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Vakuum Messumformer Vacuum Transducer

1. Gasart Korrekturfaktor 2 lesen OO1IC2FR 001C000240zZ R gt c2 2 40 Unlock Gasart Korrekturfaktor 1 001c1e r 001c1e R Gasart Korrekturfaktor 1 001c000057 R 001c000057 R auf 0 57 setzen Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 vsh82 de 110318 16 THYRACONT 4 5 Schaltpunkte Das VSH82 besitzt 2 unabhangige potentialfreie Relais Schaltpunkte Diese sind als Umschalter gem der in Abschnitt 3 3 2 beschriebenen Pinbelegung am Anschluss Stecker nach au en gef hrt Die Schalter sind jeweils bei Druckwerten unterhalb der zugeh rigen Sollwerte aktiv und es leuchten die entsprechenden Kontroll LEDs auf der Steckerseite des VSH82 Die Schalthysterese ist fest auf 30 vom Sollwert eingestellt Hysteresis Actual Pressure Switchpoint switching function off Time Die Programmierung der beiden Sollwerte erfolgt via RS485 Schnittstelle Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code S zum Lesen s zum Schreiben des Sollwerts Data Leseanfrage oder Unlock 1 Byte 1 f r Schaltpunkt 1 Relais A 2 f r Schaltpunkt 2 Relais B Wert lesen oder schreiben 6 Byte float cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe ber alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Beispiel fur Adress Schalterstellung 1 Aktion T
2. cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe Uber alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Beispiel fur Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Modus Wertangleichung setzen 001w000001i R 001w000001i R auf Wertangleichung Modus Wertangleichung lesen 001Wh R 001W0000011 R gt Wertangleichung Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 vsh82 de 110318 THYRACONT 4 8 Nachjustieren Das Ger t ist ab Werk bei Versorgungsspannung 24V stehend d h mit dem Flansch nach unten abgeglichen Andere Einbaulagen Einsatz unter anderen klimatischen Bedingungen extreme Temperaturschwankungen Alterung oder Verschmutzung k nnen ein Nachjus tieren des Piranisensors erforderlich machen Nachjustieren am Ger t Ein Nachjustieren auf Atmosph rendruck oder Nulldruck ist digital ber den Taster adj adjust m glich Der Messumformer erkennt automatisch um welchen Justierpunkt es sich handelt HINWEIS Beim Nullabgleich sollte der Ist Druck kleiner 5 0x10 mbar sein Um optimale Ergebnisse beim Nachjustieren zu erzielen emp fehlen wir vor jedem Abgleich eine Warmlaufphase von min destens 5 Minuten beim jeweiligen Kalibrierdruck zu beachten Zum Justieren zun chst den Gummistopfen ber dem Taster adj entfern
3. 001M260014KTr 2 2 6x10 6 mbar Activate degas 001d1f R 001d1f R Deactivate degas 001d0e R 001d0e R Read setpoint 2 001S2V R 001S4000160 R gt 4 0x10 4 mbar Unlock setpoint 2 001s2v R 001s2v R Set setpoint 2 to 001s420016q R 0015420016q rR 4 2x10 4 mbar Unlock gas correction factor 1 001icle R 001cle R Set gas correction factor 1 001c000120W 001c000120W to 1 20 Unlock adjustment for 001j1I R 001j1I R atmosphere pressure Adjust on atmosphere pressure 001j100023a R 001j100023a R Before writing the parameters c correction factor s setpoint and j adjustment you must activate them by sending the corresponding unlock command vsh82 de 110318 3 THYRACONT 4 3 Degas Deposition or adsorbed gas molecules on the electrodes of the hot cathode sensor may lead to increased degassing in ultrahigh vacuum or even cause instabilities of the measurement signal In such cases it is appropriate to clean the anode of the sensor from such deposited material and adsorbed gas molecules by degassing This is done at pressures below 2 0x10 mbar by ohmic heating of the anode to temperatures around 8000 PLEASE NOTE During the degas process no actual pressure measurement is available Degas Control by analog signal Degas can be started externally from a PLC simply by connecting Pin 9 to ground for a short moment see chapter 3 3 2 The degas pr
4. 4 2 2 Kommunikationsprotokoll Die Kommunikation erfolgt gemaB Thyracont Protokoll Die Befehle werden in folgendem Rahmen als Zeichenfolge im ASCII Code bertragen Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code 1 Byte Befehlsparameter Gro buchstaben f r Lesen Kleinbuch staben f r Schreiben Data Datenfeld max 6 Bytes kann je nach Code auch fehlen cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe ber alle Bytes der Felder Addresse Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Datenformate BOOLEAN 1 Byte STRING max 6 Bytes UNSIGNED INT 6 Bytes mit f hrenden Nullen FLOAT 6 Bytes Exponentialformat 4 Bytes Mantisse entspricht Mantissenwert x 1000 2 Bytes Exponent Offset 20 FLOAT Werte werden in hPa mbar bertragen Beispiel Der Wert 460016 in einem Float Datenfeld steht f r 4 6x1 0 mbar Schnittstellen Parameter 9600 baud 8 Datenbits 1 Stopbit keine Paritat 4 2 3 Befehls bersicht Der Messumformer reagiert auf Typanfragen Messwertanfragen Justierbefehle Degas Anweisungen siehe Abschnitt 4 3 und Befehle zum Setzen von Gasart Korrekturfaktoren siehe Abschnitt 4 4 Die Programmierung der beiden Relais Schaltpunkte des VSH82 ist ebenfalls via RS485 m glich siehe Abschnitt 4 5 Dar ber hinaus lassen sich bestimmte Parameter konfigurieren die das Verhalten der Sensorik bestimmen siehe Abschnitt 4
5. 6 Bytes UNSIGNED INT 6 Bytes with leading zeros FLOAT 6 Bytes exponential format 4 Bytes mantissa means mantissa value x 1000 2 Bytes exponent offset 20 FLOAT values are transmitted in hPa mbar Example Value 460016 in a float type data field means 4 6x1 0 mbar Interface Parameter 9600 baud 8 data bits 1 stopbit no parity 4 2 3 Survey of Commands The transducer responds to type queries measurement queries adjustment commands degas commands chapter 4 3 and commands for setting gas correction factors chapter 4 4 Programming of the two relay switchpoints is also done via RS485 chapter 4 5 Further special parameters can be configured which determine the general behaviour of the sensors see chapter 4 6 and 4 7 vsh82 de 110318 THYRACONT 3 Survey of Commands Type T STRING read VSH82 VSH208 Measurement Value M FLOAT read Degas D d BOOLEAN read D write d Setpoint S s FLOAT read S write s VSH82 SP1 and SP2 Gas Correction Factor C c UNSIGNED INT read C write c VSH82 C1 for Pirani C2 for Bayard Alpert Mode Hot Kathode l i BOOLEAN read I write i Mode W w UNSIGNED INT read W write w Sensor Transition Pressure Adjustment j FLOAT write Examples for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Read type 001Te R 001 TVSH208p R Read pressure measurement 001MATR
6. 6 und 4 7 vsh82 de 110318 12 THYRACONT Befehls bersicht Typ T STRING lesen VSH82 VSH208 Messwert M FLOAT lesen Degas D d BOOLEAN lesen D schreiben d Schaltpunkt S s FLOAT lesen S schreiben s VSH82 SP1 und SP2 Gasart Korrekturfaktor C c UNSIGNED INT lesen C schreiben c VSH82 C1 f r Pirani C2 f r Bayard Alpert Modus Hei kathode l i BOOLEAN lesen schreiben i Modus W w UNSIGNED INT lesen W schreiben w Wertangleichung Druckjustierwert j FLOAT schreiben Beispiele f r Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Schaltpunkt 2 auf 4 2x10 4 mbar setzen Typ lesen 001Te r 001TVSH208p R Messwert lesen 001MATR 001M260014KTr 2 2 6x10 6 mbar Degas einschalten 001d1f R 001d1f R Degas ausschalten 001d0e R 001d0e R Schaltpunkt 2 lesen 001S2V 001S4000160 gt 4 0x10 4 mbar Unlock Schaltpunkt 2 001s2v R 001s2v R 0015420016q r 0015420016q r Atmosph rendruck Justieren auf Atmosph rendruck Unlock Gasart Korrekturfaktor 1 001c1e r 001c1e R Gasart Korrekturfaktor 1 001c0001 20WR 001c0001 20WR auf 1 20 setzen Unlock Justierpunkt f r 001j11 R 001j11 R 001j100023a 001j100023a Vor dem Schreiben der Parameter c Korrekturfaktor s Schaltpunkt und J Justierpunkt m ssen diese zun ch
