BS77 - Hegewald & Peschke Mess
Contents
1.2. BS77 120N NS 170N NS 220N NS L1 L2 E L2 2 4 60 2M0000000000 98 2 50 2000000000 F 25 25 25 9 8 Z I N E 55 66 We 6 6 ole 46 NIS N zi 12 N 00000 1000 mm 1 t 29 AB 3 5 44 2 03 6 265 0021 54 _ 000003000 2 03 50 00 8 2 0 50 4 25 249 55 3 05 04 14 4000 11 12 5 25 er 577 120 NS 146 50 38 60 577 170 5 16 75 0000 00000000 e mm BS77 220N NS 246 100 BS77 270N NS 320N NS 100 8M4 DOOOOOOO0000 2 M4 5 dM n eo T p 1 N 2 45 9 ALP 00000 3000 95 2 2350 10 98 2 05 SE 88 EHE mm 04 25 15 25 5 05 ot 000 T ort L1 25 42 38 en BS77 270N NS 296 BS77 320N NS 346 0000 000000 r
3. AO 1
4. BD BS77 1 HEAD IN x 2 CHI S SIN G GND 3 CH2 C COS G GND BS777 00000000 800000000 Fre CH1 9 C r CH Ny Ne 5 zoos oC 0 2 G i 0000000 CH1 CH2 00000 BS700000000 4 1 CH2 INPUT COUPLING GND POSITION 5 CH2 INPUT COUPLING DC 6 TIME DIV X Y MODE 7 CHI CH VOLTS DIV J 0 5 V DIV 8 ON 10 577 3 4 2 000000
5. Oo Oo Oo Oo 0000 BS77 J 9 34 3 4 1
6. BS77 i UU EEN 1 LE bi 1 12 a a 1 us 2 2 L AN EIER nne no uu 2 22 2 EIE 3 uu u unu u Sa 3 EJ 3 br bp M 4 CARD RE aaa ma 4 e P IE EJ Ji aa a a sS 6 32 L 577 10 NS 30N NS 6 32 2 577 70 NS 420 NS 6 9 3 4 E TI
7. 3mW 780 nm 50mm
8. 10 30 mm z 2mm 1mm 70 mni 10 5mm 4 12 1 2 1000 mm 1 1000 mmi SEENEN EE enee 1 D 1 2 L DC O1V DIV X 1 GE 1 uyawan RES 1 x prc EM 1 2 J BS77 23 000000
9. E gt O 1 Safety Precautions Sony Manufacturing Systems Corporation products are designed in full consideration of safety However improper handling during operation or installation is dangerous and may lead to fire electric shock or other accidents resulting in serious injury or death In addition these actions may also worsen machine performance Therefore be sure to observe the following safety precautions in order to prevent these types of accidents and to read these Safety Precautions before operating installing maintaining inspecting repairing or otherwise working on this unit Warning indication meanings The following indications are used throu
10. L1 100 40 100 8 M4 MaBstabsklammer Befestigungsschraube Erfassungsposition f r Ma stabsignal 98 2 2 4 Bezugsplatten Befestigungsschraube 25 25 Z 1 z 2 3 Fa Eo 6 6 y a 8 al Ur 2 gt 1 X 29 38 44 2 03 6 H he 21 5 4 45 9 Nor Semi er O t p Kabell nge 3000 J 9 5 2 03 4 Senkungstiefe 5 98 40 05 Einheit mm 2 5 049 88 25 16 25 5 05 st Modell L1 25 38 BS77 270N NS 296 BS77 320N NS 346 Abstandsstiick t 2 Bezugsplatte t 2 Ma stabsklammer BS77 16 0 577 370 5 420 5 L1 12 12 12 12 ale Erfassungsposition 60 10 4 Ma stabsklammer Befestigungsschraube f r MaBstabsignal 98 2 50 2 M4 Bezugsplatten Befestigungsschraube T F7 25 25 25 25 Z
11. 577 J 15 BS77 370N NS 420N NS L2 L2 L2 L2 79 7 5 10 M4 000000000000 2 M4 0000000000 25 25 2 05 1000 mm 14 23 7 44 2 03 6 5r 2 3 50 50 25 10 25 38 2 45 9 J 0000 B 3000 000000 t2 577 370 5 396 75 mm L1 L2 577 420 5 446 100 16 J BS77 General Precautions When using Sony Manufacturing Systems Corporation products observe the following general precautions along with those given specifically in this manual to ensure proper use of the products Before and during operations be sure to check that our products function properly Provide adequate safety measures to prevent damages in case our products should develop malfunctions Use outside indicated specifications or purposes and modification of our produ
12. Height2 e422 4401732 0 827 amp 32 126 5 KeS 6 0 236 Ze em l 9 5 0 38 3 4 0 134 5 0 20 SE Z 3 4 0 134 countersunk depth 5 0 20 ENT Model L1 L2 25 0 9847 v S 2 05 0 197 04 0 1579 50 1 969 040 A 8 ou 577 120 5 146 50 Reference hole 05 0192 0 15707 0 197 0 016 ptu 5 75 1 969 a D e 218 8 4 BE BS77170N NS 196 75 2500984 42 1 654 m Ir 9 7 72 2 953 38 1 5 80 2 362 im BS77 220N NS 246 100 D n Spacer t 2 0 08 Reference plate t 2 0 08 Scale clamp Unit mm inch 9 69 3 94 BS77 270N NS 320N NS I 100 3 94 40 1 575 100 3 94 P 9 8 eer Scale signal detection position 5 0 9867 2 0 079 plete m g 5 5 25 0 984 9 8 0 386 _ ee N A io N e e 2 05 0 197 0 394 Spacer t 2 0 08 H 29 1 142 38 1 496 44 1 732 26 5 1 043 16 0 63
13. countersunk depth 5 0 20 Cable length 3000 9 8 ft 98 3 86 Q4 099 0 157 0 7 Reference hole Reference plate t 2 0 08 24 5 0 965 0 138 0 055 oW 928 e 25 0 984 IS 04 115115 04 0 016 0 157097 397 S 1 4 x S gt 18 218 e ss 12 047 38 1 5 Scale clamp 9 13 8 0 Unit mm inch 14 E BS77 577 120 5 170 5 220 5 38 1 496 8 L1 12 12 n 6 M4 scale clamp mounting screw 60 2 362 2 M4 reference plate mounting screw 50 1 969 E Scale signal detection position 25 0 984 25 0 984 25 0 984 2 9 8 0 386 zu NS 9 6 lio 20 NOK e e 5 9 S ll e length 1000 3 3 ft ER 29 1 142 0 138
14. L6V pp 16 A B 00 405000000 0 8 8 J 11 BS77 3 5 S 1 4 x 8 M3x 18 ER
15. em te tems 9 3 4 Signal Adjustment eee eee tet 10 3 4 1 Signal Adjustment Preparations see 10 3 4 2 Azimuth Adjustment aa 11 3 5 Completion of Mounting and Adjustment sese 12 4 Spcifications J J J 13 nnmnnn nnen 14 ii E BS77 1 Outline 1 1 Features Simple use high reliability common for all Magnescale products High accuracy and high resolution equivalent to a light wave interferometer system Stable measurement unaffected by temperature disturbed air and air pressure Interpolation accuracy repeatability and return error are all held to within 0 01 um 0 39 pinch 1 2 Names of Parts Connector plug Mounting screw Reference plate lt O lt gt Detector head assembly Slider Head amplifier Compensation value label 2 Compensation value label Scale measuring length 10 30 mm measuring length 70 mm or more BS77 1 2 Mounting Precautions 2 1 When Mounting The scale and the detector head are adjusted to each other If more than one scale unit is to be used only combine them with the detector heads provided in the same packing If you do not know which scale and detector head to use together refer to the serial No on the supplied accuracy chart Consider the mounting
16. H 46 6 0 3 6 0 OO mm 0 03 5 77 0000000 38302 N 2M30 6 w 46 11 Rm ax 12 5S BS77 270N NS 298 577 320 5 348 BS77 370N NS 420 5 ke Li 12 M4 1 6 12 _ L2 x 12 T 12 50 40 8 0000000 5 5 5 E 5 1111011 ffe SE 6 E N Rm55 DD 1 12 BS77 370N NS 398 75 577420 5 448 100 577 J 5 32 00000000 3 2 1 577 10 5 30N NS M3x89 9 5 3 2 2 BS77 70N NS 420N NS 1
17. Small amount Alcohol uiae te d e eee n elas Small amount 2 E BS77 2 3 Before Mounting 2 3 1 Compensation Value The hologram grating pitch PG of the scale is approximately 0 55 um 22 pinch while the detector signal pitch Rs is theoretically 1 4 of this that is 0 14 um 5 5 pinch This value differs slightly from scale to scale Therefore it is necessary to additionally make the pitch compensation for each scale in order to detect precise displacements The lowest four digits of the detector signal pitch for each scale Ps 20 1379 l umat20 C 68 F show the compensation value Be sure to set the detector to the compensation value of the scale before operation When you operate the unit in an environment where the temperature is not 20 C 68 F To operate the unit an environment where the temperature is not 20 C 68 F adjust the compensation value as shown below to make a temperature adjustment The following example shows the adjustment method for an operating temperature of 23 C 73 F Example The compensation value shown on the compensation value label is 4 0 1379 x 1 23 20 0 7 10 9 0 1379 0 Temperature difference from 20 C 68 F Coefficient of thermal expansion of the scale See page 13 The compensation value after temperature adjustment will be 5 Set the detector to this value 2 3 2 Compensation Value Setting S
