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1. FITTINGS X MASS LOR 9 16 18 UNF 7 8 199 199 15 1 1 16 12 UNF 7 8 199 GEH USE MIT ENDPLATTE MIT INNENGEWINDE 1 5 16 12 UNF 7 8 199 1 2 NPT 7 8 199 X 1 NPT 7 8 199 1 1 2 NPT 7 8 199 1 2 1 2 RC BSP 7 8 199 30 1 RC BSP 7 8 199 3 8 TUBE COMP 10 7 273 1 2 TUBE COMP 10 5 267 3 4 TUBE COMP 10 5 267 1 TUBE COMP 10 8 274 1 2 VCO 9 8 249 3 4 VCO 10 1 257 1 VCO 10 2 259 Sa 1 2 VCR 10 1 257 MEX 490 TIEFES 3 4 VOR 11 0 279 4 PL TZE HANDFEST ANGEZOGEN ANMERKUNGEN 1 KABELGR SSE AWG 14 24 FLANSCHART FLANGE OD D _ 2 PIN 1 9 und 10 SIND AUF DER PLATINE INCH MITEINANDER VERBUNDEN ANSI 1 2 150 Ib 35 3 VALVE OVERRIDE REFERENZIERT AUF ANSI 1 2 300 Ib 3 75 GEMEINSAMEN SOLLWERT ANSI 1 0 150 Ib 4 25 ANSI 1 0 300 Ib ANSI 1 5 150 Ib ANSI 1 5 300 Ib ANSI 2 0 150 Ib ANSI 2 0 300 Ib DIN DN15 PN40 NULLPUNKT DIN DN25 PN40 TASTE DIN DN40 PN40 DIN DN50 PN40 5 39 136 9 _ NORMA
2. Abbildung 1 7 Modell SLA5850F digitaler Ein Ausgang FOUNDATION Fieldbus Massedurchflussregler mit coplanarem Ventil FRONTANSICHT OHNE FILTER 4 24 Doa ios 63 16 0 35 bo 8 32 UNC X 1 4 TIEFES MONTAGEGEWINDE 2 PLCS 5 54 FRONTANSICHT MIT STANDARDFILTER gt MASS FITTING MASS Z MASS me OHNE FILTER FILTER HANDFEST ANGEZOGEN 5 PIN MICRO DEVICENET STECKER M12 x 1 AUSSENGEWINDE SIEHE DETAIL A 4 81 1223 DETAIL A MASSE INCH MM Abbildung 1 8 Modell SLA5851D digitaler Ein Ausgang DeviceNet Massedurchflussregler Abschnitt 1 Einfuhrung Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 DETAIL H 4 Pin PICOFAST RUNDSTECKER M8 X 0 5 GEWINDE SIEHE DETAIL B 4 52 114 9 gt po 6 10 154 9 gt 4 Pin MICRO NULLPUNKT FOUNDATION FIELDBUS STECKER TASTE M 12 x 1 AUSSENGEWINDE SIEHE DETAIL A 6 02 7 01 153 0 1782 i 5 11 129 8 2 9 02 NORMAL GESCHLOSSENES 75 05 VENTIL OUTLET SIGNAL
3. 6 75 1714 EINLASS AUSLASS AR mn le E pes 1 5 37 I 2 6 1 066 gt f 155 15 GEH USE MIT ENDPLATTE MIT INNENGEWINDE FITTING X MASS er 9 16 18 UNF 6 1 155 1 1 16 12 UN 6 1 155 1 5 16 12 UN 6 1 155 42 INCH MM 1 2 NPT 6 1 155 1 NPT 6 1 155 30 1 1 2 NPT 6 1 155 1 2 RC BSP 6 1 155 1 RC BSP 6 1 155 3 8 TUBE COMP 9 0 229 1 2 TUBE COMP 8 8 223 3 4 TUBE COMP 8 8 223 1 TUBE COMP 9 1 232 1 2 VCO 8 1 206 3 4 VCO 8 4 213 1 VCO 8 5 216 1 2 VCR 8 4 213 M6 X 23 je esa 008 TIEFES 3 4 VCR 9 3 236 4 PL TZE HANDFEST ANGEZOGEN Abbildung 1 13 Modell SLA5863D digitaler Ein Ausgang DeviceNet Massedurchflussmesser Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 2 Installation X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ En Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s 2 1 Allgemeines Dieser Abschnitt enth lt Installationsanweisungen f r die digitalen Brooks Massedurchflussregler und messer In Abschnitt 1 Abbildungen 1 5 bis 1 12 sind die Ma e und elektrischen Anschl sse dargestellt 2 2 Erhalt der Ger te sl Nach Erhalt der Ger te pr fen Sie bitte die Au enve
4. ML 3 25 0 NULLPUNKT TASTE 1 05 26 7 2 63 66 7 J Abschnitt 1 Einf hrung Brooks Digitaler MFC s amp MFM s DETAIL 4 Pin PICOFAST RUNDSTECKER M8 X 0 5 GEWINDE SPANNUNGSVERSORGUNG SPANNUNGSVERSORGUNG 4 Pin MICRO FOUNDATION FIELDBUS STECKER M 12 x 1 AUSSENGEWINDE SIEHE DETAIL A DETAIL SIGNAL 2 Pa O y o S 148 gt 5 12 7 37 7 3 70 193 9 RMAL GE FFNETES VENTIL 3 52 89 4 ORMAL GESCHLOSSENES VENTIL SIGNAL FITTING 1 8 TUBE COMP X MASS 4 85 123 1 1 4 TUBE COMP 3 8 TUBE COMP 1 4 VCR 1 4 VCO 1 4 NPT 5 03 127 7 5 15 130 7 4 89 124 1 4 56 116 4 67 118 5 axe Ss 301 76 4 6mm TUBE COMP 10mm TUBE COMP 5 16 131 1 1 4 RC BSP 4 59 116 6 HANDFEST ANGEZOGEN 5 03 127 8 35 9 0 71 18 0 f 8 32 UNC X m TIEFES MONTAGEGEWINDE 2 PLCS
5. Installation und Bedienungs Handbuch Inhalt X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027 AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Paragraph Seite Nummer Nummer Abschnitt 1 Einfuhrung 171 ASS DSTI ae an 1 1 o e E uo E 1 1 T3 BNP 1 1 14 Technische Data iaa 1 2 Abschnitt 2 Installation 2 1 Aec E NES en 2 1 FRAME hj 2 1 23 pre 0 LAOS UNO EE NN MN capas 2 1 ne e E A 2 2 2 5 Vorsichtsma nahmen beim Transport 4 2 2 26 Fre aus dem Lager inn deerne onteren sien a see 2 2 2 GasansehSSO ane ee eden EEE NE 2 2 29 MENT en 2 3 2 EO RE AE eo OO NE a 2 3 e A APP Re mende 2 6 2 11 Verfahren zur Funktionspr fung analoger Ein Ausgang VU 2 9 2 12 Digitaler Ein Ausgang DeviceNet oder FOUNDATION Fieldbus eenen eeen 2 10 2 13 Aufbau Ein Ausgang DeviceNets is 2 10 Abschnitt 3 Betrieb A e OO Nr pni RER 3 1 32 o dome oi 3 1 33 Eg 2 1815 00 LG smart a rola EE 3 2 34 Betriebsart analogerEin Ausgand 5 seen 3 4 oo A O PE ee A 3 6 3 5 1 RS 485 Kommunikation nur analoge Versionen oonccccccnnnccccnnccconnncnnnnnnnncannncnnnnononnnnnnnnnnnnnss 3 6 3 5 2 RS 485 DeviceNet KOMMUNKalonuv4v44 46564 seen ee 3 7 3 5 3 RS 485 FOUNDATION Fieldbus Kommunikation nnn oennenene ene rnennerneenenseenvenennnen 3 7 3 6 Alarme und Warnhinweise nur analoge Versionen nan snennrnnennr rennen vennen ennen ennen 3 8 3 6 1 Alarme und Warnhinweise nur analoge Versionen VV 3 8 3 6 2 Diagnose Alarme n
6. 0 4 20 mA Durchflusssignal Ausgang 1 Externe SP COM Last PWR COM Anmerkung Sollwert Masse Durchflusssignalausgang Masse und Stromversorgung Masse werden im Massedurchflussregler angeschlossen Informationen uber Versorgungsspannung und Sollwerteingangsimpedanz finden Sie in den technischen Daten von Brooks Eingang Das Sollwertsignal 4 20 mA wird in den Eingang des Massedurchflussreglers unter Verwendung einer geregelten Energiequelle eingespeist Ausgang Das 4 20 mA Ausgangssignal wird vom Massedurchflussregler an die externe Last gegeben Abbildung 2 3 Empfohlene Verkabelung der Ein Ausg nge f r Stromsignale nicht isolierte Stromversorgung Sollwertregler 0 4 20 mA Stromquelle mit isolierter Loop Stromversorgung 0 4 20 mA Durchflusssignal Ausgang 1 Externe SP COM per PWR COM gt Anmerkung Sollwert Masse Durchflusssignalausgang Masse und Stromversorgung Masse werden im Massedurchflussregler angeschlossen Informationen Uber Versorgungsspannung und Sollwerteingangsimpedanz finden Sie in den technischen Daten von Brooks Eingang Das Sollwertsignal 4 20 mA wird in den Eingang des Massedurchflussreglers unter Verwendung einer geregelten Energiequelle eingespeist Ausgang Das 4 20 mA Ausgangssignal wird vom Massedurchflussregler an die externe Last gegeben Abbildung 2 4 Empfohlene Verkabelung f r Ei
7. messer zu installieren um zu verhindern dass Fremdk rper in den Sensor oder das Regelventil des Massedurchflussreglers eindringen Das Filterelement muss regelm ig ausgetauscht werden oder mit Ultraschall gereinigt werden Tabelle 2 1 Empfohlene Filtergr e S SLA5850 60 10 bis 100 In min SLA5851 61 10 bis 30 In min SLA5853 63 gt 100 In min itte an das Werk wenden Hinweis Brooks bietet viele Filteroptionen Bitte wenden Sie sich f r die Filter die hier nicht aufgef hrt sind ans Werk 4 ACHTUNG Wenn der Massedurchflussregler oder messer installiert wird muss darauf geachtet werden dass keine Fremdk rper in den Einlass oder Auslass des Ger tes gelangen Entfernen Sie die Schutzkappen erst beim Einbau Empfohlene Vorgehensweise f r die Installation a Die digitalen Brooks Massedurchflussregler oder messer m ssen an einem sauberen trockenen Ort aufgebaut werden der relativ frei von St en und Vibrationen ist b Lassen Sie ausreichend Platz f r den Zugang zur Taste f r die Funktion der automatischen Nullstellung c Installieren Sie das Ger t derart dass es leicht ausgebaut werden kann wenn es gewartet repariert werden muss 4 ACHTUNG Wenn das Ger t mit einem reaktionsfreudigen und oder toxischem Gas verwendet wird kann es als Folge von undichten Stellen oder unzureichender Sp lung zu Verunreinigung oder Korrosion kommen Die Installationsarbeiten m ssen sorgf ltig auf Lecks ber
8. card edge sont non m talliques Les c bles utilis s doivent tre blind s a 100 pour satisfaire la r glementation CE Tous les blindages doivent tre reli s a la terre Se r f rer au manuel d instruction pour le raccordement des contacts Greek Brooks Instrument 407 West Vine St Hatfield PA 19440 U S A Opa IIpocbykn oto Eyyerpi ro O nyu v Lyetik Hltozoro non CE tov Opr vov M rprons Hapox s M dac Huepounvia lavov puos 1996 Kupisc koi K pioy Ta pyava niextpi nAextpovix mg Brooks ta oroia g povv to ova CE Exouv ENITUXOG EAEYXDEL c upova pe TOVE KAVOVIGHOUG TNG HAsktpo Mayvntiwnc 2uuBar mtas EMC vr pekti a 89 336 EEC Onwo nnote ypsi eta si n npoooyh Kat Tv er oy tov kaAndiov HETUPOP C TOV G KATOG TO onoio K AW LO mP KETTOL va ypnoyworomdei LE pyava nov p povv to on pa CE How ryta tov kakw iov ov paros TOY GTUTLODAMAT Y KUL TWV GUV EGLOV H Brooks kat kav va npoundeder vynig ror rntas k a ta oroia rAmpobv TIC apodrmypag s ya motoroinon CE E v n emdoy tov KoMb lov GRLUTOG yiver 0760 oac AP NEL VA XPNOLMLOTOMOETE ka d to TO onoio va p pet eEwrepik n PeG zA yua kar va mup xet Cop kion 100 Ot G vdeouor t xov D y Kuxduxol Tov ka m tov nperei va OwmpaxiLovran ue pera Bop ak orm E v eivar epapu cio ap rel va XPYOYLOTOLOVVTOL pETOAMKOf otunodkintes KOAM LDV zov va Slub rouv aKpod ktn 6 VSEONG Tov T YLUTOG TOV
9. ckzuf hren sein Um die ordnungsgem Be Kommunikation Uber das DeviceNet Netzwerk sicherzustellen muss der Massedurchflussregler mit der gleichen Ein Ausgangskonfiguration eingestellt sein wie der Netzwerk Master Die DeviceNet Spezifikation definiert Ein und Ausgabe relativ zum Netzwerk d h die Daten die vom Ger t Massedurchflussregler GENERIERT werden sind eine EINGABE in das Netzwerk oder die Daten die vom Ger t Massedurchflussregler AUFGENOMMEN werden sind eine AUSGABE vom Netzwerk Der Brooks Massedurchflussregler unterst tzt 12 m gliche Eingangskonfigurationen und 4 m gliche Ausgangskonfigurationen ANMERKUNG Diese Informationen und alle anderen detaillierten DeviceNet Informationen finden Sie im Brooks DeviceNet Supplement Instruction Manual Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 3 Betrieb X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s 3 1 berblick Dieser Abschnitt beinhaltet die folgenden Informationen e Funktionsbeschreibung e Eigenschaften 3 2 Funktionsbeschreibung Das System der thermischen Massedurchflussmessung besteht aus zwei Komponenten Str mungsteiler Restrictor und Durchflusssensor Abbildung 3 1 enth lt ein Diagramm des Durchflussstromes durch den Massedurchflussregler messer mit einer vergr erten Ansicht des Durchflusssensors Der Gasfluss der in den Massedurchflussregler messer eintritt wird auf zwei Wege aufgeteilt
10. einer direkt durch den Str mungsteiler Restrictor und der andere durch den Durchflusssensor Dies ist in Abbildung 3 1 dargestellt in der der Gesamtdurchfluss A B in den Massedurchflussregler messer eintritt und in zwei Str me A und B aufgeteilt wird Die Str me werden an der anderen Seite des Str mungsteilers Restrictor wieder zusammen gef hrt Die Trennung der Durchflussstr me wird durch den Str mungsteiler Restrictor vorgenommen W hrend der Durchflussbedingungen wird ein Druckgef lle ber dem Str mungsteiler Restrictor herrschen durch den Gas in den Sensor str mt Der Druckunterschied der durch den Str mungsteiler Restrictor verursacht wird variiert linear mit der Gesamtdurchflussrate Der Sensor hat den selben linearen Druckunterschied verglichen mit dem Durchflussverh ltnis Das Verh ltnis des Sensordurchflusses zum Durchfluss durch den Str mungsteiler bleibt ber den gesamten Bereich des Massedurchflussreglers messers konstant A B konstant Der Durchflussendwert des Massedurchflussreglers messers wird hergestellt indem man einen Str mungsteiler Restrictor mit dem richtigen Druckgef lle f r den gew nschten Durchfluss ausw hlt Der Durchflusssensor ist ein sehr enges d nnwandiges Edelstahlrohr Auf diesem Rohr werden Temperaturf hler vor und hinter dem Heizelement montiert Das Heizelement das sich in der Mitte des Sensorrohrs befindet wird kontinuierlich mit Strom versorgt Wenn kein Durchfluss her
11. entflammbaren oder tzenden Gasen ausgesetzt wurde sp len Sie das Ger t gr ndlich mit trockenem Schutzgas wie z B Stickstoff bevor Sie die Gasversorgung wieder anschlie en Wird es vers umt den Massedurchflussregler messer korrekt zu sp len kann dies zu Brand Explosion oder Tod f hren Korrosion oder Verschmutzung des Massedurchflussmessers reglers kann auch entstehen wenn das Ger t Luft ausgesetzt wird 1 Entfernen Sie das Ger t aus dem System 2 Sp len Sie mit trockenem Stickstoff der praktisch alle Partikel aus dem Ger t entfernt Sollte das Ger t immer noch verschmutzt sein reinigen Sie alle medienber hrten Bauteile mit Ultraschall Sp len Sie das Ger t anschlie end erneut mit trockenem Stickstoff 3 Wenn der Sensor verschmutzt ist entfernen Sie ihn und verwenden Sie eine Klemme oder Pinzette um eine Klaviersaite mit 0 007 Durchmesser durch das Durchflusssensorrohr zu schieben und alle Verschmutzungen zu entfernen das Ende das dem Regelventil am n chsten ist Das Sensorrohr kann dann mit einem L sungsmittel gesp lt werden das keine R ckst nde hinterl sst Dies kann bequem vorgenommen werden indem man eine Injektionsnadel verwendet die mit L sungsmittel gef llt ist HINWEIS Tr nken Sie die Sensorbaugruppe nicht in Waschbenzin Wenn L sungsmittel in die Sensorbaugruppe sickert wird sie sehr wahrscheinlich besch digt oder die Betriebseigenschaften des Sensors werden sich wesentlich n
12. h chstens 60 mindestens 25 Wenn das Ger t aus dem Lager entnommen wird sollte eine Sichtpr fung durchgef hrt werden um zu berpr fen ob das Ger t im selben Zustand ist wie bei der Anlieferung 2 2 Abschnitt 2 Installation Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 2 4 R cklieferung Bevor Sie ein Ger t an das Werk zur cksenden kontaktieren Sie Ihren n chst gelegenen Brooks Standort bez glich einer RMA Nummer Return Materials Authorization Number Genehmigungsnummer zur R cksendung der Ware Diese kann an den folgenden Standorten eingeholt werden Brooks Instrument 407 W Vine Street P O Box 903 Hatfield PA 19440 USA Geb hrenfrei 888 554 FLOW 3569 Tel 215 362 3700 Fax 215 362 3745 E mail BrooksAm Brooksinstrument com www Brooksinstrument com Brooks Instrument Brooks Instrument Neonstraat 3 1 4 4 Kitasuna Koto Ku 6718 WX Ede Netherlands Tokyo 136 0073 Japan P O Box 428 Tel 81 0 3 5633 7100 6710 BK Ede Netherlands Fax 81 0 3 5633 7101 Tel 31 0 318 549 300 Email BrooksAsQBrooksinstrument com Fax 31 0 318 549 309 E mail BrooksEu Brooksinstrument com F r jedes Ger t das an Brooks zur ck gesandt wird wird das Formular RPROO3 1 das Decontamination Statement von Brooks Instrument sowie ein Sicherheitsdatenblatt MSDS f r das Medium die Medien ben tigt die im Ger t eing
13. ist dass der MASSEDURCHFLUSS des Gases festgelegt ist w hrend der Referenzvolumendurchfluss unterschiedlich angegeben werden kann und zwar auf der Basis der Standardreferenzbedingungen die in der Berechnung verwendet werden International gibt es unterschiedliche Terminologie bei der Beschreibung der Referenzbedingungen f r Gase Die Begriffe normal conditions normale Bedingungen und standard conditions Standardbedingungen sind manchmal austauschbar wenn der Referenz STP Wert Standard Temperature and pressure f r Gase beschrieben wird Weiterhin ist zu ber cksichtigen dass Temperatur und Druckwerte f r Standard oder normale Referenzbedingungen abh ngig von Land und Branche weltweit variieren Die Branche der Halbleiterhersteller SEMI definiert die Standardtemperatur und druckbedingungen beispielsweise als 273 15 K 0 C und 101 325 Pa 760 torr Wichtig ist in erster Linie dass unabh ngig davon welche Begriffe f r beschreibende Zwecke verwendet werden ein Gasmassedurchfluss einen definierten Referenzwert f r den Standarddruck und die Standardtemperatur haben muss wenn eine Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 1 Einfuhrung X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Volumenumrechnung vorgenommen wird ELEKTRISCHE DATEN Analoge RS 485 Version 15 Pin Sub D Stecker Digitaler Ein Ausgang DeviceNet 5 Pin Micro Stecker FOUNDATION Fieldbus 4 Pin
