 4 Elektrische Anschliisse nur BRVP Ventile WARNUNG Die Stellungsanzeiger nicht verwenden wenn ihr Ausfall Verletzungen oder Sch den an der Anlage verbundenen Anlagen oder am Prozess verursachen k nnte Die Stellungsindikatoren sind Mikroschalter Die Konfiguration dieser Mikroschalter wird in Abbildung 4 dargestellt J edes Ventil hat zwei Mikrosc
6. Microswitch 1 Mikroschalter 1 Micro rupteur 1 Actuated bet tigt Enclench Not actuated nicht betatigt Non enclench Actuated bet tigt Enclench Tabelle 2 Mikroschalter Stellungsindikationen BRV25P Microswitch 1 Mikroschalter 1 Micro rupteur 1 Actuated bet tigt Enclench Actuated bet tigt Enclench Not actuated nicht betatigt Non enclench Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G Tableau 1 Indications de positions fournies par les micro rupteurs vanne BRV10P Microswitch 2 Mikroschalter 2 Micro rupteur 2 Not actuated nicht betatigt Non enclench Actuated bet tigt Enclench Not actuated nicht betatigt Non enclench Tableau 2 Indications de positions fournies par les micro rupteurs vanne BRV25P Microswitch 2 Mikroschalter 2 Micro rupteur 2 Not actuated nicht betatigt Non enclench Actuated bet tigt Enclench Not actuated nicht betatigt Non enclench 17 uolJe 3SU UOIJE EJSUI uorejjejsu Uougltgisu uolyejjejsuj UOIZE e SUy C321 03 885 Issue G Figure 4 Microswitch configurations Abbildung 4 Mikroschalter Konfigurationen pb WARDS Figure 4 Configurations des micro rupteurs AW 1704 A 18 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS Figure 4 Microswitch configurations Key
7. rement con ue pour les blocs int gr s Diffstak de Edwards mais s utilise galement chaque fois qu une vanne compacte commutation dans la gamme de pression allant de 2 1 bars 1 x 10 mbar 2 1 x 10 1 x 10 Pa en valeur absolue s av re n cessaire Les voies d amor age et de pr vidage restent isol es pendant le fonctionnement de cette vanne Cette derni re a galement une position m diane neutre qui correspond la fermeture de toutes les voies Dans cette position les trois passages sont compl tement isol s les uns des autres La fermeture des voies d amorcage et de pr vidage est assur e par des ressorts L tanch it de chaque orifice est assur e par des joints toriques en fluoro lastom re Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS The roughing and pumping ports on all valves have NW flanges The BRV25P with flanged backing port has an NW25 backing port All other BRV valves have an unflanged backing port and are supplied with a flexible connector to fit the backing port Electropneumatic control valves suitable for use with the BRV valves are available as accessories refer to Section 7 3 Edwards Limited 2009 All rights reserved Zwei Versionen des BRV Ventils stehen zur Verf gung e BRVM Ventile werden ber einen Hebel manuell bet tigt e BRVP Ventile werden pneumatisch bet tigt Diese Ven
8. Figure 5 proc dez comme suit 1 Sur une vanne BRVP d branchez l alimentation pneumatique au niveau des connecteurs de cette vanne puis retirez la vanne lectropneumatique de commande le cas ch ant 2 Placez des couvercles de protection sur tous les orifices de la vanne 3 Retirez les quatre boulons de fixation 1 au niveau du corps de l orifice d amor age 3 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 6 Examine the valve pad CO ring 8 and the body O ring 10 If the O rings are damaged e Remove and dispose of the O rings e Apply alight wipe of high vacuum grease to the new O rings and fit them to the valve 7 Refit the backing port body 3 to the roughing port body 5 and secure with the four fixing bolts 1 8 If necessary refit the electropneumatic control valve 9 Reonnect the pneumatic supply to the connectors on the valve Edwards Limited 2009 All rights reserved Das Geh use der R ckschlagventil ffnung 3 vom Geh use der Vorventil ffnung abnehmen 5 Ventilsitz 7 und Ventilteller 9 pr fen wenn sie besch digt sind mu das Ventil ausgetauscht werden Pr fen Sie den O Ring 8 des Ventiltellers und den O Ring 10 des Geh uses Wenn die O Ringe besch digt sind e Die O Ringe entfernen und entsorgen e Zum leichteren Einbau die neuen O Ringe mit einer d nnen Schicht Hoc
9. gro er Hitze ausgesetzt war Wenn berhitzung aufgetreten ist m ssen Sie unbedingt die entsprechenden Sicherheitsregeln beachten um den Kontakt mit den Dichtungen und O Ringen zu verhindern Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G Entretien Consignes de securite AVERTISSEMENT Respectez toutes les consignes et pr cautions appropriees de s curit d crites ci dessous Dans le cas contraire vous risquez de vous blesser ou de provoquer des d gats Ne nettoyez pas cette vanne avec des produits chimiques abrasifs ou r actifs Ne nettoyez pas les joints d tanch it et les joints toriques avec des solvants Mettez au rebut en toute s curit les composants qui ont t contamin s par des produits dangereux Les joints toriques de cette vanne sont en fluoro lastom re Normalement les fluoro lastom res ne pr sentent aucun danger mais peuvent se d composer en substances tr s dangereuses la suite d une surchauffe une temp rature sup rieure ou gale 260 C La vanne peut subir une surchauffe lors d une mauvaise utilisation lors d un fonctionnement d fectueux de votre syst me de vide ou encore lors d un incendie affectant la vanne En cas de surchauffe respectez les pr cautions appropri es de s curit afin d viter tout contact avec les joints d tanch it et les joints toriques 23 U91 21 U3 UNEM 22UeEUSJUIEW U91 21 U3 SUNJIE
10. ment laiss e vierge 26 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 6 Storage and disposal 6 1 Storage Place protective covers over the valve ports and store the valve in cool dry conditions until required for use When required prepare and install the valve as described in Section 3 6 2 Disposal Dispose of the valve and any components removed from it safely in accordance with all local and national safety and environmental requirements Edwards Limited 2009 All rights reserved 6 Lagerung und Entsorgung 6 1 Lagerung Die Ventil ffnungen mit Schutzabdeckungen verschlie en und das Ventil k hl und trocken lagern Bei Bedarf erfolgen Vorbereitung und Einbau des Ventils wie in Abschnitt 3 beschrieben 6 2 Entsorgung Das Ventil und alle von demselben abgebauten Teile und Komponenten nur unter Einhaltung aller rtlichen und nationalen Sicherheits und Umweltvorschriften entsorgen Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G 6 Stockage et mise au rebut 6 1 Stockage Placez des couvercles de protection sur les orifices de la vanne et conservez cette derni re dans un lieu frais et sec jusqu ce que vous en ayez besoin A ce moment l pr parez et installez cette vanne comme indiqu la Section 3 de ce manuel 6 2 Mise au rebut D barrassez vous de cette vanne et de tous l