7. Flansch f hren zu verst rktem Ausgasen im Er Hochvakuum und erh hen die Abpumpzeit Saubere fusselfreie Handschuhe tragen und sauberes Werk zeug verwenden vsh82 de 110318 THYRACONT z 4 10 Ausheizen Elektronik abnehmen Soll die Vakuumkammer ausgeheizt werden so darf die Temperatur am Sensorflansch 80C nicht berschreiten H here Ausheiztemperaturen bis maximal 180 am Flansch k nnen realisiert werden wenn Sie die Elektronikeinheit des Messumformers beim Ausheizen abnehmen Hierzu l sen Sie die beiden Inbusschrauben und ziehen die Elektronik Einheit gerade und ohne Drehbewegung nach hinten ab ACHTUNG nl Messumformer vor dem Abstecken der Elektronik Einheit von der Versorgungsspannung trennen ACHTUNG Es darf keinesfalls Feuchtigkeit oder Staub in die Elektronik Einheit gelangen ACHTUNG Beim An und Abstecken der Elektronik Einheit auf die Orientie rung achten und nicht verdrehen Dies kann zu Sch den am Ger t f hren vsh82 de 110318 2 THYRACONT 5 Wartung und Service WARNUNG A Vorsicht bei kontaminierten Teilen Es kann zu Gesundheitssch den kommen Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle Kontami nation Beachten Sie beim Umgang mit kontaminierten Teilen die einschl gigen Vorschriften und Schutzma nahmen Das Ger t ist wartungsfrei u erliche Verschmutzungen k nnen mit einem feuchten Tuch beseitigt werden Sollt
8. between materials and process media Consider possible reactions of the process media due to the heat generated by the product Do not carry out any unauthorized conversions or modifications on the unit Before you start working find out whether any of the vacuum components are contaminated Adhere to the relevant regulations and take the necessary precautions when handling contaminated parts When returning the unit to us please enclose a declaration of contamination Communicate the safety instructions to other users Pictogram Definition WARNING Danger of an electric shock when touching WARNING Danger of personal injury CAUTION Danger of damage to the unit or system PLEASE NOTE Important information about the product it s handling or about a particular part of the documentation which requires special attention vsh82 de 110318 THYRACONT 2 Vacuum Transducer VSH82 2 1 For Orientation This operating instructions describe installation and operation of products with article numbers VSH82MV VSH82MVCF The article number can be found on the product s type label Technical modifications are reserved without prior notification 2 2 Delivery Content Included in the delivery consignment are Transducer VSH82 Protective sensor screen Protective flange cover Operating instructions Available Accessories Measurement cable 2m for connection to VD9 display unit W1506
9. corrected below 0 1 mbar by setting correction factors for both sensor types via RS485 see chapter 4 2 and 4 4 4 2 Communication 4 2 1 The Serial Interface Of The VSH82 The VSH82 transducer is equipped with a serial RS485 interface To enable communication via RS485 please remove the rubber cap over the address switch 1 and then set the address switch to a value between 1 and 15 using a small screw driver or a similar tool 2 Afterwards insert the rubber cap again d aly 25 Aen degas 1 Communication is carried out according to the Thyracont protocol detailed information hereto is provided in a separate description PLEASE NOTE The analog output signal 0 10V is simultaneously available when RS485 is activated by address setting 1 15 vsh82 de 110318 3 THYRACONT 4 2 2 Communication Protocol Communication is carried out according to the Thyracont protocol The commands are sent as ASCll code in the following command frame Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code 1 Byte command parameter upper case character for read command lower case character for write command Data data field max 6 Bytes can be absent depending on code cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Data Formats BOOLEAN 1 Byte STRING max
10. d h die Ger te sind gesch tzt gegen Eindringen von Fremdk rpern Beachten Sie beim Umgang mit den verwendeten Prozessmedien die einschl gigen Vorschriften und Schutzma nahmen Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen zwischen Werkstoffen und Prozessmedien Ber cksichtigen Sie m gliche Reaktionen der Prozessmedien infolge der Eigener w rmung des Produkts Ger t nicht eigenm chtig umbauen oder ver ndern Informieren Sie sich vor Aufnahme der Arbeiten ber eine eventuelle Kontamination Beachten Sie im Umgang mit kontaminierten Teilen die einschl gigen Vorschriften und Schutzma nahmen Legen Sie beim Einsenden des Ger tes eine Kontaminationsbescheinigung bei Geben Sie die Sicherheitsvermerke an andere Benutzer weiter Piktogramm Definitionen WARNUNG Gefahr eines elektrischen Schlages beim Ber hren der Kontakte WARNUNG Gefahr von Personensch den ACHTUNG Gefahr von Sch den an Ger t oder Anlage HINWEIS Wichtige Information ber das Produkt dessen Handhabung RE oder den jeweiligen Teil der Betriebsanleitung auf den beson ders aufmerksam gemacht werden soll vsh82 de 110318 4 THYRACONT 2 Vakuum Messumformer VSH82 2 1 Zur Orientierung Diese Betriebsanleitung ist g ltig f r Produkte mit den Artikelnummern VSH82MV VSH82MVCF Sie finden die Artikelnummern auf dem Typenschild Technische Anderungen ohne vorherige Anzeige sind vorbehalten 2 2 Lieferumfang Zum Lieferumfang ge
11. for writing the degas parameter Data 1 Byte 1 for activating 0 for deactivating degas cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Example for address switch in position 1 transducer from transducer Activate degas 001d1f R 001d1f R Deactivate degas 001d0e R 001d0e R Read degas status 001DU R 001D1F R gt Degas on Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 vsh82 de 110318 40 THYRACONT 4 4 Gas Correction Factors The output signal of the VSH82 depends on type and composition of the gas being measured The unit is adjusted for N2 and dry air For other gases the pressure display can be corrected below 0 1 mbar by setting correction factors for both sensor types via RS485 The measurement results of both sensors are then individually multiplied with the corresponding correction factors by the units microcontroller The VSH82 can thereby provide a corrected pressure signal as analog and digital output Correction factor 1 Pirani Ar 1 6 CO2 0 89 He 1 0 Ne 1 4 CO 1 0 H2 0 57 N2 1 0 Kr 2 4 Correction factor 2 Bayard Alpert Ar 0 80 H2 2 4 N2 1 0 Kr 0 6 CO2 0 74 He 5 9 Ne 3 5 Xe 0 41 Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code C for reading c for writing
