Bedienungsanleitung REM XL 30 ESEM Einschalten
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1. der Vollansicht und der Fensteransicht um Ea Image Freeze Friert das Bild im aktuellen Zustand ein BUES Auto Kontrast Auto Fokus Auto Stigmator Diese 3 Funktionen dauern unn tig lange und sollten nicht benutzt werden Die Kontrolle ber die Probenb hne mit der Maus ist ausgeschaltet Stage Get mode Ausgew hlter Punkt durch Doppelklick mit der linken Maustaste wird zum neuen Mittelpunkt des Bildes E Beam shift mode Wird ausschlie lich bei hohen Vergr erungen verwendet und dient dazu den Strahl um 20um in jeder Richtung zu verschieben damit wird der sichtbare Ausschnitt der Probe verschoben Stage survey mode Verschiebt durch Dr cken der linken Maustaste die Probe in der x Achse und der y Achse in Richtung des Vektors Am inneren Kreis langsam am u eren Kreis schnell Settings ffnet das Vakuum und das Beam Fenster Image ffnet das Imaging Fenster zur Kontrolle der Vergr erung mm Enl E nicht im Betrieb 4 Ausschlie lich f r geschultes Personal ffnet das Stage Fenster Seite 222. fen e Taskleiste IN OUT o DATABAR SETUP Beschriftung des Bildes Auswahl welche Informationen auf die Datenleiste kommen e Wenn der Strahl im SLOW SCAN 3 unten angekommen ist Bild einfrieren e Taskleiste IN OUT o VIDEOPRINT Bild wird sofort ausgedruckt Seite 12 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM bar Microscope Control Image Magnification Beam Scan Detectors filter In Out Stage Anh Trae Parameters Photo Databar Setup Grayscale Yideoprint Printer Configuration Stage Table Photo Setup Probe ausschleusen e Kathode ausschalten e Unter SETTINGS Taste VENT dr cken Pump Yent Etwa 20 Sekunden warten Schleusentor ffnen Mit Pinzette Probe aus dem Probentisch ziehen neue Probe einsetzen Schleusentor schlie en Taste PUMP dr cken Warten bis die Betriebsanzeige VACUUM Ok anzeigt Kathode wieder einschalten Arbeit fortsetzen Die Verwendung des BSE Detektors Einbau und Ausbau nur mit ungepuderten Handschuhen vornehmen Der BSE Detektor kann im Hochvakuum HV mit dem SE Detektor und gemeinsam mit dem Large Field Detektor LFD verwendet werden T N e Aus Gr nden der Sicherheit befindet sich der BSE Der BSE Detektor wird vorsichtig aus der Detektor normalerweise in einer Parkposition Parkposition herausgezogen und auf den HV Blendenhalter geschoben e Ab nun gr te Vorsicht beim Einschleusen von Proben und bei der Kippung von Proben damit der De
3. r K hltisch abschrauben und durch normalen Probentisch ersetzen GSE Detektor abstecken Blendenhalter f r GSE Detektor abschrauben und durch HV Blendenhalter ersetzen Seite 21 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM Arbeit beenden REM ausschalten e Probe ausschleusen siehe oben e Wenn einer der ESEM Modes benutzt wurde N NL Das Mikroskop f r den HV Mode EI En Eg zur ckbauen e Warten bis VACUUM OK Anzeige kommt Taste VAC dr cken damit wird die Turbomolekularpumpe ausgeschaltet Das Programm MICROSCOPE CONTROL schlie en WINDOWS beenden Die Taste OFF am Ger t dr cken Nun sollte nur noch ein leiser Ger te Ventilator zu h ren sein Ins Arbeitsbuch eintragen Allgemeine Bedienelemente Die Icon Leiste druckt aktuelles Bild es ist momentan kein Drucker installiert Dient der Einstellung von Kontrast und Helligkeit zur optimalen Einstellung eines Bildes und zur Justierung der Kathode Zeigt die Verteilung der Intensit t anhand einer Kurve die sich je nach Scan Geschwindigkeit ver ndert abc Schaltet zwischen den verschiedenen Ansichten der Bildbeschriftung um Power Zoom Kontinuierliche Vergr erung Beam Blanking Verdunkelt den Bildschirm Measurements Erlaubt entweder in der x Achse oder in der y Achse Distanzmessungen vorzunehmen el TV SlowScan toggle Schaltet zwischen dem TV Modus und dem zuletzt gew hlten Scan Modus um Reduced full area scan Schaltet zwischen
