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Modul1000 deutsch.book

1. Nr Angezeigte Meldung Beschreibung und m gliche Fehlerursachenbehebung Wie Service Intervall f r L fter Filter Das Serviceintervall f r L fter Filter Chassis ist abgelaufen ist abgelaufen L fter Filter austauschen und Service quittieren Der Schreibbefehl von der MC 68 auf das EEPROM wurde nicht quittiert wen Zeit berschreitung beim E EPROM defekt EEPROM Schreibbefehl Fehler auf Querverdrahtungsebene MC 68 defekt berlauf der EEPROM Softwareproblem W22 Parameter Warteschlange Bitte INFICON Service kontaktieren Spannungs berwachungseingang AD24 A B gt 11 5 V Externe Versorgung 24 V zu R E23 hoch Fremdeinspeisung auf einer der 24 V Ausg nge der Anschluss stecker Schnittstellenkarte Spannungs berwachungseingang AD 24 A B lt 2 5 V Externe Versorgung 24 V zu E24 niedrig Sicherungen F1 bis F4 auf Schnittestellenkarte berpr fen Mindestens 2 Sicherungen ausgefallen Ventilspannungsabsenkung auf I O Board lt 7 V E25 Abgesenkte Ventil spannung zu O Board ist defekt niedrig lt 7 V Steuerkarte MC 68 ist defekt a Spannungs berwachung f r Sicherungen F3 F4 AD 24 A lt 5 6 V E26 UberwachungsspannungF3 F4 i Sicherung F3 Schnittstellenkarte SSK defekt Spannungs berwachung f r Sicherungen F3 F4 AD 24 A lt 7 8 V E27 UberwachungsspannungF3 F4 f Sicherung F4 Schnittstellenkarte SSK defekt Echtzeit hr w rde zur ck Echtzeituhr wurde zur ck
2. DER i ve Fig 7 1 Entnahme der Filter aus dem Chassisgeh use Pos Beschreibung Pos Beschreibung 1 Filtereinsatz 2 Chassis Modul1000 Durchzuf hrende Arbeiten Ben tigte Materialien Best Nr Luftfilter pr fen ersetzen e Ersatzfilter f r L fter 200001552 5000 Std Wartung Die 5000 Std Wartung sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer von INFICON autorisierten Person durchgef hrt werden Alle 5000 Betriebstunden m ssen die Ventilantriebe berpr ft gereinigt und die Ventildichtungen bzw Ventilkappen erneuert werden Das Flutfilter ist je nach Einsatz nach 5000 zu berpr fen jedoch sp testens nach 15000 Betriebstunden auszutauschen Nach 15000 Betriebsstunden ist eine Komplettreinigung vom Ventilblock vorzuneh men Der Ventilblock ist hierzu zu zerlegen Hinweis Das interne Helium Standard Leck besitzt ein Zertifikat mit einer G ltigkeitsdauer von 1 Jahr nach Auslieferung des Dichtheitspr fger ts Es wird empfohlen das Zertifikat durch die INFCON GmbH j hrlich erneuern zu lassen Hierbei wird das interne Helium Standard Leck in allen Funktionen berpr ft und ein neues Zertifikat f r ein weiteres Jahr ausgestellt 7 4 Wartungsarbeiten Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Durchzuf hrende Arbeiten Ben tigte Materialien Best Nr d INFICON
3. Abb 7 8 Austausch Fluffilter Modul1000 Pos Beschreibung Pos Beschreibung 1 Flutfilter 2 Schlauchf hrung 7 14 Wartungsarbeiten Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON 8 Transport und Entsorgung Gefahr der Besch digung Das Modul1000 kann durch unsachgem en Transport besch digt werden Das Modul1000 immer in der Original Verpackung transportieren 8 1 Transport nach Kontamination Falls Sie ein Ger t an INFICON oder eine autorisierte INFICON Vertretung zur ck schicken geben Sie an ob das Ger t frei von gesundheitsgef hrdenden Schadstof fen ist oder kontaminiert ist Bei kontaminierten Ger ten geben Sie bitte auch die Art der Gef hrdung an Ger te ohne Kontaminationserkl rung muss INFICON an den Absender zur ckschicken Sie finden unten im Bild ein Beispielformular Das entsprechende Formular ist dem Ordner des Modul1000 beigef gt Art des Produkts Grund f r die Einsendung Typenbezeichnung Artikelnummer gt Seriennummer VA Verwendete s Betriebsmittel Vor dem Transport abzulassen H Einsatzbedingte Kontaminierung des Produkts toxisch nein 04 jan tzend nein 1 jan mikrobiologisch nein D ja02 explosiv nein D jan 3 radioaktiv nein O jana j sonstige Schadstoffe nein 4 ja Das Produkt ist frei von Ba 2 Derart kontaminierte L 4 oder so gering das
4. Abb 5 1 Teilstrombetrieb Pos Beschreibung Pos Beschreibung V20 Teilstromventil V21 Bel ftungsventil Betriebsarten 5 2 d INFICON 5 3 5 3 1 Auto Leak Test In der Betriebsart Auto Leak Test k nnen Bauteile die mit Helium bef llt sind integ ral in einer Vakuumkammer gepr ft werden Das Modul1000 bernimmt dabei die gesamte Steuerung des Pr fablaufs Der Pr fablauf unterteilt sich in die Schritte Evakuieren der Vakuumkammer Messen der Leckrate und anschlie endes Bel ften der Vakuumkammer Am Ende der Pr fung gibt das Ger t sofern w hrend der Messzeit die Leckrate den eingestellten Triggerwert nicht berschritten hat PASS ber die Bedieneinheit aus Wird der Trigger berschritten gibt das Ger t die Meldung FAIL aus Die Pr fung kann wahlweise auch im Teilstrombetrieb durchgef hrt werden Nach dem Aktivieren von START l uft der gesamte Pr fablauf automatisch ab Bei Verwendung der optionalen Testkammer TC1000 startet der Pr fablauf beim Schlie Ben des Kammerdeckels automatisch Auto Leak Test Einstellungen Messzeit Die Betriebsart Auto Leak Test kann ber die Bedieneinheit oder die RS232 Schnittstelle gew hlt werden Der Pr fablauf kann individuell Ihrer Lecksuchanwendung angepasst werden Die entsprechenden Einstellungen k nnen ber die Bedieneinheit oder die RS232 Schnittstelle siehe Schnittstellenbeschreibung vorgenommen werden Triggerl
5. Kalibrier Faktoren Die Kalibrier Faktoren f r die verschiedenen Massen bzw Betriebsarten und der Maschinenfaktor werden angezeigt Service Dieser Men punkt ist nur f r das autorisierte Servicepersonal von INFICON zug ng lich Betrieb 6 30 d INFICON Hauptmen Info gt Protokollierte Daten gt Fehlerliste anzeigen Die letzten 12 aufgetretenen Ger tefehler werden aufgelistet Wartungsliste Die Zeitpunkte der letzten 12 Wartungen werden angezeigt Kalibrier Historie anzeigen Die Daten der letzten 12 Kalibriervorg nge werden angezeigt gt Pr fprotokoll Die Pr fprotokolle werden abgelegt falls Teilenummer aktiviert ist Pr fprotokoll l schen Die abgelegten Pr fprotokolle k nnen gel scht werden 6 12 8 Hauptmen Benutzerberechtigung Zugang zur CAL Funktion Hier k nnen Sie den Zugang zu der Kalibrierfunktion sperren und ffnen Ger te PIN ndern Der Zugriff auf das Modul1000 kann durch die Eingabe oder nderung der Ger te PIN beschr nkt werden Ist die Ger te PIN von 0000 verschieden fragt das Modul1000 nach dieser PIN sofort nach dem Einschalten Ohne die Eingabe der Ger te PIN ist das Modul1000 nicht nutzbar Men PIN ndern Hier k nnen Sie eine 4 stelligen PIN einstellen und ndern um den Zugang zu dem Men ber die Steuereinheit zu sperren 6 31 Betrieb Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch
6. Ventilantriebe reinigen Ventil dichtungen u Ventilkappen erneuern 5000 Std e Dichtungssatz Ventile 200000594 Flutfilter pr fen ersetzen 5000 15000 Std e Ersatzfilter f r Flutgasleitung 200000683 Ventilblock komplett reinigen 15000 Std Internes Testleck nachkalibrieren j hrlich empfohlen e Dichtungssatz Nachweissystem 200002002 kompl Pr fung und Neuabgleich Pirani sensoren 15000 Std 2 j hrige Wartung Betriebsmittelspeicher TMH 071 Die 2 j hrige Wartung des Betriebsmittelspeichers der Turbomolekularpumpe TMH 071 sollte von einem INFICON Servicetechniker oder einer von INFICON autorisier ten Person durchgef hrt werden Kunden die ein entsprechende Einweisung von einer autorisierten Person erhalten haben k nnen diese Wartung in Eigenverant wortung durchf hren Der Betriebsmittelspeicher der Turbomolekularpumpe TMH 071 muss unabh ngig von der erreichten Betriebsstundenzahl nach Ablauf von 2 Jahren ausgetauscht werden F r den Austausch des Betriebsmittel speichers folgen Sie bitte den Anwei sungen in Kapitel 7 6 Durchzuf hrende Arbeiten Ben tigte Materialien Best Nr Betriebsmittelspeicher TMH 07 1erneuern e Betriebsmittelspeicher f r 200000577 TMH 071 Wartungsarbeiten 7 5 d INFICON 7 5 7 5 1 Beschreib ung der Wartungsarbeiten Ver nderungen am Modul1000 die ber den normalen Umfang der
7. 1012 jinb80d1 h d INFICON 7 Wartungsarbeiten Das Modul1000 ist ein speziell f r den industriellen Einsatz konzipiertes und konst ruiertes Messger t Die verwendeten Bauteile und Baugruppen entsprechen h chs ten Qualit tsstandards und sind weitestgehend wartungsarm Zur Wahrung der Gew hrleistungsanspr che f r das Modul1000 ist es jedoch erfor derlich die nachstehend aufgef hrten Wartungsintervalle einzuhalten Der Abschluss eines Wartungsvertrages f r das Modul1000 mit INFICON oder einem von INFICON autorisierten Servicepartner wird empfohlen 7 1 Wartung und Service bei INFICON Im Falle dass Sie ein Ger t an INFICON zur Wartung oder Reparatur einschicken geben Sie an ob das Ger t frei von gesundheitsgef hrdenden Schadstoffen ist oder kontaminiert wurde Falls es kontaminiert ist geben Sie die Art der Gef hrdung an Verwenden Sie hierzu ein von uns vorbereitetes Formular Kontaminationserkl rung das wir Ihnen auf Anfrage zusenden Eine Kopie des Formulars finden Sie am Ende dieses technischen Handbuches Kopien des Formulars sind ebenfalls zul s sig Befestigen Sie das Formular direkt am Ger t oder legen Sie es dem Ger t in der Verpackung beil Hinweis Die Kontaminationserkl rung ist zwingend erforderlich zur Erf llung gesetzlicher Auflagen und zum Schutz unserer Mitarbeiter Ger te ohne eine Kontaminationserkl rung muss INFICON an den Absender zur cksenden 7 2 Allgemeine
8. ber das Softwarepaket Leak Ware Betrieb der Leak Ware siehe dazugeh rige Gebrauchsanweisung Hinweis Die Kalibrierfunktion der Leak Ware ist nicht zum Betrieb mit dem Modul1000 geeignet Bitte in der Betriebsart Single Part Measurement die Funktion STORE DATA ausf hren damit die Messwertaufzeichnung startet gt ASCII Erlaubt den Betrieb des Modul1000 ber ein RS232 Terminal Einzelheiten dazu finden Sie in der Schnittstellenbeschreibung Betrieb 6 24 d INFICON Hauptmen Einstellungen gt Schnittstellen Externes Druckmessger t Im Commander Betrieb muss das Modul1000 mit einer externen Druckmessstelle verbunden werden Im Softwaremen Externes Druckmessger t ist die Kennlinie und der Nullpunkt sowie Vollausschlag des verwendeten Druckmessger tes einzu geben Kennlinie Die Kennlinien Charakteristik kann eingegeben werden Strom linear Spannung linear Strom logarithmisch Spannung loga rithmisch Nullpunkt Der Nullpunkt Druckwert des angeschlossenen Sensors kann mit dem entsprechenden Strom bzw Spannungswert belegt werden Vollausschlag Der Vollausschlag Druckwert des angeschlossenen Sensors kann hier mit dem entsprechenden Strom bzw Spannungswert belegt werden Hauptmen Einstellungen gt Schnittstellen gt SPS Ausg nge definieren In diesem Untermen l sst sich die Pin Belegung des SPS Ausgangssteckers PLC OUT ver ndern Zum Definieren der
9. 104 F 2000 m Technische Daten 9 2 d INFICON 9 2 9 2 1 Steuerung ber die SPS Ein und Ausg nge Soll das Modul100 ber die SPS Ein und Ausg nge gesteuert werden muss der Steuerungsort SPS Alle oder Lokal und SPS siehe Kapitel oder SB gew hlt werden SPS Eing nge Technisches Handbuch werden Die Elektronik des Modul1000 kann bei zu hoher Eingangsspannung zerst rt Die Eingangsspannung darf nur maximal 30V DC betragen Die 14 polige Ph nix Anschlussbuchse befindet sich auf der Ger ter ckseite und ist mit PLC In Audio beschriftet Die Pinbelegung der Anschlussbuchse kann frei konfiguriert werden siehe auch Schnittstellenbeschreibung Kontakt Signal 24V abgesichert mit F3 auf der Schnittstellenkarte 0 8 A maximale Stromabgabe 1 an diesem Kontakt zusammen mit Kontakt 1 an dem Anschluss PRESSURE GAUGE 2 GND 3 frei konfigurierbar SPS Eingang z B START Werkseinstellung 4 frei konfigurierbar SPS Eingang z B STOP Werkseinstellung 5 frei konfigurierbar SPS Eingang z B ZERO Werkseinstellung 6 frei konfigurierbar SPS Eingang z B CAL Werkseinstellung 7 frei konfigurierbar SPS Eingang z B CAL INTREN Werkseinstellung 8 frei konfigurierbar SPS Eingang z B CAL EXTERN Werkseinstellung 9 frei konfigurierbar SPS Eingang z B CLEAR Werkseinstellung 10 frei konfigurierbar SPS Eingang z B GAS BALLAST Werkseinstellung 11 S
10. Automatische Abstimmung Masseneinstellung Diese Funktion stellt das Massenspektrometer so ein dass eine maximale Empfind lichkeit erreicht wird Der Steuerrechner ndert die Spannung welche die lonen beschleunigt innerhalb des ausgew hlten Massenbereiches so dass vom lonende tektor ein maximaler lonenstrom detektiert wird Bei jeder Kalibrierung erfolgt eine automatische Einstellung der Masse Automatische Messbereichswahl Der Verst rkungsbereich des Vorverst rkers wird automatisch ausgew hlt Die automatische Messbereichswahl das Modul1000 berstreicht den gesamten Leckra tenbereich in Abh ngigkeit von der ausgew hlten Betriebsart Vakuummodus oder Schn ffelmodus Nicht nur das Leckratensignal sondern auch der Druck im Pr fling Einlassdruck PE und der Vorvakuumdruck PV werden zu Steuerungszwecken herangezogen Automatische Nullpunkteinstellung Messung und automatische Anpassung an den Heliumuntergrund in der Betriebsart Vakuum Durch diese Funktion wird der interne Ger tenullpunkt bestimmt der dann vom aktuell gemessenen Leckratensignal abgezogen wird Diese Funktion wird w hrend des Kalibriervorganges oder bei Bet tigung der Start Taste aktiviert sofern das Modul1000 zuvor mindestens 20 Sekunden in der Betriebsart Standby oder Bel ften gelaufen ist Sollte sp ter der zuvor unterdr ckte Heliumuntergrund weiter sinken dann wird der Nullpunkt automatisch angepasst Vorvakuumdruck Druck im Vorvakuum zwischen
11. Bestellinformation d INFICON Beschreibung Kat Nr Bedieneinheit Tischbetrieb 551 100 Bedieneinheit Rackeinbau 551 101 Anschlussleitung zur Bedieneinheit 1 m 551 103 Anschlussleitung zur Bedieneinheit 5 m 551 102 Schn ffelleitung SL200 140 05 Fernbedienung Fernbedienung RC1000WL drahtlos 551 015 Fernbedienung RC1000C drahtgebunden 551 010 Funktransmitter 551 020 zum Betrieb eines weiteren Dichtheitspr fger tes Testkammer TC1000 551 005 Satz Anschlussstecker 551 110 Bestellinformation 11 1 d INFICON 11 1 Servicezentren weltweit Algerien jhi agramkow dk Indien asdash hotmail com Agramkow Tel 45 741 236 36 Dashpute Tel 91 22 888 0324 Sonderborg Fax 45 744 336 46 Mumbai Fax 91 22 888 0324 Belarus leakdetection service inficon com Irland reach unitedkingdom inficon com INFICON GmbH Tel 49 221 56788 112 INFICON Ltd Tel 44 1254 678 250 K ln Fax 49 221 56788 9112 Blackburn Fax 44 1254 698 577 Belgien leakdetection service inficon com Israel urimark mark tec co il INFICON GmbH Tel 49 221 56788 112 Mark Technologies Ltd Tel 972 35 34 68 22 K ln Fax 49 221 56788 9112 Kiriat Ono Fax 972 35 34 25 89 Brasilien fernandoz prestvacuo com br Italien reach italy inficon com PV Pest V cuo Ltda Tel 55 114 154 4888 INFICON GmbH Tel 39 045 6 40 25 56 Santa de Parna ba Fax 55 114 154 4888 Castelnuovo Fax 39 045 6 40 24
12. TMP Controller im TC 600 Reset des Controller bei stehender Pumpe OHz durch Netz Ein Aus des E10 f S ch S fehlerhaft Dichtheitspr fger ts Austausch TMH inkl TC 600 Controller detektiert falschen Pumpenkennwiderstand Se Austausch TMH inkl TC 600 Pumpenkennwiderstand INFICON Service verst ndigen Fehler in Motorendstufe bzw Motoransteuerung pta 19 NO ORANEIEUERING Austausch TMH inkl TC 600 fehlerhaft INFICON Service verst ndigen Fehlermeldung vom TC 600 f r die in der Software des Leck suchers kein W13 TMP Unbekannter TMP Fehler Fehlercode hinterlegt ist Der Fehlercode vom TC 600 Konverter wird angezeigt F Die berwachungsfunktion Verseuchungsschutz ist aktiviert und es wurde eine Leckrate zu hoch Es wurde in Leckrate ber dem eingestellten Grenzwert detektiert w15 Standby Modus geschaltetum Grobleck HE Ver seuchung zu i vermeiden Abschaltgrenzwert ist zu klein Alarmverz gerung wurde zu kurz eingestellt wie Service Intervall des Leck Das Serviceintervall f r Dichtheitspr fger t ist abgelaufen suchers ist abgelaufen Service f r Dichtheitspr fger t durchf hren und quittieren Service Intervall des Leck Das Service Intervall f r die Turbopumpe ist abgelaufen Zeit seit letztem Service w17 suchers ist abgelaufen gt 2 Jahre Betriebsmittelspeicher der Turbopumpe austauschen u quittieren 2 10 1 Fehlermeldungen und Warnungen Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON
13. hrend der Kalibrierung am Einlass befindet Wartungsintervalle Wartungsintervall Setzt das Wartungsintervall der Turbomolekularpumpe TMP r cksetzen zur ck siehe Kapitel 7 Wartungsarbeiten Wartungsmeldung ber den Men punkt Wartungsmeldung f r TMP kann die f r TMP Wartungsmeldung die nach dem Ablauf des Wartungsintervalls automatisch erscheint deaktiviert werden Wartungsintervall m Men Wartungsintervall L fterfilter kann das L fter Filter Wartungsintervall in 500 Stunden Schritten eingestellt werden Der h chste Wert ist 4000 Stunden Bei hohem Staubanteil der Luft am Einsatzort sollte f r das Intervall eine kurze Zeitspanne gew hlt werden Wartungsmeldung Jm Men Wartungsmeldung L fterfilter kann die L fter Filter Wartungsmeldung die nach dem Ablauf des Wartungsintervalls automatisch erscheint deaktiviert werden Wird die Wartungsmeldung ignoriert und ein verschmutzter Luftfilter nicht ersetzt dann besteht die Gefahr dass sich das Modul1000 berhitzt 6 12 6 6 Hauptmen Einstellungen Parameter laden Speichern Speichern unter PARA SET 1 Speichern unter PARA SET 2 Speichern unter PARA SET 3 6 27 Betrieb Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON Durch Bet tigen der Tasten Speichern PARA SET 1 bis Speichern PARA SET 3 k nnen die aktuellen
14. tehaube darauf dass keine elektrischen Verbindungen zwischen Ger tehaube und Chassis eingeklemmt werden 4 Zum sichern der Ger tehaube drehen Sie die Roto Lock Verschl sse bis zum Anschlag in Richtung CLOSE 76 TMH 071 Betriebsmittelspeicher ersetzen Die Turbomolekularpumpe TMH 071 ist zur Schmierung der Kugellager mit einem Betriebsmittel gef llt Ein Wechsel des Betriebsmittelspeichers ist alle 2 Jahre unab h ngig von der in dieser Zeit erreichten Betriebsstundenzahl durchzuf hren Unter extremen Belastungen oder beim Einsatz in unreinen Prozessen m ssen k rzere Austauschintervalle gew hlt werden Ben tigtes Werkzeug Spezialwerkzeug Stirnlochschl ssel Ben tigtes Material N Betriebsmittelspeicher P N 200 000 577 Bevor Sie mit den Wartungsarbeiten beginnen muss sichergestellt werden dass Massenspektrometer und Turbopumpe vollst ndig geflutet sind Nur im gefluteten Zustand l sst sich der Verschlussdeckel zum Betriebsmittelspeicher ffnen Zum Fluten der TMH 071 Vorvakuumanschluss zum Standards auftrennen und Ger t f r ca 10 bis 25s einschalten Nach ca 10 s ffnet Ventil V2 und Massenspektrometer und Turbomolekularpumpe werden angeflutet Mindestens weitere 10 s warten bis das Hochvakuumsystem vollst ndig geflutet wurde Netzschalter wieder ausschalten und Ger t vom Netz trennen Drehen Sie das Ger t auf eine L ngsseite damit Sie Zugang zu dem auf der Unterseite des Ger
15. 21 Bulgarien leakdetection service inficon com Japan reach japan inficon com INFICON GmbH Tel 49 221 56788 112 INFICON Co Ltd Tel 81 45 471 3396 Cologne Fax 49 221 56788 9112 Yokohama Fax 81 45 471 3387 China reach china inficon com Kanada reachus vpcinc ca INFICON LTD Tel 852 2862 8863 Vacuum Products Canada Ltd Fax 1 905 672 7704 Hongkong Fax 852 2865 6883 Ontario Fax 1 905 672 2249 INFICON LTD Tel 86 10 6590 0164 Korea reach korea inficon com Beijing Fax 86 10 6590 0521 INFICON LTD Tel 86 20 8723 6889 INFICON Ltd Tel 82 312 062 890 Guangzhou Fax 86 20 8723 6003 Sungnam Fax 82 312 063 058 INFICON LTD Tel 86 21 6209 3094 INFICON Ltd Tel 82 312 062 890 Shanghai Fax 86 21 6295 2852 Suwon City Fax 82 312 063 058 D nemark jhi agramkow dk INFICON Ltd Tel 82 312 062 890 Cheonan City Fax 82 312 063 058 Agramkow Tel 45 741 236 36 Sonderborg Fax 45 744 336 46 Deutschland leakdetection service inficon com Lettland leakdetection service inficon com INFICON GmbH Tel 49 221 56788 112 INFICON GmbH Tel 49 221 56788 112 K ln Fax 49 221 56788 9112 K ln Fax 49 221 56788 9112 Estland leakdetection service inficon com Litauen leakdetection service inficon com INFICON GmbH Tel 49 221 56788 112 INFICON GmbH Tel 49 221 56788 112 K ln Fax 49 221 56788 9112 K ln Fax 49 221 56788 9112 Finnland jhi agramkow dk Mexiko infogro meisa com Agramkow Tel 45 741 236