14. spulen kann dies zu Brand Explosion oder Tod f hren Korrosion oder Verschmutzung des Massedurchflussmessers reglers kann auch entstehen wenn das Ger t Luft ausgesetzt wird ACHTUNG Es ist wichtig dass dieser Massedurchflussregler messer nur von ordnungsgem geschultem und qualifiziertem Personal 4 1 4 2 Abschnitt 4 Wartung Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 4 1 1 St rungsbeseitigung analoge Version oder DeviceNet aa EE er ee Dieser Abschnitt umfasst Empfehlungen wie Probleme des Massedurchflussreglers im Gasverteilsystem erkannt werden k nnen und liefert Antworten auf h ufig gestellte Fragen Durchflussrate oder Durchflusssignal erreicht nicht den Sollwert 1 Unzureichendes Druckgef lle uber dem Massedurchflussreglers niedriger oder kein Druck Wenn das Druckgef lle ber dem Massedurchflussreglers nicht gro genug ist kann die ffnung des Massedurchflussreglers die Endwertdurchflussrate nicht erreichen Um diese Bedingung zu berpr fen vergleichen Sie das tats chliche Druckgef lle am Einlass Auslass mit dem Druckgef lle das im Auftrag spezifiziert ist Erh hen Sie den Druck falls erforderlich Wenn die Druckeinstellungen korrekt sind und das Istwertsignal nicht dem Sollwert entspricht kann ein zweites Problem die Art von Gas sein Wenn Sie den Massedurchflussregler mit einem E
15. 0 5 VDC Istwertsignal 1 5 VDC Sollwertsignal 1 5 VDC Istwertsignal 0 20 mA Sollwertsignal 0 20 mA Istwertsignal 4 20 mA Sollwertsignal 4 20 mA Istwertsignal Die Eingangspins Valve Override und Kalibrierungsauswahl sind ebenfalls enthalten Alle analogen Signale sind auf dem 15 Pin Sub D Stecker vorhanden Siehe Abbildung 2 1 f r Belegung Bitte ber cksichtigen Sie dass ein fr her nicht verwendeter Anschlusspin Pin 13 jetzt die Auswahl von bis zu 10 separaten Kalibrierungen erm glicht Die Inhalte der 10 Kalibrierungen werden im Kundenauftrag vorgegeben Nur die bestellten Kalibrierungen werden im Ger t verf gbar sein Soweit nichts anderes vorgegeben ist ist bei einem digitalen Brooks Massedurchflussregler messer der nur mit einer Kalibrierung bestellt wurde diese Kalibrierung auf Kalibrierung Nr 1 gespeichert Setzen Sie den Massedurchflussregler messer vor dem Betrieb unter Strom und lassen Sie das Ger t ungef hr 45 Minuten aufw rmen F hren Sie nach der Aufw rmphase Gasdruck zu und befolgen Sie dann die Anweisungen die in den folgenden Abschnitten beschrieben sind Sollwert analoger Eingang nur Massedurchflussregler Mit diesem Eingang kann der Anwender den Sollwert des Massedurchflussreglers vorgeben Die folgenden Eingangstypen sind verf gbar Sollwertsignal Endwert_ Max Signa 0 bis 5 VDC 5 VDG 5 5 VDG 110 0 bis 20 mA 0 mA 22 mA 110 Istwert analoger Ausgang Dieser Ausgang wird verw
16. 1 5 V Eingang Stromversorgung Masse Durchflusssignal Masse Ausgang Referenz 5 VDC Ausgang Valve Override Eingang Kalibrierungsauswahl Eingang RS 485 Masse B Ein Ausgang RS 485 Masse A Ein Ausgang CO PINO ROT SCHWARZ GRUN SCHWARZ BLAU SCHWARZ BLAU SCHWARZ SCHWARZ WEISS ROT WEISS GRUN WEISS BLAU WEISS Brooks Read Out Modelle 0151 0152 0154 0254 Tabelle 3 1 typische Widerstandswerte f r die Kalibrierungsauswahl Abbildung 2 1 Schaltplan Sub D Stecker abgeschirmtes Kabel Version Spannung Ein Ausgang Anmerkun Sollwerteingang gt ung Spannungssignal Spannungsversorgung 13 5 27 Vdc Istwertsignal Spannungssignal JO Anzeiger oder Empf nger Spannungssignal Sollwert und Ausgang Anmerkungen 1 Die Masseleitungen f r Ein und Ausgangssignal sind nicht von der gemeinsamen Masseleitung getrennt 2 Verbinden Sie die Abschirmung des Kabels nur an einem Ende mit dem Erdpotential nur Massedurchflussregler 3 Der Strom und Spannungsein ausg nge d rfen nicht gleichzeitig verwendet werden Abbildung 2 2 Gemeinsamer elektrischer Schaltplan Version f r Spannungssignale Ein Ausgang 2 8 Abschnitt 2 Installation Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Sollwertregler 0 4 20 mA Stromquelle mit unisolierter Loop Stromversorgung Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010
17. 2 Systempr fungen Die digitalen Durchflussmesser und regler von Brooks werden im Allgemeinen in Gasanlagen verwendet die sehr komplex sein k nnen Es kann daher sehr schwierig sein einen Fehler im System zu isolieren Ein nicht genau diagnostizierter Fehler kann Stunden von unn tigen Ausfallzeiten verursachen Falls m glich f hren Sie die folgenden Systempr fungen durch bevor Sie einen fehlerverd chtigen Massedurchflussmesser oder regler zur St rungsbeseitigung ausbauen oder an das Werk zur ck senden insbesondere wenn das System neu ist 1 berpr fen Sie einen gemeinsamen niederohmigen Anschluss dass die richtige Spannung angelegt ist und dass die Signale des Verbinders des Smart TMF vorhanden sind 2 berpr fen Sie dass die Prozessgasanschl sse korrekt vorgenommen wurden und dass sie auf Lecks getestet wurden 3 Wenn der Massedurchflussregler zu funktionieren scheint den Sollwert aber nicht erreichen kann berpr fen Sie ob der Einlassdruck und das Druckgef lle am Regler ausreichend sind um den erforderlichen Durchfluss zu erreichen Dieser Abschnitt enth lt Vorschl ge um einfache Probleme in Verbindung mit dem Massedurchflussregler messer im Gasverteilsystem zu diagnostizieren und liefert Antworten auf h ufig gestellte Fragen Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 4 Wartung X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027 AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s A W
18. Anwender spezifiziert wurde 3 8 2 Kleine Sollwertsignale unterdr cken EE Wenn der Sollwert vom analogen Eingang vorgegeben wird setzt dieser Parameter den kleinsten g ltigen Wert des Sollwerts Wenn der Sollwert der vom analogen Eingang vorgegeben wird unter diesem Parameter liegt wird der Sollwert auf Null gesetzt 3 8 3 Kleine Istwertsignale unterdr cken EE Wenn der gemessene Durchfluss unter dem im Parameter Low Flow Output Cutoff vorgegebenen Wert liegt wird das Istwertsignal auf Null gesetzt 3 8 4 D mpfung des Ausgangssignals E Das Ausgangssignal kann von 0 bis 10 Sekunden bed mpft werden 3 8 5 Adaptive Steuerung ES Die adaptive Ventilsteuerung ist ein Mittel zur dynamischen Einstellung des Ventil Offset und Messbereichs als Antwort auf sich ndernde Prozessbedingungen Optionen f r die adaptive Steuerung sind Ein Aus nur Ventil Offset einstellen Offset und Messbereich einstellen 3 8 6 Durchflussz hler Totalizer Ein Durchflussz hler wird im nicht fl chtigen Speicher vorgesehen und unterhalten Die Aktualisierungsrate des Z hlers im nicht fl chtigen Speicher betr gt 5 Sekunden 3 14 Abschnitt 3 Betrieb Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger u Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 3 8 7 Konfiguration des Istwertsignals Wenn dieses Merkmal aktiviert ist und eine nderung des Sollwerts erkannt wird wird das Istwertsignal dem
19. DeviceNet Netzwerk eingestellt Im Originalzustand ist die Standardeinstellung 125 K Baud Weitere Einzelheiten zu diesen Schaltern finden Sie im Brooks DeviceNet Supplement Instruction Manual Analoge oder DeviceNet Version F Wozu dient der eingelassene Druckknopf an der Seite des Massedurchflussreglers A Dieser Druckschalter wird verwendet um die Funktion der automatischen Nullstellung zu starten Dr cken Sie diesen Schalter NUR wenn Sie diese Funktion wie in Abschnitt 3 5 dieses Handbuchs beschrieben ausf hren 4 3 4 4 Abschnitt 4 Wartung Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 Table 4 1 St rungsbeseitigung Sensor SCHEMATISCHE DARSTELLUNG 1234567 DES SENSORS LEE u u HE KN Heizelement stecker VorgeschalteterTemperatursensor Su Nachgeschalteter Temperatursensor Sd 7 Flexibles Anschlusskabel Entfernen Sie f r dieses Verfahren den Sensorstecker aus der PC Platine OHMMETER ANSCHLUSS ERGEBNIS FALLS ELEKTRISCH FUNKTIONSF HIG Pin 1 oder 4 zum Messger tgeh use Offener Stromkreis am Ohmmeter Wenn entweder das Heizelement 1 oder die gemeinsame Sensorleitung 4 kurz geschlossen sind erh lt man einen Ohmmeter Messwert Pin 4 bis Pin 2 Nennmesswert 1 100 Ohm abh ngig von Temperatur und Ohmmeter Pin 4 bis Pin 3 Pin 5 bis Pin 1 Nennmesswert 1 000 Ohm Pin 6 bis Pin 7 Nennmesswert 580 Ohm 4 1
20. Die Kommunikation ber DeviceNet bietet auch Zugang zu vielen Funktionen der digitalen Brooks SLAM Serie f r Regelungs und berwachungsaufgaben einschlie lich e Genaue Sollwerteinstellung und Durchflussausgangsmessung einschlie lich Auswahl der Ma einheiten e PID Einstellungen nur Regler e Valve Override nur Regler e Auswahl des Kalibriergases e Soft Start Steuerung nur Regler 3 5 3 FOUNDATION Fieldbus Kommunikation ZZ ee gg lt b j j S F Die digitale Brooks Serie SLA5800 unterst tzt das FOUNDATION Fieldbus Kommunikationsprotokoll FOUNDATION Fieldbus ist ein digitales Netzwerk das die Verwendung von vorhandenen 4 20 mA Kabeln erm glicht wodurch kostenintensive Neuverkabelung umgangen wird Da es nach ITK zertifiziert ist erf llt das Ger t mehrere Interoperabilit tsanforderungen ber einen gro en Bereich von Hosts In Kombination mit DeltaV und PlantWeb bieten diese Ger te intelligente Alarme mit denen pr zise Wartung und Instandsetzung der Ger te m glich ist e Pr fung Wertebereich Teil der Standardfunktionen e Temperatursensoranschluss Pr fung des Sensoranschlusses e Firmware Pr fsumme Pr fung auf Integrit t der internen Firmware e Nichtfl chtiger Speicher Pr fung auf Integrit t des nichtfl chtigen Speichers e RAM Pr fung auf RAM Integrit t e Nullpunktabweichung Ventilleck Pr fung auf Durchflussleckage oder Nullpunktabweichung e F llige Uberholung des Ger t
21. KA D IOU To zA amp yua Tov kuAw tov rp net va GLV ETUL oto HETOAMK nepi Anpa otov otvmobA itn kar va mpaxitetar var sta 500 kpa kar 360 po pes H Bwpak on zp ret va kata yet oe k ro aKpOSEKTN yelmons Ot ovvdeopo KAPT V eivat UT LETO KO Ta KAMNS zov ypnoworowobvrar RPETE va p povv TAEYHA Bwpak ong 100 yia va vraKobovv smv motoxzoinon CE H dop kion ap xel va Kata A yel GE K NOIO UKPOSEKTN YEIWOTIC Na mv datada trov akpodekt v Mapaxado ue avapepbette oto EGNK ELOTO Eyye pi io O nyiwv A 3 A 4 Abschnitt A CE Bescheinigung des Installation und Bedienungs Handbuch Massedurchflussger ts X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 Italiano Brooks Instrument 407 West Vine St Hatfield PA 19440 U S A Oggetto f Addendum al manuale di istruzioni Riferimento Certificazione CE dei misuratori termici di portata in massa Data gt Gennaio 1996 Questa strumentazione elettrica ed elettronica prodotta da Brooks Instrument soggetta a marcatura CE ha superato con successo le prove richieste dalla direttiva per la Compatibilit Elettomagnetica Direttiva EMC 89 336 EEC E richiesta comunque una speciale attenzione nella scelta dei cavi di segnale da usarsi con la strumentazione soggetta a marchio CE Qualit dei cavi di segnale e dei relativi connettori Brooks fornisce cavi di elevata qualit che soddisfano le specifiche ric
22. Sie das Regelventil Sollwerts nicht erreicht werden gilt Abschnitt 4 1 2 oder senden Sie f r Massedurchflussregler das Ger t zur ck Valve Override Eingang ist mit berpr fen Sie den Valve Override Masse beschaltet Eingang Pin 12 Defekte Elektronik Wenden Sie sich an Brooks Instrument Ausgangssignal bleibt trotz Ventilleckage Ventil klemmt oder Regelventil reinigen bzw einstellen Sollwert bei ca 5 5 VDC oder 22 ist offen gilt f r Abschnitt 4 1 2 mA und ein Durchfluss durch das Massedurchflussregler Messger t den Regler ist Valve Override Kontakt Pin 12 vorhanden Valve Override Eingang ist mit 15V berpr fen beschaltet gilt f r Massedurchflussregler Wenden Sie sich an Brooks Defekte PC Platine Instrument Ausgangssignal folgt Sollwert bei Pr fen Sie auf Ventilleckage Reinigen Sie das Regelventil oder h heren Sollwerten geht aber nicht Ventil klemmt oder ist offen senden Sie das Ger t zur ck unter 2 Abschnitt 4 1 2 Ausgangssignal folgt dem Sollwert Unzureichender Eingangsdruck Dr cke einstellen Leitungsfilter bei niedrigeren Sollwerten erreicht oder unzureichendes Druckgef lle berpr fen und reinigen ersetzen aber nicht den Endwert falls erforderlich Sensor teilweise verstopft Sensor reinigen siehe Reinigungsverfahren Abschnitt 4 12 Ventil teilweise verstopft gilt f r Massedurchflussregler Reinigen Sie das Regelventil Abschnitt 4 1 2 oder senden Sie das Ger t
23. belastet werden Mind Belastungswiderstand 2 kQ 2 5 mA max Genauigkeit 1 0 Alarm Ausgang nur Version mit analogem Ein Ausgang Der Alarmausgang ist ein Open Collector Ausgang eine Art von Kontakt der GESCHLOSSEN wird ein sobald ein Alarm aktiv ist Der Alarmausgang kann eingestellt werden um irgendeine von verschiedenen Alarmbedingungen anzugeben Weitere Informationen Uber Alarme finden Sie in Abschnitt 3 6 2 Typ Open Collector Max geschlossen EIN Stromst rke 25 mA Max offen AUS Leckage 1 HA Max offen AUS Spannung 30 VDC Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 1 Einfuhrung X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Interner Lastschutz Externe Imax 25mA Smart DDE Modell 0162 bietet eine anwenderfreundliche und leistungsstarke Dynamic Data Exchange Software zwischen den digitalen Brooks Massedurchflussger ten und hochwertiger Windows basierter Anwendungssoftware Externe Stromversorgung Externer oder interner Digitale Brooks RS 485 RS 232 Massedurchflussmesser Konverter und regler mit digitaler Kommunikation RS 485 Multi point Verbindung Abbildung 1 2 Allgemeine Verkabelung Schnelles Ansprechverhalten Fast response Die Kurven in Abbildung 1 3 zeigen das Ausgangssignal des Massedurchflussreglers und den tats chlichen Ubergangs Durchfluss bis zum stabilen Zustand wenn der Gasdurc
24. das Ventil ge ffnet bleiben wird Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 3 Betrieb X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s 3 6 3 Allgemeine Alarme und Warnhinweise nur analoge Versionen ennen Mehrere Alarme stehen zur Verf gung um unerwartete Ereignisse wie folgt anzuzeigen Durchflussalarme Es gibt zwei Durchflussalarme Bei jedem kann der Anwender einen minimalen und maximalen Durchflussgrenzbereich einstellen Immer wenn der Durchfluss nicht innerhalb dieses Bereichs liegt wird ein Alarm ausgel st Diese beiden allgemeinen Durchflussalarme erm glichen eine gr Bere Flexibilit t als spefizische Alarme f r niedrigen und hohen Durchfluss Diese beiden Alarme k nnen verwendet werden um separate Alarme f r niedrigen und hohen Durchfluss einzurichten oder um eine B ndelung um eine Durchflussrate herum herzustellen Wenn das Ger t ein Regler ist wird dieser Alarm deaktiviert wenn der Sollwert nicht innerhalb der spezifizierten Durchflussgrenzen liegt oder wenn der Valve Override aktiv ist Alarm Spannungs versorgung Anwender Dieser Alarm berwacht die Spannungsversorgung des Ger tes f r Werte die au erhalb der Ger tespezifikation von 13 5 bis 27 VDC liegen Der Anwender kann die Spannungsgrenzen konfigurieren bei denen der Alarm aktiviert wird um die Spannungsversorgung f r eine strengere Vorgabe zu berwachen als die vom Ger t geforderte Ala
25. ein kritischer Fehler im Massedurchflussregler aufgetreten ist Bitte wenden Sie sich f r weitere Anweisungen an das Werk Fragen DeviceNet Version F Wozu dient die LED oben auf dem Massedurchflussregler A Auf einem Massedurchflussregler mit DeviceNet gibt es zwei LEDs Die LED die mit MOD bezeichnet ist zeigt den Modulstatus an Diese LED sollte normalerweise GR N leuchten Wenn die MOD LED ROT leuchtet bedeutet dies dass ein kritischer Fehler im Massedurchflussregler aufgetreten ist Bitte wenden Sie sich f r weitere Anweisungen an das Werk Die LED die mit NET bezeichnet ist zeigt den Netzwerkstatus an Bitte ber cksichtigen Sie dass die NET LED 4 verschiedene Betriebszust nde haben kann Weitere Einzelheiten zu diesen LEDs finden Sie im Brooks DeviceNet Supplement Instruction Manual F Wozu dient der Drehknopf oben auf dem Massedurchflussregler A Zwei der Drehschalter sind mit ADDRESS gekennzeichnet Diese beiden Schalter werden verwendet um die MAC ID des Massedurchflussreglers zu konfigurieren wenn er in einem DeviceNet Netzwerk verwendet wird MAC ID steht f r Media Access Control Identifier und wird verwendet um die eindeutige Adresse des Ger ts im Netzwerk einzustellen Der m gliche Adressbereich ist 00 bis 63 Im Originalzustand ist die MAC ID auf 63 eingestellt Der dritte Drehknopf ist mit RATE gekennzeichnet Mit diesem Schalter wird die Baud Rate des Massedurchflussreglers f r die Kommunikation im