4. A Reset Warmup delay Total warmup time GunBias position W Autobias W AutoSaturation lelx Imaging K I Imaging I Split Screen Dual Magnification Magnification 100 Bm nn Sceanrotation 0 0 Eu Eu Ea Stigmator Window Average 4 lM Dymamic Focus I Tilt Correction ecimen tilt 0 0 Video ol Contrast 30 0 Brightness 50 0 ACB Save ACB Settings Stage ol i 5 oo x rm Z lt PwD Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM Die Arbeitstechniken am REM Philips XL 30 ESEM Beim ESEM Philips XL 30 g bt es 3 verschiedene M glichkeiten ein Pr parat zu untersuchen 1 Hochvakumm Modus HV Modus Sowohl die S ule als auch die Kammer stehen unter Hochvakuum Dies setzt eine konventionelle Probenpr paration voraus 2 ESEM Modus a HO Die S ule steht unter Hochvakuum die Kammer erreicht einen Druck von 0 1 25 Torr Aus einem Wasserreservoir wird mit Wasserdampf eine feuchte Umgebung in der Kammer geschaffen b AUX Die S ule steht unter Hochvakuum die Kammer erreicht einen Druck von 0 1 40 Torr die Kammer wird anstatt mit Wasserdampf mit einem beliebigen Gas geflutet Die Verschiedenen Detektoren und die Kamera 1 2 3 4 5 Hochvakuum SE Detektor Entspricht dem Detektor beim XL 20 Funktioniert mit dem HIGH VAKUUM MODE BODY INSERT Blendenhalter f r den Hochvakuum Modus BSE Detektor LFD Large Field Detektor Wird f r die meisten ESEM Anwendungen verwend
5. Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM Bedienungsanleitung REM XL 30 ESEM Einschalten Hauptschalter ON einschalten Taste links unterhalb der S ule Computer einschalten Windows 2000 professional startet Username supervisor Passwort supervisor Da das ESEM eine Turbomolekularpumpe hat ist die S ule im ausgeschalteten Zustand nicht evakuiert PC sucht Verbindung zum Netzlaufwerk SHARE Login xl 30 Passwort elmis Das Programm MICROSCOPE CONTROL starten Icon befindet sich am linken Schirm Es dauert einige Zeit bis sich das Programm ffnet bitte abwarten Gleichzeitig mit diesem Programm ffnet sich auch das Programm VCUDRVR und der Server Bitte weder das Programm noch den Server w hrend der Arbeit schlie en Set Gun e Es ffnet sich das Fenster START UP SERVER 7 00 und ein Fortschrittsbalken zeigt das Laden der Treiber Es ffnet sich das Fenster STAGE CONTROL und fragt HOME MOTORSTAGE Mit YES best tigen Es ffnet sich das Fenster SET GUN o GUNBIAS POSITION auf 2 setzen o AUTOBIAS H kchen weg klicken ausschalten o AUTOSATURATION H kchen weg klicken ausschalten Das Fenster des Programms MICROSCOP CONTROL ffnet sich Detectors Filter In Out Stage gws or a TAS tH BShift0 XHD Blank Measure Tv S5 Shifts F1 F12 F1 F12 PhotoSS Hap _ PhFreoz V cope Databer Seite 1 r Wehnelt Changed High kY Anode wow k Anode S gt Si
6. COPE WARNING e H ndisch das Ventil an der S ule von HV auf ESEM Mode stellen e Es erfolgt eine automatische mehrmalige Flutung des Probenraumes mit Wasserdampf dies dauert einige Zeit w hrenddessen ist das Fenster AUTO FLOOD se ffnet Unter DETECTORS den GSE Detektor einschalten auch wenn der Large Field Detektor verwendet wird Die Hochspannung auf den gew nschten Wert einstellen z B15 20 kV e Die Taste HT dr cken wenn mit der Arbeit gerade begonnen wurde e Die Kathode einschalten e Die Probenb hne korrekt einstellen siehe Skriptum weiter oben Seite 15 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM Mit dem Large Field Detektor braucht man eine etwas h here Kontrasteinstellung Wird sie zu hoch gew hlt kann die unspezifische Fehlermeldung SMCB Sample touch alarm c1280171 kommen Durch Variation von Druck Kontrast und Helligkeit muss die optimale S ttigung des Strahls hergestellt werden Der Kontrast kann noch mit dem Regler CONTRAST EXPAND im Fenster IMAGING erh ht und damit die Bildqualit t verbessert werden Soll eine Pause gemacht werden dann auf keinen Fall das Mikroskop in einem der beiden ESEM Modi weiter laufen lassen Entweder die S ule bel ften oder auf HV umstellen Der Wide Field Detektor kann auch im HV Modus im Ger t belassen werden Die Verwendung des GSE Detektors f r feuchte Proben Wr x e Bilendenhalter f r den HV Modus mit dem Den Large Field Detektor herausziehen Wer
