QMS 200 Betriebsanleitung
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1. Schalten Sie Ihren PC ein und installieren Sie die mitgelieferte Software Balzers Quadstar Das RGA Programm wird bei dieser Installation ebenfalls geladen gt H Balzers Quadstar 1 Das Installationsprogramm erstellt die Gruppe QUADSTAR 422 sofern noch nicht vorhanden Fa QUADSTAR 422 Datei Bearbeiten Ansicht 7 Farzet AF Utility Semice 20 BG 805 201BD 9911 BG 805 201 BD bet PFEIFFER VACUUM 4 Bedienung STOP GEFAHR Vorsicht Besch digtes Produkt Die Inbetriebnahme eines besch digten Produkts kann lebensgef hr lich sein Bei sichtbaren Besch digungen das Produkt gegen unabsichtlichen Betrieb sichern Beachten Sie stets die in den Technischen Daten gt B 6 angegebenen Grenz werte und Umgebungsbedingungen GEFAHR Der Netzstecker darf nur in eine Steckdose mit Schutzkontakt eingef hrt wer den Verwenden Sie nur ein passendes dreipolige Netzkabel mit fachgerechtem Anschluss der Schutzerdung Die Schutzwirkung darf nicht durch ein Verl nge rungskabel ohne Schutzleiter aufgehoben werden Pr fen Sie das Vakuum im QMA bevor Sie den Netzstecker des SP 200 ein stecken Es muss sein lt 10 mbar bei Faraday Typ lt 10 mbar bei Channeltron Typ Falls Sie zur Vakuummessung die am QME angeschlossene Kompaktmess r hre benutzen d rfen Sie den Netzstecker auch ohne Vakuumkontrolle ein stecken Warten Sie aber mit dem Einschalten von Emission und Channeltron spannung b2. DN 40 CF F 141 m Channeltron Faraday 037 a 127 5 DN 40 CF F 141 Prisma mit 90 Anschluss l gt Faraday 037 a DN 40 CF F 313 1295 BG 805 201BD 9911 BG 805 201 BD bet 1 3 PFEIFFER VACUUM Prisma mit 90 Anschluss l Channeltron Faraday 037 a DN 40 CF F 313 127 5 SP 200 3 2 2 Ben tigte Werkzeuge A mm Innensechskantschl ssel _ 10 mm Gabelschl ssel 2 St ck Schraubendreher Schaufelbreite 3 4 mm 1 4 BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet PFEIFFER VACUUM 3 2 3 QMA montieren i GEFAHR Der Analysatorflansch muss vorschriftsm ssig geerdet sein e Mit allen 6 Schrauben elektrisch leitend mit der geerdeten Vakuumapparatur verschrauben Bei nicht geerdeter Vakuumapparatur den Analysatorflansch Erdanschluss Schraube M4 mittels einer separaten Erdleitung mit der Schutzerde ver binden Erstellen Sie diese Erdleitung aus gelb gr ner oder blanker Kupferlitze e 2 5 mm wenn mech gesch tzt nach DIN VDE 110 T540 e 4 0 mm wenn ungesch tzt Wir empfehlen das QMA horizontal zu positionieren mit der F hrungsnut nach unten Damit ergibt sich ein optimaler Schutz des QME gegen herabfallende Fremdk rper eine leichte Montage und ein guter Zugang zu
3. 3 1 4 rn DD i 9 10 11 12 13 14 15 28 Bezeichnung Innensechskantschl ssel Innensechskantschraube Sicherungsscheibe Filtermatte D Sub Stecker kpl Stecker Steckschl ssel Filament komplett Iridium thoriert Wolfram Div lonenquellen Kleinteile Ionenquelle HS Ir HS Wo Sechskantschraube Sechskantmutter Unterlagscheibe Cu Dichtung QMA Montagehilfe Channeltron SP 200 ARCNET Karte f r PC AT Fiberoptik Kabel M5 SWA M3 x 8 M3 15 Stifte 6 Stifte SW3 13 2 M6 x 35 M6 M6 DN 40 CF OPA 200 10 m andere L ngen A nicht mitgeliefertes Zubeh r PFEIFFER A E Z Bestellnummer Z Z Z EZ Z Z Z N MM gt gt gt n nn n nNNnmn N 5701 009 BC B 3079 191 X B 3547 137 X B 5099 154 FE BG 442 639 T B 4722 106 CC BK 370 096 BN 846 138 T BN 846 139 T BN 846 137 T BN 846 279 T N 3015 349 X N 3415 043 X4 N 3502 418 X BP 414 606 T BG 444 456 BN 846 182 T B 5181 408 KY B 5278 503 KT B 5159 615 2H auf Anfrage Z mitgeliefertes Zubeh r E Ersatzteil BG 805 201 BD 9911 VACUUM BG 805 201 BD bet PFEIFFER VACUUM 7 Produkt entsorgen AA GEFAHR Vorsicht Kontaminierte Teile Kontaminierte Teile k nnen zu Gesundheitssch den f hren Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle Kontamination Beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschl gigen Vorschriften beachten und
4. H oder h her Falls das Ger t nicht wie beschrieben funktioniert pr fen Sie ob ihr Ger t mit dieser Firmwareversion ausgestattet ist gt H Balzers Quadstar 1 Technische nderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten Bestimmungsgem sser Das Prisma Massenspektrometer dient der Partialdruckanalyse bei Dr cken unter Gebrauch etwa 10 mbar Typische Anwendungen sind Mess berwachungs und Pro zesssteuerungsaufgaben in Vakuumsystemen F r die optimale Nutzung dieses Produkts bietet Pfeiffer Vacuum Anwendungs Bedienungs und Instandhaltungskurse an Ihr Pfeiffer Vacuum Partner informiert Sie gerne 2 BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet Produktidentifikation G ltigkeit Bestimmungsgem sser Gebrauch Kurse 1 Sicherheit 1 1 Verwendete Symbole 1 2 Personalqualifikation 1 3 Grundlegende Sicherheitsvermerke 1 4 Verantwortung und Gew hrleistung 2 Technische Daten 2 1 System bersicht 2 2 Normerf llung 2 3 Umgebungsbedingungen 2 4 QMS 200 F 2 5 QMS 200 M 2 6 QME 200 2 7 SP 200 2 8 Steckerbelegung 3 Einbau 3 1 Auspacken 3 2 Montage 3 2 1 Platzbedarf 3 2 2 Ben tigte Werkzeuge 3 2 3 QMA montieren 3 2 4 QME montieren 3 3 Elektrische Anschl sse 3 3 1 QME anschliessen 3 3 2 Netzger t mit Prisma verbinden 3 3 3 PC anschliessen 3 4 Software installieren 4 Bedienung 4 1 Inbetriebnahme 4 2 Konfiguration 5 Instandhaltung 5 1 QM
