Prisma™ 80
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1. Clear To Send CTS 9 Sale GE 9 n c O Case Shield Ee du ga D Sub optional signal 9 pin male Aus EMV Gr nden ist ein abgeschirmtes Kabel zu verwenden Die Abschirmung ist mit dem Steckergeh use zu verbinden und am anderen Ende offen zu lassen oder so zu erden dass keine sch dlichen Ausgleichstr me auftreten k nnen 8 BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet 24 VDC QMA BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER VACUUM Pin Belegung 1 24 VDC e 2 GND PFEIFFER VACUUM 3 GND Case Screen DA im 3 e E e Ge 3 pin female GEFAHR Dieser Anschluss f hrt gef hrliche Spannungen Pin Belegung Reserve Extr Focus HV Filament 1 Filament 2 Anode RF GND 10 GND 11 RF 13 pin male 12 Filament Common 13 EP 1 2 3 4 5 6 7 8 9 PFEIFFER VACUUM 3 1 Auspacken Ns gt EN Transportsicherungen aufbewahren und vor jedem Transport wieder anbringen Am Elektrodensystem des QMA 200 liegen bei Betrieb gef hrliche Spannungen bis 330 V Andere Einbauteile im Vakuumraum z B Messr hren k nnen bei ung nstigen Verh ltnissen evtl damit beaufschlagt werden Falls solche Teile dadurch be r hrungsgef hrlich w rden ber cksichtigen Sie auch Leitungen und ange schlossene Ger te m ssen sie so angeordnet oder gesch tzt werden dass kein Kontakt kein berschlag und kein Ladungstr gerfluss zustande kommen kann Falls das QMA bei ge ffneter Vakuumanlage2. Cycles oder Repeat 128 Kbyte 10 ms 60 s 200 ms u 60 s u 20 ms u 60 s u 10 10 A f s fix und autorange FIR Filter 24 V 12 0A 300 19200 bit s Arcnet fiberoptic lt 1000 m 2 5 Mbit s TalkStar Version 1 0 unterst tzt die Eing nge nicht Schliesskontakt 24 V 30 V 1 A TalkStar Version 1 0 unterst tzt keine weiteren Ausg nge 2 5 kg 90 260 V 47 63 Hz 1 5A 115 V 60W 0 8 A 230 V 60 W 24 V stabilisiert gt 10 MQ Ausgang zu Erde II nach EN 61010 0 7kg PFEIFFER VACUUM 2 6 Steckerbelegung TalkStar Version 1 0 unterst tzt den Messr hrenanschluss nicht control Pin Belegung 1 b i nein 3 iv 4 K 5 a 6 7 ao Iean kN EE TEZ 8 k 9 b 10 NM 11 REL_1A D Sub H Density 12 REL_1B 15 pin female 13 REL_2A 14 REL_2B 15 GND Case Shield TalkStar Version 1 0 unterst tzt diese Funktion nicht Aus EMV Gr nden ist ein abgeschirmtes Kabel zu verwenden Die Abschirmung ist mit dem Steckergeh use zu verbinden und am anderen Ende offen zu lassen oder so zu erden dass keine sch dlichen Ausgleichstr me auftreten k nnen LAN TalkStar Version 1 0 unterst tzt die LAN Schnittstelle nicht RS 232 C Pin Belegung 1 n c 2 Received Data RXD pra vacuum 3 Transmitted Data TXD E 4 Data Terminal Ready DTR 5 Signal Ground SGND A 1 6 n c 6T 7 Request To Send RTS d o a eu 8
3. Messen Wenn Sie Talkstar gestartet haben k nnen Sie in der Baumansicht unter dem Eintrag Recipes auf alle vorhandenen Rezepte zugreifen Pfeiffer Yacuum TalkStar File Edit View window Help sea Sl ZION bie Die Rezepte werden durch einen Doppelklick Bi gestartet Dabei geht das Ger t automatisch I Leaktest online startet bei Bedarf die Emission und IN de beginnt mit der Messung TA Tune lonsource IA Tune Massscale Saved Data Date Time EG Ready BG 805204 BD A 0106 QMS200 bet 1 7 Pfeiffer Vacuum TalkStar b Measurement Trend Eile Edit View Window Help EGEREK p mbar SEI Devices o Total Pressure d Prisma 80 GEI Recipes 09 19 00 09 20 00 09 21 00 09 22 00 09 23 00 dU Leaktest Scan p mbar Hydrogen Water Nitrogen Oxygen Argon Carbon Dioxide 09 19 00 09 20 00 09 21 00 09 22 00 09 23 00 Pfeiffer Yacuum TalkStar b Measurement Scan Eile Edit Yiew Window Help IH ZZ le SISA p mbar x Devices d Prisma 80 Recipes iji Leaktest Trend ii i Gea Hi Tune lonsour Tune Massscale Saved Data Die Y Achse kann zwischen lonenstrom lon Current und Partialdruck Partial Pressure umgeschaltet werden 18 Total Pressure 9 80E 07 mbar Hydrogen 5 64E 09 mbar 4 89E 07 mbar Nitrogen 3 87E 07 mbar 8 46E 08 mbar Argon 5 93E 09 mbar Carbon Dioxi
4. Transport 25 70 C Pette QME 0 40 C SP 0 40 C Relative Feuchte max 80 bis 31 C linear abnehmend auf 50 bei 40 C Massenbereich 1 80 u Detektortyp Faraday Nachweisgrenze lt 1x10 mbar Einheitsaufl sung Tal ganzer Massenbereich lt 10 bei 10 Peakh he einstellbar auf 0 5 25u Empfindlichkeit f r Argon gt 1x10 Almbar Beeinflussung der Nachbarmasse 40 41 lt 10 ppm Betriebsdruck lt 1x10 mbar lt 1x10 mbar bei Emmission lt 200 UA Reproduzierbarkeit des Peak verh ltnisses konst Bedingungen 0 5 w hrend 8 h N und Ar aus Luft QMA Betriebstemperatur 0 150 C Ausheiztemperatur QME entfernt lt 200 C HS Ionenquelle Offene Bauart radialsymmetrisch 2 Heizf den Yttriumoxid Entgasen durch Elektronenbeschuss 10 mA 300 V Einbaulage beliebig gt B 12 Gewicht 3kg Anschlussflansch DN 40 CF BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet 2 4 QME 200 2 5 SP 200 BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet Messkan le Messmodi Messzyklen Messdatenpuffer MID dwell Messgeschwindigkeit Scan Analog Bargraph Peak Scan Bargraph Stair Elektrometerverst rker Signalfilter Stromversorgung Schnittstellen RS 232 C LAN Eing nge Ausg nge 2 Relais Gewicht Spannung Frequenz Stromaufnahme Leistung Ausgangsspannung Isolation berspannungskategorie Gewicht PFEIFFER VACUUM 64 Scan analog Scan Bargraph MID Single Multi channel 1 9999
