Turbomolekular-Drag-Pumpe TMH 071 P TMU 071 P
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1. N 6 a 1 dioyluny YIL D Ar 3 OSI 9L NA uJ Gee 5 mt f aol hec ii o o a 5 o S a 6 on A I v OSI 9 NA a FIN OSI 07 NA 349 9 NG Jequaip sense 006 u Jed oy yny 10 Ersatzteile Pos Benennung St ck Gr e Nummer Bemerkung Bestellmenge Ersatzteile TMH 071 P TMU 071 P Dichtungssatz 1 PM 083 077 T 6 Gummifu 4 P 3695 700 ZD 17 USIT Ring 1 P 3529 133 A 90 Verschlu deckel 1 PM 083 021 X 91 O Ring 1 68 x3 P 4070 972 PV 92 Schmiermittelspeicher mit O Ring 93 1 PM 073 073 T Ersatzteile 22 PFEIFFER VACUUM w r m U 90 C40 330 1 11 Zubehor Benennung Gr e Nummer Bemerkung Bestellmenge zugeh rige Betriebsanleitung Bauteile zum K hlen Schmu2. 16 PFEIFFERE vacuum 5 2 Temperatur berwachung der Turbopumpe Bei unzul ssiger Motortemperatur oder unzul ssig hoher Geh usetemperatur wird der Motorstrom reduziert Dies kann zum Unterschreiten des eingestellten Drehzahlschaltpunktes und damit zum Abschalten der Turbo molekularpumpe f hren LED an TC 600 leuchtet rot Sammelfehler 6 Was tun bei St rungen Problem M gliche Ursachen Behebung Pumpe l uft nicht an Keine der eingebauten LED s am TC 600 leuchtet e Stromversorgung unterbrochen Falsche Betriebsspannung angelegt Pin 1 3 und 1 4 am Remote Stecker nicht verbunden Keine Betriebsspannung angelegt TC 600 defekt Spannungsabfall im Kabel e Sicherung im Netzteil berpr fen Steckkontakt am Netzteil berpr fen Zuleitung des Netzteils pr fen Spannung am Netzteil 24 V DC am An schlu X2 kontrollieren e Richtige Betriebsspannung anlegen Pin 1 3 und 1 4 am Remote Stecker verbinden e Steckkontakte am Netzteil berpr fen Zur Reparatur Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen Geeignetes Kabel verwenden Pumpe erreicht nicht die Nenndrehzahl innerhalb der einge stellten Anlaufzeit Pumpe schaltet w hrend des Betriebs ab Vorvakuumdruck zu hoch Leck oder hohe Gaslast Rotor schwerg ngig durch defektes Lager Thermische berlastung durch zu wenig Wasserdurchflu zu geringe Luftzufuhr zu hohen Vorvakuumdruck zu hohe Umgebungstemperatur
3. Guidelines harmonised standards national standards in which have been applied EN 292 1 EN 292 2 EN 294 EN 1012 2 EN 61010 Unterschrift Signature Pfeiffer Vacuum GmbH Berliner Str 43 KS ie 35614 Asslar Germany W Dondorf Gesch ftsf hrer Managing Director Herst 1 2003 J Vacuum is nothing but everything to us wer ZZZ4 Turbo Pumps Rotary Vane Vacuum Pumps Roots Pumps Dry Vacuum Pumps 28 Leak Test Units Valves Flanges Feedthroughs ESP e Vacuum Measurement Gas Analysis System Technology Service Ho lN 8 Heo PFEIFFER VACUUM Pfeiffer Vacuum Technology AG Headquarters Germany Tel 49 0 64 41 8 02 0 Fax 49 0 64 41 8 02 2 02 info pfeiffer vacuum de www pfeiffer vacuum net
4. der Betrieb mit falschen Gas Mode der Betrieb mit einer zu hohen eingestrahlten W rmeleistung siehe 9 Technische Daten der Betrieb ohne K hleinrichtung der Einsatz in Umgebungen die eine Schutzart besser IP 30 verlangen das Verwenden von anderen Netz und Zubeh rteilen die nicht in dieser Anleitung genannt werden oder mit dem Hersteller nicht abgesprochen wurden Anschlu an Netzteile mit Erdung eines Pols der Gleichspannung Bei nicht bestimmungsgem enm Einsatz erlischt jeglicher Haftungs und Gew hrleistungsanspruch 2 2 Unterschiede zwischen den Pumpentypen Merkmal TMH 071 P TMU 071 P HV Flansch ISO KF ISO K CF F HV Dichtung Elastomer Metall Erreichbarer lt 1 10 7 mbar lt 5 10 19 mbar Enddruck ohne Ausheizen mit Ausheizen Abkiirzungen auf dem Typenschild der Turbopumpe Zusatz P Sperrgasanschlu zur Verhinderung des Eindringens aggressiver Gase in den Motor und Lagerraum 3 Installation 3 1 Hinweise vor der Installation Keine eigenmachtigen Umbauten und Ver anderungen an der Turbopumpe vornehmen Der Betreiber mu daf r sorgen da die TC 600 in einen Not Aus Sicherheitskreis integriert wird Dieser mu beim Ausl sen der Not Aus Bedingung die Versorgungsspannung der TC 600 unterbrechen Bei speziellen Anforderungen wenden Sie sich bitte an Pfeiffer Vacuum WARNUNG Die maximal zul ssig
5. 4 DN 16 ISO KF G 1 4 DN 16 ISO KF G 1 4 Flutanschlu G 1 8 G 1 8 G 1 8 Nenndrehzahl Hz 1 min 1500 90 000 1500 90 000 1500 90 000 Standby Drehzahl Hz 1 min 1000 60 000 1000 60 000 1000 60 000 Hochlaufzeit min 2 2 2 Schalldruckpegel dB A lt 45 lt 45 lt 45 Enddruck Vorpumpe mbar lt 10 lt 10 lt 10 Max zul ssige Rotortemperatur C 80 80 80 Zul ssige eingestrahlte W rmeleistung W 4 4 4 Saugverm gen f r Stickstoff No l s 33 60 60 Helium He l s 38 55 55 Wasserstoff Hy V s 39 45 45 Kompressionsverh ltnis f r No gt 1011 gt 1011 gt 1011 He 1 107 1 107 1 107 Hy gt 109 gt 10 gt 10 Max Vorvakuumdruck fiir N mbar 18 18 18 He mbar 17 17 17 H gt mbar 8 8 8 Max Gasdurchsatz 1 bei Wasserkiihlung No mbarl s 1 1 1 1 1 1 He mbarl s 2 5 25 2 5 bei Luftk hlung 2 Na mbarl s 0 45 0 45 0 45 Max Gasdurchsatz bei 0 1 mbar 3 Na mbarl s 22 22 22 He mbarl s 26 26 26 H gt mbarl s 2 2 2 Eckpunkte Leistungskennlinien 4 A W Hz 80 1500 80 1500 80 1500 B W Hz 80 1500 80 1500 80 1500 C W Hz 55 1500 55 1500 55 1500 D W Hz 80 1300 80 1300 80 1300 Enddruck mit Drehschiebervakuumpumpe mbar lt 1 107 lt 1 107 lt 5 19 10 mit Membranpumpe mbar lt 1 107 lt 1 107 lt 1 10 8 Schmiermittel TL011 TL011 TL011 Max K hlwasserbedarf bei Wassertemperatur 15 C Wh 100 100 100 K hlwassertemperatur C 5 25 5 25 5 25 Zul ssige Umgebungstemperatur bei Luftk hlung G 0 35 0 35
6. 50 mA Tr a GND 42 Cum q Kontaktausgang 1 Schaltpunkt erreicht Tis lt 13 EUR Kontaktausgang 2 Sammelfehler 15 Er Analogausgang 0 10 De 0 100 fend R 3 10 ky Relaisbox H L HEAT TMS t c Netzeingang Heizung 2 N 115 208 230 VAC 5 c a 6 l Seung ee SEE L HEIZUNG m 222222 i sss ES d VENT s Flutventil 4 cm TVF005 B a 2 Io a o 1e Relaisbox Netzeingang Vorpumpe 115 208 230 VAC PE FV PUMP i N Anschlu Vorpumpe Vorpumpe max 16A FAN un l i 5 nu Netzeingang sw1 Netzteil x4 m im Versorgungsspg TC 3 Ir 90 132 lm GND 7 D a 185 265 VAC u I zocooo I L sasa s me TE n c TPS XXX DCU XXX PFEIFFER vacuum 11 4 Betrieb 4 1 Vor dem Einschalten Die Kapitel 4 1 bis 4 3 beziehen sich nur auf den Betrieb der Pumpe im Auslieferungszustand ohne Bedieneinheit DCU Im Fernbedienungsstecker Remote sind die Br cken Fluten freigegeben Motor TMP ein und Pumpstand ein eingebaut Der Rotor der Turbopumpe dreht sich mit hoher Geschwindigkeit Bei offenem Hochvakuum flansch Verletzungsgefahr und Gefahr der Zerst rung der Pumpe durch hineinfallende Gegenst nde Pumpe daher niemals mit offenem Hochvakuumflansch in Betrieb nehmen WARNUNG foi Bei Wasserk hlung K hlwasserzuflu ffnen und Durch flu kontrollieren Verbindungska