16. 6 12 6 2 Hauptmen Einstellungen Zero amp Untergrund Untergrundunterdr ckung Einlassbereich Zus tzlich zum internen Untergrund wird nach Bet tigung der START Taste auch der Untergrund des Einlassbereiches vom Messsignal abgezo gen Der Wert muss ber die Funktion Untergrundbestimmung Einlassbereich im Men Zero amp Untergrund bestimmt werden Nur intern Der interne Untergrund wird bei der Bet tigung der START Taste gemes sen und vom Messsignal abgezogen Untergrundbestimmung Einlassbereich F r diese Funktion muss sich das Ger t im folgenden Zustand befinden e Modus Vakuum e Zustand bel ftet mindestens 1 Minute e Einlass blindgeflanscht e Mindestens 20 Minuten seit Einschalten des Ger tes Zero Die Funktion leZero erm glicht die Freigabe der ZERO Taste nur bei stabilen Leck raten Signalen In dieser Einstellung wird die Steigung des fallenden Untergrundsig nals gemessen Das Leckratensignal muss stabil genug sein um ein Leck in der Gr enordnung des eingestellten Trigger 1 zu finden Die I Zero Funktion ist verrie gelt solange das Leckratensignal nicht stabil genug ist Steigung des fallenden Untergrundsignals ist gt 0 5 x eingestellter Triggerwert1 6 12 6 3 Hauptmen gt Einstellungen Masse Im Softwaremen Masse kann das zur Lecksuche verwendete Sp rgas ver ndert werden Zur Auswahl stehen gt H Wasserstoff gt He Helium Ze Heliu
17. Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON Mit dem Steckbr ckenfeld XT1 bzw XT2 kann durch Umstecken der jeweiligen Steckbr cke Pin 2 und 3 Masse bzw 24V auf die RS232 Schnittstelle geschaltet werden Auslieferzustand XT1 bzw XT2 Pin 1 und 2 gebr ckt Werkseinstellung Standard RS232 Lebensgefahr durch Stromschlag Erst das Dichtheitspr fger t vom Netz trennen dann das Geh use entfernen Die Steckbr cken befinden sich auf der Schnittstellenkarte und sind nach ffnen der Haube zug nglich xT2 Standar VT PZ Abb 4 3 Jumper XT2 und XT1 Pos Beschreibung 1 Pin 1 2 Pin 2 3 Pin 3 Installation 4 5 d INFICON 4 2 3 Vakuumtechnische Anschl sse Vorvakuumpumpe Der Anschluss f r die erforderliche Vorvakuumpumpe befindet sich links vorn am Ger t oder an der Unterseite Alternativ kann bei der Vakuumversion des Modul1000 der Pumpenanschluss auch an der rechten Seite erfolgen Schrauben Sie den Anschlussflansch mit dem Maulschl ssel SW13 heraus um ihn umzubauen und entnehmen Sie die Dichtung Schrauben Sie den Verschlussstopfen des Anschlusses heraus den Sie verwenden werden Schrauben Sie den Verschlussstopfen mit der Dichtung in die ffnung des entfernten Anschlussflansches ein Schrauben Sie den Anschlussflansch mit der Dichtung ein Hinweis Bei der Schn ffelversion des Modul1000 kann nur der Pumpenanschluss an der linken Seite und an der Unterseite g
18. Kalibrierung ffnet das Modul1000 das interne Testleck und pumpt den Einlass ab Abh ngig vom angeschlossenen Volumen verl ngert sich die Signaleinschwingzeit des Testlecks Daher muss der Bediener best tigen dass das Testlecksignal ein stabiles einge schwungenes Niveau erreicht hat 6 9 Betrieb Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON Externe Kalibrierung Die externe Kalibrierung bietet den Vorteil dass sie die anwendungsspezifischen Messbedingungen ber cksichtigt Anstelle des Testobjektes oder an geeigneter Stelle der Lecksuchanlage kann ein geeignetes Kalibrierleck an den Einlass des Modul1000 angeschlossen werden Kalibrierlecks mit elektromagnetischem Ventil k nnen an den Anschluss VALVES auf der Ger ter ckseite angeschlossen werden Die Steuerung des Ventils erfolgt dann automatisch durch das Modul1000 Vor der Kalibrierung muss der entsprechende Wert des Kalibrierlecks mit dem das Modul1000 kalibriert werden soll in den Einstellungen des Modul1000 gespeichert werden Dies kann ber die optionale Bedieneinheit oder ber die RS232 Schnitt stelle geschehen Mit der Einstellung Teilstrom im Messbetrieb erfolgt die externe Kalibrierung im Teilstrombetrieb Automatische externe Kalibrierung Eine automatische externe Kalibrierung erfordert ein Kalibrierleck mit elektromagne tischem Ventil Der elektrische Anschluss erfolgt ber d
19. SPS Ausg nge ist wie folgt vorzugehen Mit den linken Pfeiltasten ist der zu konfigurierende Anschlusspin des Steckers PLC OUT zu w hlen Mit den rechten Pfeiltasten kann dem ausgew hlten Anschlusspin eine der aufgef hrten Funktionen zugeordnet werden Nachdem die SPS Ausg nge wie gew nscht definiert wurden m ssen die Einstellungen durch Dr cken der Taste OK gespeichert werden Hauptmen Einstellungen Schnittstellen gt SPS Eing nge definieren In diesem Untermen l sst sich die Pin Belegung des SPS Eingangssteckers PLC IN ver ndern Zum Definieren der SPS Eing nge ist wie folgt vorzugehen Mit den linken Pfeiltasten ist der zu konfigurierende Anschlusspin des Steckers PLC IN zu w hlen Mit den rechten Pfeiltasten kann dem ausgew hlten Anschlusspin eine der aufgef hrten Funktionen zugeordnet werden Nachdem die SPS Eing nge wie gew nscht definiert wurden m ssen die Einstellungen durch Dr cken der Taste OK gespeichert werden Die SPS Eing nge und die SPS Ausg nge k nnen im Men und ber die serielle Schnittstelle invertiert werden Die Invertierung wird auch in den Parameters tzen gespeichert Hauptmen Einstellungen Schnittstellen gt Schreiber In diesem Untermen lassen sich die von einem Schreiber aufzuzeichnenden Signale den beiden Schreiberausg ngen Analogausg nge zuordnen 6 25 Betrieb Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Han
20. Sp len A Gasballast Verz gerung Bel ftung Teilstrom Auto Leak Test Einstellungen Messzeit Trigger level 1 Serienfehlermeldung Teilenummer Referenzmessung Commander Funktionen Commander Timing Commander Druckschwellen Untergrundunterdr ckung Triggerlevel 1 Maschinenfaktor Leckrate internes Testleck Zero amp Untergrund Untergrundunterdr ckung ero Masse Schnittstellen Steuerungsort RS232 Externes Druckmessger t Kennlinie Nullpunkt Vollausschlag SPS Ausg nge definieren SPS Eing nge definieren Schreiber Schreiberausgang Skalierung Schreiberausgang Gasballastausgang Diverses Datum Uhrzeit Sprache Leckratenfilter Teilenummer CAL Einschwingzeit Wartungsintervalle Wartungsintervall TMP r cksetzen Wartungsmeldung f r TMP Wartungsintervall L fter Filter Wartungsmeldung L fter Filter Parameter laden speichern Speichern unter PARA SET 1 Speichern unter PARA SET 2 Speichern unter PARA SET 3 Defaultwerte Laden Lade PARA SET 1 Lade PARA SET 2 Lade PARA SET 3 berwachung Kalibrieraufforderung Paging Funktion Verseuchungsschutz Druckgrenze f r Vakuumbereich Druckgrenze f r Schn ffel Modus Maximale Evakuierungszeit 6 13 Betrieb Technisches Han
21. TRIGGER 3 PLC OUT Pin 11 OPEN TRIGGER 1 OPEN PLC OUT Pin 12 OPEN TRIGGER 2 OPEN PLC OUT Pin 13 OPEN TRIGGER 3 OPEN PLC OUT Pin 14 OPEN REC STROBE OPEN RECORDER Pin2 LR MANTISSA LR MANTISSA LR MANTISSA RECORDER Pin3 LR EXPONENT LR EXPONENT LR EXPONENT LR Einheit mbarl s Pa m3 s Pa m3 s Pa m3 s Druck Einheit mbar Pa Pa Pa Steuerungsort LOCAL LOCAL PLC LOCAL PLC LOCAL PLC Werkseinstellung Parametersatz 1 Betrieb 6 28 d INFICON 6 12 6 7 Hauptmen Einstellungen berwachung gt Kalibrieraufforderung Hier l sst sich einstellen ob der Bediener an die Notwendigkeit einer Kalibrierung erinnert werden soll oder nicht Die Werkseinstellung ist Aus Wenn die Aufforderung zur Kalibrierung eingeschaltet ist erfolgt eine entsprechende Meldung 30 Minuten nach dem Einschalten oder wenn sich die Temperatur im Modul1000 seit der letzten Kalibrierung um mehr als 5 C ver ndert hat Paging Funktion Arbeitet das Modul1000 mit einer drahtlosen Fernbedienung RC1000WL zusam men dann kann hier ein akustisches Signal aktiviert werden das an der Fernbedie nung ert nt um sie aufzufinden und zu identifizieren Verseuchungsschutz Ist dieser Modus eingeschaltet schlie t das Modul1000 alle Ventile sobald die gemessene Leckrate den Grenzwert f r den Verseuchungsschutz bersteigt Dadurch gelangt nicht unn tig viel Helium in das Massenspektrometer Eine Verseu chung des Lecksuchers mit Heli
22. Warte auf ULTRA 3 ist leck Err94 t2 gt t_F_Messbereitschaft ULTRA V33 ffnen starte t1 Leckrate nicht stabil Err98 Verz gerung ZERO A t1 gt t_A_Zeroverz gerurkg ZERO_DISABLED ZERO_ENABLED amp t1 gt t_B_Zeroverz gerung ZERO amp SIGNAL_STABLE Starte t1 Helium bef llen 5 V33 defekt Err93 t1 gt t_C_F llzeit Pext gt p_C_F lldruck Schlie e V33 Start Messzeit Druckabfall im Pr fling ERR99 Pext lt p_E_DruckabfallschX V32 ffnen schlie en Messzeit gt t_G_Messzeit Leckrate bestimmen V32 ffnen starte t1 estgas Pu Helium entspannen V34 ffnen Ben t1 gt t_D_Entspannzeit 8 Stop Err95 Pext lt p_D_Entspanndruck V32 schlie en V30 ffnen starte t1 b t1 gt t_A_Abpumpzeit en Stop 8 Pext lt p_B_Abpumpdruck V30 schlie en V31 ffnen starte t1 Pext gt p_A_Groblecktest Kammer fluten Pr fling Pass oder Fail ausgeben bel ften Stop t1 gt t_E_Flutzeit 9 Technisches Handbuch 1012 Abb 9 14 Ablaufdiagramm 9 21 Technische Daten jinb80d1 h d INFICON 9 8 CE Zertifikat d INFICON Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h EG Einbauerkl rung Hiermit erkl ren wir INFICON GmbH dass die nachfolgend bezeichneten Produkte aufgrund ihrer Konzipie
23. Werten initialisiert Alle Kundenparameter m ssen erneut eingegeben oder bestimmt werden Tritt die Warnung nach dem Wiedereinschalten erneut auf kann das EEPROM auf der Verdrahtungsebene nicht beschrieben werden EEPROM auf Verdrahtungsebene defekt W84 EEPROM Parameter initialisiert nach Software Update Fehlende oder ge nderte Parameter im EEPROM und neue Softwareversionsnummer festgestellt Ein Software Update wurde durchgef hrt und ein oder mehrere neue Parameter sind festgestellt worden In diesem Fall kann die Meldung quittiert werden Der oder die Parameter werden automatisch hinzugef gt W85 EEPROM Parameter verloren Bitte Ein stellungen berpr fen Defekter oder fehlender Parameter im EEPROM festgestellt Die Softwareversionsnummer hat sich nicht ver ndert Tritt die Warnung nach Wiedereinschalten erneut auf kann das EEPROM auf der Verdrahtungsebene nicht beschrieben werden oder ist defekt EEPROM auf Verdrahtungsebene defekt Der Schreibzugriff wurde unterbrochen berpr fen Sie die Einstellungen und quittieren die Fehlermeldung 10 7 Fehlermeldungen und Warnungen Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON Nr Angezeigte Meldung Beschreibung und m gliche Fehlerursachenbehebung W86 Alle IeSTICK Parameter verloren Bitte berpr fen Sie Ihre Einstellungen leSTICK auf Verdrahtungsebene is
24. diesem Kontakt zusammen mit Kontakt 1 am Anschluss PLC IN GND Eingang 1 GND zu Eingang 1 Eingang 2 wird von der aktuellen Software nicht unterst tzt GND zu Eingang 2 o a A N Hinweis Die anzuschlie enden Durcktransmitter k nnen ber die Kontakte 1 und 2 aus dem Modul1000 versorgt werden Erfolgt die Versorgung aus externen Netzteilen ist zu beachten dass die Kontakte 4 und 6 maximal ein Potential von 4V gegen ber Kontakt 2 besitzen d rfen Ansonsten besteht Zerst rungsgefahr Hinweis Der Sensor wird richtig abgeglichen indem Nullpunkt und Vollausschlag der Ausgangskennlinie entsprechen Lebensgefahr durch Stromschlag Zuerst das Dichtheitspr fger t vom Netz trennen dann das Geh use entfernen Das Modul1000 kann Messwerte in Form von Strom und Spannung verarbeiten Im Auslieferungszustand ist Eingang 1 f r Strommessung 4 20 mA konfiguriert Eingang 2 f r Spannungsmessung 0 10 V Um die Konfiguration des Einganges der Druckmessstelle zu ver ndern muss der entsprechende Jumper auf der Schnittstellenkarte im Inneren des Moduli 000 umge steckt werden Daf r das Ger t ffnen Die Jumper befinden sich auf der Schnittstellenkarte und sind nach ffnen der Haube zug nglich Durch Umstecken des Jumpers auf Steckkontakt XP5 kann die Einstellung des Eingangs 1 ver ndert werden f r ein Stromsignal wird Pin 1 und 2 von XP5 verbun den f r ein Spannungssignal Pin
25. eingeschaltet werden MSV Baugruppe signalisiert einen Fehler MENB Emissionsstrom au erhalb des zul ssigen Bereiches E61 Emission fehlerhaft Beide Katoden defekt lonenquelle ersetzen lonenquellenstecker nicht gesteckt MSV Karte defekt Im Schn ffelmodus wird der Einlassdruck der Schn ffelleitung berwacht F llt der Druck unter einen Minimalwert ist der Durchfluss durch die Kapillare zu gering Der Minimalwert kann ber das Men in bestimmten Grenzen eingestellt Fluss durch Kapillare zu klein werden Die Werkseinstellung ist 0 5 mbar W62 Lecks k nnen unter Umst nden Filter in Filterspitze blockiert BEES Werden Sinterfilter in Filterspitze verschmutzt Kapillare durch Schmutzeintrag blockiert Untere Druckgrenze zu hoch Im Schn ffelmodus wird der Einlassdruck der Sch ffelleitung berwacht berschreitet der Druck ein vorgegebenes Maximum ist der Gasdurchfluss durch die Kapillare zu hoch Der maximale Druck kann ber das Men in bestimmten E63 Kapillare gebrochen Grenzen eingestellt werden Die Werkseinstellung ist 2 0 mbar Kapillare gebrochen oder abgerissen Obere Druckgrenze ist zu niedrig 10 5 Fehlermeldungen und Warnungen Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON Nr Angezeigte Meldung Beschreibung und m gliche Fehlerursachenbehebung Vorverst rkersignal hat im unempfindlichsten Messbereich 10 V f r 10
26. gr eren Flexibilit t sind diese geschalteten Ausg nge potentialfrei ausgef hrt der Anwender kann also eine externe Gleichspannungsversorgung anschlie en Diese muss eine sichere Trennung vom Netz haben und darf maximal 30V betragen Die 24V Versorgung des Modul1000 kann zur Speisung der Ventile genutzt werden Die Ventilschalter schalten zu der an Kontakt 3 angelegten 24V Versorgung Jeder Ventilschalter darf maximal mit 0 2A belastet werden Folgende Ventile k nnen ber diesen Anschluss durch das Modul1000 gesteuert werden Kontakt Signal 24V abgesichert mit F4 1 6Ar auf der Schnittstellenkarte Die maximale 4 Stromabgabe an diesem Kontakt zusammen mit dem entnommenen Strom an Kontakt 1 an den Ausg ngen PLC OUT und ACCESSORIES muss kleiner als 1 6 A sein 2 GND 3 Speisung extern 24V 30V max 4 Leeranschluss kann als St tzpunkt f r die externe Verdrahtung dienen 5 Ausgang 1 V30 Commanderbetrieb Pr fteil evakuieren 6 Ausgang 2 V31 Commanderbetrieb Pr fteil fluten 7 Ausgang 3 V32 Commanderbetrieb Ventil Pr fteil entleeren 8 Ausgang 4 V33 Commanderbetrieb Ventil Pr fteil f llen 9 Ausgang 5 V34 Commanderbetrieb Notventil 10 Ausgang 6 V35 11 Ausgang 7 V36 12 Ausgang 8 V37 externes Testleck Ventil 24V lt 0 2A 13 Ausgang 9 V20 Teilstromventil 24V lt 1A 14 Ausgang 10 V21 Flutventil 24V lt 1A 15 Ausgang 11 V22 Gasballastve
27. ngt von der aktuell ausgew hlten Men ebene ab Die jeweiligen Funktionen sind dann im Display beschrieben Numerische Eingaben Wenn eine Men seite ge ffnet wurde in der numerische Eingaben gemacht werden k nnen ist wie nachstehend beschrieben zu verfahren e Wenn kein Zahlenwert ge ndert werden soll Taste Nr 1 Abbrechen bet tigen e Die Ziffer deren Wert sich ndern l sst wird invertiert dargestellt Mit Hilfe von Taste Nr 8 und Taste Nr 4 kann die zu ndernde Stelle ausgew hlt werden e Um die Ziffer an der ausgew hlten Stelle zu ndern die Taste mit dem entsprechenden Ziffernpaar bet tigen Es ffnet sich daraufhin ein Untermen in dem der gew nschte Ziffernwert ausgew hlt werden kann Nach der Auswahl schlie t das Untermen automatisch und die n chste Eingabestelle des ganzen Zahlenwertes wird invertiert dargestellt und kann ge ndert werden Nachdem die letzte Ziffer erreicht wurde m ssen alle Korrekturen durch Dr cken der OK Taste best tigt werden Betrieb 6 4 d INFICON Abbrechen Tri9serlevel 1 11 0 1008 Abb 6 4 Beispiel einer numerischen Eingabe des Trigger Level 1 Um die Triggerschwelle von 1 0x10 9 mbar Us auf 3x10 mbar Us zu ndern die Taste 2 3 Taste Nr 3 bet tigen Es ffnet sich ein Untermen in dem der gew nschte Wert 3 Taste 4 gew hlt werden kann 6 5 Betrieb Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbu
28. s berschritten W64 Vorverst rkersignal ist zu gro Massive Verseuchung des Hochvakuumsystem mit Helium Vorverst rker defekt Grobe Verunreinigung im Massenspektrometer TMP Frequenz von Solldrehzahl abgefallen im Schn ffelbetrieb Schn ffler nicht angeschlossen E68 TMP Frequenz zu klein S f Schn ffelleitung undicht Frequenzwandler defekt TMH 071 austauschen Signaldifferenz zwischen Testleck und Luft lt 2 x 10E 14 A Signaldifferenz zwischen Fehlbedienung w hrend der Kalibrierung W69 y Testleck und Luft zu klein Testleck zu klein Testleck ist leer DC DC Konverter auf der MSV Platine liefern zu kleine Ausgangspannung Wi Versorgungsspannung Sicherung F3 auf MSV Karte defekt 15 V zu niedrig DC DC Wandler auf MSV defekt Steckbr cken f r DC DC Wandler auf MSV Karte falsch gesetzt w74 Versorgungsspannung DC DC Konverter auf der MSV Platine liefern zu hohe Ausgangspannungen 15 V zu hoch DC DC Wandler auf MSV defekt Die Emission wird abgeschaltet wenn der Druck p2 gt 22 mbar ist F llt der Druck nach Schlie en der Einlassventile wieder geht das E73 Emission aus p zu hoch Dichtheitspr fger t in den Standby Modus zur ck Lufteinbruch im Messbetrieb Verschmutzte Ventile Innerhalb der eingestellten Evakuierungszeit ist die Druckschwelle von 100 mbar Maximale Evakuierungszeit nicht erreicht worden Ze Gs 100 mbar wurge Pr fling hat ein Grobleck berschritten Evakuierungszeit ist auf das
29. 0 mbar Hauptmen Einstellungen gt Vakuumeinstellungen gt Maschinenfaktor Der Maschinenfaktor ber cksichtigt nach dem internen Kalibrieren das Verh ltnis zwischen dem effektiven Saugverm gen des Modul1000 und dem des Anlagen pumpstandes im Messbetrieb Der Maschinenfaktor ber cksichtigt die Tatsache dass ein paralleles externes Pumpsystem verwendet wird Auf der Basis einer internen Kalibrierung w ren in einem solchen Fall alle gemesse nen Leckraten zu klein Die gemessenen Leckraten werden mit dem Maschinenfaktor multipliziert und als Ergebnis angezeigt Dieser Faktor wird nur im Vakuummodus nicht im Schn ffelm odus verwendet Der Maschinenfaktor kann abgesch tzt werden unter Ber cksichtigung der beiden He Saugverm gen des Modul1000 und der externen Pumpe Genauer ist die Messung der Leckrate eines externen Testlecks auf dem Pr fling einmal mit und einmal ohne zugeschalteter externer Pumpe Der Unterschied der Ergebnisse bestimmt den Maschinenfaktor Der Maschinenfaktor kann auch benutzt werden um die Leckratenanzeige in Bezug auf ein Luft quivalent zu korrigieren Der Maschinenfaktor f r diese Korrektur ist 3 7 x 101 Wenn der Maschinenfaktor ungleich 1 ist wird dieser Status auf dem Display durch COR angezeigt Betrieb 6 22 d INFICON Hauptmen Einstellungen gt Vakuumeinstellungen gt Leckrate internes Testleck Der Wert des internen Testlecks kann hier eingegeben werden
30. 17 9 11 9 13 4 3 9 14 4 6 6 31 6 31 4 6 7 2 9 20 9 9 9 19 5 4 6 24 6 26 5 1 6 22 9 1 4 4 6 2 7 12 4 3 4 7 9 7 4 4 6 26 9 9 5 4 11 2 Stichwortverzeichnis 11 5 Serviceliste Setpoint Sicherungen Speichern Parameter Sprache SPS Ausg nge e definieren SPS Eing nge e definieren Sp len Stand by START Statuszeile Steckersatz Steuerung e SPS Ein und Ausg nge Steuerungsort STOP Tasten e Display Technische Daten Teilenummer Teilstrom Teilstrombetrieb Trigger Turbomolekular e Siehe Turbomolekularpumpe Turbomolekularpumpe berwachung Uhrzeit Untergrund 6 31 6 18 7 10 6 27 6 26 6 25 6 25 6 26 6 20 6 6 6 3 6 6 3 7 4 2 6 24 6 3 6 4 9 1 5 3 6 27 6 9 5 2 6 6 3 1 6 29 6 26 6 3 6 23 Untergrundbestimmung Einlassbereich 6 23 Vakuumbetrieb Vakuumeinstellungen Vakuumschema 5 1 6 20 6 30 VENT Ventile e Versorgung extern intern Verseuchungsschutz Vorvakuum e Siehe Vorvakuumpumpe Vorvakuumdruck Vorvakuumpumpe Wartung e nach 1500 Stunden e nach 2 Jahren e nach 5000 Stunden e TMH071 Wartungsintervalle Zeitachse Zero Zubeh r 11 6 Stichwortverzeichnis d INFICON 6 3 9 18 9 17 6 29 1 2 3 1 4 6 7 3 7 5 7 7 6 27 6 15 6 3 3 6 Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFIC
31. 2 und 3 Durch Umstecken des Jumpers auf Steckkontakt XP4 ndert sich die Einstellung des Eingangs 2 der allerdings in der aktuellen Software nicht unterst tzt wird Installation 4 3 d INFICON Abb 4 2 Jumper XP5 und XP4 Pos Beschreibung Pos Beschreibung 1 Pin 1 3 Pin 3 2 Pin 2 Analoger Schreiberausgang Die beiden Schreiberausg nge Recorder k nnen zur Aufzeichnung der Leckrate des Einlassdruckes und des Vorvakuumdruckes benutzt werden Die Ausgangsspannung wird alle 50 ms aktualisiert Kontakt Signal 1 Analogausgang 1 2 GND 3 GND 4 Analogausgang 2 RS232 Schnittstelle ber die RS232 Schnittstelle kann ein PC direkt an das Modul1000 angeschlossen werden Die Steuerung des Modul1000 erfolgt dann ber entsprechende Befehlss tze wie in der Schnittstellenbeschreibung beschrieben Kontakt Signal 1 24V ist ber Jumper XT2 aufschaltbar max Stromentnahme 0 3A Pin 2 und 3 verbunden Im Auslieferungszustand ist 24V nicht aufgeschaltet Pin 1 und 2 verbunden TxD RxD GND 24V ist ber Jumper XT1 aufschaltbar Pin 2 und 3 verbunden Im Auslieferzustand ist GND 24V nicht aufgeschaltet Pin 1 und 2 verbunden GND RS232 nicht beschaltet nicht beschaltet oOloINIoA A OJN nicht beschaltet nicht beschaltet 4 4 Installation Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches
32. 36 MEISA Ga de C V Tel 52 442 225 42 80 Sonderborg Fax 45 744 336 46 Queretaro Fax 52 442 225 41 57 Frankreich Christophe Zaffanella oerlikon com Mittelamerika infogro meisa com OLV France Tel 33 476 351 584 MEISA S a de C V Tel 52 442 225 42 80 Orsay Fax 33 476 351 584 Queretaro Fax 52 442 225 41 57 Gro britannien und reach unitedkingdom inficon com Niederlande leakdetection service inficon com Nordirland INFICON Ltd Tel 44 1254 678 250 INFICON GmbH Tel 49 221 56788 112 Blackburn Fax 44 1254 698 577 K ln Fax 49 221 56788 9112 11 2 Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON Norwegen jhi agramkow dk Syrien leakdetection service inficon com Agramkow Tel 45 741 236 36 INFICON GmbH Tel 49 221 56788 112 Sonderborg Fax 45 744 336 46 K ln Fax 49 221 56788 9112 Polen kamola vakpol com Taiwan reach taiwan inficon com VAK POL amp GAZ Sp z Pulawy Tel 48 602 315 212 Fax 48 602 315 212 INFICON Company Limited Chupei City HsinChu Hsien Tel 886 3 5525 828 Fax 886 3 5525 829 Portugal leakdetection service inficon com Tschechien filip lisec inficon com INFICON GmbH Tel 49 221 56788 112 INFICON GmbH Tel 420 734 331 758 K ln Fax 49 221 56788 9112 Pilsen Fax 420 604 203 037 Republik S dafrika vacuquip hotmail com T rkei jhi agramkow dk Vacuquip Tel 27 731 578 355 Agramkow
33. 6 31 9 1 6 15 5 6 9 1 1 3 6 1 6 6 9 1 7 13 6 30 Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Kalibrieraufforderung Kalibrier Faktor Kalibrierung e extern manuell e extern automatisch e extern manuell e intern Kontaminationserkl rung Kontrast Lautsprecher Lautst rke Leak Test e Siehe Auto Leak Test Leak Ware Leckrate e kleinste nachweisbare Leckratenfilter Lieferumfang L fter Filter Luftfilter Maschinenfaktor Masse Masseneinstellung e automatische Abstimmung Measure MENU Menu Men PIN e ndern Messbereichswahl e automatische Messen Messzeit Netzsicherung e tauschen Material Werkzeug 6 29 6 30 6 10 6 10 6 19 6 19 6 9 8 1 6 16 6 16 6 17 6 24 1 3 6 26 3 6 6 27 7 4 6 22 6 23 1 2 9 7 6 4 1 3 6 31 1 2 6 7 5 3 Nullpunkteinstellung automatische ffnen e Ger t Werkzeug Parameter laden speichern PIN Pinpoint PLC in e out Pressure Gauge Pr fanlage Pr fprotokoll e l schen Pr fteil Pumpe e vor Rack e Einbau Zeichnung Recorder Referenzmessung RS232 Protokoll Saugverm gen Schnittstelle e RS232 Schnittstellenkarte e tauschen Schn ffelleitung Schreiberausgang e analog e Skalierung Schreiberausg nge Serienfehlermeldung e Auto Leak Test Service Centers d INFICON 1 2 6 27 6 31 6
34. DIO OUT e PnC GND GND 24V Abb 9 2 Externe Beschaltung z B SPS mit externer Spannungsversorgung 9 11 Technische Daten Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON Pos Beschreibung 1 Externer aktiver Lautsprecher F3 PIN l i em 24V enor GND 24V l D E C Ek aa SET x KS 5 K AS A E 6 l Ek i x G A lt LHE A AS x ER de ycH CAO K l 11 SPG GND l 2 1 AUDIO OUT ec GND24V _ EI L GND Abb 9 3 Externe Beschaltung z B SPS mit interner Spannungsversorgung Technische Daten 9 12 d INFICON 9 5 2 PLC OUT gt 0 e gt n c Abb 9 4 PLC Out PIN 3 12 Relaiskontakte max 60V DC 25V AC 1A PIN 13 14 Halbleiterrelais max 30V DC 1A 9 13 Technische Daten Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON 9 5 3 Pressure Gauge Anschluss von Sensoren mit 4 20mA Signal Hinweis Steckbr cken auf Schnittstellenkarten entsprechend kodieren Abb 9 5 Interne Versorgung 24V Pos Beschreibung 1 Drucksensoren Modul1000 24V 0 8 A GND 24V Input 1 GND 1 Input 2 GND 2 Abb 9 6 Externe Versorgung 24V mit gemeinsamem GND Pos Beschreibung 1 Drucksensoren Technische Daten 9 14 d INFIC
35. FICON E O FE ml s P aA Abb 3 6 Ger tebedienung f r den Schaltschrankeinbau Ger tebeschreibung 3 4 d INFICON 3 3 3 Fernbedienung RC1000 Die drahtlose Fernbedienung RC1000 erlaubt den Betrieb des HLD5000 aus einer Entfernung von bis zu 100 m ber die Fernbedienung lassen sich die Funktionen START STOP VENT STOP Bel ften ZERO Untergrund steuern sie zeigt auf dem Display die gemessene Leckrate als Bargraph als Zahlenwert oder als Diagramm an siehe Technisches Handbuch der RC1000 Die Messwerte k nnen ber eine Aufzeichnungsdauer von bis zu 24 Stunden im internen Speicher der RC1000 abgelegt werden Auf einfache Weise k nnen die Daten auf einen USB Stick bertragen werden Ein interner Trigger kann zur Warnung bei der berschreitung der Grenzleckraten eingestellt werden Die Warnung erfolgt optisch am Display und akustisch ber den eingebauten Lautsprecher bzw den angeschlossenen Kopfh rer Die Fernbedienung RC1000 ist in einem robusten Geh use untergebracht das ein ergonomisches Arbeiten erlaubt Magnete an der Unterseite erm glichen das Anbringen an waagrechten bis senkrechten metallischen Oberfl chen Mit der Fernbedienung RC1000 kann das Dichtheitspr fger t HLD5000 auch ber ein Kabel mit einer L nge von bis zu 28 Metern gesteuert werden VMIIS Ss d Fig 3 7 RC1000 drahtlose Fernbedienung 3 5 Ger tebeschreibung Technisches Handbuch 1012 Jjin
36. Fax 52 44 22 25 41 57 Wei russland INFICON GmbH K ln leakdetection service inficon com Tel 49 221 56788 112 Fax 49 221 56788 9112 11 3 Stichwortverzeichnis Vorpumpe siehe Pumpe Abmessung Accessories Alarme Alarmverz gerung Analogausgang Anschlussbelegungen Anzeige ASCII Auto Leak Test Bedieneinheit e Graphische Bedieneinheiten Bel ftung Benutzerberechtigung Bestellinformation Betriebsart Betriebsarten Betriebsmittelspeicher Clear Commander e Pr fvorgang Commander Betrieb Commander Funktionen Control Unit Cycle Daten e intern anzeigen e protokolliert Datum Druckgrenze e Vakuumbereich 9 1 4 3 6 16 6 17 9 9 9 11 6 15 6 24 5 3 6 16 6 20 6 2 4 2 3 3 4 7 6 20 6 31 11 1 6 16 5 1 7 5 7 7 5 6 5 4 6 21 9 5 6 30 6 31 6 26 6 29 Druckmessger t e externes Druckmessstelle e extern Einheiten Einschwingzeit e CAL Einstellungen e anzeigen e Diverses Evakuieren Evakuierungszeit Fehlerliste e anzeigen Fernbedienung Flutfilter e tauschen Gas Ballast Gasballast Ger te PIN e ndern Gewicht Hauptmen Heliumbef lleinrichtung Helium Leckrate Heliumuntergrund e interner Hochlauf Hochlaufzeit STICK e tauschen Info 11 4 Stichwortverzeichnis d INFICON 6 25 4 3 6 17 6 27 6 23 6 30 6 26 6 6 6 30 6 31 4 2 6 2 7 14 9 7 6 20 9 4
37. Hinweise zu Wartungen Wartungsarbeiten f r das Standards sind in 3 Servicestufen unterteilt e Servicestufe Kunde e Servicestufe Il Kunde mit technischer Ausbildung e Servicestufe IIl autorisierter INFICON Servicetechniker Wartungsarbeiten der Servicestufe II und Ill d rfen nur von Personen ausgef hrt werden die von der INFICON GmbH K ln dazu autorisiert und trainiert wurden Bitte beachten Sie f r alle Wartungsarbeiten am Standards die Sicherheitshinweise F r Arbeiten am Vakuumsystem achten Sie auf eine saubere Umgebung und benutzen Sie sauberes Werkzeug Wartungsarbeiten 7 1 d INFICON Vorpumpe F r alle Wartungsarbeiten die am Modul1000 durchgef hrt werden ist das Dichtheitspr fger t vom Netz zu trennen Das Modul1000 verf gt ber 3 unabh ngig voneinander ablaufende Wartungsz h ler Im einzelnen Wartungsz hler f r Luftfilter Als Defaulteinstellung sind 1500 Betriebstunden eingestellt Der Wartungsz hler kann variiert oder abgeschaltet werden Er l sst sich somit den Betriebsbedingungen des Ger tes anpassen Wartungsz hler 5000 Betriebstunden Dient der Revision und Reinigung von Ventilantrieben und Ventilblock Wartungsz hler 2 Jahre Dient der Wartung der Turbomolekularpumpe TMH 071 Das Erreichen eines der vorstehenden Wartungsintervalle wird auf der Bedieneinheit vom Modul1000 nach jedem Einschalten als Warnung angezeigt Die Meldung wird solange generiert bis da
38. Men Einstellungen des Modul1000 gespeichert werden Auf der daraufhin erscheinenden Men seite kann durch Dr cken der Taste Bezeichnung ndern dem gespeicherten Parametersatz eine neue Bezeichnung gegeben werden Lade PARA SET 1 Lade PARA SET 2 Lade PARA SET 3 Mit den Tasten Lade PARA SET 1 bis Lade PARA SET 3 k nnen die zuvor gespeicherten Parameters tze geladen und damit aktiviert werden Defaultwerte laden Durch Bet tigen der Taste Defaultwerte laden kann einer der vier Werksparame ters tze geladen werden Default Default Default Default Parametersatz 1 Parametersatz 2 _ Paramtersatz 3 Parametersatz 4 PLC IN Pin 3 START START_STOP START START STOP PLC IN Pin 4 STOP GAS BALLAST STOP CAL PLC IN Pin 5 ZERO ZERO ZERO ZERO ON PLC IN Pin 6 CAL CAL INV GAS BALLAST ON PLC IN Pin 7 CAL INTERN CLEAR GAS BALLAST OFF PLC IN Pin 8 CAL EXTERN NOT USED NOT USED PLC IN Pin 9 CLEAR NOT USED NOT USED PLC IN Pin 10 GAS BALLAST NOT USED NOT USED PLC OUT Pin 3 TRIGGER 1 ERROR MEASURE EMISSION ON PLC OUT Pin 4 TRIGGER 2 WARNING ERROR INV TRIGGERI PLC OUT Pin 5 TRIGGER 3 EMISSION ON MEASURE INV TRIGGER2 PLC OUT Pin 6 ZERO ACTIVE CAL ACTIVE EMISSION ON INV ERROR PLC OUT Pin 7 EMISSION ON GAS BALLAST GAS BALLAST PLC OUT Pin 8 ERROR CAL REQUEST TRIGGER 1 PLC OUT Pin 9 CAL ACTIVE MEASURE TRIGGER 2 PLC OUT Pin 10 CAL REQUEST ZERO ACTIVE
39. ON 24V 0 8 A GND 24V 2 Abb 9 7 Externe Sensorversorgung 24V mit getrennter Massef hrung Die Spannungsdifferenz zwischen Pin 2 und den Pins 4 und 5 betr gt maximal 4 V Anschluss von Sensor mit 0 10V Hinweis Steckbr cken auf Schnittstellenkarte entsprechend kodieren 24V 0 8 A Q GND 24V Input 1 GND 1 Input 2 GND 2 Abb 9 8 Anschluss mit gemeinsamer Masse 9 15 Technische Daten Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h 24V 0 8 A O GND 24V 2 Input 1 GND 1 Input 2 GND 2 d INFICON Abb 9 9 Anschluss mit getrennter Massef hrung Die Spannungsdifferenz zwischen PIN 2 und PIN 4 6 darf maximal 4V betragen Technische Daten 9 16 d INFICON 9 5 4 Valves Interne Versorgung 24V F1 CC LC GND F5 E u L EES lt GA N 24V Abb 9 10 Anschlussbeispiel Pos 4 2 Beschreibung Ventile max lt 0 2 A maximal 8 St ck Ventile max lt 1A 9 17 Technische Daten Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Externe Versorgung d INFICON 24V Abb Pos 4 2 9 11 Anschlussbeispiel Beschreibung Ventile max lt 0 2 A maximal 8 St ck Ventile max lt 1A Technische Daten 9 18 d INFICON 9 5 5 Recorder T Analog Ou
40. ON Stichwortverzeichnis 11 7 d INFICON INFICON GmbH Bonner Strasse 498 D 50968 Cologne Germany UNITED STATES TAIWAN JAPAN KOREA SINGAPORE GERMANY FRANCE UNITED KINGDOM HONG KONG Visit our website for contact information and other sales offices worldwide www inficon com Dokument jinb80d1 h 1012
41. PS GND gem Bezugspotential 12 frei 13 AUDIO_OUT 5V Pegel PWM Ausgang 14 GND 24V Die Nummerierung der Kontakte erfolgt von links nach rechts Es k nnen Fehler oder Warnmeldungen auftreten wenn das Verbindungskabel w hrend des Betriebes abgezogen oder aufgesteckt wird Beschreibung der Funktionsweise der digitalen Eing nge Ein Signal zwischen OV nach 7V wird als LOW erkannt ein Signal gt 13V wird als HIGH erkannt Der maximale Signalpegel liegt bei 30V DC Alle Funktionen sind auch in invertierter Form w hlbar Hinweis Die Signale an diesen Eing ngen werden nur akzeptiert wenn der Steuerungsort auf SPS oder Local und SPS steht 9 3 Technische Daten Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON ZERO Flankengesteuerter Eingang Wechsel LOW nach HIGH ZERO einschalten Wechsel HIGH nach LOW ZERO ausschalten START STOP Flankengesteuerter Eingang Wechsel LOW nach HIGH START ausf hren Wechsel nach LOW STOP ausf hren START Flankengesteuerter Eingang Wechsel von LOW nach HIGH START ausf hren STOP Flankengesteuerter Eingang Wechsel LOW nach HIGH STOP ausf hren Falls dieser Eingang l nger als die eingestellte Zeit Verz gerung Bel ftung HIGH ist zus tzlich bel ften VENT Flankengesteuerter Eingang Wechsel von LOW nach HIGH Fluten GASBALLAST Flankengesteuerter Eingang Wechsel LOW nach HIGH Gas Ballast Sp len einschalten Wec
42. Pr flingsvolumen falsch angepasst Innerhalb der eingestellten Evakuierungszeit ist die Druckschwelle von 0 4 mbar Maximale Evakuierungszeit nicht erreicht worden SES bis Des allen wurde Pr fling hat ein Grobleck berschritten Evakuierungszeit ist auf das Pr flingsvolumen falsch angepasst Das Signalmaximum konnte innerhalb des Massenabgleich bereiches nicht detektiert werden Das Signalmaximum hat sich an die Grenzwerte f r den Massenabgleich verschoben W7 Signalmaximum liegt au erhalb Falsche Grundeinstellung der Anodenspannung ber das Servicemen einen des Massenabgleichbereichs manuellen Massenabgleich durchf hren und Anodenspannung neu bestimmen Leckraten Signal war instabil w hrend des Massenabgleichs Erneut kalibrieren Falsches oder fehlerhaftes Testleck Internes Testleck berpr fen und Kalibrierung mit externen Testleck wiederholen 10 6 Fehlermeldungen und Warnungen d INFICON Nr Angezeigte Meldung Beschreibung und m gliche Fehlerursachenbehebung W78 Signaldifferenz zwischen offenem und geschlossenem Testleck ist zu klein Die Verst rker Spannungsdifferenz zwischen offenem und geschlossenem Testleck ist lt 2 x 10E 14 A Internes Testleck defekt Das externe Testleckventil ist defekt oder nicht geschlossen W79 Testlecksignal ist zu klein Die vom Testleck erzeugte Vorverst rkerspannung ist lt 2 x 10E 14 A Das f r die Kalibrierung verwendet
43. S V30 V33 Speisung max 30 V F6 T10A VALVES V34 V37 Speisung max 30 V Hinweis Der Sicherungswecksel darf nur von einer Elektrofachkraft durchgef hrt werden da in der Regel ein Entfernen der Ger tehaube notwendig ist 7 10 Wartungsarbeiten Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON 7 7 2 Netzsicherung austauschen Lebensgefahr durch Stromschlag Vor dem Sicherungswechsel den Netzstecker des Modul1000 ziehen Nur Sicherungen mit den angegebenen Werten in das Modul1000 einbauen Ben tigtes Werkzeug e Schraubendreher Gr Ben tigtes Material e Schmelzsicherung 2x T 6 3 A Die Hauptsicherungen des Modul1000 sind im Netzschalter des Ger tes unterge bracht e Zum Austausch der Hauptsicherungen ffnen Sie mit einem Schraubendreher die Abdeckkappe zum Sicherungseinsatz Schraubenzieher hierzu in die entsprechende Nut einf hren und Abdeckklappe ffnen Siehe hierzu Abb 7 5 Abb 7 5 Sicherungswechsel Pos Beschreibung Pos Beschreibung 1 Abdeckklappe 3 Sicherungseinsatz 2 Schmelzsicherung T 6 3 A 4 Nut ffnungen Wartungsarbeiten 7 11 d INFICON 7 7 3 Sicherungen Schnittstellenkarte tauschen Die Schnittstellenkarte SSK beinhaltet die Sicherungen f r die sich auf der Karte befindlichen Ein und Ausg nge Eine bersicht der Sicherungen und deren Verwendung finden Sie unter 7 7 1 bersicht der elektr
44. SNIFF Zustandsgesteuerter Eingang Wechsel von LOW nach HIGH im Zustand Standby Umschalten in die Betriebsart SNIFF Wechsel von HIGH nach LOW im Zustand Standby Umschalten in die eingestellte Betriebsart 9 5 Technische Daten Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON 9 2 2 SPS Ausg nge Die 16 polige Ph nix Anschlussbuchse befindet sich auf der Ger ter ckseite und ist mit PLC Out beschriftet Die Pinbelegung der Anschlussbuchse kann frei konfiguriert werden Hinweis Relaisausg nge Kontakt 3 12 Max Belastung 60V DC 25V AC 1A ohmsche Last f r bis zu 500000 Schaltvorg nge Halbleiter Relaisausg nge Kontakt 13 14 max Belastung 30V 1A f r h ufige Schaltvorg nge F r h ufige Schaltvorg nge mehr als 500000 in der geplanten Betriebszeit sollten nur die Halbleiter Relaisausg nge verwendet werden Kontakt Signal 24V abgesichert mit F4 auf der Schnittstellenkarte 1 1 6A maximale Stromabgabe an diesem Kontakt zusammen mit Kontakt 1 am Kontakt VALVES 2 GND 3 Schlie er nach Kontakt 15 z B TRIGGER1 Werkseinstellung 4 Schlie er nach Kontakt 15 z B TRIGGER2 Werkseinstellung 5 Schlie er nach Kontakt 15 z B TRIGGER3 Werkseinstellung 6 Schlie er nach Kontakt 15 z B ZERO ACTIVE Werkseinstellung 7 Schlie er nach Kontakt 15 z B EMISSION ON Werkseinstellung 8 S
45. Schreiber an der gleichen Netzphase zu betreiben Sollte dies nicht m glich sein gilt es sicherzustellen dass die Massen beider Ger te auf dem gleichen Potential liegen Pin Signal Analog 1 GND Bezugspotential GND Bezugspotential Analog 2 9 4 1 Konfiguration des Analogausganges Es werden eine Reihe von unterschiedlichen Messwertdarstellungen Belegungen f r den Analogausgang zur Verf gung gestellt Uber die optionale Bedieneinheit k nnen die verschiedenen Belegungen gew hlt werden OFF Der Schreiberausgang ist abgeschaltet 0 V p1 Einlassdruck p2 Vorvakuumdruck Die Ausgangsspannung der Druckmessstellen f r den Einlassdruck p1 oder den Vorvakuumdruck p2 wird ausgegeben Die Ausgangsspannungen sind logarithmisch skaliert Die Signale p1 und p2 verhalten sich wie die Kennlinie der TPR265 9 9 Technische Daten Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON 1 0E 03 geg i Ee 1 0E 02 1 0E 01 1 0E 00 I 1 0601 4l 1 0E 02 1 0E 03 1 500 2 500 3 500 4 500 5 500 6 500 7 500 8 50 um Abb 9 1 TPR Kennlinie P1 P2 Rekorder Ausgang p1 Einlassdruck p2 Vorvakuumdruck UL200 Der Einlassdruck p1 oder der Vorvakuumdruck p2 wird ausgegeben Diese Bele gung entspricht dem logarithmischen Schreiberausgang des Lecksuchers UL200 Druck logarithmisch U 1 bis 10 V 0 5 V Dekade b
46. TE CONTROL ee PLC IN AUDIO PLC OUT EhBAhEARAAHAANR PRESSURE RECORDER 51500 519 32 GAUGE u gite PRESSURE GAUGE ACCESSORIES ACCESSORIES AAAAAAAA VALVES VALVES EE RRRR D Abb 4 1 Elektrische Schnittstellen Ventile ber den Anschluss VALVES k nnen externe Ventile angesteuert werden SPS Ein und Ausg nge Zum Anschluss der Steuerein und ausg nge PLC IN PLC OUT sollte der Satz Anschlussstecker verwendet werden Die Anschlussstecker sind nicht im Lieferum fang enthalten Graphische Bedieneinheit Eine graphische Bedieneinheit wird ber die entsprechende Anschlussleitung an den Anschluss CONTROL UNIT angeschlossen Fernbedienung Die Fernbedienung wird an den Anschluss REMOTE CONTROL angeschlossen 4 2 Installation Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON Schn ffelleitung SL200 bzw Testkammer TC1000 ACCESSORIES Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h An den Anschluss ACCESSORIES k nnen die Schn ffelleitung SL200 oder die Testkammer TC1000 angeschlossen werden Externe Druckmessstellen Wird das Modul1000 im Commanderbetrieb eingesetzt muss eine zus tzliche Druckmessstelle an den Anschluss PRESSURE GAUGE angeschlossen werden Die Druckmessstelle ist wie folgt mit dem achtpoligen Phoenixstecker PRESSURE GAUGE zu verbinden Kontakt Signal 4 24V abgesichert mit F3 auf der Schnittstellenkarte 0 8A maximaler Ausgangs strom an
47. TECHNISCHES HANDBUCH jinb80d1 h 1012 ORIGINALBETRIEBSANLEITUNG Katalog Nr 550 300 550 310 550 330 ji coN O Ab Softwareversion 1 7 Modul1000 Modulares Dichtheitspr fger t d INFICON d INFICON Impressum INFICON GmbH Bonner Stra e 498 50968 K ln Germany Copyright 2010 INFICON GmbH K ln Dieses Dokument darf nur mit Genehmi gung der INFICON GmbH K ln vervielf ltigt werden Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Inhaltsverzeichnis 1 Benutzerhinweise 1 1 Anwendung dieser Anleitung 1 2 Warnzeichen und Gefahrensymbole 1 3 Darstellungskonventionen 1 4 Begriffserkl rungen 2 Wichtige Sicherheitshinweise 2 1 Bestimmungsgem er Gebrauch 2 2 Anforderungen an den Anwender 2 3 Anwendungsgrenzen 2 4 Gef hrdungen bei bestimmungsgem em Gebrauch 3 Ger tebeschreibung 3 1 Das Geh use 3 2 Die Schnittstellen 3 3 Bedienm glichkeiten 3 3 1 Tischbetrieb 3 3 2 Schaltschrankeinbau 3 3 3 Fernbedienung RC1000 3 4 Lieferumfang 3 5 Zubeh r 3 5 1 Schn ffelleitung SL200 3 5 2 Testkammer TC1000 3 5 3 Satz Anschlussstecker f r Schnittstellen 4 Installation 4 1 Mechanische Installation 4 2 Elektrische Installation 4 2 1 Netzanschluss 4 2 2 Elektrische Schnittstellen 4 2 3 Vakuumtechnische Anschl sse 5 Betriebsarten 5 1 Vakuum 5 2 Teilstrombetrieb 5 3 Auto Leak Test 5 3 1 Auto Leak Test Einstellungen 5 4 Commander Betrieb 5 4 1 Aufb