11. 1 03 885 Issue G Contents Inhalt Table des mati res Section Page Abschnitt Seite Section Page 1 IHEROAUERION sn 1 1 Einleitung ce 1 1 ig e ie Tee el BEE 1 1 1 Scope and definitions 1 1 1 Umfang und Definitionen 1 11 Port e de ce manuel 1 1 2 Description 2 1 2 Beschreibung une ann 2 1 2 Beseription nennen 2 2 Technical data 5 2 Technische Doten 5 2 Caract ristiques techniques 5 2 1 Performance secs anne 5 2 1 Leistungsdaten 22 5 2 1 Performances ensima denerim annasan 5 2 2 Mechanical data 5 2 2 Mechanische Doten 5 2 2 Caract ristiques m caniques 5 2 3 Pneumatically operated BRV valves 6 2 3 Pneumatisch bet tigte BRV Ventile 6 2 3 Vannes BRV commande pneumatique 6 2 4 Construction materials 9 2 4 VWerkebOokte nent ne sans detente ns 9 2 4 Mat riaux de construction 9 2 5 Item Numbers 10 2 5 Bestellnummern 22 10 2 5 Num ros de codes des composants 10 3 Installation area 11 3 Installation asus 11 3 Installation usa 11 3 1 Unpack and inspect 11 3 1 Auspacken und Kontrollieren 11 3 1 Deballage et v rifications 11 3 2 Fit THE Valve nassen nen 11 3 2 Ventil einbauen sesesrs nennen nenn 11 3 2 Positionnement de la va
12. 4 Fonctionnement La d faillance de l alimentation pneumatique ou la mise l air libre des deux orifices pneumatiques d une vanne BRV provoque la fermeture du passage d amor age et du passage de pr vidage et isole ces deux orifices de la voie de pompage primaire Remarque La vanne peut tre bruyante lors de l admission d air en fonction de la conception de votre syst me Sur des vannes BRV commande manuelle amenez la poign e sur la position requise pour faire fonctionner cette vanne Sur des vannes BRVP commande pneumatique enclenchez votre alimentation pneumatique pour faire fonctionner la vanne BRV Pendant le fonctionnement les diff rents ports sont isol s les uns des autres afin d viter toute irruption de gaz pendant le fonctionnement de la vanne 21 u w uuo puo galijeg uolje19d0 C321 03 885 Issue G ED WARDS This page has been intentionally left blank Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est d lib r ment laiss e vierge 22 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 5 Maintenance 5 1 Safety WARNING Obey the precautions given below If you do not you can cause injury to people and damage to equipment e Do not use abrasive or reactive chemical substances to clean the valve Do not use solvents to clean seals or O rings e Safely dispose of all components which have been conta
13. 85 Issue G ED WARDS This page has been intentionally left blank Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est d lib r ment laiss e vierge 4 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 2 Technical data 2 1 Performance Operating pressure range 2 1 bar to Leak tightness against a 1 bar 1 x 10 Pa pressure differential Maximum baking temperature BRV10 25M BRV10 25P Mean time to failure MTTF 100 000 cycles 1x 107 mbar absolute 2 1 x 10 to 1 x 10 Pa less than 1x 10 mbar Is 1x 107 Pal s 2 2 Mechanical data Dimensions Roughing and pumping ports BRV10M P BRV25M P See Figures 1 and 2 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited 2 Technische Daten 2 1 Leistungsdaten Betriebsdruckbereich 2 1 bar bis 1 x 10 mbar absolut 2 1 x 10 bis 1x 10 Pa Leckrate gegen unter 1 bar 1x 10 Pa 1x 10 mbar Is Druckdifferential 1x 107 Pals Maximale Ausheiztemperatur BRV10 25M BRV10 25P Lebensdauer MTTF 100 000 Zyklen 2 2 Mechanische Daten Vorventil und Pumpen ffnungen BRV10M P BRV25M P C321 03 885 Issue G 2 Caract ristiques techniques 2 1 Performances Plage de pressions de fonctionnement Taux maximum de fuites en pr sence d un diff rentiel de pression de 1 bar 1
14. BRV10P valve BRV25P valve Type 1 microswitch Burgess black Type 2 microswitch Oterhall white DOP Top cap Screw Microswitch 2 Valve shaft Cable gland Microswitch 1 NC normally closed NO normally open Common WMONAUAWNP Edwards Limited 2009 All rights reserved Abbildung 4 Mikroschalter Konfigurationen Legende BRV10P Ventil BRV25P Ventil Mikroschalter Typ 1 Burgess schwarz Mikroschalter Typ 2 Oterhall wei DOP Oberer Deckel Schraube Mikroschalter 2 Ventilwelle Kabel stopfbuchse Mikroschalter 1 NC Offner NO Schlie er Schaltungsnull venou BPBwnNh Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G Figure 4 Configurations des micro rupteurs unm gt venou PwnNh Legende Vanne BRV1OP Vanne BRV25P Micro rupteur de type 1 Burgess noir Micro rupteur de type 2 Oterhall blanc Chapeau sup rieur Vis Micro rupteur 2 Axe de vanne Passe cable Micro rupteur 1 NF normalement ferm NO normalement ouvert Commun 19 uo qe e3SU UOIZE EISU voNe jejsu C321 03 885 Issue G ED WARDS This page has been intentionally left blank Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est d lib r ment laiss e vierge 20 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 4 Operation Note Pneumatic supply failure or venting to at
15. C321 03 885 Issue G Instruction Manual Betriebsanleitung Mode d emploi BRV Mk IV Backing Roughing Valves BRV Mk IV Dreiwegeventile Vannes 3 voies de pr vidage BRV Mk IV Ev WARDS WWW EDWARDS ACUUM COM EDwArbs Declaration of Incorporation Edwards Manor Royal Crawley West Sussex RH10 9LW UK declare under our sole responsibility as manufacturer and person within the EU authorised to assemble the technical file that the machine s BRV MkIV Backing Roughing Valves BRV10PK Pneumatically operated C321 04 000 BRV25PK Pneumatically operated C323 04 000 BRV25PK Pneumatically operated with all NW flanges C323 03 500 BRV25PK Pneumatically operated with all flanges in line C323 04 900 to which this declaration relates is intended to be incorporated into other equipment and not to function independently The machine s must not be put into service until the equipment into which it is incorporated has been brought into conformity with the provisions of the Machinery Directive 2006 42 EC The machine s is in conformity with the following standard s or other normative document s Pneorop 6606 1981 Vacuum flanges and connections dimensions The relevant essential requirements of the Machinery Directive 2006 42 EC Annex 1 have been applied and fulfilled so far as practicable for this partly completed machinery The relevant technical documentation has been compiled in accordance with Annex VII Part B In respons
16. E AE 32 Pi ces d tach es 33 Pi ces d tach es de la vanne BRV10 33 Pi ces d tach es de la vanne BRV25 33 ACC SSOIF S una Ania ta pease n es 34 Pour le retour d quipements compl tez les formulaires HS la fin de ce manuel Illustrations Illustration Page 1 Dimensions des vannes BRVM en mm 7 2 Dimensions des vannes BRVP en mm 8 3 Circuit pneumatique type 15 4 Configurations des micro rupteurs 18 5 Vue en coupe partielle de la vanne EN Ae de E 28 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS Tables Table Page 1 Microswitch position indications BRVAGP ein en E 17 2 Microswitch position indications BRV25P ss neuen drames 17 Trademark credits Diffstak is a trademark of Edwards Edwards Limited 2009 All rights reserved Tabellen Tabelle Seite 1 Mikroschalter Stellungsindikationen BRVIOP ne een 17 2 Mikroschalter Stellungsindikationen BRV2SP nee 17 Warenzeichen Diffstak ist ein Warenzeichen von Edwards Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G Tableaux Tableau Page 1 Indications de positions fournies par les micro rupteurs vanne BRV10P 17 2 Indications de positions fournies par les micro rupteurs vanne BRV25P 17 Informations sur les marques