7. Anlaufzeit im TC 600 zu kurz eingestellt Funktion der Vorpumpe berpr fen Dichtungen berpr fen Leck suchen und beseitigen Proze gaszufuhr senken Lager pr fen Ger usche PfeifferVacuum Service verst ndigen e Anlaufzeit mit DCU oder PC l nger einstellen freien Durchflu herstellen ausreichende Luftzufuhr gew hrleisten Vorvakuumdruck senken Umgebungstemperatur senken Pumpe erreicht nicht den Enddruck Pumpe verschmutzt Undichtigkeit am Rezipient Leitungen oder Pumpe Pumpe ausheizen Bei st rkerer Verschmutzung zur Reinigung Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen Lecksuche ausgehend vom Rezipienten Undichtigkeit beseitigen Ungew hnliche Betriebsger usche Rote LED am TC 600 leuchtet Lagerschaden Besch digung des Rotors Splitterschutz sitzt nicht fest falls vorhanden e Sammelfehler Zur Reparatur Pfeiffer Vacuum Service ver st ndigen Zur Reparatur Pfeiffer Vacuum Service ver st ndigen Sitz des Splitterschutzes berpr fen siehe Abschnitt 3 2 Reset ber Netz aus ein oder Remote Pin 5 Differenzierte Fehleranzeige mit DCU m glich Rote LED am TC 600 blinkt e Warnung durch Netzausfall Erdschlu der Versorgungsspannung e Falsche Einstellung Nenndrehzahl Parameter 777 Differenzierte Warnungsanzeige mit DCU m glich Netzteilspannung berpr fen Netzanschlu des Netzteils berpr fen Netzteilspannung auf Erdschlu pr fen e
8. Bei Parameter 777 den Wert 1500 Hz eingeben siehe Anleitung PM 0547 BN Pumpenbetrieb mit DCU Ist kein DCU HPU vorhanden Pfeiffer Vacuum Service verst ndigen 1 Ist kein DCU vorhanden zum Uberpriifen der Fehlerursache Pfeiffer Vacuum Service verstandigen PFEIFFERE vacuum 17 7 Wartung F r Sch den und Betriebsst rungen die aufgrund unsachgem ausgef hrter Wartung entstehen bernehmen wir keine Haftung f r Personen oder Materialsch den und der Haftungs und Gew hrleistungsanspruch erlischt HINWEIS Den Schmiermittelspeicher k nnen Sie selbst austauschen siehe 7 1 F r alle anderen Wartungs oder Instandsetzungsarbeiten wenden Sie sich bitte an Ihre zust ndige Pfeiffer Vacuum Servicestelle Keine mechanische Belastung auf die Antriebs ACHTUNG elektronik TC 600 aus ben A 7 1 Schmiermittelspeicher ersetzen Schmiermittelspeicher mindestens einmal jahrlich aus tauschen Bei extremen Belastungen oder unreinen Prozessen Wechselintervall mit Pfeiffer Vacuum Service abkl ren Turbopumpe ausschalten auf Atmosph rendruck fluten siehe Abschnitt 4 3 und gegebenenfalls abk hlen lassen Turbopumpe wenn erforderlich aus der Anlage ausbauen Gummif e 6 an der Unterseite der Pumpe abschrauben erschlu deckel 90 an der Unterseite der Pumpe mit Gelenk Stirnlochschl ssel E Bestell Nummer N 5709 103 herausschraub
9. chen gt 70 C fernhalten t Turbopumpe mit TC 600 nur mit zugeh rigem Netzteil Zubeh r betreiben t Ger t hat Schutzart IP 30 Bei Einbau in Umgebungen die andere Schutzarten verlangen sind entsprechende Ma nahmen zu ergreifen F r das TC 600 kann mit dem Nachr sten einer Abdeckung Zubeh r die Schutzart IP 54 erreicht werden c ber den Netzanschlu mu immer eine sichere Verbindung zum Schutzleiter PE gew hrleistet sein Schutzklasse t Werden Turbopumpe und TC 600 getrennt voneinander betrieben nur nach Absprache mit dem Hersteller zul ssig so mu die Turbopumpe mit dem Schutzleiter PE verbunden werden t Turbopumpe und TC 600 d rfen nur bei v lligem Stillstand der Turbopumpe und stromloser TC 600 voneinander getrennt werden e Bei Erdschlu der Betriebsspannung rote LED blinkt mu dieser beseitigt werden da sonst die Gefahr eines elektri schen Schlages besteht nderungen vorbehalten 1 1 Zu Ihrer Orientierung Anweisung im Text Arbeitsanweisung Hier m ssen Sie etwas tun Verwendete Symbole Die folgenden Symbole werden auf den folgenden Abbildungen einheitlich verwendet Hochvakuumflansch Vorvakuumflansch Fiutanschlu f K hlwasseranschlu Luftk hlung Elektroanschlu Sperrgasanschlu Verwendete Abk rzungen DCU Bedien und Anzeigeeinheit TC Antriebselektronik Turbopumpe TPS Netzteil Positionsnummern Gleiche Pumpen und Zubeh rtei
10. fnom PFEIFFER vacuum 13 4 6 Stillsetzen fiir langere Zeit Werden teilweise aggressive oder gefahrliche Gase gepumpt besteht Verletzungsgefahr durch Kontakt mit Proze gasen Vor dem Ausbauen der Turbopumpe aus einer Anlage zuerst Turbopumpe mit Neutralgas oder trockener Luft fluten sicherstellen da sich keine Proze gase mehr in der Anlage oder in den Zuleitungen befinden WARNUNG Wenn die Turbopumpe f r l nger als ein Jahr stillgesetzt werden soll Turbopumpe aus der Anlage ausbauen Schmiermittelspeicher wechseln siehe Abschnitt 7 1 Die Gebrauchsf higkeit des Schmiermittels TL 011 betr gt ohne Betrieb 2 Jahre HINWEIS 3 Hochvakuumflansch verschlie en und Turbopumpe ber Vorvakuumflansch evakuieren Turbopumpe ber Flutanschlu mit trockener Luft oder Stickstoff fluten Vorvakuum und Flutanschlu mit Blindflanschen verschlie en Pumpe senkrecht auf den Gummif en abstellen In R umen mit feuchter oder aggressiver Atmosph re Pumpe zusammen mit einem Beutel Trockenmittel z B Silicagel in einen Kunststoffbeutel luftdicht einschwei en Wurde die Pumpe f r einen Zeitraum von 3 Jahren stillgesetzt mu ein Lagerwechsel by vorgenommen werden Pfeiffer Vacuum HINWEIS Service verst ndigen 14 PFEIFFERE VACUUM 4 7 Betrieb ber Fernbedienung Fernbedienungsm glichkeiten sind ber den Ansc