48. Tel 45 741 236 36 Randburg Sonderborg Fax 45 744 336 46 Russland leakdetection service inficon com Tunesien leakdetection service inficon com INFICON GmbH Tel 49 221 56788 112 INFICON GmbH Tel 49 221 56788 112 K ln Fax 49 221 56788 9112 K ln Fax 49 221 56788 9112 Schweden jhi agramkow dk USA service usa inficon com Agramkow Tel 45 741 236 36 Inficon Inc Tel 1 315 434 1167 Sonderborg Fax 45 744 336 46 East Syracuse NY Fax 1 315 434 2551 Singapur reach singapore inficon com Inficon Inc Tel 1 408 361 1200 San Jose CA Fax 1 408 362 1556 INFICON PTE LTD Tel 65 890 6250 Inficon Inc Tel 1 512 448 0488 Singapur Fax 65 890 6266 Austin TX Fax 1 512 448 0398 Slowakei filip lisec inficon com Ukraine leakdetection service inficon com INFICON GmbH Tel 420 734 331 758 INFICON GmbH Tel 49 221 56788 112 Pilsen Fax 420 604 203 037 K ln Fax 49 221 56788 9112 Slowenien medivak siol net Ungarn adam lovic kon trade hu Medivac Tel 386 15 63 91 50 Kon trade KFT Tel 36 23 50 38 80 Ljubljana Fax 386 17 22 04 51 Buda rs Fax 36 23 50 38 96 Spanien jordi poza leyboldoptics com Vereinigte Arabische leakdetection service inficon com Leybold Optics Ib rica Barcelona Tel 34 93 66 60 778 Fax 34 93 66 64 612 Emirate INFICON GmbH K ln Tel 49 221 56788 112 Fax 49 221 56788 9112 S damerika au er Brasilien MEISA S a de C V Mexiko infogro meisa com Tel 52 44 22 25 42 80
49. VES ACCESSORIES 3 7 Ger tebeschreibung Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h 4 1 4 2 4 2 1 d INFICON Installation Sch digung des R ckens durch schweres Gewicht Modul1000 nur zu zweit tragen oder Hebevorrichtung benutzen Mechanische Installation Das Modul1000 eignet sich zur Montage unterhalb und oberhalb von Tischarbeits pl tzen Das Dichtheitspr fger t darf nur auf einer waagerechten Fl che betrieben werden Beim Einbau ist auf ausreichende Bel ftung zu achten insbesondere die Lufteintritts und Luftaustritts ffnungen an der Vorder und R ckseite des Modul1000 sind frei zu halten Die maximal zul ssige Umgebungstemperatur darf w hrend des Betriebs des Modul1000 nicht berschritten werden Elektrische Installation Netzanschluss Der Anschluss der Netzspannung erfolgt ber die mitgelieferte Netzleitung Die entsprechende Buchse befindet sich auf der Ger ter ckseite siehe Abb 3 2 9 Stellen Sie das Ger t so auf dass Sie den Netzstecker immer erreichen k nnen Installation 4 1 d INFICON 4 2 2 Elektrische Schnittstellen Alle elektrischen Schnittstellen des Modul1000 sind bersichtlich in einem Anschlussfeld auf der rechten Ger teseite angeordnet Siehe Abb 3 2 Die Anschl sse CONTROL UNIT ol A Jo BEMOTE LED gelb LED gr n S d gt A Te CONTROL UNIT ol Jo C PC RS232 Zeg Ei Fr CHE REMO
50. Wartungsma nahmen hinausgehen d rfen nur durch geschultes Fachpersonal ausgef hrt werden F r die in diesem Kapitel beschriebenen Wartungsarbeiten ist das Entfernen der Ger tehaube nicht erforderlich Der Austausch einer Sicherung erfordert jedoch das ffnen des Ger tes Um eine m gliche Gef hrdung in diesem Falle auszuschlie en ist die Vorgehensweise nachstehend beschrieben ffnen des Ger tes Ben tigtes Werkzeug Innensechskantschl ssel 8 mm Gefahr Vor dem Entfernen der Ger teabdeckung ist das Dichtheitspr fger t vom Netz zu trennen 1 2 3 Zum ffnen des Modul1000 gehen Sie wie folgt vor Netzschalter ausschalten und Netzkabel entfernen Schnellspannring vom Testanschluss entfernen Mit Innensechskantschl ssel SW 8 mm die Verschl sse ROTO LOCK auf beiden Seiten der Ger teabdeckung ffnen Siehe hierzu Abb 7 2 ORCCOR60090000 D Ze d v ep DH OPEN E Vu gt LI 1 2 Abb 7 2 Ger teabdeckung ffnen Drehen Sie die Roto Lock Verschl sse bis zum Anschlag in Stellung OPEN Heben Sie die Ger tehaube vorsichtig ab 7 6 Wartungsarbeiten Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON 3 Das Aufsetzen der Ger tehaube erfolgt in umgekehrter Reihenfolge Achten Sie beim Aufsetzen der Ger
51. Y SPS extern manuell LOKAL RS232 ASCII RS232 BINARY SPS extern automatisch LOKAL RS232 ASCII Bei der internen Kalibrierung wird das im Modul1000 eingebaute interne Testleck verwendet F r eine externe Kalibrierung ist ein separates Testleck erforderlich Externe Kalib rierungen haben den Vorteil dass sie unter den Randbedingungen Druck Mess zeit durchgef hrt werden k nnen die den sp teren Messungen hnlich oder gleich sind Ist eine Ger tebedienung an das Modul1000 angeschlossen leuchten w hrend der Kalibrierung die LEDs in den Tasten START STOP VENT und ZERO Hinweis Vor einer Kalibrierung sollte das Dichtheitspr fger t mindestens 20 Minuten warm gelaufen sein Interne Kalibrierung Bei Verwendung einer Teilstrompumpe im Messbetrieb muss vor der 1 Kalibrierung der richtige Maschinenfaktor eingestellt werden Die interne Kalibrierung erfolgt auch bei der Einstellung Teilstrom im Messbetrieb nicht im Teilstrombetrieb Die Korrektur erfolgt ber den eingestellten Maschinenfak tor Automatische interne Kalibrierung Nach dem Start der Kalibrierung erfolgt der gesamte Kalibrierablauf automatisch Dabei wird die im Men einstellbare Signaleinschwingzeit des Testlecks CAL Einschwingzeit verwendet die vorher auf das Volumen am Einlass abgestimmt werden muss Die CAL Einschwingzeit vergr ert sich entsprechend dem am Einlass angeschlossenen Volumen Manuelle interne Kalibrierung Nach Starten der
52. alibrierroutine durchlaufen wird CAL REQUEST Externe manuelle Kalibrierung aktiv Offen falls externes Testleck geschlossen werden soll Externe manuelle Kalibrierung nicht aktiv Offen falls eine Kalibrieraufforderung ansteht REC STROBE Offen falls Schreiberausgang beim Wechsel der Dekade ung ltige Werte annimmt Wird nur verwendet falls Schreiberausgang auf Leckrate steht GAS BALLAST Geschlossen wenn Gas Ballast Funktion benutzt wird EMISSION ON Geschlossen wenn die Emission eingeschaltet ist CYCLE ACTIVE Geschlossen wenn sich das Ger t im Zustand Evakuieren Messbetrieb oder Kalib rieren befindet PUMP DOWN Geschlossen wenn sich das Ger t im Zustand Evakuieren befindet 9 7 Technische Daten Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON SNIFF Geschlossen wenn sich das Ger t im Zustand SNIFF befindet Dieser Ausgang dient als R ckmeldung f r den SPS Eingang SNIFF Die digitalen Ventilausg nge Die 16 polige Phoenix Steckverbindung auf der Ger ter ckseite ist mit VALVES beschriftet ber diese Steckverbindung werden externe Ventile angesteuert Sie lassen sich in 2 Gruppen einteilen An den Kontakten 13 14 und 15 Kann jeweils ein 24 V Ventil angeschlossen werden maximal entnehmbarer Strom pro Ausgang 1A Gemeinsamer Bezugspunkt ist Kontakt 16 GND An den Kontakten 5 bis 12 lassen sich 8 Ventile anschlie en Zur
53. au einer Lecksuchanlage 5 4 2 Ablauf des Pr fvorgangs 5 5 Schn ffelbetrieb d INFICON 1 1 1 1 1 1 1 2 1 2 2 1 2 1 2 1 2 2 3 1 3 1 3 3 3 4 3 4 3 5 3 6 3 6 3 6 3 6 3 7 4 1 4 1 4 1 4 1 4 6 5 2 5 6 Inhaltsverzeichnis 0 3 d INFICON 6 1 6 2 6 3 6 4 6 5 6 6 6 7 6 8 6 9 6 10 6 11 6 12 6 12 1 6 12 2 6 12 3 6 12 4 6 12 5 6 12 6 6 12 6 1 6 12 6 2 6 12 6 3 6 12 6 4 6 12 6 5 6 12 6 6 6 12 6 7 6 12 7 6 12 8 7 1 7 2 7 3 7 4 7 5 7 5 1 7 6 7 7 7 7 1 7 1 2 7 13 7 8 7 9 Betrieb Einschalten Status LED Steuerung Steuerbefehle Display Kalibrieren im Vakuumbetrieb Kalibrieren im Schn ffelbetrieb Kalibrieren im Autoleaktest Kalibrieren im Commander Betrieb Maschinenfaktor Men struktur Beschreibung der Men punkte Hauptmen Hauptmen Hauptmen Hauptmen Hauptmen Zur ck Anzeige Betriebsart Trigger amp Alarme Kalibrierung CAL Betriebsart Vakuum Hauptmen Einstellungen Hauptmen Einstellungen Vakuumeinstellungen Hauptmen Einstellungen Zero amp Untergrund Hauptmen Einstellungen gt Masse Hauptmen Einstellungen Schnittstellen Hauptmen Einstellungen Diverses Hauptmen Einstellungen Parameter laden Speichern Hauptmen Einstellungen berwachung Hauptmen Info Hauptmen Benutzerberechtigung Wartungsarbeite
54. aufsp ren 2 4 Gef hrdungen bei bestimmungsgem em Gebrauch Gefahr Lesen Sie bevor Sie das Modul1000 installieren alle Sicherheitshinweise aufmerk sam durch und vergewissern Sie sich dass Sie sie richtig verstanden haben Gefahr Lebensgefahr durch Explosion Wenn explosive Gase als Testgase eingesetzt werden k nnte der Gasbeh lter explodieren Flammen und Funken vermeiden Z ndquellen fernhalten und ausschlie lich weit entfernt vom Ger t rauchen 1012 Gefahr Lebensgefahr durch Stromschlag Schn ffelspitze fernhalten von spannungsf hrenden Teilen Gefahr Lebensgefahr durch Stromschlag Modul1000 fachgerecht mit 3 poligem Netzkabel anschlie en und mittels PE Anschluss erden 2 2 Wichtige Sicherheitshinweise Technisches Handbuch jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON Lebensgefahr durch Stromschlag Netzstecker ziehen bevor das Modul1000 ge ffnet wird Gefahr der Verletzung und Verseuchung durch giftige Gase Mit dem Modul1000 ausschlie lich harmlose Stoffe aufsp ren F r toxische tzende mikrobiologische explosive radioaktive oder andere Schad stoffe ist das Ger t ungeeignet Mit dem Hersteller in Verbindung setzen wenn ein solcher Einsatz geplant ist Lebensgefahr durch Implosion Bauteile die nicht druckfest sind k nnen durch Implosion zerbersten An den Einlassflansch des Modul1000 nur Beh l
55. b80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON 3 4 Lieferumfang e Dichtheitspr fger t f r Helium und Wasserstoff Modul1000 e Netzleitungen EU US e Satz Sicherungen e Dokumentenmappe e Werkzeug zum ffnen der Haube 8 mm Inbus Schl ssel Blende DN25 2 mm 3 5 Zubeh r Zubeh r Kat Nr Best Nr Schn ffelleitung SL200 140 05 Testkammer TC1000 551 005 Satz Anschlussstecker f r Schnittstellen 551 110 Bedieneinheit Tischversion 551 100 Bedieneinheit Einbauversion 19 Zoll 551 101 Kabel f r Bedieneinheit 1 m 551 103 Kabel f r Bedieneinheit 5 m 551 102 Fernbedienung 20099022 Kabel f r Fernbedienung erforderlich 20099027 Verl ngerungskabel 14090 Fernbedienung RC1000 RC1000WL drahtlos 551 015 RC1000C Kabelversion 551 010 Verl ngerungskabel 8 m f r RC1000C 14022 3 5 1 Schn ffelleitung SL200 Das Modul1000 in der Ausf hrung als Vakuum und Schn ffellecksucher braucht f r den Sch ffelbetrieb die Schn ffelleitung SL200 3 5 2 Testkammer TC1000 Die Vakuumkammer TC1000 dient dem integralen Testen von heliumgef llten Bauteilen Der Pr fablauf kann individuell im Softwaremen des Modul1000 konfigu riert werden und l uft mit dem Schlie en der Kammer automatisch ab Ger tebeschreibung 3 6 d INFICON 3 5 3 Satz Anschlussstecker f r Schnittstellen Der Steckersatz enth lt folgende Stecker PLC IN AUDIO PLC OUT RECORDER PRESSURE GAUGE VAL
56. buch 1012 jinb80d1 h d INFICON Vermutetes Risiko Wenn anzunehmen ist dass ein gefahrloser Betrieb nicht mehr m glich ist so ist das Ger t au er Betrieb zu setzen und gegen unbeabsichtigte Inbetriebnahme zu sichern In diesem Fall Kontakt mit dem INFICON Service aufnehmen Hinweis Dies kann z B der Fall sein e wenn das Ger t sichtbare Besch digungen aufweist e wenn Fl ssigkeit in das Ger t eingedrungen ist e wenn das Ger t nicht mehr funktioniert e nach l ngerer Lagerung unter ung nstigen Verh ltnissen nach schweren Transportbeanspruchungen Wichtige Sicherheitshinweise 2 5 d INFICON Vorsicht Das Modul1000 wird durch aggressive Stoffe zerst rt Kontakt mit Basen S uren L sungsmittel und auch extremem Klima vermeiden Das Modul1000 kann durch ungeeignete Stoffe unbrauchbar werden Mit dem Ger t ausschlie lich Helium oder Wasserstoff aufsp ren Durch Filter am Einlass des Modul1000 sollte das Eindringen von Schmutz in das Vakuumsystem verhindert werden Elektronik des Modul1000 kann durch falsche Netzspannung besch digt werden Vor dem Einschalten berpr fen ob die Betriebsspannung des Ger tes mit der rtlichen Netzspannung bereinstimmt Elektronik des Modul1000 kann durch zu hohe Spannung besch digt werden Digitale Eing nge mit Spannung von maximal 30V belegen Elektronik des Modul1000 kann durch zu hohe elektrische Belastung
57. ch 1012 jinb80d1 h 6 5 d INFICON Display Das Display zeigt Messwerte Betriebsmodi Ger teparameter und deren Werte sowie die Funktionen der acht Tasten links und rechts neben dem Display Hochlauf Nach dem Einschalten gibt das Modul1000 ber das Display verschiedene Statusin formationen aus Statuszeile Die Statuszeile am unteren Rand des Displays gibt nachdem das Modul1000 hoch gelaufen ist folgende Ger teinformationen aus Display Bedeutung Erl uterung symbole gE Lautst rke Siehe Kapitel Lautst rke f r das akustische Signal Wenn die Triggerschwellen berschritten werden S1 2 3 Trigger 1 2 3 dann werden diese Symbole invertiert dargestellt E Erfasste Masse Die Anzahl der Punkte zeigt die Massenzahl an 4 Punkte Helium 2 Punkte Wasserstoff A Warndreieck Siehe Kapitel 4 4 2 e VAC SNIFF COMMAND oder AUTO LEAK TEST VAC Betriebsart e R zeigen die ausgew hlte Betriebsart an ZERO ZERO Zeigt an ob die Untergrundunterdr ckungsfunktion aktiv ist COR Korrigierte Leckrate Zeigt an ob die Leckrate mit dem Maschinenfaktor korrigiert wird Standby Nach beendetem Hochlauf wechselt das Modul1000 automatisch in den Standby und ist messbereit Evakuieren Nach dem Bet tigen der Taste START evakuiert das Modul1000 zun chst den Einlass Die Evakuierungszeit ist abh ngig von dem an das Modul1000 angeschlossenen Volumen und der Vorpumpe bzw der Teilstrompump
58. ch 1012 jinb80d1 h Bel ftung Schn ffelleitung d INFICON Abb 4 4 Montage der Blende Normalerweise werden die Pr flinge oder angeschlossene Vakuumkammern nach Abschluss der Pr fung mit Umgebungsluft bel ftet Falls erforderlich k nnen die Pr flinge mit einem anderen Gas z B Frischluft trockene Luft Stickstoff u a auf Atmosph rendruck bel ftet werden In diesen F llen muss die Gasversorgung an den Flutanschluss 8 mm Schlauchanschluss auf der linken Seite des Ger tes angeschlossen werden Der Gasdruck am Flutanschluss darf 1100 mbar absolut nicht berschreiten Am Ventilausgang V21 kann ein externes Bel ftungsventil angeschlossen werden Der Anschluss f r die Schn ffelleitung ist nur bei der Schn ffelversion des Modul1000 Katalognummer 550 310 vorhanden An diesem Anschluss kann die optionale Schn ffelleitung SL200 angeschlossen werden Der elektrische Anschluss der SL200 erfolgt ber die Anschlussbuchse ACCESSORIES Installation 4 7 d INFICON 5 5 1 Betriebsarten Vakuum Es gibt folgende Vakuum Betriebsarten e Vakuum e Commander e Auto Leak Test Bei diesen Betriebsarten kann zus tzlich eine Teilstrompumpe verwendet werden Bei der Schn ffelversion des Modul1000 gibt es au erdem die Betriebsart e Schn ffeln Im normalen Vakuumbetrieb wird das Modul1000 als Stand Alone Dichtheitspr f ger t betrieben Das Pr fteil oder die Vak
59. chlie er nach Kontakt 15 z B ERROR Werkseinstellung 9 Schlie er nach Kontakt 15 z B CAL ACTIVE Werkseinstellung 10 Schlie er nach Kontakt 15 z B CAL REQUEST Werkseinstellung 11 Schlie er nach Kontakt 15 z B OPEN Werkseinstellung 12 Schlie er nach Kontakt 15 z B OPEN Werkseinstellung 13 Schlie er nach Kontakt 15 z B OPEN Werkseinstellung 14 Schlie er nach Kontakt 15 z B OPEN Werkseinstellung 15 COM_DIGOUT gemeinsames Bezugspotential f r alle Ausg nge 16 nicht belegt Alle Funktionen sind auch in invertierter Form w hlbar Bei ausgeschaltetem Ger t sind alle Relaisausg nge ge ffnet OPEN Relaiskontakt ist ohne Ansteuerung ge ffnet CLOSE Relaiskontakt ist ohne Ansteuerung geschlossen TRIGGER 1 2 3 Geschlossen wenn Triggerlevel unterschritten wurde und das Ger t sich im Mess betrieb befindet ZERO ACTIVE Geschlossen wenn ZERO Funktion eingeschaltet ist READY Geschlossen wenn das Ger t messbereit ist Emission ein kein Fehler Technische Daten 9 6 d INFICON STANDBY Geschlossen wenn sich das Ger t sich im Zustand STANDBY befindet MEASURE Geschlossen wenn sich das Ger t im Messbetrieb befindet VENTED Geschlossen wenn der Einlass bel ftet ist ERROR Geschlossen wenn kein Fehler vorliegt Offen wenn ein Fehler vorliegt WARNING Geschlossen wenn keine Warnung vorliegt Offen wenn eine Warnung vorliegt CAL ACTIVE Geschlossen wenn eine K
60. chluss erfolgt ber den Stecker ACCESSORIES Die Einstellung Betriebsart muss auf Schn ffeln eingestellt sein Im Zustand SNIFF signalisiert die rote LED am Schn ffelhandgriff einen schlechten und die gr ne LED einen guten Pr fling Bei Schn ffelleitungen mit aktivem Taster am Schn ffelhandgriff kann die externe Untergrundunterdr ckung eingeschaltet werden Bei l ngerem Dr cken des Tasters 3 Sekunden wird die externe Untergrundunterdr ckung wieder ausgeschaltet Betriebsarten 5 8 d INFICON 6 Betrieb 6 1 Einschalten Ger t wie im Kapitel Installation beschrieben installieren Netzleitung anschlie en und das Ger t einschalten Der Netzschalter und der Anschluss f r das Netzkabel befinden sich auf der Ger ter ckseite Nach Bet tigung des Netzschalters startet der Hochlauf automatisch W hrend des Hochlaufes lt 3 Min wird auf dem Display der Bedieneinheit folgen des angezeigt Drehzahl der Turbomolekularpumpe Vorvakuumdruck Zustand der Emission Aktive Kathode Eine Balkenanzeige die den Hochlauf Fortschritt anzeigt Nach Beendigung des Hochlaufs befindet sich das Modul1000 im Zustand Standby 6 2 Status LED Die LED zeigen an in welchem Betriebszustand sich das Ger t befindet Betriebszustand LED gr n LED gelb Hochlauf Blinkt im Wechsel Blinkt im Wechsel Standby Vent an aus Evakuieren an Blinkt langsam Messen an an Kalibrieren Blinkt s
61. chnis 11 4 Inhaltsverzeichnis 0 5 d INFICON 0 6 Inhaltsverzeichnis Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON 1 Benutzerhinweise 1 1 Anwendung dieser Anleitung Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h e Bitte lesen Sie dieses Handbuch bevor Sie das Modul1000 in Betrieb nehmen e Bewahren Sie das Handbuch so auf dass Sie es jederzeit zur Hand haben e Wird das Ger t an Dritte weitergegeben muss dieses Handbuch beigef gt werden Warnzeichen und Gefahrensymbole Dieses Symbol bezeichnet eine unmittelbar drohende Gefahr Wenn sie nicht gemieden wird sind Tod oder schwerste Verletzungen Verkr ppelungen die Folge Dieses Symbol bezeichnet eine m glicherweise gef hrliche Situation Wenn sie nicht gemieden wird k nnen Tod oder schwerste Verletzungen die Folge sein Dieses Symbol bezeichnet eine m glicherweise gef hrliche Situation Wenn sie nicht gemieden wird k nnen leichte oder geringf gige Verletzungen die Folge sein Auch Warnungen vor Sach und Umweltsch den werden durch dieses Symbol bezeichnet Benutzerhinweise 1 1 d INFICON 1 3 _ Darstellungskonventionen Hinweis erweist auf sehr wichtige Informationen 1 Verweist auf einen durchzuf hrenden Arbeitsgang gt Verweist auf das Ergebnis eines durchgef hrten Arbeitsgangs Verweist auf die Taste die zu dr cken ist Eine Liste wird angezeigt 1 4 Begriffserkl rungen
62. dbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Hauptmen Modul1000 Info Einstellungen anzeigen Interne Daten anzeigen Vakuumschema Schnittstellen Fehlerliste anzeigen Protokollierte Daten Wartungsliste Kalibrier Historie anzeigen Pr fprotokoll Pr fprotokoll l schen Kalibrier Faktoren Service Benutzerberechtigung Zugang zur CAL Funktion Ger te PIN ndern Men PIN ndern d INFICON Betrieb 6 14 d INFICON 6 12 Beschreibung der Men punkte Die Men punkte auf die sich die jeweilige Beschreibung bezieht sind in fetten Buch staben gedruckt Durch Bet tigen der Taste MENU wird das Auswahlmen auf dem Display ange zeigt Das Softwaremen ffnet sich auf der Men ebene auf der es zuvor verlassen wurde Durch nochmaliges Bet tigen der Taste MENU kann das Softwaremen wieder verlassen werden Beim Dr cken der Taste MEN f r ca 2 Sekunden wechselt die Anzeige zur obers ten Men ebene dem Hauptmen 6 12 1 Hauptmen Zur ck Geht zur ck zur vorherigen Seite ndert nicht die Einstellungen 6 12 2 Hauptmen Anzeige gt Skalierung linear logarithmisch Mit dieser Einstellung kann die Skalierung der Balkenanzeige und der Y Achse Siehe Kapitel Messwertanzeige ver ndert werden Es kann zwischen linearer und logarithmischer Darstellung gew hlt werden Nur in der logarit
63. dbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON Schreiberausgang Siehe Kap 9 4 Analogausgang Schreiberausgang Skalierung Schreiberausgang In diesem Untermen l sst sich die Skalierung der Schreiberausg nge einstellen Diese Einstellung ist nur wirksam bei der Auswahl der Signale LR lin oder LR log Durch Dr cken der Pfeiltasten links und rechts neben dem Wert f r die Obere Grenze kann die obere Anzeigegrenze des Analogausganges eingestellt werden Durch Dr cken der Pfeiltasten links und rechts neben dem Wert f r die Skalierung kann die Skalierung in Schritten von 0 5 1 2 2 5 5 10 Volt Dekade wobei der Gesamtbereich 10 V umfasst eingestellt werden Nur f r LRlog Beispiel f r Signal LRlog 1 Oberer Grenzwert eingestellt auf 10 10 V 2 Skalierung eingestellt auf 5 V Dekade Unterer Grenzwert liegt damit bei 10 0 V Hauptmen Einstellungen gt Schnittstellen gt Gasballast Ausgang e invertiert Ausgangspegel HIGH bei geschlossenem Gasballast Sp lventil normal Ausgangspegel HIGH bei ge ffnetem Gasballast Sp lventil 6 12 6 5 Hauptmen Einstellungen Diverses Datum Uhrzeit Stellen Sie wenn notwendig Zeit und Datum ein Sprache Es k nnen die Sprachen deutsch englisch italienisch franz sisch polnisch katakana chinesisch spanisch eingestellt werden Die voreingestellte Sprache ist Englisch Sollte versehentlich eine falsche Sprache ei