18. 3 Check the mounting surface and the datum surface of the scale for dust and dirt If the surfaces are dirty wipe them clean with gauze moistened with alcohol Mounting surface Datum surface 4 Insert the scale between the scale clamp and the mounting surface while pressing the scale datum surface lightly against the reference abutment surface Note Gradually and alternately tighten screws A and B of the scale clamp indicated in the figure Final fastening torque 1 4 N Om 14 kgf cm 577 70 5 270N NS 320 5 BS77 120N NS 170N NS 220 5 370N NS 420 5 B S e A e Fig 1 Note When pressing the scale against the reference surface lightly press two points on the edge of the scale surface opposite the reference surface with your fingers with a force of 9 8 1 kgf or less as shown in Figure 1 below If the middle part of the scale is pressed with a force of 4 9 N 0 5 kgf or more as shown in Fig 2 below or if the scale is installed with deformation the specified accuracy cannot be achieved This also applies to the following procedures If it appears that the scale has been bent by force loosen the scale clamp and mount it again properly CORRECT 577 7 5 Leave the scale
19. BS77 70N NS 270N NS 320N NS BS77 120N NS 170N NS 220N NS 370N NS 420N NS M4 x 8 21 III d 6 J BS77 577 70 5 270 5 320 5 m e BS77 120N NS 170N NS 220 5 370N NS 420 5 2 A gt ATI
20. Saa 10 SAL 10 3472 EE E 11 u ass 12 13 14 ii J BS77 LOU 1 1 1 100 12 577 J 1 2 2 1 00000000
21. 2310000000 Pa 0 55 um Ps 1 4 0 14 20 C Ps 0 1379_ Jum 4 20 C 20 C 23 C 1 2 3 4 01379 1 2 3 4 x 1 23 20 x 07 x 109 20 1379 1 2 0 5 20 C 13 1 2 Lo 5 2 32 000000000 BD 577 J 3 3 00000000 DIN Ta EE she E RR saa Suku usa IT KC Kr Rit DREES 10 SAT pasta n a DT
22. 9 5 0 38 2 3 4 0 134 countersunk depth 5 0 20 8 ly 98 3 86 3 25 0 984 1 88 3 465 94 D E 0916 o4 0 157 099 25 150 591 25 5 5 0 197 015779 0197 d m Reference hole 0 984 0 984 i 5 5 d D sum t E Oto 9 EI oS at Ta D Saz Sok e N 42 1 654 e 12 0 47 38 1 5 Model L1 Reference plate t 2 0 08 Scale clamp BS77 270N NS 296 1 1 7 Unit mm inch BS77 320N NS 346 13 7 BS77 E 15 BS77 370N NS 420N NS Scale signal 984 L2 detection position 25 0 984 Cable length 1000 3 3 ft Height 21 0 827 64 8 N 12 12 12 10 M4 scale mounting screw 2 M4 reference plate mounting screw 5 25 0 984 5 S 9 8 0 386 D E gp xr 5 26 oleo Sa Solo 9 s TZ A N 29 1 142 38 1 496 2 52 44 1 732 26 5 1 043 32 1 26 6 0 236 io m 53 2 09 47 9 5 0 38 2 03 4 0 134 countersunk depth 5
23. 577 10 5 30N NS 14 5 0 571 8 oio 1 i t Scale signal detection position 19 8 0 386 L DEE L2 2 03 4 0 134 S 1146 0 181 8 0 315 3 0 118 E LIE ue cA AO H Cable length 1000 3 3 ft 1 JE S2 si 29 1 142 a Height 21 38 1 496 5 0 827 ess 441192 2 0365 0 140 26 511 048 S 321 26 i sE hes 6 0 236 45 9 1 81 e 1 12 ee j Cable length 3000 9 8 ft BS77 10N NS 48 1 89 36 1 417 9 5 0 38 03 4 0 134 5 0 20 d ER E 7 03 4 0 134 countersunk depth 5 0 20 Unit inch BS77 30N NS 68 2 677 46 1 811 577 70 5 96 3 78 4 M4 scale clamp mounting screw 2 M4 reference 9 8 20 0 787 25 0 984 plate mounting screw Scale signal detection position 20 0 787 0 984 P 9 8 0 386 SI e 14 0 906 0 551 46 6 1 8357 5 0 197 56 2 205 NI 27 5 1 083 29 1 142 aen gei 3 5 0 142 64 9 553 440 82 1 26 Height 21 0 827 6 0 236 782 26 5 1 043 45 9 1 81
24. 12 55 500 pinch 46 1 81 Model L1 BS77 270N NS 298 11 73 Note refers to the machine guide Unit mm inch BS77 320N NS 348 13 7 BS77 370N NS 420N NS L1 12 M4 depth 6 0 24 L2 7 L2 RA L2 ae L2 1 50 0 3 1 969 0 011 9 Scale mounting surface 25 0 2 25 0 2 25 0 2 25 0 2 25 0 2 N 0 984 0 008 0 984 40 008 0 984 0 008 0 984 0 008 0 984 0 008 S 6 35 250 pinch 0 984 30 008 J gt 710 01 0 000397 1 5 2 1 1 2710 01 0 00039 S TIBRE Z Z La Q4 2 8 S Ql ar e 9 t 9 8 0 2 0 386 0 008 Scale mounting surface H gt T o 9 o gt 3 1 496 em Rmax 12 5S 500 pinch 46 1 81 Model L1 L2 BS77 370N NS 398 15 67 75 2 953 BS77 420N NS 448 17 64 100 3 94 0 03 0 00118 2277 Slider mounting surface 38 21 2 MS OIG Note refers to the machine guide Unit mm inch BS77 E 5 3 2 Scale Mounting 3 2 1 BS77 10N NS and 30N NS Check that there is no dust etc on the mounting surface and mount the scale parallel to the machine guide as shown in the figure Fastening torque 0 8 N m 8 kgf cm The reference surface is shown by the dotted and dashed line in the figure Adjust the parallelism with the d
25. Seva tees od 1 M glichkeit zur 2 Quadrant X Y Anzeige Eingangsempfindlichkeit DC 0 1 V DIV X Y Frequenzband 1 MHz oder mehr Werkzeuge Sechskant Stiftschl sse 13 mm 2 mm u lu u SSO je 1 Kreuzschlitzschraubendreher NE TES SSR ORLA Du 1 Verschiedenes s at deen aedes nt 1 Satz oen geringe Menge gt CATkohol us rete e ht utes geringe Menge 2 BS77 2 3 Vor der Montage 2 3 1 Kompensationswert Die Hologramm Gitterteilung PG des Ma stabs betr gt ca 0 55 um w hrend die Detektorsignalteilung RS theoretisch 1 4 dieses Wertes d h 0 14 um betr gt Dieser Wert ist je nach Ma stab geringf gig unterschiedlich Daher ist eine zus tzliche Teilungskompensation f r jeden Ma stab notwendig um genaue Verschiebungen zu erkennen Die vier niedrigerwertigen Stellen der Detektorsignalteilung f r jeden Ma stab PS 0 1379 J um bei 20 C stehen f r den Kompensationswert Stellen Sie den Detektor vor der Inbetriebnahme auf den Kompensationswert des Ma stabs ein Wenn die Umgebungstemperatur von 20 C abweicht Soll die Einheit in einer Umgebung betrieben werden deren Temperatur von 20 abweicht muf der Kompensationswert gem der nachstehenden Beschreibung eingestellt werden Das folgende Beispiel zeigt die Einstellung f r eine Betriebstemperatur von 23 C Beispiel Der auf d
26. 12 J 577 4 10 30 70 120 170 220 270 320 370 420 mm 48 mm 0 10mm 68mm 0 0 30mm OOO 26mm q 70 420mm 000 2mm Q 10 30mm 000 10mm 70 420mm 20011 NS 0 000 1030mm 0 03 un I 70 120 mm 0 08 um 170 220 mm 0 15 270 mm 0 20 um 320 mm 0 34 370 mm 0 39 um 420 mm 044 um NOOO 000 10 30mm 0 06 uni 70 120 mm 0 20 um 170 220 mm 0 35 um 270 370 mm 050 un 420 mm 0 65 002 um 00Lum OOOO 07 10 OOOO 10 30 0000 10 50 C 10 30 70 120 170 220 270 320 370 420 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 3 8 2 2 3 1 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 M3x 18 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 M4x 8 6 8 8 8 10 10 2 2 Hood 003 4 4 2 2 2 2 2 2 2 2 004 6 8 8 8 10 10 12 2 1 1 1 1 1 1 1 1 _ _ 2 2 2 2 2 4 4 _ 2 3 3 3 4 4 5 5 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 M4x 8 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1
27. 6 8 8 8 10 10 12 12 Unterlegscheibe 3 4 4 2 2 2 2 2 2 2 2 Unterlegscheibe Nennma 4 6 8 8 8 10 10 12 12 Bezugsplatte 1 1 1 1 1 1 1 1 Abstandsst ck 2 2 2 2 2 4 4 Ma stabsklammer 2 3 3 3 4 4 5 5 Kabelklemme _ Kleine Schraube M4 x 8 Genauigkeitstabelle Verpackungsinhalt Detektorkopf inkl Kopfverst rker und AnschluBkabel MaBstab 1 Satz Standardzubeh r 14 577 5 AUSSENABMESSUNGEN BS77 10N NS 30N NS Erfassungsposition f r MaBstabsignal Kabell nge 1000 H he 21 Modell L1 L2 95 2 03 4 Senkungstiefe 5 BS77 10N NS 48 36 Einheit mm BS77 30N NS 68 46 BS77 70N NS 4 M4 MaBstabsklammer Befestigungsschraube 96 2 4 Bezugsplatten _Erfassungsposition f r MaBstabsignal 98 2 20 20 Befestigungsschraube