12. gauges and components which are sent back to us for repair or service Otherwise delays will be the consequence This declaration must be filled out and signed by authorized and qualified staff only 1 Type of Product 2 Reason for Return 3 Used Machinery Materials 4 Harmful Contamination of the Product toxic noO y corrosive noO microbiological noO explosive noO r radioactive noO other substances no 0 6 Legally Binding Declaration guarantee that all statements in this form are are correct and complete The dispatch of the contaminated products will be arranged according to legal regulations Company Name Street ZIP City Phone Telefax Email Company stamp legally binding signature vsh82 de 110318 THYRACONT 49 6 Technical Data f 0 j N I 00000000 bA 0000000 fed Measurement Principle Heat conduction Pirani Hot Cathode Bayard Alpert Measuring Range 1000 1 0x10 9 mbar 750 1 0x10 9 Torr Max Overload 4 bar abs Accuracy 1000 20mbar ca 30 f r from reading 20 0 001mbar 10 f r lt 0 001mbar 15 f r Materials with vacuum stainl steel 1 4301 tungsten nickel glass ceramic contact iridium Filaments Bayard Alpert yttria coated iridium Emission Current 9 pA 100 uA 1 0 mA Degas Method ohmic heating of the anode vsh82 de 110318 5 THYRACONT Power Consumption approx 6 5 W Output Signal 0
13. unenssnsnnnsnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnannnnnnnnnannnnn nenn 28 2 Vacuum Transducer VSHB2 2222222000000000000000000000n0nnnnnnnnnnnnnnn nn 29 2 1 For Orientation uuuuuessnnaannnnnnnenennnnnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnennn anna 29 2 2 Delivery Content erseenseennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnannnnnnnnnnnen 29 2 3 Product Description 444s444444He ee nnnnnnnnnnnennnnnnnnnn nn nnnn nn 29 3 Installation Deae E EE E EEEE 31 3 1 Notes for Installation uuuuunnsnennnnnnnannnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnn 31 3 2 Vacuum Connetction unneensnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnen 31 3 3 Electrical Connection uuuuuuunennnnannnnnnnnennnnnnnnnnnnnenennnnnnnnn 32 3 3 1 Operation With Thyracont Display Unit 32 3 3 2 Operation With Other Supply And Evaluation Units 33 4 Operations eet erect ie ee aaraa an aeaaeai 34 4 1 Gene Ire E 34 4 2 Communication uessssnnsnennnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnen 35 4 2 1 The Serial Interface Of The VSH82 00 eee 35 4 2 2 Communication Protocol cece cece cess eeeeceeeeseeaeeneeee 36 4 2 3 Survey of Commands 2404440rsnnnnnnnnnnnnnennnnennnnennnn 36 4 3 DOGAS me rl 38 4 4 Gas Correction Factors ucaeasessnnnsnnenenensnnnnnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnen 40 4 5 SWILCHBOINIS u4 22 create nenne nigra 41 4 6 Mode Hot Cathode uuuuuunnnnnnnnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 42 4 7 Mo
14. 002 Measurement cable 6m for connection to VD9 display unit W1506006 Counterplug 15pole XB1500002 2 3 Product Description The VSH82 vacuum transducer is measuring total pressure in the range of 1000 1 0x10 mbar The transducer can be connected to Thyracont display and control units or to customer related power supply and evaluation units in compliance with pin assignment The analog output signal 1 4V 8 6V has a logarithmic dependence on pressure over the whole range In addition the device has a serial RS485 interface for digital data transfer see chapter 4 2 The transducer is equipped with a metal sealed combination sensor type Pirani Hot Cathode Bayard Alpert and temperature compensated It can be mounted to suitable flange connectors vsh82 de 110318 30 THYRACONT Proper Use The VSH82 serves exclusively to provide total pressure measurements in the range 1000 1 0x1 0 mbar It may only be connected to components specifical ly provided for such purpose Improper Use The use for purposes not covered above is regarded as improper in particular the connection to components not allowed for in their operating instructions the connection to components containing touchable voltage carrying parts No liability or warranty will be accepted for claims arising from improper use The user bears the responsibility with respect to the used process media vsh82 de 110318 THYRACONT 31 3 Installatio
15. 10 VDC measuring range 1 4 8 6 VDC logarithmic Serial Interface RS485 9600 baud 8 databit 1 stopbit no parity Electrical Connection Sub D 15 pole male lockable Vacuum Connection VSH82MV small flange DN40 ISO KF VSH82MVCEF conflat flange DN40 CF Dimensions 139 x 70 mm VSH82MV vsh82 de 110318 THYRACONT 5 Declaration of Conformity C Erklarung Uber die Konformitat Diese Erklarung gilt fur folgend bezeichnete Erzeugnisse Ger teart Vakuum Messumformer Typenbezeichnung VSH82MV VSH82MVCF ZertifikatNr 266 130 Hiermit wird best tigt dass die Produkte den wesentlichen Schutzanforderungen entsprechen die in den Richtlinien des Rates zur ngleichung der Rechtsvorschriften der Mitgliedstaaten ber die elektromagnetische Vertr glichkeit 89 336 EVWG ge ndert durch 91 263 EWG 92 31 EWG 93 68 EWG sowie 93 97 EWG und der Niederspannungsrichtlinie 73 23 EWG ge ndert durch 93 68 EWG festgelegt sind Diese Erklarung wird abgegeben durch Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel Str 10 94036 Passau Germany Zur Beurteilung der Erzeugnisse hinsichtlich elektromagnetischer Vertraglichkeit wurden folgende Normen herangezogen DIN EN 61326 2004 05 Klasse B EN 61 010 1 2002 08 Passau 22 03 2006 als iL Datum Ort rechtsyul ige Unterschr t des Inverkehrbringers vsh82 de 110318 vsh82 de 110318
16. 1x1 0 mbar Correspondingly the output ur in this case means that actual pressure is below 1x1 0 mbar With disabled hot cathode it is not possible to start the degas function see chapter 4 3 PLEASE NOTE Parameter Mode Hot Cathode is only temporarily saved in the transducer memory After mains supply is switched off or disconnected the VSH82 will always be in mode Hot cathode enabled Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code for reading i for writing the parameter Data 1 Byte 1 to enable 0 to disable the hot cathode sensor cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Example for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Enable hot cathode 001i1k R 001i1k R Disable hot cathode 001 iOj R 001 iOj R Read mode hot cathode 0011Z R 00111 K R gt enabled Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 vsh82 de 110318 THYRACONT 43 4 7 Mode Sensor Transition By default the VSH82 performs a continuous transition between Pirani and hot cathode range whereupon an assimilation of the sensor signals is carried out In order to adapt the performance of the transducer to the requirements of the vacuum process
17. THYRACONT Vacuum Instruments VSH82 Vakuum Messumformer Vacuum Transducer Betriebsanleitung Operating Instructions 2 THYRACONT Inhalt 1 Hinweise f r Ihre Sicherheit 2 2 2 s0s0sssssssessseseseseeeeeeeeees 3 2 Vakuum Messumformer VSHB82 22202000000000000000000nnnnnnnnnnnnnn Rn 4 2A Z r Orientierung erroen een 4 2 2 Lieferumfang reset 4 2 3 Produktbeschreibung 4440044Hnnn0nnnn nn nnnnnnnnnnnnnnnn nennen 4 3 Installation sii ci ccsicc ateniene anaana aae aaia anat aaa ieaiaia aaae siida inaandaa aa 6 3 1 Hinweise zur Installation uuuunnneennnnneenenannnnennnnnnnnnnnnnnnnn 6 3 2 Vakuumanschluss uuananueeensnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 6 3 3 Elektrischer Anschluss uu nuuuuenannnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 7 3 3 1 Anschluss an Thyracont Anzeigeger te nn 7 3 3 2 Kundeneigene Spannungsversorgung nsnneerssnennenennnn 8 4 Betrieb 00 Auu0 cu aan ah dawn Hann nun dann wann ehe 9 AT Allgemeines lesnetenketeeanihnkieenk 9 4 2 Kommunikation essen 10 4 2 1 Die serielle Schnittstelle des VSH82 nn 10 4 2 2 Kommunikationsprotokoll uuerseesensennnnennnnnnnennnnnnnn 11 4 2 3 Befehls bersicht ununnneennenenennnnnnnsnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 11 4 3 DEGAR eer i ee ere ee ee eee ree 13 4 4 Gasart Korrekturfaktoren ccc cccsssssssssssssss