64. der Turbo Molekularpumpe und der Vorvakuum pumpe 1 2 Benutzerhinweise Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON Interner Heliumuntergrund Der vorhandene Heliumpartialdruck im Messsystem Die Gr e des internen Heli umuntergrundes wird in der Betriebsart Standby gemessen und vom gemessenen Signal abgezogen siehe oben Automatische Nullpunkteinstellung Kleinste nachweisbare Leckrate Die kleinste nachweisbare Leckrate die das Modul1000 sicher erfassen kann 5x10 mbar I s Menu Das Menu erlaubt es dem Bediener des Modul1000 diesen entsprechend seinen W nschen zu programmieren Das Menu hat eine Struktur die sich baumartig verzweigt Werksauslieferungs zustand Zustand der Einstellungen des Modul1000 wie vom Werk ausgeliefert Standby Das Modul1000 ist betriebsbereit MEASURE MEASURE ist der Messbereich mit einem Einlassdruck unter 0 4 mbar Die kleinste nachweisbare Leckrate betr gt lt 5x1 0 2 mbar I s Benutzerhinweise 1 3 d INFICON yongqpueH sayos uyoo L z or y pogaqu l Benutzerhinweise 1 4 Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON 2 Wichtige Sicherheitshinweise 2 1 Bestimmungsgem er Gebrauch Das Modul1 000 ist f r die Dichtheitspr fung im Vakuum vorgesehen Mit der Schn f felversion des Modul1000 Katalog Nr 550 310 lassen sich Lecks am Pr fteil au erde
65. e Betrieb 6 6 d INFICON Messen Abb 6 5 Evakuieren Sobald der Druck am Einlass des Modul1000 die eingestellte Druckgrenze unter schreitet wechselt Ger t in den Messbetrieb Abb 6 6 Messen 6 7 Betrieb Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON Messwertanzeige Im Messbetrieb kann zwischen zwei verschiedenen Darstellungen zur Messwertan zeige gew hlt werden Numerische Anzeige mit gro formatigen Zahlen und als Balkenanzeige 53 107 10 p1 1 0 il 23 mbar p788 Abb 6 7 Grafische Anzeige als Funktion der Messzeit 1 23 vg Vi PAR BONS I p788 Abb 6 8 Die Umschaltung zwischen der numerischen Anzeige und der Grafikanzeige erfolgt mit der Taste 8 Sie tr gt wechselweise das Symbol numerische Darstellung bzw Grafikdarstellung Betrieb 6 8 d INFICON 6 6 Kalibrieren im Vakuumbetrieb Das Modul1000 kann auf verschiedene Weise kalibriert werden Bei jeder Kalibrie rung wird das Massenspektrometer auf maximale Empfindlichkeit abgeglichen Autotune Man unterscheidet zwischen interner und externer Kalibrierung je nach verwende tem Tesrleck Die Kalibrierung kann abh ngig vom Steuerungsort auf folgende Arten gestartet werden eingestellter Steuerungsort Intern manuell LOKAL RS232 ASCII Intern automatisch LOKAL RS232 ASCII RS232 BINAR
66. e Testleck ist zu klein Das externe Testleckventil ist nicht ge ffnet oder defekt Internes Testleck defekt W80 Bitte Ger t neu kalibrieren Die automatische Kalibrieraufforderung ist aktiviert und eine der nachfolgenden Bedingungen ist erf llt 30 Minuten seit Einschalten des Dichtheitspr fger ts sind abgelaufen Die Vorverst rkertemperatur hat sich seit der letzten Kalibrierung um mehr als 5 C ge ndert Die Masseneinstellung oder die Betriebsart wurde ge ndert Eine Messzeitver nderung im Testkammerbetrieb wurde vorgenommen w81 Kalibrierfaktor zu klein Der berechnete Kalibrierfaktor liegt au erhalb des zul ssigen Bereiches lt 0 1 Der alte Faktor wird beibehalten Das interne Testleck ist defekt Der eingegebene Leckratenwert f r das interne Testleck ist viel zu klein Die f r die Kalibrierung erforderlichen Bedingungen wurden nicht eingehalten W82 Kalibrierfaktor zu gro Der berechnete Kalibrierfaktor liegt au erhalb des zul ssigen Bereiches gt 10 Der alte Faktor wird beibehalten Das interne Testleck ist defekt oder leer Der eingegebene Testleckwert f r das interne Testleck ist zu gro Massenspektrometer verschmutzt und unempfindlich Die f r die Kalibrierung erforderlichen Bedingungen wurden nicht eingehalten W83 Alle EEPROM Parameter verloren Bitte berpr fen Sie die Ihre Einstellungen EEPROM auf Verdrahtungsebene ist leer und wurde mit Default
67. e beachten Sie die entsprechenden Sicherheitshinweise in diesem Kapitel e F r den Austausch des I STICK l sen Sie die beiden Schrauben mit denen der l STICK auf der Steckdose verschraubt ist Siehe hierzu nachstehende Abb 7 7 D xv DIGITAL QUT Abb 7 7 Austausch STICK Pos Beschreibung Pos Beschreibung 1 STICK 2 Befestigungsschrauben Nachdem die Schrauben gel st wurden I STICK aus der Steckfassung herauszie hen und gegen I STICK des defekten Ger tes tauschen Der Einbau erfolgt in umgekehrter Reihenfolge Wartungsarbeiten 7 13 d INFICON 7 9 Flutfilter austauschen Der Fluffilter wird im Rahmen der 5000 Stunden Wartung berpr ft bzw ausge tauscht Im Falle extremer Einsatzbedingungen k nnen k rzere Wartungszeiten sinnvoll sein Ben tigtes Werkzeug e Innensechskantschl ssel SW 8 Ben tigtes Material Ersatzfilter 2 Stck Bestellnr 200 000 683 Der Zugang zum Flutfilter ist nur m glich wenn die Ger tehaube vom Modul1000 entfernt wurde Folgen Sie hierzu den Anweisungen in 7 5 1 Offnen des Ger tes Hinweis Bitte beachten Sie die entsprechenden Sicherheitshinweise in diesem Kapitel e F r den Ausbau des Flutfilters l sen Sie die Schlauchverbindungen des Filters aus den Schnellkupplungen heraus Durch Druck auf den u eren Ring an den Schnellkupplungen kann die Schlauchleitung abgezogen werden Entnehmen Sie die Einbauposition nachstehender Abb 7 8
68. eginnend mit 1 V 110 3 mbar 110 3 Pa LR lin Die Ausgabe der Leckrate ist linear skaliert Die Ausgangsspannung betr gt 0 10V Die obere Grenze entspricht 10V und die Skalierung in Volt Dekaden wird ber die optionale Bedieneinheit unter Skalierung Schreiberausgang eingestellt LR log Die Ausgabe der Leckrate ist logarithmisch skaliert Die Ausgangsspannung betr gt 1 10 V in einstellbaren Schritten von 0 5 V bis 10 V pro Dekade Die Skalierung in Volt Dekaden wird ber die optionale Bedieneinheit unter Skalierung Schreiber ausgang eingestellt Beispiel f r Signal LR log Oberer Grenzwert eingestellt auf 10 mbarl s 10 V Skalierung eingestellt auf 5 V Dekade Unterer Grenzwert liegt damit bei 10 mbarl s 0 V LR mantisse Die Leckraten Mantisse wird linear von 1 10 V ausgegeben Technische Daten 9 10 d INFICON LR exponent Der Leckraten Exponent wird als Stufenfunktion ausgegeben U 1 10 V in Schritten von 0 5 V pro Dekade beginnend bei 1 V 1x102 LR log H LR 10 V E 10 11 E LR Leckrate V Ausgansspannung E Ausgangsspannung auf ganzzahlig abgerundet 1V 2V 3V 4V Spannungen zwischen 1V bis 1 1V 2V bis 2 1V 3V bis 3 1V usw werden nicht ausgegeben 9 5 Anschlussbelegungen 9 5 1 PLC IN AUDIO Alle Eing nge sind mit Optokoppler potential getrennt ausgef hrt F3 PIN l aA 24V en 2 GND 24V 1 AU
69. ellt werden Modul1000 ausschalten und wieder einschalten W hrend der Hochlaufphase Taste Nr 3 und Nr 7 gleichzeitig so lange bet tigen bis sich das Display wieder gut ablesen l sst Diese Einstellung wird nur dauerhaft bernommen wenn die Einstellung im Kont rastmen best tigt wird Erfolgt keine Best tigung l uft das Modul1000 beim erneu ten Einschalten mit den alten Kontrasteinstellungen hoch Untergrund in Standby Im Standby Modus kann der ger teinterne Heliumuntergrund angezeigt werden Untere Anzeigegrenze Diese Einstellung begrenzt im Messbetrieb die Anzeige der Leckrate nach unten Sie ist nur f r die Vakuum Betriebsart wirksam Die untere Anzeigegrenze wirkt sich sowohl auf die grafische Leckratenausgabe als auch auf die numerische Leckraten ausgabe aus Das Modul1000 zeigt keine Leckraten die kleiner als die untere Anzei gegrenze sind im Display an Die untere Anzeigegrenze ist zwischen 1x10 und 1x10 mbar l s frei w hlbar Betriebsart Das Wechseln der Betriebsarten ist nur im Standby Modus m glich Es kann zwischen den folgenden Betriebsarten gew hlt werden Commander siehe Kap 5 4 Schn ffeln siehe Kap 5 5 Auto leak test siehe Kap 5 3 Vakuum siehe Kap 5 1 Trigger amp Alarme Trigger Level 1 2 oder 3 Unter diesen Men punkten k nnen bis zu drei Leckraten Triggerschwellen einge stellt werden berschreitet die gemessene Leckrate die ein
70. em Meeresspiegel gelagert wurde Siehe technische Daten Wurde das Modul1000 unter diesen Umst nden gelagert Modul1000 ausgeschal tet lassen und Kontakt mit dem INFICON Service aufnehmen Gefahr der Besch digung Das Modul1000 kann durch unsachgem en Transport besch digt werden Das Modul1000 immer in der Original Verpackung transportieren Wichtige Sicherheitshinweise 2 7 d INFICON 3 Ger tebeschreibung Das Modul1000 ist ein Helium Dichtheitspr fger t das zum Einbau in Dichtheits pr fpl tzen konzipiert ist In einem kompakten Geh use befinden sich das Analysesystem mit Turbomoleku larpumpe sowie die komplette Ansteuerelektronik Je nach eingestellter Betriebsart kann das Modul1000 bergeordnete Steuerungsfunktionen einer Dichtheitspr fan lage bernehmen Vielf ltige Signal und Statusausg nge erlauben die universelle Integration in vor handene oder neue Anlagenkonzepte Die vom Nutzer eingestellten Betriebsparameter sind in einem separaten Speicher baustein l STICK abgelegt der einfach entnommen werden kann S mtliche Ger tekonfigurationen und die anfallenden Wartungsarbeiten k nnen ohne ffnen des Ger tes durchgef hrt werden Zum Erzeugen des zum Betrieb der Turbopumpe notwendigen Vorvakuums sowie zum Evakuieren angeschlossener Pr flinge muss eine Vorvakuumpumpe mit Saug verm gen gt 2 m h angeschlossen werden die einen Endruck von lt 1x10 mbar erzeugen kan
71. en Stecker VALVES Nach dem Starten der automatisch externen Kalibrierung durchl uft das Modul1000 den gesamten Kalibrierablauf automatisch Dabei wird die im Men einstellbare Signaleinschwingzeit des Testlecks CAL Einschwingzeit verwendet die vorher auf das Volumen am Einlass abgestimmt werden muss Die CAL Einschwingzeit vergr ert sich entsprechend dem am Einlass angeschlos senen Volumen Manuelle externe Kalibrierung Bei der manuellen externen Kalibrierung muss das Testleckventil manuell ge ffnet und geschlossen werden Das eingeschwungene Testlecksignal muss ebenfalls manuell best tigt werden Bei Verwendung der Bedieneinheit oder der Ger tebedienung wird der Benutzer ber das Display durch die Kalibrierroutine gef hrt Kalibrieren im Schn ffelbetrieb Gilt nur f r Ger te mit der Katalognummer 550 310 und 550 330 Das Kalibrieren im Schn ffelmodus erfolgt analog zur externen manuellen Kalibrie rung im Vakuumbetrieb Mit der an das Modul1000 angeschlossenen optionalen Schn ffelleitung m ssen sowohl ein Schn ffeltestleck als auch der Heliumuntergrund gemessen werden Das eingeschwungene Testlecksignal sowie der eingeschwungene Untergrundwert m ssen manuell best tigt werden Betrieb 6 10 d INFICON 6 8 6 9 Kalibrieren im Autoleaktest D d OD DS Go h A Es sind 4 Arten der Kalibrierung w hlbar e intern automatisch e intern manuell e extern automatisch e extern manuel
72. end wieder montieren und festziehen 7 8 Wartungsarbeiten Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jinb80d1 h d INFICON Abb 7 4 Betriebsmittelspeicher ersetzen Pos Beschreibung Pos Beschreibung 1 Betriebsmittelspeicher 2 O Ring Wartungsarbeiten 7 9 d INFICON 7 7 _Sicherungswechsel 7 7 1 bersicht der elektrischen Sicherungen Netzschalter Geh usechassis Bezeichnung Techn Daten Absicherung f r Netzschalter 2xT6 3A Netzger tesicherung 2 phasig AUS Verdrahtungsebene Bezeichnung Techn Daten Absicherung f r F10 T6 3A Spannungsversorgung TC 600 F11 T0 8A Ventilatoren Netzteil ZWS240PAF 24 TA Bezeichnung Techn Daten Absicherung f r F1 F6 3A Absicherung Netzteil VO Leiterkarte Bezeichnung Techn Daten Absicherung f r F1 F2 T0 8A keine Verwendung F3 T 0 315 A keine Verwendung MSV Leiterkarte Bezeichnung Techn Daten Absicherung f r F1 T2A 24 V Hauptsicherung f MSV Karte F2 T3 15A Anodenheizung keine Verwendung F3 T1A 15 V 5 V DC DC Wandler F4 M 0 032 A Anoden Kathodenspannung 85 V Schnittstellenkarte Bezeichnung Techn Daten F1 T1A 24 V CONTROL UNIT F2 T0 8A 24 V REMOTE CONTROL PC RS232 F3 T0 8A 24 V PRESSURE GAUGE PLC IN F4 T16A 24 V PLC OUT VALVES ACESSORIES F5 T10A VALVE
73. enutzt werden Die verwendete Vorvakuumpumpe muss folgende Spezifikation erf llen e Der Anschlussschlauch sollte einen Mindestdurchmesser von 15 mm nicht unterschreiten e Die Vorvakuumpumpe sollte ein Saugverm gen von gt 2 m h und e einen erreichbaren Enddruck von lt 1x10 mbar aufweisen Verf gt die Vorvakuumpumpe ber ein magnetgesteuertes Gasballastventil oder Sp lgasventil so kann dies ber den Ventilausgang V22 des Modul1000 gesteuert werden Pr fteil Pr fanlage Der Anschluss an das Pr fteil oder die Pr fanlage geschieht ber den DN25 KF Einlassflansch auf der Oberseite des Modul1000 Um mit dem Dichtheitspr fger t auch bei gr eren Dr cken als 0 4 mbar messen zu k nnen kann die im Lieferumfang enthaltene Blende vor dem Einlass des Dicht heitspr fger ts montiert werden Ist die Blende in der Saugleitung des Dichtheits pr fger ts montiert betr gt der maximale Einlassdruck 3 mbar Da sich das Saugverm gen bei Verwendung einer Blende stark reduziert ist das Evakuieren mit Hilfe einer Teilstrompumpe sinnvoll Um kurze Signalansprechzeiten des Modul1000 zu erhalten sollte die Blende m glichst dicht am Pr fteil Pr fanlage montiert werden Das Modul1000b hat die Blende bereits eingebaut und kann ebenfalls bis 3 mbar messen Hinweis Die maximal zul ssige Belastung senkrecht auf den Flansch betr gt 400N 4 6 Installation Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbu
74. erunreinigungen verursachen kurzfristig einen hohen E42 ist zu gro Massenspektrometerdruck Die Anodenspannung ist kurzgeschlossen Der Sollwert f r die Anodenspannung ist zu hoch Die Anodenspannung ist auf 1 200 V begrenzt Signal MPKZH auf der MSV Platine ist aktiv Kathodenstrom ist zu hoch gt 3 6 A E43 Katodenstrom ist zu hoch MSV Karte defekt 10 3 Fehlermeldungen und Warnungen Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON Nr Angezeigte Meldung Beschreibung und m gliche Fehlerursachenbehebung E44 Katodenstrom ist zu niedrig Signal MPKZN auf der MSV Platine ist aktiv Kathodenstrom ist zu gering I lt 0 2 A MSV Karte defekt Fehlerhafter Ionenquellenstecker oder Kabel W45 Emission der Kathode 1 kann nicht eingeschaltet werden Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv Die Emission f r Kathode 1 kann nicht eingeschaltet werden Das Modul1000 schaltet auf Katode 2 Neue lonenquelle bestellen Katode 1 defekt Fehlerhafter lonenquellenstecker oder Kabel MSV Karte defekt W46 Emission der Katode 2 kann nicht eingeschaltet werden Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv Die Emission f r Katode 2 kann nicht eingeschaltet werden Der Modul1000 schaltet auf Katode 1 Neue lonenquelle bestellen Katode 2 defekt Fehlerhafter lonenquellenstecker oder Kabel MSV Karte defekt E47 Emission
75. essergebnisse ausdr ckt k nnen ver n dert werden Es kann zwischen den Druck Ma einheiten mbar Pa atm und Torr sowie den Leck raten Ma einheiten mbar l s Pa m3 s Torr Ve atm cc m und atm cc s gew hlt werden Im Modus Sniff sind zus tzlich die Ma einheiten ppm g a oz yr w hlbar Alarmverz gerung Um ein Ausl sen des Triggeralarms durch hohe Untergr nde beispielsweise w hrend eines Evakuiervorganges zu vermeiden kann eine Alarmverz gerungszeit eingestellt werden Nachdem das Modul1000 vom Evakuieren in den Messbetrieb gewechselt ist startet die Alarmverz gerungszeit Der Trigger 1 l st erst aus sobald die eingestellte Alarmverz gerungszeit abgelaufen ist oder der Leckraten Messwert kurzzeitig kleiner als der eingestellte Triggerwert 1 war Die Alarmverz gerungszeit kann zwischen null und zehn Minuten variabel eingestellt werden Wird die Zeit ber 10 Minuten hinaus verl ngert springt die Alarmverz ge rungszeit automatisch auf unendlich Audio Alarm Type Drei verschiedene Alarm Typen k nnen gew hlt werden e Pinpoint Der Ton des akustischen Signals ndert seine Frequenz nur innerhalb eines Leckratenfensters welches einen Bereich von einer Dekade unterhalb des Wertes von Triggerschwelle 1 bis eine Dekade ber dem Wert f r Triggerschwelle 1 umfasst Unterhalb dieses Fensters ist der Ton konstant niedrig und oberhalb des Fensters ist er konstant hoch 6 17 Betrieb Technisches Handbuc
76. evel Die Messzeit beginnt sobald das Modul1000 von der Evakuierungsphase in den Messbetrieb wechselt Es kann eine Messzeit zwischen 1 Sekunde und 30 Minuten eingestellt werden Nach Ablauf der Messzeit wird das Messergebnis angezeigt Teilenummer Wird der eingestellte Triggerlevel 1 bei Ablauf der Messzeit berschritten gibt das Modul1000 die Meldung FAIL aus und signalisiert dadurch einen undichten Pr f ling Im Softwaremen kann ein Teilez hler aktiviert werden der den einzelnen Messzy klen eine Nummer zuordnet Die letzten 12 Messergebnisse k nnen mit Datum und Pr fergebnis auf der Men seite Pr fprotokoll angezeigt werden 9 3 Betriebsarten Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON Serienfehlermeldung Im Softwaremen kann eingestellt werden dass nach einer bestimmten Anzahl von aufeinanderfolgenden Messungen mit dem Ergebnis FAIL eine Serienfehlermel dung ausgegeben wird Die Anzahl der aufeinanderfolgenden Messungen die notwendig sind damit das Modul1000 eine Serienfehlermeldung ausgibt kann zwischen 2 9 eingestellt werden Sie kann aber auch deaktiviert werden Um sicherzustellen dass eine solche H ufung von aufeinanderfolgenden FAIL Messungen nicht durch Heliumuntergr nde in der Pr fanlage bedingt ist wird empfohlen eine Referenzmessung durchzuf hren Referenzmessung Im Falle einer mit Hel
77. fteil ber die Pumpe 4 bis zum Druck p_B Abpumpdruck evakuiert Dies muss innerhalb der vorgegebenen Zeit t_A_Abpumpzeit erfolgen sonst wird der Messzyklus mit der Fehlermeldung 96 abgebrochen Das Ventil V30 wird geschlossen Der Pr fling wird ber Ventil V31 auf Atmosph rendruck bel ftet Wird der vorgegebene Pr flingsdruck p_A_Groblecktest nicht innerhalb der Zeit t_E_Bel ftungszeit erreicht so wird der Messzyklus mit der Fehlermeldung 97 abge brochen Im Anschluss wird die Vakuumkammer durch das Modul1000 und das externe Flutventil V21 Abb 5 1 falls angeschlossen auf Atmosph rendruck bel ftet 5 7 Betriebsarten Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON Schn ffelbetrieb Das Modul1000 in der Schn ffelversion kann sowohl als Vakuum als auch als Schn ffellecksucher verwendet werden Um es als Schn ffellecksucher einsetzten zu k nnen muss die optionale Schn ffel leitung SL200 an den Anschluss Sniff auf der rechten Ger teseite des Modul1000 angeschlossen werden Im Messbtrieb saugt das Modul dann einen konstanten Gasstrom durch die Schn ffelleitung an In diesem Gasstrom enthaltenes Helium wird als Leckrate ausgegeben Im Schn ffelmodus ist die Nachweisgrenze durch den hohen atmosph rischen Heliumuntergrund auf lt 1x107 mbar Us begrenzt Der Gasdurchsatz durch die Schn ffelleitung betr gt ca 25 sccm Der elektrische Ans
78. gebrochen Ist der Kammerdruck innerhalb der voreingestellten Zeit t_F_Messbereitschaft nicht klein genug f r die Umschaltung in den Messbetrieb so wird der Ablauf mit der Fehlermeldung 94 abgebrochen Nach dem Evakuieren des Pr fteils wird das Ventil V33 ge ffnet und der Bef llvorgang des Bauteils mit Helium beginnt Erreicht der Druck im Pr fling den eingestellten F lldruck p_C_F lldruck innerhalb der eingestellten Zeit t_C_F llzeit wird das Ventil V33 wieder geschlossen und der Bef llvorgang ist abgeschlossen Wird der F lldruck nicht rechtzeitig erreicht wird der Messzyklus mit der Fehlermeldung 93 abgebrochen Die eigentliche Dichtheitspr fung wird nun gestartet Nach Ablauf der eingestellten Zeitt_G_Messzeit wird die gemessene Leckrate ausgegeben Sinkt w hrend der Dichtheitspr fung der Pr flingsdruck aufgrund einer Undichtheit des Systems unter den Druck p_E_Druckabfallschwelle so wird der Messzyklus mit der Fehlermeldung 99 abgebrochen Nach Beendigung der Messzeit wird das Ventil V32 ge ffnet Das Helium wird aus dem Pr fling in die Helium F llvorrichtung zur ckgef hrt bis der Druck im Pr fling den Entspanndruck p_D_Entspanndruck erreicht hat Im Anschluss wird V32 wieder geschlossen Wenn dies nicht innerhalb der vorgegebenen Zeitt_D_Entspannzeit erfolgt wird der Messzylus mit der Fehlermeldung 95 abgebrochen Um das brige Helium aus dem Pr fteil zu entfernen wird das Ventil V30 ge ffnet und das Pr
