取 扱 い 説 明 書
Contents
1. MPa MPa L min m h2. SRQ 3 SRS
3. He H
4. N 1 2
5. 4 A A A J wy DH
6. 6 7 N 8 9
7. 3 7 7 N 2
8. 5 40C
9. 2 TT A Lt lt e RZ og S PC 4 cal SRQ 1HL SR 1LL 3 4 CO Nz0 1L min 1L min 1L min VCR UJR
10. 14 IN OUT 15
11. 5 6 8 1 2 0O 3 4 5 2 lt 3 6
12. 4 0 1 5 13
13. 7 7 1
14. 16 OMPa 17 N 18 19 20
15. 3 4 6
16. 10 11 12
17. 23 24 25
18. 2 N o 1 oloe 6 3 0 4 oO 2e6 0 6 0 37 1 0 6 BB AA 1 H C2H 2
19. x 2 4 6 1 2 fEL O11 758 2223 lEL 028 633 5120 lgL 03 3582 7961 IEL 0436 20 7001 lfEL 052 331 4147 lgL 06 6751 5101 TEL 087 885 2478 EL 093 533 8910 lg 022 388 6466 HL 029 823 0071 EL
20. min 61 62 68 WPa 1 20 WPe mn SRQ 3HL SRQ 3LL SRO ILA 6G1G263 WP 1 20 0 7 lt 3 0 lt 1l MPa 0 2 lt 0 99 0 2 lt 0 8 0 1 lt 0 37 L min SR IHL SR 2HL SR IHLW SR 2HLW 6G1G263 WP 1 lt 15 WP 0 1 lt 0 99 0 1 lt 06 L min 500 900 100 480 50 L min NPa WPa min SR 2HH _ WP2 2 20 WP 1 lt 15 L min SRQ 1HH G1 G2 G3 MPa MPa L min MPa L min 1
21. 3 1 4 C0 N20 C2H4 CH4 1 L min 1L min 5
22. 21 N2 N2 22
23. N 2 SRQ 3 SRS 3 4 2 5
24. N gt 9 1 N 2 2 10 1 6 2 O
25. Lo 1 2 3 N 2 4 5 1 5 DMF 6
26. 048 720 5679 fEL 045 506 1414 lEL 0749 27 2811 TEL 086 444 1047 EL 082 823 8205 F gg 0120 800 117
27. No 11651471 SN SR S RQ S RS 544 0004 4 11 17 fEL 06 6751 1151 FAX 06 6752 0577 1
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