28. 10 SAD ken Dn Qua er ee A No Rieter taney tu ie Bed nes Seer oe Se 11 ke Beie H EE 12 3 1 1 2 0 0 635 ooo 0 01 mni I 0 01 mni I 0 0 12 55 0 03 mn I BS77 10N NS 30N NS 0000000 ss 0 01 M Z 0 01 0000000 a oe mm 577 10 NS 215 Soi NS 1315 BS77 70N NS 100 88 0 3 3506 Wc gt 0 2 25 0000000 46 6 0 3 0 03 mm 4 J BS77 BS77 120N NS 170N NS 220N NS L1 L2 L2 Le 50 0 3 DOO0000 gwne 25 0 2 XJ Rmax 6 3S TUI gt m 0000000 770 03 A E Z 0000000 0000000 E 2 M3 6 00 mm Rmax 12 5S 11 12 00000000000 Dee D 46 6 0 3 577 170 5 1988 75 577 220 5 248 100 577 270 5 320 5 L1 10 M4 6 100 40 100 88 0 3 00000010 25 0 2 25 02 25 0 2 25 0 2 Rmax 6 3S 7770 01 M d Z 2 2 2 A 0 01 N 0000000
29. LAN m 14 kgf cm BS77 70N NS 270N NS 320N NS BS77 120N NS 170N NS 220N NS 370N NS 420N NS BS77 J 7 A gt B gt ATII 14 LAN m 5577 120 5 170 5 220 5 370N NS 420 5 577 70 5 270 5 320 5 14kgf icm 1L4N m BS77 270N NS 320N NS BS77 370N NS 420N NS BS77 8 J 3 3
30. the condition of Fig 1 for one hour or more until the scale temperature stabilizes 6 Fix the remaining scale clamps by alternately tightening the screws Final fastening torque 1 4 Nem 14 kgf cm BS77 70N NS 270N NS 320N NS BSS77 120N NS 170 N NS 220N NS 370N NS 420N NS 7 Fasten scale clamps on both ends of the scale with the same torque Final fastening torque 1 4 14 kgf cm BS77 270N NS 320N NS Spac 8 Check the surface of the scale for oil and dust If the surface is dirty wipe it clean with gauze moistened with alcohol Be sure to wipe off oil and dust on the surface thoroughly BS77 8 E 3 3 Slider Mounting 1 Move the machine table and adjust the mounting center of the slider to roughly the center of the scale eck that the gap between the slider and the scale 1s even then semi tighten the slider with the sup 2 Check that the gap b he slider and the scale i h i tighten the slider with the sup plied mounting screws Slider mounting screw Scale M3 x 12 hex socket head cap screw Scale clamp Plain washer nominal 3 A Reference plate Slider BS77 E 9 3 4 Signal Adjustment 3 4 1 Signal Adjustment Preparations Connect the detector BD series to the BS77 scale u
31. 6 G 2 Befestigen Sie die MaBstabsklammern provisorisch 1 oder 2 ganze Umdrehungen weniger als die halb angezogene Position mit den Befestigungsschrauben wie in der Abbildung gezeigt BS77 70N NS 270N NS 320N NS BS77 120N NS 170N NS 220N NS 370N NS 420N NS M4 x 8 77 Unterlegscheibe Ma stabsklammer e 2 CH CH P Abstandsst ck e T 22 S d Bezugsplatte 65 LI ds 3 berpr fen Sie Montagefl che und Bezugsfl che des Ma stabs auf Staub und Schmutz Falls die Fl chen verschmutzt sind wischen Sie sie mit alkoholgetr nkter Gaze ab Montagefl che Bezugsflache 4 Schieben Sie den Ma stab zwischen Ma stabsklammer und Montagefl che ein w hrend Sie seine Bezugsfl che leicht gegen die Sto grundfl che dr cken Hinweis Ziehen Sie die in der Abbildung mit A und B gekennzeichneten Schrauben der Ma stabsklammer schrittweise und abwechselnd an Endanzugsmoment 1 4 Nem 14 kgf cm BS77 70N NS 270N NS 320N NS BS77 120N NS 170N NS 220N NS 370N NS 420N NS B S O A O Abb 1 BS77 G 7 Wenn Sie den MaBstab gegen die Bezugsfl che dr cken ben Sie mit den Fingern an zwei Stellen einen Druck von 9 8 1 kgf oder weniger auf die der Bezugsfl che gegen berliege
32. Z 1 2 3 19 R 6 6 a 4 6 wo H he21 F bee 45 9 SH DG Kabellange 3000 9 5 ya 03 4 Senkungstiefe 5 98 38 049 25 IIR 0 4 1 4 04 125 15 25 5 05 Bezugsbohrung E gt qe L Lo t a L 42 12 2 60 38 Bezugsplatte t 2 MaBstabsklammer Einheit mm BS77 G 15 BS77 120N NS 170N NS 220 5 T L2 F 4 6 M4 MaBstabsklammer Befestigungsschraube 2 M4 Bezugsplatten Befestigungsschraube Erfassungsposition f r MaBstabsignal 25 ol zl a M Kabell nge 1000 29 38 44 2 03 6 H he 21 64 32 N 6 gu Kabell nge 3000 72 034 Senkungs 2 05 Modell L1 L2 25 BS77 120N NS 146 50 38 BS77 170N NS 196 75 Abstandsst ck t 2 Bezugsplatte t 2 MaBstabsklammer Einheit mm BS77 220N NS 246 100 BS77 270N NS 320N NS
33. und Einstellteilen bzw die Ausf hrung von Verfahren die nicht in dieser Bedienungsanleitung beschrieben sind k nnen zu gef hrlicher Strahlungsbelastung f hren DANGER INVISIBLE LASER RADIATION WHEN OPEN AVOID 7 DIRECT EXPOSURE TO BEAM CERTIFICATION PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21 CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE OF MANUFACTURE SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION 1 10 KIYOKU CHO KUKI SHI SAITAMA 346 0035 JAPAN MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION 2 933 725 CAUTION D0 NOT REMOVE COVER REFER SERVICING TO QUALIFIED PERSONNEL PAS DEMONTER LE CAPOT LAISSER REVISER A PERSONNEL DIPLOMEE SONYse MADE IN JAPAN LASERSCALE BS77 POWER Ser No Sony Manufacturing Systems Corporation BS77 5
34. 0 20 2 5 0 197 2005 Spacer t 2 0 08 04 o 0 157 0 002 50 1 969 42 1 654 60 2 362 Reference plate 2 0 08 Unit mm inch 25 0 984 T 2 5 8 04 I ous 0016 1 4 0 0557 du S IS 12 047 5 38 15 Scale Model L1 12 BS77 370N NS 396 15 6 75 2 953 BS77 420N NS 446 17 56 100 3 94 16 E BS77 Allgemeine Vorsichtsma regeln Beachten Sie bei Verwendung unserer Produkte die folgenden allgemeinen VorsichtsmaBregeln neben den in diesem Handbuch speziell vermerkten Hinweisen um korrekten Gebrauch der Produkte zu gew hrleisten Vergewissern Sie sich vor und w hrend des Betriebs da das Produkt einwandfrei funktioniert Treffen Sie angemessene um im Falle von Funktionsst rungen Sch den zu vermeiden Der Einsatz auBerhalb der angegebenen Spezifikationen oder Zwecke und die Modifikation unserer Produkte haben den Verfall der Garantie auf die angegebenen Funktionen und Leistungen unserer Produkte zur Folge Bei Verwendung unserer Produkte in Verbindung mit anderen Ger ten werden je nach den Betriebsumgebungsbedingungen die in dieser Anleitung angegebenen Funktionen und Leistungen m glicherweise nicht erzielt Daher sollte die Kompatibilit t vorher gr
35. SS 5 2 8 CO 6 6 ole 48 74 in 2 kees Lx 7 G 2 Kabell nge 1000 H he 21 84 45 9 6 gt Kabell nge 3000 9 5 2 03 4 Senkungstiefe 5 2 05 gators 50 94 Bezugsbohrung 5305 1 4 A L Einheit mm oF e Modell L1 L2 BS77 370N NS 396 75 Abstandsst ck t 2 Bezugsplatte t 2 Ma stabsklammer BS77 420N NS 446 100 BS77 G 17 STUY SD FMD A EECH 2 D A ANE LoCo E LEB 5 C GALORE A LZ BURA GE REFEKE ERGSZAN CAV HUSTLE TAIEZHELETF The material contained in this manual consists of information that is the property of Sony Manufacturing Systems Corporation and is intended solely for use by the purchasers of the equipment described in this manual Sony Manufacturing Systems Corporation expressly prohibits the duplication of any portion of this manual or the use thereof for any purpose other than the operation or maintenance of the equipment described in this manual without the express written permission of Sony Manufacturing Systems Corporation Le materiel contenu dans ce manuel consiste en informations qui sont la propri t de Sony Manufacturing Systems Corporation et sont destin es exclusivement l usage des acqu reurs de l quipement d crit dans ce manuel Sony Manufacturing Systems Corporation interdit formellement la copie de quelque partie que ce soit de ce man