5. Data RXD optional signal Request To Send RTS u Signal Ground SGND Shield Aus EMV Gr nden ist ein abgeschirmtes Kabel zu verwenden Die Abschirmung ist mit dem Steckergeh use zu verbinden und am anderen Ende offen zu lassen oder so zu erden dass keine sch dlichen Ausgleichstr me auftreten k nnen 24 V DC 3 pin female 24 V DC 2 Screen QMA Pin 13 pin male Reserve Extr Focus Filament 1 Filament 2 Anode RF N N RF Filament Common IN IO A A O IN j gt co U o 5 STOP GEFAHR N Dieser Anschluss f hrt gef hrliche Span nungen o amp m U lt BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet 1 1 PFEIFFER VACUUM Transportsicherungen aufbewahren und vor jedem Transport wieder anbringen 3 2 Montage GEFAHR Am Elektrodensystem des QMA 200 liegen bei Betrieb gef hrliche Spannungen bis 330 V Andere Einbauteile im Vakuumraum z B Messr hren k nnen bei ung nstigen Verh ltnissen evtl damit beaufschlagt werden Falls solche Teile dadurch be r hrungsgef hrlich w rden ber cksichtigen Sie auch Leitungen und ange schlossene Ger te m ssen sie so angeordnet oder gesch tzt werden dass kein Kontakt kein berschlag und kein Ladungstr gerfluss zustande kommen kann Falls das QMA bei ge ffneter Vakuumanlage ber hrt werden kann ist zus tz licher Schutz vorzusehen z B e _Mechanischer Schutz gegen Ber hren
6. Druck lt 10 mbar und Stabilisierung des Restgasspektrums abwarten Q Testgas z B Luft auf 10 mbar einlassen 26 BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet 5 2 5 QME austauschen BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet PFEIFFER VACUUM Spektrum der interessierenden Peakgruppen repetierend registrieren da bei der Optimierung nicht nur auf Intensit t sondern auch auf Aufl sung und Peakform zu achten ist Standardparameter sind SPEED 1s u MODE SCAN N RESOL 50 RANGE 10 oder AUTO lonRef 150 V Cathode 90 V Gleichen Sie die Spannungen Extraction und Focus in folgender Reihen folge auf max Peakh he ab EXTRACT 6 30V FOCUS typisch 6 10 V FIELD AXIS wie folgt einstellen 1 Auf 8 V einstellen 2 Soweit verringern dass die Peakintensit t auf ca 1 des uspr nglichen Wertes zur ck geht 3 Spannung um 3 V erh hen 4 Ist die Peakstruktur zu sehr ausgepr gt Spannung entsprechend reduzieren Die Ionenquelle ist optimiert D Beim Arbeiten mit einer neuen lonenquelle nach einigen Betriebs stunden wiederholen Ion source Fenster verlassen und Daten speichern M ssen QME oder QMA ausgetauscht werden so ist wie bei einer Erstinstallation vorzugehen 1 QME montieren gt B 16 2 QME anschliessen B 16 3 4 Abstimmen des HF Generators TUNE B 26 lonenquelle optimieren B 26 27 6 Zubeh r und Ersatzteile Pos 1 2
7. e das Produkt nicht bestimmungsgem ss einsetzen e am Produkt Eingriffe jeglicher Art Umbauten nderungen usw vornehmen e das Produkt mit Zubeh r betreiben welches in den zugeh rigen Produkt dokumentationen nicht aufgef hrt ist Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber BG 805 201BD 9911 BG 805 201 BD bet 5 PFEIFFER VACUUM 2 Technische Daten 2 1 System bersicht QME 200 QME 200 mit 90 Anschluss QMA 200 F Faraday QMA 200 M Channeltron Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben der Typenschilder erforderlich bertragen Sie daher diese Angaben f r alle Teile Ihrer Konfiguration auf die Ebenbilder Pfeiffer Vacuum D 35614 Asslar Typ QME 200 No Pfeiffer Vacuum D 35614 Asslar Typ QME 200 No Pfeiffer Vacuum D 35614 Asslar Pfeiffer Vacuum D 35614 Asslar BG 805 201BD 9911 BG 805 201 BD bet SP 200 Netzkabel Software Balzers Quadstar Zubeh r BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet Balzers Limited FL 9496 Balzers QUADSTAR 422 Version 6 xX No BN 882 236 T Copyright C a 28 PFEIFFER VACUUM 2 2 Normerf llung 2 3 Umgebungs bedingungen 2 4 QMS 200 F PFEIFFER VACUUM Sicherheit QME QMA EN 61010 1 1993 IEC1010 1 1990 A1 1992 Schutzklasse SP 200 DIN EN 60950 IEC 950 UL 1950 CSA 22 2 Nr 234 EMV Immunit t EN 50082 2 Emission EN 50081 1 Verwendung in Innen