79. geh renden speziellen Unterlagen nach Anhang VII Teil B wurden erstellt Dokumentationsbevollm chtigter Hans Gerd Finke INFICON GmbH K ln den 15 Dezember 2009 fe Dr D bler Gesch ftsf hrer K ln den 15 Dezember 2009 fike Finke Entwicklung INFICON GmbH Bonner Strasse 498 Bayenthal D 50968 K ln Tel 0221 3474 0 Fax 0221 3474 1429 hitp www inficon com e mail LeakDetection inficon com modul1000 15 12 2009 dt doc Technische Daten 9 22 d INFICON 10 Fehlermeldungen und Warnungen Nr Angezeigte Meldung Beschreibung und m gliche Fehlerursachenbehebung TMP Temperatur berwachung A 5 E04 fehlerhaft E025 Kurzschluss im Temperatursensor 8 zZ TMP Temperatursensor 8 E05 fehlerhaft E026 Temperatursensor unterbrochen berdrehzahl TMP 3 E06 TMP Frequenz zu gro TMP inkl TC 600 austauschen INFICON Service verst ndigen Netzteilausgangsspannung vom TC 600 zu niedrig E07 TMP Netzteil defekt 24 V Netzteil Modul1000 Ausgangspannung kontrollieren TMP inkl TC 600 austauschen Drehzahl der TMP ist nach Ablauf der Anlaufzeit von 15 min unter dem Drehzahlwert von lt 1200Hz E08 TMP Anlaufzeitfehler Vorvakuumdruck zu hoch Leck im Vakuumsystem Turbopumpe Lagerschaden emm TMP Verbindung TC600 TMP Interne Verbindung TC 600 zur TMH 071 fehlerhaft fehlerhaft TMP inkl TC 600 austauschen Fehler im Controller vom TC 600
80. gesetzt W28 gesetzt Bitte Datum und Uhrzeit Akku auf MC68 ist entladen bzw defekt eingeben MC68 wurde getauscht Die Spannungsversorgung der L fter ist lt 20 V E29 a Spannungsver sorgung ger Sicherung F11 auf Verdrahtungsebene defekt L fter ist defekt L fteranschlu verpolt Offsetspannung Vorverst rker ohne Emission gt 5 mV Die Offset Spannung des Der Vorverst rker ist defekt W31 Vorverst rkers ist zu hoch gt 5 mV Fehlerhafte Spannungsversorgung Vorverst rker Fehlerhafte MC 68 Steuerkarte Die Temperatur der Umgebung ist zu hoch W rmeakkumulation durch ung nstige Plazierung Vorverst rker Temperatur ist zu TE W32 hoch gt 60 C Der Luftfilter ist verschmutzt Temperatursensor im Vorverst rker defekt Fehlerhafte MC 68 Steuerkarte Die Temperatur der Umgebung ist zu niedrig W33 yorverstarker Temperatur ZU Der Temperatursensor im Vorverst rker ist defekt niedrig lt 2 C Fehlerhafte MC 68 Steuerkarte 10 2 Fehlermeldungen und Warnungen d INFICON Nr Angezeigte Meldung Beschreibung und m gliche Fehlerursachenbehebung Signal MVPZN auf der MSV Platine ist aktiv 24 V Spannung auf MSV Karte ist zu niedrig U lt 18 3 V Sicherung F1 auf der MSV Karte ist durchgebrannt E34 24 V Spannung auf MSV Karte Referenzspannung UREF auf der MSV Platine XT7 1 ist zu hoch U gt 5V ist zu niedrig DC DC Wandler MSV Karte defekt 24 V St
81. gestellte Trigger schwelle verh lt sich das Modul1000 wie folgt Display Am unteren Rand des Displays werden die Symbole f r Trigger 1 2 oder 3 invertiert dargestellt Relaisausgang Das Triggerrelais der SPS Ausg nge schaltet Alarm Lautsprecher Wird Triggerschwelle 1 berschritten wird ber den Lautspre cher des Modul1000 ein Alarmsignal ausgel st Betrieb 6 16 d INFICON Lautst rke Das Geh r kann durch das Alarm Signal gesch digt werden Der Alarm Pegel des Modul1000 kann 85dB A berschreiten Nur kurzzeitig den Alarm Signalen aussetzen oder Geh rschutz verwenden Im Men punkt Lautst rke kann durch Dr cken der Tasten und 4 links und rechts neben dem Wert der Lautst rke die Lautst rke der akustischen Signale eingestellt werden Zus tzlich kann die Lautst rke auch im Messbetrieb auf der Messoberfl che mit den durch einen Lautsprecher gekennzeichneten Tasten ver ndert werden Wird im Men punkt Lautst rke eine Mindestlautst rke eingestellt kann weder in der Messoberfl che noch im Men punkt Lautsprecher eine kleinere Lautst rke als die Mindestlautst rke eingestellt werden Beep sound Durch die Taste Beep an bzw Beep aus kann der Beep Ton des Modul1000 ein bzw ausgeschaltet werden Ist der Beep Ton eingeschaltet signa lisiert das Modul1000 bestimmte Zustands nderungen durch einen kurzen Signal ton Einheiten Die Einheiten in denen das Modul1000 M
82. h 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON Beispiel Die Triggerschwelle 1 betr gt 4x 10 mbar Ve Somit reicht das Fenster von 4x10 mbar Ve bis zu 4x10 mbar I s e Leckrate Proportional Die Frequenz des akustischen Signals ist proportional zur Balkenanzeige Der Frequenzbereich betr gt 300 Hz bis 3300 Hz e Setpoint Die Tonh he ist proportional zur Leckrate Ein Ton ert nt jedoch nur wenn die Leckrate den Trigger 1 berschritten hat e Triggeralarm Bei berschreiten des Triggerlevel1 wird ein Signalton ausgegeben 6 12 5 Hauptmen Kalibrierung CAL Betriebsart Vakuum Intern automatisch Wird die interne automatische Kalibriermethode gew hlt f hrt das Modul1000 den gesamten Kalibrierablauf selbstst ndig durch Bei den automatischen Kalibriermethoden durchl uft das Modul1000 folgende Sequenzen automatisch Internes Testleck wird automatisch ge ffnet Evakuieren des Einlasses e Messen des Testlecks e Autotune Abgleich auf maximale Empfindlichkeit des Massenspektrometers Internes Testleck wird automatisch geschlossen Messen des Heliumuntergrundes e Anzeige des neu ermittelten Kalibrierfaktors Intern manuell Wird eine manuelle Kalibriermethode gew hlt m ssen w hren des Kalibrierablaufs verschiedene Eingaben get tigt werden Nur bei der externen manuellen Kalibriermethode muss sofern die angezeigte Leckrate nicht mit dem Wert des
83. heitspr fger t wech selt in den Zustand Standby Ein kurzes Bet tigen der STOP Taste unterbricht die Messungen Wenn die Taste l nger bet tigt wird wird der Einlass entsprechend den Bedingun gen die im Men Verz gerung der Bel ftung definiert wurden bel ftet LED an Einlass geflutet Das Bet tigen der ZERO Taste aktiviert die Untergrundunterdr ckung Um die Untergrundunterdr ckung wieder aufzuheben gen gt es die ZERO Taste 3 Sekunden lang erneut zu dr cken Die Funktion der ZERO Taste wird durch die LED signalisiert LED an ZERO aktiviert Hinweis Die ZERO Funktion sollte erst aktiviert werden wenn das Leckratensignal stabil ist In der Einstellung I ZERO kann die ZERO Funktion nur dann genutzt werden wenn das fallende Untergrundsignal stabil ist 6 3 Betrieb Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h MENU ES E 9 Leckrate in mbarl s E 10 E 11 Zero IN Yerlauf des Leckratensignals ohne Zero ZER Leck 5E 10 mbarl s ohne Zero Unterdr ckung FRE Ceko moale nah I _ verlauf mit gleitender Nullpunkt Anpassung Verlauf ohne gleitende Anpassung 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 d INFICON Abb 6 3 Zero Funktion Untergrundunterdr ckung Display Tasten Durch Bet tigung der Taste MENU wird das Auswahlmen auf dem Display ange zeigt Die Funktion der acht Tasten links bzw rechts vom Display h
84. hmischen Darstellung l sst sich die Anzahl der dargestellten Dekaden durch Dr cken der Tasten und 4 ver ndern Anzeigebereich auto manuell Die obere Grenze der Balkenanzeige sowie der Grafikanzeige kann manuell oder automatisch festgelegt werden e Manuell Wird manuell gew hlt kann eine beliebige obere Anzeigegrenze zwischen 10 mbarl s und 10 mbarl s f r die Balkenanzeige bzw f r die Y Achse bei grafischer Leckratendarstellung eingestellt werden Die untere Anzeigegrenze ergibt sich aus der Skalierungseinstellung siehe Kapitel Skalierung linear logarithmisch e Automatisch In der Einstellung automatisch wird die Balkenanzeige und die Y Achse bei grafischer Leckratendarstellung beim ber oder Unterschreiten des Anzeigebereichs automatisch nachgef hrt Zeitachse Die L nge der Zeitachse im Trendmodus l sst sich in mehreren Schritten von 16 bis 960 s ndern 6 15 Betrieb Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Aa eh 6 12 3 Hauptmen 6 12 4 Hauptmen d INFICON Kontrast Der Kontrast des Displays ist ver nderbar nderungen des Kontrasts sind sofort sichtbar Unter normalen Bedingungen wird eine Kontrasteinstellung von ca 50 empfohlen Wurde das Display so hell oder so dunkel eingestellt dass Men punkte nicht mehr abgelesen werden k nnen kann der Kontrast wie folgt auf den Werksauslieferzu stand zur ckgest
85. hsel HIGH nach LOW Gas Ballast Sp len ausschalten CLEAR Flankengesteuerter Eingang Wechsel LOW nach HIGH Fehlermeldung best tigen oder Abbruch einer Kalibrie rung CAL Flankengesteuerter Eingang Wechsel LOW nach HIGH Falls sich das Ger t im Standby Zustand befindet Internes automatisches Kalibrie ren starten Falls sich das Ger t im Mess Zustand befindet Externes manuelles Kali brieren starten Voraussetzung externes Testleck muss ge ffnet sein und Leckra ten Signal stabil Technische Daten 9 4 d INFICON Wechsel HIGH nach LOW Bei externer Kalibrierung Best tigung dass externes Testleck geschlossen ist und das Leckraten Signal stabil ist CAL INT Flankengesteuerter Eingang Wechsel von LOW nach HIGH Internes automatisches Kalibrieren starten CAL EXT Flankengesteuerter Eingang Wechsel von LOW nach HIGH Externes manuelles Kalibrieren starten CYCLE flankengesteuerter START STOP Eingang Zustandsgesteuerter Eingang Wechsel von LOW nach HIGH Im Zustand Standby wird START und im Zustand Messen STOP ausgef hrt GAS BALLAST ON Flankengesteuerter Eingang Wechsel von LOW nach HIGH Das Gasballastventil wird ge ffnet GAS BALLAST OFF Flankengesteuerter Eingang Wechsel von LOW nach HIGH Das Gasballastventil wird geschlossen ZERO ON Flankengesteuerter Eingang Wechsel von LOW nach HIGH ZERO einschalten ZERO wird ausgeschaltet wenn das Ger t in den Zustand Standby wechselt
86. ichkeiten Bedient werden kann das Modul1000 ber die Bedieneinheit f r den Tischbetrieb oder die Ger tebedienung f r den Einbau in den Schaltschrank Das Modul1000 verf gt ber ein umfangreiches Softwaremen ber das es bedient und konfiguriert werden kann siehe 9 2 Steuerung ber die SPS Ein und Ausg nge Uber die Bedieneinheit erh lt der Bediener Zugang zu dieser Men st ruktur Verbunden werden kann die Bedieneinheit mit dem Modul1000 wahlweise durch eine Verbindungsleitung in der L nge von 1 m oder 5 m ber die Bedieneinheit kann das Modul1000 individuell konfiguriert und gesteuert werden und es k nnen Parameter sowie Messwerte ausgelesen werden 3 3 Ger tebeschreibung Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h 3 3 1 Tischbetrieb d INFICON Die Bedieneinheit l sst sich verrutschsicher auf ebenen Arbeitsfl chen aufstellen Abb 3 5 Bedieneinheit f r den Tischbetrieb Pos Beschreibung LC Anzeige Taste Nr 1 Taste Nr 2 Taste Nr 3 Taste Nr 4 NO OT P Go M A Bedieneinheit 3 3 2 Schaltschrankeinbau START Taste mit LED Pos 8 9 10 11 12 12 14 Beschreibung Taste Nr 5 Taste Nr 6 Taste Nr 7 Taste Nr 8 Men Taste STOP Vent Taste mit LED ZERO Taste mit LED Die Ger tebedienung Bedieneinheit als Einbauversion ist f r den Fronteinbau in ein 19 Racksystem vorgesehen w IN
87. in dB A Kontaminationswert nach IEC 60664 1 berspannungsklasse nach IEC 60664 1 Netzleitung 9 1 3 Eigenschaften Max Einlassdruck Modul1000 Max Einlassdruck Modul1000b Kleinste nachweisbare Helium Leckrate im Vakuummodus ULTRA Untere Nachweisgrenze im Schn ffelmodus Maximal zul ssiger Gasfluss der Schn ffelleitung Maximal anzeigbare Helium Leckrate Messbereich Max Saugverm gen Helium am Einlass ULTRA Modus 100V 240V 50 60 Hz lt 400 VA IP20 IP40 535 x 350 x 339 mm 30 kg lt 70 lt 56 lt 56 90 2 II 3m 0 4 mbar 3 0 mbar lt 5x10 2 mbar Us lt 5x10 mbar Us 25 sccm 0 1 mbar l s 12 Dekaden 2 5 l s Zeitkonstante des Leckratensignals 63 des Endwertes lt 1 s Nachweisbare Massen Hochlaufzeit nach dem Einschalten Massenspektrometer lonenquelle 2 Kathoden Einlassflansch Ventile 9 1 Technische Daten 2 3 und 4 lt 3 min 180 magn Sektorfeld Iridium Yttriumoxid DN25 KF elektromagnetisch Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h 9 1 4 Umgebungsbedingungen F r die Benutzung in R umen Zul ssige Umgebungstemperatur bei Betrieb Zul ssige Lagertemperatur Maximale relative Feuchte Max zul ssige H he ber NN im Betrieb d INFICON 10 C 40 C 50 F 104 F 0 C 60 C 32 F 140 F 80 bei 31 C 88 F linear fallend bis 50 bei 40 C
88. ischen Sicherungen Ben tigtes Werkzeug e Innensechskantschl ssel SW 8 Ben tigtes Material e Sicherungssatz komplett Bestellnr 200 000 641 Der Zugang zu den Sicherungen ist nur m glich wenn die Ger tehaube vom Modul1000 entfernt wurde Folgen Sie hierzu den Anweisungen in 7 5 1 Offnen des Ger tes Hinweis Bitte beachten Sie die entsprechenden Sicherheitshinweise in diesem Kapitel e Nach dem Entfernen der Ger tehaube sind die Sicherung auf der Schnitt stellenkarte zug nglich Siehe hierzu Abb 7 6 DISPLAY D ie F1 Da an a r RECORD 7 Va ix Ee VALVES Abb 7 6 Sicherungen Schnittstellenkarte SSK Pos Beschreibung Pos Beschreibung 1 Schnittstellenkarte SSK 2 STICK 7 12 Wartungsarbeiten Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON 7 8 _Parameterspeicher leSTICK austauschen Anwendungsparameter des Kunden sind im I STICK gespeichert Muss ein Backup Ger t installiert werden k nnen die Anwenderparameter einfach durch Austausch des I STICK in das Backup Ger t bernommen werden Ben tigtes Werkzeug e Innensechskantschl ssel SW 8 e Schraubenzieher Gr 1 Ben tigtes Material e I STICK Der Zugang zu dem I STICK ist nur m glich wenn die Ger tehaube vom Modul1000 entfernt wurde Folgen Sie hierzu den Anweisungen in 7 5 1 Offnen des Ger tes Hinweis Bitt
89. ium kontaminierten Pr fanlage besteht die M glichkeit eine Referenzmessung durchzuf hren Im Softwaremen kann eingestellt werden ob eine Referenzmessung zugelassen wird Wenn sie zugelassen ist kann sie im Messbildschirm aufgerufen werden Bei einer Referenzmessung bestimmt das Modul1000 den internen Heliumunter grund der Pr fanlage und zieht diesen bei den folgenden Messzyklen von den Mess ergebnissen ab Zur Verringerung des Pr fanlagenuntergrundes wird bei einer Referenzmessung vor der eigentlichen Untergrundmessung das Vakuumsystem der Anlage drei mal evakuiert und bel ftet Commander Betrieb Ist das Modul1000 in eine Lecksuchanlage integriert kann es im Commander Betrieb die Steuerung des gesamten integralen Kammerpr fablaufs bernehmen Alle notwendigen Ventile zur Heliumbef llung des Pr fobjektes sowie die notwen dige Druckmessstelle kann direkt an das Modul1000 angeschlossen werden Der Pr fablauf unterst tzt auch die Nutzung einer Helium R ckgewinnungsvorrichtung Die Pr fung kann wahlweise zur Beschleunigung des Lecksuchvorgangs auch im Teilstrombetrieb durchgef hrt werden Betriebsarten 5 4 d INFICON 5 4 1 Aufbau einer Lecksuchanlage Der Aufbau einer Lecksuchanlage mit der Modul1000 Commanderfunktion entspricht im Wesentlichen dem einer herk mmlichen integralen Dichtheitspr fan lage Die Vakuumkammer wird durch das Modul1000 evakuiert wahlweise auch im Teil strombetrieb Abb 5 1 Teilstr
90. k Werkseinstellung 30 Sekunden t B Zeroverz gerung Zeitverz gerung bis ZERO ausgef hrt wird falls Zero freigegeben bzw Zeit inner halb dessen I ZERO ausgef hrt wird falls ZERO aktiviert Werkseinstellung 10 Sekunden t C F llzeit Maximale Zeit zum Erreichen des F lldruckes p_C F lldruck im Pr fling Werkseinstellung 30 Sekunden t D Entspannzeit Maximale Zeit zum Erreichen des Entspanndrucks p_D Entspanndruck Werkseinstellung 30 Sekunden t E Flutzeit Maximale Zeit zum Erreichen des Flutdrucks p_A Groblecktest Werkseinstellung 10 Sekunden t F Messbereitschaft Maximale Zeit zum Erreichen des Messbetriebs Werkseinstellung 10 Sekunden t G Messzeit Zeit nach der das Leckratensignal eingeschwungen ist Werkseinstellung 10 Sekunden 6 21 Betrieb Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON Commander Druckschwellen p_A Groblecktest Druck auf den der Pr fling maximal absinken darf Werkseinstellung 900 mbar p_B Abpumpdruck Druck auf den der Pr fling abgepumpt wird Werkseinstellung 40 mbar p_C F lldruck Druck auf den der Pr fling mit Helium bef llt wird Werkseinstellung 2000 mbar p_D Entspanndruck Druck auf den das Helium aus dem Pr fling abgelassen wird Werkseinstellung 1100 mbar p_E Druckabfallschwelle Druck den der Pr fling w hrend der Leckratenmessung nicht unterschreiten darf Werkseinstellung 180
91. kann auf beiden Katoden nicht eingeschaltet werden Signal MSIBE auf der MSV Platine ist nicht aktiv Die Emission kann auf beiden Katoden nicht eingeschaltet werden Nach Austausch der lonenquelle muss es im Servicemen m glich sein beide Kathoden manuell einzuschalten Beide Katoden defekt Ionenquelle ersetzen Fehlerhafter lonenquellenstecker MSV Karte defekt W49 Mehrere Pr flinge in Folge fehlerhaft Referenzmessung durch f hren Dichtheitspr fger t detektiert mehrere fehlerhafte Pr flinge in Folge berpr fung der Einstellung bei welcher St ckzahl der Fehler ausgegeben wird Untergrundsignal ist stark angestiegen Referenzmessung erneut durchf hren E50 Keine Kommunikation mit der Turbopumpe Keine Kommunikation mit dem Antriebselektronik TC 600 Sicherung F10 auf Verdrahtungsebene ist defekt Stecker RS 485 auf Querverdrahtungsebene oder Antriebselektronik TMH 071 nicht gesteckt Antriebselektronik TC 600 defekt TMH 071 austauschen MC 68 defekt E52 W53 Turbopumpen Frequenz zu klein Temperatur an der Elektronikbaugruppe ist zu hoch 55 C Die Drehzahl der Turbomolekularpumpe TMH 071 ist nach 5 Min Hochlaufzeit zu klein Vordruck TMH 071 ist zu hoch Turbomolekularpumpe TMH 071 ist defekt Antriebselektronik TC 600 ist defekt Die Umgebungstemperatur ist zu hoch Ung nstige Platzierung Dichtheitspr fger t W rmestau L fter ausgefallen Luftfilter sta
92. l F r eine externe Kalibrierung ist ein separates Testleck erforderlich das an der Kammer angebracht wird Bei Teilstrombetrieb sollte immer eine externe Kalibrierung durchgef hrt werden Ablauf der Kalibrierung Testleck manuell ffnen bzw ffnet automatisch evakuieren stabiles Signal bei manueller Kalibrierung best tigen Autotune Abgleich auf maximale Empfindlichkeit bel ften evakuieren nach Ablauf der Messzeit Signal bei ge ffnetem Testleck bernehmen bel ften Testleck schlie en evakuieren nach Ablauf der Messzeit Untergrundsignal bernehmen bel ften Kalibrieren im Commander Betrieb Bei der Kalibrierung wird die Testgasversorgung nicht aktiviert Es sind 4 Arten der Kalibrierung w hlbar e intern automatisch e intern manuell e extern automatisch e extern manuell F r die ext Kailbrierung ist ein separates Testleck erforderlich das an der Kammer angebracht wird Der Ablauf der Kalibrierung ist wie im Vakuumbetrieb 6 11 Betrieb Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON 6 10 Maschinenfaktor Der Maschinenfaktor ber cksichtigt die Tatsache dass das Modul1000 parallel zu einem Pumpsystem verwendet wird Teilstromverfahren Da bei einer solchen Anlagenkonfiguration nur ein Teil des Leckgasstroms das Dichtheitspr fger t erreicht und nachgewiesen wird gibt das Modul1000 auf der Basis einer internen Kalibrier
93. m orten Das Modul1000 darf nur zur Dichtheitspr fung mit den Gasen Helium und Wasser stoff eingesetzt werden Es darf ausschlie lich in trockenen R umen und auf trocke nem Untergrund genutzt werden Nutzen Sie ausschlie lich Zubeh r von INFICON Zur bestimmungsgem en Verwendung geh ren auch die Einhaltung der Technischen Daten und Umgebungsbedingungen e die Verwendung von Standard und Originalzubeh r e das Beachten dieses Dokuments und die Einhaltung der darin enthaltenen Anweisungen und Vorschriften 2 2 Anforderungen an den Anwender Das Modul1000 darf ausschlie lich von geschultem Personal eingebaut und bedient werden e Machen Sie sich mit der Funktion des Ger tes vertraut Sie d rfen das Ger t nur einbauen und bedienen nachdem Sie das Handbuch gelesen und verstanden haben e Erkundigen Sie sich bei den rtlichen staatlichen oder berregionalen Beh rden in Bezug auf besondere Auflagen und Vorschriften e Wenden Sie sich bei weiteren Fragen zu Sicherheit Betrieb und oder Wartung bitte an unsere n chstgelegene Vertretung Wichtige Sicherheitshinweise 2 1 d INFICON 2 3 _Anwendungsgrenzen Gefahr Lebensgefahr durch Explosion Modul1000 nur au erhalb von explosionsgef hrdeten Bereichen einschalten und betreiben Gefahr Gefahr durch gef hrliche Gase Ger t ist f r tzende giftige und explosive Stoffe ungeeignet Mit dem Ger t ausschlie lich harmlose Stoffe