5. f r eventuellen sp teren Gebrauch aufbewahren Analysator an Rezipient anflanschen Montagehilfe 12 BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet 3 2 4 QME montieren 3 3 Elektrische Anschl sse 3 3 1 QME anschliessen BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER VACUUM GEFAHR Das QME darf nur an einem korrekt installierten QMA angebracht werden da die Erdung ausschliesslich ber den Flansch des QMA erfolgt Die 24 V Zuleitung vom SP 200 darf niemals angeschlossen sein wenn die Ver bindung QMA zu QME nicht fest verschraubt ist F hrungsnut Erdzunge L sen Sie die beiden Schrauben am schwarzen Kunststoffteil des QME mit einem 4 mm Innensechskantschl ssel soweit dass der bewegliche Teil 2 3 mm Spiel aufweist 2 Stecken Sie das QME sorgf ltig bis zur eingekerbten Markierung auf das bereits montierte QMA Beachten Sie die korrekte Positionierung durch die Erdzunge des QME und die F hrungsnut des QMA Vermeiden Sie ber m ssige Kraftanwendung Ziehen Sie die beiden Innensechskantschrauben gut fest Diese Schrauben dienen der mechanischen Befestigung des QME und der elektrischen Sicherheit da sie den Erdkontakt sicherstellen Alle elektrischen Verbindungen m ssen zugentlastet sein Verlegen Sie Steuer kabel getrennt von St rungsquellen Aus EMV Gr nden ist ein einziger zentraler Erdpunkt
6. hrliche Kontrolle empfeh lenswert Bei der ersten Inbetriebnahme sind die Ionenquellenparameter des Ger tes werk seitig optimal eingestellt gt B 26 Nimmt TalkStar die Kommunikation mit dem Ger t auf liest sie diese Einstellungen ein I Werden Elektronikeinheit und Analysator nicht als Einheit ab Werk geliefert ist der HF Generator auch bei der ersten Inbetriebnahme abzustimmen 21 PFEIFFER VACUUM 5 Instandhaltung 5 1 QMA 5 1 1 Filamentwechsel D D Fachpersonal Die Filamente werden als vormontierte Einheit geliefert Sie sollen nur von Fachpersonal gewechselt werden Vorsicht Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Ber hren des Produkts oder Teilen davon mit blossen H nden erh ht die Desorptionsrate Saubere fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen Elektrische Verbindungen zum QME l sen 2 QME vom Analysator demontieren umgekehrte Reihenfolge gegen ber Kapitel 3 2 4 Analysator vom Rezipienten demontieren To S dd Montagehilfe Analysator in die mitgelieferte Montagehilfe setzen U Profil mit einer Flachzange halten Schraube 2 Umdrehungen l sen Mutter entfernen Filamenteinheit vorsichtig nach oben abziehen 00 Alte Filamenteinheit ent sorgen 22 BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER VACUUM Verpackungsdose der Ersatzfilamenteinheit ffnen Halteb gel vorsichtig nach oben entfer
7. kann zu dieser Arbeit am QMA verbleiben Sorgen Sie daf r dass diese Reinigung nicht vergessen wird auch wenn das Ger t so eingebaut ist dass man die Verschmutzung nicht leicht wahrnimmt Die Filtermatte ist zu wechseln wenn sie sich nicht mehr reinigen l sst oder wenn sie zerbr ckelt 24V Netzteil vom Netz trennen und alle elektrischen Verbindungen zum QME l sen 2 QME vom Analysator demontieren umgekehrte Reihenfolge gegen ber Kapitel 3 2 4 QME mit der Frontplatte nach oben auf eine ebene Unterlage stellen O Abgebildete Schrauben l sen Sicherungsscheiben nicht verlieren und die Frontplatte entfernen LA VACUUM y E A pera d Die jetzt frei zug ngliche Filtermatte gegen eine neue austauschen 6 Alles einschliesslich aller Sicherungsscheiben in umgekehrter Reihenfolge montieren BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet 5 2 4 HF Generator abstimmen TUNE BG 805204 BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER VACUUM Der korrekte Abgleich verhilft zu bester Genauigkeit im ganzen Massenbereich Deshalb ist bei einem e Wechsel des Analysators oder der Elektronikeinheit e Auftreten der entsprechenden Fehlermeldung am Bildschirm der HF Kreis abzustimmen Zudem ist eine j hrliche Kontrolle empfehlenswert 2 Kleine Abdeckkappe seitlich am QME entfernen Damit wird die Abgleich schraube zug nglich Das Programm TalkStar starten ber das Konte