11. in Druckbuchstaben Position Datum Firmenstempel Rechtsverbindliche Unterschrift 24 PFEIFFER VACUUM N VACUUM PFEIFFER II Herstellererklarung Manufacturer s Declaration im Sinne folgender EU Richtlinien pursuant to the following EU directives Maschinen Machinery 93 37 EWG Anhang Annex II B Elektromagnetische Vertraglichkeit Electromagnetic Compatibility 89 336 EWG Niederspannung Low Voltage 73 23 EWG Hiermit erkl ren wir da das unten aufgef hrte Produkt zum Einbau in eine Maschine bestimmt ist und da deren Inbetriebnahme so lange untersagt ist bis festgestellt wurde da das Endprodukt den Bestimmungen der EU Richtlinie 98 37 EWG entspricht Das unten aufgef hrte Produkt entspricht den Anforderungen der EU Richtlinien Maschinen 93 37EWG Elektromagnetische Vertr glichkeit 89 336 EWG und Niederspannung 73 23 EWG We hereby certify that the product specified below is intended for installation in a machine which is forbidden to be put into operation until such time as it has been determined that the end product is in accordance with the provision of EU Directive 98 37 EEC The product specified below is in correspondence to the EU directives Machinery 98 37 EEC Electro magnetic Compatibility 89 336 EEC and EU Low Voltage 73 23 EEC Produkt Product TMH 071 P TMU 071 P Angewendete Richtlinien harmonisierte Normen und angewendete nationale Normen
12. 0 35 Leistungsaufnahme der Heizung W 32 32 32 Gewicht kg 2 8 2 9 4 2 Zul ssiges Magnetfeld mT 3 3 4 Betriebsspannung VDC 24 5 24 5 24 5 Dauer 6 max Stromaufnahme A 41 46 41 46 41 46 Dauer 6 max Leistung W 100 110 100 110 100 110 Sicherung intern V T8A 250 T8A 250 T8A 250 Schutzart IP 30 IP 30 IP 30 Relative Luftfeuchte 5 85 nicht betauend 5 85 nicht betauend 5 85 nicht betauend 1 Bis Frequenzabfall h here Durchs tze bei verringerter Drehzahl 2 Bis 30 C Umgebungstemperatur 3 Drehzahl kann unter die Nenndrehzahl abfallen 4 Kennlinie Gasarten siehe unter Kapitel 4 5 5 Enddruck ist nach DIN 28 428 der Druck der in einem Me dom 48 Stunden nach dem Ausheizen erreicht wird 20 PFEIFFERE vacuum 6 Bei maximalem Gasd urchsatz 7 Mit einer Abdeckung f r das TC 600 Zubeh r wir die Schutzart IP 54 erreicht 9 1 MaBbild TMH 071 P TMU 071 P
13. 71 P sind wahlweise mit verst rkter Konvektionsk hlung Luft oder Wasserk hlung zu versehen Bei erh htem Vorvakuumdruck gt 0 1 mbar und oder Betrieb mit Gaslasten sind die Turbopumpen mit Luft oder Wasserk hlung zu betreiben Einsatz und Installation Wasserk hlung siehe Betriebsanleitung PM 800 546 BN Luftk hlung siehe Betriebsanleitung PM 800 543 BN K hlk rper bei Konvektionsk hlung Einbaulagen siehe unter 9 1 Ma bild 3 5 Flutventil anschlie en Das Flutventil TVF 005 Zubeh r dient zum automatisches Fluten bei Abschaltung und Stromausfall Montage des Flutventils Flutschraube aus dem Flutanschlu der Turbopumpe herausschrauben Flutventil 42 mit Dichtung USIT Ring an Sechskant SW 14 einschrauben Elektrischer Anschlu Steuerleitung 42a in den Anschlu VENT des TC 600 8 an der Turbopumpe einstecken Der Flutmodus des Flutventils ist ber DCU oder Schnittstelle RS 485 w hlbar Flutventil anschlie en 8 Antriebselektronik TC 600 42 Flutventil TVF 005 42a Steuerleitung Flutventil TC 600 42b Stecker 8 42b 42 VENT 040 948 424 ACHTUNG Maximaler Druck am Flutventil 1 5 bar absolut A Weitere Einzelheiten zum Flutventil TVF 005 siehe Betriebsan leitung PM 800 507 BN 3 6 Geh useheizung anschlieBen Um den Enddruck schneller zu erreichen k nnen T
14. Betriebsanleitung Operating Instructions Turbomolekular Drag Pumpe mit Antriebselektronik TC 600 TMH 071 P TMU 071 P PM 0504 BD J 0503 gt PFEIFFER VACUUM lt gt Inhalt Seite 1 Wichtig f r Ihre Sicherheit 3 1 1 Zu Ihrer Orientierung 1 2 Piktogramm Definition 2 Kennenlernen der Pumpen TMH 071 P TMU 071 P 4 2 1 Hauptmerkmale 4 Bestimmungsgem e Verwendung 4 Nicht bestimmungsgem e Verwendung 4 2 2 Unterschiede zwischen den Pumpentypen 4 3 Installation 5 3 1 Hinweise vor der Installation 5 3 2 Pumpe montieren Hochvakuumseite anschlie en 5 Splitterschutz montieren 6 3 3 Vorvakuumseite anschlie en a 6 3 4 K hlung anschlie en 3 5 Flutventil anschlie en 3 6 Geh useheizung anschlie en 7 3 7 Sperrgasventil anschlie en 7 3 8 Antriebselektronik TC 600 anschlie en 8 3 9 Netzteil installieren 8 3 10 Fernbedienung anschlie en uee 9 3 11 Serielle Schnittstelle RS 485 anschlie en 10 Verbindung 10 Anschlu der RS 485 10 3 12 AMSCHIUR plan ULLA aaae 11 4 Betrieb 12 4 1 Vor dem Einsc
15. Lieferdatum 3 Zustand der Vakuumger te und komponenten 4 Einsatzbedingte Kontaminierung der Vakuumger te Waren die Vakuumger te und komponenten in und komponenten Betrieb ja neind toxisch ja nein 1 Welches Betriebsmittel wurde verwendet tzend jad neina mikrobiologisch ja nein 1 Sind die Vakuumger te und komponenten frei von explosiv ja neind gesundheitsgef hrdenden Schadstoffen radioaktiv jad neing ja O weiter siehe Absatz 5 sonstige Schadstoffe ja nein 1 nein I weiter siehe Absatz 4 Mikrobiologisch explosiv oder radioaktiv kontaminierte Vakuumger te und komponenten werden nur bei Nachweis einer vorschriftsm igen Reinigung entgegengenommen Art der Schadstoffe oder proze bedingter gef hrlicher Reaktionsprodukte mit denen die Vakuumger te und komponenten in Kontakt kamen Handelsname Chemische Gefahrklasse Ma nahmen bei Erste Hilfe bei Unf llen Produktname Bezeichnung Freiwerden der Hersteller evtl auch Formel Schadstoffe 1 2 3 4 5 5 Rechtsverbindliche Erkl rung Hiermit versichere n ich wir da die Angaben in diesem Vordruck korrekt und vollst ndig sind Der Versand der kontami nierten Vakuumger te und komponenten erfolgt gem den gesetzlichen Bestimmungen Firma Institut Stra e PLZ Ort Telefon Fax Telex Name
16. S 100 DCU 100 verbinden X1 Netzanschlu X2 Anschlu Netzteil X4 Anschlu TC 600 S1 Schalter EIN AUS 8 Antriebselektronik TC 600 8a Verbindungskabel TC 600 TPS DCU 8b Schraube 8c Schraube mit Zahnscheibe 3 St ck 8d Remotestecker 105 Netzteil TPS 100 S1 105 8d 8 PFEIFFERE VACUUM 3 10 Fernbedienung anschlieBen Fernbedienungsm glichkeiten f r verschiedene Funktionen sind ber den Anschlu mit der Bezeichnung REMOTE am TC 600 ber 15 poligen D Sub Stecker m glich Es ist abgeschirmtes Kabel zu verwenden Die Abschirmung ist auf der Steckerseite des TC 600 mit dem TC Geh use zu verbinden Die Eing nge 2 6 werden aktiviert wenn man sie mit Pinbelegung Remotestecker 24 V an Pin 1 aktiv high verbindet siehe 3 12 Anschlu plan Pinbelegung und Funktion des Remotesteckers Siehe nachfolgende Tabelle ACHTUNG Beim Anlegen der Versorgungsspannung wird die Turbopumpe in Betrieb gesetzt Auslieferzustand Pin 1 Pin 2 Pin 3 und Pin 4 im Gegenstecker gebr ckt Pinbelegung und Funktion des Remote Steckers Pin Nr Eingang offen low Eingang geschlossen high an 24 V Pin 1 1 24 V 2 Fluten gesperrt siehe 3 5 Fluten freigegeben siehe 3 5 3 Motor Turbopumpe aus Motor Turbopumpe ein Turbopumpe wird angetrieben es flie t ein Strom durch die Motorspulen 4 Pumpstand a