18. a correction factor Data Query to read or unlock 1 Byte 1 for correction factor Pirani 2 for correction factor Bayard Alpert read or write 6 Byte unsigned int cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return 0Dh 13d The value in the data field when reading or writing correction factors contains leading zeros and is equal to the 100fold of the factor Range 000020 for 0 20 bis 000800 for 8 00 Example for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Read gas correction factor 2 001C2F pR 001C000240z R gt c2 2 40 Unlock gas correction factor 1 001c1e R 001c1e R Set gas correction factor 1 001c000057 R 001c000057 R to 0 57 Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 vsh82 de 110318 THYRACONT 41 4 5 Switchpoints The VSH82 provides 2 independent potential free relay switchpoints These are available as change over switches at the connector according to the pin assignmentals described in chapter 3 3 2 The switches are active below the corresponding pressure setpoints The control LEDs at the connector side of the VSH82 are on then The hysteresis is fixed to 30 from the setpoint value Hysteresis Actual Pressure Switchpoint switching function off Time The programming of both s
19. ause personal injuries Inform your self regarding possible contamination before you start working Be sure to follow the relevant instructions and take care of necessary protective measures The unit requires no maintenance External dirt and soiling can be removed by a damp cloth Should a defect or damage occur on your VSH82 please send the instrument to us for repair and enclose a decontamination declaration CAUTION The unit is not prepared for customer repair PLEASE NOTE Error messages and malfunction Malfunction of the unit which is caused by contamination or break of filament is not covered by warranty Problem Possible Cause Correction high measurement error contamination ageing extreme temperature maladjustment readjustment 0 5V lt output signal lt 1 3V 000000 via RS485 pressure under range pressure lt 1x10 mbar output signal lt 0 5V defective unit or sensor send unit for repair 1 via RS485 5 via RS485 Code unknown check sent telegram code 7 via RS485 logic error command cannot be executed at the moment zero adjustment not possible measurement error exceeds possible range of readjustment send unit for repair vsh82 de 110318 44 THYRACONT Declaration of Contamination THYRACON T ATTENTION This declaration about contamination has to be filled out correctly and must be attached to all vacuum
20. de Sensor Transition uuueensenaannannnnnnenennnnnnnnnnnnnenennnnnnnnn 43 4 8 Readjustment ununmnnnnonennnnnonnnnnnonnnnnnnonnnnnnnonnnnnnnennn nn 44 4 9 Protective Sensor Screen uunueunenssnnnannnnnnnennnnnnnnnnnnnnnen anna 45 4 10 Bake Out Detachment of Electronics uuuuu00000nnnnnnn 46 5 Maintenance and Service cccccccccsscscescecececesececnsesecesusnsesesees 47 6 Technical Data ss ies civcceteccececisceccceetectcecdecdcacsesscsdinuncecccussesesacvucessensee 49 Declaration of COnfOrmity ccccceeecceeeceeeeeeeeeeeeeeeeneeeeaeeeaeeeeeeeeeeeess 51 Manufacturer Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel StraBe 10 D 94036 Passau Tel 49 851 95986 0 Fax 49 851 95986 40 email info thyracont de Internet http www thyracont com vsh82 de 110318 28 THYRACONT Safety Instructions Read and follow the instructions of this manual Inform yourself regarding hazards which can be caused by the product or arise in your system Comply with all safety instructions and regulations for accident prevention Check regularly that all safety requirements are being complied with Take account of the ambient conditions when installing your VSH82 The protection class is IP 40 which means the unit is protected against penetration of foreign bodies Adhere to the applicable regulations and take the necessary precautions for the process media used Consider possible reactions
21. e wider Erwarten ein Schaden an Ihrem VSH82 auftreten senden Sie das Ger t bitte mit einer ausgef llten Kontaminationserkl rung siehe n chste Seite zur Reparatur an uns ACHTUNG HINWEIS Fehlersignal und St rungen Das Ger t ist nicht zur kundenseitigen Reparatur vorgesehen Fehlfunktionen des Ger tes die auf Verschmutzung oder Wendelbruch zur ckzuf hren sind fallen nicht unter die Ge w hrleistung Problem M gliche Ursache Behebung Messwertabweichung zu gro Alterung Verschmutzung extreme Temperaturen falsche Justierung Nachjustieren 0 5V lt Mess Signal lt 1 3V 000000 via RS485 Messbereich unterschritten Druck lt 1x10 mbar Mess Signal lt 0 5V Ger t oder Sensor defekt Gerat einschicken 1 via RS485 5 via RS485 Code unbekannt gesendeten Telegramm Code pr fen 7 via RS485 logischer Fehler Bearbeitung des gesendeten Befehls ist momentan nicht m glich Nachjustieren des Pirani Nullpunkts nicht m glich Messwertabweichung ber steigt den Justierbereich Ger t einschicken vsh82 de 110318 THYRACONT 23 Kontaminierungserklarung THYRACON T ACHTUNG Diese Kontaminierungserkl rung muss korrekt und vollst ndig ausgef llt allen Vakuumger ten und komponenten beigelegt werden die Sie zur Reparatur oder Wartung an uns zur cksenden Ansonsten kommt es zu einer Verz gerung der Arbeiten Die
22. elegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Schaltpunkt 2 lesen 001S2V 001S4000160 R gt 4 0x10 4 mbar Unlock Schaltpunkt 2 001s2v R 001s2v R Schaltpunkt 2 auf 0015420016q r 0015420016q r 4 2x10 4 mbar setzen Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 vsh82 de 110318 THYRACONT 17 4 6 Modus HeiBkathode Bei bestimmten Prozess Schritten kann es gew nscht sein das von der Ger teelektronik automatisch gesteuerte Einschalten des Hei kathodensensors zu unterdr cken Hierzu ist es m glich die Hei kathode per Softwarebefehl ber die RS485 Schnittstelle zu deaktivieren o Modus deaktiviert gt kein Einschalten der HeiBkathode jr Modus aktiv gt automatisches Ein und Abschalten der Hei kathode Bei deaktivierter Hei kathode verh lt sich der VSH82 wie ein reiner Pirani Messumformer mit Messbereich 1000 1x10 mbar Entsprechend bedeutet die Ausgabe ur in diesem Fall dass der Druckwert unterhalb 1x10 mbar liegt Das Einschalten der Degas Funktion s Abschnitt 4 3 ist bei deaktivierter Hei kathode nicht m glich HINWEIS Der Parameter Modus Hei kathode wird nur tempor r im Ger t gespeichert Nach Ausfall oder Ausschalten der Span nungsversorgung befindet sich der VSH82 immer im Modus Hei kathode aktiv Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressrau
23. en 1 dann mit einem d nnen Schraubendreher oder hnlichem Hilfsmittel kurz auf den Taster dr cken 2 Gummistopfen nun wieder einsetzen vsh82 de 110318 2 THYRACONT Nachjustieren Uber RS485 Ein Nachjustieren auf Atmosph rendruck oder Nulldruck ist auch durch entsprechende Software Befehle ber die RS485 Schnittstelle m glich Um unbeabsichtigtes Justieren des Messumformers zu verhindern muss der jeweilige Justierpunkt f r Atmosph rendruck bzw Nulldruck zun chst freige schaltet werden danach kann die eigentliche Justierung erfolgen Beispiel f r Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Unlock Justierpunkt f r 001j1I R 001j11 R Atmospharendruck Justieren auf Atmospharendruck 001j100023a R 001j100023a R Unlock Justierpunkt f r 001jOk R 001jOk R Nulldruck Justieren auf Nulldruck 001j100016c R 001j100016c R Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 4 9 Schutzblende einbauen Um den Sensor gegen starke Verschmutzung Strahlung und schnelle Teilchen zu sch tzen empfehlen wir f r diese F lle den Einbau der mitgelieferten Schutz blende Die Schutzblende dazu wie abgebildet vorsichtig in den Flansch legen und mit der beiliegenden Montagehilfe in den Flansch dr cken bis sie einrastet HINWEIS Vorsicht schmutzempfindliche Sensorik Verschmutzungen im Sensor oder am