7. Modus steht der SE und der BSE Detektor zur Verf gung Soll der BSE Detektor verwendet werden muss er zuvor eingebaut werden siehe sp ter im Skriptum BSE o Beim Ein und Ausschleusen bei der Kippung des Objekts sowie bei GSE der Ver nderung des Arbeitsabstands ist die CCD Kamera sehr CCD hilfreich damit man die Probe nicht zerst rt IMG Mixed Change Kathode einschalten e Unterhalb der S ule die Taste HT dr cken muss beim Neustart eingeschaltet werden ansonsten ist die S ule stromlos Gew nschte kV Zahl f r die Arbeit w hlen FAR Microscope Control Image Magnification Bram Scan Detectors Filte A 10 kV a 2 0 KV 5 0 kW v 10 0k 12 0 kY 15 0 kv 20 0 kV 25 0 kY 30 0 kY 1 M glichkeit o Taskleiste BEAM o POP UP FENSTER ffnet sich o Eine der kV Zahlen w hlen 2 M glichkeit oS 1 BE o Unter SETTINGS Beam p o BEAM FENSTER ffnen o KV Zahl ber Schieberegler ACC 10 0 kV HT off VOLTAGE einstellen Spa ci o BEAM FENSTER schlie en ko o Acc Voltage L a Fil Current 0 0 T e Die gew nschte kV Zahl erscheint auf der o BEAM TASTE Beam ol e BEAM TASTE dr cken Taste wird gelb p e Nach einigen Sekunden erscheint neben der 10 0 KV off BEAM TASTE eine Zahl in uA Dies ist das en Zeichen dass die Kathode eingeschaltet ist und gt gl ht Steht dort kein Wert dann ist die Kathode durchgebrannt Seite 4 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM
8. OW kann jeder Zeit der BITTE Durchfluss unterbrochen werden Seite 19 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM e Zuletzt die Peltier K hlung einschalten POWER und ENABLE e Temperatur einstellen o Taste gedr ckt halten und mit den Pfeiltasten die gew nschte Temperatur w hlen e Am Computer das Men STAGE ffnen gt e unter CHANGE das STAGE SETUP Fenster ur a4 ffnen ernen hame e Die Rotation sperren damit die Schl uche nicht a Aig en unabsichtlich besch digt oder aus der Verankerung gerissen werden k nnen Probe einsetzen e F r die Proben gibt es 3 verschieden tiefe Probenhalter die je nach Menge und Konsistenz der Probe ausgew hlt werden e Probenteller in K hltisch einsetzen e Probenkammer schlie en e Weitere Vorgehensweise siehe GSE Detektor Seite 20 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM R ckbau des K hltisches Probenkammer ffnen Steuerung der Peltierk hlung ausschalten ENABLE Taste POWER Taste Durchflusskontrollsteuerung abschalten Vork hlung abschalten POWER Stecker des K hltisches abstecken Imbusschraube des K hltisches ffnen Schl uche abziehen zuerst die Schlauchsicherung ffnen dann lassen sich die Schl uche leicht abziehen ACHTUNG der Inhalt der Schl uche ergie t sich in die Probenkammer wenn die beiden Schl uche nicht gleich hoch und ber das Niveau des K hltisches gehalten werden K hltisch abheben und Schl uche entleeren Adapter f