17. Schaltausg nge Die Schaltausg nge 1 und 2 k nnen mit maximal 24 V 50 mA pro Ausgang belastet werden Folgende Funktio nen sind den Schaltausg ngen zugeordnet Schaltausgang 1 Aktiv high nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes Der Schaltpunkt f r die Turbopumpe ist auf 80 der Nenndrehzahl eingestellt Er kann z B f r eine Meldung Pumpe betriebsbereit benutzt werden Schaltausgang 2 Aktiv low bei Fehler Sammelfehlermeldung Der Anschlu eines Relais erfolgt zwischen Pin 10 Masse und dem jeweiligen Schaltausgang Pin 8 oder Pin 9 siehe 3 12 Anschlu plan PFEIFFERE vacuum 15 5 Uberwachung des Betriebszustandes 5 1 Betriebsanzeige ber LED ber zwei in der Frontplatte des TC 600 eingebaute LED s ist es m glich auf bestimmte Betriebszust nde der Turbopumpe und des TC 600 zu schlie en Folgende Betriebszust nde werden angezeigt LED Ursache h gr n rot leuchtet Netzteil in Ordnung Funktion Pumpstand ein ausgef hrt blitzt kurz Netzteil in Ordnung 1 12 s aktiv Pumpstand aus blinkt Netzausfall 1 2 s aktiv leuchtet Sammelfehler z B Anlaufzeitfehler bertem peratur Turbomolekularpumpe oder TC 600 Schaltausgang 2 aktiv low blinkt Warnung 1 2 s aktiv z B Erdschlu der Versorgungsspannung Netzausfall Eine differenzierte Fehler und Warnungsanzei HINWEIS ge ist nur bei Betrieb mit DCU m glich
18. Winkel von maximal 90 an den Rezipienten angeflanscht werden Der Vorvakuumanschlu mu immer nach unten zeigen ACHTUNG Zul ssige Einbaulagen der Turbopumpe 11 Rezipient S ACHTUNG Axiale Belastbarkeit des Hochvakuumflansches max 200 N entspr 20 kg Keine einseitige Belastung am Hochvakuum flansch Bei waagerechter Montage der Turbopumpe und lgedichte ter Vorvakuumpumpe z B Drehschieberpumpe Vorvakuumflansch der Turbopumpe mu senkrecht nach unten weisen Abweichung max 20 Andernfalls kann die Turbopumpe verunreinigt werden Einbaulage mit lgedichteter Vorpumpe 11 Rezipient a I I I 1 HH u I ss yo ACHTUNG Bei verankerter Turbopumpe d rfen keine Kr fte aus dem Rohrleitungssystem auf die Pumpe einwirken Alle Rohrleitungen vor der Pumpe abst tzen oder abh ngen 6 PFEIFFERE VACUUM Splitterschutz montieren Splitterschutz so in den Hochvakuumflansch einsetzen da die W lbung des Siebes nach au en zeigt DN 63 Klemmfahnen 12a leicht nach au en biegen damit der Splitterschutz 12 sp ter fest im Hochvakuumflansch sitzt Vermeidung von Ger uschen Splitterschutz in den Hochvakuumflansch einsetzen dabei Klemmfahnen etwas nach innen dr cken Au enring des Splitterschutzes bis zum Anschlag in den Hochvaku
19. and abgeschaltet und wieder einge schaltet werden Die Turbopumpe wird dabei nicht geflutet Pumpstand Angeschlossene Pumpstandkomponenten werden angesteu ert z B Vorpumpe Flutventil Luftk hlung und bei gleichzeitig betatigtem Eingang Motor Turbopumpe wird die Turbo pumpe nach erfolgreich abgeschlossenem Selbst test Dauer ca 10 Sekunden in Betrieb gesetzt Heizung Reset Heizung Option Nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes wird die Heizung ein und nach Unterschreitung wieder abgeschaltet Reset Der Eingang Heizung ist mit einer Doppelfunktion belegt siehe unter 3 10 Punkt 5 Reset Standby Die Turbopumpe kann mit der Einrichtung Standby wahlweise mit 66 der Nenndrehzahl Standby ein oder mit der Nenndrehzahl Standby aus betrieben werden Drehzahlstellbetrieb ber Eingang PWM Anlegen eines pulsweitenmodulierten PWM Signals mit einer Grundfrequenz von 100 Hz 20 mit einer Amplitude von max 24 V und einem Tastverh ltnis von 25 75 erm glicht die Einstellung der Drehzahl im Bereich von 20 100 der Nenndrehzahl U 0 N 20 fend max 33V i min 13V 100 F na max 7V min 33V Tan 75 T 17 25 PWM T pwm 10ms 1 20 fpwm 100Hz 1 20 Liegt kein Signal an l uft die Pumpe bis zur Enddrehzahl hoch Als Option wird eine PWM Adapterbox f r den Drehzahlstell betrieb der Turbopumpe angeboten siehe Zubeh r
20. as Fluten wird ber Remote siehe 4 7 oder Schnitt stelle freigegeben Der Flutmodus ist ber DCU oder Schnittstelle w hlbar siehe Betriebsanleitung Pumpenbetrieb mit DCU PM 800 547 BN Fluten in zwei Schritten wenn ein Rezipient m glichst schnell geflutet werden soll Erster Schritt Fluten mit Druckanstiegsgeschwindigkeit von 15 mbar s f r 20 Sekunden Zweiter Schritt Fluten mit einem beliebig gro en Flutventil Der Flutquerschnitt f r die Flutrate von 15 mbar s mu auf die Rezipientgr e abgestimmt werden Bei kleinen Rezipienten kann das Pfeiffer Vacuum Flutventil TVF 005 fiir das Fluten der ersten Stufe benutzt werden Bei Wasserkiihlung Wasserzufuhr absperren 4 4 Betrieb mit DCU 001 DCU 100 Bei Betrieb mit DCU 001 oder DCU 100 ist nach den zugeh ri gen Betriebsanleitungen PM 800 477 BN DCU Beschreibung und PM 800 547 BN Pumpenbetrieb mit DCU zu verfahren Bei Betrieb mit DCU ist der Remotestecker 8d am TC 600 siehe Kapitel 2 1 zu entfernen HINWEIS 4 5 Gasartabh ngiger Betrieb Werden die Pumpen mit Gaslast betrieben ist Wasserk hlung erforderlich ACHTUNG A Bei gro er Gaslast und hoher Drehzahl wird der Rotor durch Reibung stark aufgeheizt Zur Vermeidung von berhitzung ist in der TC 600 eine Leistungs Drehzahl Kennlinie implementiert wodurch die Pumpe bei jeder Drehzahl mit der maximal zul ssigen Gaslast ohne die Gefahr einer Sch digun
21. bel 8a Zubeh r in TC 600 einstecken und mit dem Netzteil TPS 100 an X2 verbinden siehe 3 8 Hinweis Folgende Voreinstellungen sind fest programmiert Anlaufzeit 8 min Drehzahlschaltpunkt 80 automatisches Fluten 50 Diese Einstellungen k nnen nur ber die serielle Schnittstelle RS 485 DCU oder PC ge ndert werden siehe zugeh rige Betriebsanleitung 12 PFEIFFERE vacuum 4 2 Einschalten Turbopumpe mit Schalter S1 am Netzteil einschalten Bei Luftk hlung wird auch der K hlventilator durch die Antriebselektronik TC 600 eingeschaltet Nach erfolgreich abgeschlossenem Selbsttest des TC 600 Dauer ca 10 Sekunden wird die Turbopumpe und die Vorpumpe falls angeschlossen in Betrieb gesetzt R ckseite TPS 100 S1 Schalter EIN AUS X1 Netzanschlu X2 Anschlu TC 600 F1 Sicherung F2 Sicherung F1 X1 F2 X2 Vorsicht beim Pumpen gef hrlicher Gase WARNUN Alle Sicherheitsempfehlungen des Q Gasherstellers beachten 4 3 Ausschalten und Fluten Um eine Verunreinigung der Turbopumpe nach dem Ausschalten zu vermeiden mu die Pumpe vor dem Stillstand geflutet werden orvakuum schlie en Turbopumpe mit Schalter S1 am Netzteil ausschalten Fluten Es gibt drei M glichkeiten die Turbopumpe zu fluten Fluten von Hand die Flutschraube Lieferumfang im Flutanschlu ca eine Umdrehung ffnen Fluten mit Flutventil TVF 005 Zubeh r D