24. etpoints is done via RS485 interface Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code S for reading s for writing setpoints Data Query to read or unlock 1 Byte 1 for setpoint 1 relay A 2 for setpoint 2 relay B Read or write setpoint 6 Byte float cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Example for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Read setpoint 2 001S2V R 001S4000160 gt 4 0x10 4 mbar Unlock setpoint 2 001s2v R 001s2v R Set setpoint 2 to 001s420016q R 001s420016q R 4 2x10 4 mbar Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 vsh82 de 110318 4 THYRACONT 4 6 Mode Hot Cathode For certain vacuum processes it may be favoured to suppress the start of the hot cathode sensor which is automatically controlled by the transducer electronics Therefore it is possible to disable the hot cathode by software command via RS485 interface o Mode disabled gt hot cathode sensor remains switched off 1 Modus enabled gt start of hot cathode is automatically controlled by the transducer standard When the hot cathode is disabled your VSH82 behaves like a Pirani transducer with range 1000
25. gsversorgung 20 30 VDC Ausgangssignal 0 10 VDC Messbereich 1 4 8 6 VDC logarithmisch Serielle Schnittstelle RS485 9600 baud 8 databit 1 stopbit no parity Elektrischer Anschluss Sub D 15 polig m nnl verschraubbar Vakuumanschluss VSH82MV Kleinflansch DN40 ISO KF VSH82MVCF Conflat Flansch DN40 CF Abmessungen 139 x 70 mm VSH82MV vsh82 de 110318 26 THYRACONT Konformitatserklarung C Erklarung Uber die Konformitat Diese Erklarung gilt fur folgend bezeichnete Erzeugnisse Ger teart Vakuum Messumformer Typenbezeichnung VSH82MV VSH82MVCF ZertifikatNr 266 130 Hiermit wird best tigt dass die Produkte den wesentlichen Schutzanforderungen entsprechen die in den Richtlinien des Rates zur Angleichung der Rechtsvorschriften der Mitgliedstaaten ber die elektromagnetische Vertr glichkeit 89 336 EVVG ge ndert durch 91 263 EWG 92 31 EWG 93 68 EWG sowie 93 97 EWG und der Niederspannungsrichtlinie 73 23 EWG geandert durch 93 68 EWG festgelegt sind Diese Erklarung wird abgegeben durch Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel Str 10 94036 Passau Germany Zur Beurteilung der Erzeugnisse hinsichtlich elektromagnetischer Vertraglichkeit wurden folgende Normen herangezogen DIN EN 61326 2004 05 Klasse B EN 61 010 1 2002 08 Passau 22 03 2006 Datum Ort rechtsyul sige Unterschr t des Inverkehrbringers vsh82 de 110318 THYRACONT 2 Content 1 Safety Instructions
26. h ren Messumformer VSH82 Staubschutzkappe Schutzblende f r Sensor Betriebsanleitung Lieferbares Zubeh r Messkabel 2m zum Anschluss an Anzeigeger t VD9 W1506002 Messkabel 6m zum Anschluss an Anzeigegerat VD9 W1506006 Gegenstecker SubD 15polig XB1500002 2 3 Produktbeschreibung Der Vakuum Messumformer VSH82 dient zur Absolutdruck Messung im Bereich 1000 1 0x10 mbar Das Ger t kann an ein Thyracont Anzeigeger t angeschlossen oder gem Anschlussbelegung mit einer kundeneigenen Spannungsversorgung betrieben werden Das analoge Mess Signal 1 4V 8 6V ist dabei ber den gesamten Messbereich logarithmisch vom Druck abh ngig Zus tzlich besitzt das Ger t eine RS485 Schnittstelle zur digitalen Daten bertra gung siehe Kapitel 4 2 Das Ger t ist mit einem metallgedichteten Kombinationssensor des Typs Pirani Hei kathode Bayard Alpert ausger stet und temperaturkompensiert Es kann an geeignete Flanschverbindungen angeschlossen werden vsh82 de 110318 THYRACONT Bestimmungsgem e Verwendung Das VSH82 dient ausschlie lich der Totaldruckmessung im Bereich 1000 1 0x10 mbar Es darf nur an geeignete und hierf r vorgesehene Komponenten angeschlossen werden Nicht bestimmungsgem e Verwendung Als nicht bestimmungsgem gilt der Einsatz zu Zwecken die von oben genannten abweichen insbesondere der Anschluss an Ger te oder Komponenten die laut ihrer Betriebs anleitung h
27. ierf r nicht vorgesehen sind der Anschluss an Ger te die ber hrbare Spannung f hrende Teile aufweisen Bei nicht bestimmungsgem enm Einsatz erlischt jeglicher Haftungs und Gew hrleistungsanspruch Die Verantwortung im Zusammenhang mit den verwendeten Prozessmedien liegt beim Betreiber 5 vsh82 de 110318 6 THYRACONT 3 Installation 3 1 Hinweise zur Installation WARNUNG Keine eigenmachtigen Umbauten oder Veranderungen am Gerat vornehmen Aufstellungsort Innenr ume F r nicht vollklimatisierte Betriebsr ume gilt Temperatur 50 50T Rel Luftfeuchte max 80 bis 30 max 50 bei 40 nicht betauend Luftdruck 860 1060 hPa 3 2 Vakuumanschluss ACHTUNG Schmutz und Besch digungen insbesondere am Flansch be eintr chtigen die Funktion dieses Ger tes Beachten Sie bitte die beim Umgang mit Vakuumkomponenten erforderlichen Regeln in Bezug auf Sauberkeit und Schutz vor Besch digung Staubschutzkappe entfernen wird bei Instandhaltungsarbeiten wieder ben tigt Vakuumanschluss ber Kleinflansch DN40 ISO KF VSH82MV oder DN40CF Flansch VSH82MVCF herstellen Bei Verbindung ber Kleinflansch Metall Spannelemente verwenden die sich nur mit einem Werkzeug ffnen und schlie en lassen z B Spannband Spannring Dichtringe mit Zentrierring verwenden Sicherstellen dass der Sensorflansch mit dem Schutzleiter verbunden ist beispielsweise durch metallischen Kontakt zur geerde
28. m RS485 001 999 Code I zum Lesen i zum Schreiben des Parameters Data 1 Byte 1 zum aktivieren 0 zum deaktivieren der Hei kathode cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe ber alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Beispiel fur Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Hei kathode aktivieren 001i1k R 001i1k R Hei kathode deaktivieren 001i0j R 001i0j R Modus Hei kathode lesen 001IZ R 00111 K R 2 aktiv Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 vsh82 de 110318 8 THYRACONT 4 7 Modus Wertangleichung Im VSH82 erfolgt standardm ig ein kontinuierlicher bergang zwischen Pirani und Hei kathodenbereich Dabei findet eine Wertangleichung statt Um das Verhalten des Messumformers den Prozessanforderungen optimal anzupassen k nnen mit dem Parameter Modus Wertangleichung per R8485 folgende Optionen konfiguriert werden o keine Wertangleichung d h hartes Umschalten zwischen Pirani und Hei kathode bei 1 0 x10 mbar I Wertangleichung im Bereich 1 0 2 0x10 mbar Standard Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code W zum Lesen w zum Schreiben des Parameters Data 6 Bytes 000001 Wertangleichung 000000 harte Umschaltung
29. made by means of suitable cables considering EMI demands and according to the pin description shown below Socket Type SubD 15pole male ma Ni PIN2 _ Pin 1 Identification En VY out Pin 2 Signal Output 0 10VD 4 m V N Pin3 AGND PN4 Pin 4 Voltage Supply 24VDC ayaa ie eae Pin 5 Supply GND LOR gr zu GND Pin 6 Relay A N O EIN ns Pin 7 Relay A Common ER I Pin 8 Relay A N C j Pin 9 Degas extern PING m Pin 10 RS485 O PIN Pin 11 RS485 a ans Pin 12 Shield m 0 Pin 13 Relay B N O PING _ Degas _ Pin 14 Relay B Common PINA l Pin 15 Relay B N C ng PINT aa _ RS485 PIN 13 ao OPIN 14 m T PIN15 PLEASE NOTE We recommend to have Shield Pin 6 and supply common Pin5 grounded in the supply unit CAUTION Incorrect connection or inadmissible supply voltage can damage the transducer vsh82 de 110318 34 THYRACONT 4 Operation 4 1 General Measurement Principle The VSH82 vacuum transducer is equipped with an internal combination sensor of type Pirani Hot Cathode The Pirani principle uses the heat conduction of gases for measuring vacuum A sensor filament is heated to a certain temperature threshold according to a patented pulsed mode the time needed for heating is a measure for total gas Pressure The hot cathode sensor of Bayard Alpert type ionizes gas molecules by electron bombardment The resul
