Digitales Vakuum Anzeige- und Regelgerät Digital
Contents
1. T THTY HY RAM CONT ACHTUNG Diese Kontaminierungserkiarung muss korrekt und vollst ndig ausgef llt Pc repu AoE O NGARO iD 2 Grund f r die Einsendung 3 Betriebsmittel 4 Einsatzbedingte Kontaminierung des Produkts tzend nein mikrobiologisch nein explosiv nein 5 Schadstoffe und prozessbedingte gef hrliche Reaktionsprodukte mit denen das Produkt in Kontakt kam Handelsname Chemische Gefahr Ma nahmen Erste Hilfe Produktname Bezeichnung klasse bei Freiwerden bei Unf llen wal tn Forme n 6 Rechtsverbindliche Erkl rung Hiermit versichere n ich wir dass die Angaben in diesem Vordruck korrekt und vollst ndig sind Der Versand des kontaminierten Produkts erfolgt gem den gesetzlichen Bestimmungen Firma Institut Name _ Stra e PLZ Ort Telefon Telefax i i Email Firmenstempel rechtsverbindliche Unterschrift THYRACONT 3 7 Technische Daten TT 7054 amp 01 6 mm 106 0 mm 128 4 mm LCD Grafikdisplay hintergrundbeleuchtet 4stellig 57 x 35 mm Gleitpunkt 2 4stellig exponentiell 2stellige Mantisse 1stelliger Exponent 5 Hz 200 ms pro Kanal RS485 Schnittstelle digital 30 Hz 33 ms pro Kanal 0 10 V Eingang analog Leistungsaufnahme max 45 W inklusive Transmitter Umgebungstemperatur 5 40 C Lagertemperatur 20 60 C Messeingange 1 x RS485 SubD 15polig mannlich f r VSM72 VSH82 2 x 0 12. erw rmt sich dabei durch ohmsche Heizung auf bis zu 800 Zum Ausheizen den Parameter auf on setzen und mit der set Taste best tigen Der Ausheizvorgang wird nach ca 3 Minuten selbst ndig beendet kann jedoch jederzeit ausgeschaltet werden indem der Degas Parameter wieder auf off gestellt wird W hrend des Ausheizvorgangs werden keine aktuellen Mess werte ausgegeben Das Einschalten der Degas Funktion ist bei deaktivierter Hei kathode fil off nicht m glich Transmitter nachjustieren Die Transmitter sind ab Werk bei Versorgungsspannung 24V ste hend d h mit dem Flansch nach unten abgeglichen Andere Einbaulagen Einsatz unter anderen klimatischen Bedingun gen extreme Temperaturschwankungen Alterung oder Verschmutzung k nnen ein Nachjustieren erforderlich machen Bei den Transmittern VSM72 und VSH82 mit Kombisensoren betrifft das Nachjustieren ausschlie lich den Pirani Sensor Hei und Kaltkathodensensoren werden nicht justiert Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen emp fehlen wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von mindestens 5 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beach ten Beim Nullabgleich sollte der Ist Druck kleiner 5 0x1 0 mbar sein Zum Nachjustieren auf Atmospharendruck den Parameter auf Hi set zen und mit der set Taste bestatigen Zum Nachjustieren auf Nulldruck den Parameter auf Lo setzen und mit der set Taste best tigen 16 THYRACONT 4 4 Menu RELAY
3. Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Code 1 Byte Befehlsparameter GroBbuchstaben f r Lesen Kleinbuchstaben f r Schreiben Data Datenfeld max 6 Bytes kann je nach Code auch fehlen cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe Uber alle Bytes der Felder Adresse Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d Datenformate BOOLEAN 1 Byte STRING max 6 Bytes UNSIGNED INT 6 Bytes mit f hrenden Nullen FLOAT 6 Bytes Exponentialformat 4 Bytes Mantisse entspricht Mantissenwert x 1000 2 Bytes Exponent Offset 20 FLOAT Werte werden in hPa mbar bertragen Beispiel Der Wert 460016 in einem Float Datenfeld steht f r 4 6x1 0 mbar Schnittstellen Parameter 9600 baud 8 Datenbits 1 Stopbit keine Paritat 2 THYRACONT 5 2 Befehls bersicht ber die serielle Schnittstelle des VD10 sind folgende Funktionen verf gbar Ger tetyp T STRING lesen Messwert M FLOAT lesen Regelung start stop A a BOOLEAN lesen A schreiben a Tastaturverriegelung K k BOOLEAN lesen K schreiben k Zur Abfrage von Transmitter Typ oder Messwerten der Kan le 1 bis 4 sind entsprechend die Adress Einstellungen 001 bis 004 zu verwenden Folgende Datenstrings sind als Antwort auf eine Typanfrage m glich V10206 gt Messkanal VD10 mit VSP62 V10207 gt Messkanal VD10 mit VSM72 V10208 gt Messkanal VD10 mit VSH82 F r die Befehls Parameter a A und k K kann Adresse 001 verwend
4. Innenr ume F r nicht vollklimatisierte Betriebsr ume gilt Temperatur 40 406 Rel Luftfeuchte 5 8596 nicht betauend Luftdruck 860 1060 hPa 3 2 Netzanschluss _ WARNUNG Der Netzstecker darf nur in eine Netzsteckdose mit Schutzkontakt eingesteckt werden Hierzu sind 3 polige Netzkabel mit fachge rechtem Schutzleiteranschluss zu verwenden 6 Netzanschlussbuchse 6 Ger tesicherung 2 0 AT 7 7T Netzschalter 8 xt 8 Netzanschluss 8 THYRACONT 3 3 Transmitter Anschluss RS485 WARNUNG Das VD10 muss sich im ausgeschalteten Zustand befinden wenn Transmitter angeschlossen werden Nichtbeachten dieser Anweisung kann zu Sch den am Ger t f h ren An diesen Anschluss des Ger ts k nnen Thyracont Smartline Transmitter f r Absolutdruck mit digitalem Signalausgang RS485 angeschlossen werden Die Transmitter werden vom VD10 mit Strom versorgt Zul ssige Typen hierf r sind VSM72MV 1000 5x10 mbar J VSH82MV 1000 1x10 mbar N SubD 15polig m nnlich Pin 1 Identifikation Pin 2 3 n c Pin 4 Spannungsversorgung 24 VDC Pin 5 Spannungsversorgung GND Pin 6 9 n c Pin 10 RS485 J Pin 11 RS485 Pin 12 Shield Pin 13 15 n c Transmitter am digitalen RS485 Anschluss k nnen beliebig den Kanalnummern 1 bis 4 zugeordnet werden Dazu befindet sich an den Transmittern ein Adress Schalter Sind auch analoge Transmitter Anschl sse belegt so k nnen die dort fest zugeordneten