22. e Rotortemperatur der Pumpe ist 80 C Wird der Rezipient geheizt oder werden Teile im Rezipienten bei hoher Temperatur betrieben so darf die in die Pumpe eingestrahlte W rmeleistung den unter den technischen Daten angegebenen Wert nicht berschrei ten Gegebenenfalls sind geeignete Abschirmbleche in den Rezipienten vor die Turbopumpe einzubauen konstruktive Hinweise auf Anfrage Die Temperatur des Hochvakuumflansches darf 120 C nicht berschreiten Blindflansche von Hoch und Vorvakuumseite erst unmittelbar vor dem Anschlie en entfernen Der Schmiermittelspeicher ist bei den Turbopumpen TMH 071 P TMU 071 P bereits fertig montiert und gef llt Bei Magnetfeldern gt 3 mT mu eine geeignete Abschirmung verwendet werden auf Anfrage Wird die Pumpe ausgeheizt m ssen die Heizmanschette und der Pumpenk rper gegen Ber hrung gesch tzt werden Im Falle eines pl tzlichen Rotorstillstandes k nnen Dreh momente bis 330 Nm auftreten die von der Turbopumpe und dem Rahmen aufgefangen werden m ssen Die Pumpen m ssen wie folgt befestigt werden 1S0 Flansch mit 4 Klammerschrauben oder CF Flansch mit der vollst ndigen Anzahl Schrauben M8 oder Pumpenunterseite mit 4 Schrauben M5 Schraubeng te 8 8 Zum Betrieb der Pumpe ist Luft oder Wasserk hlung erfor derlich Bei Betrieb mit Konvektionsk hlung ist der K hlk rper zu verwenden siehe Zubeh r 3 2 Pum e montieren Hochvakuu
23. en auf O Ring 91 achten Schmiermittelspeicher 92 mit Hilfe von zwei Schrauben drehern heraushebeln Schmiermittelspeicher kann giftige Substanzen aus den gepumpten Medien enthalten Schmier mittelspeicher nach den geltenden Vorschriften entsorgen Sicherheitsdatenblatt f r das Schmiermittel auf Anfrage WARNUNG 18 PFEIFFERE vacuum Schmiermittelspeicher ersetzen 6 GummifuR 4x 90 Verschlu deckel 91 O Ring 92 Schmiermittelspeicher 93 O Ring E Gelenk Stirnlochschliissel C40 942 4 Verunreinigungen an Pumpe und Verschlu deckel mit einem sauberen fusselfreien Tuch entfernen Neuen Schmiermittelspeicher 92 bis zum O Ring 9 in die Pumpe einschieben Der Schmiermittelspeicher ist mit Schmiermittel ACHTUNG TL 011 fertig bef llt kein zus tzliches Q Schmiermittel einf llen VerschluRdeckel 90 mit O Ring 91 anschrauben Mit dem Verschlu deckel wird der Schmiermittelspeicher in die richtige axiale Position gebracht Gummif e 6 wieder einschrauben 8 Service Nehmen Sie bitte unseren Service in Anspruch Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrer Pumpe auftreten haben Sie verschiedene M glichkeiten Ihre Anlagen Verf g barkeit aufrecht zu erhalten Pumpe vor Ort durch den Pfeiffer Vacuum Service reparie ren lassen Pumpe zur Reparatur ins Stammwerk einsenden Pumpe ersetzen Genaue
24. g betrieben werden kann Die Maximalleistung ist gasartabh ngig Um das Leistungsverm gen der Pumpe bei jeder Gasart voll auszusch pfen stehen zwei Kennlinien zur Verf gung Gas Mode 0 f r Gase mit Molek lmasse gt 40 wie z B Argon Gas Mode 1 f r alle leichteren Gase Werkeinstellung Gas Mode 0 Zutreffenden Gas Mode am TC 600 ber das DCU einstellen siehe Betriebsanleitung Pumpenbetrieb mit DCU PM 800 547 BN Das Pumpen von Gasen mit Molek lmasse gt 40 WARNUNG i mit falschem Gas Mode kann zur Zerst rung der Q Pumpe f hren Eckpunkte der Leistungskennlinie siehe unter 9 Technische Daten Beim Hochlauf der Pumpe wird immer mit Maximalleistung gefahren um die Hochlaufzeit zu minimieren Bei Erreichen der Solldrehzahl wird automatisch auf die gew hlte Leistungskennlinie umgeschaltet Bei berschreitung der gasartabh ngigen Maximalleistung wird die Drehzahl reduziert bis ein Gleichgewicht zwischen zul ssiger Leistung und Gasreibung erreicht wird Um Drehzahlschwankungen zu vermeiden ist es empfehlenswert im Drehzahlstellbetrieb die Gleichgewichtsfrequenz oder eine etwas niedrigere Frequenz einzustellen Es kann Pumpentypen geben bei denen sich die PLEASE NOTE beiden Gas Mode Einstellungen nicht b unterscheiden Kennlinie Gasarten D c t Hochlauf A G D C Gas mode 0 B A Gas mode 1 i Frequenz
25. halten a 12 4 2 Einschalten ea 12 4 3 Ausschalten und Fluten 13 4 4 Betrieb mit DCU 001 DCU 100 13 4 5 Gasartabh ngiger Betrieb 4 6 Stillsetzen f r l ngere Zeit 4 1 Betrieb ber Fernbedienung Fluten Freigabe Option 14 Motor T rbopitifDe u a aS asas 14 Pumipstaiid iiiar 15 Heizung Reset sic cade ci ae 15 Standby sense 15 Drehzahlstellbetrieb ber Eingang PWM 15 Schaltausg nge l I 15 2 PFEIFFER VACUUM Seite 5 Uberwachung des Betriebszustandes 16 5 1 Betriebsanzeige ber LED 16 5 2 Temperatur berwachung der Turbopumpe 16 6 Was tun bei St rungen 17 7 Warung y uu unun 18 7 1 Schmiermittelspeicher ersetzen 18 8 Service 19 Technische Daten 20 94 Mabli aa asas anual ana 21 10 Ersatzteile 22 11 Zubeh r ua 2uasaayupatasqyspa issuusass 23 Erkl rung zur Kontaminierung 24 Herstellererkl rung letzte Seite Hinweis Aktuelle Betriebsanleitungen sind auch ber www pfeiffer vacuum de unter Infoservice verf gbar 1 Wichtig fiir Ihre Sicherheit t Lesen und befolgen Sie al
26. hlu mit der Bezeichnung REMOTE am TC 600 ber 15 poligen D Sub Stecker m glich Pinbelegung und Funktion des Remotesteckers siehe unter Kapitel 3 10 Fernbedienung anschlie en Die Eing nge 2 6 werden aktiviert wenn man sie mit 24 V an Pin 1 aktiv high verbindet siehe 3 12 Anschlu plan Im Auslieferzustand des TC 600 befindet sich zwischen Pin 1 Pin 2 Pin 3 und Pin 4 im Gegen stecker eine Br cke Nach Anlegen der Betriebsspannung und erfolgreich abgeschlossenem Selbsttest des TC 600 wird die Turbopumpe und eine evtl angeschlossene Vorpumpe in Betrieb gesetzt ACHTUNG A Fluten Freigabe Option Automatisches Fluten Abschalten Netzausfall des Pumpstands Flutfrequenz lt 750 Hz Flutventil ffnet f r Flutventil ffnet f r entspricht 50 150 ms in 4 s Intervall 150 ms in 4 s Intervall der Enddrehzahl lt 500 Hz Flutventil ffnet Flutventil ffnet solange f r 3600 s Werkeinstellung generatorische Energie der Turbopumpe ausreicht 1 Bei Netzwiederkehr wird der Flutvorgang abgebrochen Fluten gesperrt Es wird nicht geflutet Andere Flutmodi Andere Flutmodi k nnen ber DCU gew hlt werden Motor Turbopumpe Bei eingeschaltetem Pumpstand und erfolgreich abgeschlos senem Selbsttest Dauer ca 10 Sekunden wird die Turbopumpe in Betrieb gesetzt W hrend des Betriebes kann die Turbopumpe bei weiterhin eingeschaltetem Pumpst