8. mA max 200 Ohm Schliesskontakt 24 V 30 V 1A 2 5 kg 2 8 kg bei 90 Anschluss Durch Serieschaltung von 2 Widerst nden 110 kOhm 1 in beiden Leitungen wird der Bereich auf 10 24 V erweitert PFEIFFER VACUUM 2 7 SP 200 Spannung 90 260 V Frequenz 47 63 Hz Stromaufnahme Leistung 1 5 A 115 V 60 W 0 8 A 230 V 60 W Ausgangsspannung 24 V stabilisiert Isolation 10 MOhm min Ausgang zu Erde berspannungskategorie II nach EN 61010 Gewicht 0 7 kg 2 8 Steckerbelegung Amphenol C91b PKR Input 6 pin female ss com e suppiy One INNEN ready Aus EMV Gr nden ist ein abgeschirmtes Kabel zu verwenden Die Abschirmung ist mit dem Steckerge h use zu verbinden und am anderen Ende offen zu lassen oder so zu erden dass keine sch dlichen Ausgleichstr me auftreten k nnen control Assignment D Sub H Density 15 pin female on 5 van BT in 0 11 Aus EMV Gr nden ist ein abgeschirmtes Kabel zu verwenden Die Abschirmung ist mit dem Steckergeh use zu verbinden und am anderen Ende offen zu lassen oder so zu erden dass keine sch dlichen Ausgleichstr me auftreten k nnen 1 0 BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet PFEIFFER VACUUM JIS F07 TOSLINK s 2 LAN RS 232 C 9 pin male Transmitted Data TXD optional signal Data Terminal Ready optional signal Clear To Send CTS n 6 c Received
9. 0 lt 2x10 lt 10 09 29 A mbar gt 200 gt 5x10 gt 200 gt 3x10 gt 100 gt 1 5x10 Argon Beeinflussung der Nachbarmasse 40 41 Max Betriebsdruck mbar Reproduzierbarkeit des Peakverh ltnisses konst Bedingungen w hrend 8 h N2 und Ar aus Luft QMA Betriebstemperatur o o Ausheiztemperatur QME entfernt HS lonenquelle Einbaulage Gewicht Anschlussflansch Messkan le Messmodi Messzyklen Messdatenpuffer MID dwell Messgeschwindigkeit Scan analog Bargraph Peak Scan Bargraph Stair Elektrometerverst rker Signalfilter Stromversorgung Schnittstellen RS 232 C LAN Eing nge 2 Analog differential 1 Kompaktmessr hre oder externe Verriegelung 1 Digital In EXT_RUN Ausg nge 4 Analog 2 Relais Gewicht 1x10 0 5 0 120 0 150 max 200 Offen radialsymmetrisch 2 Heizf den aus thoriertem Iridium Wolfram optional Entgasen durch Elektronenbeschuss 10 mA 300 V beliebig 4 4 4 7 bei QME 200 mit 90 Anschluss DN 40 CF 64 Scan analog Scan Bargraph MID Mono Multichannel 1 9999 Cycles oder Repeat 128 kbyte 10 ms 60s 200 ms u 60 s u 20 msj u 60 s u 10 10 A f s fix und autorange FIR Filter 24 V 12 0A 300 19200 bit s Arcnet fiberoptic 1000 m max 2 5 Mbit s 5 12 5 12 V 11 bit TPR 250 PKR 250 Sink current 0 5 mA 5 V TTL pull up 4 7 kOhm auf 5 V 5 12 5 12 V 16 bit 1
10. A 5 1 1 Katodenwechsel 5 2 QME 5 2 1 Reinigung 5 2 2 Filtermatte wechseln 5 2 3 Abstimmen des HF Generators TUNE 5 2 4 lonenquellen Empfindlichkeit optimieren 5 2 5 QME austauschen 6 Zubeh r und Ersatzteile 7 Produkt entsorgen Anhang A LAN Interface B Literatur Kontaminationserkl rung Konformit tserkl rung F r Seitenverweise im Text wird das Symbol gt auf andere Dokumente das Symbol gt W Z PFEIFFER VACUUM Inhaltsverzeichnis 3 XY verwendet f r Verweise DDDDM oo 00099 MoAA A 30 31 32 33 PFEIFFER VACUUM 1 1 Verwendete Symbole Angaben zur Verh tung von Personensch den jeglicher Art Angaben zur Verh tung umfangreicher Sach und Umweltsch den Angaben zur Handhabung oder Verwendung Nichtbeachten kann zu St rungen oder geringf gigen Sachsch den f hren GEFAHR Vorsicht Netzspannung Nicht fachgerecht geerdete Produkte k nnen im St rungsfall lebens gef hrlich sein Produkt gem ss den rtlichen Vorschriften anschliessen und korrekt erden Vorsicht Verschmutzungsempfindlicher Bereich Verschmutzungen erh hen die Abpumpzeit Saubere fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werkzeug benutzen Transportsicherungen aufbewahren und vor jedem Transport wieder anbringen Vacuum G nehmen Sie bitte mit Ihrer n chstgelegenen Pfeiffer Vacuum Servicestelle Kontakt auf gt Das Ergebnis ist in Ordnung Das Ergebnis ist nicht erwart
11. Betriebsanleitung inkl Konformit tserkl rung QMS 200 Quadrupol Massenspektrometer Prisma PFEIFFER VACUUM Produktidentifikation G ltigkeit PFEIFFER VACUUM Im Verkehr mit Pfeiffer Vacuum sind die Angaben der Typenschilder erforderlich bertragen Sie deshalb diese Angaben f r alle Teile ihres Systems auf die Ebenbilder gt B 6 Dieses Dokument ist g ltig f r Produkte mit der Artikelnummer BK M25 250 QMA 200 Faraday lridium BK M25 251 1 QMA 200 Faraday Wolfram BK M25 252 QMA 200 Channeltron lridium BK M25 253 1 QMA 200 Channeltron Wolfram BK M25 272 QMA 200 Channeltron lridium 300 C BK M25 273 1 QMA 200 Channeltron Wolfram 300 C PT D28 500 QME 200 Faraday M 200 PT D28 501 QME 200 Channeltron M 200 PT D28 502 QME 200 Faraday M 300 PT D28 503 QME 200 Channeltron M 300 PT D28 504 QME 200 Faraday M 100 PT D28 505 QME 200 Channeltron M 100 PT D28 506 QME 200 Faraday M 200 Prisma mit 90 Anschluss PT D28 507 QME 200 Channeltron M 200 Prisma mit 90 Anschluss PT D28 508 QME 200 Faraday M 300 Prisma mit 90 Anschluss PT D28 509 QME 200 Channeltron M 300 Prisma mit 90 Anschluss PT D28 510 QME 200 Faraday M 100 Prisma mit 90 Anschluss PT D28 511 QME 200 Channeltron M 100 Prisma mit 90 Anschluss B 5181 408 KY SP 200 Sie finden die Artikelnummern auf den Typenschildern Dieses Dokument basiert auf der Firmwareversion BG 509 725 H oder h her BG 509 726
