取扱説明書 - INFICON インフィコン株式会社
Contents
1. 000 HHHHHH PEGLOOnanual 0 351 000 351 002 ti na14e1 351 490 umm HHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHH2. 2 2 4 00000 uuu HHHHH 0000 PEGLOOnanual 0 J 13 5 35V 50nA HH 104 10 HH 1021 10 nbar LU uuu HHHHH
3. HHHHHHH P 3 X 10 nbar P gt 3 10 nbar Hgh 13 50 3A 5003 HHHHHH 3 109 HHHH 100 PEGLOOnanual 0 0 8 umm 2 1 2 2 HHHHHHHHUHUHHHHHHHHHHHHHHHHHHUHHHHHHHHHHL HHHH 2 2 2
4. HHHHHHHHHHHHH IN HHUHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHUHHHHHHHHHHHHHHH HHHHH HHHHHHHH 5 1 5 1 5 PEGLOOnanual J 12 Key to Fig 5 1000 1 Magnet assembly 2 ten eld 200000 eramics disc 3 al 6 Sensor housing with flange 500000000 60000000 Fig 5 Sensor OO HHHH 5740 00000 520 00000000 5500 0 HHHHHHH 5000000000 HHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH 55HHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHH HHHHHHHHHHHH 3HHHHHHHHHHHHHHHH 000000000000 HHUHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH PEGLOOnanual 0 13 5 5 5 2
5. 3 3 1 x HH HHHHHHHHHHHHHHHHHH nmarHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH 3 3 HOU HHHHHHHHHHH HHHHHHH 000 62 0 00 OOOO00
6. 5 4 5 3 HHHHHHH 3 3 2 5 4 5 2 5 5 5 2 HHHHH Gt 5 351 490 PR25 399 510 PEGLOOnanual 0 0 14 Annex 1 Table 1 Relationship between output voltage and pressure U 0 4 V not ignited U Out Pressure U Out Pressure U Out Pressure 0 667 1 00E 09 7 94E 08 5 6 5 01E 06 0 8 1 26E 09 9 44E 08 5 7 5 96E 06 1 1 78E 09 1 12E 07 5 8 7 08E 06 8 2 1 1 2 11E 09 1 33E 07 5 9 8 41E 06 8 3 1
7. 3 3 HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH PEGLOOnanual 0 0 11 0 0000000 HHHHHHHHHHHHH Decl aration of Contannnati on of Vacuuml nstrunents and Conponents Decl arati of Cont am nat i on
8. 4 1 HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHI 1 4 HHHHHI HHHHH HH PEGLOOnanual 0 0 1
9. 0 4 2 PEGLOO HHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHH PEGLOOnanual 0 0 Key to Fig 4 1 POWER LED orange 2 READY LED green Fig 4 PEG100 front view 000000000 HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHxHH THHxHH marHHHHHHHHHHHHHHH 0 00000 000 4 20 00000000000 0000 0 narHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH 000 620 0000000000 OHHHHHHHHHHHHHHHHH 00000 HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHH 000 PEGLOOnanual 0 0 10 HHHHHHHHHHHHHUHHHHHHHHHHHHHHH Ay HOU 00000000600 DWS5KFIHHHHHHHHHHHHH OM0G HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH
10. 1 2 000 i BET E HHHHH HHHHHU HHHHHH PEGLOOnanual 1x 10 nhbar 1 10 nhbar 1 103nhbar 1 10 30 0 5 4 24VH 14 5VH 0 36 2V EN50082 2 Tab 1 2 3 EN50081 1 FCC 15 2 3 3 50 ND Ti 2 HHHHH 0000 00000
11. INFICON tina14j1 PEGLOOnanual 0 0 UUUL CAT No 351 000 CAT 351 002 UU tel 045 471 3328 fax 045 471 3327 tel 045 471 3326 fax 045 471 3327 HN EE 1 PRECEPTUM PI 1 BEBE scettr esti o dtt hee dete pas gece 2 4 FR PPB beate attt Prin 4 5 ee 5 6 9 PRP Nc a 11 12 a 12 ketene eet anaes 12 anp EDS EET 12 sd ac esas E S 14 PEGLOOnanual 0 i lu umm 0000