5. Kanalnummern nicht mehr f r Transmitter am RS485 Anschluss verwendet werden siehe Abschnitt 3 4 Die Kommunikation ber RS485 l uft gem Thyracont Schnittstellenprotokoll THYRACONT 3 3 4 Transmitter Anschluss 0 10 V WARNUNG Das VD10 muss sich im ausgeschalteten Zustand befinden wenn Transmitter angeschlossen werden Nichtbeachten dieser Anweisung kann zu Sch den am Ger t f h ren An diesen beiden Buchsen des Ger ts k nnen Thyracont Pirani Transmitter f r Absolutdruck mit 0 10 V Signalausgang angeschlossen werden Die Transmitter werden vom VD10 mit Strom versorgt Zul ssige Typen hierf r sind VSP6e2MV 1000 1x10 mbar Amphenol C91E 6pol weiblich 1 2 Pint Identifikation l Pin 2 n c ER 3 Pin 3 Signaleingang 0 10V 5 4 Pina GND Pin 5 24 VDC max 8W Pin 6 AGND a Kanal 1 f rt Kanal 2 F r die beiden analogen Transmitter Anschl sse existiert eine feste Kanalzuordnung zu Kanal 1 bzw Kanal 2 ACHTUNG Ist also ein Analoganschluss belegt so kann die betreffende Kanalnummer nicht mehr f r Transmitter am digitalen RS485 Anschluss verwendet werden Beispiele Kanal 1 analog VSP62 gt Kanal 2 3 4 k nnen digital belegt werden Kanal 2 analog VSP62 gt Kanal 1 3 4 k nnen digital belegt werden Kanal 1 2 analog VSP62 gt Kanal 3 4 k nnen digital belegt werden 10 THYRACONT 3 5 Schalt Ausgange ACHTUNG Beigelegten Gegenstecker zum Verdrahten verwenden Stecker nur in s
6. Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel StraBe 10 D 94036 Passau Tel 49 851 95986 0 Fax 49 851 95986 40 email info thyracont de Internet http www thyracont com VVV VV VV WV VV V THYRACONT Hinweise fur Ihre Sicherheit Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung Informieren Sie sich Uber Gefahren die vom Gerat ausgehen und Gefahren die von Ihrer Anlage ausgehen Beachten Sie die Sicherheits und Unfall Verh tungsvorschriften Pr fen Sie regelm Big die Einhaltung aller SchutzmaBnahmen Installieren Sie das VD10 unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedin gungen die Schutzart ist IP20 d h die Ger te sind gesch tzt gegen Eindringen von Fremdk rpern Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschl gigen Vorschriften und SchutzmaBnahmen Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen der Prozessmedien infolge der Eigenerwarmung des Produkts Ger t nicht eigenm chtig umbauen oder ver ndern Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle Kontamination Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschl gigen Vorschriften und SchutzmaBnahmen Legen Sie beim Einsenden des Ger tes eine Kontaminationsbescheinigung bei Geben Sie die Sicherheitsvermerke an andere Benutzer weiter Piktogramm Definitionen WARNUNG Gefahr eines elektrischen Schlages beim Be
7. data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Data Formats BOOLEAN 1 Byte STRING max 6 Bytes UNSIGNED INT 6 Bytes with leading zeros FLOAT 6 Bytes exponential format 4 Bytes mantissa means mantissa value x 1000 2 Bytes exponent offset 20 FLOAT values are transmitted in hPa mbar Example Value 460016 in a float type data field means 4 6x1 0 mbar Interface Parameters 9600 baud 8 data bits 1 stopbit no parity THYRACONT 43 5 2 Survey of Commands By the serial interface of the VD10 the following functions are available Type T STRING read Measurement Value M FLOAT read Control start stop A a BOOLEAN read A write a Keylock K k BOOLEAN read K write k For reading transducer type or measurements of channel 1 to 4 the corresponding address settings 001 to 004 have to be used The following data strings are sent as possible answer to type queries V10206 gt measuring channel VD10 with VSP62 V10207 gt measuring channel VD10 with VSM72 V10208 gt measuring channel VD10 with VSH82 For commands a A and k K address 001 can be used Examples Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Read pressure measurement 004Ma a 004M260014N a Of channel 4 gt 2 6x10 6 mbar Start Control 001aic g 001aic g For further information please refer to the separate description of the Thyracont communication protocol
8. eee eee tete aeg 3 14 Notes for Installation ssssseeeneeeeee 3 2 Mains Connection nennen 3 3 Transducer Connection RS485 uersnsensnennsnnnnnnnnnnnnnnnn nenn 3 4 Transducer Connection 0 10 V unneesssseessnennnnennnnnnnnnnnnn nenn 3 5 Switching OUtpuls 2 nera cct 3 0 USB internat sasas etr rec etae ed anna J ER 4 1 StartUp aee cie 4 2 Menu PRESSURE Pressure Reading 4 3 Menu SENSOR Parameters and Functions 4 4 Menu RELAY Switching Outputs sess 4 5 Menu DISPLAY Display Settings nennen 5 Communication oneri eee Mi eect 5 1 Communeation Protooooo 5 2 Survey of Commands sss 6 Maintenance and Servi ce eese 7 Technical Dalta e in Declaration of Conformity seen Hersteller Manufacturer Constructeur Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel StraBe 10 D 94036 Passau Tel 49 851 95986 0 Fax 49 851 95986 40 email info thyracont de Internet http www thyracont com 25 26 gt gt THYRACONT 1 Safety Instructions Read and follow the instructions of this manual Inform yourself regarding hazards which can be caused by the product or arise in your system Comply with all safety instructions and regulations for accident prevention Check regularly that all safety requirements are being complied with Tak