26. gjennomg tt og best tt pr ver som beskrevet i EMC forskrift om elektromagnetisk immunitet direktiv 89 336 EEC For opprettholde denne klassifisering er det av stor viktighet at riktig kabel velges for tilkobling av det m letekniske utstyret Utf relse av signalkabel og tilh rende plugger e Brooks Instrument tilbyr levert med utstyret egnet kabel som m ter de krav som stilles til CE sertifisering e Dersom kunden selv velger kabel m kabel med fullstendig 100 skjerming av lederene benyttes D type og runde plugger og forbindelser m v re utf rt med kappe i metall og kabelnipler m v re utf rt i metall for jordet innfesting av skjermen Skjermen i kabelen m tilknyttes metallet i pluggen eller nippelen i begge ender over 360 tilkoblet elektrisk jord e _ Kort kantkontakter er normalt utf rt i kunststoff De tilh rende flatkabler m v re utf rt med fullstendig 100 skjerming som kobles til elektrisk jord p riktig pinne i pluggen for m te CE sertifiseringskrav For tilkobling av medleverte plugger vennligst se h ndboken som h rer til utstyret Vennlig hilsen Portugu s Brooks Instrument 407 West Vine St Hatfield PA 19440 U S A Assunto Adenda ao Manual de Instruc es Refer ncia gt Certifica o CE do Equipamento de Fluxo de Massa Data Janeiro de 1996 O equipamento el ctrico electr nico Brooks com a marca CE foi testado com xito nos termos do regulamento da Compatibilidade E
27. rmt ist und die Temperatur stabil ist c Stellen Sie die Gaszufuhr an Ein positives Durchflusssignal kann aufgrund von leichter Ventilleckage vorhanden sein nur Massedurchflussregler d Sorgen Sie f r den ordnungsgem en UOM Sollwert zwischen 20 und 100 vom Endwert zum Massedurchflussregler ber den digitalen Netzwerkregler e berpr fen Sie den Durchflusswert des Massedurchflussreglers Er muss dem Sollwert UOM entsprechen Wert zwischen 0 2 vom Endwert in weniger als 10 Sekunden nach der nderung des Sollwertes f Wenn das Ausgangssignal nicht dem Sollwert entspricht und die Druckeinstellungen korrekt sind kann dies auf ein Problem im Massedurchflussregler hindeuten Ein zweites Problem k nnte die Art von Gas sein Wenn Sie die Funktion mit einem Ersatzgas pr fen stellen Sie sicher dass der Druck zum Massedurchflussregler gro genug ist damit die richtige Menge Ersatzgas durchflie t Beispiel berpr fung eines Massedurchflussreglers der f r 100 cm SF6 Schwefelhexafluorid kalibriert ist Der Sensorfaktor N2 Stickstoff ist 0 27 daher ist das ben tigte N2 quivalent 100 0 27 370 4 cm8 Zur Herstellung dieser Durchflussrate kann eine Erh hung des Drucks erforderlich sein 2 13 Aufbau Ein Ausgang DeviceNets Andere Probleme die bei einer Pr fung der Funktionsf higkeit eines DeviceNet Massedurchflussreglers auftreten k nnen k nnen auf einen fehlerhaften Datenabgleich der Ein Ausg nge zur
28. vom Messwert 0 2 vom Endwert S Serie bis 1 200 In min Durchfl sse ber 1 200 In min und bis zu 2 500 In min 1 0 vom Endwert Reprodzierbarkeit 0 20 vom Messwert Ausregelzeit Ansprechzeit lt 1 Sekunde bis zu innerhalb 2 vom Endwert f r eine 0 100 Sollwert nderung genauere Informationen auf Anfrage f r Durchflussraten bis zu 100 In min N2 g Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 1 Einfuhrung X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s lt 3 Sekunden bis zu innerhalb 2 vom Endwert f r eine 0 100 Sollwert nderung genauere Informationen auf Anfrage f r Durchflussraten ber 100 In min N2 q bis zu 2 500 In min N2 q Empfindlichkeit hinsichtlich Einbaulage lt 0 2 vom Endwert maximale Abweichung von angegebener Genauigkeit nach erneuter Nullpunkteinstellung LEISTUNGSDATEN Temperatureinfluss Nullpunkt weniger als 0 05 vom Endwert pro C Messbereich weniger als 0 1 vom messwert pro C Druckeinfluss 0 03 pro psi bis zu 200 psig N2 a Maximaler Betriebsdruck Siehe Tabelle 1 1 unten Optional 4 500 psig 300 bar nur f r Geh use der Serie 50 60 und 61 Der Drucktest an den Ger ten erfolgt ohne Fittinge I WARNHINWEIS Wenn Sie ANSI ISA SP 76 Downport Prozessanschl sse verwenden berucksichtigen Sie die Betriebsdruckgrenzen fir das Substrat des jeweiligen Herstellers manche Substrate sind nur f r Druc
29. 15 Pin Sub D Stecker hat einen Open Collector TTL Ausgang der abh ngig von der Situation der Alarme Warnhinweise und den Alarmeinstellungen schlie t Alarme und Warnhinweise k nnen vom Anwender konfiguriert werden Dieses Merkmal kann ber den Service Port unter Verwendung einer speziellen Software eingestellt werden die bei Brooks erh ltlich ist Weitere Informationen ber den Service Port und die Service Tool Software Anwendungen finden Sie im Brooks Service Suite User Manual Jeder Alarm hat die folgenden gemeinsamen Merkmale die vom Anwender konfiguriert werden k nnen Schweregrad Die Optionen sind Off Warning und Alarm Wenn Off eingestellt ist werden die Bedingungen nicht berwacht und keine Ma nahmen werden ergriffen Wenn Warning eingestellt ist blinkt die Alarm LED gr n wenn die berwachten Werte die vorgegebenen Bedingungen berschreiten Siehe Alarm Code Attribut Wenn Alarm eingestellt ist leuchtet die Alarm LED rot und die analogen Ausg nge werden gem der zugewiesenen Verhaltensweisen bei Alarm reagieren wenn die berwachten Werte die vorgegebenen Bedingungen berschreiten Alarm Code Der Alarm Code spezifiziert den Blink Code der LED um anzuzeigen dass ein Alarm ein Warnhinweis aufgetreten ist Wenn mehr als ein Alarm Warnhinweis aktiv ist zeigt die LED den schwerwiegendsten Alarm mit dem h chsten Alarm Code an Ein Alarm ist schwerwiegender als ein Warnhinweis Alarm Codes m ssen nicht
30. 27AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 Alarm Sollwert analoger Eingang nicht im zul ssigen Bereich Dieser Alarm wird ausgel st wenn e der Spannungswert den maximal zul ssigen Wert von 5 5 V berschreitet oder e der 4 20 mA Eingang weniger als 3 8 mA aufweist bzw gr er als 22 mA ist e oder der 0 20 mA Eingang gr er als 22 mA ist Alarm Durchfluss analoger Ausgang nicht im zul ssigen Bereich Dieser Alarm tritt auf wenn die gemessenen Durchflussergebnisse eines analogen Ausgangs Uber dem spezifizierten Bereich liegen und zwar entweder der Spannungs oder Stromeingang Siehe Abschnitt 1 Durchflusssensor au erhalb des zul ssigen Bereiches Dieser Alarm wird ausgel st wenn das Ger t erkennt dass das vom Sensor empfangene Signal nicht innerhalb des Toleranzbands liegt Dieser Alarm k nnte die Folge eines Ausfalls des Durchflusssensors sein 3 7 Datens tze Kalibrierung Konfiguration AAA Senne eee wm 3 Alle Durchflusskalibrierungsparameter und einige Ger tkonfigurationsparameter sind im nicht fl chtigen Speicher des Ger ts als Sets Datens tze abgespeichert Bis zu 10 Datens tze an Kalibrierungs Konfigurationsdaten k nnen gespeichert werden um ein Ger t f r mehrere Gaskalbrierungen Differenzdruckbedingungen Mehrfachskalierungen des gleichen Gases im Voraus zu konfigurieren Kalibrierungs und Konfigurationsdatens tze k nnen durch einen geschulten Anwender ber den Service Port unter
31. 485 oder eine RS 485 Schnittstelle sind daher erforderlich um ein RS 485 Netzwerk an einen Standard PC anzuschlie en Der RS 485 Bus ist eine Netzwerkverbindung d h die Kabel sind an den Ger ten angeschlossen wie in Abbildung 1 2 dargestellt DeviceNet Kommunikation Die digitale Brooks Serie SLAM ist auch mit DeviceNetTM Kommunikation erh ltlich DeviceNet ist ein offenes digitales Protokoll f r hohe Geschwindigkeiten und ein System das sich leicht anschlie en l sst Brooks Instrument bietet mehrere seiner Ger t mit diesem beliebten Netzwerkstandard an und ist Mitglied der ODVATM Open DeviceNet Vendors Association dem f hrenden Standardisierungsgremium f r DeviceNet Abschnitt 1 Einfuhrung Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 DeviceNet hnelt dem RS485 Standard darin dass es eine Mehrpunktverbindung ist mit der maximal 64 Ger te am selben Netzwerk angeschlossen werden k nnen Baud Raten von 125 k 250 k und 500 k k nnen fur DeviceNet Produkte Uber MAC ID Schalter ausgew hlt werden die am Ger t angebracht sind Die Kommunikation ber DeviceNet bietet auch Zugang zu vielen Funktionen der digitalen Brooks SLAMf Serie f r Regelungs und berwachungsaufgaben einschlie lich e Genaue Sollwerteinstellung und Istwertmessung einschlie lich Auswahl der physikalischen Einheiten e PID Einstellungen nur Regler e Valv
32. ARNHINWEIS Wenn es erforderlich ist das Ger t aus dem System zu entfernen nachdem es giftigen pyrophoren entflammbaren oder tzenden Gasen ausgesetzt wurde spulen Sie das Ger t gr ndlich mit trockenem Schutzgas wie z B Stickstoff bevor Sie die Gasversorgung wieder anschlie en Wird es vers umt das Ger t korrekt zu spulen kann dies zu Brand Explosion oder Tod f hren Korrosion oder Verschmutzung des Ger ts kann auch entstehen wenn das Ger t Luft ausgesetzt wird St rungsbeseitigung 1 Stellen Sie eine ordnungsgem e Verbindung zum digitalen Brooks Massedurchflussmesser oder regler her verwenden Sie Abbildung 4 1 als Referenz schalten Sie den Strom ein und lassen Sie das Ger t 45 Minuten aufw rmen Bei einem Regler stellen Sie den Sollwert auf Null Schlie en Sie das Ger t noch nicht an eine Gasversorgung an Beachten Sie das Ausgangssignal und f hren Sie die Nulleinstellung durch falls erforderlich siehe Abschnitt 3 4 Nulleinstellung Falls sich das Ausgangssignal nicht ordnungsgem auf Null stellt Kontaktieren Sie bitte Brooks Instrument 2 Schlie en Sie das Instrument an eine Quelle mit dem gleichen Gas an das auch f r die urspr ngliche Kalibrierung verwendet wurde Regeln Sie den Sollwert auf 100 Durchfluss und stellen Sie den Druck am Ein und Auslass auf Kalibrierungsbedingungen ein berpr fen Sie ob das Ausgangssignal den Endwert erreicht und sich bei diesem Wert einpendelt Variier
33. IBILIT T MESSER REGLER Produkte die in diesem Handbuch beschrieben sind k nnen Dichtungen O Ringe oder Ventilsitze aus Metall oder Elastomer aufweisen Es liegt in der Verantwortung des Anwenders Materialien auszuw hlen die mit seinem Prozess und seinen Prozessbedingungen kompatibel sind Die Verwendung von Materialien die nicht mit dem Prozess oder den Prozessbedingungen kompatibel sind kann dazu f hren dass Prozessmedien aus der druckf hrenden Umschlie ung des Messger ts oder Reglers auslaufen was Personensch den oder Tod zur Folge haben kann Es wird empfohlen dass der Anwender das Messger t oder den Regler regelm ig berpr ft um sicher zu stellen dass es er nicht undicht wird leckt da sich Dichtungen O Ringe und Ventilsitze aus Metall und Elastomer mit der Zeit sowie durch Prozessmedien Temperatur bzw Druck ver ndern k nnen Die digitalen Brooks Massedurchflussregler und messer erfordern keine routinem Bige Wartung Wenn ein In Line Filter verwendet wird m ssen die Filterelemente regelm Big ausgetauscht oder gereinigt werden WARNHINWEIS Wenn es erforderlich wird den Massedurchflussregler messer aus dem System zu entfernen nachdem er giftigen pyrophoren entflammbaren oder tzenden Gasen ausgesetzt wurde spulen Sie das Ger t gr ndlich mit trockenem Schutzgas wie z B Stickstoff bevor Sie die Gasversorgung wieder anschlie en Wird es vers umt den Massedurchflussregler messer korrekt zu
34. IN MICRO DEVICENET STECKER M12 X 1 AUSSENGEWINDE SEE DETAIL DETAIL FITTING 1 8 TUBE COMP x MASS 4 85 123 1 1 4 TUBE COMP 5 03 127 7 3 8 TUBE COMP 1 4 VCR 5 15 130 7 4 89 124 1 1 4 VCO 1 4 NPT 4 56 116 4 67 118 5 6mm TUBE COMP 5 03 127 8 10mm TUBE COMP 3 8 1 2 VCR 25 16 131 1 5 19 131 7 3 8 1 2 VCO 1 4 RC BSP 5 01 127 2 4 59 116 6 OVERALL LENGTH FINGER TIGHT 15 PIN D STECKER DETAIL 15 O 0 0 0 0 0 8 o o o o o o o o 8 1 SUB D STECKER BELEGUNG 3 95 100 3 NORMAL GE FFNETES VENTIL 3 67 93 2 NORMAL GESCHLOSSENES VENTIL OUTLET PIN NR FUNKTION 1 Sollwert Masse Eingang Durchflusssignal 0 1 5 V Ausgang TTL Alarm Open Collector Ausgang 2 3 4 Durchflusssignal 0 4 20 mA Ausgang Stromversorgung 13 5 VDC bis 27 VDC Nicht belegt Sollwert 0 4 20 mA Eingang Sollwert 0 1 5 V Eingang Stromversorgung Masse Durchflusssignal Masse Ausgang Referenz 5 VDC Ausgang Valve Override Eingang Kalibrierungsauswahl Eingang RS 485 Masse B Ein Ausgang RS 485 Masse A Ein Ausgang Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010
35. Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Massedurchflussregler Modell SLA5850 SLA5851 SLA5853 und Massedurchflussmesser Modell SLA5860 SLA5861 SLA5863 Modell SLA5850D Digitaler Ein Ausgang DeviceNet Massedurchflussregler gt mit Coplanar Ventil DeviceNet Modell SLA5853S Massedurchflussregler analoger Ein Ausgang mit RS 485 www Brooksinstrument com Modell SLA5850F Digitaler Ein Ausgang FOUNDATION Fieldbus M Massedurchflussregler FOUNDATION Modell SLA58505 mit Coplanar Ventil Massedurchflussregler analoger Ein Ausgang mit RS 485 L N Modell SLA5850S Massedurchflussregler analoger Ein Ausgang mit RS 485 in Downport Ausf hrung Elastomer gedichtet BROOKS INSTRUMENT Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger En Artikel Nummer 541B027 AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 Wichtige Anweisungen Lesen Sie diese Seite bevor Sie fortfahren Brooks Instrument entwickelt produziert und testet seine Produkte derart dass sie viele nationale und internationale Standards erf llen Da diese Instrumente technisch ausgefeilte Produkte sind m ssen Sie sie ordnungsgem installieren verwenden und warten um sicherzustellen dass sie entsprechend der technischen Daten funktionieren Die folgenden Anweisungen m ssen eingehalten werden und in Ihr Sicherheitsprogramm integriert werden wenn Si
36. L GE FFNETES EINLASS AUSLASS VENTIL 5 11 129 8 NORMAL GESCHLOSSENES VENTIL gt E X e 15 PIN MALE D STECKER DETAIL ZA 1 8 1 SUB D STECKER BELEGUNG FUNKTION Sollwert Masse Eingang Durchflusssignal 0 1 5 V Ausgang TTL Alarm Open Collector Ausgang Durchflusssignal 0 4 20 mA Ausgang Stromversorgung 13 5 VDC bis 27 VDC Nicht belegt Sollwert 0 4 20 mA Eingang Sollwert 0 1 5 V Eingang Stromversorgung Masse Durchflusssignal Masse Ausgang Referenz 5 VDC Ausgang Valve Override Eingang M6 X 23 008TIEFES Kalibrierungsauswahl Eingang 6 0 2 RS 485 Masse B Ein Ausgang 4 PL TZE RS 485 Masse A Ein Ausgang INCH MM oo oo A MIN EN o 4 14 Abbildung 1 10 Modell SLA5853S analoger Ein Ausgang Massedurchflussregler mit Flanschanschluss Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 1 Einfuhrung X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s 15 PIN D STECKER DETAIL ANMERKUNGEN 1 KABELGR SSE AWG 14 24 2 PIN 1 9 und 10 SIND AUF DER PLATI
37. Masse Flow udstyr Dato a Januar 1996 Brooks Instrument har gennemf rt CE m rkning af elektronisk udstyr med succes i henhold til regulativet om elektrisk st j EMC direktivet 89 336 EEC Der skal dog gares opm rksom p benyttelsen af signalkabler i forbindelse med CE m rkede udstyr Kvaliteten af signal kabler og stik Brooks lever kabler af h j kvalitet der im dekommer specifikationerne til CE m rkning Hvis der anvendes andre kabel typer skal der benyttes et sk rmet kabel med hel sk rm med 100 daekning Forbindelses stikket type D eller cirkuleere skal v re sk rmet med metalhus og eventuelle PG forskruninger skal enten v re af metal eller metal sk rmet Sk rmen skal forbindes i begge ender til stikkets metalhus eller PG forskruningen og have forbindelse over 360 grader Sk rmen b r v re forbundet til jord Card Edge stik er standard ikke af metal der skal derfor ligeledes benyttes et sk rmet kabel med hel sk rm med 100 daekning Sk rmen b r v re forbundet til jord Forbindelse af stikket venligst referer til vedlagte instruktions manual Med venlig hilsen Deutsch Brooks Instrument 407 West Vine St Hatfield PA 19440 U S A Subject gt Nachtrag zur Bedienungsanleitung Referenz CE Zertifizierung f r Massedurchflu ger te Datum f Januar 1996 Nach erfolgreichen Tests enstprechend den Vorschiften der Elektromagnetischen Vertr glichkeit EMC Richtlinie 89 336 EEC erhalte
38. Micro Stecker Anschlussspannung Analoge Option 13 5 27 VDC Digitaler Ein Ausgang DeviceNet Ein Ausgang 11 25 VDC FOUNDATION Fieldbus Ein Ausgang 14 27 VDC SLA5851S Modell 22 27 VDC Anforderungen Watt typisch Watt max Stromversorgung Option analoger Ein Ausgang kein 1 6 1 8 Ventil Option analoger Ein Ausgang mit Ventil Option Digitaler Ein Ausgang ohne 3 6 4 0 entil Option digitaler Ein Ausgang mit 6 9 7 6 Ventil Sollwert Eingang nur f r analoge Ein Ausg nge Sowohl Spannungs als auch Stromeing nge werden unterstutzt aber nicht beide gleichzeitig Der Typ des Sollwert Eingangs kann Uber die Software wie folgt ausgew hlt werden 0 5 VDC 1 5 VDC 0 20 mA 4 20 mA Spannungs Eingang Sollwert Nennbereich 0 5 VDC Gesamter Bereich 0 5 5 VDC Absolut max 20 V ohne Schaden Eingangsimpedanz gt 990 kOhm Kalibrierte Genauigkeit 0 1 vom Endwert Strom Eingang Sollwert Nennbereich 4 20 mA oder 0 20 mA Gesamter Bereich 0 22 mA Absolut max 25 mA ohne Schaden Eingangsimpedanz 125 Ohm Kalibrierte Genauigkeit 0 1 vom Endwert Durchfluss Ausgang nur Version mit analogem Ein Ausgang Sowohl Spannungs als auch Stromausg nge werden unterst tzt aber nicht beide gleichzeitig Der Typ des Sollwert Ausgangs kann Uber die Software wie folgt ausgew hlt werden 0 5 VDC 1 5 VDC 0 20 mA 4 20 mA Spannungs Ausgang Istwert 1 5 Abschn