36. Schieber Montagefl che 46 6 0 3 Schieber Montagefl che Einheit mm Rmax 12 5S Modell L1 L2 Hinweis M bezieht sich auf die Maschinenf hrungsbahn BS77 120N NS 148 50 BS77 170N NS 198 75 BS77 220N NS 248 100 BS77 270N NS 320N NS L1 10 M4 Tiefe 6 100 Ad 100 88 10 3 mscr 5 02 254202 2540 25 0 2 72 5 77001 M 785 J 0 01 ite MaBstab Montageflache a a 9 8 0 2 9 0 03 A En 2 Einheit mm x Schieber Montageflache Schieber Montageflache E 38 0 2 2 MS Tiefe 6 22 46 BS77 270N NS 298 Hinweis M bezieht sich auf die Maschinenf hrungsbahn BS77 320N NS 348 BS77 370N NS 420N NS L1 12 4 Tiefe 6 L2 zt L2 L2 Ma stab Montagefl che 40 25 0 2 u Y 25 40 2 Rmax 6 3S 0 01 M e E 1 I 8 Ma stab Montagefl che i Flo ol 0 03 d 2 m Schieber Montagefl che Schieber Montagefl che 38 0 2 N 2 M3 Tiefe 6 Einheit mm Rmax 12 5S Modell L1 L2 BS77370N NS 398 75 Hinweis M bezieht sich auf die Maschinenf hrungsbahn BS77420N NS 448 100 BS77 G 5 3 2 Montage d
37. ndlich berpr ft werden Vorsichtsma regeln zum Betrieb Der Halbleiterlaser dieser Ma stabseinheit strahlt unsichtbares Laserlicht mit einer Wellenlange von 780 nm und einer maximalen Ausgangsleistung von 3 mW ab vom Detektorkopf abgestrahlte unsichtbare Laserlicht ist gesundheitssch dlich Aus diesem Grund darf die Abdeckung der Detektorkopfeinheit auf keinen Fall ge ffnet werden Da die Gefahr von Leckstrahlung besteht blicken Sie bei eingeschalteter Stromversorgung nicht die MaBstabs Einschuboffnungen und versuchen Sie niemals irgendwelche anderen Gegenst nde auBer dem Ma stab in die Ma stabs Einschub ffnungen einzuf hren jedem Ma stab ist ein Aufkleber mit dem jeweiligen Skalenteilungs Kompensationswert angebracht Der Detektor mu vor dem Betrieb auf diesen Wert eingestellt werden Siehe Seite 3 CLASS 1 LASER PRODUCT LASERSCHUTZKLASSE 1 PRODUKT TO EN 60825 Der Stecker der Ma stabseinheit ist mit einer Kappe zum Schutz gegen statische Elektrizit t versehen Entfernen Sie diese Kappe erst unmittelbar vor dem Anschlu des Detektors Vermeiden Sie eine Ber hrung der Steckerkontakte nach dem Abnehmen der Schutzkappe weil dies zu Funktionsst rungen f hren k nnte Schalten Sie die Stromzufuhr erst ein nachdem Sie alle Anschl sse an Ma stabseinheit und Detektor hergestellt und mit Schrauben gesichert haben Der Stecker darf auf keinen Fall bei eingeschalteter St
38. ndlich von der Oberfl che ab BS77 G 9 3 3 Montage des Schiebers 1 Verschieben Sie den Maschinentisch und richten Sie die Montagemitte des Schiebers ungef hr auf die Mitte des Ma stabs aus 2 Vergewissern Sie sich da der Abstand zwischen Schieber und Ma stab gleichm ig ist und befestigen Sie dann den Schieber provisorisch mit den mitgelieferten Befestigungsschrauben Schieber Befestigungsschraube Ma stab Inbusschraube M3 x 12 Ma stabsklammer Unterlegscheibe Nennma 3 A lt Bezugsplatte Schieber 1 0 G BS77 3 4 Signaleinstellung 3 4 1 Vorbereitung zur Signaleinstellung Schlie en Sie den Detektor BD Serie an die Ma stabseinheit BS77 an 1 Nehmen Sie die Schutzkappe vom Kopfstecker der Ma stabseinheit ab und schlie en Sie den Kopfstecker an den Eingang HEAD IN des Detektors an Ber hren Sie die Steckerkontakte nicht mit den Fingern weil sonst die internen Elektronikteile durch statische Elektrizitat besch digt werden k nnen Wenn der Stecker nicht angeschlossen ist z B w hrend des Transports bringen Sie unbedingt die Schutzkappe an Schalten Sie vor dem AnschlieBen oder Abtrennen des Steckers unbedingt die Stromzufuhr des Detektors aus Verbinden Sie die Sonde des Oszilloskops mit S SIN und G GND des Signaleinstellteils des Detektors Verbinden Sie di
39. position Abbe error and the environmental conditions temperature humidity vibration and dust thoroughly Do not lead the head cable through the same duct with the power cable Set the maximum travel of the machine s moving part shorter than that of the scale Measuring length 10 or 30 mm Scale s max travel measuring length 2 mm 0 08 1 mm 0 04 per each side Measuring length 2 70 mm or more Scale s max travel measuring length 10 mm 0 39 5 mm 0 20 per each side If the scale s max travel is exceeded the scale unit signals will not be output and an error will occur For the scale unit scale signal adjustment is necessary after mounting When mounting the scale to the machine make sure that there is enough space for the adjustment See pages 4 to 12 Be sure to set the detector to the compensation value of the scale before operation 2 2 Mounting Requirements Measuring Instruments Lever type dial gauge scale pitch 2 1000 mm 0 00008 or 1 1000 mm 0 00004 1 Dialgauge standa e e HERES 1 Oscilloscope p 1 Capable of 2 quadrant X Y display Input sensitivity DC 0 1 V DIV X Y frequency band 1 MHz or more Tools Hexagonal wrench 3 mm 0 118 2 mm 0 079 nennen enne nentes 1 each 1 Miscellaneous suh IE t ERE RED ERI 1 set eru
40. und Genauigkeit der Montagefl che 2 berpr fen Sie die Genauigkeit der Befestigungsschrauben Koordinaten Ma stab Montagefl che Rauheit Rmax 6 35 0 01 oder weniger Parallelitat zum Maschinen Verfahrweg 0 01 mm oder weniger Schieber Montagefl che Rauheit Rmax 12 5S Parallelitat zum Maschinen Verfahrweg 0 03 mm oder weniger BS77 10N NS 30N NS Ma stab Montagefl che ER L Rmax 6 3S 6 0 01 M 4 3 Tiefe 6 Z 0 01 MaB i stab Montagefl che Schieber Montageflache Pu Schieber Montagefl che 46 S Modell L 12 55 Einheit mm BS77 10N NS 21 5 Hinweis M bezieht sich auf die Maschinenf hrungsbahn BS77 30N NS 31 5 BS77 70N NS Ma stab Montagefl che 6 4 Tiefe 6 6 35 0 01 M 271 0 01 2 0 03 Schieber Montagefl che 23 Ma stab Montagefl che 46 6 0 3 10 8 Schieber Montagefl che GRE 2 MB Tiefe 6 12 55 mm Hinweis bezieht sich auf die Maschinenf hrungsbahn 4 BS77 577 120 5 170 5 220 5 0 01 M Z 0 01 0 03 Ma stab Montagefl che s LZ
41. unit connector and the detector receptacle by fixing them with screws before switching the power on Never insert or pull out the connector when the power switch is on Do not pull at the cable forcibly or bend it excessively Bending radius inside 50 mm or more Use the BS77 approximately 10 minutes after power is supplied to the unit when the temperature of the detector head reaches a stable state The BS77 is a precision measuring instrument Handle it with extreme care so that no excessive shock is applied to it For transport be sure to pack it in the same way as it was packed at the time of purchase BS77 E i Contents 1 E E e fre A et aaa 1 1 2 e Ete HEN SERIE 1 2 Mounting Precautions 2 2 1 Mounting S 2 2 2 Mounting Requirements eese 2 2 3 Before Mounin atese ta i a ae teet it od RERO 3 2 3 1 Compensation Value ian 3 2 3 2 Compensation Value Setting 2 3 3 Mounting and Adjustmen t 4 3 1 Mounting Surface Preparations enne 4 3 2 Scale Mounting ul 6 3 2 1 BST77 10N NS and 85 202000000 0 01 6 3 2 2 BS77 70N NS to 420N NS AA 6 3 3
42. 0 3 4 Signaleiistellung n T T a eet be is es 11 3 4 1 Vorbereitung zur Signaleinstellung eese 11 3 4 2 Azimuteinstellung issa 12 3 5 Abschlu von Montage und Einstellung 13 4 TECHNISCHE DATEN 14 5 AUSSENABMESSUNGENN 15 ii G BS77 1 UMRISS 1 1 Merkmale Dieses Produkt besitzt die f r alle Magnescale Produkte typische Bedienungsfreundlichkeit und hohe Zuverl ssigkeit Die hohe Genauigkeit und Aufl sung entsprechen den Werten eines Lichtwellen Interferometers Laser Interferometersystem Die Me stabilit t wird nicht durch Temperatur Luftturbulenz und Luftdruck beeinflu t Interpolationsgenauigkeit Wiederholgenauigkeit und R ckstellfehler liegen ausnahmslos innerhalb von 0 01 um 1 2 Bezeichnung der Teile Anschlu stecker Befestigungsschraube Ma stab Bezugsplatte Detektorkopf MaBstabsklammer ls I Ca Abstandssttick Kopfverstarker Kompensationswertaufkleber MaBstab MeBlange 10 30 mm MaBstab MeBlange 70 mm oder mehr BS77 6 1 2 VORSICHTSMASSNAHMEN ZUR 2 1 W hrend Montage Ma stab und Detektorkopf sind aufeinander abgestimmt Sollen mehrere Ma stabseinheiten verwendet werden darf jede Ma stabseinheit nur mit dem in derselben Verpackung enthaltenen Detektorkopf kombiniert werden Die Z