9. the mains cable has to be connected When switched on the VD10 performs a self test and displays the software version CAUTION Afterwards the VD10 scans for connected vacuum transducers while the display shows scan Connected transducers are only detected during this start proce dure Now the VD10 is operating in display mode Menu PRESSURE If the controller is configured to start mode run start active on as described in chapter 4 5 the VD10 actuates the relay switches simultaneously with the display of actual pressure Description of keys Menu selection switch to the next menu Start Stop function for controlling s chapter 4 2 Confirmation of adjusted values and change to the next input position flashing inversely Increment input value Decrement input value Function key F1 Function key F2 GO 00 0 THYRACONT 23s 4 2 Menu PRESSURE Pressure Reading In display mode the VD10 shows the actual absolute pressure Reading is numerical above 1 mbar Torr and exponential below Further the VD10 display indicates channel number ch control status active inactive and depending on the display mode the states of the relay switches The state of the switching outputs is indicated by figures 1 to 8 at the bottom of the display The figures are enlarged as soon as the corresponding relay is switched on The following display modes can be selected see chapter 4 5 One Channel Display
10. 0V Amphenol C91E 6polig weiblich f r VSP62 Schaltausg nge 8 x Relais SchlieBer SP frei zuordenbar Phoenix Klemmleiste 16 polig Lebensdauer 1 000 000 Zyklen 3 A 250 VAC 2 A 40 VDC Serielle Schnittstelle Mini USB Typ B 5polig 24 THYRACONT Konformitatserklarung C Erklarung Uber die Konformitat Diese Erkl rung gilt f r folgend bezeichnete Erzeugnisse Ger teart Vakuum Mess und Regelger t Typenbezeichnung VD10S8 Hiermit wird best tigt dass die Produkte den wesentlichen Schutzanforderungen entsprechen die in den Richtlinien des Rates zur Angleichung der Rechtsvorschriften der Mitgliedstaaten ber die elektromagnetische Vertr glichkeit 897336 EWG ge ndert durch 91 26 EWG 92 31 EWG 93 68 EWG sowie 93 97 EWG und der Niederspannungsrichtlinie 73 23 EWG geandert durch 93 68 EWG festgelegt sind Diese Erkl rung wird abgegeben durch Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel Stra e 10 94036 Passau Germany Zur Beurteilung der Erzeugnisse hinsichtlich elektromagnetischer Vertr glichkeit sowie der Niederspannungsrichtlinie wurden folgende Normen herangezogen DIN EN 61326 1 2006 10 DIN EN 61010 1 2002 08 THYRACONT Content 1 Safety Instructions 2 The VD10 Display and Control Unit esse 2 1 For OD iUe IE 2 2 Delivery Content uersserssennnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnann 2 9 Product Description eene ee retener cuire tense 3 Inst llationh
11. 4 THYRACONT 6 Maintenance and Service WARNING Danger of possibly contaminated parts Contaminated parts can cause personal injuries Inform your self regarding possible contamination before you start working Be sure to follow the relevant instructions and take care of necessary protective measures The unit requires no maintenance External dirt and soiling can be removed by a damp cloth Should a defect or damage occur on the VD10 please send the instrument for repair enclosing a contamination declaration CAUTION The unit is not planned for customer repair Messages Message Possible Cause Measures Err1 defective pressure send transducer for repair transducer notr connection to transducer check transducer interrupted connectors and cables ur measurement under range or measurement over range off channel not in use if appropriate check no transducer connected transducer connectors and cables degas VSH82 is in degas mode THYRACONT 45 Declaration of Contamination THYRACON T ATTENTION This declaration about contamination has to be filled out correctly and must be attached to all vacuum gauges and components which are sent back to us for repair or service Otherwise delays will be the consequence This declaration must be filled out and signed by authorized and qualified staff only 3 Used Machinery Materials 4 Harmful Contamination of the Product toxic no
12. Schaltausgange Im Menu RELAY erfolgen die Zuordnung der Relais Schaltausgange sowie die Einstellung der Relais Parameter rel Relais Nummer auswahlen T set Relais Zuordung einstellen Jedes Relais kann alternativ einem Messkanal ch1 bis ch4 oder einer Funktionstaste F1 oder F2 zugeordnet bzw direkt auf on oder off gesetzt werden Ist ein Relais der Funktionstaste F1 oder F2 zugeordnet so kann es ber die Taste am Ger t manuell geschaltet werden Die Einstellung on wird wirksam sobald die Regelung eingeschal tet ist Sollwert einstellen Der Sollwert ist ber den gesamten Messbereich einstellbar Es ist jedoch darauf zu achten dass der Sollwert mindestens um den Wert der eingestellten Hysterese von den Messbereichsgrenzen entfernt liegt Schalt Hysterese einstellen Die Hysterese kann bis zu 90 des Sollwertes betragen Zu kleine Werte f r die Hysterese k nnen ein Flackern des zuge h rigen Relais zur Folge haben THYRACONT 17 mode Schaltverhalten F r das Schaltverhalten eines Relais k nnen die Einstellungen normal oder invers gew hlt werden Zur Erlauterung siehe Abbil dung unten g a2 L1 pa a a 3 Hysteresis o 4 Setpoint Hysteresis relay on normal relay off invers Time Ist die Regelung aktiv werden die Relais entsprechend dieser Konfiguration geschaltet Der Status der Relais Schaltausg nge wird ber die Ziffern 1 bis 8 angezeigt wobe