17. L acc s a des orifices ouverts est dangereux Mettez un couvercle sur tout orifice de la vanne qui est l air libre afin d viter de vous coincer les doigts ou d autres parties du corps La vanne BRV est soutenue par la canalisation ala laquelle elle est raccord e Son orientation n a aucune importance 1 Utilisez des raccords standard NW pour relier les orifices de pompage primaire et de pr vidage votre syst me de vide 2 Reliez l orifice d amorgage votre pompe vide sur une vanne BRV25P avec orifice d amorcage a bride utilisez des raccords NW standard sur les autres vannes BRV utilisez le manchon souple fourni Lors de l installation d une vanne BRV commande manuelle v rifiez que e la poign e de la vanne est accessible e les emplacements tiquet s de la poign e sont visibles Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 3 3 Pneumatic connections BRVP valves only WARNING Ensure that you control the release of compressed air when you connect or disconnect the pneumatic supply If you do not the sudden release of high pressure air may cause injury CAUTION If you fit an electropneumatic control valve ensure that electrical supply failure will result in closure of the required BRV valve port Use suitable tube refer to Section 2 to connect your pneumatic supply to the two connectors on the doubl
18. M 22UeEUSJUIEW C321 03 885 Issue G 5 2 Replace the valve pad and body O rings WARNING Ensure that you control the release of compressed air when you connect or disconnect the pneumatic supply If you do not the sudden release of high pressure air may cause injury The BRV valve requires no regular maintenance to maintain the valve in normal use If you think that the valve leaks dismantle the valve and inspect the body O rings the valve seat the valve pad and the valve pad O ring for damage replace the O rings if damaged Refer to Figure 5 and use the following procedure 1 On BRVP valves disconnect the pneumatic supply from the connectors on the valve and remove the electropneumatic control valve if fitted 2 Fit protective covers over the valve ports 3 Remove the four fixing bolts 1 from the backing port body 3 4 Remove the backing port body 3 from the roughing port body 5 5 Examine the valve seat 7 and the valve pad 9 if they are damaged you must replace the valve 24 5 2 Austausch der O Ringe von Ventilkorper und Ventilteller WARNUNG Achten Sie darauf da Sie beim AnschlieBen oder Trennen der Druckluftverbindungen das Freisetzen der Druckluft kontrollieren Wenn Sie dies nicht beachten k nnen durch schlagartiges Freisetzen von Druckluft Verletzungen verursacht werden Das BRV Ventil braucht bei normalem Einsatz keine regelm ige Wartung um das Venti
19. d Vorschriften entsprechen Der empfohlene Druck f r die Druckluftversorgung kann Abschnitt 2 entnommen werden Die Druckluft sollte trocken und gefiltert sein Es kann ge lte oder lfreie Luft verwendet werden Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G 3 3 Branchements pneumatiques vannes BRVP uniquement AVERTISSEMENT Lorsque vous branchez ou debranchez des connexions pneumatiques vous devez toujours contr ler la commande d envoi d air comprim Si vous ne respectez pas cette consigne l vacuation soudaine d air haute pression peut provoquer des blessures ATTENTION Lors de l installation d une vanne lectropneumatique de commande v rifiez qu une panne de courant provoque automatiquement la fermeture de l orifice requis de la vanne BRV Utilisez un tube de taille appropri e voir Section 2 pour brancher votre circuit d alimentation pneumatique sur les deux connecteurs du cylindre de commande double effet de la vanne La Figure 3 illustre un circuit pneumatique typique Assurez vous que vos branchements sont conformes aux r glementations locales concernant les circuits pneumatiques Consultez la Section 2 qui donne la pression recommand e d alimentation pneumatique Cet air doit tre sec et filtr Vous pouvez utiliser de l air lubrifi ou non lubrifi 13 uolje le3sU UOIZE EISU voNe jejsu uo e e SU UOIJE EJSUI uolejjejsu
20. de vanne orifices de pr vidage et d amor age paquet de 2 HO21 06 119 J oint torique de corps paquet de 5 H021 06 261 7 3 2 Pieces d tach es de la vanne BRV25 Produit Li ser Manchon souple C265 01 004 J oint torique de si ge de vanne orifices de pr vidage et d amor age paquet de 5 J oint torique de corps paquet de 5 HO21 06 262 HO21 06 025 33 S21L0 S229e JO S99U28 9p Sardaid 221A19S 4oyaqnz pun 3 12 z e513 JSUaIPUapUNY S2LOSS222e pue saieds 22LA19S S21L0 S229e JO S29U28 9p seed 221A19S 4oyaqnz pun 3 12 Z e513 JSU9LpUSpUNY S2L1OSS222e pue saieds 21A1 S C321 03 885 Issue G 7 4 Accessories Lightweight 5 port electropneumatic control valve kits Electrical supply Item Number 24 V a c 1 phase 50 60 Hz B287 03 030 110 V a c 1 phase 50 60 Hz B287 03 031 230 V a c 1 phase 50 60 Hz B287 03 032 Standard 5 port electropneumatic control valves Electrical supply Item Number 110 V a c 1 phase 50 60 Hz 230 V a c 1 phase 50 60 Hz H062 00 136 H062 00 137 34 7 4 Zubehor Elektropneumatische Leichtbau Regelventile mit 5 Anschlu stutzen 24 V Wechselspannung einphasig 50 60 Hz B287 03 030 B287 03 031 230 V Wechselspannung einphasig 50 60 Hz B287 03 032 24 V Gleichstrom B287 03 055 Elektropneumatische Regelventile mit 5 Anschlu stutzen Netzanschlu Bestellnummer 110 V a c Wechselspannung H062 00 136 ein
21. disposition des ing nieurs Edwards pour la maintenance l entretien et la r paration sur site de vos quipements Pour plus d informations sur les diff rentes options de service contactez votre Centre de service le plus proche ou une autre soci t Edwards Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 7 3 Spares 7 3 1 Flexible connector C265 01 002 HO21 06 119 HO21 06 261 BRV10 spares Valve seat roughing and backing port O ring pack of 2 Body O ring pack of 5 7 3 2 BRV25 spares H021 06 025 H021 06 262 Valve seat roughing and backing port O ring pack of 5 Body O ring pack of 5 Edwards Limited 2009 All rights reserved 7 3 Ersatzteile 7 301 Verbindungsmuffe Flexibler Verbinder C265 01 002 O Ring des Ventilsitzes Vor und Grobvakuum 2er Pack HO21 06 119 O Ring des Ventil Geh uses 5er Pack HO21 06 261 L t ri Verbindungsmuffe Flexibler Verbinder C265 01 004 BRV10 Ersatzteile BRV25 Ersatzteile O Ring des Ventilsitzes Vor und Grobvakuum 5er Pack H021 06 025 O Ring des Ventil Geh uses 5er Pack H021 06 262 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G 7 3 Pieces d tach es Pieces d tach es de la vanne BRV10 7 301 Num ro de code C265 01 002 Produit Manchon souple J oint torique de si ge