43. 00000 O0000000000000 1 0000 1 1 577 J 13 gt LU l BS77 10N NS 30N NS 14 5 oF 0000000000 98 _ 6 6 14 6 ei of 1 Tha of AO 5 00000 1000 e 29 lt 38 203 6 44 03 0021 st 32 6 45 9 P Mi UP 11 12 LH 3000 es ee 9 5 2 03 59 D0 00 10 577 10 5 48 36 mm BS77 30N NS 46 BS77 70N NS 4M4 00000000000 99 2 20 20 5 25 o i e 4 5 sje M D 9 2 09 6 alc 21 Ones 45 9 8 y M 00000 3000 gt 2 03 5 98 88 4 B 1 4 25 25 15 25 0004 t cof 42 mm 577 14
44. 0000000 A H 00000 0000000000 8128 2 2 255 I Ie 9 7259 1146 2 18 8125 1145 BHI EH 7259 1146 ZI EL prise rH 8 1145 7465 0095 112 171 KBR 7532 0011 M DC rp ES2 14 6 82 F4 ENL HE ZAR 7259 1146 AHI 145 AE HN BR FLIED BUY AB BIR Af DDC HUR CH 4 77 23 EFF RAE le E 3 b i PR py UH AATF YF MEER FE KK CH PERE Er UE SHEF Ju Sry yar uve 0 TEL 0120 55 7973 TEL 0463 92 7971 TEL 052 778 3181 TEL 06 6305 3101 TEL 0463 92 2132 TEL 011 631 3401 TEL 0424 92 9191 TEL 045 582 8649 TEL 0583 83 6234 TEL 0568 72 1435 TEL 06 6724 7005 TEL 082 831 5261 TEL 092 963 1296 FAX 0463 92 7978 FAX 052 778 4147 FAX 06 6304 6586 FAX 0463 92 3090 Sony Manufacturing Systems Corporation Isehara Plant 45 Suzukawa Isehara shi Kanagawa 259 1146 Japan Sony Precision Technology America Inc 20381 Hermana Circle Lake Forest CA 92630 U S A Sony Precision Technology Europe GmbH Heinrich Hertz Strasse 1 70327 Stuttgart Germany TEL 81 463 92 7971 TEL 949 770 8400 TEL 0711 5858 777 FAX 81 463 92 7978 FAX 94
45. 10 30 70 120 170 220 270 320 370 420 Gesamtl nge mm 48 mm Me l nge 10 mm 68 mm Me l nge 30 mm Me l nge 26 mm Me l nge 70 bis 420 mm Max Verfahrweg mm Me l nge 2 mm Me l nge 10 und 30 mm Me l nge 10 mm Me l nge 70 bis 420 mm MaBstabsgenauigkeit bei 20 C NS Typ MeBlange 10 30 mm MeBlange 70 120 mm MeBlange 170 220 mm MeBlange 270 mm MeBlange 320 mm Me l nge 370 mm MeBlange 420 mm 0 03 um oder weniger 0 08 um oder weniger 0 15 um oder weniger 0 20 um oder weniger 0 34 um oder weniger 0 39 um oder weniger 0 44 oder weniger N Typ MeBl nge 10 30 mm MeBlange 70 120 mm MeBlange 170 220 mm MeBlange 270 370 mm Me l nge 420 mm 0 06 um oder weniger 0 20 um oder weniger 0 35 um oder weniger 0 50 um oder weniger 0 65 um oder weniger R ckf hrungsfehler um 0 02 Wiederholgenauigkeit um 0 01 Temperaturkoeffizient 0 1 0 7 x 1079 Lichtquelle Halbleiterlaser Erfassungsart Beugungsgitterabtastung Betriebstemperatur C 10 bis 30 keine Kondensation Lagertemperatur C 10 bis 50 Mitgeliefertes Zubehor Ma stab Me l nge 10 30 70 120 170 220 270 320 370 420 Bedienungsanleitung 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 Inbusschraube M3 x 8 2 2 Inbusschraube M3 x 12 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 Inbusschraube M3 x 18 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 Inbusschraube M4 x 8
46. 9 770 8408 FAX 0711 580715 http www sonysms co jp VS TI1IPIFATUVVGVATLIMRSH Sony Manufacturing Systems Corporation BS77 3 865 965 04 ZOVZATIUHERZEHLTOET 7346 0035 ZA SES AH 1 10 1 10 Kiyoku cho Kuki shi Saitama 346 0035 Japan 2004 4 Printed in Japan 1999 Sony Manufacturing Systems Corporation
47. ATION PRODUCT COMPLIES WITH DHHS RULES 21 CFR SUBCHAPTER J APPLICABLE AT DATE OF MANUFACTURE SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION 1 10 KIYOKU CHO KUKI SHI SAITAMA 346 0035 JAPAN MANUFACTURED AT ISEHARA PLANT SONY MANUFACTURING SYSTEMS CORPORATION 2 933 725 CAUTION D0 NOT REMOVE COVER REFER SERVICING TO QUALIFIED PERSONNEL PAS DEMONTER LE CAPOT LAISSER REVISER A PERSONNEL DIPLOMEE LASERSCALE BS77 SONYs MADE IN JAPAN Sony Manufacturing Systems Corporation 3 SicherheitsmaBnahmen Bei dem Entwurf von Sony Manufacturing Systems Corporation Produkten wird gr Bter Wert auf die Sicherheit gelegt UnsachgemaBe Handhabung w hrend des Betriebs oder der Installation ist jedoch gef hrlich und kann zu Feuer elektrischen Schl gen oder anderen Unf llen f hren die schwere Verletzungen oder Tod zur Folge haben k nnen Dar ber hinaus kann falsche Anwendung die Leistung der Maschine verschlechtern Beachten Sie daher unbedingt die besonders hervorgehobenen Sicherheitshinweise in dieser Bedienungsanleitung um derartige Unf lle zu verh ten und lesen Sie die folgenden SicherheitsmaBnahmen vor der Inbetriebnahme Installation Wartung Inspektion oder Reparatur dieses Ger tes oder der Durchf hrung anderer Arbeiten durch 4 Bedeutung der Warnhinweise Bei der Durchsicht dieses Handbuchs werden Sie auf die folgenden Hinweise und Symbole stoB
48. ME DIV switch to the X Y mode Set the deviation sensitivity VOLTS DIV of CH1 and CH2 to 0 5 V DIV Turn the detector s power on BS77 3 4 2 Azimuth Adjustment A stable output signal of the specified value amplitude 1 6 V p p or higher can be obtained by adjusting the slider azimuth direction Azimuth direction 1 Loosen the slider mounting screw 2 Rotate the slider about the stopper as shown in the figure until you find the point where the amplitude of the Lissajous figure is at a maximum 3 Alternately tighten the two slider mounting screws little by little at the slider position with the maxi mum amplitude of the Lissajous figure Fastening torque 0 8 Nem 8 kgf cm 4 Move the scale and make sure that the amplitudes A and B of the Lissajous figure see the figure below are 1 6 V p p or greater over the entire length Note If output of 1 6 V p p cannot be obtained even through repeated adjustment recheck the mounting surface accuracy of the scale and the slider refer to pages 4 to 5 and check again that there is no dirt on the scale s surface BS77 11 3 5 Completion of Mounting and Adjustment Secure the cable with the supplied cable clamp and small screw 4 X 8 Secure the head amplifier with the supplied M3 X 18 hex socket head cap screw Note Set the detector an
49. S77 10N NS 30N NS Scale mounting surface L 16 06 6 35 250 pinch 8 0 1 0 315 0 004 BERE 1 Scale mounting surface 0 425 9 8 0 2 0 386 0 008 S 7 0 08 0 00118 Slider mounting surface 20 1 0 0 791 50 008 1 496 0 008 Slider mounting surface 46 1 811 Rmax 12 58 500 pinch Model L BS77 10N NS 21 5 0 846 Note refers to the machine guide Unit mm inch BS77 30N NS 31 5 1 24 BS77 70N NS 100 3 94 88 0 3 3 465 0 011 40 1 575 25 50 2 25 50 2 0 984 0 008 0 984 50 008 6 4 6 0 24 m mounting surface Rmax 6 3S 250 pinch 0 01 0 00039 M Z 0 01 0 00039 eo Scale N mounting surface 9 8 0 2 0 386 0 008 0 03 0 00118 A 46 6 0 3 1 835 0 011 0 63 0 008 2 3 depth 6 0 24 Slider mounting a 38 0 2 surface 1 496 0 008 12 55 500 pinch 46 1 81 Note refers to the machine guide Unit mm inch 4 E BS77 577 120 5 170 5 220 5 12 12 zt 50 0 3 1 969 0 011 25 0 2 0 984 0 008 8 M4 depth 6 0 24 Scale mounting su