9. askleiste FILTER o HIGH DEFINITION anklicken e Vergr erung Bildausschnitt Sch rfe Kontrast einstellen e Alles nochmals mit SLOW SCAN 3 berpr fen e Taskleiste IN OUT o DATABAR SETUP Beschriftung des Bildes Auswahl welche Informationen auf die Datenleiste kommen e Taskleiste SCAN o SLOW SCAN 1 einstellen e Taskleiste FILTER o FILTER PRESETS INTEGRATE SLOW SCAN auf 8 einstellen DNIT C Integrate Slow Scan 1 W gt C Average Slow Scan F Microscope Control N A C Integrate TV i Q Image Magnification Beam Scan Detectors y In Out Stage _ Average TV an Live Responsetime wa E c a lt 1 s e Integrate 8frames C 64 v Average 4frames C 128 Option Freeze C 256 F Autoblank during freeze v Standard definition C 512 je F High definition Reset Cancel Filter Presets e Taskleiste FILTER o INTEGRATES e Nun werden nacheinander 8 Bilder in den Bildspeicher eingezogen e Danach wird das Bild automatisch eingefroren e Taskleiste IN OUT o IMAGE TIF 8 stelligen Namen ohne Space oder Sonderzeichen im entsprechenden Ordner w hlen SAVE Videoprints Die Videoprints sind generell von schlechter Qualit t und au erdem haben sie nur eine geringe Lebensdauer da auf Thermopapier gedruckt wird Sie werden nur f r bersichten verwendet e Vergr erung Bildausschnitt Sch rfe Kontrast einstellen e Alles nochmals mit SLOW SCAN 3 berpr
10. bauen e Standard Probentisch herausdrehen e Adapter f r K hltisch LIT einsetzen e K nhltisch auf dem Adapter aufsetzen und mit Imbusschl ssel festschrauben e Die Schlauchsicherungen der Verschlusskappen befinden sich in der Probenkammer links dr cken dadurch werden sie gel st und die Verschlusskappen k nnen abgezogen werden Seite 18 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM e Den Stecker vom K hltisch in die Buchse stecken Achtung Ausrichtung beachten e Die beiden Schl uche des K hltisches in die Anschl sse stecken dabei gibt es keine Laufrichtung Achtung die Schl uche m ssen einrasten Klick Ger usch erst dann funktioniert die Schlauchsicherung K hlung einschalten e K hlger t hinter dem ESEM einschalten POWER Dieses Ger t ist f r die Vork hlung zust ndig o Das K hlger t ist mit Wasser gef llt o Istder Wasserstand zu gering gibt es einen Signalton o Die Taste REFRIG kann immer eingeschalten bleiben e Durchflusskontrollsteuerung Damit es bei Undichtheit der Schl uche zu keinem Wassereinbruch in der ESEM Kammer kommt gibt es eine Kontrolle der Wasser Durchflussmenge Durch eine akustische Warnung wird ein Ungleichgewicht zwischen Zu und Abfluss gemeldet e Da die Schl uche am Anfang leer sind muss nach dem Einschalten der Durchflusskontrollsteuerung so lange die Taste START FLOW gedr ckt werden bis die akustische Warnung verstummt e Mit der Taste STOP FL
11. e Das Fenster MICROSCOPE CONFIRM FOCS ffnet sich e Mit der gedr ckten rechten Maustaste das Objekt fokussieren und dann auf OK dr cken e Unter STAGE in Z den gew nschten Arbeitsabstand einstellen z B 10 mm e ABS sollte markiert sein e Auf die Taste GO TO dr cken e Damit wird der gew nschte Arbeitsabstand eingestellt Eventuell kommt nun die Probe i wieder aus dem Fokus deshalb erneut scharf Y um T stellen auf die Taste Z FWD dr cken und den gew nschten Arbeitsabstand erneut unter Z eingeben und dann GO TO dr cken Absolute dann sollte die Einstellung passen e Der Euzentrische Punkt liegt etwa zwischen 8 8 und 8 7 mm Goto Relative Helligkeit und Kontrast e Sowohl unter SETTINGS als auch unter IMAGING sind die Schieberegler von CONTRAST und BRIGHTNESS zu finden Brightness ACB Save ACB Settings Seite 5 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM Probe bewegen Die Bewegung funktioniert f r die x Achse y Achse z Achse und die Rotation sowohl motorisiert als auch per Hand die Kippung ist nur h ndisch bedienbar e in der ICON LEISTE gibt es 3 M glichkeiten K H W o 3 J 1 1 TRACK Modus Kreise Geeignet f r kleine bis mittlere Vergr erungen Bei gew hltem Modus sind auf dem Bildschirm 2 konzentrische gr ne Kreise sichtbar Bei gedr ckter linker Maustaste erscheint ein gr ner Vektor in dessen Richtung die Probe verschoben wird Nahe dem inneren Kreis erfolgt die Be