22. e acting actuating cylinder on the valve A typical pneumatic circuit is shown in Figure 3 Ensure that your connections comply with all local pneumatic regulations Refer to Section 2 for the recommended pneumatic supply pressure The pneumatic supply should be dry and filtered Lubricated or non lubricated air may be used If required fit an electropneumatic control valve accessory refer to Section 7 to ensure optimum opening and closing times of the BRV valve Fit the electropneumatic control valve as described in the instruction manual supplied with the control valve Edwards Limited 2009 All rights reserved 3 3 Pneumatische Anschl sse nur BRVP Ventile WARNUNG Achten Sie darauf da Sie beim AnschlieBen oder Trennen der Druckluftverbindungen das Freisetzen der Druckluft kontrollieren Wenn Sie dies nicht beachten k nnen durch schlagartiges Freisetzen von Druckluft Verletzungen verursacht werden VORSICHT Beim Einbau eines elektropneumatischen Steuerventils ist darauf zu achten da ein Netzausfall zum Schlie en der entsprechenden BRV Ventil ffnung f hrt Verwenden Sie einen geeigneten Schlauch siehe Abschnitt 2 um Ihre Druckluftversorgung an die beiden Verbinder des doppeltwirkenden Stellzylinder des Ventils anzuschlie en Ein typischer Druckluftkreis wird in Abbildung 3 dargestellt Stellen Sie sicher da die vorhandenen Ansch lsse allen rtlichen gesetzlichen Druckluft Bestimmungen un
23. e BRV25P avec brides droites C321 04 000 laquelle auxquelles cette d claration se r f re est sont destin e s tre incorpor e s dans un autre quipement et qu elle s ne peut peuvent pas fonctionner de mani re ind pendante La les machine s ne pourra pourront tre mise s en service avant que l quipement dans lequel elle s sera seront incorpor e s ne soit d clar conforme aux dispositions de la directive 2006 42 CE relative aux machines La les machine s est sont conforme s la aux norme s ou autre s document s normatif s suivant s Pneurop 6606 1981 Raccords et brides de vide dimensions Les exigences essentielles pertinentes de la directive 2006 42 CE annexe 1 relative aux machines ont t appliqu es et satisfaites dans la mesure du possible pour cette quasi machine La documentation technique pertinente a t constitu e conform ment l annexe VII partie B A la suite d une demande d ment motiv e des autorit s nationales Edwards Ltd s engage a transmettre les informations pertinentes concernant la quasi machine par e mail Remarque la pr sente d claration couvre tous les num ros de s rie a partir de la date de sa signature 14 12 09 Sia Abbaszadeh Chief Technical Officer Date et lieu Ce produit a t r alis en respectant un syst me de qualit homologu conform ment la norme ISO9001 P200 00 003 Issue B Falcon 01073 01 2009 ED WARDS C32
24. e to a reasoned request by the national authorities Edwards Ltd undertakes to provide relevant information on the partly completed machinery via email Note This declaration covers all product serial numbers from the date this Declaration was signed onwards E 9 December 2009 Sia Abbaszadeh Chief Technical Officer Date and Place This product has been manufactured under a quality system registered to ISO9001 P200 00 000 Issue B EDwArbs Einbauerkl rung Edwards Manor Royal Crawley West Sussex RH10 9LW UK erkl ren in alleiniger Verantwortung als Hersteller und Person die innerhalb der EU zur Zusammenstellung der technischen Unterlagen befugt ist dass die Maschine bzw die Maschinen BRV Mk IV Vor R ckschlagventile Pneumatisch bet tigtes BRV1OP Ventil C321 04 000 Pneumatisch betatigtes BRV25P Ventil C323 04 000 Pneumatisch betatigtes BRV25P Ventil mit R ckschlagventil ffnung und Flansch C323 03 500 Pneumatisch betatigtes BRV25P Ventil mit In Line Flanschen C323 04 900 auf das bzw die sich die vorliegende Erklarung bezieht f r den Einbau in eine Gesamteinrichtung und nicht f r den unabhangigen Betrieb bestimmt ist sind Die Maschine n darf durfen erst in Betrieb genommen werden wenn fur die Einrichtung in die sie eingebaut wird werden die Konformit t mit der Maschinenrichtlinie 2006 42 EG festgestellt wurde Die Maschine n entspricht der entsprechen den folgenden Norm en oder dem normativ
25. e used to indicate valve position Die in dieser Betriebsanleitung verwendeten Ma einheiten entsprechen dem Internationalen Einheitensystem Sl Das folgende Symbol erscheint auf den Vorvakuum Grobvakuum Ventilen der Baureihe BRV MkIV A Warnung siehe beigef gte Dokumente 1 2 Beschreibung Das BRV Ventil verbindet die Funktionen separater R ckschlag und Vorventile in einem einzigen Ventil mit drei ffnungen Das BRV Ventil ist f r den Einsatz mit Edwards Diffstak Pumpen konstruiert worden eignet sich aber auch zum Einsatz in allen Anwendungen bei denen ein Umschalten zwischen R ckschlag Vorventilbetrieb erforderlich ist der Systemdruck liegt im Bereich 2 1 Bar bis 1 x 10 mbar absolut 2 1 x 10 bis 1 x 10 Pa Die R ckschlag und Vorventil ffnungen bleiben w hrend der Bet tigung des Ventils isoliert Das Ventil verf gt auch ber eine mittlere Stellung in der die R ckschlag und Vorventil ffnungen voneinander und von der Pumpen ffnung isoliert sind Sowohl die R ckschlag und Vorventil ffnungen werden unter Federdruck geschlossen und durch O Ringe aus Fluorelastomer abgedichtet pb WARDS Le symbole suivant apparait sur les vannes 3 voies de pr vidage BRV MkIV Avertissement consulter la documentation fournie 1 2 Description La vanne BRV associe les fonctions de vannes s par es d amor age et de pr vidage gr ce un ensemble trois voies La vanne BRV a t tout particuli
26. emagne en Isra l en Italie au J apon en Cor e Singapour au Royaume Uni aux Etats Unis ainsi qu a un r seau international de distributeurs La majorit de ces centres emploient des ing nieurs et techniciens d apr s vente qui ont suivi des cours tr s complets de formation dans les tablissements Edwards Commandez les pi ces de rechange et les accessoires en vous adressant la soci t Edwards ou au distributeur Edwards le plus proche Lors de la passation de commande veuillez indiquer pour chaque composant requis les l ments suivants e le num ro de mod le et de code de votre quipement e le num ro de s rie le cas ch ant e le num ro de code et la d signation de la pi ce 31 S21L0 S229e JO S29U28 9p seed 221A19S 4oyaqnz pun 3 12 z e513 JSUaIPUapUNyY S2LOSS222e pue saieds 22LA19S 221A19S aid Joyaqnz pun 2 L19 Z e513 JSU9IpUSPUNY S2L0SS222e pue saleds 22LA19S ve 79 Saayre ap sad S9110SS922e C321 03 885 Issue G s Service Edwards products are supported by a world wide network of Edwards Service Centres Each Service Centre offers a wide range of options including equipment decontamination service exchange repair rebuild and testing to factory specifications Equipment which has been serviced repaired or rebuilt is returned with a full warranty Your local Service Centre can also provide Edwards engineers to support on site maintenance ser
27. en Dokument en Pneorop 6606 1981 Vakuumflansche und Anschl sse Abmessungen und alle einschl gigen Vorschriften erf llt aus Die einschl gigen wesentlichen Bestimmungen in Anhang 1 der Maschinenrichtlinie 2006 42 EG wurden soweit f r diese unvollst ndige Maschine durchf hrbar angewendet und erf llt Die zugeh rige technische Dokumentation wurde nach Anhang VII Teil B zusammengestellt Edwards Ltd verpflichtet sich die ma geblichen Informationen ber die unvollst ndige Maschine einzelstaatlichen Stellen auf begr ndetes Verlangen per E Mail zur Verf gung zu stellen S Hinweis ese Erkl rung gilt f r alle Produktseriennummern ab dem Unterzeichnungsdatum dieser Erkl rung 14 December 2009 fa Abbaszadeh Chief Technical Officer Datum und Ort Dieses Produkt wurde gem einem nach 1S09001 zertifizierten Qualit tsmanagementsystem gefertigt P200 00 002 Issue B EDWARDS D claration d incorporation la soci t Edwards Manor Royal Crawley West Sussex RH10 9LW R U d clarons sous notre enti re responsabilit en tant que fabricant et personne tablie dans l UE et autoris e constituer le dossier technique que la ou les machine s suivante s Vannes 3 voies de pr vidage BRK Mk IV Vanne a commande pneumatique BRV10P C321 04 000 Vanne commande pneumatique BRV25P C321 04 000 Vanne a commande pneumatique BRV25P avec orifice d amorcage bride C321 04 000 Vanne commande pneumatiqu