12. CUUM 5 Instandhaltung 5 1 QMA 5 1 1 Katodenwechsel R Fachpersonal w Die Katoden werden als vormontierte Einheit geliefert Sie sollen nur von Fachpersonal gewechselt werden L sen Sie alle elektrischen Verbindungen zum QME Demontieren Sie die QME vom Analysator indem Sie in umgekehrter Reihenfolge wie in Kapitel 3 2 4 beschrieben vorgehen Demontieren Sie den Analysator vom Rezipienten Setzen Sie den Analysator in die mitgelieferte Montagehilfe Halten Sie die U Profile mit einer Flachzange und l sen Sie die 3 Schrau ben so dass die U Profile gerade noch von den Schrauben gehalten werden Entfernen Sie die 3 Muttern Ziehen Sie die Katodeneinheit vorsichtig nach oben ab 77 BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet 23 Entsorgen Sie die alte Katodeneinheit PFEIFFER VACUUM on N Halteb gel en au Ersatzkatode Ersatzkatodeneinheit komplett ffnen Sie die Verpackungsdose der Ersatzkatodeneinheit Halteb gel vorsichtig nach oben entfernen dabei die Katode am Boden der Schutz verpackung festhalten Filament auch mit Handschuhen nicht ber hren D Ersatzkatode auf die Ionenquelle aufsetzen Dabei die Katode bis zu den Auflagen an den Gewindestiften nach unten schieben so dass die Platt
13. OM Diese k nnen Messkan len zugeordnet oder direkt von der Software gesteuert werden z B zur Ausgabe von errechneten Konzentrationswerten Signalbezeichnung AO_CH 1 AO_COM AO Channel 1 AO CH2 AO_ COM AO Channel 2 AO_CH3 AO_COM AO Channel 3 AO CH4 AO_ COM AO Channel 4 2 differentielle hochohmige Analogeing nge Diese k nnen Messkan len zuge ordnet oder direkt von der Software eingelesen werden Signalbezeichnung Al_LCHO AlI_CHO Al Channel O AI CH 1 AI_CH1 Al Channel 1 1 Stellen Sie das Netzteil so auf dass e es nicht nass werden kann z B durch auslaufendes Wasser auf dem Boden e die L ftung unbehindert ist und die Umgebungsbedingungen eingehalten werden Stecken Sie den Ausgangsstecker des SP 200 in den Stecker 24 V des QME 19 PFEIFFER VACUUM 3 3 3 PC anschliessen ffnen Sie das mitgelie ferte Softwarepaket Balzers Quadstar Entnehmen Sie die beigef gten Kabel Stellen Sie die Verbindung her PFEIFFER E VACUUM RS 232 C Schnittstelle Verwenden Sie das beigelegte 9 polige Nullmodem Kabel Falls erforderlich mit dem Verl ngerungskabel oder und dem DBS9 Stecker zu DB25 Buchse Adapter H Balzers Quadstar 1 LAN Schnittstelle Bei Verwendung der LAN Schnittstelle Kante im PC gt B30 Balzers Quadstar 1 PC 3 4 Software installieren
14. akt ffnen Abschaltung BG 805 201BD 9911 BG 805 201 BD bet 1 7 Digital Input 3 3 1 2 Anschluss control 18 Externer Messzyklen Start Parameter cycle TRIG PFEIFFER VACUUM Wenn die SEM FIL Steuerung nicht benutzt wird kann der Eingang als Digital Input f r einem potentialfreien Kontakt zwischen den Signalleitungen EXT_PROT und COM benutzt werden Dazu muss der Konfigurations Parameter SEM FIL auf INTERN gesetzt sein Logikzuordnung Kontakt offen gt DIO true Kontakt geschlossen DIO false VACUUM PFEIFFER C a Digital Digital Analog Analog Eingang Ausg nge Eing nge Ausg nge e Externer Schaltpunkte oder Einlesen von e Messwerte Messzyklusstart z B Ventil auf zu Messwerten z B Ionenstr me oder z B Druck Tempe Berechnete Werte ratur Gasfluss e Freier Digital z B Konzentration Eingang ein zweiter digitaler Eingang steht beim Anschluss amp zur Verf gung Spezifikationen und Steckerbelegungen gt B 9 10 Externer Messzyklenstart mit einem potentialfreien Kontakt zwischen den Sig nalleitungen EXT_RUN und GND Es gibt vier Arten der Steuerung Kommunikationsanleitung QMS 200 4 Frame Nr 60 wird vom Balzers Quadstar nicht unterst tzt INTERN Start und Stop des Messzyklus erfolgt ber die Software EXT AUTO Start erfolgt auf die positive Flanke des Signals EXT_RUN Der Messzyklus l uft bis er mit lt halt gt abgebrochen wird oder bis