13. THYRACONT Vacuum Kr Bim aes VD10 Digitales Vakuum Anzeige und Regelgerat Digital Vacuum Display and Control Unit Betriebsanleitung Operating Instructions 2 THYRACONT Inhalt 1 Hinweise f r Ihre Sicherheit 3 2 Das Anzeige und Regelger t VD10 4 2 1 Zur Orientierung nnnnnnggg nnne 4 2 2 LIerermftarig spese certet bee eet euer 4 2 3 Produktbeschreibung rsisi 5 3 Installation eoru 7 3 1 Hinweise zur Installation 7 3 2 Netzanschliss ccce tnt 7 3 3 Transmitter Anschluss RS488 neseesnseenessnnennnnnnnnnnnnnn nennen 8 3 4 Transmitter Anschluss 0 10 V 9 3 5 Schalt Ausg nge ee ettet texere organa 10 3 6 USB Anschl ss iere teet ee neni a ao tea 10 4 Betrieb el 11 4 1 Inbetriebnahme 11 4 2 Menu PRESSURE Absolutdruckanzeige 12 4 3 Menu SENSOR Parameter und Funktionen 13 4 4 Menu RELAY Schaltausg nge sssssssssss 16 4 5 Menu DISPLAY Anzeigeoptionen ssseeseeees 18 5 Kommunikation neee ee en seen seen nennen nennen nennen nnn 19 5 1 Kommunikationsprotokoll eene 19 5 2 Befehls bersicht ssssssssssssssssseeeenene 20 6 X Wartung und Service 21 7 Technische Daten eese eren 23 Konformit tserkl rung 24 Hersteller Manufacturer Constructeur
14. Umschaltung zwi schen den Sensoren switch oder eine kontinuierliche Wertangleichung trans erfolgen soll lonisationssensor aktivieren deaktivieren Bei Totaldruck Transmittern mit Kombisensorik kommt f r den Hochvakuumbereich ein lonisationssensor Hei oder Kaltkathode zum Einsatz Bei bestimmten Prozess Schritten kann es gew nscht sein das von der Transmitterelektronik automatisch gesteuerte Einschalten des lonisationssensors zu unterdr cken off gt kein Einschalten des lonisationssensors on gt automatisches Ein und Abschalten Bei deaktiviertem lonisationssensor verhalten sich die Transmitter typen VSM72 und VSH82 wie reine Pirani Messumformer mit Messbereich 1000 1x10 mbar Entsprechend bedeutet die Aus gabe ur in diesem Fall dass der Druckwert unterhalb 1x10 mbar liegt Die unter ion fil vorgenommenen Einstellungen werden nur temporar gespeichert Nach Ausfall oder Ausschalten der Spannungsversorgung befinden sich die Transmitter immer im Modus lonisationssensor aktiv degas HINWEIS adjust HINWEIS HINWEIS THYRACONT 15 Degas Funktion Hei kathode Ablagerungen und adsorbierte Gasmolek le auf den Elektroden eines Hei kathodensensors VSH82 k nnen zu erh htem Ausgasen im Ult rahochvakuum f hren sowie Instabilitaten im Mess Signal verursachen In diesem Fall ist es angebracht bei einem Druck unterhalb 2 0x10 mbar die Anode des Sensors durch Ausheizen zu reinigen Die Anode
15. al and in E i verse to that channel THYRACONT 41 4 5 Menu DISPLAY Display Settings In the DISPLAY menu settings for pressure display and the start mode of pressure control are selected unit display mode start active Bi Select display unit Select mbar Torr Pa or hPa Select display mode digital 2 one channel display digital analog gt one channel display analog bargraph multi gt multi channel display digital see also chapter 4 2 Start mode of pressure control on pressure control is start active i e the relays are switched as soon as the VD10 has finished its automatic self test procedure after switched on off gt after the VD10 is switched on pressure control has to be started and stopped manually see also chapter 4 1 and 4 2 Independently from these settings pressure control can be started and stopped by software command via serial inter face 42 THYRACONT 5 Communication 5 1 Communication Protocol Communication is carried out according to the Thyracont protocol The commands are sent as ASCII code in the following command frame Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal Code 1 Byte command parameter upper case character for read command lower case character for write command Data data field max 6 Bytes can be absent depending on code cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and
16. chalten zum n chsten Menu set Im Menu PRESSURE kann mit der set Taste die Regelung aktiviert bzw gestoppt werden 4 3 Menu SENSOR Parameter und Funktionen Im Menu Sensor werden Kanalnummer Sensortyp und die jeweils zugeh rigen Sensorparameter bzw Sensorfunktionen angezeigt Eingabewert mit den Pfeiltasten einstellen set Eingabe bzw eingestellten Wert bestatigen und Umschalten zum nach sten Parameter blinkend invers dargestellt channel Kanal auswahlen type Transmittertyp nicht editierbar 14 THYRACONT corr trMode ion fil HINWEIS Gasart Korrekturfaktor einstellen Bei Totaldruck Transmittern die ein gasartabhangiges Messprinzip verwenden kann zur Anpassung der Druckanzeige ein Gasart Korrekturfaktor eingegeben werden Dadurch wird im Bereich unter 0 1 mbar wieder eine korrekte Druckanzeige erzielt Der Wert des einzustellenden Faktors ist der Betriebsanleitung des verwendeten Transmitters oder geeigneter Fachliteratur zu entneh men Der Wertebereich des Korrekturfaktors reicht von 0 20 bis 8 00 Bei Kombisensoren k nnen separate Faktoren f r beide Sensoren eingegeben werden der Sensortyp wird hochgestellt hinter dem Zahlenwert des Faktors angezeigt z B Pl f r Pirani CC f r Mag netron Kaltkathode oder BA f r Bayard Alpert Hei kathode bergangsmodus w hlen Bei Totaldruck Transmittern mit Kombisensoren ist einstellbar ob im bergangsbereich beider Sensoren eine harte