28. es composants qui en ont t retir s en respectant toutes les r glementations locales et nationales en mati re de s curit et d environnement 27 nq ne asi 39 35eY90JS SUNS10 U3 pun Sunsase7 Jesodsip pue a pioe nq Ne asi 39 35eY90JS SuUNS10S UA pun Sunsase7 Jesodsip pue a pioe C321 03 885 Issue G ED WARDS Figure 5 Part cross section view of the BRV Abbildung 5 Teilschnitt des BRV Ventils Figure 5 Vue en coupe partielle de la vanne valve BRV BRV10M BRV25P 8 904 Lie 28 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS Figure 5 Part cross section view of the BRV valve Key Fixing bolts 4 Backing port Backing port body Pumping port Roughing port body Roughing port Valve seat Valve pad O ring Valve pad Body O ring Backing port flange BRV25P with flanged backing port only 12 Backing port BRV25P with in line ports only OCONQURWNE He Ho Edwards Limited 2009 All rights reserved Abbildung 5 Teilschnitt des BRV Ventils Legende Befestigungsschrauben 4 St ck R ckschl agventil ffnung Geh use der R ckschlagventil ffnung Pump ffnung Geh use der Vorventil ffnung Vorventil ffnung Ventilsitz O Ring des Ventiltellers Ventilteller O Ring des Geh uses R ckschlagventil ffnung mit Flansch Nur BRV25P mit R ckschl agventil ffnung mit Flansch
29. halter 3 6 und die Ausg nge der Mikroschalter zeigen die Stellung des Ventils wie in Tabelle 1 oder Tabelle 2 dargestellt Beachten Sie da Ihr Ventil mit zwei unterschiedlichen Typen von Mikroschalter ausgestattet sein kann die Mikroschalter sind entweder schwarz wie in Detailzeichnung C dargestellt oder wei wie in Detailzeichnung D L sen Sie die Schraube 2 entfernen Sie den oberen Deckel 1 f hren Sie die Dr hte durch die Kabelstopfbuchse 5 und schlie en Sie Ihre Steuerger te nach Bedarf an die Mikroschalter an Nach Anschlu der Steuerger te den oberen Deckel wieder aufsetzen und mit der Schraube sichern Ep WARDS 3 4 Branchements lectriques vannes BRVP uniquement AVERTISSEMENT N utilisez pas les indicateurs de position si leur d faillance peut engendrer des blessures endommager l quipement l quipement associ ou le proc d Les indicateurs de position sont des micro rupteurs La configuration de ces derniers est illustr e la Figure 4 Chaque vanne a deux micro rupteurs 3 et 6 et les signaux de sortie de ces micro rupteurs identifient la position de la vanne comme illustr au Tableau 1 ou Tableau 2 Il convient de noter que votre vanne peut tre quip e d un des deux types de micro rupteurs Ces micro rupteurs sont noirs comme illustr au d tail C ou blanc comme illustr au d tail D Desserrez la vis 2 retirez le chapeau sup rieur 1 puis introduisez vo
30. hvakuumfett schmieren und in das Ventil einbauen Das Geh use der R ckschlagventil ffnung 3 wieder am Geh use der Vorventil ffnung 5 montieren und mit den vier Befestigungsschrauben 1 sichern Falls erforderlich nun das elektropneumatische Steuerventil wieder montieren Die Druckluftversorgung wieder an die Anschlu verbinder des Ventils anschlie en Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited 6 C321 03 885 Issue G Retirez du corps de l orifice de previdage 5 le corps de l orifice d amor age 3 Examinez le si ge 7 et la plaquette 9 de la vanne En cas d endommagement de ces composants remplacez la vanne Examinez le joint torique de la plaquette 8 et du corps 10 de la vanne Si ces joints toriques sont endommag s e vous devez les retirer et vous en d barrasser e passez un l ger film de graisse pour vide pouss sur les joints toriques neufs avant de les installer dans la vanne Remettez en position le corps du port d amor age 3 sur le corps du port de pr vidage 5 et immobilisez l ensemble avec les quatre boulons de fixation 1 Le cas ch ant remontez la vanne lectropneumatique de commande Rebranchez l alimentation pneumatique au niveau des connecteurs de la vanne 25 U91 21 U3 SUNJIEM 22UeEUSJUIEW C321 03 885 Issue G ED WARDS This page has been intentionally left blank Diese Seite bleibt absichtlich frei Cette page est d lib r
31. il bei entsprechend geeigneten Bedingungen lagern siehe Abschnitt 6 3 2 Ventil einbauen WARNUNG Bei Einbau des Ventils in eine Anlage durch die Gefahrstoffe gepumpt worden sind m ssen entsprechende Sicherheitsvorkehrungen getroffen werden Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G 3 Installation 3 1 Deballage et verifications Retirez tous les mat riaux d emballage et v rifiez la vanne BRV En cas d endommagement pr venez votre fournisseur et le transporteur par crit dans les trois jours en signalant le num ro de code de cette vanne ainsi que votre num ro de commande et le num ro de facture de votre fournisseur Conservez les mat riaux d emballage en vue d un examen ult rieur N utilisez pas cette vanne si elle est endommag e Si la vanne ne doit pas tre utilis e imm diatement stockez la dans des conditions ad quates comme indiqu la Section 6 3 2 Positionnement de la vanne AVERTISSEMENT Lors de l installation de la vanne dans un syst me o des substances dangereuses ont t pomp es vous devez prendre toutes les pr cautions requises 11 uolJe 83SU UOIJE JSUI uoryejjejsu uo e e SU UOIJE JSUI uolejjejsu C321 03 885 Issue G WARNING Access to open ports is dangerous Fit a cover to any valve port which is open to atmosphere so that fingers or other parts of the body cannot get trapped The BRV val
32. it 6 mm Durchmesser Maximale Spannung am Mikroschalter des Stellungsindikators Empfohlener Luftdruck 24 V 1 5 AAC oder DC Ep WARDS Masse BRV10M BRV25M BRV10P BRV25P BRV25P avec brides droites BRV25P avec orifice de pr vidage a bride 2 3 Vannes BRV a commande pneumatique Pression pneumatique recommand e manometre Pression pneumatique maximale de s curit manometre Pression pneumatique minimale manometre Raccords pneumatiques Tension maximale des micro rupteurs indicateurs de position 2 8 4 2 bars 3 8 x 10 5 2 x 10 Pa 7 0 bars 8 0 x 10 Pa 2 4 bars 3 4 x 10 Pa Raccords BSP de 1 8 pouce pour tube de 6 mm de diam tre 24 V 1 5 A C a ou C C Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited ED WARDS C321 03 885 Issue G Figure 1 Dimensions of the BRVM valves mm Abbildung 1 Abmessungen der BRVM Ventile mm Figure 1 Dimensions des vannes BRVM en mm n AW TOI A Edwards Limited 2009 All rights reserved 7 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited sanbiuyr9 s nbysu e1e usyeq 2U2SLUU23 L eyep Je2LUU22 L sanbiuy23 s nbysu pese Uazeg SYyIsLUYIa eyep jesiuyaa L C321 03 885 Issue G Figure 2 Dimensions of the BRVP valves mm pb WARDS Abbildung 2 Abmessungen der BRVP Ventile mm Figure 2 Di