8. oder Teile davon mechanische und Elektrokomponenten Betriebsmittel usw k nnen Umweltsch den verursachen Umweltgef hrdende Stoffe gem ss den rtlichen Vorschriften ent sorgen Unterteilen der Bauteile Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungstechnisch in fol gende Kategorien zu unterteilen Kontaminierte Bauteile Kontaminierte Bauteile radioaktiv toxisch tzend mikrobiologisch usw m ssen entsprechend den l nderspezifischen Vorschriften dekontaminiert entsprechend ihrer Materialart getrennt und entsorgt werden Nicht kontaminierte Bauteile Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen und der Wiederver wertung zuzuf hren 30 BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER VACUUM A Literatur 1 www pfeiffer vacuum de Kommunikationsanleitung Prisma 80 Quadrupol Massenspektrometer BG 805 206 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar Deutschland BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet 31 PFEIFFER VACUUM Kontaminationserkl rung Die Instandhaltung die Instandsetzung und oder die Entsorgung von Vakuumger ten und komponenten wird nur durchgef hrt wenn eine korrekt und vollst ndig ausgef llte Kontaminationserkl rung vorliegt Sonst kommt es zu Verz gerungen der Arbeiten Diese Erkl rung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef llt in Druckbuchstaben und unterschrieben werden AU Art des Produkts Typenbezeichnung 2 Grund f r die Einse
9. 3 polige Netzkabel mit fachgerechtem Anschluss der Schutz erdung verwenden Den Netzstecker nur in eine Steckdose mit Schutzkontakt einstecken Die Schutzwirkung darf nicht durch eine Verl ngerungsleitung ohne Schutzleiter aufgehoben werden Pr fen Sie den Druck im QMA bevor Sie den Netzstecker des SP 200 einstecken Er muss lt 10 mbar sein Beachten Sie stets die in den Technischen Daten gt B 6 angegebe nen Grenzwerte und Umgebungsbedingungen SP 200 Netzstecker einstecken Der Netzstecker muss leicht zug nglich sein Ist dies am Aufstellplatz nicht der Fall muss ein Netzschalter oder Stecker an leicht zug nglicher Stelle vorge sehen werden 1 6 BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER VACUUM QME QME nur durch ein und ausstecken des Netzsteckers ein oder ausschalten Lampenstatus Funktion Massnahmen KTA 24 V Speisung e 24 V vorhanden 24 V Speisung nicht Netzspannung 24 V vorhanden Anschluss pr fen Su betriebsbereit _ g ready EA nicht betriebsbereit Pfeiffer Vacuum Service D ready kontaktieren Programm TalkStar TalkStar im Start Men unter Programme TalkStar oder auf dem Desktop ber das Symbol starten 4 2 Bedienen der Software Allgemein An vielen Stellen im Talkstar Programm k nnen Sie ber ein Kontextmen auf Einstellungen und Funktionen zugreifen Ein Kontextmen erreicht man durch das Anklicken eines Elementes mit der rechten Maustaste
10. Betriebsanleitung inkl Konformit tserkl rung PFEIFFER VACUUM Prisma 80 Quadrupol Massenspektrometer QMS 200 Technische Daten Einbau IUN GS Betrieb PRODUCT SERVICE EO Instandhaltung BG 805 204 BD A 0106 1 Produktidentifikation QME 200 QMA 200 Software TalkStar G ltigkeit Bestimmungsgem sser Gebrauch Warenzeichen PFEIFFER VACUUM Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben der Typenschilder erforderlich Tragen Sie deshalb diese Angaben f r alle Teile ihres Systems ein Pfeiffer Vacuum D 35614 Asslar Pfeiffer Vacuum Typ a No _______ PSN a 5 ge zega D 35614 Asslar Pfeiffer V dete PERIFEER ES VACHUM TalkStar Version KKK No 450 490 Copyright C Dieses Dokument ist g ltig f r Produkte mit der Artikelnummer PTMO4100 bestehend aus PTM25250 Analysator PTM28515 Elektronikeinheit B 5181 408 KY Netzger t Sie finden die Artikelnummern auf den Typenschildern Dieses Dokument basiert auf der Firmwareversion BG 509 725 H oder h her 450 465 oder h her Falls das Ger t nicht wie beschrieben funktioniert pr fen Sie ob ihr Ger t mit dieser Firmwareversion ausgestattet ist gt H 1 Technische nderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten Das Prisma Massenspektrometer dient der Partialdruckanalyse bei Dr cken lt 10 mbar Typische Anwendungen sind Mess berwachungs und Prozess steuerung