50. SONY F Scale Unit Ma stabseinheit BS77 COMBE 3 OS 13447 Xv ZEHLEUTE CORBA UnL FSV BAKKE RABRICWMOC LET RVETOC lt ELO Read all the instructions in the manual carefully before use and strictly follow them Keep the manual for future references Lesen Sie die ganze Anleitung vor dem Betrieb aufmerksam durch und folgen Sie beim Betrieb des Ger ts den Anweisungen Bewahren Sie diese Bedienungsanleitung zum sp feren Nachlesen griffbereit auf L X7 JV LASERSCALE LASERSCALE 1 Instruction Manual Bedienungsanleitung For EU and EFTA countries Making by the symbol CE indicates compliance of the EMC directive of the European Community Such marking is indicative meets of exceeds the following technical standards EN 55011 Group 1 Class 91 Limits and methods of measurement of electromagnetic disturbance characteristics of industrial scientific and medical ISM radio frequency equipment EN 50082 2 95 Electromagnetic compatibility Generic immunity standard Part 2 Industrial environment 60204 1 Warning When using this device with equip
51. cts will void any warranty of the functions and performance as specified of our products When using our products in combination with other equipment the functions and performance as noted in this manual may not be attained depending upon operating environmental conditions Make study of the compatibility in advance Operating Precautions The wavelength of the semiconductor laser used for this scale unit is 780 nm which is outside of the visible range and the maximum output is 3 mW The light transmitted from the scale head is detrimental to the human A body though it is visible to the human eye For this reason never open the cover of the detector head assembly As there is a danger of light leakage do not look into the scale insertion openings while the power is on and never try to insert objects other than the scale through the scale insertion openings Each scale bears a label showing a scale pitch compensation value proper to the scale Before operation be sure to set the detector to this value See page 3 CLASS 1 LASER PRODUCT LASERSCHUTZKLASSE 1 PRODUKT TO EN 60825 A static electricity proof cap is attached to the connector plug of the scale unit Do not remove this cap until you are ready to connect the detector After removing the static electricity proof cap take care not to touch the connector pins as this might cause malfunctions Be sure to make all connections of the scale
52. d the head amplifier to the same electric potential Otherwise the specified performance may not be attained Leave the scale for about three hours after mounting for the tightened parts to thermally stabilize hex socket head cap screw BS77 12 E 4 Spcifications Specification Measuring length mm inch Performance and functions 10 30 70 120 170 220 270 320 370 420 Overall length mm inch 48 mm measuring length 10 mm 68 mm measuring length 30 mm Measuring length 26 mm measuring length 70 to 420 mm Max travel mm inch Measuring length 2 mm measuring length 10 and 30 mm Measuring length 10 mm measuring length 70 to 420 mm Scale accuracy At 20 C 68 F NS type Measuring length 10 30 mm 0 03 um or less Measuring length 70 120 mm 0 08 um or less Measuring length 170 220 mm 0 15 or less Measuring length 270 mm 0 20 um or less Measuring length 320 mm 0 34 um or less Measuring length 370 mm 0 39 um or less Measuring length 420 mm 0 44 um or less N type Measuring length 10 30 mm 0 06 um or less Measuring length 70 120 mm 0 20 um or less Measuring length 170 220 mm 0 35 um or less Measuring length 270 370 mm 0 50 um or less Measuring length 420 mm 0 65 um or less Return error um inch 30 02 0 78 Repeatability um pinch 30 01 0 39 Temperature coefficient C 1 F 1 0 7 x 10 5 0 39
53. e Sonde CH2 des Oszilloskops mit C COS und G GND des Signaleinstellteils des Detektors Anschluf der Einheit BS77 an eine Detektoreinheit der BD Serie Oszilloskop Detektor der BD Serie Signaleinstellteil Detailansicht CH1 CH2 Sonde Kopfstecker Ay HEAD IN e Ma stabseinheit BS77 Cd 577 Stellen Sie die Eingangskopplungsschalter von CH1 und CH2 am Oszilloskop auf GND und stellen Sie das Oszilloskop so ein da das Signal in Bildschirmmitte angezeigt wird Stellen Sie die Eingangskopplungsschalter von CH1 und CH2 am Oszilloskop auf DC Stellen Sie den Schalter TIME DIV auf X Y MODE Stellen Sie die Deviationsempfindlichkeit VOLTS DIV von CH1 und CH2 auf 0 5 V DIV ein Schalten Sie die Stromzufuhr des Detektors ein G 11 3 4 2 Azimuteinstellung Durch geringf giges Verstellen der Schieberausrichtung kann ein stabiles Ausgangssignal des angegebenen Wertes Amplitude 1 6 Vs s oder h her erzielt werden Azimutrichtung L sen Sie die Schieber Befestigungsschraube Drehen Sie den Schieber um den Anschlag wie in der Abbildung gezeigt bis Sie den Punkt find
54. ee the section Compensation Value Setting of the detector BD series instruction manual Note The compensation value of the detector BD series is set to all zeros at the time of shipment In this state the alarm sounds and you cannot operate the unit Be sure to set the detector to the correct compensation value of the scale before operation In addition the resolution must be calculated for detectors that do not perform compensation so refer to the detector instruction manual BS77 E 3 3 Mounting Adjustment Follow the procedure below For details refer to the corresponding pages 3 1 Mounting Surface Preparations net Dre ee e ds Ee ann 8 2 Scale Mountng E EC ED UNI o I a 343 Shder Moun ng eG n e REPE I 3 4 Signal Adjustment 3 4 1 Signal Adjustment Preparations 3 4 2 Azimuth Adjustment u ra aa 3 5 Completion of Mounting and Adjustment sese rennen nennen 3 1 Mounting Surface Preparations 1 Check the mounting surface range the shaded sections in the figure and accuracy 2 Check the accuracy of the mounting screw coordinates Scale mounting surface Roughness Rmax 6 35 250 pinch Flatness 0 01 mm 0 00039 or less Parallelism to machine travel 0 01 mm 0 00039 or less Slider mounting surface Roughness Rmax 12 55 500 pinch Parallelism to machine travel 0 03 mm 0 00118 or less B
55. em Kompensationswertaufkleber angegebene Kompensationswert betr gt 4 0 1379 x 1 23 20 x 0 7 x 10 9 0 1379 0 Temperaturdifferenz zu 20 C W rmeausdehnungskoeffizient des Ma stabs Siehe Seite 14 Der Kompensationswert nach der Temperaturanpassung betr gt 0 5 Stellen Sie den Detektor auf diesen Wert ein 2 3 2 Kompensationswert Einstellung Siehe den Abschnitt Kompensationswert Einstellung in der Gebrauchsanweisung des Detektors BD Serie Der Kompensationswert des Detektors BD Serie wurde werkseitig auf Null eingestellt In diesem Zustand ert nt der Warnton und die Einheit ist funktionsunf hig Stellen Sie daher den Detektor vor der Inbetriebnahme auf den korrekten Kompensationswert des Ma stabs ein AuBerdem muB f r Detektoren die keine Kompensation durchf hren die Aufl sung berechnet werden Schlagen Sie daher in der Gebrauchsanweisung nach BS77 G 3 3 UND EINSTELLUNGEN Gehen Sie folgenderma en vor Einzelheiten entnehmen Sie bitte den entsprechenden Seiten 3 1 3 2 3 3 3 4 3 5 Abschlu von Montage und Einstellung Vorbereitung der Montageflache Montage des Ma stabs Montage des Schiebers Signaleinstellung 3 4 1 Vorbereitung 3 4 2 Azimuteinste zur Signaleinstell ng to e e 3 1 Vorbereitung der Montageflache l berpr fen Sie die Gr e schraffierte Teile in der Abbildung