33. l in gutem Zustand zu halten Wenn Sie vermuten da das Ventil undicht ist zerlegen Sie das Ventil und pr fen Sie die O Ringe des Geh uses den Ventilsitz den Ventilteller sowie den O Ring des Ventiltellers auf Besch digung wenn Sch den festgestellt werden die O Ringe austauschen Siehe hierzu Abbildung 5 Gehen Sie dann wie folgt vor 1 Bei BRVP Ventilen die Druckluftversorgung von den Anschlu verbindern am Ventil trennen und das elektropneumatische Steuerventil ausbauen wenn vorhanden Die Ventil ffnungen mit Schutzabdeckungen verschlie en 3 Die vier Befestigungsschrauben 1 vom Geh use der R ckschlagventil ffnung 3 abnehmen pb WARDS 5 2 Remplacement des joints toriques de la plaquette et du corps de la vanne AVERTISSEMENT Lorsque vous branchez ou d branchez des connexions pneumatiques vous devez toujours contr ler la commande d envoi d air comprim Si vous ne respectez pas cette consigne l vacuation soudaine d air haute pression peut provoquer des blessures La vanne BRV n a besoin d aucun entretien p riodique dans le cadre d un fonctionnement normal Si vous pensez que votre vanne pr sente une fuite d montez la et examinez les joints toriques du corps le si ge de la vanne la plaquette de la vanne et le joint torique de la plaquette de la vanne afin de vous assurer que tous ces composants sont intacts Remplacez les joints toriques endommag s Tout en consultant la
34. mensions des vannes BRVP en mm 1 Valve Ventil Vanne BRV1OP BRV25P co L MY Backing port BRV25P with in line flanges only R ckschlagventil ffnung Nur BRV25P mit In Line Flanschen Orifice d amorc age BRV25P avec brides droites uniquement BRV25P with flanged backing port only Nur BRV25P mit R ckschlagventil ffnung mit Flansch BRV25P avec orifice d amorcage a bride uniquement Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS 2 4 Construction materials 2 4 Werkstoffe The valves are manufactured from the following Die Ventile sind aus folgenden Werkstoffen materials hergestellt et EE Cylinder BRVP Aluminium HE30TF Zylinder BRVP Lever and bonnet BRVM Glass reinforced plastic Hebel und Haube BRVM Operating shaft valve seat Stainless steel Betriebswelle Ventilsitz Fluoroelastomer O rings Dichtungen Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Aluminium HE30TF Aluminium HE30TF Glasfaserverstarkter Kunststoff Edelstahl O Ringe aus Fluoroelastomer C321 03 885 Issue G 2 4 Mat riaux de construction Ces vannes sont fabriqu es a base des mat riaux suivants Aurinium HESOTE V rin mod les pneumati ques BRVP Aluminium HE30TF Levier et capot modeles Plastique renforc par du manuel
35. minated by dangerous process substances e The O rings used in this valve are made from a fluoroelastomer Fluoroelastomers are safe in normal use but can decompose into very dangerous substances if they are heated to 260 C and above The valve may have overheated if it has been misused or if your vacuum system has malfunctioned or if the valve has been in a fire If the valve has overheated ensure that you observe the appropriate safety precautions to prevent contact with the seals and Or rings Edwards Limited 2009 All rights reserved Wartung 5 5 1 Sicherheitsinformationen 5 1 WARNUNG Beachten Sie die nachstehenden Sicherheitshinweise und die entsprechenden Vorsichtsma nahmen Nichtbeachtung kann zu Verletzungen von Personen und zu Anlagesch den f hren Zur Reinigung des Ventils keine scheuernden oder reaktiven Chemikalien verwenden O Ringe oder Dichtungen nicht mit L sungsmitteln reinigen Alle Komponenten und Bauteile die durch H Gefahrstoffe kontaminiert worden sind sicher entsorgen Die in diesem Ventil verwendeten O Ringe sind aus Fluorelastomer Obwohl es sich hier bei normal er Anwendung um einen sicheren Werkstoff handelt k nnen sich Fluorelastomere in sehr gef hrliche Substanzen zersetzen wenn sie auf 260 C und dariiber erhitzt werden Uberhitzung kann aufgetreten sein wenn das Ventil falsch benutzt worden oder im Vakuumsystem eine Fehlbedienung St rung aufgetreten ist bzw das Ventil
36. mosphere of both BRV pneumatic ports will close both the backing and roughing ports and isolate these ports from the pumping port Noise may be generated when the valve is used in an air admittance application depending on your system design On BRV manually operated valves move the handle to the required position to operate the valve On BRVP pneumatically operated valves operate your pneumatic supply to actuate the BRV valve During operation the ports are isolated from each other This prevents gas bursts during operation of the valve Edwards Limited 2009 All rights reserved 4 Betrieb Hinweis Bei einem Ausfall der Druckluftversorgung oder Bel ften durch Atmosph re beider BRV Druckluft ffnungen werden sowohl die R ckschlagventil als auch die Vorventil ffnungen geschlossen und von der Pump ffnung isoliert Wenn das Ventil zum Lufteinla verwendet wird kann abh ngig vom Aufbau Ihres Systems L rm entstehen Bei manuell bet tigten BRV Ventilen ist der Griff in die gew nschte Stellung zu bringen um das Ventil in Betrieb zu nehmen Bei mit Druckluft betriebenen BRVP Ventilen die Druckluftversorgung einschalten um das BRVP Ventil zu bet tigen W hrend des Betriebs sind die einzelnen Ventil ffnungen voneinander isoliert Hierdurch wird das Auftreten von Gasst en w hrend des Ventilbetriebes vermieden Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G
37. nd den in diesem Handbuch gegebenen Anleitungen Lesen Sie vor Installation und Inbetriebnahme Ihres Ventils diese Betriebsanleitung aufmerksam durch Wichtige Sicherheitshinweise sind in dieser Betriebsanleitung mit den Signalw rtern WARNUNG und VORSICHT gekennzeichnet Beachten Sie diese Hinweise unbedingt Die Signalw rter WARNUNG und VORSICHT werden hier wie folgt verwendet WARNUNG Mit dem Signalwort WARNUNG werden Anweisungen gekennzeichnet die unbedingt zu befolgen sind um Personensch den Tod oder Verletzung zu vermeiden VORSICHT Mit dem Signalwort VORSICHT werden Anweisungen gekennzeichnet die unbedingt zu befolgen sind um Sachsch den zu vermeiden Sch den an Ger ten oder Zubeh rteilen und Fehler im Gesamtproze Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G 1 Introduction 1 1 Port e de ce manuel Ce manuel pr sente les consignes de montage d utilisation et d entretien des vannes 3 voies de pr vi dage BRV Mk IV de Edwards Vous devez utiliser ces vannes comme indiqu dans ce manuel Lisez ce manuel avant d installer et de faire fonctionner cette vanne Les informations de s curit importantes sont mises en valeur par des paragraphes encadr s intitul s AVERTISSEMENT et ATTENTION Vous devez en respecter les consignes L utilisation de ces AVERTISSEMENTS et ATTENTION est d finie ci dessous AVERTISSEMENT Un message Avertissement est pr vu chaq