11. Karteikarte Tasks Komponenten Scans hinzugef gt oder entfernt werden TJ File Edit View Window Help Display properties Trend Properties E General Tasks Rules Display Measure Tasks Hydrogen 2 Water 18 Nitrogen 28 Oxygen 32 Argon 40 Remove Carbon Dioxide 44 Edit I Hydrogent urrrrrrrrrrrrrrrrrrrrrrr Abbrechen bernehmen Edits display properties NUM d Sobald Sie mit OK best tigen werden die nderungen in die Messung ber nommen L uft eine Messung k nnen die anfallenden Daten aufgezeichnet werden e W hlen Sie in der Symbolleiste das Symbol E zum Starten der Aufzeichnung gt Sie k nnen einen unter Windows blichen Dateinamen eingeben Die TalkStar spezifische Endung tdf TalkStar Data File wird automatisch hin zugef gt e Beenden Sie das Aufzeichnen der Daten durch erneutes Anklicken des Symbols b Zugriff auf die gespeicherten Daten erhalten Sie ber den unter Saved Data er scheinenden Eintrag Einzelne Diagramme k nnen wie folgt gedruckt werden Rezept aufstarten oder gespeicherte Daten laden 2 Im danach erscheinenden Fenster das gew nschte Diagramm w hlen In der Symbolleiste das Drucksymbol amp anklicken BG 805204 BD A 0106 QMS200 bet Programm beenden 4 3 Einstellungen 4 3 1 HF Generator abstimmen TUNE 4 3 2 lonenquellen Empfind lichkeit optimieren BG 805204 BD A 0106 Q
12. MS200 bet PFEIFFER VACUUM f File Edit View Window Help ber das Kontextmen des Ger tes erreicht Hau le IS NK e man die Eigenschaften des Ger tes Auf der x Karteikarte Common Parameters l sst sich FX Devices einstellen ob beim Beenden von TalkStar GEO Recipes Connect eine Warnung angezeigt werden soll falls die IU Leaktest Tune HF Emission noch eingeschaltet ist Trend H Properties Ta Tune lonsource HF Tune Massscale Saved Data Prisma 80 Properties E General Communication Calibration Factors Common Parameters E Date Time Global Resolution Sensitivity 0 001 Arten gt On Disconnect F Jrowwaming when emission on Ready Abbrechen bernehmen Wir empfehlen bei kurzzeitigem Verlassen von TalkStar das Filament in Betrieb zu lassen Damit resultieren beim Neustart sofort stabile Messwerte Bei l ngerem Unterbruch der Messungen und insbesondere wenn die Anlage bel ftet werden soll ist das Filament auszuschalten Warten Sie nach dem Ausschalten des Filaments gt 5 Minuten bis Sie die Anlage bel ften Die lonenquelle kann so ausreichend abk hlen Der korrekte Abgleich verhilft zu bester Genauigkeit im ganzen Massenbereich Deshalb ist bei einem e Wechsel des Analysators oder der Elektronikeinheit e Auftreten der entsprechenden Fehlermeldung am Bildschirm der HF Kreis abzustimmen gt B 25 Zudem ist eine j
13. ber hrt werden kann ist zus tz licher Schutz vorzusehen z B e _Mechanischer Schutz gegen Ber hren e _Zwangsweise Trennung der Netzspeisung des SP 200 beim ffnen der Anlage Das Elektrodensystem des QMA 200 darf nicht mit ber hrungsgef hrlichen Fremdspannungen infolge Ber hrung berschl gen Plasma lonen oder Elektronenstrahlen etc beaufschlagt werden Falls solche Gefahrenquellen im Vakuumraum vorhanden sind m ssen dort Schutzmassnahmen z B bessere Anordnung Abschirmung Erdung etc vorgesehen werden die solche Einfl sse sicher ausschliessen Auch kleinere auf das QMA wirkende Fremdspannungen k nnen zu Sch den an der Elektronik und zu unzuverl ssigen Messresultaten f hren Treffen Sie auch in diesem Falle geeignete Massnahmen wie oben Das QMA muss vakuumtechnisch richtig installiert werden d h die nachzu weisenden Gase m ssen ungehinderten Zutritt zum Analysator haben Eine Beschichtung des Analysators muss vermieden werden Vorsicht Vakuumkomponente Schmutz und Besch digungen beeintr chtigen die Funktion der Vakuumkomponente Beim Umgang mit Vakuumkomponenten die Regeln in bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Besch digung beachten 1 0 BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER VACUUM 3 2 1 Platzbedarf QMA 200 ber Dih ro 228 ek Gubar 118 X _ 18 DN 40 CF F 141 Das QMA 200 darf nur in Flansche bzw Rohre mit Innendurchmesser gt 37 mm e
14. ction Di 40 Field Axis V bo E Focus W 8 Emi Cueta E H Fil Current max IGE RF polarity berd i Abbrechen bernehmen IK gt Date Time 10 08 2000 15 26 19 315 Information Device Prisma 80 connected BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER VACUUM Falls mehrmals Emission Error erscheint E Date Time Type 09 08 2000 13 24 29 649 Information 09 08 2000 13 31 25 272 Information Device Prisma 80 er Device Prisma 80 connected Gr Emission error 39 Ready NUM General Communication l Calibration Factors I lonsource Common Parameters l Configuration Filament Fi m Cathode Mi lonref Di f 50 a Extraction V jo a Field Axis V gp 5 a Focus Mi 8 bo Emi Current m Fil Current max A ba a RF polarity froma e Wert Cathode auf 100 V einstellen e Wert Emi Current auf 0 1 mA einstellen e Emission starten e Wert Emi Current in kleinen Schritten auf 2 mA erh hen Abbrechen bernehmen OO Druck lt 1x10 mbar abwarten Falls m glich Luft als Testgas auf 1x10 mbar einlassen Nach jedem der folgenden Schritte die Parameter nderungen mit _ bemehmen an das Prisma 80 bertragen 6 Wert Cathode auf maximale Peakh he optimieren Niedrige Werte von Cathode k nnen zu einem Abschalten der Emission f hren In diesem Fall Wert erh hen und die Emission wieder einschalten EA Werte Extracti