12. e Maustaste gedr ckt halten und entlang der x Achse hin und her verschieben Unterfocus Focus und berfocus sind zu erkennen e Das Fenster schlie en I Dymamic Focus l Tilt Correction Kann trotzdem nicht scharf gestellt werden kann das folgende Gr nde haben a Vergr erung ist f r die eingestellt Spotsize zu hoch i SPOTSIZE anpassen b Astigmatismus i STIGMATOR justieren ad a Der Strahldurchmesser Spotsize muss immer an die Vergr erung angepasst werden Bei kleiner Vergr erung sollte eine Spotsize von 5 eingestellt werden bei h heren Vergr erungen kann dann der Strahldurchmesser schrittweise bis auf 2 verkleinert werden Dadurch wird die Sch rfe verbessert allerdings tritt ein st rkeres Rauschen auf Seite 7 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM FR Microscope Control imag Magnifkaton Bram San Detectors Eike au iow s 2 0 kY 5 0 k 10 0 kW 12 0 k 15 0 Kv 20 0 kW 25 0 KY 30 0 k e Taskleiste BEAM e SPOT 1 5 einstellen HT Fresets oder Beam ol e SETTINGS e Schieberegler SPOTSIZE 10 0 KV HT off Y Spotsize A e Vi ad b Durch die Ver nderung der kV Zahl oder durch die nderung der Spotsize muss der Stigmator neu justiert werden Gew nschte Vergr erung einstellen D E amp Bild mit der rechten Maustaste so scharf wie m glich einstellen Imaging ol Unter IMAGING mit der Maus in das QUADRAT gehen T Split Screen Dual Magnifica
13. eam Scan Detectors Tr Inout Stage a er Li 5 2 Integrate 8 frames e Taskleiste FILTER o HIGH v Average dframes DEFINITION Freeze anklicken Standard Ps High definitior Filter Fresets e Vergr erung Bildausschnitt Sch rfe Kontrast einstellen e Alles nochmals mit SLOW SCAN 3 berpr fen e Taskleiste IN OUT o DATABAR SETUP Beschriftung des Bildes Auswahl welche Informationen auf die Datenleiste kommen e F2 dr cken das l st den Fotoscan aus und Bild friert dann am Ende des Scans automatisch ein e Taskleiste IN OUT o IMAGE TIF anklicken amp stelligen Namen ohne Space oder Sonderzeichen im entsprechenden Ordner w hlen SAVE e Dauer etwa 2 Minuten pro Bild Schlechte Oualit t 300 kB e Taskleiste FILTER o STANDARD DEFINITION anklicken bei Neustart automatisch e Vergr erung Bildausschnitt Sch rfe Kontrast einstellen e Alles nochmals mit SLOW SCAN 3 berpr fen e Taskleiste IN OUT o DATABAR SETUP Beschriftung des Bildes Auswahl welche Informationen auf die Datenleiste kommen e Taskleiste SCAN o PHOTO SCAN w hlen e Warten bis der Strahl unten angekommen ist e Bild einfrieren ICON Schneekristall e Taskleiste IN OUT Seite 11 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM o IMAGE TIF anklicken stelligen Namen ohne Space oder Sonderzeichen im entsprechenden Ordner w hlen SAVE Fotos wenn die Probe starke Aufladungen hat e T
14. en Hebel am Schleusentor Ein Hebel verriegelt Kippung damit sich schwere Proben in der Kammer nicht bewegen Gemeinsam mit der Rotation k nnen alle Fl chen seitlich der Probe eingesehen werden Scan Modi In der Taskleiste und SCAN finden sich im Popup Fenster folgende M glichkeiten 2 SLOW SCAN 1 3 SLOW SCAN 2 4 SLOW SCAN 3 5 SINGLE SCAN 6 PHOTO SCAN 17 XHD SCAN 1 TV e Normales TV Bild dient zum Verschieben der Probe hat eine kurze Reaktionszeit und ist beinahe live Mit der momentanen Einstellung werden f r dieses Bild 4 Einzelbilder aus dem Bildspeicher verwendet e Schneller Zeilenscan e Mittlerer Zeilenscan e Langsamer Zeilenscan Bild schaut schon fast so aus wie auf dem Foto wird verwendet zur Kontrolle von Kontrast Helligkeit und Sch rfe e Mit F2 Taste fr here Fotoscan liegt in der Qualit t zwischen Slow Scan 3 und Photoscan friert nach dem Klang gt gt Scan das Bild ein ti en e Sehr langsamer Scan f r Fotos mit guter Qualit t e Zur Aufnahme eines XHD Fotos In den Scan Presets k nnen die entsprechenden Einstellungen f r jeden Scan vorgenommen werden In der Symbolleiste gibt es eine Taste mit der man schnell zwischen dem TV Modus und dem zuletzt gew hltem SCAN Modus umstellen kann Seite 9 Die Fotos werden auf der Festplatte am Computer im Layoutraum Layout2 user gespeichert von diesem k nnen sie am Ende des Arbeitstages mit einem USB Stick heruntergelad