30. n 3 1 Notes for Installation WARNING Unauthorized modifications or conversions of the instrument are not allowed i Installation location Indoor For not fully air conditioned open buildings and operation rooms Temperature 50 506 Rel Humidity max 80 up to 30 max 50 at 40 not condensing Air pressure 860 1060 hPa 3 2 Vacuum Connection CAUTION Dirt and damage especially at the vacuum flange have an ad verse effect on the function of this vacuum component Please take account of the necessary instructions with regard to cleanliness and damage prevention when using vacuum compo nents Remove the protective cover is required again during maintenance work Make vacuum connection via small flange DN40 ISO KF VSH82MV or conflat flange DN40CF VSH82MVCF Use clamps that can be opened and closed with appropriate tools only e g strap retainer tension ring use sealing rings with a centering ring Make sure that the sensor flange is connected to ground e g by having electrical contact to the grounded vacuum chamber use metallic clamps The transducer may be mounted in any orientation Mounting with the flange to the top however can lead to early contamination An upright orientation with flange to the bottom is to be preferred in order to keep particles and condensates out of the sensor cell Further the transducer is adjusted in the upright position ex works Different orienta
31. nal des VSH82 ist gasartabhangig Das Ger t ist auf N gt bzw trockene Luft abgeglichen F r andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0 1 mbar korrigiert werden indem Korrekturfaktoren f r beide Sensortypen via RS485 gesetzt werden Die Messwerte der Sensoren werden dann bereits im Ger t jeweils mit den entsprechenden Korrekturfaktoren multipliziert so dass am analogen und digitalen Ausgang des Messumformers ein korrigiertes Mess Signal zur Verf gung steht Korrekturfaktor 1 Pirani Ar 1 6 CO2 0 89 He 1 0 Ne 1 4 CO 1 0 H2 0 57 N2 1 0 Kr 2 4 Korrekturfaktor 2 Bayard Alpert Ar 0 80 H2 2 4 N2 1 0 Kr 0 6 CO2 0 74 He 5 9 Ne 3 5 Xe 0 41 Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code C zum Lesen c zum Schreiben des Korrekturfaktors Data Leseanfrage oder Unlock 1 Byte 1 f r Korrekturfaktor Pirani 2 f r Korrekturfaktor Bayard Alpert Wert lesen oder schreiben 6 Byte unsigned int cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe ber alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Der Wert des Datenfeldes beim Lesen oder Schreiben des Korrekturfaktors beinhaltet fuhrende Nullen und entspricht dem 100fachen des Korrekturfaktors Wertebereich 000020 f r 0 20 bis 000800 f r 8 00 Beispiel f r Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer
32. nd des Degas Vorgangs leuchtet die rote Kontroll LED neben dem Degas Taster auf der Steckerseite des Ger ts Der Degas Vorgang wird nach ca 3 Minuten selbst ndig abgeschaltet Er kann jedoch jederzeit durch nochmaligen Tastendruck beendet werden Degas Steuerung ber RS485 Der Degas Vorgang kann durch entsprechende Softwarebefehle ber die serielle Schnittstelle RS485 ein und ausgeschaltet werden Das Ausheizen wird nach ca 3 Minuten selbst ndig beendet kann jedoch jederzeit per Softwarebefehl ausgeschaltet werden W hrend des Degas Vorgangs leuchtet die rote Kontroll LED neben dem Degas Taster auf der Steckerseite des Ger ts Address Code Data cks CR Address 3 Bytes dezimal Adressraum RS485 001 999 Code d zum Schreiben des Degas Parameters Data 1 Byte 1 zum einschalten 0 zum ausschalten von Degas cks 1 Byte Checksumme definiert als Summe ber alle Bytes der Felder Address Code und Data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Beispiel fur Adress Schalterstellung 1 Aktion Telegramm an Antwort Telegramm Messumformer vom Messumformer Degas einschalten 001d1f R 001d1f R Degas ausschalten 001d0e R 001d0e R Degas Status lesen 001DU R 001D1F R gt Degas on Weitere Informationen zum Thyracont Kommunikationsprotokoll finden Sie in Abschnitt 4 2 vsh82 de 110318 THYRACONT 15 4 4 Gasart Korrekturfaktoren Das Mess Sig
33. ng f hren dem Kabel herstellen Stecker am Messumformer einstecken und mit Schrauben sichern Gegen ber liegenden Stecker am Anzeigeger t anstecken und sichern Erst danach Spannungsversorgung am Anzeigeger t herstellen bzw einschalten vsh82 de 110318 7 8 THYRACONT 3 3 2 Kundeneigene Spannungsversorgung Der Messumformer kann auch mit anderen Anzeigegeraten oder kundeneigener Spannungsversorgung betrieben werden Die elektrische Verbindung ist unter Verwendung geeigneter Kabel EMV gerecht gemaB untenstehender Pinbelegung herzustellen Stecker Typ SubD PN1 15polig m nnlich 17K2 a PN2 Pin 1 Identifikation PN3 V out Pin2 Signal Output 0 10 VDC t m N Pin 3 AGND 100n ns 20 30VDC Pin 4 Voltage Supply 24 VDC t PINS l Pin 5 Supply GND LOK t gt GND Pin6 Relay A N O PIN 12 m gt Pin 7 Relay A Common a a Pin 8 Relay A N C Pin9 Degas extern PING Pin 10 RS485 BINT Pin 11 RS485 an gt _o Pin 12 Shield PINS m gt Pin 13 Relay B N O 5 Pin 14 Relay B Common PINS Deus Pin 15 Relay B N C PIN 10 PINT RS485 PIN13 PIN 14 O PNIS i HINWEIS Wir empfehlen Abschirmung Pin 12 und Speisungserde Pin5 beim Speiseger t mit Erdung zu verbinden E ACHTUNG Eee Falscher Anschluss oder unzul ssige Versorgungsspannung k nnen zu Sch den am Messumformer f h
34. ocedure will stop automatically after approx 3 minutes but can be cancelled any time by again connecting Pin 9 to ground for a short moment While the sensor is degassing the red control LED is on which is placed next to the degas key on the connector side of the transducer Degas Control by pushbutton The degas function can also be activated directly at the transducer by the degas pushbutton To do this first remove the rubber cap above the degas pushbutton 1 then press the button by means of a small screwdriver or similar tool 2 Afterwards insert the rubber cap again o 10V RS485 adj SP1 SP2 3 y o oA vsh82 de 110318 THYRACONT The degas procedure will stop automatically after approx 3 minutes but can be cancelled any time by pressing the pushbutton once again While the sensor is degassing the red control LED is on which is placed next to the degas key on the connector side of the transducer Degas Control via RS485 Degas can also be controlled by corresponding software commands via RS485 The degas procedure will stop automatically after approx 3 minutes but can be cancelled any time by sending the corresponding software command While the sensor is degassing the red control LED is on which is placed next to the degas key on the connector side of the transducer Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code d