15. de 5 93E 09 mbar BG 805204 BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER E VACUUM Definieren massenabh ngiger BERRE ibri File Edit Men Window Hi z a jE e SO Se e S lee ber das Kontextmen des Ger tes erreicht ed man die Eigenschaften des Ger tes Auf der EX Devices Karteikarte Calibration Factors erhalten Sie d D Zugriff auf die massenabh ngigen Kalibrier B ATO faktoren tH Trend roperties TA Scan Popat Tur Tune lonsource Ta Tune Massscale Saved Data General Communication Calibration Factors Common Parameters E Date Time 32 Oxygen 0 800 40 Argon 1 20 Ready 44 Carbondioxide 1 40 Calibration Factor b New Mass Default Delete Mass Abbrechen Beeren Parametrieren in der Wenn Sie ein Rezept gestartet haben und die Messdatenanzeige erscheint l sst Messdatenanzeige sich durch Doppelklicken auf die jeweilige Kurve auf die dazugeh rigen Parameter zugreifen b Measurement Scan p mbar General Parameters Start Mass 0 ow PTE Stop Mass 80 Width 80 MIK Speed s Abbrechen ee BG 805204 BD A 0106 QMS200 bet 1 9 20 Hinzuf gen und Entfernen von Komponenten Scans Aufzeichnen von Messdaten Drucken PFEIFFER VACUUM In der Messdatenanzeige k nnen Sie durch Anklicken der Schaltfl che Display Properties auf alle Einstellungen des laufenden Rezeptes zugreifen Hierbei k nnen auf der
16. ellen Kleinteile Z 10 lonenquelle HS Ir E BN 846 137 T 11 Sechskantschraube M6 x 35 Z N 3015 349 X 2 3 12 Sechskantmutter M6 Z N 3415 043 X4 y 13 Unterlagscheibe M6 Z N 3502 418 X Iu ed 14 Cu Dichtung DN 40 CF Z BP 414606 T a 15 QMA Montagehilfe Z BG 444 456 SP 200 E B5181 408 KY Z mitgeliefertes Zubeh r E Ersatzteil 14 di 11 12 13 BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet 29 PFEIFFER VACUUM 7 Produkt zur cksenden Vorsicht Versand kontaminierter Produkte Kontaminierte Produkte z B radioaktiver toxischer tzender oder mikrobiologischer Art k nnen Gesundheits und Umweltsch den verursachen Eingesandte Produkte sollen nach M glichkeit frei von Schadstoffen sein Versandvorschriften der beteiligten L nder und Transportunter nehmen beachten Ausgef llte Kontaminationserkl rung gt B 32 beilegen Nicht eindeutig als frei von Schadstoffen deklarierte Produkte werden kosten pflichtig dekontaminiert Ohne ausgef llte Kontaminationserkl rung eingesandte Produkte werden kosten pflichtig zur ckgesandt 8 Produkt entsorgen Vorsicht Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile k nnen Gesundheits und Umweltsch den ver ursachen Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle Kontamination Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschl gigen Vorschriften beachten und die Schutzmassnahmen einhalten Vorsicht Umweltgef hrdende Stoffe Produkte
17. f r alle zusammengekop pelten Ger te Pumpstand SP 200 Rechner Registrierger te etc dringend zu empfehlen Eine Mehrfachsteckdose oder besser ein gemeinsamer Netzverteiler mit Netzschalter erf llt dies auf einfache Weise 13 3 3 1 1 Anschluss 3 3 1 2 Anschluss control Digitalausgang 3 3 2 Netzger t mit Prisma verbinden 14 PFEIFFER VACUUM TalkStar Version 1 0 unterst tzt den Messr hrenanschluss nicht PFEIFFER E VACUUM pega Digital Eingang Digital Ausg nge Analog Eing nge Analog Ausg nge TalkStar Version Schaltpunkte oder TalkStar Version TalkStar Version 1 0 unterst tzt diese z B Ventil auf zu 1 0 unterst tzt diese 1 0 unterst tzt diese Funktion nicht Funktion nicht Funktion nicht Spezifikationen und Steckerbelegungen gt B 7 8 2 potentialgetrennte Relaiskontakte Schliesser Diese k nnen den Schaltfunk tionen Peakh hen berwachung zugeordnet oder als Ausg nge direkt von der Software gesteuert werden z B zur Bet tigung von Ventilen Signalbezeichnung REL_1A REL_1B gt DOO REL_2A REL_2B gt DO1 Logikzuordnung DO true gt Kontakt geschlossen Netzstecker SP 200 noch nicht einstecken gt B 16 Stellen Sie das Netzger t so auf dass e es nicht nass werden kann z B durch auslaufendes Wasser auf dem Boden e die L ftung unbehindert ist und die Umgebungsbedingungen einge halten werden 2 Stecken Sie den Aus