17. digital One Channel Display analog Multi Channel Display digital 3 THYRACONT O In one channel display you can switch to the next previous channel number by means of the up down keys Menu selection switch to next Menu set In menu PRESSURE controlling can be activated and stopped by means of the set key 4 3 Menu SENSOR Parameters and Functions The sensor menu shows channel number sensor type and the associated sensor parameters and functions Adjust input value by means of the up down keys Confirm changes and switch to the next parameter flashing inversely channel Select channel number type Transducer type cannot be edited corr trMode ion fil PLEASE NOTE THYRACONT 37 Set gas type correction factor For transducers whose measurement depends on the type of gas you can enter a correction factor for compensation This way the pressure reading can be corrected in a range below 0 1 mbar Appropriate correction factors are found in the operating instructions of the transducer or suitable technical literature The range of the gas type correction factor is 0 20 to 8 00 For transducers with combination sensors separate factors for both sensors can be entered The associated sensor type is displayed in superscript letters behind the numeric value of the factor e g PI for Pirani CC for Magnetron cold cathode and BA for Bayard Alpert hot cathode Select transition mode For
18. e Konformit t Diese Erkl rung gilt f r folgend bezeichnete Erzeugnisse Ger teart Vakuum Mess und Regelgerat Typenbezeichnung VD10S8 Hiermit wird best tigt dass die Produkte den wesentlichen Schutzanforderungen rechen die in den Richtlinien des Rates zur Angleichung der R i der Mitgliedstaaten ber die elektromagnetische Vertr glichkeit 89 336 EWG ge ndert durch 91 26 EWG 92 31 EWG 93 68 EWG sowie 93 97 EWG und der Niederspannungsrichtlinie 73 23 EWG ge ndert durch 93 68 EWG festgelegt sind Diese Erkl rung wird abgegeben durch Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel Stra e 10 94036 Passau Germany Zur Beurteilung der Erzeugnisse hinsichtlich elektromagnetischer Vertr glichkeit sowie der Niederspannungsrichtlinie wurden folgende Normen herangezogen DIN EN 61326 1 2006 10 DIN EN 61010 1 2002 08
19. e account of ambient conditions when installing your VD10 The protection class is IP 20 which means the unit is protected against penetration of foreign bodies Adhere to the applicable regulations and take the necessary precautions for the process media used Consider possible reactions between materials and process media Consider possible reactions of the process media due to the heat generated by the product Do not carry out any unauthorized conversions or modifications on the unit Before you start working find out whether any of the vacuum components are contaminated Adhere to the relevant regulations and take the necessary precautions when handling contaminated parts When returning the unit to us please enclose a declaration of contamination Communicate the safety instructions to other users Pictogram Definition WARNING Danger of an electric shock when touching WARNING Danger of personal injury CAUTION Danger of damage to the unit or system PLEASE NOTE Important information about the product it s handling or about E a particular part of the documentation which requires special attention THYRACONT 2 2 The VD10 Display and Control Unit 2 1 For Orientation These operating instructions describe installation and operation of products with article number VD10S8 The article number can be found on the product s type label Technical modifications are reserved without prior notification 2 2 Delive
20. et werden Beispiele VD10 vom VD10 Messwert Kanal 4 lesen 004Ma a 001M260014N a 2 2 6x10 6 mbar Regelung starten 001aic g 001aic g F r weitere Informationen beachten Sie bitte die gesonderte Beschreibung des Thyracont Kommunikationsprotokolls THYRACONT 6 Wartung und Service WARNUNG Vorsicht bei kontaminierten Teilen Es kann zu Gesundheitssch den kommen Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten Uber eine eventuelle Kontami nation Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschlagigen Vorschriften und SchutzmaBnahmen 21 Das Ger t ist wartungsfrei AuBerliche Verschmutzungen k nnen mit einem feuchten Tuch beseitigt werden Sollte wider Erwarten ein Schaden an Ihrem VD10 auftreten senden Sie das Ger t bitte mit einer Kontaminationserklarung zur Reparatur an uns _ ACHTUNG Das Ger t ist nicht zur kundenseitigen Reparatur vorgesehen Meldungen Anzeige M gliche Ursache Behebung Err1 Druck Transmitter defekt Transmitter zur Reparatur einschicken notr Verbindung zum Transmitter Transmitter Steckverbin unterbrochen dungen und Leitung berpr fen ur Messbereich unterschritten or Messbereich berschritten off Kanal nicht belegt Gegebenenfalls Transmitter kein Druck Transmitter Steckverbindungen und angeschlossen Leitung berpr fen degas VSH82 befindet sich im Degas Modus 2 THYRACONT Kontaminierungserkl rung
21. i die Ziffern am unteren Display Rand gro dargestellt werden sobald das zugeh rige Relais eingeschaltet ist Werden zwei Relais mit Schaltverhalten normal und invers 2l einem Kanal zugeordnet so l sst sich damit eine Dreipunkt W z Regelung f r diesen Kanal realisieren i8 THYRACONT 4 5 Menu DISPLAY Anzeigeoptionen Im Menu DISPLAY werden Anzeigenoptionen sowie der Startmodus der Regelung eingestellt unit Anzeige Einheit wahlen Einstellbar sind mbar Torr Pa hPa display mode Anzeige Art w hlen digital gt Einkanal Anzeige digital analog gt Einkanal Anzeige analog Bargraph multi gt Mehrkanal Anzeige digital vgl Abschnitt 4 2 start active Startmodus der Regelung on 2 Die Regelung ist start aktiv d h die Relais werden anges teuert sobald das Ger t eingeschaltet und der automatische Selbsttest beendet ist off gt Die Regelung muss nach Einschalten des Ger ts manuell ge startet und gestoppt werden vgl Abschnitt 4 1 und 4 2 ACHTUNG Ein Starten oder Stoppen der Regelung per Softwarebefehl ber die serielle Schnittstelle ist unabh ngig von den hier gemachten Einstellungen in jedem Falle m glich THYRACONT 19 5 Kommunikation 5 1 Kommunikationsprotokoll Die Kommunikation ber die serielle Schnittstelle des VD10 erfolgt gem Thyracont Protokoll Die Befehle werden in folgendem Rahmen als Zeichenfolge im ASCII Code bertragen Address Code