39. NE MITEINANDER VERBUNDEN 3 VALVE OVERRIDE REFERENZIERT AUF GEMEINSAMEN SOLLWERT ee 99 NULLPUNKT SUB D STECKER BELEGUNG TASTE A FUNKTION NI Sollwert Masse Eingang TN Durchflusssignal 0 1 5 V Ausgang TTL Alarm Open Collector Ausgang Durchflusssignal 0 4 20 mA Ausgang Stromversorgung 13 5 VDC bis 27 VDC Nicht belegt Sollwert 0 4 20 mA Eingang Sollwert 0 1 5 V Eingang Stromversorgung Masse Durchflusssignal Masse Ausgang Referenz 5 VDC Ausgang Valve Override Eingang Kalibrierungsauswahl Eingang RS 485 Masse B Ein Ausgang RS 485 Masse A Ein Ausgang OQO MS JD U BWIN EINLASS AUSLASS HE FITTING X MASS 1 8 TUBE COMP 4 15 105 3 1 4 TUBE COMP 4 33 109 9 _ 3 8 TUBE COMP 4 45 112 9 159 40 4 1 4 VCR 4 19 106 3 1 4 VCO 3 87 98 2 1 4 NPT 3 97 100 8 so 203 6mm TUBE COMP 4 33 110 0 40 102 y 10mm TUBE COMP 4 46 113 4 3 8 1 2 VCR 4 49 113 9 INCH MM 3 8 1 2 VCO 4 31 109 4 1 4 RC BSP 3 89 98 8 8 32 UNC X 7 32 TIEFES MONTAGEGEWINDE 2 PLCS HANDFEST ANGEZOGEN me E MASS FITTING MASS MIT STANDARD OHNE FILTER ER OO A
40. Nummer 1 1 Alarmausgang mit Open Collector unse 1 7 1 2 Allgemeine VerdrahtUng ana nt se tes deal editer aies 1 7 1 3 Ansprechleistung des digitalen Brooks Massedurchflussreglers 1 8 1 4 Lineare Rampenfunktion von 200 pro Sekunde auf 0 5 pro Sekunde Sollwert nderung 1 8 1 5 Modell SLA5850D digitaler Ein Ausgang DeviceNet Massedurchflussregler 1 12 1 6 Modell SLA5850S analoger Ein Ausgang Massedurchflussregler mit RS 485 Elastomer Blesgoes sipke gE 1 12 1 7 Modell SLA5850F digitaler Ein Ausgang FOUNDATION Fieldbus Massedurchflussregler mit coplanarem VERN rendent neen 1 8 Modell SLA5851D digitaler Ein Ausgang DeviceNet Massedurchflussregler 1 13 1 9 Modell SLA5853F digitaler Ein Ausgang FOUNDATION Fieldbus Massedurchflussregler 1 14 1 10 Modell SLA5853S analoger Ein Ausgang Massedurchflussregler mit Flanschanschluss 1 14 1 11 Modell SLA5860S analoger Ein Ausgang Massedurchflussmesser mit RS 485 1 15 1 12 Modell SLA5861F digitaler Ein Ausgang FOUNDATION Fieldbus Massedurchflussmesser 1 15 1 13 Modell SLA5863D digitaler Ein Ausgang DeviceNet Massedurchflussmesser 1 16 2 1 Schaltplan Sub D Stecker abgeschirmtes Kabel Version Spannung Ein Ausgang 2 7 2 2 Gemeinsamer elektrischer Schaltplan Version Spannung Ein Ausgang nun nn ennen 2 7 2 3 Empfohlene Verkabelung der Ein Ausg nge f r Stromsignale nicht isolierte Stromver
41. SCHE UNTERSTUTZUNG BRAUCHEN SYSTEM USA 1 888 554 FLOW EUROPA 31 0 318 549 290 ASIEN T 81 0 3 5633 7100 DA BROOKS INSTRUMENT SICH DER ST NDIGEN VERBESSERUNG DER PRODUKTE VERSCHRIEBEN HAT BEHALTEN WIR UNS VOR ALLE TECHNISCHEN DATEN OHNE VORHERIGE ANKUNDIGUNG NDERN ZU DURFEN WARENZEICHEN A Brooks Instrument LLC AA SA Fieldbus FOUNDATION Brooks Service Suite Brooks Instrument LLC Er DuPont Dow Elastomers Brooks Service Tool Brooks Instrument LLC OD Open DeviceNet Vendors Association Inc DeviceNet Open DeviceNet Vendors Association Inc DO E I DuPont de Nemours Co FOUNDATION FieldDUS ss Fieldbus FOUNDATION O A E En 7 Cajon Co AE HART Communications Foundation OR osos Cajon Co VIN DuPont Performance Elastomers Brooks Instrument Brooks Instrument Brooks Instrument 407 West Vine Street Neonstraat 3 1 4 4 Kitasuna Koto Ku P O Box 903 6718 WX Ede Netherlands Tokyo 136 0073 Japan Hatfield PA 19440 0903 USA T 31 0 318 549 300 T 81 0 3 5633 7100 T 215 362 3700 F 31 0 318 549 309 F 81 0 3 5633 7101 F 215 362 3745 E Mail BrooksEu Brooksinstrument com E Mail BrooksAs Brooksinstrument com E Mail BrooksAm Brooksinstrument com www Brooksinstrument com BROOKS Copyright 2010 Brooks Instrument LLC All rights reserved Printed in U S A INSTRUMENT
42. Sollwert f r einen konfigurierbaren Zeitraum entsprechen Am Ende des Zeitraums wird das Istwertsignal den aktuellen Durchfluss anzeigen Eine nderung des Sollwerts ist definiert als nderung um mehr als 1 des Endwerts 3 8 8 Ausgangssignal Lock in Wenn dieses Merkmal aktiviert ist wird sich das Ausgangssignal mit dem Sollwert synchronisieren wenn die Abweichung zwischen dem gemessenen Durchfluss und dem Sollwert kleiner ist als der vom Anwender konfigurierbare Wert 3 9 PC basierte Support Tools Brooks Instrument bietet eine Vielzahl von PC basierten Prozessregelungs und Servicetools an um den Bedarf unserer Kunden zu erf llen SmartDDE kann mit jeder Einheit die RS 485 unterst tzt in einer Mehrpunktkonfiguration multi drop verwendet werden wodurch Anwender ihre Brooks Ger te regeln und berwachen k nnen Die Brooks Service Suite nur Versionen mit analogem Ein Ausgang kann verwendet werden um Brooks Ger te zu berwachen diagnostizieren einzustellen und zu kalibrieren Die Brooks Service Suite wird ber einen speziellen Service Port als Schnittstelle mit Brooks Produkten verbunden Das Brooks Service Tool BST kann f r Ger te verwendet werden die mit digitaler Kommunikation Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 4 Wartung X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027 AAJ Juni 2010 4 1 Wartung und St rungsbeseitigung Brooks Digitaler MFC s amp MFM s WARNHINWEIS DICHTUNGSKOMPAT
43. Verwendung einer speziellen Software angepasst werden die bei Brooks erh ltlich ist Weitere Informationen ber den Service Port und die Service Tool Software Anwendungen finden Sie im Brooks Service Suite User Manual Optionen f r eine Durchflusskalibrierung Zus tzlich zum Polynom der Werkskalibrierung stehen die folgenden Kalibrierungsoptionen zur Verf gung um die Werkskalibrierung zu ndern e Gaskorrekturfaktor e Kalibrierungsskalierung e Kalibrierungspolynom Anwender Konfigurationsoptionen Die folgenden Konfigurationsparameter sind in den Kalibrierungs Konfigurationsdatens tzen gespeichert e P und D e Ventil Offset Messbereich und lecksicherer Offset e Polkompensation und Filterung Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 3 Betrieb X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s 3 8 Weitere Funktionen Rn nn ber den Service Port k nnen unter Verwendung einer speziellen Software weitere Funktionen aufgerufen werden Die Software ist bei Brooks erh ltlich Weitere Informationen ber den Service Port und die Service Tool Software Anwendungen finden Sie im Brooks Service Suite User Manual 3 8 1 Rampenfunktion Sollwert sl Die folgenden Optionen sind verf gbar Off Aus Das Ger t reagiert sofort auf Sollwert nderungen Time Zeit Das Ger t ndert den Durchfluss vom alten Sollwert auf den neuen Sollwert in einem Zeitraum in Sekunden der vom
44. Zeit Sekunden Abbildung 1 4 Lineare Rampenfunktion von 200 pro Sekunde auf 0 5 pro Sekunde Sollwert nderung Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 1 Einfuhrung X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Tabelle 1 2 Kalibrierungsauswahlsignal STANDARD KAL 1 externer Widestand nicht installiert 14 Nichtinstallet 6 124 _3 665 8 15238 4 184 1 9 pa Tabelle 1 3 Analoger Ein Ausgang Pinbelegung MFC MFM FUNKTION PIN Istwertsignal 0 4 20 mA Ausgang 6 NichtBelegt 7 Sollwert Strom 0 4 20 mA Eingang 8 Sollwert Spannung 0 1 5 volt Eingang 9 Spannungsversorgung Masse 12 Valve Override Eingang RS 485 Kommunikation Die digitale Brooks Serie ist mit der RS 485 Kommunikation ausgestattet Siehe Tabelle 1 3 Pinbelegung analoger Ein Ausgang dadurch kann das Ger t Uber einen PC zur Prozesssteuerung verwendet werden In Bezug auf RS 485 k nnen folgende Baud Raten f r die digitale Brooks Serie ausgew hlt werden 1 200 2 400 4 800 9 600 19 200 und 38 400 Baud Die Baud Raten k nnen ber die Brooks Service Suite ausgew hlt werden RS 485 ist im Wesentlichen eine Mehrpunktverbindung multi drop Es k nnen bis zu 32 Ger te an ein Computersystem angeschlossen werden IBM kompatible PCs sind standardm ig nicht mit einem RS 485 Port versehen Ein Konverter von RS 232 auf RS
45. analoge Schnittstelle entspricht der des beliebten analogen Brooks Massedurchflussreglers so dass das Ger t in Anlagen nachger stet werden kann die mit analogen Massedurchflussreglern arbeiten Andere Versionen der Delta Klasse bieten eine Vielzahl von digitalen Protokollen z B DeviceNet und RS 485 Das digitale Brooksger t ist in der Lage bis zu 10 verschiedene S tze von Gaskalibrierungsdaten zu speichern Jeder Satz beinhaltet eine Kalibrierungskurve die Einstellungen des PID Reglers Ventilleistungsdaten und Informationen ber die Kalibrierungsbedingungen Das digitale Brooksger t kann Kalibrierungen f r unterschiedliche Gase oder f r das selbe Gas unter vielen Bedingungen Dr cke Endwertdurchflussraten enthalten In Abschnitt 3 4 Betriebsart analoger Ein Ausgang werden Informationen ber die Daten gegeben die in der Kalibrierungstabelle enthalten sind und es wird beschrieben wie man auf die Daten zugreift Im DeviceNet Instruction Manual werden weitere Einzelheiten ber spezifische Kommunikationsmerkmale gegeben Kalibrierungen erscheinen in der Kalibrierungstabelle in der gleichen Reihenfolge wie sie im Kundenauftrag aufgef hrt waren es sei denn es wird etwas anderes angegeben Das zuerst aufgef hrte Gas wird als Kalibrierung Nr 1 das Zweite als Kalibrierung Nr 2 etc erscheinen Bitte ber cksichtigen Sie dass soweit im Kundenauftrag nichts anderes angegeben ist bei jedem Ger t das eine einzelne Kalibrierung e
46. ann gr enm ig dadurch reduziert werden dass der Regler und das Sperrventil eng beieinander liegen oder dass das Sperrventil vor dem Regler installiert wird ACHTUNG Eine pl tzliche nderung des Systemdrucks kann mechanische Sch den von Elastomermaterialien verursachen Sch den k nnen Auftreten wenn es zu einer schnellen Ausdehnung des Mediums kommt welches die Elastomermaterialien durchdrungen hat Der Anwender muss die erforderlichen Sicherheitsvorkehrungen treffen um derartige Bedingungen zu verhindern Besondere Aspekte die bei der Installation des Massedurchflussreglers 5853 f r hohen Durchfluss ber cksichtigt werden m ssen Die Modelle der Reihe 5853 verf gen ber ein einzigartiges und anderes Ventildesign als die standardm igen thermischen Massedurchflussregler von Brooks f r niedrigen Durchfluss Der 5853 hat ein zweistufiges vorgesteuertes Ventil Das vorgesteuerte Ventil das sich auf dem Massedurchflussregler befindet steuert einen Differenzdruck ber dem Hauptventil das im Gegenzug den Durchfluss durch das Ger t regelt Das Hauptventil ist ein druckbet tigtes Ventil bei dem ein Federbalg und eine Federplatte verwendet werden um den Durchfluss zu regeln Dieser Federbalg und die Federplatte k nnen anf llig f r Sch den durch Druckspitzen oder sprunghaften Anstieg sein Aus diesem Grund wird empfohlen bei der Inbetriebnahme von Prozesslinien vorsichtig vorzugehen Der Federbalg wird in zwe
47. atus und Einstellungen e Soft Start Steuerung nur Regler Ger te die mit RS 485 ausgestattet sind unterst tzen die folgenden Baud Raten Bitte geben Sie bei Ihrer Bestellung die gew nschte Baud Rate an Standard 19 200 Baud Alternativ kann die Baud Rate mit der Brooks Service SuiteTM ge ndert werden Baud Raten 1 200 2 400 4 800 9 600 19 200 und 38 400 Weitere Informationen ber die M glichkeiten dieser Kommunikationsschnittstelle finden Sie im Brooks Dokument S protocol Communication Command Description for Smart II Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 3 Betrieb X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s 3 5 2 DeviceNet Kommunikation enn Die digitale Brooks Serie SLA5800 ist auch mit DeviceNetTM Kommunikation erh ltlich DeviceNet ist ein offenes digitales Protokoll f r hohe Geschwindigkeiten und ein System das sich leicht anschlie en l sst Brooks Instrument bietet mehrere seiner Ger t mit diesem beliebten Netzwerkstandard an und ist Mitglied der ODVATM Open DeviceNet Vendors Association dem f hrenden Standardisierungsgremium f r DeviceNet DeviceNet hnelt dem RS485 Standard darin dass es eine Mehrpunktverbindung hat mit der maximal 64 Ger te am selben Netzwerk angeschlossen werden k nnen Baud Raten von 125 K 250 K und 500 K k nnen f r DeviceNet Produkte ber MAC ID Schalter ausgew hlt werden die am Ger t angebracht sind
48. chaffen in dem man qualitativ hochwertige Einlass ffnungen und R ckflussregler in der Prozessauslegung verwendet In vielen F llen kann der 5853 durch den Einbau eines Gegendruckreglers von den unbest ndigen nachgeschalteten Dr cken die viele Prozesse aufweisen isoliert werden F r weitere Informationen wenden Sie sich bitte an die Brooks Technical Service Gruppe 2 5 2 6 Abschnitt 2 Installation Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 2 10 Elektrische Anschl sse BB Ze Das Sollwertsignal steht als analoges 0 1 bis 5 VDC oder 0 4 bis 20 mA Signal zur Verf gung Alle Signale werden ber den 15 Pin Sub D Stecker gegeben F r den Betrieb eines Analogger tes werden zumindest die folgenden Anschl sse ben tigt Eine Spannungsversorgung 13 5 VDC 27 VDC das Sollwertsignal sowie die entsprechenden Masseleitungen Die digitale elektrische Schnittstelle von Brooks ist dazu ausgelegt Signalanschl sse mit niedrigem Verlust zu erm glichen Separate Masseleitungen werden f r den analogen Sollwert das analoge Durchflusssignal und die Stromversorgung ben tigt Diese gemeinsamen Leitungen werden elektrisch auf der PC Platine miteinander verbunden Versionen mit analogem Ein Ausgang e Signal Masse e Signalausgang Spannung oder Strom e 13 5 27 VDC Spannungsversorgung e Sollwerteingang Spannung oder Strom e Soll
49. d Wartung sind und dass die Software die Programmanweisungen die vom Verk ufer vorgesehen sind zw lf 12 Monate ab dem Datum der ersten Installation oder achtzehn 18 Monate ab dem Datum des Versands durch den Verk ufer ausf hren wird je nachdem welches Datum fr her eintritt Produkte die der Verk ufer von Dritten zum Weiterverkauf an K ufer Weiterverkaufsprodukte kauft tragen nur die Garantie die vom Originalhersteller gegeben wird Jeglicher Austausch oder alle Reparaturen die durch unangemessene vorbeugende Wartung normalen VerschleiB Fehler des K ufers ungeeignete Stromquellen Angriff oder Verschlechterung unter ungeeigneten Umweltbedingungen Missbrauch Unfall Anderung nicht ordnungsgem e Installation Modifikation Reparatur Lagerung oder Handhabung oder durch irgendeine andere Ursache die nicht vom Verk ufer verschuldet wurde notwendig wird werden ist sind nicht durch diese beschr nkte Garantie abgedeckt und gehen auf Kosten des K ufers F r w hrend der Garantiezeit reparierte Waren und ausgetauschte Teile gilt die verbleibende urspr ngliche Garantiezeit oder eine Garantiezeit von neunzig 90 Tagen je nachdem welcher Zeitraum l nger ist Diese eingeschr nkten Garantieleistungen sind die einzige Garantie die der Verk ufer gibt und sie kann nur schriftlich ge ndert werden und zwar durch Unterschrift eines berechtigten Vertreters des Verk ufers BROOKS SERVICE UND SUPPORT Brooks verschreibt sich der V
50. dere Netzwerkprotokolle werden momentan entwickelt Sprechen Sie mit Ihrem Brooks Vertreter ber Ihren individuellen Bedarf Geringere Betriebskosten Mit der SLA5800 Reihe sind Anwendungen mit mehreren Gasen und mehreren Messbereichen m glich um die Anzahl an Ger ten beim Kunden zu reduzieren Die Speicherung und Vorprogrammierung von bis zu 10 Gaskalibrierungen erm glicht dem Anwender den einfachen Wechsel zwischen verschiedenen Gasen und Messbereichen mit einem einzigen Ger t 1 4 Technische Daten I WARNHINWEIS Betreiben Sie dieses Ger t nicht ber die unten aufgef hrten technischen Daten hinaus Wird diese Warnung nicht beachtet kann dies zu schweren Personensch den bzw Sch den des Ger tes f hren LEISTUNGSDATEN Durchflussbereiche Modelle SLA5850 SLA5860 Jeder Endwertbereich von 0 3 ml bis 0 50 In min N2 a Bis zu 0 50 In min N2 q mit der Option des coplanaren Ventils Modelle SLA5851 SLA5861 Jeder Endwertbereich von 20 100 In min N2 Aa H2 Durchfl sse bis zu 200 In min m glich Modelle SLA5853 SLA5863 Jeder Endwertbereich von 100 2 500 In min N2 Ag Regelbereich Messbereichsverhaltnis 50 1 Messbereichsverhaltnis 100 1 mit der Option des coplanaren Ventils f r jeden Endwertbereich von 1 50 In min N2 Aq Genauigkeit N2 q unter Kalibrierungsbedingungen 1 0 vom Messwert 20 100 Endwert 0 2 vom Endwert unter 20 vom Endwert bis zu 1 200 In min Optional 0 7