27. in gewiinschter Lange zu bestellen siehe Zubeh r HINWEIS Die Schraube mit Zahnscheibe 8c aus dem TC 600 unter Anschlu X4 herausschrauben Stecker X4 am Verbindungskabel 8a in den Anschlu X4 am TC 600 einstecken und Schraube 8b einschrauben Mit Schraube und Zahnscheibe 8c den Stecker X4 am TC 600 befestigen Stecker X2 am Verbindungskabel 8a mit dem Netzteil TPS 100 DCU 100 Zubeh r am Anschlu X2 verbinden Mit Schraube und Zahnscheibe 8c 2 St ck im Lieferumfang des Kabels enthalten den Stecker X2 am Netzteil 105 befestigen Nach Anlegen der Betriebsspannung f hrt das TC 600 einen Selbsttest zur berpr fung der Versorgungsspannung durch Die Versorgungs spannung f r die Turbomolekularpumpen TMH 071 P TMU 071 P betr gt 24 VDC 5 nach Norm EN 60 742 ACHTUNG Wird die Turbopumpe mit Bedien und Anzeigeeinheit DCU 001 DCU 100 betrieben so ist der Remotestecker 8d zu entfernen Der Anschlu erfolgt nach der Betriebsanleitung PM 800 477 BN 3 9 Netzteil installieren Zur Spannungsversorgung d rfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile Zubeh r verwendet werden Verwendung anderer Netzteile nur in Absprache mit dem Hersteller und Abgleich mit der g ltigen Spezifikation Spezifikation der Netzteile auf Anfrage ACHTUNG Einzelheiten zum Netzteil TPS 100 siehe Betriebsanleitung PM 800 521 BN TC 600 mit Netzteil TP
28. ion der Schnittstelle RS 485 aufzubauen Pol Alle am Bus angeschlossenen Ger te m ssen unterschied liche Schnittstellenadressen haben Parameter 797 Die Gruppenadresse der TC 600 lautet 960 WARNUNG An die serielle Schnittstelle RS 485 d rfen nur Sicherheitskleinspannungen angeschlossen N werden Alle eingeschalteten Remotefunktionen haben Priorit t vor den Schnittstellenfunktionen Detaillierte Angaben zur Bedienung ber Schnittstelle RS 485 und deren elektrische by Daten siehe separate Bedienungsanleitung HINWEIS PM 800 488 BN Zum Anschlu der Antriebselektronik TC 600 an einen Profibus DP steht ein Prifibus DP gateway TIC 250 zur Verf gung Zubeh r Einzelheiten zum Einsatz des TIC 250 sind der zugeh rigen Betriebsanleitung PM 800 599 BN zu entnehmen 3 12 AnschluBplan TC 600 TC 750__ _ 1a ma n c um 24 VDC max 200 mA Versorgungsspg DCU m n C mm n c RS 485 mm RS 485 DO RI T gma GND Masseanschlu DCU T Ig lt m RS 485 DO RI 1 mm ruc mag 24 VDC max 50 mA m Flutfreigabe _ Motor TMP Hie m Pumpstang eco tg lt Heizung Reset Te lt PWM ein Tastverh ltnis 25 75 m Schaltausgang 1 24 VDC max 50 mA So Schaltausgang 2 24 VDC max
29. le Punkte dieser Anleitung t Informieren Sie sich ber Gefahren die von der Pumpe ausgehen Gefahren die von Ihrer Anlage ausgehen Gefahren die von gepumpten Medien ausgehen t Verhindern Sie da ein K rperteil dem Vakuum ausgesetzt wird t Beachten Sie die Sicherheits und Unfallverh tungs vorschriften c Pr fen Sie regelm ig die Einhaltung aller Schutzma nahmen Turbopumpe nicht mit offenem HV Flansch betreiben t Turbopumpe mit TC 600 nicht eigenm chtig umbauen oder ver ndern t Beim Einsenden der Turbopumpe Versandhinweise beachten c Verwenden Sie mindestens 4 Klammerschrauben zum Anschlu des HV Flansches ISO Flansch t Die Befestigung der Turbopumpe mu It Installationsvor schriften erfolgen c W hrend des Betriebs Stecker zwischen TC 600 und Zubeh rteilen nicht l sen s Vor dem ffnen der Turbopumpe TC 600 elektrisch von der Versorgungsspannung trennen t Bei Arbeiten an der Turbopumpe HV Flansch erst nach Stillstand des Rotors ffnen t Bei Verwendung von Sperrgas Druck in der Schlauchver bindung durch berdruckventil auf 2 bar begrenzen t Bei Verwendung einer Heizung k nnen im Bereich des Hochvakuumflansches Temperaturen bis 120 C auftreten Vorsicht Verbrennungsgefahr t m Bereich des Unterteils der Turbopumpe k nnen w hrend des Betriebs Temperaturen bis 65 C auftreten Vorsicht Verbrennungsgefahr e Leitungen und Kabel von hei en Oberfl
30. le haben in allen Abbil dungen die gleichen Positionsnummern 1 2 Piktogramm Definition Warnung Verbrennungsgefahr WARNUNG beim Ber hren hei er Teile 2 on I 4 WARNUNG Warnung Gefahr von Personensch den llacurunall Achtung Gefahr von Schaden an der Pumpe oder an der Anlage WARNUNG Warnung Verletzungsgefahr durch rotierende Teile BG Tr Hinweis Wichtige Information ber das HINWEIS Produkt die Handhabung des Produktes oder den jeweiligen Teil der Dokumentation auf den besonders aufmarksam gemacht werden soll PFEIFFERE vacuum 3 2 Kennenlernen der Pumpen TMH 071 P TMU 071 P 2 1 Hauptmerkmale Die Turbopumpen TMH 071 P TMU 071 P mit TC 600 bilden eine komplette Einheit Die Spannungsversorgung erfolgt ber ein Netzteil siehe Zubeh r Im Auslieferungszustand sind die Pumpen f r den Betrieb ohne Bedien und Anzeigeeinheit by DCU ausgelegt Bei Betrieb mit DCU ist der HINWEIS Remotestecker 8d zu entfernen Die Turbomolekular Drag Pumpe TMH U 071 P 1 Hochvakuumflansch 2 Vorvakuumflansch 4 Flutschraube 6 Gummifu amp 8 Antriebselektronik TC 600 8d Remotestecker H K hlung Verst rkte Konvektionsk hlung mit K hlk rper Zubeh r Luftk hlung Zubeh r oder Wasserk hlung Zubeh r Eingebaute Schutzma nahme bei bertemperaturen Antriebselektr
31. mseite anschlieBen Gr te Sauberkeit beim Montieren aller Hoch HINWEIS 7 vakuum Teile Unsaubere Bauteile verl ngern 9 die Auspumpzeit Splitterschutz verwenden Ein Splitterschutz im Hochvakuumflansch sch tzt die Turbo pumpe vor Fremdk rpern aus dem Rezipienten reduziert aber das Saugverm gen der Pumpe um ca 15 Montage siehe Splitterschutz montieren Die Hochvakuumseite kann entweder direkt oder ber einen Federungsk rper oder Pfeiffer Vacuum D mpfungsk rper Zubeh r an den Rezipienten angeflanscht werden Anschlu ber Federungsk rper Wird die Hochvakuumseite ber einen Federungsk rper angeflanscht mu die Turbopumpe z B an den Bohrungen an der Unterseite der Pumpe siehe Ma bild befestigt werden Die Befestigung mu das unter 3 1 genannte Drehmoment auffangen k nnen Anschlu ber Pfeiffer Vacuum D mpfungsk rper Bei Einsatz eines Pfeiffer Vacuum D mpfungsk rpers kann die Turbopumpe freih ngend an den Rezipienten angeflanscht werden Eine zus tzliche Befestigung ist nicht erforderlich Die maximal zul ssige Temperatur am ACHTUNG D mpfungsk rper betr gt 100 C A Bei Einsatz eines D mpfungsk rpers kann die Turbopumpe freih ngend an den Rezipienten angeflanscht werden Eine zus tzliche Befestigung ist nicht erforderlich PFEIFFERE vacuum 5 Pumpe direkt anflanschen Die Turbopumpe kann von senkrecht 0 bis zu einem