15. bendreher 3 4 mm breit TUNE VOLTAGE auf Minimum abstimmen Typischer Wert 2 0 2 2 V Vorsichtig drehen es braucht keine Kraftanwendung Abgleichschraube nicht fest anziehen und auch nicht ganz herausdrehen Oder Falls die Sicht auf den Bildschirm w hrend des Abstimmens nicht m glich ist benutzen Sie die Lampe tune des QME als Indikator Die Lampe blinkt Bei extremer Verstimmung leuchted sie dauernd In diesem Fall im Uhr zeigersinn bis zum Anschlag drehen und mit b weiterfahren Drehen Sie die Abgleichschraube a Im Uhrzeigersinn bis Lampe leuchtet b Im Gegenunhrzeigersinn bis Lampe verl scht Weiter bis Lampe wieder leuchtet c Eine Umdrehung im Uhrzeigersinn d HF Generator ist abgestimmt O Setzen Sie die Abdeckkappe wieder ein 5 2 4 lonenquellen Bei der ersten Inbetriebnahme oder nach einem Kathodenwechsel soll die Emp Empfindlichkeit findlichkeit der lonenquelle optimiert werden optimieren o Starten Sie das Balzers Quadstar 422 Programm Tune_up und dann Tune W hlen Sie das Unterprogramm lon source Falls noch nicht eingestellt Faraday ausw hlen auch wenn Channeltron vorhanden Display Measure Data w hlen 00 Beide Heizf den zusammen einschalten und mit 2 mA Emission ca 2 Stunde betreiben PROTECTION auf 3 5 A Falls mehrmals Emission Error erscheint mit kleiner Emission anfangen und langsam steigern Danach auf Einzelheizfaden 2 mA umschalten
16. chlossener TPR oder PKR Kompaktmessr hre kann eine totaldruckab h ngige Steuerung und berwachung der SEV und Filamentversorgung aktiviert werden Die Schaltschwellen sind ber die Software gt Balzers Quadstar Tune Up Tune Ion Source einstellbar Die Funktionswahl erfolgt mit dem Parameter SEM FIL LJ Balzers Quadstar Kapitel Parameter Setup QMS Configuration EXTERN Die SEM und Filamentversorgungen werden in Abh ngigkeit des Totaldruckes automatisch ein und ausgeschaltet EXT_PROT Die SEM und Filamentversorgungen werden bei berschreitung der vorgege benen Totaldruckschwelle Protection abgeschaltet Die Einschaltung erfolgt mit der Software wobei der Totaldruck unterhalb der Ausschaltschwelle liegen muss INTERN Ein und Ausschalten erfolgen mittels Software Steuerung mit Kontakt Wenn keine Messr hre angeschlossen ist kann mit einem potentialfreien Kon takt zwischen den Signalleitungen EXT PROT und COM eine Steuerung von Filament und Channeltron erfolgen Die Funktionswahl erfolgt mit dem Parameter SEM FIL Balzers Quadstar Kapitel Parameter Setup QMS Configuration EXTERN Direktes Ein und Ausschalten der SEM und Filamentversorgungen Kontakt offen ausgeschaltet Kontakt geschlossen eingeschaltet EXT_PROT Nur Ausschaltung der SEM und Filamentversorgung Protection Die Einschaltung erfolgt ber die Software sofern der Kontakt vorher geschlossen wurde Kont
17. die Schutzmassnahmen einhalten Vorsicht Umweltgef hrdende Stoffe Elektronikkomponenten m ssen speziell entsorgt werden Umweltgef hrdende Stoffe gem ss den rtlichen Vorschriften ent sorgen Vorsicht Umweltgef hrdende Stoffe Produkte Betriebsmittel usw m ssen unter Umst nden speziell ent sorgt werden Umweltgef hrdende Stoffe gem ss den rtlichen Vorschriften ent sorgen Unterteilen der Bauteile Nach dem Zerlegen des Produkts sind die Bauteile entsorgungstechnisch in fol gende Kategorien zu unterteilen Kontaminierte Bauteile Kontaminierte Bauteile radioaktiv toxisch tzend mikrobiologisch usw m ssen entsprechend den l nderspezifischen Vorschriften dekontaminiert entsprechend ihrer Materialart getrennt und entsorgt werden Nicht kontaminierte Bauteile Diese Bauteile sind entsprechend ihrer Materialart zu trennen und der Wiederver wertung zuzuf hren BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet 29 PFEIFFER VACUUM A LAN Interface 13 G ltig f r Prisma mit der Ser Nr gt W und OPA 200 11 Einbau der PC Interfacekarte L OPA 200 3 A A IN Da _ FI a Brenn i J l fi Tt y i mm i TN ja u um m i lia i c EA F r Lichtwellen Leiter mit der L nge lt 750 m gt Fac
18. die vorgegebene Anzahl Messzyklen erreicht ist EXT NORM Start erfolgt auf die positive Flanke des Signals EXT_RUN Der Messzyklus l uft solange der Triggerpegel hoch ist oder bis er mit lt halt gt abgebrochen wird oder bis die vorgegebene Anzahl Messzyklen erreicht ist EXT SNGL Start erfolgt auf die positive Flanke des Signals EXT_RUN Das Ger t muss je doch zuvor mit der Eingabe lt run gt vorbereitet werden Der Messzyklus l uft bis er mit lt halt gt abgebrochen wird oder bis die vorgegebene Anzahl Messzyklen erreicht ist BG 805 201BD 9911 BG 805 201 BD bet Digital Input Digital Output Analog Output Analog Input 3 3 2 Netzger t mit Prisma verbinden BG 805 201BD 9911 BG 805 201 BD bet PFEIFFER VACUUM Wenn der Externe Messzyklen Start nicht verwendet wird steht der Anschluss EXT_RUN als Digital Input zur Abfrage eines Kontaktes zur Verf gung F r diese Verwendungsart muss der Parameter cycle TRIG auf INTERN gesetzt sein Logikzuordnung Kontakt offen gt DI1 true Kontakt geschlossen DI1 false 2 potentialgetrennte Relaiskontakte Schliesser Diese k nnen den Schaltfunk tionen Peakh hen berwachung zugeordnet oder als Ausg nge direkt von der Software gesteuert werden z B zur Bet tigung von Ventilen Signalbezeichnung REL_1A REL_1B gt DOO REL_2A REL_2B gt DOM Logikzuordnung DO true Kontakt geschlossen 4 Analog Output Kan le mit gemeinsamem Bezugspunkt AD_C