12. 02 1 02 Annex 2 3 Measu Relay for HV ON rement example switch signal 5 100 Status message HV ON H 8 7 HV ON L HV ON switch Example for connecting the PEG100 Switching the high tension via an external switch or contact o oo Pirani Standard Gauge Status message HV ON L PEG100 as LI 2 Example for connecting the PEG100 Switching the high tension automatically through a Pirani Standard Gauge with switching point PEGLOOnanual 0 0 16 EEC Declaration of Conformity as defined by the Directive relating to machinery 98 37 EG Appendix IIb We INFICON herewith declare that the products defined below meet the basic requirements regarding safety and health of the relevant EEC directives by design type and the versions which are brought in to circulation by us We also declare that the equipment mentioned below complies with the provisions of the Directive relating to electrical equipment designed for use within certain vol tage limits 73 23 EEC and the Directive relating to elec tromagnetic compatibility 89 336 EEC Product Penning Gauge PEG100 Balzers April 4 2001 Hannes Fischer Product Manager PEGLOOnanual 0 0 17 Part Number 351 000 351 002 Standards Harmonized and international national standards and specifications EN 61010 1 1993 EN 50081 1 1992 EN 50082 2 1995 VDE 0411 Part
13. 4 Ie 0 5 5 FAX KZ B 1 1 1 PEGl00nanual 0 0 18
14. 1 03 94 VDE 0839 Part 81 1 03 93 VDE 0839 Part 82 2 02 96 Balzers April 4 2001 Sake Dr Georg Sele Technical Support Manager Quality Representative DE 1 2 3 4 2 00 0 koo UUAD Ike D
15. 2 2 51E 09 1 59E 07 6 1 00E 05 8 4 1 3 2 99E 09 1 88E 07 6 1 1 19E 05 8 5 1 4 3 55E 09 2 24E 07 6 2 1 41E 05 8 6 1 5 4 22E 09 2 66E 07 6 3 1 68E 05 8 7 1 6 5 01E 09 3 16E 07 6 4 2 00E 05 8 8 1 7 5 96E 09 3 76E 07 6 5 2 37E 05 8 9 1 8 7 08E 09 4 47E 07 6 6 2 82 05 9 1 9 8 41E 09 5 31E 07 6 7 3 35E 05 9 1 2 1 00E 08 6 31E 07 6 8 3 98E 05 9 2 2 1 1 19E 08 7 50E 07 6 9 4 73E 05 9 3 2 2 1 41E 08 8 91E 07 7 5 62E 05 9 4 2 3 1 68E 08 1 06E 06 7 1 6 68E 05 9 5 2 4 2 00E 08 1 26E 06 7 2 7 94E 05 9 6 2 5 2 37E 08 1 50E 06 7 3 9 44E 05 9 7 2 6 2 82E 08 1 78E 06 7 4 1 12E 04 9 8 27 3 35 08 2 11 06 7 5 1 33 04 99 2 8 3 98 08 2 51 06 7 6 1 59 04 10 2 9 4 73E 08 2 99E 06 Lt 1 88E 04 3 5 62E 08 3 55E 06 7 8 2 24E 04 3 1 6 68E 08 4 22E 06 7 9 2 66E 04 Characteristic PEG100 10 Equation 511 3340 p mbar 12 66 Volt 141111 11 71 1 I Li L LL Lu 1 Ili L 11 1E 09 1 08 1 07 1 06 1E 05 1E 04 1E 03 Pressure p mbar PEGl00nanual 0 0 15 Out Pressure LII s 6 HH HH 3 5 5 4 ECC 5 3 TL 2 1 0 3 16E 04 3 76E 04 4 47E 04 5 31E 04 6 31E 04 7 50 04 8 91 04 1 06 03 1 26 03 1 50 03 1 78 03 2 11 03 2 51 03 2 99 03 3 55 03 4 22 03 5 01 03 5 96 03 7 08 03 8 41 03 1 00
16. HHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHH 755HHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHH DN 40 CF i DN 40 CF Fig 1 Dimensional drawing for PEG100 1HHHHHHHHHH PEGLOOnanual 0 0 5 HOU 000000 HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH 200000000060 HON l Of 0 000 0000000000 0000 0 HHHH 0000000000000 HHHHHH 0 HHHHHHHH 0 000 0 HHHHHHHHHHHHHH 10000 HHHHH 0 HHHHHHHH 0000000 HHH HHH 0 HHH HHHHHH 0 HHHHHHH HH 000 H LowHH 00000 0 HHHHHHH HH 0 00000 HHHHH Fig 2 Connection socket D 2000000 PEGLOOnanual 0 0 6 HV ON L High tension switchover HV ON H Status Ingnition Characteristic monitor adaptation Signal output Signal ground Power supply LED sz Identification O 100 Measurement 222 Power supply ground system Fig 3 Block diagram PEG100 30000000000 000 000 HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHLH Ay HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHH
17. HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH HHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHHH PEGLOOnanual 0 0 7 12 EL HHHHHU HHHHHH
Download Pdf Manuals
Related Search