22. n corrosive noo microbiological noo explosive non radioactive non other substances noL 5 Harmful substances and dangerous products of reaction which were in contact with the product Chemical Hazard Steps in case of First aid in case Identification DQO seonpa Of he heny of an accident 6 Legally Binding Declaration guarantee that all statements in this form are are correct and complete The dispatch of the regulations contaminated products will be arranged according to legal Name pany stamp legally binding signature 44 THYRACONT 1016 01 6 mm 7 Technical Data 106 0 mm 128 4 mm Display LCD graphic display with background illumination Adigits 57 x 35 mm floating point 2 4digits exponential 2digits mantissa plus exponent Display Refresh Rate 2 Hz 0 5 s Scanning Rate 5 Hz 200 ms pro Kanal RS485 Schnittstelle digital 30 Hz 33 ms pro Kanal 0 10 V Eingang analog Voltage Supply 95 265 VAC 50 60 Hz max 45 W including transducers Ambient Temperature 5 40 C C Storage Temperature 20 60 Measuring Input 1 x RS485 SubD 15pin male for VSM72 VSH82 2x0 10V Amphenol C91E 6pin female for VSP62 Switching Output 8 x relay closer SP assignable Phoenix strip terminal 16 pin lifetime 1 000 000 cycles 3 A 250 VAC 2 A 40 VDC Serial Interface Mini USB Type B 5pin THYRACONT 4 Declaration of Conformity CC Erkl rung ber di
23. nel 2 CAUTION If an analog transducer connection is used the corresponding channel s cannot be applied as an address for digital trans ducers at the RS485 port Examples channel 1 analog VSP62 gt channel 2 3 4 can be assigned to RS485 channel 2 analog VSP62 gt channel 1 3 4 can be assigned to RS485 channel 1 2 analog VSP62 gt channel 3 4 can be assigned to RS485 THYRACONT 3 3 5 Switching Outputs Use enclosed counter plug for electrical connection Connect only when power is off Maximum load for the relays is 2 A 40 VDC or 3A 250 VAC 4 Phoenix Combicon 16pin _ The contacts are shown in SP state of rest position i e switching function off SP Spe SPE SPE SP a SPE 7 For process control this output of the VD10 provides switching functions by means of 8 relay switches closer SP1 to SP8 The switching outputs can be assigned to measuring channels 1 to 4 or function keys F1 or F2 s chapter 4 4 3 6 USB Interface Mini socket type B 1 VCC 45V 2 Data 3 Data 4 GND 5 GND The USB interface can be connected to a PC e g for documentation of measurements in combination with Windows Software VacuGraph 34 THYRACONT 4 Operation 4 1 Startup First connect the required transducers to the corresponding signal inputs 0 10V or RS485 The control lines of the relay outputs or are to be wired according to the particular requirements At last
24. nzeigemodus Menu PRESSURE Falls der Regler wie in Abschnitt 4 5 beschrieben startaktiv konfiguriert wurde start active on steuert das VD10 simultan mit der Anzeige der Druck Istwerte bereits die Relais Schaltausgange Tastenbeschreibung J Menu Auswahl Umschalten auf das n chste Menu Start Stop Funktion f r Regelung s Abschnitt 4 2 Best tigung eingestellter Werte und Umschalten auf die n chste Einga beposition blinkend invers dargestellt Eingabewert inkrementieren Eingabewert dekrementieren Funktionstaste F1 Funktionstaste F2 Go 0000 12 THYRACONT 4 2 Menu PRESSURE Absolutdruckanzeige Im Anzeigemodus wird im Display der momentan gemessene Absolutdruck dar gestellt Die Druckanzeige erfolgt oberhalb 1 mbar Torr numerisch unterhalb in Exponentialdarstellung Dar berhinaus werden Kanalnummer ch Reglerstatus active inactive und je nach Darstellungsart die Relaiszustande angezeigt Der Status der Relais Schaltausgange wird hierbei Uber die Ziffern 1 bis 8 angezeigt wobei die Ziffern am unteren Display Rand gro dargestellt werden sobald das zugeh rige Relais eingeschaltet ist Folgende Anzeigearten k nnen gew hlt werden s Abschnitt 4 5 Einzelkanal Anzeige digital Einzelkanal Anzeige analog Mehrkanal Anzeige digital THYRACONT 13 O Bei Einzelkanal Anzeige kann mit den Pfeiltasten zwischen den Messkan len umgeschaltet werden Menu Auswahl Ums
25. pannungsfreiem Zustand anschlieBen anste cken oder abziehen Ausg nge mit max 2 A 40 VDC bzw 3 A 250 VAC belasten 9P1 Phoenix Combicon 16polig Darstellung der Kontakte in SP2 Ruhelage d h Schaltfunktion aus SP spe SPE SPE SP s SPE 7 Zur externen Steuerung stehen die Schaltfunktionen des VD10 in Form von 8 Relais Schaltausgangen SchlieBer SP1 bis SP8 zur Verf gung Die Schaltausg nge k nnen den verschiedenen Messkan len oder Funktionstasten frei zugeordnet werden vgl Abschnitt 4 4 3 6 USB Anschluss Minibuchse Typ B pen 1 VCC 5V 2 Data 3 Data 4 GND 5 GND Der USB Anschluss kann mit einem PC verbunden werden um in z B in Verbin dung mit der Windows Software VacuGraph Messungen zu dokumentieren THYRACONT 141 4 Betrieb 4 1 Inbetriebnahme Zun chst den oder die verwendeten Vakuumtransmitter an die entsprechenden Signaleing nge RS485 bzw 0 10V anschlieBen Die ben tigten Steuerleitungen der Schaltausgange sind entsprechend den Anforderungen zu verkabeln Zuletzt das Netzkabel anstecken Nach dem Einschalten des Netzschalters f hrt das Gerat zun chst einen Selbsttest durch und zeigt im Display die Versionsnummer der Ger tesoftware an ACHTUNG Anschlie end werden die angeschlossenen Transmitter erfasst hierbei erscheint die Anzeige scan Angeschlossene Transmitter werden nur beim Einschalten des VD10 erkannt Das Ger t befindet sich nun im A