19. e der Katode parallel zu den Platten der lonenquelle liegt Katode darf nicht verkanten da sonst der Formationsraum verbogen wird Die 3 Muttern bei den Gewindestiften aufsetzen und mit dem Spezialsteck schl ssel festziehen Die U Profile mit einer Flachzange halten die elektrischen Anschl sse der Katode bei den U Profilen seitlich einf hren und die Schrauben festziehen 5 2 QME 5 2 1 Reinigung Der Staubfilter am Lufteintritt muss gereinigt werden sobald sich ein deutlich sichtbarer Belag angesammelt hat Benutzen Sie einen Staubsauger um den Staub aus dem Filter zu entfernen Das QME kann zu dieser Arbeit am QMA verbleiben Sorgen Sie daf r dass diese Reinigung nicht vergessen wird auch wenn das Ger t so eingebaut ist dass man die Verschmutzung nicht leicht wahrnimmt 24 BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet 5 2 2 Filtermatte wechseln BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet PFEIFFER VACUUM F r die Reinigung des Geh uses benutzen Sie ein nur leicht feuchtes Tuch mit wenig Wasser evtl mit ein wenig Geschirrsp lmittel Es darf keine Fl ssigkeit in das Produkt gelangen Vor Wiederinbetriepbnahme gut trocknen lassen gM 7 my 3 Waaa G GEFAHR Das 24V Netzteil ist vor jeder feuchten Reinigung des QME vom Netz zu trennen Die Stecker d rfen keinesfalls feucht werden Es darf keine Fl ssigkeit ins Ger t eindringen Warten Sie mit der Inbetriebsetzung bis alles wieder ganz trock
20. e _Zwangsweise Trennung der Netzspeisung des SP 200 beim ffnen der Anlage GEFAHR Das Elektrodensystem des QMA 200 darf nicht mit ber hrungsgef hrlichen Fremdspannungen infolge Ber hrung berschl gen Plasma lonen oder Elektronenstrahlen etc beaufschlagt werden Falls solche Gefahrenquellen im Vakuumraum vorhanden sind m ssen dort Schutzmassnahmen z B bessere Anordnung Abschirmung Erdung etc vorgesehen werden die solche Ein fl sse sicher ausschliessen Auch kleinere auf das QMA wirkende Fremdspan nungen k nnen zu Sch den an der Elektronik und zu unzuverl ssigen Mess resultaten f hren Treffen Sie auch in diesem Falle geeignete Massnahmen wie oben Das QMA muss vakuumtechnisch richtig installiert werden d h die nachzu weisenden Gase m ssen ungehinderten Zutritt zum Analysator haben Eine Beschichtung des Analysators muss vermieden werden Beachten Sie beim Umgang mit Vakuumkomponenten die besonderen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Besch digung 1 2 BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet PFEIFFER VACUUM 3 2 1 Platzbedarf Einbautiefe beachten Kabel nicht abknicken Das QMA 200 F darf nur in Flansche bzw Rohre mit Innendurchmesser gt 37 mm eingebaut werden da sonst Kurzschl sse zur Wand auftreten k nnen Der Durchmesser des Verl ngerungsrohres beim QMA 200 M muss mindestens 40 5 mm entsprechen Faraday 037 ee 127 5 gt
21. en ist Wechseln Sie die Filtermatte wenn sie sich zersetzt hat oder wenn sie sich nicht mehr gem ss obiger Anleitung reinigen l sst 1 Trennen Sie das 24V Netzteil vom Netz und l sen Sie alle elektrischen Verbindungen zum QME Demontieren Sie die QME vom Analysator indem Sie in umgekehrter Reihenfolge wie in Kapitel 3 2 4 beschrieben vorgehen Stellen Sie die QME auf eine ebene Unterlage mit der Frontplatte nach oben PFEIFFER VACUUM O L sen Sie die in der Abbildung gekennzeichneten Schrauben Sicherungs scheiben bitte nicht verlieren und entfernen Sie die Frontplatte O Tauschen Sie die jetzt frei zug ngliche Filtermatte gegen eine neue aus O Montieren Sie alles wieder in umgekehrter Reihenfolge einschliesslich aller Sicherungsscheiben 25 PFEIFFER VACUUM 5 2 3 Abstimmen des HF Bei der ersten Inbetriebnahme einem Wechsel des Analysators insbesondere Generators TUNE von Faraday auf Channeltron oder beim Auftreten der entsprechenden Fehler meldung am Bildschirm soll der HF Kreis abgeglichen werden Der korrekte Abgleich verhilft zu bester Genauigkeit im ganzen Massenbereich Eine j hrliche Kontrolle ist deshalb empfehlenswert Entfernen Sie die kleine Abdeckkappe seitlich am QME Damit wird die Abgleichschraube zug nglich Das Balzers Quadstar Programm Tune _up starten und QMS 200 Tune Data w hlen Lampe tune blinkt Durch Drehen der Abgleichschraube mit Schrau
22. eren 1 Kopie f r den Absender 32 BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet PFEIFFER VACUUM Konformit tserkl rung Produkt Konformit tserkl rung im Sinne der aufgef hrten EU Richtlinien Unterschrift BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet QMS 200 Quadrupol Massenspektrometer Prisma Hiermit erkl ren wir dass das oben aufgef hrte Produkt den Bestimmungen der aufgef hrten EU Richtlinien entspricht Angewendete Richtlinien harmonisierte Normen und angewendete nationale Normen in Sprachen und Spezifikationen 73 23 EWG 7193 89 336 EWG 7 93 EN 61010 1 1993 EN 50081 1 1992 EN 50082 2 1994 Asslar 7 September 1999 3 gt Wolfgang Dondorf Gesch ftsf hrer 33 34 PFEIFFER BG 805 201 BD 9911 VACUUM BG 805 201 BD bet BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet PFEIFFER VACUUM 35 PFEIFFER VACUUM Pfeiffer Vacuum GmbH Emmeliusstrasse 33 D 35614 Asslar Deutschland Tel 49 0 6441 802 0 Fax 49 0 6441 802 202 www pfeiffer vacuum de