32. onik TC 600 regelt Rotordrehzahl zur ck Lager Hochvakuumseite verschlei freies Permanentmagnet Lager Vorvakuumseite lumlaufgeschmiertes Kugellager mit Keramikkugeln Bestimmungsgem e Verwendung Die Turbomolekularpumpe TMH 071 P TMU 071 P darf nur zur Vakuumerzeugung eingesetzt werden Mit den Turbopumpen d rfen nur solche Medien gepumpt werden gegen die sie chemisch best ndig sind Bei ande ren Medien m ssen die Pumpen f r diese Prozesse durch den Anwender qualifiziert werden 4 PFEIFFERE VACUUM Bei Anfall von Proze staub sind proze abh ngige Wartungsintervalle festzulegen und es ist Sperrgas zu verwenden Die Turbopumpe mu an eine Vorvakuumpumpe nach Abschnitt 3 3 angeschlossen sein Zum Betrieb des TC 600 diirfen nur Pfeiffer Vacuum Netzteile verwendet werden Verwendung anderer Netzteile nur in Absprache mit dem Hersteller und Abgleich mit der g ltigen Spezifikation Einsatz der Pumpen nur bei Einhaltung der Umgebungsbedingungen nach Schutzart IP 30 Nicht bestimmungsgem e Verwendung Als nicht bestimmungsgem gilt u a Das Pumpen von korrosiven oder explosiven Gasen das Einsetzen der Pumpe in explosionsgef hrdeten Bereichen das Pumpen von Gasen und D mpfen die die Materialien der Pumpe angreifen das Pumpen von korrosiven Gasen ohne Sperrgas das Pumpen von kondensierenden D mpfen der Betrieb mit unzul ssig hohen Gaslasten
33. re Informationen erhalten Sie von Ihrer Pfeiffer Vacu um Vetretung Bitte beachten Sie daf bei Ersatzlieferung durch den Pfeiffer Vacuum Service immer die Standard Betriebsparameter voreingestellt sind Sollten bei Ihrer Anwendung ver nderte Parameter verwendet werden so sind diese neu einzustellen ACHTUNG Turbopumpe und Antriebselektronik TC 600 bilden eine Einheit und sind immer komplett zur Reparatur einzusenden Vor dem Einsenden des Ger tes ist sicherzustellen da der Fehler nicht vom Netz teil ausgeht Netzteil berpr fen HINWEIS Vor dem Einsenden Alle Zubeh rteile entfernen Wenn das Ger tfrei von Schadstoffen ist deutlich sichtbar Vermerk anbringen Frei von Schadstoffen auf eingesandten Ger ten und zus tzlich auf Lieferschein und Anschreiben Schadstoffe sind Stoffe und Zubereitungen entsprechend der Gefahrstoff Verordnung in der derzeit g ltigen Fassung Fehlt der Vermerk f hrt Pfeiffer Vacuum kostenpflichtig eine Dekontamination durch Dies gilt auch wenn der Betreiber keine M glichkeit zur ordnungsgem en Dekontamination hat Mikrobiologisch explosiv oder radioaktiv kontaminierte Ger te werden grunds tzlich nicht angenommen Erkl rung zur Kontamination ausf llen n jedem Fall eine Kopie der Erkl rung zur Kontaminie rung sorgf ltig und wahrheitsgem ausf llen Vollst ndig ausgef llte Kopie dem Ger
34. rper TMH DN 63 ISO K PM 006 800 X TMH DN 40 ISO KF PM 006 799 X TMU DN 63 CF F PM 006 801 X Splitterschutz DN 40 ISO KF PM 006 375 X DN 63 ISO K PM 006 376 X Schutzgitter DN 63 ISO K PM 006 597 R Dichtring TMH DN 63 ISO K PF 303 106 T CU Dichtung 10 St TMU DN 63 CF PF 501 406 T Schraubensatz TMU DN 63 CF PF 505 002 T Sperrgasventil PM Z01 142 PM 800 229 BN Schlauchnippel fiir Sperrgasventil DN 16 ISO KF 10 PF 144 020 Bei Zubeh r Ersatzteilbestellung bitte unbedingt vollst ndige Teile Nummer angeben Bei Ersatzteilbestellungen bitte zus tzlich Ger tetyp und Ger tenummer angeben siehe Typenschild Nutzen Sie diese Listen als Bestellvorlage Kopie PFEIFFER vACUUM 23 Erkl rung zur Kontaminierung von Vakuumger ten und komponenten Die Reparatur und oder die Wartung von Vakuumger ten und Wenn die Reparatur Wartung im Herstellerwerk und nicht am komponenten wird nur durchgef hrt wenn eine korrekt und Ort ihres Einsatzes erfolgen soll wird die Sendung bei nicht vollst ndig ausgef llte Erkl rung vorliegt Ist das nicht der vorliegender Erkl rung gegebenenfalls zur ckgewiesen Fall kommt es zu Verz gerungen der Arbeiten Diese Erkl rung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef llt und unterschrieben werden 1 Art der Vakuumger te und komponenten 2 Grund f r die Einsendung Typenbezeichnung Artikelnummer Seriennummer Rechnungsnummer
35. schlieBen ber den Anschlu mit der Bezeichnung RS 485 am TC 600 ist mit einem geschirmten 8 poligen Modular Verbindungs kabel im Lieferumfang des DCU enthalten der Anschlu eines externen Bedienteils DCU 001 oder DCU 100 oder eines externen Rechners m glich Serielle Schnittstelle RS 485 anschlie en Externer Rechner RS 485 oder DCU 100 mit Netzteil M x3 spe r B oder DCU 001 ohne Netzteil Die Schnittstelle ist galvanisch von der maximal auftretenden Versorgungsspannung des TC 600 sicher getrennt Verbindung Bezeichnung Wert Schnittstellenart RS 485 Baudrate 9600 baud Datenwortl nge 8 bit Parit t keine no parity Startbits 1 Stopbits 1 2 Die elektrischen Verbindungen sind im TC 600 optisch entkoppelt Pin Belegung en 1 nicht angeschlossen 2 24 V Ausgang lt 210 mA belastbar 3 nicht angeschlossen 4 nicht angeschlossen 1 8 5 RS 485 D DO RI 6 Gnd Ansicht von 7 RS 485 D DO RI Steckerseite 8 nicht angeschlossen TC 600 PINNER Der Anschlu einer RS 232 z B PC ist ber einen Pegelumsetzer m glich siehe Zubeh r 3 10 PFEIFFERE vacuum AnschluB der RS 485 Anschlu an ein festes Bussystem Alle Ger te mit D Pin 5 RS 485 und D Pin 7 RS 485 am Bus anschlie en Der Bus mu an beiden Enden abgeschlossen sein Die Verbindungen sind nach Spezifikat