15. en werden USB Verl ngerung F r den Verlust Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM Digitale Fotos der Daten kann keine Garantie bernommen werden Es gibt mehrer M glichkeiten digitale Fotos zu erstellen Beste Qualit t 5MB e Vergr erung Bildausschnitt Sch rfe Kontrast einstellen e Alles nochmals mit SLOW SCAN 3 berpr fen e Taskleiste IN OUT O DATABAR SETUP Beschriftung des Bildes Auswahl welche Informationen auf die Datenleiste kommen Seite 10 User Items Exposure 0 l Working Distance Show as XIX l Exposure Number Show Databar type T Accelerating Yoltage Off l Spot Size Photo l Magnification C Real time l Detector Databar in Image l Display Databar l Black Background OK Cancel Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM e Taskleiste IN OUT A IMAGE O O XHD TIFF anklicken EAA 8 stelligen Namen ohne Space Scan amp oder Sonderzeichen im Delete entsprechenden Ordner w hlen SCAN AND SAVE Save amp Print Print 3 4 e Der Strahl wandert langsam nach unten danach 3 Restore File type wird das Bild eingefroren und abgespeichert M Parameters C IMG N e Dauer etwa 4 Minuten pro Bild Save Restore TIFF I Graphics XHDT Burnin l Databar Measurements Close Etwas schlechtere Qualit t 1 5MB F Microscope Control Image Magnification B
16. et Wird gemeinsam mit dem HIGH BODY INSERT Blendenhalter f r den Hochvakuum Modus verwendet in einem Bereich von 0 1 1 Torr Mit diesem Detektor ist das Sichtfeld nicht eingeschr nkt es entspricht dem des Hochvakuum Modus Das Bild ist vergleichbar mit dem des SED Detektors das bedeutet es werden vermehrt R ckstreuelektronen f r die Bildentstehung verwendet Der Detektor kann gemeinsam mit dem BSE Detektor verwendet werden Kein anderer ESEM Detektor sollte installiert werden und im Auswahlmen PLA das sich beim abpumpen ffnet NONE anklicken limitiert den Druckbereich auf 0 1 1 Torr GSED Gaseous Scondary Electron Detector Wird gemeinsam mit dem WET BODY INSERT Blendenhalter mit Dichtring verwendet Dieser enth lt eine 500um Blende welche maximal 20 Torr erlaubt Die kleinste Vergr erung bei einem Arbeitsabstand von 7mm liegt bei 240x Dieser Detektor wird f r hohe Dr cke und die feuchte Kammer verwendet Das Bild besteht fast ausschlie lich aus Sekund relektronen und sehr wenigen Backskatter Elektronen Das Bild hat eine gute Aufl sung CCD Kamera Kann sowohl zum Einschleusen als auch im Vakuum verwendet werden um die Stellung des Pr parats im Raum und zu den Detektoren zu berpr fen Seite 2 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM Arbeiten im Hochvakuum f r vergoldete Proben Probe Einschleusen e Im Vacuum Fenster wird unterhalb der Taste PUMP der Betriebszustand des Ger ts angezeigt E
17. kzeug herausschrauben Durch Blendenhalter f r den GSE Detektor ersetzen Blende hat 500um GSE Detektor einstecken ist nur in eine Richtung m glich Seite 16 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM vorsichtig auf den Blendenhalter dr cken Probe einsetzen darauf achten dass die Probe gut am Tisch fixiert ist w hrend der Untersuchung trocknen die Proben langsam ein beim Bel ften k nnen sie dann leicht vom Stub geweht werden Das Vakuum Fenster ffnen Unter PURGE AUTO oder CUSTOM w hlen Unter MODE H2O ausw hlen Es erscheint das Fenster ESEM PLA SELECTION F r die Verwendung des Large Field Detektors wird die 500um Blende gew hlt Diese Einstellung macht eine Begrenzung des Drucks auf 20 Torr Die Taste PUMP dr cken Das Fenster ESEM PLA SELECTION erscheint erneut F r die Verwendung des Large Field