18. gangsstecker des SP 200 in den Stecker 24 V des QME PFEIFFER E VACUUM era BG 805 ZOA BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER VACUUM 3 3 3 PC anschliessen PFEIFFER E VACUUM RS 232 C Schnittstelle Verwenden Sie das beigelegte 9 polige Nullmodem Kabel falls erforderlich mit dem Verl ngerungskabel gt m LAN Schnittstelle TalkStar Version 1 0 unterst tzt die LAN Schnittstelle nicht 3 4 Software installieren IZ TalkStar ist eine 32 Bit Software und ben tigt Windows 95 98 ME NT oder 2000 Mitgelieferte Software TalkStar wie folgt installieren PC einschalten und Betriebssystem aufstarten om E ee ZT Ausf hren E E Geben Sie den Namen des Programms Ordners oder Dokuments an das bzw der ge ffnet werden soll A Abbrechen Durchsuchen Den Anweisungen des Installationsprogrammes folgen Nach der Installation kann das Programm im Start Men unter Programme TalkStar oder auf dem Desktop ber das Symbol A aufgerufen werden BG 805204 BD A 0106 QMS200 bet 15 PFEIFFER VACUUM 4 Bedienung 4 1 Inbetriebnah Vorsicht Besch digtes Produkt Die Inbetriebnahme eines besch digten Produkts kann lebensgef hr lich sein Bei sichtbaren Besch digungen das Produkt gegen unabsichtlichen Betrieb sichern Vorsicht Netzspannung Nicht fachgerecht geerdete Produkte k nnen im St rungsfall lebens gef hrlich sein Nur
19. ingebaut werden da sonst Kurzschl sse zur Wand auftreten k nnen Einbautiefe beachten Kabel nicht abknicken SP 200 3 2 2 Ben tigte Werkzeuge 4 mm Innensechskantschl ssel 10 mm Gabelschl ssel 2 St ck Schraubendreher Schaufelbreite 3 4 mm BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet 1 1 PFEIFFER VACUUM 3 2 3 QMA montieren i GEFAHR Der Analysatorflansch muss vorschriftsm ssig geerdet sein e Mit allen 6 Schrauben elektrisch leitend mit der geerdeten Vakuumapparatur verschrauben Bei nicht geerdeter Vakuumapparatur den Analysatorflansch Erdanschluss Schraube M4 mittels einer separaten Erdleitung mit der Schutzerde ver binden Erstellen Sie diese Erdleitung aus gelb gr ner oder blanker Kupferlitze e 2 5 mm wenn mechanisch gesch tzt nach DIN VDE 110 T540 e 4 0 mm wenn ungesch tzt Wir empfehlen das QMA horizontal zu positionieren mit der F hrungsnut nach unten Damit ergibt sich ein optimaler Schutz des QME gegen herabfallende Fremdk rper eine leichte Montage und ein guter Zugang zur Frontplatte Transportschutz entfernen und Analysator an Rezi pienten anflanschen Vorsicht Verschmutzungsempfindlicher Bereich Das Ber hren des Produkts oder Teilen davon mit blossen H nden erh ht die Desorptionsrate Saubere fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen SC QMA in mitgelieferte Montagehilfe setzen 2 Transportschutz vorsichtig von QMA entfernen und
20. kStar die Kommunikation mit dem Ger t auf liest es diese Einstellungen ein Das Programm TalkStar starten In der Baumansicht Recipes selektieren und durch einen Doppelklick Tune lonsource starten Pfeiffer Vacuum TalkStar Eile Edit Wiew Window Help IE EEE EZ Measurement Tune lonsource Devices d Prisma 80 HX Recipes p mbar Il Leaktest 1 Trend Ta Scan EEE TA Tune Massscale zu rz SavedData Es wird ein Scan im Massenbereich 26 30 amu dargestellt Anhand dieses Massenscans lassen sich die Empfindlichkeit sowie die Massen trennung der lonenquelle optimieren gt E Date Time T Text 10 08 2000 15 26 19 315 Information Device Prisma 80 connected NUM Z ber das Kontextmen des Ger tes durch einen Klick mit der rechten Maustaste den Eintrag Properties w hlen Im danach erscheinenden Fenster die Karteikarte Ionsource w hlen Pfeiffer Yacuum TalkStar PISU E Eile Edit Wiew window Help IK b E ZZ GEIS EEE ESI gil be SIE b se Pe bi EZ Measurement Tune lonsource Fil 1 amp 3 Prisma 80 Properties E evices i 80 e General Communication Calibration Factors X Recipes OEE Common Parameters Configuration lonsource l Leaktest Tune HF d If Properties Filament Fi E ba rn IL Tune lonsource Cathode fv IL Tune Massscale joz 150 X Saved Data Extra
21. m Text wird das Symbol gt B XY verwendet f r Verweise auf andere Dokumente das Symbol gt Z BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet 3 PFEIFFER VACUUM 1 1 Verwendete Symbole Angaben zur Verh tung von Personensch den jeglicher Art Angaben zur Verh tung umfangreicher Sach und Umweltsch den Angaben zur Handhabung oder Verwendung Nichtbeachten kann zu St rungen oder geringf gigen Sachsch den f hren TSO Das Ergebnis ist in Ordnung N Das Ergebnis ist nicht erwartet Lampe Anzeige leuchtet E Lampe Anzeige blinkt D Lampe Anzeige ist dunkel Beschriftung 1 2 Personalqualifikation Fachpersonal Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten d rfen nur durch Personen ausgef hrt werden welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und ber die n tigen Erfahrungen verf gen oder durch den Betreiber entsprechend geschult wurden 4 BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER VACUUM 1 3 Grundlegende e Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die ein Sicherheitsvermerke schl gigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozess medien Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen der Prozessmedien infolge Eigen erw rmung des Produkts e Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschl gigen Vorschriften und Einhaltung der Schutzmassnahmen zul ssig Beachten Sie zudem die in diesem Doku