35. racht sein eine Stabilisierungszeit von 2min zu beachten Messgenauigkeit Das Ger t ist ab Werk in stehender Position bei einer Versorgungsspannung von 24VDC abgeglichen Verschmutzung Alterung extreme klimatische Bedingun gen oder andere Einbaulagen k nnen ein Nachjustieren erforderlich machen Im Bereich oberhalb 20mbar ist die Messgenauigkeit reduziert vsh82 de 110318 10 THYRACONT Gasartabhangigkeit Das Mess Signal ist gasartabhangig Das Ger t ist auf N2 bzw trockene Luft abgeglichen Fur andere Gase kann die Druckausgabe unterhalb 0 1 mbar korrigiert werden indem Korrekturfaktoren f r beide Sensortypen via RS485 gesetzt werden siehe Abschnitt 4 2 bzw 4 4 4 2 Kommunikation 4 2 1 Die serielle Schnittstelle des VSH82 Der Messumformer VSH82 verf gt ber eine serielle Schnittstelle RS485 Um die Kommunikation ber RS485 zu aktivieren ist zun chst der Gummistopfen ber dem Adress Schalter zu entfernen 1 und anschlie end der Adress Schalter mit einem d nnen Schraubendreher oder hnlichem Hilfsmittel auf einen Wert zwischen 1 und 15 einzustellen 2 Danach den Gummistopfen wieder einsetzen NEO 1 Die Kommunikation erfolgt gem Thyracont Protokoll ausf hrliche Detailinfor mationen hierzu finden Sie in einer gesonderten Beschreibung HINWEIS Der analoge Signalausgang 0 10V steht auch bei aktiver RS485 in Schalterstellung 1 15 zur Verf gung vsh82 de 110318 THYRACONT
36. ren vsh82 de 110318 THYRACONT 9 4 Betrieb 4 1 Allgemeines Messprinzip Der Vakuum Messumformer VSH82 besitzt eine interne Kombination aus Piranisensor der die Warmeleitfahigkeit von Gasen zur Vakuummessung nutzt und einem Hei kathoden lonisationssensor nach Bayard Alpert Beim W rmeleitungssensor wird ein Wendel Filament im Pulsbetrieb bis zu einem bestimmten Temperatur Schwellwert aufgeheizt Die notwendige Aufheizzeit ist ein Ma f r den Absolutdruck Der Bayard Alpert Sensor ionisiert Gasmolek le durch Elektronenbeschuss Der gemessene lonenstrom ist ein Ma f r die Anzahl der vorhandenen Gasmolek le und somit f r den Absolutdruck Ausgangssignal Das Mess Signal 1 4 8 6 V des VSH82 ist ber den gesamten Messbereich von 1 0x10 1000 mbar logarithmisch vom Druck abh ngig Die Umrechnung erfolgt gem folgendem Zusammenhang Vour V 0 6 log p mbar 6 8 p mbar 10 Vout 68 06 Serielle Schnittstelle RS485 Der gemessene Druckwert kann Uber die serielle RS485 Schnittstelle des Messumformers digital ausgelesen werden Dar ber hinaus k nnen verschiede ne Parameter wie Gasart Korrekturfaktoren programmiert werden Weitere Informationen hierzu finden sie im Abschnitt 4 2 Kommunikation Stabilisierungszeit Die Ausgabe des Mess Signals erfolgt direkt nach Einschalten des Ger ts Zur Ausnutzung der vollen Genauigkeit des VSH82 kann es insbesondere nach extremen Druckspr ngen angeb
37. s to mount the protective screen which is delivered together with the transducer For this put the protective screen in the flange and carefully push it into the flange by means of the enclosed mounting accessory as shown below until it snaps in PLEASE NOTE Caution the sensor is susceptible against contamination Contamination inside the sensor or flange will lead to increased degassing under high vacuum and extend pumping times Wear clean non fuzzing gloves and use clean tools only vsh82 de 110318 44 THYRACONT 4 10 Bake Out Detachment of Electronics When a bake out of the vacuum chamber is performed the temperature at the sensor flange must not exceed 800 Higher bake out temperatures up to 180 at the sen sor flange can be realized if the electronics unit of the transducer is detached For this purpose unscrew the two socket screws as shown below and pull the electronics unit straightly and without twisting off the flange CAUTION The transducer must be disconnected from voltage supply before detaching the electronics unit CAUTION Make sure that no moisture or dust can intrude the electronics unit CAUTION When attaching the electronics unit pay attention to correct orientation do not twist while attaching This can damage the transducer vsh82 de 110318 THYRACONT 5 Maintenance and Service WARNING 47 Danger of possibly contaminated parts Contaminated parts can c
38. se Erkl rung darf nur von autorisiertem Fachpersonal ausgef llt und unterschrieben werden 1 Art des Produkts 2 Grund f r die Einsendung Artikelnr Seriennr 3 Verwendete s Betriebsmittel 4 Einsatzbedingte gesundheitsgef hrdende Kontaminierung des Produkts toxisch nein tzend nein c mikrobiologisch nein E explosiv nein c radioaktiv nein sonst Schadstoffe nein 6 Rechtsverbindliche Erkl rung Hiermit versichere n ich wir dass die Angaben in diesem Vordruck korrekt und vollst ndig sind Der Versand des kontaminierten Produkts erfolgt gem den gesetzlichen Bestimmungen Firma lnstitut Stra e PLZ Ort Telefon Name Telefax Email Firmenstempel rechtsverbindliche Unterschrift vsh82 de 110318 24 THYRACONT 6 Technische Daten f 8 i N i 00000000 8 8 W rmeleitf higkeit Pirani Hei kathode Bayard Alpert Messbereich 1000 1 0x10 mbar 750 1 0x10 Torr Max Uberlast 4 bar abs Genauigkeit 1000 20mbar ca 30 f r v Messwert 20 0 001mbar 10 f r lt 0 001mbar 15 f r Materialien mit Edelstahl 1 4301 Wolfram Nickel Glas Keramik Iridium Vakuumkontakt Filaments Bayard Alpert yttriertes Iridium Emissionsstrom 9 uA 100 LA 1 0 mA Degas Methode ohmsche Heizung der Anode vsh82 de 110318 THYRACONT 25 Abtastrate 120 ms max 1800 am Flansch bei abgenommener Elektronik Spannun
39. ssssssesssssssessserees 15 4 5 Schaltpunkte unnsnnnnennnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 16 4 6 Modus HeiBkathode uuuun00uusnannnnnenannnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnn 17 4 7 Modus Wertangleichung 4sssnnnnennnnnnnnnnnnennnnn nenn 18 4 8 Nachjustieren uruns0onnnnnnnannnnnnnannnnnnnnnnnnnnannnnnnnannnnnnnannnn 19 4 9 Schutzblende einbauen uuuuus4eeeeeeeeeeeeeeennenennnnnnnnneeennnnn 20 4 10 Ausheizen Elektronik abnehmen ccccceseessseeeeeeeeeeeeeees 21 5 Wartung und Service uuunnssssnannnnannnnnnnnnnnnnnnnnnnnnnannnnnnnnnannnnnannnnnnn 22 6 Technische Daten 2 222202000020n20n0n000000nnannnnnnnnnnunnunn ann nnnnnn 24 Konformit tserkl rung sssini aanas Ra 26 Hersteller Thyracont Vacuum Instruments GmbH Max Emanuel Stra e 10 D 94036 Passau Tel 49 851 95986 0 Fax 49 851 95986 40 email info thyracont de Internet http www thyracont com vsh82 de 110318 VVV VV Vv VV V THYRACONT 3 Hinweise fur Ihre Sicherheit Lesen und befolgen Sie alle Punkte dieser Anleitung Informieren Sie sich Uber Gefahren die vom Gerat ausgehen und Gefahren die von Ihrer Anlage ausgehen Beachten Sie die Sicherheits und Unfall Verh tungsvorschriften Pr fen Sie regelm ig die Einhaltung aller Schutzma nahmen Installieren Sie das VSH82 unter Einhaltung der entsprechenden Umgebungsbedin gungen die Schutzart ist IP40
40. st mit einem Unlock Befehl freigeschaltet werden vsh82 de 110318 THYRACONT 483 4 3 Degas Ablagerungen und adsorbierte Gasmolek le auf den Elektroden des Hei katho densensors k nnen zu erh htem Ausgasen im Ultrahochvakuum f hren sowie andererseits Instabilit ten im Mess Signal verursachen In diesem Fall ist es angebracht bei einem Druck unterhalb 2 0x10 mbar die Anode des Sensors durch Ausheizen von Ablagerungen und adsorbierten Gasmolek len zu reinigen Die Anode erw rmt sich dabei durch ohmsche Heizung auf bis zu 8000 HINWEIS W hrend des Ausheizvorgangs werden keine aktuellen Mess werte ausgegeben Degas Steuerung durch Analogsignal Der Degas Vorgang kann von einer Anlagensteuerung aus gestartet werden indem Anschlusspin 9 kurz auf Masse gelegt wird siehe Abschnitt 3 3 2 Das Ausheizen wird nach ca 3 Minuten selbst ndig abgeschaltet kann jedoch jederzeit abgebrochen werden indem Pin 9 nochmals kurz auf Masse geschaltet wird W hrend des Degas Vorgangs leuchtet die rote Kontroll LED neben dem Degas Taster auf der Steckerseite des Ger ts Degas Steuerung durch Tastendruck Ferner kann die Degas Funktion direkt am Ger t per Tastendruck aktiviert werden Hierzu den Gummistopfen ber dem Taster degas entfernen 1 dann mit einem d nnen Schraubendreher oder hnlichem Hilfsmittel kurz auf den Taster dr cken 2 Gummistopfen wieder einsetzen vsh82 de 110318 14 THYRACONT W hre