26. r hren der Kontakte WARNUNG Gefahr von Personenschaden ACHTUNG Gefahr von Sch den an Ger t oder Anlage HINWEIS Wichtige Information ber das Produkt dessen Handhabung oder den jeweiligen Teil der Betriebsanleitung auf den beson ders aufmerksam gemacht werden soll 3 4 THYRACONT 2 Das Anzeige und Regelgerat VD10 2 1 Zur Orientierung Diese Betriebsanleitung ist g ltig f r Produkte mit den Artikelnummern VD10S8 Sie finden die Artikelnummer auf dem Typenschild Technische nderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten 2 2 Lieferumfang Zum Lieferumfang geh ren VD10 Anzeige und Regelgerat Netzkabel Gegenstecker f Relaisausgang Befestigungsschrauben zur Schalttafelmontage 19 System Betriebsanleitung Lieferbares Zubeh r Transmitter VSP62MV 1000 1x10 mbar Transmitter VSM72MV 1000 5x10 mbar Transmitter VSH82MV 1000 1x10 mbar Messkabel f VSP62MV 2m W0606002 Messkabel f VSP62MV 6m W0606006 Messkabel f VSM72 VSH82 2m W1515002 Messkabel f VSM72 VSH82 6m W1515006 USB Kabel zum PC Anschluss 2m WUSB0002 Windows Software VacuGraph VGR THYRACONT 5 2 3 Produktbeschreibung Das VD10S8 dient zum Anzeigen und Regeln von Absolutdruck in Verbindung mit Thyracont Vakuum Transmittern der Smartline Es k nnen bis zu 4 Messkan le gleichzeitig angezeigt und geregelt werden ber eine serielle Schnittstelle l sst sich der Regle
27. r vom PC aus steuern THYR CONT wre LCD Graphikdisplay Taste Set Taste Menu Funktionstasten Pfeiltasten auf ab Ger tesicherung 2 0AT Netzschalter Netzanschluss 95 265 VAC 50 60 Hz USB Schnittstelle 2x Signaleingang 0 10V f r VSP62 Transmitter Anschluss RS485 f r VSM72 VSH82 Relaiskontakte ANoOoaRWND a N Oo 6 THYRACONT Bestimmungsgem e Verwendung Das VD10 dient in Verbindung mit Transmittern der Firma Thyracont zur Messung und Regelung von Absolutdruck Es darf nur an geeignete und hierf r vorgesehene Komponenten angeschlossen werden Nicht bestimmungsgemaBe Verwendung Als nicht bestimmungsgem gilt der Einsatz zu Zwecken die von oben genannten abweichen insbesondere der Anschluss an Ger te oder Komponenten die laut ihrer Betriebs anleitung hierf r nicht vorgesehen sind der Anschluss an Ger te die ber hrbare spannungsf hrende Teile aufweisen Bei nicht bestimmungsgem Bem Einsatz erlischt jeglicher Haftungs und Gew hrleistungsanspruch Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber THYRACONT 7 3 Installation 3 1 Hinweise zur Installation WARNUNG Keine eigenmachtigen Umbauten oder Ver nderungen am Ger t vornehmen Vor dem AnschlieBen der Spannungsversorgung darauf achten dass der auf dem Typenschild des VD10 angege bene Spannungsbereich mit der rtlichen Netzspannung bereinstimmt Aufstellungsort
28. rovides voltage supply for the transducers Admissible transducer types J VSM72MNV 1000 5x10 mbar VSH82MV 1000 1x10 mbar SubD 15pin male Pin 1 Identification Pin 2 3 n c Pin 4 Voltage supply 24 VDC Pin 5 Voltage supply GND Pin 6 9 n c Pin 10 RS485 J Pinti RS485 Pin 12 Shield Pin 13 15 n c Transducers connected to the RS485 interface can be arbitrarily assigned to channel 1 to 4 For this purpose the transducers are equipped with an address switch If analog transducer ports are used at the same time the fixed channel numbers assigned to those analog ports cannot be applied as an address for digital transducers see chapter 3 4 Communication via RS485 is carried out according to the Thyracont protocol 2 THYRACONT 3 4 Transducer Connection 0 10 V WARNING The instrument must be switched off before any transducers are connected Disregarding this instruction may lead to damage of the instrument To this port Thyracont transducers for absolute pressure with 0 10 V signal output can be connected The VD10 provides voltage supply for the transducer Admissible transducer types VSP62MV 1000 1x10 mbar Amphenol C91E 6 pole female 1 2 Pint Identification Pin 2 n c ER 3 Pin 3 Signal input 0 10V 5 4 Pina GND Pin 5 24 VDC max 8W Pin 6 AGND B Channel 1 Channel 2 Transducers connected to the analog signal inputs have a fixed assignment to channel 1 or chan
29. ry Content Included in the delivery consignment are VD10 display and control unit mains cable counter plug for relay outputs fasteners for panel installation 19 system operating instructions Available accessories Vacuum transducer VSP62MV 1000 1x10 mbar Vacuum transducer VSM72MV 1000 5x10 mbar Vacuum transducer VSH82MV 1000 1x10 mbar Measuring cable f VSP62MV 2m W0606002 Measuring cable f VSP62MV 6m W0606006 Measuring cable f VSM72 VSH82 2m W1515002 Measuring cable f VSM72 VSH82 6m W1515006 USB cable for PC connection 2m WUSB0002 Windows Software VacuGraph VGR 2 THYRACONT 2 3 Product Description The VD10S8 is designed to display and control absolute pressure You can connect Thyracont Smartline vacuum transducers Up to 4 measuring channels can be displayed and controlled simultaneously Via serial interface the instrument can be controlled by a PC 2 3 4 5 1 LCD graphic display 2 Setkey 3 Menu 4 Function keys 5 Up Down keys 6 Fuse 2 0 AT 7 Mains switch 8 Mains connector 95 265 VAC 50 60 Hz 9 USB interface 10 2x signal input 0 10V f VSP62 11 Transducer connection RS485 for VSM72 VSH82 12 Relay contacts THYRACONT 29 Proper Use The VD10 serves exclusively to display and control absolute pressure in combination with Thyracont vacuum transducers It may only be connected to components specifically provided for such purpose Improper Use The