22. ment angegebenen Sicherheitsvermerke e Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle Kontami nation Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschl gigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein Geben Sie die Sicherheitsvermerke an alle anderen Benutzer weiter 1 4 Verantwortung und Pfeiffer Vacuum bernimmt keine Verantwortung und Gew hrleistung falls der Gew hrleistung Betreiber oder Drittpersonen e dieses Dokument missachten e das Produkt nicht bestimmungsgem ss einsetzen e am Produkt Eingriffe jeglicher Art Umbauten nderungen usw vornehmen e das Produkt mit Zubeh r betreiben welches in den zugeh rigen Produkt dokumentationen nicht aufgef hrt ist Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber KO F r die optimale Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum Anwendunggs Bedienungs und Instandhaltungskurse an Ihr Pfeiffer Vacuum Partner informiert Sie gerne BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet 5 PFEIFFER VACUUM 2 Technische Daten 2 1 Normerf llung 2 2 Umgebungs bedingungen 2 3 Prisma 80 Sicherheit QME QMA EN 61010 1 1993 IEC1010 1 1990 A1 1992 Schutzklasse SP 200 DIN EN 60950 IEC 950 UL 1950 CSA 22 2 Nr 234 EMV Immunit t EN 50082 2 Emission EN 50081 1 Verwendung in Innenr umen H he max 2000 m NN Schutzart IP 30 Verschmutzungsgrad 2 Temperaturen Lager
23. ndung Artikelnummer Seriennummer Ki T Verwendete s Betriebsmittel Vor dem Transport abzulassen J Einsatzbedingte Kontaminierung des Produkts Das Produkt ist frei von gesundheitsgef hrdenden Stoffen HEE toxisch nein I 1 HEE tzend nein I 1 HEE mikrobiologisch nein H ja H 2 explosiv nein Q ja O 2 radioaktiv nein O ja Q 2 sonstige Schadstoffe nein H 1 jaH a 2 Derart kontaminierte 1 oder so gering dass von Produkte werden nur den Schadstoffr ckst nden bei Nachweis einer keine Gefahr ausgeht vorschriftsm ssigen Dekontaminierung entgegengenommen NJ Handels Produktname Hersteller Schadstoffe und oder Reaktionsprodukte Schadstoffe oder prozessbedingte gef hrliche Reaktionsprodukte mit denen das Produkt in Kontakt kam Chemische Bezeichnung Massnahmen bei Freiwerden Erste Hilfe bei Unf llen evtl auch Formel der Schadstoffe Rechtsverbindliche Erkl rung Hiermit versichere n ich wir dass die Angaben korrekt und vollst ndig sind und ich wir allf llige Folgekosten akzeptieren Der Versand des kontaminierten Produkts erf llt die gesetzlichen Bestimmungen Firma lnstitut Strasse PLZ Ort Telefon Telefax E Mail Name Datum und rechtsverbindliche Unterschrift Firmenstempel Dieses Formular kann von u
24. nen dabei das Filament am Boden der Schutzverpackung festhalten Filament auch mit Handschuhen nicht ber hren Halteb gel ae Ersatzfilament CH 10 Ersatzfilament auf die lonenquelle aufsetzen Dabei das Filament bis zu den Auflagen an den Gewindestiften nach unten schieben so dass die Platte des Filaments parallel zu den Platten der Ionenquelle liegt Ersatzfilamenteinheit komplett Das Filament darf nicht verkanten da sonst der Formationsraum verbogen wird JU Die 3 Muttern bei den Gewindestiften aufsetzen und mit dem Spezialsteck schl ssel festziehen 12 U Profile mit einer Flachzange halten die elektrischen Anschl sse des Filaments bei den U Profilen seitlich einf hren und die Schrauben festziehen BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet 23 5 2 QME 5 2 1 Geh use reinigen 5 2 2 Staubfilter reinigen 5 2 3 Filtermatte wechseln 24 PFEIFFER VACUUM Das 24 V Netzteil ist vor jeder feuchten Reinigung des QME vom Netz zu trennen F r die ussere Reinigung reicht im Normalfall ein leicht feuchtes Tuch Benutzen Sie keine aggressiven oder scheuernden Reinigungsmittel ON b Es darf keine Fl ssigkeit an die Stecker und in das Produkt gelangen Vor Wiederinbetriebnahme gut trocknen lassen Der Staubfilter am Lufteintritt muss gereinigt werden sobald sich ein deutlich sichtbarer Belag angesammelt hat Benutzen Sie einen Staubsauger um den Staub aus dem Filter zu entfernen Das QME
25. nserer Webseite heruntergeladen werden 32 Verteiler Original an den Adressaten 1 Kopie zu den Begleitpapieren 1 Kopie f r den Absender BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER VACUUM Konformit tserkl rung Hiermit best tigen wir Pfeiffer Vacuum f r das nachfolgende Produkt die Konformit t zur Niederspannungsrichtlinie 73 23 EWG und zur EMV Richtlinie 89 336 EWG SEE Prisma M 80 Quadrupol Massenspektrometer QMS 200 Artikelnummer PTMO4100 Normen Harmonisierte und internationale nationale Normen sowie Spezifikationen e EN61010 Elektrische Mess u Steuereinrichtungen e EN 50081 1 EMV St raussendung e EN 50082 2 EMV St rfestigkeit Unterschrift Pfeiffer Vacuum GmbH Asslar 18 Juni 2001 3 ng Wolfgang Dondorf Gesch ftsf hrer BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet 33 34 Notizen PFEIFFER BG 805 204BD A 0106 VACUUM QMS200 bet PFEIFFER VACUUM Notizen BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet 35 PFEIFFER VACUUM Pfeiffer Vacuum GmbH Emmeliusstrasse 33 D 35614 Asslar Deutschland Tel 49 0 6441 802 0 Fax 49 0 6441 802 202 info pfeiffer vacuum de bg805204bd a www pfeiffer vacuum de