56. en Machen Sie sich mit ihrer Bedeutung vertraut bevor Sie den Text lesen Warnung Eine MiBachtung dieser Hinweise kann zu Feuer elektrischen Schl gen oder anderen Unf llen f hren die schwere Verletzungen oder Tod zur Folge haben k nnen N Vorsicht Eine MiBachtung dieser Hinweise kann zu elektrischen Schl gen oder anderen Unf llen f hren die Verletzungen oder Sachbesch digung der umliegenden Objekte zur Folge haben k nnen Warnung Betreiben Sie dieses Ger t nur mit der vorgeschriebenen Versorgungsspannung da anderenfalls die Gefahr von Feuer oder elektrischen Schlagen besteht F hren Sie Installationsarbeiten nicht mit nassen H nden aus da hierbei die Gefahr elektrischer Schl ge besonders gro ist Unterlassen Sie jeden Versuch das Ger t zu zerlegen oder umzubauen da dies zu Verletzungen oder Besch digung der internen Schaltungen f hren kann P A Vorsicht berpr fen Sie vor Arbeitsbeginn unbedingt den Zustand von Maschine und Vorrichtungen um die Arbeitssicherheit zu gew hrleisten e Schalten Sie vor Arbeiten an der Maschine unbedingt die Stromzufuhr und andere Antriebsstromquellen aus Anderenfalls besteht Brand oder Unfallgefahr Achten Sie beim Einschalten der Stromversorgung usw zum Betrieb der Maschine darauf daB Sie sich nicht die Finger in peripheren Maschinen und Vorrichtungen klemmen 6 577 ACHTUNG Die Bet tigung von Bedien
57. en an dem die Amplitude der Lissajous Figur ihr Maximum erreicht Ziehen Sie die zwei Schieber Befestigungsschrauben abwechselnd und schrittweise in der Schieberstellung mit der gr ten Amplitude der Lissajous Figur an Anzugsmoment 0 8 N m 8 kgf cm Verschieben Sie den Ma stab und vergewissern Sie sich da die Amplituden A und B der Lissajous Figur siehe Abbildung unten einen Wert von 1 6 Vs s oder gr er ber die gesamte Ma stabsl nge haben Falls trotz wiederholter Einstellung keine Ausgabe von 1 6 Vs s erzielt werden kann berpr fen Sie die Genauigkeit der Montageflache von MaBstab und Schieber siehe die Seiten 4 bis 5 und vergewissern Sie sich erneut daB kein Schmutz an der Oberfl che des Ma stabs haftet 12 577 3 5 Abschluf von Montage und Einstellung Sichern Sie das Kabel mit der mitgelieferten Kabelklemme und der kleinen Schraube M4 X 8 Sichern Sie den Kopfverst rker mit der mitgelieferten Inbusschraube M3 X 18 Stellen Sie Detektor und Kopfverst rker auf die gleiche elektrische Spannung ein Anderenfalls wird die angegebene Leistung m glicherweise nicht erzielt Lassen Sie den Ma stab nach der Montage etwa drei Stunden ruhen damit sich die Temperatur der montierten Teile stabilisiert BS77 13 4 5 DATEN Spezifikation Me l nge mm Leistung und Funktionen
58. es MaBstabs 3 2 1 577 10 5 und 30N NS Vergewissern Sie sich da kein Staub usw der Montagefl che haftet und montieren Sie den Ma stab parallel zur Maschinenf hrungsbahn wie in der Abbildung gezeigt Anzugsmoment 0 8 N m 8 kgf cm Die Bezugsfl che ist in der Abbildung durch die punktierte und gestrichelte Linie gekennzeichnet Stellen Sie die Parallelit t mit Hilfe der Me uhr ein oder versehen Sie die Montagefl che mit einem Anschlag Zwei x 8 Unterlegscheibe C e 4 3 2 2 577 70 5 bis 420 5 1 Vergewissern Sie sich kein Staub usw der Montagefl che haftet und montieren Sie die Bezugszplatte parallel zur Maschinenf hrungsbahn wie in der Abbildung gezeigt Anzugsmoment 1 4 Nm 14 kgf cm Die Bezugsbohrung befindet sich auf der linken Seite wie in der Abbildung gezeigt Nehmen Sie die Einstellung auf der rechten Seite vor w hrend Sie die Parallelit t mit der Hebel Me uhr berwachen Bezugsbohrung Lm 0 01 M Der Ma stab wird bei der Montage zur Einhaltung der Parallelitat gegen die Bezugsplatte gedr ckt Die Bezugsplatte ist ausschlaggebend f r eine genaue Montage des Ma stabs und mu daher genau nach Vorschrift montiert werden BS77 120N NS 170N NS 220N NS 370N NS 420N NS BS77 70N NS 270N NS 320N NS Zwei M4 x 8 a StoBgrundflache StoBgrundflache BS77
59. ghout this manual and their contents should be understood before reading the text Warning Failure to observe these precautions may lead to fire electric shock or other accidents resulting in serious injury or death N Caution Failure to observe these precautions may lead to electric shock or other accidents resulting in injury or damage to surrounding objects N Warning Do not use this unit with voltages other than the specified supply voltage as this may result in fire or electric shock Do not perform installation work with wet hands as this may result in electric shock Do not disassemble or modify the unit as this may result in injury or damage the internal circuits 2 N Caution Be sure to check the machine and device conditions to ensure work safety before working on the machine Be sure to cut off the power supply and other sources of drive power before working on the machine Failure to do so may result in fire or accidents When turning on the power supply or other sources of drive power to operate the machine take care not to catch your fingers in peripheral machines and devices gt gt 2 577 CAUTION Use of controls or adjustments or perfomance of procedures other than those specified herein may result in hazardous radiation exposure DANGER INVISIBLE LASER RADIATION WHEN OPEN AVOID DIRECT EXPOSURE TO BEAM BS77 CERTIFIC
60. ial gauge or prepare an abutment on the mounting surface Two M3 x 8 Plain washer C e 0 01 0 00039 M 3 2 2 577 70 5 to 420 5 1 machine guide as shown in the figure Fastening torque 1 4 Nem 14 kgf cm The reference hole is located on the left as shown in the figure Adjust at the right side while observing the parallelism with the lever type dial gauge Check that there is no dust etc on the mounting surface and mount the reference plate parallel to the Reference Im 0 01 0 00039 M scale mounting Be sure to mount it exactly as described in the specifications Note The scale is pressed against the reference plate for parallelism when mounting The reference plate is vital to accurate BS77 70N NS 270N NS 320N NS Two M4 x 8 Pd Two M4 x 8 Reference abutment surface Reference BS77 120N NS 170N NS 220N NS 370N NS 420N NS abutment surface 6 E BS77 2 Attach the scale clamps loosely 1 or 2 full turns looser than the semi tightened position by using the mounting screws as shown in the figure BS77 70N NS 270N NS 320N NS BS77 120N NS 170N NS 220N NS 370N NS 420N NS M4 x 8 m Plain washer Reference plate gt Scale clamp gt e O gt Reference plate
61. ment governed by Machine Directives EN 60204 1 measures should be taken to ensure conformance with those directives Warnung Wenn dieses Ger t mit Ausr stungsteilen verwendet wird die von den Maschinenrichtlinien EN 60204 1 geregelt werden m ssen ergriffen werden um eine bereinstimmung mit diesen Normen zu gew hrleisten For the customers in U S A WARNING This equipment has been tested and found to comply with the limits for a Class A digital device pursuant to Part 15 of the FCC Rules These limits are designed to provide reasonable protection against harmful interference when the equipment is operated in a commercial environment This equipment generates uses and can radiate radio frequency energy and if not installed and used in accordance with the instruction manual may cause harmful interference to radio communications Operation of this equipment in a residential area is likely to cause harmful interference in which case the user will be required to correct the interference at his own expense You are cautioned that any changes or modifications not expressly approved in this manual could void your authority to operate this equipment