30. set relay parameters rel Select relay number T Set relay assignment Each relay can alternatively be assigned to a measuring channel ch1 to ch4 or to a function key F1 or F2 or it can be directly set to state on or off When a relay is assigned to function key F1 or F2 it can be manually switched on and off by that key Setting on becomes effective as soon as controlling is started set Adjust setpoint The setpoint is adjustable over the whole measuring range It is mandatory however to consider a minimum distance of the setpoint from the range limits of at least the magnitude of the chosen hyste resis hyst Set hysteresis The hysteresis can be set up to 90 of the setpoint Too small values for the hysteresis may result in a flickering relay 40 THYRACONT mode Switching mode For the switching mode of each relay you can choose between normal or inverse The diagram below gives an explanation g i a a Hysteresis o lt Setpoint Hysteresis relay on normal relay offf invers Time When controlling is active the relays are switched according to this configuration The state of the switching outputs is indicated by figures 1 to 8 at the bottom of the display The figures are enlarged as soon as the corresponding relay is switched on PLEASE NOTE For a given channel a three state control can be achieved by j assigning two relays with switching mode norm
31. transducers with combination sensors you can select whether a hard switch over switch or a continuous transition trans be tween the two sensors should be performed in the overlap range Enable disable ionization sensor Transducers with combination sensors operate an ionization sensor hot or cold cathode for measuring pressure in the high vacuum range For certain vacuum processes it may be favoured to suppress the start of the ionization sensor which is automatically controlled by the transducer electronics off gt ionization sensor disabled on gt automatic control of the ionization sensor With disabled ionization sensor transducers VSM72 and VSH82 behave like a Pirani transducer with range 1000 1x1 0 mbar Cor respondingly the output ur in this case means that actual pressure is below 1x10 mbar Settings made under ion fil are only temporarily saved in the transducer memory After mains supply is switched off or dis connected the transducer will always be in mode ionization sensor enabled 3 THYRACONT degas PLEASE NOTE adjust PLEASE NOTE PLEASE NOTE Degas function for hot cathode sensor Deposition or adsorbed gas molecules on the electrodes of a hot cath ode sensor VSH82 may lead to increased degassing in ultrahigh vacuum or even cause instabilities of the measurement signal In such cases it is appropriate to clean the anode of the sensor by degassing This is done at pressures belo
32. use for purposes not covered above is regarded as improper in particular the connection to components not allowed for in their operating instructions the connection to components containing touchable voltage carrying parts No liability or warranty will be accepted for claims arising from improper use The user bears the responsibility with respect to the used process media 3 THYRACONT 3 Installation 3 1 Notes for Installation VANNS Unauthorized modifications or conversions of the instrument are not allowed Before connecting to mains power make sure that the supply voltage range stated on the type label complies with your local mains voltage Installation location Indoor For not fully air conditioned open buildings and operation rooms Temperature 40 406 Rel Humidity 5 85 not condensing Air pressure 860 1060 hPa 3 2 Mains Connection WARNING The mains connector must be plugged into a mains socket with protective earth conductor Use three pole cables only with prop erly wired earth conductor Mains connector 6 Fuse 2 0 AT 7 Mains switch 8 Socket for mains cable THYRACONT s 3 3 Transducer Connection RS485 WARNING The instrument must be switched off before any transducers are connected Disregarding this instruction may lead to damage of the instrument To this port Thyracont Smartline transducers for absolute pressure with digital signal output can be connected The VD10 p
33. w 2 0x10 mbar by ohmic heating of the anode to temperatures around 800 C For degassing the sensor set the degas parameter to on and confirm with the set key The degas procedure will stop automatically after approx 3 minutes but can be cancelled any time by setting the parame ter to off again During the degas process no actual pressure measurement is available The degas function cannot be started if the hot cathode is dis abled fil off Transducer adjustment The transducers are adjusted ex works with 24V voltage supply in upright position flange to the bottom Other orientation operation under different climatic conditions ex treme temperature changes ageing or contamination can result in the need for readjustment of the Pirani sensor For transducers VSM72 and VSH82 with combination sensors the adjustment does only affect the Pirani sensor Hot and cold cathode sensors are not readjusted To achieve optimum results of the adjustment we recommend to consider a warm up of at least 5 minutes at the appropriate calibration pressure before any adjustment For zero adjustment actual pressure should be less than 5 0x10 mbar For adjustment on atmosphere pressure set the parameter to Hi and confirm with the set key For adjustment on zero pressure set the parameter to Lo and confirm with the set key THYRACONT 3 4 4 Menu RELAY Switching Outputs In the RELAY menu you can assign the switching outputs and
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