Detektors wird 500um Blende gew hlt Der Kontrast muss sehr hoch eingestellt werden eventuell mit dem Regler CONTRAST EXPAND im Fenster IMAGING korrigieren Der Druck wird f r eine deale S ttigung nach Bedarf geregelt Soll eine Pause gemacht werden dann auf keinen Fall das Mikroskop in einem der beiden ESEM Modi weiter laufen lassen Entweder die S ule bel ften oder auf HV umstellen Seite 17 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM Der K hltisch Der K hltisch wird gemeinsam mit dem GSE Detektor verwendet Einbau und Benutzung des GSE Detektors siehe oben K nhltisch ein
18. rs Filter 1000 2000 1 Taskleiste MAGNIFICATION 3000 Gew nschte Vergr erungsstufe ausw hlen 5000 10000 20000 1000009 Reference Photo Magnification Fresets Seite 6 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM il Es Imaging IMAGING 2 er m Dual Magnific gt O Schieberegler Scanrotation 0 0 a gt 90 0 90 Tastatur o und Tasten verwenden Im Track Modus o Im inneren gr nen Kreis wird im oberen Teil vergr ert wird angezeigt o Im unteren Teil verkleinert wird angezeigt Sch rfe Astigmatismus Spotsize e Zum Scharfstellen wird die Vergr erung etwas erh ht z B 2 3x auf der Tastatur die Taste dr cken e Unter IMAGING die Taste WINDOW klicken e Es ffnet sich ein kleines Fenster bei dem die Zeilen Wiederholungsrate D ra BE u sehr schnell ist das Bild im Fenster wirkt dadurch klarer und die Imaging Einstellung der Sch rfe wird erleichtert Em e We e Ist das Fenster nicht an der gew nschten Stelle dann mit der Maus in das Ka 5 Fenster fahren und mit gedr ckter linker Maustaste verschieben Achtung es dauert einige Zeit bis das Programm reagiert e Hat das Fenster nicht die gew nschte Ausdehnung dann einfach mit ze ae gedr ckter linker Maustaste daneben ein neues Fenster aufziehen und an die gew nschte Stelle verschieben Achtung es dauert einige Zeit bis das Programm reagiert Window Average 4 e Au erhalb des Fensters die recht
19. s sollte IDLE zu lesen sein Das bedeutet das Ger t ist bereit f r einen Schleusvorgang e Unter DETECTORS die CCD Kamera ausw hlen damit der Schleusvorgang am Monitor beobachtet werden kann e Die Probenkammer ffnen am Griff ziehen e Die Probe mit der Pinzette einsetzen es gibt auch die M glichkeit einen 6 fach Halter einzusetzen e Die Probenkammer schlie en e ACHTUNG es ffnet s ch sobald man die Probenb hne ber hrt ein Alarmfenster SMCB Sample touch alarm c1280171 dies hat nicht viel zu sagen deshalb mit OK quittieren CR Vacuum Py e Im Fenster Vakuum ist unter MODE HIVAC markiert e PURGE kann auf OFF oder AUTO stehen Pump u Vent e Die Taste PUMP dr cken idle i mR o Die Turbomolekularpumpe startet und die S ule wird abgepumpt IIE aae ak o Neben der Anzeige H VAC wird der Druck in der Probenkammer angezeigt ne ee o Neben der Betriebsanzeige Pumping oder Vac OK wird der Druck in der ME S ule angezeigt o Ab etwa 10 erscheint die Druckanzeige in mBar o Ab 3 2x10 erscheint VAC OK High Vacuum Yacuum Mode C Low Yacuum Water e Warten bis die Anzeige 10 zeigt dann erst mit der Arbeit beginnen raue Purge Mode Automatic Custom re off Yent Water Bottle H2 Purge Time min i RPM 70 Seite 3 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM Gew nschten Detektor w hlen e Unter DETECTORS den entsprechenden Detektor ausw hlen o Im Hochvakuum