51. dern 4 1 4 Kalibrierungsverfahren Die Kalibrierung von digitalen Brooks Massedurchflussmessern wird in diesem Handbuch nicht beschrieben F r diese Kalibrierung werden genaue und r ckf hrbare Kalibrierungsger te wie z B Brooks Vol U Meter zus tzlich zur digitalen Kommunikationsanbindung ben tigt Wenn Ihr Ger t kalibriert werden muss kann Brooks Instrument Ihnen diesen Service an einem der Service Standorte anbieten Besuchen Sie www BrooksInstrument com um Ihren n chstgelegenen Service Standort zu finden Sollte Ihr Unternehmen jedoch mit r ckverfolgbaren Kalibrierger ten ausgestattet sein so k nnen Sie die Software Brooks Service Suite Calibration sowie Schulungen anfragen 1 Zu den medienber hrten Teilen geh rt das Geh use Str mungsteiler und alle Ventilbauteile einschlie lich D se Prozessadapter 4 6 und Leitungsfilter falls vorhanden Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 4 Wartung X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Table 4 2 St rungsbeseitigung St rung M gliche Ursache Pr fung Korrekturma nahme Ausgangssignal steht auf 0 Verstopfter Sensor Sensor reinigen Siehe unabh ngig vom Sollwert und ein Reinigungsverfahren Durchfluss durch das Abschnitt 4 1 2 Messger t den Regler ist vorhanden Defekte Elektronik Wenden Sie sich an Brooks Instrument Durchfluss kann ohne Einfluss des Verstopftes Regelventil Reinigen
52. djunto Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt A CE Bescheinigung des X TMF SLA5800 MFC ger Massedurchflussger ts Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Francais Brooks Instrument 407 West Vine St Hatfield PA 19440 U S A Sujet Annexe au Manuel d Instructions Reference E Certification CE des D bitmetres Massiques a Effet Thermique Date Janvier 1996 Messieurs Les quipements Brooks lectriques lectroniques portant le label CE ont t test s avec succ s selon les r gles de la Compatibilit Electromagn tique directive CEM 89 336 EEC Cependant la plus grande attention doit tre apport e en ce qui concerne la s lection du c ble utilis pour v hiculer le signal d un appareil portant le label CE Qualit du c ble des presse toupes et des connecteurs Brooks fournit des c bles de haute qualit r pondant aux sp cifications de la certification CE Si vous approvisionnez vous m me ce c ble vous devez utiliser un c ble blind a 100 Les connecteurs D ou de type circulaire doivent tre reli s a la terre Si des presse toupes sont n cessaires ceux ci doivent tre m talliques avec mise la terre Le blindage doit tre raccord aux connecteurs m talliques ou aux presse toupes sur le pourtour complet du c ble et a chacune de ses extr mit s Tous les blindages doivent tre reli s a la terre Les connecteurs de type
53. e Bedingungen eingestellt die im Auftrag angegeben sind Wenn die Anwendungsbedingungen Einlass und Auslassdruck Temperatur Lage Gas oder Mischungsart anders sind oder sich mit der Zeit ndern kann der Massedurchflussregler nicht so funktionieren wie beim Verlassen des Werks Nur DeviceNet Version 8 Durchflussrate oder Durchflusssignal erreicht nicht den Sollwert Besonders bei Massedurchflussreglern mit DeviceNet kann es Probleme in Verbindung mit der Netzwerkanbindung geben Ein bekanntes Problem h ngt mit dem fehlerhaften Datenabgleich der Ein Ausgangskonfigurationen zusammen Um die ordnungsgem e Kommunikation ber das DeviceNet Netzwerk sicherzustellen muss der Massedurchflussregler mit der gleichen Ein Ausgangskonfiguration eingestellt sein wie der Netzwerk Master berpr fen Sie ob diese Ein Ausgangseinstellungen korrekt sind Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 4 Wartung X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027 AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s ANMERKUNG Diese Informationen und alle anderen detaillierten DeviceNet Informationen finden Sie im Brooks DeviceNet Supplement Instruction Manual Fragen analoge Version F Wozu dient die LED oben auf dem Massedurchflussregler A Die LED oben auf dem Massedurchflussregler sollte normalerweise grin leuchten Das bedeutet dass der Massedurchflussregler ordnungsgem funktioniert Wenn die LED rot leuchtet bedeutet dies dass
54. e Brooks Produkte installieren verwenden und warten Lesen Sie alle Anweisungen bevor Sie das Produkt installieren in Betrieb nehmen und warten Falls es sich bei diesem Handbuch nicht um das richtige Handbuch handelt schauen Sie bitte auf der R ckseite nach den Kontaktdaten Ihres Vertriebsb ros vor Ort Bewahren Sie dieses Handbuch auf falls Sie sp ter etwas nachschauen m chten Falls Sie Anweisungen nicht verstehen wenden Sie sich zur Kl rung an Ihren Brooks Instrument Vertreter Befolgen Sie alle Warnhinweise und Anweisungen die auf dem Produkt markiert sind oder zusammen mit diesem geliefert werden Informieren Sie Ihr Personal ber die ordnungsgem e Installation und Wartung sowie den ordnungsgem en Betrieb des Produkts und schulen Sie es entsprechend Installieren Sie Ihr Ger t wie in den Installationsanweisungen des entsprechenden Handbuchs angegeben und gem der g ltigen lokalen und nationalen Gesetze Schlie en Sie alle Produkte an eine geeignete Strom und Druckluftversorgung an Um die entsprechende Leistung zu gew hrleisten sollten Sie qualifiziertes Personal f r die Installation den Betrieb die Aktualisierung Programmierung und Wartung des Produkts einsetzen Wenn Ersatzteile ben tigt werden stellen Sie sicher dass qualifizierte Personen Ersatzteile verwenden die von Brooks Instrument vorgegeben sind Nicht genehmigte Teile und Verfahren k nnen die Leistungsf higkeit des Produkts beeintr chtigen und den sichere
55. e Override nur Regler e Auswahl des Kalibriergases e Soft Start Steuerung nur Regler FOUNDATION Fieldbus Kommunikation Die digitale Brooks Serie SLA5800 unterst tzt das FOUNDATION Fieldbus Kommunikationsprotokoll FOUNDATION Fieldbus ist ein digitales Netzwerk das die Verwendung von vorhandenen 4 20 mA Leitungen erm glicht wodurch eine kostenintensive Neuverkabelung umgangen wird Da es nach ITK zertifiziert ist erf llt das Ger t mehrere Interoperabilit tsanforderungen ber einen gro en Bereich von Hosts In Kombination mit DeltaV und PlantWeb bieten diese Ger te intelligente Alarme mit denen pr zise Wartung und Instandsetzung der Ger te m glich ist e Pr fung Wertebereich Teil der Standardfunktionen e Temperatursensoranschluss Pr fung des Sensoranschlusses e Firmware Pr fsumme Pr fung auf Integrit t der internen Firmware Nichtfl chtiger Speicher Pr fung auf Integrit t des nichtfl chtigen Speichers e RAM Pr fung auf RAM Integrit t Nullpunktabweichung Ventilleckage Pr fung auf Durchflussleckage oder Nullpunktabweichung F llige berholung des Ger tes vorbeugende Wartung Fallige Kalibrierung vorbeugende Wartung Lebensdauer Ventilfeder vorbeugende Wartung Kein Durchfluss Bei Sollwertanforderung kein Durchfluss festgestellt Umkehrfluss Umkehrfluss festgestellt Summierz hler f r Durchfluss Meldung wenn eine benutzerdefinierte Menge eines Mediums durchgeflossen ist e Zeitz hler Me
56. einzigartig sein d h der gleiche Alarm Code kann f r mehr als eine Art von Alarm Warnhinweis verwendet werden Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 3 Betrieb X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Haltefunktion aktivieren Wenn ein Alarm Warnhinweis auf non latching nicht halten eingestellt ist bedeutet das dass der Alarm nur angezeigt wird wenn die Uberwachten Werte die vorgegebenen Bedingungen Uberschreiten Wenn der Alarm Warnhinweis auf latching halten eingestellt ist bedeutet dies dass der Alarm Warnhinweis angezeigt wird wenn der berwachte Wert zum ersten Mal die spezifizierten Bedingungen berschreitet und dass der Alarm so lange angezeigt wird bis der Anwender ihn zur cksetzt Wenn der Anwender den Alarm l scht w hrend der berwachte Wert die spezifizierten Bedingungen immer noch berschreitet dann wird der Alarm wieder gehalten und weiterhin angezeigt Kontakt aktivieren Wenn der Alarmzustand erkannt wird der Schweregrad Alarm oder Warning ist und der Alarm Kontakt aktiviert wird dann wird der Alarm Kontakt geschlossen Untergrenze Der Wert des Uberwachten Werts der als Alarm Warnzustand angesehen wird wenn er unterschritten wird Dieses Attribut gilt nicht f r Alarme die einen Zustand des Ger ts berwachen Obergrenze Der Wert des berwachten Wertes der als Alarm Warnzustand angesehen wird wenn er Uberschri
57. en Sie die Befehlsspannung ber einen Bereich von 1 bis 100 und berpr fen Sie ob das Ausgangssignal dem Sollwert folgt Falls m glich schlie en Sie ein Durchflussmessger t an um das tats chliche Durchflussverhalten zu berwachen und die Genauigkeit des Massedurchflussger ts zu berpr fen Wenn das Ger t so funktioniert wie oben beschrieben dann funktioniert es korrekt und das Problem liegt woanders Manometer Manometer Q Q Sperrventil Gaszufuhr da Durchflussmessger t Druckregler Sperrventil MFC MFM Figure 4 1 Schaltkreis St rungsbeseitigung In Tabelle 4 2 sind m gliche Fehler aufgef hrt die w hrend der St rungsbeseitigung angetroffen werden k nnen Nur f r Regler Modelle Geben Sie 5 VDC auf den 15 VDC Valve Override Pin Pin 12 und pr fen Sie ob der Ausgang 100 berschreitet Verbinden Sie den Valve Override Pin mit Masse und pr fen Sie ob das Ausgangssignal unter 2 f llt 4 5 Abschnitt 4 Wartung Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 4 1 3 Reinigungsverfahren He Tr rer er gt Wenn es aufgrund von Ablagerungen n tig wird den digitalen Brooks Massedurchflussregler oder messer zu reinigen gehen Sie wie folgt vor AWARNHINWEIS Wenn es erforderlich wird den Massedurchflussregler messer aus dem System zu entfernen nachdem er giftigen pyrophoren
58. end des Ausbaus der Installation oder anderer Handhabung der Platinen oder Ger te eingehalten werden Verfahrensanweisung Trennen Sie das Ger t von der Stromversorgung Das Personal ist vor dem Einbau Ausbau oder der Einstellung von Platinen oder anderen internen Komponenten durch ein entsprechendes Armband mit dem Erdpotential zu verbinden Platinen sind in speziellen Beh ltern mit Schutz gegen elektrostatische Spannungen zu transportieren oder lagern Platinen d rfen erst kurz vor dem Einbau aus der Schutzh lle entfernt werden Ausgebaute Platinen m ssen umgehend in Schutzbeh lter zum Transport zur Lagerung oder R cksendung an das Werk gelegt werden Anmerkungen Dieses Ger t ist wie viele andere elektronische Ger te auch mit Komponenten best ckt die anf llig f r elektrostatische Entladung sind Die meisten modernen elektronischen Ger te enthalten Komponenten die die Metalloxidtechnologie NMOS SMOS etc verwenden Die Erfahrung hat gezeigt dass schon geringe Mengen elektrostatischer Energie ausreichen um diese Ger te zu besch digen oder zu zerst ren Besch digte Teile fallen fr h aus obwohl sie funktionsf hig zu sein scheinen Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027 AAJ FR Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Lieber Kunde Wir freuen uns dass wir Ihre Anforderungen in Bezug auf Messung und Regelung mit einem Brooks Instrument Ger t erf llen k nnen Ta
59. endet um das Istwertsignal anzuzeigen Ein negatives Istwertsignal gibt einen Gegenstrom durch das Ger t an ist aber NICHT kalibriert Die folgenden Durchflusssignalarten sind verf gbar Istwertsignal analoger Ausgang 0 bis 5 VDC 5 VDC 5 5 VDC 110 1 bis 5 VDC 5 VDC 5 5 VDC 111 1 bis 5 VDC 5 VDC 5 5 VDC 111 O bis 20 mA 22 mA 110 Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 3 Betrieb X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Valve Override nur Massedurchflussregler Mit Pin 12 auf dem 15 Pin Sub D Stecker kann das Ventil ungeachtet vom Sollwert so weit wie m glich geschlossen oder ge ffnet werden Wenn dieser Eingang nicht elektrisch angeschlossen ist arbeitet der Massedurchflussregler entsprechend dem vorgegebenen Sollwert Wenn dieser Eingang bei 0 VDC oder 15 VDC gehalten wird wird das Ventil so weit wie m glich geschlossen Wenn dieser Eingang bei 5 VDC oder mehr max 24 VDC gehalten wird wird das Ventil ge ffnet Pin Kalibrierungsauswahl Pin 13 auf dem 15 Pin Sub D Stecker erm glicht die Auswahl von einer der 10 Kalibrierungen die im Ger t gespeichert sind Dieser Pin ist so ausgelegt dass er Pulldown Widerst nde aufnehmen kann die auf das Bezugspotential Pin 10 referenziert sind Tabelle 3 1 zeigt typische Widerstandswerte die f r die Auswahl der Kalibrierungen von 1 bis 10 erforderlich sind Bitte ber cksichtigen S
60. erpflichtung dass all unsere Kunden die ideale Durchflussl sung f r ihre Anwendung erhalten und zwar mit hervorragendem Service und Support um dies zu st tzen Wir unterhalten in der ganzen Welt erstklassige Reparaturwerkst tten um schnell zu reagieren und Unterst tzung zu geben Jeder Standort verwendet erstklassige Kalibrierungseinrichtungen um Genauigkeit und Zuverl ssigkeit bei Reparaturen und Neukalibrierung sicher zu stellen und ist von unseren Weights and Measures Authorities vor Ort zertifiziert und R ckverfolgbarkeit in Bezug auf einschl gige internationale Normen ist gegeben Besuchen Sie www Brooksinstrument com um Ihren n chstgelegenen Service Standort zu finden UNTERST TZUNG BEI DER INBETRIEBNAHME UND KALIBRIERUNG VOR ORT Auf Wunsch unterst tzt Brooks Instrument Sie bei der Inbetriebnahme Bei einigen Prozessanwendungen die der Norm ISO 9001 unterliegen ist es unbedingt erforderlich die Massedurchflussger te in regelm igen Abst nden zu berpr fen bzw neu zu kalibrieren In vielen F llen kann dieser Service vor Ort erbracht werden und die Ergebnisse sind r ckverfolgbar in Bezug auf einschl gige internationale Qualit tsstandards KUNDENSEMINARE UND SCHULUNGEN Brooks Instrument f hrt auf Wunsch Kundenseminare und Spezialschulungen f r Ingenieure Endbenutzer und Wartungspersonal durch N here Informationen erhalten Sie in Ihrem f r Sie zust ndigen Brooks Vertriebsb ro HOTLINE 9001 WENN SIE TECHNI
61. ertifiointi P iv m r Tammikuu 1996 Brooksin CE merkill varustetut s hk iset laitteet ovat l p issyt EMC testit direktiivi 89 336 EEC Erityist huomiota on kuitenkin kiinnitett v signaalikaapelin valintaan Signaalikaapelin kaapelin l piviennin ja liittimen laatu Brooks toimittaa korkealaatuisia kaapeleita jotka t ytt v t CE sertifikaatin vaatimukset Hankkiessaan signaalikaapelin itse olisi hankittava 100 sti suojattu kaapeli D tai Circular tyyppisen liitimen tulisi olla varustettu metallisuojalla Mik li mahdollista tulisi k ytt metallisia kaapeliliittimi kiinnitett ess suojaa Kaapelin suoja tulisi olla liitetty metallisuojaan tai liittimeen molemmissa p iss 360 n matkalta Suojan tulisi olla maadoitettu Card Edge Connector it ovat standarditoimituksina ei metallisia Kaapeleiden t ytyy olla 100 sesti suojattuja jotta ne olisivat CE sertifikaatin mukaisia Suoja on oltava maadoitettu Nastojen liitt minen katso liitteen oleva manuaali Yst v llisin terveisin Svensk Brooks Instrument 407 West Vine St Hatfield PA 19440 U S A Subject Addendum to the Instruction Manual Reference CE certification of Mass Flow Equipment Date January 1996 Brooks elektriska elektronik utrustning som r CE m rkt har testats och godk nts enligt g llande regler f r elektromagnetisk kompabilitet EMC direktiv 89 336 EEC Speciell h nsyn m ste emellertid tas
62. es vorbeugende Wartung e F llige Kalibrierung vorbeugende Wartung e Lebensdauer Ventilfeder vorbeugende Wartung e Kein Durchfluss Bei Sollwertanforderung kein Durchfluss festgestellt e R ckfluss R ckfluss festgestellt e Durchflussz hler Meldung wenn eine benutzerdefinierte Menge eines Mediums durchgeflossen ist e Zeitz hler Meldung wenn eine benutzerdefinierte Zeit abgelaufen ist 3 7 Abschnitt 3 Betrieb Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger u Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 Ger tartabh ngige Funktionsbl cke sind verf gbar die die verschiedenen Ger tefunktionen darstellen e Aktueller Durchflusswert nur Massedurchflussger t e Aktueller Druckwert nur Druckger t e Aktuelle Ger ttemperatur nur Massedurchflussger t Aktuelle Ventilposition nur Regler e Sollwertregelung nur Regler Direkte Ventilregelung nur Regler e Aktuator Override nur Regler e Ultraschneller 8 ms PID Funktionsblock f r Kaskadenregelung alle Ger te 3 6 Alarme und Warnhinweise nur analoge Versionen MERE ns In diesem Abschnitt werden die Alarme und Warnhinweise beschrieben die mit den analogen Versionen der digitalen Brooks Serie verbunden sind Informationen ber Alarme und Warnhinweise f r Brooks DeviceNet Ger te finden Sie im Brooks DeviceNet Supplemental Manual 3 6 1 Alarme und Warnhinweise nur analoge Versionen FEET EEE A Pin 3 am