23. et sdy 9 Lampe Anzeige leuchtet e Lampe Anzeige ist dunkel Beschriftung 4 BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet PFEIFFER VACUUM 1 2 Personalqualifikation i Fachpersonal Ai Die in diesem Dokument beschriebenen Arbeiten d rfen nur durch Personen ausgef hrt werden welche die geeignete technische Ausbildung besitzen und ber die n tigen Erfahrungen verf gen oder durch den Betreiber entsprechend geschult wurden 1 3 Grundlegende e Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die ein Sicherheitsvermerke schl gigen Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozess medien Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen der Prozessmedien infolge Eigen erw rmung des Produkts e Alle Arbeiten sind nur unter Beachtung der einschl gigen Vorschriften und Einhaltung der Schutzmassnahmen zul ssig Beachten Sie zudem die in diesem Dokument angegebenen Sicherheitsvermerke e Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle Kontami nation Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschl gi gen Vorschriften und halten Sie die Schutzmassnahmen ein Geben Sie die Sicherheitsvermerke auch an andere Benutzer weiter 1 4 Verantwortu ng und Pfeiffer Vacuum bernimmt keine Verantwortung und Gew hrleistung falls der Gew hrleistun Betreiber oder Drittpersonen a e dieses Dokument missachten
24. is die obigen Grenzen erreicht sind Aktivieren Sie die berwachung EXT_PROT gt B 17 SP 200 Netzstecker einstecken Der Netzstecker muss leicht zug nglich sein Ist dies am Aufstellplatz nicht der Fall muss ein Netzschalter oder Stecker an leicht zug nglicher Stelle vorgesehen werden BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet 21 PFEIFFER VACUUM u waune QME nur durch ein und ausstecken des Netzsteckers ein oder ausschalten Lampenstatus Funktion Massnahmen A 24 V Speisung m Q 24 V vorhanden 24 V Speisung nicht Netzspannung 24 V vorhanden Anschluss pr fen betriebsbereit 2 read nicht betriebsbereit Pfeiffer Vacuum Service 8 ready kontaktieren 2 Balzers Quadstar starten LU Balzers Quadstar 1 4 2 Konfiguration Bei der ersten Inbetriebnahme muss das System konfiguriert werden ffnen Sie mit einem Doppelklick das Programm RGA Folgen Sie den Bildschirmanweisungen LU Balzers Quadstar 1 Kapitel 11 Das Prisma arbeitet innerhalb des RGA Programms mit Standardparametern Um optimale Ergebnisse mit eigenen Parametern zu erzielen gt B 26 26 Das System kann mit oder ohne QMS konfiguriert werden Es empfiehlt sich aber das QMS anzuschliessen und die Schnittstelle zu aktivieren Balzers Quadstar erh lt dadurch die M glichkeit einen Teil der Konfiguration aus dem QMS zur ckzulesen 22 BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet PFEIFFER VA
25. r umen H he max 2000 m NN Schutzart IP 30 Verschmutzungsgrad 2 Temperaturen Lager Transport 25 C 70 C Betrieb QME 0 C 40 C SP 0 C 40 C Relative Feuchte max 80 bis 31 C linear abnehmend auf 50 bei 40 C ams2oor ams 200 F2 ams 200 F3 Massenbereich 1 100 1 200 1 300 Detektortyp BEZ Faraday Nachweisgrenze lt ar10 Einheitsaufl sung Tal ganzer Massenbereich lt 10 bei 10 Peakh he einstellbar auf u 0 5 2 5 Argon Beeinflussung der ppm lt 10 lt 20 lt 50 Nachbarmasse 40 41 Max Betriebsdruck mbar 1x10 Reproduzierbarkeit des Peakverh ltnisses konst Bedingungen w hrend 8 h N2 und Ar aus Luft QMA Betriebstemperatur 0 5 e 0 150 Ausheiztemperatur QME entfernt HS lonenquelle o max 200 Offene Bauart radialsymmetrisch 2 Heizf den aus thoriertem Iridium Wolfram optional Entgasen durch Elektronenbeschuss 10 mA 300 V beliebig gt B 15 3 3 3 bei 90 Anschluss DN 40 CF Einbaulage Gewicht Anschlussflansch BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet 2 5 QMS 200 M 2 6 QME 200 BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet IT ansam amszoom EEE lt 10 lt 5x10 Massenbereich Detektortyp Nachweisgrenze Einheitsaufl sung Tal ganzer Massenbereich bei 10 Peakh he u einstellbar auf Empfindlichkeit f r PFEIFFER VACUUM QMS 200 M3 Channeltron Faraday lt 10 lt 10 lt 2x1