41. ten Vakuumkammer metallische Spannelemente Die Einbaulage ist frei w hlbar jedoch kann eine Montage von unten d h mit nach oben gerichtetem Flansch zu vorzeitiger Verschmutzung f hren Zu bevorzugen ist der Einbau von oben d h mit nach unten gerichtetem Flansch damit sich Staub und Kondensat nicht in der Messzelle ansammeln k nnen Der Messumformer ist in dieser Lage ab Werk justiert ist Bei anderer Einbaulage ist ohne Nachjustierung eine erh hte Messwertabweichung im Druckbereich oberhalb 20 mbar zu erwarten vsh82 de 110318 THYRACONT ACHTUNG Das Ger t beim Einbau nicht gewaltsam verdrehen dies kann A zur mechanischen Besch digung f hren WARNUNG Bei berdruck im Vakuumsystem gt 1 bar Versehentliches ffnen von Spannelementen kann zu Verlet zungen durch herumfliegende Teile f hren Ungesicherte Schlauchverbindungen k nnen sich l sen und Ge sundheitssch den durch ausstr mende Prozessmedien herbei f hren WARNUNG Bei berdruck im Vakuumsystem 1 5 bis 4 bar Bei KF Flanschverbindungen k nnen Elastomer Dichtringe dem Druck nicht mehr standhalten Dies kann zu Gesundheitssch den durch ausstr mende Prozessmedien f hren 3 3 Elektrischer Anschluss 3 3 1 Anschluss an Thyracont Anzeigegerate Wird der Messumformer an einem Thyracont Anzeigegerat betrieben ist ein geeignetes Messkabel zu verwenden siehe Zubeh r Anschluss des Messumformers niemals mit Spannu
42. the VSH82 The transducer will notice automatically which adjustment point is relevant PLEASE NOTE For zero adjustment actual pressure should be less than 5 0x10 mbar To achieve optimum results of the adjustment we recommend to consider a warm up of at least 5 minutes at the appropriate calibration pressure before any adjustment For adjustment first remove the rubber cap over the adj button 1 then press the pushbutton by means of a screwdriver or other suitable tool 2 Afterwards insert the rubber cap again vsh82 de 110318 THYRACONT 45 Readjustment via RS485 Readjustment on atmosphere or zero pressure is also possible by means of software commands via RS485 interface To avoid unintended adjustment the corresponding adjustment point for atmosphere or zero pressure must be unlocked before the actual adjustment can be performed Example for address switch in position 1 transducer from transducer Unlock adjustment point for 001j1I R 001j11 R atmosphere pressure Adjustment on atmosphere 001j100023a R 001j100023a R Unlock adjustment point for 001j0k R 001j0k R zero pressure Adjustment on zero 001j100016c R 001j100016c R Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 4 9 Protective Sensor Screen To protect the sensor against contamination radiation and fast moving particles it is recommended in such case
43. ting ion current is a measure for the number of gas molecules present in the sensor and proportional to the absolute pressure Output Signal The output signal 1 4 8 6 V of your VSH82 has a logarithmic dependence on pressure over the whole measurement range 1 0x10 1000 mbar Conversion of voltage signal and pressure is done according to the following formula Vour V 0 6 log p mbar 6 8 p mbar 10 Vout 6 8 0 6 Serial Interface RS485 The measured absolute pressure can be read out digitally via the transducers serial RS485 interface Additionally you can set various parameters like gas correction factors or setpoints For further information see chapter 4 2 communi cation Warm Up Time The signal output of VSH82 is available immediately after the unit is switched on To take advantage of the maximum accuracy of the unit it is appropriate to allow for stabilization time of 2 minutes especially when extreme pressure changes have occurred Accuracy The unit is adjusted ex works in upright position and at 24V voltage supply Through contamination ageing extreme climatic conditions or different mounting orientation the need for readjustment may arise Accuracy is reduced in the range above 20mbar vsh82 de 110318 THYRACONT 3 Dependence On Gas Type The output signal depends on composition and type of the gas being measured The unit is adjusted for Nz and dry air For other gases the pressure display can be
44. tion without readjustment will lead to reduced accuracy at pressures above 20 mbar vsh82 de 110318 2 THYRACONT CAUTION When mounting the transducer avoid forced twisting or violent opening This can damage the VSH82 WARNING Overpressure in the vacuum system gt 1 bar Accidental or unintended opening of clamp elements under stress can lead to injuries due to parts flying around Unsecured hose connections can release process media thus can leak and possibly damage your health e Overpressure in the vacuum system 1 5 to 4 bar KF flange connections with elastomer sealings cannot withstand such pressures Process media thus can leak and possibly damage your health 3 3 Electrical Connection 3 3 1 Operation With Thyracont Display Unit For operation of the transducer with a Thyracont display and control unit a suitable measurement cable must be used see accessories caution Do not connect or disconnect the transducer when the cable is on circuit Connect the cables plug to the transducer and secure it with the screw Connect the other end of the cable to the display unit and secure the plug Only now connect your display unit to mains power or switch it on respectively vsh82 de 110318 THYRACONT 33 3 3 2 Operation With Other Supply And Evaluation Units The transducer can be operated with other customer related display units or voltage supplies The electrical connection is to be
45. you can configure the parameter mode sensor transition according to the following o no transition but direct switch over between Pirani and hot cathode at 1 0 x10 mbar ml continuous transition in the range 1 0 2 0x1 0 mbar standard Address Code Data cks CR Address 3 Bytes decimal address space RS485 001 999 Code W for reading w for writing the parameter Data 6 Bytes 000001 transition 000000 direct switch over cks 1 Byte checksum defined as sum over all Bytes of the fields address code and data modulo 64 plus 64 CR Carriage Return ODh 13d Example for address switch in position 1 Action Telegram to Answer telegram transducer from transducer Set mode sensor transition 001w000001i R 001w000001i R to continuous transition Read mode sensor transition 001Wh R 001WO000011 r 2 transition Please find further information about the Thyracont communication protocol in chapter 4 2 vsh82 de 110318 4 THYRACONT 4 8 Readjustment The transducer is adjusted ex works with 24V voltage supply in upright position flange to the bottom Other orientation operation under different climatic conditions extreme temperature changes ageing or contamination can result in the need for readjustment of the Pirani sensor Readjustment by pushbutton Readjustment on atmosphere or zero pressure can be done by means of the adjust pushbutton adj of

Vakuum Messumformer Vacuum Transducer

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