38. ne lectropneumatique de commande fournie en accessoire voir Section 7 Mettez en position cette vanne lectropneumatique de commande en proc dant comme indiqu dans le mode d emploi qui accompagne cette vanne Si vous utilisez une vanne BRV quip e d une vanne lectropneumatique de commande et d une pompe rotative joints d huile qui ne comporte pas de clapet anti retour l admission v rifiez qu apr s installation des vannes toute panne de courant lectrique provoque la fermeture de l orifice correct de la vanne BRV Sinon assurez vous que les deux canalisations pneumatiques sont mises l air libre occasionnant ainsi la fermeture des passages d amor age et de pr vidage de la vanne BRV et leur isolation de l orifice de pompage Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS Edwards Limited 2009 All rights reserved OCONDQURWNE OW ONAUARWNE mom FH Pneumatic air supply Shut off valve Filter Regulator Control valve Not used Electrical connections BRV valve BRV valve Druckluftversorgung Absperrventil Filter Regler Steuerventil Nicht belegt Elektrische Anschl sse BRV Ventil BRV Ventil Alimentation pneumatique Clapet d arr t Filtre R gulateur Vanne de commande Pas utilis Branchements lectriques Vanne BRV Vanne BRV Figure 3 Typical pneumatic circuit Abbildung 3 Typischer Druckluftkreis
39. nne 11 3 3 Pneumatic connections 3 3 Pneumatische Anschl sse 3 3 Branchements pneumatiques vannes BRVP valves only 13 nur BRVP Ventile 13 BRVP uniquement 22 13 3 4 Electrical connections 3 4 Elektrische AnschlUsse 3 4 Branchements lectriques BRVP valves only 16 nur BRVP Ventile 16 vannes BRVP uniquement 16 4 Operation REENEN share 21 4 Betrieb 21 4 Fonctionnement 21 5 Maintenance 23 5 Wartung us 23 5 Entretien gh nee 23 5 1 ER N aan 23 5 1 Sicherheitsinformationen 23 5 1 Consignes de s curit 23 5 2 Replace the valve pad and 5 2 Austausch der O Ringe von Ventilk rper 5 2 Remplacement des joints toriques de body ICT TINGS u sii EEN 24 und Ventilteller 22 24 la plaquette et du corps de la vanne 24 Edwards Limited 2009 All rights reserved i Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited sasalyew sap ajqel HLYUI sJUSJU0J saJalyew sap ajqel Meyu Ua U0 gt C321 03 885 Issue G 6 1 6 2 7 7 1 7 2 7 3 7 3 1 7 3 2 7 4 Storage and disposal 27 STORAGE une 27 DISPOSE zn en nee 27 Introduction 22 siusstitssusouses meer 31 SEIVICE EE 32 Spares u a humane ine a nn en near 33 BRV10
40. phasig 50 60 Hz 110 V Wechselspannung einphasig 50 60 Hz 230 V Wechselspannung einphasig 50 60 Hz H062 00 137 pb WARDS 7 4 Accessoires Vannes l g res de contr le lectropneumatiques 5 ports Alimentation lectrique 24 Vca monophas 50 60 Hz B287 03 030 110 Vca monophas 50 60 Hz B287 03 031 230 Vca monophas 50 60 Hz B287 03 032 Vannes de contr le lectropneumatiques 5 ports Alimentation lectrique 110 Vca monophas 50 60 Hz H062 00 136 230 Vca monophas 50 60 Hz H062 00 137 Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited
41. s BRVM verre Axe de commande et si ge de clapet Acier inoxydable J oints J oints toriques en fluoro lastom re sanbiuy23 s nbysu pese Uazeg 2U2SLUU28L eyep jesiuyaa L sanbiuy23 s nbysu pese Uazeg 2U2SLUU28 JL eyep jesiuyaa L C321 03 885 Issue G 2 5 Item Numbers Valve C321 03 000 BRV10M manually operated valve BRV25M manually operated valve C323 03 000 BRV10P pneumatically operated valve C321 04 000 BRV25P pneumatically operated valve C323 04 000 C323 04 900 C323 03 500 BRV25P pneumatically operated valve with in line flanges BRV25P pneumatically operated valve with flanged backing port 10 2 5 Bestellnummern Manuell bet tigtes BRV1OM Ventil C321 03 000 Manuell betatigtes BRV25M Ventil C323 03 000 Pneumatisch betatigtes BRV10P Ventil C321 04 000 Pneumatisch bet tigtes BRV25P Ventil C323 04 000 Pneumatisch betatigtes BRV25P Ventil mit In Line Flanschen C323 04 900 Pneumatisch betatigtes C323 03 500 BRV25P Ventil mit R ckschlagventil ffnung mit Flansch pb WARDS 2 5 Numeros de codes des composants Vanne Numero de code C323 04 900 C323 03 500 Vanne commande manuelle BRV10M Vanne commande manuelle BRV25M Vanne commande pneumatique BRV10P Vanne commande pneumatique BRV25P Vanne commande pneumatique BRV25P avec brides droites Vanne commande pneumatique BRV25P avec orifice d amor age a bride
42. s fils dans le passe c ble 5 avant de brancher votre quipement de commande sur les micro rupteurs en respectant les consignes Une fois ces branchements termin s remettez en position le couvercle sup rieur et immobilisez le avec sa vis Edwards Limited 2009 All rights reserved Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited Ep WARDS Table 1 Microswitch position indications BRV10P Valve position Ventilstellung Position de vanne Normal all ports isolated Normal alle Ventil6ffnungen isoliert Normale tous les passages sont isol s Roughing port and pumping port connected Vorventil und Pump ffnung angeschlossen Orifice de pr vidage et de pompage branch s Backing port and pumping port connected R ckschlagventil und Pump ffnung angeschlossen Orifices d amor age et de pompage primaire branch s Table 2 Microswitch position indications BRV25P Valve position Ventilstellung Position de vanne Normal all ports isolated Normal alle Ventil ffnungen isoliert Normale tous les passages sont isol s Roughing port and pumping port connected Vorventil und Pump ffnung angeschlossen Orifice de pr vidage et de pompage branch s Backing port and pumping port connected R ckschlagventil und Pump ffnung angeschlossen Orifices d amor age et de pompage primaire branch s Edwards Limited 2009 All rights reserved Tabelle 1 Mikroschalter Stellungsindikationen BRV10P
43. sive Edwards training courses Order spare parts and accessories from your nearest Edwards company or distributor When you order please state for each part required e Model and Item Number of your equipment e Serial number if any e Item Number and description of the part Edwards Limited 2009 All rights reserved 7 Kundendienst Ersatzteile und Zubeh r 7 1 Einleitung Die Produkte Ersatz und Zubeh rteile von Edwards sind Uber Edwards Niederlassungen in Belgien Brasilien China Deutschland Frankreich Gro britannien Israel Italien J apan Korea Singapur und den USA sowie ein weltweites Netz von Vertriebsfirmen erh ltlich Die Mehrzahl dieser Unternehmen besch ftigt Wartungstechniker die bei Edwards an umfassenden Schulungskursen teilgenommen haben Ersatzteile und Zubeh r k nnen Sie bei der n chstgelegenen Edwards Niederlassung oder Vertriebsfirma bestellen Machen Sie bei der Bestellung f r jedes von Ihnen gew nschte Teil folgende Angaben e Modell und Bestellnummer Ihres Ger ts e Seriennummer falls vorhanden e Bestellnummer und Beschreibung des Teils Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G 7 Service pieces detachees et accessoires 7 1 Introduction Les produits pi ces d tach es et accessoires Edwards s obtiennent en s adressant diff rentes soci t s Edwards implant es en Belgique au Br sil en Chine en France en All
44. spares 33 BRV25 sp res NN wenn sn 33 ACCESSOTIES 1 0 cece eee ee eee a 34 For return of equipment complete the HS Forms at the end of this manual Illustrations Figure UT 5 WU NH Page Dimensions of the BRVM valves mm 7 Dimensions of the BRVP valves mm 8 Typical pneumatic circuit 15 Microswitch configurations 18 Part cross section view of the BRV VIE 28 6 1 6 2 7 1 7 2 7 3 7 3 1 7 3 2 7 4 Lagerung und Entsorgung 27 LAgErFUNG inc ann oema noies nsi saias 27 EHESOFQUNG nennen 27 Kundendienst Ersatzteile und SIDEC 31 Einleitung u ee 31 Kundendienst 0 cece eee eect eens 32 Ersatzteile esen r ae Sg 33 BRV10 Ersatzteile 33 BRV25 Ersatzteile 33 Een TEE 34 Bitte die HS Formulare im Anhang dieses Handbuchs ausf llen und Ihrer R cksendung beilegen Abbildungen Abbildung Seite 1 Abmessungen der BRVM Ventile mm 7 2 Abmessungen der BRVP Ventile mm 8 3 Typischer Druckluftkreis 15 4 Mikroschalter Konfigurationen 18 5 Teilschnitt des BRV VentilS 28 6 1 6 2 71 7 2 7 3 7 3 1 7 3 2 7 4 pb WARDS Stockage et mise au rebut 27 SEOCKAgE EE 27 Mise au rebut 27 Service pi ces d tach es et ACCESSOINES ana 31 Introduction EE 31 SEICE ne ea Bann