63. esetzt werden Dies wird ben tigt bevor das Brooks Personal mit seiner Arbeit beginnen kann Kopien des Formulars k nnen beim oben aufgef hrten Brooks Instrument Standort eingeholt werden 2 5 Vorsichtsma nahmen beim Transport Um das Ger t vor Transportsch den zu sch tzen transportieren Sie es in dem Beh lter Karton zum Aufstellort der auch f r den Transport vom Werk verwendet wurde falls die Umst nde dies zulassen 2 6 Entnahme aus dem Lager Wenn das Ger t aus dem Lager entnommen wird sollte eine Sichtpr fung durchgef hrt werden um zu berpr fen ob das Ger t im selben Zustand ist wie bei der Anlieferung Falls das Ger t unter Bedingungen gelagert wurde die nicht den obigen Empfehlungen entsprechen siehe Abschnitt 2 3 sollte das Ger t einem pneumatischen Drucktest gem g ltigen Vorschriften unterzogen werden 2 7 Gasanschl sse Bevor Sie das Ger t installieren stellen Sie sicher dass alle Rohrleitungen sauber und frei von Fremdk rpern sind Installieren Sie die Rohrleitungen so dass das Ger t leicht zug nglich ist falls ein Ausbau erforderlich wird Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 2 Installation X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 2 8 In Line Filter Brooks Digitaler MFC s amp MFM s 2 9 Installation Sofern ein integrierter interner Filter nicht bereits eingebaut ist wird empfohlen einen Leitungsfilter vor dem Massedurchflussregler oder
64. g f r Tag entscheiden sich Kunden im Durchflussbereich auf der ganzen Welt f r Brooks Instrument L sungen f r ihre Gas und Fl ssigkeitsanwendungen mit geringem Durchfluss Brooks bietet eine gro e Auswahl an Produkten f r die Durchflussmessung und regelung f r verschiedenste Branchen angefangen bei Biopharmazeutik l und Gas Brennstoffzellenforschung und Chemikalien bis hin zu medizinischen Ger ten analytischen Instrumenten Halbleiterfertigung und viele mehr Das Brooks Produkt das Sie gerade in Empfang genommen haben ist von h chster Qualit t und bietet berragende Leistungsf higkeit Zuverl ssigkeit und h chsten Nutzen f r den Anwender Es wurde unter Ber cksichtigung der sich st ndig ndernden Prozessbedingungen Genauigkeitsanforderungen und aggressiven Prozessumgebungen entwickelt um Ihnen zuverl ssigen Betrieb w hrend der Lebensdauer des Ger ts zu bieten Wir empfehlen Ihnen dieses Handbuch vollst ndig durchzulesen Wenn Sie zus tzliche Informationen zu Brooks Produkten und Serviceleistungen ben tigen wenden Sie sich an Ihr Brooks Vertriebs und Serviceb ro das auf der R ckseite dieses Handbuchs angegeben ist oder besuchen Sie unsere Internetseite www Brooksinstrument com Mit freundlichem GruB Brooks Instrument Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger DE Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 DIESE SEITE WURDE ABSICHTLICH FREI GELASSEN
65. ger terichtlinie PED 97 23 EC PC basierte Support Tools Siehe Tabelle 1 1 f r weitere Informationen zum Thema Druck Brooks Instrument bietet eine Vielzahl von PC basierten Prozess und Servicetools an um den Bedarf unserer Kunden zu erf llen SmartDDE kann mit jeder Einheit die RS 485 unterst tzt in einer Mehrpunktkonfiguration multi drop verwendet werden wodurch Anwender ihre Brooks Ger te regeln und berwachen k nnen Das Brooks Service Tool BST kann verwendet werden um Brooks Ger te zu berwachen diagnostizieren einzustellen und zu kalibrieren die mit der DeviceNet oder FOUNDATION Fieldbus Kommunikation ausgestattet sind Das Brooks Service Tool wird ber einen speziellen Service Port als Schnittstelle mit er Brooks Produkten verbunden Abschnitt 1 Einfuhrung Brooks Digitaler MFC s amp MFM s NULLPUNKT TASTE 395 100 3 NORMAL GE FFNETES VENTIL 3 67 93 2 NORMAL GESCHLOSSENES VENTIL OUTLET Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ 1 50 1 48 12 7 37 7 INCH MM NULLPUNKT TASTE 8 32 UNC X 17 64 Gewinde f r Montage 2 St ck ANMERKUNGEN 1 KABELGR SSE AWG 14 24 2 PIN 1 9 und 10 SIND AUF DER PLATINE MITEINANDER VERBUNDEN 3 VALVE OVERRIDE REFERENZIERT AUF SOLLWERT MASSE Juni 2010 5 P
66. hen Wenn w hrend der Nulleinstellung ein Druck herrscht wird jeder erkannte Durchfluss durch den Sensor als Messwert mit keinem Durchfluss fehlinterpretiert Dies wird zu Kalibrierungsungenauigkeiten w hrend des normalen Betriebs fuhren Sobald kein Differenzdruck mehr herrscht und dies berpr ft wurde dr cken Sie die eingelassene nicht einrastende Taste automatische Nulleinstellung die sich an der Seite des Ger ts befindet siehe Abbildung 3 2 um die automatische Nulleinstellungsfunktion zu starten Der Nulleinstellungsvorgang dauert ungef hr 10 ms 5 VDC Referenz Pin 11 auf dem 15 Pin Sub D Stecker liefert ein 5 VDG Referenzausgangssignal und wird zur Generierung eines Sollwert bzw Valve Override Signals verwendet Die Belastung dieses Ausgangs darf 2 5 mA nicht berschreiten und muss vorsichtig verwendet werden 3 5 Kommunikation el 3 5 1 RS 485 Kommunikation nur analoge Versionen ee a Eine digitale Kommunikation die dazu ausgelegt ist die Brooks S Serie S Protokoll oder pseudo Hart Kommunikation nachzubilden ist in der digitalen Brooks Serie ber RS 485 verf gbar Diese Art von multi drop f higer Kommunikation bietet Zugang zu vielen Funktionen der digitalen Brooks Serie f r die Regelungs und Uberwachungsaufgaben einschlie lich e Genaue Sollwerteinstellung und Durchflussausgangsmessung einschlie lich Auswahl der MaBeinheiten Valve Override nur Regler e Durchflussz hler Totalizer e Alarmst
67. hfluss in die Prozesskammer eintritt bei einem abrupten Sollwertsprung Brooks Ger te verfugen auch Uber eine adaptive optimierte PID Regelung einschlie lich schneller Ansprechzeit und linearer Regelcharakteristik und oder Rampenfunktion Auswahl Kalibrierungskurve nur Versionen mit analogem Ein Ausgang W hlen Sie eines von zehn Gasen und w hlen Sie die PID Einstellungen im analogen Modus Erfordert externe Verbindung der Widerst nde zwischen Pin Nr 13 und Pin Nr 9 Siehe Tabellen 1 2 und 3 1 Abschnitt 1 Einfuhrung Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 W hlbarer Soft Start Prozesse bei denen Gase eingeblasen werden mussen k nnen durch einen berm igen Anfangsdurchfluss negativ beeintr chtigt werden Dieses abrupte Einblasen von Gas kann Prozesssch den wie Explosion oder Beeintr chtigungen durch den Anfangsdruck zur Folge haben Diese Probleme werden mit der Soft Start Funktion praktisch beseitigt Der traditionelle Soft Start oder die lineare Rampenfunktion siehe Abbildung 1 4 k nnen werksm ig ausgew hlt werden oder sind ber die Brooks Service Suite erh ltlich Die lineare Rampenfunktion ist auf 200 pro Sekunde herunter bis 0 5 pro Sekunde Sollwert nderung einstellbar U N 3 Er O E N g y ul E o 0 gt O 0 E 28 So ca O Ue O m
68. hieste dalla certificazione CE Se l utente intende usare propri cavi questi devono possedere una schermatura del 100 I connettori sia di tipo D che circolari devono possedere un guscio metallico Se esiste un passacavo esso deve essere metallico e fornito di fissaggio per lo schermo del cavo Lo schermo del cavo deve essere collegato al guscio metallico in modo da schermarlo a 360 e questo vale per entrambe le estemit Lo schermo deve essere collegato ad un terminale di terra I connettori Card Edge sono normalmente non metallici II cavo impiegato deve comunque avere una schermatura del 100 per soddisfare la certificazione CE Lo schermo deve essere collegato ad un terminale di terra Per il corretto cablaggio dei terminali occorre fare riferimento agli schemi del manuale di istruzioni dello strumento Nederlands Brooks Instrument 407 West Vine St Hatfield PA 19440 U S A Onderwerp Addendum voor instructie Handboek Referentie CE certificering voor Mass Flow Meters amp Controllers Datum Januari 1996 Dames en heren Alle CE gemarkeerde elektrische en elektronische produkten van Brooks Instrument zijn met succes getest en voldoen aan de wetgeving voor Electro Magnetische Compatibiliteit EMC wetgeving volgens 89 336 EEC Speciale aandacht is echter vereist wanneer de signaalkabel gekozen wordt voor gebruik met CE gemarkeerde produkten Kwaliteit van de signaalkabel en kabelaansluitingen e Brooks leve
69. i Stufen angeboten Geringe Kraft f r niedrige Differenzdr cke Delta P lt 30 psig und gro e Kraft delta P gt 30 und lt 300 psig Der Federbalg wird haupts chlich nach dem Differenzdruck ausgew hlt der in der Kundenbestellung angegeben ist Dies sollte Ihre aktuellen Prozessbedingungen widerspiegeln Der Federbalg mit geringer Kraft besteht aus einer weicheren Feder die ben tigt wird um Durchfl sse mit niedrigerem Differenzdruck zu regeln Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 2 Installation X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ En Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Wenn eine Prozesslinie w hrend der Inbetriebnahme unter Druck gesetzt wird kann der Druck bzw k nnen die Differenzdr cke dem denen der 5853 ausgesetzt ist von den endg ltigen Prozessbedingungen abweichen Bei Anwendungen mit h herem Druck und besonders bei Anwendungen mit Federbalg mit geringer Kraft ist es wichtig dass der Druck kontrolliert aufgebaut wird um eine m gliche Druckspitze zu vermeiden die auf den Federbalg und die Hauptventilfederplatte einwirkt Eine Druckspitze kann den Federbalg deformieren die Federplatte besch digen oder die O Ring Dichtung des Federbalgs herausdr cken Das f hrt typischerweise zu einer St rung bei der Absperrung Leckage beim Nullpunktsollwert Eine Methode um eine erfolgreiche Inbetriebnahme zu garantieren ist es einen 100 Sollwert Befehl oder den Befehl Valve Over
70. ie dass diese Widerstandswerte innerhalb einer Toleranz von 1 liegen m ssen Im Standardzustand ist kein Widerstand angeschlossen der Kalibrierung Nr 1 aktiviert Wenn der Pin zur Kalibrierungsauswahl den Zustand ndert nimmt das Ger t jeden erforderlichen Vorgang vor um die Kalibrierung zu ndern und kehrt dann zum Normalbetrieb zur ck Wenn das Ger t entscheidet dass die ausgew hlte Kalibrierung nicht g ltig ist wird das Ventil geschlossen falls zutreffend und das Durchflusssignal wird auf Null gesetzt Der Wechsel der Kalibrierungen erfordert normalerweise ungef hr 1 0 Sekunden HINWEIS Es wird empfohlen nur dann eine andere Kalibrierungskurve auszuw hlen wenn kein Durchfluss statt findet Tabelle 3 1 Typische Widerstandswerte f r die Kalibrierungsauswahl KAL Nr WIDERSTANDWERT k Ohm 1 Kurzgeschlossen SSS Kurz geschlossen 665 324 A 86 COR A Nullstellungeinstellung des Massedurchflussreglers automatische Nullstellung Es kann erforderlich sein den Durchflusssensor erneut auf Null zu stellen wenn er bei Temperaturextremen betrieben wird oder wenn er in einer anderen Position verwendet wird als im Kundenauftrag angegeben 3 5 3 6 Abschnitt 3 Betrieb Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger u Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 Hinweis Wenn das Ger t auf Null gestellt werden soll darf KEIN Druckgef lle Uber dem Ger t herrsc
71. itt 1 Einfuhrung Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 Nennbereich 0 5 VDG 1 5 VDC Kalibrierte Genauigkeit 0 1 vom Endwert Gesamter Bereich 0 5 5 5 VDC 0 5 VDC 0 6 5 5 VDC 1 5 VDC Mind Belastungswiderstand 2 kOhm Strom Ausgang Istwert Nennbereich 4 20 mA oder 0 20 mA Kalibrierte Genauigkeit 0 1 vom Endwert Gesamter Bereich 0 22 mA 0 20 mA 3 8 22 mA 4 20 mA Max Belastungswiderstand 380 2 f r Spannungsversorgung lt 16 VDC 580 Q f r Spannungsversorgung gt 16 VDC Valve Override Signal nur Version mit analogem Ein Ausgang Das Valve Override Signal VOR ist als analoger Eingang implementiert der die Spannung am Eingang misst und das Ventil auf der Basis des Messwertes wie folgt einstellt Ventilstellungen in Abh ngigkeit des anliegenden Signals Eingang ist offen Ger t regelt gem fs Sollwertvorgabe VOR lt 0 3 VDG Ventil geschlossen VOR gt 4 8 VDC Ventil ge ffnet 0 3 VDC gt VOR gt 4 8 VDG Nicht definiert Ventil OverrideSignal technische Daten Eingangsimpedanz 800 kQ Absolut max Eingang 25 VDC gt VOR gt 25 VDC ohne Schaden 5 Volt Referenzsignal nur Version mit analogem Ein Ausgang Ein 5 V Referenzausgang wird dem Kunden geliefert um einen Sollwert bzw ein Ventil Override Signal zu generieren Dieser Ausgang darf nur mit einem sehr kleinen Strom
72. kt erh ltlich ist GroBer Durchflussbereich Die SLA5800 Reihe deckt einen u erst gro en Durchflussbereich ab Mit Modell SLA5850 kann ein Endwertdurchfluss von nur 3 ml gemessen werden Mit einem hohen Messbereichsverh ltnis von 50 1 kann ein Gasdurchfluss hinunter bis auf 0 06 ml pr zise gemessen oder geregelt werden Mit dem Modell SLA5853 kann ein Gasdurchfluss von bis zu 2 500 In min gemessen oder geregelt werden Schnelles Ansprechverhalten Die volldigitale Elektronik und anspruchsvolle mechanische Konfiguration der SLA5800 Reihe sorgt f r ein extrem schnelles Ansprechverhalten Die Ausregelzeiten sind mit weniger als einer Sekunde angegeben aber die adptive Ventilsteuerung von Brooks kann Ansprechzeiten von 0 2 Sekunden erreichen 1 1 Abschnitt 1 Einfuhrung Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 GroBe Auswahl an Kommunikationsoptionen Brooks bietet traditionelle analoge Optionen 0 5 V und 4 20 mA sowie digitale Kommunikation RS 485 S Protokoll auf der Basis von HART Brooks bietet au erdem eine Regelungsschnittstelle ber digitale Netzwerkprotokolle wie DeviceNet ein digitales Hochgeschwindigkeitsnetzwerk bis zu 500 kBd oder FOUNDATION Fieldbus Die Kommunkationsoptionen und Ger teprofile von Brooks sind von ODVA Open DeviceNet Vendor s Associtation und ITK Interoperability Test Kit zertifiziert worden An
73. kwerte unter 70 bar 1 000 psi geeignet Druckger terichtlinie PED 97 23 EC Siehe Tabelle 1 1 Tabelle 1 1 Durchflussbereiche und Nenndruck Massedurchflussregler Massedurchflussmesser Durchflussbereiche Druckeinheit Kategorie PED N Aa Modul H Leistungsdaten Modell Modell Min Endwert Max Endwert Bar psi SLA5850 0 003 50 In min 100 bar 1500 SEP psi SLA5860 0 003 50 In min 300 bar 4500 SEP psi SLA 5851 SLA58610 20 100 In min san 1500 SEP psi SLA5853 SLA5863 2500 70 bar 1000 1 f r alle psi Flansche 150 Ibs 2 f r alle anderen Anschl sse 1 300 bar 4 500 psi Version optional 2 Max Delta P f r 5853 ist 20 bar 300 psi 3 70 bar 1 000 psi f r UL Zertifizierung Differenzdruckbereich Regler Minimum Modell SLA5850 5 psi 0 35 bar bis 50 In min N2 q Modell SLA5851 10 psi 0 69 bar von 30 In min bis 100 In min N2 a Modell SLA5853 7 5 psi 0 52 bar von 100 In min bis 500 In min N2 a 14 5 psi 1 00 bar von 500 In min bis 1 000 In min N2 a 35 0 psi 2 41 bar von 1000 In min bis 2 500 In min N2 Aq Ventil hoher Differenzdruck 30 psi 2 07 bar bis 290 psi 20 bar max Ventil niedriger Differenzdruck 7 5 psi 0 52 bar bis 30 psi 2 07 bar max Der Mindestdruckverlust h ngt von der Gas und Endwertdurchflussrate ab bitte an Werk wenden Leckage Abschnitt 1 Einfuhrung Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger A
74. l e lt 80 9 84 3 41 4 ver 55611413 6 981773 1 4 VC0 52411332 6 66 169 2 1 4 NPT 5 34 135 7 6 76 171 7 1 7 ST pA 68 5 4 Pin PICOFAST HANDFEST ANGEZOGEN RUNDSTECKER M8 X 0 5 GEWINDE SIEHE DETAIL B 40 12 26 36 A r 4 PIN MALE MICRO 94 FRONTANSICHT FRONTANSICHT FOUNDATION FIELDBUS STECKER OHNE FILTER MIT STANDARDFILTER M12 X 1 AUSSENGEWINDE SIEHE DETAIL A 98 25 0 NULLPUNKT TASTE AUSLASS EINLASS AUSLASS lt 315 80 0 r zr lt 3 15 80 0 x ANI SIGNAL 8 32 UNC X a TIEFES MONTAGEGEWINDE 2 PLCS DETAIL Abbildung 1 12 Modell SLA5861F digitaler Ein Ausgang FOUNDATION Fieldbus Massedurchflussmesser Abschnitt 1 Einfuhrung Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 5 PIN MICRO DEVICENET STECKER M12 x 1 AUSSENGEWINDE SIEHE DETAIL NULLPUNKT TASTE
75. ldung wenn eine benutzerdefinierte Zeit abgelaufen ist Ger tartabh ngige Funktionsbl cke sind verf gbar die die verschiedenen Ger tefunktionen darstellen e Aktueller Durchflusswert nur Massedurchflussger t e Aktueller Druckwert nur Druckregler Aktuelle Ger tetemperatur nur Massedurchflussger t Aktuelle Ventilposition nur Regler e Sollwertregelung nur Regler Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 1 Einfuhrung X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s e Direkte Ventilregelung nur Regler e Aktuator Override nur Regler e Ultraschneller 8 ms PID Funktionsblock f r Kaskadenregelung alle Ger te Zertifizierungen EMV Richtlinie 89 336 EEC gem EN 61326 Klassifizierung f r explosionsgef hrdete Umgebung Geh use Typ 1 1P40 Umgebungstemperatur 0 C gt Tamb lt 65 C USA und Kanada UL anerkannt E73889 Ausgabe 3 Abschnitt 4 Nicht z ndgef hrlich Non incendive Klasse 1 Division 2 C US Gruppen A B C amp D T4 Gem fs UL 1604 und CSA 213 Klasse 1 Zone 2 AEX nA II T4 Gem ANSI ISA 12 12 02 2003 und ANSI UL 60079 15 Ex nA ll T4 Gem CSA E79 15 Europa ATEX Richtlinie 94 9 EC KEMA O4ATEX1118X II 3 G EEx nA II T4 Gem EN 60079 15 2003 Unter Beachtung der Umgebungsbedingungen muss das Produkt in einem Geh use entsprechend Schutzart IP54 und DIN EN 60529 installiert werden Druck