20. tektor nicht ber hrt wird Zur Sicherheit sollte bei jeder Probenbewegung die CCD Kamera eingeschalten werden Seite 13 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM Unter DETECTORS den BSE Detektor ausw hlen Ein sch nes Bild ist nur mit einem der SLOW SCANS zu bekommen im TV a SCAN rauscht das Bild sehr v S Helligkeit und Kontrast einstellen BSE qan Es gibt die M glichkeit unter DETECTORS MIXED das BSE mit dem SE SEN Bild zu mischen Dabei kann eine beliebige Prozentzahl der Detektoren gew hlt ME werden Mixed a trange NS e Bitte den BSE Detektor nach Gebrauch unbedingt wieder in der Parkposition verwahren damit der Detektor gesichert ist Seite 14 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM Die Verwendung des Large Field Detectors F r Proben die nicht besputtert sind e Die S ule ist bel ftet und die gew nschte Probe wurde eingesetzt to N u 3 ya e Der Large Field Detektor wurde eingesetzt Die Probenkammer schlie en Das VAKUUM Fenster ffnen unter PURGE auf AUTO stellen unter MODE H20 einstellen Es erscheint das Fenster ESEM PLA SELECTION e F r die Verwendung des Large Field Detektors wird NO PLA gew hlt Diese Einstellung macht eine Begrenzung des Drucks auf 1 Torr e Die Taste PUMP dr cken e Das Fenster ESEM PLA SELECTION erscheint erneut e F r die Verwendung des Large Field Detektors wird NO PLA gew hlt e Es erscheint das Fenster croscope Warning MICROS
21. tion Linke Maustaste gedr ckt halten i 1 m Auf dem Schirm entsteht ein gr nes Kreuz Maus zuerst entlang der x Achse verschieben bis das Bild zo BE Eu scharf wird Maus dann entlang der y Achse verschieben bis das Bild scharf X wird E lt Wieder Bild sch rfen eventuell alle Punkte mehrmals Window wiederholen in l Dynamic Focus T Tilt Correction Scanrotation Bei der Scanrotation wird der Strahl rotiert und nicht der Probentisch Verwendung f r eine optimale Ausnutzung des Bildausschnitts z B f r Fotos oder zur leichteren Orientierung 2 M glichkeiten o Unter IMAGING o Unter IMAGING Schieberegler SCANROTATION Das STAGE Fenster ffnen Sl Aag a WE Schieberegler SCANROTATION T a F amp Imaging IE l M Scanrotation 0 0 Split Screen Dual Magnification E uE Magnification 100 o0 0 90 E ER Scanrotation 0 0 3 D u 5 Rotation ea Seite 8 Bedienungsanleitung REM Philips XL 30 ESEM Rotation und die Z Achse Die Rotation wird ben tigt um den ganzen Tisch zu rotieren oder um bei der Kippung eine bestimmte Stelle einzusehen Scanrotation 0 0 o Unter IMAGING Das STAGE Fenster ffnen Schieberegler ROTATION Die Z Achse kann entweder direkt an der Probenkammer mit einem Einstellrad oder im Programm mit dem Schieberegler Z ver ndert werden Kippung Der Tisch kann nur in einer Ebene gekippt werden In einer Richtung etwa 50 60 Kippung erfolgt durch d
22. wegung langsam Nahe dem u eren Kreis erfolgt die Bewegung schnell 2 GET Modus Kreuz Geeignet f r kleine und mittlere Vergr erungen Bei gew hltem Modus erscheint der Mauszeiger als wei es Kreuz damit wird durch Klicken mit der linken Maustaste der neue Mittelpunkt des Bildes gew hlt Die Verschiebung der Probenb hne wirkt chaotisch und verwirrend 3 SCHIFT Modus Hand Geeignet f r sehr hohe Vergr erungen Es wird nicht die Probenb hne verschoben sondern der Strahl Aus diesem Grund ist nur eine maximale Auslenkung von 20um m glich Bei gew hltem Modus erscheint der Mauszeiger als Hand Wird die linke Maustaste gedr ckt kann das ganze Bild verschoben werden Vergr erung Die angegebene Vergr erung bezieht sich immer auf die x unterschiedlichen Ausgabemedien Bildschirm Negativ digitales Bild V ideoprint Aus diesem Grund schwanken die magnification should correspond to angegebenen Vergr erungen Der um Balken ist davon nicht betroffen Um die exakte Vergr erung die der Bildschirm 2 a zeigt abzulesen muss zuerst in der TASKLEISTE unter C Display MAGNIFICATION und REFERENCE der DEVICE auf F Videoprint DISPLAY eingestellt werden Dann kann unter IMAGING C Printer oberhalb des MAGNIFICATION Schiebereglers die ea o Vergr erung abgelesen werden Option ok Vergr erung ndern Es gibt mehrere M glichkeiten Microscope Control Image Magnification Beam Scan Detecto
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