45. tile sind mit zwei Mikroschaltern ausgestattet die Mikroschalterausg nge k nnen zur Anzeige der Ventilstellung eingesetzt werden Die Vorventil und Pumpen ffnungen sind mit NW Flanschen ausger stet Das BRV25P Ventil wird mit einer R ckschlag ventil ffnung mit Flansch DN25KF geliefert Die brigen BRV Ventile werden ohne R ckschlagventil ffnung mit Flansch zusammen mit einer flexiblen Muffe f r die R ckschlagventil ffnung geliefert F r den Einsatz zusammen mit den BRV Ventilen geeigenete elektropneumatische Steuerventile sind als Zubeh r erh ltlich siehe Abschnitt 7 3 Edwards and the Edwards logo are trademarks of Edwards Limited C321 03 885 Issue G Deux modeles de vannes BRV sont disponibles e les vannes BRVM command es par levier manuel e les vannes BRVP a fonctionnement pneumatique Ces vannes ont deux micro rupteurs Les signaux envoy s par ces micro rupteurs indiquent la position des vannes Les orifices d amorgage et de pompage de toutes les vannes sont pourvus de brides NW La vanne BRV25P avec orifice d amor age poss de une bride NW25 Toutes les autres vannes BRV poss dent un orifice d amorgage sans bride et sont livr es avec un manchon souple adapter orifice d amor age Des vannes lectropneumatiques de commande utilisables avec ces vannes BRV sont disponibles sous forme d accessoires Consultez la Section 7 3 UON gt NPOAYUJ BUNJLS ULT UOLJDNPOJUI C321 03 8
46. ue fois que le non respect d une consigne risque dentra ner mort ou blessure ATTENTION Un message Attention est pr vu chaque fois que le non respect d une consigne risque d endommager l quipement le mat riel et le proc d Les unit s utilis es tout au long de ce manuel sont conformes au syst me international SI d unit s de mesure UON gt NPOAJUJ BUNJLS ULT UOLJDNPOJUI UOLJDNPOJJUI SuNzWa ULW UOLJINPOJJU C321 03 885 Issue G The following symbol appears on the BRVP valves A Warning refer to accompanying documents 1 2 Description The BRV valve combines the functions of separate backing and roughing valves in a single 3 port valve The BRV has been designed for use with the Edwards Diffstak pumps but is suitable for use in all applications where backing roughing changeover is required with system pressure in the range 2 1 bar to 1 x 10 mbar absolute 2 1 x 10 to 1x 10 Pa The backing and roughing ports are kept isolated during actuation of the valve The valve also has a mid position where the backing and roughing ports are isolated from each other and from the pumping port Both the backing and roughing ports are closed under spring pressure and are sealed by fluoroelastomer O rings Two versions of BRV valve are available e BRVM valves are manually operated by a lever e BRVP valves are pneumatically operated These valves have two microswitches the microswitch outputs can b
47. ve is supported by the pipeline it is fitted to and can be mounted in any orientation 1 Use standard NW coupling components to connect the pumping and roughing ports to your vacuum system 2 Connect the backing port to your vacuum pump on a BRV25P with flanged backing port use standard NW coupling components on other BRV valves use the flexible connector supplied When you fit a BRV manually operated valve ensure that e The handle of the valve is accessible e The labelled handle positions are visible 12 WARNUNG Offene Anschl sse sind gef hrlich Decken Sie jeden zur Atmosph re offenen Ventilanschlu ab so da weder Finger noch andere K rperteile eingeklemmt werden k nnen Das Ventil wird von der Rohrleitung gehalten an die es angebracht wird und kann in jeder Ausrichtung montiert werden 1 Der Anschlu der Pump und Vorventil ffnungen an Ihr Vakuumsystem mu mit standardm igen NW Verbindungsteilen erfolgen 2 Schlie en Sie die R ckschlagventil ffnung an Ihre Vakuumpumpe an Verwenden Sie zum Anschluss eines BRV25P Ventils mit Flansch die standardm igen NW Flansche Schlie en Sie alle brigen BRV Ventile mit der mitgelieferten flexiblen Verbindungsmuffe an Beim Einbau eines manuell bet tigten BRV Ventils m ssen Sie darauf achten da e der Ventilgriff zug nglich bleibt e die verschiedenen beschrifteten Griffstellungen sichtbar sind pb WARDS AVERTISSEMENT
48. vice or repair of your equipment For more information about service options contact your nearest Service Centre or other Edwards company 32 7 2 Kundendienst Edwards verfugt Uber eine weltweites Netz von Kundendienstzentren mit dem alle Produkte von Edwards unterst tzt werden J edes Kundendienstzentrum bietet Ihnen ein breites Serviceangebot Dazu z hlt die Dekontamination von Ger ten das routinem ige Austauschen die Reparatur das berholen und Pr fen auf Einhaltung der Werksspezifkationen Alle Ger te die gewartet repariert oder berholt wurden werden mit voller Garantiegew hrung wieder an unsere Kunden zur ckgesandt Das Kundendienstzentrum in Ihrer N he stellt Ihnen auch Edwards Wartungstechniker zur Verf gung die die Wartung den Service oder die Reparatur Ihrer Ger te vor Ort durchf hren F r weitere Informationen zu unseren Kundendienstleistungen wenden Sie sich bitte an das n chste Kundendienstzentrum oder direkt an Edwards pb WARDS 7 2 Service Les produits Edwards sont support s par un r seau mondial de Centres de service Edwards Chaque Centre de service offre une large palette d options incluant d contamination d quipements change d quipements r paration reconstruction et essai selon les sp cifications d usine Les quipements v rifi s r par s ou reconstruits sont retourn s avec une garantie totale Votre Centre de service local met galement votre
49. x 10 Pa Temp rature maximale d tuvage BRV10 25M BRV10 25P 2 1 bars 1 x 10 mbar Valeur absolue 2 1 x 10 1 x 10 Pa Inf rieur 1 x 10 mbar Is 1 x107 Pals Fiabilit dur e de vie 100 000 op rations 2 2 Caract ristiques m caniques Dimensions Orifices de pr vidage et de pompage primaire BRV10M P BRV25M P Voir figures 1 et 2 sanbiuy23 s nbysu pese Uazeg 2U2SLUU28 JL eyep jesiuyaa L sanbiuy23 s nbysu pese Uazeg SYyIsLUYIa eyep yeD1UYIE C321 03 885 Issue G Mass BRV10M BRV25M BRV10P BRV25P BRV25P with in line flanges BRV25P with flanged backing port 2 3 Pneumatically operated BRV valves Recommended air 2 8 to 4 2 bar gauge pressure 3 8 x 10 to 5 2 x 10 Pa Maximum safe air 7 0 bar gauge pressure 8 0 x 10 Pa Minimum air pressure 2 4 bar gauge 3 4 x 10 Pa Air connections Ki g inch BSP couplings suitable for 6 mm tube Position indicator microswitches maximum voltage 24 V 1 5 A a c or d c Gewicht BRV10M BRV25M BRV10P BRV25P BRV25P mit In Line Flanschen BRV25P mit R ckschlagventil ffnung mit Flansch 2 3 Pneumatisch bet tigte BRV Ventile 2 8 bis 4 2 bar berdruck 3 8 x 10 bis 5 2 x 10 Pa Maximal sicherer 7 0 bar Uberdruck Luftdruck 8 0 x 10 Pa Minimaler Luftdruck 2 4 bar Uberdruck 3 4 x 10 Pa Luftanschl sse 1 g Zoll BSP Kupplungen geeignet fur Leitungen m
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