76. lectromagn tica directiva CEM 89 336 EEC Todavia ao seleccionar se o cabo de sinal a utilizar com equipamento contendo a marca CE ser necess rio ter uma atenc o especial Qualidade do cabo de sinal buchas de cabo e conectores A Brooks fornece cabo s de qualidade superior que cumprem os requesitos da certificac o CE Se fornecerem o vosso pr prio cabo de sinal devem utilizar um cabo que na sua totalidade seja isolado com uma blindagem de 100 Os conectores tipo D ou Circulares devem ser blindados com uma blindagem met lica Se tal for necess rio deve utilizar se buchas met licas de cabo para o isolamento do aperto do cabo O isolamento do cabo deve ser ligado blindagem ou bucha met lica em ambas as extremidades em 360 A blindagem deve terminar com a ligac o a massa Os conectores Card Edge n o s o em geral met licos e os cabos utilizados devem ter um isolamento com blindagem a 100 nos termos da Certificac o CE A blindagem deve terminar com ligac o massa Relativamente configurac o da cavilha queiram consultar o Manual de Instruc es A 5 Abschnitt A CE Bescheinigung des Installation und Bedienungs Handbuch Massedurchflussger ts X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 Suomi Brooks Instrument 407 West Vine St Hatfield PA 19440 U S A Asia Lis ys Kayttoohjeisiin Viite Massam r mittareiden CE s
77. leitung fur Ihr Ger t Wenn Sie ein digitales Massedurchflussger t von Brooks mit DeviceNet Kommunikation gekauft haben wird auch eine separate DeviceNet Anleitung als Teil der Dokumentation mitgeliefert 1 3 Beschreibung Die digitalen Produkte von Brooks sind Massedurchflussmessger te die f r die genaue Messung Massedurchflussmesser sowie die schnelle Regelung Massedurchflussregler von Gasdurchflussen ausgelegt sind Dieses Handbuch soll dem Anwender alle Informationen liefern die f r die Installation den Betrieb und die Wartung der Brooks Massedurchflussmesser und regler ben tigt werden Dieses Handbuch ist in folgende Abschnitte unterteilt Abschnitt 1 Einf hrung Abschnitt 2 Installation Abschnitt 3 Betrieb Abschnitt 4 Wartung und St rungsbeseitigung Abschnitt A CE Bescheinigung R ckseite Gew hrleistung Kontaktdaten Vertrieb Service vor Ort Es wird empfohlen dieses Handbuch vollst ndig durchzulesen bevor Sie versuchen diese digitalen Brooks Produkte zu betreiben oder zu reparieren Die Brooks Instrument SLA5800 Reihe ist ein elastomer gedichteter digitaler thermischer Massedurchflussmesser und regler der unvergleichliche Flexibilit t und Leistungsf higkeit bietet Der Massedurchflussregler der SLA5800 Reihe ist fur die Verwendung in modernen Gasanlagen ausgelegt Das Ergebnis ist ein Massedurchflussregler mit h chster Genauigkeit Reprodzierbarkeit und bestem Ansprechverhalten der heute auf dem Mar
78. llwert 1 bis 5 VDC 1 5 VDC Sollwert 0 bis 20 mA 0 20 mA Sollwert 4 bis 20 mA 4 20 mA Sollwert h Pr fen Sie das analoge Ausgangssignal Das Ausgangssignal muss dem Sollwertsignal gem der Genauigkeitsspezifikation entsprechen die in Abschnitt 1 4 dieses Dokuments angegeben ist I Wenn das Ausgangssignal nicht dem Sollwert entspricht und die Druckeinstellungen korrekt sind kann dies auf ein Problem im Massedurchflussregler hindeuten Ein zweites Problem k nnte die Art von Gas sein Wenn Sie die Funktion mit einem Ersatzgas pr fen stellen Sie sicher dass der Druck zum Massedurchflussregler gro genug ist damit die richtige Menge Ersatzgas durchflie t Beispiel berpr fung eines Massedurchflussreglers der f r 100 cm SF6 Schwefelhexafluorid kalibriert ist Der Sensorfaktor N2 Stickstoff ist 0 27 daher ist das ben tigte N2 quivalent 100 0 27 370 4 cm8 Zur Herstellung dieser Durchflussrate kann eine Erh hung des Drucks erforderlich sein 2 9 2 10 Abschnitt 2 Installation Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 2 12 Digitaler Ein Ausgang DeviceNet oder FOUNDATION Fieldbus FF Ki a Montieren Sie den Massedurchflussregler messer in der endg ltigen Position b Schlie en Sie den Massedurchflussregler messer an den Strom an und warten Sie ungef hr 45 Minuten bis das Ger t vollst ndig aufgew
79. n Ausg nge f r Stromsignale isolierte Stromversorgung Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 2 Installation X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ o Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s 2 11 Verfahren zur Funktionsprufung analoger Ein Ausgang jl a Montieren Sie den Massedurchflussregler messer in der endg ltigen Position b SchlieBen Sie den Massedurchflussregler messer an den Strom an und warten Sie ungef hr 45 Minuten bis das Ger t vollst ndig aufgew rmt ist und die Temperatur stabil ist c F hren Sie dem Massedurchflussregler messer kein Gas zu Stellen Sie sicher dass der Differenzdruck ber dem Massedurchflussregler messer bei Null ist d Wenden Sie folgenden Sollwert an 0 000 VDC 10 mV 0 5 VDC Sollwert 1 000 VDG 10 mV 1 5 VDC Sollwert 0 000 mA 100 HA 0 20 mA Sollwert 4 000 mA 100 HA 4 20 mA Sollwert e Wenn der Nullwert von einer dieser Grenzen abweicht f hren Sie die Nullpunkteinstellung wie in Abschnitt 3 4 beschrieben durch Das analoge Ausgangssignal muss wie folgt sein 0 000 VDC 10 mV 0 5 VDC Ausgang 1 000 VDC 10 mV 1 5 VDC Ausgang 0 000 mA 40 pA 0 20 mA Ausgang 4 000 mA 40 HA 4 20 mA Ausgang f Stellen Sie die Gaszufuhr an Ein positives Durchflusssignal kann aufgrund von leichter Ventilleckage vorhanden sein nur Massedurchflussregler g Sorgen Sie f r ein Sollwertsignal zwischen 0 bis 5 VDC 0 5 VDC So
80. n Betrieb Ihres Prozesses gef hrden hnlich aussehende Austauschteile k nnen zu Br nden elektrischen Gefahren oder nicht sachgerechtem Betrieb f hren Stellen Sie sicher dass alle T ren der Anlage geschlossen sind und dass alle Schutzabdeckungen angebracht sind au er wenn Wartungsaufgaben von qualifizierten Personen durchgef hrt werden um Stromschl ge und Personensch den zu vermeiden Alle Druckger te mit einem internen Druck von mehr als 0 5 bar g und einer Gr e von mehr als 25 mm unterliegen der Druckger terichtlinie Die Richtlinie findet im Europ ischen Wirtschaftsraum EU plus Norwegen Island und Liechtenstein Anwendung Druckger te k nnen in diesem Raum frei gehandelt werden wenn die Druckger terichtlinie eingehalten wird Abschnitt 1 dieser Anleitung enth lt wichtige Sicherheits und Betriebsanweisungen in Bezug auf die Druckger terichtlinie Messger te die in diesem Handbuch beschrieben sind erf llen die europ ische Richtlinie 97 23 EC Modul H Conformity Assessment Alle Durchflussmesser von Brooks Instrument fallen unter die Fluidgruppe 1 Messger te die gr er als 25 mm sind erf llen die Kategorien I II und III der Druckger terichtlinie Messger te mit einer Gr e von 25 mm oder kleiner sind Sound Engineering Practice SEP 4 ACHTUNG Die Ger te enthalten elektronische Komponenten die durch elektrostatische Entladungen besch digt werden k nnen Ordnungsgem e Verfahrensanweisungen m ssen w hr
81. n die Brooks Ger te elektrische elektronische Komponenten das CE Zeichen Bei der Auswahl der Verbindungskabel f r CE zertifizierte Ger te sind spezielle Anforderungen zu beachten Qualit t der Verbindungskabel AnschluBstecker und der Kabeldurchfuhrungen Die hochwertigen Qualit tskabel von Brooks entsprechen der Spezifikation der CE Zertifizierung Bei Verwendung eigener Verbindungskabel sollten Sie darauf achten da eine 100 igenSchirmababdeckung des Kabels gew hrleistet ist D oder Rund Verbindungsstecker sollten eine Abschirmung aus Metall besitzen Wenn m glich sollten Kabeldurchf hrungen mit Anschlu m glichkeiten f r die Kabelabschrimung verwendet werden Die Abschirmung des Kabels ist auf beiden Seiten des Steckers oder der Kabeldurchf hrungen ber den vollen Umfang von 360 anzuschlie en Die Abschirmung ist mit dem Erdpotential zu verbinden Platinen Steckverbindunger sind standardm ige keine metallgeschirmten Verbindungen Um die Anforderungen der CE Zertifizierung zu erf llen sind Kabel mit einer 100 igen Schirmababdeckung zu verwenden Die Abschirmung ist mit dem Erdpotential zu verbinden Die Belegung der AnschluBpins k nnen Sie dem beigelegten Bedienungshandbuch entnehmen A 1 A 2 Abschnitt A CE Bescheinigung des Installation und Bedienungs Handbuch Massedurchflussger ts X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 English Br
82. nth lt diese Kalibrierung in Position 1 gespeichert ist position 1 Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Zur Stromversorgung Heizelement Nachgeschalteter Temperatursensor Vorgeschalteter Temperatursensor 75 RC _ Bypass Sensorrohr Verst rker Br cke f r T Erkennung Durchfluss A Ca 10 sccm max Durchfluss B Endwert weniger 10 sccm y n B 7777 H PASSA RPP Str mungsteiler Abschnitt 3 Betrieb Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Durchfluss B Abbildung 3 1 Funktionsplan Durchflusssensor VCR Endanschl sse abgebildet Nullpunkt Taste Abbildung 3 2 Von auBen zug ngliche Einstellm glichkeit f r alle Messer Regler 3 4 Abschnitt 3 Betrieb Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger u Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 3 4 Betriebsart analoger Ein Ausgang A A FF In den folgenden Abschnitten werden die Grundeigenschaften der digitalen Brooks Massedurchflussmesser regler beschrieben ANMERKUNG Lesen Sie Abschnitt 3 3 Eigenschaften bevor Sie diesen Abschnitt lesen Spezifische Einzelheiten ber Kommunikationsmerkmale finden Sie im DeviceNet Supplemental Instruction Manual Funktionsbeschreibung Die analoge Schnittstelle kann irgendeine der folgenden Ein Ausgangsoptionen enthalten und zwar wie vom Anwender vorgegeben 0 5 VDC Sollwertsignal
83. ooks Instrument 407 West Vine St Hatfield PA 19440 U S A Subject Addendum to the Instruction Manual Reference CE certification of Mass Flow Equipment Date gt January 1996 The Brooks electric electronic equipment bearing the CE mark has been successfully tested to the regulations of the Electro Magnetic Compatibility EMC directive 89 336 EEC Special attention however is required when selecting the signal cable to be used with CE marked equipment Quality of the signal cable cable glands and connectors Brooks supplies high quality cable s which meets the specifications for CE certification If you provide your own signal cable you should use a cable which is overall completely screened with a 100 shield D or Circular type connectors used should be shielded with a metal shield If applicable metal cable glands must be used providing cable screen clamping The cable screen should be connected to the metal shell or gland and shielded at both ends over 360 Degrees The shield should be terminated to a earth ground Card Edge Connectors are standard non metallic The cables used must be screened with 100 shield to comply with CE certification The shield should be terminated to a earth ground For pin configuration Please refer to the enclosed Instruction Manual Espanol Brooks Instrument 407 West Vine St Hatfield PA 19440 U S A Asunto Addendum al Manual de Instrucciones Referencia gt Cer
84. pr ft werden und das Ger t muss vor Verwendung mit sauberem und trockenem N gesp lt werden d Die digitalen Brooks Massedurchflussregler oder messer k nnen in jeder beliebigen Position installiert werden Jedoch kann die Montage in einer anderen Ausrichtung als der urspr nglichen Werkskalibrierung siehe Kalibrierungsdatenblatt das mit dem Ger t geliefert wurde zu einer Abweichung von lt 0 2 vom Endwert nach Nullstellung f hren 2 3 Abschnitt 2 Installation Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 e Wenn Sie den Massedurchflussregler oder messer f r Durchflussraten von 10 In min oder mehr installieren ber cksichtigen Sie dass scharfe abrupte Winkel im Rohrleitungssystem direkt vor dem Regler kleine Ungenauigkeiten verursachen k nnen Falls m glich sorgen Sie f r eine gerade Einlaufstrecke von mindestens 10x des Rohrdurchmessers vor dem Massedurchflussregler oder messer Dies ist bei Messger ten mit einem integrierten Filter nicht erforderlich ACHTUNG Da das Regelventil des Modells SLA5800 nicht dicht schlie t sollte zu diesem Zweck ein separates Sperrventil nachgeschaltet werden Es kann sein dass sich eine kleine Menge Gas zwischen dem Bereich hinter dem Massedurchflussregler und dem Sperrventil befindet das zu einem sprunghaften Anstieg nach Bet tigung des Sperrventils f hrt Der sprunghafte Anstieg k
85. ride Open einzustellen und den Druck dann langsam auf Betriebsbedingungen hochzufahren Damit k nnen Sie Ihren Prozessdruck auf normale Betriebsbedingungen bringen und der 5853 wird dann gem Spezifikation funktionieren Eine andere Methode w re die Verwendung eines Bypass Ventils um Druck ber dem Ger t zu erm glichen w hrend der Druck auf die ordnungsgem en Betriebsbedingungen erh ht wird Die Hauptsache ist es den Kugelhahn nicht sofort zu ffnen und einen hohen Drucksto oder einen hohen Gegendruck in das 5853 Hauptventil hinein zu erm glichen Die ordnungsgem e Entl ftung der Prozessleitung ist auch wichtig Wenn das Ger t bei einem Druck von mehr als 50 psig betrieben wird m ssen Sie sicherstellen dass der Druck vom Eingang und der Gegendruck gleichzeitig reduziert werden wird um zu verhindern dass der Federbalg durch berm igen Gegendruck besch digt wird Die vorsichtige Inbetriebnahme sowie Einhaltung der Entl ftungsverfahren werden zu einer langen und problemlosen Lebensdauer Ihres 5853 Reglers beitragen Konstante Betriebsbedingungen Wie oben beschrieben nutzt das Modell 5853 ein druckbet tigtes Hauptventil Die Ventilleistung h ngt von einem konstanten Systemdruck ab Schwankende oder nicht konstante Dr cke in der Zu und Ableitung k nnen zur Folge haben dass die Regelung des Durchflusses instabil wird F r h chste Leistungsf higkeit ist es wichtig eine stabile Druckumgebung zu s
86. rm Sollwertabweichung Setpoint Deviation Dieser Alarm berwacht die Differenz zwischen dem Sollwert und dem Durchfluss und setzt den Alarm wenn die Differenz die spezifizierten Grenzen l nger als w hrend der spezifizierten Verz gerungszeit berschreitet Der Anwender bestimmt eine Mindest und H chstgrenze als Prozentwert vom Sollwert Dieser Alarm wird deaktiviert wenn der Valve Override aktiv ist Alarm Keine Durchflussanzeige No Flow Indication Dieser Alarm wird ausgel st wenn die Durchflussmessung einen Durchfluss anzeigt der niedriger ist als der Wert der zwischen 0 und 2 konfiguriert werden kann Wenn das Ger t ein Regler ist muss der Sollwert die konfigurierte Grenze berschreiten und der Valve Override darf nicht aktiv sein damit dieser Alarm eintritt Alarm Z hler Overflow Dieser Alarm tritt auf wenn der Durchflussz hler seinen H chstwert erreicht und setzt den Z hler wieder auf Null Dieser Alarm ist permanent als Alarm mit Haltefunktion konfiguriert bei dem der Anwender den Alarm ber den Service Port oder die RS 485 Schnittstelle zur cksetzen muss Alarm Analoger Ausgang Loop offen Dieser Alarm wird ausgel st wenn das Ger t erkennt dass kein Strom im mA Ausgang flie t Dieser Alarm kann auf eine unterbrochene Verbindung im Stromkreis des analogen mA Ausgangs zur ckzuf hren sein 3 11 Abschnitt 3 Betrieb Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger u Artikel Nummer 541B0
87. rpackung der Ger te auf Transportsch den Sollte die Verpackung besch digt sein melden Sie dies bitte umgehend dem zust ndigen Spediteur im Hinblick auf dessen Haftung Wir bitten auch um eine kurze schriftliche Meldung an unsere n chst gelegene Produkt Service Abteilung Brooks Instrument 407 W Vine Street P O Box 903 Hatfield PA 19440 USA Geb hrenfrei 888 554 FLOW 3569 Tel 215 362 3700 Fax 215 362 3745 E mail BrooksAm Brooksinstrument com www Brooksinstrument com Brooks Instrument Brooks Instrument Neonstraat 3 1 4 4 Kitasuna Koto Ku 6718 WX Ede Netherlands Tokyo 136 0073 Japan P O Box 428 Tel 81 0 3 5633 7100 6710 BK Ede Netherlands Fax 81 0 3 5633 7101 Tel 31 0 318 549 300 Email BrooksAs Brooksinstrument com Fax 31 0 318 549 309 E mail BrooksEu Brooksinstrument com Entnehmen Sie den Umschlag mit der Packliste Entnehmen Sie das Ger t vorsichtig aus der Verpackung Vergewissern Sie sich dass die Ersatzteile nicht mit dem Verpackungsmaterial entsorgt werden Pr fen Sie die Lieferung auf Vollst ndigkeit und Sch den 2 3 Empfohlene Lagerung PT Falls das Ger t vor bergehend oder l nger gelagert werden muss wird empfohlen es wie folgt zu lagern a Aufbewahrung im Originalkarton b Lagerung in einem gesch tzten Bereich vorzugsweise in einem warmen trockenen und beheizten Lagerhaus c H chsttemperatur 32 C Mindesttemperatur 7 C d Relative Luftfeuchtigkeit 45