94. misotop mit Masse 3 6 12 6 4 Hauptmen gt Einstellungen Schnittstellen Im Softwaremen Schnittstellen k nnen die elektrischen Schnittstellen des Modul1000 konfiguriert werden 6 23 Betrieb Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON Hauptmen Einstellungen Schnittstellen Steuerungsort gt SPS Das Modul1000 wird ber den Digitaleingang gesteuert Die START STOP und ZERO Tasten am Ger t sind deaktiviert gt RS232 Das Modul1000 wird ber die RS232 Schnittstelle von einem externen Computer gesteuert In dieser Betriebsart kann das Modul nicht ber die Tastatur bedient werden gt Alle Steuerungs berg nge SPS RS232 und Lokal gt Lokal und SPS Das Modul1000 wird sowohl ber die START STOP und ZERO Tasten am Ger t als auch ber die Digitaleing nge gesteuert gt Lokal und RS232 Das Modul wird sowohl ber die START STOP und ZERO Tasten am Ger t als auch ber die RS232 Schnittstelle gesteuert gt Lokal Das Modul1000 wird ber die Tasten START STOP und ZERO gesteuert Hauptmen Einstellungen Schnittstellen gt RS232 gt Local Der Lecksucher sendet ohne Anforderung st ndig den Status und die Leckrate gt Binary Erlaubt das Auslesen von Ger teparametern z B bei der Wartung UL2xxLeak Ware Erlaubt bei Anschluss eines PCs an die Steuerung das Auslesen von Messwerten
95. n 3 1 Das Geh use INFICON Modul1000 Abb 3 1 Ansicht der linken und vorderen Seite 3 1 Ger tebeschreibung Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h 5 6 INFICON p Modul1000 9 10 4 3 d INFICON Abb 3 2 Ansicht der rechten und hinteren Seite Pos Beschreibung 1 2 3 NO OO Einlassflansch DN25 KF 8 Lautsprecher Lufteinlass ffnungen zur Entriegelung 9 der Haube Griffmulden 10 Status LED Luftfilter 11 Anschluss DN25 KE f r Vorvakuumpumpe Pos Beschreibung Flutanschluss FESTO Kupplung Schlauch 8 mm Netzbuchse mit Netzschalter und Netzsicherungen Anschluss DN25 KE f r Vorvakuumpumpe bzw Schn ffelleitung Elektrische Schnittstellen Abb 3 3 Ausschnitt der Unterseite des Modul1000 Pos Beschreibung Anschluss f r Vorrakuumpumpe Einschraubflansch 1 Ger tebeschreibung 3 2 d INFICON 3 2 Die Schnittstellen ee Die Anschl sse GR oO Gi JO Br LED gelb LED gr n X J CONTROL UNIT PLC IN Z AUDIO PC RS232 HIT REMOTE CONTROL EE PLC IN AUDIO neconoen es s i A ci RECORDER ET S PRESSURE GAUGE 811111118 ACCESSORIES VALVES VALVES Abb 3 4 Die 16 poligen Steckerleisten f r PLC OUT und VALVES sind verwechslungssicher ausgef hrt Kodierzungen befinden sich beim PLC OUT an den Kontakten 1 und 16 bei VALVES an den Kontakten 3 und 14 3 3 Bedienm gl
96. n Wartung und Service bei INFICON Allgemeine Hinweise zu Wartungen Wartungsplan Wartungsintervalle Beschreibung der Wartungsarbeiten ffnen des Ger tes TMH 071 Betriebsmittelspeicher ersetzen Sicherungswechsel bersicht der elektrischen Sicherungen Netzsicherung austauschen Sicherungen Schnittstellenkarte tauschen Parameterspeicher l STICK austauschen Flutfilter austauschen Transport und Entsorgung Transport nach Kontamination 0 4 Inhaltsverzeichnis 6 1 6 1 6 1 6 2 6 6 6 9 6 10 6 11 6 11 6 12 6 13 6 15 7 10 7 11 7 12 7 13 7 14 8 1 8 1 Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON 8 2 Entsorgung 8 1 9 Technische Daten 9 1 9 1 Ger tedaten 9 1 9 1 1 Stromversorgung 9 1 9 1 2 Gewicht Abmessungen 9 1 9 1 3 Eigenschaften 9 1 9 1 4 Umgebungsbedingungen 9 2 9 2 Steuerung ber die SPS Ein und Ausg nge 9 3 9 2 1 SPS Eing nge 9 3 9 2 2 SPS Ausg nge 9 6 9 3 Die digitalen Ventilausg nge 9 8 9 4 Analogausgang 9 9 9 4 1 Konfiguration des Analogausganges 9 9 9 5 Anschlussbelegungen 9 11 9 5 1 PLC IN AUDIO 9 11 9 5 2 PLC OUT 9 13 9 5 3 Pressure Gauge 9 14 9 5 4 Valves 9 17 9 5 5 Recorder 9 19 9 6 Einbauzeichnung der Bedieneinheit zum Rackeinbau 9 20 9 7 Commander Betrieb 9 21 9 8 CE Zertifikat 9 22 10 Fehlermeldungen und Warnungen 10 1 11 Bestellinformation 11 1 11 1 Servicezentren weltweit 11 2 Stichwortverzei
97. nbeschreibung beschrieben an das Ger t gesendet SPS Ein und Ausg nge Die wichtigsten Steuerbefehle k nnen auch ber eine SPS an das Modul1000 gesendet werden Die Funktionen der Ein und Ausg nge sind konfigurierbar Betrieb 6 2 d INFICON 6 4 Steuerbefehle START Folgende Steuerbefehle k nnen ber die entsprechenden Tasten auf der optionalen Bedieneinheit Fernbedienung ber die SPS Steuereing nge oder ber die RS232 Schnittstelle an das Modul1000 gesendet werden STOP VENT Bei angeschlossener Bedieneinheit blinkt w hrend des Evakuiervorganges die LED in der START Taste W hrend der Messung leuchtet sie dauerhaft Wird ber die Bedieneinheit START im aktiven Messbetrieb bet tigt so wird die maximale Leckratenanzeige Haltefunktion aktiviert Es wird die gr te seit dem Start gemessene Leckrate angezeigt Erneutes Dr cken der START Taste initialisiert diese Haltefunktion Die LED in der Taste signalisiert den Ablauf LED blinkt Evakuieren LED an Messbetrieb Mit dem Aktivieren von START beginnt das Modul1000 den angeschlossenen Pr f ling zu evakuieren Erreicht der Druck am Einlass des Dichtheitspr fger ts einen Druck von lt 0 4 mbar wechselt das Modul1000 automatisch in den Messmodus Diese Druckschwelle ist im Men Einstellungen gt berwachung Druckgrenze f r Vakuumbereich konfigurierbar ZERO Mit dem Befehl STOP wird die Messung beendet und das Dicht
98. ngestellt worden sein so kann im Hochlauf des Modul1000 nach dem Einschalten durch gleichzeitiges Dr cken der Tasten 2 und 6 auf die Sprache englisch umgeschaltet werden Eine Speicherung der Einstellung erfolgt nicht automatisch sondern muss ber diesen Men punkt vorgenommen werden Leckratenfilter Hier kann der Leckratenfiltertyp ausgew hlt werden Die Werkseinstellung ist CAL Die Abk rzung I CAL steht f r Intelligent Calculation Algorithm for Leakrates Dieser stellt sicher dass die Signale in optimierten Zeitintervallen gemittelt werden und zwar basierend auf dem jeweiligen Leckratenbereich ICAL eliminiert zudem St rungsspitzen welche in keinem Zusammenhang mit den Leckratensignalen stehen und liefert ungew hnlich kurze Reaktionszeiten auch bei geringen Leckraten signalen Betrieb 6 26 d INFICON Der verwendete Algorithmus bietet eine ausgezeichnete Empfindlichkeit und Reak tionszeit die Nutzung dieser Einstellung wird ausdr cklich empfohlen Der Filtertyp Fixed verwendet eine feste Mittelungszeit von 0 2 Sekunden Teilenummer In diesem Men l sst sich die Funktion einer automatischen Z hlung von zu pr fen den Teilen einstellen CAL Einschwingzeit In diesem Men lasst sich die Zeit einstellen die bei einer internen oder externen automatischen Kalibrierung vom ffnen des Testleckventils bis zur Erfassung des stabilen Signals abl uft Die Zeit ist abh ngig von dem Volumen das sich w
99. ntil 24V lt 1A 16 GND Bei Anschluss von Steuereing ngen zum Beispiel Ventile mit integrierter Elektro nik statt elektromechanischer Ventile muss ein Widerstand von 10K Ohm 5 0 5W parallel geschaltet werden Technische Daten 9 8 d INFICON 9 4 Analogausgang Die 4 polige Ph nix Stiftleiste befindet sich auf der Ger ter ckseite und ist mit RECORDER beschriftet Die Schreiberausg nge k nnen zur Aufzeichnung der Leckrate des Einlassdruckes und des Vorvakuumdruckes benutzt werden Die Werte des Schreiberausgangs werden alle 50 ms aktualisiert Beide Schreiberausg nge lassen sich individuell zur Ausgabe von Leckraten und Dr cken einstellen Die Messwerte werden ber ein Analogsignal im Bereich von O0 V 10 V ausgegeben Die Aufl sung ist auf 10 mV begrenzt Das Ger t das an den Schreiberausgang angeschlossen wird z B ein X t Schreiber sollte einen Eingangswiderstand soll gt 2 5 kO aufweisen Die Mess spannungen liegen an Kontakt 1 und 4 an das Bezugspotential GND liegt an den Kontakten 2 und 3 an Die Kontakte sind von links nach rechts durchnumeriert Genauigkeit der Schreiberausg nge 50mV Offset und zus tzlich 1 vom Messwert aktuelle Ausgangsspannung als Linearit tsfehler bei 25 C Hinweis Die Schreiberausg nge sind gegen ber den anderen Anschl ssen elektrisch isoliert Falls dennoch Brummst rungen auftreten sollten empfiehlt es sich das Modul1000 und den
100. ombetrieb Das in der Vakuumkammer befindliche Pr fteil ist durch die Kammerw nde hindurch mit der Heliumbef lleinrichtung verbunden und wird im evakuierten Zustand der Vakuumkammer mit Helium beauf schlagt Bedingt durch die Druckdifferenz zwischen dem Heliumdruck im Pr fteil und dem Vakuum in der Vakuumkammer str mt im Falle eines undichten Pr fteils Helium aus der Leckage in die Vakuumkammer und weiter in das Dichtheitspr fger t wo es quantitativ als Leckgasstrom nachgewiesen wird Abb 5 2 Lecksuchanlage Pos Beschreibung Pos Beschreibung V30 Ventil evakuieren Pr fteil Vakuumkammer V31 Flutventil Pr fteil Pr fteil V32 Ventil zur Heliumr ckgewinnung Druckmessstelle V33 F llventil Pr fteil Vakuumpumpe Pr fteil op j N V34 Notventil stromlos offen Vorpumpe Modul1000 5 5 Betriebsarten Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON Heliumbef lleinrichtung Die Heliumbef lleinrichtung setzt sich aus der Vakuumpumpe den Ventilen V30 V34 einer Druckmessstelle und der Heliumversorgung zusammen Ventile V30 V31 V32 V33 V34 Der Pr fablauf der Commander Software beinhaltet die Steuerung aller zur Helium bef llung des Pr fteils notwendigen Ventile Die Ansteuerung der Ventile erfolgt ber den Anschluss VALVES Hinweis Wir empfehlen druckgetriebene Ventile z
101. r die Testkammer gepumpt wurde Pr fling grob undicht Adaption Pr fling undicht Falsche Einstellung f r p_A W92 Pr fling evakuieren dauerte zu lange Zeit t1 gt als die eingestellte Evakuierungszeit t_A Ventil V30 ffnet nicht Vorpumpe defekt Pr fling undicht Falsche Zeiteinstellung f r t_A Falsche Einstellung f r den Evakuierungsdruck p_B W93 Das Bef llen des Pr flings mit dem Testgas dauert zu lange Zeit t1 gt als die vorgegebene Pr flings F llzeit t_C Ventil Testgaseinlass V33 ffnet nicht Zeit f r Testgaseinlass t_C zu klein gew hlt Testgasf lldruck p_C zu hoch gew hlt W94 Zeit bis Ultra zu lang Zeit t2 gt als die Zeitt_F zum Erreichen des Messbetriebes Ultra Testkammer ist undicht Pr fling ist undicht Falsche Einstellung f r Zeit t_F Zeit bis Messbereitschaft Ultra 10 8 Fehlermeldungen und Warnungen d INFICON Nr Angezeigte Meldung Beschreibung und m gliche Fehlerursachenbehebung W95 Testgas ablassen dauert zu lange Zeit t1 gt als die Testgas Entspannzeit t_D Testgas Pumpsystem defekt Ventil V32 ffnet nicht Zeit t_D zum Erreichen des Entspanndruckes p_D zu kurz gew hlt Entspanndruck p_D falsch gew hlt Entspanndruck p_D gt eingestelltem Endruckwert nach Ablauf der Entspannzeit t_D W96 Restgas evakuieren zu langsam Zeit t1 gt als die eingestellte Evakuierungszeit
102. reich Nach dem Dr cken der Taste Start wird der Pr fling evakuiert Sind innerhalb der hier einzustellenden Zeiten die entsprechenden Druckbedingun gen nicht erreicht oder nicht unterschritten p1 lt 100 mbar bzw p1 lt Druckgrenze f r Vakuumbereiche so wird der Evakuierprozess abgebrochen und im Display erfolgt eine Warnmeldung W75 bzw W76 Die zu w hlenden Zeiten h ngen einerseits von der gew nschten Reaktionszeit f r die Grobleckmeldung ab und andererseits vom vorhandenen Pr flingsvolumen und dem effektiven Saugverm gen Falls die Zeitdauer unendlich gew hlt wird sollte der lstand einer verwendeten Drehschieberpumpe h ufiger gepr ft werden Info Einstellungen anzeigen In diesem Bild k nnen Sie die meisten wichtigen Messeinstellungen sehen Interne Daten anzeigen Dieser Men punkt geht ber mehrere Seiten und zeigt Ihnen alle internen Daten an Vakuumschema Das Vakuumschema des Modul1000 wird angezeigt Aus diesem Diagramm ist unter anderem ersichtlich welche Ventile zur Zeit ge ffnet bzw geschlossen sind Bei Teilstrombetrieb und der Benutzung der Commander Funktionen werden die entsprechenden Vakuumschemata auf weiteren Men seiten dargestellt Schnittstellen In diesem Men punkt ist eine bersicht der Schnittstellen Konfiguration und Zustand zu sehen Protokollierte Daten Hier kann die Historie von Fehlern Wartungen und Pr fungen angezeigt werden siehe unten
103. rk verschmutzt Temperatursensor defekt 10 4 Fehlermeldungen und Warnungen d INFICON Nr Angezeigte Meldung Beschreibung und m gliche Fehlerursachenbehebung Die Umgebungstemperatur ist zu hoch Temperatur an der Ung nstige Platzierung Dichtheitspr fger t W rmestau E54 Elektronikbaugruppe ist zu L fter ausgefallen hoch 60 C Luftfilter stark verschmutzt Temperatursensor defekt Der Temperatursensor auf der Verdrahtungsebene zeigt an dass T lt 2 C Temperatur an der L ngere Hochlaufzeit der ext Vorvakuumpumpe beachten W55 Elektronikbaugruppe ist zu klein CC lt 20 Umgebungstemperatur zu niedrig Temperatursensor ist defekt Ausgangsspannung Pirani p1 U lt 0 27 V Pirani Sensor p1 defekt E56 Einlassdruck p1 zu niedrig l Piranielektronik auf I O Karte defekt Kabelverbindung defekt Ausgangsspannung Pirani p2 U lt 0 27 V Pirani Sensor p1 defekt E58 Vorvakuumdruck p2 zu niedrig i Piranielektronik auf I O Karte defekt Kabelverbindung defekt p2 gt 10 mbar nach t gt 5 Minuten nach Einschalten des Dichtheitspr fger ts Enddruck der Vorvakuumpumpe zu hoch i Undichtigkeit im Hochvakuumsystem oder Vorvakuumanschluss E60 p2 gt 10 mbar nach 5 Minuten seit dem Einschalten Vorpumpe ist defekt Ventil V2 ffnet sich nicht da Drehzahl von 6Hz f r TMh 071 nicht berschritten wird Druckmessung fehlerhaft Emission sollte
104. rn darf Kleine Schwankungen sind akzeptabel Wenn dies der Fall ist OK Taste Nr 8 bet tigen Das Modul1000 zeigt den alten und den neu berechneten Kalibrierfaktor an 6 19 Betrieb Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON 6 12 6 Hauptmen Einstellungen 6 12 6 1 Hauptmen Einstellungen Vakuumeinstellungen Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Sp len amp Gasballast Im Men Sp len amp Gasballast kann zwischen folgenden Funktionen gew hlt werden e Manuelles Sp len e Automatisches Sp len e Manueller Gasballast Verz gerung der Bel ftung Durch kurzes Dr cken der Stop Vent Taste wird das Modul1000 vom Messbetrieb in den Standby Betrieb zur ckgesetzt Wird die Stop Vent Taste l nger gedr ckt wird zus tzlich der Einlass des Ger tes bel ftet Wie lange die Taste Stop Vent gedr ckt gehalten werden muss damit der Einlass des Modul1000 bel ftet wird h ngt von der im Men Verz gerung Bel ftung einge stellten Zeitdauer ab Es kann eine Zeitdauer entsprechen der Tastenbeschriftung gew hlt werden keine Bel ftung oder sofort Wird keine Bel ftung gew hlt kann der Einlass nicht ber die Stop Taste bel ftet werden ist sofort gew hlt wechselt das Modul1000 sofort bei Bet tigung der Stop Vent Taste in den Standby Betrieb Teilstrom Im Men Teilstrom kann der Teilstrombetrieb eingestellt und konfiguriert werden Es i
105. romversorgungsspannung vom Hauptnetzteil zu stark belastet oder fehlerhaft Bas Anoden Katoden spannung ist Anoden Katodenspannung ist gr er als U gt 130 V zu hoch MSV ist defekt Anoden Katodenspannung ist kleiner als U lt 30 V Cas Anoden Katoden spannung ist Sicherung F4 auf MSV Karte defekt zu niedrig MSV ist defekt Signal MFSZH auf der MSV Platine ist aktiv Suppressorsignal F hrungsgr e ist E37 F hrungsgr e SES Supressorspannung zu gro Suppressorspannung ist kurzgeschlossen Kabel Ionenf nger MSV ist defekt Suppressorpotential ist gr er als 363V E38 Suppressor Potential zu hoch MSV ist defekt Suppressor Potential ist kleiner als U lt 297 V j lt Kurzschluss in Suppressorleitung E39 Suppressor Potential zu niedrig MSV ist defekt Hochohmiger Kurzschluss im lonenf nger Der Istwert der Anodenspannung berschreitet den Sollwert um 10 Der Das Andenpotential Sollwert kann im Servicemen unter Info angezeigt werden E40 berschreitet den Sollwert um MSV ist defekt mehr als 10 MC 68 defekt Der Istwert der Anodenspannung ist um 10 unter den Sollwert gefallen Der f Sollwert kann im Servicemen unter Info angezeigt werden Das Anodenpotential mehr als 10 MSV ist defekt MC 68 defekt Signal MFAZH auf der MSV Platine ist aktiv F hrungsgr e Anodenpotential zu gro Kurzfristige Druckerh hung im Massenspektrometer Sollwert des Anoden potential Ventilv
106. ruck abgesunken ist und den voreingestellten Druck p_A_Groblecktest unterschritten hat Sollte dies der Fall sein wird der Messzyklus mit der Fehlermeldung 91 abgebrochen Besteht das System den Groblecktest wird das Ventil V30 ge ffnet und das Pr fteil evakuiert Unterschreitet der Pr flingsdruck innerhalb der vorgegebenen Zeit t_A_Abpumpzeit den vorgegebenen Druck p_B_Abpumpdruck so wird das Ventil V30 geschlossen Sonst wird der Messzyklus mit der Fehlermeldung 92 abgebrochen F llt der Kammerdruck innerhalb der voreingestellten Zeitt_F_Messbereitschaft auf den Umschaltdruck wechselt das Ger t in den Messbetrieb Dieser Umschaltdruck ist im Men Hauptmen gt Einstellungen gt berwachung gt Druckgrenzen f r Betriebsarten 5 6 d INFICON 10 11 Vakuumbereiche zwischen 0 2 mbar und 0 4 mbar einstellbar Abh ngig von der Einstellung Untergrundunterdr ckung wird ggf eine automatische Untergrundsubstraktion durchgef hrt e Bei Einstellung AUS Es wird kein Zero durchgef hrt Bei Einstellung AN Es wird nach der Zeitt_B_Zeroverz gerung ein Zero durchgef hrt Bei Einstellung stabil Es wird innerhalb der Zeitt_B_Zeroverz gerung ein Zero durchgef hrt falls das Leckratensignal stabil genug ist um ein Leck der Gr e des eingestellten Triggerlevels 1 nachzuweisen Ist diese Bedingung innerhalb der Zeitt_B_Zeroverz gerung nicht erf llt so wird der Messzyklus mit Fehlermeldung 98 ab
107. rung und Bauart sowie in der von uns in Verkehr gebrachten Ausf hrung den einschl gigen grundlegenden Sicherheits und Gesundheits anforderungen der EG Richtlinien f r unvollst ndige Die Produkte entsprechen den grundlegenden Anforderungen der Niederspannungsrichtlinie 2006 95 EG s Richtlinie Elektromagnetische Vertr glichkeit 2004 108 EG Maschinen entsprechen s Maschinenrichtlinie 2006 42 EG gem Anhang I Grundlegende Sicherheits und Gesundheitsanforderungen Bei einer nicht mit uns abgestimmten nderung eines Produkts verliert diese Erkl rung ihre G ltigkeit Bezeichnung des Produktes Angewandte harmonisierte Normen lt EN 61010 1 2001 Modularer Lecksucher Typ Modul 1000 EN 61000 6 4 2002 Teil EN 55011 Klasse A s EN 61000 6 3 2002 Teil EN 61000 3 2 EN 61000 6 2 2000 Teile EN 61000 4 2 EN 61000 4 3 Katalog Nummern EN 61000 4 4 550 300 EN 61000 4 5 550 310 EN 61000 4 6 EN 61000 4 11 s DIN EN ISO 12100 1 DIN EN ISO 12100 2 Die unvollst ndige Maschine darf erst dann in Betrieb genommen werden wenn gegebenenfalls festgestellt wurde dass die Maschine in die die unvollst ndige Maschine eingebaut werden soll den Bestimmungen der Richtlinie Maschinen 2006 42 EG entspricht Der Hersteller verpflichtet sich die speziellen Unterlagen zur unvollst ndigen Maschine einzelstaatlichen Stellen auf Verlangen elektronisch zu bermitteln Die zur unvollst ndigen Maschine
108. s Wartungsintervall quittiert wurde Der Wartungsz hler 2 ist nur f r die Quittierung der Servicestufen Il und IIl im Servicemen freigegeben Hinweis Die Einhaltung des nachstehend aufgef hrten Wartungsplanes ist vorgeschrieben f r den Fall dass Gew hrleistungsanspr che zum Modul1000 geltend gemacht werden F r den Fall dass entsprechende Wartungsarbeiten nicht durchgef hrt wurden erlischt der Anspruch auf Gew hrleistungen f r diese Baugruppen Die Vorpumpe ist nicht im Lieferumfang des Ger tes enthalten F r die Wartung der Vorpumpe gelten deshalb die vom Hersteller der Vorpumpe vorgeschriebenen Wartungsintervalle und Hinweise Sch den am Modul1000 die eindeutig auf ein Fehlverhalten der Vorpumpe zur ck zuf hren sind k nnen nicht auf Gew hrleistung geltend gemacht werden 7 2 Wartungsarbeiten Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON 7 3 Wartungsplan Baugruppe Wartungsarbeiten Betriebsstunden Jahre Service Standards 1500 5000 15000 stufe 1 4 1 2 Ventile reinigen Ventildichtungen ersetzen 200000594 Ventilblock zerlegen u reinigen 200002002 Filter Flutgasleitung erneuern 200000683 Pirani abgleichen Internes Testleck nachkalibrieren Betriebsmittelspeicher tauschen l II u III 200000577 Lagerwechsel empfohlen Ill L fterbaugruppen Filtereins tze Chassishaube a
109. s von Produkte werden nur den Schadstoffr ckst nden bei Nachweis einer keine Gefahr ausgeht vorschriftsm ssigen Dekontaminierung entgegengenommen Schadstoffe und oder Reaktionsprodukte Schadstoffe oder prozessbedingte gef hrliche Reaktionsprodukte mit denen das Produkt in Kontakt kam Handels Produktname Chemische Bezeichnung Massnahmen bei Freiwerden Erste Hilfe bei Unf llen Hersteller evtl auch Formel der Schadstoffe y Recntsverbindiiche Erkl rung Hiermit versichere n ich wir dass die Angaben korrekt und vollst ndig sind und ich wir allf llige Folgekosten akzeptieren Der Versand des kontaminierten Produkts erf llt die gesetzlichen Bestimmungen Firma institut Strasse PLZ Ort Telefon Telefax E Mail Name Datum und rechtsverbindliche Unterschrift Firmenstempel Abb 8 1 Muster f r ein Formular der Kontaminationserkl rung 8 2 Entsorgung Wenn Sie das Modul1000 entsorgen beachten Sie die gesetzlichen Vorschriften zur Entsorgung von elektronischen Ger ten Transport und Entsorgung 8 1 d INFICON 9 Technische Daten 9 1 Ger tedaten 9 1 1 Stromversorgung Netzspannung und Frequenzen Leistungsaufnahme Schutzart Grundger t Schutzart Bedieneinheit 9 1 2 Gewicht Abmessungen Abmessung L x B x H Gewicht Schallleistungs Pegel dB A Schalldruck Pegel in dB A L rmpegel dB A 0 5 m Abstand Audioalarm