36. t beif gen zus tz liches Exemplar direkt an den zust ndigen Pfeiffer Vacuum Service schicken Bei allen Fragen oder Unklarheiten bez glich Kontaminierung wenden Sie sich bitte an die n chste Pfeiffer Vacuum Vertre tung Kontaminierte Ger te vor der Einsendung oder vor einer eventuellen Entsorgung dekontaminie ren Mikrobiologisch explosiv oder radioaktiv kontaminierte Pumpen nicht versenden Kontaminierte Ger te versenden M ssen kontaminierte Ger te zur Wartung Reparatur eingesandt werden bitte folgende Versandvorschriften einhalten Pumpe neutralisieren durch Sp len mit Stickstoff oder trockener Luft Alle ffnungen luftdicht verschlie en Pumpe oder Ger t in geeignete Schutzfolie einschwei en Ger t nur in geeigneten stabilen Transportcontainern einschicken WARNUNG Reparaturauftr ge werden nur entsprechend unseren allgemeinen Lieferbedingungen durchgef hrt HINWEIS Ist eine Reparatur notwendig senden Sie bitte die Turbopum pe mit einer kurzen Schadensbeschreibung an Ihre n chste Pfeiffer Vacuum Servicestelle Kontaktadressen und Service Hotline Kontaktadressen und Ihre Service Hotline finden Sie auf der R ckseite dieser Anleitung PFEIFFERE vacuum 19 9 Technische Daten Gr e Einheit TMH 071 P TMH 071 P TMU 071 P Anschlu nennweiten Eingang DN40 ISO KF DN 63 ISO K DN 63 CF F Ausgang DN 16 ISO KF G 1
37. tzf nger R 3 8 P 4161 300 2R Wasserr ckk hler TZK 400 230 V 50 Hz PM Z01 245 PM 800 369 BN Luftk hlung 24V DC PM Z01 253 PM 800 543 BN Wasserk hlung PM 016 000 T PM 800 546 BN K hlk rper f r Konvektionsk hlung PM 093 237 T Bauteile zum Fluten Flutventil TVF 005 stromlos geschlossen 24V DC PM Z01 135 PM 800 507 BN Trockenvorlage TTV 001 PM Z00 121 PM 800 022 BN mit Zeolith gef llt Flutflansch DN 10 ISO KF PM 033 737 T Bauteile zum Heizen Geh useheizung Wasserk hlung erforderlich 230 V Schukostecker PM 041 900 T PM 800 542 BN 208 V UL Stecker PM 041 901 T PM 800 542 BN 115 V UL Stecker PM 041 902 T PM 800 542 BN Weiteres Zubeh r Verbindungskabel TC 600 TPS DCU 3m PM 051 103 T andere L ngen auf Anfrage Netzteil TPS 100 Wand oder Normschienenmontag PM 041 827 T PM 800 521 BN TPS 100 19 Einschubger t PM 041 828 T PM 800 521 BN DCU 100 19 Einschubgerat mit Bedien und Anzeigeeinheit DCU PM C01 694 PM 800 477 BN Netzkabel Schukostecker 230 V P 4564 309 ZA UL Stecker 208 V P 4564 309 ZF UL Stecker 115V P 4564 309 ZE Bedien und Anzeigeeinheit DCU 001 PM 041 816 T PM 800 477 BN Relaisbox Vorpumpe 90 265 V 5 A PM 041 937 AT PT 0030 BN 90 265 V 20 A PM 041 938 T PT 0030 BN PWM Adapterbox PM 051 028 U PM 800 563 BN Pegelumsetzer RS 232 485 PM 051 054 X PM 800 549 BN Abdeckung TC 600 IP 54 PM 051 327 T PT 0024 BN Profibus DP gateway TIC 250 PM 051 257 T PM 800 599 BN D mpfungsk
38. umflansch eindr cken DN 40 Au enring des Splitterschutzes bis zum Anschlag in den Hochvakuumflansch einsetzen Klemmfahnen nicht nach au en biegen Einsetzen des Splitterschutzes 12 Splitterschutz 12a Klemmfahne 3 3 Vorvakuumseite anschlie en Vorvakuumpumpe Vorvakuumdruck lt 10 mbar bei verst rkter Konvektionsk hlung lt 0 1 mbar Olfreie Membranpumpe oder Drehschiebervakuumpumpen aus dem Pfeiffer Vacuum Programm Einbaulage Turbopumpe beachten siehe Kap 3 2 Empfehlung Vorvakuumpumpe anschlie en Alle Verbindungen der Vorvakuumleitung Mit blichen Kleinflansch Bauteilen oder Schlauchverschraubungen Gasaussto der Vorpumpe sicher ableiten Senn Freien Querschnitt des Vorvakuumflansches N nicht durch nachfolgende Bauteile einengen WARNUNG Die ausgesto enen Proze gase und d mpfe k nnen gesundheitssch digend und umweltverschmutzend sein Alle Sicherheitsempfehlungen des Gasher stellers beachten Bei starren Rohrverbindungen Federungsk rper zur D m pfung von Vibrationen in die Verbindungsleitung einbauen Der elektrische Anschlu der Vorvakuumpumpe erfolgt ber eine Relaisbox Die Steuerleitung an der Relaisbox in das TC 600 am Anschlu FV PUMP einstecken Einzelheiten zur Relaisbox Vorvakuumpumpe und deren Installation siehe Betriebsanleitung PT 0030 BN 3 4 Kiihlung anschlieBen Die Turbopumpen TMH 071 P TMU 0
39. urbopum pe und Rezipient ausgeheizt werden Die Heizdauer ist abh ngig vom Verschmutzungsgrad und dem gew nschten Enddruck Die Heizdauer sollte mindestens 4 Stunden betragen Beim Einsatz einer Geh useheizung mu die HINWEIS Turbopumpe wassergek hlt werden Beim Ausheizen der Turbopumpe entstehen el hohe Temperaturen Verbrennungsgefahr beim Ber hren hei er Teile auch noch nach dem Abschalten der Geh useheizung Heizmanschette und Pumpengeh use m glichst bei der Installation thermisch isolieren Heizmanschette und Pumpengeh use beim Ausheizen nicht ber hren Einzelheiten zur Geh useheizung und deren Installation siehe Betriebsanleitung PM 800 542 BN 3 7 Sperrgasventil anschlie en Zum Schutz der Turbopumpe insbesondere bei korrosiven und staubbehafteten Prozessen ist es erforderlich diese mit Sperrgas zu betreiben Der Anschlu erfolgt ber ein Sperrgasventil siehe Zubeh r Sperrgasventil anschlie en 9 Verschlu amp schraube Sperrgasanschlu 15 Dichtung 66 Sperrgasventil 66a Dichtung Die Installation des Sperrgasventils und das Einstellen der Sperrgasmenge sind der Betriebsanleitung PM 800 229 BN zu entnehmen PFEIFFERE vacuum 7 3 8 Antriebselektronik TC 600 anschlieBen Turbopumpe und Antriebselektronik TC 600 sind immer fest miteinander verbunden und bilden eine Einheit Das Verbindungskabel 8a ist separat
40. us Pumpstand ein Turbopumpe wird angetrieben Vorpumpe wird ber Relaisbox angesteuert 5 Heizung aus Heizung ein Nach Erreichen des Drehzahlschaltpunktes wird die Heizung eingeschaltet und nach Unterschreitung wieder abgeschaltet 5 Reset Durch Anlegen eines Pulses T lt 2s mit einer Amplitude von 24V kann eine Fehlerquittierung vorgenommem werden 6 Standby aus Standby ein Pumpe wird auf 66 der Nenndrehzahl beschleunigt 7 Drehzahlstellbetrieb aus Drehzahl kann durch Anlegen eines PWM Signals an diesem Pin oder ber die Schnittstelle RS 485 ge ndert werden siehe unter 4 7 Drehzahlstellbetrieb 8 Ausgang low Ausgang high Drehzahlschaltpunkt nicht erreicht Drehzahlschaltpunkt erreicht Ausgang kann mit 24 V 50 mA belastet werden 9 Ausgang low Ausgang high Sammelfehlermeldung st rungsfreier Betrieb Ausgang kann mit 24 V 50 mA belastet werden 10 Masse Ground 11 Kontakt Kontakt zwischen Pin 11 und Pin 12 geschlossen Ausgang 1 Schaltpunkt erreicht wenn Turbopumpe ber Schaltpunkt 12 Kontakt Ausgang 1 Schaltpunkt ereicht 13 Kontakt Kontakt zwischen Pin 13 und Pin 14 ge ffnet bei Sammelfehler Ausgang 2 Sammelfehlermeldung 14 Kontakt Ausgang 2 Sammelfehlermeldung 15 Analogausgang Drehzahlproportionale Ausgangsspannung 0 10 VDC 0 100 fend Belastung R gt 10 kQ 1 F r die Kontakte gelten folgende technische Daten Umax 50 VDC Imax 1A PFEIFFERE vacuum 9 3 11 Serielle Schnittstelle RS 485 an
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