88. rsatzgas pr fen stellen Sie sicher dass der Druck zum Massedurchflussregler gro genug ist damit die richtige Menge Ersatzgas flie t Sollwert ist unter Mindestwert Massedurchflussregler k nnen eine einstellbare Abschaltung bei niedrigem Durchfluss f r den Sollwertbefehl haben Wenn der Sollwert unter diesem Wert liegt wird der Massedurchflussregler nicht versuchen zu regeln Verstopftes Sensorrohr Wenn das Sensorrohr des Massedurchflussreglers verstopft ist wird das Istwertsignal sehr niedrig oder bei Null sein w hrend der tats chliche Durchfluss beim Maximalwert des Ventils liegen wird Istwertsignal entspricht Sollwert aber der tats chliche Durchfluss ist nicht korrekt Verstopfter Str mungsteiler Wenn der Str mungsteiler des Massedurchflussreglers verstopft ist wird ein viel st rkerer Strom eher durch den Sensor flie en als direkt durch den Str mungsteiler Das Anzeichen f r diesen Zustand ist ein wesentlich reduzierter tats chlicher Durchfluss mit einem Istwertsignal das dem Sollwert entspricht Durchflussrate ber 100 bei Sollwert gleich Null Valve Override Pin auf offen gestellt Wenn der Valve Override VOR Pin aktiv ist wird das Ventil ge ffnet oder geschlossen Stellen Sie diesen Pin auf seine normale Position bevor Sie einen Sollwert einstellen Durchfluss Durchflusssignal Instabil Die Leistung der Massedurchflussregler der SL5800 Reihe wird w hrend der Kalibrierung auf di
89. rscht ist die W rmemenge die jeden Temperatursensor erreicht gleich so dass Temperatur T1 und Temperatur T2 Abb 3 1 gleich sind Gas das durch das Rohr flie t f hrt W rme vom vorgeschalteten Temperatursensor ab und zum nachgeschalteten Temperatursensor hin Der Temperaturunterschied T2 T1 ist proportional zum Gasmassedurchfluss Die Gleichung ist DT AxPxCpxm Wobei DT Temperaturunterschied T2 T1 K A Proportionalit tskonstante s K kJ P Heizelementleistung kJ s Cp Spezifische W rme des Gases bei konstantem Druck kJ kg K m Massedurchfluss kg s Eine Br ckenschaltung und ein Differentialverst rker messen den Temperaturunterschied und generieren ein elektrisches Signal direkt 3 1 proportional zur Gasmassedurchflussrate 3 2 Abschnitt 3 Betrieb Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 3 3 Eigenschaften Hinweis Alle digitalen Brooks Massedurchflussmesser werden im Werk gem f3 Kundenauftrag konfiguriert und m ssen nicht eingestellt werden Nicht alle Ger te verf gen ber alle Eigenschaften Das digitale Brooks Ger t ist ein digitaler Massedurchflussregler mit allen Eigenschaften Die Leistung des digitalen Brooks Ger ts entspricht gr tenteils der eines herk mmlichen analogen Massedurchflussreglers jedoch mit verbesserter Genauigkeit Ubergangsfunktion und Ventilsteuerung Die
90. rt standaard kabels met een hoge kwaliteit welke voldoen aan de specificaties voor CE certificering Indien men voorziet in een eigen signaalkabel moet er gebruik gemaakt worden van een kabel die volledig is afgeschermd met een bedekkingsgraad van 100 e D of ronde kabelconnectoren moeten afgeschermd zijn met een metalen connector kap Indien kabelwartels worden toegepast moeten metalen kabelwartels worden gebruikt die het mogelijk maken het kabelscherm in te klemmen Het kabelscherm moet aan beide zijden over 360 met de metalen connectorkap of wartel veroonden worden Het scherm moet worden verbonden met aarde e Card edge connectors zijn standaard niet metallisch De gebruikte kabels moeten volledig afgeschermd zijn met een bedekkingsgraad van 100 om te voldoen aan de CE certificering Het scherm moet worden verbonden met aarde Voor pin configuraties a u b verwijzen wij naar het bijgesloten instruktie handboek Hoogachtend Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt A CE Bescheinigung des X TMF SLA5800 MFC ger Massedurchflussger ts Artikel Nummer 541B027AAJ o Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Norsk Brooks Instrument 407 West Vine St Hatfield PA 19440 U S A Vedr rende Vedlegg til h ndbok Referanse CE sertifisering av utstyr for massestr msm ling og regulering Dato E Januar 1996 Til den det ang r Brooks Instrument elektrisk og elektronisk utstyr p f rt CE merket har
91. rtikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 Von innen nach au en 1 x 10 9 atm scc sec Helium max Der Drucktest an den Ger ten erfolgt ohne Fittinge Maximale minimale Umgebungstemperatur In Betrieb 0 C bis 65 C 32 F bis 149 F Lagerung 25 C bis 100 C 13 F bis 212 F Maximale minimale Gastemperatur 0 C bis 65 C 32 F bis 149 F PHYSIKALISCH A ACHTUNG Es liegt in der Verantwortung des Anwenders alle Konstruktionsmaterialien auszuw hlen und zu genehmigen Sorgfalt hinsichtlich Metallurgie technischen Materialien und elastischen Polymeren ist entscheidend f r den sicheren Betrieb Konstruktionsmaterialien Medienber hrte Teile Edelstahl mit Viton Fluoroelastomer Optional Buna N Kalrez Telfon Kalrez und EPDM Abmessungen Siehe Abbildungen 1 5 bis 1 13 Prozessanschl sse Siehe Abbildungen 1 5 bis 1 13 Referenzbedingungen Aufgrund der Einfl sse von Druck und Temperatur auf die Kompressibilit t von Gasen m ssen bestimmte Referenzbedingungen geschaffen werden wenn volumetrische Durchflussraten im Sinne von Massedurchfluss angegeben werden Zum Beispiel bezieht sich die Ma einheit sccm standard cubic centimeters per minute auf einen volumetrischen Gasdurchfluss unter einer Standardreferenzbedingung und NICHT auf den tats chlichen volumetrischen Gasdurchfluss beim tats chlichen Betriebsdruck und bei der tats chlichen Temperatur Der springende Punkt
92. sorgung enerne 2 8 2 4 Empfohlene Verkabelung f r Ein Ausg nge f r Stromsignale isolierte Stromversorgung 2 8 3 1 Funktionsplan Durchflusssensor VCRTM Endanschl sse abgebildet rn nn na 3 3 Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 3 2 Von au en zug ngliche Einstellm glichkeit f r alle Messer Regler nnn annen eenen 3 3 4 1 Schaltkreis St rungsbeseitigung ae 4 5 Tabellen Tabelle Seite Nummer Nummer 1 1 Durchflussbereiche und Nenndr ck u sen ee ien dementie 1 3 1 2 Kalbrerungsauswahlsignal ea 1 9 1 3 Analoger Ein Ausgang Pinbelegung ss 1 9 2 1 EMNENE 2 3 3 1 Typische Widerstandswerte f r die Kalibrierungsauswahl aaan nennen eenen eenen 3 5 41 St rungsbeseitigung Sensor nes een ee 4 4 42 3S OrUNgSbeselligung Vare 4 7 Inhalt Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Inhalt Brooks Digitaler MFC s amp MFM s DIESE SEITE WURDE ABSICHTLICH FREI GELASSEN Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 1 Einfuhrung X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 1 1 Anwendungsbereich Brooks Digitaler MFC s amp MFM s 1 2 Zweck Vielen Dank fur den Kauf eines Massedurchflussger ts von Brooks Instrument Dieses Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger ist eine Installations und Bedienungsan
93. tificaci n CE de los Equipos de Caudal M sico Fecha Enero 1996 Los equipos de Brooks el ctricos electr nicos en relaci n con la marca CE han pasado satisfactoriamente las pruebas referentes a las regulaciones de Compatibilidad Electro magn tica EMC directiva 89 336 EEC Sin embargo se requiere una atenci n especial en el momento de seleccionar el cable de se al cuando se va a utilizar un equipo con marca CE Calidad del cable de se al prensaestopas y conectores Brooks suministra cable s de alta calidad que cumple las especificaciones de la certificaci n CE Si usted adquiere su propio cable de se al deberia usar un cable que est completamente protegido en su conjunto con un apantallamiento del 100 Cuando utilice conectores del tipo D 6 Circular deber an estar protegidos con una pantalla met lica Cuando sea posible se deber n utilizar prensaestopas met licos provistos de abrazadera para la pantalla del cable La pantalla del cable deber ser conectada al casquillo met lico prensa y protegida en ambos extremos completamente en los 360 Grados La pantalla deber conectarse a tierra Los conectores estandar de tipo tarjeta Card Edge no son met licos los cables utilizados deber n ser protegidos con un apantallamiento del 100 para cumplir con la certificaci n CE La pantalla deber conectarse a tierra Para ver la configuraci n de los pines Por favor consultar Manual de Instrucciones a
94. tten wird Dieses Attribut gilt nicht f r Alarme die einen Zustand des Ger ts berwachen Verz gerung Der Zeitraum in Sekunden w hrend dessen der Wert Uber oder unter der Ober oder Untergrenze bleiben muss bevor ein Alarm Warnzustand angezeigt wird Alarm Zusammenfassung In der folgenden Tabelle sind die Parameter f r jeden Alarmtyp und die entsprechenden Standardwerte zusammen gefasst Schweregrad Haltefunktion Kontakt Untergrenze Obergrenze Verz gerung Code aktivieren aktivieren zutreffend zutreffend 1 Durchfluss 1 Aus 1 0 Durchfluss 2 Aus 1 0 Durchflussanzeige zutreffend Sollwertabweichung Alarm 18 Aus Aus 1 0 Z hler Overflow Aus nicht nicht zutreffend zutreffend zutreffend Anwender Sollwerteingang Alarm 5 Aus nicht nicht 1 0 nicht im zul ssigen zutreffend zutreffend Bereich Durchflussausgang Alarm 4 Aus nicht nicht 1 0 nicht im zul ssigen Bereich A Aus US zutreffend zutreffend Loop offen zutreffend zutreffend Durchflussensor Alarm 1 A nicht im zul ssigen Bereich US Aus Aus Aus Aus nicht nicht 1 0 zutreffend zutreffend 3 9 3 10 Abschnitt 3 Betrieb Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger u Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 3 6 2 Diagnose Alarme nur analoge Versionen Er EZ ee ec ss sur Ein Diagnose Alarm wird angezeigt wenn eine der unten stehenden Diagnosen eine St rung erkennt dies vis
95. uell ber die rote bzw gr ne LED anzeigt und den TTL Open Collector Ausgang ffnet der sich auf dem 15 Pin Sub D Stecker befindet Die Diagnosepr fung oder pr fungen die ein Problem erkannt hat haben und den Diagnose Alarm ausgel st haben k nnen nur durch Lesen eines Parameters ber den Service Port bestimmt werden Wenn ein Diagnose Alarm auftritt wird das Ger t nach ungef hr 5 Sekunden automatisch zur ck gestellt Fehlerbeschreibung RAM Byte f r Byte Test des RAM erkennt mangelhaften Speicherort Flash Programmspeicher 8 bit Pr fsumme des gesamten Flash nicht Null Byte f r Byte Test des nicht fl chtigen Speichers erkennt mangelhaften Speicherort Temperatursensor meldet einen Wert au erhalb des vorgesehenen Bereichs von 0 C bis 100 C Stromversorgung intern Eine interne Versorgungsspannung ist au erhalb der Betriebsgrenzen interne Versorgungsspannungen 3 3 V und 7 6 V m ssen innerhalb von 5 des Nennwerts liegen Sicherer Modus Wenn sich das Ger t im sicheren Modus befindet gelten die folgenden Verhaltenseigenschaften des Ger ts Das Durchflussausgangssignal wird f r die folgenden Ausgangssignalarten auf den sicheren Modus gestellt 0 bis 5 VDC 0 VDC 1 bis 5 VDG 1 VDC 0 bis 20 mA 0 mA 4 bis 20 mA 0 mA Im sicheren Modus steht das Ventil nicht unter Strom Dies bedeutet dass bei normal geschlossenen Ventilen das Ventil geschlossen bleiben wird und dass bei normal ge ffneten Ventilen
96. ur analoge Versionen ss 3 10 3 6 3 Allgemeine Alarme und Warnhinweise nur analoge Versionen 3 11 37 Datens tze Kalibrierung Konfiguration nennen 3 12 98 ES 00 EE EE sne tand 3 13 301 BP NN 3 13 3 8 2 Niedriger Sollwert Befehl Abschaltung s smnnmsssrrssssrrrresrrrrserrrrrensrrrernrrr rr rr rrr nr rr rskr ARS RAR KRA RR RR SAR 3 13 3 8 3 Niedriger Durchfluss Ausgang Abschaltung VV 3 13 3 8 4 D mpfung des Ausgangssignals avsperret Rd 3 13 39 9 MENN 3 13 38 9 DBMS 3 13 3 8 7 K nligurationdesIstWerlsianals ee 3 14 3 8 8 Durchflusssignal Synchronisierung nen enes 3 14 393 PG Dasiente Support OOS nes est 3 14 Inhalt Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 Abschnitt 4 Wartung und St rungsbeseitigung 4 1 Wartung und St rungsbeseitigung nant ne nat beten 4 1 4 1 1 St rungsbeseitigung analoge Version oder DeviceNet VU 4 2 ENN 4 4 A o nennen tien este te sn 4 6 ELEN 01 ELG 96 EN 2 LR LES D PE rann rr snar rr rr RKS KARA KKR KRK RAR KSR KKR RR KSR KKR RR KSR KKR KRK RAR KR eaten 4 6 Abschnitt A CE Bescheinigung des Massedurchflussger ts CE Bescheinigung des Massedurchflussger ts A 1 GARANTIELEISTUNGEN BROOKS SERVICE UND SUPPORT Back Cover Abbildungen Abbildung Seite Nummer
97. vid val av signalkabel som ska anv ndas tillsammans med CE m rkt utrustning Kvalitet p signalkabel och anslutningskontakter Brooks levererar som standard kablar av h g kvalitet som motsvarar de krav som st lls f r CE godk nnande Om man anv nder en annan signalkabel ska kabeln i sin helhet vara sk rmad till 100 D eller runda typer av anslutningskontakter ska vara sk rmade Kabelgenomf ringar ska vara av metall alternativt med metalliserad sk rmning Kabelns sk rm ska i bada ndar vara ansluten till kontakternas metallk por eller genomf ringar med 360 graders sk rmning Sk rmen ska avslutas med en jordf rbindelse Kortkontakter r som standard ej metalliserade kablar som anv nds m ste vara 100 skarmade f r att verensst mma med CE certifieringen Sk rmen ska avslutas med en jordf rbindelse F r elektrisk anslutning till kontaktstiften h nvisas till medf ljande instruktionsmanual Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s DIESE SEITE WURDE ABSICHTLICH FREI GELASSEN Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger u Artikel Nummer 541B027AAJ Brooks Digitaler MFC s amp MFM s Juni 2010 EINGESCHR NKTE GARANTIELEISTUNGEN Der Verk ufer garantiert dass die vom Verk ufer hergestellten Waren frei von Fehlern hinsichtlich Material oder Ausf hrung bei normaler Verwendung un
98. wert Masse e Versorgung Masse e Erdung ber Geh use der Einheit Pin Belegung siehe Tabelle 1 3 Anschl sse f r elektrische Ein Ausg nge siehe Abbildungen 2 2 2 3 und 2 4 Der Brooks Massedurchflussregler arbeiten als Stromsenke bei analogem Sollwertsignal von 4 20mA Informationen ber die Eingangsimpedanz finden Sie in den technischen Daten von Brooks Der Brooks Massedurchflussregler arbeiten als Stromsenke bei analogem Sollwertsignal von 4 20mA Informationen ber die Eingangsimpedanz finden Sie in den technischen Daten von Brooks Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt 2 Installation X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Brooks Digitaler MFC s amp MFM s F r ein DeviceNet Ger t werden die 11 25 VDC Spannungsversorgung und die Kommunikationsein ausg nge ber einen standardm Bigen 5 Pin Mikrorundstecker versorgt 15 PIN SUB D STECKER BROOKS Auswerteelektronik SUB D 15 PIN Massedurchflussregler messer FUNKTION Sollwert Masse Eingang Drahtfarbe SCHWARZ D O B Durchflusssignal 0 1 5 V Ausgang TTL Alarm Open Collector Ausgang Durchflusssignal 0 4 20 mA Ausgang Stromversorgung 13 5 VDC bis 27 VDG Nicht belegt Sollwert 0 4 20 mA Eingang D z WEISS ROT GRUN ORANGE BLAU WEISS SCHWARZ NB IO O0 D 0 ak ND BIO O TN al OP Sollwert 0
99. zur ck siehe Reinigungsverfahren Wenden Sie sich an Brooks Instrument Ventil nicht mehr justiert gilt f r Massedurchflussregler Wenden Sie sich an Brooks Instrument Ventilf hrungsfeder defekt gilt f r Massedurchflussregler Ger t weist starke Abweichungen Sensor teilweise verstopft auf Durchfluss ist h her als Reinigungsverfahren Abschnitt 4 gew nscht 1 2 Ger t weist starke Abweichungen Teilweise verstopfter Str mungsteiler austauschen oder auf Durchfluss ist niedriger als Str mungsteiler reinigen gew nscht Regler schwingt gilt f r Druckgef lle oder Eingangsdruck Dr cke an Originalspezifikationen Massedurchflussregler weicht von kalibrierten Werten ab anpassen Sensor reinigen siehe Ventil nicht mehr justiert Wenden Sie sich an Brooks Instrument Instabiler Eingangsdruck Externen Druckregler berpr fen Defekte PC Platine Wenden Sie sich an Brooks Instrument 4 7 4 8 Abschnitt 4 Wartung Brooks Digitaler MFC s amp MFM s DIESE SEITE WURDE ABSICHTLICH FREI GELASSEN Installation und Bedienungs Handbuch X TMF SLA5800 MFC ger Artikel Nummer 541B027AAJ Juni 2010 Installation und Bedienungs Handbuch Abschnitt A CE Bescheinigung des X TMF SLA5800 MFC ger Massedurchflussger ts Artikel Nummer 541 B027AAJ o l Dansk Brooks Instrument 407 West Vine St Hatfield PA 19440 U S A Emne gt Till g til instruktions manual Reference gt CE m rkning af

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