110. st m glich die Teilstrompumpe separat nur f r den Messbetrieb und f r die Evaku ierungsphase zuzuschalten Hauptmen Einstellungen gt Vakuumeinstellungen Auto Leak Test Einstellungen Messzeit In diesem Softwaremen kann die Messzeit im Auto Leak Test bestimmt werden Es kann eine Messzeit zwischen 1 Sekunde und 30 Minuten eingestellt werden gt Trigger Level 1 Im Softwaremen Triggerlevel 1 kann die R ckweisleckrate f r den Auto Leak Test eingestellt werden Serienfehlermeldung Im Softwaremen Serienfehlermeldung kann die Funktion Serienfehlermeldung aktiviert und die Anzahl an aufeinanderfolgenden FAIL Messungen bestimmt werden die zur Serienfehlermeldung f hren Betrieb 6 20 d INFICON Teilenummer Im Softwaremen Teilenummern kann der Teilez hler aktiviert werden und ein Start wert bestimmt werden von dem aus nach jedem Pr fzyklus hochgez hlt wird Referenzmessung In diesem Softwaremen punkt kann eine Referenzmessung gestartet werden Hauptmen Einstellungen Vakuumeinstellungen gt Commander Funktionen Im Softwaremen punkt Commander Funktionen k nnen alle Parameter der Commander Funktion konfiguriert werden gt Commander Timing Hier lassen sich die Zeiten zu den einzelnen Abl ufen einstellen Der Einstellbereich geht von 0 1 bis 95 Sekunden t A Abpumpzeit Maximale Zeit zum Erreichen des eingestellten Pr flingsdrucks p_B Abpumpdruc
111. t leer und wurde mit Defaultwerten initialisiert Alle Kundenparameter m ssen erneut eingegeben bzw bestimmt werden I STICK nicht angeschlossen STICK enth lt keine Werte I STICK ist defekt W87 Parameter im I STICK initialisiert Bitte Ein stellungen berpr fen Fehlender oder ge nderter Parameter im I STICK und neue Softwareversionsnummer festgestellt Ein Software Update wurde durchgef hrt und ein oder mehrere neue Parameter sind festgestellt worden In diesem Fall kann die Meldung quittiert werden Der oder die Parameter werden automatisch hinzugef gt W88 Parameter im l Stick verloren Bitte Ein stellungen berpr fen Defekter oder fehlender Parameter im I STICK festgestellt Die Softwareversionsnummer hat sich nicht ver ndert Tritt die Warnung nach Wiedereinschalten erneut auf kann der I STICK auf der Verdrahtungsebene nicht beschrieben werden oder ist defekt I STICK auf Verdrahtungsebene defekt Der Schreibzugriff wurde unterbrochen berpr fen Sie die Einstellungen und quittieren die Fehlermeldung E89 berwachungsspannung F1 F2 Spannungs berwachung f r Sicherungen F1 F2 AD 24 B lt 5 6 V Sicherung F1 Schnittstellenkarte SSK defekt E90 W91 berwachungsspannung F1 F2 P_ext kleiner als p_A Spannungs berwachung f r Sicherungen F1 F2 AD 24 B lt 7 8 V Sicherung F2 Schnittstellenkarte SSK defekt Druck im Pr fling f llt unter den Wert von p_A obwohl nu
112. t1 GND 3 GND F Analog Out2 Abb 9 12 Lastwiderstand gt 10kQ Genauigkeit des Analogausgangs Endwert 10V 1 2 vom Endwert Offset 1 vom Endwert 9 19 Technische Daten Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h 9 6 Einbauzeichnung der Bedieneinheit zum Rackeinbau d INFICON 304 8 152 4 d 319 7 Abb 9 13 Ausschnitt der Schalttafel zum Einbau der Bedieneinheit Technische Daten 9 20 d INFICON 9 7 Commander Betrieb Start V21 V31 schlie en Run up beendet V34 schlie en Zustand EVAC oder ULTRA Starte t1 ae Zeitsteuerung Default Werte Pr fling gro i Groblecktes t_A_Abpumpzeit 30s Stop en p1 lt 100mbar amp 1 t_B_Zeroverz gerung 10s pext lt p_A_Groblecktest t_C_F llzeit 30s ite t_D_Entspannzeit 30s t_E_Flutzeit 10s p1 lt 100mbar A t_F_Messbereitschaft 10s pext gt p_A_Groblecktest t G Messzeit 10s V30 ffnen starte ti und t2 Umschaltdr cke Default Werte p_A_Groblecktest 900mbar Pr fling p_B_Abpumpdruck 40mbar Stop abpumpen p_C_F lldruck 2000mbar p_D_Entspanndruck 1100mbar p_E_Druckabfallschw 1800mbar t1 gt t_A_Abpumpzeit 2 Diverses Pext lt p_B_Abpumpdruck t1 t2 Interne Timer V30 schlie en p1 Einlassdruckdruck Modul1000 pext Druck im Pr fling
113. t_ A Ventil V30 ffnet nicht Vorpumpe defekt Falsche Zeiteinstellung f r t_A t_A lt als die Evakuierzeit Restgas Falsche Einstellung f r den Evakuierungsdruck p_B Evakuierungsdruck innerhalb der vorgegeben Evakuierungszeit nicht erreicht p_B lt Restdruck Testgas W97 Pr fling fluten dauert zu lange Zeit t1 gt als vorgegebene Flutzeit t_E Flutventil V31 defekt Falsche Einstellung der Flutzeit zum Erreichen des Druckes p_A p_A Druck Grobleck Test t_E lt Bel ftungszeit Falsche Einstellung vom Druck p_A der innerhalb vorgegebener Flutzeit erreicht werden muss p_A gt Atmosph rendruck W98 Leckrate w hrend Zero Verz gerungszeit nicht stabil genug Mit Erreichen von Ultra wird f r die Funktion leZERO aktiviert die Messbereitschaft freigegeben wenn sich w hrend der Zero Verz gerungszeit ein stabiles Leckratensignal in Abh ngigkeit vom gew hlten Trigger eingestellt hat Falsche Einstellung der Zero Verz gerungszeit t_B Trigger 1 zu klein gew hlt Der Untergrund in der Testkammer ist zu hoch W99 Druck im Pr fling ist unter p_E gefallen F lldruck des Pr flings ist w hrend der Messzeit unter den Druckabfalltrigger p_E gefallen Falsche Einstellung f r den Druckabfalltrigger P_E Grobleck am Pr fling 10 9 Fehlermeldungen und Warnungen Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h
114. telten Kalibrierfaktor Weicht der neu ermittelte Kalibrierfaktor um den Faktor zwei von dem in der Kalibrie rung zuvor ermittelten Kalibrierfaktor ab muss die bernahme der neuen Werte best tigt werden Durch Dr cken von Ja wird der neu ermittelte Kalibrierfaktor bernommen Durch Dr cken von Nein wird der neu ermittelte Kalibrierfaktor nicht bernommen Das Modul1000 verwendet weiterhin den in der voran gegangenen Kalibrierung ermittelten Kalibrierfaktor Extern automatisch Hier ist der Anschluss eines externen Testlecks mit elektromagnetischem Ventil erforderlich Nach Auswahl dieser Kalibriermethode erfolgt die gesamte Kalibrierung automa tisch Am Ende des Kalibriervorganges nach ca 25 s ert nt ein Signalton Danach ist der Lecksucher f r die weitere Benutzung bereit Die Zeit vor dem ffnen Schlie en des Testlecks bis zum Erhalt eines stabilen Messsignals kann eingestellt werden Extern manuell Sicherstellen dass das Testleck angeschlossen und offen ist Die Leckrate am Testleck ablesen und mit der angezeigten Leckrate vergleichen Bei Abweichungen die Taste Leckrate editieren bet tigen und den Wert korrigieren Wenn die Leckraten bereinstimmen START bet tigen Die Balkenanzeige zeigt ein Signal welches nur wenig schwanken darf Ist dies der Fall OK bet tigen Das externe Testleck schlie en und mit OK best tigen Die Balkenanzeige zeigt ein Signal welches sich nicht weiter verringe
115. ter und Bauteile anschlie en die f r Vakuum geeignet sind Lebensgefahr durch einen starken Permanentmagneten Die Funktion eines Herzschrittmachers kann durch den Magneten beeinflusst werden Halten Sie sich mit einem Herzschrittmacher so weit vom Ger t entfernt wie es der Hersteller vorgibt Wichtige Sicherheitshinweise 2 3 d INFICON Warnung Verletzungsgefahr durch rotierende Teile Modul1000 vor einem Tramsport mindestens 20 Minuten zur Ruhe kommen lassen Verletzungsgefahr durch Herunterfallen des Ger tes Modul1000 nur zu zweit tragen oder eine Hebevorrichtung benutzen Sch digung des R ckens durch schweres Gewicht Modul1000 nur zu zweit tragen oder eine Hebevorrichtung benutzen Gesundheitssch den durch Abgase und D mpfe lgedichteter Pumpen Vor Betrieb in geschlossenen R umen muss die lgedichtete Vorpumpe wenn sie benutzt wird an eine Abgasleitung angeschlossen werden Lebensgefahr durch Stromschlag Modul1000 nur in Geb uden und auf trockenem Untergrund betreiben Verletzungsgefahr durch saugenden Einlassflansch Ist die Vakuumfunktion des Modul1000 aktiviert k nnen K rperteile die den Einlassflansch verschlie en angesaugt werden K rperteile vom Einlassflansch fern halten 2 4 Wichtige Sicherheitshinweise Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Hand
116. tes vorhandenen Revisionsschacht haben Hinweis Achten Sie darauf dass die Vorvakuumanschl sse nicht besch digt werden F r den Austausch des Betriebsmittelspeicher der Turbomolekularpumpe muss der Verschlussdeckel auf der Unterseite der TMH 071 herausgedreht werden Siehe hierzu Abb 7 3 3 Wartungsarbeiten 7 7 d INFICON 7 EN d Abb 7 3 Verschlussdeckel Betriebsmittelspeicher Pos Beschreibung Pos Beschreibung 1 Vorvakuumanschluss 3 Verschlussdeckel Betriebsmittel spei cher TMH 071 2 Eingriff Spezialwerkzeug 4 Revisionsschacht Mit Spezialwerkzeug Stirnlochschl ssel Verschlussdeckel an der Unterseite der TMH 071 herausschrauben Nachdem der Verschlussdeckel entfernt wurde ist der Betriebsmittelspeicher zug nglich Mit Schraubenzieher den Betriebsmittelspeicher heraushebeln und den rtlichen Vorschriften entsprechend entsorgen Neuen Betriebsmittelspeicher einsetzen Siehe hierzu Abb 7 4 Betriebsmittelspeicher nicht komplett hineindr cken Der Betriebsmittelspeicher wird ber den Verschlussdeckel nach dem Eindrehen korrekt positioniert Siehe hierzu auch Betriebsanleitung Pfeiffer PM 800 504 BN 8 O Ring Abb 7 4 2 durch neuen O Ring ersetzen Achten Sie darauf dass der neue O Ring in der korrekten Position eingelegt ist Ein falsch montierter O Ring hat grobe Undichtigkeiten zur Folge die zur einer Fehlfunktion des Ger tes f hren 9 Verschlussdeckel anschlie
117. u verwenden Druckmessstelle Die Heliumversorgung des Pr fteils und ein im Pr fablauf enthaltener Groblecktest erfolgen druckgesteuert und ben tigen deshalb eine Druckmessstelle die einen Messbereich von lt 50 mbar bis zum maximalen F lldruck des Pr fteils abdeckt Die Kennlinie und der Messbereich der verwendeten Messstelle ist am Modul1000 einzustellen Der Anschluss der Druckmessstelle erfolgt ber den Anschluss PRES SURE GAUGE auf der rechten Seite des Ger ts Vakuumpumpe ber die Vakuumpumpe wird vor dem Bef llen mit Helium das Pr fteil evakuiert um weitestgehend die im Bauteil enthaltene Luft zu entfernen Es wird eine Pumpe mit einem Enddruck lt 50 mbar empfohlen 5 4 2 Ablauf des Pr fvorgangs 1 Das Pr fteil befindet sich in der mit dem Einlass des Modul1000 verbundenen Vakuumkammer Der Pr fling ist durch eine geeignete Kupplung mit der Heliumbef lleinrichtung verbunden Nach dem Ausl sen des START Signals beginnt das Modul1000 die Vakuumkammer zu evakuieren Ist eine Teilstrompumpe an das Modul1000 angeschlossen wird das Teilstromventil V20 Abb 5 1 angesteuert und der Pr fablauf entsprechend der Teilstromeinstellung durch die Teilstrompumpe unterst tzt Vor der eigentlichen Heliumpr fung wird ein Groblecktest durchgef hrt um gegebenenfalls grobe Undichtigkeiten am Pr fling oder der Lecksuchanlage festzustellen Bei Erreichen des Kammerdrucks von 100 mbar wird gepr ft ob der Pr flingsd
118. um wird vermieden Druckgrenze f r Vakuumbereich In diesem Menu kann der werkseitig eingestellte Umschaltpunkt vom Evakuieren zum Messbetrieb ULTRA eingestellt werden Dies kann erforderlich sein wenn mit dem Modul1000 andere Gase als Luft abgepumpt werden Das Drucksignal der gasartabh ngigen Einlassdruckanzeige Pirani kann dann entsprechend andere Umschaltwerte der Ablaufsteuerung liefern Durch Ver nderung des Umschaltpunk tes kann dies ausgeglichen werden Werkseinstellung 0 4mbar Modul1000 bzw 3mbar Modul1000b Druckgrenze f r Schn ffel Modus Diese Funktion wird im Schn ffelmodus automatisch aktiviert Die Druckgrenzen definieren einen maximalen und einen minimalen Einlassdruck Falls der Druck nicht in diesem Bereich liegt werden Fehlermeldungen Warnungen ausgegeben Vorvakuumdruck gt Maximaler Druck Fehlermeldung E63 Kapillare defekt Vorvakuumdruck lt Minimaler Druck Warnung W62 Gasfluss durch Kapillare zu gering 6 29 Betrieb Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h 6 12 7 Hauptmen d INFICON Maximale Evakuierungszeit Mit diesem Men punkt wird festgelegt wann eine Grobleckmeldung erfolgen soll Die Grobleck berwachung arbeitet zweistufig und die Grenzwerte k nnen bei Bedarf angepasst werden Werkseinstellung 30 min Dieser Men punkt ist insbesondere bei Serienpr fungen mit immer gleichen Pr fbe dingungen hilf
119. ung zun chst um das Teilstromverh ltnis kleinere Messwerte aus Um dies zu verhindern kann der Maschinenfaktor im Softwaremen des Modul1000 hinterlegt werden Die gemessenen Leckraten werden dann nach einer internen Kalibrierung mit dem Maschinenfaktor multipliziert ausgegeben Der Maschinenfaktor kann unter Ber cksichtigung des He Saugverm gens des Modul1000 und der externen Pumpe abgesch tzt werden Genauer ist die Messung der Leckrate eines externen Testlecks auf dem Pr fling einmal mit und einmal ohne zugeschaltete externer Pumpe Das Verh ltnis der beiden Ergebnisse ergibt den Maschinenfaktor Der Maschinenfaktor kann auch benutzt werden um die Leckratenanzeige in Bezug auf ein Luft quivalent zu korrigieren Der Maschinenfaktor f r diese Korrektur ist 3 7 x 10 1 Wenn diese Einstellung benutzt wird dann wird der Status auf dem Display durch COR angezeigt Betrieb 6 12 d INFICON 6 11 Men struktur Hauptmen Modul1000 Skalierung linear logaritnmisch Anzeigebereich auto manue g Zeitachse Anzeige Kontrast Untergrund in Standby Untere Anzeigegrenze Betriebsart Trigger amp Alarme Trigger level 1 Trigger level 2 Triggerlevl3 Lautst rke Einheiten Alarmverz gerung Audio Alarm Type Kalibrierung Intern automatisch Intern manuell Extern automatisch Extern manuell Einstellungen Vakuumeinstellungen
120. ustauschen 200001552 L fter Chassis u Turbopumpe reinigen Legende zum Wartungsplan e Servicestufe Kunde e Il Servicestufe II Kunde mit INFICON Training e Ill Servicestufe Ill autorisierter INFICON Servicetechniker s X Wartungsarbeiten durchf hren nach Betriebsstunden oder Zeitdauer e X4 Wartungsarbeiten durchf hren nach Betriebsstunden e X Wartungsarbeiten durchf hren nach Zeitdauer e 1 von Umwelt und Einsatz abh ngig e 2 Prozessabh ngig 7 4 Wartungsintervalle Der Wartungsplan f r das Modul1000 l sst sich zur einfacheren bersicht in drei Wartungsgruppen untergliedern e 1500 Std Wartung e 5000 Std Wartung 2 Jahres Wartung 1500 Std Wartung Die 1500 Std Wartung kann durch einen Bediener oder kundeneigenes Wartungs personal durchgef hrt werden Die Wartungsintervalle lassen sich den Umgebungs bedingungen des Ger tes anpassen und sind variabel Falls gew nscht kann das Wartungsintervall abgeschaltet werden Wartungsarbeiten 7 3 d INFICON Zur Durchf hrung der 1500 Std Wartung m ssen die Filtereins tze in der Chassis haube kontrolliert und bei Verschmutzung ausgetauscht werden Der Austausch der Filtereins tze l sst sich bei laufendem Ger t ohne ffnen der Ger tehaube durch f hren F r den Austausch siehe nachstehende Fig 7 1 KEE Z EE UE neg OO SE EEEEEEEEECE Seococ E EECH eS SEO GE OG D Kg
121. uumkammer wird nur ber den Einlassflansch des Dicht heitspr fger ts evakuiert Das Saugverm gen am Einlass des Dichtheitspr fger ts ist abh ngig von der verwendeten Vorvakuumpumpe und von ger teinternen Leit werten Ab einem Druck von kleiner 0 4 mbar wechselt das Ger t in den Messbetrieb und gibt die aktuell gemessene Leckrate aus Das Saugverm gen am Einlass wird im Messen nur noch durch die ger teinterne Turbomolekularpumpe bestimmt und betr gt 2 5 l s 5 1 Betriebsarten Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 jinb80d1 h d INFICON Teilstrombetrieb Um das effektive Saugverm gen an der Vakuumkammer oder dem Pr fling zu erh hen kann ein externes Teilstromventil an den Ventilausgang V20 angeschlossen werden Das erh hte Saugverm gen beschleunigt Evakuierungsvorg nge und die Signalansprechzeit des Modul1000 Je nach Einstellung kann die Teilstrompumpe ber ein externes Teilstromventil wahlweise nur beim Evakuieren oder beim Evakuieren und Messen zugeschaltet werden Wenn die Teilstrompumpe auch beim Messen zugeschaltet wird muss das Saugver m gen der Teilstrompumpe f r Helium ber cksichtigt werden indem der Maschinen faktor entsprechend eingestellt wird siehe Kapitel 6 9 Es wird au erdem eine externe Kalibrierung empfohlen siehe Kapitel 6 6 Zum schnellen Bel ften kann ein zus tzliches externes Bel ftungsventil V21 ange schlossen werden
122. verwendeten Testlecks bereinstimmt der Testleckwert eingegeben werden Die interne manuelle Kalibrierung startet bereits durch Ausw hlen der Kalibriermethode Durch Dr cken der Taste Leckrate ndern kann der Wert des verwendeten Test leck eingegeben werden siehe auch Kapitel Werte ndern Nach dem Einstellen des Testleckwertes muss durch Dr cken der Taste Start der Kalibriervorgang gestartet werden Nachdem der Kalibriervorgang gestartet wurde evakuiert das Modul1000 den Einlassbereich Sobald der maximale Einlassdruck des Modul1000 erreicht ist zeigt das Modul1000 ein zun chst noch schwankendes Messsignal in Form einer Balkenanzeige an Nach einer von dem mit dem Einlass verbundenen Volumen abh ngigen Zeit stabilisiert sich diese Anzeige Sobald die Balkenanzeige einen stabilen Wert angenommen hat muss dies durch Dr cken der Taste OK best tigt werden In einem n chsten Schritt gleicht das Modul1000 das Massenspektrometer auf maximale Empfindlichkeit ab Betrieb 6 18 d INFICON 5 Nur bei der externen manuellen Kalibrierung fordert das Modul1000 Sie auf das externe Testleck zu schlie en Sobald das externe Testleck geschlossen wurde muss dies durch Dr cken der Taste OK best tigt werden Bei der manuellen internen Kalibrierung ist keine Aktion erforderlich W hren der eigentlichen Kalibrierphase sind keine Eingaben notwendig In einem letzten Schritt speichert das Modul1000 den neu ermit
123. ynchron Blinkt synchron Fehler Warnungen Wartungsmeldungen aus Blinkt schnell 6 1 Betrieb Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h 6 3 d INFICON Steuerung Bedieneinheit Das Modul1000 kann ber die Bedieneinheit ber eine Fernbedienung ber die SPS Eing nge oder ber die RS232 Schnittstelle gesteuert werden Mit dem Men punkt Steuerungsort erfolgt die Auswahl aus diesen M glichkeiten siehe Hauptmen Einstellungen Schnittstellen Steuerungsort Fernbedienung ber die optionale Bedieneinheit lassen sich alle Ger tefunktionen programmieren steuern und Informationen auslesen Die Funktionen und die Men struktur der Bedieneinheiten f r den Tischbetrieb siehe Kap 3 3 1 und der Ger tebedienung f r den Einbau in einen Schaltschrank saiehe Kap 3 3 2 sind identisch ber die optionale Fernbedienung siehe Kap 3 3 3 lassen sich die Grundfunktio nen Start Stop Vent und Zero ausf hren Au erdem kann die Lautst rke ver ndert werden Ist die Anzeige LOCK aktiv so wurde die Steuerung des Modul1000 ber die Fern bedienung innerhalb des Men punktes Steuerungsort gesperrt RS232 Schnittstelle ber die RS232 Schnittstelle kann ein PC direkt an das Modul1000 angeschlossen werden Die Steuerbefehle werden dann ber entsprechende Schnittstellenbefehle wie in der Schnittstelle
124. zuerst rt werden Relaisausg nge mit max 60V DC oder 25 V AC 1A bei ohmscher Last belasten Halbleiterausg nge mit max 30V 1A belasten Elektronik des Modul1000 kann zerst rt werden wenn Ger te an das Modul1000 angeschlossen werden deren Elektronik keine sichere Trennung vom Netz aufweist Nur Ger te an das Modul1000 anschlie en deren Anschl sse ebenfalls sicher vom Netz getrennt sind 2 6 Wichtige Sicherheitshinweise Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h Technisches Handbuch 1012 Jjinb80d1 h d INFICON Turbomolekularpumpe kann durch ruckartige Bewegungen besch digt werden Modul1000 w hrend des Betriebs nur vorsichtig und in gleichm iger Geschwin digkeit bewegen Gefahr der Besch digung Das Modul1000 kann durch berhitzen gesch digt werden Service Meldung beachten und verschmutzten Luftfilter austauschen Gefahr der Besch digung Das Modul1000 kann durch Verschluss der ffnungen berhitzen und ausfallen ffnungen f r Lufteinlass und Luftauslass frei lassen A Das Modul1000 kann zerst rt werden wenn Fl ssigkeit eingedrungen ist Ist Fl ssigkeit in das Modul1000 eingedrungen Modul1000 nicht einschalten und Kontakt mit dem INFICON Service aufnehmen Das Modul1000 kann zerst rt werden wenn es ber Monate oder Jahre unter ung nstigen Verh ltnissen feucht zu hei t zu kalt zu hoch ber d

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