62. nde Kante des Ma stabs aus wie in der nachstehenden Abbildung 1 gezeigt Wird ein Druck von 4 9 N 0 5 kgf oder mehr auf die Mitte des Ma stabs ausge bt wie der nachstehenden Abb 2 gezeigt oder wird der Ma stab mit Verzug montiert kann die angegebene Genauigkeit nicht erzielt werden Dies gilt auch f r die folgenden Verfahren Falls der Verdacht auf Verzug des Ma stabs durch berm ige Kraftanwendung besteht l sen Sie die Ma stabsklammer um den Ma stab korrekt zu montieren gt FALSCH 5 Lassen Sie den Ma stab f r etwa eine Stunde oder langer in dem in Abb gezeigten Zustand bis sich seine Temperatur stabilisiert efestigen Sie die brigen Ma stabsklammern durch abwechselndes Anziehen der Schrauben 6 Befestig Sie die brigen Mafstabskl durch abwechselndes Anziehen der Schraub Endanzugsmoment 1 4 Nem 14 kgf cm BS77 70N NS 270N NS 320N NS BSS77 120N NS 170 N NS 220N NS 370N NS 420N NS BS77 8 G 7 Ziehen Sie die Ma stabsklammern an beiden Enden des Ma stabs mit dem gleichen Anzugsmoment an Endanzugsmoment 1 4 Nem 14 kgf cm Abstandsst ck Abstandsst ck BS77 270N NS 320N NS BS77 370N NS 420N NS 8 berpr fen Sie die Oberfl che des Ma stabs auf l und Staub Falls die Oberfl che verschmutzt ist wischen Sie sie mit alkoholgetr nkter Gaze ab Wischen Sie l und Staub gr
63. nit 1 Remove the protective cap from the head connector of the scale unit and connect the head connector to the HEAD IN terminal of the detector Note Do nottouch the connector pins with your hands as this might damage the inner electronic parts by static electricity When the connector is not used such as during transport be sure to mount the protective cap Be sure to switch off the power supply to the detector before attaching or removing the connector Connect the CH1 probe of the oscilloscope to S SIN and G GND of the signal adjustment section of the detector Connect the CH2 probe of the oscilloscope to C COS and G GND of the signal adjustment section of the detector Connecting the BS77 and a BD series detector unit HANN Oscilloscope P BD series detector Signal adjustment section detailed view Probe Head connector d BS77 scale unit T9 Je HEAD IN O 10 E Set the input coupling switches of CH1 and CH2 of the oscilloscope to GND and adjust the oscilloscope to locate the signal in the center of the screen Set the input coupling switches of CH1 and CH2 of the oscilloscope to DC Set the TI
64. rface Z Rmax 6 3S 250 pinch 25 0 2 0 984 0 008 0 01 0 00039 M gt E Z 0 01 0 00039 s Q 2S Scale mounting S 2 19 8 0 2 0 386 0 008 s rf co ele f 110 03 0 00118 A 10 EA 38 87777 S 12 Slid ti rf Slider mounting 38 50 2 2 Mm3 depth 6 0 24 ider mounting surface 1296 10 008 12 55 500 pinch 46 1 81 Model L1 L2 Note refers to the machine guide Unit mm inch 577 120 5 148 5 83 50 1 969 BS77 170N NS 198 7 8 75 2 953 BS77 220N NS 248 9 76 100 3 94 BS77 270N NS 320N NS L1 100 3 94 0 1 375 _ 100 3 94 88 0 3 3 465 0 011 _ gt 10 4 depth 6 0 24 25 0 2 25 0 2 25 0 2 Scale mounting surface 25 0 2 0 984 0 008 0 984 50 008 0 984 0 008 0 984 0 008 Rmax 6 3S 250 pinch 7 0 2758 Y 1 0 01 0 00039 M gt 2 7710 01 0 00039 e ai lt c 19 Sle Scale mounting surface No 9 8 0 2 0 386 0 008 9 Gb 71 10 03 0 00118 AH amp BEZZ Slider mounting surface Slider mounting surface 38 02 2 M3 depth 6 0 24 1 496 0 008 35 72202
65. romzufuhr eingef hrt oder herausgezogen werden Unterlassen Sie gewaltsames Ziehen oder berm iges Biegen des Kabels Biegeradius innen mindestens 50 mm Warten Sie vor Benutzung der Ma stabseinheit BS77 ungef hr 10 Minuten nach dem Einschalten der Stromzufuhr bis sich die Temperatur des Detektorkopfes stabilisiert hat Die Ma stabseinheit BS77 ist ein Pr zisions Me instrument Behandeln Sie sie mit u erster Sorgfalt damit sie keinen starken Ersch tterungen ausgesetzt wird Benutzen Sie zum Transport die Originalverpackung der Ma stabseinheit BS77 G INHALT 1 UMR SS atic 1 1 4 Merkmalen ee eet entente E 1 1 22 Bezeichnung der Teile rete een 1 2 VORSICHTSMASSNAHMEN ZUR MONTAGE 2 2 1 W hrend der Montage sus snn n n u nennen nennen nennen balas 2 2 2 Montageantorderungen 100000 ese 2 2 3 lt Vorder Montage oat eee boe i tete sess 3 2 3 Kompensationswert iiss sakes 3 2 3 2 Kompensationswert Einstellung eee 3 3 MONTAGE UND EINSTELLUNGEN 4 3 1 Vorbereitung der Montagefl che 4 3 2 Montage des 6 3 2 1 BS77 10N NS und 30N NS serene 6 3 2 2 BSTT 70N NS bis 420 5 6 3 3 Montage des Schiebets s eh rte rettet 1
66. uel ou son emploi pour tout autre but que des op rations ou entretiens de l quipement moins d une permission crite de Sony Manufacturing Systems Corporation Die in dieser Anleitung enthaltenen Informationen sind Eigentum von Sony Manufacturing Systems Corporation und sind ausschlieBlich f r den Gebrauch durch den Kaufer der in dieser Anleitung beschriebenen Ausr stung bestimmt Sony Manufacturing Systems Corporation untersagt ausdr cklich die Vervielf ltigung jeglicher Teile dieser Anleitung oder den Gebrauch derselben f r irgendeinen anderen Zweck als die Bedienung oder Wartung der in dieser Anleitung beschriebenen Ausr stung ohne ausdr ckliche schriftliche Erlaubnis von Sony Manufacturing Systems Corporation eo A 0000 e 0000000000000000 000000 0000000000000 eo 00000000000 O O 0000000000000000
67. usammengeh rigkeit von Ma stab und Detektorkopf kann anhand der Seriennummer auf der mitgelieferten Genauigkeitstabelle festgestellt werden Montageposition Abbe Fehler und Umgebungsbedingungen Temperatur Luftfeuchtigkeit Vibrationen und Staub sind entsprechend zu ber cksichtigen Verlegen Sie das Kabel des Detektorkopfes oder das Verbindungskabel nicht im gleichen Kabelkanal wie das Stromversorgungskabel Stellen Sie den maximalen Verfahrweg des beweglichen Maschinenteils k rzer als den Verfahrweg des MaBstabs ein Me l nge 10 oder 30 mm Max Verfahrweg des Ma stabs Me l nge 2 mm 1 mm auf jeder Seite Me l nge 70 mm oder mehr Max Verfahrweg des Ma stabs Me l nge 10 mm 5 mm auf jeder Seite Bei berschreitung des max Ma stab Verfahrwegs werden die Signale der Ma stabseinheit nicht ausgegeben so da ein Fehler auftritt Nach der Montage ist eine Signaleinstellung der Ma stabseinheit erforderlich Achten Sie bei der Montage des Ma stabs an der Maschine darauf da gen gend Platz f r die Einstellung vorhanden ist Siehe die Seiten 4 bis 13 Stellen Sie den Detektor vor der Inbetriebnahme auf den Kompensationswert des Ma stabs ein 2 2 Montageanforderungen MeBinstrumente e Mefuhr mit Hebelgest nge Skalenteilung 2 1000 mm oder 1 1000 mm 1 iMebuhrst nder 4 3 ec ar cae a tbe e Sa ve ide ated 1 5
68. x 10 9 Light source Semiconductor laser Detecting mode Diffraction grating scanning Operating temperature C F 10 to 30 50 to 86 no moisture condensation Storage temperature C F 10 to 50 14 to 122 Supplied accessories Scale measuring length 10 30 70 120 170 220 270 320 370 420 Instruction manual 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 x 8 hex socket head cap screw 2 2 M3 x 12 hex socket head cap screw 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 M3 x 18 hex socket head cap screw 2 2 2 2 2 2 2 2 2 2 M4 x 8 hex socket head cap screw 6 8 8 8 10 10 12 12 Plain washer nominal 3 4 4 2 2 2 2 2 2 2 2 Plain washer nominal 4 6 8 8 8 10 10 12 12 Reference plate mE 1 1 1 1 1 1 1 1 Spacer 2 2 2 2 2 4 4 Scale clamp 2 3 3 3 4 4 5 5 Cable clamp 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 4 x 8 small screw 1 1 d 1 1 1 1 1 1 1 Accuracy chart 1 1 1 1 1 1 1 1 1 1 Contents of the package Detector head incl Head amplifier and Connector cable 1 Scale 1 set of supplied accessories BS77 E 13 5 Dimensions
Download Pdf Manuals
Related Search