26. on und Focus abwechselnd auf maximale Peakh he optimieren O Wert Field Axis bei 8 V beginnend soweit reduzieren dass eine akzep table Aufl sung und Peakform resultiert RF polarity wechseln und diejenige Einstellung w h len welche zu einer besse ren Peakform und Empfind lichkeit f hrt vV Die lonenquelle ist optimiert Prisma 80 Properties E General Communication l Calibration Factors Common Parameters l Configuration lonsource Filament EU z Cathode Mi 80 bo lonref Mi f 50 a Extraction V jo a Field Axis Di g 5 a Focus V 8 bo Emi Current m B E Fil Current max A g 5 a RF polarity v 27 BG 805204 BD A 0106 QMS200 bet 5 2 6 QME austauschen 28 PFEIFFER VACUUM M ssen QME oder QMA ausgetauscht werden so ist wie bei einer Erstinstallation vorzugehen QME montieren B 13 QME anschliessen B 13 Abstimmen des HF Generators TUNE B 25 4 lonenquelle optimieren gt B 26 BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER VACUUM 6 Zubeh r und Ersatzteile Pos Bezeichnung E Z Bestellnummer 1 Innensechskantschl ssel M5 SW4 Z N 5701 009 BC 2 Innensechskantschraube M3 x 8 Z B 3079 191 X 3 Sicherungsscheibe M3 Z B 3547 137 X 1 4 Filtermatte E Z B 5099 154 FE 5 D Sub Stecker kpl 15 Stifte Z BG 442 639 T 7 Steckschl ssel SW3 3 2 Z BK 370 096 8 Filamenteinheit komplett Iridium yttriert E BN 846 138 T 9 Div Ionenqu
27. saufgaben in Vakuumsystemen TalkStar Prisma Inficon AG Windows TN Microsoft Corporation BG 805 204 BD A 0106 QMS200 bet PFEIFFER VACUUM Produktidentifikation 2 G ltigkeit 2 Bestimmungsgem sser Gebrauch 2 Warenzeichen 2 1 Sicherheit 4 1 1 Verwendete Symbole 4 1 2 Personalqualifikation 4 1 3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 5 1 4 Verantwortung und Gew hrleistung 5 2 Technische Daten 6 2 1 Normerf llung 6 2 2 Umgebungsbedingungen 6 2 3 Prisma 80 6 2 4 QME 200 7 2 5 SP 200 7 2 6 Steckerbelegung 8 3 Einbau 10 3 1 Auspacken 10 3 2 Montage 10 3 2 1 Platzbedarf 11 3 2 2 Ben tigte Werkzeuge 11 3 2 3 QMA montieren 12 3 2 4 QME montieren 13 3 3 Elektrische Anschl sse 13 3 3 1 QME anschliessen 13 3 3 2 Netzger t mit Prisma verbinden 14 3 3 3 PC anschliessen 15 3 4 Software installieren 15 4 Bedienung 16 4 1 Inbetriebnahme 16 4 2 Bedienen der Software 17 4 3 Einstellungen 21 4 3 1 HF Generator abstimmen TUNE 21 4 3 2 lonenquellen Empfindlichkeit optimieren 21 5 Instandhaltung 22 5 1 QMA 22 5 1 1 Filamentwechsel 22 5 2 QME 24 5 2 1 Geh use reinigen 24 5 2 2 Staubfilter reinigen 24 5 2 3 Filtermatte wechseln 24 5 2 4 HF Generator abstimmen TUNE 25 5 2 5 lonenquellen Empfindlichkeit optimieren 26 5 2 6 QME austauschen 28 6 Zubeh r und Ersatzteile 29 7 Produkt zur cksenden 30 8 Produkt entsorgen 30 Anhang 31 A Literatur 31 Kontaminationserkl rung 32 Konformit tserkl rung 33 F r Seitenverweise i
28. xtmen des Ger tes durch einen Klick mit der rechten Maustaste den Eintrag Tune HF w hlen Pfeiffer Vacuum TalkStar Eile Edit Wiew Window Help IH ZIZ Sl SIIS Kia x E Devices E Recipes Connect Ta Leaktest Trend Properties E GO GO lt 1 E 73 Abgleichschraube vorsichtig drehen es braucht keine Kraftanwendung Abgleichschraube weder fest anziehen noch ganz herausdrehen E d gt geringe Verstimmung Drehen Sie die Abgleichschraube a im Uhrzeigersinn bis Lampe leuchtet b im Gegenuhrzeigersinn bis Lampe verl scht Weiter bis Lampe wieder leuchtet c eine Umdrehung im Uhrzeigersinn V HF Generator ist abgestimmt gt el tune bd TR gt extreme Verstimmung Drehen Sie die Abgleichschraube a im Uhrzeigersinn bis zum Anschlag b im Gegenuhrzeigersinn bis Lampe verl scht Weiter bis Lampe wieder leuchtet c eine Umdrehung im Uhrzeigersinn V HF Generator ist abgestimmt gt tune Abdeckkappe wieder einsetzen Nach dem Abgleich k nnen Sie in der Software den Mode Tune mit OK verlassen Werden Elektronikeinheit und Analysator nicht als Einheit ab Werk geliefert ist der HF Generator auch bei der ersten Inbetriebnahme abzustimmen 25 VACUUM 5 2 5 lonenquellen Empfind Bei der ersten Inbetriebnahme sind die Ionenquellenparameter des Ger tes werk 26 lichkeit optimieren seitig optimal eingestellt Nimmt Tal
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