26. r Frontplatte Bei Prisma mit 90 Anschluss ergibt sich so eine vertikal h ngende Anordnung des QME 200 Transportschutz entfernen QMA 200 F QMA 200 M und Analysator an Rezipient anflanschen Transportschutz gt o QMA in mitgelieferte Montagehilfe setzen Transportschutz vorsichtig von QMA entfernen und f r eventuellen sp teren Gebrauch aufbewahren g g Transportsicherung sorgf ltig abziehen und f r eventuellen sp teren Gebrauch aufbewahren O Analysator an Rezipient anflanschen F hrungsnut BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet 1 5 PFEIFFER VACUUM 3 2 4 QME montieren N GEFAHR Das QME darf nur an einem korrekt installierten QMA angebracht werden da die Erdung ausschliesslich ber den Flansch des QMA erfolgt Die 24 V Zuleitung vom SP 200 darf niemals angeschlossen sein wenn die Ver bindung QMA zu QME nicht fest verschraubt ist F hrungsnut Erdzunge 1 L sen Sie die beiden Schrauben am schwarzen Kunststoffteil des QME mit einem 4 mm Innensechskantschl ssel soweit dass der bewegliche Teil 2 3 mm Spiel aufweist N Stecken Sie das QME sorgf ltig bis zur eingekerbten Markierung auf das bereits montierte QMA Beachten Sie die korrekte Positionierung am QME durch die Erdzunge und die F hrungsnu
27. rschreiben werden Art des Produkts Typenbezeichnung Artikelnummer Seriennummer Grund f r die Einsendung Verwendete s Betriebsmittel Betriebsmittel Einsatzbedingte U des Produkts toxisch nein O ja O Vo N O tzend nein ja Q a mikrobiologisch nein Q ja O A explosiv nein U ja Q 2 radioaktiv nein Q ja O sonstige Schadstoffe nein U ja Q o Derart kontaminierte Produkte werden nur bei Nachweis einer vorschriftsm ssigen Dekontaminierung entgegengenommen Das Produkt ist frei von gesundheits gef hrdenden Stoffen ja Q Schadstoffe und oder Reaktionsprodukte Schadstoffe oder prozessbedingte gef hrliche Reaktionsprodukte mit denen das Produkt in Kontakt kam Gefahren klasse Erste Hilfe bei Unf llen Massnahmen bei Freiwerden der Schadstoffe Handels Produktname Hersteller Chemische Bezeichnung evtl auch Formel Rechtsverbindliche Erkl rung Hiermit versichere n ich wir dass die Angaben korrekt und vollst ndig sind Der Versand des kontaminierten Produkts erf llt die gesetzlichen Bestimmungen Firma lnstitut Strasse PLZ Ort Telefon Telefax E Mail Name Datum und rechtsverbindliche Unterschrift Firmenstempel Download Verteiler www pfeiffer vacuum de infoservice unbedenk html Original an den Adressaten 1 Kopie zu den Begleitpapi
28. t am QMA Vermeiden Sie dabei berm ssige Kraftanwendung Ziehen Sie die beiden Innensechskantschrauben gut fest Diese Schrauben dienen der mechanischen Befestigung des QME und der elektrischen Sicherheit da sie den Erdkontakt sicherstellen X FE Alle elektrischen Verbindungen m ssen zugentlastet sein Verlegen Sie Steuer kabel getrennt von St rungsquellen u CO Aus EMV Gr nden ist ein einziger zentraler Erdpunkt f r alle zusammengekop pelten Ger te Pumpstand SP 200 Rechner Registrierger te etc dringend zu empfehlen Eine Mehrfachsteckdose oder besser ein gemeinsamer Netzverteiler mit Netzschalter erf llt dies auf einfache Weise Ausnahme Bei r umlich weit entfernt aufgestelltem Rechner oder stark gest rter Umgebung ist die LAN Schnittstelle zu verwenden 16 BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet PFEIFFER VACUUM 331 1 Anschluss Dieser Anschluss erm glicht Vakuummessungen mittels einer TPR oder PKR Kompaktmessr hre und den Schutz von Filament FIL und Channeltron SEM gegen ungen gende Vakuumbedingungen Totaldruckmessung und e TPR Schutzfunktionen Pirani Compact Gauge PFEIFFER VACUUM 7 5x10 1000 mbar oder e PKR FullRange Compact Gauge 5x10 1000 mbar oder e Digital Eingang e Steuereingang f r die Verriegelung der Channeltron und Filamentversorgung oder e Freier Digital Eingang Steuerung mit TPR PKR Bei anges
29. tory Konfigura tion F r Lichtwellen Leiter mit der L nge gt 750 m gt Umkonfiguration notwendig Pfeiffer amp Vacuum nehmen Sie bitte mit Ihrer n chstgelegenen Pfeiffer Vacuum Servicestelle Kontakt auf Verbindung ber HUB OHA 200 L OHA 200 2 30 BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet B Literatur BG 805 201 BD 9911 BG 805 201 BD bet 1 2 3 4 PFEIFFER VACUUM Betriebsanleitung Balzers Quadstar 422 BG 803 222 BD Balzers AG 9496 Balzers F rstentum Liechtenstein Betriebsanleitung Optical Hub OHA 200 BG 803 055 BD 9704 Balzers AG 9496 Balzers F rstentum Liechtenstein Operating manual Network controller board OPA 200 SH ARC BAL 9603 SoHard Gesellschaft f r Soft und Hardware Entwicklung mbH D 90766 F rth Kommunikationsanleitung BG 805 203 BD Pfeiffer Vacuum GmbH D 35614 Asslar 31 PFEIFFER VACUUM Kontaminationserkl rung Die Reparatur und oder die Wartung von Vakuumger ten und komponenten wird nur durchgef hrt wenn eine korrekt und vollst ndig aus gef llte Kontaminationserkl rung vorliegt Sonst kommt es zu Verz gerungen der Arbeiten Diese Erkl rung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef llt in Druckbuchstaben und unte
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